Brevet FR2950155A1 — publié le 20110318

PROCEDE D'ALIGNEMENT POUR CONTROLER UN MIROIR La présente invention concerne un procédé d'alignement pour contrôler un miroir, notamment pour contrôler la surface d'un miroir asphérique hors d'axe («off-axis aspherical mirror» en anglais). La fourniture d'un miroir, tel qu'un miroir de télescope, comprend des contrôles du miroir qui sont effectués pendant que le miroir est fabriqué, selon un processus itératif de contrôles et de reprises de la surface du miroir. Le contrôle consiste à rechercher et mesurer d'éventuels écarts entre la forme réelle de la surface réfléchissante du miroir et une surface théorique du cahier des charges du miroir, appelée surface-cible. 1 o Un tel contrôle peut être effectué sur le miroir entier, ou bien sur un élément de ce miroir lorsque le miroir est composé de plusieurs éléments de miroir qui sont séparés et destinés à être juxtaposés pour reconstituer le miroir complet. Dans la suite, on appellera simplement miroir un miroir entier ou un élément de miroir, étant entendu que le procédé de contrôle est appliqué à un 15 élément monolithique ayant une surface réfléchissante. Au premier ordre, la surface d'un miroir asphérique hors d'axe peut être décrite par une valeur de courbure moyenne et une valeur d'astigmatisme moyen qui sont établies sur l'ensemble de la surface. Mais, la valeur locale de courbure et la valeur locale d'astigmatisme varient par rapport à ces valeurs 20 moyennes, et sont différentes entre des points qui sont distants dans la surface du miroir. En outre, des termes supplémentaires sont souvent nécessaires pour décrire plus exactement la forme de la surface du miroir : coma, aberration sphérique, etc. L'objectif du contrôle est de mesurer les écarts de ces termes en tout point de la surface du miroir, entre les valeurs réelles et les valeurs 25 pour la surface-cible. Un procédé usuel pour réaliser un tel contrôle consiste à éclairer l'ensemble du miroir avec une source de lumière appropriée, le plus souvent une source laser, à travers un compensateur optique («null-lens» en anglais). Le compensateur optique est conçu pour compenser une déformation de front 2950155 -2- d'onde que produirait la surface-cible du miroir. La nature du compensateur optique n'est pas déterminée a priori, mais des hologrammes sont souvent utilisés car ils peuvent être générés numériquement à partir de la surface-cible, ce qui est particulièrement commode. Un tel hologramme numérique est 5 couramment désigné par CGH pour «Computer-Generated Hologram» en anglais. On forme alors une interférence optique entre un front d'onde de référence et un front d'onde qui est produit par réflexion de la lumière sur le miroir à travers le compensateur optique. Cette interférence produit une répartition bidimensionnelle d'intensité lumineuse, ou figure d'interférence, qui 1 o est caractéristique de l'écart entre la surface réelle du miroir et la surface-cible. Une telle figure d'interférence comporte des franges lumineuses lorsque les deux fronts d'onde sont suffisamment différents. Pour cela, l'outil de contrôle utilisé comprend : - un premier support, qui est adapté pour maintenir le miroir dans une 15 position déterminée par rapport à l'outil de contrôle ; - le compensateur optique, qui comprend lui-même l'hologramme numérique, avec une partie utile de cet hologramme numérique qui contient un motif calculé conformément à la surface-cible du miroir ; - un second support, qui est adapté pour maintenir le compensateur 20 optique pendant une durée de saisie d'image, le second support étant aussi adapté pour translater latéralement le compensateur optique selon des directions transversales de l'outil de contrôle, et pour tourner le compensateur optique autour d'un axe longitudinal de l'outil de contrôle ; 25 - la source de lumière, qui est adaptée pour produire un faisceau lumineux lors d'une saisie d'image, et disposée de façon à éclairer la surface réfléchissante du miroir à travers l'hologramme numérique du compensateur optique, parallèlement à l'axe longitudinal ; - un système optique, qui est adapté pour produire une interférence entre 30 une partie de référence du faisceau lumineux produit par la source et une partie de ce faisceau lumineux réfléchie par le miroir à travers l'hologramme numérique du compensateur optique ; et 2950155 -3- - un système d'enregistrement d'image, qui est disposé pour saisir une répartition d'intensité lumineuse produite par l'interférence, et superposée à une image du miroir formée par la partie du faisceau lumineux réfléchie par ce miroir. 5 De façon usuelle, le compensateur optique est placé à une distance du miroir qui permet d'obtenir une image de l'ensemble de sa surface réfléchissante, à laquelle est superposée la figure d'interférence. Ainsi, une unique prise de vue permet de contrôler toute la surface du miroir. Dans le jargon du métier, un tel contrôle est dit «en pleine pupille». Pour cela, la distance entre la source de lumière et le miroir doit être sensiblement égale au rayon de courbure moyen de la surface réfléchissante de ce dernier. Il est alors facile d'orienter le compensateur optique par rapport au miroir, en tournant le compensateur autour de l'axe longitudinal de l'outil de contrôle. En effet, l'hologramme du compensateur et le premier support comportent des repères qui sont visibles simultanément dans l'image qui est saisie par le système d'enregistrement d'image, et la position du miroir sur le premier support est connue par ailleurs. Des directions de référence respectives du compensateur optique et du miroir sont ainsi amenées parallèles l'une à l'autre. Ces directions de référence sont