Brevet FR2998045A1 — publié le 20140516

Dispositif pour le traitement thermique d'un matériau et enceinte comprenant un tel dispositif L'invention concerne le domaine du traitement thermique des matériaux, et plus précisément le domaine des dispositifs de régulation de la température d'un matériau. Notamment, mais non limitativement, l'invention trouvera une application particulière dans le domaine des dépôts de couches en phase vapeur. Les techniques de dépôt en phase vapeur impliquent en général une enceinte, dans laquelle sont placés un substrat et un ou plusieurs creusets contenant des matériaux à déposer sur le substrat. Les matériaux sont alors chauffés pour les faire passer en phase vapeur et les faire condenser sur le substrat en couches. Le dépôt en phase vapeur d'un matériau est une technique mise en oeuvre notamment pour la réalisation de couches minces sur un substrat pour la fabrication de cellules photovoltaïques. Cette technique permet en effet de satisfaire à des exigences telles que le contrôle de l'épaisseur des couches ainsi que la stoechiométrie des éléments réactifs que l'on rencontre pour la fabrication des cellules photovoltaïques. Cette technique présente également l'avantage d'offrir une liberté importante quant au choix des conditions, notamment la pression et la température, dans l'enceinte pour obtenir et contrôler les réactions souhaitées. Ainsi, un des enjeux importants pour les techniques de dépôt de couches minces est de parvenir à contrôler la vaporisation ou la sublimation des éléments à déposer, afin d'obtenir la quantité souhaitée de matériau déposé sur le substrat. Il existe plusieurs solutions pour chauffer le creuset. Par exemple, le creuset est placé dans un four à deux zones, séparées ou non par une porte pour libérer le gaz ou de le fermer pour confiner le gaz dans une zone. On connaît également des creuses placés dans un support en matériau conducteur, par exemple en métal ou en céramique. Le creuset est alors chauffé par effets Joule, des éléments chauffants de type résistance étant noyés dans la masse du support, et transmettant la chaleur au creuset. Il est également connu de placer directement les éléments chauffants en contact avec la paroi du creuset. Ces solutions ne permettent pas de contrôler avec une précision suffisante la température du matériau dans le creuset. En effet, tout d'abord, les éléments chauffants, le support du creuset et le creuset lui-même présentent une inertie thermique importante, qui empêche un bon contrôle de la température en fonction du temps : il faut prendre en compte le temps de montée 10 en température des éléments chauffants, ainsi que le temps de descente en température. Cette inertie est indésirable en particulier lorsqu'il s'agit de contrôler les changements de phase des matériaux et la quantité vaporisée. En effet, par exemple, lorsque la quantité vaporisée est suffisante pour la couche à former sur le substrat, il est souhaitable de stopper rapidement la vaporisation. 15 En outre, comme cela a été présenté, le creuset a en général pour vocation d'être placé dans une enceinte, qui peut elle-même comprendre des moyens de chauffage afin d'imposer une température au sein de l'enceinte et contrôler d'éventuelles réactions qui pourraient se produire entre les matériaux en phase vapeur. Par 20 conséquent, la température de l'enceinte peut influer sur celle du creuset, empêchant d'imposer une température au creuset indépendamment de la température dans l'enceinte. La présente invention vient améliorer la situation en proposant un nouveau dispositif 25 pour le traitement thermique d'un matériau, permettant notamment de contrôler avec une finesse accrue les variations de température en fonction du temps. A cet effet, selon un premier aspect, l'invention propose un dispositif pour le traitement thermique d'un matériau comprenant : 30 - un creuset formé par une paroi délimitant un volume intérieur apte à recevoir le matériau à traiter, et- - des moyens pour réguler la température du creuset, ces moyens étant en contact avec la paroi du creuset. Les moyens pour