Brevet FR3021807A1 — publié le 20151204

MATRICE DE PHOTODIODES MESA A FTM AMELIOREE. DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne le domaine des photodiodes à base de matériau CdHgTe, utilisées notamment pour détecter un rayonnement infrarouge. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE On connaît dans l'art antérieur différentes géométries de photodiodes, notamment les photodiodes dites « mésa ». Une photodiode mésa présente une géométrie non planaire, dans laquelle une couche en matériau semi-conducteur, nommée « couche utile », présente une face inférieure généralement plane, et une face supérieure en forme de plot. La face inférieure peut être déposée sur un substrat. Chaque plot présente des parois latérales et une paroi supérieure du côté opposé à la face inférieure de la couche utile. On nomme « mésa » un tel plot, en référence à sa forme généralement en plateau. Une zone est dite dopée P lorsqu'elle présente un excès de « trous », ou en d'autres termes un défaut d'électrons (porteurs minoritaires). Une zone est dite dopée N lorsqu'elle présente un excès d'électrons, ou en d'autres termes un défaut de trous (porteurs minoritaires). Dans tout le texte, la nature du dopage d'une zone dopée désigne la nature des porteurs minoritaires dans ladite zone. Un dopage P peut être réalisé par implantation d'un élément dopant dit accepteur, c'est-à-dire recevant au moins un électron de façon à créer un défaut d'électron. Un dopage N peut être réalisé par implantation d'un élément dopant dit donneur, c'est-à-dire donnant au moins un électron de façon à créer un défaut de trou. 3021807 2 Du côté de ladite paroi supérieure, le plot présente une région présentant un dopage N ou P, de nature différente de celle du dopage dans le restant de la couche utile, formant ainsi une jonction PN. Une jonction PN forme une photodiode. 5 En pratique, on fabrique des matrices de plusieurs photodiodes mésa. On a représenté en figure 1 un exemple d'une telle matrice, vue en coupe. La matrice 1 comprend une couche utile 10 déposée sur un substrat 11 (représenté hachuré). La couche utile 10 a été gravée de façon à former des plots 12. Chaque plot 12 présente une jonction PN entre une première zone 14 présentant un premier 10 dopage N ou P, et une deuxième zone 13 présentant un deuxième dopage P ou N de nature différente de celle du premier dopage. Chaque plot présente une jonction PN qui lui est propre, et forme ainsi une photodiode. On réalise par exemple des matrices rectangulaires regroupant 640x512 photodiodes, pour un pas P de 15 p.m (largeur d'une photodiode). 15 L'invention concerne plus particulièrement une matrice de photodiode mésa, dans laquelle la couche utile est réalisée dans un matériau semiconducteur fait d'un alliage de cadmium, mercure et tellure CdxHgi,Te, avec x un réel compris entre O et 1, les bornes étant exclues. L'une des grandeurs caractéristiques de la qualité optique d'une matrice de 20 photodiodes est sa fonction de transfert de modulation (FTM). Elle est généralement représentée par un graphique représentant un rapport entre un contraste mesuré et un contraste théorique, en fonction d'une fréquence (ici l'inverse du pas P de la matrice de photodiodes). La FTM illustre la capacité de la matrice de photodiodes à transcrire fidèlement une répartition de photons 25 incidents, sous la forme d'une carte de courants mesurés sur les photodiodes. Il est donc avantageux qu'une matrice de photodiodes présente une bonne FTM, afin qu'elle offre une image qui transcrit fidèlement la réalité. 3021807 3 Un objectif de la présente invention est de proposer une matrice de photodiodes mésa dont la couche utile est en Cd.Hgi,Te, présentant une FTM améliorée. Un autre but de la présente invention est de proposer un procédé de 5 fabrication d'une matrice de photodiodes, permettant d'obtenir une matrice de photodiodes mésa dont la couche utile est en CdxHgi_xTe et présentant une FTM améliorée. EXPOSÉ DE L'INVENTION Cet objectif est atteint avec une matrice d'au moins deux photodiodes 10 comprenant une couche utile consistant en un alliage semi-conducteur de cadmium, mercure et tellure de type CdxHgi_xTe, la couche utile présentant : une base, et des plots, la base formant un socle commun pour les plots, et chaque plot correspondant à 15 une photodiode, la couche utile comprenant : une première zone dopée présentant un premier dopage N ou P, s'étendant au moins dans ladite base ; et pour chaque plot, une deuxième zone dopée présentant un deuxième dopage P ou N de nature différente de celle du premier dopage, s'étendant au 20 moins sur une région supérieure dudit plot, du côté du plot opposé à la base. Selon l'invention, la première zone dopée comprend : au moins une première région présentant une première densité de dopage, située au moins sous chacun desdits plots ; et 25 au moins une deuxième région, située entre deux plots voisins, et présentant une deuxième densité de dopage supérieure à la première densité de dopage. 