Brevet FR3023302A1 — publié le 20160108

BATTERIE ENTIEREMENT SOLIDE COMPRENANT UN ELECTROLYTE SOLIDE A BASE DE PHOSPHATE LITHIE, STABLE AU CONTACT DE L'ANODE Domaine technique La présente invention se rapporte au domaine des batteries et notamment des batteries à ions de lithium. Elle concerne plus particulièrement les batteries à ions de lithium (« batteries Li-ion ») entièrement solides, et un nouveau procédé de fabrication de telles batteries. Etat de la technique On connait des modes de fabrication des batteries à ions de lithium (« batteries Li-ion ») présentés dans de nombreux articles et brevets ; l'ouvrage « Advances in Lithium-ion Batteries» (ed. W. van Schalkwijk et B. Scrosati), paru en 2002 (Kluever Academic / Plenum Publishers) en donne un bon état des lieux. Les électrodes des batteries Li-ion peuvent être fabriquées à l'aide de techniques d'impression ou de dépôt connues de l'homme du métier, et notamment par enduction au rouleau (« roll coating »), par racle (« doctor blade »), ou encore par coulage en bande (« tape casting »). Il existe différentes architectures et compositions chimiques d'électrodes permettant de réaliser des batteries Li-ion. Récemment, des batteries Li-ion constituées de couches minces entièrement solides sont apparues. Ces batteries sont en général d'architectures planaires, c'est-à-dire qu'elles sont essentiellement constituées d'un ensemble de trois couches formant une cellule élémentaire de batterie : une couche d'anode et une couche de cathode séparées par une couche d'électrolyte. Plus récemment, des batteries Li-ion de structures tridimensionnelles ont été fabriquées par des nouveaux procédés. De tels procédés sont notamment divulgués dans les documents WO 2013/064 779 Al ou WO 2012/064 777 Al. Dans ces documents, la fabrication des couches d'anode, d'électrolyte solide et de cathode est réalisée par électrophorèse. Les batteries obtenues par ce procédé présentent une forte densité de puissance ; elles présentent également une forte densité d'énergie (environ deux fois plus que les batteries à ions de lithium connues) dû au très faible taux de porosité et à la faible épaisseur des films d'électrolyte. De plus, les batteries obtenues par ces procédés ne contiennent pas de lithium métallique ni d'électrolytes organiques. Ainsi, elles peuvent résister lorsqu'elles sont soumises à des hautes températures. Enfin, lorsque ces dernières sont réalisées sous forme de composant électronique de type « microbatterie », elles peuvent alors être testées avant d'être soudées sur les circuits, et ce sans risque de détérioration, notamment lorsque les batteries se trouvent dans un état partiellement chargé ou déchargé. Cependant, ces batteries entièrement solides peuvent être plus ou moins performantes. L'obtention de performances durables dans le temps dépend non seulement du choix des électrolytes, des paramètres de fabrication mais également de l'architecture globale de la batterie. Par exemple, en fonction de la nature et composition chimique du film d'électrolyte, des résistances internes aux interfaces avec les électrodes peuvent apparaitre. D'autre part, certains électrolytes divulgués dans ces documents sont à base de sulfures, stables dans une large gamme de potentiel, mais ayant tendance à créer de fortes résistances au transfert des charges à leurs interfaces avec les électrodes. Par ailleurs, les électrolytes solides à base de sulfure sont extrêmement hygroscopiques ce qui peut rendre difficile leur mise en oeuvre à échelle industrielle et peut induire une sensibilité particulière au vieillissement. Par ailleurs, ces documents divulguent des électrolytes à base de verres conducteurs ioniques, tels qu'en LiPON ou en borate lithiés. Cependant, ces derniers sont susceptibles de cristalliser partiellement lors de l'assemblage de la batterie par traitement thermique, en raison de leur température de transition vitreuse relativement basse, ce qui créée une détérioration de leurs propriétés de conduction ionique. Enfin, ces composants restent assez sensibles au contact de l'atmosphère, ce qui rend leur mise en oeuvre délicate. D'autres types d'électrolytes solides ont été développés plus récemment. Il s'agit principalement des formulations de type Li7La3Zr2012 (appelé LLZO). Les couches et particules de LLZO sont très réfractaires, et bien que résistant à l'air et étant stables dans une très large gamme de potentiel électrochimique, leur mise en oeuvre dans une structure multicouche peut être délicate car elle nécessite des températures d'assemblage relativement élevées, avec des risques de créer des réactions solides aux interfaces avec les électrodes. On connait aussi des électrolytes comprenant des matériaux à base de phosphates lithiés, ces derniers étant stables au contact de l'atmosphère et stable à haut potentiel. Cependant, ces électrolytes sont le plus souvent instables au contact des anodes en lithium. L'instabilité de ces électrolytes au contact des anodes, vient essentiellement de la présence d'éléments métalliques pouvant présenter plusieurs états d'oxydation qui, lors du contact avec les anodes à bas potentiel, vont se réduire et changer d'état d'oxydation. Cette modification chimique va modifier la couleur de l'électrolyte et le rendre peu à peu conducteur électronique et dégradant par la même occasion les performances de la batterie. Dans cette famille d'électrolyte on trouve le Lii+,AI,Ti2_,(PO4)3 (appelé LATP) pour lequel, une réduction du titane