Brevet FR2990767A1 — publié le 20131122

L'invention concerne un procédé d'ajustement de la résistance d'un capteur comprenant au moins un bloc de mesure présentant un circuit de mesure formé entre deux bornes principales, ledit circuit de mesure comprenant un montage en série de plusieurs éléments résistifs. Dans une application particulière, chacun des éléments résistifs comprend deux couches conductrices entre lesquelles une couche isolante est disposée pour former une succession de jonctions tunnel le long du circuit de mesure. Ainsi, les capteurs peuvent mesurer un champ magnétique en exploitant la variation de la résistance électrique d'éléments magnétorésistifs à effet tunnel (TMR en anglais pour Tunnel MagnetoResistance) en fonction dudit champ magnétique. En particulier, les couches conductrices forment respectivement une couche magnétique sensible au champ à mesurer et une couche magnétique de référence, la résistance électrique entre les couches conductrices étant fonction de l'orientation relative de l'aimantation de chacune desdites couches. Toutefois, la résistance électrique des éléments résistifs est fonction de l'épaisseur de la couche isolante, typiquement entre 1 et 2 nm, qui est très difficilement contrôlable alors que son influence sur la résistance est exponentielle. Par ailleurs, la couche isolante est très sensible aux décharges électrostatiques puisqu'une différence de potentiel de quelques Volts entre les couches conductrices peut provoquer la rupture irréversible de la continuité de la couche isolante, rendant la jonction tunnel totalement passante. Il en résulte que la résistance d'un bloc de mesure comprenant une succession de plusieurs éléments résistifs est difficilement reproductible, et ce tant relativement à la valeur de cette résistance qu'à la répartition spatiale de celle-ci le long du circuit de mesure. Ce problème est d'autant plus préjudiciable lorsque le capteur comprend plusieurs blocs de mesure, par exemple montés en pont de Wheatstone ou en boucle de courant, qui doivent présenter des valeurs de résistances voisines en l'absence de signal à mesurer, sauf à générer un offset qui peut limiter la résolution de la mesure, voire empêcher toute mesure si sa valeur est trop importante. En outre, la répartition spatiale des éléments résistifs s'avère critique dans le cas d'une mesure d'un signal périodique puisque lesdits éléments permettent de reconstruire ledit signal par échantillonnage spatial. L'invention vise à perfectionner l'art antérieur en proposant notamment un procédé d'ajustement de la résistance d'un capteur dont la mise en oeuvre permet de régler la valeur et/ou la répartition spatiale de la résistance de chacun des blocs de mesure. A cet effet, l'invention propose un procédé d'ajustement de la résistance d'un capteur comprenant au moins un bloc de mesure présentant un circuit de mesure formé entre deux bornes principales, ledit circuit de mesure comprenant un montage en série de plusieurs éléments résistifs, ledit procédé prévoyant : - de sélectionner un groupe résistif comprenant au moins un élément résistif du circuit de mesure ; - de connecter au moins une borne auxiliaire audit circuit de mesure, ladite borne auxiliaire étant disposée de sorte à former avec une autre borne un circuit auxiliaire comprenant le groupe résistif ; - d'appliquer une tension aux bornes du circuit auxiliaire, ladite tension étant contrôlée de sorte à induire le claquage du groupe résistif afin d'ajuster la résistance du circuit de mesure sans ledit groupe résistif. D'autres particularités et avantages de l'invention apparaîtront dans la description qui suit, faite en référence aux figures jointes, dans lesquelles : - la figure 1 représente un circuit de mesure selon un mode de réalisation de l'invention ; - la figure 2 représente deux blocs de mesure montés en série avec les barycentres des éléments résistifs de leur circuit de mesure respectif espacés d'une distance X; - les figures 2a à 2d sont des représentations analogues à la figure 2 dans lesquelles la répartition spatiale de la résistance de chacun des circuits de mesure est ajustée pour faire varier la distance entre les barycentres ; - les figures 3a et 3b représentent un bloc de mesure selon respectivement une variante d'un mode de réalisation de l'invention. En relation avec ces figures, on décrit un procédé d'ajustement de la résistance d'un capteur comprenant au moins un bloc de mesure présentant un circuit de mesure formé entre deux bornes principales la, lb. Dans des exemples de réalisation, le capteur comprend plusieurs blocs de mesure, notamment montés en