Brevet FR2988912A1 — publié le 20131004

B11531 - 11-GR3-0549FR01 1 DISPOSITIF DE RÉCUPÉRATION D'ÉNERGIE Domaine de l'invention La présente invention concerne un dispositif de récupération d'énergie et un procédé pour former un tel dispositif. En particulier, la présente invention concerne un dispositif qui 5 convertit l'énergie thermique en énergie électrique. Exposé de l'art antérieur Il a été proposé d'utiliser une plaque bimétallique, qui change de forme selon des conditions de température variables, en combinaison avec une couche de matériau piézoélectrique, pour 10 convertir de l'énergie thermique en énergie électrique. Figure 1 reproduit sensiblement la figure 2 de la demande de brevet US 2011/083714. Comme cela est illustré, une plaque incurvée bimétallique 100 comprend une couche de support 102, qui change de forme en réponse à des variations de 15 température. La plaque 100 est représentée ayant une première forme comme celle d'une arche, et change de forme par exemple pour prendre la forme d'une arche inversée lorsque sa température change. Une couche 104 de matériau piézoélectrique est superposée à la couche de support 102. Un matériau piézoélec- 20 trique est un matériau qui a la propriété de générer une différence de tension entre ses surfaces principales, différence qui varie en fonction de la contrainte qui lui est appliquée. B11531 - 11-GR3-0549FR01 2 Lors d'un changement de forme de la plaque métallique incurvée 100, une contrainte S se produit dans la couche piézoélectrique 104, représentée par des flèches en figure 1, ce qui entraîne des variations dans les signaux de tension V- et V+ présents sur les surfaces supérieure et inférieure de la couche piézoélectrique 104. La plaque métallique incurvée 100 est par exemple disposée dans une cavité entre des parois chaude et froide, de telle sorte que sa section centrale contacte les parois chaude et froide lorsque la plaque incurvée 100 prend ses formes respectives. Il en résulte une variation périodique de forme de la plaque métallique 100, conduisant à la génération d'un signal périodique de tension à partir duquel de l'énergie électrique peut être extraite. Il y a un besoin dans la technique pour un dispositif de récupération d'énergie simple et d'un faible coût, qui fonctionne sur la base des principes ci-dessus et qui puisse assurer une conversion efficace d'énergie thermique en énergie électrique dans une gamme d'environnements différents. Résumé Un objectif des modes de réalisation de la présente invention est de répondre au moins partiellement à un ou plusieurs besoins de l'art antérieur. Selon un aspect, on prévoit un dispositif de récupération d'énergie, comprenant : des première et deuxième feuilles d'un matériau ; et une pluralité de parois, chaque paroi étant prise en sandwich entre les première et deuxième feuilles et entourant une cavité, chaque cavité abritant au moins une plaque incurvée adaptée à changer d'une première forme à une deuxième forme lorsque sa température atteint un premier seuil et à revenir à la première forme lorsque sa température descend à un deuxième seuil inférieur au premier seuil. Selon un mode de réalisation, chacune des cavités abrite une seule plaque incurvée. B11531 - 11-GR3-0549bR01 3 Selon un autre mode de réalisation, chacune des cavités abrite une pluralité de plaques incurvées interconnectées par des doigts pour former une matrice. Selon un autre mode de réalisation, entre les première 5 et deuxième feuilles, il y a un espace séparant une première des parois d'une deuxième des parois. Selon un autre mode de réalisation, le dispositif de récupération d'énergie comprend en outre, dans chacune des cavités, une couche imprimée de matériau piézoélectrique adaptée 10 à être déformée par la plaque incurvée. Selon un autre mode de réalisation, la couche piézoélectrique est imprimée sur une surface intérieure de chaque cavité sur une surface de la première feuille. Selon un autre mode de réalisation, la couche piézo15 électrique est imprimée sur une surface de chaque plaque incurvée. Selon un autre mode de réalisation, les parois intérieures sont agencées en au moins une colonne et au moins une rangée. 