Brevet FR2989967A1 — publié le 20131101

Domaine de l'invention La présente invention se rapporte à un procédé de fabri- cation d'un dispositif de fenêtre optique d'un composant MEMS ainsi que le composant obtenu par ce procédé. Etat de la technique Pour protéger les composants MEMS (composants micro-électromécaniques) contre les dommages extérieurs de nature physique ou chimique de l'encapsulage, on prévoit une plaquette de protection ayant des cavités et des passages traversants dans lesquels on installe la plaquette composée. Il est usuel d'ajuster la plaquette de protection sur la plaquette avec les structures MEMS et d'assembler à l'aide de techniques confirmées telles que par exemple la liaison anodique ou la liaison par scellement avec du verre. Pour les composants MEMS optiques, il faut en plus des conditions décrites ci-dessus relatives à la plaquette de recouvrement, prévoir en général une fenêtre transparente au-dessus de la cavité et qui présente une excellente qualité optique. Un procédé de réalisation d'un tel composant est décrit dans le document DE 10 2009 045 541 Al. Pour réduire les réflexions parasites sur les dioptres de la fenêtre optiquement transparente, on applique de minces revêtements anti-réfléchissants sur de telles fenêtres ou on les incline par rapport au composant MEMS. Le document EP 1 688 776 Al décrit des fenêtres op- tiques inclinées pour des puces séparées. Spécialement pour la réalisa- tion de plaquettes formées de plusieurs couches, on utilise des fenêtres inclinées selon le document US 2007 0024549 qui décrit leur fabrication. Le document DE 10 2008 012 384 Al décrit un couvercle pour en-capsuler un microsystème, ce couvercle ayant une fenêtre optique inclinée. Ce document décrit également le procédé de fabrication. Exposé et avantages de l'invention La présente invention a pour objet un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique pour un composant MEMS consistant à appliquer une couche en une matière transparente sur un substrat avec un passage, déformer la couche pour que celle-ci soit pliée et que la zone déformée de la couche constitue une fenêtre optique. L'invention développe un procédé de fabrication écono- mique pour un dispositif de fenêtre ayant la qualité optique nécessaire à un composant MEMS. Le procédé permet de protéger la fenêtre optique contre les rayures et les particules de corps étrangers pendant la suite du traitement. Le procédé tel que représenté convient pour les séries importantes. Le procédé permet d'incliner la structure de la fenêtre en limitant cette inclinaison et de munir la surface de la fenêtre d'une sur- face supérieure nanostructurée. Suivant une autre caractéristique du procédé, la couche en matière transparente est appliquée sur le côté supérieur d'un substrat avec le passage et on déforme la couche pour que celle-ci se plie dans le passage et que la zone déformée de la couche constitue une fe- nêtre optique. Suivant une autre caractéristique du procédé, sur le côté de la couche à l'opposé du substrat, on applique une couche auxiliaire ayant une zone déplaçable qui, à la déformation, est tournée autour d'un axe d'inclinaison dans le passage et que l'on enlève une fois la dé- formation réalisée. Suivant une autre caractéristique du procédé, la zone déplaçable a un chevauche avec la périphérie du passage. Suivant une autre caractéristique du procédé, la zone dé- plaçable est reliée au restant de la couche auxiliaire par au moins un élément élastique. Suivant une autre caractéristique du procédé, la zone déplaçable comporte au moins un élément de butée et les côtés correspondant du substrat dans le passage traversant ont une surface inclinée qui fixe la rotation maximale de la zone déplaçable autour de l'axe d'inclinaison dans le passage traversant. Suivant une autre caractéristique du procédé, le substrat comporte une surface inclinée dans le passage traversant et cette surface inclinée fixe la rotation maximale de la zone déplaçable autour de l'axe d'inclinaison dans l'orifice traversant. Suivant une autre caractéristique du procédé, la cavité a un fond que l'on enlève une fois la