Brevet FR3035267A1 — publié le 20161021

PUCE ELECTRONIQUE COMPORTANT UNE FACE ARRIERE PROTEGEE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR L'invention concerne le domaine de la sécurité et de la protection des puces électroniques, et porte sur une puce électronique comportant des moyens protégeant la face arrière de la puce électronique et permettant d'empêcher l'accès au circuit électronique de la puce depuis sa face arrière. L'invention s'applique pour tout type de puce électronique utilisée notamment dans une carte à puce : puce de téléphonie mobile, de carte bancaire, de carte santé, de document d'identité, etc. Les attaques que peut subir une puce électronique ont généralement pour but d'accéder à des données confidentielles stockées dans le circuit électronique de la puce afin de la cloner, de modifier les informations stockées, d'usurper l'identité de son possesseur, etc. Une puce électronique peut être attaquée de multiples manières : chimique, physique, laser, électromagnétique, électrique, etc. La face avant d'une puce électronique, c'est-à-dire la face de la puce au niveau de laquelle se trouve le circuit électronique, est généralement protégée par de multiples moyens comme par exemple une couche de protection protégeant la puce contre les attaques intrusives par sonde ionique focalisée (gravure FIB ou « Focused Ion Beam »), ainsi que d'autres protections contre les attaques par perturbation (« glitch »), par observation électromagnétique, ou par cryptanalyse, etc. Par contre, la face arrière de la puce électronique est généralement mal protégée. Sans moyens de protection de cette face arrière, rien ne s'oppose à la mise en oeuvre d'un amincissement du substrat de la puce au niveau de sa face arrière, ou à la réalisation de défaillances électroniques ou électriques au laser infrarouge (« glitch »), le silicium (qui est le matériau généralement utilisé) du substrat étant transparent aux longueurs d'onde caractéristiques de l'infrarouge. L'accès au circuit électronique de la puce obtenu permet ensuite de réaliser par exemple une lecture des données via l'obtention de la clé de cryptage. 3035267 2 Généralement, seuls des détecteurs de lumière (photodiodes) formés au niveau des transistors du circuit protègent la puce vis-à-vis des attaques laser en face arrière de manière plus ou moins efficace selon les cas (la détection d'une attaque par ces capteurs doit normalement indiquer qu'il y a eu intrusion dans la puce par faisceau laser, 5 ce qui déclenche l'effacement des données contenues dans la puce). L'accès aux informations secrètes des puces électroniques est réalisable non seulement par des perturbations par stimulation laser mais aussi grâce à la réalisation de plots de contacts de type « probing » directement connectés à l'intérieur du circuit électronique, et cela grâce à la modification physique du circuit par une sonde 10 ionique focalisée (faisceau FIB). Le document DE 100 65 339 Al décrit la protection d'une face arrière d'une puce électronique via la réalisation de plusieurs capacités au niveau de cette face arrière. En cas d'altération de la face arrière de la puce liée à une attaque, le changement de la valeur des capacités est détecté et une action, telle qu'une mise en défaut de la 15 puce, est alors réalisée. Une telle protection n'est toutefois pas adaptée pour protéger la puce vis-à-vis d'attaques par ablation par faisceau d'ions. En effet, même avec une conception optimisée, la sensibilité des capacités en face arrière n'est pas suffisante à cause de leur surface totale très grande, et une altération de ces capacités par des faisceaux d'ions est très difficilement détectable. Typiquement, une attaque par faisceau 20 d'ions est réalisée sur une fenêtre de gravure de 50 um de côté, soit une surface égale à 2,5.10-3 mrn2. En considérant une puce de taille standard de surface égale à 4 mrn2, la fenêtre de gravure représente une variation de moins de 1/1000 de la surface de la puce. Le document US 8 110 894 B2 décrit une puce électronique dont la face avant comporte une inductance qui, par couplage inductif à travers le substrat de la puce, 25 détecte la présence d'un plan de masse conducteur disposé sur la face arrière de la puce. Une altération par une attaque de ce plan de masse conducteur induit une variation du couplage inductif entre les faces avant et arrière de la puce, ce qui conduit à une mise en défaut de la puce. 3035267 3 Cette solution offre toutefois un niveau de protection limité car une telle protection de la face arrière de la puce est assez simple et le plan métallique conducteur est facilement copiable. Les faces arrières de ces puces électroniques nécessitent donc une 5 protection qui soit efficace contre les différentes attaques possibles. EXPOSÉ DE L'INVENTION Un but de la présente invention est de proposer une puce électronique dont la face arrière soit efficacement protégée vis-à-vis de différents types d'attaque, notamment vis-à-vis d'attaques par amincissement, par sonde ionique focalisée ou par 10 gravure chimique de la face arrière de la puce. Pour cela, l'invention propose une puce électronique comportant au 15 moins : - un circuit électronique disposé au niveau d'une face avant d'un substrat ; - une première couche de protection disposée sur une face arrière du substrat ; - un élément résistif disposé sur la première couche de protection et en regard d'au moins une partie du circuit électronique, supporté mécaniquement par la première couche de protection et relié électriquement et/ou de manière inductive au 20 circuit électronique ; - une deuxième couche de protection recouvrant au moins l'élément résistif ; et dans laquelle la première couche de protection comporte au moins un matériau diélectrique ayant une résistance à une gravure chimique par au moins un 25 agent de gravure chimique inférieure ou égale à celle d'un matériau diélectrique de la deuxième couche de protection. La face arrière d'une telle puce électronique est donc protégée grâce à l'élément résistif couplé aux deux couches de protection. 