Brevet FR3003689A1 — publié le 20140926

SUPPORT POUR AUTO-ASSEMBLAGE CAPILLAIRE AVEC STABILISATION HORIZONTALE, PROCEDE DE FABRICATION ET UTILISATION DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE Le domaine de l'invention concerne la création de structures par auto- assemblage capillaire de structures mésoscopiques. Les principales applications de cette technique sont la microélectronique 3D (pour laquelle on cherche à empiler verticalement, puis sceller, des puces électroniques), l'optique (notamment l'alignement de diodes électroluminescentes ou de micro-miroirs), et enfin le packaging de microsystèmes électromécaniques (MEMS pour MicroElectroMechanical Systems) ou de microsystèmes fluidiques (pour lesquels on cherche à placer précisément une plaque de couverture afin de la sceller sur le système). ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE La technique d'auto-assemblage capillaire d'objets de taille mésoscopique repose sur l'utilisation des forces capillaires pour déplacer un objet dans un alignement prédéfini. Selon cette technique, une plaque (ou encore une puce ou pastille) mobile de forme quelconque est placée sur une gouttelette liquide préalablement déposée sur un support fixe de forme correspondante. Les forces capillaires créées par l'ancrage du liquide sur les arêtes de la plaque mobile et du support sont utilisées pour aligner la plaque mobile exactement au dessus du support. L'enveloppe de la plaque mobile flottante est alors l'image exacte de l'enveloppe support, translatée verticalement vers le haut. Dans le cas où le liquide est de l'eau, l'évaporation aboutit au contact de la plaque et du support, qui se scellent ensemble par contact direct. C'est le cas de la microélectronique 3D ou encore du packaging des MEMS ou des labs-on-chip. Dans le cas où le liquide est un corps chimique qui se solidifie, la plaque est fixée dans un emplacement bien contrôlé. C'est le cas des applications optiques notamment. En prenant certaines précautions, comme par exemple un bon mouillage des deux facettes (plaque et support) en en maîtrisant l'ancrage sur les arêtes, un assez bon taux de succès de l'alignement peut être obtenu. Néanmoins, pour l'industrialisation, ce taux de succès doit atteindre des niveaux très élevés. Des études (voir par exemple l'article de J.Berthier et al. intitulé « Self- alignment of Silicon chips on wafers: A capillary approach", J. Appl. Phys. 108, 054905, 2010) ont montré que le mouvement de la plaque sur le film liquide pouvait se décomposer en quatre modes: la translation latérale (shift), la rotation d'axe vertical (twist), la translation verticale (lift) et le basculement d'axe horizontal (tilt). Il a été établi que tous ces modes sont stables, c'est-à-dire qu'ils ramènent la puce dans l'alignement, sauf le tilt qui est légèrement instable. En d'autres termes, la plaque mobile peut s'incliner lentement et progressivement sur la goutte jusqu'à venir toucher le support. Ces études ont été confirmées par des observations expérimentales. En ce qui concerne la microélectronique 3D, il a été remarqué que le tilt pouvait provoquer un contact mécanique entre la plaque (puce) et le support, bloquant le mouvement d'alignement de la plaque. En ce qui concerne les applications dans le domaine optique où le liquide intermédiaire se solidifie progressivement, le tilt provoque un mauvais alignement horizontal de la plaque, nuisible à la qualité optique. La prise en compte des modes de déplacement de la plaque est fondamentale: en effet, au moment de la dépose de la plaque sur la gouttelette, il y a donc toujours un défaut d'alignement initial composé à la fois d'un shift, twist, lift et tilt initial. La méthode d'auto-assemblage capillaire repose sur la résorption de ces défauts initiaux. Or le fait que le tilt soit instable, même seulement légèrement, pose un problème qu'il est essentiel de résoudre. Outre le tilt, d'autres causes de mauvais alignement ont été observées : un débordement intempestif du liquide qui empêche l'ancrage du fluide sur les arêtes, un défaut de mouillage de la plaque, et éventuellement un phénomène dynamique lié à la dépose de la puce. Et jusqu'à présent, à part une amélioration de l'horizontalité de la plaque au moment de la dépose sur la goutte, aucune autre solution développable industriellement n'a été