Brevet FR2977729A1 — publié le 20130111

Accumulateur électrique et ses moyens d'encapsulation. Domaine technique de l'invention L'invention est relative à un accumulateur électrique comportant une micro-batterie munie de premier et second collecteurs de courant et des moyens d'encapsulation comportant une couche hermétique, électriquement isolante, constituée par une matrice en matériau polymère comprenant des particules 1 o électriquement conductrices. L'invention est également relative à un procédé de fabrication d'un tel accumulateur électrique. État de la technique Plusieurs solutions d'encapsulation d'une micro-batterie, notamment au lithium, ont été proposées dans la littérature. Ces solutions peuvent être 20 réparties en deux familles : l'encapsulation en couches minces et l'encapsulation par élément rapporté. Les solutions d'encapsulation en couches minces consistent à recouvrir la micro-batterie d'au moins une couche mince. Les couches minces peuvent 25 être à base de différents matériaux ayant des caractéristiques électriques, thermomécaniques et chimiques compatibles avec les composants et le fonctionnement de la micro-batterie. À titre d'exemple, la demande de brevet internationale WO-2005/038957 divulgue une encapsulation d'une micro-batterie par une bicouche céramique/métal déposée directement sur les 30 composants de la micro-batterie. Bien qu'un matériau céramique soit 15 chimiquement stable et constitue généralement un isolant électrique efficace, sa fragilité mécanique est un handicap majeur pour l'adoption de ce mode d'encapsulation. D'autres combinaisons de matériaux ont été expérimentées afin de former une encapsulation en multicouches, en particulier, comprenant une couche en matériau polymère, déposée directement sur les composants de la micro-batterie. Les matériaux polymères sont, d'un point de vue structurel, intéressants puisqu'ils permettent de limiter les défauts liés à la rugosité du substrat et d'absorber les déformations des composants de la micro-batterie lors de son utilisation. Par ailleurs, la couche en matériau polymère peut avantageusement comporter des particules métalliques, formant une partie du collecteur de courant de la micro-batterie. Toutefois, les matériaux polymères sont perméables à certains contaminants qui peuvent réagir avec les parties actives de la micro-batterie. De ce fait, l'encapsulation en multicouches comportant un matériau polymère nécessite également la présence d'une couche additionnelle constituant un bouclier efficace contre les contaminants. À titre d'exemple, la demande de brevet WO-2005/067645 décrit une encapsulation en multicouches constituée par un empilement d'au moins une couche en polymère recouverte par une couche métallique. Le procédé de fabrication d'une telle encapsulation requiert néanmoins une multiplication d'étapes technologiques qui induit des coûts et un temps de production élevés. La protection latérale de la micro-batterie reste peu fiable vis-à-vis des contaminants comme l'air et l'humidité. Les solutions d'encapsulation par élément rapporté consistent à coller un capot, par exemple réalisé en verre ou encore en matériau polymère laminé. 30 Ce type d'encapsulation constitue une protection efficace des micro-batteries 3 au lithium. Cependant, le capot de protection est généralement épais par rapport à l'épaisseur totale de la micro-batterie. Le système d'encapsulation par élément rapporté présente un encombrement supérieur pour une capacité surfacique constante par rapport aux solutions d'encapsulation par couches minces. Objet de l'invention Dans certaines applications, notamment dans le domaine de l'électronique, il existe un besoin de fournir un accumulateur électrique facile à réaliser, étanche et ayant des propriétés mécaniques améliorées. On tend à satisfaire ce besoin en prévoyant un accumulateur électrique comportant une micro-batterie munie de premier et second collecteurs de courant et des moyens d'encapsulation comportant une couche hermétique, électriquement isolante et constituée par une matrice en matériau polymère comprenant des particules électriquement conductrices. L'accumulateur électrique comporte des premier et second plots de connexion en matériau électriquement conducteur qui sont, respectivement, connectés électriquement aux premier et second collecteurs de courant de la micro-batterie. Les moyens d'encapsulation comportent également une micro-batterie additionnelle munie de premier et second collecteurs de courant, la micro-batterie additionnelle étant disposée en regard et séparée de la micro- batterie par la couche hermétique. Les premier et/ou second collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle sont électriquement connectés, respectivement, aux premier et/ou second plots de connexion via au moins une partie des particules électriquement conductrices. 4 On prévoit également un procédé de fabrication d'un tel accumulateur électrique comportant l'encapsulation de la micro-batterie en disposant en regard et en pressant la micro-batterie additionnelle munie des premier et second collecteurs de courant avec la micro-batterie qui est préalablement munie des premier et second plots de connexion et recouverte par la couche hermétique. Le pressage est réalisé jusqu'à obtenir la connexion électrique entre les premier et/ou second plots de connexion et, respectivement, les premier et/ou second collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle via une partie des particules électriquement conductrices. