Brevet FR2962173A1 — publié le 20120106

Pompe à vide de type sèche La présente invention concerne une pompe à vide de type sèche comportant un dispositif d'étanchéité aux lubrifiants monté entre un compartiment d'entraînement moteur et un étage de pompage. L'invention s'applique notamment à une pompe à vide de type sèche comportant deux arbres à lobes rotatifs de type « Roots » ou « Claw », ou encore de type à spirale ou à vis ou d'un autre principe similaire. Généralement, ces pompes comportent un ou plusieurs étages de pompage en série dans lesquels circule un gaz à pomper entre une entrée d'admission et une sortie de refoulement. On distingue parmi les pompes à vide connues, celles à lobes rotatifs également connues sous le nom « Roots » avec deux ou trois lobes ou celles à double bec, également connues sous le nom « Claw ». Les pompes à lobes rotatifs comprennent deux rotors de profils identiques, tournant à l'intérieur d'un stator en sens opposé. Lors de la rotation, le gaz à pomper est emprisonné dans l'espace libre compris entre les rotors et le stator, et est entraîné par le rotor vers l'étage suivant ou après le dernier étage en sortie de refoulement. Le fonctionnement s'effectue sans aucun contact mécanique entre les rotors et le stator, ce qui permet l'absence totale d'huile dans les étages de pompage. Les rotors sont portés par des arbres rotatifs supportés par des paliers lubrifiés d'un compartiment d'entraînement moteur en bout d'arbre. Ce compartiment d'entraînement moteur est isolé des étages de pompage par un dispositif d'étanchéité aux lubrifiants au travers duquel les arbres rotatifs sont toujours susceptibles de tourner. En fonctionnement, la rotation des arbres dans les paliers lubrifiés génère un brouillard de lubrifiant qui, lorsqu'il est soumis à des variations de pression, risque de migrer vers les étages de pompage. Or, il est indispensable qu'aucune trace d'huile ou de graisse ne se retrouve dans les étages de pompage pour les applications dites « sèches », tels que les procédés de fabrication de substrats semi-conducteurs. On connaît déjà des dispositifs d'étanchéité aux lubrifiants comportant un déflecteur à lubrifiant et un joint annulaire frottant dits à lèvres. Le déflecteur à lubrifiant est monté 30 sur l'arbre rotatif entre les paliers lubrifiés et le joint annulaire frottant, et tourne solidairement avec l'arbre rotatif en fonctionnement. Le déflecteur dévie le lubrifiant par effet de la force centrifuge et le renvoie au fond du compartiment d'entraînement moteur via une petite canalisation dont rentrée est disposée en regard de l'extrémité du déflecteur à lubrifiant et la sortie débouche au fond du compartiment d'entraînement moteur. Ce dispositif permet de garder le lubrifiant confiné dans le compartiment d'entraînement moteur. Le joint annulaire frottant forme une deuxième sécurité au cas où des résidus de lubrifiant passeraient tout de même le déflecteur à lubrifiant. Cependant, cette mesure de sécurité pourrait s'avérer insuffisante. L'intensification des cadences de production font augmenter les températures de fonctionnement des pompes à vide, ce qui peut fragiliser le joint annulaire frottant. En outre, l'augmentation de la répétition des variations de pression de part et d'autre du joint annulaire frottant, pouvant être associée à l'agressivité de lubrifiant ayant passé le déflecteur à lubrifiant, peuvent provoquer l'usure prématurée du joint annulaire frottant et nécessiter des intervalles de maintenance plus rapprochés, chaque intervention impliquant l'arrêt des installations de fabrication des semi-conducteurs et de la pompe à vide, ce qui est très coûteux. Un des buts de la présente invention est de proposer une pompe à vide de type sèche comportant un dispositif d'étanchéité aux lubrifiants monté entre un compartiment