Brevet FR2953018A1 — publié le 20110527

TRANSDUCTEUR DE PRESSION EN RESISTANCE ELECTRIQUE, CAPTEUR DE PRESSION ET ACCELEROMETRE INCORPORANT CE TRANSDUCTEUR [001] L'invention concerne un transducteur de pression en résistance électrique. L'invention concerne également un capteur de pression et un accéléromètre incorporant ce transducteur. [002] Des transducteurs connus comportent : - au moins un premier et un second plots conducteurs, au moins le premier plot 10 présentant une face exposée à la pression à mesurer, et - une électrode conductrice raccordée électriquement entre les premier et second plots conducteurs de manière à ce que la résistance électrique entre les deux plots varie en fonction de la pression à mesurer. [3] Dans de nombreux transducteurs connus, l'électrode est un nanotube de 15 carbone. En effet, il est connu qu'une déformation d'un nanotube de carbone se traduit par une variation de la résistance de ce nanotube de carbone. [4] A cet effet, les transducteurs connus associent les nanotubes de carbone avec un diaphragme qui se déforme sous l'effet de la pression à mesurer. La déformation du diaphragme plie ou courbe le nanotube de carbone, ce qui modifie sa 20 résistance proportionnellement à la pression à mesurer. La résistance du nanotube de carbone est ensuite mesurée grâce à un ohmmètre raccordé entre les premier et second plots conducteurs. [5] De tels transducteurs sont divulgués par les demandes de brevet JP 2006 090 807 et JP 2007 139 799. 25 [006] La fabrication de ces transducteurs est compliquée car il faut permettre au nanotube de carbone de se plier sous l'action de la pression à mesurer. [7] Par ailleurs, ces modes de réalisation du transducteur présentent de nombreux problèmes de sensibilité de mesure. [8] Par exemple, un premier problème de sensibilité de mesure est expliqué 30 dans la demande de brevet JP 2006 090 807. Un autre problème est que la sensibilité du transducteur dépend fortement des caractéristiques et de la géométrie du nanotube de carbone utilisé. Il est donc difficile de fabriquer des transducteurs de sensibilité similaire. [9] L'invention vise à remédier à au moins l'un de ces inconvénients. 35 [0010] Elle a donc pour objet un transducteur de pression en résistance électrique dans lequel au moins une partie de l'électrode est déposée sur la face du premier plot de manière à ce que la pression à mesurer appuie sur l'électrode en direction de cette face, cette partie de l'électrode étant reliée électriquement à cette face uniquement par une liaison de Van Der Waals pour former ainsi une jonction électrique dont la résistance électrique varie en fonction de la pression à mesurer. [0011] Le transducteur ci-dessus utilise la variation de la résistance de la liaison de Van Der Waals entre l'électrode et la face du premier plot pour convertir une variation de pression en une variation de résistance. La sensibilité de ce transducteur s'en trouve améliorée. [0012] De plus, cette variation de résistance est beaucoup plus indépendante des caractéristiques géométriques de l'électrode que lorsque la variation de la résistance est provoquée par une pliure ou une déformation de cette électrode. Il est donc plus simple de réaliser de façon répétitive des transducteurs de sensibilité similaire. [0013] Les modes de réalisation de ce transducteur peuvent comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : ^ l'électrode et le premier plot sont agencés de manière à ne pas plier sous l'action de la pression à mesurer; ^ le second plot comprend aussi une face exposée à la pression à mesurer sur laquelle est déposée une autre partie de l'électrode de manière à ce que la pression à mesurer appuie sur cette autre partie de l'électrode en direction de cette face du second plot, cette autre partie de l'électrode étant reliée électriquement à cette face du second plot uniquement par une liaison de Van Der Waals pour former une autre jonction électrique dont la résistance varie en fonction de la pression à mesurer; ^ l'un de l'électrode et du premier plot est en métal ou en graphite et l'autre de l'électrode et du premier plot est en graphite ou en polymère conducteur; ^ les matériaux de l'électrode et du premier plot conducteur sont choisis de manière à ce que la liaison de Van Der Waals présente un coefficient a supérieur à 0,001 A/kbar, où le coefficient a est défini par la relation suivante : a = -6d/6P, où : - bd est une variation de la plus courte distance qui