Brevet FR2967167A1 — publié le 20120511

Nouveau procédé de préparation de revêtements métalliques La présente invention a trait à des matériaux revêtus par un revêtement métallique de faible épaisseur, présentant une faible rugosité de surface et une bonne adhésion au support sur lequel il est déposé. La plupart des méthodes de dépôt de couches métalliques fournissent des matériaux revêtus présentant une rugosité de surface importante, avec une rugosité moyenne typiquement supérieure à 10 nm, voire à 100 nm. Au sens de la présente description, on entend par « rugosité moyenne » ou « Rq », la rugosité d'une surface carrée mesurée par microscopie à force atomique (AFM) en différentes zones et à différentes résolutions, allant généralement de 2 pm x 2 pm à 20 pm x 20 pm. Cette valeur est la moyenne quadratique des valeurs des hauteurs z(x) mesurées sur une zone étudiée de dimension LxL : L R9 = fz2dx 0 où : - L est la longueur du profil mesuré, et - z(x) est la hauteur, à la position x du profil, mesurée par AFM par rapport à la valeur moyenne des hauteurs mesurées. Cette valeur caractéristique rend compte de l'ensemble des variations de l'état de surface. La rugosité moyenne est mesurée à l'échelle nanométrique, si bien qu'un matériau peut présenter des variations de surface macroscopiques (de l'ordre du millimètre) tout en possédant une faible rugosité moyenne (de l'ordre du nanomètre). De préférence, les supports utilisés dans le cadre de la présente invention présentent une faible rugosité moyenne à l'état brut (de l'ordre du nanomètre), c'est-à-dire à l'état non-revêtu. Néanmoins, il est également possible d'utiliser des supports présentant une rugosité moyenne à l'état brut plus importante (de l'ordre de quelques nanomètres, voire quelques dizaines de nanomètres). Des revêtements de couches métalliques, de faible épaisseur et de faible rugosité moyenne (typiquement inférieure à 1 nm) sont utiles, notamment pour leurs propriétés chimiques, électriques ou mécaniques, dans le domaine de la micro- et nano-électronique où l'or est l'un des matériaux les plus utilisés pour les composants et dispositifs électroniques (téléphones portables, systèmes embarqués, satellites, etc.), ainsi que dans le domaine des nano- et des bio-technologies (capteurs, biocapteurs, puces à ADN). La diminution de l'épaisseur et de la rugosité moyenne de surface des dépôts, ainsi que l'amélioration de l'adhésion des revêtements au support représentent des objectifs importants dans les domaines précités car cela permet d'améliorer d'une part, la qualité des contacts électriques et les propriétés optiques, et d'autre part offre la possibilité de greffage d'objets de dimensions nanométriques, tels que des nanoparticules, des protéines, des acides nucléiques ou des brins d'ADN. Il existe des méthodes d'application de revêtements de surface permettant d'obtenir des dépôts de faible rugosité moyenne, par exemple celles décrites dans M. Hegner, P. Wagner, G. Semenza, Surface Science 1993, 291, 39 et dans A. K. Mahapatro, A. Scott, A. Manning, D. B. Janes, AppL Phys. Lett. 2006, 88, 151917. Cependant, les revêtements obtenus selon les méthodes de ce type s'avèrent être très peu adhérents au support, ce qui constitue un frein à l'exploitation pratique des supports ainsi revêtus. En particulier, la faible adhérence des revêtements conduit notamment aux inconvénients suivants : fragilité à la rayure, dégradation rapide lors de l'application d'un courant électrique, impossibilité de réutilisation ou de recyclage. Un but de la présente invention est de fournir un nouveau procédé de dépôt d'un revêtement métallique sur un support, qui conduit à un support revêtu par un revêtement métallique présentant une faible rugosité moyenne, une faible épaisseur et une bonne adhérence au support. Selon un premier aspect, la présente invention a pour objet un procédé de dépôt d'un revêtement métallique sur un support à base de silice, comprenant les étapes suivantes : (a) on dépose sur le support une première couche métallique d'accroche 30 comprenant du chrome, de préférence par évaporation thermique sous vide ; (b) on dépose sur la première couche métallique d'accroche une deuxième couche métallique d'accroche comprenant au moins un métal compris parmi le groupe consistant en l'or, le platine et le cuivre, de préférence par évaporation thermique sous vide, à une température supérieure à la température permettant la 35 diffusion de l'or, du platine ou du cuivre dans le chrome ;25 (c) on dépose sur la deuxième couche métallique d'accroche une couche métallique de couverture comprenant au moins le métal compris dans la deuxième