Brevet FR2986622A1 — publié le 20130809

La présente invention concerne un circuit optique intégré (Integrated Optic Circuit) comprenant un substrat généralement planaire et au moins un guide d'onde optique. Plus précisément, l'invention concerne un circuit optique intégré (COI) comprenant des moyens pour atténuer la propagation d'ondes optiques parasites via le substrat. La fabrication de circuits optiques intégrés repose sur l'utilisation de techniques de microlithographie qui permettent une production en série. Un guide d'onde optique monomode peut être fabriqué sur un substrat planaire par des étapes de masquage et dépôt d'une bande étroite de matériau éventuellement suivies par une étape de diffusion thermique. Dans un circuit optique intégré, comme dans une fibre optique, l'effet de guidage optique est lié à une différence d'indice de réfraction entre le guide d'onde optique et le substrat, l'indice de réfraction du guide d'onde étant supérieur à celui du substrat. Différents matériaux peuvent être utilisés pour la fabrication de circuits optiques intégrés, tels que les semiconducteurs III-V, la silice sur silicium, le verre ou encore le niobate de lithium (LiNbO3) ou le tantalate de lithium (LiTaO3). Le tantalate de lithium et le niobate de lithium sont des matériaux particulièrement intéressants car ils présentent un effet électrooptique de Pockels. En disposant des électrodes de part et d'autre du guide d'onde intégré, il est possible de moduler l'indice du guide d'onde et ainsi de moduler la phase d'un signal optique se propageant dans le guide d'onde. Dans un circuit optique intégré où les électrodes sont séparées d'une dizaine de microns, l'application d'une tension de seulement quelques volts suffit pour générer un champ électrique et induire la modulation de phase souhaitée. Par comparaison, dans un modulateur de phase en optique classique, les électrodes étant séparées d'au moins un millimètre, la tension électrique nécessaire pour générer un même champ électrique entre les électrodes est de plusieurs centaines de volt. Différentes technologies de fabrication de circuit optiques intégrés sur niobate de lithium ont été développées, tout d'abord la technique de diffusion de titane (Ti) puis la technique d'échange protonique. La technique de diffusion de titane consiste à déposer une bande de titane sur la surface d'un substrat de niobate de lithium, puis à chauffer le substrat de manière à ce que le titane diffuse dans le substrat et augmente localement l'indice de réfraction. La technique de diffusion de titane requiert une température élevée (900 à 1100 °C). La technique d'échange protonique consiste à placer un cristal biréfringent de LiNbO3 dans un bain d'acide afin de remplacer des ions Li+ par des ions H+ (i.e. des protons). La technique d'échange protonique s'effectue à plus basse température que la diffusion de titane. De plus, la technique d'échange protonique sur un cristal biréfringent de LiNbO3 a pour effet à la fois d'augmenter l'indice extraordinaire du cristal, ce qui crée du guidage pour une polarisation selon l'axe extraordinaire, et de réduire l'indice ordinaire du cristal, si bien qu'une polarisation selon l'axe ordinaire n'est pas guidée. Dans les circuits LiNbO3 par échange protonique, la configuration habituelle est une coupe X, l'axe X du cristal biréfringent uniaxe de LiNbO3 étant perpendiculaire à la surface du substrat, tandis que les axes Y et Z du cristal sont parallèles à la surface. L'axe de propagation du guide d'onde est parallèle à la direction Y, et le mode TE (transverse électrique, i.e. champ électrique parallèle à la surface du substrat) est parallèle à la direction Z. Dans ce cas, le guide d'onde optique par échange protonique ne guide que l'état de polarisation TE, l'état de polarisation croisée TM (transverse magnétique, i.e. champ magnétique parallèle à la surface du substrat et donc champ électrique perpendiculaire à la surface du substrat) se propageant librement dans le substrat. La technique d'échange protonique sur niobate de lithium permet ainsi de fabriquer un polariseur sur circuit optique intégré. De nombreux circuits optiques intégrés sont ainsi fabriqués à partir de niobate de lithium : polariseur, modulateur de phase, interféromètre de MachZehnder, jonction Y, coupleurs 2x2 ou encore coupleur 3x3. Avantageusement, un même circuit optique intègre plusieurs fonctions sur un même substrat, ce qui permet d'améliorer la compacité et de réduire les connexions optiques. Les circuits optiques intégrés par échange protonique sur niobate de lithium trouvent des applications notamment dans les gyroscopes à fibre optique. Dans un circuit optique intégré, un faisceau d'entrée est généralement couplé à une extrémité d'un guide d'onde optique par l'intermédiaire d'une fibre optique. Toutefois, seuls certains modes (par exemple de polarisation) sont guidés par le guide d'onde, les autres modes se propageant librement dans le substrat. De plus, si le coeur de la fibre n'est pas parfaitement aligné avec le guide d'onde du circuit optique intégré, une partie du faisceau lumineux incident peut être couplée dans le substrat et se propager à l'extérieur du guide d'onde. Une partie de la lumière non guidée par le guide d'onde peut être réfléchie par réflexion interne totale sur une ou plusieurs faces du substrat. In fine, une partie de cette lumière non guidée peut être couplée