Brevet FR2970826A1 — publié le 20120727

CIRCUIT D'OPTIMISATION DE LA RECUPERATION D'ENERGIE VIBRATOIRE PAR UN CONVERTISSEUR MECANIQUE/ELECTRIQUE L'invention concerne les dispositifs de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique, et en particulier les dispositifs d'alimentation autonome générant une énergie électrique à partir d'un mouvement vibratoire. Dans certains environnements, il peut être délicat de connecter un circuit électrique à des câbles d'alimentation, par exemple dans des milieux hostiles ou sur des mécanismes en mouvement. Pour pallier ce problème, des dispositifs micromécaniques de conversion d'énergie vibratoire en énergie électrique sont connus. Ces dispositifs forment des microsystèmes généralement accolés sur des supports vibrants, tels que des machines ou des véhicules. Selon une technique connue, on utilise un système résonant pour amplifier une vibration mécanique d'un support et convertir le mouvement amplifié en électricité. Le circuit électrique peut ainsi être alimenté sans faire appel à des câbles provenant de l'extérieur. Un des principes connus pour transformer de l'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique est basé sur l'excitation vibratoire d'une poutre pourvue d'éléments piézo-électriques. Une telle poutre présente généralement un noyau ayant une première extrémité encastrée dans un support vibrant. Une masse mobile est fixée à la deuxième extrémité du noyau. Un élément piézo-électrique est fixé sur la face supérieure du noyau, un autre élément piézo-électrique est fixé sur la face inférieure du noyau. Un circuit électrique est connecté aux bornes des éléments piézo-électriques placés électriquement en série ou en parallèle. Les éléments piézoélectriques, sont destinés à convertir l'énergie mécanique transmise par la masse mobile en énergie électrique. Un autre principe connu pour transformer de l'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique est basé sur un système électrostatique. Le système électrostatique utilise une capacité variable pour convertir l'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique. Les problèmes récurrents avec les différents types de microstructures de récupération d'énergie restent la faible quantité d'énergie récupérée, la faible efficacité de la récupération d'énergie lorsque la fréquence des vibrations s'éloigne de la fréquence de résonance mécanique propre du système, et l'étroitesse de la bande passante de récupération d'énergie vibratoire. Avec une structure piézo-électrique, afin d'accroître la bande passante des fréquences de vibrations générant de l'énergie électrique, la fréquence de résonance mécanique du système résonant peut être modifiée en contrôlant la polarisation d'un premier élément piézo-électrique, comme cela est présenté dans le rapport de thèse de David Charnegie intitulé `FREQUENCY TUNING CONCEPTS FOR PIEZOELECTRIC CANTILEVER BEAMS AND PLATES FOR ENERGY HARVESTING'. L'énergie électrique est alors récupérée sur un deuxième élément piézo-électrique. La raideur du premier élément piézo-électrique peut ainsi être modifiée activement pour modifier la raideur de la poutre, et ainsi influer sur la fréquence de résonance mécanique. Pour cela, on connecte une capacité variable en parallèle avec le premier élément piézoélectrique. Le deuxième élément piézoélectrique n'étant pas connecté à la capacité variable, cette capacité variable n'affecte pas la récupération de l'énergie électrique dans la charge électrique. On peut ainsi réaliser un asservissement de la fréquence de résonance mécanique du système. Un tel asservissement peut s'avérer nécessaire lorsque le système dont on extrait l'énergie vibratoire présente une fréquence vibratoire variable, par exemple sur un véhicule automobile dans lequel la vitesse de rotation du moteur ou la vitesse de rotation des roues connaît de grandes variations. Si un tel système permet d'adapter la fréquence de résonance mécanique à la fréquence de la source de vibration, ce système n'optimise pas encore suffisamment la récupération d'énergie. Ce système ne permet notamment pas de garantir que l'amortissement électrique de la charge électrique est égal à l'amortissement mécanique de la poutre. La modification de l'impédance de la charge pour modifier la fréquence de résonance mécanique est en outre délicate à envisager sans perturber le fonctionnement de cette charge. Ce système ne permet pas non plus d'optimiser l'énergie récupérée des éléments piézo-électriques. L'invention vise à résoudre un ou plusieurs de ces inconvénients. L'invention porte ainsi sur un dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique, comprenant: - un convertisseur générant une différence de potentiel lorsqu'il est 30 soumis à des vibrations ; - un circuit électrique connecté aux bornes du convertisseur et comprenant des première et deuxième branches en parallèle, la première branche comprenant un système de condensateur à capacité variable, la deuxième branche comprenant un système de condensateur à capacité variable 35 en série avec une charge électrique à alimenter ; - un circuit de commande configuré pour modifier les capacités respectives des systèmes de condensateur de façon à modifier la fréquence de résonance mécanique du convertisseur. Selon une variante, le convertisseur inclut au moins un système piézo-40 électrique déformé lors de l'application de vibrations. Selon