Brevet FR2973511A1 — publié le 20121005

Dispositif et procédé de couplage d'un spectromètre Raman et d'un microscope à champ proche La présente invention concerne le couplage d'un spectromètre Raman et d'un microscope à champ proche. L'invention s'applique notamment à la spectrométrie Raman amplifiée par pointe (aussi appelée TERS pour Tip Enhanced Raman Scattering) pour un échantillon immergé dans un milieu liquide. Durant les dernières décennies, l'étude de microstructures et io aujourd'hui de nanostructures a connu des avancées considérables. La miniaturisation de structures à l'échelle atomique permet d'accéder à des propriétés des matériaux qui sont utilisées dans de nouvelles applications. Les nanotechnologies requièrent donc une caractérisation précise et fiable des structures à l'échelle nanométrique. Parmi les techniques is de caractérisation, une technique prometteuse est la spectroscopie Raman amplifiée par pointe, qui permet d'accéder à l'analyse chimique avec une résolution spatiale nanométrique. La TERS est une technique rapide et non-destructive qui donne des résultats intéressants dans de nombreux domaines d'applications scientifiques allant des sciences fondamentales, aux sciences 20 appliquées et à la recherche industrielle, du séquençage d'ADN à l'étude de nanotubes de carbone. La spectroscopie Raman amplifiée par pointe (TERS) est une technique qui combine les avantages de la spectroscopie Raman et de la microscopie à champ proche (ou SPM pour Scanning Probe Microscopy). 25 La spectroscopie Raman fournit une analyse chimique de l'échantillon. La spectroscopie Raman est basée sur la mesure de transitions entre des états vibrationnels d'une structure polyatomique, moléculaire ou ionique (et sur les états de rotations dans le cas de gaz), quel que soit l'état physique (gaz, liquide, solide amorphe ou cristallin). Un échantillon éclairé par une 30 source de lumière monochromatique (un laser) diffuse de la lumière qui n'est plus monochromatique mais présente des bandes de diffusion à différentes fréquences. Ainsi, le spectre obtenu est composé de trois sources de diffusion, à savoir les bandes Rayleigh, Stokes et anti-Stokes. Les fréquences Raman sont spécifiques pour chaque échantillon, sont indépendantes de la 35 fréquence du laser et permettent une analyse qualitative de l'échantillon. La microscopie à champ proche permet de visualiser la topographie d'un échantillon avec une résolution sub-nanométrique. Classiquement, l'information en trois dimensions est acquise au travers d'une pointe de silicium qui balaye la surface d'un échantillon ligne par ligne. Parmi les avantages importants de la microscopie à champ proche, citons que l'analyse est en général non destructive et que cette technique peut être réalisée dans des conditions ambiantes et non sous vide. Il existe différents microscopes à champ proche qui sont basés sur différents types d'interactions physiques entre la pointe et l'échantillon et sur différents modes de balayage, utilisés io pour former l'image ligne par ligne de la surface de l'échantillon. Un premier type de microscope à champ proche est le microscope à force atomique (AFM) dans lequel la pointe est en appui sur la surface de l'échantillon. En AFM, le mode de balayage peut être basé sur un contact soit permanent soit intermittent entre la pointe et l'échantillon. Un autre type de microscope à is champ proche est le microscope à effet tunnel (Scanning Tunneling Microscope ou STM) dans lequel on fait passer un courant électrique entre la pointe et l'échantillon, sans contact entre la pointe et l'échantillon. Dans un autre type de microscope à champ proche, on fait vibrer la pointe dans une direction horizontale ou verticale à proximité de la surface (généralement 20 horizontale) de l'échantillon, la pointe étant soit maintenue à distance de l'échantillon soit en contact intermittent avec l'échantillon. En 1994, le groupe de Trautman a eu l'idée de combiner la microscopie à champ proche (SPM) et la microscopie optique (Trautman et al., "Near-Field Spectroscopy of Single Molecules at Room Temperature", Nature, vol. 369, 25 pp. 40-42, May 1994). Cette combinaison permet non seulement des mesures duales de Raman et de microscopie à champ proche, mais aussi de spectroscopie Raman amplifiée par pointe (TERS). Cette combinaison a permis à la spectrométrie Raman