en général des axes d'astigmatisme respectifs du compensateur optique et du miroir. Or, pour un miroir primaire de télescope, le rayon de courbure moyen du miroir peut être de plusieurs dizaines de mètres. Etant donné que les dimensions du compensateur à hologramme sont limitées à quelques dizaines de centimètres par sa fabrication, la distance entre le compensateur optique et le miroir devrait être très importante pour effectuer un contrôle du miroir en pleine pupille. Mais lorsque cette distance dépasse 3 m (mètre) environ, des turbulences gazeuses et des variations de température apparaissent entre le compensateur et le miroir, et perturbent la figure d'interférence. Il est aussi envisageable de contrôler un miroir qui possède un grand rayon de courbure en rapprochant le compensateur optique de la surface réfléchissante du miroir. Mais un miroir de télescope possède en général des dimensions latérales qui peuvent aussi être très grandes, notamment 2950155 -4- supérieures à 1 m, voire supérieures à 1,5 m. Alors seulement une partie restreinte de la surface du miroir, couramment appelée «sous-pupille», peut être éclairée à travers le compensateur optique pendant qu'une prise de vue est réalisée par le système d'enregistrement d'image. Le contrôle de surface 5 qui résulte de cette prise de vue est par conséquent limité à cette partie de la surface du miroir. Plusieurs prises de vues doivent donc être réalisées successivement, respectivement pour des parties différentes de la surface du miroir, pour permettre de contrôler la surface entière. Le compensateur optique doit donc être déplacé par rapport au miroir entre des prises de vues 10 successives. Différentes méthodes existent pour déterminer très précisément les directions de déplacement du compensateur optique par rapport au miroir, ainsi que pour déterminer un point de référence pour les déplacements du compensateur optique. A partir de là, un but de la présente invention est 15 d'orienter le compensateur optique autour de l'axe longitudinal de l'outil de contrôle, lorsque seulement une partie restreinte de la surface du miroir est éclairée à chaque prise de vue à travers le compensateur optique. Pour cela, l'invention propose un procédé d'alignement pour contrôler un miroir en utilisant un outil de contrôle optique qui comprend les éléments 20 énumérés plus haut, et dans lequel : - la source de lumière n'éclaire qu'une partie de la surface réfléchissante du miroir lors d'une même prise de vue par le système d'enregistrement d'image, cette partie de surface qui est éclairée étant plus petite que la surface réfléchissante entière du miroir ; 25 - le premier support est pourvu d'au moins un repère réfléchissant ; et - l'hologramme numérique du compensateur optique comprend en outre au moins deux premiers motifs additionnels qui sont disposés sur deux premiers côtés de la partie utile de l'hologramme numérique, chaque premier motif additionnel étant adapté pour produire un effet optique de 30 lentille de sorte qu'un faisceau lumineux d'alignement qui est dirigé vers le repère à travers ce premier motif additionnel soit réfléchi de façon variable en fonction d'un décalage transversal du premier motif -5-additionnel par rapport au repère. Le procédé de l'invention comprend alors la séquence d'étapes suivante, qui est éventuellement répétée plusieurs fois : /1/ diriger un faisceau lumineux d'alignement à travers l'un des premiers motifs additionnels et détecter le faisceau lumineux d'alignement qui est réfléchi par le repère, en translatant transversalement le second support par rapport au premier support de façon à aligner le premier motif additionnel de l'hologramme numérique par rapport au repère du premier support, parallèlement à l'axe longitudinal de l'outil de 1 o contrôle ; /2/ de nouveau translater latéralement le second support, sans le tourner, avec un vecteur de translation approprié pour qu'un faisceau d'alignement qui traverse un autre des premiers motifs additionnels de l'hologramme numérique soit encore réfléchi par le même repère du 15 premier support d'une façon alignée entre ce repère et cet autre premier motif additionnel parallèlement à l'axe longitudinal de l'outil de contrôle ; /3/ à partir de composantes du vecteur de la translation du second support qui est effectuée à l'étape /2/, respectivement selon l'une et 20 l'autre des directions transversales de l'outil de contrôle, déterminer un écart angulaire entre l'une de ces directions transversales et une direction de référence de la zone utile de l'hologramme numérique qui est repérée par les premiers motifs additionnels ; puis /4/ tourner le second support autour de l'axe longitudinal de l'outil de 25 contrôle conformément à l'écart angulaire déterminé à l'étape /3/, de façon à amener la direction de référence de la zone utile de l'hologramme numérique parallèle à une direction de référence du miroir. Lors de l'étape /2/, le compensateur optique est translaté pour 30 remplacer un premier des motifs additionnels de l'hologramme du compensateur optique par un second motif additionnel de celui-ci, dans la position au droit du repère du premier support. La direction de cette translation 2950155 -6- est alors utilisée comme une direction de référence qui est fixe par rapport à l'outil de contrôle. Elle est repérée par les deux composantes du vecteur de translation selon les directions transversales de l'outil de contrôle. L'orientation angulaire initiale du compensateur optique dans le plan de ces directions 5 transversales, c'est-à-dire autour de l'axe longitudinal de l'outil de contrôle, peut alors être déterminée par rapport à l'outil de contrôle. Elle est déterminée à