Brevet FR3031184A1 — publié le 20160701

ANALYSEUR DE COUCHE DE POLISSAGE DE TAMPON DE POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE ET PROCEDE CORRESPONDANT [0001] La présente invention concerne d'une manière générale le domaine de la fabrication des tampons de polissage mécano-chimique. En particulier, la présente invention concerne un tampon de polissage mécano-chimique, un analyseur de couche de polissage, et des procédés correspondants. [0002] Dans la fabrication des circuits intégrés et d'autres dispositifs électroniques, de multiples couches de matériaux conducteurs, semiconducteurs et diélectriques sont déposées sur ou retirées d'une surface d'une plaquette semi-conductrice. Des couches minces de matériaux conducteurs, semi-conducteurs et diélectriques peuvent être déposées par un certain nombre de techniques de dépôt. Les techniques de dépôt courantes dans les traitements modernes incluent le dépôt physique en phase vapeur (PVD), connu aussi sous le nom de pulvérisation le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) et le plaquage électrochimique (ECP). [0003] Quand des couches de matériaux sont successivement déposées et retirées, la surface supérieure de la plaquette devient non plane. Du fait que le traitement subséquent des semi-conducteurs (par exemple la métallisation) exige que la plaquette ait une surface plane, la plaquette doit être aplanie. La planarisation est utile pour retirer une topographie de surface indésirable et les défauts de surface, comme les surfaces rugueuses, les matériaux agglomérés, les détériorations du réseau cristallin, les éraflures et les couches contaminées ou les matériaux contaminés. [0004] La planarisation mécano-chimique, ou polissage mécano- chimique (CMP), est une technique courante utilisée pour aplanir des 30 substrats, comme les plaquettes semi-conductrices. Dans la CMP 3031184 2 conventionnelle, une plaquette est montée sur un ensemble formant support et positionnée en contact avec un tampon de polissage dans un appareil de CMP. L'ensemble formant support applique une pression réglable sur la plaquette, en la pressant contre le tampon de polissage. Le 5 tampon est déplacé (par exemple entraîné en rotation) par rapport à la plaquette par une force d'entraînement externe. En même temps, une composition chimique ("suspension" ou "slurry") ou une autre solution de polissage est introduite entre la plaquette et le tampon de polissage. Ainsi, la surface de la plaquette est polie et rendue plane par l'action chimique et 10 mécanique de la surface du tampon et de la suspension. [0005] Dans le brevet U.S. No. 5 578 362, Reinhardt et al. décrivent un exemple de tampon de polissage connu dans la technique. Le tampon de polissage de Reinhardt comprend une matrice polymérique dans laquelle sont dispersées des microsphères. En général, les microsphères 15 sont combinées et mélangées avec un matériau polymérique liquide et transférées dans un moule pour le durcissement. L'article moulé est ensuite découpé pour former des couches de polissage. Malheureusement, les couches de polissage formées de cette manière peuvent présenter des défauts indésirables qui, lorsqu'ils sont incorporés dans un tampon de 20 polissage, peuvent entraîner des défauts dans un substrat poli avec le tampon. [0006] Une approche revendiquée pour traiter le problème concernant les défauts potentiels dans les couches de polissage de tampons de polissage mécano-chimique est décrite par Park et al. dans le 25 brevet U.S. No. 7 027 640. Park et al. décrivent un appareil pour détecter ou inspecter les défauts sur un tampon destiné à être utilisé pour réaliser le polissage mécano-chimique d'une plaquette, comprenant: un dispositif d'entraînement de tampon pour charger le tampon sur lui et déplacer le tampon; un appareil photographique installé de manière à faire face au tampon pour convertir une image du tampon en un signal électrique et 3031184 3 émettre le signal électrique converti; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour convertir le signal électrique transmis par l'appareil photographique en un signal numérique; et une unité de traitement de données d'image pour traiter les données d'image et 5 détecter les défauts sur le tampon, où l'unité de traitement de données d'image calcule une ou plusieurs valeurs caractéristiques quantitatives de lumière sur la base des données d'image sur l'un quelconque des points qui sont acquis par le dispositif d'acquisition de données d'image, et détermine un emplacement sur le tampon, où une différence entre une 10 valeur de niveau obtenue en combinant une ou plusieurs des valeurs caractéristiques quantitatives acquises et une valeur de niveau obtenue à partir d'une surface normale du tampon est supérieure à une valeur prédéterminée, comme étant un défaut. [0007] Néanmoins, l'appareil et le procédé décrits par Park et al. 15 sont conçus pour l'inspection de tampons de polissage mécano-chimique achevés qui sont dans une configuration prête pour le polissage en utilisant la lumière réfléchie. L'utilisation de la lumière réfléchie pour inspecter des tampons de polissage mécano-chimique et les couches de polissage incorporées dans de tels tampons, en particulier, présente des 20 inconvénients sensibles. L'utilisation de la lumière réfléchie a une capacité limitée pour identifier les défauts situés sous la surface dans les couches de polissage incorporées, lesquels défauts ne sont pas proches de la surface de la couche de polissage. Cependant, quand un tampon de polissage mécano-chimique est utilisé, la surface de la couche de 25 polissage s'use progressivement. Ainsi, les défauts qui étaient initialement distants de la surface d'une couche de polissage d'un tampon de polissage mécano-chimique donné se rapprochent progressivement de la surface de polissage pendant la durée de vie utile du tampon. De plus, les tampons de polissage mécano-chimique dans une configuration prête pour le 30 polissage incluent de manière conventionnelle des modifications de la 3031184 4 surface de polissage de la couche de polissage pour faciliter le polissage d'un substrat (par exemple rainures, perforations), lesquelles modifications compliquent la détection automatique des défauts au moyen d'une échelle de gris comme décrit par Park et al. 5 [0008] Ainsi, il subsiste un besoin de procédés améliorés de fabrication de tampons de polissage mécano-chimique comportant peu de défauts ayant des couches de polissage qui utilisent des procédés d'inspection automatiques ayant des capacités accrues d'identification de défauts des couches de polissage. 10 [0009] La présente invention fournit un analyseur de couche de polissage de tampon de polissage mécano-chimique, comprenant: un magasin pour contenir une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de 15 microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; et (ii) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission et une surface d'incidence; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; un séquenceur; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau ayant un spectre de 20 luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm et une largeur à mi-hauteur, LMH, de _. 