Brevet FR3030954A1 — publié le 20160624

Composant optoélectronique pour générer et rayonner un signal hyperfréquence DOMAINE DE L'INVENTION L'invention concerne les composants optoélectroniques, et plus particulièrement les composants intégrés ayant pour fonction de générer et de rayonner un signal électromagnétique présentant une fréquence comprise entre 30 GHz et 10 THz dénommée fréquence hyper dans la suite du document, à partir d'ondes optiques présentant une longueur d'onde entre 400 nm et 10 pm. ETAT DE LA TECHNIQUE La génération de signaux hyperfréquence de type ondes millimétriques (onde 15 radio RF de fréquence entre 30 GHz et 300 GHz) et de type TéraHertz (fréquence entre 100 GHz et 10 THz) présente de nombreuses applications dans les domaines de la détection, de la spectroscopie et de la transmission sans fil de données haut débit. Dans ce dernier domaine, plus la fréquence de support est élevée, plus le débit qui peut être transporté est important. A 20 titre d'exemple, pour une porteuse à 1 GHz, un débit maximum de 1 Gbit/s est obtenu, alors qu'avec une porteuse de 1 THz, des débits de 10 à 20 Gbit/s sont possibles, d'où l'intérêt de développer des composants capables d'émettre dans cette gamme de fréquences avec une puissance suffisante. 25 Une première solution selon l'état de la technique est un composant 100 apte à émettre un signal S de fréquence hyper F illustré figure 1 (figure la vue en perspective et figure lb vue de dessus). Cette photodiode unitaire 100 comprend un guide planaire 10 dans lequel se propagent deux ondes optiques, une onde 01 de longueur d'onde Al et une onde 02 de longueur 30 d'onde A2, et un photo-mélangeur 11 associé de faible taille. À1 et A2 sont telles qu'elles présentent un battement hétérodyne, c'est-à-dire que le module de la différence f1 - f2 des fréquences optiques associées f1 et f2 est égal à une fréquence F dans le domaine hyper : f1 = C/ À1 f2 = CI À2 F = 1 f1 - f2 1 de l'ordre du TeraHz. Les ondes optiques sont couplées au photo-mélangeur 11 par couplage évanescent de manière à ce que celui-ci génère une onde à la fréquence F. La photodiode 100 comprend également une antenne 12 en métal, présentant une forme en noeud de papillon, couplée au photo-mélangeur 11, et qui rayonne dans l'espace un signal électromagnétique S de fréquence F. La longueur 110 de photo-mélangeur est typiquement de 10 à 20 pm car il faut limiter la capacité parasite que présenterait le dispositif et qui atténuerait fortement le signal à la fréquence F détecté. De plus, un allongement ne permettrait pas d'augmenter la puissance absorbée, la majeure partie de la lumière étant absorbée dans les 10 premiers microns du composant. La largeur L10 est dimensionnée pour être de l'ordre de grandeur des longueurs d'onde optique, typiquement 2 à 3 fois supérieure, mais pas plus. En effet, L10 doit rester suffisamment faible pour que le composant fonctionne correctement au delà de 30 GHz. Lorsque L10 devient trop grande, le transport du signal à l'interface semi-conducteur (photo-mélangeur 11)! métal (antenne 12) est dégradé par la présence de capacités parasites (effets capacitifs et effets temps de transit) qui ont pour effet d'atténuer le signal S de fréquence F photogénéré. La limitation en dimension de L10 a pour inconvénient de limiter la puissance 25 qui peut être rayonnée. De plus, la faible dimension du composant 100 impose l'utilisation d'une antenne 12 pour s'adapter à la taille du mode RF du signal S. Une deuxième solution selon l'état de la technique est un système 200 apte 30 à émettre un signal S de fréquence hyper F, basé sur une intégration de photodiodes planaires arrangées en matrice 2D ou d'un émetteur de grande surface sous la forme d'une photodiode de grande taille, tel qu'illustré figure 2. Les ondes optiques 01 et 02 sont directement incidentes sur un côté du composant PM qui rayonne le signal de fréquence F du côté opposé. Cette solution présente une faible efficacité de couplage parce que le photo-mélangeur PM est constitué par une couche de faible épaisseur, ce qui limite l'interaction entre la lumière et le photo-mélangeur. De plus, pour polariser chaque photo-mélangeur de la matrice il faut réaliser des électrodes opaques qui réduisent la surface d'interaction entre la lumière et les photo-mélangeurs. Sa mise en oeuvre avec des éléments optiques discrets pour mettre en forme les signaux 01 et 02 rend le système 200 volumineux. De plus, ce système ne permet pas d'intégrer sur la même plaque d'autres fonctions interagissant avec la lumière comme l'amplification, la modulation d'amplitude ou de