à une fibre optique de sortie face à une autre extrémité du guide d'onde. La lumière non guidée peut ainsi perturber le fonctionnement d'un circuit optique intégré. Par exemple, dans le cas d'un polariseur à échange de protons sur niobate de lithium, le taux réjection en polarisation peut être affecté par le couplage de lumière transmise par le substrat de manière non guidée. De même, dans le cas d'un coupleur 2x2 ou 3x3, la lumière non guidée peut être couplée via le substrat d'une entrée vers une sortie du circuit optique intégré. La Figure 1 représente schématiquement une vue en perspective d'un circuit optique intégré selon l'art antérieur. Le circuit optique intégré comprend un substrat 10 planaire. Par convention dans le présent exposé, le substrat 10 comprend une face d'entrée 1, une face de sortie 2, une face inférieure 4, une face supérieure 3 et deux faces latérales 5. La face inférieure 4 et la face supérieure 3 s'étendent entre la face d'entrée 1 et la face de sortie 2. La face inférieure 4 et la face supérieure 3 sont opposées l'une à l'autre. De préférence, la face inférieure 4 et la face supérieure 3 sont planes et parallèles. De même, les faces latérales 5 sont planes et parallèles entre elles et s'étendent entre la face d'entrée 1 et la face de sortie 2. Les faces d'entrée 1 et de sortie 2 du substrat peuvent aussi être planes et polies, mais sont de préférence taillées avec un angle d'inclinaison pour éviter les rétro-réflexions parasites aux extrémités du guide d'onde. Le substrat 10 comprend un guide d'onde optique 6 rectiligne qui s'étend entre une première extrémité 7 sur la face d'entrée 1 et une deuxième extrémité 8 sur la face de sortie 2. Par convention, le guide d'onde 6 est plus proche de la face supérieure 3 que de la face inférieure 4. Dans le cas d'un polariseur à échange de protons sur niobate de lithium, le guide d'onde optique 6 est situé en dessous de la face supérieure 3 du substrat et s'étend dans un plan parallèle à la face supérieure 3. Le guide d'onde optique 6 peut être délimité par la face supérieure ou être enterré juste en dessous de cette face supérieure. Dans d'autres types de COI, le guide d'onde 6 peut être déposé sur la surface supérieure 3 ou encore s'étendre à l'intérieur du substrat, par exemple dans un plan parallèle à la surface supérieure 3, à mi-distance entre la face inférieure 4 et à la face supérieure 3. Une fibre optique d'entrée 20 et une fibre optique de sortie 30 sont couplées optiquement à la première extrémité 7 et respectivement à la deuxième extrémité 8 du guide d'onde 6. La fibre optique d'entrée 20 transmet un faisceau optique dans le circuit optique intégré. Une partie du faisceau optique est guidée par le guide d'onde. Le faisceau guidé 12 se propage jusqu'à l'extrémité 8 du guide d'onde 6 face à la fibre de sortie 30. Du fait d'une désadaptation de mode entre le coeur de la fibre optique 20 et le guide d'onde intégré 6, une autre partie du faisceau n'est pas couplée dans le guide d'onde et se propage librement dans le substrat 10. Un faisceau non guidé 14 se propage alors dans le substrat jusqu'à la face inférieure 4 du substrat. Une partie du faisceau non guidé 14 peut être réfléchie par réflexion interne totale sur la face inférieure 4. Une partie du faisceau réfléchi 16 peut alors être transmise jusqu'à l'extrémité du substrat face à la fibre de sortie 30. La fibre de sortie 30 peut ainsi collecter non seulement le faisceau optique guidé 12, mais aussi une partie du faisceau optique non guidé et réfléchi 16. La figure 1 représente uniquement une réflexion unique sur la face inférieure 4 du substrat, à mi-distance entre la face d'entrée 1 et la face de sortie 2, c'est-à-dire au centre de la face inférieure 4. D'autres réflexions internes multiples sont également possibles. La figure 2 représente une vue en coupe du circuit optique intégré de la figure 1 sur laquelle on a représenté schématiquement la répartition angulaire de la puissance lumineuse P du faisceau optique non guidé dans le substrat. Le plan de la figure 2 est défini comme étant un plan d'incidence passant par la première extrémité 7 et la deuxième extrémité 8 et perpendiculaire à la face inférieure 4. On observe qu'une partie assez élevée du faisceau optique est couplée optiquement dans le substrat. L'onde optique non guidée subit une réflexion interne totale sur la surface supérieure 3. De ce fait, l'onde optique non guidée est soumise à un effet interférométrique du type miroir de Lloyd sur la face supérieure 3 du substrat. Ceci conduit à un interféromètre à miroir de Lloyd, des interférences se produisant entre la fibre d'entrée 20 et son image virtuelle. Or la réflexion interne totale produit un déphasage de n. Par conséquent, la frange centrale de l'interférogramme, située sur la face supérieure 3 est une frange noire. Ceci explique que la densité de puissance de la lumière non guidée se propageant en direct soit drastiquement réduite juste en dessous de la face supérieure 3, où est placée la fibre optique de sortie (cf. H. Lefèvre, The fiber optic gyroscope, Artech House, 1992, Annex 3 Basics of Integrated Optics, pp. 273-284). Par conséquent, un polariseur à échange de protons devrait présenter un taux de polarisation très élevé de -80 à -90 dB en théorie. Cependant, il existe d'autres couplages du faisceau optique non guidé que la transmission directe. En effet, le