encore une variante, le système piézo-électrique est fixé sur une poutre présentant une première extrémité encastrée dans un support vibrant et une deuxième extrémité encastrée dans une masse mobile. Selon une autre variante, le système piézo-électrique est polarisé dans 5 la direction de la longueur de la poutre. Selon encore une autre variante, les systèmes de condensateurs sont dimensionnés de sorte que le circuit de commande puisse faire varier la capacité équivalente Ce des première et deuxième branches en parallèle entre une valeur inférieure à 0,2*Cp et une valeur supérieure à 1,5*Cp, avec Cp la 10 capacité du système piézoélectrique. Selon une variante, les premier et deuxième systèmes de condensateurs comprennent un ensemble de condensateurs, chacun des condensateurs de cet ensemble étant connecté en série avec un interrupteur respectif commandé par le circuit de commande. 15 Selon une autre variante : - la première branche comprend un ensemble de n condensateurs Cl i connectés en parallèle, i étant un entier compris entre 1 et n, chaque condensateur Cl i étant connecté en série avec un interrupteur respectif k1 i, les capacités des condensateurs Cl i étant définies par la relation 20 Cl i=2'-' *Ca, avec Ça une valeur de capacité de référence ; - la deuxième branche comprend un ensemble de n condensateurs C2i connectés en parallèle, i étant un entier compris entre 1 et n, chaque condensateur C2i étant connecté en série avec un interrupteur respectif k2i, les capacités des condensateurs C2i étant définies par la relation 25 C2i=2'-' *CR, avec C(3 une valeur de capacité de référence. Selon encore une variante, le dispositif comprend un compteur numérique dont chaque bit de sortie commande un interrupteur respectif. Selon encore une autre variante, le circuit de commande comprend un circuit de régulation configuré pour modifier les capacités des systèmes de 30 condensateurs de façon à optimiser la puissance dans la charge du circuit électrique. Selon une variante, la différence de potentiel maximale générée par le convertisseur est au moins cinq fois supérieure à la différence de potentiel d'alimentation du circuit à alimenter. 35 D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : - la figure 1 est une vue en coupe longitudinale schématique d'un exemple de structure mécanique d'un dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire selon l'invention ; - la figure 2 est une vue de dessus du dispositif de la figure 1 ; -la figure 3 est une représentation de principe du circuit électrique formé par un dispositif de conversion selon l'invention ; - la figure 4 est une représentation schématique d'un premier mode de réalisation d'un circuit d'adaptation d'un dispositif de conversion ; - la figure 5 est une représentation schématique d'un deuxième mode de 10 réalisation d'un circuit d'adaptation d'un dispositif de conversion ; - la figure 6 est une représentation schématique d'une première variante de circuit d'asservissement ; - la figure 7 est une représentation schématique d'une deuxième variante de circuit d'asservissement ; 15 -la figure 8 est une représentation schématique d'une troisième variante de circuit d'asservissement ; - la figure 9 est un diagramme illustrant la variation de la fréquence de résonance mécanique en fonction d'une valeur de capacité ; - la figure 10 est un diagramme illustrant la variation de la capacité du 20 circuit électrique en fonction des capacités dans les deux branches. La figure 1 représente une vue en coupe longitudinale schématique d'un exemple de structure mécanique d'un dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique 1. La figure 2 est une vue de dessus 25 du dispositif de conversion 1. Le dispositif 1 comprend un support 5 destiné à être solidarisé au système générateur de l'énergie mécanique vibratoire. Le dispositif 1 comprend également une masse mobile 6, logée dans un évidement 51 ménagé dans le support 5. Une poutre 100 s'étend longitudinalement (selon l'axe x dans le repère illustré) entre le support 5 et la masse mobile 6. La poutre 30 100 peut être une microstructure présentant une longueur inférieure à 10 mm. La poutre 100 présente deux extrémités longitudinales 101 et 102. Les extrémités 101 et 102 sont encastrées respectivement dans le support 5 et dans la masse mobile 6. La masse mobile 6 est maintenue suspendue par l'intermédiaire de la poutre 100 dans l'évidement 51 ménagé dans le support 5. 35 La poutre 100 est configurée pour fléchir autour d'un axe de direction y sous l'effet du mouvement relatif entre la masse mobile 6 et le support 5 selon la direction z. Avantageusement, le support 5, la masse mobile 6 et la poutre 100 sont formés d'un seul tenant dans un substrat de silicium (ou en acier). Une telle 40 configuration peut être réalisée aisément avec des techniques connues de mise en forme du silicium ou de l'acier, en permettant d'obtenir des valeurs appropriées de modules d'élasticité pour un dispositif de conversion selon l'invention. Avantageusement, la masse mobile 6 présente une masse nettement supérieure à la masse de la poutre 100. Ainsi, la fréquence de résonance mécanique peut être définie de façon plus aisée et l'énergie mécanique stockable (cinétique et potentielle) plus importante pour une même masse et un même déplacement en bout de poutre 100. La poutre 100 comporte un élément piézo-électrique 110 fixé sur sa face supérieure, et