Brevet FR2989072A1 — publié le 20131011

Production de silanes à partir d'une poudre d'alliages de silicium et de métaux alcalino-terreux ou siliciures de métaux alcalino-terreux et d'acide chlorhydrique. La présente invention concerne la production des hydrures de silicium ou silanes à partir d'alliages de silicium ou de siliciures préalablement broyés mélangés à de l'acide chlorhydrique Certains silanes et plus particulièrement le monosilane, ou tétrahydrure de silicium (SiH4) et le disilane (Si2H6) sont utilisés comme vecteur de silicium dans des techniques de dépôts de silicium amorphe, silicium polycristallin, silicium nanocristallin ou microcristallin aussi appelé nano ou micromorphe, de silice, de nitrure de silicium, ou autre composé de silicium par exemple dans des techniques de dépôt en phase vapeur. Les dépôts en couche mince de silicium amorphe, et silicium microcristallin obtenus à partir de silane, permettent de fabriquer des piles solaires. On peut également obtenir des revêtements résistants à la corrosion par les acides, par craquage de silane et fabrication de composés tels que le carbure de silicium. Enfin, le silane est susceptible de s'additionner sur les liaisons simples ou multiples des hydrocarbures insaturés pour donner des organosilanes. Le marché du monosilane et du disilane va connaître une très forte expansion pour la fabrication des semiconducteurs intégrés et la fabrication des piles solaires (photovoltaïques) ainsi que pour les composants semiconducteurs et la fabrication d'écrans plats. Plusieurs types de procédés décrits ci-dessous ont été utilisés jusqu'à maintenant. Tout d'abord, la réduction de SiCI4 par LiH dans un bain de KCl/LiCI à des températures entre 450°C et 550°C est connue. Le rendement de la réaction est intéressant mais le procédé repose, d'une part, sur la disponibilité de LiH alors que les ressources de lithium sont très limitées et d'autre part sur la possibilité de recycler le lithium métal par électrolyse. Le milieu réactionnel est très corrosif et met en oeuvre des matériaux particuliers. Ce procédé a été utilisé pour produire des petites quantités de silane. 2 9890 72 2 La réduction de SiF4 par NaAIH4 en milieu solvants organiques est un autre exemple. Ce procédé n'est industriellement viable que lorsqu'il existe du SiF4, sous-produit d'une autre production chimique et du sodium pour fabriquer l'hydrure d'aluminium sodium. Ce procédé n'est pas facilement utilisable, 5 notamment pour ces deux raisons. Une autre réaction connue est l'attaque acide en milieu NH3 liquide d'un alliage stoechiométrique Mg2Si. Le bilan de la réaction est le suivant : Mg2Si + 4 HCI SiH4 + 2 MgCl2 NH3 liq. 10 Ce procédé est réalisé à température proche de la température ambiante à pression atmosphérique. Le siliciure de magnésium (Mg2Si) a été abondamment testé en milieu aqueux et ammoniac. Bien que suffisamment acceptable pour conduire à des unités de productions industrielles, le procédé présente les inconvénients majeurs suivants : 15 - le siliciure de magnésium industriel du fait de la volatilité du magnésium ne contient que 70% à 80 % du composé stoechiométrique. Les conditions de fabrication du composé stoechiométrique en font un produit trop cher pour cette industrie ; - en parallèle de la production du monosilane par cette voie, beaucoup de 20 silanes supérieurs dont des polychlorosilanes, des siloxanes et des gommes de silicones sont fabriqués, rendant le bilan de matière en monosilane peu intéressant et induisant des difficultés importantes de gestion du procédé. Ce procédé n'est pas satisfaisant à cause de la difficulté du pilotage du 25 procédé et de la mise en oeuvre d'ammoniac liquide très réglementée. Une autre réaction connue est la dismutation du SiHCI3 sur des résines comportant des groupes aminés greffés ou autres. Le procédé complet se décrit ainsi : a) 4 Si Métal. + 12 HCI 4 SiHCI3 + 4 H2 (température comprise entre environ 30 300°C et environ 1000°C) b) 4 SiHCI3 SiH4+ 3 SiCl4 (température proche de l'ambiante) c) 3 SiCl4 + 3 H2 3 SiHCI3 + 3 HCI (température d'environ 1000°C), soit le bilan réactionnel suivant: 4 Si Métal + 9 HCI 3 SiH4+ 3 SiHCI3+ H2. 