substrat peut transmettre différents faisceaux non guidés se propageant par réflexion interne notamment sur la face inférieure 4, mais aussi sur la face supérieure 3 ou encore sur les faces latérales 5. Des faisceaux parasites non guidés se propageant par réflexion interne sur les faces du substrat peuvent parvenir à proximité d'une extrémité 8 de guide d'onde sur la face de sortie 2 du substrat. De manière générale, les faisceaux non guidés réfléchis à l'intérieur du substrat peuvent affecter la qualité des signaux transmis dans le guide d'onde d'un circuit optique intégré. Dans le cas d'un polariseur à échange protonique sur niobate de lithium, coupé suivant un plan X et comprenant un guide d'onde intégré suivant l'axe de propagation Y, le faisceau guidé 12 est généralement un faisceau de polarisation TE et le faisceau non guidé 14 est un faisceau de polarisation TM. Du fait des réflexions internes de lumière non guidée dans le substrat, le taux de réjection en polarisation d'un polariseur à échange protonique selon le schéma de la figure 1 est en pratique limité à environ -50 dB. Or, la qualité d'un polariseur intégré influence les performances de certaines applications, notamment dans un gyroscope à fibre optique. Il est donc nécessaire d'améliorer le taux de réjection d'un polariseur à guide d'onde intégré. De manière plus générale, il est souhaitable d'améliorer la qualité optique d'un circuit optique intégré et de réduire la quantité de lumière parasite non guidée transmise par le substrat en dehors du guide d'onde optique. Différentes solutions ont été proposées pour résoudre le problème de couplage parasite de faisceaux optiques non guidés entre une entrée de guide d'onde et une sortie de guide d'onde dans un circuit optique intégré. Il est généralement admis que la principale contribution à la lumière parasite provient de la réflexion primaire d'un faisceau non guidé 14a en un point de réflexion primaire 13a situé au centre de la face inférieure 4 entre une première extrémité 7 de guide d'onde sur la face d'entrée 1 et une seconde extrémité 8 de guide d'onde sur la face de sortie 2. Afin de supprimer la réflexion primaire sur la face inférieure d'un substrat 4, a été développé un circuit optique intégré comprenant une rainure centrale 25a disposée au milieu de la face inférieure 4 (cf. figure 3 en perspective et figure 4 en vue de dessus). Sur la figure 4, on a représenté la trace d'un plan médian 17 qui est défini comme étant un plan perpendiculaire à la face inférieure 4, perpendiculaire à un segment de droite joignant la première extrémité et la deuxième extrémité de guide d'onde et qui passe par le milieu de ce segment de droite. On définit un point milieu 18 situé au milieu du segment de droite joignant la première extrémité 7 et la deuxième extrémité 8 du guide d'onde 6. La rainure centrale 25a s'étend sur toute la largeur du substrat selon une direction perpendiculaire à la direction du guide d'onde 6. Toutefois, si une rainure centrale 25a arrête le faisceau non guidé 14a se réfléchissant au centre de la face inférieure 4 du substrat, elle n'arrête pas les réflexions internes multiples se produisant entre la face inférieure 4 et la face supérieure 3. La figure 5 représente un exemple d'une partie de faisceau optique non guidé 14b se propageant entre une première extrémité de guide d'onde 7 et une seconde extrémité 8 de guide d'onde, par double réflexion sur la face inférieure et simple réflexion sur la face supérieure pour former un faisceau parasite 16b de réflexion multiple. De ce fait, une rainure centrale sur la face inférieure du substrat permet d'améliorer le taux de réjection d'un polariseur à échange protonique de plusieurs ordres de grandeur, mais le taux de réjection reste limité en pratique à environ -65 dB. Dans le cas d'une jonction Y, le brevet US #7,366,372 propose de disposer une première rainure centrale 25a sur la face inférieure du circuit optique intégré à mi-distance entre la face d'entrée 1 et la face de sortie 2, afin de supprimer la réflexion primaire, et une deuxième rainure centrale 25b sur la face supérieure, disposée entre les branches de la jonction Y, et à mi-distance entre la face d'entrée et la face de sortie, afin de supprimer la partie du faisceau non guidé 14b se propageant par réflexion multiple dans le substrat et se réfléchissant sur le milieu de la face supérieure (voir figure 6 en vue de coupe). Toutefois, la rainure centrale 25b sur la face supérieure 3 ne doit pas couper le guide d'onde 6 et est donc limitée latéralement pour ne pas couper les branches de la jonction Y. Cette solution n'est pas généralisable à d'autres types de circuits intégrés optiques. Le document de brevet US #5,321,779 décrit un COI comprenant au moins une rainure centrale, s'étendant dans le plan médian à mi-distance entre la face d'entrée et la face de sortie du COI, et éventuellement deux rainures latérales disposées respectivement à 1/4 et 3/4 de la longueur du substrat. Selon ce document, l'effet de la rainure centrale est d'atténuer la réflexion primaire au point central. A titre complémentaire, l'effet des rainures latérales à 1/4 et 3/4 de la longueur est d'atténuer des réflexions multiples entre la face inférieure et la face supérieure. Les rainures à 1/4 et 3/4 n'affectent pas la réflexion primaire. Toutefois, on constate expérimentalement que la présence de rainures latérales à 