Brevet FR3000194A1 — publié le 20140627

GYROSCOPE A CALIBRATION SIMPLIFIÉE ET PROCÉDÉ DE CALIBRATION SIMPLIFIÉ D'UN GYROSCOPE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR La présente invention se rapporte à un gyroscope de type MEMS et/ou NEMS à calibration simplifiée et à un procédé de calibration simplifié d'un gyroscope. Les gyroscopes de type MEMS (MicroElectroMechanical Systems en terminologie anglaise) et/ou NEMS (NanoElectroMechanical Systems) en terminologie anglaise sont en général composés d'une masse ou d'un ensemble de masses suspendues et reliées au substrat et entre elles par des ressorts. La masse ou les masses possédant plusieurs degrés de liberté, est/sont mise/s en vibration asservie à résonance selon l'un des modes, dit mode d'excitation selon un ler degré de liberté. En présence d'une rotation, une force de Coriolis apparait et met en vibration la masse ou une partie de l'ensemble des masses selon un 2' degré de liberté orthogonal au ler et correspondant à un mode dit mode de détection. La plupart des gyroscopes utilise des découplages mécaniques pour séparer la partie excitation de la partie détection. En cas de défaut mécanique sur l'excitation, un mouvement selon la direction de détection sera généré et se reportera sur la masse de détection. Un biais existe dans les gyroscopes. Ce biais a une composante Bi en phase avec le signal de Coriolis c), désigné biais en phase, et une composante en quadrature Bq, désigné biais en quadrature. On obtient donc par la mesure sur la masse de détection le signal S suivant : S = (B1 + S2) cos(o)0t) + Bq sin(coot) (1) Dans le cas idéal, en démodulant le signal fourni par le gyroscope, le biais en quadrature devrait être éliminé. Cependant la démodulation n'est jamais parfaite et présente une erreur de phase ckerr et un bruit de phase rh ,noise- Le signal démodulé est le suivant: S' dé mod (B1 + çà) cos(cp e' + n',') + B qsin(q) e' + n',') B , + B qcp e' + çà + B qcp n',' Le biais en quadrature fait donc apparaître une composante de biais dans le signal démodulé et une composante de bruit. Par conséquent, le biais en quadrature ne peut être éliminé. La présence de ce biais est due à des défauts technologiques lors de la réalisation du gyroscope. Le principal défaut est un coefficient de raideur non-diagonal kxy, qui génère le biais en quadrature. Dans le cadre d'un mode d'excitation dans le plan et d'un mode détection dans le plan, le gyroscope étant alors désigné "gyroscope Z", car il permet de détecter les rotations autour de l'axe hors plan, ce biais en quadrature est notamment dû à des variations locales de surgravure des ressorts d'excitation. Ce phénomène est décrit dans les documents S. V. lyer, "Modeling and simulation of nonidealities in a Z-axis CMOS-MEMS gyroscope", Ph.D. dissertation, Dept. Elect. and Comp En g., Carneggie Mellon Un iv., Pittsburg, PA, 2003, et E. Tatar, S. E. Alper, T. Akin, "Effect of quadrature error on the performance of a fully decoupled MERS gyroscope", Proc. IEEE MEUS 2011, Cancun, MEXICO, January 23-27, 2011, pp. 569-572. Dans le cadre d'un mode d'excitation dans le plan et d'un mode détection hors plan, le gyroscope étant alors désigné "gyroscope X ou Y, ce biais est notamment dû à l'angle de gravure des ressorts d'excitation. Ce phénomène est décrit dans les documents P. Merz, W. Pilz, F. Sen ger, K. Reimer, M. Grouchko, T. Pandhumsoporn, W. Bosch, A. Cofer, S. Lassig, "Impact of DRIE on Vibratory MEUS gyroscope performances", Proc. Transducers&Eurosensors 2007, Lyon, France, Jun. 10-14, 2007 pp. 1187-1190, et M. S. Weinberg, A. Kourepenis, "Error sources in in-plane silicon tuning-fork MEUS gyroscopes", Journal of Microelectromechanical Systems, vol. 15, no. 3, pp. 42-54, Jun. 2006. Ce biais en quadrature se traduit par un mouvement d'excitation non parfaitement colinéaire avec l'axe d'excitation. Un coefficient d'amortissement non-diagonal cxy et une excitation directe du mode de détection par les électrodes d'excitation FexcV peuvent aussi être une source de biais, soit en phase soit en quadrature. Comme indiqué ci-dessus, la plupart des gyroscopes met en oeuvre une masse d'excitation et une masse de détection. En cas de défaut mécanique sur la masse d'excitation, un mouvement selon la direction de détection sera généré et se reportera sur la masse de détection. Les équations du système masse d'excitation et masse de détection sont les suivantes : m5é + c xic + k xx =F xc Yi = Y iq+ Yi; =oee+135e m2Y2 cy2P2 +k2 (y2 yl) 2m2icn Y2q Ylq 172i = vii Y12 1- W0exc W Oexc ( \,W 0 det j Qdet W 0 det 1 W0exc +1 W Oexc 21W0excX WO det j Qdet W 0 det 2 ( WO det( W0exc W0exc ) WO det Qdet WO det cooexe étant la fréquence d'excitation, coodet étant la fréquence de détection, Qdet étant le facteur de qualité. Le mouvement en biais de la masse d'excitation est amplifié par l'oscillateur du mode de détection par un facteur A qu'on appellera facteur d'amplification : A= 1 (1 1 W0exc W0exc WO det I QdetWO det \ 1 ( 00exc )2 ± W0exc )2 \,WO det j Qdet W 0 det En cas de mode de fonctionnement en fréquences accordées, i.e. la fréquence d'excitation et la fréquence de détection sont égales, le facteur d'amplification A vaut : A= Qdet Le facteur de qualité Odet, est de l'ordre de 1000 à 100000. Dans ce cas, la sensibilité mécanique vaut : Yn 2 XQd' 2X4 1-2 W0exc W0exc En cas de mode de fonctionnement en fréquences non-accordées, i.e. la fréquence d'excitation est inférieure à la fréquence de détection, le facteur d'amplification vaut : A 1 - 2 Aco Wdet Le facteur d'amplification A est de l'ordre de 2 et 100. Pour une fréquence de fonctionnement foexc à 20kHz et un écart de 1kHz avec fodet, ce facteur vaut 10. Dans ce cas, la sensibilité mécanique vaut : Yn = 2(00exc X 2 2X = A x (1 - -1)2 n Aco 2A 2 (0 cooexc W 0 O det det Il est à noter que la fréquence d'excitation est connue, puisque le mode d'excitation est asservi à résonance. Cependant ce facteur d'amplification peut fortement varier sur l'ensemble d'un même substrat ou d'un substrat à l'autre. En particulier, en fonctionnement en fréquences non-accordées, il peut facilement y avoir une variation d'un facteur 2, voire plus, selon l'écart de fréquence nominal recherché. De plus ce facteur d'amplification varie avec la température. Par ailleurs, dans le cas d'un gyroscope mettant en oeuvre une détection capacitive, le mouvement selon le mode de détection étant transformé en variation de capacité, la