Brevet FR3032285A1 — publié le 20160805

La présente invention concerne un dispositif microfluidique permettant de modifier la gamme de pression d'un système de régulation de pression pour augmenter la stabilité finale d'une flux dans une puce microfluidique. Les sources de pression sont des éléments essentiels pour de nombreuses applications industrielles et en particulier dans le controle de flux microfluidique. Dans le domaine de la microfluidique, et plus particulièrement des laboratoires sur puces [S.Quake, Annu. Rev. Biophys. Biomol. Struct, 36, p213-31, 2007]], les utilisateurs contrôlent le mouvement des liquides en imposant un grand nombre de pressions différentes à l'entrée des systèmes fluidiques (en général une pression pour chaque sortie). Ainsi, il est parfois nécessaire de contrôler jusqu'à une dizaine de pressions [S.Quake,Annu. Rev. Biophys. Biomol. Struct, 36, p213-31, 20071, et de façon cruciale, c'est dans de nombreux cas le rapport des pressions d'entrées qui doit être maîtrisé de façon très précise. Ainsi, si on prend pour exemple un système de mélange fluidique à deux entrées [G. Velve Casquillas,MEE, 85, p1367-1369, 2008], le ratio du mélange est avant tout maîtrisé par la capacité du système de contrôle des pressions d'entrées à maintenir un rapport constant entre les pressions plus que par sa capacité à maintenir la valeur absolue des pressions. A l'heure actuelle, plusieurs solutions s'offrent à l'utilisateur pour contrôler finement les pressions en entrée des systèmes fluidiques. La première solution consiste à utiliser des régulateurs de pression à membranes ou des détendeurs, qui permettent de contrôler de façon statique la pression en entrée des systèmes fluidiques. L'inconvénient de ce type de solution résulte des phénomènes de frottement sec entre les parties mécaniques mobiles de ces régulateurs qui limitent la reproductibilité et la précision de ces systèmes en général fixées pour une gamme de pression donnée. Malgré de nombreuses améliorations mécaniques [US 2007/0017580 A1, US 2004/0033400 A1, US 2003/0145886 A1], la précision est généralement limitée à quelques millibars, ce qui s'avère souvent insuffisant pour de nombreuses applications. Lorsque la précision de ces systèmes est plus importante, c'est alors la gamme de pression admissible qui est plus faible et peut être limitant pour l'application. En outre, le vieillissement mécanique de ces systèmes rend la précision et la reproductibilité de ces systèmes médiocres sur le long terme ce qui oblige systématiquement l'utilisateur à exercer un contrôle régulier de la pression de sortie afin de stabiliser cette dernière. La seconde solution proposée de façon commerciale est d'utiliser des régulateurs électropneumatiques asservis constitués d'électrovannes et de capteurs de pression. De nombreux brevets portent sur ces systèmes actifs dont l'intérêt majeur est de pouvoir être régulés à l'aide de consignes électriques. En revanche, le coût de cette solution technique devient rapidement difficile à maîtriser lorsqu'il est nécessaire d'associer un régulateur par entrée d'un système fluidique qui comporte de nombreuses entrées. En outre la dérive des capteurs de pression dans le temps rend nécessaire une calibration régulière des régulateurs, opération complexe qui nécessite l'intervention d'un expert extérieur. En effet, toutes les régulateurs électropneumatiques ne vieillissent pas de la même façon et le rapport des pressions d'entrées au sein d'un système peut varier de façon importante au cours du temps. Le manque de robustesse de ces systèmes actifs est aussi lié à la possibilité d'erreur d'utilisation comme par exemple quand une pression trop importante est imposée en entrée ou en sortie de régulateur ou quand un liquide entre malencontreusement dans le système. Il n'existe donc pas de solution aujourd'hui qui permette de contrôler des pressions relatives avec une précision constante et indépendante du vieillissement du système, sur une gamme de pression large allant de quelques mbar à plusieurs Bars avec un coût de mise en oeuvre réduit. Le dispositif selon l'invention propose de résoudre ce problème. En effet, l'invention propose un système de duplication de pression placé en sortie d'une ou plusieurs sources de pression