Brevet FR2950708A1 — publié le 20110401

-1- « Modulateur optique compact à haut débit en semi-conducteur sur isolant » L'invention concerne un composant de modulation électro-optique amélioré pour augmenter la compacité, favoriser l'adaptation des ondes optiques et électriques entre elles. Selon l'invention, un tel composant présente une architecture de guide d'onde agencée pour que la longueur du trajet suivi par le flux lumineux présente, avec la longueur du trajet parcouru par le signal électrique de commande, une différence déterminée pour diminuer ou compenser la différence des vitesses de propagation du flux lumineux et du signal électrique. En particulier, ce composant comprend dans la zone de modulation un trajet du flux lumineux agencé présentant une longueur supérieure à celle parcourue par le signal électrique, par exemple entre une première et une deuxième région d'interaction entre ce signal de commande et ce flux lumineux. L'invention concerne en outre un procédé de fabrication d'un tel composant, ainsi qu'un dispositif ou système incluant un tel composant. Domaine technique L'invention se situe dans la thématique de la photonique silicium, principalement pour des applications dans les domaines des télécommunications optiques et des interconnexions optiques dans les circuits intégrés. Pour réaliser une chaîne de transmission de l'information à hauts débits, des composants de conversion électronique/optique sont nécessaires, et le modulateur optoélectronique est un élément clef, permettant de transférer une information d'un signal électrique sur une onde optique. L'invention porte sur une configuration de modulateur optoélectronique compact originale fonctionnant à des débits importants (supérieurs à 10 Gbit/s, les applications typiques actuelles nécessitant 10 à 40 Gbit/s par modulateur). L'invention se situe dans le domaine de l'optoélectronique et la photonique sur semiconducteur, en particulier sur silicium. Elle est utilisable -2- pour de nombreuses applications optoélectroniques, et en particulier pour des applications dans les domaines des télécommunications optiques et des interconnexions optiques dans les circuits intégrés. Pour réaliser une chaîne de communication comportant à la fois des signaux électriques et des signaux basés sur de la lumière dans des fibres optiques ou des circuits optiques, en particulier en haut débit, des composants de conversion électronique/optique sont nécessaires. Le modulateur électro-optique est un élément clef permettant de transférer une information depuis un signal électrique vers une onde optique, par exemple pour transformer une information numérique sous forme électronique en un signal numérique optique qui sera envoyé dans une fibre optique pour une transmission courte, moyenne ou longue distance. D'autres domaines de l'électronique peuvent aussi utiliser des modulateurs, par exemple des systèmes de détection ou d'observation dans différentes longueurs d'onde. Etat de la technique La dernière génération de composants et systèmes optoélectroniques fonctionne à un débit pouvant être supérieur à 10 Gbit/s, et dont les applications typiques visent des débits allant jusqu'à 40 Gbit/s par seconde par canal chromatique pour le silicium. Typiquement, un modulateur électro-optique comprend une zone de modulation incluant un guide d'onde dans lequel circule le flux lumineux à moduler. Dans cette zone de modulation, au moins deux électrodes appliquent le signal électrique de modulation à une région active incluant le guide d'onde. Cette zone de modulation peut présenter un fonctionnement différent et une architecture de guide d'onde différente selon les types de modulateurs. La zone de modulation peut fonctionner par exemple par variation de l'indice de réfraction du guide d'onde, et fournir ainsi une modulation de phase de la lumière la traversant. Cette zone de modulation est alors agencée pour moduler en phase une partie d'un flux lumineux entrant, qui sera ensuite combinée au sein d'un interféromètre avec une autre partie -3- non modulée. En sortie de l'interféromètre, cette combinaison donne par interférences une modulation d'intensité de ce flux lumineux. L'élément modulateur de phase est incorporé au sein d'un interféromètre, par exemple du type Mach-Zehnder. Une telle zone de modulation de phase peut présenter par exemple une architecture similaire à celle évoquée ci-dessus, avec des choix différents de matériaux et/ou de spectre lumineux. Une zone de modulation en phase peut aussi être réalisée en faisant circuler la lumière au sein d'un guide d'onde en semiconducteur. Ce guide d'onde interagit sur une certaine longueur avec au moins deux régions dopées formant entre elles une diode à laquelle on applique le signal électrique de modulation. Selon la tension de polarisation appliquée à cette diode, le semiconducteur du guide d'onde change d'indice de réfraction et modifie ainsi la vitesse de propagation et donc la phase de la lumière qui le parcourt. Un dispositif de ce type est décrit par exemple dans les documents PCT/FR/05/00748 et US 7 116 853, dont le fonctionnement est basé sur plusieurs semiconducteurs dopés différemment, formant une diode qui agit sur l'indice de réfraction au sein du guide d'onde. D'autres mécanismes existent, par exemple un guide d'onde formé au sein d'une région active comprenant plusieurs couches de matériaux différents formant entre eux des puits quantiques parallèles à la direction de propagation. Cette région active est entourée de deux groupes d'électrodes auxquelles on applique le signal électrique pour polariser la région active et faire varier l'indice effectif du mode optique se propageant dans le guide d'onde. Inconvénients : longueur / compacité Les performances obtenues pour un type de modulateur donné, par exemple en contraste, dépendent largement de l'utilisation d'une longueur de modulation suffisamment importante, qui peut couramment atteindre des longueurs de l'ordre d'un ou plusieurs millimètres. Cette longueur engendre certains inconvénients, en particulier en termes de compacité, puisqu'elle limite les possibilités d'intégration au sein de petits composants et/ou de circuits intégrés. 