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la is description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non-limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels : - la figure 1 représente, schématiquement et en coupe, un accumulateur 20 électrique selon un premier mode de réalisation particulier de l'invention ; - la figure 2 représente, schématiquement et en coupe, un accumulateur électrique selon un deuxième mode de réalisation particulier de l'invention ; - la figure 3 représente, schématiquement et en perspective, une vue 25 partielle d'un accumulateur électrique selon un autre mode de réalisation de l'invention ; - les figures 4 à 9, représentent, schématiquement et en coupe, des étapes successives d'un procédé de fabrication d'un accumulateur électrique selon un mode de réalisation particulier de l'invention. 10 30 Description de modes particuliers de réalisation Selon un mode de réalisation particulier, représenté à la figure 1, un accumulateur électrique comporte une micro-batterie 10 munie de premier 5 11 a et second 11 b collecteurs de courant, disposés sur un substrat 12. Les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant sont en matériau électriquement conducteur, par exemple, en titane ou en tungstène. Les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant se présentent sous forme de couches coplanaires ayant respectivement une épaisseur d'environ 250 nm. Le substrat 12 peut être classiquement en silicium, en silicium nitruré ou encore en verre. Comme représenté à la figure 1, la micro-batterie 10 comporte également un empilement 13 de couches minces solides formant les parties électrochimiquement actives de la micro-batterie 10. L'empilement 13 est constitué par des première 14 et seconde 16 électrodes séparées par un électrolyte 15. La première électrode 14 peut être agencée de manière à recouvrir partiellement et uniquement un des premier 11 a ou second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10, par exemple, le premier collecteur 11a. La première électrode 14 peut être une cathode et le premier collecteur de courant 11 a un collecteur de courant cathodique. La première électrode 14 a, de préférence, une épaisseur de 1,5 pm. La première électrode 14 est, par exemple, formée par un matériau choisi parmi l'oxysulfure de titane (TiOS), le pentoxyde de vanadium (V2O5) et le disulfure de titane (TiS2). Comme représenté à la figure 1, l'électrolyte 15 est disposé de manière à recouvrir une partie du collecteur de courant 11a, une partie du second 30 collecteur de courant 11 b, la totalité de la première électrode 14 et la partie libre du substrat 12 disposée entre les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant. L'électrolyte solide 15 peut être en matériau électriquement isolant ayant une forte conductivité ionique, par exemple, en oxynitrure de lithium et de phosphore (LiPON). La seconde électrode 16 peut être agencée de manière à recouvrir une majeure partie de l'électrolyte solide 15 et à être en contact avec le second collecteur de courant 11 b. La seconde électrode 16 peut être une anode et le second collecteur de courant 11 b un collecteur de courant anodique. En particulier, la seconde électrode est à base d'un composé lithié. Avantageusement, la seconde électrode 16 a une épaisseur de l'ordre de 3 {gym. Des premier 17a et second 17b plots de connexion en matériau électriquement conducteur sont respectivement connectés électriquement aux premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10. Selon le mode de réalisation particulier représenté à la figure 1, les premier 17a et second 17b plots de connexion sont, respectivement, disposés sur les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10. Les premier 17a et second 17b plots de connexion peuvent avoir différentes formes géométriques, par exemple une forme sphérique. Les premier 17a et second 17b plots de connexion sont, avantageusement, en or et présentent la forme d'un cylindre de révolution couché dont les deux bases appartiennent au plan (yoz). De préférence, les premier 17a et second 17b plots de connexion sont identiques et présentent la forme d'un cylindre couché. Le diamètre du cylindre correspond à l'épaisseur des premier 17a et second 17b plots de connexion et est, de préférence, compris entre 6 et 150 Qum (figure 3). 7 L'accumulateur électrique comprend également des moyens d'encapsulation comportant une couche hermétique 18 électriquement isolante. La couche hermétique 18 est constituée par une matrice 19 en matériau polymère, de préférence, électriquement isolant comprenant des particules électriquement conductrices 20. Les moyens d'encapsulation comportent également une micro-batterie additionnelle 30, munie d'éléments semblables à ceux décrits pour la micro-batterie 10. En particulier, la micro-batterie additionnelle 30 comporte des premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant disposés sur une face d'un substrat 12' pourvue des premier 11a' et second 11b' collecteurs de courant. De la même manière que pour la micro-batterie 10, un empilement 13' de couches minces solides est disposé sur la face du substrat 12'. 15 L'empilement 13' comporte un électrolyte 15' interposé entre des première 14' et seconde 16' électrodes qui sont en contact, respectivement, avec les premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant. Les éléments constitutifs des empilements 13 et 13' peuvent être identiques ou différents. 