Brevet FR2981498A1 — publié le 20130419

SYSTEME D'IRRADIATION PAR FAISCEAU D'ENERGIE ET MECANISME DE TRANSFERT D'OUVRAGE Domaine technique La présente invention concerne un système d'irradiation par faisceau d'énergie tel qu'un implanteur ionique et un appareil d'irradiation par faisceau d'électrons pour irradier par un faisceau d'énergie, et un mécanisme de transfert d'ouvrage pour le système d'irradiation par faisceau d'énergie. Art associé Un type d'implanteurs ioniques selon l'art associé comprend un plateau pour transférer des plaquettes dans une zone d'irradiation d'un faisceau ionique, un sas de chargement, et un mécanisme de transfert intermédiaire pour transférer des plaquettes entre le plateau et le sas de chargement. Par exemple, un mécanisme de transfert intermédiaire du document de brevet 1 est configuré pour déplacer des bras de transfert gauche et droit en même temps afin de pouvoir disposer des plaquettes en deux rangées sur un plateau, ce qui améliore la capacité de traitement. Les plaquettes prises en charge par de tels bras de transfert n'ont qu'une seule taille. Document de brevet 1 : JP-B-4 766 156 Résumé Néanmoins, les tailles de plaquettes ne sont pas limitées. Des plaquettes ont des diamètres de 4 pouces (10 cm), 6 pouces (15 cm), 12 pouces (30 cm), 18 pouces (45 cm). Pour prendre en charge des plaquettes de différentes tailles, simplement la configuration susmentionnée a besoin d'être doublée. Dans ce cas, la taille de l'implanteur ionique augmente remarquablement. Cette question n'est pas limitée aux implanteurs ioniques, mais elle est commune à tous les systèmes d'irradiation par faisceau d'énergie pour irradier au moins un ouvrage avec un faisceau d'énergie. La présente invention a été faite au vu de cette 10 question, et un objet de la présente invention consiste à permettre à ce type de systèmes d'irradiation par faisceau d'énergie d'irradier efficacement des ouvrages ayant différentes tailles avec un faisceau d'énergie, tout en ayant une taille et un coût réduits. 15 Un système d'irradiation par faisceau d'énergie selon la présente invention comprend un mécanisme d'émission de faisceau d'énergie, des premier et deuxième supports d'ouvrage, un mécanisme de déplacement, des première et deuxième unités d'accueil 20 d'ouvrage, et des premier et deuxième bras de transfert. Le mécanisme d'émission de faisceau d'énergie émet un faisceau d'énergie vers une zone d'irradiation prédéterminée. Les premier et deuxième supports d'ouvrage montent respectivement au moins un premier 25 ouvrage et au moins un deuxième ouvrage. L'au moins un premier ouvrage et l'au moins un deuxième ouvrage sont des objets à irradier par le faisceau d'énergie. Le mécanisme de déplacement déplace vers l'avant et vers l'arrière au moins l'un des premier et deuxième 30 supports d'ouvrage au moins entre la zone d'irradiation et une zone de réception d'ouvrage pour des livraisons d'ouvrage. Les première et deuxième unités d'accueil d'ouvrage sont disposées à des positions différentes l'une de l'autre et elles accueillent respectivement l'au moins un premier ouvrage et l'au moins un deuxième ouvrage. L'au moins un premier ouvrage a une taille différente de celle de l'au moins un deuxième ouvrage. Le premier bras de transfert est prévu pour pouvoir se déplacer en va-et-vient entre la zone de réception d'ouvrage et la première unité d'accueil d'ouvrage et il transfère l'au moins un premier ouvrage entre la première unité d'accueil d'ouvrage et le premier support d'ouvrage lorsque le premier support d'ouvrage se trouve dans la zone de réception d'ouvrage. Le deuxième bras de transfert est prévu pour pouvoir se déplacer en va-et-vient entre la zone de réception d'ouvrage et la deuxième unité d'accueil d'ouvrage et il transfère l'au moins un deuxième ouvrage entre la deuxième unité d'accueil d'ouvrage et le deuxième support d'ouvrage lorsque le deuxième support d'ouvrage se trouve dans la zone de réception d'ouvrage. Selon cette configuration, il est possible d'irradier efficacement des ouvrages ayant différentes tailles par un faisceau d'énergie tout en maintenant une taille de système pratiquement identique à celle des implanteurs ioniques et analogues ayant deux bras de transfert selon l'art associé. En tant que mode de réalisation spécifique, la première unité d'accueil d'ouvrage et la deuxième unité d'accueil d'ouvrage peuvent être disposées sur des 30 côtés opposés de la zone de réception d'ouvrage l'un et l'autre se centrant autour de la zone de réception d'ouvrage. Pour que les supports d'ouvrage supportent une pluralité de ou une pluralité de rangées d'ouvrage avec 5 un bras de transfert, chacun