Brevet FR3030474A1 — publié le 20160624

DISPOSITIF DE TRANSFORMATION D'UN MOUVEMENT HORS PLAN EN UN MOUVEMENT DANS LE PLAN ET/OU INVERSEMENT DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE La présente invention se rapporte à un dispositif de transformation d'un mouvement hors plan en un mouvement dans le plan et/ou de transformation d'un mouvement dans le plan en un mouvement hors plan, en particulier dans les microsystèmes et ou nanosystèmes, et à un actionneur comportant un tel dispositif. Dans les systèmes microélectromécaniques (MEMS pour MicroElectroMechanical Systems en terminologie anglaise) et/ou les systèmes nanoélectromécaniques (NEMS pour NanoElectroMechanical System en terminologie anglaise), on cherche à réaliser des microactionneurs et/ou nanoactionneurs pour mettre en mouvement des objets, par exemple pour réaliser des microcommutateurs. On cherche plus particulièrement à réaliser des actionneurs dans le plan du MEMS et/ou NEMS Il existe des actionneurs de type électrostatique comportant un peigne fixe et un peigne mobile dont les doigts sont interdigités et entre lesquels une différence de tension est imposée, ce qui provoque l'apparition des forces électrostatiques qui tendent à rapprocher les doigts et ainsi à mettre en mouvement le peigne mobile. Ce type d'actionneur présente l'avantage de fournir une actuation dans le plan mais a l'inconvénient de ne présenter qu'une énergie limitée pour réaliser une actuation, pour une surface de dispositif donnée. Il existe par ailleurs des actionneurs mettant en oeuvre des matériaux électroactifs, tels que des matériaux piézoélectriques. Par exemple, l'actionneur comporte une poutre en porte-à-faux, de type cantilever, ancrée sur un substrat par une extrémité sur laquelle un tel matériau piézoélectrique est déposé. Lorsqu'un courant électrique traverse le matériau piézoélectrique, celui-ci se contracte provoquant une courbure hors-plan de la poutre, son extrémité libre s'écartant ou se rapprochant du substrat. Un tel actionneur a une énergie suffisante mais Il s'agit d'un actionneur hors plan. EXPOSÉ DE L'INVENTION C'est par conséquent un but de la présente invention d'offrir un nouveau dispositif de transformation d'un mouvement hors plan en un mouvement dans le plan et/ou inversement, et plus particulièrement un actionneur dans le plan. Le but énoncé ci-dessus est atteint par un dispositif de transformation d'un déplacement hors plan en un mouvement dans le plan et/ou inversement comportant au moins un élément apte à se déformer hors plan lorsqu'un stimulus lui est appliqué, l'élément deformable comprenant une extrémité ancrée sur un substrat et une extrémité libre par rapport au substrat, et des moyens de guidage en translation de l'extrémité libre, le guidage étant dans le plan. En d'autres termes on met en oeuvre au moins un élément de type cantilever que l'on déforme hors plan en contraignant son extrémité libre à se déplacer en translation dans le plan. Ainsi en se déformant, l'élément de type cantilever impose à son extrémité libre de se déplacer en se rapprochant de l'extrémité ancrée tout en restant dans le plan. On peut par exemple obtenir un actionneur de translation dans le plan, la direction de translation étant parallèle à la direction contenant l'extrémité ancrée et l'extrémité libre. Inversement en déplaçant dans le plan l'extrémité libre, il est possible de déformer hors plan l'élément de type cantilever. Dans un exemple particulièrement avantageux, le dispositif comporte un élément mobile en rotation autour d'un axe perpendiculaire au plan, qui est relié mécaniquement à deux éléments déformables de sorte que, lorsqu'un stimulus est appliqué à l'un des éléments déformables, celui-ci se déforme hors du plan et l'extrémité libre se déplace dans le plan en se rapprochant de l'extrémité ancrée, ce qui provoque la rotation de l'élément mobile. Ainsi, en appliquant alternativement des potentiels électriques aux deux éléments déformables, nous obtenons un déplacement en rotation de part et d'autre d'une position à l'équilibre. Dans le cas d'un dispositif MEMS, la position d'équilibre est la position de fabrication du MEMS. Dans un exemple de réalisation, un élément guidé en translation est relié mécaniquement à l'élément mobile en rotation de sorte que le déplacement en rotation de l'élément mobile provoque un déplacement en translation de l'élément mobile en translation. Par exemple la direction de l'élément mobile en translation est perpendiculaire à la direction comprenant l'extrémité ancrée et l'extrémité libre des éléments déformables. L'élément deformable peut être du type bilame, l'élément deformable comportant un matériau électroactif qui se contracte lorsqu'un champ électrique lui est appliqué, ou l'élément deformable comportant deux matériaux présentant des coefficients de dilatation thermique différents, l'élément se courbant lorsqu'il est échauffé au-delà d'une température donnée. Le dispositif de transformation de mouvement peut être mis en oeuvre pour réaliser un actionneur ou un dispositif de récupération d'énergie. La présente invention a alors pour objet un dispositif de transformation d'un mouvement hors-plan en un mouvement dans le plan et/ou inversement comportant au moins un premier élément deformable hors plan, ledit élément deformable comprenant une première extrémité fixe ancrée sur un substrat et une deuxième extrémité libre par rapport au substrat, ledit dispositif comportant également des moyens de guidage en translation de la deuxième extrémité libre dans le plan le long d'une première direction, le premier élément deformable étant apte à être déformé hors plan par application d'un stimulus de sorte que la deuxième extrémité libre se rapproche de la premier extrémité