Brevet FR2975496A1 — publié le 20121123

DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT ULTRA-PRECIS D'UN ELEMENT ET SYSTEME DE POSITIONNEMENT COMPRENANT UN TEL DISPOSITIF. L'invention concerne un dispositif de positionnement ultra précis d'un élément. L'invention concerne également un système de positionnement ultra-précis comportant un tel dispositif. L'invention peut être appliquée dans de nombreux domaines. A titre d'exemple non limitatif, on peut citer le domaine de la microscopie à force atomique. Dans ce cas, l'élément à positionner correspond à une surface à analyser avec le microscope à force atomique. En effet, dans cette application, la pointe du microscope reste généralement fixe et la surface à analyser (échantillon) située en vis-à-vis de cette pointe est déplacée pour déterminer, par exemple, la topographie de cette surface aux échelles nanométriques. Pour cette application, il est nécessaire d'effectuer un positionnement du plan de cette surface à analyser avec une grande précision. La surface à analyser est en effet initialement assimilable à un plan défini par des axes X1, Y1 orthogonaux. Lorsque l'on cherche à analyser cette surface en la déplaçant, cette dernière doit être maintenue autant que possible dans une position se confondant avec le plan initial. A défaut, la position relative de cette surface par rapport à la pointe du microscope à force atomique serait modifiée, par basculement de la surface à analyser vis-à-vis de l'axe de la pointe. La mesure de topographie de surface serait ainsi faussée lors du balayage de cette surface. L'axe de la pointe du microscope à force atomique doit donc rester, autant que possible, perpendiculaire aux axes X1, Y1 du plan définissant initialement la position de la surface à analyser. L'invention peut être appliquée à d'autres domaines que la microscopie à force atomique, domaines dans lesquels les contraintes de positionnement de l'élément à déplacer sont similaires. On peut par exemple citer la profilométrie mécanique et/ou optique ou encore la nano-indentation. Un objectif de l'invention est donc de proposer un dispositif de positionnement d'un élément répondant aux exigences mentionnées 5 précédemment. A cet effet, l'invention propose un dispositif de positionnement ultra-précis d'un élément, caractérisé en ce qu'il comprend : un corps ; plusieurs lamelles souples fixées sur le corps, ces lamelles étant, lorsqu'elles 10 sont au repos, perpendiculaires l'une par rapport à l'autre deux à deux ; deux tiges reliant chacune le corps à une lamelle souple associée, chaque tige étant disposée en passant par le centre de la lamelle et perpendiculairement à cette lamelle de sorte que les tiges sont perpendiculaires entre elles ; 15 les lamelles souples permettant ainsi d'accompagner la tige associée dans un mouvement de translation de cette tige selon la direction de son axe longitudinal, lorsqu'un tel mouvement est imprimé à la tige. Le positionnement de l'élément peut ainsi s'effectuer de façon ultra-précise. Par exemple, l'élément peut conserver une planéité relative 20 présentant une courbure de l'ordre de 40nm suivant un axe Z1 d'un repère orthogonal direct (X1, Y1, Z1) pour un déplacement de 80pm suivant l'axe de déplacement de l'élément, cet axe étant situé dans le plan défini par les axes X1, Y1. Les axes X1, Y1 définissent le plan dans lequel l'élément doit théoriquement se situer. 