Brevet FR3024619A1 — publié le 20160205

CIRCUIT INTEGRE PHOTOREPETE AVEC COMPENSATION DES RETARDS DE PROPAGATION DE SIGNAUX, NOTAMMENT DE SIGNAUX D'HORLOGE L'invention concerne les circuits intégrés de grande dimension à motifs juxtaposés répétitifs, produits par exposition partielle répétée d'un même motif dans plusieurs zones d'un même substrat. Cette technique de réalisation est parfois appelée technique de s "stitching" ; elle consiste à utiliser lors d'une étape d'exposition photolithographique d'un substrat de circuit intégré un même masque définissant le motif à reproduire, masque qui est décalé successivement d'une zone du substrat à une autre zone adjacente, au cours de sous-étapes d'exposition. L'étape de photolithographie constituée par cette succession de io sous-étapes peut être complétée par d'autres sous-étapes d'exposition de zones supplémentaires correspondant à des motifs différents, donc exposées à travers un ou plusieurs masques différents. L'étape de photolithographie est par exemple une étape de définition d'un motif de conducteurs dans une couche conductrice déposée sur le substrat. D'autres 15 étapes de photolithographie sont effectuées pour la fabrication du circuit intégré, et pour chacune d'elles on va également procéder par stitching, donc par exposition répétée d'un même motif dans des zones adjacentes ; on aboutit, à la fin de toutes les étapes de photolithographie et à la fin des traitements physiques ou chimiques associés, à un circuit intégré dont 20 certaines zones, adjacentes les unes aux autres, sont rigoureusement identiques entre elles. Dans les circuits intégrés ayant une dimension importante de plusieurs centimètres de côté et devant travailler à des vitesses de fonctionnement élevées, on se heurte à une difficulté qui est la vitesse de 25 propagation limitée des signaux ; cette vitesse limitée engendre le risque qu'un même signal de commande, qui doit servir à commander simultanément plusieurs circuits identiques, soit transmis avec un décalage temporel non nul entre les différentes zones identiques. En particulier, dans les circuits qui fonctionnent avec une horloge à haute fréquence, un même 30 signal d'horloge produit à un endroit du circuit intégré peut atteindre les différentes parties du circuit à des instants décalés les uns par rapport aux autres alors que ces signaux devraient arriver simultanément pour un bon fonctionnement de l'ensemble. Pour des circuits de plusieurs centimètres de côté, le décalage peut être de plusieurs dizaines de nanosecondes, ce qui n'est pas compatible avec des cadences de fonctionnement de plusieurs dizaines de mégahertz. L'invention vise à faciliter la transmission des signaux, et notamment des signaux d'horloges dans de tels circuits stitchés de dimensions importantes, pour que les fronts de montée ou descente de ces signaux ne soient pas trop décalés dans le temps lorsqu'ils parviennent à io des points semblables de zones identiques. Pour cela, on propose selon l'invention un circuit intégré formé par photorépétition de N motifs adjacents tous identiques correspondant à N circuits partiels identiques adjacents de rang i = 1 à i = N dans l'ordre de succession géographique des circuits partiels, le circuit intégré nécessitant 15 pour son fonctionnement un signal maître (de préférence un signal d'horloge) reçu sur un circuit partiel de rang 1 et transmis en cascade d'un circuit partiel de rang i au circuit partiel de rang i+1 par une ligne conductrice principale dans chaque circuit partiel, cette ligne principale introduisant un retard de propagation de durée T entre une entrée de la ligne principale et une sortie 20 de la ligne principale reliée à une entrée de ligne principale du circuit de rang immédiatement suivant, caractérisé en ce qu'il comprend dans chaque circuit partiel de rang i : - une ligne conductrice de compensation à N sorties successives de rang i = 1 à N, reliée à la ligne principale et établissant un retard de 25 propagation de durée T entre les sorties successives, - un multiplexeur à N entrées reliées respectivement