Brevet FR3005160A1 — publié le 20141031

La présente invention concerne un capteur angulaire inertiel vibrant tel qu'un gyromètre ou un gyroscope et un procédé d'équilibrage de ce capteur. L'invention concerne plus précisément les capteurs micro-électromécaniques dits également MEMS pour « microelectromechanical system ». Ces capteurs sont réalisés par gravure collective sur une plaque de matériau de très faible épaisseur : ils sont petits, légers et relativement peu coûteux, ce qui permet leur emploi dans de nombreux domaines d'application, aussi bien dans des produits techniques spécialisés que dans des produits grand public. Parmi les domaines d'application de ces capteurs figure la mesure inertielle de grandeurs angulaires 15 telles que la position (gyroscopes) et la vitesse (gyromètres). Les capteurs inertiels angulaires vibrants de type MEMS se classent en deux familles selon la définition du résonateur. Le résonateur peut être un 20 corps déformable, généralement de révolution : anneau, cylindre, hémisphère, disque. Le résonateur peut être également constitué d'une ou plusieurs masses indéformables reliées à un support par des éléments élastiques. Le support est lui rigidement fixé dans un 25 bâti. Chaque capteur comprend des actionneurs agencés pour mettre le résonateur déformable ou le système masse / éléments élastiques en vibration à la fréquence de résonance du système et des détecteurs des déformations du résonateur déformable ou des mouvements du système 30 masse / éléments élastiques sont montés entre le résonateur déformable ou le système masse / éléments élastiques et le support. Les performances de tout capteur inertiel vibrant découlent directement de la stabilité de l'anisotropie 35 d'amortissement du résonateur. Cette stabilité est conditionnée par : - la constante de temps T du résonateur (égale à la surtension mécanique Q divisée par n et par la fréquence f soit T = Q / (n.f), dont dépend la quantité 5 d'énergie qu'il sera nécessaire de dépenser pour maintenir le résonateur en résonance, - l'équilibrage dynamique du résonateur pour, d'une part, limiter les pertes d'énergie vers l'extérieur du capteur et, d'autre part, limiter les perturbations de 10 la vibration du résonateur par l'environnement vibratoire du capteur à la fréquence de fonctionnement. Dans le domaine des capteurs vibrants de type MEMS constitué d'une ou plusieurs masses indéformables, ceci se traduit par : 15 - l'utilisation du silicium comme matériau pour obtenir une surtension relativement élevée, - la présence d'au moins deux masses montées symétriquement de telle manière que les masses se déplacent en opposition de phase en procurant ainsi un 20 équilibrage au premier ordre. Les capteurs inertiels angulaires vibrants de type MEMS les plus performants comptent ainsi quatre masses disposées selon un motif carré. L'amélioration des performances de ces capteurs 25 est toutefois limitée par les défauts de réalisation des capteurs. Ces défauts de réalisation engendrent un balourd dynamique résultant du déplacement du centre de gravité global des masses à la fréquence de vibration. Ce balourd 30 dynamique provoque des forces de réaction dans le support et le bâti, et donc une perte d'énergie de la vibration. Ceci est d'autant plus gênant que la petite taille des capteurs augmente l'impact des défauts de réalisation sur la précision des mesures. En effet, pour les MEMS, le 35 ratio [défaut de réalisation dimensions caractéristiques] est dégradé par rapport à un capteur macroscopique. Cela conduit à un balourd dynamique plus élevé relativement à la masse du résonateur. La faible masse du résonateur a comme conséquence qu'elle rend difficile la mesure des défauts d'équilibrage dynamique car les efforts engendrés par le balourd sont trop faibles pour qu'on puisse les mesurer. En outre, quand bien même on parvenait à effectuer cette mesure, il serait difficile de corriger le balourd par un enlèvement de matière localisé en raison de la petite taille du capteur. Une telle correction par enlèvement de matière présenterait en outre l'inconvénient qu'elle ne permettrait pas de compenser l'évolution du balourd en fonction de la température et du temps. Il est préconisé de fixer rigidement un résonateur non équilibré sur une masse de recul importante au détriment de la sensibilité