Brevet FR2971584A1 — publié le 20120817

Capteur de température ou de température et de pression sans fil, comportant des résonateurs à ondes acoustiques à électrodes en alliage Le domaine de l'invention est celui des capteurs passifs de température ou de température et de pression à base de résonateurs à ondes acoustiques et notamment à ondes acoustiques de surface, couplés à des systèmes d'interrogation. Ce type de système « complet » se compose d'une unité 1 o d'interrogation (constituée elle-même d'une partie émettrice et d'une partie réceptrice) interrogeant par l'intermédiaire des ondes radioélectriques un capteur par exemple de type SAW (acronyme anglais pour Surface Acoustic Waves), relié à une antenne. Le mode d'interrogation est le suivant : 15 - l'émetteur du système d'interrogation envoie un signal radioélectrique vers le capteur SAW via l'antenne qui lui est connectée ; - le signal radioélectrique reçu par l'antenne reliée au capteur est transmis sous forme électrique au capteur puis est transformé en onde acoustique de surface dans le capteur via un structure à peignes inter-digités 20 constituée d'électrodes et grâce aux propriétés piézoélectriques du substrat utilisé (du quartz par exemple) ; - cette onde acoustique voit ses propriétés modifiées en fonction de la pression et/ou de la température qui affectent les conditions de propagation (vitesse en particulier) ; 25 - le capteur réémet un signal qui porte l'information liée au phénomène de température (fréquence de résonance ou retard) - le récepteur du système d'interrogation détecte en dehors de la plage temporelle d'émission tout ou partie du signal réémis par le capteur SAW et extrait de la réponse reçue l'information de température recherchée. 30 Selon l'art connu, des systèmes d'interrogation à distance utilisent des signaux d'interrogation sous forme d'impulsions (typiquement de période environ 25 ps) qui transitent via une antenne émettrice en direction d'une antenne réceptrice connectée au capteur à ondes de surface SAW. Une bande de fréquences privilégiée pour ce type de systèmes 35 est la bande ISM, acronyme anglo-saxon signifiant «Industriel, Scientifique, Médical » ayant pour fréquence centrale une fréquence de 434 mégaHertz et une largeur de bande de 1,7 mégaHertz. De manière générale un capteur SAW interrogeable à distance et son système d'interrogation peuvent comprendre, comme illustré en figure 1 5 dans le cas simplifié d'un résonateur simple comprenant seul transducteur : - un système d'interrogation 2 ; - au moins, un résonateur 1 comportant : o une antenne 100 ; o au moins un transducteur à peigne d'électrodes 1 o interdigitées 11 et une cavité résonante SAW 13 caractérisée par sa fréquence centrale F et son facteur de qualité Q, correspondant au rapport entre la fréquence centrale et la largeur de bande passante. La cavité 13 comprend au moins deux 15 séries de réflecteurs régulièrement espacés d'une distance d. L'un des transducteurs est connecté à l'antenne 100. L'interrogateur 2 envoie une impulsion radiofréquence longue pour charger le résonateur 1. A l'arrêt de l'émission, le résonateur se décharge sur 20 sa fréquence de résonance propre avec une constante de temps i égale à Q/7[F. Cette décharge du résonateur constitue l'écho en retour détecté par le récepteur de l'interrogateur. Une analyse spectrale permet ensuite de remonter à la fréquence du résonateur qui constitue son identification. Plus précisément, il peut s'agir d'un capteur SAW composé d'un 25 transducteur à peignes inter-digités, constitué d'une alternance d'électrodes de largeurs identiques qui se répètent avec une certaine périodicité appelée période de métallisation déposée sur un substrat piézoélectrique pouvant avantageusement être du quartz. Les électrodes, avantageusement en aluminium (réalisées par un procédé de photolithographie) présentent une 30 faible épaisseur devant la période de métallisation (typiquement, quelques centaines de nanomètres à quelques micromètres). Par exemple pour un capteur fonctionnant à 433 MHz, l'épaisseur de métal (aluminium) utilisée peut être de l'ordre de 1000 Angstrêms, la période de métallisation et la largeur d'électrode pouvant être respectivement de l'ordre de 3.5 lm et 2.5 35 µm. Les deux ports du résonateur sont reliés aux deux ports d'une antenne RadioFréquence. Les lignes de champ ainsi créées entre