3021807 La deuxième densité de dopage est avantageusement au moins deux fois supérieure à la première densité de dopage. La deuxième densité de dopage peut être au moins dix fois supérieure à la première densité de dopage. 5 De préférence, chaque deuxième région est séparée de la deuxième zone dopée la plus proche par au moins une portion de la première région. Chaque deuxième région peut s'étendre depuis une face supérieure de la couche utile, la face supérieure de la couche utile étant la face recevant les plots. Avantageusement, au moins une deuxième région s'étend jusqu'à une face 10 inférieure de la couche utile, du côté opposé aux plots. Au moins une deuxième région peut s'étendre entre deux plots voisins et sur au moins une portion des surfaces latérales desdits deux plots voisins. Selon un premier mode de réalisation de l'invention, la première zone dopée est dopée N et les deuxièmes zones dopées sont dopées P. 15 Selon ce premier mode de réalisation de l'invention, la deuxième zone dopée peut s'étendre en outre sur les parois latérales d'un plot, et présenter une concentration en cadmium supérieure à la concentration en cadmium dans la première zone dopée. Selon un deuxième mode de réalisation de l'invention, la première zone 20 dopée est dopée P et les deuxièmes zones dopées sont dopées N, et l'au moins une deuxième région présente une concentration en cadmium supérieure à la concentration en cadmium dans la première région. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une matrice d'au moins deux photodiodes comprenant les étapes suivantes : 25 gravure, dans une couche utile consistant en un alliage semi-conducteur de cadmium, mercure et tellure de type Cdxligi_xTe, d'au moins deux plots associés chacun à une photodiode, la gravure conservant une épaisseur de couche utile, dite base, formant un socle commun pour les plots ; création d'au moins une jonction PN, de sorte que la couche utile présente : 3021807 5 - une première zone dopée présentant un premier dopage N ou P, s'étendant au moins dans ladite base ; et - pour chaque plot, une deuxième zone dopée présentant un deuxième dopage P ou N de nature différente de celle du premier dopage, s'étendant au 5 moins sur une région supérieure dudit plot, du côté du plot opposé à la base. Selon l'invention, le procédé comprend une étape supplémentaire de dopage réalisée par implantation ionique entre deux plots, et de façon à former : - au moins une première région présentant une première densité de dopage, située au moins sous chacun desdits plots ; et 10 au moins une deuxième région située entre deux plots voisins, et présentant une deuxième densité de dopage, supérieure à la première densité de dopage. Selon un premier mode de réalisation du procédé selon l'invention, l'étape 15 de création d'au moins une jonction PN met en oeuvre une implantation ionique d'un dopant donneur, l'étape supplémentaire de dopage met en oeuvre une implantation ionique d'un dopant accepteur, et le procédé comprend en outre les étapes suivantes : - dépôt, sur la couche utile, d'une couche, dite couche de réservoir, 20 présentant une concentration en cadmium supérieure à celle de la couche utile ; - recuit de la couche utile recouverte de la couche de réservoir réalisant une diffusion des atomes de cadmium de la couche de réservoir, depuis la couche de réservoir vers la couche utile. 25 Selon ce premier mode de réalisation du procédé selon l'invention, le procédé peut comprendre une étape de gravure d'une portion de la couche de réservoir située au-dessus des plots, cette étape étant réalisée avant le recuit. 3021807 6 Selon un deuxième mode de réalisation du procédé selon l'invention, l'étape de création d'au moins une jonction PN met en oeuvre une implantation ionique d'un dopant accepteur sur les parois latérales et la paroi supérieure de chaque plot, et le procédé comprend en outre les étapes suivantes : 5 dépôt, sur la couche utile, d'une couche, dite couche de réservoir, présentant une concentration en cadmium supérieure à celle de la couche utile ; - recuit de la couche utile recouverte de la couche de réservoir réalisant une diffusion des atomes de cadmium de la couche de réservoir, depuis la couche de réservoir vers la couche utile. 10 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : 15 la figure 1 illustre de manière schématique une matrice de photodiodes mésa selon l'art antérieur ; - la figure 2 illustre de manière schématique un premier mode de réalisation de matrice de photodiodes mésa selon l'invention ; - la figure 3 illustre de manière schématique un deuxième mode de 20 réalisation de matrice de photodiodes mésa selon l'invention ; - la figure 4 illustre de manière schématique un troisième mode de réalisation de matrice de photodiodes mésa selon l'invention ; - la figure 5 illustre de manière schématique un premier mode de réalisation de procédé selon l'invention ; 25 - la figure 6 illustre de manière schématique un deuxième mode de réalisation de procédé selon l'invention ; et la figure 7 illustre de manière schématique un troisième mode de réalisation de procédé selon l'invention. 