Brevet FR3034434A1 — publié le 20161007

INSTALLATION POUR LE TRAITEMENT D'OBJETS PAR PLASMA, ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE DE CETTE INSTALLATION Domaine technique de l'invention L'invention a trait à une installation industrielle, en vue du traitement par plasma d'objets. A titre d'exemple non limitatif, ces derniers peuvent être notamment des objets creux, possédant un volume intérieur délimité par une paroi présentant une face intérieure et une face extérieure. De tels objets sont entre autres des gobelets, des bols, des flacons, des coupes, des barquettes, des pots, des tubes ou encore des moules industriels. L'invention vise plus particulièrement une telle installation, dans laquelle les objets précités subissent au moins deux traitements plasma successifs. L'invention vise tous les types de traitement plasma habituels, parmi lesquels on citera, à titre non limitatif : le nettoyage, la gravure, l'activation, la fonctionnalisation ou encore le dépôt. A titre d'exemple, les objets traités peuvent être recouverts d'au moins deux couches successives. Ces deux couches peuvent être de même nature, auquel cas le dépôt final présente une épaisseur plus élevée que celle obtenue par une phase unique de dépôt. Ces deux couches peuvent aussi être de natures différentes, auquel cas chaque étape de traitement correspond à une couche spécifique. Art antérieur Dans les procédés de traitement plasma traditionnels, on connait deux façons principales, afin de réaliser au moins deux traitements successifs. il est tout d'abord connu de traiter les objets, à l'intérieur d'une chambre plasma unique. Après mise en place des objets dans la chambre, celle-ci est mise sous vide. Un 3034434 2 premier mélange gazeux est alors introduit, afin de générer un premier type de plasma durant un temps de traitement déterminé. Dans le cas où le traitement est un dépôt, ceci conduit à la formation de la première couche, à la surface 5 des objets. Puis on stoppe l'injection des premiers gaz réactifs, lesquels sont évacués. Un deuxième mélange gazeux est ensuite introduit, au sein de la même chambre, afin de déposer une deuxième couche au-dessus de la première couche préalablement formée. De façon analogue, on peut procéder au 10 dépôt d'au moins une couche supplémentaire, au-dessus des deux couches initiales. Ce premier type connu de traitement présente cependant certains inconvénients. En effet, il implique l'arrêt du 15 plasma entre deux étapes successives de formation d'une couche élémentaire, ainsi que le pompage de la chambre pour évacuer les gaz résiduels. Ceci implique une perte de temps substantielle, notamment dans le cas du traitement de nombreuses pièces. Par ailleurs, le pompage précité doit être 20 particulièrement poussé, afin d'éviter tout mélange entre les mélanges gazeux successifs. On citera notamment, en tant que document représentatif de cet état de la technique, US 8 336 448. 25 On connait par ailleurs un procédé alternatif, dans lequel les objets à traiter stationnent dans des chambres plasma successives. Chaque chambre est fermée par des sas qui permettent de garder la composition des gaz homogène dans chaque chambre, durant le traitement. Ce procédé présente des 30 inconvénients, notamment dans le cas de traitements de durées différentes, puisque le traitement le plus lent conditionne la vitesse globale. Par ailleurs, durant le transfert d'une chambre à l'autre, les plasmas doivent être arrêtés. Le 3034434 3 système des sas nécessite l'utilisation et la gestion de manipulateurs sous vide ce qui complique l'appareillage. On citera notamment, en tant que documents représentatifs de cet état de la technique, EP 2 630 271 ou encore 5 DE 10 2008 019427. Enfin on connait, de US 6 296 735, une installation de traitement par plasma. Cette dernière comprend une enceinte susceptible d'être mise sous vide, laquelle renferme des 10 chambres plasma disposées les unes au-dessous des autres, selon une ou deux rangées. De plus, un transporteur permet de déplacer les objets entre une zone de stockage amont et une zone de stockage aval. Ce document ne permet pas de pallier les lacunes, inhérentes aux deux types de solutions 15 industrielles décrites ci-dessus. Compte tenu de ce qui précède, un objectif de la présente invention est de remédier, au moins partiellement, aux inconvénients de l'art antérieur évoqués ci-dessus. 20 Un autre objectif de l'invention est de proposer une installation industrielle permettant de mettre en oeuvre, de façon à la fois simple et efficace, au moins deux traitements plasma successifs, notamment deux traitements plasma 25 différents. Un autre objectif de l'invention est de proposer une telle installation qui autorise une mise en oeuvre rapide, de façon à assurer le traitement d'un nombre élevé d'objets. 