20 Comme représenté à la figure 1, la micro-batterie additionnelle 30 est disposée en regard et séparée de la micro-batterie 10 par la couche hermétique 18. Les premier 17a et second 17b plots de connexion sont recouverts par la couche hermétique 18 de manière à être complètement noyés dans cette couche. De préférence, la matrice 19 est une matrice 25 adhésive en polymère souple, par exemple de type époxy/acrylate. Les particules électriquement conductrices 20 ont, par exemple, une forme sphérique d'un diamètre d. Les particules 20 peuvent être formées par des sphères en verre recouvertes d'argent. Avantageusement, les particules électriquement conductrices 20 ont une densité p dans la matrice 19 30 inférieure à 1/d3 et supérieure à 0. De préférence, la couche hermétique 18 est une couche en matériau conducteur anisotrope notée ACF (en anglais « Anisotropic Conductive Film »), par exemple une couche ACF 3M 7371 commercialisé par la société 3M. Les premier 11a' et/ou second 11b' collecteurs de courant de la micro- batterie additionnelle 30 sont électriquement connectés, respectivement, aux premier 17a et/ou second 17b plots de connexion via au moins une partie 21 des particules électriquement conductrices 20. Autrement dit, au moins un des premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant est électriquement connecté à l'un des premier 17a et second 17b plots de connexion. En effet, la matrice 19 comporte une partie 21 des particules électriquement conductrices 20, agencés de manière à assurer une connexion électrique entre les premier 11 a' et/ou second 11 b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30 et, respectivement, les premier 17a et/ou second 17b plots de connexion. Les autres particules électriquement conductrices 20 sont dispersées dans la matrice 19, de préférence, de manière à ne pas être en contact avec les éléments de la micro-batterie 10 et de la micro-batterie additionnelle 30. Ainsi, la réalisation de l'accumulateur électrique selon l'invention permet, avantageusement, de réaliser une micro-batterie 10 efficacement encapsulée par l'intermédiaire d'une micro-batterie additionnelle 30. Les deux micro-batteries étant disposées en regard, chaque micro-batterie constitue une protection pour l'autre micro-batterie, en particulier, grâce aux substrats, 12 et 12', qui forment des barrières épaisses protectrices, sur le dessus et le dessous de l'accumulateur électrique. De plus, la micro-batterie 10 et la micro-batterie additionnelle 30 sont, avantageusement, connectées électriquement entre elles. Cette disposition astucieuse permet ainsi de simplifier la réalisation de l'accumulateur électrique, d'améliorer l'encapsulation des micro-batteries et de réduire les temps et coût de fabrication. Comme représenté à la figure 1, les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10 sont, avantageusement, symétriques des premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30 par rapport à un plan de symétrie AA' disposé entre la micro-batterie 10 et la micro-batterie additionnelle 30. De préférence, la micro-batterie additionnelle 30 est symétrique de la micro-batterie 10 par rapport au plan AA' qui est parallèle aux surfaces des substrats 12 et 12' comportant, respectivement, les empilements 13 et 13'. Une telle symétrie permet avantageusement de faciliter l'alignement et la connexion électrique de la micro-batterie 10 et de la micro-batterie additionnelle 30 et ainsi optimiser le temps de fabrication du dispositif. La micro-batterie 10 peut être électriquement connectée à la micro-batterie additionnelle 30 suivant une configuration parallèle. Autrement dit, les premiers collecteurs de courant 11 a et 11 a', respectivement de la micro-batterie 10 et de la micro-batterie additionnelle 30 sont de même polarité. De manière analogue, les seconds collecteurs de courant 11 b et 11 b', respectivement, de la micro-batterie 10 et de la micro-batterie additionnelle 30 sont de même polarité. Suivant cette configuration, les premier 11a' et second 11 b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30 sont électriquement connectés, respectivement, aux premier 17a et second 17b plots de connexion via au moins une partie 21 des particules électriquement conductrices 20. Par polarité d'un collecteur de courant, on entend la polarité ou le type de l'électrode de la micro-batterie avec laquelle il est en contact. Si cette électrode est positive, le collecteur de courant est dit collecteur de courant cathodique (ou de polarité positive) et si l'électrode est négative le collecteur connecté à cette électrode est dit collecteur de courant anodique (ou de polarité négative). Le fait de relier électriquement en parallèle la micro-batterie 10 et la micro-batterie additionnelle 30 permet, avantageusement, de réaliser un accumulateur électrique étanche et ayant une capacité surfacique augmentée. En effet, la capacité surfacique de l'accumulateur est équivalente, suivant cette configuration, à la somme des capacités surfaciques de la micro-batterie 10 et de la micro-batterie additionnelle 30. Selon une variante, la micro-batterie 10 peut être électriquement connectée à la micro-batterie additionnelle 30 suivant une configuration en série. Autrement dit, les premiers collecteurs de courant, 11a et 11a', respectivement de la micro-batterie 10 et de la micro-batterie additionnelle 