Brevet FR2960648A1 — publié le 20111202

L'invention se rapporte au domaine des capteurs à magnétorésistivité géante (appelés « capteurs GMR » dans la suite du texte). Les cellules à magnétorésistivité géante (dites cellules GMR) sont sensibles au champ magnétique Bx parallèle à leur plan de mesure. La figure 1 représente l'évolution de la résistance d'une cellule GMR en fonction de la variation du champ magnétique suivant l'axe x. On s'aperçoit que la variation de la résistance des cellules GMR est maximale lorsque le champ magnétique suivant l'axe x est compris entre Bx min et Bx max (par exemple - 5 mT et + 5 mT). Lorsque le champ magnétique est supérieur à Bx max ou inférieur à Bx min, la résistance de la cellule GMR atteint un palier de saturation, respectivement Rmax et Rmin, et ne varie plus malgré les variations du champ magnétique suivant l'axe x . Par conséquent, pour bénéficier d'un maximum de dynamique de signal, la valeur moyenne du champ magnétique (appelée également « offset statique ») doit être la plus proche possible de zéro. Dans les capteurs permettant de détecter une roue dentée ferromagnétique appelée également « cible », la cellule GMR est polarisée par un aimant permanent. Dans ce cas, il est difficile d'obtenir une zone dans laquelle la composante magnétique statique selon l'axe x est quasi nulle. Différentes solutions ont été développées pour travailler si possible avec un champ statique Bx quasi nul. Ainsi, le brevet WO 2005 088 258 décrit un ensemble comprenant deux capteurs GMR dans un ensemble gradiomètre, ces éléments capteurs étant respectivement associés à un des deux aimants permanents disposés à une distance prédéterminée. Chaque aimant permanent est parallélépipédique et les dimensions, la distance et la position de ces aimants permanents par rapport aux éléments capteurs sont déterminées de manière à réduire au maximum le décalage du signal de sortie des éléments capteurs dans l'ensemble gradiomètre. Cependant, dans ce cas, les tolérances d'assemblage des deux aimants sont très contraignantes. En outre, ce montage n'est adapté qu'aux capteurs qui comprennent deux cellules GMR. Le document WO 2005 088 259 décrit un capteur GMR comportant un aimant permanent en forme de parallélépipède au centre duquel se trouve un creux en forme de U ou de V. Cet assemblage permet d'avoir une zone avec un champ magnétique parallèle quasi nul. Cependant, cette forme d'aimant permanent offre peu de tolérance pour l'assemblage de l'aimant et des cellules GMR. En particulier, les cellules GMR doivent être parfaitement parallèles au côté de l'aimant pour rester dans une zone dans laquelle la composante du champ magnétique Bx est nulle. En outre, comme pour WO 2005 088 258, cet assemblage n'est adapté que pour les capteurs GMR qui comportent deux cellules GMR. Les documents DE 10 2005 015 822, US 6 107 793 ou DE 197 29 808 concernent également des capteurs GMR comportant des aimants permanents rectangulaires dans lesquels se trouve un creux en forme de U ou de V. Cependant, toutes ses géométries requièrent une grande précision lors de l'assemblage de l'aimant et de la cellule GMR. En outre, dans ces capteurs GMR, si la composante du champ magnétique Bx est relativement bien maîtrisée, l'autre composante du champ magnétique By (perpendiculaire à Bx) est différente de zéro, ce qui a une influence sur les performances du capteur GMR (modification de la fonction de transfert donnant la valeur de la résistance en fonction de Bx). Par conséquent, dans ces capteurs où la composante By est variable, la caractéristique de la cellule est variable. L'invention vise à remédier à certains au moins des inconvénients de l'état de la technique. Une solution propose à cet effet un capteur GMR dont les deux composantes du champ magnétique Bx et By sont quasi nulles. Par « quasi nulles », on entend des 15 composantes qui sont comprises entre - 2 et 2 mT. L'invention vise également à proposer un capteur GMR qui soit peu sensible à certaines tolérances d'assemblage. Pour ce faire est proposé selon un premier aspect de l'invention un capteur GMR comportant : 20 - un aimant permanent