30 Un autre objectif de l'invention est de proposer une telle installation qui s'accompagne d'une mise en oeuvre flexible, 3034434 4 de façon à faire varier de façon commode la nature des traitements auxquels sont soumis les objets. Un autre objectif de l'invention est de proposer une telle 5 installation, qui présente une structure relativement simple. Objet de l'invention Selon l'invention, les objectifs ci-dessus sont atteints au 10 moyen d'une installation de traitement de surface d'objets par plasma, comprenant une enceinte, des moyens de mise sous vide de cette enceinte, une zone de stockage des objets à traiter, dite zone de stockage amont, une zone de stockage des objets traités, dite zone de stockage aval, au moins deux 15 chambres de traitement plasma comprenant des moyens d'injection d'un mélange gazeux actif, des moyens de création d'une décharge électrique et des moyens de confinement du plasma dans le volume intérieur de la chambre, des moyens de transport entre les zones de stockage et les chambres, 20 caractérisée en ce que les moyens de transport sont des moyens de convoyage définissant une direction de convoyage, en ce que les différentes chambres sont placées les unes derrière les autres, selon la direction de convoyage, et en ce que les atmosphères des différentes chambres de traitement 25 plasma ne sont pas hermétiques l'une par rapport à l'autre. Selon d'autres caractéristiques de l'installation conforme à l'invention : - au moins une chambre possède des parois latérales, au 30 moins une paroi latérale étant creusée d'au moins une encoche (41 ; 141) permettant le passage des moyens de convoyage et des objets à traiter, les autres parois latérales étant pleines. - la paroi latérale creusée de l'encoche est fixée de 35 manière amovible sur les autres parois de la chambre, et il est prévu au moins une paroi latérale de remplacement, creusée d'une encoche de forme et/ou 3034434 5 dimension différente, adaptée pour se fixer sur ces autres parois latérales. - au moins une chambre, en particulier toutes les chambres, possède(nt) des parois reliées à la masse. 5 - les moyens de confinement du plasma comprennent au moins un magnétron (90 ; 190) reçu dans le volume intérieur de la chambre. - le magnétron comprend au moins un arrangement électromagnétique, dont chacun comprend un ensemble 10 central d'aimants (97, 97'), dont la polarité est tournée dans un premier sens, ainsi qu'un ensemble périphérique d'aimants (96, 96'), entourant l'ensemble central, dont la polarité est tournée dans le sens opposé. 15 - les moyens d'injection comprennent au moins deux réseaux tubulaires (42A, 42B ; 142A ; 142B), placées de part et d'autre de chaque objet, en service, afin de réaliser un dépôt plasma sur deux faces opposées de cet objet. - les moyens de création d'une décharge comprennent au 20 moins une électrode (43 ; 143). - les parois en regard de deux chambres plasma contigües sont distantes et définissent un espace intercalaire (E45, E46), et en ce que des moyens d'aspiration (P45, P46) sont prévus dans ledit espace intercalaire. 25 - les moyens d'injection équipant les au moins deux chambres sont reliés à des sources de mélange gazeux (S40 - S60), au moins deux mélanges gazeux étant de natures différentes. - au moins une parmi la zone de stockage amont et la zone 30 de stockage aval comprend une cage grillagée (120), afin d'empêcher toute mise en contact intempestive des objets avec le plasma. - au moins une chambre comprend des moyens de variation des caractéristiques du plasma, en particulier des 35 moyens (44) de déplacement aptes à déplacer les moyens de création d'une décharge et/ou des moyens (91) de déplacement du magnétron. 3034434 6 - la direction de convoyage est une direction longitudinale. - les moyens de convoyage (30) comprennent une bande sans fin (31), s'étendant selon la direction de convoyage 5 longitudinale. - la zone (20) de stockage des objets à traiter et la zone (70) de stockage des objets traités sont prévues au voisinage des deux extrémités opposées de la bande sans 10 fin. - l'installation comprend en outre une chambre annexe de mise sous vide (80) et/ou une chambre annexe de remise à l'atmosphère ambiante (80'), séparées par rapport à la zone de stockage des pièces à traiter (20) et à la zone 15 de stockage des pièces traitées (70), par des moyens d'accès hermétique (82, 82'), notamment par un sas. - au moins deux chambres plasma présentent des dimensions principales différentes, selon la direction de convoyage, de sorte que les temps de traitement dans ces 20 deux chambres sont différents. - la direction de convoyage est une direction circulaire. - les moyens de convoyage comprennent un plateau rotatif (130), présentant une surface de support, afin de maintenir les objets à traiter. 25 - les parois frontales de la chambre sont creusées d'un tronçon (141A) de passage du plateau, débouchant sur la paroi latérale intérieure (140C), cette paroi latérale intérieure étant creusée d'une entaille (141D) de passage du plateau. 30 - la zone de stockage amont (120) et la zone de stockage aval sont confondues. Les objectifs ci-dessus sont également atteints au moyen d'un procédé de mise en oeuvre de l'installation telle que ci-35 dessus, dans lequel - on met sous vide l'enceinte, - on génère un plasma respectif dans chaque chambre de traitement 3034434 7 - on met en mouvement les moyens de convoyage, de manière à faire circuler les objets dans les chambres plasma, depuis la zone de stockage amont vers la zone de stockage aval. 5 Selon d'autres caractéristiques du procédé conforme à l'invention : - on met en mouvement les moyens de convoyage selon la direction longitudinale, on fait circuler un premier lot 10 d'objets dans les chambres plasma depuis la zone de stockage amont vers la zone de stockage aval, et on évacue le premier lot hors de la zone de stockage aval et on admet un lot suivant dans la zone de stockage amont, tout en maintenant l'enceinte sous vide et tout 15 en continuant à mettre en mouvement les moyens de convoyage. - on met en mouvement les moyens de convoyage selon la direction circulaire, et on fait varier la vitesse de rotation de ces moyens de convoyage pendant le séjour 20 des objets dans au moins une chambre. - on met en mouvement les moyens de convoyage selon la direction circulaire, selon plus d'une révolution, afin de faire passer les objets au moins deux fois à l'intérieur au moins une chambre de traitement plasma. 