2950708 -4 Inconvénients : longueur / vitesse La longueur a aussi des inconvénients en termes de vitesse de 5 modulation. En effet, la lumière se propage dans le guide d'onde à une certaine vitesse, qui est différente de la vitesse de propagation du signal électrique de modulation dans les électrodes de la diode de modulation. Au delà d'une certaine longueur, cette différence des vitesses de propagation devient gênante si l'on augmente trop la fréquence du signal de modulation 10 pour améliorer le débit. Ainsi, pour un débit donné, il devient souvent impossible de dépasser une certaine longueur de modulation, faute de quoi le signal présente une détérioration trop forte qui gêne ou empêche sa reconstruction numérique ultérieure à partir de sa forme analogique. 15 Ce problème oblige actuellement à faire un choix de compromis entre la longueur de modulation pour la qualité du signal, et la fréquence de modulation pour le débit d'informations. Cela constitue actuellement une limite, par exemple pour atteindre ou dépasser les débits de 10 Gbit/s et aussi 40 Gbit/s dans une configuration de quelques millimètres pour la 20 longueur de modulation. L'utilisation d'une structure interférométrique de type résonateur en anneau permet de limiter ce problème de copropagation entre flux lumineux et signal électrique. Ce type d'interféromètre est cependant très sensible en 25 température, ce qui en limite l'utilisation dans de nombreuses applications et/ou introduit des contraintes supplémentaires sur l'ingénierie du système concerné par exemple en matière de contrôle en température, par exemple du fait de la dissipation thermique. 30 Cette zone de modulation peut aussi fonctionner par exemple par variation de l'absorption du guide d'onde, et fournir ainsi directement une modulation d'intensité de la lumière la traversant. Il peut s'agir par exemple d'un guide d'onde formé au sein d'une région active comprenant plusieurs couches de matériaux différents formant entre eux des puits quantiques -5- parallèles à la direction de propagation. Cette région active est entourée de deux groupes d'électrodes auxquelles on applique le signal électrique pour polariser la région active et faire varier ses caractéristiques d'absorption de la lumière parcourant le guide d'onde. Le document US 6,593,589 décrit par exemple un modulateur unipolaire ISB fonctionnant par absorption autour de 5,2 pm, utilisant les couples GaN-AIN ou GaN-InN ou InGaN-GaN. De tels composants sont utilisés par exemple dans l'émission ou la détection aérienne, pour profiter de fenêtres de transparence atmosphérique aux longueurs d'onde 3-5 pm et 8-12 Jm. Des solutions ont été proposées, qui consistent à concevoir des électrodes de formes complexes et sophistiquées, pour influer sur la vitesse de propagation ou d'arrivée du signal électrique, et en particulier pour l'accélérer. Ce type d'ingénierie des électrodes présente toutefois des limites et de nombreuses contraintes, est source de complexité et nécessite souvent des tolérances de fabrication très fines qui sont difficiles et couteuses à atteindre, en particulier en grande série ou si l'on souhaite diminuer le taux de rebut des composants fabriqués. Un but de l'invention est ainsi d'améliorer les performances de vitesse des modulateurs électro-optiques de phase ou d'intensité, mais aussi la compacité, la facilité d'intégration et la simplicité de fabrication, tout en en limitant la sensibilité à la température et les contraintes de précision lors de la conception et/ou de la fabrication. L'invention propose pour cela un composant électro-optique de modulation d'un flux lumineux en fonction d'un signal électrique de commande, comprenant une zone de modulation dans laquelle ce flux lumineux se propage dans un guide d'onde et est soumis à l'action d'au moins un premier et un deuxième éléments dits de commande électrique, en matériaux conducteurs et/ou semiconducteurs, par exemple dopés de deux façons différentes. Ces deux éléments de commandes forment ainsi une paire d'éléments de commande recevant le signal électrique de -6- commande, typiquement depuis une paire d'électrodes dont chacune est reliée électriquement à l'un de ces éléments de commande. Chacun de ces éléments de commande, et/ou chacune de ces électrodes, peut d'ailleurs être formée d'une seule partie continue, mais peut aussi être en plusieurs parties distinctes recevant le signal de commande électrique de la même façon. Selon l'invention, le guide d'onde est agencé de façon à ce que, dans cette zone de modulation, il existe au moins une première et au moins une deuxième régions d'interaction entre le flux lumineux et la paire d'éléments de commande telles que la longueur du trajet suivi par ledit flux lumineux présente une différence déterminée avec la longueur du trajet parcouru par le signal électrique de commande. Plus particulièrement, ces longueurs sont déterminées de façon à ce que leur différence compense, ou au moins diminue, la différence existant entre la vitesse de propagation du flux lumineux et la vitesse du signal électrique entre ces première et deuxième régions d'interaction. Ainsi, simplement en choisissant un tracé ou un dessin du guide d'onde par rapport aux éléments de commande, on peut obtenir une diminution ou une compensation des décalages de signaux, et donc des inconvénients connus dans l'état de la technique. Ces avantages peuvent alors être obtenus sans recourir aux techniques complexes d'ingénierie d'électrodes parfois qui étaient proposées jusqu'ici. En effet, les techniques utilisées pour tracer la forme et le dessin d'un guide d'onde sont souvent moins complexes, plus souples, et nécessitent de moins grandes précisions dimensionnelles. De plus, de nombreux types de tracés