phase. En outre les matrices 2D ne permettent pas de localiser l'éclairement dans les zones où la photo-détection est désirée de manière efficace, ce qui limite le rendement puissance haute fréquence générée / puissance optique incidente. Lorsque l'on cherche à introduire un balayage d'une onde radio dans la gamme millimétrique, les solutions actuelles présentent plusieurs inconvénients. Une solution à base de composants optiques discrets est volumineuse et le signal émis présente une forte divergence. Une solution alternative à base d'éléments mécaniques est également volumineuse, et comprend un élément mobile qui n'est pas compatible avec tous les systèmes. Un but de la présente invention est de pallier les inconvénients précités et 25 plus particulièrement de réaliser un composant optoélectronique intégré apte à générer et rayonner un signal hyper (également dénommé signal haute fréquence) sans antenne. 30 DESCRIPTION DE L'INVENTION La présente invention a pour objet un composant optoélectronique pour générer et rayonner un signal électromagnétique présentant une fréquence comprise entre 30 GHz et 10 THz dénommée fréquence hyper, 35 comprenant : - un guide planaire configuré pour confiner et propager librement dans un plan XY une première et une deuxième ondes optiques présentant une différence de fréquence optique, dénommée battement hétérodyne, égale à ladite fréquence hyper, - un système d'injection desdites ondes optiques dans ledit guide planaire, - un photo-mélangeur couplé audit guide planaire de manière à générer, à partir de la première onde optique et de la deuxième onde optique, un signal présentant ladite fréquence hyper, ledit photo-mélangeur ayant une forme allongée présentant selon un axe Y 10 une grande dimension supérieure ou égale à la demi longueur d'onde du signal, - ledit système d'injection étant configuré de sorte que lesdites ondes optiques se recouvrent dans ledit guide planaire et se couplent au photo-mélangeur sur une longueur selon l'axe Y au moins égale à la demi longueur 15 d'onde dudit signal, le photo-mélangeur étant ainsi apte à rayonner ledit signal (S). Avantageusement, ledit guide planaire comprend une couche de propagation entre deux couches de confinement. 20 Avantageusement, le photo-mélangeur est déposé sur une couche de confinement et le couplage s'effectue par ondes évanescentes. Selon un mode de réalisation, le guide planaire est configuré pour confiner des ondes optiques présentant chacune une longueur d'onde proche de 1.5 pm. 25 Selon une variante, le guide planaire comprend une partie amplificatrice apte à amplifier lesdites première et deuxième ondes optiques. Selon une variante, le système d'injection est configuré pour que les ondes optiques injectées présentent une forte divergence. Avantageusement ledit système d'injection comprend au moins un guide dit 30 monodimensionnel configuré pour confiner les ondes optiques de manière à ce que lesdites ondes se propagent selon leurs directions de propagation respectives. Préférentiellement, le guide monodimensionnel est constitué d'un prolongement du guide planaire comprenant une couche de confinement en 35 forme de ruban. Selon un mode de réalisation le système d'injection comprend au moins une fibre optique. Selon un mode de réalisation le système d'injection comprend un dispositif d'injection unique . Préférentiellement ledit dispositif d'injection unique est configuré pour injecter les première et deuxième ondes optiques de manière à ce que lesdites ondes se propagent selon une direction de propagation sensiblement égale à une direction X perpendiculaire à l'axe Y. Selon un autre mode de réalisation, ledit système d'injection comprend un premier dispositif d'injection configuré pour injecter la première onde optique de manière à ce que ladite première onde se propage selon une première direction de propagation comprise dans le plan XY, et un deuxième dispositif d'injection configuré pour injecter la deuxième onde optique de manière à ce que ladite deuxième onde se propage selon une deuxième direction de propagation comprise dans le plan XY différente de la première direction de propagation. Avantageusement un seul desdits premier et deuxième dispositifs d'injections présente une direction de propagation perpendiculaire audit axe Y. Selon un mode de réalisation le guide planaire comprend en outre au moins un déflecteur situé sur le chemin optique d'une des ondes optiques configuré pour défléchir ladite onde optique de manière à la dévier d'un angle de déviation optique choisi, moyennant quoi le signal rayonné par ledit photo-mélangeur est apte à être dévié selon un angle de déviation fonction dudit angle de déviation optique. Préférentiellement le déflecteur est un modulateur électro-optique configuré pour modifier l'indice de réfraction d'une portion de la couche de propagation, ladite portion présentant une forme prismatique dans le plan XY. Selon un mode de réalisation ledit déflecteur est un modulateur de phase comprenant une pluralité de déphaseurs discrets commandés 30 indépendamment. Préférentiellement, chaque déphaseur discret est un modulateur électrooptique configuré pour modifier l'indice de réfraction d'une portion de la couche de propagation (Cp). 