couche métallique d'accroche, de préférence par évaporation thermique sous vide, à une température inférieure à la température permettant la diffusion de l'or, du platine ou du cuivre dans le chrome, l'ensemble des deux couches métalliques d'accroche et de la couche métallique de couverture constituant le revêtement métallique ; et où on effectue : après l'étape (a) et avant l'étape (b), un traitement thermique du support revêtu de la première couche métallique d'accroche permettant que cette couche devienne adhérente au support, et/ou après l'étape (b) et avant l'étape (c), un traitement thermique du support revêtu des première et deuxième couches métalliques d'accroche permettant que la première couche métallique d'accroche devienne adhérente au support et que la deuxième couche métallique d'accroche devienne adhérente à la première couche métallique d'accroche ; ce par quoi on obtient un matériau revêtu par un revêtement métallique présentant : une rugosité moyenne inférieure à 4 nm, de préférence inférieure à 2 nm et préférentiellement inférieure à 1 nm ; et une résistance à la rayure à une pression minimum de 1200 MPa. Au sens de la présente description, on entend par « support à base de silice » un support comprenant de la silice au moins au niveau de sa surface au contact du revêtement métallique. De préférence, la surface du support présente des dimensions supérieures au millimètre, par exemple de l'ordre du centimètre. Il peut notamment s'agir d'un wafer de silicium oxydé, d'un fil ou fibre de silice, d'une lame de verre ou d'un support recouvert de silice. Avantageusement, le support présente une forme globale régulière dont l'ordre de grandeur des variations de surface est bien supérieur à la rugosité de sa surface, typiquement de l'ordre du centimètre. Typiquement, la surface du support est plane. Comme indiqué plus haut, le procédé de l'invention met de préférence en ceuvre des supports présentant une rugosité moyenne à l'état non revêtu inférieure à 1 nm, de préférence inférieure à 0,5 nm et préférentiellement inférieure à 0,2 nm. Néanmoins, le procédé peut également mettre en ceuvre des supports de rugosité moyenne supérieure à 5 nm, par exemple de l'ordre de 10 nm, voire jusqu'à 30 nm. Selon un mode de réalisation avantageux, la première couche métallique d'accroche est entièrement constituée de chrome. Le revêtement métallique est généralement un revêtement multicouche, comprenant une couche métallique de couverture à base d'un métal compris parmi le groupe consistant en l'or, le platine et le cuivre. Cette couche métallique de couverture comprend de préférence plus de 50%, voire plus de 60°/O, voire plus de 70°/O, voire plus de 80°/O, voire plus de 900/0 dudit métal. De préférence, la couche métallique de couverture comprend de l'or mais la présente invention concerne également des couches métalliques de couverture comprenant des métaux tels que le titane, l'argent, le platine et le cuivre, et des couches métalliques de couverture consistant en des métaux tels que le titane, l'argent, le platine et le cuivre. Selon une variante du procédé de l'invention, le chrome contenu dans la première couche métallique d'accroche est substitué par du titane. De manière générale dans le cadre de la présente description, tout ce qui concerne le chrome est transposable au titane moyennant certains ajustements mineurs. Selon cette variante, la première couche métallique d'accroche comprend du titane. Selon un mode de réalisation avantageux, la première couche métallique d'accroche est entièrement constituée de titane. De préférence, le revêtement métallique est entièrement métallique. A l'issue du procédé selon l'invention, l'ensemble de la première et de la deuxième couche métallique d'accroche constitue une couche métallique mixte d'accroche. Au sens de la présente description, on entend par « résistance à la rayure » le fait 30 que le revêtement déposé résiste à l'application d'une pointe à base de carbure de silicium et/ou de diamant selon une pression de 1200 MPa, et qu'il ne subit notamment pas de délaminage. Ceci constitue un test quantitatif classique de la résistance à la rayure d'un revêtement déposé sur un support. 