fixe selon un mouvement de translation dans le plan. Le premier élément deformable peut être une membrane. Les moyens de guidage sont par exemple formés par des poutres déformables s'étendant perpendiculairement à la première direction. Les poutres peuvent se déformer avantageusement au moins en flexion. Dans un exemple de réalisation, le premier élément deformable est un bilame et le stimulus est un apport de chaleur. Dans un autre exemple de réalisation, le premier élément deformable comporte un dépôt d'un matériau électroactif et le stimulus est l'application d'un champ électrique sur ledit dépôt. Le matériau électroactif peut être un matériau piézoélectrique et le champ électrique peut être généré par des électrodes disposées de part et d'autres et/ou de façon coplanaire audit dépôt de matériau piézoélectrique. La présente invention a également pour objet un système comportant au moins un dispositif selon l'invention et un élément mobile en rotation autour d'un axe de rotation orthogonal au plan, ledit élément mobile en rotation étant relié mécaniquement à la deuxième extrémité libre de l'élément deformable de telle sorte que, lorsqu'au moins un stimulus est appliqué à l'élément deformable, l'élément mobile en rotation soit mis en rotation autour de l'axe de rotation. La présente invention a également pour objet un système comportant au moins deux dispositifs selon l'invention et un élément mobile en rotation autour d'un axe de rotation orthogonal au plan. Les deux deuxièmes extrémités libres peuvent être guidées le long de la première direction et l'élément mobile en rotation peut être relié mécaniquement aux deuxièmes extrémités libres des deux éléments déformables desdits dispositifs. La présente invention a également pour objet un système comportant au moins deux dispositifs selon l'invention et un élément mobile au moins en rotation autour d'un axe de rotation orthogonal au plan. L'extrémité libre d'un des dispositifs peut être guidée le long de la première direction tandis que l'extrémité libre de l'autre des dispositifs peut être guidée le long d'une autre direction contenue dans ledit plan et non colinéaire à la première direction. L'élément mobile en rotation est relié mécaniquement aux extrémités libres des éléments déformables desdits dispositifs. L'élément mobile en rotation est par exemple relié mécaniquement aux extrémités libres des éléments déformables par des poutres flexibles. Le système peut comporter également un élément mobile en translation dans le plan relié mécaniquement à l'élément mobile en rotation de sorte que la rotation de l'élément mobile en rotation provoque la translation dans le plan de l'élément mobile en translation. Le système comporte avantageusement des moyens de guidage en translation dans le plan de l'élément mobile en translation. Les moyens de guidage en translation de l'élément mobile en translation peuvent guider l'élément mobile en translation selon une direction orthogonale à la première direction. L'élément mobile en rotation peut être relié mécaniquement à l'élément mobile en translation par des poutres flexibles. L'élément mobile en rotation est par exemple situé entre les deux éléments déformables et l'élément mobile en translation a la forme d'un cadre entourant les deux éléments déformables, l'élément mobile en rotation étant articulé sur un bord intérieur de l'élément mobile en translation en forme de cadre. La présente invention a également pour objet un actionneur comportant au moins un dispositif de transformation selon l'invention ou au moins un système selon l'invention et une unité de commande envoyant un stimulus au(x) dispositifs. La présente invention a également pour objet un actionneur comportant au moins un système selon l'invention et une unité de commande envoyant un stimulus à chacun des dispositifs, les stimuli étant déphasés de n. La présente invention a également pour objet un actionneur en translation comportant au moins un système selon l'invention et une unité de commande envoyant un stimulus à chacun des dispositifs. Selon une caractéristique additionnelle, le stimulus est sinusoïdal. La présente invention a également pour objet un compresseur comportant une cavité, un piston mobile dans la cavité, au moins deux actionneurs de translation selon l'invention, chacun des pistons étant relié mécaniquement à un élément mobile en translation de sorte que le déplacement relatif des pistons génère une augmentation de pression dans la cavité. Les premier et deuxième pistons sont avantageusement conformés en spirale et sont imbriqués l'un dans l'autre, de sorte à créer des poches de fluide entre les spirales. La présente invention a également pour objet un système de récupération d'énergie comportant récupérateur d'énergie comportant au moins un dispositif de transformation selon l'invention ou au moins un système selon l'invention et une unité collectant le courant électrique généré par ledit dispositif ou ledit système. On peu récupérer de l''énergie en utilisant la déformation de la membrane en particulier lorsqu'elle comporte un matériau piézoélectrique. En effet, la déformation de la membrane génère dans les électrodes associées au matériau piézo- électrique une différence de potentiel électrique qui peut être utilisée BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise sur la base de la description qui va suivre et des dessins en annexe sur lesquels: - les figures 1A et 1B sont des représentations schématiques d'une vue de côté d'un exemple de dispositif de transformation de mouvement au repos et dans un état d'actionnement, - la figure 1C est une vue de dessus d'un exemple de réalisation pratique d'un dispositif des figures 1A et 1B, - la figure 2 est une représentation schématique d'une vue