des premier et deuxième supports d'ouvrage reçoit un ouvrage d'un bras de transfert correspondant dans la zone de réception d'ouvrage, se déplace d'une distance prédéterminée dans une direction de déplacement, et reçoit un autre 10 ouvrage du bras de transfert correspondant, de manière à monter une pluralité d'ouvrages dans la direction de déplacement. Selon un aspect pour lequel les effets de la présente invention deviennent remarquables, le faisceau 15 d'énergie peut être un faisceau ionique et peut implanter des ions dans l'au moins un premier ouvrage et dans l'au moins un deuxième ouvrage. En outre, chacune des première et deuxième unités d'accueil d'ouvrage peut être un mécanisme de sas de 20 chargement. Effet de l'invention Selon la présente invention, configurée comme décrit ci-dessus, il est possible d'irradier 25 efficacement des ouvrages ayant des tailles différentes par un faisceau d'énergie, de rendre la taille de système plus petite qu'une taille à laquelle on peut normalement s'attendre, et de promouvoir une réduction de coûts. 30 Brève description des dessins La figure 1 est une vue en plan schématique illustrant un implanteur ionique complet selon un mode de réalisation de la présente invention ; la figure 2 est une vue en perspective partielle illustrant un mécanisme de transfert de plaquettes selon le mode de réalisation ; les figures 3A à 3D sont des schémas de séquences illustrant un exemple de transfert de plaquettes selon 10 le mode de réalisation ; les figures 4A et 4B sont des vues d'explication de fonctionnement illustrant le déplacement d'un plateau selon le mode de réalisation ; la figure 5 est une vue en plan schématique 15 illustrant des aspects de supports de plaquettes de plateaux selon un autre mode de réalisation de la présente invention ; et la figure 6 est une vue en plan schématique illustrant des organes de rails selon un autre mode de 20 réalisation de la présente invention. Description détaillée Un système d'irradiation par faisceau d'énergie selon la présente invention va être décrit ci-après en 25 référence aux dessins annexés. Un exemple du système d'irradiation par faisceau d'énergie est un implanteur ionique 100. Comme cela est représenté sur les figures 1 et 2, l'implanteur ionique 100 irradie les ouvrages, qui sont des plaquettes W1 et 30 W2, de tailles différentes, par un faisceau ionique IB qui est un faisceau d'énergie, en implantant de ce fait des ions dans les plaquettes W1 et W2. L'implanteur ionique 100 comprend un mécanisme d'émission de faisceau ionique (non représenté) et le mécanisme de transfert de plaquettes 20 dans une chambre 5 d'implantation ionique 10. La chambre d'implantation ionique 10 est disposée à l'intérieur d'une chambre sous vide. Le mécanisme d'émission de faisceau ionique émet le faisceau ionique IB, et le mécanisme de transfert de plaquettes 20 transfère les plaquettes W1 10 et W2 à une position capable d'être irradiée par le faisceau ionique IB. Le mécanisme d'émission de faisceau ionique émet le faisceau ionique IB, par exemple, en forme de ruban vers une zone d'irradiation AR1 qui est située à 15 l'intérieur de la chambre d'implantation ionique 10. Néanmoins, la présente invention n'est pas limitée à cela. Par exemple, le mécanisme d'émission de faisceau peut émettre le faisceau ionique IB ayant une forme carrée. 20 Le mécanisme de transfert de plaquettes 20 comprend des mécanismes de chargement et de déchargement de plaquettes 21 et 22, des mécanismes de transfert de plaquettes 31 et 32 et des mécanismes intermédiaires 41 et 42. Les mécanismes de chargement 25 et de déchargement de plaquettes 21 et 22 chargent et déchargent les plaquettes W1 et W2 entre la chambre d'implantation ionique 10 et les sas de chargement 11 et 12. Les sas de chargement 11 et 12 sont espacés l'un de l'autre et sont disposés sur le côté supérieur de la 30 chambre d'implantation ionique 10. Les mécanismes de transfert de plaquettes 31 et 32 supportent les plaquettes W1 et W2 qui sont soumises à une implantation ionique et transfèrent les plaquettes W1 et W2 vers la zone d'irradiation par faisceau AR1. Les mécanismes intermédiaires 41 et 42 livrent les plaquettes W1 et W2 entre les mécanismes de chargement et de déchargement de plaquettes 21 et 22 et les mécanismes de transfert de plaquettes 31 et 32. Les mécanismes de chargement et de déchargement de plaquettes 21 et 22 comprennent des tables de montage de plaquettes 21a et 22a servant d'unités d'accueil d'ouvrage, et des actionneurs (non représentés) pour déplacer les tables de montage de plaquettes 21a et 22a vers le haut et vers le bas. Les tables de montage de plaquettes 