Brevet FR3019941A1 — publié le 20151016

SUPPORT EXTRACTEUR DE LUMIERE ET DISPOSITIF OLED L'INCORPORANT L'invention concerne un support extracteur de lumière. Elle concerne plus particulièrement un support extracteur de lumière d'un dispositif à diode électrolu- minescente organique, dit « OLED » pour « Organic Light Emitting Diodes » en anglais, ainsi que le dispositif OLED l'incorporant. L'OLED comporte un matériau, ou un empilement de matériaux, électro- luminescent(s) organique(s), et est encadrée par deux électrodes, l'une des élec- trodes, dite inférieure, généralement l'anode étant associée au substrat verrier et l'autre électrode, dite supérieure, généralement la cathode, étant agencée sur le système électroluminescent organique. L'OLED est un dispositif qui émet de la lumière par électroluminescence en utilisant l'énergie de recombinaison de trous injectés depuis l'anode et d'élec- trons injectés depuis la cathode. Il existe différentes configurations d'OLED : - les dispositifs à émission par l'arrière (« bottom emission » en anglais), c'est-à-dire avec une électrode inférieure (semi) transparente et une électrode supérieure réfléchissante; - les dispositifs à émission par l'avant (« top emission » en anglais), c'est- à-dire avec une électrode supérieure (semi) transparente et une électrode inférieure réfléchissante; - les dispositifs à émission par l'avant et l'arrière, c'est-à-dire avec à la fois une électrode inférieure (semi) transparente et une électrode supé- rieure (semi) transparente. L'invention a trait aux dispositifs OLED à émission par l'arrière et éventuellement aussi aux dispositifs OLED à émission par l'arrière et par l'avant. Une OLED présente une faible efficacité d'extraction de lumière : le rap- port entre la lumière qui sort effectivement du substrat verrier et celle émise par les matériaux électroluminescents est relativement faible, de l'ordre de 0,25. Ce phénomène, s'explique en partie, par le fait qu'une certaine quantité de photons reste emprisonnée dans des modes guidés entre les électrodes. Il est donc recherché des solutions pour améliorer l'efficacité d'une OLED, à savoir augmenter le gain en extraction. -2- Dans la demande de brevet W02009/116531, il est proposé d'intercaler entre le substrat verrier et l'électrode une couche d'émail d'indice de réfraction supérieur à 1,7 et incorporant des éléments diffusants sous forme de pores ou de particules diffusantes microniques. Pour pallier des défaillances électriques dues à la rugosité de cette couche générée par ces particules ou ces pores, il est prévu de planariser cette couche d'extraction de lumière par une couche de planarisation en émail dénué d'éléments diffusants en protubérance, et toujours d'indice de réfraction supérieur à 1,7, de façon à les recouvrir en les noyant dans cette couche de planarisation. Pour une bonne extraction de lumière, la couche d'émail doit être épaisse et donc est absorbante. La couche de planarisation haut indice est également épaisse pour avoir une bonne qualité de surface, augmentant l'absorption. L'invention a pour but un support extracteur de lumière d'un dispositif OLED alternatif, convenant en particulier pour l'éclairage, améliorant encore l'ex- traction de lumière émise par ledit dispositif OLED et même qui soit plus simple à fabriquer, ceci sans pénaliser sa fiabilité et de préférence en réduisant l'absorption. L'invention propose à cet effet en premier objet un support extracteur de lumière (lumière au sens rayonnement dans le visible), notamment lumière émise 20 d'un système électroluminescent organique (ou plus largement de tout système émetteur de lumière surfacique générant des modes guidés) comportant: - un substrat transparent et diélectrique (ou au moins non métallique), de préférence verrier, notamment un vitrage en verre minéral ou organique notamment un film polymère, substrat de préférence d'indice de réfrac- 25 tion ns d'au plus 1,65 à 550nm et de préférence dans toute la gamme du visible, avec une face principale, dite première face, - des éléments d'extraction de lumière, dits éléments optiques, disjoints, et liés à la première face (incluant une intégration partielle dans la première face), chaque élément optique étant dans un milieu non métal- 30 ligue qui est d'indice de réfraction no d'au plus 3,5 à 550nm et même d'au plus 2,5 à 550nm mieux dans l'ensemble du spectre visible, milieu de préférence diélectrique. Au moins une partie des éléments optiques, dits premiers éléments optiques, et de préférence la majorité et même au moins 90% des éléments optiques -3- et même tous, sont en matière métallique, tridimensionnels, et présentent chacun des première, deuxième et troisième dimensions nanométriques (perpendiculaires entre elles), la première dimension, dite longueur L1, (de préférence longueur moyenne) étant la plus grande et suivant un axe Xl, la deuxième dimension, dite épaisseur E1, (de préférence épaisseur moyenne) étant suivant un axe Z1 perpendiculaire à X1 perpendiculaire à X1 et étant la plus petite des dimensions perpendiculaires à Xl, la troisième, dite largeur W1 (de préférence largeur moyenne), étant sui- vant un axe Y1 perpendiculaire à X1 et à Z1, avec L1/E1 >1,5, même L1/E1>2, et L1/E1 W1, ou (b) un nanopalet, avec W11,5E1, et 0,3Ll Le substrat (la première face) présente un plan PO (de préférence plan lo- cal c'est-à-dire en regard du premier élément optique), notamment défini par des axes X et Y perpendiculaires entre eux- un axe Z étant normal au plan PO-, - pour chaque nanobatonnet l'axe X1 forme avec le plan PO un angle a d'au plus 30° et de préférence d'au plus 10° et même d'au plus 5° ou encore d'au plus 2° et - pour chaque nanopalet le plan P1 forme avec le plan PO un angle a d'au plus 30° et de préférence d'au plus 10° et même d'au plus 5° ou encore d'au plus 2°. -4- Les premiers éléments optiques selon l'invention (nanobatonnets et/ou nanopalets) présentent une section efficace de diffusion dans le visible beaucoup plus élevée à la résonance que celle des particules diélectriques connues et aussi une indicatrice de diffusion dans le visible plus contrôlable. La forme et les dimensions de ces premiers éléments optiques métalliques permettent d'extraire efficacement les modes guidés d'une source de lumière comme l'OLED grâce à leur diffusion anisotrope. L'orientation de chaque premier élément optique selon l'invention permet de rediriger la lumière au travers le substrat. L'invention propose aussi un deuxième objet, bien que moins préféré au premier objet, notamment pour les contraintes de transparence (et donc limitation en épaisseur) du milieu métallique décrit ci-après. L'invention propose à cet effet en deuxième objet un support extracteur de lumière (lumière au sens rayonnement dans le visible), notamment lumière émise d'un système électroluminescent organique (ou plus largement de tout système émetteur de lumière surfacique générant des modes guidés) comportant: - un substrat transparent et diélectrique (ou au moins non métallique), de préférence verrier, notamment un vitrage en verre minéral ou organique notamment un film polymère, substrat de préférence d'indice de réfrac- tion ns d'au plus 1,65 à 550nm et de préférence dans toute la gamme du visible, avec une face principale, dite première face, - des éléments d'extraction de lumière, dits éléments optiques, disjoints, et liés à la première face, chaque élément optique en matière non métallique, de préférence diélectrique, qui est d'indice de réfraction d'au plus 3,5 à 550nm et même d'au plus 2,5 à 550nm mieux dans l'ensemble du spectre visible. Au moins une partie des éléments optiques, dits premiers éléments optiques, et de préférence la majorité et même au moins 90% des éléments optiques et même tous, qui présentent chacun des première, deuxième et troisième dimen- sions nanométriques (perpendiculaires entre elles), la première dimension, dite longueur L1, (de préférence longueur moyenne) étant la plus grande et suivant un axe X1, -5- la deuxième dimension, dite épaisseur E1, (de préférence épaisseur moyenne) étant suivant un axe Z1 perpendiculaire à X1 et étant la plus petite des dimensions perpendiculaires à Xl, la troisième, dite largeur W1 (de préférence largeur moyenne), étant suivant un axe Y1 perpendiculaire à X1 et à Z1, avec L1/El>1,5, même L1/El>2, et L1/E1 W1, ou (b) un nanopalet, avec W11,5E1, et 0,3L1 Dans ces mêmes conditions, une particule sphérique métallique ne con- vient pas car elle induit un dipôle parallèle au champ E (donc essentiellement suivant Z) rayonnant essentiellement dans le plan P0. Un élément optique métallique induisant des pertes par absorption l'efficacité d'extraction se mesure par le rapport entre la lumière extraite et la lumière rayonnée dans le guide. Ce rapport est bien supérieur avec le premier élément optique selon l'invention que celui avec une particule sphérique métallique. X1, Y1 et Z1 sont des axes orthogonaux propres à chaque premier élément optique. Ces axes peuvent être distincts d'un premier élément optique à l'autre. Un premier nanobâtonnet peut présenter une résonance induisant un di- pole px suivant son axe X1 et un autre nanobâtonnet présenter une résonance induisant un dipole p'x suivant son axe X1. On préfère que l'axe X1 du premier batonnet soit distinct de l'axe X1 de l'autre nanobâtonnet pour induire deux résonances. Dans une réalisation préférée, tout ou partie des premiers éléments op- tiques (métalliques ou non métalliques)- et de préférence la majorité et même au moins 90% des éléments optiques et même tous - sont des nanopalets, on renforce ainsi les dipôles dans le plan PO pour avoir une résonance dipolaire selon X1 et selon Y1 excitable par un champ électrique selon X1 et Y1 respectivement. Le nanopalet a l'avantage de présenter deux résonances induisant deux dipôles px suivant X1 et py suivant Y1. Encore plus préférentiellement, X1 et Y1 sont dans le plan PO afin de maximiser les dipôles. Le nanopalet (métallique ou non métallique) est plus long (et large) qu'épais et de préférence est un nanocylindre, même un nanodisque, ou encore 30 est un nanodome. Dans ce premier mode de réalisation avantageux, X, est mesurée de la façon suivante. On dispose sur la tranche du support extracteur et dans la région contenant les premiers éléments optiques métalliques (ou de manière similaire non métalliques) le banc optique suivant : -8- - une source blanche, - un monochromateur et des moyens couplés au monochromateur pour balayer le spectre du visible longueur d'onde par longueur d'onde, - un polariseur rendant le champ magnétique H polarisé parallèlement à la première face, - un système optique d'injection dans la région contenant les premiers éléments optiques. On s'arrange alors pour que la direction de propagation soit parallèle à la projection orthogonale de Ll sur le plan P0. Un détecteur est placé perpendiculairement à la première face au-dessus dans la région contenant les premiers éléments optiques du côté de la première face. Le détecteur permet de mesurer la section efficace de diffusion en fonction de la longueur d'onde dans le spectre du visible. Une fois la valeur pic (maxi- male) déterminée on en déduit la longueur d'onde X m associée (abscisse). Pour un premiers élément optique donné, il est possible d'avoir plusieurs pics à X m et X', distincts. On entend par milieu -non métallique- selon l'invention la matière environnante (vide inclus) qui entoure chaque premier élément optique métallique à l'échelle de la longueur d'onde dans le visible divisée par l'indice de réfraction no dans le visible du milieu. On peut considérer que l'épaisseur du milieu tout autour du premier élément optique est d'au plus 150nm et même d'au plus 100nm. De préférence le milieu non métallique est partagé par plusieurs premiers éléments optiques métalliques autrement dit la majorité voire chaque premier élé- ment optique, a un milieu optique identique, notamment formé par une couche (mono ou muticouche). Le milieu non métallique peut être hétérogène notamment la couche réceptrice (d'un premier élément optique) est en matériau distinct de la couche ou région séparatrice (séparant des premiers éléments optiques) et/ou de la couche couvrante (couvrant des premiers éléments optiques). L'indice de réfraction no du milieu hétérogène peut être l'indice de réfraction moyen. On préfère que chacun des matériaux du milieu hétérogène soit d'indice de réfraction d'au plus 3,5 et même d'au plus 2,5. Un cas ou le milieu est homogène (n'est pas hétérogène) est lorsque le premier élément optique est au sein d'une matrice (couche etc). Dans -9- ce cas, la matrice est à la fois couche réceptrice, couche séparatrice et de préférence couche couvrante. La matière non métallique du milieu non métallique selon l'invention quant à elle est soit électroconductrice (semi-conductrice inclus c'est-à-dire faiblement électroconductrice) soit diélectrique. Ainsi, un oxyde et/ou carbure et/ou un nitrure d'un ou de métaux rentre dans la définition du non métallique. Un oxyde transparent conducteur, connu sous le nom de TCO, oxyde d'au moins un métal, et généralement dopé, rentre dans la définition de non métallique et est électroconducteur. L'indice de réfraction est mesuré classiquement par ellipsométrie ou dé- duit après analyse chimique du matériau. Selon l'invention l'indice de réfraction est à 550nm et de préférence sur l'ensemble du spectre visible. Selon l'invention un bas indice de réfraction est inférieur à 1,6 et de préférence d'au plus 1,5. Selon l'invention un haut indice de réfraction est d'au moins 1,7 et de préférence d'au moins 1,8. On entend par section selon l'invention, la section transversale, par opposition à une section longitudinale. La section transversale est de préférence suivant un plan passant par l'axe Z. Un nanobatonnet s'étend suivant l'axe X1 donné, la section transversale (suivant Z1 et Y1) est de préférence (sensiblement) suivant Z et Y. La section lon- gitudinale (suivant X1 et Y1) est alors de préférence dans un plan incluant Z et la normale à Xl. En section longitudinale, le nanobatonnet est de préférence droit, linéaire. Le nanobatonnet peut même serpenter par exemple autour d'une direction X1 25 donnée. De préférence, pour le nanobatonnet, la section transversale (suivant Z1 et Y1) est circulaire, elliptique, polygonale, rectangulaire. Les extrémités latérales du nanobatonnet sont courbes (en demi sphères, nanobatonnet en nanocapsule etc) ou planes. 30 Le nanobatonnet peut être de préférence à (quasi) symétrie de révolution suivant Xl. Les premiers éléments optiques peuvent être de taille distincte (via une ou toutes les dimensions notamment L1, El et W1 etc) et/ou de géométrie distincte, de nature distincte et/ou d'orientations distinctes. - 10 - De préférence pour 50% mieux au moins 80%, même au moins 90% (ou tous) des premiers éléments optiques sont des nanobatonnets ou sont des nanopalets. Par simplicité, on peut de préférence utiliser un seul type de premiers éléments optiques (dimensions identiques ou similaires, même nature) et même d'éléments optiques, avec une éventuelle dispersion sur l'orientation (a variable). Et même de préférence 50% mieux au moins 80%, même au moins 90% (ou tous) des éléments optiques et même tous sont des premiers éléments optiques, et même mieux des nanopalets. L'épaisseur des premiers éléments optiques peut être de préférence plus faible que le diamètre des particules diffusantes classiques diélectriques (de l'ordre de 400nm) ce qui facilite l'obtention d'une couche d'extraction de lumière à faible rugosité de surface et/ou moins épaisse. L'efficacité remarquable d'un premier élément optique selon l'invention peut aussi permettre de mettre moins d'éléments optiques en nombre que de particules diffusantes classiques ce qui facilite aussi l'obtention d'une couche d'extraction de lumière à faible rugosité de surface ou moins épaisse, par exemple utilisant une monocouche d'éléments optiques. Il reste possible d'ajouter des particules diffusantes classiques même si on préfère les omettre ou d'en réduire le nombre. Plus l'angle a est faible, mieux la lumière est extraite. On préfère que le premier élément optique en nanopalet soit le plus symé- trique possible par rapport à l'axe Z. D'un point de vue dimensionnel, L1, El et W1 vont être ajustés aussi en fonction de la matière métallique du premier élément optique, de l'indice de réfrac- tion no du milieu non métallique. La longueur d'onde X, de la résonance utile ne doit pas être dans le do- maine des infrarouges. Pour la placer dans le visible, toutes choses égales par ailleurs, il est préférable de choisir pour la matière métallique, l'argent plutôt que l'or ou même que le cuivre. Toutes choses égales par ailleurs, plus l'indice de réfraction no du milieu non métallique est bas, plus X, est bas. - 11 - Dans une réalisation, les premiers éléments optiques (nanobatonnets et/ou nanopalets) peuvent être liés à la première face notamment suivant deux configurations alternatives ou cumulatives: - en étant directement sur la face principale, - et/ou en étant sur une couche réceptrice, non métallique, continue ou discontinue, intercalée entre les premiers éléments optiques et la première face. La couche réceptrice est de préférence en contact optique par sa face principale dite face interne côté première face du substrat, la face principale oppo10 sée étant dite face externe. La face externe et/ou interne peut recevoir même contenir les premiers éléments optiques. Dans une alternative de réalisation, la couche réceptrice des premiers éléments optiques métalliques (nanobatonnets et/ou nanopalets), par exemple mince et de préférence haut indice, est espacée du substrat (de la première face) 15 et par exemple fixée de manière périphérique (par des moyens mécaniques et/ou adhésifs etc) laissant un jeu (de l'air, du vide) entre la face interne et la première face. La face interne de préférence peut recevoir même contenir les premiers éléments optiques. Dans une réalisation, les premiers éléments optiques métalliques (nano- 20 batonnets et/ou nanopalets) peuvent aussi être liés à la première face par un an- crage partiel dans le substrat (en étant affleurant ou non de la première face) et/ou une couche réceptrice non métallique. Naturellement un premier élément optique métallique (nanobatonnet ou nanopalet) peut comprendre une ou des porosités (disjointes) ou une ou des rup- 25 tures locales, ou encore des irrégularités de contours de matière tellement petites, ponctuelles par exemple de plus grande dimension inférieure à 10nm et mieux d'au plus 5nm. Dans un premier mode de réalisation préféré, des premiers éléments optiques (de préférence la majorité et même au moins 90% ou tous les premiers 30 éléments optiques) sont les nanobatonnets qui présentent chacun les dimensions suivantes : - L1/E1 dans une