Brevet FR3013122A1 — publié le 20150515

PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'EXTRACTION D'UNE FORME D'ONDE À BASSE FRÉQUENCE D'UN COMPOSANT ÉLECTRO-OPTIQUE L'invention concerne un procédé et un dispositif d'extraction d'une forme d'onde d'une activité se produisant dans un composant électro-optique 5 dans une bande de fréquence Af0 au moins pour partie inférieure à la bande passante Afl d'un traitement électrique utilisé pour extraire ladite forme d'onde à partir d'au moins un rayonnement optique réfléchi par le composant électro-optique. Dans tout le texte, l'expression "électro-optique" désigne la propriété d'un composant consistant à produire, sous l'effet d'au moins un 10 rayonnement optique incident, un rayonnement optique réfléchi dont au moins une caractéristique (notamment choisie parmi l'amplitude, la longueur d'onde, la polarisation et la phase) est modifiée en fonction de l'environnement électrique dans lequel le composant est placé ou qui se produit à l'intérieur de ce composant. Le composant électro-optique peut être un circuit électronique présentant des propriétés 15 électro-optiques, ladite activité étant alors une activité électrique se produisant au sein de ce circuit électronique. Le composant électro-optique peut être au contraire un cristal électro-optique, par exemple sensible à l'effet Pockels, présentant un indice de réfraction variable selon le champ électrique auquel il est soumis. En outre, dans tout le texte, on désigne par "périodique continue" toute fonction 20 périodique et continue au sens mathématique du terme dans le temps ; en particulier, le terme "continue" ne désigne pas le fait que la fonction soit constante dans le temps, comme cela est au contraire habituellement le cas dans son utilisation en relation avec certaines variables électriques (tension, intensité...). On connaît déjà diverses techniques (notamment celles parfois 25 dénommées sondage de tension par laser (LVP ; cf. par exemple http://en.wikipedia.org/wiki/Laser_voltage_prober) ou sondage électro-optique (EOP) par contact d'une sonde (cf. par exemple EP 0953846) ou sans contact (cf. par exemple http://www.hamamatsu.com/resources/pdf/sys/e_eop.pdf) permettant, par un sondage optique et un traitement électrique, d'extraire une forme 30 d'onde d'une activité se produisant dans un composant électro-optique. Les techniques connues de sondage électro-optique présentent l'avantage de réaliser des mesures non invasives mais relativement précises. Elles peuvent être utilisées notamment pour l'analyse de circuits électroniques complexes à forte intégration (circuits intégrés VLSI ou assemblages (dits SiP ou "System in Package") de circuits intégrés (à composants actifs (microprocesseurs, mémoires,...) et/ou passifs (résistances, capacités, inductances...) et/ou microsystèmes (par exemple MEMS)), en particulier pour la détection de défauts dans de tels circuits électroniques. Dans ces techniques de sondage électro-optique, les variations de caractéristique du rayonnement optique réfléchi sont très faibles en valeur absolue (le faisceau sonde incident ne devant pas lui-même perturber le fonctionnement du composant ni en modifier les propriétés) et en relation à la valeur moyenne de cette caractéristique. Elles permettent cependant de détecter de très faibles variations, typiquement des tensions électriques aussi faibles que quelques dizaines de millivolts, ce qui les rend en particulier applicables à l'analyse de circuits analogiques ou mixtes. En général, l'activité à détecter est répétitive (par exemple dans le cas de l'application de vecteurs de test sur un circuit électronique) et les mesures sont répétées de multiples fois (typiquement de l'ordre de plusieurs centaines de milliers de fois) pour réaliser une intégration ou une moyenne permettant de s'affranchir du bruit. Il en résulte en particulier que les dispositifs utilisés sont relativement complexes et coûteux, et notamment que les sources de rayonnement optique doivent être particulièrement stables et précises afin de ne pas perturber la mesure et d'éviter d'avoir à réaliser un trop grand nombre de mesures répétitives pour s'affranchir du bruit. En outre, le traitement électrique de chaque rayonnement optique réfléchi qui doit être effectué pour extraire la forme d'onde implique nécessairement une amplification du signal électrique. Or, une telle amplification présente nécessairement une bande passante prédéterminée qui ne peut pas couvrir tout le spectre de fréquence 40, souvent inconnu, susceptible de concerner ladite activité. En général, les dispositifs connus sont plus particulièrement adaptés pour pouvoir réaliser des mesures dans des fréquences aussi hautes que possible, par exemple sur des microprocesseurs à haute cadence. Néanmoins, le besoin se fait sentir de pouvoir réaliser des mesures dans des gammes de fréquences basses, par exemple dans les gammes de