Brevet FR3036303A1 — publié le 20161125

-1 PROCEDE DE SOUDURE SANS APPORT DE MATIERE ET MODULE ELECTRONIQUE DE PUISSANCE REALISE PAR CE PROCEDE DOMAINE TECHNIQUE DE L'INVENTION. La présente invention concerne un procédé de soudure sans apport de matière pour la réalisation des interconnexions d'un module électronique de puissance. ARRIERE PLAN TECHNOLOGIQUE DE L'INVENTION. Les nouvelles générations de modules électroniques de puissance exigent une compacité et une densité de puissance élevées. Les liaisons électriques vers les semi-conducteurs de puissance sont réalisées par les pistes conductrices des substrats DBC (acronyme de "Direct Bonded Copper" en terminologie anglaise, ce qui désigne du cuivre et un matériau céramique directement liés), DBA (acronyme de "Direct Bonded Aluminium"), et AMB (acronyme de "Active Metal Brazing", qui désigne un substrat céramique brasé). Ces pistes sont connectées aux terminaux de la ceinture du boîtier par différents procédés utilisant des fils ou rubans d'aluminium dont les extrémités sont soudés par ultrasons, ou bien mettant en oeuvre des liaisons soudées avec apport de matière, des liaisons réalisées par soudure résistive (soudure électrique), ou encore des liaisons par lame ressort. Tous ces procédés présentent des avantages et des inconvénients. L'interconnexion utilisant une brasure, en particulier une brasure sans plomb, est la plus simple et la plus couramment utilisée. Mais elle ne permet pas de fonctionner à température élevée. Les brasures utilisées pour les applications de puissance à des températures de fonctionnement élevées contiennent du plomb, mais leur utilisation est limitée par une directive européenne (RoHS). De plus, les caractéristiques thermiques et électriques de ces brasures à l'initial et après vieillissement sont limitées par l'alliage du joint brasé sélectionné. A 30 part les alliages d'or, les brasures sans plomb ne sont pas stables La soudure par ultrason d'un terminal sur le substrat qui est utilisée par certains fabricants permet d'éliminer l'apport de matière du brasage. Le joint soudé par ultrason peut résister aux contraintes liées à la température de fonctionnement élevée. Et, contrairement, au joint brasé qui est sensible aux contraintes 3036303 - 2 - thermomécaniques dues à la différence de coefficient de dilatation thermique (CDT), la liaison Cu - Cu réalisée par ultrason ne subit ni de déformation plastique, ni de fatigue en fonctionnement. Cependant, ce procédé de soudure par ultrason qui nécessite d'appliquer un effort mécanique élevé sur la surface à souder conduit 5 parfois à l'endommagement de la céramique du substrat DBC, AMB ou DBA.. De plus, une soudure par ultrason est une soudure superficielle très sensible à l'état de surface du substrat (oxyde, pollution), et nécessite généralement un nettoyage après l'opération de brasage des semi-conducteurs pour éliminer toute trace de résidu organique, comme les résidus de flux de brasage. 10 La soudure ultrason est aussi connue pour être très sensible à la présence de vide entre les couches qui composent la structure du substrat. L'interconnexion réalisée par des ressorts de contact a de bonnes caractéristiques électriques et thermiques. Mais le mécanisme de maintien en pression des terminaux ressorts est plus compliqué, car il nécessite un nombre 15 important de pièces additionnelles. On connaît également des procédés de soudure sans brasure. Par exemple, dans la demande de brevet français FR2877865, la société VALEO ELECTRONIQUE ET SYSTEMES DE LIAISON décrit un procédé de soudure sans apport de matière permettant de connecter un composant électrique, muni d'au 20 moins une broche de raccordement électrique, avec un substrat. Un faisceau laser dirigé dans l'axe d'une patte de support, brasée sur le substrat et en contact avec cette broche, provoque une fusion en masse de la patte est assure la connexion de la broche. Mais un tel procédé ne convient pas non plus à la connexion des terminaux 25 aux pistes des substrats, car la fusion en masse des terminaux endommagerait