Brevet FR3009907A1 — publié le 20150227

B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 1 DISPOSITIF DE CONVERSION D'ÉNERGIE THERMIQUE EN ÉNERGIE ÉLECTRIQUE Domaine La présente demande concerne un dispositif de conversion d'énergie thermique en énergie électrique, ou générateur thermoélectrique. Elle vise plus particulièrement un dispositif mettant en oeuvre un changement de phase liquide-vapeur d'un fluide. Exposé de l'art antérieur On a déjà proposé des dispositifs de conversion d'énergie thermique en énergie électrique mettant en oeuvre un 10 changement de phase liquide-vapeur d'un fluide. En particulier, le document US8378558 décrit un dispositif comportant un volume clos délimité par une première paroi destinée à être en contact avec une source chaude et, en regard de la première paroi, une deuxième paroi destinée à être en 15 contact avec une source froide. La première paroi est disposée au dessus de la deuxième paroi, et une couche en un matériau piézoélectrique est suspendue horizontalement dans le volume clos entre les deux parois, cette couche étant traversée par des ouvertures verticales. Le volume clos contient des gouttes d'un 20 liquide. Le fonctionnement de ce dispositif est le suivant : B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 2 Le liquide s'écoule par gravité à travers les ouvertures en direction de la deuxième paroi. Lorsqu'il entre en contact avec la deuxième paroi, il se vaporise brutalement, ce qui a pour effet de générer des contraintes mécaniques qui sont transmises à la couche piézoélectrique qui les transforme en signaux électriques. La vapeur passe à travers les ouvertures dans la couche piézoélectrique en direction de la première paroi, sur laquelle elle se condense. Le liquide s'écoule à nouveau vers la deuxième paroi et le cycle recommence. La demande de brevet français déposée le 14 février 2012 sous le numéro 1251368, décrit un autre dispositif de conversion d'énergie thermique en énergie électrique mettant en oeuvre un changement de phase liquide-vapeur d'un fluide. Ce dispositif permet de s'affranchir de la nécessité d'orienter la paroi froide au dessus de la paroi chaude pour assurer l'écoulement du liquide en direction de la paroi chaude après sa condensation sur la paroi froide. Pour cela, le dispositif comprend une première cavité dont une paroi est destinée à être en contact avec une source chaude, une deuxième cavité dont une paroi est destinée à être en contact avec une source froide, un matériau piézoélectrique disposé dans au moins une des cavités, un canal primaire reliant les première et deuxième cavités, et au moins un canal secondaire reliant les première et deuxième cavités. Un fluide sous forme liquide ou gazeuse est confiné dans le dispositif. Le canal secondaire est adapté à transporter le fluide sous forme de gaz. Le canal primaire est adapté à transporter des gouttes du fluide sous forme liquide de la deuxième cavité vers la première cavité, y compris lorsque la deuxième cavité est en dessous de la première cavité. Pour cela, le canal primaire comporte des moyens permettant d'assurer le déplacement de gouttes de liquide de la deuxième cavité vers la première cavité. Ces moyens sont par exemple formés par la surface interne du canal primaire qui peut comporter des B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 3 sections présentant des propriétés de mouillabilité différentes le long de l'axe longitudinal du canal, ou être de type électrostatique. Il serait toutefois souhaitable d'améliorer au moins 5 en partie certains aspects des dispositifs existants de conversion d'énergie thermique en énergie électrique mettant en oeuvre un changement de phase liquide-vapeur d'un fluide. Résumé Ainsi, un mode de réalisation prévoit un dispositif de 10 conversion d'énergie, comprenant une enceinte contenant des gouttes d'un liquide et un transducteur capacitif à électret couplé à cette enceinte. Selon un mode de réalisation, le transducteur comporte une électrode flexible formant une paroi de l'enceinte. 15 Selon un mode de réalisation, l'électrode flexible comprend un film de graphène ou de carbone amorphe. Selon un mode de réalisation, l'électrode flexible comprend une feuille de métal. Selon un mode de réalisation, le transducteur comporte 20 en outre une électrode rigide disposée en regard de l'électrode flexible à l'extérieur de l'enceinte. Selon un mode de réalisation, le transducteur comporte en outre une couche d'électret entre l'électrode flexible et l'électrode rigide. 