Brevet FR3023279A1 — publié le 20160108

MODULE SENSIBLE ET CENTRALE DE MESURE DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention se rapporte à des dispositifs de mesure intégrant des systèmes électromécaniques de dimensions micrométriques, également désignés en anglais par l'acronyme « MEMS » pour « microelectromechanical systems ». En particulier, la présente invention se rapporte à un module sensible comprenant au moins deux éléments sensibles mono-axe et à une centrale de mesure telle qu'une centrale inertielle. ETAT ANTERIEUR DE LA TECHNIQUE De nombreuses applications mettent en oeuvre des capteurs de mesure pour détecter des phénomènes physiques subis par l'objet auquel ces capteurs sont rapportés. Certains de ces capteurs de mesure peuvent être qualifiés de capteurs directionnels ou non-directionnels. Les capteurs qualifiés de directionnels sont formés d'un élément sensible ayant au moins un axe privilégié de fonctionnement appelé « axe sensible ». On compte parmi ces capteurs directionnels différents types de capteurs inertiels tels que les gyromètres et les accéléromètres, mais également des capteurs de champs tels que les magnétomètres. Les capteurs qualifiés de non-directionnels sont des capteurs exempts d'axes sensibles, tels que capteur de pression, capteur de température, etc ... Les capteurs directionnels de haute performance sont très majoritairement des capteurs mono-axe. Lors de l'assemblage, les éléments sensibles sont reportés dans un boîtier qui assure une herméticité pendant la durée de vie du produit. Par ailleurs, les éléments sensibles des capteurs inertiels MEMS sont majoritairement obtenus par des techniques de gravure de substrat, telles que par exemple une technique de gravure profonde connue sous l'acronyme DRIE (pour « Deep Reactive Ion Etching »). Cette technique de gravure conduit généralement à une détection et une actuation optimales préférentiellement dans le plan du substrat. Ceci conduit notamment à des accéléromètres avec axe sensible dans le plan du substrat et à des gyromètres avec axe sensible perpendiculaire au plan du substrat. -2- En outre, ces capteurs directionnels mono-axe de haute performance sont généralement utilisés pour la réalisation de centrales inertielles qui requièrent trois axes sensibles de mesure pour chaque type de capteurs directionnels, par exemple trois axes sensibles pour le gyromètre et trois axes sensibles pour l'accéléromètre. Les trois axes sensibles d'un même type de capteurs directionnels sont orientés pour former les axes d'un repère tridimensionnel de mesure, et la combinaison des mesures relatives à chacune de ces axes sensibles permet notamment d'obtenir des mesures de vitesse ou d'accélération linéaire ou angulaire du repère de mesure par rapport à un référentiel prédéfini, et donc de déterminer le comportement d'un objet auquel la centrale inertielle est rapportée. Une solution consiste donc à disposer sur une même carte de circuit imprimé, deux capteurs d'axes sensibles parallèles au plan de la carte et à disposer un troisième capteur d'axe sensible perpendiculaire à ce plan. Cependant, ce type de montage est source d'imprécision notamment dans le positionnement des axes sensibles entre eux, qui nécessite donc généralement de mettre en oeuvre des solutions mécaniques ou logicielles de compensation de cette imprécision. Ceci conduit à un système globalement volumineux et complexe à mettre en oeuvre. Une autre solution consiste également à reporter un capteur directionnel mono-axe de chaque type sur une carte de circuit imprimé de manière à former un module sensible, puis à assembler ces cartes perpendiculairement entre elles pour obtenir une centrale inertielle. La connexion électrique entre ces cartes est notamment assurée par des nappes flexibles ou par des soudures directes. On comprend bien que cette solution n'est pas idéale en termes de réduction d'encombrement, mais également en termes de fiabilité du fait d'un grand nombre de connexions électriques à réaliser pour connecter ces cartes entre elles. EXPOSE DE L'INVENTION Dans ce contexte, un objectif de l'invention est de proposer une nouvelle solution de module sensible permettant notamment la réalisation de centrale inertielle moins volumineuse par rapport à la solution de l'art antérieur présentée ci-dessus. La présente invention