permettent d'obtenir une telle différence de longueur sans nécessiter de grandes précisions dimensionnelles, en particulier quant aux limites entre les différentes zones de croissance ou de dopage, comme ceux utilisables dans les modes de réalisation décrits plus loin. Cet agencement peut porter sur le tracé du guide d'onde seulement, par exemple en utilisant des éléments de commande de forme simple voire rectiligne. Cet agencement peut jouer aussi sur la forme des éléments de commande de la région active (par exemple les semiconducteurs dopés de -7- la diode), ou en coordonnant une ingénierie de ces deux parties comme dans les modes de réalisation interdigités décrits plus loin. Selon un premier mode de réalisation, les éléments de commande d'au moins une paire d'éléments de commande électrique sont disposés de part et d'autre du guide d'onde et présentent une forme entourant ce guide d'onde entre la première et la deuxième régions d'interaction, de façon à ce que ces éléments de commande présentent une longueur plus faible que la longueur du guide d'onde entre ces première et deuxième régions d'interaction. En un deuxième mode de réalisation, actuellement préféré, deux éléments de commande d'au moins une paire d'éléments de commande électrique présentent, en vis-à-vis l'un de l'autre, une forme comprenant des indentations intercalées entre elles et successivement traversées par le guide d'onde, lequel présente une forme s'enroulant sur elle-même dans au moins une partie de la zone de modulation. Selon une particularité, le guide d'onde est agencé pour que le trajet suivi par le flux lumineux présente une partie enroulée en une spirale traversant successivement des émanations sensiblement radiales intercalées entre elles et s'étendant : - depuis l'un des éléments de commande majoritairement situé à l'intérieur de ladite spirale d'une part, et - depuis l'autre des éléments de commande situé majoritairement à l'extérieur et autour de la spirale d'autre part. Selon un autre aspect, l'invention propose aussi un dispositif ou un système comprenant un tel composant. En outre, l'invention propose aussi un procédé de fabrication de composant optoélectronique comprenant des étapes sélectionnées, définies et combinées de façon à réaliser un composant défini tel que précisé dans la présente description. Plus particulièrement, le composant selon l'invention peut être du type dans lequel la zone de modulation présente une architecture agencée -8- pour faire varier la phase du flux lumineux qui la traverse en fonction du signal électrique de commande. Une telle modulation de phase peut être utilisée telle quelle dans certaines applications. Dans d'autres applications, au moins une telle zone de modulation est insérée au sein d'un interféromètre, par exemple un Mach Zehnder, de façon à obtenir une modulation d'intensité du flux lumineux le traversant à partir de la modulation de phase du flux lumineux traversant ladite zone de modulation. Il est ainsi possible d'obtenir les caractéristiques avantageuses de ce type de modulateur, stabilité en température, robustesse, tout en limitant les inconvénients dus aux différences de vitesses de propagation tels que les limites en débit et/ou en longueur donc en contraste de modulation. Typiquement, cette zone de modulation peut être obtenue par un guide d'onde réalisé au sein d'une région active formant une diode de type PN ou PIN, comme dans les modes de réalisation décrits plus loin. Cependant, il est aussi possible d'appliquer les caractéristiques d'agencement de la zone de modulation proposées par l'invention à une zone de modulation comprenant un guide d'onde formé dans une région active entourée par au moins une paire d'éléments de commande en semiconducteurs, dans laquelle cette région active inclue au moins une structure à un ou plusieurs puits quantiques réalisée à partir de deux matériaux semiconducteurs différents de type III-V. Ceux-ci sont alors choisis pour former un couple de semiconducteurs à bande interdite et obtenir ainsi une variation de l'indice effectif d'absorption dans cette région active en fonction du signal électrique appliqué auxdits éléments de commande. L'invention est utilisable dans de nombreuses applications nécessitant une modulation optique à partir de signaux électriques à haut débit, et en particulier dans les applications de télécommunications optiques, interconnexions optiques dans les microprocesseurs, ou systèmes de détection. -9- Des modes de réalisation variés de l'invention sont prévus, intégrant selon l'ensemble de leurs combinaisons possibles les différentes caractéristiques optionnelles exposées ici. D'autres particularités et avantages de l'invention ressortiront de la description détaillée d'un mode de mise en oeuvre nullement limitatif, et des dessins annexés sur lesquels : - la FIGURE 1 est une vue en coupe transversale et perspective illustrant un exemple de l'art antérieur comprenant une diode de type PIN en configuration latérale avec un plan dopé vertical dans sa région intrinsèque, tel qu'illustré dans le document WO 2005/093480 ; - La FIGURE 2 est une vue de dessus illustrant un exemple de l'art antérieur réalisant un modulateur à partir d'une diode latérale, telle que celle de la FIGURE 1, implantée au sein d'un interféromètre de Mach Zehnder asymétrique, tel qu'illustré dans le document WO 2005/093480 ; - les FIGURE 3 à FIGURE 5 sont des schémas en vue de dessus non à l'échelle qui illustrent un premier mode de réalisation de l'invention dans lequel les éléments de commandes entourent entièrement le tracé du guide d'onde : - la FIGURE 3 illustre une partie de la zone de modulation pour des éléments de commande formant une diode de type PN, et - la FIGURE 4 illustre une partie de la zone de modulation pour des éléments de commande formant une diode de type PIN, - la FIGURE 5 illustre deux zones de modulation avec diode PN disposées symétriquement au sein de l'interféromètre Mach Zehnder d'un modulateur