25 Selon un mode de réalisation, la couche d'électret est en contact avec une face de l'électrode rigide. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte une première paroi destinée à être mise en contact avec une source chaude de température supérieure à la température de 30 vaporisation du liquide, et une deuxième paroi destinée à être mise en contact avec une source froide de température inférieure à la température de vaporisation du liquide. Selon un mode de réalisation, le dispositif comporte une première cavité au voisinage de la première paroi, et une 35 deuxième cavité au voisinage de la deuxième paroi, la première B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 4 cavité étant séparée de la deuxième cavité par une couche en un matériau thermiquement isolant. Selon un mode de réalisation, la couche en un matériau thermiquement isolant est traversée par des ouvertures reliant 5 la première cavité à la deuxième cavité. Selon un mode de réalisation, au moins une des ouver- tures comporte des moyens assurant le transport de gouttes du liquide de la deuxième cavité vers la première cavité. Brève description des dessins 10 Ces caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : la figure 1 est un schéma illustrant le principe de 15 fonctionnement d'un transducteur capacitif à électret ; la figure 2 est une vue en coupe schématique illustrant un exemple d'un mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique ; la figure 3 est une vue en coupe schématique 20 illustrant un autre exemple d'un mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique ; et la figure 4 est une vue en coupe schématique illustrant un autre exemple d'un mode de réalisation d'un générateur thermoélectrique. 25 Description détaillée Par souci de clarté, de mêmes éléments ont été désignés par de mêmes références aux différentes figures et, de plus, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. En outre, dans la suite de la description, sauf indication 30 contraire, les termes "approximativement", "sensiblement", "environ" et "de l'ordre de" signifient "à 10 % près", et des références directionnelles telles que recouvrant, surmontant, latéral, au-dessus, en dessous, supérieur, inférieur, vertical, horizontal, etc. s'appliquent à des dispositifs orientés de la B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 façon illustrée dans les vues en coupe des figures correspondantes. Selon un aspect d'un mode de réalisation, on prévoit un dispositif adapté à convertir de l'énergie thermique en 5 énergie mécanique à l'aide d'un liquide se vaporisant brusquement lorsqu'il entre en contact avec une surface chaude, créant ainsi une surpression localisée, et à convertir cette surpression en énergie électrique à l'aide d'un transducteur capacitif à électret. La figure 1 illustre schématiquement un exemple de transducteur capacitif à électret 100. Le transducteur 100 comprend une électrode fixe 101, et, en regard de l'électrode 101, une électrode mobile 103. Dans cet exemple, les électrodes 101 et 103 sont sensiblement planes et parallèles entre elles et l'électrode 103 est susceptible de se déplacer en translation selon un axe approximativement orthogonal aux électrodes 101 et 103. L'électrode 101 est revêtue d'une couche d'électret 105. Par électret, on entend ici un matériau diélectrique électriquement chargé, capable de conserver ses charges ou une partie significative de ses charges pendant une longue période, typiquement de l'ordre de quelques années à quelques dizaines d'années. Dans l'exemple représenté, une charge, représentée 25 schématiquement par une résistance R, est connectée entre les électrodes 101 et 103 du transducteur 100. Le fonctionnement du transducteur 100 est le suivant : La couche d'électret 105, qui contient une quantité Qi de charges d'une première polarité, par exemple des charges 30 négatives, induit, dans les électrodes 101 et 103, une accumulation de charges de polarité inverse, des charges positives dans l'exemple. Si l'on désigne par Qi la quantité de charges induites dans l'électrode 101 par la couche 105, et par Q2 la quantité de charges induites dans l'électrode 103 par