Brevet FR2952049A1 — publié le 20110506

Préparation de graphène par amincissement mécanique de matériaux graphitiques Domaine technique de l'invention La présente invention concerne la préparation de graphène, mono-, bi- et multicouches à partir de matériaux précurseurs à base de graphite, tels que les mines de crayon ou du graphite, par un procédé d'amincissement mécanique sur la surface d'un substrat plan de rugosité contrôlée, suivie d'une sonication pour récupérer le graphène déposé sur ledit substrat dans un milieu liquide. La force d'appui lors de l'amincissement par frottement mécanique permet de contrôler le nombre de feuillets de graphène déposés sur la surface du substrat. Etat de la technique Le graphène est une feuille de graphite individuelle (« mono-feuillet ») constituée par des atomes de carbone en mode d'hybridation sp2 avec un arrangement selon un réseau hexagonal bi-dimensionnel. C'est un des matériaux les plus durs connus à ce jour. A l'intérieur d'une feuille de graphène la structure hexagonale est prédominante, cependant, on peut y trouver aussi quelques unités isolées de structure pentagonale ou heptagonale, qui constituent les défauts du matériau induisant des écarts par rapport à une structure plane exclusivement constituée de motifs hexagonaux. On connaît aussi des structures de graphène formées de plusieurs feuillet superposés ; ces structures ont été appelées FLG (« few-layer graphene »). Les structures plus épaisses ont été appelées NGP (« nano-sized graphene plates »). La distinction entre ces deux termes n'est pas très claire. La demande de brevet WO 2005/084172 propose le terme « Carbon nanoflake » (CNF) pour des formes planaires de carbone avec une épaisseur ne dépassant pas 10 nm, et le terme « Carbon nanosheet » (CNS) pour des CNF avec une épaisseur ne dépassant pas 2 nm. La plupart des méthodes d'obtention de graphène reportées actuellement dans la littérature peuvent être classées en cinq catégories : (A) L'obtention de graphène par une exfoliation « micromécanique » à partir de HOPG (highly oriented pyrographite). Cette première méthode est décrite dans les articles suivants : [1] K.S. Novoselov, A.K. Geim, S.V. Morozov et al. ; Science (2004) 306, 666. [2] K.S. Novoselov, D. Jiang et al. ; Proc. Natl.Acad. Sci. USA (2005), 102, 10451. [3] Y. Zhang, Y. Tan, H.L. Stormer, P. Kim ; Nature (2005), 438, 201. [4] K.S. Novoselov, A.K. Geim et al.; Nature (2005), 438, 197. [5] K.I. Bolotin, K.J. Sikes, Z. Ziang et al. ; Sol. State Comm. (2008), 146, 351. [6] F. Miao, S. Wijeratne, Y. Zhang, U. C. Coskon et al. ; Science (2007), 317, 1530. (B) L'obtention de graphène par chauffage à haute température du SiC. Cette deuxième méthode est décrite dans les articles suivants : [7] C. Berger, Z.M. Song, X.B. Li et al. ; Science (2006), 312, (5777), 1191. [8] C. Berger, Z.M. Song, T.B. Li et al. ; J. Phys. Chem. B (2004), 108 (52), 19912. 10 (C) La synthèse de graphène par dépôt sous vide (CVD, Chemical Vapour Deposition) sur un substrat métallique. Cette troisième méthode est décrite dans les articles suivants : [9] J. Coraux, A.T. N'Diaye, C. Busse, T. Michely ; Nanoletters (2008), 8, 565. 15 [10] J. Vaari, J. Lahtinen, P. Hautojârvi; Catal. Lett. 55, 43 (1997). [11] D.E. Starr, E.M. Pazhetnov et al. ; Surface Science 600, 2688 (1006). [12] M. Dresselhaus et al., Nano Letters, article sous presse (2009) Il s'agit d'une synthèse au sens traditionnel du terme, qui procède par voie chimique à partir de composés gazeux de masse moléculaire plus faible que celle du produit. A 20 titre d'exemple, selon un procédé récent décrit dans la référence [12], on décompose un composé hydrocarbure sur la surface d'un métal (typiquement un substrat revêtu d'un film de nickel) pour former une solution solide métal ù carbone ; après un chauffage à haute température les atomes de carbone ségrègent sur la surface du métal pour former des feuillets de graphène. Les feuillets de graphène obtenus par 25 cette méthode possèdent des dimensions relativement importantes, de l'ordre de quelques micromètres. Cependant, la production industrielle de graphène à partir de ce procédé semble être difficile à mettre en oeuvre. Un procédé de vapodéposition catalytique décrit dans la demande de brevet US 2005/0255034 Al (Wang et Baker) conduit à des nanofibres composés de minces 30 plaques de graphite superposées dans un sens perpendiculaire aux plans graphitiques. (D) Synthèse de graphène à partir de graphite intercalé5 Une quatrième catégorie de procédé utilise comme précurseur du graphite intercalé dont les plans sont beaucoup plus espacés. Ce matériau est soit attaqué chimiquement, soit soumis à une forte chaleur pour séparer les couches graphitiques. A titre d'exemple, le document WO 2008/060703 (Directa Plus Patent & Technology Limited) décrit un procédé pour préparer des feuillets très minces de graphite en exposant des feuillets de graphite intercalé brusquement à des températures d'au moins 1300°C. Dans le procédé décrit dans la demande de brevet US 2008/0206124 Al (inventeurs : Bor Z. Jang et al.), le matériau est attaqué chimiquement par des halogènes, puis chauffé. Dans un autre procédé décrit dans le même document, le matériau est intercalé par des halogènes puis soumis, en phase liquide, à des ultrasons. Dans un autre procédé décrit dans le brevet US 7,081,258 BI (Nanotek Instruments), le graphite intercalé est soumis à une attrition mécanique par broyage très fin. (E) Synthèse à l'aide d'ultrasons Une cinquième catégorie de procédé utilise des ultrasons : différents produits graphitiques sont dispersés dans un liquide et soumis à des ultrasons à la température ambiante (voir US 2008/0279756 Al et US 2008/0248275 Al (inventeurs : Bor Z. Jang et al.). Aucune de ces méthodes n'est sélective pour la synthèse de graphène sous forme de mono-feuillet ou bi-feuillet ou de FLG (few-layer graphene), et conduisent la plupart du temps à des structures où s'empilent plusieurs feuilles, voire même des dizaines de feuillets. De plus, le graphène obtenu par ces méthodes se présente le plus souvent sous la forme de feuillets de petites dimensions, e.g. quelques nanomètres à quelques dizaines de nanomètres, qui sont difficiles à manipuler et difficiles à déposer sur des supports pour une étude plus approfondie par les techniques usuellement employées. De plus, la faible dimension de ces feuillets rend difficile leur utilisation dans les applications potentielles, e.g. problèmes de jonction et de bords d'assemblage. Ces feuillets ont tendance à se plier pour former des structures complexes (appelées parfois en anglais « carbone fractals », voir le document US 2006/0121279 AI) ; ceci