25 - on injecte des mélanges gazeux différents, dans au moins deux chambres, de manière à générer des plasmas de natures différentes dans ces chambres. - on traite des objets creux, possédant un volume intérieur délimité par une paroi présentant une face 30 intérieure et une face extérieure. Le fait de prévoir des moyens de convoyage, qui permettent de faire circuler les objets à traiter dans les différentes chambres plasma, assure une mise en oeuvre continue. En 35 particulier, il n'est pas nécessaire de faire appel à un bras de manipulation ou analogue entre deux traitements plasma successifs, tel qu'enseigné notamment par US 6 296 735. 3034434 8 Par ailleurs, étant donné que les atmosphères des différentes chambres de traitement plasma ne sont pas hermétiques les unes par rapport aux autres, l'invention permet de s'affranchir de l'emploi de sas entre ces chambres. Ceci 5 assure donc une simplification et une accélération de la mise en oeuvre de cette installation, ce qui autorise des cadences de travail élevées. De surcroît, la structure globale de l'installation s'en trouve allégée. 10 Enfin l'invention fait appel à des moyens permettant de confiner les mélanges gazeux injectés, ainsi que les plasmas générés. Tout mélange inacceptable est de ce fait évité, d'une part entre les mélanges gazeux injectés dans des chambres voisines, d'autre part entre les plasmas générés 15 dans ces chambres. Par conséquent, l'invention assure la mise en oeuvre fiable d'un dépôt faisant intervenir des couches différentes les unes des autres, sur un même objet. Le confinement entre les mélanges gazeux peut être en 20 particulier d'ordre physique. A cet effet, on peut notamment prévoir de réaliser chaque chambre avec des parois délimitant un espace de fuite minimal pour les gaz. Le confinement entre les plasmas peut être tout d'abord 25 d'ordre électro-physique, par exemple en reliant à la masse les parois qui délimitent les chambres. En substitution ou en complément, il peut être d'ordre électromagnétique, grâce par exemple à la présence d'un magnétron. 30 Description des figures L'invention va être décrite ci-après, en référence aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemples non limitatifs, dans lesquels: 35 Les figures 1 et 2 sont des vues, respectivement de côté et de dessus, illustrant une installation conforme à un premier mode de réalisation de l'invention. 3034434 9 La figure 3 est une vue en perspective, illustrant des moyens de dépilage appartenant à l'installation des figures 1 et 2. Les figures 4 et 5 sont des vues illustrant, respectivement de face et de côté, l'intérieur d'une chambre plasma 5 appartenant à l'installation des figures précédentes. La figure 6 est une vue de dessus illustrant cette chambre plasma. Les figures 7 et 8 sont des vues respectivement en perspective et de dessus, illustrant un magnétron appartenant 10 à l'installation des figures précédentes. La figure 9 est une vue en perspective d'un aimant appartenant au magnétron des figures 7 et 8. Les figures 10 et 11 sont des vues, respectivement de dessus et en bout, illustrant une installation conforme à un second 15 mode de réalisation de l'invention. Les figures 12 et 13 sont des vues illustrant, respectivement de face et de côté, l'intérieur d'une chambre plasma appartenant à l'installation des figures 10 et 11. 20 Les références numériques suivantes sont utilisées dans la présente description: 10 Enceinte 20 Poste de dépilage G Gobelets P1 à P10 Piles d'objets 21, 22 Barres de dépilage 23 Bras 24 Corps de 23 25 Tête de 23 26 Ailes de 25 28 Elements de transmission 30 Convoyeur 31 Bande de convoyage F30 Direction de convoyage 32 Traverses 33 Supports 34 Patin de 33 D32 Distance entre traverses 40, 50, 60 Chambres plasma L40 longueur de 40 140 largeur de 40 H40 hauteur de 40 L50 longueur de 50 L60 longueur de 60 40A,40B Parois frontales de 40 40C,40D Parois latérales de 40 40E Paroi supérieure de 40 40F Paroi inférieure de 40 41 Encoche 41A Tronçon horizontal de 41 41B Tronçon vertical de 41 3034434 10 41C Lumière de 41 42A Réseau supérieur tubulaire 42B Réseau inférieur tubulaire 540, 550, 560 Sources gazeuses 43 Electrode 44 Tiges F43 Déplacement de 43 70 Poste d'empilage 80, 80' Chambres annexes 82, 82' Sas 90 Magnétron 91 Tiges F90 Déplacement de 90 92, 93 Plaques 94, 94' Gorges périphériques 95, 95' Gorges centrales 96, 96' Aimants périphériques 97, 97' Aimants centraux N, S Pôles de 96 L90 Longueur de 90 131 Largeur de 31 D45,D56 Distances entre chambres E45,E56 Espaces entre chambres P45,P46 Moyens de pompage I à IV lots d'objets R1 à Rn Rangées d'objets 110 Enceinte 111 Moyens de mise sous vide 112 Porte 120 Cage de stockage 130 Convoyeur 132 Tige 140,150 Chambres 140A - 140F parois de 140 141 Encoche 141A Tronçon horizontal de 141 141B Tronçon vertical de 141 141C Lumière de 141 141D Entaille 142A,142B Moyens d'injection 143 Electrode 190 Magnétron Description détaillée Les figures 1 à 9 décrivent un premier mode de réalisation, 5 dans lequel les objets à traiter sont déplacés linéairement, en d'autres termes selon un mouvement de translation. L'installation conforme à l'invention comprend tout d'abord une enceinte, désignée dans son ensemble par la référence 10. Cette enceinte, de forme allongée, est sensiblement fermée et 10 se trouve avantageusement placée en permanence sous vide, en service. A cet effet elle est pourvue de moyens de mise sous vide, qui seront décrits plus en détail dans ce qui suit. L'enceinte 10 possède des parois minces, réalisées en un 15 matériau conducteur ou non. On choisira un matériau 3034434 11 suffisamment résistant, pour résister à la mise sous vide en service. Il s'agira par exemple d'un matériau métallique, tel l'acier inoxydable ou l'aluminium, ou encore de verre. Les dimensions de cette enceinte sont choisies en fonction de la 5 quantité horaire d'objets à traiter. A titre purement indicatif, sa longueur est comprise entre 2 et 5 mètres, sa largeur est comprise entre 0.5 et 1.5 mètres, alors que sa hauteur est comprise entre 1.5 et 2.5 mètres. 