un élément piézo-électrique 120 fixé sur sa face inférieure. Les éléments piézo-électriques 110 et 120 s'étendent longitudinalement entre le support 5 et la masse mobile 6. Les éléments piézo-électriques 110 et 120 présentent une polarisation sensiblement longitudinale. Ainsi, une tension électrique est générée entre leurs extrémités, respectivement 111 et 112, et 121 et 122 lorsqu'ils sont soumis à une traction ou une à compression longitudinale, induites par une flexion de la poutre 100. La capacité électrique associée dans ce mode de réalisation est relativement faible et est proportionnelle à la section de l'élément piézo-électrique divisée par la longueur de la poutre. Il peut ainsi s'avérer avantageux que les éléments piézoélectriques présentent une polarisation transversale (axe z) afin de disposer d'une surface d'électrode relativement importante (faces inférieure et supérieure qui s'étendent sur toute la longueur de la poutre 100) avec une distance inter-électrodes relativement faible (l'épaisseur des éléments piézoélectriques est très inférieure à la longueur de la poutre). La tension générée étant proportionnelle à la distance inter-électrodes, une telle polarisation limite aussi les risques de claquages diélectriques. L'extrémité 112 de l'élément piézo-électrique 110 est connectée à un circuit à alimenter et à un circuit d'adaptation (non illustrés) par l'intermédiaire d'un câblage électrique 95. L'extrémité 111 est connectée à la masse du circuit à alimenter et du circuit d'adaptation, par l'intermédiaire du support 5 formé dans un substrat semi-conducteur. De façon similaire, l'extrémité 122 de l'élément piézo-électrique 120 est connectée à la masse du circuit à alimenter. Un câblage électrique non illustré connecte l'extrémité 121 au circuit à alimenter et au circuit d'adaptation. Dans l'exemple, la direction longitudinale est définie comme une direction perpendiculaire à la face 52 du support 5 sur laquelle la poutre 100 est fixée. La poutre 100 présente ici une structure relativement simple. On peut cependant également envisager des structures favorisant des contraintes homogènes dans les éléments piézoélectriques, comme cela est décrit dans le document `Optimization of resonant harvesters in piezopolymercomposite technology' par Ms Goldschmidtboing et Muller distribué lors de la conférence PowerMEMS des 28 et 29 Novembre 2007. Comme illustré à la figure 3, le système mécanique 11 (comportant la masse mobile 6, la poutre 100 et ses éléments piézo-électriques 110 à 120) génère une différence de potentiel entre deux bornes de connexion électrique. Ces bornes de connexion électrique sont connectées à un circuit électrique 9 comprenant une charge à alimenter 4 et des systèmes de condensateurs à capacité variable Cl et C2. Les paramètres suivants seront utilisés par la suite : fv fréquence de vibration du support 5 ; frm fréquence de résonance mécanique de l'ensemble 11 ; e l'amortissement électrique du dispositif de conversion 1 ; m l'amortissement mécanique de l'ensemble 11 ; Les systèmes de condensateurs à capacité variable Cl et C2 définissent à la fois l'amortissement électrique e du circuit 9 et la fréquence de résonance mécanique frm du système mécanique 11. Le circuit 9 comprend des première et deuxième branches connectées en parallèle aux bornes de connexion du système mécanique 11. La première branche inclut le système de condensateur Cl à capacité variable. La deuxième branche inclut le système de condensateur C2 à capacité variable, connecté en série avec la charge électrique 4 à alimenter. Dans un souci de simplification, la charge 4 est assimilée à une résistance pure. Au moyen d'un circuit de commande non illustré, la capacité respective des systèmes de condensateur Cl et C2 est modifiée afin de définir une fréquence de résonance mécanique frm optimale du système 11 et afin d'obtenir un amortissement électrique e dans le dispositif de conversion 1 équivalent à l'amortissement mécanique du système 11. Ces deux conditions permettent de maximiser la puissance électrique au niveau de la charge, pour une amplitude de vibration et une masse mobile données. On peut également maintenir la différence de potentiel aux bornes de la charge 4 à une valeur optimale de fonctionnement. La récupération d'énergie électrique dans la charge 4 est alors optimisée tout en permettant un réglage satisfaisant de la fréquence de résonance mécanique frm. La fréquence de résonance mécanique frm ciblée par le circuit 9 peut par exemple être définie par une mesure de la fréquence de vibrations fv par un dispositif de mesure approprié non illustré. La commande des valeurs de capacité respectives des condensateurs Cl et C2 permet d'ajuster la proportion de courant traversant la première branche et la proportion de courant traversant la deuxième branche (incluant la charge 4 à alimenter). La commande des valeurs de capacité respectives des systèmes de condensateur Cl et C2 pourra être effectuée par tout moyen approprié. Les valeurs des capacités pourront par exemple être définies dans des tables mémorisées dans le dispositif de conversion 1 en fonction de la fréquence de résonance mécanique souhaitée. Les valeurs des capacités des systèmes de condensateur Cl et C2 pourront également être définies par l'intermédiaire de boucles de régulation respectives. En pratique, la variation de capacité du circuit 9, définie par la