3021807 7 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS La figure 2 illustre de façon schématique, et selon une vue en coupe, un premier mode de réalisation d'une matrice 2 de photodiodes selon l'invention. La figure 2 ne sera décrite que pour ses différences relativement à la 5 figure 1, correspondant à l'art antérieur et décrite en introduction. La matrice 2 comprend une couche utile 20 en matériau semi-conducteur. La couche utile 20 est formée d'un alliage de cadmium mercure et tellure de type CdxHgi,Te, avec x compris entre 0 et 1, les bornes étant exclues. En particulier, x est compris entre 0,2 et 0,5, par exemple 0,22. 10 Par exemple, on cherchera à détecter un rayonnement dans l'infrarouge moyen dit MWIR (pour l'anglais « Middle Wave InfraRed », correspondant à des longueurs d'onde comprises entre 4 i,tm et 5 gm), ce qui correspond, par exemple, à une concentration en cadmium définie par x=0,3. En variante, on cherche à détecter un rayonnement dans l'infrarouge 15 lointain dit LWIR (pour l'anglais « Long Wave InfraRed », correspondant à des longueurs d'onde comprises entre 8 et 12 gm), ce qui correspond, par exemple, à une concentration en cadmium définie par x=0,22. En variante, on cherche à détecter un rayonnement dans l'infrarouge proche dit SWIR (pour l'anglais « Small Wave Infrared », correspondant à des 20 longueurs d'onde entre 3 et 4 gm), ou dans l'infrarouge très lointain dit VLWIR (pour l'anglais « Very Long Wave Infrared », correspondant à des longueurs d'ondes supérieures à 14 pim). On a représenté sur les figures le cas particulier dans lequel la matrice comprend un substrat 21, recouvert par la couche utile 20. Selon une variante 25 non représentée, le substrat est séparé de la couche utile avant, pendant ou après la mise en oeuvre du procédé selon l'invention. Ainsi, la matrice selon l'invention ne comprend pas nécessairement un substrat. Le substrat 21 est par exemple fait d'un alliage de cadmium, zinc, tellure. Un tel alliage offre un accord de maille très avantageux avec le matériau de la 3021807 8 couche utile. Le substrat 21 est transparent aux longueurs d'onde que l'on souhaite détecter. Comme dans l'art antérieur, la couche utile 20 présente : - des plots 22, du côté d'une face supérieure 26A de la couche utile, du 5 côté opposé au substrat ; et - une base 25, du côté d'une face inférieure 26B de la couche utile, et formant un socle commun pour les plots. Cette structure correspond à une matrice de photodiodes mésa, chaque 10 plot correspondant à une photodiode. Par exemple, la hauteur des plots est de 5 gm. En d'autres termes, la profondeur du mésa est de 5 gm. L'épaisseur de la base est par exemple de 1 gm, soit une épaisseur totale de couche utile de 6 ptm. La face inférieure 26B de la couche utile est située dans le plan horizontal 15 (zOx). L'angle d'inclinaison des parois latérales 28 des plots, relativement à l'axe vertical (Oy), est nommé angle a. Cet angle a vaut par exemple 45°. Les parois latérales d'un plot forment ensemble un angle [3, le sommet de cet angle étant dirigé du côté des plots opposé à la face inférieure 26B. On pourra prévoir toutes sortes de variantes, notamment des variantes dans lesquelles les parois latérales 20 d'un plot forment ensemble un angle [3 dont le sommet est dirigé du côté de la face inférieure 26B. Dans la couche utile 20, on distingue : - une première zone dopée 24, formée ici dans la base ainsi que dans la partie basse de chacun des plots 22 (du côté de la face inférieure 26B et le cas 25 échéant du substrat 21) ; et - dans chacun des plots, une deuxième zone dopée 23 s'étendant dans la partie supérieure du plot (du côté de la face supérieure 26A). 3021807 9 On a donc une unique première zone dopée 24, et plusieurs deuxièmes zones dopées 23 (une pour chaque plot). La première zone dopée 24 présente un premier dopage N ou P. Les deuxièmes zones dopées 23 présentent un deuxième dopage P ou N, de nature 5 différente de celle du premier dopage. La première zone dopée 24 et la deuxième zone dopée 23 forment ensemble la couche utile 20. Selon l'invention, la première zone dopée 24 consiste en : - au moins une première région 24A, située en particulier sous chacun des plots 22, et présentant une première densité de dopage ; et 10 au moins une deuxième région 24B dite sur-dopée, située entre deux plots voisins, et présentant une deuxième densité de dopage supérieure à la première densité de dopage. De préférence, l'au moins une première région 24A est située directement 15 sous chacun desdits plots, et au centre de chacun de ces plots. Par « entre deux plots », on comprend avantageusement « entre deux plots et affleurant la face supérieure de la couche active en CdHgTe ». L'au moins une deuxième région 24B forme avantageusement un maillage autour des plots. 