Brevet FR3027414A1 — publié le 20160422

La présente invention concerne de manière générale le domaine des modulateurs optiques pour le contrôle des signaux lumineux. Elle concerne plus particulièrement un modulateur de phase électro-optique destiné à moduler la phase optique d'une onde lumineuse incidente sur le modulateur. L'invention concerne également un procédé de modulation pour un tel modulateur de phase électro-optique. Un modulateur de phase électro-optique est un dispositif opto-électronique qui permet de contrôler la phase optique d'une onde lumineuse qui est incidente sur le modulateur et qui le traverse, en fonction d'un signal électrique qui lui est appliqué. Il est connu de l'art antérieur une catégorie particulière de modulateurs de phase électro-optiques, dits modulateurs intégrés ou modulateurs en optique guidée, qui comportent : - un substrat électro-optique comprenant une face d'entrée et une face de sortie, - un guide d'onde optique qui s'étend entre une extrémité d'entrée de guide située sur ladite face d'entrée du substrat et une extrémité de sortie de guide située sur ladite face de sortie du substrat, ledit guide d'onde optique ayant un indice de réfraction optique supérieur à l'indice de réfraction optique du substrat et étant adapté pour guider ladite onde lumineuse incidente partiellement couplée dans ledit guide d'onde optique en une onde lumineuse guidée se propageant suivant le chemin optique dudit guide d'onde optique entre ladite extrémité d'entrée et ladite extrémité de sortie de guide, et - au moins deux électrodes de modulation disposées parallèlement audit guide d'onde, pour, lorsqu'une tension de modulation est appliquée entre lesdites électrodes de modulation, introduire un déphasage de modulation, fonction de ladite tension de 25 modulation, sur ladite onde lumineuse guidée se propageant dans ledit guide d'onde optique. Ainsi, la polarisation des électrodes de modulation avec la tension de modulation permet, par effet électro-optique dans le substrat, de faire varier l'indice de réfraction optique du guide d'onde dans lequel se propage l'onde lumineuse guidée, en fonction de cette tension de modulation. 30 Cette variation d'indice de réfraction optique du guide d'onde introduit alors un déphasage de modulation, avance ou retard de phase, en fonction du signe de la tension de modulation, sur la phase optique de l'onde lumineuse guidée traversant le guide d'onde. Ceci se traduit en sortie du modulateur par une modulation de la phase optique de l'onde lumineuse incidente. 35 En théorie, un tel modulateur de phase électro-optique ne module que la phase optique de l'onde lumineuse incidente. Aussi, si l'on place un photo-détecteur sur la trajectoire de l'onde lumineuse émergente en sortie de ce modulateur, alors la puissance optique (en Watt) mesurée par ce photo-détecteur sera constante et indépendante du déphasage de modulation introduit sur l'onde lumineuse guidée grâce aux électrodes de modulation. En pratique, cependant, la puissance optique mesurée n'est pas constante et on détecte une faible variation de la puissance optique à la sortie du modulateur de phase. Cette modulation d'amplitude résiduelle ou « RAM » (pour « Residual Amplitude Modulation » en anglais) s'avère dans certains cas non négligeable de sorte que les performances du modulateur de phase sont dégradées. Afin de remédier à l'inconvénient précité de l'état de la technique, la présente invention propose un modulateur de phase électro-optique permettant de réduire la 10 modulation d'amplitude résiduelle en sortie de ce modulateur. À cet effet, l'invention concerne un modulateur de phase électro-optique tel que défini en introduction qui, selon l'invention, comprend en outre des moyens de polarisation électrique dudit substrat électro-optique adaptés pour générer un champ électrique permanent dans le substrat électro-optique apte à diminuer l'indice de réfraction optique 15 dudit substrat électro-optique au voisinage du guide d'onde. Le dispositif selon l'invention permet ainsi de réduire le couplage entre l'onde lumineuse guidée dans le guide d'onde optique et une onde lumineuse qui se propage de manière non guidée optiquement dans le substrat électro-optique. En effet, à l'extrémité d'entrée de guide, lors de l'injection de l'onde lumineuse 20 incidente dans le guide d'onde optique, une partie de cette onde lumineuse incidente n'est pas couplée au guide d'onde mais est diffractée au niveau de la face d'entrée, de sorte qu'une onde lumineuse rayonne et se propage alors dans le substrat de manière non guidée hors du guide d'onde. Cette onde lumineuse non guidée présente une extension spatiale transverse, dans 25 un plan perpendiculaire au guide d'onde, qui par diffraction s'accroît jusqu'à la face de sortie du substrat. En d'autres termes, le faisceau lumineux associé à l'onde lumineuse non guidée présente une divergence angulaire qui s'accroît au cours de la propagation du faisceau lumineux dans le substrat, hors du guide d'onde. 30 Sans précautions particulières, il apparaît qu'une partie de l'onde lumineuse non guidée peut se coupler à l'onde lumineuse guidée au niveau de l'extrémité de sortie de guide de sorte que ces deux ondes lumineuses interfèrent entre elles, donnant ainsi naissance à la modulation d'amplitude résiduelle mentionnée. Ainsi, en générant un champ électrique permanent dans le substrat électro-optique 35 grâce aux moyens de polarisation électrique, il se forme à proximité de ceux-ci une région où l'indice de réfraction optique est plus faible que l'indice de réfraction optique du substrat au repos. On entendra ici que le champ électrique généré par les moyens de polarisation électrique est permanent en ce sens qu'il disparaît dès que les moyens de polarisation électrique ne sont plus alimentés. Dans la région soumise au champ électrique, au voisinage du guide d'onde, aucune 5 onde lumineuse ne peut plus se propager de sorte que l'onde lumineuse non guidée dans le substrat est déviée et éloignée du guide d'onde. La diminution de l'indice de réfraction optique du substrat électro-optique affecte simultanément le substrat et le guide d'onde de sorte que le guidage de l'onde lumineuse guidée dans le guide d'onde est peu perturbé par le champ électrique permanent généré par 10 les moyens de polarisation électrique. Grâce à la déviation de l'onde lumineuse non guidée, celle-ci ne se recouvre plus avec l'onde lumineuse guidée au niveau de l'extrémité de sortie de guide de sorte que les interférences entre l'onde lumineuse guidée et l'onde lumineuse non guidée en sortie du modulateur sont considérablement réduites. 