sépare l'électrode du premier plot, et - 6P est une variation de pression appliquée sur l'électrode pour générer cette variation bd; ^ l'électrode comprend un ou plusieurs nanotubes de carbone présentant chacun une partie directement déposée sur la face du premier plot et électriquement reliée à cette face uniquement par une liaison de Van Der Waals; ^ l'électrode comprend au moins une feuille de graphène dont une partie est directement déposée sur la face du premier plot et électriquement reliée à cette face uniquement par une liaison de Van Der Waals. [0014] Ces modes de réalisation présentent en outre les avantages suivants : - utiliser une électrode et un premier plot agencés pour ne pas se plier sous l'action de la pression à mesurer simplifie la fabrication du transducteur; - utiliser un second plot sur lequel est déposée une autre partie de l'électrode permet d'accroître la sensibilité du transducteur, - utiliser des métaux, du graphite ou des polymères conducteurs pour réaliser 10 l'électrode et les plots conducteurs permet de créer simplement une liaison de Van Der Waals, - choisir les matériaux de l'électrode et des plots conducteurs pour obtenir un coefficient a > 0,001A/kbar (où A est l'unité de mesure Angstrôm) permet d'améliorer la sensibilité du transducteur, 15 - utiliser une électrode réalisée à partir d'un ou plusieurs nanotubes de carbone permet d'obtenir une jonction électrique présentant une résistance élevée, ce qui améliore la sensibilité du transducteur, - utiliser une feuille de graphène pour réaliser l'électrode permet également d'augmenter la résistance de la jonction électrique et donc la sensibilité du 20 transducteur. [0015] L'invention a également pour objet un capteur de pression comportant : - un ohmmètre apte à mesurer une variation de résistance entre deux plots conducteurs, et aussi - le transducteur ci-dessus, entre les plots conducteurs duquel l'ohmmètre est 25 raccordé pour mesurer la variation de résistance causée par la pression à mesurer. [0016] Les modes de réalisation de ce capteur de pression peuvent comporter la caractéristique suivante : - l'électrode et la face du premier plot sont directement exposées au fluide dont la pression doit être mesurée. 30 [0017] Enfin, l'invention a également pour objet un accéléromètre comportant : - le capteur de pression ci-dessus, et - une masselotte déplaçable sous l'action de l'accélération de manière à venir modifier la pression mesurée par le capteur de pression. [0018] L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, 35 donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins sur lesquels : - la figure 1 est une illustration schématique et en perspective d'un capteur de pression équipé d'un transducteur de pression en résistance électrique, - la figure 2 est une illustration schématique et en coupe d'un détail du transducteur du capteur de la figure 1, - la figure 3 est un graphe illustrant la variation de la résistance électrique en fonction de la variation de la pression à mesurer, - la figure 4 est une illustration schématique et en perspective d'un autre mode de réalisation d'un capteur de pression, - la figure 5 est une illustration schématique d'un détail d'un autre mode de réalisation du transducteur de la figure 1, et - la figure 6 est une illustration schématique d'un accéléromètre incorporant le capteur 10 de la figure 1. [0019] Dans ces figures, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. [0020] Dans la suite de cette description, les caractéristiques et fonctions bien connues de l'homme du métier ne sont pas décrites en détail. 15 [0021] La figure 1 représente un capteur 2 de la pression d'un fluide confiné dans une enceinte 4 représentée schématiquement par un parallélogramme en pointillé. Dans ce mode de réalisation, le fluide dont la pression est mesurée est un fluide inerte qui ne réagit pas chimiquement avec les différents éléments constituant le capteur 2. Le fluide peut être un gaz ou un liquide. Par exemple, ici, le fluide est un 20 gaz tel que de l'argon ou de l'hélium. [0022] Dans ce mode de réalisation, le capteur 2 est destiné à mesurer de forte pression, c'est-à-dire des pressions supérieures à 1 kBar. Par exemple, ici les pressions mesurées sont comprises entre 1 kBar et 10 kBar. [0023] Le capteur 2 comprend : 25 - un calculateur 10 apte à convertir une variation de résistance électrique en une variation de pression, - un ohmmètre 12 apte à mesurer la résistance