20 Selon un autre mode de réalisation, chacune des plaques incurvées comprend une couche d'un premier métal superposée avec une couche d'un deuxième métal, les premier et deuxième métaux ayant des coefficients de dilatation différents. Selon un autre mode de réalisation, chacune des 25 plaques incurvées est constituée d'un matériau à mémoire de forme. Selon un autre aspect, on prévoit un procédé de fabrication d'un dispositif de récupération d'énergie comprenant les étapes suivantes : former une pluralité de parois sur une pre- 30 mière feuille d'un matériau, chaque paroi définissant une ouverture qu'elle entoure ; placer au moins une plaque incurvée dans chacune des ouvertures, chaque plaque incurvée étant adaptée à changer d'une première forme à une deuxième forme lorsque sa température atteint un premier seuil et à revenir à la première 35 forme lorsque sa température descend à un deuxième seuil B11531 - 11-GR3-0549R01 4 inférieur au premier seuil ; et prendre en sandwich chacune des parois entre la première feuille et une deuxième feuille de matériau. Selon un autre mode de réalisation, le procédé comprend 5 le placement d'une matrice de plaques incurvées dans chacune desdites ouvertures. Selon un autre mode de réalisation, le procédé comprend en outre l'impression d'une couche de matériau piézoélectrique soit sur chacune des plaques incurvées, soit sur chacune d'une 10 pluralité de zones sur la surface de la première feuille, chaque ouverture étant alignée au-dessus d'une desdites zones. Selon un autre mode de réalisation, le procédé comprend en outre l'impression, sur la première feuille, de pistes d'interconnexion comprenant une pluralité d'électrodes adaptées 15 à contacter chacune des couches piézoélectriques. Selon un autre mode de réalisation, le matériau formant chacune des première et deuxième feuilles est une matière plastique ou un métal isolé ayant une épaisseur comprise entre 0,5 mm et 5 mm. 20 Brève description des dessins Les objets, caractéristiques, aspects et avantages susmentionnés, et d'autres, apparaîtront au cours de la description détaillée qui suit de modes de réalisation, donnée à titre d'illustration et non de limitation en référence aux dessins 25 joints dans lesquels : la figure 1 (décrite précédemment) illustre une plaque de métal incurvée afin de présenter une technique de récupération d'énergie thermique ; la figure 2 est une vue en coupe transversale 30 illustrant une partie d'un dispositif de récupération d'énergie selon un exemple de réalisation ; la figure 3 est une coupe transversale, prise dans un plan horizontal, du dispositif de récupération d'énergie de la figure 2 selon un exemple de mode de réalisation ; B11531 - 11-GR3-05491R01 les figures 4A à 4E sont des vues en perspective d'un dispositif de récupération d'énergie à différents stades de sa fabrication selon un exemple de réalisation ; la figure 5 est une vue en coupe transversale 5 illustrant une partie d'un dispositif de récupération d'énergie selon une variante de réalisation ; et la figure 6 est une vue en perspective illustrant une matrice de plaques incurvées selon un exemple de réalisation. Il convient de noter que les structures illustrées dans les différentes figures ne sont pas dessinées à l'échelle, les épaisseurs de certaines couches en particulier étant représentées agrandies et disproportionnée pour faciliter la représentation. En outre, tout au long de la description qui suit, les orientations relatives telles que "surface supérieure", "surface inférieure", "supérieur" et "inférieur" sont supposées s'appliquer lorsque la structure correspondante est orientée comme indiqué dans les dessins. Description détaillée La figure 2 est une vue en coupe transversale illustrant une partie d'un dispositif de récupération d'énergie 200 selon un exemple de réalisation. Deux plaques incurvées référencées 202 sont positionnées dans des cavités correspondantes 206, 208 du dispositif de récupération d'énergie 200. Par exemple, chacune de ces plaques 202 correspond à la plaque incurvée bimétallique 100 de la figure 1 décrite précédemment, sauf qu'elles ne comprennent pas la couche 104 de matériau piézoélectrique superposée à la couche de support 