Brevet FR3023206A1 — publié le 20160108

Procédé et système de micro-usinage pour former un motif sur un matériau DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention concerne le domaine du micro-usinage de matériaux, permettant notamment le marquage de ces matériaux, avec un procédé et un système de micro-usinage adapté aux cadences industrielles, permettant par exemple d'effectuer du marquage de produits pour des applications d'identification et/ou d'authentification de tels produits. ETAT DE LA TECHNIQUE A l'heure d'aujourd'hui et dans un contexte de marquage en forte expansion, les technologies lasers existantes ont su largement s'imposer grâce à leur capacité à usiner une grande majorité de matériaux, permettant à la fois de répondre aux problématiques industrielles actuelles tout en démontrant d'un fort potentiel de valeur ajoutée en fonction des paramètres et procédés d'exploitation. Il est cependant certains marchés où les technologies lasers arrivent à leurs limites, à savoir les productions à haute cadence, avec à titre d'exemple les secteurs de l'agro-alimentaire, du pharmaceutique, du fiduciaire ou de l'électronique, soumis de manière générale à la fabrication de produits de petites dimensions mais en très grande quantité. La technologie de marquage la plus répandue aujourd'hui repose sur la combinaison d'une source laser de propriétés de rayonnement variées (puissance, cadence, énergie, longueur d'onde, durée d'impulsion, etc.) couplée à une tête de déflexion. Cette tête permet à la fois la focalisation du faisceau laser, c'est-à-dire la concentration spatiale de celui-ci en un point unique, ainsi que son déplacement contrôlé et automatisé dans l'espace de la pièce à marquer par analogie avec la pointe d'un stylo. La tête de déflexion est en général une tête galvanométrique composée de deux miroirs en rotation autour de deux axes orthogonaux. La motorisation de ces deux miroirs engendre une déviation angulaire du faisceau dans la direction souhaitée, par la suite convertie linéairement en une distance sur le plan de l'échantillon par une lentille de focalisation de type « f-thêta ». D'autres technologies toujours basées sur le déplacement mécanique d'optiques (miroirs, prismes, disques, polygones...) ont aussi été développés à partir de besoins spécifiques mais aussi afin d'accélérer les vitesses de marquage. Néanmoins, l'utilisation de ces systèmes sur des cadences de production élevées soulève de multiples problématiques concernant par exemple la rapidité d'exécution et stabilité des miroirs en rotation, la synchronisation des mouvements sur la cadence du faisceau laser, la correction du déplacement en fonction de la vitesse de convoyage des produits à marquer. L'ensemble de ces points limitant traités, seuls de nouveaux systèmes, soit plus rapides et donc plus onéreux, soit plus ingénieux mais toujours très spécifiques, restent à même d'éventuellement pouvoir répondre à cette demande. Le brevet d'Ichihara et al. publié sous le numéro US 5,734,145 propose par exemple un ensemble mécanique complexe associant deux miroirs galvanométriques, un miroir polygonal en rotation et un masque à cristaux liquides dans l'objectif d'accélérer l'usinage laser d'images sur lignes de production. Il existe d'autres développements tendant à modifier le faisceau lumineux utilisé pour le marquage. On distingue tout d'abord les technologies dites par « masque d'amplitude », caractérisées par l'emploi de masques de forme identiques à la forme à usiner et présentant par conséquent deux défauts majeurs : l'unicité du masque ainsi que la perte d'énergie par blocage du faisceau dans les zones à ne pas marquer. On peut par exemple se référer aux documents brevets publiés sous les numéros US 4,128,752 et FR 2 909 922. Les modulateurs dynamiques constituent une autre technologie de mise en forme directe de faisceau. Ce sont des éléments optiques actifs permettant de moduler spatialement le rayonnement optique laser et qui ont la capacité de réfléchir ou transmettre une grande proportion de l'énergie laser incidente au détriment d'une physique plus complexe et donc plus difficilement exploitable. Dans les brevets US 4,734,558 et US 4,818,835 sont par exemple présentés des systèmes complets de marquage laser par mise en forme de polarisation. Les modulateurs sont adressés respectivement optiquement (masque illuminé) et électriquement à l'image de la figure à marquer. Après transmission ou réflexion sur ces derniers, les faisceaux laser de marquage se retrouvent alors modulés spatialement en deux polarisations dont l'une des deux est éliminée au passage dans un analyseur. Seule la portion d'énergie ayant la bonne polarisation est finalement transmise à la lentille de focalisation pour un marquage de la forme filtrée par relation d'imagerie. Bien que ces procédés exploitent tout deux des modulateurs dynamiques, l'emploi d'analyseurs rejoint les défauts des systèmes par masque d'amplitude avec la perte brute de l'énergie ne possédant pas la bonne polarisation. Dans la demande de brevet US 2001/045,418, il est proposé d'utiliser des matrices de micro-miroirs afin de diviser un faisceau laser en plusieurs sous-faisceaux contrôlés indépendamment dans l'objectif d'un marquage multipoints simultané. La faible résolution des micro-miroirs engendre néanmoins une limite importante en termes de résolution et par extension en flexibilité de génération d'image. En outre, le modulateur utilisé est de type modulateur d'amplitude et l'image générée à la surface du modulateur est directement reproduite sur le matériau par relation d'imagerie, impliquant de nouveau comme inconvénient une perte d'énergie partiellement absorbée ou éjectée. Dans la demande de brevet FR 2 884 743 est proposée une solution d'usinage par mise en forme de phase sur des faisceaux lasers à durée d'impulsion femtoseconde (fs). Une boucle de rétroaction entre une analyse de faisceau en aval de la mise en forme et la mise en forme elle-même permet en outre d'optimiser cette mise en forme pour des applications hautes cadences avec effets thermiques réduits sous ces régimes d'impulsion. La solution proposée dans cette demande de brevet ne reste néanmoins exploitable que pour un nombre d'industriels limité car nécessitant notamment des sources laser très spécifiques, coûteuses et imposant un montage complexe et souvent onéreux à mettre en oeuvre. Un but de la présente invention est de proposer un procédé et un système de micro-usinage permettant de