l'étape /3/ en utilisant une direction de référence qui est liée au compensateur optique. L'orientation du compensateur optique par rapport à l'outil de contrôle peut alors être modifiée à l'étape /4/, en tournant le second support autour de l'axe longitudinal. L'orientation du miroir par rapport à l'outil de contrôle étant supposée connue avec précision par ailleurs, le procédé de l'invention aboutit à orienter angulairement, avec précision, le compensateur optique par rapport au miroir. En particulier, il permet superposer angulairement les axes d'astigmatisme respectifs du compensateur optique et du miroir. D'une façon commode, l'orientation du compensateur optique peut être repérée par les deux premiers motifs additionnels eux-mêmes, qui ont été utilisés respectivement aux étapes /1/ et /2/. Néanmoins, l'orientation du compensateur optique peut être repérée différemment. Dans une mise en oeuvre préférée de l'invention, les premiers côtés respectifs des deux premiers motifs additionnels du compensateur optique sont opposés par rapport à la zone utile de l'hologramme numérique. En outre, ils peuvent repérer un axe d'astigmatisme du compensateur optique. Selon un perfectionnement possible de l'invention, l'hologramme numérique du compensateur optique peut comprendre en outre un premier motif additionnel supplémentaire, qui est disposé sur un autre côté de la partie utile de l'hologramme numérique différent des deux premiers côtés. Ce premier motif additionnel supplémentaire est aussi adapté pour produire un effet optique de lentille de sorte qu'un faisceau lumineux d'alignement qui est dirigé vers le repère à travers ce premier motif additionnel supplémentaire soit réfléchi de façon variable en fonction d'un décalage transversal du premier motif additionnel supplémentaire par rapport au repère. Les étapes /1/ à /3/ 2950155 -7- peuvent alors être répétées pour l'un des premiers motifs additionnels utilisés précédemment et pour le premier motif additionnel supplémentaire. De cette façon, un autre écart angulaire peut être déterminé à l'étape /3/, qui forme une mesure d'un angle entre les deux directions transversales de l'outil de contrôle. 5 Ainsi, les positions d'au moins trois premiers motifs additionnels dans l'hologramme numérique, autour de la zone utile de celui-ci, sont utilisées pour mesurer l'angle entre les deux directions transversales de translation du second support. En particulier, une perpendicularité entre ces deux directions de translation du second support peut être vérifiée, en prenant pour référence. 1 o Le procédé peut comprendre en outre plusieurs étapes de prises de vues, deux prises de vues successives étant séparées par des étapes intermédiaires de translation du compensateur optique par rapport au miroir. De cette façon, des parties différentes de la surface réfléchissante du miroir peuvent être contrôlées successivement, éventuellement jusqu'à ce que la 15 surface entière soit contrôlée partie par partie. Un procédé selon l'invention peut être utilisé, notamment, pour contrôler la surface réfléchissante d'un miroir asphérique hors d'axe. D'autres particularités et avantages de la présente invention apparaîtront dans la description ci-après d'exemples de mise en oeuvre non 20 limitatifs, en référence aux dessins annexés, dans lesquels : - la figure 1 représente un outil de contrôle d'un miroir, adapté pour utiliser un procédé selon l'invention ; - la figure 2 illustre un principe d'alignement utilisé dans l'invention, entre un motif holographique et un repère ; et 25 - les figures 3a et 3b illustrent des étapes successives d'un procédé selon l'invention. Pour raison de clarté, les composants de l'outil de contrôle qui sont représentés dans ces figures ne sont pas reproduits selon des dimensions réelles, ni selon des rapports de dimensions réels. En outre, des références 30 identiques qui sont indiquées sur des figures différentes désignent des éléments qui sont identiques. 2950155 -8- Conformément à la figure 1, un outil de contrôle de miroir comprend un support de miroir, aussi désigné par premier support et référencé 1, et un support d'optique, aussi désigné par second support et référencé 2. Le miroir à contrôler, référencé 100, est fixé sur le support 1 de façon à 5 exposer sa surface réfléchissante S100. Il peut être du type miroir asphérique hors d'axe, notamment. Le miroir 100 possède un bord périphérique B1oo qui limite transversalement la surface S1oo. Par exemple, ce bord B1oo peut être hexagonal, avec un diamètre supérieur ou égal à 1500 mm (millimètre) entre des sommets opposés de l'hexagone. 1 o Le support 1 porte en outre un ou plusieurs repère(s) réfléchissant(s), qui est (sont) fixe(s) sur le support 1, et situé(s) de préférence à proximité de et à l'extérieur du bord périphérique B1oo du miroir 100. Par exemple, le support 1 peut être pourvu de trois repères réfléchissants qui sont référencés 11, 12 et 13, et qui peuvent être répartis sur le support 1 autour du miroir 100 en étant 15 deux à deux distants angulairement de 120° environ. Le support d'optique 2 est mobile par rapport au support de miroir 1. Il porte les composants suivants qui forment un ensemble d'éclairement et de saisie d'image référencé globalement 20 : - un compensateur optique, qui sera décrit plus loin ; 20 - une source de lumière 4, par exemple du type laser ; - un système optique 5, qui a pour fonctions de transmettre une partie de la lumière qui est produite par la source 4 pour éclairer une partie du miroir 100 à travers le compensateur optique, et de réaliser une interférence lumineuse entre un faisceau qui est réfléchi par le miroir 25 100 et un faisceau de référence ; et - un système d'enregistrement d'image 6, qui est disposé pour saisir une image de la partie du miroir 100 qui est éclairée, à travers le compensateur optique. Un tel ensemble d'éclairement et de saisie d'image est connu de 30 l'Homme du métier, si bien qu'une description succincte seulement en est donnée maintenant. 