Brevet FR3030495A1 — publié le 20160624

VITRAGE UTILISE COMME UN ELEMENT CONSTITUTIF D'UN DISPOSITIF CHAUFFANT L'invention concerne un vitrage utilisé comme un élément constitutif d'un dispositif chauffant comprenant un substrat transparent revêtu d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent. Un dispositif chauffant comprend une enceinte délimitée par une ou plusieurs parois et des moyens de chauffage de façon à permettre le chauffage de l'enceinte à une température élevée. Les dispositifs chauffants peuvent être notamment choisis parmi les fours, les cheminées, les fourneaux... Les vitrages utilisés comme éléments constitutifs d'un dispositif chauffant sont en général des vitrages multiples, notamment des triples vitrages. Les vitrages multiples contribuent à maintenir la chaleur à l'intérieur du dispositif chauffant tout en gardant la surface extérieure du vitrage froide au toucher pour la protection des utilisateurs. Un vitrage multiple comprend au moins deux substrats maintenus à distance de manière à délimiter un espace. Les faces du vitrage sont désignées à partir de l'intérieur du dispositif chauffant et en numérotant les faces des substrats de l'intérieur vers l'extérieur du dispositif chauffant. Les vitrages utilisés comme éléments constitutifs d'un dispositif chauffant comprennent également des substrats revêtus de revêtements fonctionnels réfléchissants les rayonnements infrarouges (IR). Ces revêtements permettent de diminuer la quantité d'énergie dissipée vers l'extérieur du dispositif chauffant en réfléchissant la chaleur vers l'enceinte. L'utilisation de ces revêtements concourt à réduire la consommation du dispositif chauffant et l'échauffement du vitrage. Les revêtements comprenant des couches métalliques fonctionnelles à base d'argent (ou couches d'argent) sont les plus performants pour réduire l'émissivité des vitrages tout en préservant les qualités optiques et esthétiques. Ces revêtements assurent une meilleure protection des utilisateurs, une plus basse consommation énergétique et un plus grand confort d'utilisation. Cependant, la résistance chimique, thermique et mécanique des revêtements comprenant ces couches métalliques fonctionnelles à base d'argent est souvent insuffisante. Cette faible résistance se traduit lors d'une utilisation dans des conditions normales, c'est-à-dire à des températures inférieures à 100 °C, par l'apparition à court terme de défauts tels que des points de corrosion, des rayures, voire de l'arrachement total ou partiel de l'empilement. Ce phénomène est accentué lorsque ces vitrages sont utilisés dans des dispositifs chauffants, par exemple comme porte de fours, soumis à des cycles de traitement thermique à températures élevées longs et répétés dans un environnement humide. Ces cycles de traitement thermique accélèrent encore davantage la dégradation des couches d'argent notamment par démouillage ou corrosion de l'argent. Tous défauts ou rayures, qu'ils soient dus à la corrosion ou à des sollicitations mécaniques, sont susceptibles d'altérer non seulement les performances énergétiques et optiques mais également l'esthétique du substrat revêtu. La faible résistance des empilements à base d'argent aux agressions chimiques et aux contraintes mécaniques lors du nettoyage par l'utilisateur limite leur utilisation comme vitrage dans des dispositifs chauffants. En effet, les produits alimentaires, les produits de nettoyage et les moyens mécaniques de nettoyage, tels que le frottement avec un chiffon, une éponge ou une brosse, peuvent dégrader l'empilement, voire provoquer un arrachement total ou partiel de l'empilement. La demande US 2012/0084963 divulgue un vitrage multiple utilisé comme un élément constitutif d'une porte de four comprenant un substrat transparent revêtu d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent et une couche de protection supérieure à base d'oxyde de zirconium. Les couches à base d'oxyde de zirconium protègent l'empilement lors d'un traitement thermique à température élevée. Cependant, les substrats revêtus de telles couches de protection sont sujets à la corrosion en milieu humide à chaud. L'utilisation de couches d'oxyde de zirconium ne permet pas d'améliorer suffisamment la résistance thermique, chimique et mécanique. Il existe un besoin de développer de nouveaux empilements résistants à la fois aux traitements thermiques à température élevée répétés mais également à la corrosion à chaud en milieu humide et au nettoyage. Le demandeur a découvert de manière surprenante que l'utilisation comme couche supérieure de protection d'une couche d'oxyde de titane et de zirconium permet d'atteindre ces