électrique entre deux plots conducteurs, cet ohmmètre 12 étant raccordé à l'entrée du calculateur 10, et - un transducteur 14 apte à convertir une variation de la pression du fluide en une 30 variation de la résistance électrique entre les deux plots conducteurs auxquels est raccordé l'ohmmètre 12. [0024] Pour convertir une résistance électrique en une pression mesurée, le calculateur est raccordé à une mémoire 16 contenant des données 18 d'étalonnage. [0025] Par exemple, les données 18 d'étalonnage sont constituées d'une valeur Ro 35 de la résistance mesurée par l'ohmmètre 12 pour une pression connue Po de référence. A titre d'illustration, la pression Po est égale à 1 kBar (100 000 kPa) [0026] De plus, ici, les données 18 comprennent également un coefficient 13 défini par la relation suivante : R = 6R/6P où : - bR est une variation de la résistance mesurée par l'ohmmètre 12, et - 6P est la variation correspondante de la pression du fluide. [0027] La variation 6P est définie par la relation suivante : bP = P - Po, où P est la 5 pression à mesurer. [0028] La variation bR est définie par la relation suivante : bR = R - Ro, où R est la résistance mesurée par l'ohmètre 12 pour la pression P. [0029] La figure 3 représente l'évolution en fonction de la pression P à mesurer du rapport 6R/Ro. Comme illustré, ce rapport décroît sensiblement linéairement au fur et 10 à mesure que la pression P augmente. Cela signifie donc que la résistance du transducteur 14 décroît linéairement au fur et à mesure que la pression P à mesurer augmente. [0030] Dans ces conditions, ici, le coefficient 13 est considéré comme constant sur l'ensemble de la plage des pressions mesurables par le capteur 2. Dès lors, à partir 15 du moment où il a été mesuré, la connaissance de Ro, Po et de la valeur du coefficient 13 est suffisante pour convertir toute valeur R de résistance mesurée en une valeur P de pression exprimée, par exemple, en bar ou en kPa. [0031] L'ohmmètre 12 est réalisé à partir d'une source de tension 20 et d'un ampèremètre 22 raccordé en série entre les plots conducteurs. 20 [0032] Le transducteur 14 comprend un substrat rigide 26 sur la surface supérieure duquel sont déposés des plots conducteurs 28 et 30. [0033] Le support 26 est de préférence indéformable. Par « indéformable » on désigne ici un élément dont le volume ne diminue pas de plus de 2 % entre les pressions minimale et maximale susceptibles d'être mesurées à l'aide du 25 transducteur 14. [0034] Par exemple, le substrat 26 est réalisé à l'aide d'une couche en matériau dur tel que du silicium ou du verre sur laquelle est déposée une couche 34 électriquement isolante. [0035] La couche 34 est par exemple réalisée en oxyde de silicium (SiO2). 30 L'épaisseur de la couche 34 est fine par rapport à celle de la couche 32. Par exemple, l'épaisseur de la couche 34 est inférieure à 1 pm et, de préférence, inférieure à 400 nm. [0036] Le substrat 26 s'étend essentiellement dans un plan horizontal parallèle à des directions orthogonales X et Y. La verticale est définie par une direction Z. 35 [0037] Les plots 28 et 30 sont raccordés, respectivement, à des bornes correspondantes de l'ohmmètre 12 pour que celui-ci mesure la résistance entre ces deux plots 28 et 30. [0038] Les plots 28 et 30 s'étendent essentiellement le long de la direction Y. Par exemple, la longueur des plots 28 et 30 le long de la direction Y est supérieure à 6 pm et inférieure à 50 pm. [0039] La largeur de chaque plot dans la direction X est au moins deux fois et, de préférence, cinq fois inférieure à la longueur du plot. Par exemple, la largeur est inférieure à 1 ou 5 pm. L'épaisseur ec des plots 28, 30 dans la direction Z est inférieure à 1 pm et, de préférence, inférieure à 300 nm. [0040] Les plots 28 et 30 sont isolés électriquement l'un de l'autre par un espace de largeur Ec. La largeur Ec est par exemple comprise entre 1 et 5 pm. Ici, cet espace 10 est rempli du fluide dont la pression doit être mesurée. [0041] Les plots 28 et 30 sont uniquement reliés électriquement l'un à l'autre par l'intermédiaire d'une électrode conductrice 38. [0042] Ici, les plots 28, 30 et l'électrode 38 sont agencés de manière à créer, respectivement, des jonctions électriques 40 et 42 dont la résistance varie en fonction 15 de la pression à mesurer. [0043] Pour cela, chacun des plots 28 et 30 présente une face, respectivement 44 et 46, directement exposée au fluide dont la pression est à mesurer et des parties