aux vibrations et de la tenue mécanique. Dans le cas des résonateurs à plusieurs masses, il en résulte en outre une indépendance des masses d'épreuve. Le couplage mécanique permettant une compensation au premier ordre des déplacements des masses est alors assuré par des leviers reliant les masses entre elles pour leur imposer un déplacement en opposition de phase. La réalisation du capteur est alors complexe et coûteuse. L'équilibrage est en outre rendu difficile par la multiplication des degrés de liberté résultant du nombre de masses et du nombre de leviers de couplage entre les masses qui entraînent une influence sur les autres masses de toute correction d'équilibrage effectuée sur une des masses. Pour les mêmes raisons, un équilibrage électronique au moyen d'un algorithme de correction est complexe à réaliser. L'invention a pour objet de fournir un moyen pour améliorer la précision des capteurs inertiels angulaires vibrants de type MEMS. A cet effet, on prévoit, selon l'invention, un capteur angulaire inertiel vibrant de type MEMS comprenant un support d'au moins deux masses qui sont montées mobiles par rapport au support et qui sont associées à au moins un actionneur électrostatique et à au moins un détecteur électrostatique. Le capteur comprend des premiers moyens de suspensions des masses par rapport au support et des moyens de couplage des masses entre elles et le support est relié par des deuxièmes moyens de suspension à un bâti fixe. Ainsi, les masses sont doublement suspendues par rapport au bâti fixe tout en étant mécaniquement couplées entre elles. Cette double suspension isole mécaniquement les masses vis-à-vis des déformations et des vibrations engendrées par le bâti et limite les échanges d'énergie entre les masses et l'extérieur du bâti. Ceci améliore les performances du capteur. Le support sert de plateforme pour les masses, les moyens de couplage et les moyens de suspensions y associés tout en formant un étage de suspension. L'actionneur et le détecteur sont de préférence montés chacun entre une des masses et le support de sorte que le support sert ici aussi de plateforme pour l'actionneur et le détecteur. Selon un premier mode de réalisation, les premiers moyens de suspension comprennent un cadre auquel les masses sont reliées par des troisièmes moyens de suspension pour réaliser un couplage massique des masses entre elles, et le cadre est lui-même relié par des quatrièmes moyens de suspension au support. Ainsi, le couplage mécanique direct entre les masses n'est pas assuré par des leviers dont on a vu qu'ils compliquaient la fabrication et l'équilibrage du capteur. En effet, le couplage mécanique entre les masses est assuré dans ce mode de réalisation par le cadre suspendu, ce qui simplifie la structure du capteur et son équilibrage. Selon un deuxième mode de réalisation, les moyens de couplage comprennent des cinquièmes moyens de 5 suspension reliant les masses l'une à l'autre pour réaliser un couplage élastique des masses entre elles. Ainsi, ici aussi le couplage mécanique direct par des leviers entre les masses est supprimé. En effet, le couplage mécanique entre les masses est assuré dans ce 10 mode de réalisation par les cinquièmes moyens de suspensions, ce qui simplifie la structure du capteur. De préférence, au moins un détecteur d'effet de balourd est monté entre le support et le bâti fixe et au moins un ressort électrostatique est placé entre le 15 support et l'une des masses et est asservi pour assurer un équilibrage dynamique du capteur en fonction d'un signal de mesure du détecteur d'effet de balourd. L'équilibrage peut être obtenu avec cette structure en mesurant l'anisotropie (ou écart) de 20 fréquence entre les deux systèmes masse/suspension et en supprimant cette anisotropie. La mesure de l'anisotropie peut être effectuée de manière indirecte en mesurant l'effet du balourd créé par l'anisotropie de fréquence. La correction d'équilibrage est effectuée de préférence 25 en commandant le ressort électrostatique pour ajouter une raideur électrostatique négative à la raideur du système masse/suspension possédant la fréquence la plus élevée de manière à corriger l'écart intrinsèque de pulsation dû aux défauts de réalisation et aux évolutions temporelles 30 et thermiques des paramètres de chacun des systèmes masse/suspension. Le réglage, basé sur un asservissement de zéro, ne nécessite pas de référence de tension précise ou de gains stables au niveau de l'électronique de traitement du capteur. 