Brevet FR3029685A1 — publié le 20160610

PROCEDE D'INSTALLATION D'UN JOINT ELASTOMERE DANS UN EQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE SEMI-CONDUCTEUR ET FEUILLE DE GUIDAGE ET GABARIT UTILISES DANS L'INSTALLATION D'UN JOINT 5 ELASTOMERE La présente invention concerne un procédé d'installation d'un joint élastomère dans un équipement de traitement de semi-conducteur, et en particulier un procédé 10 d'installation d'un joint élastomère dans une rainure de l'équipement de traitement de semi-conducteur avec précision et conformité. De plus, la présente invention concerne également une feuille de guidage et un gabarit pour installer le joint élastomère dans l'équipement de 15 traitement de semi-conducteur. Un équipement de traitement de semi-conducteur classique est représenté sur les Figures 18 et 19. L'équipement de traitement de semi-conducteur classique comprend une chambre 100, et un suscepteur 110, une unité 20 d'alimentation en fluide 120, un élément de support 130 et un couvercle d'extension 140 sont montés dans la chambre 100. La tranche 150 est disposée sur l'élément de support 130 et la tranche 150 est gravée par du gaz de gravure 170. L'élément de support 130 est disposé sur le suscepteur 110. 25 L'unité d'alimentation en fluide 120 est disposée dans le suscepteur 110 et l'élément de support 130 pour assurer une alimentation en fluide 121. Dans un traitement de gravure, le fluide 121 s'écoule à partir de l'unité d'alimentation en fluide 120 en direction de la tranche 150. La tranche 30 150 flotte au-dessus de l'élément de support 130 et la tranche 150 est gravée par le gaz de gravure 170. Des fentes sont formées entre le suscepteur 110 et l'élément de support 130 par du gaz de gravure 170. Le fluide 121 peut 3029685 2 s'écouler dans la rainure 160 entre le suscepteur 110 et l'élément de support 130. Un passage est présent entre le suscepteur 110 et le couvercle d'extension 140. Le fluide 121 peut également s'écouler dans le passage à travers les fentes et endommager l'équipement de traitement de semiconducteur classique. De plus, le fluide 121 peut causer une pollution de l'environnement. Afin de résoudre lesdits problèmes, un joint élastomère 180 est utilisé pour sceller de manière étanche la rainure 160 entre le suscepteur 110 et l'élément de support 130, comme représenté sur la Figure 20. Les fentes entre le suscepteur 110 et l'élément de support 130 sont également obturées par le joint élastomère 180. Le fluide 121 ne s'écoule pas dans la rainure 160 et le passage, et le gaz de gravure 170 n'érode pas la rainure 160. Il existe un autre problème dû au fait que la taille de la rainure 160 entre le suscepteur 110 et l'élément de support 130 est très petite. Il n'est pas aisé d'installer le joint élastomère 180 dans la rainure 160. Si le joint élastomère 180 fait saillie dans le passage entre le suscepteur 110 et le couvercle d'extension 140, l'équipement de traitement de semi-conducteur classique peut brusquement arrêter de fonctionner. En outre, le joint élastomère 180 est amené à s'éroder et est aminci progressivement par le fluide 121 et le gaz de gravure 170. Si le joint élastomère 180 ne peut pas être disposé dans la rainure 160 de façon uniforme, les utilisateurs peuvent difficilement estimer la durée de vie du joint élastomère 180. Si le joint élastomère est soudainement incapable de bloquer le fluide 121 et le gaz de gravure 170, cela causera l'érosion de la rainure 160 et la pollution. De nombreux problèmes existent encore dans 3029685 3 l'installation du joint élastomère 180 dans un équipement de traitement de semi-conducteur. Un objectif de la présente invention est de proposer des procédés et des outils pour aider à disposer 5 le joint élastomère dans la rainure sans difficultés et de façon uniforme. Les procédés et outils de la présente invention peuvent garantir que le joint élastomère ne fasse pas saillie dans le passage pour affecter le fonctionnement de l'équipement de traitement de semi-conducteur. En outre, 10 le joint élastomère protègera la rainure 160 avant que la durée de vie du joint élastomère ne soit expirée. Pour atteindre l'objectif mentionné ci-dessus, la présente invention propose un procédé d'installation d'un joint élastomère dans un équipement de traitement de semi- 15 conducteur comprenant un corps de suscepteur comprenant une surface supérieure et un élément de support monté sur la surface supérieure, et l'élément de support comprenant une partie supérieure et une partie de liaison, et une rainure étant formée entre la surface supérieure, la partie 20 supérieure et la partie de liaison, le procédé étant caractérisé par le fait qu'il comprend les étapes de : - disposition préliminaire, qui comprend monter le joint élastomère sur une surface latérale du corps de suscepteur et près de la surface supérieure ; 25 - positionnement, qui comprend placer le joint élastomère dans une encoche formée sur une feuille de guidage, déplacer le joint élastomère en direction d'une périphérie de la rainure avec la feuille de guidage, puis aligner le joint élastomère avec la rainure ; 30 - remplissage partiel, qui comprend presser le joint élastomère avec un gabarit de remplissage partiel, disposer le joint élastomère dans la rainure et 3029685 4 remplir la rainure de manière partielle par le joint élastomère ; et remplissage complet, qui comprend presser le joint élastomère avec un gabarit de remplissage complet 5 jusqu'à ce que la rainure soit complètement remplie par le joint élastomère. L'avantage de la présente invention est d'utiliser la feuille de guidage et le gabarit de remplissage partiel pour déplacer le joint élastomère dans 10 la rainure étape par étape. Le joint élastomère est disposé dans la rainure de façon uniforme par opération manuelle pour garantir que l'équipement de traitement de semiconducteur fonctionne bien. La durée de vie du joint élastomère peut être prédite de manière précise et la fuite 15 de fluide à partir des fentes entre le corps de suscepteur et la partie de liaison est empêchée de manière efficace. En particulier, de multiples points sur le joint élastomère peuvent être pressés conformément à une séquence particulière avec le gabarit de remplissage partiel le long 20 d'une surface externe du joint élastomère. Le procédé peut comprendre en outre définir la surface externe du joint élastomère de manière égale en de multiples arcs, presser progressivement chacun des multiples arcs avec le gabarit de remplissage partiel, 25 chacun des multiples arcs comprenant respectivement deux points d'extrémité, un point médian et deux points relais, les deux points d'extrémité étant un premier point d'extrémité et un second point d'extrémité, et les deux points relais étant un premier point relais et un second 30 point relais, le point médian étant au milieu entre le premier point d'extrémité et le second point d'extrémité, le premier point relais étant au milieu entre le second point d'extrémité et le point médian, et le second point 3029685 5 relais étant au milieu entre le premier point d'extrémité et le point médian, la séquence particulière étant que le gabarit