102. Au lieu de cela, une paroi supérieure de chaque cavité 206, 208 est formée par une couche correspondante de matériau piézoélectrique 210. Les plaques incurvées 202 sont, par exemple, des plaques bimétalliques constituées d'une couche d'un premier 35 métal sur laquelle est superposée une couche d'un deuxième B11531 - 11-GR3-0549bR01 6 métal, les premier et deuxième métaux ayant des coefficients de dilatation différents. Par exemple, le métal de chaque couche est choisi parmi le TiN, l'aluminium, le cuivre, le tungstène, le FeNi ou un alliage de l'un quelconque de ces métaux. En variante, une ou deux couches pourraient être en des matériaux non métalliques. Par exemple, la largeur et la longueur des plaques incurvées sont comprises entre 1 pm à 10 mm. Un procédé de formation de plaques incurvées ayant des dimensions relativement petites est par exemple décrit plus en détail dans la demande de brevet parallèle intitulée "Plaque incurvée et son procédé de fabrication" déposée le même jour que la présente demande de brevet et ayant les mêmes inventeurs (référence du conseil B11532). Dans certains modes de réalisation, les plaques incurvées 202 sont formées de telle sorte que leur changement de forme est progressif en réponse aux variations de température, par exemple entre les deux formes des plaques 202 illustrées dans les cavités 206 et 208 de la figure 2. Dans des variantes de réalisation, les plaques incurvées 202 sont bistables, de sorte qu'elles basculent rapidement d'une forme à une autre lorsqu'elles sont chauffées à une première température de seuil, et reviennent à leur forme d'origine lorsqu'elles sont refroidie à une deuxième température de seuil, inférieure à la première température de seuil. Par exemple, les plaques incurvées 202 peuvent comprendre, en tant qu'une de leurs couches, un matériau à mémoire de forme, par exemple un alliage de nickel et de titane. Un tel matériau a par exemple deux phases cristallines, et peut avoir deux formes stables. En variante, la plaque incurvée 202 peut être soumise à une force orientée vers l'intérieur appliquée à ses extrémités par un ou plusieurs ressorts, entraînant un effet bistable. La structure du dispositif de récupération d'énergie 200 comprend par exemple une feuille de matériau supérieure 214 35 et une feuille de matériau inférieure 216. Par exemple, chacune B11531 - 11-GR3-0549FR01 7 des feuilles supérieure et inférieure 214, 216 est constituée d'une feuille de plastique ou d'une feuille métallique isolée. Les feuilles 214, 216 sont par exemple flexibles et chacune a une épaisseur comprise entre 0,5 mm et 5 uut, en fonction de la taille du dispositif de récupération d'énergie 200 et de l'étendue souhaitée de sa flexibilité. Sur le côté gauche de la structure représentée en figure 2, une paroi périphérique 218, constituées par exemple de gomme, de silicium, de dioxyde de silicium ou de silicium poreux sépare les feuilles 214 et 216. La paroi périphérique 218 s'étend par exemple autour de la totalité du dispositif à proximité des bords des feuilles 214 et 216, comme cela sera décrit plus en détail dans la suite. Par exemple, la séparation entre les surfaces intérieures des feuilles supérieure et inférieure 214, 216 est comprise entre 0,5 mm et 20 mm. Les couches piézoélectriques 210 de chaque cavité 206, 208 sont disposées à intervalles réguliers sur la surface intérieure de la feuille supérieure 214. Une paroi intérieure 220, constituée aussi par exemple de gomme, de silicium, de dioxyde de silicium, ou de silicium poreux entoure par exemple chaque cavité 206, 208, et contacte les couches piézoélectriques 210 respectives au-dessus, et contacte la surface supérieure de la feuille inférieure 216 en dessous. La paroi périphérique 218, et la paroi intérieure 220 25 correspondant à la cavité 206 du côté gauche en figure 2, sont séparées d'une distance dl, par exemple comprise entre 1 et 20 mm. Les parois intérieures 220 correspondant aux cavités voisines 206, 208 en figure 2 sont séparées d'une distance d2 comprise aussi, par exemple, entre 1 et 20 mm. 30 Comme cela est représenté par des lignes de hachures s'étendant à partir du bord droit de la structure de la figure 