Brevet FR3012639A1 — publié le 20150501

ARRIÈRE-PLAN DE L'INVENTION Domaine de l'invention [0001] La présente invention se rapporte à un appareil et à un procédé de calcul de forme pour calculer la forme d'une surface à mesurer, à un appareil de mesure, à un procédé de fabrication d'un article, et à un support de stockage. Description de l'État de l'Art [0002] Dans l'astronomie/l'observation spatiale, l'industrie des semi-conducteurs, ou autres analogues, il est de plus en plus nécessaire d'augmenter la taille d'un élément optique à utiliser de l'ordre de un à plusieurs mètres. L'augmentation de taille d'un appareil de mesure pour mesurer la forme de l'élément augmente la plage dynamique de mesure, diminuant ainsi la résolution de précision et augmentant le coût de l'appareil. Pour résoudre ce problème, une mesure dite mesure de maillage est globalement effectuée afin d'obtenir la forme globale en mesurant les formes d'une pluralité de zones partielles d'un objet à mesurer, et en combinant les données de forme de la pluralité de zones partielles. [0003] Le Brevet Japonais rendu public N° 2004-125768 divulgue une technique de mesure de maillage. Dans cette littérature, les données de forme de zones partielles sont obtenues, l'erreur d'orientation de chaque zone partielle et une erreur de système commune à toutes les zones partielles sont définies en tant que paramètres variables, et une fonction d'évaluation qui minimise la différence dans des zones de chevauchement des zones partielles respectives est définie. Des moindres carrés linéaires sont utilisés en tant que procédé de minimisation. Dans cet exemple, si six degrés de liberté de l'erreur d'orientation sont prévus à n zones partielles, des degrés de liberté, dont le nombre est égal à 6 puissance n, sont calculés. En général, dans la mesure d'interférence ou autre analogue, étant donné qu'il est impossible d'effectuer une mesure si les données elles-mêmes incluent une inclinaison, l'erreur d'inclinaison est très faible, et l'erreur d'orientation peut être approximative par calcul linéaire. [0004] La technique décrite dans le Brevet Japonais rendu public N° 2004-125768 est applicable à de telles données de mesure d'interférence et autres analogues. D'autre part, comme pour des données de mesure telles que des données de mesure d'un appareil de mesure de forme en trois dimensions pour lequel il est nécessaire d'effectuer un calcul non linéaire tel qu'une rotation de coordonnées pour corriger l'erreur d'orientation, si six degrés de liberté de l'erreur d'orientation sont prévus aux n zones partielles, le nombre de degrés de liberté à calculer est six puissance n. Dans ce cas, la quantité de calcul est énorme, et il est par conséquent difficile d'appliquer la technique de mesure pratique. [0005] Le Brevet Japonais rendu public N° 2009-294134 divulgue une autre technique de maillage. Dans cette littérature, la différence entre les données de forme d'une zone partielle et sa forme conçue est représentée par une fonction d'évaluation, et des paramètres sont déterminés de sorte que la fonction d'évaluation soit minimisée. Dans cet exemple, même si six degrés de liberté d'une erreur d'orientation sont prévus à n zones partielles, 6n degrés de liberté sont calculés. Même si un calcul non linéaire tel qu'une rotation de coordonnées est effectué comme décrit ci-dessus, il est possible de supprimer la charge de calcul de maillage. [0006] Dans chacune des littératures décrites ci- dessus, des erreurs incluses dans le résultat de mesure d'une zone partielle représentent seulement une erreur d'orientation et une erreur de système. Autrement dit, l'erreur d'orientation inclut des composantes de translation/de rotation du résultat de mesure, et l'erreur de système est commune à tous les résultats de mesure. En d'autres termes, dans la mesure des zones partielles, les données sont combinées sur l'hypothèse que seule l'orientation d'un élément optique change pour chaque opération de mesure et l'erreur de système provoquée par une valeur d'étalonnage d'appareil ou autres analogues est toujours constante pour toutes les opérations de mesure. [0007] Cependant, dans une mesure réelle, le résultat de mesure de chaque zone partielle inclut diverses erreurs de mesure en plus d'un changement d'orientation. Par exemple, si une mesure utilisant une lumière d'interférence est effectuée, le chemin optique de la lumière d'interférence change selon une variation de la température ou de la pression dans un environnement de mesure, ce qui entraîne une erreur dans la valeur de mesure. Également, si la distance relative entre la référence de mesure et un objet à mesurer change en raison de la déformation thermique de la structure d'appareil ou autres analogues, une erreur se produit dans la valeur de mesure. En variante, lorsqu'un objet à mesurer est maintenu sur un appareil de mesure, un changement de force de frottement à la position de maintien ou à un point de maintien déforme l'objet à mesurer, ce qui entraîne une erreur dans la valeur de mesure. [0008] Ces erreurs indiquent la différence entre des résultats de mesure respectifs lorsque la même zone 25 partielle est mesurée une pluralité de fois, et sont exprimées par ce qu'on appelle reproductibilité de mesure. [0009] Comme décrit ci-dessus, lorsqu'on effectue un calcul de maillage en utilisant les données de forme d'une zone partielle dont la reproductibilité de mesure de forme 30 est peu satisfaisante, les techniques classiques ne définissent seulement l'erreur d'orientation et l'erreur de système en tant que paramètres de calcul. Si la reproductibilité de mesure est faible, les données de forme des zones de chevauchement ne coïncident pas les unes avec 35 les autres. Par conséquent, lors de la combinaison des données de forme, la discontinuité des données de forme respectives au voisinage des zones de chevauchement devient particulièrement importante. Parallèlement à cela, en particulier à la position de liaison des zones partielles, une erreur de fréquence spatiale d'ordre supérieur telle qu'une forme de gradin ou une forme de bord devient importante. RÉSUMÉ DE L'INVENTION [0010] La présente invention résout le problème ci- dessus, et peut obtenir la forme globale à une plus grande précision en reliant des zones partielles respectives en tenant compte des erreurs de mesure en plus d'une erreur d'orientation et d'une erreur de système. [0011] Selon un aspect de la présente invention, un appareil de calcul de forme comprend une unité d'obtention configurée pour obtenir des données de mesure d'une première forme d'une première zone partielle sur une surface à mesurer, et pour obtenir des données de mesure d'une deuxième forme d'une deuxième zone partielle chevauchant partiellement la première zone partielle sur la surface à mesurer, une unité de détermination configurée pour déterminer une valeur d'un premier paramètre de correction de forme pour modifier la première forme afin de compenser une erreur de mesure incluse dans les données de mesure de la première forme et une valeur d'un deuxième paramètre de correction pour compenser une erreur de mesure incluse dans les données de mesure de la deuxième forme de sorte qu'une valeur d'une fonction d'évaluation qui a, comme variables, le premier paramètre de correction de forme et le deuxième paramètre de correction et qui évalue des données de forme obtenues par correction des données de mesure de la première forme par le