Brevet FR3035739A1 — publié le 20161104

COMPOSANT ELECTRONIQUE, NOTAMMENT HYPERFREQUENCE, RESISTANT A L'HUMIDITE, ET PROCEDE DE PACKAGING D'UN TEL COMPOSANT La présente invention concerne un composant hyperfréquence résistant à l'humidité. Elle concerne également un procédé de packaging d'un circuit, notamment hyperfréquence. L'invention se situe notamment dans le domaine du packaging microélectronique hyperfréquence, en particulier pour réaliser des boîtiers hyperfréquence comportant un blindage intégré et résistant à l'humidité. Ces boîtiers sont par exemple utilisés dans des équipements hyperfréquence complexes tels que des radars aéroportés à balayage électronique. Plus généralement, le domaine d'application est celui des équipements hyperfréquence bande étroite ou large bande, les boîtiers étant utilisables dans toutes les applications haute fréquence, même celles avec des spécifications élevées d'intégrité du signal. Les seules technologies de packaging hyperfréquence résistant à l'humidité 20 reposent sur l'emploi de matériaux inorganiques ou sur l'encapsulation des composants par des résines organiques injectées. Les solutions inorganiques font notamment appel à des boîtiers hermétiques métalliques à perles de verre pour les entrées/sorties ou céramiques. Les solutions utilisant des matériaux inorganiques présentent plusieurs 25 inconvénients. On obtient notamment : - Des boîtiers chers et lourds, du fait des matériaux utilisés, métal ou céramique ; - Des solutions encombrantes, utilisant notamment des boîtiers à cavités internes, très souvent avec des interconnexions 30 périphériques ; - Des solutions dont la fiabilité de report, dans l'équipement concerné, est généralement problématique, du fait de différences de coefficient de dilatation avec les circuits imprimés sur lesquels elles sont assemblées. 35 3035739 2 Dans le cas des packagings organiques injectés, on aboutit à des objets qui sont intrinsèquement non blindés électriquement et qui ne peuvent donc pas être utilisés tels quels dans des équipements complexes où la diaphonie est un paramètre critique. Le boîtier usuellement rencontré est le boîtier dit QFN 5 (« Q u ad Flat No-Lead ») qui a des entrées et sorties généralement périphériques. Il y a un besoin pour des boîtiers compacts répondant aux contraintes suivantes : - Protéger les fonctions encapsulées de l'humidité, notamment pour 10 prendre en compte toutes les technologies MMIC (Microwave Monolithique Integrated Circuit) ; Obtenir une bonne fiabilité des reports ; - Maintenir la possibilité de changer les boîtiers sur la carte ; - Etre aptes à dissiper les calories ; 15 - Avoir une capacité à pouvoir faire du 3D, c'est-à-dire suivant les architectures, même avec des boîtiers ultra compacts, empiler des fonctions hyperfréquence suivant la densité d'intégration des puces utilisées. Les applications hyperfréquence requièrent l'usage de semi-conducteurs III-V à haute mobilité de charges. Ces composants fonctionnent en mode analogique et sont donc très sensibles à la qualité des interconnexions qu'elles utilisent ainsi qu'aux interférences qu'elles peuvent rencontrer. De plus, ceux-ci fonctionnant à des tensions et des courants significatifs, les constituants électroniques (transistors, capacités, résistances ...) peuvent subir des phénomènes de corrosion lorsque ceux-ci sont en fonctionnement, par exemple des corrosions électrochimiques par différence de potentiel de Nernst. Pour éviter tout problème de fiabilité les industriels ont d'abord développé des boîtiers hermétiques utilisant des matériaux inorganiques (métaux ou céramiques comme indiqué précédemment) qui sont lourds et encombrants. Afin de réduire la masse, le volume et le prix de fabrication des packagings hyperfréquences, des boîtiers plastiques ont commencé à être développés avec une perte de performances électromagnétiques importante mais acceptable pour les applications en bande étroite comme la téléphonie mobile. 