asymétrique ; - les FIGURE 6 à FIGURE 9 illustrent différentes variantes d'un deuxième mode de réalisation avec diode PN dans lequel les éléments de commandes présentent une structure interdigitée sensiblement radiale croisant le tracé en spirale du guide d'onde : - la FIGURE 6 illustre une variante à éléments de commande concentriques dans laquelle le guide d'onde s'enroule dans une spirale d'entrée et fait demi tour pour ressortir dans une spirale de sortie intercalée dans la spirale d'entrée ; -10- - la FIGURE 7 illustre une variante à éléments de commande concentriques dans laquelle le guide d'onde arrive par le centre et décrit une spirale vers l'extérieur ; - la FIGURE 8 illustre la structure des éléments de commande et de leurs électrodes pour les exemples des FIGURE 6 et FIGURE 8 ; - la FIGURE 9 illustre une variante à éléments de commande juxtaposés dans laquelle le guide d'onde arrive par le centre et décrit une alternance de portions de spirales vers l'extérieur ; - les FIGURE 10 à FIGURE 12 illustrent la répartition des densités de charges au sein des éléments de commandes pour le deuxième mode de réalisation, dans une partie d'une des indentations intercalées : - pour la FIGURE 10, en une photo de mesure pour une différence de potentiel de commande à 0 V, - pour la FIGURE 11, en une photo de mesure pour une différence de potentiel de commande à 5 V, - pour la FIGURE 12, en un schéma plus large illustrant le positionnement des mesures des FIGURE 10 et FIGURE 11 au sein de la structure des éléments de commande. Eléments de commande entourant le guide d'onde Un premier mode de réalisation est illustré en référence aux FIGURE 3 à FIGURE 5, dans lequel les éléments de commandes entourent entièrement le tracé du guide d'onde. Dans les exemples de ce mode de réalisation décrits ici, le tracé longitudinal du guide d'onde présente une forme en ondulations, calculée pour présenter une longueur permettant de diminuer ou de compenser la différence des vitesses de propagation. La FIGURE 3 représente une partie de la zone de modulation dans une variante où des éléments de commande formant une diode de type PN. Un guide d'onde 310 est réalisé au sein d'une couche d'un matériau semi conducteur, par exemple un semiconducteur monocristallin tel que du silicium. Un premier élément de commande 321 et un deuxième élément de commande 322 forment une paire d'éléments de commande électrique, et sont réalisés de part et d'autre du guide d'onde 310, et entourent celui-ci de part et d'autre. Par exemple, l'un de ces éléments de commande est une - 11 - partie de silicium dopée « P » 321, et l'autre est une partie de silicium dopée « N » 322. La séparation entre les deux éléments de commande 321 et 322 suit sensiblement le tracé du guide d'onde. Ainsi qu'illustré sur la figure, la limite entre les deux éléments de commande peut par exemple être décalée d'un côté du guide d'onde, qui est alors englobé entièrement dans l'un des deux éléments de commande. Les deux éléments de commande peuvent aussi être jointifs au sein du guide d'onde. Ces deux éléments de commande 321 et 322 reçoivent un signal électrique de commande 309 par l'intermédiaire de deux électrodes 331 et respectivement 332, par exemple des électrodes métalliques parallèles entre elles. Ainsi, les deux éléments de commande 321 et 322 forment ensemble une diode PN de modulation, qui est commandée par le signal électrique de commande 309. Lorsqu'un flux lumineux à moduler 311 pénètre dans le guide d'onde 310, ici par la gauche de la figure, le matériau du guide d'onde voit ses caractéristiques optiques modifiées par le champs électrique formé au sein de la diode de commande, selon la direction verticale sur la figure. En chaque point du guide d'onde, la diode de commande interagit ainsi avec le flux lumineux 311 pour en moduler les caractéristiques, par exemple la phase dans le présent exemple. Au sein des électrodes de commandes 331 et 332, et donc au sein des éléments de commande 321 et 322, le signal électrique de commande progresse de façon rectiligne selon la direction longitudinale déterminée par la position des électrodes l'une par rapport à l'autre, par exemple de la gauche vers la droite sur la figure. Le guide d'onde 310 est réalisé selon des techniques connues, par exemple par une arête longitudinale dépassant sur le dessus de la couche de silicium, ou par traitement lithographique modifiant les caractéristiques optiques telles que l'indice de réfraction d'une région précise cette couche. Selon l'invention, ce guide d'onde est réalisé selon un dessin déterminé entre les électrodes et les éléments de commande, par exemple non rectiligne et formant une ondulation comme illustré ici. - 12 - Ainsi qu'on le voit sur la figure, entre n'importe quelle première région d'interaction R1 et n'importe quelle deuxième région d'interaction R2 situées toutes les deux sur le guide d'onde 310, le flux lumineux 311 parcourt une certaine longueur L311, selon sa vitesse de propagation V311. Or, entre ces deux régions R1 et R2, le signal électrique de commande parcourt une certaine longueur L309 selon sa vitesse de propagation V309. En proposant pour le guide d'onde un tracé L311 non rectiligne, par exemple plus long et en tout cas différent du tracé L309 du signal de commande entre ces deux régions d'interactions R1 et R2, l'invention permet ainsi de compenser les différences entre ces vitesses de propagation différentes V311 et V309. A partir de ces différences de vitesses de propagation V311 et V309, on choisit et on calcule un tracé qui fournisse la différence de longueurs L311-L309 permettant d'obtenir la compensation voulue, ou de diminuer de la façon voulue cette différence de vitesses. La FIGURE 4 représente une partie de la zone de modulation dans une variante où des éléments de commande formant une diode de type PIN, et ne sera décrite ici que dans ses différences par rapport à la FIGURE 3. Cette diode PIN est formée des éléments de