Brevet FR3014093A1 — publié le 20150605

B12866 - DD14713SP 1 SYSTÈME MASSE-RESSORT À FAIBLE DÉBATTEMENT TRANSVERSE Domaine La présente description concerne un système masse-ressort, notamment un système masse-ressort ayant une fréquence de résonance inférieure à 50 Hz. Exposé de l'art antérieur Les systèmes masse-ressort peuvent être utilisés pour de nombreuses applications, notamment pour la réalisation d'un appareil de récupération d'énergie, d'un accéléromètre, d'un inclinomètre, d'un sismomètre, etc. La figure 1 est une coupe latérale, partielle et schématique, d'un exemple d'un appareil de récupération d'énergie 10 mettant en oeuvre un microsystème électromécanique ou MEMS (Microelectromechanical Systems). Il s'agit, par exemple, d'un appareil 10 de récupération d'énergie vibratoire à convertisseur électrostatique à électrets. De tels appareils de récupération d'énergie vibratoire ont notamment pour but de convertir les vibrations ambiantes en électricité, notamment pour alimenter des systèmes peu consommateurs d'énergie, par exemple des capteurs autonomes ou des stimulateurs cardiaques. L'appareil 10 comprend une plaque 12, par exemple en un matériau diélectrique, notamment en verre, et un système masse-ressort 14 monté sur la plaque 12. Le système masse-ressort 14 comprend une B12866 - DD14713SP 2 masse 18 mobile par rapport à la plaque 12 et reliée par des ressorts 20 à un élément 16 fixe par rapport à la plaque 12. Les ressorts 20 permettent un déplacement de la masse mobile 18 par rapport à la plaque 12 selon une direction (Ox), qui est généralement horizontale. On appelle direction (Oz) la direction perpendiculaire à la direction (Ox) et à la face de la plaque 12 sur laquelle reposent les électrodes 26. La direction (Oz) correspond généralement à la direction verticale. Le système masse-ressort 14 peut être formé en partie par gravure d'une plaque d'un matériau semi-conducteur, notamment du silicium. Dans ce cas, la masse mobile 18 peut comprendre une portion 22 de la plaque de silicium et une masse supplémentaire 24 fixée à la portion 22. Chaque ressort 20 peut comprendre des poutres rectilignes reliées en série et agencées en zigzag. Des électrodes 26 sont prévues sur la plaque inférieure 12 en vis-à-vis de la portion mobile 22. Des électrets 28 peuvent être disposés sur la face de la portion mobile 22 en regard des électrodes 26. Les électrodes 26, la portion mobile 22 en matériau semi-conducteur et les électrets 28 forment un convertisseur électrostatique à électrets. Lorsque des vibrations sont appliquées à l'appareil 10, le système masse-ressort 14 convertit ces vibrations en un mouvement de va-et-vient de la masse mobile 18 selon la direction (Ox). Le mouvement relatif entre la portion mobile 22 et la plaque 12 entraîne la circulation d'un courant électrique dans une résistance de charge placée aux bornes du convertisseur électrostatique. Pour le bon fonctionnement de l'appareil de récupé- ration d'énergie 10, les électrodes 26 et les électrets 28 ne doivent pas venir au contact les uns des autres et, de préférence, l'écart entre les électrodes 26 et les électrets 28 doit rester sensiblement constant. Ceci signifie que le débattement de la masse mobile selon la direction (Oz) doit être le plus faible possible, en particulier nettement inférieur au B12866 - DD14713SP 3 déplacement possible selon la direction (Ox), par exemple selon un rapport 1/10 ou 1/100. En outre, pour que l'énergie fournie à chaque débattement par l'appareil de récupération d'énergie 10 soit la plus élevée possible, il est souhaitable que le débattement de la masse mobile 18 selon la direction (Ox) soit le plus élevé possible. Pour permettre une récupération efficace des vibrations ambiantes, la fréquence de résonance du système masse-ressort doit être sensiblement égale à la fréquence de ces vibrations. Les vibrations ambiantes ont une fréquence qui est généralement inférieure à 50 Hz. Par conséquent, il est souhaitable que le système masse-ressort ait une fréquence de résonance basse, inférieure à 50 Hz, voire à 20 Hz. De telles fréquences de résonance sont faciles à atteindre avec des systèmes mécaniques classiques de grandes dimensions, notamment ayant une surface supérieure à 3 cm2 dans un plan perpendiculaire à la direction (Oz). De telles fréquences de résonance sont beaucoup plus difficiles à obtenir avec des structures MEMS réalisées en silicium et de surfaces généralement inférieures à 3 cm2. En effet, de tels structures MEMS nécessitent l'utilisation d'une masse mobile 18 dont le poids peut être supérieur à un gramme et de poutres formant les ressorts 20 ayant une largeur inférieure à 100 pin. Ceci peut entraîner