Brevet FR2976118A1 — publié le 20121207

Procédé de fabrication d'un assemblage collecteur-électrode pour cellule de stockage d'énergie électrique, assemblage collecteur-électrode et cellule de stockage d'énergie La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un assemblage collecteur-électrode destiné notamment aux cellules de stockage d'énergie électrique. Une cellule de stockage d'énergie électrique appelée « supercapacité », « supercondensateur » ou EDLC (Electric Double Layer Capacitors, condensateur à double couche électrique) comprend deux assemblages collecteur-électrode séparés par un séparateur. Chaque assemblage collecteur-électrode comprend un collecteur de courant et une électrode. Les assemblages collecteur-électrode sont disposés de façon que leurs électrodes soient en regard en étant espacées par un séparateur. Le séparateur permet le passage d'ions d'une électrode vers l'autre et l'isolation électrique entre les deux électrodes. Ces cellules de stockage présentent un temps de rechargement très court (par rapport aux battéries) et sont propres à délivrer une puissance instantanée élevée. Elles sont utilisées par exemple pour l'alimentation de moteurs électriques de propulsion de voitures ou de bus dans un environnement urbain. Un but de l'invention est de proposer un procédé de fabrication industrielle d'un assemblage collecteur-électrode présentant des performances satisfaisantes. A cet effet, l'invention propose un procédé de fabrication d'un assemblage collecteur-électrode comprenant en superposition un substrat, un collecteur formé de nano-/microparticules et une électrode formée de nano-/microparticules, dans lequel le collecteur et l'électrode sont chacun formés par pulvérisations d'au moins une suspension comprenant des nano-/microparticules en suspension dans un liquide sur le substrat. Le procédé de l'invention peut comprendre une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prises isolément ou selon toutes les combinaisons techniquement possibles : - le collecteur est formé par pulvérisation d'une seule suspension de nano-/microparticules ; - le collecteur est formé par pulvérisations d'au moins deux suspensions de nana-30 /microparticules ; - les différentes suspensions sont pulvérisées simultanément sur le substrat ; - l'électrode est formée par pulvérisation d'une suspension de nano-/microparticules ; - le collecteur est formé par pulvérisations d'au moins une suspension de nano-35 /microparticules sur le substrat puis l'électrode est formée par pulvérisation d'une suspension de nano-/microparticules sur le collecteur ; - le collecteur est formé par pulvérisation d'une première suspension de nanoparticules et d'une deuxième suspension de nanoparticules de telle sorte que le collecteur est formé d'un mélange des nanoparticules de la première suspension et de celles de la deuxième suspension, puis l'électrode est formée par pulvérisation de la deuxième suspension de telle sorte que l'électrode est formée de nanoparticules de la deuxième suspension ; - les nano-/microparticules de chaque suspensions sont choisies parmi des nanofils, des nanotubes, des nanotiges, des nanofeuilles, de microfils, des microtubes et/ou des microfeuilles. L'invention concerne également un assemblage collecteur-électrode pour supercondensateur, comprenant en superposition un substrat, un collecteur formé de nano-/microparticules et une électrode formée de nano-/microparticules. L'invention concerne encore un supercondensateur comprenant au moins un assemblage collecteur-électrode tel que défini ci-dessus. L'invention et ses avantages seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple, et faite en se référant aux dessins annexés, sur lesquels : - la Figure 1 est une vue schématique de côté d'une cellule de stockage d'énergie comprenant deux assemblages collecteur-électrode ; - les Figures 2 et 3 représentent deux étapes d'un procédé de fabrication d'un assemblage collecteur-électrode conforme à l'invention ; - la Figure 4 représente un procédé de fabrication d'un assemblage collecteur-électrode selon une variante du procédé des Figures 2 et 3 ; - les Figures 5 et 6 représentent deux étapes d'un procédé de fabrication d'une d'un assemblage collecteur-électrode conforme à l'invention ; - la Figure 7 représente un procédé de fabrication d'un assemblage collecteur-électrode selon une variante du procédé des Figures 5 et 6. Telle que représentée sur la Figure 1, une cellule de stockage d'énergie 2 comprend deux assemblages collecteur-électrode 4 disposés en regard l'un de