premier paramètre de correction de forme et des données de forme obtenues par correction des données de mesure de la deuxième forme par le deuxième paramètre de correction, se trouve dans une plage de tolérance, et une unité de combinaison configurée pour générer des données de forme d'une zone entière comportant la première zone partielle et la deuxième zone partielle en corrigeant respectivement les données de mesure de la première forme et de la deuxième forme en utilisant les valeurs déterminées du premier paramètre de correction de forme et du deuxième paramètre de correction, et en combinant les données de forme corrigées. [0012] Des caractéristiques supplémentaires de la présente invention ressortiront de la description suivante d'exemples de réalisation (avec référence aux dessins annexés). BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS [0013] La figure 1 est une vue pour expliquer une technique classique de maillage ; [0014] la figure 2 est une vue pour expliquer un problème avec la technique classique de maillage ; [0015] la figure 3 est une vue pour expliquer une 15 technique de maillage selon le premier mode de réalisation ; [0016] la figure 4 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le deuxième mode de réalisation ; [0017] la figure 5 est une vue pour expliquer 20 l'interférence entre un paramètre d'erreur de système et un paramètre de correction de forme ; [0018] la figure 6 est une vue pour expliquer une erreur de mesure incluse dans chacune des données de mesure ; 25 [0019] la figure 7 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le troisième mode de réalisation ; [0020] la figure 8 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le quatrième mode de 30 réalisation ; [0021] la figure 9 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le cinquième mode de réalisation ; [0022] la figure 10 est une vue montrant le résultat 35 d'évaluation de précision de simulation selon le cinquième mode de réalisation ; [0023] la figure 11 est une vue montrant l'agencement d'un appareil de mesure de forme selon le mode de réalisation ; [0024] la figure 12 est un organigramme illustrant la technique classique de maillage ; [0025] la figure 13 est un organigramme illustrant la technique de maillage selon le premier mode de réalisation ; [0026] la figure 14 est un organigramme illustrant la 10 technique de maillage selon le troisième mode de réalisation ; [0027] la figure 15 est un organigramme illustrant la technique de maillage selon le quatrième mode de réalisation ; et 15 [0028] la figure 16 est un schéma de principe montrant l'agencement d'une unité de commande. DESCRIPTION DES MODES DE RÉALISATION [0029] Divers modes de réalisation exemplaires, caractéristiques, et aspects de l'invention seront décrits 20 en détail ci-après en référence aux dessins. [0030] Des modes de réalisation préférés de la présente invention seront décrits en détail ci-après en référence aux dessins joints. Il convient de noter que les modes de réalisation suivants ne sont pas destinés à 25 limiter la présente invention, et ne montrent que des exemples détaillés avantageux pour la mise en oeuvre de la présente invention. En outre, les combinaisons de caractéristiques décrites dans les modes de réalisation suivants ne sont pas toutes essentielles pour les moyens de résolution de la présente invention. 30 [0031] La figure 1 montre une technique classique de maillage. La figure 12 est un organigramme illustrant la technique classique de maillage. La technique classique de maillage est décrite, par exemple, dans le Brevet Japonais 35 rendu public N° 2004-125768. Par souci de simplicité, lors de la liaison des données de forme de deux zones partielles sur une surface à mesurer en utilisant des zones de mesure de chevauchement, en particulier une liaison au niveau d'une section arbitraire dans des données de mesure partielles sera expliquée. Il conviendra de noter qu'il sera entendu qu'il n'y a pas de différence essentiellement de la technique même lorsque les données de forme de trois zones partielles ou plus sont reliées. [0032] En référence à la figure 1, la montre la forme en coupe d'une surface A à mesurer d'un objet à mesurer. La surface A à mesurer comporte des coordonnées C servant de référence, et les axes X, Y et Z sont définis. Un appareil de mesure de forme servant d'appareil de calcul de forme selon la présente invention mesure la première zone partielle sur la surface A à mesurer, ce qui permet d'obtenir des données de la première forme de la première zone partielle (étapes Sl et S2 de la figure 12). L'appareil de mesure de forme mesure également la deuxième zone partielle sur la surface A à mesurer, qui chevauche partiellement la première zone partielle, ce qui permet d'obtenir des données de la deuxième forme de la deuxième zone partielle (étapes Sl et S2). En référence à la figure 1, lb montre les données des première et deuxième formes obtenues. Les données des première et deuxième formes sont mesurées de manière à avoir des zones de chevauchement partiel, et définies par Al et A2. Chacune de Al et de A2 est un ensemble de points de données ayant chacun des composantes d'axes X, Y et Z dans un système de coordonnées Cl ou C2 des données de forme de la zone partielle correspondante, données par : (1) (2) (4) En le sur la figure 1, une erreur d'orientation dans les données de forme obtenues est définie en utilisant un paramètre d'erreur d'orientation T (étape S3). Le paramètre d'erreur d'orientation T est formé à partir de sous-paramètres pour définir la rotation et la translation des données Al ou A2 tout en maintenant la forme. [0033] Plus spécifiquement, pour les données Al, les sous-paramètres d'un paramètre d'erreur d'orientation Tl sont 01, cp1 et *1 qui correspondent à des quantités de rotation par rapport aux axes X, Y, et Z, respectivement, et al, 131, et yl qui correspondent à des quantités de translation par rapport aux axes X, Y, et Z, respectivement. De même, pour les données A2, les sous-paramètres d'un paramètre d'erreur d'orientation T2 sont e2, p2, et *2 correspondant respectivement à des quantités de rotation, et a2, 132, et y2 correspondant respectivement à des quantités de translation. Les paramètres d'erreur d'orientation Tl et T2 sont définis comme des matrices de transformation de coordonnées données par : 25 30 [0034] Comme décrit dans le Brevet Japonais rendu public N° 2004-125768, comme pour des données de forme obtenues par un interféromètre pour lequel une rotation 35 autour de chaque axe peut être calculée par approximation linéaire, un calcul de rotation peut être mis en oeuvre par un calcul linéaire au lieu d'un calcul non linéaire. Autrement dit, dans les équations (5) et (6), cosy = 1 et sine = peuvent être établis. [0035] En ld sur la figure 1, une erreur de système commune aux données de forme obtenues Al et A2 est définie en utilisant un paramètre d'erreur de système, comme indiqué par une ligne en pointillé (étape S4). Afin d'obtenir une valeur à des coordonnées arbitraires dans les données Al et A2, un paramètre d'erreur de système S est défini de manière souhaitable comme une fonction S donnée par : 7) [0036] La fonction S peut renvoyer une valeur de coordonnée z pour des valeurs d'entrée arbitraires x et y, ou renvoyer des valeurs de coordonnées x', y' et z pour les valeurs d'entrée arbitraires x et y. Le premier cas correspond, par exemple, à une erreur de forme de la surface de