Brevet FR2997763A1 — publié le 20140509

DISPOSITIF ET PROCEDE D'ESTIMATION D'UN FLUX DE GAZ DANS UNE ENCEINTE MAINTENUE EN DEPRESSION VIS-A-VIS DU GAZ DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE L'invention concerne un dispositif et un procédé d'estimation d'au moins un flux de gaz dans une enceinte maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du ou des gaz. L'invention s'applique notamment pour réaliser une estimation de la perméation, c'est-à-dire des propriétés barrières aux gaz, d'une couche barrière, ou film barrière. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE Certains dispositifs, tels que les composants électroniques et les panneaux photovoltaïques à base de matériaux organiques, sont particulièrement sensibles à l'oxydation induite par l'eau et le dioxygène. Afin de pouvoir augmenter la durée de vie de ces dispositifs, il est nécessaire de les protéger au maximum en utilisant des films barrières, ou couches barrières, ayant de fortes propriétés barrières à la vapeur d'eau et au dioxygène, par exemple comprises entre environ 10-3 g.m-2.jours-1 et 10-6 g.m-2.jours-1 pour le flux de transmission à l'eau (ou WVTR pour « Water Vapor Transmission Rate ») et de l'ordre de 10-3 cm3.m-2.jours-1 pour le flux de transmission à l'oxygène ou dioxygène (ou OTR pour « Oxygen Transmission Rate »). De tels films barrières sont par exemple le « Ultra Barrier Solar Film » commercialisé par la société 3MTm, ou le film X-BarrierTM commercialisé par la société Mitsubishi PlasticsTM. Le terme « barrière » signifie ici la protection apportée par le matériau barrière au dispositif par rapport aux gaz de l'environnement responsables de la dégradation du dispositif. La protection de ces dispositifs sensibles à l'atmosphère est d'autant plus critique lorsqu'elle doit être effectuée avec des matériaux flexibles, à fortiori transparents. Les propriétés barrières au gaz de ces couches de matériaux (ou films barrières) peuvent être très variables. Les couches barrières classiques, adaptées à des applications peu exigeantes (par exemple dans le domaine alimentaire), ont des WVTR compris entre environ 10-1 et 1 g.m-2.jours-1. Les couches formant les plus fortes barrières au passage de la vapeur d'eau ont des WVTR inférieurs à environ 10-6 g.m-2.jours-1. Les couches barrières ne permettent donc pas d'empêcher totalement le passage des gaz et présentent toujours une perméation non nulle vis-à-vis des gaz. Il est donc important de pouvoir mesurer leur niveau de perméation afin de garantir la protection des dispositifs protégés avec de tels films barrières. Les propriétés barrières de ces couches barrières sont mesurées via la mise en oeuvre d'une mesure de perméation des couches telle que représentée schématiquement sur la figure 1, permettant de déterminer le flux de gaz transmis par la couche barrière. Une couche barrière 10 à caractériser est placée dans un perméamètre 11, à l'interface entre une première chambre 12 et une deuxième chambre 14 (voir figure 1, schéma a)). Un dispositif de mesure 16 permettant de réaliser une détection de gaz présents dans la deuxième chambre 14, en mesurant notamment la pression partielle de certains isotopes du gaz tel que la vapeur d'eau ou l'oxygène, est disposé dans la deuxième chambre 14. Ce dispositif de mesure 16 correspond par exemple à un spectromètre de masse. La seule paroi perméable entre les deux chambres 12 et 14 est donc formée par la couche barrière 10 dont on cherche à caractériser la perméation. La première chambre 12 est remplie d'un gaz cible 18 à une pression contrôlée, ce gaz 18 étant apte à être détecté par le dispositif de mesure 16. Le gaz cible 18 est par exemple de la vapeur d'eau ou de l'oxygène ou du dioxygène, mais le principe est valable pour tout autre gaz ou arôme (voir figure 1, schéma b)). Le gaz 18 présent dans la première chambre 12 est alors transmis dans la deuxième chambre 14 par un processus de solubilité/diffusion à travers la couche barrière 10 (figure 1, schéma c)). Un tel perméamètre 11 est par exemple décrit dans le brevet US 7,624,621 B2. La mesure de perméation de la couche barrière 10 réalisée donne une courbe représentant l'évolution dans le temps de la pression partielle du gaz 18 dans la deuxième chambre 14, telle que représentée sur la figure 2. Dans le cas d'un régime de perméation idéal et sans défaut, c'est-à-dire lorsque le matériau de la couche barrière 10 est homogène et que le coefficient de diffusion de la couche barrière 10 ne varie pas en fonction de la concentration en gaz cible au cours de la mesure, cette courbe, correspondant à l'évolution du taux de transfert du gaz 18 à travers la couche barrière 10, peut être exprimée par l'équation de Fick : 1 (2n 12l2 J ( t ) = 2P,SE - exp (1) n=1 i 4 Dt avec P1 : pression constante du gaz 18 dans la première chambre 12; S : solubilité de la couche barrière 10; D : coefficient de diffusion de la couche barrière 10; I : épaisseur de la couche barrière 10. Un paramètre C = Pi.S peut également être utilisé dans l'équation (1) ci-dessus. La courbe donnée par l'équation (1) ci-dessus comporte deux régimes : le premier, dit régime transitoire, correspond à la montée en fonction du temps du flux du gaz cible 18 traversant la couche barrière 10. Le second, dit régime stationnaire, exprime un flux constant du gaz cible 18 traversant la couche barrière 10 par solubilité / diffusion. La caractéristique de flux de gaz cible à mesurer, à savoir le taux de transfert stabilisé, est obtenue à partir du régime stationnaire de la courbe de flux mesurée et correspond à la valeur constante vers laquelle tend cette courbe. Le taux de transfert stabilisé du gaz 18 à travers la couche barrière 10 peut être exprimé par l'équation : A .I... = D .SP 1 avec AP : différence de pression partielle du gaz 18 entre la première chambre 12 et la deuxième chambre 14. Le taux de transfert stabilisé du gaz 18 à travers la couche barrière 10 peut également être approximé par l'équation : D .0 Joo = (3) / (2) Lorsque le gaz cible 18 est de la vapeur d'eau, ce taux de transfert stabilisé correspond au WVTR, et lorsque le gaz cible 18 est de l'oxygène ou du dioxygène, ce taux correspond à l'OTR. De l'analyse des premier et second régimes est également déduit le temps caractéristique du régime transitoire, appelé « Time lag ». Celui-ci est calculé en intégrant la courbe du taux de transfert du gaz 18 à travers la couche barrière 10, représentant ainsi la quantité cumulée du gaz 18 ayant traversé la couche barrière 10, en fonction du temps. Une telle courbe est représentée sur la figure 3. Le paramètre « Time lag » est alors calculé en extrapolant, à quantité nulle, l'évolution linéaire de la quantité cumulée de gaz cible 18 dans le régime stationnaire. Le régime de perméation peut être plus complexe pour des matériaux barrières comportant plusieurs couches tels des dépôts inorganiques sur substrat polymère et/ou dans le cas de diffusion de gaz fortement adsorbé par le matériau barrière (modification du coefficient de diffusion avec le temps). Dans ce cas, l'évolution du taux de transfert d'un tel régime de perméation complexe peut être exprimée par des lois représentatives bien plus complexes et très dépendantes des matériaux testés. De plus, la mise en oeuvre d'une telle mesure de perméation pose toutefois plusieurs problèmes. Tout d'abord, concernant la sensibilité de la mesure réalisée, la détection du flux du gaz cible 18 s'établissant au travers la couche barrière 10 par le dispositif de mesure 16 n'est possible que si le rapport signal/bruit de fond est conforme aux capacités de détection du dispositif de mesure 16, c'est-à-dire si la valeur du signal mesuré correspondant au flux de gaz 18 à travers la couche 10 est suffisamment élevée pour se détacher du bruit de fond présent dans la deuxième chambre 14. Ce bruit de fond provient de plusieurs facteurs : - le bruit électronique minimum, ou sensibilité du dispositif de mesure 16, tel que le courant d'ionisation minimum détectable par un spectromètre de masse pour l'isotope du gaz cible considéré ; - la présence de gaz cible résiduel dans la deuxième chambre 14 provenant notamment du dégazage des parois de la deuxième chambre 14 et de la couche 10 dont on cherche à mesurer la perméation (et également du filament du spectromètre de masse dans le cas d'une mesure par un tel appareil). Un deuxième facteur complexifiant une telle mesure de perméation est le temps de mesure parfois nécessaire. En effet, les matériaux présentant des propriétés barrières importantes peuvent comporter des régimes transitoires (et donc des « Time lag ») particulièrement longs, pouvant aller jusqu'à plusieurs mois. Enfin, un troisième facteur complexifiant la mise en oeuvre d'une telle mesure est la fiabilité de la mesure réalisée. En effet, la caractéristique de flux permanent du gaz cible mesurée, c'est-à-dire le taux de transfert, peut être aisément tronquée si son relevé est réalisé involontairement de manière anticipée, avant que le régime stationnaire ne soit atteint. Ces inconvénients se retrouvent également lorsque l'on souhaite réaliser une mesure de flux de gaz dans une enceinte maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du ou des gaz à mesurer, que ce flux corresponde à une montée en pression du gaz cible dans l'enceinte ou une baisse de la pression résiduelle du gaz dans l'enceinte (correspondant par exemple à un dégazage dans l'enceinte, c'est-à-dire au bruit de fond). EXPOSÉ DE L'INVENTION Un but de la présente invention est de proposer un procédé et un dispositif permettant de simuler l'évolution d'un ou plusieurs flux de gaz dans une enceinte, ou volume, maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du ou des gaz mesurés, de manière fiable et avec un temps réduit. Un but de la présente invention est également de pouvoir réaliser une estimation d'une perméation d'une couche barrière en rendant cette mesure plus sensible, plus fiable et avec un temps réduit par rapport à celui nécessaire aux dispositifs et procédés de mesure de perméation de l'art antérieur pour estimer les propriétés de perméation de la couche barrière. Pour cela, la présente invention propose un procédé d'estimation d'au moins un flux de gaz dans une enceinte maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du gaz, comportant au moins : - une mesure, en fonction du temps, d'un flux du gazI -mesure dans l'enceinte maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du gaz, et - une estimation de valeurs de paramètres A et B mise en oeuvre de manière itérative en réduisant une erreur d'estimation basée sur une différence entre une estimation du flux du gaz Jestini(t) et le flux du gaz mesuréI -mesure, et