Brevet FR2991096A1 — publié le 20131129

PROCEDE DE FABRICATION D'UN FILM COMPRENANT DES MICROSTRUCTURES MAGNETIQUES TRIDIMENSIONNELLES DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un film comprenant une matrice non magnétique et une pluralité de microstructures magnétiques tridimensionnelles ordonnées au sein de la matrice selon un motif déterminé. ARRIERE PLAN DE L'INVENTION La magnétophorèse concerne le déplacement d'un objet sous l'effet d'un champ magnétique inhomogène. Elle est actuellement mise à profit pour la manipulation telle que le piégeage, la séparation, le mélange et le transport d'objets incluant par exemple des espèces biologiques fonctionnalisées par des nano ou microparticules magnétiques. La force magnétophorétique agissant sur une particule magnétique est donnée par l'expression : Fm= Mp VB (1) où Mp est le moment magnétique de la particule, proportionnel à son volume, et VB est le gradient de champ magnétique dans lequel est placée la particule. D'après l'équation (1), la force magnétique exercée sur un objet placé dans un champ magnétique homogène est nulle, et ceci indépendamment de la valeur du champ magnétique, aussi élevée soit-elle. En conséquence, une des conditions nécessaire pour la génération de forces magnétiques significatives est l'existence d'un gradient de champ magnétique, i.e., l'existence d'une inhomogénéité locale du champ magnétique dans l'espace. On cherche donc à générer des gradients de champ magnétique les plus forts possibles, et ce, à l'échelle sub-millimétrique. A l'heure actuelle, les micro-dispositifs principalement développés pour le contrôle et/ou la manipulation d'objets ferromagnétiques ou superparamagnétiques utilisent des micro- bobines ou des matériaux doux couplés à un champ magnétique externe, éventuellement en association. Le premier type de micro-dispositifs est fondé sur l'utilisation de micro-bobines typiquement réalisées par des techniques de microfabrication conventionnelles telle que la 35 photolithographie. Cependant, ces micro-bobines souffrent de trois inconvénients majeurs. D'une part, les champs magnétiques générés sont limités par l'échauffement du circuit. En effet, le champ magnétique généré par une bobine de résistance R est directement proportionnel à l'intensité I du courant qui la traverse. Le passage d'un courant d'intensité I, pendant un temps t, dans un circuit provoque un échauffement par effet Joule (RI2 x t), ce qui entraine irrémédiablement une limitation du courant et donc une limitation du champ magnétique généré. A titre d'exemple, le courant permanent dans un conducteur de cuivre de section 100 pm2 est de l'ordre de 10-4 A. Le champ magnétique d'une simple spire de 10 pm de rayon d'un tel conducteur est de l'ordre de 0,1 mT et le gradient de champ magnétique maximum de l'ordre de 102 T/m. Alimentées en courant pulsé, les micro-bobines peuvent générer des champs bien plus élevés qu'en courant continu, typiquement 1000 fois supérieurs, mais durant un temps souvent inférieur à la milliseconde, peu adapté aux applications visées. Par ailleurs, ces micro-bobines nécessitent toujours, pour leur fonctionnement, une alimentation externe en courant. Le second type de micro-dispositifs couple l'utilisation de matériaux magnétiques doux à un champ magnétique macroscopique externe. Placé dans un champ magnétique externe, le matériau magnétique doux s'aimante et se comporte alors de façon similaire à un aimant permanent en tant que source de champ. Les matériaux doux pour micro-sources de champ magnétique sont réalisés par des techniques de micro/nano fabrication. Les sources de champ magnétiques obtenues ont la taille des motifs des matériaux doux réalisés, avec une dimension sub-millimétrique. Placés dans un champ magnétique macroscopique externe, ces sources produisent de forts champ et gradient de champ magnétiques, fortement modulé à l'échelle des motifs. L'utilisation d'un champ magnétique externe variable et commutable rend ces sources magnétiques variables et commutables. Enfin, la fabrication de dispositifs comprenant un film en un matériau magnétique dur déposé sur un substrat de silicium, structuré soit topographiquement en utilisant les techniques de micro-fabrication [Walther09], soit thermo-magnétiquement [DumasBouchiat10], de sorte à former une pluralité de micro-aimants, a récemment été décrite. Ces dispositifs présentent l'avantage d'être autonomes, puisque, une fois aimantés, ils ne nécessitent ni source d'énergie ni source de champ magnétique externe. Par ailleurs, les micro-aimants ainsi formés produisent de forts gradients de champ magnétique, jusqu'à 106 T/m. Cependant, la fabrication de ces différents dispositifs est onéreuse car elle nécessite des technologies de pointe, et elle ne se prête donc pas à la fabrication de grandes séries de dispositifs à faibles coûts. En particulier, les techniques basées sur des substrats de silicium sont limitées par les tailles disponibles de ces substrats et se heurtent donc à l'impossibilité de former des dispositifs de grandes dimensions. Par ailleurs, une certaine flexibilité des dispositifs serait souhaitable pour certaines applications. Par