Brevet FR3029196A1 — publié le 20160603

Méthode et dispositif de marquage de verre mince, et verre mince marqué La présente invention concerne un procédé et un dispositif de marquage de verre mince le long de traits de coupe, à des fins de marquage et de séparation par rupture, ainsi qu'un verre mince marqué, préparé par un procédé de ce type. Ici, le terme "verre mince" désigne du verre plat ayant une épaisseur de paroi comprise entre 1,2 mm et 3 itm, qui peut être produit en tant que ruban de verre ou film de verre et peut être enroulé. Toutefois, le verre mince marqué doit également être produit au format de plaquettes, en tant que plaque prémarquée. Après la rupture le long du marquage, on doit obtenir de petites plaques de verre mince, qui sont traitées ensuite en tant que composant dans le domaine de l'ingénierie électrique, de l'électronique ou dans des batteries électriques. Les verres minces sont utilisés dans de nombreux domaines technologiques, par exemple dans des dispositifs d'affichage, dans des fenêtres de composants optoélectroniques, dans des composants d'encapsulage et dans des couches d'isolation électrique. Ces applications nécessitent de petites plaques de verre mince. Or, le verre mince est principalement produit sous forme de ruban de verre ou film de verre, et depuis quelque temps, des épaisseurs de moins de 350 fa m sont exigées. Lorsqu'il faut traiter un tel ruban de verre mince ou un tel film de verre mince pour obtenir des plaques de verre mince plus petites, on rencontre des difficultés de manipulation. L'industrie de transformation de verre mince ne souhaite en général pas recevoir de petites plaques de verre mince découpées en dés en vue du traitement ultérieur, mais du verre mince enroulé en rouleaux, qui est préparé pour être séparé en petites plaques de verre mince. Toutefois, dans le cas du verre mince prémarqué, cela pose un problème. En effet, lorsque le verre mince est incurvé au moment de l'enroulement, il existe un risque de rupture prématurée le long du trait de coupe. Une seule rupture peut déjà gêner le processus de traitement ultérieur qui devra être interrompu pendant le déroulage du verre mince en raison de l'emplacement de rupture. L'invention a pour objet de préparer du verre mince prémarqué d'une manière qui permet d'effectuer un traitement ultérieur fiable du verre mince prémarqué. Pour parer aux risques de rupture prématurée le long du trait de coupe, les marquages préparés doivent présenter une qualité prédéfinie. Les marquages doivent avoir une profondeur aussi uniforme que possible, c'est-à-dire que l'outil de marquage doit être dirigé de façon précise le long des traits de coupe prévus et avec une force de pression de contact de marquage aussi constante que possible. Dans une plage d'épaisseur comprise entre 1,2 mm et 350 um, cela est possible en raison de la force de pression de contact de marquage relativement grande devant être réglée pour le marquage. Toutefois, lorsqu'il faut marquer du verre ultramince (UTG) et que la force de pression de contact de marquage appliquée au verre mince doit adopter de petites valeurs (ne dépassant pas 2 N), il existe un risque croissant de voir l'outil de marquage glisser temporairement sur la surface du verre à marquer, ce qui est connu comme phénomène de glissement saccadé et a déjà été observé avec des têtes de coupe de verre de la technique antérieure. Conformément à un premier aspect de l'invention, il est prévu un dispositif de marquage de verre mince, qui permet de maintenir la force de pression de contact de marquage constante de manière suffisamment précise le long des traits de coupe prévus, en évitant dans une large mesure les forces de frottement. A cet effet, l'outil de marquage est pressé sur le verre mince par l'intermédiaire d'un balancier parallèle qui comprend deux ou plus de deux lames de ressort et est entraîné le long du trait de coupe prévu, par une machine-outil numérique. La force de pression de contact de marquage de l'outil de marquage est réglée de manière contrôlée en utilisant un dispositif de mesure qui détermine de façon avantageuse la force de pression de contact de marquage sur la base de la déviation du balancier parallèle de sa position neutre. Dans le champ d'application de la présente invention, le terme "outil de coupe" est un synonyme de "outil de marquage". De la même manière, les termes "tête de coupe" et "tête de marquage" sont utilisés comme synonymes. Par découpe d'un verre, par exemple d'un verre mince, on entend le marquage et la séparation subséquente. Par conséquent, le marquage fait partie d'un processus de découpe. Dans le cadre de la présente invention, on entend par marquage d'un verre tout affaiblissement de la zone de surface, par exemple en réalisant une entaille continue ou discontinue. Pour éviter le phénomène de glissement saccadé dans le porte- outil de marquage au niveau de la tête de marquage, l'élément de marquage de l'outil de marquage est monté dans