Brevet FR2967713A1 — publié le 20120525

MICROSYSTEMES DE COMPRESSION OU DE TRANSFORMATION D'UNE DIFFERENCE DE PRESSIONS EN DEPLACEMENT [ooli L'invention concerne un microsystème de transformation d'une différence de pressions dans un fluide en un déplacement mécanique et un microsystème de compression d'un fluide. [002] Les microsystèmes sont, par exemple, des MEMS (Micro-ElectroMechanical Systems). Ces microsystèmes diffèrent des systèmes mécaniques macroscopiques en outre par leur procédé de fabrication. Ces microsystèmes sont réalisés en utilisant les mêmes procédés de fabrication collectifs que ceux utilisés pour réaliser les puces microélectroniques. Par exemple, les microsystèmes sont réalisés à partir de plaquette en silicium monocristallin ou en verre usinées par photolithographie et gravure (par exemple DRIE (Deep Reactive Ion Etching)) et/ou structurées par croissance épitaxiale et dépôt de matériau métallique. [0031 Grâce à ces procédés de fabrication, les microsystèmes sont petits et présentent généralement des pièces ou parties de pièces usinées dont au moins une des dimensions est d'ordre micrométrique. La dimension d'ordre micrométrique est généralement inférieure à 200 pm et, par exemple, comprise entre 1 et 200 pm. [004] Par exemple, l'ONERA a développé des microturbines pour transformer un écoulement fluidique en déplacement mécanique. Un autre microsystème pour réaliser la même fonction est par exemple divulgué dans la demande WO 03 056 691 ou dans la demande WO 2006/095039. [005] Les microsystèmes divulgués sont capables de transformer une différence de 25 pressions en un déplacement mécanique. Toutefois, ils présentent un certain nombre d'inconvénients. [oosi Certains de ces microsystèmes nécessitent une pièce montée à rotation, généralement appelée rotor. Le rotor tourne par rapport à une autre pièce immobile généralement appelée stator. Le rotor est par exemple une microturbine. Un tel 30 mouvement de rotation du rotor entraîne des pertes par frottement qui peuvent être importantes, ce qui réduit le rendement énergétique du microsystème. Par rendement énergétique, on désigne le rapport entre l'énergie mécanique produite et l'énergie apportée au microsystème sous forme d'un débit de fluide ou d'une différence de pressions. 35 [007] De plus, la réalisation d'un microsystème équipé d'une pièce en rotation est complexe et nécessite souvent l'empilement de nombreuses tranche semi-conductrice ou « Wafer » pour arriver à le fabriquer. [008] Enfin, les microsystèmes connus atteignent un bon rendement énergétique uniquement pour des débits de fluide élevés. Au contraire, pour des débits faibles ou 40 très faibles de fluide, le rendement est dégradé. [oosi Pour remédier à ces inconvénients, le déposant a développé un microsystème de transformation d'une différence de pressions dans un fluide en un déplacement mécanique ou de compression d'un fluide comportant : - une buse d'entrée du fluide et une buse de sortie du fluide, - au moins deux parties dont au moins une est mobile entre lesquelles s'écoule le fluide pour passer de la buse d'entrée à la buse de sortie en déplaçant lesdites parties l'une par rapport à l'autre, ces parties étant conformées de manière à ce que, au cours de leur déplacement, elles définissent au moins une poche de fluide de volume variable qui s'éloigne de la buse d'entrée pour ensuite rejoindre la buse de sortie, - un plan supérieur et un plan inférieur entre lesquels sont interposées lesdites parties, ces plans confinant entre ces parties le fluide qui s'écoule, - chaque partie mobile étant montée déplaçable par rapport à chacun des plans supérieur et inférieur, chaque partie mobile comportant : - une portion distale en porte-à-faux le long de laquelle s'écoule le fluide, et - une portion proximale mécaniquement reliée au plan inférieur ou supérieur par l'intermédiaire d'une articulation permettant uniquement un déplacement en translation de cette portion proximale le long d'une direction longitudinale, et - au moins un renfort, d'un côté, fixé à au moins l'un des plans et, de l'autre côté, fixé ou en appui glissant avec la portion distale de la partie mobile pour limiter sa déformation dans une direction transversale perpendiculaire à la direction longitudinale. [ooloi Ainsi, l'invention a pour objet un microsystème de transformation d'une différence de pressions en un déplacement mécanique qui comporte : - une buse d'entrée du fluide comprimé et une buse de sortie du fluide détendu, - au moins deux parties, dont au moins une est mobile, entre lesquelles s'écoule le fluide pour passer de la buse d'entrée à la buse de sortie en déplaçant les parties l'une par rapport à l'autre, ces parties étant conformées de manière à ce que, au cours de leur déplacement, elles définissent au moins une poche de fluide qui s'éloigne de la buse d'entrée pour ensuite rejoindre la buse de sortie tout en augmentant en même temps de volume, - un plan supérieur et un plan inférieur entre lesquels sont interposées les parties mobiles, ces plans confinant entre ces parties le fluide qui s'écoule, - chaque partie mobile étant montée déplaçable par rapport à chacun des plans 35 supérieur et inférieur, chaque partie mobile comportant : - une portion distale en porte-à-faux le long de laquelle s'écoule le fluide, et - une portion proximale mécaniquement reliée au plan inférieur ou supérieur par l'intermédiaire d'une articulation permettant uniquement un déplacement en translation de cette portion proximale le long d'une direction longitudinale, et - au moins un renfort, d'un côté, fixé à au moins l'un des plans et, de l'autre côté, fixé ou en appui glissant avec la portion distale de la partie mobile pour limiter sa déformation dans une direction transversale perpendiculaire à la direction longitudinale. [0011] Les modes de réalisation de ce microsystème de transformation peuvent comporter la caractéristique suivante : - le microsystème comporte au moins un transducteur apte à convertir l'énergie mécanique produite par le déplacement de la partie mobile en une autre énergie. [oo12] L'invention a également pour objet un microsystème de compression d'un fluide comportant : - une buse d'entrée d'un fluide détendu et une buse de sortie du fluide comprimé, - au moins deux parties dont au moins une est mobile entre lesquelles s'écoule le fluide pour passer de la buse d'entrée à la buse de sortie en déplaçant les parties l'une par rapport à l'autre, ces parties étant conformées de manière à ce que, au cours de leur déplacement, elles définissent au moins une poche de fluide qui s'éloigne de la buse d'entrée pour ensuite rejoindre la buse de sortie tout en diminuant en même temps de volume, - un plan supérieur et un plan inférieur entre lesquels sont interposées les parties 20 mobiles, ces plans confinant entre ces parties le fluide qui s'écoule, - chaque partie mobile étant montée déplaçable par rapport à chacun des plans supérieur et inférieur, chaque partie mobile comportant : - une portion distale en porte-à-faux le long de laquelle s'écoule le fluide, et - une portion proximale mécaniquement reliée au plan inférieur ou supérieur par 25 l'intermédiaire d'une articulation permettant uniquement un déplacement en translation de cette portion proximale le long d'une direction longitudinale, - au moins un actionneur propre à déplacer ces parties mobiles, et - au moins un renfort, d'un