3035739 3 Le domaine du packaging électronique a fait l'objet de nombreux développements. Le boîtier de type BGA (Bail Grid Array) à interconnexions surfaciques a été développé en réponse à la technologie QFP (Quad Flat Pack) à interconnexions périphériques afin d'accroître la densité 5 d'interconnexions. Ce type de boîtiers BGA a connu un grand essor pour les applications numériques à base de semi-conducteurs en silicium. Dans le domaine des packagings organiques hyperfréquence, de nombreuses solutions ont également été développées. Parmi ces solutions, on peut citer la technologie CSP (Chip Scale Package) pour des applications 10 à bande étroite avec une fréquence opérationnelle inférieure à 2,17 GHz. Des boîtiers plastiques susceptibles de gérer des dissipations thermiques de l'ordre de 60 W à 100 W ont aussi été mis au point pour des applications allant jusqu'à 2,17 GHz. Il existe des boîtiers plastiques pour des applications hautes fréquences, jusqu'à 35 GHz, en bande étroite de type QFN. Des 15 boîtiers plastiques de type QFN ou TSOP (Thin Small Outline Package) fonctionnent jusqu'à 12 GHz. Un boîtier à cavité utilisant un matériau thermoplastique dit LCP (Liquid Crystal Polymer) a été développé à la fin des années 2000 pour des applications à hautes fréquences. Durant la même période le concept de packaging pour applications hyperfréquence, en 20 technologie LTCC (Low Temperature Cofired Ceramic) et en matériaux organiques LCP, a vu le jour. Le boîtier de type QFP (Quad Flat Pack), à cavité, a permis l'encapsulation avec des performances satisfaisantes, d'une fonction large bande. Par ailleurs, des demandes de brevet FR 2 849 346 et FR 2877537 décrivent 25 une technologie de packaging organique BGA à cavité. Comme cela a été indiqué précédemment, les seules technologies de packaging hyperfréquence résistantes à l'humidité compatibles de tous les MMIC reposent sur l'emploi de matériaux inorganiques (boîtiers métalliques à perles de verre pour les entrées et sorties ou boîtiers céramiques), ou sur 30 l'encapsulation des composants par des résines organiques injectées. Les solutions à base de matériaux inorganiques conduisent à l'utilisation de boîtiers chers et lourds, et sont encombrantes, en particulier en raison des cavités internes et des interconnexions périphériques. Les solutions à base de matériaux organiques ont l'inconvénient majeur de ne pas être blindés 35 électriquement, et ne sont donc pas utilisables dans des équipements 3035739 4 complexes où la diaphonie est un paramètre critique sans cloisonnement complémentaire. Un but de l'invention est notamment de pallier les inconvénients précités, en 5 permettant notamment la réalisation de boîtiers de composants électroniques peu encombrants, économiques et aptes à être blindés. A cet effet, l'invention a pour objet un composant électronique, comportant au moins un support sur lequel est fixé au moins un circuit électronique, une ou plusieurs couches en matériaux organiques empilées sur ledit support selon une 10 technique de type circuit imprimé et formant une cavité préexistante contenant ledit circuit électronique, ladite cavité étant rempli par un matériau de faible perméabilité à la vapeur d'eau, ledit matériau de faible perméabilité à la vapeur d'eau étant par exemple de type LCP. Dans un mode de réalisation possible, le support étant métallique et la 15 couche organique supérieure de l'empilage étant recouverte d'une couche métallique, un réseau d'éléments métalliques reliés chacun audit support et à ladite couche métallique est disposé à la périphérie dudit composant de manière à former une cage de Faraday incluant ledit circuit électronique, lesdits éléments métalliques étant par exemle des trous métallisés. 20 Ledit composant comporte par exemple une couche d'interconnexions souple de type TAB, empilées avec lesdites couches en matériaux organique, ladite couche d'interconnexions reliant les points de connexion dudit circuit électronique à des points d'interconnexions. Ledit composant étant du type BGA, un réseau de billes est par exemple 25 disposé sur ladite couche métallique. Il comporte par exemple au moins une couche en matériau thermoplastique LCP. Le support forme par exemple un drain thermique. Il comporte par exemple au moins une couche rigide. Ledit circuit électronique est par exemple un circuit hyperfréquence de type MMIC. 30 3035739 5 L'invention a également pour objet un procédé de packaging d'un moins un circuit électronique, ledit procédé comportant au moins : - une première phase dans laquelle ledit circuit électronique est fixé sur un support et plusieurs couches en matériaux organiques, intercalées avec des 5 couches en matériau thermoplastique LCP, sont empilées sur ledit support pour former une cavité dans laquelle est enfermé ledit circuit électronique, ladite cavité étant remplie par fluage d'un matériau thermoplastique LCP ; - une deuxième phase dans laquelle, on effectue le pressage desdites couches