d'entraînement moteur et un étage de pompage dont la durée de vie est augmentée. A cet effet, l'invention a pour objet une pompe à vide de type sèche comportant : au moins un étage de pompage, au moins un arbre rotatif supporté par un palier lubrifié, au moins un déflecteur à lubrifiant et un joint annulaire montés sur l'arbre rotatif, le joint annulaire étant monté entre le déflecteur à lubrifiant et l'étage de pompage, le déflecteur à lubrifiant étant monté entre le palier lubrifié et le joint annulaire, dans laquelle un réservoir destiné à recevoir une réserve de lubrifiant liquide, séparé du palier lubrifié est ménagé dans un carter de ladite pompe à vide et dans laquelle un canal de retour de lubrifiant dont une entrée est située en regard dudit déflecteur à lubrifiant débouche au-dessus d'un niveau de consigne du lubrifiant liquide destiné à être reçu dans ledit réservoir. Le palier lubrifié présente une atmosphère interne brouillée d'un mélange de gaz et de lubrifiant, créé notamment par la rotation des éléments rotatifs du palier lubrifié en fonctionnement. Cette ambiance est donc séparée du réservoir de lubrifiant liquide, dans lequel débouche le canal de retour de lubrifiant. Le réservoir ne contenant pas d'élément rotatif en mouvement en fonctionnement de la pompe à vide, présente une atmosphère gazeuse calme au-dessus du lubrifiant liquide, permettant aux phases liquides et gazeuses d'être bien séparée l'une de l'autre. Ainsi, lorsque du brouillard de lubrifiant est attiré du palier lubrifié vers l'étage de pompage, le lubrifiant est dévié par le déflecteur à lubrifiant dans le canal de retour de lubrifiant par l'effet de la force centrifuge jusqu'à se déverser dans la réserve de lubrifiant liquide du réservoir isolé. Puis, pendant les phases d'équilibrage de pression où la pression du palier lubrifié est supérieure à la pression de l'étage de pompage, le lubrifiant dont le niveau de liquide est inférieur au niveau de l'embouchure du canal de retour de lubrifiant, ne peut pas remonter dans celui-ci. Au contraire, du gaz « sec », c'est -à-dire exempt de lubrifiant, situé dans le réservoir au-dessus du niveau de liquide lubrifiant, va remplir le canal de retour de lubrifiant et rétablir l'équilibrage des pressions de part et d'autre du dispositif d'étanchéité. La séparation du réservoir permet ainsi d'éviter que l'air brouillé de lubrifiant contenu dans l'environnement huilé du palier lubrifié en fonctionnement, n'entre dans le canal de retour de lubrifiant. Ledit réservoir et ledit canal de retour de lubrifiant sont par exemple ménagés dans le carter d'un compartiment d'entraînement moteur de ladite pompe à vide. Par exemple, le carter comporte une paroi de séparation séparant un premier volume comportant ledit réservoir isolé d'un deuxième volume comportant le palier lubrifié, ladite paroi de séparation présentant un trou de communication au-dessous du niveau de consigne du lubrifiant liquide. On s'assure ainsi de la mise à niveau des liquides lubrifiants des premiers et deuxième volumes. La conductance du passage d'arbre de ladite paroi de séparation et la conductance à l'embouchure du canal de retour de lubrifiant, peuvent être calibrées pour diriger un flux de gaz dans le canal de retour de lubrifiant depuis le premier volume vers le déflecteur à lubrifiant. Avec ce calibrage des conductances, lorsque la pression s'abaisse dans l'étage de pompage, elle s'abaisse plus vite dans le deuxième volume comportant le palier lubrifié que dans le premier volume comportant ledit réservoir isolé. Le premier volume conserve alors une légère surpression par rapport au deuxième volume. Le gaz sec va alors s'engouffrer à travers le canal de retour de lubrifiant, pour y être accéléré jusqu'à l'entrée du canal de retour de lubrifiant, formant ainsi une barrière de gaz sec au niveau