Brevet FR3027445A1 — publié le 20160422

CONTEXTE DE L'INVENTION Domaine de l'invention [0001] La présente invention concerne un appareil de 5 support et un procédé destiné à supporter un .objet, un appareil de mesure, et un procédé de fabrication d'un article. Description de l'art connexe [0002] Pour l'observation astronomique/cosmique et dans 10 l'industrie des semi-conducteurs et analogues, on assiste à une demande croissante d'augmentation de la taille d'un élément optique devant être utilisé à des valeurs d'un à plusieurs mètres. Un élément optique dont la taille a augmenté est généralement aminci afin d'obtenir une 15 réduction de poids. Cet amincissement va provoquer une déformation ou une biréfringence due à une force externe telle que le poids propre lorsque l'élément optique est supporté par un appareil, ayant pour résultats de fortes variations des caractéristiques optiques (par exemple le 20 front d'onde de transmission) de l'élément. C'est pourquoi de nombreux appareils de support qui supportent des éléments optiques utilisent une technique consistant à réduire le degré de déformation en augmentant le nombre de points de support. 25 [0003] La forme d'un élément optique est mesurée par un appareil de mesure et est obtenue par un appareil de traitement. Le traitement de correction de la forme sur la base des résultats de mesure est appelé traitement de correction. Dans le traitement de correction, une région 30 associée à la différence entre la forme de conception et le résultat de mesure est traitée sélectivement. [0004] Dans le cas mentionné ci-dessus, un élément optique est monté sur différents appareils au moment de la mesure et au moment du traitement. Étant donné que différentes 35 caractéristiques sont exigées au moment de la mesure et au moment du traitement, ces états de support sont mis en oeuvre par différents appareils de support. Plus précisément, au moment de la mesure, il est préférable d'utiliser un appareil de support qui présente une rigidité appropriée pour ne pas être sujet à l'influence des vibrations et permet de réduire la déformation provoquée par des forces externes telles que le poids propre de l'élément optique et les forces de frottement au niveau des points de support. D'autre part, au moment du 10 traitement, il est préférable d'utiliser un appareil de support présentant une rigidité suffisante pour la charge appliquée par un appareil de traitement. [0005] En outre, un élément optique doit pouvoir reproduire des caractéristiques optiques mesurées au 15 moment de l'utilisation dans un produit ou analogue. C'est pourquoi il est nécessaire de reproduire suffisamment les états de support au moment de la mesure et au moment de l'utilisation. [0006] À titre d'exemple, la littérature 1 n'ayant pas 20 trait aux brevets mentionne un appareil de support qui supporte un élément optique de grande taille ayant une taille d'environ 1,5 m dans un télescope astronomique de très grande taille. Dans ce cas, l'appareil de support supporte l'élément optique en 27 points sur la surface 25 arrière afin de réduire la déformation de poids propre. À ce stade, les points de support sont agencés sur un plateau de maintien par l'intermédiaire d'éléments de flexion déformables. En outre, le plateau de maintien présente un haut degré de liberté de basculement par 30 rapport à un organe de référence, reproduisant ainsi avec précision la déformation du support. [0007] Cependant, avec l'appareil de support mentionné dans la littérature 1 n'ayant pas trait aux brevets, on parvient difficilement à fixer/séparer un élément optique 35 à/de l'appareil en raison du fait que les points de support sont collés à la surface arrière de l'élément optique. Lorsque l'élément optique est traité et mesuré alors qu'il est fixé à l'appareil de support, l'élément optique est supporté par l'intermédiaire d'éléments de flexion ayant une faible rigidité. Cela rend difficile le traitement de l'élément optique en appliquant une charge, ou augmente l'erreur de mesure provoquée par les vibrations. [0008] L'appareil de support mentionné dans la littérature 2 ayant trait aux brevets est pourvu d'un moyen destiné à initialiser un organe de support basculant qui supporte un objet (de façon à légèrement basculer l'organe par rapport à l'élément optique à l'état monté). Cela est avantageux du point de vue de la reproductibilité d'une (légère) déformation provoquée par les forces de frottement aux points de support. [0009] [LISTE DE CITATIONS] [LITTÉRATURE 1 N'AYANT PAS TRAIT AUX BREVETS] Williams E. E. et al., "Advancement of the Segment Support System for the Thirty Meter Telescope Primary Mirror", Proceeding of 20 SPIE, 7018, 2008) [LITTÉRATURE 1 AYANT TRAIT AUX BREVETS] Brevet japonais mis à l'inspection publique No. 2014-181986 [0010] Cependant, l'appareil de support mentionné dans la littérature 2 ayant trait aux brevets peut provoquer une 25 déformation d'un objet en raison des forces de frottement générées entre les points de support et l'objet par le déplacement des points de support. RÉSUMÉ DE L'INVENTION [0011] A titre d'exemple, la présente invention concerne 30 un appareil de support avantageux du point de vue de la reproductibilité d'un état de support d'un objet et de la faiblesse de la déformation de l'objet provoquée par une force de frottement appliquée à celui-ci. [0012] Selon un aspect de la présente invention, un 35 appareil de support comprend une pluralité de mécanismes de support comportant chacun un premier organe qui comporte une pluralité de parties de support destinées à supporter un objet, et un deuxième organe qui supporte le premier organe, le premier organe étant basculant autour d'un axe par rapport à au moins un degré de liberté, dans lequel la pluralité de mécanismes de support est configurée pour supporter l'objet au moyen de chacun des premiers organes amenés à basculer autour de l'axe correspondant à celui-ci en supportant l'objet de façon qu'une pluralité de forces appliquées à la pluralité de parties de support des premiers organes soient équilibrées, et chacun des premiers organes comporte, par rapport à chacune de la pluralité de parties de support, un actionneur configuré pour recevoir au moins une partie de la charge agissant sur l'une de la pluralité de parties de support correspondant à celui-ci au lieu de ladite partie de support. [0013] D'autres caractéristiques de la présente invention ressortiront à la lecture de la description présentée ci-après d'exemples de modes de réalisation (en référence aux dessins annexés). BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS [0014] Les figures lA et 1B sont des vues représentant l'agencement d'un appareil de support selon le premier mode de réalisation ; [0015] les figures 2A à 2D sont des vues destinées à expliquer un processus de montage