la couche 35 105, l'équilibre Qi = Qi + Q2 est respecté à tout instant. B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 6 Un déplacement de l'électrode 103 par rapport à l'électrode 101 entraîne une réorganisation des charges induites dans les électrodes 101 et 103 par la couche d'électret 105. En particulier, si l'électrode 103 s'éloigne de l'électrode 101, la 5 quantité Q2 de charges induites dans l'électrode 103 diminue et la quantité Qi de charges induites dans l'électrode 101 augmente. A l'inverse, si l'électrode 103 se rapproche de l'électrode 101, la quantité Q2 de charges induites dans l'électrode 103 augmente et la quantité Qi de charges induites dans 10 l'électrode 101 diminue. Il en résulte qu'un courant I circule à travers la charge R. Le mouvement relatif de l'électrode 103 par rapport à l'électrode 101 est ainsi converti en électricité. La figure 2 est une vue en coupe schématique illustrant un exemple d'un mode de réalisation d'un dispositif 15 200 de conversion d'énergie thermique en énergie électrique. Le dispositif 200 comprend une paroi inférieure 201 approximativement horizontale, destinée à être en contact avec une source chaude. La source chaude peut être un composant électronique, par exemple une puce de circuit intégré. Dans ce 20 cas, la paroi 201 peut être une face supérieure de la puce de circuit intégré. Les modes de réalisation décrits ne se limitent toutefois pas à ce cas particulier. A titre de variante, la paroi 201 peut être une plaque de métal ou d'un autre matériau, et la source chaude peut être toute source de chaleur disponible 25 dans l'environnement, par exemple un pot d'échappement de voiture, une canalisation, une paroi d'une machine, etc. Le dispositif 200 comprend en outre des parois latérales 203 approximativement verticales en un matériau thermiquement isolant, par exemple du verre, de l'oxyde de 30 silicium, ou tout autre matériau adapté. Dans cet exemple, les parois latérales 203 reposent sur une portion périphérique de la face supérieure de la paroi 201. Le dispositif 200 comprend en outre, au dessus de la paroi 201, une couche 205 en un matériau thermiquement isolant, 35 par exemple en le même matériau que les parois latérales 203. B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 7 Dans cet exemple, l'épaisseur de la couche 205 est inférieure à la hauteur des parois latérales 203, et la couche 205 est suspendue approximativement horizontalement au dessus de la paroi 201, par exemple à mi-hauteur des parois 203. Une cavité 207 sépare la couche 205 de la paroi 201, et une cavité 209 est située entre la couche 205 et le plan comprenant la surface supérieure des parois latérales 203. A titre d'exemple, la couche 205 et les parois latérales 203 peuvent être formées d'une seule pièce, par exemple par moulage ou par tout autre procédé adapté. A titre de variante, la couche 205 et les parois latérales 203 peuvent être des éléments séparés, assemblés par tout moyen adapté, par exemple par collage. La couche 205 est traversée par un réseau d'ouvertures approximativement verticales 211, par exemple des trous ou canaux traversant à section circulaire. A titre d'exemple non limitatif de réalisation, la hauteur des parois latérales 203 peut être comprise entre 100 pin et 1 cm, la hauteur des cavités 207 et 209 peut être comprise entre 100 nm et 5 mm, et le diamètre des ouvertures 211 peut être compris entre 100 nm et 5 mm. Le dispositif 200 comprend en outre une électrode flexible 213 suspendue au dessus de la couche 205 et de la cavité 209. Dans cet exemple, une portion périphérique de la face inférieure de l'électrode 213 est fixée sur la face supérieure des parois latérales 203, par exemple par collage. L'électrode flexible 213 est par exemple un film conducteur en graphène ou en carbone amorphe, ou une mince feuille métallique. Le dispositif 200 comprend en outre, au dessus de l'électrode flexible 213, une couche d'électret 215 dont la face supérieure est en contact avec une électrode rigide 217. L'empilement formé par la couche d'électret 215 et par l'électrode 217 repose sur une bague 219 en un matériau thermiquement conducteur et électriquement isolant, par exemple de la résine. La bague 219 repose elle-même sur une portion périphérique de la face supérieure de l'électrode 213, au dessus des parois latérales 203 du