respectives de l'électrode 38 reposent sur ces faces 44 et 46. [0044] Ici, ces faces 44, 46 sont des faces supérieures planes des plots 28 et 30. De 20 préférence, ces faces 44 et 46 sont agencées de manière à ne pas se plier sous l'action de la pression du fluide à mesurer. Cette absence de pliure ou d'incurvation des faces 44 et 46 est ici simplement obtenue par le fait que les matériaux choisis pour réaliser les plots 28 et 30 sont des matériaux indéformables par la pression à mesurer. De plus, les plots 28 et 30 sont eux-mêmes déposés sur le substrat 25 indéformable 26. [0045] Ici, les jonctions 40 et 42 sont réalisées de façon similaire de sorte que seule la jonction électrique 40 est décrite plus en détail en regard de la figure 2. [0046] La jonction 40 est réalisée de telle façon que l'électrode 38 et le plot 28 sont reliés électriquement l'un à l'autre uniquement par l'intermédiaire d'une liaison de Van 30 Der Waals. [0047] Une liaison de Van Der Waals est une liaison chimique faible par opposition aux liaisons chimiques fortes telles que les liaisons covalentes où des électrons sont mis en commun entre plusieurs atomes ou plusieurs molécules. Ainsi, il a été estimé que l'énergie à fournir pour rompre une liaison de Van Der Waals est comprise entre 35 0,5 et 100 kJ/mol, ce qui est très inférieur aux liaisons chimiques fortes. [0048] De par ses propriétés, une liaison de Van Der Waals correspond à une barrière de potentiels entre l'électrode 38 et le plot 28 qui n'est pas facilement franchissable par les électrons. Cette liaison de Van Der Waals présente donc une résistance électrique importante contrairement aux autres liaisons chimiques et en particulier aux liaisons chimiques fortes. De plus, il a été constaté que la résistance électrique de la liaison de Van Der Waals diminue au fur et à mesure que la distance minimale d (figure 2) qui sépare l'électrode 38 du plot 28 diminue. [0049] Ici, une partie de l'électrode 38 est directement déposée sur la face 44 du plot 28. Ainsi, la pression du fluide à mesurer appuie sur l'électrode 38 en direction du plot 28. Lorsque la pression à mesurer augmente, cela rapproche l'électrode 38 du plot 28 et diminue la distance d. La résistance électrique de la jonction 40 diminue donc également. Le transducteur 14 exploite uniquement cette variation de la distance d en fonction de la pression P à mesurer pour faire varier la résistance entre les plots 28 et 30. [0050] On définit un coefficient a de variation de la distance d en fonction de la pression P par la relation suivante : a = -6d/6P, où : - bP = P - Po, où P est la pression à mesurer et Po est la pression de référence, et - bd = d - do, où d et do sont les distances correspondant, respectivement, aux pressions P et Po. [0051] La distance d est typiquement de l'ordre de quelques angstrôms, c'est-à-dire comprise entre 1 et 10 A. [0052] Le coefficient 13 est proportionnel au coefficient a. Par conséquent, la sensibilité du transducteur 14 est d'autant plus élevée que ce coefficient a est lui-même grand. Ici, les plots 28, 30 et l'électrode 38 sont construits de manière à obtenir une liaison de Van Der Waals dont le coefficient a est supérieur à 0.001 Akbar en valeur absolue . Pour cela, on procède par exemple par expérimentations successives de différents matériaux pour réaliser les plots 28, 30 et l'électrode 38. [0053] Par exemple, ici, les plots 28 et 30 sont réalisés en métal tandis que l'électrode 38 est réalisée en graphite. Plus précisément, le métal utilisé pour les plots 28 et 30 est de l'or. [0054] Pour augmenter la résistance entre l'électrode 38 et les plots 28 et 30, la surface de contact électrique entre cette électrode et les plots 28 et 30 est choisie petite. A cet effet, ici, l'électrode 38 est un nanotube de carbone qui s'étend sur la face 44 puis sur le fond de l'espace entre les deux plots 28 et 30 puis sur la face 46. La surface de contact entre ce nanotube de carbone et la face supérieure 44 ou 46 est égale à la longueur de la partie de l'électrode 38 disposée sur cette face multipliée par la largeur le de la surface de contact. Cette largeur le est représentée sur la figure 2. La largeur le correspond à la largeur de la surface de contact à l'intérieur de laquelle la force de la liaison de Van Der Waals est supérieure à la moitié de la force de Van Der Waals maximale qui est obtenue à l'emplacement où la distance entre l'électrode 38 et la face 44 est la plus courte. [0055] Typiquement, dans