d'un objet de support sur l'appareil de support selon le premier mode de réalisation ; [0016] les figures 3A à 3C sont des vues représentant l'agencement d'une partie de basculement selon le premier mode de réalisation ; [0017] les figures 4A à 4E sont des vues représentant un exemple d'agencement d'un actionneur selon le premier mode de réalisation ; [0018] la figure 5 est un organigramme représentant un processus de montage de l'objet de support selon le premier mode de réalisation ; [0019] les figures 6A et 6B sont des vues représentant l'agencement d'un appareil de support selon le deuxième mode de réalisation ; [0020] les figures 7A à 7G sont des vues représentant l'agencement d'une partie de basculement selon le deuxième mode de réalisation ; [0021] les figures 8A et 8B sont des vues représentant l'agencement d'un appareil de support selon le troisième mode de réalisation ; [0022] les figures 9A et 9B sont des vues représentant l'agencement d'un appareil de support selon le quatrième mode de réalisation ; [0023] les figures 10A et 10E sont des vues représentant une variante de l'agencement de l'appareil de support selon le quatrième mode de réalisation ; [0024] les figures 11A à 11C sont des vues représentant l'agencement d'un appareil de support selon le cinquième mode de réalisation ; et [0025] la figure 12 est une vue représentant l'agencement d'un appareil de mesure selon le sixième mode de réalisation. DESCRIPTION DES MODES DE RÉALISATION [0026] Divers exemples de modes de réalisation, caractéristiques, et aspects de l'invention vont être décrits ci-après en détail en référence aux dessins. [0027] Des modes de réalisation de la présente invention 30 vont être décrits ci-après en détail en référence aux dessins annexés. Les modes de réalisation présentés ci-après sont ne doivent pas être considérés comme limitant la présente invention et ne sont que des exemples concrets avantageux de mise en pratique de l'invention. Par 35 ailleurs, toutes les combinaisons de caractéristiques qui seront décrites dans les modes de réalisation présentés ci-après ne sont pas essentielles à la résolution des problèmes de la présente invention. [0028] Un appareil de support et un procédé de mesure 5 utilisant l'appareil de support selon ce mode de réalisation vont être décrits ci-après. [0029] Les figures lA et 1B sont des vues représentant l'agencement de l'appareil de support selon le premier mode de réalisation. La figure lA est une vue en plan d'un 10 appareil de support 1. La figure 1B est une vue de côté de l'appareil de support 1. Le symbole de référence DG désigne une direction gravitationnelle. Les figures 2A à 2D sont des vues de côté d'un processus de montage support 1. dans un appareil (par sera décrit plus loin) doit être monté, par montage 101. L'appar eil de support 1 présente 20 pluralité de montage 101. Chacun de la pluralité de mécanismes de mécanism es de support sur le plateau support comporte un plateau de maintien 103 en tant que premier organe présentant une pluralité de parties de support 104a et 104b destinées à supporter un objet. En 25 outre, chacun de la pluralité de mécanismes de support comporte une partie de basculement 102 en tant que deuxième organe qui supporte le plateau de maintien 103 en tant que premier organe de façon à le rendre basculant autour d'un axe ayant au moins un degré de liberté. Les 30 deux parties de support 104a et 104b et la partie de basculement 102 sont couplées au plateau de maintien 103. Chaque partie de basculement 102 couple le plateau de maintien 103 au plateau de montage 101 de façon à faire en sorte que le plateau de maintien soit basculant avec un 35 degré de liberté. Plus précisément, chaque plateau de 15 l'appareil de de l'appareil de support 1 lors d'un objet de support W sur L'appareil de support 1 est monté exemple un appareil de mesure qui dans lequel l'appareil de l'intermédiaire support 1 d'un plateau de une de maintien 103 peut basculer autour d'un axe central de basculement AX1 de la partie de basculement 102. [0030] On notera, en référence aux figures lA et 2D, qu'il apparaît clairement que lorsqu'un objet W est monté sur 5 l'appareil de support 1, les trois degrés de liberté d'un corps rigide de l'objet W sont restreints de façon appropriée. En effet, la posture du plateau de maintien 103 peut être amenée à basculer librement de façon à équilibrer les forces de réaction aux points de support 10 respectifs par l'intermédiaire des trois parties de basculement 102. [0031] Les figures 3A à 3C sont des vues représentant un exemple d'agencement de la partie de basculement 102. L'opération de basculement de la partie de basculement 15 peut être mise en oeuvre par le mouvement de roulement d'un arbre 1021 ou d'un palier 1022, comme illustré sur la figure 3A sous la forme d'une vue de côté et sur la figure 3B sous la forme d'une vue en coupe depuis la surface supérieure. Dans ce cas, le palier 1022 est couplé au 20 plateau de montage 101 par l'intermédiaire d'un carter de palier 1023. D'autre part, l'arbre 1021 est couplé au plateau de maintien 103 par l'intermédiaire d'un bras basculant 1024. Cela permet de mettre en oeuvre le basculement de chaque plateau de maintien 103 par rapport 25 au plateau de montage 101 dans un état de frottement dans lequel le degré de frottement de roulement du palier est très faible. [0032] En variante, comme illustré sur la figure 3C, l'opération de basculement de la partie de basculement 30 peut être mise en oeuvre en couplant le plateau de montage 101 à chaque plateau de maintien 103 par l'intermédiaire d'une charnière uniaxiale 1025 capable de basculer avec ledit degré de liberté décrit ci-dessus. [0033] Lorsqu'on les observe dans la direction 35 gravitationnelle DG, les parties de support 104a et 104b sont respectivement agencées dans deux régions délimitées par l'axe central de basculement AX1 de chaque partie de basculement 102. Les parties de support 104a et 104b présentent respectivement des régions de contact qui viennent au contact de l'objet W. Les régions de contact sont par exemple formées d'une résine de façon à empêcher (réduire) l'endommagement de l'objet W. [0034] Cela permet à l'appareil de support 1 de supporter l'objet W au moyen des deux parties de support 104a et 104b tout en faisant basculer chaque plateau de maintien 103 autour de l'axe de la partie de basculement 102 de façon à équilibrer les forces agissant sur les deux parties de support 104a et 104b. Ce mode de réalisation comporte six parties de support pour l'objet W. Ce nombre de parties de support est principalement choisi pour empêcher (réduire) la dégradation des caractéristiques optiques provoquée par la déformation de poids propre de l'objet W. Afin de réduire la déformation de poids propre, un support en un plus grand nombre de points