l'autre et séparées par un séparateur 6. Chaque assemblage collecteur-électrode 4 est multicouche et comprend en superposition un substrat 8, un collecteur 10 électriquement conducteur le substrat 8, et une électrode 12 électriquement conductrice recouvrant le collecteur 10. Les assemblages collecteur-électrode 4 sont disposés en regard avec leurs électrodes 12 adjacentes et séparées par le séparateur 6. Le séparateur 6 a pour fonction d'assurer une isolation électrique entre les électrodes 12 tout en laissant passer les ions. De manière générale, on peut utiliser tout séparateur conventionnel dans un supercondensateur à puissance instantanée élevée. Le séparateur 6 comprend par exemple une membrane poreuse. La membrane est généralement à base de polymères, par exemple de Nafion®. L'électrolyte est par exemple formé d'acide hyposulfureux (H2SO2), d'hydroxyde de potassium (KOH), d'un électrolyte organique à base de carbonate d'Ethylène, de ybutyrolactone ou de chlorure de potassium (KCI). Le substrat 8 de chaque assemblage collecteur-électrode 4 est formé d'un matériau rigide ou flexible. Le substrat est formé d'un polymère, par exemple de polyétherimide (PEI), de polyéthylène téréphtalate (PET), ou de polyéthylène naphthalate (PEN)...) ou métallique, par exemple Fer ou Nickel. Le collecteur 10 de chaque assemblage collecteur-électrode 4 est formé d'un agglomérat de nano-/microparticules. L'électrode 12 de chaque assemblage collecteur-électrode 4 est également formée d'un agglomérat de nano-/microparticules. Par « nanoparticules », on entend des particules dont au moins la plus petite des dimensions est nanométriques, c'est-à-dire comprises entre 1 nm et 100 nm. Par microparticules, on entend des particules dont au moins la plus petite des dimensions est micrométriques c'est-à-dire comprises entre 0.1 pm et 100 pm. Par « agglomérat de nano-/microparticules » on entend un agglomérat comprenant un type de nano-/microparticules ou un mélange de différents types de nano-/microparticules. Des nano-/microparticules diffèrent par leur géométrie et/ou leur matériaux. Les géométries de nano-/microparticules comprennent les nano-/microfils, nano-/microtiges, les nano-/microtubes et les nano-/microfeuilles du type monofeuillet comprenant une couche cristalline ou multifeuillet comprenant plusieurs feuillets empilés. Un nano-/microtube est formé d'une ou plusieurs nano-/micro feuilles enroulées. Un nano/microfil est un objet unidimensionnel plein d'un matériau massif. Une nano/microtige est un objet unidimensionnel creux d'un matériaux massif. Des matériaux connus utilisés pour la fabrication de nano-/microparticules comprennent le carbone (C), le sulfure de molybdène (MoS2), le sulfure de titane (WS2), le séléniure de molybdène (MoSe2), le tellurure de molybdène (MoTe2), le séléniure de tantale (TaSe2), le séléniure de Niobium (NbSe2), le tellurure de nickel (NiTe2), le nitrure de bore (BN), et le tellurure de bismuth (Bi2Te3). Dans le cas du carbone, un feuillet est désignés par le terme «graphène » et se présente sous la forme d'un cristal bidimensionnel de carbone d'épaisseur monoatomique et de dimensions nano-/micrométriques. Les nanotubes de carbone (NTC) sont connus et sont formés d'un feuillet de graphène enroulé en un tube (Single Wall Nanotube, SWNT) ou de plusieurs feuillets empilés de graphène enroulés en un tube (Multiwall Nanotube, NWNT). Le collecteur 8 et l'électrode 12 sont de compositions différentes, c'est-à-dire qu'il comprennent des nano-/microparticules de matériaux différentes et/ou de géométrie différentes et/ou dans des proportions différentes. II est possible que l'électrode 12 comprenne un type de nano-/microparticule et que le collecteur 8 comprennent un mélange de nano-/microparticule incluant ce même type et un autre type. Dans un exemple de réalisation, le collecteur 8 est composé d'un agglomérat de nanoparticules de carbones comprenant des nanotubes de carbones mélangés avec des nanofils de carbones et/ou des nanofeuilles de carbone et l'électrode 12 est formée d'un agglomérat de nanotubes de carbone. Selon le procédé de l'invention, chaque assemblage collecteur-électrode est fabriqué par pulvérisation de suspensions de nano-/microparticules sur un substrat. Tel qu'illustré sur les Figures 2 et 3, un dispositif de pulvérisation 14 comprend une première buse 16 de pulvérisation et une deuxième buse 18 de pulvérisation propres à être déplacées par rapport à un substrat 8 dans deux directions horizontales tel qu'illustré par la croix D sur la Figure 2. Chaque buse 16, 18 est propre