un boîtier d'outil de marquage, par l'intermédiaire d'un tourillon, dans des paliers aérostatiques avec un élément de fixation amortissant dans la direction axiale du tourillon et avec un guidage radial pour un mouvement pivotant de l'élément de l'outil de marquage. L'outil de marquage peut être placé avec une force sensiblement constante sur le verre mince à marquer et peut être tiré le long du trait de coupe prévu. Lorsque le trait de coupe prévu comporte des courbures, les paliers aérostatiques offrent un montage à frottement réduit, sans le phénomène de glissement saccadé lors de l'utilisation de roulements à billes généralement utilisés jusqu'à présent pour supporter le tourillon de l'outil de coupe avec des têtes de coupe de la technique antérieure. En outre, la tête de marquage proposée présente un moment d'inertie plus faible, comparé à des têtes de coupe classiques de la technique antérieure, et peut être de conception légère. Un deuxième aspect de l'invention concerne le contrôle de processus et le traitement pendant le marquage du verre mince. Lorsqu'une profondeur de marquage prédéfinie doit être maintenue constante, il est utile de déterminer une quantité dérivée de la profondeur de marquage. La profondeur de marquage est en relation avec le degré de déviation du balancier parallèle pendant la traction de l'outil de marquage et peut être calculée à partir de la déviation mesurée. Si des irrégularités de résistance au marquage apparaissaient dans le verre mince, la perturbation peut être maintenue à un faible niveau à l'aide d'une boucle de commande et peut être maintenue dans une plage de tolérance de la profondeur de marquage. D'autre part, un moyen de commande dans le dispositif de marquage est destiné à régler des profondeurs de marquage variables, par exemple pour compenser les différences de comportement au marquage et à la rupture ou à proximité d'un bord périphérique du verre mince, comparé à une zone plus centrale du verre mince. Il en va de même pour du verre mince d'épaisseurs variables par rapport aux deux dimensions longitudinale et transversale de celui-ci. Un troisième aspect de l'invention concerne la fabrication de verre mince prémarqué, en tant que produit semi-fini pour de petites plaques nouvelles de verre mince pour lesquelles il y a des applications utiles dans différents domaines de l'électronique de grand public. De telles petites plaques de verre mince, qui sont obtenues après marquage et séparation par rupture, conviennent comme verres de protection de dispositifs d'affichage, panneaux tactiles, cellules photovoltaïques, modules semiconducteurs ou sources lumineuses à LED. Mais les petites plaques de verre mince peuvent également être utilisées comme élément de condensateurs, batteries à couches minces, cartes de circuits imprimés souples, OLED souples, modules photovoltaïques souples ou papier électronique. Le type de verre mince peut être choisi spécifiquement en fonction du domaine d'application prévu, afin de répondre aux exigences concernant la résistance chimique, la résistance aux chocs thermiques, la résistance à la chaleur, l'étanchéité aux gaz, une haute isolation électrique, un coefficient de dilatation adapté, la souplesse, une haute qualité optique et la transmission lumineuse, avec une haute qualité de surface. Le verre mince a une surface polie à la flamme sur ses deux faces et présente par conséquent une très faible rugosité. Le verre mince présentant un profil d'exigence tel que mentionné ci-dessus a une dureté Knoop HK dans une plage allant de 350 à 650. Pour les besoins de l'invention, une plage de dureté Knoop entre 550 et 650 est préférable, mais la dureté Knoop peut également avoir des valeurs supérieures à 650. En cas de dureté Knoop plus élevée, des profondeurs de marquage plus faibles seront suffisantes pour la rupture le long du trait de coupe, ce qui permet d'écarter les risques de rupture prématurée le long du trait de coupe, dans le cas d'un matériau de verre mince enroulé. Dans la pratique, la profondeur de marquage peut être comprise entre 1/20 et 4/5, de préférence entre 1/20 et 1/5 de l'épaisseur du verre mince, avec des fissures qui s'étendent dans le matériau du verre mince en fonction de la profondeur de marquage. Pour réaliser avec succès le procédé de marquage présenté ici, la composition du verre mince joue également un rôle important. On a constaté que les types de verre indiqués ci-après sont particulièrement adaptés : le verre aluminosilicate de lithium, le verre sodo-calcique, le verre borosilicate, le verre aluminosilicate de métal alcalin et le verre aluminosilicate. L'invention sera maintenant décrite à l'aide d'un exemple de réalisation d'un dispositif en référence au dessin. L'unique figure montre de façon schématique une vue en coupe longitudinale d'une tête de marquage d'une machine-outil à commande numérique. Les principaux éléments de la tête de marquage de la machine- outil à commande numérique comprennent un outil