Brevet FR3004287A1 — publié le 20141010

SYSTEME D'IRRADIATION DE FAISCEAU D'ENERGIE ET MECANISME DE TRANSFERT DE PIECE D'OUVRAGE DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un système d'irradiation de faisceau d'énergie, comme un système d'implantation ionique et un système d'irradiation de faisceau électronique, pour irradier un faisceau d'énergie dans une pièce d'ouvrage à irradier par le faisceau d'énergie, et un mécanisme de transfert de pièce d'ouvrage destiné à être utilisé dans un tel système. ART ASSOCIE Ce type de système d'implantation ionique comprend conventionnellement un mécanisme de transfert intermédiaire utilisé pour livrer une plaquette entre un plateau destiné à transférer la plaquette dans une zone d'irradiation de faisceau ionique et un sas de chargement. Par exemple, selon un mécanisme de transfert intermédiaire divulgué dans le document de brevet 1, brevet japonais N° 4 766 156, des bras de transfert droit et gauche sont structurés de manière à pouvoir se déplacer simultanément afin de pouvoir agencer des plaquettes en deux rangées sur un seul plateau à la fois, ce qui augmente les performances de traitement du système, c'est-à-dire sa capacité de traitement. RESUME Néanmoins, dans la structure susmentionnée, après l'irradiation (l'implantation) d'un faisceau ionique dans une certaine plaquette, le temps perdu pour passer à l'irradiation d'un faisceau ionique dans une plaquette suivante est relativement long. Ce temps perdu constitue un goulot d'étranglement pour augmenter la capacité de traitement. Spécifiquement, après l'irradiation d'un faisceau ionique (l'implantation d'un ion) dans une certaine plaquette, le procédé suivant doit être exécuté avant l'irradiation d'un faisceau ionique dans une plaquette suivante. C'est-à-dire que le procédé dans lequel la plaquette dans laquelle des ions sont implantés est transférée à travers un sas de chargement à l'extérieur, et une plaquette suivante est montée sur un plateau à travers le sas de chargement puis est transférée dans une zone d'irradiation de faisceau ionique. Dans ce procédé, le temps perdu est relativement long, ce qui nuit à la capacité de traitement. En outre, pendant le temps perdu, la consommation du faisceau ionique est gaspillée. Ces problèmes sont constatés non seulement dans le système d'implantation ionique mais également dans le système d'irradiation de faisceau d'énergie pour irradier un faisceau d'énergie dans une pièce d'ouvrage, en général. L'invention vise à résoudre ces problèmes. Un objet de l'invention est de fournir ce type de système d'irradiation de faisceau d'énergie apte à augmenter considérablement sa capacité de traitement et à utiliser efficacement le faisceau d'énergie. Un système d'irradiation de faisceau d'énergie comprend un mécanisme d'émission de faisceau d'énergie et un porte-pièce d'ouvrage. Le mécanisme d'émission de faisceau d'énergie émet un faisceau d'énergie vers une zone d'irradiation prédéterminée. Le porte-pièce d'ouvrage transfère les pièces d'ouvrage entre une zone de livraison de pièces d'ouvrage prédéterminée et la zone d'irradiation. Les pièces d'ouvrage sont irradiées par le faisceau d'énergie. La zone de livraison de pièces d'ouvrage comprend deux zones de livraison de pièces d'ouvrage à l'opposé l'une de l'autre par rapport à une ligne droite virtuelle traversant la zone d'irradiation de faisceau d'énergie. Le porte-pièce d'ouvrage comprend un premier porte-pièce d'ouvrage et un deuxième porte-pièce d'ouvrage. Le premier porte-pièce d'ouvrage transfère les pièces d'ouvrage entre une première zone de livraison de pièces d'ouvrage et la zone d'irradiation. Le deuxième porte-pièce d'ouvrage transfère les pièces d'ouvrage entre une deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage et la zone d'irradiation. Selon ce système, pendant qu'un faisceau d'énergie est irradié dans des pièces d'ouvrage transférées dans une zone d'irradiation par un porte-pièce d'ouvrage, des pièces d'ouvrage irradiées peuvent être remplacées par des pièces d'ouvrage non irradiées et les pièces d'ouvrage non irradiées peuvent être portées par l'autre porte-pièce d'ouvrage. Ainsi, après le transfert des pièces d'ouvrage irradiées par un porte-pièce d'ouvrage, les pièces d'ouvrage suivantes non irradiées par le faisceau d'énergie peuvent être rapidement transférées dans la zone d'irradiation par l'autre porte-pièce d'ouvrage, ce qui permet de commencer l'irradiation d'un faisceau d'énergie dans les pièces d'ouvrage suivantes. Selon l'invention, il est donc possible de réduire considérablement le temps nécessaire pour passer de la 5 fin de l'irradiation de faisceau d'énergie dans des pièces d'ouvrage au début de l'irradiation de faisceau d'énergie dans des pièces d'ouvrage suivantes. La capacité de traitement du système peut être ainsi considérablement augmentée et le faisceau d'énergie 10 peut être utilisé plus efficacement. Pour que le système puisse prendre en charge des pièces d'ouvrage de dimensions différentes afin d'accroître sa polyvalence, les porte-pièces d'ouvrage respectifs peuvent être structurés de manière à pouvoir 15 transférer des pièces d'ouvrage de dimensions différentes. Plus spécifiquement, les porte-pièces d'ouvrage respectifs peuvent transférer des pièces d'ouvrage de dimensions différentes entremêlées. De même, des pièces d'ouvrage de dimensions identiques 20 peuvent être transférées dans le même porte-pièce d'ouvrage et les dimensions des pièces d'ouvrage à transférer par un porte-pièce d'ouvrage peuvent également être différentes des dimensions des pièces d'ouvrage à transférer par l'autre porte-pièce 25 d'ouvrage. Lorsqu'un mécanisme d'émission de faisceau d'énergie et des porte-pièces d'ouvrage sont agencés dans une chambre d'irradiation de faisceau d'énergie maintenue à un degré prédéterminé de dépression, une 30 portion de montage de pièces d'ouvrage peut être disposée dans un sas de chargement qui monte des pièces d'ouvrage transférées depuis l'extérieur mais pas encore irradiées par un faisceau d'énergie sur celui-ci de manière intermédiaire et qui monte des pièces d'ouvrage irradiées à transférer à l'extérieur. Pour appliquer la présente invention dans un tel cas et pour assurer la capacité de traitement du