Brevet FR2977369A1 — publié le 20130104

PROCEDE D'HYBRIDATION FLIP-CHIP POUR LA FORMATION DE CAVITES HERMETIQUES ET SYSTEMES OBTENUS PAR UN TEL PROCEDE DOMAINE DE L'INVENTION L'invention a trait au domaine de la connexion de deux composants selon la technique d'hybridation face contre face, mieux connue sous l'expression anglo-saxonne « flip chip ». 10 L'invention trouve ainsi particulièrement application dans les assemblages dits «puce sur puce », « puce sur wafer » et « wafer sur wafer ». ÉTAT DE LA TECHNIQUE 15 L'hybridation « flip-chip » est usuellement utilisée pour assembler deux composants microélectroniques fabriqués indépendamment l'un de l'autres, mais fonctionnant de manière complémentaire, comme par exemple une matrice d'éléments unitaires de détection et son circuit de lecture, le plus généralement en réalisant des connexions électro-mécaniques par billes de soudures ou par insertion d'inserts en métal dur dans des 20 plots métalliques ductiles. Cette hybridation est souvent complétée par le remplissage de l'espace entre les deux composants hybridés par un matériau de protection, usuellement une résine epoxy, cette opération étant connue sous le nom d'« underfiling ». 25 Le matériau de remplissage permet en effet d'absorber les écarts de dilations thermiques des premier et second composants électroniques qui ne présentent généralement pas le même coefficient de dilation thermique, de protéger les interconnexions entre ces deux composants d'un environnement qui leur est défavorable, comme un environnement 30 humide par exemple, et de fournir une protection mécanique contre les chocs et les vibrations. Si le matériau de remplissage est donc avantageux à plus d'un titre, il n'est cependant pas applicable à tout type de composants hybridés. En effet, l'un des composants ou les deux 35 composants peuvent également présenter sur leur face des circuits électroniques ne pouvant pas fonctionner s'ils sont noyés dans le matériau de remplissage. On peut par exemple citer les puces électroniques en générale, et les circuits de détection de lumière en particulier, comme les détecteurs bolométriques, ou les circuits de type MEMS (pour5 l'acronyme anglo-saxon «Micro Electro Mecanical Systems »), ou encore certaines connexions électriques. En outre, certains circuits requièrent spécifiquement une pression réduite ou le vide pour pouvoir fonctionner, comme par exemple les détecteurs bolométriques qui nécessitent un environnement très peu conducteur de la chaleur. Dans de tels cas, l'opération d« EXPOSE DE L'INVENTION L'un des objets de la présente invention est de proposer un procédé d'assemblage de deux composants microélectroniques qui permette à la fois la réalisation d'une opération d'« underfiling» et la création de cavités hermétiques noyées dans le matériau de remplissage utilisé pour l'« underfiling ». A cet effet, l'invention concerne un procédé de fabrication d'un ensemble microélectronique comprenant au moins un premier et un second composants micro-électroniques reportés l'un sur l'autre et entre lesquels est réalisée au moins une cavité hermétique, noyée dans un matériau de remplissage, le procédé consistant : à définir ladite cavité au moyen d'une paroi latérale constituant un cadre fermé s'étendant autour d'une zone déterminée du premier composant à l'exception d'une ouverture faisant fonction d'évent ; à ménager au sein du cadre fermé et en regard de l'évent un obstacle apte à constituer 25 en coopération avec la paroi latérale une canalisation ou conduite de dérivation pour le matériau de remplissage ; à hybrider face contre face les premier et second composants, une face du second composant reposant sur l'extrémité ou bord supérieur de la paroi latérale formée sur le premier composant de manière à former ladite au moins une cavité ; 30 à injecter le matériau de remplissage sous forme liquide entre les deux composants hybridés de manière à noyer ladite au moins une cavité et à rendre celle-ci hermétique par obstruction de l'évent en suite de la solidification dudit matériau de remplissage. Selon l'invention, la longueur de la canalisation ou conduite