d'accéder à l'optique de champ proche et d'améliorer ainsi la résolution comparée aux limites de la résolution optique 30 conventionnelle, fixées par le critère de Rayleigh. Depuis une quinzaine d'années, la résolution spatiale de la cartographie par spectroscopie Raman amplifiée par pointe (TERS) s'est améliorée graduellement et atteint aujourd'hui une résolution d'environ 10nm. Dans les différentes applications de spectroscopie Raman amplifiée par 35 pointe (TERS), l'échantillon est généralement placé dans l'air. Pour des échantillons opaques et de grande taille, le couplage idéal d'un spectromètre Raman et d'un microscope à champ proche est un couplage hors d'axe, le faisceau laser d'excitation Raman étant incliné pour éviter les effets d'ombre de la pointe du microscope à champ proche. Par exemple, un objectif de microscope focalise le faisceau laser sur la pointe sous un angle d'incidence d'environ 30 degrés par rapport à l'horizontale (ou 60 degrés par rapport à la verticale). La pointe du microscope peut être disposée soit perpendiculairement à la surface de l'échantillon soit sous un angle incliné relativement à la surface de l'échantillon. La Figure 1 représente io schématiquement un montage opto-mécanique permettant de coupler un spectromètre Raman à la pointe d'un microscope à champ proche. Le dispositif comprend des miroirs de renvoi (9a, 9b, 9c) et des tables de déplacement de précision micrométrique disposées de manière à permettre un ajustement de la position du faisceau suivant trois directions orthogonales is X, Y et Z ainsi que suivant la direction de focalisation (F) du faisceau, afin d'amener le point focal du faisceau sur la pointe du microscope à champ proche. Le dispositif de couplage est satisfaisant pour des échantillons placés dans l'air. 20 Cependant, de nouvelles applications de la technique TERS visent à suivre l'évolution des propriétés d'un matériau lors d'une réaction chimique ou électro-chimique en phase liquide. Par exemple, on envisage l'application de la TERS en phase liquide pour optimiser les conditions de dépôt électrolytique d'une couche de semi-conducteur sur un métal ou pour étudier les différences 25 entre les propriétés de surface et volumiques d'alliages. Dans le domaine des couches minces organiques, on souhaite étudier le déclenchement de changements d'orientation et/ou d'état chimique. Dans le domaine des biomolécules électro-actives immobilisées, les études portent sur les mécanismes de transfert d'électron. Pour ces différentes applications, il est 30 envisageable de plonger la pointe d'un microscope à champ proche dans un liquide au cours de la réaction en phase liquide. Néanmoins, la focalisation du faisceau d'excitation du spectromètre Raman sur une pointe immergée pose des difficultés de couplage optique qui compromettent les mesures TERS. Certes, il existe des objectifs de microscope, dits objectifs à immersion, 35 qui sont compatibles pour une immersion dans un liquide. Toutefois, les objectifs à immersion ont généralement une distance focale et frontale très courte. De plus, ces objectifs à immersion sont prévus pour fonctionner sous incidence normale et pas sous incidence oblique. L'utilisation combinée d'un objectif à immersion classique de microscope optique avec un microscope à champ proche n'est pas réalisable du fait de l'angle d'inclinaison entre la pointe et le faisceau laser d'excitation et du fait de l'encombrement du corps d'un objectif à immersion au voisinage du plan focal. Il n'existe pas à ce jour de dispositif couplé de spectrométrie Raman amplifiée par pointe (TERS) fonctionnant pour un échantillon immergé dans io un milieu liquide. Un des buts de l'invention est de proposer un dispositif et un procédé de couplage d'un spectromètre Raman, d'un microscope à champ proche et d'une cellule d'immersion dans un milieu liquide. La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients et is concerne plus particulièrement un dispositif de couplage d'un spectromètre Raman à un microscope à champ proche et à une cellule d'immersion, ledit spectromètre Raman comprenant une source apte à générer un faisceau laser d'excitation, ledit microscope à champ proche comprenant une pointe ayant un axe et une extrémité apte à être amenée en contact ou à une très 20 faible distance d'un échantillon et ladite cellule d'immersion étant apte