de remplissage partiel presse le premier point d'extrémité avant de presser le second point d'extrémité, 5 puis le gabarit de remplissage partiel presse le point médian, et enfin le gabarit de remplissage partiel presse le second point relais après pression du premier point relais, l'étape de remplissage partiel étant finie lorsque les multiples arcs ont tous été pressés conformément à la 10 séquence particulière. L'avantage de la présente invention est que la surface externe du joint élastomère peut être pressée conformément à la séquence particulière avec le gabarit de remplissage partiel. Ensuite, le joint élastomère se déplace dans la rainure sans difficultés et 15 de façon uniforme. En outre, le joint élastomère ne tourne pas dans la rainure. Le joint élastomère ne fait pas saillie à partir de la rainure pour gêner le fonctionnement de l'équipement de traitement de semi-conducteur. Plus particulièrement, de multiples points sur le 20 joint élastomère et de multiples segments du joint élastomère peuvent être pressés et soumis à un roulement conformément à une séquence particulière avec le gabarit de remplissage complet le long d'une surface externe du joint élastomère. 25 Le procédé peut comprendre en outre définir la surface extérieure du joint élastomère de manière égale en de multiples arcs, le gabarit de remplissage complet pressant progressivement sur chacun des multiples arcs, chacun des multiples arcs comprenant respectivement deux 30 points terminaux, un point intermédiaire et deux segments de roulement, les deux points terminaux étant un premier point terminal et un second point terminal, et les deux segments de roulement étant un premier segment de roulement 3029685 6 et un second segment de roulement, le point intermédiaire étant au milieu entre le premier point terminal et le second point terminal, le premier segment de roulement étant entre le premier point terminal et le point 5 intermédiaire, et le second segment de roulement étant entre le second point terminal et le point intermédiaire, la séquence particulière étant que le gabarit de remplissage complet presse sur le premier point terminal avant de presser sur le point intermédiaire, puis le 10 gabarit de remplissage complet roule sur le premier segment de roulement du point intermédiaire au premier point terminal, et enfin le gabarit de remplissage complet roule sur le second segment de roulement du second point terminal au point intermédiaire après pression sur le second point 15 terminal, l'étape de remplissage complet étant finie lorsque tous les multiples arcs ont été pressés et soumis à un roulement conformément à la séquence particulière. L'avantage de la présente invention est que la surface externe du joint élastomère peut être pressée conformément 20 à la séquence particulière avec le gabarit de remplissage complet. Ensuite, le joint élastomère se déplace en outre dans la rainure après pression avec le gabarit de remplissage complet de manière régulière. La rainure est remplie par le joint élastomère de manière complète. Le 25 joint élastomère a une durée de vie spécifique après que le joint élastomère est installé dans la rainure avec précision et conformité. Les utilisateurs peuvent remplacer en temps voulu le joint élastomère avant que la fuite et l'érosion n'apparaissent. 30 De manière idéale, la section transversale du joint élastomère est un rectangle, le joint élastomère a une largeur radiale et une hauteur, et le rapport de la largeur radiale à la hauteur est supérieur à 0,5. Un côté 3029685 7 du joint élastomère qui est tourné vers la rainure comprend deux bords, les deux bords étant des bords chanfreinés. L'avantage de la présente invention est que le joint élastomère avec le rapport spécifique de la largeur radiale 5 à la hauteur peut se déplacer dans la rainure de manière aisée grâce aux agencements des deux bords chanfreinés. La présente invention propose également une feuille de guidage pour installer un joint élastomère dans un équipement de traitement de semi-conducteur selon le 10 procédé tel que défini ci-dessus, caractérisée par le fait qu'elle comprend : - une partie corps ; et une partie pliée reliée à la partie corps, un angle étant formé entre la partie corps et la partie 15 pliée, une encoche étant en renfoncement sur un côté de la partie pliée opposé à la partie corps, et l'encoche correspondant à la forme du joint élastomère. L'avantage de la présente invention est que le joint élastomère peut être recouvert et reçu par l'encoche de la feuille de guidage. 20 Le joint élastomère peut être déplacé pour s'aligner avec la rainure par la feuille de guidage. La feuille de guidage guide le joint élastomère pour qu'il s'aligne avec la rainure avant pression avec le gabarit de remplissage partiel. Ensuite, le joint élastomère peut être pressé dans 25 la rainure sans difficultés et de façon uniforme. La présente invention propose en outre un gabarit de remplissage partiel pour installer un joint élastomère dans un équipement de traitement de semi-conducteur selon le procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé par le 30 fait qu'il comprend : - deux structures semi-circulaires ; et - deux ensembles de serrage montés respectivement sur les deux structures semi-circulaires, 3029685 8 chacune des deux structures semi-circulaires comprenant deux extrémités, et deux saillies étant formées respectivement sur les deux extrémités de chacune des deux structures semi-circulaires, les deux saillies faisant 5 saillie respectivement vers un côté externe de chacune des deux structures semi-circulaires, les côtés internes des deux structures semi-circulaires étant opposés l'un l'autre et les côtés internes des deux structures semi-circulaires correspondant à la forme du joint élastomère, 10 les deux ensembles de serrage étant montés sur les deux L'avantage de la présente invention est que les deux structures semi-circulaires peuvent être reliées par l'ensemble de serrage sur les deux extrémités de chaque structure semi-circulaire. Un espace circulaire est formé 15 par liaison des deux structures semi-circulaires. L'aire de l'espace circulaire peut être régulée par l'ensemble de serrage, et le joint élastomère peut être limité dans l'espace circulaire. Si l'aire de l'espace circulaire devient plus petite par l'ensemble de serrage, le joint 20 élastomère sera pressé par les deux structures semi-circulaires plus fortement. Le joint élastomère peut alors être déplacé dans la rainure de façon uniforme. En particulier, chacune des deux saillies peut comprendre respectivement un trou de fixation, chacun des 25 deux ensembles de serrage peut comprendre une vis et un écrou, la vis correspondant à l'écrou, la vis et l'écrou étant montés sur deux côtés opposés de chacune des deux saillies, la vis traversant les trous de fixation des deux structures semi-circulaires, et l'écrou étant vissé sur la 30 vis. L'avantage de la présente invention est que l'ensemble de serrage comprend une vis et un écrou. L'aire de l'espace circulaire peut être régulée par les conditions de vissage, 3029685 9 et le joint élastomère peut être pressé fortement