15 De cette façon, la modulation d'amplitude résiduelle est fortement atténuée. De manière avantageuse, lesdits moyens de polarisation électrique comprennent lesdites au moins deux électrodes de modulation, qui, lorsqu'une tension additionnelle de polarisation est appliquée entre lesdites électrodes de modulation en plus de ladite tension de modulation, sont susceptibles de générer ledit champ électrique permanent. 20 Par ailleurs, d'autres caractéristiques avantageuses et non limitatives du modulateur de phase électro-optique selon l'invention sont les suivantes : lesdits moyens de polarisation électrique comprennent au moins deux électrodes supplémentaires distinctes desdites électrodes de modulation et disposées parallèlement audit guide d'onde entre ladite extrémité d'entrée de guide ou ladite extrémité 25 de sortie de guide et lesdites électrodes de modulation, lesdites au moins deux électrodes supplémentaires étant susceptibles d'être polarisées par une tension de polarisation pour générer ledit champ électrique permanent ; - lesdites au moins deux électrodes supplémentaires étant disposées entre ladite extrémité d'entrée de guide et lesdites électrodes de modulation, lesdits moyens de 30 polarisation électrique comprennent en outre au moins deux autres électrodes supplémentaires distinctes desdites électrodes de modulation et disposées parallèlement audit guide d'onde entre ladite extrémité de sortie de guide et lesdites électrodes de modulation, lesdites au moins deux autres électrodes supplémentaires étant susceptibles d'être polarisées par une autre tension de polarisation pour générer un autre champ 35 électrique permanent dans le substrat électro-optique apte à diminuer l'indice de réfraction optique dudit substrat électro-optique au voisinage du guide d'onde ; - ledit modulateur de phase électro-optique comporte en outre des moyens de couplage de ladite onde lumineuse incidente à l'extrémité d'entrée de guide et/ou des moyens de couplage de ladite onde lumineuse guidée à l'extrémité de sortie de guide, lesdits moyens de couplage comprenant de préférence une section de fibre optique ; - ledit substrat électro-optique est de géométrie planaire avec deux faces latérales, une face inférieure et une face supérieure, lesdites faces inférieure et supérieure 5 s'étendant entre ladite face d'entrée et ladite face de sortie du substrat et ledit guide d'onde optique s'étendant dans un plan parallèle et proche de ladite surface supérieure ; - ledit substrat électro-optique est un substrat de niobate de lithium (LiNb03), de tantalate de lithium (LiTa03), en matériau polymère, en matériau semi-conducteur, par exemple en silicium (Si), en phosphure d'indium (InP), ou en arséniure de gallium (GaAs) ; 10 - la différence (en valeur absolue) d'indice de réfraction optique induite entre ledit guide d'onde et ledit substrat électro-optique est comprise dans une gamme allant de 10-2 à 10-3, - la différence (en valeur absolue) d'indice de réfraction optique induite dans ledit substrat électro-optique grâce aux moyens de polarisation électrique est comprise dans 15 une gamme allant de 10-5 à 10-6. La présente invention concerne également un procédé de modulation pour un modulateur de phase électro-optique conforme à l'invention. Selon l'invention, ledit procédé de modulation comprend une étape de polarisation desdits moyens de polarisation électrique adaptée à générer un champ électrique permanent 20 apte à diminuer l'indice de réfraction optique dudit substrat électro-optique au voisinage dudit guide d'onde. La description qui va suivre en regard des dessins annexés, donnés à titre d'exemples non limitatifs, fera bien comprendre en quoi consiste l'invention et comment elle peut être réalisée. 25 Sur les dessins annexés : - la figure 1 représente une vue de dessus d'un premier mode de réalisation d'un modulateur de phase électro-optique selon l'invention comportant une paire d'électrodes de modulation et connecté en entrée et en sortie à une fibre optique ; - la figure 2 est une vue en coupe transversale du modulateur de phase de la 30 figure 1 selon le plan de coupe A-A ; - la figure 3 est une vue en coupe longitudinale du modulateur de phase de la figure 1 selon le plan de coupe B-B ; - la figure 4 représente une vue de dessus d'un deuxième mode de réalisation d'un modulateur de phase électro-optique selon l'invention dans lequel le modulateur de 35 phase comporte trois électrodes de modulation ; - la figure 5 représente une vue de dessus d'un troisième mode de réalisation d'un modulateur de phase électro-optique selon l'invention comportant une paire d'électrodes de modulation et une paire d'électrodes supplémentaires disposées avant les électrodes de modulation ; - la figure 6 représente une vue de dessus d'un quatrième mode de réalisation d'un modulateur de phase électro-optique selon l'invention comportant une paire d'électrodes de modulation et deux paires d'électrodes supplémentaires disposées avant et après les électrodes de modulation ; - la figure 7 est une vue de dessus d'une variante du troisième mode de réalisation du modulateur de phase selon l'invention de la figure 5 dans laquelle les électrodes supplémentaires sont placées le long d'une portion courbe du guide d'onde ; - la figure 8 est une vue de dessus d'une variante du quatrième mode de réalisation du modulateur de phase selon l'invention de la figure 6 dans laquelle les deux 10 paires d'électrodes supplémentaires sont placées sur deux portions courbes du guide d'onde. On a représenté sur les figures 1 à 8 différents modes de réalisation d'un modulateur 100 de phase électro-optique, ainsi que certaines de leurs variantes. De manière générale, ce modulateur 