objectifs en améliorant considérablement la résistance à la corrosion à chaud tout en conservant une bonne résistance aux attaques chimiques ou aux sollicitations mécaniques. L'invention concerne un dispositif chauffant muni d'une enceinte délimitée par une ou plusieurs parois dont au moins une paroi comprend au moins un vitrage comprenant un substrat transparent revêtu d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent caractérisé en ce que l'empilement comprend une couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium. Le vitrage de l'invention convient dans toutes applications nécessitant l'utilisation d'un empilement comprenant des couches d'argent pour lesquelles la résistance à des traitements thermiques répétés et à la corrosion en milieu humide à chaud sont des paramètres clés. On peut notamment citer : - les vitrages pour porte de four, pyrolytiques ou non, - les vitrages pour porte d'insert de cheminée, - les vitrages pour porte anti-feu, - les vitrages pour éléments chauffants tels que les radiateurs et les sèches serviettes. L'invention concerne également l'utilisation d'un vitrage comme élément constitutif d'un dispositif chauffant ou d'une porte anti-feu, le vitrage comprenant un substrat transparent revêtu d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent caractérisé en ce que l'empilement comprend une couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium. Le vitrage est de préférence choisi parmi les vitrages multiples comprenant au moins deux substrats transparents. La couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium présente par ordre de préférence croissant un rapport en poids de titane sur zirconium Ti/Zr compris entre 60/40 et 90/10, entre 60/40 et 80/20, entre 60/40 et 70/30, entre 60/40 et 65/35. La couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium présente par ordre de préférence croissant un rapport atomique de titane sur zirconium Ti/Zr compris entre 2,0 et 4,0, de préférence 2,5 et 3,5. Les couches d'oxyde de titane et de zirconium peuvent être déposées à partir d'une cible céramique de TiZrOx. Le rapport de titane sur zirconium Ti/Zr dans la couche est quasiment équivalent à celui de la cible. Les cibles céramiques peuvent éventuellement comprendre d'autres éléments que l'on retrouve dans les couches déposées à partir de ces cibles. La couche de protection supérieure est de préférence la dernière couche de l'empilement, c'est-à-dire la couche la plus éloignée du substrat revêtu de l'empilement. La couche de protection supérieure a une épaisseur : - inférieure ou égale à 15 nm, inférieure ou égale à 12 nm ou inférieure ou égale à nm, et/ou - supérieure ou égale à 1 nm, supérieure ou égale à 2 nm ou supérieure ou égale à 5 nm. Le vitrage selon l'invention peut comprendre au moins un substrat transparent 10 revêtu de plusieurs empilements de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent et/ou revêtements fonctionnels notamment un empilement ou revêtement sur chacune de ses faces. Les couches d'argent sont déposées entre des revêtements diélectriques qui comprennent généralement plusieurs couches diélectriques permettant d'ajuster les propriétés optiques de l'empilement. Ces couches diélectriques permettent en outre de protéger la couche d'argent des agressions chimiques ou mécaniques. L'empilement de couches minces comprend donc avantageusement au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, au moins deux revêtements diélectriques, chaque revêtement diélectrique comportant au moins une couche diélectrique, de manière à ce que chaque couche métallique fonctionnelle soit disposée entre deux revêtements diélectriques. L'empilement est déposé par pulvérisation cathodique, notamment assistée par un champ magnétique (procédé magnétron). Selon ce mode de réalisation avantageux, toutes les couches de l'empilement sont déposées par pulvérisation cathodique assistée par un champ magnétique. Sauf mention contraire, les épaisseurs évoquées dans le présent document sont des épaisseurs physiques. On entend par couche mince, une couche présentant une épaisseur comprise entre 0,1 nm et 100 micromètres. Dans toute la description le substrat selon l'invention est considéré posé horizontalement. L'empilement de couches minces est déposé au-dessus du substrat. Le sens des expressions « au-dessus » et « en-dessous » et « inférieur » et « supérieur » est à considérer par rapport à cette orientation. A défaut de stipulation spécifique, les expressions « au-dessus » et « en-dessous » ne signifient pas nécessairement que deux couches et/ou revêtements sont disposés au contact l'un de l'autre. Lorsqu'il est précisé qu'une