ailleurs, il serait utile, par exemple pour les applications in-vitro, de disposer de dispositifs transparents ou tout au moins translucides de sorte à pouvoir observer par microscopie optique en transmission le comportement des particules influencées par le champ magnétique généré. Dans l'article de D. Issadore et al, « Self-Assembled magnetic filter for highly efficient immunomagnetic separation », Lab Chip, 2011, 11, pp. 147-151, il est fait état de la fabrication d'un film polymère comprenant la mise en suspension, dans du polydimethylsiloxane (PDMS), de particules de NdFeB, l'aimantation desdites particules par l'application d'un champ magnétique externe intense, puis la réticulation du PDMS, figeant les particules de NdFeB. Cependant, la répartition des particules dans la matrice de PDMS est aléatoire. Par ailleurs, chaque particule est isolée des particules qui l'environnent, de sorte que les pièges ainsi constitués sont de la taille d'une particule unitaire et présentent donc une faculté de piégeage limitée. Il subsiste donc un besoin pour la fabrication d'un dispositif procurant, à l'échelle submillimétrique, un gradient de champ magnétique élevé et qui puisse être fabriqué à moindre coût. Par ailleurs, selon les applications visées, ce dispositif doit pouvoir être flexible et/ou transparent. Un autre but de l'invention est de définir un procédé simple et économique de fabrication d'un dispositif susceptible d'être aimanté soit de manière permanente, soit sous l'action d'un champ magnétique externe pour générer un gradient de champ magnétique important à l'échelle sub-millimétrique. BREVE DESCRIPTION DE L'INVENTION Conformément à l'invention, il est proposé un procédé de fabrication d'un film comprenant une matrice non magnétique et une pluralité de microstructures magnétiques tridimensionnelles ordonnées au sein de ladite matrice selon un motif déterminé, comprenant les étapes de : - fourniture d'un substrat, dit substrat maître, comprenant une face dite magnétiquement structurée constituée d'une pluralité de micro-sources de champ magnétique, présentant un gradient de champ magnétique compris entre 102 et 106 T/m, - apport, sur la face magnétiquement structurée dudit substrat maître, de micro ou 10 nanoparticules magnétiques, lesdites particules s'agglomérant en microstructures tridimensionnelles ordonnées sous l'effet de la force magnétophorétique attractive exercée par le gradient de champ magnétique à la surface du substrat maître, - dépôt sur la face magnétiquement structurée du substrat maître, d'une matrice d'un matériau non magnétique, de sorte à englober lesdites microstructures ordonnées et former 15 ledit film, - délaminage vis-à-vis du substrat maître dudit film.. Par nanoparticule, on entend une particule dont les trois dimensions sont à l'échelle nanométrique, c'est-à-dire dont la taille caractéristique, par exemple le diamètre moyen, est inférieur à 100 nm. 20 Par microparticule, on entend une particule dont les trois dimensions sont à l'échelle micrométrique, c'est-à-dire dont la taille caractéristique, par exemple le diamètre moyen, est compris entre 100 nm et 1 mm. Par micro-aimant, on entend un aimant dont les trois dimensions sont à l'échelle micrométrique, c'est-à-dire dont la longueur, la largeur et l'épaisseur sont comprises entre 25 100 nm et 100 pm. Par structuration magnétique d'une surface (qu'elle soit plane, courbe et/ou présente des reliefs (plots ou cavités)), on entend que la surface présente des régions d'aimantations différentes, réparties selon un motif déterminé. Par facteur de remplissage, on entend le rapport entre le volume occupé par les nano 30 ou microparticules ordonnées en structures tridimensionnelles dans une portion du film et le volume de la portion considéré. Selon un mode de réalisation, avant le dépôt des micro ou nanoparticules magnétiques, on dépose sur la face magnétiquement structurée du substrat maître une couche de sorte à faciliter le délaminage ultérieur du film vis-à-vis du substrat maître. La matrice est avantageusement en un matériau élastomère, ce qui permet de former un film flexible. Parmi les matériaux préférés pour la matrice, on peut citer le polydiméthylsiloxane, la résine époxy, le caoutchouc, la bakélite, le polyméthacrylate de méthyle (PMMA), la résine photosensible, le parylène, un oxyde tel que SiO2, A1203, Hf02, un métal tel que Cu, Ag, ou un matériau carboné, tel que le graphite, ou le DLC. De manière particulièrement avantageuse, pendant ou après le dépôt desdites micro ou nanoparticules sur le substrat maître, on agite ledit substrat maître et/ou les particules de sorte à optimiser la répartition des micro ou nanoparticules vis-à-vis des micro-sources de 10 champ magnétique. Par ailleurs, avant le dépôt de la matrice non magnétique, on peut appliquer un jet de gaz sur le substrat maître, de sorte à optimiser la répartition des nanoparticules vis-à-vis des micro-sources de champ magnétique et/ou à éliminer les particules non piégées par le champ magnétique du substrat maître. 