peut apparaître à 2,4 V, le Lii+,AI,Ge2_,(PO4)3 (appelé LAGP) pour lequel une réduction du germanium peut apparaître à 1,8 V. Outre les dégradations électrochimiques des électrolytes et autre vieillissement calendaire liés à la sensibilité à l'air de certains constituants de la cellule batterie Li-ion, la dégradation des performances des batteries Li-ion peut également provenir de la cathode. En effet, les matériaux à insertion du lithium utilisés pour réaliser les cathodes présentent des comportements réversibles uniquement dans une certaine plage de potentiel. Lorsque le taux de lithium inséré diminue en dessous d'un certain seuil, des modifications cristallographiques peuvent apparaitre, occasionnant des pertes de performances irréversibles des matériaux de cathode. Cependant, les batteries Li-ion conventionnelles ainsi que les batteries Li-ion en couches minces utilisant des anodes en lithium métalliques, ont des capacités de stockage en ion lithium (au niveau de l'anode) supérieures à celle de la cathode. En effet, dans le cas des batteries avec des anodes en lithium métallique, la capacité de l'anode est quasiment illimitée, le lithium peut venir se déposer sur l'anode au fur et à mesure de son arrivée. Pour les batteries Li-ion standard utilisant des électrolytes liquides avec des sels de lithium, une capacité d'anode inférieure à celle de la cathode peut conduire à la formation de précipités de lithium métallique dans la batterie pendant la charge. Ces précipités se forment lorsque la cathode produit des ions lithium en excès par rapport à ce que l'anode est susceptible d'accepter. La formation de précipités de lithium métallique dans une cellule batterie pouvant occasionner un risque d'emballement thermique, il est par conséquent essentiel de s'assurer que les anodes ont des capacités suffisantes pour éviter l'apparition d'un tel risque. Bien que plus sécuritaire, cette architecture peut dans certains cas conduire à extraire trop d'ions lithium de la cathode, surtout lors des phases de cyclage à forte puissance sur des batteries chargées. Une détérioration irréversible de leur capacité d'insertion peut apparaître, Ces détériorations irréversibles provoquant le « vieillissement » de la cellule de batterie. Par ailleurs, le vieillissement, de la batterie et la perte de sa capacité peuvent également venir de la précipitation des ions lithium dans les porosités des électrodes, réduisant ainsi la quantité d'ions lithium disponibles pour le fonctionnement de la batterie, ainsi que la perte des contacts entre les particules d'électrodes. Un premier but de la présente invention est la fabrication de batteries en couches minces entièrement solides, dont les matériaux utilisés pour les couches d'électrolyte soient stables au contact des anodes et des cathodes afin d'améliorer le fonctionnement et la durée de vie de ces batteries. Encore un autre but est la fabrication de batteries en couches minces entièrement solides, dont les matériaux utilisés pour les couches d'électrolyte ne permettent pas la formation de précipités de lithium métallique, ou de résistance interne aux interfaces avec les électrodes. Un autre but de l'invention est de fabriquer des batteries en couches minces par un procédé pouvant être mis en oeuvre industriellement de manière assez simple. Objets de l'invention Un premier objet de l'invention concerne un procédé de fabrication d'une batterie en couches minces entièrement solide comprenant les étapes successives suivantes : a) on dépose une couche comprenant au moins un matériau d'anode (appelée ici o couche de matériau d'anode ») sur son substrat conducteur, de préférence sélectionné dans le groupe formé par une feuille métallique, une bande métallique, une feuille isolante métallisée, une bande isolante métallisée, un film isolant métallisé, lesdits substrats conducteurs, ou leurs éléments conducteurs, pouvant servir comme collecteur de courant anodique ; b) on dépose une couche comprenant au moins un matériau de cathode (appelée ici « couche de matériau de cathode ») sur son substrat conducteur, de préférence sélectionné dans le groupe formé par une feuille métallique, une bande métallique, une feuille isolante métallisée, une bande isolante métallisée, un film isolant métallisé, lesdits substrats conducteurs, ou leurs éléments conducteurs, pouvant servir comme collecteur de courant cathodique, étant entendu que les étapes a) et b) peuvent être inversées ; c) on dépose sur la couche obtenue à l'étape a) et/ou b) une couche comprenant au moins un matériau d'électrolyte solide (appelée ici « couche de matériau d'électrolyte ») choisi parmi : o le Li3(Sc2_xMx)(PO4)3 avec M=A1 ou Y et 0 x 1 ; ou o le Lii+xMx(Sc)2_x(PO4)3 avec M = Al, Y, Ga ou un mélange des trois composés et 0 x 0,8 ; 0 y 1 ; ou o le Lii+xMx(Gai_yScy)2_x(PO4)3 avec 0 x 0,8 ; 0 y 1 et M= Al ou Y ; ou o le Lii+xMx(Ga)2_x(PO4)3 avec M = Al, Y ou un mélange des deux composés et 0 x 0,8 ; 0 Dans un mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, lorsqu'on dépose une couche de matériau d'électrolyte sur la couche obtenue à l'étape a), on dépose éventuellement sur la couche obtenue à l'étape b) une couche d'au moins un matériau choisi parmi : o le Li3(Sc2_, Avantageusement, lesdites couches d'anode et/ou de cathode et/ou d'électrolyte sont réalisées par un dépôt de nanoparticules respectivement de matériau d'anode, de cathode ou d'électrolyte parmi l'une au moins des techniques suivantes : électropulvérisation, électrophorèse, aérosol