Brevet FR3012676A1 — publié le 20150501

DIODE ELECTROLUMINESCENTE A PUITS QUANTIQUES SEPARES PAR DES COUCHES BARRIERES D'InGaN A COMPOSITIONS D'INDIUM VARIABLES DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR L'invention concerne le domaine des diodes électroluminescentes (appelées DELs ou LEDs), ainsi que celui des dispositifs émissifs lumineux à base de telles LEDs (écrans, projecteurs, murs d'images, etc.). L'invention s'applique notamment à la réalisation de LEDs à multiples puits quantiques (MQW, ou « Multiple Quantum Wells ») réalisant des émissions lumineuses homogènes en termes d'intensité et dans des gammes de longueurs d'ondes différentes les uns par rapport aux autres. L'invention s'applique avantageusement à la réalisation de LEDs émettant une lumière blanche, c'est-à-dire un mélange sensiblement homogène de longueurs d'ondes correspondant aux couleurs rouge, vert et bleu. Les matériaux à base de GaN, tels que le GaN, l'InGaN, ou l'AIGaN, sont utilisés pour réaliser des LEDs émettant dans des gammes de longueurs d'ondes correspondant à l'UV (Ultra-Violet), le bleu, le vert, voire le rouge lorsque ces LEDs sont réalisées avec une géométrie de nanofils. En effet, l'énergie de bande interdite du GaN, qui est égale à 3,42 eV à température ambiante, permet d'obtenir une émission dans l'UV. En ajoutant de l'indium au GaN pour former de l'InGaN, l'énergie de la bande interdite du matériau est abaissée, ce qui permet de décaler les longueurs d'ondes d'émission dans le domaine visible. Une LED émettant une lumière bleue est par exemple obtenue en réalisant des puits quantiques d'InGaN dans lesquels la composition en indium est comprise entre 5 % et 20 %, cette composition en indium dans les couches émissives des puits quantiques étant supérieure à celle du matériau des couches barrières disposées entre les puits quantiques. La technique utilisée actuellement pour fabriquer des LEDs à base de semi-conducteurs tels que le GaN consiste à réaliser une jonction p-n, c'est-à-dire mettre en contact électriquement un semi-conducteur dopé p avec un semi-conducteur dopé n, avec, entre ces semi-conducteurs dopés p et n, une région intrinsèque, c'est-à-dire non intentionnellement dopée, comprenant notamment des puits quantiques. Une zone de déplétion est alors obtenue au niveau de la jonction, et notamment au niveau des puits quantiques. En faisant passer un courant électrique dans cette structure, des recombinaisons radiatives de charges (électrons et trous) sont alors obtenues au niveau de la zone de déplétion, entrainant une émission lumineuse depuis les puits quantiques. Les puits quantiques correspondent par exemple à des couches d'InGaN d'épaisseur comprise entre 0,5 nm et 10 nm et comprenant des compositions d'indium comprises entre 5 % et 30 %. Ceci permet de localiser les charges dans ces puits quantiques pour augmenter l'efficacité d'émission radiative et éviter aux charges d'être perdues sur des défauts non radiatifs. Le document US 2009/0078955 Al décrit un dispositif émissif lumineux comportant, pour chaque pixel, trois LEDs superposées émettant chacune dans l'une des gammes de longueurs d'ondes correspondant aux couleurs rouge, vert et bleu. Un tel dispositif émissif lumineux permet donc de réaliser une émission de lumière blanche en faisant émettre, depuis chacune des LED d'un pixel, des lumières rouge, verte et bleue d'intensités similaires. Toutefois, la réalisation d'un tel dispositif est complexe et couteuse car l'empilement de trois jonctions p-n dans chaque pixel implique de réaliser des connexions électriques pour chacune de ces jonctions afin de commander l'émission lumineuse de chacune des LED. Un tel dispositif pose également des problèmes d'encombrement en raison notamment des connexions électriques nécessaires. Le document US 2012/0223289 Al décrit un dispositif émissif lumineux comportant, dans chaque pixel, des sous-pixels formés d'une ou plusieurs LEDs destinées à émettre des lumières rouge, verte et bleue afin d'obtenir globalement, au niveau du pixel, une émission de lumière blanche. Les LEDs sont ici réalisées sous la forme de nanofils disposés les uns à côté des autres. Les mêmes problèmes de coût, de complexité et d'encombrement que ceux exposés précédemment se posent aussi pour ce type de dispositif. Le document WO 2013/009552 A2 décrit une LED comprenant des jonctions p-n à base d'InGaN. Bien qu'une telle LED puisse émettre une lumière de différentes couleurs, l'ajustement de la longueur d'onde émise par une telle LED n'est pas aisé et cette longueur d'onde émise a tendance à rester centrée sur la couleur verte. EXPOSÉ DE L'INVENTION Un but de la présente invention est de proposer une diode électroluminescente, ou LED, à multiples puits quantiques dans laquelle les émissions lumineuses des puits quantiques sont sensiblement homogènes, en termes d'intensité lumineuse, les unes par rapport aux autres, et permettant d'ajuster aisément la couleur émise par la LED parmi toutes celles du spectre visible ou du blanc. Pour cela, la présente invention propose une diode électroluminescente comportant au moins une couche d'InXnGa(1_Xn,N dopé n et une couche de GaN dopé p formant ensemble une jonction p-n, et une zone active disposée entre la couche d'lnxHGaG_xn)N dopé n et la couche de GaN dopé p et comprenant m couches émissives d'InY;Ga(1_Y;,N chacune disposée entre deux