gamme de 2 à 5, mieux de 2 à 3 - 12 - - Ll inférieure à 300nm, mieux inférieure à 250nm, même à 150nm, de préférence de 10nm à 200nm, mieux de 30 à 150nm et même de 20 à 100nm ou 120nm - (de préférence) El inférieure à 120nm et même à 50nm, de préférence dans une gamme de 5nm à 30nm, et même de 8nm ou de 10nm à 30nm, - et de préférence à (quasi) symétrie de révolution suivant Xl. Typiquement, W1 peut être alors inférieure à 75nm et même à 50nm. W1 peut être entre El e\fl De préférence, des premiers éléments optiques (de préférence la majorité et même au moins 90%) sont les nanobatonnets définis par une grandeur X1 m, satisfaisant l'équation suivante Xlm =127n0+160(L1/E1)+33 lorsque no va de 1 à 2 (et même de 1,3 à 2) et L1/E1 de 2 à 5 (et même de 2 à 3), Xlm étant dans une gamme allant de 380 à 780nm, de préférence inférieure à 700nm et même infé- rieure à 600nm. Expérimentalement, la Demanderesse a découvert que l'écart en valeur absolue entre Xl, et X, est inférieur à 50nm. Dans un mode de réalisation préféré, des premiers éléments optiques (de préférence la majorité et même au moins 90% ou tous les premiers éléments op- tiques) sont les nanopalets qui présentent chacun les dimensions suivantes : - L1/E1 dans une gamme de 2 à 5, mieux de 2 à 3 - Ll inférieure à 300nm, mieux inférieure à 250nm, à 150nm, de préférence de 10nm à 200nm, mieux de 30 à 150nm et même de 20 à 100nm ou 120nm - (de préférence) El inférieure à 120nm et même à 50nm ou à 40nm, de préférence dans une gamme de 5nm à 30nm, et même de 8 ou de 10 à 30nm - 0,5L1 Typiquement, W1 peut être alors inférieure à 150nm et même à 100nm. De préférence, l'axe X1 d'un des premiers éléments optiques, de préférence qui est un nanobatonnet, forme un angle d'au moins 45° et inférieur à 120° avec l'axe X1 d'un autre des premiers éléments optiques, de préférence qui est un nanobatonnet, et encore plus préférentiellement entre 80° et 100°. - 13 - Plus largement on peut avoir une série de premiers éléments optiques suivant un axe X1 donné et une autre série de premiers éléments optiques suivant un autre axe X1 qui forme un angle d'au moins 45° et inférieur à 120° et encore plus préférentiellement entre 80° et 100°. En fonction du procédé de fabrication notamment, on peut s'arranger pour avoir au moins deux directions distinctes de l'axe X1 des nanobatonnets (en gardant a selon l'invention) et de préférence au moins trois directions distinctes ou même quatre directions d'au plus 90° de la direction voisine (la plus proche). Et on préfère que l'axe Z1 soit écarté d'au plus 10° de l'axe Z, et même d'au 5° ou d'au plus 2°. Les axes X1 des nanobatonnets peuvent avoir des directions aléatoires. En particulier, les premiers éléments optiques (métalliques ou non métalliques), de taille ou géométrie distinctes ou identiques, peuvent être orientés de manière aléatoire en projection orthogonale dans le plan PO. En outre, alternativement ou cumulativement, il n'est pas nécessaire que les éléments optiques soient arrangés de manière périodique, ou au moins régulièrement répartis, espacés. Les premiers éléments optiques (métalliques ou non métalliques) peuvent être répartis ou espacés de manière aléatoire. Les premiers éléments optiques (métalliques ou non métalliques) peuvent avoir au moins un espacement aléatoire et même une orientation aléatoire (axe X1 pour le nanobatonnet). De préférence, des premiers éléments optiques (métalliques ou non métalliques), et mieux la majorité, même tous, sont répartis, espacés aléatoirement (nanoobjets rapportés sur la première face ou, pour le premier objet, nanocavités remplies de métal dans le milieu non métallique). Les premiers éléments optiques (métalliques ou non métalliques) peuvent être répartis de manière relativement homogène sur la surface en regard de la surface active (émettrice de lumière). Les premiers éléments optiques (métalliques ou non métalliques) selon l'invention sont disjoints, à distance constante ou variable les uns des autres, de préférence sur une monocouche. Pour limiter d'éventuelles interactions, on préfère que l'espacement Tl entre tout ou partie (de préférence la majorité et même au moins 90% et même tous) premiers éléments optiques métalliques adjacents (et même entre un premier élément optique et tout autre matière métallique envi- - 14 - ronnante)- ou des premiers éléments optiques non métalliques- soit supérieure à la distance de champ proche. T1 est la distance entre les surfaces en regard de premiers éléments optiques adjacents. Dans une réalisation pour l'espacement T1 entre tout ou partie (de préfé- rence la majorité et même au moins 90% et même tous) des premiers éléments optiques adjacents (d'une même monocouche ou entre deux monocouches adjacentes) on préfère que T1 soit d'au moins 100nm, de préférence d'au moins 200nm et même d'au moins 250nm. Si du métal est intercalé dans une couche dite séparatrice entre les pre- miers éléments optiques métalliques, on préfère également que ce métal ne touche pas les premiers éléments optiques et soit distant de préférence d'au moins 100nm, de préférence d'au moins 200nm et mieux de 250nm, de chaque premier élément optique. La section transversale et/ou longitudinale du premier élément optique (métallique ou non métallique) peut être déformée localement par exemple se rétrécir ou s'évaser. De la même manière, la surface du premier élément optique (métallique ou non métallique) peut être lisse ou rugueuse. On préfère que la rugosité de la sur- face (de préférence de la majorité voire de tous) soit inférieure à E1/2 et/ou d'au plus 5nm. Dans une configuration de l'invention, les premiers éléments optiques métalliques (tout ou partie, de préférence la majorité et même au moins 90% ou mieux tous les premiers éléments optiques) sont (rapportés) sur la première face directement ou les premiers éléments optiques métalliques sur une couche dite réceptrice (dépôt, film etc), non métallique, liée à la première face, de préférence en contact optique avec la première face et même mieux en contact adhésif. Eventuellement, tout ou partie des premiers éléments optiques sont sur le substrat ou sur la couche réceptrice, entre des pistes métalliques (électrode, en lignes, en maille etc). Les premiers éléments optiques en matière métallique (de préférence la majorité et même au moins 90% ou mieux tous) peuvent correspondre à des nano-objets (nanopalets et/ou nanobatonnets) rapporté sur la première face directement ou sur une couche dite réceptrice non métallique liée à la première face. - 15 - La couche réceptrice (non métallique) est une couche dite de fond lorsqu'elle est directement sur le substrat (la première face) notamment un dépôt sur le substrat (la première face). Toutefois, on peut intercaler une ou d'autres couches comme une couches barrière (à l'humidité pour un substrat plastique, aux alcalins pour un verre minéral etc) entre le substrat (la première face) et cette couche réceptrice. La couche réceptrice non métallique peut être électroconductrice (semiconductrice inclus), par exemple en oxyde transparent conducteur ou en polymère conducteur, ou de préférence diélectrique. La couche réceptrice peut être un oxyde voire, un nitrure ou un oxynitrure. La couche réceptrice non métallique peut être de de préférence d'épaisseur inférieure à 200nm, et même inférieure à 100nm. La couche réceptrice non métallique peut être constituée d'au moins un matériau, de préférence diélectrique, choisi parmi : - un oxyde, de préférence diélectrique, notamment de l'un au moins des éléments suivants : Si, Ti, Zr, matière notamment formée à partir d'une couche à base de silice déposée par dépôt en phase vapeur dit PVD ou encore à partir d'une couche de silice éventuelle poreuse (par voie sol gel) pour abaisser l'indice de réfraction - un polymère (transparent), de préférence diélectrique - un matériau vitreux (non cristallin) : un sol-gel de silice, - un sol gel d'un ou plusieurs métaux - un (oxy)nitrure notamment de silicium ou encore de titane, notamment formée à partir d'une couche déposée par dépôt en phase vapeur dit PVD ou encore à partir d'une couche sol gel, - ou un oxyde transparent conducteur ou TCO (dopé ou non) qui peut avoir une fonctionnalité (barrière etc) La couche réceptrice (non métallique) peut présenter un indice de réfraction inférieur à 1,6 à 550nm (bas indice de réfraction). Elle peut être alors choisie 30 notamment parmi : une couche polymérique, par exemple polymère fluoré, une couche de silice par exemple sol-gel. La couche réceptrice (non métallique) peut être en contact direct avec les premiers éléments optiques métalliques (tout ou partie des premiers éléments optiques). - 16 - Pour une couche sol gel (couche réceptrice et/ou séparatrice entre les premiers éléments optiques métalliques et/ou couvrante donc couvrant les premiers éléments optiques métalliques), le dépôt peut être réalisé par pulvérisation, par immersion et tirage à partir du sol de silice (ou « dip coating »), par centrifugation (ou « spin coating »), par coulée (« flow-coating »), par rouleau (« roll coating »). On peut ainsi choisir de la silice élaborée à partir de tétraétoxysilane (TEOS), de silicate de sodium, de lithium ou de potassium ou des matériaux hybrides obtenus à partir de précurseurs de type organosilane dont la formule générale est R2, Si(OR1)4_, avec n un entier entre 0 et 2, R1 une fonction alkyl de type CxH2x+1, R2 un groupement organique comprenant par exemple une fonction alkyl, époxy, acrylate, méthacrylate, amine, phényle, vinyle. Ces composés peuvent être utilisés mélangés ou seuls, en solution dans l'eau ou dans un mélange eau/alcool à un pH approprié. On peut choisir une couche à base de méthyltriéthoxysilane (MTEOS), un 15 organosilane à groupement organique non réactif. Le MTEOS est un organosilane qui possède trois groupements hydrolysables et dont la partie organique est un méthyle, non réactif. La couche réceptrice peut être une couche à fonctionnalité de surface : adhésion du premier élément optique (métallique). 20 La couche réceptrice peut être une couche formant promoteur d'adhésion avec la surface de contact de l'élément optique ou un revêtement non métallique de la surface du premier élément optique métallique. Les premiers éléments optiques (métalliques) peuvent être dispersés en une (première et de préférence unique) monocouche sur la couche réceptrice ou 25 le substrat. La couche réceptrice (ou même le substrat s'il est récepteur) peut comprendre : - des portions de surface pour l'adhésion du matériau métallique, - et des portions de surface anti adhésion du matériau métallique (pas de 30 dépôt possible ou retrait facile). La couche réceptrice (non métallique) est une couche dite de fond lorsqu'elle est directement sur le substrat (la première face) notamment un dépôt sur le substrat (la première face). Toutefois, on peut intercaler une ou d'autres couches comme une couches barrière (à l'humidité pour un substrat plastique, aux - 17 - alcalins pour un verre minéral etc) entre le substrat (la première face) et cette couche réceptrice. La couche réceptrice (métallique) peut être de de préférence d'épaisseur inférieure à 200nm, et même inférieure à 100nm. Les premiers éléments optiques non métalliques, de préférence, diélec- triques peuvent correspondent à des nano-objets (nanobatonnets et/ou nanopalets) sur une couche dite réceptrice métallique liée à la première face par exemple (directement) sur la première face. Dans une configuration de l'invention du deuxième objet, les premiers éléments optiques (tout ou partie ; de préférence la majorité et même au moins 90% ou mieux tous les premiers éléments optiques) sont - dispersés dans le milieu métallique, par exemple mélangés avant dépôt sur la première face, de préférence milieu à base d'argent, - sur une couche dite réceptrice (dépôt, film etc), métallique, liée à la première face, de préférence en contact optique avec la première face et même mieux en contact adhésif, par exemple déposés sur la couche réceptrice métallique puis recouvert de métal distinct ou non de la couche réceptrice, de préférence milieu à base d'argent. El, W1 et L1 sont toutes nanométriques (1nm à 999nm) et même infé20 rieures à 500nm même à 250nm, au moins pour W1 et E1. Le premier élément optique (métallique ou non métallique) peut être de forme régulière ou irrégulière. Le nanobatonnet (métallique ou non métallique de préférence diélectrique) peut être : 25 - en grain de riz, en forme de capsule, - un nanocylindre de préférence de révolution (avec une base quelconque : triangulaire, polygonale, carré, rectangulaire, ellipsoïdale... ) conique, pyramidal, éventuellement tronquée par exemple suivant un plan perpendiculaire à X1 ou oblique. 30 Le nanopalet (métallique ou non métallique de préférence diélectrique) peut être : - un nanocylindre, de préférence de révolution, avec une base ovale, circulaire, elliptique, triangulaire etc, en étoiles (polygonale), éventuellement tronquée par exemple suivant un plan, - 18 - - un nanodome par exemple sphère tronquée. Alternativement voire même cumulativement à des premiers éléments optiques, en matière métallique, rapportés (nano-objets déjà décrits) : - la première face est structurée présentant ainsi des premiers trous borgnes logeant au moins partiellement les premiers éléments optiques (nanopalets et/ou nanobatonnets) - sous affleurant, affleurant ou suraffleurant la première face-, et de préférence les premiers éléments optiques ainsi logés comportent chacun un revêtement en ladite matière métallique du premier trou borgne, notamment revêtement directement sur les parois du premier trou borgne ou sur une sous-couche éven- tuelle du premier trou borgne - et/ou la première face est porteuse d'une couche structurée non métallique, de préférence diélectrique, et d'indice de réfraction d'au plus 3,5 à 550nm, couche présentant des premiers trous disjoints, dits autres trous, logeant au moins partiellement les premiers éléments optiques (nanopalets et/ou nanobatonnets) - sous affleurant, affleurant ou suraffleurant la couche- de préférence les premiers éléments optiques ainsi logés comportent chacun un revêtement en ladite matière métallique de l'autre trou, notamment revêtement directement sur les parois de l'autre trou ou sur une sous-couche éventuelle - chaque autre trou qui est borgne ou traversant (le fond étant portion de première face notamment)-. On s'arrange donc pour que le premier trou (et/ou l'autre trou) forme un creux (section en U, en V...) et que la matière métallique ne soit pas conforme (conforme c'est-à-dire ne tapissant que le fond et les flancs) et remplisse sur tout ou partie de l'épaisseur du trou. Le trou peut être à la fois dans le substrat et dans la couche rapportée. En particulier certains voire la majorité et même tous les premiers éléments optiques (métalliques), sont formés par un revêtement discontinu en la ma- tière métallique dans les trous, par exemple par dépôt sélectif et/ou par mas- quage. Le trou peut être en forme de nanopalet creux ou de nanobatonnet creux. Les trous peuvent être des rainures ou de préférence moins allongés, notamment: cylindrique, cubique, cône, ... - 19 - La section des trous peut être en U, en V, pyramidale, tronconique, en dôme. Les trous sont de préférence de largeur W1 et de longueur L'1 nanométriques et même d'épaisseur E'l nanométriques. De préférence, les trous pour les nanobatonnets présentent les dimen- sions suivantes : - L'1 inférieure à 300nm, mieux inférieure à 250nm, ou à 150nm de préférence de 10nm à 200nm, mieux de 30 à 150nm et même de 20 à 100nm, - \A/1 inférieure à 150nm et même à 100nm. De préférence, les trous pour les nanopalets présentent les dimensions suivantes : - L'1 inférieure à 300nm, mieux inférieure à 250nm, ou à 150nm de préférence de 10nm à 200nm, mieux de 30 à 150nm et même de 20 à 100nm - \A/1 inférieure à 150nm et même à 100nm. On peut préférer en outre cumulativement ou alternativement aux dimensions précités (nanopalet ou nanobatonnet) que : - la matière métallique soit sous affleurante de la première face avec un écart entre surface du premier élément optique et première face du trou borgne (ou la surface de la couche rapportée pour l'autre trou) d'au plus 200nm et même 100nm, - la matière métallique soit affleurante de la première face (ou de l'autre trou) d'au plus 200nm et même d'au plus 100nm, - la matière métallique soit suraffleurante de la première face avec un écart entre surface du premier élément optique et première face du trou borgne (ou de la surface de la couche rapportée pour l'autre trou) d'au plus 200nm et même d'au plus 100nm. La couche non métallique structurée avec des tels trous forme une couche séparatrice entre les premiers éléments optiques métalliques et même parfois une couche réceptrice des premiers éléments optiques en étant présente sous les premiers éléments optiques en cas de trous borgnes. Le matériau métallique est par exemple déposé par dépôt en phase liquide ou en dépôt en phase vapeur. - 20 - Selon l'invention, on entend par matière métallique pour le premier élément optique, un métal (pur ou allié) au sens classique dans la classification périodique des éléments. Il en est de même pour le milieu métallique du second objet. Des particules diffusantes classiques dans les couches d'extraction de lumière sont par exemple des particules de TiO2 d'au moins 400nm de diamètre voire même micronique. Les premiers éléments optiques peuvent être de préférence de plus petite taille (au moins pour la largeur et l'épaisseur), et grâce à leur efficacité cela contribue à réduire l'épaisseur de région d'extraction de lumière. De même, il n'est pas forcément nécessaire de planariser les premiers éléments op- tiques, notamment par une matière diélectrique sous l'électrode, ou à tout le moins l'épaisseur nécessaire pour planariser, notamment par une matière diélectrique sous l'électrode, peut être réduite, notamment submicronique. De préférence, le support extracteur selon l'invention comprend une couche non métallique dite séparatrice entre les premiers éléments optiques mé- talliques, une couche couvrante non métallique couvrant au moins un premierélément optique, mieux des ou les premiers éléments optiques. Ces deux couches peuvent être en fait une seule couche avec une région séparatrice et une région couvrante. La couche couvrante qui est bas indice peut être avantageusement dis- continue, c'est-à-dire localisé directement sur les premiers éléments optiques sans s'étendre latéralement par exemple d'au plus 50nm ou 30nm. Cette couche couvrante discontinue bas indice peut être d'épaisseur d'au plus 100nm et même 50nm et être revêtue d'une couche haut indice diélectrique ou électroconductrice (TCO, polymère conducteur) qui remplit aussi les disconti- nuités. La couche couvrante les premiers éléments optiques peut être