système, il est préféré qu'une première portion de montage de pièces d'ouvrage et une deuxième portion de montage de pièces d'ouvrage soient formées dans deux portions opposées l'une à l'autre par rapport à la ligne droite virtuelle. Il est en outre préféré que des premier et deuxième organes de transfert soient formés. Le premier organe de transfert transfère des pièces d'ouvrage entre la première zone de livraison de pièces d'ouvrage et la première portion de montage de pièces d'ouvrage et le deuxième organe de transfert transfère des pièces d'ouvrage entre la deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage et la deuxième portion de montage de pièces d'ouvrage. Dans un mode de réalisation spécifique pour augmenter la capacité de traitement du système dans la mesure du possible, il est préféré de former une portion de montage de pièces d'ouvrage intermédiaire, un troisième organe de transfert et un quatrième organe de transfert. La portion de montage de pièces d'ouvrage intermédiaire est formée entre la première portion de montage de pièces d'ouvrage et la deuxième portion de montage de pièces d'ouvrage. Le troisième organe de transfert transfère des pièces d'ouvrage entre la première zone de livraison de pièces d'ouvrage et la portion de montage de pièces d'ouvrage intermédiaire. Le quatrième organe de transfert transfère des pièces d'ouvrage entre la deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage et la portion de montage de pièces d'ouvrage intermédiaire. Pour simplifier la structure de l'organe de transfert, il est préféré que les organes de transfert respectifs soient capables de transférer des pièces d'ouvrage de tailles différentes. Avantageusement l'un des premier et deuxième porte-pièce d'ouvrage se déplace d'une distance prédéterminée après la réception de pièces d'ouvrage à partir d'un organe de transfert dans la zone de livraison de pièces d'ouvrage correspondante et reçoit d'autres pièces d'ouvrage à partir dudit organe de transfert pour monter plusieurs rangées de pièces d'ouvrage dans une direction de déplacement. Un cas dans lequel le faisceau d'énergie est un faisceau ionique et un ion est implanté dans des pièces d'ouvrage constitue un exemple réussi prouvant l'effet 20 de la présente invention. Selon l'invention structurée comme cela a été susmentionné, immédiatement après la fin de l'irradiation d'un faisceau d'énergie dans des premières pièces d'ouvrage, l'irradiation d'un faisceau 25 d'énergie dans des pièces d'ouvrage suivantes peut être commencée, ce qui permet d'accroître considérablement la capacité de traitement du système. De même, puisque le temps perdu à gaspiller la consommation du faisceau d'énergie est réduit, le faisceau d'énergie peut être 30 utilisé efficacement. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS La figure 1 est une vue en plan typique de l'intégralité d'un système d'implantation ionique selon un premier mode de réalisation de l'invention ; la figure 2 est une vue en perspective partielle d'un mécanisme de transfert de plaquettes selon ce mode de réalisation ; les figures 3(i) à 3(vi) sont des organigrammes des étapes de transfert de plaquettes selon ce mode de réalisation ; les figures 4(vii) à 4(xii) sont des organigrammes des étapes de transfert de plaquettes selon ce mode de réalisation ; la figure 5 est un graphique de synchronisation de 15 l'implantation ionique et du transfert de plaquettes selon ce mode de réalisation ; la figure 6 est un graphique de synchronisation de l'implantation ionique et du transfert de plaquettes selon ce mode de réalisation ; 20 la figure 7 est une vue en plan typique de l'intégralité d'un système d'implantation ionique selon un deuxième mode de réalisation de l'invention ; les figures 8(i) à 8(iv) sont des organigrammes des étapes de transfert de plaquettes selon le deuxième 25 mode de réalisation ; les figures 9(v) à 9(viii) sont des organigrammes des étapes de transfert de plaquettes selon le deuxième mode de réalisation. 30 DESCRIPTION DETAILLEE Premier mode de réalisation En référence aux dessins annexés, la description ci-après porte sur un système d'implantation ionique 100 servant de système d'irradiation de faisceau d'énergie selon un premier mode de réalisation de l'invention. Dans la description ci-après et sur les dessins annexés, plusieurs organes et structures du même type sont distingués en ajoutant (1), (2), etc. à la fin de leur numéro de référence et en leur appliquant les termes « un premier », « un deuxième », etc. Comme cela est représenté sur la figure 1, le système d'implantation ionique 100 comprend un appareil d'émission de faisceau ionique destiné à émettre un faisceau ionique IB dans une chambre d'implantation ionique 10 réglée à une dépression, et un appareil de transfert de pièces d'ouvrage 20 qui transfère des pièces d'ouvrage (ici des plaquettes) W dans une zone d'irradiation AR pour irradier le faisceau ionique IB dans la plaquette W et qui permet l'irradiation du faisceau ionique IB dans les pièces d'ouvrage W. L'appareil d'émission de faisceau ionique est utilisé pour émettre le faisceau ionique IB, par exemple en forme de ruban, vers la zone d'irradiation AR. Ici, la forme du faisceau ionique IB n'est pas limitée à une forme de ruban et une forme carrée peut également être utilisée par exemple. Sur la figure 1, le numéro de référence 9 désigne un profileur de faisceau pour surveiller la propriété de distribution d'intensité du faisceau ionique IB et pour détourner le faisceau IB dont l'intensité est supérieure à la plage de propriétés de distribution d'intensité. L'appareil de transfert de pièces d'ouvrage 20 comprend un mécanisme de chargement et déchargement de pièces d'ouvrage 1 pour charger et décharger les pièces d'ouvrage W entre l'intérieur et l'extérieur de la 5 chambre d'implantation ionique 10, un mécanisme de transfert de pièces d'ouvrage 2 pour transférer des pièces d'ouvrage W dans la zone d'irradiation de faisceau AR afin d'implanter des ions dans les pièces d'ouvrage W, et un mécanisme de transfert intermédiaire 10 3 interposé entre le mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 et le mécanisme de transfert de pièces d'ouvrage 2 pour livrer les pièces d'ouvrage W entre ceux-ci. Les