30 sont de polarités différentes. De manière analogue, les seconds collecteurs de courant, 11 b et 11 b', respectivement de la micro-batterie 10 et de la micro-batterie additionnelle 30 sont de polarités différentes. Cependant, il faudra veiller à ne pas connecter l'un des premier 17a et second 17b plots de connexion afin de ne pas mettre les deux micro-batteries 10 et 30 en court-circuit. Afin de réaliser cette disposition, une couche en un matériau électriquement isolant peut être interposée, par exemple, entre la partie 21 des particules électriquement conductrices 20 et respectivement un des premier 11a' ou second 11b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30. Suivant cette configuration, uniquement un des premier 11a' et second 11b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30 est électriquement connecté à un des premier 17a et second 17b plots de connexion via au moins une partie 21 des particules électriquement conductrices 20. Ainsi, l'accumulateur électrique comportant la micro-batterie 10 et la micro-batterie additionnelle 30 reliées électriquement en série, permet avantageusement de moduler la tension de sortie de l'accumulateur électrique. 2977729 Il Comme représenté à la figure 1, les premier 17a et second 17b plots de connexion ont, avantageusement, des épaisseurs ea et eb supérieures à l'épaisseur e13 de l'empilement 13. L'épaisseur eu représente l'épaisseur de la partie de l'empilement 13 qui est en saillie par rapport au premier 5 collecteur de courant 11 a. Par épaisseur d'un plot de connexion, on entend la plus grande dimension du plot de connexion suivant l'axe (oz). De préférence, les épaisseurs ea et eb sont au moins deux fois plus grandes que l'épaisseur e13 de l'empilement 13. Les épaisseurs ea et eb sont également choisies en fonction des dimensions des différents éléments des deux micro-batteries, 10 et 30, de manière à éviter tout contact possible entre les empilements, 13 et 13'. Selon un mode particulier de réalisation représenté à la figure 2, l'accumulateur électrique comporte, avantageusement, au moins une couche 15 d'accroche 25 interposée entre le premier 17a ou second 17b plots de connexion et, respectivement, le premier 11 a ou second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10. Avantageusement, l'accumulateur électrique comporte également au moins une couche d'accroche 25' interposée entre la partie 21 des particules électriquement conductrices 20 et respectivement un 20 des premier 11 a' ou second 11 b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30. De préférence, les couches d'accroche, 25 et 25', sont indépendamment réalisées en aluminium, en cuivre ou en or. Les couches d'accroche, 25 et 25', ont chacune une épaisseur comprise entre 250 nm et 1000 nm. Les couches d'accroches, 25 et 25', permettent d'améliorer 25 l'adhérence des premier 17a ou second 17b plots de connexion. Les épaisseurs, ea et eb, respectivement des premier 17a et second 17b plots de connexion sont choisies de manière à obtenir des reliefs des premiers 17a et second 17b plots de connexion supérieurs à celui de l'empilement 13. On ajuste ainsi les épaisseurs, ea et eb, afin d'éviter tout contact possible entre 30 les empilements 13 et 13' et d'obtenir des reliefs constituant des barrières se 12 dressant face aux parois latérales de l'empilement 13 et dépassant la seconde électrode 16. Selon un mode de réalisation particulier représenté à la figure 3, les premier 17a et second 17b plots de connexion délimitent latéralement l'empilement 13 de la micro-batterie 10. En particulier, chaque plot de connexion 17a et 17b peut être constitué d'au moins deux éléments cylindriques en matériau conducteur, de manière à fournir autant d'élément cylindrique que de parois latérales de l'empilement 13. Un tel agencement des premier 17a et second 17b plots de connexion permet, avantageusement, de protéger latéralement l'empilement 13. Suivant la combinaison de ce mode particulier de réalisation avec le précédent mode, c'est l'ensemble des premier 17a et second 17b plots de connexion et la ou les couches d'accroche 25 qui forment la protection latérale de l'empilement 13. Autrement dit, suivant ce mode particulier de réalisation, la couche d'accroche 25 et les premier 17a et second 17b plots de connexion délimitent latéralement l'empilement 13. Ce qui permet également d'assurer une protection latérale de l'empilement 13' (non représenté à la figure 3) de la micro-batterie additionnelle 30, disposé en regard de l'empilement 13. De plus, cet agencement des premier 17a et second 17b plots de connexion permet d'homogénéiser les lignes de champ électrique et ainsi d'améliorer les performances de l'accumulateur électrique. Selon une variante de réalisation, au moins un des premier 17a et second 17b plots de connexion comporte une zone de connexion plane en contact avec la partie 21 des particules électriquement conductrices 20. Par zone de connexion, on entend la zone du plot de connexion qui est en contact avec la partie 21 des particules 20. Cette zone permet ainsi d'assurer une connexion électrique entre ledit plot et un des collecteurs de courant de la micro-batterie additionnnelle 30. De préférence, chacun des deux plots de connexion, 17a 13 et 17b, comporte également une zone de connexion plane. Une telle caractéristique structurelle permet, avantageusement, d'assurer un contact électrique performant et pérenne entre le premier 