Brevet FR3009629A1 — publié le 20150213

Procédé de réalisation d'un filtre optique multicouches épais au sein d'un circuit intégré, et circuit intégré comprenant un filtre optique multicouches épais L'invention concerne la formation d'empilements de matériaux différents, en particulier pour la formation de filtres optiques multicouches destinés à filtrer, c'est-à-dire laisser passer, différents rayonnements lumineux du domaine visible ou infrarouge, et qui sont utilisés dans des dispositifs imageurs. Les dispositifs imageurs comprennent généralement un ensemble de pixels ayant chacun une zone photosensible semiconductrice disposée sous un filtre optique intégré au sein du dispositif imageur, par exemple un filtre coloré. On pourra notamment utiliser des groupes de pixels avec des filtres rouges, verts et bleus, par exemple de manière à former des motifs de Bayer bien connus de l'homme du métier. Les filtres optiques destinés à ne laisser passer qu'une seule couleur comprennent généralement un filtre de résine colorée par des pigments. Ces filtres ont pour inconvénient de ne pas être suffisamment robustes et de ne pas être suffisamment sélectifs par rapport à certains rayonnements, notamment les rayonnements infrarouge. Il a donc été proposé des alternatives aux résines pigmentées. On connaît également des filtres optiques multicouches, parfois appelés résonants, pour filtrer un rayonnement. Ces filtres optiques multicouches comprennent une couche d'un matériau diélectrique généralement disposée entre deux couches métalliques pour former des filtres. L'épaisseur et les caractéristiques optiques de cette couche diélectrique déterminent notamment la fréquence de résonance du résonateur et elles déterminent ainsi la longueur d'onde des photons qui peuvent atteindre une zone photosensible disposée sous le filtre. Ces filtres multicouches peuvent être des filtres destinés à laisser passer les couleurs visibles ou encore les rayonnements infrarouges. Ils peuvent notamment être disposés au dessus de dispositifs imageurs tels que des photodiodes à avalanche déclenchées par un photon individuel (« Single Photon Avalanche Diode » en langue anglaise). On pourra se référer au document WO 2008/012235 qui décrit un dispositif imageur comportant des filtres multicouches métal/diélectrique formés au dessus d'une partie d'interconnexion d'un circuit intégré, au dessus de zones photosensibles. Cette partie d'interconnexion est couramment désignée par l'acronyme anglo-saxon de « BEOL : Back End Of Line ». Les filtres multicouches décrits dans ce document ont pour inconvénient d'avoir une transmission au voisinage de la longueur d'onde à laisser passer pas assez importante. Ces filtres multicouches ont également pour inconvénient de présenter une réjection pas assez forte des longueurs que l'on souhaite bloquer. Selon un mode de mise en oeuvre et de réalisation, il est proposé un procédé de réalisation d'un filtre optique multicouches, et d'un circuit intégré comprenant un filtre optique multicouches, le filtre optique ayant une transmission au voisinage de longueur d'onde à laisser passer améliorée, et une réjection importante pour les autres longueurs d'onde. Selon un aspect, il est proposé un procédé de réalisation d'un filtre optique multicouches au sein d'un circuit intégré comprenant un substrat et une partie d'interconnexion. Selon une caractéristique générale de cet aspect, la réalisation du filtre optique comprend une formation d'une première partie de filtre à l'intérieur de la partie d'interconnexion au dessus d'une zone photosensible située dans le substrat, et une formation d'une deuxième partie de filtre au dessus de la première partie de filtre et de la partie d'interconnexion. Contrairement aux filtres selon l'art antérieur, ici, une partie du filtre est enfouie dans la partie d'interconnexion. On peut ainsi former un filtre ayant une épaisseur totale plus importante, et en particulier une épaisseur de cavité résonante plus importante, ce qui permet d'améliorer les propriétés optiques du filtre. Les inventeurs ont observé qu'en augmentant l'épaisseur des filtres optique multicouches, en particulier l'épaisseur séparant les deux les couches métalliques d'un filtre, on améliore les propriétés optiques