50 nm; un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière; et une unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique; où le 25 séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la pluralité de feuilles polymériques, une feuille polymérique à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté 30 pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est 3031184 5 transmis à travers l'épaisseur, T5, et depuis la surface de transmission; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la lumière transmise en un signal électrique; où le dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré 5 pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et 10 pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. 15 [0010] La présente invention fournit un procédé pour analyser des feuilles polymériques concernant leur aptitude à être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, comprenant: la fourniture d'une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de 20 microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; et (ii) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission et une surface d'incidence; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; la fourniture d'un système 25 d'inspection automatique, comprenant: une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau ayant un spectre de luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 50 nm; un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et une unité de 30 traitement de données d'image; le transport de la pluralité de feuilles 3031184 6 polymériques, une à la fois, entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est 5 transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où la lumière transmise a au moins une propriété détectable; où la au moins une propriété détectable inclut une intensité de la lumière transmise; où l'intensité de la lumière transmise est convertie en un signal électrique par le détecteur de lumière; où le signal électrique provenant du détecteur de 10 lumière est converti en un signal numérique par le dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et où le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique est traité par l'unité de traitement de données d'image, où l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités et pour 15 classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes; et où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS 20 [0011] La figure 1 représente une vue en perspective d'une feuille polymérique. [0012] La figure 2 représente une vue en perspective d'une feuille polymérique. [0013] La figure 3 représente une vue en coupe transversale d'un 25 tampon de polissage mécano-chimique incorporant, comme couche de polissage, une feuille polymérique. 3031184 7 DESCRIPTION DETAILLEE [0014] Le procédé de la présente invention fournit une amélioration significative dans la qualité des tampons de polissage mécano-chimique terminés (prêts à l'emploi). Le procédé de la présente invention améliore 5 largement les aspects de contrôle de la qualité de la production des tampons de polissage mécano-chimique utilisant des feuilles polymériques formées à partir d'un composite de polymère et de microéléments comprenant un polymère et une pluralité de microéléments dispersés dans le polymère en réalisant une première inspection des feuilles polymériques 10 pour identifier les feuilles acceptables parmi une pluralité de feuilles polymériques et en cartographiant les surfaces de transmission de feuilles suspectes pour faciliter l'inspection visuelle ciblée des parties des feuilles suspectes contenant des macro-inhomogénéités. De cette manière, la fatigue des opérateurs est largement réduite (c'est-à-dire que les 15 opérateurs ne sont pas contraints de passer de longues heures à observer les feuilles polymériques acceptables pour localiser des macroinhomogénéités). Ainsi, ceci permet aux opérateurs de porter une plus grande attention là où elle est la plus importante (c'est-à-dire l'évaluation d'inhomogénéités spécifiques dans les feuilles polymériques pour 20 déterminer leur aptitude à l'emploi). [0015] Le terme "poly(uréthane)" tel qu'il est utilisé ici englobe (a) les polyuréthanes formés par la réaction de (i) des isocyanates et (ii) des polyols (y compris des diols); et (b) un poly(uréthane) formé par la réaction de (i) des isocyanates avec (ii) des polyols (y compris des diols) 25 et (iii) de l'eau, des amines ou une combinaison d'eau et d'amines. [0016] Le terme "épaisseur moyenne de feuille polymérique, Ts-avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à une feuille polymérique (20) ayant une surface de transmission (14) et une surface d'incidence (17) signifie la moyenne de l'épaisseur, Ts, de la feuille polymérique (20) 30 mesurée dans une direction perpendiculaire au plan (28) de la surface de 3031184 8 transmission (14), de la surface de transmission (14) à la surface d'incidence (17) de la feuille polymérique (20). (Voir Figure 3). [0017] Le terme "épaisseur moyenne de couche de base, TB- avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à un tampon de polissage mécano-5 chimique (110) ayant un sous-tampon (125) comportant une interface avec une feuille polymérique incorporée comme couche de polissage (120) ayant une surface de polissage (114) signifie la moyenne de l'épaisseur, TB, du sous-tampon (125) mesurée dans une direction perpendiculaire à la surface de polissage (114), de la surface inférieure 10 (127) du sous-tampon (125) à la surface supérieure (126) du sous-tampon (125). (Voir Figure 3). [0018] Le terme "épaisseur totale moyenne, Tr.avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à un tampon de polissage mécano-chimique (110) ayant une feuille polymérique incorporée comme couche de polissage 15 (120) ayant une surface de polissage (114) signifie la moyenne de l'épaisseur, TT, du tampon de polissage mécano-chimique (110) mesurée dans une direction perpendiculaire à la surface de polissage (114), de la surface de polissage (114) à la surface inférieure (127) du sous-tampon (125). (Voir Figure 3). 20 [0019] Le terme "section droite sensiblement circulaire" tel qu'il est utilisé ici en référence à une feuille polymérique (20) signifie que le plus grand rayon, r, de la feuille polymérique (20) projetée sur le plan (28) de la surface de transmission (14) de la feuille polymérique (20), depuis un axe central, A, jusqu'au périmètre externe (15) de la feuille 25 polymérique (20) est 5_ 20% plus long que le plus petit rayon, r, de la feuille polymérique (20) projetée sur le plan (28) de la surface de transmission (14) de la feuille polymérique (20) depuis l'axe central, A, jusqu'au périmètre externe (15) de la feuille polymérique (20). (Voir Figures 1 & 2). 