a ainsi pour objet un module sensible formé d'un boîtier dans lequel sont reportés au moins deux éléments sensibles de types différents ayant chacun -3- un axe sensible. L'un de ces axes sensibles est perpendiculaire à une face principale du boîtier, l'autre axe sensible est parallèle à la face principale du boîtier. En outre, les parties externes de deux faces latérales du boîtier et de la face principale sont pourvues d'un premier ensemble de connexions électriques externes reliées en tout ou partie à ces éléments sensibles. Ces deux faces latérales sont adjacentes entre elles et perpendiculaires à la face principale du boîtier, et chacune des connexions électriques du premier ensemble s'étend sur la face principale et sur l'une de ces deux faces latérales adjacentes. En d'autres termes, le module sensible de l'invention comprend des éléments sensibles mono-axe, qualifiés de directionnels, bien distincts et de types différents. Ces éléments sensibles sont disposés dans un boîtier pourvu de connexions électriques externes destinés à la mise en liaison électrique des éléments contenus dans le boîtier avec l'extérieur. En particulier, ces connexions électriques sont réalisées sur la face principale et sur les deux faces latérales adjacentes, et chacune de ces connexions électriques externes s'étend de manière continue de part et d'autre d'une arête commune à la face principale du boîtier et à l'une des deux faces latérales adjacentes. On entend par élément sensible toute structure apte à réagir à un phénomène physique qui lui est appliqué. Un capteur est généralement constitué d'un élément sensible associé à des moyens mécaniques et/ou électriques pour convertir le phénomène physique mis à profit dans l'élément sensible en un signal électrique exploitable. Par ailleurs, le « type » de l'élément sensible, qu'il soit directionnel ou non- directionnel, est défini par la nature du phénomène physique auquel il est sensible ou par le type de mesure auquel il est destiné, par exemple mesure de la vitesse angulaire, mesure de l'accélération, mesure du champ magnétique, mesure de la pression, mesure de la température, etc... Ainsi, l'orientation particulière des axes sensibles des éléments sensibles contenus dans le boîtier et la disposition particulière des connexions électriques sur trois faces adjacentes du boîtier autorisent un montage de plusieurs modules sensibles sur une même surface d'un support tel qu'une carte de circuit imprimé. En particulier, le boîtier du module sensible peut être placé sur le support selon les trois faces qui sont pourvues de connexions électriques. Cette solution permet d'orienter convenablement les axes sensibles de plusieurs modules sensibles pour former les axes d'un même repère tridimensionnel de mesure, et de garantir une liaison électrique aisée avec le support. -4- Le module sensible de la présente invention allie donc à la fois une liberté dans l'orientation des axes sensibles et une flexibilité dans la connexion électrique. Ces deux avantages permettent notamment la réalisation de centrale inertielle moins volumineuse. Selon une variante, il est également possible de prévoir un deuxième ensemble de connexions électriques externes distinct du premier ensemble. Par exemple, les parties externes des deux faces latérales du boîtier et une face opposée parallèle à la face principale peuvent en outre être pourvues d'un deuxième ensemble de connexions électriques externes reliées en tout ou partie à au moins l'un des éléments sensibles. Chacune des connexions électriques de ce deuxième ensemble s'étend sur la face opposée et sur l'une de ces deux faces latérales. En d'autres termes, ces connexions électriques de ce deuxième ensemble sont réalisées sur la face opposée et sur les deux faces latérales adjacentes, et chacune de ces connexions électriques externes s'étend de manière continue de part et d'autre d'une arête commune à la face opposée et à l'une de ces deux faces latérales adjacentes. L'ajout de ce deuxième ensemble de connexions autorise un plus grand nombre de connexions et une plus grande flexibilité dans le positionnement du module sensible sur un support ainsi que dans l'orientation des axes sensibles. Selon un mode de réalisation, le module sensible peut en outre comprendre un troisième élément sensible reporté également dans le boîtier. Ce