Brevet FR2989485A1 — publié le 20131018

CAPTEUR TACTILE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL CAPTEUR DOMAINE DE L'INVENTION L'invention a trait aux capteurs dits « tactiles », c'est-à-dire détectant la présence d'un objet à leur surface, et notamment aux capteurs tactiles dits « capacitifs » détectant ladite présence au moyen d'une variation d'une propriété capacitive induite par la présence de l'objet à proximité ou au contact du capteur. L'invention trouve particulièrement application dans les écrans, les claviers, et les pavés tactiles. ETAT DE LA TECHNIQUE On connaît des capteurs tactiles qui détectent la présence d'un doigt à leur surface par la variation de capacité qui en résulte. Ces capteurs, usuellement désignés sous l'expression de « capteurs tactiles capacitifs », sont par exemple utilisés dans les écrans, les claviers, et les pavés tactiles d'ordinateurs, de téléphones dits « intelligents » (ou « smartphone »), ou encore de tablettes. De tels capteurs comportent usuellement au moins deux électrodes formées à la surface d'une couche diélectrique, et définissant avec ladite couche une capacité de valeur connue. Cette capacité forme avec un doigt localisé à proximité de, ou au contact du capteur un système capacitif, dont la capacité est différente de celle du capteur seul. La mesure de la différence de capacité résultant de la présence d'un doigt, et sa comparaison à la capacité du capteur seul, permet ainsi de détecter le doigt. Toutefois, la détection de la présence d'un doigt à proximité ou au contact du capteur ne suffit généralement pas à caractériser une action de l'utilisateur. En effet, l'utilisateur entend usuellement déclencher une action au moyen d'un écran, d'un clavier, ou d'un pavé tactile en pressant effectivement ce dernier. Or, si les capteurs capacitifs « enregistrent » une variation de capacité en présence d'un doigt, ils ne permettent pas de détecter la pression exercée par ce dernier. EXPOSE DE L'INVENTION Le but de la présente invention est de proposer un capteur capacitif qui détecte également la pression exercée à sa surface par un objet, notamment un doigt. A cet effet, l'invention a pour objet un capteur tactile comportant une couche de matériau piézoélectrique intercalée entre d'une part, des premier et deuxième éléments conducteurs électriques, et d'autre part au moins un troisième élément conducteur comprenant une surface en regard d'au moins l'un des premier et deuxième éléments conducteurs. En d'autres termes, la couche diélectrique d'un capteur tactile capacitif de l'état de la technique est remplacée par une couche piézoélectrique et est intercalée entre des éléments conducteurs ou « électrodes ». Ainsi, le capteur selon l'invention comporte une première capacité formée par les premier et deuxième éléments conducteurs et la couche piézoélectrique, qui permet une détection capacitive d'un doigt à proximité desdits éléments conducteurs de manière classique, et une seconde capacité formée des éléments conducteurs intercalant la couche piézoélectrique et présentant des surfaces en regard. En appuyant sur le capteur, le matériau piézoélectrique se déforme et libère donc des charges électriques qui sont collectées par les éléments conducteurs en regard, ce qui fait varier la tension entre ces derniers. La variation de tension est ainsi une image de la pression exercée par un objet à la surface du capteur. Selon un mode de réalisation de l'invention, les premier et deuxième éléments conducteurs comprennent chacun un peigne, et les peignes des premier et deuxième éléments conducteurs sont interdigités, une telle structure permettant de détecter de manière capacitive la présence d'un objet sur une large surface. Plus particulièrement, la couche de matériau piézoélectrique est intercalée entre d'une part les premier et deuxième éléments conducteurs et d'autre part le troisième élément conducteur et un quatrième élément conducteur, dans lequel les troisième et quatrième éléments conducteurs comprennent chacun un peigne, les peignes des troisième et quatrième éléments conducteurs étant interdigités. En outre, des dents du premier élément conducteur sont disposées en regard de dents du quatrième élément conducteur, et des dents du deuxième élément conducteur sont disposées en regard de dents du troisième élément conducteur. Une telle structure permet de définir une capacité entre chaque paire de dents en regard, ce qui permet d'augmenter la sensibilité du capteur. En outre, le capteur présente une structure symétrique et permet une détection capacitive et de pression sur ses deux faces. Avantageusement, le premier élément conducteur est connecté électriquement au troisième élément conducteur et, le deuxième élément conducteur est connecté électriquement au quatrième élément conducteur. Ainsi donc, les capacités présentes dans le capteur selon