côté, fixé à au moins l'un des plans et, de l'autre côté, fixé ou en appui glissant avec la portion distale de la partie mobile pour limiter sa 30 déformation dans une direction transversale perpendiculaire à la direction longitudinale. [0013] Les modes de réalisation de ce microsystème de compression peuvent comporter la caractéristique suivante : - le microsystème comporte au moins un transducteur apte à convertir une 35 énergie extérieure au microsystème en une énergie mécanique permettant le déplacement des parties mobiles. [0014] Les microsystèmes ci-dessus présentent un bon rendement énergétique même pour des débits de fluide très faibles. [0015] De plus, puisque les parties mobiles définissent une poche de fluide qui s'éloigne de la buse d'entrée au cours de son déplacement, il n'est pas nécessaire de prévoir un clapet anti-retour au niveau de la buse d'entrée. [0016] De façon similaire, puisque les parties mobiles définissent une poche de fluide qui est initialement éloignée de la buse de sortie, il n'est pas non plus nécessaire de prévoir un clapet anti-retour au niveau de la buse de sortie. [0017] Le fait que chaque partie mobile soit montée déplaçable par rapport aux plans inférieur et supérieur permet de fabriquer les deux parties mobiles imbriqués l'un dans l'autre simultanément. Il n'est donc plus nécessaire de fabriquer séparément les deux parties mobiles puis de venir les emboîter l'une dans l'autre. [0018] Enfin, le renfort permet de limiter les déformations des portions distales sous l'effet de la pression exercée par le fluide qui s'écoule entre ces portions distales. En effet, dans un microsystème, l'épaisseur des portions distales est faible. Par épaisseur faible, on désigne une épaisseur inférieure à 1 mm et, typiquement, inférieure à 0,5mm ou 250pm. A cause de cette faible épaisseur des portions distales, elles peuvent se déformer de façon importante sous l'effet de la pression exercée par le fluide qui s'écoule. Si la déformation est trop importante dans la direction transversale, l'une des portions distales peut venir bloquer le déplacement de l'autre portion distale en venant en contact mécanique avec cette dernière. Le renfort limite cette déformation transversale et empêche donc le blocage du microsystéme pour des pressions importantes. [0019] Les modes de réalisation de ces microsystèmes peuvent comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : - la portion distale de la partie mobile présente un logement à l'intérieur duquel 25 est reçu le renfort; - le renfort comporte au moins une lame flexible s'étendant principalement dans la direction transversale et dont une extrémité proximale est fixée sans aucun degré de liberté à au moins un des plans supérieur ou inférieur et une extrémité distale est fixée sans aucun degré de liberté à la portion distale de la 30 partie mobile; - le renfort comporte au moins deux lames flexibles symétriques par rapport à un axe parallèle à la direction longitudinale et inclinées du même côté d'un axe parallèle à la direction transverse pour travailler uniquement en traction lors des déplacements de la partie mobile; 35 ^ le renfort comporte au moins un guide fixé sans aucun degré de liberté à au moins un des plans supérieur ou inférieur et s'étendant perpendiculairement à ce plan et la portion distale présente une face plane perpendiculaire à la direction transversale et en appui glissant contre le guide; - les deux parties sont mobiles par rapport aux plans supérieur et inférieur le 40 long de directions longitudinales respectives non-colinéaires; - le microsystème comporte un déphaseur mécanique interposé entre les deux parties mobiles pour introduire un déphasage entre les déplacements de va-et-vient de ces deux parties mobiles; - le microsystème comprend au moins une liaison entre les parties formant avec ces parties un système résonant à une fréquence de résonance, et une unité de commande du déplacement de chaque partie mobile programmée pour asservir la fréquence des mouvements de va-et-vient de chaque partie mobile sur la fréquence de résonance; - la liaison est un ressort dont chaque extrémité est mécaniquement raccordée à une des parties mobiles. [0020] Les modes de réalisation de ces microsystèmes présentent en outre les avantages suivants : - loger le renfort à l'intérieur de la partie mobile permet de limiter l'encombrement du microsystème, - utiliser des lames flexibles pour former les renforts simplifie la fabrication du microsystème car ces lames peuvent être fabriquées en même temps que les parties mobiles, - utiliser deux lames flexibles symétriques l'une de rature permet d'améliorer le guidage de la portion distale et de faire travailler avantageusement ces lames en 20 traction pour éviter un éventuel flambage., - l'utilisation d'un déphaseur mécanique limite la consommation d'énergie du microsystème par rapport au cas où ce déphasage serait uniquement obtenu en commandant des transducteurs électromécaniques, - le fait de travailler à la fréquence de résonance permet de décroître l'énergie 25 consommée. [oo2l] L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins sur lesquels : - la figure 1 est un schéma de principe d'un microsystème de transformation d'une 30 différence de pressions dans un fluide en un déplacement mécanique, - la figure 2 est un graphe montrant le déplacement de parties mobiles du microsystème de la figure 1 en fonction du temps, - la figure 3 est une illustration schématique du fonctionnement du microsystème de la figure 1, 35 - la figure 4 est une illustration schématique d'un mode de réalisation possible du microsystème de la figure 1, - la figure 5 est une représentation schématique d'une seule des parties mobiles du microsystème de la figure 4, - la figure 6 est un organigramme d'un procédé de fabrication du microsystème de la 40 figure 1, - les figures 7 à 9 sont des illustrations schématiques et en coupe de différentes étapes du procédé de fabrication du microsystème de la figure 1, - la figure 10 est une illustration schématique d'un capteur de différence de pressions incorporant le microsystème de la figure 1, - la figure 11 est une illustration en coupe partielle d'une roue incorporant le capteur de la figure 10, - la figure 12 est une illustration schématique et en coupe d'une valve de la roue de la figure 11, - la figure 13 est une illustration schématique d'une pile à combustible incorporant un 10 micromoteur utilisant le microsystème de la figure 1, - la figure 14 est une illustration schématique et en coupe d'une puce électronique incorporant un microsystème de compression similaire au microsystème de la figure 1, et - les figures 15 à 21 sont des illustrations schématiques de différents modes de 15 réalisation possibles d'un renfort du microsystème de la figure 4. [0022] Dans ces figures, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. [0023] Dans la suite de cette description, les caractéristiques et fonctions bien connues de l'homme du métier ne sont pas décrites en détail. 