d'au moins 20pm qui est l'épaisseur classique de couche diffusante dans le cas d'émail diffusant planarisé et appliqué par sérigraphie de l'art antérieur. Avantageusement, pour réduire l'absorption et parce que les premiers élé- ments optiques métalliques sont susceptibles de créer une faible rugosité et peuvent être en plus faible quantité étant donné leur efficacité, le support extracteur comporte une couche dite couvrante non métallique couvrant les premiers éléments optiques métalliques (de préférence tous les premiers éléments optiques, -21- notamment au moins d'une monocouche), notamment couche diélectrique, de préférence formant planarisation des premiers éléments optiques (en saillie de la première face), et/ou étant présente entre les premiers éléments optiques formant ainsi également une couche dite séparatrice. Cette couche couvrante non métallique peut être d'épaisseur inférieure à 5pm, ou même submicronique (inférieure à 1pm) d'au plus 800nm et même d'au plus 500nm ou d'au plus 300nm et même d'au plus 150nm. L'épaisseur de la couche couvrante peut être encore abaissée (d'au plus 100nm ou même d'au plus 50nm par exemple) en particulier dès lors que la plana- risation obtenue est suffisante. Ainsi l'épaisseur de la couche couvrante Er peut être : - au plus égal à deux fois l'épaisseur maximale El m du premier élément optique métallique (en saillie de la première face) et même au plus El m ou au plus 0,5Elm - ou, si au moins partiellement logé dans un trou borgne de la première face, deux fois l'épaisseur maximale de la partie du premier élément optique métallique qui est en saillie de la première face et même au plus égale à cette épaisseur maximale ou au plus 0,5 fois cette épaisseur maximale - ou si au moins partiellement logé dans un trou d'une couche rapportée, deux fois l'épaisseur maximale de la partie du premier élément optique métallique qui est en saillie de la couche rapportée, et même au plus égal à cette épaisseur maximale ou au plus 0,5 fois cette épaisseur maximale. La couche couvrante non métallique peut être: - d'une monocouche sous l'électrode, haut indice de préférence voire bas indice (d'au plus 100nm), - d'une multicouche sous l'électrode par exemple couche bas indice (d'au plus 100nm) et couche haut indice (de planarisation) - d'une couche faisant partie ou formant l'électrode. Plus largement, l'épaisseur cumulée de la couche séparatrice non métallique et la couche couvrante non métallique (notamment couche formant à la fois couche séparatrice et couche couvrante) peut être d'épaisseur inférieure à 5pm, 3 0 19 94 1 - 22 - ou même submicronique (inférieure à 1pm) d'au plus 800nm et même d'au plus 500nm ou d'au plus 300nm et même d'au plus 150nm. L'épaisseur cumulée E, de la couche séparatrice et de la couche couvrante peut être encore abaissée (d'au plus 100nm ou même 50nm par exemple) 5 en particulier dès lors que la planarisation obtenue est suffisante. Ainsi l'épaisseur cumulée E, peut être au plus égal à trois fois l'épaisseur maximale E1m du premier élément optique métallique (en saillie de la première face) et même d'au plus égal 2E1m ou d'au plus 1,5E1m. Cette couche couvrante non métallique peut être : 10 - diélectrique, des oxydes tels que de l'oxyde de niobium, de l'oxyde de zirconium, de l'alumine, de l'oxyde de tantale, des nitrures tels que nitrure de silicium, d'aluminium, - en oxyde transparent conducteur (TCO), par exemple ITO, AZO, Sn02:F, Sn02:Sb, Ti02:Nb, 15 - à base de (nano)particules métalliques ou d'oxyde(s) conducteur(s) no- tamment dans un liant électroconducteur ou électriquement isolant, - en polymère conducteur. Comme polymère conducteur pour la couche couvrante (et/ou la couche séparatrice entre les premiers éléments optiques) on peut choisir parmi l'une au 20 moins des familles suivantes : - la famille des polythiophènes, comme le PEDOT (3,4- polyéthylenedioxythiopène), le PEDOT/PSS c'est-à-dire le (3,4- polyéthylènedioxythiopène mélangé avec polystyrènesulfonate, et autres dérivés décrits dans la demande US 2004 253439, 25 - ou encore les poly(acétylène)s, poly(pyrrole)s, poly(aniline)s, po- ly(fluorène)s, poly(3-alkyl thiophène)s, polytétrathiafulvalènes, polynaphthalènes, poly(p-phénylène sulfide), et poly(para-phénylène vinylène)s. Comme polythiophènes, on peut choisir par exemple le produit commer- 30 cialisé par la société HC Strack sous le nom de BAYTRON® ou encore par la société Agfa sous le nom d'Orgacon®, ou d'Orgacon EL-P3040® ou encore de la société Heraeus le CleviosTM FET de p de moins de 10-2 Ohm.cm, ou le CleviosTM HIL 1.1. de p de l'ordre de 10 Ohm.cm. - 23 - On entend selon l'invention par « à base de » comme au moins 50% en poids de la matière (solide) en jeu et de préférence 80% et même 90% et encore plus préférentiellement essentiellement constituée de. Par exemple, une couche à base de silice contient donc au moins 50% en poids et mieux au moins 80% en poids de silice. Une couche à base de silice po- reuse contient donc au moins 50% en poids et mieux au moins 80% en poids de silice sur la matière solide. Une couche à base de silice chargée contient donc au moins 50% en poids et mieux au moins 80% en poids de silice sur la matière solide hors charges. Par exemple un premier élément optique à base d'argent (pur ou allié) contient donc au moins 50% en poids et mieux au moins 80% en poids d'argent, qu'il soit monocouche (monolithique) ou multicouche. Il en est de même pour le milieu métallique du second objet à base d'argent (pur ou allié) et qui contient donc de préférence au moins 50% en poids et mieux au moins 80% en poids d'argent, qu'il soit monocouche (monolithique) ou multicouche. La couche couvrante qui est directement sur les premiers éléments optiques métalliques (notamment en saillie de la première face en s'éloignant du substrat) fait partie du milieu non métallique desdits premiers éléments optiques. La couche couvrante non métallique (éventuellement formant couche sé- paratrice entre les premiers éléments optiques) peut être choisie parmi l'un au moins des matériaux suivants: - une matière verrière, notamment un émail par exemple à base de fritte de verre haut indice de réfraction (bismuth, plomb, lanthane) comme décrit dans les brevets W02009116531, W02011089343 ou encore W02010084922 et W02010084925, - un oxyde métallique de silicium, notamment en couche sol gel et/ou couche mince déposée par PVD, - un nitrure ou oxynitrure métallique (titane etc) ou de silicium, par exemple en contact avec une électrode sus-jacente, - un polymère sulfuré, et/ou un empilement desdits matériaux, notamment : - émail/nitrure de silicium et/ou nitrure de titane - couche (sol-gel) de silice/nitrure de silicium et/ou nitrure de titane - 24 - - couche (sol-gel) de silice/ couche (sol-gel) d'oxyde de titane(/ nitrure de silicium et/ou de titane) - couche (sol-gel) de silice/ couche (sol-gel) de silice chargée de particules haut indice comme l'oxyde de titane(/ nitrure de silicium et/ou de titane). Aussi, de préférence, le support extracteur selon l'invention comprend une couche dite couvrante, non métallique, couvrant les premiers éléments optiques métalliques, de préférence formant une couche de planarisation des premiers éléments optiques en saillie de la première face. Et de préférence, le support ex- tracteur selon l'invention comprend une couche séparatrice non métallique entre les premiers éléments optiques métalliques) éventuellement distincte (par une interface discernable) de la couche couvrante. La couche couvrante (et de préférence la couche séparatrice) est alors à base d'un matériau choisi parmi l'un au moins des matériaux suivants: - une matière verrière, notamment un émail de préférence haut indice, - un oxyde à base de l'un au moins des éléments suivants : Si, Ti, Zr et leurs mélanges notamment une silice, un oxyde de titane, un oxyde de titane et de zirconium, un oxyde de zirconium, de la silice chargée avec des nanoparticules de haut indice de réfraction (oxyde de titane etc), - un oxyde transparent conducteur (TCO), notamment à base de l'un au moins des éléments suivants : Sn, In, Zn et leurs mélanges notamment SnO, ZnO , SnZnO, ITO, ITZO, AZO, GZO, AGZO, - un nitrure métallique ou de silicium, - un polymère transparent notamment sulfuré, un PEDOT, un PEDOT/PSS, et/ou un empilement desdits matériaux. Si la couche couvrante est d'indice de réfraction d'au plus 1,6 à 550nm, comme une couche de silice ou essentiellement en silice, on préfère qu'elle soit d'au plus 100nm et même d'au plus 50nm pour favoriser la propagation de la lu- mière vers le substrat. On peut avoir une étendue latérale limitée de chaque couche couvrante bas indice de réfraction associée à un premier élément optique métallique, typiquement chacune est localisée sur un premier élément optique métallique et par exemple d'épaisseur d'au plus 100 nm. Entre les premiers éléments optiques mé- - 25 - talliques et latéralement à cette couche couvrante localisée et sur cette couche couvrante (électrode couche diélectrique) on peut avoir une matière haut indice. De préférence, la couche couvrante non métallique (dite haut indice) couvrant les premiers éléments optiques métalliques (tout ou au moins la majorité), et/ou étant présente entre les premiers éléments optiques métalliques (tout ou au moins la majorité) formant ainsi également une couche dite séparatrice, est d'indice de réfraction d'au moins 1,7 à 550nm (de préférence dans tout le spectre visible) et de préférence d'au plus 2, de préférence entre 1,8 et 1,9. On peut choisir en particulier pour la couche couvrante haut indice: - un couche d'émail à base d'oxyde de bismuth, de plomb, de lanthane comme par exemple ceux décrits dans les brevets W02009116531, W02011089343 ou encore W02010084922 et W02010084925 - une couche sol gel de silice (typiquement d'indice de réfraction à 1,44) chargée avec des (nano)particules de plus haut indice de réfraction, comme l'oxyde de titane, par exemple d'au moins 30% mieux 40% en fraction volumique et même 60% en fraction volumique sans dépasser 70% de préférence (74% correspond à un empilement compact de na- noparticules) ou encore comme la zircone, - une couche mince notamment déposée par PVD : en nitrure de silicium, oxyde de titane, oxyde mixte de titane et de zirconium, oxyde de zinc, oxyde d'étain, oxyde de zinc et d'étain, oxyde de silice et de zirconium, - une couche en polymère haut indice notamment polymère sulfuré. On peut envisager une couche couvrante déposée par voie PVD lorsque la rugosité de la couche séparatrice et des premiers éléments optiques (métal- ligues) est déjà limitée. De préférence, lorsque la surface des éléments optiques et/ou de la couche séparatrice, est (déjà) de Ra inférieure à 10nm. L'épaisseur moyenne de la couche couvrante va dépendre de la rugosité des premiers éléments optiques métalliques comme déjà dit, et/ou également de la rugosité de la couche séparatrice (distincte) et /ou de son absorption (ou de sa transparence) et de son indice de réfraction. On préfère une épaisseur submicro- nique et même d'au plus 100nm. La couche couvrante peut avoir des ondulations à plus grande échelle que l'échelle des défauts impactant l'OLED c'est-à-dire au-delà de lOpm. - 26 - De préférence, la surface de la couche couvrante est de Ra inférieure à 10nm, mieux à 5nm ou même à 3nm. Le paramètre de rugosité bien connu Ra peut être définie par exemple selon la norme 1S04287 et mesurée par microscopie à force atomique sur lOpm par lOpm. On préfère en outre que le nombre de défauts macroscopiques (de taille su- périeure à 5pm, par exemple poussière) de la couche couvrante soit inférieur à 10 par cm2. Ce nombre peut être évalué par microscopie optique. La surface de la couche couvrante peut présenter des ondulations à grande échelle par exemple une amplitude de 1 pm sur 100 à 200pm de période latérale. Les premiers éléments optiques métalliques sont de préférence séparés par de la matière solide. Le support extracteur de lumière peut comporter une couche bas indice directement sur les premiers éléments optiques (métalliques) de préférence d'au plus 100nm par exemple en silice et une couche haut indice en les matériaux pré- cités éventuellement plus épaisse recouvrant la couche bas indice et même pla- narisante. Le support extracteur peut comprendre une couche dite séparatrice non métallique entre les premiers éléments optiques (métalliques); monocouche ou multicouche, notamment distincte de la couche couvrante non métallique précitée et/ou le substrat comprend une région dite séparatrice (non métallique car diélec- trique) entre les premiers éléments optiques (métalliques) logés (au moins partiellement) dans des trous borgnes de la première face. La couche couvrante non métallique est éventuellement de matière identique à la couche séparatrice non métallique ou au moins l'interface n'est pas dis- tincte comme déjà indiqué. Un seul dépôt peut former à la fois la couche séparatrice et la couche couvrante. Un seul dépôt peut compléter le remplissage partiel entre les éléments optiques et couvrir les éléments optiques. La couche séparatrice non métallique peut être également être choisie parmi l'un au moins des matériaux suivants: - une matière verrière, notamment un émail, - un oxyde métallique ou de silicium, notamment en couche sol gel et/ou couche mince déposée par PVD), - un nitrure métallique (titane etc) ou de silicium, - un polymère sulfuré, un PEDOT, un PEDOT/PSS - 27 - et/ou un empilement desdits matériaux. La couche séparatrice non métallique peut être ainsi à base d'un matériau choisi parmi l'un au moins des matériaux suivants: - une matière verrière, notamment un émail par exemple à base de fritte de verre haut indice de réfraction (bismuth, plomb, lanthane) comme décrit dans les brevets W02009116531 ou W02011089343 ou encore W02010084922 et W02010084925, - un oxyde à base de l'un au moins des éléments suivants : Si, Ti, Zr et leurs mélanges notamment une silice, un oxyde de titane un oxyde de titane et de zirconium, un oxyde de zirconium, de la silice chargée avec des nanoparticules de haut indice de réfraction (oxyde de titane etc), - un oxyde transparent conducteur (TCO), notamment à base de l'un au moins des éléments suivants : Sn, In, Zn et leurs mélanges notamment SnOx' ZnOx , SnZnOx, ITO, AZO, IGZO, AGZO, - un nitrure métallique ou de silicium - un polymère notamment sulfuré, un PEDOT, un PEDOT/PSS. La couche séparatrice non métallique, dite bas indice, peut être d'indice de réfraction à 550nm inférieur à 1,7 à 550nm et de préférence d'au plus 1,5, notamment une couche à base de silice. On préfère alors qu'elle soit d'au plus 100 nm, et même d'au plus 50nm pour favoriser la propagation de la lumière vers le substrat. La couche séparatrice non métallique peut être multicouche, auquel cas c'est chaque couche dudit multicouche d'indice de réfraction à 550nm inférieur à 1,7, qui est d'au plus 100 nm, et même d'au plus 50nm. De préférence, cette couche séparatrice non métallique (dite haut indice) est d'indice de réfraction à 550nm d'au moins 1,7 et de préférence d'au plus 2, notamment entre 1,8 et 1,9. On peut choisir en particulier pour cette couche séparatrice non métallique (mono ou multicouche) haut indice: - une couche en émail à base d'oxyde de bismuth, de plomb de lanthane comme par exemple ceux décrits dans l'art antérieur précité, - et/ou une couche de sol gel de silice (typiquement d'indice de réfraction à 1,44 à 550nm) chargées avec des nanoparticules de plus haut indice de réfraction comme l'oxyde de titane, par exemple d'au moins 30 - 28 - mieux 40% en fraction volumique et même 60% en fraction volumique sans dépasser 70% de préférence (74% correspond à un empilement compact de nanoparticules), - et/ou une couche notamment déposée par PVD : en nitrure de silicium, oxyde de titane, oxyde mixte de titane et de zirconium, oxyde de zinc, oxyde d'étain, oxyde de zinc et d'étain, oxyde de silice et de zirconium - et/ou une couche en polymère(s) haut indice : polymère sulfuré, PEDOT, PEDOT/PSS. La couche séparatrice peut être d'épaisseur telle que les premiers élé- ments optiques métalliques restent saillants ou affleurant la couche séparatrice. La couche séparatrice entre les premiers éléments optiques (métalliques) peut être d'épaisseur inférieure ou égale à l'épaisseur (maximale) des premiers éléments optiques. Si les premiers éléments optiques (métalliques) forment des protubérances (sont en saillie) de la couche séparatrice une couche couvrante cou- vrant les premiers éléments optiques (métalliques) peut aussi combler l'espace restant entre les premiers éléments optiques (métalliques). De préférence, la surface de la couche séparatrice non métallique est de Ra inférieure à 10nm, mieux à 5 nm ou même à 3nm. Si possible, il n'est ainsi pas nécessaire de rajouter une couche à fonction de planarisation, non métallique, notamment diélectrique, sur le premier élément optique (métallique). En d'autres termes on peut envisager alors qu'une couche électroconductrice de l'électrode, choisie alors non métallique, couvre directement la couche séparatrice et les premiers éléments optiques (métalliques). Au-delà de cette configuration, une couche séparatrice peut être non mé- tallique et électroconductrice, comme un polymère conducteur ou un TCO, et faire ainsi partie d'une électrode. Par exemple on peut envisager une couche réceptrice voire même de fond non métallique et électroconductrice par exemple une couche déposée par PVD (ITO etc), les premiers éléments optiques métalliques sur cette couche. Aussi le support peut comprendre une couche électroconductrice transpa- rente non métallique, à base de polymère conducteur et/ou d'oxyde transparent conducteur, couvrant les premiers éléments optiques et/ou entre les premiers éléments optiques, notamment formant ou faisant partie d'une électrode transparente - 29 - Par ailleurs, le support peut comprendre une couche métallique sous forme de pistes métalliques, disjointes ou interconnectées, notamment arrangée en grille, entre les premiers éléments optiques métalliques (et faisant partie d'une électrode) et/ou (de préférence) au-dessus des premiers éléments optiques mé- talliques (et faisant partie d'une électrode) notamment sur une couche couvrante, de préférence diélectrique, sur les premiers éléments optiques L'espacement peut être tel entre les pistes métalliques (ou une surface de mailles telles) que les premiers éléments optiques métalliques ne sont pas en contact avec les pistes. Si des premiers éléments optiques métalliques sont en con- tact avec les pistes métalliques, ils sont inopérants et ne sont plus définis comme premiers éléments optiques mais comme éléments sacrificiels. De préférence, la majorité sont des premiers éléments optiques métalliques et non des éléments sacrificiels ou au moins il y a suffisamment de premiers