l'invention sont connectées en parallèle. Non seulement le nombre de connexions est minimum, mais en outre il est possible, à l'aide d'une unique tension entre deux bornes du capteur, par exemple deux bornes connectés respectivement aux premier et deuxième éléments conducteurs, de mesurer à la fois les variations de capacité en raison de la présence d'un doigt à proximité du capteur et les variations de tension induites par la libération de charges sous l'effet d'une pression exercée sur le capteur. Selon un mode de réalisation, des éléments en graphène sont formés dans et/ou au contact d'une part des premier et second éléments conducteurs, et d'autre part, de la couche de matériau piézoélectrique. Des éléments en graphène sont également formés dans et/ou au contact d'une part des deuxième et quatrième éléments conducteurs, et d'autre part, la couche de matériau piézoélectrique, et en regard des éléments en graphène réalisés dans et/ou au contact des premier et deuxième éléments conducteurs. Le graphène est un matériau dont la conductivité électrique augmente fortement en fonction de la température. Ainsi, lorsqu'un doigt est au contact, ou à proximité des éléments en graphène, ceux-ci s'échauffent, ce qui augmente leur conductivité, et fait donc chuter leur résistance électrique. Les charges libérées par le matériau piézoélectrique sont alors collectées de manière plus efficace par les éléments de graphène, ce qui augmente donc la sensibilité du capteur. Plus particulièrement, les éléments comportant du graphène sont des plots de graphène réalisés dans les éléments conducteurs. Il est ainsi possible de réaliser un réseau de plots en graphène, et donc de s'assurer qu'au moins une partie d'entre eux est échauffée par la présence d'un doigt. En variante, les éléments conducteurs sont entièrement constitués de graphène. Selon un mode de réalisation de l'invention, le matériau piézoélectrique est semicristallin ou cristallin. Plus particulièrement, le matériau piézoélectrique est un matériau ferroélectrique cristallin polarisé en moyenne perpendiculairement aux surfaces en regard entre d'une part les premier et deuxième éléments conducteurs et d'autre part le au moins un troisième élément conducteur. Dans des applications privilégiées, l'empilement de la couche piézoélectrique et des éléments conducteurs est formé sur un substrat flexible et/ou recouvert d'une couche flexible de protection, c'est-à-dire un substrat et une couche qui se déforment sans casser, par exemple un substrat et une couche en matière plastique. Pour des raisons évidentes de robustesse du capteur, il est préférable que la couche piézoélectrique ne se désolidarise pas du substrat ou de la couche flexible lors des déformations appliquées au capteur. Une structure cristalline est usuellement plus déformable qu'une structure amorphe, et présente donc un risque moindre de se désolidariser du substrat et de la couche flexible. En outre, le capteur peut voir sa température fortement varier au cours de son fonctionnement. Une autre source de faiblesse mécanique provient de la différence de coefficient thermique d'expansion existant entre la couche piézoélectrique, le substrat et la couche de protection, que le substrat et la couche soient flexibles ou non. Notamment, si en raison d'une variation importante de température, les dilations et les contractions de ces divers éléments diffèrent de manière trop importante, on peut observer leur désolidarisation. Certains matériaux ferroélectriques présentent une structure cristalline ainsi qu'une polarisation électrique spontanée, notamment les ferroélectriques pyroélectriques polaires cristallins. En polarisant ces ferroélectriques de manière permanente par application d'un champ électrique approprié, ceux-ci présentent alors une propriété piézoélectrique. Par exemple, la couche de matériau piézoélectrique est obtenue par application, entre deux faces d'une couche de matériau ferroélectrique cristallin pyroélectrique polaires, d'un champ électrique d'une intensité comprise entre 30 MV/m (Méga Volt par mètre) et 60 MV/m entre 1 heure et 8 heures, et en portant la couche de matériau ferroélectrique à une température inférieure à la température de Curie dudit matériau. Il est ainsi obtenu une couche piézoélectrique cristalline ayant une bonne tenue mécanique en raison de sa nature cristalline avec le substrat et la couche flexible. En outre, on observe que de tels matériaux ferroélectriques présentent un coefficient d'expansion thermique proche des matériaux couramment utilisés pour les substrats flexibles, notamment les substrats en plastique, tels que le polynaphtalate d'éthylène (« PEN ») et le poly(téréphtalate d'éthylène) (« PET »). Notamment, le matériau ferroélectrique est du polyfluorure de vinylidène (« PVDF ») en phase béta qui est une phase présentant des caractéristiques