sur ledit support à température de fusion du matériau LCP pour no coller toutes les couches entre elles. Une couche d'interconnexion de type TAB est par exemple empilée avec lesdites couches, ladite couche d'interconnexion étant préalablement connectée au circuit électronique. La couche supérieure recouvrant la cavité est par exemple recouverte d'une 15 couche métallique. Ledit support étant métallique, dans une troisième phase, un réseau de trous métallisés est par exemple réalisé sur la périphérie de l'empilage desdites couches, lesdits trous reliant électriquement ledit support et ladite couche métallique de façon à former une cage de Faraday. Dans la troisième phase, un réseau de billes est par exemple fixé sur ladite 20 couche conductrice, des billes étant reliées électriquement audit circuit électronique. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à l'aide de la description qui suit, faite en regard de dessins annexés qui représentent : La figure 1, un exemple de réalisation d'un composant hyperfréquence 25 selon l'invention ; La figure 2, un exemple de connexion électrique utilisée dans un composant selon l'invention ; La figure 3, un exemple de blindage électrique d'un composant selon l'invention ; 30 La figure 4, une illustration des étapes de réalisation possibles d'un dispositif selon l'invention. 3 0 3 5 7 3 9 6 La figure 1 illustre par une vue en coupe un exemple de réalisation d'un composant hyperfréquence 10 selon l'invention. Le principe de l'invention repose sur l'utilisation d'un matériau thermoplastique 1, par exemple du type LCP (Liquid Crystal Polymer), matériau étanche à l'humidité, de faible 5 perméabilité à la vapeur d'eau, remplissant une cavité préexistante dans laquelle est placé au moins un circuit hyperfréquence 2. Par la suite, à titre d'exemple, on décrit un composant hyperfréquence 10 comportant un seul circuit hyperfréquence 2. Un composant selon l'invention peut bien sûr comporter plusieurs puces électroniques ainsi que des composants passifs. 10 Le boîtier d'un composant selon l'invention n'a donc pas de cavité. Le circuit hyperfréquence 2, par exemple une puce du type MMIC, ainsi encapsulé est recouvert d'un matériau étanche à l'humidité, avantageusement du matériau LCP, intrinsèquement peu hydrophile. La déformation de ce matériau 1 permet le remplissage de la cavité et permet d'obtenir des empilements 15 homogènes et résistants à la pénétration de l'eau. De même à sa température de fusion, le LCP devient quasi-liquide et n'exerce plus de contrainte mécanique. Cette propriété permet la conservation de l'intégrité de structures hyperfréquences fragiles telles que les « ponts à air » que l'on trouve sur beaucoup de MMIC. 20 Avantageusement, l'invention utilise par exemple à l'intérieur du boîtier une couche d'interconnexions 3 présentant une certaine souplesse, de type TAB, pour interconnecter le circuit hyperfréquence 2 aux connexions externes 4, de type BGA. Dans un mode de connexion de type TAB (« Tape Automated Bonding »), les liaisons d'interconnexion sont des pistes conductrices 25 placées sur un film diélectrique 15, par exemple en polyimide. Ce type de connexion permet de maîtriser la qualité électrique des connexions réalisées et ainsi un fonctionnement en haute fréquence et dans une large bande. Le composant hyperfréquence 10 de la figure 1 peut comporter une plaque 30 métallique 11 formant drain thermique. Le circuit hyperfréquence 2 est fixé sur cette plaque 11 par collage ou par brasure 12, la colle ou la brasure formant également couplage thermique. Le circuit hyperfréquence 2 est placé dans une cavité préexistante délimitée latéralement par une première couche 13, en matériau thermodurcissable 35 rigide. Cette première couche 13 est par exemple surmontée d'une ou 3035739 7 plusieurs couches 14, 15 en matériau thermoplastique LCP. Les couches thermoplastiques 14, 15 supportent la couche 3 de type TAB, plus précisément les films diélectriques équipés de pistes conductrices. Cette couche 3 permet d'interconnecter le circuit hyperfréquence 2 avec d'autres 5 circuits éventuels disposés à l'intérieur du boîtier ou avec les connexions d'entrées et de sorties, notamment vers des billes de brasures 4, le boîtier étant du type BGA. Ces couches en matériau organique 13, 14, 15 sont recouvertes d'une couche supérieure 17, également en matériau organique. 