du déflecteur à lubrifiant. On favorise ainsi une accélération du flux de gaz dans le canal de retour de lubrifiant depuis le premier volume vers le déflecteur à lubrifiant plutôt que depuis le premier volume vers le deuxième volume. On prévoit par exemple que la dimension entre le diamètre du passage d'arbre de la paroi de séparation et le diamètre de l'arbre rotatif est inférieure à 3 millimètres, de préférence de l'ordre de 2 millimètres. Et, on peut également prévoir que la dimension du diamètre interne de l'embouchure du canal de retour de lubrifiant est inférieure à 5 millimètres, de préférence de l'ordre de 4 millimètres. Une gorge annulaire peut être ménagée dans le carter face à une extrémité périphérique du déflecteur à lubrifiant, ladite gorge annulaire communiquant avec l'entrée dudit canal de retour de lubrifiant. La pompe à vide peut comporter deux arbres rotatifs, lesdits arbres rotatifs étant supportés par un palier lubrifié respectif. Ledit canal de retour de lubrifiant peut alors comporter une première portion de canal associée à un premier palier lubrifié, une deuxième portion de canal associée à un deuxième palier lubrifié et une portion de canal commune à ladite première et deuxième portion de canal, afin de conserver un équilibre de lubrifiant sur les deux paliers lubrifiés. Par exemple, le canal de retour de lubrifiant comporte une rainure communicante entre ladite première portion de canal et ladite deuxième portion de canal et ledit canal de retour de lubrifiant comporte un organe de raccordement s'assemblant sur ladite rainure communicante et débouchant par un tuyau de jonction. Ledit organe de raccordement peut comporter une plaquette fermant ladite rainure communicante et un tuyau de jonction excentré faisant saillie perpendiculairement de ladite plaquette. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre d'exemple, sans caractère limitatif, en regard des dessins annexés sur lesquels: la figure 1 est une vue en coupe longitudinale d'une partie de pompe à vide, - la figure 2 est une vue en perspective d'un premier et d'un deuxième flasque complémentaires d'un premier volume du compartiment d'entraînement moteur d'une pompe à vide à l'état désassemblé, - la figure 3 est une vue du recto du deuxième flasque de la figure 2, la figure 4 est une vue similaire du deuxième flasque de la figure 3 dans lequel on a disposé un organe de raccordement, - la figure 5 est une vue en perspective d'un troisième flasque complémentaire au deuxième flasque des figures 3 et 4, formant un deuxième volume du compartiment d'entraînement moteur, et à côté duquel on a représenté des éléments du palier lubrifié, et - la figure 6 est une vue schématique des éléments de la figure 5 à l'état assemblé. Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence. Les figures 1 à 6 illustrent un exemple de réalisation d'une pompe à vide de type sèche comportant deux arbres à lobes rotatifs de type « Roots ». Bien entendu, l'invention s'applique également à d'autres types de pompes à vide de type sèche, telles que de type « Claw », ou telles que des pompes à vide de type sèche à spirale ou à vis ou d'un autre principe similaire. La pompe à vide 1 comporte un ou plusieurs étages de pompage en série 2 dans lesquels circule un gaz à pomper depuis une entrée d'admission vers une sortie de refoulement (non visibles). Les arbres rotatifs 3 (un seul est visible sur la figure 1) s'étendent dans l'étage de pompage 2 par des rotors à lobes rotatifs 4, et sont entraînés du côté de l'étage de refoulement dans un compartiment d'entraînement moteur 5 de la pompe à vide 1. L'étage de pompage 2 est dit « sec » car en fonctionnement, les rotors 4 tournent à l'intérieur du carter 6 en sens opposé sans aucun contact mécanique entre les rotors 4 et le carter 6 de la pompe à vide 1, ce qui permet