ou partiellement en fonction des conditions de vissage. La présente invention propose en outre un gabarit de remplissage complet pour installer un joint élastomère 5 dans un équipement de traitement de semi-conducteur selon le procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé par le fait qu'il comprend un corps, le corps comprenant une surface de roulement, et la surface de roulement étant en forme d'arc. L'avantage de la présente invention est que le 10 joint élastomère peut être pressé et soumis à un roulement par roulement en va-et-vient du gabarit de remplissage complet sur la surface externe du joint élastomère. Le joint élastomère est ainsi disposé dans la rainure après roulement du gabarit de remplissage complet sur la surface 15 externe du joint élastomère. En particulier, le corps du gabarit de montage complet comprend au moins deux cavités, les au moins deux cavités étant en renfoncement sur la surface de roulement, et de multiples surfaces de roulement limitées étant 20 formées par la division de la surface de roulement par les au moins deux cavités. L'avantage de la présente invention est que le gabarit de remplissage complet avec les surfaces de roulement limitées peut empêcher l'opérateur de procéder seulement à un roulement continu sur la surface externe du 25 joint élastomère. Les problèmes provoqués par une nonchalance de l'opérateur peuvent être résolus à l'aide du gabarit de remplissage complet. Plus particulièrement, un trou traversant peut être formé à un centre géométrique du corps. L'avantage de 30 la présente invention est que le poids du gabarit de remplissage complet peut être réduit par le trou traversant. En outre, le trou traversant au centre géométrique du corps assure également une commodité pour 3029685 10 l'opérateur pour tenir le gabarit de remplissage complet de manière stable par introduction du doigt dans le trou traversant. La présente invention propose également un 5 procédé d'installation d'un joint élastomère dans un équipement de traitement de semi-conducteur, l'équipement de traitement de semi-conducteur comprenant un corps de suscepteur comprenant une surface supérieure, un élément de support monté sur la surface supérieure et comprenant une 10 partie supérieure et une partie de liaison, et une rainure étant formée entre la surface supérieure, la partie supérieure et la partie de liaison, le procédé étant caractérisé par le fait qu'il comprend les étapes de : - disposition préliminaire, qui comprend monter le joint 15 élastomère sur une surface latérale du corps de suscepteur et près de la surface supérieure ; recouvrement et remplissage partiel, qui comprend recouvrir la rainure avec le joint élastomère et introduire une feuille dans un intervalle entre la 20 rainure et le joint élastomère pour disposer le joint élastomère dans la rainure de façon uniforme, et remplir la rainure de manière partielle par le joint élastomère ; et remplissage complet, qui comprend presser le joint 25 élastomère avec un gabarit de remplissage complet jusqu'à ce que la rainure soit complètement remplie par le joint élastomère. L'avantage du procédé est que l'étape de positionnement est omise. La feuille guide le joint 30 élastomère pour le déplacer dans la rainure sans difficultés. Le joint élastomère est disposé dans la rainure de façon uniforme par opération manuelle, et le joint élastomère ne tourne pas dans la rainure. La durée de 3029685 11 vie du joint élastomère peut être prévue et la fuite de fluide à partir des fentes entre le corps de suscepteur et la partie de liaison peut être empêchée efficacement. En particulier, de multiples points sur le joint 5 élastomère et de multiples segments du joint élastomère sont pressés et soumis à un roulement conformément à une séquence particulière avec le gabarit de remplissage complet le long d'une surface externe du joint élastomère. Le procédé peut comprendre en outre définir la 10 surface externe du joint élastomère de manière égale en de multiples arcs, presser progressivement chacun des multiples arcs avec le gabarit de remplissage complet, chacun des multiples arcs comprenant respectivement deux points terminaux, un point intermédiaire et deux segments 15 de roulement, les deux points terminaux étant un premier point terminal et un second point terminal, et les deux segments de roulement étant un premier segment de roulement et un second segment de roulement, le point intermédiaire étant au milieu entre le premier point terminal et le 20 second point terminal, le premier segment de roulement étant entre le premier point terminal et le point intermédiaire, et le second segment de roulement étant entre le second point terminal et le point intermédiaire, la séquence particulière étant que le 25 gabarit de remplissage complet presse le premier point terminal avant de presser le point intermédiaire, puis le gabarit de remplissage complet roule sur le premier segment de roulement du point intermédiaire au premier point terminal, et enfin le gabarit de remplissage complet roule 30 sur le second segment de roulement du second point terminal au point intermédiaire après pression du second point terminal, l'étape de remplissage complet étant finie lorsque tous les multiples arcs ont été pressés et soumis à 3029685 12 un roulement conformément à la séquence particulière. L'avantage de la présente invention est que la surface externe du joint élastomère est divisée en de nombreuses parties d'arc. Chaque partie d'arc peut être pressée 5 conformément à la séquence particulière avec le gabarit de remplissage complet. Le joint élastomère se déplace alors en outre dans la rainure de manière régulière. La rainure est remplie complètement par le joint élastomère. Le joint élastomère a une durée de vie spécifique après que le joint 10 élastomère est installé dans la rainure avec précision et conformité. Les utilisateurs peuvent remplacer en temps voulu le joint élastomère avant que la fuite et l'érosion n'apparaissent. De manière idéale, la section transversale du 15 joint élastomère est un rectangle, le joint élastomère a une largeur radiale et une hauteur, et le rapport de la largeur radiale à la hauteur est inférieur à 0,5. Un côté du joint élastomère qui est tourné vers la rainure a deux bords, les deux bords étant respectivement des bords 20 chanfreinés. L'avantage de la présente invention est que le joint élastomère avec le rapport spécifique de la largeur radiale à la hauteur peut être disposé dans la rainure de manière aisée par les deux bords chanfreinés. La présente invention propose en outre une 25 feuille pour installer un joint élastomère dans un équipement de traitement de semi-conducteur selon le procédé tel que défini ci-dessus, caractérisée par le fait que la feuille comprend deux surfaces opposées, et l'une des deux surfaces opposées correspond au côté interne du 30 joint élastomère. L'avantage de la présente invention est que le côté interne du joint élastomère peut être rendu lisse par la feuille. Le joint élastomère ne peut pas 3029685 13 tourner avant de se déplacer dans la rainure, et le joint élastomère est disposé dans la rainure de