Brevet FR3002695A1 — publié le 20140829

PROCEDE DE FABRICATION D'UNE BATTERIE MONOLITHIQUE ENTIEREMENT SOLIDE Domaine de l'invention La présente invention se rapporte au domaine des batteries et notamment des batteries à ions de lithium. Elle concerne plus particulièrement les batteries à ions de lithium (« batteries Li-ion ») entièrement solides, et un nouveau procédé de fabrication de telles batteries. Etat de la technique Les modes de fabrication des batteries à ions de lithium (« batteries Li-ion ») sont présentés dans de nombreux articles et brevets, et l'ouvrage « Advances in Lithium-Ion Batteries » (ed. W. van Schalkwijk et B. Scrosati), paru en 2002 (Kluever Academic / Plenum Publishers) en donne un bon état des lieux. Les électrodes des batteries Li-ion peuvent être fabriquées à l'aide de techniques d'impression ou de dépôt connues de l'homme du métier (notamment : enduction au rouleau (« roll coating »), racle (« doctor blade »), « tape casting »). Ces techniques permettent de réaliser des électrodes d'épaisseur comprise entre 50 et 400 pm. En fonction de l'épaisseur de l'électrode, de sa porosité et de la taille des particules des matériaux actifs, la puissance et l'énergie de la batterie peuvent être modulées. Plus récemment, d'autres architectures de batteries Li-ion sont apparues. Il s'agit principalement des microbatteries en couches minces, entièrement solides. Ces microbatteries sont d'architectures planaires, c'est-à-dire qu'elles sont essentiellement constituées d'un ensemble de trois couches formant une cellule élémentaire de batterie : une couche d'anode et une couche de cathode séparées par une couche d'électrolyte. Ces batteries sont dites « entièrement solide » ou « tout-solide » car les deux électrodes (anode et cathode) et l'électrolyte sont constitués de matériaux solides non poreux. Ces batteries présentent un intérêt important de par leurs performances supérieures à celles des batteries conventionnelles à base d'électrolyte comprenant des sels de lithium dissous dans un solvant aprotique (électrolyte liquide ou sous forme de gel). L'absence d'électrolyte liquide réduit considérablement les risques de court-circuit interne et d'emballement thermique dans la batterie. Différentes techniques de dépôt sous vide ont été utilisées pour la fabrication de microbatteries en couches minces. En particulier, le dépôt physique par voie vapeur (PVD) est la technologie la plus utilisée actuellement pour la fabrication de ces microbatteries en couches minces. Cette technique permet de réaliser des couches d'électrodes et d'électrolyte de bonne qualité, sans porosité. Ces couches sont généralement de faible épaisseur (généralement inférieure à 5 pm) afin de ne pas induire une trop grande perte de puissance liée à un accroissement des épaisseurs des électrodes. De nombreuses approches ont été proposées afin de réaliser des assemblages de batteries entièrement solides. En général, ces approches sont basées uniquement sur la compaction mécanique à forte pression de poudres de matériaux d'électrodes et d'électrolyte (Journal of Power Sources, 2009, 189, 145-148, H. Kitaura). Néanmoins, les couches d'électrodes et d'électrolyte obtenues sont poreuses et l'adhésion entre ces dernières n'est pas optimale si bien que la résistance interne de ces batteries est trop élevée et ne permet pas de délivrer une forte puissance. Afin d'améliorer les performances des batteries entièrement solides, plusieurs techniques de frittage ont été utilisées, soit en utilisant des traitements thermiques (Journal of Power Sources, 2007, 174, K. Nagata) soit par courant pulsé (Material Research Bulletin, 2008, X. Xu). Cependant, le frittage donne lieu à un rétreint important et/ou à l'utilisation d'une température élevée. Par conséquent, il n'est pas possible de réaliser le dépôt d'électrode entièrement solide sur des substrats conducteurs métalliques, et plus particulièrement des substrats en aluminium. En effet, une température trop élevée oxyderait ou détériorerait fortement le substrat métallique. De plus, la couche déposée sur le substrat conduirait à l'apparition de fissures lors du frittage. Ces inconvénients imposent que les collecteurs de courant doivent être déposés sur les extrémités de la cellule de la batterie constituée d'un empilement cathode/électrolyte/anode. Par conséquent, la restriction liée au dépôt des collecteurs de courant ne permet pas de réaliser un assemblage d'une batterie tridimensionnelle, entièrement solide, à corps monolithique, constituée de plusieurs cellules élémentaires. La présente invention a donc pour but de fabriquer une batterie Li-ion entièrement solide à corps monolithique, le corps monolithique étant constitué de plusieurs cellules élémentaires, en réalisant des dépôts denses d'électrodes directement sur les deux faces d'un substrat servant de collecteur de courant de batterie, et en déposant une couche dense entièrement solide d'électrolyte sur au moins un des dépôts d'électrodes denses obtenus. Objets de l'invention La présente invention a pour objet un procédé de fabrication de batteries entièrement solides, lesdites batteries comprenant au moins une couche dense contenant des matériaux d'anode (« couche d'anode »), au moins une couche dense