un enfoncement de la masse mobile 18 selon la direction (Oz) sous l'effet de son propre poids qui peut ne pas être compatible avec le bon fonctionnement de l'appareil 10, notamment par la mise en contact des électrodes 26 avec les électrets 28. Résumé Un mode de réalisation vise à pallier tout ou partie des inconvénients des systèmes masse-ressort connus. Un autre mode de réalisation vise à réduire le débattement vertical de la masse mobile du système masse-ressort. B12866 - DD14713SP 4 Un autre mode de réalisation vise à augmenter le débattement longitudinal de la masse mobile du système masse-ressort. Un autre mode de réalisation vise à obtenir un système 5 masse-ressort dont la fréquence de résonance est inférieure à 50 Hz, voire à 20 Hz. Un autre mode de réalisation vise un système masse-ressort pouvant être mis en oeuvre par un MEMS. Ainsi, un mode de réalisation prévoit un système 10 masse-ressort comprenant : un support ; une masse mobile par rapport au support ; au moins un premier et un deuxième ressort reliant la masse au support et permettant un déplacement de la masse par 15 rapport au support selon une première direction, le premier ressort étant le symétrique du deuxième ressort par rapport à un axe, chaque premier et deuxième ressort comprenant au moins des première et deuxième poutres en série agencées en zigzag ; et un premier cadre fermé entourant la masse, à distance 20 de la masse et du support, chaque première poutre comprenant une première extrémité reliée au support et une deuxième extrémité fixée au premier cadre et chaque deuxième poutre comprenant une troisième extrémité fixée au premier cadre et une quatrième extrémité reliée à la masse. 25 Selon un mode de réalisation, au moins l'une des premières et deuxièmes poutres comprend un renflement en partie médiane. Selon un mode de réalisation, la longueur de chaque première et deuxième poutre est supérieure ou égale à 1 mm. 30 Selon un mode de réalisation, la hauteur de chaque première et deuxième poutre mesurée parallèlement à l'axe de symétrie est supérieure ou égale à 300 pin. Selon un mode de réalisation, la largeur de chaque première et deuxième poutre mesurée perpendiculairement à la B12866 - DD14713SP longueur dans un plan perpendiculaire à l'axe de symétrie est inférieure ou égale à 100 pin. Selon un mode de réalisation, le premier cadre est relié à chaque première et deuxième poutre par une première 5 portion arrondie dont le rayon de courbure est supérieur ou égal à dix fois ladite largeur. Selon un mode de réalisation, la deuxième poutre est reliée à la masse par une deuxième portion arrondie dont le rayon de courbure est supérieur ou égal à dix fois ladite largeur. Selon un mode de réalisation, le système comprend au moins un troisième et un quatrième ressort reliant la masse au support et permettant un déplacement de la masse par rapport au support selon la première direction, le troisième ressort étant le symétrique du quatrième ressort par rapport audit axe, chaque troisième et quatrième ressort comprenant au moins des troisième et quatrième poutres en série agencées en zigzag, chaque troisième poutre comprenant une troisième extrémité reliée au support et une quatrième extrémité fixée au premier cadre et chaque quatrième poutre comprenant une cinquième extrémité fixée au premier cadre et une sixième extrémité reliée à la masse. Selon un mode de réalisation, le système comprend, pour chaque premier et deuxième ressort, au moins une cinquième poutre en série avec la deuxième poutre et en zig-zag avec la 25 deuxième poutre, et un deuxième cadre fermé entourant la masse, à distance de la masse et du support, la quatrième extrémité de chaque deuxième poutre étant fixée au deuxième cadre et chaque cinquième poutre comprenant une septième extrémité fixée au deuxième cadre et une huitième extrémité reliée à la masse. 30 Selon un mode de réalisation, le système comprend, pour chaque premier et deuxième ressort, au moins une sixième poutre en série avec la cinquième poutre et en zig-zag avec la cinquième poutre, et un troisième cadre fermé entourant la masse, à distance de la masse et du support, la huitième 35 extrémité de chaque cinquième poutre étant fixée au troisième B12866 - DD14713SP 6 cadre et chaque sixième poutre comprenant une neuvième extrémité fixée au troisième cadre et une dixième extrémité reliée à la masse. Selon un mode de réalisation, le premier cadre suit 5 une courbe fermée choisie parmi le groupe comprend un rectangle, un cercle, une ellipse et une ligne brisée fermée. Un mode de réalisation prévoit un appareil de récupération d'énergie comprenant un système masse-ressort tel que défini précédemment. 