dans lequel, lorsque le flux de gaz mesuré Jniesure correspond à une montée en pression du gaz dans l'enceinte, l'estimation du flux du gaz Jestini(t) est calculée selon l'équation : 1 n ma)/ - ( 2n + 1)2 B2A E exp + OffY , J estim ( t ) 4B( t - OffX ) i 7C (t - OffX ) n-1 - \ \ et lorsque le flux de gaz mesuré Jmesure correspond à une baisse de pression du gaz dans l'enceinte, l'estimation du flux du gaz Jestini(t) est calculée selon l'équation : 1 + OffY , ( - (2n +1)2 J es,. ( t ) = Pin, - 2A E B , exp n_i 7C (t - OffX)i 4,80'- OffX ) i avec OffX et OffY : nombres entiers relatifs ; Pt: valeur initiale d'une pression partielle mesurée du gaz dans l'enceinte ; nniax : nombre entier supérieur ou égal à 1. Le procédé selon l'invention permet de caractériser le flux de gaz dans l'enceinte sans avoir à attendre nécessairement le régime stationnaire de ce flux pour en déduire la valeur des paramètres A et B qui permettent de caractériser ce flux de gaz. De plus, on améliore la fiabilité d'estimation de ce flux de gaz du fait qu'il n'est plus possible de tronquer involontairement la caractéristique de flux permanent du gaz cible mesurée, c'est-à-dire le taux de transfert, avant que le régime stationnaire ne soit atteint. L'estimation des valeurs des paramètres A et B est réalisée de manière itérative en approchant au mieux l'estimation Jestim(t) de la mesure du flux de gaz réalisée Jrnesure- Le flux de gaz est modélisé par une équation exprimant Jestim(t) et présentant des propriétés similaires à l'équation de Fick. Lorsque ce procédé est appliqué pour réaliser une estimation de la perméation d'une couche barrière, les paramètres A et B estimés peuvent notamment servir à calculer le coefficient de diffusion et/ou la solubilité et/ou le taux de transfert et/ou le Time Lag de la couche barrière. Le gaz peut être choisi parmi la vapeur d'eau, l'oxygène, le dioxygène, un des isotopes de l'eau ou de l'oxygène, l'hélium, l'hydrogène, ou un mélange d'au moins deux desdits gaz. L'estimation des valeurs des paramètres A et B peut comporter au moins la mise en oeuvre des étapes suivantes : ajchoix de valeurs initiales des paramètres A et B; bjcalcul de l'estimation du flux de gaz Jestim(t) ; c1) calcul de l'erreur d'estimation; di)lorsque l'erreur d'estimation est positive, réduction de la valeur du paramètre A et/ou de la valeur du paramètre B, et lorsque l'erreur d'estimation est négative, augmentation de la valeur du paramètre A et/ou de la valeur du paramètre B; et dans lequel la mise en oeuvre des étapes b1) à d1) est répétée plusieurs fois successivement jusqu'à atteindre une stabilisation des valeurs estimées des paramètres A et B. L'étape c1) peut comporter la mise en oeuvre des étapes suivantes : - division de Jestim(t) et Jmesure en plusieurs parties telles que chacune de ces parties corresponde à Jestim(t) et Jmesure pour un intervalle de durée distinct des intervalles de durée des autres parties ; - pour chacune des parties de Jestim(t) et Jrnesure, calcul d'un paramètre ErreurJpartiej = festim mesure) avec partie_i correspondant à te partie i l'intervalle de durée des parties correspondantes de Jestim(t) et Jmesure ; - calcul de paramètres ErreurA et ErreurB, correspondant respectivement aux erreurs d'estimation des paramètres A et B et formant ensemble l'erreur d'estimation, chacun des paramètres ErreurA et ErreurB étant égal à une combinaison linéaire des paramètres ErreurJpartie _1 ; et dans lequel l'étape d1) est mise en oeuvre telle que : - lorsque la valeur du paramètre ErreurA est positive, la valeur du paramètre A est réduite ; - lorsque la valeur du paramètre ErreurA est négative, la valeur du paramètre A est augmentée ; - lorsque la valeur du paramètre ErreurB est positive, la valeur du paramètre B est réduite ; - lorsque la valeur du paramètre ErreurB est négative, la valeur du paramètre B est augmentée. Dans ce cas, certaines parties des courbes du flux de gaz mesuré et de l'estimation du flux de gaz qui ne sont pertinentes que pour l'un seulement des paramètres A et B peuvent ne pas être prises en compte pour l'estimation de l'autre des paramètres A et B. Une stabilisation des valeurs des paramètres A et B peut être atteinte lorsque les valeurs des paramètres A et B comportent au moins six premiers chiffres, en notation scientifique, identiques à ceux des valeurs des paramètres A et B obtenues lors d'une précédente mise en oeuvre des étapes b1) à d1). Les valeurs des paramètres A et B peuvent être réduites ou augmentées d'un pas variable dont la valeur dépend de précédentes réductions ou augmentations des valeurs des paramètres A et B. Ainsi, il est possible de raccourcir le temps de mise en oeuvre du procédé pour obtenir les estimations des valeurs des paramètres A et B. L'estimation des valeurs des paramètres A et B peut être mise en oeuvre plusieurs fois en considérant, à chacune de ces estimations, des valeurs différentes du paramètre OffX et/ou du paramètre OffY, et dans lequel des valeurs finales des paramètres A et B sont choisies comme étant celles pour lesquelles une erreur globale entre le flux de gaz mesuré Jmesure et l'estimation du flux de gaz Jestim(t) est minimale parmi l'ensemble des étapes d'estimation des valeurs des paramètres A et B mises en oeuvre. On peut ainsi aisément corriger un offset, ou décalage, en X (abscisse) et/ou en Y (ordonnée) entre la courbe représentant l'estimation du flux de gaz et la courbe représentant le flux de gaz mesuré. Lorsqu'une erreur globale entre le flux de gaz mesuré Jmesure et l'estimation du flux de gaz Jestim(t) atteint une valeur minimale à un instant tx et est supérieure à cette valeur minimale après tx (par exemple au moins supérieur d'environ 10% pendant environ au moins 5% de la durée de la mesure), une nouvelle estimation de valeurs de paramètres Ax et Bx, correspondant aux paramètres A et B pour t > tx, est mise en oeuvre, dans laquelle les valeurs des paramètres Ax et Bx sont estimées de manière itérative en réduisant une erreur d'estimation basée sur une différence, pour t > tx, entre une estimation du flux de gaz Jestim_x(t) calculée sur la base des valeurs estimées des paramètres Ax et Bx et le flux de gaz mesuré Jmesure auquel est soustrait l'estimation du flux de gaz Jestim(t) pour t Par exemple, lorsque le dispositif de mesure est un spectromètre de masse, la connaissance de la relation entre le courant d'ionisation du spectromètre et la pression partielle en gaz cible, ou une calibration de la relation pression partielle en gaz cible / flux de gaz cible, permet de déterminer la mesure du flux de gaz. Lors de la mise en oeuvre des étapes de mesure du flux du gazl -mesure et d'estimation des valeurs de paramètres A et B, la couche barrière peut être saturée en gaz, et le flux de gaz mesurél -mesure peut correspondre à une baisse de pression du gaz dans la deuxième chambre du perméamètre. Le procédé peut comporter en outre, après l'estimation des valeurs des paramètres A et B, le calcul d'un flux de gaz stabilisé Joo tel que Joo = A.B ou, lorsqu'une estimation de valeurs de paramètres Ax et Bx est mise en oeuvre, le calcul de flux de gaz stabilisés Joox tel que Jo.ox = Un flux de gaz stabilisé total peut être calculé et correspondre à la somme de Joo et des Joox. L'invention concerne également un procédé d'estimation d'une perméation d'une couche barrière vis-à-vis d'au moins un gaz, dans lequel la couche barrière sépare une première chambre et une deuxième chambre d'un perméamètre, comportant au moins : - mise en dépression de la première chambre et de la deuxième chambre vis-à-vis du gaz ; - première mise en oeuvre d'un procédé d'estimation d'un flux de gaz tel que décrit précédemment, tel que le flux de gaz mesuré, appelél -mesure_degas, correspond à une baisse de pression du gaz dans la deuxième chambre ; - calcul d'une estimation d'un flux de gaz1 -estim_degas(t) à partir de dernières valeurs des paramètres A et B précédemment estimées lors de la première mise en oeuvre du procédé d'estimation d'un flux de gaz ; - introduction du gaz dans la première chambre telle que la pression partielle du gaz dans la première chambre soit supérieure à celle dans la deuxième chambre ; - deuxième mise en oeuvre d'un procédé d'estimation d'un flux de gaz tel que décrit précédemment, tel que le flux de gaz mesuré imesure, correspond à une montée en pression du gaz dans la deuxième chambre, et au cours duquel l'estimation de valeurs de paramètres A et B est réalisée en réduisant l'erreur d'estimation basée sur une différence entre une estimation du flux du gaz1 -estim_perm(t) et un autre flux de gaz1 -mesure_perm tel que1 -mesure_perm = Jrnesure Jestim_degas(t).. Ce procédé permet dans ce cas, à partir des paramètres A et B estimés lors d'une estimation du bruit de fond dans la deuxième chambre (correspondant à Jestim_degas(t)), d'estimer directement la perméation de la couche barrière à partir de ces paramètres. Ainsi, ce procédé permet de simuler efficacement l'évolution du bruit de fond avant de réaliser la mesure de perméation de la couche barrière. En effet, lors de la première mise en oeuvre du procédé d'estimation du flux de gaz, ce flux de gaz correspond à une mesure de bruit de fond dans la deuxième chambre (correspondant aux flux de gaz en provenance des parois de la 2' chambre, des différents dégazages du dispositif de mesure ainsi que du dégazage de la couche barrière). Lors de la deuxième mise en oeuvre du procédé d'estimation du flux de gaz, le flux de gaz mesuré Jmesure correspond alors à la somme des flux issus du bruit de fond1 -estim_degas, c'est-à- dire des dégazages se produisant dans la deuxième chambre, et du flux issu de la perméation du gaz à travers la couche barrière1 -mesure_perm- En soustrayant l'estimation du flux de gaz1 au flux de gaz mesuré -mesure lors de l'estimation des -estim_degas(t) 1 paramètres A et B, on améliore ainsi considérablement la sensibilité de mesure du flux de gaz correspondant à la perméation à travers la couche barrière. Lorsqu'une population de paramètres (A; B) est déterminée, c'est-à-dire lorsque le mécanisme de diffusion du gaz à travers la couche barrière est complexe, par exemple dans le cas d'une couche barrière comportant des défauts et/ou présentant un coefficient de diffusion variant en fonction de la concentration en gaz cible dans le matériau, le procédé selon l'invention permet d'appliquer les principes de l'équation de Fick à de tels régimes de diffusion complexes qui sont traditionnellement connus pour ne pas répondre à la loi de Fick. Il est donc possible d'appliquer le procédé d'estimation à des couches barrières dont la perméation ne suit pas un modèle régi par un unique régime de perméation (correspondant à une