20 [0024] La figure 1 représente un microsystème 2 de transformation d'une différence de pressions dans un fluide en un déplacement mécanique. Le fluide est un fluide compressible. Par exemple, le fluide est un gaz. [0025] Le microsystème 2 comprend une enceinte close 4 fluidiquement raccordée au fluide comprimé par l'intermédiaire d'une buse d'entrée 6 et fluidiquement 25 raccordée au fluide détendu par l'intermédiaire d'une buse de sortie 8. L'enceinte 4 est hermétiquement scellée de manière à ce que le fluide détendu dans cette enceinte ne puisse pas s'échapper par d'autres issues que la buse 8. [0026] A l'intérieur de l'enceinte 4, la buse 6 est fluidiquement raccordée à un détendeur à spirale10. Le détendeur à spirale est également connu sous le terme de 30 détendeur « Scroll ». [0027] Le détendeur 10 est formé de deux parties 12 et 14 mobiles l'une par rapport à l'autre. Les parties mobiles 12 et 14 sont conformées et articulées de manière à ce qu'au cours de leur déplacement sous l'effet du fluide admis par la buse 6, ils définissent au moins une poche de fluide qui s'éloigne de la buse 6 pour ensuite se 35 rapprocher de la buse 8 en augmentant en même temps de volume. Par exemple, chaque partie mobile 12, 14 comporte une portion distale en porte-à-faux, respectivement 16, 17, et une portion proximale, respectivement 20, 21. [0028] Les portions distales 16, 17 sont conformées en spirale et sont imbriquées l'une dans l'autre. Chaque spirale comporte au moins un tour voire plusieurs tours 40 pour définir plusieurs poches de fluide qui se déplacent en même temps de la buse 6 vers la buse 8. Dans ce mode de réalisation, le nombre de tour de chaque spirale est supérieur ou égale à trois. Ici, la portion proximale forme une poutre rectangulaire. [0029] Les parties mobiles 12, 14 sont logées entre un plan inférieur 22 et un plan supérieur 96 (Figure 9) horizontaux. Ces plans s'étendent parallèlement à des directions X et Y orthogonales sur la figure 1. Ces plans inférieur et supérieur retiennent le fluide à l'intérieur des poches entre les parties mobiles 12, 14. Ici, chacune des parties mobiles 12, 14 se déplace par rapport à chacun de ces plans inférieur et supérieur. A cet effet, les parties mobiles 12, 14 sont simultanément en appui plan sur les plans inférieur et supérieur. Il existe donc un jeu entre les plans inférieur et supérieur et les parties mobiles 12, 14. Ce jeu est suffisamment étroit pour limiter les fuites de fluide par son intermédiaire. [0030] Chaque portion proximale 20, 21 est directement mécaniquement raccordée par l'intermédiaire d'articulations, respectivement 24 et 25, au même plan inférieur 22. Les articulations 24 et 25 permettent uniquement un déplacement en translation des portions proximales 20, 21 le long, respectivement, des directions X et Y. [0031] De préférence, les articulations 24 et 25 sont élastiques de manière à ramener automatiquement la portion distale correspondante à une position de repos en absence de sollicitation extérieure. [0032] L'articulation 24 comporte deux liaisons glissières 26A et 26B dont les axes 27 de coulissement sont confondus. L'axe 27 est parallèle à la direction X. [0033] De préférence les liaisons glissières 26A et 26B sont identiques. Ainsi, seule la liaison 26A est décrite plus en détail. [0034] Ici, la liaison glissière 26A est formée de deux lames flexibles 28A, 28B disposées symétriquement par rapport à l'axe 27. De plus, elles s'étendent essentiellement perpendiculairement à l'axe 27. Des extrémités distales de chacune des lames 28A, 28B sont fixées sans aucun degré de liberté à la portion proximale 20. Des extrémités proximales 29A et 29B de ces lames sont ancrées, sans aucun degré de liberté, sur le plan 22. Ces extrémités proximales 29A et 29B forment des points d'ancrage. [0035] Le déplacement de la portion proximale 20 le long de l'axe 27 est rendu possible par la déformation élastique des lames 28A et 28B. A cet effet, la raideur Ky des lames 29A, 29B dans la direction Y est au moins dix fois, et de préférence mille fois, supérieure à la raideur KX de ces lames dans la direction X. [0036] Pour ne pas gêner le déplacement de la portion proximale 20 le long de l'axe 27, le moment d'inertie de cette portion proximale est, typiquement, au moins mille fois supérieur au moment d'inertie de chaque lame 28A, 28B. Par exemple, ceci est obtenu en choisissant l'épaisseur e, des lames 28A, 28B dans la direction X au moins dix fois inférieure à l'épaisseur epp de la portion proximale 20 dans la direction Y. Par exemple, l'épaisseur e, est inférieure ou égale à 50pm et, de préférence, à 20pm tandis que l'épaisseur epp est supérieure à 500pm. La longueur de la portion proximale 20 est typiquement supérieure à 500pm et, de préférence, à I mm. [0037] La combinaison des liaisons glissières 26A et 26B forme ce qui est connu sous le terme de « double-parallèlèlogramme ». [0038] La course du déplacement de la portion proximale 20 le long de l'axe 27 est comprise entre 20 et 100pm. Ici, elle est de l'ordre de 40pm. [0039] Par exemple, les articulations 24 et 25 sont identiques sauf que l'axe de coulissement des liaisons glissières de l'articulation 25 est parallèle à la direction Y. L'articulation 25 n'est pas décrite ici plus en détail. [oo4o] Chaque partie mobile 12, 14 est également mécaniquement raccordée à un transducteur électromécanique respectif 30, 31. Chaque transducteur électromécanique est apte à convertir le mouvement mécanique de la partie mobile en énergie électrique. [0041] Chacun de ces transducteurs 30, 31 est raccordé en sortie à un dispositif 34 de stockage d'énergie électrique. Par exemple, le dispositif 34 est un condensateur. [0042] Ici, les transducteurs 30 et 31 sont des transducteurs électromécaniques commandables de manière à régler la quantité d'énergie mécanique transformée en énergie électrique. Ils remplissent donc également la fonction d'amortisseur commandable. [0043] Ces transducteurs 30 et 31 sont commandés par une unité de commande 36. L'unité 36 est raccordée à des capteurs 38 et 39 d'une grandeur physique représentative de la puissance électrique produite, respectivement, par les transducteurs 30 et 31. Les capteurs 38 et 39 permettent aussi de mesurer la phase de la puissance électrique produite. [0044] Un déphaseur mécanique 40 est mécaniquement raccordé entre les portions proximales 20, 21 des parties mobiles 12 et 14. Ce déphaseur 40 a pour fonction d'aider mécaniquement à la réalisation d'un déphasage de rr/2 radians entre les mouvements d'oscillations (va-et-vient) des parties mobiles 12 et 14. Ici, ce déphaseur 40 est formé d'un ressort 41 mécaniquement raccordé aux portions proximales 20, 21. Par exemple, ce ressort 41 est une lame ressort. Ce ressort 41 forme avec les deux parties mobiles 12 et 14 un système résonant pour une fréquence de résonance. La fréquence de résonance est atteinte quand le déphasage entre les mouvements d'oscillations des parties mobiles 12, 14 est de rr/2 radians. A la fréquence de résonance, le rendement énergétique du microsystème 2 est maximal. [0045] L'unité 36 est apte à commander les transducteurs 30 et 31 pour travailler à la fréquence de résonance. Par exemple, à partir des informations mesurées par les capteurs 38 et 39, l'unité 36 calcule le déphasage entre les mouvements d'oscillations des parties mobiles 12 et 14 et asservit ce déphasage sur la valeur rr/2. [0046] Pour limiter l'énergie consommée par le microsystème 2 lors de son fonctionnement, l'unité 36 est elle-même alimentée à partir de l'énergie électrique produite par les transducteurs 30 et 31. A cet effet, par exemple, l'unité 36 est électriquement raccordée au dispositif 34 de stockage d'énergie électrique. [0047] La figure 2 représente l'évolution au cours du temps des