rend plus difficile l'étude des propriétés fondamentales de ce matériau, et complique les études visant les applications potentielles de ces matériaux. La demande de brevet US 2006/0121279 Al décrit un procédé pour fabriquer des nanotubes de carbone à partir de graphènes par application d'une haute pression et d'une haute température. Le graphène, à cause de sa difficulté d'obtention, est l'un des matériaux les plus chers. Son prix pourrait baisser d'une manière significative si des méthodes de synthèse plus efficaces étaient disponibles, à l'instar de ce qui a été observé dans le domaine des nanotubes de carbone vers la fin des années 90 où on a assisté à une chute importante de prix au fur et à mesure de l'optimisation des méthodes de synthèse permettant l'obtention de quantités de nanotubes plus importantes avec une meilleure sélectivité, en l'occurrence par des méthodes de croissance par CCVD (Catalytic Chemical Vapour Deposition). Malgré l'existence de plusieurs types de procédés de laboratoire permettant d'obtenir de très petites quantités de graphènes, il existe un besoin pour développer de nouvelles méthodes de synthèse de graphène qui présentent un meilleur rendement, afin de pouvoir étudier ses propriétés physiques, chimiques et mécaniques ; ces études pourraient permettre de confronter les prédictions de différentes théories à des résultats expérimentaux. Dans ce contexte, il est aussi très intéressant de pouvoir synthétiser des feuillets de graphène de dimensions plus grandes, c'est-à-dire au moins micrométriques, afin de mieux maîtriser leur dépôt sur des surface d'accueil et d'obtenir des résultats plus facilement interprétables et plus facilement comparables à ceux obtenus sur les matériaux carbonés conventionnels. Il existe également un besoin pour développer des nouvelles méthodes de synthèse de graphène plus simples et faisant appel à des matériaux de départ peu chers et abondant et d'éviter, dans la mesure du possible, l'utilisation des réactifs chimiques ou des températures de synthèse élevées, et qui présentent la possibilité d'une production industrielle, pour le cas où le graphène trouve des applications industrielles ; de telles méthodes n'existent pas à l'heure actuelle. Objets de l'invention L'invention concerne un procédé de fabrication d'une dispersion de particules ou feuillets de graphène dans un milieu liquide L, comprenant les étapes suivantes : (a) on approvisionne un barreau ou bloc de matériau massif M à base de graphite ; (b) on frotte ledit matériau M la surface S d'un substrat de manière à créer une 35 trace de frottement dudit matériau M sur ladite surface S dudit substrat ; (c) on trempe ledit substrat dans un milieu liquide L et soumet ledit milieu liquide L aux ultrasons pour obtenir une dispersion de particules ou feuillets de graphène dans ledit milieu liquide L, sachant que les étapes (b) et (c) peuvent être réalisées au moins en partie successivement, ou en même temps. Le procédé peut comporter en plus une étape (d) dans laquelle on sépare d'éventuelles matières organiques ou minérales présentes dans ladite dispersion, de préférence par décantation ou centrifugation. Il peut comporter en plus une étape dans laquelle on récupère à partir de ladite suspension les feuillets de graphène. Ladite surface S (2) présente avantageusement une rugosité comprise entre 0,01 pm et 10 pm. Avantageusement, ledit matériau à base de graphite peut être choisi parmi les mines de crayon, le graphite naturel, le graphite synthétique. Ladite phase liquide L peut être un milieu réducteur, et comporte avantageusement un agent réducteur sélectionné dans le groupe constitué par : le NaBH4, l'hydrazine, l'ammoniac. La force d'appui dudit matériau M sur ladite surface S est avantageusement comprise entre 100 Pa et 7000 Pa, et préférentiellement entre 1000 Pa et 6000 Pa.. La vitesse de frottement entre ledit matériau M et ladite surface S est avantageusement comprise entre 0,001 m s' et 0,1 m s'. Ledit substrat est avantageusement sélectionné parmi les polymères, de préférence les polymères flexibles et/ou transparents, les verres, les céramiques, le silicium. Ladite surface S dudit substrat et ledit matériau massif M sont avantageusement en mouvement relatif selon au moins deux axes, de manière à provoquer un décalage latéral entre deux segments adjacents de traces dudit matériau M sur ladite surface S. Ledit substrat est avantageusement un disque capable de tourner autour de son axe, et dans lequel la trace de frottement dudit matériau massif M sur ladite surface est décalée en continue ou périodiquement à l'aide d'un moyen de déplacement latéral (i.e. orthogonal par rapport à l'axe de rotation du disque) de manière à obtenir une trace continue, de préférence sous la forme d'une spirale. Un autre objet de l'invention est un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'invention, comprenant - un bras capable de tenir ledit barreau ou bloc en matériau massif M, - un substrat pourvu d'une surface S pouvant être en contact avec ledit barreau ou bloc en matériau massif M, - un moyen de déplacement permettant de générer un déplacement relatif entre ledit matériau massif M et ledit substrat, - un moyen de régulation et/ou contrôle de la force de pression permettant de réguler, garder constant et/ou mesurer la force de pression entre ledit matériau massif M et ladite surface S dudit substrat pendant ledit déplacement relatif, - un réservoir de liquide permettant d'immerger au moins partiellement la surface S dans une phase liquide, - un générateur d'ultrasons permettant de soumettre ledit liquide à l'effet d'ultrasons. Description des figures Les figures 1 à 7 concernent des modes de réalisation de l'invention. La figure 1 montre une courbe représentant la corrélation entre la pression exercée et la résistance produite par un capteur de pression. L'insert montre de manière schématique le dispositif de mesure de la pression exercée par la mine de crayon sur la surface du substrat solide. Listes des repères : 2 : Surface d'appui S (disque d'une superficie de 100 mm2) 5 : Mine de crayon (ou matériau à base de graphite) 8 : Capteur de pression 9 : Support de poids en PTFE 10 : Poids interchangeable 11 : Support fixe en verre pour maintenir la mine de crayon La figure 2 montre trois images obtenues par Microscopie Electronique à Transmission (MET) des feuillets de graphène obtenus par frottement mécanique d'une mine de crayon sur une surface d'un susbtrat de verre de rugosité de 1 pm. La longueur de la barre correspond à 0,5 pm (A), 200 nm (B), 10 nm (C). (A) : Image MET à basse résolution montrant que les feuillets de graphène obtenus ont 35 une dimension