référence de l'interféromètre. Le dernier cas correspond, par exemple, à un cas où une erreur dans la direction dans le plan, telle qu'une distorsion dans l'interféromètre, est incluse. [0037] L'utilisation de polynômes orthogonaux en tant que fonction dans une zone de mesure donnée facilite le calcul. Par conséquent, des polynômes orthogonaux sont adoptés de manière souhaitable comme étant la fonction S. Plus spécifiquement, des polynômes de Zernike, des polynômes XY orthogonalisés en utilisant le procédé d'orthogonalisation de Gram-Schmidt, et autres analogues sont prévus. [0038] Comme on le comprendra aisément, la fonction S n'a pas, de préférence, des composantes linéaires. Autrement, la fonction est approximativement égale au calcul de rotation décrit ci-dessus du paramètre d'erreur d'orientation, et le calcul d'optimisation ultérieur peut ne pas converger. [0039] Dans les polynômes de Zernike généralement utilisés, les premier au troisième termes sont des composantes linéaires, et sont, de préférence, supprimés. Dans une fonction autre que les polynômes de Zernike aussi, les composantes linéaires définies de la même manière sont, de préférence, supprimées. [0040] En le sur la figure 1, une fonction d'évaluation EF1 pour les étapes représentées en le et ld est créée (étape S5). Par exemple, la fonction d'évaluation EF1 est exprimée par : EF1 = Dans l'équation (8), - représente l'action d'un paramètre sur les données de forme. L'action inclut non seulement l'intégration des données et du paramètre, mais également l'addition et la soustraction. Autrement dit, après avoir amené le paramètre d'erreur d'orientation Tl et le paramètre d'erreur de système S à agir sur les données de forme Al et le paramètre d'erreur d'orientation T2 et le paramètre d'erreur de système S à agir sur les données de forme A2, la différence entre les valeurs obtenues est obtenue et élevée au carré. En d'autres termes, cette fonction d'évaluation est utilisée pour évaluer les données de forme obtenues en corrigeant les données de forme par les paramètres. Plus spécifiquement, la fonction d'évaluation EF1 correspond à la différence entre les valeurs de Z dans les zones de chevauchement des données de forme corrigées, comme le montre le de la figure 1, par exemple, en minimisant la fonction d'évaluation, l'intégrité entre les données de forme devient élevée. Cela signifie qu'une solution de maillage optimale est obtenue. [0041] Il convient de noter qu'étant donné que les coordonnées X et Y dans les données de forme Al et A2 ne coïncident pas essentiellement l'une avec l'autre dans les zones de chevauchement des données, il est de pratique courante d'interpoler ces données, de calculer les valeurs de Z à des coordonnées arbitraires X et Y, et d'obtenir la différence entre les valeurs de Z. En tant que système de coordonnées à ce moment, un système de coordonnées global C indépendant de chaque résultat de mesure peut être défini, ou l'un des systèmes de coordonnées Cl et C2 des résultats de mesure respectifs peut être utilisé. [0042] En lf sur la figure 1, la fonction d'évaluation EF1 décrite ci-dessus est minimisée. On suppose que la valeur de chaque paramètre représenté en le et ld peut être modifiée de manière à minimiser la fonction d'évaluation EF1. Dans cette étape, si un calcul linéaire est effectué, il est possible d'obtenir uniquement la solution de chaque paramètre par des moindres carrés linéaires (étape S6). Même si le calcul non linéaire est nécessaire, il est possible de déterminer chaque paramètre par des moindres carrés non linéaires ou une solution utilisant une décomposition en valeurs singulières. [0043] En lg sur la figure 1, des données AS (données de forme de maillage) d'une forme de surface obtenue en reliant les zones partielles respectives sont calculées sur la base des paramètres respectifs déterminés par concaténation (combinaison) des données de forme de la première zone partielle et celles de la deuxième zone partielle (étape S7). À ce moment, après correction de chacune des données de forme Al et A2 en utilisant les paramètres de correction T et S, des données de mesure de maillage interpolées à partir des données de forme respectives sont créées sur le système de coordonnées C incluant les données respectives. [0044] Selon la technique classique de maillage susmentionnée, il est possible de concaténer les données de forme d'une pluralité de zones, ce qui permet d'obtenir les données de forme d'une zone plus grande. [0045] Dans la technique classique de maillage montrée dans la figure 1, cependant, il est nécessaire que chacune des données de forme ne comporte aucune erreur indépendante autre qu'une erreur de système. La figure 2 montre un cas où chacune des données de première forme Al' et des données de deuxième forme A2' mesurées en divisant la surface A à mesurer inclut une erreur indépendante. Les données obtenues représentées en 2a sur la figure 2 incluent des erreurs de mesure ul et u2 représentées en 2b, respectivement. Ces données sont exprimées par : = Az [0046] Ces erreurs de mesure ul et u2 sont considérées comme se produisant par les facteurs suivants : - une variation de la température dans l'environnement de mesure dans lequel une mesure est en cours, - la déformation d'une structure d'appareil en raison d'une variation du poids équilibre provoquée par un changement de la position de l'objet à mesurer sur l'appareil de mesure, - une vibration de l'objet à mesurer, - une variation de la déformation par son propre poids en raison d'un changement de la position de support de l'objet à mesurer, et - une déformation provoquée par un changement de la force de frottement à un point de support de l'objet à mesurer. [0047] Si l'étape de maillage est avancée de façon similaire à la figure 1, lors de la minimisation d'une fonction d'évaluation EF2 en 2f sur la figure 2, la minimisation est effectuée tout en incluant les erreurs de mesure. Autrement dit, dans des conditions défavorables où il est impossible de concaténer les données de mesure respectives sans aucune erreur en raison des erreurs de mesure, les paramètres d'erreur d'orientation et le paramètre d'erreur de système sont calculés. 15 20 25 30 35 [0048] Plus spécifiquement, des données de forme de maillage AS' représentées en 2g sur la figure 2 incluent un certain nombre d'erreurs par rapport à la surface originale A à mesurer qui est représentée en 2a. En tant que caractéristiques des erreurs, la discontinuité au niveau des parties de bord des données de mesure respectives incluant les erreurs de mesure u apparaît clairement, et une erreur en forme de gradin est générée dans un résultat de maillage. [0049] Une technique de maillage selon ce mode de réalisation sera décrite en référence aux figures 3 et 13. La figure 3 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le premier mode de réalisation. La figure 13 est un organigramme illustrant la technique de maillage selon le premier mode de réalisation. Selon la technique de maillage de ce mode de réalisation, le problème avec la technique classique de maillage montrée dans la figure 2 est résolu de manière satisfaisante. Des processus dans les étapes Sll à S14 sont les mêmes que ceux dans les étapes S1 à S4 de la technique de maillage. [0050] Les données de première forme Al' et les données de deuxième forme A2' obtenues qui sont représentées en 3a sur la figure 3 incluent des erreurs de mesure ul et u2, respectivement, comme