déplacements des parties mobiles 12, 14, respectivement, le long des directions X et Y. Plus précisément, les courbes 44 et 46 représentent les déplacements, respectivement, des parties mobiles 14 et 12. Ces déplacements sont sinusoïdaux et déphasés l'un par rapport à l'autre de rr/2 radians. [0048] En régime stationnaire, chaque partie mobile décrit un mouvement d'oscillations ou de va-et-vient entre deux positions extrêmes notées X. et Xmin pour la partie mobile 12 et Ymax et Ymin pour la partie mobile 14 sur la figure 2. [0049] Le déplacement des parties mobiles 12, 14 définit plusieurs poches de fluide qui se déplacent circulairement de la buse 6 vers la buse 8 en augmentant de volume. Plus précisément, chaque poche de fluide se déplace en tournant autour de et, en même temps, en s'éloignant de la buse 6. [0050] La figure 3 représente plus en détail le déplacement d'une poche 50 de fluide de la buse 6 vers la buse 8. [0051] Initialement (état 1), la poche 50 est en communication fluidique avec la buse 6. Cette poche 50 se remplit donc du fluide comprimé. Ensuite (état II), les parties mobiles 12 et 14 se déplacent l'une par rapport à l'autre pour isoler fluidiquement cette poche 50 de la buse 6. [0052] Ensuite, comme l'illustrent les états successifs (état III à état VI), la poche 50 se déplace de la buse 6 vers la buse 8 en décrivant un mouvement de spirale autour de la buse 6. Plus précisément, après que les parties mobiles 12 et 14 aient chacune effectuée un va-et-vient complet, la poche 50 est passée de la position représentée dans l'état 1 à la position 52 représentée dans l'état I. Elle a donc effectué un tour complet autour de la buse 6. [0053] Ici, étant donné que les portions distales 16, 17 en forme de spirale sont enroulées plusieurs fois autour de la buse 6, lors du prochain cycle d'oscillations des parties mobiles 12 et 14, la poche 50 effectue un nouveau tour complet autour de la buse 6 mais en s'éloignant un peu plus de celle-ci. Plus précisément, après un nouveau tour complet, la poche 50 occupe la position 54 (état 1). Enfin, lors de son dernier tour, la poche 50 occupe la position 56 (état 1). Dans l'état 56, la poche est en communication fluidique avec la buse 8, ce qui permet au fluide détendu de s'échapper. [0054] Ici, les parties mobiles 12 et 14 sont conformés pour définir simultanément au moins deux poches et, de préférence au moins six poches, qui se déplacent en même temps de la buse 6 vers la buse 8 en augmentant de volume. Dans le cas particulier représenté sur la figure 3, les parties mobiles 12 et 14 sont conformées pour définir six poches de fluide qui se déplacent simultanément de la buse 6 vers la buse 8. [0055] On comprend donc que lorsque le fluide se détend dans le détendeur 10, l'énergie de cette détente est transformée en un déplacement mécanique des parties mobiles 12 et 14. Dans le cas particulier représenté sur la figure 1, ce déplacement mécanique est converti par les transducteurs 30 et 31 en énergie électrique. [0056] La figure 4 représente un exemple d'implémentation du microsystème 2. Dans cet exemple, le déphaseur 40 est omis et le dispositif 34 de stockage d'énergie, l'unité 36 de commande et les capteurs 38, 39 ne sont pas représentés. Les parties mobiles 12, 14 ont été hachurées dans des directions différentes pour améliorer la lisibilité de la figure. [0057] Dans ce mode de réalisation, les transducteurs 30, 31 sont implémentés sous la forme de condensateurs à capacité variable pour transformer l'énergie mécanique produite par le déplacement des parties mobiles 12, 14 en énergie électrique. La conversion d'énergie mécanique en énergie électrique à l'aide de condensateurs variables est bien connue. Par exemple, celle-ci est utilisée dans les demandes de brevet WO2007 082 894 et FR2 897 486. Ainsi, ce mécanisme de conversion ne sera pas décrit en détail. [0058] Par exemple, les transducteurs 30 et 31 sont identiques à leur emplacement près. Ainsi, seul le transducteur 30 est décrit plus en détail. Ici, le transducteur 30 comporte un condensateur réalisé à l'aide de peignes interdigités. Plus précisément, une armature 66 du condensateur est fixée sans aucun degré de liberté à la portion proximale 20. Une autre armature 68 de ce condensateur est fixée sans aucun degré de liberté sur le plan 22. Ainsi, lorsque la portion proximale 20 se déplace, cela modifie la capacité du condensateur, ce qui est ensuite exploité pour transformer l'énergie mécanique en énergie électrique. De préférence, au moins l'une des armatures du condensateur comporte des électrets. En effet, cela permet au transducteur 30 de commencer à produire de l'énergie électrique sans apport au préalable d'énergie électrique à partir d'une source d'énergie électrique extérieure. [0059] Le microsystème 2 comporte également des renforts pour guider le déplacement de chaque portion distale 16, 17 le long de sa direction longitudinale. Les directions longitudinales des parties mobiles 12, 14 correspondent, respectivement, aux directions X et Y. Plus précisément, chacun de ces renforts limite la déformation de la portion distale dans une direction transversale à la direction longitudinale sans bloquer le degré de liberté en translation de cette portion distale. En effet, étant donné que l'épaisseur des portions distales est faible, celles-ci sont susceptibles de se déformer sous l'effet de la pression exercée par le fluide qui s'écoule entre les portions distales 16 et 17. Plus précisément, dans le cas décrit ici, la pression du fluide entre les portions distales 16 et 17 tend à dérouler les spirales. Si la pression est suffisamment importante, cette déformation des portions distales peut entraîner un blocage mécanique des parties mobiles 12 et 14. Un tel blocage se produit si les portions distales 16 et 17 viennent en contact mécanique l'une avec l'autre sous l'effet de cette déformation. [oo6o] Ici, le microsystème 2 comprend quatre renforts 70 à 73. Les renforts 70, 72 5 et 71, 73 limitent les déformations latérales, respectivement, des portions distales 16 et 17. [0061] Plus précisément, le renfort 70 limite les déformations de la portion distale 16 dans la direction opposée à la direction Y tandis que le renfort 72 limite cette déformation dans la direction Y. 10 [0062] Dans ce mode de réalisation, les renforts 70 et 72 sont disposés de part et d'autre de l'orifice 6. [0063] La structure des renforts 70 et 72 étant identique, seule la structure du renfort 70 est maintenant décrite plus en détail. [0064] Le renfort 70 est réalisé à l'aide d'une lame flexible 74 (représentée par un 15 trait gras sur la figure) dont une extrémité proximale 75 est directement ancrée sans aucun degré de liberté sur le plan 22. Une extrémité distale 76 opposée à l'extrémité proximale 75 est directement ancrée sans aucun degré de liberté à la portion distale 16. [0065] La lame 74 s'étend essentiellement le long de la direction Y. Cette lame 74 20 est déformable élastiquement. Par déformable élastiquement, on désigne ici le fait que cette lame 74 ne subit aucune déformation plastique lors du fonctionnement normal du microsystème 2. A cet effet, la raideur Ky de la lame 74 dans la direction Y est au moins dix fois et, de préférence au moins mille fois, supérieure à la raideur KX de la lame dans la direction X. La raideur Ky est proportionnelle à l'épaisseur de la 25 lame 74 dans la direction X et au module