de dérivation est supérieure 35 à la distance parcourue par le matériau de remplissage entre le moment de la présentation de ce dernier au niveau de l'évent et le moment de la solidification du matériau de remplissage. Le terme « latéral » se rapporte ici à la direction perpendiculaire aux faces rapportées l'une sur l'autre des premier et second composants. Le terme « liquide » se rapporte ici à une phase d'un matériau dans laquelle ce dernier 5 peut s'écouler pour remplir l'espace entre les premier et second composants, le matériau pouvant présenter diverses viscosités en fonction de l'application choisie. En d'autres termes, une cavité est créée en réalisant tout d'abord une « enceinte » extérieure ouverte uniquement au niveau d'un évent qui communique avec la cavité à 10 l'aide d'une conduite de dérivation. La canalisation ou conduite de dérivation remplit deux fonctions : la première fonction, en combinaison avec l'évent, est de laisser la cavité communiquer avec l'extérieur lors de l'opération d'hybridation « flip-chip ». En 15 absence de cette communication, c'est-à-dire si la paroi latérale définissant la cavité est entièrement fermée, et donc démunie d'évent, et si l'hybridation « flip-chip » n'est pas réalisée sous vide, le report du second composant sur le premier composant peut conduire à une surpression dans la cavité, ce qui fragiliserait mécaniquement l'ensemble hybridé et/ou compromettrait le fonctionnement de certains circuits 20 comme les détecteurs bolométriques et les circuits à base de MEMS (pour «Micro-Electro Mechanical System »). Ensuite, lors de certaines hybridations « flip-chip », il est mis en oeuvre un flux de désoxydation pour garantir la qualité des interconnexions électriques, ce qui nécessite de pouvoir évacuer certains dégagement de gaz acides dans la cavité une fois ces interconnexions réalisées, et donc d'avoir un accès aux 25 cavités. la seconde fonction est de prévenir la pénétration du matériau de remplissage dans les cavités. En effet, une conduite de dérivation rallonge le parcours du matériau de remplissage entre l'évent et l'intérieur de la cavité, ce qui laisse donc le temps audit matériau de se solidifier en raison du délai d'écoulement du matériau liquide dans la 30 conduite. Il est d'ailleurs à noter que l'opération d« Enfin, on comprendra que la forme et la longueur de la conduite de dérivation peuvent être multiples et peuvent être optimisées en fonction, notamment, de la vitesse d'écoulement du matériau de remplissage liquide, et donc de sa viscosité, de sa durée de solidification ou de l'instant de déclenchement de celle-ci. Il est également possible de définir des conduites de dérivation suffisamment longue pour s'assurer que le matériau de remplissage ne pénètre pas dans la cavité avant d'être stoppé par solidification. On comprendra également que l'hybridation des composants et l'injection de matériau de remplissage ne sont pas nécessairement réalisées dans cet ordre, le matériau de remplissage pouvant par exemple être déposé sur le premier composant avant le report du second composant, puis le second composant reporté. Selon un mode particulier de réalisation de l'invention, la constitution de la au moins une cavité résulte de la réalisation sur la face dudit premier composant : - d'une paroi latérale externe formant un cadre fermé à l'exclusion d'un premier évent ; - et d'une paroi latérale interne par rapport au cadre ainsi réalisé, définissant une conduite de dérivation entre le premier évent et ladite zone. En d'autres termes, selon cette forme de réalisation, la canalisation ou conduite de 25 dérivation est définie par deux cadres concentriques, ou à tout le moins dans lequel l'un est circonscrit dans l'autre. Selon un autre mode de réalisation particulier, les parois latérales externe et interne associées à chacune d'au moins une partie ou de la totalité des cavités forment un 30 ensemble d'au moins deux cadres imbriqués autour de la cavité et fermés à l'exclusion d'un évent par cadre, l'évent d'un cadre étant agencé à l'opposé de l'évent du cadre le plus proche le contenant. Cet agencement permet de