proposée pour résoudre le problème d'alignement lié au tilt. EXPOSÉ DE L'INVENTION L'invention a pour objectif d'améliorer l'alignement de la plaque et du support et propose pour ce faire un support comportant une zone de réception dont l'enveloppe externe correspond à la forme d'une plaque destinée à être posée sur une gouttelette placée au moins dans la zone de réception afin de réaliser l'auto-assemblage capillaire de la plaque et du support, caractérisé par au moins une piste s'étendant sur le support depuis la zone de réception, l'au moins une piste présentant une affinité de type lyophile avec la gouttelette de sorte qu'un débordement de la gouttelette en dehors de la zone de réception est canalisé dans l'au moins une piste. Le fait qu'un débordement incontrôlé conduit à un mauvais alignement a produit l'idée fausse que tout débordement était nuisible. C'est pourquoi les équipes travaillant sur cette problématique ont adopté pour principe de chercher à juguler tout débordement. L'approche préconisée par l'invention va dans une autre direction : grâce à l'au moins une piste lyophile, on induit un débordement contrôlé qui permet de maîtriser le tilt, tout en conservant les effets qui conduisent à l'alignement. Certains aspects préférés mais non limitatifs de ce support sont les suivants : l'au moins une piste et une partie au moins de la zone de réception présentent une affinité de type lyophile avec la gouttelette ; il comprend au moins une paire de pistes rectilignes s'étendant de part et d'autre de la zone de réception dans le prolongement l'une de l'autre selon une même direction ; il comprend au moins deux paires de pistes s'étendant dans le plan du support ; il comprend deux paires de pistes s'étendant selon des directions sensiblement perpendiculaires dans le plan du support ; il comprend comprenant une pluralité de motifs contigus, où chaque motif est délimité par un pourtour à l'intérieur duquel est circonscrite l'enveloppe externe d'une zone de réception, l'au moins une piste s'étendant de la zone de réception jusqu'au pourtour du motif ; il comprend une première piste et une deuxième piste qui s'étendent de part et d'autre de la zone de réception dans le prolongement l'une de l'autre, et dans lequel la première et la deuxième pistes ne présentent pas le même degré d'affinité de type lyophile avec la gouttelette ; il comprend une première piste et une deuxième piste qui s'étendent de part et d'autre de la zone de réception dans le prolongement l'une de l'autre, et un dispositif électro-capillaire associé à chacune des pistes de manière à pouvoir en modifier le degré d'affinité de type lyophile avec la gouttelette. L'invention porte également sur un procédé d'auto-assemblage capillaire d'une plaque sur un support selon le premier aspect de l'invention, comportant les étapes de placement d'une gouttelette au moins dans la zone de réception du support, et de pose de la plaque sur la gouttelette. Le support peut présenter une pluralité de motifs, où chaque motif est délimité par un pourtour à l'intérieur duquel est circonscrite l'enveloppe externe d'une zone de réception, l'au moins une piste s'étendant de la zone de réception jusqu'au pourtour du motif, et le procédé comprend un mouillage global du support pour venir placer une gouttelette dans chacune des zones de réception. Le procédé peut par ailleurs comprendre la pose collective d'une pluralité de plaques. Et l'invention s'étend également à un procédé de formation d'un support comportant une zone de réception dont l'enveloppe externe correspond à la forme d'une plaque destinée à être posée sur une gouttelette placée dans la zone de réception afin de réaliser l'auto-assemblage capillaire de la plaque et du support, caractérisé en ce qu'il comporte la formation d'au moins une piste s'étendant sur le support depuis la zone de réception, l'au moins une piste présentant une affinité de type lyophile avec la gouttelette de sorte qu'un débordement de la gouttelette en dehors de la zone de réception est canalisé dans la piste. Ce procédé peut également comprendre la formation d'une première piste et d'une deuxième piste qui s'étendent de part et d'autre de la zone de réception dans le prolongement l'une de l'autre, lesdites première et deuxième pistes n'étant pas soumises à un même traitement de surface de sorte qu'elles ne présentent pas le même degré d'affinité de type lyophile avec la gouttelette. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS D'autres aspects, buts, avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront mieux à la lecture de la description détaillée suivante de formes de réalisation préférées de celle-ci, donnée à titre d'exemple non limitatif, et faite en référence aux dessins annexés sur lesquels : les figures la et lb représentent de manière schématique des supports selon des modes de réalisation possible de l'invention ; les figures 2a et 2b représentent les supports des figures la et lb respectivement sur lesquels une gouttelette a été déposée ; les figures 3a et 3b illustrent l'auto-alignement capillaire d'une plaque déposée sur les supports des figures la et lb respectivement ; la figure 3c illustre la résorption d'un mouvement de tilt initial d'une plaque déposée sur le support de la figure la ; les figures 4a et 4b sont des schémas illustrant un contrôle du tilt conformément à des modes de réalisation possible de l'invention ; les figures 5a et 5b représentent des modes de réalisation possibles de supports multi-motifs conformes à un mode de réalisation possible de l'invention ; les figures 6a et 6b représentent des configurations selon lesquelles les gouttelettes déposées sur un support multi-motifs sont séparées ou respectivement se touchent ; la figure 7 représente de manière schématique différentes étapes d'un procédé de formation d'un support conforme à l'invention. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Selon un premier aspect, et en référence aux figures la-lb, 2a-2b et 3a- 3c, l'invention concerne un support comprenant une zone de réception Z1, Z2 dont l'enveloppe externe correspond à la forme d'une plaque P1, P2 destinée à être posée sur une gouttelette G placée au moins dans la zone de réception afin de réaliser l'auto- assemblage capillaire de la plaque et du support. A titres d'exemple purement illustratif, la plaque P1 prend par exemple la forme d'un carré, de sorte que l'enveloppe externe de la zone de réception Z1 est également carrée (figures la, 2a et 3a). Dans un autre exemple, la plaque P2 est circulaire, et l'enveloppe externe de la zone de réception Z2 est donc également circulaire (figures lb, 2b et 3b). Sur les figures, la forme de la zone de réception Z1, Z2 correspond à la forme de la plaque P1, P2. L'invention n'est pas limitée à ce cas de figure, et s'étend également à des objets de forme plus complexe, comme des plaques dans la face libre desquelles une ou plusieurs cavités sont pratiquées et des supports correspondants dont la zone de réception comprend une ou plusieurs régions d'assemblage sur lesquelles la face libre de la plaque va être alignée, la ou les régions d'assemblage prenant par exemple la forme de plateaux dépassant de la surface d'un substrat, la ou les cavités venant en regard de la surface du substrat et à distance de celle-ci. On trouvera un exemple d'une telle forme complexe dans l'article de Fukushima T. et al. intitulé "Self- Assembly of Chip-Size Components with Cavity Structures: High-Precision Alignment and Direct Bonding without Thermal Compression for Hetero lntegration", Micromachines. 2011; 2(1):49-68. Les régions de la plaque et du support destinées à être assemblées par capillarité sont lyophiles, en ce sens qu'elles présentent une affinité avec le liquide de la gouttelette. Ces régions sont ainsi hydrophiles lorsque le liquide est aqueux. La zone de réception du support présente ainsi au moins une région lyophile (la ou les régions de d'assemblage), l'intégralité de la zone de réception étant lyophile dans le cas des formes simples représentées sur les figures. Dans le cadre de l'invention, on prévoit une structure auxiliaire dans le support, en dehors de la zone de réception Z1, Z2 dont l'enveloppe externe correspond à la forme de la plaque. Plus précisément, le support comporte au moins une piste T11, T12, T21, T22 s'étendant sur le support depuis la zone de réception Z1, Z2. L'au moins une piste présente une affinité de type lyophile avec la gouttelette de sorte qu'un débordement de la gouttelette en dehors de la zone de réception Z1, Z2 est canalisé dans l'au moins une piste. On induit de la sorte un débordement contrôlé qui permet de maîtriser le tilt, tout en conservant