15 Le film résultant de ce procédé présente ainsi deux faces opposées entre lesquelles le facteur de remplissage en micro ou nanoparticules varie, la face préalablement au contact du substrat maître présentant à son voisinage un facteur de remplissage supérieur au facteur de remplissage au voisinage de la face opposée. Selon une application de l'invention, lorsque le film est flexible, on peut l'enrouler de 20 sorte à former un tube. Selon une forme de réalisation de l'invention, la face magnétiquement structurée du substrat maître présente au moins une cavité et/ou au moins un plot, de sorte qu'après le délaminage, le film présente un plot et/ou une cavité respectivement complémentaire de la cavité et/ou du plot du substrat maître. 25 Selon une forme d'exécution de l'invention, les micro ou nanoparticules sont en un matériau magnétique doux. De manière préférée, lesdites micro ou nanoparticules sont alors en l'un des matériaux suivants : Fe, CoFe, NiFe, Fe304, ou Fe2O3. De manière alternative, les micro ou nanoparticules sont en un matériau magnétique 30 dur. Lesdites micro ou nanoparticules sont alors de préférence en l'un des matériaux suivants : NdFeB, FePt, SmCo, BaFe12019, SrFe12019, ou CoFe2O4. Dans ce cas, on peut avantageusement soumettre le film à un champ magnétique externe de sorte à aimanter de manière permanente les microstructures magnétiques 35 tridimensionnelles. Selon d'autres caractéristiques de l'invention, prises seules ou en combinaison : - la taille caractéristique moyenne des micro ou nanoparticules magnétiques est comprise entre 10 nm et 100 pm ; - une dimension desdites microstructures magnétiques tridimensionnelles dans un plan parallèle à la face magnétiquement structurée du substrat maître est comprise entre 10 nm et 500 pm ; - la dimension desdites microstructures magnétiques tridimensionnelles dans un plan perpendiculaire à la face magnétiquement structurée du substrat maître est comprise entre 10 nm et 1 mm. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif magnétique comprenant une pluralité de micro-aimants, comprenant la fabrication d'un film selon le procédé décrit ci-dessus et l'application d'un champ magnétique externe audit film de sorte à aimanter les microstructures magnétiques tridimensionnelles enfermées dans la matrice de celui-ci. Selon une forme d'exécution avantageuse de l'invention, on fabrique un film comprenant au moins une cavité, et l'on ferme ladite cavité pour former un canal micro-fluidique en assemblant ledit film avec un film présentant une surface magnétiquement structurée, fabriqué par le même procédé que celui décrit plus haut, ledit canal micro-fluidique présentant ainsi deux parois magnétiquement structurées. Un autre objet de l'invention concerne un film comprenant une matrice non magnétique et une pluralité de microstructures magnétiques tridimensionnelles ordonnées au sein de ladite matrice selon un motif déterminé, lesdites microstructures étant constituées d'un agglomérat de micro ou nanoparticules magnétiques. La matrice est de préférence en un matériau choisi parmi du polydiméthylsiloxane (PDMS), de la résine époxy, du caoutchouc, de la bakélite, du polyméthacrylate de méthyle (PMMA), de la résine photosensible, du parylène, des oxydes tel que SiO2, A1203, des métaux tels que Cu, Ag, et des matériaux carbonés, tels que le graphite, et les DLC. Selon d'autres caractéristiques optionnelles dudit film : - une dimension desdites microstructures magnétiques tridimensionnelles dans un plan parallèle aux faces du film est comprise entre 10 nm et 500 pm ; - la dimension desdites microstructures magnétiques tridimensionnelles dans un plan perpendiculaire aux faces du film est comprise entre 10 nm et 1 mm. L'invention concerne également un dispositif comprenant une pluralité de micro-aimants, ledit dispositif comprenant un film tel que décrit plus haut, les microstructures magnétiques tridimensionnelles étant aimantées de manière permanente ou par un champ magnétique extérieur. Selon un mode de réalisation dudit dispositif, le film comprend au moins une cavité et ledit film est assemblé à un film présentant une surface magnétiquement structurée, de sorte que ladite cavité forme avec ledit film un canal micro-fluidique. Selon un autre mode de réalisation, ledit dispositif se présente sous la forme d'un tube formé par enroulement du film. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description détaillée qui va suivre, en référence aux dessins annexés sur lesquels : - les figures 1A à 1D illustrent de manière schématique différentes étapes de fabrication d'un film selon un mode de réalisation de l'invention ; - la figure lE illustre de manière schématique une variante du mode de réalisation des figures 1A à 1D ; les figures 2A à 2D illustrent de manière schématique différentes étapes de fabrication d'un film selon un mode de réalisation de l'invention ; - la figure 3 illustre la formation d'un micro-canal fluidique à partir d'un film obtenu selon l'invention ; la figure 4 illustre la formation d'un tube à partir d'un film obtenu selon l'invention ; les figures 5A et 5B présentent respectivement des images en vue de dessus d'un film obtenu selon l'invention et de microparticules piégées par ledit film. Pour faciliter la