piézoélectriques, un copolymère de polyfluorure de vinylidène : Poly (VDF-TrFe) poly(vinylidene fluoride - trifluoroethylene), du titano-zirconate de plomb ou du titanate de baryum. Selon un mode de réalisation, la couche de piézoélectrique est réalisée sur un substrat flexible, notamment un substrat en plastique, tel qu'un substrat en polynaphtalate d'éthylène (« PEN ») ou en poly(téréphtalate d'éthylène) (« PET »). L'invention a également pour objet un procédé de fabrication d'un capteur tactile du type précité. Plus particulièrement, l'invention a également pour objet un procédé de fabrication d'un capteur tactile, consistant : ^ à réaliser une couche de matériau ferroélectrique cristallin ou semi-cristallin intercalée entre d'une part des premier et deuxième éléments conducteurs et d'autre part au moins un troisième élément conducteur comprenant une surface en regard d'au moins l'un des premièr et deuxième éléments conducteurs ; et ^ à appliquer un champ électrique entre d'une part les premier et second éléments conducteurs et d'autre part le au moins troisième élément conducteur, le champ électrique ayant une intensité comprise entre 30 MV/m et 60 MV/m et étant appliqué entre 1 heure et 8 heures, en chauffant la couche de matériau ferroélectrique à une température inférieure à la température de Curie dudit matériau. Selon un mode de réalisation : ^ la réalisation de la couche piézoélectrique intercalée entre les éléments conducteurs comprend la réalisation de ladite couche intercalée entre d'une part les premier et deuxième éléments conducteurs et d'autre part le troisième élément conducteur et un quatrième élément conducteur, chacun des éléments conducteurs comportant un peigne, les peignes des premier et deuxième éléments conducteurs étant interdigités, les peignes des troisième et quatrième éléments conducteurs étant interdigités, des dents du premier élément conducteur étant disposées en regard de dents du quatrième élément conducteur, et des dents du deuxième élément conducteur étant disposées en regard de dents du troisième élément conducteur, ^ le procédé comporte en outre la réalisation d'un premier élément de connexion connectant électriquement le premier élément conducteur et le troisième élément conducteur, et d'un second élément de connexion connectant le deuxième élément conducteur et le quatrième élément conducteur ; et ^ le champ électrique est obtenu en appliquant une différence de potentiels entre les premier et second éléments de connexion. Selon un mode de réalisation, le matériau ferroélectrique comporte du polyfluorure de vinylidène, un copolymère de polyfluorure de vinylidène, notamment un poly (VDF- TrFe), du titano-zirconate de plomb, du titanate de baryum ou un mélange de ceux-ci. En appliquant le champ électrique entre les éléments conducteurs constitutifs des capacités du capteur, on obtient ainsi une polarisation optimale du matériau ferroélectrique, ladite polarisation est dû à l'orientation des dipôles dans le matériau ferroélectrique suite à l'application d'un champ électrique. Selon un mode de réalisation, la couche de matériau ferroélectrique intercalée entre les éléments conducteurs est réalisée : ^ en formant le au moins un troisième élément conducteur sur une face d'un substrat flexible ; ^ en formant la couche de matériau ferroélectrique sur le troisième élément conducteur et le substrat ; et ^ en formant les premier et deuxième éléments conducteurs sur la couche de matériau ferroélectrique. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit, donnée uniquement à titre d'exemple, et réalisée en relation avec les dessins annexés, dans lesquels des références identiques désignent des éléments identiques ou analogues, et dans lesquels : ^ la figure 1 est une vue schématique de dessus d'un capteur selon l'invention ; ^ la figure 2 est une vue schématique en coupe dans le plan II-II du capteur de la figure 1; ^ la figure 3 est une vue de dessus des électrodes avant et arrière du capteur des figures let 2 illustrant également les différentes capacités présentes dans ce capteur ; ^ la figure 4 est un schéma électrique équivalent du capteur des figures 1 et 2 ; ^ la figure 5 est une vue schématique en coupe dans le plan II-II illustrant un mode de détection capacitif du capteur des figures 1 et 2 ; ^ la figure 6 est une vue schématique en coupe dans le plan II-II illustrant un mode de détection combinant une détection capacitive et de pression du capteur des figures 1 et 2; et ^ les figures 7 à 20 sont des vues schématiques de dessus et en coupe illustrant un procédé de fabrication d'un capteur selon l'invention. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION En se référant aux figures 1 et 2, un capteur tactile selon l'invention comporte : ^ un substrat 12, notamment un substrat flexible en plastique, par exemple un substrat constitué de polynaphtalate d'éthylène (« PEN ») ou de poly(téréphtalate d'éthylène) (« PET »), et d'une épaisseur comprise entre 25 et 200 micromètres ; ^ des électrodes métalliques 14, 16 réalisées sur le substrat 12, ou électrodes « arrière », par exemple d'une épaisseur comprise entre 30 et 500 nanomètres, et constituées d'or, d'argent, de platine, de cuivre, de nickel, de tungstène, de titane ou autres ; ^ une couche de matériau piézoélectrique 18 réalisée sur les électrodes arrière 14, 16, notamment une couche d'épaisseur comprise entre 1 et 10 micromètres ; ^ des électrodes métalliques 20, 22 réalisées sur la couche piézoélectrique 18, ou électrode « avant », par exemple d'une épaisseur comprise entre 2 et 15 micromètres, et constituées d'or, d'argent, de platine, de cuivre, de nickel, de tungstène, de titane ou autres. Les électrodes avant 20, 22 sont disposées en regard des électrodes 14, 16 de manière à présenter avec celles-ci une surface en regard ; ^ des plots en graphène 24, 26, réalisés dans les électrodes avant 18 et arrière 14 et au contact avec la couche piézoélectrique 18 ; et ^ une encapsulation des électrodes avant 20, 22 et de la couche piézoélectrique 18, comportant une couche de protection latérale 28 réalisée sur le substrat 12 et une couche de protection supérieure 30 (non représentée sur la figure 1) réalisée sur les électrodes avant 20, 22 et la couche piézoélectrique 18, et définissant une surface tactile. Les couches de protection 28 et 30 sont constituées d'un matériau isolant, notamment une couche diélectrique de faible constante diélectrique, par exemple de type polymère fluoré ou polyimide. Avantageusement, la couche de protection 30 est flexible de manière à se déformer sous la pression exercée par un doigt et présente à cet effet une épaisseur comprise entre 100 nm à 51.1.m. Les électrodes avant 20, 22 comprennent avantageusement chacune un peigne 34, 36. Les peignes 34, 36 des électrodes avant sont interdigités, des dents 38 d'un peigne 34 étant intercalées entre des dents 40 de l'autre peigne 36. Par exemple, les peignes 34, 36 ont des dents 38, 40 parallèles et de même longueur, fixées respectivement à des armatures 42, 44. Par la suite, le peigne 34 sera dénommé peigne « de gauche » en raison de son armature 42 disposée à gauche sur les figures, et le peigne 36 sera désigné peigne de « droite » en raison de son armature 44 disposée à droite sur les figures. En se référant à la figure 3, qui illustre en vue de dessus les électrodes avant (à gauche de la figure 3) et les électrodes arrière (à droite de la figure 3), les électrodes arrière 14, 16 comprennent également chacune un peigne 46, 48, les peignes 46, 48 des électrodes arrière sont interdigités, des dents 50 d'un peigne 46 étant intercalées entre des dents 52 de l'autre peigne 48. Les dents 50, 52 des peignes 46, 48 sont respectivement fixées à des armatures 54, 56. Par la suite, le peigne 46 sera dénommé peigne « de gauche » en raison de son armature 54 disposée à gauche sur les figures, et le peigne 48 sera désigné peigne de « droite » en raison de son armature 56 disposée à droite sur les figures. Le peigne de gauche avant 34 est identique, à une réflexion près, au peigne de droite arrière 48 et est disposé en regard de celui-ci. De même, le peigne de droite avant 36 est identique, à une réflexion près, au peigne de gauche arrière 48 et est disposé en regard de celui-ci. Ainsi, les dents 38, 40 des peignes de droite et de gauche avant 34, 36 sont diposées en regard des dents 50, 52 des peignes de gauche et de droite arrière 46, 48 respectivement. Le capteur 10 comporte en outre des éléments de connexion connectant électriquement les peignes de gauche avant et arrière 34, 46, notamment un via métallisé traversant 58 formé dans l'épaisseur de la couche de protection 28, ainsi qu'une plage métallique 60 connectée électriquement aux peignes de gauche 34, 46 et formée sur la couche de protection 28. De manière analogue, le capteur 10 comporte des éléments de connexion connectant électriquement les peignes de droite avant et arrière 36, 48, notamment un via métallisé traversant 62 formé dans l'épaisseur de la couche de protection 28, ainsi qu'une plage métallique 64 connectée électriquement aux peignes de droite 36, 48 et formée sur la couche de protection 28. Un plot de graphène 24, 26 est par ailleurs réalisé dans chacune des dents des peignes 34, 36, 46, 48, un plot de graphène d'un peigne avant étant de préférence disposé en regard d'un plot de graphène d'un peigne arrière, ce qui permet de conserver la symétrie globale du capteur 10. De manière avantageuse, les plots en graphène 24, 26 présente une aire comprise entre 50 µm x 50 i.tm et 500 µm x 500 i.tm, et est donc particulièrement adaptée à la dimension du capteur. Comme cela est connu en soi, le graphène est un matériau dont la conductivité électrique augmente