303 1 1 8 4 9 [0020] Le terme "sensiblement parallèle" tel qu'il est utilisé ici en référence à une feuille polymérique (20) signifie que l'axe central, A, (et toutes les parallèles à celui-ci) perpendiculaire à un plan (30) de la surface d'incidence (17) de la feuille polymérique (20) rencontrera un 5 plan (28) de la surface de transmission (14) sous un angle, y; où l'angle, y, est entre 89 et 91°. (Voir Figures 1 & 2). [0021] Le terme "macro-inhomogénéité" tel qu'il est utilisé ici signifie une région localisée sur la surface de transmission d'une feuille polymérique entourée par une région adjacente sur la surface de 10 transmission de la feuille polymérique, où l'intensité détectée de la lumière transmise à travers la région localisée est supérieure .ou inférieure à l'intensité détectée de la lumière transmise à travers la région adjacente d'une quantité k 0 , 1 % de la plage d'intensités détectable du détecteur de lumière; et où la région localisée englobe une partie de la surface de 15 transmission suffisamment grande pour occlure un cercle ayant un diamètre de 15,875 mm dans le plan de la surface de transmission. [0022] Le terme "défaut de densité" tel qu'il est utilisé ici désigne une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant une concentration de microéléments sensiblement réduite par rapport à la 20 région environnante de la feuille polymérique. Les défauts de densité présentent une transparence nettement plus élevée (c'est à dire une plus grande intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. [0023] Le terme "soufflure" tel qu'il est utilisé ici désigne une 25 macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant une inclusion d'air qui conduit à une transparence nettement plus élevée (c'est-à-dire une plus grande intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. [0024] Le terme "défaut d'inclusion" tel qu'il est utilisé ici désigne 30 une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant un 3031184 10 contaminant étranger qui conduit à une transparence nettement plus basse (c'est-à-dire une plus faible intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. [0025] De préférence, l'analyseur de couche de polissage de tampon 5 de polissage mécano-chimique de la présente invention comprend: un magasin pour contenir une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le 10 polymère; et (ii) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission et une surface d'incidence; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; un séquenceur; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau ayant un spectre de luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 15 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470 nm; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 5. 50 nm (de préférence, 5_ 40 nm; de préférence encore, 5. 35 nm; de manière particulièrement préférable, 5 30 nm); un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données 20 d'image numérique couplé au détecteur de lumière; et une unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique; où le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la pluralité de feuilles polymériques, une feuille polymérique à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de 25 lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une 30 intensité de la lumière transmise en un signal électrique; où le dispositif 3031184 11 d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image 5 numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; où la 10 pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. [0026] De préférence, les feuilles polymériques comprennent un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont 15 dispersés dans le polymère. De préférence, le composite de polymère et de microéléments comprend un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère dans un motif. De préférence encore, le composite de polymère et de microéléments comprend un polymère et une pluralité de 20 microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère dans un motif choisi dans le groupe consistant en un motif uniforme et un motif en gradient. De manière particulièrement préférable, le composite de polymère et de microéléments comprend un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont 25 uniformément dispersés dans le polymère. De préférence, le composite de polymère et de microéléments est préparé au moyen d'un prépolymère liquide, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le prépolymère liquide; et où le prépolymère liquide est durci pour former le polymère. 3031184 12 [0027] De préférence, le prépolymère liquide se polymérise (c'est à dire durcit) pour former un matériau choisi parmi un poly(uréthane), une polysulfone, une polyéther sulfone, un nylon, un polyéther, un polyester, un polystyrène, un polymère acrylique, une polyurée, un polyamide, un 5 poly(chlorure de vinyle), un poly(fluorure de vinyle), un polyéthylène, un polypropylène, un polybutadiène, une polyéthylèneimine, un polyacrylonitrile, un poly(oxyde d'éthylène), une polyoléfine, un poly(alkyl)acrylate, un poly(alkyl)méthacrylate, un polyamide, un polyétherimide, une polycétone, un époxyde, un silicone, un polymère formé à partir 10 d'éthylène propylène diène monomère, une protéine, un polysaccharide, un polyacétate et une combinaison d'au moins deux des précédents. De préférence, le prépolymère liquide se polymérise pour former un matériau comprenant un poly(uréthane). De préférence encore, le prépolymère liquide se polymérise pour former un matériau comprenant un 15 polyuréthane. De manière particulièrement préférable, le prépolymère liquide se polymérise (durcit) pour former un polyuréthane. [0028] De préférence, le prépolymère liquide comprend un matériau contenant un polyisocyanate. De préférence encore, le prépolymère liquide comprend le produit de la réaction d'un polyisocyanate (par 20 exemple, un diisocyanate) et d'un matériau hydroxyle. [0029] De préférence, le polyisocyanate est choisi parmi le méthylène-bis-4,4'-cyclohexyl-isocyanate; le cyclohexyldiisocyanate; l'isophoronediisocyanate; l'hexaméthylènediisocyanate; le propylène-1,2diisocyanate; le tétraméthylène-1,4-diisocyanate; le 1,6-hexaméthylène- 25 diisocyanate; diisocyanate; diisocyanate; cyclohexane; le dodécane-1,12-diisocyanate; le le cyclohexane-1,3-diisocyanate; le le 1-isocyanato-3,3,5-triméthy1-5- le méthylcyclohexylènediisocyanate; cyclobutane-1,3- cyclohexane-1,4- isocyanatométhylle triisocyanate 2,4,4-triméthy1-1,6- d'hexaméthylènediisocyanate; le triisocyanate de 30 hexanediisocyanate; l'uretdione d'hexaméthylène-diisocyanate; l'éthylène- 3031184 13 diisocyanate; le 2,2,4-triméthylhexa méthylène diisocyanate; le 2,4,4-tri méthylhexaméthylènediisocyanate; le dicyclohexylméthane- diisocyanate; et leurs combinaisons. De manière particulièrement préférable, le polyisocyanate est aliphatique et a moins de 14 pourcent de 5 groupes isocyanate qui n'ont pas réagi. [0030] De préférence, le matériau hydroxylé utilisé dans la présente invention est un polyol. Les exemples de polyols incluent, par exemple, les polyéther polyols, le polybutadiène terminé par hydroxyle (y compris les dérivés partiellement et totalement hydrogénés), les polyester polyols, les 10 polycaprolactone polyols, les polycarbonate polyols, et leurs mélanges. [0031] Les polyols préférés incluent les polyéther polyols. Les exemples de polyéther polyols incluent le polytétraméthylène éther glycol ("PTMEG"), le polyéthylène propylène glycol, le polyoxypropylène glycol, et leurs mélanges. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons 15 saturées ou insaturées et des groupes aromatiques et cycliques substitués ou non substitués. De préférence, le polyol de la présente invention inclut du PTMEG. Les polyester polyols appropriés incluent, mais ne sont pas limités à, le polyéthylène adipate glycol; le polybutylène adipate glycol; le polyéthylène propylène adipate glycol; le o-phtalate-1,6-hexanediol; le 20 poly(hexaméthylène adipate) glycol; et leurs mélanges. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons saturées ou insaturées ou des groupes aromatiques et cycliques substitués ou non substitués. Les polycaprolactone polyols appropriés incluent, mais ne sont pas limités à, la polycaprolactone initiée par le 1,6-hexanediol; la polycaprolactone initiée 25 par le diéthylèneglycol; la polycaprolactone initiée par le triméthylol- propane; la polycaprolactone initiée par le néopentylglycol; la polycaprolactone initiée par le 1,4-butanediol; la polycaprolactone initiée par le PTMEG; et leurs mélanges. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons saturées ou insaturées, ou des groupes aromatiques et cycliques 30 substitués ou non substitués. Les polycarbonates appropriés incluent, mais 3031184 14 ne sont pas limités à, le polyphtalate carbonate et le poly(hexaméthylène carbonate) glycol. [0032] De préférence, la pluralité de microéléments sont choisis parmi les bulles de gaz piégées, les matériaux polymériques à noyau creux 5 (c'est à dire les microsphères), les matériaux polymériques à noyau creux remplis de liquide, les matériaux solubles dans l'eau (par exemple, cyclodextrine) et un matériau en phase insoluble (par exemple, huile minérale). De préférence, la pluralité de microéléments sont des microsphères, comme des poly(alcools vinyliques), la pectine, la polyvinyl- 10 pyrrolidone, l'hydroxyéthylcellulose, la méthylcellulose, l'hydropropylméthylcellulose, la carboxyméthylcellulose, l'hydroxypropylcellulose, les poly(acides acryliques), les polyacrylamides, les polyéthylèneglycols, les polyhydroxyétheracrylites, les amidons, les copolymères de l'acide maléique, le poly(oxyde d'éthylène), les polyuréthanes, la cyclodextrine et 15 leurs combinaisons (par exemple, ExpancelTM de Akzo Nobel de Sundsvall, Suède). Les microsphères peuvent être modifiées chimiquement pour changer la solubilité, le gonflement et d'autres propriétés par ramification, blocage et réticulation, par exemple. De préférence, les microsphères ont un diamètre moyen qui est inférieur à 150 pim, et de préférence encore un 20 diamètre moyen inférieur à 50 lm. De manière particulièrement préférable, les microsphères 48 ont un diamètre moyen qui est inférieur à 15 lm. On notera que le diamètre moyen des microsphères 48 peut être amené à varier et qu'il est possible d'utiliser différentes tailles ou différents mélanges de différentes microsphères. Un matériau particulièrement 25 préféré pour les microsphères est un copolymère d'acrylonitrile et de chlorure de vinylidène (par exemple, Expancel® disponible auprès de Akzo Nobel). [0033] Le prépolymère liquide utilisé dans le procédé de la présente invention comprend en outre éventuellement un agent de durcissement. 30 Les agents de durcissement préférés incluent les diamines. Les 3031184 15 polydiamines appropriées incluent les amines primaires et les amines secondaires. Les polydiamines préférées incluent, mais ne sont pas limitées à, la diéthyltoluènediamine ("DETDA"); la 3,5-diméthylthio-2,4- toluènediamine et ses isomères; la 3,5-diéthyltoluène-2,4- diamine et ses 5 isomères (par exemple, la 3,5-diéthyl-toluène-2,6-diamine); le 4,4'-bis-(sec-butylamino)-diphénylméthane; le 1,4-bis-(sec-butylamino)- benzène; la 4,4'-méthylène-bis-(2-chloroaniline); la 4,4'-méthylène-bis(3-chloro-2,6-diéthylaniline) ("MCDEA"); le polytétraméthylèneoxyde-di-p- aminobenzoate; un N,N'-dialkyldiamino-diphénylméthane; la 10 p,p'-méthylènedianiline ("MDA"); la m-phénylène-diamine ("MPDA"); la méthylène-bis-2-chloroaniline ("MBOCA"); la 4,4'-méthylène-bis- (2-chloroaniline) ("MOCA"); la 4,4'-méthylène-bis-(2,6-diéthylaniline) ("MDEA"); la 4,4'-méthylène-bis-(2,3-dichloroaniline) ("MDCA"); le 4,4'-diamino-3,3'-diéthyl-5,5'-diméthyldiphénylméthane, le 2,2',3,3'-tétra- 15 chlorodiaminodiphénylméthane; le di-p-aminobenzoate de triméthylène- glycol; et leurs mélanges. De préférence, l'agent de durcissement diamine est choisi parmi la 3,5-diméthyl-thio-2,4-toluènediamine et ses isomères. [0034] Les agents de durcissement peuvent inclure aussi des diols, des triols, des tétraols et des agents de durcissement terminés par 20 hydroxyle. Les diols, triols et tétraols appropriés incluent l'éthylèneglycol; le diéthylèneglycol; le polyéthylèneglycol; le propylèneglycol; le polypropylèneglycol; le polytétraméthylène éther glycol de masse moléculaire relativement faible; le 1,3-bis(2-hydroxyéthoxy)benzène; le 1,3-bis-[2-(2-hydroxyéthoxy)éthoxy]benzène; le 1,3-bis-{2-[2-(2-hydroxy- 25 éthoxy)éthoxy]éthoxy}benzène; le 1,4-butanediol; le 1,5-pentanediol; le 1,6-hexanediol; le résorcinol-di-(bêta-hydroxyéthyl)éther; l'hydroquinone-di-(bêta-hydroxyéthypéther; et leurs mélanges. Les agents de durcissement terminés par hydroxyle préférés incluent le 1,3-bis(2-hydroxyéthoxy)benzène; le 1,3-bis-[2-(2-hydroxyéthoxy)- 30 éthoxy]benzène; le 1,3-bis-{2-[2-(2-hydroxyéthoxy)éthoxy]éthoxy}- 3031184 16 benzène; le 1,4-butanediol; et leurs mélanges. Les agents de durcissement terminés par hydroxyle et diamine peuvent incluent un ou plusieurs groupes saturés, insaturés, aromatiques et cycliques. De plus, les agents de durcissement terminés par hydroxyle et diamine peuvent 5 incluent un ou plusieurs groupes halogène. [0035] De préférence, dans le procédé de la présente invention, les feuilles polymériques ont une épaisseur moyenne, Ts_avg, de 500 to 5000 pm (de préférence, de 750 à 4000 pm; de préférence encore, de 1000 to 3000 pm; de manière particulièrement préférable, de 1200 to 2100 pm). 