de Young du matériau utilisé pour réaliser cette lame 74. Par exemple, ici, l'épaisseur de la lame 74 dans la direction X est inférieure à 100 [gym et, de préférence, inférieure à 50 ou 25 [gym. Dans cet exemple, l'épaisseur de la lame 74 est égale à 20 [gym. De préférence, le module de Young du matériau utilisé pour réaliser la lame 74 est supérieur à 10 ou 50 GPa. Typiquement, 30 le matériau utilisé est du silicium mais d'autres matériaux pourraient bien entendu convenir. [0066] La longueur de la lame 74 dans la direction Y est plusieurs dizaines et, de préférence, plusieurs centaines de fois supérieure à son épaisseur. Par exemple, la longueur de la lame 74 est supérieure à 200 ou 300 [gym. 35 [0067] Par ailleurs, le moment d'inertie de la lame 74 est cent fois et, de préférence, au moins mille fois inférieur au moment d'inertie de la partie mobile 12 pour ne pas gêner le déplacement en translation de cette partie mobile 12. Une telle différence entre les moments d'inertie de la lame 74 et de la partie mobile 12 est également obtenue en choisissant l'épaisseur de la lame 74 au moins dix fois inférieure à 40 l'épaisseur moyenne de la portion distale 16. L'épaisseur de la portion distale 16 est mesurée le long d'une direction radiale par rapport au centre de la spirale. Ce centre est ici confondu avec le centre de l'orifice 6. [0068] Dans ce mode de réalisation, la lame 74 est reçue à l'intérieur d'un logement 78 creusé dans l'épaisseur de la portion distale 16. Typiquement, ce logement 78 est un logement traversant pour ancrer la lame 74 directement sur le plan 22. [0069] Les renforts 71 et 73 sont identiques, respectivement, aux renforts 70 et 72 sauf qu'ils sont décalés angulairement de 90° et reçus dans des logements creusés dans la portion distale 17. [0070] Le fonctionnement des renforts va être maintenant décrit plus en détail au regard de la figure 5. La figure 5 représente une vue schématique de dessus de la partie mobile 12. Pour simplifier cette illustration, la portion distale 16 est représentée sous la forme d'un barreau rectiligne. Les flèches P1 et P2 représentent la force exercée par le fluide qui s'écoule le long de cette portion distale 16. Ces forces P1 et P2 tendent à dérouler la spirale. Ces forces tendent donc à déformer la portion distale dans une direction transversale. Les renforts 70 et 72 sont disposés à l'intérieur de la portion 16 de manière à s'opposer à ces déformations transversales. [007l] Plus précisément, la lame 74 ne s'étire quasiment pas dans la direction Y. L'extrémité distale 76 de chaque lame 74 décrit donc un arc de cercle centré sur l'extrémité proximale 75 lorsque la partie mobile 12 se déplace en translation dans la direction X. Toutefois, un tel guidage de la portion distale 16 par les renforts 70, 72 reste un guidage linéaire. En effet, on considère ici que le guidage est linéaire selon la direction X si l'amplitude du déplacement de l'extrémité 76 dans la direction Y est au moins cent fois et, de préférence, au moins mille fois inférieure à l'amplitude de son déplacement dans la direction X lorsque la partie mobile 12 est déplacée en translation le long de cette direction X. [0072] Un exemple de procédé de fabrication du microsystème 2 va maintenant être décrit en regard du procédé de la figure 6 et à l'aide des illustrations des figures 7 à 9. [0073] Initialement, lors d'une étape 80, une plaque comportant une couche intermédiaire sacrificielle 82 est gravée. Typiquement, cette plaque est une plaque SOI (Silicone On Insulator). Ainsi, cette plaque comporte en plus de la couche sacrificielle 82 d'un côté une couche de silicium 84 et de l'autre côté une couche d'isolant 86. Lors de l'étape 80, les parties mobiles 12, 14, les articulations 24, 25, les armatures mobiles 66 des transducteurs 24, 25 et les renforts 70-73 sont simultanément gravés dans la même couche 84. Sur la figure 6, les parties mobiles 12, 14 et les armatures 66 ainsi gravées sont représentées sous la forme d'un bloc 90. Le bloc 90 repose sur la couche 82. [0074] Ensuite, lors d'une étape 92, on élimine la couche 82 située en dessous du bloc 90. Par exemple, une attaque chimique est utilisée pour éliminer la couche sacrificielle. A partir de ce moment, les parties mobiles 12, 14 et les armatures 66 peuvent se déplacer en translation par rapport au plan 22 constitué par la face supérieure de la couche 86 (voir figure 8). [0075] Ensuite, lors d'une étape 94, on réalise un capot 96 et on assemble ce capot au-dessus de la couche 84. Ce capot 96 constitue le plan supérieur destiné à confiner le fluide entre les parties mobiles 12, 14. Par exemple, le capot 96 est réalisé en verre. Les buses 6 et 8 sont réalisées dans ce capot 96. Seule, la buse 6 a été représentée sur la figure 8. [0076] Des trous d'accès à la couche 84 sont également réalisés dans le capot 96 pour raccorder électriquement les transducteurs 30 et 31 à l'unité de commande 36 et au dispositif 34 de stockage d'énergie. Sur la figure 8, seul un trou 98 d'accès à la couche 84 a été représenté. [0077] On notera que l'épaisseur de la couche 82 ainsi que l'espace entre le capot 96 et le bloc 90 ont été exagérés sur les figures 7 à 9 pour rendre visible le jeu qui existe entre les parties mobiles 12, 14 et, respectivement, le plan inférieur ou supérieur. En pratique, l'épaisseur de la couche 82 et l'espace entre le capot 96 et le bloc 90 sont suffisamment réduits pour que le fluide qui se détend dans le détendeur 10 reste confiné entre les parties mobiles 12 et 14. [0078] Le microsystème 2 a de nombreuses applications possibles. [0079] Par exemple, la figure 10 représente un capteur 100 de différence de pressions réalisé à partir du microsystème 2. Ce dernier est dimensionné pour que la différence de pressions entre les buses 6 et 8 soit dépendante de l'énergie mécanique produite par les déplacements des parties mobiles 12 et 14. De plus, étant donné que l'énergie électrique produite par les transducteurs 30 et 31 est proportionnelle à l'énergie mécanique reçue, cette énergie électrique est également dépendante de la différence de pressions entre les buses 6 et 8. C'est cette propriété du microsystème 2 qui est utilisée pour réaliser le capteur 100. [0080] Le capteur 100 comporte le dispositif 34 de stockage d'énergie, l'unité de commande 36 et le microsystème 2. Il comporte de plus un circuit 102 de gestion de la charge et de la décharge du dispositif 34 et un émetteur radio 104 apte à communiquer une information représentative de la différence de pressions entre les buses 6 et 8 à un récepteur radio distant. [0081] Par exemple, le circuit 100 déclenche l'envoi d'un signal caractéristique par l'intermédiaire de l'émetteur 104 dès que la charge du dispositif 26 dépasse un seuil prédéterminé F,. Ainsi, le temps qui s'écoule entre deux émissions est proportionnel à la différence de pressions mesurée. Il est donc possible à partir des données reçues d'en déduire la différence de pressions entre les buses 6 et 8. [0082] Ici, le seuil F, est fixé de manière à permettre l'alimentation de l'émetteur 104 pour que celui-ci émette l'impulsion caractéristique. Ainsi, dans ce mode de réalisation, le capteur 100 n'a pas besoin de source d'alimentation extérieure pour fonctionner. En effet, il utilise uniquement en tant que source d'énergie la différence de pressions qui existe entre les buses 6 et 8. [0083] La figure 11 représente une