21a et 22a sont destinées à monter respectivement les plaquettes W1 et W2 de tailles différentes. Lorsque les tables de montage de plaquettes 21a et 22a sont à une position supérieure, elles servent également de cloisons (parois inférieures dans le présent mode de réalisation) qui séparent hermétiquement les sas de chargement 11 et 12 et la chambre d'implantation ionique 10. Pendant ce temps, lorsque les tables de montage de plaquettes 21a et 22a sont à une position inférieure, elles se trouvent dans la chambre d'implantation ionique 10. Et elles peuvent donner les plaquettes W1 et W2 aux mécanismes intermédiaires 41 et 42 (décrits ci-après) et elles peuvent recevoir les plaquettes W1 et W2 des mécanismes intermédiaires 41 et 42. Dans le présent mode de réalisation, comme cela est représenté sur la figure 1, dans une direction de déplacement linéaire des plaquettes W1 et W2 (comme cela va être décrit ci- après), les deux sas de chargement 11 et 12 sont prévus espacés l'un de l'autre, et les mécanismes de chargement et de déchargement de plaquettes 21 et 22 sont prévus respectivement pour les sas de chargement 11 et 12. Les mécanismes de transfert de plaquettes 31 et 32 peuvent comprendre des organes de supports de plaquettes 31a et 32a, des bases 31b et 32b pour supporter les plateaux 31a et 32a, et un mécanisme de déplacement linéaire 33. Les organes de supports de plaquettes 31a et 32a sont des supports d'ouvrage auxquels il est également fait référence en tant que plateaux 31a et 32a. Le mécanisme de déplacement linéaire 33 déplace linéairement les bases 31b et 32b vers l'avant et vers l'arrière. Les plateaux 31a et 32a comportent des plaques de fixation (non représentées) qui sont plates et circulaires, par exemple, et qui peuvent attirer et maintenir une pluralité de rangées (deux rangées dans ce mode de réalisation) de plaquettes W1 et W2 sur une surface latérale de celles-ci par des mandrins électrostatiques. Pendant ce temps, si les tailles des plaques de fixation sont supérieures aux tailles des plaquettes, il est possible d'attirer et de maintenir les plaquettes en toute fiabilité, mais il est à craindre que les plaques de fixation puissent être surchargées. Si les tailles des plaques de fixation sont inférieures aux tailles des plaquettes, il est possible d'éviter une surcharge des plaques de fixation, mais il est à craindre que les plaquettes ne soient pas suffisamment attirées et maintenues. Il est donc nécessaire de régler de manière appropriée les tailles des plaques de fixation. Les bases 31b et 32b sont en forme de blocs. Dans un état dans lequel des portions de plaques de surface 5 des plateaux 31a et 32a sont parallèles à la direction de déplacement, les bases 31b et 32b supportent de manière à pouvoir pivoter les portions d'extrémités de base des plateaux 31a et 32a par des arbres rotatifs parallèles à la direction de déplacement. En outre, à 10 l'intérieur des bases 31b et 32b, des actionneurs à basculement (non représentés), comme des moteurs, sont prévus pour faire tourner les plateaux 31a et 32a de sorte que les portions de plaques de surface basculent entre une posture de réception dans laquelle les 15 portions de plaques de surface des plateaux 31a et 32a sont horizontales et une posture d'irradiation par faisceau dans laquelle les portions de plaques de surface sont verticales. Le mécanisme de déplacement linéaire 33 comprend 20 un organe de rail 33a et des actionneurs coulissants (non représentés). L'organe de rail 33a est configuré dans un agencement horizontal et linéaire pour permettre aux bases 31b et 32b de rentrer à l'intérieur de celui-ci afin que les bases 31b et 32b puissent 25 coulisser sur l'organe de rail 33a. Les actionneurs coulissants (non représentés) déplacent les bases 31b et 32b vers l'avant vers l'arrière le long de l'organe de rail 33a. Les actionneurs coulissants peuvent comprendre des courroies disposées dans l'organe de 30 rail 33a et des moteurs pour faire tourner des courroies, de sorte que les bases 31b et 32b soient agencées pour être déplacées vers l'avant et vers l'arrière sur l'organe de rail 33a par les courroies. Dans le présent mode de réalisation, les deux plateaux 31a et 32a et les bases 31b et 32b pour 5 supporter respectivement les plateaux 31a et 32a sont prévus pour pouvoir coulisser indépendamment sur l'organe de rail commun 33a. Le mécanisme de déplacement linéaire 33 peut employer non seulement la configuration susmentionnée mais aussi un mécanisme 10 d'alimentation par vis par exemple. Il est également fait référence ci-après à la direction de déplacement linéaire en tant que direction x. Les mécanismes intermédiaires 