commande 421 et 422 qui forment une paire d'éléments de commande électrique, et sont réalisés de part et d'autre du guide d'onde 410, et entourent celui-ci de part et d'autre. Par exemple, l'un de ces éléments de commande est une partie de silicium dopée « P » 421, et l'autre est une partie de silicium dopée « N » 422. La FIGURE 5 représente deux zones de modulation avec diode PN telles que celles de la FIGURE 3, disposées symétriquement au sein de l'interféromètre Mach Zehnder d'un modulateur asymétrique. Une zone de modulation 330 est commandée par le signal électrique 309, par l'intermédiaire des électrodes 331 et 332. Celles ci sont disposées à la surface d'une couche de semiconducteur dopée de façons différentes pour former un premier élément de commande 321 et un deuxième élément de commande 322, entourant le guide d'onde 310 de cette zone de modulation 330. - 13 - Le flux lumineux à moduler en intensité 31 est injecté dans un guide d'onde qui se sépare en un flux à moduler en phase 311 parcourant le guide d'onde de modulation de phase 310, et un flux de référence 311' parcourant un guide d'onde formant une branche de référence 310'. A la sortie des zones de modulation, les deux flux se réunissent un flux modulé en intensité 391 parcourant un guide d'onde de sortie 390. Eléments de commande croisant le guide d'onde Un deuxième mode de réalisation est illustré en référence aux FIGURE 6 à FIGURE 9, qui ne seront décrites que dans leurs différences avec le mode de réalisation précédent. Dans ce deuxième mode de réalisation, une diode PN est formée par des éléments de commandes qui présentent une structure interdigitée sensiblement radiale, laquelle est traversée plusieurs fois par le tracé du guide d'onde. Dans les exemples de ce mode de réalisation décrits ici, le tracé du guide d'onde présente une forme en spirale, calculée pour présenter une longueur permettant de diminuer ou de compenser la différence des vitesses de propagation. Dans les exemples de modes de réalisation illustrés aux figures, le guide d'onde 610, 690, 790 ou 990 est agencé pour que le trajet suivi par le flux lumineux présente une partie enroulée en une spirale traversant successivement des émanations 601, 602 et 901, 902 des éléments de commande 621, 622 et 921, 922, sensiblement radiales et intercalées entre elles. Ces émanations s'étendent : - depuis l'un 622 et 922 des éléments de commande majoritairement situé à l'intérieur de ladite spirale d'une part, et - depuis l'autre 621 et 921 des éléments de commande situé majoritairement à l'extérieur et autour de la spirale d'autre part. D'autres modes de réalisation non représentés ici peuvent aussi être envisagés, comme par exemple une pluralité d'indentations intercalées parallèles entre elles (comme illustrées en FIGURE 12). Un même guide d'onde peut alors décrire une pluralité de boucles, dont chacune traverse ces indentations de façon rectiligne et perpendiculaire aux indentations, dans le même sens pour chacune de ces boucles ou pour la majorité d'entre elles. - 14 - La FIGURE 6 illustre une variante à éléments de commande concentriques 621 et 622, dans laquelle le guide d'onde s'enroule en une spirale d'entrée et fait demi-tour pour ressortir en une spirale de sortie intercalée dans la spirale d'entrée. Pour plus de clarté, la FIGURE 8 propose une représentation limitée aux éléments de commande et aux électrodes de la FIGURE 6. Un premier élément de commande 621, par exemple du silicium dopé « P », présente une partie périphérique 6010 entourant un évidement, par exemple de façon complète comme dans cet exemple mais possiblement aussi de façon incomplète telle qu'illustrée plus loin. Un deuxième élément de commande 622, par exemple du silicium dopé « N », présente une partie centrale 6020, dans cet exemple sensiblement circulaire. Des branches formant des indentations 602 s'étendent vers l'extérieur depuis cette partie centrale 6020, dans cet exemple sous la forme de branches radiales et de largeur constante. La partie périphérique 6010 du premier élément 621 entoure la partie centrale 6020 du deuxième élément de commande 622. Cette partie périphérique 6010 présente des indentations 601 s'étendant vers l'intérieur pour remplir de façon sensiblement complémentaire les espaces entre les branches extérieures 602 du deuxième élément 622. Les indentations 601 du premier élément de commande 621 vers l'intérieur et les indentations 602 du deuxième élément 622 vers l'extérieur sont ainsi intercalées ou « interdigitées » entre elles. Chaque séparation entre une indentation intérieure 601 et une indentation extérieure 602 forme ainsi localement une diode de commande. Dans cet exemple, la longueur de ces indentations 601 et 602 est légèrement plus faible que l'espace disponible, laissant un vide ou une partie neutre ou non dopée aux extrémités de ces indentations qui peut diminuer les contraintes de précision et simplifier la fabrication, mais aussi limiter les risques d'interférences dans ces zones d'extrémités. Dans une variante non représentée, les éléments de commande peuvent aussi être séparés par une zone neutre ou non dopée sur la totalité de leur pourtours de contact, formant ainsi des diodes de commande de type PIN. - 15 - Le premier élément de commande 621 est en contact avec une première électrode 631, par exemple sous la forme d'une couche métallique déposée sur la couche de semiconducteur formant cet élément de commande. Cette couche métallique de première électrode 631 présente un évidement sur toute la partie centrale y compris les indentations interdigitées, ainsi qu'une ouverture sur une partie de sa périphérie. Par cette ouverture, une couche métallique disposée sur une couche intermédiaire isolante pénètre depuis l'extérieur de la zone de modulation 630 et s'étend jusqu'à la zone centrale 6020 du premier élément de commande 622. L'extrémité intérieure de cette deuxième électrode 632 est en contact avec le deuxième élément de commande 622 