17a ou second 17b plot de connexion et la partie 21 des particules électriquement conductrices 20. Selon un mode de réalisation particulier, un procédé de fabrication d'un accumulateur électrique tel que décrit ci-dessus, comporte la réalisation d'une micro-batterie 10 selon tout procédé connu. La micro-batterie 10 comporte un substrat 12, des premier 11 a et second 11 b collecteurs de io courant, un empilement 13 et, avantageusement, des couches d'accroches 25. Comme représenté à la figure 4, les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant sont formés sur une face d'un substrat 12, selon tout procédé 15 connu, par exemple, par dépôt en couches minces tel qu'un dépôt physique en phase vapeur, noté PVD, un dépôt chimique en phase vapeur, noté CVD. Les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant sont structurés selon tout procédé connu, de préférence par photolithographie, de manière à être coplanaires et espacés l'un de l'autre. De préférence, les premier 11 a et 20 second 11 b collecteurs de courant sont en titane et ont une épaisseur d'environ 250 nm. Un empilement 13 de couches minces solides, formant les parties électrochimiquement actives de la micro-batterie 10, est réalisé sur la face du 25 substrat 12 comportant les premier 11 a et second 11 b collecteurs. L'empilement 13 comporte une première électrode 14, un électrolyte 15 et une deuxième électrode 16. La première électrode 14 est formée de manière à recouvrir partiellement et 30 uniquement un des premier 11 a ou second 11 b collecteurs de courant de la 14 micro-batterie 10, par exemple, le premier collecteur 11a. La première électrode 14 est placée horizontalement entre une partie non recouverte du premier collecteur 11 a et le second collecteur 11 b. La première électrode 14 est réalisée selon tout procédé connu, par exemple, par évaporation sous vide ou par pulvérisation cathodique. Elle peut être une cathode et le premier collecteur de courant 11 a un collecteur de courant cathodique. De préférence, la première électrode 14 a une épaisseur d'environ 1.5 µm. L'électrolyte 15 est réalisé de manière à recouvrir une partie du collecteur de courant 11a, une partie du second collecteur de courant 11 b, la totalité de la première électrode 14 et la partie libre du substrat 12 disposée entre les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant. L'électrolyte solide 15 est, par exemple, déposé par PVD et a une épaisseur d'environ 1,5 µm. La seconde électrode 16 est réalisée de manière à recouvrir une majeure partie de l'électrolyte solide 15 pour former l'empilement 13, et être en contact avec le second collecteur de courant 11 b. La seconde électrode 16 peut être en lithium et formée par évaporation sous vide secondaire en chauffant le lithium métallique. La seconde électrode 16 a, de préférence, une épaisseur d'environ 3 pm. Comme représenté à la figure 5, une couche d'accroche 25 est, avantageusement, formée sur le premier 11 a ou le second 11 b collecteur de courant. De préférence, une couche d'accroche 25 est réalisée sur chacun des premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10. Chaque couche d'accroche 25 est réalisée selon tout procédé connu, par exemple, par dépôt PVD ou par évaporation sous vide. Les couches d'accroche 25 ont, de préférence, une épaisseur comprise entre 250 nm et 1000 nm. Les couches d'accroche 25 sont disposés de manière à ce que 15 l'empilement 13 soit placé horizontalement entre les deux couches d'accroche 25. De manière analogue, une micro-batterie additionnelle 30 est réalisée selon tout procédé connu. La micro-batterie additionnelle 30 comporte des éléments semblables à ceux décrits pour la micro-batterie 10 et réalisés d'une manière analogue. Ainsi, la micro-batterie additionnelle 30 comporte des premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant, un empilement 13' et, avantageusement, des couches d'accroche 25', le tout sur une face d'un substrat 12'. L'empilement 13' constituant les parties électrochimiquement actives comporte une première électrode 14', un électrolyte 15' et une deuxième électrode 16' (figure 8). Comme représenté à la figure 5, des premier 17a et second 17b plots de connexion sont réalisés sur l'une des deux micro-batteries 10 et 30, par exemple la micro-batterie 10. Les premier 17a et second 17b plots de connexion sont formés de manière à être électriquement connectés avec, respectivement, les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10. Ils peuvent être réalisés soit directement sur les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10, soit sur les couches d'accroche 25. Les plots de connexion sont, avantageusement, en aluminium ou en or. Les premier 17a et second 17b plots de connexion peuvent être réalisés par une technique de micro-câblage (en anglais « wire bonding »). Avantageusement, les premier 17a et second 17b plots de connexion sont réalisés par une technique de micro-câblage ultrasonique (en anglais « wedge bonding »). Cette technique permet de réaliser une liaison entre le plot de connexion, par exemple 17a ou 17b, et la zone à connecter, par exemple l'une des couches d'accroche 25, en combinant pression et 16 vibrations ultrasonores. La technique du « wedge bonding » peut être considérée comme une soudure « à froid ». En effet, c'est l'énergie ultrasonique qui entraîne un ramollissement du plot de connexion semblable à l'effet obtenu par une élévation de la température. C'est