de dessus d'un autre exemple de réalisation d'un dispositif de transformation de mouvement au repos, - la figure 3 est une représentation schématique du dispositif de la figure 2 dans un premier état d'actionnement, - la figure 4 est une représentation schématique du dispositif de la figure 2 dans un deuxième état d'actionnement, - la figure 5 est une représentation schématique du dispositif de la figure 2 dans un troisième état d'actionnement, - la figure 6 est une représentation schématique d'un actionneur comportant trois dispositifs à transformation de mouvement, - la figure 7 est une vue de dessus d'une réalisation pratique d'un microdispositif de transformation de mouvement, - les figures 8A et 8B sont des vues de dessus et de dessous d'un exemple de compresseur mettant en oeuvre des dispositifs de la figure 7, - les figures 9A à 9J sont des représentations schématiques de différentes étapes de réalisation d'un dispositif de conversion de mouvement, - la figure 10 est une représentation graphique des signaux appliqués aux membranes 4, 104 de l'actionneur du dispositif des figures 2 à 5. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Dans la description qui va suivre le dispositif de transformation d'un mouvement hors plan en un mouvement dans le plan et/ou inversement sera décrit dans son application à un actionneur. Mais la présente invention ne se limite pas à l'application à un actionneur mais à tous dispositifs pouvant mettre en oeuvre une telle transformation de mouvement. Par ailleurs, lorsqu'il sera fait référence au plan il s'agit du plan moyen du dispositif qui est parallèle au plan du substrat. Sur les figures lA à 1C, on peut voir un exemple d'un actionneur Al selon l'invention comportant un substrat 2 et un élément deformable 4 s'étendant suivant une direction X contenu dans le plan du substrat. L'élément deformable 4 comporte une première extrémité 4.1 ancrée sur le substrat, désignée extrémité fixe, et une deuxième extrémité 4.2 libre par rapport au substrat 2, désignée extrémité libre ou mobile. On entend par "extrémité libre par rapport au substrat" une extrémité apte à avoir un déplacement par rapport au substrat, ce déplacement pouvant être limité ou non. L'extrémité fixe 4.1 et l'extrémité libre 4.2 sont alignées sur la direction X. L'élément deformable est par exemple une poutre ou plus avantageusement une membrane, comme cela est représenté sur la figure 1C, qui peut se déformer hors plan sous l'application d'un stimulus. Dans la suite de la description, on désignera l'élément deformable par "membrane". Par exemple la membrane est un bilame et le stimulus est un apport de chaleur, qui provoque la courbure du bilame tant que le bilame n'est plus à la température de repos. Un bilame est formé de deux lames en matériaux différents présentant des coefficients de dilatation différents, les deux lames étant solidarisées par laminage, soudage, collage, brasure ou directement par dépôt par exemple par pulvérisation directe d'un deuxième matériau sur un premier matériau de sorte à former un élément hétérogène, monolithique. Alternativement et de manière préférée, la membrane comporte une couche support suspendu et au moins une couche de matériau électroactif, par exemple un matériau piézoélectrique qui se déforme lorsqu'il est soumis à un champ électrique. Une couche de matériau électroactif peut être formée sur l'une des faces de la couche support. Le matériau piézoélectrique étant déformé sur la membrane qui n'est pas déformée, il se forme un effet bilame qui a pour effet de courber l'ensemble membrane - matériau piézoélectrique. Le sens de la courbure varie selon que le matériau piézoélectrique le sens du champ électrique. Il en va de même pour un bilame thermique : si l'on se trouve au dessus ou en dessous de la température de référence, le sens de la courbure change. Le champ électrique est généré par des électrodes disposées sur et de part et d'autres et/ou de façon coplanaire au dépôt de matériau piézoélectrique. La forme de la membrane déformée présente deux points d'inflexion. En d'autres termes, la membrane présente une courbure dans un sens à son centre et des courbures dans l'autre sens à proximité des ses points de fixation. L'énergie développée par le matériau électroactif étant directement dépendante du volume de matériau actif, il est préférable de déposer une grande quantité de matériau. Ainsi, il est avantageux de déposer du matériau électroactif sur toutes les zones où une courbure peut être provoquée, par exemple au centre et sur les bords de la membrane. Puisque les sens de courbure sont inversés entre le centre et les bords, en choisissant des matériaux présentant un comportement symétrique en fonction de leur polarisation par ce champ électrique et en soumettant le ou les matériaux électroactifs situés au centre et sur les bords à des champs électriques inversés, on bénéficie d'une grande quantité de matériau électroactif qui présente le même sens de courbure quel que soit son emplacement sur la membrane. L'actionneur Al comporte également des moyens de guidage 6 représenté sur la figure 1C pour guider en translation l'extrémité libre de la membrane dans le plan. De manière avantageuse dans un microactionneur ou nanoactionneur et comme cela est représenté sur la figure 1C, les moyens de guidage sont formés par des poutres 6.1 aptes à se déformer en flexion dans le plan. Dans l'exemple représenté, deux paires de poutres de guidage s'étendant perpendiculairement à l'axe direction X sont mises en oeuvre. Dans cet exemple, les poutres de guidage forment également des poutres de suspension de l'extrémité libre par rapport au substrat. Le fonctionnement de l'actionneur Al va être décrit. Nous prenons le cas d'un actionnement mettant