3035267 4 Si un amincissement mécanique ou un polissage de la face arrière de la puce électronique est mis en oeuvre, cet amincissement provoque nécessairement, après la destruction de la deuxième couche de protection, celle de l'élément résistif. Cette destruction de l'élément résistif forme alors un circuit ouvert qui est détecté par le circuit 5 électronique de la puce qui pourra, par exemple, se mettre en défaut. Si une gravure chimique est mise en oeuvre dans le but d'atteindre le circuit électronique depuis la face arrière de la puce, l'agent de gravure chimique utilisé pour graver le substrat, par exemple une solution à base de KOH et/ou de TMAH, détruit également les deux couches de protection, et notamment la première couche de 10 protection qui supporte mécaniquement l'élément résistif, en raison de la nature du ou des matériaux de ces couches de protection qui subissent également la gravure mise en oeuvre pour graver le substrat. Cette destruction des couches de protection engendre donc également une destruction de l'élément résistif qui n'est plus supporté mécaniquement par la première couche de protection, cette destruction étant détectée 15 par le circuit électronique de la puce. Lors d'une telle gravure chimique, notamment depuis les parois latérales des couches de protection, la première couche de protection est donc gravée chimiquement même si la deuxième couche de protection est plus difficilement attaquable par l'agent de gravure utilisé. Du fait que le matériau diélectrique de la 20 première couche de protection présente une résistance de gravure inférieure ou égale à celle du matériau diélectrique de la deuxième couche de protection, la première couche de protection est gravée plus rapidement que la deuxième couche de protection (ou à la même vitesse lorsque les deux couches de protection sont de même nature), ce qui implique qu'une détection de l'intrusion ou de l'attaque se produit (via la destruction de 25 l'élément résistif qui n'est plus supporté mécaniquement) avant que l'élément résistif ne puisse être atteint et modifié par cette gravure depuis la deuxième couche de protection. En outre, l'attaque chimique de la première couche de protection entraîne généralement la suppression d'au moins une partie de la deuxième couche de protection. Avantageusement, la première couche de protection peut être plus fine, ou moins épaisse, que la deuxième couche de protection. 3035267 5 La résistance à la gravure chimique peut être quantifiée par la vitesse d'attaque, ou de gravure, ou de dissolution, du matériau en µm/min pour une solution aqueuse ou une chimie donnée correspondant à l'agent de gravure chimique. Cette vitesse peut être mesurée par la mesure de l'épaisseur d'une couche avant et après son 5 exposition à l'agent de gravure chimique pendant une durée déterminée. Le rapport de la différence d'épaisseur mesurée sur la durée donne la vitesse d'attaque. Enfin, le matériau diélectrique des couches de protection rend les attaques par sonde ionique focalisée difficiles. En effet, lorsque le matériau diélectrique des couches de protection est soumis à un faisceau d'ions, ces ions s'accumulent dans le 10 matériau diélectrique à l'endroit ciblé par le faisceau, ce qui créé une charge électrique localisée qui entraine un décalage du faisceau d'ions. L'ablation de la matière devient alors très difficile voire impossible car le faisceau d'ions dévie et ne parvient pas à pénétrer en profondeur dans le matériau diélectrique pour atteindre le circuit électronique. En outre, même si un faisceau d'ions à haute énergie est utilisé pour 15 traverser le matériau diélectrique des couches de protection, ce faisceau d'ions endommage alors l'élément résistif, modifiant ainsi sa résistance électrique et déclenchant donc une détection de cette attaque par le circuit électronique de la puce. L'invention propose donc une puce électronique comportant en face arrière une combinaison d'une structure de protection active (l'élément résistif) et d'une 20 structure de protection passive (les couches de protection) tout en rendant ce système de protection totalement opaque vis-à-vis d'une attaque de la face arrière de la puce électronique. La partie du circuit électronique en regard de laquelle l'élément résistif est disposé peut être n'importe quelle partie du circuit électronique, et notamment une 25 partie de routage électrique, ou une zone active comportant par exemple au moins un transistor et/ou au moins une mémoire. Au moins le matériau diélectrique de la deuxième couche de protection peut être résistant à un polissage mécanique et/ou opaque vis-à-vis d'un rayonnement infrarouge et/ou résistant à une attaque par sonde ionique focalisée. 3035267 6 Le choix d'un matériau diélectrique opaque vis-à-vis d'un rayonnement infrarouge forme une protection supplémentaire vis-à-vis des attaques par rayonnement infrarouge, par exemple par laser infrarouge. L'expression « opaque vis-à-vis d'un rayonnement infrarouge » désigne par exemple un matériau ayant un coefficient de 5 transmission inférieur à environ 20 % vis-à-vis du rayonnement infrarouge. L'expression « résistant à une attaque par sonde ionique focalisée » désigne par exemple un matériau dont la vitesse d'abrasion par la sonde ionique focalisée est inférieure à environ 0,5 µm/min pour une fenêtre d'attaque de dimensions 50 x 50 um2. Au moins le matériau diélectrique de la deuxième couche de protection 10 peut avoir un module d'Young supérieur ou égal à environ 1 GPa. Un tel module d'Young confère une bonne résistance vis-à-vis d'un polissage mécanique ou d'un amincissement mécanique. Le matériau diélectrique de la première couche de protection et/ou le matériau diélectrique de la deuxième couche de protection peut être un polymère. Le 15 choix d'un polymère pour réaliser les couches de protection est avantageux car il permet de réaliser facilement les couches de protection de part et d'autre de l'élément résistif. La première couche de protection et/ou la deuxième couche de protection peut comporter en outre des particules d'un premier matériau différent du matériau diélectrique de la première couche de protection et/ou du matériau diélectrique 20 de la deuxième couche de protection, et qui sont réparties dans l'ensemble du matériau diélectrique de la première couche de protection et/ou du matériau diélectrique de la deuxième couche de protection. De telles particules peuvent notamment former une protection supplémentaire vis-à-vis d'une gravure par FIB de la ou des couches de protection qui comportent ces particules. Cette protection vis-à-vis d'une gravure par FIB 25 peut être obtenue grâce à la dureté importante du premier matériau des particules (par exemple de l'alumine ayant une dureté Vickers de l'ordre de 1500 kgf.mm-2), cette dureté étant par exemple supérieure ou égale à 100 kgf.mm-2. Le premier matériau peut également être tel que les particules perturbent un faisceau laser utilisé sur la ou les couches de protection qui comportent ces particules. 