contenant des matériaux d'électrolyte solide (« couche d'électrolyte »), et au moins une couche dense contenant des matériaux de cathode (« couche de cathode ») pour obtenir une batterie de structure empilée du type « substrat / anode / électrolyte / cathode / substrat », procédé comprenant les étapes suivantes : a) on dépose une couche dense d'anode et une couche dense de cathode chacune sur son substrat conducteur, lesdits substrats conducteurs pouvant servir comme collecteur de courant anodique et cathodique respectivement ; b) on dépose une couche dense d'électrolyte solide sur au moins une des deux couches obtenues à l'étape a) ; c) on dépose une couche contenant au moins un matériau de liaison Ms sur l'une au moins des couches denses obtenues à l'étape a) et/ou b) ; étant entendu que les dépôts des couches de l'étape a), b) et c) ne sont pas tous réalisés par électrophorèse ; d) on empile face sur face la couche obtenue à l'étape c) avec une couche obtenue à l'étape a), b) ou c) ; e) on effectue un traitement thermique et/ou une compression mécanique, favorisant le contact entre lesdites deux couches empilées face sur face, pour obtenir une batterie de structure empilée du type « substrat / anode / électrolyte / cathode / substrat». Dans un mode de réalisation préférentiel, le traitement thermique réalisé à l'étape e) est effectué à une température TR qui, de préférence, ne dépasse pas 0,7 fois la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C), et plus préférentiellement ne dépasse pas 0,5 fois (et encore plus préférentiellement ne dépasse pas 0,3 fois) la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C) du au moins un matériau de matériau de liaison Ms le plus fusible soumis à ladite étape de traitement thermique. De même, la compression mécanique de l'assemblage obtenu à l'étape e) est réalisée à une pression comprise entre 10 et 100 MPa, de préférence entre 10 et 50 MPa. Les dépôts des couches de l'étape a), b) et c) sont réalisés par phase vapeur et/ou par voie humide, et plus particulièrement parmi au moins l'une des techniques suivantes : i) dépôt physique par phase vapeur (PVD), et plus particulièrement par évaporation sous vide, par ablation laser, par faisceau d'ions, par pulvérisation cathodique ; ii) dépôt chimique par phase vapeur (CVD), et plus particulièrement assisté par plasma (PECVD), assisté par laser (LACVD), ou assisté par aérosol (AA-CVD) ; iii) électropulvérisation , iv) aérosol deposition. v) électrophorèse ; vi) sol-gel ; vii) trempage, plus particulièrement par trempage-retrait (dip-coating), trempage-tournette (spin-coating), ou par le procédé Langmuir-Blodgett. Le matériau de liaison Ms est préférentiellement sélectionné parmi un ou plusieurs des matériaux suivants : (i) les composés lithiés à base d'oxynitrure de lithium et de phosphore (appelés LiPON) sous forme LixPOyNz avec x -2,8 et 2y+3z -7,8 et 0,16 z 0,4, et en particulier le Li2,9P03,3N0,46, mais également toutes les variantes sous forme LiwP0xNySz avec 2x+3y+2z = 5=w et 3,2 x 3,8, 0,13 y 0,4, 0 z 0,2, 2,9 w 3,3 ou sous forme LitPxAly0,,NyS, avec 5x+3y=5, 2u+3v+2w=5+t, 0,94kx Avantageusement, l'épaisseur de la couche du au moins un matériau de liaison Ms est inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm, et encore plus préférentiellement inférieure à 30 nm. Dans un mode de réalisation préférentiel, la couche contenant au moins un matériau de liaison Ms est une couche de nanoparticules déposée sur l'une au moins des couches denses obtenues à l'étape a) b), ou c). Avantageusement elle est déposée par électrophorèse. Un autre objet de l'invention concerne une batterie entièrement solide susceptible d'être fabriquée par le procédé selon l'invention, ladite batterie comprenant un corps monolithique formé d'au moins une couche dense contenant des matériaux d'anode, au moins une couche dense contenant des matériaux d'électrolyte solide, et au moins une couche dense contenant des matériaux de cathode ; de préférence le corps monolithique de la batterie est constitué de plusieurs cellules élémentaires connectées en parallèle. De manière avantageuse, la continuité électrique entre deux cellules voisines est assurée par l'électrolyte. Avantageusement, la batterie obtenue selon l'invention est entièrement inorganique. Description des figures Les figures 1(a), 1(b), 1(c), 1(d), 1(e) et 1(f) montrent les produits pouvant être obtenus selon plusieurs modes de réalisation selon l'invention. La figure 2 représente un empilement d'une anode et d'une cathode revêtue d'une couche d'électrolyte et d'une couche de matériau de liaison Ms. La figure 3 représente une batterie susceptible d'être obtenue selon un mode de réalisation du procédé de dépôt selon l'invention. Les figures 4 et 5 représentent schématiquement les étapes pour fabriquer une batterie selon deux modes de réalisation selon l'invention. Description détaillée de l'invention 1. Définitions Dans le cadre de la présente invention, on entend par « batterie entièrement solide » (en anglais « all solid-state battery ») une batterie dont les électrodes et l'électrolyte sont solides et ne comprennent pas de phase liquide, même imprégnée dans la phase solide. Les « batteries entièrement inorganiques » ne comprennent pas de polymère