présentant un axe de référence et une surface perpendiculaire à cet axe de référence ; - un anneau en matériau magnétique ou ferromagnétique positionné à la surface de l'aimant permanent, l'anneau comportant des parois d'épaisseur constante qui entourent continûment une cavité qui traverse l'anneau de part 25 en part suivant la direction de l'axe de référence, la cavité présentant un axe confondu avec l'axe de référence; - un circuit GMR positionné au dessus de la cavité de façon à ce que le circuit GMR soit compris dans un plan perpendiculaire à l'axe de référence, le circuit GMR comportant au moins une cellule GMR sensible selon un axe x 30 perpendiculaire à l'axe de référence. Ainsi, selon l'invention, l'aimant permanent crée un champ magnétique permanent qui a une composante magnétique Bz perpendiculaire au circuit GMR et deux composantes magnétiques Bx et By parallèles au circuit GMR. L'anneau en matériau magnétique ou ferromagnétique permet de modifier le champ magnétique de façon à 35 créer une ou plusieurs zones, qui se trouvent au-dessus de la cavité, dans lesquelles le champ magnétique comporte uniquement une composante Bz perpendiculaire à la surface du circuit GMR. Par conséquent, dans ces zones, les composantes magnétiques parallèles Bx et By sont quasi nulles. Le circuit GMR est placé dans ces zones. Ainsi, les variations du champ magnétique parallèle Bx induisent des variations maximales de la résistance de la cellule GMR. En outre, la caractéristique des cellules GMR ne sont pas modifiées par la composante By puisque celle-ci est quasi nulle également. Dans la présente description, on appelle axe z ou axe de référence un axe selon lequel l'aimant permanent est magnétisé et qui est perpendiculaire à la surface dans laquelle se trouvent les cellules GMR. On appelle axe x l'axe selon lequel les cellules GMR sont sensibles. Les axes x et z sont perpendiculaires. On appelle axe y un axe perpendiculaire aux axes y et z. Les axes x et y sont parallèles au plan dans lequel se trouve le circuit GMR. L'aimant et l'anneau sont de préférence des solides de révolution dont l'axe de rotation est l'axe de référence. Ces symétries de révolution permettent d'avoir des composantes parallèles Bx et By quasi nulles quelle que soit l'orientation du circuit GMR dans un plan perpendiculaire à l'axe de référence. Elles permettent en outre d'avoir des tolérances d'assemblage du capteur GMR plus grandes. Avantageusement, l'aimant permanent présente une rémanence supérieure à 350 mT pour des températures ambiantes comprises entre - 40 et 160°C, ce qui permet d'utiliser le capteur GMR dans un environnement moteur automobile. L'aimant permanent et l'anneau sont de préférence réalisés dans un même 20 matériau magnétique ce qui facilite la fabrication de l'ensemble aimant/anneau. Selon différents modes de réalisation : - l'aimant et l'anneau peuvent constituer deux pièces distinctes ce qui donne une plus grande liberté dans le choix de la forme de l'aimant et de l'anneau ; ou 25 - l'aimant et l'anneau peuvent former une pièce d'un seul tenant, ce qui facilite la fabrication de l'ensemble. L'aimant permanent et l'anneau forment de préférence un cylindre de révolution dont l'axe de rotation est confondu avec l'axe de référence, ce cylindre de révolution comportant une surface perpendiculaire à l'axe de référence trouée par la cavité qui est 30 borgne et cylindrique. En d'autres termes, l'invention concerne tout particulièrement et avantageusement un capteur GMR qui comporte : - un aimant permanent en forme de cylindre de révolution présentant un axe de référence et une première et une seconde faces perpendiculaires à cet axe de 35 référence, et - un circuit GMR positionné sur la première face de l'aimant permanent de façon à ce que le circuit GMR soit compris dans un plan perpendiculaire à l'axe de référence, - le capteur GMR étant particulièrement remarquable en ce que la première face de l'aimant permanent est trouée en son centre par une cavité cylindrique borgne. Ce mode de réalisation est particulièrement avantageux car il permet d'avoir une zone circulaire située au-dessus de la cavité