Brevet FR3006333A1 — publié le 20141205

La présente invention concerne le domaine technique des dépôts multiples de couches minces et en particulier mais non exclusivement celui des têtes de sublimation d'un élément filaire pour effectuer de tels dépôts. Il est connu que les termes « couches minces » désignent un revêtement de matériau déposé sur un substrat, et dont l'épaisseur peut varier de quelques dixièmes de nanomètres à une dizaine de microns. Un tel revêtement modifie les propriétés du substrat sur lequel il est déposé, par exemple : - pour la fabrication de composants électroniques plus ou moins isolants ou conducteurs ; - pour la protection contre l'oxydation des surfaces ; - pour la protection de surfaces de substrats, en en faisant varier les propriétés mécaniques de surface, comme par exemple la résistance à l'usure ; ou - pour modifier les propriétés optiques du substrat, qui peut, par exemple, être visualisé à l'aide d'un microscope électronique à balayage. Il existe aujourd'hui plusieurs procédés pour effectuer les dépôts de 20 couches minces, comme par exemple le revêtement galvanique, les procédés sol-gel, l'enduction centrifuge et les dépôts sous vide en phase vapeur. Les dépôts sous vide sont, notamment, effectués dans des réacteurs prévus à cet effet, qui comprennent une enceinte étanche délimitant un volume fermé, au moins une pompe à vide pour l'évacuation de gaz contenu 25 dans l'enceinte, au moins un instrument de contrôle de niveau de vide de l'enceinte maintenue à pression faible, un poste de sublimation du matériau destiné au revêtement et un suscepteur de fixation du substrat sur lequel le dépôt est destiné à être effectué. Le poste de sublimation comporte notamment une tête de sublimation d'un élément filaire maintenu entre deux 30 tiges assurant le raccordement électrique avec une source d'alimentation électrique. La source d'alimentation est pilotée pour délivrer un courant de 3006 3 3 3 2 forte intensité au travers de l'élément filaire de manière à obtenir sa sublimation au moins partielle. Pour renouveler cette opération de sublimation, il est nécessaire de mettre l'enceinte à la pression atmosphérique afin de sortir la tête de 5 sublimation pour remplacer l'élément filaire usagé par un élément filaire neuf. Une telle opération est longue et couteuse en raison, notamment, de la dépressurisation à réaliser. Il est connu de disposer plusieurs filaments en parallèle entre deux tiges conductrices, comme décrit par exemple par la demande de brevet GB 10 1 321 486, l'ensemble comprenant les tiges conductrices et les filaments tournant autour d'un axe pour uniformiser le dépôt. Cette solution ne permet pas de garantir une uniformité des dépôts, car deux filaments parallèles sont nécessairement à des positions différentes dans l'espace par rapport au substrat sur lequel le dépôt doit être effectué. 15 Un premier but de l'invention est donc de fournir une tête de sublimation d'éléments filaires qui remédie aux inconvénients présentés ci-dessus et qui permet de sublimer plusieurs éléments filaires tout en garantissant répétitivité et homogénéité des différents dépôts. Bien entendu, cette tête de sublimation doit être facile à mettre en oeuvre et facile à entretenir, notamment en nécessitant le moins d'intervention possible d'un utilisateur. A cet effet, l'objet de la présente invention est donc une tête de sublimation d'un élément filaire conducteur électrique maintenu entre au moins deux organes de préhension, ledit élément filaire étant sublimable au moins partiellement lors de la connexion électrique des organes de préhension avec un poste de sublimation, qui comporte un châssis présentant un poste de prélèvement de l'élément filaire acheminé jusqu'au dit poste à partir d'une réserve, un équipage mobile en rotation autour de son axe, équipé des au moins deux organes de préhension dudit élément filaire, lesdits organes de préhension étant positionnés sur l'équipage pour prélever l'élément filaire au niveau du poste de prélèvement, lors de la rotation de l'équipage, un système de commande par incrémentation de la rotation de l'équipage selon un sens donné de rotation pour amener de manière répétée, les organes de préhension au poste de sublimation, en passant à chaque fois au poste de prélèvement