10 L'enceinte est équipée d'un poste 20 de dépilage des objets à traiter, d'un convoyeur 30, de trois chambres plasma 40, 50 et 60, ainsi que d'un poste 70 d'empilage des objets une fois traités. Enfin on retrouve, respectivement en amont et en aval de l'enceinte 10, deux chambres annexes 80 et 80' dont 15 la structure et la fonction seront détaillées dans ce qui suit. Ces chambres communiquent avec l'enceinte, via des moyens d'accès respectifs 82 et 82'. Ces derniers, qui sont de type sas ou analogue, peuvent créer de façon sélective une étanchéité entre l'enceinte et l'une ou l'autre des chambres 20 annexes précitées. Le poste 20 est destiné au dépilage des objets à traiter qui sont, dans l'exemple illustré, des gobelets G. Comme illustré notamment en figure 3, qui montre le poste 20 sous un angle 25 différent par rapport aux figures 1 et 2, ces gobelets sont agencés selon plusieurs piles Pl à P10 disposées les unes à côté des autres, de manière à former des rangées disposées les unes derrière les autres. Ce poste 20 comprend tout d'abord deux barres de dépilage 21 et 22, mobiles en 30 translation selon un mouvement de va-et-vient. Le poste comprend en outre un bras 23, comportant un corps allongé 24 et une tête de maintien 25 en forme de U. Les ailes 26 de cette tête 25 peuvent être fixes ou bien, comme dans 3034434 12 l'exemple illustrées, être éloignées ou rapprochées mutuellement. Les mouvements des barres 21, 22 et du bras 23, qui seront 5 détaillés dans ce qui suit, sont impartis par des moyens moteurs non représentés. De façon avantageuse, ces moyens moteurs sont situés en dehors de l'enceinte 10. On notera que, sur la figure 3, certains éléments de transmission 28 sont représentés, lesquels sont intercalés cinématiquement 10 entre les moyens moteurs et les barres 21, 22 et le bras 23. Le convoyeur 30 comprend tout d'abord une bande de convoyage 31, formant une boucle sans fin qui peut être mise en mouvement selon la direction principale de l'enceinte, par 15 des moyens moteurs classiques non représentés. La flèche F30, visible sur les figures 1 et 2, matérialise la direction longitudinale de convoyage de ce premier mode de réalisation. Par ailleurs des traverses 32, visibles notamment en figure 3, sont régulièrement réparties le long de cette bande. 20 Chacune de ces traverses 32 est solidaire de supports 33, destinés à soutenir les objets durant les opérations de traitement. La forme et les dimensions des supports 33 sont adaptées aux 25 objets à traiter. Dans l'exemple illustré, chaque support 33 présente globalement la forme d'un S, en étant pourvu d'un patin d'extrémité 34, assurant un appui satisfaisant au gobelet avec lequel il coopère. La distance D32 séparant deux traverses adjacentes est choisie en fonction de la dimension 30 des gobelets, afin notamment d'éviter tout contact intempestif entre les gobelets de deux rangées adjacentes. 3034434 13 On va maintenant décrire la structure de la chambre 40, étant entendu que la structure des autres chambres 50 et 60 est analogue. La chambre 40, de forme parallélépipédique, présente à titre indicatif les dimensions suivantes : 5 - longueur L40 comprise entre 0.1 et 1.5 mètre - largeur 140 comprise entre 0.1 et 1.5 mètre - hauteur h40 comprise entre 0.05 et 1.0 mètre. On conçoit que, puisque la bande sans fin 31 défile à une vitesse constante, la longueur L40 va influer sur le temps de 10 résidence des gobelets dans la chambre 40 et, de ce fait, sur la durée de la phase de traitement mise en oeuvre dans cette chambre. Par conséquent, moyennant des longueurs de chambres L40, L50 et L60 différentes les unes des autres, on peut réaliser des phases de traitement de durées différentes dans 15 ces chambres. La chambre 40 est délimitée par six parois, soit des parois frontales avant 40A et arrière 40B, deux parois latérales 40C et 40D, ainsi que des parois supérieure 40E et inférieure 20 40F. Ces parois, dont l'épaisseur est par exemple comprise entre 0.1 et 1.0 mètre, sont réalisées en un matériau conducteur, tel de l'acier inoxydable, et sont reliées à la masse. La chambre est fixée contre les parois de l'enceinte grâce à tout moyen approprié, non représenté. 