former un motif sur un matériau, à des fins de marquage d'identification et/ou d'authentification par exemple, qui peut être exploité industriellement, étant notamment simple à mettre en oeuvre, avec des dispositifs préexistants et ne nécessitant pas de réglages complexes. En particulier, un but de la présente invention est de proposer un procédé et un système de micro-usinage permettant de former un motif sur un matériau permettant d'augmenter la productivité par rapport aux procédés et systèmes existants. Un autre but de la présente invention est de proposer un procédé et un système de micro-usinage permettant de former un motif sur un matériau constituant un marquage à des fins d'identification et/ou d'authentification sans qu'il ne soit nécessaire de changer le paramétrage dudit procédé ou système de micro-usinage entre deux marquages successifs. Encore un autre but de la présente invention est de proposer un procédé d'utilisation d'un système de micro-usinage permettant d'optimiser la cadence de marquages de différents produits en fonction du matériau constituant ledit produit et du système de micro-usinage en tant que tel. EXPOSE DE L'INVENTION Ainsi, on propose un procédé de micro-usinage pour former un motif sur un matériau, comprenant les étapes suivantes : - Emission d'un faisceau lumineux pulsé spatialement et temporellement cohérent ; - Conformation dynamique dudit faisceau lumineux par un dispositif de modulation optique dynamique comprenant une modulation de phase pour conformer ledit faisceau lumineux selon une pluralité de points formant le motif ; - Focalisation du faisceau lumineux ainsi conformé sur une surface dudit matériau ; dans lequel la formation du motif sur le matériau est réalisée avec un unique train d'impulsions comprenant un nombre d'impulsions dudit faisceau lumineux strictement inférieur au nombre de points formant le motif, et où l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que chaque impulsion ait une durée d'impulsion déterminée comprise entre 10 ps et 100 ns, de préférence comprise entre 100 ps et 10 ns, et de préférence encore comprise entre 300 ps et 8 ns. Des aspects préférés mais non limitatifs de ce procédé de micro-usinage, pris seuls ou en combinaison, sont les suivants : - le procédé est utilisé pour former le même motif selon les mêmes paramètres de micro-usinage sur plusieurs produits identiques, où chaque motif est enregistré après avoir été formé de manière à permettre une authentification individuelle des produits. - le train d'impulsions comprend un nombre d'impulsions au moins deux fois moins important que le nombre de nombre de points formant le motif, de préférence au moins dix fois moins important, et de préférence encore au moins cent fois moins important. - le train d'impulsions comprend moins de mille impulsions, de préférence moins de cent impulsions, de préférence encore moins de dix impulsions, et de préférence encore le train d'impulsions comprend une seule impulsion. - le procédé comprend en outre une étape de calcul d'une consigne de modulation à partir d'une consigne d'entrée correspondant au motif, ladite consigne de modulation étant imposée au dispositif de modulation pour effectuer la conformation dynamique du faisceau lumineux. - l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que chaque impulsion ait une énergie déterminée comprise entre 10 pJ et 30 mJ, de préférence comprise 100 pJ et 15 mJ, et de préférence encore comprise entre 1 mJ et 10 mJ. - l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que les impulsions du train d'impulsions aient une cadence comprise entre 10 Hz et 30 kHz, de préférence comprise entre 20 Hz et 5 kHz, et de préférence encore comprise entre 250 Hz et 1 kHz. - l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que le train d'impulsions délivre une puissance moyenne comprise entre 50 pW et 20 W, de préférence comprise entre 10 mVV et 5 VV, et de préférence encore comprise entre 20 mVV et 2 W. - l'émission du faisceau lumineux est commandée pour avoir une polarisation rectiligne avant la modulation optique dynamique. On propose également un système de micro-usinage pour former un motif sur un matériau à partir d'une émission d'un faisceau lumineux pulsé spatialement et temporellement cohérent, comprenant : - Un dispositif de commande du faisceau lumineux comprenant des moyens pour limiter l'émission dudit faisceau lumineux en un train d'impulsions comprenant un nombre défini d'impulsions, et des moyens pour paramétrer ledit faisceau lumineux selon une durée d'impulsion comprise entre 10 ps et 100 ns ; - Un dispositif de modulation optique dynamique comprenant des moyens pour moduler le faisceau lumineux paramétré par le dispositif de commande selon au moins une modulation de phase à partir d'une consigne de modulation, afin de conformer ledit faisceau lumineux selon une pluralité de points formant le motif ; - Un dispositif de pilotage prévu pour imposer la consigne de modulation au dispositif de modulation et comprenant des moyens de calcul de la consigne de modulation à partir d'une consigne d'entrée correspondant au motif ; - Un dispositif de focalisation agencé pour focaliser le faisceau lumineux conformé par le dispositif de modulation sur une surface dudit matériau. Des aspects préférés mais non limitatifs de ce système de micro-usinage, pris seuls ou en combinaison, sont les suivants : - le système comprend en outre un ensemble d'éléments optiques agencés pour que le faisceau lumineux focalisé soit orienté à 90° par rapport au faisceau lumineux en entrée du système. - le système a un encombrement inférieur à 200x200x200 mm3. DESCRIPTION DES FIGURES D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront encore de la description qui suit, laquelle est purement illustrative et non limitative et doit être lue en regard des dessins annexés, sur lesquels : - La figure 1 est une représentation en perspective du système de micro-usinage proposé. - La figure 2 est une représentation schématique de l'ensemble des éléments intervenant sur le trajet optique du faisceau lumineux lors de l'utilisation du système de micro-usinage de la figure 1, de la génération du faisceau au marquage de l'échantillon. - La figure 3 illustre le principe de fonctionnement d'un dispositif de modulation de phase pouvant être utilisé dans le système de micro-usinage de la figure 1. - La figure 4 présente deux résultats de marquage laser sur matériau avec le procédé de micro-usinage proposé pour former un motif de type datamatrice. - La figure 5 met en évidence l'aspect authentifiant non contrôlé maximisé par le procédé de micro-usinage proposé, selon différents points d'observation. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION La présente invention porte sur le micro-usinage de matériaux, c'est-à-dire la modification structurelle de matériaux à faible échelle par rapport aux dimensions dudit matériau. Un exemple particulier de micro-usinage est le marquage de matériau, c'est-à- dire la création de motifs spécifiques par modification structurelle du matériau. La description qui suit est faite au regard de cet exemple particulier de micro-usinage qu'est le marquage mais l'invention associée n'est en aucun cas limitée à cet exemple particulier et porte sur l'ensemble du domaine du micro-usinage. Le principe de base de l'invention proposée consiste à modifier un faisceau lumineux permettant de faire le marquage pour créer plusieurs points de marquage pouvant être focalisées en même temps sur une surface du matériau que l'on cherche à marquer. Au contraire des techniques de l'art antérieur où le marquage est effectué en déplaçant un unique point focalisé sur le matériau, on positionne ici la pluralité de points de focalisation sur la surface du matériau à marquer, permettant de réaliser un marquage à la manière d'un tampon. On peut ainsi effectuer le marquage d'un motif en un nombre d'impulsions du faisceau lumineux qui est inférieur au nombre de points formant le motif. Cette technique a un avantage évident en milieu industriel puisque cela permet d'effectuer des marquages complexes en des temps réduits, et donc d'augmenter les cadences de production sans complexification du système de marquage. Une telle technique de marquage permet de s'affranchir des problèmes de déplacement de faisceau et donc de synchronisation avec la source lumineuse, tout en ne sollicitant pas nécessairement de hautes cadences d'impulsion. Dans un schéma classique de marquage avec un faisceau lumineux de type laser, on a une source laser, un ensemble d'optiques de contrôle du faisceau laser (comprenant par exemple des miroirs, lentilles, optiques de polarisation, filtres) et une optique de focalisation finale. On prévoit ici un bloc complémentaire permettant de moduler spatialement le faisceau lumineux en dynamique, pour en particulier contrôler la forme de ce faisceau, c'est-à-dire la répartition spatiale d'énergie optique, afin de créer plusieurs points lumineux dans le plan de focalisation de l'optique finale, correspondant au plan de marquage sur le matériau. Le modulateur est un élément optique actif permettant de moduler spatialement le rayonnement optique laser. Cette modulation peut concerner l'amplitude et/ou la phase et/ou la polarisation du rayonnement, de manière indépendante ou non. De préférence, on effectuera toujours une modulation de phase, et on pourra même avoir des modes particuliers de marquage où une modulation de phase pure est privilégiée. Cette modulation de phase pure peut par exemple être réalisée à l'aide d'une ou plusieurs couches de cristaux liquides, par exemple des cristaux liquides nématiques parallèles. L'application d'un champ électrique local sur cette couche (par exemple par application d'une commande électrique, ou d'une commande optique convertie en commande électrique, sur deux électrodes situées de part et d'autre de la couche) permet la rotation des cristaux sur eux-mêmes, et ainsi la modification locale de l'indice optique et donc par extension la différence de marche optique du rayonnement laser. De tels modulateurs sont appelés SLM (acronyme anglais de « Spatial Light Modulator » signifiant « Modulateur Spatial de Lumière »). Le faisceau lumineux, par exemple faisceau laser, incident sur le modulateur est commandé pour permettre de faire un marquage efficace, notamment d'un point de vue industriel, tout en étant compatible avec le dispositif de modulation utilisé, notamment la résistance optique du modulateur. Le rayonnement lumineux incident est généralement issu d'une source permettant d'émettre un faisceau lumineux pulsé, spatialement et temporellement cohérent, tel qu'un faisceau laser. La longueur d'onde du rayonnement peut-être quelconque. Un domaine de préférence est établi pour la gamme des longueurs d'onde visible et proche IR (acronyme de « Infra-Rouge ») de longueur d'onde comprise dans l'intervalle [350nm-2pm], et idéalement dans la bande correspondant aux rayonnement de longueur d'onde comprise dans l'intervalle [1pm-2pm]. Le faisceau lumineux est pulsé, c'est-à-dire composé d'une succession d'impulsions. Par ailleurs, on commande l'émission pour que le faisceau soit émis sous forme de trains d'impulsions, que l'on qualifie également de tirs, où un train d'impulsion est formé d'un nombre défini d'impulsions du faisceau lumineux. Le présent système est compatible avec les différents modes de tir existants à l'heure actuelle sans contraintes en termes de cadence des impulsions. Ainsi, le faisceau peut être émis sous la forme d'un « tir à la demande ». Dans ce cas de figure, une succession d'impulsions est générée par un signal de déclenchement (souvent électrique et/ou TTL, acronyme anglais de « Transistor-Transistor Logic ») délivré par un élément tiers de contrôle (ordinateur, automate, etc.). Par exemple, une impulsion laser peut être générée à chaque front montant d'un signal TTL, ou à chaque pression sur un bouton. Le faisceau peut être émis sous la forme d'un « tir continu sur base d'horloge ». Dans ce cas de figure, la source laser dispose d'un signal horloge régulier et elle délivre une série d'impulsion à la même cadence que l'horloge. Le faisceau peut également être émis sous la forme d'un « tir déclenché sur base d'horloge », dit aussi mode « burst », qui est préféré. Dans ce cas de figure, la source laser dispose d'un signal d'horloge régulier et d'un signal de déclenchement, souvent appelé « trigger » ou « gate ». Le principe est similaire au cas continu présenté ci-dessus, à ceci près que le tir est également limité par l'état du signal de déclenchement. Par exemple, une impulsion laser n'est émise qu'en cas de front montant du signal d'horloge et d'un signal de déclenchement à l'état logique 1. La durée des impulsions est également commandée pour être comprise entre 10 picosecondes (ps) et 100 nanosecondes (ns), de préférence comprise entre 100 picosecondes et 10 nanosecondes, et de préférence encore comprise entre 300 picosecondes et 