peut être exigé. Il est donc facilement compréhensible que le nombre total de parties de support soit augmenté/réduit en fonction de propriétés physiques telles que la taille et le poids de l'objet W, et d'envisager un mode de réalisation approprié pour cette augmentation/diminution. Le deuxième mode de réalisation et les suivants décriront à titre d'exemple des appareils de support destinés à cet effet. [0035] Ce mode de réalisation est pourvu d'une pluralité d'actionneurs 105a et 105b en correspondance avec la pluralité de parties de support 104a et 104b. Les 30 actionneurs 105a et 105b sont configurés pour recevoir au moins une partie des charges exercées par l'objet W sur les parties de support correspondantes 104a et 104b au lieu des parties de support. Les actionneurs 105a et 105b sont respectivement disposés à proximité des parties de 35 support 104a et 104b. À titre d'exemple, les actionneurs 105a et 105b sont configurés pour recevoir au moins partiellement des charges par l'intermédiaire de parties concentriques de l'objet W avec lesquelles les parties de support correspondantes sont en contact. À titre d'exemple, en référence aux figures lA et 1B, les 5 actionneurs 105a et 105b sont disposés dans des régions qui entourent les parties de support 104a et 104b et leur sont concentriques, et entraînent un objet dans la direction d'extension des parties de support, c'est-à-dire la direction gravitationnelle. Chaque actionneur 105 peut 10 avoir une surface sphérique en tant que région de contact par rapport à l'objet W. En outre, la région de contact de l'actionneur 105 peut être constituée d'une résine de façon à empêcher (réduire) l'endommagement de l'objet W. Une unité de commande 110 commande l'entraînement de 15 l'actionneur 105. [0036] Chaque actionneur 105 applique une charge sur un objet dans une direction d'entraînement prédéterminée (direction opposée à la direction gravitationnelle). En outre, la rigidité de chaque actionneur dans des 20 directions autres que la direction mentionnée ci-dessus est faible. Plus précisément, l'actionneur soulève un objet depuis la partie de support en appliquant une charge à l'objet dans la direction opposée à la direction gravitationnelle, mais ne restreint pas l'objet dans des 25 directions autres que la direction opposée. Cela permet de relâcher des charges agissant entre l'objet et la partie de support dans des directions autres que la direction d'entraînement. [0037] Les figures 4A à 4E sont des vues représentant un 30 exemple d'agencement et de fonctionnement de chaque actionneur. Comme illustré sur la figure 4A, chaque actionneur est constitué d'un moteur 1051 et d'une partie de contact 1052, et peut être configuré afin d'obtenir un état de contact/non-contact par rapport à un objet en 35 faisant en sorte qu'un appareil de commande (non représenté) déplace verticalement le moteur. En outre, comme illustré sur la figure 4B, chaque actionneur est constitué d'un vérin pneumatique 1053 et de la partie de contact 1052, et peut être configuré pour faire en sorte qu'un appareil de commande pneumatique (non représenté) 5 déplace verticalement le vérin pneumatique. En variante, l'actionneur comporte un palier à gaz, et peut être constituée d'un coussin d'air 1054 qui n'est pas en contact avec un objet, comme illustré sur la figure 4C. Dans ce cas un appareil de commande pneumatique (non 10 représenté) provoque la lévitation d'un objet afin d'augmenter l'intervalle entre l'objet et le coussin d'air. [0038] En outre, chaque actionneur 105 peut être configuré de façon à favoriser le relâchement de charges dans des 15 directions autres que la direction d'entraînement mentionnée ci-dessus. À titre d'exemple, comme illustré sur la figure 4D, des roulements à billes 1055 peuvent être disposés au niveau de la partie de contact. Dans ce cas, les contraintes agissant sur un objet dans des 20 directions autres que la direction d'entraînement sont relâchées par l'intermédiaire des mouvements de roulement des roulements à billes. En variante, comme illustré sur la figure 4E, la partie de contact 1052 peut être supportée par l'intermédiaire d'un mécanisme de ressort à 25 lames 1056. Le mécanisme de ressort à lames 1056 peut se déformer afin de relâcher les contraintes dans des directions autres que la direction d'entraînement. [0039] Les agencements mentionnés ci-dessus peuvent être mis en oeuvre indépendamment ou peuvent être mis en oeuvre 30 de façon combinée. On notera que lorsque chaque actionneur est constitué du coussin d'air 1054, comme illustré sur la figure 4C, étant donné qu'un objet peut être mis en lévitation, les contraintes s'exerçant dans des directions autres que la direction d'entraînement peuvent être 35 relâchées sans prévoir aucun agencement spécifique. En outre, lorsqu'on utilise par exemple un agencement tel que celui illustré sur la figure 4C ou 4D, un actionneur et une partie de support correspondante peuvent partager la structure de l'agencement. [0040] Une unité de commande 110 commande les actionneurs 5 105a et 105b de façon à faire en sorte qu'ils supportent temporairement l'objet W au lieu des parties de support 104a et 104b une fois que l'objet W a été amené à être supporté par les parties de support 104a et 104b. Une séquence de montage de l'objet W sur l'appareil de support 10 1 va être décrite ci-après en tant qu'exemple concret de l'opération mentionnée ci-dessus en référence aux figures 2A à 2D et 5. Les figures 2A à 2D sont des vues de côté représentant un processus de montage de l'objet de support W sur l'appareil de support 1. La figure 5 est un 15 organigramme représentant le processus de montage de l'objet de support W sur l'appareil de support 1. [0041] Comme illustré sur la figure 2A et en Si sur la figure 5, l'objet W est amené à proximité de l'appareil de support 1 dans la direction gravitationnelle DG. Dans ce 20 cas, le degré de basculement initial de chaque partie de basculement 102 peut être un degré quelconque, et il n'est pas nécessaire que son état de basculement soit un état particulier. Du fait du déplacement de l'objet W, comme illustré sur la figure 2E et en S2 sur la figure 5, 25 l'objet W est supporté sur les parties de support 104a et 104b. À ce stade, le poids propre de l'objet W est appliqué, sous la forme de charges de support Fa et Fb, aux parties de support 104a et 104b. [0042] Il est possible de modifier arbitrairement le 30 rapport de charges de support de l'objet W au niveau des parties de support respectives en modifiant la distance nominale entre chaque partie de support 104 et l'axe central de basculement AX1. En référence à la figure 1A, étant donné que le rapport entre la distance (distance 35 horizontale) entre la partie de support 104a et l'axe central de basculement AX1 et la distance (distance