variation de capacité dépend de la variation d'entrefer entre les électrodes lors du mouvement de la masse de détection. Or la dimension initiale de l'entrefer est susceptible de varier d'une puce à l'autre, mais est en général maîtrisée à quelques pourcents près, voire moins d'1%. L'existence des ces défauts technologiques impose de calibrer les gyroscopes avant leur utilisation afin de déterminer pour une ou plusieurs températures le biais inhérent à chaque capteur et connaître la sensibilité du capteur. Une telle calibration est réalisée au moyen d'une table tournante. En particulier, pour les capteurs multiaxes, il faut soit faire un nombre de mesures proportionnel au nombre d'axes sur des tables différentes, soit utiliser des tables complexes, comme celle qui est décrite dans le document US 6 209 383. Du fait de la dérive des gyroscopes, des corrections en température ou des recalibrations régulières sont à prévoir. La correction en température peut se faire par une calibration préalable en température puis, une fois les coefficients d'évolution des propriétés en température connus, par une mesure de température du capteur en fonctionnement. Cette mesure peut être réalisée par la mesure de la fréquence de résonance en excitation, qui est connue. Le signal de sortie est alors corrigé en tenant compte de la température. Des recalibrations régulières peuvent aussi être faites. Par exemple, le document US 2011/0172820 décrit une méthode de recalibration d'un gyroscope monté dans un robot. La recalibration est effectuée lorsque le robot est statique à partir des signaux émis par le gyroscope. Dans le document, US 2011/078707, la recalibration met en oeuvre d'autres capteurs tels que des accéléromètres et des magnétomètres. EXPOSÉ DE L'INVENTION C'est par conséquent un but de la présente invention d'offrir un gyroscope pouvant être calibré et recalibré de manière simplifiée et une méthode de calibration et recalibration simplifiée d'un gyroscope. Le but précédemment énoncé est atteint par un gyroscope comportant une masse mobile en excitation et une masse mobile en détection, des moyens pour appliquer un signal d'excitation à la masse d'excitation dans une première direction, des moyens de détection du déplacement de la masse de détection dans une deuxième direction orthogonale à la première direction et des moyens de détection du déplacement de la masse d'excitation dans la deuxième direction, et des moyens de traitement des signaux de détection émis par les moyens de détection des mouvements de la masse de détection et les moyens de détection des mouvements de la masse d'excitation dans la deuxième direction, de sorte à obtenir au moins un paramètre de calibration du gyroscope. Par exemple, ces paramètres peuvent être le biais en phase, le biais en quadrature et le facteur d'amplification. L'invention permet ainsi de suivre l'évolution du biais et/ou de la sensibilité des capteurs en fonctionnement. En d'autres termes, le gyroscope mesure en plus du déplacement de la masse de détection le long de la direction de détection afin de déterminer les forces de Coriolis, le déplacement de la masse d'excitation le long de la direction de détection, ce déplacement étant dû au biais. En réalisant cette mesure, et en traitant celle-ci avec la mesure de la masse de détection, il est possible de déterminer le biais du gyromètre, biais en phase et biais en quadrature, le facteur d'amplification et la vitesse de rotation. La connaissance de ces paramètres permet de calibrer et recalibrer le gyromètre. Comme mentionnés ci-dessus, ces paramètres varient avec la température, si une variation de la température de l'environnement est détectée, les paramètres sont à nouveau déterminés de manière très simple grâce à l'invention, ce qui permet de réaliser une recalibration simplifiée du gyromètre. Grâce à l'invention, la calibration peut être effectuée sans table tournante, et la recalibration est réalisée sans mise en oeuvre de capteurs supplémentaires, ni nécessité d'une position statique du gyromètre; celle-ci peut être réalisée lors du fonctionnement normal du gyroscope, ce qui simplifie la recalibration. La présente invention a alors pour objet un gyroscope comportant : - au moins un oscillateur d'excitation comportant au moins une masse d'excitation suspendue par rapport à un substrat présentant une seule direction de déplacement en excitation, - au moins un oscillateur en détection comportant au moins une masse de détection suspendue par rapport à la masse d'excitation apte à se déplacer selon la direction d'excitation et selon une direction de détection orthogonale à la direction d'excitation, - des moyens d'excitation de la masse d'excitation dans la direction de déplacement en excitation, - des premiers moyens de détection destinés à détecter le déplacement de la masse de détection selon ladite direction de détection et fournissant un premier signal de détection, le gyroscope comportant également : - des deuxièmes moyens de détection destinés à détecter le déplacement de la masse d'excitation selon ladite direction de détection et fournissant un deuxième signal de détection, et - des moyens de traitement du premier signal de détection et du second signal de détection de sorte à déterminer une vitesse de rotation subie par le gyromètre et à fournir au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope. La vitesse de rotation du gyroscope est déterminée à partir des forces de Coriolis. De préférence, ledit au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope est le coefficient d'amplification caractérisant la sensibilité du gyroscope et/ou le biais du gyroscope. Le coefficient d'amplification permet de déterminer la sensibilité du gyroscope à partir d'équations connues de l'homme de métier et notamment celles données ci-dessus. Les moyens de traitement du premier signal de détection et du second signal de détection peuvent être tels qu'ils déterminent à partir du premier signal de détection , le biais en quadrature et la somme du biais en phase et de la vitesse de rotation, qu'ils déterminent à partir du deuxième signal de détection, le rapport du biais en phase sur le coefficient d'amplification et le rapport du biais en quadrature sur le coefficient d'amplification, et qu'il déterminent le coefficient d'amplification en effectuant une division du biais en quadrature sur le rapport du biais en quadrature sur le coefficient d'amplification