l'absence totale de lubrifiant. Les arbres rotatifs 3 sont supportés en bout d'arbre par deux paliers lubrifiés, généralement par de la graisse au niveau de l'étage d'aspiration (non visibles) et deux paliers lubrifiés 7a, 7b du compartiment d'entraînement moteur 5 du côté de l'étage de refoulement, généralement lubrifiés par un lubrifiant liquide, tel que de l'huile. La pompe à vide 1 comporte un moteur (non représenté), logé dans le compartiment d'entraînement moteur 5, ainsi que des roulements 9 et des engrenages 10 montés sur les arbres rotatifs respectifs 3 dans les paliers lubrifiés 7a, 7b associés pour entraîner de façon synchronisée un arbre menant et un arbre mené. Outre les roulements 9 et les engrenages 10, les éléments rotatifs des paliers lubrifiés 7a, 7b peuvent également comporter un éclateur de lubrifiant 11 (figure 5) monté sur l'arbre menant 3, de sorte qu'en fonctionnement, la rotation de l'arbre menant 3 entraîne la rotation de l'éclateur de lubrifiant 11, générant ainsi un brouillard de lubrifiant dans les paliers 7a, 7b. La pompe à vide 1 comporte en outre un dispositif d'étanchéité aux lubrifiants pour barrer le passage des lubrifiants depuis le compartiment d'entraînement moteur 5 vers les étages de pompage 2. Le dispositif d'étanchéité comporte un déflecteur à lubrifiant 12 (figures 1 et 5) et un joint annulaire 13 montés sur l'arbre rotatif respectif 3, le joint annulaire 13 étant monté entre le déflecteur à lubrifiant 12 et l'étage de pompage 2 et le déflecteur à lubrifiant 12 étant monté entre le joint annulaire 13 et le palier lubrifié 7a, 7b. Le joint annulaire 13 est par exemple un joint annulaire frottant à double lèvres. Le déflecteur à lubrifiant 12 tourne solidairement avec l'arbre rotatif 3, ce qui permet de dévier le lubrifiant et les particules provenant du palier lubrifié 7a, 7b par centrifugation par exemple vers une gorge annulaire 14 ménagée dans le corps du compartiment d'entraînement moteur 5 face à l'extrémité périphérique du déflecteur à lubrifiant 12 (voir plus précisément les figures 1 et 5). Le déflecteur à lubrifiant 12 présente par exemple la forme d'un disque. Un réservoir 15 destiné à recevoir une réserve de lubrifiant liquide 16, tel que de l'huile, séparé du palier lubrifié 7a, 7b est ménagé dans le carter 6 de la pompe à vide 1. Un canal de retour de lubrifiant 17 dont une entrée 18 est située en regard du déflecteur à lubrifiant 12, le cas échéant débouchant de la gorge annulaire 14, s'étend dans le carter pour déboucher au-dessus d'un niveau de consigne N du lubrifiant liquide 16 destiné à être reçu dans le réservoir 15. Les paliers lubrifiés 7a, 7b présentent donc une atmosphère interne brouillée d'un mélange de gaz et de lubrifiant, généralement de l'air lubrifié d'huile, créé notamment par la rotation des éléments rotatifs des paliers lubrifiés 7a, 7b en fonctionnement de la pompe à vide 1. Cette ambiance est séparée du réservoir 15 de lubrifiant liquide 16, dans lequel débouche le canal de retour de lubrifiant 17. Le réservoir 15 ne contenant pas d'élément rotatif en mouvement en fonctionnement de la pompe à vide 1, présente une atmosphère gazeuse calme au-dessus du niveau de lubrifiant liquide 16, permettant aux phases liquides et gazeuses d'être bien séparée l'une de l'autre. Ainsi, lorsque du brouillard de lubrifiant est attiré des paliers lubrifiés 7a, 7b vers l'étage de pompage 2, le lubrifiant est dévié par le déflecteur à lubrifiant 12 dans la gorge annulaire 14, puis dans le canal de retour de lubrifiant 17 par l'effet de la force centrifuge jusqu'à se déverser dans la réserve de lubrifiant liquide 16 du réservoir isolé 15. Puis, pendant les phases d'équilibrage de pression où la pression dans les paliers lubrifiés 7a, 7b est supérieure à la pression de l'étage de pompage 2, le lubrifiant liquide 16 dont