100 est destiné à moduler la phase optique 15 d'une onde lumineuse incidente 1 (représenté ici par une flèche, cf. figure 1 par exemple) sur le modulateur 100. Un tel modulateur 100 trouve de nombreuses applications en optique, notamment en télécommunications par fibre optique pour la transmission de données, dans les capteurs interférométriques pour le traitement de l'information, ou encore dans l'asservissement 20 dynamique de cavités laser. Le modulateur 100 comprend tout d'abord un substrat 110 électro-optique présentant de la biréfringence du premier ordre induite par un champ électrique statique ou variable, encore appelée effet Pockels. Ce substrat 110 électro-optique est de préférence formé d'un cristal de niobate de 25 lithium, de formule chimique LiNb03, ce matériau présentant un effet Pockels important. Le substrat 110 présente par ailleurs un indice ris de réfraction optique compris entre 2,13 et 2,25 pour une gamme de longueurs d'onde comprise entre 400 nanomètres (nm) et 1600 nm. En variante, le substrat électro-optique du modulateur de phase peut être un cristal 30 de tantalate de lithium (LiTa03). En variante encore, ce substrat électro-optique peut être en matériau polymère ou en matériau semi-conducteur, par exemple en silicium (Si), en phosphure d'indium (InP) ou en arséniure de gallium (GaAs). Le substrat 110 comprend, d'une part, une face d'entrée 111 et, d'autre part, une face 35 de sortie 112. Il présente ici une géométrie planaire avec deux faces latérales 115, 116, une face inférieure 114 et une face supérieure 113 (voir figures 1 et 2 par exemple). La face inférieure 114 et la face supérieure 113 s'étendent ainsi entre la face d'entrée 111 et la face de sortie 112 du substrat 110 en étant parallèle l'une à l'autre. De la même manière, comme le montrent les figures 1 et 2, la face d'entrée 111 et la face de sortie 112 sont également ici parallèles l'une à l'autre, comme le sont les faces latérales 115, 116. Le substrat 110 a ainsi la forme d'un parallélépipède. De préférence, ce 5 parallélépipède est non droit et le substrat 110 est tel que la face d'entrée 111 et l'une des faces latérales (ici la face latérale 116, voir figure 1) présente un angle 119 inférieur à 900 , compris entre 80° et 89,9°, par exemple égal à 85°. On comprendra dans la suite de la description l'avantage d'un tel angle 119 pour améliorer les performances du modulateur 100 de phase. 10 Le substrat 110 du modulateur étant ici un cristal de niobate de lithium, celui-ci est biréfringent (biréfringence intrinsèque par opposition à la biréfringence induite par un champ électrique) et il importe de préciser la géométrie et l'orientation de ce substrat 110 par rapport aux axes de ce cristal. Dans les premier, troisième et quatrième mode de réalisation de l'invention 15 représentés respectivement sur les figures 1 à 3, 5 et 7, et 6 et 8, le substrat 110 est ainsi coupé selon l'axe X du cristal de LiNb03 de sorte que la face supérieure 113 du substrat 110 soit parallèle au plan Y-Z du cristal (voir figure 1). Et plus précisément encore, l'axe Y du cristal est ici orienté parallèlement aux faces latérales 115, 116 du substrat 110 électrooptique. 20 Par convention, pour le niobate de lithium, l'axe Z est parallèle à l'axe C ou a3 de la maille du cristal. L'axe Z est perpendiculaire à l'axe X du cristal qui est lui-même parallèle à l'axe al de la maille. L'axe Y est perpendiculaire à la fois à l'axe Z et à l'axe X. L'axe Y est tourné de 30° par rapport à l'axe a2 de la maille, lui-même orienté à 120° de l'axe al et à 90° de l'axe a3. Les coupes et orientations des faces du cristal se réfèrent généralement aux 25 axes X, Y et Z. Dans le deuxième mode de réalisation de l'invention représenté sur la figure 4, le substrat 110 est quant à lui coupé selon l'axe Z du cristal de LiNb03 de sorte que la face supérieure 113 du substrat 110 soit parallèle au plan X-Y du cristal. Dans ce cas encore, l'axe Y du cristal est orienté parallèlement aux faces latérales 115, 116 du substrat 110 30 électro-optique. Dans tous les modes de réalisation, le modulateur 100 de phase est du type intégré et comprend un guide d'onde 120 optique qui s'étend (voir figure 1 et figures 3 à 8), entre : - une extrémité d'entrée 121 de guide située sur la face d'entrée 111 du substrat 110, et 35 - une extrémité de sortie 122 de guide située sur la face de sortie 112 du substrat 110. Dans la configuration planaire décrite, le guide d'onde 120 s'étend dans un plan parallèle qui est proche de la surface supérieure 113 du substrat 110. En particulier ici, comme représenté par exemple sur les figures 2 et 3 pour le premier mode de réalisation, le guide d'onde 120 est affleurant à la face supérieure 113 du substrat 110 et présente une section semi-circulaire (voir figure 2) de rayon 3 à 4 micromètres. Ce guide d'onde 120 peut être réalisé dans le substrat 110 de niobate de lithium par un procédé thermique de diffusion du titane du cristal ou par un procédé d'échange protonique recuit bien connus de l'homme du métier. De cette façon, on obtient un guide d'onde 120 optique qui présente un indice ng de réfraction optique qui est supérieur à l'indice ris de réfraction optique du substrat. Si le procédé de fabrication du guide d'onde optique est la diffusion du titane, les deux indices de réfraction, ordinaire et extraordinaire voient leur valeur augmenter. Le guide réalisé par diffusion de titane peut ainsi supporter, i.e. guider, les deux états de polarisation. Si le procédé de fabrication du guide d'onde optique est l'échange protonique, dans ce cas seul l'indice de réfraction extraordinaire voit sa valeur augmenter, tandis que l'indice de réfraction ordinaire voit sa valeur diminuer. Le guide d'onde réalisé par échange protonique ne peut ainsi supporter qu'un seul état de polarisation. Afin d'assurer le guidage de la lumière, cet indice ng de réfraction optique du guide d'onde 120 doit être supérieur à l'indice ris de réfraction optique du substrat 110. De manière générale, plus la différence ng - ris d'indice de réfraction optique entre le 20 guide d'onde 120 et ledit substrat 110 électro-optique est élevée, plus élevé est le confinement de la lumière. De manière avantageuse ici, la différence ng - ris d'indice de réfraction optique entre le guide d'onde 120 et ledit substrat 110 électro-optique est comprise dans une gamme allant de 10-2 à 10-3. 