2, la structure peut continuer au-delà de ce qui est illustré en figure 2, avec une ou plusieurs autres cavités contenant d'autres plaques incurvées 202. B11531 - 11-GR3-0549FR01 8 La figure 3 illustre un exemple de vue en coupe du dispositif de récupération d'énergie 200, dans un plan horizontal représenté par une ligne en trait alterné A-A en figure 2, traversant la paroi périphérique 218 et les parois intérieures 220. Dans l'exemple de la figure 3, le dispositif de récupération d'énergie 200 comprend 21 plaques incurvées 202, chacune étant abritée dans une cavité correspondante, et disposées selon 3 rangées et 7 colonnes. Bien sûr, dans des variantes de réalisation, le dispositif de récupération d'énergie pourrait comprendre un nombre quelconque de plaques incurvées. Dans certains modes de réalisation, on pourrait prévoir des centaines, des milliers ou même des millions de plaques incurvées, chacune étant abritée dans une cavité correspondante, ou groupées dans des cavités. En particulier, dans certains modes de réalisation, chaque cavité abrite une seule plaque incurvée. Dans des variantes de réalisation, décrites plus en détail en référence à la figure 6, chaque cavité abrite une pluralité de plaques incurvées constituées en matrice. Un avantage de l'agencement des parois intérieures 220 en rangées et en colonnes est que cela augmente la flexibilité de la structure. Dans des variantes de réalisation, plutôt que d'être disposées en rangées et en colonnes, les parois intérieures 220 pourraient être disposées selon des motifs différents. Dans une vue à plat, le dispositif de récupération d'énergie 200 a par exemple une forme rectangulaire, et la paroi périphérique 218 s'étend ainsi en rectangle autour du bord du dispositif. En outre, chacune des parois intérieures 220 s'étend aussi par exemple autour de la cavité correspondante avec une forme de rectangle, le rectangle étant carré dans l'exemple de la figure 3. Une telle forme rectangulaire des parois intérieures 220 est bien adaptée aux plaques rectangulaires 202. Dans des 35 variantes de réalisation, les plaques incurvées 202 et les B11531 - 11-GR3-0549FR01 9 parois intérieures 220 pourraient avoir une autre forme, par exemple circulaire ou hexagonale. On va maintenant décrire un procédé de formation d'un dispositif de récupération d'énergie similaire à celui des 5 figures 2 et 3, en faisant référence aux figures 4A à 4E. Les figures 4A à 4E sont des vues en perspective d'un dispositif de récupération d'énergie 400 à diverses étapes de sa fabrication, celui-ci comprenant dans cet exemple 35 plaques 202 disposées en sept colonnes et cinq rangées. 10 En référence à la figure 4A, dans une première étape, une grille de pistes conductrices est imprimée ou déposée d'une autre façon sur la surface de la feuille supérieure 214 de la structure de la figure 2. La surface supérieure de la feuille 214 représentée en figure 4A correspond à la surface inférieure 15 de la feuille 214 dans l'orientation représentée en figure 2. Dans l'exemple de la figure 4A, la grille de pistes conductrices comprend sept pistes 402 à 414 disposées en colonnes. Chacune des pistes 402 à 414 comprend cinq électrodes 416 régulièrement espacées, dans cet exemple ayant la forme de 20 pistes en forme de "U". Ainsi, il y a un total de 35 électrodes. Les extrémités respectives des pistes 402 à 414 sont reliées entre elles par des pistes respectives 418 et 420 perpendiculaires aux pistes de colonnes 402 à 414. La piste 420 est par exemple couplée à une borne de connexion 422 proche d'un 25 bord de la feuille 214. Par exemple, les pistes conductrices pourraient être constituées de cuivre ou d'un autre matériau conducteur approprié, et imprimées en utilisant des techniques de carte de circuit imprimé (PCB), qui sont bien connues dans la technique. 30 La figure 4B illustre la feuille supérieure 214 après une étape suivante dans laquelle une couche piézoélectrique 210 a été formée sur chaque électrode 416. Par exemple, le matériau piézoélectrique est constitué de PZT (titanate zirconate de plomb), de ZnO ou d'un composé à base de plomb et de zirconium. 