fortement avec la température. Ainsi, à mesure que la température augmente, par exemple en raison de la présence d'un doigt, les charges électriques libérées par le matériau piézoélectrique de la couche 18 sous l'effet d'une pression exercée sur celle-ci sont localement très nombreuses et sont collectées plus aisément au moyen desdits plots, ce qui augmente d'autant la capacité électrique de l'ensemble tel que cela sera décrit plus en détail par la suite. Comme cela est illustré à la figure 3, la structure des électrodes venant d'être décrite définit donc en combinaison avec la couche piézoélectrique 18 : - une capacité Cf', entre chaque paire de dents adjacentes 38, 40 des peignes avant 36, 38 ; - une capacité Cf', entre chaque paire de dents adjacentes 50, 52 des peignes arrière 46, 48 ; - une capacité C1 entre chaque paire de dents 38, 52 en regard des peignes avant de gauche 34 et arrière de droite 48 et entre chaque paire de dents 40, 50 en regard des peigne avant de droite 36 et arrière de gauche 46 ; - une connexion en parallèle de l'ensemble des capacités C favi 1C fan C1 ainsi définies. La figure 4 illustre un schéma électrique équivalent du capteur 10 venant d'être décrit entre les plages métalliques 60, 64. Ce schéma illustre trois capacités en parallèle, à savoir : - une première capacité Ci, égale à la somme Cp, des capacités Ci), , - une deuxième capacité C fav égale à la somme Cf, des capacités Cf, , et - une troisième capacité Cf, égale à la somme Cf, des capacités Cfari - La couche piézoélectrique 18 est avantageusement une couche réalisée en matériau ferroélectrique semi-cristallin ou cristallin polarisé, notamment un matériau ferroélectrique à base de PVDF (polyfluorure de vinylidène) et/ou de copolymères de PVDF, par exemple un poly (VDF-TrFe) avec des compositions adaptées, de PZT (titano-zirconate de plomb), de BaTiO3 (titanate de baryum), de PbTiO3 (titanate de plomb), ou d'un mélange de ces matériaux. De manière avantageuse, le matériau ferroélectrique de la couche 18 est polarisé, en moyenne, selon une direction perpendiculaire aux plans dans lesquels les électrodes avant 20, 22 et arrière 14, 16 sont réalisées. Par exemple, une telle polarisation est obtenue de manière permanente en appliquant entre les deux faces de la couche 18 un champ électrique d'une intensité comprise entre 30 MV/m et 60 MV/m sur l'épaisseur de la couche 18, entre 1 heure et 8 heures, et en portant la couche 18 à une température inférieure à la température de Curie du matériau ferroélectrique. Pour plus de détails concernant la polarisation d'un matériau ferroélectrique, on pourra par exemple se reporter au document US 5 494 617. De cette manière, le matériau ferroélectrique est polarisé perpendiculairement aux surfaces en regard des électrodes avant et arrière, ce qui permet d'obtenir dans ladite direction un effet piézoélectrique important. Notamment, le champ électrique est appliqué aux moyens des électrodes avant et arrière elles-mêmes en connectant les plages métalliques 60, 64 à une source de tension. De cette manière, les dipôles du matériau ferroélectrique de la couche 18 sont orientés selon les lignes de champ électrique entre ces électrodes, ce qui optimise l'effet piézoélectrique. Le capteur selon l'invention combine ainsi deux modes de détection différents pour détecter la présence d'un doigt à sa surface, à savoir un mode de détection capacitif et un mode de détection piézoélectrique. Plus particulièrement, la tension entre les plages 60, 64 varie en fonction de la variation de capacité liée à la présence d'un doigt et la libération de charges par la couche 18 sous l'effet d'une pression exercée sur celle-ci. Notamment, lorsqu'il n'y a pas d'objet à proximité du capteur 10, ce dernier présente donc une capacité de valeur prédéterminée entre les plages 60, 64. En revanche, lorsqu'un objet, notamment un doigt 70, se rapproche des électrodes avant 20, 22, ou des électrodes arrière 14, 16, sans appuyer sur le capteur 10, comme cela est illustré à la figure schématique en coupe 5, une capacité nouvelle, dont la valeur dépend de la distance x entre l'objet 70 et le capteur 10, est ajoutée en parallèle des capacités C; , Cf' et Cf' déjà présentes dans le capteur 10. La capacité totale entre les plages 60 et 64 est donc modifiée. En connectant les plages 60 et 64 à un dispositif de mesure de capacité, il est ainsi possible de mesurer la variation de capacité entre lesdites plages 60, 64, et donc de détecter la présence du doigt 70. De tels dispositifs, ou « capacimètres », sont classiques et ne seront donc pas décrits plus en détail,. En mode de détection piezoélectrique, après l'alignement des dipôles dans le matériau ferroélectrique, ce matériau est rendu piezoélectrique, c'est-à-dire que des charges électriques sont générées lorsqu'une pression est exercée sur la couche 18 suivant