variation de capacité des systèmes de condensateur Cl et C2 modifie la distribution temporelle des charges électriques placées dans les éléments piézo-électriques 110 et 120. L'augmentation de la capacité du circuit 9 permet ainsi de réduire la raideur de la poutre 100 et ainsi d'abaisser la fréquence de résonance mécanique du système 11. La répartition de la capacité du circuit 9 entre les systèmes de condensateurs Cl et C2 permet d'ajuster l'amortissement électrique du circuit 9. L'augmentation de la capacité du système de condensateur C2 par rapport au système de condensateur Cl permet d'augmenter l'amortissement électrique du circuit 9. L'amortissement électrique du dispositif de conversion 1 est en pratique défini par la relation suivante : Avec 25 w la pulsation de la différence de potentiel généré définie par la fréquence de vibration fv) ; R la résistance de la charge électrique 4 ; k couplage électro-mécanique des éléments piézo-électriques ; Cp la capacité induite par les éléments piézo-électriques ; 30 C'p=1 +(C1 /Cp) C's=C2/Cp Avantageusement, la différence de potentiel pouvant être générée aux bornes du système 11 est très supérieure à la différence de potentiel de la 35 charge 4 à alimenter. Les éléments piézo-électriques 110 et 120 pourront par exemple générer une différence de potentiel au moins 10 fois supérieure à la différence de potentiel appliquée sur la charge 4. La deuxième branche fonctionne alors en diviseur de tension pour pouvoir bénéficier de la différence de potentiel appropriée pour la charge 4 tout en permettant de faire varier la 40 fréquence de résonance mécanique et l'amortissement électrique. Le rapport de =k2 V1+(Re, C2 *of 21j(Cs + Cp )2 + (R * Cz *Cs' * ~)z division de tension pourra alors avantageusement varier. Une telle différence de potentiel permet de limiter l'incidence de la charge 4 (essentiellement résistive) sur la fréquence de résonance mécanique du système 11. On pourra par exemple prévoir des éléments piézo-électriques 110 et 120 permettant de générer une différence de potentiel de 50 V entre leurs bornes, pour une tension optimale aux bornes de la charge 4 de l'ordre de 3 V. La figure 4 est une représentation schématique d'un premier mode de réalisation du circuit 9. La charge à alimenter 4 comprend d'une part un circuit consommateur 41 et un convertisseur alternatif/continu 7. Le convertisseur 7 reçoit en entrée une différence de potentiel alternative générée par le mouvement alternatif de la poutre 100. Le convertisseur 7 peut être mis en oeuvre sous forme de pont de diodes. La charge 4 comprend avantageusement un dispositif de stockage électrique (par exemple une batterie ou un condensateur) connecté à la sortie du convertisseur 7 pour stocker de l'énergie lorsque le circuit 41 est en veille. Le circuit 9 comprend par ailleurs un ensemble de condensateurs C11 à Cl n et Cmin présentant des premières électrodes connectées à une première borne du système 11. Les condensateurs C11 à Cl n et Cmin présentent par ailleurs des deuxièmes électrodes. Les deuxièmes électrodes des condensateurs C11 à Cl n sont connectées d'une part à une deuxième borne du système 11 par l'intermédiaire d'interrupteurs k11 à k1 n. Les deuxièmes électrodes des condensateurs C11 à ci n sont connectées d'autre part à une entrée du convertisseur 7 par l'intermédiaire d'interrupteurs k21 à k2n. Les condensateurs C11 à ci n peuvent ainsi être utilisés pour former une première branche en parallèle de la charge 4, ou pour être connectés en série avec la charge électrique 4 dans une deuxième branche. L'autre entrée du convertisseur 7 est connectée à la deuxième borne du système 11. L'ouverture ou la fermeture des interrupteurs k11 à k1 n est commandée par l'intermédiaire d'un circuit de commande 81. L'ouverture ou la fermeture des interrupteurs k21 à k2n est commandée par l'intermédiaire d'un circuit de commande 82. La fermeture sélective des interrupteurs k21 à k2n permet de disposer en série une capacité appropriée avec la charge 4. La fermeture sélective des interrupteurs k11 à k1 n permet de disposer une capacité appropriée en parallèle avec les électrodes des éléments piézoélectriques du système 11. Pour permettre d'ajuster les valeurs de capacité en série ou en parallèle de la charge électrique de façon très précise, les condensateurs C11 à ci n (ou Cl i, avec i compris entre 1 et n) pourront présenter des valeurs de capacités définies par la relation suivante : Cl i=2'-'*C, avec C une valeur de capacité de référence. La présence du condensateur Cmin permet avantageusement de placer le circuit 9 au-delà d'une zone de saturation en disposant d'une capacité minimale en série avec la charge électrique 4, comme cela sera détaillé en référence au diagramme de la figure 9. Cette capacité permet par ailleurs de délivrer un minimum d'énergie sur la charge 4 avant même que les capacités Cl i et C2i puissent être commandées. Ainsi, on peut prévoir au niveau de la charge 4 qu'un circuit prioritaire soit alimenté avec cette première énergie pour que ce circuit prioritaire puisse ensuite piloter de manière optimale les interrupteurs Cl i et C2i. La figure 5 est une représentation schématique d'un deuxième mode de réalisation du circuit 9. La charge à alimenter 4 comprend d'une part un circuit consommateur 41 et un convertisseur alternatif/continu 7. Le convertisseur 7 reçoit en entrée une différence de potentiel