de marquage 1, un mécanisme d'entraînement de marquage 2, un chariot d'avance 3 entraîné, un balancier parallèle 4 et un dispositif de mesure 5. La tête de marquage, conjointement avec l'outil de marquage 1, peut être déplacée sur une table de coupe 6 de la machine-outil, suivant des directions horizontale x et y. Le chariot d'avance 3 entraîné assure le réglage de l'outil de marquage 1 dans la direction z et peut comprendre une commande d'avance, non représentée, et une commande de précision 8. La commande d'avance sert à placer l'outil de marquage 1 sur la pièce, c'est-à-dire le verre mince 9, de préférence sans exercer une force sur le verre mince 9. La commande de précision 8 fournit la force de pression de contact de marquage de l'outil de marquage sur le verre mince 9. Pour réaliser cette opération d'une manière contrôlée, il est prévu un contrôleur de valeurs réelles/valeurs cibles 7. L'outil de marquage 1 comprend un boîtier d'outil de marquage 10 avec des paliers aérostatiques 11 et 12, logés dans celui-ci, ainsi qu'un porte-outil de marquage 13 et un élément de marquage 14. En général, sans être limité à l'exemple illustré ici, les paliers peuvent être configurés comme paliers magnétiques, aérostatiques et/ou mécaniques, et il convient de prévoir des mesures appropriées pour réduire les forces de frottement. L'élément de marquage peut être réalisé sous la forme d'une molette de découpe fritté à diamant, mais on peut également utiliser des molettes de découpe en métaux durs et des diamants de découpe. Le porte-outil de marquage 13 comprend un tourillon 15, monté dans des paliers radiaux 12, et un piston 16 supporté par un palier axial 11. Les paliers aérostatiques 11, 12 sont alimentés en air comprimé par l'intermédiaire de conduites d'air comprimé pour obtenir le guidage et les degrés de liberté de mouvement nécessaires, à l'aide de coussins d'air générés dans des chambres à air comprimé. L'élément de marquage 14 est fixé au porte-outil de marquage 13, son axe étant décalé par rapport à l'axe du tourillon 15, de sorte que l'élément de marquage 14 peut être tiré sur le verre mince 9 le long du trait de coupe prévu, en se situant derrière l'axe du tourillon 15, vu dans la direction de déplacement. Le boîtier d'outil de marquage 10 est fixé au chariot d'avance 3 entraîné, par l'intermédiaire du balancier parallèle 4, afin de suivre le mouvement de celui-ci dans la direction z, jusqu'à ce que l'élément de marquage 14 soit placé sur le verre mince 9. Le balancier parallèle 4 est un parallélogramme comportant deux ou plus de deux lames de ressort 40 et des éléments de serrage 41 et 42 qui serrent les extrémités des lames de ressort 40. L'élément de serrage 41 est fixé au boîtier d'outil de marquage 10, et l'élément de serrage 42 est fixé au chariot d'avance 3. Pour éviter la génération de vibrations de résonance du système de l'outil de marquage 1 et du balancier parallèle 4 pendant la traction de l'élément de marquage 14 sur la surface du verre mince 9, il est avantageux de choisir une pluralité de lames de ressort 40 ayant des caractéristiques de raideur différentes pour la configuration du balancier parallèle 4. Si des oscillations de résonance se produisent pour une lame de ressort, elles sont atténuées et supprimées par les autres lames de ressort. Outre la variation du nombre de lames de ressort, il est également possible, pour la configuration du balancier parallèle, de modifier l'épaisseur, la largeur, la longueur et le matériau de celui-ci. Les matériaux appropriés incluent le métal, les matières plastiques, le carbone, le Kevlar, le graphène et d'autres. Pour réaliser le marquage, l'outil de marquage 1, avec l'élément de marquage 14, est placé sur le verre mince 9, si possible sans pression de contact. A cet effet, on peut utiliser "l'entrée en contact de substitution", en prévoyant une paire de butées parallèles, dont une première a une surface de butée qui est alignée avec le plan horizontal du bord inférieur de l'élément de marquage, et la seconde a une surface de butée alignée avec le plan horizontal de la surface supérieure du verre mince à marquer. Ensuite, la paire de butées parallèles est désactivée, et lors d'une deuxième étape le verre mince 9 est soumis à la force de pression de contact de marquage. Cela est obtenu à l'aide de la commande de précision 8. Partant de la position d'entrée en contact de l'outil de marquage 1, le chariot d'avance 3 entraîné exécute un mouvement descendant dans la direction z, provoqué par la commande de précision 8, et l'élément de marquage 14 pénètre dans le verre mince 9, les lames de ressort 40 sont sollicitées jusqu'à ce que la force de pression de contact de marquage requise soit atteinte, sans introduire une force de frottement dans le système de production de force et donc un phénomène de glissement saccadé lors de l'application de la force de pression de contact de marquage au verre mince. Même en cas de légères variations de la topographie