réguler la température du creuset comprennent une chambre de circulation d'un fluide et des moyens pour réguler la température du fluide, la paroi du creuset s'étendant au moins partiellement dans la chambre de circulation. Une telle structure permet de varier rapidement la température du creuset grâce au fluide dans la chambre de circulation en contact avec la paroi du creuset. Le fluide présentant en effet une inertie thermique faible, sa température peut être variée rapidement, et par conséquent celle du creuset aussi. Il est ainsi par exemple possible d'obtenir des changements de phase du matériau dans le creuset de manière plus rapide que les solutions de l'état de la technique. Avantageusement, la chambre comprend une entrée et une sortie, le fluide circulant en continu dans la chambre de circulation entre l'entrée et la sortie. La circulation en continu du fluide rend les variations de température du fluide davantage rapide, de sorte que l'inertie thermique du fluide est particulièrement négligeable, une température déterminée du fluide à chaque instant pouvant lui être imposée dans la chambre de circulation. En variante, le dispositif peut comprendre un cache amovible, permettant la mise en communication du volume intérieur du creuset avec l'environnement extérieur ou la bloquant, permettant notamment de fermer le creuset pour éviter tout échange entre l'intérieur du creuset et son environnement extérieur. Par exemple, le cache amovible se présente sous la forme d'une bague montée pivotante sur le creuset, et pouvant prendre deux positions : - une position de fermeture, dans laquelle la bague recouvre une ouverture du creuset ; une position d'ouverture, dans laquelle la bague est écartée de l'ouverture du creuset. La bague permet alors simplement et efficacement d'autoriser ou de bloquer l'échappement ou l'introduction de matériau dans le creuset. Le dispositif peut en outre comprendre un thermocouple s'étendant dans la chambre de circulation pour contrôler la température du fluide y circulant. Il est ainsi possible de contrôler puis d'ajuster en temps réel la température du fluide dans la chambre de circulation. Le dispositif peut par exemple comprendre un conduit d'injection s'étendant et débouchant dans la chambre de circulation. Le fluide est directement injecté sur la paroi du creuset pour y créer un point chaud ou froid. 10 Il est ainsi créé une différence de température entre le point chaud ou froid et tout autre point de la paroi du creuset, de manière à créer un gradient de température sur la paroi du creuset à partir du point chaud ou froid. On peut ainsi obtenir par exemple une condensation brutale dans le creuset au point froid au moment de la baisse de la 15 température. De préférence, le point chaud ou froid est situé à mi-hauteur sur la paroi du creuset. Cette disposition permet notamment d'assurer l'homogénéisation de la température sur la paroi du creuset lorsque l'on souhaite maintenir la température du creuset 20 sensiblement constante pendant une durée déterminée. Selon un deuxième aspect, l'invention propose une enceinte pour le traitement thermique d'un matériau comprenant un dispositif tel que présenté ci-dessus, le creuset débouchant à l'intérieur de l'enceinte. 25 Une telle enceinte pourra alors par exemple être le siège de réaction avec le matériau vaporisé du creuset du dispositif. Par exemple, l'enceinte pourra être mise en oeuvre pour réaliser des dépôts de couches sur un substrat. 30 La chambre de circulation s'étend par exemple au moins partiellement à l'intérieur de l'enceinte et comprend alors des moyens d'isolation thermique avec l'intérieur de l'enceinte. La température de l'enceinte n'influe alors pas sur la température du fluide dans la chambre de circulation, et par conséquent elle n'influe .pas non plus sur la température du matériau dans le creuset. Il peut ainsi par exemple être obtenu la condensation du matériau dans le creuset en appliquant au fluide une température inférieure à la température de condensation tandis que la température à l'intérieur de l'enceinte lui est supérieure. Par