Brevet FR3003721A1 — publié le 20140926

PROCEDE ET SYSTEME DE FABRICATION D'UNE CIBLE METALLIQUE POUR L'EMISSION DE RAYONS X PAR TIR LASER DOMAINE DE L'INVENTION L'invention concerne le domaine de l'émission de rayons X, et plus particulièrement la fabrication de cibles métalliques utilisées lors d'une telle émission. ETAT DE LA TECHNIQUE Un principe connu de production de rayons X consiste à focaliser un faisceau laser sur une cible en métal massive, de préférence un métal de numéro atomique élevé, par exemple de l'or, du cuivre ou tout autre métal dense. L'interaction du faisceau laser et du métal génère ainsi un plasma et une émission de rayons X mono-énergétique qui sont utilisés notamment en mammographie ou en angiographie. La cible est usuellement disposée dans une enceinte sous vide, où se produit l'interaction laser/matière, et est montée sur un support mobile, par exemple tournant, afin que chaque tir laser impacte une portion de la cible non impactée lors d'un tir précédent. Lorsque la cible métallique présente une épaisseur élevée, notamment supérieure à 500 nanomètres, les rayons X sont émis dans le demi-espace où se propage le faisceau laser. On parle alors de « rétro-émission ». En revanche, lorsque la cible métallique présente une faible épaisseur, notamment une épaisseur inférieure à 500 nanomètres, les rayons sont émis dans le sens du faisceau laser, et par conséquent sont émis par la face de la cible métallique opposée à celle impactée par le faisceau laser. On parle alors d'émission « en transmission ». Usuellement, les cibles métalliques minces sont obtenues en déposant une couche de métal sur un support, en cuivre ou en plastique, puis le substrat est ensuite éliminé au moyen d'un bain chimique et/ou d'une gravure par plasma. La couche ainsi libérée est ensuite lavée, par exemple dans de l'eau ou de l'alcool, afin d'éliminer un maximum d'impuretés, puis la cible est montée sur le support mobile, et le support est monté dans l'enceinte. Une telle fabrication est longue et l'étape de retrait du substrat est en outre très délicate. De plus, il est nécessaire d'introduire la cible et son support dans l'enceinte, ce qui suppose de casser le vide existant dans celle-ci, puis de reformer le vide, ce qui prend également beaucoup du temps. En pratique, le temps d'utilisation d'un système d'émission de rayons X est très limité, et son temps d'immobilisation important. EXPOSE DE L'INVENTION Le but de la présente invention est de proposer un procédé de fabrication d'une cible métallique pour la génération de rayons X, qui ne nécessite pas le retrait d'un support physique de la cible métallique, et qui peut être mis en oeuvre directement dans une enceinte sous vide, et notamment l'enceinte sous vide utilisée pour l'émission des rayons X. A cet effet, l'invention a pour objet un procédé de fabrication d'une cible métallique pour la génération de rayons X par laser, comportant : ^ la réalisation d'un support comprenant une première et une seconde faces et traversé par des ouvertures ; et ^ la formation dans une enceinte hermétique d'une couche de matériau métallique sur la première face du support. Selon l'invention, la formation de la couche de matériau métallique sur le support comporte : ^ la protection de la première face du support par un élément de protection; ^ l'injection dans l'enceinte (12) d'un gaz de matériau de remplissage (62); ^ le réglage de la pression dans l'enceinte et de la température du support de manière à former des bouchons solides de matériau de remplissage dans les ouvertures du support; ^ l'arrêt de l'injection du gaz de matériau de remplissage (62) dans l'enceinte (12); ^ le maintien de la température du support et de la pression dans l'enceinte à des valeurs conservant les bouchons solides dans les ouvertures du support, et conjointement audit maintien : o le retrait de l'élément de protection de la première face du support de manière à libérer celle-ci; et o la formation de la couche de matériau métallique sur la première face du support et sur les bouchons solides remplissant les ouvertures ; ^ la modification des conditions de pression dans l'enceinte et de température et du support de manière à libérer les ouvertures du support des bouchons