indiqué par les équations (9) et (10). En 3d sur la figure 3, en tant que paramètres fournis à chaque surface unique, un premier paramètre de correction Pl et un deuxième paramètre de correction P2 sont exprimés par des lignes en tireté avec un seul point, en plus d'un paramètre d'erreur d'orientation T et d'un paramètre d'erreur de système S (étape S15). Il convient de noter que les premier et deuxième paramètres de correction sont, par exemple, des paramètres pour changer les formes mesurées afin de compenser des erreurs de mesure. Plus spécifiquement, le premier paramètre de correction de forme est un paramètre pour changer la première forme afin de compenser l'erreur de mesure incluse dans la première forme mesurée dans la première zone partielle. Le deuxième paramètre de correction de forme est différent du premier paramètre de correction de forme, et est un paramètre pour changer la deuxième forme afin de compenser l'erreur de mesure incluse dans la deuxième forme mesurée dans la deuxième zone partielle. Les premier et deuxième paramètres de correction de forme sont exprimés par des fonctions données par : P1 = . (11) = Y2) (12) [0051] Il convient de noter que chacune des fonctions Pl et P2 peut renvoyer une valeur de coordonnée z pour des valeurs d'entrée arbitraires x et y, ou renvoyer des valeurs de coordonnées x', y' et z pour les valeurs d'entrée arbitraires x et y. Le premier cas correspond, par exemple, à une erreur de forme de la surface de référence de l'interféromètre. Le dernier cas correspond, par exemple, à un cas où une erreur dans la direction dans le plan telle qu'une distorsion dans l'interféromètre est incluse. [0052] L'utilisation de polynômes orthogonaux en tant que fonction dans une zone de mesure donnée facilite le calcul. Par conséquent, des polynômes orthogonaux sont adoptés, de préférence, en tant que fonction P. Plus spécifiquement, des polynômes de Zernike, des polynômes XY orthogonalisés en utilisant le procédé d'orthogonalisation de Gram-Schmidt, et autres analogues sont prévus. [0053] L'utilisation des paramètres de correction de forme rend possible la correction individuelle des erreurs de mesure respectivement incluses dans les données de forme Al' et A2', systématiquement. En conséquence, une fonction d'évaluation EF3 représentée en 3e sur la figure 3 est définie (étape S16) par : EF3 = (Alti! Pi ~ Ti - A u2 " P T s . (13) [0054] La fonction d'évaluation EF3 ci-dessus, est l'erreur pondérée élevée au carré des données de première forme Al et des données de deuxième forme A2. Il sera entendu que le poids des données de première forme Al inclut le premier paramètre de correction de forme Pl et le poids des données de deuxième forme A2 inclut le deuxième paramètre de correction de forme P2. À l'étape d'optimisation, les paramètres de correction de forme Pl et P2 comme variables peuvent être respectivement réglés pour satisfaire des fonctions données par : ul Pl -1 . (14) = = I (15) [0055] Tel que décrit ci-dessus, dans l'équation (13), - représente l'action d'un paramètre sur les données de forme. L'action inclut non seulement l'intégration des données et du paramètre mais également l'addition et la soustraction. Il est par conséquent possible de résoudre l'équation (13), de manière similaire à l'équation (8). Comme un point important, à l'étape d'optimisation, il est possible de déterminer simultanément tous les paramètres. [0056] En 3f sur la figure 3, chaque paramètre est déterminé de sorte que la valeur de la fonction d'évaluation EF3 décrite ci-dessus soit inférieure ou égale à une valeur de tolérance (étape S17). Par exemple, la valeur de chaque paramètre peut être modifiée afin de minimiser la fonction d'évaluation EF3. À cette étape, si un calcul linéaire est effectué, il est possible d'obtenir uniquement la solution de chaque paramètre par des moindres carrés linéaires. Même si un calcul non linéaire est nécessaire, il est possible de déterminer chaque paramètre par des moindres carrés non linéaires ou une solution utilisant une décomposition en valeurs singulières. [0057] En 3g sur la figure 3, des données de forme de 35 maillage AS' sont calculées sur la base des paramètres déterminés respectifs (étape S18). À ce moment, chacune des données de forme est corrigée en utilisant les paramètres déterminés respectifs, et les données de forme corrigées sont combinées, ce qui permet de générer des données de forme globale représentant la forme de la zone entière incluant les première et deuxième zones partielles. Plus spécifiquement, par exemple, chacune des données de forme Al' et A2' est corrigée par les paramètres de correction T, S, et P. Ensuite, des données de forme de maillage interpolées à partir des données de forme respectives sont créées sur le système de coordonnées C incluant les données respectives. [0058] Selon la technique de maillage décrite ci- dessus de ce mode de réalisation, même si les données de forme des zones partielles respectives incluent différentes erreurs de mesure, il est possible de concaténer de manière satisfaisante les données de forme de la pluralité de zones, et d'obtenir les données d'une zone plus grande à une précision élevée. [0059] La figure 4 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le deuxième mode de réalisation. La figure 4 montre un cas dans lequel les paramètres de correction de forme du premier mode de réalisation sont particulièrement appliqués à la technique de maillage décrite dans le Brevet Japonais rendu public No. 2009-294134. En se référant à la figure 4, 4d et 4e représentent l'étape de réglage de paramètres décrite dans le Brevet Japonais rendu public No 2009-294134, où des données de forme de conception D d'une surface à mesurer indiquée par une ligne en tireté avec un seul point et un paramètre de forme globale G indiqué par une ligne en tireté avec deux points sont réglés. Bien que les données de forme de conception D soient exprimées par une forme planaire par souci de simplicité dans ce mode de réalisation, elle peut être une surface sphérique arbitraire, une surface non-sphérique, ou une surface de forme libre. [0060] Pour obtenir une valeur à des coordonnées arbitraires dans Al" et A2", le paramètre de forme globale G est défini, de préférence, par une fonction G donnée par : XI y) [0061] La fonction G renvoie une valeur de coordonnée z pour des valeurs d'entrée arbitraires x et y, et représente une forme d'erreur approximative dans une zone entière A" incluant les première et deuxième zones partielles. Avec ce paramètre, lorsque la zone A" a réellement une forme incluant une erreur, il est possible de soustraire le paramètre de forme globale G des données de mesure en exprimant la forme par le résultat de l'addition d'une fonction continue avec une valeur de conception. En conséquence, les données de mesure à traiter ont une étroite plage dynamique par rapport au calcul de maillage, ce qui réduit la charge de calcul. [0062] L'utilisation de polynômes orthogonaux en tant que fonction dans une zone de mesure donnée facilite le calcul. Par conséquent, des polynômes orthogonaux sont adoptés, de préférence, en tant que fonction G. Plus spécifiquement, des polynômes de Zernike, des polynômes XY orthogonalisés en utilisant le procédé d'orthogonalisation de Gram-Schmidt, et autres analogues sont prévus. [0063] Comme il sera aisément entendu, la fonction G ne possède pas, de préférence, de composantes linéaires. Autrement, la fonction est