25 Le dispositif selon l'invention pourra également comprendre l'une au moins des caractéristiques suivantes, prises seules ou en combinaison : chaque lamelle souple présente une épaisseur comprise entre 0,5mm et15mm; 30 chaque lamelle souple présente une largeur comprise entre 30mm et 500mm ; chaque lamelle souple présente une hauteur comprise entre 15mm et 250mm ; - l'une au moins des lamelles souples comprend des orifices, lesdits orifices étant préférentiellement disposés uniformément autour du centre de la lamelle ; - les orifices présentent une forme alvéolaire ; - le corps présente quatre faces latérales extérieures agencées les unes par rapport aux autres de sorte que les faces présentant une arête commune sont perpendiculaires l'une par rapport à l'autre ; - le dispositif comprend quatre lamelles ; - chacune des quatre lamelles fait face à l'une des quatre faces latérales extérieures du corps ; le corps comprend un orifice central, lequel est susceptible de loger un moyen pour observer optiquement l'élément et/ou pour loger un moyen pour influer sur cet élément, par exemple optiquement thermiquement ou de façon magnétique. L'invention propose également un système de positionnement ultra-précis d'un élément, caractérisé en ce qu'il comprend : - un dispositif selon l'invention ; - un premier moyen pour imprimer un mouvement de translation à la première tige, selon la direction de l'axe longitudinal de cette première tige ; et - un deuxième moyen pour imprimer un mouvement de translation à la deuxième tige, selon la direction de l'axe longitudinal de cette deuxième tige. Le système selon l'invention pourra également comprendre l'une au moins des caractéristiques suivantes, prises seules ou en combinaison : le premier moyen pour imprimer un mouvement de translation à la première tige comprend un premier actionneur, par exemple un actionneur piézoélectrique, et un premier moyen, fixé à la première tige, pour amplifier le mouvement du premier actionneur et le deuxième moyen pour imprimer un mouvement de translation à la deuxième tige comprend un deuxième actionneur, par exemple un actionneur piézoélectrique, et un deuxième moyen, fixé à la deuxième tige, pour amplifier le mouvement du deuxième actionneur ; - le système comprend un premier bras de liaison entre le premier actionneur et le premier moyen pour amplifier le mouvement du premier actionneur et un deuxième bras de liaison entre le deuxième actionneur et le deuxième moyen pour amplifier le mouvement du deuxième actionneur, lesdits bras de liaison permettant notamment de déporter le positionnement de l'actionneur du côté opposé au moyen d'amplification du mouvement de l'actionneur au sein du système afin d'en faciliter le montage ; - le système comprend des moyens pour positionner l'élément dans une 10 direction (Z1) perpendiculaire aux directions des axes longitudinaux (X1, Y1) des tiges, lesdits moyens comprenant au moins un actionneur ; certaines lamelles du dispositif comprennent des moyens d'attache avec le bâti du système. 15 L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, avantages et caractéristiques de celle-ci apparaîtront plus clairement à la lecture de la description qui suit et qui est faite au regard des figures annexées, sur lesquelles : - la figure 1 représente, selon une vue en perspective, un mode de 20 réalisation conforme à l'invention d'un dispositif de positionnement ultra-précis d'un élément conforme à l'invention, le dispositif étant représenté dans une position de repos ; - la figure 2 représente une vue de dessus du dispositif représenté sur la figure 1, lorsque ce dispositif est dans une première position de travail ; 25 - la figure 3 représente une autre vue dessus du dispositif représenté sur la figure 1, lorsque ce dispositif est dans une deuxième position de travail ; - la figure 4 représente une première vue en coupe d'un système de positionnement ultra-précis d'un élément, ce système comportant le dispositif représenté sur la figure 1; 30 - la figure 5 représente une deuxième vue en coupe du système représenté sur la figure 4 selon un plan de coupe perpendiculaire au plan de coupe pris en considération sur cette figure 4 ; - la figure 6 est une représentation schématique selon une vue de côté, du dispositif représenté sur la figure 1 avec un moyen d'actionnement de ce dispositif appartenant au système représenté sur la figure 4. Nous allons tout d'abord décrire un mode de réalisation d'un dispositif de positionnement ultra-précis d'un élément à