alternative générée par le mouvement alternatif de la poutre 100. Le circuit 9 comprend par ailleurs un ensemble de condensateurs C11 à Cl n présentant des premières électrodes connectées à une première borne du système 11. Les condensateurs C11 à Cl n présentent par ailleurs des deuxièmes électrodes connectées à une deuxième borne du système 11 par l'intermédiaire d'interrupteurs k11 à k1 n. Les condensateurs C11 à ci n peuvent ainsi être connectés pour former une capacité appropriée dans une première branche, en parallèle avec les électrodes des éléments piézoélectriques. Le circuit 9 comprend par ailleurs un ensemble de condensateurs C21 à C2n et Cmin présentant des premières électrodes connectées à une première borne du système 11. Les condensateurs C21 à C2n présentent par ailleurs des deuxièmes électrodes connectées à une entrée du convertisseur 7 par l'intermédiaire d'interrupteurs k21 à k2n. Le condensateur Cmin est connecté à cette même entrée du convertisseur 7. L'autre entrée du convertisseur 7 est connectée à la deuxième borne du système 11. Les condensateurs C21 à C2n et Cmin peuvent ainsi être connectés pour former une capacité appropriée en série avec la charge 4 dans une deuxième branche. L'ouverture ou la fermeture des interrupteurs k11 à k1 n est commandée par l'intermédiaire d'un circuit de commande 81. L'ouverture ou la fermeture des interrupteurs k21 à k2n est commandée par l'intermédiaire d'un circuit de commande 82. La fermeture sélective des interrupteurs k21 à k2n permet de disposer en série une capacité appropriée avec la charge 4. La fermeture sélective des interrupteurs k11 à k1 n permet de disposer d'une capacité appropriée en parallèle avec les éléments piézoélectriques. Dans ce mode de réalisation, les condensateurs utilisés dans les deux branches sont dissociés. Pour permettre d'ajuster les valeurs de capacité en série ou en parallèle de la charge électrique de façon très précise à partir d'une commande numérique, les condensateurs C11 à ci n (ou Cl i, avec i compris entre 1 et n) et C21 à C2n (ou C2i, avec i compris entre 1 et n) pourront présenter des valeurs de capacités définies par la relation suivante : Cl i=2'-'*Ca, C2i=2'-'*CR, avec Ça et CR des valeurs de capacités de référence respectivement pour les systèmes Cl et C2. La présence du condensateur Cmin permet avantageusement de placer le circuit 9 au-delà d'une zone de saturation en disposant d'une capacité minimale en série avec la charge électrique, comme cela sera détaillé en référence au diagramme de la figure 9. Cette capacité Cmin permet par ailleurs de délivrer un minimum d'énergie sur la charge avant même que les capacités Cl i et C2i puissent être commandées. Ainsi, on peut prévoir au niveau de la charge qu'un circuit prioritaire soit alimenté avec cette première énergie pour que ce dernier puisse ensuite piloter de manière optimale les interrupteurs Cl i et C2i. La figure 6 illustre un premier mode de réalisation d'un circuit de poursuite de la fréquence de résonance mécanique. Ce circuit est basé sur un asservissement direct de la puissance électrique débitée par le système 11 : la fréquence de résonance mécanique est ajustée automatiquement en optimisant en permanence la puissance électrique délivrée à la charge 4 . On mesure la puissance instantanée Pi aux bornes de la charge 4 du circuit 9. La puissance mesurée est appliquée sur un filtre passe bas 804. Le filtre passe bas 804 fournit en sortie l'équivalent d'une moyenne glissante P2 de la puissance mesurée. La moyenne glissante P2 est appliquée sur une entrée d'un comparateur 806. Une valeur P1 de la moyenne glissante, préalablement mémorisée lors du cycle d'horloge précédant dans un condensateur de mémorisation Cm, est simultanément appliquée sur l'autre entrée du comparateur 806. Le comparateur 806 génère un signal S1. Le signal S1 vaut 1 si la puissance a augmenté, et 0 dans le cas contraire. Le signal S1 est appliqué sur une entrée d'une porte XNOR 801. Sur l'autre entrée de la porte XNOR 801, on applique le signal Evo représentant le signe de l'évolution précédente de la fréquence de résonance mécanique. Si le signal Evo est identique au signal S1, la porte 801 génère un signal S2 valant 1, sinon le signal S2 généré vaut 0. Le signal S2 est appliqué sur l'entrée d'un compteur 802. Le compteur 802 compte ou décompte selon que S2 vaut 0 ou 1. Le compteur 802 conserve en pratique le même sens de comptage si le comptage précédant a conduit à une augmentation de puissance ou change de sens de comptage si la puissance a au contraire diminué. La sortie du compteur 802 applique une valeur B sur l'entrée (bus d'adresse) d'une mémoire non volatile 803 (par exemple une mémoire EEPROM). La valeur de B correspond ainsi à une adresse de la mémoire non volatile 803. La mémoire non volatile 803 mémorise des configurations d'ouverture et de fermeture correspondantes à cette adresse. La mémoire non volatile 803 applique ainsi en sortie des signaux d'ouverture ou de fermeture des interrupteurs k11 à k1 n et k21 à k2n. Les capacités respectives dans les première et deuxième branches sont ainsi définies au moyen des configurations mémorisées dans la mémoire 803. Les critères de sélection de la proportion entre la capacité dans la première branche et la capacité dans la deuxième branche seront détaillés ultérieurement, en référence à la figure 10. Lors du même front d'horloge qui