composants respectifs de l'appareil de 15 transfert de pièces d'ouvrage 20 vont être décrits ci-après. Le mécanisme de chargement et de déchargement de pièce d'ouvrage 1 comprend un sas de chargement 11 (également appelé chambre de chargement 11) disposé 20 adjacent à la chambre d'implantation ionique 10, une table de montage de pièces d'ouvrage 12 servant de portion de montage de pièces d'ouvrage, et un actionneur d'entraînement vers le haut/vers le bas (non représenté) pour lever et abaisser la table de montage 25 de pièces d'ouvrage 12. Ces éléments font l'objet d'une brève description puisqu'ils sont spécifiquement décrits dans le document de brevet 1. Le sas de chargement 11 est interposé entre un couvercle supérieur pouvant être ouvert et fermé et la table de 30 montage de pièces d'ouvrage 12 disposée à une position supérieure prédéterminée. Plusieurs pièces d'ouvrage W dans une rangée peuvent être montées sur la table de montage de pièces d'ouvrage 12. Lorsque la table de montage de pièces d'ouvrage 12 est située à la position supérieure susmentionnée, elle sert de cloison pour 5 séparer hermétiquement le sas de chargement 11 et la chambre d'implantation ionique 10. A une position inférieure prédéterminée, elle se trouve à l'intérieur de la chambre d'implantation ionique 10 où elle est capable de livrer les pièces d'ouvrage W par rapport au 10 mécanisme de transfert intermédiaire 3, comme cela va être décrit ci-après. Dans le présent mode de réalisation, deux mécanismes de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (constituant une paire) sont disposés en 15 symétrie linéaire par rapport à une ligne droite virtuelle C traversant la zone d'irradiation AR en vue par le dessus. La ligne droite virtuelle C coïncide ici avec l'axe du faisceau ionique IB. Néanmoins, ils ne sont pas toujours forcément coïncidents. 20 Le mécanisme de transfert de pièces d'ouvrage 2 comprend par exemple un plateau 21 servant de porte-pièce d'ouvrage, un organe de base 22 pour supporter le plateau 21, et un mécanisme d'avancée et de retrait linéaire 23 pour faire avancer linéairement l'organe de 25 base 22 et pour le retirer linéairement. Le mécanisme 2 est utilisé pour recevoir les pièces d'ouvrage W transférées par le mécanisme de transfert intermédiaire 3 (comme cela va être abordé ci-après) dans une zone de livraison de pièces d'ouvrage prédéterminée et pour 30 transférer les pièces d'ouvrage W dans la zone d'irradiation AR. Le mécanisme 2 est également utilisé pour transférer les pièces d'ouvrage W de la zone d'irradiation AR dans la zone de livraison de pièces d'ouvrage, en les livrant de ce fait au mécanisme de transfert intermédiaire 3. Le plateau 21 comprend des plaques de fixation (non représentées) ayant chacune une forme circulaire plate ou similaire et étant capables de serrer et de maintenir des pièces d'ouvrage W dans plusieurs rangées (ici 2 rangées) sur une surface de celles-ci grâce à 10 des fixations électrostatiques. Dans le présent mode de réalisation, il est prévu deux plateaux en paire 21 correspondant respectivement aux deux mécanismes de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage en paire 1. 15 L'organe de base 22 est un organe en forme de bloc fourni dans chacun des plateaux 21. Dans un état dans lequel la portion de plaque de surface de chaque plateau 21 s'étend parallèlement à la direction d'avancée et de retrait, l'organe de base 22 supporte, 20 de manière à pouvoir pivoter, la portion d'extrémité de base du plateau 21 par l'arbre de rotation de celui-ci qui s'étend parallèlement à la direction d'avancée et de retrait. L'organe de base 22 comprend, à l'intérieur de celui-ci, un actionneur de basculement (non 25 représenté) comme un moteur, de telle manière que la portion de plaque de surface du plateau 21 puisse être abaissée et levée entre son état horizontal correspondant à sa position de livraison et son état vertical correspondant à sa position d'irradiation de 30 faisceau. Le mécanisme d'avancée et de retrait linéaire 23 comprend, par exemple, un organe de rail commun 231 se trouvant sur une ligne droite horizontale perpendiculaire à l'axe du faisceau ionique IB et avec lequel les organes de base 22 peuvent se mettre en prise, de manière à pouvoir coulisser, et un actionneur de coulissement (non représenté) pour faire avancer et retirer les organes de base 22 indépendamment l'un de l'autre le long de l'organe de rail 231. L'actionneur de coulissement est constitué par exemple d'une courroie (non représentée) fournie à l'intérieur de l'organe de rail 231 et d'un moteur pour faire tourner la courroie. Ainsi, pendant qu'il est tiré par la courroie, l'organe de base 22 est amené à avancer et à se retirer sur l'organe de rail 231. Ici, le mécanisme d'avancée et de retrait linéaire 23 n'est pas limité à cette structure. Par exemple, une structure utilisant un mécanisme d'alimentation de vis peut également être utilisée. Dans la description ci-après, la direction d'avancée et de retrait linéaire est définie en tant que direction x. Le mécanisme de transfert intermédiaire 3 comprend un bras de transfert 31 constitué d'un organe de transfert dont la portion d'extrémité de base est supportée, de manière à pouvoir pivoter, afin que le bras de transfert 31 puisse être tourné horizontalement, et un actionneur de pivotement (non représenté) comme un moteur pour faire tourner le bras de transfert 31 vers l'avant et vers l'arrière, de telle manière que le mécanisme 3 puisse transférer les pièces d'ouvrage W entre la table de montage de pièces d'ouvrage 12 et la zone de livraison. Le bras de transfert 31 est en forme de plaque longue et il comporte des griffes de préhension (non 5 représentées) fournies sur le côté inférieur de celui-ci. En accrochant la section opposée aux griffes de préhension de la portion de bord périphérique de surface inférieure des pièces d'ouvrage W avec les griffes, le bras 31 peut maintenir les pièces d'ouvrage 10 W sur le côté inférieur du bras de transfert 31. Dans ce mode de réalisation, le bras de transfert 31 peut maintenir plusieurs pièces d'ouvrage W agencées dans une rangée le long de la direction d'extension du bas de transfert 31. 