positionner, conforme à l'invention, à l'appui des figures 1 à 3. Sur ces figures, l'élément à positionner n'est pas représenté. Le dispositif 1 présente une forme générale de parallélépipède, dont les dimensions extérieures peuvent par exemple être de 64mm x 57,5 mm x 25,5mm pour une application à un microscope à force atomique. Le dispositif comprend un corps 2 comportant plusieurs faces extérieures latérales 21, 22, 23, 24. Ces faces extérieures latérales sont agencées les unes par rapport aux autres de sorte qu'elles sont perpendiculaires deux à deux. Plus précisément, les faces présentant une arête commune sont perpendiculaires l'une par rapport à l'autre. Le dispositif 1 comprend également plusieurs lamelles souples 31, 32, 33, 34 fixées sur le corps 2, en l'occurrence au niveau des arêtes de certaines faces latérales extérieures du corps. Chacune de ces lamelles souples fait face à l'une desdites faces latérales extérieures 21, 22, 23, 24 du corps 2. Le dispositif 1 comprend ainsi quatre lamelles, chacune d'entre elles faisant face à l'une des quatre faces latérales extérieures du corps. Les lamelles sont ainsi perpendiculaires entre elles deux à deux lorsqu'elles sont au repos. La position de repos des lamelles correspond à la position qu'elles adoptent naturellement lorsqu'elles ne sont soumises à aucun effort extérieur. Le dispositif 1 comprend aussi deux tiges 25, 26 reliées au corps 2 et au centre d'une lamelle souple 31, 32 associée. Par ailleurs, chacune de ces tiges 25, 26 s'étend perpendiculairement par rapport à la lamelle souple 31, 32 associée. C'est le cas lorsque les lamelles sont au repos. C'est aussi le cas lorsque les lamelles sont sollicitées par les tiges 25, 26, dans la mesure où la tige reste localement perpendiculaire à la lamelle au niveau de son point de fixation avec le centre de la lamelle. On comprend ainsi que les axes longitudinaux des tiges 25, 26 sont perpendiculaires l'un par rapport à l'autre. Le corps 2 comprend également un orifice central 20, traversant le dispositif 1 selon sa hauteur (axe Z1). Cet orifice central 20 permet de loger un moyen pour observer optiquement un échantillon, généralement en transmission. Dans le cas de l'application à un microscope à force atomique, l'échantillon correspond à l'élément à déplacer. En variante ou en complément, cet orifice central 20 permet de loger un moyen pour influer sur cet échantillon, par exemple optiquement, 10 thermiquement ou de façon magnétique. Les lamelles souples 31, 32 permettent d'accompagner la tige 25, 26 associée dans un mouvement de translation de cette tige selon la direction de son axe longitudinal, lorsqu'un tel mouvement est imprimé à la tige 25, 26. Les moyens pour imprimer ce mouvement aux différentes tiges seront 15 décrits plus amplement dans la suite de la description. Le centrage de la tige 25, 26 sur la lamelle 31, 32 associée participe au guidage adéquat de la tige par la lamelle. En effet, on s'assure ainsi que la déformation de la lamelle est homogène lors du déplacement de la tige, ce qui favorise la translation de la tige le long de son axe longitudinal. 20 L'axe longitudinal de la tige 25 se confond avec l'axe X1 du repère orthogonal direct (X1, Y1, Z1) et l'axe longitudinal de la tige 26 se confond avec l'axe Y1 de ce repère, comme représenté sur la figure 1. Les lamelles souples 31, 32 présentent par ailleurs une épaisseur pouvant être comprise entre 0,5mm et 15mm, selon l'application 25 envisagée. Par exemple, pour une application à un microscope à force atomique, on pourra prévoir une épaisseur de 0,5mm. L'épaisseur des lamelles 31, 32 leur confère la souplesse adéquate pour que chacune d'elles accompagne la tige 25, 26 à laquelle elle est fixée dans son mouvement de translation longitudinal. Eventuellement, les 30 lamelles 31, 32 peuvent prévoir des orifices 310, 320, avantageusement répartis uniformément par rapport au centre de la lamelle. Ces orifices 310, 320 permettent