dans les électrodes ou dans l'électrolyte, mais peuvent comprendre du carbone élémentaire (par exemple du graphite). Dans le cadre de la présente invention, on entend par couche « dense » une couche présentant une densité supérieure à 85% de la densité théorique du corps massif, de préférence supérieure à 90% voire supérieure à 95%. Dans le cadre de la présente invention, la taille d'une particule est sa plus grande dimension. Ainsi, une « nanoparticule » est une particule dont au moins une des dimensions est inférieure à 100 nm. La « taille de particules » ou « taille moyenne de particules » d'une poudre ou d'un ensemble des particules est donnée en D50. On entend par « matériau de liaison Ms » tout matériau conducteur d'ions lithium permettant l'assemblage de la couche d'anode et la couche de cathode, dont au moins une desdites couches d'anode et de cathode est revêtue d'une couche d'électrolyte dense, pour former par empilement une batterie de type « collecteur/anode/électrolyte/cathode/collecteur ». Selon l'invention, ce matériau de liaison Ms est déposé sur au moins une des deux couches denses obtenues à l'étape a) et/ou b) selon l'invention (cf. revendication 1). 2. Description détaillée 2.1 Matériaux pour cathode, électrolyte et anode Selon l'invention, les matériaux utilisés pour la réalisation d'une couche de cathode sont choisis de manière préférée, mais non exhaustive, parmi un ou plusieurs des matériaux suivants : (i) les oxydes LiMn2O4, LiCoO2, LiNiO2, LiMn1,5Nio,504, LiMn1,5Ni0,5_xXx04 (où x est sélectionné parmi Al, Fe, Cr, Co, Rh, Nd, autres terres rares, et où 0 0, b>0, a-FLK2, 0 0, b>0, a-FLK2, 0 L'électrolyte doit être un bon conducteur ionique mais également un isolant électrique. Selon l'invention, les matériaux utilisés pour la réalisation d'une couche d'électrolyte sont choisis de manière préférée parmi un ou plusieurs des matériaux suivants : (i) les composés lithiés à base d'oxynitrure de lithium et de phosphore (appelés LiPON) sous forme LixPOyNz avec x -2,8 et 2y+3z -7,8 et 0,16 z 0,4, et en particulier le Li2,9P03,3N0,46, mais également toutes les variantes sous forme LiwP0xNySz avec 2x+3y+2z = 5=w et 3,2 x 3,8, 0,13 y 0,4, 0 z 0,2, 2,9 w 3,3 ou sous forme LitPxAlyOuNvSw avec 5x+3y=5, 2u+3v+2w=5+t, 0,94x Il est alors nécessaire de procéder au dépôt en plusieurs étapes successives par dépôts des couches les unes sur les autres (technique de croissance « layer by layer ») pour éviter la formation de fissuration des couches déposées lorsque ces dernières dépassent une épaisseur critique. Un exemple de réalisation d'électrodes par cette technique est décrit dans l'article « Preparation of Li4Ti5012 and LiCoO2 thin film electrodes from precursors obtained by sol-gel », Y.H. Rho, K. Kanamura, Solid State lonics 151 (2002) 151-157. En revanche, la technique sol-gel n'est pas adaptée au dépôt de couches contenant des matériaux de cathode ou des matériaux d'anode sur des substrats métalliques à bas point de fusion, par exemple en aluminium, notamment lorsque ces dépôts nécessitent des traitements thermiques à une température supérieure à 600°C. - Il est possible également d'obtenir des couches denses d'électrode et/ou d'électrolyte par la réalisation d'une suspension de nanoparticules de matériaux d'électrode et/ou d'électrolyte. Il existe plusieurs techniques permettant de déposer des nanoparticules sur une surface à revêtir. Parmi ces techniques, on peut citer notamment les techniques d'encrage, de trempage-retrait (dip-coating), trempage-tournette (spin-coating), procédé Langmuir-Blodgett. Les nanoparticules de matériaux à déposer sont au préalable mises en suspension dans un solvant qui sera évaporé par la suite. Afin d'obtenir des couches denses d'électrode et/ou d'électrolyte, il est alors nécessaire de déposer, sécher et consolider les dépôts couche par couche. Pour qu'un tel procédé puisse fonctionner, il est nécessaire que le dépôt des nanoparticules soit suffisamment compact pour qu'elles puissent se lier entre elles lors de l'étape de séchage (et/ou du traitement thermique de consolidation si nécessaire). Une fois les nanoparticules déposées sous forme de couches puis séchées, un traitement thermique et/ou mécanique est effectué pour assembler les nanoparticules entre elles. Lorsque le dépôt des nanoparticules est réalisé sur un substrat métallique, on applique avantageusement une pression uniaxiale (avec ou sans chauffage) sur le dépôt afin d'éviter un retreint latéral lors de l'étape de consolidation. Par ailleurs, cette technique permet de réaliser des dépôts composites contenant des matériaux actifs, des matériaux conducteurs d'ions lithium et/ou des matériaux conducteurs électroniques afin d'accroitre l'épaisseur des couches d'électrodes sans altérer leur propriétés de conduction (ionique et/ou électronique). - La technique de dépôt électrophorétique permet aussi d'obtenir des couches denses de matériaux d'électrodes et/ou d'électrolyte. Lorsque la taille des particules à déposer est inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm, et encore plus préférentiellement inférieure à 30 nm, il est possible d'obtenir des couches denses par électrophorèse directement sur les substrats conducteurs métalliques, avec une densité supérieure à 