ordonne au compteur 802 d'incrémenter ou de décrémenter sa valeur de sortie en fonction de la valeur de S2, un interrupteur 807 est transitoirement fermé pour mémoriser la valeur P2 dans le condensateur Cm, et ainsi disposer de la future valeur P1. La valeur du signal S2 est également mémorisée dans une bascule D 805 lors du même front d'horloge, pour générer le signal Evo suivant. Un même signal d'horloge pilote l'interrupteur 807, la bascule D 805 et le compteur 802. Le signal d'horloge peut être généré à partir de la différence de potentiel aux bornes du système 11, de sorte qu'il est en phase avec la fréquence de vibration du système 5 et de sorte qu'il n'est pas nécessaire de prévoir un circuit d'horloge autonome. Les fronts montants et descendants du signal d'horloge peuvent être définis par le passage à zéro de la différence de potentiel aux bornes du système 11. Ainsi, on peut réaliser l'ouverture et la fermeture des interrupteurs k11 à k1 n et k21 à k2n à tension nulle, ce qui évite de transférer de façon intempestive des charges électriques des condensateurs vers les éléments piézo-électriques. La figure 7 illustre un deuxième mode de réalisation d'un circuit de poursuite de la fréquence de résonance mécanique, présentant une structure simplifiée. Ce circuit est basé sur un asservissement direct de la puissance électrique débitée par le système 11. On mesure la puissance instantanée Pi aux bornes du circuit 9. La puissance mesurée est appliquée sur un filtre passe bas 804. Le filtre passe bas 804 fournit en sortie l'équivalent d'une moyenne glissante P3 de la puissance mesurée. La moyenne glissante P3 est appliquée sur un circuit dérivateur 808. Le signal de sortie du circuit dérivateur 808 est appliqué sur l'entrée d'un circuit 809 (un comparateur par rapport à zéro) identifiant le signe de la dérivée du signal P3. Un signal S1 correspondant au signe identifié est généré sur la sortie du circuit 809. Le signal S1 vaut 1 si la puissance a augmenté, et 0 dans le cas contraire. Le signal S1 est appliqué sur une entrée d'une porte XNOR 801. Sur l'autre entrée de la porte XNOR 801, on applique le signal Evo représentant la valeur précédente de S2 représentative de l'évolution précédente d'un compteur 802 dont la sortie ajuste la fréquence de résonance mécanique. Si le signal Evo est identique au signal S1, la porte 801 génère un signal S2 valant 1, sinon le signal S2 généré vaut 0. Le signal S2 est appliqué sur l'entrée du compteur 802. La sortie du compteur 802 commande directement l'ouverture ou la fermeture des interrupteurs k11 à k1 n et k21 à k2n. Le signal de commande appliqué sur un interrupteur k1 i est le complémentaire du signal de commande appliqué sur un interrupteur k2i. Ainsi, lorsque Cl augmente, on diminue C2, comme illustré ultérieurement en référence à l'exemple de la figure 10. Réciproquement, lorsque Cl diminue, C2 augmente.. Un tel circuit de commande s'avère ainsi particulièrement simple. De tels signaux de commande sont avantageusement utilisés avec des condensateurs respectant la relation définie précédemment : Cl i=2'-'*Ca, C2i=2'-'*CR. Les valeurs de Ça et CR permettent notamment d'ajuster la pente d'évolution de Cl et de C2. Lors du même front d'horloge qui ordonne au compteur 802 d'incrémenter ou de décrémenter sa valeur de sortie en fonction de la valeur de S2, la valeur du signal S2 est mémorisée dans une bascule D 805, pour générer le signal Evo suivant. Un même signal d'horloge pilote la bascule D 805 et le compteur 802. Le signal d'horloge peut être généré à partir de la différence de potentiel aux bornes du système 11, de sorte qu'il est en phase avec la fréquence de vibration du système 5 et ne nécessite pas la génération d'un signal d'horloge autonome. La figure 8 illustre un troisième mode de réalisation d'un circuit de poursuite de la fréquence de résonance mécanique. Ce circuit est basé sur un asservissement différencié de la fréquence de résonance et de l'amortissement électrique. On mesure la puissance instantanée Pi aux bornes du circuit 9. La puissance mesurée est appliquée sur un premier filtre passe bas 804. Le filtre passe bas 804 fournit en sortie l'équivalent d'une moyenne glissante P4 de la puissance mesurée. La moyenne glissante P4 est appliquée d'une part sur un circuit dérivateur 813, et d'autre part sur une entrée d'un autre circuit passe-bas 826. Le signal de sortie du circuit dérivateur 813 est appliqué sur l'entrée d'un circuit 814 identifiant le signe de la dérivée du signal P4. Un signal S3 correspondant au signe identifié est généré sur la sortie du circuit 814. Le signal S3 vaut 1 si la puissance a augmenté, et 0 dans le cas contraire. Le signal S3 est appliqué sur une entrée d'une porte XNOR 811. Sur l'autre entrée de la porte XNOR 811, on récupère une valeur précédente S3', mémorisée dans une bascule D 810. Si le signal S3' est identique au signal S3, la porte 811 génère un signal V3 valant 1, sinon le signal V3 généré vaut 0. Le signal V3 est appliqué sur l'entrée d'un compteur 812. La sortie du compteur 812 codé en binaire sur n bits et transitant sur n fils commande directement l'ouverture ou la fermeture des interrupteurs k21 à k2n et permet donc de gérer principalement l'amortissement électrique du circuit 9. La sortie du circuit passe-bas 826 est appliquée sur une entrée d'un circuit dérivateur 823. Le signal de sortie du circuit dérivateur 823 