par cette partie centrale 6020, grâce à une interruption de la couche intermédiaire isolante. La première électrode 631 et la deuxième électrode 632 sont ainsi facilement accessibles depuis l'extérieur de la plaque portant la zone de modulation, et permettent de commander la modulation à travers les deux éléments de commande 621 et 622 lorsqu'on leur applique un signal de commande électrique. Un guide d'onde est réalisé en un trajet courbe traversant tout ou partie de ces indentations 601 et 602 interdigitées entre elles, et donc tout ou partie des diodes ainsi formées. Dans la variante ici décrite, le trajet de ce guide d'onde présente une première partie 610 s'enroulant vers l'intérieur, par exemple en une spirale selon une formule déterminée. Dans la région centrale 6020, ce trajet forme un demi-tour suivi d'une deuxième partie 690 qui se déroule vers l'extérieur en s'intercalant entre les volutes de la première partie, par exemple en une spirale selon une formule déterminée. Ce tracé en volutes s'enroulant et se déroulant permet ainsi d'obtenir une grande longueur de guide d'onde traversant un grand nombre de fois des zones formant diodes de commande, le tout dans un espace surfacique compact. Le tracé des volutes de la première partie 610 et de la deuxième partie intercalées entre elles permet en particulier de conserver l'ensemble du tracé sensiblement dans une même couche planaire de semiconducteur, ce qui un facteur de simplicité de fabrication. - 16 - Ainsi, on voit que le trajet suivi par un flux lumineux 611 à moduler introduit dans le guide d'onde 610 passe, sur le trajet 690 de la spirale de sortie, par au moins une première région d'interaction Ria correspondant à la région d'un premier passage du flux lumineux d'un élément de commande à l'autre élément de commande. Sur la figure, une telle première région d'interaction Ria est illustrée par exemple lorsqu'il passe d'une indentation intérieure 601 du premier élément de commande 621, ici dopé « P », à une branche extérieure 602 du deuxième élément de commande 622, ici dopé « N ». De la même façon, ce trajet passe un peu plus loin par une deuxième région d'interaction R2a correspondant à la région d'un deuxième passage du flux lumineux d'un élément de commande 622 à l'autre élément de commande 622. Sur la figure, une telle deuxième région d'interaction R2a est illustrée par exemple lorsque ce trajet passe d'une indentation intérieure 601 (la même ou une autre) du premier élément de commande 621, ici dopé « P », à une branche extérieure 602 du deuxième élément de commande 622, ici dopé « N ». Ainsi qu'illustré, l'emplacement de cette deuxième région R2a (par rapport à Ria) peut à son tour être considéré comme une première région d'interaction Rib par rapport à une autre région d'interaction R2b située encore plus loin sur le trajet du flux lumineux 611. Comme il est visible sur la figure, le trajet parcouru par le flux lumineux 611 à la vitesse V611 entre la première région Ria et la deuxième région R2a présente une longueur L611a, qui est plus grande que la longueur L609a (laquelle est donc plus faible) parcourue à la vitesse V609 par le signal électrique de commande entre ces deux mêmes régions Ria et R2a. Cette différence de longueur des trajets parcourus par le flux lumineux et par le signal de commande permet de compenser ou de diminuer la différence entre leurs vitesses de propagation respectives V611 et V609, et donc de limiter ou supprimer les inconvénients liés à cette différence de vitesses. - 17 - Selon une particularité, le trajet suivi par le flux lumineux 611 présente ainsi une boucle allongée et enroulée en une spirale traversant successivement des émanations 601 et 602 sensiblement radiales intercalées entre elles. Ces émanations s'étendent respectivement : - depuis l'un 622 des éléments de commande majoritairement situé à l'intérieur de ladite spirale d'une part, et - depuis l'autre 621 des éléments de commande situé majoritairement à l'extérieur et autour de la spirale. La FIGURE 7 illustre une variante à éléments de commande concentriques 621 et 622, dans laquelle le guide d'onde arrive par le centre et décrit une spirale vers l'extérieur. La représentation des éléments de commande et des électrodes de la FIGURE 8 peut aussi s'appliquer à la variante illustrée en FIGURE 7, et seules seront décrites ici des différences avec la variante de la FIGURE 6. Le flux lumineux à moduler 711 arrive par un guide d'onde qui pénètre en une première partie 710 jusqu'à la partie centrale 6020 du deuxième élément de commande 622, par exemple de façon sensiblement radiale. A partir de cette partie centrale, le guide d'onde présente une deuxième partie 790 qui se déroule vers l'extérieur, par exemple en une spirale selon une formule déterminée, en traversant successivement et plusieurs fois les indentations interdigitées 601 et 602 des éléments de commande 621 et 622. Comme il est visible sur la figure, le trajet parcouru par le flux lumineux 711 entre une première région d'interaction Ria et une deuxième région d'interaction R2a présente une longueur L711a, qui est plus grande que la longueur L709a parcourue par le signal électrique de commande entre ces deux mêmes régions Ria et R2a. Cette différence de longueur des trajets parcourus par le flux lumineux et par le signal de commande permet de compenser ou de diminuer la différence entre leurs vitesses de propagation respectives, et donc de limiter ou supprimer les inconvénients liés à cette différence de vitesses. La pénétration du guide d'onde dans sa première partie 710 jusqu'à l'intérieur de la spirale se fait sans croiser d'indentations interdigitées, ou en - 18 - en croisant moins que dans la spirale de sortie. Cette pénétration directe peut permettre de limiter les interférences ou perturbations qui pourraient être causées par le parcours de la spirale vers l'intérieur dans la variante de la FIGURE 6. Cette pénétration peut se faire par un croisement des guides