la direction de polarisation. Ainsi lorsqu'un objet, par exemple un doigt 70, appuie sur la face avant ou arrière du capteur 10, tel que cela est illustré à la figure schématique en coupe 7, il en résulte une variation de la tension entre les plages métalliques 60, 64. En connectant les plages 60 et 64 à un dispositif de mesure de tension, il est ainsi possible de mesurer ladite variation de tension, et donc de détecter la pression exercée par un objet sur le capteur 10, notamment un doigt 70. En outre, lorsqu'un doigt 70 est en contact avec le détecteur sans appuyer sur celui-ci au dessus d'un plot de graphène 24, 26, ce dernier subit un chauffage local important en raison de la très bonne conductivité thermique du graphène, ce qui fait chuter la résistance électrique du graphène. Ce faisant, il est obtenu un meilleur passage des électrons au travers de l'interface entre le matériau piézoélectrique et le plot de graphène et par conséquent un champ électrique élevé à cette interface. En outre, avec l'effet de la température au niveau de cette interface, on constate que la constante piézoélectrique du matériau piézoélectrique augmente, ce qui augmente corrolairement la sensibilité de ce capteur lorsque le doigt exerce une pression sur le capteur. De plus, le graphène a pour effet d'augmenter localement la capacitance du capteur. Il va à présent être décrit en relation avec les figures 7 à 20 un procédé de fabrication d'un capteur tactile selon l'invention. Le procédé débute par la réalisation d'un substrat flexible 12 en plastique, par exemple un substrat constitué de polynaphtalate d'éthylène (« PEN ») ou de poly(téréphtalate d'éthylène) (« PET ») d'une épaisseur comprise entre 25 et 200 micromètres, puis se poursuit par le dépôt sur le substrat 12, par exemple par pulvérisation ou évaporation physique, d'une métallisation 72 sur une épaisseur comprise entre 30 et 500 nanomètres, par exemple de l'or (Au), de l'argent (Ag), du platine (Pt), du cuivre (Cu), du nickel (Ni), du tungstène (W), ou du titane (Ti). La métallisation 72 comporte deux armatures 54, 56 à partir desquelles sont réalisées des dents 50, 52 parallèles, de même longueur et intercalées. Les dents 50, 52 ne sont pas complétées et comportent des manques 74 aux emplacements désirés pour les plots de graphène. Chacune des armatures 54, 56 est par ailleurs raccordée à une plage métallique 76, 78 (figure 7 en vue de dessus et figure 8 en coupe selon le plan VIII-VIII). Lors d'une étape suivante, des plots de graphène conducteur 26, d'une épaisseur comprise entre 100 nm et quelques iam, sont déposés, par exemple par sérigraphie, sur les manques 74 formés dans les dents 50, 52 (figure 9 en vue de dessus et figure 10 en coupe selon le plan X-X). Les électrodes arrière 14, 16 décrites précédemment sont ainsi obtenues. Le procédé se poursuit par le dépôt, par exemple par sérigraphie ou impression jet d'encre, d'une couche piézoélectrique 18, d'une épaisseur comprise entre 1 et 10 micromètres, sur les électrodes arrière 14, 16 en laissant libre les plages métalliques 76, 78 (figure 11 en vue de dessus et figure 12 en coupe selon le plan XII-XII). Le matériau piézoélectrique est avantageusement un ferroélectrique cristallin polaire, notamment du PVDF, un copolymère de PVDF, du PZT, du BaTiO3 ou du PbTiO3. Une couche 28 de diélectrique d'isolation est ensuite réalisée sur le substrat 12 autour de, et à hauteur de la couche 18 en laissant libre les plages métalliques 76, 78, et plus particulièrement une couche diélectrique non ferroélectrique, comme par exemple une couche diélectrique fluoropolymère à faible constante diélectrique (figure 13 en vue de dessus et figure 14 en coupe selon le plan XIV-XIV). Par exemple, la couche 28 est déposée pleine plaque par sérigraphie ou impression jet d'encre avec des ouvertures de vias pour dégager les plages 76, 78. Le procédé se poursuit alors par le dépôt sur la couche 18 et la couche 28, par exemple par pulvérisation ou évaporation physique, d'une métallisation 80 sur une épaisseur comprise entre 2 et 15 micromètres, par exemple de l'or (Au), de l'argent (Ag), du platine (Pt), du cuivre (Cu), du nickel (Ni), du tungstène (W), ou du titane (Ti). La métallisation 80 comporte deux armatures 42, 44 à partir desquelles sont réalisées des dents 38, 40 parallèles, de même longueur et intercalées. Les dents 38, 40 ne sont pas complétées et comportent des manques 82 aux emplacements désirés pour les plots de graphène 24. Les armatures 42, 44 sont par ailleurs respectivement raccordées aux plages métalliques 76, 78, la métallisation 80 remplissant les ouvertures réalisées dans la couche 28 au droit des plages 76, 78. Enfin, la métallisation 80 comporte des plages 60, 64 respectivement raccordées aux armatures 42, 44 (figure 15 en vue de dessus et figure 16 en coupe selon le plan XVI- XVI). Des plots de