horizontale) entre la partie de support 104b et l'axe central de basculement AX1 est égal à 1:1, le rapport de charges de support est égal à 1:1, et plus précisément, Fa = Fb. Si ce rapport de distances est égal à 2:1, le 5 rapport de charges de support devient égal à 1:2 en raison de l'équilibre des moments qui empêche l'objet de tourner. [0043] En outre, il est possible de régler arbitrairement les charges exercées par l'objet W au niveau des six parties de support 104, dont un exemple est fourni dans 10 l'appareil de support 1, en utilisant, en tant que paramètres, les distances entre les parties de support respectives et l'axe central de basculement AX1 et la position de la partie de basculement 102. Dans ce mode de réalisation, étant donné que les plateaux de maintien et support respectifs sont agencés 15 les points de concentriquement à des intervalles égaux, les poids de support au niveau des six points sont tous les mêmes. Cependant, cela n'est pas exhaustif, et divers types d'agencements peuvent être adoptés. Il est possible de 20 modifier arbitrairement l'agencement sur la base d'une stratégie de réglage en fonction de l'objet devant être monté. [0044] D'autre part, des forces de réaction Fa et Fb égales à des charges s'exerçant au niveau des parties de 25 appliquées à l'objet W. En outre, support 104 sont des forces de frottement Ffa et Ffb sont générées dans les régions de contact entre l'objet et les parties de support. Ces forces de frottement sont générées par les décalages des régions de contact lorsque l'objet W est 30 monté, et se situent dans les plages définies par les inégalités (1) et (2) lorsqu'un coefficient de frottement statique est représenté par p0 0 Dw(F, 0) ... (5) Db(F, 0) ...(6) [0049] Plus précisément, étant donné que les forces de frottement s'exerçant dans les régions de contact ne sont plus exercées sur l'objet W et les plateaux de maintien 103, leurs formes sont choisies de façon unique en se fondant uniquement sur les charges de support F. On notera que cette condition peut être remplie lorsque la forme de l'objet varie très peu avant et après l'application des charges de support à proximité des parties de support par les actionneurs. [0050] À ce stade, les distances entre les actionneurs et les parties de support sont choisies à partir du degré admissible de déformation de l'objet W. En effet, lorsque les positions des parties de support et des actionneurs 25 varient, les formes de l'objet et du plateau de maintien varient du fait des charges. Il est donc suffisant de garantir qu'une variation de forme soit suffisamment faible par rapport à la précision de forme exigée de l'objet W. À cet effet, les distances décrites ci-dessus 30 peuvent être choisies en estimant la forme de l'objet W par analyse par FEM ou autre et en vérifiant si l'erreur de forme estimée est suffisamment faible (par exemple inférieure ou égale à un niveau admissible). En d'autres termes, la distance entre une partie d'un objet avec 35 lequel chaque actionneur est en contact et une partie de l'objet avec lequel une partie de support correspondant à l'actionneur est en contact, est réglée à une valeur qui fait en sorte que les degrés de déformation de l'objet et du plateau de maintien dus aux actionnements des actionneurs deviennent inférieurs ou égaux à des niveaux 5 admissibles. En variante, les distances mentionnées ci-dessus peuvent être choisies en fonction de la rigidité en flexion (résistance à la flexion) obtenue à partir des valeurs d'épaisseur/de propriétés physiques de l'objet W. [0051] En outre, comme illustré sur la figure 2D et en S4 10 sur la figure 5, les actionneurs 105a et 105b sont entraînés en direction inverse pour monter à nouveau l'objet W sur les parties de support 104. À ce stade, l'objet W est monté sur les parties de support 104 pratiquement sans aucun décalage dans des directions 15 autres que la direction d'entraînement par rapport aux (relativement aux) parties de support 104. En effet, étant donné que les distances (relations de position) entre les actionneurs et les parties de support sont réglées de la manière décrite ci-dessus, les formes Dw et Db varient 20 très peu. Par conséquent, il est possible de supporter un objet de façon avantageuse du point de vue de la reproductibilité de la forme de l'objet et de la faiblesse des déformations provoquées par les forces de frottement. Après cela, comme indiqué par exemple par l'étape S5, 25 l'objet W (par exemple ses caractéristiques optiques ou autres) est mesuré. [0052] Comme décrit ci-dessus, l'unité de commande 110 entraîne une pluralité d'actionneurs afin de réduire les contraintes résiduelles s'exerçant sur l'objet W et 30 provoquées par les forces de frottement agissant entre l'objet W et la pluralité de parties de support. L'appareil de support décrit ci-dessus permet donc de réduire l'influence du frottement sur les parties de support. En outre, étant donné qu'un objet peut être 35 supporté avec une rigidité appropriée lors d'une réduction de contrainte, il est possible de réduire les influences des vibrations ou autres lors des traitements ultérieurs (mesure ou autre). [00531 Les figures 6A et 6B sont des vues représentant 5 l'agencement d'un appareil de support selon le deuxième mode de réalisation. La figure 6A est une vue en plan d'un appareil de support 2. La figure 6B est une vue de côté de l'appareil de support 2. Le symbole de référence DG désigne une direction gravitationnelle. L'appareil de 10 support 2 est monté dans un appareil dans lequel l'appareil de support 2 doit être monté, par l'intermédiaire d'un plateau de montage 201. Le plateau de montage 201 présente trois parties de basculement 202. Les trois parties de basculement 202 sont couplées à trois 15 plateaux de maintien 203. Les parties de basculement 202 couplent les plateaux de maintien 203 au plateau de montage 201 de façon à faire en sorte que chaque plateau de maintien soit basculant avec deux degrés de liberté. Dans ce cas, deux degrés de liberté indiquent des degrés 20 de liberté de rotation autour d'axes de basculement centraux AX21 et AX22 passant par un centre 'de basculement CR2 du plateau de maintien 203. Plus précisément, chaque plateau de maintien 203 peut basculer par rapport à un plan perpendiculaire à la direction gravitationnelle DG. 25 [0054] Les figures 7A à 7G sont des vues représentant un exemple d'agencement de chaque partie de basculement 202. Comme illustré sur la figure 7A sous la forme d'une vue de côté et sur la figure 7B sous la forme d'une vue de côté différente, l'opération de basculement de chaque partie de 30 basculement 202 peut être mise en oeuvre par les mouvements de roulement d'un arbre 2021 et d'un palier 2022. Dans ce cas, des paliers 2022a et 2022b (non représentés) sont couplés au plateau de montage 201 par l'intermédiaire de carters de paliers 2023a et 2023b (non représentés). 