fréquences de dispositifs vidéos tels que les écrans plasma, de l'ordre de 100 Hz (typiquement de l'ordre de 60 Hz, 100 Hz, 200 Hz, 400 Hz, et 600 Hz). Pour permettre des mesures dans les basses fréquences, certains dispositifs connus comportent un dispositif de traitement électrique présentant une bande passante Afl la plus large possible, ce qui est complexe et coûteux et est le plus souvent incompatible avec l'obtention d'un gain élevé d'amplification et d'un faible bruit (le bruit thermique étant notamment proportionnel à la racine carrée de la bande passante selon la formule de Nyquist). D'autres dispositifs connus prévoient d'ailleurs de proposer plusieurs dispositifs de traitement électrique, chacun étant adapté à une gamme de fréquence prédéterminée de l'activité à mesurer, par exemple un premier dispositif de traitement électrique pour les basses fréquences et deuxième dispositif de traitement électrique pour les hautes fréquences. Là encore, cette solution est coûteuse et suppose de connaître préalable la gamme de fréquences concernée. Elle nécessite de multiplier les dispositifs de traitement électrique pour pouvoir réaliser des mesures sur un même circuit électronique dans des fréquences très différentes. EP 8 648 725 décrit un procédé LVP par utilisation successive de deux rayonnements dont l'un est appliqué au circuit à tester tandis que l'autre sert de référence, et à faire le rapport des mesures issues de ces deux rayonnements pour minimiser le bruit à basse fréquence dû aux variations de température ou aux défauts d'alignement du spot laser incident. Les faisceaux laser sont pulsés à 100 Mhz par des modulateurs optiques, et une impulsion unique est sélectionnée de façon à réaliser un échantillonnage optique. Ce procédé ne permet donc d'effectuer des mesures que dans des gammes de fréquences très élevées. L'invention vise donc à pallier ces inconvénients en proposant 30 un procédé et un dispositif d'extraction permettant de façon simple et peu coûteuse d'obtenir une forme d'onde d'une activité se produisant dans une bande de fréquence AjV au moins pour partie inférieure à la bande passante 41 dudit traitement électrique, et ce de façon fiable et fidèle (sans dégradation de la forme d'onde). L'invention vise par exemple en particulier à permettre l'extraction d'une forme d'onde d'une activité se produisant dans des gammes de fréquences inférieures à 1 kHz, notamment de l'ordre de ou inférieures à 100 Hz, avec un traitement électrique dont la bande passante s'étend sur des fréquences supérieures à 1 MHz, notamment de l'ordre de 100 MHz. L'invention vise plus particulièrement à proposer un tel procédé et un tel dispositif qui permettent d'obtenir cette extraction avec un seul et même dispositif de traitement électrique. L'invention vise également à ce titre à permettre l'optimisation du dispositif de traitement électrique de telle sorte que ce dernier présente un gain élevé et un faible bruit. L'invention concerne donc un procédé d'extraction d'une 15 forme d'onde d'une activité se produisant dans une bande de fréquence Af0 dans un composant électro-optique, dans lequel : - un sondage optique du composant électro-optique est réalisé par : o application d'au moins un faisceau de rayonnement optique, dit faisceau sonde, sur une région active dudit composant électro-optique, 20 o détection d'au moins un rayonnement optique réfléchi par ladite région active, - un traitement électrique de chaque rayonnement optique réfléchi est réalisé, dans lequel : o au moins un signal électrique de détection au moins pour partie 25 représentatif de ladite activité est produit à partir de chaque rayonnement optique réfléchi, o une reconstruction de ladite forme d'onde est réalisée à partir de chaque signal électrique de détection, - ledit traitement électrique étant opérationnel dans une bande 30 passante 41 de fréquence prédéterminée, caractérisé en ce que ladite bande de fréquence Af0 de ladite activité étant au moins pour partie inférieure à ladite bande passante Afl dudit traitement électrique : - chaque rayonnement optique réfléchi est formé d'un rayonnement optique, dit rayonnement de porteuse, d'intensité périodique sur une fréquence fondamentale, dite fréquence fopt de porteuse optique, modulé par des variations induites par ladite région active et correspondant à ladite activité dans ladite bande de fréquence 4f0, - ledit traitement électrique délivre chaque signal électrique de détection sous forme d'un signal comprenant une porteuse périodique de fréquence fl fondamentale correspondant à celle fopt du rayonnement de porteuse, modulée par un signal de modulation représentatif de ladite activité dans ladite bande de fréquence Af0, - ladite fréquence fopt de porteuse optique est choisie de sorte que l'une au moins des bandes de fréquence f/-.4f0 et fl+Af0 soit contenue dans la bande 15 passante Afl dudit traitement électrique, - ladite reconstruction de ladite forme d'onde comprend une démodulation de chaque signal électrique de détection délivrant un signal correspondant audit signal de modulation représentatif ladite forme d'onde de ladite activité. 