8 nanosecondes. De telles durées d'impulsions sont particulièrement avantageuses puisqu'elles sont compatibles avec la plupart des sources lumineuses, notamment laser, qui sont largement répandues en milieu industriel. Le procédé et le système de micro-usinage proposés sont donc facilement transposables aux conditions industrielles actuelles. En outre, ces durées d'impulsions sont également compatibles avec des quantités d'énergie importantes qui peuvent être utiles pour marquer certains matériaux d'un motif comportant de nombreux points en un nombre d'impulsions très faible. On contrôle de préférence le faisceau lumineux pour que l'énergie par impulsion et la puissance moyenne du faisceau soient suffisantes pour le marquage, en tenant notamment compte des pertes intermédiaires subies dans le système et en particulier dues au modulateur, tout en étant inférieures à des valeurs seuils au-delà desquels le modulateur pourrait être endommagé. Ainsi de préférence l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que chaque impulsion ait une énergie déterminée comprise entre 10 pJ et 30 mJ, de préférence comprise entre 100 pJ et 15 mJ, et de préférence encore comprise entre 1 mJ et 10 mJ. De préférence encore, l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que le train d'impulsions délivre une puissance moyenne comprise entre 50 pW et 20 W, de préférence comprise entre 10 mW et 5 W, et de préférence encore comprise entre 20 mW et 2 W. La cadence à laquelle chaque impulsion du train d'impulsion est délivrée joue également un rôle qu'il convient de prendre en compte vis-à-vis du marquage d'une part, mais également de l'endommagement possible du modulateur. La cadence choisie est en outre fortement liées aux conditions industrielles de marquage souhaitées. Ainsi de préférence l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que les impulsions du train d'impulsions aient une cadence comprise entre 10 Hz et 30 kHz, de préférence comprise entre 20 Hz et 5 kHz, et de préférence encore comprise entre 250 Hz et 1 kHz. De préférence, pour un marquage suffisamment structuré, on utilise une forte puissance crête. Toutefois, pour éviter de dégrader le dispositif de modulation, on privilégie une puissance moyenne modérée. Au final, l'émission du faisceau lumineux est contrôlée pour avoir une énergie par impulsions suffisante tout en ayant une cadence modérée. Une des solutions permettant de limiter la dégradation du dispositif de modulation est de réaliser des marquages où chaque train d'impulsion nécessaire au marquage d'un motif comprend un nombre d'impulsion le plus faible possible. En tout état de cause, le train d'impulsions comprend un nombre d'impulsions dudit faisceau lumineux strictement inférieur au nombre de points formant le motif, ce qui est particulièrement avantageux d'un point de vue industrielle pour augmenter les cadences de production sans avoir nécessairement à augmenter les cadences de fonctionnement du système de micro-usinage, notamment de la source lumineuse, ce qui va aussi dans le sens de la préservation du modulateur. Par exemple, le train d'impulsions comprend un nombre d'impulsions au moins deux fois moins important que le nombre de points formant le motif, de préférence au moins dix fois moins important, et de préférence encore au moins cent fois moins important. Selon un mode de réalisation privilégié, le train d'impulsions comprend moins de mille impulsions, de préférence moins de cent impulsions, de préférence encore moins de dix impulsions. De manière optimale, le train d'impulsions comprend une unique impulsion pour former le marquage dans le matériau. La modulation appliquée par le modulateur est calculée de sorte à obtenir in fine la forme de faisceau focalisé souhaitée. On calcule en effet une consigne de modulation à partir d'une consigne d'entrée correspondant au motif, ladite consigne de modulation étant imposée au dispositif de modulation pour effectuer la conformation dynamique du faisceau lumineux. Dans le cas d'un modulateur comprenant une modulation de phase, ce calcul peut par exemple être réalisé par un algorithme de calcul de carte de phase de la famille des algorithmes génétiques, ou des algorithmes itératifs à transformée de Fourier de type IFTA (correspondant à l'acronyme anglais « Iterative Fourier Transform Algorithms »), ou plus généralement par tout algorithme d'optimisation adapté à cette problématique. Peuvent en outre être ajoutées des fonctions optiques simples telles que, de manière non exhaustive : - un décalage transverse de l'ensemble des points (tilt ou rampe de phase) ; - un décalage axial de l'ensemble des points (courbure de phase) ; - des conformations de faisceau connues (axicon, vortex). La forme cible correspondant à la forme du motif peut a priori être quelconque. Dans le cas où l'on cherche à utiliser le motif marqué dans le matériau pour permettre une certaine traçabilité de la pièce marquée, on pourra privilégier certaines formes, comme par exemple : - Des formes quelconques composées d'un ensemble de points focaux (formes multipoints) ; - Des formes représentant une chaine de caractères alphanumériques sous une forme « en clair » (chiffres et lettres) ou cryptées (code à barre, code bidimensionnel - Datamatrice, QR-code, Code Aztec, etc. -, etc.). Le chemin optique avant et après le dispositif de modulation est composé d'un ensemble d'éléments optiques tels que, de manière non exhaustive, miroirs, lentilles, systèmes afocaux, isolateurs optiques, lames d'onde, éléments séparateurs et filtres, obturateurs et éléments de sécurité. On choisit ces éléments optiques selon l'application souhaitée, notamment le marquage envisagé, et les caractéristiques du modulateur. Par exemple, avant la modulation, on va prévoir un ensemble d'éléments pour : - Adapter la taille du faisceau aux divers éléments, en particulier à la surface active du modulateur. - Adapter le niveau d'énergie et de puissance du rayonnement optique aux contraintes imposées par le modulateur. Après modulation, on choisira par exemple un ensemble d'éléments pour : - Adapter la taille et la position « virtuelle » de la modulation par imagerie du modulateur. - Focaliser le rayonnement laser sur la surface de la cible à marquer. Le faisceau laser étant focalisé sur la cible, la densité spatiale d'énergie, autrement appelée fluence et exprimée par exemple en J/cm2, est accrue. Cette forte concentration d'énergie induit la modification du matériau cible. Cette modification