déposition, trempage. De préférence, les couches de nanoparticules de matériau d'anode, de cathode et d'électrolyte sont toutes déposées par électrophorèse. Avantageusement, les couches d'anode, de cathode et d'électrolyte sont toutes déposées par électrophorèse. Selon l'invention, la couche de matériau d'anode a) est réalisée à partir de matériau choisi parmi: (i) les oxynitrures d'étain (de formule typique SnOxNy) ; (ii) le phosphate de fer lithié (de formule typique LiFePO4) ; (iii) les oxynitrures mixtes de silicium et étain (de formule typique SiaSnbOyNz avec a>0, b>0, a-FLK2, 0 0, b>0, a-FLK2, 0 Dans un mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, les couches de matériau d'anode et/ou de cathode comprennent en outre des matériaux conducteurs électroniques, et en particulier de graphite, et/ou des nanoparticules de matériaux conducteurs des ions lithium, du type de ceux utilisés pour réaliser les films d'électrolyte, ou des matériaux polymère solide réticulé comportant des groupements ioniques. Avantageusement, l'étape e) de traitement thermique est réalisée à une température comprise entre 200°C et 1000°C, de préférence entre 300°C et 700°C, et encore plus préférentiellement entre 300°C et 500°C, et/ou la compression mécanique est réalisée à une pression comprise entre 10 et 400 MPa, de préférence entre 20 et 100 MPa. Dans un mode de réalisation particulier, le procédé selon l'invention comprend en outre une étape f) d'encapsulation de la batterie obtenue à l'étape e) par dépôt d'au moins une couche d'encapsulation de matériau céramique, vitreux ou vitrocéramique. Avantageusement, on découpe au moins deux faces de la batterie obtenue après l'étape f) afin de faire apparaitre uniquement les sections des cathodes sur le premier plan de coupe et uniquement les sections des anodes sur le second plan de coupe. De préférence, on réalise des terminaisons anodiques et cathodiques par métallisation des sections découpées, de préférence par dépôt d'une couche d'étain, éventuellement déposée sur une sous-couche de nickel et/ou de résine époxy chargé en particules métalliques. Dans un mode de réalisation particulier selon l'invention, on réalise un traitement thermique à une température comprise entre 300°C et 1000°C, de préférence entre 400°C et 800°C, et encore plus préférentiellement entre 500°C et 700°C pour recristalliser les matériaux d'anode et/ou de cathode, ledit traitement thermique étant réalisée après l'étape a) et/ou b) mais avant l'étape c) de dépôt de la couche s d'électrolyte. Avantageusement, la taille des nanoparticules de matériaux d'électrolyte est inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 30 nm. Selon l'invention, l'étape f) d'encapsulation est réalisée par dépôt chimique par phase vapeur (CVD), et plus particulièrement assisté par plasma (PECVD), ou par dépôt chimique en phase vapeur par jet plasma (PSCVD). Selon l'invention, les substrats conducteurs sont en aluminium, en cuivre ou en nickel, de préférence en nickel, et éventuellement revêtus d'un métal noble choisi parmi les métaux suivants : l'or, le platine, le palladium, le vanadium, le cobalt, le nickel, le manganèse, de niobium, le tantale, le chrome, le molybdène, le titane, le palladium, le zirconium, le tungstène ou tout alliage comprenant au moins un de ces métaux. Un autre objet de l'invention concerne une batterie susceptible d'être obtenue par le procédé selon l'invention. Avantageusement, la capacité surface de l'anode est supérieure ou égale à la capacité surfacique de la cathode. Dans un mode de réalisation préféré, l'empilement des couches de cathode et d'anode est décalé latéralement. Avantageusement, la batterie comprend au moins une couche d'encapsulation, de préférence une couche en céramique, verre ou en vitrocéramique. Encore plus avantageusement, la batterie comprend une deuxième couche d'encapsulation déposée sur ladite première couche d'encapsulation, ladite deuxième couche d'encapsulation étant de préférence en silicone. De préférence, ladite au moins une couche d'encapsulation revêt totalement quatre des six faces de ladite batterie et partiellement les deux faces restantes, situées sous les métallisations servant à la connectique de la batterie. Dans un mode de réalisation particulier, la batterie comprend des terminaisons au niveau où les collecteurs de courant cathodique, respectivement anodique, sont apparents. Avantageusement, les connexions anodiques et les connexions cathodiques se trouvent sur les côtés opposés de l'empilement. Selon un aspect particulier de l'invention, la batterie est entièrement inorganique. Description détaillée de l'invention 1. Définitions Dans le cadre de la présente invention, on entend par « dépôt électrophorétique » ou « dépôt par électrophorèse » une couche déposée par un procédé de dépôt de particules préalablement mises en suspension dans un milieu liquide, sur un substrat de préférence conducteur, le déplacement des particules vers la surface du substrat étant généré par l'application d'un champ électrique entre deux électrodes placées dans la suspension, l'une des électrodes constituant le substrat conducteur sur lequel le dépôt est effectué, l'autre électrode (« contre-électrode ») étant posée dans la phase liquide. Un dépôt dit « dense » de particules se forme sur le substrat, si le potentiel zêta de la suspension des particules présente une valeur appropriée, et/ou suite à un traitement spécifique de densification de nature thermique et/ou mécanique. Ce dépôt présente une structure particulière et reconnaissable par l'homme du métier qui le distingue des dépôts obtenus par toute autre technique. Dans le cadre du présent document, la taille d'une particule est sa plus grande dimension. Ainsi, une « nanoparticule » est une particule dont au moins une des dimensions est inférieure à 100 nm. La « taille de particules » ou « taille moyenne de particules » d'une poudre ou d'un ensemble des particules est donnée en D50. On entend par batterie « tout solide » (appelée aussi ici batterie « entièrement solide »), une batterie ne comprenant pas de matériau en phase liquide. On entend par « capacité surfacique » d'une électrode la quantité d'ion lithium susceptible d'être insérée dans une électrode (exprimée en mA.h/cm2). 