à chacune des N sorties de la ligne conductrice de compensation, - des lignes de commande du multiplexeur, agencées pour sélectionner l'entrée de rang i du multiplexeur, reliée à la sortie de rang N-i+1 30 parmi les N sorties de la ligne conductrice de compensation, - la sortie du multiplexeur du circuit partiel de rang i fournissant un signal local (de préférence un signal d'horloge locale) pour ce circuit partiel. De préférence, les lignes de commande du multiplexeur du circuit 35 partiel de rang 1 reçoivent un signal de sélection de l'entrée de rang 1 de ce multiplexeur, et propagent ce signal d'un multiplexeur au suivant en le modifiant à chaque fois pour incrémenter d'une unité le rang de l'entrée sélectionnée, et ainsi décrémenter d'une unité le rang de la sortie sélectionnée. Ainsi, les lignes de commande aboutissant au multiplexeur du s circuit partiel de rang i sélectionnent la sortie de rang N-i+1 de ce circuit et transmettent au multiplexeur du circuit partiel de rang i+1 une commande de sélection de la sortie de rang N-i. Une manière de procéder consiste à utiliser N lignes de commande pour les multiplexeurs, parmi lesquelles seule une ligne de rang i io (pour le multiplexeur du circuit de rang i) est active pour sélectionner l'entrée de rang i du multiplexeur, c'est-à-dire la sortie de rang N-i+1 de la ligne de compensation ; les autres lignes de commande sont inactives ; les lignes de commande reçues par le multiplexeur du circuit partiel de rang i sont reliées aux lignes de commande du multiplexeur du circuit partiel de rang i+1 avec 15 une permutation circulaire pour que la ligne de commande active de rang i du multiplexeur du circuit partiel de rang i soit reliée à une ligne de commande de rang i+1 du multiplexeur du circuit partiel de rang i+1, cette dernière ligne sélectionnant, lorsqu'elle est active, la sortie de rang N-i de la ligne de compensation du circuit partiel de rang i+1. 20 Dans une réalisation pratique, un amplificateur tampon est inséré dans la ligne principale et un amplificateur tampon identique respectif est inséré dans la ligne de compensation, entre chaque sortie de celle-ci et la sortie de rang immédiatement suivant de la ligne. Les amplificateurs 25 introduisent tous le même retard de propagation et sont en pratique tous identiques dans un circuit partiel donné et dans tous les autres circuits partiels. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront 30 à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 représente un schéma d'organisation générale d'un exemple de puce de circuit intégré obtenue par photorépétition de motifs rigoureusement identiques ; - la figure 2 représente un schéma dans lequel un circuit de compensation est introduit dans chaque circuit partiel conformément à l'invention ; - la figure 3 représente un schéma de réalisation du circuit de 5 compensation de l'invention ; - la figure 4 représente une réalisation du circuit de compensation avec un amplificateur tampon dans la ligne principale et des amplificateurs tampons dans les tronçons de la ligne de compensation ; - la figure 5 représente un schéma de plusieurs circuits partiels io juxtaposés, avec une commande du multiplexeur par simple permutation circulaire de l'ordre des N lignes de commande. Pour illustrer l'invention, on a représenté sur la figure 1 une puce de circuit intégré IC réalisée en partie par photorépétition de motifs 15 identiques, dans un exemple qui est un capteur d'image. La puce comprend dans cet exemple trois circuits partiels identiques C1, C2, C3 représentés sous forme de rectangles en traits pleins, et ce sont ces trois circuits qui sont réalisés par photorépétition d'un même motif. Il ne peut pas y avoir la moindre différence entre les trois circuits. Les motifs sont juxtaposés et des 20 liaisons conductrices sont établies entre les circuits adjacents par simple aboutement d'un motif d'un circuit partiel avec un motif du circuit adjacent. Dans cet exemple, chaque circuit partiel comprend une matrice MP de pixels photosensibles et, en bas de la matrice, un circuit