est appliqué sur l'entrée d'un circuit 824 identifiant le signe de la dérivée du signal issu du circuit 826. Un signal S4 correspondant au signe identifié est généré sur la sortie du circuit 824. Le signal S4 vaut 1 si la puissance a augmenté, et 0 dans le cas contraire. Le signal S4 est appliqué sur une entrée d'une porte XNOR 821. Sur l'autre entrée de la porte XNOR 821, on récupère une valeur précédente S4', mémorisée dans une bascule D 820. Si le signal S4' est identique au signal S4, la porte 821 génère un signal V4 valant 1, sinon le signal V4 généré vaut 0. Le signal V4 est appliqué sur l'entrée d'un compteur 822. La sortie du compteur 822 commande directement l'ouverture ou la fermeture des interrupteurs et k11 à k1 n et permet donc de gérer principalement la fréquence de résonance du système 11. Le signal d'horloge est appliqué sur un diviseur de fréquence 815 et sur un diviseur de fréquence 825. Les signaux d'horloge issus du diviseur 815 sont appliqués sur la porte 811 et sur le compteur 812. Les signaux d'horloge issus du diviseur 825 sont appliqués sur la porte 821 et sur le compteur 822. La division de fréquence par le diviseur 815 est supérieure à la division de fréquence par le diviseur 825, par exemple d'un facteur 10. Il est avantageux d'asservir la fréquence de résonance et l'amortissement électrique avec des boucles d'asservissement présentant des temps de réponse distincts, afin d'éviter la formation d'un système instable. Par ailleurs, le temps de réponse de la fréquence de résonance à une modification de capacité est plus élevé que pour la valeur de l'amortissement, ce qui justifie l'utilisation d'un temps de rétroaction dans la boucle d'asservissement de la fréquence plus important, cette augmentation du temps de rétroaction est introduite par le deuxième filtre passe-bas 826 et par une division plus importante du signal d'horloge par le diviseur 815. Lors de leur front d'horloge, les bascules D 810 et 820 mémorisent respectivement la valeur du signal V3 et du signal V4 pour leur application ultérieure sur une entrée respectivement de la porte 811 et de la porte 821. Les compteurs 812 et 822 incrémentent ou décrémentent respectivement leur valeur de sortie sur le même front d'horloge en fonction des valeurs V3 et V4. Le diagramme de la figure 9 illustre un exemple de variation de la fréquence de résonance mécanique frm en fonction des valeurs de capacité appliquées à l'intérieur du circuit 9. Plus précisément, on a illustré en abscisse le rapport entre la capacité équivalente Ce (capacité équivalente aux branches incluant les systèmes de condensateurs Cl et C2) et la capacité Cp induite par les éléments piézo-électriques 110 et 120 de la poutre 100. frm est exprimée comme une proportion de la fréquence de résonance mécanique minimale f0 du système 11. La variation de la fréquence de résonance mécanique est représentative de la variation de la raideur de la poutre 100 via la modification de la raideur des éléments piézoélectriques 110 et 120 par la modification de la charge électrique. Le diagramme illustré présente 5 zones. Les zones 1 et 5 correspondent à des zones de saturation, se rapprochant respectivement de conditions de circuit ouvert et de conditions de court-circuit. La présence du condensateur Cmin en série avec la charge 4 permet d'éviter la zone de saturation 1. Les zones 2 et 4 correspondent à des zones non linéaires du circuit. La zone 3 correspond à une zone relativement linéaire avec une pente élevée. Le circuit 9 est plus facilement commandé si on limite le fonctionnement à la zone linéaire 3 du diagramme. Un fonctionnement du circuit 9 dans la zone linéaire 3 peut être obtenu par un dimensionnement approprié des systèmes de condensateurs Cl et C2, par rapport à la capacité Cp. Comme illustré sur le diagramme, on peut rester dans la zone linéaire 3 si la capacité équivalente Ce varie entre 0,1 *Cp et 2*Cp. Toutefois, pour augmenter l'excursion en fréquence du système, il peut être judicieux d'utiliser également les zones 2 et 4. On prend alors avantageusement en compte l'aspect non-linéaire dans l'étude de la stabilité du/des boucles d'asservissement pour dimensionner les éléments de la/des boucles (fréquence d'horloge, pas de quantification de la capacité, ordre et fréquence de coupure des filtres, correcteur éventuel...). L'utilisation d'une mémoire, comme dans le cas de la figure 6, peut faciliter la correction de cette non linéarité. Par ailleurs, afin de limiter l'impact des capacités parasites sur le fonctionnement du dispositif de conversion 1, il est avantageux que la capacité Cp ait une valeur la plus élevée possible. À cet effet, il est souhaitable que les éléments piézo-électriques 110 et 120 soient polarisés selon leur direction transversale si la longueur de ces éléments est importante par rapport à leur épaisseur. Si la longueur de ces éléments est réduite par rapport à leur épaisseur, il est souhaitable que les éléments piézo-électriques soient polarisés selon leur direction longitudinale, ce qui offre un meilleur couplage électromécanique. Pour satisfaire à la fois une longueur de poutre importante et bénéficier d'un couplage électromécanique élevé sans trop réduire la capacité, il peut s'avérer avantageux d'accoler plusieurs éléments piézo-électriques dans la longueur de la poutre, ces éléments piézo-électriques présentant chacun une polarisation selon cette