Brevet FR3004001A1 — publié le 20141003

DETECTEUR D'ONDES ELECTROMAGNETIQUES AVEC PROPRIETES AMELIOREES DE SELECTION DE LONGUEUR D'ONDE La présente invention revendique la priorité de la demande Japonaise n° 2013-065518, déposée le 27 mars 2013, dont tous les contenus sont incorporés ici comme référence. Arrière-plan de l'invention Domaine de l'invention La présente invention concerne un détecteur d'ondes électromagnétiques détectant une onde électromagnétique ayant une bande de fréquences prédéterminée (rayons infrarouges ou une onde électromagnétique (une onde THz) ayant une bande de fréquences THz) et, plus particulièrement, un détecteur de lumière de type bolométrique et un dispositif de prise d'image doté de celui-ci. Description de l'art antérieur Comme un exemple de pour recueillir un rayon prise d'image comprenant une dimensions et un brevet Japonais n° 3821040 (qui suite littérature brevet 1)). Le prise d'image dispositif de bolométrique une ou deux (voir le sera appelé par la dispositif de prise dispositifs de infrarouge, un infrarouge de type matrice de capteurs à circuit de lecture est connu d'image infrarouge de type bolométrique décrit dans la littérature de brevet 1 est configuré pour agencer une pluralité d'éléments de conversion thermoélectrique sous forme d'une matrice à deux dimensions et pour détecter et produire un signal de rayon infrarouge reçu à chaque élément de conversion thermoélectrique. De plus, en général, un détecteur à matrice infrarouge thermique de type bolométrique du type 5 décrit comprend une structure de séparation thermique composée d'une membrane et de traversées (voir, l'article de R. A. Wood, « Uncooled Infrared Image Arrays and Systems », Semiconductors and Semimetals, Vol. 47, éditeurs de volumes P. W. Kruse & D. D. 10 Skartrud, Academic Press, 1997, page 103 (qui sera appelé par la suite littérature non brevet 1) et le brevet Japonais n° 3597069 (qui sera appelé par la suite littérature brevet 2 et qui correspond au brevet US 6.495.829 B1)). 15 La littérature brevet 2 décrit le détecteur à matrice infrarouge thermique dans lequel un film réfléchissant totalement l'infrarouge est formé sur un substrat immédiatement au-dessous de la membrane, un film de protection de la membrane est constitué d'un 20 matériau qui est transparent au rayon infrarouge, et un film mince d'absorption de l'infrarouge avec une adaptation d'impédance de vide est formé sur une surface supérieure de la membrane. Une distance entre le film d'absorption de l'infrarouge et le film 25 réfléchissant totalement l'infrarouge est fixée pour être une distance permettant d'absorber le rayon infrarouge autre qu'une bande de longueurs d'onde prédéterminée due à une interférence pour s'annuler mutuellement entre le film d'absorption de l'infrarouge 30 et le film réfléchissant totalement l'infrarouge. Le brevet Japonais n° 5109169 (qui sera appelé par la suite littérature brevet 3 et qui correspond au brevet US 7.557.349 B2) décrit un détecteur d'onde THz de type bolométrique qui a une haute performance et peut être fabriqué avec un rendement élevé. Le détecteur d'onde THz de type bolométrique décrit dans la littérature brevet 3 détecte une onde THz en utilisant une structure de résonnance optique utilisée dans un détecteur infrarouge de type bolométrique. La littérature brevet 3 décrit, comme un deuxième mode de réalisation, le détecteur d'onde THz de type bolométrique ayant une structure dans laquelle un film absorbant pour absorber l'onde THz est ajouté à une partie de détection de température de manière à absorber efficacement l'onde THz ayant passé la partie de détection de température. De plus, la littérature brevet 3 décrit également, comme un troisième mode de réalisation, le détecteur d'onde THz de type bolométrique ayant une structure dans laquelle une coupole s'étendant vers l'extérieur à partir de la portion périphérique de la partie de détection de température est formée sur la partie de détection de température. Chacun du détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance décrit dans La littérature brevet 2 et du détecteur d'onde THz de type bolométrique décrit dans la littérature brevet 3 est doté d'une structure de résonnance optique (un résonateur optique) qui force le rayon infrarouge incident ou l'onde THz à résonner dans sa direction de propagation. Plus spécifiquement, une structure de résonnance optique conventionnelle (un résonateur optique conventionnel) utilise une résonnance d'espace intermédiaire entre le film réfléchissant et la membrane (la partie de détection de température). Dans 5 le détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance et le détecteur d'onde THz de type bolométrique dont chacun est doté de la structure de résonnance optique conventionnelle (le résonateur optique conventionnel) d'une telle structure, 10 il existe une limitation de performance d'échange de chaleur. Autrement dit, il est impossible d'améliorer le rendement pour convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique. 15 Résumé Un objet de la présente invention est de proposer un détecteur d'ondes électromagnétiques qui soit capable d'améliorer le rendement pour convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique et un 20 dispositif de prise d'image équipé de celui-ci. Selon un premier aspect de la présente invention, il est proposé un détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique. Le détecteur 25 d'ondes électromagnétiques comprend un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture, une partie de détection de température disposée avec un espace par rapport au substrat et comprenant un film mince bolométrique et un premier fil d'antenne, une partie de 30 support configurée pour supporter la partie de détection de température avec un espace par rapport au substrat et comprenant des fils d'électrode qui sont connectés au circuit de lecture et au film mince bolométrique, et une partie réfléchissante disposée sur le substrat et réfléchissant l'onde électromagnétique pénétrant dans la partie de détection de température vers la partie de détection de température. Selon un deuxième aspect de la présente invention, il est proposé un détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique. Le détecteur d'ondes électromagnétiques comprend un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture, une partie de détection de température disposée avec un espace par rapport au substrat et comprenant un film mince bolométrique et une résistance, une partie de support configurée pour supporter la partie de détection de température avec un espace par rapport au substrat et comprenant des fils d'électrode qui sont connectés au circuit de lecture et au film mince bolométrique, et un premier fil d'antenne connecté électriquement à la résistance. Le premier fil d'antenne est disposé de manière que l'onde électromagnétique pénétrant dans la partie de détection de température passe verticalement à travers une surface entourée avec le premier fil d'antenne. Selon un deuxième aspect de la présente invention, il est proposé un détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique. Le détecteur d'ondes électromagnétiques comprend un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture, une partie de détection de température disposée avec un espace par rapport au substrat et comprenant un film mince bolométrique, une partie de support configurée pour supporter la partie de détection de température avec un espace par rapport au substrat et comprenant des fils d'électrode qui sont connectés au circuit de lecture et au film mince bolométrique, et une coupole acheminant une chaleur générée à la partie de détection de température et comprenant un premier fil d'antenne. Le premier fil d'antenne est disposé de manière que l'onde électromagnétique pénétrant dans la partie de détection de température passe verticalement à travers une surface entourée avec le premier fil d'antenne. Il est possible d'améliorer le rendement pour 15 convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique. Brève description des dessins : Les caractéristiques et avantages précités, ainsi 20 que d'autres caractéristiques et avantages, de la présente invention ressortiront plus clairement à la lecture de la description ci-après de certains modes de réalisation préférés, faite en référence aux dessins annexés, sur lesquels : 25 la Figure 1 est une vue représentant une structure générale d'un dispositif de prise d'image de l'art antérieur (un dispositif de prise d'image infrarouge de type bolométrique de l'art antérieur) ; la Figure 2 est un schéma de circuit agrandi 30 représentant l'environnement d'un élément de conversion thermoélectrique illustré sur la Figure 1 ; la Figure 3A est une vue schématique en perspective illustrant un détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance de l'art antérieur ; la Figure 3B est une vue de face en coupe transversale fragmentaire illustrant le détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance de l'art antérieur illustré sur la Figure 3A ; la Figure 4 est une vue en coupe illustrant schématiquement une structure d'un détecteur d'onde THz de type bolométrique de l'art antérieur ; la Figure 5 est un schéma de circuit représentant un détecteur d'ondes électromagnétiques selon un 15 premier mode de réalisation de cette invention (en agrandissant le voisinage d'un élément de conversion thermoélectrique illustré sur la Figure 1) ; la Figure 6 est une vue représentant une structure du détecteur d'ondes électromagnétiques selon le 20 premier mode de réalisation de cette invention (une vue schématique en perspective illustrant un détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance selon le premier mode de réalisation de cette invention) ; 25 la Figure 7 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un premier exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation 30 illustré sur la Figure 6 ; la Figure 8 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un deuxième exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6 ; la Figure 9 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un troisième exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6 ; la Figure 10 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un quatrième exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6 ; la Figure 11 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un cinquième exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6 ; la Figure 12 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un sixième exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6 ; la Figure 13 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un septième exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6 ; la Figure 14 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un huitième exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6 ; la Figure 15 est une vue schématique en perspective illustrant seulement une structure de résonance d'onde électromagnétique selon un neuvième exemple de cette invention qui est utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6 ; la Figure 16 est une vue en plan illustrant schématiquement une structure d'un élément d'image d'un détecteur d'ondes électromagnétiques (un détecteur d'onde THz de type bolométrique) selon un dixième exemple de cette invention qui est un exemple concret d'un détecteur d'ondes électromagnétiques selon un deuxième mode de réalisation de cette invention ; la Figure 17 est une vue en coupe illustrant schématiquement la structure d'un élément d'image du détecteur d'ondes électromagnétiques (le détecteur d'onde THz de type bolométrique) illustré sur la Figure 16 ; la Figure 18 est une vue en plan illustrant schématiquement une structure d'un élément d'image d'un détecteur d'ondes électromagnétiques (un détecteur infrarouge de type bolométrique) selon un onzième 5 exemple de cette invention qui est un exemple concret d'un détecteur d'ondes électromagnétiques selon un troisième mode de réalisation de cette invention ; et la Figure 19 est une vue en coupe illustrant schématiquement la structure d'un élément d'image du 10 détecteur d'ondes électromagnétiques (le détecteur infrarouge de type bolométrique) illustré sur la Figure 18. Description détaillée de modes de réalisation de 15 l'invention L'invention sera maintenant décrite en référence à des modes de réalisation illustratifs. L'homme du métier reconnaîtra que de nombreuses variantes de mode de réalisation peuvent être accomplies en utilisant les 20 enseignements de la présente invention et que l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation illustrés à des fins d'explication. Art antérieur 25 Avant de décrire la présente invention, l'art antérieur sera expliqué en détail en référence aux figures afin de faciliter la compréhension de la présente invention. La Figure 1 est une vue représentant une structure 30 générale d'un dispositif de prise d'image de l'art antérieur (un dispositif de prise d'image infrarouge de type bolométrique de l'art antérieur) qui est décrit sur la Figure 2 de la littérature brevet 1 précitée. La Figure 1 illustre partiellement un circuit de lecture et une matrice de capteurs à deux dimensions dans le dispositif de prise d'image infrarouge de type bolométrique de l'art antérieur. Le dispositif de prise d'image comprend un dispositif qui est configuré pour agencer une pluralité d'éléments de conversion thermoélectrique sous forme d'une matrice à deux dimensions et pour détecter et produire un signal de rayon infrarouge reçu à chaque élément de conversion thermoélectrique. Le dispositif de prise d'image comprend une pluralité d'éléments de conversion thermoélectrique 202 disposés sous forme d'une matrice à deux dimensions, une pluralité de commutateurs d'élément d'image 201 connectés aux éléments de conversion thermoélectrique 202, une pluralité de lignes de signal 203 s'étendant dans une direction verticale et connectées aux éléments de conversion thermoélectrique 202, une pluralité de commutateurs horizontaux 204 connectés aux lignes de signal 203 respectives, une pluralité de lignes de balayage 211 s'étendant dans une direction horizontale de manière à pénétrer dans les commutateurs d'élément d'image 201, un registre à décalage vertical 205 connecté aux lignes de balayage 211, une pluralité de circuits de lecture 206 connectés aux commutateurs horizontaux 204 en paires, une pluralité de commutateurs de multiplexeur 207 connectés aux circuits de lecture 206 respectifs, un registre à décalage horizontal 208 connecté aux commutateurs de multiplexeur 207, un tampon de sortie 209 connectée aux commutateurs de multiplexeur 207 et une borne de sortie 210 connectée au tampon de sortie 209. Le dispositif de prise d'image peut exécuter un traitement parallèle sur des signaux détectés en utilisant les commutateurs d'élément d'image 201 sélectionnés par le registre à décalage vertical 205 via les lignes de balayage 211 et en utilisant les circuits de lecture 206 connectés aux éléments de conversion thermoélectrique 202 via les lignes de signal 203. Des signaux de sortie de la pluralité de circuits de lecture 206 sont successivement délivrés en sortie par le registre à décalage horizontal 208 à l'extérieur à partir de la borne de sortie 210 via les commutateurs de multiplexeur 207 et le tampon de sortie 209. Dans l'exemple illustré, les éléments de conversion thermoélectrique 202 sont agencés sous la forme d'une matrice à deux dimensions sur un substrat (non représenté) et sont sélectionnés séquentiellement en les commutant par les commutateurs d'élément d'image 201 et les commutateurs horizontaux 204. Les commutateurs d'élément d'image 202 sont disposés au niveau de positions d'intersection des lignes de signal 203 et des lignes de balayage 211. Chaque commutateur d'élément d'image 201 comprend un MOSFET (transistor à effet de champ à grille métal-oxyde) à canal N qui a une source à la masse, un drain connecté à la ligne de signal 203 via l'élément de conversion thermoélectrique 202 et une grille connectée à la ligne de balayage 211. Les lignes de signal 203 sont connectées aux circuits de lecture 206 via les commutateurs horizontaux 204. Les bornes de sortie des circuits de lecture 206 sont connectées au tampon de sortie 209 via les commutateurs de multiplexeur 207. La commande passant-bloqué des commutateurs de multiplexeur 207 est exécutée par le registre à décalage horizontal 208. Les circuits de lecture 206 sont disposés toutes les deux colonnes de la matrice de manière à lire des signaux des éléments de conversion thermoélectrique 202 respectifs. Le registre à décalage vertical 205 sélectionne séquentiellement des rangées respectives de la matrice. Le registre à décalage horizontal 208 sélectionne séquentiellement les commutateurs de multiplexeur 207 pour délivrer des signaux de sortie des circuits de lecture 206 respectifs au tampon de sortie 209. La Figure 2 est un schéma de circuit agrandi représentant l'environnement d'un élément de conversion thermoélectrique 202 illustré sur la Figure 1. L'élément de conversion thermoélectrique 202 est également référencé en tant que membrane ou partie de détection de température. La ligne de signal 203 est également appelée fil de signal alors que la ligne de balayage 211 est également appelée fil de grille. L'élément de conversion thermoélectrique (la membrane ; la partie de détection de température) 202 est séparé thermiquement d'un substrat de silicium 308 (voir Figure 3B) au moyen de traversés (fils en l'air) 302 (voir Figure 3A). Les Figures 3A et 3B sont respectivement une vue schématique en perspective et une vue de face en coupe transversale fragmentaire illustrant un détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance de l'art antérieur, qui est décrit dans la littérature non brevet 1 précitée (sur la Figure 7 de la littérature brevet 2 précitée). Comme représenté sur la Figure 3A, le détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance de l'art antérieur comprend une structure de séparation thermique qui est composée d'une membrane 301 et les traversées (les fils en l'air) 302. De la manière qui est décrite ci-dessus, la membrane 301 correspond (est équivalente) à l'élément de conversion 15 thermoélectrique 202 illustré sur la Figure 1. Comme représenté sur la Figure 3B, la membrane 301 comprend un film mince de matériau bolométrique 305 ayant un coefficient de température élevé, des électrodes (non représentées) et des films de 20 protection 306 qui prennent en sandwich et entourent le film mince de matériau bolométrique 305. Les traversées 302 sont dotées de câblages électriques (non représentés) qui comprennent des films minces métalliques ayant chacun une basse conductivité 25 thermique. Le film mince de matériau bolométrique 305 est constitué de V0x, le film de protection 306 est constitué de SiN et le film mince métallique est constitué de NiCr. La membrane 301 est connectée au substrat de silicium 308 dans lequel un circuit de 30 lecture 307 est monté. Une cavité 309 est formée entre la membrane 301 et une surface du substrat de silicium 308. Un film totalement réfléchissant 304 est disposé sur le substrat de silicium 308 (le circuit de lecture 307). Le circuit de lecture 307 correspond au circuit de lecture 206 illustré sur la Figure 1. De la manière qui est décrite ci-dessus, la membrane 301 (l'élément de conversion thermoélectrique 202) est supportée dans un espace au moyen des traversés 302 s'étendant à partir du substrat de silicium 308. La membrane 301 (l'élément de conversion thermoélectrique 202) est agencée de manière à correspondre à un élément d'image. Un rayon infrarouge 300 est incident dans la membrane 301 et une partie du rayon infrarouge incident 300 est absorbée dans les films de protection 306 constitués de SiN alors qu'une partie restante du rayon infrarouge incident 300 est transmise à travers la membrane 301 et la cavité 309 vers le film totalement réfléchissant 304, moyennant quoi la partie restante du rayon infrarouge incident 300 est totalement réfléchie par le film totalement réfléchissant 304 et absorbée ensuite dans les films de protection 306 constitués de SiN. L'absorption du rayon infrarouge 300 provoque une augmentation de température dans la membrane 301. L'augmentation de température de la membrane 301 entraîne la variation d'une résistance du bolomètre moyennant quoi une variation de tension peut être détectée. Si une température d'un sujet est inférieure à la température d'origine de la membrane 301, alors la membrane 301 présente un rayonnement thermique pour provoquer une chute de température de la membrane 301, moyennant quoi la résistance du bolomètre est modifiée. La bande d'absorption de rayon infrarouge des films de protection 306 constitués de SiN est une bande de longueur d'onde de 10 micromètres, raison pour laquelle le détecteur infrarouge thermique ci-dessus est utilisable dans cette bande de longueur d'onde. De la manière qui est décrite ci-dessus, bien que les Figures 3A et 3B ne l'illustrent pas, la littérature brevet 2 précitée décrit le détecteur à matrice infrarouge thermique dans lequel un film réfléchissant totalement l'infrarouge est formé sur le substrat 308 immédiatement au-dessous de la membrane 301, les films de protection 306 de la membrane 301 sont constitués d'un matériau qui est transparent au rayon infrarouge 300 et un film mince d'absorption de l'infrarouge avec une adaptation d'impédance de vide est