10 La cavité délimitée par ces couches 13, 14, 15, 17 enferme le circuit hyperfréquence. Elle est remplie par le fluage du matériau thermoplastique LCP 1 de façon à encapsuler le circuit hyperfréquence comme décrit précédemment. 15 Le film 3 de l'interconnexion de type TAB est par exemple recouvert d'une couche 16 en matériau thermoplastique LCP. Enfin l'ensemble est recouvert d'une couche externe composée d'une couche 17, par exemple en matériau thermoplastique LCP ou en matériau thermodurcissable, recouverte d'une couche métallique 18, en cuivre par 20 exemple. Les couches thermoplastiques 16, 17 surmontant l'interconnexion 3 de type TAB est percée en plusieurs endroits, par exemple par faisceau laser, de façon à obtenir des enfoncements 19 en regard de perforations réalisées sur l'interconnexion 3. 25 La figure 2 illustre une couche de connexion de type TAB telle qu'utilisée dans le composant de la figure 1. Cette couche de connexion est composée d'un film plastique 3 sur lequel sont placées des pistes conductrices 21 reliant des points de connexion 202 du circuit hyperfréquence 2, comme le montre la figure 1, à des points d'interconnexions 22 situés sur le film 30 plastique. Ces points d'interconnexions 22 sont eux-mêmes reliés par un réseau de pistes ou de vias à d'autres circuits actifs ou passifs, ou encore aux entrées et sorties du composant. Le film 3 comporte également des perforations 23 dans lesquelles viennent se positionner les enfoncements 19. Avantageusement, la couche de 35 connexion 3 présente une courbure permettant de compenser la double 3035739 8 contrainte mécanique provenant d'une part de l'enfoncement 19 et d'autre part de la face arrière 201 de la puce 2 constituant le circuit hyperfréquence. On revient à la figure 1. Des trous métallisés 9 traversent la périphérie du 5 composant pour relier électriquement le plan conducteur 11 formant le drain avec le plan conducteur 18 supportant les billes de connexion externe 4. Ces trous sont disposés sur toute la périphérie du composant, par exemple de façon régulière, pour former une cage de Faraday délimitée par les plans conducteurs 11, 18 et par le réseau de trous métallisés 9. La figure 3 illustre, 10 par une vue de dessus du composant 10, un exemple de disposition de ces trous 9 à la périphérie. Les trous pourraient être remplacés par des plots métalliques. On obtient ainsi un packaging intrinsèquement blindé par la réalisation d'une cage de Faraday interne couplé à un mode d'interconnexion en mode quasi coaxial. 15 La figure 4 illustre un exemple de procédé de packaging selon l'invention permettant notamment d'obtenir un composant hyperfréquence tel que décrit précédemment. Le principe de packaging d'un composant selon l'invention repose sur 20 l'utilisation de couches en matériau thermoplastique LCP. Par sa nature thermoplastique, le matériau LCP se déforme, flue, lors de sa mise en oeuvre vers 280°C pour conformer et remplir la cavité préexistante. Dans une première phase de réalisation 41, on effectue l'assemblage des différentes parties constitutives du composant 10. La couche rigide 13 est 25 fixée sur le plan métallique 11 formant support. Le plan métallique peut être également formé d'une couche de matériau thermodurcissable cuivrée. La puce 2 est collée par sa face arrière sur ce plan 11 au moyen d'une couche 12, de colle thermique ou d'alliage de brasure du type AuSn par exemple. D'autres éléments actifs ou passifs constitutifs du composant 10 peuvent être 30 collés ou brasés. Dans le présent exemple de réalisation, le composant hyperfréquence comporte une seule puce 2. Une ou plusieurs couches 3, 14, 15, 16 sont empilées sur la couche rigide 13 pour former une cavité destinée à être remplie par le matériau thermoplastique LCP 1 encapsulant la puce 2. La surface occupée par la 35 cavité contient le ou les circuits/éléments constituant la fonction électronique 3035739 9 du composant, ces circuits et/ou éléments étant destinés à être encapsulés par le matériau LCP lors du remplissage de la cavité. Parmi ces couches empilées, il y des couches de collage en matériau thermoplastique et des couches fonctionnelles, par exemple la couche 5 d'interconnexion 3. Avant le remplissage de la cavité la couche d'interconnexion 3, de type TAB, est en effet positionnée. Elle est connectée au préalable aux points de connexions 202 de la puce 2, la puce étant fixée sur le support 11 une fois cette opération de connexion effectuée. L'ensemble de ces couches, y compris la cavité remplie, sont recouvertes de 10 la couche externe composée d'une couche thermoplastique 17 recouverte d'une couche conductrice 18, en cuivre par exemple. On peut si nécessaire réaliser des interconnexions verticales dans cet empilage par perçage laser ou mécanique, et par métallisation chimique ou électrolytique, à différentes étapes de l'empilement. 