à pulvériser une suspension comprenant des nano-/microparticules en suspension dans un liquide. Selon le procédé des Figures 2 et 3, la première buse 16 est alimentée en une première suspension 20 contenant nano-/microparticules en suspension dans un liquide. La deuxième buse 18 est alimentée en une deuxième suspension 22 contenant des nano-/microparticules en suspension dans un liquide. La première suspension 20 et la deuxième suspension 22 diffèrent par les nano-/microparticules qu'elles contiennent. Chaque suspension comprend un type de nano-/microparticules ou un mélange de nano- /microparticules de différents types. Dans tous les cas, le liquide de la suspension est choisi parmi les composés suivants : eau (H2O), méthanol (CH4O), éthanol (C2H6O), chlorure d'éthylène (DCE), dichlorobenzidine (DCB), méthylpyrridone (NMP) ou diméthylformamide (DMF), hexaméthylphosphoramide (HMPA), cyclopentanone (C5H8O ), tétraméthylène sulfoxide (TMSO), e-caprolactone 1,2-dichlorobenzène, 1,2-diméthylbenzène, bromobenzène et toluène. D'autres composés sont envisageables, en particulier de l'eau à laquelle est ajouté un agent tensio actif Chaque buse 16, 18 est propre à pulvériser la suspension alimentée à basse pression en microgouttes en utilisant un gaz alimenté à haute pression. La buse est du 5 type à aérographe. Le gaz de pulvérisation est par exemple de l'air. Par microgoutte, on entend des gouttes de taille d'ordre microscopique dont le diamètre est compris entre environ 1 et 100 micromètres. En fonctionnement, chaque buse 16, 18 génère un jet de pulvérisation formé de microgouttes de suspension projetées en direction du substrat 8. Le jet de pulvérisation 10 atteint la surface à recouvrir dans une zone d'impact. Dans une première étape de pulvérisation illustrée sur la Figure 2, la première buse 16 pulvérise sur le substrat 8 la première suspension 20. Pendant la pulvérisation, la première buse 16 se déplace relativement au substrat 8 pour recouvrir le substrat 8. A l'issue de la première étape de pulvérisation, on obtient le substrat 8 recouvert 15 par le collecteur 10 formée des nano-/microparticules de la première suspension 20. Dans une deuxième étape de pulvérisation illustrée sur la figure 3, la deuxième buse 18 pulvérise la deuxième suspension 22 sur le collecteur 10. Pendant la pulvérisation, la deuxième buse 18 se déplace relativement au substrat 8 pour recouvrir le collecteur 10. 20 A l'issue de la deuxième étape de pulvérisation, on obtient l'assemblage collecteur-électrode 4 comprenant en superposition le substrat 8 recouvert par une couche agglomérée des nano-/microparticules de la première suspension 20 formant le collecteur 10 lui-même recouvert par une couche agglomérée des nano-/microparticules de la deuxième suspension 22 formant l'électrode 12. 25 Telle qu'illustrée, l'électrode 12 présente une épaisseur supérieure à celle du collecteur 10. Pour des raisons d'illustration, des épaisseurs importantes ont été représentées. En pratique, les épaisseurs peuvent être très fines (des dizaines de nm à des dizaines de pm). Elles sont nanométriques ou micrométriques. Dans une variante de mise en oeuvre illustrée sur la figure 4, la pulvérisation est 30 effectuée sur un substrat 8 sous la forme d'une bande continue, se déplaçant dans le sens de sa longueur par rapport aux buses 16, 18 pendant la pulvérisation, comme illustré par la Flèche F sur la Figure 4. La première buse 16 et la deuxième buse 18 sont disposées le long d'un chemin de défilement du substrat 8. La deuxième buse 18 est disposée en aval de la première 35 buse 16 suivant le chemin de défilement du substrat 8, de façon à permettre les pulvérisations successives de la première suspension 20 puis de la deuxième suspension 22 sur le substrat 8. II est possible de prévoir plusieurs buses disposées successivement le long du chemin de défilement de façon à pulvériser une suspension sur la même portion de 5 largeur du substrat 8 en fonction de l'épaisseur à obtenir. Ainsi, tel qu'illustré sur la Figure 4, le dispositif de pulvérisation 14 comprend plusieurs deuxièmes buses 18 disposées successivement le long du chemin de défilement pour former une couche formant le collecteur 10 plus épaisse que celle formant l'électrode 12. 