formé sur une surface supérieure de la membrane 301. Une distance entre le film d'absorption de l'infrarouge et le film réfléchissant totalement l'infrarouge est fixée à une distance permettant d'absorber le rayon infrarouge autre qu'une bande de longueurs d'onde prédéterminée due à une interférence pour s'annuler mutuellement entre le film d'absorption de l'infrarouge et le film réfléchissant totalement l'infrarouge. De la manière décrite ci-dessus, dans le détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance de l'art antérieur, une structure de résonance optique (appelée résonateur optique) forçant le rayon infrarouge incident 300 à résonner dans sa direction de propagation comprend le film totalement réfléchissant 304 et la membrane 301 en formant le film totalement réfléchissant 304 sur le substrat 308 et en formant le film d'absorption de l'infrarouge sur la membrane 301. La Figure 4 est une vue en coupe illustrant schématiquement une structure d'un pixel d'un détecteur d'onde THz de type bolométrique de l'art antérieur 1, qui est décrit sur la Figure 14 de la littérature brevet 3 précitée. Le détecteur d'onde THz de type bolométrique de l'art antérieur 1 comprend, sur un substrat de circuit 2 sur lequel un circuit de lecture 2a et similaires sont formés, un film réfléchissant 3 réfléchissant une onde THz incidente et un contact 4 connecté au circuit de lecture 2a. Un premier film de protection 5 est formé sur le dessus du contact 4. Sur le contact 4 est formée une partie de support 13 comprenant un deuxième film de protection 6, un troisième film de protection 8, un câblage d'électrode 9 et un quatrième film de protection 10. Le câblage d'électrode 9 est connecté au circuit de lecture 2a par le biais du contact 4. Une partie de détection de température 14 (membrane) comprenant le deuxième film de protection 6, un film mince bolométrique 7, le troisième film de protection 8 et le quatrième film de protection 10 est maintenue en l'air par la partie de support 13. Les deux extrémités du film mince bolométrique 7 sont connectées au câblage d'électrode 9. Dans la mesure où la partie de détection de température 14 transmet facilement l'onde THz, un matériau diélectrique (ci-après indiqué comme un couvercle diélectrique 11) est disposé sur une partie supérieure de la partie de détection de température 14. Le couvercle diélectrique 11 a un produit d'un indice de réflexion n et d'une épaisseur (c'est-à-dire une longueur de trajet optique) plus grand que la longueur d'onde de l'onde THz. Le couvercle diélectrique 11 est réalisé avec un verre de silice, silicium HRFZ (zone flottant à haute résistivité), saphir, diamant artificiel et similaire. En disposant le couvercle diélectrique 11 comme indiqué ci-dessus, sur une face arrière (face de sortie 10 de l'onde THz) du couvercle diélectrique 11, un champ électrique de l'onde incidente propagée à travers le couvercle diélectrique 11 et un champ électrique d'une onde de réflexion réfléchie sur la face arrière se renforcent entre elles avec le même signe et l'onde THz 15 peut être efficacement recueillie sur la face arrière (n3 fois). De plus, en réglant un espace entre le couvercle diélectrique 11 et la partie de détection de température 14 (ESPACE sur la Figure 4, plus en détail, 20 un espace entre la face arrière du couvercle diélectrique 11 et le centre dans la direction d'épaisseur de la partie de détection de température 14) à des multiples entiers de la demi-longueur d'onde de l'onde THz, l'onde THz présente dans un espace maintenu 25 entre la face arrière du couvercle diélectrique 11 et le film réfléchissant 3 peut être renforcée par la résonance optique. En conséquence, l'onde THz peut être absorbée efficacement par la partie de détection de température 14. 30 Une coupole 17 s'étendant vers l'extérieur à partir de la portion périphérique sur la partie de détection de température 14 est formée sur la partie de détection de température 14. Avec cet agencement, l'onde THz incidente sur la partie de support 13 et la région entre des pixels peut être rendue disponible de manière que l'onde THz puisse être absorbée plus efficacement. Un film de métal tel que Al, Ti est formé par procédé de pulvérisation et, ensuite, un motif est formé avec une matière photorésistante comme un masque de manière qu'un film absorbant 16 soit formé sur la partie de détection de température 14 et la coupole 17. Comme mentionné ci-dessus, en formant la coupole 17 s'étendant vers l'extérieur à partir de la portion périphérique de la partie de détection de température 14 sur la partie de détection de température 14, l'onde THz incidente sur la partie de support 13 et la région entre les pixels peut être également utilisée efficacement. Ainsi, l'absorbance de l'onde THz peut être améliorée et un détecteur d'onde THz de type bolométrique de haute performance 1 peut être fabriqué avec un bon rendement. De plus, dans la mesure où ce détecteur d'onde THz de type bolométrique 1 peut également absorber le rayon infrarouge avec une absorbance considérablement élevée, il peut également être utilisé comme le détecteur infrarouge de type bolométrique en tant que tel. De la manière qui est décrite ci-dessus, dans le détecteur d'onde THz de type bolométrique de l'art antérieur 1, la structure de résonance optique (appelée résonateur optique) forçant l'onde THz incidente à résonner dans sa direction de propagation comprend le film réfléchissant 3 et la partie de détection de température 13, en formant le film réfléchissant 3 pour réfléchir l'onde THz sur le substrat de circuit 2 dans une position opposée à la partie de détection de température 13 et en formant le film d'absorption 16 pour absorber l'onde THz sur la partie de détection de température 14 et sur la coupole 17. De la manière qui est décrite ci-dessus, le détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance de l'art antérieur illustré sur les Figures 3A et 3B et le détecteur d'onde THz de type bolométrique de l'art antérieur 1 illustré sur la Figure 4 comprennent la structure de résonance optique (le résonateur optique) forçant le rayon infrarouge incident ou l'onde THz incidente à résonner tout seul dans leur direction de propagation. Précisément, la structure de résonance optique (le résonateur optique) utilise une résonance d'espace intermédiaire entre le film réfléchissant et la membrane (la partie de détection de température). Le détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance de l'art antérieur et le détecteur d'onde THz de type bolométrique de l'art antérieur 1, chacun desquels comprend une telle structure de résonance optique (un résonateur optique) du type décrit, ont les limitations de performance d'échange de chaleur. Autrement dit, il est impossible d'améliorer le rendement pour convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique. Premier mode de réalisation En se référant maintenant aux Figures, la description traitera un premier mode de réalisation de cette invention. En référence aux Figures 5 et 6, la description traitera un détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation de la présente invention. La Figure 5 est un schéma de circuit représentant le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation de la présente invention. La Figure 5 est le schéma de circuit agrandi représentant, comme le détecteur d'ondes électromagnétiques, le voisinage d'un élément de conversion thermoélectrique 202 illustré sur la Figure 1. La Figure 6 est une vue de configuration du détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation de la présente invention. La Figure 6 est une vue schématique en perspective illustrant un détecteur à matrice infrarouge thermique bolométrique à thermistance comme le détecteur d'ondes électromagnétiques. Le détecteur d'ondes électromagnétiques illustré est de structure similaire au détecteur d'ondes électromagnétiques de l'art antérieur illustré sur les Figures 2, 3A et 3B sauf que le détecteur d'ondes électromagnétiques comprend en outre une structure de résonance d'onde électromagnétique 400 qui sera décrite par la suite. En conséquence, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur les Figures 2, 3A et 3B. Ci-après, la description passera aux seules différences de manière à simplifier la description. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400 est disposée sur le substrat de silicium 308 et sur la membrane (la partie de détection de température) 301. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400 est configurée pour convertir l'onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur pour délivrer la chaleur convertie à la membrane (la partie de détection de température) 301. Dans l'exemple illustré, l'onde électromagnétique 10 comprend un rayon infrarouge ayant la longueur d'onde spécifique À qui est située dans une plage entre 2 micromètres et 20 micromètres, tous deux inclus. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400 comprend un fil d'antenne en boucle qui comprend un 15 réflecteur 402 formé sur le substrat de silicium 308 et un radiateur 404 formé dans la membrane (la partie de détection de température) 301. Dans l'exemple illustré, le radiateur 404 a une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique et 20 comprend des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur (qui seront décrits par la suite) configurés pour convertir l'onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur. 25 De manière plus spécifique, dans l'exemple illustré, le réflecteur 402 comprend un fil de réflecteur carré ayant quatre côtés L chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À. Le radiateur 404 comprend un fil de radiateur carré 30 4042 et un élément résistif chauffant 4044. Le fil de radiateur carré 4042 a quatre côtés L chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À. L'élément résistif chauffant 4044 est connecté au fil de radiateur 4042 et sert de moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur. Dans l'exemple illustré, l'élément résistif chauffant 4044 est disposé dans une portion centrale du fil de radiateur carré 4042. Quand l'onde électromagnétique passe à travers un plan entouré par le fil de radiateur 4042, un champ magnétique d'une zone entourée avec le fil de radiateur 4042 varie et ainsi un courant circule dans le fil de radiateur 4042 par induction électromagnétique. A cause de la circulation du courant, un courant circule dans l'élément résistif chauffant 4044 connecté au fil de radiateur 4042 et l'élément résistif chauffant 4044 génère ainsi de la chaleur. La chaleur générée par l'élément résistif chauffant 4044 est acheminée à la membrane 301. De la manière décrite ci-dessus, le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de 20 réalisation a pour effet qu'il est possible d'améliorer le rendement pour convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique du fait que la chaleur générée par l'élément résistif chauffant 4044 est acheminée à la membrane 301. 