41 et 42 comprennent des bras de transfert 41a et 42a et des actionneurs 15 pivotants (non représentés) tels que des moteurs. Les bras de transfert 41a et 42 ont des portions d'extrémités de base pour être supportés de manière à pouvoir pivoter afin que les bras de transfert 41a et 42a puissent tourner horizontalement. Les actionneurs 20 pivotants font tourner les bras de transfert 41a et 42a vers l'avant et vers l'arrière. Les bras de transfert 41a et 42a comprennent des corps de bras principaux en forme de plaque longue et des mâchoires de prise (non représentées) servant à 25 abaisser les portions de plaques de surface des corps de bras principaux. Les mâchoires de prise accrochent des positions correspondantes des portions périphériques des surfaces inférieures des plaquettes W1 et W2 par les mâchoires de prise de sorte que les 30 plaquettes W1 et W2 soient maintenues au-dessous des corps de bras principaux. Dans cet exemple, le bras principal 41a ou 42a est configuré pour pouvoir maintenir une pluralité de plaquettes W1 ou W2 dans une rangée dans sa direction de déploiement. Néanmoins, chacun des bras de transfert 41a et 42a peut maintenir une plaquette W1 ou W2. Plus spécifiquement, comme cela est représenté sur la figure 1, une paire de bras de transfert 41a et 42a est prévue pour être symétrique par rapport à une ligne médiane virtuelle horizontale C tracée au milieu droit entre les sas de chargement 11 et 12 et perpendiculaire à la direction x. Il est également fait référence ci-après à la direction de ligne médiane virtuelle en tant que direction y. S'il est nécessaire d'effectuer la distinction entre les bras de transfert, il est fait ci-après référence à l'un d'eux en tant que premier bras de transfert 41a et à l'autre en tant que deuxième bras de transfert 41b. En outre, dans le présent mode de réalisation, une paire de bras de transfert 41a et 42a comprend un ensemble. Et chacun des bras de transfert 41a et 42a comporte des ensembles supérieur et inférieur de deux bras de transfert qui sont prévus pour partager des pivots communs. Il est également fait référence ci-après à la direction verticale en tant que direction z. Dans le présent mode de réalisation, les plaquettes W1 et W2 de tailles différentes sont montées dans une rangée dans la direction x sur les tables de montage de plaquettes 21a et 22a. Un fonctionnement du présent mode de réalisation 30 configuré comme cela a été décrit ci-dessus va être décrit en référence à la figure 3. Tout d'abord, les plaquettes W1 et W2 sont montées sur les tables de montage de plaquettes 21a et 22a dans les sas de chargement 11 et 12. Ici, quatre plaquettes W1 (auxquelles il est également fait référence ci-après en tant que premières plaquettes W1 s'il faut les distinguer) sont montées en série sur une table de montage de plaquettes 21a (à laquelle il est également fait référence ci-après en tant que première table de montage de plaquettes 21a s'il faut la distinguer), et 6 plaquettes plus petites W2 (auxquelles il est également fait référence ci-après en tant que deuxièmes plaquettes W2 s'il faut les distinguer) sont montées en série sur l'autre table de montage de plaquettes 22a (à laquelle il est également fait référence ci-après en tant que deuxième table de montage de plaquettes 21a s'il faut la distinguer). Ensuite, les sas de chargement 11 et 12 sont évacués, puis les tables de montage de plaquettes 21a et 22a s'abaissent dans la chambre d'implantation ionique 10. Ensuite, le premier bras de transfert supérieur 41a tourne au-dessus de la première table de montage de plaquettes 21a pour être positionné, et prend chaque première plaquette W1. Comme cela est représenté sur la figure 3A, le premier bras de transfert supérieur 41a revient ensuite vers l'organe de rail 33a jusqu'à un angle perpendiculaire à la direction x. A cette position, une zone de réception d'ouvrage S1 est établie. Dans cette zone de réception d'ouvrage S1, un premier plateau 31a attend dans la posture de réception (posture horizontale) à l'avance. La zone de réception d'ouvrage indique une zone d'occupation (zone vue à partir de la direction z) nécessaire pour livrer des plaquettes entre les plateaux et les bras de transfert. Ensuite, si le premier bras de transfert 41a ayant pris les premières plaquettes W1 tourne pour être positionné au-dessus du premier plateau 31a, par exemple, des tiges de levage (non représentées) montent par-dessous les premières plaquettes W1 afin de soulever légèrement les premières plaquettes W1 de sorte que les premières plaquettes W1 soient espacées de la mâchoire de prise, et supportent les premières plaquettes W1. Puis le