et un système d'activation ou de désactivation en préhension des organes de préhension pour activer la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension, en aval du poste de prélèvement jusqu'au poste de sublimation de l'élément filaire, et désactiver la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension, en sortie du poste de sublimation et en amont du poste de prélèvement. Avantageusement, la tête de sublimation objet de l'invention permet d'améliorer la répétitivité des dépôts de par le fait qu'elle comporte une réserve de l'élément filaire à sublimer en un seul poste de sublimation. Selon une forme préférée de réalisation, le système d'activation en préhension comprend une came, et en ce que chaque organe de préhension comporte un mors fixe monté sur l'équipage et un mors mobile par rapport à l'équipage et formant pince avec le mors fixe, le mors mobile étant prolongé par un bras de levier pour coopérer avec la came pour activer ou désactiver la préhension de l'élément filaire. Selon un exemple préféré de réalisation, le mors mobile et le mors fixe sont en liaison pivot, le pivotement des mors l'un par rapport à l'autre réalisant l'activation de la préhension lorsque les mors sont serrés et la désactivation lorsque les mors sont séparés. Selon une forme préférée de réalisation, chaque organe de préhension comporte un organe de rappel élastique qui maintient le contact entre le bras de levier et la came pour commander l'activation et la désactivation en préhension dudit organe. Selon un exemple préféré de réalisation, la came comporte un chanfrein s'étendant de part et d'autre de l'axe de l'équipage. Selon une forme particulière de réalisation, le poste de sublimation comprend deux bornes de conduction électrique avec lesquelles sont destinés à venir en contact les deux organes de préhension réalisés en un matériau conducteur électrique, les deux bornes de conduction électrique étant reliées à une source électrique pilotée pour assurer le passage d'un courant électrique dans l'élément filaire maintenu par les organes de préhension en vue d'obtenir sa sublimation au moins partielle. Selon une forme préférée de réalisation, le poste de sublimation est relié électriquement à un système de mesure électrique pour mesurer les caractéristiques conductrices de l'élément filaire maintenu entre les organes de préhension. Ceci permet avantageusement, de vérifier la présence de l'élément filaire ou d'en mesurer l'état ou le stade de sa sublimation. Selon un exemple particulier de réalisation, l'élément filaire est choisi parmi le groupe de matériaux comprenant l'or, le carbone, l'argent et l'aluminium ou un de leurs alliages. Selon un exemple avantageux de réalisation, l'élément filaire est enroulé sur une bobine formant la réserve dudit élément filaire. Selon un autre exemple particulier de réalisation, le châssis comporte une platine de fixation du type d'une porte étanche pour chambre à vide ultra élevé, le système de commande de la rotation de l'équipage comprenant un arbre, traversant ladite platine par un joint d'étanchéité du vide ultra élevé. Un deuxième but de l'invention est de fournir un réacteur pour le dépôt 20 de couches minces, ce qui permet d'économiser de l'énergie tout en limitant l'intervention d'un utilisateur. A cet effet, l'objet de la présente invention est donc un réacteur pour le dépôt de couches minces d'un matériau sur un substrat par croissance en phase vapeur comprenant une enceinte étanche délimitant un volume fermé, 25 au moins une pompe à vide pour l'évacuation de gaz contenu dans ladite enceinte, au moins un instrument de contrôle du niveau du vide de l'enceinte, un poste de sublimation dudit matériau choisi, un suscepteur qui porte le substrat sur lequel le dépôt est destiné à être effectué, qui comprend une tête de sublimation objet de l'invention montée à l'intérieur de 30 l'enceinte étanche. Un troisième but de l'invention est de mettre en oeuvre un procédé de sublimation d'un élément filaire conducteur électrique, qui soit facile à mettre en oeuvre tout en garantissant une plus grande répétitivité des dépôts que dans ce qui est connu. A cet effet, l'objet de la présente invention est donc un procédé de sublimation d'un élément filaire conducteur électrique maintenu entre au