Les moyens de traitement du premier signal de détection et du second signal de détection peuvent être tels qu'ils effectuent une multiplication du rapport du biais en phase sur le coefficient d'amplification avec le coefficient d'amplification déterminé par ladite division. De préférence, les moyens de traitement comportent des moyens d'amplification du premier et du deuxième signal de détection et des premiers moyens aptes à démoduler les signaux amplifiés. De préférence également, les moyens de traitement comportent en outre des deuxièmes moyens pour démoduler les signaux amplifiées préalablement aux premiers moyens de démodulation et pour filtrer lesdits signaux afin de ramener les signaux démodulés à la fréquence d'actionnement du gyroscope. Dans un exemple de réalisation, les premiers et deuxièmes moyens de détection sont de type capacitif. Les moyens d'amplification des signaux mesurés peuvent comporter un amplificateur monté en parallèle avec au moins une capacité. Dans un autre, exemple de réalisation, les premiers et deuxièmes moyens de détection sont de type piézorésistifs. Les moyens d'amplification des signaux mesurés peuvent comporter un ou plusieurs amplificateurs à entrées différentielles. On entend par "amplificateur à entrées différentielles", un amplificateur permettant d'amplifier la différence des signaux d'entrée Par exemple, les premiers moyens aptes à démoduler les signaux amplifiés comportent un filtre du deuxième signal de détection et un filtre du premier signal de détection , le filtre du deuxième signal étant un filtre à bande passante inférieure à celle d'un filtre du premier signal de sorte à avoir une résolution proche ou identique sur le premier signal de détection et le deuxième signal de détection. Le gyroscope peut comporter des moyens de déphasage du deuxième signal de détection de sorte à reproduire un déphasage de l'oscillateur de détection, lesdits moyens de déphasage appliquant ce déphasage avant la démodulation du deuxième signal de détection par les premiers moyens de démodulation. De préférence, le gyroscope présente des fréquences d'excitation et de détection non-accordées. De manière avantageuse, le masse d'excitation est suspendue par rapport au substrat par des moyens de suspension de type ressort, lesdits moyens de suspension présentant une première constante de raideur selon la direction de détection et une deuxième constante de raideur selon la direction d'excitation, la première constante de raideur étant sensiblement supérieure à la deuxième constante de raideur. Le rapport de la première constante de raideur sur la deuxième constante de raideur peut être supérieur à 100. Le gyroscope peut comporter des moyens de connexion, par exemple d'un ou des interrupteurs, en amont des moyens d'amplification pour effectuer de façon périodique la détermination dudit au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope La présente invention a également pour objet un procédé de calibration d'un gyroscope comportant au moins un oscillateur d'excitation comportant au moins une masse d'excitation présentant une seule direction de déplacement en excitation, et au moins un oscillateur de détection comportant au moins une masse de détection apte à se déplacer selon la direction d'excitation et selon une direction de détection, comportant les étapes : a) mesure du déplacement de la masse de détection dans la direction de détection, formant un premier signal de détection, b) mesure du déplacement de la masse d'excitation selon la direction de détection, formant un deuxième signal de détection, c) traitement du premier signal de détection et du second signal de détection de sorte à déterminer une vitesse de rotation subie par le gyromètre et à fournir au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope, d) calibration du gyroscope sur la base de ce paramètre. L'étape c) de traitement du premier et du deuxième signal peut comporter : - le traitement du premier signal de détection de sorte à obtenir le biais en quadrature et la somme du biais en phase et de la vitesse de rotation, - le traitement du deuxième signal de détection de sorte à obtenir le rapport du biais en phase sur le coefficient d'amplification et le rapport du biais en quadrature sur le coefficient d'amplification, - la détermination du coefficient d'amplification en effectuant une division du biais en quadrature sur le rapport du biais en quadrature sur le coefficient d'amplification. L'étape a) peut comporter les sous-étapes : al) d'amplification et de filtration du premier signal de détection, a2) de démodulation du premier signal amplifié, et l'étape b) peut comporter les sous-étapes : bl) d'amplification et de filtration du deuxième signal de détection, b2) de démodulation du deuxième signal amplifié. Le procédé de calibration selon la revendication peut comporter les étapes de démodulation et filtre entre les étapes al) et a2) et entre les étapes bl) et b2) pour ramener les premier et deuxième signaux amplifiés à la fréquence d'actionnement. Dans un exemple où les signaux de détection sont capacitifs, les étapes a2) et b2) sont réalisées par un étage de lecture capacitive. Dans un exemple où les signaux de détection sont piézorésistifs, les étapes a2) et b2) sont réalisées par un ou plusieurs amplificateurs à entrées différentielles Le procédé est avantageusement mis en oeuvre de façon continue ou périodique ou ponctuellement à la suite d'une variation de l'environnement du gyroscope. Le procédé peut être mis en oeuvre pendant la vie du gyroscope de sorte à le recalibrer. L'étape de recalibration a de préférence lieu pendant le fonctionnement normal du gyroscope. L'étape de recalibration peut être mise en oeuvre après la détection de la variation de la température de l'environnement du gyroscope. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre et des dessins en annexes sur lesquels : - la figure 1 est une vue de dessus d'un exemple d'une structure d'un gyroscope à détection capacitive auquel peut s'appliquer l'invention, le gyroscope étant un gyroscope de type Z, - la figure 2A est une vue de dessus d'un autre exemple d'une structure d'un gyroscope à détection capacitive auquel peut s'appliquer l'invention, le gyroscope étant un gyroscope de type X/Y, - la figure 2B est une vue de côté partielle de la structure de la figure 2A; - la figure 3 est une vue de dessus d'un autre exemple d'une structure d'un gyroscope à détection capacitive de type disque oscillant auquel s'applique l'invention, le gyroscope étant un gyroscope de type XY, - la figure 4 est une vue de dessus d'un autre exemple d'une structure d'un gyroscope à détection piézorésistive auquel s'applique l'invention, le gyroscope étant un gyroscope de type X/Y, - la figure 5 est une vue de dessus d'un autre exemple d'une structure d'un gyroscope à détection piézorésistive auquel s'applique l'invention, le gyroscope étant un gyroscope de type Z, - la figure 6 est une représentation d'un schéma de mesure des paramètres de calibration selon un procédé de calibration selon l'invention appliqué à un gyroscope à détection capacitive, - la figure 7 est une représentation d'un schéma de mesure des paramètres de calibration selon un procédé de calibration selon l'invention appliqué à un gyroscope à détection piézorésistive, - la figure 8 est une représentation graphique de la variation du facteur d'amplification A obtenu par simulation Xcos en fonction du temps en seconde, - la figure 9 est une représentation graphique de la différence entre le biais de phase reconstruit par simulation et le biais de phase Bi mesuré sur la masse de détection en fonction du temps en seconde. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS La présente invention porte sur la calibration et sur la recalibration de tout gyroscope comportant au moins une masse d'excitation et au moins une masse de détection. Nous allons décrire plusieurs exemples de structures de gyroscopes auxquelles s'applique l'invention, mais celles-ci ne sont aucunement limitatives et l'invention s'applique à toute autre structure de gyroscope à au moins une masse d'excitation et au moins une masse de détection, la masse d'excitation présentant un degré de liberté en déplacement selon l'axe d'excitation. En outre , des gyroscopes comportant plusieurs masses d'excitation reliées ensemble et couplées mécaniquement, chaque masse d'excitation ayant un degré de liberté pouvant être différent de celui des autres masses d'excitation et étant associée chacune à une masse de détection, ne sortent pas du cadre de la présente invention. Il sera utilisé indifféremment "axe" ou "direction" pour désigner la direction de déplacement des masses. Pour toutes les figures, les axes seront définis de la manière suivante, les axes X et Y sont contenus dans le plan de la feuille, l'axe X étant orienté horizontalement dans la représentation des structures et l'axe Y étant orienté verticalement dans la représentation des figures. L'axe Z est orthogonal aux axes X et Y et au plan de la feuille. Sur la figure 1, on peut voir une structure de gyroscope 51 de type Z à détection capacitive. La structure 51 comporte une masse d'excitation ME formant un cadre suspendu par rapport à un substrat 2 par des moyens de suspension 4 de type ressort, un masse de détection MD disposée à l'intérieur du cadre de la masse d'excitation ME et suspendue à celui-ci par l'intermédiaire de moyens de suspension 6 de type ressort. La masse d'excitation suspendue forme un oscillateur d'excitation et la masse de détection suspendue forme un oscillateur de détection 3. Les moyens de suspension 4 de la masse d'excitation sont tels qu'ils l'autorisent à se déplacer dans la direction de l'axe X sous l'effet d'un signal d'excitation appliqué par des moyens d'excitation 8. Par exemple, les moyens d'excitation comportent typiquement des électrodes d'actionnement électrostatique, sous les forme d'une structure à peignes interdigités situés sur le bord extérieur de la structure selon la direction de l'axe X. Les peignes comprennent des électrodes fixes (solidaires du substrat 2 auxquelles on applique un potentiel électrostatique variable et des électrodes mobiles solidaires de la masse d'excitation. Des forces électrostatiques apparaissent alors entre les électrodes fixes et mobiles. Les moyens de suspension 6 de la masse de détection sont tels qu'ils l'autorisent à se mouvoir en translation selon la direction de détection Y sous l'effet d'une force de Coriolis générée par une rotation autour de l'axe Z Des premiers moyens de détection 10 de type capacitif sont prévus pour détecter le déplacement de la masse de détection MD. Dans l'exemple représenté, les premiers moyens de détection 10 sont formés par deux paires de peignes d'électrodes interdigitées 12, un peigne de chaque paire étant porté par la masse de détection MD et un peigne de chaque paire 12 étant porté par le substrat 2. De manière avantageuse dans l'exemple représenté, la mise ne oeuvre de deux paires de peignes permet de symétriser la structure, mais ceci n'est pas limitatif. En mesurant une variation de capacité entre des paires d'électrodes 12 de chaque paire de peignes, il est possible de déterminer le mouvement de la masse de détection MD le long de l'axe Y. Le signal fourni par les premiers moyens de détection capacitif est désigné par Cl + AC1. En outre, la structure comporte des moyens de détection du déplacement de la masse d'excitation ME le long de l'axe Y, ce déplacement étant dû principalement au biais. Les forces de Coriolis participent peu à ce déplacement. Les deuxièmes moyens de détection 14 sont de structure similaire à celle des premiers moyens de détection, ils comportent deux paires de peignes interdigités dont un peigne de chaque paire est porté par la masse d'excitation et un peigne de chaque paire étant porté par le substrat. Le signal fourni par les deuxièmes moyens de détection capacitif est désigné par C1' + AC1'. Il sera compris que la structure est telle que la masse d'excitation a idéalement un déplacement dans la direction d'excitation, mais comme cela été expliqué ci-dessus du fait des défauts technologiques lors de la fabrication des gyroscopes, la déplacement de la masse d'excitation a une composante principale dans la direction d'excitation et une composante secondaire dans la direction de détection. Selon l'invention on prévoit de mesurer également cette composante et de l'utiliser pour déterminer des paramètres de calibration et de recalibration. Sur les figures 2A et 2B, on peut voir un autre exemple de structure S2 de gyroscope à détection capacitive de type X/Y. Dans cet exemple, les moyens d'excitation appliquent un signal d'excitation à la masse d'excitation ME le long de la direction X. Les moyens d'excitation sont par exemple de type électrostatique comme décrit ci-dessus en relation avec la structure 51. Les