Brevet FR3032768A1 — publié le 20160819

JOINT BARRIÈRE POUR MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE La présente invention concerne un joint barrière destiné à être utilisé avec un mandrin électrostatique dans un équipement de gravure au plasma, et plus particulièrement un joint barrière qui peut être monté dans une rainure du mandrin électrostatique avec de multiples parties d'étanchéité. Un équipement de gravure au plasma classique est représenté sur la Figure 9. L'équipement de gravure au plasma comprend un mandrin électrostatique 90. Le mandrin électrostatique 90 comprend un élément supérieur 91 qui est fait de matériaux céramiques diélectriques, un élément inférieur 92 et une couche de liaison souple 93. La couche de liaison 93 est reliée à l'élément supérieur 91 et à l'élément inférieur 92. Le mandrin électrostatique 90 comprend en outre un élément d'extension 100 autour du mandrin électrostatique 90. Il y a un intervalle 110 et une rainure 113 entre le mandrin électrostatique 90 et l'élément d'extension 100. Un gaz plasma 120 peut s'écouler dans l'espace entre le mandrin électrostatique 90 et l'élément d'extension 100 à travers l'intervalle 110, et le gaz plasma 120 pénètre en outre dans la rainure 113 et détruit la couche de liaison 93 pour induire l'érosion du mandrin électrostatique 90 et un point de fuite dans le processus de gravure au plasma. Le fluide de travail dans le mandrin électrostatique 90 peut s'écouler à l'extérieur du mandrin électrostatique 90 à travers le point de fuite et induire une pollution de l'environnement. Afin de résoudre lesdits problèmes, la disposition de résine époxy 130 dans la rainure 113 est connue dans la technique, comme représenté sur la Figure 10. La rainure 113 est remplie par la résine époxy 130 3032768 2 pour empêcher l'endommagement de la couche de liaison 93 par le gaz plasma 120. Cependant, la résine époxy 130 est aisément érodée et devient plus mince par le gaz plasma 120. Après une gravure au plasma sur le long terme, un 5 point de fuite est formé et la résine époxy 130 perd progressivement sa fonction de protection. De plus, la durée de vie de la résine époxy 130 est difficile estimer. Les ingénieurs peuvent ne pas obturer à temps le point de fuite avant que la fuite de gaz ne se produise. 10 Il est également connu dans la technique de prévoir une bague élastomère remplaçable 140 pour remplacer la résine époxy 130, comme représenté sur la Figure 11. La bague élastomère 140 peut surmonter les problèmes de la résine époxy 130 mentionnés ci-dessus. Cependant, il y a 15 uniquement une partie d'étanchéité 150 entre la couche de liaison 93 et la rainure 113. La dimension de la rainure 113 est très petite. Il est difficile d'installer de façon uniforme la bague élastomère 140 dans la rainure 13. Etant donné que la bague élastomère 140 ne peut pas être disposée 20 dans la rainure 113 de façon uniforme, les ingénieurs peuvent difficilement estimer la durée de vie de la bague élastomère 140. Lorsque la bague élastomère 140 est incapable de bloquer la couche de liaison 93, l'érosion de la couche de liaison 93 et la pollution seront induites. 25 De nombreux problèmes existent encore dans l'étanchéité de la rainure 113 du mandrin électrostatique 90 dans un équipement de gravure au plasma. Un objectif de la présente invention est de proposer un joint barrière devant être disposé dans la 30 rainure du mandrin électrostatique avec de multiples parties d'étanchéité. Le joint barrière de la présente invention peut ne pas induire de fuite de gaz causée par des endommagements partiels du joint barrière. En outre, 3032768 3 le joint barrière fournit une période tampon pour estimer la durée de vie du joint barrière. Les ingénieurs peuvent remplacer le joint barrière endommagé avant qu'une fuite ne se produise. La présente invention facilite la stabilité 5 et la sécurité du processus de gravure au plasma. Pour atteindre l'objectif ci-dessus, la présente invention a pour objet un joint barrière destiné à être utilisé avec un mandrin électrostatique comprenant un élément supérieur, un élément inférieur, une couche de 10 liaison reliant l'élément supérieur et l'élément inférieur, et une rainure formée parmi un bord externe de la couche de liaison, l'élément supérieur et l'élément inférieur, le joint barrière étant caractérisé par le fait qu'il est une bague élastomère et qu'il comprend une partie d'étanchéité 15 principale et au moins une partie d'étanchéité secondaire faisant saillie vers l'extérieur à partir d'un côté de la partie d'étanchéité principale, la partie d'étanchéité principale comprenant au moins un bord en direction de la rainure et un côté de l'au moins un bord étant un bord 20 chanfreiné. L'avantage de la présente invention est d'utiliser la partie d'étanchéité principale et l'au moins une partie d'étanchéité secondaire pour construire deux parties d'étanchéité pour protéger la couche de liaison. 25 Si la partie d'étanchéité principale est érodée par le gaz plasma, l'au moins une partie d'étanchéité secondaire bloque encore la couche de liaison et le gaz plasma de façon continue. La fuite de gaz du mandrin électrostatique ne se produit pas brusquement. L'au moins une partie 30 d'étanchéité secondaire fournit une période tampon pour que les ingénieurs remplacent le joint barrière endommagé. La présente invention empêche que ne survienne une pollution environnementale par le fluide de travail provenant du 3032768 4 mandrin électrostatique. Le processus de gravure au plasma peut être sûr dans l'industrie des semi-conducteurs. Les qualités des produits fabriqués par le mandrin électrostatique peuvent être stables. 