le niveau de consigne N est inférieur au niveau de l'embouchure 19 du canal de retour de lubrifiant 17, ne peut pas remonter dans celui-ci. Au contraire, du gaz « sec », c'est -à-dire exempt de lubrifiant, situé dans le réservoir 15 au-dessus du niveau de lubrifiant liquide, va remplir le canal de retour de lubrifiant 17 et rétablir l'équilibrage des pressions de part et d'autre du dispositif d'étanchéité. La séparation du réservoir 15 permet ainsi d'éviter que l'air brouillé de lubrifiant contenu dans l'environnement huilée des paliers lubrifiés 7a, 7b en fonctionnement, n'entre dans le canal de retour de lubrifiant 17. Pour cela, et selon le mode de réalisation représenté sur les figures 1 à 6, le carter du compartiment d'entraînement moteur 5 comporte par exemple trois flasques 21, 22, 23 par exemple en fonte, s'assemblant ensemble et une paroi de séparation 20 séparant un premier volume V1 (rempli par des pointillés sur la figure 1) comportant le réservoir isolé 15 d'un deuxième volume V2 (entouré par des lignes en pointillés sur la figure 1) comportant les paliers lubrifiés 7a, 7b. Le canal de retour de lubrifiant 17 présente alors une entrée 18 située en regard du déflecteur à lubrifiant 12, le cas échéant débouchant de la gorge annulaire 14, et s'étend dans le carter du corps du compartiment d'entraînement moteur 5, sous les paliers lubrifiés 7a, 7b, pour déboucher par une embouchure 19 au-dessus du niveau de consigne N du lubrifiant liquide 16. Mieux visible sur la figure 2, le deuxième flasque 22 comporte la paroi de séparation 20 et s'assemble au premier flasque 21 pour former un premier volume VI dont le fond comporte le réservoir isolé 15 destiné à recevoir une réserve de lubrifiant liquide 16. L'assemblage est réalisé de manière classique avec un joint torique 24 et des moyens de fixation. Le premier flasque 21 comporte en outre des moyens de refroidissement 26 du moteur par un fluide réfrigérant. Ces moyens sont en partie dissimulés par une résine dans laquelle un logement axial 27 est ménagé dans l'axe de rotation de l'arbre menant pour loger le moteur (non représenté). Le fond 28 du deuxième volume V2 formé par le deuxième 22 et le troisième flasques 23 assemblés est également destiné à recevoir du lubrifiant liquide, pour lubrifier les éléments rotatifs des paliers lubrifiés 7a, 7b (figures 3 et 5). On distingue sur l'envers du deuxième flasque 22 en figure 3, un orifice de remplissage 30 en haut à droite du flasque, communiquant avec le deuxième volume V2. L'orifice de remplissage 30 est obturé par un bouchon 31. On distingue également un repère en bas à droite du flasque 22 pour le niveau de consigne N du lubrifiant liquide. Ce repère correspond à une portion transparente du flasque 22 ménagée sur la tranche du flasque 22 (non visible sur la figure 3) pour guider le niveau de consigne N du remplissage de lubrifiant liquide 16 par l'utilisateur. Le flasque 22 comprend également un orifice de purge 32 obstrué et communiquant avec le fond 28 du flasque 22 et une partie de cuve 33 obstruée pour la vidange de la pompe à vide 1. Comme on peut le voir sur la figure 2, la paroi de séparation 20 présente un trou de communication 34 au-dessous du niveau de consigne N du lubrifiant liquide pour la mise à niveau des liquides lubrifiants des premiers et deuxième volumes VI, V2. Le trou de communication 34 est donc situé au-dessous de l'embouchure 19 du canal de retour de fluide lubrifiant 17. On s'assure ainsi du niveau de lubrifiant liquide 16 du réservoir isolé 15 du premier volume VI en même temps que du deuxième volume V2 par les moyens de remplissage, purge, vidange du deuxième flasque 22. Par ailleurs, on peut prévoir de calibrer la conductance du passage d'arbre 35 de la paroi de séparation 20 et la conductance à l'embouchure 19 du canal de retour de lubrifiant 