ces pistes. DESCRIPTION GENERALE DE L'INVENTION. La présente invention vise donc à pallier les inconvénients des procédés 30 d'interconnexion électriques connus pour la réalisation de modules électroniques de puissance. Elle concerne un procédé de soudure sans apport de matière destiné à relier entre eux des premier et second éléments en matériaux métalliques du type dans lequel: 3036303 - 3 - - on met en contact avec le premier élément une partie de soudage du second élément reliée par un pli à une partie de support de ce premier élément; - on dirige sur la partie de soudage un faisceau laser de façon à provoquer localement une fusion des matériaux. 5 Dans le procédé selon l'invention: - le premier élément est une piste conductrice d'un module de puissance formée sur un substrat plan; - le second élément est un terminal de raccordement du module de puissance; - le faisceau laser est dirigé sur la partie de soudage perpendiculairement au 10 substrat. Dans un mode de réalisation de l'invention, le faisceau laser forme un cordon de soudure continu d'un motif prédéterminé. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, le faisceau laser forme une succession de points de soudure d'un motif prédéterminé. 15 Selon l'invention, dans l'un ou l'autre mode de réalisation, ce motif est constitué de lignes sensiblement parallèles ou en zigzag. Selon le procédé de l'invention, un masque de plaquage maintient avantageusement le terminal de raccordement contre la piste conductrice. Dans le procédé selon l'invention, le terminal de raccordement est constitué 20 d'aluminium ou de cuivre revêtu de nickel. Dans le procédé selon l'invention encore, le substrat est de type DBC, AMB ou DBA. De préférence, selon l'invention, le faisceau laser est dirigé par des miroirs galvaniques rapides. 25 Ce faisceau laser est généré avantageusement par un laser de type Nd:YAG d'une puissance de crête de plusieurs kilowatts. L'invention concerne également un module électronique de puissance du type comprenant un substrat et au moins un terminal de raccordement. Dans le module électronique de puissance selon l'invention, ce terminal de 30 raccordement est soudé sur le substrat par le procédé de soudure sans apport de matière décrit ci-dessus. Ces quelques spécifications essentielles auront rendu évidents pour l'homme de métier les avantages apportés par le procédé de soudure sans apport 3036303 - 4 - de matière, et par le module électronique de puissance réalisé par ce procédé, par rapport à l'état de la technique antérieur. Les spécifications détaillées de l'invention sont données dans la description qui suit en liaison avec les dessins ci-annexés. Il est à noter que ces dessins n'ont 5 d'autre but que d'illustrer le texte de la description et ne constituent en aucune sorte une limitation de la portée de l'invention. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS. La Figure 1 montre un module électronique de puissance en cours de 10 réalisation par le procédé de soudure sans apport de matière selon l'invention. La Figure 2 est une vue en coupe du module électronique de puissance montré sur la Figure 1. Les Figures 3a et 3b montrent en vue de dessus des points de soudure, respectivement en lignes parallèles et en zigzag, de terminaux de raccordement du 15 module électronique de puissance montré sur la Figure 1. DESCRIPTION DES MODES DE REALISATION PREFERES DE L'INVENTION. Le procédé de soudure selon l'invention est applicable à un module de puissance 1, tel que celui montré sur la Figure 1, utilisant les technologies de 20 substrats DBC, AMB ou DBA. Ces substrats 2, 3 comportent, comme le montre la coupe de la Figure 2 (coupe transversale selon une ligne de coupe A-A), sur une face d'une plaque de céramique 2, telle que de l'alumine, une couche de cuivre ou d'aluminium 3 qui peut être gravée (ou non) pour former des pistes conductrices 3 isolées entre elles. 