dispositif. L'électrode flexible 213 B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 8 est ainsi séparée de la couche d'électret 215 par une cavité 221 dont la hauteur est liée à l'épaisseur de la bague 219. La couche d'électret 215 est par exemple en TEFLON chargé, en parylène chargé, ou en tout autre matériau diélec- trique chargé électriquement, par exemple par décharge corona, et adapté à conserver ses charges pendant une longue période. A titre de variante, la couche d'électret 215 peut comprendre un empilement d'une ou plusieurs couches diélectriques, par exemple en oxyde de silicium et/ou en nitrure, en sandwich entre deux films de TEFLON ou de parylène. Des charges peuvent alors être stockées dans le diélectrique central, par exemple par décharge corona, les films de TEFLON ou parylène ayant pour rôle d'empêcher la décharge du diélectrique central. A titre de variante, la couche 215 peut comprendre un empilement d'une ou plusieurs couches diélectriques, par exemple en oxyde de silicium et/ou en nitrure, en sandwich entre deux films d'hexaméthyldisiloxane, généralement désigné dans la technique par le sigle HMDS. On notera que le HMDS n'a pas, intrinsèquement, des propriétés d'électret, mais les essais réalisés ont montré que, après encapsulation entre deux couches de HMDS, un empilement diélectrique, par exemple oxyde-nitrure, peut présenter des propriétés d'électret c'est-à-dire qu'il peut conserver des charges électriques pendant une longue période. Plus généralement, la couche d'électret 215 peut être constituée de tout matériau ou combinaison de matériaux présentant des propriétés d'électret. Les électrodes 213 et 217 et la couche d'électret 215 forment un transducteur capacitif à électret. Les électrodes 213 et 217 correspondent par exemple respectivement à l'électrode mobile et à l'électrode fixe d'un transducteur du type décrit en relation avec la figure 1. Dans cet exemple, les électrodes 213 et 217 sont reliées respectivement à des noeuds ou bornes de sortie OUT1 et OUT2 du dispositif de conversion 200. Dans cet exemple, le dispositif 200 comprend en outre 35 une paroi supérieure 223 approximativement horizontale, surmon- B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 9 tant l'électrode 217, destinée à être en contact avec une source froide. La source froide est par exemple un radiateur à ailettes, ou directement l'air ambiant, ou toute autre source dont la température est inférieure à celle de la source chaude. On notera que dans cet exemple, la paroi 223 est distincte de l'électrode 217. A titre de variante, la paroi 223 et l'électrode 217 peuvent être un même élément. Les parois 201 et 223 sont de préférence en des matériaux bons conducteurs thermiques, pour assurer une réparti- tion homogène de la température dans les cavités 207 (cavité chaude) et 209 (cavité froide) respectivement. On notera que dans l'exemple de la figure 2, la cavité 209 est séparée de la paroi 223 par le transducteur capacitif à électret. Toutefois, en pratique, les différents éléments du transducteur sont suffi- samment minces et/ou bons conducteurs thermiques pour ne pas perturber de façon significative le refroidissement de la cavité 209 par la source froide, ce refroidissement étant de toute manière assuré par le matériau thermiquement conducteur de la bague 219. A titre d'exemple non limitatif, l'électrode flexible 213 peut avoir une épaisseur comprise entre 1 nm et 100 pin, la cavité 221 peut avoir une hauteur comprise entre 10 nm et 2 mm, la couche d'électret 215 peut avoir une épaisseur comprise entre 50 nm et 20 gm, et l'électrode rigide 217 peut avoir une épaisseur comprise entre 10 fun et 3 mm. Les cavités 207 et 209 et les ouvertures 211 consti- tuent un volume clos, de préférence hermétiquement, délimité par les parois 201 et 203 et par l'électrode flexible 213 qui définissent ainsi une enceinte 230. Dans ce volume, on introduit, avant scellement, un liquide 225. Le liquide 225 est choisi de façon que sa température d'ébullition soit inférieure à la température de la cavité 207 (cavité chaude) ou de la paroi 201 en fonctionnement, et supérieure à la température de la cavité 209 (cavité froide) ou de l'électrode 213 en fonctionnement. A titre d'exemple, on pourra utiliser de l'éthanol ou du méthanol, dont les températures d'ébullition sont respectivement