35 Les revêtements déposés selon le procédé de l'invention présentent une bonne adhérence, en particulier supérieure à celle des dépôts métalliques de faible rugosité25 moyenne du type de ceux décrits dans les articles précités. De manière qualitative, les revêtements déposés résistent au passage d'un chiffon et à l'arrachage d'un ruban adhésif (type Scotché). De manière surprenante, les inventeurs ont découvert que la mise en ceuvre du procédé précité, conduit systématiquement, et de façon très simple au dépôt d'un revêtement fortement adhérent au support. Typiquement, en partant d'un support ayant une rugosité moyenne inférieure à 5 nm, on obtient pour le revêtement déposé une rugosité moyenne inférieure à 5 nm, généralement inférieure à 1 nm. En outre, les propriétés finales d'adhérence et de rugosité du matériau revêtu pourront être modulées en contrôlant les épaisseurs, la vitesse et la température. Un des avantages du procédé selon l'invention est qu'il ne requiert pas l'utilisation de conditions de préparation spéciales, ni de dispositif complexe, comme une salle blanche par exemple. Ce procédé met en ceuvre des outils connus de l'homme du métier, comme les techniques de PVD (Plasma Vapor Deposition), dans des conditions facilement réalisables. Dans le cadre du procédé de la présente invention, le dépôt de couches métalliques est préférentiellement réalisé par évaporation thermique sous vide. Un autre avantage du procédé est que l'ensemble des étapes peut être réalisé dans le même appareil, sans rupture de vide et par conséquent sans pollution importante de la surface des dépôts. Parmi les modes de réalisation du procédé selon l'invention, un premier mode consiste à solidariser la première couche métallique d'accroche au support après l'étape (a) et avant l'étape (b). Par « solidariser », on entend que la première couche métallique d'accroche devient adhérente au support. Il ressort des travaux réalisés par les inventeurs, dans le cadre de la présente invention, que lors du traitement thermique du support revêtu de la première couche métallique d'accroche, le chrome (ou le titane) de la première couche métallique d'accroche diffuse dans le support à base de silice, ce qui semble expliquer, sans vouloir être lié à une théorie particulière, la solidarisation de la première couche métallique d'accroche avec le support. La deuxième couche métallique d'accroche est ensuite déposée à une température suffisamment élevée pour permettre la diffusion du métal déposé (or, cuivre ou platine) dans la première couche métallique d'accroche. On obtient alors une couche métallique mixte d'accroche adhérente au support, et la couche de couverture peut être déposée dans les conditions optimales au dépôt du métal souhaité (or, cuivre ou platine). Parmi les modes de réalisation du procédé selon l'invention, un deuxième mode consiste à solidariser la première couche métallique au support après l'étape (b) et avant l'étape (c). Il ressort des travaux réalisés par les inventeurs, dans le cadre de la présente invention, que lors du traitement thermique du support revêtu des première et deuxième couches métalliques d'accroche, le chrome (ou le titane) de la première couche métallique d'accroche diffuse dans le support à base de silice, et le métal de la deuxième couche métallique d'accroche diffuse dans la première couche métallique d'accroche, et réciproquement, ce qui semble expliquer, sans vouloir être lié à une théorie particulière, la solidarisation de la première couche métallique d'accroche avec le support et la solidarisation de la deuxième couche métallique d'accroche avec la première couche métallique d'accroche. On obtient alors une couche métallique mixte d'accroche adhérente au support, et la couche de couverture peut être déposée dans les conditions optimales au dépôt du métal souhaité (or, cuivre ou platine). De manière générale, la diffusion des constituants des première et deuxième couches métalliques d'accroche est d'autant plus importante que la température est élevée et que la durée du traitement thermique est importante. Les traitements thermiques des couches métalliques d'accroche sont conduits dans des conditions telles que du chrome (ou du titane) soit présent à l'interface du support et de la couche métallique mixte d'accroche, ceci afin de garantir les propriétés d'adhérence de la couche métallique mixte d'accroche au support. L'étape (b) du procédé est conduite dans des conditions telles que de l'or, du platine ou du cuivre soit présent en surface externe de la couche métallique mixte d'accroche, ceci afin de garantir les propriétés d'adhérence de la couche métallique de couverture à la couche métallique mixte d'accroche. Ces différentes conditions seront mises en place par l'homme du métier sans difficulté, en mettant en ceuvre les connaissances générales de l'état de la technique (Moody et al., Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 2000, Vol. 586, pp.195-206). Selon un mode de réalisation particulier du procédé, le revêtement métallique présente une épaisseur totale inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm, avantageusement inférieure à 40 nm et préférentiellement inférieure à 30 nm. Ce mode particulier permet de réaliser une économie de matériau par rapport aux méthodes existantes de dépôts de revêtements, dont l'épaisseur est généralement de plusieurs centaines de nanomètres. La diminution de l'épaisseur de dépôt de revêtements permet d'économiser les matières premières, de réduire les coûts de production et de retraitement des déchets. De préférence, le rapport e,/e2 de l'épaisseur e, de la première couche métallique d'accroche sur l'épaisseur e2 de la deuxième couche métallique d'accroche est supérieur ou égal à 0,4 et inférieur ou égal à 4. Cet aspect est particulièrement important lorsqu'un traitement thermique est effectué après l'étape (b). En effet, si la deuxième couche métallique d'accroche est trop fine par rapport à la première couche métallique d'accroche (à savoir si e,/e2 > 4), le traitement thermique nécessaire à la solidarisation de la première couche métallique d'accroche sur le support peut provoquer une diffusion importante de la deuxième couche métallique d'accroche dans la première couche métallique d'accroche, ne lui permettant plus d'assurer l'adhérence de la couche métallique de couverture à la couche métallique mixte d'accroche. Typiquement, lorsque la deuxième couche métallique d'accroche est trop fine par rapport à la première couche métallique d'accroche et lorsque la durée du traitement thermique est trop importante, il n'y a plus suffisamment d'or, de cuivre ou de platine à l'interface entre la couche métallique mixte d'accroche et la couche métallique de couverture pour assurer l'adhérence de la couche métallique de couverture à la couche métallique mixte d'accroche. De même, si la deuxième couche métallique d'accroche est trop épaisse par rapport à la première couche métallique d'accroche (à savoir si e,/e2 Dans le cas d'une première couche métallique d'accroche d'épaisseur e, comprenant du chrome (ou du titane) et d'une deuxième couche métallique d'accroche d'épaisseur e2 comprenant de l'or, on se place avantageusement dans une zone de rapport e,/e2 comprise entre 0,4 et 4 pour mettre en ceuvre le dépôt de revêtements métalliques présentant une adhérence élevée. De préférence, le rapport d'épaisseurs e3/e2 de l'épaisseur e3 de la couche métallique de couverture sur l'épaisseur e2 de la deuxième couche métallique d'accroche est supérieur à 5 et par exemple compris entre 5 et 30. La couche métallique de couverture est généralement la couche d'intérêt applicatif. Entre autres, cette couche confère notamment au matériau revêtu ses propriétés chimiques, électriques et ses propriétés de surface, telles que la rugosité moyenne. Le procédé selon l'invention est typiquement mis en ceuvre avec un rapport d'épaisseurs e3/e2 supérieur à 5 pour assurer la faible rugosité moyenne du revêtement et la bonne adhérence de la couche métallique de couverture à la couche métallique mixte d'accroche. Le procédé selon l'invention est typiquement mis en ceuvre avec un rapport d'épaisseurs e3/e2 inférieur à 30 afin de minimiser l'épaisseur totale du revêtement métallique déposé sur le support. De manière particulièrement avantageuse, le rapport e3/e2 est de l'ordre de 15. 25 Selon un mode de réalisation particulièrement avantageux, le revêtement métallique est à base d'or et de chrome, du chrome étant présent au moins au niveau de l'interface entre le revêtement métallique et le support, et de l'or étant présent au moins au niveau de la surface externe du revêtement métallique. 30 Par ce procédé particulier, la présente invention permet d'obtenir un matériau revêtu dont le revêtement est à base d'or et de chrome, du chrome étant présent au moins au niveau de l'interface entre le revêtement et le support, et de l'or étant présent au moins au niveau de la surface externe du revêtement. Le traitement thermique de la première couche métallique d'accroche est effectué 35 dans des conditions telles que du chrome soit présent à l'interface du support et de la couche métallique mixte d'accroche, ceci afin de garantir les propriétés d'adhérence de la couche métallique mixte d'accroche au support. De préférence, à cette interface le chrome est présent à plus de 90%. Le traitement thermique de la deuxième couche métallique d'accroche est effectué dans des conditions telles que de l'or soit présent en surface externe de la couche métallique mixte d'accroche, ceci afin de garantir les propriétés d'adhérence de la couche métallique de couverture à la couche métallique mixte d'accroche. L'étape (c) du procédé est conduite dans des conditions telles que de l'or soit