en oeuvre un matériau électroactif. En l'absence de champ électrique, la membrane est plane (figure lA et 1C). Lorsqu'un champ électrique est appliqué au matériau électroactif, la membrane se courbe. Puisqu'elle est ancrée sur le substrat par son extrémité fixe 4.1, c'est son extrémité libre qui se déplace. Les poutres 6 fléchissent sous l'effort en traction exercé par l'extrémité libre 4.2 de la membrane. Les poutres guident en translation dans le plan l'extrémité libre 4.2, qui est contrainte de se déplacer dans le plan le long de la direction X. Du fait de la courbure de la membrane, l'extrémité libre 4.2 se rapproche de l'extrémité fixe 4.1. On réalise ainsi un actionneur simple, offrant une énergie suffisante. Plus généralement, on réalise un dispositif permettant de convertir le mouvement hors plan de la membrane en un mouvement de translation dans le plan de l'extrémité libre et/ou inversement. L'actionneur Al peut par exemple être utilisé pour aligner très précisément des objets, comme des extrémités de fibres optiques par exemple. On peut envisager une fibre optique fixe et une fibre optique dont une extrémité serait solidaire de l'extrémité libre de la membrane. En actionnant la membrane, il est possible d'aligner ou non les deux fibres optiques. On forme ainsi un commutateur optique, il est possible par exemple de réaliser un routeur. Cet exemple n'est en aucun cas limitatif. Dans l'exemple représenté, la membrane se déforme, sa courbure étant orientée vers le bas. Comme expliqué ci-dessus en changeant la polarisation de la couche de matériau électroactif sur la membrane, l'orientation de la concavité est modifiée. Mais le sens de déplacement de l'extrémité libre est encore en rapprochement de l'extrémité libre. Sur les figures 2 à 5, on peut voir un autre exemple de réalisation d'un actionneur A2 permettant un déplacement en translation dans une direction perpendiculaire à la direction X. L'actionneur A2 comporte deux actionneurs Al côte à côte et parallèles, i.e. les membranes 4, 104 s'étendant le long de direction parallèle à la direction X. L'actionneur A2, comporte également un premier élément mobile en rotation 8 autour d'un axe Z orthogonal au plan. Celui-ci est disposé entre les deux membranes 4, 104. Le premier élément mobile 8 s'étend le long de la direction X. L'élément mobile est relié mécaniquement aux extrémités libres 4.2, 104.2 de chacune des membranes 4, 104. Plus particulièrement, l'élément mobile 8 comporte une face latérale 10 reliée par une liaison mécanique 12 à l'extrémité libre 4.2 et une face latérale opposée 14 reliée par une liaison mécanique 16 à l'extrémité libre 104.2. Les liaisons mécaniques 12 et 16 aptes à se déformer dans une direction transversale à la direction X. Les liaisons mécaniques 12 et 16 comportent avantageusement chacune deux poutres aptes à se déformer s'étendant parallèlement à l'axe X s'étendant de part et d'autre de l'extrémité libre. L'actionneur A2 comporte également un deuxième élément mobile 18 guidé en translation le long d'une direction Y, celui-ci s'étendant le long de la direction Y. Cinq degrés de liberté du deuxième élément mobile 18 sont bloqués. Les moyens de guidage en translation du deuxième élément mobile sont par exemple du même type que ceux mis en oeuvre pour guider les extrémités libres des membranes, i.e. ils comportent des poutres aptes à se déformer en flexion. Le deuxième élément mobile 18 est relié par une liaison mécanique 20 à une extrémité 8.1 du premier élément mobile 8 située à l'extérieur de la zone délimitée entre les deux membranes 4, 104. La liaison mécanique 20 est apte à se déformer le long de la direction X. Dans l'exemple représenté, la liaison mécanique 20 est sensiblement au milieu du deuxième élément mobile mais une liaison mécanique 20 dans une autre partie du deuxième élément mobile ne sort pas du cadre de la présente invention. Les deux actionneurs Al sont actionnés avec un déphasage de phase de n. Les signaux appliqués aux membranes 4, 104 en fonction du temps t sont représentés sur le graphique de la figure 10. Le signal Si est celui appliqué à la membrane 4 et le signal S2 est celui appliqué à la membrane 104. Dans l'exemple représenté, les signaux sont sinusoïdaux. Mais on pourrait envisager qu'ils présentent une autre forme, par exemple qu'ils soient en créneau. Dans la configuration de la figure 2, aucun signal n'est appliqué aux membranes, elles sont au repos. Les déplacements varient entre un extremum négatif, noté -1 et 0, la valeur -1 correspond à une déformation maximale de la membrane et la valeur 0 correspond à aucune déformation de la membrane. A t = 0 sur le graphe de la figure 10, le déplacement Si est à -1, la membrane 4 est courbée, le déplacement S2 est à 0, la membrane 104 est au repos, elle est plane. L'extrémité libre 4.2 se déplace en translation le long de la direction X vers l'extrémité fixe 4.1. Cet état est représenté sur la figure 3. Du fait de la liaison 12 entre la face latérale 10 du premier élément mobile 8 et l'extrémité libre 4.2 de la membrane, le premier élément mobile pivote du côté de la membrane 4 autour d'un axe Z perpendiculaire au plan. Les poutres des liaisons 12 et 16 se déforment. A t = 1 sur le graphe de la figure 10, le signal Si est à -0,5 et le signal S2 est à -0, 5, les deux membranes 4, 104 présentent les mêmes courbures intermédiaires, le premier élément mobile 8 subit alors une force de traction de la part de l'extrémité libre 104.2 de la membrane 104 tandis que la force de traction appliquée par l'extrémité libre 4.2 de la membrane 4 sur le premier élément 8 diminue. Le premier élément mobile 8 reprend une position alignée avec l'axe X (figure 4). La liaison entre le premier élément mobile 8 et le deuxième élément