permettant d'obtenir de façon passive des sous multiples des pressions d'entrée avec des précisions relatives constantes. L'invention décrit une puce microfluidique constituée d'au moins 30 deux sections microfluidiques. On entend par section microfluidique un canal microfluidique ou un réseau de canaux microfluidiques ayant 2 extrémités, autrement dit ayant une entrée et une sortie de fluide. Ces deux sections microfluidiques, dite d'entrées, sont reliées entre elles en l'une de leur extrémité par une zone dite de répartition de pression. Les deux autres extrémités des sections fluidiques étant reliées à deux sources extérieurs de pressions de valeur différente, dites sources primaires (l'une pouvant être la pression atmosphérique).La valeur de la pression dans la zone dite de répartition est alors comprise entre les valeurs des pressions des deux sources de pressions primaires et déterminé par la géométrie des sections microfluidiques et de la dite zone de répartition. Dans le cas où une seule source de pression primaire est utilisée (l'autre source de pression primaire étant la pression atmosphérique), toute variation de cette pression de consigne induira une variation proportionnelle de la pression dans la zone de répartition de pression, assurant une source de pression, dite secondaire, qui sera utilisée à partir de la zone de répartition. La valeur de la pression engendrée par cette source de pression secondaire conservera un facteur de proportionnalité constant avec la valeur de la pression de la source de pression primaire. La robustesse du système sera alors limitée par la pression admissible dans la puce microfluidique qui peut dépasser plusieurs Bars, mais la précision relative entre la source primaire et la ou les sources secondaires générées au niveau de la zone dite de répartition resteront constante quel que soit la valeur absolue de la source primaire et la robustesse de cette dernière. Selon les modes particuliers de réalisation : - les sections microfluidiques pourront présenter des structurations locales de hauteur afin de minimiser l'effet de la présence d'une poussière sur la 25 résistance fluidique de la section. - Les sections microfluidiques pourront aussi être réalisées sous forme d'un entrelacement d'un nombre important de microcanaux en série ou en parallèle afin de minimiser l'effet de la présence d'une poussière sur la résistance 30 fluidique de la section. - Le capot microfluidique dans lequel seront structurés les réseaux microfluidiques pourra être solidaire d'un substrat appelé couche de fermeture, les orifices dis de connexion permettant de relier la/les sources primaires aux sections microfluidiques et la zone de répartition au système régulé en pression étant alors constitués soit (i) d'une canalisation à travers la couche de fermeture, soit (ii) d'une canalisation à travers le capot microfluidique, soit via une fuite latérale gravée dans le capot microfluidique ou la couche de fermeture. - La puce microfluidique pourra être insérée dans un support de fermeture permettant de maintenir la couche de fermeture et le capot microfluidique solidaire et d'assurer les connexions fluidiques externes. Ce type de système permet de désassembler la puce et permet ainsi le nettoyage éventuel de l'intérieur de la puce microfluidique. - Alternativement, le capot microfluidique pourra être directement inséré dans un support de fermeture jouant le rôle de couche de fermeture tout en permettant d'assurer les connexions fluidique externes. - Le capot microfluidique ou la couche de fermeture ou le support puce pourront présenter un module de Young inférieur à 5 GPa et être mis en relation avec un moyen de compression mécanique permettant de modifier la géométrie d'au moins une section microfluidique. Ceci permettra notamment de régler plus finement la pression de la source secondaire. - la zone de répartition de pression pourra être reliée à plusieurs autres sources de pression primaires soit via des sections microfluidiques supplémentaires soit directement via un orifice de connexion afin de stabiliser la pression dans le réseau de répartition des pressions même en cas de débit important au niveau des sorties secondaires. - En outre, le capot microfluidique pourra être constitué d'un matériau