10 En outre, il est possible de prévoir plusieurs buses réparties transversalement sur la largeur du substrat 8 en forme de bande pour pulvériser une suspension sur toute la largeur du substrat 8. Dans l'exemple illustré sur la Figure 4, il est possible de prévoir plusieurs premières buses 14 réparties transversalement, et plusieurs ensembles de deuxièmes 15 buses 18 disposés successivement le long du chemin de défilement, chaque ensemble de deuxièmes buses 18 comprenant plusieurs deuxièmes buses 18 réparties transversalement sur la largeur du substrat 8. Dans un mode de mise en oeuvre réalisable avec des dispositifs selon les Figures 2 et 4, la première suspension 20 comprend un mélange de nanoparticules de carbone 20 incluant des nanotubes de carbone et la deuxième suspension 22 comprend des nanotubes de carbone. Le collecteur 8 obtenu est mixte est comprenant au moins deux types de nanoparticules de carbone. L'électrode 12 est constituée de nanotubes de carbone. Les Figures 5 et 6 illustrent des variantes de mise en oeuvre. 25 Dans une première étape de pulvérisation illustrée sur la Figure 5, la première buses 16 et la deuxième 18 pulvérisent simultanément la première suspension 20 et la deuxième suspension 22, de façon à former sur le substrat une couche contenant les nano-/microparticules de la première suspension 20 mélangées avec celles de la deuxième suspension 22. Pendant la pulvérisation, la première buse 16 et la deuxième 30 buse 18 sont déplacées par rapport au substrat 8 pour recouvrir toute la surface du substrat 8. La première buse 16 et la deuxième buse 18 sont disposées de façon que les zones d'impact de leur jets de pulvérisation sur le substrat 8 sont distinctes ou se chevauchent partiellement ou complètement. 35 En tout étant de cause, la première buse 16 et la deuxième buse 18 sont déplacées de manière que la première suspension 20 et la deuxième suspension 22 soient pulvérisées sur chaque région du substrat dans un intervalle de temps réduit de façon à former une couche contenant les nano-/microparticules de la première suspension 20 mélangées avec celles de la deuxième suspension 22. A l'issue de la première étape de pulvérisation, on obtient le substrat 8 recouvert 5 par le collecteur 10 comprenant un mélange des nano-/microparticules de la première suspension 20 et de la deuxième suspension 22. Dans une deuxième étape de pulvérisation illustrée sur la Figure 6, seule la deuxième buse 18 est active et pulvérise la deuxième suspension 22 de façon à former l'électrode 12 sur le collecteur 10, l'électrode 12 étant constituée des nano- 10 /microparticules de la deuxième suspension 22. A l'issue de la deuxième étape de pulvérisation, on obtient l'assemblage collecteur-électrode 4 comprenant en superposition le substrat 8 recouvert par une couche agglomérée des nano-/microparticules de la première suspension 20 mélangées à celles de la deuxième suspension 22 formant le collecteur 10 lui-même recouvert par une 15 couche agglomérée des nano-/microparticules de la deuxième suspension 22 formant l'électrode 12. Dans une variante illustrée sur la Figure 7, la pulvérisation est effectuée sur un substrat 8 sous la forme d'une bande continue, se déplaçant dans le sens de sa longueur par rapport aux buses 16, 18 pendant la pulvérisation, comme illustré par la Flèche F sur 20 la Figure 7. Un premier ensemble de pulvérisation 26 est disposé le long du chemin de défilement du substrat 8. Il comprend une première buse 16 et une deuxième buse 18 disposées le long d'un chemin de défilement du substrat 8 à proximité l'une de l'autre de façon à pulvériser la première suspension 20 et la deuxième suspension 22 sur une 25 même région du substrat le substrat 8 en formant sur cette région un couche agglomérée des nano-/microparticules de la première suspension 20 mélangées à celles de la deuxième suspension 22. Un deuxième ensemble de pulvérisation 28 est disposé le long du chemin de défilement du substrat 8 en aval du premier ensemble 26 et à distance de celui-ci. Le 30 deuxième ensemble de pulvérisation 28 comprend des deuxièmes buses 18 disposées de façon à pulvériser la deuxième suspension 22 par-dessus le collecteur 10 formé par le premier ensemble de pulvérisation 26 en formant une couche agglomérée des nano-/microparticules de la deuxième suspension 22 formant l'électrode 12. Dans un mode de mise en oeuvre, la première suspension 20 comprend du 35 graphène et du graphite en suspension dans un liquide, et la deuxième suspension 22 comprend des nanotubes en suspension dans un liquide. La première suspension 20 ne comprend pas de nanotubes et la deuxième suspension 22 ne comprend pas de graphène ni de graphite autrement que sous la forme de nanotubes. Selon un aspect de l'invention applicable aux différents modes de mise en oeuvre précités, pendant une étape de pulvérisation d'une suspension, on chauffe