35 D'autre part, des paliers 2022c et 2022d (non représentés) sont respectivement couplés au plateau de maintien 203 par l'intermédiaire de carters de paliers 2023c et 2023d (non représentés). En outre, un arbre 2021a est couplé aux paliers 2022a et 2022b (non représentés), et un arbre 2021b est couplé aux paliers 2022c et 2022d (non représentés). Cela permet de mettre en oeuvre le basculement de chaque plateau de maintien 203 dans un état de frottement dans lequel le frottement de roulement de chaque palier est très faible. Comme illustré sur la figure 7C, les arbres 2021a et 2021b peuvent être formés de façon solidaire, comme illustré sur la figure 7D ou peuvent être couplés l'un à l'autre par l'intermédiaire d'un organe central 2026 de façon que leurs axes de basculement coïncident l'un avec l'autre. [0055] En variante, le basculement de chaque partie de 15 basculement 202 peut être mis en oeuvre en couplant le plateau de montage 201 au plateau de maintien 203 par l'intermédiaire d'une charnière biaxiale 2025 capable de basculer avec deux degrés de liberté, comme illustré sur la figure 7E sous la forme d'une vue de côté et sur la 20 figure 7F sous la forme d'une vue de côté différente. En variante, comme illustré sur la figure 7G, le basculement de la partie de basculement 202 peut être mis en oeuvre en couplant le plateau de montage 201 au plateau de maintien 203 par l'intermédiaire d'un joint de cardan 2027. Pour 25 des raisons de simplicité, ce mode de réalisation décrit l'utilisation des axes de basculement centraux, c'est-à- dire qu'il fournit un exemple des centres de basculement et du plateau de maintien capable de basculer autour des centres de basculement avec deux degrés de liberté, 30 indiquant ainsi que chaque partie de basculement 202 peut basculer par rapport à un plan perpendiculaire à la direction gravitationnelle DG. Plus précisément, la présente invention montre que le positionnement et l'agencement des axes de basculement d'un plateau de 35 maintien réel ne sont pas limités à ceux illustrés dans les dessins annexés. [0056] Chacun des trois plateaux de maintien 203 comporte trois parties de support 204a, 204b, et 204c. Ces parties de support sont respectivement agencées au moins une par une dans les régions délimitées par les axes de 5 basculement centraux respectifs de chaque partie de basculement 202. Chaque partie de support 204 présente une région de contact qui vient au contact de l'objet W. À titre d'exemple, chaque région de contact est formée par une résine ou analogue pour empêcher (réduire) 10 l'endommagement de l'objet W. [0057] Les trois parties de support 204a, 204b, et 204c comportent respectivement des actionneurs 205a, 205b, et 205c. Les actionneurs 205a, 205b, et 205c sont respectivement disposés à proximité des trois parties de 15 support 204a, 204b, et 204c. En référence aux figures 6A et 6B, les actionneurs 205a, 205b, et 205c sont disposés dans des régions qui sont respectivement situées à proximité des parties de support 204 et leur sont concentriques. Chaque actionneur 205 peut avoir une 20 surface sphérique en tant que région de contact par rapport à l'objet W. En outre, la région de contact de chaque actionneur 205 peut être constituée d'une résine pour empêcher (réduire) l'endommagement de l'objet W. [0058] Chaque actionneur 205 peut adopter l'agencement 25 mentionné dans le premier mode de réalisation. [0059] Une séquence de montage de l'objet W sur l'appareil de support 2 va être décrite ci-après. La séquence illustrée sur la figure 5 peut être appliquée à ce cas. Plus précisément, comme illustré en S1 sur la figure 5, 30 l'objet W est amené à proximité de l'appareil de support 2 dans la direction gravitationnelle DG. Dans ce cas, le degré de basculement initial de chaque partie de basculement 202 peut être un degré quelconque, et il n'est pas nécessaire que son état de basculement soit un état 35 spécifique. Du fait du déplacement de l'objet W, comme illustré en S2 sur la figure 5, l'objet W est supporté sur les parties de support 204a, 204b, et 204c. À ce stade, le poids propre de l'objet W est appliqué, sous la forme de charges de support Fa, Fb, et Fc, aux parties de support 204. [0060] Après cela, comme illustré en S3 sur la figure 5, les actionneurs 205a, 205b, et 205c entraînent et soulèvent l'objet W dans la direction gravitationnelle. À ce stade, comme décrit ci-dessus, la rigidité de chaque actionneur est faible dans des directions autres que la direction gravitationnelle, et permet de ce fait de relâcher les contraintes de frottement générées sur l'objet. [0061] En outre, comme illustré en 34 sur la figure 5, les actionneurs 205a, 205b, et 205c sont entraînés en 15 direction inverse pour monter à nouveau l'objet W sur les parties de support 204. À ce stade, l'objet W est monté sur les parties de support 204 pratiquement sans aucun décalage dans des directions autres que la direction d'entraînement par rapport aux (relativement aux) parties 20 de support 204. En effet, étant donné que les distributions de charge sur l'objet W et les plateaux de maintien 203 varient très peu, leurs formes sont pratiquement constantes. [0062] L'appareil de support décrit ci-dessus peut 25 supporter un objet de façon avantageuse du point de vue de la reproductibilité de la forme de l'objet et de la faiblesse des déformations provoquées par les forces de frottement. [0063] 30 Les figures 8A et 8B sont des vues représentant l'agencement d'un appareil de support selon le troisième mode de réalisation. La figure 8A est une vue en plan d'un appareil de support 3. La figure 8B est une vue de côté de l'appareil de support 3. Le symbole de référence DG 35 désigne une direction gravitationnelle. L'appareil de support 3 est monté dans un appareil dans lequel l'appareil de support 3 doit être monté, par l'intermédiaire d'un plateau de montage 301. Le plateau de montage 301 présente trois parties de basculement 302. Les trois parties de basculement 302 sont respectivement 5 couplées à trois plateaux de maintien 303. Les parties de basculement 302 couplent les plateaux de maintien 303 au 301 de façon à faire en sorte que soit basculant avec un degré chaque plateau de maintien axe central de basculement Chaque partie de support plateau de montage chaque plateau de maintien liberté. Plus précisément, 10 peut basculer autour d'un de la partie de support 302. de 303 AX3 302 de de constituée d'un palier ou d'un mécanisme comme mentionné dans le premier mode peut être charnière, réalisation. 