couches barrières d'Inz,Gan_mN qui sont en contact avec ladite couche émissive au niveau de deux faces opposées de ladite couche émissive, dans laquelle : - pour i compris entre 1 et m-1, les compositions en indium des couches émissives sont telles que Y(i+1) Le spectre lumineux global émis par la diode électroluminescente peut donc être facilement ajusté via le choix des compositions d'indium des couches émissives, les compositions d'indium des couches barrières étant choisies en fonction des compositions d'indium des couches émissives. De plus, avec de telles couches barrières, une tension de seuil destinée à être appliquée aux bornes de la diode électroluminescente pour une densité de courant donnée traversant la diode électroluminescente est inférieure à celle nécessaire pour obtenir une même densité de courant dans une diode électroluminescente qui comporterait des couches barrières en GaN De plus, avec une telle diode électroluminescente, le spectre lumineux global émis par la diode électroluminescente peut être facilement ajusté en choisissant judicieusement les paramètres d'un signal périodique alimentant électriquement la diode électroluminescente tels que la valeur crête et le rapport cyclique de ce signal périodique. Les couches barrières peuvent avoir chacune une épaisseur comprise entre environ 1 nm et 25 nm, et/ou la première couche barrière d'InziGa(1_zi)N peut avoir une épaisseur supérieure ou égale à 2 nm. Les compositions en indium Yi et/ou Zj peuvent être telles que : Z(m+1) = 0, et/ou pour i = j : 0,15.Yi Le nombre m de couches émissives peut être égal à 3, la première couche émissive pouvant être apte à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur rouge, la deuxième couche émissive pouvant être apte à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur verte, et la troisième couche émissive pouvant être apte à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur bleue. Ainsi, compte tenu de l'homogénéité des émissions lumineuses réalisées par les couches émissives, la diode électroluminescente réalise une émission lumineuse de couleur blanche. Le nombre m de couches émissives peut être égal à 3, et Y1 peut être égale à environ 0,4, et/ou Y2 peut être égale à environ 0,25, et/ou Y3 peut être égale à environ 0,15, et/ou Z1 peut être égale à environ 0,12, et/ou Z2 peut être égale à environ 0,09, et/ou Z3 peut être égale à environ 0,07, et/ou Z4 peut être égale à environ 0,05. Avec de telles compositions en indium, la diode électroluminescente réalise une émission lumineuse de couleur blanche. La composition en indium Xn peut être comprise entre 0 et environ 0,3, et/ou la composition en indium Xn peut varier entre une première valeur Xna et une deuxième valeur Xnb supérieure à la première valeur Xna selon une direction sensiblement perpendiculaire à une première face de la couche d'InxnGan_xn)N dopé n en regard de laquelle la première couche émissive est disposée, et la composition en indium au niveau de la première face de la couche d'InxnGa(l_xn)N dopé n peut être égale à Xnb et la composition en indium au niveau d'une deuxième face de la couche d'InxnGa(1_xn)N dopé n, opposée à la première face, peut être égale à Xna. Dans ce cas, Xna peut être égale à 0, et Xnb peut être supérieure à 0 et inférieure ou égale à environ 0,3. La composition en indium Zj dans chacune des couches barrières peut varier entre une première valeur Zja et une deuxième valeur Zjb supérieure à la première valeur Zja selon une direction sensiblement perpendiculaire à une face de ladite couche barrière contre laquelle l'une des couches émissives est disposée, la composition en indium au niveau d'une première face de ladite couche barrière se trouvant du côté de la couche d'InxnGa(1_xn)N dopé n pouvant être égale à Zjb, la composition en indium au niveau d'une deuxième face de ladite couche barrière, opposée à ladite première face et se trouvant du côté de la couche de GaN dopé p pouvant être égale à Zja. Dans ce cas, les compositions en indium Zj dans chacune des couches barrières peuvent avantageusement être telles que Zja > Z(j+1)b et/ou, pour chacune des couches barrières, la différence entre la première valeur Zja et la deuxième valeur Zjb peut être inférieure ou égale à environ 0,3. La diode électroluminescente selon l'invention est avantageusement utilisée pour réaliser des dispositifs d'affichage lumineux tels que des micro-afficheurs ou des micro-projecteurs, du fait qu'une telle diode électroluminescente offre la possibilité de réaliser des dispositifs d'affichage avec des pixels accordables en longueurs d'ondes grâce au choix des paramètres du signal périodique alimentant électriquement la diode électroluminescente. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'une diode électroluminescente selon l'invention, dans lequel les couches de la diode électroluminescente sont des couches planaires réalisées par croissance les unes au- dessus des autres, ou dans lequel les couches de la diode électroluminescente sont réalisées par croissance sous la forme de nanofils radiaux ou axiaux. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : - la figure 1 représente schématiquement une diode électroluminescente, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier ; - la figure 2 représente les gaps dans différentes couches d'une diode électroluminescente comportant des couches barrières en GaN ; - la figure 3 représente le taux de recombinaisons radiatives obtenu dans les couches d'une diode électroluminescente comportant des couches barrières en GaN ; - la figure 4 représente les concentrations en électrons et en trous obtenues dans les couches d'une diode électroluminescente comportant des couches barrières en GaN ; - la figure 5 représente les gaps dans les couches de la diode électroluminescente, objet de la présente invention, selon le mode de réalisation particulier représenté sur la figure 1 ; - la figure 6 représente le taux de recombinaisons radiatives obtenu dans les couches de la diode électroluminescente, objet de la présente invention, selon le mode de réalisation particulier représenté sur la figure 1; - la figure 7 représente les concentrations en électrons et en trous obtenues dans les couches de la diode électroluminescente, objet de la présente invention, selon le mode de réalisation particulier représenté sur la figure 1; - les figures 8A à 8D représentent les taux de recombinaisons radiatives obtenus dans les couches de la diode électroluminescente, objet de la présente invention et selon le mode de réalisation particulier représenté sur la figure 1, pour différentes valeurs de la densité de courant dans la diode électroluminescente ; - la figure 9 représente l'intensité relative de la lumière émise par la diode électroluminescente, objet de la présente invention et selon le mode de réalisation particulier représenté sur la figure 1, pour différentes valeurs de la densité de courant 2 0 dans la diode électroluminescente, en fonction de la longueur d'onde ; - la figure 10 représente schématiquement un signal d'alimentation électrique de la diode électroluminescente, objet de la présente invention ; - les figures 11A et 11B représentent schématiquement des diodes électroluminescentes, objets de la présente invention, réalisées sous la forme de nanofils. 25 Des parties identiques, similaires ou équivalentes des différentes figures décrites ci-après portent les mêmes références numériques de façon à faciliter le passage d'une figure à l'autre. Les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. Les différentes possibilités (variantes et modes de réalisation) doivent être comprises comme n'étant pas exclusives les unes des autres et peuvent se combiner entre elles. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS On se réfère tout d'abord à la figure 1 qui représente une diode électroluminescente, ou LED, 100 selon un mode de réalisation particulier. La LED 100 comporte une jonction p-n formée par une couche d'InxnGa(1_xn)N dopé n 102 et une couche de GaN dopé p (GaN-p) 104. La couche 102 comprend du GaN dopé n (GaN-n) ou de l'InGaN dopé n (InGaN-n) selon la valeur de la composition en indium Xn qui est par exemple comprise entre 0,05 et 0,35. La couche 102 est dopée n avec une concentration de donneurs comprise entre environ 1017 et 5.1019 donneurs/cm3. La couche 104 comprend du GaN-p avec une concentration d'accepteurs comprise entre environ 1017 et 5.1019 donneurs/cm3. Ces deux couches 102 et 104 ont par exemple chacune une épaisseur (dimension selon l'axe Z représenté sur la figure 1) comprise entre environ 20 nm et 10 um. Une première électrode métallique 106 est disposée contre la couche dopée n 102 et forme une cathode de la LED 100, et une deuxième électrode métallique 108 est disposée contre la couche dopée p 104 et forme une anode de la LED 100. La LED 100 comporte, entre les couches 102 et 104, une zone active 110 comprenant m couches émissives 112 d'InGaN, m étant un nombre entier supérieur ou égal à 2. La zone active 110 est disposée contre une première face 109 de la couche dopée n 102, opposée à une deuxième face 111 de la couche dopée n 102 contre laquelle la première électrode métallique 106 est disposée. La LED 100 décrite ici comporte trois couches émissives 112, référencées 112.1, 112.2 et 112.3, formant chacune un puits quantique. L'épaisseur de chacune des couches émissives 112 est par exemple comprise entre environ 0,5 et 10 nm. La zone active 110 comporte également m+1 couches barrières 114 d'InGaN telles que chaque couche émissive 112 soit disposée entre deux couches barrières 114, et donc que la zone active 110 soit formée d'un empilement alterné de m couches émissives 112 et de m+1 couches barrières 114. La LED 100 décrite ici comporte quatre couches barrières 114, référencées 114.1, 114.2, 114.3 et 114.4, telles que la première couche émissive 112.1 soit disposée entre la première couche barrière 114.1 et la deuxième couche barrière 114.2, que la deuxième couche émissive 112.2 soit disposée entre la deuxième couche barrière 114.2 et la troisième couche barrière 114.3, et que la troisième couche émissive 112.3 soit disposée entre la troisième couche barrière 114.3 et la quatrième couche barrière 114.4. La première couche barrière 114.1 est disposée contre la couche dopée n 102 et la dernière couche barrière 114.4 (ou 114.