25 Les parois latérales 40C, 40D, supérieure 40E et inférieure 40F sont de préférence pleines. En revanche, chaque paroi frontale 40A, 40B est creusée d'une encoche respective 41, destinée au passage de la bande, des supports et des 30 gobelets. A cet effet, chaque encoche se compose d'un tronçon horizontal 41A coopérant avec la bande, d'une pluralité de tronçons verticaux 41B, dont chacun coopère avec un support 3034434 14 respectif, ainsi que d'une pluralité de lumières 41C, dont chacune coopère avec un gobelet respectif. Chaque encoche frontale est adaptée aux dimensions de la 5 bande, des supports et des gobelets, en ce sens qu'elle autorise le passage de ces éléments tout en ménageant un espace intercalaire qui soit le plus faible possible. Ceci permet de confiner le volume intérieur de la chambre plasma, afin de limiter les fuites de mélange gazeux en dehors de ce 10 volume. On conçoit qu'une géométrie donnée d'encoches n'est pas nécessairement bien adaptée, si on modifie la forme et/ou les dimensions de la bande et/ou des supports et/ou des objets à 15 traiter. Il est donc avantageux de prévoir que les parois frontales 40A et 40B sont fixées de façon amovible, par tout moyen approprié, sur les autres parois de la chambre. Ces parois frontales peuvent alors être remplacées, le cas échéant, par au moins un jeu de parois frontales 20 supplémentaires, dans lesquelles sont ménagées des encoches différentes quant à leur forme et/ou leurs dimensions. La chambre 40 comprend en outre des moyens d'injection en mélange gazeux actif, susceptible de former un plasma en 25 service. De façon avantageuse, ces moyens d'injection comprennent un premier réseau tubulaire 42A, dit supérieur, placé au-dessus des gobelets, ainsi qu'un second réseau tubulaire 42B, dit inférieur, placé au-dessous des gobelets. Ces deux réseaux permettent d'homogénéiser la distribution 30 des gaz, afin de traiter les deux faces opposées des gobelets, respectivement extérieure et intérieure, lors d'une même étape de traitement. 3034434 15 Ces réseaux sont alimentés par une source S40 de mélange gazeux, prévue par exemple en dehors de l'enceinte. Le passage des différents tubes, au travers des parois de chaque chambre et, le cas échéant, au travers des parois de 5 l'enceinte, est réalisé de façon étanche. On note également S50 et S60 les sources de mélanges gazeux, destinés à être injectés dans les chambres 50 et 60. Afin de permettre des traitements de natures différentes dans les chambres 40, 50 et 60, les mélanges gazeux provenant des sources S40 à S60 10 sont également différents. Les sources S40 à S60 sont illustrées sur la figure 1, la source S40 étant également représentée de façon schématique sur la figure 6. En revanche, sur la figure 1, les différents 15 réseaux tubulaires d'injection, communiquant avec ces sources, ne sont pas illustrés. La chambre 40 comprend en outre une électrode métallique plane, désignée dans son ensemble par la référence 43. Cette 20 électrode, qui peut être refroidie par tout moyen approprié, non représentée, est reliée au potentiel d'un générateur non représenté, de type classique. La contre-électrode est constituée par une autre plaque métallique, non représentée, placée sous la bande sans fin 31 du convoyeur. Elle est 25 isolée électriquement des parois de l'enceinte et peut être laissé au potentiel flottant, ou encore être connectée au générateur ou à la masse. L'électrode 43 est supportée par des tiges de suspension 44 30 isolantes, lesquelles sont montées coulissantes par rapport à la paroi supérieure de la chambre. Dans ces conditions, la hauteur de cette électrode peut être modifiée, selon la flèche F43, afin de faire varier les caractéristiques du 3034434 16 plasma. Les électrodes des trois chambres plasma sont reliées à des générateurs différents, ce qui permet de faire des traitements à des puissances et des pressions différentes. Par ailleurs, ces générateurs peuvent avantageusement être 5 synchronisés, ce qui permet d'éviter les perturbations électromagnétiques. En partie basse de la chambre 40, à savoir au-dessous de la bande 31, il est prévu un magnétron désigné dans son ensemble 10 par la référence 90. Ce magnétron est supporté par des tiges de suspension 91 isolantes, analogues à celles 44, lesquelles sont montées coulissantes par rapport à la paroi inférieure de la chambre. Dans ces conditions, la hauteur de ce magnétron peut être modifiée, selon la flèche F90, afin de 15 faire varier les caractéristiques du plasma. Ce magnétron peut être associé à un circuit de refroidissement, non représenté. De façon avantageuse il est isolé électriquement et peut être placé au potentiel 20 flottant, ou bien encore être connecté au générateur ou à la masse. Dans l'exemple illustré, comme montré aux figures 7 et 8, le magnétron 90 comprend deux plaques métalliques 92 et 93, éventuellement refroidies. L'une 92 de ces plaques est pleine, alors que l'autre 93 est creusée de différentes 25 gorges. On retrouve deux gorges identiques 94 et 94', en forme de boucle rectangulaire, à l'intérieur de chacune desquelles est creusée une gorge rectiligne respective 95 et 95'. 30 Chaque gorge périphérique 94 et 94' reçoit une série d'aimants 96 et 96', placés les uns derrière les autres selon une boucle fermée. La figure 9 illustre l'un de ces aimants 96, dont le pôle Nord N est tourné vers le haut. Par 3034434 17 ailleurs, une deuxième série d'aimants 97, 97' est placée dans une gorge centrale respective 95, 95'. Le pôle Sud de ces aimants intérieurs 97, 97' est tournée vers le haut, à sa voir que leur polarité est opposée de celle des aimants 5 périphériques 96, 96'. Le magnétron permet de confiner, en service, le plasma généré dans une chambre donnée et, de ce fait, de réduire la contamination avec les plasmas produits dans les autres 10 chambres de l'installation. Ce confinement est également réalisé grâce à la présence des parois de la chambre, lesquelles sont reliées à la masse. On notera que ce confinement est mis en oeuvre, sans que l'atmosphère de chaque chambre ne soit