Brevet FR2969373A1 — publié le 20120622

B 10-4091 FR 1 Procédé d'assemblage de deux plaques et dispositif correspondant L'invention concerne les circuits intégrés et plus particulièrement l'assemblage d'au moins deux plaques de matériaux utilisés en microélectronique, notamment des plaques semi-conductrices, par exemple deux plaques de silicium. La fabrication des circuits intégrés dans des substrats de silicium peut nécessiter l'assemblage de deux plaques de silicium. Par exemple, les structures tridimensionnelles comprennent des composants fabriqués sur au moins deux plaques de silicium distinctes puis assemblées. On pourra également citer les dispositifs imageurs à éclairement face arrière, dans lesquels les cellules de photo détection sont disposées à proximité de la face arrière des substrats dans lesquels elles sont fabriquées. Ces substrats sont généralement amincis lors d'étapes de polissages ou de rectification (en anglais « grinding ») mécaniques afin de rapprocher la surface arrière des zones actives des cellules de photo détection. Afin de permettre cet amincissement, une deuxième plaque de silicium est fixée sur la face avant du premier substrat pour former une poignée. Par ailleurs, lors de la fabrication de structures tridimensionnelles, des interconnexions verticales traversantes, dites TSV : « Through Silicon Via » sont réalisées à travers au moins une plaque de silicium. Généralement, cette plaque de silicium est amincie lors d'un polissage ou d'une rectification (en anglais « grinding ») mécanique pour permettre la réalisation d'interconnexions verticales traversantes courtes. Un assemblage classique de deux plaques, par exemple de silicium, a été représenté sur la figure la. Sur cette figure, on a représenté de manière schématique deux plaques de silicium Pl et P2. Afin de procéder au collage des deux plaques, une couche de collage OX, par exemple de dioxyde de silicium (SiO2), a été formée à la surface des deux plaques, par exemple lors d'une étape de croissance ou lors d'un dépôt de dioxyde de silicium (SiO2). Les deux plaques Pl et P2 sont, généralement, des plaques d'un diamètre de 200mm ou 300mm, et comportent, de manière classique, une partie périphérique biseautée BIS. La partie périphérique biseautée BIS peut s'étendre sur une portion de l'ordre de lmm à 3mm sur les plaques Pl et P2. Une cavité CV est formée entre les parties périphériques biseautées BIS des deux plaques Pl et P2 après collage. La présence de la cavité CV a notamment pour inconvénient de ne pas conduire à la solidarisation mutuelle des parties périphériques des plaques lors du collage. De ce fait, lors de l'amincissement de la plaque Pl (figure lb), le bord de la plaque Pl devient trop fragile et peut se délaminer et conduire à une fracture de la partie périphérique biseautée BIS. Cette fracture peut émettre des éclats qui peuvent rayer profondément la surface de la plaque Pl pendant l'étape d'amincissement et constitue aussi une source de contamination particulaire. I1 a été proposé de procéder avant collage à une découpe des parties biseautées de la plaque de silicium à amincir (figure 2a), selon une technique bien connue de l'homme du métier appelée « détourage », ou, en langue anglaise :« edge grinding » ou « edge trimming ». Sur cette figure, la partie périphérique biseautée BIS de la plaque Pl a été découpée, par exemple lors d'une découpe mécanique, avant l'étape d'amincissement de la plaque Pl. Sur la figure 2b, on a représenté la plaque Pl après l'étape d'amincissement. L'absence de partie périphérique biseautée BIS permet d'obtenir une épaisseur de l'ordre du micromètre sans l'apparition de fractures. Cela étant, outre le fait de constituer une étape supplémentaire dans l'assemblage de deux plaques, cette découpe peut faire apparaître des particules capables de contaminer les équipements. Selon un mode de mise en oeuvre et de réalisation, il est proposé de supprimer l'étape de découpe des bords biseautés d'une plaque lors de l'assemblage de deux plaques, notamment de deux plaques de matériau semi-conducteur. Selon un aspect, il est proposé un procédé d'assemblage d'une première plaque et d'une deuxième plaque biseautées à leur périphérie, comprenant une étape d'excavation sur la partie périphérique biseautée d'au moins une première face de la première plaque engendrant un dépôt en bordure de la zone excavée du matériau de la première plaque, et une étape de collage de la première face et d'une deuxième face de la deuxième plaque. Le terme « biseautée » doit être pris dans un sens très large englobant notamment une taille des plaques à leur extrémité selon une direction sensiblement oblique, la surface taillée présentant un profil décroissant vers l'extrémité, que