17, pour diriger un flux de gaz dans le canal de retour de lubrifiant 17 depuis le premier volume VI vers le déflecteur à lubrifiant 12. Avec ce calibrage des conductances, lorsque la pression s'abaisse dans l'étage de pompage 2, elle s'abaisse plus vite dans le deuxième volume V2 comportant les paliers lubrifiés 7a, 7b, que dans le premier volume VI comportant ledit réservoir isolé. Le premier volume VI conserve alors une légère surpression par rapport au deuxième volume V2, d'environ 2 bars. Le gaz sec va alors s'engouffrer à travers le canal de retour de lubrifiant 17, et y être accéléré jusqu'à l'entrée 18 du canal de retour de lubrifiant 17, formant une barrière de gaz sec au niveau du déflecteur à lubrifiant 12. On favorise ainsi une accélération du flux de gaz dans le canal de retour de lubrifiant 17 depuis le premier volume VI vers le déflecteur à lubrifiant 12 plutôt que depuis le premier volume VI vers le deuxième volume V2. La conductance entre le premier VI et le deuxième volume V2 est définie par l'espace ménagé entre l'arbre menant 3 et le passage d'arbre 35 de la paroi de séparation 20. On prévoit par exemple que la dimension entre le diamètre du passage d'arbre 35 et le diamètre de l'arbre rotatif 3 est inférieure à 3 millimètres, de préférence de l'ordre de 2 millimètres. Et, on peut également prévoir que la dimension du diamètre interne de l'embouchure 19 du canal de retour de lubrifiant 17 est inférieure à 5 millimètres, de préférence de l'ordre de 4 millimètres. Ainsi, le faible espace au niveau du passage d'arbre 35 favorise une surpression dans le premier volume V1 par rapport au deuxième volume V2 et la faible conductance du canal de retour de lubrifiant 17 favorise l'accélération du gaz sec dans le canal de retour de fluide lubrifiant 17, ce qui permet la formation de la barrière de gaz au niveau du déflecteur à lubrifiant 12. En outre, on peut prévoir que le canal de retour de lubrifiant 17 comporte une première portion de canal 17a associée au premier palier lubrifié 7a, une deuxième portion de canal 17b associée au deuxième palier lubrifié 7b et une portion de canal commune 17c à la première et deuxième portion de canal 17a, 17b. Chaque portion de canal 17a, et 17b débouche, le cas échéant dans la gorge annulaire 14 du déflecteur de lubrifiant 12 associé au palier lubrifié 7a, 7b respectif. Le canal de retour de fluide lubrifiant 17 communique ainsi entre le premier et le deuxième paliers lubrifiés 7a, 7b afin de conserver un équilibre de lubrifiant sur les deux paliers lubrifiés 7a, 7b. Pour cela, et comme visible sur la figure 5, le canal de retour de lubrifiant 17 comporte une rainure communicante 36 entre la première portion de canal 17a et la deuxième portion de canal 17b. Le canal de retour de lubrifiant 17 comporte en outre un organe de raccordement 37 s'assemblant sur la rainure communicante 36 et débouchant par un tuyau de jonction 38. Une fois l'organe de raccordement 37 assemblé entre le deuxième 22 et le troisième flasque 23, le tuyau de jonction 38 débouche de la paroi de séparation 20 dans le deuxième volume V2 par l'embouchure 19. L'organe de raccordement 37 comporte par exemple une plaquette 39 fermant la rainure communicante 36 et un tuyau de jonction 38 excentré du milieu de la plaquette 39 faisant saillie perpendiculairement de la plaquette 39. Le tuyau de jonction 38 est excentré pour permettre la rotation des éléments rotatifs, tel que l'éclateur de lubrifiant 11 du palier lubrifié 7a de l'arbre menant 3. On limite ainsi la migration du lubrifiant vers le dispositif d'étanchéité par le canal de retour de lubrifiant 17 et par les paliers lubrifiés 7a, 7b, en s'assurant que le lubrifiant ne court-circuite pas les paliers lubrifiés 7a, 7b du compartiment d'entrainement moteur 5 pour arriver directement sur le joint annulaire 13 