mobile 18 est réalisée par des poutres s'étendant le long de l'axe Y, ainsi le deuxième élément mobile 18 peut être en position 0 alors que les membranes 4 et 104 sont en position -0.5. A t = 2, le signal S2 est à -1, la membrane 104 est courbée, le signal Si est à 0, la membrane 4 est au repos, elle est plane. L'extrémité libre 104.2 se déplace en translation le long de la direction X vers l'extrémité fixe 104.1. Cet état est représenté sur la figure 5. Du fait de la liaison 16 entre la face latérale 14 du premier élément mobile 8 et l'extrémité libre 104.2 de la membrane 104, le premier élément mobile 8 pivote du côté de la membrane 104 autour de l'axe Z. Les poutres des liaisons 12 et 16 se déforment. Le mouvement de rotation autour de l'axe Z du premier élément mobile 8 se poursuit tant que les signaux Si et S2 sont appliqués, le premier élément mobile 8 a alors un mouvement oscillatoire autour de l'axe Z et l'extrémité 8.1 du premier élément mobile passe alternativement de part et d'autre de l'axe X. Le deuxième élément mobile 18 guidé en translation le long de l'axe Y, est du fait du pivotement du premier élément mobile 8, déplacé en translation. Il se déplace alternativement vers la gauche et vers la droite selon les représentations des figures 3 et 4. La deuxième pièce mobile 18 a donc un mouvement oscillatoire en translation le long de l'axe Y, de part et d'autre d'une position neutre. On réalise ainsi un actionneur en translation. Il sera compris que le deuxième élément mobile pourrait être guidé en translation le long d'une direction qui ne serait pas nécessairement perpendiculaire à l'axe X. En variante encore, on pourrait réaliser un actionneur en rotation, le deuxième élément mobile serait omis et on récupérerait le mouvement directement sur la première pièce mobile 8. En variante encore, l'actionneur A2 pourrait ne comporter qu'un actionneur Al et le bord latéral 14 du premier élément mobile 8 serait relié au substrat. Le débattement angulaire de la première partie mobile serait divisé par deux, ainsi que le débattement axial du deuxième élément mobile. La forme de la première partie mobile 8 peut être différente de celle représenté sur les figures 2 à 5. Elle peut être choisie pour pouvoir mettre en oeuvre des membranes les plus larges et les plus courtes possibles afin de réduire les risques de flambage. La mise en oeuvre du premier élément mobile en rotation 8 offre l'avantage d'apporter une amplification du mouvement de par la différence des bras de levier. On peut alors réaliser un actionneur provoquant une amplitude de déplacement selon l'axe Y relativement importante malgré une amplitude de déplacement des extrémités libres des membranes selon la X réduite et une amplitude de déplacement angulaire réduite du premier élément mobile puisque l'amplitude de déplacement selon X sera proportionnelle à la longueur du bras de levier. En outre cet actionneur peut très avantageusement être réalisé par des procédés microélectroniques par usinages et dépôts planaires. Lorsque l'actionneur comporte plusieurs dispositifs de transformation de mouvement, les guidages des extrémités libres peuvent ne pas être selon des directions colinéaires. Il en résulte qu'un plus de la rotation de l'élément mobile, le système peut permettre d'obtenir un mouvement de translation de cet élément, dans ledit plan selon le signal appliqué. Sur la figure 6, on peut voir un exemple de réalisation d'un actionneur comportant trois dispositifs similaires à l'actionneur Al. Dans l'exemple représenté, les trois dispositifs sont disposés à 120°C les uns des autres. Chaque extrémité libre 4.2 des dispositifs est reliée à un élément mobile 8' en forme de platine, destiné à être mise en mouvement par les dispositifs. Les extrémités libres 4.2 de dispositifs sont guidées en translation selon des directions sécantes X, X', X". Dans l'exemple représenté, elles forment un angle de 120°C entre elles. Les extrémités 4.2 des actionneurs sont par exemple connectées à la platine 8' par des poutres déformables en flexion. Ainsi en actionnant simultanément les trois dispositifs, la platine 50 est mise en rotation autour de l'axe Z. En actionnant un ou deux dispositifs, la platine 50 est déplacée en rotation et en translation. Un système comportant plus de trois dispositifs de transformation de mouvement ne sort pas du cadre de la présente invention. Sur la figure 7, on peut d'ailleurs voir une vue de dessus d'un exemple de réalisation pratique de l'actionneur A2 réalisé par des procédés microélectroniques. Les références utilisées pour la description des figures 2 à 5 seront reprises pour la description de la figure 7 pour désigner les éléments ayant la même fonction. Sur la figure 7, on peut voir les deux actionneurs Al côte à côte comportant chacune une membrane 4, 104, dont la dimension le long de la direction X est avantageusement plus faible que celle selon la direction Y permettant de réduire les risques de flambage. Les deux actionneurs étant de structure similaire seul l'un des deux sera décrit en détail. L'extrémité fixe 4.1 de la membrane 4 est ancrée sur le substrat via un plot d'ancrage 22 s'étendant sur toute la largeur de la membrane et l'extrémité libre 4.1 de la membrane comporte un élément transversal 24 s'étendant sur toute la largeur de la membrane. L'élément transversal 24 est similaire au plot d'ancrage sauf qu'il n'est solidaire que de la membrane 4. L'élément transversal 24 offre une raideur transversale dans le plan de l'extrémité libre de la membrane. L'actionneur comporte également un cadre rigide 26 qui entoure la membrane et dont l'élément transversal 24 forme un des montants. Le cadre rigide 26 est lui-même suspendu au substrat via quatre poutres 28 aptes à de déformer en flexion