(m+1) pour le cas général de m couches émissives) est disposée contre la couche dopée p 104. En variante, une couche tampon d'InGaN d'épaisseur supérieure à celle de la première couche barrière 114.1 pourrait être interposée entre la première couche barrière 114.1 et la couche dopée n 102. Dans ce cas, la composition en indium de cette couche tampon est supérieure ou égale à celle du matériau de la première couche barrière 114.1. De plus, la couche dopée n 102 peut dans ce cas ne pas comporter d'indium et être par exemple à base de GaN. L'épaisseur de chacune des couches barrières 114 est par exemple comprise entre environ 1 nm et 25 nm. De plus, l'épaisseur de la première couche barrière 114.1 disposée contre la couche dopée n 102 est de préférence supérieure ou égale à environ 2 nm. Toutes les couches de la zone active 110 de la LED 100, c'est-à-dire les couches émissives 112 et les couches barrières 114, comportent des matériaux non intentionnellement dopés (de concentration en donneurs résiduels nn,d égale à environ 1017 donneurs/cm-3, ou comprise entre environ 1015 et 1018 donneurs/cm3). Chacune des couches émissives 112 de la LED 100 est ici destinée à réaliser une émission lumineuse dans une gamme de longueurs d'ondes différentes de celles émises par les autres couches émissives 112 de la LED 100. Pour cela, la composition en indium du matériau de chaque couche émissive 112 est différente de celles des matériaux des autres couches émissives 112. En considérant que la (i)ème couche émissive 112.i comporte de l'Iny,Gan_yoN, pour i compris entre 1 et m-1, les compositions en indium Yi dans les couches émissives 112 sont telles que Y(i+1) Les valeurs des compositions en indium dans les différentes couches émissives 112 sont adaptées en fonction de la colorimétrie souhaitée, c'est-à-dire du spectre d'émission émis souhaité pour chacun des puits quantiques de la LED 100. Dans l'exemple de la figure 1, la première couche émissive 112.1 est destinée à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur rouge, par exemple à une longueur d'onde égale à environ 600 nm, la deuxième couche émissive 112.2 est destinée à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur verte, par exemple à une longueur d'onde égale à environ 500 nm, et la troisième couche émissive 112.3 est destinée à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur bleue, par exemple à une longueur d'onde égale à environ 430 nm. Pour réaliser ces émissions lumineuses, la composition en indium Y1 de l'InyiGan_y0 de la première couche émissive 112.1 est égale à environ 40 %, la composition en indium Y2 de l'Iny2Ga(1_y2)N de la deuxième couche émissive 112.2 est égale à environ 25 %, et la composition en indium Y3 de l'Iny3Ga(1_y3)N de la troisième couche émissive 112.3 est égale à environ 15 %. Dans la LED 100, les émissions lumineuses réalisées par les différents puits quantiques de la zone active 110 sont homogènes en termes d'intensité lumineuse. Ainsi, pour que la LED 100 de la figure 1 réalise une émission lumineuse de couleur blanche, les trois puits quantiques de la LED 100 sont réalisés tels que les intensités de leurs émissions lumineuses soient homogènes les unes par rapport aux autres. Cette homogénéité des émissions lumineuses des différents puits quantiques de la LED 100 est obtenue en choisissant judicieusement les compositions en indium des matériaux des couches barrières 114. En considérant que la (j)ème couche barrière 114.j comporte de l'InzjGa(1_zj)N, pour j compris entre 1 et m, les compositions en indium dans les couches barrières 114 sont telles que Z(j+1) Dans l'exemple décrit ici, compte tenu des émissions lumineuses souhaitées pour les différents puits quantiques de la LED 100, la composition en indium Z1 de l'InziGa(1_zi)N de la première couche barrière 114.1 est égale à environ 12 % (et égale à celle de la couche dopée n 102), la composition en indium Z2 de l'InZZGa(1_ZZ)N de la deuxième couche barrière 114.2 est égale à environ 9 %, la composition en indium Z3 de l'Inz3Ga(1_z3)N de la troisième couche barrière 114.3 est égale à environ 7 %, et la composition en indium Z4 de l'Inz4Ga(1_z4)N de la quatrième couche barrière 114.4 est égale à environ 5 %. La valeur de la tension appliquée aux bornes des électrodes métalliques 106 et 108 de la LED 100 est fonction de la densité de courant recherchée dans la LED. Cette densité de courant est de préférence comprise entre environ 60 et 90 A/cm2 afin de conserver une très bonne homogénéité d'émission entre les différents puits quantiques de la LED 100. Afin d'illustrer l'homogénéité des émissions lumineuses des différents puits quantiques de la LED 100 obtenue grâce à de telles couches barrières, les performances obtenues avec la LED 100 décrite ci-dessus sont comparées avec celles d'une autre LED comprenant des couches 102, 104, 106, 108 et 112 identiques à celles de la LED, mais comportant des couches barrières réalisées en GaN et non en InGaN comme dans la LED 100. La couche dopée n de cette autre LED comporte également du GaN. Les différentes simulations décrites ci-dessous sont réalisées avec le logiciel de simulation SI LVACO ® d'ATLAS®. La figure 2 représente les gaps obtenus au sein des différentes couches de cette autre LED. Trois « creux » référencés 10.1, 10.2 et 10.3 correspondent aux gaps dans les trois couches émissives de cette autre LED. La figure 3 représente le taux de recombinaisons radiatives, en échelle logarithmique et par cm3.s, obtenu dans les couches de cette autre LED, pour une densité de courant d'environ 60 A/cm2 obtenue avec une tension de seuil d'environ 5,2 V appliquée entre l'anode et la cathode de cette autre LED. Ce taux de recombinaisons radiatives est fonction notamment des concentrations d'électrons et de trous au sein des couches de