déformation réalisée. Suivant une autre caractéristique du procédé, le côté in- férieur du substrat a une cavité et le côté tourné vers la couche a une zone déplaçable reliée au restant du substrat par au moins un élément élastique, la zone déplaçable et l'élément élastique étant enlevés après la déformation. Suivant une autre caractéristique du procédé, le substrat comporte au moins deux paires de zones de serrage opposées entre les- quelles on applique la couche, les deux paires étant séparées par une cavité et on effectue la déformation pour que les deux paires soient déplacées l'une par rapport à l'autre, le substrat étant enlevé une fois la déformation réalisée. Suivant une autre caractéristique du procédé, au moins un côté de la couche a une surface nanostructurée. Enfin l'invention porte également sur un dispositif de fenêtre optique d'un composant MEMS réalisé selon le procédé développé ci-dessus. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide de différents exemples de procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique selon l'invention représentés dans les dessins annexés dans lesquels les éléments identiques ou de même fonction dans les différentes figures portent les mêmes références. Ainsi les figures la)-d) sont des vues en coupe schématique suivant la ligne A-B de la figure 2 pour décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un premier mode de réalisation de l'invention, la figure 2 est une vue de dessus schématique pour expliquer le procédé de fabrication du premier mode de réalisation du dispositif de fenêtre optique selon l'invention, les figures 3a)-d) sont des vues en coupe schématique selon la ligne A-B de la figure 4 pour expliquer un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique selon un second mode de réalisation de l'invention, la figure 4 est une vue de dessus schématique servant à décrire le procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique correspon- dant au second mode de réalisation de l'invention, les figures 5a)-d) sont des vues en coupe schématique selon la ligne A-B de la figure 6 pour décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un troisième mode de réalisation de l'invention, la figure 6 est une vue schématique de dessus servant à décrire le procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique correspondant au troisième mode de réalisation de l'invention, les figures 7a)-d) sont des vues en coupe schématique suivant la ligne A-B de la figure 8 pour décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un quatrième mode de réalisation de l'invention, la figure 8 est une vue de dessus schématique servant à décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique correspondant au quatrième mode de réalisation de l'invention, les figures 9a)-d) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique selon un cinquième mode de réalisation de l'invention, les figures 10a)-d) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique selon un sixième mode de réalisation de l'invention, les figures 1 la)-d) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique selon un septième mode de réalisation de l'invention, les figures 12a)-e) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique selon un huitième mode de réalisation de l'invention, les figures 13a)-f) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique selon un neuvième mode de réalisation de l'invention. Description de modes de réalisation de l'invention Les figures la)-d) sont des vues en coupe schématique selon la ligne de coupe A-B de la figure 2 pour décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un pre- mier mode de réalisation de l'invention ; la figure 2 est une vue de des- sus schématique servant à décrire un procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique selon un premier mode de réalisation de l'invention. Aux figures la)-d) et à la figure 2, la référence 1 désigne un substrat, de préférence un substrat en silicium ; la référence 2 dé- signe une couche en matière transparente, de préférence une couche en verre ou en matière plastique et la référence 3 désigne une couche