15 Dans ce mode de réalisation, comme cela est représenté sur la figure 1, les mécanismes de transfert intermédiaire en paire 3 sont fournis en symétrie linéaire par rapport à la ligne droite virtuelle C. Ils sont respectivement agencés pour correspondre à leurs 20 mécanismes respectifs de chargement et de déchargement de pièce de travail 1. Dans la description ci-après, la direction de ligne droite virtuelle est définie en tant que direction y et une direction perpendiculaire à la direction x et à la direction y est définie en tant que 25 direction z. En plus de la structure susmentionnée, le système d'implantation ionique 100 comprend en outre plusieurs chambres de stockage externes 4 disposées à l'extérieur de la chambre d'implantation ionique 10, et un 30 mécanisme de transfert externe 5 pour transférer les pièces d'ouvrage W entre les chambres de stockage externes 4 et le sas de chargement 11. Spécifiquement, les chambres de stockage externes 4 sont utilisées pour stocker plusieurs pièces d'ouvrage W à plusieurs étages. L'intérieur des chambres de stockage externes 4 est maintenu à un degré de propreté prédéterminé. Ici, les chambres de stockage externes 4 sont agencées dans la direction x. Le mécanisme de transfert externe 5 comprend un rail 51 s'étendant dans la direction x et un corps principal de machine de transfert 52 capable d'avancer et de se retirer le long du rail 51. Le corps principal de machine de transfert 52 comprend un bras 521 pour serrer les pièces d'ouvrage W. Le corps principal de machine de transfert 52 se déplace le long du rail 51 et le bras 521 serre les pièces d'ouvrage W et tourne. Par conséquent, les pièces d'ouvrage W sont transférées entre les chambres de stockage externes 4 et le sas de chargement 11. Ici, les pièces d'ouvrage W, qui ont été prises dans une certaine chambre de stockage externe 4 et qui ont reçu une implantation ionique, sont retournées dans la même chambre de stockage externe 4. Dans le présent mode de réalisation, deux mécanismes de transfert externes 5 constituant une paire sont disposés à des positions opposées l'une à l'autre par rapport à la ligne droite virtuelle C médiane. Ils sont agencés pour correspondre respectivement aux mécanismes de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1. Le fonctionnement du système d'implantation ionique 100 ainsi structuré va être décrit ci-après en référence aux figures 3 et 4. Pour faciliter l'explication, la description 5 commence à l'état représenté sur la figure 3(i). Dans l'état représenté sur la figure 3(i), un deuxième plateau 21 (2), supportant des pièces d'ouvrage de grand diamètre W (2) agencées en deux rangées, est dans une posture verticale (la posture 10 d'irradiation de faisceau susmentionnée), et se trouve également dans la zone d'irradiation AR, et des faisceaux ioniques IB sont irradiés dans les pièces d'ouvrage W (2). Par ailleurs, un premier plateau 21 (1) se trouve 15 dans une première zone de livraison de pièces d'ouvrage et il attend dans la posture de livraison susmentionnée (posture horizontale). Dans cet état, un premier bras de transfert 31 (1) supportant une rangée de pièces d'ouvrage de petit diamètre W (1) montées sur une 20 première table de montage de pièces d'ouvrage 12 (1) vient juste d'être tourné et déplacé à une position représentée ici. Cette position, correspondant à une zone dans laquelle le premier bras de transfert 31 (1) a été 25 tourné vers l'organe de rail 231 jusqu'à un angle perpendiculaire à l'axe x, constitue la première zone de livraison de pièces d'ouvrage dans ce mode de réalisation. Dans l'état de la figure 3(i), lorsque le premier 30 bras de transfert 31 (1) supportant les pièces d'ouvrage W (1) tourne et est positionné sur le premier plateau 21 (1), le premier plateau 21 (1) soulève des broches de levage (non représentées) ou des éléments similaires par le dessous pour lever légèrement les pièces d'ouvrage W (1), de sorte que les pièces d'ouvrage W (1) ne soient plus tenues par les griffes de préhension du premier bras de transfert 31 (1). Ensuite, le premier bras de transfert 31 (1) se retire de la zone de livraison de pièces d'ouvrage et il tourne à nouveau vers la première table de montage de pièces d'ouvrage 12 (1). Les pièces d'ouvrage W (1) tenues par les broches de levage sont montées aux positions de la première rangée sur le premier plateau 21 (1) en descendant les broches de levage et elles y sont maintenues par des fixations électrostatiques. Par ailleurs, la première table de montage de pièces d'ouvrage 12 (1) de laquelle les pièces d'ouvrage W (1) ont été enlevées est amenée à entrer dans le sas de chargement 11 à nouveau sous l'effet du fonctionnement du premier mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (1). Après la réception de nouvelles pièces d'ouvrage W (1) à partir d'un premier mécanisme de transfert externe 5 (1), elle revient dans la chambre d'implantation ionique 10 où elle reste en attente. Le premier bras de transfert 31 (1) qui est revenu du premier plateau 21 (1) supporte de nouvelles pièces d'ouvrage W (1) sans implantation ionique et il tourne à nouveau vers la première zone de livraison de pièces d'ouvrage. Pendant ce temps, le premier plateau 21 (1) est déplacé dans la direction x d'une quantité correspondant sensiblement à la distance entre les rangées de support de pièces d'ouvrage W (1) du mécanisme d'avancée et de retrait linéaire 23, où il reste en attente. Ensuite, comme cela est représenté sur la figure 3 (ii), le premier bras de transfert 31 (1) tourne et atteint ce stade. Comme dans l'opération susmentionnée, les pièces d'ouvrage W (1) sont montées aux positions de la deuxième rangée sur le premier plateau 21 (1) où elles sont maintenues par des fixations électrostatiques. Cet état est représenté sur la figure 3 (iii). Le premier plateau 21 (1) maintenant les pièces d'ouvrage W (1) des deux rangées de cette manière, comme cela est représenté sur la figure 3 (iv), prend une posture verticale d'irradiation de faisceau dans laquelle il reste en attente. Alors, lorsque l'implantation ionique dans les pièces d'ouvrage W (2) maintenues sur le deuxième plateau 21 (2) est terminée, le deuxième plateau 21 (2) coulisse vers la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2) au-delà de la ligne droite virtuelle C et il se retire