B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 10 de l'ordre de 78 °C et 65 °C à la pression atmosphérique. On pourra également utiliser de l'eau ou tout autre liquide et mettre le volume clos formé par les cavités 207 et 209 et par les ouvertures 211 à une pression choisie pour obtenir la température d'ébullition souhaitée. Le fonctionnement du dispositif 200 est le suivant : Lorsqu'une goutte du liquide 225 descend le long d'une ouverture 211 et atteint la paroi chaude 201, elle passe brutalement de l'état liquide à l'état gazeux. Ce changement d'état rapide génère localement une forte surpression. Cette surpression entraîne localement une déformation temporaire de l'électrode flexible 213 au dessus de l'ouverture 211. Localement, l'électrode flexible 213 est alors susceptible de se rapprocher ou de s'éloigner de l'électrode 217, ce qui provoque l'apparition d'un signal électrique entre les noeuds de sortie OUT1 et OUT2 du dispositif. L'énergie électrique de ce signal peut soit être utilisée directement pour alimenter une charge, soit stockée dans une batterie ou un autre système de stockage, soit récupérée par un système de collecte et de mise en forme de l'énergie électrique collectée. Après l'étape de vaporisation rapide, la vapeur vient se condenser du côté de l'électrode 213, dans la cavité froide 209, et l'électrode flexible 213 reprend localement sa forme initiale. Il se forme sur l'électrode 213, comme l'illustre la figure 2, une accumulation de liquide 225. Quand la masse de liquide 225 augmente, des gouttes 227 retombent dans des ouvertures 211 vers la paroi chaude 201, et le cycle recommence. La figure 3 est une vue en coupe schématique illustrant une variante de réalisation du dispositif de conver- sion d'énergie thermique en énergie électrique de la figure 2. Le dispositif 300 de la figure 3 comprend de nombreux éléments communs avec le dispositif de la figure 2. Seules les différences entre les deux dispositifs seront décrites ci-après. Le dispositif 300 de la figure 3 diffère du dispositif 35 de la figure 2 en ce qu'il ne comprend pas la couche thermi- B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 11 quement isolante 205 suspendue horizontalement dans l'enceinte 330 contenant le liquide 225, entre les parois 201, 213 et 203 qui définissent cette enceinte. Dans le dispositif 300, les gouttes 227 de liquide se 5 déplaçant de la paroi froide (électrode 213) vers la paroi chaude (paroi 201) de l'enceinte, et les vapeurs et surpressions se déplaçant de la paroi chaude (paroi 201) vers la paroi froide (électrode 213) de l'enceinte ne sont pas, comme dans le dispositif de la figure 2, canalisées par les ouvertures 211 10 traversant la couche 205, mais peuvent se déplacer librement, en tout point de la surface du dispositif en vue de dessus. Un avantage est que le nombre de cycles vaporisation rapide/condensation par unité de surface peut être plus élevé que dans le dispositif 200. 15 La figure 4 est une vue en coupe schématique illus- trant un autre exemple d'un mode de réalisation d'un dispositif 400 de conversion d'énergie thermique en énergie électrique. Le dispositif 400 comprend une première cavité 401, une deuxième cavité 403, un canal 405 ou canal primaire reliant 20 la cavité 401 à la cavité 403, et un canal 407 ou canal secondaire reliant la cavité 401 à la cavité 403. Dans l'exemple représenté, le canal primaire 405 est un canal rectiligne à section circulaire, et le canal secondaire 407 est un canal rectiligne à section en anneau, dont le plus petit diamètre est 25 supérieur au diamètre du canal primaire, les canaux primaire 405 et secondaire 407 ayant le même axe longitudinal. Les modes de réalisation décrits ne se limitent toutefois pas à ce cas particulier. Les canaux primaire 405 et secondaire 407 traversent de part en part une couche 409 en un matériau thermiquement 30 isolant, qui sépare la cavité 401 de la cavité 403. La cavité 403 est fermée par une paroi d'extrémité 411, sensiblement parallèle à la couche 409, et par des parois latérales 413 reliant la paroi 411 à la couche 409. La cavité 401 est délimitée par des parois latérales 35 415, et par une électrode flexible 417 suspendue au dessus de la B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 12 couche 409 et fixée sur la face supérieure des parois latérales 415. Le