éléments optiques métalliques. On préfère en outre que le nombre de défauts macroscopiques (de taille su- périeure à 5pm) de la couche séparatrice (revêtue ou non d'une couche couvrante non métallique) soit inférieur à 10 par cm2. Ce nombre peut être évalué par microscopie optique. La couche séparatrice peut avoir des ondulations à plus grande échelle que l'échelle des défauts impactant l'OLED c'est-à-dire au delà de lOpm. La surface de la couche séparatrice peut présenter des ondulations à grande échelle par exemple une amplitude de 1pm sur 100 à 200pm de période latérale. Le terme couche séparatrice est pris au sens général il peut s'agir : - de préférence d'un dépôt de matériau(x) entre les premiers éléments optiques (métalliques) notamment dispersés sur le substrat ou sur une couche réceptrice sur le substrat, - et/ou un film autosupporté incorporant les premiers éléments optiques (métalliques), saillants ou non, - et/ou encore du substrat lui-même si les premiers éléments optiques (métalliques) sont dans des trous borgnes - et/ou encore une couche (film rapporté, dépôt..) si les premiers éléments optiques (métalliques) sont dans des trous (borgnes ou traversant) de cette couche. - 30 - Dans le cas d'une couche (séparatrice et/ou couvrante etc) obtenue par voie sol-gel (oxyde de silice, titane, zirconium et leurs mélanges) on préfère notamment une épaisseur submicronique, d'au plus 800nm et même d'au plus 500nm ou mieux d'au plus 300nm et même d'au plus 200nm ou 100nm pour une meilleure tenue mécanique et une facilité de dépôt. Pour ajuster la longueur d'onde on peut souhaiter qu'au moins un des premiers éléments optiques- métalliques- (et de préférence la majorité, au moins 80% ou même tous) soit entouré ou partiellement entouré d'un milieu non métallique bas indice (d'indice de réfraction à 550nm inférieur à 1,6 et même d'au plus 1,5), de préférence diélectrique, dit milieu tampon notamment qui est entre la couche séparatrice choisie haut indice et le premier élément optique, Aussi, le milieu non métallique (de la majorité et de préférence d'au moins 80% des premiers éléments optiques) peut comprendre un milieu tampon, non métallique, d'indice de réfraction inférieur à 1,6 à 550nm et même d'au plus 1,5, (directement) sur ledit premier élément optique (sa surface externe), voire même entourant (et en contact avec ) ledit premier élément optique, de préférence d'épaisseur d'au plus 100nm de préférence même d'au plus 50nm et même d'au moins 8nm, mieux au moins 20nm ou 30nm, milieu tampon de préférence en partie au-dessus de la première face. Le milieu tampon peut être une couche dite tampon rapportée sur le pre- mier élément optique (métallique) ou déposé dans un trou d'une couche structurée haut indice avant de former le premier élément optique par un revêtement métallique sur la couche tampon. Le milieu tampon bas indice peut comporter une couche de silice, no-25 tamment une couche sol-gel, et même une couche de silice poreuse (pour abaisser l'indice de réfraction) et même de l'air. Le milieu tampon (notamment un dépôt) peut être adjacent à une couche séparatrice entre les premiers éléments optiques, d'indice de réfraction d'au moins 1,7 à 550nm et de préférence d'au plus 2, notamment entre 1,8 et 1,9. 30 Le milieu tampon peut être en matière identique à la couche réceptrice des premiers éléments optiques ou au substrat. Le milieu tampon peut inclure aussi le substrat bas indice. -31- Le milieu tampon peut être de la silice, un émail bas indice, une couche de silice, notamment une couche sol gel, et même une couche de silice poreuse (pour abaisser l'indice de réfraction). La surface (externe) d'au moins un des premiers éléments optiques (mé5 talliques) -et de préférence la majorité voire au moins 80% ou même tous- peut comporter un revêtement choisi parmi : - une couche dite bas indice, d'indice de réfraction inférieur à 1,6 à 550nm et de préférence d'au plus 1,5, de préférence d'au plus 100nm et par exemple d'au moins 8 nm mieux au moins 20nm ou 30nm, ledit 10 premier élément optique étant éventuellement entourée de ladite couche bas indice, - un revêtement promoteur d'adhésion avec la première face ou une couche réceptrice éventuelle sur le substrat. La lumière à extraire (notamment de l'OLED) rencontre au moins un pre- 15 mier élément optique (métallique) avant d'être absorbée. La distance parcourue avant absorption complète est de l'ordre de quelques microns. Il s'ensuit que, sur au moins 80% de la surface destinée à former la zone d'extraction (par exemple correspondant sensiblement à la surface de l'électrode) : - le nombre de nanobatonnets (métalliques) par unité de surface est su- 20 périeur à 1 par pm2 et même de préférence supérieur à 3 par pm2 et de préférence inférieur à 10 par pm2. - le nombre de nanopalets (métalliques) par unité de surface est supérieur à 1 par pm2 et même de préférence supérieur à 3 par pm2 et de préférence inférieur à 10 par pm2 25 Suivant l'invention, la résistivité du milieu non métallique électroconduc- teur, ou au moins de la couche séparatrice électroconductrice et/ou de la couche couvrante électroconductrice identique ou distincte ; peut être inférieure ou égale à 500mOhm.cm, de préférence inférieure ou égale à 50mOhm.cm, S'il s'agit d'un TCO cela peut être inférieur à 0,1mOhm.cm. 30 S'il s'agit d'un semi-conducteur cela est notamment entre 0,1 et 50mOhm.cm (bornes incluses), de préférence entre 5 et 50mOhm.cm (bornes incluses). - 32 - Pour le second objet, la matière non métallique du premier élément optique dans le milieu métallique peut être électroconductrice, en oxyde transparent conducteur, en polymère conducteur, plutôt que diélectrique. Sur au moins 80% de la surface destinée à former la zone d'extraction (par exemple correspondant sensiblement à la surface de l'électrode) on préfère que : - le nombre de nanobatonnets non métalliques par unité de surface est supérieur à 1 par pm2 et même de préférence supérieur à 3 par pm2 et de préférence inférieur à 10 par pm2. - le nombre de nanopalets non métalliques par unité de surface est supé- rieur à 1 par pm2 et même de préférence supérieur à 3 par pm2 et de préférence inférieur à 10 par pm2 La matière du premier élément optique diélectrique dans le milieu métallique comprend voire est constituée d'au moins un des matériaux, par exemple diélectrique, suivants : - un oxyde à base de l'un au moins des éléments suivants et leurs mélanges ; Si, Ti, Zr, silice éventuelle poreuse pour abaisser l'indice de réfraction, - un polymère notamment polystyrène (PS), latex, polyméthacrylate de méthyle (PMMA), - un matériau vitreux (non cristallin) : un verre (minéral), une vitrocéramique, un émail, notamment qui est le matériau du substrat, - ou encore un oxyde à base de l'un au moins des éléments suivants et leurs mélanges, éventuellement dopé; Sn, In, Zn et leurs mélanges, oxyde qui peut être diélectrique ou électroconducteur (semi conducteur compris). On peut aussi avoir un empilement des matériaux précités. On peut aussi choisir une céramique. La matière du premier élément optique non métallique, de préférence dié- lectrique, dans le milieu métallique (de préférence de la majorité voire de tous) présente de préférence un indice de réfraction inférieur à 1,8 et même à 1,65 ou à 1,5 à 550nm et mieux dans l'ensemble du spectre du visible. La matière peut être alors comprendre notamment: un polymère, de la silice éventuellement poreuse, - 33 - un élément diélectrique creux (silice etc), de l'air, le matériau du substrat notamment verre (minéral). Le premier élément optique non métallique, de préférence diélectrique, peut avoir un élément de coeur plein non métallique et revêtu d'un ou plusieurs revêtements fonctionnels non métalliques. Le milieu métallique, de préférence à base d'argent (pur ou allié) peut comprendre une multicouche métallique, formée d'une couche réceptrice métallique des premiers éléments optiques non métallique, d'une couches séparatrice métallique entre les premiers éléments optiques non métallique et d'une couche 10 couvrante métallique sur les premiers éléments optiques non métallique. L'épaisseur cumulée est de préférence d'au plus 15nm et même d'au plus lOnm. Ceci peut être réalisé par lithographie électronique. De préférence, dans le cas de premiers éléments optiques (métalliques ou non métalliques) rapportés sur la première face (sur et/ou au-dessus) on calcule 15 ce nombre en projetant les éléments optiques éventuellement sur la première face. Si deux premiers éléments optiques (métalliques ou non métalliques) sont en coïncidence exacte l'un au-dessus de l'autre on compte ces deux éléments optiques. Selon l'invention, le terme couche est pris au sens large il peut s'agir de 20 dépôt(s) de matière, de film(s) rapporté(s). Il peut s'agit d'une monocouche de ma- tière ou d'une multicouche de matière(s), et/ou d'une partie du substrat (partie supérieure coté première face). Le milieu non métallique (notamment la couche séparatrice, la couche couvrante) est choisi pour faiblement absorbant le moins possible et être même le 25 plus transparent possible. De préférence, pour le premier objet : - l'absorption de l'ensemble substrat/(sous couche(s))/ (couche réceptrice)/ premiers éléments optiques /couche séparatrice est d'au plus 10% et mieux d'au plus 5%, 30 - l'absorption de l'ensemble substrat/(sous couche(s))/(couche récep- trice) / premiers éléments optiques /(couche séparatrice)/ couche couvrante est d'au plus 10% et mieux d'au plus 5%. De préférence, pour le premier objet : - 34 - - la transmission lumineuse TL (ou au moins la transmission à 550nm) de l'ensemble substrat//(sous couche(s))/(couche réceptrice)/ premiers éléments optiques /couche tampon)/couche séparatrice est d'au moins 75% mieux d'au moins 80% - la transmission lumineuse (ou au moins à 550nm) de l'ensemble subs- trat//(sous couche(s))/(couche réceptrice)/ premiers éléments optiques /couche tampon)/couche séparatrice/couche couvrante est d'au moins 75% mieux d'au moins 80%. La TL ou la transmission à 550nm est mesurée à l'aide d'un spectropho- tomètre. On peut prévoir une première région avec des premiers éléments optiques métalliques et une deuxième région au-dessus de la première région en direction opposée au substrat) de premiers éléments optiques métalliques différents ou identiques. Par exemple, au moins une deuxième monocouche de premiers éléments optiques (métalliques), sous forme de nanoobjets, est au-dessus de la première monocouche de premiers éléments optiques rapportés sur le substrat. Entre les première et deuxième couche il peut y avoir une couche de préférence haut indice. De préférence, pour le deuxième objet, l'absorption de l'ensemble subs- trat/(sous couche(s))/ premiers éléments optiques dans milieu métallique est d'au plus 10% et mieux d'au plus 5%. Dans le mode de réalisation particulièrement préféré avec les nanobatonnets métalliques: - les nanobatonnets sont à base d'argent pur ou allié, de préférence des nano-objets rapportés, - L1/E1 dans une gamme de 2 à 3, - Ll de 20 à 100nm ou 120nm et/ou de préférence El de 8 ou de 10 à 30nm, - une couche séparatrice entre les nanobatonnets est d'indice de réfrac- tion d'au moins 1,7 à 550nm, couche d'oxyde(s), - une éventuelle couche couvrante couvre (la majorité et même tous) les nanobatonnets et est d'indice de réfraction d'au moins 1,7 à 550nm, couche séparatrice et couvrante pouvant être une seule couche, - 35 - - l'ensemble couche séparatrice et couche couvrante étant d'épaisseur Er inférieure à lpm et même à 250nm ou à 150nm, et même de préférence l'épaisseur entre le substrat et l'électrode étant inférieure à 5pm et même à 1 pm et même à 250nm ou à 150nm, - éventuellement le nanobatonnet est entouré ou au moins comporte sur sa surface une couche bas indice de réfraction, de préférence d'au plus 100nm, notamment sous la couche couvrante (haut indice). Dans le mode de réalisation préféré avec des nanobatonnets diélec- triques: - les nanobatonnets sont des nano-objets, de préférence de silice, éven- tuellement le nanobatonnet est entouré ou au moins comporte sur sa surface une couche bas indice de réfraction, - L1/E1 dans une gamme de 2 à 3, - Ll de 20 à 100nm ou 120nm et/ou de préférence El de 8 ou de 10 à 30nm, - le milieu métallique est de préférence à base d'argent pur ou allié, par exemple une multicouche métallique, formée d'une couche réceptrice métallique et d'une couche séparatrice métallique et d'une couche couvrante métallique, couches en matière identique (argent), d'épaisseur cumulée d'au plus 15nm et d'au plus lOnm. Dans le mode de réalisation préféré avec des nanopalets métalliques: les nanopalets sont à base d'argent, pur ou allié, de préférence des na- no-objets rapportés, El dans une gamme de 2 à 3, Ll de 20 à 100nm ou 120nm et/ou de préférence El de 8 ou de 10 à 30nm, et même 0,51_1 Avantageusement, l'électrode selon l'invention (grille ou couche conti- nue) peut présenter une résistance carré inférieure ou égale à SOhm/carré, voire inférieure ou égale à lOhm/carré, voire même 0,50hm/carré. Un revêtement électroconducteur sur la grille métallique peut de par sa résistivité, sa couverture de la grille et son épaisseur, contribuer à une meilleure ré- partition du courant. La surface de ce revêtement électroconducteur peut être destinée de préférence à être en contact avec les couches organiques de l'OLED : notamment la couche d'injection de trous (« HIL » en anglais) et/ou la couche de transport de trous (« HTL » en anglais) ou faire partie de l'HIL ou de L'HTL ou jouer le rôle d'HTL ou HIL. Ce revêtement électroconducteur est monocouche ou multicouche par exemple un polymère conducteur (tels que ceux déjà précités) ou encore en oxyde d'étain, oxyde d'indium, oxyde de zinc, oxyde de molybdène Mo03, oxyde de de tungstène W03, oxyde de vanadium V205, ITO, IZO, SnZnO. Le support extracteur selon l'invention peut comprendre en particulier une couche métallique arrangée en pistes métalliques, notamment en grille, faisant partie d'une électrode : - entre les premiers éléments optiques métalliques et/ou en dessous des premiers éléments optiques métalliques - ou au-dessus des premiers éléments optiques métalliques. Si au-dessus, il est souhaitable qu'au moins un des premiers éléments optiques (métalliques) et de préférence plusieurs premiers éléments optiques (métalliques) soient en regard des zones entre les pistes métalliques. - 38 - Ainsi, alternativement ou cumulativement à la présence d'une couche métallique en pistes, le support extracteur selon l'invention peut comprendre une couche électroconductrice transparente non métallique, en polymère conducteur ou en oxyde transparent conducteur, faisant partie (ou même formant) de l'électrode et - couvrant les premiers éléments optiques métalliques, notamment directement couvrant les premiers éléments optiques, - et/ou soit présente entre les premiers éléments optiques métalliques, faisant partie d'une couche séparatrice, soit couvrant une couche sépa- ratrice entre les premiers éléments optiques, notamment formant une électrode transparente. Cette couche électroconductrice non métallique est monocouche ou multicouche par exemple un polymère conducteur (tels que ceux déjà précités) ou encore en oxyde d'étain, oxyde d'indium, oxyde de zinc, oxyde de molybdène Mo03, oxyde 15 de de tungstène W03, oxyde de vanadium V205, ITO, IZO, SnZnO. On entend plus précisément par matière métallique pour le premier élément optique un matériau à base de métal pur ou allié. Le premier élément optique peut être une monocouche ou monolithique ou une multicouche métallique. La matière métallique est métallique au sens classique, notamment à base 20 d'un métal élémentaire tel que l'argent, l'or, l'aluminium, le cuivre, le nickel, le pla- tine et leurs alliages. Le premier élément optique métallique peut être même être formé d'une couche de particules électronductrices jointives. Le premier élément optique métallique peut donc être composé d'un as-25 semblage de particules métalliques, en une monocouche ou une plusieurs couches, en contact électrique ou dans une matrice électroconductrice par exemple métallique et d'un autre métal. La surface du premier élément optique métallique peut être éventuellement revêtue par une couche fonctionnelle non métallique : 30 - protection contre l'oxydation, la corrosion, - couche bas indice de réfraction. Le substrat transparent, diélectrique, de préférence polymère, plastique et/ou verrier notamment un vitrage d'épaisseur quelconque la plus mince possible, - 39 - notamment en verre minéral notamment ultramince, un textile de verre, substrat éventuellement composite par exemple toile de verre dans une matrice polymère. Le substrat peut être un polymère thermoplastique transparent, par exemple en polyéthylène, en polyester, en polyamide, en polyimide, en polycarbo- nate, en polyuréthane, en polyméthacrylate de méthyle, ou en un polymère fluoré. Dans ce cas, on privilégie pour la couche séparatrice et/ou pour la couche couvrante une couche d'oxyde, de nitrure ou d'oxynitrure déposée par sol gel, par PVD ou CVD, ou encore une couche polymérique plutôt qu'un émail. La couche réceptrice peut être sur ou faire partie d'une (muti)couche barrière par exemple comme décrite dans la demande de brevet. Le substrat peut présenter une deuxième face principale opposée à la première face et du côté de la sortie de la lumière. Cette deuxième face peut avoir une surface libre éventuelle texturée ou comporter des moyens externes d'extraction de la lumière connus en soi comme un réseau lenticulaire, moyens sous forme d'un dépôt ou d'un film rapporté en contact optique avec la deuxième face. Alternativement ou cumulativement la deuxième face peut comprendre une (multi)couche fonctionnelle classique (antireflets, anti salissures, hydrophobe etc). Le substrat, notamment vitrage, peut être plan ou bombé, notamment un vitrage automobile (toit, pavillon, vitre latérale, custode, lunette arrière, pare-brise). Le substrat, notamment vitrage, peut être assemblé de préférence du coté de cette deuxième face en double vitrage (isolant ou sous vide) ou triple vitrage, voire être feuilleté à un autre vitrage en verre ou plastique. Le substrat plastique est par exemple un polyéthylène téréphtalate (PET) par exemple d'épaisseur d'au moins 50pm et généralement d'au plus 250pm. L'invention concerne enfin un dispositif OLED (à tout autre émetteur de lumière surfacique à modes guidés) incorporant le support extracteur de lumière, une électrode (au-dessus, sur et/ou entre les éléments optiques), un système électroluminescent organique sur l'électrode Pour un système électroluminescent organique donné de spectre d'émission donné (monochromatique ou plurichromatique), on s'arrange pour que soit dans le spectre d'émission. Plusieurs méthodes sont envisageables pour la fabrication du premier élément optique en matière métallique, en particulier la lithographie électronique connue en soi. - 40 - Dans le cas des premiers éléments optiques, en nanopalet en particulier, une méthode consiste à utiliser la « HCL » pour « hole mask colloidal lithography » en anglais ou encore un démouillage du matériau métallique, de préférence de l'argent (dépôt d'une couche continue puis recuit par exemple sous azote). Pour la fabrication des premiers éléments optiques en matière métallique via les trous borgnes du substrat ou les trous d'une couche structurée dessus on privilégie la lithographie électronique connue en soi. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention vont à présent être dé- crits en regard des dessins sur lesquels : - Les figures 1, 1 bis, 1 ter, 1 quater, 2, 3, 4, 5, 5', 6, 6', 7, 7', 8 représentent chacune une vue en coupe d'un dispositif OLED incorporant un support extracteur de lumière avec des nanopalets métalliques dans un milieu non métallique dans des modes de réalisation de l'invention du premier objet. - La figure 5"' représente une vue en coupe d'un dispositif OLED incorporant un support extracteur de lumière avec des nanopalets diélectriques dans un milieu métallique dans un mode de réalisation de l'invention du deuxième objet. - La figure 1 a représente une vue en perspective d'un nanopalet métal- liques de l'exemple en figure 1. - La figure 1 b représente une vue en perspective de nanopalets métalliques posés sur le substrat verrier dans un mode de réalisation de l'invention. - La figure lc représente une vue en perspective d'un nanopalet métal- lique avec un angle par rapport au substrat verrier dans un mode de réalisation de l'invention. - Les figures ld à ln représentent en vues de dessus ou en perspective des exemples de nanopalets métalliques dans des modes de réalisa- tion de l'invention. - La figure 5" représente une vue de dessus de l'exemple de la figure 5' avec des nanopalets métalliques entre et dans une grille métallique dans un mode de réalisation de l'invention. - 41 - - La figure 6" représente une vue en perspective de nanopalets métalliques logés dans des trous borgnes du substrat verrier dans un mode de réalisation de l'invention. - Les figures 1', tbis, 1 'ter, 1 'quater, 2', 3', 4', 5a, 5b, 5d, 6a, 6b, 7a, 7b et 8a représentent chacune une vue en coupe d'un dispositif OLED in- corporant un support extracteur de lumière avec des nanobâtonnets métalliques dans des modes de réalisation de l'invention. - La figure 5c représente une vue en coupe d'un dispositif OLED incorporant un support extracteur de lumière avec des nanobâtonnets diélec- triques dans un milieu métallique dans un mode de réalisation de l'invention du deuxième objet. - Les figure l'a représente une vue de côté d'un nanobâtonnet de l'exemple de la figure 1'. - La figure l'ID représente une vue en perspective de nanobâtonnets mé- talliques posés sur le substrat verrier mode de réalisation de l'invention. - La figure l'c représente une vue en perspective d'un nanobâtonnet métallique avec un angle par rapport au substrat verrier dans un mode de réalisation de l'invention. - Les figures 1'd à 1'1 représentent en vues en perspective ou de côté des exemples de nanobâtonnets métalliques dans un mode de réalisa- tion de l'invention. - La figure 6" représente une vue en perspective de nanobâtonnets métalliques logés dans des trous borgnes du substrat verrier dans un mode de réalisation de l'invention. Les figures ci-après sont schématiques et ne sont pas à l'échelle. La figure 1 représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 1000 incorporant un support extracteur de lumière 100 dans un premier mode de réalisation de l'invention. Le support extracteur de lumière 100 comporte un substrat diélectrique transparent 1, ici un vitrage par exemple en verre silicosodocalcique, tel que le vitrage Planilux vendu par Saint Gobain Glass, par exemple d'épaisseur 1,1mm. On peut préférer un verre clair, voire extraclair et le plus mince possible. En variante, il s'agit d'un plastique (rigide, semi rigide ou flexible) notamment en polyé- - 42 - thylène téréphtalate (PET), et présente par exemple une épaisseur de 200pm. La transmission lumineuse TL du substrat 1 est de préférence d'au moins 80% mieux d'au moins 90%. Le vitrage 1 est par exemple rectangulaire. Le vitrage 1 présente une première face principale 11 et une deuxième face 10 principale opposée (du côté de la sortie de la lumière), surface libre éventuel- lement texturée ou comportant des moyens externes d'extraction de la lumière connus en soi. Alternativement ou cumulativement, la deuxième face 10 peut comprendre une (multi)couche fonctionnelles (antireflets, anti salissures, hydrophobe etc). Des éléments d'extraction de lumière du système OLED dits éléments op- tiques 2, métalliques, sont liés à la première face 11 de manière non métallique ici via une couche dite couche réceptrice 14 non métallique, par exemple diélectrique, de préférence d'indice de réfraction n d'au plus 3,5 à 550nm mieux dans l'ensemble du spectre du visible et même d'au plus 2,5 à 550nm mieux dans l'ensemble du spectre du visible. La transmission lumineuse TL de l'ensemble vi- trage 1/couche réceptrice 14 est de préférence d'au moins 80% mieux d'au moins 90% et/ou la couche réceptrice 14 ne fait pas chuter la TL du vitrage 1 de plus de 5 %. La couche réceptrice peut avoir une fonctionnalité telle que l'accrochage ou la stabilité des éléments optiques et/ou être inhérente au procédé de fabrication. Chaque élément optique 2 est un élément métallique avec une surface dite basse ou interne 21 orienté vers la première face, ici en contact s3 avec la couche réceptrice 14, une surface dite externe ou haute 22 à l'opposé de la surface interne, une tranche définissant des bords latéraux opposés 23, 24. Dans ce premier mode de réalisation, plus précisément, chaque élément optique 2 correspond à un nanopalet plus large qu'épais, qui dans une forme simple ici est un nanodisque, cylindre droit avec une base circulaire comme montré en zoom en figure 1 a. Les nanopalets 2, en matière métallique de préférence en argent, présentent ainsi chacun des première, deuxième et troisième dimensions nanomé30 triques: - la première dimension, dite longueur L1, étant la plus grande et suivant un axe X1, - 43 - - la deuxième dimension, dite épaisseur E1, étant suivant un axe Z1 perpendiculaire à X1 et étant la plus petite des dimensions perpendiculaires à X1, - la troisième, dite largeur Wl, étant suivant un axe Y1 perpendiculaire à X1 et Z1, - avec L1/E1>1,5 et mieux L1/E1>2, et avec L1/E1 Ce milieu peut être défini comme la matière environnante qui entoure le nanopalet 2 à la longueur d'onde dans le visible divisée par l'indice de réfraction dans le visible du milieu. On peut considérer que l'épaisseur du milieu tout autour du nanopalet 2 est d'au plus 150nm et même d'au plus 100nm. Les milieux non métallique des nanopalets 2 sont de préférence en ma- tière identique et de dimension sensiblement identique. Donc tous les nanopalets partagent la même matière environnante de préférence. Ici, une couche 40, plus épaisse que les nanopalets, présente entre les nanopalets, forme couche séparatrice, et est ici directement sur les nanopalets, sur la surface haute 22. Cette couche 40 est d'indice de réfraction d'au plus 3,5 à 550nm - mieux dans l'ensemble du spectre du visible- et de préférence supérieure à 1,7 même à 1,8 et mieux d'au plus 2. Le milieu de chaque nanopalet (identique pour tous) comprend ici : - la couche 40, séparatrice et couvrante, haut indice - la couche réceptrice 14 (ou alternativement le substrat). Le milieu est hétérogène notamment si la couche réceptrice 14 en maté- riau distinct de la couche séparatrice et/ou de la couche couvrante. On préfère que chacun des matériaux du milieu hétérogène soit d'indice d'au plus 3,5 et même d'au plus 2,5. W1, L1 et El sont telles que chaque nanopalet métallique 2 dans son mi- lieu non métallique a une section efficace de diffusion qui présente une résonance de longueur d'onde X, dans l'air dans une gamme allant de 380 à 780nm, Cette résonance est avantageusement excitable par une onde électromagnétique plane progressive, monochromatique et de longueur d'onde dans l'air XE dans le spectre visible, définie par un champ magnétique H polarisé parallèlement au plan PO et orthogonalement à la direction de propagation qui est quant à elle dans le plan PO et parallèle à la projection orthogonale de L1 sur le plan P0. Le choix du métal et l'indice de réfraction no du milieu influe sur W1, El et L1. - 45 - W1, Ll et El peut varier d'un nanopalet 2 à l'autre, de même que la forme, la matière métallique et l'orientation. X, peut varier d'un nanopalet à l'autre. Des éléments de même dimensionnel ou architecture que les nanopalets mais mal orientés peuvent exister sans nuire à l'efficacité d'extraction. De préférence moins de 20% mieux moins de 10°A et même moins de 5% sont des éléments optiques mal orientés. La région de la couche 40 entre les nanopalets est dite couche ou région séparatrice, la région de la couche entre les nanopalets est dite couche couvrante et est de préférence de surface de faible rugosité locale. Cette couche 40 peut être formée après que les nanopalets soient sur la couche réceptrice 14. La couche 40 est diélectrique de haut indice de réfraction, c'est-à-dire d'indice de réfraction d'au moins 1,7 et même d'au moins 1,8 et de préférence d'au plus 2 à 550nm, mieux dans l'ensemble du spectre du visible. L'épaisseur est la plus mince possible en particulier submicronique. Il s'agit ici d'une seule couche mais qui peut être faite en plusieurs étapes de dépôt. Les nanopalets sont arrangés en une monocouche sur la couche réceptrice. Toutefois, on peut avoir plusieurs monocouches de nanopalets ou même avoir d'autres éléments optiques (classiques etc) dispersés au sein de la couche 20 40. Une électrode 5 transparente est sur la région couvrante de la couche 40 directement ou indirectement via une couche fonctionnelle diélectrique (barrière etc) par exemple une couche en nitrure de silicium ou de titane. Cette électrode transparente est formée d'un TCO, par exemple ITO ou à 25 base de ZnO (AZO, IZO, AGZO, IGZO) ou d'empilement de couche minces à l'argent (une ou plusieurs couches argent) par exemple AZO/Ag /ITO. Des empilements à l'argent sont décrits dans les documents W02008/029060, W02008/059185, WO 2009/083693, W02013/098532. La surface haute 22 est de préférence distante d'une distance di_ de 30 l'électrode 5, notamment de la couche métallique continue la plus proche, supé- rieure à 200nm et même de toute matière métallique rajoutée. Cette électrode transparente comporte en variante une électrode métallique pur ou allié, de préférence argent voire aluminium, discontinue, notamment en grille avec un taux de couverture ajusté pour la transparence choisie. - 46 - La couche réceptrice 14 est organique et/ou minérale, de préférence diélectrique, transparente (peu absorbante). Si nécessaire, on ajuste son épaisseur pour éviter trop d'absorption. L'indice de réfraction peut être bas. La couche réceptrice 14 est directement sur la première face ou sur une sous couche fonctionnelle connue en soi (mono couche ou empilement barrière aux alcalins, à l'eau..). Dans une configuration, cette couche réceptrice 14 est un revêtement de la première face (ou d'une sous-couche). Elle peut former une couche promotrice d'adhésion avec le nanopalet pour éviter son décollement et/ou sa désorientation. La matière du nanopalet est de préférence en argent (pur voire allié). S'il s'agit d'un nanopalet en multicouche (multimatériaux) métallique, de préférence au moins 70%, au moins 80% et même au moins 95% de l'épaisseur de la multicouche est en argent. La couche réceptrice 14 est en contact adhésif avec la première face 11, 15 est un dépôt déposé par tout moyen commun : voie liquide, par PVD ou CVD. Il s'agit alternativement d'un film polymérique, déjà porteur des nanopalets avant son assemblage avec le vitrage (minéral). Eventuellement ce film est rapporté sur la première face par un moyen adhésif comme une colle optique (notamment périphérique) ou même un intercalaire de feuilletage (thermoplastique 20 transparent tel que polyvinyl butyral (PVB), copolymère éthylène/acétate de vinyle (EVA). Cette couche réceptrice 14 est optionnelle. Les nanopalets 2 peuvent être directement sur le vitrage 1 par exemple fonctionnalisé (traitement de surface) pour promouvoir l'adhésion des nanopalets et/ou pour favoriser la bonne orienta-25 tion des nanopalets. La première face peut notamment être fonctionnalisée par un traitement de surface promoteur d'adhésion notamment plasma, décharge corona. L'électrode 5, de préférence une anode, est ensuite couverte de manière classique d'un système électroluminescent organique 6 et d'une cathode 7. Le procédé de fabrication des nanopalets peut induire une faible dispersion 30 de la taille et/ou de la forme. Comme matériaux préférés : - pour le nanopalet : argent pur ou allié - pour la couche 40 : un oxyde de titane (sol gel ou par PVD), de zirconium ou leurs mélanges, sol gel de silice (typiquement d'indice de ré- - 47 - fraction à 1,44) chargée avec des (nano)particules de plus haut indice de réfraction, comme l'oxyde de titane de préférence d'au moins 60% en fraction volumique, un émail (de préférence en couche submicronique) - pour la couche réceptrice 14 éventuelle: silice, notamment sol gel et de préférence à partir d'un précurseur TEOS voire MTEOS. En variante non représentée, les nanopalets peuvent être logés par exemple figés, partiellement dans la couche réceptrice 14. Des exemples alternatifs de nanopalets métalliques (le milieu non métal- lique n'est pas montré) sont montrés en figures ld à 1 n. En autres variantes, ils sont non métalliques, de préférence diélectrique et même bas indice, et dans un milieu métallique. Le nanopalet 2 peut avoir une base circulaire ou ovale 21 et une section 15 trapézoïdale comme montré en figure ld et 1 e. La surface basse 21 peut être supérieure à la surface haute 22 (figure 1 a) ou l'inverse (figure 1 e). Le nanopalet 2 peut être un parallélépipède comme montré en figure lf. Plus généralement, la surface basse 21 ou base du nanopalet est une courbe fermée de préférence plane. 20 La base du nanopalet, de préférence cylindrique et mieux cylindre droit, peut être circulaire (figure 1g), rectangulaire (figure 1h), carré (figure li), à contours irréguliers (figure 1j), triangulaire (figure 1j). Le nanopalet 2 peut avoir une base 21 ovale et former un nanodôme comme montré en figure 11 et 1m. La base 21 peut être posée sur la couche ré-25 ceptrice ou le sommet du dôme est posé sur la couche réceptrice en alternative. Le nanopalet 2 peut être de forme en chapeau chinois comme montré figure 1 n. La figure 1 bis représente une vue schématique en coupe d'un dispositif 30 OLED 1000b incorporant un support extracteur de lumière 100b dans une variante du premier mode de réalisation de l'invention et qui diffère du premier mode de réalisation par le choix de la couche couvrante 40' qui est électroconductrice, non métallique, en polymère conducteur ou en TCO comme par exemple ITO ou AZO ou IZO (ou une multicouche de TCO) et forme de préférence l'électrode 5'. - 48 - La figure 1ter représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 1000c incorporant un support extracteur de lumière 100c dans une variante du premier mode de réalisation de l'invention qui diffère du premier mode par le 5 nombre de couches ou zones avec des nanopalets. En effet, on insère d'autres nanopalets 2 identiques ou distincts aux nanopalets précités 2 (forme et/ou taille) éventuellement sur une autre couche réceptrice (optionnelle ici en pointillés) 14b, de préférence de haut indice de réfraction, sur la couche couvrante initiale. 10 La couche couvrante est alors plus précisément divisée en deux couches respectivement couche inférieure 40a (couvrante première zone de nanobatonnets) et couche supérieure 40b (couvrante deuxième zone de nanobatonnets) d'épaisseurs (submicroniques) distinctes ou égales. La couche supérieure 40b par exemple est plus épaisse que la couche inférieure 40a, pour une fonction de pla- 15 narisation. La couche inférieure 40a peut aussi être de nature différente de la couche supérieure 40b et même de bas indice de réfraction, surtout si de faible épaisseur de moins de 100nm. Un nanopalet 2 de la première zone peut être en coïncidence ou en décalé d'un nanopalet 2 de la deuxième zone. 20 La figure 1quater représente une vue schématique en coupe d'un disposi- tif OLED 1000d incorporant un support extracteur de lumière 100d dans une variante du premier mode de réalisation de l'invention et qui diffère du premier mode de réalisation par le type de liaison entre la première face 11 et la couche réceptrice 14d. La couche réceptrice 14d, haut indice, la plus mince possible, notam- 25 ment un film polymérique ou une couche minérale, est liée au substrat 1 (verrier, minéral ou plastique) de manière périphérique, ici par de la colle 16. Il y a une lame d'air 4d entre la face interne avec les nanopalets 2 et la première face 11. Cette couche réceptrice entre les nanopalets 2 et l'électrode 5, est directement sous l'électrode 5 sur sa face principale opposée à la face réceptrice des nanopa- 30 lets. Le plan P1 est espacé du plan PO et reste parallèle. La figure 2 représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 2000 incorporant un support extracteur de lumière 200 dans un deuxième mode de réalisation de l'invention. - 49 - Ce support 200 diffère en ce que les nanopalets 2 (dont la surface haute 22) sont couverts directement par une couche 41, par exemple déposée par voie liquide ou PVD, d'épaisseur inférieure à l'épaisseur (maximale) des nanopalets 2. Par exemple les nanopalets 2 sont directement sur un substrat plastique 1' ou en variante verrier (en verre minéral) ou encore sur une couche réceptrice. La couche 41 forme aussi une fine couche séparatrice entre les nanopalets 2 et peut être une couche bas indice de réfraction dans le visible (inférieur à 1,6 et même d'au plus 1,5 à 550nm) notamment d'épaisseur d'au plus 100nm, ou être haut indice de réfraction. La couche 42 couvre l'ensemble, et comme la couche 41, est diélectrique. Elle est haut indice de réfraction dans le visible (d'au moins 1,7 et même 1,8 et d'au plus 2 de préférence), et de préférence d'épaisseur submicronique même d'au plus 300nm ou encore d'au plus 150nm. La couche couvrante 42 est sur la couche 41 (indirectement sur les nanopalets) et également entre les nanopalets et permet par exemple encore de planariser localement. Comme matériaux préférés : - pour le nanopalet : argent pur ou allié - pour la couche 42 : un oxyde de titane (sol gel ou par PVD), de zirconium ou leurs