moins deux organes de préhension, ledit élément filaire étant sublimable au moins partiellement lors de la connexion électrique des organes de préhension avec un poste de sublimation, qui consiste à placer une réserve de l'élément filaire de manière à acheminer ledit élément jusqu'à un poste de prélèvement, à amener de manière répétée, les organes de préhension au poste de sublimation en passant à chaque fois au poste de prélèvement, à activer la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension qui passe devant le poste de prélèvement, à réaliser la sublimation dudit élément filaire lorsque les deux organes de préhension maintenant l'élément filaire sont au poste de sublimation et à désactiver la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension qui sort du poste de sublimation et jusqu'au poste de prélèvement. Selon un mode préféré de réalisation du procédé objet de l'invention, l'activation et la désactivation des organes de préhension sont commandées lors de la mise en rotation desdits organes autour d'un axe de rotation. Selon un mode préféré de réalisation du procédé objet de l'invention, la sublimation de l'élément filaire est mise en oeuvre lorsque les organes de préhension le maintenant sont arrêtés en une position de sublimation. Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de l'objet de l'invention : - la __.e 1 est une représentation schématique d'un réacteur pour le dépôt de couches minces d'un matériau sur un substrat par croissance en phase vapeur ; - la r_gure 2 est une vue en perspective montrant un exemple de réalisation d'une tête de sublimation objet de l'invention ; et - les figures 3 à 10 sont des vues de dessus de la tête de sublimation conformément à l'invention lors de la mise en oeuvre du procédé objet de l'invention. En se référant à la ligure 1, le réacteur A pour le dépôt de couches minces d'un matériau sur un substrat par croissance en phase vapeur, comprend : une enceinte B étanche délimitant un volume fermé, au moins une pompe à vide C pour l'évacuation de gaz contenus dans ladite enceinte B, au moins un instrument D de contrôle de niveau du vide de l'enceinte B, un suscepteur E qui porte le substrat sur lequel le dépôt est destiné à être effectué, et une tête de sublimation F, objet de l'invention. La fig.. 2 représente la tête de sublimation F, qui comporte notamment un châssis 1 comprenant une platine 2, au moyen de laquelle ladite tête de sublimation F est fixée sur l'enceinte B du réacteur A. La platine de fixation 2 est du type d'une porte étanche. Dans l'exemple illustré à la figure 2, les éléments dans la partie supérieure à la platine sont destinés, lorsque la platine est montée sur l'enceinte B, à être positionnés à l'intérieur du volume délimité par ladite enceinte B, les éléments dans la partie inférieure à la platine en figure 2 étant alors, de fait, positionnés, à l'extérieur de ladite enceinte B. En outre, la tête de sublimation F est destinée à la sublimation d'un élément filaire 4, typiquement choisi parmi le groupe de matériaux comprenant l'or, le carbone et l'aluminium ou un de leurs alliages, par exemple une tresse de fibres de carbone. L'élément filaire 4 est acheminé depuis une réserve 16 via un poste de prélèvement 14 par deux organes de 25 préhension 6 et 8 jusqu'à un poste de sublimation. Typiquement, la réserve de l'élément filaire est du type d'une bobine, fixée sur le châssis 1, qui se dévide au fur et à mesure que ledit élément filaire 4 est prélevé au niveau du poste de prélèvement 14. Tel qu'illustré à la figurn 2, le poste de prélèvement 14 comporte notamment un plot dont une extrémité est fixée 30 sur le châssis 1, alors que l'autre extrémité 15 positionne l'élément filaire dans l'espace. Pour ce faire, l'extrémité 15 est pourvue d'un alésage traversant prolongé d'un côté par un cylindre 17. L'élément filaire 4 est destiné être acheminé au travers de l'alésage de l'extrémité 15 puis au travers du cylindre 17 afin d'être prélevé par les organes de préhension 6 et 8 au niveau de la sortie libre du cylindre 17. Le poste de sublimation est constitué de deux bornes de conduction électrique 10 et 12. Ces deux bornes 10 et 12 sont fixées sur le châssis 1, en une position déterminée dite « position de sublimation » qui sera définie plus précisément