dans laquelle les composantes parallèles du champ magnétique Bx et By sont quasi nulles. En outre, la symétrie de révolution de l'aimant permet d'avoir une grande tolérance dans le positionnement du circuit GMR. Avantageusement, le cylindre a un diamètre constant. Selon un mode de réalisation, le cylindre de révolution présente une hauteur selon l'axe de référence de 4,7 mm et un diamètre extérieure de 6,3 mm, et la cavité présente une profondeur selon l'axe de référence de 1 mm et un diamètre de 3,8 mm. Ces dimensions sont optimisées pour avoir une zone circulaire située au-dessus de la cavité dans laquelle les composantes Bx et By sont quasi nulles, cette zone étant suffisamment étendue pour que l'on puisse positionner plusieurs cellules GMR côte à côte dans cette zone. En outre, cette géométrie d'aimant monobloc et à symétrie de révolution permet d'avoir une grande tolérance d'assemblage. Ces dimensions de cylindre sont particulièrement adaptées lorsque le circuit GMR comporte trois cellules GMR. Avantageusement, le circuit GMR comporte trois cellules GMR, la première cellule GMR étant disposée de façon à être traversée par l'axe de référence, les deux autres cellules GMR étant disposées de part et d'autre de la première cellule GMR à égale distance (par exemple à 1.25 mm) de la première cellule GMR. Contrairement aux assemblages de l'art antérieur, l'assemblage selon l'invention peut autoriser l'utilisation de trois cellules GMR qui se trouvent toutes les trois dans une zone où les composantes Bx et By sont quasi nulles. Avantageusement, la position des cellules dans le plan xy par rapport à la surface de l'aimant présente une hauteur selon l'axe de référence comprise entre 0,6 mm et 0,7 mm. Cette hauteur permet de suffisamment surélever les cellules GMR par rapport à l'aimant permanent pour que les composantes Bx et By aient une valeur comprise entre - 2 mT et + 2 mT. Avantageusement, l'aimant et l'anneau sont réalisés en plasto-ferrite ou autre matériau comme par exemple en plasto-néodyme-Fer-Bore ou en plasto-samarium-35 cobalt. Selon un mode de réalisation préférentiel, la cavité est remplie par un matériau amagnétique. Ce remplissage permet d'éviter les contraintes mécaniques sur le circuit GMR qui se trouve au-dessus de la cavité. L'invention concerne également un détecteur de cible ferromagnétique 5 comportant un capteur GMR tel que décrit dans ce document. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront à la lecture de la description qui suit, en référence aux figures annexées, qui illustrent : - figure 1 : la variation de la résistance d'une cellule GMR en fonction de la composante du champ magnétique parallèle ; - figure 2a : une vue en coupe d'un capteur GMR selon un mode de réalisation de l'invention ; - figure 2b : la même vue en coupe que la vue 2a, mais avec les lignes de champ magnétique schématisées ; - figure 3a : une vue en perspective d'un ensemble aimant/anneau après assemblage d'un capteur GMR selon un autre mode de réalisation ; - figure 3b : une vue en perspective d'un ensemble aimant/anneau avant assemblage d'un capteur GMR selon un autre mode de réalisation ; - figure 4 : une vue en perspective d'un ensemble aimant/anneau d'un capteur GMR selon un autre mode de réalisation de l'invention ; - figure 5 : une vue en coupe d'un détecteur de cible ferromagnétique selon un mode de réalisation de l'invention. Pour plus de clarté, les éléments identiques ou similaires sont repérés par des signes de références identiques sur l'ensemble des figures. Dans la suite, on appelle « supérieur » un élément qui se trouve dans la partie supérieure des figures telles que représentées dans cette demande et « inférieur », un élément qui se trouve dans la partie inférieure des figures. Un élément « supérieur » se trouve à proximité du circuit GMR, tandis qu'un élément « inférieur » se trouve à proximité de l'aimant. La figure 2a représente un capteur GMR 1 en coupe transversale selon un mode de réalisation de l'invention. Ce capteur GMR 1 comporte un aimant 3 permanent cylindrique qui présente un axe de référence z. Sur cet aimant 3 permanent, se trouve un