25 Deuxième mode de réalisation Maintenant, la description traitera un deuxième mode de réalisation de cette invention. Bien qu'il ne soit pas illustré, un détecteur 30 d'ondes électromagnétiques selon le deuxième mode de réalisation de cette invention comprend, dans le détecteur d'ondes électromagnétiques de l'art antérieur illustré sur la Figure 4, une structure de résonance d'onde électromagnétique (non représentée) à la place du film absorbant 16. La structure de résonance d'onde électromagnétique est prévue pour le substrat de silicium 2 et la coupole 17. La structure de résonance d'onde électromagnétique est configurée pour convertir l'onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur pour délivrer la chaleur convertie à la partie de détection de température 14. Dans le cas du deuxième mode de réalisation, l'onde électromagnétique comprend une onde THz ayant la longueur d'onde spécifique À qui est située dans une plage entre 3 millimètres et 30 micromètres, tous deux inclus. La structure de résonance d'onde électromagnétique comprend un réflecteur formé sur le substrat de circuit 2 et un radiateur formé sur la coupole 17. Le radiateur a une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique À et comprend des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir l'onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur. Quand l'onde électromagnétique passe à travers un plan entouré par le fil de radiateur 4042, un champ magnétique d'une zone entourée avec le fil de radiateur 4042 varie et ainsi un courant circule dans le fil de radiateur 4042 par induction électromagnétique. A cause de la circulation du courant, un courant circule dans l'élément résistif chauffant 4044 connecté au fil de radiateur 4042 et l'élément résistif chauffant 4044 génère ainsi de la chaleur. La chaleur générée par l'élément résistif chauffant 4044 est acheminée à la membrane 301. De la manière décrite ci-dessus, le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le deuxième mode de réalisation a pour effet qu'il est possible d'améliorer le rendement pour convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique du fait que la 10 chaleur générée par l'élément résistif chauffant 4044 est acheminée à la membrane 301. Troisième mode de réalisation Maintenant, la description traitera un troisième 15 mode de réalisation de cette invention. Un détecteur d'ondes électromagnétiques selon le troisième mode de réalisation de cette invention comprend une structure de résonance d'onde électromagnétique qui est fournie à une partie de 20 support et une partie de détection de température. La structure de résonance d'onde électromagnétique est configurée pour convertir l'onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur pour délivrer la chaleur convertie à la partie de détection 25 de température. Dans le cas du troisième mode de réalisation, l'onde électromagnétique comprend un rayon infrarouge ayant la longueur d'onde spécifique À qui est située dans une plage entre 2 micromètres et 20 micromètres, 30 tous deux inclus. La structure de résonance d'onde électromagnétique comprend un réflecteur formé sur la partie de support et un radiateur formé sur la partie de détection de température. Le radiateur a une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique À et comprend des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir l'onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur. Quand l'onde électromagnétique passe à travers un plan entouré par le fil de radiateur 4042, un champ magnétique d'une zone entourée avec le fil de radiateur 4042 varie et ainsi un courant circule dans le fil de radiateur 4042 par induction électromagnétique. A cause de la circulation du courant, un courant circule dans l'élément résistif chauffant 4044 connecté au fil de radiateur 4042 et l'élément résistif chauffant 4044 génère ainsi de la chaleur. La chaleur générée par l'élément résistif chauffant 4044 est acheminée à la membrane 301. De la manière décrite ci-dessus, le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le troisième mode de réalisation a pour effet qu'il est possible d'améliorer le rendement pour convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique du fait que la chaleur générée par l'élément résistif chauffant 4044 est acheminée à la membrane 301. Quatrième mode de réalisation Maintenant, la description traitera un quatrième mode de réalisation de cette invention. Un dispositif de prise d'image selon le quatrième mode de réalisation de cette invention a une configuration dans laquelle une pluralité de détecteurs d'onde électromagnétique, chacun décrit dans l'un quelconque des premier au troisième modes de réalisation mentionnés ci-dessus, est agencée sous la forme d'une matrice à deux dimensions comme les éléments de conversion thermoélectrique 202 tels que représentés sur la Figure 1. Selon le dispositif de prise d'image ayant une telle structure, il produit un effet dans lequel il a une excellente sensibilité comme un ensemble du fait que chaque détecteur d'ondes électromagnétiques a une excellente sensibilité. Exemple 1 En se référant maintenant à la Figure 7, la description traitera la structure de résonance d'onde électromagnétique 400 selon un premier exemple de cette 20 invention. La Figure 7 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de résonance d'onde électromagnétique 400 utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de 25 réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400 illustrée sur la Figure 7 est de structure similaire à la structure de résonance d'onde électromagnétique 400 illustrée sur la Figure 6. En 30 conséquence, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 6 et leur description est omise. Dans la structure de résonance d'onde électromagnétique 400 illustrée, la longueur d'onde 5 spécifique À et un espace D entre le réflecteur 402 et le radiateur 404 satisfont l'expression suivante : 0,1 À D 0,25 À. 10 En conséquence, la structure de résonance d'onde électromagnétique illustrée 400 comprend un fil d'antenne en boucle quadruple cubique comprenant l'élément résistif chauffant 4044. Maintenant, la description traitera un effet du 15 premier exemple de cette invention. Le premier exemple a un effet dans lequel il est possible de transférer efficacement la chaleur convertie à la membrane (la partie de détection de température) 301 du fait que l'élément résistif 20 chauffant 4044 est disposé dans la portion centrale du fil de radiateur 4042. Exemple 2 En se référant maintenant à la Figure 8, la 25 description traitera une structure de résonance d'onde électromagnétique 400A selon un deuxième exemple de cette invention. La Figure 8 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de résonance d'onde 30 électromagnétique 400A utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400A illustrée sur la Figure 8 est de structure similaire à la structure de résonance d'onde électromagnétique 400 illustrée sur la Figure 7, sauf que le radiateur est modifié par rapport à celui illustré sur la Figure 7 comme cela ressortira mieux par la suite. Le radiateur est par conséquent indiqué par 404A. De plus, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 7 et leur description est omise. Dans le radiateur 404 illustré sur la Figure 7, l'élément résistif chauffant 4044 est disposé dans la 15 portion centrale du fil de radiateur 4042. En comparaison, dans le radiateur 404A illustré sur la Figure 8, l'élément résistif chauffant 4044 est disposé dans la portion de coin du fil de radiateur 4042. 20 Maintenant, la description traitera un effet du deuxième exemple de cette invention. Le deuxième exemple a un avantage en ce que la structure est simple et qu'il peut être de fabrication facilitée par rapport au premier exemple du fait que 25 l'élément résistif chauffant 4044 est disposé dans la portion de coin du fil de radiateur 4042. Exemple 3 En se référant maintenant à la Figure 9, la 30 description traitera une structure de résonance d'onde électromagnétique 400B selon un troisième exemple de cette invention. La Figure 9 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de résonance d'onde électromagnétique 400B utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400B illustrée sur la Figure 9 est de structure similaire à la structure de résonance d'onde électromagnétique 400A illustrée sur la Figure 8, sauf que le radiateur est modifié par rapport à celui illustré sur la Figure 8 comme cela ressortira mieux par la suite. Le radiateur est par conséquent indiqué par 404B. De plus, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 8 et leur description est omise. Le radiateur 404B illustré comprend seulement un fil de résistance chauffante carré ayant quatre côtés L 20 chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À. Maintenant, la description traitera un effet du troisième exemple de cette invention. Le troisième exemple a un avantage en ce qu'un 25 nombre de composants est réduit et qu'il peut être de fabrication facilitée par rapport au premier et au deuxième exemple du fait que le radiateur 404B comprend une seule pièce constituée par le fil de résistance chauffante carré. 30 Exemple 4 En se référant maintenant à la Figure 10, la description traitera une structure de résonance d'onde électromagnétique 400C selon un quatrième exemple de cette invention. La Figure 10 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de résonance d'onde électromagnétique 400C utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400C illustrée sur la Figure 10 est de structure similaire à la structure de résonance d'onde électromagnétique 400A illustrée sur la Figure 8, sauf que le réflecteur est modifié par rapport à celui illustré sur la Figure 8 comme cela ressortira mieux par la suite. Le réflecteur est par conséquent indiqué par 402A. De plus, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 8 et leur description sera omise. Le réflecteur illustré 402A comprend une couche de réflecteur. La couche de réflecteur 402A est constitué d'un film métallique, par exemple en aluminium ou similaire. Maintenant, la description traitera un effet du 25 quatrième exemple de cette invention. Le quatrième exemple a un avantage en ce qu'il peut être de fabrication facilitée par rapport au deuxième exemple du fait que le réflecteur 402A comprend la couche de réflecteur. 