le long de la direction X. Deux poutres 28 sont connectées à l'élément transversal 24 et sont parallèles à celui-ci et deux poutres sont reliées au montant 30 du cadre parallèle à l'élément transversal 24. Les quatre poutres 28 forment des moyens de guidage en translation du cadre le long de la direction X et de ce fait de l'élément transversal 24 et donc de l'extrémité libre 4.1 de la membrane. Le premier élément mobile 8 est disposé entre les deux actionneurs Al, plus particulièrement entre un montant 30 du cadre entourant 26 la membrane 4 et un montant du cadre entourant la membrane 104, ces montants étant perpendiculaires aux montants reliés aux poutres 28. Le premier élément mobile 8 est relié au montant 30 par deux poutres s'étendant le long de l'axe X et parallèle au montant 30. Le premier élément mobile 8 est également relié au montant du cadre entourant la membrane 104 par deux poutres s'étendant le long de l'axe X. Le deuxième élément mobile 18 est formé par un cadre rectangulaire entourant les deux actionneurs. L'extrémité 8.1 du premier élément mobile 8 est reliée mécaniquement au deuxième élément mobile 18 au niveau d'une face intérieure d'un montant du deuxième élément mobile 18 perpendiculaire à la direction X et situé du côté des extrémités libres des membranes 4, 104. L'extrémité 8.1 du premier élément mobile 8 est reliée mécaniquement au deuxième élément mobile 18 par deux poutres 32 perpendiculaires à l'axe X et déformables en flexion. Le deuxième élément mobile 18 est guidé en translation dans la direction Y au moyens de quatre poutres 34, une paire de poutres 34 parallèles à l'axe X relie à un montant 36 du cadre du deuxième élément mobile 18au substrat, le montant 36 étant parallèle à l'axe X, et une paire de poutres 34 parallèles à l'axe X relie un montant 38 du cadre de l'élément mobile au substrat, le montant 38 étant parallèle à l'axe X. Les poutres 34 sont déforma bles en flexion. Le deuxième élément mobile 18 est suspendu par rapport au substrat par les poutres 34. L'actionneur A2 peut être réalisé avec des techniques de la microélectronique par dépôt de couches et gravure. Sur les figures 8A et 8B, on peur voir un exemple d'un compresseur d'un fluide, par exemple un gaz, mettant en oeuvre deux actionneurs de type de celui de la figure 6, l'un sera désigné A2 et l'autre A2'. Le fluide comprimé peut être de toute sorte par exemple de l'air, de l'isobutane... Le compresseur comporte une enceinte étanche 40 comportant une admission du fluide à basse pression et une évacuation du fluide à haute pression (non représentées). Le compresseur comporte entre l'admission et l'évacuation une zone de compression comprenant deux bras 46, 48 en forme de spirale imbriqués l'un dans l'autre et mobiles l'un par rapport à l'autre. Ils sont conformés et articulés de manière à ce que, du fait de leur déplacement relatif une ou plusieurs poches de fluide se déplacent entre les bras en direction de l'évacuation en voyant leurs volumes se réduire. Chaque spirale comporte au moins un tour voire plusieurs tours pour définir plusieurs poches de fluide. De nombreuses formes de spirales différentes sont possibles pour les bras 46 et 48. Par exemple, il s'agit d'une développante de cercle ou d'une spirale d'Archimède. Chaque bras est relié mécaniquement à un actionneur, le bras 46 est relié rigidement à l'actionneur A2 et le bras 48 est relié rigidement à l'actionneur A2'. Dans l'exemple représenté, le bras 46 et le deuxième élément mobile 18 sont réalisés d'un seul tenant et le bras 48 et le deuxième élément mobile 18' sont réalisés d'un seul tenant. Les deux actionneurs sont orientés l'un par rapport à l'autre de sorte que les mouvements de translation qu'ils génèrent soient perpendiculaires. Ainsi le deuxième élément mobile 18 de l'actionneur A2 et le bras 46 se déplacent le long de la direction Y et le deuxième élément mobile 18' de l'actionneur A2' et le bras 48 se déplacent le long de la direction X. Les deux bras 46 et 48 sont avantageusement réalisés par gravure dans une même couche. En alimentant les deux actionneurs avec les signaux Si et S2, les deuxièmes éléments mobiles 18 et 18' ont un mouvement oscillatoire translatif selon des directions Y et X respectivement. Les bras 46 et 48 ont alors un déplacement relatif oscillatoire qui provoque le déplacement de poches de fluide et leur compression, ce fluide comprimé est récupéré au niveau de l'évacuation. Un tel microcompresseur peut être réalisé par les techniques de la microélectronique et peut être utilisé pour refroidir un composant électronique en comprimant un fluide, par exemple de l'isobutane et en réalisant un cycle de compression - détente, dit cycle de Carnot En variante, on pourrait envisager un compresseur comportant uniquement un actionneur A2 déplaçant un seul piston en translation dans une cavité, de sorte à comprimer le fluide. A titre d'exemple uniquement, nous allons donner un dimensionnement de la partie de compression du compresseur. La surface du compresseur représente 125 mm2. La surface du dépôt piézoélectrique sur les membranes actionneurs est de 31 mm2. Le volume initial Vi = 0,5151 mm2 x 0.5 mm = 0,258 mm3, 0,5 mm étant la hauteur d la zone de compression. Le volume final Vf = 0,0644mm2x 0.5mm = 0,0322 mm3 Le ratio de compression est de : 0,5151/0.0644 = 8 : 1 La cylindrée du compresseur est égale à Vf-Vi = 0,258-0,0322 = 0,226 mm3. Nous allons donner un exemple de dimensionnement de la partie actuation servant à refroidir de 50°C un composant électronique qui dissipe 200mW. Le compresseur met en oeuvre de l'isobutane. Pour cela, l'isobutane est comprimé pour atteindre une différence pression AP=3bars. Par exemple, en considérant un débit de 10.26 urnol/la pression en entrée Rn = 1 bar