la suspension de manière à promouvoir l'évaporation rapide (presque instantanée) et totale du liquide des microgouttes sur le substrat 8 ou le collecteur 10. Une fois le liquide évaporé, seules les nanoparticules restent sur le substrat 8. Dans un mode de mise en oeuvre, le chauffage de la suspension est réalisé en chauffant le substrat 8 lui-même. II en résulte que les microgouttes sont chauffées à la température souhaitée en atteignant le substrat 8 lors de l'étape de pulvérisation du collecteur 10, ou le collecteur 10 lors de l'étape de pulvérisation de l'électrode 12. Du fait de leur taille réduite et de la température du support, le temps d'évaporation des microgouttes est faible ce qui permet de limiter la coalescence des microgouttes. Dans un autre mode de mise en oeuvre, le chauffage de la suspension est réalisé en chauffant localement la surface du substrat 8, lors de l'étape de pulvérisation du collecteur 10, ou du collecteur 10, lors de l'étape de pulvérisation de l'électrode 12, par exemple en soumettant la surface du support à un rayonnement, notamment un rayonnement laser ou infrarouge. La zone chauffée par rayonnement est située de préférence immédiatement en amont de la zone d'impact du ou des jets de pulvérisation suivant le trajet de la zone d'impact. La source laser ou infrarouge est déplacée conjointement à la ou chaque buse par rapport au substrat. Il en résulte que la surface à recouvrir est chauffée localement et superficiellement juste avant la pulvérisation de microgouttes. Le chauffage de la surface est bref ce qui limite et risque d'altérer la matière du support sensible à la chaleur et requiert moins d'apport d'énergie. Dans un autre mode de mise en oeuvre, le chauffage de la suspension est réalisé en chauffant les microgouttes dans le jet de pulvérisation, par exemple en soumettant le jet à un rayonnement notamment un rayonnement laser ou infrarouge. Dans un autre mode de mise en oeuvre, le chauffage de la suspension est réalisé par le gaz de pulverisation de la solution celui étant prealablement chauffé en amon de la valve de pulverisation. Les différents modes de mise en oeuvre du chauffage de la suspension peuvent être combinés. L'application des nanoparticules par pulvérisation est fiable. Les buses de pulvérisation permettent de former des microgouttes de taille appropriée tout en prévoyant des conduits et/orifices de circulation de la suspension sous forme liquide ou sous forme de microgouttes, de dimensions supérieures à celles des microgouttes et des nanoparticules, ce qui évite le bouchage des buses de pulvérisation. Les microgouttes atteignant la surface du support ont tendance à coalescer pour former des gouttes plus grandes. Ces gouttes plus grandes mettent plus de temps à s'évaporer, de telle sorte qu'elles peuvent conduire à la formation de courants de convection à l'intérieur de ces gouttes, pouvant entraîner une répartition inhomogène des nanoparticules en suspension dans le liquide. Généralement, on retrouve une plus grande densité de nanoparticules à la périphérie de la goutte. Cet effet est connu sous le nom de « gouttes de café ». Le déplacement du jet de pulvérisation dans les 3 dimensions de l'espace, permet de réaliser des dépôts sur de grandes surfaces. Le déplacement du jet de pulvérisation permet également de limiter la coalescence des microgouttes. Le déplacement régulier du jet (sur des parcours de recouvrement bien définis) de pulvérisation permet une densité homogène des nanoparticules le long de la bande appliquée sur la surface du support. Le chauffage de la suspension de façon que les microgouttes atteignant le support sont portées à une température suffisamment élevée permet d'assurer l'évaporation rapide (presque instantanée) du liquide de la suspension des microgouttes ayant atteint le support en évitant au moins partiellement la coalescence des microgouttes. Il en résulte une meilleure maîtrise de la répartition des nanoparticules, notamment une répartition plus homogène. On évite ou au moins on limite l'effet « goutte de café ». La suspension est chauffée de façon à promouvoir l'évaporation rapide (presque instantanée) du liquide, tout en évitant son évaporation complète avant que les microgouttes atteignent la surface du support à recouvrir, en particulier lorsque la suspension est chauffée avant que les microgouttes atteignent le support, par exemple dans la buse et dans le jet de pulvérisation. Le temps d'évaporation du liquide de suspension des microgouttes dépend notamment de la température d'ébullition du liquide, de