25 Aux fins de moduler l'onde lumineuse incidente 1, le modulateur 100 de phase optique comporte également des moyens de modulation. Dans les premier, troisième et quatrième mode de réalisation de l'invention représentés respectivement sur les figures 1 à 3, 5 et 7, et 6 et 8, où le substrat 110 est coupé selon l'axe X, ces moyens de modulation comportent deux électrodes de 30 modulation 131, 132 disposées parallèlement au guide d'onde 120 optique, ici de part et d'autre de celui-ci. Dans les différents modes de réalisation, ces électrodes de modulation 131, 132 sont plus précisément disposées autour d'une portion rectiligne 123 du guide d'onde 120. Par ailleurs, comme représenté sur la figure 1, les deux électrodes de 35 modulation 131, 132 comprennent chacune un bord interne 131A, 132A orientés vers le guide d'onde 120. Elles définissent ainsi entre elles un espace inter-électrodes 118 qui s'étend du bord interne 131A de la première électrode de modulation 131 au bord interne 132A de la deuxième électrode de modulation 132. Les deux électrodes de modulation 131, 132 sont espacées d'une distance E (voir figure 2) supérieure à la largeur du guide d'onde 120 au niveau de la face supérieure 113 du substrat 110 de sorte que les électrodes de modulation 131, 132 ne recouvrent pas le guide d'onde 120. La distance E inter-électrodes, délimitée par les deux bords internes 131A, 132A des électrodes de modulation 131, 132, correspond donc à la dimension transverse, ou largeur, de l'espace inter-électrodes 118. Par exemple, le guide d'onde 120 a ici une largeur de 3 microns et la distance inter-électrodes E est égale à 10 microns. Dans le deuxième mode de réalisation de l'invention représenté sur la figure 4, où le 10 substrat 110 est coupé selon l'axe Z, les moyens de modulation comportent trois électrodes de modulation 131, 132, 133 disposées parallèlement audit guide d'onde 120. La première électrode, ou électrode centrale 133, qui présente une largeur supérieure à celle du guide d'onde 120, est située au-dessus de celui-ci. Les deuxième et troisième électrodes, ou contre-électrodes 131, 132 latérales, sont 15 quant à elles situées de part et d'autre du guide d'onde 120, chacune espacée d'une distance E' par rapport à l'électrode centrale 133, cette distance E' étant déterminée entre le centre des contre-électrodes latérales 131, 132 et le centre de l'électrode centrale 133. Par exemple, le guide d'onde 120 ayant ici une largeur de 3 microns et la distance E' entre l'électrode centrale 133 et les contre-électrodes 131, 132 est égale à 10 microns. 20 De manière classique, les électrodes de modulation 131, 132, 133 sont coplanaires et formées sur la face supérieure 113 du substrat 110 par des techniques connues de photolithographie. Les dimensions (largeur, longueur, et épaisseur) des électrodes de modulation 131, 132, 133 sont déterminées en fonction des contraintes de modulation de phase du 25 modulateur, de la nature et de la géométrie du substrat 110 (dimensions et orientation), de la largeur et de la longueur du guide d'onde 120, et des performances à atteindre. Les électrodes de modulation 131, 132, 133 sont destinées à être polarisées par une tension de modulation, notée ici V,(t), la tension de modulation étant une tension variable en fonction du temps t. 30 En d'autres termes, cette tension de modulation V,(t) est appliquée entre les électrodes de modulation 131, 132, 133. Pour cela, l'une des électrodes de modulation est portée à un potentiel électrique égal à la tension de modulation V,(t) (l'électrode 132 dans le cas des premier, troisième et quatrième modes de réalisation, voir figures 1, 5, et 6 par exemple ; l'électrode 133 dans le 35 cas du deuxième mode de réalisation, voir figure 4) alors que l'autre (l'électrode 131) ou les autres électrodes (les électrodes 131, 132) de modulation sont reliées à la masse. Il est prévu des moyens de commande électrique (non représentés) permettant d'appliquer auxdites électrodes de modulation 131, 132, 133 la consigne souhaitée (amplitude, fréquence, ...) pour la tension de modulation V,(t). Afin de comprendre les avantages de l'invention, on va tout d'abord décrire brièvement le fonctionnement du modulateur 100 de phase électro-optique. Le modulateur de phase 100 est conçu pour (voir figure 3) : - recevoir en entrée l'onde lumineuse incidente 1 pour la coupler en une onde 5 lumineuse guidée 3, - moduler la phase optique de cette onde lumineuse guidée 3 se propageant dans le guide d'onde 120, et - coupler l'onde lumineuse guidée 3 en une onde lumineuse émergente 2 délivrée en sortie du modulateur 100, la phase optique de cette onde lumineuse émergente 2 10 présentant une modulation identique à celle de l'onde lumineuse guidée 3. Afin de coupler en entrée, et respectivement en sortie, l'onde lumineuse incidente 1, et respectivement l'onde lumineuse émergente 2, le modulateur 100 comporte des moyens de couplage de l'onde lumineuse incidente 1 à l'extrémité d'entrée 121 de guide et des moyens de couplage de l'onde lumineuse émergente 2 à l'extrémité de sortie 122 de guide. 15 Ces moyens de couplage comprennent ici de préférence des sections 10, 20 de fibre optique (voir figure 3), par exemple une fibre optique de silice, comprenant chacune une gaine 11, 21 entourant un coeur 12, 22 de forme cylindrique dans lequel se propage respectivement l'onde lumineuse incidente 1 (dans le coeur 12) et l'onde lumineuse émergente 2 (dans le coeur 22) présentant ainsi chacune une symétrie de révolution. 20 On a représenté à titre d'exemple sur la figure 3, l'amplitude 1A de l'onde lumineuse incidente 1 se propageant dans le coeur 12 de la section 10 de fibre optique et l'amplitude 2A de l'onde lumineuse émergente 2A se propageant dans le coeur 22 de la section 20 de fibre optique. Ces amplitudes 1A, 2A correspondent à des modes de propagation dans les sections 10, 20 de fibre optique qui présentent une symétrie cylindrique. 