pont de Wheatstone ou en boucle de courant, afin de mesurer un signal périodique, comme notamment décrit dans le document FR-2 869 980 en relation avec un signal de déformation ou dans le document FR-2 792 403 en relation avec un signal magnétique. Le circuit de mesure comprend un montage en série de plusieurs, par exemple entre 2 et 24, éléments résistifs 2 dont la résistance varie en fonction du signal à mesurer. Dans les modes de réalisation représentés, les éléments résistifs 2 comprennent chacun deux couches conductrices 3, 4 entre lesquelles une couche isolante 5 est disposée pour former une succession de jonctions tunnel le long du circuit de mesure. En particulier, comme décrit dans le document WO-2004/083881, un capteur magnétique peut utiliser des éléments magnétorésistifs TMR comprenant chacun une couche magnétique 3 sensible au champ à mesurer et une couche magnétique 4 de référence, la résistance électrique entre les couches 3, 4 étant fonction de l'orientation relative de l'aimantation de chacune desdites couches. Le procédé d'ajustement prévoit de sélectionner un groupe résistif comprenant au moins un élément résistif 2 du circuit de mesure et de connecter au moins une borne auxiliaire 6 audit circuit de mesure, ladite borne auxiliaire étant disposée de sorte à former avec une autre borne 1 a, 1 b, 6 un circuit auxiliaire comprenant le groupe résistif. En particulier, en fonction du groupe résistif sélectionné, le circuit auxiliaire peut être formé entre une borne principale 1 a, lb et une borne auxiliaire 6, ou entre deux bornes auxiliaires 6. Ensuite, le procédé prévoit d'appliquer une tension aux bornes du circuit auxiliaire, ladite tension étant contrôlée de sorte à induire le claquage du groupe résistifs afin d'ajuster la résistance du circuit de mesure sans ledit groupe résistif. En effet, le claquage d'un élément résistif 2 rend sa résistance électrique nulle, ledit élément devenant alors inopérant dans le circuit de mesure. En outre, la formation du circuit auxiliaire permet de ne claquer que le groupe résistif, les autres éléments résistifs 2 n'étant pas compris dans le circuit auxiliaire et donc non soumis à la tension de claquage. En particulier, avec des éléments TMR, une tension contrôlée de quelques Volts provoque la rupture irréversible de la continuité des couches isolantes 5 rendant les jonctions tunnel du circuit auxiliaire totalement passantes. La mise en oeuvre du procédé permet donc, pour un circuit de mesure donné, d'ajuster sa résistance en faisant claquer sélectivement des groupes résistifs. En particulier, on peut sélectionner plusieurs groupes résistifs permettant chacun un ajustement de la résistance, plusieurs bornes auxiliaires 6 étant connectées pour former un circuit auxiliaire pour chacun desdits groupes. Ainsi, en fonction de l'ajustement souhaité, on peut choisir le circuit auxiliaire aux bornes duquel la tension de claquage est appliquée. La sélection d'un groupe résistif peut être réalisée en fonction de la valeur de sa résistance afin d'ajuster la valeur de la résistance du circuit de mesure. Pour ce faire, le groupe résistif peut être sélectionné en fonction du nombre d'éléments résistifs 2 qu'il contient afin d'ajuster la valeur de sa résistance qui sera déduite de celle du circuit de mesure. En relation avec la figure 1, on décrit ci-dessous une réalisation dans laquelle un circuit de mesure comprend des éléments résistifs 2 dont la résistance est différente. Ainsi, un groupe résistif peut être sélectionné en fonction du ou des élément(s) résistif(s) 2 qu'il contient afin d'ajuster la valeur de sa résistance. En particulier, la valeur de la résistance d'un élément résistif 2 varie selon la loi : D RA n - - S RA étant la résistance surfacique de l'élément résistif 2 (en Cipm2) ; et S étant la surface de l'élément résistif 2 (en pm2). Sur la figure 1, huit éléments résistifs 2 présentant chacun une surface circulaire sont montés en série dans un circuit de mesure formé entre deux bornes principales 1 a, 1 b, le diamètre des six premiers éléments 2 étant égal à d, le diamètre du septième élément 2 étant égal à N/2d et le diamètre du huitième élément 2 étant égal à 2d. En outre, trois bornes auxiliaires 6a-6c sont connectées pour former notamment les circuits auxiliaires suivants : (1) entre les première 6a et deuxième 6b bornes auxiliaires comprenant le sixième élément résistif 2, de résistance R ; (2) entre les deuxième 6b et troisième 6c bornes auxiliaires comprenant le septième élément résistif 2, de résistance R/2 ; (3) entre la troisième borne auxiliaire 6c et la deuxième borne principale lb