ce profil soit droit ou arrondi par exemple. Le dépôt en bordure de la zone excavée du matériau précédemment constitutif de cette zone sur la partie périphérique biseautée permet de combler au moins partiellement l'espace entre les deux parties biseautées. L'étape de collage peut comprendre un collage direct de la première face et de la deuxième face. Par collage direct (encore appelé parfois collage moléculaire), on entend une étape de collage sans apport de matière adhésive, par mise en contact des faces à assembler. Avantageusement, l'étape de collage comprend avant le collage direct une formation d'une couche de collage sur la première face de la première plaque obtenue après l'étape d'excavation et/ou sur la deuxième face de la deuxième plaque. La formation de la couche de collage (en oxyde de silicium ou en nitrure de silicium par exemple) permet entre autre de niveler les surfaces et de faciliter le collage direct subséquent. Avantageusement, la formation de la couche de collage sur une plaque comprend une oxydation du matériau de ladite plaque. Ainsi, si la plaque est en silicium, la formation de la couche de collage peut correspondre à la formation d'une couche de dioxyde de silicium (SiO2). I1 peut s'agir par exemple d'une oxydation globale de la première plaque. Si la plaque est en silicium, l'excavation conduit au dépôt en bordure de la zone excavée de silicium polycristallin. Le silicium polycristallin étant plus poreux que le silicium monocristallin, lors de la formation du dioxyde de silicium par oxydation, par exemple par croissance sèche, la diffusion des atomes d'oxygène à travers le silicium polycristallin sera plus rapide que sur le substrat monocristallin. Par conséquent, l'épaisseur de dioxyde de silicium sera plus épaisse sur les parties périphériques biseautées qui comportent du silicium polycristallin. En variante, la formation de la couche de collage (de dioxyde de silicium ou de nitrure de silicium par exemple) est réalisée par dépôt. Ainsi, la cavité formée entre les parties périphériques biseautées est comblée par le matériau de la zone excavée et de la couche de collage. La zone de collage entre les deux plaques est ainsi accrue latéralement au niveau de cette zone biseautée, et la partie périphérique biseautée de la plaque à amincir est maintenue lors de l'étape d'amincissement, permettant ainsi d'éviter la fracture de cette partie périphérique sans avoir recours à une étape de détourage. Avantageusement, l'étape de collage comprend avant le collage direct une préparation des surfaces à assembler de façon à faciliter le collage direct, notamment en termes de planéité, de rugosité et d'hydrophilie. Avantageusement, le procédé comprend en outre une étape d'excavation sur la partie périphérique biseautée de ladite deuxième face. Ainsi, le matériau déposé en bordure de la zone excavée sur les deux plaques contribue au comblement des cavités formées entre les parties périphériques biseautées. Selon un mode de mise en oeuvre, l'excavation est réalisée à l'aide d'un faisceau laser. L'application de ce faisceau laser entraine une expulsion du matériau constitutif de la plaque qui est redéposé autour du point d'impact du faisceau laser Si la plaque est en silicium, la matériau redéposé sera du silicium polycristallin. Avantageusement, le procédé comprend en outre un amincissement d'au moins une des deux plaques. Selon un autre aspect, il est proposé un dispositif comprenant au moins deux plaques biseautées à leur périphérie et mutuellement solidarisées, dont l'une au moins présente au niveau de sa face assemblée dans sa périphérie biseautée une excavation dont le contour présente un surplus de matériau de la plaque excavée. Avantageusement, ladite face et/ou la face assemblée de l'autre plaque est recouverte d'une couche de collage. L'une des deux plaques peut être plus mince que l'autre. Les plaques peuvent être en matériau semiconducteur, notamment en silicium, en germanium, en matériau III-V ou II-VI, ou en verre. Les deux plaques peuvent comprendre des matériaux différents. Avantageusement, la couche de collage peut comprendre du dioxyde de silicium (SiO2) ou du nitrure de silicium (Si3N4). D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à l'étude de la description détaillée de modes de mise en oeuvre et de réalisation, pris à titre d'exemples non limitatifs et illustrés par les dessins annexés sur lesquels : - les figures la, lb, 2a et 2b, déjà décrites, illustrent schématiquement un assemblage de deux plaques de silicium selon l'art antérieur, et - les figures 3 à 7 illustrent un mode de mise en oeuvre et de réalisation selon l'invention. Sur la figure 3, on a représenté, en vue de dessus et de manière schématique, une plaque