couche est déposée « au contact » d'une autre couche ou d'un revêtement, cela signifie qu'il ne peut y avoir une ou plusieurs couches intercalées entre ces deux couches. La couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprend au moins 95,0 (3/0, de préférence au moins 96,5 (3/0 et mieux au moins 98,0 (3/0 en masse d'argent par rapport à la masse de la couche fonctionnelle. De préférence, la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprend moins de 1,0 (3/0 en masse de métaux autres que de l'argent par rapport à la masse de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent. L'épaisseur des couches fonctionnelles à base d'argent est par ordre de préférence croissant comprise de 5 à 20 nm, de 8 à 15 nm. L'empilement peut comprendre au moins une couche de blocage dont la fonction est de protéger les couches d'argent en évitant une éventuelle dégradation liée au dépôt d'un revêtement diélectrique ou liée à un traitement thermique. Ces couches de blocages sont situées de préférence au-contact des couches métalliques fonctionnelles à base d'argent. L'empilement peut comprendre au moins une couche de blocage située en-dessous et au-contact d'une couche métallique fonctionnelle à base d'argent et/ou au moins une couche de blocage située au-dessus et au-contact d'une couche métallique fonctionnelle à base d'argent. Parmi les couches de blocage traditionnellement utilisées, on peut citer les couches de blocage à base d'un métal choisi parmi le niobium Nb, le tantale Ta, le titane Ti, le chrome Cr ou le nickel Ni ou à base d'un alliage obtenu à partir d'au moins deux de ces métaux, notamment d'un alliage de nickel et de chrome (NiCr). L'épaisseur de chaque surcouche ou sous-couche de blocage est de préférence : - d'au moins 0,2 nm ou d'au moins 0,5 nm et/ou - d'au plus 5,0 nm ou d'au plus 2,0 nm. Les revêtements diélectriques présentent une épaisseur supérieure à 15 nm, de préférence comprise entre 15 et 50 nm et mieux de 30 à 40 nm. Les couches diélectriques des revêtements diélectriques présentent les caractéristiques suivantes seules ou en combinaison : - elles sont déposées par pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique, - elles sont choisies parmi les couches diélectriques à fonction barrière, - elles sont choisies parmi les couches diélectriques à fonction stabilisante, elles sont choisies parmi les oxydes ou nitrures d'un ou plusieurs éléments choisi(s) parmi le titane, le silicium, l'aluminium, l'étain et le zinc, elles ont une épaisseur supérieure à 5 nm, de préférence comprise entre 8 et 50 nm et mieux de 10 à35 nm. On entend par couches diélectriques à fonction barrière, une couche en un matériau apte à faire barrière à la diffusion de l'oxygène et de l'eau à haute température, provenant de l'atmosphère ambiante ou du substrat transparent, vers la couche fonctionnelle. Les couches diélectriques à fonction barrière peuvent être à base de composés de silicium et/ou d'aluminium choisis parmi les oxydes tels que Si02, les nitrures tels que les nitrure de silicium Si3N4 et les nitrures d'aluminium AIN, et les oxynitrures SiOxNy, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément. Les couches diélectriques à fonction barrière peuvent également être à base à base d'oxyde de zinc et d'étain. On entend par couches diélectriques à fonction stabilisante, une couche en un matériau apte à stabiliser l'interface entre la couche fonctionnelle et cette couche. Les couches diélectriques à fonction stabilisante sont de préférence à base d'oxyde cristallisé, notamment à base d'oxyde de zinc, éventuellement dopé à l'aide d'au moins un autre élément, comme l'aluminium. La ou les couches diélectriques à fonction stabilisante sont de préférence des couches d'oxyde de zinc. La ou les couches diélectriques à fonction stabilisante peuvent se trouver au- dessus et/ou en-dessous d'au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent ou de chaque couche métallique fonctionnelle à base d'argent, soit directement à son contact ou soit séparées par une couche de blocage. Selon un mode de réalisation avantageux, La couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium est de préférence au-contact de la couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium. La couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium a une épaisseur : inférieure ou égale à 100 nm, inférieure ou égale à 50 nm ou inférieure ou égale à 40 nm, et/ou supérieure ou égale à 15 nm, supérieure ou égale à 20 nm ou supérieure ou égale à 25 nm. Selon un mode de réalisation, l'empilement comprend : un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, éventuellement une couche de