auxiliaire, de préférence une couche en silicium. La référence 4 se rapporte à un orifice traversant dans le substrat 1 et la référence 5 à une zone mobile qui fait partie de la couche auxiliaire 3 et est séparée du restant de la couche auxiliaire 3 par une cavité 6. La référence 7 se rapporte à un axe d'inclinaison suivant lequel la zone mobile 5 est tournée dans l'orifice de passage 4. La zone mobile 5 présente un chevauchement 8 avec la périphérie de l'orifice traversant 4. Le côté supérieur du substrat 1 porte la référence 10 et le côté inférieur la référence 11. La structure de fenêtre porte la référence F. La couche 2 n'est pas représentée à la figure 2 pour des raisons de clarté. L'ordre des étapes de production suivantes n'est pas fixé de manière absolue et on peut varier. Dans une première étape, selon la figure la), on réalise le substrat 1, de préférence par exemple en sili- cium ; dans ce substrat 1, on réalise un orifice traversant 4, par exemple par gravure à la potasse KOH ou par jet de sable ou autre procédé d'enlèvement de matière tel que le perçage mécanique, le meulage ou avec un laser. L'orifice de passage 4 est destiné par exemple à l'accès optique à un micro-miroir (MOEMS) ou pour le contact électrique par les zones de fixation. Selon une seconde étape correspondant à la figure la), on forme une combinaison de plaquettes formées d'une couche 2 transparente et thermiquement déformable, par exemple en verre ou en ma- tière plastique et une couche auxiliaire 3 qui est de préférence en silicium. La plaquette combinée est réalisée selon les procédés usuels en technique des composants MEMS tels que par exemple la liaison anodique ou la liaison directe silicium-verre. La couche auxiliaire 3 peut être mise à l'épaisseur souhaitée avant ou après avoir réalisé la combi- naison, par exemple par meulage ou polissage. Dans une troisième étape selon la figure la), on définit une zone mobile 5 dans la couche auxiliaire 3 au-dessus de l'orifice de passage 4 sur laquelle on laisse subsister de la matière. Cela peut se faire par exemple par le procédé de gravure DRIE. La zone mobile 5 est habituellement plus petite que la surface de l'orifice traversant 4 dans le substrat 1. La zone mobile 5 sert à rigidifier la couche 2 au cours de la déformation faite dans l'étape suivante et elle assure même que la structure de fenêtre optique F peut certes recevoir une inclinaison tout en garantissant la planéité de la surface inclinée. Dans une quatrième étape, selon la figure lb), on aligne le dispositif formé par la couche auxiliaire 3 et la couche 2 ainsi que le substrat 1 et on les relie, par exemple par une liaison anodique ou par une liaison directe. La mise en structure de la couche auxiliaire 3, c'est-à-dire la définition de la zone déplaçable 5, de rigidification au-dessus du passage traversant 4 peut se faire avant ou après la réalisation de cette pile de puce composée d'une couche auxiliaire 3, d'une couche 2 et d'un substrat 1. Dans une cinquième étape selon la figure 1c), on aspire en surface la pile de plaquette par le côté inférieur 11 du substrat 1 et on chauffe à une température élevée appropriée à laquelle la couche 2 peut se déformer plastiquement. De façon générale, une différence de pression entre les deux côtés de la zone de fenêtre F se traduit par une inclinaison et/ou un coulissement de la zone mobile 5. L'inclinaison peut également être produite en exerçant une force mécanique. Du fait de la dépression au niveau du passage traversant 4, la structure de fenêtre optique F est emboutie profondément dans la zone mobile 5. La rotation voulue autour de l'axe d'inclinaison 7 est définie en ce que la zone déplacée 5 dépasse latéralement de la périphérie du substrat 1 au moins sur un côté ou sur au moins un point du passage traversant 4 et forme ainsi un chevauchement 8. Le chevauchement 8 évite que la zone déplaçable 5 soit aspirée à cet endroit au cours de la déformation plastique thermique et soit tirée dans le passage traversant 4. Par une épaisseur réglée de manière appropriée de la couche auxiliaire 3 et une dépression également réglée de manière appropriée, on