5 En particulier, la section transversale du joint barrière peut être en forme de L. Un côté de la partie d'étanchéité principale en direction de la rainure peut comprendre un bord, et le bord est un bord chanfreiné. Le joint barrière peut comprendre une première partie 10 d'étanchéité secondaire, laquelle fait saillie à partir d'un côté interne de la partie d'étanchéité principale en direction la rainure. Un côté de la première partie d'étanchéité secondaire en direction de la rainure peut comprendre deux bords, les deux bords étant des bords 15 chanfreinés. L'avantage de la présente invention est d'utiliser le joint barrière en forme de L pour s'adapter à la rainure en forme de L du mandrin électrostatique. Les bords chanfreinés de la partie d'étanchéité principale et de la première partie d'étanchéité secondaire aident la 20 bague élastomère à être disposée de manière aisée dans la rainure. Ainsi, la rainure peut être entièrement remplie et scellée par la bague élastomère. Le mandrin électrostatique n'est pas empêché de fonctionner en raison du fait que des dommages à la bague élastomère surviennent 25 brusquement. Plus particulièrement, le joint barrière peut comprendre au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire. L'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire fait saillie à partir d'un côté externe de la 30 partie d'étanchéité principale dans une direction l'opposé de la rainure. L'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire peut comprendre un bord chanfreiné dans une direction à l'opposé de la rainure. L'avantage de 3032768 5 la présente invention est d'utiliser la partie d'étanchéité principale, l'au moins une partie d'étanchéité secondaire, et l'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire pour construire trois parties d'étanchéité pour protéger la 5 couche de liaison. L'intervalle entre le mandrin électrostatique et l'élément d'extension peut être obturé par l'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire. La présente invention est plus efficace à empêcher le gaz plasma de pénétrer à travers l'intervalle dans la rainure 10 et de détruire la couche de liaison. En particulier, la section transversale du joint barrière peut être en forme de T. Un côté de la partie d'étanchéité principale en direction de la rainure peut comprendre deux bords, les deux bords étant des bords 15 chanfreinés. Le joint barrière peut comprendre une première partie d'étanchéité secondaire, laquelle fait saillie à partir d'un côté interne de la partie d'étanchéité principale en direction de la rainure. Un côté de la première partie d'étanchéité secondaire en 20 direction de la rainure peut comprendre deux bords, les deux bords étant des bords chanfreinés. L'avantage de la présente invention est d'utiliser le joint barrière en forme de T pour s'adapter à la rainure en forme de T du mandrin électrostatique. Les bords chanfreinés de la 25 partie d'étanchéité principale et de la première partie d'étanchéité secondaire aident la bague élastomère à être disposée de manière aisée dans la rainure. Ainsi, la rainure peut être entièrement remplie et scellée par la bague élastomère. Le mandrin électrostatique n'est pas 30 empêché de fonctionner en raison du fait que des dommages à la bague élastomère surviennent brusquement. Plus particulièrement, le joint barrière peut comprendre au moins une deuxième partie d'étanchéité 3032768 6 secondaire. L'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire fait saillie à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale dans une direction l'opposé de la rainure. L'au moins une deuxième partie 5 d'étanchéité secondaire peut comprendre un bord chanfreiné à l'opposé de la rainure. L'avantage de la présente invention est d'utiliser la partie d'étanchéité principale, l'au moins une partie d'étanchéité secondaire, et l'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire pour 10 construire trois parties d'étanchéité pour protéger la couche de liaison. L'intervalle entre le mandrin électrostatique et l'élément d'extension peut être obturé par l'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire. La présente invention est efficace à empêcher le gaz plasma 15 de pénétrer à travers l'intervalle dans la rainure et de détruire la couche de liaison. Plus particulièrement, le joint barrière peut comprendre en outre une troisième partie d'étanchéité secondaire, notamment pour remplacer l'au moins une 20 deuxième partie d'étanchéité secondaire. La troisième partie d'étanchéité secondaire fait saillie à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale dans une direction à l'opposé de la rainure. Une hauteur de la troisième partie d'étanchéité secondaire est plus grande 25 qu'une hauteur de la partie d'étanchéité principale, et la troisième partie d'étanchéité secondaire est en contact avec l'élément supérieur et l'élément inférieur du mandrin électrostatique, respectivement. Un côté de la partie d'étanchéité principale en 30 