20 Ainsi, l'invention réalise une transposition optique de fréquence et permet, par utilisation d'un rayonnement optique réfléchi présentant une porteuse optique (variations périodiques de l'intensité lumineuse) de fréquence fondamentale fopt supérieure -notamment au moins 2 fois supérieure- à la fréquence maximum fOmax de la bande de fréquence 40 de ladite activité électrique, de 25 choisir un traitement électrique ayant une bande passante Afl de faible largeur et à haute fréquence, au bénéfice d'un gain élevé et d'un faible bruit tout en permettant l'extraction fiable, fidèle et précise d'une forme d'onde dans une bande de fréquence Af0 située dans les basses fréquences. Avantageusement et selon l'invention : - ledit rayonnement de porteuse est un rayonnement optique d'intensité périodique continue -notamment à variations d'intensité sinusoïdales de valeur moyenne non nulle-, - la porteuse périodique de chaque signal électrique de détection est une porteuse périodique continue -notamment sinusoïdale-. En particulier, le rayonnement de porteuse n'est ni pulsé ni échantillonné. Il en va de même de la porteuse périodique de chaque signal électrique de détection. Par ailleurs, ce rayonnement de porteuse du rayonnement optique réfléchi peut être obtenu de différentes manières, par introduction d'au moins une modulation optique entre la source de rayonnement optique du faisceau sonde et le rayonnement optique réfléchi appliqué au traitement électrique. De préférence, avantageusement et selon l'invention, le rayonnement de porteuse est généré par modulation du faisceau sonde. En outre, avantageusement et selon l'invention, le rayonnement de porteuse est généré par au moins une modulation choisie parmi une modulation mécano-optique, une modulation électro-optique, une modulation acousto-optique, une modulation magnéto-optique, une modulation interférométrique, une modulation directe d'une alimentation électrique d'une source lumineuse émettant ledit faisceau sonde. Par ailleurs, différents types de modulation peuvent être envisagés pour moduler le rayonnement de porteuse du rayonnement optique réfléchi utilisé dans le traitement électrique, dès lors que cette modulation est représentative de ladite activité dans la bande de fréquence 40. Néanmoins, initialement, un composant électro-optique génère un rayonnement optique réfléchi présentant une modulation d'intensité lumineuse par rapport au faisceau sonde. En conséquence, il est préférable de conserver ce type de modulation en amplitude. Également, le traitement électrique, qui est par exemple obtenu par utilisation d'au moins une photodiode, ne modifie pas le type de modulation du rayonnement optique réfléchi. En conséquence, avantageusement et selon l'invention chaque rayonnement optique réfléchi est formé du rayonnement de porteuse modulé en amplitude, ledit signal de modulation est une modulation d'amplitude et ladite démodulation est une démodulation d'amplitude. De préférence, avantageusement et selon l'invention, la bande passante Afl du traitement électrique est choisie de façon à être disjointe de la 5 bande de fréquence Af0 de ladite activité électrique. En outre, de préférence, avantageusement et selon l'invention, la bande passante Afl dudit dispositif de traitement électrique et ladite fréquence fopt de porteuse optique sont choisies de telle sorte que ladite fréquence fl fondamentale de la porteuse de chaque signal électrique de détection est supérieure 10 à 2 fois la fréquence maximum fOmax de la bande de fréquence 40 de ladite activité électrique. Par ailleurs, avantageusement et selon l'invention la bande passante Afl du traitement électrique et ladite fréquence fopt de porteuse optique sont choisies de telle sorte que ladite fréquence fl fondamentale de la porteuse de 15 chaque signal électrique de détection est contenue dans la bande passante Afl du traitement électrique. L'invention s'applique aussi bien lorsque la bande de fréquence 4f0 de ladite activité électrique n'est pas prédéterminée ni exactement connue (sauf à savoir quelle est au moins pour partie inférieure à ladite bande 20 passante Afl dudit traitement électrique) ; en effet, dans ce cas, avantageusement et selon l'invention la fréquence fondamentale fopt de porteuse optique est de préférence choisie de telle sorte que la fréquence fl fondamentale est située dans ladite bande passante Afl dudit traitement électrique de telle sorte que les deux bandes de fréquence fl-Af0 et fl+Af0 soient toutes deux contenues dans la bande 25 passante Afl dudit traitement électrique, cette bande passante Afl dudit traitement électrique présentant par ailleurs une largeur suffisante pour être supérieure 2.410. Dans ce