35 L'invention a également pour objet un procédé d'équilibrage de ce capteur. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront à la lecture de la description qui suit de modes de réalisation particuliers non limitatifs de l'invention. Il sera fait référence aux dessins annexés, parmi lesquels : * les figures 1 à 3 sont utilisées pour expliquer le principe de l'invention, à savoir - la figure 1 est une vue schématique d'un capteur simplifié mettant en oeuvre une partie des moyens de l'invention, - la figure 2 est une vue schématique illustrant le principe de fonctionnement de ce capteur, - la figure 3 est une vue schématique d'un mode de réalisation d'une unité de commande de ce capteur, * les figures 4 à 6 sont utilisées pour décrire les modes de réalisation de l'invention, à savoir - la figure 4 est une vue schématique d'un premier mode de réalisation du capteur de l'invention, - la figure 5 est une vue de ce capteur en coupe selon la ligne V-V de la figure 4, - la figure 6 est une vue schématique d'un deuxième mode de réalisation du capteur de l'invention. En référence aux figures, l'invention concerne un capteur angulaire inertiel vibrant de type MEMS destiné à former un gyroscope ou un gyromètre. Le principe de l'invention va maintenant être expliqué au regard des figures 1 à 3. Le capteur simplifié illustré sur ces figures comprend un bâti 21 et au moins deux masses 2 qui sont montées mobiles par rapport au bâti 21 et qui sont associées à des actionneurs électrostatiques 3 et à des détecteurs électrostatiques 4. Pour ce capteur simplifié, le support qui sert de plateforme pour les masses et les moyens de suspensions y associés, tout en formant un étage de suspension, assure également la fonction de cadre de couplage massique des masses. L'actionneur et le détecteur sont montés chacun entre une des masses et ce cadre de sorte que le cadre de couplage sert ici aussi de plateforme pour l'actionneur et le détecteur à la place du support. Les masses 2 sont suspendues via des moyens de suspension 5 dans un cadre 6 lui-même relié au bâti 21 par des moyens de suspension 7. Les moyens de suspension 5 et 7 sont isotropes dans le plan XY définissant le plan de suspension des masses du capteur et sont réalisés pour présenter une importante raideur selon l'axe normal au plan du capteur pour supprimer les degrés de libertés des masses 2 et du cadre 6 hors du plan. Chaque masse 2 et le cadre 6 disposent de trois degrés de liberté dans le plan, à savoir deux translations (selon les axes X et Y) et une rotation (autour d'un axe normal à ce plan X et Y) . Pour chacun des axes X et Y, un actionneur 3 et un détecteur 4 sont montés entre chacune des masses 2 et le cadre 6. Les actionneurs 3 et les détecteurs 4 ont une structure connue sous la forme d'électrodes en peignes dont les dents sont intercalées les unes entre les autres. Les peignes des actionneurs 3 et des détecteurs 4 peuvent avoir un mode de fonctionnement à entrefer variable ou à surface variable. Les masses 2 sont identiques et ont une forme carrée sur les côtés de laquelle sont disposés les actionneurs 3 et les détecteurs 4. Les moyens de suspension 5 sont disposés aux sommets de chaque masse 2. Les masses 2.1, 2.2 sont au nombre de deux et sont agencées pour pouvoir être montées concentriquement. Le cadre 6 est de forme carrée et les masses 2.1, 2.2 de forme annulaire carrée sont placées de part et d'autre du cadre 6. Les masses 2.1, 2.2 ont des axes de symétrie confondus possédant des fréquences propres identiques. Deux ressorts électrostatiques 8 sont montés entre le cadre 6 et chacune des masses 2 de manière à agir respectivement selon les axes X et Y. Les ressorts électrostatiques 8 ont une structure connue sous la forme d'électrodes en peignes dont les dents sont intercalées les unes entre les autres. Les peignes des ressorts électrostatiques 8 ont un mode de fonctionnement à entrefer variable. Des détecteurs d'effet de balourd, ici plus particulièrement des capteurs de force, sont intégrés aux moyens de suspension 7 pour fournir un signal de mesure représentatif des efforts transmis au bâti 21 par le cadre 