de lecture CL pour recueillir les signaux issus des pixels du circuit partiel, et un circuit de 25 commande digital CTRL pour commander les circuits de lecture du circuit partiel. Ces différents circuits sont délimités par des traits pointillés. La puce peut comprendre par ailleurs d'autres circuits électroniques, non photorépétés, par exemple un circuit séquenceur général SEQ destiné à produire des signaux de commande pour les circuits partiels 30 et notamment un signal d'horloge maître CLK qui sert de référence générale pour le déroulement des séquences de fonctionnement du capteur. Un autre circuit DEC comporte un décodeur de rangées pour l'adressage successif des lignes de la matrice lors des opérations de lecture des signaux issus des pixels. Ce décodeur adresse simultanément les lignes de même rang des 35 matrices MP des trois circuits partiels. Cette organisation générale de la puce n'est donnée qu'à titre d'exemple, l'invention étant applicable quels que soient les circuits de la puce à partir du moment où on a besoin de contrôler étroitement la synchronisation des fronts de signaux d'horloge utilisés dans les différents circuits partiels identiques, ou la synchronisation d'autres signaux de commande utilisés dans les circuits partiels. Dans cette organisation, comme c'est bien connu pour des circuits formés par photorépétition, les circuits partiels sont connectés entre eux c'est-à-dire qu'un conducteur arrivant jusqu'à un bord latéral droit d'un circuit partiel est en contact direct avec un conducteur partant au même endroit du bord latéral io gauche du circuit immédiatement adjacent de rang suivant. Ainsi, par exemple, un conducteur de ligne réunissant les pixels d'une ligne d'une matrice MP est en continuité avec un conducteur de ligne des matrices MP des autres circuits partiels. A titre indicatif, on utilise des procédés de photorépétition de 15 circuits partiels identiques sur une même puce pour des puces de grandes dimensions, c'est-à-dire au-dessus de 2 centimètres de large. Les temps de propagation sur des distances de cet ordre ne peuvent pas descendre au-dessous de 20 nanosecondes, ce qui n'est pas négligeable lorsqu'on veut travailler à des fréquences de plusieurs dizaines ou centaines de MHz. S'il y 20 a N circuits partiels adjacents ayant chacun 2 centimètres de large, les temps de propagation jusqu'au dernier circuit partiel sont multipliés par N. La figure 2 représente une architecture générale tirée de celle de la figure 1 mais dans laquelle on a représenté dans chaque circuit partiel 25 identique une portion de surface réservée à un circuit CCMP de compensation des risques de mauvaise synchronisation due aux temps de propagation des signaux d'un circuit partiel à un autre. Ce circuit CCMP, identique dans les différents circuits partiels, comprend essentiellement les éléments suivants : une entrée d'horloge amont, une sortie d'horloge aval, 30 une ligne de transmission principale entre cette entrée et cette sortie, une ligne de compensation à sorties multiples, et un multiplexeur relié aux sorties multiples. Le multiplexeur fournit un signal d'horloge locale au reste du circuit partiel. Ce qui est dit ici des signaux d'horloge issus au départ d'une horloge maître CLK provenant du séquenceur SEQ peut s'appliquer à d'autres 35 signaux de commande que le signal d'horloge maître et pour simplifier les explications on ne considérera que la compensation du signal d'horloge maître CLK. La portion de circuit de compensation CCMP est plus précisément 5 représentée à la figure 3, pour un circuit partiel de rang intermédiaire i où i est un indice de 1 à N s'il y a N circuits partiels adjacents identiques. Dans cet exemple, N=3. L'entrée de signal d'horloge amont est désignée par EHAmi. La sortie de signal d'horloge aval est désignée par SHAvi, et est reliée directement à l'entrée de signal d'horloge amont du circuit partiel immédiatement suivant. La liaison est une liaison par simple aboutement des motifs des deux circuits partiels, la ligne principale étant une ligne continue s'étendant à