direction de la rainure peut comprendre deux bords, les deux bords étant des bords chanfreinés, et le joint barrière comprend en outre une troisième partie d'étanchéité secondaire, laquelle fait saillie à partir 3032768 7 d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale dans une direction à l'opposé de la rainure, une hauteur de la troisième partie d'étanchéité secondaire étant plus grande qu'une hauteur de la partie d'étanchéité principale, et la 5 troisième partie d'étanchéité secondaire étant en contact avec l'élément supérieur et l'élément inférieur du mandrin électrostatique, respectivement. L'avantage de la présente invention est d'utiliser la troisième partie d'étanchéité secondaire pour 10 remplacer l'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire. En outre, l'avantage de la présente invention est d'utiliser également la partie d'étanchéité principale, l'au moins une partie d'étanchéité secondaire et la troisième partie d'étanchéité secondaire pour construire 15 trois parties d'étanchéité pour protéger la couche de liaison. L'intervalle entre le mandrin électrostatique et l'élément d'extension peut être obturé et partiellement rempli par la troisième partie d'étanchéité secondaire. La présente invention est efficace à résister à l'érosion par 20 le gaz plasma. La présente invention ressortira davantage à la lecture de la description suivante de modes de réalisation particuliers de la présente invention, avec référence aux dessins annexés. 25 Sur ces dessins : - la Figure 1 est une vue schématique du premier mode de réalisation du joint barrière disposé sur la rainure d'un mandrin électrostatique selon la présente 30 invention ; - la Figure 2 est une vue schématique du deuxième mode de réalisation du joint barrière disposé sur la rainure 3032768 8 d'un mandrin électrostatique selon la présente invention ; - la Figure 3 est une vue schématique du troisième mode de 5 réalisation du joint barrière disposé sur la rainure d'un mandrin électrostatique selon la présente invention ; la Figure 4 est une vue schématique du quatrième mode de 10 réalisation du joint barrière disposé sur la rainure d'un mandrin électrostatique selon la présente invention ; - la Figure 5 est une vue schématique du cinquième mode de 15 réalisation du joint barrière disposé sur la rainure d'un mandrin électrostatique selon la présente invention ; - la Figure 6 est une vue schématique du sixième mode de 20 réalisation du joint barrière disposé sur la rainure d'un mandrin électrostatique selon la présente invention ; la Figure 7 est une vue schématique du septième mode de 25 réalisation du joint barrière disposé sur la rainure d'un mandrin électrostatique selon la présente invention ; - la Figure 8 est une vue schématique du huitième mode de 30 réalisation du joint barrière disposé sur la rainure d'un mandrin électrostatique selon la présente invention ; 3032768 9 - la Figure 9 est une vue schématique d'un mandrin électrostatique classique d'un équipement de gravure au plasma ; 5 - la Figure 10 est une vue schématique du remplissage de la rainure d'un mandrin électrostatique classique avec une résine époxy ; - la Figure 11 est une vue schématique d'une bague 10 élastomère remplaçable disposée sur la rainure d'un mandrin électrostatique classique. Un joint barrière de la présente invention est utilisé pour une paroi latérale d'un mandrin 15 électrostatique 10. Si l'on se réfère à la Figure 1, on peut voir que le mandrin électrostatique 10 comprend un élément supérieur 11, une couche de liaison 12 et un élément inférieur 13. L'élément supérieur 11 a une partie inférieure 111 et une partie supérieure 112. Un diamètre 20 de la partie inférieure w est inférieur à un diamètre W de la partie supérieure. La couche de liaison 12 est reliée à la partie inférieure 111 de l'élément supérieur 11 et à l'élément inférieur 13. Une rainure 14 est formée autour d'une surface externe de la couche de liaison 12. La 25 rainure 14 se trouve également entre l'élément supérieur 11 et l'élément inférieur 13. Avant de remplir la rainure 14 par le joint barrière, une partie de la couche de liaison externe 12 est retirée jusqu'à une profondeur D et un diamètre w'. Le 30 diamètre w' de la couche de liaison est inférieur au diamètre w de la partie inférieure. Ainsi, la section transversale de la rainure 14 est une forme de L si l'on se réfère aux Figures 1 et 2. 3032768 10 Si l'on se réfère à la Figure 1, on peut voir que le premier mode de réalisation du joint barrière est une bague élastomère 20. La section transversale de la bague élastomère 20 est en forme de L, et la bague élastomère 20 5 a une forme correspondant à la rainure 14. La bague élastomère 20 comprend : une partie d'étanchéité principale 21 et une première partie d'étanchéité secondaire 22. La partie d'étanchéité principale 21 en direction de la rainure 14 comprend en outre un bord 211. Le bord 211 est 10 un bord chanfreiné. Le bord 211 correspond à un angle entre la partie inférieure 111 et la partie supérieure 112 de l'élément supérieur 11. La première partie d'étanchéité secondaire 22 fait saillie à partir d'un côté interne de la partie d'étanchéité principale 21 en direction de la 15 rainure 14. La première partie d'étanchéité secondaire 22 en direction de la rainure 14 comprend deux bords 221. Les deux bords 221 