rendue hermétique, notamment par un 15 système de sas. Dans l'exemple illustré, le magnétron comprend deux agencements électromagnétiques adjacents et identiques, dont chacun est formé par une série d'aimants intérieurs 97 ou 20 97', entourée par une série d'aimants périphériques 96 ou 96' s'étendant en boucle fermée. A titre de variante, on peut prévoir que le magnétron est formé par un unique agencement de ce type, ou encore qu'il comporte un nombre d'agencements supérieur à deux. 25 L'utilisation d'un magnétron est également avantageuse, en ce qu'elle augmente le bombardement ionique, ce qui induit une densification des couches lors de la phase de dépôt. Cette utilisation augmente également la vitesse de croissance et 30 l'adhésion entre la couche nanométrique et le substrat à traiter, qui peut être réalisé en divers matériaux tels du plastique, du métal, du verre ou encore de la céramique. 3034434 18 Les aimants composant le magnétron peuvent être de forces et de dimensions différentes, en fonction des configurations opératoires. On peut également utiliser des électro-aimants, au lieu d'aimants permanents. En référence à la figure 8, il 5 est avantageux que la longueur L90 du magnétron, à savoir la plus grande distance de chaque série périphérique d'aimants 96 ou 96', soit supérieure à la largeur 131 de la bande sans fin. Ceci permet en effet d'améliorer l'effet technique du magnétron. 10 On note D45 et D56 les distances entre deux chambres contigües, séparant leurs parois adjacentes. De façon typique, chacune de ces distances est comprise entre 5 et 20 centimètres. On note E45 et E56 les espaces intercalaires, 15 délimités entre chaque couple de chambres. De façon avantageuse, des moyens de pompage P45 et P46 sont placés dans chacun de ces espaces, ce qui permet d'éviter tout contact intempestif entre les fractions gazeuses susceptibles de s'échapper hors des différentes chambres. Ces moyens de 20 pompage P45 et P46 constituent aussi, de façon avantageuse, les moyens de mise sous vide de l'enceinte 10. La mise en oeuvre de l'installation, décrite ci-dessus en référence aux figures 1 à 9, va maintenant être explicitée 25 dans ce qui suit. On suppose que différents lots de gobelets doivent être traités au moyen de cette installation. Chaque lot I à IV est formé de rangées R1 à Rn, dont chacune est constituée de 30 différentes piles les unes à côté des autres, comme montré en figure 3. 3034434 19 En vue du traitement du tout premier lot, on réalise une phase de préparation préalable. A cet effet on place tout d'abord l'enceinte sous vide, à une pression typiquement inférieure à 1.10-3 mbar. Les différents mélanges gazeux sont 5 ensuite introduits dans chaque chambre plasma, depuis les sources S40 à S60, pour conférer une pression stable, typiquement comprise entre 10-2 et 5.10-1 mbar, à l'intérieur de chaque chambre. Un temps de stabilisation est ensuite observé, typiquement compris entre 1 et 10 secondes. Chaque 10 plasma est alors généré, de façon connue en soi, dans une chambre respective. Après un temps de stabilisation typiquement de quelques secondes, la bande sans fin est mise en mouvement, puis n'est avantageusement pas arrêtée durant la suite de la mise en oeuvre. 15 En référence aux figures 1 et 2, on suppose qu'un premier lot I est en cours de traitement dans l'enceinte, un autre lot II est en attente dans la chambre amont 80, un lot supplémentaire III est en attente à l'extérieur, alors qu'un 20 dernier lot IV vient d'être traité et se trouve dans la chambre aval 80'. On dépile tout d'abord les rangées successives du lot I, afin de les admettre sur la bande sans fin 31. 25 A cet effet, les barres 21 et 22 sont mises en mouvement (flèche F21) afin d'autoriser la chute par gravité d'un unique gobelet G'l à G'10 située au bas de chaque pile. Ce gobelet est alors pris en charge par la tête 25 du bras 23, lequel est mis en mouvement (flèche F23), d'une part en 30 translation horizontale à la même vitesse que la bande 31 et, d'autre part, en translation vers le bas en direction de cette bande. Lorsque chaque tête est à proximité d'un support 3034434 20 respectif, elle libère le gobelet qu'elle maintenait par écartement des ailes 26 (flèches F26). Chaque gobelet repose alors sur un support respectif, puis 5 est déplacé en translation le long des différentes chambres. Il subit alors trois traitements appropriés, de même nature ou de natures différentes comme cela a été explicité ci-dessus. Etant donné que la vitesse de la bande est avantageusement maintenue constante, les temps de chaque 10 traitement individuel peuvent être ajustés en fonction de la longueur des chambres. Après avoir été soumis à ces traitements successifs, les gobelets du lot I sont à nouveau agencés sous forme de piles, 15 de façon connue en soi, dans le poste 70. Durant le traitement de ce lot I, le lot II est placé dans la chambre amont 80, au sein de laquelle il est mis sous vide, alors que le lot IV est placé dans la chambre aval 80', au sein de laquelle il est remis à atmosphère ambiante. On notera que, 20 pendant ces phases respectives de mise sous vide et de remise à l'ambiante, on active les moyens de séparation 82 et 82', de sorte qu'il y a étanchéité entre les volumes intérieurs de l'enceinte 10 et des deux chambres annexes 80, 80'. 25 Une fois que tous les gobelets du lot I sont remis en pile dans la zone de stockage aval 70, on évacue le lot IV hors de la chambre annexe aval 80'. On place cette dernière sous vide, tout comme la chambre annexe amont 80. On transfère alors le lot I de l'enceinte vers cette chambre aval 80', et 30 on admet le lot suivant II dans l'enceinte, depuis la chambre amont 80. 