cette autre LED. La figure 4 représente les concentrations en électrons (représentée par la courbe 12) et en trous (représentée par la courbe 14), par cm3, obtenues dans les différentes couches de cette autre LED polarisée comme précédemment avec une tension d'environ 5,2 V. La courbe 14 représentée sur la figure 4 comporte trois pics de valeurs comprises entre environ 1019 et 1020 trous/cm3, correspondant aux concentrations de trous présents dans les trois couches émissives d'InGaN de cette autre LED. La répartition des trous dans les couches émissives de cette autre LED est donc relativement homogène. La courbe 12 représentée sur la figure 4 présente également trois pics correspondant aux concentrations d'électrons dans les trois couches émissives de cette autre LED. Par contre, le premier pic de la courbe 12, référencé 16.1 et correspondant à la concentration en électrons dans la première couche émissive de cette autre LED destinée à émettre dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur rouge, est beaucoup plus important (d'environ 3 à 4 ordres de grandeur) que les deux autres pics de la courbe 12, référencés 16.2 et 16.3 et correspondant aux concentrations en électrons respectivement dans la deuxième et troisième couches émissives destinées à émettre dans les gammes des longueurs d'ondes des couleurs vert et bleu. Cela se traduit sur la figure 3 par un taux de recombinaisons radiatives beaucoup plus important dans la première couche émissive (pic référencé 18.1, correspondant à l'émission de rouge) que dans la deuxième couche émissive (pic référencé 18.2, correspondant à l'émission de vert) et dans la troisième couche émissive (pic référencé 18.3, correspondant à l'émission de bleu). On voit donc que cette autre LED a une émission lumineuse tendant nettement vers le rouge en raison de l'inhomogénéité d'émission, en termes d'intensité lumineuse, des différents puits quantiques de cette autre LED. La figure 5 représente les gaps obtenus au sein des différentes couches de la LED 100. Trois « creux » similaires à ceux représentés sur la figure 2 correspondent aux gaps dans les trois couches émissives 112.1, 112.2 et 112.3 de la LED 100. Par contre, compte tenu des différentes compositions d'indium des matériaux des couches barrières 114.1 à 114.4 de la LED 100, on voit sur cette figure 5 que les gaps, au sein des différentes couches barrières 114.1 à 114.4, sont différents pour chacune des couches barrières 114.1 à 114.4. La figure 6 représente le taux de recombinaisons radiatives, en échelle logarithmique et par cm3.s, obtenu dans les couches de la LED 100, pour une densité de courant d'environ 60 A/cm2 obtenue avec une tension de seuil d'environ 3,4 V appliquée entre l'anode et la cathode de la LED 100. Ainsi, une densité de courant de valeur similaire à celle précédemment obtenue dans l'autre LED est obtenue dans la LED 100 avec une tension de seuil inférieure à celle nécessaire dans l'autre LED pour obtenir cette densité de courant, et cela grâce aux différentes compositions d'indium dans les couches barrières 114 de la LED 100. Comme précédemment, le taux de recombinaisons radiatives est fonction notamment des concentrations d'électrons et de trous au sein des couches de la LED 100. La figure 7 représente les concentrations en électrons (représentée par la courbe 20) et en trous (représentée par la courbe 22), par cm3, obtenues dans les différentes couches de la LED 100 polarisée comme précédemment avec une tension d'environ 3,4 V. La courbe 20 représentée sur la figure 7 présente trois pics de valeurs comprises entre environ 1019 et 1020 trous/cm3, correspondant aux concentrations de trous présents dans les trois couches émissives 112.1 à 112.3 de la LED 100. La répartition des trous dans les couches émissives de la LED 100 est donc relativement homogène. La courbe 22 représentée sur la figure 7 présente également trois pics correspondant aux concentrations d'électrons dans les trois couches émissives de la LED 100. Contrairement aux concentrations d'électrons inhomogènes obtenues dans les différentes couches émissives de l'autre LED, on voit que la courbe 22 comporte trois pics 24.1, 24.2 et 24.3 de valeurs proches (approximativement égales à environ 1019 électrons/cm3) se superposant globalement aux trois pics de la courbe 20, ces trois pics 24.1, 24.2 et 24.3 correspondant aux concentrations d'électrons dans les trois couches émissives 112.1 à 112.3 de la LED 100. Cela se traduit sur la figure 6 par des taux de recombinaisons radiatives de valeurs proches (comprises entre environ 1026 et 1027 cm-3.s-1) dans les trois couches émissives (correspondant aux pics référencés 26.1, 26.2 et 26.3), ce qui signifie que les émissions lumineuses dans le rouge, le vert et le bleu réalisées par les puits quantiques de la LED 100 sont homogènes, c'est-à-dire d'intensités sensiblement similaires. Ainsi, grâce aux couches barrières 114 de la LED 100 comportant des compositions en indium judicieusement choisies, l'émission lumineuse réalisée par les différents puits quantiques de la LED 100 est homogène, ce qui permet à la LED 100 de réaliser une émission de lumière blanche. Dans le mode de réalisation précédemment décrit, la couche 102 comporte du GaN-n ou de l'InGaN-n, c'est-à-dire une composition en indium (nulle ou non) constante le long de l'épaisseur de la couche dopée n 102. En variante, la