2 9890 72 3 Une variante de la réaction ci-dessus se décrit ainsi : a) 4 Si Métal + 16 HCI 4 SiCI4 + 8 H2 (température comprise entre environ 1000°C et environ 1100°C) b) 4 SiCl4 + 4 H2 4 SiHC13+ 4 HCI (température d'environ 1000°C) 5 4 SiHCI3 SiH4 + 3 SiCI4, soit le bilan réactionnel suivant: 4 Si métal + 12 HCI SiH4 + 3 SiCl4+ 4 H2. Ce procédé demande des hautes températures dans un milieu 10 extrêmement corrosif et consomme beaucoup d'énergie (environ 50 kWh/kg pour l'étape b)). Pour atteindre le maximum de rendement, l'étape b) requiert de nombreuses boucles de recirculation de mélanges de chlorosilanes. Outre la mise en oeuvre de produits extrêmement corrosifs, toxiques et inflammables, un tel type de procédé est très couteux en énergie et présente beaucoup de risques 15 industriels. La génération de monosilane et silanes supérieurs a été décrite dans le Handbook of Inorganic Chemistry Gmelin Si-Silicon, en faisant réagir en phase aqueuse des siliciures et alliages de silicium en milieu acide ou basique. Dans les demandes de brevet EP146456 et W02006/041272, la synthèse du 20 monosilane en phase aqueuse en faisant tomber une poudre de Alx Siy Caz, x, y et z représentant les pourcentages respectivement d'aluminium, de silicium et de calcium, dans une solution de HCI, est décrite. La composition des gaz produits était environ 80% de monosilane, 10% de disilane et 5% de trisilane ainsi que des traces de disiloxane. Un inconvénient d'un tel procédé est la formation en 25 abondance d'une mousse dans le milieu réactionnel, ce qui diminue le rendement de la réaction et nécessite la présence d'un anti-moussant. Une telle réaction est très exothermique et des températures supérieures à 100°C sont assez vite atteintes si la vitesse d'introduction de la poudre d'alliage n'est pas considérablement réduite. 30 Tous ces travaux décrits ci-dessus ne garantissent pas les conditions nécessaires à la réalisation d'un procédé rentable pour un développement industriel. La mise au point de procédés impliquant des conditions de réaction moins difficiles et/ou permettant d'être utilisés pour des petites et moyennes unités dans la quasi-totalité des environnements et à proximité de l'usage du monosilane et du disilane est un enjeu majeur pour les industries citées plus haut. Les producteurs de monosilane et de disilane ont alors le choix entre investir dans des usines de grosse capacité dans les endroits où les infrastructures utilisées seront disponibles à long terme et à des coûts prédictibles et investir dans des moyens logistiques importants ; ou investir localement dans des usines « on-site » dédiées à une ou plusieurs usines de piles solaires. Pour être techniquement et économiquement viables, ces usines de monosilane et de disilane « on-site » devront remplir quatre critères : - mettre en oeuvre peu ou pas de produits toxiques pour l'environnement ; - émettre peu de rejets toxiques pour l'environnement et ne pas nécessiter des techniques lourdes pour retraiter ces rejets ; - avoir le minimum d'opérations et d'équipements sur le site afin de réduire les contraintes d'exploitation ; - mettre en oeuvre un procédé modulaire simple ne nécessitant pas des 15 périodes de maintenance longues. Néanmoins, les procédés décrits précédemment ne remplissent pas les quatre critères ainsi définis. Il existe en outre une voie de synthèse dite directe, consistant à faire réagir du silicium (ou de la silice) avec de l'H2. 