solides. En d'autres termes, un support plein est formé en remplissant des ouvertures préexistantes du support, la couche métallique formant la cible est réalisée sur le support plein ainsi crée, puis le matériau de remplissage des ouvertures est retiré. Les portions de la couche métallique recouvrant les ouvertures forment alors les zones de la cible ultérieurement impactées par le faisceau laser afin de produire des rayons X. Le support n'est donc pas retiré et peut par exemple consister directement en le support mobile utilisé pour présenter au faisceau laser des zones de la cible qui sont vierges de tout impact. Par ailleurs, le matériau de remplissage sous forme solide peut être facilement ôté une fois la couche métallique déposée, par exemple en modifiant la pression dans l'enceinte et/ou la température du support afin de sublimer le matériau de remplissage. En outre, le matériau de remplissage peut être introduit sous forme gazeuse dans l'enceinte sous vide utilisée pour l'émission de rayons X, et la couche métallique peut être directement formée dans cette enceinte au moyen, par exemple, d'un dépôt physique en phase vapeur. Selon un mode de réalisation, la première face du support est plane, et la protection de celle-ci comprend le plaquage de la première face du support contre une surface plane et pleine. Selon un mode de réalisation, la mise en présence du support avec le gaz comprend le placement du support dans une enceinte hermétique de pression réduite prédéterminée et le refroidissement du support à une température inférieure à la température du point triple du matériau constitutif du gaz. Selon un mode de réalisation, la couche de matériau métallique est déposée sur la première face du support au moyen d'un dépôt physique en phase vapeur. La phase vapeur du métal est par exemple produite par le chauffage ohmique d'un support sur lequel repose une masse solide du métal ou par le bombardement électronique d'une cible constituée du métal. Notamment, l'enceinte hermétique comporte des moyens aptes à injecter le gaz dans l'enceinte, des moyens aptes à régler la pression interne de celle-ci, des moyens aptes à régler la température du support à des températures inférieures au point triple du matériau constitutif du gaz, et des moyens aptes à vaporiser un élément métallique solide placé au contact de ceux-ci. En outre, la mise en contact du support avec le gaz, la formation des bouchons remplissant les ouvertures du support et le dépôt physique en phase vapeur sont réalisés dans l'enceinte en maintenant une pression réduite, notamment inférieure à 101 mbar. Selon un mode de réalisation, le retrait de l'élément de protection de la première face du support comprend l'échauffement de ce dernier de manière à désolidariser l'élément des bouchons solides remplissant les ouvertures du support et l'éloignement de l'élément de protection de la première face du support. Selon un mode de réalisation, la libération des ouvertures du support comporte les réglages de la température du support et/ou de la pression dans l'enceinte. Notamment, le support est réchauffé au-dessus du point de sublimation du matériau de remplissage et l'enceinte est maintenue à une pression inférieure à la pression de saturation correspondant à la température du support. Selon un mode de réalisation, le matériau de remplissage est de l'argon, de l'azote, du krypton, ou du xénon. Selon un mode de réalisation, l'épaisseur de la couche de matériau métallique est inférieure ou égale à 500 nanomètres, et de préférence inférieure ou égale à 50 20 nanomètres. Selon un mode de réalisation, les ouvertures du support sont des cônes tronqués s'évasant depuis la première face du support vers la seconde face du support. 