10 [0036] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un magasin conçu pour contenir, stocker et distribuer les feuilles polymériques. De préférence, le magasin a une capacité calculée pour contenir au moins 10 feuilles polymériques (de préférence encore, au moins 15 feuilles polymériques; 15 de préférence encore, au moins 20 feuilles polymériques; de manière particulièrement préférable, au moins 30 feuilles polymériques). La capacité calculée du magasin permet à un opérateur de charger un certain nombre de feuilles polymériques dans le système d'inspection automatique. Lorsque la pluralité de feuilles polymériques sont chargées 20 dans le magasin, l'opérateur est capable d'accomplir d'autres tâches tandis que le système d'inspection automatique traite et classe la pluralité de feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes. [0037] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un séquenceur configuré 25 pour extraire des feuilles polymériques du magasin, une à la fois, et transporter les feuilles polymériques, une à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; et pour renvoyer les feuilles polymériques, une à la fois, dans le magasin. De préférence, le mécanisme inclut au moins un moteur linéaire. De 3031184 17 préférence encore, le mécanisme inclut au moins un moteur linéaire ayant une résolution d'échelle linéaire de 5 1 dam. [0038] De préférence, la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite qui émet un faisceau. De préférence encore, 5 la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite où le faisceau qu'elle émet présente un spectre d'émission ayant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 5 50 10 nm (de préférence, 5 40 nm; de préférence encore, 5_ 35 nrry, de manière particulièrement préférable, 5 30 nm). L'homme du métier moyen sera capable de choisir une source de lumière appropriée pour fournir un faisceau ayant un spectre d'émission dans la région souhaitée. De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système 15 d'inspection automatique comprend une source de lumière, où la source de lumière est une diode électroluminescente. [0039] De préférence, le système d'inspection automatique comprend un détecteur de lumière capable de convertir la au moins une propriété détectable de la lumière transmise provenant du faisceau qui est 20 transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De préférence encore, le détecteur de lumière est capable de convertir une intensité de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De manière particulièrement 25 préférable, le détecteur de lumière est capable de convertir une intensité et un spectre de longueurs d'onde de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De préférence, le détecteur de lumière est un dispositif convertisseur opto-électrique qui convertit la au 30 moins une propriété détectable de la lumière transmise qui le frappe en un 3031184 18 signal électrique. De préférence, le détecteur de lumière est une rangée de dispositifs à couplage de charge (CCD). De préférence, les dispositifs à couplage de charge (CCD) utilisés sont choisis parmi les CCD monochromatiques et les CCD couleurs. De préférence encore, le 5 détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 5 (de manière particulièrement préférable, d'au moins 8) dispositifs convertisseurs optoélectriques. De manière particulièrement préférable, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 8 capteurs d'image à dispositifs à couplage de charge (CCD) ayant une résolution de 20 pm (de 10 préférence, 16 pm) et un champ optique de 100 mm (de préférence, 120 m m ) [0040] Le dispositif d'acquisition de données d'image numérique convertit en un signal numérique le signal électrique émis par le détecteur de lumière. Des dispositifs d'acquisition de données d'image numérique 15 appropriés pour être utilisés avec la présente invention sont bien connus dans la technique. [0041] La nature hétérogène de la composition des feuilles polymériques contenant un composite de microélément et de polymère rend impossible la référence à une feuille standard hypothétique. C'est-à- 20 dire que l'existence de différents artéfacts de production inoffensifs dans de telles feuilles polymériques rend inefficace la simple comparaison, au moyen d'une échelle de gris, avec une valeur standard pour une utilisation dans un système automatique pour l'inspection de feuilles polymériques en vue de leur incorporation sous forme de feuilles de polissage dans des 25 tampons de polissage mécano-chimique. [0042] Des unités de traitement de données d'image d'utilisation générale et spécialisées appropriées pour une utilisation avec la présente invention sont bien connues dans la technique. De préférence, l'unité de traitement de données d'image dans le système d'inspection automatique 3031184 19 utilisé dans le procédé de la présente invention comprend une unité centrale couplée à une unité de stockage de données non volatile. [0043] De préférence, l'unité centrale est couplée en outre à un ou plusieurs dispositifs de commande d'interface d'entrée d'utilisateur (par 5 exemple, souris, clavier) et au moins un dispositif d'affichage de sortie. [0044] De préférence, l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités dans les feuilles polymériques et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes. De préférence, la classification des feuilles polymériques 10 comme acceptables ou suspectes est réalisée par l'unité de traitement de données d'image sur la base d'un menu de critères de contrôle de la qualité. Différents défauts peuvent apparaître pendant la fabrication des feuilles polymériques y compris, par exemple, les défauts de densité, les défauts de soufflures et les défauts d'inclusion. On notera que l'un 15 quelconque de ces défauts ou une combinaison quelconque de ces défauts peut constituer une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique selon la taille de la partie affectée de la surface de transmission. On notera que les différents types de défauts se présenteront différemment au détecteur de lumière. Pour les défauts de densité et les soufflures, la 20 région défectueuse sera plus transparente que la région environnante de la feuille polymérique. Pour les défauts d'inclusion, la région défectueuse sera moins transparente que la région environnante de la feuille polymérique. Le fait que de tels défauts soient acceptables dépend d'un certain nombre de conditions, y compris, par exemple, le substrat que le 25 tampon de polissage mécano-chimique incorporant la feuille polymérique sera destiné à polir. Certains substrats sont plus délicats que d'autres, de sorte qu'ils nécessitent des contrôles plus sévères concernant l'homogénéité des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans les tampons de polissage mécano-chimique 30 fabriqués pour leur polissage. 