deux électrodes de polarités différentes donnent naissance à des ondes acoustiques de surface dans la zone de recouvrement des électrodes. Pour les coupes de quartz à simple rotation généralement utilisée pour les applications capteur, le transducteur est une structure bidirectionnelle c'est à dire que l'énergie rayonnée vers la droite et l'énergie rayonnée vers la gauche ont la même intensité. En disposant de part et d'autre du transducteur des électrodes, celles-ci jouant le rôle de réflecteur, on réalise un résonateur à mode de résonance unique, chaque réflecteur réfléchissant partiellement l'énergie émise par le transducteur. Pour les coupes directionnelles, on recourt avantageusement à l'approche décrite dans le brevet FR2917918 (B1) pour éliminer les résonances parasites indésirables dues à ladite directionnalité et obtenir ainsi un signal spectral pur composé d'une seule résonance. Si l'on multiplie le nombre de réflecteurs, on crée une cavité résonante caractérisée par une certaine fréquence de résonance. Cette fréquence dépend en premier lieu de la vitesse de propagation des ondes sous le réseau, celle-ci dépendant principalement de l'état physique du substrat, et donc sensible par exemple à la température. Dans ce cas, c'est le paramètre qui est mesuré par le système d'interrogation et c'est à partir de cette mesure qu'une température peut être calculée. On rappelle que la variation de la fréquence de résonance d'un résonateur sur quartz est déterminée par la formule suivante : f(T) = fo [1 + CTF1 (T-To) + CTF2 (T-To)2] avec TO la température de référence (25 °C par convention), f0 la fréquence à T0, CTF1 le coefficient du premier ordre (ppm/°C) et CTF2 le coefficient du second ordre (ppb/°C2). On peut également, reformuler cette loi en faisant apparaître une 30 température d'inversion de la loi (1), dite de turn-over ou d'inversion : f (T) = fTt + fo CTF2 ( T-T turn-over ) 2 avec fTt la fréquence à la température de turn-over et T turnover la température de turn-over ; Ces grandeurs sont données par les équations suivantes : 35 T turn-over = TO- CTF1 /2CTF2 fTt = fo [ 1- CTF12 / 4CTF2 ] La loi de variation de la fréquence de résonance en fonction de la température est donc une parabole ; la température à laquelle la fréquence est maximale (sommet de la parabole) est appelée température de turn over ou température d'inversion de la loi fréquence-température. Il peut être particulièrement intéressant d'utiliser deux résonateurs SAW (W. Buff et al., "Universal pressure and temperature SAW sensor for wireless applications" 1997 IEEE Ultra. Symp. Froc.), inclinés l'un par rapport à l'autre. Dans ce cas, un premier résonateur pour lequel la direction de 1 o propagation des ondes de surface est selon une direction X correspondant à un des axes cristallographiques du substrat cristallin, est couplé à un second résonateur, incliné d'un certain angle a (pouvant typiquement être de l'ordre de 20°) par rapport à l'axe X, et utilisant donc une autre direction de propagation. 15 En inclinant le second résonateur par rapport au premier résonateur, on lui confère une sensibilité différente vis à vis de la température. Une alternative à cette démarche consiste à utiliser deux résonateurs fabriqués sur des tranches séparés choisies pour leur sensibilité thermique spécifique et mis par paire afin de présenter un comportement fréquence- 20 température différentiel favorable à la mesure absolue de température, de façon identique à l'approche précédente. Le fait d'utiliser une structure différentielle présente plusieurs avantages. Le premier est que la différence de fréquence des résonateurs est presque linéaire en fonction de la température et les non-linéarités 25 résiduelles sont corrigées par le calibrage du capteur. Le second avantage de la structure différentielle réside dans le fait que l'on peut s'affranchir de la majeure partie des effets de vieillissement. La demanderesse a mis en évidence néanmoins que les capteurs 30 actuels utilisant des résonateurs à ondes acoustiques réalisés à partir d'électrodes en aluminium pur présentaient des variations en température de facteur de qualité, néfastes auxdits capteurs. C'est pourquoi la présente invention a pour objet un nouveau type de capteur passif à base de résonateurs comprenant un matériau 35 piézoélectrique et des jeux d'électrodes optimisés en terme de performance grâce à la nature des matériaux employés pour les électrodes. Plus précisément, la présente invention a pour objet un capteur passif de température comprenant au moins un résonateur à ondes acoustiques, ledit résonateur comportant un matériau piézoélectrique et des électrodes métalliques, caractérisé en ce que lesdites électrodes sont réalisées dans un alliage comportant au moins de l'aluminium et du cuivre de manière à augmenter la stabilité en température du facteur de qualité dudit résonateur et sa gamme de températures de fonctionnement. 