6. Ces capteurs sont connus en eux-mêmes et peuvent être des jauges de contraintes piézorésistives ou piézoélectriques. La fabrication du capteur de l'invention est réalisée à partir des techniques classiques de gravure des plaques de matériau semi-conducteur. Le matériau semi-conducteur ici utilisé est le silicium. Les actionneurs 3 et les détecteurs 4 sont reliés, par des conducteurs électriques connus en eux-mêmes, à une unité de commande 9, elle aussi connue en elle-même, qui est programmée pour commander les actionneurs 3 et traiter les signaux des détecteurs 4 de manière à assurer la détection de grandeur angulaire autour d'un axe normal au plan de déplacement des masses 2. Le ressort électrostatique 8 et les capteurs de force intégrés aux moyens de suspension 7 sont eux aussi reliés à l'unité de commande 9 qui est programmée pour asservir les ressorts électrostatiques 8 en fonction des signaux desdits capteurs de force démodulés en fonction de la fréquence de vibration des masses 2 pour supprimer le balourd à la fréquence de vibration de manière à assurer un équilibrage du capteur. Le fonctionnement de l'unité de commande 9 est représenté sur la figure 3 dans la détermination de la variation de raideur Akn pour l'équilibrage du capteur selon un degré de liberté « n ». Il y est symbolisé une vibration elliptique de grande dimension « a » et de petite dimension « b ». Le grand axe de la vibration forme un angle 0 dans un repère XY. La mise en oeuvre du gyroscope conduit à la détermination des commandes Cl et C2 des actionneurs 3 en fonction des mouvements ri, n2 détectés par les capteurs 4. Sachant que les valeurs n1 = a.cosOcos9 + q.sinesin9 et n2= a.sinesin9 + q.cosecos9, on en déduit une estimation de a, q, 0 et 9. Connaissant les efforts n détectés par les capteurs 7, l'unité de commande calcule les valeurs 1-1.cos9 et Ul.sin9 pour arriver à la variation de raideur Akn servant de consigne pour piloter les ressorts électrostatiques 8. On rappelle qu'ici les masses (ml, m2) des cadres 2.1, 2.2 sont identiques et les moyens de suspension des masses 2.1, 2.2 ont des raideurs identiques (k1, k2) . Ceci permet de respecter les hypothèses des équations de modélisation dynamique présentées ci-dessous. En référence plus particulièrement à la figure 2, le capteur est assimilable à deux systèmes masse/ressort 1(1) et (m2, k2) reliés au monde extérieur par un autre système masse/ressort (mo, 1(0, à savoir la masse du cadre 6 et la raideur des moyens de suspension 7). Le comportement du capteur est modélisable à partir des données suivantes (on note bm et 5k respectivement un écart de masse et un écart de raideur)35 ml := in. (1 + (5n) : m2 := m.(1 - (5n) : kl := k.(1 + ac) : k2 := k. (1 - oc) : m0 := 13.m : k0 := k := CO2-rn : La modélisation permet de calculer les fréquences des modes propres, le balourd du mode propre utile et la force de réaction de ce balourd sur le support. Il en résulte que le balourd est proportionnel à la masse m, au ratio ko/k noté a et à l'écart de pulsations bco des deux systèmes masses ressorts. Le balourd du mode utile vaut ainsi : balourd =2 ma 8co L'effort transmis au monde extérieur peut s'exprimer de manière similaire : effort=2kago Il apparaît des formules précédentes qu'un équilibrage du capteur peut être réalisé, conformément à l'invention, à partir des étapes suivantes : - mesurer une anisotropie de fréquence entre les masses, l'étape de mesure étant réalisée en mesurant l'effort appliqué par le cadre au bâti du fait du balourd du capteur résultant de défauts de réalisation, - corriger l'anisotropie de fréquence entre les masses. L'étape de correction est réalisée en commandant les ressorts électrostatiques 8 de manière à réduire cet effet : un asservissement exploitant la démodulation par rapport à la fréquence de la vibration des signaux des capteurs de force incorporés aux moyens de suspension 7 corrige les raideurs des ressorts électrostatiques 8 placés entre les masses 2 et le cadre 6 pour supprimer le balourd à la fréquence de la vibration. La correction s'effectue ici plus précisément en ajoutant une raideur électrostatique négative à la raideur du système masse/ressort possédant la fréquence la plus élevée pour corriger l'écart intrinsèque de pulsation dû aux défauts de réalisation et aux évolutions temporelles