peut prendre diverses formes, et notamment: - Morphologique se traduisant par exemple par la création de microcavités, de structures ou de textures, de dépôts, ou la modification de l'état de surface. - Chimique sous forme d'oxydation, de modification de la structure chimique par exemple. - Physique, avec par exemple la modification des propriétés optiques (indice, réflexion, absorption), mécaniques, ou structurelles. Les modifications d'intérêt particulier ici sont celles pouvant être mises en évidence par des outils de vision, donc ayant un impact sur le rendu visuel (au sens large et pas seulement de l'oail humain) de la cible. Aux figures 1 et 2 est représenté un exemple d'un système de micro-usinage permettant de marquer des matériaux, en conditions industrielles, et pouvant être utilisé dans un environnement compact et intégré. Selon cet exemple, le système de micro-usinage - également appelé tête de marquage - est placé entre une source laser 8 - qui pourrait être une autre source lumineuse - et un matériau à marquer 12 et comprend de préférence : - Une ouverture 2 pour un faisceau laser d'entrée avec un diamètre choisi pour maximiser le remplissage de la surface active du modulateur optique, sans qu'il soit nécessaire que le diamètre soit plus grand que la surface active. On aura par exemple un diamètre inférieur ou égal à 8 mm ; - Un modulateur optique dynamique 3 permettant notamment la modulation spatiale de la phase de ce faisceau laser ; - Un ensemble d'optiques de contrôle 4 de la position de ce dit faisceau, permettant par exemple la réorientation de ce dernier selon une direction perpendiculaire à la direction d'entrée conformément aux têtes de marquage laser usuelles et/ou le repliement du chemin optique pour maintenir l'ensemble du système dans un encombrement similaire ou inférieur aux têtes de marquage laser usuelles (typiquement inférieur à 200x200x200 mm3) ; - Un élément de focalisation 7 permettant de concentrer l'énergie de la forme générée par le modulateur 3 sur le matériau 12 - cet élément peut être indifféremment de type lentille sphérique ou asphérique, mince, doublet ou triplet achromatique, f-thêta et/ou télécentrique. La focalisation peut par exemple être perpendiculairement à la face d'entrée du système, grâce à l'ensemble d'optiques ; - Une ouverture 6 en face opposée à la lentille de focalisation 7 pouvant accueillir ou non un moyen de visualisation de la zone de marquage ; Une électronique de contrôle 5, embarquée ou non, comprenant le pilotage du modulateur optique 3 et/ou de la source lumineuse et/ou la gestion d'une base de données et/ou l'interfaçage graphique pour la communication avec l'opérateur ou les autres éléments constitutif de l'installation de marquage/micro-usinage. Un exemple de procédé de marquage avec un système de micro-usinage tel que proposé est décrit en référence aux figures 2 et 3. En premier lieu, on utilise une source lumineuse, telle qu'un laser 8, pour faire le marquage. Cette source se caractérise par l'émission d'un faisceau lumineux pulsé et cohérent spatialement et temporellement. De préférence, on commande l'émission pour que le faisceau lumineux ait une polarisation rectiligne donnée. Cette polarisation peut par exemple être imposée en utilisant un polariseur et/ou une lame d'onde placé dans le chemin du faisceau lumineux. Comme précisé plus haut, le faisceau lumineux peut avoir une longueur d'onde allant du proche infrarouge au visible selon des valeurs typiques de 350 nm à 2 pm. Comme précisé plus haut, on utilise un faisceau avec une durée d'impulsion spécifique inclue dans une gamme préférentielle comprise entre 10 ps et 100 ns. La puissance nominale du faisceau lumineux est choisie en fonction du modulateur 3 lui-même, sensible à l'échauffement matérialisé par la puissance moyenne du laser. On utilisera par exemple une puissance nominale inférieure ou égale à 10W. En effet, alors que la viscosité des cristaux liquides diminue avec la température les rendant plus rapides aux changements d'état, une température trop importante induit une fonte réversible de ces cristaux et la perte des effets de modulation. Le contrôle 9 de cette puissance, qu'il soit interne ou externe au laser de référence, est dès lors importante pour le bon fonctionnement du système de micro-usinage. Il peut être associé à ce contrôle celui du nombre d'impulsions généré (généralement selon des tirs de type « burst »), également important dans le cadre d'applications à très haute cadence où la fenêtre d'optimisation du procédé en termes qualité-efficacité-rapidité peut devenir très étroite. Comme indiqué plus haut, un ensemble d'optiques d'alignement 10 ainsi que de redimensionnement du faisceau 11, placés en amont du modulateur 3, peut s'avérer pertinent dans le cadre d'une exploitation optimale du système. Le modulateur de phase 3 peut être de type LCOS SLM ou de type valve optique en ITO. On préfère des diamètres de faisceaux permettant de couvrir la plus grande part de la surface active 16 dudit modulateur, sans qu'il soit nécessaire que le diamètre soit plus grand que la surface active. On utilise par exemple des valeurs typiques de diamètre inférieur ou égal à 8 mm. Cette surface active se présente sous la forme d'une matrice de cristaux liquides adressés électriquement dans le cas d'un SLM, ou adressés optiquement dans le cas de valves optiques, afin d'induire leur rotation locale et créer une différence de marche par variation de l'indice optique et exploitation de la biréfringence de ces cristaux, comme par exemple dans le cas des cristaux liquides dits « nématiques parallèles ». La propagation du faisceau laser et en particulier son front d'onde, initialement assimilé comme plan ou courbe 14, s'en retrouve alors modifié 18. La modulation appliquée par le modulateur est calculée de sorte à obtenir la forme de faisceau souhaitée 15 uniquement dans la zone de focalisation par la lentille 7. Un jeu d'optiques de positionnement 4 est de préférence de nouveau utilisé afin d'aligner le faisceau laser dans cette même lentille mais également afin de minimiser l'encombrement du système, tout en conservant les configurations nécessaires (faible incidence sur le modulateur en réflexion par exemple). La forme cible 19 peut a priori être quelconque et changer dynamiquement 17 en fonction des ordres d'entrée 15. La vitesse de rafraîchissement des cartes de modulation est dépendante des caractéristiques du modulateur choisi mais se situe selon des