35 D'autres caractéristiques, buts et avantages de la présente invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui va suivre et en regard des dessins annexés donnés à titre d'exemples non limitatifs et sur lesquels : -La figure 1 déjà citée illustre un composant unitaire pour générer un signal 5 hyper selon l'état de la technique, la figure la illustre une vue en perspective et la figure lb illustre une vue de dessus. -La figure 2 déjà citée illustre un système 2D pour générer un signal hyper selon l'état de la technique, -La figure 3 illustre un composant optoélectronique selon l'invention, la figure 10 3a illustre une vue de dessus et la figure 3b illustre une vue de profil, -La figure 4 décrit un exemple de guide planaire, -La figure 5 décrit une première variante du composant selon l'invention intégrant une fonction d'amplification, -La figure 6 illustre un exemple de guide planaire du composant selon 15 l'invention avec amplificateur intégré, -La figure 7 illustre un premier mode de réalisation du système d'injection du composant selon l'invention comprenant un dispositif d'injection unique, la figure 7a illustre une vue de dessus et la figure 7b illustre une vue de profil, -La figure 8 illustre un dispositif d'injection unique obtenu par prolongement 20 du guide planaire vu en coupe, -La figure 9 illustre un deuxième mode de réalisation du système d'injection du composant selon l'invention comprenant deux dispositifs d'injection, un pour chaque onde optique, la figure 9a illustre une vue de dessus et la figure 9b illustre une vue de profil, 25 -La figure 10 illustre un mode préféré du composant selon l'invention dans lequel un dispositif d'injection d'une onde optique est tel que l'onde optique se propage perpendiculairement à l'axe y La figure 11 illustre le principe de déviation d'une onde optique dans le guide planaire, 30 -La figure 12 illustre un composant selon l'invention selon le mode préféré et apte à défléchir l'onde hyperfréquence, -La figure 13a illustre un exemple de déphaseur continu vu de dessus et la figure 13b illustre ce déphaseur vu en coupe, -La figure 14 illustre un modulateur de phase comprenant une pluralité de 35 déphaseurs discrets, -La figure 15 illustre un exemple de déphaseur électro-optique discret, -La figure 16 illustre un composant selon l'invention selon le mode préféré apte à défléchir l'onde hyperfréquence à l'aide d'un modulateur de phase. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION La figure 3 illustre un composant optoélectronique 30 selon l'invention. La figure 3a illustre une vue de dessus et la figure 3b illustre une vue de profil. Ce composant est apte à générer et rayonner un signal électromagnétique S 10 présentant une fréquence F comprise entre 30 GHz et 10 THz dénommée fréquence hyper. Préférentiellement la fréquence hyper émise est comprise entre 100 GHz et 2 THz. Cette plage de fréquence recouvre les fréquences RF millimétriques et les fréquences THz. 15 Le composant 30 comprend un guide planaire Gp configuré pour confiner et propager librement dans un plan XY une première onde optique 01 de longueur d'onde À1 et de fréquence optique f1 =C/ À1 et une deuxième onde optique 02 de longueur d'onde À2 et de fréquence optique f2 =C/ À2, ces deux ondes présentant une différence de fréquence optique f1-f2 dénommée 20 battement hétérodyne, égale à une fréquence hyper F. I f1-f2 I = F Les ondes optiques présentent typiquement une longueur d'onde comprise entre 400 nm et 10 pm, et préférentiellement entre 1.2pm et 7 pm. Les longueurs d'onde À1 et À2 sont très proches. Par exemple pour F = 1THz 25 et À1= 1.50 pm, on a À2= 1.508 pm. Le composant 30 comprend également un système d'injection Si des ondes optiques 01, 02 dans le guide planaire Gp. Différentes configurations d'injection compatibles avec l'invention sont décrites plus loin. 30 Enfin, le composant 30 comprend également un photo-mélangeur PM couplé au guide planaire Gp de manière à générer, à partir de la