cas, chaque signal électrique de détection présentera bien un signal de modulation représentatif de ladite activité et susceptible d'être démodulé pour permettre l'extraction de la forme d'onde. L'invention s'étend également à un dispositif pour la mise en oeuvre d'un procédé selon l'invention. L'invention concerne donc également un dispositif d'extraction d'une forme d'onde d'une activité se produisant dans un composant 5 électro-optique dans une bande de fréquence 40, comprenant : - un dispositif de sondage optique comportant : o un dispositif source de rayonnement optique agencé pour pouvoir appliquer au moins un faisceau de rayonnement optique, dit faisceau sonde, sur une région active dudit composant électro-optique, 10 o un dispositif de détection d'au moins un rayonnement optique réfléchi par ladite région active, - un dispositif de traitement électrique de chaque rayonnement optique réfléchi, comportant : o un dispositif de transduction produisant, à partir de chaque 15 rayonnement optique réfléchi, au moins un signal électrique de détection au moins pour partie représentatif de ladite activité, o un circuit de reconstruction de forme d'onde apte à délivrer un signal représentatif de ladite forme d' onde à partir de chaque signal électrique de détection, 20 - ledit dispositif de traitement électrique étant opérationnel dans une bande passante Afl de fréquence prédéterminée, caractérisé en ce que ladite bande de fréquence 40 de ladite activité étant au moins pour partie inférieure à ladite bande passante Afl dudit dispositif de traitement électrique : 25 - le dispositif de sondage optique est adapté pour générer chaque rayonnement optique réfléchi sous forme d'un rayonnement optique, dit rayonnement de porteuse, d'intensité périodique sur une fréquence fondamentale, dite fréquence fopt de porteuse optique, modulé par des variations induites par ladite région active et correspondant à ladite activité dans ladite bande de fréquence 40, 30 - le dispositif de traitement électrique est adapté pour délivrer chaque signal électrique de détection sous forme d'un signal comprenant une porteuse périodique de fréquence fl fondamentale correspondant à celle fopt de ladite modulation optique, modulée par un signal de modulation dans ladite bande de fréquence .4f0 représentatif de ladite activité, l'une au moins des bandes de fréquence fl-Af0 et fl+Af0 étant contenue dans la bande passante 41 dudit dispositif de traitement électrique, - ledit circuit de reconstruction de forme d'onde comprend un démodulateur recevant chaque signal électrique de détection et délivrant un signal correspondant audit signal de modulation représentatif de ladite forme d'onde de ladite activité. Avantageusement et selon l'invention le dispositif de sondage optique est adapté pour générer chaque rayonnement de porteuse sous forme d'un rayonnement optique d'intensité périodique continue -notamment à variations d'intensité sinusoïdales de valeur moyenne non nulle-, et le dispositif de traitement électrique est adapté pour générer la porteuse périodique de chaque signal électrique de détection sous forme d'une porteuse périodique continue -notamment sinusoïdale-. Par ailleurs, avantageusement et selon l'invention le dispositif de sondage optique comporte au moins un modulateur du faisceau sonde. En outre, avantageusement et selon l'invention le dispositif de sondage optique comprend au moins un modulateur choisi parmi un modulateur mécano-optique, un modulateur électro-optique, un modulateur acousto-optique, un modulateur magnéto-optique, un modulateur interférométrique, un modulateur direct d'une alimentation électrique d'une source lumineuse émettant ledit faisceau sonde. Également, avantageusement et selon l'invention le dispositif de sondage optique est adapté pour générer chaque rayonnement optique réfléchi sous forme du rayonnement de porteuse modulé en amplitude, en ce que le dispositif de traitement électrique est adapté pour délivrer chaque signal électrique de détection sous forme d'une modulation d'amplitude, par le dit signal de modulation, de ladite porteuse, et en ce que ledit démodulateur est un démodulateur d'amplitude. L'invention s'étend également un dispositif d'extraction caractérisé en ce qu'il est adapté pour la mise en oeuvre de tout ou partie des caractéristiques mentionnées ci-dessus ou ci-après en relation à un procédé d'extraction selon l'invention. L'invention s'étend également à un procédé mis en oeuvre avec un dispositif selon l'invention. L'invention s'applique en particulier dans le cas où ledit composant électro-optique est un circuit électronique, ladite activité étant une activité électrique au sein de ce circuit électronique. Il peut s'agir par exemple d'un circuit intégré VLSI (intégration à très grande échelle) et/ou d'un circuit intégré à montage de type dit "flip-chip" à puce retournée dont les zones actives ne sont accessibles que