comprenant le huitième élément résistif 2, de résistance R/4. Le tableau ci-dessous synthétise la résistance du circuit de mesure en fonction du circuit auxiliaire auquel la tension de claquage a été appliquée, 0 signifiant que la tension de claquage a été appliquée et 1 qu'elle ne l'a pas été. Circuit (1) Circuit (2) Circuit (3) Résistance du circuit de mesure 0 0 0 5R + O.R/4 0 0 1 5R + 1.R/4 0 1 0 5R + 2.R/4 0 1 1 5R + 3.R/4 1 0 0 5R + 4.R/4 1 0 1 5R + 5.R/4 1 1 0 5R + 6.R/4 1 1 1 5R + 7.R/4 Cette réalisation permet donc d'ajuster la résistance du circuit de mesure par pas de R/4. Le principe est évidemment le même avec plus de trois éléments résistifs 2 différents, le pas étant alors plus fin et le réglage de la résistance plus précis. En outre, si la résistance des éléments 2 à claquer est quelconque, on peut également ajuster la résistance du circuit de mesure mais avec un pas de réglage irrégulier. La sélection d'un groupe résistif peut être réalisée en fonction de sa position dans le circuit de mesure afin d'ajuster la répartition spatiale des résistances dans ledit circuit. En relation avec les figures 2, on décrit un capteur comprenant au moins deux blocs de mesure avec les barycentres des éléments résistifs 2 de leur circuit de mesure respectif espacés d'une distance X. De façon connue, par exemple du document FR-2 790 827, ce type de capteur peut être utilisé en face d'un codeur multipolaire pour détecter sa position et sa direction. Toutefois, pour que le signal de sortie ne soit pas entaché d'erreur, il convient d'ajuster la distance X à la longueur polaire du codeur. En relation avec les figures 2a à 2d, on décrit ci-dessous la mise en oeuvre du procédé pour ajuster la répartition spatiale de la résistance de chacun des circuits de mesure afin de faire varier la distance X. Ainsi, la mise en oeuvre du procédé permet, avec un même capteur, de le configurer pour différentes applications nécessitant une longueur polaire spécifique du codeur. Sur ces figures, une borne auxiliaire 6 est connectée entre chaque élément résistif 2 afin de pouvoir claquer sélectivement chacun desdits éléments de façon indépendante. En variante, un groupe résistif peut comprendre plusieurs éléments résistifs 2 à claquer conjointement pour faire varier la distance X. Sur la figure 2a, l'élément résistif 2 intérieur de chacun des circuits de mesure est claqué pour ajuster l'espacement des barycentres à une distance de X + e, e étant l'espacement entre deux éléments résistifs 2 adjacents. De même, en claquant successivement les éléments résistifs 2 adjacents dans chacun des circuits de mesure, on obtient une distance entre les barycentres de X + 2e, X + 3e, X + 4e. Sur la figure 2b, l'élément résistif 2 extérieur de chacun des circuits de mesure est claqué pour ajuster l'espacement des barycentres à une distance de X - e. De même, en claquant successivement les éléments résistifs 2 adjacents dans chacun des circuits de mesure, on obtient une distance entre les barycentres de X - 2e, X - 3e, X - 4e. Sur la figure 2c, un élément résistif 2 de chacun des circuits de mesure est claqué pour ajuster l'espacement des barycentres à une distance de X + e/5. Sur la figure 2d, l'élément résistif 2 intérieur de chacun des circuits de mesure est également claqué pour obtenir une distance de X + 3e/2. Une borne auxiliaire 6 peut être connectée au circuit de mesure par l'intermédiaire d'un ensemble auxiliaire 7 d'éléments résistifs 2 montés en série. Grâce à la petite taille des jonctions tunnel (quelques microns de dimension caractéristique), l'ensemble auxiliaire 7 peut comprendre un grand nombre d'éléments résistifs 2 sans trop augmenter la surface du bloc de mesure. En particulier, l'ensemble auxiliaire 7 assure une fonction de protection du circuit de mesure vis-à-vis des décharges électrostatiques qui pourraient endommager de façon non souhaitée les jonctions tunnel lors du montage du capteur. La tension parasite appliquée entre deux bornes principales la, lb ou auxiliaires 6 est ainsi divisée par le nombre de jonctions comprises entre ces bornes. Ensuite, le circuit auxiliaire comprenant l'ensemble auxiliaire 7, les éléments résistifs 2 dudit ensemble sont claqués pour ne pas perturber le fonctionnement du circuit de mesure. En relation avec les figures 3, le circuit de mesure comprend deux ensembles annexes 8 d'éléments résistifs 2 qui sont disposés de part et d'autre d'un ensemble principal 9 d'au moins un élément résistif 2, une borne auxiliaire 6a, 6b étant connectée de chaque côté dudit ensemble principal pour former avec une borne principale 1 a, lb un circuit auxiliaire