15 [0064] Chaque plateau de maintien 303 comporte en outre deux deuxièmes parties de basculement 312a et 312b. Les deux deuxièmes parties de basculement 312a et 312b sont respectivement couplées à des deuxièmes plateaux de maintien 313a et 313b. Les deuxièmes parties de 312b couplent respectivement les maintien 313a et 313b au plateau de à faire en sorte que chaque deuxième soit basculant avec un degré de de d'axes de parties de maintien 313 comporte partie vient 20 basculement 312a et deuxièmes plateaux de maintien 303 de façon plateau de maintien Plus précisément, les deuxièmes plateaux 25 313a et 313b peuvent basculer autour basculement centraux AX3a et AX3b des deuxièmes basculement 312a et 312b. [0065] Chacun des trois plateaux de deux parties de support 314a et 314b. 30 support 314 présente une région de contact contact de l'objet W. La région de contact est empêcher liberté. maintien formée d'une résine pour Chaque qui par (réduire) exemple de au 35 respectivement des actionneurs actionneurs 315a et 315b sont respectivement disposés à l'endommagement de l'objet W. [0066] Les deux parties de support 314a et 314b comportent 315a et 315b. Les proximité des deux parties de support 314a et 314b. En référence aux figures 8A et 8B, les actionneurs 315a et 315b sont disposés dans des régions qui sont situées à proximité des parties de support 314a et 314b et leur sont concentriques. Chaque actionneur 315 peut avoir une surface sphérique en tant que région de contact par rapport à l'objet W. En outre, la région de contact de l'actionneur 315 peut être constituée d'une résine de façon à empêcher (réduire) l'endommagement de l'objet W. [0067] Chaque actionneur 315 peut adopter l'agencement mentionné dans le premier mode de réalisation. [0068] Une séquence de montage de l'objet W sur l'appareil de support 3 va être décrite ci-après. La séquence illustrée sur la figure 5 peut être appliquée à ce cas. Plus précisément, l'objet W est amené à proximité de l'appareil de support 3 dans la direction gravitationnelle DG, et est supporté sur les parties de support 314a et 314b. À ce stade, le poids propre de l'objet W est appliqué, sous la forme de charges de support Fa et Fb, aux parties de support 314. [0069] Après cela, les actionneurs 315a et 315b entraînent et soulèvent l'objet W dans la direction gravitationnelle. À ce stade, comme décrit ci-dessus, les contraintes de frottement générées sur l'objet peuvent être relâchées. [0070] En outre, les actionneurs 315a et 315b sont entraînés en direction inverse pour monter à nouveau l'objet W sur les parties de support 314. À ce stade, l'objet W est monté sur les parties de support 314 pratiquement sans aucun décalage dans des directions autres que la direction d'entraînement par rapport aux (relativement aux) parties de support 314. En effet, étant donné que les distributions de charge sur l'objet W et les plateaux de maintien 303 varient très peu, leurs formes sont pratiquement constantes. [0071] L'appareil de support décrit ci-dessus peut supporter un objet de façon avantageuse du point de vue de la reproductibilité de la forme de l'objet et de la faiblesse des déformations provoquées par les forces du frottement. [0072] Les figures 9A et 9B sont des vues représentant l'agencement d'un appareil de support selon le quatrième mode de réalisation. La figure 9A est une vue en plan d'un appareil de support 4. La figure 9B est une vue de côté de l'appareil de support 4. Le symbole de référence DG désigne une direction gravitationnelle. L'appareil de support 4 est monté dans un appareil dans lequel l'appareil de support 4 doit être monté, par l'intermédiaire d'un plateau de montage 401. Le plateau de montage 401 comporte trois parties de basculement 402. Les trois parties de basculement 402 sont respectivement couplées à trois plateaux de maintien 403. Les parties de basculement 402 couplent les plateaux de maintien 403 au plateau de montage 401 de façon à faire en sorte que chaque plateau de maintien soit basculant avec deux degrés de liberté. des degrés basculement basculement précisément, gravitationnelle DG. Chaque partie de basculement 402 peut être constituée d'un palier, d'un mécanisme de charnière, ou d'un joint de cardan, comme mentionné dans le deuxième mode de réalisation. 30 [0073] Les trois plateaux de maintien 403 comportent en outre trois deuxièmes parties de basculement 412a, 412b, et 412c. Les trois deuxièmes parties de basculement sont respectivement couplées à des deuxièmes plateaux de maintien 413a, 413b, et 413c. Les deuxièmes parties de 35 basculement 412a, 412b, et 412c couplent respectivement les deuxièmes plateaux de maintien 413a, 413b, et 413c aux Dans ce cas, deux degrés de liberté indiquent de liberté de rotation autour d'axes de centraux AX41 et AX42 passant par un centre de par CR4 chaque à un rapport à la direction de chaque plateau de maintien. Plus plateau de maintien 403 peut basculer plan perpendiculaire plateaux de maintien 403 de façon à faire en sorte que chaque deuxième plateau de maintien soit basculant avec deux degrés de liberté. Plus précisément, lorsqu'on considère le deuxième plateau de maintien 413a à titre d'exemple, le deuxième plateau de maintien 413a peut basculer autour d'axes de basculement centraux AX41a et AX42a passant par un centre de basculement CR4a. Les plateaux de maintien restants peuvent basculer de la même manière. [0074] Chacun des trois substrats de maintien 413 comporte trois parties de support 414a, 414b, et 414c. Chaque partie de support 414 présente une région de contact qui vient au contact de l'objet W. La région de contact est par exemple formée d'une résine pour empêcher (réduire) l'endommagement de l'objet W. [0075] Les trois parties de support 414a, 414b, et 414c comportent respectivement des actionneurs 415a, 415b, et 415c. Les actionneurs 415a, 415b, et 415c sont disposés à proximité des trois parties de support 414a, 414b, et 20 414c. En référence aux figures 9A et 9B, chaque actionneur est disposé dans une région qui est située à proximité de la partie de support 414 et lui est concentrique. Chaque actionneur 415 peut avoir une surface sphérique en tant que région de contact par rapport à l'objet W. En outre, 25 la région de contact de l'actionneur 415 peut être constituée d'une résine de façon à empêcher (réduire) l'endommagement de l'objet W. [0076] Chaque actionneur 415 peut adopter l'agencement mentionné dans le premier mode de réalisation. 