10 Un mode de réalisation prévoit un sismomètre comprenant un système masse-ressort tel que défini précédemment. Un mode de réalisation prévoit un accéléromètre comprenant un système masse-ressort tel que défini précédemment. Un mode de réalisation prévoit un inclinomètre 15 comprenant un système masse-ressort tel que défini précédemment. Un mode de réalisation prévoit un magnétomètre comprenant un système masse-ressort tel que défini précédemment, au moins une partie de la masse mobile étant composée d'un matériau ferromagnétique et/ou d'un aimant permanent. 20 Un mode de réalisation prévoit un capteur d'effort et/ou de déplacement comprenant un système masse-ressort tel que défini précédemment. Brève description des dessins Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, 25 sont exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1, décrite précédemment, est une coupe latérale, partielle et schématique, d'un exemple d'un appareil 30 de récupération d'énergie ; la figure 2 représente un schéma fonctionnel d'un mode de réalisation d'un système masse-ressort ; les figures 3 et 4 sont respectivement une coupe et une vue en perspective d'un mode de réalisation d'un système 35 masse-ressort selon le schéma fonctionnel de la figure 2 ; B12866 - DD14713SP 7 la figure 5 est une vue de détail de la figure 3 ; et les figures 6 à 13 représentent des schémas fonctionnels d'autres modes de réalisation d'un système masse-ressort. Description détaillée De mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures qui ont été tracées sans respect d'échelle. De plus, seuls les éléments utiles à la compréhension des modes de réalisation décrits sont représentés et détaillés. En particulier, les appareils utilisant les systèmes masse-ressort n'ont pas été illustrés en détail, de tels appareils étant bien connus de l'homme du métier. En outre, les procédés de fabrication de MEMS, notamment par gravure d'une plaque de silicium, sont bien connus de l'homme du métier et ne sont pas décrits en détail. De plus, on fait référence à des positions (supérieure, inférieure, latérale, etc.) en se basant de façon arbitraire sur l'orientation des figures. En outre, dans la suite de la description, les expressions "sensiblement", "environ" et "approximativement" signifient "à 10 % près". Dans la suite de la description, des modes de réalisation d'un système masse-ressort adapté à la réalisation d'un appareil de récupération d'énergie vibratoire vont être décrits. Toutefois, le système masse-ressort selon les modes de réalisation décrits par la suite peut également être utilisé pour d'autres applications, par exemple pour la réalisation d'un inclinomètre, d'un accéléromètre ou d'un sismomètre, permettant notamment la détection de mouvements, de chocs et de vibrations à très basses fréquences ou la mesure d'inclinaisons très faibles, notamment par rapport au plan perpendiculaire à l'axe de la gravité. La masse sismique peut, en outre, être du type aimant permanent ou en matériaux ferriques et être susceptible de subir des efforts à l'approche d'un champ magnétique que l'on cherche à mesurer ou dont on cherche à récupérer de l'énergie. Le système masse-ressort peut aussi servir de capteur d'effort et/ou de déplacement. Il peut aussi servir de capteur de poids B12866 - DD14713SP 8 lorsqu'il est incliné par rapport à la gravité ou encore de capteur de vitesse/débit d'un fluide lorsqu'il est rattaché à une protubérance qui tend à être emportée par le fluide dans la direction (Ox). On mesure alors la force liée au frottement visqueux de la protubérance dans le liquide puis, par modélisation, on remonte à la vitesse d'écoulement du liquide ou au débit du liquide. La figure 2 représente un schéma fonctionnel d'un mode de réalisation d'un système masse-ressort 30, adapté notamment à une utilisation pour réaliser un appareil de récupération d'énergie vibratoire. Le système masse-ressort 30 comprend une masse mobile 32 reliée par un nombre "a" de ressorts 36A, 36B, à un support 34, représenté schématiquement par un encadrement en figure 2. Les ressorts 36A, 36B sont adaptés à permettre le déplacement de la masse mobile 32 selon la direction (Ox) par rapport au support 34 en fonctionnement. Le nombre "a" de ressorts 36A, 36B est supérieur ou égal à 2. Dans le mode de réalisation représenté en figure 2, "a" est égal à 2. Dans la suite de la description, des éléments identiques associés aux deux ressorts 36A, 36B sont désignés par le même nombre suivi du suffixe "A" lorsque cet élément est associé au ressort 36A situé à gauche de la masse mobile 32 en figure 2 et du suffixe "B" lorsque cet élément est associé au ressort 36B situé à droite de la masse mobile 32 en