2950155 -9- A l'intérieur du système optique 5, un faisceau initial FO qui est produit par la source 4 est divisé en un faisceau de référence F1 et un faisceau d'éclairement F2. Cette division du faisceau FO peut être réalisée par une lame semi-réfléchissante 50. En outre, un miroir de renvoi 51 peut être disposé sur 5 le trajet du faisceau de référence F1. A la sortie du système 5, le faisceau d'éclairement F2 possède de préférence une structure de faisceau parallèle, avec une section de faisceau qui est supérieure ou égale à une ouverture du compensateur optique. Par exemple, l'ouverture du compensateur optique peut posséder un diamètre compris entre 250 et 300 mm. La direction du faisceau 1 o F2 est appelée axe longitudinal de l'outil de contrôle, et est notée Z-Z. Le faisceau d'éclairement F2 traverse alors le compensateur optique une première fois, est réfléchi par une partie de la surface S100 du miroir 100, traverse de nouveau le compensateur en sens inverse, puis est superposé au faisceau de référence F1 au sein du système 5. Cette superposition produit une figure 15 d'interférence dans une image de la partie éclairée de la surface S1oo. Cette image est saisie avec la figure d'interférence par le système d'enregistrement d'image 6 lors d'une prise de vue. Il est alors possible d'obtenir, à partir de variations d'intensité lumineuse qui sont présentes dans l'image, une mesure d'écarts locaux existant entre la surface S1oo et une surface-cible qui est 20 enregistrée dans le compensateur optique. De façon générale, les variations d'intensité lumineuse qui sont présentes dans l'image de la partie éclairée du miroir 100 forment un motif de franges d'interférence, dont l'orientation locale et le pas local permettent de déterminer la différence entre la surface réelle S1oo du miroir 100 et la surface-cible. 25 La distance entre l'ensemble d'éclairement et de saisie d'image 20 et le miroir 100, parallèlement à l'axe Z-Z, est telle que seulement une partie restreinte S10 de la surface réfléchissante S1oo du miroir 100 soit éclairée à chaque prise de vue. Par exemple, la partie éclairée S10 peut être dix à cent fois plus petite que l'ensemble de la surface S1oo. Ainsi, pour une dimension 30 fixée de l'ouverture du compensateur optique, le contrôle de la surface S1oo qui peut être réalisé à partir d'une seule image saisie est limité à cette partie de surface S1o. Cette limitation permet de réduire la distance entre le miroir 100 et l'ensemble d'éclairement et de saisie d'image 20, de sorte que la conception de 2950155 -10- l'outil de contrôle est simplifiée. Le coût de cet outil est diminué en conséquence. Le support 2 permet de déplacer par translation l'ensemble d'éclairement et de saisie d'image 20 au dessus de la surface S100 du miroir 5 100, selon deux directions transversales X-X et Y-Y, qui sont perpendiculaires à l'axe longitudinal Z-Z, ou sensiblement perpendiculaires à cet axe Z-Z. Pour cela, le support 2 comprend un système de glissières et de mesure de distances de translation qui n'est pas représenté sur la figure 1. Ce système permet de réaliser des distances de translation qui sont suffisamment grandes 1 o pour que la partie de surface S10 qui est éclairée puisse être amenée à un endroit quelconque dans la surface entière S1oo. Les directions de translation X-X et Y-Y sont le plus souvent perpendiculaires entre elles, mais elles peuvent éventuellement présenter entre elles un écart angulaire supplémentaire par rapport à 90° (degré). 15 Le support 2 permet aussi de tourner le compensateur optique autour de l'axe longitudinal Z-Z, et l'angle d'une telle rotation du compensateur peut être déterminé avec précision. Les deux directions X-X et Y-Y définissent avec l'axe longitudinal Z-Z un système de coordonnées qui est lié à l'outil de contrôle. Ce système de 20 coordonnées permet de repérer la position du support 2, de même que l'orientation angulaire du compensateur optique autour de l'axe longitudinal Z-Z. Le compensateur optique comprend un hologramme CGH qui est référencé 3. Usuellement, lorsque toute la surface S1oo est éclairée 25 simultanément par l'ensemble d'éclairement et de saisie d'image 20, une partie utile 30 de l'hologramme 3 est déterminée pour compenser des variations de longueur de chemin optique au sein du faisceau d'éclairement F2, qui sont dues à la forme de la surface-cible du miroir 100. Les chemins optiques considérés correspondent à des rayons du faisceau d'éclairement qui sont 30 réfléchis en des points différents du miroir, et leurs longueurs sont calculées entre la division et le regroupement des faisceaux F1 et F2 qui sont produits par la lame semi-réfléchissante 50. Ainsi, si le miroir 100 possède une forme 2950155 -11 - qui est rigoureusement identique à la surface-cible, l'image qui est saisie présente une intensité uniforme. A l'inverse, des variations d'intensité dans l'image saisie révèlent et permettent de déterminer des écarts entre la surface réelle et la surface-cible du miroir à l'endroit de ces variations d'intensité. Mais 5 pour que ces variations d'intensité soient représentatives de la forme du miroir 100, le compensateur à hologramme doit être tourné autour de l'axe longitudinal Z-Z jusqu'à ce que l'orientation de la surface-cible qui est intégrée dans l'hologramme 3 corresponde précisément à l'orientation du miroir 100 dans