moyenne de quelques micromètres carrés (B) Image MET à moyenne résolution montrant que les feuillets de graphène synthétisés par la présente invention sont de type multi-feuillets. (C) Image MET haute-résolution de la zone indiquée sur l'image (B) montrant le nombre de feuillets de graphène de l'échantillon qui est de quatre et huit feuillets respectivement. La figure 3 montre des images obtenues par MET de feuillets de graphène obtenus après une décantation de 5 minutes (images A, B), 20 minutes (images C, D, E) et 40 minutes (images F, G, H). L'image (H) est une image MET à haute résolution montrant que le FLG contient sept couches de graphène. La longueur de la barre correspond à 1 pm (A) et (B), 5 pm (C), 2 pm (D), 1 pm (E), 2 pm (F) et (G), 20 nm (H). La figure 4 montre des images MET des feuillets de graphène obtenus par frottement mécanique d'une mine de crayon sur un substrat de verre de rugosité apparente de 1 pm. (A) Image à basse résolution montrant que les feuillets de graphène obtenus ont une taille moyenne de quelques micromètres voire plus. Longueur de la barre : 1 pm. (B) Image à haute résolution montrant que le FLG est constitué par deux couches de graphène. Longueur de la barre : 50 nm. La figure 5 montre des images MET des feuillets de graphène formés par sonication dans une solution d'éthanol suivie d'un chauffage à 80°C. La longueur de la barre correspond à 2 pm (A), 1 pm (B), 100 nm (C), 0,5 pm (D). 25 La figure 6 montre deux dispositifs utilisés pour une production en continu des feuillets de graphène multi-couches par frottement mécanique d'un matériau à base de graphite sur une surface d'un substrat rugeux. (A) Dispositif utilisant un moyen de rappel (tel qu'un ressort). 30 (B) Dispositif utilisant un servomoteur de positionnement. Liste des repères : 1 : Moteur pour rotation du disque 2 : Surface S (disque en verre dépoli de rugosité connue) 3 : Bras articulé 35 4 : Ressort de rappel solidaire avec le barreau de graphite 5 : Barreau de graphite 6 : Phase liquide (p. ex. eau, éthanol, toluène) 7 : Générateur d'ultra-sons 8 : Capteur de pression 9 : Servomoteur de positionnement La figure 7 montre des images de microscopie à force atomique des FLG dispersés sur un substrat à base de SiO2/Si (A, B) et la hauteur des FLG mesuré par microscopie à force atomique (C). La hauteur moyenne est de 4 nm, ce qui représente un empilement de quatre couches de graphène. L'image (A) représente un carré de dimensions 5 pm x 5 pm. L'image (B) montre l'agrandissement de deux FLG. Description Lors de leurs recherches de procédés permettant de fabriquer du graphène sous la forme de feuillets d'épaisseur n'excédant pas d'une dizaine de couches et de préférence d'une ou de deux couches et ayant des dimensions de largeur et de longueur relativement importantes, les inventeurs ont trouvé une nouvelle méthode extrêmement simple et facilement industrialisable impliquant le frottement d'un matériau (appelé ici par la suite « M ») à base de graphite sur la surface d'un substrat (appelé ici par la suite « S »), de préférence plan, qui présente une certaine rugosité de surface, suivi d'un traitement par sonication dans un milieu liquide approprié. Par cette méthode on peut obtenir des feuillets de graphène d'une épaisseur comprise entre 1 et 50 nm et présentant des plans graphitiques superposés selon l'axe vertical. Le nombre de feuilles de graphène parallèles est avantageusement compris entre 1 et 50, préférentiellement entre 1 et 30, et encore plus spécialement entre 1 et 15. Lesdites structures de graphène ont avantageusement une dimension dont la longueur et la largeur sont d'au moins 10 nm x 100 nm, préférentiellement d'au moins 50 nm et 500 nm, et encore plus préférentiellement d'au moins 100 nm x 5 pm. Nous décrivons ici en détail les différentes étapes du procédé, ainsi que des modes de réalisation particuliers et des variantes du procédé. a) Matériau M à base de graphite et substrat S Tout matériau massif à base de graphite M peut être utilisé dans le cadre du procédé selon l'invention. Il doit contenir une proportion significative de graphite, typiquement au moins 10% en masse, avantageusement au moins 30% en masse, et encore plus préférentiellement au moins 50% en masse. Les matériaux M préférés sont les mines de crayon et les barreaux de graphite. Le matériau M peut se présenter sous la forme géométrique d'une tige ou d'un bloc, de section cylindrique, rectangulaire, carrée, ou sous une autre forme appropriée. Nous utilisons par la suite pour ces formes géométriques de manière synonyme les termes « bloc » ou « barreau », même s'il s'agit d'un crayon. La dimension des blocs de matériaux M peut être variable selon les applications visées. Leur dureté peut être également variable. Le substrat S peut être conducteur ou, de préférence, non conducteur d'électricité. Il est avantageusement sélectionné parmi les matériaux à base de verre, tel que le verre rodé, de silice, de silicium recouvert ou non par une couche de passivation de SiO2, ou de polymère d'une dureté appropriée. Sa rugosité de surface doit être adaptée à la dureté des matériaux M. De préférence, la rugosité Ra est comprise entre 0,01 pm et 10 pm. b) Dépôt de la trace (frottement) Le procédé selon l'invention est basé sur l'ablation mécanique de feuillets de graphène par l'action d'une surface rugueuse d'un substrat S 2, de préférence d'un substrat plan, sur un matériau M 5 à base de graphite. Cette ablation est réalisée en déposant, par un frottement impliquant un mouvement relatif entre le matériau M et la surface S se trouvant en contact mécanique, une trace dudit matériau M à base de graphite sur ladite surface S. Ainsi s'opère un transfert de matière du matériau M sur la surface S. Ce transfert conduit à une trace, souvent visible à l'ceil nu. Plusieurs mouvements de frottement peuvent être superposés pour former une seule trace. Ladite trace est normalement visible à l'oeil nu, sous la forme d'un trait gris-noir, comme lors de l'écriture avec une mine de crayon. La surface S peut être sèche au cours du dépôt de la trace, mais dans ce cas il est difficile de décoller par la suite les feuillets de graphène déposées par ablation mécanique du matériau à base de graphite. Avantageusement, ladite surface S est soumise ensuite à un traitement par sonication afin de mieux décoller les traces de graphite déposées sur sa surface dans un milieu liquide. Le traitement additionnel par sonication combiné à un frottement dudit matériau à base de graphite sur un substrat solide s'avère être une meilleure combinaison pour l'obtention des feuillets de graphène de faible épaisseur. II est avantageux de bien