20 Il est connu que : - l'enthalpie libre standard (0°C, 105 Pa) de la réaction « Si +H2 » est de 56,9 KJ/mole ; - la décomposition thermique du monosilane devient mesurable à partir de 375°C et ne devient significative qu'au-delà de 600°C. 25 En dehors de l'énergie d'activation nécessaire, qui sera beaucoup fonction de l'état de surface du silicium, les données ci-dessus indiquent que la synthèse directe par réaction directe « Si+H2 » est possible dans des contraintes industrielles courantes. La littérature cite plusieurs travaux sur la conversion directe du silicium en 30 silanes par réaction avec l'hydrogène. Exemples : a) Sels fondus (LiCl/KCI, Mg/MgCl2) réagissant avec de l'hydrogène H2 à des températures comprises entre 500°C et 1000°C (Petrik et al ; 1973). Bien que l'usage de sels fondus permette de chauffer de façon homogène le silicium (ou SiO2) en suspension dans le bain, cette méthode n'est pas viable, car elle induit des contraintes d'exploitation particulières pour la manipulation des sels. De plus, le silicium métallurgique contenant au moins 4 % de métaux résiduels, le retraitement des sels rendrait difficile l'atteinte du critère « environnement » décrit ci-dessus. b) Réaction de Silicium en poudre avec des catalyseurs (Pt, Pd, Ni, Ag) et de l'hydrogène H2 à des températures et pressions entre 20°C à 50.105 Pa et 600°C à 105 Pa. L'addition de catalyseurs au silicium n'est pas viable non plus pour les applications visées ici, car ceux-ci sont facilement empoisonnés par beaucoup de métaux et métalloïdes tels que le soufre. La séparation et le retraitement des catalyseurs ne rempliraient pas le critère de simplicité d'exploitation décrit ci-dessus. c) Réaction de Silicium en poudre avec Al/AIC13 et de l'hydrogène H2 pour produire du silane de formule SiH4 à 350°C et à une pression inférieure à 50.105 15 Pa. (Hance& Wagner-UCC Linde Division - Air Products 1950). e) 3 SiO2 + 2 Al + 6H2 3 SiH4 +A1203 dans un bain de sels fondus NaCI /AIC13 (175°C) et H2 sous haute pression à 400.105 Pa. Dans chaque cas, des silanes supérieurs (Si2H6 et Si3H8) sont formés par décomposition du monosilane. 20 Il est connu par ailleurs que le silicium métallurgique industriel contient environ 4% de fer et d'autres composants comme le phosphore P, As, S, ou encore des métaux lourds ; que la surface contient des oxydes et nitrures de silicium ainsi que des oxydes de métaux contenus dans le silicium. Ainsi, il y a un besoin de mettre en oeuvre une nouvelle voie 25 d'approvisionnement de silane permettant : - une réduction des transports de matières dangereuses ; - des conditions opératoires moins contraignantes ; - une taille d'unité modulable et adaptée aux besoins du client. Un des objectifs atteint par la demanderesse à travers la présente 30 invention est de permettre d'affiner les conditions opératoires et ainsi d'accroître les rendements de conversion de l'alliage en monosilane et en disilane. Il a été trouvé un procédé simple, utilisant des matières premières peu coûteuses et produisant des hydrures de silicium avec un rendement industriel et ne présentant pas tous les inconvénients vus ci-dessus. Un but de la présente invention est de pallier tout ou partie des inconvénients de l'art antérieur relevés ci-dessus. L'objet de l'invention décrite ci- après est de proposer des optimisations supplémentaires du procédé partant des alliages AISiCa en réduisant au maximum les inconvénients mentionnés ci-dessus. L'une des solutions pour améliorer ce rendement est d'utiliser des particules solides de granulométrie contrôlée. A cette fin, l'invention a pour objet un procédé de préparation d'un composé ou d'un mélange de composés de formule Sin1-12,+2 dans laquelle n est un entier supérieur ou égal à 1 et inférieur ou égal à 3, comprenant les étapes successives suivantes : a) broyage de morceaux d'au moins un siliciure ou alliage de silicium de formule M1xM2ySiz dans laquelle M1 est un métal réducteur, M2 un métal alcalin ou alcalino-terreux, x, y