première onde optique 01 et de la deuxième onde optique 02, un signal S présentant la fréquence hyper F. Le photo-mélangeur PM selon l'invention a une forme allongée présentant selon un axe Y une grande dimension L supérieure ou égale à ÀF /2, avec ÀF longueur d'onde du signal S de fréquence F: L ÀF /2 avec ÀF = C/F De plus, le système d'injection Si est configuré de sorte que les ondes optiques 01 et 02 se recouvrent dans le guide planaire Gp et se couplent au photo-mélangeur PM sur une longueur selon l'axe Y au moins égale à la demi longueur d'onde ÀF du signal S. La divergence d'un faisceau, si on fait l'hypothèse qu'il est de type gaussien, se fait avec un angle total qui sera de 1500 si la dimension de l'élément rayonnant est de ÀF /2. Si la dimension de l'élément rayonnant est encore plus petite, la directivité de l'émetteur sera très dégradée et le faisceau émis ne pourra pas être utilisé efficacement. Ainsi, un rayonnement à la fréquence F avec une divergence acceptable nécessite un élément rayonnant d'une dimension au moins égale à ÀF/2. Le recouvrement des ondes sur une distance d'au moins ÀF/2 au niveau du photo-mélangeur PM et la forme allongée selon Y de celui-ci le rendent ainsi apte à rayonner le signal S dans l'espace selon une direction de propagation X sensiblement perpendiculaire à Y, sans nécessité d'une antenne additionnelle. Le photo-mélangeur allongé PM reçoit de la lumière qui se propage dans le guide planaire Gp d'un côté et réémet le signal S issu du photo-mélange de l'autre côté. La grande dimension L du photo-mélangeur PM permet un rayonnement peu divergent dans le plan XY. De plus, l'augmentation de la taille du PM par rapport à celle du photo-mélangeur d'une photodiode unitaire telle que décrite figure 1, permet également de répartir la puissance sur toute la dimension L et ainsi d'augmenter la puissance optique que l'on peut coupler sans destruction, conduisant à rayonner un signal S plus puissant. La petite dimension e est par exemple du même ordre de grandeur que la dimension lio de la photodiode unitaire de la figure 1. Le signal rayonné par le photo-mélange présente une fréquence F comprise dans une gamme de fréquence [30 GHZ, 10 THz], préférentiellement [100 GHz, 2TH4. Par exemple, les longueurs d'onde ÀF correspondantes pour cette dernière bande sont comprises entre 40 pm et 900 pm, dans un matériau photo-mélangeur en GaAs ou en GalnAsP. Le fait que le couplage des ondes optiques au photo-mélangeur allongé PM soit réalisé par un guide planaire Gp confère au composant 30 une structure intégrée à fort rendement, le rendant peu encombrant, et permettant l'adjonction dans le guide planaire Gp de fonctions additionnelles décrites plus loin permettant un traitement de la lumière se propageant dans le composant. Préférentiellement le guide planaire Gp comprend une couche de propagation Cp entre deux couches de confinement Cf1, Cf2 tel qu'illustré figure 4. A titre d'exemple illustratif, le guide planaire Gp est configuré pour confiner des ondes optiques présentant chacune une longueur d'onde proche de 1.5 15 pm, qui est obtenue à l'aide de sources DFB ou DBR à base de GalnAsP sur InP bien connues. La couche de propagation Cp comprend une couche de GalnAsP et chaque couche de confinement Cf1, Cf2 comprend une couche d'InP. Préférentiellement, le photo-mélangeur PM est déposé sur une couche de 20 confinement et le couplage s'effectue par ondes évanescentes. Selon une autre variante, le couplage est de type « bout-à-bout », le photo-mélangeur PM étant placé directement en face de la couche de propagation. Pour l'exemple illustratif précédent, typiquement le photo-mélangeur comprend du GalnAsP. 25 Selon une première variante le caractère intégré de la structure du composant 30 permet l'adjonction d'une fonction d'amplification à l'intérieur du guide planaire, comme illustré figure 5 (la figure 5a représente la vue de dessus et la figure 5b représente la vue de profil). Par exemple le guide 30 planaire Gp comprend une partie amplificatrice CA apte à amplifier les ondes optiques 01 et 02 réalisée dans la couche de propagation Cp. Ainsi la puissance optique disponible est augmentée par la partie amplificatrice CA, ce qui permet au composant 30 de générer et rayonner un signal S présentant une puissance hyper également augmentée. Pour l'exemple illustratif précédent, la couche amplificatrice CA comprend préférentiellement une couche en GalnAsP comprenant des puits quantiques QW en GalnAsP, tel qu'illustré figure 6. Il peut y avoir un seul ou plusieurs puits quantiques. Ils sont constitués de 5 barrières en GalnAsP et de puits également en GalnAsP. La composition des barrières et des puits diffère de manière à créer un puits de potentiel permettant la génération de lumière quand un courant est appliqué. Nous allons donner à présent des exemples non limitatifs de configurations 10 du système d'injection Si. Afin de générer des ondes optiques 01 et 02 qui présentent au niveau du photo-mélangeur PM une dimension suffisante, une variante est que le système d'injection Si soit configuré pour que les ondes optiques injectées présentent une forte divergence. 