50% de la densité théorique du corps massif. Afin d'éviter la fissuration des couches après dépôt, les nanoparticules mises en suspensions doivent être de faibles dimensions et parfaitement stables. En fonction des propriétés des nanoparticules déposées, de la compacité, de l'épaisseur des couches, un traitement thermique et/ou mécanique supplémentaire peut être effectué pour densifier les dépôts desdites couches. Cela peut conduire à des densités supérieures à 85% voire supérieure à 90% de la densité théorique du corps massif. Lorsque les suspensions de particules sont moins stables, le dépôt par électrophorèse peut être avantageusement réalisé par étapes successives. En effet, selon l'épaisseur de la couche déposée, le risque d'apparition de fissures lors de l'étape de séchage est important. Ainsi, il est possible de réaliser des dépôts d'épaisseur supérieure à 0,5 pm sans fissures, par dépôt et consolidation de couches successives. Par exemple, une couche dense épaisse peut être obtenue par réalisation des étapes suivantes : a) on dépose par électrophorèse un mélange de particules de matériaux d'anode ou de cathode, de matériaux conducteurs des électrons et de matériaux conducteurs des ions lithium sur 0,4 pm d'épaisseur (suffisamment fine pour ne pas donner lieu à l'apparition de fissures) ; b) on sèche le dépôt par chauffage, par lyophilisation ou par immersion du dépôt dans du CO2 à l'état supercritique ; c) optionnellement, on réalise une compression mécanique uniaxiale du dépôt, de préférence avec chauffage ; d) on réalise à nouveau les étapes a), b) et c) jusqu'à obtenir une couche d'épaisseur souhaitée. Cette technique présente l'avantage d'obtenir des couches denses de fortes épaisseurs. Par ailleurs, cette technique permet de réaliser des dépôts composites contenant à la fois des matériaux actifs, des matériaux conducteurs ioniques et/ou électroniques, ce qui permet de conserver de bonnes propriétés de conduction des électrodes, même lorsque ces dernières sont de fortes épaisseurs. De plus, cette technique peut être mise en oeuvre directement sur des substrats conducteurs métalliques et permet de réaliser des couches denses d'anode, de cathode et/ou d'électrolyte. En outre, en fonction de la taille des particules des matériaux déposés, le traitement thermique et la compression mécanique peuvent être variables. Pour le dépôt par électrophorèse d'une suspension de nanoparticules de taille inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm, et encore plus préférentiellement inférieure à 30 nm, les couches obtenues peuvent être denses directement après dépôt, notamment lorsque les matériaux déposés sont peu réfractaires et possèdent une énergie de surface élevée. En revanche, pour des particules de taille supérieure à 100 nm, l'application d'une compression mécanique uni-axiale et/ou d'un traitement thermique peut être réalisée pour densifier la couche. Cette technique permet alors de réaliser rapidement des dépôts relativement épais, et donc particulièrement bien adapté à la réalisation d'électrodes épaisses pour des batteries de fortes densités d'énergie. 2.3 Dépôt d'une couche de matériau de liaison Ms Les inventeurs ont constaté que l'assemblage des couches entre elles peut s'avérer difficile et il est alors nécessaire d'apporter (par voie thermique et/ou mécanique) une grande quantité d'énergie pour les lier. Or, l'utilisation de températures élevées pour assembler les couches est très désavantageuse car les couches peuvent s'oxyder, des problèmes d'inter-diffusion dans les couches peuvent se créer et les collecteurs peuvent être fortement détériorés. Selon un aspect essentiel de la présente invention, afin de faciliter l'empilement des couches, on réalise, avant ladite étape d'empilement, un dépôt d'une couche de matériau de liaison Ms soit : o directement sur la face de la couche d'anode ou de cathode obtenue à l'étape a) du procédé selon l'invention ; ou o sur la face de la couche d'anode et/ou de cathode revêtues d'une couche d'électrolyte obtenues à l'étape b) du procédé selon l'invention ; ou o sur la face de la couche d'anode revêtue d'une couche d'électrolyte (obtenue à l'étape b)) et sur la face de la couche de cathode (obtenue à l'étape a)) ; ou sur la face de la couche d'anode (obtenue à l'étape a)) et sur la face de la couche de cathode revêtue d'une couche d'électrolyte (obtenue à l'étape b)). La couche de matériau de liaison Ms doit être, comme l'électrolyte, un bon conducteur d'ions lithium. Le point de fusion de la couche de matériau de liaison telle que déposée doit être inférieur à celui des couches avec lequel il est en contact. Cela peut résulter du choix du matériau Ms, mais aussi de la forme sous laquelle il se présente dans la couche. En particulier, on sait que le point de fusion d'un matériau présent sous la forme de nanoparticules est plus faible que le point de fusion du matériau dense, ce qui est lié à la forte énergie surfacique des nanoparticules. Dans un mode de réalisation avantageux, le matériau de liaison Ms est déposé sous la forme d'une couche composée de nanoparticules et/ou sous la forme d'une couche très mince (par exemple d'une épaisseur inférieure à 50 nm ou 20 nm) afin de diminuer la température de traitement thermique