l'outil de contrôle. Autrement dit, des directions de référence respectives 10 de l'hologramme 3 et du miroir 100 doivent être parallèles. Dans un procédé de contrôle selon l'invention où la partie de surface éclairée S10 est plus petite que la surface entière S1oo du miroir 100, le même hologramme 3 de compensateur optique est utilisé pour toutes les parties différentes de la surface S1oo qui seront éclairées successivement. Dans ces 15 conditions, la partie utile 30 de l'hologramme 3 du compensateur optique réalise une compensation moyenne de sphère et d'astigmatisme qui est établie pour l'ensemble de la surface-cible du miroir 100. Eventuellement, la partie utile 30 de l'hologramme 3 peut compenser simultanément d'autres caractéristiques optiques moyennes de la surface-cible. Pour chaque partie de 20 la surface S1oo qui est éclairée lors de prises de vues successives, cette partie de surface est contrôlée en mesurant les variations d'intensité lumineuse qui sont présentes au sein de la figure d'interférence saisie. Ces variations d'intensité lumineuse permettent de calculer les écarts entre la partie de surface réelle S10 et les caractéristiques moyennes de la surface-cible, qui sont 25 intégrées dans la partie utile 30 de l'hologramme 3. Ces écarts sont alors comparés à ceux qui existent entre les caractéristiques locales de la surface-cible et ses caractéristiques moyennes, notamment pour les valeurs de sphère et d'astigmatisme. La compensation par l'hologramme 3 des caractéristiques moyennes de la surface-cible permet d'améliorer la précision du contrôle de la 30 surface réelle S1oo. Il est donc nécessaire d'orienter précisément l'hologramme 3 du compensateur optique par rapport au miroir 100. On suppose alors que la position du miroir 100 sur le support 1, et la position du support 1 dans l'outil de 2950155 -12- contrôle sont déterminées par ailleurs avec précision, d'une façon qui n'est pas l'objet de la présente invention. Le procédé de l'invention qui est maintenant décrit permet d'orienter ensuite l'hologramme 3 du compensateur optique par rapport à l'outil de contrôle, ce dernier étant repéré par les directions 5 transversales X-X et Y-Y de déplacement du support 2, et par l'axe longitudinal Z-Z. Or un tel ajustement d'orientation n'est pas évident, notamment parce que l'image qui est saisie ne reproduit pas toute la surface S,00, mais seulement une partie restreinte de celle-ci. En particulier, les repères 11-13 du support 1 ne sont pas visibles dans cette image, ou deux quelconques de ceux-ci ne sont 10 pas visibles simultanément dans une même image qui est saisie par le système d'enregistrement d'image 6. Selon une caractéristique de l'invention, l'hologramme 3 du compensateur optique comprend au moins deux premiers motifs holographiques additionnels, qui produisent chacun un effet optique de lentille. 15 De préférence, ils produisent chacun un effet optique de lentille convergente, et la distance focale qui est associée à chacun de ces premiers motifs peut correspondre approximativement à la distance de séparation entre l'hologramme 3 et chacun des repères 11-13, mesurée selon l'axe Z-Z. Ces premiers motifs additionnels sont disposés sur des côtés différents de la partie 20 utile 30 de l'hologramme 3. Leurs positions respectives autour de la partie utile 30 sont connues avec précision, grâce à la technologie numérique qui est utilisée pour réaliser l'hologramme. Par exemple, trois premiers motifs holographiques additionnels 31, 32 et 32a qui peuvent être identiques, sont prévus autour de la partie utile 30 de l'hologramme 3. Les motifs 31 et 32 25 peuvent être disposés sur deux côtés opposés de la partie utile 30, de façon à identifier une direction de référence A-A de l'hologramme 3, et le motif 32a peut être situé à 90° entre les motifs 31 et 32. Par exemple, la direction de référence A-A (figures 3a et 3b) qui est identifiée par les motifs holographiques 31 et 32 peut correspondre à un axe moyen d'astigmatisme de la surface-cible. 30 Comme représenté sur la figure 2, chaque repère réfléchissant 11-13 qui est pourvu sur le support 1 peut avoir une forme sphérique convexe lorsque chacun des motifs holographiques 31, 32 et 32a produit un effet optique de lentille convergente. Notamment, chaque repère 11-13 peut être similaire à une 2950155 -13- demi-bille métallique, par exemple de rayon 1 mm. Dans ce cas, un faisceau lumineux d'alignement qui traverse l'un des motifs holographiques 31, 32 ou 32a et qui est dirigé sur l'un des repères 11-13 est réfléchi par celui-ci autour d'une direction centrale variable D. Cette direction de réflexion D dépend d'un 5 décalage d entre le motif holographique et le repère. La direction centrale de réflexion D est alors détectée. De cette façon, le décalage d peut alors être compensé avec précision en déplaçant le support 2. Selon un mode de mise en oeuvre particulièrement avantageux de l'invention, le faisceau d'alignement peut être une partie FA du faisceau d'éclairement F2, qui traverse l'un des 1 o motifs holographiques 31, 32 ou 32a. Le faisceau d'alignement qui est réfléchi par le repère peut alors être détecté par le système 6 dans l'image qui est saisie. De cette façon, le support d'optique 2 peut être déplacé pour amener très précisément l'un quelconque des motifs 31, 32 ou 32a au droit de l'un quelconque des repères 11-13. 