sont également des bords chanfreinés. L'un des deux bords 221 correspond à un angle entre la partie inférieure 111 de l'élément supérieur 11 et la couche de 20 liaison 12. L'autre des deux bords 221 correspond à un angle entre la couche de liaison 12 et l'élément inférieur 13. Les bords chanfreinés aident la bague élastomère 20 à être disposée de manière aisée dans la rainure 14. Ainsi, la rainure 14 peut être entièrement remplie et scellée de 25 façon uniforme par la bague élastomère 20. Si l'on se réfère à la Figure 2, on peut voir que le mandrin électrostatique 10 comprend en outre un élément d'extension 30 autour de la paroi latérale du mandrin électrostatique 10. Il y a un intervalle 31 entre le 30 mandrin électrostatique 10 et l'élément d'extension 30. L'intervalle 31 est directement relié à la rainure 14. Du gaz plasma 40 peut détruire la couche de liaison 12 travers l'intervalle 31 et la rainure 14 dans un processus 3032768 11 de gravure au plasma. L'érosion et la fuite surviennent après que la couche de liaison 12 a été endommagée par le gaz plasma 40. Si l'on se réfère à la Figure 2, on peut voir que 5 le deuxième mode de réalisation du joint barrière est une bague élastomère 20A. La section transversale de la bague élastomère 20A est sensiblement en forme de L, et la bague élastomère 20A a une forme correspondant à la rainure 14. La bague élastomère 20A comprend : une partie d'étanchéité 10 principale 21A, une première partie d'étanchéité secondaire 22A et une deuxième partie d'étanchéité secondaire 23A. La partie d'étanchéité principale 21A en direction de la rainure 14 comprend en outre un bord 211A. Le bord 211A est un bord chanfreiné. Le bord 211A correspond à un angle 15 entre la partie inférieure 111 et la partie supérieure 112 de l'élément supérieur 11. La première partie d'étanchéité secondaire 22A fait saillie à partir d'un bord interne de la partie d'étanchéité principale 21A en direction de la rainure 14. La première partie d'étanchéité secondaire 22A 20 en direction de la rainure 14 comprend deux bords 221A. Les deux bords 221A sont également des bords chanfreinés. L'un des deux bords 221A correspond à un angle entre la partie inférieure 111 de l'élément supérieur 11 et la couche de liaison 12. L'autre des deux bords 221A 25 correspond à un angle entre la couche de liaison 12 et l'élément inférieur 13. Les bords chanfreinés aident la bague élastomère 20A à être disposée de manière aisée dans la rainure 14. Ainsi, la rainure 14 peut être entièrement remplie et scellée par la bague élastomère 20A. 30 La deuxième partie d'étanchéité secondaire 23A fait saillie à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale 21A dans une direction à l'opposé de la rainure 14. La deuxième partie d'étanchéité 3032768 12 secondaire 23A est très proche d'une interface entre la partie d'étanchéité principale 21A et la partie supérieure 112 de l'élément supérieur 11. La deuxième partie d'étanchéité secondaire 23A comprend un bord chanfreiné 5 231A à l'opposé de la rainure 14. L'intervalle 31 entre le mandrin électrostatique 10 et l'élément d'extension 30 peut être obturé par la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23A. La deuxième partie d'étanchéité secondaire 23A peut empêcher le gaz plasma 40 de s'écouler dans l'intervalle 31 10 et la rainure 14. La deuxième partie d'étanchéité secondaire 23A empêche efficacement l'endommagement de la couche de liaison 12 causé par la gravure du gaz plasma 40. La présente invention du joint barrière est utilisée pour une paroi latérale d'un autre type de mandrin 15 électrostatique 10A. Si l'on se réfère à la Figure 3, on peut voir qu'un autre type de mandrin électrostatique 10A comprend un élément supérieur 11A, une couche de liaison 12A et un élément inférieur 13A. L'élément supérieur 11A a une partie inférieure 111A et une partie supérieure 112A. 20 Un diamètre de la partie inférieure w11 est inférieur à un diamètre de la partie supérieure W11. L'élément inférieur 13A a une unité supérieure 131A et une unité inférieure 132A. Un diamètre w13 de l'unité supérieure 131A est inférieur à un diamètre W13 de l'unité inférieure 132A. La 25 couche de liaison 12A est reliée à la partie inférieure 111A de l'élément supérieur 11A et à l'unité supérieure 131A de l'élément inférieur 13A. Une rainure 14A est formée autour d'une surface externe de la couche de liaison 12A. La rainure 14A se trouve entre l'élément supérieur 30 11A et l'élément inférieur 13A. Avant de remplir la rainure 14A par le joint barrière, une partie de la couche de liaison externe 12A est retirée jusqu'à une profondeur D et un diamètre w". Le 3032768 13 diamètre w" de la couche de liaison est inférieur au diamètre w11 de la partie inférieure et au diamètre w13 de l'unité supérieure. Ainsi, la section transversale de la rainure 14A est en forme de T si l'on se réfère aux Figures 5 3, 4 et 5. Si l'on se réfère à la Figure 3, on peut voir que le troisième mode de réalisation du joint barrière est une bague élastomère 20B. La section transversale de la bague élastomère 20B est en forme de T, et la bague élastomère 10 20B a une forme correspondant à la rainure 14A. La bague élastomère 20B comprend : une partie d'étanchéité principale 21B et une première partie d'étanchéité secondaire 22B. La partie d'étanchéité principale 21B en