seule équation de Fick) mais suit un modèle correspondant à une somme de plusieurs régimes de perméation différents les uns des autres, chacun pouvant être modélisé à l'aide d'une équation dérivée de l'équation de Fick et dont les paramètres A et B sont distincts de ceux des autres régimes de perméation. De la même façon, l'estimation des paramètres A et B peut être mise en oeuvre plusieurs fois afin de décrire au mieux Jestim_degas(t)- Lorsqu'une erreur globale entre le flux de gaz mesuré Jmesure_degas et l'estimation du flux de gaz estim 1 _degas(t) est inférieure à la valeur d'un premier seuil - Ydegasinf, l'estimation du flux de gaz estim 1 _degas(t) est soustraite des valeurs du flux de - gaz mesuré 1 -mesure_perm lors de la deuxième mise en oeuvre du procédé d'estimation du flux de gaz et, lorsque l'erreur globale entre le flux de gaz mesuré Jmesure jegas et l'estimation estim J _degas(t) est supérieure à la valeur d'un deuxième seuil Ydegas_sup, une dernière valeur mesurée du flux de gaz Jmesure_degas ou une moyenne de plusieurs dernières valeurs mesurées du flux de gaz 1 -mesure_degas est soustraite des valeurs du flux de gaz mesuré 1 -mesure_perm(t) lors de la deuxième mise en oeuvre du procédé d'estimation du flux de gaz. Le procédé peut comporter en outre, après l'estimation des valeurs des paramètres A et B au cours de la deuxième mise en oeuvre d'un procédé d'estimation d'un flux de gaz, le calcul d'un flux de gaz stabilisé Joo tel que Joo = A.B ou, lorsqu'une estimation de valeurs de paramètres Ax et Bx est mise en oeuvre au cours de la deuxième mise en oeuvre d'un procédé d'estimation d'un flux de gaz, le calcul de flux de gaz stabilisés Joox tel que Jo.ox = Un flux de gaz stabilisé total peut être calculé et correspondre alors à la somme de Joo et des Joox. L'invention concerne également un dispositif d'estimation d'une perméation d'une couche barrière, comportant des moyens de mise en oeuvre d'un procédé d'estimation de la perméation de la couche barrière tel que décrit précédemment. Il est également proposé un procédé d'estimation d'une perméation d'une couche barrière vis-à-vis d'au moins un gaz, comportant au moins une mesure, en fonction du temps, d'un flux du gaz 1 -mesure traversant la couche barrière par perméation, et une estimation des valeurs de paramètres D et S, correspondant respectivement à un coefficient de diffusion et une solubilité de la couche barrière, dans laquelle les valeurs des paramètres D et S sont estimées de manière itérative en réduisant une première erreur d'estimation basée sur une différence entre une estimation du flux du gaz Jest,m(t) calculée sur la base des valeurs estimées des paramètres D et S et le flux du gaz Jmesure mesuré. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés à titre purement indicatif et nullement limitatif en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels : - la figure 1 représente un dispositif et un procédé de mesure de perméation d'une couche barrière ; - les figures 2 et 3 représentent des courbes de mesure de l'évolution d'une pression partielle de gaz et d'une quantité de gaz cumulée en fonction du temps à travers une couche barrière ; - la figure 4 représente différentes étapes d'un procédé d'estimation de la perméation d'une couche barrière, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier ; - la figure 5 représente les étapes mises en oeuvre pour réaliser une estimation d'un bruit de fond dans l'enceinte de mesure d'un perméamètre lors d'un procédé d'estimation de la perméation d'une couche barrière, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier ; - la figure 6 représente des courbes correspondant au bruit de fond mesuré et au bruit de fond estimé lors d'un procédé d'estimation de la perméation d'une couche barrière, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier ; - la figure 7 représente les étapes mises en oeuvre pour réaliser une estimation des paramètres D et S lors d'un procédé d'estimation de la perméation d'une couche barrière, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier ; - les figures 8 à 10 représentent des courbes correspondant au flux de gaz mesuré et au flux de gaz estimé lors d'un procédé d'estimation de la perméation d'une couche barrière, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier ; - la figure 11 représente l'évolution d'une erreur globale entre un flux de gaz estimé et un flux de gaz mesuré lorsque ce flux de gaz est régi par plusieurs régimes de perméation ; - la figure 12 représente un dispositif de mesure de perméation, objet de la présente invention, selon un mode de réalisation particulier. Des parties identiques, similaires ou équivalentes des différentes figures décrites ci-après portent les mêmes références numériques de façon à faciliter le passage d'une figure à l'autre. Les différentes parties représentées sur les figures ne le sont pas nécessairement selon une échelle uniforme, pour rendre les figures plus lisibles. Les différentes possibilités (variantes et modes de réalisation) doivent être comprises comme n'étant pas exclusives les unes des autres et peuvent se combiner entre elles. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS On décrit la mise en oeuvre d'un procédé d'estimation de la perméation d'une couche barrière 10, ou film barrière, présentant notamment des propriétés barrières vis-à-vis d'un ou plusieurs gaz, selon un mode de réalisation particulier. Le ou les gaz considérés ici sont par exemple de la vapeur d'eau, du dioxygène, un des isotopes de l'eau ou de l'oxygène, de l'hélium, de l'hydrogène, ou un mélange d'au moins deux de ces gaz. Ce procédé est mis en oeuvre en utilisant notamment un perméamètre 11 tel que précédemment décrit en liaison avec la figure 1. Les différentes étapes de ce procédé sont représentées sur la figure 4 sous la forme d'un diagramme. Une première étape de ce procédé va consister à calculer une estimation de l'évolution dans le temps du bruit de fond dans l'enceinte de détection du perméamètre 11, c'est-à-dire dans la deuxième chambre 14 du perméamètre 11 (étape 102). Cette estimation du bruit de fond va consister à estimer l'évolution du flux de gaz dans l'enceinte formée par la deuxième chambre 14 et qui correspond à une baisse de pression du gaz dans l'enceinte. En effet, le dégazage des parois de la deuxième chambre 14 et de la couche barrière 10 à caractériser est dégressif et varie dans le temps à partir du moment où la deuxième chambre 14 est maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du gaz cible, correspondant par exemple à une mise sous vide de la deuxième chambre 14. L'estimation de l'évolution dans le temps du bruit de fond, appelée Jestim_degas, va donc permettre, lors de la mesure et de l'estimation ultérieures de la perméation du gaz à travers la couche barrière 10, de connaitre la composante du bruit de fond dans le flux de gaz transmis à travers la couche barrière 10 qui sera mesuré, appelé1 -mesure_perm, et donc dans l'estimation de ce flux de gaz, appelée1 -estim_perm(t)- Pour réaliser l'estimation de1 -estim_degas, la couche barrière 10 à caractériser est disposée à l'interface entre la première chambre 12 et la deuxième chambre 14 du perméamètre 11, comme représenté sur le schéma a) de la figure 1. Les chambres 12 et 14 sont placées en dépression du ou des gaz considérés. Cette estimation de1 -estim_degas est réalisée à partir de mesures du bruit de fond, appelé1 -mesure_degas- Parallèlement à la mesure de1 -mesure_degas, des calculs sont donc réalisés pour estimer1 -estim_degas- Ces calculs sont réalisés de manière itérative en tentant d'approcher au plus près l'estimation1 -estim_degas de la mesure1 -mesure_degas- Le bruit de fond lié au dégazage dans la deuxième chambre 14 du perméamètre 11 peut correspondre à une courbe de dégazage obéissant à une équation de Fick légèrement modifiée. En effet, l'équation de Fick non modifiée décrit un flux montant, correspondant au flux du gaz 18 traversant la couche barrière 10, et correspond à l'équation (1) indiquée précédemment. La courbe de dégazage correspondant au bruit de fond est un flux décroissant dans le temps qui est exprimé par l'équation (3) suivante : ( D ( - (2n +1)212 (4) deg as( t ) =Pin, - 2CE - exp 7T .t 4D.t ) avec I : constante ; Pt: valeur initiale d'une pression partielle du gaz 18 dans la deuxième chambre 14; C: paramètre proportionnel à la solubilité S de la couche barrière 10; D : coefficient de diffusion de la couche barrière 10. Afin de s'affranchir de la constante I, l'équation (4) ci-dessus peut être mise sous la forme : Jclegas(t)= ni 1 (5) ( B ( - (2n +1)2 -2AL - exp n=1 (Tc -t , 4B.t avec A et B : nombres entiers naturels tels que A = Cxl et B = D/I2. Les étapes mises en oeuvre pour réaliser l'estimation du bruit de fond 102 sont représentées sur le diagramme de la figure 5. On définit tout d'abord des valeurs initiales des paramètres A et B qui vont être utilisés pour calculer l'estimation du bruit de fond (étape 102.1). Ces valeurs initiales des paramètres A et B sont par exemple choisies de manière arbitraire par l'utilisateur, et correspondent par exemple à des valeurs proches de celles attendues et connues de manière empirique. Un vide, par exemple inférieur à 10-6 mbar, est réalisé dans la première chambre 12 et la deuxième chambre 14. On réalise alors des mesures, par le dispositif de mesure 16, d'un bruit de fondI -mesure_degas dans la deuxième chambre 14 (étape 102.2) correspondant au dégazage du gaz dans la deuxième chambre 14, ce dégazage étant déclenché par la mise sous vide de la deuxième chambre 14. Les paramètres de cette mesure dépendent notamment de la charge en eau, de la composition et de la structure de la couche barrière 10. La durée de mise en oeuvre de cette mesure peut aller de quelques minutes jusqu'à plusieurs jours ou plusieurs semaines si la couche barrière 10 et/ou la deuxième chambre 14 sont fortement polluées par l'eau. Il est par exemple possible de mesurer imesure jegas à une fréquence d'un point de mesure toutes les deux secondes, ou à une fréquence supérieure si le dispositif de mesure 16 le permet. A l'étape 102.3, un calcul d'une estimation de1 -estim_degas(t) est ensuite réalisé selon l'équation : 1 (6) n max( B estim deg as( t p 2A exp( - (2n +1)2 n=1 (Tc .t , 4B.t La valeur de Pt est par exemple choisie comme étant la première valeur mesurée deI -mesure_degas- Elle correspond à la pression partielle initiale du gaz considéré dans la deuxième chambre 14 et est inférieure au niveau de vide réalisé initialement. Par exemple, dès que la couche barrière 10 chargée en eau sera placée en contact du vide, celle-ci va commencer à dégazer. On ne sera alors plus en présence d'un aussi