anneau 4 qui entoure continûment une cavité 5 qui traverse de part en part l'anneau 4 suivant l'axe de référence z. La cavité 5 présente une symétrie de révolution autour d'un axe de rotation confondu avec l'axe de référence z. L'anneau 4 présente une surface latérale extérieure 6 cylindrique autour de l'axe de référence z de même diamètre extérieur que l'aimant permanent 3. L'anneau 4 présente une surface latérale intérieure 7 qui est également cylindrique autour de l'axe de référence z si bien que la cavité 5 est également cylindrique autour de l'axe de référence z. Les parois 8 de l'anneau 4 sont d'épaisseur e constante autour de la cavité 5. La cavité 5 a une hauteur h1 suivant l'axe de référence z égale à la hauteur h2 suivant l'axe de référence z de l'anneau 4. Le fond 9 de la cavité 5 est plan et il est formé par la surface supérieure 16 de l'aimant 3. Ainsi, la surface supérieure 16 de l'aimant ferme la cavité 5 qui est borgne après montage de l'anneau 4 sur l'aimant 3. L'anneau 4 présente une surface supérieure 10 plane. L'aimant 3 permanent et l'anneau 4 sont constitués de plasto-néodyme-ferrite, c'est-à-dire qu'ils sont tous les deux constitués d'un matériau magnétique de rémanence supérieure à 350 mT pour des températures ambiantes comprises entre - 40 et 160°C. L'aimant 3 et l'anneau 4 peuvent également être formés dans une pièce d'un seul tenant. L'aimant 3 et l'anneau 4 forment un cylindre 2 autour de l'axe de référence z. Dans un mode de réalisation possible de l'invention donné à titre illustratif, ce cylindre 2 a un diamètre d1 constant égal à 6,3 mm et une hauteur h3 égale à 4,7 mm. Ce cylindre 2 présente donc sur sa face supérieure 10 une cavité 5 cylindrique autour de l'axe de référence z de diamètre d2 égal à 3,8 mm et de profondeur suivant l'axe z égale à la hauteur h1 de l'anneau 4 et égale à 1 mm. Sur la surface supérieure 10 de l'anneau 4, qui correspond à la surface supérieure du cylindre 2, se trouve un circuit GMR 11. Le circuit GMR 11 est compris dans un plan perpendiculaire à l'axe de référence z. Le circuit GMR 11 comporte un substrat en silicium 12 sur lequel se trouve l'électronique et les cellules GMR 13a, 13b, 13c. Le substrat en silicium 12 présente une hauteur h4 suivant l'axe de référence z typiquement égale à 0,65 mm dans l'exemple illustré. Sur le substrat en silicium 12, se trouvent trois cellules GMR 13a, 13b, 13c. Chaque cellule GMR 13a, 13b, 13c est sensible aux variations d'une composante du champ magnétique Bx suivant un axe x perpendiculaire à l'axe de référence z. L'axe x est défini comme étant l'axe passant par les cellules GMR 13a, 13b et 13c et selon lequel elles sont sensibles. La première cellule GMR 13a est disposée de façon à être traversée par l'axe de référence z, c'est-à-dire à être alignée avec le centre du cylindre 2. Les deux autres cellules GMR 13b et 13c sont disposées de part et d'autre de la première cellule GMR 13a à égale distance de la première cellule GMR 13a suivant l'axe x, par exemple 1,25 mm. Le circuit électrique reliant les cellules GMR 13a, 13b et 13c est représenté en vue de dessus sur la figure 5. Ainsi, le cylindre 2 crée un champ magnétique 19 permanent symétrique autour de l'axe de référence z (cf. figure 2b). L'anneau 4 impose aux lignes de champ magnétique 19 de sortir à travers la cavité 5 parallèlement à l'axe de référence z et donc perpendiculairement à la surface du circuit GMR 11, comme on peut le voir sur la figure 2b. Ainsi, la géométrie de l'aimant 3 associée à celle de l'anneau 4 permet de créer une zone circulaire 14 d'environ 3 mm de diamètre, située à une hauteur de 0,65 mm de la surface supérieure 10 de l'anneau 4 dans laquelle le champ magnétique a uniquement une composante Bz perpendiculaire à la surface du circuit GMR 11, les composantes du champ magnétique parallèle Bx et By étant quasi nulles. Les cellules GMR 13a, 13b et 13c sont situées dans cette zone circulaire 14 et par conséquent, les variations de Bx, qui a une valeur proche de zéro, induisent des variations maximales sur la résistance R des cellules GMR 13a, 13b, 13c. Par conséquent, le capteur GMR selon l'invention a