blocage, une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, éventuellement une couche de blocage, un revêtement diélectrique situé au-dessus de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, une couche de protection supérieure. Selon un mode de réalisation, l'empilement comprend : un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprenant au moins une couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium et éventuellement une couche diélectrique à fonction stabilisante à base d'oxyde de zinc, éventuellement une couche de blocage, une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, éventuellement une couche de blocage, un revêtement diélectrique situé au-dessus de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprenant au moins une couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium, une couche de protection supérieure. Les substrats transparents selon l'invention sont de préférence en un matériau rigide minéral, comme en verre, notamment silico-sodo-calcique, borosilicate, aluminosilicate ou vitrocéramique. Selon un mode de réalisation avantageux, les substrats sont des verres borosilicates qui résistent bien à de très hautes températures. L'épaisseur du substrat varie généralement entre 0,5 mm et 19 mm. L'épaisseur du substrat est de préférence inférieure ou égale à 6 mm, voire 4 mm. Le substrat transparent revêtu de l'empilement peut avoir subi un traitement thermique à température élevée choisi parmi un recuit, par exemple par un recuit flash tel qu'un recuit laser ou flammage, une trempe et/ou un bombage. La température du traitement thermique est supérieure à 400 °C, de préférence supérieure à 450 °C, et mieux supérieure à 500 °C. Le substrat revêtu de l'empilement peut donc être bombé et/ou trempé. Le substrat revêtu de l'empilement est de préférence un verre trempé notamment lorsqu'il fait partie d'un vitrage utilisé dans comme élément constitutif d'un dispositif chauffant ou d'une porte anti-feu. Le vitrage est de préférence un vitrage multiple comprenant deux, trois ou quatre substrats. Un double vitrage comporte deux substrats, un substrat extérieur et un substrat intérieur et 4 faces. La face 1 est à l'intérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi intérieure du vitrage. Les faces 2 et 3 sont à l'intérieur du double vitrage. La face 4 est à l'extérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi extérieure du vitrage. Un triple vitrage comporte trois substrats, un substrat extérieur, un substrat central et un substrat intérieur, et 6 faces. La face 1 à l'intérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi intérieure du vitrage. Les faces 2 à 5 sont à l'intérieur du triple vitrage. La face 6 est à l'extérieur du dispositif chauffant et constitue donc la paroi extérieure du vitrage. Le vitrage selon l'invention peut comprendre, au moins un, au moins deux, ou au moins trois substrats transparents revêtus d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent. Le vitrage peut comprendre au moins un substrat transparent revêtu d'un revêtement fonctionnel autre qu'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent tel qu'un revêtement comprenant un oxyde transparent conducteur (« TCO » en anglais), comme par exemple un matériau à base d'oxyde d'indium et d'étain (ITO), ou à base d'oxyde de zinc dopé à l'aluminium (ZnO:A1) ou dopé au bore (ZnO: B), ou encore à base d'oxyde d'étain dopé au fluor (Sn02: F). Ces matériaux sont déposés par voie chimique, comme par exemple par dépôt de vapeur chimique (« CVD »), éventuellement améliorée par plasma (« PECVD ») ou par voie physique, comme par exemple par dépôt sous vide par pulvérisation cathodique, éventuellement assistée par champ magnétique (« Magnétron »). La figure 1 illustre trois exemples de dispositifs chauffants comprenant des vitrages multiples selon l'invention, un double vitrage (I), un triple vitrage (II) et un vitrage comprenant 4 substrats (III). Les parties en gris représentent les différentes positions où l'empilement de couches minces peut être utilisé. Le dispositif chauffant permet le chauffage de l'enceinte à une température élevée notamment supérieure à 50, 100, 200, 300, 400, 500 ou 600 °C. Le dispositif chauffant comprend en outre des moyens de chauffage. Ces moyens de chauffage permettent le chauffage de l'enceinte à une température élevée notamment supérieure à50, 100, 200, 300, 400, 500 ou 600 °C. Dans un mode de réalisation particulier, l'empilement comprenant une couche fonctionnelle à base d'argent est positionné sur la face du substrat au contact de l'enceinte du dispositif chauffant. Exemples Des empilements de couches minces