sans être traité par le déflecteur à lubrifiant 12, ce qui permet d'augmenter la durée de vie du joint ann»laire 13.20 REVENDICATIONS1. Pompe à vide de type sèche comportant : au moins un étage de pompage (2), au moins un arbre rotatif (3) supporté par un palier lubrifié (7a, 7b), au moins un déflecteur à lubrifiant (12) et un joint annulaire (13) montés sur l'arbre rotatif (3), le joint annulaire (13) étant monté entre le déflecteur à lubrifiant (12) et l'étage de pompage (2), le déflecteur à lubrifiant (12) étant monté entre le palier lubrifié (7a, 7b) et le joint annulaire (13), caractérisée en ce qu'un réservoir (15) destiné à recevoir une réserve de lubrifiant liquide (16), séparé du palier lubrifié (7a, 7b) est ménagé dans un carter (6) de ladite pompe à vide (1) et en ce qu'un canal de retour de lubrifiant (17) dont une entrée (18) est située en regard dudit déflecteur à lubrifiant (12), débouche au-dessus d'un niveau de consigne (N) du lubrifiant liquide (16) destiné à être reçu dans ledit réservoir (15). 2. Pompe à vide selon la revendication 1, dans laquelle ledit réservoir (15) et ledit canal de retour de lubrifiant (17) sont ménagés dans le carter (6) d'un compartiment d'entraînement moteur (5) de ladite pompe à vide (1). 3. Pompe à vide selon rune des revendications 1 ou 2, dans laquelle le carter (6) comporte une paroi de séparation (20) séparant un premier volume (V1) comportant ledit réservoir isolé (15) d'un deuxième volume (V2) comportant le palier lubrifié (7a, 7b), ladite paroi de séparation (20) présentant un trou de communication (34) au-dessous du niveau de consigne (N) du lubrifiant liquide (16). 4. Pompe à vide selon la revendication 3, dans laquelle la conductance du passage d'arbre (35) de ladite paroi de séparation (20) et la conductance à l'embouchure (19) du canal de retour de lubrifiant (17), sont calibrées pour diriger un flux de gaz dans le canal de retour de lubrifiant (17) depuis le premier volume (V1) vers le déflecteur à lubrifiant (12). 5. Pompe à vide selon la revendication 4, dans laquelle la dimension du diamètre interne de l'embouchure (19) du canal de retour de lubrifiant (17) est inférieure à 5 millimètres. 6. Pompe à vide selon l'une des revendications 4 ou 5, dans laquelle la dimension entre le diamètre du passage d'arbre (35) de la paroi de séparation (20) et le diamètre de l'arbre rotatif (3) est inférieure à 3 millimètres. 7. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 6, dans laquelle une gorge annulaire (14) est ménagée dans le carter (6) face à une extrémité périphérique du déflecteur à lubrifiant (12) et communique avec l'entrée (18) dudit canal de retour de lubrifiant (17). 8. Pompe à vide selon l'une des revendications 1 à 7, comportant deux arbres rotatifs (3), lesdits arbres rotatifs (3) étant supportés par un palier lubrifié respectif (7a, 7b), et dans laquelle ledit canal de retour de lubrifiant (17) comporte une première portion de canal (17a) associée à un premier palier lubrifié (7a), une deuxième portion de canal (17b) associée à un deuxième palier lubrifié (7b) et une portion de canal commune (17c) à ladite première et deuxième portion de canal (17a, 17b). 9. Pompe à vide selon la revendication 8, dans laquelle le canal de retour de lubrifiant (17) comporte une rainure communicante (36) entre ladite première portion de canal (17a) et ladite deuxième portion de canal (17b) et ledit canal de retour de lubrifiant (17) comporte un organe de raccordement (37) s'assemblant sur ladite rainure communicante (36) et débouchant par un tuyau de jonction (38). 10. Pompe à vide selon la revendication 9, dans laquelle ledit organe de raccordement (37) comporte une plaquette (39) fermant ladite rainure communicante (36) et un tuyau de jonction (38) excentré faisant saillie perpendiculairement de ladite plaquette (39).