3034434 21 On rétablit ensuite l'étanchéité entre l'enceinte et ces deux chambres annexes, puis on traite le lot II de façon identique à celle décrite ci-dessus pour le lot I. Durant le traitement du lot II, on admet le lot III dans la chambre amont et on 5 met celle-ci sous vide, alors qu'on remet à l'ambiante le lot I dans la chambre aval. De façon avantageuse, la bande sans fin est continuellement mise en mouvement et l'enceinte est en permanence placée sous 10 vide, sans risque de dysfonctionnement. En effet, lorsque l'enceinte est en communication avec les chambres annexes, ces dernières se trouvent sous vide. De plus, lorsque ces chambres annexes communiquent avec l'extérieur, pour le transfert des lots traités/à traiter, ces chambres sont alors 15 hermétiquement isolées par rapport à l'enceinte. Les figures 10 à 13 décrivent un second mode de réalisation, dans lequel les objets à traiter sont déplacés selon un mouvement de rotation. Sur ces figures 10 à 13, les éléments 20 mécaniques analogues à ceux des figures 1 à 9 y sont affectés des mêmes numéros de référence, augmentés de 100. L'installation conforme à ce second mode de réalisation comprend tout d'abord une enceinte 110, pourvue de moyens de 25 mise sous vide, représentés de façon schématique et affectés de la référence 111. Cette enceinte 110 possède des parois minces, analogues à celles de l'enceinte 10. Elle est équipée d'une porte 112, permettant l'accès à son volume intérieur. Cette enceinte 110, qui est de forme cylindrique, présente 30 une forme moins allongée que l'enceinte 10. A titre purement indicatif, sa longueur est comprise entre 0.5 et 2.0 mètres, alors que son diamètre est compris entre 0.5 et 1.5 mètre. 3034434 22 L'enceinte est équipée d'un poste 120 de stockage, d'un convoyeur 130, ainsi que de deux chambres plasma 140 et 150. Le convoyeur est formé par un plateau, réalisé par exemple sous forme d'un disque en aluminium. A titre non limitatif, 5 l'épaisseur de ce disque est comprise entre 0.5 et 2.0 centimètres, notamment voisine de 1 centimètre, alors que son diamètre est compris entre 40 et 140 centimètres, notamment voisin de 80 centimètres. 10 Le poste de stockage 120 est avantageusement réalisé sous la forme d'une cage grillagée, reliée à la masse. Cet agencement permet de protéger les objets stockés dans la cage, à l'égard d'un plasma s'échappant en quantité substantielle d'une des chambres 140, 150. Par conséquent, le temps de traitement des 15 objets est parfaitement maîtrisé, puisqu'il est limité au temps de séjour à l'intérieur des chambres plasma. Le plateau 130 est supporté par une tige métallique 132, elle-même reliée à un moteur non représenté, placé à 20 l'extérieur de l'enceinte. Le plateau peut donc entrer en rotation autour de l'axe principal de la tige, à savoir qu'il peut typiquement pivoter autour de cet axe vertical. La flèche F130, visible sur la figure 10, matérialise la direction de convoyage circulaire de ce second mode de 25 réalisation. Comme cela sera détaillé dans ce qui suit, le moteur présente une vitesse variable, de sorte qu'on peut moduler la vitesse du plateau 130 entre chaque chambre pour modifier le temps de traitement. 30 De façon avantageuse, ce plateau est isolé électriquement grâce à un support isolant, non représenté, interposé entre le plateau et la tige. Deux balais également non représentés, réalisés par exemple en carbone ou analogue, permettent de 3034434 23 connecter le plateau indifféremment à la masse ou au retour du générateur équipant chaque chambre plasma. Comme dans le premier mode de réalisation, le plateau est pourvu de supports non représentés, en vue du maintien des objets à 5 traiter. Dans le cas où ces supports sont conducteurs, ils peuvent être conçus pour servir d'antennes et modifier la répartition du champ électrique au voisinage des objets. Les chambres 140 et 150, qui sont sensiblement identiques, 10 sont globalement analogues à celles 40 à 60 du premier mode de réalisation. Ainsi la chambre 140 possède six parois, dont les parois latérale 140D, supérieure 140E et inférieure 140F sont pleines. Chaque paroi frontale 140A, 140B est creusée d'une encoche respective 141, destinée au passage du plateau, 15 des supports et des objets. La forme de l'encoche 141 diffère de celle 41 du premier mode, en ce que le tronçon horizontal 141A, coopérant avec le plateau, débouche sur la paroi latérale interne 140C de la 20 chambre 140. Cette paroi 140C est par ailleurs creusée d'une entaille 141D, autorisant le déplacement du plateau, laquelle s'étend entre les faces frontales opposées. Les tronçons verticaux 141B et les lumières 141C de l'encoche 141 sont en revanche analogues aux éléments 41B et 41C, décrits notamment 25 en référence à la figure 4. Comme dans le premier mode, chaque encoche autorise le passage du plateau, des supports et des objets à traiter, tout en ménageant un espace intercalaire qui soit le plus 30 faible possible. On peut prévoir que les parois frontales 140A et 140B sont fixées de façon amovible, par tout moyen approprié, sur les autres parois de la chambre. Par ailleurs chaque chambre 140, 150 est équipée, comme dans le premier 3034434 24 mode de réalisation, de moyens d'injection 142A et 142B, d'une électrode 143 et d'un magnétron 190. En service, on place tout d'abord les objets à traiter sur le 5 plateau, puis on met en oeuvre une phase de préparation préalable, de manière analogue à ce qui a été décrit ci-dessus pour le premier mode de réalisation. Ainsi, on place l'enceinte sous vide, puis on admet les différents mélanges gazeux, on observe un temps de stabilisation et on génère 10 chaque plasma dans une chambre respective. Après un temps de stabilisation, le plateau est entrainé en rotation, de sorte que les objets à traiter circulent dans chaque chambre, afin de subir le traitement souhaité. 