20 La première région 24A et la deuxième région 24B ne sont pas superposées mais adjacentes latéralement. On peut prévoir une unique deuxième région 24B s'étendant entre chacun des plots de la matrice de photodiodes. En variante, la matrice de photodiodes comprend plusieurs deuxièmes 25 régions 24B, chacune s'étendant entre deux plots voisins. Dans toute la suite, on conserve l'exemple de plusieurs deuxièmes régions 24B. Par exemple, la densité de dopage dans la première région 24A est de 8.1015 atomes/cm3, et la densité de dopage dans les deuxièmes régions 24B est 3021807 10 égale ou supérieure à 1016 atomes/cm3. La première région 24A et les deuxièmes régions 24B forment ensemble la première zone dopée 24. Il se forme ainsi une barrière de potentiel entre une deuxième région 24B et une première région 24A. 5 En fonctionnement, un photon 270 pénètre dans la couche utile du côté de sa face inférieure 26B, et au regard d'une photodiode donnée. Ce photon entraîne l'apparition d'un porteur minoritaire 271 dans la couche utile 20. Ce porteur minoritaire 271 diffuse dans la couche utile, jusqu'à ce qu'il se recombine avec un porteur de nature différente. Si ledit porteur minoritaire traverse une 10 jonction PN avant de se recombiner, il permet la création d'un courant mesurable. On peut nommer « zone de détection » la partie de la couche utile dans laquelle l'absorption d'un photon entraîne l'apparition d'un porteur minoritaire 271. Le porteur minoritaire présente une longueur de diffusion L, qui correspond à la distance qu'il parcourt avant de se recombiner. Lorsque la 15 longueur de diffusion L est élevée, il existe donc un risque que le porteur minoritaire se recombine après traversée de la jonction PN d'une photodiode voisine. Ce risque est d'autant plus élevé que le pas de la matrice de photodiodes est faible au regard de la longueur de diffusion L. Or, selon l'invention, la matrice de photodiodes présente, entre deux 20 photodiodes voisines, une région 24B sur-dopée qui forme une barrière de potentiel pour les porteurs minoritaires. Les porteurs minoritaires sont donc empêchés de passer à travers la région 24B, ce qui évite qu'un porteur minoritaire pénètre dans la matrice de photodiode au regard d'une première photodiode, et se recombine après traversée de la jonction PN d'une photodiode 25 voisine. Ainsi, un porteur minoritaire qui pénètre dans la matrice de photodiode au regard d'une première photodiode reste enfermé dans un couloir entre plusieurs régions 24B, et ne peut donc se recombiner qu'au niveau de la jonction PN de ladite première photodiode, en particulier après traversée de cette jonction PN. 3021807 11 On s'assure ainsi qu'un photon incident fasse apparaître un courant, dans la photodiode au regard de laquelle il pénètre dans la matrice de photodiodes. On évite ainsi qu'un photon incident fasse apparaître un courant dans une photodiode autre que celle au regard de laquelle il pénètre dans la matrice de 5 photodiodes. Ainsi, la matrice de photodiodes selon l'invention présente une FTM améliorée. L'invention est particulièrement avantageuse lorsque l'on souhaite que la matrice de photodiodes présente un pas inférieur à la longueur de diffusion des 10 porteurs minoritaires. L'invention est donc particulièrement avantageuse dans le cas où les deuxièmes zones dopées 23 sont dopées P, et la première zone dopée 24 est dopée N (technologie dite « P sur N »). En effet, dans cette technologie, les porteurs minoritaires présentent une durée de vie élevée ce qui leur confère de grandes longueurs de diffusion (en comparaison avec la technologie dite « N sur 15 P » correspondant à des zones 23 dopées N et une zone 24 dopée P). L'invention n'est cependant pas limitée à la technologie P sur N, et couvre également la technologie N sur P. On remarque également que chaque deuxième région 24B, puisqu'elle présente la même nature de dopage que le reste de la première zone dopée 24, 20 n'empêche pas de polariser toutes les photodiodes d'une même matrice à l'aide d'un même point de contact électrique, y compris lorsqu'elle s'étend jusqu'à la face inférieure 26B de la couche utile. En outre, chaque deuxième région 24B ne présente pas de défauts aux interfaces avec la première région 24A, car ces deux régions diffèrent 25 uniquement par leur densité de dopage. On remarque en figure 2 que les deuxièmes zones dopées 23 et les deuxièmes régions 24B ne sont pas contigües, pour éviter la création d'un courant de fuite par effet tunnel entre une deuxième zone dopée N ou P et une 3021807 12 deuxième région sur-dopée P ou N. La distance entre une deuxième zone dopée 23 et une deuxième région 24A est typiquement de l'ordre de 2 p.m. Dans l'exemple représenté en figure 2, chaque deuxième région 24B s'étend, entre deux plots 22, depuis la face supérieure 26A de la couche utile, et 5 en direction de la face inférieure 26B. Chaque deuxième région 24B peut s'étendre jusqu'à la face inférieure 26B, le cas échéant jusqu'à être au contact du substrat. Dans ce cas, on peut définir plusieurs premières régions 24A. Chaque deuxième région 24B peut s'étendre sur au moins la moitié de l'intervalle séparant deux plots voisins (écart entre une extrémité d'un plot, et 10 l'extrémité du plot voisin la plus proche). L'invention présente un intérêt accru dans le cas où la première zone dopée 24 est dopée