1 o Selon une variante de l'invention, les électrodes sont réalisées dans un alliage répondant à la formule suivante : AIXCuyMZ avec M comprenant au moins un des éléments suivants parmi le titane (Ti), le chrome (Cr) ou le silicium (Si). Selon une variante de l'invention, le pourcentage pondéral de cuivre 15 dans l'alliage métallique est inférieur à environ 40/0. Selon une variante de l'invention, le résonateur est un résonateur à ondes de surface, les électrodes métalliques en alliage à base d'aluminium et de cuivre étant déposées à la surface d'un substrat piézoélectrique. Selon une variante de l'invention, le résonateur est un résonateur à 20 ondes de Lamb. Selon une variante de l'invention, le résonateur est un résonateur à ondes de Love. Selon une variante de l'invention, le résonateur est un résonateur à ondes élastiques guidées dans des couches minces, connues généralement 25 sous le nom d'onde de Sezawa, et toutes les variantes correspondantes. Selon une variante de l'invention, le résonateur est un résonateur à ondes localisées au coeur d'une structure (comme par exemple les ondes de Stoneley). Selon une variante de l'invention, le résonateur est un résonateur à 30 ondes de volume. Selon une variante de l'invention, le résonateur est un résonateur à ondes de volume sur film mince (à base de nitrure d'aluminium, d'oxyde de zinc ou de tout autre matériau piézoélectrique à couche déposée ou amincie) de type FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator), SMR (Solidely mounted 35 Resonator) ou encore HBAR (High overtone Bulk Acoustic Resonator). Selon une variante de l'invention, le capteur comporte au moins deux résonateurs à ondes acoustiques de surface, inclinés l'un par rapport à l'autre à la surface d'un même substrat piézoélectrique pouvant être cristallin, de manière à effectuer des mesures différentielles. Selon une variante de l'invention, le capteur comporte au moins deux résonateurs à ondes acoustiques de surface, réalisés sur des substrats piézoélectriques distincts pouvant être cristallins, choisis pour leur comportement thermoélastique spécifique et permettant un comportement différentiel en température des résonateurs, de manière à effectuer des 1 o mesures différentielles. L'invention a aussi pour objet un capteur de température et de pression comprenant au moins un premier résonateur de type SAW comportant un substrat piézoélectrique au moins localement aminci de type membrane, un second résonateur de type SAW comprenant un substrat 15 piézoélectrique et un troisième résonateur de type SAW comprenant un substrat piézoélectrique, lesdits résonateurs comportant un matériau piézoélectrique et des électrodes métalliques caractérisé en ce que lesdites électrodes sont réalisées dans un alliage comportant au moins de l'aluminium et du cuivre de manière à augmenter la stabilité en température 20 du facteur de qualité dudit résonateur et sa gamme de températures de fonctionnement. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et grâce 25 aux figures annexées parmi lesquelles : - la figure 1 illustre un schéma d'interrogation d'un capteur passif à base de SAW selon l'art connu ; - la figure 2 illustre l'évolution de la conductance d'un résonateur SAW comportant des électrodes en aluminium pur, en fonction de la 30 fréquence et ce à différentes températures de fonctionnement ; - la figure 3 illustre l'évolution de la conductance d'un résonateur SAW comportant des électrodes en alliage d'aluminium et de cuivre, en fonction de la fréquence et ce à différentes températures de fonctionnement ; - la figure 4 illustre une comparaison entre des admittances simulées 35 et mesurées pour un résonateur SAW comportant des électrodes en aluminium, en fonction de la fréquence et ce à différentes températures de fonctionnement ; - la figure 5 