premier bras de transfert 41a revient vers la première table de montage de plaquettes 21a afin de se déplacer à partir de la zone de réception d'ouvrage S1. Les tiges de levage descendent afin que les premières plaquettes W1 supportées par les tiges de levage soient montées sur le premier plateau 31a, et les premières plaquettes W1 sont attirées et maintenues par le mandrin électrostatique. Pendant ce temps, la première table de montage de plaquettes 21a de laquelle les premières plaquettes W1 ont été transférées entre à nouveau dans le sas de chargement 11. Après avoir monté d'autres premières plaquettes W1 sur la première table de montage de plaquettes 21a, comme cela est représenté sur la figure 3A, la première table de montage de plaquettes 21a revient dans la chambre d'implantation ionique 10 dans laquelle elle attend. Après le retour du premier bras de transfert 41a par-dessus le premier plateau 31a, il prend les autres premières plaquettes W1, et revient vers la zone de réception d'ouvrage S1 comme cela est représenté sur la figure 3B. Pendant ce temps, par le mécanisme de déplacement linéaire 33, le premier plateau 31a se déplace dans la direction x de pratiquement l'intervalle entre les rangées du premier plateau 31a maintenant les premières plaquettes W1, et il attend. Le premier bras de transfert 41a tourne pour arriver à cet endroit-là, et les premières plaquettes W1 sont montées sur le premier plateau 31a par les tiges de levage et elles sont attirées et maintenues par le mandrin électrostatique, comme cela a été décrit ci-dessus. Cet état est représenté sur la figure 3C. De cette manière, les premières plaquettes W1 sont montées en deux rangées sur le premier plateau 31a. Ensuite, le premier plateau 31a est soulevé pour prendre la posture d'irradiation par faisceau afin d'irradier le faisceau ionique IB perpendiculairement aux premières plaquettes W1, comme cela est représenté sur la figure 3D. Ensuite, selon la même procédure que celle décrite ci-dessus, les deuxièmes plaquettes W2 transférées de la deuxième table de montage de plaquettes 22a par le deuxième bras de transfert 42a sont montées sur le deuxième plateau 32a. Une deuxième zone de réception d'ouvrage S2 dans laquelle le deuxième plateau 32a reçoit les deuxièmes plaquettes W2 peut chevaucher la première zone de réception d'ouvrage S1 ou peut être adjacente ou proche de la première zone de réception d'ouvrage S1. Dans le premier cas, la réception des premières plaquettes W1 par le premier plateau 31a et la réception des deuxièmes plaquettes W2 par le deuxième plateau 32a ne peuvent pas être effectuées en même temps. Néanmoins, dans le deuxième cas, elles peuvent être effectuées en même temps. Le premier plateau 31a et le deuxième plateau 32a sur lesquels sont les plaquettes W1 et W2 coulissent dans la direction x à partir des zones de réception d'ouvrage S1 et S2 sur le même organe de rail 33a, en se déplaçant de ce fait vers la zone d'irradiation AR1 du faisceau ionique IB. Dans le présent mémoire descriptif, la zone d'irradiation AR1 du faisceau ionique IB est définie par une zone dans laquelle au moins une partie des plaquettes W1 et W2 est irradiée par le faisceau ionique IB, lorsque les mécanismes de transfert de plaquettes 31 et 32 se déplacent dans la direction de déplacement du mécanisme de déplacement 33, comme cela est représenté sur les figures 1, 4A et 4B. Une zone de non-irradiation dans le présent mémoire descriptif est définie par une zone autre que la zone d'irradiation AR1, et elle comprend des zones d'attente AR2 et une zone AR3. Les zones d'attente AR2 sont des zones dans lesquelles les mécanismes de transfert de plaquettes 31 et 32 se déplacent à partir de la zone d'irradiation AR1, comme cela est représenté sur les figures 4A et 4B. La zone AR3 comprend les zones de réception d'ouvrage S1 et S2 et une zone d'accélération et de décélération dans laquelle le mécanisme de déplacement 33 accélère et décélère les mécanismes de transfert de plaquettes 31 et 32 dans la direction de déplacement entre la zone d'irradiation AR1 et au moins l'une des zones de réception d'ouvrage S1 et S2. Sur les figures 4A et 4B, les mécanismes de transfert de plaquettes 31 et 32 se trouvent dans la zone de non-irradiation puisqu'aucune des plaquettes W1 et W2 n'est irradiée par le faisceau ionique IB. Ici, tout d'abord, le premier plateau 31a entre dans la zone d'irradiation AR1 du faisceau ionique IB, comme cela est représenté sur la figure 4A, et il se déplace en va-et-vient afin de passer par la zone d'irradiation AR1 une ou plusieurs fois. Par conséquent, une dose prédéterminée d'ions est implantée dans chaque