35 Les couches piézoélectriques 210 peuvent être plaquées, déposées B11531 - 11-GR3-0549FR01 10 ou imprimées. Par exemple, des techniques pour imprimer un tel matériau sont décrites plus en détail dans la publication intitulée "Processing of Functional Fine Scale Ceramic Structures by Ink-Jet Printing", M. Mougenot et al., dont le contenu est considéré ici comme le connu. Dans certains cas, l'impression ou le dépôt des couches piézoélectriques 210 peuvent être suivis d'une étape de cuisson, par exemple à une température inférieure ou égale à 200 °C. La figure 4C illustre la structure après une étape suivante dans laquelle une autre grille de pistes conductrices est formée sur la surface de la feuille supérieure 214, cette autre grille étant très similaire à la grille décrite précédemment en référence à la figure 4A. En particulier, l'autre grille de pistes conductrices comprend des électrodes 424, dont une est formée sur chaque couche piézoélectrique 210. Pour empêcher un contact électrique entre les pistes conductrices de chacune des grilles superposées, une couche isolante est par exemple déposée dans certaines zones avant la formation de l'autre grille. L'autre grille de pistes conductrices est couplée à une autre borne 426 à proximité d'un bord de la feuille supérieure 214. L'autre grille de pistes conductrices comprenant les électrodes 424 est par exemple imprimée ou déposée, par exemple en utilisant des techniques bien connues, comme celles utilisées pour imprimer des antennes RFID (identification radiofréquence). La figure 4D illustre encore une autre étape dans laquelle la paroi périphérique 218 et les parois intérieures 220 sont formées sur la surface de la feuille supérieure 214, et une plaque incurvée 202 est positionnée dans chaque paroi intérieure 220. En particulier, l'étape consistant à placer chacune des parois intérieures sur la surface de la feuille supérieure 214 définit par exemple une ouverture correspondante 428 entourée par la paroi intérieure, et dans laquelle les plaques 202 sont placées. B11531 - 11-GR3-0549kR01 11 Dans certains modes de réalisation, les plaques incurvées 202 sont des éléments individuels. En variante, elles pourraient former une matrice, en étant interconnectées par un ou plusieurs doigts. De tels doigts pourraient être intégrés dans les parois intérieures 220. La figure 4E illustre une étape finale du procédé dans lequel la feuille inférieure 216 est collée à la structure opposée de la feuille supérieure 214 pour former le dispositif de récupération d'énergie 400 terminé. Dans certains modes de réalisation, cette étape finale de collage peut être réalisée sous un vide partiel de sorte que les cavités définies par chaque paroi intérieure 220 soient sous un vide partiel, et de même l'espace situé entre les parois internes 220 dans la zone comprise entre les feuilles 214, 216 est aussi par exemple soumis à un vide partiel. Une telle fonctionnalité améliore l'isolation entre les feuilles supérieure et inférieure 214, 216. Les bornes 422 et 426 (non illustrées en figure 4E) sont par exemple couplées au circuit de récupération d'énergie 430, qui récupère l'énergie électrique résultant des variations de tension entre les surfaces des couches piézoélectriques 210. Cette énergie électrique est par exemple utilisée pour charger une batterie et/ou alimenter une charge (non illustré dans les figures). Comme cela est représenté en figure 4E, en raison en partie de la forme des parois intérieures 220, le dispositif de récupération d'énergie 200 résultant est par exemple relativement flexible, pouvant par exemple être courbé autour de tuyaux ou placé en contact avec d'autres surfaces non régu- fières. Une telle flexibilité améliore le contact thermique entre le dispositif de récupération d'énergie 400 et une source de chaleur, et conduit ainsi à un gradient thermique supérieur dans le dispositif de récupération d'énergie. Cela entraîne à son tour une meilleure récupération d'énergie. En effet, plus la feuille inférieure 216 est chaude, plus les plaques incurvées B11531 - 11-GR3-0549FR01 12 202 vont être chauffées et vont changer de forme, augmentant ainsi la puissance mécanique générée par les plaques incurvées et ainsi l'énergie électrique générée par les