les effets qui conduisent à l'alignement. La présence de l'au moins une piste définit un motif M1, M2 géométrique sur le support. Le motif M1, M2 est délimité par un pourtour B1, B2 à l'intérieur duquel est circonscrite l'enveloppe externe de la zone de réception Z1, Z2, l'au moins une piste s'étendant T11, T12, T21, T22 s'étendant de la zone de réception Z1, Z2 jusqu'au pourtour du motif. Dans les exemples des figures discutées ci-dessus, le motif M1, M2 est un carré de côté supérieur à la dimension caractéristique (côté dans le cas d'un carré, diamètre dans le cas d'un cercle) de la zone de réception Z1, Z2. L'au moins une piste T11, T12, T21, T22 et une partie au moins de la zone de réception Z1, Z2 sont lyophiles, tandis que le reste du motif (c'est-à-dire l'extérieur de la zone de réception à l'exception de l'au moins une piste et, lorsque la zone de réception n'est pas intégralement lyophile, la partie non lyophile de la zone de réception) est lyophobe. Un contraste important de mouillabilité entre les régions lyophiles et lyophobes permet d'obtenir un fort taux de succès de l'alignement. Dans le cadre de l'invention, ce contraste important est assuré dès lors que l'angle de contact avec lequel la gouttelette repose sur les régions lyophiles et l'angle de contact avec lequel la gouttelette repose sur les régions lyophobes présentent un écart de plus de 40°, de préférence de plus de 50°. L'angle de contact sur les régions lyophiles est typiquement inférieur à 60°, tandis que l'angle de contact sur les régions lyophobes est typiquement supérieur à 100°, de préférence supérieur à 110°. Comme représenté sur les figures, l'au moins une piste lyophile peut être une piste rectiligne. On peut par ailleurs prévoir d'associer deux pistes ensemble (T11 et T12 ; T21 et T22) qui s'étendent selon une même direction (L1 ; L2) dans le prolongement l'une de l'autre respectivement de part et d'autre de la zone de réception, de manière à constituer une paire de pistes. On peut par ailleurs prévoir, comme représenté, deux paires de pistes rectilignes T11, T12 ; T21, T22 par motif qui s'étendent selon des directions indépendantes L1; L2 dans le plan du support afin d'assurer une maîtrise du tilt selon deux directions. Les deux paires de pistes peuvent notamment s'étendre selon des directions venant en intersection au centre la zone de réception, selon les diagonales du motif par exemple, ou encore selon des directions rectangulaires comme représenté sur les figures. La ou les pistes s'étendent de la zone de réception jusqu'à la bordure du motif sur une longueur de piste. La largeur d'une piste est avantageusement comprise entre 1/6 et 1/4 de la dimension caractéristique de la plaque (diamètre pour une plaque circulaire, côté duquel part la portion de piste pour un objet polygonal). Ainsi, la piste n'est ni trop large (ce qui pourrait faire que les forces et couples d'alignement des autres modes, à savoir le shift et le twist, ne seraient plus suffisants pour réaliser l'alignement de la plaque et du support) ni trop étroite (auquel cas le liquide pourrait ne pas avancer sur la piste). Dans le cas où l'on souhaite que le débordement de la gouttelette canalisé dans une piste reste circonscrit dans le motif sans atteindre la bordure du motif, la longueur de la piste est supérieure à 3 fois la largeur de la piste, typiquement comprise entre 3 et 4 fois la largeur de la piste. Les figures 2a-2b illustrent la formation de « doigts » liquides D1, D2 sur les pistes lyophiles suite au placement d'une gouttelette G de liquide. Comme on peut le constater des figures 3a-3b illustrant le réalignement capillaire d'une plaque Pl, P2 suite à sa pose sur la gouttelette, les « doigts » liquides D1, D2 agissent comme des haubans qui, par la force capillaire qu'ils exercent, permettent de stabiliser la plaque horizontalement. Et comme on peut l'observer de la figure 3c, un mouvement de tilt (représenté par une flèche F sur la gauche de cette figure) de la plaque est résorbé grâce à la présence des pistes. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, on vient donner à la plaque une inclinaison donnée par rapport à l'horizontale (c'est-à-dire un tilt). Pour ce faire, et en référence à la figure 4a, une piste T11 d'une paire de pistes et l'autre piste T12 de la paire de pistes ne présentent pas le même degré d'affinité de type lyophile avec la gouttelette. Le contraste de mouillabilité entre les pistes de la paire permet à titre d'exemple d'obtenir un tilt de 2° environ lorsque l'angle de contact est de 5° sur une piste T11 de la paire alors que l'angle de contact est de 40° sur l'autre piste T12 de la paire. Dans l'exemple de la figure 4a, on a réalisé une inclinaison vers la droite, par rapport à un axe perpendiculaire à la direction Ll de la paire de pistes T11, T12. L'invention n'est bien entendu pas limitée au cas où un contraste de mouillabilité est donné aux pistes d'une seule paire, mais s'étend au cas où un tel contraste est également donné à une ou plusieurs autres paires de pistes. Ce faisant on peut modifier l'axe selon lequel s'opère l'inclinaison. Dans une première variante, le contraste de mouillabilité est obtenu en faisant en sorte que les pistes T11 et T12 d'un paire de pistes s'étendant selon une même direction ne présentent pas la même largeur. Dans une deuxième variante, le contraste de mouillabilité est obtenu en utilisant des matériaux différents pour les pistes T11 et T12 de la paire. A titre d'exemple, l'une des pistes peut être en silicium tandis que l'autre piste est en nitrure. Dans une troisième variante, le contraste de mouillabilité est obtenu en ne soumettant pas les pistes T11 et T12 de la paire à un même traitement de surface visant à leur conférer ou à accentuer leur affinité de type lyophile avec la gouttelette. A titre d'exemple, l'une des pistes peut être soumise à un traitement plasma en accentuant le caractère lyophile, tandis que l'autre ne l'est pas. Dans une quatrième variante illustrée par la figure 4b, un dispositif électro-capillaire est associé à chacune des pistes T11, T12 d'une paire de pistes de manière à pouvoir en modifier le degré d'affinité de type lyophile avec la gouttelette. Le dispositif électro-capillaire peut prendre la forme de paires d'électrodes El, E2 disposées sous la surface du support de manière à permettre l'application d'une tension entre la gouttelette et chacune des pistes, la modification de la tension appliquée venant modifier l'angle de contact de la gouttelette sur la piste correspondante. La réalisation d'une telle inclinaison de la plaque s'avère notamment intéressante dans le domaine de l'optofluidique où l'on cherche souvent à réaliser des micro-miroirs. Dans le cadre des variantes ci-dessus évoquées, une gélification du liquide conduit alors à un miroir fixe orienté. Dans le cadre de la quatrième variante, et pour autant que le liquide ne solidifie pas ni ne s'évapore comme un liquide organique, comme c'est le cas par exemple d'une huile de silicone, on peut réaliser un miroir orientable. Une LED orientée/orientable peut de la même manière être réalisée. Dans un mode de réalisation de l'invention, le support présente une pluralité de motifs tels que décrit précédemment, les motifs étant typiquement disposés en lignes et colonnes. Ce mode de réalisation permet de réaliser la pose collective d'une pluralité de plaques sur le support, de la même manière que décrit par exemple dans l'article de Fukushima T. et al. intitulé "Development of a new self-assembled die bonder to three-dimensionally stack known good dies in batch", 3DIC, page 1-4. IEEE, (2009). Comme représenté sur la figure 5a, les motifs M11, M12, M13, M14 peuvent être contigus. Ainsi, le support présente un ensemble de pistes Ti, Tj qui se prolongent d'un motif à l'autre continument sur toute la surface du support (la piste Ti se prolongeant par exemple du motif M11 au motif M12, etc.) Alternativement, comme représenté sur la figure 5b, les motifs M21, M22, M23, M24 peuvent être disjoints. Dans un tel cas de figure, les pistes sont interrompues et ne viennent donc pas communiquer d'un motif à l'autre. La configuration de la figure 5a à motifs contigus et pistes lyophiles continues présente l'avantage de permettre la réalisation d'un mouillage global du support en lieu et place d'un dépôt goutte à goutte des gouttelettes. Le mouillage global est suivi d'une évacuation capillaire du liquide en excès vers l'extérieur par les pistes lyophiles. On a représenté sur la figure 6a une configuration des pistes lyophiles telles que les gouttelettes déposées respectivement dans la zone de réception circonscrite dans les motifs M31 et M32 restent