moyens de suspension 106 de la masse de détection par rapport à la masse d'excitation ME sont tels qu'ils autorisent un déplacement en translation de la masse de détection le long de l'axe Z sous l'effet d'une force de Coriolis générée par une rotation autour de l'axe Y. Les premiers moyens de détection 110 sont de type capacitif et formés par une paire d'électrodes dont l'une est portée par le substrat 2 et l'autre est formée par la masse de détection MD en regard de l'électrode portée par le substrat. Les deuxième moyens de détections 114 sont de type capacitif et formés par deux paires d'électrodes. Une électrode de chaque paire est portée par le substrat 2 et l'autre électrode de chaque paire est formée par la masse d'excitation ME en regard de l'électrode portée par le substrat. Les électrodes portées par la masse d'excitation ME sont disposées de part et d'autre de la masse de détection MD le long de l'axe Y. Les deux électrodes 114 sont reliées électriquement. Cette disposition est avantageusement choisie afin de symétriser la structure. Cette disposition n'est pas limitative. Sur la figure 2B, la flèche F symbolise le déplacement des masses dans la direction de détection. Sur la figure 3, on peut voir un autre exemple de structure S3 de gyroscope à détection capacitive de type XY. La structure S3 est de type disque oscillant. Dans cet exemple la masse d'excitation ME a la forme d'un disque suspendu par rapport au substrat au niveau d'une partie centrale du disque par des moyens de suspension 204. La structure comporte des moyens d'excitation, ceux-ci comportent typiquement des électrodes d'actionnement électrostatiques, par exemple de type électrodes interdigités. Ils sont par exemple situés sur le bord externe de la masse de détection, de sorte d'appliquer une force tangentielle au disque. Les moyens d'excitation mettent en mouvement la masse d'excitation en rotation autour de l'axe Z. La structure comporte également quatre masses de détection MD1, MD2, suspendues dans le disque par des moyens de suspension de type poutre de torsion. Deux des masses de détection MD1 parmi les quatre sont aptes à pivoter autour de l'axe Y et les deux autres masses de détection MD2 sont aptes à pivoter autour de l'axe X. Les premiers moyens de détection 210 sont formés par une paire d'électrodes associée à chaque masse de détection MD1, MD2, l'une des électrodes formée par la masse et l'autre sur le substrat 2 en regard. Les deuxièmes moyens de détection 214 comportent quatre paires d'électrodes diamétralement opposées deux à deux. Chaque paire comporte une électrode sur la masse d'excitation et une électrode sur le substrat. Dans l'exemple représenté, chaque paire d'électrodes des deuxièmes moyens de détection sont alignés avec une paire d'électrodes des premiers moyens de détection le long d'un rayon du disque. Cette disposition est avantageuse. Les deux électrodes 214 selon l'axe X sont associées aux deux électrodes 210 de détection des masses MD1 selon l'axe X et permettent de faire les mesures de la force de Coriolis et du biais associés à la rotation d'axe X. Les masses MD1 sont excitées le long de l'axe Y, et une rotation autour de l'axe X entraîne une force de Coriolis le long de l'axe Z, le mouvement le long de l'axe Z est détecté par les électrodes 210 et 214. De manière similaire, les électrodes le long de l'axe Y permettent de faire les mesures de la force de Coriolis et du biais associés à la rotation d'axe Y. Les masses MD2 sont excitées le long de l'axe X, et une rotation autour de l'axe Y entraîne une force de Coriolis le long de l'axe Z, le mouvement le long de l'axe Z est détecté par les électrodes 210 et 214. Sur les figures 4 et 5, on peut voir des exemples de structures de gyroscope à détection piézorésistive. Sur la figure 4, il s'agit d'une structure S4 de gyroscope adapté à une détection X/Y. Dans la représentation de la figure 4, il s'agit d'un gyroscope à détection Y. La structure S4 comporte deux masses d'excitation ME1, ME2 reliées par une poutre 316. Les moyens d'excitation sont aptes à exciter les masses d'excitation ME1, ME2 le long de l'axe X, les masses ME1 et ME2 étant actionnées en opposition de phase. La structure S4 comporte deux masses de détection MD1, MD2 chacune suspendue dans une partie ME1, ME2 de la masse d'excitation ME. Les deux masses de détection MD1, MD2 sont reliées par une poutre 318. Les poutres 316, 318 sont, quant à elles, articulées sur le substrat 2 par des poutres déformables en torsion 319, 321 visibles sur les vues agrandies, respectivement, définissant l'axe de rotation des poutres. Cet axe de rotation est dans la direction Y. Les références 320 et 322 désignent des jauges de mesure piézorésistives formant les moyens de détection 314, 310 de la masse d'excitation et de la masse de détection respectivement. Le mouvement de détection se fait selon l'axe Z, mais en opposition de phase entre les masses MD1 et MD2, ce mouvement de balancier entraînant les poutres 316 et 318 en rotation autour de l'axe Y. Sur cette figure, du fait que les jauges 320, 322 sont situées dans un plan différent de celui de l'axe de torsion définit par la poutre 320, 321 respectivement, la rotation des poutres 316 et 318 auxquelles sont rattachées les jauges 320, 322 respectivement, induit un effort de tension/compression sur les jauges 320, 322. Les moyens de mesure 314 sont associés à la mesure du déplacement des masses d'excitation ME1, ME2 selon l'axe de détection Z et les moyens de mesure 310 sont associés à la mesure du déplacement des masses de détection MD1, MD2 selon l'axe de détection Z. Le signal fourni par les premiers moyens de détection piézorésistifs est désigné par R1 + AR1, et le signal fourni par les deuxièmes moyens de détection piézorésistifs est désigné par R1' + AR1'. Sur la figure 5, il s'agit d'une structure S5 du gyroscope à détection Z comportant deux masses d'excitation ME1, ME2 excitées le long de l'axe X ou Y. Les deux masses d'excitation ME1, ME2 sont reliées par une poutre 416 articulée en rotation sur le substrat autour de l'axe Z. Dans l'exemple représenté, le moyens de suspension de la poutre 416 sont formés par deux poutres 420 concourantes au niveau de l'axe Z. les deuxièmes moyens de détection 414 sont formés par deux jauges piézorésistives de part et d'autre des moyens de suspension 420. Les deux jauges assurent une mesure différentielle. La structure S5 comporte deux masses de