et z varient de 0 à 1, z étant différent de 0 et la somme x+y différente de 0, afin de former une poudre dont les particules ont un diamètre compris entre 10 pm et 500 pm ; b) introduction de la poudre d'alliage obtenue à l'étape a) dans un réacteur ; c) introduction d'acide chlorhydrique dans le réacteur; d) mise en réaction des réactifs introduits aux étapes b) et c) dans le réacteur. La solution consiste à broyer l'alliage métallique avant son utilisation dans le réacteur. Cette solution technologique propose plusieurs avantages : - La granulométrie ainsi contrôlée de l'alliage accroît les rendements du procédé en silanes. - Le broyage des particules va impliquer une déformation de la structure cristalline de l'alliage et accroître sa réactivité. - Le broyage dans le procédé permet d'éviter les inconvénients, cités plus haut, liés à la manutention et à la réactivité. De préférence, le broyage est réalisé par écrasement et non par cisaillement pour accroître la surface réactive des particules en minimisant l'endommagement des phases cristallines. Les métaux réducteurs sont par exemple Al, B, Ga, In. Les métaux alcalins sont par exemple Li, Na, K, Cs. Les métaux alcalino-terreux sont par exemple Mg, Ca, Sr, Ba. Par ailleurs, des modes de réalisation de l'invention peuvent comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : Procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce que la mise en réaction de l'étape d) est effectuée par un moyen d'agitation. Procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce que l'étape a) est réalisée sous atmosphère inerte ou réductrice. Procédé tel que défini ci-dessus, comprenant une étape e) de distillation fractionnée destinée à séparer le monosilane et le disilane des silanes supérieurs et autres composés volatils. Procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce que le diamètre des particules de la poudre dudit alliage est compris entre 50 pm et 200 pm. Procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce que la température à l'intérieur du réacteur est comprise entre 20°C et 100°C, de préférence 50°C. Procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce que M1 est l'aluminium et M2 est le calcium ou le magnésium. Procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce que l'alliage de silicium a pour formule CaAI2Si2. Procédé tel que défini ci-dessus, caractérisé en ce que l'étape d) est réalisée en présence de CaCl2 en quantité comprise entre 0,1% et 2% en poids de l'ensemble des alliages introduits dans le réacteur. Procédé tel que défini ci-dessus, de préparation d'un mélange gazeux comprenant jusqu'à 90% de monosilane et au moins 10% de disilane, de préférence comprenant 80% de monosilane et 20% de disilane. Procédé tel que défini ci-dessus de préparation de disilane. L'alliage de silicium est choisi parmi CaAI2Si2, SiMg2, SiCa2, AISiCa, CaSi, CaSi2, MgSi, AISiNa, AISiMg, SiNa, AISiLi, SiK, CaMgSi, CaMg6Sii4, Ca0,5AISio,33 et Ca0,5AISio,75, ou un mélange de ceux-ci, de préférence Sio,5Mg, AISiNa, SiNa, Sio,25Li, Si0,25Na, Sio,25K, ou SiK. D'autres alliages de silicium qui conviennent pour la présente invention sont les alliages de type ferosilicium, par exemple FeSi, FeSiMg, FeSiCa. De préférence, l'alliage mis en oeuvre dans le procédé objet de la présente invention est la composition CaAI2Si2 qui est la phase la plus active donnant les meilleurs rendements. Par silanes supérieurs, on comprend les composés de formules Sir,H2,,+2, n 3 dont le trisilane ou tétrasilane. Les alliages ou siliciures employés dans la mise en oeuvre du procédé selon l'invention sont des alliages ou siliciures servant également à piloter le moussage et la désoxygénation des laitiers en fonderies d'acier. Ce sont des produits industriels à bas coût et facilement produits. Un des avantages du procédé objet de l'invention est de pouvoir mener