et thermiques des systèmes masse/ressort. On notera que l'agencement du chacun des capteur permet paramètres de d'obtenir deux modes propres selon l'axe X, à savoir masses ml et m2 se déplaçant en phase et masses ml et m2 se déplaçant en opposition de phase, avec un déplacement faible de la masse mo, qui n'ont pas les mêmes fréquences. L'écart de fréquence est par exemple de l'ordre de 10 % si mo = 10*mi/2 ou 25 % si mo = 4*m1/2. Ceci confirme la possibilité de simplifier la structure, en n'utilisant pas de leviers de couplage mécanique entre les masses, sans risque d'accrochage entre les deux modes propres lors du fonctionnement. Il est ainsi possible de fabriquer un gyromètre boucle fermée à 2 masses vibrantes avec un asservissement à 0 du mouvement sur la voie Coriolis Y. Ceci permet d'utiliser un mode propre non équilibré au premier ordre pour cette voie. Dans les modes de réalisation de l'invention qui vont maintenant être décrits, le support est relié à un bâti par des moyens de suspension. Dans ces modes de réalisation, on prévoit deux types de couplage entre les masses : - un couplage par masse, dans lequel les deux masses sont fixées par des ressorts sur une masse de couplage (le cadre) suspendue par rapport au support, - un couplage par ressort, dans lequel les deux masses sont suspendues par rapport au support et sont directement reliées l'une à l'autre par des ressorts de couplage (ou suspension). On définit un coefficient de couplage comme le rapport entre la fréquence du mode de translation en phase des masses et la fréquence du mode de translation en opposition de phase des masses : - a = 1 : pas de couplage, - a = 0 : couplage total. Dans le cas du couplage par masse, le coefficient de couplage dépend du ratio (masse des masses 2 / masse du cadre), Dans le cas du couplage par ressort, le coefficient de couplage dépend du ratio (raideur du ressort entre les masses / raideur des ressorts entre les masses et le support). Le couplage est minimal lorsque le coefficient tend vers 1, c'est-à-dire lorsque la masse du cadre est élevée ou lorsque la raideur des ressorts entre les masses est faible et est d'autant plus fort que le coefficient de couplage est proche de 0, c'est-à-dire lorsque la masse du cadre est faible ou lorsque la raideur des ressorts entre les masses est élevée. En référence aux figures 4 à 6, le capteur selon les modes de réalisation de l'invention comprend un support 1 et au moins deux masses 2 qui sont montées mobiles par rapport au support 1 et qui sont associées à des actionneurs électrostatiques 3 et à des détecteurs électrostatiques 4. Les masses 2.1, 2.2 sont au nombre de deux et sont agencées pour pouvoir être montées concentriquement. Les masses 2.1, 2.2 ont donc respectivement une forme carrée et une forme de cadre d'axes de symétrie confondus possédant des fréquences propres identiques. Le capteur comprend des premiers moyens de suspension des masses 2.1, 2.2 au support 1 et des moyens de couplage des masses 2.1, 2.2 entre elles De préférence, les masses des cadres 2.1, 2.2 sont identiques et les moyens de suspension des masses 2.1, 2.2 ont des raideurs identiques. Ceci permet de respecter les hypothèses des équations de modélisation dynamique présentées plus haut. En référence plus particulièrement aux figures 4 et 5, selon le premier mode de réalisation perfectionnée, les masses 2.1, 2.2 sont cadre 6 de forme carrée. Les masses 2.1, moyens de suspension 5 support 1 par des moyens suspension définissant capteur et placées de part et d'autre d'un 2.2 sont suspendues via des au cadre 6 lui-même relié au de suspension 7. Les moyens de plan XY 5 et 7 sont isotropes dans le le plan de suspension des masses 2.1, 2.2 du sont réalisés pour présenter une importante raideur selon l'axe normal au plan du capteur pour supprimer les degrés de libertés des masses 2.1, 2.2 et du cadre 6 hors du plan. Chaque masse 2.1, 2.2 et le cadre 6 disposent de trois degrés de liberté dans le plan, à savoir deux translations (selon les axes X et Y) et une rotation (autour d'un axe normal à ce plan X et Y). Le cadre 6 ainsi relié aux masses 2.1, 2.2 par les moyens de suspension réalise un couplage massique des masses 2.1 et 2.2 entre elles. Le cadre 6 est ici relativement léger par rapport aux masses de sorte que le couplage est fort (coefficient de couplage par exemple compris entre 0,2 et 0,4, de préférence 0,3). Un couplage fort présente l'avantage d'éloigner de la fréquence du mode utile de vibration des masses (les masses vibrent en opposition de phase) la fréquence du mode parasite de vibration (les masses vibrent en phase) qui se rapproche alors de la fréquence du mode de suspension (mode d'ensemble du support 1 et des masses 2). Le couplage fort permet d'avoir une forte surtension limitant les dissipations d'énergie du mode utile. Pour chacun des axes X et Y, un actionneur 3 et un détecteur 4 sont montés entre chacune des masses 2 et le support 1. Les actionneurs 3 et les détecteurs 4 ont une structure connue sous la forme d'électrodes en peignes dont les dents sont intercalées les unes entre les autres. Des peignes sont ainsi fixés aux masses 2 et des peignes sont fixés au support 1. Les peignes des actionneurs 3 et des détecteurs 4 peuvent avoir un mode de fonctionnement à entrefer variable ou à surface variable. Les actionneurs 3 et les détecteurs 4 sont disposés sur les côtés des masses 2.1, 2.2 et les moyens de suspension 5 sont disposés aux sommets de chaque masse 2.1, 2.2. Quatre ressorts électrostatiques 8 sont montés entre le support 1 et chacune des masses 2.1, 2.2 de manière à agir respectivement selon les axes X et Y. Les ressorts électrostatiques 8 ont une structure connue sous la forme d'électrodes en peignes dont les dents sont intercalées les unes entre les autres. Des peignes sont ainsi fixés aux masses 2 et des peignes sont fixés au support 1. Les peignes des ressorts électrostatiques 8 ont un mode de fonctionnement à entrefer variable. Le support 1, sous la forme d'une plateforme bordé d'un rebord, est relié par des deuxièmes moyens de suspension 20 à un bâti fixe 21. Les moyens de suspension 20 sont conçus comme les moyens de suspension 5 et 7 et sont montés sur les sommets du support 1. Les moyens de suspension 20 sont isotropes dans le plan XY définissant le plan de suspension des masses 2.1, 2.2 du capteur et sont réalisés pour présenter une importante raideur selon l'axe normal au plan du capteur pour supprimer les degrés de libertés du support 1 hors du plan. Le support 1 dispose de trois degrés de liberté dans le plan, à savoir deux translations (selon les axes X et Y) et une rotation (autour d'un axe normal à ce plan X et Y). Pour chacun des axes X et Y, des actionneurs 23 et des détecteurs d'effets de balourd 24 sont montés entre le bâti 21 et le support 1. Les actionneurs 23 et les détecteurs 24 ont une structure connue sous la forme d'électrodes en peignes dont les dents sont intercalées les unes entre les autres. Des peignes sont ainsi fixés au bâti 21 et des peignes sont fixés au support 1. Les peignes des actionneurs 23 et des détecteurs 24 peuvent avoir un mode de fonctionnement à entrefer variable ou à surface variable. Les actionneurs 23 et les détecteurs 24 sont disposés sur les côtés du bâti 21 et du support 1. En variante, des détecteurs d'effet de balourd, ici plus particulièrement des capteurs de force, sont intégrés aux moyens de suspension 20 pour fournir un signal de mesure représentatif des efforts transmis au bâti 21 par le support 1. Ces capteurs sont connus en eux-mêmes et peuvent être des jauges de contraintes piézorésistives ou piézoélectriques. La fabrication du capteur de l'invention est réalisée à partir des techniques classiques de gravure des plaques de matériau semi-conducteur (gravure de type DRIE sur galette de silicium de type SOI par exemple). Le matériau semi-conducteur ici utilisé est le silicium. Les actionneurs 3 et les détecteurs 4 sont reliés, par des conducteurs électriques connus en eux- mêmes, à l'unité de commande, elle aussi connue en elle-même, qui est programmée pour commander les actionneurs 3 et traiter les signaux des détecteurs 4 de manière à assurer la détection de grandeur angulaire autour d'un axe normal au plan de déplacement des masses 2.1, 2.2. Les ressorts électrostatiques 8 et les détecteurs d'effets de balourd 24 fournissant un signal de mesure représentatif des efforts transmis au bâti 21 par le support 1 sont eux aussi reliés à l'unité de commande qui est programmée pour asservir les ressorts électrostatiques 8 en fonction des signaux desdits détecteurs 24 démodulés en fonction de la fréquence