illustre l'évolution du coefficient de surtension modélisé et calculé en fonction de la température de consigne pour un capteur présentant des électrodes en aluminium et un capteur présentant des électrodes en alliage aluminium et cuivre. Le capteur de température de la présente invention comprend de manière générale des résonateurs à ondes acoustiques, selon les différentes variantes décrites précédemment. Il peut s'agir de résonateurs à ondes de surface SAW, à ondes de Lamb ou bien encore à ondes de volume. Ainsi la présente invention va être détaillée ci-après dans le cadre de capteurs SAW mais pourrait tout aussi bien être déclinée avec d'autres types de capteurs à ondes acoustiques. Dans le cas de résonateurs à ondes de surface, le résonateur comprend des jeux d'électrodes réalisés avec des alliages de métaux à base d'aluminium à la surface d'un matériau piézoélectrique dans lequel peuvent se propager des ondes acoustiques de surface. La demanderesse a mis en évidence que l'utilisation d'un alliage d'aluminium dopé notamment avec du cuivre améliorait les caractéristiques suivantes du résonateur SAW et notamment les propriétés suivantes : - la dépendance de la conductance du résonateur en fonction de la température est fortement limitée pour l'alliage AI/Cu alors que la conductance diminue quand la température augmente dans le cas d'électrodes constituées d'aluminium pur. Plus précisément, la conductance est définie comme la partie réelle G de l'admittance complexe Y= G +j. 8 telle que /= Y. V avec /courant électrique à travers un dipôle à une différence de potentiel V. Une diminution de la conductance entraine une variation de l'impédance du capteur en fonction de la température et donc une variation de l'adaptation d'impédance entre l'antenne et le capteur en fonction de la température peut, d'une part dégrader la portée d'interrogation et d'autre part modifier le tirage en fréquence du résonateur en fonction de la température. De manière générale, un résonateur possède une fréquence de résonance propre que l'on définit comme la fréquence du maximum de la conductance. Cette fréquence correspond d'une part à la fréquence à laquelle le résonateur se décharge lorsqu'il est en régime dit « libre » et d'autre part la fréquence à laquelle il admet un maximum de puissance lorsqu'il est soumis à une tension sinusoïdale. Lorsque l'on connecte un élément (antenne, inductance, capacitance, résistance ou une combinaison des trois précédents) en série ou en parallèle au résonateur, la fréquence de résonance de l'ensemble est alors en général différente de celle du résonateur seul. On appelle ainsi tirage en fréquence le fait que la fréquence de résonance du résonateur soit modifiée par un élément connecté en série ou en parallèle et la variation du tirage peut affecter la dépendance de la 1 o fréquence de résonance du système capteur+antenne en fonction de la température et l'amener à être différente de celle mesurée lors d'une phase de calibrage ; - la dépendance du facteur de qualité (ou surtension) du résonateur en fonction de la température est quasiment supprimée pour un 15 alliage AI/Cu alors que le facteur de qualité diminue fortement lorsque la température augmente dans le cas d'aluminium pur. On précise que le facteur de qualité Q répond à l'équation suivante : Q = fo/2 . &pi (f)/af avec &pi (f)/af la dérivée de la phase par rapport à la fréquence étant donné que l'admittance répond à l'équation suivante : Y(f) = A(f) exp(-j. (p (f)) avec A(f) 20 l'amplitude de l'admittance en fonction de la fréquence et (p (f) la phase de l'admittance en fonction de la fréquence en radians ; - une diminution du facteur de qualité entraine une décharge plus rapide dans le cas d'un capteur de type résonateur. La décharge d'un résonateur correspond de manière générale à un régime transitoire dans 25 lequel un résonateur se trouve après avoir été soumis à une excitation extérieure. Durant la décharge, le résonateur libère de l'énergie qu'il a emmagasinée lorsqu'il était soumis à cette excitation. Plus particulièrement, si le résonateur a été soumis à une tension ou un courant sinusoïdal proche de sa fréquence de résonance, il va se décharger à sa fréquence de 30 résonance de manière exponentielle avec P(t) = exp(-wo/Q .t) sin (wot), wo la fréquence de résonance du résonateur et Q facteur de qualité. Il apparaît ainsi que