séparées les unes des autres. A contrario, la figure 6b illustre une configuration dans laquelle les gouttelettes se rejoignent, de sorte à obtenir une continuité du liquide sur les zones lyophiles (zones de réception et pistes) du support. Le dimensionnement adéquat des pistes lyophiles pour assurer une telle communication des gouttelettes peut être calculé au moyen du logiciel Surface Evolver, et prend en compte les paramètres suivants : volume des gouttelettes, angle de contact sur les zones lyophiles, tension de surface, longueur et largeur des pistes, masse de la plaque. L'invention s'étend ainsi à un procédé d'auto-assemblage capillaire d'une plaque sur un support tel que décrit précédemment, comportant les étapes de placement d'une gouttelette au moins dans la zone de réception du support, et de pose de la plaque sur la gouttelette. Le support peut notamment présenter une pluralité de zones de réception, et le placement des gouttelettes peut être réalisé par dépôt goutte à goutte (en évitant le contact entre les gouttes) ou par mouillage global. On réalise alors avantageusement la pose collective, et ainsi l'auto-assemblage collectif, d'une pluralité de plaques sur le support. L'invention s'étend par ailleurs à un procédé de formation d'un support comprenant une zone de réception dont l'enveloppe externe correspond à la forme d'une plaque destinée à être posée sur une gouttelette placée dans la zone de réception afin de réaliser l'auto-assemblage capillaire de la plaque et du support. Le procédé comprend la formation d'au moins une piste s'étendant sur le support depuis la zone de réception, l'au moins une piste présentant une affinité de type lyophile avec la gouttelette de sorte qu'un débordement de la gouttelette en dehors de la zone de réception est canalisé dans l'au moins une piste. Un exemple d'un tel procédé est le suivant. En référence à la figure 7, on dispose (1) d'un support de type substrat S en silicium, de diamètre 200 ou 300 mm. On applique une photorésine PR sur le substrat, puis on expose la photorésine à une exposition lumineuse avec un masquage adapté pour que la photorésine PR recouvre (2) les portions du support destinées à former les (régions d'assemblage des) zones de réception et (la ou) les pistes hydrophiles. On procède ensuite à la formation (3) d'une couche hydrophobe CH sur le substrat, par exemple par dépôt (par exemple d'une couche carbonée, d'un couche d'octafluorobutène C4F8 ou d'une couche de téflon) ou par traitement de surface (par exemple un traitement de rugosification de surface tel qu'une gravure chimique). On procède ensuite au retrait (4) de la photorésine PR (par exemple au moyen d'un solvant, ou par traitement plasma, ou encore par nettoyage) de manière à exposer par effet de « lift-off » des portions non hydrophobes du substrat S correspondant aux (régions d'assemblage des) zones de réception et aux pistes hydrophiles. Une fois le silicium mis à jour, on peut lui appliquer un traitement visant à le rendre très hydrophile (par exemple par plasma, brossage, traitement UV/ozone), sans pour autant altérer la couche hydrophobe déposée au préalable. On peut de la sorte obtenir des zones extrêmement hydrophiles (angle de contact inférieur à 5°, alors qu'il est de l'ordre de 40° en l'absence d'un traitement accentuant le caractère hydrophile) entourées de zones très hydrophobes (angle de contact supérieur à 100°). Dans le cadre de ce procédé, les pistes lyophiles sont formées en même temps que les (régions d'assemblage des) zones de réception. La formation de ces pistes lyophiles n'apporte donc pas de complications supplémentaires lors de la fabrication. REVENDICATIONS1. Support comportant une zone de réception (Z1, Z2) dont l'enveloppe externe correspond à la forme d'une plaque (P1, P2) destinée à être posée sur une gouttelette (G) placée au moins dans la zone de réception afin de réaliser l'auto- assemblage capillaire de la plaque et du support, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une piste (T11, T12 ; T21, T22) qui s'étend sur le support depuis de la zone de réception (Z1, Z2), l'au moins une piste présentant une affinité de type lyophile avec la gouttelette de sorte qu'un débordement de la gouttelette en dehors de la zone de réception est canalisé dans l'au moins une piste. 