à recevoir un liquide dans lequel l'échantillon et l'extrémité de la pointe sont destinés à être immergés. Selon l'invention, le dispositif de couplage comprend un objectif de focalisation apte à focaliser ledit faisceau laser d'excitation sur l'extrémité de ladite pointe du microscope à champ proche, 25 ledit objectif de focalisation ayant un axe incliné par rapport à l'axe de la pointe et des moyens opto-mécaniques de couplage du faisceau laser d'excitation dans ledit liquide, ledits moyens opto-mécaniques comprenant un composant optique disposé sur l'axe du faisceau laser entre l'objectif et l'extrémité de la pointe, un capot reliant mécaniquement ledit composant 30 optique audit objectif de focalisation, et des moyens d'étanchéité disposés entre ledit composant optique et ledit capot, lesdits moyens d'étanchéité, ledit composant optique et ledit capot étant étanches vis-à-vis du liquide. Selon des aspects particuliers de l'invention : - ledit composant optique comprend une première interface côté 35 échantillon destinée à être immergée dans le liquide et une 30 35 deuxième interface côté objectif destinée à être maintenue hors du liquide ; ledit composant optique est une lame à faces planes et parallèles, les faces de la lame étant perpendiculaires à l'axe du faisceau laser s d'excitation ; - lesdits moyens d'étanchéité comprennent une colle ou un joint d'étanchéité ; - ledit microscope à champ proche est un microscope à force atomique ou un microscope à effet tunnel ou un microscope à io pointe vibrante, et ledit microscope à champ proche comprend des moyens de balayage selon lesquels la pointe est sans contact avec l'échantillon, ou selon lesquels la pointe est en contact permanent avec l'échantillon, ou selon lesquels la pointe est en contact intermittent avec l'échantillon ; ls - ledit dispositif de couplage comprend des moyens optomécaniques de réglage de la position en trois dimensions, de l'orientation angulaire et de la focalisation dudit faisceau laser; - l'axe de la pointe est perpendiculaire à la surface de l'échantillon et l'axe de l'objectif de focalisation est incliné par rapport à l'axe de la 20 pointe avec un angle d'inclinaison compris entre environ 25 et 35 degrés par rapport à la normale à l'échantillon ; - la pointe est métallisée pour permettre des mesures de type Raman amplifiée par pointe ; - ledit dispositif de couplage comprend des moyens de polarisation 25 du faisceau laser d'excitation et des moyens d'orientation de la polarisation par rapport à l'axe de la pointe L'invention concerne aussi un procédé de couplage d'un spectromètre Raman, d'un microscope à champ proche et d'une cellule d'immersion comprenant les étapes suivantes : - immersion de l'extrémité de la pointe d'un microscope à champ proche dans un liquide contenu dans une cellule d'immersion destinée à recevoir un échantillon ; et - insertion d'un dispositif de couplage selon l'un des modes de réalisation de l'invention entre le faisceau laser d'excitation provenant du spectromètre Raman et la pointe de manière à focaliser ledit faisceau laser d'excitation sur l'extrémité de la pointe immergée avec un angle d'inclinaison entre l'axe dudit faisceau laser d'excitation et l'axe de la pointe. L'invention trouvera une application particulièrement avantageuse dans la spectrométrie Raman amplifiée par pointe (TERS) en milieu liquide (eau, électrolyte...). La présente invention concerne également les caractéristiques qui ressortiront au cours de la description qui va suivre et qui devront être considérées isolément ou selon toutes leurs combinaisons techniquement io possibles. Cette description donnée à titre d'exemple non limitatif fera mieux comprendre comment l'invention peut être réalisée en référence aux dessins annexés sur lesquels : 15 - la figure 1 représente un montage opto-mécanique permettant de coupler un spectromètre Raman à un microscope à champ proche ; - la figure 2 représente schématiquement une vue en coupe d'un dispositif de couplage TERS en immersion selon l'invention ; - la figure 3 représente schématiquement une vue en perspective d'un 20 dispositif de couplage TERS en immersion selon l'invention ; - la figure 4 illustre différentes mesures d'un échantillon de référence dans différentes conditions de mesure respectivement dans l'air et immergé dans un milieu liquide en utilisant le dispositif de couplage de l'invention. 