présentant un module de Young inférieur à 5GPa et dans lequel seront structurés deux étages de réseaux microfluidiques, le second réseau microfluidique dit de contrôle étant constitué de sections microfluidiques dites vannes de pression et séparé du réseau microfluidique primaire par une membrane d'épaisseur inférieure à 50 pm. Par action d'une pression externe de vanne sur les sections vannes de pression, la fermeture partielle des microcanaux dans la zone de répartition de pression permettra ainsi de moduler la pression de la source secondaire de façon digitale. En outre, la présente invention se rapporte également à un système de régulation de pression composé d'au moins une puce selon l'invention précédemment décrite, et au moins une source de pression. Le système de régulation pourra aussi intégrer (i) plusieurs puces selon l'invention positionnée en série ou en parallèle afin d'offrir un nombre plus important de sources secondaires (ii) des éléments de type électrovanne permettant de mettre en relation fluidique les puces entre elles ou avec la source primaire ou la sortie de pression secondaire du système. D'autres caractéristiques de l'invention seront énoncées dans la description détaillée ci-après, faite en référence aux figures annexées qui 20 représentent, respectivement : - Figure 1 : une vue schématique en coupe d'une puce selon l'invention constitué d'une couche de fermeture en verre et d'un capot microfluidique en PDMS avec des orifices fluidiques à travers ce dernier. 25 - Figure 2 : une vue schématique de dessus d'un exemple de réalisation selon l'invention où la régulation de la pression secondaire est réalisée par une différence de longueurs des sections microfluidiques. - Figure 3 : une vue schématique en coupe d'un exemple de réalisation selon l'invention où la puce est réalisée à l'aide d'un capot et d'une couche 30 de fermeture en plastique laminé et maintenue à l'aide d'un support de fermeture et ou la perte de charge est réguler par une différence de 303 2 2 85 6 5 - 10 - - - 15 - - - hauteur entre les deux sections microfluidiques encadrant la zone de répartition des pressions. Figure 4 : une vue schématique de dessus d'un exemple de réalisation selon l'invention où les sections microfluidiques sont constituées d'un entrelacement de microcanaux. Figure 5 : une vue schématique en coupe d'un exemple de réalisation selon l'invention où les sections microfluidiques présentent une structuration en hauteur et où les orifices de connexion sont supportés par la couche de fermeture. Figure 6 : une vue schématique de dessus d'un exemple de réalisation selon l'invention dans lequel la zone de répartition de pression est constituée d'un réseau entrelacé de microcanaux relié à 3 sources primaires de pression et générant 3 sources secondaires de pression. Figure 7 : une vue schématique en coupe d'un exemple de réalisation selon l'invention constituée d'un capot microfluidique souple et dont la géométrie d'une section microfluidique peut être variée à l'aide d'un moyen de compression associé au support de fermeture. Figure 8 : une vue schématique de dessus d'un système selon l'invention comprenant en outre un réseau microfluidique de contrôle permettant la modification digitale de la zone de répartition de pression. Figure 9 : une représentation schématique d'un système de régulation selon l'invention comprenant une source de pression et une puce microfluidique selon l'invention pour laquelle le support de fermeture fait office de couche de fermeture et où la zone de répartition de pression est constituée d'un ensemble de sections microfluidiques permettant de réguler 3 sources de pression secondaires. Figure 10 : une représentation schématique d'un système de régulation selon l'invention comprenant la mise en série de plusieurs puces microfluidiques et dont la pression secondaire de sortie est commutée entre les différentes puces par un système d'électrovannes. D'une manière générale, l'invention propose un système de régulation de pression passif à l'aide d'une puce microfuidique constituée d'un capot microfluidique (4) à la surface duquel est structuré un réseau microfluidique constitué d'au moins deux sections microfluidiques (3) et d'une zone dite de répartition de pression (5) pouvant être