25 Afin de réaliser le couplage, les sections 10, 20 de fibre optique sont respectivement amenées près de la face d'entrée 111 et de la face de sortie 112 de sorte que le coeur 12, 22 de chaque section 10, 20 de fibre optique soit aligné en regard de l'extrémité d'entrée 121 de guide et de l'extrémité de sortie 122 de guide. De manière avantageuse, on peut prévoir d'utiliser une colle d'indice entre les 30 sections 10, 20 de fibre optique et les faces d'entrée 111 et de sortie 112 du substrat 110 pour, d'une part, fixer lesdites sections 10, 20 de fibre optique au substrat 110, et, d'autre part, figer l'alignement optique et mécanique entre le coeur 12, 22 de la fibre 10, 20 par rapport aux extrémités d'entrée 121 et de sortie 122 du guide d'onde 120. En entrée, l'onde lumineuse incidente 1 qui se propage le long du coeur 12 de la 35 section 10 de fibre optique en direction du substrat 110 est partiellement couplée dans le guide d'onde 120 optique au niveau de l'extrémité d'entrée 121 de guide sous la forme de l'onde lumineuse guidée 3 (voir flèches sur la figure 3). Cette onde lumineuse guidée 3 se propage alors suivant le chemin optique du guide d'onde 120 optique entre l'extrémité d'entrée 121 et l'extrémité de sortie 122 de guide et présente une amplitude 3A telle que représentée sur la figure 3. À cause des réflexions partielles de l'onde lumineuse guidée 3 sur la face 5 d'entrée 111 et la face de sortie 112, il peut se créer des interférences dans le guide d'onde 120 de sorte que l'amplitude 3A de l'onde lumineuse guidée 3 peut présenter une modulation d'amplitude résiduelle relativement élevée. Néanmoins, grâce à l'angle 119 du substrat 110, ce phénomène d'interférences est fortement réduit de sorte que la modulation d'amplitude résiduelle due à ces réflexions 10 parasites devient négligeable. Lorsque les moyens de commande électrique appliquent la tension de modulation Vm(t) entre les électrodes de modulation 131, 132, 133, un champ électrique externe, proportionnel à cette tension de modulation Vm(t), est créé au voisinage des électrodes de modulation 131, 132, 133, plus précisément dans la région du substrat 110 et 15 du guide d'onde 120 située sous les électrodes de modulation 131, 132, 133. Par effet Pockels, l'indice de réfraction optique ng du guide d'onde est modulé par ce champ électrique externe. De manière connue, la modulation de l'indice de réfraction optique est proportionnelle à l'amplitude du champ électrique externe, le coefficient de proportionnalité dépendant à la fois de la nature du matériau et de la géométrie des 20 électrodes de modulation 131, 132, 133. De plus, en fonction de l'orientation du champ électrique externe par rapport aux axes optiques du substrat 110, cette variation au voisinage des électrodes de modulation 131, 132, 133 peut être positive ou négative avec respectivement une augmentation et une diminution des indices de réfraction optique ns, ng du substrat 110 et du guide d'onde 120. 25 Lors de la propagation de l'onde lumineuse guidée 3 dans le guide d'onde 120, cette variation de l'indice de réfraction optique ng du guide d'onde 120 introduit sur la phase optique de l'onde lumineuse guidée 3 se propageant dans le guide d'onde 120 optique, un déphasage de modulation, qui est fonction de l'amplitude du champ électrique externe et donc de l'amplitude de la tension de modulation Vm(t) qui varie en fonction du temps t. 30 En fonction du signe de la tension de modulation Vm(t), et donc de l'orientation du champ électrique externe par rapport aux axes optiques du substrat 110, ce déphasage de modulation peut être positif ou négatif, associé respectivement à un retard ou à une avance de phase optique de l'onde lumineuse guidée 3. De cette façon, grâce aux électrodes de modulation 131, 132, 133, la phase optique 35 de l'onde lumineuse guidée 3 peut être modulée. On revient maintenant au couplage de l'onde lumineuse incidente 1 dans le guide d'onde 120 optique. Lors de ce couplage, à cause de la différence de distribution spatiale d'indice de réfraction entre la section 10 de fibre optique et le guide d'onde 120 dans le substrat 110, une partie de l'onde lumineuse incidente 1 est diffractée à l'extrémité d'entrée 121 de guide, de sorte qu'une onde lumineuse non guidée 4 dans le guide d'onde 120 (voir figure 3) se propage dans le substrat 110. Cette onde lumineuse non guidée 4, dont l'amplitude 4A est représentée sur la 5 figure 3, peut interférer à l'extrémité de sortie 122 de guide avec l'onde lumineuse guidée 3 dans le guide d'onde 120, créant ainsi une modulation d'amplitude résiduelle sur l'onde lumineuse émergente 2 à la sortie du modulateur 100. Afin d'empêcher ces interférences et limiter la modulation d'amplitude résiduelle, le modulateur 100 selon l'invention comprend des moyens de polarisation électrique du 10 substrat 110 électro-optique pour générer, dans celui-ci, un champ électrique permanent qui diminue l'indice n, de réfraction optique du substrat 110 au voisinage du guide d'onde 120. De manière générale, ces moyens de polarisation électrique comprennent des électrodes et des moyens de commande électrique pour appliquer, entre ces électrodes, une tension électrique. 15 Dans le premier mode de réalisation représenté sur les figures 1 à3, et dans sa variante représentée sur la figure 4, les moyens de polarisation électrique comprennent les électrodes de modulation 131, 132, 133 et les moyens de commande électrique associés (non représentés). Lorsqu'une tension additionnelle de polarisation, notée ci-après Vs, est appliquée 20 entre les électrodes de modulation 131, 132, 133 en plus de ladite tension de modulation Vm(t), de sorte que la tension totale appliquée soit égale à Vm(t)+Vs (cf. figures 1, 3, et 4), un champ électrique permanent est généré dans une région de polarisation 117 du substrat 110 (voir figure 3) située au voisinage du guide d'onde, à proximité et sous les électrodes de modulation 131, 132, 133. 