réduire la surface occupée par la dérivation, tout en ayant des parois latérales définissant une ensemble sensiblement symétrique sur le pourtour de la cavité, impliquant que les contraintes exercées sur celle- 35 ci sont symétriques et s'exercent de manière uniforme lors d'un cycle thermique. Selon un autre mode de réalisation, les parois latérales externe et interne associées à chacune d'au moins une partie ou de la totalité des cavités forment une conduite en spirale ouverte vers la cavité par un deuxième évent. Pour une même surface de propagation, ce mode de réalisation permet de multiplier par deux le temps de propagation, par exemple par rapport au mode de réalisation précédent. Selon un mode de réalisation de l'invention, le matériau de remplissage sous forme liquide est un polymère réticulable, par exemple par chauffage ou irradiation, la solidification étant réalisée par réticulation dudit polymère. Notamment, pour un polymère réticulable par irradiation, par exemple UV, la solidification est ainsi très rapide et permet de stopper de manière contrôlée la progression du matériau de remplissage en augmentant la fluence du rayonnement UV. De même, pour un polymère réticulable par chauffage, il est possible de stopper de manière contrôlée la progression si une température supérieure à la température minimale de réticulation du polymère est appliquée, par exemple une température supérieure à 100°C pendant 15 minutes pour une résine époxy. Selon un mode de réalisation de l'invention, les premiers évents sont réalisés sensiblement au même endroit dans les cadres externes des cavités, et dans lequel le matériau de remplissage est injecté en une localisation opposée aux premiers évents des cavités. Ainsi, il existe un délai entre l'instant d'injection du matériau de remplissage liquide entre les composants hybridés et l'instant de présentation de ce matériau devant les évents des enceintes ou cadres externes des cavités. Ce délai peut alors être mis à profit pour réaliser des opérations particulières, comme par exemple une mise sous vide, ou un changement de plateforme de travail. Selon un mode de réalisation de l'invention, la longueur des conduites de dérivation est déterminée en fonction de la vitesse d'écoulement du matériau de remplissage sous forme liquide. Ceci permet notamment de minimiser la longueur de la conduite de dérivation, et donc de réduire la surface allouée à chaque cavité et de réduire la quantité de matériau dédiée à la constitution des parois latérales. Selon un mode de réalisation de l'invention, au moins l'injection de matériau de remplissage est réalisée sous une pression réduite, et par exemple sous vide, ce qui permet d'obtenir des cavités sous pression réduite ou sous vide. En variante, l'injection est réalisée sous atmosphère contrôlée, notamment constituée d'un gaz approprié pour le fonctionnement de certains circuits, comme un gaz rare ou un gaz neutre par exemple. L'invention a également pour objet un ensemble microélectronique comprenant des premier et second composants microélécroniques reportés l'un sur l'autre et entre lesquels sont réalisées des cavités hermétiques noyées dans un matériau de remplissage, ledit ensemble étant obtenu conformément à un procédé du type précité. Selon un mode de réalisation, les cavités hermétiques comprennent des circuits microélectroniques, opto-électroniques, optiques, et notamment des éléments sensibles de détection, des puces électroniques, des circuits de type MEMS ou des connectiques électriques. Selon un mode de réalisation, le premier composant microélectronique ou le second composant microélectronique est un capot. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES 15 L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple, et réalisée en relation avec les dessins annexés, dans lesquels des références identiques désignent des éléments identiques ou analogues, et dans lesquels 20 ^ les figures 1 et 2 sont respectivement des vues de dessus et en coupe selon l'axe A-A d'une étape de fabrication de parois latérales sur un substrat comprenant des circuits destinés à être contenus dans des cavités hermétiques, selon l'invention ; ^ la figure 3 est une vue en coupe selon l'axe A-A du report d'un capot sur l'ensemble décrit aux figures 1 et 2 ; 25 ^ les figures 4 et 5 sont respectivement des vues de dessus et en coupe de l'ensemble hybridé une fois une opération d'underfiling réalisée, le capot étant ici montré en transparence sur la figure 4 ; ^ les figures 7 et 8 sont deux exemples de réalisation illustrant deux injections de matériau de remplissage pour l'opération d'underfiling, conformément à l'invention ; 30 ^ la figure 9 est une vue de dessus d'une cavité et de sa conduite de dérivation en présence de matériau de remplissage liquide ; et ^ les figures 10 et 11 sont deux autres modes de réalisation de conduites de dérivation, conformément à l'invention. 10 DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION Il va à présent être décrit en relation avec les figures 1 à 6, un procédé d'un mode de réalisation de l'invention, appliqué à la fabrication collective de circuits MEMS, dans les 5 figures par exemple une matrice de trois par trois circuits MEMS. Un circuit à base de MEMS comporte par exemple un substrat 10 sur lequel ou au dessus duquel sont réalisés des MEMS 12. Les MEMS 12 nécessitent pour leur fonctionnement d'être placés sous pression réduite, sous vide ou sous atmosphère contrôlée. Pour ce faire, 10 les circuits MEMS sont enfermés dans une cavité hermétique. Les circuits MEMS sont bien connus en soi et ne seront pas décrits plus en détail par la suite. On retreindra simplement la nécessité de fournir des cavités hermétiques enrobées dans un matériau de remplissage lors d'une opération dite d'« underfiling ». 15 Comme cela est visible sur les figures 1 et 2, le procédé débute par la formation de parois latérales 14, 16 autour de chaque circuit MEMS 12 de manière à former : ^ un cadre externe 14 fermé à l'exception d'un premier évent 18 ; et ^ un cadre 16, interne par rapport au cadre externe 14, fermé à l'exception d'un second évent 20, le premier évent 18 et le second évent 20 étant placés de part et d'autre du 20 circuit MEMS 12. Le cadre externe 14 et le cadre interne 16 définissent ainsi ensemble une conduite de dérivation 22 que tout liquide doit emprunter lors de sa présentation au niveau du premier évent 18 pour pénétrer, par le deuxième évent 20, dans la zone centrale où est disposé le 25 circuit MEMS 12, rallongeant de fait la distance d'écoulement, et donc le temps mis par le liquide, pour pénétrer cette zone centrale. Le procédé se poursuit par l'hybridation d'un capot 24 individuel pour chaque circuit MEMS 12, de manière à faire reposer le capot 24 sur le bord supérieur des parois 30 latérales 14, 16 et à sceller le capot 24 sur celles-ci. Des cavités 26 sont ainsi formées pour les circuits MEMS 12, qui sont, à cette étape du procédé, hermétiques sauf en ce qui concerne les premiers évents 18 (figure 3). Les cadres 14, 16 sont par exemple réalisés en déposant des cordons de matériau de 35 soudure tel qu'utilisé dans les interconnexions électromécaniques par billes de soudure, par exemple de l'indium. L'hybridation des capots 24 met alors par exemple en oeuvre une thermocompression ou une refusion pour solidariser le capot aux parois latérales 14, 16 et ainsi sceller hermétiquement les cavités contenant les circuits MEMS 12. 7 En variante, les capost 24 sont par exemple munis d'inserts métalliques pleins ou creux venant s'insérer dans les cordons réalisés en un matériau ductile et déposés sur le substrat 10, de manière à opérer le scellement des capots 24. En fonction de l'application, les capots 24 peuvent également réaliser des interconnexions électriques avec les circuits MEMS 12 d'une manière connue en soi. Le procédé se poursuit alors par une étape d'« underfiling» (figures 4 et 5). Un matériau de remplissage 28 sous forme liquide, avantageusement un polymère réticulable, par exemple une résine époxy réticulable dans une étuve de réticulation, est injecté entre le substrat 10 et les capots 24. Le matériau de remplissage 28 s'écoule alors pour remplir entièrement l'espace entre les composants 10, 24 et la