contrôler la force d'appui du matériau M sur la surface S. En particulier, il est avantageux que cette force soit faible, car cela favorise le dépôt de feuillets de graphène comportant un faible nombre de plans graphitiques. Mais elle doit être suffisante pour obtenir une production suffisante en feuillets de graphène. La corrélation entre la pression exercée le matériau M (par exemple une mine de crayon ou un barreau de graphite) et la résistance mesurée sur un capteur de pression est présentée sur la Figure 1. Le dispositif de mesure est présenté dans l'insert de la Figure 1. La pression exercée est calculée par la formule suivante : P = (M x g)/S avec : P : pression en Pa M : masse déposée sur la mine de crayon en kg g: constante gravitationnelle en N. kg"' S : surface d'appui en mm2 La résistance électrique est une fonction inverse de la pression exercée. Sur la figure 1, l'axe X représente la résistance mesurée (exprimée en kOhm), et l'axe Y représente la pression exercée (exprimée en Pascal). Dans le cadre de la présente invention, on préfère que la pression soit comprise entre 100 Pa et 7000 Pa, de préférence entre 1000 Pa et 6000 Pa, et encore plus préférentiellement entre 2000 Pa et 5000 Pa. c) Traitement par ultrasons (sonication) Ce traitement est très important pour permettre de récupérer les FLG et dépôts sur la surface du substrat et aussi une séparation additionnelle des feuillets de graphite déposés sur le substrat entre eux. Il permet en outre d'obtenir une dispersion de graphène dans un milieu liquide 6. A cette fin, la surface S 2 qui porte la trace du matériau M 5 est traitée dans un bain dudit solvant (ou d'un autre solvant approprié) avec des ultrasons. Alternativement, le procédé d'ablation peut être effectué entièrement dans un bain à ultrasons, c'est-à-dire qu'au moment du dépôt de la trace du matériau M sur la surface S, ladite surface se trouve déjà immergée dans ledit solvant et est exposée aux ultrasons. La suspension contenant des FLG, du graphite résiduel et des liants peut être soutirée du bain lors de la synthèse et remplacée par un solvant propre. Après décantation et récupération des différentes phases solides présentes dans la suspension, le solvant peut être ré-injecté dans le bain d'ultrason. Les FLG en suspension ainsi obtenu peuvent être re-traités, soit par un chauffage sous irradiation microondes soit par un traitement de sonication avec une puissance plus élevée, afin d'améliorer la séparation des feuillets de graphène constituant le FLG. Sans vouloir être enfermés dans cette explication, les inventeurs s'imaginent que l'énergie fournie par la sonication permet de décoller les feuillets de graphène déposés sur la surface S et de disperser ces derniers dans le milieu liquide. On obtient ainsi une suspension de feuillets de graphène. La nature du liquide dans lequel la sonication a eu lieu est un facteur important dans le processus de fabrication. En effet, selon que le milieu liquide 6 soit protique ou aprotique la quantité de l'oxygène chimisorbé sur la surface des feuillets de graphène peut varier et induire des changements importants sur la conductivité du matériau final. La mouillabilité des feuillets de graphène par le solvant joue également un rôle important dans l'ablation des feuillets lors de la sonication. Le choix du solvant influe sur le rendement du procédé : Les rendements obtenus par cette méthode varient typiquement entre 20 et 60 % en fonction du solvant utilisé. Si le matériau M comporte des matériaux non graphitiques, une étape de décantation de la suspension obtenue peut être nécessaire. A titre d'exemple, si le matériau M est constitué d'une mine de crayon, on dépose une trace qui comprend également des résidus de liant, qui est présent en général sous la forme de poudres minérales (typiquement kaolin et bentonite) dont le taux peut varier de quelques pourcents à environ 30% dans le cas des mines de crayon HB. Lorsque la synthèse est réalisée dans un milieu aprotique une étape de purification supplémentaire peut être ajoutée au procédé : on y ajoute une quantité d'eau acidifiée connue dans la suspension et l'ensemble est mélangé pendant environ 1 heure. L'acide permet une dissolution partielle des liants qui passent ainsi dans le milieu aqueux. Le mélange est décanté puis la phase aqueuse est séparée de la suspension organique contenant des FLG. Dans un mode de réalisation particulier, ledit milieu liquide 6 est un milieu réducteur. Par exemple, il peut contenir des composés chimiques réducteurs appropriés, tels que NaBH4 ou l'hydrazine ou l'ammoniac. Cela améliore la conductivité des feuillets de graphène (probablement par la réduction de groupements oxygénés à la surface ou sur la bordure des feuillets). Cela permet aussi de sélectivement maintenir en suspension dans le milieu liquide des feuillets de graphène de faible épaisseur, par exemple des feuillets mono-couches, bi-couches ou tri-couches, qui pourraient être utilisés ensuite dans les applications désirées. Les FLG ainsi obtenus peuvent être également séchés après dépôt sur un substrat suivie d'une réduction sous un courant d'hydrogène afin d'éliminer les fonctions oxygénées de surface et d'augmenter la conductivité électrique. A titre d'exemple, la conductivité électrique mesurée sur une plaque de verre recouverte par une couche de FLG (de longueur de 16 mm et d'épaisseur d'environ 400 nm) était de 3 S. m"1. Cette conductivité augmente d'une manière significative, 250 S. m-' au lieu de 3 S. m-1, lorsque l'échantillon est réduit sous un courant d'hydrogène à 200°C pendant 2 h. La valeur de conductivité obtenue dans la présente demanderesse est relativement élevée par rapport à celle obtenue par Choucair et coll. (M. Choucair, P. Thordarson, J. A. Stride, Nature Nano. 4, 30-33 (2009)), à partir du graphène par solvolyse suivie d'une sonication de l'éthanolate de sodium avec des rendements assez élevés, qui est seulement que de 0,067 S. m-1. d) Dépôt de traces de graphène sur un substrat selon un schéma préfédini Dans une variante du procédé selon l'invention, on dépose des traces de matériau M sur la surface S d'un substrat, de préférence d'un substrat non conducteur, selon un schéma géométrique déterminé à l'avance. Ainsi, on peut former des traces conductrices sur un support solide ou flexible, possiblement transparent. Ainsi, on peut préparer des substrats pour des dispositifs électroniques, lesdites traces formant des circuits électriques ou des parties de circuits électriques, par exemple en vue du dépôt ultérieur de couches minces ; de tels dispositifs peuvent être utilisés dans des applications photovoltaïques. Dans un mode de réalisation on