2. Support selon la revendication 1, dans lequel l'au moins une piste (T11, T12 ; T21, T22) et une partie au moins de la zone de réception (Z1, Z2) présentent une affinité de type lyophile avec la gouttelette. 3. Support selon l'une des revendications 1 à 2, comprenant au moins une paire de pistes rectilignes (T11, T12 ; T21, T22) s'étendant de part et d'autre de la zone de réception dans le prolongement l'une de l'autre selon une même direction (L1 ; L2). 4. Support selon la revendication 3, comprenant au moins deux paires de pistes s'étendant (T11, T12 ; T21, T22) dans le plan du support. 5. Support selon la revendication 4, comprenant deux paires de pistes (T11, T12 ; T21, T22) s'étendant selon des directions sensiblement perpendiculaires dans le plan du support. 6. Support selon l'une des revendications 1 à 5, comprenant une pluralité de motifs (M11, M12, M13, M14) contigus, où chaque motif est délimité par un pourtour (B1, B2) à l'intérieur duquel est circonscrite l'enveloppe externe d'une zone deréception (Z1, Z2), l'au moins une piste (T11, T12, T21, T22) s'étendant de la zone de réception jusqu'au pourtour du motif. 7. Support selon l'une des revendications 1 à 6, comprenant une première piste (T11) et une deuxième piste (T12) qui s'étendent de part et d'autre de la zone de réception (Z1) dans le prolongement l'une de l'autre, et dans lequel la première et la deuxième pistes ne présentent pas le même degré d'affinité de type lyophile avec la gouttelette. 8. Support selon la revendication 7, dans lequel la première (T11) et la deuxième (T12) pistes ne présentent pas la même largeur. 9. Support selon la revendication 7, dans lequel la première (T11) et la deuxième (T12) pistes sont réalisées en des matériaux différents. 15 10. Support selon l'une des revendications 1 à 9, comprenant une première piste (T11) et une deuxième piste (T12) qui s'étendent de part et d'autre de la zone de réception (Z1) dans le prolongement l'une de l'autre, et un dispositif électrocapillaire (El, E2) associé à chacune des pistes de manière à pouvoir en modifier le degré 20 d'affinité de type lyophile avec la gouttelette. 11. Procédé d'auto-assemblage capillaire d'une plaque sur un support selon l'une des revendications 1 à 10, comportant les étapes de : placement d'une gouttelette au moins dans la zone de réception du support ; 25 pose de la plaque sur la gouttelette. 12. Procédé selon la revendication 11, dans lequel le support présente une pluralité de motifs, où chaque motif est délimité par un pourtour (B1, B2) à l'intérieur duquel est circonscrite l'enveloppe externe d'une zone de réception (Z1, Z2), l'au moins 30 une piste (T11, T12, T21, T22) s'étendant de la zone de réception jusqu'au pourtour dumotif, et dans lequel on procède à un mouillage global du support pour venir placer une gouttelette dans chacune des zones de réception. 13. Procédé selon l'une des revendications 11 à 12, dans lequel le substrat présente une pluralité de motifs, où chaque motif est délimité par un pourtour (B1, B2) à l'intérieur duquel est circonscrite l'enveloppe externe d'une zone de réception (Z1, Z2), l'au moins une piste (T11, T12, T21, T22) s'étendant de la zone de réception Z1, Z2 jusqu'au pourtour du motif, et dans lequel on procède à la pose collective d'une pluralité de plaques. 14. Procédé de formation d'un support comportant une zone de réception (Z1, Z2) dont l'enveloppe externe correspond à la forme d'une plaque (P1, P2) destinée à être posée sur une gouttelette placée dans la zone de réception afin de réaliser l'auto-assemblage capillaire de la plaque et du support, caractérisé en ce qu'il comporte la formation d'au moins une piste (T11, T12 ; T21, T22) s'étendant sur le support depuis la zone de réception (Z1, Z2), l'au moins une piste présentant une affinité de type lyophile avec la gouttelette de sorte qu'un débordement de la gouttelette en dehors de la zone de réception est canalisé dans la piste. 15. Procédé selon la revendication 14, dans lequel on forme une première piste (T11) et une deuxième piste (T12) qui s'étendent de part et d'autre de la zone de réception (Z1) dans le prolongement l'une de l'autre, et dans lequel lesdites première et deuxième pistes (T11, T12) ne sont pas soumises à un même traitement de surface de sorte qu'elles ne présentent pas le même degré d'affinité de type lyophile avec la gouttelette.