première plaquette W1. Pendant ce temps, le deuxième plateau 32a attend dans une zone d'attente AR2 sur le côté de la zone de réception d'ouvrage (S1 ou S2) comme vu de la zone d'irradiation AR1 du faisceau ionique IB. Si l'irradiation ionique sur chaque première plaquette W1 maintenue par le premier plateau 31a est terminée, le premier plateau 31a se déplace vers une autre zone d'attente AR2 opposée aux zones de réception d'ouvrage S1 et S2 comme vu de la zone d'irradiation AR1 du faisceau ionique IB, comme cela est représenté sur la figure 4B. Puis le deuxième plateau 32a entre dans la zone d'irradiation AR1 du faisceau ionique IB, et se déplace en va-et-vient similairement au premier plateau 31a de sorte qu'une dose prédéterminée d'ions soit implantée dans chaque deuxième plaquette W2. Après la fin de l'implantation d'ions de cette 30 manière, les plateaux 31a et 32a portant les plaquettes W1 et W2 reviennent dans les zones de réception d'ouvrage S1 et S2, ils sont transférés dans les sas de chargement 11 et 12 par les bras de transfert 41a et 42a, et ils en sont sortis. Spécifiquement, le premier plateau 31a revient 5 d'abord dans la première zone de réception d'ouvrage S1 et il prend une posture horizontale (la posture de réception). Ensuite, les tiges de levage montent de manière que les premières plaquettes W1 ayant été soumises à l'implantation d'ions soient soulevées du 10 premier plateau 31a. Puis le premier bras de transfert inférieur 41a tourne et prend la première rangée de premières plaquettes W1 et tourne vers la première table de montage de plaquettes 21a. Pendant ce temps, le premier bras de transfert 15 supérieur 41a prend les premières plaquettes W1 n'ayant pas subi d'implantation d'ions de la première table de montage de plaquettes 21a, et les déplace. En outre, alternativement avec le premier bras de transfert inférieur 41a, le premier bras de transfert supérieur 20 41a monte les premières plaquettes W1 ayant subi l'implantation d'ions, dans une zone vide sur le premier plateau 31a. Les premières plaquettes W1 ayant subi l'implantation d'ions sont montées sur la première 25 table de montage de plaquettes 21a par le premier bras de transfert inférieur 41a, elles sont transférées vers le sas de chargement 11 et 12, et elles sont échangées avec les premières plaquettes W1 n'ayant pas subi l'implantation d'ions. 30 Les premières plaquettes W1 n'ayant pas subi l'implantation d'ions sont montées sur la première table de montage de plaquettes 21a, elles se déplacent vers la chambre d'implantation d'ions 10, et elles sont prises par le premier bras de transfert supérieur 41a. Pendant ce temps, le premier plateau 31a se déplace dans la direction x de l'intervalle entre les rangées du premier plateau 31a qui maintenait les premières plaquettes W1, par le mécanisme de déplacement linéaire 33. Les premières plaquettes restantes de la deuxième rangée W1 ayant subi l'implantation d'ions sont prises par le premier bras de transfert inférieur 41a, et sont transférées vers la première table de montage de plaquettes 21a. Ensuite, alternativement avec le premier bras de transfert inférieur 41a, le premier bras de transfert supérieur 41a monte les premières plaquettes W1 n'ayant pas subi l'implantation d'ions, dans une zone vide sur le premier plateau 31a. De cette manière, les premières plaquettes de la deuxième rangée W1 ayant subi l'implantation d'ions et maintenues sur le premier plateau 31 sont échangées avec les premières plaquettes W1 n'ayant pas subi l'implantation d'ions. De même, les deuxièmes bras de transfert supérieur et inférieur 42a et la deuxième table de montage de plaquettes 22a fonctionnent de telle sorte que, au deuxième plateau 32a, les deuxièmes plaquettes de la deuxième rangée W2 ayant subi l'implantation d'ions sont échangées avec les deuxièmes plaquettes W2 n'ayant pas subi l'implantation d'ions. Cette opération est ensuite répétée de sorte que des ions soient implantés séquentiellement dans les premières plaquettes W1 et les deuxièmes plaquettes W2 ayant des tailles différentes. Dans cette configuration, il est possible d'irradier efficacement des plaquettes de tailles différentes par un faisceau d'énergie tout en maintenant pratiquement la même taille que celle de l'implanteur d'ions comportant les deux bras de transfert 41a et 42a selon l'art associé. La présente invention n'est pas limitée au mode de 10 réalisation susmentionné. Un bras de transfert peut être disposé sur chacun des côtés gauche et droit. Cependant, si deux bras de transfert sont disposés sur chacun des côtés gauche et droit comme dans le mode de réalisation susmentionné, 15 le rendement (capacité de traitement de l'appareil) est accru. De même, la séquence de transfert de plaquettes n'est pas limitée à celle du mode de réalisation susmentionné, mais diverses séquences peuvent être 20 envisagées. En outre, les plaquettes ne sont pas forcément disposées en deux rangées sur les plateaux, mais elles peuvent être disposées en une rangée ou en trois rangées ou plus. Si les plaquettes sont disposées en 25 une pluralité de rangées et le procédé d'implantation d'ions est effectué d'un seul coup, le rendement est amélioré. Un mécanisme de pivotement pour ajuster un angle de pivotement des plaquettes peut être fourni, et 30 l'ajustement de pivotement sur les plaquettes peut être effectué avant ou après l'entrée des plaquettes dans un sas de chargement. Le nombre de plateaux peut être égal à deux ou plus, et une pluralité de plateaux peut être fournie pour transférer des plaquettes ayant la même taille. Par exemple, il peut être fourni un plateau pour transférer des plaquettes de 4 pouces (10 cm) et deux plateaux pour transférer des plaquettes de 6 pouces (15 cm). La configuration sur le côté du mécanisme d'émission de faisceau ionique n'est pas particulièrement limitée. Par exemple, il peut être fourni un aimant d'analyse de masse pour effectuer une analyse de masse sur un faisceau à partir d'une source d'ions. Les formes des plaquettes ne sont pas limitées à une forme circulaire et les plaquettes peuvent avoir une forme rectangulaire. Sur un plateau, des plaquettes W peuvent être 20 disposées en zigzag comme cela est représenté sur la figure 5. Dans ce cas, il est possible de réduire une course de balayage B2 par comparaison à une course B1 du mode de réalisation susmentionné, et de réduire la taille de l'appareil. Néanmoins, la dimension L2 du 25 faisceau dans une direction longitudinale (une direction perpendiculaire à une direction de transfert de plateau) doit être plus grande que la dimension L1 dans le mode de réalisation susmentionné. De même, il est nécessaire de disposer les tiges de levage à des 30 emplacements différents ou de fournir un mécanisme de déplacement des plateaux dans la direction de la rangée de plaquettes. La direction de transfert de plateau n'a pas besoin d'être perpendiculaire à la direction 5 d'irradiation du faisceau. Comme cela est représenté sur la figure 6, un organe de rail dédié au transfert peut être fourni pour chacun du premier plateau 31a et du deuxième plateau 32a. Dans ce cas, puisqu'il n'est pas nécessaire 10 d'avoir des zones d'attente, il est possible de réduire la dimension de l'appareil dans la direction de transfert de plateau (la direction x). Lorsque les premières plaquettes W1 sont montées sur le premier plateau 31a, si le premier plateau 31a 15 est à niveau, il interfère avec un organe de rail de transfert 33a2 pour le deuxième plateau 32a. Pour cette raison, par exemple, la position d'un organe de rail de transfert 33a1 est décalée vers le côté arrière dans le plan du papier du dessin (dans la direction z), par 20 comparaison avec l'autre organe de rail de transfert 33a2. Dans ce cas, les zones de réception d'ouvrage pour les plateaux 31a et 32a sont déviées l'une par rapport à l'autre dans la direction z. En anticipation de la déviation, il est nécessaire d'étendre la portée 25 d'entraînement des tiges de levage. Les angles d'érection (pose) des plateaux peuvent être régulés afin que les angles d'inclinaison des plaquettes soient ajustés. La présente invention peut être appliquée à 30 d'autres fins que des implanteurs d'ions. Dans ce cas, il est possible d'obtenir les mêmes effets que ceux décrits ci-dessus. Par exemple, la présente invention peut être appliquée à des appareils d'irradiation par faisceau d'électrons, à des appareils de pulvérisation, à des appareils de dopage plasma, etc. Les ouvrages 5 peuvent être des substrats autres que des plaquettes. La présente invention n'est pas limitée au mode de réalisation susmentionné, mais elle peut être modifiée de diverses manières dans la portée de la présente invention. 