2. Description détaillée La présente invention a pour but d'apporter des perfectionnements aux batteries divulguées dans les demandes WO 2013/064 779 Al ou WO 2012/064 777 A1, en vue d'améliorer leur fabrication, leur comportement en température, et leur durée de vie. A cet effet, l'inventeur a mis au point un nouveau procédé de fabrication de batterie tout solide de structure multicouche, ne contenant pas de solvants organiques ni lithium métallique, afin qu'elles puissent être chauffées sans risque de combustion. Les batteries obtenues par le procédé selon l'invention sont de structure multicouches, en opposition aux structures planaires des batteries conventionnelles, afin d'obtenir des batteries possédant une bonne densité d'énergie et de puissance. Les couches d'anode, de cathode et d'électrolyte solide sont déposées parmi au moins l'une des techniques suivantes : i) dépôt physique par phase vapeur (PVD), et plus particulièrement par évaporation sous vide, par ablation laser, par faisceau d'ions, par pulvérisation cathodique ; ii) dépôt chimique par phase vapeur (CVD), et plus particulièrement assisté par plasma (PECVD), assisté par laser (LACVD), ou assisté par aérosol (AA-CVD) ; iii) électropulvérisation ; iv) électrophorèse ; v) aérosol deposition ; vi) sol-gel ; vii) trempage, plus particulièrement par trempage-retrait (dip-coating), trempage-tournette (spin-coating), ou par le procédé Langmuir-Blodgett. Dans un mode de réalisation particulier, les couches d'anode, de cathode et d'électrolyte solide sont toutes déposées par électrophorèse. Le dépôt électrophorétique de particules se fait par l'application d'un champ électrique entre le substrat sur lequel est réalisé le dépôt et une contre-électrode, permettant de mettre en mouvement les particules chargées de la suspension colloïdale, et de les déposer sur le substrat. L'absence de liants et d'autres solvants déposés en surface avec les particules permet d'obtenir des dépôts très compacts. La compacité obtenue grâce au dépôt électrophorétique, limite les risques de craquelures ou d'apparition d'autres défauts dans le dépôt pendant les étapes de séchage. De plus, la vitesse de dépôt peut être élevée en fonction du champ électrique appliqué et de la mobilité électrophorétique des particules de la suspension. Le procédé de fabrication d'une batterie tout solide comprend une étape a) de dépôt d'une couche de matériaux d'anode. La couche de matériaux d'anode est réalisée de préférence par électrophorèse. Les matériaux choisis pour la couche de matériau d'anode sont de préférence choisis parmi les matériaux suivants : (i) les oxynitrures d'étain (de formule typique SnOxN0 ; (ii) le phosphate de fer lithié (de formule typique LiFePO4) (iii) les oxynitrures mixtes de silicium et étain (de formule typique SiaSnbOyN, avec a>0, b>0, a-FLK2, 0 0, b>0, a-FLK2, 0 Les substrats conducteurs peuvent être réalisés sous forme de feuilles, éventuellement des feuilles comprenant les motifs des électrodes pré-découpés ou sous forme de bandes. Afin d'améliorer la qualité des contacts électriques avec les électrodes, les substrats peuvent avantageusement être revêtus d'un métal ou d'un alliage de métaux, de préférence choisi parmi l'or, le chrome, l'inox, le palladium, le molybdène, le titane, le tantale, ou l'argent. Selon l'invention, le dépôt d'une couche de nanoparticules de matériau d'anode ou de cathode directement sur son substrat conducteur, par exemple par électrophorèse, permet d'obtenir une couche dense de structure nanocristalline. Cependant, la formation de joints de grains est possible, conduisant à formation d'une couche de structure particulière, entre celle d'un matériau amorphe et cristallisé, ce qui peut limiter la cinétique de diffusion des ions lithiums dans l'épaisseur de l'électrode. Ainsi, la puissance de l'électrode de la batterie et le cycle de vie peuvent être affectés. Avantageusement, afin d'améliorer les performances de la batterie, un traitement thermique de recristallisation est réalisé pour améliorer la cristallinité, et éventuellement la consolidation de l'électrode afin de renforcer la puissance des électrodes (anode et/ou cathode). Le traitement thermique de recristallisation de la couche d'anode et/ou de cathode est réalisé à une température comprise entre 300°C et 1000°C, de préférence entre 400°C et 800°C, et encore plus préférentiellement entre 500°C et 700°C. Le traitement thermique doit être réalisé après l'étape a) et/ou b) de dépôt de la couche d'anode et/ou de cathode, mais avant l'étape c) de dépôt de la couche de nanoparticules d'électrolyte. Selon l'invention, le procédé de fabrication d'une batterie comprend une étape