direction de la rainure 14A comprend en outre deux bords 15 211B. Les deux bords 211B sont des bords chanfreinés. L'un des deux bords 211B correspond à un angle entre la partie inférieure 111A et la partie supérieure 112A de l'élément supérieur 11A. L'autre des deux bords 211B correspond à un angle entre l'unité supérieure 131A et 20 l'unité inférieure 132A de l'élément inférieur 13A. La première partie d'étanchéité secondaire 22B fait saillie à partir d'un côté interne de la partie d'étanchéité principale 21B en direction de la rainure 14A. La première partie d'étanchéité secondaire 22B en direction de la 25 rainure 14A comprend deux bords 221B. Les deux bords 221B sont également des bords chanfreinés. L'un des deux bords 221B correspond à un angle entre la partie inférieure 111A de l'élément supérieur 11A et la couche de liaison 12A. L'autre des deux bords 221B correspond à un angle entre la 30 couche de liaison 12A et l'unité supérieure 131A de l'élément inférieur 13A. Les bords chanfreinés aident la bague élastomère 20B à être disposée de manière plus aisée 3032768 14 dans la rainure 14A. Ainsi, la rainure 14A peut être entièrement remplie et scellée par la bague élastomère 20B. Si l'on se réfère à la Figure 4, on peut voir que le mandrin électrostatique 10A comprend en outre un élément 5 d'extension 30A autour de la paroi latérale du mandrin électrostatique 10A. Il y a un intervalle 31A entre le mandrin électrostatique 10A et l'élément d'extension 30A. L'intervalle 31A est directement relié à la rainure 14A. Du gaz plasma 40 peut détruire la couche de liaison 12A 10 travers l'intervalle 31A et la rainure 14A dans un processus de gravure au plasma. L'érosion et la fuite surviennent après que la couche de liaison 12A a été endommagée par le gaz plasma 40. Si l'on se réfère à la Figure 4, on peut voir que 15 le quatrième mode de réalisation du joint barrière est une bague élastomère 20C. La section transversale de la bague élastomère 20C est sensiblement en forme de T, et la bague élastomère 20C a une forme correspondant à la rainure 14A. La bague élastomère 20C comprend : une partie d'étanchéité 20 principale 21C, une première partie d'étanchéité secondaire 22C et une deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C. La partie d'étanchéité principale 21C en direction de la rainure 14A comprend en outre deux bords 211C. Les deux bords 211C sont des bords chanfreinés. L'un des deux bords 25 211C correspond à un angle entre la partie inférieure 111A et la partie supérieure 112A de l'élément supérieur 11A. L'autre des deux bords 211C correspond à un angle entre l'unité supérieure 131A et l'unité inférieure 132A de l'élément inférieur 13A. La première partie d'étanchéité 30 secondaire 22C fait saillie à partir d'un côté interne de la partie d'étanchéité principale 21C en direction de la rainure 14A. La première partie d'étanchéité secondaire 22C en direction de la rainure 14A comprend deux bords 3032768 15 221C. Les deux bords 221C sont également des bords chanfreinés. L'un des deux bords 221C correspond à un angle entre la partie inférieure 111A de l'élément supérieur 11A et la couche de liaison 12A. L'autre des 5 deux bords 221C correspond à un angle entre la couche de liaison 12A et l'unité supérieure 131A de l'élément inférieur 13A. Les bords chanfreinés aident la bague élastomère 20C à être disposée de manière aisée dans la rainure 14A. Ainsi, la rainure 14A peut être entièrement 10 remplie et scellée par la bague élastomère 20C. La deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C fait saillie à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale 21C dans une direction à l'opposé de la rainure 14A. La deuxième partie d'étanchéité 15 secondaire 23C est très proche d'une interface entre la partie d'étanchéité principale 21C et la partie supérieure 112A de l'élément supérieur 11A. La deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C comprend un bord chanfreiné 231C à l'opposé de la rainure 14A. L'intervalle 31A entre 20 le mandrin électrostatique 10A et l'élément d'extension 30A peut être obturé par la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C. La deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C peut empêcher le gaz plasma 40 de s'écouler dans l'intervalle 31A et la rainure 14A. La deuxième partie 25 d'étanchéité secondaire 23C empêche efficacement l'endommagement de la couche de liaison 12A causé par la gravure du gaz plasma 40. Si l'on se réfère à la Figure 5, on peut voir que le cinquième mode de réalisation du joint barrière est une 30 bague élastomère 20C'. La section transversale de la bague élastomère 20C' est sensiblement en forme de T, et la bague élastomère 20C' a une forme correspondant à la rainure 14A. La bague élastomère 20C' comprend : une partie d'étanchéité 3032768 16 principale 21C', une première partie d'étanchéité secondaire 22C', et trois éléments de la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C'. La partie d'étanchéité principale 21C' en direction de la rainure 14A comprend en 5 outre deux bords 211C'. Les deux bords 211C' sont des bords chanfreinés. L'un des deux bords 211C' correspond à un angle entre la partie inférieure 111A et la partie supérieure 112A de l'élément supérieur 11A. L'autre des deux bords 211C' correspond à un angle entre l'unité 10 supérieure 131A