plus le facteur de qualité est grand, plus le résonateur met de temps à se décharger. Si l'on mesure la puissance après un délai T, suivant le début de la décharge, on a donc intérêt à avoir le facteur de qualité le plus 35 grand possible pour pouvoir augmenter la portée du capteur passif. Cela entraine bien d'une part une diminution de la puissance mesurée et donc de la portée d'interrogation et d'autre part une diminution possible de la précision de mesure de la température. Pour mettre en évidence les propriétés citées ci-dessus, un même 5 résonateur a été fabriqué avec deux types de métallisation : de l'aluminium pur et un alliage d'aluminium dopé cuivre (1°/o de la masse). Il convient d'ajouter que dans les deux cas de figures, le procédé de métallisation des substrats piézoélectrique est le même, c'est-à-dire un procédé de dépôt par évaporation. 10 Les résonateurs ont été mesurés en température de 25°C à 150°C et les résultats en fonction de la métallisation ont été comparés. Les courbes de la figure 2 montrent l'évolution de la conductance en fonction de la température pour les résonateurs ayant des électrodes en aluminium pur. Plus précisément la courbe 2a est relative à une température de 25°C, la 15 courbe 2b est relative à une température de 50°C, la courbe 2c est relative à une température de 70°C, la courbe 2d est relative à une température de 85°C, la courbe 2e est relative à une température de 105°C, la courbe 2f est relative à une température de 125°C, la courbe 2g est relative à une température de 150°C. Cette expérience a été renouvelée avec un grand 20 nombre (plus de cent) de corps d'épreuve et les mêmes conclusions on été constatées. La figure 3 illustre l'évolution de la conductance en fonction de la température pour les résonateurs ayant des électrodes en aluminium dopé cuivre. Plus précisément la courbe 3a est relative à une température de 25°C, la courbe 3b est relative à une température de 50°C, la courbe 3c est 25 relative à une température de 70°C, la courbe 3d est relative à une température de 85°C, la courbe 3e est relative à une température de 105°C, la courbe 3f est relative à une température de 125°C, la courbe 3g est relative à une température de 150°C. 30 Le tableau ci-après montre l'évolution du facteur de qualité en fonction de la température pour les deux types de métallisations : 35 Facteur de qualité Température Aluminium pur Aluminium/cuivre 25 11571 12450 55 10659 12570 85 9466 12700 125 7562 12470 Les variations du facteur de qualité observées pour la métallisation AI/Cu ne sont ainsi pas significatives, contrairement à celles obtenues avec des électrodes en aluminium pur. Concernant les phénomènes physiques mis en jeux pouvant expliquer ces observations, la demanderesse a fait les hypothèses suivantes : les pertes mécaniques, que l'on modélise notamment par l'angle de phase b entre la contrainte et la déformation représentatif de la 1 o dissipation d'énergie le long du guide d'onde incluant en particulier les effets visco-élastiques au sein du matériau, augmentent significativement avec la température pour l'aluminium pur alors qu'elles restent négligeables pour AI/Cu. L'aluminium pur tendrait donc à passer d'un état purement élastique à un état viscoélastique lorsque la température augmente alors que l'AI/Cu 15 reste à un état purement élastique. Les pertes mécaniques dans les électrodes entraineraient donc une perte d'énergie de l'onde acoustique de surface (convertie en chaleur) lorsqu'elle « passe » sous l'électrode. Cela conduit globalement à des pertes de propagation de l'onde de surface dont l'effet est bien celui observé. 20 - Ces pertes mécaniques peuvent également trouver leur origine dans des effets de pertes d'adhérence des électrodes au substrat (par dilatation thermo-différentielle locale par exemple), entrainant alors un défaut de transmission de l'énergie acoustique à l'interface métal/substrat plus marqué dans le cas de l'aluminium pur par rapport aux alliages (une 25 meilleure adhérence des alliages AI/Cu/M). - L'électro-migration (déplacement d'atomes induit par un flux d'électrons) peut également participer de ces mécanismes de pertes. Bien que généralement observés pour des forts régimes de courant (a priori non atteints pour les applications ciblées de capteurs sans fil), ce phénomène voit son importance croître avec la température et doit