25 Selon un mode de réalisation, des ouvertures du support sont disposées en cercle et angulairement espacées de manière régulière. L'invention a également pour objet un système pour la mise en oeuvre d'un procédé de fabrication d'une cible métallique pour la génération de rayons X par laser du type 30 précité, comportant : ^ une enceinte hermétique ; ^ un support et des moyens de positionnement du support dans l'enceinte ; ^ un élément de protection et des moyens de positionnement de l'élément de protection dans l'enceinte entre une position de retrait et une position de plaquage de l'élément 35 de protection contre la face du support; ^ des moyens de pompage du volume interne de l'enceinte ; ^ des moyens de commande de la température du support ; ^ des moyens d'injection de gaz dans l'enceinte ; ^ des moyens de chauffage de l'élément de protection ; et ^ des moyens de vaporisation d'un élément métallique dans l'enceinte. Selon un mode de réalisation, les moyens de positionnement du support dans l'enceinte comportent des moyens de mise en rotation de ce dernier. Selon un mode de réalisation, l'enceinte comporte une fenêtre transparente au faisceau laser disposée en regard de la face du support. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple, et réalisée en relation avec les dessins annexés, dans lesquels des références identiques désignent des éléments identiques, et dans lesquels : ^ la figure 1 est une vue schématique d'un système selon l'invention de production de cible pour rayons X et de production de rayons X ; ^ les figures 2 et 3 sont respectivement des vues schématiques de dessus et en coupe d'un support pour cible selon l'invention ; ^ les figures 4 à 9 sont des vues schématiques illustrant différentes phases de fonctionnement du système de la figure 1 en vue de mettre en oeuvre un procédé selon l'invention ; et ^ la figure 10 est un tracé de courbes de saturation de différents gaz de matériau de remplissage pour des températures inférieures au point triple de ces gaz. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION Il va à présent être décrit en relation avec la figure 1, un système 10 selon l'invention permettant la réalisation d'une cible métallique pour la génération de rayons X et la génération des rayons X à partir d'une seule enceinte sous vide. Le système 10 comporte notamment : ^ une enceinte hermétique 12 comportant une première portion de paroi formant une première fenêtre 14 transparente à un faisceau laser, et une seconde portion de paroi formant une seconde fenêtre 16 transparente à des rayons X et disposée en regard de la première fenêtre 14. L'enceinte hermétique 12 comporte en outre un écran thermique permettant de limiter les apports de chaleur par rayonnement en provenance de l'environnement qui l'entoure et des éléments internes à l'enceinte dont la température est maintenue élevée, par exemple proche de 300 K, pour leur fonctionnement; ^ un circuit de pompage 18 de l'enceinte 12, apte à établir dans celle-ci une pression réduite, notamment inférieure à 101 mbar, et plus particulièrement une pression inférieure ou égale à 104 mbar ; ^ un circuit d'injection 20 apte à injecter du gaz dans l'enceinte 12 ; ^ un circuit de contrôle de température 22 de l'enceinte 12 apte à établir dans l'enceinte 12 une température basse, notamment une température inférieure à 100 K . De manière avantageuse, le circuit 22 comporte également une source froide, préférentiellement de température inférieure à la température du point triple d'un matériau de remplissage, apte à évacuer les flux de chaleur générés dans l'enceinte 12, notamment les flux générés par un processus de dépôt d'une couche métallique réalisé dans l'enceinte 12, comme cela sera décrit plus en détail par la suite ; et ^ un laser 24 apte à réaliser des tirs lasers au travers de la première fenêtre 14 selon un axe de faisceau 26. Le système 10 comporte également, dans l'enceinte 12 : ^ un support 28 plan percé de part en part par des ouvertures 30 ; ^ un premier circuit de déplacement du support 32 apte à déplacer celui-ci de manière à positionner chacune des ouvertures 30 sur l'axe de faisceau laser 26, comme cela sera expliqué plus en détail ci-dessous ; ^ une plaque pleine 34, par exemple de mêmes dimensions que le support 28; ^ un second circuit de déplacement et de chauffage 36, apte à déplacer la plaque 34 entre une position de rangement, dans laquelle la plaque 34 ne perturbe pas le dépôt ultérieur d'une couche métallique sur le support 28, et une position de protection, dans laquelle la plaque 34 est plaquée contre le support 28 de manière à fermer les ouvertures 30 et empêcher la condensation sur la face du support 28 contre laquelle est plaquée la plaque 34. Le circuit 36 est en