par l'arrière du substrat, ou autre. Ladite activité au sein du circuit électronique peut être par exemple générée par un testeur qui alimente le circuit électronique par des vecteurs de test, afin de détecter la présence de défauts dans le circuit. Elle s'applique néanmoins également dans le cas où ledit composant électro-optique n'est pas lui-même un circuit électronique, et par exemple à un cristal électro-optique utilisé dans une sonde de test de circuits électroniques. Elle s'applique plus généralement dès lors que l'activité au sein du composant électro-optique permet de moduler d'une certaine façon le rayonnement de porteuse du rayonnement optique réfléchi, cette modulation étant détectable par un dispositif de transduction fournissant un signal électrique de détection également modulé selon un signal de modulation pouvant être extrait de ce signal électrique de détection par démodulation. L'invention s'applique également en particulier avantageusement lorsque que ladite activité est répétitive, ledit signal de modulation extrait par démodulation de chaque signal électrique de détection étant lui-même répétitif et présentant de façon répétitive ladite forme d'onde. Avantageusement et selon l'invention, une forme d'onde moyenne est générée à partir des différentes formes d'onde extraites successivement dans ledit signal de modulation. Dans un mode de réalisation préférentiel, avantageusement et selon l'invention, le traitement électrique délivre un unique signal électrique de détection (par exemple le dispositif de traitement électrique comporte une unique photodiode). Rien n'empêche cependant de réaliser en parallèle plusieurs 5 traitements électriques, éventuellement avec des dispositif de transduction différents, du même rayonnement optique réfléchi ou de plusieurs rayonnements optique réfléchis, à partir du même faisceau sonde ou de plusieurs faisceaux sonde. Il est à noter que l'invention présente notamment comme avantage de permettre l'utilisation d'un dispositif source de rayonnement optique 10 non nécessairement stabilisé, puisque le rayonnement optique réfléchi incorpore des variations de porteuse à haute fréquence. L'invention concerne également un procédé et un dispositif caractérisés en combinaison par tout ou partie des caractéristiques mentionnées ci-dessus ou ci-après. 15 D'autres buts, caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description suivante donnée à titre non limitatif et qui se réfère aux figures annexées dans lesquelles : - la figure 1 est un schéma synoptique d'un dispositif selon un mode de réalisation de l'invention mettant en oeuvre un procédé selon l'invention, 20 - la figure 2 est un exemple de spectre en fréquence illustrant le fonctionnement de l'invention, - les figures 3a à 3d sont des exemples de formes d'onde extraites par un procédé selon l'invention pour différentes fréquences. Le dispositif selon l'invention représenté figure 1 comprend 25 un circuit électronique 11 à tester placé sur un testeur 12. Une source 13 de rayonnement optique, qui peut être une source laser, une diode laser, ou une source de lumière non cohérente (LED) émet un faisceau 20 de rayonnement optique, dit faisceau 20 sonde, orienté vers une zone active du circuit électronique 11. Ce faisceau 20 sonde passe à travers un modulateur optique 14 qui applique des 30 variations périodiques continues, de préférence sinusoïdales à valeur moyenne non nulle, à l'intensité lumineuse du faisceau 20 sonde. Le modulateur optique 14 délivre un faisceau 21 d'un rayonnement de porteuse d'intensité périodique sur une fréquence fondamentale fopt de porteuse optique. Ce faisceau 21 de porteuse passe à travers un miroir 15 semi réfléchissant pour être appliqué sur la zone active du circuit électronique 11 à tester. 5 Cette zone active est le siège d'une activité 22 électrique à basse fréquence, dans une bande de fréquence 4f0, par exemple une variation de tension électrique. Par effet électro-optique, cette activité 22 électrique module le rayonnement 23 optique réfléchi par la zone active et dévié par le miroir 15 semi réfléchissant vers une photodiode 16. Des exemples d'allure de l'activité 22 électrique et de l'intensité 10 lumineuse du rayonnement 23 optique réfléchi sont représentés figure 1. La sortie de la photodiode 16 fournit un signal électrique qui est amplifié par un amplificateur 17, l'ensemble présentant une bande passante 41. L'amplificateur 17 doit être un amplificateur à faible facteur de bruit (par exemple inférieur à 2 dB). L'amplificateur 17 délivre un signal 24 électrique de détection 15 sous forme d'un signal comprenant une porteuse périodique de fréquence fl fondamentale correspondant à celle fopt du rayonnement 21 de porteuse, modulée par un signal de modulation représentatif de ladite activité 22 électrique dans ladite bande de fréquence 40. Une telle photodiode 16 constitue un dispositif de transduction qui fournit un signal électrique exactement représentatif du 20 rayonnement optique qu'elle reçoit, à la même fréquence, de sorte que fl = fopt. La photodiode 16 doit être choisie pour pouvoir présenter une réponse sans distorsion pour cette fréquence, et la source 13 de rayonnement optique est également choisie de façon à ce que le rayonnement 23 optique réfléchi ne sature pas la photodiode 16. 