composition en indium de la couche dopée n 102 peut varier, par exemple de manière linéaire, dans le sens de l'épaisseur de la couche dopée n 102, formant ainsi un gradient dans la composition en indium du matériau de la couche dopée n 102 le long de l'épaisseur de la couche dopée n 102. En considérant la composition en indium Xn de la couche dopée n 102, la valeur de Xn peut varier entre une première valeur Xna, correspondant à la valeur de la composition en indium de la couche dopée n 102 au niveau de sa deuxième face 111, et une deuxième valeur Xnb, correspondant à la valeur de la composition en indium de la couche dopée n 102 au niveau de sa première face 109, telles que la deuxième valeur Xnb soit supérieure à la première valeur Xna. La première valeur Xna est par exemple nulle, la couche dopée n 102 comportant dans ce cas du GaN au niveau de sa deuxième face 111, et la deuxième valeur Xnb est par exemple égale à la composition en indium de la première couche barrière 114.1. Une telle couche dopée n 102 permet de passer progressivement du GaN ne comportant pas d'indium à de l'InGaN dont la composition en indium correspond à celle du matériau de la première couche barrière 114.1. Selon une variante avantageuse, le gradient de la composition en indium au sein de la couche dopée n 102 peut être tel que la deuxième valeur Xnb soit inférieure à la première valeur Xna, avec par exemple dans ce cas Xnb Dans les exemples précédemment décrits, le choix des longueurs d'ondes émises par les couches émissives de la LED 100 est réalisé via le choix des compositions en indium au sein des couches émissives. De manière complémentaire, il est possible d'ajuster le spectre lumineux global émis par la LED 100, c'est-à-dire le spectre de la lumière émise en sortie de la LED 100, en faisant émettre les différentes couches émissives de la LED 100 avec plus ou moins d'intensité via le choix des paramètres du signal périodique alimentant électriquement la LED 100. En effet, en faisant varier la densité de courant traversant la LED 100, il est possible de faire varier les taux de recombinaisons radiatives au sein des différentes couches émissives de la LED 100. La figure 8A représente le taux de recombinaisons radiatives, en échelle logarithmique et par cm3.s, obtenu dans les couches de la LED 100, pour une densité de courant d'environ 10 A/cm2 dans la LED 100. On voit sur cette figure que le taux de recombinaisons radiatives obtenu dans la troisième couche émissive 112.3 (correspondant au pic 28.3), qui émet une lumière bleue, est supérieur à celui obtenu dans la deuxième couche émissive 112.2 (correspondant au pic 28.2), qui émet une lumière verte, et également très supérieur à celui obtenu dans la première couche émissive 112.1 (correspondant au pic 28.1) qui émet une lumière rouge. Ainsi, avec une telle densité de courant d'environ 10 A/cm2 traversant la LED 100, le spectre de la lumière obtenue en sortie de la LED 100 tendra vers celui d'une lumière bleue. La figure 8B représente le taux de recombinaisons radiatives, en échelle logarithmique et par cm3.s, obtenu dans les couches de la LED 100, pour une densité de courant d'environ 50 A/cm2 dans la LED 100. On voit sur cette figure que le taux de recombinaisons radiatives obtenu dans la deuxième couche émissive 112.2 (correspondant au pic 30.2) est cette fois supérieur à celui obtenu dans la troisième couche émissive 112.3 (correspondant au pic 30.3), et également très supérieur à celui obtenu dans la première couche émissive 112.1 (correspondant au pic 28.1). Ainsi, avec une telle densité de courant d'environ 50 A/cm2 traversant la LED 100, le spectre de la lumière obtenue en sortie de la LED 100 tendra vers celui d'une lumière verte. La figure 8C représente le taux de recombinaisons radiatives, en échelle logarithmique et par cm3.s, obtenu dans les couches de la LED 100, pour une densité de courant d'environ 80 A/cm2 dans la LED 100. On voit sur cette figure que le taux de recombinaisons radiatives obtenu dans la première couche émissive 112.1 (correspondant au pic 32.1) est sensiblement similaire à celui obtenu dans la deuxième couche émissive 112.2 (correspondant au pic 32.2), et également sensiblement similaire à celui obtenu dans la troisième couche émissive 112.3 (correspondant au pic 32.3). Ainsi, avec une telle densité de courant d'environ 80 A/cm2 traversant la LED 100, le spectre de la lumière obtenue en sortie de la LED 100 tendra vers celui d'une lumière blanche du fait que les émissions lumineuses réalisées par les trois couches émissives 112.1, 112.2 et 112.3 sont sensiblement équivalentes en termes d'intensité d'émission. La figure 8D représente le taux de recombinaisons radiatives, en échelle logarithmique et par cm3.s, obtenu dans les couches de la LED 100, pour une densité de courant d'environ 140 A/cm2 dans la LED 100. On voit sur cette figure que le taux de recombinaisons radiatives obtenu dans la première couche émissive 112.1 (correspondant au pic 34.1) est supérieur à celui obtenu dans la deuxième couche émissive 112.2 (correspondant au pic 34.2), et également supérieur à celui obtenu dans la troisième couche émissive 112.3 (correspondant au pic 34.3). Ainsi, avec une telle densité de courant d'environ 140 A/cm2 traversant la LED 100, le spectre de la lumière obtenue en sortie de la LED 100 tendra vers celui d'une lumière rouge. La figure 9 