N. Dans ce cas, on peut obtenir des deuxièmes régions 24B dégénérées, c'est-à-dire dont le niveau de fermi est situé dans la bande de conduction. On réalise ainsi une barrière de potentiel plus élevée qu'en l'absence 15 de dégénérescence. Dans le cas où la première zone dopée 24 est dopée P, il est particulièrement avantageux que les deuxièmes régions 24B présentent une concentration en cadmium supérieure à celle de la première région 24A. On a en effet observé que dans un matériau semi-conducteur en CdxHgi_je, la bande 20 interdite, nommée « gap », dépend de la concentration en cadmium. Plus cette concentration est élevée, plus le gap est élevé. La différence de concentration en cadmium entre une deuxième région 24B et la première région 24A accroît la barrière de potentiel réalisée par la différence de niveau de dopage entre ces deux régions. On a détaillé, en référence à la figure 7, un procédé selon 25 l'invention permettant d'obtenir une telle répartition de cadmium. Avantageusement, la largeur de la deuxième région 24B tend à diminuer au fur et à mesure que l'on se rapproche de la face inférieure 26B. 3021807 13 Cette forme particulière de la deuxième région 24B peut être obtenue par une implantation ionique réalisée de façon à ce que la répartition des ions implantés présente cette même forme particulière, et que la diffusion ultérieure des ions dopants implantés conserve cette forme particulière (voir figure 5). 5 Cette forme des deuxièmes régions 24B peut ainsi créer un guide en entonnoir pour collecter au mieux l'ensemble des porteurs minoritaires, et les guider vers la jonction PN au regard de laquelle le porteur minoritaire s'est formé. 10 La figure 3 illustre de manière schématique un deuxième mode de réalisation d'une matrice de photodiodes selon l'invention. La figure 3 ne sera décrite que pour ses différences au regard de la figure 2. Les références numériques 2, 20, 21, 22, 23, 24A, 24B, 25, 26A, 26B, 28 de la figure 2 correspondent respectivement aux références numériques 3, 30, 31, 15 32, 33, 34A, 34B, 35, 36A, 36B, 38 de la figure 3. Les parois latérales 38 des plots sont formées par gravure dans la couche utile. Elles présentent donc des défauts de matériau, dus à la gravure. Si des porteurs minoritaires parviennent jusqu'à ces défauts, ils se recombinent très facilement sur ces défauts. Si cette recombinaison a lieu avant 20 que le porteur arrive jusqu'à la jonction PN d'une photodiode, elle ne donne pas lieu à la création d'un courant dans la zone de charge d'espace d'une photodiode. Ainsi, un photon incident forme bien un porteur minoritaire dans la couche utile 30, mais on ne mesure pas de courant électrique correspondant. De même un défaut présent dans le matériau peut être à l'origine de la 25 création de porteurs minoritaires, même sans flux photonique. Ces porteurs vont diffuser jusqu'à une zone de charge d'espace (autour de la jonction PN) et créer un courant électrique. Ce dernier phénomène va entraîner une dégradation du courant d'obscurité. La matrice de photodiodes 3 présente donc des propriétés 3021807 14 de détection dégradées si des défauts sont présents aux abords ou dans la zone de charge d'espace d'une photodiode. Pour pallier à cet inconvénient, on propose, dans le mode de réalisation représenté en figure 3, que chaque deuxième région 34B s'étende entre deux 5 plots, et également sur au moins une portion des surfaces latérales 38 desdits plots. Chaque deuxième région 34B s'étend également dans l'épaisseur de la couche utile 30, sous lesdites portions de surface latérale. Les deuxièmes régions 34B entourent, au centre d'un plot, une première région 34A. Lesdites portions de surface latérale sont situées dans la partie basse des plots. Chaque partie de 10 deuxième région 34B située sous une portion de surface latérale 38 est formée d'un seul tenant avec une partie de deuxième région 34B située entre deux plots. En faisant remonter chaque deuxième région 34B jusque sous les parois latérales d'au moins un plot adjacent, on forme des barrières de potentiel qui empêchent les porteurs minoritaires de parvenir jusqu'aux parois latérales. 15 On réalise ainsi une matrice 3 de photodiodes présentant des propriétés de détection optimales. Comme dans le mode de réalisation représenté en figure 2, les deuxièmes zones dopées 33 et les deuxièmes régions 34B ne sont pas contigües. De même que pour le mode de réalisation représenté en figure 2, chaque 20 deuxième région 34B peut s'étendre dans la couche utile jusqu'à sa face inférieure 36B, le cas échéant jusqu'à être en contact avec le substrat 31. On va maintenant décrire, en référence à la figure 4, un troisième mode de réalisation de matrice de photodiodes selon l'invention. La figure 4 ne sera 25 décrite que pour ses différences au regard de la figure 2. Les références numériques 2, 20, 21, 22, 23, 24, 24A, 24B, 25, 26A, 26B, 28 de la figure 2 correspondent respectivement aux références numériques 4, 40, 41, 42, 43, 44, 44A, 44B, 45, 46A, 46B, 48 de la figure 4. 