c) de dépôt d'une couche de matériau d'électrolyte. Le dépôt de la couche de matériau d'électrolyte est réalisé sur la couche de matériau d'anode, et/ou sur la couche de matériau de cathode. Le dépôt d'une couche d'électrolyte solide sur la couche d'anode ou de cathode permet de protéger la cellule électrochimique de court-circuit interne. Il permet également de réaliser une batterie entièrement solide comportant une durée de vie élevée, et simple de fabrication. Le dépôt de la couche de matériau d'électrolyte est de préférence réalisé par électrophorèse. Plus particulièrement, les matériaux choisis en tant que matériaux d'électrolyte sont de préférence choisis parmi les matériaux suivants : - sur la couche de matériau d'anode obtenue à l'étape a) et/ou b) : o le Li3(Sc2_xMx)(PO4)3 avec M=A1 ou Y et 0 x 1 ; ou o le Lii+xMx(Sc)2_x(PO4)3 avec M = Al, Y, Ga ou un mélange de deux ou trois des composés et 0 x 0,8 ; 0 y 1,0 ; ou o le Lii+xMx(Ga)2_x(PO4)3 avec M = Al, Y ou un mélange des deux composés M et 0 x 0,8; 0 y 1,0 ; ou o le Lii+xMx(Gai_yScy)2_x(PO4)3 avec 0 x 0,8 ; 0 y 1,0 et M= Al ou Y, ou un mélange des deux composés. Dans un mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, lorsqu'on dépose une couche de matériau d'électrolyte sur la couche obtenue à l'étape a), on peut déposer éventuellement sur la couche obtenue à l'étape b) une couche d'au moins un matériau choisi parmi : o le Li3(Sc2_xMx)(PO4)3 avec M=A1 ou Y et 0 x ; ou o le Lii+xMx(Sc)2_x(PO4)3 avec M = Al, Y, Ga ou un mélange de deux ou trois des composés et 0 x 0,8 ; 0 D'autres matériaux électrolytiques à base de scandium peuvent également convenir, quand bien même ils n'appartiennent pas à la formule générale précédente. On peut citer notamment les compositions chimiques de type Li3Sc2(PO4)3 ou encore Li4,8Sc1,4(PO4)3- Les électrolytes solides à base de phosphates lithiés sont stables au contact de l'atmosphère et stables à haut potentiel, ce qui rend plus aisé la fabrication de batterie à échelle industrielle. La stabilité de ces électrolytes contribue également à conférer à la batterie résultante de bonnes performances de durée de vie calendaire. Enfin, les électrolytes à base de phosphate lithiés créent peu d'effets résistifs aux interfaces avec les électrodes et peuvent être utilisés dans la fabrication de batteries "tout solide", notamment avec des cathodes fonctionnant à des tensions élevées, comme par exemple les matériaux de cathodes 5V de type LiMn1,5Nio,504. Par ailleurs, les matériaux à base de phosphate lithiés présentent une faible température de fusion, par rapport aux matériaux utilisés conventionnellement dans les batteries Li-ion, ce qui autorise des assemblages de cellules tout solide par « soudage par diffusion » (appelé en anglais « diffusion bonding ») et/ou par frittage à basse température. La couche d'électrolyte déposée par le procédé selon l'invention comprend des matériaux solides de type phosphate lithités, ces derniers étant stables dans le temps au contact des anodes et stables également au contact de l'atmosphère. De plus, la couche d'électrolyte solide au contact de l'anode ne comprend pas d'ions métalliques susceptibles de se réduire au contact des anodes. Ainsi, la couche d'électrolyte solide déposée par le procédé selon l'invention comprend au moins des matériaux à base de scandium et/ou de gallium. Par ailleurs, le scandium et le gallium ne présentent qu'un seul état d'oxydation et donc ne risquent pas de changer d'état d'oxydation au contact de l'anode et/ou de la cathode. Aussi, l'électrolyte solide à base de phosphate lithié, dopé au scandium et/ou au gallium, est à la fois un bon conducteur ionique et stable dans le temps au contact des électrodes de batterie. Avantageusement, la couche d'électrolyte solide est réalisée par dépôt électrophorétiques de nanoparticules de matériau d'électrolyte, isolantes électriquement. Les couches obtenues sont totalement couvrants, sans défauts localisés. Les densités de courant de dépôt se concentrant sur les zones les moins isolantes, notamment localisé où un défaut est éventuellement présent. L'absence de défauts dans la couche d'électrolyte, évite l'apparition de courts-circuits rampants, d'autodécharges excessives, voire de défaillance de la cellule de la batterie. La technique de dépôt électrophorétique permet aussi d'obtenir des couches denses de matériaux d'électrodes et/ou d'électrolyte. Lorsque la taille des particules à déposer est inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm, et encore plus préférentiellement inférieure à 30 nm, il est possible d'obtenir des couches denses par électrophorèse directement sur les substrats conducteurs métalliques, avec une densité supérieure à 50% de la densité théorique du corps massif. Afin d'éviter la fissuration des couches après dépôt, les nanoparticules mises en suspensions doivent être de faibles dimensions et parfaitement stables. En fonction des propriétés des nanoparticules déposées, de la compacité, de l'épaisseur des couches, un traitement thermique et/ou mécanique supplémentaire peut être effectué pour densifier les dépôts desdites couches lors de l'étape d'assemblage. Cela peut conduire à des densités supérieures à 85% voire supérieure à 90% de la densité théorique du corps massif. Pour le dépôt par électrophorèse d'une suspension de nanoparticules de taille inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm, et encore plus préférentiellement inférieure à 30 nm, les couches obtenues