une sensibilité maximale. En outre, les tolérances de positionnement des cellules GMR 13a, 13b, 13c sont très grandes puisque la géométrie de révolution de l'ensemble aimant 3/anneau 4 induit des composantes Bx et By égales. Par conséquent, les cellules GMR 13a, 13b, 13c peuvent être placées suivant n'importe quelle orientation dans un plan perpendiculaire à l'axe de référence z. En outre, comme la composante du champ magnétique By est quasi nulle, elle n'induit pas de variation dans la fonction de transfert des cellules GMR 13a, 13b, 13c donnant la résistance en fonction de Bx. Cette caractéristique est alors idéale. Les figures 3a et 3b représentent en perspective un ensemble aimant 3/anneau 4 d'un capteur GMR selon un autre mode de réalisation de l'invention, respectivement après et avant assemblage de l'ensemble aimant 3/anneau 4. Ce capteur GMR est en tout point identique à celui décrit précédemment, à l'exception près de l'ensemble aimant 3/anneau 4 qui n'est pas constitué d'une pièce d'un seul tenant mais de deux pièces distinctes. L'anneau 4 est cylindrique avec son axe de rotation confondu avec l'axe de référence z et il comporte des parois 8 d'épaisseur constante qui sont cylindriques et qui définissent une cavité 5 qui traverse de part en part l'anneau 4 suivant l'axe de référence z. La cavité 5 est également cylindrique avec son axe de rotation confondu avec l'axe de référence z. Comme illustré à la figure 3b, l'aimant 3 est un cylindre d'un seul bloc qui comporte une surface latérale cylindrique 15, une surface supérieure 16 plane et une surface inférieure 17 plane. L'anneau 4 et l'aimant 3 ont des surfaces latérales cylindriques de même diamètre si bien que l'anneau 4 et l'aimant 3 se superposent parfaitement. L'anneau 4 est posé sur la surface supérieure 16 de l'aimant 3. L'anneau 4 est réalisé dans un matériau magnétique. Après assemblage, la partie de la surface supérieure 16 de l'aimant qui se trouve face à la cavité 5 forme le fond 9 de la cavité 5, si bien qu'après assemblage, l'anneau 4 et l'aimant 3 forment un cylindre 2 qui comporte dans sa surface supérieure 10 une cavité 5 borgne et cylindrique puisque la cavité 5 de l'anneau 4 est fermée par la surface supérieure 16 de l'aimant 3. Ce mode de réalisation dans lequel l'anneau et l'aimant sont constitués par deux pièces distinctes permet de choisir des matériaux différents pour l'anneau 4 et pour 5 l'aimant 3. La figure 4 représente en perspective un autre mode de réalisation dans lequel l'anneau 4 est cylindrique autour de l'axe de référence z et il comporte des parois 8 d'épaisseur constante qui sont cylindriques et qui définissent une cavité 5 cylindrique qui traverse de part en part l'anneau 4 suivant la direction de l'axe de référence z. L'anneau 4 10 comporte une surface supérieure 10 plane et une surface inférieure plane 18. L'anneau 4 présente un diamètre extérieur dl et un diamètre intérieur d2. La cavité 5 est également cylindrique avec son axe de rotation confondu avec l'axe de référence z. L'anneau 4 est réalisé dans un matériau magnétique. L'anneau 4 est posé sur un aimant 3 permanent qui est parallélépipédique. 15 L'aimant 3 permanent a un côté de longueur cl suivant l'axe y et un côté de longueur c2 suivant l'axe x. Les côtés cl et c2 sont supérieurs ou égaux au diamètre extérieur dl de l'anneau 4. La surface inférieure 18 de l'anneau 4 est fixée contre la surface supérieure 16 de l'aimant 3 de sorte qu'une partie 9 de la surface supérieure 16 de l'aimant 3 ferme la cavité 5. Ce mode de réalisation permet d'avoir une plus grande liberté 20 dans le choix des formes et des matériaux de l'anneau 4 et de l'aimant 3. Cependant, ce mode de réalisation n'est pas le mode préféré de réalisation de l'invention car il ne présente pas une symétrie de révolution autour de l'axe de référence z et par conséquent, les tolérances d'assemblage du circuit GMR 11 (non représenté à la figure 4) sur l'anneau 4 exigent plus de précision lors du montage du circuit GMR sur l'ensemble 25 aimant 3/anneau 4. La figure 5 représente un détecteur de cible ferromagnétique selon un mode de réalisation de l'invention. Ce