graphène conducteur 24, d'une épaisseur comprise entre 100 nm et 10 !am, sont ensuite déposés, par exemple par sérigraphie, sur les manques 82 formés dans les dents 38, 40 (figure 17 en vue de dessus et figure 18 en coupe selon le plan XVIII- XVIII). Les électrodes avant 20, 22 décrites précédemment sont ainsi obtenues. Une couche flexible de protection et d'isolation 30 diélectrique de faible constante diélectrique, par exemple une couche de polymère fluoré ou de polyimide d'une épaisseur comprise entre 100 nm et 5 iam, est ensuite déposée sur les électrodes avant 20, 22, la couche 18 et sur la couche de protection 28, en laissant dégagées les plages métalliques 60, 64 (figure 19 en vue de dessus et figure 20 en coupe selon le plan XX-XX). Le procédé se termine alors par l'application d'une tension entre les plages métalliques 60, 64, par exemple au moyen d'une source de tension, de manière à définir entre les électrodes avant et arrière un champ électrique ayant une intensité comprise entre 30 MV/m et 60 MV/m sur l'épaisseur de la couche 18. La tension, et donc le champ, est appliqué entre 1 heure et 8 heures, et le capteur est chauffé à une température inférieure à la température de Curie dudit matériau, par exemple en disposant le capteur sur un support chauffant régulé en température. Le matériau ferroélectrique acquiert ainsi des propriétés piézoélectriques décrites précédemment. Il a été décrit un mode de réalisation d'un capteur selon l'invention, dans lequel les électrodes avant et arrière comprennent des peignes interdigités et disposés en regard. La géométrie, la dimension des peignes ainsi que le nombre de dents sont avantageusement choisis pour régler les capacités en présence dans le capteur. De même, le capteur peut, en variante, posséder une seule électrode en face arrière disposant d'une surface en regard des électrodes disposées en face avant. De même, il a été décrit un schéma de connexion des capacités en parallèle. En variante, les électrodes ne sont pas connectées entre elles et sont soumises à un potentiel qui leur est propre. De même, il a été décrit une couche piézoélectrique réalisée à partir d'un matériau ferroélectrique cristallin polarisé. En variante, la couche de piézoélectrique peut être réalisée en un matériau piézoélectrique quelconque, ou en un matériau piézoélectrique cristallin non ferroélectrique. De même, il a été décrit des plots de graphène réalisés dans les électrodes avant et arrière. En variante, seule les électrodes avant comprennent de tels plots. En variante également, les plots de graphène sont réalisés sur la couche piézoélectrique et au contact des électrodes sans en faire partie. En variante également, les électrodes avant et/ou arrière sont constituées de graphène. REVENDICATIONS1. Capteur tactile (10) comportant une couche de matériau piézoélectrique (18) intercalée entre d'une part, des premier et deuxième éléments conducteurs électriques (20, 22), et d'autre part, au moins un troisième élément conducteur (14, 16) comprenant une surface en regard d'au moins l'un des premier et deuxième conducteurs (20, 22). 2. Capteur tactile selon la revendication 1, dans lequel les premier et deuxième éléments conducteurs électriques (20, 22) comprennent chacun un peigne (34, 36), et dans lequel les peignes (34, 36) des premier et deuxième éléments conducteurs (20, 22) sont interdigités. 3. Capteur tactile selon la revendication 2, dans lequel la couche de matériau piézoélectrique (18) est intercalée entre d'une part les premier et deuxième éléments conducteurs électriques (20, 22) et d'autre part, le troisième élément conducteur et un quatrième élément conducteur (14, 16), dans lequel les troisième et quatrième éléments conducteurs électriques (14, 16) comprennent chacun un peigne (46, 48), les peignes (46, 48) des troisième et quatrième éléments conducteurs (14, 16) étant interdigités, et dans lequel : ^ des dents (38) du premier élément conducteur (20) sont disposées en regard de dents (52) du quatrième élément conducteur (16); et ^ des dents (40) du deuxième élément conducteur (22) sont disposées en regard de dents (50) du troisième élément conducteur (14). 25 4. Capteur tactile selon la revendication 3, dans lequel le premier élément conducteur (20) est connecté électriquement au troisième élément conducteur (14), et dans lequel le deuxième élément conducteur (22) est connecté électriquement au quatrième élément conducteur (16). 30 5. Capteur tactile selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel des éléments en graphène (24) sont formés dans et/ou au contact d'une part des premier et second éléments conducteurs électriques (20, 22), et d'autre part de la couche de matériau piézoélectrique (18). 