ainsi de la zone d'irradiation AR vers une deuxième zone de livraison de travail. Presque simultanément avec ce retrait, le premier plateau 21 (1) maintenant les pièces d'ouvrage W (1) se déplace vers la zone d'irradiation AR où commence l'irradiation de faisceaux ioniques IB dans les pièces d'ouvrage W (1). Le deuxième plateau retiré 21 (2) passe de la posture d'irradiation de faisceau à la posture de livraison et attend dans la deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage. La deuxième zone de livraison de 5 pièces d'ouvrage constitue la position à laquelle le deuxième bras de transfert 31 (2) tourne jusqu'à un angle perpendiculaire à l'axe x et est placée à la position opposée à la première zone de livraison de pièces d'ouvrage par rapport à la ligne droite 10 virtuelle C. Ensuite, le deuxième bras de transfert 31 (2) tourne à cette position et reçoit les pièces d'ouvrage W (2) de la première rangée à partir du deuxième plateau 21 (2). Comme cela est représenté sur la figure 15 3 (v), il transfère et monte les pièces d'ouvrage W (2) sur la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2). Ici, la procédure lorsque le deuxième bras de transfert 31 (2) reçoit les pièces d'ouvrage W (2) à partir du deuxième plateau 21 (2) est l'inverse de la 20 procédure susmentionnée lorsque les pièces d'ouvrage W sont délivrées du bras de transfert 31 au plateau 21. La description spécifique de cette procédure est donc omise ici. Les pièces d'ouvrage ayant subi une implantation 25 ionique W (2) montées sur la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2) sont transférées à travers le deuxième mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (2) et le deuxième mécanisme de transfert externe 5 (2) dans la chambre de stockage 30 externe 4 où elles étaient initialement stockées. Pendant ce temps, le deuxième plateau 21 (2) se déplace dans la direction x d'une quantité correspondant sensiblement à la distance entre les rangées de support de pièces d'ouvrage W (1) du mécanisme d'avancée et de retrait linéaire 23, où il reste en attente. Ensuite, comme cela est représenté sur la figure 3 (vi), le deuxième bras de transfert vide 31 (2) retourne à cette position à laquelle il reçoit les 10 pièces d'ouvrage W (2) de la deuxième rangée et il monte ces pièces d'ouvrage W (2) sur la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2). Ces pièces d'ouvrage W (2) sont également transférées par le biais du deuxième mécanisme de chargement et de déchargement 15 de pièces d'ouvrage 1 (2) et du deuxième mécanisme de transfert externe 5 (2) dans la chambre de stockage externe 4 où elles étaient initialement stockées. Les pièces d'ouvrage W (2) n'ayant pas subi d'implantation ionique sont nouvellement montées par le 20 biais du deuxième mécanisme de transfert externe 5 (2) et du deuxième mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (2) sur la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2). Le deuxième bras de transfert 31 (2) transfère ces pièces 25 d'ouvrage W (2) vers le deuxième plateau 21 (2) selon une procédure similaire à celle du transfert des pièces d'ouvrage W (1) par le premier bras de transfert 31 (1) vers le premier plateau 21 (1) (cf. figures 4 (vii) à (ix)). 30 Comme cela est représenté sur la figure 4 (x), le deuxième plateau 21 (2) supportant les pièces d'ouvrage W (2) des deux rangées prend une posture verticale d'irradiation de faisceau à laquelle il reste en attente. Lorsque l'implantation ionique dans les pièces 5 d'ouvrage W (1) supportées sur le premier plateau 21 (1) est terminée, le premier plateau 21 (1) coulisse vers la première table de montage de pièces d'ouvrage 12 (1) au-delà de la ligne droite virtuelle C et se retire ainsi de la zone d'irradiation AR dans la première zone 10 de livraison de pièces d'ouvrage. Presque simultanément avec ce retrait, le deuxième plateau 21 (2) supportant les pièces d'ouvrage W (2) se déplace vers la zone d'irradiation AR où commence l'irradiation de faisceaux ioniques IB dans les pièces d'ouvrage W (2). 15 Le premier plateau retiré 21 (1) passe de la posture d'irradiation de faisceau à la posture de livraison dans la première zone de livraison de pièces d'ouvrage. Les pièces d'ouvrage ayant subi une implantation ionique W (1) supportées sur le premier 20 plateau 21 (1) sont retournées par le biais du premier bras de transfert 31 (1), du premier mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (1) et du premier mécanisme de transfert externe 5 (1) dans la chambre de stockage externe où elles étaient 25 initialement stockées selon une procédure similaire à celle du transfert des pièces d'ouvrage ayant subi une implantation ionique W (2) dans le deuxième plateau 21 (2) (cf. figures 4 (xi) et (xii)). L'opération revient à la figure 3 (i) et des 30 étapes similaires sont répétées. Selon la structure susmentionnée, comme cela est représenté par un graphique de synchronisation sur la figure 5, pendant l'implantation ionique dans les pièces d'ouvrage W (1) supportées sur le premier 5 plateau 21 (1), les pièces d'ouvrage ayant subi une implantation ionique W (2) sur le deuxième plateau 21 (1) sont remplacées par des pièces d'ouvrage n'ayant pas subi d'implantation ionique et le deuxième plateau 21 (2) prend une posture d'attente d'implantation 10 ionique au voisinage de la zone d'irradiation AR. Par conséquent, immédiatement après la fin de l'implantation ionique dans les pièces d'ouvrage W (1), l'implantation ionique dans les pièces d'ouvrage W (2) peut commencer. 15 Puisque les implantations ioniques peuvent se dérouler successivement pratiquement sans aucune interruption, la capacité de traitement du système peut être considérablement accrue et les faisceaux ioniques peuvent être utilisés très efficacement. 