outre apte à chauffer la plaque 34. Le circuit 36 est par exemple apte à délivrer un pulse de chaleur à la plaque 34 et/ou la plaque 34 est métallique et le circuit 36 est apte à injecter un courant dans celle-ci de manière à provoquer un échauffement par effet joule ; ^ un support 38 apte à recevoir une couche métallique à évaporer; et ^ un circuit de chauffage 40 du support 38 pour porter le support à une température supérieure à la température d'évaporation du métal déposé sur le support 38.35 Le circuit de contrôle de température 22 comporte également un circuit de contrôle de la température du support 28, et notamment des moyens de refroidissement du support 28, par exemple des conduites au contact de, et/ou dans, ce dernier et dans lesquelles circule de l'hélium gazeux, et/ou un cryoréfrigérateur comportant une liaison par tresses métalliques ou par thermosiphon, et des moyens de chauffage du support 28, par exemple un chauffage électrique régulé. Enfin, le système 10 comporte une unité 42 commandant le fonctionnement des éléments venant d'être décrits selon plusieurs phases décrites ci-après. En se référant aux figures 2 et 3, le support 28 prend par exemple la forme d'un disque dans lequel les ouvertures 30 sont positionnées en cercle et régulièrement espacées angulairement. De manière avantageuse, les ouvertures 30 ont des dimensions millimétriques ou inférieures au millimètre, et ont une section tronconique qui s'évase depuis la face 44 du support 28 faisant face à la fenêtre 14 de l'enceinte 12 vers la face 46 faisant face à la fenêtre 16 de l'enceinte 12, afin de se conformer à l'angle de divergence du faisceau de rayons X produit lors de l'impact de tirs lasers. De manière avantage, le support 28 est réalisé en silicium ou en germanium, ces matériaux étant de très bons conducteurs de chaleur, ce qui permet une commande aisée de la température du support. De plus, un support en silicium ou en germanium peut être poli de manière importante. Plus particulièrement, la face 44 du support 28 est polie de manière à présenter très peu de rugosités, et notamment présenter un poli dit « de qualité optique », ce qui permet d'obtenir un dépôt métallique ultérieur sur la face 44 d'épaisseur sensiblement constante. Le circuit de déplacement 32 du support 28 comporte par exemple un moteur électrique pas à pas pour entrainer en rotation le support 28 autour d'un axe 48 perpendiculaire au plan principal du support 28, et passant par le centre du cercle sur lequel sont positionnées les ouvertures 30. Le circuit 32 permet ainsi de positionner chacune des ouvertures 30 sur l'axe 26 du faisceau laser émis par le laser 24. Il va à présent être décrit avec les figures 4 à 9 un procédé selon l'invention de réalisation d'une cible métallique pour la génération de rayons X et de génération des rayons X mise en oeuvre par le système 10. Dans une première étape du procédé, une couche métallique 60 est positionnée sur le support 38, le métal de la couche 60 étant celui constitutif de la cible pour la génération de rayons X ultérieurement réalisée (figure 4). Le métal de la couche 60 est par exemple du tantale, du tungstène, de l'or ou du cuivre. L'unité 42 commande en outre le circuit de déplacement et de chauffage 36 de manière à plaquer la plaque 34 contre le support 28. Consécutivement, ou parallèlement, l'unité 42 commande le circuit de pompage 18 et le circuit de contrôle de température 22 afin d'établir et de maintenir une pression et une température dans l'enceinte 12 telles : ^ que le support 28 et la plaque 34 présentent une température inférieure à la température du point triple d'un matériau de remplissage des ouvertures 30 introduit ultérieurement dans l'enceinte 12 sous forme gazeuse ; et ^ que la pression dans l'enceinte 12 est maintenue à une pression inférieure à la pression de vapeur saturante du matériau de remplissage correspondant à la température du support 28 afin d'éviter toute condensation parasite. Une fois la pression et la température de l'enceinte 12 réglées, l'unité 42 commande alors le circuit d'injection 20 pour que ce dernier injecte dans l'enceinte 12 le matériau de remplissage 62 sous forme gazeuse. Le matériau de remplissage 62 est notamment de l'argon, de l'azote, du