dans la suite de la description. Les deux bornes de conduction électrique 10 et 12 sont reliées à une source électrique (non représentée), notamment par des moyens de conduction électrique 11 et 13 au travers de la platine 2, et de plots 9 et ; conducteurs électriques. La source électrique est pilotée pour assurer le passage d'un courant électrique entre lesdites deux bornes de conduction électrique 10 et 12. C'est la mise en contact électrique de l'élément filaire 4 entre les bornes de conduction électrique 10 et 12 du poste de sublimation, qui permet la mise en oeuvre de la sublimation. Les organes de préhension 6 et 8 sont positionnés sur un équipage 18, monté mobile en rotation sur lui-même par rapport au châssis 1 autour d'un axe de rotation. Lors de la rotation de l'équipage 18 autour de son axe, les organes de préhension 6 et 8 décrivent ainsi, chacun, une trajectoire 3 circulaire (en trait mixte fin à deux tirés sur les figures 3 à 10). Tout au long de la trajectoire qu'il décrit, chaque organe de préhension 6 ou 8 passe au niveau de chacune des bornes de conduction électrique 10 et 12, ainsi qu'au niveau du poste de prélèvement 14. C'est ainsi que chaque organe de préhension 6 ou 8 peut ainsi prélever l'élément filaire 4 au niveau de la sortie du cylindre 17 du poste de prélèvement 14. Notamment, les organes de préhension 6 ou C sont positionnés diamétralement opposés sur l'équipage 18. Dans l'exemple illustré à la t. _, l'équipage 18 est pourvu d'un arbre 7,4 en liaison pivot avec le châssis 1, qui traverse la platine 2 du châssis 1, par un joint d'étanchéité au vide ultra élevé (non représenté). Dans l'exemple illustré, l'équipage 18 comporte deux organes de préhension 6 et 8 positionnés diamétralement opposés, mais pourrait en comporter davantage, répartis autour de l'équipage 18. La tête de sublimation F comporte, de surcroit, un système de commande 19 par incrémentation de la rotation de l'équipage 8. Ce système de commande 1 permet la rotation de l'équipage 18 selon un sens de rotation donné R pour amener de manière répétée les organes de préhension 6 et 8 au poste de sublimation, notamment en position de sublimation de l'élément filaire 4, en passant à chaque fois au niveau du poste de prélèvement dT. Dans l'exemple illustré à la figu-i 7, le système de commande 19 vient en prolongement de l'arbre 24 au travers de la platine 2 du châssis 1, à l'extérieur de l'enceinte D. Ainsi, la commande en rotation de l'équipage 1 ' est commandée depuis l'extérieur de l'enceinte B soit manuellement soit à l'aide d'un moteur 30. La position du moteur 30 à l'extérieur de l'enceinte, a pour but d'optimiser la place occupée par la tête de sublimation F au sein de l'enceinte. Les deux organes de préhension 6 et 8 sont réalisés en un matériau conducteur électrique alors que l'équipage 18 est réalisé en un matériau soit isolant électriquement soit moins conducteur que le matériau constitutif des organes de préhension. De plus, tel qu'illustré aux t-Jgures 2 à 10, les organes de préhension 6 et 8 comportent chacun un contacteur électrique 61 ou 81, réalisé sous la forme d'un tenon s'étendant radialement. Ainsi, outre le passage des organes de préhension 6 et 8 au niveau du poste de prélèvement 14, la mise en rotation de l'équipage 18 permet le passage des organes en position de sublimation. En effet, en position de sublimation les tenons 61 ou 81 sont mis en contact avec les bornes de conduction électrique 10 et 12. De plus, le poste de prélèvement 14 est agencé au moyen du cylindre 17, de manière à permettre le passage des tenons 61 et 81 tout en permettant la préhension de l'élément filaire 4 par les organes de préhension 6 et 8. Dans un mode préféré de réalisation de l'invention, les bornes de conduction électrique 10 et 12 sont constituées chacune d'une lamelle conducteur électrique. Chaque lamelle comporte deux extrémités. Une première extrémité 101 ou 121 est fixée au châssis 1 par le plot 9 ou 7 respectivement, alors que l'autre extrémité 102 ou 122, extrémité libre de la lamelle forme butée de contact électrique sur la trajectoire des tenons 61 ou 81. Ainsi, lorsque le contact électrique entre les deux bornes de conduction électrique 10 et 12 et les tenons 61 ou 81 est établi, alors un circuit électrique fermé est