25 Cette région de polarisation 117 correspond en pratique à une zone du substrat 110 et du guide dans laquelle les indices de réfraction ns, ng du substrat 110 et du guide d'onde 120 sont modulés. De préférence, cette tension additionnelle de polarisation V, est constante dans le temps de sorte que le champ électrique permanent généré dans la région de 30 polarisation 117 est également constant. Afin de dévier l'onde lumineuse non guidée 4 du guide d'onde 120, la tension additionnelle de polarisation V, est ajustée de sorte que le champ électrique permanent dans le substrat diminue, par effet Pockels, l'indice n, de réfraction optique du substrat 110 électro-optique au voisinage du guide d'onde 120, dans la région de polarisation 117. 35 L'onde lumineuse non guidée 4 suit alors la trajectoire représentée en pointillée sur la figure 3, trajectoire qui s'écarte de la région de polarisation 117 d'indice plus faible que le reste du substrat 110. De cette façon, l'onde lumineuse non guidée 4 ne se recouvre plus avec l'onde lumineuse guidée 3 au niveau de l'extrémité de sortie 122 de guide, si bien qu'elles ne peuvent plus interférer entre elles et entraîner une modulation d'amplitude résiduelle sur l'onde lumineuse émergente 2 en sortie du modulateur 100. En pratique, avec des électrodes de modulation 131, 132 de longueur 40 millimètres, espacées de 10 micromètres, entre lesquelles une tension de polarisation de 5 à 10 volts est 5 appliquée, on réduit la modulation d'amplitude résiduelle de plus de 10 décibels. De manière avantageuse, le champ électrique permanent généré par les moyens de polarisation électrique est tel que la différence d'indice de réfraction optique induite dans le substrat 110 électro-optique est comprise dans une gamme allant de 10-5 à 10-6. Grâce aux moyens de polarisation électrique, le modulateur 100 peut mettre en 10 oeuvre un procédé de modulation comprenant une étape de polarisation de ces moyens de polarisation électrique. Lors de cette étape de polarisation, on génère le champ électrique permanent, ici par application de la tension additionnelle de polarisation Vs, de manière à diminuer l'indice ris de réfraction optique du substrat 110 électro-optique au voisinage du guide d'onde 120. 15 Cette étape de polarisation peut être avantageusement réalisée en même temps que l'étape de modulation consistant à appliquer la tension de modulation Vm(t) sur les électrodes de modulation 131, 132, 133. En pratique, on applique sur lesdites électrodes de modulation 131, 132, 133 la tension totale Vm(t)+Vs de manière à simultanément moduler l'onde lumineuse guidée 3 dans 20 le guide d'onde 120 et à dévier l'onde lumineuse non guidée 4 vers la face inférieure 114 du substrat 110. De préférence, on ajuste l'amplitude de la tension additionnelle de polarisation Vs de telle sorte que le signe, positif ou négatif, de la tension totale Vm(t) + Vs appliquée sur les électrodes de modulation 131, 132 soit constant. 25 Par exemple, lorsque la tension de modulation Vm(t) est une modulation en créneaux carrés périodiques, prenant alternativement des valeurs positives et négatives, par exemple +1 V et -1 V, on peut choisir une tension additionnelle de polarisation Vs constante et égale à -5 V de sorte que la tension totale Vm(t) + Vs appliquée soit toujours négative. La tension additionnelle de polarisation Vs étant constante, elle est associée à une 30 avance ou un retard additionnel de phase optique de l'onde lumineuse guidée 3 dans le guide d'onde 120, avance ou retard qui est donc constant en fonction du temps. Aussi, l'application de cette tension additionnelle de polarisation Vs sur les électrodes de modulation 131, 132 ne perturbe pas la modulation de la phase optique de l'onde lumineuse guidée 3. 35 Dans un deuxième mode de réalisation du modulateur 100 de phase électro-optique représenté sur la figure 5, les moyens de polarisation électrique du modulateur 100 de phase électro-optique comprennent deux électrodes supplémentaires 141, 142 distinctes et séparées des électrodes de modulation 131, 132, 133. Ces électrodes supplémentaires 141, 142 sont disposées parallèlement au guide d'onde 120, ici entre l'extrémité d'entrée 121 de guide et les électrodes de modulation 131, 132. Les deux électrodes supplémentaires 141, 142 sont destinées à être polarisées par une tension de polarisation V, appliquée entre elles grâce à des moyens supplémentaires de commande électrique pour générer un champ électrique permanent qui diminue l'indice ng de réfraction optique du substrat 110 au voisinage du guide d'onde 120, ici dans une région du substrat située sous ces électrodes supplémentaires 141, 142. En plaçant ces électrodes supplémentaires 141, 142 près de l'extrémité d'entrée 121 10 de guide, on s'assure de dévier l'onde lumineuse non guidée 4 au début de sa propagation dans le substrat 110. Des essais ont montré qu'avec des électrodes supplémentaires 141, 142 espacées de 10 micromètres et polarisées avec une tension de polarisation V, égale à 5 volts, on parvenait à réduire la modulation d'amplitude résiduelle d'au moins 10 dB. 15 En variante cependant, les électrodes supplémentaires peuvent être disposées entre l'extrémité de sortie de guide et les électrodes de modulation. En variante encore, les moyens de polarisation électrique peuvent comprendre trois électrodes supplémentaires disposées de manière analogue aux électrodes de modulation 131, 132, 133 de la figure 4, ces trois électrodes supplémentaires étant séparées 20 des électrodes de modulation. Afin de limiter la tension de polarisation V, appliquée sur les électrodes supplémentaires 141, 142, on peut prévoir dans un troisième mode de réalisation de l'invention tel que représenté sur la figure 6, que les moyens de polarisation électrique comprennent en outre deux autres électrodes supplémentaires 151, 152 distinctes des 25 électrodes de modulation 131, 132 et disposées parallèlement au guide d'onde 120 entre l'extrémité de sortie 122 de guide et les électrodes de modulation 131, 132. Ces deux autres électrodes supplémentaires 151, 152 sont susceptibles d'être polarisées par une autre tension de polarisation V', pour générer un autre champ électrique permanent dans le substrat 110 électro-optique, ici sous lesdites deux autres électrodes 30 supplémentaires 151, 152 pour diminuer l'indice n, de réfraction optique dudit substrat 110 au voisinage du guide d'onde 120. De cette façon, l'onde lumineuse non guidée 4 qui se propage dans le substrat 110 est doublement déviée et éloignée de l'extrémité de sortie 122 de guide de sorte que la modulation d'amplitude résiduelle est encore réduite. 