définis ci-après sont déposés sur des substrats en verre sodo-calcique clair d'une épaisseur de 4 mm. Pour ces exemples, les conditions de dépôt des couches déposées par pulvérisation (pulvérisation dite « cathodique magnétron ») sont résumées dans le tableau 1 ci-dessous Les couches d'oxyde de titane et de zirconium sont déposées à partir d'une cible céramique de TiZrOx. Le rapport titane sur zirconium Ti/Zr dans la cible est de 64:36 en poids correspondant à 77:23 atomique. Le rapport de titane sur zirconium Ti/Zr dans la couche est quasiment équivalent à celui de la cible. Tableau 1 Cibles employées Pression dépôt Gaz Indice* Si3N4 sous Ag Si:Al (92:8 `)/0 en pds) 2-1 510-3 mbar Ar:30-60 % - N2:40-70 % 2,00 Si3N4 sur Ag Si:Al (92:8 % en pds) 2-1 510-3 mbar Ar:30-60 % - N2:40-70 % 2,06 NiCr Ni:Cr (80:20% at.) 1-510-3 mbar Ar à 100% Ag Ag 2-310-3 mbar Ar à 100 % TiO2 TiOx 1 ,51 0-3 mbar Ar 88 % - 02 12 % 2,32 TiZr0 TiZrOx 2-410-3 mbar Ar 90 % - 02 10 % 2,32 at. : atomique ; pds : poids ; * : à 550 nm. Le tableau ci-dessous liste les matériaux et les épaisseurs physiques en nanomètres (sauf autres indications) de chaque couche ou revêtement qui constitue les empilements en fonction de leurs positions vis-à-vis du substrat porteur de l'empilement. Vitrage Comp-1 Comp-2 Invention Couche de protection supérieure TiZrOx ZrOx SiOx - - 2 2 - - - 2 Revêtement antireflet Si3N4 30 30 30 Couche blocage OB NiCr 1 1 1 Couche fonctionnelle Ag 7 7 7 Couche blocage UB NiCr 1 1 1 Revêtement antireflet Si3N4 30 30 30 Substrat (mm) verre 4 4 4 Un traitement thermique de type trempe est réalisé sur les substrats revêtus à 630 °C pendant 7 minutes. La couche supérieure de protection du vitrage selon l'invention protège l'empilement des agressions extérieures et permet une très bonne durabilité thermique, mécanique et chimique comparée à d'autres couches de protection telles que des couches d'oxyde de zirconium (Zr02) ou d'oxyde de silicium (Si02). L'utilisation de cette couche de protection supérieure permet notamment l'utilisation de l'empilement en face 1, c'est-à-dire sur la face du substrat au contact de l'enceinte du dispositif chauffant tel qu'un four. I. Evaluation de la résistance thermique L'aspect le plus important pour assurer la protection des personnes ainsi que des économies d'énergie est une bonne résistance de la couche à des températures élevées. Ceci n'est généralement pas possible avec des couches à l'argent qui se corrodent rapidement à hautes températures. Pour simuler le cycle de vie d'empilements de couches minces comprenant une couche d'argent dans un four autonettoyant pyrolytique, le substrat revêtu dudit empilement est chauffé pendant 500 h à 400 °C. Cela représente près de 15 ans d'utilisation en mode pyrolytique à raison d'un cycle de pyrolyse de 3 h par mois. La figure 2 présente des micrographies prises en fin de test de vitrages comprenant les différentes couches de protection. Le vitrage selon l'invention représenté sur l'image (a) avec une couche de protection supérieure de TiZrOx ne présente que de très faibles dégradations visibles au microscope. Le vitrage comparatif-2 représenté sur l'image (b) avec une couche de protection supérieure de SiOx présente des dégradations plus visibles Le vitrage comparatif-1 représenté sur l'image (c) avec une couche de protection supérieure de ZrOx présente des dégradations flagrantes. De plus, l'émissivité du vitrage comparatif-1 est augmentée de 25% ce qui réduit son efficacité alors que l'émissivité du vitrage de l'invention est constante. II. Evaluation de la résistance chimique et de la résistance au nettoyage Le tableau ci-dessous présente les résultats de cycle de salissure à hautes températures. Ces cycles simulent les contraintes qu'un vitrage peut rencontrer notamment lors de son utilisation sur la face du substrat au contact de l'enceinte du dispositif chauffant. Le vitrage est souillé du côté de l'empilement avec différents produits alimentaires et produits de nettoyage puis chauffé à 200 °C pendant 2 h. Le verre est ensuite nettoyé avec un nettoyant four. Le vitrage de l'invention comprenant un empilement avec une couche de protection supérieure à base de TiZrOx résiste à toutes les substances testées alors que les vitrages comparatifs 1 et 2 avec des couches de protection de Zr02 ou Si02 ne peuvent pas être nettoyés dans certains cas et sont endommagés de manière irréversible. Les indicateurs d'appréciation suivants ont été utilisés pour constater les altérations éventuelles : «+» : Pas de tâches visibles, «-» : Tâches visibles. Invention Comp-2 Comp-1 TiZrOx Si02 Zr02 Vinaigre + + Compote + + - Solution Saline + - - Jus de