réalisé à l'étape e). Il est alors possible d'empiler face sur face deux couches denses par la réalisation d'un dépôt d'une couche de matériau de liaison Ms sur au moins une desdites deux couches denses, la température du traitement thermique TR de l'étape e) permettant de lier lesdites deux couches denses, s'il est effectué, étant inférieure à la température de fusion du ou des matériaux constitutifs des couches denses. Dans un mode de réalisation, qui illustre la possibilité du procédé selon l'invention de réaliser un empilement mécanique de deux matériaux identiques, on dépose en tant que matériau de liaison Ms une mince couche de particules nanométriques de matériau d'électrolyte sur une couche densifiée d'électrolyte, puis on empile (typiquement par voie mécanique) sur cette mince couche de matériau de liaison une seconde couche densifiée d'électrolyte, et on soumet l'ensemble à un traitement thermique et/ou mécanique de densification, au cours duquel le matériau de liaison va assurer la liaison entre les deux couches d'électrolyte. Cette liaison se crée probablement par un mécanisme de diffusion ou de migration de matériau de liaison, plus fusible, en direction des couches, moins fusibles mais chimiquement identiques, avec lesquelles il est en contact. D'une manière générale, pour assembler par empilement lesdites couches obtenues par le procédé selon l'invention, le matériau de liaison Ms est choisi parmi un ou plusieurs des matériaux suivants : (i) les composés lithiés à base d'oxynitrure de lithium et de phosphore (appelés LiPON) sous forme LixPOyNz avec x -2,8 et 2y+3z -7,8 et 0,16 z 0,4, et en particulier le Li2,9P03,3N046, mais également toutes les variantes sous forme LiwP0xNySz avec 2x+3y+2z = 5=w et 3,2 x 3,8, 0,13 y 0,4, 0 z 0,2, 2,9 w 3,3 ou sous forme LitPxAly0'NyS, avec 5x+3y=5, 2u+3v+2w=5+t, 0,94kx Il est également possible de déposer une couche de matériau de liaison Ms en utilisant une suspension comprenant préalablement des nanoparticules de matériau de liaison Ms dans un liquide approprié qui sera par la suite évaporé. Il s'agit plus particulièrement des techniques d'encrage, de trempe, de spin-coating ou procédé Langmuir-Blodgett. Les techniques de dépôt par électropulvérisation peuvent également être utilisées pour réaliser des dépôts de matériau de liaison Ms sous forme de nanoparticules. Ce dépôt est réalisé par pulvérisation de composés chimiques réagissant sous l'influence d'un champ électrique pour former en surface une couche de matériau de liaison Ms après séchage (cf. point 2.2 de la présente description). Dans un autre mode de réalisation, le dépôt de nanoparticules de matériau de liaison Ms peut être effectué par la technique de dépôt de type « aérosol ». Les nanoparticules de matériau Ms contenues dans un réservoir sont mises en mouvement par l'injection d'un gaz sous pression dans le conteneur. Un dispositif de désagglomération peut être installé sur le jet de particules afin de briser les agglomérats et assurer un flux de particules de tailles contrôlées (cf. point 2.2 de la présente description). Enfin, la technique de dépôt par électrophorèse permet d'obtenir une couche de matériau de liaison Ms de faible épaisseur. Après le dépôt de la couche de matériau Ms sur la face d'au moins une des couches obtenues à l'étape a) et/ou b) du procédé selon l'invention, lesdites couches sont empilées face sur face puis compressées mécaniquement et/ou traitées thermiquement pour obtenir une batterie de structure empilée du type substrat/anode/électrolyte/cathode/substrat. De préférence, le traitement thermique des couches à assembler est réalisé à une température TR qui, de préférence, ne dépasse pas 0,7 fois la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C), et plus préférentiellement ne dépasse pas 0,5 fois (et encore plus préférentiellement ne dépasse pas 0,3 fois) la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C) du matériau de liaison Ms. Le traitement thermique a lieu à une température (TR) relativement basse, qui dépend du point de fusion du matériau, de la taille des nanoparticules et de l'intensité de la compression mécanique. TR ne dépasse avantageusement pas 600°C, et de préférence ne dépasse pas 500°C ou même 400°C. Le traitement thermique est avantageusement réalisé sous vide, afin de minimiser la pollution de la surface des particules déposées, ou encore sous gaz inerte. Avantageusement, la compression mécanique des couches à assembler est réalisée à une pression comprise entre 10 et 100 MPa, de préférence entre 10 et 50 MPa. L'épaisseur totale de la couche de matériau de liaison Ms dépend aussi de la nature des couches à assembler. Par exemple, lorsqu'on souhaite assembler une couche de cathode et une couche d'anode revêtue chacune d'une couche d'électrolyte solide, l'épaisseur de la couche de matériau de liaison Ms doit être très faible, i.e. inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm et encore plus préférentiellement inférieure à 30 nm, pour que l'électrolyte obtenue reste bon conducteur ionique. Enfin, lorsqu'on souhaite assembler une couche d'anode (respectivement de cathode) non revêtue d'une couche d'électrolyte et une couche de cathode (respectivement d'anode) revêtue d'une couche