de vibration des masses 2.1, 2.2 pour supprimer le balourd à la fréquence de vibration de manière à assurer un 5 équilibrage du capteur. Le pilotage des ressorts électrostatiques 8 permet ainsi de régler les raideurs élémentaires de chacune des masses 2, à savoir : les raideurs participant à un même mode propre pour annuler le balourd de ce mode propre et la raideur moyenne de 10 chacun des deux modes propres pour annuler le défaut de quadrature ou anisofréquence rencontré classiquement. Ce pilotage est effectué en vue d'obtenir quatre fréquences élémentaires de vibration (une fréquence élémentaire par axe pour chaque masse 2) qui sont égales les unes aux 15 autres. Les actionneurs 23 et les détecteurs 24 sont reliés à l'unité de commande qui est programmée pour commander les actionneurs 23 en fonction des signaux desdits détecteurs 24 pour réaliser un amortissement 20 actif, connu en lui-même, de la suspension 20 du support 1. Il n'y a pas d'électrodes entre le cadre 6 et les masses 2.1 et 2.2, ce qui permet de simplifier la fabrication du capteur. Le cadre 6 n'assure donc qu'une 25 fonction de couplage tandis que le support 1 assure lui en outre une fonction de porte-électrodes pour les masses 2.1 et 2.2. En référence à la figure 6, selon le deuxième mode de réalisation, le support 1 comprend une plateforme 30 1.1 et des plots 1.2 s'étendant en saillie de la plateforme 1.1 entre les masses 2.1, 2.2. Les masses 2.1, 2.2 sont reliées aux plots 1.2 par les moyens de suspension 5. Des moyens de suspension 22 reliant les masses 35 2.1, 2.2 l'une à l'autre constituent des moyens de couplage élastique des masses 2.1, 2.2 entre elles. Les moyens de suspension 22 ont de préférence une raideur supérieure à la raideur des moyens de suspension 5 de sorte que le couplage est fort (coefficient de couplage par exemple compris entre 0,2 et 0,4, de préférence 0,3). Comme indiqué précédemment, un couplage fort présente l'avantage d'éloigner de la fréquence du mode utile de vibration des masses (les masses vibrent en opposition de phase) la fréquence du mode parasite de vibration (les masses vibrent en phase) qui se rapproche alors de la fréquence du mode de suspension (mode d'ensemble du support 1 et des masses 2). Le couplage fort permet d'avoir une forte surtension limitant les dissipations d'énergie du mode utile. Comme précédemment, le support 1 est relié par des moyens de suspension 20 au bâti fixe 21. Des actionneurs 23 sont montés entre le bâti 21 et le support 1. Des détecteurs d'effet de balourd 24 sont montés entre le bâti 21 et le support 1 pour fournir un signal de mesure représentatif des efforts transmis au bâti 21 par le support 1. Les actionneurs 3, 23, les détecteurs 4, 24 et les ressorts électrostatiques 8 sont reliés, par des conducteurs électriques connus en eux-mêmes, à l'unité de commande comme dans le premier mode de réalisation. Le procédé de commande et le fonctionnement des modes de réalisation perfectionnés sont analogues à ceux exposés en relation avec les modes de réalisation des figures 1 à 5. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits mais englobe toute variante entrant dans le champ de l'invention telle que définie par les revendications. Il est possible d'avoir des ressorts électrostatiques asservis sur toutes les masses 2 ou sur toutes les masses 2 sauf une. L'effet du balourd mesuré peut être un effort appliqué par le support 1 au bâti 21, une accélération du support 1 par rapport au bâti 21, une vitesse du support 1 par rapport au bâti 21, un déplacement du support 1 par rapport au bâti 21 ou autre. Le capteur peut avoir une forme différente de celle décrite. Les masses et le cadre peuvent avoir, dans le plan du capteur, des formes polygonales ou au moins partiellement courbes, pouvant être décrites par quatre rotations de 90° d'un motif représentant un quart de la géométrie. Au moins un actionneur électrostatique 33 et au moins un détecteur 34 électrostatique peuvent être placés entre le cadre 6 et- le support 1 pour réaliser un amortissement actif, connu en lui-même, de la suspension 7 du cadre 6. L'invention concerne également un capteur dont les masses seraient suspendues sur un support et posséderaient un couplage fort par masse ou ressort et qui serait dépourvu des moyens d'équilibrage actifs décrits en relation