les réactions dans les conditions proches des conditions ambiantes (température et pression) dans des matériels courants dans l'industrie chimique minérale tels que des réacteurs en verre armé par exemple. Les procédés mettant en jeu ces alliages ou siliciures peuvent permettre de produire le silane dans des unités de petites et moyennes tailles au plus proche des marchés. Quels que soient les alliages et siliciures disponibles et les contraintes d'exploitation et d'environnement, la même unité peut être utilisée en ajustant les paramètres de fonctionnement. Dans tous les cas, les sous- produits sont des produits minéraux valorisables ou réutilisables. Il a également été découvert que la granulométrie de la poudre d'alliage a une influence sur la cinétique de la réaction et par conséquent, sur le rendement de la réaction. La cinétique croît lorsque la taille des particules diminue. La formation de mousses au cours de la réaction constitue le facteur limitant la taille des particules. Toutes conditions égales par ailleurs, lorsque la taille des particules est divisée par 10, la quantité de silane produite dans le même temps est multipliée par environ 15. Selon un mode préféré de la présente invention, l'alliage mis en oeuvre est CaAl2Si2. Les inventeurs ont constaté que de manière surprenante et inattendue, il s'agissait de l'alliage procurant les meilleurs résultats. L'ajout de CaCl2 anhydre en solution est privilégié : - le CaCl2 est fortement soluble dans l'eau (750 g/L à 20°C) ; - CaCl2 forme dans l'eau un complexe CaCl2, 6H20 (jusqu'à 30°C), puis CaCl2, 2H20 ; - CaCl2 est déjà un produit de la réaction et n'introduit pas de produit tiers à séparer ; - le mécanisme réactionnel fait apparaître un intermédiaire réactionnel intermédiaire SiH2 partiellement consommé par le solvant aqueux, l'ajout d'un corps tiers permet donc de réduire la réactivité chimique de l'eau et favorise la production du silane. D'autres particularités et avantages apparaîtront à la lecture de la description ci-après, faite en référence à la figure 1. La figure 1 représente un schéma d'une installation servant à mettre en oeuvre le procédé selon l'invention. L'unité de production 1 comporte au moins quatre parties contenant un réacteur 2 dans lequel le solide 3, ici l'alliage de silicium, est introduit sous forme de poudre, sous atmosphère d'hydrogène à la pression choisie depuis l'unité 7 de broyage, un système d'épuration 3 et un système de recyclage 4 du solvant issu du réacteur 2. Un exemple de moyen de broyage 7 est une unité de broyage à boulets. Bien entendu, d'autres systèmes de broyage sont utilisables dans le procédé objet de l'invention. L'outillage de « broyage à boulets » comporte des billes (ou boulets) faites dans un matériau très dur comme l'alumine, le corindon ou encore le carbure de silicium. Ces billes sont mises en agitation à l'aide d'un agitateur. Par exemple, l'agitateur tourne autour de son axe vertical. L'agitateur est muni dans sa partie basse d'un ou plusieurs croisillons. Chacun des axes horizontaux des croisillons est muni de pales en forme de « S » tournants sur leur axe horizontal. Par leur mouvement autour de leur axe horizontal, les pales entraînent de bas en haut les billes avec la poudre d'alliage de silicium, les billes retombant sur la poudre. Le principe de la technique de « broyage à boulets » est de transformer en effet Joule local, l'énergie cinétique communiquée à des billes plus dures que les solides contenus dans l'unité 7 et de fractionner les mêmes solides en poudres fines sous les faits des chocs multiples. En général les solides à faire réagir et les billes sont introduits dans un réacteur 7 mis en mouvement par un système multiaxes. Le choc des billes sur les solides et le brassage des solides provoque le double effet recherché. La réaction de production de silanes a lieu dans un