réduite, le cas échéant à une simple cavité faisant la liaison avec au moins une des extrémités des sections microfluidiques. Un mode de réalisation de ce type de système est représenté dans la figure 1. Le capot microfluidique (4) est réalisée en polydimethylsiloxane (PDMS) à l'aide d'une technique de moulage décrite précédemment [G velvé casquillas, nano today, 5, p28-47, 2010]. Ce capot microfluidique présente une épaisseur totale de 5 mm. Les sections microfluidiques (3) sont de section carrées (40pm par 40 pm) et longues de 1,5 cm chacune. La zone de répartition des pressions (5) est constituée d'une simple cavité circulaire de 500 pm de diamètre et 40 pm de hauteur. Des canalisations ont été percée à l'aide d'un emporte pièce à travers le capot microfluidique afin de permettre (i) de relier une source primaire de pression (12) au réseau microfluidique via l'une des entrée (1) de la puce et (ii) de relier la zone dite de répartition de pression (5) à tout système nécessitant une pression dite secondaire générée par la puce, via la sortie (2) de la puce. La puce est hermétiquement fermée en collant le capot microfluidique (4) à une couche dite de fermeture (6). Ici la couche de fermeture (6) est constituée d'une lame de verre de 2 mm d'épaisseur scellée au capot microfluidique à l'aide d'une technique de collage plasma 02 décrite par ailleurs [M.A.Eddings, J. Micromech. Microeng., 18, p1-4, 2008]. Ce type de puce permet d'accepter des pressions allant jusqu'à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique). Si une source de pression primaire est reliée à l'une des entrées (1) de la puce microfluidique alors que l'autre entrée est laissée à la pression atmosphérique, la pression secondaire au niveau de la sortie sera alors égale à 50% de la pression primaire (+/- 1% pour des débits secondaires inférieurs à 1mL/min). Ce rapport sera conservé, quel que soit la valeur de la pression d'entrée. Pour une pression d'entrée de 100mBars, la précision de la source secondaire est donc de 1mB). Si la longueur des sections microfluidiques (3) est réduite proportionnellement à 2mm, la précision pour une source de pression primaire de 100mBars devient alors inférieure à 0,2mBar. L'autre intérêt de ce type de dispositif est que plus le débit issu de la source secondaire est faible, plus la précision de cette source sera importante. Plusieurs matériaux peuvent être utilisés tant pour le capot 5 microfluidique (4) que pour la couche de fermeture (6). L'utilisation de verre, de céramique ou de métal permettra d'assurer une meilleure longévité dans le temps. L'utilisation de polymère permettra d'utiliser des liquides corrosifs au sein du système. Les techniques de microfabrications conventionnelles (moulage par impression, laminage, gravure chimique ou plasma) peuvent être utilisées pour la 10 réalisation du réseau microfluidique présent sur la capot microfluidique (4). Alternativement, il est possible, sur un matériau donné de structurer le réseau microfluidique à l'aide d'un autre matériau, par exemple une résine photosensible telle que la SU8. La valeur de la pression secondaire au niveau de la sortie (2) du 15 dispositif peut être choisie en modifiant la longueur des sections microfluidiques (3). Dans la figure 2, un exemple de réalisation illustre un réseau microfluidique où les sections microfluidiques (3) de part et d'autre de la zone de répartition (5) sont structurées en forme de serpentins de longueurs différentes. Plus une section est courte par rapport à l'autre, plus la valeur de la pression secondaire sera proche 20 de la pression primaire associée à la section microfluidique la plus courte. On peut de cette manière réaliser des sources secondaires de pression de valeur comprise entre les valeurs maximales et minimales des sources de pressions primaires. Par exemple, il est possible de générer des sources secondaires qui représentent 0,1% de la pression issue d'une source primaire. Si la précision sur la source 25 primaire est de l'ordre de 10mBar, la précision de la source secondaire sera de 10pBar. La figure 3 propose un mode réalisation alternatif ou la pression secondaire est modulée à l'aide d'une différence de hauteur entre les sections microfluidiques (3) encadrant la zone de répartition. Dans ce mode