25 Le module de puissance 1 comprend le substrat 2, 3, des semi-conducteurs de puissance brasés sur ce substrat 2,3, des terminaux de contrôle et de puissance 4 insérés ou moulés dans une ceinture en plastique 5. Le substrat 2, 3, qui peut également être formé d'un empilement Cu céramique - Cu, est brasé ou collé sur un dissipateur thermique 6. L'invention proposée consiste à utiliser un procédé de soudure autogène au moyen d'un faisceau laser 7 (continue ou par points) pour souder une partie de soudage 8 d'un terminal de puissance ou de signal 4, appelé terminal de 3036303 - 5 - raccordement 4, dont une partie de support 9 est solidaire de la ceinture 5, sur la couche de cuivre ou d'aluminium 3 d'un substrat DBC, AMB ou DBA. Un revêtement de métal, de préférence de nickel, est déposé sur le terminal de raccordement 4 en cuivre pour assurer un bon couplage initial entre une surface 5 de la partie de soudage 8 du terminal de raccordement 4 et le faisceau laser 7, car le cuivre à température ambiante réfléchit le faisceau laser 7 incident à plus de 99%. Ce revêtement de nickel n'est pas nécessaire dans le cas d'un terminal de raccordement 4 en aluminium. Comme le montre bien la Figure 2, un masque de plaquage 10 permet 10 d'assurer un maintien en contact de la partie de soudage 8 reliée par un pli 11 à la partie de support 9 du terminal de raccordement 4 et de la piste conductrice 3 du substrat 2, 3, et permet de protéger pendant l'opération de soudure les composants électroniques déjà assemblés sur le substrat 2, 3 de la réflexion diffuse du faisceau laser 7 incident par la surface ainsi que d'éventuelles projections de métal. 15 Les paramètres de soudure sont ajustés pour assurer une bonne qualité de soudure. La très grande stabilité des lasers à solide (en puissance, et en durée d'irradiation) de type Nd:YAG (à grenat d'yttrium- aluminium dopé au néodyme) permet un excellent contrôle de la profondeur de pénétration d'un joint soudé 12 dans la couche de cuivre ou d'aluminium 3 du substrat 2, 3, et garantit l'intégrité de 20 la couche de céramique 2 sous-jacente. De plus la grande rapidité de réalisation des soudures (quelques ms) limite l'étendue de la zone affectée thermiquement autour de la soudure à quelques dizaines de pm, ce qui contribue à respecter l'intégrité de la structure du substrat 2, 3. Des têtes de soudures laser utilisant des miroirs galvanométriques rapides 25 permettent de faire les soudures à travers des ouvertures 13 du masque 10 selon différents motifs 14, 15 prédéterminés comme le montrent les Figures 3a et 3b. Un motif d'un cordon de soudure continu, ou d'une succession de points de soudure 14, 15, est exécuté sans bouger de pièces à souder 3, 4. Il peut être adapté facilement à la géométrie de chacun des assemblages 3, 4 à réaliser ainsi 30 qu'à la surface du joint soudé 12 désirée. Un faible diamètre du faisceau laser 7 (typiquement 400 pm) au point focal 12 permet une grande finesse dans la résolution des motifs de soudure. 3036303 - 6 - Les points de soudure 14, 15 sont réalisés par des impulsions laser, de profil temporel carré, pour une puissance crête de plusieurs kW et une durée d'irradiation de plusieurs ms. Le joint soudé 12 produit traverse l'épaisseur de la partie de soudage 8 des 5 terminaux de raccordement 4 et pénètre dans la couche de cuivre 3 du substrat 2, 3, sans atteindre la couche de céramique 2. Deux miroirs galvanométriques (non représentés) déplacent la position du faisceau laser 7 latéralement et longitudinalement avant qu'il ne soit focalisé par une optique de sortie, ce qui permet la réalisation du cordon de soudure avec une 10 très grande précision sans mouvement des pièces 3, 4 à assembler. La Figure 3a montre une succession de points de soudure 14 répartis selon deux lignes parallèles 14 dans une largeur du terminal de raccordement 4. Sur la Figure 3b, les points de soudure 15 forment un motif en zigzag 15. Les interconnexions ainsi réalisées peuvent avoir la capacité de véhiculer 15 des courants élevés. Elles résistent à de fortes contraintes thermomécaniques et elles permettent d'éviter l'endommagement des constituants du module de puissance 1. En particulier, la formation d'un joint