exemple, la matière qui n'aura pas réagi dans l'enceinte pourra être récupérée par condensation dans le creuset. Les moyens d'isolation thermique de la chambre de circulation avec l'enceinte comprennent avantageusement une chambre d'isolation thermique sous vide, la chambre de circulation s'étendant au moins partiellement dans la chambre d'isolation. Des moyens d'étanchéité peuvent être interposés entre la chambre de circulation et la chambre d'isolation thermique sous vide. La chambre d'isolation est une solution simple et peu coûteuse permettant d'obtenir l'indépendance thermique du fluide. Bien entendu, d'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée d'exemples possibles de réalisation, présentée ci- après, et des figures ci-annexées sur lesquelles : la figure 1 est une vue schématique de côté en coupe d'un dispositif pour le traitement thermique d'un matériau, la figure 2 est une vue similaire à celle de la figure 1, représentant un mode de réalisation du dispositif de la figure 1 placé dans une enceinte, la figure 3 est une vue schématique de dessus du dispositif de la figure 1, munie d'un cache dans une position de fermeture, la figure 4 est une vue similaire à celle de la figure 3 dans laquelle le cache est dans une position d'ouverture. Sur les figures 1 à 4, il est représenté un dispositif 1 pour le traitement thermique d'un matériau, notamment pour le passage d'une phase liquide ou solide à une phase vapeur, ou inversement pour le passage d'une phase vapeur à une phase liquide ou solide. Le dispositif 1 comprend un creuset 2, formé par une paroi 3 délimitant un volume intérieur 4 apte à recevoir un matériau 5 à traiter. Le matériau 5 peut être placé dans le volume intérieur 4 du creuset 2 par exemple sous forme liquide ou sous forme solide. Le dispositif 1 comprend également des moyens 6 pour réguler la température du creuset 2, ces moyens 6 étant en contact avec la paroi 3 du creuset 2. Les moyens 6 pour réguler la température comprennent avantageusement une chambre de circulation 7 d'un fluide, dans laquelle la paroi 3 du creuset 2 s'étend au moins partiellement. De préférence, la paroi 3 du creuset 2 s'étend entièrement dans la chambre de circulation 7, de sorte que le fluide circule sur l'ensemble de la paroi 3 du creuset 2. Le fluide circule en continu entre une entrée et une sortie de la chambre de circulation 7, c'est-à-dire que le flux de fluide est continu entre l'entrée et la sortie de la chambre 7. Des moyens pour réguler la température du fluide circulant dans la chambre de circulation 7 sont également prévus. Ces moyens peuvent être de tout type, et sont par exemple placés en amont de la chambre de circulation 7 par rapport au sens de circulation du fluide. Le fluide, en contact direct avec la paroi 3 du creuset, et circulant dans la chambre de circulation 7 permet ainsi d'obtenir des variations rapides de la température du creuset 2. Le dispositif 1 fait ainsi office de doigt froid, lorsque l'on souhaite refroidir le matériau 5 dans le creuset 2 pour le liquéfier ou le condenser, ou de doigt chaud, lorsque l'on souhaite chauffer le matériau 5 dans le creuset 2 pour le vaporiser ou le sublimer. On choisira avantageusement une épaisseur ainsi qu'un matériau pour la paroi 3 du creuset 2 offrant une bonne conductivité thermique. L'inertie thermique du fluide lui-même est totalement négligeable. En effet, tout d'abord, le fluide étant en circulation continue dans la chambre 7, le volume de la chambre détermine le volume de fluide dont la température doit être variée. Ce volume étant connu et fixe, des moyens pour chauffer ou refroidir le fluide, adaptés au volume de fluide dans la chambre 7, peuvent facilement être prévus pour que les variations de température de ce volume se fassent suffisamment rapidement eu égard aux réactions attendues. Les moyens pour chauffer ou refroidir le fluide peuvent être placés en amont de la chambre de circulation 7, de sorte que le fluide circule dans le dispositif 1 à une température imposée à chaque instant. Par ailleurs, le fluide pourra être un liquide ou un gaz. Il