15 Une première étape d'un procédé selon l'invention consiste alors à aligner, parallèlement à l'axe longitudinal Z-Z et de la façon qui vient d'être décrite, le motif holographique 31 avec le repère 11. Pour cela, le support 2 peut être translaté selon les deux directions transversales X-X et Y-Y, et éventuellement tourné autour de l'axe longitudinal Z-Z. La figure 3a est une vue 20 selon l'axe Z-Z, qui représente une telle position 3a de l'hologramme 3, dans laquelle le repère 11 et le motif holographique 31 sont alignés. Le point central du repère 11 est représenté symboliquement par une croix. Dans une deuxième étape qui est réalisée à partir de cette position 3a de l'hologramme 3, le support 2 est de nouveau translaté selon l'une ou les 25 deux directions transversales X-X et Y-Y, pour aligner maintenant le motif holographique 32 avec le repère 11, parallèlement à l'axe longitudinal Z-Z. Ce nouvel alignement est encore détecté de la même façon, mais pendant cette seconde étape, le support 2 est uniquement translaté, sans être tourné autour de l'axe Z-Z. La figure 3b représente la position 3b de l'hologramme 3 à l'issue 30 de cette deuxième étape. La position 3a qui était occupée à l'issue de la première étape est aussi reportée en traits interrompus. Le vecteur de la translation qui a été réalisée pendant cette deuxième étape est noté T. Il est parallèle à la direction de référence A-A de l'hologramme 3 qui est identifiée 2950155 -14- par les motifs 31 et 32. Les composantes du vecteur T sont les déplacements AX et AY du support 2 qui ont été effectués lors de la deuxième étape, respectivement selon les deux directions transversales X-X et Y-Y de l'outil de contrôle. Elles sont lues avec précision selon ces directions transversales. 5 Dans une troisième étape, le support d'optique 2 est tourné autour de l'axe longitudinal Z-Z, pour amener la direction de référence A-A de l'hologramme 3 parallèle à une direction de référence du miroir 100, notée B-B. L'orientation initiale de la direction A-A est celle de la deuxième étape, et est connue avec précision par les composantes AX et AY du vecteur T. Ainsi, la 10 direction A-A de l'hologramme 3 peut être tournée pour venir précisément en parallèle avec la direction de référence B-B du miroir 100. Par exemple, l'angle 8 de la rotation du support d'optique 2 qui est effectuée peut être calculé par la formule suivante : 8 = - Arctan (AY / AX) + 80 15 où Arctan est l'inverse de la fonction trigonométrique de tangente, et 8o est l'angle entre la direction transversale X-X et la direction de référence B-B du miroir 100. Les angles 8 et 80 sont indiqués sur la figure 3b. L'angle Arctan (AY / AX) représente l'orientation de la direction de référence A-A de l'hologramme 3 par rapport à l'axe X-X à l'issue de la deuxième étape. 20 Eventuellement, la deuxième étape du procédé peut être répétée en utilisant le motif holographique 32a à la place du motif 32. Un second vecteur de translation est alors déterminé par ses composantes selon les directions transversales X-X et Y-Y. Ce second vecteur permet de vérifier avec précision l'angle qui sépare angulairement ces directions X-X et Y-Y, en prenant pour 25 référence l'angle qui est présent entre la direction A-A et la direction du motif 32a à l'intérieur de l'hologramme 3. En effet, ce dernier angle est défini très précisément par le procédé de fabrication de l'hologramme numérique. D'une façon analogue, les graduations de l'outil de contrôle qui repèrent la position du support 2 peuvent être étalonnées par rapport aux positions des motifs 30 holographiques 31, 32 et 32a dans l'hologramme 3. Lorsque le support 1 est pourvu de plusieurs repères réfléchissants, la première étape qui a été décrite précédemment peut être répétée pour chacun 2950155 -15- de ces repères en utilisant à chaque fois le même premier motif additionnel de l'hologramme numérique 3. Par exemple, la première étape est réalisée successivement avec les repères 11, 12 puis 13 en utilisant toujours le motif 31. En notant à chaque fois la position du support 2 qui est lue selon les 5 directions transversales X-X et Y-Y, des graduations de l'outil de contrôle qui repèrent la position du support 2 peuvent aussi être étalonnées de cette façon, par rapport aux repères 11-13 du support 1. Un premier perfectionnement facultatif de l'invention, qui est maintenant décrit, permet de repérer l'orientation de l'hologramme 3 du 10 compensateur optique par rapport au système d'enregistrement d'image 6. Pour cela, l'hologramme numérique 3 peut comprendre en outre au moins deux seconds motifs additionnels, qui sont disposés sur deux seconds côtés de la partie utile 30, chaque second motif additionnel étant adapté pour réfléchir un faisceau lumineux d'orientation. Autrement dit, chaque second 15 motif additionnel a un effet optique de miroir pour le faisceau lumineux d'orientation qui est incident sur l'hologramme à l'endroit de ce second motif additionnel. De préférence, l'effet optique de chaque second motif additionnel est celui d'un miroir plan. Sur la figure 1, l'hologramme 3 comporte les deux seconds motifs 20 holographiques additionnels qui sont référencés 33 et 34. Ils peuvent être situés sur des côtés opposés de la partie utile 30. Chacun des motifs 33 et 34 est un miroir plan holographique, qui réfléchit un faisceau lumineux d'orientation FB. De façon avantageuse, chaque faisceau FB est une partie du faisceau d'éclairement F2 qui est produit par la source de lumière 4, de sorte 25 que des positions des motifs 33 et 34 sont saisies par le système d'enregistrement d'image 6. Les seconds motifs 33, 34 forment ainsi un système de repères d'orientation de l'hologramme numérique 3 par rapport au système d'enregistrement d'image 6. Selon un second perfectionnement facultatif de l'invention, le 30 compensateur optique peut comprendre en outre au moins deux marques qui sont disposées pour être visibles dans l'image du miroir saisie par le système d'enregistrement d'image. De