présent en surface externe du revêtement, ceci afin de garantir les propriétés de rugosité moyenne surfacique de cette couche et les propriétés électriques globales du matériau revêtu. De préférence, à la surface du revêtement, l'or est présent à plus de 900/0. De préférence, la température de l'étape (a) est supérieure à 80 °C et inférieure à 600 °C, et préférentiellement comprise de 100 °C à 400 °C. De préférence, la température de l'étape (b) est supérieure à la température permettant la diffusion de l'or dans le chrome (ou le titane), typiquement supérieure à 80°C et inférieure à 600°C. Durant l'étape (b), la température est de préférence comprise entre 100 °C et 400 °C. Généralement, les températures des étapes (a) et (b) de dépôts des couches métalliques d'accroche sont différentes, mais peuvent également être identiques. De préférence, la température de l'étape (c) est inférieure à 80°C, préférentiellement inférieure à 50°C, voire inférieure à 20°C, voire inférieure à 0°C, voire inférieure à -60°C. Le dépôt de la couche métallique de couverture à une température relativement basse, par rapport aux températures usuellement employées pour le dépôt des couches métallique d'accroche, permet d'obtenir une faible rugosité du revêtement métallique. La température de l'étape (c) est inférieure à la température de l'étape (a). De préférence, la solidarisation de la première couche métallique d'accroche au support est effectuée par un traitement thermique à une température comprise entre 80 °C et 600°C et pendant une durée comprise entre 15 minutes et 4 heures.35 Selon un autre aspect de l'invention, la présente invention a pour objet les matériaux comprenant un support à base de silice et un revêtement métallique, susceptibles d'être obtenus par le procédé susmentionné. La présente invention permet en particulier d'obtenir des matériaux revêtus par un revêtement métallique présentant à la fois une faible rugosité moyenne et une bonne résistance à la rayure. Typiquement, dans un matériau revêtu du type obtenu selon le procédé précité, la rugosité moyenne du revêtement métallique est inférieure à 4 nm, de préférence inférieure à 2 nm et préférentiellement inférieure à 1 nm. Par ailleurs, une bonne résistance à la rayure désigne l'adhérence au support et la stabilité du revêtement lors d'un test de délaminage par un papier adhésif, ou lors du frottement du revêtement par un chiffon. Un test systématique des matériaux revêtus met par ailleurs en évidence une résistance à la rayure à une pression minimum de 1200 MPa. Par ailleurs, le revêtement métallique d'un matériau susceptible d'être obtenu selon l'invention est stable lorsque le matériau est mis en contact avec un solvant compris parmi le groupe consistant en eau, éthanol, acétone, toluène, dichlorométhane, butan-2- one. Par « stabilité vis-à-vis de solvants », on entend que l'application de solvants sur le revêtement ne modifie pas sa structure, celui-ci restant inchangé et solidaire au support sur lequel il a été déposé. En général, le revêtement est également « stable chimiquement », à savoir qu'il ne s'oxyde pas et ne se dissout pas au contact de solvants. Ces propriétés sont particulièrement intéressantes dans le domaine des biotechnologies, notamment pour la préparation de biocapteurs à ADN (capteurs, biocapteurs, puces à ADN). De manière générale, pendant et après l'étape (c), le support revêtu est conservé à une température inférieure à la température de diffusion du chrome (ou du titane) dans le revêtement et dans le support, de préférence inférieure à 80 °C, et plus préférentiellement inférieure à 50°C. La présente invention concerne également l'utilisation du matériau susceptible d'être obtenu par le procédé susmentionné à titre de capteur, de biocapteur, de biopuce, de support transparent et/ou réflecteur ou pour la constitution de dispositifs électroniques. Les matériaux tels qu'obtenus selon le procédé précédemment décrit peuvent notamment être utilisés dans les domaines de la micro-électronique, des systèmes embarqués, de l'électronique spatiale, de l'optique et des biotechnologies. Dans le domaine des biotechnologies et des nanoparticules, des revêtements de rugosité moyenne inférieure à 1 nm sont particulièrement intéressants. La possibilité de déposer une fine couche métallique sur les supports permet de conserver leurs propriétés de transparence ou de réflexion. De manière générale, en raison des épaisseurs nanométriques du revêtement déposé, les propriétés optiques et mécaniques du matériau revêtu sont similaires, ou très peu modifiées par rapport à celles du support à l'état non revêtu. Dans le domaine