krypton, du xénon, ou un mélange de ceux-ci. En raison des conditions de pression et de température dans l'enceinte 12 qui sont réglées en fonction du gaz injecté 62, ce dernier se condense sous forme solide dans les ouvertures 30. Une fois les ouvertures 30 remplies par le matériau solide 62, l'unité 42 commande l'arrêt de l'injection du gaz dans l'enceinte 12. De manière avantageuse, l'unité 42 commande le circuit de pompage 18 afin de baisser la pression dans l'enceinte 12 et le circuit de contrôle de température 22 afin de baisser la température du support 28 de quelques kelvins afin de garantir le maintien des bouchons à l'état solide lors d'un afflux ultérieur de chaleur en provenance de la plaque 34 et d'un dépôt métallique sur le support 28 et éviter l'auto-évaporation des bouchons. L'unité 42 commande ensuite le circuit de déplacement et de chauffage 36 de manière à ce que ce dernier chauffe la plaque 34. La plaque 34 se décolle alors du matériau 62 remplissant les ouvertures 30 du support 28 (figure 5). L'unité 42 commande ensuite le circuit de déplacement et de chauffage 36 de manière à positionner la plaque 34 dans sa position de rangement (figure 6). Lors d'une étape suivante, l'unité 42 commande le circuit de chauffage 40 de manière à ce que la température du support 38 soit supérieure à la température d'évaporation du métal de la couche 60 reposant sur le support 38. Un dépôt physique en phase vapeur est alors mis en oeuvre. Plus particulièrement, le métal vaporisé 64 se dépose sur la face 44 du support 28 et sur les bouchons de matériau solide 62 remplissant les ouvertures 30 (figure 7), formant ainsi une couche métallique 66. Une fois l'épaisseur souhaitée pour la couche métallique 66 obtenue, notamment une épaisseur inférieure ou égale à 500 nanomètres, et de préférence une épaisseur inférieure ou égale à 50 nanomètres, de manière à mettre en oeuvre une émission de rayons X par transmission, l'unité 42 commande l'arrêt du chauffage du support 38 et par conséquent l'arrêt du dépôt métallique sur le support 28. L'unité 42 commande ensuite le circuit de pompage 18 et le circuit de contrôle de température 22 de manière à faire disparaître le matériau 62 remplissant les ouvertures 30 du support 28, de préférence par sublimation. Plus particulièrement, l'unité 42 commande le circuit 22 pour régler la température du support 28 à une température supérieure à la température de vapeur saturante du matériau de remplissage correspondant à la pression dans l'enceinte 12 maintenue constante. En pratiquant de la sorte, la température des bouchons solides traverse la courbe de pression de vapeur saturante du matériau de remplissage tel que cela est illustré à la figure 10, de sorte que les bouchons solide se subliment. Le matériau sublimé 68 est alors pompé par le circuit de pompage 18 et évacué de l'enceinte 12 (figure 8). Enfin, une fois les ouvertures 30 libérées du matériau de remplissage 62, l'unité 42 commande le laser 24 et le circuit de déplacement 32 pour provoquer l'émission de tir laser 70 au travers de la fenêtre 14 sur les portions de la couche métallique 66 disposées sur les ouvertures 30 du support 28, notamment sur des portions vierges de tout impact. Pour chaque tir laser, il est alors produit un faisceau de rayons X monochromatiques 72 selon l'axe 26 du faisceau laser, ledit faisceau étant émis vers l'extérieur de l'enceinte 12 au travers de la fenêtre 16. Par exemple, pour un matériau de remplissage constitué d'argon, la température du support 28 et de la plaque 34 est choisie dans la gamme [30K, 40K] et la pression de l'enceinte est choisie sensiblement égale à 10-4 mbar. De manière avantageuse, le choix du matériau de remplissage et le choix des réglages de la pression de l'enceinte et de la température du support sont réalisés de la manière suivante. Tout d'abord, le matériau de remplissage est sélectionné en fonction du support 28 afin d'obtenir un dépôt métallique homogène. Notamment, si le support comporte un réseau cristallin, le matériau de remplissage est choisi pour que sa phase solide soit également cristalline de sorte que le dépôt métallique de la cible soit réalisé sur une surface homogène. Une fois le matériau de remplissage choisi, la