mélanges, de la silice notamment sol gel (typiquement d'indice de réfraction à 1,44) chargée avec des (nano)particules de plus haut indice de réfraction, comme l'oxyde de titane de préférence d'au moins 60% en fraction volumique, un émail (en couche submicronique) - pour la fine couche séparatrice 41 : - une couche bas indice de réfraction comme de la silice éventuelle- ment poreuse faite par voie sol gel, - une couche haut indice de réfraction comme un oxyde de titane, de zirconium ou leurs mélanges, une couche de sol gel de silice (typiquement d'indice de réfraction à 1,44) chargée avec des (nano)particules de plus haut indice de réfraction, comme l'oxyde de ti- tane à hauteur de 60% en fraction volumique sans dépasser 70%, - comme substrat plastique : un PET (ou en variante un vitrage minéral). - 50 - La figure 3 représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 3000 incorporant un support extracteur de lumière 300 dans un troisième mode de réalisation de l'invention. Ce support 300 diffère du premier mode de réalisation en ce qu'une couche 41' dite séparatrice d'épaisseur inférieure à l'épaisseur (maximale) des nanopalets est entre ces nanopalets sans les recouvrir. La couche séparatrice 41' peut être une couche bas indice de réfraction et de préférence d'au plus 100nm ou haut indice de réfraction. La couche 42 est couvrante et diélectrique, haut indice de réfraction dans le visible (d'au moins 1,7 et même 1,8 et de préférence d'au plus 2 à 550nm), de préférence submicronique même d'au plus 300nm ou encore d'au plus 150nm. La couche 42 est directement sur la couche séparatrice 41' et directement sur les nanopalets 2 et également entre les nanopalets et permet par exemple encore de planariser localement. La couche 14 est optionnelle. Si nécessaire (dans ce mode de réalisation ou les autres) on rajoute une couche 43 entre la couche couvrante 42 et l'électrode 5 comme par exemple une couche d'(oxy)nitrure de silicium ou de titane qui peut servir par exemple de protection en cas de gravure de l'électrode, typiquement par une solution acide. Cette couche 43 par exemple d'épaisseur inférieure ou égale à 30nm et de préférence supérieure ou égale à 3nm voire à 5nm. Les matériaux préférés sont identiques à ceux du deuxième mode de réali- sation. La figure 4 représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 4000 incorporant un support extracteur de lumière 400 dans un quatrième mode de réalisation de l'invention. Ce support diffère du premier mode de réalisation en ce que la couche 44 (séparatrice et couvrante), diélectrique, est une couche bas indice de réfraction dans le visible, par exemple une couche de silice. De préférence, son épaisseur est d'au plus 100nm et même d'au plus 50nm. Elle n'est pas nécessairement une couche de planarisation. On peut préférer dans cette configuration une électrode 5 sans couche métallique, notamment qui est un TCO (ITO etc) ou un polymère transparent conducteur car la distance nanopalet métallique 2 et électrode 5 est relativement proche. On peut aussi choisir d'intercaler entre la couche 44 et l'électrode une - 51 - couche diélectrique fonctionnelle haut indice de réfraction comme une couche à base de nitrure de silicium ou de nitrure de titane ou d'oxyde de titane (et de zirconium). La couche séparatrice 44 peut être du même oxyde métallique ou de sili5 cium que la couche réceptrice 14' de préférence silice notamment en couche sol gel. L'interface (ici en pointillés) n'est pas forcément discernable. Le milieu de chaque nanopalet est donc en silice ici. Le substrat peut être un verre minéral ou en variante un plastique, même un film plastique. 10 Les matériaux préférés pour le nanopalet 2 sont identiques à ceux du premier mode de réalisation. Pour la couche 44 on peut choisir de la silice déposée par CVD ou par sol gel et éventuellement poreuse (avec élimination de l'agent porogène) comme par exemple décrit dans le document W02008/059170. 15 La figure 5 représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 5000 incorporant un support extracteur de lumière 500 dans un cinquième mode de réalisation de l'invention qui diffère du premier mode de réalisation par le choix de l'électrode qui comporte une couche métallique discontinue 5a, de préférence à base d'argent, sous formes de pistes métalliques. 20 La couche métallique discontinue 5a peut être arrangée en grille régulière ou irrégulière : pistes interconnectées formant des mailles de toute forme ou bandes disjointes alimentées en périphérie (par des zones de contact électriques courant appelées bus bar(s)) notamment sur des bords opposés de l'électrode) de préférence de manière commune. 25 Une couche électroconductrice 50 (moins électroconductrice que les pistes métalliques 5a) couvre les pistes métalliques 5a et de préférence remplit au moins la région supérieure voire toutes les zones entre les pistes métalliques. Cette matière 50 peut donc servir planariser localement notamment les pistes métalliques et pour aplanir le dénivelé causé par les pistes. Cette couche 50 peut être 30 en polymère transparent conducteur tel que PEDOT/PSS ou en TCO tel que ITO, AZO... Il peut s'agir en variante d'une couche faisant partie du système organique électroluminescent 6. - 52 - Bien sûr, toutes les configurations de nanopalets dans leurs milieux des modes de réalisation précédents et suivants sont possibles avec une telle électrode. Les nanopalets 2 sous les pistes métalliques peuvent être proches des pistes métalliques et il est préférable de privilégier la présence de nanopalets mé- talliques décalés des pistes métalliques 5a. La figure 5' représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 5000' incorporant le support extracteur de lumière 500' dans une variante du cinquième mode de réalisation par le positionnement de l'électrode discontinue 5a. En particulier la couche discontinue métallique 5a, formée de pistes métalliques en maille (ou en parallèle), de préférence en argent, est directement sur la couche réceptrice 14 ou en variante sur le substrat 1 (en supprimant la couche réceptrice). La couche discontinue métallique 5a peut recouvrir un ou des nanopalets 2X déjà présent(s) et qui deviennent inopérants (ne sont plus dans un milieu non métallique selon l'invention) et ne gênent ou influent peu sur les performances électriques ou sur la rugosité de la couche métallique 5a. La matière électroconductrice 50 (moins électroconductrice que les pistes métalliques 5a) forme une couche couvrante 40' qui couvre en outre directement les nanopalets (la surface haute 22) en plus de couvrir les pistes métalliques 5a. Les pistes métalliques 5a de l'électrode discontinue (ici en maille, ou parallèles..) sont étroites et très espacés, comme montré en vue de dessus en figure 5". La figure 5"' représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 5000" incorporant un support extracteur de lumière 500" dans une variante du mode de réalisation de la figure 1. Le support 500" diffère par la nature des nanopalets 2a qui sont diélec- triques par exemple de la silice ou une matière polymérique et par leur milieu mé- tallique de préférence de l'argent. Par exemple les nanopalets sont sur une couche réceptrice 140 métallique en argent et ensuite recouverts par une couche couvrante 40" également en ar- - 53 - gent. L'épaisseur cumulée de la couche réceptrice et de la couche couvrante (et séparatrice) est d'au plus 15nm de préférence. De préférence l'électrode 5 n'est pas métallique par exemple est un TCO. En variante, la couche couvrante 40" fait partie voire forme l'électrode 5. D'un point de vue forme, taille et tolérance de positionnement vis-à-vis du substrat 1 on conserve les mêmes que pour les nanopalets métalliques. La figure 6 représente une vue schématique en coupe d'un dispositif 10 OLED 6000 incorporant un support extracteur de lumière 600 dans un sixième mode de réalisation de l'invention. Ici, les nanopalets 20 sont logés dans le substrat 1 par exemple un verre ou un plastique. En effet, la première face est structurée présentant ainsi des trous borgnes disjoints 12, en forme de (nano)palet creux, de largeur nanométrique et 15 de profondeur au moins nanométrique et de longueur de préférence submicronique, chaque nanopalet métallique 20 est formé par un revêtement 20 en matière métallique remplissant tout ou partie du trou. La région supérieure 12' du verre 1 forme la couche séparatrice des nanopalets 20 de préférence les espaçant d'au moins 100nm entre eux. 20 Le plan PO du substrat est le plan « haut » de la première face 11. P1 passe par un point A du nanopalet le plus proche de la première face en regard du nanopalet. L'angle a entre PO et P1 peut bien sur varier d'un nanopalet à l'autre. Comme montré en figure 6' qui est une vue de détail et de section d'un 25 des nanopalets 20 dans une variante de la figure 6 le métal (l'argent ici) s'étend au-delà du trou borgne 12. L'épaisseur maximale du nanopalet (revêtement métallique) est plus grande que l'épaisseur du trou borgne 12. Le trou peut être de largeur \AP1 et de longueur L'1 sensiblement égales (nanocylindre droit à base ou fond circulaire) et répartis par exemple aléatoirement 30 comme montré en figure 6". En variante des figures 6, 6' ou 6", la couche couvrante 40 n'est pas diélectrique mais est électroconductrice par exemple un TCO (ITO, AZO, GZO, ZTO etc) et forme tout ou partie de l'électrode 5. - 54 - La figure 7 représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 7000 incorporant un support extracteur de lumière 700 dans un septième mode de réalisation de l'invention proche du sixième mode. Ici, les nanopalets 2' sont intégrés partiellement à une couche rapportée 47 sur le substrat 1, logés dans des trous de cette couche 47 par exemple de haut indice (sol gel d'oxyde de titane ou de silice chargé en particules haut indice) ou bien de silice et alors de préférence d'épaisseur inférieure à 100nm. En effet, la couche 47 est structurée présentant ainsi des trous traversants 47a (ou borgnes en variante) disjoints, en forme de nanopalets creux (ici nanocy- lindre droit), de largeur nanométrique et de profondeur de préférence au moins nanométrique et de longueur de préférence submicronique, chaque nanopalet est formé par un revêtement 2' remplissant tout ou partie du trou. Cette couche structurée 47 forme en outre de fait la couche séparatrice des 15 nanopalets 2' de préférence les espaçant d'au moins 100nm (espacement des trous, bord à bord). Le plan P1 forme un angle a ici nul avec le plan local PO du substrat. Comme montré en figure 7' alternative de la figure 7, les trous traversants 47a (ou borgnes) peuvent être d'abord tapissés d'un matériau dite tampon 47b 20 bas indice de réfraction (silice, silice poreuse, voire polymère) épousant les flancs et la première face 11 donc, laissant une cavité en nanopalet creux (plus petite), puis le revêtement métallique 20' remplit tout en partie de la cavité formée par les flancs du matériau tampon et le fond du matériau tampon. Dans les figures 6 à 7', les flancs des trous peuvent être à la normale au 25 substrat (suivant Z donc) ou inclinés d'au plus 10° de préférence. En variante de la figure 7 ou 7', la couche couvrante n'est pas diélectrique mais est électroconductrice par exemple un TCO (ITO etc) et forme tout ou partie de l'électrode. 30 Un support extracteur 800 est présenté en figure 9a, variante de l'exemple de la figure 7. On forme les trous disjoints et ici borgnes 49' -en forme de nanopalet creux- dans un élément haut indice 49, tel qu'un film polymère transparent haut indice. Le revêtement métallique 20 est déposé dans les trous disjoints et on vient alors rapporter l'élément 49 à la première face 11 du substrat 1 en verre mi- - 55 - néral ou plastique, par exemple rigide. L'élément 49 est en contact optique notamment en contact adhésif par sa face structurée entre les trous 49' remplis de métal 20. La figure 1' représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 1000 incorporant un support extracteur de lumière 100' dans un premier mode de réalisation de l'invention impliquant des nanobatonnets. Le support extracteur de lumière 100' comporte un substrat diélectrique transparent 1, ici un vitrage par exemple en verre silicosodocalcique, tel que le vitrage Planilux vendu par Saint Gobain Glass, par exemple d'épaisseur 1,1mm. On peut préférer un verre clair, voire extraclair et le plus mince possible. En variante, il s'agit d'un plastique (rigide, semi rigide ou flexible) notamment en polyéthylène téréphtalate (PET), et présente par exemple une épaisseur de 200pm. La transmission lumineuse TL du substrat 1 est de préférence d'au moins 80% mieux d'au moins 90%. Le vitrage 1 est par exemple rectangulaire. Le vitrage 1 présente une première face principale 11 et une deuxième face 10 principale opposée (du côté de la sortie de la lumière), surface libre éventuellement texturée ou comportant des moyens externes d'extraction de la lumière connus en soi. Alternativement ou cumulativement, la deuxième face 10 peut comprendre une (multi)couche fonctionnelles (antireflets, anti salissures, hydro- phobe etc). Des éléments d'extraction de lumière du système OLED dits éléments optiques 2' sont liés à la première face 11 de manière non métallique ici via une couche dite couche réceptrice 14 non métallique, par exemple diélectrique, de préférence d'indice de réfraction n d'au plus 3,5 à 550nm mieux dans l'ensemble du spectre du visible et même d'au plus 2,5 à 550nm mieux dans l'ensemble du spectre du visible. La transmission lumineuse TL de l'ensemble substrat couche réceptrice est de préférence d'au moins 80% mieux d'au moins 90% et/ou la couche réceptrice ne fait pas chuter la TL du substrat de plus de 5 %. Chaque élément optique 2' est un élément métallique allongé, formant un nanobatonnet, avec une surface dite basse ou interne 21' orienté vers la première face, ici en contact s3 avec la couche réceptrice 14, une surface dite externe ou haute 22' à l'opposé de la surface interne et des surfaces (ou extrémités) latérales opposés 23', 24'. - 56 - Comme montré en zoom en figure l'a, chaque nanobatonnet 2', dans une forme simple ici est un nanocylindre, cylindre droit avec des extrémités latérales planes 23' ,24'. Comme montré en figure l'a, les nanobatonnets 2', en matière métallique de préférence en argent, présentent ainsi chacun des première, deuxième et troi- sième dimensions nanométriques : - la première dimension, dite longueur L1, étant la plus grande et suivant un axe Xl, - la deuxième dimension, dite épaisseur E1, étant suivant un axe Z1 per- pendiculaire à X1 et étant la plus petite des dimensions perpendicu- laires à X1, - la troisième, dite largeur Wl, étant suivant un axe Y1 perpendiculaire à X1 et Z1, - avec Ll/El>1,5 et mieux Ll/El>2, et avec L1/E1 W1. L'épaisseur El est ici égale à la largeur W1, les extrémités latérales 23' et 24' sont planes et circulaires. En variantes : - l'extrémité latérale 23' et/ou 24' n'est pas plane (restant définie par une courbe fermée), par exemple demi-sphérique (en dôme) - et/ou le cylindre suivant X1 n'est pas droit (extrémité latérales partiellement en regard). Le substrat présente un plan P0, plan local c'est-à-dire en regard du pre- mier élément optique, défini par des axes X et Y perpendiculaires entre eux et par 25 un axe Z normal au plan P0. Dans le repère orthonormé XYZ, le nanobatonnet 2' est de préférence (quasi) invariant par rotation autour de l'axe X, comme ici un nanocylindre à base circulaire 23'. Les nanobatonnet 2' sont ici posés à l'horizontale sur la couche 14 (ou en 30 variante la première face directement) donc l'axe X1 forme avec le plan PO un angle a nul. L'épaisseur El est donc suivant Z. Comme montré en figure l'ID, les nanobatonnets 2' sont dispersés sur la couche réceptrice 14 et espacés par exemple de manière aléatoire sans être en contact les uns avec les autres. De préférence la majorité et même au moins 80% - 57 - sont distants entre eux d'au moins 100nm, de préférence d'au moins 200nm et même d'au moins 250nm. De manière plus générale, on peut tolérer une certaine inclinaison du nanobatonnet 2' vis-à-vis du substrat 1. Comme montré en figure 1'c, pour un nano- batonnet de type nanocylindre par simplicité, l'axe X1 forme avec le plan PO un angle a d'au plus 30° et de préférence d'au plus 10° et même d'au plus 5° ou d'au plus 2°. Chaque nanobatonnet 2' est en outre entouré par un milieu non métallique et d'indice de réfraction d'au plus 3,5 à 550nm mieux dans l'ensemble du spectre 10 du visible et même d'au plus 2,5 à 550nm mieux dans l'ensemble du spectre du visible. Ce milieu peut être défini comme la matière environnante qui entoure le nanobatonnet 2' à la longueur d'onde dans le visible divisée par l'indice de réfraction dans le visible du milieu. On peut considérer que l'épaisseur du milieu tout 15 autour du nanobatonnet 2' est d'au plus 150nm et même d'au plus 100nm. Les milieux des nanobatonnets sont de préférence en matière identique et de dimension sensiblement identique. Donc tous les nanobatonnets partagent la même matière environnante de préférence. Ici, une couche 40, plus épaisse que les nanobatonnets, présente entre 20 les nanobatonnets, forme couche séparatrice, et est ici directement sur les nano- batonnet, sur la surface haute 22. Cette couche 40 est d'indice de réfraction d'au plus 3,5 à 550nm - mieux dans l'ensemble du spectre du visible- et de préférence supérieure à 1,7 même à 1,8 et mieux d'au plus 2. Le milieu de chaque nanobatonnet comprend ici : 25 - la couche 40, séparatrice et couvrante, haut indice - la couche réceptrice 14 (ou alternativement le substrat). Le milieu est hétérogène notamment si la couche réceptrice 14 en matériau distinct de la couche séparatrice et/ou de la couche couvrante. On préfère que chacun des matériaux du milieu hétérogène soit d'indice d'au plus 3,5 et 30 même d'au plus 2,5. W1, L1 et El sont telles que chaque nanobatonnet métallique 2' dans son milieu non métallique a une section efficace de diffusion qui présente une réso- nance de longueur d'onde X, dans l'air dans une gamme allant de 380 à 780nm, - 58 - Cette résonance est avantageusement excitable par une onde électromagnétique plane progressive, monochromatique et de longueur d'onde dans l'air XE dans le spectre visible, définie par un champ électrique magnétique H polarisé parallèlement au plan PO et orthogonalement à la direction de propagation qui est quant à elle dans le plan PO et parallèle à la projection orthogonale de Ll sur le plan P0. Le choix du métal et l'indice de réfraction no du milieu influe sur W1, El et L1. W1, Ll et El peut varier d'un nanobatonnet 2' à l'autre, de même que la forme, la matière métallique et l'orientation. X, peut varier d'un nanobatonnet à l'autre. Des éléments de même dimensionnel ou architecture que les