telles marques permettent de déterminer un 2950155 -16- grandissement de l'image qui est saisie à partir de distances entre les marques qui sont mesurées respectivement dans le compensateur optique et dans l'image saisie. Dans une mise en oeuvre préférée de ce perfectionnement, les deux marques sont comprises dans l'hologramme numérique 3 du 5 compensateur optique. Dans ce cas, elles peuvent être confondues respectivement avec les seconds motifs holographiques additionnels 33 et 34 de l'hologramme numérique 3, introduits pour le premier perfectionnement de l'invention. Lorsque l'orientation de l'hologramme 3 du compensateur optique a été 1 o déterminée précisément par rapport à l'outil de contrôle, et après que l'hologramme 3 a été orienté convenablement par rapport à un axe de référence du miroir 100, le contrôle de la surface S100 peut être commencé. Pour cela, l'ensemble d'éclairement et de saisie d'image 20 est translaté, sans être tourné, au droit d'une partie sélectionnée du miroir 100. Une image est 15 alors saisie par le système 6, puis l'ensemble 20 est de nouveau déplacé par translation vers une partie différente du miroir 100. De cette façon, l'ensemble de la surface S1oo est couverte par des prises de vues successives, de sorte que l'intégralité de cette surface peut être comparée à la surface-cible. Le mode de calcul de l'écart entre chaque partie de la surface S1oo ainsi imagée et 20 la partie correspondante de la surface-cible du miroir 100 est supposé connu de l'Homme du métier, et n'est pas repris ici. Il est entendu que les modes de mise en oeuvre de l'invention qui viennent d'être décrits en détail peuvent être modifiés ou adaptés tout en conservant certains au moins des avantages cités. En particulier, la lumière qui 25 est utilisée pour chaque étape du procédé d'alignement objet de l'invention peut provenir d'une source lumineuse annexe, séparée de la source 4 qui éclaire une partie du miroir 100 pendant les prises de vues. En outre, les premiers motifs holographiques 31 et 32 à effet de lentille ne sont pas nécessairement situés à des positions qui sont diamétralement opposées par 30 rapport à la partie utile 30 de l'hologramme 3. Enfin, il est aussi entendu que l'invention peut être mise en oeuvre avec un faisceau de longueur d'onde quelconque, bien que celui-ci ait été appelé 2950155 -17- faisceau lumineux. En particulier, ce peut être un faisceau de lumière visible ou infrarouge, en fonction de la nature du miroir à contrôler et/ou de la nature de l'outil de contrôle qui est utilisé. REVENDICATIONS1. Procédé d'alignement pour contrôler un miroir (100) en utilisant un outil de contrôle optique, ledit outil de contrôle comprenant : - un premier support (1) adapté pour maintenir le miroir (100) dans une position déterminée par rapport à l'outil de contrôle ; - un compensateur optique comprenant un hologramme numérique (3), une partie utile (30) dudit hologramme numérique contenant un motif calculé conformément à une surface-cible du miroir (100) ; - un second support (2) adapté pour maintenir le compensateur optique (3) pendant une durée de saisie d'image, le second support étant adapté en outre pour translater latéralement ledit compensateur optique selon des directions transversales (X-X, Y-Y) de l'outil de contrôle, et pour tourner ledit compensateur optique autour d'un axe longitudinal (Z-Z) dudit outil de contrôle ; - une source de lumière (4) adaptée pour produire un faisceau lumineux (F0) lors d'une saisie d'image, et disposée de façon à éclairer une surface réfléchissante (S1oo) du miroir (100) à travers l'hologramme numérique (3) du compensateur optique, parallèlement à l'axe longitudinal (Z-Z) ; - un système optique (5) adapté pour produire une interférence entre une partie de référence (F1) du faisceau lumineux (F0) produit par la source et une partie (F2) dudit faisceau lumineux réfléchie par le miroir (100) à travers l'hologramme numérique (3) du compensateur optique ; et - un système d'enregistrement d'image (6), disposé pour saisir à chaque prise de vue une répartition d'intensité lumineuse produite par l'interférence et superposée à une image du miroir (100) formée par la partie (F2) du faisceau lumineux réfléchie par ledit miroir, ledit procédé étant caractérisé en ce que : 2950155 -19- - la source de lumière (4) n'éclaire qu'une partie (Si0) de la surface réfléchissante (S1oo) du miroir (100) lors d'une même prise de vue par le système d'enregistrement d'image (6), ladite partie de surface éclairée étant plus petite que la surface réfléchissante entière du 5 miroir ; - le premier support (1) est pourvu d'au moins un repère réfléchissant (11);et - l'hologramme numérique (3) du compensateur optique comprend en outre au moins deux premiers motifs additionnels (31, 32) disposés sur 10 deux premiers côtés de la partie utile (30) dudit hologramme numérique, chaque premier motif additionnel étant adapté pour produire un effet optique de lentille de sorte qu'un faisceau lumineux d'alignement (FA) dirigé vers le repère (11) à travers ledit premier motif additionnel (31, 32) soit réfléchi de façon variable en fonction d'un 15 décalage transversal (d) dudit premier motif additionnel par rapport au repère ; et en ce que le procédé comprend la séquence d'étapes suivante, éventuellement répétée plusieurs fois : /1/ diriger un faisceau lumineux d'alignement (FA) à travers l'un des 20 premiers motifs additionnels (31) et détecter le faisceau lumineux d'alignement réfléchi par le repère (11), en translatant transversalement le second support (2) par rapport au premier support (1) de façon à aligner ledit premier motif additionnel de l'hologramme numérique (3) par