manière aisée. La présente invention ressortira davantage à la lecture de la description suivante de modes de réalisation 5 particuliers de la présente invention, avec référence aux dessins annexés. Sur ces dessins : - la Figure 1 est une vue schématique du joint élastomère 10 disposé sur une surface latérale du corps de suscepteur conformément à la présente invention ; - la Figure 2 est une vue schématique du joint élastomère déplacé par une feuille de guidage pour s'aligner avec 15 la rainure conformément à la présente invention ; - la Figure 3A est une vue schématique du joint élastomère pressé avec le gabarit de remplissage partiel conformément à la présente invention ; 20 - la Figure 3B est une vue du dessus du joint élastomère pressé avec le gabarit de remplissage partiel conformément à la présente invention ; 25 - la Figure 4 est une vue du dessus du joint élastomère pressé avec le gabarit de remplissage complet conformément à la présente invention ; - la Figure 5 est une vue schématique du joint élastomère 30 pressé avec le gabarit de remplissage complet conformément à la présente invention ; - la Figure 6 est une vue schématique de la feuille de guidage conformément à la présente invention ; 3029685 14 - la Figure 7A est une vue du dessus du gabarit de remplissage partiel conformément à la présente invention ; 5 - la Figure 7B est une vue partielle agrandie de la Figure 7A ; - la Figure 8 est une vue schématique montrant le gabarit 10 de remplissage partiel pressant sur le joint élastomère conformément à la présente invention ; - la Figure 9 est une vue schématique d'un mode de réalisation préféré pour un gabarit de remplissage 15 complet conformément à la présente invention ; - la Figure 10 est une vue schématique d'un autre mode de réalisation préféré pour le gabarit de remplissage complet conformément à la présente invention ; 20 - la Figure 11 est une vue schématique d'un autre mode de réalisation préféré du gabarit de remplissage complet conformément à la présente invention ; 25 - la Figure 12 est une vue schématique montrant un autre joint élastomère conformément à la présente invention, disposé sur la surface latérale du corps de suscepteur ; - la Figure 13 est une vue schématique montrant le joint 30 élastomère de la Figure 12 disposé dans la rainure de manière partielle par une feuille ; - la Figure 14 est une vue en perspective montrant le joint élastomère de la Figure 12 disposé dans la rainure de manière partielle par une feuille ; 3029685 15 - la Figure 15 est une vue du dessus du joint élastomère de la Figure 12 pressé avec le gabarit de remplissage complet ; 5 - la Figure 16 est une vue schématique du joint élastomère de la Figure 12 pressé avec le gabarit de remplissage complet conformément à la présente invention ; 10 - la Figure 17 est une vue schématique de la feuille conformément à la présente invention ; - la Figure 18 est une vue schématique de l'équipement de traitement de semi-conducteur classique ; 15 - la Figure 19 est une vue agrandie partielle de la Figure 18 ; - la Figure 20 est une vue schématique du joint élastomère 20 disposé dans l'équipement de traitement de semi- conducteur classique. Si l'on se réfère à la Figure 1, on peut voir que l'équipement de traitement de semi-conducteur comprend un 25 corps de suscepteur 10 et un élément de support 20. Le corps de suscepteur 10 a une surface supérieure 11, et l'élément de support 20 a en outre une partie supérieure 21 et une partie de liaison 22. L'élément de support 20 est disposé sur la surface supérieure 11 du corps de suscepteur 30 10, et la partie de liaison 22 de l'élément de support 20 relie le corps de suscepteur 10 et l'élément de support 20. Une rainure 221 est formée sur la surface externe de la partie de liaison 22, et la rainure 221 se situe entre la 3029685 16 surface supérieure 11, la partie supérieure 21 et la partie de liaison 22. La première étape d'un procédé d'installation d'un joint élastomère 30 dans l'équipement de traitement de 5 semi-conducteur conformément à la présente invention est la disposition préliminaire du joint élastomère. Le joint élastomère 30 est monté sur la surface latérale du corps de suscepteur 10 et est proche de la surface supérieure 11. Le joint élastomère 30 est étiré par le montage autour et sur 10 la surface latérale du corps de suscepteur 10. Le joint élastomère 30 est fait de caoutchouc. La section transversale du joint élastomère 30 est un rectangle, et le joint élastomère 30 a une largeur radiale WO et une hauteur TO. Le rapport de la largeur radiale WO à 15 la hauteur TO est plus grand que 0,5. Cela signifie que la hauteur TO est inférieure au double de la largeur radiale WO. En outre, un côté du joint élastomère 30 qui est tourné vers la rainure 221 a deux bords et les deux bords 20 sont respectivement des bords chanfreinés 31. Les bords chanfreinés 31 aident le joint élastomère 30 à être disposé de manière aisée dans la rainure 221. Si l'on se réfère à la Figure 2, on peut voir qu'une feuille de guidage 40 a une encoche 41. L'encoche 41 25 correspond à la forme du joint élastomère 30. La seconde étape du procédé d'installation du joint élastomère 30 dans un équipement de traitement de semi-conducteur conformément à la présente invention est l'étape de positionnement. L'encoche 41 de la feuille de guidage 40 recouvre la 30 surface externe du joint élastomère 30. Ensuite, le joint élastomère 30 est déplacé vers une périphérie de la rainure 221 avec la feuille de guidage 40, puis le joint élastomère 30 est aligné avec la rainure 221 de manière précise. 3029685 17 Si l'on se réfère à la Figure 3A, on peut voir que la feuille de guidage 40 est retirée après l'étape de positionnement. La troisième étape du procédé d'installation du joint élastomère 30 dans un équipement de 5 traitement de semi-conducteur conformément à la présente invention est la pression du joint élastomère 30 dans la rainure 221 de manière partielle. Le joint élastomère 30 est pressé avec un gabarit de remplissage partiel 50. Le gabarit de remplissage partiel 50 vient en contact avec la 10 surface externe du joint élastomère 30 pour déplacer lentement le joint élastomère 30 dans la rainure 221. Le joint élastomère 30 est extrudé par la rainure 221 et la rainure 221 est partiellement remplie par le joint élastomère 30 après poussée avec le gabarit de remplissage 15 partiel 50. Si l'on se réfère à la Figure 3B, on peut voir que la surface externe du joint élastomère 30 est pressée suivant une séquence particulière avec le gabarit de remplissage partiel 50. De multiples arcs 60 de la surface 20 externe du joint élastomère 30 sont définis par pré-marquage de l'élément de support 20. La longueur de chacun des multiples arcs 60 peut être régulée par le diamètre du joint élastomère 30. Chacun des multiples arcs 60 a deux points d'extrémité 61, un point médian 62 et deux points 25 relais 63. Les deux points d'extrémité 61 sont un premier point d'extrémité 61A et un second point d'extrémité 61B. Les deux points relais 63 sont un premier point relais 63A et un second point relais 63B. Le point médian 62 est au milieu entre le premier point d'extrémité 61A et le second 30 point d'extrémité 61B. Le premier point relais 63A est au milieu entre le second point d'extrémité 61B et le point médian 62, et le second point relais 63B est au milieu entre le premier point d'extrémité 61A et le point médian 3029685 18 62. La séquence particulière comprend : le gabarit de remplissage partiel 50 presse chacun des multiples arcs 60 à partir du premier point d'extrémité 61A, du second point d'extrémité 61B, du point médian 62, du premier point de 5 relais 63A et du second point de relais 63B. L'étape de remplissage partiel du joint élastomère 30 est finie lorsque les multiples arcs 60 du joint élastomère 30 sont tous pressés avec le gabarit de remplissage partiel 50 conformément à la séquence particulière. 