obtient une structure de fenêtre F, bombée comme voulue. Dans une sixième étape selon la figure 1d), on enlève la couche auxiliaire 3 par gravure, par exemple par une gravure avec KOH. Cette gravure ne doit pas attaquer la couche 2 ou du moins ne l'attaquer qu'au minimum pour conserver sa qualité optique. Pour mi- nimiser le temps de gravure, on peut réaliser des trous ou des fentes dans la couche auxiliaire 3 de façon à augmenter la surface de gravure et permettre une attaque par gravure dans d'autres plans qui peuvent être attaqués plus rapidement que le plan initial. Les trous ou les fentes sont destiné(e)s à rendre maximale la vitesse de gravure dans les trois dimensions (longueur, largeur et profondeur). La réalisation de ces structures en même temps que la formation de la zone déplaçable 5 peuvent se faire dans une étape de procédé. Les figures 3a)-d) sont des vues en coupe schématique faites le long de la ligne A-B à la figure 4 pour décrire un procédé de fa- brication d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un second mode de réalisation de l'invention ; la figure 4 est une vue de dessus schématique servant à décrire le procédé de réalisation d'un dispositif de fenêtre optique correspondant au second mode de réalisation de l'invention. Aux figures 3a)-d) et 4, la référence 1 désigne un subs- trat, de préférence un substrat en silicium ; la référence 2 désigne une couche en une matière transparente, de préférence une couche en verre ou en matière plastique et la référence 3 désigne une couche auxiliaire, de préférence une couche en silicium. La référence 4 désigne un orifice traversant dans le substrat 1 et la référence 5a désigne une zone dépla- çable qui est une partie de la couche auxiliaire 3 et est reliée par au moins un élément de ressort 9 au restant de la couche auxiliaire 3. La référence 6 désigne une cavité. La référence 7 désigne un axe d'inclinaison autour duquel la zone déplaçable 5a peut être tournée dans le passage traversant 4. Le côté supérieur du substrat 1 porte la référence 10 et le côté inférieur, la référence 11. La structure de fenêtre porte la référence F. La couche 2 n'est pas représentée à la figure 4 pour des raisons de visibilité. Le mode de réalisation est analogue au premier mode de réalisation décrit aux figures la)-d) et la figure 2 à la différence que la zone déplaçable 5a de la figure 3b)c) est reliée à la couche auxiliaire 3 par au moins un élément élastique ou élément de ressort 9 et ne présente pas de chevauchement avec la périphérie du passage traversant 4. Les figures 5a)-d) sont des vues en coupe schématique selon la ligne A-B de la figure 6 pour décrire un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un troisième mode de réalisation de l'invention ; la figure 6 est une vue de dessus schématique servant à décrire le procédé de fabrication du dispositif de fenêtre optique selon le troisième mode de réalisation de l'invention. Aux figures 5a)-d) et à la figure 6, la référence la désigne un substrat, de préférence un substrat de silicium. La référence 2 désigne une couche en une matière transparente, de préférence une couche en verre ou en matière plastique et la référence 3 désigne une couche auxiliaire, de préférence une couche en silicium. La référence 4 désigne un passage traversant réalisé dans le substrat la et la référence 5b désigne une zone déplaçable qui est une partie de la couche auxiliaire 3 en étant séparée par une cavité 6 du restant de la couche auxiliaire 3. La zone déplaçable 5b possède au moins un élément de fixation 21 et sur les côtés correspondant au passage traversant 4 réalisé dans le substrat la, il y a des surfaces inclinées 20. La référence 7 désigne un axe d'inclinaison suivant lequel la zone déplaçable 5b peut être tournée dans le passage traversant 4. La zone déplaçable 5b présente un chevauchement 8 avec la périphérie du passage traversant 4. Dans un cas extrême, le chevauchement peut être extrêmement réduit. Le côté supérieur du substrat la porte la référence 10 et son côté inférieur, la référence 11. La structure de fenêtre porte la référence F. La couche 2 n'est pas représentée