15 Contrairement au premier mode de réalisation, le temps de traitement au sein d'une chambre donnée peut être modifié en jouant, non pas sur les dimensions de la chambre, mais sur la vitesse de rotation. Ainsi, si on ralentit le plateau, sa durée de séjour est rallongée et le temps de traitement est 20 augmenté. De plus, on peut prévoir de faire pivoter le plateau selon plus d'une révolution, en particulier au moins deux tours complets. De la sorte, les objets supportés par ce plateau 25 subissent plusieurs traitements successifs dans une même chambre. D'un tour à l'autre, on peut également modifier la nature du mélange gazeux injecté. Par exemple, on peut injecter tout d'abord un mélange de prétraitement dans la chambre 140 en vue du premier tour des objets puis, lors de 30 la rotation suivante, soumettre ces derniers à un autre mélange gazeux au sein de cette même chambre, afin de revêtir la surface de ces objets. 3034434 25 Enfin, dès que les objets ont subi la dernière étape de traitement prévue, ils sont à nouveau dirigés dans la cage grillagée du poste 120, ce qui leur évite d'être soumis de manière intempestive à un plasma. On arrête ensuite chaque 5 plasma, avant d'évacuer les mélanges gazeux résiduels. Enfin, le volume intérieur de l'enceinte est remis à pression atmosphérique, afin d'extraire les objets traités. REVENDICATIONS1. Installation de traitement de surface d'objets par plasma, 5 comprenant - une enceinte (10 ; 110) - des moyens (P45, P46) de mise sous vide de cette enceinte, - une zone de stockage des objets à traiter, dite zone de 10 stockage amont (20 ; 120) - une zone de stockage des objets traités, dite zone de stockage aval (70 ; 120), - au moins deux chambres (40, 50, 60 ; 140, 150) de traitement plasma comprenant des moyens (42A, 42B ; 15 142A ; 142B) d'injection d'un mélange gazeux actif, des moyens (43 ; 143) de création d'une décharge électrique et des moyens de confinement du plasma dans le volume intérieur de la chambre, - des moyens de transport (30 ; 130) entre les zones de 20 stockage et les chambres, caractérisée en ce que les moyens de transport sont des moyens de convoyage (30 ; 130) définissant une direction de convoyage (F30 ; F130), en ce que les différentes chambres sont placées les unes 25 derrière les autres, selon la direction de convoyage, et en ce que les atmosphères des différentes chambres de traitement plasma ne sont pas hermétiques l'une par rapport à l'autre. 30 2. Installation selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'au moins une chambre possède des parois latérales, au moins une paroi latérale étant creusée d'au moins une encoche (41 ; 141) permettant le passage des moyens de convoyage et des objets à traiter, les autres parois latérales étant 35 pleines. 3034434 27 3. Installation selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'au moins une chambre, en particulier toutes les chambres, possède(nt) des parois reliées à la masse. 4. Installation selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que les moyens de confinement du plasma comprennent au moins un magnétron (90 ; 190) reçu dans le volume intérieur de la chambre. 5. Installation selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que les moyens d'injection équipant les au moins deux chambres sont reliés à des sources de mélange gazeux (S40 - S60), au moins deux mélanges gazeux étant de natures différentes. 6. Installation selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'au moins deux chambres plasma présentent des dimensions principales différentes, selon la direction de convoyage, de sorte que les temps de traitement dans ces deux chambres sont différents. 7. Procédé de mise en oeuvre de l'installation selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel - on met sous vide l'enceinte, - on génère un plasma respectif dans chaque chambre de traitement - on met en mouvement les moyens de convoyage, de manière à faire circuler les objets dans les chambres plasma, depuis la zone de stockage amont vers la zone de stockage aval. 8. Procédé selon la revendication 7, dans lequel - on met en mouvement les moyens de convoyage selon une direction longitudinale, - on fait circuler un premier lot d'objets dans les chambres plasma depuis la zone de stockage amont vers la zone de stockage aval, 3034434 28 - on évacue le premier lot hors de la zone de stockage aval et on admet un lot suivant dans la zone de stockage amont, tout en maintenant l'enceinte sous vide et tout en continuant à mettre en mouvement les moyens de 5 convoyage. 9. Procédé selon la revendication 7, dans lequel - on met en mouvement les moyens de convoyage selon une direction circulaire, 10 - on fait varier la vitesse de rotation de ces moyens de convoyage pendant le séjour des objets dans au moins une chambre. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 9, 15 dans lequel on injecte des mélanges gazeux différents, dans au moins deux chambres, de manière à générer des plasmas de natures différentes dans ces chambres.