Brevet FR2982424A1 — publié le 20130510

SYSTEME DE CONVERSION D'ENERGIE THERMIQUE EN ENERGIE ELECTRIQUE A EFFICACITE AMELIOREE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR La présente invention se rapporte à un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique. Les circuits électroniques, lors de leur fonctionnement, produisent de la chaleur. Cette chaleur n'est pas utilisée et doit être évacuée afin de ne pas détériorer les circuits. D'autres sources de chaleur sont également présentes dans notre environnement, comme par exemple les canalisations, les échappements, les parois de machines industrielles,..., dont la chaleur dégagée est inutilisée. Il est envisagé de récupérer cette chaleur pour la convertir en énergie électrique. Il est par exemple envisagé d'utiliser des bilames, ceux-ci sont formés de deux lames de métaux, de matériaux ou d'alliages différents à coefficients de dilatation différents, souples, soudées ou collées l'une contre l'autre, dans le sens de la longueur. Du fait des coefficients de dilatation différents des deux lames, le bilame se déforme avec une grande amplitude à la fois lorsqu'il est échauffé et lorsqu'il est refroidi. Lorsqu'il est échauffé, celui-ci passe d'une forme sensiblement plane à une forme présentant une certaine courbure. L'orientation de la courbure dépend de la température à laquelle il est soumis, et des propriétés initiales du matériau (épaisseur, coefficients de dilatation thermique."). Cette déformation est convertie en énergie électrique par un transducteur, par exemple un matériau piézoélectrique qui est déformé ou choqué lorsque le bilame se courbe. L'énergie transmise au matériau piézoélectrique, et donc l'énergie récupérée ne sont pas optimales. Il existe également des bilames préformés qui présentent un premier et un deuxième état stable en fonction de la température à laquelle ils sont soumis. Dans chacun des états stables, ils présentent une courbure ou déformation, les courbures ou déformations des deux états stables étant dans la majorité des cas opposées. Ces bilames sont également désignés "bilames cloquants". Lorsque de tels bilames sont échauffés et passent d'un premier état stable à un deuxième état stable, on parle de "cloquage", et lorsque les bilames se refroidissent, et passent du deuxième état stable au premier état stable, on parle de décloquage. Lors du cloquage et du décloquage, une grande quantité d'énergie est libérée. EXPOSÉ DE L'INVENTION Le but de la présente invention est d'offrir un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique à efficacité améliorée. Le but précédemment énoncé est atteint par un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique comportant un transducteur d'énergie mécanique en énergie électrique et au moins un convertisseur d'énergie thermique en énergie mécanique, le convertisseur comportant au moins deux bilames préformés reliés mécaniquement en série et présentant des courbures opposées et contrôlées. Les bilames peuvent être fabriqués d'un seul tenant. En d'autres termes, on associe des bilames préformés en opposition de sorte que le cloquage de l'un participe au décloquage de l'autre, réduisant ainsi l'énergie nécessaire au cloquage ou décloquage de chacun des bilames, augmentant ainsi la fréquence de commutation de chacun des bilames. Les bilames fonctionnent de manière collaborative, ce qui permet d'augmenter l'énergie électrique récupérée. La présente invention a alors pour objet un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique destiné à être disposé entre une source chaude et une source froide, comportant un substrat, des moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique et des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique, les moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique comportant au moins un groupe de au moins deux bilames reliés mécaniquement entre eux et suspendus au moins en partie au-dessus du substrat, chaque bilame comportant deux états stables dans lesquels ils présentent dans chacun des états une courbure, les bilames directement adjacents présentant des courbures opposées, le passage d'un état stable des bilames à l'autre étant adapté pour provoquer une excitation des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique et une génération d'électricité. Dans un exemple de réalisation, les bilames sont reliés mécaniquement entre eux par leurs extrémités longitudinales de sorte à former une bande. Dans un autre exemple de réalisation, les bilames sont reliés mécaniquement entre eux par leurs extrémités latérales. Dans un autre exemple de réalisation, les 10 bilames sont reliés à des bilames par leurs extrémités longitudinales et à des bilames par leurs extrémités latérales de sorte à former une nappe de bilames. De manière avantageuse, les bilames sont réalisés d'un seul tenant. Et de manière encore plus 15 avantageuse, dans le cas où le système comporte plusieurs groupes d'au moins deux bilames, lesdits groupes sont réalisés d'un seul tenant. De préférence, le groupe de bilames comporte un nombre impair de bilames. 