troisième élément sensible est de type différent aux deux éléments sensibles précédent, et possède également un axe sensible. Par ailleurs, ce troisième élément sensible peut également être relié à tout ou partie des connexions électriques externes du premier et/ou du deuxième ensemble. Selon une variante, les trois axes sensibles sont de préférence perpendiculaires entre eux, et selon une autre variante, l'axe sensible du troisième élément sensible est de préférence parallèle à la face principale du boîtier. Selon un autre mode de réalisation, le module sensible peut en outre comprendre au moins un élément sensible non-directionnel relié à tout ou partie desdites connexions électriques externes. Par exemple, cet élément sensible non-directionnel peut être un capteur de pression, un capteur de signal de position géographique de type GNSS (acronymes anglo-saxon pour « Global Navigation Satellite System»), etc... -5- En pratique, pour réduire l'encombrement du module sensible, tout ou partie des éléments sensibles contenus dans le boîtier, qu'ils soient directionnels ou non-directionnels, peuvent être disposés côte à côte ou empilés les uns sur les autres selon une direction perpendiculaire à la face principale. Par ailleurs, tout ou partie des circuits électroniques, par exemple un processeur, utiles au fonctionnement des deux éléments sensibles peuvent également être reportés dans le boîtier, et tout ou partie des connexions électriques externes du premier ensemble et/ou du deuxième ensemble sont reliées à ces circuits électroniques. Bien entendu, chaque circuit électronique peut également être connecté électriquement aux éléments sensibles avec lequel il coopère. De même, pour optimiser l'encombrement du module sensible, tout ou partie de ces circuits électroniques et tout ou partie des éléments sensibles peuvent être disposés les uns sur les autres selon une direction perpendiculaire à la face principale. Parmi les applications de l'invention, on peut prévoir qu'au moins l'un des éléments sensibles forme un capteur inertiel tel qu'un accéléromètre mono-axe ou un gyromètre mono-axe. Parmi les combinaisons d'éléments sensibles au sein d'un même boîtier, on peut prévoir : - un accéléromètre mono-axe et un gyromètre mono-axe ; ou - un accéléromètre mono-axe et un magnétomètre mono-axe ; ou - un gyromètre mono-axe et un magnétomètre mono-axe ; ou - un accéléromètre mono-axe, un gyromètre mono-axe et un magnétomètre mono-axe. En pratique, le boîtier peut être réalisé en matériau compatible ou adapté à l'application dans laquelle il est mis en oeuvre. Par exemple, le boîtier peut être en céramique. L'invention a également pour objet une centrale de mesure comprenant au moins trois modules sensibles chacun étant tel que défini ci-dessus. Ces trois modules sont identiques entre eux au moins en termes de type d'éléments sensibles. Par ailleurs, ces modules sensibles sont de préférence montés sur une même face ou surface d'un -6- support plan, par exemple une carte de circuit imprimé. Plus particulièrement, les axes sensibles des éléments sensibles du même type forment chacun un axe d'un repère tridimensionnel de référence. Avantageusement, le support plan est pourvu de moyens de connexion aptes à coopérer avec les connexions électriques externes de ces modules sensibles. DESCRIPTION DES FIGURES L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit, donnée uniquement à titre d'exemple indicatif et non limitatif, en relation avec les figures annexées dans lesquels : - la figure 1 est une vue en perspective d'une représentation schématique d'un module sensible comprenant deux éléments sensibles mono-axe selon un mode de réalisation de l'invention ; - la figure 2 est une vue en perspective d'une représentation schématique d'une centrale inertielle intégrant plusieurs modules sensibles de la figure 1 ; - les figures 3A et 3B sont des vues latérales illustrant schématiquement différents moyens de connecter un module sensible de l'invention à un support ; - la figure 4 est une vue en perspective d'une représentation schématique d'un module sensible comprenant deux éléments sensibles mono-axe selon un autre mode de réalisation de l'invention ; - la figure 5 est une vue en perspective d'une représentation schématique du boîtier de l'invention pourvue de deux rangées de connectiques