1/4 et 3/4 de la longueur du substrat de part et d'autre d'une rainure centrale, ne réduit que marginalement le recouplage de lumière parasite non guidée, comparé à un COI ayant une seule rainure centrale. L'invention vise à proposer une solution alternative à la formation d'une rainure centrale absorbante sur la face inférieure d'un circuit intégré optique. Plus précisément, un des buts de l'invention est de proposer un circuit optique intégré à la fois robuste et permettant de réduire le taux de transmission de lumière parasite non guidée dans le substrat. Un autre but de l'invention est de réduire le taux de couplage parasite (cross-coupling) entre ports d'entrées et ports de sortie, dans un circuit intégré optique ayant plusieurs ports d'entrée et/ou plusieurs ports de sortie. La présente invention a pour but de remédier aux inconvénients des techniques antérieures et concerne plus particulièrement un circuit optique intégré comprenant un substrat, ledit substrat comportant une face d'entrée, une face de sortie, une face inférieure et une face supérieure, deux faces latérales, lesdites face inférieure, face supérieure et faces latérales s'étendant entre la face d'entrée et la face de sortie, la face supérieure étant plane et opposée à la face inférieure ; au moins un guide d'onde optique situé dans un plan parallèle à la face supérieure, ledit au moins un guide d'onde optique s'étendant entre ladite face d'entrée et ladite face de sortie ; au moins une première extrémité de guide d'onde située sur la face d'entrée du substrat et au moins une deuxième extrémité de guide d'onde située sur la face de sortie du substrat ; ledit circuit optique intégré étant apte à recevoir un faisceau optique incident sur ladite première extrémité de guide d'onde, à former un faisceau optique guidé se propageant de manière optiquement guidée et à former un faisceau optique non guidé se propageant de manière non guidée dans le substrat. Etant définis : un plan médian perpendiculaire à la face supérieure et à un segment de droite joignant la première extrémité et la deuxième extrémité de guide d'onde, ledit plan médian passant par le milieu dudit segment de droite ; un plan d'incidence perpendiculaire au plan médian, ledit plan d'incidence passant par la première extrémité et la deuxième extrémité, et un point de réflexion primaire situé sur la face inférieure à l'intersection du plan médian et du plan d'incidence. Selon l'invention, ledit circuit optique intégré comporte au moins une rainure excentrée par rapport au plan médian, ladite au moins une rainure excentrée s'étendant à partir de la face inférieure vers l'intérieur du substrat, ladite au moins une rainure excentrée étant située à une distance d non nulle dudit plan médian, ladite au moins une rainure excentrée remplaçant une rainure centrale située dans le plan médian et ladite au moins une rainure excentrée ayant une hauteur h dans le plan d'incidence, ladite hauteur h étant supérieure à une hauteur minimum hrmin telle que : h- mi. 2xexd ex2 2 où L représente la longueur du substrat, e l'épaisseur du substrat, d la distance entre ladite rainure excentrée et le plan médian, X, la longueur d'onde dans le matériau du faisceau optique non guidé dans le substrat et D est égal à (L/2-d), ladite au moins une rainure excentrée étant apte à atténuer ledit faisceau optique non guidé transmis par ledit substrat entre ladite première extrémité et ladite deuxième extrémité. Selon différents aspects particuliers et avantageux de l'invention : - ladite au moins une rainure excentrée a une largeur w telle que : w >> 2 2 x Os x (0's - os ) de manière à limiter l'angle de diffraction sur le fond de la rainure excentrée, où O représente l'angle d'incidence rasante d'un faisceau optique non guidé sur le fond de ladite rainure excentrée et O's représente l'angle formé entre la face supérieure du substrat et un segment allant du milieu du fond de la rainure à la deuxième extrémité du guide d'onde ; - ladite au moins une rainure excentrée s'étend dans un plan parallèle au plan médian ; - ladite au moins une rainure excentrée s'étend dans un plan parallèle à la face d'entrée et/ou à la face de sortie du substrat ; - ladite au moins une rainure excentrée comporte un fond plat ; - ledit fond plat présente une surface de poli optique de manière à limiter la diffusion vers la seconde extrémité ; Selon d'autres aspects particuliers : - le circuit optique intégré comporte une et une seule rainure excentrée s'étendant à partir de la face inférieure vers l'intérieur du substrat ; - ladite au moins une rainure a une section rectangulaire, trapézoïdale ou en queue d'aronde ; - ladite au moins une rainure excentrée s'étend depuis une face latérale du substrat jusqu'à la face latérale opposée du substrat. Selon un mode de réalisation préféré, ledit substrat est un cristal de niobate de lithium et ledit au moins un guide d'onde est un guide d'onde polariseur formé par échange protonique. L'invention trouvera une application particulièrement avantageuse dans un circuit intégré de type polariseur à échange protonique. La présente invention concerne également les caractéristiques qui ressortiront au cours de la description qui va suivre et qui devront être considérées isolément ou selon toutes leurs combinaisons techniquement possibles. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, détails, caractéristiques et avantages de celle-ci apparaîtront plus clairement au cours de la description d'un (des) mode(s) de réalisation particulier(s) de l'invention donné(s) uniquement à titre illustratif et non limitatif en référence aux dessins annexés. Sur ces dessins : - la figure 1 représente schématiquement une vue en perspective d'un circuit optique intégré selon l'art antérieur ; - la figure 2 représente schématiquement la répartition angulaire de la puissance lumineuse P d'un faisceau optique non guidé dans un circuit optique intégré tel que celui de la figure 1 vu en coupe ; - la figure 3 représente schématiquement une vue en perspective d'un circuit optique intégré comprenant une rainure centrale selon l'art antérieur ; - la figure 4 représente schématiquement une vue de dessus d'un circuit optique intégré à rainure centrale selon l'art antérieur ; - la figure 5 représente schématiquement la propagation d'un faisceau optique non guidé dans un COI à rainure centrale selon l'art antérieur ; - la figure 6 représente schématiquement une vue en coupe d'une jonction Y comprenant une rainure sur la face inférieure et une rainure sur la face supérieure selon l'art antérieur ; - la figure 7 représente schématiquement une vue en coupe d'un circuit optique intégré comprenant une rainure centrale sur la face inférieure et un faisceau parasite de réflexion spéculaire sur le fond de la rainure centrale ; - la figure 8 représente schématiquement une vue en coupe d'un circuit optique intégré comprenant une rainure centrale sur la face inférieure, une rainure centrale sur la face supérieure et des faisceaux parasites de réflexion spéculaire sur les fonds des deux rainures centrales ; - la figure 9 représente schématiquement une vue en coupe d'un circuit optique intégré selon un mode de réalisation préféré de l'invention ; - les figures 10-A et 10-B représentent schématiquement une vue en coupe d'un circuit optique intégré en considérant la diffraction ; - la figure 11 représente schématiquement une vue en coupe d'un circuit optique intégré en considérant la diffraction et la diffusion. Une constatation faisant partie de la présente invention est que dans un circuit intégré comprenant une rainure centrale 25a, tel que représenté sur les figures 3 à 6, une fraction résiduelle de lumière parasite peut néanmoins être couplée optiquement entre une première extrémité 7 de guide d'onde sur la face d'entrée 1 et une seconde extrémité 8 de guide d'onde sur la face de sortie 2. La figure 7 représente une vue en coupe d'un circuit optique intégré à rainure centrale. Le circuit optique intégré comprend un substrat, ayant une face d'entrée 1, une face de sortie 2, une face inférieure 4 et une face supérieure 3. La face inférieure 4 et la face supérieure 3 sont planes et parallèles. Le substrat comporte aussi deux faces latérales 5 parallèles au plan de la figure. Sur la figure 7, le circuit optique intégré comporte aussi un guide d'onde optique 6 ayant une première extrémité 7 sur la face d'entrée 1 et une deuxième extrémité 8 sur la face de sortie 2. Dans le reste de la description, on suppose que les extrémités 7 et 8 sont situées quasiment dans le plan de la face supérieure 3. Le plan de la figure 7 est un plan passant par les deux extrémités de guide d'onde 7 et 8 et perpendiculaire à la face inférieure 3 et/ou supérieure 4. On définit un plan médian 17 perpendiculaire à la face inférieure 4 et passant par le milieu d'un segment de droite joignant la première extrémité 7 et la deuxième extrémité 8. Autrement dit, le plan médian 17 est situé à mi-distance de la face d'entrée 1 et de la face de sortie 2. Le plan médian 17 est perpendiculaire au plan de la figure 7. La trace du plan médian 17 est représentée sur la figure 7 par une ligne tirets-point. Le repère XYZ représente un système de coordonnées cartésien : l'axe Y s'étend dans le plan de la face supérieure 3 parallèlement au segment de droite joignant la première extrémité 7 et la deuxième extrémité 8 ; l'axe X est perpendiculaire à l'axe Y et parallèle au plan d'incidence et l'axe Z est perpendiculaire au plan d'incidence. Dans la cas d'un COI par échange protonique, ce repère XYZ correspond aux axes cristallins du niobate de lithium. Sur la figure 7, le circuit optique intégré comporte une rainure centrale 25a s'étendant dans le plan médian 17 à partir de la face inférieure 4 vers l'intérieur du substrat. La rainure centrale 25a est généralement fabriquée au moyen d'une scie et présente un fond 26. La rainure centrale 25a est communément remplie d'un matériau optiquement absorbant. Une constatation faisant partie de la présente invention est que dans un circuit intégré comprenant une rainure centrale 25a, tel que représenté sur les figures 3 à 6, une fraction résiduelle de lumière parasite peut néanmoins être couplée optiquement entre une première extrémité 7 de guide d'onde sur la face d'entrée 1 et une seconde extrémité 8 de guide d'onde sur la face de sortie 2. En effet, une partie du faisceau de lumière non guidé 14s peut former un faisceau parasite 16s par réflexion spéculaire sur le fond 26 de la rainure centrale 25a (cf. Figure 7). Une partie du faisceau non guidé 14s peut être réfléchie spéculairement sur le fond 26 d'une rainure centrale 25a, c'est-à-dire la facette supérieure 26, même lorsque cette rainure est doucie ou remplie d'un matériau absorbant. La rainure centrale 25 étant