d'ajuster la souplesse des lamelles, sans modifier l'épaisseur de celles-ci. Ceci est d'autant plus avantageux que ces lamelles seront de préférence réalisées par stéréolithographie, comme par ailleurs l'ensemble du dispositif 1. En effet, le procédé de fabrication par stéréolithographie consiste à polymériser, par exemple par l'émission d'un laser émettant dans le domaine ultraviolet, un matériau liquide polymérisable afin de former des couches successives d'épaisseurs prédéfinies du dispositif 1 à fabriquer. La formation de ces couches successives s'effectue selon la direction de l'axe Z1 afin de former des strates liées. Cette technique est bien connue de l'homme du métier et ne sera pas décrite de façon plus détaillée. Il convient cependant de noter que les techniques stéréolithographiques connues sont généralement limitées dans l'épaisseur des pièces qu'elles permettent de fabriquer. Ainsi, il est actuellement envisageable d'obtenir des lamelles dont l'épaisseur minimale est de 0,5mm. Les orifices 310, 320 des lamelles permettent de contourner la limite minimale d'épaisseur d'une pièce pouvant être réalisée avec cette technique, dans l'objectif d'ajuster la souplesse/rigidité des lamelles. Par ailleurs, les orifices 310, 320 permettent de contrôler et d'amplifier la souplesse des lamelles dans leur direction de déformation (axe X1 ou axe Y1 selon la tige 25, 26 considérée), tout en évitant de fragiliser mécaniquement celles-ci dans les autres directions. Dans ce but, des orifices 310, 320 de forme alvéolaire sont particulièrement avantageux. De plus, la forme alvéolaire des orifices 310, 320 présente d'autres avantages, par exemple par rapport à une forme cylindrique. La forme alvéolaire permet une élaboration plus précise de ces orifices, elle permet de maintenir plus facilement une distance inter-alvéolaire constante et enfin, elle permet une distribution plus homogène des efforts auxquels les lamelles seront soumises, notamment sous l'effet du déplacement des tiges 25, 26. Bien entendu, la forme alvéolaire n'est pas obligatoire et une forme cylindrique des orifices 310, 320 ou d'autres formes pourraient être envisagées pour ajuster la souplesse des lamelles. Les lamelles 31, 32 ainsi fabriquées améliorent le guidage de la tige 25, 26 dans la direction souhaitée. La largeur I d'une lamelle 31, 32 pourra être comprise entre 30mm et 500mm, en fonction de l'application envisagée. Par exemple, pour une application au microscope à force atomique, on pourra prévoir une largeur de 45mm. Cette largeur I est principalement dimensionnée en fonction du mouvement de translation susceptible d'être imprimé à chacune des tiges 25, 26, avec les moyens prévus à cet effet. En effet, la lamelle doit accompagner la tige dans son mouvement, sans entraver ce mouvement en raison d'une rigidité trop importante. On comprend que plus la largeur I de la lamelle est importante, plus la déformation de cette lamelle est susceptible d'être importante. De plus, la déformation des lamelles ne doit pas impliquer un dépassement de la limite élastique du matériau choisi pour ces lamelles. La hauteur h d'une lamelle 31, 32 pourra quant à elle être comprise entre 15mm et 250mm, en fonction de l'application envisagée. Par exemple, pour une application au microscope à force atomique, on pourra prévoir une hauteur de 20mm. La hauteur de la lamelle est choisie en fonction du poids de l'élément posé sur la platine 6 du système 100 auquel appartient le dispositif 1, de préférence de façon proportionnelle à ce poids. Comme cela a été précisé précédemment, on peut ainsi envisager les dimensions suivantes pour les lamelles 31, 32 : épaisseur de 0,5mm, hauteur de 20mm et largeur de 45mm, pour une application au microscope à force atomique. Pour donner un autre exemple, on pourra multiplier ces valeurs d'un facteur 10 pour une application à la profilométrie mécanique et/ou optique. Les autres lamelles souples 33, 34 du dispositif 1 sont quant