rapport au repère du premier support, parallèlement 25 audit axe longitudinal (Z-Z) ; /2/ de nouveau translater latéralement le second support (2), sans tourner ledit second support, avec un vecteur de translation approprié pour qu'un faisceau d'alignement (FA) traversant un autre (32) des premiers motifs additionnels de l'hologramme numérique (3) soit encore réfléchi par le même repère (11) du premier support (1) d'une façon alignée entre ledit repère et ledit autre premier motif additionnel parallèlement à l'axe longitudinal (Z-Z) ; 2950155 - 20 - /3/ à partir de composantes du vecteur de la translation du second support (2) effectuée à l'étape /2/, respectivement selon l'une et l'autre des directions transversales (X-X, Y-Y) de l'outil de contrôle, déterminer un écart angulaire entre l'une des dites directions 5 transversales et une direction de référence (A-A) de la zone utile (30) de l'hologramme numérique repérée par les premiers motifs additionnels ; puis /4/ tourner le second support (2) autour de l'axe longitudinal (Z-Z) conformément à l'écart angulaire déterminé à l'étape /3/, de façon à 1 o amener la direction de référence (A-A) de la zone utile (30) de l'hologramme numérique (3) parallèle à une direction de référence (B- B) du miroir (100). 2. Procédé selon la revendication 1, suivant lequel l'hologramme numérique (3) du compensateur optique comprend en outre un premier motif 15 additionnel supplémentaire (32a), disposé sur un autre côté de la partie utile (30) dudit hologramme numérique différent des deux premiers côtés, ledit premier motif additionnel supplémentaire étant aussi adapté pour produire un effet optique de lentille de sorte qu'un faisceau lumineux d'alignement (FA) dirigé vers le repère (11) à travers ledit premier motif additionnel 20 supplémentaire (32a) soit réfléchi de façon variable en fonction d'un décalage transversal (d) dudit premier motif additionnel supplémentaire par rapport au repère, les étapes /1/ à /3/ étant répétées pour l'un des dits premiers motifs additionnels (31) et pour ledit premier motif additionnel supplémentaire (32a), 25 de façon qu'un autre écart angulaire déterminé à l'étape /3/ forme une mesure d'un angle entre les deux directions transversales (X-X, Y-Y) de l'outil de contrôle. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, comprenant en outre plusieurs étapes de prises de vues, deux prises de vues successives étant 30 séparées par des étapes intermédiaires de translation du compensateur optique par rapport au miroir (100). 2950155 - 21 - 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, suivant lequel chaque repère (11) pourvu sur le premier support (1) a une forme sphérique convexe et chaque premier motif additionnel (31, 32, 32a) de l'hologramme numérique (3) est adapté pour produire un effet optique de 5 lentille convergente, et suivant lequel chaque faisceau lumineux d'alignement (FA) est réfléchi par ledit repère autour d'une direction centrale (D) variable en fonction du décalage transversal (d) entre le repère et le premier motif additionnel traversé par ledit faisceau lumineux d'alignement, ladite direction centrale de réflexion du faisceau lumineux d'alignement étant détectée lors des 1 o étapes /1 / et /2/. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, suivant lequel chaque faisceau lumineux d'alignement (FA) est une partie du faisceau lumineux (F0) produit par la source de lumière (4), et suivant lequel le faisceau lumineux d'alignement réfléchi par le repère (11) est détecté par le 15 système d'enregistrement d'image (6). 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, suivant lequel le premier support (1) est pourvu de plusieurs repères réfléchissants (11, 12, 13), et en ce que l'étape /1/ est répétée pour chacun des dits repères avec un même des premiers motifs additionnels (31, 32, 32a) de 20 l'hologramme numérique (3). 7. Procédé selon la revendication 6, suivant lequel le premier support (1) est pourvu de trois repères réfléchissants (11, 12, 13). 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, suivant lequel l'hologramme numérique (3) comprend en outre au moins deux 25 seconds motifs additionnels (33, 34) disposés sur des seconds côtés de la partie utile (30) dudit hologramme numérique, chaque second motif additionnel étant adapté pour réfléchir un faisceau lumineux d'orientation (FB), et suivant lequel chaque faisceau lumineux d'orientation (FB) dirigé sur l'un des seconds motifs additionnels (33, 34) de l'hologramme numérique (3) est une 30 partie du faisceau lumineux (F0) produit par la source de lumière (4), de sorte 2950155 - 22 - que des positions des dits seconds motifs additionnels (33, 34) sont saisies par le système d'enregistrement d'image (6). 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, suivant lequel le compensateur optique comprend en outre au moins deux 5 marques disposées pour être visibles dans une image du miroir (100) saisie par le système d'enregistrement d'image (6), et suivant lequel le procédé comprend en outre une détermination d'un grandissement de l'image saisie à partir de distances mesurées entre les marques respectivement dans le compensateur optique et dans ladite image. 10 10. Procédé selon la revendication 9, suivant lequel les deux marques sont comprises dans l'hologramme numérique (3). 11. Procédé selon les revendications 6 et 10, suivant lequel les deux marques sont confondues respectivement avec les deux seconds motifs additionnels (33, 34) de l'hologramme numérique (3). 15 12. Utilisation d'un procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, pour contrôler la surface réfléchissante (S100) d'un miroir asphérique hors d'axe (100).