3021807 15 De même que pour le mode de réalisation représenté en figure 2, chaque deuxième région 44B peut s'étendre dans la couche utile jusqu'à sa face inférieure 46B, le cas échéant jusqu'à être en contact avec le substrat 41. La première zone dopée 44 est dopée N, et les deuxièmes zones dopées 43 5 sont dopées P. Comme expliqué en référence à la figure 3, les parois latérales 48 des plots sont formées par gravure dans la couche utile. Cette gravure peut former des défauts dans le matériau, à l'interface gravée de la couche utile. Ces défauts de matériau vont favoriser l'introduction d'un niveau d'énergie intermédiaire dans le 10 gap du matériau. Ce niveau d'énergie intermédiaire favorise alors un franchissement spontané du gap par un électron. Ce franchissement de gap spontané crée une paire électron-trou, et donc l'apparition d'un porteur minoritaire dans la couche utile. Si ce porteur minoritaire se recombine, après traversée d'une jonction PN, on mesure un courant électrique qui ne correspond 15 pas à l'absorption d'un photon. Ce phénomène a pour conséquence d'augmenter le courant d'obscurité. Le courant d'obscurité est le courant électrique résiduel d'un photodétecteur en l'absence d'éclairement lumineux. Ainsi un courant d'obscurité important limitera la détection de très faibles rayonnements dans l'infrarouge. 20 Plus le gap d'un matériau est élevé, moins il est probable que l'apparition d'un niveau d'énergie intermédiaire dans le matériau conduise à un franchissement spontané du gap par un électron. Il est donc avantageux que le gap du matériau à proximité des parois latérales 48 soit élevé. Dans le mode de réalisation de la figure 4, on propose que pour chaque plot 25 42, le gap de la couche utile soit élevé à proximité des parois latérales 48. Cet effet est obtenu par une concentration en cadmium plus élevée à proximité des parois latérales 48, en comparaison avec la concentration en cadmium ailleurs dans la couche utile 40 et en particulier dans la première région dopée 44A. En effet, comme précisé précédemment, on a observé que dans un matériau en 3021807 16 Cdxl-Igi,Te, le gap dépend de la concentration en cadmium. Plus cette concentration est élevée, plus le gap est élevé. Avantageusement, la concentration en cadmium est plus élevée à proximité des parois latérales 48 et de la paroi supérieure 49 d'un plot, et la zone 5 présentant une concentration en cadmium élevée correspond à la deuxième zone dopée 43. On verra, dans la description faisant référence à la figure 6, qu'il s'agit en effet d'une configuration pouvant être réalisée de façon particulièrement aisée. On réalise ainsi une matrice 4 de photodiodes dans laquelle l'impact des 10 défauts liés à la gravure des mésas est minimisé et donc pour laquelle le courant d'obscurité est minimisé. On pourrait observer qu'il suffirait d'augmenter la concentration en cadmium dans toute la couche utile 40, pour obtenir ce même effet. Néanmoins, la longueur d'onde du rayonnement détecté serait modifiée et il ne serait par 15 exemple plus possible de détecter de très grandes longueurs d'onde, notamment dans l'infrarouge dit LWIR ou VLWIR. En effet, une photodiode ne permet de détecter que des longueurs d'onde dont l'énergie correspond sensiblement au gap du matériau de la zone de détection, située dans la base 45 de la couche utile. Un faible gap correspond à la 20 détection d'un rayonnement de grande longueur d'onde, et inversement. On conserve donc un faible gap dans la base 45, en particulier dans la première région dopée 44A, afin de pouvoir détecter de grandes longueurs d'onde. On réalise ainsi une matrice 4 de photodiodes présentant un courant d'obscurité réduit, et permettant de détecter de grandes longueurs d'ondes, par exemple des 25 longueurs d'onde MWIR ou LWIR. Par exemple, la première zone dopée 44 s'étend dans la base 45, dans une partie inférieure des plots et au centre des plots. Les deuxièmes zones dopées 43 s'étendent par exemple à partir de la paroi supérieure 49 et des parois latérales 48, sur une épaisseur de couche utile comprise entre 1 .tm et 2 gm. Les 3021807 17 deuxièmes zones dopées 43 présentent une concentration en cadmium correspondant par exemple à x=0,3 ou x=0,5 dans du CdxHgi,Te. A l'interface avec la première zone dopée 44, la concentration en cadmium diminue brutalement pour rejoindre une concentration définie par x=0,22. 