approximativement égale au calcul de rotation du paramètre d'erreur d'orientation décrit ci-dessus, et un calcul d'optimisation ultérieur peut ne pas converger. [0064] Dans ce mode de réalisation aussi, comme représenté en 4f sur la figure 4, des paramètres de correction de forme Pl et P2 sont définis. [0065] En 4g sur la figure 4, une fonction d'évaluation EF4 est définie par : EF4 = D G - A; u= La fonction d'évaluation EF4 ci-dessus est l'erreur pondérée élevée au carré des données de forme de conception de la zone entière et des données de première et deuxième formes. Il sera entendu que le poids des données de forme de conception D inclut le paramètre de forme globale G et les poids des données de première forme Al et des données de deuxième forme A2 incluent le premier paramètre de correction de forme Pl et le deuxième paramètre de correction de forme P2, respectivement. La fonction d'évaluation EF4 est destinée à minimiser l'écart de chacune des données de forme par rapport à la forme de conception de la surface à mesurer. Autrement dit, le résultat de l'addition d'une erreur par le paramètre de forme globale G avec les données de forme de conception D est défini comme référence, et la différence entre la référence et le résultat de correction de données de mesure Ai" par les paramètres de correction respectifs P, T, et S est obtenue. Ce traitement est effectué pour chacune des données de forme, et les paramètres qui minimisent la fonction d'évaluation EF4 sont finalement déterminés. Chaque paramètre peut être obtenu par des moindres carrés linéaires ou par des moindres carrés non linéaires. [0066] À ce moment, même si chacune des données de mesure inclut une erreur de mesure u, il est possible de corriger l'erreur de mesure en utilisant le paramètre de correction de forme P. [0067] En se référant à la figure 4, 4h représente des données de forme de maillage AS" calculées sur la base des paramètres déterminés respectifs. Dans cet exemple, le résultat de maillage est exprimé par la somme des données de forme de conception D et la forme globale G, et une erreur peut être rendue très faible. [0068] Selon la technique de maillage décrite ci- dessus de ce mode de réalisation, même si les données de forme des zones partielles respectives incluent différentes erreurs de mesure par rapport aux formes de conception, il est possible de concaténer de manière satisfaisante les données de forme de la pluralité de zones, et d'obtenir des données de forme d'une zone plus grande à une précision élevée. [0069] Il convient de noter que dans ce mode de réalisation, un exemple de calcul de maillage en utilisant un paramètre d'erreur d'orientation et un paramètre d'erreur de système en plus des paramètres de correction de forme a été expliqué. En effet, cependant, le mode de réalisation peut avoir une caractéristique dans laquelle seulement des paramètres incluant au moins les paramètres de correction de forme sont réglés. Cela indique, par exemple, le cas où une erreur de système ou une erreur d'orientation peut être corrigée de manière précise et une erreur se produit uniquement dans une forme partielle. [0070] Le mode de réalisation décrit ci-dessus suppose que les paramètres réglés n'interfèrent pas les uns avec les autres. Autrement dit, si le paramètre d'erreur d'orientation, le paramètre d'erreur de système, le paramètre de forme globale, et les paramètres de correction de forme sont indépendants les uns des autres, il est possible de chercher globalement la valeur minimale de la fonction d'évaluation EF. [0071] En variante, si ces paramètres dépendent les uns des autres, les paramètres interfèrent les uns avec les autres au moment de la minimisation de la fonction d'évaluation EF. En conséquence, une valeur minimale locale est trouvée ou la fonction d'évaluation ne converge pas. [0072] Un exemple sera décrit en référence à la figure 5. La figure 5 qui montre le cas où un paramètre d'erreur de système S et le paramètre de correction de forme P interfèrent l'un avec l'autre. Si le paramètre d'erreur de système S dépend du paramètre de correction de forme Pl dans la zone partielle Al, la relation entre les paramètres est exprimée par : = = C9Pi [0073] Autrement dit, une équation ayant S et P est incertaine, et il est impossible de déterminer si la forme cible inclut une erreur de système ou si elle est vraiment une forme existante. La figure 5 montre le cas où une erreur exprimée par une courbure est incluse. Pour la forme de la zone de mesure A, même si un paramètre d'erreur de système arbitraire est présenté par Sl, le paramètre de correction de forme nécessite seulement d'être réglé à Pll de manière à satisfaire l'équation (18). Si le paramètre d'erreur de système est défini par S2, le paramètre de correction de forme nécessite seulement d'être réglé à P12. Par conséquent, des paramètres à obtenir ne sont pas déterminés de façon unique. [0074] Dans ce cas, le problème peut être résolu par la sélection de paramètres devant être indépendants les uns des autres de sorte que les paramètres n'interfèrent pas ou interfèrent approximativement les uns avec les autres. [0075] La figure 6 montre le cas où la propriété de l'erreur de mesure u est examinée. La manière avec laquelle le facteur de l'erreur de mesure décrit ci-dessus influence chacune des données de mesure est examinée en détail. Lorsque, par exemple, un objet à mesurer est sollicité par l'influence de l'état de support sur l'appareil, la forme de l'objet est déformée en une forme convexe ayant une faible fréquence spatiale, comme l'indique ull. En variante, lorsque la température de l'objet à mesurer sur l'appareil diminue, l'objet global se rétracte pour être déformé en une forme ayant une faible fréquence spatiale, comme l'indique u12. [0076] Lorsque la forme déformée est exprimée par des polynômes de Zernike généraux, la forme (forme d'ordre inférieur) des quatrième au neuvième termes de Zernike domine souvent la forme déformée. En d'autres termes, les quatrième à la neuvième composantes de terme de Zernike sont réglées de façon appropriée comme étant les paramètres de correction de forme dans ce cas. [0077] La figure 7 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le troisième mode de réalisation. La figure 14 est un organigramme illustrant la technique de maillage selon le troisième mode de réalisation. Les processus dans les étapes S21 à S23 sont les mêmes que ceux dans les étapes Sll à S13. En 7a sur la figure 7, une fonction S utilisée en tant que paramètre d'erreur de système est réglée par l'exclusion des composantes d'ordre inférieur (étape S24). D'autre part, en 7b sur la figure 7, des fonctions Pl et P2 utilisées en tant que paramètres de correction de forme sont réglées pour avoir seulement des composantes d'ordre inférieur (étape S25). Les processus dans les étapes S26 à S28 sont les mêmes que ceux dans les étapes S16 à S18. En conséquence, en 7c sur la figure 7, lors de la minimisation d'une fonction d'évaluation EF7, il est possible d'empêcher une interférence entre les paramètres, ce qui permet d'obtenir un résultat de mesure avec une connectivité élevée. [0078] La figure 8 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le quatrième mode de réalisation. En 8a sur la figure 8, une fonction G utilisée en tant que paramètre de forme globale est réglée par l'exclusion des composantes d'ordre inférieur. D'autre part, en 8b sur la figure 8, des fonctions Pl et P2 utilisées en