détection MD1, MD2 reliées par une poutre 418 articulée en rotation sur le substrat autour de l'axe Z. Dans l'exemple représenté, les moyens de suspension de la poutre 418 sont formés par deux poutres 422 concourantes au niveau de l'axe Z. Les premiers moyens de détection 410 sont formés par deux jauges piézorésistives 424 de part et d'autre des moyens de suspension 422. Les deux jauges assurent une mesure différentielle. Selon une autre variante, les moyens de détection peuvent être de type magnétique. Les masses d'excitation ME1 et ME2 sont mises en mouvement selon X et sous l'effet d'une rotation autour de Z, les deux masses de détection MD1, MD2 se déplacent selon l'axe Y en opposition de phase, et entrainent la poutre 418 selon un mouvement de rotation autour de l'axe Z. De préférence, les premiers et deuxièmes moyens de détection sont du même type, mais il sera compris que cela n'est pas nécessaire et qu'une structure dans laquelle la détection du déplacement de la masse de détection est capacitive ou piézorésistive, peut comporter une détection piézorésistive ou capacitive respectivement du déplacement de la masse d'excitation. Le gyroscope selon l'invention comporte également des moyens de traitement du signal de détection provenant de la masse de détection afin de déterminer une vitesse de rotation subie par le gyromètre à partir des forces de Coriolis et de fournir au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope. Les moyens pour déterminer la vitesse de rotation subie par le gyromètre sont bien connus de l'homme du métier et ne seront pas décrits. Nous allons maintenant décrire en détail les moyens de traitement et le procédé mis en oeuvre pour déterminer au moins paramètre permettant une calibration d'un gyroscope et/ou sa reca libration. La structure de gyroscope selon l'invention délivre deux signaux, un signal représentatif de déplacement de la masse de détection dans la direction de détection et un signal représentatif du déplacement de la masse d'excitation dans la direction de détection Les moyens de traitement de ces signaux sont représentés schématiquement sur les figures 6 et 7 pour une structure de gyroscope à détection capacitive et pour une structure de gyroscope à détection piézorésistive respectivement. Dans les exemples représentés, les moyens de traitement appliquent les étapes suivantes aux deux signaux de détection : - un étape d'amplification des signaux de détection, - une étape éventuelle de démodulation, en effet en général le signal de détection est modulé par une tension de lecture à une fréquence fe=we/2n>>fo. Le signal est donc démodulé et filtré pour le ramener à la fréquence fo=w0/2n de l'équation (1), - une étape de démodulation et de filtre du signal afin d'obtenir la vitesse de rotation de la masse de détection avec une bande passante définie par le dernier filtre. Concernant l'étape d'amplification, dans le cas d'une détection capacitive, il s'agit d'une étape de transformation d'une variation de capacité en variation de tension, on utilise un étage de lecture capacitif, qui est par exemple un étage C2V. (convertisseur capacité tension). Dans ce cas, l'électrode de la capacité variable est reliée à une entrée d'un amplificateur linéaire, cette même entrée est reliée à la sortie de l'amplificateur par l'intermédiaire d'une capacité Ci et d'une résistance Ri en parallèle. L'autre entrée de l'amplificateur est mise à la masse. Si une tension Vocos(wet) est appliquée de l'autre côté de la capacité variable, et si we>>1/(RiCi), la tension en sortie de l'étage C2V est -Vo*AC/Ci. Dans le cas d'une détection piézorésistive, on utilise un étage de lecture piézorésistive. Les jauges piézorésistives sont, de manière avantageuse, arrangées dans une configuration de pont de Wheatstone. Il s'agit alors de lire une variation de tension, ce qui peut se faire en utilisant un amplificateur linéaire différentiel ou un ensemble d'amplificateur avec entrées différentielles. En particulier, on peut utiliser un ensemble de trois amplificateurs linéaires de manière à constituer un amplificateur dit d'instrumentation, qui peut présenter des bruits de lecture très bas. A titre d'exemple, on peut utiliser un amplificateur d'instrumentation du AD8428 vendu par Analog Devices ®. De préférence, les moyens de suspension de la masse d'excitation sont choisis de sorte à présenter une rigidité selon l'axe de détection très supérieure à celle dans la direction d'excitation afin de limiter l'effet de la force de Coriolis par rapport à celle du biais en quadrature. En effet, la force de Coriolis s'exerce aussi sur la masse d'excitation. Si on compare cette force de Coriolis Fo avec la force équivalente due au biais FBq, on a Fn 2mIco0Xn 2mIco0n n( coo )2 n kx, m1 FBq alfyIX 2 Bq k Bq cooy, Bq ky1m1+m2 yl CO0 ky1 et kx1 sont respectivement les constantes de raideur des moyens de suspension de la masse d'excitation dans la direction de détection et la direction d'excitation. En choisissant des moyens de suspension de la masse d'excitation tels que kyl>>k,d, la perturbation due à la force de Coriolis est inférieure à 2 à 3 ordres de grandeur maximum par rapport à de l'effet dû au biais en quadrature. Par exemple kyv kx1 est supérieur à 100. Dans l'exemple représenté, les moyens de traitement, dans le cas d'un gyroscope à détection capacitive, comportent des moyens I pour transformer la variation de capacité en variation de tension, éventuellement des moyens de démodulation II et de filtre du signal pour le ramener à une fréquence fo=w0/2n et des moyens de démodulation et de filtre III pour obtenir la vitesse de rotation de la masse de détection MD avec une bande passante définie par le filtre des moyens III. Dans l'exemple représenté, les moyens de traitement, dans le cas d'un gyroscope à détection piézorésistive, comportent des moyens l' formant amplificateur d'instrumentation qui ont été décrit ci-dessus, éventuellement des moyens de démodulation et de filtre II' du signal pour le ramener à une fréquence fo=w0/2n et des moyens de démodulation et de filtre Ill' pour obtenir la vitesse de rotation de la masse de détection avec une bande passante définie par le filtre des moyens III'. Les moyens de traitement délivrent alors : - à partir du signal de détection de la masse de détection MD, les signaux traités I et Q, tels que Q - Bq, le biais en quadrature et I - Bi + c), la somme du biais en phase et de la vitesse de rotation. - à