Pl, par exemple de silicium, comportant une partie périphérique biseautée BIS. La plaque Pl peut être d'un diamètre, par exemple, de 200 ou 300 millimètres, et d'une épaisseur de 700 micromètres. La partie périphérique biseautée BIS peut s'étendre, à titre d'exemple, sur un à trois millimètres. Un faisceau laser est appliqué sur la partie périphérique biseautée BIS, par exemple, sur le trajet T. Ce trajet T est un trajet circulaire (par exemple à 2 ou 3mm du bord de la plaque), mais il est également possible de procéder à d'autres types de trajet, par exemple une sinusoïde. A titre d'exemple, ce trajet T est un trajet continu mais il est également possible d'appliquer le faisceau laser selon un trajet T discontinu. A titre d'exemple, le trajet T peut avoir une largeur de l'ordre de 500 micromètres. Le laser utilisé peut être un laser utilisé pour le marquage de codes de référence sur les plaques utilisées en microélectronique lors d'une étape bien connue de l'homme du métier. Sur la figure 4, on a représenté une vue en coupe de la plaque P 1 après l'application du laser selon le trajet T. La partie périphérique biseautée BIS comporte maintenant une excavation ou un cratère CR (typiquement de quelques microns de profondeur), formé lors de la fusion du silicium résultant de l'application du faisceau laser. Lors de cette fusion, des grains de silicium sont extraits et se redéposent sur la partie périphérique biseautée BIS de manière à former un amas de polysilicium POLY. Lors de cette fusion, des grains de silicium peuvent ou non rester dans le cratère CR. Mais même si le cratère CR ne contient pas de grains de silicium, on obtiendra tout de même une solidarisation acceptable des parties périphériques biseautées BIS. La puissance du laser peut être adaptée pour contrôler la profondeur du cratère et donc la quantité de matière redéposée et ainsi combler une partie plus ou moins large de la zone biseautée. Afin de permettre un collage de la plaque Pl avec une autre plaque, une couche de collage OX, par exemple de dioxyde de silicium, est formée au moins sur la surface supérieure de la plaque Pl, par exemple lors d'une croissance sèche (figure 5). La couche de polysilicium POLY est une couche poreuse qui facilite la diffusion des atomes d'oxygène introduits lors de la croissance sèche, ce qui favorise la croissance du dioxyde de silicium. Ainsi les grains de silicium de la couche POLY sont transformés au moins partiellement en dioxyde de silicium OXB formant une couche plus épaisse que la couche OX. En effet, un grain de silicium au moins partiellement transformé en dioxyde de silicium présente après transformation un volume plus important. En variante, la formation de dioxyde de silicium peut comprendre un dépôt de dioxyde de silicium, par exemple un dépôt classique du type chimique en phase vapeur (dépôt CVD : « Chemical Vapor Deposition »). L'amas de polysilicium POLY, recouvert de dioxyde de silicium, permet de combler au moins partiellement la cavité entre les parties périphériques biseautées BIS des plaques Pl et P2. I1 peut s'agir par exemple d'un dépôt de tétraethoxysilane (TEOS) d'une épaisseur comprise entre 500 et 1000 nanomètres. Cette couche de collage peut subir des étapes habituelles de préparation pour faciliter le collage direct subséquent notamment en termes de planéité, de rugosité et d'hydrophilie. Cette préparation peut comprendre une étape de polissage mécano chimique (CMP), un traitement plasma ou UV/Ozone. Sur la figure 6, on a représenté le collage de la plaque P1 avec une plaque de silicium P2 sur laquelle on a également formé une couche optionnelle de collage OX, par exemple de dioxyde de silicium (SiO2). I1 pourrait également s'agir d'une couche de nitrure de silicium (Si3N4). La couche de dioxyde de silicium OXB permet de combler au moins partiellement la cavité formée entre les parties biseautées BIS des plaques P1 et P2. La couche de collage OX de la deuxième plaque P2 peut également avoir subi des étapes de préparation précédemment évoquées en vue de faciliter le collage direct. Le collage des plaques Pl et P2 est réalisé de façon classique par collage direct en mettant en contact les deux plaques. Avantageusement, une étape de traitement thermique (par exemple autour de 350°C pendant deux heures) peut être prévue pour renforcer l'énergie de collage. On notera que la présence du cratère CR n'a pas d'incidence sur le comblement de la cavité. En effet, les bords du cratère sur la partie périphérique biseautée, recouverts par la couche d'oxyde de silicium OXB, sont suffisamment hauts pour rejoindre la plaque P2. Par ailleurs, la couche OXB étant poreuse, le cratère CR ne forme pas une cavité dans laquelle du gaz pourrait être encapsulé et