valeurs typiques de 60 Hz et inférieures. Dans le cas d'un modulateur de phase pure 3, le calcul de la modulation à appliquer peut par exemple être réalisé par un algorithme de calcul de carte de phase de la famille des algorithmes génétiques, des algorithmes itératifs à transformée de Fourier I FTA ou tout autre algorithme adapté à cette problématique. Ce calcul tient compte de la configuration optique mise en oeuvre, notamment sur les aspects suivants : - Taille et forme du faisceau 13, et plus largement caractéristique du chemin optique d'entrée ; - Caractéristiques du rayonnement (par exemple sa longueur d'onde) ; - Caractéristiques de la lentille finale de focalisation 7 (en particulier distance focale) ; - Conjugaison optique et distance physique du modulateur (ou son image) par cette même lentille. Il est à noter que la distance séparant la dernière image du modulateur avant focalisation de l'optique finale doit être idéalement voisine de la distance focale de cette dernière, et de manière générale inférieure à 100 fois cette distance focale. L'algorithme de calcul, intégrable ou non dans la tête de marquage 1, génère alors une carte de phase sous forme d'une image en niveaux de gris dont chaque nuance est associée à un pourcentage de déphasage et donc de rotation des cristaux, l'amplitude maximale étant fonction des caractéristiques du couple SLM-rayonnement mais également des choix de l'opérateur. On peut en outre compléter la modulation initiale par des fonctions mathématiques/optiques telles qu'un décalage transverse (tilt, prisme ou rampe de phase), un décalage axial (courbure de phase), une convolution (somme des cartes de phase), etc. La figure à marquer 15 ainsi que l'algorithme de calcul sont prédéfinis de sortes à intégrer dans le marquage final sur échantillon 12 une réalisation sous forme multipoints afin de favoriser la réaction du matériau, qu'elle soit de type morphologique (cavité, texturation, dépôt, état de surface, etc.), chimique (oxydation, etc.), physique (optique (indice de réfraction, absorption, réflexion, transmission, etc.) ou mécanique (contraintes résiduelles, etc.)). Le nombre de points réalisables simultanément dépend de multiples conditions que sont les caractéristiques du laser (énergie, puissance, polarisation, longueur d'onde, durée d'impulsion, cadence...), du système de micro-usinage décrit (tolérance énergétique, pourcentage de transmission, force de focalisation...) mais également du matériau irradié. De fortes énergies laser sont donc préférentiellement recommandées car réparties entre les différents points de marquage. Connaissant les tolérances des modulateurs exploités dans le cadre de cette invention en matière de puissance moyenne, des limites en cadence d'impulsion sont également prises en considération. Il est par exemple établi qu'un rayonnement pulsé composé d'impulsions entre 500 ps et 100 ns environ, transportant chacune 2 mJ ou moins, et émises à des cadences de 1 kHz et inférieures est particulièrement adapté. En outre, les modes de fonctionnement suivants ont révélé une bonne capacité à générer des motifs multipoints sur de multiples matériaux aux moyens d'une impulsion unique ou d'un train de quelques impulsions (typiquement inférieur à 100 impulsions, de préférence inférieur à 10 impulsions) : - Durée d'impulsions de 400 ps (à plus ou moins 5%), énergie de 2 mJ ou moins, et cadence de 1 kHz ou moins ; - Durée d'impulsions de 7 ns (à plus ou moins 5%), énergie de 7 mJ ou moins, et cadence de 20 Hz ou moins ; - Durée d'impulsions de 87 ns (à plus ou moins 5%), énergie de 100 pJ ou moins, et cadence de 25 kHz ou moins ; Nous allons maintenant décrire un exemple de réalisation démontrant la faisabilité de marquage de codes identifiants sur des matériaux destinés à la haute cadence grâce au système et procédé de micro-usinage décrits ci-dessus. Cet exemple est décrit en référence à la figure 4. Le laser employé dans cet exemple répond aux caractéristiques suivantes : - Longueur d'onde : 1064 nm ; - Puissance de sortie : 2.2W ; - Durée d'impulsion : 10 ns ; - Cadence : 1 kHz ; - Polarisation : linéaire ; - Tirs en mode « burst » impliquant un contrôle pulse à pulse. La configuration a été choisie de sortes à profiter de l'énergie maximale délivrable par ce système, à savoir pour une cadence minimale de 1 kHz. Le diamètre de sortie du faisceau étant fonction de la puissance demandée, celle- ci a donc été fixée à sa valeur maximale de 2.2 W, soit une énergie disponible d'environ 2.2 mJ. Sa variation est dès lors contrôlée de manière externe par le couple 9 lame demionde/cube séparateur de polarisation, permettant de plus de conserver la bonne polarisation rectiligne en entrée de la tête de marquage 1. L'ensemble optique 11 est similaire à un télescope et est constitué de deux lentilles de focales définies de sortes à agrandir le faisceau d'un facteur 2, passant d'un diamètre de l'ordre de 4 mm en sortie laser à environ 8 mm sur le modulateur 3. L'ensemble optique 10 est composé de miroirs disposés en aval de l'ensemble 11 dans le but d'optimiser l'entrée de faisceau 2 dans la tête de marquage 1 sans pertes. Le modulateur de phase 3 est de type LCOS SLM de résolution 1920x1080 disposant d'une surface de 15.3x8.6 mm2 (pixels carrés de 8 pm de côté /pitch). La lentille de focalisation 7 comprend quant à elle une unique lentille mince traitée anti-reflets dans l'infrarouge de focale 100 mm. L'ensemble de ces éléments impliquent une distance de marquage entre impacts allant de quelques microns à quelques dizaines de microns, en fonction de la résolution de la carte de phase appliquée au SLM. L'image en entrée de commande 15 est une datamatrice de 14x14 modules dont chacun se compose d'un unique pixel. Afin d'éviter un recouvrement inesthétique sur le matériau connaissant des tailles d'impacts généralement supérieures à 26 pm, des pixels vides (blancs) viennent artificiellement espacer les futurs points de marquage, à l'image de la représentation 20. L'algorithme de calcul pour la génération de la carte de phase associée 17 est de type itératif IFTA, le nombre d'itérations étant ici défini de manière quasi arbitraire, mais néanmoins supérieure à dix, de sorte à ce que l'optimisation induite par ce calcul soit notablement stabilisée et ne fluctue donc que très peu d'une itération à la suivante. Les échantillons de matériaux marqués 21 et 22 sont de type polymères recouverts d'une métallisation de couleurs respectives argent et or de quelques