à elles situées sur les faces latérales extérieures 23, 24, lesquelles sont respectivement parallèles aux faces latérales extérieures 21, 22 du corps 2. Ces lamelles souples 33, 34 sont donc opposées, par rapport au corps 2, aux lamelles souples 31, 32 respectivement, sur lesquelles les tiges 25, 26 sont fixées. Les lamelles souples 33, 34 sont fixées respectivement aux extrémités du corps 2 et au centre du corps. Ainsi, lorsque la tige 25 subit un mouvement de translation selon son axe longitudinal XI, le corps 2 entraîne avec lui la lamelle souple 33, opposée, par rapport au corps 2, à la lamelle souple 31 à laquelle la tige 25 est fixée (figure 2). De façon similaire, lorsque la tige 26 subit un mouvement de translation selon son axe longitudinal Y1, le corps 2 entraîne avec lui la lamelle souple 34, opposée, par rapport au corps 2, à la lamelle souple 32 à laquelle la tige 26 est fixée (figure 3). Les lamelles souples 33, 34 peuvent présenter les mêmes caractéristiques que celles décrites précédemment pour les lamelles souples 31, 32. En particulier, les lamelles 31, 33 d'une part, qui sont destinées à fonctionner ensemble et les lamelles 32, 34 d'autre part, qui sont également destinées à fonctionner ensemble, peuvent être identiques deux à deux. En effet, il est envisageable que la lamelle 31 (respectivement 32) et la lamelle 33 (respectivement 34) diffèrent en raison de leur principe de fixation avec le corps 2, afin de garder une homogénéité de résistance mécanique axiale. Les lamelles souples 33, 34 participent également au guidage adéquat des tiges 25, 26 dans leur mouvement de translation le long de leurs axes longitudinaux respectifs. En effet, lorsque la tige 25 est mise en mouvement, la partie du corps 2 située à l'opposé de la tige 25 subit un moment fléchissant qui est contrecarré par la lamelle souple 33. Sans cette lamelle souple 33, on ne pourrait donc pas s'assurer du guidage ultra-précis de la tige 25 dans son mouvement de translation selon sa direction longitudinale X1. Comme on peut le constater sur la figure 2, laquelle concerne une simulation par éléments finis du comportement du dispositif 1, lorsqu'un mouvement de translation est imprimé à la tige 25 selon son axe longitudinal X1, on obtient ainsi une déformation symétrique des lamelles 31, 33 assurant le guidage ultra-précis souhaité. Une remarque similaire peut être faite sur l'intérêt de la lamelle 34, vis-à-vis du guidage de la tige 26. Une simulation par éléments finis du comportement du dispositif 1 lorsqu'un mouvement de translation est imprimé à la tige 26 selon son axe longitudinal Y1, est représentée sur la figure 3. Il convient de noter que le dispositif 1 selon l'invention pourrait être réalisé selon d'autres variantes de réalisation. Ce qui importe pour l'invention est d'une part, la position relative des tiges 25, 26 par rapport aux lamelles 31, 32 (perpendicularité, centrage) sur lesquelles elles sont montées et d'autre part, la position des lamelles entre elles (perpendicularité au repos). En effet, ce sont les lamelles 31 à 34 qui vont guider les tiges 25, 26 pour maintenir l'élément dans un plan, de manière ultra-précise. Ainsi, le corps 2 pourrait présenter une autre forme que celle qui est représentée sur les figures annexées, non parallélépipédique. Nous allons maintenant décrire le système 100 de positionnement ultra-précis de l'élément, évoqué précédemment, à l'appui des figures 4 à 6. Le système 100 de positionnement ultra-précis de l'élément considéré comprend le dispositif 1 décrit précédemment. Le dispositif 1 est monté sur le bâti 101 du système 100 par l'intermédiaire de moyens d'attache 301, 303 formés, respectivement, sur la lamelle 31 et sur la lamelle 33. A cet effet, chaque moyen d'attache 301, 303 comprend, à chacune de ses extrémités, un orifice 301a, 301b, 303a, 303b permettant de recevoir un moyen complémentaire relié au bâti 101 du système 100. Le dispositif 1 est ainsi parfaitement maintenu par rapport au bâti 101 du système 100, ce mode d'attache n'entravant pas le mouvement du corps 2 du dispositif 1. Les orifices 301a, 301b, 303a, 303b peuvent présenter une forme conique ou avantageusement, pyramidale, afin de mieux contraindre en rotation les attaches entre le dispositif 1 et le bâti 101 du système 100. Le système 100 comprend également un premier moyen 41 pour imprimer un mouvement de translation à la première tige 25, selon la direction de l'axe longitudinal X1 de cette première tige 25 (figures 5 et 6). 