25 Ce signal 24 électrique de détection délivré par la photodiode 16 est démodulé par un démodulateur d'amplitude 18 qui supprime la porteuse périodique et délivre le signal 25 de modulation à un oscilloscope 19 qui permet de visualiser la forme d'onde ainsi extraite. De préférence, le testeur 12 est relié à l'oscilloscope 19 pour lui délivrer un signal de déclenchement de 30 synchronisation. Le modulateur 14 optique est par exemple avantageusement un interféromètre de Mach-Zehnder. Le modulateur 14 optique peut être aussi un modulateur à absorption (variation du coefficient d'absorption d'un matériau) ou un modulateur réfractif (variation de l'index de réfraction d'un matériau). Il peut aussi 5 bien s'agir en variante d'un modulateur mécano-optique ("chopper" à disque perforé et/ou miroir rotatif), d'un modulateur électro-optique (variation de la polarisation d'un cristal sous l'effet d'un champ électrique variable), d'un modulateur acousto-optique, un modulateur magnéto-optique, un modulateur interférométrique, un modulateur direct d'une alimentation électrique de la source 13 lumineuse 10 émettant ledit faisceau 20 sonde. Par exemple, la source 13 de rayonnement optique et la photodiode 16 et au moins une partie de l'amplificateur 17 sont intégrés dans un dispositif de sondage électro-optique tel que celui commercialisé sous la référence "EO Probing Unit" par la société Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu City, 15 Japon (www.hamamatsu.com). La photodiode de ce dispositif est une photodiode InGaAs dont la bande passante s'étend entre 100 kHz et 1 GHz. De préférence, un amplificateur complémentaire à faible bruit est utilisé à la sortie de ce dispositif, pour réaliser la fonction d'amplification 17. Par exemple on utilise un amplificateur MITEQ ® AU-1291 commercialisé par la société MITEQ Inc., Hauppauge, NY, 20 USA (www.miteq.com) dont la bande passante s'étend entre 1 kHz et 500 MHz, pour un gain de 63 dB et un facteur de bruit de 1,4 dB. Le démodulateur 18 peut être par exemple formé, ainsi que l'oscilloscope 19, par un analyseur de signal commercialisé sous la référence E4405B par la société Agilent Technologies France, LES ULIS, France avec 25 l'option démodulation AM. Il peut tout aussi bien s'agir de tout autre démodulateur d'amplitude. Comme on le voit sur la figure 2, la bande passante Afl du traitement électrique (photodiode 16 et amplificateur 17) ne couvre pas l'intégralité de la bande de fréquence Af0 de l'activité électrique lorsque cette dernière se situe 30 dans les basses fréquences. L'insertion d'une porteuse 21 optique dans le rayonnement optique réfléchi permet de transposer l'activité électrique autour de la fréquence fl= fopt fondamentale de la porteuse du signal électrique de détection, de sorte que le traitement électrique s'applique à l'intégralité de cette activité électrique ainsi transposée. Il est à noter qu'il suffit en pratique que l'une au moins des bandes de fréquence f 1-40 et fl +40 soit contenue dans la bande passante Afl du traitement électrique pour que la forme d'onde puisse être extraite par démodulation du signal 24 électrique de détection délivré à la sortie de l'amplificateur 17. Il est également à noter qu'il est possible d'utiliser un dispositif de transduction autre qu'une photodiode 16, par exemple un phototransistor ou un photomultiplicateur, et éventuellement un dispositif de transduction qui fournit un signal électrique de détection pour la porteuse à une fréquence fl différente de celle fopt du rayonnement de porteuse du rayonnement optique réfléchi. EXEMPLE : On a réalisé un exemple d'extraction de formes d'onde dans les conditions suivantes : - source 13 de rayonnement optique : diode laser à 1340nm, - modulateur 14 optique : modulateur Mach-Zehnder (APE) commercialisé par la société JDS Uniphase Corporation Milpitas, CA, USA, - circuit électronique à tester : partie analogique d'un microcontrôleur 20 STM32 (coeur M4, technologie 90 nm) de la société STMICROELECTRONICS, Paris, France, - photodiode 16 : dispositif de sondage électro-optique tel que celui commercialisé sous la référence « EO Probing Unit » par la société Hamamatsu Photonics K.K., Hamamatsu City, Japon (www.hamamatsu.com), 25 - amplificateur 17 : amplificateur MITEQ ® AU-1291 commercialisé par la société MITEQ Inc., Hauppauge, NY, USA (www.miteq.com), - démodulateur 18 et oscilloscope 19 : amplificateur MITEQ ® AU-1291 commercialisé par la société MITEQ Inc., Hauppauge, NY, USA (www.miteq.com) analyseur de signal