pourra par exemple être de l'air, de l'eau ou tout autre élément. La nature du fluide pourra être changée au cours du temps, selon que l'on souhaite chauffer ou refroidir le creuset 2, par exemple en tenant compte des propriétés thermiques des fluides. On pourra également prévoir différents réservoirs de fluides à des températures différentes, le fluide injecté dans la chambre 7 à un instant déterminé venant du réservoir à la température souhaitée. Il est maintenant décrit un exemple de réalisation du dispositif 1. Le dispositif 1 peut se présenter sous la forme d'un corps tubulaire 9, par exemple cylindrique, creux, délimitant la chambre de circulation 7. Le corps tubulaire est fermé à une extrémité supérieure 10 et comprend une entrée 12 à l'extrémité inférieure 11. L'entrée 12 est reliée à une source de fluide non représentée sur les figures, permettant d'injecter le fluide dans la chambre de circulation 7 à une température déterminée. Une sortie formée par un conduit 13 d'évacuation permet au fluide de quitter la chambre de circulation 7. Sur une pprtion extrême supérieure 14, le dispositif 1 comprend un renfoncement 15 vers la chambre de circulation 7, formant le creuset 2. Ainsi, la paroi 3 du creuset s'étend dans la chambre de circulation, et le creuset 2 présente une ouverture 16 à la surface du corps tubulaire 9. Comme le fluide est en circulation continue dans la chambre de circulation, entre l'ouverture- d'entrée 11 et le conduit d'évacuation 13, la température du creuset 2 peut varier rapidement dans le temps : l'inertie thermique du fluide a peu voire n'a pas d'influence sur les variations de la température du creuset 2. Afin de guider la circulation du fluide, un conduit d'injection 17 est introduit dans la chambre de circulation 7 par l'ouverture d'entrée 12. Des moyens d'étanchéité peuvent être avantageusement mis en place entre le conduit d'injection 17 et les bords de l'ouverture d'entrée 12. Le conduit d'injection 17 injecte le fluide directement sur la paroi 3 du creuset 2, c'est-à-dire qu'il est introduit dans la chambre 7 jusqu'à déboucher au plus près de la paroi 3 du creuset 2, sans toutefois la toucher. Il est ainsi créé sur la paroi 3 du creuset un point 20 qui peut être dit chaud, c'est-à-dire à une température supérieure à la température du creuset 2, ou dit froid, c'est-à-dire à une température inférieure à la température du creuset 2, à l'endroit où le fluide est injecté. Lorsque le fluide entre en contact avec la paroi 3 du creuset, il n'a pas encore eu l'occasion d'échanger de la chaleur, de sorte que sa température est très proche de la température imposée au début de son parcours. La variation brutale de température du creuset 2 ainsi obtenue grâce au point chaud ou au point froid peut provoquer le changement de phase brutal du matériau 5 dans le creuset 2. Plus précisément, à partir d'un instant où la température du fluide dans la chambre de circulation 7 est modifiée, il se crée un gradient de température sur la paroi 3 du creuset 2, de part et d'autre du point chaud ou froid 20. Avantageusement, le conduit d'injection 17 débouche à mi-hauteur sur la paroi 3 du creuset 2, c'est-à-dire à une hauteur intermédiaire par rapport à l'ouverture 16 du creuset 2. Le point 20 chaud ou froid à mi-hauteur permet notamment de s'assurer que la variation de température est propagée rapidement jusqu'à la surface du matériau 5 dans le creuset 2, permettant par exemple d'obtenir rapidement la sublimation à la surface du matériau 5 dans le creuset 2 ou la condensation. Puis, lorsque l'on souhaite maintenir une température déterminée pour le creuset 2, le fluide s'échappe du conduit d'injection 17 et s'infiltre de part et d'autre du point 20 chaud ou froid, dans la chambre de circulation 7, réduisant le gradient de température. La température peut ainsi être homogénéisée sur toute la hauteur du creuset 2, accélérant la sublimation ou la condensation. Le fluide circule alors dans le conduit d'injection 17 puis autour du conduit d'injection 17 et de la paroi 3 du creuset 2. De préférence, le conduit d'évacuation 13 est situé sur la portion extrême inférieure du corps tubulaire 9. Le fluide doit alors parcourir une 10 distance correspondant sensiblement à la longueur de la portion du conduit d'injection 17 s'étendant dans la chambre de circulation 7. Le parcours du fluide dans la chambre 7 est optimisé pour obtenir un échange de chaleur efficace avec la paroi 3 du creuset 2. 