réalise ainsi des électrodes flexibles et transparentes par dépôt de traces de matériau M sur un polymère flexible et transparent. Cette opération de dépôt peut être suivie par une sonication du substrat afin de ne préserver que le nombre de feuillets de graphène nécessaire pour la réalisation du circuit désiré. e) Rendement du procédé Le rendement du procédé de fabrication de particules ou feuillets de graphène est avantageusement supérieur à 3 % massiques par rapport à la masse du matériau M de départ consommé, préférentiellement supérieur à 10 % et avantageusement supérieur à 40 %. Ces valeurs de rendement correspondent à la masse de feuillets de graphène par rapport à la perte de masse du matériau M. Si l'on se réfère uniquement à la masse de matériau graphitique du matériau M, sans tenir compte des matériaux non-graphitiques qu'il peut contenir, ce rendement peut même atteindre 60%. A la connaissance des inventeurs, aucun procédé de préparation de graphène connu ne permet d'atteindre un rendement aussi élevé sans avoir eu recours à l'utilisation d'une synthèse chimique. e) Utilisation et avantaqes du procédé selon l'invention Le procédé selon l'invention présente de nombreux avantages. D'une manière générale, il conduit à du graphène multi-couches, dont le nombre de feuillets ne dépasse pas une vingtaine de feuillets, qui sont faciles à séparer du substrat par simple sonication dans un milieu liquide approprié. II permet de préparer une dispersion de feuillets de graphène dans un milieu liquide dont la nature peut être ajustée en fonction des applications visées. Ainsi, le graphène multi-couche se trouve en dispersion dans le milieu liquide et peut être utilisé ensuite dans différents procédés, tels que des procédés de fabrication de matériaux composites soit par dépôt direct sur un substrat soit par mélange avec un autre produit approprié, par exemple en vue de la fabrication du composite final. La présente invention se distingue des procédés existants, tels que le frottement d'une mine de crayon ou d'un barreau de graphite sur un substrat à base de feuille de papier ou de silicium, par le fait qu'elle fait recours d'une part à un substrat rigide dont la rugosité est contrôlée, et à une sonication intermédiaire afin de décoller les feuillets de graphène déposés sur la surface 2 du substrat dans un milieu liquide 6. Le procédé permet de synthétiser en continu des feuillets de graphène ; il possède des paramètres ajustables (notamment la force de frottement, la vitesse latérale de frottement, la rugosité du substrat, la puissance de sonication, la nature chimique du milieu liquide) qui permettent d'optimiser le produit obtenu. La figure 6 montre un mode de réalisation d'un appareil continu. Avantageusement, le matériau graphitique 5 est un barreau de graphite, et le substrat 2 est une plaque de verre rugueuse avec une rugosité moyenne de l'ordre de 1 pm mesurée par profilométrie. Dans ce mode de réalisation, le substrat 2 est motorisé et se déplace latéralement par rapport au barreau de graphite 5 pour déposer la trace, mais on peut aussi réaliser dans le cadre de la présente invention un appareil dans lequel le barreau de graphite se déplace latéralement par rapport au substrat. Ledit déplacement du substrat 2 par rapport au barreau de graphite 5 s'effectue grâce à un moyen de déplacement latéral 9 tel qu'un servomoteur. Dans une variante de ce procédé, ledit déplacement latéral est une révolution en continue soit du substrat 2 soit du barreau 5, avec un incrément latéral permettant d'obtenir une trace continue en forme de spirale ou autre. Dans un mode de réalisation avantageux, la surface 2 sur laquelle est déposée la trace est immergée dans un bain à ultrasons pendant le dépôt de ladite trace. Quelques modes de réalisation du frottement du matériau graphitique sur la surface 2 du substrat solide sont décrites en plus grand détail ci-dessous : Dans une premier mode de réalisation, on effectue un frottement circulaire du matériau M 5 avec des diamètres différents sur ladite surface 2 du substrat solide. Dans cette variante le matériau graphitique est fixe selon le plan XY défini par le substrat plan et seul le déplacement en Z (perpendiculaire à la surface du substrat solide) est effectif au fur et à mesure que la matière graphitique a été consommée. Avantageusement, la force d'appui entre le matériau graphitique M et la surface du substrat 2 est contrôlée tout au long du procédé. Dans un second mode de réalisation, on effectue un frottement circulaire avec une modulation de l'amplitude du matériau graphitique selon le plan XY. Le déplacement du matériau graphitique selon l'axe Z est maintenu comme dans le mode de réalisation précédent. Le mouvement du matériau graphitique selon le plan XY peut être vertical ou pendulaire. Le rendement et la qualité des FLG obtenus peuvent être contrôlés par le biais des paramètres suivants : la vitesse de rotation du substrat rugueux, la pression exercée par le matériau graphitique sur la surface du substrat, la dureté du matériau graphitique, la puissance du générateur d'ultrason 7, la nature du milieu liquide 6 dans lequel l'extraction des FLG a eu lieu. Le liquide ainsi chargé de FLG, des débris graphitiques et des liants est évacué périodiquement ou en continu afin d'effectuer la séparation des FLG. Dans le cas où le liquide 6 est un solvant organique, une partie des liants, kaolin et bentonite, peut être séparée de la suspension par addition d'eau ou d'acide qui favorise la dissolution des liants dans le milieu aqueux avant la séparation et décantation pour récupérer les FLG. La suspension contenant des FLG ainsi séparée des liants peut être concentrée ensuite par des moyens donc disposent l'homme du métier, tels que l'évaporation sous vide avec un chauffage ou non, centrifugation, etc... Le liquide débarrassé des FLG est recyclé ensuite dans le bain d'ultrason. Dans le cas de l'utilisation d'un solvant aqueux les liants peuvent être séparés par dissolution dans le milieu par ajout de l'acide puis on procède ensuite à une centrifugation afin de récupérer les FLG pour une utilisation ultérieure. Le procédé permet de déposer directement sur un substrat donné des feuillets de graphène avec un nombre de couches pré-défini, en sélectionnant une force d'appui appropriée lors de l'amincissement mécanique, par exemple en utilisant un potentiomètre régulant la force d'appui et la vitesse de frottement du matériau sur la surface du substrat, ou par l'intermédiaire d'un cantilever d'un microscope à force atomique donc l'un des exemples ci-dessous illustre la faisabilité. Dans ce dernier mode de réalsation, on fixer une pointe de