externes selon une autre variante de l'invention ; - la figure 6 est une vue en perspective d'une représentation schématique du module sensible de la figure 1 intégrant en outre une puces de circuits intégrés selon une variante de l'invention ; et - la figure 7 est une vue en perspective d'une représentation schématique du module sensible de la figure 4 intégrant en outre une puces de circuits intégrés selon une variante de l'invention. On notera que dans ces figures, les mêmes références désignent des éléments identiques ou analogues et les différentes structures ne sont pas à l'échelle exacte. Par ailleurs, seuls les éléments indispensables à la compréhension de l'invention sont représentés sur ces figures pour des raisons de clarté. -7- EXEMPLES DE REALISATION DE L'INVENTION De manière générale, pour parvenir à la réalisation d'une centrale de mesure, et notamment d'une centrale inertielle, moins volumineuse, typiquement de dimensions latérales de l'ordre de quelques centimètres, par exemple 5x4x2cms, avec un encombrement inférieur à une cinquantaine de cm', par exemple 40cm3, la solution de l'invention consiste notamment à assembler des éléments sensibles mono-axe de différents types dans un seul boîtier. En pratique, les éléments sensibles sont réalisés selon la technologie MEMS et le boîtier est en céramique et sous forme d'un parallélépipède rectangle. Une particularité de l'invention réside dans le fait que les éléments sensibles mono-axe sont disposés dans le boîtier par rapport à une des faces de ce boîtier, servant de face de référence. En particulier, au moins deux des axes sensibles sont perpendiculaires entre eux et au moins l'un des axes sensibles est orienté perpendiculairement à cette face de référence. En outre, pour limiter voire éviter toute erreur de positionnement des éléments sensibles dans le boîtier, et toute erreur de positionnement du boîtier sur un support, il est possible de prévoir des repères visuels de positionnement à l'intérieur et à l'extérieur du boîtier. Une solution peut consister à réaliser des motifs d'alignement sur les surfaces interne et externe de la face de référence, de manière à augmenter la précision d'orientation des axes sensibles entre elles. Par ailleurs, le boîtier utilisé a la particularité d'être pourvu de zones de connexion électrique externes sur au moins trois faces adjacentes du boîtier comprenant la face de référence et deux faces latérales adjacentes à cette face de référence. Ces zones de connexions forment des plages d'accueil ou plages de connexion, communément appelés « land » ou « pad » en anglais, qui assurent la mise en liaison électrique des éléments contenus dans le boîtier avec l'extérieur. Ces zones de connexion, généralement obtenues par dépôt électrolytique ne dépassent donc pas du boîtier. Ce type de boîtier pourvu de connexions électriques externes surfaciques est similaire à la famille des boîtiers microélectroniques de type « leadless » (c'est-à-dire sans pattes ou sans broches) tels que LCC (acronyme anglo-saxon tel que « Leadless Chip Carrier »), QFN (acronyme anglo-saxon pour « Quad Flat Package No Leads ») ou LGA (acronyme anglo-saxon pour « Land Grid Array »). -8- En outre, chaque plage de connexion électrique du boîtier de l'invention est accessible sur deux des trois faces adjacentes. En particulier, chaque plage de connexion électrique s'étend sur une même face commune, à savoir la face de référence, et sur l'une des deux faces latérales. Chaque boîtier de l'invention contient donc des éléments sensibles mono-axe de différents types, par exemple différents éléments sensibles inertiels. Ainsi, pour former une centrale de mesure, et notamment une centrale inertielle, on positionne trois boîtiers sur un support plan selon les trois faces pourvues de zones de connexion de manière à aligner les axes sensibles des éléments sensibles de même type avec les axes d'un repère tridimensionnel. En pratique, chaque boîtier peut être positionné sur le support, par exemple une carte de circuit imprimé, soit par soudure directe, soit via l'utilisation d'embases (ou « socket » en anglais) ou de cales de connexion. En outre, chaque élément sensible du boîtier peut être connecté aux zones de connexion via la technique de soudure de fils de dimension micrométrique ou « wire-bonding » en anglais. Il est bien entendu