roue 110 équipée du capteur 100. La roue 110 comporte un pneumatique ou pneu 112 à l'intérieur duquel est confiné de l'air comprimé. Ce pneumatique 112 est monté sur une jante 114. Le capteur 100 est placé à l'intérieur du pneumatique 112 qui lui sert d'enveloppe de protection. [0084] Pour fonctionner, la buse 8 doit être fluidiquement raccordée à l'extérieur du pneumatique 112. [0085] La figure 12 représente un exemple possible de montage du capteur 100 à l'intérieur du pneumatique 112 pour réaliser cela. Plus précisément, le pneumatique 112 comporte une valve 116 par l'intermédiaire de laquelle la roue 110 peut être gonflée. Classiquement, cette valve se compose d'un canon 118 fixé sans aucun degré de liberté au pneumatique 112 et d'une soupape mobile 120. Cette soupape 120 est déplaçable entre une position de repos dans laquelle elle scelle hermétiquement le pneumatique et une position active dans laquelle elle permet l'introduction d'air comprimé à l'intérieur du pneumatique 112. [0086] Ici, un trou 124 est creusé à travers la soupape 120 pour permettre le passage de la buse 8 au travers de cette soupape 120 et ainsi la raccorder à l'air extérieur. [0087] Dans ce mode de réalisation, le capteur 100 est fixé sans aucun degré de liberté à la soupape 120. [0088] Ainsi, lorsque la soupape 120 est dans sa position de repos, l'air comprimé fuit par l'intermédiaire du capteur 100 et du trou 124. Le débit de la fuite d'air est très faible, c'est-à-dire inférieur à 1 mL/s. Par exemple, ici, le trou 124 est dimensionné de manière à permettre une fuite d'air uniquement inférieure à 100 pL/s et de préférence inférieure ou égale à 10 pL/s. [0089] Avec un tel débit de 100 pL/s, la fuite réalisée au travers de la valve 120 représente pour un pneumatique dont le volume d'air est égal à 3,94 x 10-2 m3 une baisse de pression de 8 mBar au bout de six mois, ce qui est négligeable. Ainsi, le capteur 100 est capable de fonctionner pendant plus de six mois sans pour autant imposer au propriétaire du véhicule de regonfler le pneumatique 110. [oo9o] La figure 13 représente une pile à combustible 130 équipé d'un micromoteur incorporant le microsystème 2. Le micromoteur incorpore également un microsystème 132 de compression. Par exemple, ce microsystème 132 est identique au microsystème 2 à l'exception qu'il est commandé pour comprimer un fluide détendu admis par une buse 133. En effet, le fonctionnement du microsystème 2 est réversible. En particulier, dans ce mode de fonctionnement, les transducteurs 38 et 39 sont utilisés pour transformer de l'énergie électrique fournie, par exemple, à partir du dispositif 34 en des déplacements mécaniques des parties mobiles 12 et 14. Dans ces conditions, on veille également à ce que les déplacements en va-et-vient des parties mobiles 12 et 14 soient déphasés de rr/2. Le fluide détendu est alors admis par la buse 133, correspondant à la buse 8, et le fluide comprimé est expulsé par la buse 6. [0091] Le fluide comprimé par le microsystème 132 est expulsé dans une chambre 134 de combustion du micromoteur. Ici, le fluide comprimé est un mélange inflammable de carburant et de comburant. Dans la chambre 134, ce mélange inflammable explose, ce qui produit des gaz d'échappement encore plus comprimés. Les gaz d'échappement sont alors admis par l'intermédiaire de la buse 6 dans le microsystème 2 qui transforme la différence de pressions ainsi créée en un mouvement mécanique puis en énergie électrique. L'énergie électrique est alors utilisée pour alimenter une charge raccordée aux bornes de la pile à combustible. Cette charge n'a pas été représentée. Les gaz d'échappement détendus sont expulsés par l'intermédiaire de la buse 8. [0092] La figure 14 représente une puce électronique 140 équipée de microcanaux 142 réalisés à l'intérieur du substrat qui supporte des composants électroniques 144 tels que des transistors. Les microcanaux 142 présentent une bouche d'entrée 146 et une bouche de sortie 148. Un fluide caloporteur 148 circule de la bouche 146 vers la bouche 148. [0093] Dans ce mode de réalisation, un microsystème 150 de compression du fluide 20 caloporteur est raccordé entre les bouches 146 et 148. Ce microsystème 150 est par exemple identique au microsystème 132. [0094] Les microcanaux 142 forment un vase d'expansion ou détendeur de sorte que le fluide caloporteur comprimé expulsé par le microsystème 150 dans la bouche 146 se détend dans les microcanaux, ce qui permet de refroidir les composants 25 électroniques. Ensuite, ce fluide caloporteur retourne dans le microsystème 150 par l'intermédiaire de la bouche 148 pour être de nouveau comprimé. [0095] Ainsi, il est possible de refroidir efficacement et simplement la puce électronique 140. [0096] Les figures 15 à 21 représentent différents modes de réalisation alternatifs 30 d'un renfort pour les portions distales 16, 17. Pour simplifier ces figures, la même représentation schématique que celle adoptée pour la figure 5 est utilisée. [0097] Sur la figure 15, les renforts 70 et 72 sont remplacés par un seul renfort 200. Contrairement aux renforts 70 et 72, ce renfort 200 n'est pas reçu à l'intérieur d'un logement creusé dans la portion distale 16. Au contraire, ce renfort 200 est ici 35 directement raccordé mécaniquement à la périphérie de la portion distale 16. Dans ce mode de réalisation, le renfort 200 est formé d'une lame 204 dont l'extrémité distale 202 est mécaniquement raccordée sans aucun degré de liberté à la portion distale 16 et dont une extrémité proximale 206 est raccordée mécaniquement sans aucun degré de liberté au plan 22. [0098] Dans le mode de réalisation de la figure 16, les renforts 70 et 72 sont remplacés par deux renforts 210 et 212 reçus à l'intérieur d'un même logement 214 creusé dans la portion distale 16. Par exemple, les renforts 210 et 212 sont identiques l'un à l'autre sauf qu'ils sont disposés tête bêche l'un par rapport à l'autre à l'intérieur du logement 214. Par exemple, la structure de ces renforts 210 et 212 est identique à la structure du renfort 70. Ainsi, dans ce mode de réalisation, ces renforts 210 et 212 sont réalisés à l'aide de lames flexibles ancrées d'un côté au plan 22 et de l'autre côté à la portion distale 16. Un tel mode de réalisation accroit la linéarité du déplacement de la portion distale 16 dans la direction X. [0099] Le mode de réalisation de la figure 17 est identique au mode de réalisation de la figure 15 sauf que le renfort 220 comporte une lame 222 symétrique de la lame 204 par rapport à l'axe 27 de coulissement. Les lames 204 et 222 sont inclinées par rapport à la direction Y du même côté de manière à ce que ces lames travaillent toujours en traction lors d'un fonctionnement normal. La lame 222 est fixée au plan 22 et à la portion distale 16 comme la lame 204. L'ajout de la lame 222 permet d'améliorer le déplacement de la portion distale 16 le long de la direction X. [ooloo] Dans le mode de réalisation de la figure 18, le logement 78 est remplacé par un logement 230 oblong s'étendant essentiellement le long de l'axe de coulissement 27. Ce logement 230 présente deux faces parallèles 232 et 234. Les faces 232 et 234 sont perpendiculaires au plan 22 et parallèles à l'axe 27 de coulissement. Elles sont en vis-à-vis l'une de l'autre. Un guide est reçu à l'intérieur de ce logement 230 et fixé sans aucun degré de liberté au plan 22. Dans ce mode de réalisation, le guide se