d'électrolyte, l'épaisseur de la couche de matériau de liaison Ms est inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm et encore plus préférentiellement inférieure à 30 nm. Avantageusement, la taille des particules de matériau Ms est inférieure à l'épaisseur de la couche sur laquelle on dépose le matériau Ms. Nous indiquons ici quelques modes de réalisation avantageux pour sélectionner et déposer le matériau de liaison Ms. Le matériau de liaison peut être inorganique, et dans ce cas il est avantageusement déposé à partir de nanoparticules, lequel film déposé à partir de nanoparticules est avantageusement soumis à un procédé de densification thermique et/ou mécanique ; le fait qu'il soit déposé sous la forme de nanoparticules diminue son point de fusion par rapport à une phase massive. Le matériau de liaison peut comporter un polymère pré-imprégné d'ions de lithium, et dans ce cas, le point de fusion de cette phase polymère sera plus bas que le point de fusion des phases inorganiques avec lesquels ledit polymère est en contact. Et enfin, certains phosphates et borates présentent un pont de fusion assez bas et n'ont pas besoin d'être déposés sous la forme de nanoparticules pour être fusibles et pour favoriser le contact entre les deux couches empilées face sur face. 2.4 Assemblage d'une batterie Les figures 4 et 5 montrent de manière schématique les étapes de fabrication d'une batterie selon différents modes de réalisation du procédé selon l'invention. Ces modes de réalisation ne sont nullement limitatifs mais sont donnés à titre d'illustration. Le produit obtenu à chaque étape est montré de manière schématique sur les figures la à 1d selon le mode de réalisation de l'invention illustré schématiquement en figure 4. Aux étapes 1.A et 1.B (figures 4 et 5) on dépose par dépôt physique en phase vapeur (PVD) une couche de cathode 24 et d'anode 21, respectivement, sur le substrat conducteur 20. Comme montré sur la figure 1 a pour l'anode 21, ce dépôt peut être effectué sur les deux faces du substrat conducteur 20. Aux étapes 2.A et 2.B, on dépose sur l'anode 21 et sur la cathode 24, respectivement, une couche d'électrolyte 22 (figure 4). Son épaisseur est de préférence inférieure à 1 pm. Ce dépôt recouvre également les bords (i.e. les tranches) des électrodes, comme montré de manière schématique sur la figure 1 b. Cette isolation des bords des électrodes évite à la fois le risque de court-circuit et le risque de courants de fuite. Aux étapes 3.A et 3.B on sèche ce dépôt d'électrolyte. Dans un mode de réalisation particulier selon l'invention, on densifie le dépôt aux étapes 4.A et 4.B par un moyen mécanique et/ou thermique. Cette étape n'est pas nécessaire lorsque la couche d'électrolyte obtenue est dense et compacte après l'étape de séchage. Dans un autre mode de réalisation, tel que représenté en figure 5, on dépose la couche d'électrolyte 22 uniquement sur la cathode 24. Son épaisseur est de préférence inférieure à 1 pm. Ce dépôt recouvre également les bords (i.e. les tranches) des électrodes, comme montré de manière schématique sur la figure 1 b. Cette isolation des bords des électrodes évite à la fois le risque de court-circuit et le risque de courants de fuite. A l'étape 3.A on sèche ce dépôt d'électrolyte. Aux étapes 5.A et 5.B (figures 4 et 5) on dépose une couche de matériau de liaison Ms sur la face d'au moins une des deux couches obtenues par dépôt électrophorétique et qui seront empilées face sur face. Aux étapes 6.A et 6.B, on découpe un bord des électrodes comme le montre la figure 1d ou 1f. De manière avantageuse, on découpe le bord lié à la bande, afin de laisser trois arêtes revêtues d'électrolyte sur la tranche. Cet électrolyte étant un diélectrique, il permettra lors de la prochaine étape d'empilement de ne faire apparaître que les contacts anodiques d'un côté de la cellule, respectivement cathodiques sur l'autre, afin de réaliser des assemblages en parallèle des éléments de batterie afin de constituer une cellule batterie de plus forte capacité. La figure 1d ou 1f montre schématiquement une telle section de cellule après découpe : le substrat 20 a été revêtu (ici sur les deux faces) d'une couche de cathode 21 et coupé sur une tranche 23. A l'étape 7, on réalise l'empilement de manière à ce que sur deux côtés opposés de l'empilement on trouve alternativement une succession de bords 23 d'anode 21 découpée et de bords de cathode 24, éventuellement revêtu d'électrolyte 22, et éventuellement revêtu de la couche de matériau de liaison Ms 25. La figure 2 montre un empilement de deux substrats 20, l'un d'entre eux portant sur les deux faces une couche d'anode 21 revêtue d'une couche d'électrolyte 22, et d'une couche de matériau de liaison Ms 25 sur une seule face de la couche d'électrolyte 22, l'autre une couche de cathode 24 revêtue d'une couche d'électrolyte 22 et d'une couche de matériau de liaison Ms 25 sur les deux faces de la couche d'électrolyte 22, les deux faces de la couche d'électrolyte 22 déposée respectivement sur l'anode 21 et la cathode 24 et revêtues chacune d'une couche de matériau de liaison Ms 25 étant posée l'une sur l'autre pour former une interface commune 26. Ainsi, la continuité électrique entre deux cellules voisines est assurée par l'électrolyte. A