à Tin = 273 K et la pression en sortie Pot= 4 bars. Connaissant la masse molaire de l'isobutane : 58.12 g/mol, on obtient un débit massique de : 1:n= 10'4g/s La puissance absorbée par l'isobutane est égale à 70,50 mW. Si l'on considère une fréquence de fonctionnement de f = 5kHz, l'énergie par tour pour comprimer le fluide est de 14,10 u.J. Si on considère une amplification de mouvement de : 7/2 = 3.5 Le travail mécanique Wméca est égale à 14uJ = Sachant que le coefficient de conversion mécanique / électrique est de 1%, le travail électrique est : Wélec = 100 Wméca = 1,4.10-3J Or un dépôt PZT (Er = 1300) en couche mince est une capacité et son travail électrique équivaut aussi à : Soit une capacitéC = , soit 1120nF à 50V, 280nF à 100V, 100V étant la tension de claquage de 2um de PZT. Alors pour une actuation à 100V, la surface nécessaire pour réaliser une capacité de 280nF, est de 0,4865 cm2 (48.65mm2), soit un carré de 7mm de côté. Un exemple de procédé de réalisation d'un dispositif selon l'invention mettant en oeuvre les techniques microélectroniques et nanoélectroniques va maintenant être décrit avec les figures 9A à 9J. Il s'agit de réaliser un dispositif MEMS et/ou NEMS. On part d'un substrat 200 représenté sur la figure 9A par exemple en semi-conducteur, par exemple en silicium, ayant par exemple une épaisseur de 550 um. Lors d'une étape suivante, on forme une couche 202 de Si02 par dépôt. La couche 202 a par exemple une épaisseur de 1 um et on forme sur la couche 202 une couche 204 de silicium amorphe, par exemple par dépôt. La couche 204 a par exemple une épaisseur comprise par exemple entre 2 um et 4 um. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 9B. Lors d'une étape suivante, on forme sur la couche 204 une couche 206 de Si02, par exemple par dépôt. La couche 206 a par exemple une épaisseur de et ayant par exemple une épaisseur de 250 nm. Un recuit a ensuite lieu à 800°C pendant par exemple 3h sous 02. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 9C. Lors d'une étape suivante, on retourne l'élément de la figure 9B. Sur la face arrière on forme une couche d'oxyde 208 240°C. On réalise ensuite une photolithographie et une gravure de la couche 208. Une étape de retrait de la résine (« stripping)> en terminologie anglo- saxonne) peut avoir lieu. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 9D. L'élément de la figure 9D est à nouveau retourné et on forme une couche de platine 210 sur la couche 206, par exemple par dépôt. La couche 210 a par exemple une épaisseur de 100 nm par exemple. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 9E. Lors d'une étape suivante, on forme une couche de PZT 212 sur la couche 210. Par exemple on étale du PZT obtenu par un procédé sol-gel sur la couche 210 sur une épaisseur de 350 nm par exemple. On fait ensuite subir un recuit à l'élément, par exemple pendant 1 min à 700°C sous 02. Ensuite on forme une couche the Ruthénium 214 par exemple par dépôt. La couche a par exemple une épaisseur de 100 nm. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 9F. Lors d'une étape suivante, on effectue une photolithographie de la couche de Ruthénium 214 et une gravure, par exemple sur toute son épaisseur, de sorte à délimiter une surface qui correspond sensiblement à celle de la membrane de l'actionneur. Une étape de stripping peut ensuite avoir lieu. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 9G. Lors d'une étape suivante, on va graver les couches 204, 206, 210, 212 et 214 qui formeront la membrane. Pour cela, on effectue une photolithographie pour définir la zone à graver. On effectue ensuite la gravure de la couche 212 par exemple par usinage ionique. On effectue ensuite la gravure de la couche 210 par exemple par usinage ionique. On effectue ensuite la gravure des couches 204 et 206, par exemple par usinage ionique. Une étape de stripping peut ensuite avoir lieu. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 9H. Lors d'une étape suivante, on met en place un élément de protection par exemple un film sec de protection, par exemple par laminage. Dans l'exemple représenté, on scelle un substrat 216, par exemple en silicium ou en verre, qui a été préalablement gravé pour comporter une cavité 218 au niveau de la membrane. L'élément muni du substrat 216 est ensuite retrouvé. On grave alors le silicium par usinage ionique du substrat 200 jusqu'à atteindre la couche d'oxyde 202 afin de créer la membrane, les poutres de guidage et les différentes parties mobiles du MEMS. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 91. Lors d'une étape suivante, on grave la couche d'oxyde 202 de sorte à libérer la membrane 4, les poutres et les paries mobiles du MEMS. Dans le cas d'un film sec, celui-ci est retiré par exemple par stripping. L'élément ainsi réalisé est représenté sur la figure 9J. De préférence, un substrat (non représenté) est scellé sur la couche 208.10 REVENDICATIONS1. Dispositif de transformation d'un mouvement hors-plan en un mouvement dans le plan et/ou inversement comportant au moins un premier élément deformable (4) hors plan, ledit élément deformable (4) comprenant une première extrémité fixe (4.1) ancrée sur un substrat et une deuxième extrémité libre (4.2) par rapport au substrat, ledit dispositif comportant également des moyens de guidage en translation (6) de la deuxième extrémité libre (4.2) dans le plan le long d'une première direction (X), le premier élément deformable (4) étant apte à être déformé hors plan par application d'un stimulus de sorte que la deuxième extrémité libre (4.2) se rapproche de la premier extrémité fixe (4.1) selon un mouvement de translation dans le plan. 2. Dispositif de transformation selon la revendication 1, dans lequel le premier élément deformable (4) est une membrane. 