figure 2. Chaque ressort 36A ou 36B comprend au moins la mise en série d'un nombre "n" de poutres 38A, 39A ou 38B, 39B. Le nombre "n" de poutres 38A, 39A ou 38B, 39B est supérieur ou égal à 2. Dans le mode de réalisation représenté en figure 2, "n" est égal à 2. On appelle (Oy) la direction perpendiculaire à la direction (Ox) et (Oz), non représentée en figure 2, la direction perpendiculaire aux directions (Ox) et (Oy). A titre d'exemple, la direction (Oz) est verticale et le plan (Oxy) est un plan horizontal. Les poutres 38A, 38B, 39A, 39B formant les ressorts 36A, 36B s'étendent parallèlement à la direction (Oy) en l'absence de déformation. B12866 - DD14713SP 9 Le système masse-ressort 30 comprend, en outre, un cadre de rigidification 40 constitué d'une pièce annulaire qui entoure complètement la masse mobile 32, à distance de la masse mobile 32 et du support 34. Le cadre de rigidification 40 est 5 fixé aux ressorts 36A, 36B. Plus précisément, la première poutre 38A, 38B comprend une extrémité fixée au support 34 et une extrémité opposée fixée au cadre de rigidification 40. La deuxième poutre 39A, 39B comprend une extrémité fixée au cadre de rigidification 40 et une extrémité opposée fixée à la masse 10 mobile 32. Le cadre de rigidification 40 se déplace selon la direction (Ox) lorsque la masse mobile 32 se déplace selon la direction (Ox). Le cadre de rigidification 40 ne se déforme sensiblement pas en fonctionnement. Le système masse-ressort 30 comprend un axe de 15 symétrie C parallèle à la direction (Oz), représenté par un point en figure 2. Le ressort 36A correspond au symétrique du ressort 36B selon la symétrie orthogonale dans l'espace par rapport à l'axe C. Le cadre de rigidification 40 a une structure symétrique selon la symétrie orthogonale par rapport à l'axe C. 20 Par définition, la symétrie orthogonale par rapport à l'axe C est la transformation dans l'espace qui à tout point M non situé sur l'axe C, associe le point M' tel que l'axe C soit la médiatrice du segment [MM']. Les inventeurs ont mis en évidence par simulation que 25 le débattement important selon la direction (Oz) du système masse-ressort 10 pour une fréquence de résonnance inférieure à 50 Hz était en partie dû à la mise en torsion des poutres constituant les ressorts 20, notamment en raison de l'augmentation du poids de la masse mobile 18 et de la finesse, 30 selon la direction (Ox), des poutres constituant les ressorts élémentaires 20. Dans le système masse-ressort 30 selon le présent mode de réalisation, le cadre de rigidification 40 permet de limiter la torsion des poutres 38A, 38B, 39A, 39B des ressorts 36A, 36B. Le débattement selon la direction (Oz) de la 35 masse mobile 32 est alors réduit. Plus précisément, le cadre 40 B12866 - DD14713SP 10 permet d'empêcher que les zones des ressorts 36A, 36B auxquelles il est accroché ne présentent une rotation selon un axe de rotation parallèle à la direction (Oy) et au final d'avoir des poutres 38A, 39A ou 38B, 39B qui tendent à se déplacer selon la direction (Oz). Les figures 3 et 4 sont respectivement une vue en coupe et une vue en perspective d'un mode de réalisation plus détaillé du système masse-ressort 30 selon le schéma fonctionnel de la figure 2. Le plan de coupe de la figure 3 est parallèle au plan (Oxy). Dans ce mode de réalisation, les ressorts 36A, 36B, le support 34, le cadre de rigidification 40, et une portion 42 de la masse mobile 32 font partie d'une pièce monolithique formée par découpe et/ou gravure d'une plaque ayant une épaisseur H, par exemple une plaque en un matériau semi-conducteur, notamment en silicium, une plaque métallique, notamment en aluminium, en acier ou en tungstène, une plaque en plastique ou une plaque en céramique. A titre de variante, la pièce monolithique peut être réalisée par moulage. La masse mobile 32 comprend la première portion 42 de la plaque dans laquelle les ressorts 36A, 36B, le support 34 et le cadre de rigidification 40 du système masse-ressort 30 sont formés et une deuxième portion 44, visible en figure 4, fixée à la première portion 42, par exemple par collage, et pouvant être en un matériau différent de celui de la première portion 42. A titre d'exemple, la deuxième portion 44 est en tungstène. La figure 5 est une vue en coupe de détail de la poutre 38B. Les autres poutres 38A, 39B et 39A peuvent avoir la même structure que la poutre 38B. Chaque poutre 38A, 38B, 39A, 39B a une longueur L1 mesurée selon la direction (Oy). A titre d'exemple, les poutres 38A, 38B, 39A, 39B ont une section droite rectangulaire ayant une largeur el mesurée selon la direction (Ox) et une hauteur b mesurée selon la direction (Oz) et visible en figure 4. B12866 - DD14713SP 11 Dans le présent mode de réalisation, le cadre de rigidification 40 a une forme générale rectangulaire et comprend deux branches allongées 46 orientées parallèlement à la direction (Ox), de longueur L2 mesurée selon la direction (Ox) 5 et de largeur e2 mesurée selon la direction (Oy), et deux branches allongées 48A, 48B orientées parallèlement à la direction (Oy), de longueur L3 mesurée selon la direction (Oy) et de largeur e3 mesurée selon la direction (0x). Les longueurs L2 et L3 dépendent notamment des dimensions de la portion 42 de 10 la masse mobile 32 et du débattement de la masse mobile 32 selon la direction (0x). Chaque branche 48A, 48B du cadre de rigidification 40 est reliée à la poutre 38A, 38B par une portion arrondie 50A, 50B et à la poutre 39A, 39B par une portion arrondie 52A, 52B, 15 chaque portion arrondie 50A, 50B, 52A, 52B ayant un rayon de courbure R1. Du côté opposé à la liaison entre la branche 48A, 48B et les poutres 38A, 38B, 39A, 39B, la branche 48A, 48B est reliée à la branche 46 par une portion arrondie 54A, 54B ayant un rayon de courbure R2. 20 Chaque poutre 39A, 39B est reliée à la portion 42 de la masse mobile 32 par une portion arrondie 56A, 56B ayant un rayon de courbure R3. Chaque poutre 38A, 38B est reliée au support 34 par une portion arrondie 58A, 58B ayant un rayon de courbure R4. 25 Comme cela est visible en figure 5, chaque poutre 38A, 38B, 39A, 39B peut comprendre une portion renforcée 60A, 60B, par exemple située sensiblement en partie médiane, ayant une longueur L4 et une largeur e4 strictement supérieure à el. En appelant E le module d'Young du matériau 30 constituant les ressorts 36A, 36B, la constante de raideur ke de chaque poutre 38A, 38B, 39A, 39B est donnée par la relation (1) suivante : - E.b.e 3 keLi3 (1) B12866 - DD14713SP 12 La raideur kT de l'ensemble du système masse-ressort 30 est donnée par la relation (2) suivante : 3 1 'K = = a E.b.e13 (2) T n L13 Pour obtenir la fréquence de résonance f0 souhaitée du système masse-ressort 30, la longueur L1 et la largeur el doivent respecter la relation (3) suivante : (a E.b 3/2 el m(21-1.fo2)) Le débattement de la masse mobile 32 selon la direction (Oz) est inférieur à quelques micromètres alors que le débattement de la masse mobile 32 selon la direction (Ox) peut être supérieur à quelques millimètres, notamment pour un niveau d'accélération statique autour de 9,81 m.s-2 selon la direction (Oz) ou (Ox). Cette structure permet d'atteindre une raideur selon la direction (Oz) jusqu'à plus de 100 fois supérieure à la raideur selon la direction (Ox). Des exemples de dimensions dans le cas où les ressorts 36A, 36B, le support 34, le cadre de rigidification 40, et la portion 42 de la masse mobile 32 correspondent à une pièce monolithique formée par gravure d'une plaque d'un matériau semi- conducteur, notamment du silicium dont le module d'Young est de 130 GPa, et permettant d'obtenir une fréquence de résonnance inférieure ou égale à 20 Hz, sont les suivantes : - masse de la masse mobile 32 : supérieure ou égale à 1 g, par exemple environ 1,36 g ; - longueur L1 : supérieure ou égale à 1 mm, de préférence supérieure ou égale à 2 mm, plus préférentiellement supérieure ou égale à 3 mm, par exemple environ 4 mm ; - largeur el : inférieure ou égale à 50 pin, de préférence inférieure ou égale à 30 gm, plus préférentiellement 30 inférieure ou égale à 25 ùm, par exemple environ 22 ùm ; - hauteur b : supérieure ou égale à 300 gm, de préférence supérieure ou égale à 500 gm, plus préférentiellement supérieure ou égale à 600 ùm, par exemple environ 700 ùm ; (3) B12866 - DD14713SP 13 - longueur L2 : supérieure ou égale à 5 mm, préférentiellement supérieure à 8 mm, par exemple, 8,5 mm ; - largeurs e2, e3 : comprise entre 0,1 et 100 fois el, de préférence entre 5 et 10 fois el, par exemple environ 0,2 mm ; - longueur L3 : proche de Ll, de préférence supérieure à L1 de 100 fun à 500 gm, par exemple supérieure à L1 de 350 fun ; - largeur e3 : environ 0,2 mm ; - longueur L4 : supérieure ou égale à L1/5, par 10 exemple environ L1/4 ; - largeur e4 : supérieure ou égale à 2*e1, de préférence supérieure ou égale à 3*e1, par exemple environ 0,06 mm ; - rayon de courbure R1 : supérieur ou égal à 0,1 mm, 15 de préférence supérieur à 1 mm, par exemple environ 1,5 mm ; - rayon de courbure R2 : supérieur ou égal à 0,1 mm ; - rayon de courbure R3 : supérieur ou égal à 0,1 mm, de préférence supérieur ou égal à 0,2 mm, plus préférentiellement supérieur ou égal à 0,5 mm ; et 20 - rayon de courbure R4 : supérieur ou égal à 10*el. Le cadre de rigidification 40 fermé limite la torsion des poutres 38A, 38B, 39A, 39B autour de l'axe (Oy). Ceci permet de