bon vide que celui obtenu sans la couche barrière chargée. La valeur de nmax est par exemple choisie comme étant supérieure ou égale à 1, par exemple égale à 30. Le passage de l'étape 102.2 à l'étape 102.3 se fait lorsque l'on a au moins deux points de mesure, c'est-à-dire au moins deux valeurs deI -mesure_degas- On calcule ensuite une erreur d'estimation deI -estim_degas basée sur une différence entreI -estim_degas(t) et Jrnesure_degas (étape 102.4). Contrairement au bruit de fond mesuré Jmesure_degas qui correspond à un nombre fini de points de mesure obtenus sur une durée finie (correspondant à la durée jusqu'à laquelle la mesure est réalisée), le bruit de fond estimé1 peut être calculé sur n'importe quelle -estim_degas(t) durée du fait qu'il est exprimé sous la forme d'une fonction mathématique. Pour réaliser le calcul de l'erreur d'estimation de Jestim_degas(t), on considère la fonction Jestim_degas(t) sur une gamme de valeurs de t correspondant à la durée de la mesure de Jrnesuredegas précédemment réalisée. On peut ainsi réaliser une comparaison des deux courbes correspondantI ,mesure_degas et Jestim_degas(t) sur un même intervalle de temps. Du fait des spécificités de l'équation de Fick (1) qui s'appliquent également aux précédentes équations (4) à (6) modélisant l'évolution dans le temps du bruit de fond, le paramètre A peut être considéré comme faisant varier uniquement l'amplitude de la courbe correspondantI -estim_degas(t), tandis que B peut être considéré comme faisant varier « l'étalement » de cette courbe le long de l'axe des temps. Etant donné que le dégazage correspondant au bruit de fond est toujours décroissant, l'erreur d'estimation de la valeur du paramètre A peut être obtenue en considérant la fin des courbes de mesure et d'estimation du bruit de fond, tandis que celle de la valeur de B peut être visible sans trop d'interférence de A vers le début des courbes de mesure et d'estimation du bruit de fond. Afin de pouvoir calculer indépendamment les erreurs d'estimation des paramètres A et B, les courbes correspondant à iestim jeg'(t) et Jrne're jeg' vont être divisées en plusieurs parties le long de l'axe des temps. Pour chacune de ces parties, un paramètre d'erreur est calculé tel que : ErreurJdeg as partie i (-1 estim deg as( mesure deg as) (7) te partie i avec partie_i correspondant à l'intervalle de durée des parties correspondantes de1 -estim_degas(t) et Jrnesure_degas- Le calcul de cette intégrale est réalisé en considérant les points de mesure de Jmesure_degas obtenus sur l'intervalle de temps correspondant à la partie des courbes considérée, les valeurs de iestim jegas(t) étant calculées pour différentes valeurs de t correspondant aux instants auxquels les points de mesure de Jrnesure_degas ont été obtenus. L'erreur de chacune de ces parties correspond à la surface se trouvant entre les courbes de mesure et d'estimation au niveau de chacune de ces parties. L'erreur est positive lorsque cette surface est au-dessus de la courbe de mesure (cas d'une surestimation du bruit de fond), et négative lorsque cette surface est en-dessous de la courbe de mesure (cas d'une sous-estimation du bruit de fond). Ces différentes intégrales sont ensuite combinées entre elles pour calculer des erreurs d'estimation des paramètres A et B. Une première possibilité pour calculer les erreurs d'estimation des paramètres A et B peut consister à considérer les courbes de mesure et d'estimation du bruit de fond comme étant formées chacune de deux parties distinctes en « coupant » l'axe des temps en deux. Sur l'exemple de la figure 6, la courbe 50 représente le bruit de fond mesuré Jmesure_degas et comporte une première partie 50.1 pour te [0;t1] et une deuxième partie 50.2 pour te [t1;t2]. La courbe 52 représente l'estimation du bruit de fond1 et comporte une première partie 52.1 pour -estim_degas(t) te [0;t1] et une deuxième partie 52.2 pour te [t1;t2]. Les valeurs de t1 et t2 sont par exemple telles que celle de t2 est égale à environ le double de celle de t1, l'intervalle [0 ;t2] correspondant par exemple à la durée totale pendant laquelle le bruit de fond a été mesuré. L'erreur d'estimation sur chacune de ces deux parties est alors calculée selon l'équation (7) ci-dessus, en calculant l'intégrale de la différence entre l'estimation et la mesure du bruit de fond. Les erreurs des paramètres A et B sont alors calculées telles que : ErreurB (-1 estim deg as( t mesure deg as) - Errelej deg as partie 1 (8) te[0;t1J ErreurA = f(Jestim deg as( t ) - J mesure deg as) = ErreurJ deg as partie 2 (9) tepl;t2 Une deuxième possibilité pour calculer ErreurA et ErreurB peut consister à considérer les courbes de mesure et d'estimation comme étant formées chacune de quatre parties distinctes : une première partie de chacune des deux courbes sur un intervalle t e [0;t1], une deuxième partie de chacune des deux courbes sur un intervalle tek;t21, une troisième partie de chacune des courbes sur un intervalle te fr2;t31, et une quatrième partie de chacune des courbes sur un intervalle te fr3;t41. Ici, t4 correspond à la fin de la mesure du bruit de fond, et ces quatre parties couvrent chacune environ un quart de cette durée totale. L'erreur sur chacune de ces quatre parties est alors calculée selon l'équation (7) ci-dessus, en calculant l'intégrale de la différence entre l'estimation et la mesure du bruit de fond. Les erreurs des paramètres A et B sont alors calculées en combinant les différentes erreurs calculées pour les différentes parties des courbes telles que par exemple : ErreurB = f(Jestim deg as( t mesure deg as)+ 2estim deg as( t mesure deg as) te[0;t1 tepl;t2 +3 estim deg as( t mesure deg as) (10) te[t2,13] ErreurA = 2estim deg as( t ) - J mesure deg as)± (-1 estim deg as( t mesure deg as) (11) te[t3;t41 te[t2;t31 On a donc dans ce cas : ErreurB= Erreuddegas_partie_l 2.Erreuridegas_partie_2 3.Erreuddegas_partie_3, et ErreurA= 2.Erreuddegas_partie + Erreuddegas_partie_3. Une troisième possibilité pour calculer les erreurs d'estimation des paramètres A et B peut consister à considérer les courbes de mesure et d'estimation comme étant formées chacune de quatre parties distinctes : une première partie de chacune des deux courbes sur un intervalle te [t1;t2], une deuxième partie de chacune des deux courbes sur un intervalle te [t2;t3], une troisième partie de chacune des courbes sur un intervalle te [t3;t4], et une quatrième partie de chacune des courbes sur un intervalle te [t4;t5]. Ici, t5 correspond à la fin de la mesure du bruit de fond et t1 correspond à la valeur de t par exemple à partir de laquelle les valeurs de Jmesure_degas sont inférieures à la somme de la première valeur mesurée de Jmesure_degas et du double de l'écart type des 30 premières valeurs mesurées de imesure jegas. Les intervalles de temps de ces quatre parties correspondent à des durées approximativement égales entre elles. L'erreur de chacune de ces quatre parties est alors calculée comme exposé ci-dessus selon l'équation (7), en calculant l'intégrale de la différence entre l'estimation et la mesure du bruit de fond. Les erreurs des paramètres A et B sont alors calculées en combinant les différentes erreurs calculées pour les différentes parties des courbes telles que par exemple : ErreurB = f(J estim deg as( t )- J mesure deg as)± 2 (Jestim deg as( t mesure deg as) te[11;1-2] te[t2;t3] + 3 estim deg as( t mesure deg as) (12) tel-1-3,14J ErreurA = 2 (-1 estim deg as( t mesure deg as)± (-1 estim deg as( t mesure deg as) (13) te[t4;t51 te[t3;t41 Les trois possibilités de calcul des erreurs des paramètres A et B exposées ci-dessus sont des exemples de réalisation, et d'autres combinaisons linéaires des erreurs des différentes parties des courbes de mesure et d'estimation du bruit de fond peuvent être réalisées pour calculer ErreurA et ErreurB. Il est également possible de prendre en compte des parties de courbes se chevauchant en partie les unes aux autres. Une fois les calculs d'erreurs d'estimation des paramètres A et B effectués, les valeurs des paramètres A et B sont modifiées en leur ajoutant ou soustrayant un « pas » respectif, en fonction de la valeur, et notamment du signe, de l'erreur d'estimation du paramètre (étape 102.5). Si l'erreur du paramètre (ErreurA ou ErreurB) est négative, cela signifie que la valeur estimée du paramètre est trop petite, et donc que la valeur estimée du paramètre correspondant doit être augmentée. Inversement, si l'erreur du paramètre est positive, cela signifie que la valeur estimée du paramètre est trop grande et donc que la valeur estimée du paramètre doit être réduite. La valeur du pas de chaque paramètre est par exemple comprise entre environ 1.10-25 et 1.10-6. A l'étape 102.6, une stabilisation de l'estimation du bruit de fond est ensuite évaluée en analysant la variation des estimations des paramètres A et B par rapport à l'estimation précédente (lorsqu'il s'agit de la première estimation des paramètres A et B, les étapes 102.2 à 102.6 sont automatiquement répétées). En effet, si les valeurs de ces paramètres se stabilisent, cela signifie que le modèle choisi pour l'estimation (donc les valeurs de A et B) correspond bien à la mesure et donc que l'estimation réalisée du bruit de fond est stable. On considère par exemple que les valeurs des paramètres A et B sont stabilisées lorsque les valeurs de ces paramètres comportent au moins six premiers chiffres, en notation scientifique, identiques à ceux des valeurs de ces paramètres obtenues lors d'une précédente estimation. Si les valeurs des paramètres A et B ne sont pas stabilisées, les étapes 102.2 à 102.6 sont répétées jusqu'à obtenir une stabilisation de ces paramètres. Lorsque les valeurs des paramètres A et B sont considérées comme stables, l'estimation du bruit de fond Jestim_degas(t) obtenue à partir des valeurs estimées de A et B est comparée de manière globale à imesure_degas afin de déterminer si cette estimation est satisfaisante (étape 102.7). Afin de quantifier la justesse de cette estimation, celle-ci peut être définie comme étant l'inverse d'une erreur globale entre le bruit de fond estimé1 et la mesure du bruit de fond -mesure_degas- Ainsi, plus -estim_degas(t) 1 l'erreur globale calculée est faible, plus l'estimation du bruit de fond est juste. Cette erreur globale peut être par exemple définie comme étant la somme rapportée à chaque point de la différence au carré entre la mesure et l'estimation telle que : 1 (14) ErrGlobJdeg as = -t( ( 0-'0))2 mesure deg as estun deg as p avec p correspondant au nombre de points pris en compte, par exemple égal au nombre de points de mesure du bruit de fond. Il est possible de réduire l'influence de l'offset selon l'axe Y de la mesure (offset sur l'axe