30 [0077] Une séquence de montage de l'objet W sur l'appareil de support 4 va être décrite ci-après. La séquence illustrée sur la figure 5 peut être appliquée à ce cas. Plus précisément, l'objet W est amené à proximité de l'appareil de support 4 dans la direction gravitationnelle 35 DG, et est supporté sur les parties de support 414a, 414b, et 414c. À ce stade, le poids propre de l'objet W est appliqué, sous la forme de charges de support Fa, Fb, et Fc, aux parties de support 414. [0078] Après cela, les actionneurs 415a, 415b, et 415c entraînent et soulèvent l'objet W dans la direction gravitationnelle. À ce stade, comme décrit ci-dessus, les contraintes de frottement générées sur l'objet peuvent être relâchées. [0079] En outre, les actionneurs 415a, 415b, et 415c sont entraînés en direction inverse pour monter à nouveau 10 l'objet W sur les parties de support 414. À ce stade, l'objet W est monté sur les parties de support 414 pratiquement sans aucun décalage dans des directions autres que la direction d'entraînement par rapport aux (relativement aux) parties de support 414. En effet, étant 15 donné que les distributions de charge sur l'objet W et les plateaux de maintien 403 varient très peu, leurs formes sont pratiquement constantes. (0080] On notera que l'appareil de support selon ce mode de réalisation peut être réalisé sous la forme d'un 20 appareil de support 4', comme illustré sur les figures 10A et 103. L'appareil de support 4' comporte des deuxièmes parties de basculement 412a', 412b', et 412c1 situées en-dessous (dans la direction gravitationnelle DG) du plateau de maintien 403. Les trois deuxièmes parties de 25 basculement sont respectivement couplées à des deuxièmes plateaux de maintien 413a', 413b', et 413c'. Dans l'appareil de support 4', un centre de gravité CG de l'ensemble de la partie mobile au-dessus du plateau de maintien 403 est situé en-dessous (dans la direction 30 gravitationnelle) d'un centre de rotation CR4 de la partie de basculement 402. Du fait de cet agencement, la posture de chaque plateau de maintien est stabilisée par gravité alors que l'objet W n'est pas monté. Cela facilite le montage de l'objet W. En outre, étant donné que le 35 décalage (déplacement) de chaque point de contact est faible, cela a pour effet de réduire la contrainte de frottement initiale sur l'objet W. Cela facilite le relâchement des contraintes de frottement. [0081] L'appareil de support décrit ci-dessus peut supporter un objet de façon avantageuse du point de vue de la reproductibilité de la forme de l'objet et de la faiblesse des déformations provoquées par les forces du frottement. [0082] Les figures 11A à 11C sont des vues représentant 10 l'agencement d'un appareil de support selon le cinquième mode de réalisation. La figure 11A est une vue en plan d'un appareil de support 5. La figure 11B est une vue de côté de l'appareil de support 5. Le symbole de référence DG désigne une direction gravitationnelle. La figure 11C 15 est une vue en plan d'un objet de support W supporté sur l'appareil de support. Dans ce mode de réalisation, l'objet de support présente une forme symétrique par rapport à un plan plutôt qu'une forme symétrique de rotation. Par conséquent, l'appareil de support qui sera 20 décrit ci-après présente un agencement symétrique par rapport à un plan. On notera que le mode de réalisation décrit à titre d'exemple l'agencement de l'appareil de support correspondant à la forme d'un élément optique. Il est cependant facilement compréhensible que l'agencement 25 de l'appareil de support peut être facilement modifié en fonction de la forme d'un élément optique. [0083] L'appareil de support 5 est monté dans un appareil dans lequel l'appareil de support 5 doit être monté, par l'intermédiaire d'un plateau de montage 501. Le plateau de 30 montage 501 présente une partie de basculement 502 et deux parties de basculement 512. La partie de basculement 502 est couplée à un plateau de maintien 503. Les deux parties de basculement 512 sont couplées à deux plateaux de maintien 513. La partie de basculement 502 couple le 35 plateau de maintien 503 au plateau de montage 501 de façon à faire en sorte que le plateau de maintien soit basculant avec un degré de liberté. D'autre part, les deux parties de basculement 512 couplent les deux plateaux de maintien 513 au plateau de montage 501 de façon à faire en sorte que chaque plateau de maintien soit basculant avec deux 5 degrés de liberté. Plus précisément, le plateau de maintien 503 et les deux plateaux de maintien 513 peuvent basculer par rapport à un plan perpendiculaire à la direction gravitationnelle DG. Les parties de basculement 502 et 512 peuvent adopter des agencements tels que ceux 10 mentionnés dans les premier et deuxième modes de réalisation. [0084] Le plateau de maintien 503 et chacun des deux plateaux de maintien 513 comportent respectivement deux et trois parties de support 504. Chaque partie de support 504 15 présente une région de contact qui vient au contact de l'objet W. La région de contact est par exemple formée d'une résine pour empêcher (réduire) l'endommagement de l'objet W. [0085] Chaque partie de support 504 comporte un actionneur 20 505. L'actionneur 505 est disposé à proximité de la partie de support 504. En référence aux figures 11A et 11B, l'actionneur 505 est disposé dans une région qui est située à proximité de la partie de support 504 et lui est concentrique. 25 [0086] Chaque actionneur 505 peut adopter l'agencement mentionné dans le premier mode de réalisation. [0087] Une séquence de montage de l'objet W sur l'appareil de support va être décrite ci-après. La séquence illustrée sur la figure 5 peut être appliquée à ce cas. Plus 30 précisément, l'objet W est amené à proximité de l'appareil de support dans la direction gravitationnelle DG, et est supporté sur les parties de support 504. [0088] Après cela, les actionneurs 505 entraînent et soulèvent l'objet W dans la direction gravitationnelle. À 35 ce stade, comme décrit ci-dessus, les contraintes de frottement générées sur l'objet peuvent être relâchées. [0089] En outre, les actionneurs 505 sont entraînés en direction inverse pour monter à nouveau l'objet W sur les parties de support 504. À ce stade, l'objet W est monté sur les parties de support 504 pratiquement sans aucun 5 décalage dans des directions autres que la direction d'entraînement par rapport aux (relativement aux) parties de support 504. En effet, étant donné que les distributions de charge sur l'objet W et les plateaux de maintien 203 varient très peu, leurs formes sont 10 pratiquement constantes. [0090] L'appareil de support décrit ci-dessus peut supporter un objet de façon avantageuse du point de vue de la reproductibilité de la forme de l'objet et de la faiblesse des déformations provoquées par les forces du 15 frottement. [0091] La figure 12 est une vue représentant l'agencement d'un appareil de mesure comportant (équipé de) l'appareil de support décrit ci-dessus. Un appareil de mesure M 20 maintient par exemple l'appareil de support 1 selon le premier mode de réalisation sur un plateau de mesure MS, et permet de supporter (monter) l'objet de support W sur l'appareil de support 1. En variante, l'un quelconque des appareils de support 2 à 5 décrits dans les deuxième à 25 cinquième modes de réalisation peut être maintenu sur le plateau de mesure MS. Dans l'appareil de mesure M, l'appareil de support exécute