30 Exemple 5 En se référant maintenant à la Figure 11, la description traitera une structure de résonance d'onde électromagnétique 400D selon un cinquième exemple de cette invention. La Figure 11 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de résonance d'onde électromagnétique 400D utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400D illustrée sur la Figure 11 est de structure similaire à la structure de résonance d'onde électromagnétique 400B illustrée sur la Figure 9, sauf que le réflecteur est modifié par rapport à celui 15 illustré sur la Figure 9 comme cela ressortira mieux par la suite. De plus, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 9 et leur description est omise. Le réflecteur illustré 402A comprend la couche de 20 réflecteur. Maintenant, la description traitera un effet du cinquième exemple de cette invention. Le cinquième exemple a un avantage en ce qu'il peut être de fabrication facilitée par rapport au 25 troisième exemple du fait que le réflecteur 402A comprend la couche de réflecteur. Exemple 6 En se référant maintenant à la Figure 12, la 30 description traitera une structure de résonance d'onde électromagnétique 400E selon un sixième exemple de cette invention. La Figure 12 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de résonance d'onde électromagnétique 400E utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400E illustrée sur la Figure 12 est de structure similaire à la structure de résonance d'onde électromagnétique 400A illustrée sur la Figure 8, sauf que la structure de résonance d'onde électromagnétique 400E comprend en outre un fil directeur 406. En conséquence, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 8 et leur description est omise. Le fil directeur 406 est disposé de manière à être opposé au fil de réflecteur 402 dans un état dans lequel le radiateur 404A est pris en sandwich entre le fil directeur 406 et le fil de réflecteur 402. Le fil directeur 406 a un carré ayant quatre côtés L chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À. De plus, le fil directeur 406 est séparé du réflecteur 404A d'une distance D égale à l'espace précité D. Un matériau ayant une faible valeur de résistance est utilisé comme le fil directeur 406. Le fil directeur 406 est formé, par exemple, en formant un film mince et en gravant ensuite le film mince. Maintenant, la description traitera un effet du 30 sixième exemple de cette invention. Le sixième exemple a un avantage en ce que la directivité est améliorée par rapport au deuxième exemple du fait que la structure de résonance d'onde électromagnétique 400E comprend en outre le fil directeur 406. Exemple 7 En se référant maintenant à la Figure 13, la description traitera une structure de résonance d'onde 10 électromagnétique 400F selon un septième exemple de cette invention. La Figure 13 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de résonance d'onde électromagnétique 400F utilisée dans 15 le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400F illustrée sur la Figure 13 est de structure similaire à la structure de résonance d'onde 20 électromagnétique 400B illustrée sur la Figure 9, sauf que la structure de résonance d'onde électromagnétique 400F comprend en outre un fil directeur 406. En conséquence, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur 25 la Figure 9 et leur description est omise. Le fil directeur 406 est disposé de manière à être opposé au fil de réflecteur 402 dans un état dans lequel le fil de résistance chauffante 404B est pris en sandwich entre le fil directeur 406 et le fil de 30 réflecteur 402. Le fil directeur 406 est séparé du fil de résistance chauffante 404B d'une distance D égale à l'espace précité D. Maintenant, la description traitera un effet du septième exemple de cette invention. Le septième exemple a un avantage en ce que la directivité est améliorée par rapport au troisième exemple du fait que la structure de résonance d'onde électromagnétique 400F comprend en outre le fil directeur 406. Exemple 8 En se référant maintenant à la Figure 14, la description traitera une structure de résonance d'onde électromagnétique 400G selon un huitième exemple de 15 cette invention. La Figure 14 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de résonance d'onde électromagnétique 400G utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le 20 premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400G illustrée sur la Figure 14 est de structure similaire à la structure de résonance d'onde électromagnétique 400C illustrée sur la Figure 10, sauf 25 que la structure de résonance d'onde électromagnétique 400G comprend en outre un fil directeur 406. En conséquence, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 10 et leur description est omise. 30 Le fil directeur 406 est disposé de manière à être opposé à la couche de réflecteur 402A dans un état dans lequel le radiateur 404A est pris en sandwich entre le fil directeur 406 et la couche de réflecteur 402A. Le fil directeur 406 est séparé du radiateur 404A d'une distance D égale à l'espace précité D. Maintenant, la description traitera un effet du huitième exemple de cette invention. Le huitième exemple a un avantage en ce que la directivité est améliorée par rapport au quatrième exemple du fait que la structure de résonance d'onde électromagnétique 400G comprend en outre le fil directeur 406. Exemple 9 En se référant maintenant à la Figure 15, la 15 description traitera une structure de résonance d'onde électromagnétique 400H selon un neuvième exemple de cette invention. La Figure 15 est une vue schématique en perspective illustrant seulement la structure de 20 résonance d'onde électromagnétique 400H utilisée dans le détecteur d'ondes électromagnétiques selon le premier mode de réalisation illustré sur la Figure 6. La structure de résonance d'onde électromagnétique 400H illustrée sur la Figure 15 est de structure 25 similaire à la structure de résonance d'onde électromagnétique 400D illustrée sur la Figure 11, sauf que la structure de résonance d'onde électromagnétique 400H comprend en outre un fil directeur 406. En conséquence, les mêmes signes de référence sont 30 associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 11 et leur description est omise. Le fil directeur 406 est disposé de manière à être opposé à la couche de réflecteur 402A dans un état dans lequel le fil de résistance chauffante 404B est pris en sandwich entre le fil directeur 406 et la couche de réflecteur 402A. Le fil directeur 406 est séparé du fil de résistance chauffante 404B d'une distance D égale à l'espace précité D. Maintenant, la description traitera un effet du neuvième exemple de cette invention. Le neuvième exemple a un avantage en ce que la directivité est améliorée par rapport au troisième exemple du fait que la structure de résonance d'onde électromagnétique 400H comprend en outre le fil directeur 406. Exemple 10 En se référant maintenant aux Figures 16 et 17, la description traitera un détecteur d'ondes électromagnétiques 10A selon un dixième exemple de cette invention. Le détecteur d'ondes électromagnétiques 10A est un exemple concret du détecteur d'ondes électromagnétiques selon le deuxième mode de réalisation de cette invention tel que décrit ci-dessus et représente un exemple du détecteur d'onde THz de type bolométrique. En conséquence, l'onde électromagnétique incidente comprend une onde THz ayant la longueur d'onde spécifique À qui est située dans une plage entre 3 millimètres et 30 micromètres, tous deux inclus. La Figure 16 est une vue en plan illustrant schématiquement une structure d'un élément d'image du détecteur d'onde THz de type bolométrique lA alors que la Figure 17 est une vue en coupe illustrant schématiquement la structure d'un élément d'image du détecteur d'onde THz de type bolométrique 1A. Le détecteur d'onde THz de type bolométrique lA illustré est similaire comme structure et fonctionnement au détecteur d'onde THz de type bolométrique 1 illustré sur la Figure 4, sauf que le détecteur d'onde THz de type bolométrique lA comprend une structure de résonance d'onde électromagnétique 500 qui sera décrite par la suite, à la place du film absorbant 16. En conséquence, les mêmes signes de référence sont associés à des éléments similaires à ceux illustrés sur la Figure 4 et leur description est omise pour simplifier la description. Toutefois, dans le détecteur d'onde THz de type bolométrique lA illustré sur la Figure 17, le couvercle diélectrique 11, le circuit de lecture 2a et le premier film de protection 5 sont omis bien qu'ils soient illustrés sur la Figure 4. La structure de résonance d'onde électromagnétique 500 est prévue pour le substrat de circuit 2 et la coupole 17. La structure de résonance d'onde électromagnétique 500 est configurée pour convertir 25 l'onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur pour délivrer la chaleur convertie à la partie de détection de température 14. La structure de résonance d'onde électromagnétique illustrée 500 comprend un réflecteur 520 formé sur le 30 substrat de circuit 2 et un radiateur 540 formé sur la coupole 17. Le radiateur 540 a une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique À et comprend des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir l'onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur. Il sera supposé que l'espace entre le réflecteur 520 et le radiateur 540 est représenté par D. Dans ce cas, l'espace D et la longueur d'onde spécifique À satisfont l'expression suivante : 0,1 À D 0,25 À. Dans l'exemple qui est illustré, le réflecteur 520 comprend un fil de réflecteur en forme de boucle alors que le radiateur 540 comprend un fil de résistance de résonance en forme de boucle. Le fil de réflecteur en forme de boucle 520 comprend une pluralité de boucles ayant une longueur de boucle avec une longueur totale égale à la longueur d'onde spécifique À. De la même manière, le fil de résistance de résonance en forme de boucle 540 comprend une pluralité de boucles ayant une longueur de boucle avec une longueur totale égale à la longueur d'onde spécifique À. Le fil de réflecteur en forme de boucle illustré 520 est formé sur des première et deuxième couches de fil de réflecteur 521 et 522 à travers lesquelles un film mince intermédiaire 523 constitué de SiN est inséré. Le fil de réflecteur en forme de boucle formé sur la première couche de fil de réflecteur 521 comprend une courbe fermée alors que le fil de réflecteur en forme de boucle formé sur la deuxième couche de fil de réflecteur 522 comprend également une courbe fermée. Les première et deuxième couches de fil de réflecteur 521 et 522 sont connectées via des trous de contact (non représentés) comme en 545 sur la Figure 16. De manière similaire, le fil de résistance de résonance en forme de boucle 540 est également formé sur des première et deuxième couches de fil de résonance 541 et 542 à