tant que paramètres de correction de forme sont réglées pour avoir seulement des composantes d'ordre inférieur. En conséquence, en 8c sur la figure 8, lors de la minimisation d'une fonction d'évaluation EF8, il est possible d'empêcher une interférence entre les paramètres, ce qui permet d'obtenir un résultat de mesure avec une connectivité élevée. [0079] Dans les modes de réalisation décrits ci- dessus, il est possible de réduire la discontinuité des zones partielles respectives par la correction des erreurs de mesure en utilisant les paramètres de correction de forme. Cependant, si la surface à mesurer a réellement une forme d'erreur, et les paramètres de correction de forme agissent en incluant la forme d'erreur, la forme d'erreur réelle peut être corrigée de manière non souhaitable. Autrement dit, un résultat de mesure avec une erreur inférieure à l'erreur réelle est obtenue de manière non souhaitable. Dépendamment d'une fonction d'évaluation, la forme d'erreur réelle ne peut pas être uniquement déterminée, et peut diverger. Cela signifie que la surface à mesurer ne peut pas être mesurée avec précision, ce qui entraîne un problème de mesure. [0080] Pour résoudre ce problème, une description sera fournie en référence à la figure 9. La figure 9 est une vue pour expliquer une technique de maillage selon le cinquième mode de réalisation. La figure 15 est un organigramme illustrant la technique de maillage selon le cinquième mode de réalisation. Les processus dans les étapes S31 à S34 sont les mêmes que ceux dans les étapes Sll à S14. Une forme de surface A incluant des formes d'ordre supérieur et d'ordre inférieur représentées en 9a sur la figure 9, est mesurée, ce qui permet d'obtenir les données de mesure de forme de chacune des zones partielles Al et A2 représentées en 9b sur la figure 9. [0081] Un résultat classique de maillage, obtenu en utilisant un paramètre d'erreur d'orientation et un paramètre d'erreur de système comme dans les étapes 5361, S371, et 5381, de manière similaire aux étapes S5 à S7, est tel que représenté en 9c sur la figure 9, et inclut un certain nombre d'erreurs de composantes de forme d'ordre supérieur (étape S381). En se référant à la figure 9, 9d et 9e sont des graphes obtenus en séparant de manière indépendante le résultat de maillage en composantes de fréquence spatiale d'ordre inférieur et d'ordre supérieur. Bien que la forme d'ordre inférieur est calculée à une précision suffisamment élevée, la forme d'ordre supérieur inclut une erreur apparente provoquée par le maillage. [0082] D'autre part, 9f sur la figure 9 représente un résultat de maillage calculé en incluant des paramètres de 10 correction de forme dans une fonction d'évaluation comme dans les étapes S35, 5362, 5372, et 5382, de manière similaire aux étapes S15 à S18. Suite à la correction des composantes de forme d'ordre inférieur de la forme de surface A par les paramètres de correction de forme, la 15 forme d'ordre inférieur elle-même est perdue dans une forme de surface A' en tant que résultat de combinaison. En se référant à la figure 9, 9g et 9h sont des graphes obtenus en séparant de manière indépendante le résultat de combinaison en composantes de fréquence spatiale d'ordre 20 supérieur et d'ordre inférieur. Bien que la forme d'ordre inférieur est perdue de manière apparente, la forme d'ordre supérieur est reproduite à une précision suffisamment élevée. [0083] Dans ce mode de réalisation, en 9i sur la 25 figure 9, les composantes de forme d'ordre inférieur représentées en 9d et les composantes de forme d'ordre supérieur représentées en 9h sont extraites (étapes 5391 et S392), et combinées en une forme de surface A" (étape S40). Il est souhaitable que les composantes de forme d'ordre 30 inférieur et d'ordre supérieur soient indépendantes les unes des autres, et incluent toutes les zones de fréquence spatiale. Il est apparent qu'un calcul spécifique quelconque n'est pas nécessaire étant donné que les composantes indépendantes sont additionnées pour combiner 35 les zones de fréquence spatiale respectives. [0084] Le traitement de commande ci-dessus sera résumé. Telles que décrites ci-dessus, des données de forme globale sont générées en utilisant la fonction d'évaluation indiquée par l'équation (13) ou (17) (étapes S35 à S382). Ensuite, des composantes de fréquence spatiale d'ordre supérieur H des données de forme globale sont générées (9h sur la figure 9 et étape S392). Au lieu de la fonction d'évaluation indiquée par l'équation (13) ou (17), une fonction classique d'évaluation (deuxième fonction d'évaluation) sans aucun paramètre de correction de forme est utilisée (étape S361). Par la suite, les composantes de fréquence spatiale d'ordre inférieur L des données de forme globale ainsi obtenues sont générées (9d sur la figure 9 et étapes 5371 à S391). Les données de forme globale sont générées en combinant les composantes de fréquence spatiale d'ordre supérieur H et les composantes de fréquence spatiale d'ordre inférieur L (9i sur la figure 9 et étape S40). [0085] Selon le mode de réalisation, tout en maintenant l'avantage du premier mode de réalisation selon lequel il est difficile pour une opération de combinaison de provoquer une erreur de composante d'ordre supérieur, il est possible d'éviter, en utilisant le procédé classique, l'inconvénient selon lequel les composantes de forme d'ordre inférieur incluent une erreur qui dépend d'une fonction d'évaluation sélectionnée. [0086] Il convient de noter que, dans ce mode de réalisation, le procédé de détermination de paramètres décrit ci-dessus est divisé en deux modèles. Le nombre de modèles n'est pas limité à deux. Il sera aisément entendu que plusieurs modèles peuvent être utilisés en fonction d'une cible de mesure. [0087] La figure 10 montre le résultat de la simulation effectuée pour un résultat de combinaison réel 35 obtenu lorsque le cinquième mode de réalisation est appliqué. Un objet hexagonal à mesurer, qui est montré en 10a sur la figure 10, est divisé en six zones partielles et les zones partielles respectives sont combinées. À ce moment, les erreurs de forme d'ordre inférieur correspondant aux quatrième à neuvième composantes de terme de Zernike représentées en 10b, sont ajoutées de manière aléatoire aux zones respectives comme des erreurs de mesure. Les données de zone partielle sont combinées, et la différence de forme de surface entre le résultat de combinaison et l'objet représenté en 10a est évaluée. La différence de forme de surface est une erreur de combinaison provoquée par le maillage, et est de préférence plus petite. [0088] Un résultat de combinaison obtenu sans utiliser aucun paramètre de correction de forme est représenté en 10c et 10d. Les composantes d'ordre inférieur (quatrième à neuvième composantes de terme de Zernike) sont de 5,7 nm RMS tandis que les composantes d'ordre supérieur (10ième composante de terme de Zernike et composantes de termes suivantes) sont de 19 nm RMS. D'autre part, 10e et 10f représentent un résultat de combinaison obtenu en utilisant les quatrième à neuvième termes de Zernike en tant que paramètres de forme partielle. Les composantes d'ordre inférieur sont de 48 nm RMS, et les composantes d'ordre supérieur sont de 2,9 nm RMS. [0089] À partir de ce résultat de simulation, pour les composantes d'ordre inférieur, le rapport d'une erreur lorsqu'aucun paramètre de correction de forme n'est utilisé à celle lorsque les paramètres de correction de forme sont