l'étape 8, on réalise un traitement thermique et/ou une compression mécanique favorisant le contact entre les deux couches empilées face sur face pour obtenir une batterie de structure empilée du type substrat/anode/électrolyte/cathode/substrat. Une fois l'empilement réalisé, des terminaisons (contacts électriques) 35,36 sont ajoutées au niveau où les collecteurs de courant cathodiques, respectivement anodiques sont apparents (non revêtus d'électrolyte isolant). Ces zones de contact peuvent être sur les côtés opposés de l'empilement pour collecter le courant ainsi que cela est représenté sur la figure 3, mais également sur les mêmes côtés ou sur des côtés adjacents. Dans un mode de réalisation particulier, l'empilement illustré sur la figure 3 est réalisé par enroulement de deux demi-électrodes entre elles sur un mandrin afin d'obtenir une cellule de forme cylindrique. Comme pour la configuration de la figure 3, les connexions anodiques sortent alors d'un côté, alors que les connexions cathodiques sortent de l'autre côté. 2.5 Exemples a) Préparation des substrats On approvisionne des feuillards de nickel de 20 pm d'épaisseur. Sur ces feuillards un film mince d'ITO recouvert d'un film de Pt d'environ 100 nm chacun ont été déposés afin d'éviter la diffusion du nickel dans les matériaux d'électrodes pendant les étapes de traitement thermique. Les feuillards sont placés des cadres de maintien, de manière à créer une structure rigide de maintien des substrats. b) Dépôt de la couche d'anode / Dépôt d'une couche d'électrolyte sur la couche d'anode Une couche d'anode est déposée sur le substrat par méthode sol-gel. Une solution composée de PVP poly(vinylpyrrolidone), d'isopropoxyde de titane (CH3)2CH0)4Ti, d'acide acétique (CH3COOH) et d'isopropoxyde de lithium (Li(OC31-17) est déposée par trempé sur le substrat. La composition chimique molaire de cette solution étant de Li(OC31-17)/((CH3)2CH0)4Ti/PVP/CH3COOH/i-C3H7OH = 4:5:5:100:100. Cette première couche déposée est ensuite séchée et frittée à 700°C pendant 1 heure, puis l'étape de dépôt au trempé de la solution décrite précédemment est reproduite. Ce nouveau dépôt réalisé sur la couche de Li4Ti5O12 obtenu après frittage, est à son tour séché puis frittée à 700°C pendant 1 heure. Les étapes sont répétées jusqu'à l'obtention d'un film dense de Li4Ti5O12 d' 1 pm d'épaisseur. Une fois l'électrode anodique réalisée, on dépose à l'aide de technique du vide un film de LiPON de 1 pm d'épaisseur. Ce film de LIPON est réalisé par pulvérisation sous vide d'une cible de Li3PO4 sous une atmosphère de d'azote. c) Dépôt de la couche de cathode Une couche de cathode est déposée sur le substrat en nickel par dépôt physique. Une cible de LiCoO2 est évaporée sous vide par pulvérisation magnétron RF avec une puissance de 300W. Avant de réaliser le dépôt la chambre de dépôt a été mise sous vide à 5.10-6 Torr. De l'argon pur est ensuite utilisé comme gaz pour le dépôt et la pression de dépôt est maintenue à 10 mTorr. Le film de LiCoO2 ainsi déposé a ensuite été traité thermiquement dans la chambre de dépôt à une température de 650°C, pendant 15 mn à l'aide de lampes halogènes. d) Dépôt d'une couche de matériau de liaison Ms Afin de faciliter la réalisation de l'assemblage des deux demi-électrodes au niveau des surfaces de cathode et d'électrolyte solide déposé sur l'anode, on dépose préalablement sur la surface de la cathode des nanoparticules de Li1,3A10,3Ti1,7(PO4)3. Ce dépôt est réalisé en immergeant la surface du film de cathode dans une suspension de nanoparticules de Li1,3A10,3Ti1,7(PO4)3 dans l'éthanol. Les tailles des particules est d'environ 15 nm. Le film de cathode est trempé dans la suspension colloïdale de Li1,3A10,3Ti1,7(PO4)3 et retirés à une vitesse de 100 mm/min. L'épaisseur déposée est alors proche de 50 nm. e) Assemblage des électrodes L'assemblage entre la cathode revêtue du matériau de liaison Ms et l'anode revêtue d'un film d'électrolyte solide (LiPON) a été réalisé par un traitement de recuit, sous vide, et avec une pression de contact entre les deux surfaces à assembler de 80M Pa. La vitesse de montée en température étant de 100°C/min, jusqu'à atteindre 450°C suivi d'un maintien à cette température pendant 5 minutes avant de refroidir l'ensemble. On obtient ainsi un assemblage solide Ni/Li4Ti5O12/LiPON/LiCoO2/Ni, avec le matériau de liaison Ms à l'interface entre le LiPON et la cathode LiCoO2. REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication de batteries entièrement solides, lesdites batteries comprenant au moins une couche dense contenant des matériaux d'anode (« couche d'anode »), au moins une couche dense contenant des matériaux d'électrolyte solide (« couche d'électrolyte »), et au moins une couche dense contenant des matériaux de cathode (« couche de cathode ») pour obtenir une batterie de structure empilée du type « substrat / anode / électrolyte / cathode / substrat », procédé comprenant les étapes suivantes : a) on dépose une couche dense d'anode et une couche dense de cathode chacune sur son substrat conducteur, lesdits substrats conducteurs pouvant servir comme collecteur de courant anodique et cathodique respectivement ; b) on dépose une couche dense d'électrolyte solide sur au moins une des deux couches obtenues à l'étape a) ; c) on dépose une couche contenant au moins un matériau de liaison Ms sur l'une au moins des couches denses obtenues à l'étape a) et/ou b) ; étant entendu que les dépôts des couches de l'étape a), b) et c) ne sont pas tous réalisés par électrophorèse ; d) on empile face sur face la couche obtenue à l'étape c) avec une couche obtenue à l'étape a), b) ou c) ; e) on effectue un traitement thermique et/ou une compression mécanique, favorisant le contact entre lesdites deux couches empilées face sur face, pour obtenir une batterie de structure empilée du type « substrat / anode / électrolyte / cathode / substrat». 