formé. En effet, ce circuit électrique fermé est composé par la source électrique (non représentée), un moyen de conduction électrique 11 ou T au travers de la platine 2, le plot 9 ou 7 respectif, la lamelle 10 ou 12, l'élément filaire 4, l'autre lamelle 12 ou 10 respectivement, l'autre plot 7 ou 9 respectif, et l'autre moyen de conduction électrique 13 ou 11 respectivement au travers de la platine 2. Ainsi, le passage d'un courant électrique dans le circuit électrique ainsi formé permet le passage du courant dans l'élément filaire k conducteur électrique qui peut alors être sublimé. La sublimation, dont il est ici question est au moins partielle, à savoir qu'en pratique elle consiste en une rupture de l'élément filaire z . Un avantage de la liaison électrique au travers l'élément filaire conducteur électrique 4, formant le circuit électrique fermé, réside dans le fait, qu'il est possible de mesurer les caractéristiques conductrices dudit élément filaire 4. En particulier, si la mesure électrique montre une résistance infinie ou très grande par rapport à celle du circuit fermé lorsque l'élément filaire 4 est positionné entre les organes de préhension 6 et 8, alors, le circuit est ouvert, et donc, le fil est rompu, notamment suite à sa sublimation. De plus, tel qu'illustré à la figure 2, les lamelles 12 et 10 étant métalliques, elles présentent des caractéristiques mécaniques particulièrement élastiques et sont donc adaptées pour s'escamoter en se courbant lorsque les organes de préhension C et 7., continuent leur trajectoire au-delà de la position de sublimation. Dans un autre mode de réalisation, les lamelles 12 et 10 sont remplacées par un pion commandé pour former butée de contact électrique ou pour s'escamoter ou s'effacer de manière à laisser passer le tenon. Les plots et J permettent, notamment, de régler la hauteur des lamelles 12 et 10 et donc le couple nécessaire pour faire pivoter l'extrémité libre de la lamelle 122 et 102. De plus, la tête de sublimation F comporte un système 20 d'activation ou de désactivation en préhension des organes de préhension 6 et 8. Dans l'exemple illustré à la figure 2, chaque organe de préhension ou 8 comporte un mors fixe 26 respectivement 26, monté fixe sur l'équipage 18 5 et un mors mobile 6 ou 38, monté mobile par rapport à l'équipage 18 formant pince avec le mors fixe respectif. De plus, chaque mors mobile 36 ou 3_D est prolongé par un bras de levier (celui de l'organe de préhension 6 n'est pas représenté sur la figur.J 2) ou respectivement destiné à coopérer avec le système 20 d'activation ou de désactivation. Chaque 10 organe de préhension 6 ou 8 comporte, en outre, un organe de rappel élastique 58 (celui de l'organe de préhension 6 n'est pas représenté sur la figure 2), tel qu'un ressort. Une extrémité du ressort est liée au bras de levier 41_, et l'autre extrémité est liée au mors fixe 28. L'organe de rappel élastique Fe- permet ainsi de maintenir les mors serrés, lorsque le bras de 15 levier 8 n'est pas soumis à une autre force. En effet, aux1 ires 2 à 10, le système 20 d'activation ou désactivation comprend une came 22. Cette came 27 est fixée sur le châssis 1 de telle sorte à rencontrer les bras de levier 46 ou 48 au cours du déplacement de chaque organe de préhension 6 ou 8. 20 La came 22 comporte une forme générale d'une pastille positionnée autour de l'équipage mobile et comprend une marche 23 qui se trouve située sur la trajectoire J du bras de levier 46 ou 48 des organes de préhension 6 ou 8. Avant qu'il y ait contact entre la marche et le bras de levier, le ressort permet de maintenir les mors, de chaque organe de 25 préhension, serrés. Ainsi, lorsque le bras de levier 46 ou J vient en contact avec la marche 23, le mors mobile 36 ou 38, par effet de levier, s'écarte du mors fixe 26 ou 28. Ladite marche 23 se trouve, selon le sens R de rotation des organes de préhension, positionnée en amont du poste de prélèvement . En conséquence, puisque le bras de levier vient en contact avec la 30 marche 23, les deux mors sont séparés en amont du poste de prélèvement 14. Lorsque les deux mors 26 ou 28, et, 36 ou 38 respectivement sont ainsi séparés, ils ne maintiennent pas l'élément filaire : la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension est donc désactivée. A partir