dispositif 400 comprend en outre, au dessus de l'électrode flexible 417, une couche d'électret 419 dont la face supérieure est en contact avec une électrode rigide 421. L'empi5 lement formé par la couche d'électret 419 et par l'électrode 421 repose sur une bague 423 en un matériau thermiquement conducteur et électriquement isolant, par exemple de la résine. La bague 219 repose elle-même sur une portion périphérique de la face supérieure de l'électrode 417, au dessus des parois latérales 10 415 de la cavité 401. Une cavité 425 sépare ainsi la couche d'électret 419 de l'électrode 421. Les électrodes 417 et 421 et la couche d'électret 419 forment un transducteur capacitif à électret. Dans cet exemple, les électrodes 417 et 421 sont reliées respectivement à des 15 noeuds ou bornes de sortie OUT1 et OUT2 du dispositif de conversion 400. En fonctionnement, la paroi 411 est destinée à être mise en contact avec une source froide, et l'électrode 421 est destinée à être mise en contact avec une source chaude. 20 Les cavités 401 et 403 et les canaux 405 et 407 constituent un volume clos, délimité par les parois 411, 413 et 415 et par l'électrode flexible 417 qui définissent ainsi une enceinte 430. Dans ce volume, on introduit un liquide 427. Le liquide 427 est choisi de façon que sa température d'ébullition 25 soit inférieure à la température de la cavité 401 (cavité chaude) en fonctionnement, et supérieure à la température de la cavité 403 (cavité froide) en fonctionnement. Selon un aspect de l'exemple de la figure 4, le canal primaire 405 comporte une surface intérieure telle qu'elle 30 assure le déplacement de gouttes du liquide de la cavité 403 vers la cavité 401, indépendamment de l'orientation du dispositif 400. Pour cela, la surface intérieure du dispositif peut comporter des sections présentant des propriétés de mouillabilité différentes, réparties le long de l'axe longitudinal du B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 13 canal, de façon à former une surface à gradient d'énergie de surface. Le fonctionnement du dispositif 400 est le suivant : Lorsqu'une goutte du liquide 427 atteint la cavité 5 chaude 401, elle passe brutalement de l'état liquide à l'état gazeux. Ce changement d'état rapide génère localement une forte surpression. Cette surpression entraîne une déformation temporaire de l'électrode flexible 417, ce qui provoque l'apparition d'un signal électrique entre les noeuds de sortie 10 OUT1 et OUT2 du dispositif. Après l'étape de vaporisation rapide, la vapeur est transmise par les canaux 405 et 407 et vient se condenser du côté de la cavité froide 403. Une goutte se forme alors dans la cavité froide 403. Cette goutte est transportée vers la cavité 15 chaude 401 par le canal 405, et le cycle recommence. Le canal primaire 405 a une ouverture suffisamment grande pour laisser passer des gouttes du liquide 427, et le canal secondaire 407 a une ouverture trop faible pour laisser passer des gouttes mais suffisamment grande pour transmettre du 20 liquide vaporisé ou de la pression. Dans le cas de l'eau, le diamètre du canal primaire 405 est de préférence de l'ordre de la longueur capillaire, par exemple compris entre 3 et 5 mm, avantageusement de l'ordre de 4 mm, et le diamètre du canal secondaire est de préférence de l'ordre de la longueur 25 capillaire divisée par 10, par exemple inférieur à 0,5 mm. Le canal secondaire 407 a notamment pour rôle d'équilibrer la pression entre les cavités lors du transfert de la goutte de la cavité 403 vers la cavité 401, afin d'éviter qu'une dépression ne se crée dans la cavité 403 ce qui pourrait bloquer le 30 transfert de la goutte. Un avantage du mode de réalisation de la figure 4 est que le fonctionnement du dispositif est indépendant de la gravité. Le dispositif peut donc être disposé dans n'importe quelle orientation. B12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 14 Un avantage des modes de réalisation décrits ci-dessus résulte du fait que la conversion d'une surpression localisée en énergie électrique est effectuée à l'aide d'un transducteur capacitif à électret. Ceci permet, à surpressions équivalentes liées à l'évaporation brusque du liquide, d'obtenir des signaux électriques d'amplitudes nettement plus élevées que dans les dispositifs de l'art antérieur dans lesquels la conversion mécano-électrique est