de la valeur de la pression) en début de mesure en calculant l'erreur globale selon l'équation : ErrGlobJdeg as = 17; 12 (15) mesure deg as 0 ) estim deg as I p - a avec a représentant le début de la décroissance du signalI -mesure_degas, par exemple le point à partir duquel la valeur du signal de mesure imesure jegas est inférieure à la moyenne des premiers points de mesure moins deux fois l'écart type associé sur une durée suffisamment longue, par exemple sur environ 10 points de mesure. La mesure et l'estimation du bruit de fond peuvent être réalisées en lien avec la sensibilité désirée par l'opérateur pour la mesure. Le dispositif servant à la mise en oeuvre de ce procédé peut notamment indiquer en permanence la sensibilité de l'appareil de mesure au temps t en appliquant par exemple un facteur multiplicatif de 100 par rapport au bruit de fond estimé. Cette erreur globale est par exemple calculée au bout de 10 minutes de mesure, avec une durée par exemple inférieure à environ 1 semaine. Si l'adéquation entre l'estimation et la mesure du bruit de fond est considérée comme insuffisante, c'est-à-dire si l'erreur globale calculée ci-dessus est supérieure à un seuil - degas_sup par exemple égal à environ 15%, l'opérateur peut tout de même lancer la mesure du flux de gaz à travers la couche barrière à caractériser. La sensibilité indiquée peut être considérée telle qu'il y ait un rapport de 1/100 entre le bruit de fond mesuré au moment du lancement de la mesure et la sensibilité de mesure voulue par l'opérateur. Il est également possible que la sensibilité corresponde à environ 1/100 d'une moyenne des derniers points de mesure du bruit de fond correspondant par exemple à environ 20% de la mesure si la stabilisation est atteinte. Une valeur fixe correspondant au bruit de fond (dernière valeur mesurée du bruit de fond ou moyenne des dernières valeurs mesurées du bruit de fond) sera soustraite de la mesure de perméation réalisée par la suite (étape 102.8). L'opérateur peut également interrompre à tout moment l'estimation du bruit de fond s'il considère que la sensibilité, correspondant au seuil minimal de détection d'une valeur stabilisée par rapport au bruit de fond, obtenue à ce moment là est suffisante pour la mesure. Si l'adéquation entre la simulation et la mesure du bruit de fond est considérée comme suffisante, c'est-à-dire si l'erreur globale calculée est inférieure à un seuil Y - degas_mh par exemple égal à 5 %, la sensibilité indiquée considère alors la dispersion des points de mesure del -mesure_degas autour de la courbe del -estim_degas(t). En effet, dans ce cas, les points de mesure du dégazage représentent une gaussienne autour d'une moyenne qu'est le point simulé (pour le temps considéré). Cette dispersion est caractérisée par son écart type. L'écart entre la courbe de simulation du dégazage et les points mesurés permet d'obtenir la courbe de mesure. Ainsi, un écart prolongé (par exemple de l'ordre de quelques dizaines de secondes, ou d'une ou plusieurs minutes) supérieur à 2 fois l'écart type correspondra au signal en provenance de l'échantillon et ne sera donc pas attribuable à un phénomène de dégazage. La courbe d'estimationI -estim_degas(t) pourra être soustraite de la mesure de perméation réalisée ensuite (étape 102.9). Pour chacune de ces possibilités, un démarrage automatique de la mesure du flux de gaz peut être programmé. L'opérateur indique alors simplement la sensibilité désirée pour la mesure. La procédure de mesure démarre automatiquement dès que les conditions souhaitées par l'utilisateur sont réunies, c'est-à-dire lorsque la sensibilité de mesure voulue par l'opérateur est supérieure à 2 fois l'écart-type. Si l'adéquation entre l'estimation et la mesure du bruit de fond n'est pas considérée comme suffisante, c'est-à-dire si l'erreur globale indiquée ci-dessus est comprise entre Y - degas_sup et Ydegas_mf, il est alors possible de considérer que l'évolution du bruit de fond suit une première équation -estim_degas_1(t), basée sur les valeurs des paramètres A et B calculés et appelés A1 et B1, sur une première plage de valeurs de t, et que ce bruit de fond suit également une ou plusieurs autres équations J -estim_degas_X(t) s'additionnant à la première équation -estim_degas_1(t), basée sur des paramètres Ax et Bx différents de A1 et B1, sur une ou plusieurs autres plages de valeurs de t, avec X nombre entier supérieur à 1. En effet, un bruit de fond, ou plus généralement un dégazage, peut comporter plusieurs régimes correspondant chacun à un modèle de Fick (correspondant à l'équation (5) ci-dessus) régi par ses propres paramètres A et B. Dans ce cas, le modèle de l'évolution du bruit de fond peut s'exprimer par l'équation : estim deg as total( = EJestim deg as i ) (16) i=1 où m est alors le nombre de régimes de dégazage correspondant au bruit de fond. Ces m régimes de dégazage s'additionnent. Il convient donc de déterminer à quel moment le régime de dégazage change de sorte qu'un nouveau régime doit être ajoutéI -estim_degastotal(t). Ce moment est déterminé par le suivi de l'erreur globale précédemment calculée. Afin de déterminer au mieux la somme de plusieurs régimes de dégazage, l'erreur globale précédemment décrite peut être définie par l'équation suivante : ErrGlobJ deg as Ld vp mesure deg as( I estim deg as(' ) i =1 mesure deg as (i (17) Pour pouvoir obtenir les paramètres A et B de l'ensemble des régimes de dégazage, les paramètres du premier régime de dégazage, appeléI -degas_b sont fixés lorsque l'erreur commence à augmenter. Il est ainsi possible de soustraire le premier régime de dégazage à la mesure pour faire apparaitre un nouveau signal ne dépendant que du ou des prochains régimes de dégazageI -degas_X, avec X nombre entier supérieur à 1. Ce signal pourra être ainsi traité de la même manière que la mesure pour en extraire les autres régimes de dégazage. La détermination de A1 et B1, permettant de déterminerI -degas_b utilise les données estimées juste avant que l'erreur globale n'augmente de plus de 30% du point considéré pendant une durée suffisamment longue (1H30 par exemple, ou plus dans le cas de fortes propriétés barrières, comme une journée ou plus). Les étapes 102.2 à 102.6 sont mises en oeuvre uniquement à partir de ces données jusqu'à obtenir des valeurs stabilisées de A1 et B1. Dans le cas présent, des étapes similaires aux étapes 102.1 à 102.6 peuvent être mises en oeuvre (de manière itérative comme précédemment décrit) en soustrayant à la mesure le ou les précédents régimes de dégazage pour extraire et déterminer les régimes de dégazage suivants. Chacun des régimes de dégazage est régi par sa propre équation (correspondant à l'équation (5) précédente) et comporte donc ses propres paramètres A et B caractérisant le dégazage se produisant dans la période du régime de dégazage considérée. A l'étape 102.5, il est possible de faire varier A et B par exemple selon un pas constant comme précédemment décrit, ou bien selon un pas de valeur variable, c'est-à-dire une valeur multipliée par un coefficient propre à chaque paramètre et dont la valeur peut changer selon l'évolution de l'erreur sur les paramètres A et B. Ainsi, ce coefficient sera par exemple divisé par 2 si le paramètre oscille entre deux valeurs, ce qui permet de gagner en précision sur le paramètre estimé. De la même manière, le coefficient sera par exemple augmenté d'environ 10 % si le paramètre évolue plusieurs fois d'affilées dans la même direction, ce qui permet d'améliorer la rapidité de l'estimation, lorsque les valeurs des paramètres A et B estimés sont trop éloignées des valeurs finales. Par exemple, à chaque itération de l'étape 102.5, la valeur de B peut être modifiée en ajoutant ou soustrayant un pas AB et/ou la valeur de A peut être modifiée en ajoutant ou soustrayant un pas AA telles que : - Si B évolue deux fois de suite dans le même sens, on peut augmenter par exemple AB de 10%. - Si A évolue deux fois de suite dans le même sens, on peut augmenter par exemple AA de 10%. Exemple pour A : estimation 1 avec A(1) ; si ErreurA positive, alors estimation 2 avec A(2) = A(1) - AA; si ErreurA encore positive, alors AA = AA x 1,1, et estimation 3 avec A(3) = A(2) - AA; - Si B et/ou A oscille autour de la même valeur (Exemple : B(i) = B(i-2) et/ou A(i) = A(i-2)), on peut diviser AA et/ou AB par 2. Exemple : estimation 1 avec B(1) et/ou A(1) ; si ErreurB et/ou ErreurA positives, alors estimation 2 avec B(2) = B(1) - AB et/ou A(2) = A(1) - AA; si ErreurB et/ou ErreurA négatives, alors estimation 3 avec B(3) = B(2) + AB = B(1) et/ou A(3) = A(2) + AA = A(1), et AB = AB/2 et/ou AA = AA/2 ; - Dans les autres cas, AB et AA peuvent rester constants. Il n'y a pas de limite dans le nombre de points de mesure du bruit de fond pouvant être utilisés pour réaliser l'estimation du bruit de fond. Toutefois, afin de réduire la charge de calcul, il est possible de moyenner le signal de mesure autour d'un nombre maximum de points (par exemple 2000). Ainsi, au cours de l'étape 102, l'évolution du bruit de fond est estimée grâce à l'estimation des valeurs des paramètres A et B qui permettent d'en déduire1 Dans le mode de réalisation décrit ici, les valeurs estimées des -estim_degas(t). paramètres A et B obtenues lors de l'estimation du bruit de fond ne sont pas utilisées pour en déduire directement le taux de transfert stabilisé Joo de la couche barrière 10. La mesure du flux de gaz 18 à travers la couche barrière 10 est ensuite réalisée (étape 104). La deuxième chambre 14 étant déjà sous vide, la première chambre 12 du perméamètre 11 est alors remplie par le ou les gaz 18 pour lesquels on souhaite mesurer la perméation à travers la couche barrière 10. Ce flux mesuré, appelé Jmesure, va être utilisé pour estimer l'évolution dans le temps du flux de gaz lié à la perméation (étape 106), et ainsi pouvoir estimer le taux de transfert stabilisé exprimé par l'équation (2) ci-dessus ainsi qu'éventuellement le Time lag de la couche barrière 10 (étape 108). Le flux de gaz 18 mesuré à travers la couche barrière 10, qui est directement proportionnel la mesure de la pression partielle du ou des gaz dans la seconde chambre 14, est régi par l'équation de Fick, correspondant à l'équation (1) précédemment mentionnée. Le flux de gaz correspondant à la perméation à travers la couche barrière 10 peut donc être exprimé par l'équation : ( D (18) J perm(t ) = 2CE ( - (2n +1)2 12 - exp n=1 \,Tc -t , 4Dt avec I : épaisseur de la couche de matériau. Par analogie avec l'équation (6) précédemment décrite pour l'estimation du bruit de fond, le flux de gaz correspondant à la perméation à travers la couche barrière 10 peut donc être exprimé par l'équation : nmax( B 1 - (2n +1)2 (19) estim