cuivre- cuivre 12 permet de résister considérablement à la contrainte thermomécanique en fonctionnement, ce à l'initial 20 et après un vieillissement prolongé. Le procédé de soudure sans apport de matière selon l'invention permet d'envisager un concept compact et simple de module de puissance 1, et procure par conséquent un avantage certain dans le domaine très concurrentiel de l'automobile pour la réalisation d'onduleurs ou de convertisseurs embarqués dans 25 des véhicules électriques (EV) ou hybrides (HEV). Comme il va de soi, l'invention ne se limite pas aux seuls modes d'exécution préférentiels décrits ci-dessus. La description ci-dessus décrit une technologie d'interconnexion entre les pistes conductrices 3 d'un substrat 2, 3 de types DBC, AMB ou DBA et les 30 terminaux de raccordement 4 d'un module de puissance 1. Une description similaire pourrait porter sur la mise en oeuvre du procédé selon l'invention dans des fabrications utilisant d'autres types de substrats, notamment des substrats à couches minces. 3036303 - 7 - L'invention embrasse donc toutes les variantes possibles de réalisation, dans la mesure où elles ne sortent pas du cadre fixé par les revendications ci-après. REVENDICATIONS1) Procédé de soudure sans apport de matière destiné à relier entre eux des premier et second éléments (3, 4) en matériaux métalliques du type dans lequel: - on met en contact avec ledit premier élément (3) une partie de soudage (8) dudit second élément (4) reliée par un pli (11) à une partie de support (9) dudit second élément (4); - on dirige sur ladite partie de soudage (8) un faisceau laser (7) de façon à provoquer localement une fusion desdits matériaux; 10 caractérisé en ce que: - ledit premier élément (3) est une piste conductrice d'un module de puissance (1) formée sur un substrat plan (2, 3) ; - ledit second élément (4) est un terminal de raccordement (4) dudit module de puissance (1); 15 - ledit faisceau laser (7) est dirigé sur ladite partie de soudage (8) perpendiculairement audit substrat (2, 3). 2) Procédé de soudure sans apport de matière selon la revendication 1 précédente, caractérisé en ce que ledit faisceau laser (7) forme un cordon de soudure continu 20 d'un motif prédéterminé. 3) Procédé de soudure sans apport de matière selon la revendication 1 précédente, caractérisé en ce que ledit faisceau laser (7) forme une succession de points de soudure (14, 15) d'un motif prédéterminé. 25 4) Procédé de soudure sans apport de matière selon la revendication 2 ou 3 précédente, caractérisé en ce que ledit motif est constitué de lignes sensiblement parallèles (14) ou en zigzag (15). 30 5) Procédé de soudure sans apport de matière selon l'une quelconque des revendications 1 à 4 précédentes, caractérisé en ce qu'un masque de plaquage (10) maintient ledit terminal de raccordement (4) contre ladite piste (3). 3036303 - 9 - 6) Procédé de soudure sans apport de matière selon l'une quelconque des revendications 1 à 5 précédentes, caractérisé en ce que ledit terminal de raccordement (4) est constitué d'aluminium ou de cuivre recouvert d'un revêtement de nickel. 5 7) Procédé de soudure sans apport de matière selon l'une quelconque des revendications 1 à 6 précédentes, caractérisé en ce que ledit substrat (2, 3) est de type DBC, AMB ou DBA. 8) Procédé de soudure sans apport de matière selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 précédentes, caractérisé en ce que ledit faisceau laser (7) est dirigé par des miroirs galvaniques rapides. 9) Procédé de soudure sans apport de matière selon l'une quelconque des 15 revendications 1 à 8 précédentes, caractérisé en ce que ledit faisceau laser (7) est généré par un laser de type Nd:YAG d'une puissance de crête de plusieurs kilowatts. 10) Module électronique de puissance (1) du type comprenant un substrat (2, 3) et 20 au moins un terminal de raccordement (4), caractérisé en ce que ledit terminal de raccordement (4) est soudé sur ledit substrat (2, 3) par le procédé de soudure sans apport de matière selon l'une quelconque des revendications 1 à 9 précédentes.