3. Dispositif de transformation selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les moyens de guidage (6) sont formés par des poutres déformables s'étendant perpendiculairement à la première direction (X). 4. Dispositif de transformation selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel le premier élément deformable (4) est un bilame et le stimulus est un apport de chaleur. 5. Dispositif de transformation selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel le premier élément deformable (4) comporte un dépôt d'un matériau électroactif et le stimulus est l'application d'un champ électrique sur ledit dépôt. 6. Dispositif de transformation selon la revendication 5, dans lequel le matériau électroactif est un matériau piézoélectrique et le champ électrique est généré par des électrodes disposées de part et d'autres et/ou de façon coplanaire audit dépôt de matériau piézoélectrique. 7. Système comportant au moins un dispositif selon la revendication 1 à 6 et un élément mobile en rotation (8) autour d'un axe de rotation (Z) orthogonal au plan, ledit élément mobile en rotation (8) étant relié mécaniquement à la deuxième extrémité libre (4.2) de l'élément deformable (4) de telle sorte que, lorsqu'au moins un stimulus est appliqué à l'élément deformable (4), l'élément mobile en rotation (8) soit mis en rotation autour de l'axe de rotation (Z). 8. Système comportant au moins deux dispositifs selon l'une des revendications 1 à 6 et un élément mobile en rotation (8) autour d'un axe de rotation (Z) orthogonal au plan, dans lequel les deux deuxièmes extrémités (4.2, 104.2) libres sont guidées le long de la première direction (X) et dans lequel l'élément mobile en rotation (8) est relié mécaniquement aux deuxièmes extrémités libres (4.2, 104.2) des deux éléments déformables (4, 104) desdits dispositifs. 9. Système comportant au moins deux dispositifs selon l'une des revendications 1 à 6 et un élément mobile au moins en rotation (8) autour d'un axe de rotation (Z) orthogonal au plan, dans lequel l'extrémité (4.2, 104.2) libre d'un des dispositifs est guidée le long de la première direction (X) tandis que l'extrémité libre de l'autre des dispositifs est guidée le long d'une autre direction contenue dans ledit plan et non colinéaire à la première direction et dans lequel l'élément mobile en rotation (8) est relié mécaniquement aux extrémités libres (4.2, 104.2) des éléments déformables (4, 104) desdits dispositifs. 10. Système selon la revendication 7 ou 8 ou 9, dans lequel l'élément mobile en rotation (8) est relié mécaniquement aux extrémités libres (4.2, 104.2) des éléments déformables (4, 104) par des poutres flexibles. 11. Système selon l'une des revendications 7 à 10, comportant un élément mobile en translation (18) dans le plan relié mécaniquement à l'élément mobile en rotation (8) de sorte que la rotation de l'élément mobile en rotation (8) provoque la translation dans le plan de l'élément mobile en translation (18). 12. Système selon la revendication 11, comportant des moyens de guidage en translation dans le plan de l'élément mobile en translation (18). 13. Système selon la revendication précédente, dans lequel les moyens de guidage en translation de l'élément mobile en translation (18) guident l'élément mobile en translation (18) selon une direction (Y) orthogonale à la première direction (X). 14. Système selon l'une des revendications 11 à 13, dans lequel l'élément mobile en rotation (8) est relié mécaniquement à l'élément mobile en translation (18) par des poutres flexibles. 15. Système selon l'une des revendications 11 à 14, dans lequel l'élément mobile en rotation (8) est situé entre les deux éléments déformables (4, 104) et l'élément mobile en translation (18) a la forme d'un cadre entourant les deux éléments déformables (4, 104), l'élément mobile en rotation (8) étant articulé sur un bord intérieur de l'élément mobile en translation (18) en forme de cadre. 16. Actionneur comportant au moins un dispositif de transformation selon l'une des revendications 1 à 6 ou au moins un système selon les revendications 7 à 15 et une unité de commande envoyant un stimulus au(x) dispositifs. 17. Actionneur comportant au moins un système selon la revendication 8 à 15 et une unité de commande envoyant un stimulus à chacun des dispositifs, les stimuli étant déphasés de n. 18. Actionneur en translation comportant au moins un système selon l'une des revendications 11 à 15 et une unité de commande envoyant un stimulus à chacun des dispositifs.30 19. Actionneur en translation selon la revendication 17 ou 18, dans lequel le stimulus est sinusoïdal 20. Compresseur comportant une cavité, un piston mobile dans la cavité, au moins deux actionneurs de translation (A2, A2') selon la revendication 18 ou 19, chacun des pistons (46, 48) étant relié mécaniquement à un élément mobile en translation de sorte que le déplacement relatif des pistons génère une augmentation de pression dans la cavité. 21. Compresseur selon la revendication 20, dans lequel les premier et deuxième pistons (46, 48) sont conformés en spirale et sont imbriqués l'un dans l'autre, de sorte à créer des poches de fluide entre les spirales. 22. Système de récupération d'énergie comportant récupérateur d'énergie comportant au moins un dispositif de transformation selon l'une des revendications 1 à 6 ou au moins un système selon les revendications 7 à 15 et une unité collectant le courant électrique généré par ledit dispositif ou ledit système. 23. Système de récupération d'énergie selon la revendication 22, dans lequel le premier élément deformable (4) comporte un dépôt d'un matériau électroactif qui génère un courant électrique lorsqu'il est déformé, avantageusement un dépôt de matériau piézoélectrique.