température du support est choisie pour une pression de l'enceinte inférieure à 10-3 mbar, par exemple 25 K pour l'azote, 35 K pour l'argon, 52 K pour le Xénon ou 75 K pour le krypton et le gaz de matériau de remplissage est introduit dans l'enceinte. La pression de l'enceinte est alors augmentée, notamment pour être comprise entre 101 mbar et 5 10-3 mbar afin de solidifier le gaz et remplir les ouvertures du support. Une fois les ouvertures remplies, l'injection de gaz est stoppée et la pression est de nouveau abaissée à une valeur inférieure à 10-3 mbar. Durant le dépôt métallique de la cible sur le support, la température est abaissée de quelques kelvins et la pression dans l'enceinte est abaissée de quelques 10-4 mbar afin de limiter les phénomènes d'évaporation par afflux de chaleur et d'autoévaporation. Quand le dépôt de la cible sur le support est terminé, la température du support est alors relevée de quelques kelvins pour provoquer la sublimation du matériau de remplissage présent dans les ouvertures. Dans une première variante, lorsque la cible 66 est usagée, l'enceinte 12 est ouverte, et le support 28 avec la cible usagée 66 sont retirées. Un nouveau support 28 est alors introduit dans l'enceinte 12 pour un nouveau cycle de fabrication d'un cible et de production de rayons X tel que décrit précédemment. Dans une seconde variante, le circuit 22 de commande de la température du support 28 est apte à élever la température de ce dernier pour provoquer l'évaporation totale de la cible usagée 66. Le métal évaporé est alors pompé par le circuit de pompage 18 et un nouveau cycle de fabrication d'une cible peut alors être mis en oeuvre sans avoir à casser le vide dans l'enceinte 12. Il a été décrit un mode de réalisation particulier dans lequel le support de la cible comprend des ouvertures selon un agencement particulier. Bien entendu, l'invention s'applique à tout type de support et d'agencement d'ouvertures.35 Il a été décrit une plaque qui est plaquée contre le support lors du remplissage des ouvertures afin, notamment, de protéger la face du support sur laquelle est ultérieurement déposée la cible de la condensation. D'autres éléments de protection peuvent cependant être envisagés. De même, il a été décrit un mode de réalisation dans lequel la formation des bouchons solides dans les ouvertures du support de la cible, le retrait de la plaque de protection et le dépôt de la cible sur le support sont réalisés avec uns pression et une température constantes. Lors de ces phases, la pression et la température peuvent varier dans toute gamme permettant de conserver sous leur forme solide les bouchons remplissant les ouvertures du support. De manière analogue, des températures et des pressions différentes peuvent être choisies lors de la génération des rayons X.15 REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) pour la génération de rayons X par laser, comportant : - la réalisation d'un support (28) comprenant une première et une seconde faces (44, 46) et traversé par des ouvertures (30) ; et ^ la formation dans une enceinte hermétique (12) d'une couche de matériau métallique (66) sur la première face (44) du support (28), caractérisé en ce que la formation de la couche de matériau métallique (66) sur le support (28) comporte : ^ la protection de la première face (44) du support (28) par un élément de protection (34); ^ l'injection dans l'enceinte (12) d'un gaz de matériau de remplissage (62); ^ le réglage de la pression dans l'enceinte et de la température du support (28) de manière à former des bouchons solides de matériau de remplissage dans les ouvertures (30) du support (28); ^ l'arrêt de l'injection du gaz de matériau de remplissage (62) dans l'enceinte (12); ^ le maintien de la température du support (28) et de la pression de l'enceinte à des valeurs conservant les bouchons solides dans les ouvertures (30) du support (28), et conjointement audit maintien : o le retrait de l'élément de protection (34) de la première face (44) du support (28) de manière à libérer celle-ci; et o la formation de la couche de matériau métallique (66) sur la première face (44) du support (28) et sur les bouchons solides remplissant les ouvertures (30) ; ^ la modification des conditions de pression dans l'enceinte et de température du support de manière à libérer les ouvertures (30) du support (28) des bouchons solides. 2. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première face (44) du support est plane, et en ce que la protection de celle-ci comprend le plaquage de la première face (44) du support (28) contre une surface plane et pleine (34).35 3. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la formation des bouchons solides comporte le réglage de la pression dans l'enceinte (12) à une pression prédéterminée et le refroidissement du support (28) à une température inférieure à la température du point triple du matériau constitutif du gaz (62). 4. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche de matériau métallique (66) est déposée sur la première face (44) du support (28) au moyen d'un dépôt physique en phase vapeur. 5. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'enceinte hermétique (12) comporte des moyens (20) aptes à injecter le gaz dans l'enceinte (12), des moyens (18) aptes à régler la pression interne de celle-ci, des moyens (22) aptes à régler la température du support (28) à des températures inférieures au point triple du matériau constitutif du gaz, et des moyens (38, 40) aptes à vaporiser un élément métallique solide placé au contact de ceux-ci, et en ce que la mise en contact du support (28) avec le gaz (62), la formation des bouchons remplissant les ouvertures (30) du support (28) et le dépôt physique en phase vapeur sont réalisés dans l'enceinte (12) en maintenant une pression réduite, notamment inférieure à 101 mbar. 6. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le retrait de l'élément de protection (34) de la première face (44) du support (28) comprend l'échauffement de ce dernier de manière à désolidariser l'élément (34) des bouchons solides remplissant les ouvertures (30) du support (28) et l'éloignement de l'élément de protection (34) de la première face (44) du support (28). 7. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la libération des ouvertures (30) du support (28) comporte le réglage de la température du support (28) et/ou de la pression du gaz (62) de manière à sublimer les bouchons solides. . 8. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (62) est de l'argon, de l'azote, du krypton, ou du xénon. 9. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche de matériau métallique (66) est inférieure ou égale à 500 nanomètres, et de préférence inférieure ou égale à 50 nanomètres. 10. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les ouvertures (30) du support (28) sont des cônes tronqués s'évasant depuis la première face (44) du support (28) vers la seconde face (46) du support (28). 11. Procédé de fabrication d'une cible métallique (66) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que des ouvertures (30) du support (28) sont disposées en cercle et angulairement espacées de manière régulière. 15 12. Système pour la mise en oeuvre d'un procédé de fabrication d'une cible métallique (66) pour la génération de rayons X par laser conforme à l'une quelconque des revendications précédentes, comportant : ^ une enceinte hermétique (12) ; ^ un support (28) et des moyens (32) de positionnement du support (28) dans 20 l'enceinte (12) ; ^ un élément de protection (34) et des moyens (36) de positionnement de l'élément de protection (34) dans l'enceinte (12) entre une position de retrait et une position de plaquage de l'élément de protection (34) contre la face (44) du support (28) ; 25 - des moyens (18) de pompage du volume interne de l'enceinte ; ^ des moyens (22) de commande de la température du support ; ^ des moyens (20) d'injection de gaz dans l'enceinte ^ des moyens (36) de chauffage de l'élément de protection (34) ; et ^ des moyens (38, 40) de vaporisation d'un élément métallique dans l'enceinte 30 (12). 13. Système selon la revendication 12, caractérisé en ce que les moyens (32) de positionnement du support (28) dans l'enceinte (12) comportent des moyens de mise en rotation de ce dernier. 35 14. Système selon la revendication 12 ou 13, caractérise en ce que l'enceinte (12) comporte une fenêtre transparente (14) au faisceau laser disposée en regard de la face (44) du support (28). 10