matérialise par deux pions 236, 238 de guidage. Ces pions 236, 238 font saillis verticalement à partir du plan 22 à l'intérieur du logement 230. Chacun de ces pions est en appui glissant de part et d'autre sur les faces 232 et 234. Ainsi, chaque pion forme des liaisons ponctuelles avec chacune des faces 232, 234 dont la normale au point de contact et perpendiculaire à l'axe 27. [00101] Le mode de réalisation de la figure 19 est identique au mode de réalisation de la figure 18 sauf que le guide est non plus réalisé par des pions de guidage 236, 238 mais par une plaque 240 de guidage. La plaque 240 fait saillie à l'intérieur du logement 230. Cette plaque 240 s'étend essentiellement parallèlement à l'axe 27 de coulissement. Plus précisément, cette plaque 240 présente deux faces opposées 242 et 244 parallèles à l'axe 27 et perpendiculaires au plan 22. Ces faces sont en appui glissant sur les faces 232 et 234 du logement 230 pour guider la portion distale 16 en translation le long de la direction X. Sur cette figure, le jeu existant entre les faces 232, 234, 242 et 244 a été exagéré pour augmenter sa lisibilité. [00102] La figure 20 représente un mode de réalisation dans lequel le guide est non pas reçu à l'intérieur d'un logement creusé dans la portion distale mais situé à l'extérieur de cette portion distale 16. Dans ce mode de réalisation, le guide est constitué de trois pions de guidage 250 à 252. Chacun de ces pions de guidage 250 à 252 est en appui glissant sur des faces extérieures de la portion distale 16. Ces faces extérieures sont perpendiculaires au plan 22. Ainsi, chaque pion de guidage forme au moins une liaison ponctuelle dont la normale au point de contact est perpendiculaire à l'axe 27 de coulissement. [00103] Les pions 250 à 252 sont disposés les uns par rapport à aux autres de manière à bloquer le degré de liberté en rotation de la portion distale 16 autour d'un axe vertical. [00104] Dans le mode de réalisation, de la figure 21, le renfort est réalisé de façon similaire à ce qui a été décrit en référence à la figure 20 sauf que les pions 250 à 252 sont remplacés par des plaques de guidage 260 et 262. Les plaques 260, 262 sont situées de part et d'autre de la portion distale 16 et en appui glissant sur les faces extérieures verticales de cette portion distale 16. [00105] De nombreux autres modes de réalisation sont possibles. Par exemple, les parties mobiles 12 et 14 peuvent être précontraintes mécaniquement pour que, quelle que soit la position de ces parties mobiles, il existe toujours au moins une articulation élastique qui a une élongation non nulle, c'est-à-dire qu'elle n'est pas à sa position de repos. [00106] De nombreuses formes de spirales différentes sont possibles pour les parties mobiles 12 et 14. Par exemple, il peut s'agir d'une volute, d'une spirale d'Archimède, d'une spirale carrée, ou encore une spirale avec des portions inversées. Chaque partie mobile peut comporter une ou plusieurs spirales. [00107] En variante, l'une des parties 12, 14 est fixée sans aucun degré de liberté sur le substrat et seule l'autre partie est mobile et se déplace de manière à déplacer une ou plusieurs poches de fluides de façon identique à ce qui a été décrit en regard de la figure 3. Dans ce mode de réalisation, l'articulation de la partie mobile permet un déplacement en translation à la fois selon les directions X et Y. Par exemple, la partie fixe est réalisée par gravure d'une couche déposée sur le substrat mais pas sur une couche sacrificielle comme c'est le cas pour la partie mobile. Dans ce cas, si des renforts sont utilisés pour guider la partie mobile, ces renforts permettent à la fois la translation de la portion distale dans les directions X et Y. [00108] D'autres modes de réalisation sont possibles pour les articulations 24 et 25. Par exemple, les articulations 24 et 25 peuvent être réalisées à l'aide d'une lame flexible, d'une rotule, d'un palier glissant ou autres et leur combinaison. [00109] Le fluide comprimé peut être issu d'une combustion ou non. Dans ce dernier cas, le fluide comprimé peut être issu d'un réservoir de fluide comprimé. Par exemple, dans le mode de réalisation de la figure 13, le microsystème 132 et la chambre de combustion 134 sont remplacés par un réservoir de fluide comprimé. On obtient ainsi une pile générant de l'électricité à partir de la détente du fluide comprimé stocké dans le réservoir. De préférence, l'ensemble des composants des piles décrites ici sont logés dans un même boîtier à partir duquel font saillies les bornes de raccordement électrique à un circuit électrique extérieur. Typiquement, ce boîtier est amovible pour permettre un remplacement aisé de la pile dans le circuit électrique extérieur. Ces bornes sont donc aptes à coopérer avec des bornes électriques correspondantes du circuit électrique extérieur pour être électriquement connectées et, en alternance, déconnectées de ce circuit. [00110] Il n'est pas nécessaire que les parties mobiles 12 et 14 soient montées en translation le long d'axes perpendiculaires. En fait, il suffit que les axes le long desquels se déplacent les parties mobiles 12 et 14 soient non parallèles. Si l'angle entre ces axes est différent de rr/2 radians, alors le déphasage entre les mouvements d'oscillations des parties mobiles 12 et 14 doit être adapté en conséquence. [00111] Il n'est pas non plus nécessaire que les parties mobiles 12 et 14 travaillent à la fréquence de résonance. [00112] Dans un mode de réalisation simplifié, le déphaseur mécanique 36 peut être omis. Dans ce cas-là, le déphasage prédéterminé entre les mouvements des parties mobiles peut être assuré par un actionneur électrique tel que par exemple un transducteur électromécanique. [00113] Le déphaseur mécanique peut également être réalisé sans avoir recours à un ressort. Par exemple, il peut être réalisé à l'aide d'un mécanisme de bielle et de manivelle. [00114] Pour la transformation d'une différence de pressions en un déplacement mécanique, la conversion de l'énergie mécanique ainsi produite en énergie électrique est facultative. En effet, pour que le système 2 fonctionne, il suffit de disposer d'amortisseurs commandables permettant d'asservir les déplacements des parties mobiles 12 et 14 pour maintenir le déphasage approprié. [00115] L'énergie électrique produite à partir des déplacements des parties mobiles 12 et 14 n'est pas nécessairement utilisée pour alimenter l'unité 36 ou d'autres composants électroniques associés tels que les composants du capteur 100. [00116] De nombreux autres modes de fabrication du microsystème 2 sont possibles. En particulier, les étapes de gravure peuvent être remplacées par des étapes de dépôt. De même, l'utilisation d'une couche sacrificielle peut être omise. Dans ce cas, d'autres étapes permettant de fabriquer simultanément les deux parties mobiles imbriquées l'une dans l'autre sont mises en oeuvre. Par exemple, les deux parties mobiles sont fabriquées en creusant dans un même substrat des fentes traversantes définissant ces parties mobiles et l'espace entre ces parties mobiles. Une extrémité de chaque partie mobile est laissée fixée sur le substrat. Des plaques sont alors hermétiquement collées sur chaque face du substrat pour sceller la cavité dans laquelle le fluide se détend entre les parties mobiles ou est comprimé entre les parties mobiles. [00117] Le nombre de renforts présents dans le microsystème 2 est