2975496 Il Ce premier moyen 41 pour imprimer un mouvement de translation à la première tige 25 comprend un premier actionneur 410 et un premier moyen 420, fixé à la première tige 25, pour amplifier le mouvement du premier actionneur 410. 5 Plus précisément, l'actionneur 410 peut être un actionneur piézoélectrique transmettant un mouvement mécanique sous l'effet d'une sollicitation électrique au moyen d'amplification 420 formé par un bras de levier. L'actionneur 410 agit avantageusement au centre du bras de levier 420, lequel est fixé à la tige 25 par l'une de ses extrémités pour amplifier le déplacement 10 généré par l'actionneur 410. Pour assurer le mouvement basculant du bras de levier 420, ce dernier est monté, par son autre extrémité, au bâti 101 du système 100, par l'intermédiaire d'une liaison pivot 422. Avantageusement, et comme représenté sur les figures 4 à 6, le système 100 comprend un premier bras de liaison 430 entre l'actionneur 410 15 et le bras de levier 420. Dans ce cas, l'actionneur 410 fait face à une première extrémité du bras de liaison 430, l'autre extrémité de ce bras de liaison 430 étant montée par une liaison pivot 432 au centre du bras de levier 420. Le bras de liaison 430 permet de déporter le positionnement de l'actionneur 410 du côté opposé au bras de levier 420, par rapport au système 20 100, et ce, afin de faciliter le montage de cet actionneur 410. Ce bras de liaison 430 est facultatif. On pourrait donc prévoir de disposer l'actionneur 410 du même côté que le bras de levier 420, au sein du système 100. Des moyens similaires sont prévus pour le déplacement de la 25 tige 26 (figure 4). Ainsi, le système 100 comprend un deuxième moyen 42 pour imprimer un mouvement de translation à la deuxième tige 26, selon la direction de l'axe longitudinal Y1 de cette deuxième tige 26. Ce deuxième moyen 42 pour imprimer un mouvement de 30 translation à la deuxième tige 26 comprend un deuxième actionneur 411 et un deuxième moyen 421, fixé à la deuxième tige 26, pour amplifier le mouvement du deuxième actionneur 411. Plus précisément, l'actionneur 411 peut être un actionneur piézoélectrique transmettant un mouvement mécanique sous l'effet d'une sollicitation électrique au moyen d'amplification 421 formé par un bras de levier. L'actionneur 411 agit avantageusement au centre du bras de levier 421, lequel est fixé à la tige 26 par l'une de ses extrémités pour amplifier le déplacement généré par l'actionneur 411. Pour assurer le mouvement basculant du bras de levier 421, ce dernier est monté, par son autre extrémité, au bâti 101 du système 100 par l'intermédiaire d'une liaison pivot 423. Avantageusement, et comme représenté sur les figures 4 et 5, le système 100 comprend un deuxième bras de liaison 431 entre l'actionneur 411 et le bras de levier 421. Dans ce cas, l'actionneur 411 fait face à une première extrémité du bras de liaison 431, l'autre extrémité de ce bras de liaison 431 étant montée par une liaison pivot 433 au centre du bras de levier 421. Là également, le bras de liaison 431 permet de déporter le positionnement de l'actionneur 411 du côté opposé au bras de levier 421, par rapport au système 100, et ce, afin de faciliter le montage de cet actionneur 411. Le bras de liaison 431 étant facultatif, on pourrait donc prévoir de disposer l'actionneur 411 du même côté que le bras de levier 421, au sein du système 100. Toutefois, lorsque les bras de liaison 430, 