10 Si l'on se réfère à la Figure 4, on peut voir que le gabarit de remplissage partiel 50 est retiré après le remplissage partiel. La quatrième étape du procédé d'installation du joint élastomère 30 dans un équipement de traitement de semi-conducteur conformément à la présente 15 invention est la pression du joint élastomère 30 entièrement dans la rainure 221. Le joint élastomère 30 est pressé et soumis à roulement avec un gabarit de remplissage complet 70. Le gabarit de remplissage complet 70 vient en contact avec la surface externe du joint élastomère 30 et 20 déplace le joint élastomère 30 complètement dans la rainure 221. La rainure 221 est remplie complètement par le joint élastomère 30 après poussée et roulement avec le gabarit de remplissage complet 70. La surface externe du joint élastomère 30 est 25 pressée et soumis à roulement suivant une séquence particulière avec le gabarit de remplissage complet 70. De multiples arcs 80 de la surface externe du joint élastomère 30 sont également définis par pré-marquage de l'élément de support 20. Chacun des multiples arcs 80 a deux points 30 terminaux 81, un point intermédiaire 82 et deux segments de roulement 83. Les deux points terminaux 81 sont un premier point terminal 81A et un second point terminal 81B, et les deux segments de roulement 83 sont un premier segment de 3029685 19 roulement 83A et un second segment de roulement 83B. Le point intermédiaire 82 est au milieu entre le premier point terminal 81A et le second point terminal 81B. Le premier segment de roulement 83A est entre le premier point 5 terminal 81A et le point intermédiaire 82, et le second segment de roulement 83B est entre le second point terminal 81B et le point intermédiaire 82. La séquence particulière comprend : le gabarit de remplissage complet 70 presse le premier point terminal 81A avant de presser le point 10 intermédiaire 82, puis le gabarit de remplissage complet 70 roule sur le premier segment de roulement 83A du point intermédiaire 82 au premier point terminal 81A. Ensuite, le gabarit de remplissage complet 70 roule sur le second segment de roulement 83B du second point terminal 81B au 15 point intermédiaire 82 après pressage du second point terminal 81B. L'étape de remplissage complet est finie lorsque les multiples arcs 80 du joint élastomère 30 sont tous pressés et soumis à roulement avec le gabarit de remplissage complet 70 conformément à la séquence 20 particulière. Si l'on se réfère à la Figure 5, on peut voir que le joint élastomère 30 est disposé entièrement dans la rainure 221 après les étapes de remplissage partiel et de remplissage complet. 25 Si l'on se réfère aux Figures 2 et 6, on peut voir que la feuille de guidage 40 comprend : une partie corps 42 et une partie pliée 43. La partie corps 42 est reliée à la partie pliée 43. Un angle est formé entre la partie corps 42 et la partie pliée 43. L'encoche 41 est en 30 renfoncement sur un côté de la partie pliée 43 opposé à la partie corps 42, et l'encoche 41 correspond à la forme du joint élastomère 30. La feuille de guidage 40 guide le joint élastomère 30 pour le déplacer à la position 3029685 20 d'alignement avec la rainure 221 de manière précise. La feuille de guidage 40 est faite de matière plastique industrielle telle que le polytétrafluoroéthène (PTFE). Le coefficient de frottement de la matière plastique 5 industrielle est inférieur à celui des caoutchoucs classiques. Si l'on se réfère aux Figures 7A, 7B et 8, on peut voir qu'un autre mode de réalisation du gabarit de remplissage partiel 50A comprend deux structures semi- 10 circulaires 51. Les côtés internes des deux structures semi-circulaires 51 sont opposés l'un à l'autre et correspondent à la forme du joint élastomère 30. Chacune des deux structures semi-circulaires 51 comprend deux extrémités et deux saillies 52 sont formées sur les deux 15 extrémités de chacune des deux structures semi-circulaires 51, respectivement. Les deux saillies 52 font saillie en direction du côté externe de chacune des deux structures semi-circulaires 51, respectivement. Chacune des deux saillies 52 comprend un trou de fixation 521 et un ensemble 20 de serrage 53 est monté par l'intermédiaire du trou de fixation 521. L'ensemble de serrage 53 comprend une vis 531 et un écrou 532, et la vis 531 correspond à l'écrou 532. Lorsque les deux structures semi-circulaires 51 sont 25 opposées l'une à l'autre, le trou de fixation 521 de l'une des deux structures semi-circulaires 51 est aligné avec le trou de fixation 521 de l'autre des deux structures semi-circulaires 51. La vis 531 peut traverser les trous de fixation 521 et l'écrou 532 est vissé sur la vis 531. La 30 vis 531 et l'écrou 532 sont montés sur deux côtés opposés du trou de fixation 521. La force de pression appliquée sur le joint élastomère 30 avec le gabarit de remplissage partiel 50A peut être ajustée par contrôle des conditions 3029685 21 de vissage entre la vis 531 et l'écrou 532. La surface externe du joint élastomère 30 peut être pressée avec le gabarit de remplissage partiel 50A de façon uniforme. Le gabarit de remplissage complet 70 comprend un 5 corps avec une surface de roulement autour du corps. La surface de roulement est en forme d'arc. Si l'on se réfère à la Figure 9, on peut voir qu'un autre mode de réalisation du gabarit de remplissage complet 70A comprend en outre deux cavités 71. Les deux 10 cavités 71 sont en renfoncement sur la surface de roulement et de multiples surfaces de roulement limitées 73 sont formées par la division de la surface de roulement par les deux cavités 71. Chacune des sous-surfaces de roulement est en forme d'arc. Le gabarit de remplissage complet 70A peut 15 empêcher le personnel de seulement rouler de façon continue autour du joint élastomère 30 à l'étape de pression et de roulement du joint élastomère 30. Si le personnel saute le travail de pression à l'étape de remplissage complet et ni ne presse ni ne roule sur le joint élastomère 30 20 conformément la séquence particulière, le joint élastomère 30 ne sera pas disposé dans la rainure 221 de façon uniforme et la rainure 221 peut ne pas être remplie complètement. Le joint élastomère 30 interférera avec le fonctionnement de l'équipement de traitement de semi- 25 conducteur. Les qualités de produit peuvent aussi être affectées par le joint élastomère 30. Par conséquent, les problèmes