et l'unité inférieure 132A de l'élément inférieur 13A. La première partie d'étanchéité secondaire 22C' fait saillie à partir d'un côté interne de la partie d'étanchéité principale 21C' en direction de la rainure 14A. La première partie d'étanchéité secondaire 22C' en 15 direction de la rainure 14A comprend deux bords 221C'. Les deux bords 221C' sont également des bords chanfreinés. L'un des deux bords 221C' correspond à un angle entre la partie inférieure 111A de l'élément supérieur 11A et la couche de liaison 12A. L'autre des deux bords 221C' 20 correspond à un angle entre la couche de liaison 12A et l'unité supérieure 131A de l'élément inférieur 13A. Les bords chanfreinés aident la bague élastomère 20C' à être disposée de manière aisée dans la rainure 14A. Ainsi, la rainure 14A peut être entièrement remplie et scellée par la 25 bague élastomère 20C'. Les trois éléments de la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C' font saillie à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale 21C' dans une direction à l'opposé de la rainure 14A. Les trois 30 éléments de la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C' sont formés respectivement en une position supérieure, une position centrale et une position inférieure du côté externe de la partie d'étanchéité principale 21C'. Chacun 3032768 17 des trois éléments de la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C' comprend un bord chanfreiné 231C' l'opposé de la rainure 14A. L'intervalle 31A entre le mandrin électrostatique 10A et l'élément d'extension 30A 5 peut être obturé par les trois éléments de la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C'. Les trois éléments de la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C' peuvent empêcher le gaz plasma 40 de s'écouler dans l'espace 31A et la rainure 14A. Les trois éléments de la deuxième partie 10 d'étanchéité secondaire 23C' empêchent efficacement l'endommagement de la couche de liaison 12A causé par la gravure du gaz plasma 40. Le nombre des éléments sur la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C' n'est pas limité à trois. Les positions de montage des trois 15 éléments sur la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C' ne sont pas limitées à la position supérieure, la position centrale et la position inférieure sur le côté externe de la partie d'étanchéité principale 21C', respectivement. Les ingénieurs peuvent changer de manière 20 sélective les nombres et positions de montage des éléments sur la deuxième partie d'étanchéité secondaire 23C'. Si l'on se réfère à la Figure 6, on peut voir que le sixième mode de réalisation du joint barrière est une bague élastomère 20D. La section transversale de la bague 25 élastomère 20D est sensiblement en forme de T. La bague élastomère 20D comprend : une partie d'étanchéité principale 21D, une première partie d'étanchéité secondaire 22D, et une troisième partie d'étanchéité secondaire 24D. La partie d'étanchéité principale 21D en direction de la 30 rainure 14A comprend en outre deux bords 211D. Les deux bords 211D sont des bords chanfreinés. L'un des deux bords 211D correspond à un angle entre la partie inférieure 111A et la partie supérieure 112A de l'élément supérieur 11A. 3032768 18 L'autre des deux bords 211D correspond à un angle entre l'unité supérieure 131A et l'unité inférieure 132A de l'élément inférieur 13A. La première partie d'étanchéité secondaire 22D fait saillie à partir d'un côté interne de 5 la partie d'étanchéité principale 21D en direction de la rainure 14A. La première partie d'étanchéité secondaire 22D en direction de la rainure 14A comprend deux bords 221D. Les deux bords 221D sont également des bords chanfreinés. L'un des deux bords 221D correspond à un 10 angle entre la partie inférieure 111A de l'élément supérieur 11A et la couche de liaison 12A. L'autre des deux bords 221D correspond à un angle entre la couche de liaison 12A et l'unité supérieure 131A de l'élément inférieur 13A. Les bords chanfreinés aident la bague 15 élastomère 20D à être disposée de manière aisée dans la rainure 14A. Ainsi, la rainure 14A peut être entièrement remplie et scellée par la bague élastomère 20D. La troisième partie d'étanchéité secondaire 24D fait saillie à partir d'un côté externe de la partie 20 d'étanchéité principale 21D dans une direction à l'opposé de la rainure 14A. Une hauteur H de la troisième partie d'étanchéité secondaire 24D est plus grande qu'une hauteur h de la partie d'étanchéité principale 21D, et la troisième partie d'étanchéité secondaire 24D est en contact avec la 25 partie supérieure 112A de l'élément supérieur 11A et l'unité inférieure 132A de l'élément inférieur 13A, respectivement. L'intervalle 31A entre le mandrin électrostatique 10A et l'élément d'extension 30A peut être obturé par la troisième partie d'étanchéité secondaire 24D. 30 La troisième partie d'étanchéité secondaire 24D peut empêcher le gaz plasma 40 de s'écouler dans l'intervalle 31A et la rainure 14A. La troisième partie d'étanchéité secondaire 24D empêche efficacement l'endommagement de la 3032768 19 couche de liaison 12A causé par la gravure du gaz plasma 40. Si l'on se réfère à la Figure 7, le septième mode de réalisation du joint barrière est une bague élastomère 5 20E. La section transversale de la bague élastomère 20E se présente sous