de réalisation, 30 une des sources secondaires est obligatoirement la pression atmosphérique puisque une des sections microfluidiques est directement ouverte sur l'extérieur de la puce par un orifice de connexion dit de fuite (7). Dans ce mode de réalisation, un support de fermeture (10) est constitué de deux plaques, par exemple en métal, et d'un système de serrage (13) par vis écrou qui permet de maintenir la couche de fermeture (6) et le capot microfluidique (4) en contact hermétique. L'utilisation d'un support de fermeture permet notamment d'augmenter la pression maximale admissible. Dans le cas de la figure 3, une puce microfluidique constituée d'un capot microfluidique (4) et d'une couche de fermeture (6) en PDMS pourra supporter des pressions dépassant 10 bars sans même nécessiter un collage entre ces deux derniers éléments. Le support puce (10) est percé de canalisation en regard des orifices de connexion de la puce afin de permettre le raccordement d'une source primaire à l'entrée (1) du dispositif microfluidique et le raccordement de la sortie (2) à tout système nécessitant la source de pression secondaire à l'aide d'un moyen d'interfaçage connectique (14), ici constitué d'un orifice cylindrique fileté. Enfin, l'ouverture du support puce (10) permettra en outre de désolidariser le capot microfluidique (4) de la couche de fermeture (6) pour permettre un nettoyage du réseau microfluidique en cas d'entrée de poussières qui pourraient perturber la régulation de pression au sein du système microfluidique. Une autre solution pour limiter l'influence de poussières (9) au sein de la puce microfluidique est de constituer les sections microfluidiques et/ou la zone de régulation sous forme d'un réseau entrelacé de microcanaux. La figure 4 illustre un exemple de réalisation où la présence d'une poussière n'empêche pas la pression de se propager depuis les sources primaires jusqu'à la zone dite de répartition (5). La figure 5 illustre une troisième solution pour limiter l'impact de poussières au sein du dispositif microfluidique. Dans ce mode de réalisation, les sections microfluidiques présentent des variations locales de hauteur telles qu'une éventuelle poussière (9) restera piégée dans les zones de plus forte hauteur. Dans ce mode de réalisation, la zone de répartition de pression (5) est en outre constituée de trois cavités reliée entre elles par deux sections microfluidiques. Des orifices de connexion ont été percé à travers la couche de fermeture (6) afin de permettre la génération de 3 sources secondaires au niveau des sorties (2). Il est ainsi possible, à partir d'une simple source primaire et de la pression atmosphérique de réaliser une multitude de sources secondaires. La figure 6 illustre un mode de réalisation de l'invention dans lequel la zone de répartition (5) est constitué d'un réseau microfluidique agencé de telle manière à ce que 4 sources primaires peuvent être reliée à cette dernière alimentant 3 sources secondaires. L'avantage de ce mode de réalisation est de permettre de stabiliser les différentes pressions secondaires indépendamment des débits de sortie (2). La figure 7 illustre un mode de réalisation où la couche de fermeture est constituée par le support de fermeture (6). Dans cet exemple de réalisation, le capot microfluidique (4) est réalisé à l'aide, par exemple, d'un moulage de matériau silicone et l'étanchéité du réseau microfluidique est assurée par la pression exercée par le système de serrage (13). Il est en outre possible de profiter de la souplesse du capot microfluidique (4) pour déformer une ou plusieurs sections microfluidiques (3) à l'aide d'un moyen de compression (11) associé au support puce (10). Dans l'exemple, un système de vis permet de transformer le couple de serrage développé par l'utilisateur en une pression sur la surface opposée du capot microfluidique au réseau microfluidique. La déformation de la section microfluidique (3) en amont de la zone de répartition permet de décaler la valeur de la pression secondaire de façon fine afin de permettre un réglage fin de cette dernière. Le dispositif peut alors être utilisé comme un régulateur de pression classique. La Figure 8 illustre un mode de réalisation particulier de l'invention dans lequel la puce microfluidique