à la figure 6 pour des raisons de clarté. Ce mode de réalisation est analogue au premier mode de réalisation présenté aux figures la)-d) et à la figure 2 ; pour limiter la rotation de la zone déplaçable 5b dans le substrat la, on a réalisé le passage traversant 4 par gravure avec la potasse KOH de façon qu'au moins un côté de gravure par KOH forme une surface inclinée 20 selon la figure 5a et la figure 6. Pour réaliser la butée mécanique de la zone déplaçable 5b sur le substrat la, on réalise au moins un élément de fixation ou butée 21 au-dessus d'au moins une surface inclinée 20 selon la figure 6. Ainsi, lorsqu'on chauffe la zone déplaçable 5b, celle-ci ne pourra tourner dans le passage traversant 4 que jusqu'à ce que l'élément de butée 21 bloque la rotation sur la surface inclinée 20 (fi- gure 5c). La rotation maximale de la zone déplaçable 5b peut se régler librement par la distance entre l'élément de butée 21 et l'axe d'inclinaison 7. La butée 20 est avantageuse du point de vue de la déformation de la couche 2 car la déformation se fera au moins sur la surface inclinée 20 et il suffit de ne cisailler ainsi que faiblement la matière. Les figures 7a)-d) sont des vues en coupe schématique selon la ligne A-B de la figure 8 pour expliquer un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un quatrième mode de réalisation de l'invention. La figure 8 est une vue de dessus schématique servant à décrire le procédé de fabrication du dispositif de fenêtre optique selon ce quatrième mode de réalisation de l'invention. Selon les figures 7a)-d) et la figure 8, la référence lb désigne un substrat, de préférence un substrat de silicium. La référence 2 désigne une couche en une matière transparente, de préférence une couche de verre ou de matière plastique et la référence 3 désigne une couche auxiliaire, de préférence une couche de silicium. La référence 4 désigne un passage traversant réalisé dans le substrat lb et la référence 5c désigne une zone déplaçable qui fait partie de la couche auxiliaire 3 et est séparée du restant de la couche auxiliaire 3 par une cavité 6. Une surface inclinée 22 est prévue sur un côté du passage traversant 4 dans le substrat lb et l'arête parallèle la plus proche de celle-ci appartenant à la zone déplaçable 5c porte la référence 23. La référence 7 désigne l'axe d'inclinaison suivant lequel la zone déplaçable 5c peut tourner dans le passage traversant 4. La zone déplaçable 5c présente un chevauchement 8 avec la périphérie du passage traversant 4. Dans le cas extrême, ce chevauchement peut être extrêmement réduit. Le côté supé- rieur du substrat lb porte la référence 10 et son côté inférieur, la référence 11. La structure de fenêtre porte la référence F. La couche 2 n'est pas représentée à la figure 8 pour des raisons de clarté du dessin. Ce mode de réalisation est analogue au premier mode de réalisation décrit aux figures la)-d) et à la figure 2 ; le passage traver- sant 4 du substrat lb est formé pour que la zone déplaçable 5c bute par l'arête 23 contre la surface inclinée 22 qui est parallèle à l'axe d'inclinaison 7 en étant le plus éloigné de celle-ci (figure 7c). La surface inclinée 22 n'est réalisée que sur un côté du passage traversant 4 comme le montre la figure 8 ; les trois autres côtés du passage traver- sant 4 peuvent être munis d'arêtes inclinées ou perpendiculaires. Pour réaliser la butée de la zone déplaçable 5c et régler la rotation maximale de la zone déplaçable 5c autour de l'axe d'inclinaison 7, on adapte la distance entre l'arête 23 et l'axe d'inclinaison 7 pour que la rotation soit bloquée par la surface inclinée 22 pour une inclinaison appropriée (fi- gure 7c). Le troisième et le quatrième mode de réalisation qui pré- voient de limiter la rotation de la zone déplaçable 5b et 5c dans le passage traversant 4 sont avantageux car pendant la déformation plastique au cours du chauffage, on peut éviter que la couche transformée 2 ne fonde avec la surface d'appui. Un autre avantage est que la zone déplaçable 5b et 5c, réalisée si possible plusieurs fois sur une plaquette, présente toujours la même rotation après la déformation plastique