réacteur 2 muni d'un moyen de mélange 40 (tel qu'un racleur ou un malaxeur). Le réacteur 2 est rempli à l'aide d'un alliage de silicium, tel que le CaAI2Si2, issu d'une source 7 d'une part ainsi qu'à l'aide d'un additif tel que le CaCl2, issu d'une source 20 et d'autre part, depuis une source 6, d'une solution contenant un acide, tel que HCI par exemple, préalablement mélangé à un solvant aqueux pour atteindre une concentration définie par l'utilisateur, par exemple 10% en masse. L'additif sera préférentiellement mélangé avec la solution d'acide avant l'introduction dans le réacteur. Les proportions du mélange étant choisies préalablement à la réaction par l'utilisateur dans le but d'obtenir le meilleur rendement possible compte tenu des problèmes à résoudre identifiés plus haut. Le réacteur 2 peut par exemple être solidaire d'un couvercle amovible par le haut fixé par des arceaux. Le couvercle dispose d'une ouverture étanche permettant de connecter une trémie 5 étanche. De préférence, le réacteur est entouré d'une gaine d'isolation thermique. Au voisinage du réacteur 2, un moyen 5 d'écoulement de l'alliage de silicium est présent. Un tel moyen d'écoulement est par exemple une trémie 5 initialement remplie d'un alliage de silicium sous forme de poudre (obtenue dans l'unité de broyage 7) de formule M1xM2ySiz dans laquelle M1 est un métal réducteur, M2 un métal alcalin ou alcalino-terreux, x, y et z variant de 0 à 1, z étant différent de 0. De préférence, l'alliage est le CaAI2Si2. Par exemple, la trémie 5 comporte une vis sans fin et un boyau de constriction permettant d'isoler la trémie 5 du réacteur 2. La conception de la trémie 5 est par exemple similaire aux trémies utilisées pour verser le carbure de calcium dans les réacteurs d'acétylène. L'alliage est amené dans des fûts semblables aux fûts utilisés pour transporter le carbure de calcium dans les unités de production d'acétylène. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, au-dessus du couvercle du réacteur 2, sont disposées deux vannes étanches en série assurant l'isolement du réacteur. Un piquage latéral intégré entre ces deux vannes permet de purger le réacteur 2 avant déconnection. Un dispositif 8 analogue équipe la sortie du fond du réacteur 2 pour évacuer les liquides. Le fond du réacteur 2 est obturé par un moyen 9, par exemple un dôme, évitant aux produits liquides de stagner dans le canal de fond. Ce dôme se soulève en actionnant la vanne 8 de fond. Les liquides sont stockés provisoirement dans une capacité tampon, puis traversent le système de filtration et sont enfin envoyés vers un système de cristalliseur 10 via une conduite 11. Afin de récupérer les silanes désirés, les produits issus du réacteur 2 qui ne sont pas envoyés vers le système cristalliseur 10 sont dirigés vers un système d'épuration 3 par une conduite 12 ou une conduite 19. Ledit système d'épuration 3 comporte au moins une colonne de fractionnement présente pour séparer les silanes des autres produits présents et enfin une colonne de double distillation servant à récupérer le monosilane pur, utilisé ensuite pour les applications désirées. Il est également prévu un système de fractionnement apte à délivrer un mélange silane/disilane. En effet, l'utilisation d'un mélange contenant jusqu'à 90% de SiH4 et au moins 10% de Si2H6 peut être envisagée dans des techniques de dépôts de silicium. Ainsi, selon un mode particulier, l'invention a pour objet un procédé et une unité de production permettant de produire en continu des mélanges de silanes gazeux dont les mélanges monosilane/disilane. Ces mélanges sont utilisables directement pour la fabrication des piles solaires en couches minces. Le procédé permet de produire des mélanges de composition typique 80% de monosilane et 20% de disilane en volume. Le procédé selon l'invention permet également de produire en continu un flux