effectuée au moyen d'un transducteur piézoélectrique. Des modes de réalisation particuliers ont été décrits. Diverses variantes et modifications apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, dans les exemples des figures 2 et 3, le transducteur capacitif à électret est placé du coté de la source froide. A titre de variante, le transducteur pourra être placé du côté de la source chaude, ou encore deux transducteurs pourront être prévus, l'un du côté de la source chaude et l'un du côté de la source froide. De plus, dans l'exemple de la figure 4, le transduc- teur capacitif à électret est placé du côté de la source chaude. A titre de variante, le transducteur pourra être placé du côté de la source froide, ou encore deux transducteurs pourront être prévus, l'un du côté de la source chaude et l'un du côté de la source froide. En outre, dans les exemples décrits ci-dessus, la couche d'électret du transducteur capacitif à électret est formée sur une face de l'électrode rigide du transducteur. A titre de variante, la couche d'électret peut être placée sur une face de l'électrode flexible du transducteur. Dans ce cas, il convient toutefois de veiller à ce que l'empilement de l'électrode flexible et de la couche d'électret reste suffisamment flexible pour obtenir le fonctionnement recherché. Par ailleurs, l'homme de l'art saura adapter les modes de réalisation décrits aux diverses variantes de réalisation de 35 générateurs thermoélectriques décrites dans le brevet US8378558 B12732 - 13GR4-0285:-:DD14618 15 susmentionné et dans la demande de brevet français susmentionnée déposée le 14 février 2012 sous le numéro 1251368. REVENDICATIONS1. Dispositif (200 ; 300 ; 400) de conversion d'énergie, comprenant : une enceinte (230 ; 330 ; 430) contenant des gouttes d'un liquide (225 ; 427) ; et un transducteur capacitif à électret (213, 215, 217 ; 417, 419, 421) couplé à cette enceinte. 2. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication 1, dans lequel le transducteur comporte une électrode flexible (213 ; 417) formant une paroi de ladite enceinte (230 ; 330 ; 430). 3. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication 2, dans lequel l'électrode flexible (213 ; 417) comprend un film de graphène ou de carbone amorphe. 4. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication 15 2, dans lequel l'électrode flexible (213 ; 417) comprend une feuille de métal. 5. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel le transducteur comporte en outre une électrode rigide (217 ; 421) disposée en regard de 20 l'électrode flexible (213 ; 417) à l'extérieur de ladite enceinte. 6. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication 5, dans lequel le transducteur comporte en outre une couche d'électret (215 ; 419) entre l'électrode flexible (213 ; 417) et 25 l'électrode rigide (217 ; 421). 7. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon la revendication 6, dans lequel la couche d'électret (215 ; 419) est en contact avec une face de l'électrode rigide (217 ; 421). 8. Dispositif (200 ; 300 ; 400) selon l'une quelconque 30 des revendications 1 à 7, comportant une première paroi (201 ; 421) destinée à être mise en contact avec une source chaude de température supérieure à la température de vaporisation du liquide (225 ; 427), et une deuxième paroi (223 ; 411) destinée à être mise en contact avec une source froide de températureB12732 - 13-GR4-0285 - DD14618 17 inférieure à la température de vaporisation du liquide (225 ; 427). 9. Dispositif (200 ; 400) selon la revendication 8, comportant une première cavité (207 ; 401) au voisinage de la première paroi (201 ; 421), et une deuxième cavité (209 ; 403) au voisinage de la deuxième paroi (223 ; 411), la première cavité (207 ; 401) étant séparée de la deuxième cavité (209 ; 403) par une couche (205 ; 409) en un matériau thermiquement isolant. 10. Dispositif (200 ; 400) selon la revendication 9, dans lequel ladite couche (205 ; 409) en un matériau thermiquement isolant est traversée par des ouvertures (211 ; 405, 407) reliant la première cavité (207 ; 401) à la deuxième cavité (209 ; 403). 11. Dispositif (400) selon la revendication 10, dans lequel au moins une desdites ouvertures (405) comporte des moyens assurant le transport de gouttes du liquide (427) de la deuxième cavité (403) vers la première cavité (401).