de surface du verre mince, de la table de coupe ou de l'entraînement de la machine-outil dans les directions x-y, cela ne se produira pas. Même lorsque l'entraînement est réalisé avec une force de pression de contact de marquage variable, il n'y aura pas d'influence d'une force de frottement sur l'ajustement de la force de pression de contact de marquage respective. Une commande piézoélectrique linéaire est appropriée comme commande de précision 8. En tant que capteur du dispositif de mesure 5, on peut utiliser une jauge de contrainte sur l'une des lames de ressort 40 pour déterminer la déviation du balancier parallèle 4 dans la direction z, après l'entrée en contact de l'outil de marquage 1 sur le verre mince 9. Puisque les constantes élastiques des lames de ressort 40 du balancier parallèle 4 sont connues, la composante verticale de la force de marquage peut être mesurée et affichée sur la base de la déviation du balancier parallèle 4. Comme mentionné plus haut, la composante verticale de la force de marquage peut être réglée aux valeurs souhaitées, sans composante de force de frottement, et peut être maintenue en utilisant le contrôleur de valeurs réelles/valeurs cibles 7. En conséquence, une boucle de commande est prévue pour la commande de processus et comprend le dispositif de mesure 5, le contrôleur de valeurs réelles/valeurs cibles 7 et la commande de précision 8 du chariot d'avance 3. Le contrôleur de valeurs réelles/valeurs cibles 7 comprend une mémoire de valeurs cibles, destinée à entrer et stocker des valeurs cibles de la composante de force de marquage verticale le long des traits de coupe prévus, et un circuit de comparaison pour détecter des écarts entre les valeurs réellement mesurées et les valeurs cibles stockées de la composante de force de marquage verticale. En cas de différences, c'est-à-dire de signal dit "d'erreur", la commande de précision 8 du chariot d'avance 3 est entraînée dans la direction de réduction du signal d'erreur. Avec cette mesure, la grandeur de la force de marquage requise peut être garantie à tout instant. Si la mémoire de valeurs cibles est adaptée pour stocker des valeurs cibles variables, il est possible de programmer des caractéristiques de force de marquage variables. Cela est utile pour l'optimisation du processus. Afin que l'outil de marquage 1 se déplace le long des traits de coupe choisis sur le verre mince 9, il est prévu le mécanisme d'entraînement de marquage 2, sur lequel est monté le chariot d'avance 3 entraîné, de manière à suivre, conjointement avec l'outil de marquage 1, les mouvements du mécanisme d'entraînement de marquage 2. Si une certaine ondulation de la surface du verre mince est rencontrée, l'influence de celle-ci sur la profondeur de marquage peut être compensée par la boucle de régulation. D'autre part, en utilisant le palier axial aérostatique 11 avec le coussin d'air axial, les mouvements dans la direction z sont amortis, ce qui réduit la vitesse de changement de la composante de force de marquage suite à l'apparition de l'ondulation à la surface du verre mince. Par ailleurs, en utilisant le palier radial aérostatique 12 (à la place de roulements à billes pour le montage du tourillon 15) et en utilisant le balancier parallèle 4 (à la place d'entraînements à vis pour solliciter l'outil de coupe par rapport à la pièce), on évite une masse d'inertie substantielle sur l'outil de marquage, ce qui a une influence sur la précision de maintien de la grandeur souhaitée de la composante de force de marquage verticale, lorsque celle-ci est ajustée. Cela est particulièrement critique parce que l'objectif consiste à prémarquer notamment du verre ultramince (UTG) d'une épaisseur inférieure à 350 gm, de manière à ce qu'il puisse être conservé dans des conditions de stockage sans rupture prématurée non souhaitée le long du trait de coupe, ce qui est une opération très délicate en termes de maintien de la profondeur de marquage appropriée. Le dispositif et le procédé conformes à l'invention permettent de régler des grandeurs extrêmement faibles de la composante de force de marquage verticale, de sorte que même des verres extrêmement minces peuvent être prémarqués pour être ensuite soumis à un traitement ultérieur. Cela est notamment dû au fait qu'il est ainsi possible d'obtenir des résistances particulièrement bonnes sur les bords. Le fonctionnement de la tête de marquage de la machine-outil avec le balancier parallèle élastique est également avantageux si le dispositif de marquage de verre mince est configuré sans moyen de mesure et de commande et sans montage aérostatique de l'élément de marquage. Le fonctionnement de la tête de marquage conforme à l'invention permet de marquer du verre mince notamment avec une application très uniforme de la force, de 2 N et moins ; en cas d'utilisation de molettes de découpe, de préférence avec moins de 1,2 N, et en cas d'utilisation de pointes de diamant, avec moins de 0,5 N, sans provoquer le phénomène dit de "glissement saccadé". Avec la tête de marquage conforme à l'invention, les inventeurs ont réussi à marquer du verre mince avec une force de marquage très constante. L'uniformité se situe dans une plage de + 0,05 N, de préférence + 0,03 N de la force de contact nominale. Cela donne une qualité de bord sensiblement exempte de fissures, associée à une résistance de bord élevée. Contrairement à cela, avec une tête de marquage de la technique antérieure, le marquage n'est possible qu'avec une force de marquage non uniforme et avec des pics de force, amplifiés notamment par le phénomène de glissement saccadé qui en résulte et qui, comparé à l'invention, conduit à une qualité de bord comportant un grand nombre de fissures et par conséquent une faible résistance des bords. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, le marquage est réalisé sous atmosphère contrôlée, notamment dans un environnement conditionné spécifiquement par une phase fluide. La phase fluide est de préférence constituée d'alcools, notamment d'alcools absolus, et de façon particulièrement avantageuse d'éthanol absolu. D'autres fluides englobent l'eau déionisée, Lockstedter (45 % liqueur d'origine végétale) et des liquides qui sont divulgués dans le brevet européen EP 1 726 635 Bi. Ici, l'outil de marquage est entouré par la phase fluide, au moins partiellement et de préférence complètement. Dans le contexte de la présente demande, le verre mince désigne du verre en forme de plaques ou en forme de rubans ou de type film, avec une épaisseur de paroi de Des compositions de verre sont indiquées ci-après, qui conviennent pour du verre mince ayant une dureté Knoop HK située dans une plage comprise entre 550 et 650 et plus, dans la mesure du possible, et notamment pour du verre ultramince UTG de Exemple 4 : verre sodo-calcique Composition (% en poids) Si02 40-81 A1203 0-6 B203 0-5 Li20 + Na20 + 1(20 5-30 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 5-30 TiO2 + Zr02 0-7 P205 0-2 20 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en 25 tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. 30 Exemple 5 : verre sodo-calcique Composition (% en poids) Si02 50-81 A1203 0-5 B203 0-515 Li20 + Na20 + K20 5-28 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 5-25 TiO2 + Zr02 0-6 P205 0-2 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en 10 tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. 15 Exemple 6 : verre sodo-calcique Composition (% en poids) Si02 55-76 A1203 0-5 B203 0-5 Li20 + Na20 + K20 5-25 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 5-20 TiO2 + Zr02 0-5 P205 0-2 25 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sh203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, 30 photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. 20 Exemple 7 : verre borosilicate Composition (%) en poids Si02 60-85 A1203 0-10 B203 5-20 Li20 + Na20 + K20 2-16 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-15 TiO2 + Zr02 0-5 P205 0-2 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en 15 tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. 20 Exemple 8 : verre borosilicate Composition (% en poids Si02 63-84 A1203 0-8 B203 5-18 Li20 + Na20 + K20 3-14 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-12 TiO2 + Zr02 0-4 P205 0-2 30 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, 10 25 photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. Exemple 9 : verre borosilicate Composition (% en poids) Si02 63-83 A1203 0-7 B203 5-18 Li20 + Na20 + K20 4-14 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-10 TiO2 + Zr02 0-3 P205 0-2 15 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, 20 photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. Exemple 10 : verre aluminosilicate de métal alcalin Composition (% en poids) Si02 40-75 A1203 10-30 B203 0-20 Li20 + Na20 + K20 4-30 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-15 TiO2 + Zr02 0-15 P205 0-10 25 30 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. Exemple 11 : verre aluminosilicate de métal alcalin Composition (% en poids) Si02 50-70 A1203 10-27 B203 0-18 Li20 + Na20 + 1(20 5-28 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-13 TiO2 + Zr02 0-13 P205 0-9 20 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, 25 photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. Exemple 12 : verre aluminosilicate alcalin Composition (% en poids) Si02 55-68 A1203 10-27 B203 0-15 30 Li20 + Na20 + K20 4-27 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-12 TiO2 + Zr02 0-10 P205 0-8 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en 10 tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. 15 Exemple 13 : verre aluminosilicate Composition (% en poids) S i02 50-75 A1203 7-25 B203 0-20 Li20 + Na20 + K20 0-4 MgO + CaO +Sr0 + BaO + ZnO 5-25 Ti02+Zr02 0-10 P205 0-5 25 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, 30 photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. 