citron + + + Ajax + + + Cilit Bang® dégraissant + + + Matière grasse + - + DécapFou r® + + - Traces de doigts + + + Ces résultats montrent que l'empilement comprenant une couche fonctionnelle à base d'argent est suffisamment résistant aux produits d'entretiens et aux produits alimentaires pour pouvoir être positionné sur la face du substrat au contact de l'enceinte du dispositif chauffant. REVENDICATIONS1. Dispositif chauffant muni d'une enceinte délimitée par une ou plusieurs parois dont au moins une paroi comprend au moins un vitrage comprenant un substrat transparent revêtu d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent caractérisé en ce que l'empilement comprend une couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium. 2. Dispositif chauffant selon la revendication 1 caractérisé en ce que la couche de protection supérieure a une épaisseur : - inférieure ou égale à 15 nm, et/ou - supérieure ou égale à 1 nm. 3. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le rapport atomique de titane sur zirconium Ti/Zr est compris entre 2,0 et 4,0, de préférence 2,5 et 3,5. 4. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'empilement comprend une couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium située en-dessous de la couche supérieure de protection à base d'oxyde de titane et de zirconium. 5. Dispositif chauffant selon la revendication 4, caractérisé en ce que la couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium a une épaisseur : - inférieure ou égale à 50 nm, et/ou - supérieure ou égale à 20 nm. 6. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications 4 ou 5 caractérisé en ce que la couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium est au-contact de la couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium. 7. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'empilement de couches minces comprend au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, au moins deux revêtements diélectriques, chaque revêtement diélectrique comportant au moins une couche diélectrique, de manière à ce que chaque couche métallique fonctionnelle soit disposée entre deux revêtements diélectriques. 8. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'empilement comprend au moins une couche de blocage situéeen-dessous et au-contact d'une couche métallique fonctionnelle à base d'argent et/ou au moins une couche de blocage située au-dessus et au-contact d'une couche métallique fonctionnelle à base d'argent. 9. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'empilement comprend : un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, éventuellement une couche de blocage, une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, éventuellement une couche de blocage, un revêtement diélectrique situé au-dessus de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent, une couche de protection supérieure. 10. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'empilement comprend : un revêtement diélectrique situé en-dessous de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprenant au moins une couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium et éventuellement une couche diélectrique à fonction stabilisante à base d'oxyde de zinc, éventuellement une couche de blocage, une couche métallique fonctionnelle à base d'argent, éventuellement une couche de blocage, un revêtement diélectrique situé au-dessus de la couche métallique fonctionnelle à base d'argent comprenant au moins une couche diélectrique à base de nitrure de silicium et/ou d'aluminium, une couche de protection supérieure. 11. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce l'empilement comprenant une couche fonctionnelle à base d'argent est positionné sur la face du substrat au contact de l'enceinte du dispositif chauffant. 12. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce le vitrage est un vitrage multiple comprenant deux, trois ou quatre substrats. 13. Dispositif chauffant selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce qu'au moins le substrat revêtu de l'empilement est bombé et/ou 35 trempé. 14. Utilisation d'un vitrage comme élément constitutif d'un dispositif chauffant ou d'une porte anti-feu, le vitrage comprenant un substrat transparent revêtu d'un empilement de couches minces comprenant au moins une couche métallique fonctionnelle à base d'argent caractérisé en ce que l'empilement comprend une couche de protection supérieure à base d'oxyde de titane et de zirconium. 15. Utilisation d'un vitrage selon la revendication 14 caractérisé en ce qu'il est choisi parmi les vitrages multiples comprenant au moins deux substrats transparents.10