3035267 7 Avantageusement, le premier matériau des particules peut être à base de silice et/ou d'alumine. De plus, le premier matériau des particules peut être recouvert d'un deuxième matériau réfléchissant vis-à-vis d'un rayonnement lumineux et/ou électronique 5 et/ou ionique, par exemple un matériau métallique. Ce revêtement réfléchissant permet de perturber encore plus un faisceau lumineux (par exemple laser) et/ou électronique et/ou ionique (FIB) qui serait appliqué sur le matériau diélectrique des couches de protection. Ces particules réfléchissantes sont avantageusement utilisées pour la deuxième couche de protection qui présente une face libre formant la face arrière de la 10 puce électronique. Le deuxième matériau peut être qualifié de réfléchissant lorsqu'il réfléchit au moins 50 % du rayonnement lumineux et/ou électronique et/ou ionique. L'élément résistif peut comporter au moins une piste conductrice ayant au moins un motif de serpentin et/ou plusieurs motifs alternés, entremêlés, enroulés ou entrelacés. Une telle configuration de l'élément résistif permet de rendre difficile voire 15 d'empêcher la réalisation d'un pont métallique ou d'un court-circuit entre deux parties de l'élément résistif (« détour de fil ») dans le but d'accéder à la partie de la face arrière se trouvent entre ces deux parties de l'élément résistif sans modifier la valeur de la résistance électrique de l'élément résistif. De façon générale, le motif de l'élément résistif peut recouvrir au maximum la première couche de protection, et recouvre par exemple 20 toute la partie de la première couche de protection se trouvant en regard de la partie du circuit électronique en face de laquelle se trouve l'élément résistif pour détecter au mieux une attaque en face arrière de la puce électronique. De plus, la piste conductrice peut avoir une largeur comprise entre environ 5 um et 50 um, et/ou des portions de la piste conductrice qui sont voisines et 25 parallèles l'une par rapport à l'autre peuvent être espacées l'une de l'autre d'une distance comprise entre environ 5µm et 50 um. Une telle configuration de l'élément résistif laisse ainsi trop peu d'espace pour une attaque par un faisceau FIB sans que cela engendre une modification importante de la valeur de la résistance électrique de l'élément résistif. 3035267 8 La puce électronique peut comporter en outre une couche électriquement conductrice disposée entre la face arrière du substrat et la première couche de protection. Une telle couche électriquement conductrice forme un écran de protection supplémentaire vis-à-vis d'un faisceau laser et/ou d'autres rayonnements 5 électromagnétiques qui peuvent être utilisés pour attaquer la face arrière de la puce électronique. Pour le dépôt de cette couche électriquement conductrice, la face arrière du substrat peut être électriquement isolante ou rendue électriquement isolante par le dépôt préalable d'une couche électriquement isolante sur cette face arrière. La puce électronique peut comporter en outre au moins deux premiers 10 vias conducteurs traversant le substrat et reliant électriquement l'élément résistif au circuit électronique. En variante, la puce électronique peut comporter en outre un élément inductif disposé au niveau de la face avant du substrat et relié électriquement au circuit électronique, et l'élément résistif peut faire partie d'un circuit RLC (c'est-à-dire un circuit 15 électrique présentant une résistance électrique, une inductance et une capacité) apte à être couplé de manière inductive avec ledit élément inductif tel qu'une modification d'une valeur d'une inductance de l'élément inductif induise une modification d'une propriété électrique du circuit RLC. Ainsi, l'élément résistif est relié au circuit électronique de manière inductive sans faire appel à des vias conducteurs traversant le substrat. 20 Dans ce cas, l'élément inductif peut être intégré au circuit électronique. De plus, l'élément résistif peut former une bobine dont les extrémités sont reliées électriquement l'une à l'autre. Selon un mode avantageux, la couche électriquement conductrice disposée entre la face arrière du substrat et la première couche de protection peut relier électriquement les extrémités de la bobine. 25 La puce électronique peut comporter en outre au moins un deuxième via et/ou une tranchée traversant la face arrière du substrat et une partie de l'épaisseur du substrat, et disposé au moins en regard du circuit électronique tel qu'une paroi de fond du deuxième via et/ou de la tranchée soit espacée du circuit électronique d'une distance non nulle. Ce ou ces deuxièmes vias et/ou tranchées qui ne traverse(nt) pas 30 complètement le substrat forme(nt) dans le substrat une structure d'affaiblissement 3035267 9 mécanique conférant une protection supplémentaire vis-à-vis d'un amincissement mécanique ou un polissage de la puce depuis sa face arrière, ainsi que vis-à-vis d'une attaque par FIB ou par gravure chimique de la face arrière de la puce. Avantageusement les parois latérales et la paroi de fond de le deuxième via et/ou de la tranchée peuvent 5 être recouvertes par la couche électriquement conductrice disposée sur la face arrière du substrat. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'une puce électronique comportant au moins les étapes de : - réalisation d'un circuit électronique au niveau d'une face avant d'un 10 substrat ; - réalisation d'une première couche de protection sur une face arrière du substrat ; - réalisation d'un élément résistif sur la première couche de protection et en regard d'au moins une partie active du circuit électronique, l'élément résistif étant 15 supporté mécaniquement par la première couche de protection et relié électriquement et/ou de manière inductive au circuit électronique ; - réalisation d'une deuxième couche de protection recouvrant au moins l'élément résistif ; dans lequel les première et deuxième couches de protection 20 comportent chacune au moins un matériau diélectrique, et dans lequel un matériau du substrat et le matériau diélectrique sont aptes à être gravés chimiquement par au moins un même agent de gravure. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description 25 d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : - la figure 1 représente une vue en coupe d'une puce électronique, objet de la présente invention, selon un premier mode de réalisation ; 3035267 10 - la figure 2 représente une vue de dessus de l'élément résistif de la puce électronique, objet de la présente invention ; - la figure 3 représente une vue en coupe d'une puce électronique, objet de la présente invention, selon un deuxième mode de réalisation ; 5 - les figures 4A à 4N représentent les étapes d'un procédé de réalisation d'une puce électronique, également objet de la présente invention. Des parties identiques, similaires ou équivalentes des différentes figures décrites ci-après portent les mêmes références numériques de façon à faciliter le passage d'une figure à l'autre. 