travers lesquelles un film mince intermédiaire 543 constitué de SiN est inséré. Comme représenté sur la Figure 16, le fil de résistance de résonnance en forme de boucle formé sur la première couche de fil de résonnance 541 comprend une courbe fermée alors que le fil de résistance de résonance en forme de boucle formé sur la deuxième couche de fil de résonance 542 comprend une courbe fermée. Comme représenté sur la Figure 16, les première et deuxième couches de fil de résonance 541 et 542 sont connectées via des trous de contact 545. Bien que chacun du fil de réflecteur en forme de boucle 520 et du fil de résistance de résonance en forme de boucle 540 soit formé avec deux couches dans l'exemple qui est illustré, ces couches peuvent être bien entendu trois ou plus. De plus, chacun du fil de réflecteur en forme de boucle 520 et du fil de résistance de résonance en forme de boucle 540 a le nombre de boucles et la longueur de boucle totale qui sont sélectionnés par la longueur d'onde de l'onde THz incidente. Maintenant, la description traitera un effet du dixième exemple de cette invention. Quand l'onde électromagnétique passe à travers un plan entouré par le fil de résistance de résonance en forme de boucle 540, un champ magnétique d'une zone entourée avec le fil de résistance de résonance en 5 forme de boucle 540 varie et ainsi un courant circule dans le fil de résistance de résonance en forme de boucle 540 par induction électromagnétique. A cause de la circulation du courant, un courant circule dans les trous de contact 545 connectés au fil de résistance de 10 résonance en forme de boucle 540 et les trous de contact 545 génèrent ainsi de la chaleur. La chaleur générée par les trous de contact 545 est acheminée à la coupole 17. De la manière décrite ci-dessus, le détecteur 15 d'ondes électromagnétiques lA selon le dixième exemple a pour effet qu'il est possible d'améliorer le rendement pour convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique du fait que la chaleur générée par les trous de contact 545 est acheminée à la coupole 17. 20 Exemple 11 En se référant maintenant aux Figures 18 et 19, la description traitera un détecteur d'ondes électromagnétiques 600 selon un onzième exemple de 25 cette invention. Le détecteur d'ondes électromagnétiques 600 est un exemple concret du détecteur d'ondes électromagnétiques selon le troisième mode de réalisation de cette invention tel que décrit ci-dessus et représente un exemple du détecteur 30 d'infrarouge de type bolométrique. L'exemple illustré représente un boîtier où un pixel a une forme (dimension) d'un carré avec quatre côtés, chacun desquels a une dimension de 12 micromètres. De plus, l'exemple illustré représente un boîtier où l'onde électromagnétique incidente comprend le rayon infrarouge ayant la longueur d'onde spécifique À de 10 micromètres. Par ailleurs, dans cet exemple, il sera supposé qu'un raccourcissement fractionnaire de longueur d'onde est égal à 1,1. En conséquence, bien qu'une longueur d'onde détectée de la longueur d'onde spécifique À soit égale à 10 micromètres, une longueur de boucle de chaque antenne en boucle devient 11 micromètres. En conséquence, quand l'antenne en boucle comprend une antenne en boucle d'un carré, un côté de celle-ci devient de 2,75 micromètres. La Figure 18 est une vue en plan illustrant schématiquement une structure d'un élément d'image du détecteur infrarouge de type bolométrique 600 alors que la Figure 19 est une vue en coupe illustrant schématiquement la structure d'un élément d'image du détecteur infrarouge de type bolométrique 600. Comme représenté sur la Figure 19, le détecteur infrarouge de type bolométrique 600 est configuré pour former sur un substrat de circuit 602 dans lequel se 25 trouve un circuit de traitement de signal tel qu'un circuit de lecture et ainsi de suite, des contacts 604 pour la connexion au circuit de lecture et pour former des films de protection (non représentés) sur celui-ci. De plus, une partie de support (une traversée) 610 30 est formée sur chacun des contacts 604. La partie de support (la traversée) 610 comprend un film de protection inférieur de traversée 611, un dos métallique 612, un fil de traversée 613, un film de protection supérieur de traversée 614 et un montant métallique 615. La partie de support (la traversée) 610 a une portion qui s'étend en parallèle avec une surface principale du substrat de circuit 602. Le circuit de lecture est connecté électriquement à travers le contact 604 au dos métallique 612, au fil de traversée 613 et au montant métallique 615. De plus, une partie de détection de température (une membrane) 620 est supportée par la partie de support (la traversée) 610 en l'air au-dessus du substrat de circuit 602. La partie de détection de température (la membrane) 620 comprend un film de protection inférieur de bolomètre 622, un film mince bolométrique 624, un film de protection supérieur de bolomètre 626 et un film de protection supérieur 628. Le film mince bolométrique 624 est connecté au circuit de lecture à travers le montant métallique 615, le fil de traversée 613, le dos métallique 612 et le contact 604. Bien que l'oxyde de vanadium ou l'oxyde de titane soit utilisé pour le film mince bolométrique 624, un autre matériau avec un coefficient de température de résistance (TCR) élevé peut être utilisé pour le film mince bolométrique 624. Comme représenté sur la Figure 19, le détecteur infrarouge de type bolométrique 600 comprend une structure de résonance d'onde électromagnétique 630 qui est prévue pour la partie de support (la traversée) 610 et pour la partie de détection de température 620. La structure de résonance d'onde électromagnétique 630 est configurée pour convertir l'onde électromagnétique (le rayon infrarouge) ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur pour délivrer la chaleur convertie à la partie de détection de température 620. La structure de résonance d'onde électromagnétique 630 comprend un réflecteur 632 formé sur la partie de support (la traversée) 610 et un radiateur 634 formé sur le film de protection supérieur 628 de la partie de détection de température 620. Le radiateur 634 a une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique À et comprend des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir l'onde électromagnétique (le rayon infrarouge) ayant la longueur d'onde spécifique À en chaleur. Il sera supposé que l'espace entre le réflecteur 632 et le radiateur 634 est représenté par D. Dans ce cas, l'espace D et la longueur d'onde spécifique À 20 satisfont l'expression suivante : 0,1 À D 0,25 À. Bien que l'illustration ne soit pas effectuée, 25 dans l'exemple illustré, le réflecteur 632 comprend quatre fils de réflecteur en forme de boucle carrée comme indiqué par 6342 sur la Figure 18. Chaque fil de réflecteur en forme de boucle carrée comporte quatre côtés L, chacun desquels est fixé à un quart (qui est 30 égal à 2,75 micromètres dans cet exemple) de la longueur d'onde spécifique À (qui est égale à 11 micromètres avec le raccourcissement fractionnaire de longueur d'onde de 1,1 dans cet exemple). De plus, le réflecteur 632 peut comprendre une couche de réflecteur. D'autre part, comme représenté sur la Figure 18, 5 le radiateur 634 comprend quatre fils de résistance chauffante en forme de boucle carrée 6342. Chaque fil de résistance chauffante en forme de boucle carrée 6342 comporte quatre côtés L, chacun desquels est fixé à un quart (qui est égal à 2,75 micromètres dans cet exemple) 10 de la longueur d'onde spécifique À (qui est égale à 11 micromètres avec le raccourcissement fractionnaire de longueur d'onde de 1,1 dans cet exemple). Précisément, un fil de résistance chauffante en forme de boucle 6342 est créé sur le film de protection supérieur 628 de la 15 partie de détection de température 620 avec un pas de 2,75 micromètres. De la manière décrite ci-dessus, dans la mesure où un élément d'image a une forme carrée (dimension) ayant quatre côtés, chacun desquels est égal à 12 micromètres 20 dans cet exemple, le radiateur 634 comprend les (2 x 2) fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342. En conséquence, si un élément d'image a une forme carrée (dimension) ayant quatre côtés, chacun desquels est égal à 23,5 micromètres, le radiateur 634 comprend 25 (4 x 4) fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342. Bien entendu, le nombre des fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342 varie (est sélectionné) en fonction de la taille (dimension) d'un 30 élément d'image et de la longueur d'onde spécifique (la longueur d'onde détectée) À. De plus, la pluralité de fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342 peut être agencée de préférence en symétrie de révolution. Bien que l'exemple illustré indique un exemple 5 dans lequel l'onde électromagnétique incidente comprend le rayon infrarouge ayant la longueur d'onde spécifique À de 10 micromètres, l'onde électromagnétique incidente peut comprendre un rayon infrarouge ayant la longueur d'onde spécifique À qui est située dans une plage entre 10 2 micromètres et 20 micromètres, tous deux inclus. Maintenant, la description traitera un effet du onzième exemple de cette invention. Quand l'onde électromagnétique passe à travers un plan entouré par les fils de résistance chauffante en 15 forme de boucle 6342, un champ magnétique d'une zone entourée avec les fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342 varie et ainsi un courant circule dans les fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342 par induction électromagnétique. A cause de 20 la circulation du courant, des courants circulent dans les fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342 et les fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342 génèrent ainsi de la chaleur. La chaleur générée par les fils de résistance chauffante en forme 25 de boucle 6342 est acheminée au film mince bolométrique 624. De la manière décrite ci-dessus, le détecteur d'ondes électromagnétiques 600 selon le onzième exemple a pour effet qu'il est possible d'améliorer le 30 rendement pour convertir une énergie électromagnétique en énergie thermique du fait que la chaleur générée par les fils de résistance chauffante en forme de boucle 6342 est acheminée au film mince bolométrique 624. Alors que l'invention a été particulièrement représentée et décrite en référence à des modes de 5 réalisation, l'invention n'est pas limitée à ces modes de réalisation. L'homme du métier comprendra que différents changements de forme et de détails peuvent être faits sans sortir de l'esprit et de la portée de la présente invention telle que définie par les 10 revendications. Par exemple, bien que les exemples précités mentionnent les exemples de la structure de résonance