perm( t 2AL _ exp( n=1 TC .t 4B.t \, avec nmax : nombre entier supérieur ou égal à 1, par exemple égal à 30. Comme pour l'estimation de l'évolution du bruit de fond précédemment décrite, l'estimation de l'évolution du flux de gaz est déterminée de manière itérative en tentant d'approcher au plus près l'estimation de la mesure. Les étapes mises en oeuvre pour calculer l'estimation du flux de gaz Jestim_perm(t) sont représentées sur le diagramme de la figure 7. On définit tout d'abord des valeurs initiales des paramètres A et B qui vont être utilisés pour calculer l'estimation 1 -estim_perm(t) (étape 106.1). Ces valeurs initiales des paramètres A et B sont par exemple choisies de manière arbitraire par l'utilisateur. A l'étape 106.2, un calcul d'une estimation du flux de gaz 1 -estim_perm(t) est ensuite réalisé selon l'équation (19) ci-dessus. On calcule ensuite une erreur d'estimation du flux de gaz basée sur une différence entre l'estimation du flux estim I _perm(t) et les valeurs des mesures du flux - Jmesure_perm qui correspond au flux mesuré I -mesure moins le bruit de fond précédemment estimé Jestim_degas(t) (étape 106.3). Cette erreur d'estimation va être calculée de manière sensiblement analogue à l'erreur d'estimation du bruit de fond précédemment calculée. Contrairement au flux mesuré Jmesure, et donc également à Jmesure_perm, qui correspond à un nombre fini de points de mesure obtenus sur une durée finie (correspondant à la durée jusqu'à laquelle la mesure est réalisée), le flux de gaz estimé Jestim_perm(t) peut être calculé sur n'importe quelle durée du fait que le flux de gaz estimé est exprimé sous la forme d'une fonction mathématique. Pour réaliser le calcul de l'erreur d'estimation du flux de gaz, on considère la fonction Jestim_perm(t) sur une gamme de valeurs de t correspondant à la durée de la mesure du flux de gaz réalisée. On peut ainsi réaliser une comparaison des deux courbes correspondant à Jrnesure_perm et Jestim_perm(t) sur un même intervalle de temps. Comme précédemment décrit pour le bruit de fond, du fait des spécificités de l'équation de Fick, le paramètre A peut être considéré comme faisant varier uniquement l'amplitude de l'estimationI -estim_perm(t), tandis que B peut être considéré comme faisant varier « l'étalement » de la courbe le long de l'axe des temps. Différentes parties de Jrnesure_perm et Jestim_perm(t) sont considérées pour déterminer indépendamment les erreurs d'estimation des paramètres A et B. Afin de pouvoir calculer indépendamment les erreurs d'estimation des paramètres A et B, Jestim_perm(t) et Jrnesure_perm sont divisées en plusieurs parties le long de l'axe des temps. Pour chacune de ces parties, un paramètre d'erreur est calculé tel que : ErreurJ perm partie I(T estim perm( mesure perm) (20) te partie i avec partie_i correspondant à l'intervalle de durée des parties correspondantes de Jestim_perm(t) et Jrnesure_perm- Le calcul de cette intégrale est réalisé en considérant les points de mesure de Jmesure_perm obtenus sur l'intervalle de temps correspondant à la partie des courbes considérée, les valeurs deI -estim_perm(t) étant calculées pour différentes valeurs de t correspondant aux instants correspondant des points de mesure deI -mesure_perm- L'erreur de chacune de ces parties correspond à la surface se trouvant entre les courbes de mesure et d'estimation au niveau de ces parties. L'erreur est positive lorsque cette surface est au-dessus de la courbe de mesure, et négative lorsque cette surface est en-dessous de la courbe de mesure. Ces différentes intégrales sont combinées entre elles pour calculer les erreurs d'estimation des paramètres A et B. Comme précédemment décrit pour l'estimation du bruit de fond, une première variante pour calculer les erreurs d'estimation des paramètres A et B peut consister à considérer les courbes de mesure et d'estimation du flux de gaz comme étant chacune formée de deux parties distinctes en « coupant » l'axe des temps en deux. Sur l'exemple de la figure 8, la courbe 60 représente le flux de gaz mesuré Jrnesure_perm et comporte une première partie 60.1 pour te [0;t1] et une deuxième partie 60.2 pour te [t1;t2]. Les valeurs de t1 et t2 peuvent être différentes de celles précédemment décrites pour déterminer l'erreur d'estimation du bruit de fond. La courbe 62 représente l'estimation du flux de gaz1 -estim_perm(t) et comporte une première partie 62.1 pour te [0;t1] et une deuxième partie 62.2 pour te [t1;t2]. Les valeurs de t1 et t2 sont par exemple telles que t2 est égal à environ le double de t1, l'intervalle [0 ;t2] correspondant à la durée totale pendant laquelle le flux de gaz a été mesuré. L'erreur d'estimation de chacune de ces deux parties est alors calculée selon l'équation (15) ci-dessus, en calculant l'intégrale de la différence entre l'estimation et la mesure du flux de gaz. Les erreurs des paramètres A et B sont alors calculées telles que : ErreurB = f(J estim perm( t mesure perm)= ErrelzirJ perm partie 1 (21) te[0,11] ErreurA = f(J estim perm( t mesure perm)= ErreurJ perm partie _2 (22) te[t1;t2J De manière analogue au bruit de fond précédemment estimé, une deuxième variante pour calculer les erreurs d'estimation des paramètres A et B peut consister à considérer les courbes de mesure et d'estimation comme étant chacune formée de quatre parties distinctes, comme représenté sur la figure 9: une première partie 60.1 et 62.1 de chacune des deux courbes sur un intervalle te [0;t1], une deuxième partie 60.2 et 62.2 de chacune des deux courbes sur un intervalle te [t1;t2], une troisième partie 60.3 et 62.3 de chacune des courbes sur un intervalle te [t2;t3], et une quatrième partie 60.4 et 62.4 de chacune des courbes sur un intervalle te [t3;t4]. Ici, t4 correspond à la fin de la mesure du flux de gaz, et ces quatre parties couvrent chacune environ un quart de cette durée totale. L'erreur sur chacune de ces quatre parties est alors calculée selon l'équation (20) ci-dessus, en calculant l'intégrale de la différence entre l'estimation et la mesure du flux de gaz. Les erreurs des paramètres A et B sont alors calculées en combinant les différentes erreurs calculées pour les différentes parties de courbes telles que par exemple : ErreurB= (-1 estim perm( t mesure perm )+ 2 (-1 estim perm( t mesure perm) tel-0;d] te[t1;t2] ± 3 f (Jestim perm( t mesure perm) (23) t2;t3] 1 0 ErreurA = 2 estim perm( t mesure perm)± (-1 estim perm( t mesure perm) (24) te[t3;t4] te[t2;t3] On a donc ErreurB= ErreurJperm_partie_l 2.ErreurJperm_partie2 3.Erreuriperm_partie_3, et ErreurA= 2.ErreurJperm_partie 4 ErreurJperm_partie_3. 15 Par rapport à la première variante exposée précédemment consistant à séparer les courbes en deux parties, une division en quatre parties des courbes de mesure et d'estimation pour calculer les erreurs d'estimation des paramètres A et B permet d'obtenir au final une erreur globale d'estimation plus faible notamment lorsque la couche de mesure présente un léger offset en X, c'est-à-dire un décalage sur 20 l'axe des temps, par rapport au modèle théorique. Une troisième variante pour calculer les erreurs d'estimation des paramètres A et B peut consister à considérer les courbes de mesure et d'estimation comme étant formées chacune de quatre parties distinctes comme représenté sur la figure 10: une première partie 60.1 et 62.1 de chacune des deux courbes sur un 25 intervalle te [t1;t2], une deuxième partie 60.2 et 62.2 de chacune des deux courbes sur un intervalle te [t2;t3], une troisième partie 60.3 et 62.3 de chacune des courbes sur un intervalle te [t3;t4], et une quatrième partie 60.4 et 62.4 de chacune des courbes sur un intervalle te [t4;t5]. Ici, t5 correspond à la fin de la mesure du flux de gaz et t1 correspond par exemple à la valeur de t à partir de laquelle les valeurs de Jrnesure_perm sont inférieures à la somme de la première valeur mesurée de Jmesure_perm et du double de l'écart type des 30 premières valeurs mesurées de imesure_perm. Les intervalles de temps de ces quatre parties correspondent à des durées approximativement égales entre elles. L'erreur de chacune de ces quatre parties est alors calculée comme exposé ci-dessus selon l'équation (20), en calculant l'intégrale de la différence entre l'estimation et la mesure du flux de gaz. Les erreurs des paramètres A et B sont alors calculées en combinant les différentes erreurs calculées pour les différentes parties des courbes telles que par exemple : ErreurB = f(-1 estim perm( mesure perm)± 2 (Jestim perm mesure perm) tl;t21 te [t2;t3] + 3 f (Jestim perm t) mesure perm) (25) te 1'3,14 ErreurA = 2 (Jestim perm( mesure perm)± (-1 estim perm mesure perm) (26) te[t4;t5] te[t3;t4] Par rapport aux deux premières variantes précédemment décrites, cette troisième variante de calcul des erreurs d'estimation des paramètres A et B est plus polyvalente et s'adapte mieux même lorsque le signal de mesure diverge du modèle théorique de Fick. Les trois variantes de calcul des erreurs des paramètres A et B sont des exemples de réalisation, et d'autres combinaisons linéaires des erreurs des différentes parties des courbes de mesure et d'estimation du flux de gaz peuvent être réalisées pour calculer ErreurA et ErreurB. Comme lors de l'estimation du bruit de fond, il est possible de considérer des parties de courbes se chevauchant en partie les unes sur les autres. Une fois ces calculs d'erreurs effectués, les valeurs des paramètres A et B sont modifiées en leur ajoutant ou soustrayant leur « pas> respectif en fonction de la valeur de l'erreur d'estimation du paramètre (étape 106.4). Si l'erreur du paramètre (ErreurA ou ErreurB) est négative, cela signifie que la valeur estimée du paramètre est trop petite, et donc que la valeur estimée du paramètre correspondant doit être augmentée. Inversement, si l'erreur du paramètre est positive, cela signifie que la valeur estimée du paramètre est trop grande et donc que la valeur estimée du paramètre doit être réduite. La valeur du pas de chaque paramètre est par exemple comprise entre environ 1.10-25 et 1.10-6. A l'étape 106.5, la stabilisation des valeurs des paramètres A et B est ensuite évaluée en analysant la variation des paramètres A et B par rapport à l'estimation précédente. En effet, si les valeurs de ces paramètres se stabilisent, cela signifie que le modèle choisi correspond bien à la mesure et que l'estimation réalisée du flux de gaz est alors fiable. On considère par exemple que les valeurs des paramètres A et B sont stabilisées lorsque les valeurs de ces paramètres comportent au moins six premiers chiffres, en notation scientifique, identiques à ceux des valeurs de ces paramètres obtenues lors d'une précédente estimation. Si les valeurs des paramètres A et B