provoqués par la nonchalance du personnel peuvent être résolus à l'aide du gabarit de remplissage complet 70A. 30 Si l'on se réfère à la Figure 10, on peut voir qu'un autre mode de réalisation du gabarit de remplissage complet 70B comprend en outre un trou traversant 72. Le trou traversant 72 est formé à un centre géométrique du 3029685 22 corps du gabarit de remplissage complet 70B. Cet agencement non seulement réduit le poids du gabarit de remplissage complet 70B, mais encore assure une commodité à l'utilisateur. Les utilisateurs peuvent faire fonctionner 5 le gabarit de remplissage complet 70B de manière stable par introduction du doigt dans le trou traversant 72. Cet agencement empêche également le gabarit de remplissage complet 70B de glisser pendant le processus. Si l'on se réfère à la Figure 11, on peut voir 10 qu'un autre mode de réalisation du gabarit de remplissage complet 70C comprend : six cavités 71A et un trou traversant 72. Les six cavités 71A sont en renfoncement sur la surface de roulement et le trou traversant 72 est formé à un centre géométrique du corps du gabarit de remplissage 15 complet 70C. La surface de roulement est divisée en six segments par les six cavités 71A. Par cet agencement, le personnel peut être plus efficace pour presser et rouler sur le joint élastomère 30 conformément à la séquence particulière. L'utilisation du gabarit de remplissage 20 complet 70C garantit que le joint élastomère 30 soit disposé dans la rainure 221 de façon uniforme et complète. Si l'on se réfère à la Figure 12, on peut voir qu'un autre procédé d'installation d'un joint élastomère 30A dans un équipement de traitement de semi-conducteur 25 conformément à la présente invention comprend trois étapes. La première étape est également la disposition préliminaire du joint élastomère 30A. Le joint élastomère 30A est monté sur la surface latérale du corps de suscepteur 10 et est proche de la surface supérieure 11. Le joint élastomère 30A 30 est étiré par le montage autour et sur la surface latérale du corps de suscepteur 10. La section transversale du joint élastomère 30A est un rectangle et le joint élastomère 30A a une largeur radiale W1 et une hauteur Tl. Le rapport de 3029685 23 la largeur radiale W1 sur la hauteur T1 est inférieur à 0,5. Cela signifie que la hauteur T1 est plus grande que le double de la largeur radiale W1. En outre, un côté du joint élastomère 30A qui est 5 tourné vers la rainure 221 a deux bords. Les deux bords sont respectivement des bords chanfreinés 31A. Les bords chanfreinés 31A aident le joint élastomère 30A à être disposé de manière plus aisée dans la rainure 221. Si l'on se réfère aux Figures 13 et 14, on peut 10 voir que la seconde étape est le recouvrement de la rainure 221 et la disposition du joint élastomère 30A de manière partielle. Le joint élastomère 30A est tout d'abord déplacé pour recouvrir la rainure 221. La feuille 40A correspond à la forme du joint élastomère 30A. La feuille 40A est 15 insérée dans un intervalle entre la rainure 221 et le joint élastomère 30A. La feuille 40A est poussée et déplacée autour de la rainure 221. La feuille 40A aide à rendre lisse le joint élastomère 30A et le joint élastomère 30A est disposé dans la rainure 221 de façon uniforme. La 20 rainure 221 est remplie de manière partielle par le joint élastomère 30A. Les côtés droits sur les Figures 13 et 14 montrent un état de la feuille 40A se déplaçant le long de la rainure 221. Les côtés gauches sur les Figures 13 et 14 montrent un état du joint élastomère 30A disposé dans la 25 rainure 221 après lissage. La feuille 40A est également faîte de matière plastique industrielle telle que le polytétrafluoroéthène (PTFE). Le coefficient de frottement de la matière plastique industrielle est inférieur à celui des caoutchoucs classiques. 30 Si l'on se réfère à la Figure 15, on peut voir que la troisième étape est la pression du joint élastomère 30A de manière complète. Le joint élastomère 30A est pressé et soumis à roulement avec un gabarit de remplissage 3029685 24 complet 70. Le gabarit de remplissage complet 70 vient en contact avec la surface externe du joint élastomère 30A et amène le joint élastomère 30 à se déplacer entièrement dans la rainure 221. La rainure 221 est remplie complètement par 5 le joint élastomère 30A après poussée et roulement avec le gabarit de remplissage complet 70. La surface externe du joint élastomère 30A est pressée et soumise à roulement suivant une séquence particulière avec le gabarit de remplissage complet 70. De 10 multiples arcs 90 de la surface externe du joint élastomère 30A sont définis par pré-marquage de l'élément de support 20. Chacun des multiples arcs 90 a deux points terminaux 91, un point intermédiaire 92 et deux segments de roulement 93. Les deux points terminaux 91 sont un premier point 15 terminal 91A et un second point terminal 91B, et les deux segments de roulement 93 sont un premier segment de roulement 93A et un second segment de roulement 93B. Le point intermédiaire 92 est au milieu entre le premier point terminal 91A et le second point terminal 91B. Le premier 20 segment de roulement 93A est entre le premier point terminal 91A et le point intermédiaire 92, et le second segment de roulement 93B est entre le second point terminal 91B et le point intermédiaire 92. La séquence particulière comprend : le gabarit de remplissage complet 70 presse le 25 premier point terminal 91A avant de presser le point intermédiaire 92, puis le gabarit de remplissage complet 70 roule sur le premier segment de roulement 93A du point intermédiaire 92 au premier point terminal 91A. Ensuite, le gabarit de remplissage complet 70 roule sur le second 30 segment de roulement 93B du second point terminal 91B au point intermédiaire 92 après pression du second point terminal 91B. L'étape de remplissage complet du joint élastomère 30A est finie lorsque les multiples arcs 90 du 3029685 25 joint élastomère 30A sont tous pressés et soumis roulement avec le gabarit de remplissage complet 70 conformément à la séquence particulière. Si l'on se réfère à la Figure 16, on peut voir que le joint élastomère 30A 5 est disposé entièrement dans la rainure 221 après les étapes de remplissage complet. Si l'on se réfère aux Figures 13 et 17, on peut voir que la feuille 40A est une plaque rectangulaire. La feuille 40A comprend deux surfaces opposées, et l'une des 10 deux surfaces opposées correspond au côté interne du joint élastomère 30A. La feuille 40A aide le joint élastomère 30A à se déplacer dans la rainure 221 de manière aisée et régulière. En résumé, les procédés d'installation d'un joint 15 élastomère 30, 30A dans un équipement de traitement de semi-conducteur utilisent la feuille de guidage 40 ou la feuille 40A pour guider le joint élastomère 30, 30A pour qu'il soit aligné avec la rainure 221 et soit disposé dans la rainure 221 de manière partielle. Ensuite, les procédés 20 utilisent en outre le gabarit de remplissage partiel 50 ou le gabarit de remplissage complet 70 pour presser et rouler le joint élastomère 30, 30A suivant une séquence particulière avant que le joint élastomère 30, 30A soit disposé entièrement dans la rainure 221, et alors la 25 rainure 221 est remplie complètement par le joint élastomère 30, 30A. Le joint élastomère 30, 30A peut empêcher la fuite de gaz de l'équipement de traitement de semi-conducteur à partir des intervalles entre le corps de suscepteur 10 et la partie de liaison 22. Le joint 30 élastomère 30, 30A peut également empêcher que la pénétration de plasma vers la rainure 221 cause une pollution de l'environnement. 