compréhension des schémas, ceux-ci n'ont pas été réalisés à l'échelle. DESCRIPTION DETAILLEE DE MODES DE REALISATION DE L'INVENTION En référence à la figure 1A, on utilise un substrat maître 1 pour ordonner des nano ou microparticules avant de les enfermer dans une matrice non magnétique. Substrat maître Ledit substrat maître 1 présente une face magnétiquement structurée, c'est-à-dire une face 10 constituée d'une pluralité de micro-sources 10a, 10b de champ magnétique. L'aimantation des différentes micro-sources est schématisée par une flèche. Sur les figures 1A à 1E, la face magnétiquement structurée 10 du substrat maître est plane. Cependant, dans certaines formes d'exécution de l'invention, il peut être préférable d'employer un substrat maître dont la face n'est pas plane mais présente des cavités ou des plots, afin de reproduire dans le film formé à partir du substrat maître des plots ou des cavités complémentaires. Le substrat maître peut être fabriqué par différentes techniques connues de l'homme du métier. Selon un mode de réalisation, la fabrication du substrat maître implique la mise en oeuvre de deux étapes successives principales : - la synthèse d'un film magnétique performant sur une épaisseur de l'ordre de 1 à 100 pm ; - la réalisation de micro-aimants par structuration magnétique dudit film. De manière particulièrement avantageuse, la synthèse du film magnétique peut être réalisée par dépôt par voie physique par pulvérisation triode. A titre d'exemple, des couches de NdFeB et de SmCo ont été synthétisées et possèdent de remarquables propriétés magnétiques [Dempsey07, VValther08]. D'autres méthodes de fabrication d'aimants en couches peuvent être envisagés, en particulier les dépôts électrolytiques, les dépôts sol-gel, les dépôts par évaporation, le dépôt laser pulsé, etc. A partir du film ainsi synthétisé, la génération de champs magnétiques et de gradients de champs magnétiques importants requiert une structuration magnétique à l'échelle submillimétrique. Deux techniques présentées ci-dessous peuvent être employées à cet effet. D'une part, la structuration magnétique par la méthode dite « topographique » consiste à structurer avant dépôt la topologie de surface du substrat sur lequel le matériau magnétique est ensuite déposé et/ou à structurer directement la topologie de la couche magnétique. Ceci revient à former une couche magnétique qui n'est pas plane mais qui comprend des micro-plots et/ou des micro-cavités. Les dimensions des structurations topographiques déterminent les dimensions des micro-aimants obtenus. Chaque élément de film magnétique gravé et/ou déposé sur un micro-plot ou dans une 30 micro-cavité du substrat peut être assimilé, après aimantation, à un micro-aimant indépendant. Notons que des étapes de lithographie optique, d'attaque chimique et de planarisation peuvent être nécessaires. Les micro-éléments ainsi réalisés sont ensuite aimantés selon une direction choisie. Ils constituent alors un ensemble de micro-aimants indépendants, présentant toutes la même direction d'aimantation. Dans ce procédé, le matériau magnétique peut être dur, auquel cas l'aimantation des micro-aimants est permanente et le substrat maître est alors autonome, c'est-à-dire ne nécessite aucune alimentation en énergie ni aucune application d'un champ magnétique externe. De manière alternative, le matériau magnétique employé est un matériau doux. Dans ce cas, l'utilisation du substrat maître nécessite l'application simultanée d'un champ magnétique externe pour aimanter les micro-aimants. Ces micro-aimants individuels, situés à différentes hauteurs par rapport à une surface moyenne du film magnétique, constituent des systèmes présentant de très forts gradients de champ magnétique aux échelles micrométriques. D'autre part, la structuration magnétique par empreinte thermo-magnétique (« Thermo- Magnetic Patteming » ou TMP selon la terminologie anglo-saxonne) consiste à utiliser une source de chaleur pour chauffer localement certaines zones d'une couche magnétiquement dure et ainsi créer des volumes d'aimantation de directions alternées, constituant des micro-aimants. A titre d'exemple, on peut employer comme source de chaleur un laser impulsionnel nanoseconde. Une couche magnétique dure est aimantée dans une direction et un sens donné. Cette couche est ensuite placée dans un champ magnétique externe uniforme Hext (/aoHext Naturellement, d'autres modes de réalisation du substrat maître peuvent être choisis par l'homme du métier sans pour autant sortir du cadre de la présente invention. Ainsi, par exemple, un film magnétique structuré fabriqué selon le procédé de l'invention peut à son tour être utilisé en tant que substrat maître. Selon un autre exemple, le substrat maître peut être constitué d'une pluralité de micro- bobines conductrices. Dans un exemple non limitatif illustré à la figure 1A, le substrat maître est constitué d'une couche 11 magnétiquement dure de NdFeB présentant une épaisseur de 5 pm sur un substrat support 12 de silicium. L'alliage NdFeB de la couche 11 a été traité par empreinte thermo-magnétique, c'est-à- dire un chauffage localisé de la couche 11 par irradiation laser