5 Pour chaque photodiode, la zone de charge d'espace s'étend autour de la jonction PN, sur une partie de la deuxième zone dopée 43 et une partie de la première zone dopée 44. Des deuxièmes zones dopées 43, dopées P, peuvent être obtenues par dopage à l'arsenic. Elles présentent typiquement une densité de porteurs 10 majoritaires de l'ordre de 1018 atomes/cm3. La première zone dopée 44, dopée N, présente quant à elle, dans sa première région 44A, une densité de porteurs majoritaires typiquement de l'ordre de 8.1015 atomes/cm3. La zone de charge d'espace de chaque photodiode s'étend préférentiellement du côté le moins dopé, donc du côté de la première zone dopée 44. Néanmoins, le gap dans la 15 deuxième zone dopée 43 est suffisamment élevé par rapport au gap dans la première zone dopée 44, pour que l'on obtienne tout de même un gap moyen dans la zone de charge d'espace supérieur au gap dans la première zone dopée 44. Ainsi, le mode de réalisation illustré en figure 4 permet en outre 20 d'augmenter le gap moyen dans les zones de charge d'espace, tout en permettant la détection de grandes longueurs d'ondes, par exemple des longueurs d'onde MWIR ou LWIR. L'augmentation du gap moyen dans les zones de charge d'espace permet d'y limiter la création spontanée de porteurs minoritaires par phénomène de 25 génération-recombinaison. Ainsi, l'augmentation du gap moyen dans les zones de charge d'espace contribue également à réduire le courant d'obscurité de la matrice de photodiodes selon l'invention. On remarque que la différence de gap entre une deuxième zone dopée 43 et la première zone dopée 44, due à la différence de concentration en cadmium, 3021807 18 n'est pas suffisante pour créer une barrière de potentiel qui empêcherait les porteurs minoritaires formés dans la base 45 d'atteindre la jonction PN. Cet effet est atteint sans qu'il soit nécessaire de prendre des précautions particulières. 5 On va maintenant décrire un exemple de procédé de fabrication d'une matrice de photodiodes selon l'invention. Dans une étape 500, on grave une couche utile 50 en CdxHgi_xTe, pour former des plots 52 dits mésa. La gravure conserve une épaisseur de couche utile nommée « base » 55, qui forme un socle commun pour les plots 52. A chaque 10 plot correspondra une photodiode, une photodiode étant définie par une jonction PN, et éventuellement des connecteurs métalliques pour polariser cette jonction. L'étape 500 est une étape classique de gravure d'une photodiode mésa, et ne sera donc pas décrite plus avant. Cette gravure peut être une gravure humide ou une gravure sèche. 15 Au cours d'une étape 501, on réalise une jonction PN sur chacun des plots 52. Cette jonction PN correspond à une interface entre une première zone 54 dopée N ou P, et une deuxième zone 53 dopée P ou N. On peut prévoir de réaliser cette jonction selon l'une des nombreuses techniques connues. 20 Par exemple, on réalise des deuxièmes zones 53 dopées P au sein d'un matériau dopé N, par implantation ionique d'un dopant P (dopant accepteur) dans la couche utile 50. Par exemple, on implante de l'arsenic, avec une énergie d'implantation de 300 keV et une dose de 8.1015 atomes/cm2. On réalise ensuite un recuit adapté à environ 400°C pour activer le dopant P. Ce recuit crée des 25 lacunes de mercure dans toute la couche utile 50. On obtient donc une deuxième zone 53 fortement dopée P (grâce à l'implantation d'arsenic) et une première zone 54 faiblement dopée P (à cause des lacunes de mercure). On réalise ensuite un recuit adapté à environ 220°C pour combler les lacunes de mercure. La première zone 54 faiblement dopée P devient dopée N. 3021807 19 En variante, on pourra réaliser une deuxième zone 53 fortement dopée N dans un matériau dopé P. Pour cela, on réalise un recuit pour ajuster le niveau de lacunes de mercure, de façon à doper P la couche. Ensuite, on implante un élément dopant N dans la couche utile 50, par exemple du bore de l'indium ou 5 autre, pour former les deuxièmes zones dopées 53. On pourra également prévoir de mettre en oeuvre l'étape 500 après l'étape 501 de création d'une jonction PN. Dans ce cas, la création d'au moins une jonction PN met en oeuvre un simple dépôt de deux couches de natures différentes. Par exemple, on dépose au-dessus d'une couche en Cd, REVENDICATIONS1. Matrice (2 ; 3 ; 4) d'au moins deux photodiodes comprenant une couche utile (20 ; 30 ; 40 ; 50 ; 60 ; 70) consistant en un alliage semi-conducteur de cadmium, mercure et tellure de type CdxHgi_xTe, la couche utile présentant : une base (25 ; 35 ; 45 ; 55) et des plots (22 ; 32 ; 42 ; 52 ; 62 ; 72), la base formant un socle commun pour les plots, et chaque plot correspondant à une photodiode, la couche utile comprenant : une première zone dopée (24 ; 34 ; 44 ; 54 ; 64) présentant un premier dopage N ou P, s'étendant au moins dans ladite base ; et - pour chaque plot (22 ; 32 ; 42 ; 52 ; 62 ; 72), une deuxième zone dopée (23 ; 33 ; 43 ; 53 ; 63 ; 73) présentant un deuxième dopage P ou N de nature différente de celle du premier dopage, s'étendant au moins sur une région supérieure dudit plot, du côté du plot opposé à la base ; caractérisée en ce que la première zone dopée (24 ; 34 ; 44 ; 54 ; 64) comprend : au moins une première région (24A ; 34A ; 44A ; 54A ; 64A ; 74A) présentant une première densité de dopage, située au moins sous chacun desdits plots ; et au moins une deuxième région (24B ; 34B ; 44B ; 54B ; 64B ; 74B), située entre deux plots voisins, et présentant une deuxième densité de dopage supérieure à la première densité de dopage. 2. Matrice (2 ; 3 ; 4) selon la revendication 1, caractérisée en ce que la deuxième densité de dopage est au moins deux fois supérieure à la première densité de dopage. 3021807 27 3. Matrice (2 ; 3 ; 4) selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que la deuxième densité de dopage est au moins dix fois supérieure à la première densité de dopage. 