est constituée d'un réseau microfluidique à deux étages superposés. L'étage inférieur correspond au réseau microfluidique reliant les sources primaires aux sources secondaires selon les caractéristiques décrites dans les précédents modes de mise en oeuvre. La seule différence dans cet exemple est que la zone de répartition (5) est constituée d'un réseau microfluidique à chemin multiple, c'est-à-dire que plusieurs chemins fluidiques permettent de relier la sortie (2) aux entrées (1). Il est possible de réaliser un second réseau microfluidique séparé par une membrane fine de quelques pm du réseau microfluidique de répartition (5) en appliquant, par exemple la technique PDMS bicouche décrite par [J.C. Mcdonald, Accountchemicalresearch, 35, p491499, 2002]. Ici, le réseau supérieur dit de contrôle constitués de sections microfluidiques dites vannes de pression (22), peut être relié à toute source de pression contrôlable par l'intermédiaire d'un orifice de connexion secondaire (23) afin de contrôler, lorsqu'une pression supérieure à la pression dans la zone de répartition (5) est appliquée, l'ouverture ou la fermeture des chemins 5 microfluidiques au sein de la zone de répartition de pression (5). Ce mode de réalisation permet de piloter la pression secondaire à l'aide d'une seconde source de pression dite de contrôle et permet la réalisation de vannes proportionnelles digitales, c'est-à-dire dont la pression secondaire de sortie est pilotée par une combinaison de pressions appliquées ou non au niveau des vannes de contrôle 10 (22). La figure 9 présente un système de génération de pression intégrant (i) un moyen de génération de pression (12) permettant de produire une source de pression régulée, par exemple par l'association d'une pompe à membrane et d'un régulateur de pression statique à membrane, (ii) un moyen de 15 connexion (20) constitué d'un tube flexible reliant le moyen de génération de pression (12) à un support puce (10) via un moyen d'interfaçage connectique (14) constitué d'une flèche permettant d'assurer l'étanchéité par pression latérale de la paroi du tube flexible. Le réseau microfluidique est hermétiquement scellé par le support puce (10) en contact directe avec le capot microfluidique (4). L'ensemble 20 est maintenu à l'aide d'un boîtier (15) qui peut avantageusement intégrer le support de fermeture (10). Dans cet exemple de réalisation, le système est en mesure de fournir 4 pressions à l'utilisateur à partir d'une seule source de pression. La figure 10 représente un système de génération de pression 25 intégrant plusieurs puces microfluidiques selon l'invention et reliées entre elles par des moyens de connections (20). L'utilisation de moyens de mise en relation fluidique (24) de type électrovannes permet dans cette configuration de choisir la pression de sortie du système à l'aide par exemple, d'un moyen de contrôle électronique programmé par l'utilisateur. 30 Le dispositif selon l'invention pourra être utilisé comme duplicateur d'un système de génération de pression afin de générer plusieurs pressions secondaires proportionnelles à la source de pression primaire. Lorsque la source secondaire sera égale à une très faible fraction de la pression d'entrée (par exemple 0,1%), ce système permettra de générer des sources de pression de très haute précision à l'aide de régulateurs classiques de précision donnée. Il pourra aussi être utilisé comme vanne de régulation de pression proportionnelle, soit classique dans le mode de réalisation de la figure 7, soit digitale dans le mode de réalisation de la figure 8. Cela permettra de stabiliser des flux microfluidique pour des système de perfusion et de contrôle de température. Chacun des modes de mise en oeuvre décrits dans la présente invention peut en outre être intégré dans un système plus complexe comprenant les moyens de génération de pression, de commutation des flux, et de pilotage électronique pour donner lieu à des sources de pression pilotables robustes, acceptant des gammes de pression larges et avec une très haute précision relative entre les différentes sorties. *** REVENDICATIONS1. Puce microfluidique de régulation de pression constituée d'au moins un solide plat dit capot microfluidique(4) à la surface duquel est structuré un réseau microfluidique constitué d'au moins 2 sections microfluidiques dites d'entrées (1), les dites sections microfluidiques d'entrée étant reliée en l'une de leur extrémité par une zone dite de répartition de pression (5). 