possible de mettre en oeuvre les techniques de soudage « flip-chip » en anglais ou « puce retournée » qui autorise une intégration plus dense de composants dans le boîtier. Ainsi, selon un mode de réalisation illustré à la figure 1, le module sensible 1 comprend un boîtier 10 dans lequel sont reportés deux éléments sensibles 21, 22 de types différents ayant chacun un unique axe sensible 210, 220. Dans ce mode de réalisation particulier, les deux éléments sensibles 21, 22 peuvent par exemple servir respectivement d'accéléromètre mono-axe et de gyromètre mono-axe. Dans ce boîtier 10, un parallélépipédique rectangle en céramique par exemple, on identifie trois faces, à savoir une face principale 100 et deux faces latérales 101, 102. La face principale 100 qui est représentée au premier plan sur la figure 1, est la face utilisée comme référence pour l'orientation des axes sensibles. Selon ce mode de réalisation, c'est également la face sur laquelle reposent au moins tous les éléments sensibles ayant un axe sensible. Cependant, dans un autre mode de réalisation décrit ultérieurement et illustré à la figure 4, il est possible de réaliser un empilement des différents éléments sensibles. -9- Comme représenté sur la figure 1, un axe sensible 220 d'un des deux éléments sensibles 22 est orienté perpendiculairement à la face principale 100 du boîtier 10 et l'axe sensible 210 de l'autre élément sensible 21 est orienté parallèlement à cette face principale 100. Les deux faces latérales 101, 102 sont adjacentes entre elles et sont perpendiculaires à la face principale 100. Le boîtier 10 est pourvu d'un premier ensemble de connexions électriques 3 sur les trois faces identifiées ci-dessus, à savoir la face principale 100 et les deux faces latérales 101, 102. Ces connexions électriques 3 sont notamment destinées à assurer la liaison électrique des composants contenus dans le boîtier avec l'extérieur. En particulier, ces connexions 3 sont accessibles à l'extérieur et à l'intérieur du boîtier 10, et s'étendent au niveau des arêtes du boîtier 10. Plus précisément, chacune de ces connexions électriques 3 s'étend sur la face principale 100 et sur l'une des deux faces latérales 101, 102. Bien entendu, il est également possible de prévoir un ensemble de pistes de connexion sur la surface interne de la face principale 100 afin de connecter électriquement certaines des connexions électriques 3 entre elles et/ou pour assurer la connexion électrique entre les différents éléments contenus dans le boîtier. Les différents composants contenus dans le boîtier, et notamment les éléments sensibles 21, 22, peuvent être connectés en tout ou partie à ce premier ensemble de connexions 3, via par exemple la soudure de micro-fils ou « wire-bonding ». La figure 2 illustre un exemple d'utilisation de ce module sensible 1, à savoir la réalisation d'une centrale de mesure, et notamment d'une centrale inertielle. Dans cet exemple particulier, pour une centrale inertielle avec accéléromètre 3-axes et gyromètre 3-axes, chaque module sensible comprend donc un élément sensible de type accéléromètre 1-axe et un élément sensible de type gyromètre 1-axe. L'axe sensible de l'accéléromètre 1-axe est parallèle à la face principale du boîtier et l'axe sensible du gyromètre 1-axe est orienté perpendiculairement à la face principale du boîtier. Il suffit alors de fixer ces trois modules sur une même surface d'un support 5 plan, par exemple une carte de circuit imprimé, selon l'une des faces pourvues de connexion électrique de sorte que les trois axes des éléments sensibles d'un même type s'alignent sur les axes d'un repère tridimensionnel de référence 6. Les trois axes de ce repère de référence 6 sont respectivement nommés x, y et z. -10- Ainsi, comme illustré sur la figure 2, un premier module sensible 11 est soudé au support 5 par sa face principale 100, de sorte que l'axe sensible Ax de son accéléromètre 1-axe s'aligne avec l'axe x du repère de référence 6 et que l'axe sensible Gz de son gyromètre 1-axe s'aligne avec l'axe z du repère de référence 6. De même, un deuxième module sensible 12 est soudée au support 5 par une des deux faces latérales 101 de sorte que l'axe sensible Ay de son accéléromètre 1-axe s'aligne avec l'axe y du repère de référence 6 et que l'axe sensible Gx de son gyromètre 1-axe s'aligne avec l'axe x du repère