disposée dans le plan médian 17, le fond 26 de la rainure centrale 25 se trouve également dans le plan médian 17. De même, dans le cas d'une jonction Y comprenant une rainure centrale 25a sur la face inférieure 4 et une rainure centrale 25b sur la face supérieure 3, une autre partie du faisceau de lumière non guidé 14r peut aussi former un faisceau parasite par réflexion spéculaire 16r sur le fond de la rainure centrale 25b sur la face supérieure du substrat en direction de la face de sortie du circuit optique intégré (cf. Figure 8). Du fait de la symétrie du dispositif par rapport à la rainure centrale, l'angle de la réflexion spéculaire sur le fond de la rainure centrale produit un faisceau réfléchi 16s et/ou 16r qui est dirigé vers la deuxième extrémité 8 du guide d'onde 6. Par symétrie, les faisceaux 16s et 16r sont ainsi couplés dans le coeur de la fibre optique de sortie 30. Il résulte de la présente analyse que la contribution de la lumière parasite par réflexion spéculaire sur le fond d'une rainure n'est nullement négligeable. Un autre aspect de l'analyse du fonctionnement d'un COI à rainure centrale concerne la puissance relative des faisceaux non guidés 14a et 14s de la figure 7. Une rainure centrale 25a contribue à rapprocher localement la surface réfléchissante de la face inférieure vers une zone où la puissance du faisceau optique non guidé est plus élevée. De plus, l'angle d'incidence rasante 05 sur le fond d'une rainure centrale est inférieur à l'angle d'incidence du faisceau de réflexion primaire 14a sur le centre de la face inférieure. Tous ces éléments démontrent que la présence d'une rainure centrale 25a ne permet pas d'éliminer complètement la lumière parasite se propageant via le substrat entre la première extrémité et la deuxième extrémité de guide d'onde. Sur la figure 9, on a représenté une vue en coupe d'un COI selon un premier mode de réalisation de l'invention. Le COI ne comporte pas de rainure centrale mais comporte en remplacement une rainure excentrée 40, ladite rainure excentrée 40 étant décalée d'une distance d par rapport au plan médian 17 en direction de la face de sortie 2. On définit les paramètres suivant : - L : longueur du substrat entre la face d'entrée et la face de sortie ; - e : épaisseur du substrat prise entre la face inférieure et la face supérieure ; - d : distance entre le plan médian et le début de la rainure excentrée ; - w : largeur de la rainure dans le sens de la longueur du substrat ; - h : hauteur de la rainure dans le sens de l'épaisseur du substrat ; Os : angle d'incidence rasante sur le fond de la rainure ; OD: angle de diffraction. Le plan médian 17 est situé à une distance égale à L/2 de la face d'entrée 1 et de la face de sortie 2. Le circuit optique intégré de la figure 9 étant dépourvu de rainure centrale, la réflexion spéculaire parasite 16s sur le fond de la rainure 40 dirigée vers la deuxième extrémité de guide d'onde s'en trouve décalée. Avantageusement, la rainure excentrée est définie par un ou plusieurs paramètres afin d'optimiser l'atténuation des faisceaux optiques non guidés : un premier paramètre concerne la hauteur de la rainure excentrée et un deuxième paramètre concerne la largeur de la rainure excentrée. Une première condition sur la hauteur de la rainure excentrée s'exprime comme suit. La face 41 de la rainure excentrée 40 du côté du plan médian doit avoir une hauteur h supérieure à une hauteur h1 de manière à intercepter et absorber le faisceau 16a provenant de la réflexion primaire du faisceau optique non guidé 14a à l'intersection du plan médian et du plan d'incidence sur la face inférieure 4, c'est-à-dire au point de réflexion primaire 13a. Cette hauteur h1 est définie comme suit : h1 = 2xexd L De plus, la hauteur de la rainure doit permette d'éviter la contribution d'un faisceau réfléchi en un point de réflexion 13c sur la face inférieure 4 et diffracté, par diffraction de bord d'écran, dite diffraction de Fresnel, sur le bord 45 de la rainure excentrée situé à l'intersection de la face latérale 41 et du fond 43. Tenant compte de ces deux contributions, la hauteur minimum hrmin de la rainure excentrée 40 est définie comme suit : han =h1+~D2 d'où 2xexd mm L 2 où D représente la distance entre la face de sortie 2 et un point 45 tangent au fond de la rainure excentrée 40, le long d'une droite 16c et X, représente la longueur d'onde dans le matériau dudit faisceau optique non guidé dans le substrat. Rappelons que d représente la distance entre le plan médian 17 et la face 41 de la rainure excentrée 40, la face 41 étant la face la plus proche du plan médian 17. On a D -1/2- d . En pratique, on utilise une rainure excentrée ayant une hauteur égale à environ 1,5x 2xexd . Dans un exemple de réalisation, la distance d est égale à L/6 et l'épaisseur e du substrat est égale à 1mm, la hauteur h de la rainure excentrée est égale à environ 500 ilm. Sur les figures 10-A et 11, on a représenté schématiquement un secteur angulaire de lumière 19 autour du faisceau de réflexion spéculaire 16s sur le fond de la rainure excentrée 40. L'angle au sommet du secteur angulaire 19 dépend de phénomènes de diffraction sur le fond de la rainure, comme nous allons le détailler en lien avec les figures 10-A, 10-B et 11. Pour plus de clarté, on n'a pas représenté le secteur angulaire de lumière 19 sur la figure 10-B. Les figures 10-A, 10-B représentent un COI à rainure