bien que la plaquette ne soit pas exposée à chaque endroit à la même tempéra- ture. Les figures 9a)-d) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un cinquième mode de réalisation de l'invention. Aux figures 9a)-d), la référence lc désigne un substrat, de préférence un substrat de silicium. La référence 2 désigne une couche en une matière transparente, de préférence une couche de verre ou de matière plastique et la référence 3 désigne une couche auxiliaire, de préférence une couche de silicium. Une cavité 32 est réalisée dans le substrat lc. Cette cavité a une zone de fond 31 en direction du côté in- férieur 11. La référence 5 désigne une zone déplaçable qui fait partie de la couche auxiliaire 3 en étant séparée du restant de la couche auxiliaire 3 par une cavité 6. La référence 7 désigne l'axe d'inclinaison suivant lequel la zone déplaçable 5 peut être tournée dans la cavité 32. La zone déplaçable 5 présente un chevauchement 8 avec la périphérie de la cavité 32. Dans le cas extrême, le chevauchement 8 peut être extrêmement faible. Le côté supérieur du substrat lc porte la référence 10. La structure de fenêtre a la référence F. L'ordre des étapes de production décrites ci-après n'est pas fixé de manière impérative et on peut le modifier. Dans une pre- mière étape selon la figure 9a, on réalise une cavité 32 dans le substrat lc, cette cavité étant ouverte vers le côté supérieur 10. Dans une seconde étape, on forme une combinaison selon la figure 9a entre le substrat lc, une couche 2 qui est en une matière transparente thermiquement déformable et une couche auxiliaire 3 ; la cavité 32 est sous vide. Dans une troisième étape selon la figure 9b, on réalise une zone déplaçable 5 dans la couche auxiliaire 3. Dans une quatrième étape, on chauffe de manière appropriée toute cette combinaison pour que la zone déplaçable 5 qui a un chevauchement 8 avec la périphérie de la cavité 32 tourne d'un côté dans la cavité 32 suivant l'axe d'inclinaison 7 (figure 9c). La déformation plastique se fait sous vide sans nécessiter d'aspiration en surface du substrat lc. Dans la cinquième étape selon la figure 9d, on dégage la couche 2 en enlevant la couche auxiliaire 3 et la zone de fond 31 au cours d'une opération de gravure. Les figures 10a)-d) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un sixième mode de réalisation de l'invention. Aux figures 10a)-d), la référence lc désigne un substrat, de préférence un substrat de silicium ; la référence 2 désigne une couche en une matière transparente, de préférence une couche de verre ou de matière plastique et la référence 3 désigne une couche auxiliaire, de préférence une couche de silicium. On réalise une cavité 32 dans le substrat lc qui a un fond 31 en direction du côté inférieur 11. La réfé- rence 5a désigne une zone déplaçable qui est une partie de la couche auxiliaire 3 en étant reliée au restant de cette couche auxiliaire 3 par au moins un élément élastique ou élément à ressort 9. La référence 6 désigne une cavité. La référence 7 désigne un axe d'inclinaison suivant lequel la zone déplaçable 5a peut être tournée dans la cavité 32. Le côté supérieur du substrat lc porte la référence 10. La structure de fenêtre porte la référence F. Ce mode de réalisation est analogue au cinquième mode de réalisation décrit et présenté à l'aide des figures 9a)-d) à la différence que la zone déplaçable 5a selon les figures 10b)-c) est reliée à la couche auxiliaire 3 par au moins un élément élastique 9 et n'a pas de chevauchement avec la périphérie de la cavité 32. Le cinquième et le sixième mode de réalisation ont l'avantage de pouvoir traiter simultanément de nombreuses plaquettes dans un four (procédé par lots) pour positionner la fenêtre en biais. Ces modes de réalisation ont également une butée pour limiter la rotation de la zone déplaçable. Les figures 1 la)-d) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un septième mode de réalisation de l'invention. Aux figures 1 la)-d), la référence ld désigne un substrat, de préférence un substrat de silicium ; la référence 2 désigne une couche en une matière transparente, de préférence une couche de