longueur. La figure 10 est un diagramme illustrant les valeurs de capacités respectives optimales Cl et C2 en fonction de la capacité équivalente Ce du circuit 9. Ce diagramme peut avantageusement servir à définir les valeurs de capacités optimales pour Cl et C2, afin de déterminer les interrupteurs à ouvrir ou fermer dans le mode de réalisation de la figure 6, dans lequel ces interrupteurs sont commandés par les valeurs stockées dans la mémoire non volatile 803. Ce diagramme peut être utilisé pour réguler le fonctionnement du dispositif de conversion 1 de la façon suivante : on détermine tout d'abord la capacité équivalente nécessaire pour ajuster la fréquence de résonance mécanique sur la fréquence de vibration. On détermine ensuite le rapport entre les capacités Cl et C2 permettant de définir le coefficient d'amortissement électrique optimal. En pratique, dans le cas des figures 6, 7 et 8, c'est la valeur de sortie du compteur qui est une image de la capacité totale souhaitée, une incrémentation ou une décrémentation du compteur signifiant une augmentation ou une diminution de la capacité totale. Ensuite, c'est la mémoire (fig. 6), les pas d'incrémentation et décrémentation parallèles (fig. 7) ou encore la deuxième boucle d'asservissement (fig. 8) qui permettent de répartir cette capacité globale entre Cl et C2. Dans les exemples présentés précédemment, le système de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique est basé sur une poutre munie d'éléments piézo-électriques. L'invention s'applique également à tout autre système de conversion d'énergie vibratoire en énergie électrique, par exemple un système électrostatique, et notamment un système électrostatique basé sur le déplacement d'un électret par rapport à des électrodes. REVENDICATIONS1. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique (1), caractérisé en ce qu'il comprend: -un convertisseur (11) générant une différence de potentiel lorsqu'il est soumis à des vibrations ; - un circuit électrique (9) connecté aux bornes du convertisseur et comprenant des première et deuxième branches en parallèle, la première branche comprenant un système de condensateur à capacité variable (Cl), la deuxième branche comprenant un système de condensateur à capacité variable (C2) en série avec une charge électrique (4) à alimenter ; - un circuit de commande (81,82) configuré pour modifier les capacités respectives des systèmes de condensateur de façon à modifier la fréquence de résonance mécanique du convertisseur. 2. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon la revendication 1, dans lequel le convertisseur (11) inclut au moins un système piézo-électrique (110, 120) déformé lors de l'application de vibrations. 3. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon la revendication 2, dans lequel le système piézo-électrique est fixé sur une poutre (100) présentant une première extrémité encastrée dans un support vibrant (5) et une deuxième extrémité encastrée dans une masse mobile (6). 4. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon la revendication 3, dans lequel le système piézo-électrique (110, 120) est polarisé dans la direction de la longueur de la poutre (100). 5. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, dans lequel les systèmes de condensateurs (Cl, C2) sont dimensionnés de sorte que le circuit de commande (81, 82) puisse faire varier la capacité équivalente Ce des première et deuxième branches en parallèle entre une valeur inférieure à 0,2*Cp et une valeur supérieure à 1,5*Cp, avec Cp la capacité du système piézoélectrique (110, 120). 6. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les premier et deuxième systèmes de condensateurs comprennent un ensemble de condensateurs (C11-C1 n, C21-C2n), chacun des condensateurs de cetensemble étant connecté en série avec un interrupteur respectif commandé par le circuit de commande. 7. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon la revendication 6, dans lequel : - la première branche comprend un ensemble de n condensateurs Cl i connectés en parallèle, i étant un entier compris entre 1 et n, chaque condensateur Cl i étant connecté en série avec un interrupteur respectif k1 i, les capacités des condensateurs Cl i étant définies par la relation Cl i=2'-' *Ca, avec Ça une valeur de capacité de référence ; - la deuxième branche comprend un ensemble de n condensateurs C2i connectés en parallèle, i étant un entier compris entre 1 et n, chaque condensateur C2i étant connecté en série avec un interrupteur respectif k2i, les capacités des condensateurs C2i étant définies par la relation C2i=2'-' *CR, avec CR une valeur de capacité de référence. 8. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon la revendication 6 ou 7, comprenant un compteur numérique dont chaque bit de sortie commande un interrupteur respectif. 9. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le circuit de commande comprend un circuit de régulation configuré pour modifier les capacités des systèmes de condensateurs de façon à optimiser la puissance dans la charge (4) du circuit électrique (9). 10. Dispositif de conversion d'énergie mécanique vibratoire en énergie électrique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la différence de potentiel maximale générée par le convertisseur (11) est au moins cinq fois supérieure à la différence de potentiel d'alimentation du circuit à alimenter (4).