20 Dans un exemple de réalisation, les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique comprennent un matériau piézoélectrique. Le matériau piézoélectrique est alors de préférence disposé directement sur au moins un bilame. 25 Dans un autre exemple de réalisation, les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique comprennent un matériau magnétique. Le matériau magnétique peut alors être déposé sur au moins un bilame, et le système comporte des contacts 30 électriques sur le bilame pour récupérer l'électricité générée dans le bilame. Avantageusement, chaque bilame est recouvert par un transducteur en matériau piézoélectrique ou en matériau magnétique. Dans un autre exemple de réalisation, les 5 moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique sont de type capacitif. Avantageusement, au moins un bilame du groupe est, dans un de ses états stables, en contact avec le substrat améliorant le contact thermique. 10 La présente invention a également pour objet un ensemble de conversion d'énergie thermique en énergie électrique comportant une source chaude et une source froide situées en face l'une de l'autre et un système de conversion selon l'invention, ledit système 15 de conversion étant disposé entre la source chaude et la source froide. La source chaude est par exemple alimentée thermiquement par un système électronique. La présente invention a également pour objet un procédé de réalisation d'un système de 20 conversion selon l'invention, comportant les étapes : a) dépôt d'une couche d'oxyde de silicium sur un substrat en silicium, b) réalisation de portions en Si3N4 ou SiN sur la couche d'oxyde, 25 c) croissance thermique de l'oxyde entre les portions en Si3N4, d) réalisation des bilames par dépôt d'une première couche de métal ou de semi-conducteur et d'une deuxième couche de métal, les deux métaux présentant 30 des coefficients de dilatation différents, e) réalisation des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique, f) retrait de l'oxyde dans des zones discrètes de sorte à former des cavités entre le substrat et les couches de métal. L'étape e) peut comporter le dépôt d'un matériau piézoélectrique sur les couches de métal, qui est par exemple du PZT. L'étape c) consiste par exemple en une oxydation locale du silicium. Lors de l'étape d), la première couche de métal peut être du silicium polycristallin et la deuxième couche de métal peut être de l'aluminium. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre et des dessins sur lesquels : - les figures lA et lB sont des vues de côtés d'un exemple de réalisation d'un système de conversion selon l'invention dans deux états, - la figure 2 est une vue de côté d'un autre exemple de réalisation d'un système de conversion mettant en oeuvre des moyens de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique de type magnétique, - les figures 3A à 3F sont des représentations schématiques des étapes de réalisation du système des figures lA et lB selon un exemple de procédé de réalisation, - la figure 4A est une vue de côté d'une 30 variante de réalisation d'un système de conversion dans lequel les bilames sont en contact avec le substrat dans un de leurs états stables, - la figure 4B est une vue de côté schématisant une étape de réalisation du système de la figure 4A. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Sur les figures lA et 1B, on peut voir un exemple de réalisation d'un système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique selon l'invention. Dans la suite de la description, le système S1 de conversion d'énergie thermique en énergie électrique sera désigné par "système Sl" à des fins de simplicité. Le système S1 est destiné à être disposé entre une source chaude SC, par exemple une face d'un composant électronique ou de toute autre source de chaleur, et une source froide SF, par exemple un radiateur à ailette ou directement l'air ambiant. Le système S1 s'étend sensiblement suivant un plan P et comporte une première face 2 en regard de ou en contact avec la source chaude SC et une deuxième face 4 en regard de ou en contact avec la source froide SF, les faces 2, 4 étant disposées de part et d'autre du plan P. Le système S1 est alors soumis à un gradient thermique symbolisé par la flèche F sensiblement