ne sont pas stabilisées, les étapes 106.2 à 106.5 sont répétées jusqu'à obtenir une stabilisation de ces paramètres. Parallèlement à cette répétition de ces étapes, on continue la mesure du flux de gaz (étape 104) afin de continuer de prendre en compte les derniers points de mesure du flux de gaz dans l'estimation du flux de gaz. Lorsque les valeurs des paramètres A et B sont considérées comme stables, l'estimation du flux de gaz Jestim_perm(t) obtenue à partir des valeurs estimées de A et B est comparée de manière globale à Jmesure_perm afin de déterminer si cette estimation est satisfaisante (étape 106.6). Afin de quantifier la justesse de cette estimation, celle-ci peut être définie comme étant l'inverse d'une erreur globale entre le flux de gaz estimé1 -estim_perm(t) et la mesure du flux de gaz1 -mesure_perm- Ainsi, plus l'erreur globale calculée est faible, plus l'estimation du flux de gaz est juste. Cette erreur globale peut être définie comme étant la somme rapportée à chaque point de la différence au carré entre la mesure et l'estimation telle que : ErrGlobJ per. = lt(-1 perm estim perm (27)(i))2 p avec p correspondant au nombre de points pris en compte, par exemple égal au nombre de points de mesure du flux de gaz. Il est possible de réduire l'influence de l'offset selon l'axe Y de la mesure (offset sur l'axe de la valeur de la pression) en début de mesure en calculant l'erreur globale selon l'équation : 1 '4 V mesure perm 1 estim perm ))2 p - a L2, (28) ErrGlobJ = perm avec a représentant le début de la croissance du signal1 -mesure_perrm Par exemple le point à partir duquel la valeur du signal de mesure1 -mesure_perm dépasse la moyenne des premiers points de mesure sommée à l'écart type associé, par exemple sur environ 10 points de mesure. Le dispositif servant à la mise en oeuvre de ce procédé peut afficher de manière continue les valeurs estimées des paramètres A, B, le paramètre d'erreur globale ainsi que la valeur du flux stabilisé et du Time lag estimés sur la base des valeurs estimées de A et B, calculés sur la base des équations (29) et (30) indiquées plus loin. Si l'adéquation entre la simulation et la mesure du flux de gaz est considérée comme suffisante, c'est-à-dire si l'erreur globale précédemment calculée est inférieure à un seuil Yperm, par exemple compris entre 0 et 5%, la fin de la mesure du flux de gaz peut être anticipée, les valeurs estimées des paramètres A et B étant alors considérées comme bonnes. A partir des paramètres précédemment estimés, on peut donc évaluer la perméation de la couche barrière 10 (étape 108) en calculant par exemple la valeur du flux de gaz stabilisé Joo tel que : ./00 A.B (29) et/ou le paramètre TL (Time lag) tel que : TL = B . (30) 6 Outre les valeurs de Joo et TL, il est possible de calculer les valeurs de D (coefficient de diffusion) et S (solubilité) de la couche barrière à partir des valeurs estimées de A et B, conformément aux équations précédemment décrites. Si l'adéquation entre l'estimation et la mesure du flux de gaz n'est pas considérée comme suffisante, c'est-à-dire si l'erreur globale indiquée ci-dessus est supérieure à un seuil Yperm, il est alors possible de considérer que le flux de gaz suit une première équation1 -estim_perm_1(t), basée sur les valeurs des paramètres A et B calculés et appelés A1 et B1, sur une première plage de valeurs de t, et que ce flux de gaz suit également une ou plusieurs autres équations1 -estim_perm_X(t) s'additionnant à la première équation1 -estim_perm_1(t), basée sur des paramètres Ax et Bx différents de A1 et B1, sur une deuxième plage de valeurs de t. En effet, certaines couches barrières peuvent comporter plusieurs régimes de perméation correspondant chacun à un modèle de Fick régi par ses propres paramètres A et B. Dans ce cas, le modèle du flux de gaz à travers la couche barrière peut s'exprimer par l'équation : estim perm total( = EJestim perm _i ) (31) i=1 où m est alors le nombre de régimes de perméation de la couche barrière. Ces m régimes de perméation s'additionnent. Il convient donc de déterminer à quel moment le régime de perméation change de sorte qu'un nouveau régime doit être ajoutéI -estim_permtotal(t). Ce moment est déterminé par le suivi de l'erreur globale précédemment calculée. Afin de déterminer au mieux la somme de plusieurs régimes de perméation, l'erreur globale précédemment décrite peut être définie par l'équation suivante : P mesure perm (I) 1 P mesure perm( I ) estim perm( I ) (32) La figure 11 représente un exemple d'évolution de l'erreur globale calculée en considérant que le flux de gaz est régi par une seule équation de Fick alors que le régime de perméation réel de la couche barrière est composé de la somme de plusieurs régimes de perméation distincts. On voit sur cette figure que l'erreur globale est stable jusqu'à environ la 20000ème seconde, puis l'erreur globale augmente. Cela est dû au fait que l'influence d'un nouveau régime de perméation se fait sentir à ce moment là et s'ajoute au premier régime de perméation. Pour pouvoir obtenir les paramètres A et B de l'ensemble des régimes de perméation, les paramètres du premier régime de perméation, appelé Jperm_i, sont fixés lorsque l'erreur commence à augmenter. Il est ainsi possible de soustraire le premier régime de perméation à la mesure pour faire apparaitre un nouveau signal ne dépendant que du ou des prochains régimes de perméation Jperm_x, avec X nombre entier supérieur à 1. Ce signal pourra être ainsi traité de la même manière que la mesure pour en extraire les autres régimes de perméation. La détermination de A1 et B1, permettant de déterminer Jperm_i, utilise les données estimées juste avant que l'erreur globale n'augmente de plus de 30% du point considéré pendant une durée suffisamment longue (1H30 par exemple, ou plus dans le cas de fortes propriétés barrières, comme une journée ou plus). Les étapes 106.2 à 106.5 sont mises en oeuvre uniquement à partir de ces données jusqu'à obtenir des valeurs stabilisées de A1 et B1. Du fait qu'à l'étape 106.6 le paramètre d'erreur globale est supérieure au seuil Yperm, l'étape 106.7 est alors mise en oeuvre et consiste à la mise en oeuvre d'étapes similaires aux étapes 106.2 à 106.5 (de manière itérative comme précédemment décrit) en soustrayant à la mesure le ou les précédents régimes de perméation pour extraire et déterminer les régimes de perméation suivants. Ainsi, selon un exemple d'une courbe de flux de gaz suivant plusieurs régimes de perméation, il est possible d'avoir un premier régime de perméation -perrn_l dont l'influence débute dès le début de la mesure, un deuxième régime de perméation Jperrn2 dont l'influence commence à partir de la 20000ème seconde, un troisième régime de perméation Jperm_3 dont l'influence commence à partir de la 30000ème seconde, et un quatrième régime de perméation Jperm4 dont l'influence commence ici à partir de la 50000ème seconde. Chacun des régimes de perméation est régi par sa propre équation de Fick et comporte donc ses propres paramètres A et B caractérisant le flux de gaz dans la période du régime de perméation considérée. Lorsque plusieurs régimes de perméation sont pris en considération, l'étape 108 consiste alors à calculer, à partir des équations 24 et 25 précédemment décrites, une valeur de flux stabilisé Joo et de TL pour chaque régime de perméation. A l'étape 106.4 précédemment décrite, il est possible de faire varier A et B par exemple selon un pas constant, ou bien un pas variable, c'est-à-dire une valeur multipliée par un coefficient propre à chaque paramètre et dont la valeur peut changer selon l'évolution de l'erreur sur les paramètres A et B. Ainsi, ce coefficient sera par exemple divisé par 2 si le paramètre oscille entre deux valeurs, ce qui permet de gagner en précision sur le paramètre estimé. De la même manière, le coefficient sera par exemple augmenté d'environ 10 % si le paramètre évolue plusieurs fois d'affilées dans la même direction, ce qui permet d'améliorer la rapidité du début de l'estimation, lorsque les paramètres A et B estimés sont trop éloignés de leur valeurs finales. Par exemple, à chaque itération de l'étape 106.4, pour le régime de perméation à estimer, la valeur de B peut être modifiée en ajoutant ou soustrayant un pas AB et la valeur de A peut être modifiée en ajoutant ou soustrayant un pas AA telles que : - Si B évolue deux fois de suite dans le même sens, on peut augmenter par exemple AB de 10%. - Si A évolue deux fois de suite dans le même sens, on peut augmenter par exemple AA de 10%. - Si B et/ou A oscille autour de la même valeur, on peut diviser AA et/ou AB par 2. - Dans les autres cas, AB et AA peuvent rester constants. Il n'y a pas de limite dans le nombre de points de mesure du flux de gaz pouvant être utilisés. Toutefois, afin de réduire la charge de calcul, il est aussi possible de moyenner un signal de mesure trop long autour d'un nombre maximum de points (par exemple 2000). Il peut arriver que les offsets en X (axe des temps) et Y (axe de la pression mesurée), appelés respectivement OffX et OffY, aient une importance pour que la meilleure estimation du flux de gaz corresponde à la mesure du flux de gaz, et cela autant pour le bruit de fond que pour la perméation. Pour obtenir le couple (offset X, offset Y) donnant une erreur globale la plus faible, les étapes 106.1 à 106.5 pour la perméation et/ou les étapes 102.1 à 102.6 pour le bruit de fond peuvent être répétées en décalant à chaque fois la courbe correspondant à la mesure du flux de gaz d'une faible unité le long de l'axe des temps (par exemple 1 seconde), cette boucle étant incluse dans une autre boucle réalisant un tel décalage de la mesure du flux de gaz le long de l'axe des ordonnées (par exemple de 1.10-15 Pa). Dans ce cas, l'estimation de la perméation peut être exprimée par l'équation suivante : 1 n ma)/ - (2n +1)2 2A E exp + OffY (33) estnn perm( t n=1 c (t - OffX) 4B(t - OffX) L'estimation du bruit de fond peut être exprimée par l'équation suivante : 1 J es,. deg as ( t ) = Pin, -2A E B x, e p ( + OffY (34) n_i - (2n +1)2 - 7 c (t - OffX ) 4B(t - OffX) i Les valeurs de OffX et OffY considérées dans l'estimation du bruit de fond peuvent être décorrélées de celles considérées dans l'estimation de la perméation. L'algorithme d'une correction d'offset de l'estimation du bruit de fond et/ou de la perméation peut correspondre à : Pour a variant de -Y1 à Y1 par pas de 1.10-15, Pour b variant de -X1 à X1 par pas de 1, Déterminer l'estimation Jest,n,(t) présentant l'erreur minimale avec le signal de mesure Jmesure modifié de l'offset a sur l'axe des ordonnées et de l'offset b sur l'axe des abscisses, Si l'erreur globale Quelque soit le mode de réalisation considéré, lorsque