particulier des biotechnologies, une lame de verre (ou un support en silicium oxydé) sur laquelle est déposé un revêtement métallique selon la présente invention, peut faire l'objet d'un recyclage après usage et d'une réutilisation, notamment par le biais d'un lavage par un solvant compatible. D'une manière générale, l'adhérence améliorée du revêtement au support entraîne une meilleure durabilité et longévité des composants et dispositifs utilisant de tels matériaux revêtus. La présente invention concerne aussi l'utilisation du procédé susmentionné pour le revêtement de pièces d'horlogerie, de bijouterie ou de décoration, lesdites pièces étant employées à titre de support dans ledit procédé. La présente invention vise également les domaines de la décoration où le dépôt de couches fines de métaux avec une bonne adhérence est particulièrement recherché. 25 L'invention sera encore davantage illustrée au vu de l'exemple qui suit, qui décrit la préparation d'un support revêtu spécifique selon l'invention, et qui est donné en référence aux Figures 1 à 4, sur lesquelles : la Figure 1 est une représentation schématique d'un support revêtu d'une première 30 couche métallique d'accroche tel qu'obtenu à l'issue de l'étape (a) du procédé selon l'invention ; la Figure 2 est une représentation schématique de l'objet de la Figure 1 revêtu d'une deuxième couche métallique d'accroche tel qu'obtenu à l'issue l'étape (b) du procédé selon l'invention ; la Figure 3 est une représentation schématique de l'objet de la Figure 1 revêtu d'une couche métallique mixte d'accroche tel qu'obtenu à l'issue du traitement thermique selon l'invention ; la Figure 4 est une représentation schématique de l'objet de la Figure 3 revêtu d'une couche métallique de couverture tel qu'obtenu à l'issue de l'étape (c) du procédé selon l'invention. EXEMPLE Le dépôt du revêtement a été réalisé selon le protocole suivant : 1. Dépôt d'une première couche d'accroche Un support 10 (une lame de verre de dimension 2 cm x 2 cm x 1 mm et de rugosité moyenne 0,8 nm), est introduit dans la chambre de dépôt d'un évaporateur thermique sous vide. La lame de verre 10 est portée à une température de 200°C sur une période de 15 minutes, puis une première couche métallique d'accroche 20 constituée de chrome est déposée sur cette lame de verre. Cette première couche d'accroche possède une épaisseur de 7 nm. Le support revêtu obtenu à l'issue de cette étape est représenté sur la Figure 1. 20 2. Dépôt d'une deuxième couche d'accroche Sur la première couche métallique d'accroche 20 est déposée une deuxième couche métallique d'accroche 30 constituée d'or. Cette deuxième couche d'accroche est déposée à une température de 190°C et possède une épaisseur de 3 nm. 25 Le support modifié obtenu à l'issue de cette étape est représenté sur la Figure 2. 3. Traitement thermique La lame de verre 10 revêtue de la première couche métallique d'accroche 20 et de la deuxième couche métallique d'accroche 30 est ensuite maintenue à une température 30 de 200°C pendant une heure. La structure de deux couches métalliques est modifiée ce par quoi on obtient une conversion des couches d'accroche 20 et 30 en la couche d'accroche mixte 40, telle que représentée sur la Figure 3. Dans les conditions mises en ceuvre, du chrome est toujours présent à l'interface 41 entre la lame de verre et la couche d'accroche mixte, et de l'or est toujours présent à la 35 surface externe 42 de la couche d'accroche mixte. 4. Dépôt d'une couche métallique de couverture La lame de verre 10 revêtue de la couche mixte d'accroche, initialement à 200°C, est ensuite progressivement portée à une température de 20°C. Une fois la température de 20°C atteinte, une couche métallique de couverture 50 constituée d'or est déposée sur la couche mixte d'accroche. Cette couche métallique de couverture possède une épaisseur de 20 nm. On a ainsi obtenu un support revêtu tel que représenté sur la Figure 4, qui comprend à titre de revêtement 60, l'ensemble de la couche métallique mixte d'accroche 40 et de la couche métallique de couverture 50. L'ensemble du revêtement 60 et du support 10 constitue le support revêtu 70. Le support revêtu 70 présente une rugosité moyenne de 0,9 nm. Le revêtement métallique est adhérent au support (passage d'un chiffon et arrachage d'un papier adhésif). Le support revêtu 70 constitue un exemple typique d'un support porteur d'un revêtement de faible rugosité moyenne surfacique et adhérent au support selon l'invention. 