commercialisé sous la référence E4405B par 30 la société Agilent Technologies France, LES ULIS, France, avec l'option démodulation AM. Le faisceau sonde est appliqué sur un noeud du microcontrôleur dans lequel on a généré des variations 22 de tension électrique dont l'allure correspond à celle représentée sur la figure 1, et ce à différentes fréquences f0 : 981 Hz, 661 Hz, 132 Hz, et 66 Hz. Les tensions d'alimentation du microcontrôleur sont de 3,3 V (entrée/sortie) et de 1,8 V pour le coeur. Les figures 3a à 3d représentent les formes d'onde extraites visualisées sur l'oscilloscope 19 respectivement pour les différentes valeurs de la fréquence f0. Comme on le voit, l'invention permet d'extraire les formes d'onde avec une très bonne fidélité, sans distorsion, y compris pour les très basses fréquences.10 REVENDICATIONS1/ - Procédé d'extraction d'une forme d'onde d'une activité se produisant dans une bande de fréquence Af0 dans un composant (11) électro-optique, dans lequel : - un sondage optique du composant électro-optique est réalisé par : o application d'au moins un faisceau de rayonnement optique, dit faisceau sonde, sur une région active dudit composant (11) électro-optique, o détection d'au moins un rayonnement (23) optique réfléchi par ladite région active, - un traitement électrique de chaque rayonnement (23) optique réfléchi est réalisé, dans lequel : o au moins un signal (24) électrique de détection au moins pour partie représentatif de ladite activité est produit à partir de chaque rayonnement (23) optique réfléchi, o une reconstruction de ladite forme d'onde est réalisée à partir de chaque signal électrique de détection, - ledit traitement électrique étant opérationnel dans une bande passante 41 de fréquence prédéterminée, caractérisé en ce que ladite bande de fréquence 40 de ladite activité étant au moins pour partie inférieure à ladite bande passante 41 dudit traitement électrique : - chaque rayonnement (23) optique réfléchi est formé d'un rayonnement optique, dit rayonnement de porteuse, d'intensité périodique sur une fréquence fondamentale, dite fréquence fopt de porteuse optique, modulé par des variations induites par ladite région active et correspondant à ladite activité dans ladite bande de fréquence 40, - ledit traitement électrique délivre chaque signal (24) électrique de détection sous forme d'un signal comprenant une porteuse périodique de fréquence fl fondamentale correspondant à celle fopt du rayonnement de porteuse,modulée par un signal de modulation représentatif de ladite activité dans ladite bande de fréquence 40, - ladite fréquence fopt de porteuse optique est choisie de sorte que l'une au moins des bandes de fréquence fi-4V et f1+40 soit contenue dans la bande 5 passante 41 dudit traitement électrique, - ladite reconstruction de ladite forme d'onde comprend une démodulation de chaque signal (24) électrique de détection délivrant un signal correspondant audit signal de modulation représentatif de ladite forme d'onde de ladite activité. 10 2/ - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que : - ledit rayonnement de porteuse est un rayonnement optique d'intensité périodique continue, - la porteuse périodique de chaque signal (24) électrique de détection est une porteuse périodique continue. 15 3/ - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que : - ledit rayonnement de porteuse est un rayonnement optique à variations d'intensité sinusoïdales de valeur moyenne non nulle, - la porteuse périodique de chaque signal (24) électrique de détection 20 est une porteuse sinusoïdale. 4/ - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le rayonnement de porteuse est généré par modulation du faisceau (20) sonde. 5/ - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, 25 caractérisé en ce que le rayonnement de porteuse est généré par au moins une modulation choisie parmi une modulation mécano-optique, une modulation électro-optique, une modulation acousto-optique, une modulation magnéto-optique, une modulation interférométrique, une modulation directe d'une alimentation électrique d'une source lumineuse émettant ledit faisceau sonde. 30 6/ - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que chaque rayonnement (23) optique réfléchi est formé durayonnement de porteuse modulé en amplitude, en ce que ledit signal de modulation est une modulation d'amplitude et en ce que ladite démodulation est une démodulation d'amplitude. 7/ - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, 5 caractérisé en ce que la bande passante 41 du traitement électrique est choisie de façon à être disjointe de la bande de fréquence Af0 de ladite activité électrique. 8/ - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la bande passante 41 du traitement électrique et ladite fréquence fopt de porteuse optique sont choisies de telle sorte que ladite 10 fréquence fl fondamentale de la porteuse de chaque signal (24) électrique de détection est contenue dans la bande passante 41 du traitement électrique. 