de référence 6. Un troisième module sensible 13 est également soudé au support par une des deux faces latérales 102 de sorte que l'axe sensible Az de son accéléromètre 1-axe s'aligne avec l'axe z du repère de référence 6 et que l'axe sensible Gy de son gyromètre 1-axe s'aligne avec l'axe y du repère de référence 6. En pratique, les modules sensibles peuvent être soudés directement au support, mais ils peuvent également être montés sur le support par d'autres moyens, comme par exemple des cales de connexion 70 comme illustré sur la figure 3A ou des embases de connexion 71 comme illustré sur la figure 3B. 20 Un autre mode de réalisation du module sensible 1 est illustré à la figure 4. On retrouve bien évidemment les mêmes éléments de la figure 1 et décrits précédemment, à la différence que dans ce cas de figure les éléments sensibles 21, 22 sont non pas tous soudés à la face principale 100 du boîtier, mais empilés les uns sur les autres selon une 25 direction perpendiculaire à la face principale 100. L'orientation des axes sensibles 210, 220 reste identique au mode de réalisation de la figure 1. Cette configuration confère une épaisseur globale plus forte du module sensible, mais la surface principale diminuant, l'encombrement global reste acceptable par rapport à l'objectif recherché. 30 Dans une variante illustrée à la figure 5, le boîtier peut également être pourvu d'un deuxième ensemble de connexions électriques 4 accessibles également à l'intérieur et à l'extérieur du boîtier 10. Comme pour le premier ensemble 3, chaque connexion électrique de ce deuxième ensemble 4 s'étend de part et d'autre d'une arête commune à une face opposée 103 parallèle à la face principale et à l'une des deux faces latérales 35 101, 102 du boîtier 10. Bien évidemment, ces connexions électriques du deuxième ensemble 4 peuvent également être reliées aux éléments sensibles ou à des composants électroniques contenus dans le boîtier 10. Il est bien entendu possible de prévoir un 10 15 routage interne au boîtier pour assurer la liaison entre les connexions du deuxième ensemble 4 et celles de la face principale 100. En pratique, il est également possible d'intégrer plus d'éléments sensibles de différents types dans un même boîtier. Par exemple, il est possible de reporter dans le boîtier des éléments sensibles qualifiés de directionnels, c'est-à-dire ayant un axe sensible, mais également des éléments sensibles qualifiés de non-directionnels, comme par exemple des transducteurs pour la mesure d'une pression, ou des sondes de température. Il est également possible de reporter dans le boîtier des puces de circuits intégrés 8 utiles au bon fonctionnement du module sensible 1. Ces circuits électroniques 8 peuvent bien entendu être soudés à la face principale 100 du boîtier (figure 6) ou être empilés avec les éléments sensibles 21, 22 du boîtier (figure 7). Ces circuits 8 peuvent également être reliés électriquement aux connexions électriques 3, 4 du boîtier. Il est ainsi possible de mutualiser un circuit électronique pour les différents éléments sensibles reportés dans le boîtier. Ceci a notamment l'avantage de réduire le coût unitaire du module sensible et donc de la centrale de mesure. De même, il est également possible de mutualiser d'autres composants externes généralement placé sur le support plan et donc de réduire l'encombrement global de la centrale de mesure. Selon une autre variante, afin de dissiper l'énergie thermique générée par la puce de circuits intégrés, il est possible de prévoir un matériau additionnel assurant la conduction thermique entre la puce de circuits intégrés vers une face du boîtier ou du capot de fermeture du boîtier pour améliorer les performances du module sensible. En pratique, chaque connexion électrique du premier et du deuxième ensemble occupe sensiblement la même surface dans les deux faces sur lesquelles elle s'étend. En conclusion, la solution de l'invention permet la réalisation de capteur ou de module de mesure de haute performance et notamment une centrale inertielle d'encombrement global réduit35 REVENDICATIONS1. Module sensible (1) formé d'un boîtier (10) dans lequel sont reportés au moins deux éléments sensibles (21, 22) de types différents ayant chacun un axe sensible (210, 220), caractérisé en ce que l'un des axes sensibles (220) est perpendiculaire à une face