3029685 26 De plus, les utilisateurs peuvent estimer la durée de vie du joint élastomère 30, 30A de manière exacte par l'installation complète du joint élastomère 30, 30A. Les utilisateurs peuvent également remplacer régulièrement 5 le joint élastomère 30, 30A. La présente invention réduit les erreurs d'installation du joint élastomère 30, 30A, et l'équipement de traitement de semi-conducteur n'est pas brusquement empêché de fonctionner par des saillies du joint élastomère 30, 30A. La présente invention aide à 10 maintenir les qualités des tranches et le développement des usines de fabrication de semi-conducteur. REVENDICATIONS1 - Procédé d'installation d'un joint élastomère (30) dans un équipement de traitement de semi-conducteur 5 comprenant un corps de suscepteur (10) comprenant une surface supérieure (11) et un élément de support (20) monté sur la surface supérieure (11), et l'élément de support (20) comprenant une partie supérieure (21) et une partie de liaison (22), et une rainure (221) étant formée entre la 10 surface supérieure (11), la partie supérieure (21) et la partie de liaison (22), le procédé étant caractérisé par le fait qu'il comprend les étapes de : - disposition préliminaire, qui comprend monter le joint élastomère (30) sur une surface latérale du corps de 15 suscepteur (10) et près de la surface supérieure (11) ; - positionnement, qui comprend placer le joint élastomère (30) dans une encoche (41) formée sur une feuille de guidage (40), déplacer le joint élastomère (30) en direction d'une périphérie de la rainure (221) avec la 20 feuille de guidage (40), puis aligner le joint élastomère (30) avec la rainure (221) ; remplissage partiel, qui comprend presser le joint élastomère (30) avec un gabarit de remplissage partiel (50), disposer le joint élastomère (30) dans la rainure 25 (221) et remplir la rainure (221) de manière partielle par le joint élastomère (30) ; et - remplissage complet, qui comprend presser le joint élastomère (30) avec un gabarit de remplissage complet (70) jusqu'à ce que la rainure (221) soit complètement 30 remplie par le joint élastomère (30). 2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que de multiples points sur le joint élastomère (30) sont pressés conformément à une séquence particulière 3029685 28 avec le gabarit de remplissage partiel (50) le long d'une surface externe du joint élastomère (30). 3 - Procédé selon la revendication 2, caractérisé par le fait qu'il comprend en outre définir la surface externe du joint élastomère (30) de manière égale en de multiples arcs (60), presser progressivement chacun des multiples arcs (60) avec le gabarit de remplissage partiel (50), chacun des multiples arcs (60) comprenant respectivement deux points d'extrémité (61), un point médian (62) et deux points relais (63), les deux points d'extrémité (61) étant un premier point d'extrémité (61A) et un second point d'extrémité (61B), et les deux points relais (63) étant un premier point relais (63A) et un second point relais (63B), le point médian (62) étant au milieu entre le premier point d'extrémité (61A) et le second point d'extrémité (61B), le premier point relais (63A) étant au milieu entre le second point d'extrémité (61B) et le point médian (62), et le second point relais (63B) étant au milieu entre le premier point d'extrémité (61A) et le point médian (62), la séquence particulière étant que le gabarit de remplissage partiel (50) presse le premier point d'extrémité (61A) avant de presser le second point d'extrémité (61B), puis le gabarit de remplissage partiel (50) presse le point médian (62), et enfin le gabarit de remplissage partiel (50) presse le second point relais (63B) après pression du premier point relais (63A), l'étape de remplissage partiel étant finie lorsque les multiples arcs (60) ont tous été pressés conformément à la séquence particulière. 4 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que de multiples points sur le joint élastomère (30) et de multiples segments du joint élastomère (30) sont pressés et 3029685 29 soumis à un roulement conformément à une séquence particulière avec le gabarit de remplissage complet (70) le long d'une surface externe du joint élastomère (30). 5 - Procédé selon la revendication 4, caractérisé 5 par le fait qu'il comprend en outre définir la surface extérieure du joint élastomère (30) de manière égale en de multiples arcs (80), le gabarit de remplissage complet (70) pressant progressivement sur chacun des multiples arcs (80), chacun des multiples arcs (80) comprenant 10 respectivement deux points terminaux (81), un point intermédiaire (82) et deux segments de roulement (83), les deux points terminaux (81) étant un premier point terminal (81A) et un second point terminal (81B), et les deux segments de roulement (83) étant un premier segment de 15 roulement (83A) et un second segment de roulement (83B), le point intermédiaire (82) étant au milieu entre le premier point terminal (81A) et le second point terminal (81B), le premier segment de roulement (83A) étant entre le premier point terminal (81A) et le point intermédiaire (82), et le 20 second segment de roulement (83B) étant entre le second point terminal (81B) et le point intermédiaire (82), la séquence particulière étant que le gabarit de remplissage complet (70) presse sur le premier point terminal (81A) avant de presser sur le point intermédiaire (82), puis le 25 gabarit de remplissage complet (70) roule sur le premier segment de roulement (83A) du point intermédiaire (82) au premier point terminal (81A), et enfin le gabarit de remplissage complet (70) roule sur le second segment de roulement (83B) du second point terminal (81B) au point 30 intermédiaire (82) après pression sur le second point terminal (81B), l'étape de remplissage complet étant finie lorsque tous les multiples arcs (80) ont été pressés et 3029685 30 soumis à un roulement conformément à la séquence particulière. 6 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé par le fait que la 5 section transversale du joint élastomère (30) est un rectangle, le joint élastomère (30) a une largeur radiale (WO) et une hauteur (TO), et le rapport de la largeur radiale (WO) à la hauteur (TO) est supérieur à 0,5. 7 - Procédé selon la revendication 6, caractérisé 10 par le fait qu'un côté du joint élastomère (30) qui est tourné vers la rainure (221) comprend deux bords, les deux bords étant des bords chanfreinés (31). 