la forme d'un chapeau. La bague élastomère 20E comprend : une partie d'étanchéité principale 21E et une troisième partie d'étanchéité secondaire 24E. La partie d'étanchéité principale 21E en direction de la 10 rainure 14A comprend en outre deux bords 211E. Les deux bords 211E sont des bords chanfreinés. L'un des deux bords 211E correspond à un angle entre la partie inférieure 111A et la partie supérieure 112A de l'élément supérieur 11A. L'autre des deux bords 211E correspond à un angle entre 15 l'unité supérieure 131A et l'unité inférieure 132A de l'élément inférieur 13A. La troisième partie d'étanchéité secondaire 24E fait saillie à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale 21E dans une direction à l'opposé de la rainure 14A. Une hauteur H1 de la troisième 20 partie d'étanchéité secondaire 24E est plus grande qu'une hauteur hl de la partie d'étanchéité principale 21E, et la troisième partie d'étanchéité secondaire 24E est en contact avec la partie supérieure 112A de l'élément supérieur 11A et l'unité inférieure 132A de l'élément inférieur 13A, 25 respectivement. L'intervalle 31A entre le mandrin électrostatique 10A et l'élément d'extension 30A peut être obturé par la troisième partie d'étanchéité secondaire 24E. La troisième partie d'étanchéité secondaire 24E peut empêcher le gaz plasma 40 de s'écouler dans l'intervalle 30 31A et la rainure 14A. La troisième partie d'étanchéité secondaire 24E empêche efficacement l'endommagement de la couche de liaison 12A causé par la gravure du gaz plasma 40. 3032768 20 Si l'on se réfère à la Figure 8, on peut voir que le huitième mode de réalisation du joint barrière est une bague élastomère 20E'. La section transversale de la bague élastomère 20E' se présente sensiblement sous la forme d'un 5 chapeau. La bague élastomère 20E' comprend : une partie d'étanchéité principale 21E' et une troisième partie d'étanchéité secondaire 24E'. La partie d'étanchéité principale 21E' en direction de la rainure 14 comprend en outre deux bords 211E'. Les deux bords 211E' sont des 10 bords chanfreinés. L'un des deux bords 211E' correspond à un angle entre la partie inférieure 111 et la partie supérieure 112 de l'élément supérieur 11. L'autre des deux bords 211E' est très proche d'une surface supérieure de l'élément inférieur 13. La troisième partie d'étanchéité 15 secondaire 24E' fait saillie à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale 21E' dans une direction à l'opposé de la rainure 14. Une hauteur H2 de la troisième partie d'étanchéité secondaire 24E' est plus grande qu'une hauteur h2 de la partie d'étanchéité principale 21E', et la 20 troisième partie d'étanchéité secondaire 24E' est en contact avec la partie supérieure 112 de l'élément supérieur 11 et l'élément inférieur 13, respectivement. L'intervalle 31 entre le mandrin électrostatique 10 et l'élément d'extension 30 peut être obturé par la troisième 25 partie d'étanchéité secondaire 24E'. La troisième partie d'étanchéité secondaire 24E' peut empêcher le gaz plasma 40 de s'écouler dans l'intervalle 31 et la rainure 14. La troisième partie d'étanchéité secondaire 24E' empêche efficacement l'endommagement de la couche de liaison 12 30 causé par la gravure du gaz plasma 40. Les différences entre la bague élastomère 20E et la bague élastomère 20E' sont la hauteur hl, h2 de la partie d'étanchéité principale et la hauteur H1, H2 de la 3032768 21 troisième partie d'étanchéité secondaire. Différents agencements de l'élément inférieur 13, 13A peuvent être utilisés avec la bague élastomère 20E' ou la bague élastomère 20E, respectivement, avec référence aux Figures 5 7 et 8. Les ingénieurs peuvent sélectionner la bague élastomère 20E ou la bague élastomère 20E' appropriée pour une utilisation avec les différents mandrins électrostatiques 10. Tous les types de bagues élastomères 20, 20A, 10 20B, 20C, 20C', 20D, 20E, 20E' sont faits de caoutchouc. La propriété élastique du caoutchouc peut aider la bague élastomère 20, 20A, 20B, 20C, 20C', 20D, 20E, 20E' à être disposée dans la rainure 14, 14A de façon uniforme et complète. La bague élastomère 20, 20A, 20B, 20C, 20C', 15 20D, 20E, 20E' peut empêcher efficacement l'endommagement de la couche de liaison 12, 12A causé par la gravure du gaz plasma 40. En résumé, le joint barrière pour une paroi latérale du mandrin électrostatique 10 utilise de multiples 20 parties d'étanchéité, telles que des parties d'étanchéité doubles ou triples, pour empêcher le gaz plasma 40 de s'écouler dans la rainure 14, 14A ou les intervalles 31, 31A pour endommager la couche de liaison 12, 12A. Même si l'une des multiples parties d'étanchéité est détruite par 25 le gaz plasma 40, la fuite de gaz du mandrin électrostatique 10, 10A ne se produira pas. Les ingénieurs peuvent remplacer à temps le joint barrière endommagé avant la fuite. La présente invention est bénéfique pour le développement de l'industrie des semi-conducteurs. 