10 Les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. Les différentes possibilités (variantes et modes de réalisation) doivent être comprises comme n'étant pas exclusives les unes des autres et peuvent se combiner entre elles. 15 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS On se réfère tout d'abord à la figure 1 qui représente une vue en coupe d'une puce électronique 100 selon un premier mode de réalisation. La puce électronique 100 comporte un substrat 102, formé par exemple d'un matériau semi-conducteur tel que du silicium, dont l'épaisseur est généralement 20 égale à environ 180 um dans le cas d'une puce électronique 100 d'une carte à puce. Le substrat 102 comporte une face avant 104 sur laquelle est réalisé un circuit électronique 106. Le circuit électronique 106 est formé dans une couche diélectrique 108 comportant par exemple du Si02, et comprend notamment une partie active 110 formée de composants électroniques et destinée à être protégée d'éventuelles attaques de la puce 25 électronique 100. Le circuit électronique 106 comporte également des parties périphériques correspondant ici à des plots de contact 112 accessibles depuis la face avant de la puce électronique 100. La face avant de la puce électronique 100 est formée par une couche de passivation 114, correspondant par exemple à un bicouche d'oxyde et de nitrure tel que du Si02 et du SiN, à travers laquelle sont formées des ouvertures 116 3035267 11 pour accéder aux plots de contact 112. Une face arrière 117 du substrat 102 est recouverte par une couche diélectrique 118 qui comprend par exemple un oxyde de semiconducteur tel que du Si02, et/ou du SiN, par exemple déposé par PECVD (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma) et d'épaisseur comprise entre environ 5 1µm et 5µm. La puce électronique 100 comporte également des moyens de protection de sa face arrière. Ces moyens de protection comportent ici : - une couche électriquement conductrice 119 disposée sur la couche diélectrique 118, en regard au moins de la partie active 110 du circuit électronique 106 ; 10 - une première couche de protection 120 recouvrant notamment la couche continue électriquement conductrice 119 ; - un élément résistif 122 disposé sur la première couche de protection 120 et qui est relié électriquement au circuit électronique 106 par l'intermédiaire de premiers vias conducteurs 124 qui traversent toute l'épaisseur du substrat 102 ; 15 - une deuxième couche de protection 126 recouvrant notamment l'élément résistif 122 et formant la face arrière de la puce électronique 100. Les parois latérales de chaque premier via conducteur 124 sont recouvertes par des parties de la couche diélectrique 118. Une couche électriquement conductrice 125 recouvre ces parties de la couche diélectrique 118 (qui forme ainsi une 20 isolation entre cette couche électriquement conductrice 125 et le substrat 102) ainsi que la paroi de fond de chaque premier via conducteur 124 afin de former une liaison électrique entre les faces avant et arrière 104, 117 du substrat 102. Les couches électriquement conductrices 119 et 125 sont issues d'une même couche de matériau électriquement conducteur qui correspond par exemple à du cuivre déposé par ECD 25 (dépôt électrochimique) avec une épaisseur comprise entre environ 1 um et 5 um, et/ou du tungstène pouvant être déposé par PVD (dépôt physique en phase vapeur) avec une épaisseur comprise entre environ 100 nm et 800 nm, et/ou du titane. La couche électriquement conductrice 125 a une épaisseur sensiblement constante et ne remplit donc pas complètement le volume des premiers vias conducteurs 124. Le reste du volume 30 des premiers vias conducteurs 124 est ici rempli par le matériau diélectrique de la 3035267 12 première couche de protection 120. Les couches électriquement conductrices 119 et 125 sont isolées électriquement l'une de l'autre en gravant des parties de la couche déposée dont sont issues les couches 119 et 125 (voir les régions d'isolation 123 visibles sur la figure 1 et formées en gravant la couche dont sont issues les couches 119 et 125). 5 Les diamètres des premiers vias 124 sont par exemple de l'ordre de 80 um. L'élément résistif 122 est par exemple formé par un dépôt ECD ou PVD de cuivre ou d'aluminium et d'épaisseur comprise entre environ 1 um et 20 um, et avantageusement comprise entre environ 1 um et 10 um. L'élément résistif 122 est relié 10 électriquement aux couches électriquement conductrices 125 des premiers vias conducteurs 124 par des portions conductrices 127, par exemple à base de cuivre ou d'aluminium, qui traversent la première couche de protection 120. L'épaisseur (dimension selon l'axe Z) de l'empilement formé du substrat 102, du circuit électronique 106 et de la couche de passivation 114 est par exemple 15 inférieure ou égale à environ 200 um. Les couches de protection 120 et 126 comportent un matériau diélectrique, et correspondent avantageusement à des couches de polymère. Les épaisseurs des couches de protection 120 et 126 sont par exemple comprises entre environ 3 um et 50 um. Avantageusement, le polymère est choisi parmi les matériaux 20 possédant un module d'Young rendant difficile l'amincissement mécanique et/ou le polissage de la puce électronique 100 depuis sa face arrière, par exemple compris entre environ 1 et 10 GPa. Un tel matériau est avantageusement utilisé au moins pour la deuxième couche de protection 126. Les matériaux des couches de protection 120, 126 peuvent avoir un coefficient de dilatation thermique compris entre environ 10 et 100, et 25 peuvent avoir une température de transition vitreuse comprise entre environ 100°C et 200°C. De plus, les matériaux des couches de protection 120, 126 sont des matériaux diélectriques, ce qui permet de contrer les attaques de la puce électronique 100 par faisceau FIB de part le phénomène d'accumulation de charges se produisant dans 3035267 13 un tel matériau diélectrique, ce qui entraine un décalage du faisceau d'ions et empêche la gravure de ces couches de protection 120, 126. Les matériaux des couches de protection 120, 126 sont également choisis en fonction de la nature du matériau du substrat 102, tel que qu'un agent de 5 gravure typiquement utilisé pour graver chimiquement le substrat 102 grave également les matériaux des couches de protection 120, 126. Ces matériaux sont choisis tels que celui de la première couche de protection 120 ait une résistance à la gravure chimique qui soit inférieure ou égale à celle du matériau de la deuxième couche de protection 126. Ainsi, lors d'une telle gravure chimique, la première couche de protection 120 est 10 