9/ - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que ledit composant (11) électro-optique est un circuit électronique et en ce que ladite activité est une activité électrique au sein de ce circuit 15 électronique. 10/ - Dispositif d'extraction d'une forme d'onde d'une activité se produisant dans un composant (11) électro-optique dans une bande de fréquence 4f0, comprenant : - un dispositif (13, 14, 15) de sondage optique comportant : 20 o un dispositif (13) source de rayonnement optique agencé pour pouvoir appliquer au moins un faisceau de rayonnement optique, dit faisceau sonde, sur une région active dudit composant (11) électro-optique, o un dispositif (15, 16) de détection d'au moins un rayonnement (23) optique réfléchi par ladite région active, 25 - un dispositif (16, 17, 18, 19) de traitement électrique de chaque rayonnement optique réfléchi, comportant : o un dispositif (16) de transduction produisant, à partir de chaque rayonnement (23) optique réfléchi, au moins un signal (24) électrique de détection au moins pour partie représentatif de ladite activité,o un circuit (18, 19) de reconstruction de forme d'onde apte à délivrer un signal représentatif de ladite forme d'onde à partir de chaque signal électrique de détection, - ledit dispositif (16, 17, 18, 19) de traitement électrique étant 5 opérationnel dans une bande passante 41 de fréquence prédéterminée, caractérisé en ce que ladite bande de fréquence 40 de ladite activité étant au moins pour partie inférieure à ladite bande passante 41 dudit dispositif de traitement électrique : - le dispositif (13, 14, 15) de sondage optique est adapté pour générer 10 chaque rayonnement (23) optique réfléchi sous forme d'un rayonnement optique, dit rayonnement de porteuse, d'intensité périodique sur une fréquence fondamentale, dite fréquence fopt de porteuse optique, modulé par des variations induites par ladite région active et correspondant à ladite activité dans ladite bande de fréquence Af0, - le dispositif de traitement électrique est adapté pour délivrer chaque 15 signal (24) électrique de détection sous forme d'un signal comprenant une porteuse périodique de fréquence fl fondamentale correspondant à celle fopt de ladite modulation optique, modulée par un signal de modulation dans ladite bande de fréquence 40 représentatif de ladite activité, l'une au moins des bandes de fréquence f 1-40 et fl+Af0 étant contenue dans la bande passante 41 dudit 20 dispositif de traitement électrique, - ledit circuit (18, 19) de reconstruction de forme d'onde comprend un démodulateur (18) recevant chaque signal (24) électrique de détection et délivrant un signal correspondant audit signal de modulation représentatif de ladite forme d'onde de ladite activité. 25 11/ - Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que le dispositif (13, 14, 15) de sondage optique est adapté pour générer chaque rayonnement de porteuse sous forme d'un rayonnement optique d'intensité périodique continue, et en ce que le dispositif (16, 17, 18, 19) de traitement électrique est adapté pour générer la porteuse périodique de chaque signal (24) 30 électrique de détection sous forme d'une porteuse périodique continue.12/ - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 ou 11, caractérisé en ce que le dispositif (13, 14, 15) de sondage optique est adapté pour générer chaque rayonnement de porteuse sous forme d'un rayonnement optique à variations d'intensité sinusoïdales de valeur moyenne non nulle, et en ce que le dispositif (16, 17, 18, 19) de traitement électrique est adapté pour générer la porteuse périodique de chaque signal électrique de détection sous forme d'une porteuse sinusoïdale. 13/ - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que le dispositif (13, 14, 15) de sondage optique comporte au 10 moins un modulateur (14) du faisceau sonde. 14/ - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 13, caractérisé en ce que le dispositif (13, 14, 15) de sondage optique comprend au moins un modulateur (14) choisi parmi un modulateur mécano-optique, un modulateur électro-optique, un modulateur acousto-optique, un modulateur 15 magnéto-optique, un modulateur interférométrique, un modulateur direct d'une alimentation électrique d'une source lumineuse émettant ledit faisceau sonde. 15/ - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 14, caractérisé en ce que le dispositif (13, 14, 15) de sondage optique est adapté pour générer chaque rayonnement optique réfléchi sous forme du rayonnement de 20 porteuse modulé en amplitude, en ce que le dispositif (16, 17, 18, 19) de traitement électrique est adapté pour délivrer chaque signal (24) électrique de détection sous forme d'une modulation d'amplitude, par le dit signal de modulation, de ladite porteuse, et en ce que ledit démodulateur (18) est un démodulateur d'amplitude.