solidification dudit matériau 28 est obtenue avant tout pénétration de celui-ci dans les cavités 26. Lesdites cavités sont ainsi enrobées par le matériau de remplissage 28. En outre, ce matériau 28 bouche les premiers évents 18 rendant les cavités 26 complètement hermétiques. En variante, le matériau de remplissage est déposé sous forme liquide sur le composant 10 avant le report des capots 24, puis ces derniers sont reportés sur les parois 14, 16 au droit des circuits MEMS 12 de manière à ce que le matériau de remplissage soit pris en sandwich entre le composant 10 et les capots 24 afin de permettre une progression par capillarité. Sur l'exemple de la figure 6, le matériau de remplissage 28 est injecté, avant ou après le report des capots 24, entre les composants hybridés 10, 24 sous forme d'une goutte pour chaque cavité 26 à l'opposé du premier évent 18 de celle-ci. Le matériau de remplissage 28 progresse alors entre les composants hybridés 10, 24 par capillarité. Il va être décrit à présent en relation avec la figure 7 la manière dont est choisie la longueur d'une conduite de dérivation 22 associée à une cavité 26. Comme décrit sur cette figure, le matériau de remplissage 28 s'écoule par capillarité depuis son ou ses emplacements d'injection jusqu'à atteindre le premier évent 18 de la cavité 26, comme cela est illustré par les flèches. Le liquide de remplissage 28 migre alors par capillarité à la vitesse V dans la conduite de dérivation 22. La vitesse V est déterminée par les dimensions de la section S de la conduite 22, la viscosité g du matériau de remplissage 28 et la température T de celui-ci. On notera que cette vitesse est aisément calculable ou mesurable sur un dispositif de test pour la conduite, le matériau et la température considérés. Notamment, lorsque ces trois paramètres sont constants, la vitesse V d'écoulement dans la conduite 22 est constante. Ainsi, si L_ est la longueur de la conduite 22 entre le premier évent 18 et le deuxième évent 20, le matériau de remplissage atteint le deuxième évent 20 tmig = L secondes après V avoir pénétré par le premier évent 18 si rien n'est mis en oeuvre pour le solidifier. Connaissant par ailleurs la durée nécessaire tsolid pour solidifier complètement le matériau de remplissage, la longueur de la conduite est par exemple choisie de manière à ce que tsolid tsolid xV. On notera qu'il est également possible de régler le temps de migration tmig en réglant la section S de la conduite et/ou la viscosité g du matériau de remplissage 28. Il est également possible de régler les dimensions de la conduite 22 en fonction de la durée nécessaire à la solidification du matériau de remplissage. Notamment, des conduites 22 plus courtes et/ou de plus faible section peuvent être choisies si le matériau de remplissage 28 se solidifie plus rapidement. Il a été décrit un exemple de réalisation particulier selon lequel la conduite de dérivation 22 est réalisée à l'aide de deux cadres imbriqués l'un dans l'autre. Bien entendu d'autres modes de réalisation sont possibles. Notamment, plus de deux cadres peuvent être imbriquées l'un dans l'autre comme par exemple illustré à la figure 8, dans laquelle trois cadres 14, 16, 30 sont imbriqués l'un dans l'autre avec l'évent d'un cadre positionné à l'opposé de l'évent du cadre directement externe. Ainsi, plus il y de cadres, plus la conduite de dérivation définie par les cadres est longue et plus on dispose de temps entre le moment où le matériau de remplissage est déposé et le moment où le capot est reporté, ce qui présente un avantage lorsqu'on hybride plus d'une centaine de circuits. En effet, lorsqu'un certain nombre de circuits doit être hybridé, il s'écoule un temps « tpd » entre le dépôt de colle sur la première puce et le dépôt de colle sur la dernière puce. On doit s'assurer que la colle reste dans le canal de dérivation, et n'atteigne pas la cavité aussi bien pour la dernière que pour la première puce, cette dernière « voyant » la colle progresser pendant un temps plus long ( = tpd). De même, comme illustré à la figure 9, une seule paroi 34 enroulée en spirale peut être utilisée pour