perpendiculaire à ses faces 2, 4. Le système comporte des moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique 6 et des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique 8, appelés transducteur. Le ou les transducteurs 8 peuvent être formés, par exemple, par un matériau piézoélectrique, par des moyens de type capacitif ou par des moyens magnétiques. Dans l'exemple représenté, les moyens de 5 conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique 6 comportent des groupes Gl, G2 de trois bilames préformés et cloquants 9, 11, 13 disposés côte à côte et reliés mécaniquement, les bilames directement adjacents ayant leurs courbures opposées, comme on peut 10 le voir sur les figures lA et 1B. Chaque bilame 9, 11, 13 comporte deux extrémités longitudinales 9.1, 9.2, 11.1, 11.2, 13.1, 13.2. Les bilames sont reliés mécaniquement entre eux par leurs extrémités longitudinales de sorte à former des bandes de bilames. 15 Dans l'exemple représenté, les bilames sont en contact direct par leurs extrémités longitudinales. Les groupes Gl, G2, G3 forment des bandes suspendues au-dessus d'un substrat 12 par leurs extrémités, les bilames pouvant se déformer librement sous l'effet de la température. 20 Le substrat 12 comporte des creux 14 au-dessus desquels les bandes sont suspendues. Avantageusement, les trois bilames 9, 11, 13 sont réalisés d'un seul tenant. De manière encore plus avantageuse, tous les groupes sont réalisés d'un 25 seul tenant, ce qui simplifie la fabrication du système et améliore la robustesse du système. En variante, on pourrait envisager, en particulier pour des systèmes de grande taille, de réaliser les bilames séparément et ensuite de les 30 solidariser par soudage. Comme cela a été indiqué précédemment, un bilame est formé de deux lames en métal ou alliage différent présentant des coefficients de dilatation différents, les deux lames étant solidarisées par laminage, soudage, collage ou directement par dépôt par exemple par pulvérisation directe d'un deuxième matériau sur un premier matériau comme cela sera décrit en détail dans la suite de la description, de sorte à former un élément monolithique. Ainsi lorsque l'une des lames se dilate, le bilame va se courber. Lorsque le bilame est échauffé, il passe d'une première configuration à une deuxième configuration, on désigne ce changement le " cloquage " et, lorsqu'il refroidit, il revient à sa première configuration, ce changement est désigné " décloquage ". De préférence, chaque bande comporte un nombre impair de bilames, les bandes présentant un plan de symétrie, ce qui simplifie la fabrication comme nous le verrons par la suite. Les moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique peuvent comporter des groupes de deux bilames, ou de plus de trois bilames sans sortir du cadre de la présente invention. Le nombre de bilames par bande est choisi de sorte que la bande ne fléchisse pas sous son propre poids. En outre, le système s'étend de préférence dans un plan et comporte une pluralité de bandes réparties sur une surface le long de lignes et suivant plusieurs lignes parallèles. En outre, les moyens de conversion peuvent 30 comporter un nombre n quelconque de groupes de bilames, n étant un nombre entier supérieur ou égal à 1. Le nombre de groupe pourra être choisi en fonction de la taille du système. Dans le cas de systèmes de taille micrométrique un grand nombre de groupes peut être réalisé. Dans l'exemple des figures lA et 1B, le système comporte des transducteurs formés par un matériau piézoélectrique disposé de sorte à être déformés par le cloquage et décloquage des bilames. Dans l'exemple représenté, le matériau piézoélectrique est formé par des portions de couches de matériau piézoélectrique déposées directement sur les bilames. De plus, dans l'exemple représenté, le matériau piézoélectrique n'est pas déposé sur tous les bilames. De préférence, on dépose un tel matériau sur chaque bilame pour augmenter la quantité d'énergie récupérée. Le matériau piézoélectrique peut également être positionné de part et d'autre du bilame afin de maximiser la production d'énergie électrique. De préférence, chaque bilame comporte son propre transducteur. Des contacts (non représentés) sont présents sur le matériau piézoélectrique pour collecter le courant produit et sont connectés soit directement à une charge, soit à un dispositif de stockage de l'électricité produite. Les transducteurs sont connectés en parallèle. Un système dans lequel tous les bilames seraient recouverts par une couche unique de matériau piézoélectrique ne sort pas du cadre de la présente invention. Les bilames ont par exemple une épaisseur comprise entre 0,5 pm et 200 pm. Une longueur