de ce filtre. En outre, les inventeurs ont observé qu'il était particulièrement intéressant de placer l'une des couches métalliques dans la partie d'interconnexion pour augmenter l'épaisseur totale du filtre, sans augmenter l'épaisseur du filtre au dessus de la partie d'interconnexion. En effet cette épaisseur au-dessus de la partie d'interconnexion est généralement limitée par l'épaisseur de résine photosensible nécessaire à la gravure du filtre, et également par la taille des pixels. La formation de la première partie de filtre peut comprendre : - une formation d'une région inférieure de la partie d'interconnexion au dessus de la zone photosensible, et - une formation d'une couche métallique inférieure de filtre optique au-dessus de la région inférieure d'interconnexion et de la zone photosensible. La formation de la deuxième partie de filtre peut comprendre : - une formation d'une région supérieure de la partie d'interconnexion au-dessus de la couche métallique inférieure de filtre optique et de la région inférieure d'interconnexion, et -une formation d'une couche métallique supérieure de filtre optique au-dessus de la région supérieure d'interconnexion et de la couche métallique inférieure de filtre optique. En formant la couche métallique inférieure, qui forme la première partie de filtre, au dessus d'une faible épaisseur de région inférieure d'interconnexion, et en formant la couche métallique supérieure, qui forme la deuxième partie de filtre, au dessus d'une épaisseur importante de région supérieure d'interconnexion, on peut espacer les deux couches métalliques. La formation de la première partie de filtre et la formation de la deuxième partie de filtre peuvent comprendre une formation d'une couche de cuivre entre deux couches de nitrure de silicium. On obtient ainsi un filtre qui utilise des matériaux généralement utilisés pour la fabrication des circuits intégrés. On peut former la deuxième partie de filtre espacée verticalement de la première partie de filtre par une épaisseur optique de partie d'interconnexion comprise entre 0.4 et 3 fois ou entre 1 et 3 fois la longueur d'onde à filtrer dans le vide. L'épaisseur optique correspond à la valeur du produit de l'épaisseur et de l'indice de réfraction On peut former la deuxième partie de filtre en formant un empilement de couches ayant une hauteur totale au dessus de la région supérieure d'interconnexion comprise par exemple entre 1000 et 1500 nanomètres. Selon un autre aspect, il est proposé un circuit intégré comprenant un substrat, une partie d'interconnexion et un filtre optique multicouches, caractérisé en ce que le filtre optique multicouches comprend une première partie de filtre à l'intérieur de la partie d'interconnexion au dessus d'une zone photosensible située dans le substrat, et une deuxième partie de filtre au dessus de la première partie de filtre et de la partie d'interconnexion. La partie d'interconnexion peut comprendre une région inférieure d'interconnexion et une région supérieure d'interconnexion au dessus de la région inférieure d'interconnexion, la première partie de filtre comprenant une couche métallique inférieure au dessus de la zone photosensible et de la région inférieure d'interconnexion, et la deuxième partie de filtre peut comprendre une couche métallique supérieure au dessus de la région supérieure de filtre et de la couche métallique inférieure de filtre. La première et la deuxième partie de filtre peuvent comprendre au moins une couche métallique. La première et la deuxième partie de filtre comprennent une couche de cuivre entre deux couches de nitrure de silicium. La deuxième partie de filtre peut être espacée verticalement de la première partie de filtre par une épaisseur optique de partie d'interconnexion comprise entre 0.4 et 3 fois ou entre 1 et 3 fois la longueur d'onde à filtrer dans le vide. La deuxième partie de filtre peut former un empilement de couches ayant une hauteur totale au dessus de la région supérieure d'interconnexion comprise entre 1000 et 1500 nanomètres. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à l'étude de la description détaillée de modes de mise en oeuvre et de réalisation, pris à titre d'exemple non limitatifs et illustrés par les dessins annexés sur lesquels : - les figures 1 à 4 illustrent différentes étapes d'un mode de mise en oeuvre d'un procédé de formation d'un filtre au sein d'un circuit intégré. Sur la figure 1, on a représenté un circuit intégré CI comprenant un substrat SUB dans lequel on a formé une zone photosensible ZP, par exemple une zone photosensible ZP de photodiode à avalanche déclenchée par un photon individuel. On a également formé un transistor TR ainsi qu'un ensemble de lignes métalliques LM reliées par des vias VI et connectées au substrat SUB par des contacts CT. Sur la figure 1, on a représenté trois par niveaux de métallisation comportant des lignes métalliques LM. Les niveaux de métallisation sont séparés par des couches de nitrure de silicium CNS (Si3N4) qui s'étendent dans les parties comprenant des lignes métalliques LM, mais pas au dessus de la zone photosensible ZP. Les lignes métalliques LM sont formées dans une région isolante RISA, par exemple en dioxyde de silicium (5i02). L'ensemble formé par cette région isolante RISA et par les lignes métalliques LM reliées par des vias VI forme une région inférieure d'interconnexion ITCI. Cette région inférieure d'interconnexion ITCI n'est pas une région d'interconnexion complète, comme décrit ci-après, au moins un autre niveau de métallisation sera formé au sein du circuit intégré CI. Comme illustré sur la figure 2, on peut former une première partie de filtre optique FL1 au-dessus de la région inférieure d'interconnexion ITCI. Cette première partie de filtre optique comprend par exemple une couche métallique en cuivre ELMI disposée entre deux couches de nitrure de silicium CNF. La formation de la première partie de filtre FL1 peut comprendre plusieurs étapes de dépôt, suivie par des étapes de gravure destinées à graver les couches de nitrure de silicium CNF et la couche métallique ELMI. Sur la figure 3, on a représenté le circuit intégré CI après la formation d'une région supérieure d'interconnexion ITCS au-dessus de la région d'interconnexion ITCI et de la première partie de filtre FL1. On peut ainsi former un dernier niveau de métallisation, par exemple comprenant des zones accessibles pour la connexion du circuit intégré CI. On a également formé différentes couches au dessus de la région isolante RISA, ici une couche isolante supplémentaire RISB, pouvant comprendre du dioxyde de silicium dopé au phosphore (« PSG »), une couche isolante supplémentaire RISC, pouvant comprendre du nitrure de silicium, et enfin une couche fine de nitrure de silicium ADH pour favoriser l'adhérence de métaux. On peut noter que l'épaisseur optique el de la région supérieure d'interconnexion ITCS située au dessus de la première partie de filtre FL1 est comprise entre 0.4 et 3 fois la longueur d'onde à filtrer dans le vide, ou entre 1 et 3 fois la longueur d'onde à filtrer dans le vide. On peut ensuite former la deuxième partie de filtre FL2 (figure 4) au dessus de la région supérieure d'interconnexion ITCS et également au dessus de la première partie de filtre FL1. A cet effet, on peut former une couche métallique supérieure ELMS au sein d'un empilement de couches comprenant en outre des couches de dioxyde de silicium OXF et de nitrure de silicium CNF. La première partie de filtre FL1 et la deuxième partie de filtre FL2 forment un filtre optique multicouches. A titre indicatif, l'épaisseur e2 de la deuxième partie de filtre peut être comprise entre 1000 et 1500 nanomètres. Ces épaisseurs correspondent aux épaisseurs maximales autorisées pour les filtres selon l'art antérieur réalisés intégralement au dessus des parties d'interconnexion. Ici, l'épaisseur totale du filtre est beaucoup plus importante puisque le filtre s'étend entre le milieu de la partie d'interconnexion et le haut de la deuxième partie de filtre FL2. On peut noter que pour un filtre destiné à laisser passer les longueurs d'ondes situées dans la bande allant de 850 à 880 nanomètres, on obtient avec les filtres obtenus selon un aspect de l'invention une augmentation de la transmission pouvant atteindre 10%. Aussi, on obtient au voisinage de 800 nanomètres une baisse de la transmission de quelques pourcents. Aussi, alors que dans l'art antérieur on forme deux couches de cuivre au dessus de la partie d'interconnexion dans un même