travers la succession de circuits partiels. L'entrée EHANA; reçoit un signal d'horloge amont CLK; d'un circuit partiel de rang précédent et la 15 sortie SHAvi transmet un signal d'horloge aval CLKi±i à un circuit partiel de rang suivant s'il y en a. Le premier circuit partiel, de rang 1 reçoit un signal d'horloge amont CLK1 qui est le signal d'horloge maître CLK issu du séquenceur des figures 1 et 2. La ligne conductrice principale transmettant le signal d'horloge 20 d'un circuit partiel au suivant est désignée par LP ; elle s'étend entre l'entrée EHANA; et la sortie SHAvi, et a une longueur L qui provoque un retard de transmission de durée T des fronts de transition des signaux d'horloge qui sont propagés sur cette ligne. Dans la configuration la plus simple, la ligne principale LP est une ligne conductrice droite allant directement de l'entrée 25 vers la sortie et ayant une longueur égale à la largeur du circuit partiel (largeur comptée dans la direction de juxtaposition des circuits partiels, c'est-à-dire dans le sens horizontal sur toutes les figures. Elle introduit inévitablement un retard de propagation de durée T entre les fronts de montée du signal d'horloge amont CLK; présent sur l'entrée EHANA; et les 30 fronts de montée du signal d'horloge aval CLKi±i présent sur la sortie SHAvi. Ce retard provient d'une part de la vitesse de propagation non infinie des électrons et d'autre part des constantes de temps résultant des propriétés résistives, capacitices et inductives de la ligne. On verra que la ligne principale peut comporter en outre d'autres éléments introduisant un retard, 35 notamment un amplificateur tampon BF, inséré entre l'entrée et la sortie de la ligne pour régénérer le signal d'horloge. Dans ce cas, le retard nécessairement introduit par cet amplificateur fait partie du retard global de durée T introduit par la ligne. Une ligne conductrice de compensation LS à sorties multiples est 5 organisée en plusieurs tronçons de ligne en série, avec une sortie respective S1, S2, S3 aux extrémités des tronçons. La ligne de compensation est reliée à la ligne principale en un point quelconque de celle-ci et s'étend de la ligne principale vers une première sortie de ligne S1. La distance entre le point de liaison avec la ligne principale et la première sortie importe peu, mais elle est évidemment la même pour tous les circuits partiels. Chaque tronçon a ensuite une longueur égale à la longueur L de la ligne principale ou, plus précisément, est configuré pour introduire un retard de propagation de durée T comme la ligne principale. S'il y a un amplificateur tampon dans la ligne principale, 15 contribuant au retard T, on introduira un amplificateur tampon semblable dans chaque tronçon de la ligne de compensation afin d'obtenir ce retard de propagation T dans chaque tronçon. Sur la figure 3, en raison du fait qu'on souhaite avoir trois circuits partiels juxtaposés comme à la figure 2, il y a trois sorties S1, S2, S3 de la 20 ligne de compensation et deux tronçons avec un retard T chacun, respectivement entre les sorties S1 et S2, et S2 et S3. Plus généralement s'il y a N circuits partiels, il y a N sorties successives de rang i= 1 à N et ces sorties fournissent un signal d'horloge avec des retards successifs (par rapport au signal d'horloge amont) qui décalés les uns des autres de la durée 25 T. Ainsi, quel que soit le retard de propagation existant entre l'entrée EHANA; et la sortie S1, le retard sera augmenté de T sur la sortie S2 et de 2T sur la sortie S3 ; plus généralement, s'il y a N sorties, il est augmenté de (i-1)T sur la sortie de rang i. Les sorties de la ligne de compensation sont reliées chacune à 30 une entrée respective d'un multiplexeur MUX. Les longueurs de connexion entre les sorties de la ligne de compensation et les entrées du multiplexeur sont identiques ou pratiquement identiques pour ne pas introduire de retards de propagation significativement différents (par rapport au retard T de la ligne principale) entre ces sorties et le multiplexeur. Une entrée de rang quelconque j du multiplexeur