5 4. Matrice (2 ; 3 ; 4) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que chaque deuxième région (24B ; 34B ; 44B ; 54B ; 64B ; 74B) est séparée de la deuxième zone dopée (23 ; 33 ; 43 ; 53 ; 63 ; 73) la plus proche par au moins une portion de la première région (24A ; 34A ; 44A ; 54A ; 64A ; 74A). 10 5. Matrice (2 ; 3 ; 4) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que chaque deuxième région (24B ; 34B ; 44B ; 54B ; 64B ; 74A) s'étend depuis une face supérieure (26A ; 36A ; 46A) de la couche utile, la face supérieure de la couche utile étant la face recevant les plots. 15 6. Matrice (3) selon la revendication 5, caractérisée en ce qu'au moins une deuxième région (34B) s'étend jusqu'à une face inférieure (36B) de la couche utile, du côté opposé aux plots. 20 7. Matrice (2 ; 3 ; 4) selon la revendication 5 ou 6, caractérisée en ce qu'au moins une deuxième région (24B ; 34B ; 44B ; 54B ; 64B ; 74B) s'étend entre deux plots (22 ; 32 ; 42 ; 52 ; 62 ; 72) voisins et sur au moins une portion des surfaces latérales (28 ; 38 ; 48 ; 58) desdits deux plots voisins. 25 8. Matrice (2 ; 3 ; 4) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que la première zone dopée (24 ; 34 ; 44 ; 54 ; 64) est dopée N et les deuxièmes zones dopées (23 ; 33 ; 43 ; 53 ; 63) sont dopées P. 3021807 28 9. Matrice (4) selon la revendication 8, caractérisée en ce que chaque deuxième zone dopée (43 ; 63) s'étend en outre sur les parois latérales (48 ; 68) d'un plot, et présente une concentration en cadmium supérieure à la concentration en cadmium dans la première zone dopée (44 ; 64). 5 10. Matrice (2 ; 3 ; 4) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que la première zone dopée (24 ; 34) est dopée P et les deuxièmes zones dopées (23 ; 33 ; 73) sont dopées N, et l'au moins une deuxième région (24B ; 34B ; 74B) présente une concentration en cadmium supérieure à la 10 concentration en cadmium dans la première région (24A ; 34A ; 74A). 11. Procédé de fabrication d'une matrice d'au moins deux photodiodes comprenant les étapes suivantes : gravure (500 ; 600, 700), dans une couche utile (50 ; 60 ; 70) consistant en 15 un alliage semi-conducteur de cadmium, mercure et tellure de type CdxHgi_ Je, d'au moins deux plots (52 ; 62 ; 72) associés chacun à une photodiode, la gravure conservant une épaisseur de couche utile, dite base (55), formant un socle commun pour les plots ; création (501 ; 601 ; 704) d'au moins une jonction PN, de sorte que la 20 couche utile présente : une première zone dopée (54 ; 64) présentant un premier dopage N ou P, s'étendant au moins dans ladite base ; et - pour chaque plot (52 ; 62 ; 72), une deuxième zone dopée (53 ; 63 ; 73) présentant un deuxième dopage P ou N de nature différente de celle du 25 premier dopage, s'étendant au moins sur une région supérieure dudit plot, du côté du plot opposé à la base ; caractérisée en ce qu'il comprend une étape supplémentaire de dopage (502 ; 604 ; 701) réalisée par implantation ionique entre deux plots (52 ; 62 ; 72), et de façon à former : 3021807 29 - au moins une première région (54A; 64A; 74A) présentant une première densité de dopage, située au moins sous chacun desdits plots (52 ; 62 ; 72) ; et - au moins une deuxième région (54B ; 64B ; 74B) située entre deux 5 plots voisins, et présentant une deuxième densité de dopage, supérieure à la première densité de dopage. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'étape (704) de création d'au moins une jonction PN met en oeuvre une implantation ionique 10 d'un dopant donneur, en ce que l'étape supplémentaire de dopage (701) met en oeuvre une implantation ionique d'un dopant accepteur, et en ce qu'il comprend en outre les étapes suivantes : - dépôt (702), sur la couche utile, d'une couche, dite couche de réservoir (730), présentant une concentration en cadmium supérieure à celle de 15 la couche utile (70) ; - recuit (703) de la couche utile (70) recouverte de la couche de réservoir (730) réalisant une diffusion des atomes de cadmium de la couche de réservoir, depuis la couche de réservoir vers la couche utile. 20 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé par une étape de gravure d'une portion de la couche de réservoir (730) située au-dessus des plots (72), cette étape étant réalisée avant le recuit (703). 14. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'étape (601) de 25 création d'au moins une jonction PN met en oeuvre une implantation ionique d'un dopant accepteur sur les parois latérales (68) et la paroi supérieure (69) de chaque plot (62), et en ce qu'il comprend en outre les étapes suivantes : 3021807 - dépôt (602), sur la couche utile, d'une couche, dite couche de réservoir (630), présentant une concentration en cadmium supérieure à celle de la couche utile (60) ; - recuit (603) de la couche utile (60) recouverte de la couche de réservoir (630) réalisant une diffusion des atomes de cadmium de la couche de réservoir, depuis la couche de réservoir vers la couche utile.