nécessairement gravée même si la deuxième couche de protection 126 ne l'est pas totalement. La première couche de protection 120 est gravée plus rapidement que la deuxième couche de protection 126 (ou à la même vitesse lorsque les deux couches de protection 120, 126 sont de même nature), ce qui implique qu'une détection de l'intrusion ou de l'attaque se produit (via la destruction de l'élément résistif 122 qui n'est 15 plus supporté mécaniquement) avant que l'élément résistif 122 ne puisse être atteint grâce à la gravure de la deuxième couche de protection 126. De manière avantageuse, des particules, appelées « fillers », qui sont typiquement en silice ou en alumine, sont dispersées dans les matériaux diélectriques des couches de protection 120, 126. De telles particules gênent une gravure des couches de 20 protection 120, 126 par faisceau FIB. De plus, de telles particules perturbent également un faisceau laser qui serait utilisé dans le cas d'attaques laser de la puce électronique 100. Ces particules peuvent être avantageusement recouvertes de métal, par exemple du tungstène et/ou du titane, pour mieux perturber une attaque par faisceau laser de la puce électronique 100. Les diamètres de ces particules peuvent être compris entre 25 environ 1 um et 15 um. Le pourcentage de particules dans les couches de protection 120, 126 peut être compris entre 0 % (absence de ces particules) et environ 90 %. Les matériaux diélectriques des couches de protection 120, 126 sont avantageusement choisis tels qu'ils soient opaques à tous les signaux lumineux de longueur d'onde infrarouge et proche infrarouge, c'est-à-dire de longueur d'onde 30 comprise entre environ 700 nm et 1 mm. Ainsi, il est impossible à celui réalisant une 3035267 14 attaque par faisceau laser infrarouge de visualiser le circuit électronique 106 à travers le silicium du substrat 102 et les couches de protection 120, 126 pour viser la partie active 110 du circuit électronique 106 pertinente pour l'attaque. De manière avantageuse, les couches de protection 120, 126 sont 5 réalisées à partir de matériaux diélectriques différents ayant chacun des propriétés complémentaires. Par exemple, la première couche de protection 120 peut être réalisée avec un premier polymère qui est opaque vis-à-vis des faisceaux laser infrarouge, et la deuxième couche de protection 126 peut être réalisée avec un deuxième polymère ayant une dureté supérieure à celle du premier polymère et qui est chargé de « fillers ». Ce 10 premier polymère peut être à base de silicone, par exemple du polymère DF5770 distribué par la société Shin-Etsu, et le deuxième polymère peut être à base de résine époxy, par exemple du polymère A2023 distribué par la société Nagase. En variante, la deuxième couche de protection 126 peut recouvrir les côtés, c'est-à-dire les faces latérales, de la puce électronique 100. 15 De manière générales, les matériaux diélectriques des couches de protection 120, 126 peuvent être choisis tels qu'ils présentent une ou plusieurs des propriétés suivantes : - polymère à base de silicone ou de résine époxy ; - aspect de préférence noir, ou bien blanc ou gris ; 20 - de préférence photosensible, notamment pour la première couche de protection 120 ; - module d'Young compris entre environ 1 GPa à 10 GPa. Lors du fonctionnement de la puce électronique 100, le circuit électronique 106 mesure au préalable la valeur de la résistance électrique de l'élément 25 résistif 122. Si la valeur de cette résistance électrique n'est pas conforme à la valeur attendue, les données sont alors bloquées et la puce électronique 100 se verrouille (mise en défaut). Ainsi, toute attaque de la puce électronique 100 depuis sa face arrière qui entraine une rupture ou une modification de la valeur de la résistance de l'élément résistif 122 est détectée par la puce électronique 100, et la puce électronique 100 se 30 bloque de façon à détruire sa fonctionnalité. 3035267 15 La figure 2 représente une vue de dessus de l'élément résistif 122. Dans le plan principal de la puce électronique 100 correspondant au plan (X,Y) sur les figures 1 et 2, l'élément résistif 122 correspond à une piste conductrice s'étendant entre les deux premiers vias conducteurs 124 en ayant un motif de serpentin, ce qui permet de bien 5 couvrir la surface se trouvant en regard au moins de la partie active 110 du circuit électronique 106. Sur l'exemple de la figure 2, le motif de l'élément résistif 122 couvre quasiment l'ensemble de la surface de la face arrière de la puce électronique 100. Avantageusement, la largeur de la piste conductrice formant l'élément résistif 122 et l'espace entre deux portions parallèles de la piste conductrice (distance 10 référencée « a » sur la figure 2) sont compris entre environ 5 um et 50 um. Ainsi, une attaque par FIB, typiquement réalisée sur une surface de la puce électronique 100 correspondant à un carré de dimensions égales à 50 um x 50 um, engendre nécessairement une modification importante de la résistance électrique de l'élément résistif 122. De plus, un espace d'au moins 5 um entre les différentes portions de la piste 15 conductrice permet de bien laisser passer un agent de gravure entre ces portions lors d'une éventuelle attaque chimique de la face arrière de la puce électronique 100, entrainant dans ce cas la destruction de la première couche de protection 120 et donc également la destruction de l'élément résistif 122 qui n'est plus supporté mécaniquement par celle-ci. 20 Le motif formé par l'élément résistif 122 au niveau de la face arrière de la puce électronique 100 est avantageusement choisi tel qu'il soit suffisamment dense et complexe pour qu'un « détour de fil », c'est-à-dire la réalisation d'un pont métallique ou d'un court-circuit entre deux parties de l'élément résistif 122, ou encore le positionnement d'une résistance équivalente entre les deux premiers vias conducteurs 25 124, induise une variation significative de la résistance de l'élément résistif 122 qui peut être détectée. Par exemple, dans le cas d'un élément résistif 122 correspondant à un serpentin formé par une piste conductrice en cuivre de largeur égale à 25 um, d'épaisseur égale à 10 um, avec des espaces entres les portions voisines de la piste conductrice 30 (dimension «a ») égaux à 25 um et recouvrant une surface de la puce égale à 2 mm2, la 3035267 16 résistance électrique de cet élément résistif 122 est égale à environ 7 Q. En cas d'arrachement ou de coupure de l'élément résistif 122 par un faisceau FIB, la valeur de sa résistance électrique devient infinie. La sensibilité d'un tel élément résistif 122 vis-à-vis d'une attaque mécanique ou chimique, ou par faisceau FIB, est donc bien meilleure que 5 pour d'autres solutions de protection de la face arrière de la puce de l'art antérieur. En variante, le motif formé par l'élément résistif 122 peut être différent d'un serpentin, et peut correspondre à plusieurs motifs alternés, entremêlés, enroulés ou entrelacés afin de rendre cette opération de « détour de fil » très compliquée. Le matériau diélectrique de la première couche de protection 120 est 10 avantageusement photosensible afin de pouvoir être insolé puis développé aisément pour former les emplacements des portions conductrices 127. Ce matériau diélectrique est par exemple un polymère laminé sous vide, ce qui permet de bien remplir l'espace des premiers vias conducteurs 124 non occupé par la couche diélectrique 118 et la couche électriquement conductrice 125. 