30 REVENDICATIONS1 - Joint barrière destiné à être utilisé sur un mandrin électrostatique (10), le mandrin électrostatique (10) comprenant un élément supérieur (11), un élément inférieur (13), une couche de liaison (12) reliant l'élément supérieur (11) et l'élément inférieur (13), et une rainure (14) formée parmi un bord externe de la couche de liaison (12), l'élément supérieur (11) et l'élément inférieur (13), le joint barrière étant caractérisé par le fait qu'il est une bague élastomère (20) et qu'il comprend une partie d'étanchéité principale (21) et au moins une partie d'étanchéité secondaire faisant saillie vers l'extérieur à partir d'un côté de la partie d'étanchéité principale (21), la partie d'étanchéité principale (21) comprenant au moins un bord (211) en direction de la rainure (14) et un côté de l'au moins un bord (211) étant un bord chanfreiné. 2 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10) selon la revendication 1, caractérisé par le fait qu'un côté de la partie d'étanchéité principale (21) en direction de la rainure (14) comprend un bord (211), le bord (211) étant un bord chanfreiné, et le joint barrière comprend une première partie d'étanchéité secondaire (22), laquelle fait saillie à partir d'un côté interne de la partie d'étanchéité principale (21) en direction de la rainure (14). 3 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10) selon la revendication 2, caractérisé par le fait qu'un côté de la première partie d'étanchéité secondaire (22) en direction de la rainure (14) comprend deux bords (221), les deux bords (221) étant des bords chanfreinés. 3032768 23 4 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10) selon la revendication 2 ou 3, caractérisé par le fait que le joint barrière comprend au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire (23A), l'au moins une deuxième 5 partie d'étanchéité secondaire (23A) faisant saillie partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale (21A) dans une direction à l'opposé de la rainure (14). 5 - Joint barrière pour mandrin électrostatique 10 (10) selon la revendication 4, caractérisé par le fait que l'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire (23A) comprend un bord chanfreiné (231A) dans une direction à l'opposé de la rainure (14). 6 - Joint barrière pour mandrin électrostatique 15 (10) selon l'une quelconque des revendications 2 à 5, caractérisé par le fait que la section transversale du joint barrière est en forme de L. 7 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10A) selon la revendication 1, caractérisé par le fait 20 qu'un côté de la partie d'étanchéité principale (21B) en direction de la rainure (14A) comprend deux bords (211B), les deux bords (211B) étant des bords chanfreinés, et que le joint barrière comprend une première partie d'étanchéité secondaire (22B), laquelle fait saillie à 25 partir d'un côté interne de la partie d'étanchéité principale (21B) en direction de la rainure (14A). 8 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10A) selon la revendication 7, caractérisé par le fait qu'un côté de la première partie d'étanchéité secondaire 30 (22B) en direction de la rainure (14A) comprend deux bords (221B), les deux bords (221B) étant des bords chanfreinés. 9 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10A) selon la revendication 7 ou 8, caractérisé par le 3032768 24 fait que le joint barrière comprend au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire (23C), l'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire (23C) faisant saillie à partir d'un côté externe de la partie 5 d'étanchéité principale (21C) dans une direction à l'opposé de la rainure (14A). 10 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10A) selon la revendication 9, caractérisé par le fait que l'au moins une deuxième partie d'étanchéité secondaire 10 (23C) comprend un bord chanfreiné (231C) à l'opposé de la rainure (14A). 11 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10A) selon l'une quelconque des revendications 7 à 10, caractérisé par le fait que la section transversale du 15 joint barrière est en forme de T. 12 - Joint barrière pour mandrin électrostatique (10A) selon la revendication 7 ou 8, caractérisé par le fait que le joint barrière comprend en outre une troisième partie d'étanchéité secondaire (24D), laquelle fait saillie 20 à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale (21D) dans une direction à l'opposé de la rainure (14A), une hauteur (H) de la troisième partie d'étanchéité secondaire (24) étant plus grande qu'une hauteur (hl) de la partie d'étanchéité principale (21D), et 25 la troisième partie d'étanchéité secondaire (24D) étant en contact avec l'élément supérieur (11A) et l'élément inférieur (13A) du mandrin électrostatique (10A), respectivement. 13 - Joint barrière pour mandrin électrostatique 30 (10, 10A) selon la revendication 1, caractérisé par le fait qu'un côté de la partie d'étanchéité principale (21E, 21E') en direction de la rainure (14, 14A) comprend deux bords (211E, 211E'), les deux bords (211E, 211E') étant des bords 3032768 25 chanfreinés, et que le joint barrière comprend en outre une troisième partie d'étanchéité secondaire (24E, 24E'), laquelle fait saillie à partir d'un côté externe de la partie d'étanchéité principale (21E, 21E') dans une 5 direction à l'opposé de la rainure (14, 14A), une hauteur (H1, H2) de la troisième partie d'étanchéité secondaire (24E, 24E') étant plus grande qu'une hauteur (hl, h2) de la partie d'étanchéité principale (21E, 21E'), et la troisième partie d'étanchéité secondaire (24E, 24') étant en contact 10 avec l'élément supérieur (11, 11A) et l'élément inférieur (13, 13A) du mandrin électrostatique (10, 10A), respectivement.