10 REVENDICATIONS1. Système d'irradiation par faisceau d'énergie (100), caractérisé en ce qu'il comprend : un mécanisme d'émission de faisceau d'énergie qui émet un faisceau d'énergie (IB) vers une zone d'irradiation (AR1) prédéterminée ; des premier et deuxième supports d'ouvrage (31a, 32a) qui montent respectivement au moins un premier ouvrage (W1) et au moins un deuxième ouvrage (W2) ; dans lequel l'au moins un premier ouvrage (W1) et l'au moins un deuxième ouvrage (W2) sont des objets à irradier par le faisceau d'énergie (IB) ; un mécanisme de déplacement (20) qui déplace vers l'avant et vers l'arrière au moins l'un des premier et deuxième supports d'ouvrage (31a, 32a) au moins entre la zone d'irradiation (AR1) et une zone de réception d'ouvrage (S1, S2) pour des livraisons d'ouvrage ; des première et deuxième unités d'accueil d'ouvrage (21a, 22a) qui sont disposées à des positions différentes l'une de l'autre et qui accueillent respectivement l'au moins un premier ouvrage (W1) et l'au moins un deuxième ouvrage (W2), dans lequel l'au moins un premier ouvrage (W1) a une taille différente de celle de l'au moins un deuxième ouvrage (W2) ; un premier bras de transfert (41a) qui est prévu pour pouvoir se déplacer en va-et-vient entre la zone de réception d'ouvrage (S1, S2) et la première unité d'accueil d'ouvrage (21a) et qui transfère l'au moinsun premier ouvrage (W1) entre la première unité d'accueil d'ouvrage (21a) et le premier support d'ouvrage (31a) lorsque le premier support d'ouvrage (31a) se trouve dans la zone de réception d'ouvrage (S1, S2) ; et un deuxième bras de transfert (42a) qui est prévu pour pouvoir se déplacer en va-et-vient entre la zone de réception d'ouvrage (S1, S2) et la deuxième unité d'accueil d'ouvrage (22a) et qui transfère l'au moins un deuxième ouvrage (W2) entre la deuxième unité d'accueil d'ouvrage (22a) et le deuxième support d'ouvrage (32a) lorsque le deuxième support d'ouvrage (32a) se trouve dans la zone de réception d'ouvrage (S1, S2). 2. Système d'irradiation par faisceau d'énergie (100) selon la revendication 1, dans lequel : la première unité d'accueil d'ouvrage (21a) et la deuxième unité d'accueil d'ouvrage (22a) sont prévues 20 sur des côtés opposés de la zone de réception d'ouvrage (S1, S2) l'un et l'autre centrés autour de la zone de réception d'ouvrage (S1, S2). 3. Système d'irradiation par faisceau d'énergie 25 (100) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel : chacun des premier et deuxième supports d'ouvrage (31a, 32a) reçoit un ouvrage (W1, W2) d'un bras de transfert (41a, 42a) correspondant dans la zone de réception d'ouvrage (S1, S2), se déplace d'une distance 30 prédéterminée dans une direction de déplacement, et reçoit un autre ouvrage du bras de transfert (41a, 42a)correspondant, afin de monter une pluralité d'ouvrages (W1, W2) dans la direction de déplacement. 4. Système d'irradiation par faisceau d'énergie (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel : le faisceau d'énergie (IB) est un faisceau ionique et il implante des ions dans l'au moins un premier ouvrage (W1) et l'au moins un deuxième ouvrage (W2). 5. Système d'irradiation par faisceau d'énergie (100) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel : chacune des première et deuxième unités d'accueil 15 d'ouvrage (21a, 22a) est un mécanisme de sas de chargement. 6. Mécanisme de transfert d'ouvrage, caractérisé en ce qu'il comprend : 20 des premier et deuxième supports d'ouvrage (31a, 32a) qui montent respectivement au moins un premier ouvrage (W1) et au moins un deuxième ouvrage (W2) ; dans lequel l'au moins un premier ouvrage (W1) et l'au moins un deuxième ouvrage (W2) sont des objets 25 à irradier par un faisceau d'énergie (IB) ; un mécanisme de déplacement (20) qui déplace vers l'avant et vers l'arrière au moins l'un des premier et deuxième supports d'ouvrage (31a, 32a) au moins entre une zone d'irradiation (AR1) prédéterminée qui est 30 irradiée par le faisceau d'énergie (IB) et une zone deréception d'ouvrage (S1, S2) pour des livraisons d'ouvrage ; des première et deuxième unités d'accueil d'ouvrage (21a, 22a) qui sont prévues à des positions différentes l'une de l'autre et qui accueillent respectivement l'au moins un premier ouvrage (W1) et l'au moins un deuxième ouvrage (W2), dans lequel l'au moins un premier ouvrage (W1) a une taille différente de celle de l'au moins un 10 deuxième ouvrage (W2) ; un premier bras de transfert (41a) qui est prévu pour pouvoir se déplacer en va-et-vient entre la zone de réception d'ouvrage (S1, S2) et la première unité d'accueil d'ouvrage (21a) et qui transfère l'au moins 15 un premier ouvrage (W1) entre la première unité d'accueil d'ouvrage (21a) et le premier support d'ouvrage (31a) lorsque le premier support d'ouvrage (31a) se trouve dans la zone de réception d'ouvrage (S1, S2) ; et 20 un deuxième bras de transfert (42a) qui est prévu pour pouvoir se déplacer en va-et-vient entre la zone de réception d'ouvrage (S1, S2) et la deuxième unité d'accueil d'ouvrage (22a) et qui transfère l'au moins un deuxième ouvrage (W2) entre la deuxième unité 25 d'accueil d'ouvrage (22a) et le deuxième support d'ouvrage (32a) lorsque le deuxième support d'ouvrage (32a) se trouve dans la zone de réception d'ouvrage (S1, S2).