du poste de prélèvement 14, dans le sens de rotation des organes de préhension, la came 22 est interrompue pour permettre de libérer le bras de levier 46 ou 48. Alors le bras de levier, sous l'effet de de rappel élastique, rapproche les deux mors jusqu'à ce qu'ils soient serrés. C'est l'activation de la préhension de l'élément filaire : par un organe de préhension. La tête de sublimation F, décrite ci-dessus, permet de mettre en oeuvre un procédé nouveau et original de sublimation de l'élément filaire 4. Un tel procédé consiste à effectuer la sublimation de l'élément filaire 4 en un seul poste de sublimation, tout en remplaçant automatiquement l'élément filaire 4 dans le poste de sublimation après chaque sublimation. Les fil pur ...s :d à 10 représentent des vues de dessus de la tête de sublimation, 15 sur laquelle sont, notamment, représentés : la came 22, les organes de préhension 6 et 8 sur l'équipage 18, ainsi que les tenons 61 et 81, leur trajectoire 3 ainsi que le sens de rotation R, les bornes de conduction électrique 10 et 12 du poste de sublimation et le poste de prélèvement 14 de l'élément filaire 4 (représenté en trait mixte). 20 Préalablement à l'initialisation du procédé à proprement parlé, il convient d'installer ou positionner la réserve 16 de l'élément filaire 4 sur le châssis 1, et de mettre en place l'élément filaire 4 dans le poste de prélèvement 14. L'élément filaire 4 traverse alors le cylindre 17 de telle sorte à être positionné sur la trajectoire 3 des organes de préhension 6 ou 8. 25 La partie de la trajectoire des organes de préhension comprise, dans le sens R de rotation de l'équipage 12,, entre le poste de sublimation et le poste de prélèvement est mentionnée ci-dessous « en amont du poste de prélèvement ». La partie de la trajectoire des organes de préhension comprise, dans le sens R de rotation de l'équipage 18, entre le poste de 30 prélèvement 14 et le poste de sublimation est mentionnée ci-dessous « en aval du poste de prélèvement ». Tel qu'illustré aux F7---u; 3 à 10, la marche 23 la came 22 est positionnée en amont du poste de prélèvement et la came 22 s'interpose au niveau de du poste de prélèvement 14. De cette manière, la pince des organes de préhension 6 ou 8 est ouverte en amont du poste de prélèvement 14, et se ferme au passage devant ledit poste de prélèvement 14. L'équipage mobile 18 est commandé en rotation dans le sens de rotation R. Dans la position illustrée à la Figur_J le bras de levier du premier organe de préhension 6 est en contact avec la marche 23 de la came 22, la pince du premier organe de préhension 6 est alors ouverte. L'élément filaire 4 est positionné sur la trajectoire de la pince du premier organe de préhension 6. De plus, le tenon 61 du premier organe de préhension passe sous le cylindre 17. Tel qu'illustré à la Fire ", dès que l'organe de préhension 6 se trouve en aval du poste de prélèvement 7, notamment dès que le bras de levier du premier organe de préhension 6 n'est plus contraint par la marche 2? de la came 22 alors la pince se ferme sur l'élément filaire 4 : c'est la préhension de l'élément filaire 4 par le premier organe de préhension 6. Tel qu'illustré aux Egurzs r. et 6, une fois que l'élément filaire 4 a été saisi par l'organe de préhension 6 alors celui-ci l'entraine en le déroulant de la bobine 16, compte tenu de la rotation de l'équipage mobile 18. De plus, pendant que l'organe de préhension 6 déroule l'élément filaire 4 le bras de levier 48 du deuxième organe de préhension 8 entre en contact avec la marche 23 de telle sorte que la pince du deuxième organe de préhension 8 s'ouvre. A la figure f, nonobstant le fait que les tenons 61 et 81 sont en contact avec les bornes de conduction électrique 10 et 1'1, il n'y pas de sublimation, car l'élément filaire 4 n'est pas maintenu entre les deux pinces. Tel qu'illustré à la ire 7, au fur et à mesure que l'équipage 18 tourne autour de son axe, l'élément filaire 4 maintenu par la pince du premier organe de préhension 6 se déroule de la bobine au travers du cylindre 17. Ainsi, l'élément filaire se positionne automatiquement sur la trajectoire 3 de la pince du deuxième organe de préhension 8. Tel que représenté à la fT,e L, après que le bras de levier 48 du deuxième organe de préhension 8 a perdu contact avec