provoquer une défaillance. Lors d'un amincissement ultérieur, par exemple de la plaque Pl (figure 7), il n'y a pas de fracture des parties périphériques biseautées BIS, mutuellement maintenues par la couche OXB. On peut ainsi descendre jusqu'à une épaisseur pour la plaque Pl de l'ordre du micromètre. L'étape d'amincissement peut comprend une étape de rectification mécanique suivi d'un polissage mécano chimique. On obtient un dispositif comprenant au moins deux plaques biseautées à leur périphérie et mutuellement solidarisées, dont l'une au moins présente au niveau de sa face assemblée dans sa périphérie biseautée une excavation dont le contour présente un surplus de matériau de la plaque excavée. Bien entendu, des variantes de mise en oeuvre et de réalisation sont possibles. On peut notamment former une couche de collage OXB sur la plaque P2 afin d'améliorer le comblement de la cavité, d'une façon analogue à celle décrite pour la plaque Pl. On peut en outre assembler un nombre supérieur à deux de plaques, lors de la fabrication de circuits intégrés tridimensionnels. La plaque P2 peut être en outre amincie, et remplacer la plaque Pl lors de l'étape d'amincissement. Par ailleurs, il est possible d'assembler des plaques de matériau différents, avec ou sans l'utilisation d'une couche de collage. On pourra notamment assembler des plaques de silicium, de germanium, de matériau III-V ou II-VI, ou de verre. Des couches de collage de dioxyde de silicium (SiO2) ou de nitrure de silicium (Si3N4) peuvent également être utilisées. On notera qu'un certain nombre d'étapes peuvent être mises en oeuvre, en particulier des étapes de préparation des surfaces à assembler de façon à faciliter le collage direct, notamment en terme de planéité, de rugosité et d'hydrophilie. De part ces aspects de l'invention, on obtient un assemblage de plaques de silicium dans lequel les parties périphériques biseautées des plaques n'ont pas été découpées, tout en réduisant la contamination des équipements lors de l'assemblage des plaques de silicium et leur amincissement. REVENDICATIONS1. Procédé d'assemblage d'une première plaque et d'une deuxième plaque (Pl, P2) biseautées à leur périphérie, comprenant une étape d'excavation sur la partie périphérique biseautée (BIS) d'au moins une première face de la première plaque (Pl) engendrant un dépôt (POLY) en bordure de la zone excavée du matériau de la première plaque, et une étape de collage de la première face et d'une deuxième face de la deuxième plaque. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de collage comprend un collage direct de la première face et de la deuxième face. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel l'étape de collage comprend avant le collage direct une formation d'une couche de collage (OX, OXB) sur la première face de la première plaque (Pl) obtenue après l'étape d'excavation et/ou sur la deuxième face de la deuxième plaque (P2). 4. Procédé selon la revendication 3, dans lequel la formation de la couche de collage (OX, OXB) sur une plaque est réalisée par oxydation du matériau de ladite plaque. 5. Procédé selon la revendication 3, dans lequel la formation de la couche de collage est réalisée par dépôt. 6. Procédé selon la revendication 2, dans lequel l'étape de collage comprend avant l'étape de collage direct une préparation des surfaces à assembler de façon à faciliter le collage direct. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant en outre une étape d'excavation sur la partie périphérique biseautée (BIS) de ladite deuxième face. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'excavation est réalisée à l'aide d'un faisceau laser. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant en outre un amincissement d'au moins une des deux plaques. 10. Dispositif comprenant au moins deux plaques (Pl, P2) biseautées à leur périphérie (BIS) et mutuellement solidarisées, dont l'une au moins présente au niveau de sa face assemblée dans sa périphérie biseautée une excavation dont le contour présente un surplus de matériau de la plaque excavée. 11. Dispositif selon la revendication 10, dans lequel ladite face et/ou la face assemblée de l'autre plaque est recouverte d'une couche de collage. 12. Dispositif selon la revendication 10 ou 1l, caractérisé en ce que l'une des deux plaques (Pl) est plus mince que l'autre. 13. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 12, dans lequel les plaques (Pl, P2) sont en matériau semi-conducteur ou en verre. 14. Dispositif selon la revendication 13, dans lequel les deux plaques (Pl, P2) comprennent des matériaux différents. 15. Dispositif selon la revendication 13 ou 14, dans lequel la couche de collage comprend du dioxyde de silicium ou du nitrure de silicium.