détecteur comprend un capteur GMR 1 tel que représenté sur la figure 2a. Ce capteur GMR comprend un cylindre 2 en matériau magnétique troué par une cavité cylindrique. Ce cylindre 2 troué est constitué d'un aimant et d'un anneau en 30 matériau magnétique. Le cylindre 2 crée un champ magnétique permanent 19 qui comporte quasiment uniquement une composante suivant l'axe de référence z, les composantes statiques Bx et By suivant les axes x et y étant quasi nulles. Sur ce cylindre 2, au-dessus de la cavité 5, se trouve un circuit GMR 11 qui comporte trois cellules GMR. Au-dessus de ce capteur GMR 1 se trouve une roue dentée 20 en matériau 35 ferromagnétique qui concentre plus ou moins les lignes de champ magnétique créées par le cylindre 2 suivant la distance 21 entre la roue dentée 20 et le circuit GMR 11. Ces variations de champ magnétique induisent des variations de résistance dans les cellules GMR, ce qui permet la détection des mouvements de la roue dentée 20. Entre la roue dentée 20 et la surface des cellules GMR se trouve un espace 21 rempli d'air. Naturellement l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisations décrits ci-dessus. On pourrait par exemple envisager de réaliser, dans des modes de réalisation moins performants, un anneau non pas cylindrique mais ovale ou même rectangulaire à condition que ses parois soient d'épaisseur constante. En outre, les dimensions données ne le sont qu'à titre illustratif et nullement restrictif en soi. REVENDICATIONS1. Capteur GMR (1) comportant : - un aimant (3) permanent présentant un axe de référence (z) et une surface (16) perpendiculaire à cet axe de référence (z) ; - un anneau (4) en matériau magnétique ou ferromagnétique se dressant sur ladite surface (16) de l'aimant permanent, l'anneau (4) comportant des parois (8) d'épaisseur constante (e) qui entourent continûment une cavité (5) qui traverse l'anneau (4) de part en part suivant la direction de l'axe de référence (z), la cavité (5) présentant un axe confondu avec l'axe de référence (z) ; - un circuit GMR (11) positionné au-delà de la cavité (5) de façon à ce que le circuit GMR (11) soit compris dans un plan perpendiculaire à l'axe de référence (z), le circuit GMR (11) comportant au moins une cellule GMR (13a, 13b, 13c) sensible selon un axe x perpendiculaire à l'axe de référence (z). 2. Capteur GMR selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'aimant (3) et l'anneau (4) sont des solides de révolution dont l'axe de rotation est l'axe de référence (z). 3. Capteur GMR selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'aimant (3) présente une rémanence supérieure à 350 mT pour des températures ambiantes comprises entre - 40 et 160°C. 4. Capteur GMR selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'aimant (3) et l'anneau (4) sont réalisés dans un même matériau magnétique. 5. Capteur GMR selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'aimant (3) et l'anneau (4) forment un cylindre (2) de révolution dont l'axe de rotation est l'axe de référence (z), le cylindre (2) de révolution comportant une surface (10) perpendiculaire à l'axe de référence (z) trouée par la cavité (5) qui est borgne et cylindrique. 6. Capteur GMR selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le cylindre (2) de révolution a un diamètre constant. 7. Capteur GMR selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le circuit GMR (11) comporte trois cellules GMR (13a, 13b, 13c), la première cellule GMR (13a) étant disposée de façon à être traversée par l'axe de référence (z), les deux autres cellules GMR (13b, 13c) étant disposées de part et d'autre de la première cellule GMR (13a) à égale distance de la première cellule GMR (13a). 8. Capteur GMR selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'aimant (3) et l'anneau (4) sont réalisés en plasto-ferrite ou plastonéodyme-fer-bore ou plasto-samarium-cobalt. 9. Capteur GMR selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la cavité (5) est remplie par un matériau amagnétique. 10. Détecteur de cible ferromagnétique comportant un capteur GMR conforme à l'une quelconque des revendications précédentes.