couches piézoélectriques 210. La surface du dispositif 200 pourrait être comprise entre quelques millimètres carrés et quelques mètres carrés. Par exemple, dans certains modes de réalisation, le dispositif 200 a une surface d'au moins 0,1 mètre carré. Dans une variante de réalisation, la feuille supé- rieure 214 et/ou la feuille inférieure 216 pourraient avoir des caractéristiques contribuant à la structure finale. Par exemple, les parois intérieures 220 et/ou la paroi périphérique 218 pourraient au moins partiellement être formées à l'aide d'une protubérance de la surface de la feuille inférieure 216. La figure 5 est une vue en coupe transversale illustrant une partie d'un dispositif de récupération d'énergie 500 selon une variante de réalisation. Le dispositif de récupération d'énergie 500 est très similaire au dispositif de récupération d'énergie 200 de la figure 2, et de mêmes éléments portent les mêmes références et ne seront pas décrits à nouveau en détail. Dans le dispositif de récupération d'énergie 500, les couches piézoélectriques 210 sont supprimées, les parois intérieures 220 s'étendant jusqu'à la face inférieure de la feuille supérieure 214. Au lieu de cela, chacune des plaques métalliques incurvées 202 comprend une couche piézoélectrique 502, qui est par exemple similaire à la couche 104 de la figure 1. En outre, une électrode 504 est par exemple déposée ou couchée sur la couche piézoélectrique. Dans un exemple, les signaux électriques générés par une telle couche piézoélectrique 502 sont récupérés par des électrodes (non illustrées sur la figure 5), semblables aux électrodes 416, 424 décrites ci-dessus, imprimées sur les surfaces intérieures des feuilles supérieure et inférieure 214, 216. Comme illustré, un fil de connexion 506 couple par exemple l'électrode 504 à une telle B11531 - 11-GR3-0549.ER01 13 électrode formée sur la face inférieure de la feuille supérieure 214, et un fil de connexion 508 couple par exemple les couches métalliques de la plaque incurvée 202 à une électrode formée sur la face supérieure de la feuille inférieure 216. Figure 6 est une vue en perspective représentant de façon plus détaillée une partie de la structure de la figure 3 selon un exemple dans lequel chacune des cavités définies par les parois intérieures 220 abrite une matrice 600 de plaques incurvées 202. Dans l'exemple de la figure 6, la matrice 600 comporte huit plaques disposées en deux colonnes et quatre rangées, bien que dans des variantes de réalisation la matrice puisse comporter un nombre quelconque de plaques incurvées, comme des centaines ou des milliers de plaques disposées dans un nombre approprié de colonnes et de rangées. Comme illustré en figure 6, chacune des plaques incurvées 202 est par exemple fixée par un seul doigt 602 à un rail commun d'interconnexion 604. De cette façon, bien qu'elles soient interconnectées, chacune des plaques 202 peut basculer d'un état bistable à un autre indépendamment des autres plaques. Les doigts d'interconnexion 602 et le rail 604 sont par exemple tous formés avec la même structure en couches que les plaques incurvées 202. La matrice 600 est par exemple formée par le procédé décrit en relation avec les demande parallèle susmentionnée intitulée 25 son procédé de fabrication". Bien qu'un certain spécifiques d'un procédé et un dispositif il sera clair pour l'homme de l'art que et altérations pourraient être apportées. 30 Par exemple, il sera clair pour bien que quelques exemples d'arrangements au sein d'un dispositif de récupération figures 5 et 6 de la "Plaque incurvée et l'homme de l'art que de plaques incurvées d'énergie aient été nombre de modes de réalisation aient été décrits ici, diverses modifications décrits, d'autres dispositions des plaques seraient possibles. En outre, bien que des plaques rectangulaires 35 incurvées aient été décrites, dans des variantes de réalisation, B11531 - 11-GR3-0549.bR01 14 les plaques pourraient avoir d'autres formes, comme circulaire ou hexagonale. En outre, la forme en "U" des électrodes 416, 424 n'est qu'un exemple, de nombreuses autres formes étant pos- Bibles. Les diverses caractéristiques décrites en relation avec les modes de réalisation