la séquence illustrée sur la figure 5. Après cela, une tête de mesure MH mesure l'objet de support W afin d'obtenir des résultats de mesure de 30 façon avantageuse du point de vue de la reproductibilité de la forme de l'objet W et de la faiblesse de la contrainte de frottement. On notera qu'il est possible d'utiliser, en tant que tête de mesure MH, l'un de divers types de dispositifs de mesure indépendamment des 35 configurations d'interféromètres, d'un type de sonde avec contact/sans contact, ou autres. [0092] Un procédé de fabrication d'un article selon ce mode de réalisation est utilisé pour fabriquer un article tel qu'un composant métallique ou qu'un élément optique. Le procédé de fabrication d'un article selon le mode de réalisation comporte une étape consistant à mesurer la forme ou les caractéristiques optiques d'un objet (objet de support W) au moyen de l'appareil de mesure mentionné ci-dessus et une étape consistant à traiter l'objet sur la base des résultats de mesure obtenus lors de l'étape mentionnée ci-dessus. À titre d'exemple, la forme d'un objet est mesurée au moyen d'un appareil de mesure, et l'objet est traité (fabriqué) de façon qu'il présente une forme respectant les valeurs de conception (se situant dans des gammes admissibles) sur la base des résultats de mesure. Le procédé de fabrication d'un article selon ce mode de réalisation permet de mesurer avec précision la forme d'un objet au moyen de l'appareil de mesure, et est par conséquent avantageux par comparaison à la technique concernée du point de vue d'au moins l'un des performances, de la qualité, de la productivité et du coût de fabrication d'articles par comparaison au procédé. [0093] Bien que la présente invention ait été décrite en 25 référence à des exemples de modes de réalisation, on notera que l'invention n'est pas limitée aux exemples de modes de réalisation décrits. Le cadre des revendications présentées ci-après doit être considéré selon l'acception la plus large comme couvrant toutes ces variantes et 30 structures et des fonctions équivalentes. REVENDICATIONS1. Appareil de support comprenant une pluralité de mécanismes de support comportant chacun un premier organe qui comporte une pluralité de parties de support destinées à supporter un objet et un deuxième organe qui supporte le premier organe, le premier organe étant basculant autour d'un axe par rapport à au moins un degré de liberté, dans lequel : la pluralité de mécanismes de support est configurée pour supporter l'objet au moyen de chacun des premiers organes amenés à basculer autour de l'axe qui lui correspond en supportant l'objet de façon qu'une pluralité de forces appliquées à la pluralité de parties de support des premiers organes soient équilibrées, et chacun des premiers organes comporte, chacune de la pluralité de parties de actionneur configuré pour recevoir au moins la charge agissant sur l'une de la pluralité support correspondant à celui-ci au lieu de de support. 2. Appareil selon la revendication 1 l'actionneur est configuré pour recevoir au moins la partie de la charge par l'intermédiaire d'une partie de l'objet qui est concentrique à une partie de l'objet avec 25 lequel ladite partie de support est mise en contact. 3. Appareil selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'actionneur comporte un palier à gaz et est configuré pour recevoir au moins la partie de la charge par l'intermédiaire du palier à gaz. 30 4. Appareil selon la revendication 1 ou 2, dans lequel l'actionneur comporte un roulement à billes et est configuré pour recevoir au moins la partie de la charge par l'intermédiaire du roulement à billes. 5. Appareil selon la revendication 1 ou 2, dans lequel 35 l'actionneur comporte un organe dont la rigidité, dans une direction différente d'une direction de la charge, est par rapport à support, un une partie de de parties de ladite partie , dans lequelinférieure à sa rigidité dans la direction de la charge, et est configuré pour recevoir au moins la partie de la charge par l'intermédiaire de l'organe. 6. Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l'actionneur est configuré pour partager une structure de celui-ci avec l'une de la pluralité de parties de support correspondant à celui-ci. 7. Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel une distance entre une partie de 10 l'objet avec laquelle l'actionneur vient en contact et une partie de l'objet avec laquelle ladite partie de support vient en contact, est une valeur par laquelle un degré de déformation de l'objet provoqué par un actionnement de l'actionneur se situe dans une plage de tolérance et un 15 degré de déformation du premier organe provoqué par l'actionnement se situe dans une plage de tolérance. 8. Appareil selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, comprenant en outre une unité de commande configurée pour commander l'actionneur de façon à faire en 20 sorte que l'actionneur reçoive temporairement au moins la partie de la charge une fois que l'objet est supporté par la pluralité de parties de support. 9. Appareil selon la revendication 8, dans lequel l'unité de commande est configurée pour faire en sorte que 25 l'actionneur génère une force afin de réduire une contrainte résiduelle dans l'objet, provoquée par une force du frottement agissant entre l'objet et ladite partie de support. 10. Appareil de mesure destiné à mesurer un objet, 30 l'appareil comprenant : un appareil de support selon l'une quelconque des revendications 1 à 9 et configuré pour supporter l'objet. 11. Procédé de support destiné à supporter un objet, au moyen d'une pluralité de mécanismes de support, 35 comportant chacun un premier organe qui comporte une pluralité de parties de support destinées à supporterl'objet et un deuxième organe qui supporte le premier organe, le premier organe étant basculant autour d'un axe par rapport à au moins un degré de liberté, la pluralité de mécanismes de support supportant l'objet au moyen de chacun des premiers organes amenés à basculer autour de l'axe qui lui correspond en supportant l'objet de façon qu'une pluralité de forces appliquées à la pluralité de parties de support des premiers organes soient équilibrées, le procédé consistant à : amener, une fois que l'objet est supporté par la pluralité de parties de support, un actionneur, inclus dans chacun des premiers organes par rapport à chacune de la pluralité de parties de support, à recevoir temporairement au moins une partie de la charge agissant 15 sur l'une de la pluralité de parties de support correspondant à celui-ci au lieu de ladite partie de support. 12. Procédé de fabrication d'un article, le procédé consistant à : 20 mesurer un objet au moyen d'un appareil de mesure selon la revendication 10 ; et traiter l'objet sur la base de la mesure effectuée par l'appareil de mesure.