micromètres d'épaisseur. L'acquisition d'image a été obtenue au moyen d'un microscope de grandissement x40 avec éclairage en transmission. Il a été utilisé des trains d'impulsions comprenant 25 impulsions afin d'ablater le vernis, soit 25 ms @ 1kHz pour le marquage d'une datamatrice d'environ 720 pm de côté et comportant 108 points. Dans des conditions similaires mais avec une tête de déflexion standard type tête galvanométrique, employant toute la puissance disponible en un unique point de focalisation, le laser requis pour le marquage d'une telle datamatrice devrait fournir une cadence minimale d'environ 4 kHz pour être concurrentiel avec ce même temps de 25 ms. A cette cadence, cela suppose une unique impulsion par point de marquage et une quasi absence de temps perdu au cours des divers repositionnements mécaniques. Comparativement à une solution classique de marquage, la technologie développée ici suppose une meilleure flexibilité dans le cadre d'applications de marquage à la volée et à haute cadence et par conséquent des temps de réalisation plus courts et davantage optimisables. Le deuxième exemple de réalisation vise à mettre en évidence l'aspect authentifiant maximisé par le système de micro-usinage proposé au travers d'un exemple de marquage simple. Cet exemple est décrit en référence à la figure 5. - Le laser employé dans cet exemple répond aux caractéristiques suivantes : - Longueur d'onde : 1064 nm ; - Puissance de sortie : 6VV ; - Durée d'impulsion : 80 ns ; - Cadence : 25 kHz ; - Polarisation : aléatoire ; - Modulation de contrôle des impulsions : 5 kHz. La configuration des divers éléments optiques est similaire au cas précédent. Néanmoins, ce laser dont les spécifications sont plus communes dispose de beaucoup plus de puissance pour une cadence d'autant plus élevée. Aussi, il n'intègre pas de contrôle pulse à pulse et une modulation externe (de type « trigger » ou « gate » telle que mentionnée précédemment) de cadence plus faible est nécessaire afin de conserver une puissance nominale de sortie constante tout en ayant suffisamment de contrôle sur le nombre d'impulsions irradiant l'échantillon. Dès lors, pour une modulation de fréquence maximale 5 kHz à une cadence de 25 kHz, le nombre minimal d'impulsions par tir autorisé par l'ensemble est de 5. Aussi, la polarisation de ce système est aléatoire. Le passage dans un cube polariseur assure une entrée dans la tête de marquage selon la bonne polarisation malgré une perte d'énergie de moitié. 100 pJ d'énergie (soient 2,5 VV de puissance moyenne à 25 kHz) parviennent finalement jusqu'au modulateur de phase 3. L'image en entrée de commande 15 est une matrice 23 de 5x5 impacts, soit 25 points répartis uniformément et régulièrement sur une surface de 230x230 pm2. L'algorithme de calcul pour la génération de la carte de phase associée 17 est de nouveau de type itératif IFTA. Dans le cadre de cet exemple, le contrôle du nombre d'itérations est ici primordial. Le matériau à marquer est de type polymère PE avec revêtement d'aluminium de plusieurs centaines de nanomètres. La série d'images 24 de la figure 5 met en évidence plusieurs matrices de points réalisées exactement dans les mêmes configurations d'illumination et de modulation. Seul varie le positionnement sur l'échantillon. Il peut être constaté de légères fluctuations d'un marquage à un autre (typiquement 24a et 24b), représentatives des fluctuations de propriétés des matériaux irradiés, que ce soit par mise en forme de faisceau ou par tête galvanométrique. Les séries d'images 25 et 26 sont néanmoins spécifiques à l'utilisation de la tête de mis en forme décrite dans ce document. La série d'images 25 met en évidence plusieurs marquages issus d'une même image source mais dont les cartes de phases sont différentes. Ce procédé non contrôlé est intrinsèque à l'algorithme utilisé qui ne converge pas vers une solution unique de carte de phase. Cette fluctuation, associée à celle de la source lumineuse incidente et des propriétés locales du matériau s'ajoute à l'unicité du marquage et donc à cet aspect authentifiant spécifique à l'interaction laser matière. Enfin, La série d'images 26 montre l'effet du nombre d'itérations pour une même carte en cours de calcul, où les huit d'images 26a à 26h correspondent à des essais avec 1, 2, 3, 4, 5, 10, 20, et 50 itérations respectivement. L'écart à l'image source est d'autant plus important que le nombre d'itérations est faible du fait d'une solution de carte de phase que partiellement convergée. On peut noter l'absence de certains points de marquage 26a et l'apparition d'autres points parasites 26b mettant en évidence la capacité à créer un marquage avec une signature unique et non contrôlée. Cet exemple de réalisation démontre clairement tout l'intérêt d'une telle innovation, en particulier sur le marché de la traçabilité et de la lutte anti-contrefaçon où les besoins en termes de vitesse de marquage et de perspectives authentifiantes sont avérés. Ainsi, on peut former le même motif selon les mêmes paramètres de micro-usinage sur plusieurs produits identiques, où chaque motif est enregistré après avoir été formé de manière à permettre une authentification individuelle desdits produits. Le système et le procédé de micro-usinage présentés permettent un gain de productivité important. En effet, en première approche, l'utilisation d'un faisceau laser mis en forme permet l'augmentation de la surface (ou du nombre de points) marqué(e)(s) en un seul tir laser. Le temps nécessaire à un marquage unitaire est donc réduit d'un facteur égal au nombre de points simultanément marqués (ou au ratio des surfaces). En outre l'utilisation de modulateurs optiques actuels permet d'envisager une modulation dynamique (changement de forme au cours du temps) avec une fréquence voisine de 10Hz-20Hz, voire jusqu'à 60Hz. Dans le cas d'une nécessité de changement de la forme entre deux marquages (par exemple dans le cas d'une numérotation unitaire de produits), le procédé présente une cadence potentielle de 36 000 à 72 000 pièces par heure. Ces cadences sont a priori cinq à dix fois supérieures aux cadences actuelles. En outre, le système et le procédé de micro-usinage présentés permettent de réaliser des marquages de formes complexes en peu de tirs. Les solutions actuelles étant basées sur le déplacement d'un faisceau focalisé, le motif réalisé présente intrinsèquement des bords arrondis à l'échelle de la taille de faisceau (souvent de l'ordre de la dizaine à la centaine de