la marche 23 de la came 77, les mors de sa pince se sont resserrés sur l'élément filaire 4. Ensuite, les tenons 61 et 8i viennent en contact avec les bornes de conduction électriques 10 et 12. Dans cette position, la rotation de l'équipage 1.7., est de préférence arrêtée, de telle sorte que la sublimation de l'élément filaire 4 peut avoir lieu par le passage du courant dans le circuit électrique fermé ainsi formé. Une fois que la sublimation a eu lieu, alors l'élément filaire 4 est rompu en deux parties : l'une étant un brin d'élément filaire résiduel ou chute et l'autre étant formé de l'élément filaire 4 restant dans la bobine 16. Suite à la sublimation, tel qu'illustré à la 1 ure 9, lorsque l'équipage 18 continue de tourner dans le sens de rotation R, comme le deuxième organe de préhension 8 maintient l'élément filaire 4, ce dernier se déroule 15 de la bobine 16. De plus, dès que le bras de levier 46 du premier organe de préhension 6 vient en contact de la marche 23 alors sa pince s'ouvre, libérant ainsi le brin d'élément filaire résiduel : c'est la désactivation de la préhension de l'élément filaire 4 par le premier organe de préhension 6. Ainsi, en poursuivant la rotation de l'équipage 18 sur son axe de 20 rotation, le premier organe 6 saisit à nouveau l'élément filaire 4 en aval du poste de prélèvement 14. Dès lors que le premier organe de préhension 6 et le deuxième organe de préhension 8 sont en position de sublimation, alors la sublimation de l'élément filaire 4 peut être effectuée (figure 10). Selon le procédé, il suffit ensuite de manière répétée, d'amener les 25 premier et deuxième organes de préhension 6 et 8 au poste de sublimation en passant à chaque fois au poste de prélèvement 14, en activant à chaque fois la préhension de l'élément filaire 4, de réaliser la sublimation lorsque les deux organes de préhension maintiennent l'élément filaire et sont en position de sublimation, et enfin de désactiver la préhension de l'élément filaire 30 résiduel par l'organe de préhension 6 ou 8 lorsque ce dernier sort du poste de sublimation. REVENDICATIONS1. Tête de sublimation (F) d'un élément filaire (4) conducteur électrique maintenu entre au moins deux organes de préhension (6, 8), ledit élément filaire (4) étant sublimable au moins partiellement lors de la connexion électrique des organes de préhension (6,8) avec un poste de sublimation, caractérisée en ce que la tête de sublimation (F) comporte : - un châssis (1) présentant un poste de prélèvement (1g) de l'élément filaire (4) acheminé jusqu'au dit poste de prélèvement (14) à partir d'une réserve (16), un équipage ( ) mobile en rotation autour de son axe, équipé des au moins deux organes (6, 8) de préhension dudit élément filaire (4), lesdits organes de préhension (r, -,) étant positionnés sur l'équipage (18) pour prélever l'élément filaire (4) au niveau du poste de prélèvement (14), lors de la rotation de l'équipage (18), un système de commande (19) par incrémentation de la rotation de l'équipage (18) selon un sens donné de rotation (R) pour amener de manière répétée, les organes de préhension (6, -) au poste de sublimation, en passant à chaque fois au poste de prélèvement (14) et - un système d'activation ou de désactivation en préhension des organes de préhension (o, 8) pour : - activer la préhension de l'élément filaire (4) par l'organe de préhension, en aval du poste de prélèvement jusqu'au poste de sublimation de l'élément filaire (4), et - désactiver la préhension de l'élément filaire (4) par l'organe de préhension, en sortie du poste de sublimation et en amont du poste de prélèvement. 2 - Tête de sublimation (F) selon la revendication 1, caractérisée en ce que le système d'activation en préhension comprend une came (22), et en ce que chaque organe de préhension (1_, comporte un mors fixe (26, 28) monté sur l'équipage (18) et un mors mobile (76, 3F) par rapport à l'équipage (18) et formant pince avec le mors fixe (26, 28), le mors mobile(.° 2, 7) étant prolongé par un bras de levier ) pour coopérer avec la came (22) pour activer ou désactiver la préhension de l'élément filaire (4). 3 - Tête de sublimation (F) selon la revendication 2, caractérisée en ce que le mors mobile (36, 38) et le mors fixe (26, 28) sont en liaison pivot, le pivotement des mors l'un par rapport à l'autre réalisant l'activation de la préhension lorsque les mors sont serrés et la désactivation lorsque les mors sont séparés. 