15 La combinaison de l'élément résistif 122 et des couches de protection 120, 126 permet d'optimiser les deux modes de protection conférés par ces deux éléments. En effet, une attaque chimique ou mécanique qui est la principale limite de la protection conférée par une couche de protection seule en polymère, est systématiquement détectée grâce à l'endommagement engendré sur l'élément résistif 20 122. Dans le cas d'une attaque mécanique de la face arrière de la puce électronique 100, celle-ci arrachera une partie de l'élément résistif 122 et créera un circuit ouvert entre les premiers vias conducteurs 124 qui sera détecté par la puce électronique 100. Dans le cas d'une attaque chimique de la face arrière de la puce électronique 100, celle-ci retirera le matériau des couches de protection 120, 126 entourant l'élément résistif 122 et 25 provoquera une rupture de l'élément résistif 122 qui de même sera détectée par la puce électronique 100. Enfin, une attaque par FIB classique sera impossible sur les matériaux des couches de protection 120, 126 car ils présentent une résistance importante à la gravure par FIB grâce à leur caractère diélectrique. De plus, l'alignement du FIB est impossible dans le cas de matériaux diélectriques opaques. L'utilisation d'un FIB haute 30 énergie pourrait permettre avec difficulté une gravure à l'aveugle mais après avoir 3035267 17 traversé le matériau de la deuxième couche de protection 126, le FIB endommagera obligatoirement l'élément résistif 122 et cette attaque sera également détectée. La figure 3 représente une vue en coupe d'une puce électronique 100 selon un deuxième mode de réalisation. 5 Dans ce deuxième mode de réalisation, outre les premiers vias conducteurs 124 qui relient électriquement l'élément résistif 122 au circuit électronique 106, la puce électronique 100 comporte également plusieurs deuxièmes vias 128 non débouchant réalisés depuis la face arrière 117 du substrat 102 et à travers une partie de l'épaisseur du substrat 102, en regard du circuit électronique 106 et notamment de la 10 partie active 110. Les deuxièmes vias 128 comportent des profondeurs (dimensions selon l'axe Z) et des dimensions dans un plan parallèle aux faces principales 104 et 117 du substrat 102 (plan (X,Y)), correspondant aux diamètres dans le cas de deuxièmes vias 128 de sections sensiblement circulaires, avantageusement différentes les unes par rapport 15 aux autres, et par exemple choisies de manière aléatoire lors de leur réalisation. Les profondeurs des deuxièmes vias 128 sont liées aux diamètres des deuxièmes vias 128, et sont choisies notamment en fonction de l'épaisseur du substrat 102. Les deuxièmes vias 128 ont avantageusement des diamètres inférieurs à environ 80 um et des profondeurs inférieures à environ 200 um. En outre, du fait que, contrairement aux premiers vias 20 conducteurs 124, les deuxièmes vias 128 ne traversent qu'une partie de l'épaisseur du substrat 102, les diamètres des deuxièmes vias 128 sont inférieurs à ceux des premiers vias conducteurs 124. Les parois latérales et les parois de fond des deuxièmes vias 128 sont recouvertes par la couche diélectrique 118. La couche électriquement conductrice 119 25 recouvre ici de manière continue la couche diélectrique 118 au niveau des parois latérales et des parois de fond des vias 128, ainsi qu'au niveau d'une partie de la face arrière 117 du substrat 102, notamment entre les deuxièmes vias 128. La présence des deuxièmes vias 128 au niveau de la face arrière de la puce électronique 100 forme une structure d'affaiblissement mécanique du substrat 102 30 permettant de protéger la puce électronique 100 vis-à-vis des attaques chimiques et/ou 3035267 18 d'attaques par gravure FIB. En effet, les parois de fond du ou des deuxièmes vias 128 sont avantageusement proches du circuit électronique 106, par exemple telles que la distance séparant le circuit électronique 106 de la ou des parois de fond soit inférieure ou égale à environ 20 um, ou par exemple comprise entre environ 10 et 20 um. Ainsi, une attaque 5 chimique, par exemple avec une solution d'acide fluorhydrique et d'acide nitrique ou d'hydroxyde de potassium, dans le but de graver le substrat 102 depuis sa face arrière 117 aura pour conséquence une destruction prématurée du circuit électronique 106 par la face arrière en raison de la ou des solutions chimiques qui attaqueront les parois de fond des deuxièmes vias 128 et atteindront rapidement le circuit électronique 106. Les 10 deuxièmes vias 128 forment donc une protection supplémentaire par rapport à ce type d'attaque. De plus, en cas d'attaque par gravure FIB, la présence des deuxièmes vias 128 est pénalisante, ce qui forme également une protection supplémentaire par rapport à ce type d'attaque. En variante, le ou les deuxièmes vias 128 peuvent correspondre à une 15 ou plusieurs tranchées formées dans une partie de l'épaisseur du substrat 102. Selon une variante des deux modes de réalisation précédemment décrits, le motif de l'élément résistif 122 dans un plan parallèle à la face arrière 117 du substrat 102 peut correspondre à celui d'une bobine. La puce électronique 100 comporte alors également un élément inductif tel qu'une deuxième bobine disposée au niveau de la 20 face avant de la puce électronique 100, par exemple intégrée au circuit électronique 106, cette deuxième bobine étant couplée de manière inductive avec celle formée par l'élément résistif 122. L'élément résistif 122 est réalisé tel qu'il fasse partie d'un circuit RLC couplé de manière inductive avec ledit élément inductif de la face avant. Ainsi, une modification d'une propriété électrique du circuit RLC engendrée par une attaque de la 25 puce électronique au niveau de sa face arrière induit une modification d'une valeur d'une inductance de l'élément inductif intégré au circuit électronique 106 qui peut donc détecter cette attaque. Dans cette variante, il n'est pas nécessaire de réaliser les premiers vias 124 puisque la communication entre le circuit électronique 106 et l'élément résistif 122 se fait de manière inductive via l'élément inductif disposé au niveau de la face avant 30 de la puce électronique 100. Pour former le circuit RLC, l'élément résistif 122 peut être 3035267 19 réalisé sous la forme d'une bobine dont les extrémités sont reliées électriquement l'une à l'autre par exemple par la couche électriquement conductrice 119. Selon une autre variante de réalisation, il est possible que la puce électronique 100 ne comporte pas la couche continue électriquement conductrice 119. 