à travers un masque en présence d'un champ magnétique externe, de sorte à former, au niveau des ouvertures du masque, des régions 10a d'aimantation opposée à celle des régions 10b protégées par le masque. A la surface du substrat maître, l'intensité du champ magnétique et du gradient de champ magnétique est maximale au niveau des interfaces entre les régions 10a, 10b présentant des aimantations opposées. Par conséquent, des nano ou microparticules présentant une susceptibilité magnétique positive sont attirées par la force magnétophorétique vers ces interfaces. Le substrat maître n'est cependant pas limité à cette forme particulière mais peut être constitué d'un matériau magnétique dur ou doux structuré par topographie. Le substrat maître peut éventuellement être constitué d'un réseau de micro bobines. Lorsque le substrat maître présente une surface structure par topographie, c'est-à-dire non plane, cette topographie particulière peut être mise à profit pour imprimer une forme complémentaire au film final. Lorsque l'on souhaite former un film plan à partir d'un tel substrat maître, il est nécessaire de planariser celui-ci au préalable, soit par retrait de matière (par exemple au moyen d'un polissage mécano-chimique pour supprimer les plots), soit par ajout de matière (par exemple au moyen d'une technique pour combler les cavités). Nano / microparticules magnétiques En référence à la figure 1B, on apporte sur la face magnétiquement structurée du substrat maître 1 des nano ou des microparticules magnétiques. Cet apport de particules peut être réalisé par toute technique appropriée ; il peut s'agir par exemple d'un saupoudrage (dans le cas d'une poudre sèche de particules), d'une coulée (dans le cas de particules en suspension dans un fluide), etc. Sous l'effet de la force magnétophorétique attractive de la face magnétiquement structurée du substrat maître, les particules s'agglomèrent aux bords des micro-sources. Les agglomérats se répartissent donc selon un motif qui correspond au motif des bords des micro-sources de champ magnétique du substrat maître. Dans la mesure où la force décroît au fur et à mesure que l'on s'éloigne de la face du substrat maître, ces agglomérats présentent généralement une section triangulaire ou trapézoïdale, avec une base plus large du côté du substrat maître 1 et diminuant avec la distance. Pour favoriser l'ordonnancement des particules non uniquement dans un plan mais aussi dans une direction perpendiculaire au substrat maître, il est possible d'appliquer simultanément un champ magnétique externe présentant une direction appropriée. Lors du dépôt des particules, on agite avantageusement le substrat maître de manière à optimiser le piégeage des particules aux bords des micro-sources de champ magnétique. Par ailleurs, pendant ou après le dépôt, on peut projeter un jet de gaz sec pour favoriser le piégeage des particules au niveau desdites interfaces et/ou éliminer les particules non piégées avant le dépôt de la matrice non magnétique. Selon un mode de réalisation, les particules sont en un matériau magnétique doux. Dans ce cas, pendant l'utilisation du film les contenant, il sera nécessaire d'appliquer un champ magnétique externe pour les aimanter. Selon un autre mode de réalisation, les particules sont en un matériau magnétique dur. Dans ce cas, l'application, après la formation du film, d'un champ magnétique externe permettra de les aimanter de manière permanente et ainsi de former un film magnétiquement structuré autonome. Matrice non magnétique Lorsque les particules ont été apportées sur le substrat maître au moyen d'un fluide, on évapore ledit fluide une fois que les particules se sont ordonnées sous l'effet de la force magnétophorétique. En référence à la figure 1C, on coule ou l'on dépose ensuite, sur les particules agglomérées sur le substrat maître, une matrice en un matériau non magnétique sous la 30 forme d'une couche mince. La matrice se présente avantageusement sous la forme d'un fluide, qui, une fois versé sur le substrat maître, peut être réparti sur la surface de celui-ci par un procédé d'enduction centrifuge (ou « spin coating » selon la terminologie anglo-saxonne). L'épaisseur de la matrice est typiquement comprise entre 100 nm et 5 mm. De manière avantageuse, la matrice est en un matériau élastomère, ce qui permet de conférer au film une certaine flexibilité. Cependant, dans d'autres applications, une matrice rigide peut être préférable. Selon des modes de réalisation préférés de l'invention, la matrice est en l'un des matériaux suivants : polydiméthylsiloxane (PDMS), résine époxy, caoutchouc, bakélite, polyméthacrylate de méthyle (PMMA), résine photosensible (par exemple SU-8), parylène, oxydes tels que SiO2, A1203, métaux, tels que Cu, Ag, matériaux carbonés tel que le graphite ou le DLC (acronyme du terme anglo-saxon « Diamond-Like Carbon »), etc. Si nécessaire, on laisse la matrice durcir ou réticuler pendant une durée appropriée. En fonction des applications ultérieures du film, il peut être opportun de choisir pour la matrice un matériau biocompatible (e.g. PDMS), ou d'ajouter une fine couche d'un matériau biocompatible (par