15 La température du creuset pourra être vérifiée au cours du traitement par exemple au moyen d'un thermocouple 18, placé dans le conduit d'injection 17 et venant en contact sur la paroi 3 du creuset. Le dispositif 1 peut également comprendre un cache 19 amovible, permettant la mise 20 en communication du volume intérieur du creuset 2 avec l'environnement extérieur, ou la bloquant. Par exemple, le cache 19 se présente sous la forme d'un anneau sensiblement circulaire, ou bague, s'adaptant sur une section du corps tubulaire 9 du dispositif 1, autour du creuset 2, et plus précisément sur une section portant l'ouverture 16 du creuset 2. La bague 19 est par exemple montée pivotante sur la 25 surface du corps tubulaire 9, autour de l'axe longitudinal du corps 9, et présente une circonférence inférieure à celle de la section du corps tubulaire 9 du dispositif 1. La bague 19 laisse donc une portion de la section du corps 9 dégagée. Ainsi, la bague 19 peut prendre deux positions par pivotement sur le corps tubulaire 30 9: - une position de fermeture, dans laquelle la bague 19 recouvre l'ouverture 16 du creuset 2; - une position d'ouverture, dans laquelle la bague 19 est dégagée de l'ouverture 16 du creuset 2. En d'autres termes, en position d'ouverture, la section du corps 9 dégagée de la bague 19 porte l'ouverture 16. En d'autres termes, en position de fermeture, la bague 19 obstrue l'ouverture 16 du creuset 2, empêchant toute infiltration dans le creuset 2, alors qu'en position d'ouverture la bague laisse l'intérieur du creuset 2 en communication avec l'extérieur. 10 Le dispositif 1 pourra être placé à l'intérieur d'une enceinte 21 pour le traitement thermique des matériaux, de sorte que l'ouverture 16 du creuset débouche dans l'enceinte 21. 15 Par exemple, pour réaliser le dépôt de couches minces sur un substrat, le creuset 2 et le substrat sont placés dans l'enceinte 21. La pression dans l'enceinte 21 pourra être contrôlée. En régulant la température du creuset 2 par la circulation du fluide dans la chambre de circulation 7, le matériau dans le creuset 2 peut se vaporiser ou se sublimer et s'échapper par l'ouverture 16 du creuset 2 dans l'enceinte 21. Il se 20 dépose ensuite selon la quantité requise sur le substrat. Lorsque cette quantité est atteinte, le creuset 2 peut alors être refroidi pour provoquer la condensation ou la liquéfaction du matériau non consommé dans le creuset 2. Pour obtenir les réactions souhaitées dans l'enceinte 21, par exemple pour obtenir la 25 structure adéquate de la couche formée sur le substrat, une température peut être imposée dans l'enceinte 21, qui peut influer sur la température du creuset 2 de manière non désirée. En effet, par exemple lorsque l'on souhaite refroidir le creuset 2 pour arrêter la vaporisation ou la sublimation, si l'enceinte 21 est à une température supérieure à celle que l'on souhaite atteindre pour le creuset 2, le creuset 2 met 30 davantage de temps à atteindre la température souhaitée. Le matériau continuant à se vaporiser ou à se sublimer, la quantité déposée sur le substrat ne correspond alors plus à celle qui est souhaitée. Pour éviter ce phénomène, des moyens d'isolation thermique 22 sont montés sur le dispositif 1. Ces moyens 22 comprennent par exêmple une chambre d'isolation sous vide 23, placée sur la chambre de circulation 7. Plus précisément, la chambre de circulation 7 s'étend au moins partiellement, et dé préférence entièrement, dans la chambre d'isolation thermique 23, de sorte que la température du fluide et du creuset 2 n'est pas influencée par la température à l'intérieur de l'enceinte 21. La chambre d'isolation thermique 23 et la chambre de circulation 7 ne sont pas en communication, des moyens d'étanchéité étant