de disilane (Si2H6). La poudre du composé (l'alliage de silicium, par exemple CaAl2Si2) est introduite dans le réacteur 2 en continu par la trémie 5. Le réacteur 2 peut être constitué d'un premier fond légèrement tronconique 13 constitué d'un média filtrant métallique 15 sur lequel est ajouté un média filtrant organique 14, par exemple un papier filtre, dont le but est de retenir les particules n'ayant pas réagi. Le fond tronconique 13 contient en son milieu un trou obturé par une bonde 5 amovible mécaniquement de l'extérieur. Le réacteur 2 renferme également un système d'agitation 40 dont la fonction est de brasser la poudre du composé. De l'acide, par exemple l'acide chlorhydrique (HCI), est injecté par des diffuseurs 16 au-dessus du niveau maximum 17 prévu pour le niveau de solide contenu dans le fond tronconique. Le solvant entraîné avec le gaz est liquéfié 10 dans le ou les condenseurs 18 puis est réinjecté dans le réacteur 2. Le complément en solvant est assuré par le recyclage de l'eau contenue dans les effluents liquides. Exemple d'application Plusieurs essais ont été réalisés dans des conditions opératoires similaires afin 15 d'évaluer l'influence de la granulométrie des particules. Les paramètres constants de ces essais sont : o alliage utilisé : CaAl2Si2; o acide utilisé : HCI concentré à 3.7N ; o volume : 1L; 20 o masse d'alliage utilisé : 20g; o température de réaction : 50°C. Quatre essais à différentes granulométries sont ainsi réalisés et les variations de rendement sont reportées sur la figure 2. Le rendement a ainsi été fortement amélioré. 25 30 REVENDICATIONS1. Procédé de préparation d'un composé ou d'un mélange de composés de formule Sin1-12,+2 dans laquelle n est un entier supérieur ou égal à 1 et inférieur ou égal à 3, comprenant les étapes successives suivantes : a) broyage de morceaux d'au moins un siliciure ou alliage de silicium de formule M1xM2ySiz dans laquelle M1 est un métal réducteur, M2 un métal alcalin ou alcalino-terreux, x, y et z varient de 0 à 1, z étant différent de 0 et la somme x+y différente de 0, afin de former une poudre dont les particules ont un diamètre 10 compris entre 10 pm et 500 pm ; b) introduction de la poudre d'alliage obtenue à l'étape a) dans un réacteur (2) ; c) introduction d'acide chlorhydrique dans le réacteur (2) ; d) mise en réaction des réactifs introduits aux étapes b) et c) dans le 15 réacteur. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la mise en réaction de l'étape d) est effectuée par un moyen d'agitation. 20 3. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que l'étape a) est réalisée sous atmosphère inerte ou réductrice. 4. Procédé selon l'une des revendications précédentes, comprenant une étape e) de distillation fractionnée destinée à séparer le monosilane et le 25 disilane des silanes supérieurs et autres composés volatils. 5. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le diamètre des particules de la poudre dudit alliage est compris entre 50 pm et 200 pm. 30 6. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la température à l'intérieur du réacteur (2) est comprise entre 20°C et 100°C, de préférence 50°C. 7. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que M1 est l'aluminium et M2 est le calcium ou le magnésium. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'alliage de silicium a pour formule CaAI2Si2. 9. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'étape d) est réalisée en présence de CaCl2 en quantité comprise entre 0,1% et 2% en poids de l'ensemble des alliages introduits dans le réacteur. 10. Procédé selon l'une des revendications précédentes, de préparation d'un mélange gazeux comprenant jusqu'à 90% de monosilane et au moins 10% de disilane, de préférence comprenant 80% de monosilane et 20% de disilane. 11. Procédé selon l'une des revendications précédentes de préparation de disilane.