15 Dans une deuxième phase 42, on effectue le pressage à température de fusion du matériau LCP pour coller toutes les couches entre elles et combler tous les interstices et défauts de planéité de l'empilage. Avantageusement, la couche rigide 13 forme une butée mécanique lors du pressage qui protège la 20 puce, en préservant son intégrité. Dans une troisième phase on finalise la réalisation du composant. En particulier, on effectue le perçage des trous traversants 9 pour créer la cage de Faraday protégeant le ou les circuits internes des interférences. Si le 25 composant n'est pas soumis à de telles interférences, on peut prévoir de ne pas réaliser le réseau de trous 9, c'est-à-dire de ne pas réaliser une cage de Faraday. On effectue également le billage du boîtier selon un procédé standard, du type sérigraphie de pâte à braser, positionnement des billes 4 et re-fusion en four. Les connexions des billes 4 avec les circuits internes, et 30 notamment avec la couche d'interconnexions 3 peuvent être réalisées par des pistes conductrices obtenues par sérigraphie sur les couches intermédiaires ou sur la couche supérieure 17 ainsi que par un réseau de vias traversant ces couches en direction des billes. Les billes 4 peuvent également être reliées électriquement à un potentiel de masse. 35 3035739 10 Un composant hyperfréquence 10 tel que décrit précédemment peut être fabriqué en série. A cet effet, on prévoit des empilages de couches de longueur donnée formant une rangée de motifs, chaque motif correspondant à un composant. La bande de motifs obtenue est ensuite découpée pour 5 obtenir les composants individuels. La figure 4 illustre le principe de réalisation d'un composant selon l'invention. La solution selon l'invention est basée sur la mise en oeuvre d'une technologie de packaging organique surfacique, de type BGA, sans cavité 10 réalisé par une méthode de fabrication. La suppression de la cavité, originellement définie pour le placement des puce ou semi-conducteur 2 ou éléments passifs, permet avantageusement d'éviter la pénétration de l'humidité sous forme de liquide ou de vapeur) au niveau de ceux-ci, et donc de supprimer tout problème de corrosion par effet 15 électrochimique, au niveau des empilages métalliques des puces électroniques en présence d'un électrolyte eau. L'utilisation du matériau thermoplastique LCP permet d'obtenir un boîtier beaucoup plus résistant à l'humidité par rapport à tous les polymères utilisés dans l'art antérieur. La suppression de la cavité interne du boîtier permet de le compacter 20 significativement, en supprimant notamment des murs de cavité définissant la surface d'implantation des fonctions électroniques. On peut ainsi obtenir un composant 10 très compact. La structure de type circuit imprimé permet la réalisation d'une structure de type « cage de Faraday », soit par réalisation de perçage métallisés 9, soit 25 par la réalisation de plots ou de tranches métallisées connectant deux plans métalliques 11, 18 positionnés l'un au-dessous et l'autre au-dessus de la fonction électronique 2. Cette fonction est ainsi isolée électriquement, ce qui élimine les problèmes de diaphonie entre le composant et d'autres composants éventuels. 30 La technique de type circuit imprimé permet également d'empiler les fonctions électronique dans l'épaisseur de la structure formant boîtier. Enfin, la technique de type circuit imprimé permet d'atteindre des densités d'intégration maximales, permettant d'empiler des couches fonctionnelles et non fonctionnelles les unes par-dessus les autres. L'empilement d'au moins 3035739 11 une couche 13 thermodurcissable rigide garantit le maintien mécanique de l'ensemble de la structure constituant le composant. Le mode d'interconnexion surfacique, de type BGA, permet la conception des entrées et sorties du composant de telle manière que celles-ci puissent 5 véhiculer des signaux haute fréquence blindés et insensibles aux perturbations extérieures, en particulier grâce à la structure quasi coaxiale avec un blindage périphérique 9, constitué par des connexions de masse. L'invention a été décrite pour la réalisation d'un composant hyperfréquence, 10 mais elle peut s'appliquer plus généralement pour un composant électronique comportant un ou plusieurs circuits électroniques à semiconducteurs, accompagnés par exemple de circuits passifs. La fonction électronique constituée de ces éléments est alors encapsulée dans un packaging tel que décrit précédemment. 