interposés. La température imposée au creuset 2 est ainsi indépendante de la température dans l'enceinte 21. Le dispositif 1 permet ainsi de contrôler avec précision les variations de température en fonction du temps imposées au matériau dans le creuset 2, pour un contrôle accru des réactions dans le creuset 2, et notamment les changements de phase du matériau. Par exemple, en refroidissant brutalement le creuset 2, en dessous de la température de condensation du matériau 5, alors que la température à l'intérieur de l'enceinte 21 lui est supérieure, le matériau sous forme vapeur dans l'enceinte 21 se condensera dans le creuset 2. Il est ainsi par exemple possible de récupérer la matière dans l'enceinte 21 qui n'a pas réagi. Les opérations de nettoyage de l'enceinte 21 s'en trouvent avantageusement limitée, voire évitées. En combinaison avec les moyens pour réguler la température du creuset 2, le contrôle de la quantité de matière vaporisée ou sublimée est davantage accru. Le présent dispositif trouvera notamment une application dans le domaine de la fabrication des cellules photovoltaïques. Une cellule photovoltaïque comprend notamment une couche conductrice, formée sur un substrat, la couche conductrice étant recouverte d'une couche absorbante, dans laquelle le processus photovoltaïque se déroule. La couche absorbante comprend par exemple un élément de la colonne I de la classification périodique des éléments, tel que le cuivre, un élément de la colonne III de la classification périodique des éléments, tel que l'indium, le gallium ou l'aluminium et un élément de la colonne VI de la classification périodique des éléments, tel que le soufre ou le sélénium. Selon un exemple de formation de la couche absorbante, une couche de précurseur, comprenant l'élément I et l'élément Ill, est préalablement formée sur une couche conductrice, par exemple par électrodéposition, ou par dépôt en phase vapeur. Puis l'élément VI, par exemple du sélénium, est apporté en phase vapeur. La 10 stoechiométrie de la couche absorbante doit être de type I-III-V12 pour acquérir les propriétés photovoltaïques, de sorte que la quantité apportée pour chaque élément doit être contrôlée. Le dépôt en phase vapeur au moyen du dispositif 1 se prête particulièrement bien à un tel contrôle. 15 Ainsi, du sélénium en phase solide est placé dans le volume 4 intérieur du creuset 2 du dispositif 1. Un substrat recouvert de la couche de précurseur est placé dans l'enceinte 21. La température dans l'enceinte 21 est par exemple la température ambiante, mais une température particulière peut être imposée en fonction des réactions que l'on souhaite obtenir dans l'enceinte. La pression dans l'enceinte 21 20 peut également être contrôlée. Dans le cas où le dispositif 1 comprend une bague 19, celle-ci est mise en position d'ouverture. Du fluide à une température supérieure à 685°C, qui est la température de sublimation du sélénium, est injecté dans la chambre de circulation 7, et entre en 25 contact avec la paroi 3 du creuset 2 au point alors chaud 20. Le sélénium en phase vapeur s'échappe par l'ouverture 16 du creuset 2 dans l'enceinte 21, et réagit avec la couche de précurseur sur le substrat. La température du fluide circulant dans la chambre de circulation 7 est maintenue à la température supérieure à 685°C tant que la quantité de sélénium déterminée n'a pas été apportée sur le substrat. La chambre 30 d'isolation thermique 23 garantit que la température à l'intérieur de l'enceinte 21 n'est pas influencée par la température du fluide circulant dans la chambre de circulation 7. Lorsque la quantité de sélénium souhaitée a réagi avec la couche de précurseur pour former la couche absorbante, le fluide circulant dans la chambre de circulation 7 a sa température abaissée sous les 685 °C, abaissant rapidement la température du creuset 2 sur sa paroi 3, au point 20 alors froid. Le sélénium encore sous forme vapeur dans l'enceinte 21 se condense rapidement sur le point froid 20, dans le creuset 2, évitant toute réaction supplémentaire et non désirée avec la couche formée sur le substrat, en