35 Avec deux autres électrodes supplémentaires 151, 152 identiques aux deux électrodes supplémentaires 141, 142 précédemment décrites, et en appliquant des tensions de polarisation V, et V', égales à 2,5 V chacune, on réduit encore plus la modulation d'amplitude résiduelle. Dans des variantes des deuxième et troisième modes de réalisation, représentées respectivement sur les figures 7 et 8, le guide d'onde 120 comporte respectivement une portion courbe 124 et deux portions courbes 124, 125. Dans ce cas, le guide d'onde 120 qui s'étend, dans un plan parallèle à la face 5 supérieure 113, entre l'extrémité d'entrée 121 de guide située sur la face d'entrée 111 du substrat 110 et l'extrémité de sortie 122 de guide située sur la face de sortie 112 du substrat 110 est donc non rectiligne. Dans la variante du deuxième mode de réalisation du modulateur 100 de phase électro-optique représenté sur la figure 7, le guide présente une première portion courbe 124 10 de guide entre l'extrémité d'entrée 121 et l'extrémité de sortie 122 de guide, si bien que l'onde lumineuse guidée 3 dans le guide d'onde 120 se propage en suivant le chemin optique de celui-ci entre l'extrémité d'entrée 121 et l'extrémité de sortie 122 de guide. Dans ce cas, les deux électrodes supplémentaires 141, 142 du modulateur 100, présentent alors une forme également courbe de manière à être disposées parallèlement au 15 guide d'onde 120 au niveau de la première portion courbe 124 de guide. De manière avantageuse, la première portion courbe 124 de guide présente une forme et des dimensions sélectionnées pour décaler latéralement l'espace inter-électrodes 118 par rapport à la direction de propagation de l'onde lumineuse non guidée 4. 20 Plus précisément, la première portion courbe 124 de guide est telle que le prolongement d'une direction tangente 1211 au guide d'onde 120 sur la face d'entrée 111 s'écarte de l'espace inter-électrodes 118. Autrement formulé, il convient pour éviter le piégeage de l'onde lumineuse non guidée 4 dans la zone de modulation d'indice 117 que le plan de réfraction, associé à l'onde 25 lumineuse incidente 1 en entrée du guide d'onde 120 et contenant notamment la direction tangente 1211, n'intercepte pas l'espace inter-électrodes 118. La direction tangente 1211 au guide d'onde 120 sur la face d'entrée 121 correspond classiquement à la direction principale de réfraction de l'onde lumineuse incidente 1 dans le guide d'onde 120, ou plus précisément ici à la projection de cette direction principale sur 30 l'une des faces supérieure 113 ou inférieure 114. En d'autres termes, cette direction tangente 1211 correspond à la direction principale de propagation de l'onde lumineuse guidée 3 dans le guide d'onde 120 à l'extrémité d'entrée 121 de guide. Néanmoins, après entrée dans le guide d'onde 120, l'onde lumineuse guidée 3 suit le chemin optique du guide d'onde 120 de sorte qu'elle parvient sur la face de 35 sortie 112 au niveau de l'extrémité de sortie 122 de guide. De la même manière, l'onde lumineuse non guidée 4 se propage librement dans le substrat 110 de l'extrémité d'entrée 121 de guide jusque vers la face de sortie 112 du substrat 110, avec une direction principale de propagation 121P (voir figure 3) coplanaire avec la direction tangente 1211 dans le plan de réfraction. Ainsi, à la lumière de la figure 7, on comprend que grâce à la première portion courbe 124 de guide, l'onde lumineuse non guidée 4 ne traverse plus la zone de modulation d'indice 117 qui s'étend dans le substrat 110 à partir de l'espace inter-électrodes 118, de sorte que l'onde lumineuse non guidée 4 n'est plus guidée dans le substrat 110, sous les électrodes de modulation 131, 132. L'onde lumineuse non guidée 4 se propage alors dans le substrat 110 selon la trajectoire représentée sur la figure 3 même lors de l'application d'une tension de modulation Vm(t) entre les électrodes 131, 132 de modulation. Au cours de sa propagation dans le substrat 110, l'onde lumineuse non guidée 4 diverge et présente une amplitude 4A qui, par diffraction, va s'étaler au fur et à mesure de la propagation, de sorte que l'onde lumineuse non guidée se recouvre seulement partiellement avec l'onde lumineuse guidée 3 au niveau de l'extrémité de sortie 122 de guide, si bien qu'elles ne peuvent plus autant interférer entre elles et entraîner une modulation d'amplitude résiduelle sur l'onde lumineuse émergente 2 en sortie du modulateur 100. La première portion courbe 124 de guide introduit alors un écart entre l'onde lumineuse non guidée 4 et l'espace inter-électrodes 118 qui est supérieur à l'extension spatiale 4A de l'onde lumineuse non guidée, en particulier à l'entrée de l'espace inter-électrodes 118. La première portion courbe 124 de guide présente ici une forme de S (voir figure 5) avec deux courbures opposées présentant chacune un rayon de courbure FIc (voir figure 5) dont la valeur est supérieure à une valeur minimale Rcon, prédéterminée de sorte que les pertes optiques induites par cette première portion courbe 124 de guide sont inférieures à 0,5 dB. Cette valeur minimale Rmin du rayon de courbure est, de préférence, supérieure ou 25 égale à 20 mm. Afin de limiter les pertes introduites par des courbures, on peut prévoir dans une variante du troisième mode de réalisation (voir figure 8), que le guide d'onde 120 optique présente au moins une deuxième portion courbe 125 de guide entre l'extrémité d'entrée 121 de guide et l'extrémité de sortie 122 de guide, ici après la portion rectiligne 123 du guide. 