limiter l'enfoncement de la masse mobile 32 selon la direction (Oz) sous son propre poids. Les portions de renfort 25 60A, 60B participent également à empêcher la torsion des poutres 38A, 38B, 39A, 39B autour de l'axe (Oy) mais dans une moindre mesure que le cadre de rigidification 40. La présence du cadre de rigification 40 et des portions de renfort 60A, 60B ne modifie que très légèrement la 30 fréquence de résonance f0 du système masse-ressort 30, par exemple de 5 à 10 %. La figure 6 représente un schéma fonctionnel d'un autre mode de réalisation d'un système masse-ressort 65, dans lequel le nombre de ressorts "a" est doublé par rapport au 35 système masse-ressort 30 représenté en figure 2. En plus des B12866 - DD14713SP 14 ressorts 36A, 36B, le système masse-ressort 65 comprend deux ressorts supplémentaires 66A, 66B qui sont symétriques l'un de l'autre par rapport à l'axe C. En outre, dans l'exemple représenté, le ressort 36A est symétrique du ressort 66B par rapport à un plan parallèle au plan (Oyz) contenant l'axe C, et le ressort 66A est symétrique du ressort 36B par rapport à ce plan. Chaque ressort 66A, 66B comprend une succession d'une première poutre 67A, 67B et d'une deuxième poutre 68A, 68B. Le cadre de rigidification 40 est fixé aux ressorts 36A, 36B, comme cela a été décrit précédemment, et, en outre, aux ressorts 66A, 66B. Plus précisément, la poutre 67A, 67B comprend une extrémité fixée au support 34 et une extrémité opposée fixée au cadre de rigidification 40. La deuxième poutre 68A, 68B comprend une extrémité fixée au cadre de rigidification 40 et une extrémité opposée fixée à la masse mobile 32. La raideur kT du système masse-ressort 65 est supérieure à la raideur du système masse-ressort 30 pour le même encombrement. Elle peut être calculée en utilisant la relation (2) en prenant "a" égal à 4 et "n" égal à 2. Cette configuration permet de limiter encore plus l'enfoncement de la masse mobile que la configuration représentée en figure 3. Plus précisément, cette configuration ne permet pas d'augmenter le rapport entre les raideurs selon les directions (Oz) et (Ox), étant donné que les deux raideurs sont augmentées du même ordre. Par contre, elle permet de limiter la rotation de la masse sismique 32 selon un axe parallèle à la direction (Ox). La figure 7 représente un schéma fonctionnel d'un autre mode de réalisation d'un système masse-ressort 70 dans lequel le nombre de ressorts "a" est égal à 2 et le nombre "n" de poutres par ressort est égal à 4. Par rapport au système masse-ressort 30 représenté en figure 2, le système masse-ressort 70 comprend, en outre, pour chaque ressort 36A, 36B, deux poutres supplémentaires 71A, 71B, 72A, 72B. En outre, le système masse-ressort 70 comprend deux cadres de rigidification supplémentaires 74, 76 en plus du cadre de rigidification 40. B12866 - DD14713SP 15 Chaque cadre 40, 74, 76 correspond à un cadre fermé entourant en totalité la masse mobile 32 et fixé aux ressorts 36A, 36B. Le cadre de rigidification 40 est fixé aux poutres 38A, 38B, 39A, 39B comme cela a été décrit précédemment. Toutefois, à la 5 différence du système masse-ressort 30, la poutre 39A, 39B n'est pas fixée à la masse mobile 32 mais au cadre de rigidification 74. La poutre 71A, 71B comprend une extrémité fixée au cadre de rigidification 74 et une extrémité opposée fixée au cadre de rigidification 76. La poutre 72A, 72B comprend une extrémité 10 fixée au cadre de rigidification 76 et une extrémité opposée fixée à la masse mobile 32. La raideur kT du système masse-ressort 70 est inférieure à la raideur du système masse-ressort 30 pour le même encombrement. La raideur peut se déduire de la relation (2) avec "a" égal à 2 et "n" égal à 4. Cette 15 configuration permet de diminuer les contraintes mécaniques, dans le matériau constituant les poutres, pour un déplacement et une surface donnés ou d'augmenter le déplacement de la masse mobile pour une contrainte mécanique maximale donnée. La figure 8 représente un schéma fonctionnel d'un 20 autre mode de réalisation d'une structure masse-ressort 80 dans lequel le nombre de ressorts "a" est égal à 4 et le nombre de poutres par ressort "n" est égal à 4. Le système masse-ressort 80 correspond donc à la combinaison des caractéristiques du système masse-ressort 60 et du système masse-ressort 70. 