représente l'intensité lumineuse relative (sur une échelle variant de 0 à 1) obtenue pour différentes valeurs de la densité de courant du signal d'alimentation électrique de la LED 100, en fonction de la longueur d'onde (en nm). La courbe 36.1 correspond à une densité de courant égale à environ 10 A/cm2, la courbe 36.2 correspond à une densité de courant égale à environ 50 A/cm2, la courbe 36.3 correspond à une densité de courant égale à environ 60 A/cm2, la courbe 36.4 correspond à une densité de courant égale à environ 90 A/cm2, et la courbe 36.5 correspond à une densité de courant égale à environ 140 A/cm2. Du fait que la LED 100 est alimenté par un signal périodique (courant ou tension) correspondant par exemple à un signal carré tel que celui représenté sur la figure 10 qui correspond à un courant comportant une valeur crête Imax, une période T et un rapport cyclique a, il est possible de faire varier la valeur de la densité de courant traversant la LED 100, et donc la couleur de la lumière émise en sortie de la LED 100, en faisant varier la valeur crête Iniax du signal d'alimentation de la LED 100. Le fait de faire varier la densité de courant traversant la LED 100 va faire également varier l'intensité de la lumière émise par la LED 100. Si l'on souhaite que le changement de couleur de la lumière émise par la LED 100 réalisé en faisant varier la densité de courant traversant la LED 100 n'impact pas l'intensité d'émission lumineuse de la LED 100, il est possible de faire varier également la valeur du rapport cyclique a du signal d'alimentation électrique de la LED 100. En effet, en faisant varier la valeur de ce rapport cyclique a, on fait également varier la durée pendant laquelle la LED 100 émettra de la lumière sur chaque période du signal d'alimentation électrique, et donc fera varier l'intensité de la lumière émise par la LED 100. Ainsi, dans les exemples précédemment décrits, une émission d'une lumière de couleur bleue (cas de la figure 8A) est par exemple obtenue en choisissant un rapport cyclique a = 1 et en choisissant une valeur crête Iniax telle que la densité de courant dans la LED 100 soit égale à environ 10 A/cm2. Si l'on souhaite réaliser une émission d'une lumière de couleur verte (cas de la figure 8B) avec une intensité lumineuse sensiblement égale à celle obtenue lors de la précédente émission lumineuse de couleur bleue, la valeur crête In-,' est modifiée afin que la LED 100 soit traversée par une densité de courant sensiblement égale à environ 50 A/cm2, et le rapport cyclique a est choisi égal à environ 0,2 (10/50 = 0,2). Si l'on souhaite réaliser une émission d'une lumière de couleur blanche (cas de la figure 8C) avec une intensité lumineuse sensiblement égale à celle obtenue lors de la précédente émission lumineuse de couleur bleue, la valeur crête Imax est modifiée afin que la LED 100 soit traversée par une densité de courant sensiblement égale à environ 80 A/cm2, et le rapport cyclique a est choisi égal à environ 0,125 (10/80 = 0,125). Enfin, si l'on souhaite réaliser une émission d'une lumière de couleur rouge (cas de la figure 8D) avec une intensité lumineuse sensiblement égale à celle obtenue lors de la précédente émission lumineuse de couleur bleue, la valeur crête In-,' est modifiée afin que la LED 100 soit traversée par un courant d'alimentation dont la densité de courant est sensiblement égale à environ 140 A/cm2, et le rapport cyclique a est choisi égal à environ 0,07 (10/140 = 0,07). La LED 100 peut être réalisée sous la forme d'une diode planaire comme représenté sur la figure 1, c'est-à-dire sous la forme d'un empilement de couches formées sur un substrat (le substrat n'étant pas représenté sur la figure 1), les faces principales des différentes couches étant disposées parallèlement au plan du substrat (parallèles au plan (X,Y)). Les couches de GaN et d'InGaN d'une telle diode planaire peuvent être réalisées sur un substrat saphir, par exemple par MOCVD (« MetalOrganic Chemical Vapour Deposition » en anglais). Les électrodes métalliques 106 et 108 peuvent ensuite être réalisées par des dépôts métalliques de chaque côté de cet empilement de couches. En variante, la LED 100 peut être réalisée sous la forme d'un nanofil. La figure 11A représente une telle LED 100 réalisée sous la forme d'un nanofil axial, ce nanofil comportant un empilement formé de la première électrode métallique 106, d'un substrat 116 de semi-conducteur (par exemple du gallium) de type n, d'une couche de nucléation 118 permettant la croissance du nanofil, de la couche 102 d'InGaN-n, de la zone active 110, de la couche 104 de GaN-p ou d'InGaN-p, et de la deuxième électrode 108. Un matériau isolant 120 peut entourer au moins une partie de ce nanofil qui s'étend parallèlement à l'axe Z. La figure 11B représente une LED 100 réalisée sous la forme d'un nanofil radial, ce nanofil comportant un empilement formé de la première électrode 106, du substrat 116, de la couche de nucléation 118 et de la couche 102 dopée n. Des portions isolantes 120 entourent en partie la couche 102 dopée n et la couche de nucléation 118. La zone active 110 (formée des couches barrières 114 et des couches émissives 112) est réalisée telle qu'elle entoure au moins une partie de la couche 102. La couche 104 dopée p est réalisée telle qu'elle entoure la zone active 110. Enfin, la deuxième électrode 108 est réalisée en recouvrant la