20 Il peut se présenter un cas dans lequel le temps d'implantation ionique est inférieur au temps de remplacement de pièces d'ouvrage. Dans ce cas, comme cela est représenté sur le graphique de synchronisation de la figure 6, puisque le premier plateau 21 (1), le 25 premier bras de transfert 31 (1) et les éléments similaires, ainsi que le deuxième plateau 21 (2), le deuxième bras de transfert 31 (2) et les éléments similaires peuvent être actionnés indépendamment sans aucune interférence entre eux, leur fonctionnement est 30 simultané, ce qui peut réduire le plus possible le temps perdu correspondant à l'intervalle entre l'implantation ionique dans les pièces d'ouvrage W (1) et l'implantation ionique dans les pièces d'ouvrage W (2). Deuxième mode de réalisation Selon un deuxième mode de réalisation, comme cela est représenté sur la figure 7, un système d'implantation ionique comprend, en tant que mécanisme de transfert intermédiaire 3, en plus du premier bras de transfert 31 (1) et du deuxième bras de transfert 31 (2), un troisième bras de transfert 31 (3) et un quatrième bras de transfert 31 (4). Ce système comprend également, en tant que mécanisme de chargement et déchargement de pièces d'ouvrage 1, un troisième mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (3) interposé entre le premier mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (1) et le deuxième mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (2). Spécifiquement, le troisième bras de transfert 31 (3) constitue une paire avec le premier bras de transfert 31 (1). En vue par le dessus (en vue dans la direction z), il peut être tourné symétriquement avec le premier bras de transfert 31 (1). Son axe de rotation est espacé de celui du premier bras de transfert 31 (1) d'une quantité correspondant à la distance entre les centres des pièces d'ouvrage W (1) de deux rangées à supporter par le premier plateau 21 (1). Le quatrième bras de transfert 31 (4) constitue une paire avec le deuxième bras de transfert 31 (2). En vue par le dessus (en vue dans la direction z), il peut être tourné symétriquement avec le deuxième bras de transfert 31 (2). Son axe de rotation est espacé de celui du deuxième bras de transfert 31 (2) d'une quantité correspondant à la distance entre les centres des pièces d'ouvrage W (2) de deux rangées à supporter par le deuxième plateau 21 (2). Le fonctionnement du système d'implantation ionique ainsi structuré 100 va être décrit ci-après en 10 référence aux figures 8 et 9. Pour faciliter l'explication, la description commence à l'état représenté sur la figure 8(i). Dans l'état représenté sur la figure 8(i), le deuxième plateau 21 (2), supportant des pièces 15 d'ouvrage de grand diamètre W (2) agencées en deux rangées, prend une posture verticale (la posture d'irradiation de faisceau susmentionnée), il se trouve dans la zone d'irradiation AR, et des faisceaux ioniques IB sont irradiés sur les pièces d'ouvrage W 20 (2). Par ailleurs, le premier plateau 21 (1) se trouve dans une première zone de livraison de pièces d'ouvrage et il attend dans la posture de livraison susmentionnée (posture horizontale). 25 Le premier bras de transfert 31 (1) supportant une rangée de pièces d'ouvrage de petit diamètre W (1) montées sur la première table de montage de pièces d'ouvrage 12 (1) tourne à un angle perpendiculaire à l'axe x et se trouve au-dessus du premier plateau 21 30 (1). Le troisième bras de transfert 31 (3) supportant une rangée de pièces d'ouvrage de petit diamètre W (1) montées sur la troisième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (3) tourne à un angle perpendiculaire à l'axe x et se trouve au-dessus du premier plateau 21 (1) en s'étendant parallèlement au premier bras de transfert 31 (1). Dans cet état, le premier plateau 21 (1), sans se déplacer, reçoit les pièces d'ouvrage W (1) du premier bras de transfert 31 (1) et du troisième bras de transfert 31 (3) presque simultanément. Après avoir transféré les pièces d'ouvrage W (1), le premier bras de transfert 31 (1) et le troisième bras de transfert 31 (3), comme cela est représenté sur la figure 8 (ii), tournent et se retirent de la première zone de livraison de pièces d'ouvrage. Ensuite, le premier plateau 21 (1) supportant deux rangées de pièces d'ouvrage W (1), comme cela est représenté sur la figure 8 (iii), prend une posture verticale d'irradiation de faisceau à laquelle il reste en attente. Lorsque l'implantation ionique dans les pièces d'ouvrage W (2) maintenues sur le deuxième plateau 21 (2) est terminée, le deuxième plateau 21 (2) coulisse vers la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2) au-delà de la ligne droite virtuelle C et il se 25 retire ainsi de la zone d'irradiation AR. Presque simultanément avec ce retrait, le premier plateau 21 (1) maintenant les pièces d'ouvrage W (1) se déplace vers la zone d'irradiation AR où commence l'irradiation de faisceaux ioniques IB dans les pièces d'ouvrage W (1). 30 Le deuxième plateau retiré 21 (2) passe de la posture d'irradiation de faisceau à la posture de livraison et attend dans la deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage. Dans cet état, comme cela est représenté sur la figure 8 (iv), le deuxième bras de transfert 31 (2) et le quatrième bras de transfert 31 (4) tournent à cette position. Le deuxième bras de transfert 31 (2) reçoit les pièces d'ouvrage W (2) de la première rangée et le quatrième bras de transfert 31 (4) reçoit les pièces d'ouvrage W (2) de la deuxième rangée en provenance du deuxième plateau 21 (2) presque simultanément. Le deuxième bras de transfert 31 (2) transfère les pièces d'ouvrage W (2) de la première rangée vers la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2) et le quatrième bras de transfert 31 (4) transfère les pièces d'ouvrage W (2) de la deuxième rangée vers la troisième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (3) respectivement. Les pièces d'ouvrage W (2) montées sur la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2) et la troisième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (3) sont transférées par le biais du deuxième mécanisme de chargement et déchargement de pièces d'ouvrage 1 (2), du deuxième mécanisme de transfert externe 5 (2) et du troisième mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (3) dans la chambre de stockage externe 4 où elles étaient initialement stockées. Ensuite, les nouvelles pièces d'ouvrage W (2) n'ayant pas subi d'implantation ionique sont transférées à partir de la chambre de stockage externe 4 par le biais du deuxième mécanisme de transfert externe 5 (2), du deuxième mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (2) et du troisième mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (3) respectivement