avec le mode de réalisation représenté aux figures. En fonction de la qualité de réalisation et des défauts réels d'anisotropie de raideur, il est envisageable de supprimer les moyens de réglages du balourd, la double suspension limitant l'influence des balourds sur les mesures effectuées. REVENDICATIONS1. Capteur angulaire inertiel vibrant de type MENS comprenant un support (1) d'au moins deux masses (2) qui sont montées mobiles par rapport au support et qui sont associées à au moins un actionneur électrostatique (3) et à au moins un détecteur électrostatique (4), caractérisé en ce que le capteur comprend des premiers moyens de suspensions des masses par rapport au support et des moyens de couplage des masses entre elles et en ce que le support est relié par des deuxièmes moyens de suspension à un bâti fixe. 2. Capteurs selon la revendication 1, dans lequel les moyens de couplage sont agencés pour assurer un couplage relativement fort. 3. Capteurs selon la revendication 1, dans lequel les premiers moyens de suspension comprennent un cadre (6) auquel les masses sont reliées par des troisièmes moyens de suspension pour réaliser un couplage massique des masses entre elles et qui est lui-même relié par des quatrièmes moyens de suspension au support. 4. Capteur selon la revendication 1, dans lequel les moyens de couplage comprennent des cinquièmes moyens de suspension reliant les masses l'une à l'autre pour réaliser un couplage élastique des masses entre elles. 5. Capteur selon la revendication 2, dans lequel les masses (2) sont agencées pour pouvoir être montées concentriquement, l'une autour de l'autre. 6. Capteur selon la revendication 5, dans lequel un cadre (6) est monté entre les masses et relié aux masses par des troisièmes moyens de suspensions pour réaliser un couplage massique des masses entre elles, le cadre étant lui-même relié par des quatrième moyens de suspension au support ; le cadre, les troisièmes moyens de suspensions et les quatrièmes moyens de suspensionformant les premiers moyens de suspension ; le cadre et les troisième moyens de suspension formant les moyens de couplage. 7. Capteur selon la revendication 6, dans lequel le bâti (21) s'étend autour du support (1) et les deuxièmes moyens de suspension relient une périphérie du support au bâti. 8. Capteur selon la revendication 6, dans lequel le support comprend une plateforme et des plots en saillie de la plateforme entre les masses, les masses étant reliées aux plots par les premiers moyens de suspension et les moyens de couplage comprennent des moyens de suspension reliant les masses l'une à l'autre. 9. Capteur selon la revendication 8, dans lequel le bâti (21) s'étend autour du support (1) et les deuxièmes moyens de suspension relient une périphérie du support (1) au bâti (21). 10. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel au moins un détecteur d'effet de balourd (24) est monté entre le support et le bâti fixe et au moins un ressort électrostatique (8) est placé entre le support et l'une des masses et est asservi pour assurer un équilibrage dynamique du capteur en fonction d'un signal de mesure du détecteur d'effet de balourd. 11. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'actionneur électrostatique (3) et le détecteur électrostatique (4) sont montés chacun entre une des masses et le support. 12. Procédé d'équilibrage d'un capteur selon la revendication 10, comprenant les étapes de mesurer et de corriger une anisotropie de fréquence entre les masses (2) due à des défauts de réalisation, l'étape de mesure étant réalisée en mesurant un effet produit par un 35 balourd du capteur résultant de l'anisotropie defréquence et l'étape de correction étant réalisée en asservissant la commande du ressort électrostatique (8) de manière à réduire cet effet. 13. Procédé selon la revendication 12, dans lequel l'effet du balourd mesuré est un effort appliqué par le support (1) au bâti. 14. Procédé selon la revendication 12, dans lequel l'effet du balourd mesuré est une accélération du support (1) par rapport au bâti. 15. Procédé selon la revendication 12, dans lequel l'effet du balourd mesuré est une vitesse du support (1) par rapport au bâti. 16. Procédé selon la revendication 12, dans lequel l'effet du balourd mesuré est un déplacement du support (1) par rapport au bâti.