5 Dans ce cas, les moyens de protection de la face arrière de la puce électronique 100 sont formés par les couches de protection 120, 126, par l'élément résistif 122, et éventuellement par les deuxièmes vias 128. Dans tous les modes de réalisation et variantes précédemment décrits, il est possible que la puce électronique 100 comporte des moyens de protection de sa face 10 avant, correspondant par exemple aux moyens de protection connus de l'art antérieur. Les figures 4A à 4N représentent des étapes d'un procédé de réalisation de la puce électronique 100 précédemment décrite en liaison avec la figure 1. Comme représenté sur la figure 4A, le circuit électronique 106 est réalisé au niveau de la face avant du substrat 102 via la mise en oeuvre d'étapes 15 classiques de la microélectronique. Le circuit électronique 106 est recouvert par la couche de passivation 114 qui forme la face avant de la puce électronique 100. Cette face avant est solidarisée à une poignée temporaire 130 formée par exemple par un substrat de silicium, ce collage étant par exemple réalisé entre la couche de passivation 114 à base d'oxyde et une autre couche d'oxyde 132 formée au préalable sur la poignée temporaire 20 130. Le substrat 102 est ensuite aminci depuis sa face arrière jusqu'à ce que l'ensemble formé du substrat 102 et du circuit électronique 106 ait une épaisseur inférieure ou égale à environ 200 um (figure 4B). Un masque dur 134, comportant par exemple un oxyde, est ensuite 25 réalisé sur la face arrière du substrat 102. Les premiers vias 124 sont ensuite formés à travers le masque dur 134 et le substrat 102 par lithographie, gravure du matériau du masque dur 134 et gravure profonde du matériau du substrat 102 (figure 4C). Lorsque la puce électronique 100 comporte les deuxièmes vias 128 comme sur l'exemple de la figure 3, les deuxièmes vias 128 et les premiers vias 124 peuvent être réalisés simultanément via 30 la mise en oeuvre d'étapes communes de lithographie et de gravure. Des ouvertures dont 3035267 20 les dimensions et le positionnement correspondent à celles souhaitées pour les deuxièmes vias 128 sont donc formées à travers le masque dur 134. Comme représenté sur la figure 4D, la couche diélectrique 118 est ensuite déposée, par exemple par PECVD ou SACVD (dépôt chimique en phase vapeur à 5 pression sub-atmosphérique), telle qu'elle recouvre le masque dur 134 disposé sur la face arrière du substrat 102, ainsi que les parois latérales et les parois de fond des premiers vias 124 (et éventuellement des deuxièmes vias 128). Les parties de la couche diélectrique 118 déposées sur les parois de fond des premiers vias 124 sont ensuite supprimées afin que des contacts électriques puissent être ultérieurement réalisés par 10 l'intermédiaire de ces premiers vias 124. Les couches électriquement conductrices 119 et 125 sont ensuite réalisées par exemple par la mise en oeuvre des étapes suivantes : - dépôt d'une couche barrière à la diffusion, formée par exemple d'un bicouche Ti/TiN (Ti déposé par exemple par PVD et TiN déposé par exemple par MOCVD, 15 ou dépôt chimique en phase vapeur organométallique), sur la couche diélectrique 118 ainsi qu'au niveau des parois de fond des premiers vias 124 (et éventuellement également sur les parois latérales et les parois de fond des deuxièmes vias 128) ; - dépôt d'une couche de croissance, par exemple en cuivre, sur la couche barrière ; 20 - lithographie d'un film sec (de type résine positive ou négative) de sorte à définir des régions d'isolation électrique entre les couches 119 et 125) et croissance électrolytique, par exemple de cuivre, à partir de la couche de croissance ; - retrait du film sec, puis gravure des parties de la couche de croissance et de la couche barrière au niveau des régions d'isolation 123 entre les 25 couches 119 et 125. La structure obtenue à ce stade du procédé est représentée sur la figure 4E. La première couche de protection 120 est ensuite déposée, par exemple par un laminage sous vide, sur l'ensemble de la face arrière de la structure 30 précédemment obtenue, c'est-à-dire sur les couches électriquement conductrices 119 et 3035267 21 125, ainsi qu'au niveau des régions d'isolation 123 entre les couches 119 et 125. Le matériau de la première couche de protection 120 est déposé tel qu'il remplisse les premiers vias 124 (et éventuellement les deuxièmes vias 128). Ensuite, la première couche de protection 120 est gravée (ou photo-définie si cette couche est à base de 5 matériau photosensible) afin de former des ouvertures 136 débouchant sur la couche conductrice 125 au niveau de chacun des premiers vias 124, ces ouvertures 136 formant les emplacements des portions conductrices 127 destinées à être réalisées ultérieurement (figure 4F). Comme représenté sur la figure 4G, l'élément résistif 122 ainsi que les 10 portions conductrices 127 sont ensuite réalisés par exemple par la mise en oeuvre des étapes suivantes : - dépôt d'une couche barrière à la diffusion, formée par exemple d'un bicouche Ti/TiN, sur la première couche de protection 120 et dans les ouvertures 136 ; - dépôt d'une couche de croissance, par exemple en cuivre, sur la 15 couche barrière ; - lithographie d'un film sec dont le motif (c'est-à-dire les endroits où la résine est retirée) correspond aux régions occupées par l'élément résistif 122 et les portions conductrices 127) et croissance électrolytique, par exemple de cuivre, à partir de la couche de croissance ; 20 - retrait du film sec, puis gravure des parties de la couche de croissance et de la couche barrière au niveau des régions non occupées par l'élément résistif 122 et les portions conductrices 127. La deuxième couche de protection 126 est ensuite déposée, par exemple via la mise en oeuvre d'un dépôt à la tournette ou par laminage, encapsulant 25 ainsi l'élément résistif 122 entre les deux couches de protection 120, 126 (figure 4H) La deuxième couche de protection 126 recouvre également les portions conductrices 127 ainsi que certaines parties de la première couche de protection 120. La poignée temporaire 130 est ensuite retirée. Pour cela, les étapes ci-dessous sont par exemple mises en oeuvre ; 3035267 22 - un support temporaire 138 composé par exemple de polymère est solidarisé à la deuxième couche de protection 126 de la puce 100 (figure 41) ; - la poignée temporaire 130 est ensuite amincie, par exemple par meulage (figure 4J), puis est complètement retirée (figure 4K). 