exemple, couche de PDMS par « spin coating », couche de parylène par dépôt en phase vapeur). Par ailleurs, la matrice peut être avantageusement être en un matériau transparent ou translucide. L'homme du métier est à même de sélectionner une matrice appropriée parmi les produits disponibles sur le marché en fonction des propriétés recherchées. Film obtenu En référence à la figure 1 D, on délamine le film constitué de la matrice et des agglomérats de particules magnétiques vis-à-vis du substrat maître 1. Le substrat maître peut quant à lui être réutilisé pour la fabrication d'un nouveau film. Ainsi, bien que le substrat maître nécessite la mise en oeuvre de techniques de microfabrication et présente par conséquent un certain coût, il peut être réutilisé indéfiniment et la fabrication du film lui-même, qui n'implique pas de telles techniques complexes et onéreuses, ne met en oeuvre que des matériaux peu coûteux. Ce procédé est en outre aisément industrialisable et permet de réaliser des films de grande surface et en grande quantité à bas coût. Selon une forme d'exécution de l'invention, on peut déposer sur le substrat maître, avant d'apporter les particules, une couche d'un matériau permettant de faciliter le délaminage du film. Cette couche d'aide au délaminage reste de préférence solidaire du substrat maître lors du délaminage. Cette couche est par exemple réalisée en parylène, en Téflon®, etc. La figure 1E illustre un mode de réalisation du procédé dans lequel ont été successivement déposés sur le substrat maître 1 la couche 5, les particules 2 et la matrice non magnétique 3. Même une très faible épaisseur de la couche 5 permet de remplir les fonctions évoquées ci-dessus. Ainsi, par exemple, la couche 5 peut présenter une épaisseur inférieure à 1 mm, de préférence comprise entre 10 nm et 10 pm, de manière encore préférée entre 50 nm et 500 nm. Selon un mode de réalisation illustré aux figures 2A à 2D, la face magnétiquement structurée du substrat maître 1 n'est pas plane mais présente au moins un plot ou une cavité dont le négatif sera présent sur le film. Dans l'exemple non limitatif illustré à la figure 2A, la face magnétiquement structurée 10 du substrat maître 1 présente un plot en relief 10', la surface du plot étant constituée d'une pluralité de micro-sources de champ magnétique 10a, 10b. Par exemple, ledit plot peut présenter une forme parallélépipédique. Selon les applications visées, le reste de la surface du substrat maître peut également être magnétiquement structurée, mais il est aussi envisageable que seule la surface du plot 10' soit magnétiquement structurée ; dans ce dernier cas, les nano ou microparticules apportées ne s'aggloméreront qu'aux bords des micro-sources magnétiques constituant la surface du plot 10', le reste de la surface du substrat maître ne retenant pas de particules. Comme expliqué plus haut, on apporte sur le substrat maître les nano ou microparticules magnétiques, qui s'ordonnent et s'agglomèrent en structures tridimensionnelles 20 aux bords des micro-sources de champ magnétique 10a, 10b (figure 2B). Ensuite, en référence à la figure 2C, on dépose la matrice non magnétique 3 sur le substrat maître. A l'issue du délaminage, le film 4 ainsi obtenu illustré à la figure 2D présente donc une cavité 40 complémentaire du plot 10' du substrat maître. Selon la forme du bossage, le film comporte ainsi un ou plusieurs puits, ou un ou plusieurs canaux. A partir d'un tel film, on peut donc former un micro-canal fluidique. A cet effet, comme illustré à la figure 3, il suffit d'appliquer contre ledit film 4 un film plan 4' ou toute autre structure permettant de former la quatrième paroi de la cavité 40. De manière avantageuse, ledit film plan 4' peut également être fabriqué selon l'invention et comprendre à sa surface des structures magnétiques tridimensionnelles 20'. Ainsi, on forme à partir des films 4 et 4', un dispositif 6 comprenant un micro-canal 60 qui présente, sur deux parois opposées 61a et 61b, une surface magnétiquement structurée. Un traitement de surface peut permettre d'assurer l'étanchéité des deux films. Par exemple, lorsque les deux films possèdent une matrice en PDMS, on peut effectuer une activation des surfaces par un plasma d'oxygène. Grâce à la présence de structures magnétiques tridimensionnelles sur les deux faces 61a et 61b du micro-canal 61, le piégeage de nano ou microparticules dans une solution circulant dans ledit micro-canal est améliorée. Naturellement, la nature des particules magnétiques, ainsi que leur répartition par rapport à la surface de chaque paroi, peuvent être identiques pour chacune des deux parois ou bien être différentes. La figure 4 illustre un autre exemple d'application du film 4 de la figure 1D. Lorsque la matrice 3 est en un matériau flexible, par exemple un élastomère, il est possible de rouler le film sur lui-même pour former un tube. Selon l'utilisation visée, on peut rouler le film 4 de sorte à ce que les structures magnétiques tridimensionnelles soient situées sur la paroi extérieure du tube 7 ou sur la paroi intérieure de celui-ci (comme illustré à la figure 4). Résultats expérimentaux Le procédé décrit