25 La figure 2 représente schématiquement un mode de réalisation du dispositif de couplage de l'invention. Plus précisément, la figure 2 représente une vue en coupe de la partie opto-mécanique du dispositif de couplage au voisinage de la pointe 1 d'un microscope à champ proche. On a représenté sur la figure 2 la pointe 1 du microscope à champ 30 proche. La pointe 1 est reliée à un dispositif de balayage du microscope à champ proche (non représenté). Un échantillon 4 est placé dans une cuve 2 contenant un liquide d'immersion 3. La cuve 2 peut être par exemple une cuve à électrolyte munie d'électrodes et reliée à des moyens pour appliquer une tension électrique. On observe que la pointe 1 du microscope à champ 35 proche, qui doit être à une distance nanométrique de la surface de l'échantillon 4 est elle aussi immergée dans le liquide 3. Le faisceau laser d'excitation du spectromètre Raman est focalisé sur la pointe au moyen d'un objectif de microscope 5 à air de focale longue. L'objectif 5 a en général un grossissement compris entre x10 et x60 et une distance frontale comprise entre 15 et 30 mm. L'objectif 5 n'est pas un objectif à immersion. L'objectif 5 est placé dans un boîtier formé d'un capot 7 et d'une fenêtre 8 qui est transparente à la longueur d'onde du laser et transparente dans la bande de fréquence de diffusion Raman. La fenêtre 8 est avantageusement une lame à faces planes et parallèles disposée de manière à ce que ses faces soient Io perpendiculaires à l'axe 15 de l'objectif 5. La fenêtre 8 et le capot 7 sont assemblés de manière à être étanches vis-à-vis du liquide d'immersion 3. La solution la plus simple consiste à utiliser une colle pour fixer de manière étanche la fenêtre 8 et le capot 7. Toutefois, dans le cas où le liquide d'immersion est corrosif vis-à-vis de la colle, il est préférable d'utiliser un is montage à joint, un peu plus compliqué car plus volumineux que la colle. La face externe de la fenêtre 8 est immergée dans le liquide au moins sur toute la surface du faisceau laser. Du fait de l'assemblage étanche de la fenêtre 8 et du capot 7, seule une face de la fenêtre 8 est immergée totalement ou partiellement dans le liquide, l'autre face côté objectif restant 20 dans l'air. De cette manière, l'axe du faisceau laser d'excitation 6 ne subit pas de déviation à l'interface avec le liquide d'immersion 3. Le faisceau laser peut ainsi être focalisé de manière satisfaisante sur la pointe 1 du microscope à champ proche. Par ailleurs, l'assemblage étanche protège l'objectif 5 vis-à-vis des 25 projections du liquide d'immersion 3. La figure 3 représente une vue schématique en perspective du capot 7 et de la fenêtre 8. Le capot 7 comprend une partie cylindrique qui vient se fixer sur l'objectif 5 et une partie tronconique qui relie la partie cylindrique à la fenêtre 8. Le capot comprend par exemple un filetage interne pour être vissé 30 sur le filetage externe d'un objectif 5. La fenêtre 8 est fixée au capot 7 de manière à ce que l'assemblage soit étanche lorsque la partie extérieure du capot et de la fenêtre sont immergées dans le liquide d'immersion 3. La forme tronconique permet d'utiliser un objectif 5 de focale longue et d'approcher la fenêtre 8 au plus près de la pointe 1 du microscope à champ proche. La 35 fenêtre 8 est avantageusement une lame à faces planes et parallèles disposée de manière à ce que ses faces soient perpendiculiares à l'axe de l'objectif 5. L'axe du faisceau laser d'excitation est amené par des moyens opto-mécaniques tels que représentés sur la figure 1 dans l'axe de l'objectif 5. Les platines de déplacements suivant les axes X, Y, Z et le long de l'axe du faisceau (pour la focalisation) sont avantageusement des platines motorisées. L'axe du faisceau laser d'excitation n'est ainsi pas dévié lors de la traversée de la fenêtre, même lorsque l'une de ses faces est immergée dans le liquide d'immersion. L'objectif 5 a une focale dite longue et l'ouverture du faisceau laser d'excitation est limitée, par conséquent les rayons les plus inclinés par io rapport à la lame sont peu déviés aux interfaces de la lame et du liquide. Bien que théoriquement la traversée d'une lame 8 à faces planes et parallèles sur le faisceau focalisé dégrade la qualité de focalisation, on observe en pratique des distorsions négligeables de la qualité de focalisation du faisceau laser d'excitation. 