2. Puce microfluidique selon la revendication 1 telle que la zone dite de répartition de pression (5) est constituée d'un ensemble de sections microfluidiques (3) reliées entre elles par leurs extrémités. 3. Puce microfluidique selon la revendication 1 ou 2 telle qu'au moins l'une des 15 dites sections microfluidiques soit composée d'un réseau de microcanaux entrelacés (8). 4. Puce microfluidique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3 telle qu'au moins l'une des dites sections microfluidiques comporte des variations de 20 hauteurs. 5. Puce microfluidique selon l'une quelconque des revendications 1 à 4 comprenant au moins un orifice (1-2) dit de connexion constitué d'une canalisation (0) à travers le capot microfluidique (4)et connectant l'extrémité de l'une des 25 sections microfluidiques de la puce à l'une des autres surfaces de la puce microfluidique. 6. Puce microfluidique selon l'une quelconque des revendications 1 à 5 comprenant en outre une couche dite de fermeture(6) en contact avec la surface 30 de la puce supportant les sections microfluidiques, la dite couche de fermeture pouvant comprendre des orifices dits de connexion(1-2) constitués par une canalisation à travers la couche de fermeture et connectant l'extrémité dessections microfluidiques (3) de la puce à la face externe de la couche dite de fermeture (6). 7. Puce microfluidique selon l'une quelconque des revendications 1 à 6 5 comprenant en outre un support dit de fermeture (10), constitué d'un moyen de maintien de la puce microfluidique et d'au moins deux moyens d'interfaçage fluidique (14, 15) destiné à connecter des systèmes externes générateur de pression ou consommateurs de pression avec le réseau microfluidique porté par le capot microfluidique (4) part l'intermédiaire d'un orifice dit de connexion(1-2). 10 8. Puce selon l'une quelconque des revendications 1 à 7 et dont le ou les matériaux composant le capot microfluidique (4) sont en verre, métal, polymère, résine photosensible, plastique, matière silicone ou en céramique. 15 9. Puce selon les revendications 1 à 7 et dont le ou les matériaux constituant la couche de fermeture (6) sont en verre, métal, polymère, résine photosensible, plastique, matière silicone ou en céramique. 10. Puce microfluidique selon la revendication 7, dont le capot microfluidique (4) 20 ou la couche de fermeture (6) est constitué d'un matériau souple de module de Young préférablement inférieur à 5 Giga pascal, et dont le support de fermeture comporte en outre un moyen de compression(11)permettant de modifier la géométrie d'au moins une section microfluidique(3) au travers du dit capot microfluidique(4) ou de la dite couche de fermeture (6). 25 11. Puce microfluidique selon les revendications 1 à 7, dont le capot microfluidique (4) renferme un second réseau microfluidique dit de contrôle étant constitué de sections microfluidiques dites vannes de pression situé en regard de la zone dite de répartition de pression (5) et séparé de ces dernières par une 30 membrane d'épaisseur fine préférablement inférieure à 50 pm, les sections microfluidiques dites vannes de pression étant reliées en au moins l'une de leurs extrémités à un orifice dit de connexion constitué d'une canalisation à travers lecapot microfluidique et/ou la couche de fermeture, la canalisation pouvant être prolongée à travers l'éventuel support de fermeture (10). 12. Système de régulation de pression constitué d'au moins : - une source de pression primaire (12) - une puce microfluidique selon les revendications 6 à 11 - un moyen de connexion le moyen de génération de pression à la puce microfluidique. 13. Système de régulation de pression selon la revendication 12 comprenant en outre des moyens de mise en relation fluidique (24) de type vanne ou électrovanne destinée à mettre en relation la ou les puces microfluidiques entre elles ou avec la ou les sources primaires ou avec la ou les sorties du système de régulation, les dits moyens de mise en relation fluidique pouvant possiblement être pilotés par un moyen de contrôle électronique.20