peuvent être denses directement après dépôt, notamment lorsque les matériaux déposés sont peu réfractaires et possèdent une énergie de surface élevée. La consolidation de la couche mince juste après dépôt présente l'avantage de diminuer considérablement le traitement thermique, qui peut conduire à des phénomènes d'interdiffusion aux interfaces entre les électrodes et le film d'électrolyte, voir à la formation de nouveaux composés chimiques pouvant être très résistifs pour la diffusion des ions lithium. Selon un mode particulier du procédé de l'invention, les électrodes (anode et cathode) sont « poinçonnées » selon un motif de découpe afin de réaliser des découpes aux dimensions de la batterie à réaliser. Ces motifs comprennent trois découpes qui se jouxtent (par exemple en forme de U) et qui définissent la dimension de la batterie. Une deuxième fente peut être réalisée sur le côté non découpé afin de pouvoir assurer le passage des produits nécessaires à l'encapsulation du composant. Les électrodes anodiques et cathodiques sont ensuite empilées de manière alternée afin de constituer un empilement de plusieurs cellules élémentaires. Les motifs de découpes des anodes et cathodes sont placés en configuration « tête bêche ». Dans un autre mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, les électrodes sont découpées avant l'étape c) de dépôt de la ou les couche(s) d'électrolyte, permettant le recouvrement des bords d'électrodes par un film d'électrolyte, protégeant ainsi le contact des électrodes avec l'atmosphère, et permettant d'améliorer la durée de vie calendaire de la batterie. Dans un mode de réalisation alternatif, les découpes sont réalisées sur les substrats avant les étapes a) et b) de dépôt de la couche d'anode et de cathode, permettant un recouvrement des bords d'électrodes par un film d'électrolyte. Ce mode de réalisation particulier présente l'avantage de recouvrir les bords d'électrodes avant le dépôt de la couche de nanoparticules de matériau d'électrolyte, ce qui permet par la suite de réaliser aisément un film d'encapsulation autour des électrodes, surtout lorsque la couche d'électrolyte est composée de matériaux stables à l'humidité. Le recouvrement des bords latéraux des électrodes permet également de réduire les risques de court- circuit dans la cellule. Enfin, une étape essentielle du procédé selon l'invention comprend un traitement thermique et/ou une compression mécanique de l'empilement obtenu précédemment pour obtenir une batterie en couches minces entièrement solide. Le traitement thermique est réalisé à une température comprise entre 200 et 1000°C, de préférence 300 et 700°C, et encore plus préférentiellement entre 300 et 500°C. Avantageusement, la température du traitement thermique ne dépasse pas 600°C. Avantageusement, la compression mécanique des couches à assembler est réalisée à une pression comprise entre 10 et 400 MPa, de préférence entre 20 et 100 MPa. Dans un mode de réalisation particulier, il est avantageux, après l'étape d'empilement et avant l'ajout des terminaisons, d'encapsuler l'empilement en déposant une couche mince d'encapsulation pour assurer la protection de la cellule de la batterie vis-à-vis de l'atmosphère. La couche d'encapsulation doit être stable chimiquement, résister à une température élevée et être imperméable à l'atmosphère pour jouer sa fonction de couche barrière. Par exemple, la couche mince d'encapsulation est constituée soit d'un polymère, soit d'une céramique, d'un verre ou d'une vitrocéramique, pouvant être par exemple sous forme d'oxyde, de nitrure, de phosphates, d'oxynitrure, ou de siloxane. Avantageusement cette couche d'encapsulation comprend une couche de céramique, de verre ou de vitrocéramique revêtue d'une résine époxy ou de silicone. La couche d'encapsulation peut être avantageusement déposée par dépôt chimique en phase vapeur (CVD), ce qui permet d'avoir un recouvrement de l'ensemble des surfaces de l'empilement accessible. Ainsi, l'encapsulation peut ainsi réalisée directement sur les empilements, le revêtement pouvant pénétrer dans l'ensemble des cavités disponibles. Avantageusement, une seconde couche d'encapsulation peut être déposée sur la première couche d'encapsulation pour augmenter la protection des cellules batteries de leur environnement externe. Typiquement, le dépôt de cette seconde couche peut être réalisé par une imprégnation de silicone. Le choix d'un tel matériau vient du fait qu'il résiste à des températures élevées et la batterie peut ainsi être assemblée aisément par soudure sur des cartes électroniques sans apparition de transitions vitreuses des matériaux d'encapsulation. Avantageusement, l'encapsulation de la batterie est réalisée sur quatre des six faces de l'empilement. L'encapsulation recouvre complètement la surface de quatre des six faces de la batterie. Les surfaces des deux faces (opposées) restantes de la batterie sont partiellement recouvertes d'au moins ne couche d'encapsulation, la protection des surfaces non protégées de ces deux faces est assurée par les terminaisons servant à la connectique de la batterie. De manière préférentielle les couches d'anode et de cathode sont décalées latéralement, ce qui permet à la couche d'encapsulation de recouvrir les bords des électrodes de signe opposé à celui de la terminaison. Ce dépôt d'encapsulation sur les rebords des électrodes non connectées aux terminaisons, permet d'éviter la présence de court-circuit sur ces extrémités. Une fois l'empilement