15 Par exemple, des faisceaux concentrés formant deux pseudo sources de très faible dimension, quasi ponctuelles, sont couplés dans Gp. Selon un premier mode de réalisation illustré figure 7 le système d'injection Si comprend un dispositif d'injection unique Di0 commun aux deux ondes 01 20 et 02. La figure 7a représente la vue de dessus et la figure 7b représente la vue de profil. Les ondes 01 et 02 sont alors colinéaires, ce qui garantit un recouvrement optimum et aboutit à un composant simplifié. Préférentiellement le dispositif d'injection unique Di0 est configuré pour injecter les ondes optiques 01, 02 de manière à ce qu'elles se propagent 25 dans le guide planaire selon une direction de propagation sensiblement égale à une direction X perpendiculaire à l'axe Y. Cette configuration est relativement simple car elle nécessite la mise en oeuvre d'un seul couplage optique pour injecter 01 et 02. 30 Une première variante pour obtenir des ondes 01 et 02 à forte divergence dans Gp, également illustrée figure 7, est que le dispositif d'injection Di0 comprend un guide dit monodimensionnel Guni0 configuré pour confiner les ondes optiques 01, 02 de manière à ce que ces ondes se propagent selon leur direction de propagation commune X0 comprise dans le plan XY. 35 Chaque onde confinée dans le guide monodimensionnel va voir sa divergence augmenter fortement lorsqu'elle pénètre dans le guide planaire, du fait de l'élargissement de la zone de propagation. Chaque onde se propage ainsi « librement » dans le plan XY autour d'une direction XO égale à la direction du guide monodimensionnel. Une configuration optimale est un guide Guni perpendiculaire à Y et selon un axe XO passant par le milieu de PM. Préférentiellement le guide monodimensionnel Guni0 est constitué d'un prolongement du guide planaire Gp du côté de l'arrivée de la lumière et comprend une couche de confinement en forme de ruban. Les ondes optiques se propageant dans la couche de propagation Cp sont alors confinées selon la direction du ruban, comme illustré figure 8. Le guide Guni0 peut être obtenu en supprimant localement le matériau utilisé pour former Cf1, de manière à former un ruban selon l'axe x. Sachant que l'indice de réfraction du matériau utilisé pour Cp est supérieur aux indices de réfraction du matériau utilisé pour Cf1 et Cf2, les ondes optiques 01 et 02 sont confinées selon l'axe y pour former un guide d'onde monomode. Une deuxième variante pour obtenir des ondes 01 et 02 à forte divergence dans Gp est un dispositif d'injection Di° comprenant une fibre unique se 20 terminant par une pointe couplée au guide planaire Gp. Selon un deuxième mode de réalisation illustré figure 9 le système d'injection Si comprend un premier dispositif d'injection Di1 configuré pour injecter la première onde optique 01 de manière à ce qu'elle se propage selon une 25 première direction de propagation X1 comprise dans le plan XY, et un deuxième dispositif d'injection Di2 configuré pour injecter la deuxième onde optique 02 de manière à ce qu'elle se propage selon une deuxième direction de propagation X2 comprise dans le plan XY et différente de la première direction de propagation X1. La figure 9a représente la vue de dessus et la 30 figure 9b représente la vue de profil. La direction X1 présente un angle de theta1 par rapport à l'axe x. La direction X2 présente un angle theta2 par rapport à l'axe x. Le signal S est alors généré selon un angle es correspondant à l'angle entre la direction de propagation Xs du signal S et l'axe x dans le plan xy. 35 Dans cette configuration es se déduit de la relation suivante : es =sin-1{ ÀF *[(sin(thetal)/ À1)+(sin(theta2)/ À2)] } Cette configuration permet de traiter indépendamment les deux ondes 01 et 02, qui ne sont plus colinéaires dans ce cas. Les axes de propagation X1 et X2 et la divergence des ondes optiques sont configurés pour que les ondes 01 et 02 se recouvrent sur une dimension supérieure ou égale à ÀF/2 au niveau du photo-mélangeur PM. Selon un mode préféré tel qu'illustré figure 10 un seul des dispositifs, par exemple le