15 Le dispositif de couplage permet d'atteindre une excellente focalisation sur la pointe immergée dans le liquide. Toutefois, il est important d'évaluer d'éventuelles pertes en intensité et/ou en précision des mesures Raman induites par le dispositif de couplage dans une cellule à immersion. 20 La figure 4 représente différentes mesures d'un échantillon de référence (substrat de silicium cristallin) par spectrométrie Raman classique avec et sans liquide. L'axe des ordonnées représente l'intensité détectée en nombre de coups par seconde et l'axe des abscisses représente le nombre d'onde en cm-1. Un premier spectre Raman (S,) est acquis en présence du 25 dispositif de couplage, mais sans liquide d'immersion, le silicium étant placé dans l'air. Les paramètres expérimentaux de la mesure sont les suivants : réseau de diffraction à 600 traits/mm, longueur d'onde du laser 633 nm, puissance laser sur l'échantillon 1 mW, durée d'intégration 3s. On observe un spectre avec un pic spécifique du silicium à 520.7 cm-1. Ensuite, on mesure 30 un deuxième spectre Raman (S2) du même échantillon de silicium en présence du dispositif de couplage et d'un liquide d'immersion, le silicium étant immergé dans de l'eau. On observe que les deux spectres S, et S2 sont quasiment superposés, au bruit de mesure près. Plus précisément, ces résultats montrent uniquement une légère diminution du signal entre la 35 mesure d'un échantillon de silicium à l'air (Si) et immergé dans l'eau (S2). La perte d'environ 10 % du signal est due aux pertes par réflexion sur les faces de la fenêtre ne comportant pas de traitement anti-reflet (environ 4% de pertes sur chaque face de la fenêtre). Toutefois, ces pertes pourraient encore être réduites en utilisant une fenêtre traitée avec un traitement en couche(s) mince(s) anti-réflexion. L'acquisition de deux spectres dans des conditions identiques d'immersion indique une excellente reproductibilité des mesures Raman lorsque que l'échantillon est immergé et que la mesure est effectuée en présence du dispositif de couplage de l'invention. Les mesures de la figure 4 indiquent que le dispositif de couplage permet des mesures de spectres io Raman avec une sensibilité et une précision respectivement du même ordre que des mesures Raman classiques dans l'air. Le matériau du capot est choisi de manière appropriée en fonction du liquide 3 de la cellule d'immersion. Dans le cas où le liquide est de l'eau, ou un liquide ionique, le capot est avantageusement en acier inoxydable. Le is matériau de la fenêtre peut être un verre de silice ou un borosilicate ou du saphir. Le choix du matériau de la fenêtre est adapté en fonction des mesures Raman effectuées et du liquide utilisé. Selon un mode de réalisation préféré, la pointe 1 du microscope à champ proche est métallisée, de manière à amplifier les mesures Raman. 20 Selon un mode de réalisation, l'échantillon est disposé sur une surface métallisée de manière à obtenir un effet Raman amplifié de type SERS (Surface Enhanced Raman Spectroscopy). Le dispositif de l'invention permet de focaliser le faisceau d'excitation laser d'un spectromètre Raman sur la pointe immergée d'un microscope à 25 champ proche. En présence d'un liquide d'immersion, le dispositif de couplage induit des distorsions négligeables de focalisation du faisceau laser, des pertes très réduites sur le signal Raman mesuré et n'affecte pas la précision des mesures de spectrométrie Raman. Le dispositif est compatible avec les contraintes d'encombrement liées au couplage d'un microscope à 30 champ proche et d'un spectromètre Raman. L'augmentation locale du signal Raman au voisinage de la pointe immergée permet d'atteindre une très haute résolution spatiale et d'augmenter la détection de signaux faibles, tels que les signaux Raman. Le dispositif et le procédé de l'invention ne sont nullement limités au 35 couplage d'un spectromètre Raman à un microscope à force atomique, mais peuvent être utilisés avec d'autres types de microscopes à champ proche tels que STM, microscope à pointe vibrante et suivant différents modes de balayage, avec ou sans contact ou à contact intermittent entre la pointe et l'échantillon. REVENDICATIONS1. Dispositif de couplage d'un spectromètre Raman à un microscope à champ proche et à une cellule d'immersion (2), ledit spectromètre