nanobaton- netsmais mal orientés peuvent exister sans nuire à l'efficacité d'extraction. De préférence moins de 20% mieux moins de 10% et même moins de 5% sont des éléments optiques mal orientés. La couche réceptrice 14 organique et/ou minérale, est de préférence diélectrique, transparente (peu absorbante). Si nécessaire, on ajuste son épaisseur pour éviter trop d'absorption. La région de la couche 40 entre les nanobatonnets est dite couche ou ré- gion séparatrice, la région de la couche entre les nanobatonnets est dite couche couvrante et est de préférence de surface de faible rugosité locale. Cette couche 40 peut être formée après que les nanobatonnets soient sur la couche réceptrice 14. La couche 40 est diélectrique de haut indice de réfraction, c'est à dire d'indice de réfraction d'au moins 1,7 et même d'au moins 1,8 et de préférence d'au plus 2 à 550nm, mieux dans l'ensemble du spectre du visible. L'épaisseur est la plus mince possible en particulier submicronique. Il s'agit d'une seule couche mais qui peut être faite en plusieurs étapes de dépôt. Les nanobatonnets sont arrangés en une monocouche sur la couche réceptrice. Toutefois, on peut avoir plusieurs monocouches de nanobatonnets 2' ou même avoir d'autres éléments optiques (classiques etc) dispersés au sein de la couche 40. Une électrode 5 transparente est sur la région couvrante de la couche 40 directement ou indirectement via une couche fonctionnelle diélectrique (barrière etc) par exemple une couche en nitrure de silicium ou de titane. - 59 - Cette électrode transparente est formée d'un TCO, par exemple ITO ou à base de ZnO (AZO, IZO, AGZO, IGZO) ou d'empilement de couche minces à l'argent (une ou plusieurs couches argent) par exemple AZO/Ag /ITO. Des empilements à l'argent sont décrits dans les documents W02008/029060, W02008/059185, WO 2009/083693, W02013/098532. La surface haute 22 est de préférence distante d'une distance di_ de l'électrode 5, notamment de la couche métallique continue la plus proche, supérieure à 200nm et même de toute matière métallique rajoutée. Cette électrode transparente comporte en variante une électrode métal-10 ligue pur ou allié, de préférence argent voire aluminium, discontinue, notamment en grille avec un taux de couverture ajusté pour la transparence choisie. La couche réceptrice 14 est organique et/ou minérale, de préférence diélectrique, transparente (peu absorbante). Si nécessaire, on ajuste son épaisseur pour éviter trop d'absorption. L'indice de réfraction peut être bas. 15 La couche réceptrice 14 est directement sur la première face ou sur une sous couche fonctionnelle connue en soi (mono couche ou empilement barrière aux alcalins, à l'eau..). Dans une configuration, cette couche réceptrice 14 est un revêtement de la première face (ou d'une sous-couche). Elle peut former une couche promotrice d'adhésion avec le nanobatonnet pour éviter son décollement 20 et/ou sa désorientation. La matière du nanobatonnet est de préférence en argent (pur voire allié). S'il s'agit d'un nanobatonnet en multicouche (multimatériaux) métallique, de préférence au moins 70%, au moins 80% et même au moins 95% de l'épaisseur de la multicouche est en argent. 25 La couche réceptrice 14 est en contact adhésif avec la première face 11, est un dépôt déposé par tout moyen commun : voie liquide, par PVD ou CVD. Il s'agit alternativement d'un film polymérique, déjà porteur des nanobatonnets avant son assemblage avec le vitrage (minéral). Eventuellement ce film est rapporté sur la première face par un moyen adhésif comme une colle optique 30 (notamment périphérique) ou même un intercalaire de feuilletage (thermoplastique transparent par exemple, tel que EVA, PVB etc). Cette couche réceptrice 14 est optionnelle. Les nanobatonnets 2' peuvent être directement sur le vitrage 1 par exemple fonctionnalisé (traitement de surface) pour promouvoir l'adhésion des nanobatonnets et/ou pour favoriser leur - 60 - bonne orientation. La première face peut notamment être fonctionnalisée par un traitement de surface promoteur d'adhésion notamment plasma, décharge corona. L'électrode 5 de préférence une anode est ensuite couverte de manière classique d'un système électroluminescent organique 6 et d'une cathode 7. Le procédé de fabrication des nanobatonnets peut induire une faible dis- persion de la taille et/ou de la forme. Comme matériaux préférés : - pour le nanobatonnet : argent pur ou allié - pour la couche 40 : un oxyde de titane (sol gel ou par PVD), de zirco- nium ou leurs mélanges, sol gel de silice (typiquement d'indice de réfraction à 1,44) chargée avec des (nano)particules de plus haut indice de réfraction, comme l'oxyde de titane de préférence d'au moins 60% en fraction volumique, un émail (de préférence en couche submicro- nique) - pour la couche réceptrice 14: silice, notamment sol gel et de préférence à partir d'un précurseur TEOS voire MTEOS. En variante non représentée, les nanobatonnets peuvent être logés par exemple figés, partiellement dans la couche réceptrice 14. Des exemples alternatifs de nanopalets métalliques (le milieu non métallique n'est pas montré) sont montrés figures 1'd à 1'1. En variante, ils sont non métalliques, de préférence diélectrique et même bas indice, et dans un milieu métal- ligue. Le nanobatonnet 2' peut être un nanocylindre droit avec des extrémités latérales 23', 24' courbes comme montré en figure 1'd et même semi sphériques, tel une nanocapsule (cf. figure 1'f). Le nanobatonnet 2' peut être plus ou moins ondulé suivant Z1 (cf figure 1'e) e préférence avec une amplitude inférieure à E1/10 par rapport à Z1 ou en variante peut être plus ou moins ondulé dans le plan parallèle à PO selon X1 de préférence avec une amplitude inférieure à E1/10 par rapport à X1 . Le nanobatonnet 2' peut avoir une extrémité latérale 23' (resp 24') ou base ovale ou elliptique : - 61 - - avec comme montré en figure l'g le grand axe qui est W1 et le petit axe qui est E1, - ou avec comme montré en figure th le grand axe qui est El et le petit axe qui est Wl. Le nanobatonnet 2' peut avoir une extrémité latérale 23' (resp 24') -ou base- de surface plane fermée courbe et irrégulière comme montré en figure Le nanobatonnet 2' peut être un parallélépipède avec une extrémité latérale 23' (resp 24') -ou base- rectangulaire comme montré en figure 11 ou carré comme montré en figure l'k ou même trapézoïdale comme montré en figure l'1. 10 La figure tbis représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 1000'b incorporant un support extracteur de lumière 100'b dans une variante du premier mode de réalisation de l'invention avec nanobatonnets 2' et qui diffère du premier mode de réalisation par le choix de la couche couvrante 40' qui 15 est électroconductrice, non métallique, en polymère conducteur ou en TCO comme par exemple ITO ou AZO ou IZO (ou une multicouche de TCO) et forme de préférence l'électrode 5'. La figure 1 'ter représente une vue schématique en coupe d'un dispositif 20 OLED 1000'c incorporant le support extracteur de lumière 100'c dans une variante du premier mode de réalisation de l'invention avec nanobatonnets qui diffère du premier mode par le nombre de couches ou zones avec des nanobatonnets. En effet, on insère d'autres nanobatonnets 2 conformes à l'invention identiques ou distincts aux nanopalets précités 2 (forme et/ou taille) éventuellement 25 sur une autre couche réceptrice (optionnelle ici en pointillés) 14b, de préférence de haut indice de réfraction, sur la couche couvrante initiale. La couche couvrante est alors plus précisément divisée en deux couches, respectivement couche inférieure 40a (couvrante première zone de nanobatonnets) et couche supérieure 40b (couvrante deuxième zone de nanobatonnets) 30 d'épaisseurs (submicroniques) distinctes ou égales. La couche supérieure 40b par exemple est plus épaisse que la couche inférieure, pour une fonction de planarisation. La couche inférieure 40a peut aussi être de nature différente de la couche supérieure et même de bas indice de réfraction, surtout si de faible épaisseur de - 62 - moins de 100nm. Un nanobatonnet 2' de la première zone peut être en coïncidence ou en décalé d'un nanobatonnet 2' de la deuxième zone. La figure 1'quater représente une vue schématique en coupe d'un disposi- tif OLED 1000'd incorporant un support extracteur de lumière 100'd dans une va- riante du premier mode de réalisation de l'invention avec nanobatonnets et qui diffère du premier mode de réalisation par le type de liaison entre la première face 11 et la couche réceptrice 14d. La couche réceptrice 14d, haut indice, la plus mince possible, notamment un film polymérique ou une couche minérale, est liée au substrat 1 (verrier, minéral ou plastique) de manière périphérique, ici par de la colle 16. Il y a une lame d'air 4d entre la face interne avec les nanobatonnets 2 et la première face 11. Cette couche réceptrice 14d entre les nanobatonnets 2' et l'électrode 5, est directement sous l'électrode sur sa face principale opposée à la face réceptrice des nanobatonnets. La figure 2' représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 2000' incorporant un support extracteur de lumière 200' dans un deuxième mode de réalisation de l'invention avec nanobatonnets. Ce support 200' diffère en ce que les nanobatonnets 2' (dont la surface haute 22) sont couverts directement par une couche 41 commune, par exemple déposée par voie liquide ou PVD, d'épaisseur inférieure à l'épaisseur (maximale) des nanobatonnets 2'. Par exemple les nanobatonnets 2' sont directement sur un substrat plastique 1' ou en variante verrier (en verre minéral) ou encore sur une couche réceptrice. La couche 41 forme aussi une fine couche séparatrice entre les nanobatonnets 2' et peut être une couche bas indice de réfraction dans le visible (inférieur à 1,6 et même d'au plus 1,5 à 550nm) notamment d'épaisseur d'au plus 100nm, ou être haut indice de réfraction. La couche 42 couvre l'ensemble, et comme la couche 41, est diélectrique Elle est haut indice de réfraction dans le visible (d'au moins 1,7 et même 1,8 et d'au plus 2 de préférence), et de préférence d'épaisseur submicronique même d'au plus 300nm ou encore d'au plus 150nm. La couche couvrante 42 est sur la - 63 - couche 41 (indirectement sur les nanobatonnets) et également entre les nanobatonnets et permet par exemple encore de planariser localement. Comme matériaux préférés : - pour le nanobatonnet : argent pur ou allié - pour la couche 42 : un oxyde de titane (sol gel ou par PVD), de zirco- nium ou leurs mélanges, de la silice notamment sol gel (typiquement d'indice de réfraction à 1,44) chargée avec des (nano)particules de plus haut indice de réfraction, comme l'oxyde de titane de préférence d'au moins 60% en fraction volumique, un émail (en couche submicronique) - pour la fine couche séparatrice 41 : - une couche bas indice de réfraction comme de la silice éventuellement poreuse faite par voie sol gel, - une couche haut indice de réfraction comme un oxyde de titane, de zirconium ou leurs mélanges, une couche de sol gel de silice (typi- quement d'indice de réfraction à 1,44) chargée avec des (na- no)particules de plus haut indice de réfraction, comme l'oxyde de titane à hauteur de 60% en fraction volumique sans dépasser 70%, - comme substrat plastique : un PET (ou en variante un vitrage minéral). La figure 3' représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 3000' incorporant un support extracteur de lumière 300' dans un troisième mode de réalisation de l'invention avec nanobatonnets. Ce support diffère du premier mode de réalisation avec nanobatonnets en ce qu'une couche 41' dite séparatrice d'épaisseur inférieure à l'épaisseur (maxi- male) des nanobatonnets 2' est entre ces nanobatonnets sans les recouvrir. La couche séparatrice 41' peut être une couche bas indice de réfraction et de préférence d'au plus 100nm, ou haut indice de réfraction. La couche 42 est couvrante diélectrique, haut indice de réfraction dans le visible (d'au moins 1,7 et même 1,8 et de préférence d'au plus 2 à 550nm), de préférence submicronique même d'au 30 plus 300nm ou encore d'au plus 150nm. La couche 42 est directement sur la couche séparatrice 41' et directement sur les nanobatonnets 2' et également entre les nanobatonnets 2' et permet par exemple encore de planariser localement. Si nécessaire (dans ce mode de réalisation ou les autres) on rajoute une couche 43 entre la couche couvrante 42 et l'électrode 5 comme par exemple une - 64 - couche d'(oxy)nitrure de silicium ou de titane qui peut servir par exemple de protection en cas de gravure de l'électrode, typiquement par une solution acide. Cette couche 43 par exemple d'épaisseur inférieure ou égale à 30nm et de préférence supérieure ou égale à 3nm voire à 5nm. Les matériaux préférés sont identiques à ceux du deuxième mode de réa- lisation avec nanobatonnets. La figure 4' représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 4000' incorporant un support extracteur de lumière 400' dans un quatrième mode de réalisation de l'invention avec nanobatonnets. Ce support diffère du premier mode de réalisation avec nanobatonnets en ce que la couche 44 (séparatrice et couvrante), diélectrique, est une couche bas indice de réfraction dans le visible, par exemple une couche de silice. De préférence, son épaisseur est d'au plus 100nm et même d'au plus 50nm. Elle n'est pas nécessairement une couche de planarisation. On peut préférer dans cette configuration une électrode 5 sans couche métallique, notamment qui est un TCO (ITO etc) ou un polymère transparent conducteur car la distance nanobatonnet 2' métallique et électrode est relativement proche. On peut aussi choisir d'intercaler entre la couche 44 et l'électrode une couche diélectrique fonctionnelle haut indice de réfraction comme une couche à base de nitrure de silicium ou de nitrure de titane ou d'oxyde de titane (et de zirconium). La couche séparatrice 44 peut être du même oxyde métallique ou de silicium que la couche réceptrice 14' de préférence silice notamment en couche sol gel. L'interface (ici en pointillés) n'est pas forcément discernable. Le milieu 4 de chaque nanobatonnet est donc en silice. Le substrat peut être un verre minéral ou en variante un plastique, même un film plastique. Les matériaux préférés pour le nanobatonnet 2' sont identiques à ceux du premier mode de réalisation. Pour la couche 44 on peut choisir de la silice dépo- sée par CVD ou par sol gel et éventuellement poreuse (avec élimination de l'agent porogène) comme par exemple décrit dans le document W02008/059170. - 65 - La figure 5a représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 5000a incorporant un support extracteur de lumière 500a dans un cinquième mode de réalisation de l'invention avec nanobatonnets qui diffère du premier mode de réalisation avec nanobatonnets par le choix de l'électrode qui com- porte une couche métallique discontinue 5a, de préférence à base d'argent, sous formes de pistes métalliques. La couche métallique discontinue 5a peut être arrangée en grille régulière ou irrégulière : pistes interconnectées formant des mailles de toute forme ou bandes disjointes alimentées en périphérie (par des zones de contact électriques courant appelées bus bar(s)) notamment sur des bords opposés de l'électrode) de préférence de manière commune. Une couche électroconductrice 50 (moins électroconductrice que les pistes métalliques 5a) couvre les pistes métalliques 5a et de préférence remplit au moins la région supérieure voire toutes les zones entre les pistes métalliques. Cette matière 50 peut donc servir planariser localement notamment les pistes métalliques et pour aplanir le dénivelé causé par les pistes. Cette couche 50 peut être en polymère transparent conducteur tel que PEDOT/PSS ou en TCO tel que ITO, AZO... Il peut s'agir en variante d'une couche faisant partie du système organique électroluminescent 6. Bien sûr, toutes les configurations avec nanobatonnets dans leurs milieux des modes de réalisation précédents et suivants sont possibles avec une telle électrode. Les nanobatonnets 2' sous les pistes métalliques 5a peuvent être proches des pistes métalliques et il est préférable de privilégier la présence de nanobaton- nets métalliques décalés des pistes métalliques 5a. La figure 5b représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 5000b incorporant un support extracteur de lumière 500b dans une variante du cinquième mode de réalisation avec nanobatonnets par le positionnement de l'électrode discontinue 5a. En particulier la couche discontinue métallique 5a, for- mée de pistes métalliques en maille (ou en parallèle), de préférence en argent, est directement sur la couche réceptrice 14 ou en variante sur le substrat 1 (en supprimant la couche réceptrice). - 66 - La couche discontinue métallique 5a peut recouvrir un ou des nanobatonnets 2'X déjà présent(s) et qui deviennent inopérants (ne sont plus dans un milieu non métallique selon l'invention) et ne gênent ou influent peu sur les performances électriques ou sur la rugosité de la couche métallique 5a. Les pistes mé- talliques 5a de l'électrode discontinue (ici en maille, ou parallèles..) sont étroites et très espacés. La matière électroconductrice 50 (moins électroconductrice que les pistes métalliques 5a) forme une couche couvrante 40' qui couvre en outre directement les nanobatonnets (la surface haute 22) en plus de couvrir les pistes métalliques 5a. La figure 5c représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 5000c incorporant un support extracteur de lumière 500c dans une variante du mode de réalisation de la figure 1'. Le support diffère par la nature des nanobatonnets 2'a qui sont diélec- triques par exemple de la silice ou une matière polymérique et par leur milieu métallique de préférence de l'argent. Par exemple les nanobatonnets 2'a sont sur une couche réceptrice 140 métallique en argent et ensuite recouverts par une couche couvrante 40" également 20 en argent. L'épaisseur cumulée de la couche réceptrice et de la couche couvrante est d'au plus 15nm. D'un point de vue forme, taille et tolérance de positionnement vis-à-vis du substrat 1 on conserve les mêmes que pour les nanobatonnets métalliques. De préférence l'électrode 5 n'est pas métallique par exemple est un TCO. 25 En variante, la couche couvrante 40" fait partie voire forme l'électrode 5. La figure 6a représente une vue schématique en coupe d'un dispositif 30 OLED 6000a incorporant un support extracteur de lumière 600a dans un sixième mode de réalisation de l'invention avec nanobatonnets. Ici, les nanobatonnets 20' sont logés dans le substrat 1, par exemple un verre ou un plastique. En effet, la première face est structurée présentant ainsi des trous borgnes disjoints 12, en forme allongée, de largeur nanométrique et de - 67 - profondeur au moins nanométrique et de longueur de préférence submicronique, chaque nanobatonnet métallique 20' est formé par un revêtement 20' en ladite matière métallique (argent) remplissant tout ou partie du trou. La région supérieure du verre 12' forme la couche séparatrice des nanoba5 tonnets 20' de préférence les espaçant d'au moins 100nm. Le plan PO du substrat est le plan « haut » de la première face 11. Pour chaque nanobatonnet 20' l'axe X1 forme avec le plan PO un angle a d'au plus 2° L'angle a entre l'axe X1 et PO peut bien sur varier d'un nanobatonnet à l'autre. Comme montré en figure 6b qui est une vue de détail et de section de deux 10 nanobatonnets 20' dans une variante de la figure 6a le métal s'étend au-delà du trou borgne 12. L'épaisseur maximale du nanobatonnet (revêtement métallique) est plus grande que l'épaisseur du trou borgne. Le trou peut être en forme de nanobatonnet creux de largeur et de longueur sensiblement égales mais orientés par exemple aléatoirement comme mon- 15 tré en figure 6c. Les axes X1 (ou leurs projections orthogonales sur P0) des nanobatonnets métalliques 20' peuvent être le long de l'axe X ou Y ou en oblique, suivant le même axe. Comme montré en figure 6c, les axes X1 (ou leurs projections orthogo- 20 nales sur P0) nanobatonnets 20' sont suivant X, un ou d'autres suivant Y, un ou d'autres avoir une composante en Y et en X. En variante des figures 6a, 6b ou 6c, la couche couvrante 40 n'est pas diélectrique mais est électroconductrice par exemple un TCO (ITO, AZO, GZO, ZTO 25 etc) et forme tout ou partie de l'électrode 5. La figure 7a représente une vue schématique en coupe d'un dispositif OLED 7000a incorporant un support extracteur de lumière 700a dans un septième mode de réalisation de l'invention proche du sixième mode avec nanobatonnets. 