à ce titre être inclus dans nos hypothèses. - D'une façon générale, la cohérence structurelle de l'aluminium pur est notablement plus affectée par l'augmentation de la température que celle de l'alliage AI/Cu, la présence du cuivre ayant de fait tendance à augmenter cette cohérence, qui se traduit entre autre par une rigidité élastique notoirement plus élevée pour AICu que pour Al pur (110 MPa pour la constante de raideur longitudinale pour un alliage à 1°/o de Cu contre 70 MPa pour l'AI pur). L'angle de phase b intègre ces différentes sources de 1 o pertes de façon macroscopique. Des simulations numériques ont été faites donnant une bonne correspondance avec les phénomènes observés et allant dans le sens des hypothèses avancées. La demanderesse a utilisé des outils de simulation numérique 15 permettant de calculer les paramètres de propagation de l'onde de surface et prenant en compte l'électrode à l'aide d'un modèle « éléments finis ». Les propriétés physiques suivantes sont prises en compte pour le métal ou l'alliage composant l'électrode : - masse volumique ; 20 - module d'Young et coefficient de Poisson qui permettent d'obtenir le tenseur des constantes élastiques ; - pertes mécaniques à travers les angles de pertes b, pour la composante longitudinale et bc pour la composante de cisaillement. La demanderesse a ainsi extrait les paramètres de propagation de 25 l'onde en faisant varier l'angle de pertes b, sur la composante longitudinale jusqu'à retrouver le niveau de pertes observé à 150 °C et obtenu alors : un angle de pertes de b, = 0.005, les pertes de propagation suivantes : soit environ : 0.001 dB/À avec À la longueur d'onde. La figure 4 illustre une comparaison entre des admittances mesurées 30 et des admittances simulées (les fréquences de la simulation ont été recalées). Plus précisément les courbes 4a et 4'a sont relatives aux conductances mesurées et simulées à 25°C, les courbes 4b et 4'b sont relatives aux susceptances mesurées et calculées à 25°C, les courbes 4c et 4'c sont relatives aux conductances mesurées et simulées à 150°C, les 35 courbes 4d et 4'd sont relatives aux susceptances mesurées et calculées à 0 °C. On peut ainsi en déduire l'évolution en température du coefficient b et en déduire le coefficient de visco-élasticité en divisant par la fréquence. Si l'on fait cela pour tous les points de température, on peut en déduire une loi d'évolution de pertes « électrodes » dans le cas de l'aluminium et dans le cas d'un alliage. La figure 5 montre que l'on obtient un facteur de surtension meilleur avec des électrodes en alliage qu'avec des électrodes en aluminium pur, en effet il apparait nécessaire de distinguer si les coefficients de pertes sont dus 1 o au design du capteur ou à la nature des électrodes. En modélisant en fonction du design, on constate une surestimation des pertes dans le cas des électrodes en alliage aluminium/ cuivre. La courbe 5a est relative à des valeurs simulées, la courbe 5b étant relative à des valeurs mesurées, avec des électrodes en aluminium. La courbe 5c est relative à des valeurs 15 simulées, la courbe 5d étant relative à des valeurs mesurées, avec des électrodes en alliage aluminium/cuivre. L'invention peut également présenter un grand intérêt dans le cadre d'un capteur de température et de pression et comportant par exemple une 20 structure différentielle utilisant trois résonateurs SAW avec des électrodes en alliage à base d'aluminium et de cuivre. Un premier résonateur dit de pression utilise l'axe de propagation X, comme un second résonateur RSAW, mais est positionné dans une zone amincie d'un substrat de sorte que quand une surpression ou une sous 25 pression (par rapport à la pression de la cavité) est exercée sur la face inférieure du dispositif, la fréquence dudit premier résonateur varie proportionnellement. Ledit premier résonateur utilise la même direction de propagation que le second résonateur (même dépendance de la fréquence en fonction de 30 la température). La différence de fréquence entre les premier et second résonateurs permet par conséquent d'obtenir une information uniquement liée à la pression exercée sur la face inférieure du dispositif indépendante de la température. Le second résonateur utilisant l'axe de propagation habituel X est 35 situé dans une zone exempte de contraintes. Un troisième résonateur 12 également localisé