d'onde 710 et 790, ou en les réalisant à des profondeurs différentes l'un de l'autre dans une même couche voire dans des couches différentes. La FIGURE 9 illustre une variante à éléments de commande juxtaposés dans laquelle le guide d'onde arrive par le centre et décrit une alternance de portions de spirales vers l'extérieur. Cette variante ne sera décrite que dans ces différences par rapport à celles des FIGURES 6, 7 et 8. Par rapport à la structure de la FIGURE 7, les éléments de commande présentent des caractéristiques en commun mais ne s'entourent pas complètement l'un l'autre. Un premier élément de commande 921 entoure un deuxième élément de commande 922, mais seulement en partie et sur un secteur angulaire A900 inférieur à 360°, de plus de 180°, voire de 270° ou plus. Sur ce secteur angulaire de modulation A900, les deux éléments de commande présentent le même type d'indentations intercalées 901 et 902 que précédemment. Le guide d'onde 910 pénètre jusqu'à la partie centrale 902 du deuxième élément de commande 922, puis entame une première portion de courbe 9102 en spirale vers l'extérieur, sur le secteur angulaire A900 de modulation. Lorsqu'il sort de ce secteur angulaire, ce guide d'onde forme un demi-tour et y pénètre à nouveau en une nouvelle portion 9103 de spirale inversée à nouveau vers l'extérieur. Le guide d'onde parcourt ainsi une pluralité de portions successives et alternées de portions de spirales 9104 et 9105 dans le secteur angulaire de modulation A900, avant de sortir 990 sur la droite de la figure. Au sein de ce secteur angulaire de modulation A900, entre une première région Ria et une deuxième région R2a, par exemple sur la même indentation, le signal optique décrit un trajet de longueur L911a pendant que le signal électrique de commande décrit un trajet de longueur L909a qui est plus court, ce qui permet de compenser ou de limiter les différences de vitesse de propagation entre ces deux signaux. - 19 - Cette configuration permet une structure compacte et performante tout en restant simple à fabriquer. Elle ne comporte pas de croisement entre différentes parties du guide d'onde lumineuse, et les éléments de commande sont tous accessibles de l'extérieur de la zone de modulation, ce qui simplifie la mise en place des électrodes 931 et 932 puisqu'il n'est pas nécessaire d'utiliser une couche intermédiaire isolante pour séparer le premier élément de commande 921 et la deuxième électrode de commande 932. De préférence, la forme de spirale utilisée est déterminée en fonction des différentes caractéristiques de vitesse de propagation. Dans le cas de l'optoélectronique à base de silicium, et dans des spirales telle que décrit ci-dessus, l'onde électrique se propage avec une vitesse inférieure à celle de la lumière, et de façon radialement. L'onde optique doit donc suivre un chemin particulier lui permettant de voyager à la même vitesse apparente que l'onde électrique entre deux régions d'interaction successives. Pour une propagation radiale de l'onde électrique, l'invention propose un chemin formant une spirale d'équation : 0(t) = et xexp neff ,com2 . neff,c°m - l ln (t ) neff i dans laquelle : - « 0(t) » est un nombre complexe représentant les coordonnées des points de la spirale en fonction du temps « t » , - « neff » est l'indice effectif dans le guide d'onde, et - « neff,com » est l'indice effectif dans les éléments de commande. En FIGURE 10 et FIGURE 11 sont présentés des résultats de mesure de répartition des densités de charges au sein des éléments de commandes pour le deuxième mode de réalisation, dans une partie d'une des indentations intercalées 601 et 602. Ces images montrent de quelle façon les variations de tension dues au signal électrique de commande modifient les champs électriques dans les - 20 - éléments de commande, et donc commandent l'interaction avec les caractéristiques optiques des matériaux semiconducteurs 621 et 622 traversés par la région constituant le guide d'onde 610, 690 et 710. La FIGURE 12 illustre le positionnement de ces mesures au sein de la structure des éléments de commande 621 et 622, dans une variante où les indentations sont disposées de façon parallèle entre elles. Bien sûr, l'invention n'est pas limitée aux exemples qui viennent d'être décrits et de nombreux aménagements peuvent être apportés à ces 10 exemples sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS1. Composant électro-optique de modulation d'un flux lumineux en fonction d'un signal électrique de commande, comprenant une zone de modulation (230, 330, 630) dans laquelle ledit flux lumineux (311, 611) se propage dans un guide d'onde (310,610) et est soumis à l'action d'au moins un premier (321, 621) et un deuxième (322, 622) éléments en matériaux conducteurs et/ou semiconducteurs et formant ainsi une paire d'éléments dits de commande électrique recevant ledit signal électrique de commande (109, 309, 609), caractérisé en ce que ledit guide d'onde (310, 610) est agencé de façon à ce que, dans ladite zone de modulation (330, 630), depuis au moins une première (R1, Ria) jusqu'à au moins une deuxième (R2, R2a) régions d'interaction entre ledit flux lumineux (311, 611) et ladite paire d'éléments de commande (321, 322, 621, 622), la longueur (L311, L611a) du trajet suivi par ledit flux lumineux (311, 611) présente une différence avec la longueur (L309, L609a) du trajet parcouru par le signal électrique de commande (309, 609), ladite différence de longueur étant déterminée pour diminuer ou compenser la différence entre la vitesse (V311, V611) de propagation du flux lumineux et la vitesse (V309, V609) du signal électrique entre lesdites première (R1, Ria) et deuxième (R2, R2a) régions d'interaction. 