est reliée à une sortie de rang SN1+1 de la ligne de compensation. Le multiplexeur est commandé par des lignes de commande LC qui définissent quelle est l'entrée de multiplexeur, donc quelle est la sortie de ligne de compensation, qui sera transmise sur la sortie du multiplexeur. Pour le circuit partiel de rang i, la ligne de commande LC fournit un signal sel; de sélection de l'entrée de rang i du multiplexeur, donc une sélection de la sortie de rang N-i+1 de la ligne de compensation. Les états des lignes de commande sont statiques au moment de l'utilisation du circuit de compensation. C'est le signal présent sur cette sortie de rang N-i+1 qui sera transmis en sortie du multiplexeur. La sortie du multiplexeur du circuit de rang i fournit alors un signal d'horloge locale ClkLi qui sera utilisé dans le circuit partiel de rang i ; ce signal est par exemple transmis, pour être utilisé, 15 au circuit de contrôle CTRL correspondant. Les signaux d'horloge locale des différents circuits partiels sont simultanés en raison de la compensation établie par la ligne de compensation. Le retard existant entre le signal d'horloge locale ClkLi et le signal d'horloge maître CLK n'est pas précisément connu : il dépend de 20 l'emplacement du point de jonction entre la ligne principale et la ligne de compensation (distance entre ce point de jonction et l'entrée EHAmi) ; il dépend de la distance entre ce point de jonction et la première sortie S1 de la ligne de compensation ; il dépend de la longueur de connexion entre les sorties de la ligne de compensation et le multiplexeur ; il dépend du retard 25 propre introduit par le multiplexeur ; il dépend de la longueur de connexion en sortie du multiplexeur. Mais ces éléments de retard sont les mêmes pour tous les circuits partiels ; quel que soit le retard qu'ils introduisent, on peut dire qu'il n'y a pas de retard entre un signal d'horloge locale ClkLi et un signal d'horloge locale ClkLi±i d'un circuit partiel adjacent ; en effet, le retard T 30 introduit par la longueur de la ligne principale pour aller d'un circuit partiel au circuit partiel suivant est intégralement compensé par le fait que le circuit partiel de rang i utilise la sortie de rang N-i+1 de la ligne secondaire alors que le circuit partiel suivant de rang i+1 utilise la sortie de rang précédent N-i de la ligne de compensation, ces deux sorties étant séparées par un tronçon 35 introduisant le même retard de propagation T que la ligne principale. Pour que chaque circuit partiel de rang i sélectionne l'entrée adéquate du multiplexeur, c'est-à-dire l'entrée de rang i reliée à la sortie de rang N-i+1 de la ligne de compensation, on prévoit de préférence que le 5 multiplexeur possède des lignes de commande qui se propagent d'une entrée de commande du circuit partiel à une sortie de commande qui elle-même est reliée à l'entrée de commande du circuit partiel suivant (liaison par simple aboutement des motifs des circuits partiels juxtaposés) ; mais cette propagation se fait à chaque fois en incrémentant le rang de l'entrée sélectionnée ; en d'autres mots, le signal de commande propagé est légèrement différent du signal de commande reçu, mais la différence (incrémentation d'une unité) est la même pour tous les circuits partiels. Ainsi, bien que les circuits partiels et notamment l'organisation des lignes de commande soit exactement la même d'un circuit au suivant (incluant le circuit 15 permettant l'incrémentation) on commande le multiplexeur du circuit partiel de rang i différemment du circuit partiel suivant. Le premier circuit partiel reçoit une commande qui sélectionne l'entrée de rang 1 donc la sortie de rang 1 (S3 sur la figure 2) de la ligne de compensation. On voit sur la figure 3 les lignes de commande associées au 20 multiplexeur du circuit partiel de rang i : elles reçoivent un signal de sélection sel; spécifique et transmettent vers le circuit de rang suivant i+1 un signal seli±i. Un circuit d'incrémentation d'une unité, désigné par INCR, est alors inséré entre les lignes de commande arrivant au multiplexeur et les sorties de commande destinées au circuit partiel suivant. 