principale (100) du boîtier, l'autre axe sensible (210) étant parallèle à ladite face principale (100) ; et en ce que les parties externes de deux faces latérales (101, 102) du boîtier et de ladite face principale (100) sont pourvues d'un premier ensemble (3) de connexions électriques externes reliées en tout ou partie auxdits éléments sensibles (21, 22), lesdites deux faces latérales (101, 102) étant adjacentes entre elles et perpendiculaires à ladite face principale (100) du boîtier (10), chacune des connexions électriques dudit premier ensemble (3) s'étendant sur la face principale (100) et sur l'une desdites deux faces latérales (101, 102). 2. Module sensible selon la revendication 1, dans lequel les parties externes des deux faces latérales (101, 102) du boîtier et d'une face opposée (103) parallèle à ladite face principale (100) sont en outre pourvues d'un deuxième ensemble (4) de connexions électriques externes reliées en tout ou partie à au moins l'un des éléments sensibles (21, 22), chacune des connexions électriques de ce deuxième ensemble (4) s'étendant sur ladite face opposée (103) et sur l'une desdites deux faces latérales (101, 102). 3. Module sensible selon l'une des revendications 1 à 2, comprenant en outre un troisième élément sensible de type différent auxdits deux éléments sensibles, et ayant un axe sensible, les trois axes sensibles du module sensible étant perpendiculaires entre eux ledit troisième élément sensible étant relié à tout ou partie desdites connexions électriques externes (3, 4) du boîtier (10). 4. Module sensible selon l'une des revendications 1 à 2, comprenant en outre un troisième élément sensible de type différent auxdits deux éléments sensibles, et ayant un axe sensible parallèle à ladite face principale (100), ledit troisième élément sensible étant relié à tout ou partie desdites connexions électriques externes (3, 4) du boîtier (10).-13- 5. Module sensible selon l'une des revendications 1 à 4, comprenant en outre au moins un élément sensible non-directionnel relié à tout ou partie desdites connexions électriques externes (3, 4) du boîtier (10). 6. Module sensible selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel tout ou partie des éléments sensibles (21, 22) sont disposés les uns sur les autres selon une direction perpendiculaire à ladite face principale (100). 7. Module sensible selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel tout ou partie des circuits électroniques (8) utiles au fonctionnement des éléments sensibles (21, 22) sont reportés dans le boîtier (10), tout ou partie desdites connexions électriques externes (3, 4) du boîtier (10) étant reliées auxdits circuits électroniques (8). 8. Module sensible selon la revendication 7, dans lequel tout ou partie desdits circuits électroniques (8) et tout ou partie des éléments sensibles (21, 22) sont disposés les uns sur les autres selon une direction perpendiculaire à ladite face principale (100). 9. Module sensible selon l'une des revendications 1 à 8, dans lequel au moins l'un des éléments sensibles (21, 22) est un capteur inertiel. 10. Module sensible selon la revendication 9, dans lequel les éléments sensibles (21, 22) forment un accéléromètre mono-axe et un gyromètre mono-axe. 11. Module sensible selon la revendication 9, dans lequel les éléments sensibles 25 forment un accéléromètre mono-axe et un magnétomètre mono-axe. 12. Module sensible selon la revendication 9, dans lequel les éléments sensibles forment un gyromètre mono-axe et un magnétomètre mono-axe. 30 13. Module sensible selon la revendication 9, dans lequel les éléments sensibles forment un accéléromètre mono-axe, un gyromètre mono-axe et un magnétomètre mono-axe. 14. Module sensible selon l'une des revendications 1 à 13, dans lequel le 35 boîtier (10) est en céramique.-14- 15. Centrale de mesure caractérisée en ce qu'elle comprend trois modules sensibles (11, 12, 13) selon l'une des revendications 1 à 14, montés sur une même face d'un support (5) plan, les axes sensibles des éléments sensibles d'un même type formant chacun un axe d'un repère tridimensionnel de référence (6). 16. Centrale de mesure selon la revendication 14, dans laquelle ledit support (5) plan est pourvu de moyens de connexion aptes à coopérer avec les connexions électriques externes (3, 4) desdits modules sensibles (11, 12, 13). 10