verre ou de matière plastique. Une cavité 33 est réalisée dans le substrat ld, ouverte vers le côté inférieur 11. La référence 5d désigne une zone dé- plaçable reliée au substrat ld par au moins un élément élastique ou élément de ressort 9a. La référence 34 désigne une cavité. Le côté supérieur du substrat ld est caractérisé par la référence 10. La structure de fenêtre porte la référence F. L'ordre suivant des étapes de production n'est pas fixé de manière impérative et peut être modifié. Dans une première étape selon la figure 11a), on introduit une cavité 33 dans le substrat ld par une opération de gravure. Dans une seconde étape, on forme une combinaison comprenant le substrat ld et une couche 2 en une matière transpa- rente déformable thermiquement. Dans une troisième étape selon la figure 11b), on réalise une zone déplaçable 5d dans la couche auxiliaire 3 et on forme au moins un élément élastique 9a. Dans une quatrième étape, on chauffe de manière appropriée l'ensemble de la combinaison et on applique une dépression par le côté inférieur 11 à la cavité 33 pour que la zone déplaçable 5d tourne d'un côté dans la cavité 33 (fi- gure 11c). La zone déplaçable 5d, du côté inférieur de la structure de fenêtre F, évite que pendant la déformation plastique, la couche 2 ne fusionne avec la surface d'aspiration. Dans une cinquième étape selon la figure 11d), on dégage la couche 2 en enlevant la zone déplaçable 5d et l'élément de torsion 9a. Le dispositif de fenêtre optique ainsi obtenu peut être relié aux composants MEMS ou à la plaquette MOEM par un procédé de liaison utilisé en micromécanique tel que par exemple une liaison par une soudure de verre ou de la colle, le collage eutectique ou le collage anodique. Il est particulièrement avantageux dans les modes de réalisation décrits que la structure de fenêtre F dans le substrat 1, la, lb, lc, ld soit enfoncée et ainsi protégée. Le dispositif de fenêtre ne risque pas d'être endommagé au cours de la suite du traitement car on évite les rayures, les empreintes et l'accrochage de particules. Cela est en particulier vrai pour la liaison par soudure de verre selon laquelle le dispositif de fenêtre et la plaquette MOMEMS sont pressés l'un contre l'autre avec une pression mécanique élevée. Les figures 12a)-e) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un huitième mode de réalisation de l'invention. Aux figures 12a)-e), la référence le désigne un substrat, de préférence un substrat de silicium ; la référence 2 désigne une couche en une matière transparente, de préférence une couche de verre ou de matière plastique. Les références lel, 1e2, 1e3 et 1e4 désignent des zones de serrage réalisées dans le substrat avec une cavité 50 contre les zones de serrage. L'arête des zones de serrage porte les références K 1, K2, K3 et K4. La structure de fenêtre porte la référence F. L'ordre suivant des étapes de production n'est pas fixé de manière impérative et peut être modifié. Dans une première étape selon la figure 12b), on réalise au moins quatre zones de serrage lei, 1e2, 1e3 et 1e4 appropriées dans un substrat le. Ces zones sont munies par des procédés de mise en structure appropriée tels que par exemple la gravure KOH, la gravure en tranchée, avec un effet ARDE (gravure dé- pendant d'un rapport d'aspect) avec des surfaces inclinées. La surface supérieure des surfaces inclinées n'a pas de signification décisive pour la qualité optique de la structure de fenêtre F. Dans une seconde étape selon la figure 12c), on installe les zones de serrage, par paires (lei, 1e2) et (1e3, 1e4) sur les deux cô- tés d'une couche 2 en une matière transparente thermiquement défor- mable pour former une cavité 50. Dans une troisième étape, on forme une combinaison des zones de serrage lei, 1e2, 1e3, 1e4 et de la couche 2, par exemple par liaison anodique ou par liaison directe. Les éléments lei, 1e2, 1e3, 1e4 peuvent également être réalisés comme suit : dans une première étape, pour chaque substrat le, on applique la couche 2 sur le côté avant et le côté arrière à l'aide d'un procédé de liaison usuel et dans une seconde étape, on réalise les arêtes Ki, K2, K3, K4 