2. Composant selon la revendication précédente, caractérisé en ce que les éléments de commande (321, 421 et 322, 422) d'au moins une paire d'éléments de commande électrique sont disposés de part et d'autre du guide d'onde (310, 410) et présentent une forme entourant ledit guide d'onde entre la première (R1) et la deuxième (R2) régions d'interaction, lesdits éléments de commande (321 et 322, ou 421 et 422) présentant une longueur (L309, L409) plus faible que la longueur (L311, L411) du guide d'onde (310, 410) entre lesdites première (R1) et deuxième (R2) régions d'interaction. 3. Composant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le guide d'onde (610) est agencé pour que le trajet- 22 - suivi par le flux lumineux passe au moins deux fois (Ria, R2a) d'un élément de commande (622) à l'autre élément de commande (621), et pour que le trajet suivi par le flux lumineux (611) dans le guide d'onde (610) depuis une première région d'interaction (Ria) correspondant à la région d'un premier passage du flux lumineux d'un élément de commande (621) à l'autre élément de commande (622), jusqu'à une deuxième régions d'interaction (R2a) correspondant à la région d'un deuxième passage du flux lumineux d'un élément de commande (622) à l'autre élément de commande (622), présente une longueur plus grande que la longueur (L609a) à parcourir par le signal électrique (609) entre lesdites première (Ria) et deuxième (R2a) régions d'interaction. 4. Composant selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'au moins deux éléments de commande (621, 622) présentent, en vis-à-vis l'un de l'autre, une forme comprenant des indentations intercalées entre elles et successivement traversées par le guide d'onde (610), lequel présente une forme s'enroulant sur elle-même dans au moins une partie de la zone de modulation (630) 5. Composant selon l'une quelconque des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que le guide d'onde est agencé pour que le trajet suivi par le flux lumineux (611) présente une partie (790) enroulée en une spirale traversant successivement des émanations sensiblement radiales intercalées entre elles et s'étendant depuis l'un (622) des éléments de commande majoritairement situé à l'intérieur de ladite spirale d'une part, et depuis l'autre (621) des éléments de commande situé majoritairement à l'extérieur et autour de la spirale d'autre part. 6. Composant selon la revendication 5, caractérisé en ce que le guide d'onde (610, 690) est agencé pour que le trajet suivi par le flux lumineux (611) présente une boucle allongée et enroulée en une spirale traversant successivement des émanations sensiblement radiales intercalées entre elles et s'étendant depuis l'un (622) des éléments de commande majoritairement situé à l'intérieur de ladite spirale d'une part, et depuis- 23 - l'autre (621) des éléments de commande situé majoritairement à l'extérieur et autour de ladite spirale d'autre part. 7. Composant selon l'une quelconque des revendications 3 à 6, caractérisé en ce que le guide d'onde présente une partie (710) pénétrant à l'intérieur de la spirale en en croisant une ou plusieurs volutes. 8. Composant selon l'une quelconque des revendications 3 à 7, caractérisé en ce que le tracé du guide d'onde (910) présente une succession de portions (9102, 9103, 9104, 9105) de courbes en spirales sensiblement concentriques, parcourant successivement et dans des sens alternés un même secteur angulaire (A900), dans lequel ledit guide d'onde traverse successivement des émanations (901, 902) sensiblement radiales intercalées entre elles et s'étendant depuis l'un (922) des éléments de commande majoritairement situé à l'intérieur desdites portions de courbes d'une part, et depuis l'autre (921) des éléments de commande situé majoritairement à l'extérieur et autour desdites portions de courbes d'autre part. 9. Composant selon l'une quelconque des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que la spirale présente une forme pouvant être définie selon une formule du type : 0(t) = et xexp neff ,com 2 . neff,com ù l ln (t ) Vneff i dans laquelle : - « 0(t) » est un nombre complexe représentant les coordonnées des points de la spirale en fonction du temps « t » , - « neff » est l'indice effectif dans le guide d'onde, et - « neff,com » est l'indice effectif dans les éléments de commande. 10. Composant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la zone de modulation comprend un guide d'onde (310, 610) formé dans une région active incluant au moins une paire- 24 - d'éléments de commande, en semiconducteur de type IV, dopés de façon à former une diode de type PN (321 et 322, ou 621 et 622) ou PIN (421 et 422) dont l'indice de réfraction varie en fonction du signal électrique (309, 409, 609) appliqué à ses bornes. 11. Composant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la zone de modulation comprend un guide d'onde formé dans une région active entourée par au moins une paire d'éléments de commande en semiconducteurs, ladite région active incluant au moins une structure à un ou plusieurs puits quantiques réalisée à partir de deux matériaux semiconducteurs différents de type III-V, choisis pour former un couple de semiconducteurs à bande interdite et obtenir ainsi une variation de l'indice effectif de réfraction ou d'absorption dans ladite région active en fonction du signal électrique appliqué auxdits éléments de commande. 12. Composant selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la zone de modulation présente une architecture agencée pour faire varier la phase du flux lumineux qui la traverse en fonction du signal électrique de commande. 13. Composant selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'au moins une zone de modulation est insérée au sein d'un interféromètre de façon à obtenir une modulation d'intensité du flux lumineux le traversant à partir de la modulation de phase du flux lumineux traversant ladite zone de modulation. 14 Dispositif ou système comprenant un composant selon l'une quelconque des revendications 1 à 13. 15 Procédé de fabrication de composant optoélectronique comprenant des étapes sélectionnées, définies et combinées de façon à réaliser un composant selon l'une quelconque des revendications 1 à 13.