d'onde électromagnétique comprenant, pour le radiateur, un radiateur en forme de boucle, le radiateur n'est pas 15 limité au radiateur en forme de boucle. Par exemple, le radiateur peut comprendre un radiateur en volutes (en spirale). Précisément, le radiateur peut avoir n'importe quelle forme aussi longtemps que sa longueur totale est égale à la longueur d'onde spécifique. De 20 plus, bien que les exemples précités mentionnent l'exemple du substrat en silicium pour le substrat (le substrat de circuit), le substrat n'est bien entendu pas limité au substrat en silicium. La totalité ou une partie des modes de réalisation 25 présentés ci-dessus peuvent être décrits, mais sans limitation, comme les notes supplémentaires suivantes. (Note supplémentaire 1) Un détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique, 30 comprenant : un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture ; une partie de détection de température disposée avec un espace par rapport audit substrat, ladite 5 partie de détection de température comprenant un film mince bolométrique et un premier fil d'antenne ; une partie de support configurée pour supporter ladite partie de détection de température avec un espace par rapport audit substrat, ladite partie de 10 support comprenant des fils d'électrode qui sont connectés audit circuit de lecture et audit film mince bolométrique ; et une partie réfléchissante disposée sur le substrat ladite partie réfléchissante réfléchissant l'onde 15 électromagnétique pénétrant dans ladite partie de détection de température vers ladite partie de détection de température. (Note supplémentaire 2) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 1, 20 comprenant un élément résistif qui est formé sur ladite partie de détection de température et qui est connecté audit premier fil d'antenne. (Note supplémentaire 3) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 1 ou 2, 25 comprenant en outre un deuxième fil d'antenne, dans lequel ledit deuxième fil d'antenne est disposé de manière que l'onde électromagnétique pénétrant dans ladite partie de détection de température passe à travers une surface enfermée avec 30 ledit deuxième fil d'antenne avant que l'onde électromagnétique pénétrant dans ladite partie de détection de température n'entre sur ladite partie réfléchissante. (Note supplémentaire 4) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 1 ou 2, 5 dans lequel ledit substrat comprend un deuxième fil d'antenne. (Note supplémentaire 5) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 1 ou 2, dans lequel ladite partie réfléchissante comprend un 10 deuxième fil d'antenne. (Note supplémentaire 6) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des notes supplémentaires 3 à 5, dans lequel chacun dudit premier fil d'antenne et dudit deuxième fil d'antenne a une 15 forme antennaire en boucle, ledit premier fil d'antenne a une longueur circonférentielle plus courte que celle dudit deuxième fil d'antenne. (Note supplémentaire 7) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des notes 20 supplémentaires 3 à 6, comprenant en outre un troisième fil d'antenne. (Note supplémentaire 8) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 7, dans lequel ledit troisième fil d'antenne a une longueur 25 plus courte que celle dudit premier fil d'antenne. (Note supplémentaire 9) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des notes supplémentaires 1 à 8, comprenant un radiateur formé dans ladite partie de détection de température, ledit 30 radiateur ayant une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique et comprenant des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir ladite onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique en chaleur. (Note supplémentaire 10) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 9, dans lequel la longueur d'onde spécifique est représentée par À et un espace entre ledit réflecteur et ledit radiateur est représenté par D, dans lequel l'espace D et la longueur d'onde spécifique À satisfont l'expression suivante : 0,1 À D 0,25 À. (Note supplémentaire 11) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 10, comprenant en outre un fil directeur disposé de manière à être opposé audit réflecteur dans un état dans lequel ledit radiateur est pris en sandwich entre ledit fil directeur et ledit réflecteur, dans lequel ledit fil directeur a un carré ayant quatre côtés chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À et qui est séparé dudit réflecteur d'une distance égale à l'espace D. (Note supplémentaire 12) Un détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique, comprenant : un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture ; une partie de détection de température disposée avec un espace par rapport audit substrat, ladite partie de détection de température comprenant un film mince bolométrique et une résistance ; une partie de support pour supporter ladite partie de détection de température avec un espace par rapport audit substrat, ladite partie de support comprenant des fils d'électrode qui sont connectés audit circuit de lecture et audit film mince bolométrique ; et un premier fil d'antenne connecté électriquement à ladite résistance, dans lequel ledit premier fil d'antenne est disposé de manière que l'onde électromagnétique pénétrant dans ladite partie de détection de température passe verticalement à travers une surface entourée avec ledit premier fil d'antenne. (Note supplémentaire 13) Un détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique, comprenant : un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture ; une partie de détection de température disposée avec un espace par rapport audit substrat, ladite 25 partie de détection de température comprenant un film mince bolométrique ; une partie de support configurée pour supporter ladite partie de détection de température avec un espace par rapport audit substrat, ladite partie de 30 support comprenant des fils d'électrode qui sont connectés audit circuit de lecture et audit film mince bolométrique ; et une coupole acheminant une chaleur générée à ladite partie de détection de température, ladite 5 coupole comprenant un premier fil d'antenne, dans lequel ledit premier fil d'antenne est disposé de manière que l'onde électromagnétique pénétrant dans ladite partie de détection de température passe verticalement à travers une surface 10 entourée avec ledit premier fil d'antenne. (Note supplémentaire 14) Un dispositif de prise d'image dans lequel une pluralité de détecteurs d'ondes électromagnétiques, chacun selon l'une quelconque des notes supplémentaires 1 à 13, est agencée sous forme 15 d'une matrice bidimensionnelle. (Note supplémentaire 15) Un détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique, comprenant : 20 un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture ; une partie de détection de température disposée de manière à être écartée dudit substrat, ladite partie de détection de température comprenant un film mince 25 bolométrique ; une partie de support configurée pour supporter ladite partie de détection de température dans un état dans lequel ladite partie de détection de température est suspendue par rapport audit substrat, ladite partie 30 de support comprenant des fils d'électrode qui sont connectés audit circuit de lecture et audit film mince bolométrique ; et une structure de résonance d'onde électromagnétique disposée sur ledit substrat et sur 5 ladite partie de détection de température, ladite structure de résonance d'onde électromagnétique étant configurée pour convertir ladite onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique en chaleur pour délivrer la chaleur convertie à ladite partie de 10 détection de température. (Note supplémentaire 16) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 15, dans lequel ladite onde électromagnétique comprend un rayon infrarouge ayant la longueur d'onde spécifique 15 qui est située dans une plage entre 2 micromètres et 20 micromètres, tous deux inclus. (Note supplémentaire 17) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 15 ou 16, 20 dans lequel ladite structure de résonance d'onde électromagnétique comprend : un réflecteur formé sur ledit substrat ; et un radiateur formé dans ladite partie de détection de température, ledit radiateur ayant une longueur de 25 boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique et comprenant des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir ladite onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique en chaleur. 30 (Note supplémentaire 18) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 17, dans lequel la longueur d'onde spécifique est représentée par À et un espace entre ledit réflecteur et ledit radiateur est représenté par D, dans lequel l'espace D et la longueur d'onde spécifique À satisfont l'expression suivante : 0,1 À D 0,25 À. (Note supplémentaire 19) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 18, dans lequel ledit réflecteur comprend un fil de réflecteur carré ayant quatre côtés chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À. (Note supplémentaire 20) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 18, dans lequel ledit réflecteur comprend une couche de réflecteur. (Note supplémentaire 21) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des notes 20 supplémentaires 18 à 20, dans lequel ledit radiateur comprend : un fil de radiateur carré ayant quatre côtés L chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À ; et 25 un élément résistif chauffant connecté audit fil de radiateur, ledit élément résistif chauffant servant comme lesdits moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur. (Note supplémentaire 22) Le détecteur d'ondes 30 électromagnétiques selon la note supplémentaire 21, dans lequel ledit élément résistif chauffant est disposé dans une portion centrale dudit fil de radiateur. (Note supplémentaire 23) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 21, dans lequel ledit élément résistif chauffant est disposé dans une portion de coin dudit fil de radiateur. (Note supplémentaire 24) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des notes supplémentaires 18 à 20, dans lequel ledit radiateur comprend un fil de résistance chauffante carré ayant quatre côtés chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À. (Note supplémentaire 25) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des notes supplémentaires 18 à 24, comprenant en outre un fil directeur disposé de manière à être opposé audit réflecteur dans un état dans lequel ledit radiateur est pris en sandwich entre ledit fil directeur et ledit réflecteur, dans lequel ledit fil directeur a un carré ayant quatre côtés chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À