35 6. Capteur tactile selon la revendication 5 et l'une des revendications 3 et 4, dans lequel des éléments en graphène (26) sont formés dans et/ou au contact d'une part des deuxièmes et quatrième éléments conducteurs (14, 16) et d'autre part de la couche de matériau piézoélectrique (18), et en regard des éléments en graphène (24) réalisés dans et/ou au contact des premier et deuxième éléments conducteurs (20, 22). Capteur tactile selon l'une des revendications 5 et 6, dans lequel les éléments (24, 26) comportant du graphène sont des plots de graphène réalisés dans les éléments conducteurs (14, 16, 20, 22). Capteur tactile selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le matériau piézoélectrique (18) est un matériau ferroélectrique cristallin ou semicristallin polarisé en moyenne perpendiculairement aux surfaces en regard entre d'une part les premier et deuxième éléments conducteurs électriques (20, 22) et d'autre part le au moins un troisième élément conducteur (14, 16). Capteur tactile selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le matériau piézoélectrique (18) est un matériau ferroélectrique cristallin ou semicristallin polarisé selon des lignes de champ électrique apparaissant entre les surfaces en regard entre d'une part les premier et deuxième éléments conducteurs électriques (20, 22) et d'autre part le au moins un troisième élément conducteur (14, 16) lorsqu'une différence de potentiels est appliquée entre lesdites surfaces en regard. Capteur tactile selon l'une des revendications 8 et 9, dans lequel le matériau ferroélectrique (18) comporte du polyfluorure de vinylidène, un copolymère de polyfluorure de vinylidène, notamment du poly (VDF-TrFe), du titano-zirconate de plomb, du titanate de baryum ou un mélange de ceux-ci. Capteur tactile selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la couche de piézoélectrique (18) est réalisée sur un substrat flexible (12).7. 8. 9. 25 10. 30 11.12. Procédé de fabrication d'un capteur tactile, consistant : ^ à réaliser une couche de matériau ferroélectrique cristallin ou semi-cristallin (18) intercalée entre d'une part des premier et deuxième éléments conducteurs électriques (20, 22) et d'autre part au moins un troisième élément conducteur (14, 16) comprenant une surface en regard d'au moins l'un des premier et deuxième éléments conducteurs (20, 22); et ^ à appliquer un champ électrique entre d'une part les premier et second éléments conducteurs électriques (20, 22) et d'autre part le au moins troisième élément conducteur (14, 16), le champ électrique ayant une intensité comprise entre 30 MV/m et 60 MV/m et étant appliqué entre 1 heure et 8 heures, en chauffant la couche de matériau ferroélectrique à une température inférieure à la température de Curie dudit matériau. 13. Procédé de fabrication d'un capteur tactile selon la revendication 12, dans lequel : ^ la réalisation de la couche piézoélectrique (18) intercalée entre les éléments conducteurs comprend la réalisation de ladite couche (18) intercalée entre d'une part, les premier et deuxième éléments conducteurs électriques (20, 22) et d'autre part, le troisième élément conducteur (14) et un quatrième élément conducteur (16), chacun des éléments conducteurs (14, 16, 20, 22) comportant un peigne (34, 36, 46, 48), les peignes (34, 36) des premier et deuxième éléments conducteurs (20, 22) étant interdigités, les peignes (46, 48) des troisième et quatrième éléments conducteurs (14, 16) étant interdigités, des dents (38) du premier élément conducteur (20) étant disposées en regard de dents (52) du quatrième élément conducteur (16), et des dents (40) du deuxième élément conducteur (22) étant disposées en regard de dents (50) du troisième élément conducteur (14); ^ on réalise un premier élément de connexion (58) connectant électriquement le premier élément conducteur (20) et le troisième élément conducteur (14) et un second élément de connexion (62) connectant le deuxième élément conducteur (22) et le quatrième élément conducteur (16); et ^ le champ électrique est obtenu en appliquant une différence de potentiels entre les premier et second éléments de connexion (58, 62). 14. Procédé de fabrication d'un capteur tactile selon la revendication 12 ou 13, dans lequel le matériau ferroélectrique (18) comporte du polyfluorure de vinylidène, un copolymère de polyfluorure de vinylidène, notamment du poly (VDF-TrFe), du titano-zirconate de plomb, du titanate de baryum ou un mélange de ceux-ci.15. Procédé de fabrication d'un capteur tactile selon la revendication 12, 13 ou 14, dans lequel la couche de matériau ferroélectrique (18) intercalée entre les éléments conducteurs est réalisée : ^ en formant le au moins un troisième élément conducteur (14, 16) sur une face d'un substrat flexible (12) ; ^ en formant la couche de matériau ferroélectrique (18) sur le troisième élément conducteur (14, 16) et le substrat (12); et ^ en formant les premier et deuxième éléments conducteurs (20, 22) sur la couche de ferroélectrique (18).