303 1 1 84 20 [0045] De préférence, dans l'analyseur de la présente invention, l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où la population de feuilles suspectes 5 inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné. [0046] De préférence, dans l'analyseur de la présente invention, 10 l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; où un 15 emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné; et où l'analyseur comprend en outre: un dispositif d'affichage; où une image de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. L'image affichée de la feuille sélectionnée sur le dispositif d'affichage peut être une image de la totalité de la surface de transmission 20 de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image de la feuille sélectionnée est une image partielle montrant un agrandissement d'au moins une macro-inhomogénéité détectée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage inclut la totalité de la macro-inhomogénéité et la région environnante de la surface de 25 transmission de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage peut être agrandie pour amplifier le détail de l'image affichée pour faciliter une inspection visuelle de la feuille sélectionnée. [0047] De préférence, le procédé pour analyser des feuilles 30 polymériques concernant leur aptitude à être utilisées comme couche de 3031184 21 polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique de la présente invention, comprend: la fourniture d'une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique (i) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission et une surface d'incidence; où la surface de transmission 5 et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; et (ii) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; la fourniture d'un système d'inspection automatique, comprenant: une source de lumière, où la source de lumière 10 émet un faisceau ayant un spectre de luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470 nm; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi- hauteur, LMH, de 50 nm (de préférence, 5. 40 nm; de préférence 15 encore, 5 35 nm; de manière particulièrement préférable, 5 30 nm); un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et une unité de traitement de données d'image; le transport de la pluralité de feuilles polymériques, une à la fois, entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de 20 lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où la lumière transmise a au moins une propriété détectable; où la au moins une propriété détectable inclut une intensité de 25 la lumière transmise; où l'intensité de la lumière transmise est convertie en un signal électrique par le détecteur de lumière; où le signal électrique provenant du détecteur de lumière est converti en un signal numérique par le dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et où le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image 30 numérique est traité par l'unité de traitement de données d'image, où 3031184 22 l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes; et où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de 5 feuilles suspectes. [0048] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend en outre un magasin conçu pour contenir, stocker et distribuer des feuilles polymériques. De préférence, le magasin a une capacité calculée pour contenir au moins 10 10 feuilles polymériques (de préférence encore, au moins 15 feuilles polymériques; de préférence encore, au moins 20 feuilles polymériques; de manière particulièrement préférable, au moins 30 feuilles polymériques). La capacité calculée du magasin permet à un opérateur de charger un certain nombre de feuilles polymériques dans le système 15 d'inspection automatique. Lorsque la pluralité de feuilles polymériques sont chargées dans le magasin, l'opérateur est capable de réaliser d'autres tâches tandis que le système d'inspection automatique traite et classe la pluralité de feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes. [0049] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le 20 système d'inspection automatique comprend un séquenceur configuré pour extraire des feuilles polymériques du magasin, une à la fois et transporter les feuilles polymériques, une à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; et pour renvoyer les feuilles polymériques, une à la fois, dans le magasin. De 25 préférence, le mécanisme inclut au moins un moteur linéaire. De préférence encore, le mécanisme inclut au moins un moteur linéaire ayant une résolution d'échelle linéaire de 1 pm. [0050] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la 30 pluralité de feuilles polymériques, une feuille polymérique à la fois, jusqu'à 3031184 23 une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est 5 transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la lumière transmise en un signal électrique; où le dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en 10 un signal numérique; où l'unité de traitement de données d'image couplé au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être 15 utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. [0051] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le 20 système d'inspection automatique comprend une source de lumière, où la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite, qui émet un faisceau. De préférence encore, la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite, où le faisceau qu'elle émet présente un spectre d'émission ayant une longueur d'onde de pic 25 d'émission de 460 à 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 50 nm (de préférence, 5.. 40 nm; de préférence encore, 5_ 35 nm; de manière particulièrement préférable, 5 30 nm). L'homme du métier moyen sera 30 capable de choisir une source de lumière appropriée pour fournir un 3031184 24 faisceau ayant un spectre d'émission dans la région souhaitée. De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend une source de lumière, où la source de lumière est une diode électroluminescente. 