dans une zone exempte de contraintes, est incliné d'un certain angle typiquement 20° par rapport à l'axe X. Le fait d'incliner ledit troisième résonateur confère à ce dernier une sensibilité différente vis à vis de la température. La différence de fréquence entre les second et troisième résonateurs permet par conséquent d'obtenir une information uniquement liée à la température indépendante de l'état de la pression exercée sur la face inférieure du dispositif. Le fait d'utiliser une structure différentielle présente l'avantage de diminuer la non linéarité du capteur sachant que les non linéarités résiduelles 1 o sont corrigées par le calibrage du capteur. Un autre avantage de la structure différentielle réside dans le fait que l'on peut s'affranchir en grande partie des effets de vieillissement. REVENDICATIONS1. Capteur passif de température comprenant au moins un résonateur à ondes acoustiques, ledit résonateur comportant un matériau piézoélectrique et des électrodes métalliques, caractérisé en ce que lesdites électrodes sont réalisées dans un alliage comportant au moins de l'aluminium et du cuivre de manière à augmenter la stabilité en température du facteur de qualité dudit résonateur et sa gamme de températures de fonctionnement. 2. Capteur passif de température selon la revendication 1, caractérisé en ce que les électrodes sont réalisées dans un alliage répondant à la formule suivante : AIXCuyMZ avec M comprenant au moins un des éléments suivants parmi le titane (Ti) ou le chrome (Cr) ou le silicium (Si). 3. Capteur passif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que le pourcentage pondéral de cuivre dans l'alliage métallique est inférieur à environ 40/0. 20 4. Capteur de température selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le résonateur est un résonateur à ondes de surface, les électrodes métalliques en alliage étant déposées à la surface d'un substrat piézoélectrique. 25 5. Capteur de température selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le résonateur est un résonateur à ondes de Lamb. 6. Capteur de température selon l'une des revendications 30 précédentes, caractérisé en ce que le résonateur est un résonateur à ondes de Love. 7. Capteur de température selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le résonateur est un résonateur à ondes 35 élastiques guidées dans des couches minces, de type ondes de Sezawa.15 8. Capteur de température selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le résonateur est un résonateur à ondes localisées au coeur d'une structure, pouvant être des ondes de Stoneley. 9. Capteur de température selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le résonateur est un résonateur à ondes de volume. 10. Capteur de température selon la revendication 9, caractérisé en ce que le résonateur est un résonateur à ondes de volume sur film mince à base de nitrure d'aluminium, d'oxyde de zinc ou de tout autre matériau piézoélectrique à couche déposée ou amincie de type FBAR (Film Bulk Acoustic Resonator), SMR (Solidely mounted Resonator) ou encore HBAR (High overtone Bulk Acoustic Resonator). 11. Capteur de température selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins deux résonateurs à ondes acoustiques de surface, inclinés l'un par rapport à l'autre à la surface d'un même substrat pouvant être cristallin de manière à effectuer des mesures différentielles. 12 Capteur de température selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte au moins deux résonateurs à ondes acoustiques de surface réalisé sur des substrats pouvant être cristallins choisis pour leur sensibilité spécifique à la température de manière à effectuer des mesures différentielles. 13. Capteur de température et de pression comprenant au moins un premier résonateur de type SAW comportant un substrat piézoélectrique au moins localement aminci de type membrane, un second résonateur de type SAW comprenant un substrat piézoélectrique et un troisième résonateur de type SAW comprenant un substrat piézoélectrique, lesdits résonateurs comportant un matériau piézoélectrique et des électrodes métalliques caractérisé en ce que lesdites électrodes sont réalisées dans un alliage comportant au moins de l'aluminium et du cuivre de manière à augmenter lastabilité en température du facteur de qualité dudit résonateur et sa gamme de températures de fonctionnement.5