20 Exemple 14 : verre aluminosilicate Composition (% en poids) Si02 52-73 A1203 7-23 B203 0-18 Li20 + Na20 + K20 0-4 MgO + CaO +Sr0 + BaO + ZnO 5-23 Ti02+Zr02 0-10 P205 0-5 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en 15 tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. 20 Exemple 15 : verre aluminosilicate Composition (% en poids) Si02 53-71 A1203 7-22 B203 0-18 Li20 + Na20 + K20 0-4 MgO + CaO +Sr0 + BaO + ZnO 5-22 TiO2 + Zr02 0-8 P205 0-5 30 De manière facultative, des oxydes colorants peuvent être ajoutés au verre mince, par exemple Nd203, Fe203, CoO, NiO, V205, Mn02, Ti02, CuO, Ce02, Cr203. De plus, il est possible d'ajouter de 0 à 2 % en poids de As203, Sb203, Sn02, S03, Cl, F et/ou de Ce02, en tant qu'agent d'affinage. Pour conférer des fonctions magnétiques, 10 25 photoniques ou optiques au verre mince, il est possible d'ajouter des oxydes de terres rares en une quantité allant de 0 à 5 % en poids. La quantité totale de la composition totale est de 100 % en poids. Exemple de réalisation 16 : La composition du verre est indiquée à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 30 à 85 B203 3 à 20 A1203 0 à 15 Na20 3 à 15 1(20 3 à 15 ZnO 0 à 12 TiO2 0.5 à 10 CaO 0 à 0.1 Exemple de réalisation 17 : La composition du verre est en outre indiquée à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 58 à 65 B203 6 à 10.5 A1203 14 à 25 MgO 0 à 3 CaO 0 à 9 BaO 3 à 8 ZnO 0 à 2, où, en plus, la somme des teneurs en MgO, CaO et BaO est caractérisée par le fait qu'elle se situe dans une plage allant de 8 à 18 % en poids. Exemple de réalisation 18 : La composition du verre est en outre indiquée à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 55 à 75 Na20 0 à 15 1(20 2 à 14 A1203 0 à 15 MgO 0 à 4 CaO 3 à 12 BaO 0 à 15 ZnO 0 à 5 TiO2 0 à 2 Exemple de réalisation 19 : D'autre part, un verre possible est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 61 B203 10 A1203 18 MgO 2.8 CaO 4.8 BaO 3.3 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : Ct(20-300) 3.2.10-6/K Tg 717 °C Densité 2.43 g/cm3 Exemple de réalisation 20 : Un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 64.0 B203 8.3 A1203 4.0 Na20 6.5 K20 7.0 ZnO 5.5 TiO2 4.0 Sb203 0.6 Cl- 0.1 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : a(20-300) 7.2.10-6/K Tg 557 °C Densité 2.5 g/cm3 Exemple de réalisation 21 : Un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : 5i02 69 +/- 5 Na20 8 +/- 2 1(20 8 +/- 2 Ca0 7 +/- 2 BaO 2 +/- 2 ZnO 4 +/- 2 TiO2 1 +/- 1 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : a(20-300) 9.4.10-6/K Tg 533 °C Densité 2.55 g/cm3 Exemple de réalisation 22 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 80 +/- 5 B203 13 +/- 5 A1203 2.5 +/- 2 Na20 3.5 +/- 2 K20 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : a(20-300) 3.25.10-6/K Tg 525 °C Densité 2.2 g/cm3 Exemple de réalisation 23 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 62.3 A1203 16.7 Na20 11.8 K20 3.8 MgO 3.7 Zr02 0.1 Ce02 0.1 TiO2 0.8 As203 0.7 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : OE(20300) 8.6.10-6/K Tg 607 °C Densité 2.4 g/cm3 Exemple de réalisation 24 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 62.2 A1203 18.1 B203 0.2 P205 0.1 Li20 5.2 Na20 9.7 1(20 0.1 CaO 0.6 Sr0 0.1 ZnO 0.1 Zr02 3.6 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : OE(2O300)8.5.10-6/K Tg 505 °C Densité 2.5 g/cm3 Exemple de réalisation 25 : Un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 52 A1203 17 Na20 12 K20 4 MgO 4 CaO 6 ZnO 3.5 Zr02 1.5 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : cit(2o-3oo) 9.7.10-6/K Tg 556 °C Densité 2.6 g/cm3 Exemple de réalisation 26 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 62 A1203 17 Na20 13 K20 3.5 MgO 3.5 CaO 0.3 Sn02 0.1 TiO2 0.6 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : 0(20-300) 8.3.10-6/K Tg 623 °C Densité 2.4 g/cm3 Exemple de réalisation 27 : Un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 61.1 A1203 19.6 B203 4.5 Na20 12.1 K20 0.9 MgO 1.2 CaO 0.1 SnO2 0.2 Ce02 0.3 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : 0(20-300) 8.9.10-6/K Tg 600 °C Densité 2.4 g/cm3 Exemple de réalisation 28 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 50 à 65 A1203 15 à 20 B203 0 à 6 Li20 0 à 6 Na20 8 à 15 K20 0 à 5 MgO 0 à 5 Ca0 0 à 7, de préférence 0 à 1 ZnO 0 à 4, de préférence 0 à 1 Zr02 0 à 4 TiO2 0 à 1, de préférence sensiblement exempt de Ti02. D'autres constituants du verre peuvent inclure de 0 à 1 % en poids de P205, Sr0, BaO et de 0 à 1 % en poids des agents d'affinage Sn02, Ce02 ou As203, ou d'autres agents d'affinage. Exemple de réalisation 29 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 58 à 65 B203 6 à 10.5 A1203 14 à 25 MgO 0 à 5 CaO 0 à 9 BaO 0 à 8 Sr0 0 à 8 ZnO 0 à 2 Exemple de réalisation 30 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 59.7 A1203 17.1 B203 7.8 MgO 3.4 CaO 4.2 Sr0 7.7 BaO 0.1 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : 11(20-300) 3.8.10-6/K Tg 719 °C Densité 2.51 g/cm3 Exemple