et qui est séparé dudit réflecteur d'une distance égale à l'espace D. (Note supplémentaire 26) Un détecteur d'ondes 25 électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique, comprenant : un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture ; 30 une partie de détection de température disposée de manière à être écartée dudit substrat, ladite partie de détection de température comprenant un film mince bolométrique ; une partie de support configurée pour supporter ladite partie de détection de température dans un état dans lequel ladite partie de détection de température est suspendue par rapport audit substrat, ladite partie de support comprenant des fils d'électrode qui sont connectés audit circuit de lecture et audit film mince bolométrique ; une coupole sur ladite partie de détection de température de manière à s'étendre de portions de bord ambiantes de ladite partie de détection de température vers l'extérieur ; et une structure de résonance d'onde électromagnétique disposée sur ledit substrat et sur ladite coupole, ladite structure de résonance d'onde électromagnétique étant configurée pour convertir ladite onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique en chaleur pour délivrer la chaleur convertie à ladite partie de détection de température. (Note supplémentaire 27) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 26, dans lequel ladite onde électromagnétique comprend une onde térahertz (onde THz) ayant la longueur d'onde spécifique qui est située dans une plage entre 3 millimètres et 30 micromètres, tous deux inclus. (Note supplémentaire 28) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 26 ou 27, dans lequel ladite structure de résonance d'onde électromagnétique comprend : un réflecteur formé sur ledit substrat ; et un radiateur formé dans ladite coupole, ledit radiateur ayant une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique et comprenant des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir ladite onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique en chaleur. (Note supplémentaire 29) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 28, dans lequel la longueur d'onde spécifique est représentée par À et un espace entre ledit réflecteur et ledit radiateur est représenté par D, dans lequel l'espace D et la longueur d'onde spécifique À satisfont l'expression suivante : 0,1 À D 0,25 À. (Note supplémentaire 30) Le détecteur d'ondes 20 électromagnétiques selon la note supplémentaire 29, dans lequel ledit réflecteur comprend un fil de réflecteur en forme de boucle comprenant une pluralité de boucles ayant une longueur de boucle avec une longueur totale égale à la longueur d'onde spécifique À, 25 et dans lequel ledit radiateur comprend un fil de résistance de résonance en forme de boucle comprenant une pluralité de boucles ayant une longueur de boucle avec une longueur totale égale à la longueur d'onde 30 spécifique À. (Note supplémentaire 31) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 30, dans lequel ledit fil de réflecteur en forme de boucle est formé sur une pluralité de couches de fil de réflecteur à travers lesquelles des films intermédiaires sont insérés, ladite pluralité de couches de fil de réflecteur étant connectée via des trous de contact, dans lequel ledit fil de résistance de résonance en forme de boucle est formé sur une pluralité de couches de fil de résonance à travers lesquelles des films intermédiaires sont insérés, ladite pluralité de couches de fil de résonance étant connectée via des trous de contact. (Note supplémentaire 32) Un détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique, comprenant : un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture ; une partie de détection de température disposée de manière à être écartée dudit substrat, ladite partie de détection de température comprenant un film mince bolométrique ; une partie de support configurée pour supporter ladite partie de détection de température dans un état dans lequel ladite partie de détection de température est suspendue par rapport audit substrat, ladite partie de support comprenant des fils d'électrode qui sont connectés audit circuit de lecture et audit film mince bolométrique ; et une structure de résonance d'onde électromagnétique disposée sur ladite partie de support et sur ladite partie de détection de température, ladite structure de résonance d'onde électromagnétique étant configurée pour convertir ladite onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique en chaleur pour délivrer la chaleur convertie à ladite partie de détection de température. (Note supplémentaire 33) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 32, dans lequel ladite onde électromagnétique comprend un rayon infrarouge ayant la longueur d'onde spécifique qui est située dans une plage entre 2 micromètres et 20 micromètres, tous deux inclus. (Note supplémentaire 34) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 32 ou 33, dans lequel ladite structure de résonance d'onde électromagnétique comprend : un réflecteur formé sur ladite partie de support ; et un radiateur formé dans ladite partie de détection de température, ledit radiateur ayant une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique et comprenant des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir ladite onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique en chaleur. (Note supplémentaire 35) Le détecteur d'ondes 30 électromagnétiques selon la note supplémentaire 34, dans lequel la longueur d'onde spécifique est représentée par À et un espace entre ledit réflecteur et ledit radiateur est représenté par D, dans lequel l'espace D et la longueur d'onde spécifique À satisfont l'expression suivante : 0,1 À D 0,25 À. (Note supplémentaire 36) Le détecteur d'ondes électromagnétiques selon la note supplémentaire 35, dans lequel ledit réflecteur comprend une pluralité de fils de réflecteur en forme de boucle carrée ayant chacun quatre côtés, chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À, dans lequel ledit radiateur comprend une pluralité 15 de fils de résistance chauffante en forme de boucle carrée ayant chacun quatre côtés L, chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À. (Note supplémentaire 37) Un dispositif de prise d'image dans lequel une pluralité de détecteurs d'ondes 20 électromagnétiques, chacun selon l'une quelconque des notes supplémentaires 15 à 36, est agencée sous forme d'une matrice bidimensionnelle. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation ci-dessus décrits et 25 représentés, à partir desquels on pourra prévoir d'autres modes et d'autres formes de réalisation, sans pour autant sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS1. Détecteur d'ondes électromagnétiques configuré pour détecter une onde électromagnétique ayant une longueur d'onde spécifique, caractérisé en ce qu'il comprend : un substrat (2) dans lequel est formé un circuit de lecture (2a) ; une partie de détection de température (14) disposée avec un espace par rapport audit substrat (2), ladite partie de détection de température (14) comprenant un film mince bolométrique (7) et un premier fil d'antenne ; une partie de support (13) configurée pour supporter ladite partie de détection de température (14) avec un espace par rapport audit substrat (2), ladite partie de support (13) comprenant des fils d'électrode (9) qui sont connectés audit circuit de lecture (2a) et audit film mince bolométrique (7) ; et une partie réfléchissante disposée sur ledit substrat (2), ladite partie réfléchissante réfléchissant l'onde électromagnétique pénétrant dans ladite partie de détection de température (14) vers ladite partie de détection de température (14). 2. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend un élément résistif qui est formé sur ladite partie de détection de température (14) et qui est connecté audit premier fil d'antenne. 3. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un deuxième fil d'antenne, et en ce que ledit deuxième fil d'antenne est disposé de manière que l'onde électromagnétique pénétrant dans ladite partie de détection de température (14) passe à travers une surface enfermée avec ledit deuxième fil d'antenne avant que l'onde électromagnétique pénétrant dans ladite partie de détection de température (14) n'entre sur ladite partie réfléchissante. 4. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ledit substrat (2) comprend un deuxième fil d'antenne. 5. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite partie réfléchissante comprend un deuxième fil d'antenne. 6. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que chacun dudit premier fil d'antenne et dudit deuxième fil d'antenne a une forme antennaire en boucle, ledit premier fil d'antenne a une longueur circonférentielle plus courte que celle dudit deuxième fil d'antenne. 7. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des revendications 3 à 6, caractériséen ce qu'il comprend en outre un troisième fil d' antenne. 8. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit troisième fil d'antenne a une longueur plus courte que celle dudit premier fil d'antenne. 9. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comprend un radiateur (404 ; 4C)4A ; 404E ; 540 ; 634) formé dans ladite partie de détection de température (14), ledit radiateur (404 ; 404A ; 404B ; 540 ; 634) ayant une longueur de boucle avec une longueur égale à la longueur d'onde spécifique et comprenant des moyens de conversion onde électromagnétique/chaleur configurés pour convertir ladite onde électromagnétique ayant la longueur d'onde spécifique en chaleur. 10. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 9, caractérisé en ce que la longueur d'onde spécifique est représentée par X et un espace entre ledit réflecteur (402 ; 402A ; 520 ; 632) et le radiateur (404 ; 404A ; 404B ; 540 ; 634) est représenté par D, dans lequel l'espace D et la longueur d'onde spécifique X satisfont l'expression suivante : 0,1 X D 0,25 À. 11. Détecteur d'ondes électromagnétiques selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un fil directeur (406) disposé de manière à être opposé audit réflecteur (402) dans un état dans lequel ledit radiateur (404A) est pris en sandwich entre ledit fil directeur (406) et ledit réflecteur (402), dans lequel ledit fil directeur (406) a un carré ayant quatre côtés chacun desquels est fixé à un quart de la longueur d'onde spécifique À et qui est séparé dudit réflecteur (404A) d'une distance égale à l'espace D. 12. Dispositif de prise d'image dans lequel une pluralité de détecteurs d'ondes électromagnétiques, chacun selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, est agencée sous forme d'une matrice bidimensionnelle.