4 - Tête de sublimation (F) selon la revendication 2 ou 3, caractérisée en ce que chaque organe de préhension (6, 8) comporte un organe de rappel 10 élastique (58) pour commander l'activation en préhension dudit organe. 5 - Tête de sublimation (F) selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisée en ce que la came (22) comporte un chanfrein s'étendant de part et d'autre de l'axe de l'équipage (18). 6 - Tête de sublimation (F) selon l'une des revendications 1 à 5, 15 caractérisée en ce que le poste de sublimation comprend deux bornes de conduction électrique (12, 10) avec lesquelles sont destinés à venir en contact les deux organes de préhension (7), L) réalisés en un matériau conducteur électrique, les deux bornes de conduction électrique étant reliées à une source électrique pilotée pour assurer le passage d'un courant 20 électrique dans l'élément filaire (4) maintenu par les organes de préhension (I, F) en vue d'obtenir sa sublimation au moins partielle. 7 - Tête de sublimation (F) selon la revendication 6, caractérisée en ce que le poste de sublimation est relié électriquement à un système de mesure électrique pour mesurer les caractéristiques conductrices de l'élément filaire 25 maintenu entre les organes de préhension. 8 - Tête de sublimation (F) selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que l'élément filaire (4) est choisi parmi le groupe de matériaux comprenant l'or, le carbone, l'argent et l'aluminium ou un de leurs alliages. 30 9 - Tête de sublimation (F) selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que l'élément filaire (iT) est enroulé sur une bobine formant la réserve (16) dudit élément filaire (4). 10 - Tête de sublimation (16) selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisée en ce que le châssis (1) compote une platine (2) de fixation du type d'une porte étanche pour chambre à vide ultra élevé, le système de commande de la rotation (30) de l'équipage comprenant un arbre (24), traversant ladite platine (2) par un joint d'étanchéité du vide ultra élevé. 11 - Réacteur (A) pour le dépôt de couches minces d'un matériau sur un substrat par croissance en phase vapeur comprenant : une enceinte (' ) étanche délimitant en volume fermé, - au moins une pompe à vide (C) pour l'évacuation de gaz contenu dans ladite enceinte (B), au moins un instrument (D) de contrôle du niveau du vide de l'enceinte (B), - un suscepteur (E) qui porte le substrat sur lequel le dépôt est destiné à être effectué, caractérisé en ce qu'il comprend une tête de sublimation (F) selon l'une des revendications 1 à 10 montée à l'intérieur l'enceinte (B). 12 - Procédé de sublimation d'un élément filaire (14) conducteur électrique maintenu entre au moins deux organes de préhension (6, j, ledit élément filaire (4) étant sublimable au moins partiellement lors de la connexion électrique des organes de préhension (1, ;) avec un poste de sublimation, caractérisé en ce qu'il consiste : à placer une réserve (16) de l'élément filaire (4) de manière à acheminer ledit élément jusqu'à un poste de prélèvement (14), - à amener de manière répétée, les organes de préhension (- ) au poste de sublimation en passant à chaque fois au poste de prélèvement (14), - à activer la préhension de l'élément filaire (4) par l'organe de préhension (F, 8) qui passe devant le poste de prélèvement (14), à réaliser la sublimation dudit élément filaire (4) lorsque les deux organes de préhension maintenant l'élément filaire sont au poste de sublimation età désactiver la préhension de l'élément filaire par l'organe de préhension qui sort du poste de sublimation et jusqu'au poste de prélèvement (4 ). 13 - Procédé de sublimation d'un élément filaire selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'activation et la désactivation des organes de préhension (6, 8) sont commandées lors de la mise en rotation desdits organes autour d'un axe de rotation. 14 - Procédé de sublimation d'un élément filaire selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que la sublimation de l'élément filaire est mise 10 en oeuvre lorsque les organes de préhension le maintenant sont arrêtés en une position de sublimation.