empilement, on ne forme ici qu'une couche de cuivre au dessus de cette partie d'interconnexion. On n'obtient ainsi aucune sur-gravure de la couche de cuivre la plus haute du filtre, alors que tel est le cas pour les filtres selon l'art antérieur lorsque l'on délimite la couche la plus basse par gravure. Selon un aspect de l'invention, on obtient une amélioration des propriétés optiques des filtres multicouches. REVENDICATIONS1. Procédé de réalisation d'un filtre optique multicouches au sein d'un circuit intégré comprenant un substrat et une partie d'interconnexion (ITCI, ITCS), caractérisé en ce que la réalisation du filtre optique comprend une formation d'une première partie de filtre (FL1) à l'intérieur de la partie d'interconnexion au dessus d'une zone photosensible située dans le substrat, et une formation d'une deuxième partie de filtre (FL2) au dessus de la première partie de filtre et de la partie d'interconnexion. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la formation de la première partie de filtre comprend : - une formation d'une région inférieure (ITCI) de la partie d'interconnexion au dessus de la zone photosensible, et - une formation d'une couche métallique inférieure de filtre (ELMI) optique au-dessus de la région inférieure d'interconnexion et de la zone photosensible, la formation de la deuxième partie comprenant : - une formation d'une région supérieure (ITCS) de la partie d'interconnexion au-dessus de la couche métallique inférieure de filtre optique et de la région inférieure d'interconnexion, et -une formation d'une couche métallique supérieure (ELMS) de filtre optique au-dessus de la région supérieure d'interconnexion et de la couche métallique inférieure de filtre optique. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la formation de la première partie de filtre et la formation de la deuxième partie de filtre comprennent une formation d'une couche de cuivre entre deux couches de nitrure de silicium. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel on forme la deuxième partie de filtre espacée verticalement de la première partie de filtre par une épaisseur optique (el) de partie d'interconnexion comprise entre 0.4 et 3 fois ou entre 1 et 3 fois la longueur d'onde à filtrer dans le vide. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel on forme la deuxième partie de filtre en formant un empilement de couches ayant une hauteur (e2) totale au dessus de la région supérieure d'interconnexion comprise entre 1000 et 1500 nanomètres. 6. Circuit intégré comprenant un substrat, une partie d'interconnexion (ITCI, ITCS) et un filtre optique multicouches, caractérisé en ce que le filtre optique multicouches comprend une première partie de filtre (FL1) à l'intérieur de la partie d'interconnexion au dessus d'une zone photosensible située dans le substrat, et une deuxième partie de filtre (FL2) au dessus de la première partie de filtre et de la partie d'interconnexion. 7. Circuit intégré selon la revendication 6, dans lequel la partie d'interconnexion comprend une région inférieure d'interconnexion (ITCI) et une région supérieure d'interconnexion (ITCS) au dessus de la région inférieure d'interconnexion, la première partie de filtre comprenant une couche métallique inférieure (ELMI) au dessus de la zone photosensible et de la région inférieure d'interconnexion, et la deuxième partie de filtre comprend une couche métallique supérieure (ELMS) au dessus de la région supérieure de filtre et de la couche métallique inférieure de filtre. 8. Circuit intégré selon la revendication 7, dans lequel la première et la deuxième partie de filtre comprennent une couche de cuivre entre deux couches de nitrure de silicium. 9. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 6 à 8, dans lequel la deuxième partie de filtre est espacée verticalement de la première partie de filtre par une épaisseur optique (el) de partie d'interconnexion comprise entre 0.4 et 3 fois ou entre 1 et 3 fois la longueur d'onde à filtrer dans le vide. 10. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, dans lequel la deuxième partie de filtre forme un empilement de couches ayant une hauteur (e2) totale au dessus de la région supérieure d'interconnexion comprise entre 1000 et 1500 nanomètres.