excentrée comme défini ci-dessus. Sur la figure 10-A, la référence 19 représente le secteur angulaire de diffraction du faisceau optique non guidé 16d réfléchi sur le fond de la rainure excentrée 40. C'est équivalent à une diffraction de Fraunhofer par une fente sur le fond de la rainure excentrée, la fente ayant une largeur apparente w'=w x O. L'angle OD du secteur angulaire de diffraction 19 est donc : OD d'où OD W X Os Le faisceau de diffraction 19 a une divergence d'autant plus grande que la largeur w de la rainure excentrée 40 est faible. Par conséquent, une deuxième condition est que la largeur w de la rainure excentrée 40 doit être suffisamment grande pour réduire l'angle OD du secteur angulaire de diffraction 19 de manière à ce que la deuxième extrémité 8 soit située en dehors de ce secteur angulaire de diffraction. On peut définir un segment 16d allant du milieu du fond 43 de la rainure 40 à l'extrémité 8 du guide d'onde (cf figure 10-B), Ce segment 16d forme un angle O's avec la face supérieure 3 du substrat. Sur la figure 10B, on peut définir la distance d' entre le plan médian 17 et le milieu de la rainure 40, on a d'=d+w/2. On a alors : (e - h)' - h) 0 - et 0 - ( s L/ D f L'angle OD doit respecter : 0-2 « (e'- es) 2 x Os x (0's - os ) Dans un exemple de réalisation, l'épaisseur e du substrat est égale à 1 mm, la hauteur h de la rainure est égale à 0,5 mm, la longueur du substrat est de 36mm, la longueur d'onde X, du faisceau non guidé dans le matériau est égale à 0,7 pm (1,5 pm dans le vide avec un indice de 2,15 pour le niobate de lithium), la distance d' est égale à L/6 soit 6mm. La largeur w de la rainure excentrée 40 doit alors être supérieure à environ 800 pm. Sur la figure 11, on a représenté un COI de largeur w importante de manière à réduire l'ouverture du secteur angulaire de diffraction 19. La rainure excentrée 40 présente un fond plat 43, fabriqué par exemple par une scie, un laser de découpe. Le fond plat 43 de la rainure excentrée contribue à la diffusion du faisceau réfléchi 16s dans un cône de diffusion 21. Selon un mode de réalisation préféré, le fond plat 43 de la rainure excentrée 40 est poli et non douci, de manière à réduire la puissance lumineuse dans le cône de diffusion 21. Le circuit optique intégré à rainure excentrée peut être utilisé dans les deux sens de propagation des signaux optiques. Selon un mode de réalisation préféré, le circuit optique intégré comporte une et une seule rainure excentrée à une distance d égale à 1/6 de la longueur L du substrat. Dans les exemples de réalisation des figures 9 à 11, la rainure excentrée 40 est perpendiculaire au plan de la figure. Avantageusement, ladite rainure excentrée s'étend selon une direction transverse au segment de droite joignant la première extrémité 7 de guide d'onde et la deuxième extrémité 8 de guide d'onde. Dans un mode de réalisation particulier, la rainure excentrée s'étend parallèlement à la face d'entrée 1 depuis une face latérale 5 du substrat jusque la face latérale 5 opposée du substrat. Selon des aspects particuliers, la rainure excentrée 40 a une section rectangulaire, une section carrée, une section en queue d'aronde, une section polygonale. Avantageusement encore, la rainure excentrée est remplie d'un matériau optiquement absorbant ou opaque. Selon une variante de ce mode de réalisation, le COI comporte deux rainures excentrées disposées symétriquement par rapport au plan médian, les deux rainures excentrées étant éloignées l'une de l'autre d'une distance D'où : 2 w >> égale à un tiers de la longueur L du substrat. Dans ce mode de réalisation à deux rainures excentrées, le COI est aussi dépourvu de toute rainure centrale (25a et/ou 25b). Avantageusement, le circuit optique intégré comporte une deuxième rainure excentrée disposée entre la face d'entrée 1 et le plan médian 17. Par exemple, la deuxième rainure excentrée est disposée symétriquement de la première rainure excentrée 40 par rapport au plan médian 17. Une deuxième rainure excentrée permet, de manière symétrique à la première rainure excentrée 40, d'atténuer ou de supprimer un faisceau de réflexion primaire d'un faisceau optique non guidé provenant de la deuxième extrémité 8 et se propageant dans le substrat 15 en direction de la première extrémité 7 de guide d'onde par réflexion au milieu de la face inférieure 4. La présence d'une rainure excentrée par rapport au point de réflexion primaire 13a, en remplacement d'une rainure centrale, permet de réduire drastiquement l'effet de la réflexion spéculaire primaire sur le fond de la rainure au niveau de la deuxième extrémité de guide d'onde sur la face de sortie. En effet, par comparaison avec une rainure centrale, une rainure excentrée décale cette réflexion spéculaire. L'invention permet ainsi de réduire considérablement le taux de lumière parasite transmis par réflexion primaire sur la face inférieure d'un circuit optique intégré entre une première extrémité et une deuxième extrémité de guide d'onde. Les modes de réalisation décrits ci-dessus suppriment la rainure centrale et la remplacent par une rainure excentrée, ce qui permet d'éviter les réflexions spéculaires parasites se produisant sur le fond d'une rainure centrale et qui sont, par symétrie, dirigées exactement vers la deuxième extrémité du guide d'onde. L'invention permet de réduire la transmission de lumière parasite provenant d'un faisceau optique