30 Ici, les nanobatonnets 20' sont intégrés partiellement à une couche rappor- tée 47 sur le substrat 1, logés dans des trous de cette couche 47 par exemple de haut indice (sol gel d'oxyde de titane ou de silice chargé en particules haut indice) ou bien de silice et alors de préférence d'épaisseur inférieure à 100nm. - 68 - En effet, la couche 47 est structurée présentant ainsi des trous traversants 47a (ou borgnes en variante) disjoints de largeur nanométrique et de profondeur de préférence au moins nanométrique et de longueur de préférence submicronique, chaque nanobatonnet est formé par un revêtement 20' remplissant tout ou partie du trou. Cette couche structurée 47 forme en outre de fait la couche séparatrice des nanobatonnets 20' de préférence les espaçant d'au moins 100nm (espacement des trous, bord à bord). Comme montré en figure 7b alternative de la figure 7, les trous traversants 47a (ou borgnes) peuvent être d'abord tapissés d'un matériau dite tampon 47b bas indice de réfraction (silice, silice poreuse voire polymère) épousant les flancs et la première face 11, laissant une cavité creuse (plus petite), puis le revêtement métallique 20' remplit tout en partie de la cavité formée par épouse les flancs du matériau tampon et le fond du matériau tampon. Dans les figures 6a à 7b, les flancs des trous peuvent être à la normale au substrat (suivant Z donc) ou inclinés d'au plus 10° de préférence. En variante de la figure 7a ou 7b, la couche couvrante n'est pas diélectrique mais est électroconductrice par exemple un TCO (ITO etc) et forme tout ou partie de l'électrode. Un support extracteur 800 est présenté en figure 8' variante de l'exemple de la figure 7a. On forme les trous disjoints 49' et ici borgnes 49' dans un élément haut indice 49, tel qu'un film polymère transparent haut indice. Le revêtement métallique 20' est déposé dans les trous disjoints et on vient alors rapporter l'élément 49 à la première face 11 du substrat 1 en verre minéral ou plastique, par exemple rigide. L'élément 49 est en contact optique notamment en contact adhésif par sa face structurée entre les trous 49' remplis de métal 20'. EXEMPLES DE RESONANCE Exemple 1 On choisit des nanopalets en argent en forme de nanodisques (cylindrique base circulaire et droit) de dimensions El (épaisseur), W1 (largeur), Ll (longueur). Les nanopalets sont sur la première face d'un substrat en verre d'indice de - 69 - réfraction n=1,5 environ dans le visible ou sur une couche de silice déposée sur la première face du verre (par dépôt en phase vapeur PVD, sol gel...). La couche séparatrice entre les nanodisques et couvrante sur les nanodisques est de la silice d'indice de réfraction égale à 1,5 environ dans le visible avec une surépais- seur de 50nm par rapport aux nanodisques. Ainsi le milieu de chaque nanopalet est de 1,5 environ, soit bas indice. W1, Ll et El sont telles que le nanopalet dans son milieu non métallique a une section efficace de diffusion qui présente une résonance à une longueur d'onde X, dans le visible et est même inférieure à 700nm. Deux exemples sont consignés dans le tableau suivant Exemples W1 (nm) Ll (nm) El (nm) km (nm) 1 70 70 30 550 2 25 25 10 500 En première variante, chaque nanopalet est dans un milieu tampon bas indice formé par - le substrat - et un revêtement diélectrique bas indice de chaque nanopalet par exemple de la silice, d'épaisseur 30nm. Ce revêtement peut être aussi sur trois côtés donc être absent de la surface basse (de contact avec la première face). Entre et sur ces nanopalets revêtus est présente une couche haut indice choisie parmi un émail, une couche sol gel ou même un dépôt par PVD. Cette couche séparatrice et couvrante est submicronique. En deuxième variante, les nanopalets sont sur une couche réceptrice haut indice comme un nitrure de silicium, un oxyde de titane et/ou de zirconium etc). Entre et directement sur ces nanopalets est présente une couche haut in- dice choisie parmi un émail, une couche sol gel ou même un dépôt par PVD. Cette couche séparatrice et couvrante est submicronique. La couche réceptrice peut être en même matière que la couche séparatrice et couvrante et ainsi l'interface n'est pas nécessairement discernable. Deux exemples sont consignés dans le tableau suivant en prenant l'indice du milieu à 1,8. - 70 - Exemples W1 (nm) Ll (nm) El (nm) Xm (nm) 3 70 70 30 645 4 25 25 10 570 Exemple l' On choisit des nanobatonnets en argent, plus précisément en forme de nanocapsules (extrémités latérales en demi-sphères), de dimensions El (épais- seur), W1 (largeur), Ll (longueur). Les nanocapsules sont sur la première face d'un substrat en verre d'indice de réfraction n=1,5 environ dans le visible. Dans une première série, la couche séparatrice et couvrante est de la silice d'indice de réfraction égale à 1,5 environ dans le visible avec une surépais10 seur de 50nm par rapport aux nanocapsules. Ainsi le milieu de chaque nanocapsule est de 1,5 environ soit bas indice. Dans une deuxième série, les nanocapsules sont sur une couche réceptrice haut indice comme le nitrure de silicium ou un oxyde de titane (et/ou zirconium). Entre et directement sur ces nanocapsules est présente une couche haut 15 indice choisie parmi un émail, une couche sol gel ou même un dépôt par PVD. Cette couche séparatrice et couvrante est submicronique. La couche réceptrice peut être en même matière que la couche séparatrice et couvrante et ainsi l'interface n'est pas nécessairement discernable. Wl, Ll et El sont telles que la nanocapsule dans son milieu a une section 20 efficace de diffusion qui présente une résonance à une longueur d'onde X, dans le visible. W1 et El sont identiques est correspondent au diamètre de la nanocapsule. Ll est nanométrique. Des exemples sont consignés dans le tableau suivant en fonction de 25 l'indice n, du milieu. Exemples El (nm) Ll (nm) (Li/El) n, Xm (nm) l' 15 30 2 1,5 540 2' 15 45 3 1,5 700 3' 15 30 2 1,8 580 4' 15 45 3 1,8 740 - 71 - Plus largement, les nanobatonnets peuvent être définis par une grandeur satisfaisant l'équation suivante Xlm=127n0+160(L1/E1)+33 lorsque no va de 1 à 2 et L1/E1 de 2 à 5 avec X,1 m qui est dans une gamme de 380 à 780nm. L'écart en valeur absolue entre Xlm et est inférieur à 50nm.5 REVENDICATIONS1. Support extracteur de lumière (100 à 800') notamment lumière émise d'une source lumineuse surfacique comme un système électroluminescent organique (7), comportant: - un substrat, transparent (1, 1') et diélectrique, avec une face principale (11), dite première face, - des éléments d'extraction de lumière (2, 2', 20, 20'), dits éléments optiques, disjoints et liés à la première face, chaque élément optique étant dans un milieu non métallique qui est d'indice de réfraction no d'au plus 3,5 à 550nm, caractérisé en ce qu'au moins une partie des éléments optiques, dits premiers éléments optiques (2, 2', 20, 20') sont en matière métallique, tridimensionnels, et présentent chacun des première, deuxième et troisième dimen- sions nanométriques, la première dimension, dite longueur L1, étant la plus grande et suivant un axe X1, la deuxième dimension, dite épaisseur E1, étant suivant un axe Z1 perpendiculaire à X1 et étant la plus petite des dimensions perpendiculaires à X1, la troisième, dite largeur Wl, étant suivant un axe Y1 perpendiculaire à X1 et à Z1, avec L1/E1>1,5 et L1/E1 W1, ou (b) un nanopalet (2',20'), avec W1 '1,5E1, et 0,3Ll 2. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la résonance d'un ou des premiers éléments optiques (2, 2', 20, 20') est excitable par une onde électromagnétique plane et progressive, monochromatique et de longueur d'onde dans l'air XE dans le spectre visible, définie par un champ magnétique H polarisé parallè- lement au plan PO et orthogonalement à la direction de propagation qui est dans le plan PO et parallèle à la projection orthogonale de L1 sur le plan P0. 3. Support extracteur de lumière (600, 700, 600', 700') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la première face est structu- rée présentant ainsi des premiers trous borgnes (12), logeant au moins par- tiellement les premiers éléments optiques (20, 20'), et de préférence les premiers éléments optiques ainsi logés comportent chacun un revêtement (20, 20') en ladite matière métallique du premier trou borgne, et/ou la première face (11) est porteuse d'une couche structurée (47, 47') non métallique, de préférence diélectrique, et d'indice de réfraction d'au plus 3,5 à 550nm, couche présentant des premiers trous disjoints (47a), dits autres trous, logeant au moins partiellement les premiers éléments optiques (20, 20'), et de préférence les premiers éléments optiques ainsi logés comportent chacun un revêtement (20) en ladite matière métallique de l'autre trou. 4. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend une couche dite couvrante non métallique (40, 40', 40a, 40b, 41, 42, 44, 50) couvrant les premiers éléments optiques (2, 2', 20, 20'), de préférence formant planarisation des premiers éléments optiques notamment qui sont en saillie de la première face, éven- tuellement étant présente entre les premiers éléments optiques formant ainsi également une couche dite séparatrice, la couche couvrante étant d'épaisseur inférieure à 5pm, de préférence inférieure à 1pm. 5. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend une couche dite couvrante non métallique (40, 40', 40a, 40b, 41, 42, 44, 50) couvrant les premiers éléments optiques (2,2', 20, 20'), éventuellement étant présente entre les premiers éléments optiques formant ainsi également une couche dite séparatrice, et- 74 - en ce que la couche couvrante non métallique est à base d'un matériau qui est choisi parmi l'un au moins des matériaux suivants: - une matière verrière, notamment un émail, - un oxyde à base de l'un au moins des éléments suivants : Si, Ti, Zr et leurs mélanges notamment une silice, un oxyde de titane, un oxyde de titane et de zirconium, un oxyde de zirconium, de la silice chargée avec des nanoparticules de haut indice de réfraction - un oxyde transparent conducteur, notamment à base de l'un au moins des éléments suivants : Sn, In, Zn et leurs mélanges - un nitrure ou oxynitrure métallique ou de silicium, - un polymère transparent notamment sulfuré, un PEDOT, un PEDOT/PSS, et/ou un empilement desdits matériaux. 6. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend une couche dite couvrante, non métallique (40, 40', 40a, 40b, 41, 42, 44, 50), couvrant les premiers élé- ments optiques (2,2', 20, 20'), notamment étant présente entre les premiers éléments optiques formant ainsi également une couche dite séparatrice, couche couvrante d'indice de réfraction à 550nm d'au moins 1,7, notamment entre 1,8 et 1,9 et de préférence d'au plus 2. 7. Support extracteur de lumière (400, 400') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend une couche dite séparatrice bas indice, non métallique (44) entre les premiers éléments optiques (2), d'indice de réfraction inférieur à 1,7 à 550nm et de préférence d'au plus 1,5, notamment une couche à base de silice et/ou en ce que le substrat (1) com- prend une région dite séparatrice (12') entre les premiers éléments optiques (2') logés dans des trous borgnes de la première face. 8. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend une couche dite séparatrice non métallique (40, 40', 40a, 40b, 41, 41', 42) entre les premiers éléments optiques (2), d'indice de réfraction d'au moins 1,7 à 550nm et de préférence d'au plus 2, notamment entre 1,8 et 1,9. 9. Support extracteur de lumière (100d, 400, 100'd, 400', 700b) selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que pour au moins un des premiers éléments optiques, le milieu comprend un milieu tampon (41, 41',- 75 - 44, 4d), non métallique, d'indice de réfraction inférieur à 1,6 à 550nm, sur le premier élément optique (2,2') voire même entourant le premier élément optique, de préférence d'épaisseur d'au plus 100nm, milieu tampon de préférence en partie au-dessus de la première face en particulier adjacent à une couche séparatrice entre les premiers éléments optiques (2) d'indice de ré- fraction d'au moins 1,7 à 550nm. 10. Support extracteur de lumière (500, 500', 500a, 500b) selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend une couche métallique arrangée en pistes métalliques (5a), notamment en grille, faisant partie d'une électrode, entre les premiers éléments optiques (2, 2') et/ou au- dessus des premiers éléments optiques notamment sur une couche cou- vrante, de préférence diélectrique, sur les premiers éléments optiques. 11. Support extracteur de lumière selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comprend une couche électroconductrice transparente non métallique, à base de polymère conducteur et/ou d'oxyde transparent conducteur, couvrant les premiers éléments optiques et/ou entre les premiers éléments optiques notamment formant une électrode transparente. 12. Support extracteur de lumière (500",500c) notamment lumière émise d'une source lumineuse surfacique comme un système électroluminescent organique (7), comportant: - un substrat, transparent (1) et diélectrique, avec une face principale (11), dite première face, - des éléments d'extraction de lumière (2a, 2'a), dits éléments optiques, disjoints et liés à la première face, chaque élément optique étant en matière non métallique, de préférence diélectrique, d'indice de réfraction d'au plus 3,5 à 550nm, caractérisé en ce qu'au moins une partie des éléments optiques, dits premiers éléments optiques sont tridimensionnels présentant chacun des pre- mière, deuxième et troisième dimensions nanométriques, la première di- mension, dite longueur Ll, étant la plus grande et suivant un axe X1, la deuxième dimension, dite épaisseur El, étant suivant un axe Z1 perpendiculaire à XI et étant la plus petite des dimensions perpendiculaires à X1, la- 76 - troisième, dite largeur Wl, étant suivant un axe Y1 perpendiculaire à X1 et à Z1, avec L1/El>1,5, et L1/E1 W1, ou (b) un nanopalet (2'a), avec W11,5E1, et 0,3L1 13. Support extracteur de lumière (500", 500c) selon la revendication 12 caractérisé en ce qu'il comprend une couche métallique, notamment faisant partie d'une électrode, forme ledit milieu métallique des premiers éléments optiques (2a, 2'a) et de préférence à base d'argent. 14. Support extracteur de lumière (500", 500c) selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que l'angle a est d'au plus 5° pour la majorité des premiers éléments optiques 15. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que des premiers éléments optiques (2', 20', 2'a) sont les nanobatonnets qui présentent chacun les dimensions suivantes : - L1/E1 allant de 2 à 5, de préférence de 2 à 3 - Ll inférieure à 200nm, de préférence de 30 à 150nm, - El inférieure à 50nm, de préférence de 5nm à 30nm, - et sont de préférence à symétrie de révolution suivant Xl. 16. Support extracteur de lumière (100' à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que des premiers éléments optiques (2',- 77 - 20') sont les nanobatonnets définis par une grandeur X,1, satisfaisant l'équation suivante X,1 m=127n0+160(L1/E1)+33 lorsque no va de 1 à 2 et L1/E1 de 2 à 5 et en ce que Xlm est dans une gamme de 380 à 780nm. 17. Support extracteur de lumière (100' à 800') selon l'une des revendica- tions précédentes caractérisé en ce que des premiers éléments optiques sont les nanopalets (2, 20, 2a) qui présentent chacun les dimensions suivantes : - L1/E1 allant de 2 à 5 de préférence de 2 à 3, - Ll inférieure à 200nm, de préférence de 30 à 150nm, - El inférieure à 50nm, de préférence de 5nm à 30nm, - 0,5L1 18. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que l'axe X1 d'un des premiers éléments optiques (2, 2', 20, 2a, 2'a), de préférence qui est un nanobatonnet, forme un angle d'au moins 45° et inférieure à 120° avec l'axe X1 d'un autre des premiers éléments optiques (2, 2', 20, 2a, 2'a) de préférence qui est un nanobatonnet, et de préférence entre 80° et 100°. 19. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendica- tions précédentes caractérisé en ce que les premiers éléments optiques (2,2',20, 20', 2a, 2'a) sont espacés aléatoirement. 20. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la matière métallique des premiers éléments optiques (2, 2', 20, 20') est à base d'argent, pur ou allié ou en ce que le milieu métallique des premiers éléments optiques (2a, 2'a) en matière non métallique est à base d'argent, pur ou allié. 21. Support extracteur de lumière (100 à 800') selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que des premiers éléments optiques, en matière métallique correspondent à des nano-objets (2, 2') rapportés sur la première face (1,1') directement ou sur une couche dite réceptrice (14) non métallique liée à la première face ou en ce que les premiers éléments optiques (2a, 2'a) en matière non métallique correspondent à des nano-objets. 22. Dispositif OLED (1000 à 8000') incorporant le support extracteur de lumière selon l'une des revendications précédentes et comportant une élec-- 78 - trode (5, 50, 5a), un système électroluminescent organique (6) sur l'électrode.