plus haut a été mis en oeuvre pour fabriquer un film de PDMS renfermant des microparticules de NdFeB. De telles particules sont par exemple commercialisées par la société Magnequench sous la référence MQFP-B. Ces particules présentent une forme irrégulière et un diamètre variant entre 1 et 10 pm, autour d'un diamètre moyen de l'ordre de 5 pm. Ces particules, qui sont formées de nanocristaux orientés aléatoirement sont magnétiquement isotropes (pOMr de l'ordre de 0,8 T). Comme expliqué en détail plus haut, ces particules ont été apportées sur la face magnétiquement structurée d'un substrat maître (les micro-sources étant agencées sous la forme d'un échiquier dont chaque case est un carré de 100 pm de côté), puis une matrice de 30 PDMS a été déposée. Dans cet exemple, les structures tridimensionnelles présentent une profondeur (dans l'épaisseur du film) de l'ordre de 5 pm et une largeur maximale (au niveau de la face du film préalablement en contact avec le substrat maître) de l'ordre de 20 pm. Des structures adjacentes sont séparées par un intervalle de 100 pm environ, qui 35 correspond à la largeur des micro-sources de champ magnétique du substrat maître. La figure 5A est une image en vue de dessus du film par microscope optique. On peut y voir les structures 20 se répartissant sous la forme d'un motif carré correspondant aux bords des micro-sources de champ magnétique. Après fabrication, le film a été exposé à un champ magnétique externe de 4 T, de sorte à aimanter les particules de NdFeB. En effet, le champ magnétique du substrat maître est, dans ce cas, trop faible pour aimanter de manière suffisamment durable ces particules hautement anisotropes. Pour montrer que le film ainsi formé peut être employé pour piéger des microparticules magnétiques, une solution à base de microsphères de polystyrène fluorescentes présentant un diamètre de 2,9 pm et contenant environ 30% en volume d'inclusions superparamagnétiques fer-oxyde commercialisées par la société Micro-particles GmbH, a été déposée sur le film et laissée à sécher. Des mesures d'aimantation effectuées sur ces microsphères montrent que les inclusions de fer-oxyde présentent une taille de 3.3 nm ± 3 nm (écart-type). Une image par fluorescence en vue de dessus (figure 5B) montre clairement que les microsphères 200 ont été piégées au niveau des régions du film dans lesquelles les structures tridimensionelles de NdFeB sont encapsulées. REFERENCES [Walther09] A. Walther, C. Marcoux and B. Desloges, R. Grechishkin, D. Givord and N. M. Dempsey, J. Magn. Mag. Mat. 321 (2009) 590 [Dempsey07] N.M. Dempsey, A. Walther, F. May, D. Givord, K. Khlopkov, O. Gutfleisch, Appl. Phys. Lett. 90 (2007) 092509 [Walther08]. A. Walther, D. Givord, N.M. Dempsey, K. Khlopkov and O. Gutfleisch, J. Appl. Phys.103 (2008) 043911 D. Issadore et al, « Self-Assembled magnetic filter for highly efficient immunomagnetic separation », Lab Chip, 2011, 11, pp. 147-151 [Dumas-Bouchiat10] F. Dumas-Bouchiat et al., App. Phys. Lett. 96, 102511 (2010)30 REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'un film (4) comprenant une matrice (3) non magnétique et une pluralité de microstructures magnétiques tridimensionnelles (20) ordonnées au sein de ladite matrice selon un motif déterminé, comprenant les étapes de : - fourniture d'un substrat (1), dit substrat maître, comprenant une face (10) dite magnétiquement structurée constituée d'une pluralité de micro-sources (10a, 10b) de champ magnétique, présentant un gradient de champ magnétique compris entre 102 et 106 T/m, - apport, sur la face (10) magnétiquement structurée dudit substrat maître, de micro ou nanoparticules magnétiques (2), lesdites particules s'agglomérant en microstructures tridimensionnelles ordonnées (20) sous l'effet de la force magnétophorétique attractive exercée par le gradient de champ magnétique à la surface du substrat maître, - dépôt sur la face (10) magnétiquement structurée du substrat maître, d'une matrice (30) d'un matériau non magnétique, de sorte à englober lesdites microstructures ordonnées et former ledit film (4), - délaminage dudit film (4) vis-à-vis du substrat maître. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'avant le dépôt des micro ou nanoparticules magnétiques (2), on dépose sur la face (10) magnétiquement structurée du substrat maître (1) une couche (5) de sorte à faciliter le délaminage ultérieur du film (4) vis-à-vis du substrat maître (1). 3. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que ladite matrice (3) est en un matériau élastomère. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que ladite matrice (3) est en polydiméthylsiloxane, en résine époxy, en caoutchouc, en bakélite, en polyméthacrylate de méthyle (PMMA), en résine photosensible, en parylène, en oxyde tel que SiO2, A1203, Hf02, en métal tel que Cu, Ag, ou en matériau carboné, tel que le graphite, ou le DLC. 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que pendant ou après le dépôt desdites micro ou nanoparticules sur le substrat maître, on agite ledit substratmaître (1) et/ou les particules (2) de sorte à optimiser la répartition des micro ou nanoparticules vis-à-vis des micro-sources de champ magnétique. 6. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'avant le dépôt de la matrice (3) non magnétique, on applique un jet de gaz sur le substrat maître (1), de sorte à optimiser la répartition des micro ou nanoparticules vis-à-vis des micro-sources de champ magnétique et/ou à éliminer les particules non piégées par le champ magnétique du substrat maître. 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le film (4) présente deux faces opposées entre lesquelles le facteur de remplissage en micro ou nanoparticules varie, la face préalablement au contact du substrat maître présentant à son voisinage un facteur de remplissage supérieur au facteur de remplissage au voisinage de la face opposée. 8. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'on enroule le film de sorte à former un tube (7). 9. Procédé selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que la face (10) magnétiquement structurée du substrat maître présente au moins une cavité et/ou au moins un plot (10'), de sorte qu'après le délaminage, le film (4) présente un plot et/ou une cavité (40) complémentaire de la cavité et/ou du plot (10') du substrat maître. 10. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que les micro ou nanoparticules sont en un matériau magnétique doux. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que les micro ou nanoparticules sont en Fe, CoFe, NiFe, Fe304, ou Fe2O3. 12. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que les micro ou nanoparticules sont en un matériau magnétique dur. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que les micro ou nanoparticules sont en NdFeB, FePt, SmCo, BaFe12019,SrFe12019, ou CoFe2O4.35 14. Procédé selon l'une des revendications 12 ou 13, caractérisé en ce que l'on soumet le film (4) à un champ magnétique externe de sorte à aimanter de manière permanente les microstructures magnétiques tridimensionnelles (20). 15. Procédé selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que la taille caractéristique moyenne des micro ou nanoparticules magnétiques est comprise entre 10 nm et 100 pm. 16. Procédé selon l'une des revendications 1 à 15, caractérisé en ce qu'une dimension desdites microstructures magnétiques tridimensionnelles (20) dans un plan parallèle à la face magnétiquement structurée du substrat maître est comprise entre 10 nm et 500 pm. 17. Procédé selon l'une des revendications 1 à 16, caractérisé en ce que la dimension desdites microstructures magnétiques tridimensionnelles (20) dans un plan perpendiculaire à la face magnétiquement structurée du substrat maître est comprise entre 10 nm et 1 mm. 18. Procédé de fabrication d'un dispositif magnétique comprenant une pluralité de micro-aimants, comprenant la fabrication d'un film selon l'une des revendications 1 à 17 et 20 l'application d'un champ magnétique externe audit film de sorte à aimanter les microstructures magnétiques tridimensionnelles enfermées dans la matrice de celui-ci. 19. Procédé selon la revendication 18, caractérisé en ce que l'on fabrique un film (4) comprenant au moins une cavité (40), et en ce que l'on ferme ladite cavité pour former un 25 canal micro-fluidique (60) en assemblant ledit film (4) avec un film (4') présentant une surface magnétiquement structurée, ledit canal micro-fluidique (60) présentant ainsi deux parois magnétiquement structurées (61, 62). 20. Film (4) comprenant une matrice (3) non magnétique et une pluralité de 30 microstructures magnétiques tridimensionnelles (20) ordonnées au sein de ladite matrice (3) selon un motif déterminé, lesdites microstructures étant constituées d'un agglomérat de micro ou nanoparticules magnétiques. 21. Film selon la revendication 20, caractérisé en ce que la matrice est en un matériau 35 choisi parmi du polydiméthylsiloxane (PDMS), de la résine époxy, du caoutchouc, de labakélite, du polyméthacrylate de méthyle (PMMA), de la résine photosensible, du parylène, des oxydes tel que SiO2, A1203, des métaux tels que Cu, Ag, et des matériaux carbonés, tels que le graphite, et les DLC. 22. Film selon l'une des revendications 20 ou 21, caractérisé en ce qu'une dimension desdites microstructures magnétiques tridimensionnelles dans un plan parallèle aux faces du film est comprise entre 10 nm et 500 pm. 23. Film selon l'une des revendications 20 à 22, caractérisé en ce que la dimension desdites microstructures magnétiques tridimensionnelles dans un plan perpendiculaire aux faces du film est comprise entre 10 nm et 1 mm. 24. Dispositif comprenant une pluralité de micro-aimants, comprenant un film (4) selon l'une des revendications 20 à 23, les microstructures magnétiques tridimensionnelles étant aimantées de manière permanente ou par un champ magnétique extérieur. 25. Dispositif (6) selon la revendication 24, caractérisé en ce que le film (4) comprend au moins une cavité (40) et en ce que ledit film (4) est assemblé à un film (4') présentant une surface magnétiquement structurée, de sorte que ladite cavité (40) forme avec ledit film (4') un canal micro-fluidique (60). 26. Dispositif (7) selon la revendication 24, caractérisé en ce que le film (4) est enroulé de sorte à former un tube.25