partir du signal de détection de la masse d'excitation, les signaux traités l' et Q', tels que Q' - Bq/A, le rapport du biais en quadrature Bq et du facteur d'amplification A, et l' - Bi/A, le rapport du biais en phase et du facteur d'amplification A. Il est alors possible de déterminer le facteur d'amplification en calculant le rapport Q/Q'. On peut également en déduire le biais en phase Bi à tout moment en calculant l'xQ/QT. Ainsi, grâce à l'invention, on peut connaître à tout moment le facteur d'amplification A à partir de la relation (I), le biais en phase Bi et le biais en quadrature Bq. A partir de la connaissance du facteur d'amplification A, il est possible de déterminer la sensibilité de la structure. En effet, la sensibilité dans un mode de fonctionnement en fréquences accordées est donnée par la relation : Yn 2XA _ = 1-2 woexc Dans le cas d'un mode de fonctionnement en fréquences non-accordées, la sensibilité est donnée par la relation 17n = 2X Ax(1- -1 )2 n cooexc 2A A partir des ces paramètres, il est possible d'effectuer de manière simple une calibration du gyroscope sans avoir à recourir à une table tournante complexe. En outre, des étapes de recalibration du gyroscope peuvent avoir lieu de manière simplifiée. Par exemple, une étape de recalibration peut être lancée lors d'un changement sensible de la température de l'environnement dans lequel se trouve le gyroscope. En effet, les paramètres obtenus sont obtenus à la température de fonctionnement du gyroscope. Ainsi si on détecte un tel changement de température, on peut lancer une étape de recalibration du gyroscope. De manière préférée, les étapes de recalibration sont telles que la recalibration est périodique et de manière encore préférée telles que la recalibration est continue. Une simulation du traitement du signal après la démodulation des mesures va maintenant être décrite, celle-ci ayant été réalisée avec le logiciel Xcos. Les paramètres pour la simulation sont les suivants : - fréquence de résonance de l'excitation 20kHz, - fréquence de résonance de la détection 21kHz, - facteur de qualité en détection Qs=10000, - amplification A du résonateur en détection 10,756, - bruit blanc de mesure 0.017s/VHz, - erreur de phase du démodulateur ap - bruit de phase du démodulateur alb z10 VH , oei sr er == 10,_5radi - signal de biais en quadrature 10000/s; - signal de biais en phase -1007s, - bande passante du signal mesuré sur la masse de détection 100Hz, - bande passante du signal mesuré sur la masse d'excitation 1Hz. La simulation porte sur une durée de 10s, en raison du filtre à 1Hz, les données sont traitées à partir de 2s. On considère c) comme nul, ainsi la mesure I sur la masse de détection donne directement le biais en phase Bi mesurée sur la masse de détection. Sur la figure 8, on peut voir représentée la variation du facteur d'amplification A en fonction du temps obtenu par le rapport Q/C1'. En moyenne, A est égal à 10,755 pour une valeur théorique de 10,756, avec une résolution de 0,003. A partir de ce facteur d'amplification et la mesure lT, on peut reconstruire le biais en phase Bi et estimer sa valeur. On obtient dans le cas présent un biais en phase reconstruit de -117,457s, au lieu de 118,467s mesurée sur la masse de détection MD, qui est donné par le signal I sur la masse de détection MD comme expliqué ci-dessus. On obtient donc le biais en phase à 17s près en moyenne avec une résolution de 0,297s, pour une résolution du signal mesuré sur la masse de détection de 0,247s. Sur la figure 9, est représenté la variation de la différence entre le biais reconstruit qui est égal à // et le biais mesuré qui est égal à I en fonction du temps. Cette différence de 17s est due au déphasage induit par le résonateur en détection (k[. En tenant compte des erreurs de démodulation, la valeur du ratio Q/Q' vaut : -Ao- ' ' (p') Q Sachant qu'en général, B, La présente invention est particulièrement intéressante pour les gyroscopes avec des fréquences d'excitation et de détection non-accordées, puisque le facteur d'amplification est davantage réduit : 1 à 100 contre 1000 à 100000 dans le cas de fréquences accordées.5 REVENDICATIONS1. Gyroscope comportant : - au moins un oscillateur d'excitation comportant au moins une masse d'excitation (ME) suspendue par rapport à un substrat (2) présentant une seule direction de déplacement en excitation, - au moins un oscillateur en détection comportant au moins une masse de détection (MD) suspendue par rapport à la masse d'excitation apte à se déplacer selon la direction d'excitation et selon une direction de détection orthogonale à la direction d'excitation, - des moyens d'excitation de la masse d'excitation (ME) dans la direction de déplacement en excitation, - des premiers moyens de détection (10) destinés à détecter le déplacement de la masse de détection (MD) selon ladite direction de détection et fournissant un premier signal de détection, Le gyroscope comportant également : - des deuxièmes moyens de détection (14) destinés à détecter le déplacement de la masse d'excitation (ME) selon ladite direction de détection et fournissant un deuxième signal de détection, et - des moyens de traitement du premier signal de détection et du second signal de détection de sorte à déterminer une vitesse de rotation subie par le gyromètre et à fournir au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope. 2. Gyroscope selon la revendication 1, dans lequel ledit au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope est le coefficient d'amplification caractérisant la sensibilité du gyroscope et/ou le biais du gyroscope. 3. Gyroscope selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les moyens de traitement du premier signal de détection et du second signal de détection sont tels qu'ils déterminent à partir du premier signal de détection , le biais en quadrature et lasomme du biais en phase et de la vitesse de rotation, qu'ils déterminent à partir du deuxième signal de détection, le rapport du biais en phase sur le coefficient d'amplification et le rapport du biais en quadrature sur le coefficient d'amplification, et qu'il déterminent le coefficient d'amplification en effectuant une division du biais en quadrature sur le rapport du biais en quadrature sur le coefficient d'amplification. 