d'une " bande de bilames " peut être comprise entre 10 }gym et quelques mm, dans le cas d'une application à des composants électroniques. Le nombre de bilames par système mis en oeuvre peut être de plusieurs dizaines à plusieurs milliers. Nous allons maintenant expliquer le fonctionnement du système de conversion Sl. Par exemple, initialement le système est dans l'état représenté sur la figure 1A. Les bilames 9, 13 sont courbés du côté de la source chaude tandis que le bilame 11 est courbé du côté de la source froide SF. Sous l'effet de la chaleur dégagée par la source chaude SC, l'une des lames de chacun des bilames 9 et 13 se dilate. Lorsque celles-ci sont suffisamment 15 dilatées les bilames 9, 13 cloquent et voient leur courbure s'inverser et se retrouvent dans la configuration de la figure 1B. Simultanément, le bilame 11 qui est du côté de la source froide SF, tend à se déformer dans la configuration inverse. Lorsque les 20 deux bilames 9, 13 cloquent, le bilame 11 du fait du cloquage des bilames 9, 13, est entraîné. Ainsi le bilame 11 peut décloquer avant qu'il ait emmagasiné l'énergie nécessaire, son décloquage est facilité. Ce changement de configuration des bilames 25 a pour effet de déformer directement le matériau piézoélectrique, ce qui provoque une apparition de charge au sein du matériau et donc la génération d'un courant électrique. Ainsi, les bilames connectés mécaniquement 30 s'aident mutuellement, l'énergie requise pour un changement de configuration est donc réduit, ce qui a pour effet d'augmenter la fréquence de commutation des bilames et donc le nombre de cycles de déformation du matériau piézoélectrique, l'énergie électrique collectée est donc augmentée. Il est bien entendu que le bilame 11 peut cloquer ou décloquer avant les bilames 9 et 13. Les bilames d'une même bande ou d'un même système peuvent présenter des formes différentes et/ou être réalisés avec des matériaux différents et réagir ainsi à des températures différentes, ce qui peut être intéressant suivant la configuration de la source chaude et celle de la source froide. Avantageusement, on choisit des bilames, plus particulièrement les matériaux des lames des bilames, de telle sorte que les deux températures de transition provoquant le cloquage et le décloquage des bilames soient rapprochées afin que les bilames présentent une fréquence de cloquage/décloquage encore plus élevée et ainsi mettre en vibration l'élément piézoélectrique avec une fréquence élevée. Par ailleurs, les portions de matériau piézoélectrique recouvrant les bilames peuvent être en matériaux piézoélectriques différents. Dans le cas où le transducteur est de type capacitif, on peut envisager que chaque bilame porte une plaque en regard d'une plaque fixe, les deux plaques étant séparées par un milieu diélectrique. Les deux plaques forment alors un condensateur à capacité variable. Le changement de configuration de chaque bilame provoque la variation de capacité des condensateurs. On peut envisager que les bilames forment directement l'une des plaques des condensateurs. Sur la figure 2, on peut voir un exemple de réalisation d'un système S2 mettant en oeuvre des transducteurs magnétiques. Les bilames sont recouverts d'un matériau magnétique 16 qui génère un champ magnétique fixe. Des contacts électriques 18 sont directement formés aux extrémités des bandes de bilames qui forment des conducteurs électriques. Le changement de configuration des bilames, et donc la déformation des conducteurs électriques, provoquent la génération d'un courant suivant la loi de Lorentz. Sur la figure 4A, on peut voir une variante de réalisation dans laquelle les bilames 9 et 13 sont, dans un état stable, en contact thermique direct avec le substrat, et le bilame 11 est en contact thermique avec le substrat dans l'autre état stable ce qui améliore la réactivité du système et son rendement. Sur la figure 4B, est représentée schématiquement une étape de procédé du système de la figure 4A. Cette étape consiste à graver la couche d'oxyde 104 sur une plus grande épaisseur dans les zones I et II en dessous des extrémités longitudinales 9.1, 13.2 des bilames 9 et 13 sont suspendues, de sorte à provoquer un abaissement de la position de la bande de bilames jusqu'à entrer en contact avec le substrat. Les exemples de réalisation décrits ne sont en aucun cas limitatifs et tout autre arrangement peut convenir. Un arrangement sous forme de matrice ne sort pas du cadre de la présente invention. Chaque bilame, hormis ceux situés sur le bord de la matrice, seraient alors reliés mécaniquement à un bilame à chacune de ses extrémités longitudinales et à chacune de ses extrémités latérales. Nous allons maintenant décrire un exemple d'un procédé de réalisation d'un système de conversion selon l'invention mettant en oeuvre un matériau piézoélectrique en relation avec les figures 3A à 3F. Ce procédé est du type de celui mis en oeuvre dans la microélectronique et permet de réaliser des systèmes particulièrement adaptés à la conversion de l'énergie thermique générée par de systèmes électroniques. Sur un substrat 102, par exemple en silicium, on dépose une couche 104 de SiO2. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3A. En variante, il pourrait s'agir de TEOS (Tetraethoxysilane). Lors d'une étape suivante on effectue un dépôt de Si3N4 sur la couche d'oxyde 104. En variante il pourrait s'agir de SiN. Ensuite par lithographie et gravure on délimite des portions 106 de Si3N4. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3B. Ensuite on effectue une oxydation thermique de l'élément de la figure 3B, par exemple par le 25 procédé d'oxydation locale de silicium ou LOCOS ("Local Oxidation of Silicon" en terminologie anglo-saxonne) qui est bien connu de l'homme du métier. Ce procédé consiste à appliquer des températures très élevées par exemple comprise entre 700°C et 1300°C à l'élément 30 disposé dans une atmosphère riche en oxygène, ce qui provoque une augmentation de l'épaisseur de la couche d'oxyde entre les zones recouvertes par les portions de Si3N4. Il y a alors formation de cuvettes 108 à la surface de l'élément représenté sur la figure 3C. Lors d'une étape suivante, on effectue un dépôt d'une couche 110 d'un premier métal ou alliage métallique, par exemple du silicium polycristallin et ensuite un dépôt d'une couche d'un deuxième métal ou alliage métallique 112, par exemple de l'aluminium. Les deux métaux ayant des coefficients de dilatation thermique différents. En variante, le deuxième métal pourrait être du Ti, Tin, Cu, Au, FeNi, Ni, W, Pt, Ta, Tan". Ensuite par lithographie et gravure avec arrêt sur l'oxyde, on délimite les bilames 9, 11, 13. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3D. Les bilames ainsi réalisés sont directement préformés et présentent une courbure. En outre, ils sont directement reliés mécaniquement par leurs extrémités longitudinales puisqu'ils sont réalisés d'un seul tenant. Lors d'une étape suivante, on effectue un dépôt d'une couche 114 de matériau piézoélectrique, par exemple du PZT (Titano-Zirconate de Plomb), ou de l'AIN, ou du ZnO. Ensuite par lithographie et gravure, on délimite les portions de matériau piézoélectrique 114 au-dessus des bilames réalisés à l'étape précédente. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3E. Lors d'une étape suivante, on retire partiellement l'oxyde de sorte à libérer les bilames, formant ainsi des cavités sous les bilames. Pour cela on réalise un masque de résine 116 par lithographie, afin de délimiter l'emplacement de cavités discrètes et ensuite on effectue une gravure au temps par exemple avec de l'acide fluorhydrique dilué, formant ainsi les cavités discrètes 118. Les couches métalliques comportent alors des portions suspendues formant les bandes de bilames. La surface des cavités est déterminée de sorte qu'un nombre entier de bilames soit libéré. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure 3F. De préférence, les bilames sont libérés par nombre impaire, les bandes de bilames présentant un 10 plan de symétrie facilitant la fabrication du système de conversion. Enfin on retire le masque 116. L'élément ainsi obtenu est représenté sur la figure LA. Dans le cas où les moyens de conversion de 15 l'énergie mécanique en énergie électrique sont de type magnétique, on prévoit par exemple de déposer un matériau magnétique en lieu et place du matériau piézoélectrique et de réaliser des contacts directement sur les bilames. Le système peut être de toute taille, il 20 peut présenter des dimensions millimétriques, micrométriques, voire nanométriques jusqu'à des dimensions de l'ordre de 1 mètre à plusieurs mètres. Le système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique offre un rendement amélioré car 25 la fréquence de cloquage-décloquage des bilames est augmentée, ainsi que la production d'électricité. Ce système permet par exemple d'exploiter la chaleur dégagée par une surface d'une puce de circuit intégré, par un pot d'échappement d'un véhicule 30 automobile ou par le soleil ou par toute autre source de chaleur. REVENDICATIONS1. Système de conversion d'énergie thermique en énergie électrique (S1, S2) destiné à être disposé entre une source chaude (SC) et une source froide (SF), comportant un substrat, des moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique (6) et des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique (8), les moyens de conversion de l'énergie thermique en énergie mécanique (6) comportant au moins un groupe (G1, G2) de au moins deux bilames (9, 11, 13) reliés mécaniquement entre eux et suspendus au moins en partie au-dessus du substrat (12), chaque bilame (9, 11, 13) comportant deux états stables dans lesquels ils présentent dans chacun des états une courbure, les bilames (9, 11, 13) directement adjacents présentant des courbures opposées, le passage d'un état stable des bilames (9, 11, 13) à l'autre étant adapté pour provoquer une excitation des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique et une génération d'électricité. 