une technique de micro-câblage qui peut être effectuée à température ambiante. La technique du « wedge bonding » est compatible avec le procédé de réalisation des micro-batteries au lithium, qui a une température de fusion voisine de 180 °C. Cette technique est préférée aux autres techniques de micro-câblage telles que la formation de billes pour micro-connexion (en anglais « bail bonding »), qui nécessite un maintien de la zone à connecter à une température plus élevée, comprise entre 160 °C et 200 °C. De plus, la technique de « wedge bonding » est une soudure à froid, ce qui permet d'éviter la formation de composés intermétalliques. Ainsi, on peut obtenir des connexions électriques adaptées à l'interconnexion de micro-batteries avec des résistances électriques comprises entre 0,1 et 1 Ohm. Avantageusement, chaque plot de connexion 17a ou 17b a une forme d'un cylindre couché sur un plan parallèle à la face principale du substrat 12 pourvue des premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant. Les premier 17a et second 17b plots de connexion cylindriques sont disposés de manière à entourer l'empilement 13. De ce fait, les premier 17a et second 17b plots de connexion forment une barrière de protection latérale pour les parties électrochimiquement actives de la micro-batterie 10. De plus, ils permettent d'obtenir une meilleure homogénéité des lignes de champ électrique dans la micro-batterie 10 grâce à la forme cylindrique et à une zone de contact plus importante entre les plots de connexion cylindriques et les couches d'accroche 25. 17 Comme représenté à la figure 6, le procédé de fabrication comporte ensuite une étape d'aplanissement par pressage du premier 17a ou second 17b plot de connexion. Cette étape d'aplanissement par pressage est, de préférence, réalisée sous une pression F comprise entre 100 MPa et 400 MPa. L'étape de pressage permet de former une zone de connexion plane sur chacun des premier 17a et second 17b plots de connexion et d'améliorer notamment la qualité de l'interface électrique. Comme représenté à la figure 7, après la formation et optionnellement l'aplanissement par pressage des plots de connexion, on recouvre la micro-batterie 10 munie des premier 17a et second 17b plots de connexion par une couche hermétique 18, par exemple, une couche en matériau conducteur anisotrope ACF. La couche hermétique 18 est constituée par une matrice 19, électriquement isolante, en matériau polymère comprenant des particules électriquement conductrices 20. La couche hermétique 18 est disposée sur la micro-batterie 10 de manière à noyer les premier 17a et second 17b plots de connexion. De préférence, la matrice 19 est une matrice adhésive en polymère souple, généralement en polymère de type époxy/acrylate. La matrice 19 est électriquement isolante, de préférence, ayant une résistivité comprise entre 10$ et 1013 Ohm.cm. Par exemple, une ACF 3M 7371 peut être utilisée comme couche hermétique 18. Pour permettre à la couche hermétique 18 de mieux recouvrir et noyer les éléments de la micro-batterie 10 et les plots de connexion 17a et 17b, la couche hermétique 18 peut subir, un traitement thermique à une température de 90 °C pendant 1 s et/ou une pression F' comprise entre 1 et 15 kg/cm2. Comme représenté à la figure 8, la micro-batterie additionnelle 30, munie des premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant, est disposée en regard de la première micro-batterie 10. Cette dernière est préalablement munie des premier 17a et second 17b plots de connexion et recouverte par la couche 18 hermétique 18. Les premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30 sont agencés de manière à ce qu'ils soient en regard respectivement des premier 17a et second 17b plots de connexion lorsque les deux micro-batteries 10 et 30 sont disposées en regard. Si la micro-batterie additionnelle 30 comporte des couches d'accroche 25' chaque couche d'accroche 25' est disposée en regard du premier 17a ou second 17b plot de connexion. Avantageusement, les premier 11 a et second 11 b collecteurs de courant de la micro-batterie 10 sont réalisés de manière à être symétriques des premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30, par rapport à un plan AA' parallèle au substrat 12. De préférence, les deux micro-batteries 10 et 30 sont symétriques par rapport à ce plan. Ces symétries permettent, avantageusement, un alignement facile et performant entre la micro-batterie 10 et la micro-batterie additionnelle 30, et facilitent l'étape d'encapsulation. Comme représenté à la figure 9, la micro-batterie additionnelle 30, munie des premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant, est ensuite pressée contre la micro-batterie 10. La disposition et le pressage peuvent être réalisés simultanément ou successivement. La réalisation de ces étapes permet également d'obtenir une connexion électrique des deux micro-batteries 10 et 30. Par connexion électrique entre les deux micro-batteries 10 et 30, on entend une connexion électrique entre les plots de connexion et les collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30. La pression est appliquée sur la micro-batterie 10 ou la micro-batterie additionnelle 30 de manière à les rapprocher. Lors de cette étape d'encapsulation, le pressage est réalisé jusqu'à obtenir une connexion électrique entre les premier 17a et/ou 17b plots de connexion et, respectivement, les premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant. Cette