matériau à base de graphite M sur la pointe ou au cantilever d'un microscope à force atomique, et on dessine directement des circuits conducteurs à base de graphène sur des substrats tels que le verre, le silicium recouvert par une couche mince de silice, ou des polymères. On peut également créer une surface complètement recouverte par des feuillets de graphène par frottement d'un barreau de graphite de dimension adaptée sur la surface d'un substrat. Ce substrat peut être à base de matériaux divers, e.g. silice, silicium, verre, ou de polymères, de rugosité appropriée. Une méthode utilisant les techniques de l'imprimante électronique peut également être utilisée afin de préparer des films minces contenant des FLG. Dans ce cas, les FLG sont mélangés avec un autre composé, tel qu'un polymère approprié, et ce mélange est déposé ensuite sur un substrat, de préférence plan, sous la forme d'un film ou toute autre forme géométrique qu'autorise le procédé. En cas de besoin, une sonication permet d'éliminer les couches excédentaires dans le milieu liquide qui pourraient être utilisées ensuite dans d'autres applications. Le procédé selon l'invention permet également d'améliorer le rendement de graphène, et notamment en partant des matériaux de base peu coûteux et industriellement disponibles, tels que les mines de crayon ou les barreaux de graphite ; les procédés de fabrication de ces matériaux de base sont bien maitrisés par les fabricants et peuvent, en cas de besoin, être adaptés aux besoins spécifiques du procédé selon l'invention, par exemple quant aux dimensions et à la dureté des pièces de matériaux. En particulier, le procédé de fabrication de feuillets de graphène selon l'invention permet d'obtenir des rendements importants, de l'ordre de 2 à 60% et plus généralement compris entre 10 et 40 %. Le procédé selon l'invention est réalisé sans aucun besoin de chauffage externe ou d'ajout de composés chimiques toxiques comparé à d'autres procédés de l'état de la technique. De plus, le procédé selon l'invention est très facile à industrialiser, chaque étape faisant appel à des techniques connues et simples. Les FLG ainsi obtenus peuvent être utilisés directement en tant que suspension ou concentrer par des techniques connus de l'homme du métier pour être utilisés ensuite dans la fabrication des composites polymériques, comme décrit dans les exemples qui suivent, ou dans la fabrication des circuits électroniques. On peut par exemple fabriquer des circuits électroniques par injection microscopique par l'intermédiaire d'une buse d'injection, ou par dépôt sur un circuit masqué suivi d'un traitement thermique pour stabiliser le dépôt et un traitement chimique pour enlever le masque de protection dudit circuit. Exemples Les exemples présentés ci-dessous ont pour but d'illustrer des modes de réalisation de l'invention. Ils ne limitent pas la portée de l'invention. Exemple 1 : Synthèse de feuillets de graphène par frottement d'une mine de crayon sur une surface rugeuse suivie d'une sonication/réduction dans du toluène Dans cet exemple les feuillets de graphène multicouche (ou FLG) ont été générés par frottement d'une mine de crayon (dureté HB avec une surface de frottement d'envrion 1 mm2) sur une surface de verre rodé ayant une rugosité d'environ 1 pm. La rugosité de la surface du verre a été mesurée par profilométrie et la valeur donnée est une valeur moyenne obtenue sur une distance de 2 mm. Après frottement le verre a été soniqué (puissance de 40 Watt) dans une solution de toluène afin de décoller les feuillets de graphène faiblement ancrés sur sa surface. L'opération a été répétée plusieurs fois afin d'obtenir une quantité de graphite ou de carbone de l'ordre de 100 mg dans une solution de 100 mL de toluène. La réduction des feuillets de graphène a été réalisée en ajoutant à la solution 300 mg de NaBH4. La suspension a été maintenue ensuite sous agitation (400 tours/minute) pendant 30 minutes afin de compléter la réduction. La suspension a été laissée décanter pendant 60 minutes et la solution claire surnageante a été prélevée pour analyse. La purification de l'excès de NaBH4 et des liants présentent dans le matériau de départ a été est réalisée par transfert de phase avec une solution aqueuse d'acide suivie d'une séparation des deux phases par les techniques connues de l'homme du métier. Les feuillets ainsi obtenus ont été examinés par microscopie électronique à transmission (MET) couplée avec une diffraction d'électrons. Cette technique combinée permet de déterminer avec exactitude si le nombre de feuillets constituant le FLG, obtenu par cette méthode, est de un, deux ou trois ou plus. Les images représentatives du FLG obtenu par la présente méthode sont présentées sur la Fig. 2. L'image à basse résolution permet de dire que le graphène multi-couche formé a une dimension moyenne allant de 2 à plus de dix micromètres (Fig. 2A). La diffraction des électrons réalisée sur les feuillets de graphène montre la présence de tâches de diffraction d'un réseau hexagonal correspondant à la structure du graphite. L'image à moyenne résolution (Fig. 2B) montre que le matériau est constitué par des assemblages de feuillets de graphène de plus petite taille, eg. de l'ordre de quelques centaines de nanomètres. L'image MET à haute résolution réalisée sur le bord des feuillets indique que le nombre de couches est de quatre et huit respectivement (Fig. 2C). Exemple 2 : Synthèse de feuillets de graphène multi-couche par frottement d'une mine de crayon sur une surface rugeuse suivie d'une sonication dans une solution de toluène. Influence de la durée de décantation Dans cet exemple les feuillets de graphène multicouche (ou FLG) ont été générés par frottement d'une mine de crayon (dureté HB) sur une surface de verre rodé ayant une rugosité de 1 pm (valeur moyenne sur une distance de 2 cm). La rugosité de la surface du verre a été mesurée par profilométrie. Après frottement le verre a été soniqué (puissance de 40 Watt) dans une solution de toluène afin de décoller les feuillets de graphène faiblement ancrés sur sa surface. L'opération a été répétée plusieurs fois afin d'obtenir une quantité de graphite ou de carbone de l'ordre de 100 mg dans 100 mL de toluène. La suspension a été soumise ensuite à une sonication avec une plus forte puissance (250 Watts) pendant quinze minutes afin de mieux séparer les feuillets de graphène faiblement collés entre eux. La suspension après sonication a été laissée ensuite décantér et des prélèvements à différents intervalles ont été effectués afin d'analyser la qualité des feuillets de graphène obtenus et le rendement. Les feuillets ainsi obtenus en fonction de la durée de