20 A titre d'exemple comparatif, un support revêtu a été préparé selon les conditions suivantes : dépôt d'une première couche métallique d'accroche de chrome de 7 nm d'épaisseur déposée à 300°C, puis dépôt d'une couche de couverture d'or de 20 nm déposée à 40 °C. La rugosité moyenne du support revêtu obtenu est de 4,2 nm.15 REVENDICATIONS1. Procédé de dépôt d'un revêtement métallique (60) sur un support (10) à base de silice, comprenant les étapes suivantes : (a) on dépose sur le support (10) une première couche métallique d'accroche (20) comprenant du chrome, de préférence par évaporation thermique sous vide ; (b) on dépose sur la première couche métallique d'accroche (20) une deuxième couche métallique d'accroche (30) comprenant au moins un métal compris parmi le groupe consistant en l'or, le platine et le cuivre, de préférence par évaporation thermique sous vide, à une température supérieure à la température permettant la diffusion de l'or, du platine ou du cuivre dans le chrome ; (c) on dépose sur la deuxième couche métallique d'accroche (30) une couche métallique de couverture (50) comprenant au moins le métal compris dans la deuxième couche métallique d'accroche (30), de préférence par évaporation thermique sous vide, à une température inférieure à la température permettant la diffusion de l'or, du platine ou du cuivre dans le chrome, l'ensemble des deux couches métalliques d'accroche (20) et (30) et de la couche métallique de couverture (50) constituant le revêtement métallique (60) ; et où on effectue avant l'étape (c), et éventuellement simultanément : après l'étape (a) et avant l'étape (b), un traitement thermique du support revêtu de la première couche métallique d'accroche permettant que cette couche devienne adhérente au support, et/ou après l'étape (b) et avant l'étape (c), un traitement thermique du support revêtu des première et deuxième couches métalliques d'accroche permettant que la première couche métallique d'accroche devienne adhérente au support et que la deuxième couche métallique d'accroche devienne adhérente à la première couche métallique d'accroche ; ce par quoi on obtient un matériau revêtu (70) par un revêtement métallique (60) présentant : une rugosité moyenne inférieure à 4 nm, de préférence inférieure à 2 nm et préférentiellement inférieure à 1 nm ; et une résistance à la rayure à une pression minimum de 1200 MPa. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel le revêtement métallique (70) présente une épaisseur totale inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 50 nm, avantageusement inférieure à 40 nm et préférentiellement inférieure à 30 nm. 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, dans lequel le rapport e,/e2 de l'épaisseur e, de la première couche métallique d'accroche (20) sur l'épaisseur e2 de la deuxième couche métallique d'accroche (30) est supérieur ou égal à 0,4 et inférieur ou égal à4. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel le rapport d'épaisseurs e3/e2 de l'épaisseur e3 de la couche métallique de couverture (50) sur l'épaisseur e2 de la deuxième couche métallique d'accroche (30) est supérieur à 5 et par exemple compris entre 5 et 30. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel le revêtement métallique (70) est à base d'or et de chrome, du chrome étant présent au moins au niveau de l'interface entre le revêtement métallique (70) et le support (10), et de l'or étant présent au moins au niveau de la surface externe du revêtement métallique (70). 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la température de l'étape (a) est supérieure à 80°C et inférieure à 600°C. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel la température de l'étape (b) est supérieure à la température permettant la diffusion de l'or dans le chrome, de préférence supérieure à 80°C, et inférieure à 600°C. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel la température de l'étape (c) est inférieure à 80°C. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel la solidarisation de la première couche métallique d'accroche (20) au support (10) est effectuée par un traitement thermique à une température comprise entre 80°C et 600°C et pendant une durée comprise entre 15 minutes et 4 heures. 35 10. Matériau comprenant un support (10) à base de silice et un revêtement métallique (70), susceptible d'être obtenu par le procédé de l'une quelconque des revendications 1 à 9. 11. Utilisation d'un matériau selon la revendication 10 à titre de capteur, de biocapteur, de biopuce, de support transparent et/ou réflecteur ou pour la constitution de dispositifs électroniques. 12. Utilisation d'un matériau selon la revendication 10 pour le revêtement de pièces d'horlogerie, de bijouterie ou de décoration, lesdites pièces étant employées à titre de support dans ledit procédé.