plusieurs régimes de perméation et/ou plusieurs régimes de dégazage sont considérés, il est possible de réaliser le calcul d'un flux de gaz stabilisé Jool tel que ./001 = Al1.B1 et/ou le calcul de flux de gaz stabilisés Joox tel que Joox = EA..B; où X représente le numéro i=1 du régime dont on souhaite connaître la perméation, dans le cas de plusieurs régimes de perméation qui s'additionnent. Le procédé d'estimation de la perméation de la couche barrière 10 peut être mis en oeuvre par un dispositif d'estimation de perméation 200 tel que représenté par exemple sur la figure 12. Le dispositif 200 comporte le perméamètre 11 précédemment décrit, ainsi qu'un ou plusieurs ordinateurs 202, ou unités de calcul, aptes à former une interface d'entrées / sorties avec l'opérateur. Le ou les ordinateurs 202 sont reliés au perméamètre 11 afin notamment de piloter le perméamètre 11, recevoir les signaux de mesures délivrés par le dispositif de mesure 16 du perméamètre 11, réaliser l'ensemble des calculs du procédé, etc.15 REVENDICATIONS1. Procédé d'estimation d'au moins un flux de gaz (18) dans une enceinte (14) maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du gaz, comportant au moins : - une mesure (104), en fonction du temps, d'un flux du gaz -mesure dans l'enceinte maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du gaz, et - une estimation (102.3 - 102.6, 106) de valeurs de paramètres A et B mise en oeuvre de manière itérative en réduisant une erreur d'estimation basée sur une différence entre une estimation du flux du gaz Jest,m(t) et le flux du gaz mesuré Jmesure, et dans lequel, lorsque le flux de gaz mesuré Jniesure correspond à une montée en pression du gaz dans l'enceinte, l'estimation du flux du gaz Jest,m(t) est calculée selon l'équation : 1 n ma)/ ( - (2n + 1)2 15t-2A exp + OffY estnn E n-1 7C t - OffX 4B(t - OffX ) et lorsque le flux de gaz mesuré Jmesure correspond à une baisse de pression du gaz dans l'enceinte, l'estimation du flux du gaz Jestim(t) est calculée selon l'équation : estim (t) Pinit 1 + OffY , n ma)/ ( - (2n +1)2 -2A E exp - OffX) 4B(t - OffX ) 20 avec OffX et OffY : nombres entiers relatifs ; Pt: valeur initiale d'une pression partielle mesurée du gaz dans l'enceinte ; nmax : nombre entier supérieur ou égal à 1. 25 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel le gaz est choisi parmi la vapeur d'eau, l'oxygène, un des isotopes de l'eau ou de l'oxygène, l'hélium, l'hydrogène, ou un mélange d'au moins deux desdits gaz. 3. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'estimation des valeurs des paramètres A et B comporte au moins la mise en oeuvre des étapes suivantes : al)choix (106.1) de valeurs initiales des paramètres A et B; bi)calcul (106.2) de l'estimation du flux de gaz Jestim(t) ci) calcul (106.3) de l'erreur d'estimation; di)lorsque l'erreur d'estimation est positive, réduction de la valeur du paramètre A et/ou de la valeur du paramètre B, et lorsque l'erreur d'estimation est négative, augmentation de la valeur du paramètre A et/ou de la valeur du paramètre B (106.4) ; et dans lequel la mise en oeuvre des étapes b1) à d1) est répétée plusieurs fois successivement jusqu'à atteindre une stabilisation des valeurs estimées des paramètres A et B (106.5). 4. Procédé selon la revendication 3, dans lequel l'étape ci) (106.3) comporte la mise en oeuvre des étapes suivantes : - division de Jestim(t) et Jmesure en plusieurs parties (60.1 - 60.4; 62.1 - 62.4) telles que chacune de ces parties corresponde à Jestim(t) et Jmesure pour un intervalle de durée distinct des intervalles de durée des autres parties ; - pour chacune des parties de Jestim(t) et Jmesure, calcul d'un paramètre ErreurJ partie ( estun ) mesure), avec partie _i correspondant à te partie i l'intervalle de durée des parties correspondantes de Jestim(t) et Jmesure ; calcul de paramètres ErreurA et ErreurB, correspondant respectivement aux erreurs d'estimation des paramètres A et B et formant ensemble l'erreur d'estimation, chacun des paramètres ErreurA et ErreurB étant égal à une combinaison linéaire des paramètres ErreurJpartie ; et dans lequel l'étape d1) (106.4) est mise en oeuvre telle que : - lorsque la valeur du paramètre ErreurA est positive, la valeur du paramètre A est réduite ;- lorsque la valeur du paramètre ErreurA est négative, la valeur du paramètre A est augmentée ; - lorsque la valeur du paramètre ErreurB est positive, la valeur du paramètre B est réduite ; - lorsque la valeur du paramètre ErreurB est négative, la valeur du paramètre B est augmentée. 5. Procédé selon l'une des revendications 3 ou 4, dans lequel une stabilisation des valeurs des paramètres A et B est atteinte (106.5) lorsque les valeurs des paramètres A et B comportent au moins six premiers chiffres, en notation scientifique, identiques à ceux des valeurs des paramètres A et B obtenues lors d'une précédente mise en oeuvre des étapes b1) à di.). 6. Procédé selon l'une des revendications 3 à 5, dans lequel les valeurs des paramètres A et B sont réduites ou augmentées d'un pas variable dont la valeur dépend de précédentes réductions ou augmentations des valeurs des paramètres A et B. 7. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'estimation des valeurs des paramètres A et B (106) est mise en oeuvre plusieurs fois en considérant, à chacune de ces estimations, des valeurs différentes du paramètre OffX et/ou du paramètre OffY, et dans lequel des valeurs finales des paramètres A et B sont choisies comme étant celles pour lesquelles une erreur globale entre le flux de gaz mesurél -mesure et l'estimation du flux de gaz Jest,m(t) est minimale parmi l'ensemble des étapes d'estimation des valeurs des paramètres A et B mises en oeuvre. 8. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel, lorsqu'une erreur globale entre le flux de gaz mesurél -mesure et l'estimation du flux de gaz Jest,m(t) atteint une valeur minimale à un instant tx et est supérieure à cettevaleur minimale après tx, une nouvelle estimation (106.7) de valeurs de paramètres Ax et Bx, correspondant aux paramètres A et B pour t > tx, est mise en oeuvre, dans laquelle les valeurs des paramètres Ax et Bx sont estimées de manière itérative en réduisant une erreur d'estimation basée sur une différence, pour t > tx, entre une estimation du flux de gaz Jest,n-Lx(t) calculée sur la base des valeurs estimées des paramètres Ax et Bx et le flux de gaz mesuré -mesure auquel est soustrait l'estimation du flux de gaz Jestim(t) pour t 9. Procédé selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'enceinte maintenue dans un régime de dépression vis-à-vis du gaz correspond à une deuxième chambre d'un perméamètre (11) qui comprend en outre une première chambre (12) et un dispositif de mesure (16) du gaz présent dans la deuxième chambre, la première et la deuxième chambre étant séparées l'une de l'autre par une couche barrière (10) présentant une perméation vis-à-vis du gaz, et dans lequel le flux de gaz mesuré -mesure est obtenu à partir d'une mesure de l'évolution de la pression partielle du gaz dans la deuxième chambre. 10. Procédé selon la revendication 9, dans lequel, lors de la mise en oeuvre des étapes de mesure du flux du gaz -mesure et d'estimation des valeurs de paramètres A et B, la couche barrière est saturée en gaz, et dans lequel le flux de gaz mesuré Jmesure correspond à une baisse de pression du gaz dans la deuxième chambre du perméamètre. 11. Procédé selon la revendication 10, comportant en outre, après l'estimation des valeurs des paramètres A et B, le calcul d'un flux de gaz stabilisé Joo tel que Joo = A.B ou, lorsqu'une estimation de valeurs de paramètres Ax et Bx est mise en oeuvre, le calcul de flux de gaz stabilisés Joox tel que Joox = Ax.Bx. 12. Procédé d'estimation d'une perméation d'une couche barrière (10) vis-à-vis d'au moins un gaz (18), dans lequel la couche barrière (10) sépare une première chambre (12) et une deuxième chambre (14) d'un perméamètre (11), comportant au moins : - mise en dépression de la première chambre et de la deuxième chambre vis-à-vis du gaz ; - première mise en oeuvre d'un procédé d'estimation d'un flux de gaz selon la revendication 9 tel que le flux de gaz mesuré, appelé1 -mesure_degas, correspond à une baisse de pression du gaz dans la deuxième chambre ; calcul d'une estimation d'un flux de gaz Jestim_degas(t) à partir de dernières valeurs des paramètres A et B précédemment estimées lors de la première mise en oeuvre du procédé d'estimation d'un flux de gaz ; - introduction du gaz dans la première chambre telle que la pression partielle du gaz dans la première chambre soit supérieure à celle dans la deuxième chambre ; - deuxième mise en oeuvre d'un procédé d'estimation d'un flux de gaz selon la revendication 9 tel que le flux de gaz mesuré imesure, correspond à une montée en pression du gaz dans la deuxième chambre, et au cours duquel l'estimation de valeurs de paramètres A et B est réalisée en réduisant l'erreur d'estimation basée sur une différence entre une estimation du flux du gaz 1 -estim_perm(t) et un autre flux de gaz Jrnesure_perm tel que 1 -mesure_perm = Jmesure Jestim_degas(t). 13. Procédé selon la revendication 12, dans lequel, lorsqu'une erreur globale entre le flux de gaz mesuré 1 -mesure_degas et l'estimation du flux de gaz 25Jestim_degas(t) est inférieure à la valeur d'un premier seuil - degas_inh l'estimation du flux de gaz Jestim_degas(t) est soustraite des valeurs du flux de gaz mesuré 1 -mesure lors de la deuxième mise en oeuvre du procédé d'estimation du flux de gaz et, lorsque l'erreur globale entre le flux de gaz mesuré 1 -mesure_degas et l'estimation Jestim_degas(t) est supérieure à la valeur d'un deuxième seuil Ydegas_sup, une dernière valeur mesurée du 30 flux de gaz Jmesure_degas ou une moyenne de plusieurs dernières valeurs mesurées duflux de gazl -mesure_degas est soustraite des valeurs du flux de gaz mesuré l -mesure lors de la deuxième mise en oeuvre du procédé d'estimation du flux de gaz. 14. Procédé selon l'une des revendications 12 ou 13, comportant en outre, après l'estimation des valeurs des paramètres A et B au cours de la deuxième mise en oeuvre d'un procédé d'estimation d'un flux de gaz, le calcul d'un flux de gaz stabilisé Joo tel que Joo = A.B ou, lorsqu'une estimation de valeurs de paramètres Ax et Bx est mise en oeuvre au cours de la deuxième mise en oeuvre d'un procédé d'estimation d'un flux de gaz, le calcul de flux de gaz stabilisés Joox tel 10 que Joox = Ax.Bx. 15. Dispositif (200) d'estimation d'une perméation d'une couche barrière (10), comportant des moyens (202, 11) de mise en oeuvre d'un procédé d'estimation de la perméation de la couche barrière (10) selon l'une des 15 revendications 12 à 14.