utilisés, est d'environ 1:0,12. Par conséquent, il est plus avantageux de ne pas utiliser les paramètres de correction de forme. D'autre part, pour les composantes d'ordre supérieur, le rapport d'une erreur lorsqu'aucun paramètre de correction de forme n'est utilisé à celle lorsque les paramètres de correction de forme sont utilisés, est d'environ 1:0,15. En conséquence, il est plus avantageux d'utiliser les paramètres de correction de forme. [0090] Dans cette simulation, les composantes d'ordre inférieur sont définies par les quatrième à neuvième termes de Zernike. Ceci est du au fait qu'une erreur fournie en tant qu'erreur de mesure est une forme d'ordre inférieur. Dans des différentes données également, il est souhaitable de déterminer des modèles dans lesquels des composantes de fréquence spatiale sont divisées en fonction de composantes de forme et d'une erreur de mesure supposée. [0091] Dans cette simulation, les composantes de fréquence spatiale sont divisées en deux zones. Cependant, le nombre de modèles n'est pas limité à deux. Il sera aisément compris que plusieurs modèles peuvent être utilisés en fonction d'une cible de mesure. [0092] Selon le procédé de mesure de combinaison de formes partielles décrit ci-dessus, il est possible de calculer avec précision la forme globale d'un objet à mesurer qui a une faible reproductibilité de mesure dans chaque opération de mesure partielle en réduisant une erreur provoquée en combinant, en particulier une erreur de fréquence spatiale d'ordre supérieur. [0093] La figure 11 est une vue montrant un exemple de l'agencement d'un appareil de mesure de forme pour mettre en oeuvre le procédé de mesure de forme selon le mode de réalisation décrit ci-dessus. Un objet cible 1 est monté sur un corps principal 5 de l'appareil. Une sonde 6 est fixée à une glissière 7 mobile dans trois directions d'axes, c'est-à-dire, des directions d'axes X, Y, et Z. Il est possible de balayer la surface de l'objet cible 1 en pressant la sonde 6 contre la surface de l'objet cible 1. L'appareil de mesure de forme mesure le mouvement de la sonde 6 à ce moment en utilisant un miroir de référence 9 fixé à un cadre de métrologie 8 comme référence de mesure. L'erreur de forme du miroir de référence 9 peut être un facteur principal pour provoquer une erreur de système dans l'appareil. [0094] L'appareil de mesure de forme comporte une unité de commande 10. La figure 16 montre l'agencement de l'unité de commande 10. L'unité de commande 10 peut comporter un processeur tel qu'une CPU pour exécuter diverses opérations de calcul. Par exemple, l'unité de commande 10 comporte un processeur 101, une unité de stockage 102 stockant des programmes et des données, une mémoire principale 103, un dispositif d'entrée 104 tel qu'un clavier et une souris, un dispositif d'affichage 105 tel qu'un écran, et un dispositif de lecture 106 pour lire un support de stockage 107. L'unité de stockage 102, la mémoire principale 103, le dispositif d'entrée 104, le dispositif d'affichage 105, et le dispositif de lecture 106 sont connectés au processeur 101. Le support de stockage 107 stockant des programmes pour mettre en oeuvre les fonctions du mode de réalisation décrit ci-dessus est fixé au dispositif de lecture 106, et le dispositif de lecture 106 lit les programmes à partir du support de stockage 107 pour stocker les programmes lus dans l'unité de stockage 102. L'unité de commande 10 peut fonctionner comme une unité d'obtention pour obtenir des données de forme, une unité de détermination pour déterminer un paramètre de correction de forme, et une unité de combinaison pour corriger et combiner les données de première et deuxième formes afin de générer des données de forme globale. L'unité de commande 10 obtient une forme de surface par la technique de maillage en exécutant des logiciels (programmes) pour mettre en oeuvre les fonctions du mode de réalisation décrit ci-dessus, qui sont stockés dans l'unité de stockage 102. Par exemple, dans le premier mode de réalisation, l'unité de commande 10 obtient des données de mesure d'une forme de surface dans chaque zone partielle de l'objet cible 1 mesurée par la sonde 6, et exécute les étapes S12 à S18 de l'organigramme montré dans la figure 13, ce qui permet d'obtenir la forme de surface globale de l'objet cible 1. Il convient de noter qu'un autre mode de réalisation est applicable au lieu du premier mode de réalisation. Il convient de noter que les logiciels (programmes) pour mettre en oeuvre les fonctions du mode de réalisation décrit ci-dessus peuvent être fournis à l'unité de stockage 102 via un réseau ou divers supports de stockage. L'unité de commande 10 peut être prévue à l'extérieur de l'appareil de mesure de forme, ou peut 5 constituer un ordinateur dont le processeur ou autre analogue est indépendant de l'appareil de mesure de forme. [0095] Un procédé de fabrication d'un article selon un mode 10 de réalisation est utilisé pour fabriquer un article tel qu'une partie métallique ou un élément optique. Le procédé de fabrication d'un article selon ce mode de réalisation comporte une étape de mesure de la forme d'un objet à mesurer en utilisant l'appareil de mesure de forme décrit 15 ci-dessus, et une étape de traitement, sur la base du résultat de mesure dans l'étape ci-dessus, de l'objet à mesurer. Par exemple, la forme de l'objet à mesurer est mesurée en utilisant l'appareil de mesure, et l'objet à mesurer est traité (fabriqué) sur la base du résultat de 20 mesure de sorte que la forme de l'objet à mesurer soit conforme à une valeur de conception. Le procédé de fabrication d'un article selon ce mode de réalisation peut mesurer la forme de l'objet à mesurer avec une plus grande précision en utilisant l'appareil de mesure. Par 25 conséquent, en comparaison avec les procédés classiques, ce procédé est avantageux en ce qui concerne au moins l'un(e) de la performance, de la qualité, de la productivité et du coût de production d'un article. [0096] Bien que la présente invention ait été décrite 30 en référence aux modes de réalisation exemplaires, il doit être entendu que l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation exemplaires divulgués. L'étendue des revendications suivantes doit se voir accorder la plus large interprétation de manière à englober toutes les 35 modifications et structures et fonctions équivalentes de ce genre. REVENDICATIONS1. Appareil de calcul de forme comprenant : une unité d'obtention (10) configurée pour obtenir des données de mesure d'une première forme d'une première zone partielle sur une surface à mesurer, et obtenir des données de mesure d'une deuxième forme d'une deuxième zone partielle chevauchant partiellement la première zone partielle sur la surface à mesurer ; une unité de détermination (10) configurée pour déterminer une valeur d'un premier paramètre de correction de forme pour modifier la première forme afin de compenser une erreur de mesure incluse dans les données de mesure de la première forme et une valeur d'un deuxième paramètre de correction afin de compenser une erreur de mesure incluse dans les données de mesure de la deuxième forme de sorte qu'une valeur d'une fonction d'évaluation, qui présente comme variables le premier paramètre de correction de forme et le deuxième paramètre de correction et évalue des données de forme obtenues en corrigeant les données de mesure de la première forme par le premier paramètre de correction de forme et des données de forme obtenues en corrigeant les données de mesure de la deuxième forme par le deuxième paramètre de correction, se trouve dans une plage de tolérance ; et une unité de combinaison (10) configurée pour générer des données de forme d'une zone entière comportant la première zone partielle et la deuxième zone partielle en corrigeant respectivement les données de mesure de la première forme et de la deuxième forme en utilisant les valeurs déterminées du premier paramètre de correction de forme et du deuxième paramètre de correction, et combiner les données de forme corrigées. 