431 sont prévus, il convient de noter que la forme de ces bras de liaison n'est pas identique. En effet, ces bras de liaison se croisent si bien que, pour permettre leur déplacement respectif sans gêne, le deuxième bras de levier 431 présente une structure doublée entourant le premier bras de levier 430 (figure 4). Cette structure doublée permet par ailleurs d'avoir un deuxième bras de levier 431 symétrique, qui permet de transmettre au mieux les efforts provenant du deuxième actionneur 411 selon l'axe longitudinal du bras de liaison 431. Avec la conception prévue pour le système 100, il est donc possible de déplacer un élément de façon ultra-précise selon deux directions perpendiculaires l'une par rapport à l'autre, par ailleurs de façon indépendante. Il est donc possible d'assurer un déplacement ultra-précis de cet élément (par exemple une surface à analyser avec un microscope à force atomique) dans un plan, afin que cet élément reste dans ce plan quelle que soit sa position. Par ailleurs, les moyens 41, 42 pour imprimer un mouvement de translation aux tiges 25, 26 permettent de contrôler précisément le déplacement de la tige dans ce plan. En effet, il n'existe aucun jeu entre l'actionneur 410, 411 et la tige 25, 26 si bien que le déplacement généré par l'actionneur, lequel peut être réalisé très précisément avec un actionneur piézoélectrique par exemple, implique un déplacement également très précis de la tige 25, 26 associée. La précision du déplacement imprimé à l'élément sera finalement gérée par le choix du type d'actionneur 410, 420. II convient en outre de noter que le système 100 comprendra avantageusement des moyens pour déplacer l'élément selon l'axe Z1. Ces moyens comprennent un actionneur 5, par exemple un actionneur piézoélectrique, pour déplacer une platine 6 selon cet axe Z1. Il convient de noter que la face supérieure 61 de cette platine 6 affleure, au repos (c'est-à-dire lorsque l'actionneur 5 n'est pas sollicité), la face supérieure 102 de l'enveloppe du système 100. La face 102 du système est celle contre laquelle l'élément à déplacer est destinée à venir en appui. Les figures 4 et 5 représentent un montage particulier pour ces différents moyens sur le corps 2 du dispositif 1. Ce montage comprend un premier actionneur 7 en appui sur un contour intérieur du corps 2, avantageusement par l'intermédiaire d'un joint torique 8. Le premier actionneur 7 permet de supporter une pièce de support 9, servant au support du deuxième actionneur 5 et de la platine 6. Le fait de prévoir plusieurs actionneurs 5, 7 permet d'obtenir un déplacement plus important suivant l'axe Z1. A cet effet, la platine 6 est montée sur une vis 10 dont la tête est logée entre le deuxième actionneur 5 et la pièce de support 9. Par ailleurs, ce montage comprend des pièces de fixation latérales 11a, 11 b du premier actionneur 7 et de la pièce de support 9. Il convient de noter que, dans ce montage, les pièces de fixations latérales 11 a, 11 b sont munies d'orifices 2a, 2b, 2c, 2d permettant de recevoir un moyen d'attache avec la platine 6. Un autre montage pourrait être envisagé. En effet, ce qui importe c'est que la platine 6 soit rigidement liée 5 a l'actionneur 5 qui lui-même sera liée au corps 2, tout comme les tiges 25 et 26, l'élément à positionner étant en contact avec la platine 6. REVENDICATIONS1. Dispositif (1) de positionnement ultra-précis d'un élément, caractérisé en ce qu'il comprend : - un corps (2) ; - plusieurs lamelles souples (31, 32, 33, 34) fixées sur le corps (2), ces lamelles étant, lorsqu'elles sont au repos, perpendiculaires l'une par rapport à l'autre deux à deux ; - deux tiges (25, 26) reliant chacune le corps (2) à une lamelle souple (31, 32) associée, chaque tige étant disposée en passant par le centre de la lamelle et perpendiculairement à cette lamelle de sorte que les tiges (25, 26) sont perpendiculaires entre elles ; les lamelles souples (31, 32, 33, 34) permettant ainsi d'accompagner la tige (25, 26) associée dans un mouvement de translation de cette tige selon la direction de son axe longitudinal, lorsqu'un tel mouvement est imprimé à la tige. 