25 La raideur kT du système masse-ressort 80 est supérieure à la raideur du système masse-ressort 30 pour un encombrement donné. Toutefois, le débattement selon la direction (Ox) pouvant être obtenu avec le système masse-ressort 80 est supérieur à celui qui peut être obtenu avec le système masse-30 ressort 30 pour une contrainte mécanique maximale donnée dans le matériau constituant la poutre. La figure 9 représente un schéma fonctionnel d'un autre mode de réalisation d'un système masse-ressort 90 qui permet un débattement de la masse mobile 32 à la fois selon la 35 direction (Ox) et la direction (0y). B12866 - DD14713SP 16 Dans ce but, par rapport au système masse-ressort 30 représenté en figure 2, les poutres 37A, 37B ne sont pas fixées au support 34 mais à un cadre intermédiaire 92 fermé qui entoure complètement le cadre de rigidification 40. Le cadre intermédiaire 92 est relié au support 34 par au moins deux ressorts 94. Les ressorts 94 permettent le débattement de la masse mobile 32 selon la direction (0y). Les ressorts 94 répondent aux mêmes contraintes que les ressorts 36A, 36B. En particulier, ils sont symétriques l'un de l'autre par la symétrie orthogonale par rapport à l'axe C. En outre, il est prévu un cadre de rigidification supplémentaire 96 fermé entourant complètement le cadre intermédiaire 92 et fixé aux ressorts 94. Plus précisément, chaque ressort 94 est constitué d'au moins deux poutres 98, 99 s'étendant parallèlement à la direction (0x) en l'absence de déformation. La poutre 98 comprend une extrémité fixée au support 34 et une extrémité opposée fixée au cadre de rigidification 96. La poutre 99 comprend une extrémité fixée au cadre de rigidification 96 et une extrémité opposée fixée au cadre intermédiaire 96. Dans les modes de réalisation décrits précédemment, la courbe moyenne suivie par le cadre de rigidification 40 a, en vue de dessus, une forme générale rectangulaire. Toutefois, d'autres formes de courbes moyennes peuvent être utilisées. Les figures 10 et 11 représentent chacune un schéma fonctionnel d'un autre mode de réalisation d'un système masse-ressort 100 dans lequel le cadre de rigidification 40 du système masse-ressort 30 de la figure 2 est remplacé par un cadre de rigidification 102 qui suit une courbe moyenne fermée ayant la forme d'une ellipse (figure 10) ou d'une ligne brisée (figure 11). D'autres formes, telles qu'un cercle, peuvent être utilisées. Dans les modes de réalisation décrits précédemment, chaque poutre 38A, 38B, 39A, 39B correspond à une poutre droite s'étendant selon la direction (0y) en l'absence de déformation. B12866 - DD14713SP 17 Toutefois, d'autres agencements de poutres droites peuvent être utilisés. La figure 12 représente un mode de réalisation d'un système masse-ressort 120 dans lequel les poutres 38A, 38B, 39A, 39B du système masse-ressort 30 représenté en figure 2 sont remplacées par des poutres 122A, 122B, 124A, 124B correspondant chacun à une poutre droite inclinée par rapport aux directions (Oy) et (Ox). Chaque paire de poutres 122A, 124A et 122B, 124B forme un 'V". Dans les modes de réalisation décrits précédemment, chaque poutre 38A, 38B, 39A, 39B correspond à une poutre droite. Toutefois, d'autres types de poutres peuvent être utilisés. La figure 13 représente un mode de réalisation d'un système masse-ressort 130 dans lequel les poutres 38A, 38B, 39A, 39B du système masse-ressort 30 représenté en figure 2 sont remplacées par des poutres 132A, 132B, 134A, 134B correspondant chacune à une poutre dont la courbe moyenne n'est pas une droite. Divers modes de réalisation avec diverses variantes 20 ont été décrits ci-dessus. On note que l'homme de l'art peut combiner divers éléments de ces divers modes de réalisation et variantes sans faire preuve d'activité inventive. En particulier, le mode de réalisation représenté en figure 9 peut être mis en oeuvre avec l'un quelconque des modes de réalisation 25 décrits en relation avec les figures 2, 6 à 8 et 10 à 13. En outre, le mode de réalisation représenté en figure 10 ou 11 peut être mis en oeuvre avec l'un quelconque des modes de réalisation décrits en relation avec les figures 2, 6 à 9, 12 et 13. De plus, le mode de réalisation représenté en figure 12 ou 13 peut 30 être mis en oeuvre avec l'un quelconque des modes de réalisation décrits en relation avec les figures 2 et 6 à 11. REVENDICATIONS1. Système masse-ressort (30) comprenant : un support (34) ; une masse (32) mobile par rapport au support ; au moins un premier et un deuxième ressort (36A, 36B) 5 reliant la masse au support et permettant un déplacement de la masse par rapport au support selon une première direction (0x), le premier ressort étant le symétrique du deuxième ressort par rapport à un axe (C), chaque premier et deuxième ressort comprenant au moins des première et deuxième poutres (38A, 38B, 10 39A, 39B) en série agencées en zigzag ; et un premier cadre fermé (40) entourant la masse, à distance de la masse et du support, chaque première poutre (38A, 38B) comprenant une première extrémité reliée au support et une deuxième extrémité fixée au premier cadre et chaque deuxième 15 poutre (39A, 39B) comprenant une troisième extrémité fixée au premier cadre et une quatrième extrémité reliée à la masse. 