5 [0052] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un détecteur de lumière capable de convertir la au moins une propriété détectable de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De 10 préférence encore, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un détecteur de lumière capable de convertir une intensité de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De manière particulièrement préférable, dans le 15 procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un détecteur de lumière capable de convertir une intensité et un spectre de longueurs d'onde de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De préférence, le détecteur de 20 lumière est un dispositif convertisseur opto-électrique qui convertit la au moins une propriété détectable de la lumière transmise qui le frappe en un signal électrique. De préférence, le détecteur de lumière est une rangée de dispositifs à couplage de charge (CCD). De préférence, les dispositifs à couplage de charge (CCD) utilisés sont choisis parmi les CCD 25 monochromatiques et les CCD couleurs. De préférence encore, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 5 (de manière particulièrement préférable, d'au moins 8) dispositifs convertisseurs optoélectriques. De manière particulièrement préférable, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 8 capteurs d'image à dispositifs 30 à couplage de charge (CCD) ayant une résolution de 20 pm (de 303 1 1 8 4 25 préférence, 5_ 16 dam) et un champ optique de 100 mm (de préférence, 120 mm). [0053] Le dispositif d'acquisition de données d'image numérique convertit en un signal numérique le signal électrique émis par le détecteur 5 de lumière. Des dispositifs d'acquisition de données d'image numérique appropriés pour être utilisés avec la présente invention sont bien connus dans la technique. [0054] La nature hétérogène de la composition des feuilles polymériques provenant d'un gâteau de matériau polymérique contenant 10 une pluralité de microéléments rend impossible la référence à une feuille standard hypothétique. C'est-à-dire que l'existence de différents artéfacts de production inoffensifs dans de telles feuilles polymériques rend inefficace la simple comparaison, au moyen d'une échelle de gris, avec une valeur standard pour une utilisation dans un système automatique 15 pour l'inspection de feuilles polymériques en vue de leur incorporation sous forme de feuilles de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique. [0055] Des unités de traitement de données d'image d'utilisation générale et spécialisées appropriées pour une utilisation avec la présente 20 invention sont bien connues dans la technique. De préférence, l'unité de traitement de données d'image dans le système d'inspection automatique utilisé dans le procédé de la présente invention comprend une unité centrale couplée à une unité de stockage de données non volatile. [0056] De préférence, l'unité centrale est couplée en outre à un ou 25 plusieurs dispositifs de commande d'interface d'entrée d'utilisateur (par exemple, souris, clavier) et au moins un dispositif d'affichage de sortie. [0057] De préférence, l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités dans les feuilles polymériques et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables 30 ou suspectes. De préférence, la classification des feuilles polymériques 3031184 26 comme acceptables ou suspectes est réalisée par l'unité de traitement de données d'image sur la base d'un menu de critères de contrôle de la qualité. Différents défauts peuvent apparaître pendant la fabrication des feuilles polymériques y compris, par exemple, les défauts de densité, les 5 défauts de soufflures et les défauts d'inclusion. On notera que l'un quelconque de ces défauts ou une combinaison quelconque de ces défauts peut constituer une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique selon la taille de la partie affectée de la surface de transmission. On notera que les différents types de défauts se présenteront différemment 10 au détecteur de lumière. Pour les défauts de densité et les soufflures, la région défectueuse sera plus transparente que la région environnante de la feuille polymérique. Pour les défauts d'inclusion, la région défectueuse sera moins transparente que la région environnante de la feuille polymérique. Le fait que de tels défauts soient acceptables dépend d'un 15 certain nombre de conditions, y compris, par exemple, le substrat que le tampon de polissage mécano-chimique incorporant la feuille polymérique sera destiné à polir. Certains substrats sont plus délicats que d'autres, de sorte qu'ils nécessitent des contrôles plus sévères concernant l'homogénéité des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme 20 couches de polissage dans les tampons de polissage mécano-chimique fabriqués pour leur polissage. [0058] De préférence, dans le procédé de la présente invention, où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro- 25 inhomogénéité détectée; l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné. 3 0 3 1 1 84 27 [0059] De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes; où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient 5 au moins une macro-inhomogénéité détectée; l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macroinhomogénéité détectée est positionné. 10 [0060] De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes; où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; où l'unité de traitement de 15 données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macroinhomogénéité détectée est positionné; et où le système d'inspection automatique comprend en outre: un dispositif d'affichage; où une image 20 de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. L'image affichée de la feuille sélectionnée sur le dispositif d'affichage peut être une image de la totalité de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image de la feuille sélectionnée est une image partielle montrant un agrandissement d'au moins une macro- 25 inhomogénéité détectée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage inclut la totalité de la macro-inhomogénéité et la région environnante de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage peut être 30 agrandie pour amplifier le détail de l'image affichée pour faciliter une 3031184 28 inspection visuelle de la feuille sélectionnée. De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: l'accomplissement d'une inspection visuelle de la feuille sélectionnée, où l'inspection visuelle est facilitée par l'image de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif 5 d'affichage; et (i) le reclassement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme acceptable, où la feuille sélectionnée est alors ajoutée à la population de feuilles acceptables; ou (ii) le classement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme défectueuse, où la feuille sélectionnée est alors ajoutée à une population 10 de feuilles défectueuses. [0061] De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée 15 pour polir un substrat, comprend: la formation d'une surface de polissage (114) par au moins l'un de (a) la formation par formation par usinage d'au moins une rainure dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures et (b) la formation de perforations qui s'étendent au moins en partie à travers l'épaisseur, Ts, de la feuille acceptable. De préférence 20 encore, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat, comprend la formation d'une surface de polissage (114) par formation par usinage d'au moins une 25 rainure dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures. De manière particulièrement préférable, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un 30 substrat, comprend la formation d'une surface de polissage (114) par 3 03 1 1 84 29 formation par usinage d'au moins une rainure dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures; où le motif de rainures est adapté pour polir the substrat. (Voir Figure 3). [0062] De préférence, le procédé de la présente invention fournit des 5 tampons de polissage mécano-chimique (110) de préférence adaptés pour la rotation autour d'un axe central (112). (Voir Figure 3). De préférence, la au moins une rainure est disposée pour former une surface de polissage (114) de sorte que, lors de la rotation du tampon (110) autour de l'axe central (112) pendant le polissage, au moins une rainure balaie le substrat. De 10 préférence, la au moins une rainure est choisie parmi les rainures incurvées, les rainures linéaires et leurs combinaisons. De préférence, la au moins une rainure présente une profondeur de k 0,25 mm (10 mils) de préférence, 0,25 mm à 3,81 mm (10 à 150 mil)s. De préférence, la au moins une rainure forme un motif de rainures qui comprend au moins deux rainures ayant une 15 combinaison d'une profondeur choisie parmi k 0,25 mm (10 mils), k 0,38 mm (15 mils) et 0,38 mm à 3,81 mm (15 à 150 mils); d'une largeur choisie parmi k 0,25mm (10 mils) et 0,25 mm à 2,54 mm (10 à 100 mils); et d'un pas choisi parmi k 0,76 mm (30 mils), k 1,27 mm (50 mils), 1, 27 mm à 5,08 mm (50 à 200 mils), 1,78 mm à 5,08 mm (70 à 200 mils), et 2,29 mm à 5,08 20 mm (90 à 200 mils). [0063] De préférence, la feuille polymérique incorporée comme couche de polissage (120) dans le tampon de polissage mécano-chimique (110) contient REVENDICATIONS1. Analyseur de couche de polissage de tampon de polissage mécano-chimique, caractérisé en ce qu'il comprend: un magasin pour contenir une pluralité de feuilles polymériques (20), où chaque feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; et (ii) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission (14) et une surface d'incidence (17); où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; un séquenceur; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau ayant un spectre de luminescence présentant une longueur d'onde de pic 15 d'émission de 460 à 490 nm et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 5_ 50 nm; un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière; et 20 une unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique; où le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la pluralité de feuilles polymériques, une feuille polymérique à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le 25 détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la 30 lumière transmise en un signal électrique; où le dispositif d'acquisition de 303 1 1 8 4 35 données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée 5 pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage (120) dans un tampon de polissage mécano-chimique (110), ou comme suspectes; où la pluralité de feuilles 10 polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. 2. Analyseur de couche de polissage de tampon de polissage mécano-chimique selon la revendication 1 caractérisé en ce que le séquenceur est configuré encore pour renvoyer la pluralité de feuilles polymériques au magasin. 3. Analyseur de couche de polissage de tampon de polissage mécano-chimique selon l'une quelconque des revendications 1 et 2 caractérisé en ce que le magasin a une capacité calculée pour contenir au moins 10 feuilles polymériques. 4. Analyseur de couche de polissage de tampon de polissage mécano-chimique selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un dispositif d'affichage pour faciliter l'inspection visuelle de la pluralité de feuilles polymériques. 5. Procédé pour analyser des feuilles polymériques concernant leur aptitude comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, caractérisé en ce qu'il comprend: la fourniture d'une pluralité de feuilles polymériques (20), où chaque feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de 30 microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de 3031184 36 microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; et (ii) a une épaisseur, T5, entre une surface de transmission (14) et une surface d'incidence (17); où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; 5 la fourniture d'un système d'inspection automatique, comprenant: une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau ayant un spectre de luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 5 50 nm; 10 un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et une unité de traitement de données d'image; le transport de la pluralité de feuilles polymériques, une à la fois, entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau 15 émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, T5, et depuis la surface de transmission; où la lumière transmise a au moins une propriété détectable; 20 où la au moins une propriété détectable inclut une intensité de la lumière transmise; où l'intensité de la lumière transmise est convertie en un signal électrique par le détecteur de lumière; où le signal électrique provenant du détecteur de lumière est 25 converti en un signal numérique par le dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et où le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique est traité par l'unité de traitement de données d'image, où l'unité de traitement de données d'image est 3031184 37 configurée pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes; et où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. 5 6. Procédé selon la revendication 5 caractérisé en ce qu'il comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée provenant de la population de feuilles suspectes. 7. Procédé selon la revendication 6 caractérisé en ce le système 10 d'inspection automatique comprend en outre: un dispositif d'affichage; où une image de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. 8. Procédé selon la revendication 7 caractérisé en ce qu'il 15 comprend en outre: l'accomplissement d'une inspection visuelle de la feuille sélectionnée où l'inspection visuelle est facilitée par l'image de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage; et (i) le reclassement la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection 20 visuelle, comme acceptable, où la feuille sélectionnée est ensuite ajoutée à la population de feuilles acceptables; ou (ii) le classement la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme défectueuse, où la feuille sélectionnée est ensuite ajoutée à une population de feuilles défectueuses. 25 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 5 à 8 caractérisé en ce qu'il comprend en outre: la formation d'une surface de polissage par formation par usinage d'au moins une rainure dans une feuille acceptable pour former un motif de rainures; où le motif de rainures est adapté pour polir un substrat; et 3031184 38 l'incorporation de la feuille acceptable dans le tampon de polissage mécano-chimique comme couche de polissage.