couche 104 dopée p. En variante des deux exemples de réalisation décrits sur les figures 11A et 11B, la structure de ces nanofils peut être inversée, avec dans ce cas un substrat 124 de semi-conducteur, par exemple de gallium, dopé p sur lequel est réalisée la couche 104 dopée p, puis les autres éléments de la LED 100 dans l'ordre inverse de celui décrit sur les figures 11A et 11B. De telles structures de nanofils peuvent être obtenues par croissance MOCVD. Les différentes caractéristiques (épaisseurs, dopage, etc.) précédemment exposées pour la LED 100 de type planaire peuvent être similaires pour la LED 100 réalisée sous la forme de nanofils. REVENDICATIONS1. Diode électroluminescente (100) comportant au moins une couche d'lnxnGa(l_xn)N dopé n (102) et une couche de GaN dopé p (104) formant ensemble une jonction p-n, et une zone active (110) disposée entre la couche d'InxnGa(1_xn)N dopé n (102) et la couche de GaN dopé p (104) et comprenant m couches émissives d'Iny,Gan_yoN (112, 112.1 - 112.3) chacune disposée entre deux couches barrières d'InzjGan_mN (114, 114.1 - 114.4) qui sont en contact avec ladite couche émissive (112, 112.1 - 112.3) au niveau de deux faces opposées de ladite couche émissive (112, 112.1 - 112.3), dans laquelle : - pour i compris entre 1 et m-1, les compositions en indium des couches émissives (112, 112.1 - 112.3) sont telles que Y(i+1) 2. Diode électroluminescente (100) selon la revendication 1, dans laquelle les couches barrières (114, 114.1 - 114.4) ont chacune une épaisseur comprise entre environ 1 nm et 25 nm, et/ou la première couche barrière d'InziGa(1_zi)N (114.1) a une épaisseur supérieure ou égale à 2 nm. 3. Diode électroluminescente (100) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle les compositions en indium Yi et/ou Zj sont telles que : Z(m+1) = 0, et/ou pour i = j : 0,15.Yi 4. Diode électroluminescente (100) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le nombre m de couches émissives (112, 112.1 - 112.3) est égal à 3, la première couche émissive (112.1) étant apte à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur rouge, la deuxième couche émissive (112.2) étant apte à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur verte, et la troisième couche émissive (112.3) étant apte à réaliser une émission lumineuse dans la gamme des longueurs d'ondes de la couleur bleue. 5. Diode électroluminescente (100) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle le nombre m de couches émissives (112, 112.1 - 112.3) est égal à 3, et dans laquelle Y1 est égale à environ 0,4, et/ou Y2 est égale à environ 0,25, et/ou Y3 est égale à environ 0,15, et/ou Z1 est égale à environ 0,12, et/ou Z2 est égale à environ 0,09, et/ou Z3 est égale à environ 0,07, et/ou Z4 est égale à environ 0,05. 6. Diode électroluminescente (100) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la composition en indium Xn est comprise entre 0 et environ 0,3, et/ou dans laquelle la composition en indium Xn varie entre une première valeur Xna et une deuxième valeur Xnb supérieure à la première valeur Xna selon une direction sensiblement perpendiculaire à une première face (109) de la couche d'InxnGa(1_xn)N dopé n (102) en regard de laquelle la première couche émissive (112.1) est disposée, et dans laquelle la composition en indium au niveau de la première face (109) de la couche d'InxnGa(1_xn)N dopé n (102) est égale à Xnb et la composition en indium au niveau d'unedeuxième face (111) de la couche d'InxnGa(1_xn)N dopé n (102), opposée à la première face (109), est égale à Xna. 7. Diode électroluminescente (100) selon la revendication 6, dans laquelle Xna est égale à 0, et dans laquelle Xnb est supérieure à 0 et inférieure ou égale à environ 0,3. 8. Diode électroluminescente (100) selon l'une des revendications précédentes, dans laquelle la composition en indium Zj dans chacune des couches barrières (114, 114.1 - 114.4) varie entre une première valeur Zja et une deuxième valeur Zjb supérieure à la première valeur Zja selon une direction sensiblement perpendiculaire à une face de ladite couche barrière (114, 114.1 - 114.4) contre laquelle l'une des couches émissives (112, 112.1 - 112.3) est disposée, la composition en indium au niveau d'une première face de ladite couche barrière (114, 114.1 - 114.4) se trouvant du côté de la couche d'InxnGa(1_xn)N dopé n (102) étant égale à Zjb, la composition en indium au niveau d'une deuxième face de ladite couche barrière (114, 114.1 - 114.4), opposée à ladite première face et se trouvant du côté de la couche de GaN dopé p (104) étant égale à Zja. 9. Diode électroluminescente (100) selon la revendication 8, dans laquelle les compositions en indium Zj dans chacune des couches barrières (114, 114.1 - 114.4) sont telles que Zja > Z(j+1)b et/ou, pour chacune des couches barrières (114, 114.1 - 114.4), la différence entre la première valeur Zja et la deuxième valeur Zjb est inférieure ou égale à environ 0,3. 10. Procédé de réalisation d'une diode électroluminescente (100) selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel les couches (102, 104, 106, 108, 110) de la diode électroluminescente (100) sont des couches planaires réalisées par croissance les unes au-dessus des autres, ou dans lequel les couches (102, 104, 106, 108, 110) de la diode électroluminescente (100) sont réalisées par croissance sous la forme de nanofils radiaux ou axiaux.