5 Les ouvertures 116 sont ensuite réalisées à travers la couche de passivation 114, par exemple par dépôt d'un masque de lithographie 140 (figure 4L) et gravure (figure 4M), afin de former des accès aux plots de contact 112. Enfin, le support temporaire 138 est retiré (figure 4N). REVENDICATIONS1. Puce électronique (100) comportant au moins : un circuit électronique (106) disposé au niveau d'une face avant (104) d'un substrat (102) ; - une première couche de protection (120) disposée sur une face arrière (117) du substrat (102) ; un élément résistif (122) disposé sur la première couche de protection (120) et en regard d'au moins une partie (110) du circuit électronique (106), supporté mécaniquement par la première couche de protection (120) et relié électriquement et/ou de manière inductive au circuit électronique (106) ; - une deuxième couche de protection (126) recouvrant au moins l'élément résistif (122) ; et dans laquelle la première couche de protection (120) comporte au moins un matériau diélectrique ayant une résistance à une gravure chimique par au moins un agent de gravure chimique inférieure ou égale à celle d'un matériau diélectrique de la deuxième couche de protection (126). 2. Puce électronique (100) selon la revendication 1, dans laquelle au moins le matériau diélectrique de la deuxième couche de protection (126) est résistant à un polissage mécanique et/ou opaque vis-à-vis d'un rayonnement infrarouge et/ou résistance à une attaque par sonde ionique focalisée. 3. Puce électronique (100) selon la revendication 2, dans laquelle au moins le matériau diélectrique de la deuxième couche de protection (126) a un module d'Young supérieur ou égal à environ 1 GPa. 4. Puce électronique (100) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le matériau diélectrique de la première couche de protection (120) et/ou le matériau diélectrique de la deuxième couche de protection (126) est un polymère. 3035267 24 5. Puce électronique (100) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la première couche de protection (120) et/ou la deuxième couche de protection (126) comporte en outre des particules d'un premier matériau différent du matériau diélectrique de la première couche de protection (120) et/ou du 5 matériau diélectrique de la deuxième couche de protection (126), et qui sont réparties dans l'ensemble du matériau diélectrique de la première couche de protection (120) et/ou du matériau diélectrique de la deuxième couche de protection (126). 6. Puce électronique (100) selon la revendication 5, dans laquelle le 10 premier matériau des particules est à base de silice et/ou d'alumine. 7. Puce électronique (100) selon l'une des revendications 5 ou 6, dans laquelle le premier matériau des particules est recouvert d'un deuxième matériau réfléchissant vis-à-vis d'un rayonnement lumineux et/ou électronique et/ou ionique. 15 8. Puce électronique (100) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle l'élément résistif (122) comporte au moins une piste conductrice ayant au moins un motif de serpentin et/ou plusieurs motifs alternés, entremêlés, enroulés ou entrelacés. 20 9. Puce électronique (100) selon la revendication 8, dans laquelle la piste conductrice a une largeur comprise entre environ 5 iim et 50 iim, et/ou dans laquelle des portions de la piste conductrice qui sont voisines et parallèles l'une par rapport à l'autre sont espacées l'une de l'autre d'une distance comprise entre environ 2 5 5µm et 50 iim. 10. Puce électronique (100) selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre une couche électriquement conductrice (119) disposée entre la face arrière (117) du substrat (102) et la première couche de protection 30 (120). 3035267 25 11. Puce électronique (100) selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre au moins deux premiers vias conducteurs (124) traversant le substrat (102) et reliant électriquement l'élément résistif (122) au circuit électronique (106). 5 12. Puce électronique (100) selon l'une des revendications 1 à 10, comportant en outre un élément inductif disposé au niveau de la face avant (104) du substrat (102) et relié électriquement au circuit électronique (106), et dans laquelle l'élément résistif (122) fait partie d'un circuit RLC apte à être couplé de manière inductive 10 avec ledit élément inductif tel qu'une modification d'une valeur d'une inductance de l'élément inductif induise une modification d'une propriété électrique du circuit RLC. 13. Puce électronique (100) selon la revendication 12, dans laquelle l'élément inductif est intégré au circuit électronique (106). 15 14. Puce électronique (100) selon l'une des revendications 12 ou 13, dans laquelle l'élément résistif (122) forme une bobine dont les extrémités sont reliées électriquement l'une à l'autre. 20 15. Puce électronique (100) selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre au moins un deuxième via (128) et/ou une tranchée traversant la face arrière (117) du substrat (102) et une partie de l'épaisseur du substrat (102), et disposé au moins en regard du circuit électronique (106) tel qu'une paroi de fond du deuxième via (128) et/ou de la tranchée soit espacée du circuit électronique 25 (106) d'une distance non nulle. 16. Procédé de réalisation d'une puce électronique (100) comportant au moins les étapes de : - réalisation d'un circuit électronique (106) au niveau d'une face avant 30 (104) d'un substrat (102) ; - réalisation d'une première couche de protection (120) sur une face arrière (117) du substrat (102) ; 3035267 26 - réalisation d'au moins un élément résistif (122) sur la première couche de protection (120) et en regard d'au moins une partie (110) du circuit électronique (106), l'élément résistif (122) étant supporté mécaniquement par la première couche de protection (120) et relié électriquement et/ou de manière inductive 5 au circuit électronique (106) ; - réalisation d'une deuxième couche de protection (126) recouvrant au moins l'élément résistif (122) ; et dans lequel la première couche de protection (120) comporte au moins un matériau diélectrique ayant une résistance à une gravure chimique par au 10 moins un agent de gravure chimique inférieure ou égale à celle d'un matériau diélectrique de la deuxième couche de protection (126).