la température des microgouttes et du diamètre des microgouttes. Le diamètre des microgouttes dépend des paramètres de pulvérisation, et notamment de la pression de pulvérisation, du débit du liquide pulvérisé et du diamètre de l'orifice de sortie de la buse de pulvérisation. De préférence, on chauffe de façon que le temps d'évaporation des microgouttes pulvérisées soit compris entre 1 ms et 100 ms. Pour exemple, les temps d'évaporation de microgouttes de 10pm de diamètre est de l'ordre de la dizaine milliseconde. De préférence, on commande les moyens de chauffage de façon à porter les microgouttes à une température au moins égale à 80 % de la température d'ébullition du liquide de la suspension. Ceci permet d'assurer une évaporation rapide. De préférence la pression de pulvérisation est comprise entre 1 et 5 bars. De préférence, le débit de liquide pulvérisé est compris entre 0,1 ml/min et 5 ml/min. De préférence, le diamètre de l'orifice de sortie de la buse de pulvérisation est compris entre 0,1 mm et 3 mm. Ces réglages permettent d'obtenir des microgouttes de taille appropriée. Par ailleurs, la concentration de la suspension en nanoparticules est de quelques milligrammes par litre à quelques grammes par litre. Les épaisseurs de revêtement de nanoparticules obtenus peuvent aller de quelques particules à quelques centaines de micromètres. Selon l'invention, le collecteur 10 et l'électrode 12 d'un assemblage collecteur-électrode 4 sont formés par pulvérisations successives de suspensions de nano-/microparticules pour la formation d'une première couche formant le collecteur 10 et d'une deuxième couche formant l'électrode 12, de composition différentes. Ce procédé simple à mettre en oeuvre permet l'obtention d'assemblages collecteur-électrode à faible coût et de manière industrialisable sur de grandes surfaces. Un assemblage collecteur-électrode 4 comprenant un collecteur contenant un mélange de nanoparticules de carbone incluant des nanotubes mélangés et une électrode constituée des nanotubes permet l'obtention d'une supercapacité présentant des performances de stockage d'énergie et de restitution de cette énergie satisfaisante. REVENDICATIONS1.- Procédé de fabrication d'un assemblage collecteur-électrode comprenant en superposition un substrat (8), un collecteur (10) formé de nano-/microparticules et une électrode (12) formée de nano-/microparticules, dans lequel le collecteur (10) et l'électrode (12) sont chacun formés par pulvérisations d'au moins une suspension comprenant des nano-/microparticules en suspension dans un liquide sur le substrat (8). 2.- Procédé selon la revendication 1, dans lequel le collecteur (10) est formé par pulvérisation d'une suspension de nano-/microparticules. 3.- Procédé selon la revendication 1, dans lequel le collecteur (10) est formé par 10 pulvérisations d'au moins deux suspensions de nano-/microparticules. 4.- Procédé selon la revendication 3, dans lequel les différentes suspensions sont pulvérisées simultanément sur le substrat (8). 5.- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'électrode (12) est formée par pulvérisation d'une suspension de nano-/microparticules. 15 6.- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le collecteur (10) est formé par pulvérisations d'au moins une suspension de nano-/microparticules sur le substrat (8) puis l'électrode (12) est formée par pulvérisation d'une suspension de nano-/microparticules sur le collecteur (10). 7.- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédents, dans lequel le 20 collecteur (8) est formé par pulvérisation d'une première suspension (20) de nanoparticules et d'une deuxième suspension (22) de nanoparticules de telle sorte que le collecteur est formé d'un mélange des nanoparticules de la première suspension (20) et de celles de la deuxième suspension (22), puis l'électrode (12) est formée par pulvérisation de la deuxième suspension (22) de telle sorte que l'électrode (12) est formée 25 de nanoparticules de la deuxième suspension (22). 8.- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les nano-/microparticules de chaque suspensions sont choisies parmi des nanofils, des nanotubes, des nanotiges, des nanofeuilles, de microfils, des microtubes et/ou des microfeuilles. 30 9.- Assemblage collecteur-électrode pour supercondensateur, comprenant en superposition un substrat (8), un collecteur (10) formé de nano-/microparticules et une électrode (12) formée de nano-/microparticules. 10.- Supercondensateur comprenant au moins un assemblage collecteur-électrode selon la revendication 9. 35