décantation ont été examinés par microscopie électronique à transmission (MET). Les images représentatives du graphène obtenu avec différents intervalles de temps de décantation sont présentées sur la Fig. 3. L'échantillon récupéré après 5 minutes de décantation était constitué par des feuillets de dimension moyenne de l'ordre de 2 à 5 pm (Fig. 3A). Une image MET avec une résolution moyenne (Fig. 3B) montre que les feuillets sont un mélange de feuillets de différentes épaisseurs allant de deux, trois à plusieurs dizaines de couches. Une décantation plus longue (20 minutes au lieu de 5 minutes) a permis d'éliminer les feuillets contenant plusieurs dizaines de couches (Figs. 3C à F). Cependant, les feuillets de graphène restent encore relativement épais, eg. deux, trois à plus d'une vingtaine de couches. Une décantation pendant 40 minutes a permis de récupérer les feuillets de graphène dont l'épaisseur est relativement faible, allant de deux, trois à autour d'une quinzaine de couches au maximum (Figs. 3F à H). La taille des feuillets reste à peu près similaire en fonction de la durée de décantation, environ 2 à 5 pm. Exemple 3 : Synthèse de feuillets de graphène mono et bi-couche par frottement d'une mine de crayon sur une surface rugeuse suivie d'une sonication/réduction dans un mélange éthanol:toluène contenant du NaBH4 Dans cet exemple les feuillets de graphène multicouche (ou FLG) ont été générés par frottement d'une mine de crayon (dureté HB) sur une surface de verre rodé ayant une rugosité de 1 pm. La rugosité de la surface du verre a été mesurée par profilométrie et la valeur donnée est une valeur moyenne obtenue sur une distance de 2 mm. Après frottement le verre a été soniqué (puissance de 40 Watt) dans une solution d'éthanol/toluène (50 :50 vol :vol) contenant 4 % en poids de NaBH4 (ce dernier jouant le rôle de réducteur), pendant une période de cinq minutes afin de décoller les feuillets de graphène faiblement ancrés sur sa surface. L'opération a été répétée plusieurs fois afin d'obtenir une quantité de feuillets de graphène de l'ordre de 100 mg. Les feuillets ainsi obtenus ont été examinés par microscopie électronique à transmission (MET) couplée avec une diffraction des électrons. Cette technique combinée permets de déterminer avec exactitude si le nombre de feuillets constitués le graphène, obtenu par cette méthode, est de un, de deux ou de trois ou plus. Les images représentatives du graphène obtenu par la présente méthode sont présentées sur la Fig. 4. L'image à basse résolution permet de dire que le graphène formé a une dimension moyenne allant de 2 à plus de dix micromètres (Fig. 4A). L'image à haute résolution (fig. 4B) montre que le matériau FLG est constitué par deux couches de graphène. L'épaisseur des feuillets de graphène a été également caractérisée par microscopie à force atomique (AFM). Les images obtenues par AFM sont présentées sur la figure 8. Les analyses statistiques indiquent que les feuillets de graphène obtenu ont une épaisseur moyenne entre 2 et 8 nm. Exemple 4 : Synthèse de feuillets de graphène par frottement d'une mine de crayon sur une surface rugeuse suivie d'une sonication/réduction dans un milieu éthanolique La synthèse des feuillets de graphène dans cet exemple a été réalisée selon le même principe que celui déjà décrit dans l'Exemple 1 ; le milieu liquide était de l'éthanol pur. Après synthèse, le milieu liquide éthanolique contenant des feuillets de graphène et des résidus carbonés a été chauffé à 80°C pendant 30 minutes. Après refroidissement et décantation, les sédiments étaient essentiellement constitués de fragments de graphite de grande épaisseur alors que les feuillets de graphène de faible épaisseur se trouvaient en suspension dans le liquide surnageant.35 L'observation par MET à faible résolution montre que les feuillets ont une taille moyenne d'environ 2 à 6 pm (Figs. 5A et B). On observe également dans cette image la présence de nanofeuilles de carbone. L'image MET à moyenne résolution montre que les feuillets de graphène formés ont une tendance de s'enrouler comme le montre la présence de plis sur le feuillet (Fig. 5C). Les analyses par MET montrent que par ce traitement une partie des feuillets de graphène formés sont enroulés sur eux-mêmes pour former des nanofeuilles de carbone avec un canal central ouvert (Fig. 5D). On peut penser que lors du traitement thermique dans l'éthanol une partie des feuillets de graphène formés se sont enroulés sur eux-mêmes pour former des nanorouleaux de carbone. Ce phénomène n'a pas été observé dans le cas des feuillets dispersés dans un milieu à base de toluène. Exemple 5 : Rendement en graphène par frottement d'une mine de crayon sur une surface rugeuse suivie d'une sonication dans du toluène ou dans l'eau La synthèse a été réalisée comme dans l'Exemple 1. La mine de crayon avait une surface effective (i.e. une surface de frottement) d'environ 1 mm2. Le verre avait une rugosité de 5 pm et offrait une surface de frottement de 15 cm2. La concentration de graphite ou de carbone dans la solution de toluène était de 200 mg. La suspension a été soumise ensuite à une sonication avec une puissance de 250 Watt. La durée de la deuxième sonication était variable. Le sonicateur utilisé dans ce cas était du type sonicateur à sonde. La suspension a été laissée décantér ensuite à température ambiante pendant 1 h puis la suspension claire surnageante a été prélevée. Cette suspension a été évaporée à 120°C dans un four afin de récupérer le solide noir constitué par les feuillets de graphène. Le rendement a été alors calculé selon la formule suivante : (Msolide récupéré/Mgraphite/carbone dans la suspension) X 100 Les rendements en graphène variaient en fonction de la durée de la décantation de la suspension et aussi en fonction de la nature du solvant utilisé (Tableau 1). Tableau 1 A) Sonication dans du toluène Durée de la décantation [min] 5 20 40 Masse totale [mg de graphite/100 ml de toluène] 78 78 78 Masse récupérée après décantation 43 34 29 [mg de graphène/100 ml de toluène] Rendement [%] 56 44 37 B) Sonication dans l'eau Durée de la décantation (min) 5 20 40 Masse totale [mg de graphite/100 ml d'eau] 92 92 92 Masse récupérée après décantation 37 19 16 [mg de graphène/100 ml d'eau] Rendement [%] 40 21 17 Exemple 6 : Synthèse du graphène par frottement d'une mine de crayon sur une surface rugeuse suivie d'une sonication dans l'eau La synthèse a été réalisée selon l'Exemple 1, mais cette fois, la solution de toluène a été remplacée par de l'eau distillée. La dispersion de graphène dans l'eau a été soumise ensuite à une sonication avec une puissance plus importante, 250 Watts au lieu de 40 