sur la deuxième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (2) et la troisième table de montage de pièces d'ouvrage 12 (3). Le deuxième bras de transfert 31 (2) et le quatrième bras de transfert 31 (4), comme cela est représenté sur la figure 9 (v), supportent ces pièces d'ouvrage W (2), ils tournent et ils les livrent vers le deuxième plateau 21 (2) en attente dans une posture de livraison dans la deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage. Ensuite, le deuxième bras de transfert 31 (2) et le quatrième bras de transfert 31 (4), comme cela est représenté sur la figure 9 (vi), 15 tournent et se retirent de la deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage. Par ailleurs, le deuxième plateau 21 (2) supportant les pièces d'ouvrage W (2) des deux rangées, comme cela est représenté sur la figure 9 (vii), prend 20 une posture verticale d'irradiation de faisceau à laquelle il reste en attente. Lorsque l'implantation ionique dans les pièces d'ouvrage W (1) supportées sur le premier plateau 21 (1) est terminée, le premier plateau 21 (1) coulisse vers 25 la première table de montage de pièces d'ouvrage 12 (1) au-delà de la ligne droite virtuelle C et se retire ainsi de la zone d'irradiation AR. Presque simultanément avec ce retrait, le deuxième plateau 21 (2) supportant les pièces d'ouvrage W (2) se déplace 30 vers la zone d'irradiation AR où commence l'irradiation de faisceaux ioniques IB dans les pièces d'ouvrage W (2) . Le premier plateau retiré 21 (1) passe de la posture d'irradiation de faisceau à la posture de livraison et attend dans la première zone de livraison de pièces d'ouvrage. Comme cela est représenté sur la figure 9 (viii), les pièces d'ouvrage ayant subi une implantation ionique W (1) supportées sur le premier plateau 21 (1) sont retournées par le biais du premier bras de transfert 31 (1) et du troisième bras de transfert 31 (3), du premier mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (1) et du troisième mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage 1 (3), et du premier mécanisme de transfert externe 5 (1) dans la chambre de stockage externe 4 où elles étaient initialement stockées selon une procédure similaire à celle du transfert des pièces d'ouvrage ayant subi une implantation ionique W (2) dans le deuxième plateau 21 (2). Selon le système d'implantation ionique ainsi structuré 100 de ce mode de réalisation, par comparaison avec le système du premier mode de réalisation, le temps de remplacement de pièces d'ouvrage peut être davantage réduit et la capacité de traitement du système peut être davantage accrue. Cela s'explique principalement par le fait que les pièces d'ouvrage W des deux rangées peuvent être transférées en même temps par les deux bras de transfert 31 sans déplacer le plateau 21. Lorsque les pièces d'ouvrage W sont montées dans deux rangées par un seul bras de transfert 31, pendant ce temps de montage, le bras de transfert 31 doit être déplacé en va-et-vient et le plateau 21 supportant les pièces d'ouvrage d'une première rangée doit être coulissé et déplacé pour la livraison des pièces d'ouvrage W d'une deuxième rangée. Au cours de ce déplacement, le système doit attendre que les pièces d'ouvrage W puissent être fixées et maintenues par des fixations électrostatiques. Néanmoins, selon le présent mode de réalisation apte à réduire le temps d'attente, le temps de remplacement des pièces d'ouvrage peut être considérablement réduit. Puisque la troisième table de montage de pièces d'ouvrage 12 est utilisée en commun avec les pièces d'ouvrage W (1) et les pièces d'ouvrage W (2), par comparaison avec le système d'implantation ionique du premier mode de réalisation, l'encombrement est sensiblement le même. Néanmoins, l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits ci-dessus. Par exemple, des bras de transfert peuvent également être fournis à plusieurs étages verticaux sur un arbre unique. Dans le cas de deux étages, à savoir un étage supérieur et un étage inférieur, dans le premier mode de réalisation, il y a un total de quatre bras de transfert et, dans le deuxième mode de réalisation, il y a un total de huit bras de transfert. Dans ce cas, par exemple, une opération de réception des pièces d'ouvrage traitées à partir d'un plateau par l'un des bras de transfert supérieur et inférieur et de transfert de celles-ci sur une table de montage de pièces d'ouvrage et une opération de réception de pièces d'ouvrage non traitées à partir d'une table de montage de pièces d'ouvrage par l'autre des bras de transfert supérieur et inférieur et de transfert de celles-ci sur le plateau peuvent être effectuées simultanément, ce qui peut augmenter la vitesse de traitement du système. Spécifiquement, dans le cas du premier mode de réalisation, les opérations de la figure 3 (v) et de la figure 4 (viii), les opérations de la figure 4 (xi) et de la figure 3 (ii), les opérations de la figure 3 (vi) et de la figure 4 (vii) et les opérations de la figure 4 (xii) et de la figure 3 (i) peuvent respectivement être effectuées simultanément. Dans le cas du deuxième mode de réalisation, les opérations de la figure 8 (iv) et de la figure 9 (v), et les opérations de la figure 9 (viii) et de la figure 8 (i) peuvent être effectuées simultanément. Le nombre de rangées de pièces d'ouvrage à supporter par un porte-pièce d'ouvrage peut être égal à un, trois ou plus. Dans le cas où le nombre de bras de transfert (dans ce cas, le nombre de bras de transfert ayant des axes différents) est égal au nombre de rangées, comme dans le deuxième mode de réalisation, la capacité de traitement du système peut être considérablement 25 augmentée. Pour trois rangées ou plus, les hauteurs des bras de transfert peuvent être réglées différemment afin que les bras de transfert puissent tourner indépendamment. La séquence de transfert de pièces d'ouvrage n'est 30 pas limitée à celle des modes de réalisation ci-dessus et diverses séquences peuvent également être utilisées. L'agencement des pièces d'ouvrage sur le plateau peut également être en zigzag. Dans ce cas, la dimension du système dans la direction x peut être réduite. La direction de déplacement du plateau ne doit pas forcément être perpendiculaire à la