15 REVENDICATIONS1. Composant électronique, caractérisé en ce qu'il comporte au moins un support (11) sur lequel est fixé au moins un circuit électronique (2), une ou plusieurs couches en matériaux organiques (13, 14, 15, 16, 17) empilées sur ledit support (11) selon une technique de type circuit imprimé et formant une cavité préexistante contenant ledit circuit électronique (2), ladite cavité étant rempli par un matériau (1) de faible perméabilité à la vapeur d'eau. 2. Composant électronique selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit matériau (1) de faible perméabilité à la vapeur d'eau est de type LCP. 3. Composant électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le support (11) étant métallique et la couche organique supérieure (17) de l'empilage étant recouverte d'une couche métallique (18), un réseau d'éléments métalliques (9) reliés chacun audit support (11) et à ladite couche métallique (18) est disposé à la périphérie dudit composant de manière à former une cage de Faraday incluant ledit circuit électronique (2). 4. Composant électronique selon la revendication 3, caractérisé en ce que lesdits éléments métalliques sont des trous métallisés (9). 5. Composant électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte une couche (3) d'interconnexions souple de type TAB, empilées avec lesdites couches en matériaux organique, ladite couche d'interconnexions (3) reliant les points de connexion (202) dudit circuit électronique (2) à des points d'interconnexions (22). 6. Composant électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit composant étant du type BGA, un réseau de billes (4) est disposé sur ladite couche métallique (18). 3035739 13 7. Composant électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une couche (14, 15, 16, 17) en matériau thermoplastique LCP. 8. Composant électronique selon l'une quelconque des revendications 5 précédentes, caractérisé en ce que le support (11) forme un drain thermique. 9. Composant électronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une couche rigide (13). 10. Composant électronique selon l'une quelconque des revendications 10 précédentes, caractérisé en ce que ledit circuit électronique est un circuit hyperfréquence de type MMIC. 11. Procédé de packaging d'au moins un circuit électronique, ledit procédé comportant au moins : - une première phase (41) dans laquelle ledit circuit électronique est fixé sur 15 un support (11) et plusieurs couches en matériaux organiques, intercalées avec des couches en matériau thermoplastique LCP, sont empilées sur ledit support (11) pour former une cavité dans laquelle est enfermé ledit circuit électronique, ladite cavité étant remplie par fluage d'un matériau thermoplastique LCP (1) ; 20 - une deuxième phase (42) dans laquelle, on effectue le pressage desdites couches sur ledit support à température de fusion du matériau LCP (1) pour coller toutes les couches entre elles. 12. Procédé de packaging selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'une couche d'interconnexion (3) de type TAB est empilée avec lesdites 25 couches, ladite couche d'interconnexion (3) étant préalablement connectée au circuit électronique (2). 13. Procédé de packaging selon l'une quelconque des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce que la couche supérieure (17) recouvrant la cavité est recouverte d'une couche métallique (18). 3035739 14 14. Procédé de packaging selon la revendication 13, caractérisé en ce ledit support (11) étant métallique, dans une troisième phase (43), un réseau de trous métallisés (9) est réalisé sur la périphérie de l'empilage desdites couches, lesdits trous (9) reliant électriquement ledit support (11) et ladite 5 couche métallique (18) de façon à former une cage de Faraday. 15. Procédé de packaging selon la revendication 14, caractérisé en ce que dans la troisième phase (43), un réseau de billes est fixé sur ladite couche conductrice, des billes étant reliées électriquement audit circuit électronique. 16. Procédé de packaging selon l'une quelconque des revendications 10 à 10 15, caractérisé en ce que ledit circuit électronique est un circuit hyperfréquence. 15 20