2. Appareil selon la revendication 1, dans lequel le deuxième paramètre de correction est un deuxième paramètre 35 de correction de forme qui est différent du premier paramètre de correction de forme et modifie la deuxièmeforme afin de compenser l'erreur de mesure incluse dans les données de mesure de la deuxième forme. 3. Appareil selon la revendication 2, dans lequel la fonction d'évaluation est une erreur élevée au carré pondérée des données de mesure de la première forme et des données de mesure de la deuxième forme, un poids des données de mesure de la première forme comporte le premier paramètre de correction de forme, et un poids des données de mesure de la deuxième forme comporte le deuxième paramètre de correction de forme. 4. Appareil selon la revendication 2, dans lequel la fonction d'évaluation est une erreur élevée au carré pondérée des données de forme de conception de la zone entière et des données de mesure de la première forme et de la deuxième forme, un poids des données de forme de conception comporte un paramètre pour corriger une forme de la zone entière, et des poids des données de mesure de la première forme et de la deuxième forme incluent le premier paramètre de correction de forme et le deuxième paramètre de correction de forme, respectivement. 5. Appareil selon la revendication 2, comprenant en outre une unité de commande configurée pour générer des données de forme en combinant des composantes de fréquence spatiale d'ordre supérieur des données de forme de la zone entière générées par ladite unité de combinaison, et des composantes de fréquence spatiale d'ordre inférieur des données de forme de la zone entière obtenues par ladite unité de combinaison lorsqu'une deuxième fonction d'évaluation, n'ayant ni le premier paramètre de correction de forme ni le deuxième paramètre de correction de forme, est utilisée au lieu de la fonction d'évaluation. 6. Appareil selon la revendication 2, dans lequel : la fonction d'évaluation présente en outre des paramètres pour compenser une erreur de système et des erreurs d'orientation incluses dans les données de mesure de la première forme et de la deuxième forme,l'erreur de système est une erreur commune à la première zone partielle et à la deuxième zone partielle, et les erreurs d'orientation sont différentes entre la première zone partielle et la deuxième zone partielle, et chaque erreur d'orientation comporte une erreur de rotation et une erreur de translation tout en maintenant la forme. 7. Appareil de mesure pour mesurer une forme d'une surface à mesurer, comprenant : un appareil de calcul de forme défini dans la revendication 1, ledit appareil de mesure mesurant une forme d'une première zone partielle sur la surface à mesurer, et mesurant une forme d'une deuxième zone partielle chevauchant partiellement la première zone partielle sur la surface à mesurer ; ledit appareil de calcul de forme obtient des données de mesure d'une première forme de la première zone partielle mesurée, et obtient des données de mesure d'une deuxième forme de la deuxième zone partielle mesurée par l'unité d'obtention, et ledit appareil de calcul de forme génère des données de forme d'une zone entière comportant la première zone partielle et la deuxième zone partielle par l'unité de détermination et l'unité de combinaison. 8. Procédé de calcul de forme comprenant : l'obtention (S2) de données de mesure d'une première forme d'une première zone partielle sur une surface à mesurer, et l'obtention (S2) de données de mesure d'une deuxième forme d'une deuxième zone partielle chevauchant partiellement la première zone partielle ; la détermination (S6) d'une valeur d'un premier paramètre de correction de forme pour modifier la première forme afin de compenser une erreur de mesure incluse dans les données de mesure de la première forme et d'une valeur 35 d'un deuxième paramètre de correction pour compenser une erreur de mesure incluse dans les données de mesure de ladeuxième forme de sorte qu'une valeur d'une fonction d'évaluation, qui présente comme variables le premier paramètre de correction de forme et le deuxième paramètre de correction et évalue des données de forme obtenues en corrigeant les données de mesure de la première forme par le premier paramètre de correction de forme et les données de forme obtenues en corrigeant les données de mesure de la deuxième forme par le deuxième paramètre de correction, se trouve dans une plage de tolérance ; et la génération de données de forme d'une zone entière comportant la première zone partielle et la deuxième zone partielle en corrigeant respectivement les données de mesure de la première forme et de la deuxième forme en utilisant les valeurs déterminées du premier paramètre de correction de forme et du deuxième paramètre de correction, et en combinant les données de forme corrigées. 9. Procédé de fabrication d'un article, comprenant : la mesure (S1) de formes d'une première zone partielle et d'une deuxième zone partielle d'une surface à mesurer ; l'obtention (S7) d'une forme d'une zone entière comportant la première zone partielle et la deuxième zone partielle en utilisant un procédé de calcul de forme défini dans la revendication 8 ; et le traitement d'une surface de la zone entière sur la base de la forme calculée de la zone entière. 10. Support de stockage (107) stockant un programme pour amener un ordinateur (101) à exécuter : l'obtention (S2) de données de mesure d'une première forme d'une première zone partielle sur une surface à 30 mesurer, et l'obtention de données de mesure d'une deuxième forme d'une deuxième zone partielle chevauchant partiellement la première zone partielle, la détermination (S6) d'une valeur d'un premier paramètre de correction de forme pour modifier la première 35 forme afin de compenser une erreur de mesure incluse dans les données de mesure de la première forme et d'une valeurd'un deuxième paramètre de correction afin de compenser une erreur de mesure incluse dans les données de mesure de la deuxième forme de sorte qu'une valeur d'une fonction d'évaluation, qui présente comme variables le premier paramètre de correction de forme et le deuxième paramètre de correction et évalue des données de forme obtenues en corrigeant les données de mesure de la première forme par le premier paramètre de correction de forme et des données de forme obtenues en corrigeant les données de mesure de la deuxième forme par le deuxième paramètre de correction, se trouve dans une plage de tolérance, et la génération de données de forme d'une zone entière comportant la première zone partielle et la deuxième zone partielle en corrigeant respectivement les données de mesure de la première forme et de la deuxième forme en utilisant les valeurs déterminées du premier paramètre de correction de forme et du deuxième paramètre de correction, et la combinaison des données de forme corrigées. 25 30 35