direction d'irradiation de faisceau. Un mécanisme de torsion pour ajuster les angles de torsion des pièces d'ouvrage peut également être fourni et l'ajustement de torsion des pièces d'ouvrage peut être effectué avant ou après l'entrée des pièces d'ouvrage dans le sas de chargement. La structure du côté de mécanisme d'irradiation de faisceau ionique du système n'est pas limitée à une structure spécifique. Par exemple, il peut également être employé une structure comprenant un aimant d'analyse de masse pour analyser la masse d'un faisceau émis à partir d'une source ionique. Les structures du mécanisme de chargement et de déchargement de pièces d'ouvrage, du mécanisme de transfert de pièces d'ouvrage, du mécanisme de transfert intermédiaire et des éléments similaires ne sont pas limitées à celles représentées dans les modes de réalisation susmentionnés. Par exemple, il peut également être utilisé une structure de système de tapis roulant ou une structure ayant un bras articulé à plusieurs axes. Les mécanismes en paire ne doivent pas forcément être agencés symétriquement par rapport à la ligne droite virtuelle et l'un d'entre eux peut être situé dans l'une de deux zones divisées par la ligne droite virtuelle et l'autre peut être situé dans l'autre zone. L'expression « opposés l'un à l'autre » utilisée dans les revendications correspond au concept élargi susmentionné, comprenant bien entendu un agencement symétrique. Le mécanisme de transfert intermédiaire n'est pas 5 forcément nécessaire. Le porte-pièce d'ouvrage peut également être structuré de manière à transférer directement des pièces d'ouvrage transférées dans une chambre à partir d'une portion de montage de pièces d'ouvrage vers une zone d'irradiation. Dans ce cas, la 10 portion de montage de pièces d'ouvrage sert de zone de livraison de pièces d'ouvrage. La pièce d'ouvrage n'est pas limitée à une plaquette et il peut s'agir d'un substrat métallique ou d'un organe de bloc constitué d'un matériau 15 prédéterminé. La forme de la pièce d'ouvrage n'est pas limitée à une forme circulaire et il peut s'agir d'une forme rectangulaire. Le faisceau d'énergie à irradier n'est pas limité à un faisceau ionique et il peut également s'agir d'un 20 faisceau électronique, d'un faisceau quantique, d'une onde électromagnétique ou d'un élément similaire. Par exemple, l'invention peut être appliquée à un système d'irradiation de faisceau électronique, à un instrument de pulvérisation cathodique, à un système de dopage de 25 plasma et à des éléments similaires. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation abordés ci-dessus et elle peut être modifiée de diverses manières sans se départir de l'esprit de celle-ci et sans sortir du périmètre de 30 celle-ci. REVENDICATIONS1. Système d'irradiation de faisceau d'énergie (100), caractérisé en ce qu'il comprend : un mécanisme d'émission de faisceau d'énergie qui émet un faisceau d'énergie vers une zone d'irradiation 5 prédéterminée ; et un porte-pièce d'ouvrage qui transfère des pièces d'ouvrage (W) entre une zone de livraison de pièces d'ouvrage prédéterminée et la zone d'irradiation, les pièces d'ouvrage (W) étant irradiées par le faisceau 10 d'énergie, dans lequel la zone de livraison de pièces d'ouvrage comprend deux zones de livraison de pièces d'ouvrage à l'opposé l'une de l'autre par rapport à une ligne droite virtuelle traversant la zone d'irradiation 15 de faisceau d'énergie, et le porte-pièce d'ouvrage comprend : un premier porte-pièce d'ouvrage qui transfère les pièces d'ouvrage (W) entre une première zone de livraison de pièces d'ouvrage et la zone d'irradiation ; 20 et un deuxième porte-pièce d'ouvrage qui transfère les pièces d'ouvrage (W) entre une deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage et la zone d'irradiation. 25 2. Système d'irradiation de faisceau d'énergie (100) selon la revendication 1, dans lequel les premier et deuxième porte-pièces d'ouvrage sont aptes à transférer des pièces d'ouvrage (W) de tailles différentes. 3. Système d'irradiation de faisceau d'énergie (100) selon la revendication 1 ou 2, comprenant en outre : une première portion de montage de pièces d'ouvrage et une deuxième portion de montage de pièces d'ouvrage qui sont formées dans deux portions opposées l'une à l'autre par rapport à la ligne droite virtuelle ; un premier organe de transfert qui transfère des pièces d'ouvrage (W) entre la première zone de livraison de pièces d'ouvrage et la première portion de montage de pièces d'ouvrage ; et un deuxième organe de transfert qui transfère des 15 pièces d'ouvrage (W) entre la deuxième zone de livraison de pièces d'ouvrage et la deuxième portion de montage de pièces d'ouvrage. 4. Système d'irradiation de faisceau d'énergie 20 (100) selon la revendication 3, comprenant en outre : une troisième portion de montage de pièces d'ouvrage qui est formée entre la première portion de montage de pièces d'ouvrage et la deuxième portion de montage de pièces d'ouvrage ; 25 un troisième organe de transfert qui transfère des pièces d'ouvrage (W) entre la première zone de livraison de pièces d'ouvrage et la troisième portion de montage de pièces d'ouvrage ; et un quatrième organe de transfert qui transfère des 30 pièces d'ouvrage (W) entre la deuxième zone delivraison de pièces d'ouvrage et la troisième portion de montage de pièces d'ouvrage. 5. Système d'irradiation de faisceau d'énergie (100) selon la revendication 3 ou 4, dans lequel les organes de transfert respectifs sont aptes à transférer des pièces d'ouvrage (W) de tailles différentes. 6. Système d'irradiation de faisceau d'énergie (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l'un des premier et deuxième porte-pièce d'ouvrage se déplace d'une distance prédéterminée après la réception de pièces d'ouvrage (W) à partir 15 d'un organe de transfert dans la zone de livraison de pièces d'ouvrage correspondante et reçoit d'autres pièces d'ouvrage (W) à partir dudit organe de transfert pour monter plusieurs rangées de pièces d'ouvrage (W) dans une direction de déplacement. 20 7. Système d'irradiation de faisceau d'énergie (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le faisceau d'énergie est un faisceau ionique (IB) et un ion est implanté dans des pièces 25 d'ouvrage (W).