2. Procédé selon la revendication 1 caractérisé en ce que le traitement thermique réalisé à l'étape e) est effectué à une température TR qui, de préférence, ne dépasse pas 0,7 fois la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C), et plus préférentiellement ne dépasse pas 0,5 fois (et encore plus préférentiellement ne dépasse pas 0,3 fois) la température de fusion ou de décomposition (exprimée en °C) du au moins un matériau de matériau de liaison Ms le plus fusible soumis à ladite étape de traitement thermique. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la compression mécanique de l'assemblage obtenu à l'étape e) est réalisé à une pression comprise entre 10 et 100 MPa, de préférence entre 10 et 50 MPa. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les dépôts des couches de l'étape a), b) et c) sont réalisés par phase vapeur et/ou par voie humide. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que les dépôts des couches de l'étape a), b) et c) par phase vapeur sont réalisé parmi au moins l'une des techniques suivantes : i) dépôt physique par phase vapeur (PVD), et plus particulièrement par évaporation sous vide, par ablation laser, par faisceau d'ions, par pulvérisation cathodique ; ii) dépôt chimique par phase vapeur (CVD), et plus particulièrement assisté par plasma (PECVD), assisté par laser (LACVD), ou assisté par aérosol (AA-CVD) ; iii) électropulvérisation ; iv) aérosol deposition. 6. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que les dépôts des couches de l'étape a), b) et c) par voie humide sont réalisés parmi au moins l'une des techniques suivantes : i) électrophorèse ; ii) sol-gel ; iii) trempage, plus particulièrement par trempage-retrait (dip-coating), trempage-tournette (spin-coating), ou par le procédé Langmuir-Blodgett. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le au moins un matériau de liaison Ms est sélectionné parmi un ou plusieurs des matériaux suivants : les composés lithiés à base d'oxynitrure de lithium et de phosphore (appelés LiPON) sous forme LixPOyNz avec x -2,8 et 2y+3z -7,8 et 0,16 z 0,4, et en particulier le Li2,9P03,3N046, mais également toutes les variantes sous forme LiwP0xNySz avec 2x+3y+2z = 5=w et 3,2 x 3,8, 0,13 y 0,4, 0 z 0,2, 2,9 w 3,3 ou sous forme LitPxAly0'NyS, avec 5x+3y=5, 2u+3v+2w=5+t, 0,94kx 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le au moins un matériau de liaison Ms comporte au moins un polymère imprégné d'un sel de lithium, le polymère étant de préférence choisi dans le groupe formé par le polyéthylène oxyde, les polyimides, le polyfluorure de vinylidène, le polyacrylonitrile, le polyméthacrylate de méthyle, les polysiloxanes, et le sel de lithium étant de préférence choisi dans le groupe formé par LiCI, LiBr, Lil, Li(CI04), Li(BF4), Li(PF6), Li(AsF6), Li(CH3CO2), Li(CF3SO3), Li(CF3SO2)2N, Li(CF3SO2)3, Li(CF3CO2), Li(B(C6H5)4), Li(SCN), Li(NO3). 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que le au moins un matériau de liaison Ms est constitué d'au moins un polymère imprégné d'un sel de lithium, le polymère étant de préférence choisi dans le groupe formé par le polyéthylène oxyde, les polyimides, le polyfluorure de vinylidène, le polyacrylonitrile, le polyméthacrylate de méthyle, les polysiloxanes, et le sel de lithium étant de préférence choisi dais le groupe formé par LiCI, LiBr, Lil, Li(CI04), Li(BF4), Li(PF6), Li (As F6), Li (CH3CO2), Li (CF3S03), Li (CF3S02)2N , Li (CF3S02)3, Li (CF3CO2), Li(B(C6H5)4), Li(SCN), Li(NO3). 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche du au moins un matériau de liaison Ms est inférieure à100 nm, de préférence inférieure à 50 nm, et encore plus préférentiellement inférieure à 30 nm. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que la couche contenant au moins un matériau de liaison Ms est une couche de nanoparticules de matériau de liaison Ms, de préférence déposée par électrophorèse, sur l'une au moins des couches denses obtenues à l'étape a) b), ou c). 12. Batterie entièrement solide susceptible d'être fabriquée par le procédé selon l'une quelconque des revendications 11à 12, ladite batterie comprenant un corps monolithique formé d'au moins une couche dense contenant des matériaux d'anode, au moins une couche dense contenant des matériaux d'électrolyte solide, et au moins une couche dense contenant des matériaux de cathode. 13. Batterie selon la revendication 12, caractérisée en ce que le corps monolithique est constitué de plusieurs cellules élémentaires connectées en parallèle. 14. Batterie selon la revendication 12 ou 13, caractérisée en ce qu'elle est entièrement inorganique.