former le cadre externe et la conduite de dérivation, ce qui permet de former une conduite de dérivation longue sur un minimum de surface.35 Il a été décrit une application d'un procédé selon l'invention à la fabrication collective de circuits MEMS. Bien entendu, l'invention s'applique à d'autres types de circuits nécessitant d'être enfermés dans des cavités hermétiques. Par exemple, les circuits peuvent être des circuits de détection infrarouge de type IRCMOS, ou plus généralement tout type d'optiques hermétiques, des détecteurs de gaz, des mini-afficheurs de type OLED, LCD ou autres, des bio-chips, des imageurs ou des émetteurs toutes longueurs d'ondes, des imageurs infrarouge refroidis ou non refroidis, etc... A titre d'exemple numérique, pour une résine époxy de viscosité égale à 2500 cps à une température ambiante de 20°C, et pour une section S constante de la conduite de dérivation égale à 350 micromètres carrés, la vitesse V a été mesurée égale à 0,5 millimètre par minute. La durée de solidification complète de cette résine époxy est d'environ 30 minutes dans une enceinte de réticulation à 8o°C. En choisissant une longueur de conduite L supérieure à tsottd xV = 15 mm, la résine époxy est solidifiée dans les conduites de dérivations 22 avant d'avoir atteint le deuxième évent 20, c'est-à-dire les cavités hermétiques contenant les circuits. Pour une matrice de circuits de type précité sensiblement carré et de côté égal à 7,5 millimètres, ce qui correspond par exemple à un circuit de détection de type IRCMOS équipé d'une matrice de 500 éléments unitaires de détection par 500 éléments unitaires de détection au pas de 15 micromètres, on choisit des parois latérales hautes de 7 micromètres, et espacée de 50 micromètres, une section S de 350 micromètres carrés est ainsi définie pour les conduites de dérivation 22. Dans le mode de réalisation comportant deux cadres imbriqués, comme par exemple illustré de la figure 7, la longueur L est égale à L = 2a - e lorsque les cadres externe 14 et interne 16 sont carrés de côté égal à a avec des premier et second évents de largeur égale à e. En choisissant des carrés de côtés égaux à Io millimètres avec des évents de 2 millimètres, le matériau est stoppé dans la conduite 22 avant de pénétrer dans la cavité 26 puisque la longueur de la conduite est égale à 18 millimètres, soit une distance supérieure aux 15 millimètres que la résine époxy peut parcourir au maximum avec sa solidification complète. Dans le mode de réalisation comportant une paroi latérale 34 enroulée en spirales carrées de manière à faire deux tours, avec un côté de longueur égale à Io millimètres, la longueur de la conduite est égale à 40 millimètres, soit encore une longueur bien supérieure aux 15 millimètres précités. Il a été décrit le report de plusieurs capots individuels. Bien entendu, l'invention s'applique également au report d'un seul capot formé d'une seule pièce. En outre, il a été décrit une seule étape de dépôt du matériau de remplissage. En variante, le matériau de remplissage est déposé en plusieurs fois, à savoir un premier dépôt pour réaliser les cavités hermétiques, et une ou plusieurs autres dépôts consécutifs pour remplir totalement l'espace entre les composants hybridés si le premier dépôt ne réalise pas le remplissage complet de cet espace. En outre, la quantité de matériau de remplissage peut également être choisie pour ne pas remplir entièrement l'espace entre les composants hybridés, mais uniquement un volume autour des cavités, ce qui est avantageux si les cavités sont ensuite individualisées car une quantité minimum de matériau de remplissage est utilisée. REVENDICATIONS1. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique comprenant au moins un premier (10) et un second (24) composants microélécroniques reportés l'un sur l'autre et entre lesquels est réalisée au moins une cavité hermétique (26) noyée dans un matériau de remplissage (28), consistant : à définir ladite cavité au moyen d'une paroi latérale (14) constituant un cadre fermé s'étendant autour d'une zone déterminée du premier composant (10) à l'exception d'une ouverture faisant fonction d'évent (18) ; à ménager au sein du cadre fermé et en regard de l'évent un obstacle (16) apte à constituer en coopération avec la paroi latérale une canalisation ou conduite de dérivation (22) du matériau de remplissage ; à hybrider face contre face les premier (10) et second (24) composants, une face du second composant reposant sur l'extrémité ou bord supérieur de la paroi latérale formée sur le premier composant de manière à former ladite au moins une cavité (26) ; à injecter le matériau de remplissage (28) sous forme liquide entre les deux composants hybridés de manière à noyer ladite au moins une cavité et à rendre celle-ci hermétique par obstruction de l'évent (18) en suite de la solidification dudit matériau de remplissage (28) ; la longueur de la canalisation ou conduite de dérivation (22) étant supérieure à la distance parcourue par le matériau de remplissage (28) entre le moment de la présentation de ce dernier au niveau de l'évent (18) et le moment de la solidification du matériau de remplissage. 2. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la constitution de la au moins une cavité (26) résulte de la réalisation sur la face dudit premier composant (10) : d'une paroi latérale externe (14) formant un cadre fermé à l'exclusion d'un premier évent (18) ; et d'une paroi latérale (16), interne par rapport au cadre ainsi réalisé, définissant une conduite de dérivation (22) entre le premier évent et ladite zone. 3. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique selon la revendication 2, dans lequel les parois latérales externe (14) et interne (16 ; 16, 30) associées à chacune d'au moins une partie ou de la totalité des cavités (26) forment un ensemble d'au moins deux cadres imbriqués autour de la cavité (26) et fermés à l'exclusion d'un évent (18, 20 ; 18, 20, 32) par cadre, l'évent d'un cadre étant agencé à l'opposé de l'évent du cadre le plus proche le contenant. 4. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique selon l'une des revendications 2 ou 3, dans lequel les parois latérales externe et interne (34) associées à chacune d'au moins une partie ou de la totalité des cavités (26) forment une conduite en spirale ouverte en direction de la cavité par un deuxième évent. 5. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le matériau de remplissage (28) sous forme liquide est un polymère réticulable, la solidification étant réalisée par réticulation dudit polymère. 10 6. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les premiers évents (18) sont réalisés sensiblement au même endroit dans les cadres externes des cavités (26), et dans lequel le matériau de remplissage (28) est injecté en une localisation 15 opposée auxdits premiers évents (18) de chacun des cavités. 7. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la longueur des conduites de dérivation (22) est déterminée en fonction de la vitesse d'écoulement du 20 matériau de remplissage (28) sous forme liquide. 8. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel au moins l'injection du matériau de remplissage (28) est réalisée sous pression réduite, sous vide ou sous 25 atmosphère contrôlée. 9. Procédé pour la fabrication d'un ensemble microélectronique selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel ladite zone est destinée à recevoir un composant électronique, optique, opto-électronique ou un MEMS. 30 10. Ensemble microélectronique comprenant des premier et second composants microélectroniques reportés l'un sur l'autre et entre lesquels sont réalisées des cavités hermétiques (26) noyées dans un matériau de remplissage (28), ledit ensemble étant obtenu conformément au procédé selon l'une quelconque des 35 revendications précédentes. 5 11. Ensemble microélectronique selon la revendication 10, dans lequel les cavités hermétiques (26) comprennent des circuits microélectroniques, notamment des éléments sensibles de détection, des circuits de type MEMS ou des connectiques électriques. 12. Ensemble selon la revendication 10 ou 11, dans lequel le premier composant microélectronique ou le second composant microélectronique est un capot.