premier dispositif D il, est disposé de manière à ce que l'onde 01 suive une direction de propagation X1 sensiblement perpendiculaire à l'axe y (thetal - 00) et le deuxième dispositif d'injection Di2 est disposé de manière à ce que l'onde 02 suive une direction X2. Dans cette configuration es se déduit de la relation suivante : Os =sin-1{ [ÀF/À2]*sin(theta2)} Par exemple, pour un signal S à 1 THz, qui a une longueur d'onde ÀF=C/F=300pm avec un signal optique 02 à une longueur d'onde À2 de 1.5pm avec un angle thetal =00 et theta2=0.2°, l'angle Os vaut 44°. On constate qu'une très faible différence thetal-theta2 engendre une 20 déviation importante du signal hyperfréquence. Pour la variante à guide monodimensionnel, chaque dispositif d'injection Dil et Di2 comprend respectivement un guide Gunil , Guni2 orientés selon les directions X1 , X2. L'onde 01 est injectée via Gunil et l'onde 02 est injectée 25 via Guni2. Pour la variante avec des fibres optiques, le premier dispositif d'injection Dil comprend une première fibre optique et le deuxième dispositif d'injection Di2 comprend une deuxième fibre optique. L'onde 01 est injectée via la première fibre et l'onde 02 est injectée via la deuxième fibre. 30 Selon une deuxième variante le caractère intégré de la structure du composant 30 permet l'adjonction d'une fonction de déviation d'au moins une onde optique par déphasage spatial. Le principe de la déviation d'une onde 0 à forte divergence se propageant 35 dans un guide planaire par déphasage est illustré figure 11. Le déflecteur Mph est configuré pour faire varier le déphasage optique spatialement, continûment ou discrètement de manière à opérer une déviation d'un angle a choisi de la direction de propagation de l'onde 0, selon un principe connu. Le déflecteur est par exemple commandé à l'aide d'une commande 5 électrique C. Cette fonction est appliquée au composant 30 selon l'invention tel qu'illustré figure 12 dans la configuration préférée illustrée figure 10. Dans ce mode de réalisation, le guide planaire Gp du composant 30 selon l'invention comprend en outre un déflecteur Mph situé par exemple sur le 10 chemin optique de l'onde optique 02 présentant une direction de propagation selon un angle theta2 non nul, et configuré pour défléchir la deuxième onde optique 02 de manière à la dévier par rapport à la direction de propagation theta2 initiale d'un angle a2 de déviation optique choisi. Au niveau du photo-mélangeur PM, cette variation de direction de 15 propagation a2 se répercute au niveau du rayonnement du signal hyper S, dont la direction de rayonnement Xs faisant un angle es (c'est-à-dire la direction de pointage correspondant du maximum d'énergie rayonnée) est également déviée d'un angle de déviation e-es fonction de l'angle de déviation optique a2. Dans cette configuration l'angle e que fait l'onde 20 hyperfréquence avec l'axe x se déduit de la relation suivante : e =sin-l{ (sin(theta2+ a2)/ À2) } Ainsi l'onde hyperfréquence S présente au départ un angle es, qui est modifié en un angle e Par exemple pour un signal S à 1 THz, qui a une longueur d'onde 25 ÀF=C/F=300pm, obtenu avec une signal optique 02 à une longueur d'onde À2 de 1.5pm avec un angle theta1=0° et theta2=0.2°, l'angle es vaudra 44°. Pour une déflection du signal 02 de 0.05 réalisée avec le déflecteur MPh, l'angle e est de 61°. Le signal S est ainsi défléchi de 17°. 30 Le signal S dévié conserve la faible divergence dans le plan XY dûe à la géométrie allongée du photo-mélangeur. Avec un déflecteur commandable permettant de modifier la valeur de a2, il est possible de réaliser un balayage angulaire du signal S. Un exemple de déflecteur électro-optique Mph est illustré figure 13a (vue de dessus) et figure 13b (vue en coupe) pour un guide planaire comprenant une couche de propagation Cp en GalnAsP et deux couches de confinements Cf1 Cf2 en InP. Une couche métallique M1 disposée sur la couche Cf1 délimite Mph. Une zone de la couche Cf1 sous la couche métallique M est dopée p tandis que la zone de la couche Cf2 de l'autre côté de la couche de propagation Cp est dopée n. Une autre couche métallique M2 est mise en contact avec la couche Cf2. La continuité électrique de la couche Cf2 permet d'injecter un courant entre M1 et M2. Il est ainsi possible d'injecter un courant I dans la couche de propagation dans la zone localisée sous la couche métallique, ce qui a pour effet de modifier localement l'indice de réfraction en fonction de la valeur de I. Si aucun courant n'est appliqué, l'indice de réfraction que voit le signal optique 0 est le même dans les zones qui entourent Mph et à