25 Sur la figure 4, on a représenté en vue agrandie la ligne principale LP et la ligne de compensation LS dans le cas où la ligne principale comporte au moins un amplificateur tampon dont la fonction est de restaurer l'amplitude du signal d'horloge transmis, celui-ci ayant tendance à s'affaiblir 30 au cours de sa propagation sur la ligne principale. Dans ce cas, l'amplificateur tampon (désigné par l'appellation générique BF sur la figure 4) introduit un retard supplémentaire de propagation des fronts d'horloge. La durée T de retard de propagation de la ligne principale comprend la somme de ce retard et du retard propre de la ligne conductrice elle-même. Il faut 35 alors prévoir dans chaque tronçon de la ligne de compensation LS un retard identique T, et le mieux est donc d'insérer dans chaque tronçon un amplificateur tampon BF identique à l'amplificateur inséré dans la ligne principale. Dans l'exemple de la figure 4, l'amplificateur tampon est placé immédiatement à l'entrée de la ligne principale, et on a prévu un amplificateur BF inséré dans le premier tronçon de ligne de compensation entre la sortie S1 et la sortie S2, puis un autre amplificateur BF inséré dans le deuxième tronçon entre la sortie S2 et la sortie S3. En outre, étant donné que le retard propre introduit par un io amplificateur peut dépendre de la charge de cet amplificateur, on s'arrange autant que possible pour que les charges de tous ces amplificateurs soient identiques. C'est pourquoi on peut prévoir, comme visible sur la figure 4, que la ligne de compensation LS se prolonge, en aval de la sortie S3, par un tronçon de ligne chargé par un amplificateur. De même, on peut prévoir que 15 la ligne de compensation comporte, en amont de la sortie S1, un amplificateur entre la ligne principale et la sortie S1. Enfin, la charge de l'amplificateur BF de la ligne principale est constituée par la ligne principale elle-même chargée par l'amplificateur BF de la ligne principale du circuit partiel situé immédiatement en aval. 20 De cette manière, tous les amplificateurs situés entre la ligne principale et la dernière sortie S3 sont chargés sensiblement par la même impédance qui est principalement l'impédance d'un tronçon de ligne chargé par un amplificateur. 25 La figure 5 représente un exemple de réalisation des lignes de commande du multiplexeur, permettant d'assurer l'incrémentation du rang de l'entrée du multiplexeur, donc la décrémentation du rang de la sortie sélectionnée par le multiplexeur. Dans cet exemple, il y a autant de lignes de commande qu'il y a de circuits partiels et le multiplexeur reçoit les N lignes 30 de commande ; une seule de ces lignes reçoit un niveau logique actif (1) et le multiplexeur est agencé pour sélectionner l'entrée de rang i lorsque la ligne de commande de rang i est activée ; les autres lignes reçoivent un niveau non actif (0). L'entrée de rang i est reliée à la sortie de rang N-i+1 de la ligne de compensation et c'est alors le signal d'horloge présent sur cette sortie qui 35 sera transmis sur la sortie du multiplexeur. Sur la figure 5, on a représenté en traits pleins la liaison entre une entrée de multiplexeur et la sortie sélectionnée, et en traits pointillés les liaisons avec les sorties non sélectionnées, et ceci pour chacun des trois circuits partiels représentés. La configuration est transposable à N circuits partiels, en utilisant alors N lignes s de commande pour les multiplexeurs. Le circuit d'incrémentation peut-être, comme représenté à la figure 5, simplement un circuit de permutation circulaire des lignes de commande : une ligne de rang j quelconque dans un circuit partiel de rang i devient une ligne de rang j+1 dans le circuit partiel de rang i+1. En particulier, la ligne de io rang i dans le circuit partiel de rang i sélectionne la sortie de rang N-i+1 de ce circuit partiel, puis se prolonge en une ligne de rang i+1 dans le circuit suivant de rang i+1 et elle sélectionne la sortie de rang N-i de ce circuit suivant. D'autres circuits d'incrémentation