4. Gyroscope selon la revendication 3, dans lequel les moyens de traitement du premier signal de détection et du second signal de détection sont tels qu'ils effectuent une multiplication du rapport du biais en phase sur le coefficient d'amplification avec le coefficient d'amplification déterminé par ladite division. 5. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel les moyens de traitement comportent des moyens d'amplification (I, I') du premier et du deuxième signal de détection et des premiers moyens (III, III') aptes à démoduler les signaux amplifiés. 6. Gyroscope selon la revendication 5, dans lequel les moyens de traitement comportent en outre des deuxièmes moyens (II, II') pour démoduler les signaux amplifiées préalablement aux premiers moyens de démodulation (III, III') et pour filtrer lesdits signaux afin de ramener les signaux démodulés à la fréquence d'actionnement du gyroscope. 7. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel les premiers et deuxièmes moyens de détection (14) sont de type capacitif. 8. Gyroscope selon la revendication 5 ou 6 en combinaison avec la revendication 7, dans lequel les moyens d'amplification (I) des signaux mesurés comportent un amplificateur monté en parallèle avec au moins une capacité. 9. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel les premiers et deuxièmes moyens de détection sont de type piézorésistif. 10. Gyroscope selon la revendication 5 ou 6 en combinaison avec la revendication 9, dans lequel les moyens d'amplification (I') des signaux mesurés comportent un ou plusieurs amplificateurs à entrées différentielles. 11. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 10 en combinaison avec la revendication 5, dans lequel premiers moyens (III, III') aptes à démoduler les signaux amplifiés comportent un filtre du deuxième signal de détection et un filtre du premier signal de détection , le filtre du deuxième signal étant un filtre à bande passante inférieure à celle d'un filtre du premier signal de sorte à avoir une résolution proche ou identique sur le premier signal de détection et le deuxième signal de détection. 12. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 11 en combinaison avec la revendication 5, comportant des moyens de déphasage du deuxième signal de détection de sorte à reproduire un déphasage de l'oscillateur de détection, lesdits moyens de déphasage appliquant ce déphasage avant la démodulation (III, III') du deuxième signal de détection par les premiers moyens de démodulation. 13. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 12, présentant des fréquences d'excitation et de détection non-accordées. 14. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 13, dans lequel le masse d'excitation (Me) est suspendue par rapport au substrat (2) par des moyens de suspension de type ressort, lesdits moyens de suspension présentant une première constante de raideur (ky1) selon la direction de détection et une deuxième constante de raideur (kx1) selon la direction d'excitation, la première constante de raideur (ky1) étant sensiblement supérieure à la deuxième constante de raideur (kx1).30 15. gyroscope selon la revendication 14, dans lequel le rapport de la première constante de raideur (ky1) sur la deuxième constante de raideur (kx1) est supérieur à 100. 16. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 15, comportant des moyens de connexion en amont des moyens d'amplification pour effectuer de façon périodique la détermination dudit au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope. 17. Gyroscope selon l'une des revendications 1 à 16, comportant plusieurs masses d'excitation couplées, lesdites masses étant aptes à se déplacer dans des directions différentes. 18. Procédé de calibration d'un gyroscope comportant au moins un oscillateur d'excitation comportant au moins une masse d'excitation (ME) présentant une seule direction de déplacement en excitation, et au moins un oscillateur de détection comportant au moins une masse de détection (MD) apte à se déplacer selon la direction d'excitation et selon une direction de détection, comportant les étapes : a) mesure du déplacement de la masse de détection (MD) dans la direction de détection, formant un premier signal de détection, b) mesure du déplacement de la masse d'excitation (ME) selon la direction de détection, formant un deuxième signal de détection, c) traitement du premier signal de détection et du second signal de détection de sorte à déterminer une vitesse de rotation subie par le gyromètre et à fournir au moins un paramètre de calibration dudit gyroscope, d) calibration du gyroscope sur la base de ce paramètre. 19. Procédé de calibration selon la revendication 18, dans lequel l'étape c) de traitement du premier et du deuxième signal comporte :- le traitement du premier signal de détection de sorte à obtenir le biais en quadrature (Bq) et la somme du biais en phase et de la vitesse de rotation (Bi + Q), - le traitement du deuxième signal de détection de sorte à obtenir le rapport du biais en phase sur le coefficient d'amplification (Bi/A) et le rapport du biais en quadrature sur le coefficient d'amplification (Bq/A) - la détermination du coefficient d'amplification en effectuant une division du biais en quadrature sur le rapport du biais en quadrature sur le coefficient d'amplification 20. Procédé de calibration selon la revendication 18 ou 19, dans lequel l'étape a) comporte les sous-étapes : al) d'amplification et de filtration du premier signal de détection, a2) de démoduler du premier signal amplifié, et l'étape b) comporte les sous-étapes : bl) d'amplification et de filtration du deuxième signal de détection, b2) de démoduler du deuxième signal amplifié. 21. Procédé de calibration selon la revendication 20, comportant les étapes de démodulation et filtre entre les étapes al) et a2) et entre les étapes bl) et b2) pour ramener les premier et deuxième signaux amplifiés à la fréquence d'actionnement. 22. Procédé de calibration selon la revendication 20 ou 21, dans lequel, dans les cas de signaux de détection capacitifs, les étapes a2) et b2) sont réalisées par un étage de lecture capacitive. 23. Procédé de calibration selon la revendication 20 ou 21, dans lequel, dans les cas de signaux de détection piézorésistifs, les étapes a2) et b2) sont réalisées par un ou plusieurs amplificateurs à entrées différentielles.30 24. Procédé de calibration selon l'une des revendications 18 à 23, ledit procédé étant mis en oeuvre de façon continue ou périodique ou ponctuellement à la suite d'une variation de l'environnement du gyroscope.