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel chaque lamelle souple présente une épaisseur comprise entre 0,5mm et 15mm. 3. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel chaque lamelle souple présente une largeur comprise entre 30mm et 500mm. 4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel chaque lamelle souple présente une hauteur comprise entre 15mm et 250mm. 5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'une au moins des lamelles souples comprend des orifices (310, 320), lesdits orifices étant préférentiellement disposés uniformément autour du centre de la lamelle. 30 6. Dispositif selon la revendication précédente, dans lequel les orifices (310, 320) présentent une forme alvéolaire.25 7. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le corps (2) présente quatre faces latérales extérieures (21, 22, 23, 24) agencées les unes par rapport aux autres de sorte que les faces présentant une arête commune sont perpendiculaires l'une par rapport à l'autre. 8. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel il est prévu quatre lamelles (31, 32, 33, 34). 9. Dispositif selon la revendication précédente, dans lequel chacune 10 des quatre lamelles fait face à l'une des quatre faces latérales extérieures du corps. 10. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le corps (2) comprend un orifice central (20), lequel est susceptible de loger un 15 moyen pour observer optiquement l'élément et/ou pour loger un moyen pour influer sur cet élément, par exemple optiquement thermiquement ou de façon magnétique. 11. Système (100) de positionnement ultra-précis d'un élément, 20 caractérisé en ce qu'il comprend : un dispositif (1) selon l'une des revendications précédentes ; un premier moyen (41) pour imprimer un mouvement de translation à la première tige (25), selon la direction de l'axe longitudinal de cette première tige ; et 25 - un deuxième moyen (42) pour imprimer un mouvement de translation à la deuxième tige (26), selon la direction de l'axe longitudinal de cette deuxième tige. 12. Système selon la revendication précédente, dans lequel : 30 - le premier moyen (41) pour imprimer un mouvement de translation à la première tige (25) comprend un premier actionneur (410), par exemple un actionneur piézoélectrique, et un premier moyen (420), fixé à la première tige (25), pour amplifier le mouvement du premier actionneur (410);5le deuxième moyen (42) pour imprimer un mouvement de translation à la deuxième tige (26) comprend un deuxième actionneur (411), par exemple un actionneur piézoélectrique, et un deuxième moyen (421), fixé à la deuxième tige (26), pour amplifier le mouvement du deuxième actionneur (420). 13. Système selon la revendication précédente, dans lequel il est prévu un premier bras de liaison (430) entre le premier actionneur (410) et le premier moyen (420) pour amplifier le mouvement du premier actionneur (410) et un deuxième bras de liaison (431) entre le deuxième actionneur (411) et le deuxième moyen (421) pour amplifier le mouvement du deuxième actionneur (411), lesdits bras de liaison (430, 431) permettant notamment de déporter le positionnement de l'actionneur (410, 411) du côté opposé au moyen d'amplification (420, 421) du mouvement de l'actionneur au sein du système afin d'en faciliter le montage. 14. Système selon l'une des revendications 11 à 13, dans lequel il est prévu des moyens (5, 6, 7, 8, 9, 10, 11) pour positionner l'élément dans une direction (Z1) perpendiculaire aux directions des axes longitudinaux (X1, Y1) des tiges (25, 26), lesdits moyens comprenant au moins un actionneur (5, 7). 15. Système selon l'une des revendications 11 à 14, dans lequel certaines lamelles (31, 33) du dispositif (1) comprennent des moyens d'attache (301, 303) avec le bâti (101) du système (100).20