8 - Feuille de guidage (40) pour installer un joint élastomère (30) dans un équipement de traitement de 15 semi-conducteur selon le procédé tel que défini à l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée par le fait qu'elle comprend : une partie corps (42) ; et une partie pliée (43) reliée à la partie corps (42), 20 un angle étant formé entre la partie corps (42) et la partie pliée (43), une encoche (41) étant en renfoncement sur un côté de la partie pliée (43) opposé à la partie corps (42), et l'encoche (41) correspondant à la forme du joint élastomère (30). 25 9 - Gabarit de remplissage partiel (50) pour installer un joint élastomère (30) dans un équipement de traitement de semi-conducteur selon le procédé tel que défini à la revendication 1, caractérisé par le fait qu'il comprend : 30 - deux structures semi-circulaires (51) ; et - deux ensembles de serrage (53) montés respectivement sur les deux structures semi-circulaires (51), 3029685 31 chacune des deux structures semi-circulaires (51) comprenant deux extrémités, et deux saillies (52) étant formées respectivement sur les deux extrémités de chacune des deux structures semi-circulaires (51), les deux 5 saillies (52) faisant saillie respectivement vers un côté externe de chacune des deux structures semi-circulaires (51), les côtés internes des deux structures semi-circulaires (51) étant opposés l'un à l'autre et les côtés internes des deux structures semi-circulaires (51) 10 correspondant à la forme du joint élastomère (30), les deux ensembles de serrage (53) étant montés sur les deux saillies (52) de chacune des deux structures semi-circulaires (51). 10 - Gabarit de remplissage partiel (50) selon la 15 revendication 9, caractérisé par le fait que chacune des deux saillies (52) comprend respectivement un trou de fixation (521), chacun des deux ensembles de serrage (53) comprend une vis (531) et un écrou (532), la vis (531) correspondant à l'écrou (532), la vis (531) et l'écrou 20 (532) étant montés sur deux côtés opposés de chacune des deux saillies (52), la vis (531) traversant les trous de fixation (521) des deux structures semi-circulaires (51), et l'écrou (532) étant vissé sur la vis (531). 11 - Gabarit de remplissage complet (70) pour 25 installer un joint élastomère (30) dans un équipement de traitement de semi-conducteur selon le procédé tel que défini l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé par le fait qu'il comprend un corps, le corps comprenant une surface de roulement, et la surface de 30 roulement étant en forme d'arc. 12 - Gabarit de remplissage complet (70) selon la revendication 11, caractérisé par le fait que le corps comprend au moins deux cavités (71), les au moins deux 3029685 32 cavités (71) étant en renfoncement sur la surface de roulement, et de multiples surfaces de roulement limitées (73) étant formées par la division de la surface de roulement par les au moins deux cavités (71). 5 13 - Gabarit de remplissage complet (70) selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé par le fait qu'un trou traversant (72) est formé à un centre géométrique du corps. 14 - Procédé d'installation d'un joint élastomère 10 (30A) dans un équipement de traitement de semi-conducteur, l'équipement de traitement de semi-conducteur comprenant un corps de suscepteur (10) comprenant une surface supérieure (11), un élément de support (20) monté sur la surface supérieure (11) et comprenant une partie supérieure (21) et 15 une partie de liaison (22), et une rainure (221) étant formée entre la surface supérieure (11), la partie supérieure (21) et la partie de liaison (22), le procédé étant caractérisé par le fait qu'il comprend les étapes de : 20 - disposition préliminaire, qui comprend monter le joint élastomère (30A) sur une surface latérale du corps de suscepteur (10) et près de la surface supérieure (11) ; recouvrement et remplissage partiel, qui comprend recouvrir la rainure (221) avec le joint élastomère 25 (30A) et introduire une feuille (40A) dans un intervalle entre la rainure (221) et le joint élastomère (30A) pour disposer le joint élastomère (30A) dans la rainure (221) de façon uniforme, et remplir la rainure (221) de manière partielle par le joint élastomère (30A) ; et 30 - remplissage complet, qui comprend presser le joint élastomère (30A) avec un gabarit de remplissage complet (70) jusqu'à ce que la rainure (221) soit complètement remplie par le joint élastomère (30A). 3029685 33 15 - Procédé selon la revendication 14, caractérisé par le fait que de multiples points sur le joint élastomère (30A) et de multiples segments du joint élastomère (30A) sont pressés et soumis à un roulement 5 conformément à une séquence particulière avec le gabarit de remplissage complet (70) le long d'une surface externe du joint élastomère (30A). 16 - Procédé selon la revendication 15, caractérisé par le fait qu'il comprend en outre définir la 10 surface externe du joint élastomère (30A) de manière égale en de multiples arcs (90), presser progressivement chacun des multiples arcs (90) avec le gabarit de remplissage complet (70), chacun des multiples arcs (90) comprenant respectivement deux points terminaux (91), un point 15 intermédiaire (92) et deux segments de roulement (93), les deux points terminaux (91) étant un premier point terminal (91A) et un second point terminal (91B), et les deux segments de roulement (93) étant un premier segment de roulement (93A) et un second segment de roulement (93B), 20 le point intermédiaire (92) étant au milieu entre le premier point terminal (91A) et le second point terminal (91B), le premier segment de roulement (93A) étant entre le premier point terminal (91A) et le point intermédiaire (92), et le second segment de roulement (93B) étant entre 25 le second point terminal (91B) et le point intermédiaire (92), la séquence particulière étant que le gabarit de remplissage complet (70) presse le premier point terminal (91A) avant de presser le point intermédiaire (92), puis le gabarit de remplissage complet (70) roule sur le premier 30 segment de roulement (93A) du point intermédiaire (92) au premier point terminal (91A), et enfin le gabarit de remplissage complet (70) roule sur le second segment de roulement (93B) du second point terminal (91B) au point 3029685 34 intermédiaire (92) après pression du second point terminal (91B), l'étape de remplissage complet étant finie lorsque tous les multiples arcs (90) ont été pressés et soumis à un roulement conformément à la séquence particulière. 5 17 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 14 à 16, caractérisé par le fait que la section transversale du joint élastomère (30A) est un rectangle, le joint élastomère (30A) a une largeur radiale (W1) et une hauteur (T1), et le rapport de la largeur 10 radiale (W1) à la hauteur (T1) est inférieur à 0,5. 18 - Procédé selon la revendication 17, caractérisé par le fait qu'un côté du joint élastomère (30A) qui est tourné vers la rainure (221) a deux bords, les deux bords étant respectivement des bords chanfreinés 15 (31A). 19 - Feuille (40A) pour installer un joint élastomère (30A) dans un équipement de traitement de semiconducteur selon le procédé tel que défini à l'une quelconque des revendications 14 à 18, caractérisée par le 20 fait que la feuille (40A) comprend deux surfaces opposées, et l'une des deux surfaces opposées correspond au côté interne du joint élastomère (30A).