ainsi que la cavité 50 en meulant. Dans une quatrième étape selon la figure 12d), on trans- forme la couche 2 en ce que l'on chauffe de manière appropriée la combinaison et on déforme par pression mécanique sur les deux côtés pour aligner les zones de serrage associées par paires (lei, 1e2) et (1e3, 1e4) pour qu'après la déformation, elles restent juxtaposées à niveau dans la même orientation. Les arêtes Ki, K3 et K2, K4 des zones de serrage sur les deux côtés de la couche 2 correspondent à une droite. Ce procédé peut se faire avec une liaison usuelle du commerce contrôlée en température et en pression. On peut empiler plusieurs plaquettes (traitement par lots). Dans une cinquième étape selon la figure 12e, on dégage la structure de fenêtre F en enlevant le substrat le par gravure. Les figures 13a)-f) sont des vues en coupe schématique servant à décrire un procédé de fabrication d'un dispositif de fenêtre optique correspondant à un neuvième mode de réalisation de l'invention. Aux figures 13a)-f), la référence 1 désigne un substrat, de préférence un substrat de silicium, la référence 2 une couche en matière transparente, de préférence une couche de verre ou de matière plastique et la référence 3 une couche auxiliaire, de préférence une couche de silicium. La référence 4 désigne un passage traversant réalisé dans le substrat 1 et la référence 5 désigne une zone déplaçable faisant partie de la couche auxiliaire 3. La référence 7 désigne un axe d'inclinaison suivant lequel la zone 5, mobile, peut être tournée dans le passage traversant 4. La zone déplaçable 5 a un chevauchement 8 avec la périphérie du passage traversant 4. Le côté supérieur du substrat 1 porte la référence 10 et son côté inférieur la référence 11. La structure de fenêtre porte la référence F. La référence V désigne une cavité dans le substrat 1. Selon une première étape correspondant à la figure 13a), on effectue la gravure d'un passage traversant 4 dans le substrat 1 avec une cavité V. Dans une seconde étape selon la figure 13b), on réalise une combinaison de plaquettes formées de la couche 2 et de la couche auxiliaire 3, par exemple par liaison anodique. Dans une troisième étape selon la figure 13c), on réalise une zone déplaçable 5 dans la couche auxiliaire 3, par exemple en amincissant la couche auxiliaire 3 selon le procédé DRIE suivant. Dans une quatrième étape selon la figure 13d), on assemble la combinaison comprenant la zone déplaçable 5 de la couche auxiliaire 3, la couche 2 et le substrat 1. Dans une cinquième étape selon la figure 13e), on tourne la zone déplaçable 5 autour de l'axe d'inclinaison 7 dans la cavité V du substrat 1. Dans une sixième étape selon la figure 13f), on effectue la gravure de la zone déplaçable 5 de la couche auxiliaire 3 pour dégager la structure de fenêtre F. Bien que la présente invention soit décrite ci-dessus à l'aide d'exemples de réalisation préférentiels, elle n'est pas limitée à ceux-ci et en particulier les matières citées et les topologies ne sont données qu'à titre d'exemples non limitatifs. Une option de procédé des modes de réalisation décrits ci-dessus consiste à former une surface nanostructurée de la couche 2 dans la région de la structure de fenêtre F pour réduire les réflexions gênantes. Pour cela, la matière appliquée sur la couche 2, sur le côté revêtu de la couche 2, est munie de nanostructures avant même que la matière ne soit reliée à la couche 2. Cela se fait par exemple par une gravure à la potasse KOH ou une gravure en tranchée. Les nanostruc- tures de la couche 2 se font pendant la déformation plastique. Suivant la déformation plastique, on enlève la matière appropriée de la structure de fenêtre F.10 la, lb, le, lel, 1e2, 1e3, 17 NOMENCLATURE DES ELEMENTS PRINCIPAUX ld, le Substrats 1e4 Zones de serrage 2 Couche 3 Couche auxiliaire 4 ; 32, 33, 34 ; 50 Cavité/passage traversant 5, 5a, 5b Zones déplaçables 7 Axe d'inclinaison 8 Chevauchement 9 Elément élastique/élément à ressort 10 Coté supérieur du substrat 11 Côté inférieur du substrat 20 Surface inclinée 21 Elément de butée / élément de fixation 22 Surface inclinée 23 Arrête 31 Fond F Fenêtre