30 De cette façon, pour une valeur fixée du décalage spatial entre l'onde lumineuse non guidée 4 et la zone de modulation d'indice 117, il est possible d'utiliser des portions courbes 124, 125 de guide ayant des courbures plus faibles et introduisant moins de pertes dans le modulateur 100. Bien évidemment, il est possible d'utiliser une ou plusieurs portions courbes de guide 35 dans le modulateur de phase électro-optique lorsque les moyens de polarisation électrique comprennent les électrodes de modulation dudit modulateur (cas du premier mode de réalisation). Ceci présente l'avantage de pouvoir utiliser une tension additionnelle de polarisation plus faible que lorsque le guide d'onde ne présente pas de portion courbe. REVENDICATIONS1. Modulateur (100) de phase électro-optique, destiné à moduler la phase optique d'une onde lumineuse incidente (1) sur ledit modulateur (100), comportant : - un substrat (110) électro-optique comprenant une face d'entrée (111) et une face de sortie (112), - un guide d'onde (120) optique qui s'étend entre une extrémité d'entrée (121) de guide située sur ladite face d'entrée (111) du substrat (110) et une extrémité de sortie (122) de guide située sur ladite face de sortie (112) du substrat (110), ledit guide d'onde (120) optique ayant un indice (ng) de réfraction optique supérieur à l'indice (ne) de réfraction optique du substrat (110) et étant adapté pour guider ladite onde lumineuse incidente (1) partiellement couplée dans ledit guide d'onde (120) optique en une onde lumineuse guidée (3) se propageant suivant le chemin optique dudit guide d'onde (120) optique entre ladite extrémité d'entrée (121) et ladite extrémité de sortie (122) de guide, - au moins deux électrodes de modulation (131, 132) disposées parallèlement audit guide d'onde (120), pour, lorsqu'une tension de modulation (Vm(t)) est appliquée entre lesdites électrodes de modulation (131, 132), introduire un déphasage de modulation, fonction de ladite tension de modulation (Vm(t)), sur ladite onde lumineuse guidée (3) se propageant dans ledit guide d'onde (120) optique, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de polarisation électrique (131, 132; 141, 142, 151, 152) dudit substrat (110) électro-optique adaptés pour générer un champ électrique permanent dans le substrat (110) électro-optique apte à diminuer l'indice (ne) de réfraction optique dudit substrat (110) électro-optique au voisinage du guide d'onde (120). 2. Modulateur (100) de phase électro-optique selon la revendication 1, dans lequel lesdits moyens de polarisation électrique comprennent lesdites au moins deux électrodes de modulation (131, 132), qui, lorsqu'une tension additionnelle de polarisation (Vs) est appliquée entre lesdites électrodes de modulation (131, 132) en plus de ladite tension de modulation (Vm(t)), sont susceptibles de générer ledit champ électrique permanent. 3. Modulateur (100) de phase électro-optique selon la revendication 1, dans lequel lesdits moyens de polarisation électrique comprennent au moins deux électrodes supplémentaires (141, 142) distinctes desdites électrodes de modulation (131, 132) et disposées parallèlement audit guide d'onde (120) entre ladite extrémité d'entrée (121) de guide ou ladite extrémité de sortie (122) de guide et lesdites électrodes de modulation (131, 132), lesdites au moins deux électrodes supplémentaires (141, 142) étant susceptibles d'être polarisées par une tension de polarisation (Vs) pour générer ledit champ électrique permanent. 4. Modulateur (100) de phase électro-optique selon la revendication 3, dans lequel, lesdites au moins deux électrodes supplémentaires (141, 142) étant disposées entre ladite extrémité d'entrée (121) de guide et lesdites électrodes de modulation (131, 132),lesdits moyens de polarisation électrique comprennent en outre au moins deux autres électrodes supplémentaires (151, 152) distinctes desdites électrodes de modulation (131, 132) et disposées parallèlement audit guide d'onde (120) entre ladite extrémité de sortie (122) de guide et lesdites électrodes de modulation (131, 132), lesdites au moins deux autres électrodes supplémentaires (151, 152) étant susceptibles d'être polarisées par une autre tension de polarisation (V'e) pour générer un autre champ électrique permanent dans le substrat (110) électro-optique apte à diminuer l'indice (ne) de réfraction optique dudit substrat (110) électro-optique au voisinage du guide d'onde (120). 5. Modulateur (100) de phase électro-optique selon l'une des revendications 1 à4, comportant en outre des moyens de couplage (10) de ladite onde lumineuse incidente (1) à l'extrémité d'entrée (121) de guide et/ou des moyens de couplage (20) de ladite onde lumineuse guidée (3) à l'extrémité de sortie (122) de guide, lesdits moyens de couplage comprenant de préférence une section de fibre optique. 6. Modulateur (100) de phase électro-optique selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel ledit substrat (110) électro-optique est de géométrie planaire avec deux faces latérales (115, 116), une face inférieure (114) et une face supérieure (113), lesdites faces inférieure (114) et supérieure (113) s'étendant entre ladite face d'entrée (111) et ladite face de sortie (112) du substrat (110) et ledit guide d'onde (120) optique s'étendant dans un plan parallèle et proche de ladite surface supérieure (113). 7. Modulateur (100) de phase électro-optique selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel ledit substrat (110) électro-optique est un substrat de niobate de lithium, de tantalate de lithium, en matériau polymère, en matériau semi-conducteur, par exemple en silicium, en phosphure d'indium, ou en arséniure de gallium. 8. Modulateur (100) de phase électro-optique selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel : - la différence d'indice de réfraction optique entre ledit guide d'onde (120) et ledit substrat (110) électro-optique est comprise dans une gamme allant de 10-2 à 10-3, et - la différence d'indice de réfraction optique induite dans ledit substrat (110) 30 électro-optique grâce aux moyens de polarisation électrique est comprise dans une gamme allant de 10-5 à 10-6. 9. Procédé de modulation pour un modulateur (100) de phase électro-optique selon l'une des revendications précédentes, ledit procédé de modulation comprenant une étape de polarisation desdits moyens de polarisation électrique (131, 132 ; 141, 142) 35 adaptée à générer un champ électrique permanent apte à diminuer l'indice (ne) de réfraction optique dudit substrat (110) électro-optique au voisinage dudit guide d'onde (120).