adapté à la 40 situation. Par exemple, le nombre de renforts par portion distale peut être égal à un ou strictement supérieur à deux. Ce nombre peut être le même ou différent d'une portion distale à l'autre. [00118] Le renfort peut être fixé à la fois au plan 22 et au plan supérieur. [00119] Lorsque le renfort est réalisé à partir d'une lame flexible, l'extrémité proximale de cette lame flexible peut être fixée soit au plan inférieur 22 soit au plan supérieur. [00120] Les renforts peuvent être omis si la pression qui s'exerce sur la portion distale est suffisamment faible pour ne pas provoquer de déformation de cette portion distale susceptible de conduire à un blocage mécanique du microsystème 2. [00121] Enfin, dans les modes de réalisation des capteurs, puces électroniques, micromoteurs et piles décrits ci-dessus, le microsystème 2 peut être remplacé par un autre microsystème de transformation d'une différence de pressions dans un fluide en un déplacement mécanique ou vice-versa. Par exemple, le microsystème 2 est remplacé par un microsystème comportant une turbine pour transformer la différence de pression en un déplacement mécanique.15 REVENDICATIONS1. Microsystème de transformation d'une différence de pressions dans un fluide en un déplacement mécanique, caractérisé en ce que ce microsytème comporte : - une buse (6) d'entrée du fluide comprimé et une buse (8) de sortie du fluide détendu, - au moins deux parties (12, 14) dont au moins une est mobile, entre lesquelles s'écoule le fluide pour passer de la buse d'entrée à la buse de sortie en déplaçant les parties (12, 14) l'une par rapport à l'autre, ces parties (12, 14) étant conformées de manière à ce que, au cours de leur déplacement, elles définissent au moins une poche (50) de fluide qui s'éloigne de la buse d'entrée pour ensuite rejoindre la buse de sortie tout en augmentant en même temps de volume, - un plan supérieur et un plan inférieur (22) entre lesquels sont interposées les parties mobiles (12, 14), ces plans confinant entre ces parties (12, 14) le fluide qui s'écoule, - chaque partie mobile (12, 14) étant montée déplaçable par rapport à chacun des plans supérieur et inférieur, chaque partie mobile comportant : - une portion distale (16, 17) en porte-à-faux le long de laquelle s'écoule le fluide, et - une portion proximale (20, 21) mécaniquement reliée au plan inférieur (22) ou supérieur par l'intermédiaire d'une articulation permettant uniquement un déplacement en translation de cette portion proximale le long d'une direction longitudinale, et - au moins un renfort (70-73), d'un côté, fixé à au moins l'un des plans et, de l'autre côté, fixé ou en appui glissant avec la portion distale de la partie mobile pour limiter sa déformation dans une direction transversale perpendiculaire à la direction longitudinale. 2. Microsystème selon la revendication 1, dans lequel le microsystème comporte au moins un transducteur (30, 31) apte à convertir l'énergie mécanique produite par le déplacement des parties mobiles en une autre énergie. 3. Microsystème de compression d'un fluide, caractérisé en ce que ce microsystème comporte : - une buse (8) d'entrée d'un fluide détendu et une buse (6) de sortie du fluide comprimé, 21 - au moins deux parties (12) dont au moins une est mobile, entre lesquelles s'écoule le fluide pour passer de la buse d'entrée à la buse de sortie en déplaçant les parties (12, 14) l'une par rapport à l'autre, ces parties (12, 14) étant conformées de manière à ce que, au cours de leur déplacement, elles définissent au moins une poche (50) de fluide qui s'éloigne de la buse d'entrée pour ensuite rejoindre la buse de sortie tout en diminuant en même temps de volume, - un plan supérieur et un plan inférieur (20) entre lesquels sont interposées les parties mobiles (12, 14), ces plans confinant entre ces parties (12, 14) le fluide qui s'écoule, - chaque partie mobile (12, 14) étant montée déplaçable par rapport à chacun des plans supérieur et inférieur, chaque partie mobile comportant : - une portion distale (16, 17) en porte-à-faux le long de laquelle s'écoule le fluide, et - une portion proximale (20, 21) mécaniquement reliée au plan inférieur (22) ou supérieur par l'intermédiaire d'une articulation permettant uniquement un 15 déplacement en translation de cette portion proximale le long d'une direction longitudinale, - au moins un actionneur (30, 31) propre à déplacer ces parties mobiles, et - au moins un renfort (70-73), d'un côté, fixé à au moins l'un des plans et, de l'autre côté, fixé ou en appui glissant avec la portion distale de la partie mobile pour limiter 20 sa déformation dans une direction transversale perpendiculaire à la direction longitudinale. 4. Microsystème selon la revendication 3, dans lequel le microsystème comporte au moins un transducteur apte à convertir une énergie extérieure au microsystème en 25 une énergie mécanique permettant le déplacement des parties mobiles. 5. Microsystème selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la portion distale (16, 17) de la partie mobile présente un logement (78; 214; 230) à l'intérieur duquel est reçu le renfort. 30 6. Microsystème selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le renfort (70-73; 200; 210, 212; 220) comporte au moins une lame flexible (74; 204) s'étendant principalement dans la direction transversale et dont une extrémité proximale (75; 206) est fixée sans aucun degré de liberté à au moins un des plans 35 supérieur ou inférieur (22) et une extrémité distale (76; 202) est fixée sans aucun degré de liberté à la portion distale de la partie mobile. 7. Microsystème selon la revendication 6, dans lequel le renfort (220) comporte au moins deux lames flexibles symétriques par rapport à un axe parallèle à la directionlongitudinale et inclinées du même côté d'un axe parallèle à la direction transverse pour travailler uniquement en traction lors des déplacements de la partie mobile. 8. Microsysteme selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le renfort comporte au moins un guide (236, 238; 240; 250-252; 260, 262) fixé sans aucun degré de liberté à au moins un des plans supérieur ou inférieur (22) et s'étendant perpendiculairement à ce plan et la portion distale présente une face plane (232, 234) perpendiculaire à la direction transversale et en appui glissant contre le guide. 9. Microsystème selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les deux parties (12, 14) sont mobiles par rapport aux plans supérieur et inférieur le long de directions longitudinales respectives non-colinéaires. 10. Microsystème selon la revendication 9, dans lequel le microsystème comporte un déphaseur mécanique (40) interposé entre les deux parties mobiles (12, 14) pour introduire un déphasage entre les déplacements de va-et-vient de ces deux parties mobiles. 11. Microsystème selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le microsystème comprend : - au moins une liaison (41) entre les parties (12, 14) formant avec ces parties un système résonant à une fréquence de résonance, et - une unité (36) de commande du déplacement de chaque partie mobile programmée 25 pour asservir la fréquence des mouvements de va-et-vient de chaque partie mobile sur la fréquence de résonance. 12. Microsystème selon la revendication 11, dans lequel la liaison (41) est un ressort dont chaque extrémité est mécaniquement raccordée à une des parties mobiles. 30