Watts, pendant 15 minutes afin de disperser les feuillets de graphène qui sont encore faiblement assemblés les uns aux autres. Le mélange a été laissé décanter ensuite et les analyses ont été effectuées sur les prélèvements en fonction du temps de décantation. Les rendements associés ont été calculés par évaporation complète de la solution dans un étuve à 100°C. Le rendement total par rapport à la quantité de graphite extraite, déterminée après une décantation de 20 minutes, était de l'ordre de 20 %. Les feuillets de graphène multi-couches obtenus contenaient en général moins de vingt feuillets et avaient une dimension moyenne de l'ordre de plusieurs micromètres. Exemple 7: Synthèse d'un composite de graphène multi-couche/nanotubes de 20 carbone en vue de son utilisation comme additif dans la fabrication des polymères conducteurs La synthèse du graphène a été réalisée selon l'un des exemples décrits ci-dessus. La suspension contenant des feuillets de graphène a été prélevée de la solution après sonication et décantation. On y a ajouté 1 g de nanotubes de carbone multi-feuillets (diamètre moyen de 100 nm et une longueur moyenne de 2 mm), préalablement soniqués dans 100 mL de toluène. Le mélange ainsi obtenu a été soumis ensuite à une sonication (250 Watts) pendant 30 minutes puis laissé décanter à température ambiante pendant une heure. Le mélange a été chauffé ensuite à 100°C dans une étuve afin d'évaporer en parti le solvant. La suspension après évaporation d'une partie du liquide est redispersée ensuite dans une autre solution contenant des polymères dispersables en milieu aqueux tel que le Latex. Après homogénéisation le mélange Latex-FLG est déposé ensuite par les techniques connues de l'homme du métier sur un substrat plan en vue des applications ultérieures. On peut également chauffer le substrat après dépôt du mélange afin de former le composite désiré. Exemple 9: Gravure d'un circuit par dépôt d'une couche de graphène par l'intermédiaire d'une pointe de graphite attachée à un cantilever d'un microscope à force atomique Le circuit a été réalisé par dépôt des lignes de graphène par l'intermédiaire d'une pointe de mine de crayon attachée sur un cantilever d'un microscope à force atomique (AFM). Le dépôt a été réalisé par mode de contact entre la pointe et le substrat, ici du silicium recouvert par une couche mince de silice. Le dépôt a été observé ensuite par une pointe classique du microscope à force atomique. On constate que le dépôt est assez régulier selon le modèle défini. L'épaisseur de la couche de graphène déposée mesurée était d'environ 2 nm (équivalence à deux feuillets de graphène) et elle était homogène sur toute la longueur du dépôt. Cet exemple montre bien qu'il est possible de dessiner un circuit nanoscopique à base de graphène sur des substrat en utilisant la force de gravage d'une pointe du microscope à force atomique. Revendications1. Procédé de fabrication d'une dispersion de particules ou feuillets de graphène dans un milieu liquide L, comprenant les étapes suivantes : (a) on approvisionne un barreau ou bloc (5) de matériau massif M à base de graphite ; (b) on frotte ledit matériau M la surface S (2) d'un substrat de manière à créer une trace de frottement dudit matériau M sur ladite surface S (2) dudit substrat ; (c) on trempe ledit substrat dans un milieu liquide L (6) et soumet ledit milieu liquide L (6) aux ultrasons pour obtenir une dispersion de particules ou feuillets de graphène dans ledit milieu liquide L (6), sachant que les étapes (b) et (c) peuvent être réalisées au moins en partie successivement, ou en même temps. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau à base de graphite est choisi parmi les mines de crayon, le graphite naturel, le graphite synthétique. 3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel ladite phase liquide L (6) est un milieu réducteur, et comporte avantageusement un agent réducteur sélectionné dans le groupe constitué par : le NaBH4, l'hydrazine, l'ammoniac. 4. Procédé selon les revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comporte en plus une étape (d) dans laquelle on sépare d'éventuelles matières organiques ou minérales présentes dans ladite dispersion, de préférence par décantation ou centrifugation. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte en plus une étape dans laquelle on récupère à partir de ladite suspension les feuillets de graphène. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ladite surface S (2) a une rugosité comprise entre 0,01 pm et 10 pm. 23 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la force d'appui dudit matériau M (5) sur ladite surface S (2) est comprise entre 100 Pa et 7000 Pa, et préférentiellement entre 1000 Pa et 6000 Pa.. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que la vitesse de frottement entre ledit matériau M (5) et ladite surface S (2) est comprise entre 0,001 m s"' et 0,1 m s-'. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que ledit substrat est sélectionné parmi les polymères, de préférence les polymères flexibles et/ou transparents, les verres, les céramiques, le silicium. 10. Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, dans lequel ladite surface S (2) dudit substrat et ledit matériau massif M (5) sont en mouvement relatif selon au moins deux axes, de manière à provoquer un décalage latéral entre deux segments adjacents de traces dudit matériau M (5) sur ladite surface S (2). 11. Procédé selon la revendication 10, dans lequel ledit substrat est un disque capable de tourner autour de son axe, et dans lequel la trace de frottement dudit matériau massif M (5) sur ladite surface (2) est décalée en continue ou périodiquement à l'aide d'un moyen de déplacement latéral (9) de manière à obtenir une trace continue, de préférence sous la forme d'une spirale. 12. Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 1 à 25 11, comprenant - un (3) bras capable de tenir ledit barreau ou bloc (5) en matériau massif M, - un substrat pourvu d'une surface S (2) pouvant être en contact avec ledit barreau ou bloc (5) en matériau massif M, - un moyen de déplacement (1) permettant de générer un déplacement relatif 30 entre ledit matériau massif M et ledit substrat, - un moyen de régulation et/ou contrôle de la force de pression (4) permettant de réguler, garder constant et/ou mesurer la force de pression entre ledit matériau massif M et ladite surface S dudit substrat pendant ledit déplacement relatif, - un réservoir de liquide permettant d'immerger au moins partiellement la surface 35 S dans une phase liquide (6),- un générateur d'ultrasons (7) permettant de soumettre ledit liquide (6) à l'effet d'ultrasons.5