plus de récupérer le sélénium qui n'a pas réagi. La bague 19 peut ensuite être mise en position de fermeture, afin de couper la communication entre l'intérieur du creuset 2 et l'intérieur de l'enceinte 21. Des moyens extérieurs à l'enceinte 21 pour manoeuvrer la bague 19, non représentés, peuvent être prévus, pour éviter qu'un opérateur n'intervienne dans l'enceinte 21. La bague 19 peut en particulier éviter toute introduction dans le creuset 2 d'un élément étranger vaporisé dans l'enceinte 21. Par exemple, un deuxième dispositif 1, autre que celui contenant le sélénium, peut également être placé dans l'enceinte 21, pour un traitement ultérieur du substrat tel que la formation d'une couche métallique finale, impliquant la vaporisation d'un élément métallique dans l'enceinte 21. Le métal en phase vapeur dans l'enceinte 21 ne peut alors pas s'introduire dans le creuset 2. Le sélénium dans le creuset 2 est alors totalement réutilisable. De plus, comme le sélénium qui n'a pas réagi avec la couche précurseur est également récupéré, la consommation en sélénium est diminuée, et par là les coûts de fabrication de la cellule photovoltaïque sont diminués.25 REVENDICATIONS1. Dispositif (1) pour le traitement thermique d'un matériau (5) comprenant : un creuset (2) formé par une paroi (3) délimitant un volume intérieur (4) apte à recevoir le matériau à traiter, et des moyens (6) pour réguler la température du creuset (2), ces moyens étant en contact avec la paroi (3) du creuset (2), le dispositif (1) étant caractérisé en ce que les moyens (6) pour réguler la température du creuset comprennent une chambre de circulation (7) d'un fluide et des 10 moyens pour réguler la température du fluide, la paroi (3) du creuset (2) s'étendant au moins partiellement dans la chambre de circulation (7). 2. Dispositif (1) selon la revendication 1, dans lequel la chambre comprend une entrée (12) et une sortie (13), le fluide circulant en continu dans la chambre de 15 circulation (7) entre l'entrée (12) et la sortie (13). 3. Dispositif (1) selon la revendication 1 ou la revendication 2, comprenant un cache (19) amovible, permettant la mise en communication du volume intérieur du creuset (2) avec l'environnement extérieur ou la bloquant. 20 4. Dispositif (1) selon la revendication 3, dans lequel le cache (19) amovible se présente sous la forme d'une bague montée pivotante sur le creuset (2), et pouvant prendre deux positions : - une position de fermeture, dans laquelle la bague (19) recouvre une ouverture 25 (16) du creuset (2) ; - une position d'ouverture, dans laquelle la bague (19) est écartée de l'ouverture (16) du creuset (2). 5. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, 30 comprenant un thermocouple (18) s'étendant dans la chambre de circulation (7) pour contrôler la température du fluide y circulant. 6. Dispositif (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant un conduit d'injection (17) s'étendant et débouchant dans la chambre de circulation (7) et injectant le fluide directement sur la paroi (3) du creuset (2) pour y créer un point (20) chaud ou froid. 7. Dispositif (1) selon la revendication 6, dans lequel le point (20) chaud ou froid est à mi-hauteur sur la paroi (3) du creuset (2). 8. Enceinte (21) pour le traitement thermique d'un matériau comprenant un 10 dispositif (1) selon l'une des revendications précédentes, le creuset (2) débouchant à l'intérieur de l'enceinte (21). 9. Enceinte (21) selon la revendication 8 dans laquelle la chambre de circulation (7) s'étend au moins partiellement à l'intérieur de l'enceinte (21) et comprend des 15 moyens d'isolation thermique (22) avec l'intérieur de l'enceinte (21). 10. Enceinte (21) selon la revendication 9 dans laquelle les moyens d'isolation thermique de la chambre de circulation (7) avec l'enceinte (21) comprennent une chambre d'isolation thermique (23) sous vide, la chambre de circulation (7) s'étendant 20 au moins partiellement dans la chambre d'isolation (23), des moyens d'étanchéité étant interposés entre la chambre de circulation (7) et la chambre d'isolation thermique (23) sous vide.