micromètres). L'utilisation d'un faisceau mis en forme permet d'envisager l'obtention de forme jusqu'alors très complexe à petite échelle, notamment comportant des angles droits ou vifs. Par ailleurs, dans le contexte particulier du marquage par laser d'une information cryptée sous la forme de codes bidimensionnels, le format datamatrice est aujourd'hui préféré au format QR-code car plus rapide à marquer à contenu équivalent (puisque présentant des déplacements entre deux modules successifs moins nombreux). Or ce second type présente l'avantage d'une relecture plus aisée. L'utilisation de l'installation décrite ici permet de s'affranchir de cette limitation en présentant un temps de réalisation identique pour les deux types de codage, à contenu équivalent, du fait du marquage simultané de l'ensemble des points constituant le code, dans la limite où ce nombre de points reste inférieur au nombre maximal de points pouvant être réalisés simultanément. Enfin, le système et le procédé de micro-usinage présentés ont un intérêt tout particulier pour ce qui concerne l'authentification de produits, dans les applications de traçabilité ou de lutte anti-contrefaçon par exemple. Ils permettent en effet de créer simplement un marquage unique. Lors de l'interaction du rayonnement lumineux avec la cible, le résultat obtenu est fortement dépendant des propriétés optiques du faisceau et physiques de la cible. En conjuguant un contrôle de la répartition spatiale de l'énergie optique, et une non-uniformité intrinsèque des propriétés locale du matériau, une variation significative du résultat de marquage peut être obtenue d'un tir sur l'autre. L'enregistrement d'une signature de ces aspects non répétables permet a posteriori l'authentification du support. REFERENCES BIBLIOGRAPHIQUES - US 5,734,145 - US 4,128,752 - FR 2 909 922 - US 4,734,558 - US 4,818,835 - US 2001/045,418 - FR 2 884 743 20 REVENDICATIONS1. Procédé de micro-usinage pour former un motif sur un matériau, comprenant les étapes suivantes : - Emission d'un faisceau lumineux pulsé spatialement et temporellement cohérent ; - Conformation dynamique dudit faisceau lumineux par un dispositif de modulation optique dynamique comprenant une modulation de phase pour conformer ledit faisceau lumineux selon une pluralité de points formant le motif ; - Focalisation du faisceau lumineux ainsi conformé sur une surface dudit matériau ; dans lequel la formation du motif sur le matériau est réalisée avec un unique train d'impulsions comprenant un nombre d'impulsions dudit faisceau lumineux strictement inférieur au nombre de points formant le motif, et où l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que chaque impulsion ait une durée d'impulsion déterminée comprise entre 10 ps et 100 ns, de préférence comprise entre 100 ps et 10 ns, et de préférence encore comprise entre 300 ps et 8 ns. 2. Procédé selon la revendication 1 utilisé pour former le même motif selon les mêmes paramètres de micro-usinage sur plusieurs produits identiques, où chaque motif est enregistré après avoir été formé de manière à permettre une authentification individuelle des produits. 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, dans lequel le train d'impulsions comprend un nombre d'impulsions au moins deux fois moins important que le nombre de nombre de points formant le motif, de préférence au moins dix fois moins important, et de préférence encore au moins cent fois moins important. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le train d'impulsions comprend moins de mille impulsions, de préférence moins de cent impulsions, de préférence encore moins de dix impulsions, et de préférence encore le train d'impulsions comprend une seule impulsion. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant en outre une étape de calcul d'une consigne de modulation à partir d'une consigne d'entrée correspondant au motif, ladite consigne de modulation étant imposée au dispositif de modulation pour effectuer la conformation dynamique du faisceau lumineux. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que chaque impulsion ait une énergie déterminée comprise entre 10 pJ et 30 mJ, de préférence comprise 100 pJ et 15 mJ, et de préférence encore comprise entre 1 mJ et 10 mJ. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que les impulsions du train d'impulsions aientune cadence comprise entre 10 Hz et 30 kHz, de préférence comprise entre 20 Hz et 5 kHz, et de préférence encore comprise entre 250 Hz et 1 kHz. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel l'émission du faisceau lumineux est commandée pour que le train d'impulsions délivre une puissance 5 moyenne comprise entre 50 pW et 20 W, de préférence comprise entre 10 mW et 5 W, et de préférence encore comprise entre 20 mW et 2 W. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel l'émission du faisceau lumineux est commandée pour avoir une polarisation rectiligne avant la modulation optique dynamique. 10 10. Système de micro-usinage pour former un motif sur un matériau (12) à partir d'une émission (8) d'un faisceau lumineux pulsé spatialement et temporellement cohérent, comprenant : - Un dispositif de commande du faisceau lumineux comprenant des moyens pour limiter l'émission dudit faisceau lumineux en un train d'impulsions comprenant un 15 nombre défini d'impulsions, et des moyens pour paramétrer ledit faisceau lumineux selon une durée d'impulsion comprise entre 10 ps et 100 ns ; - Un dispositif de modulation optique dynamique (3) comprenant des moyens pour moduler le faisceau lumineux paramétré par le dispositif de commande selon au moins une modulation de phase à partir d'une consigne de modulation, afin de 20 conformer ledit faisceau lumineux selon une pluralité de points formant le motif ; - Un dispositif de pilotage prévu pour imposer la consigne de modulation au dispositif de modulation et comprenant des moyens de calcul de la consigne de modulation à partir d'une consigne d'entrée correspondant au motif ; - Un dispositif de focalisation (7) agencé pour focaliser le faisceau lumineux 25 conformé par le dispositif de modulation sur une surface dudit matériau. 11. Système selon la revendication 10, comprenant en outre un ensemble d'éléments optiques (4) agencés pour que le faisceau lumineux focalisé soit orienté à 90° par rapport au faisceau lumineux en entrée du système. 12. Système selon l'une quelconque des revendications 10 ou 11 caractérisé en ce qu'il 30 a un encombrement inférieur à 200x200x200 mm3.