2. Système de conversion selon la revendication 1, dans lequel les bilames sont reliés 25 mécaniquement entre eux par leurs extrémités longitudinales de sorte à former une bande. 3. Système de conversion selon la revendication 1, dans lequel les bilames sont reliés 30 mécaniquement entre eux par leurs extrémités latérales. 4. Système selon la revendication 1, dans lequel les bilames sont reliés à des bilames par leurs extrémités longitudinales et à des bilames par leurs extrémités latérales de sorte à former une nappe de bilames. 5. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel les bilames (9, 11, 13) sont réalisés d'un seul tenant. 6. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 5, comportant plusieurs groupes (G1, G2, G3) d'au moins deux bilames (9, 11, 13), lesdits groupes étant réalisés d'un seul tenant. 7. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel le groupe (G1, G2, G3) de bilames comporte un nombre impaire de bilames (9, 11, 13). 8. Système selon l'une revendication 1 à 7, dans lequel les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique (8) comprennent un matériau piézoélectrique. 25 9. Système selon la revendication 8, dans lequel le matériau piézoélectrique est disposé directement sur au moins un bilame, et dans lequel le système comporte des contacts électriques sur le 30 matériau piézoélectrique pour récupérer l'électricité générée dans ledit matériau piézoélectrique. 15 20 10. Système de conversion selon la revendication 8 ou 9, dans lequel chaque bilame est recouvert par un transducteur en matériau piézoélectrique. 11. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique comprennent un matériau magnétique. 12. Système de conversion selon la revendication 11, dans lequel le matériau magnétique (16) est déposé sur au moins un bilame, et dans lequel le système comporte des contacts électriques (18) sur le bilame pour récupérer l'électricité générée dans le bilame. 13. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel les moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique sont de type capacitif. 14. Système de conversion selon l'une des revendications 1 à 13, dans lequel au moins un bilame du groupe est, dans un de ses états stables, en contact avec le substrat. 15. Ensemble de conversion d'énergie thermique en énergie électrique comportant une source chaude (SC) et une source froide (SF) situées en face l'une de l'autre et un système de conversion selonl'une des revendications 1 à 14, ledit système de conversion étant disposé entre la source chaude et la source froide. 16. Ensemble de conversion selon la revendication 15, dans lequel la source chaude (SC) est alimentée thermiquement par un système électronique. 17. Procédé de réalisation d'un système de 10 conversion selon l'une des revendications 1 à 14, comportant les étapes : a) dépôt d'une couche d'oxyde de silicium (104) sur un substrat en silicium (102), b) réalisation de portions en Si3N4 (106) ou 15 SiN sur la couche d'oxyde (104), c) croissance thermique de l'oxyde entre les portions en Si3N4 (106), d) réalisation des bilames par dépôt d'une première couche de métal ou de semi-conducteur (110) et 20 d'une deuxième couche de métal (112), les deux métaux présentant des coefficients de dilatation différent, e) réalisation des moyens de conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique, f) retrait de l'oxyde dans des zones 25 discrètes de sorte à former des cavités (118) entre le substrat et les couches de métal. 18. Procédé de réalisation selon la revendication 17, dans lequel l'étape e) comporte le 30 dépôt d'une couche de matériau piézoélectrique (114) sur les couches de métal (110, 112). 19. Procédé de réalisation selon la revendication 17 ou 18, dans lequel l'étape c) se fait par une oxydation locale du silicium. 20. Procédé de réalisation selon l'une des revendications 17 à 19, dans lequel lors de l'étape d), la première couche de métal (110) est du silicium polycristallin et la deuxième couche de métal (112) est de l'aluminium.10