connexion électrique est assurée par une 19 partie 21 des particules électriquement conductrices 20 de la couche hermétique 18 et éventuellement les couches d'accroche 25' de la micro-batterie additionnelle 30. À titre d'exemple, pour une couche hermétique 18 électriquement isolante formée par l'ACP 3M 7371, la pression peut être comprise entre 10 et 20 kg/cm2, de préférence autour de 15 kg/cm2. Cette pression est choisie de manière à assurer la connexion électrique tout en évitant d'écraser les particules 20 de la couche hermétique 18. Lors de l'étape d'encapsulation de la micro-batterie 10, un traitement thermique est, avantageusement, réalisé de manière à porter la matrice 19 à une température inférieure à 180 °C, qui est une température proche de la température de fusion du lithium. De préférence, ce traitement thermique est réalisé à une température d'environ 140 °C pendant 20 s. De préférence, les particules électriquement conductrices 20 de la couche hermétique 18 sont initialement sphériques avec un diamètre d. À titre d'exemple, elles sont constituées par des billes de verre couvertes d'argent. La concentration des particules 20 présentes dans la matrice 19 est choisie de manière à éviter toute percolation lors de l'étape d'encapsulation décrite ci-dessus. Ce phénomène de percolation des particules 20, peut générer un court-circuit entre les empilements, 13 et 13', ce qui est néfaste pour l'accumulateur électrique comportant la micro-batterie 10 et la micro-batterie additionnelle 30. Pour éviter le phénomène de percolation, les particules 20 de la couche hermétique 18 ont, avantageusement, un diamètre d et une densité p répondant à la formule suivante : 0 connexion. De ce fait, les deux empilements 13 et 13' restent électriquement isolés après l'étape de pressage. De préférence, la densité p des particules électriquement conductrices 20 dans la matrice 19 répond à la formule suivante : 1/27*d3 Par ailleurs, le pressage des micro-batteries 10 et 30 entraîne une concentration des particules 20 au voisinage des reliefs les plus importants suivant (oz), i.e. entre les premier 17a et second 17b plots de connexion et les couches d'accroche 25' (figure 9). Un procédé de fabrication utilisant une telle étape d'encapsulation est particulièrement adapté à une topologie d'une micro-batterie ayant spécifiquement des plots de connexion formant des reliefs importants. En effet, contrairement à une micro-batterie classique ayant une épaisseur de plots de connexion électrique inférieure à 1 pu,m, les premier 17a et second 17b plots de connexion ont des épaisseurs ea et eb supérieures à l'épaisseur e13 de la partie de l'empilement 13 en saillie. Les épaisseurs ea et eb peuvent être comprises entre 6 et 150 um, de préférence, égales à environ 25 pin. Les couches d'accroche 25 et les premier 17a et second 17b plots de connexion sont réalisés de manière à former des reliefs importants suivant l'axe (oz). Ainsi, une partie des particules 20 peut être concentrée entre les premier 17a et second 17b plots de connexion et les couches d'accroche 25' lors de l'étape de pressage en vue de l'encapsulation de la micro-batterie 10. 21 Les épaisseurs ea et eb sont également choisies de manière à éviter tout contact entre les empilements 13 et 13' lors de l'étape de pressage. Comme représenté à la figure 9, la partie 21 des particules 20 piégées entre les plots de connexion et les couches d'accroche 25' permettent d'assurer une connexion électrique entre respectivement les premier 17a et second 17b plots de connexion et les premier 11 a' et second 11 b' collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle 30. Afin de faciliter un tel piégeage de la partie 21 des particules 20, le diamètre d des particules électriquement conductrices 20, initialement sphériques, est inférieur à la plus petite dimension des premier 17a et second 17b plots de connexion. Ainsi, la micro-batterie 10 et la micro-batterie additionnelle 30 sont électriquement connectées par l'intermédiaire des premier 17a et second 17b plots de connexion et de la partie 21 des particules 20. Le procédé de fabrication de l'accumulateur électrique selon l'invention permet de réaliser une encapsulation performante de la micro-batterie 10 et de la micro-batterie additionnelle 30. En effet, chaque micro-batterie protège l'autre grâce aux substrats 12 et 12' qui constituent des barrières épaisses et donc efficaces au-dessus et au-dessous des empilements 13 et 13'. De plus, les premier 17a et second 17b plots de connexion et la couche hermétique 18 constituent un bouclier latéral efficace, protégeant l'accumulateur électrique sur les flancs. Ainsi, il a été possible d'obtenir des valeurs de barrière à l'humidité inférieures à 10"3 g/m2/jour, compatibles avec les exigences de la technologie des micro-batteries. Le procédé de fabrication décrit ci-dessus est également remarquable en ce qu'il est facile à réaliser et permet d'effectuer une encapsulation active de deux micro-batteries à la fois. Le procédé de fabrication selon l'invention permet, avantageusement, de connecter électriquement les deux micro- 22 batteries entre-elles à l'aide de plots de connexion, qui assurent également une protection latérale des deux micro-batteries. De plus, ces plots de connexion peuvent comporter une zone plane permettant ainsi un assemblage et une encapsulation facile, performant et pérenne des deux