comprenant un ensemble auxiliaire 7 et un ensemble annexe 8. Ainsi, l'ensemble principal 9 est protégé contre les décharges électrostatiques par l'intermédiaire des quatre ensembles 7,8. Sur la figure 3a, les ensembles auxiliaire 7 et annexe 8 comprennent chacun six éléments résistifs 2 qui permettent de multiplier par 7 la résistance aux décharges électrostatiques de l'ensemble principal 9 comprenant deux jonctions tunnel. Sur la figure 3b, quatorze éléments résistifs 2 sont utilisés dans chaque ensemble 7, 8. REVENDICATIONS1. Procédé d'ajustement de la résistance d'un capteur comprenant au moins un bloc de mesure présentant un circuit de mesure formé entre deux bornes principales (1a, 1b), ledit circuit de mesure comprenant un montage en série de plusieurs éléments résistifs (2), ledit procédé prévoyant : - de sélectionner un groupe résistif comprenant au moins un élément résistif (2) du circuit de mesure ; - de connecter au moins une borne auxiliaire (6) audit circuit de mesure, ladite borne auxiliaire étant disposée de sorte à former avec une autre borne (1a, lb, 6) un circuit auxiliaire comprenant le groupe résistif ; - d'appliquer une tension aux bornes du circuit auxiliaire, ladite tension étant contrôlée de sorte à induire le claquage du groupe résistif afin d'ajuster la résistance du circuit de mesure sans ledit groupe résistif. 2. Procédé d'ajustement selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il prévoit de sélectionner plusieurs groupes résistifs permettant chacun un ajustement de la résistance, de connecter plusieurs bornes auxiliaires (6) pour former un circuit auxiliaire pour chacun desdits groupes et, en fonction de l'ajustement souhaité, de choisir le circuit auxiliaire aux bornes duquel la tension de claquage est appliquée. 3. Procédé d'ajustement selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'un circuit auxiliaire est formé entre une borne principale (1a, 1 b) et une borne auxiliaire (6). 4. Procédé d'ajustement selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'un circuit auxiliaire est formé entre deux bornes auxiliaires (6). 5. Procédé d'ajustement selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les éléments résistifs (2) comprennent chacun deux couches conductrices (3, 4) entre lesquelles une couche isolante (5) estdisposée pour former une succession de jonctions tunnel le long du circuit de mesure, la tension de claquage étant contrôlée pour que les jonctions tunnel du circuit auxiliaire deviennent passantes. 6. Procédé d'ajustement selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'un groupe résistif est sélectionné en fonction de sa position dans le circuit de mesure afin d'ajuster la répartition spatiale des résistances dans ledit circuit. 7. Procédé d'ajustement selon la revendication 6, caractérisé en ce que le capteur comprend au moins deux blocs de mesure avec les barycentres des éléments résistifs (2) de leur circuit de mesure respectif espacés d'une distance X, la répartition spatiale de la résistance de chacun des circuits de mesure étant ajustée afin de faire varier la distance X. 8. Procédé d'ajustement selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'un groupe résistif est sélectionné en fonction de la valeur de sa résistance afin d'ajuster la valeur de la résistance du circuit de mesure. 9. Procédé d'ajustement selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'un groupe résistif est sélectionné en fonction du nombre d'éléments résistifs (2) qu'il contient afin d'ajuster la valeur de sa résistance. 10. Procédé d'ajustement selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce qu'un circuit de mesure comprend des éléments résistifs (2) dont la résistance est différente, un groupe résistif étant sélectionné en fonction du ou des élément(s) résistif(s) (2) qu'il contient afin d'ajuster la valeur de sa résistance. 11. Procédé d'ajustement selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce qu'une borne auxiliaire (6) est connectée au circuit de mesure par l'intermédiaire d'un ensemble auxiliaire (7) d'éléments résistifs (2) montés en série, le circuit auxiliaire comprenant ledit ensemble. 12. Procédé d'ajustement selon la revendication 11, caractérisé en ce que le circuit de mesure comprend deux ensembles annexes (8) d'éléments résistifs (2) qui sont disposés de part et d'autre d'un ensemble principal (9) d'au moins un élément résistif (2), une borne auxiliaire (6) étant connectée de chaque côté dudit ensemble principal pour former avec une borne principale (1a, 1 b) un circuit auxiliaire comprenant un ensemble auxiliaire (7) et un ensemble annexe (8).