l'intérieur de Mph. Le faisceau 0 n'est alors pas dévié par Mph. Si un courant I est appliqué, l'indice de réfraction que voit le signal optique 0 est différent dans les zones qui entourent Mph de celui à l'intérieur de Mph. Le déflecteur Mph est ainsi un modulateur électro-optique configuré pour modifier l'indice de réfraction d'une portion de la couche de propagation Cp. Lorsque la portion présente une forme prismatique dans le plan XY, et pour un indice à l'intérieur de Mph dans la couche de propagation plus élevé qu'à l'extérieur, l'onde optique 0, du fait des lois de Fresnel, est déviée de la même manière que dans le cas d'un prisme. Selon un deuxième exemple le déflecteur est un modulateur de phase Mph comprenant une pluralité de i déphaseurs discrets Dph(1), Dph(n) commandés indépendamment. Le principe de ce déphaseur discret est illustré figure 14 pour une onde optique 0. L'onde optique, propagée dans une première zone de propagation « libre » du guide planaire, est répartie sur n canaux. Un déphaseur optique Dph(i) par canal fait varier le déphasage optique du canal i indépendamment des autres canaux. Les ondes issues des canaux se propagent ensuite dans une deuxième zone de propagation « libre » dans le guide planaire Gp. Dans cette deuxième zone un front d'onde se forme dont la direction dépend des déphasages appliqués au moyen des déphaseurs. On contrôle donc via le déphaseur le front de phase de l'onde optique. Pour une loi de phase déterminée, une déviation globale du front d'onde par rapport au front d'onde incident est obtenue. Le déphaseur fonctionne par exemple de manière électro-optique, c'est-à-dire qu'un signal de commande électrique vient modifier l'indice de réfraction dans un canal comprenant par exemple une portion de la couche de propagation. Un déphaseur électro-optique Dph(i) est illustré figure 15 pour un guide planaire comprenant une couche de propagation Cp en GalnAsP et deux couches de confinements Cf1 Cf2 en InP. Il fonctionne de la même manière que le déphaseur de la figure 13b. Une couche métallique M1 est disposée sur la couche Cf1. Une zone de la couche Cf1 sous la couche métallique M est dopée p tandis que la zone de la couche Cf2 de l'autre côté de la couche de propagation Cp est dopée n. Une autre couche métallique M2 est mise en contact avec la couche Cf2. La continuité électrique de la couche Cf2 permet d'injecter un courant entre M1 et M2. L'injection d'un courant I dans la couche de propagation a pour effet de modifier localement l'indice de réfraction en fonction de la valeur de I. Il est bien entendu possible d'intégrer, en plus du déflecteur, des amplificateurs optiques alimentés électriquement afin de modifier la puissance optique. Les amplificateurs optiques sont par exemple positionnés dans chaque canal, permettant ainsi d'uniformiser la puissance optique entre les différents canaux. La figure 16 illustre un composant selon l'invention dont le guide planaire Gp 30 comprend un modulateur de phase Mph électro-optique tel que décrit ci-dessus sur le chemin optique de l'onde présentant un angle Theta1 non nul, 01 ici. Le signal S rayonné par le photo-mélangeur PM est apte à être dévié (c'est-à-dire la direction de pointage correspondant du maximum d'énergie rayonnée) selon un angle de déviation e fonction de thetal, theta2 et a2. La déviation par rapport à l'angle initial es est (e - Os). Ainsi le caractère intégré du composant 30 selon l'invention permet de profiter de l'allongement du photo-mélangeur PM pour faciliter l'implémentation de fonctions d'amplification et de balayage, formant un circuit intégré photonique réalisant un balayage angulaire d'un signal S haute fréquence F.10 REVENDICATIONS1. Composant optoélectronique (30) pour générer et rayonner un signal (S) électromagnétique présentant une fréquence (F) comprise entre 30 GHz et 10 THz dénommée fréquence hyper, comprenant : -un guide planaire (Gp) configuré pour confiner et propager librement dans un plan XY une première (01) et une deuxième (02) ondes optiques présentant une différence de fréquence optique, dénommée battement hétérodyne, égale à ladite fréquence hyper (F), -un système d'injection (Si) desdites ondes optiques (01, 02) dans ledit 10 guide planaire (Gp), - un photo-mélangeur (PM) couplé audit guide planaire (Gp) de manière à générer, à partir de la première onde optique (01) et de la deuxième onde optique (02), un signal (S) présentant ladite fréquence hyper (F), ledit photo-mélangeur (PM) ayant une forme allongée présentant selon un 15 axe Y une grande dimension (L) supérieure ou égale à la demi longueur d'onde (ÀF) dudit signal (S), - ledit système d'injection (Si) étant configuré de sorte que lesdites ondes optiques se recouvrent dans ledit guide planaire et se couplent au photo-mélangeur (PM) sur une longueur selon l'axe Y au moins égale à la demi 20 longueur d'onde (ÀF) dudit signal (S), le photo-mélangeur étant ainsi apte à rayonner ledit signal (S). 