micro-batteries. REVENDICATIONS1. Accumulateur électrique comportant : - une micro-batterie (10) munie de premier (11a) et second (11b) collecteurs de courant ; et des moyens d'encapsulation comportant une couche hermétique (18), électriquement isolante, constituée par une matrice (19) en matériau polymère comprenant des particules électriquement conductrices (20) ; caractérisé en ce que : des premier (17a) et second (17b) plots de connexion en matériau électriquement conducteur sont respectivement connectés électriquement aux premier (11a) et second (11b) collecteurs de courant de la micro-batterie (10) ; les moyens d'encapsulation comportent une micro-batterie additionnelle (30) munie de premier (11a» et second (11b') collecteurs de courant, disposée en regard et séparée de la micro-batterie (10) par la couche hermétique (18) ; les premier (11a» et/ou second (11b') collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle (30) sont électriquement connectés, respectivement, aux premier (17a) et/ou second (17b) plots de connexion via au moins une partie (21) des particules électriquement conductrices (20). 2. Accumulateur électrique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte une couche d'accroche (25) interposée entre le premier (17a) ou second (17b) plot de connexion et respectivement le premier (11a) ou second (11b) collecteur de courant de la micro-batterie (10). 3. Accumulateur électrique selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la micro-batterie (10) comporte un empilement (13) 23 24 constitué par des première (14) et seconde (16) électrodes séparées par un électrolyte (15) et en ce que les premier (17a) et second (17b) plots de connexion délimitent latéralement l'empilement (13). 4. Accumulateur électrique selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les premier (11a) et second (11b) collecteurs de courant de la micro-batterie (10) sont symétriques des premier (11a» et second (11b') collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle (30) par rapport à un plan de symétrie AA' disposé entre la micro-batterie 10 et la micro-batterie additionnelle 30. 5. Accumulateur électrique selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'au moins un des premier (17a) et second (17b) plots de connexion comporte une zone de connexion plane en contact avec la partie (21) des particules électriquement conductrices (20). 6. Accumulateur électrique selon la revendication 3, caractérisé en ce que les épaisseurs (ea , eb) des premier (17a) et second (17b) plots de connexion sont au moins supérieures à deux fois l'épaisseur (e13) de l'empilement (13). 7. Accumulateur électrique selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les premiers collecteurs de courant (11a, 11a», respectivement, de la micro-batterie (10) et de la micro-batterie additionnelle (30) sont de même polarité. 8. Accumulateur électrique selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les premiers collecteurs de courant (11a et 11a», respectivement de la micro-batterie (10) et de la micro-batterie additionnelle (30) sont de polarités différentes. 25 30 9. Procédé de fabrication d'un accumulateur électrique selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte l'encapsulation de la micro-batterie (10) en disposant en regard et en pressant la micro-batterie additionnelle (30) munie des premier (11a') et second (11b» collecteurs de courant avec la micro-batterie (10) préalablement munie des premier (17a) et second (17b) plots de connexion et recouverte par la couche hermétique (18), électriquement isolante, jusqu'à obtenir la connexion électrique entre les premier (17a) et/ou second (17b) plots de connexion et respectivement les premier (11a» et/ou second (11b» collecteurs de courant de la micro-batterie additionnelle (30) via une partie (21) des particules électriquement conductrices (20). 10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que les premier (17a) et second (17b) plots de connexion sont réalisés par une technique de 15 micro-câblage ultrasonique. 11. Procédé selon l'une des revendications 9 et 10, caractérisé en ce qu'il comporte une étape d'aplanissement par pressage du premier (17a) ou second (17b) plot de connexion avant de recouvrir la micro-batterie (10) 20 munie des premier (17a) et second (17b) plots de connexion par la couche hermétique (18) électriquement isolante. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'étape d'aplanissement par pressage est réalisée sous une pression comprise entre 25 100 MPa et 400 MPa. 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 12, caractérisé en ce que lors de l'étape d'encapsulation, la matrice (19) est portée à une température inférieure à 180 °C. 30 5 10 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, caractérisé en ce qu'avant la connexion électrique, les particules (20) de la couche hermétique (18) électriquement isolante, ont un diamètre d et une densité p répondant à la formule suivante : 0 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 14, caractérisé en ce qu'avant la connexion électrique, la densité p des particules (20) électriquement conductrices dans la matrice (19) répond à la formule suivante : 1/(27*d3) 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 15, caractérisé en ce que les particules (20) de la couche hermétique (18) électriquement isolante ont un diamètre d inférieure à la plus petite dimension des premier (17a) et second (17b) plots de connexion. 15