de réalisation 31: Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 59.6 A1203 15.1 B203 9.7 CaO 5.4 Sr0 6.0 BaO 2.3 ZnO 0.5 Sb203 0.4 As203 0.7 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : 6420-300) 3.8.10-6/K Densité 2.5 g/cm3 Exemple de réalisation 32 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 58.8 A1203 14.6 B203 10.3 MgO 1.2 CaO 4.7 Sr0 3.8 BaO 5.7 Sb203 0.2 As2O3 0.7 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : Ct(20-300) 3.73.10-6/K Tg 705 °C Densité 2.49 g/cm3 Exemple de réalisation 33 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 62.5 B203 10.3 A1203 17.5 MgO 1.4 CaO 7.6 Sr0 0.7 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : 11(20-300) 3.2 ppm/K Densité: 2.38 g/cm3 Exemple de réalisation 34 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 55 à 75 Na20 0 à 15 K20 0 à 14 A1203 0 à 15 MgO 0 à 4 CaO 3 à 12 BaO 0 à 15 ZnO 0 à 5 Exemple de réalisation 35 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 74.3 Na20 13.2 K20 0.3 A1203 1.3 MgO 0.2 CaO 10.7 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : OE(20300) 9.0 ppm/K Tg: 573 °C Exemple de réalisation 36 : Encore un autre verre est indiqué à titre d'exemple par la composition suivante, en % en poids : Si02 72.8 Na20 13.9 K20 0.1 A1203 0.2 MgO 4.0 CaO 9.0 Avec cette composition, on obtient les caractéristiques suivantes du verre : ct(20-300) 9.5 ppm/K Tg: 564 °C Sauf si mentionné plus haut, tous les modes de réalisation 16 à 36 qui précèdent peuvent comporter de manière facultative de 0 à 1 % en poids d'agents d'affinage, par exemple Sn02, Ce02, As203, Cl-, F et des sulfates. Les verres des exemples présentés conviennent particulièrement bien à la production de rubans de verre et de films de verre ultraminces souples avec une plage d'épaisseur comprise entre 350 um et 3 um. Les épaisseurs de verre préférées sont les suivantes : 5 um, 10 um, 15 um, 25 um, 30 um, 35 um, 50 !lm, 55 um, 70 um, 80 um, 100 um, 130 um, 145 um, 160 um, 190 ktm, 210 um, et 280 um. Les rubans de verre et les films de verre de ce type sont traités avec une force de pression de contact de marquage réglée en tant que composante de force de marquage verticale appliquée au verre mince, pour être préparés en tant que verre mince prémarqué en vue d'une transformation ultérieure en plaques de verre mince. Pour la première fois, cela permet de produire du verre ultramince prémarqué d'une dureté Knoop HK comprise entre 350 et 650, avec une profondeur de marquage comprise dans une plage entre 1/20 et 4/5, de préférence entre 1/20 et 1/5 de l'épaisseur de matériau. REVENDICATIONS I. Procédé de marquage de verre mince le long de traits de coupe prévus, à des fins de marquage et de séparation par rupture, comprenant les étapes suivantes : a) mise en place d'un verre mince (9) sur une table de coupe (6) d'une machine-outil qui est équipée d'un chariot d'avance (3) entraîné et d'un outil de marquage (1), fixé à celui-ci et monté dans un boîtier, et d'un mécanisme d'entraînement de marquage (2) ; b) approche de l'outil de marquage (1) du verre mince (9) et disposition verticale de l'outil de marquage (1) sur le verre mince (9) ; c) sollicitation de lames de ressort (40) qui sont disposées sous la forme d'un parallélogramme, de manière à former un balancier parallèle (4), et qui ont des extrémités de lame de ressort qui sont serrées sur un premier élément du chariot d'avance (3) entraîné, à une extrémité, et à l'autre extrémité sur un deuxième élément auquel est fixé le boîtier d'outil de marquage (1) ; où, après déviation du balancier parallèle (4), par déplacement parallèle du chariot d'avance (3) par rapport à l'axe de l'outil de marquage (1), une composante de force de marquage verticale, qui est perpendiculaire au verre mince, peut être réglée sans interférence par une quelconque composante de force de frottement ; d) traction de l'outil de marquage (1) sur le verre mince (9), le long du trait de coupe prévu, avec la composante de force de marquage verticale réglée. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la composante de force de marquage verticale est mesurée par le degré de déviation du balancier parallèle (4) pendant la traction de l'outil de marquage (1). 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la machine-outil comprend une boucle de commande comportant une mémoire de valeurs cibles pour le chariot d'avance (3), dont sont extraites des valeurs cibles de la composante de force de marquage verticale le long des traits de coupe prévus, pour être comparées à desvaleurs réelles mesurées de la composante de force de marquage verticale, dans un circuit de comparaison, pour obtenir un signal de commande respectif en cas d'écart, en vue d'entraîner le chariot d'avance (3) de manière à compenser ledit écart. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le marquage est effectué en appliquant une force uniforme de 2 N et moins, et si des molettes de découpe sont utilisées, de préférence de moins de 1,2 N, et si des pointes en diamant sont utilisées, avec moins de 0,5 N. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le marquage est effectué avec une force de marquage constante avec une uniformité située dans une plage de + 0,05 N, de préférence + 0,03 N de la force de pression de contact nominale. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le marquage est effectué sous atmosphère contrôlée, en particulier dans un environnement spécialement conditionné par une phase fluide, laquelle phase fluide est de préférence constituée d'alcools, notamment d'alcools absolus, et tout particulièrement d'éthanol absolu, et en ce qu'en outre, l'outil de marquage est de préférence entouré par ladite phase fluide, au moins partiellement et de préférence complètement. 7. Dispositif de marquage de verre mince le long de traits de coupe prévus, à des fins de marquage et de séparation par rupture, comprenant : - une machine-outil, comportant - une table de coupe (6) pour recevoir le verre mince (9) ; - un chariot d'avance (3) entraîné ; et - un outil de marquage (1) comprenant un élément de marquage (14) monté dans un boîtier d'outil de marquage (10) qui est fixé au chariot d'avance (3) ; - un mécanisme d'entraînement de marquage (2) pour tirer l'outil de marquage (1) le long du trait de coupe prévu ; et- un dispositif de mesure (5) pour mesurer la force de pression de contact de marquage de l'outil de marquage (1) sur le verre mince (9), en tant que composante de force de marquage verticale ; - caractérisé en ce que l'outil de marquage (1) est relié au chariot d'avance (3) par l'intermédiaire d'un balancier parallèle (4) constitué de deux ou plus de deux lames de ressort (40) dont les extrémités sont serrées sur un premier élément relié au chariot d'avance (3), à une extrémité, et à l'autre extrémité sur un deuxième élément relié au boîtier d'outil de marquage (10) ; et - en ce que le dispositif de mesure (5) est couplé au balancier parallèle (4) pour déterminer la déviation de celui-ci par rapport à une position neutre. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'élément de marquage (14) de l'outil de marquage (1) est monté dans le boîtier d'outil de marquage (10) par l'intermédiaire d'un tourillon (15) dans des paliers (11, 12), de préférence des paliers aérostatiques (11, 12) avec un élément de fixation amortissant dans la direction axiale du tourillon, et avec un guidage radial pour un mouvement pivotant de l'élément de marquage (14) de l'outil de marquage (1). 9. Verre mince marqué, présentant les caractéristiques suivantes : - l'épaisseur de matériau se situe dans une plage allant de 350 itm et 3 tm; - la profondeur de marquage est comprise entre 1/20 et 4/5, de préférence entre 1/20 et 1/5 de l'épaisseur de matériau ; - la dureté Knoop HK du verre mince est comprise dans une plage allant de 350 à 650. 10. Verre mince selon la revendication 9, caractérisé en ce que la dureté Knoop HK est comprise dans une plage allant de 550 à 650. 11. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre :Composition (% en poids) Si02 57-66 A1203 18-23 Li20 3-5 Na20 + K20 3-25 MgO + CaO +Sr0 + BaO1-4 ZnO 0-4 TiO2 0-4 Zr02 0-5 TiO2 + Zr02 + Sn02 2-6 P205 0-7 F 0-1 B203 0-2 12. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 57-63 A1203 18-22 Li20 3.5-5 Na20 + K20 5-20 MgO + CaO +Sr0 + BaO 0-5 ZnO 0-3 TiO2 0-3 Zr02 0-5 TiO2 + Zr02 + Sn02 2-5 P205 0-5 F 0-1 B203 0-213. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 50-81 A1203 0-5 B203 0-5 Li20 + Na20 + K20 5-28 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 5-25 TiO2 + Zr02 0-6 P205 0-2 14. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 55-76 A1203 0-5 B203 0-5 Li20 + Na20 + K20 5-25 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 5-20 TiO2 + Zr02 0-5 P205 0-2 15. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 63-84 A1203 0-8 B203 5-18 Li20 + Na20 + 1(20 3-14 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-12 TiO2 + Zr02 0-4 P205 0-216. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 63-83 A1203 0-7 B203 5-18 Li20 + Na20 + K20 4-14 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-10 TiO2 + Zr02 0-3 P205 0-2 17. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 50-70 A1203 10-27 B203 0-18 Li20 + Na20 + K20 5-28 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-13 TiO2 + Zr02 0-13 P205 0-9 18. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition 25 suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 55-68 A1203 10-27 B203 0-15 Li20 + Na20 + K20 4-27 MgO + CaO + Sr0 + BaO + ZnO 0-12 TiO2 + Zr02 0-10 P205 0-8 10 15 20 3019. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 52-73 A1203 7-23 B203 0-18 Li20 + Na20 + K20 0-4 MgO + CaO +Sr0 + BaO + ZnO 5-23 TiO2 + Zr02 0-10 P205 0-5 20. Verre mince selon la revendication 10, avec la composition suivante du verre : Composition (% en poids) Si02 53-71 A1203 7-22 B203 0-18 Li20 + Na20 + K20 0-4 MgO + CaO +Sr0 + BaO + ZnO 5-22 TiO2 + Zr02 0-8 P205 0-5