Raman comprenant une source apte à générer un faisceau laser d'excitation (6), ledit microscope à champ proche comprenant une pointe (1) ayant un axe (10) et une extrémité (11) apte à être amenée en contact ou à une très faible distance d'un échantillon (4) et ladite cellule d'immersion (2) étant apte à recevoir un liquide (3) dans lequel io l'échantillon (4) et l'extrémité (11) de la pointe (1) sont destinés à être immergés, caractérisé en ce que ledit dispositif de couplage comprend : - un objectif de focalisation (5) apte à focaliser ledit faisceau laser d'excitation (6) sur l'extrémité (11) de ladite pointe (1) du microscope à is champ proche, ledit objectif de focalisation (5) ayant un axe (15) incliné par rapport à l'axe (10) de la pointe (1) et - des moyens opto-mécaniques de couplage du faisceau laser d'excitation (6) dans ledit liquide (3), ledits moyens opto-mécaniques comprenant : 20 - un composant optique (8) disposé sur l'axe du faisceau laser entre l'objectif (5) et l'extrémité de la pointe (1), - un capot (7) reliant mécaniquement ledit composant optique (8) audit objectif de focalisation (5), et - des moyens d'étanchéité disposés entre ledit 25 composant optique (8) et ledit capot (7), lesdits moyens d'étanchéité, ledit composant optique (8) et ledit capot (7) étant étanches vis-à-vis du liquide (3). 2. Dispositif de couplage selon la revendication 1 caractérisé en ce que ledit composant optique (8) comprend une première interface côté 30 échantillon destinée à être immergée dans le liquide (3) et une deuxième interface côté objectif destinée à être maintenue hors du liquide (3). 3. Dispositif de couplage selon la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que ledit composant optique (8) est une lame à faces planes et parallèles, les faces de la lame étant perpendiculaires à l'axe du faisceau laser d'excitation (6). s 4. Dispositif de couplage selon l'une des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que lesdits moyens d'étanchéité comprennent une colle ou un joint d'étanchéité. 5. Dispositif de couplage selon l'une des revendications 1 à 4 caractérisé en ce ledit microscope à champ proche est un microscope à force io atomique ou un microscope à effet tunnel ou un microscope à pointe vibrante et en ce que ledit microscope à champ proche comprend des moyens de balayage selon lesquels la pointe (1) est sans contact avec l'échantillon, ou selon lesquels la pointe (1) est en contact permanent avec l'échantillon, ou selon lesquels la pointe (1) est en contact 15 intermittent avec l'échantillon. 6. Dispositif de couplage selon l'une des revendications 1 à 5 caractérisé en ce qu'il comprend des moyens opto-mécaniques (9a, 9b, 9c, 12a, 12b, 12c, 12d) de réglage de la position en trois dimensions, de l'orientation angulaire et de la focalisation dudit faisceau laser. 20 7. Dispositif de couplage selon l'une des revendications 1 à 6 caractérisé en ce que l'axe (10) de la pointe (1) est perpendiculaire à la surface de l'échantillon (4) et en ce que l'axe (15) de l'objectif de focalisation est incliné par rapport à l'axe (10) de la pointe (1) avec un angle d'inclinaison compris entre environ 25 et 35 degrés par rapport à la 25 normale à l'échantillon. 8. Dispositif de couplage selon l'une des revendications 1 à 7 caractérisé en ce que la pointe (1) est métallisée pour permettre des mesures de type Raman amplifiée par pointe. 9. Dispositif de couplage selon l'une des revendications 1 à 8 caractérisé 30 en ce qu'il comprend des moyens de polarisation du faisceau laserd'excitation (6) et des moyens d'orientation de la polarisation par rapport à l'axe (10) de la pointe (1). 10. Procédé de couplage d'un spectromètre Raman, d'un microscope à champ proche et d'une cellule d'immersion (2) comprenant les étapes 5 suivantes : - immersion de l'extrémité (11) de la pointe (1) d'un microscope à champ proche dans un liquide (3) contenu dans une cellule d'immersion (2) destinée à recevoir un échantillon (4) ; - insertion d'un dispositif de couplage selon l'une des 10 revendications 1 à 9 entre le faisceau laser d'excitation (6) provenant du spectromètre Raman et la pointe (1) de manière à focaliser ledit faisceau laser d'excitation (6) sur l'extrémité de la pointe immergée avec un angle d'inclinaison entre l'axe dudit faisceau laser d'excitation (6) et l'axe (10) de la pointe (1). 15