décrits ci-après pourraient être combinées, dans d'autres modes de réalisation, dans n'importe quelle combinaison. REVENDICATIONS1. Dispositif de récupération d'énergie, comprenant : des première et deuxième feuilles d'un matériau (214, 216) ; et une pluralité de parois (220), chaque paroi étant 5 prise en sandwich entre les première et deuxième feuilles et entourant une cavité (206, 208), chaque cavité abritant au moins une plaque incurvée (202) adaptée à changer d'une première forme à une deuxième forme lorsque sa température atteint un premier seuil et à revenir à la première forme lorsque sa température 10 descend à un deuxième seuil inférieur au premier seuil. 2. Dispositif de récupération d'énergie selon la revendication 1, dans lequel chacune des cavités abrite une seule plaque incurvée. 3. Dispositif de récupération d'énergie selon la 15 revendication 1, dans lequel chacune des cavités abrite une pluralité de plaques incurvées interconnectées par des doigts (602) pour former une matrice. 4. Dispositif de récupération d'énergie selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel, entre les 20 première et deuxième feuilles, il y a un espace (d2) séparant une première des parois d'une deuxième des parois. 5. Dispositif de récupération d'énergie selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant en outre, dans chacune des cavités, une couche imprimée (210, 502) de matériau 25 piézoélectrique adaptée à être déformée par la plaque incurvée. 6. Dispositif de récupération d'énergie selon la revendication 5, dans lequel la couche piézoélectrique (210) est imprimée sur une surface intérieure de chaque cavité sur une surface de la première feuille. 30 7. Dispositif de récupération d'énergie selon la revendication 5, dans lequel la couche piézoélectrique (502) est imprimée sur une surface de chaque plaque incurvée (202). 8. Dispositif de récupération d'énergie selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel les paroisB11531 - 11-GR3-0549FR01 16 intérieures sont agencées en au moins une colonne et au moins une rangée. 9. Dispositif de récupération d'énergie selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel chacune des plaques incurvées comprend une couche d'un premier métal superposée avec une couche d'un deuxième métal, les premier et deuxième métaux ayant des coefficients de dilatation différents. 10. Dispositif de récupération d'énergie selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel chacune des 10 plaques incurvées (202) est constituée d'un matériau à mémoire de forme. 11. Procédé de fabrication d'un dispositif de récupération d'énergie, comprenant les étapes suivantes : former une pluralité de parois (220) sur une première 15 feuille d'un matériau, chaque paroi définissant une ouverture (206, 208) qu'elle entoure ; placer au moins une plaque incurvée (202) dans chacune des ouvertures (428), chaque plaque incurvée étant adaptée à changer d'une première forme à une deuxième forme lorsque sa 20 température atteint un premier seuil et à revenir à la première forme lorsque sa température descend à un deuxième seuil inférieur au premier seuil ; et prendre en sandwich chacune des parois entre la première feuille et une deuxième feuille (216) de matériau. 25 12. Procédé selon la revendication 11, comprenant le placement d'une matrice (600) de plaques incurvées dans chacune desdites ouvertures. 13. Procédé selon la revendication 11 ou 12, comprenant en outre l'impression d'une couche (210, 502) de matériau 30 piézoélectrique : soit sur chacune des plaques incurvées ; soit sur chacune d'une pluralité de zones sur la surface de la première feuille, chaque ouverture étant alignée au-dessus d'une desdites zones.B11531 - 11-GR3-0549FR01 17 14. Procédé selon la revendication 13, comprenant en outre l'impression, sur la première feuille, de pistes d'interconnexion comprenant une pluralité d'électrodes (424) adaptées à contacter chacune des couches piézoélectriques. 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 11 à 14, dans lequel le matériau formant chacune des première et deuxième feuilles est une matière plastique ou un métal isolé ayant une épaisseur comprise entre 0,5 mm et 5 mm.