2. Système masse-ressort selon la revendication 1, dans lequel au moins l'une des premières et deuxièmes poutres (38A, 38B, 39A, 39B) comprend un renflement (60A, 60B) en partie 20 médiane. 3. Système masse-ressort selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la longueur (L1) de chaque première et deuxième poutre (38A, 38B, 39A, 39B) est supérieure ou égale à 1 mm. 4. Système masse-ressort selon l'une quelconque des 25 revendications 1 à 3, dans lequel la hauteur de chaque première et deuxième poutre (38A, 38B, 39A, 39B) mesurée parallèlement à l'axe de symétrie (C) est supérieure ou égale à 300 pin. 5. Système masse-ressort selon les revendications 3 et 4, dans lequel la largeur (el) de chaque première et deuxième 30 poutre (38A, 38B, 39A, 39B) mesurée perpendiculairement à la longueur dans un plan perpendiculaire à l'axe de symétrie est inférieure ou égale à 100 gm. 6. Système masse-ressort selon la revendication 5, dans lequel le premier cadre (40) est relié à chaque première etB12866 - DD14713SP 19 deuxième poutre (38A, 38B, 39A, 39B) par une première portion arrondie (50A, 52A, 50B, 52B) dont le rayon de courbure (R1) est supérieur ou égal à dix fois ladite largeur (e1). 7. Système masse-ressort selon la revendication 5, dans lequel la deuxième poutre (39A, 39B) est reliée à la masse (32) par une deuxième portion arrondie (56A, 56B) dont le rayon de courbure (R3) est supérieur ou égal à dix fois ladite largeur (e1). 8. Système masse-ressort selon l'une quelconque des 10 revendications 1 à 7, comprenant au moins un troisième et un quatrième ressort (66A, 66B) reliant la masse (32) au support (34) et permettant un déplacement de la masse par rapport au support selon la première direction (0x), le troisième ressort étant le symétrique du quatrième ressort par rapport audit axe 15 (C), chaque troisième et quatrième ressort comprenant au moins des troisième et quatrième poutres (67A, 67B, 68A, 68B) en série agencées en zigzag, chaque troisième poutre comprenant une troisième extrémité reliée au support et une quatrième extrémité fixée au premier cadre et chaque quatrième poutre comprenant une 20 cinquième extrémité fixée au premier cadre et une sixième extrémité reliée à la masse. 9. Système masse-ressort selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, comprenant, pour chaque premier et deuxième ressort (36A, 36B), au moins une cinquième poutre (71A, 25 71B) en série avec la deuxième poutre (39A, 39B) et en zig-zag avec la deuxième poutre, et un deuxième cadre (74) fermé entourant la masse (32), à distance de la masse et du support (34), la quatrième extrémité de chaque deuxième poutre (39A, 39B) étant fixée au deuxième cadre (74) et chaque cinquième 30 poutre (71A, 71B) comprenant une septième extrémité fixée au deuxième cadre et une huitième extrémité reliée à la masse. 10. Système masse-ressort selon la revendication 9, comprenant, pour chaque premier et deuxième ressort (36A, 36B), au moins une sixième poutre (72A, 72B) en série avec la 35 cinquième poutre (71A, 71B) et en zig-zag avec la cinquièmeB12866 - DD14713SP 20 poutre, et un troisième cadre (76) fermé entourant la masse (32), à distance de la masse et du support (34), la huitième extrémité de chaque cinquième poutre étant fixée au troisième cadre et chaque sixième poutre (72A, 72B) comprenant une neuvième extrémité fixée au troisième cadre et une dixième extrémité reliée à la masse. 11. Système masse-ressort selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, dans lequel le premier cadre suit une courbe fermée choisie parmi le groupe comprend un rectangle, un 10 cercle, une ellipse et une ligne brisée fermée. 12. Appareil de récupération d'énergie comprenant un système masse-ressort (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11. 13. Sismomètre comprenant un système masse-ressort (30) 15 selon l'une quelconque des revendications 1 à 11. 14. Accéléromètre comprenant un système masse-ressort (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11. 15. Inclinomètre comprenant un système masse-ressort (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11. 20 16. Magnétomètre comprenant un système masse-ressort (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11 et dans lequel au moins une partie de la masse (32) est composée d'un matériau ferromagnétique et/ou d'un aimant permanent. 17. Capteur d'effort et/ou de déplacement comprenant un 25 système masse-ressort (30) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11.