réalisé, et après l'étape d'encapsulation de l'empilement si cette dernière est réalisée, des terminaisons (contacts électriques) sont ajoutées au niveau où les collecteurs de courant cathodiques, respectivement anodiques sont apparents (non revêtus de couches d'encapsulation). Ces zones de contact peuvent être sur les côtés opposés de l'empilement pour collecter le courant mais également sur des côtés adjacents. Pour réaliser les terminaisons, l'empilement, éventuellement enrobé, est découpé suivant des plans de coupe permettant d'obtenir des composants de batterie unitaires, avec la mise à nue sur chacun des plans de coupe des connexions (+) et (-) de la batterie. Les connexions peuvent ensuite être métallisées à l'aide de techniques de dépôt plasma connu de l'homme du métier et / ou par immersion dans une résine époxy conductrice (chargée à l'argent) et / ou un bain d'étain en fusion. Les terminaisons permettent de reprendre les connections électriques alternativement positives et négatives sur chacune des extrémités. Ces terminaisons permettent de réaliser les connections électriques en parallèle entre les différents éléments de batterie. Pour cela, seule les connections (+) sortent sur une extrémité, et les (-) sont disponibles sur les autres extrémités. Cette batterie étant entièrement solide, et utilisant un matériau à insertion du lithium comme matériau d'anode, les risques de formation de dendrites de lithium métallique durant les étapes de recharge sont nuls et la capacité d'insertion de l'anode en lithium devient limitée. Aussi, afin de garantir de bonnes performances en cyclage de la batterie selon l'invention l'architecture de batterie pour laquelle la capacité surfacique des cathodes est supérieure ou égale à la capacité surfacique des anodes est préférée. Les couches constitutives de la batterie étant entièrement solide, le risque de formation de dendrites de lithium n'existe plus lorsque l'anode est totalement chargée. Ainsi, une telle architecture de batterie évite la création de surcharge de cellules de batterie. Aussi, la réalisation d'une telle batterie avec des capacités surfaciques de cathodes supérieures ou égales à celles des anodes permet d'accroitre les performances en termes de durée de vie, exprimée en nombre de cycles. En effet, les électrodes étant denses et entièrement solides, le risque de perte de contact électrique entre les particules est nul. De plus, il n'existe plus de risque de dépôt de lithium métallique dans l'électrolyte ou dans les porosités des électrodes, et enfin le risque de détérioration de la structure cristalline du matériau de cathode est inexistant.20 REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une batterie en couches minces entièrement solide comprenant les étapes successives suivantes : a) on dépose une couche comprenant au moins un matériau d'anode (appelée ici « couche de matériau d'anode ») sur son substrat conducteur, de préférence sélectionné dans le groupe formé par une feuille métallique, une bande métallique, une feuille isolante métallisée, une bande isolante métallisée, un film isolant métallisé, lesdits substrats conducteurs, ou leurs éléments conducteurs, pouvant servir comme collecteur de courant anodique ; b) on dépose une couche comprenant au moins un matériau de cathode (appelée ici « couche de matériau de cathode ») sur son substrat conducteur, de préférence sélectionné dans le groupe formé par une feuille métallique, une bande métallique, une feuille isolante métallisée, une bande isolante métallisée, un film isolant métallisé' lesdits substrats conducteurs, ou leurs éléments conducteurs, pouvant servir comme collecteur de courant cathodique, étant entendu que les étapes a) et b) peuvent être inversées ; c) on dépose sur la couche obtenue à l'étape a) et/ou b) une couche comprenant au moins un matériau d'électrolyte solide (appelée ici « couche de matériau d'électrolyte ») choisi parmi : o le Li3(Sc2_, 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que lorsqu'on dépose une couche de matériau d'électrolyte sur la couche obtenue à l'étape a), on dépose éventuellement sur la couche obtenue à l'étape b) une couche d'au moins un matériau choisi parmi : o le Li3(Sc2_, 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les couches d'anode, de cathode et d'électrolyte solide sont déposées parmi au moins l'une des techniques suivantes : (i) dépôt physique par phase vapeur (PVD), et plus particulièrement par évaporation sous vide, par ablation laser, par faisceau d'ions, par pulvérisation cathodique ; (ii) dépôt chimique par phase vapeur (CVD), et plus particulièrement assisté par plasma (PECVD), assisté par laser (LACVD), ou assisté par aérosol (AA-CVD) ; (iii) électropulvérisation ; (iv) électrophorèse ; (v) aérosol deposition ; (vi) sol-gel ; (vii)trempage, plus particulièrement par trempage-retrait (dip-coating), trempage-tournette (spin-coating), ou par le procédé Langmuir-Blodgett. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les couches d'anode, de cathode et d'électrolyte sont déposées parélectropulvérisation, électrophorèse, aérosol déposition, trempage, et sont de préférence, toutes déposées par électrophorèse. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les couches de matériau d'anode et/ou de cathode comprennent en outre des matériaux conducteurs électroniques, et en particulier de graphite, et/ou des nanoparticules de matériaux conducteurs des ions lithium, du type de ceux utilisés pour réaliser les films d'électrolyte ou des matériaux polymère solide réticulé comportant des groupements ioniques. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les couches d'anode et/ou de cathode et/ou d'électrolyte sont réalisées par un dépôt de nanoparticules respectivement de matériau d'anode, de cathode ou d'électrolyte parmi l'une au moins des techniques suivantes : électropulvérisation, électrophorèse, aérosol déposition, trempage. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que les couches de nanoparticules de matériau d'anode, de cathode et d'électrolyte sont toutes déposées par électrophorèse. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la couche de matériau d'anode a) est réalisée à partir de matériau choisi parmi : (i) les oxynitrures d'étain (de formule typique SnOxNy) ; (ii) le phosphate de fer lithié (de formule typique LiFePO4) ; (iii) les oxynitrures mixtes de silicium et étain (de formule typique SiaSnbOyNz avec a>0, b>0, a-FLK2, 0 0, b>0, a-FLK2, 0 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que la couche de matériau de cathode b) est réalisée à partir de matériau de cathode choisi parmi : (i) les oxydes LiMn2O4, LiCoO2, LiNi02, LiMn1,5Nio,504, LiMn1,5Ni0,5_xXx04 (où X est sélectionné parmi Al, Fe, Cr, Co, Rh, Nd, autres terres rares, et où 0 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'étape e) de traitement thermique est réalisé à une température comprise entre 200°C et 1000°C, de préférence entre 300°C et 700°C, et encore plus préférentiellement entre 300°C et 500°C, et/ou la compression mécanique est réalisée à une pression comprise entre 10 et 400 MPa, de préférence entre 20 et 100 MPa. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape f) d'encapsulation de la batterie obtenue à l'étape e) par dépôt d'au moins une couche d'encapsulation de matériau céramique, vitreux ou vitrocéramique. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'on découpe au moins deux faces de la batterie obtenue après l'étape f) pour faire apparaitre uniquement des sections de cathode sur le premier plan de coupe et uniquement des sections d'anode sur le second plan de coupe. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'on réalise des terminaisons anodiques et cathodiques par métallisation des sections découpées, de préférence par dépôt d'une couche d'étain, éventuellement déposée sur une sous-couche de nickel et/ou de résine époxy chargé en particules métalliques. 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérise en ce qu'on réalise un traitement thermique à une température comprise entre 300°C et 30 351000°C, de préférence entre 400°C et 800°C, et encore plus préférentiellement entre 500°C et 700°C pour recristalliser les matériaux d'anode et/ou de cathode, ledit traitement thermique étant réalisée après l'étape a) et/ou b) mais avant l'étape c) de dépôt de la couche d'électrolyte. 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 6 à 14, caractérisé en ce que la taille des nanoparticules de matériaux d'électrolyte est inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 30 nm. 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 15, caractérisé en ce que l'étape f) d'encapsulation est réalisée par dépôt chimique par phase vapeur (CVD), et plus particulièrement assisté par plasma (PECVD), ou par dépôt chimique en phase vapeur par jet plasma (PSCVD). 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 16, caractérisé en ce que les substrats conducteurs sont en aluminium, en cuivre ou en nickel, de préférence en nickel, et éventuellement revêtus d'un métal noble choisi parmi les métaux suivants : l'or, le platine, le palladium, le vanadium, le cobalt, le nickel, le manganèse, de niobium, le tantale, le chrome, le molybdène, le titane, le palladium, le zirconium, le tungstène ou tout alliage comprenant au moins un de ces métaux. 18. Batterie susceptible d'être obtenue par le procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 17. 19. Batterie selon la revendication 18, caractérisée en ce que la capacité surface de l'anode est supérieure ou égale à la capacité surfacique de la cathode. 20. Batterie selon la revendication 18 ou 19, caractérisée en ce que l'empilement des couches de cathode et d'anode est décalé latéralement. 21. Batterie selon l'une quelconque des revendications 18 à 20, caractérisée en ce qu'elle comprend au moins une couche d'encapsulation, de préférence une couche en céramique, verre ou en vitrocéramique. 22. Batterie selon la revendication 21, caractérisée en ce qu'elle comprend une deuxième couche d'encapsulation déposée sur ladite première couche d'encapsulation, ladite deuxième couche d'encapsulation étant de préférence en silicone. 23. Batterie selon la revendication 21 ou 22, caractérisée en ce que ladite au moins une couche d'encapsulation revêt totalement quatre des six faces de ladite batterie et partiellement les deux faces restantes, située sous les métallisations servant à la connectique de la batterie. 24. Batterie selon l'une quelconque des revendications 18 à 23 caractérisée en ce qu'elle comprend des terminaisons au niveau où les collecteurs de courant cathodique, respectivement anodique, sont apparents. 25. Batterie selon la revendication 24, caractérisée en ce que les connexions anodiques et les connexions cathodiques se trouvent sur les côtés opposés de l'empilement. 26. Batterie selon l'une quelconque des revendications 18 à 25, caractérisée en ce qu'elle est entièrement inorganique.