non guidé se réfléchissant par réflexion primaire sur la face inférieure d'un circuit optique intégré. Dans le cas d'un circuit optique intégré de type polariseur formé par échange protonique sur substrat de niobate de lithium, l'invention permet d'améliorer le taux d'extinction du polariseur. L'invention s'applique avantageusement à un circuit optique intégré comprenant une pluralité de guides d'onde optiques, pour réduire le taux de couplage parasite entre une première extrémité d'un premier guide d'onde située sur la face d'entrée du COI et une autre extrémité d'un autre guide d'onde située sur la face de sortie du COI. REVENDICATIONS1. Circuit optique intégré comprenant : - un substrat (10), ledit substrat (10) comportant une face d'entrée (1), une face de sortie (2), une face inférieure (4), une face supérieure (3) et deux faces latérales (5), lesdites face inférieure (4), face supérieure (3) et faces latérales (5) s'étendant entre la face d'entrée (1) et la face de sortie (2), la face supérieure (3) étant plane et opposée à la face inférieure (4) ; - au moins un guide d'onde optique (6) situé dans un plan parallèle à la face supérieure (3), ledit au moins un guide d'onde optique (6) s'étendant entre ladite face d'entrée (1) et ladite face de sortie (2) ; - au moins une première extrémité (7) de guide d'onde située sur la face d'entrée (1) du substrat (15) et au moins une deuxième extrémité (8) de guide d'onde située sur la face de sortie (2) du substrat (15) ; - ledit circuit optique intégré étant apte à recevoir un faisceau optique incident (10) sur ladite première extrémité (7) de guide d'onde, à former un faisceau optique guidé (12) se propageant de manière optiquement guidée et à former un faisceau optique non guidé (14, 16) se propageant de manière non guidée dans le substrat, caractérisé en ce que, étant définis un plan médian (17) perpendiculaire à la face supérieure (3) et à un segment de droite joignant la première extrémité (7) et la deuxième extrémité (8) de guide d'onde, ledit plan médian (17) passant par le milieu dudit segment de droite, et un plan d'incidence perpendiculaire au plan médian (17), ledit plan d'incidence passant par la première extrémité (7) et la deuxième extrémité (8), - ledit circuit optique intégré comporte au moins une rainure excentrée (40) par rapport au plan médian (17), ladite au moins une rainure excentrée (40) s'étendant à partir de la face inférieure (4) vers l'intérieur du substrat, ladite au moins une rainure excentrée (40) étant située à une distance d non nulle dudit plan médian, ladite au moins une rainure excentrée (40) remplaçant une rainure centrale (25a) située dans le plan médian et ladite au moins une rainure excentrée (40) ayant une hauteur h dans le plan d'incidence, ladite hauteur h étant supérieure à une hauteur minimum h''n telle que :h 2xexd ex2 L 2 où L représente la longueur du substrat, e l'épaisseur du substrat, d la distance entre ladite rainure excentrée et le plan médian, X, la longueur d'onde dans le matériau du faisceau optique non guidé dans le substrat et D est égal à (L/2-d), ladite au moins une rainure excentrée (40) étant apte à atténuer ledit faisceau optique non guidé transmis par ledit substrat (10) entre ladite première extrémité (7) et ladite deuxième extrémité (8). 2. Circuit optique intégré selon la revendication 1 dans lequel ladite au moins une rainure excentrée (40) a une largeur w telle que : 2 w >> 2 x Os x (0's - os ) de manière à limiter l'angle de diffraction sur le fond de la rainure excentrée, où O représente l'angle d'incidence rasante d'un faisceau optique non guidé sur le fond de ladite rainure excentrée et O's représente l'angle formé entre la face supérieure (3) du substrat et un segment (16d) allant du milieu du fond (43) de la rainure (40) à la deuxième extrémité (8) du guide d'onde. 3. Circuit optique intégré selon la revendication 1 ou la revendication 2 dans lequel ladite au moins une rainure excentrée (40) s'étend dans un plan parallèle au plan médian (17). 4. Circuit optique intégré selon la revendication 1 ou la revendication 2 dans lequel ladite au moins une rainure excentrée (40) s'étend dans un plan parallèle à la face d'entrée (1) et/ou à la face de sortie (2) du substrat. 5. Circuit optique intégré selon l'une des revendications 1 à 4 dans lequel ladite au moins une rainure excentrée (40) comporte un fond (43) plat. 6. Circuit optique intégré selon la revendication 5 dans lequel ledit fond (43) plat présente une surface de poli optique de manière à limiter la diffusion vers la seconde extrémité (8). 7. Circuit optique intégré selon l'une des revendications 1 à 6 comportant une et une seule rainure excentrée (40) s'étendant à partir de la face inférieure (4) vers l'intérieur du substrat. 8. Circuit optique intégré selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel ladite au moins une rainure a une section rectangulaire, trapézoïdale ou en queue d'aronde. 9. Circuit optique intégré selon l'une des revendications 1 à 8 dans lequel ladite au moins une rainure excentrée (40) s'étend depuis une face latérale du substrat jusqu'à la face latérale opposée du substrat. 10. Circuit optique intégré selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel ledit substrat (15) est un cristal de niobate de lithium et ledit au moins un guide d'onde (6) est un guide d'onde polariseur formé par échange protonique.