2. Composant optoélectronique selon la revendication 1 dans lequel ledit guide planaire (Gp) comprend une couche de propagation (Cp) entre deux 25 couches de confinement (Cf1, Cf2). 3. Composant optoélectronique selon la revendication 2 dans lequel le photo-mélangeur (PM) est déposé sur une couche de confinement et dans lequel ledit couplage s'effectue par ondes évanescentes. 30 4. Composant optoélectronique selon l'une des revendications précédentes dans lequel le guide planaire (Gp) est configuré pour confiner des ondes optiques présentant chacune une longueur d'onde proche de 1.5 pm. 5. Composant optoélectronique selon l'une des revendications précédentes dans lequel ledit guide planaire (Gp) comprend une partie amplificatrice (CA) apte à amplifier lesdites première (01) et deuxième (02) ondes optique. 6. Composant optoélectronique selon l'une des revendications précédentes dans lequel le système d'injection (Si) est configuré pour que les ondes optiques (01, 02) injectées présentent une forte divergence. 7. Composant optoélectronique selon l'une des revendications précédentes dans lequel ledit système d'injection (Si) comprend au moins un guide dit monodimensionnel (Guni0, Guni1, Guni2) configuré pour confiner les ondes optiques (01, 02) de manière à ce que lesdites ondes se propagent selon leurs directions de propagation respectives (X, X1, X2). 8. Composant optoélectronique selon la revendication 7 dans lequel le guide monodimensionnel est constitué d'un prolongement du guide planaire comprenant une couche de confinement en forme de ruban. 9. Composant optoélectronique selon l'une des revendications 1 à 6 dans 20 lequel le système d'injection (Si) comprend au moins une fibre optique. 10. Composant optoélectronique selon l'une des revendications précédentes dans lequel le système d'injection (Si) comprend un dispositif d'injection unique (DiO) . 25 11. Composant optoélectronique selon la revendication 10 dans lequel ledit dispositif d'injection unique (DiO) est configuré pour injecter les première et deuxième ondes optiques (01, 02) de manière à ce que lesdites ondes se propagent selon une direction de propagation sensiblement égale à une 30 direction X perpendiculaire à l'axe Y. 12. Composant optoélectronique selon l'une des revendications 1 à 9 dans lequel ledit système d'injection (Si) comprend un premier dispositif d'injection (Di1) configuré pour injecter la première onde optique (01) de manière à ce 35 que ladite première onde se propage selon une première direction depropagation (X1) comprise dans le plan XY, et un deuxième dispositif d'injection (Di2) configuré pour injecter la deuxième onde optique (02) de manière à ce que ladite deuxième onde se propage selon une deuxième direction de propagation (X2) comprise dans le plan XY différente de la première direction de propagation (X1). 13. Composant optoélectronique selon la revendication 12 dans lequel un seul desdits premier et deuxième dispositifs d'injections (Di1,Di2) présente une direction de propagation perpendiculaire audit axe Y. 14. Composant optoélectronique selon les revendications 12 ou 13 dans lequel le guide planaire (Gp) comprend en outre au moins un déflecteur (Mph) situé sur le chemin optique d'une des ondes optiques (02) configuré pour défléchir ladite onde optique (02) de manière à la dévier d'un angle (a2) de déviation optique choisi, moyennant quoi le signal (S) rayonné par ledit photo-mélangeur (PM) est apte à être dévié selon un angle de déviation (e-es) fonction dudit angle de déviation optique (a2). 15. Composant optoélectronique selon la revendication 14 dans lequel ledit déflecteur (Mph) est un modulateur électro-optique configuré pour modifier l'indice de réfraction d'une portion de la couche de propagation (Cp), ladite portion présentant une forme prismatique dans le plan XY. 16. Composant optoélectronique selon l'une des revendications 14 ou 15 dans lequel ledit déflecteur est un modulateur de phase (Mph) comprenant une pluralité de déphaseurs discrets (Dph(1), Dph(n)) commandés indépendamment. 17. Composant optoélectronique selon la revendication 16 dans lequel chaque déphaseur discret est un modulateur électro-optique configuré pour modifier l'indice de réfraction d'une portion de la couche de propagation (Cp).