pourraient être prévus, en 15 utilisant notamment des registres à décalage dont l'incrémentation est assurée par le circuit partiel pour qu'après une phase d'initialisation du circuit intégré les registres à décalage contiennent des codes (001, 010, 100) différents pour chaque circuit partiel, ces codes commandant la sélection d'entrées différentes du multiplexeur. Le multiplexeur peut également 20 décoder des codes de comptage plus classiques tels que des codes binaires (00, 01, 10) ou Gray (00, 01, 11), notamment si on utilise des registres à décalage. REVENDICATIONS1. Circuit intégré formé par photorépétition de N motifs adjacents tous identiques correspondant à N circuits partiels identiques adjacents (C1, C2, C3) de rang i = 1 à i = N dans l'ordre de succession géographique des circuits partiels, le circuit intégré (IC) nécessitant pour son fonctionnement un signal maître(CLK) reçu sur un circuit partiel de rang 1 et transmis en cascade d'un circuit partiel de rang i au circuit partiel de rang i+1 par une ligne conductrice principale (LP) dans chaque circuit partiel, cette ligne principale introduisant un retard de propagation de durée T entre une entrée (EHANA;) de la ligne principale et une sortie SHAvi de la ligne principale reliée à une entrée de ligne principale du circuit de rang immédiatement suivant, caractérisé en ce qu'il comprend dans chaque circuit partiel de rang i : - une ligne conductrice de compensation (LS) à N sorties successives (S1, S2, S3) de rang i = 1 à N, reliée à la ligne principale (LP) et établissant un retard de propagation de durée T entre les sorties 15 successives, - un multiplexeur (MUX) à N entrées reliées respectivement à chacune des N sorties de la ligne conductrice de compensation, - des lignes de commande (LC) du multiplexeur, agencées pour sélectionner l'entrée de rang i du multiplexeur, reliée à la sortie de rang N-i+1 20 parmi les N sorties de la ligne conductrice de compensation, - la sortie du multiplexeur du circuit partiel de rang i fournissant un signal local (ClkLi) pour ce circuit partiel. 2. Circuit intégré selon la revendication 1, caractérisé en ce que 25 le signal maître est un signal d'horloge général et le signal local issu du multiplexeur de rang i est un signal d'horloge locale pour le circuit partiel de rang i. 30 3. Circuit intégré selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les lignes de commande du multiplexeur du circuit partiel de rang 1 reçoivent un signal de sélection de l'entrée de rang N de ce multiplexeur, et propagent ce signal d'un multiplexeur au suivant en le modifiant à chaque fois pour incrémenter d'une unité le rang de l'entrée sélectionnée, afin que les lignes de commande aboutissant au multiplexeur du circuit partiel de rang i sélectionnent la sortie de rang N-i+1 de la ligne de compensation et transmettent au multiplexeur du circuit partiel de rang i+1 une commande de sélection de la sortie de rang N-i. 4. Circuit intégré selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les lignes de commande du multiplexeur du circuit partiel de rang i sont au nombre de N, parmi lesquelles seule une ligne de commande de rang i est active pour sélectionner la sortie de rang N-i+1 de la ligne de compensation et les autres sont inactives, et ces lignes sont reliées directement aux lignes de commande du multiplexeur du circuit partiel de rang i+1 avec une permutation circulaire pour que la ligne de commande active de rang i du multiplexeur du circuit partiel de rang i soit reliée à une ligne de commande de rang i+1 du multiplexeur du circuit partiel de rang i+1, cette dernière ligne sélectionnant, lorsqu'elle est active, la sortie de rang N-i de la ligne de compensation du circuit partiel de rang i+1. 5. Circuit intégré selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce qu'un amplificateur tampon (BF) respectif est inséré dans la ligne principale et un amplificateur tampon identique respectif (BF) est inséré dans la ligne de compensation (LS) entre chaque sortie de celle-ci et la sortie de rang immédiatement suivant de la ligne.