le cas d'un nanotube de carbone, cette largeur le est inférieure à 100 nm et de préférence inférieure à 1 nm. [0056] Pour obtenir une largeur le aussi petite, le diamètre du nanotube de carbone est par exemple choisi entre quelques angstrôms et 100 nm. [0057] La longueur du nanotube de carbone est suffisante pour qu'il puisse raccorder électriquement les plots 28 et 30 l'un à l'autre. Par exemple, la longueur du nanotube de carbone est comprise entre quelques micromètres et plusieurs centaines de micromètres. [0058] L'électrode 38 est également agencée de manière à ne pas se déformer sous l'action de la pression à mesurer. Par exemple, à cet effet, le nanotube de carbone est déposé sur toute sa longueur sur des faces indéformables. Ici, une partie centrale 50 du nanotube de carbone est directement déposée sur le fond de l'espace entre les plots 28 et 30, c'est-à-dire sur la couche 34. [0059] L'absence de déformation de l'électrode 38 en réponse à la pression rend le transducteur 14 moins sensible à la structure et à la conformation de l'électrode 38. En particulier, le nanotube de carbone utilisé peut avoir différentes structures telles qu'une structure mono-feuillet, une structure double feuillets ou double parois ou autre. [0060] Le fonctionnement du capteur 2 est le suivant. Initialement, le transducteur 14 est étalonné. Pour cela, le transducteur 14 est placé dans une enceinte où la pression Po du fluide est connue et la résistance Ro correspondante est mesurée par le capteur 2. [0061] Si le coefficient 13 est inconnu, une seconde mesure d'une résistance R, pour une autre pression P, connue du fluide est réalisée. Toutefois, étant donné l'indépendance du coefficient 13 par rapport aux caractéristiques structurelles de l'électrode 38, le coefficient R déterminé sur un autre transducteur similaire peut être appliqué d'office au transducteur à calibrer. Le coefficient 13 peut donc être enregistré en tant que données d'étalonnage 18 sans qu'aucune mesure de ce coefficient 13 sur ce transducteur 14 ne soit réalisée au préalable. [0062] Une fois le capteur 2 calibré, le transducteur 14 est placé dans une enceinte dans lequel est contenu le fluide dont la pression doit être mesurée. Sous l'effet de la pression du fluide, la distance d des jonctions 40 et 42 diminue, ce qui diminue leur résistance. Par contre, sous l'action du fluide, l'électrode 38 ne se déforme pas et ne se plie pas. [0063] Cette diminution de la résistance est mesurée par l'ohmmètre 12 qui transmet cette information au calculateur 10. A partir de la nouvelle valeur R de résistance mesurée et des données d'étalonnage 18, le calculateur 10 en déduit la pression du fluide à l'intérieur de l'enceinte 4. [0064] La figure 4 représente un transducteur 60 de pression en une résistance électrique identique au transducteur 14 à l'exception du fait que l'électrode 38 est remplacée par une électrode 62. [0065] L'électrode 62 comporte plusieurs nanotubes de carbone reliant électriquement chacun les plots 28 et 30. Par exemple, pour simplifier la figure 4, seuls deux nanotubes de carbone 64 et 66 ont été représentés. Chacun de ces nanotubes de carbone est agencé sur le substrat 26 et sur les plots 28 et 30 de manière identique à ce qui a été décrit en regard de l'électrode 38. Ainsi, chacun de ces nanotubes 64 et 66 forme des jonctions électriques 40, 42 avec chacun des plots 28 et 30 dont la résistance varie en fonction de la pression à mesurer. [0066] Le transducteur 60 permet de diminuer le bruit et d'augmenter l'intensité du courant proportionnel à la pression mesurée. [0067] La figure 5 représente un détail d'un transducteur 70 identique au transducteur 14 ou 60 sauf que le ou les nanotubes de carbone sont remplacés par 15 des feuilles de graphène 72. [0068] Comme précédemment, chaque feuille de graphène 72 est disposée sur les faces supérieures 44, 46 des plots 28 et 30 de manière à former avec ces plots des jonctions électriques dont la résistance varie en fonction de la pression à mesurer. Ces jonctions électriques sont obtenues à l'aide d'une liaison de Van Der Waals. 20 [0069] Ici, la largeur IG des feuilles de graphène 72 est choisie suffisamment étroite pour diminuer la surface de contact entre chaque feuille de graphène 72 et la face supérieure 44 ou 46 du plot correspondant. Par exemple, ici, cette largeur IG est choisie inférieure à 500 nm et de préférence inférieure à 100 nm. [0070] La figure 6 représente un détail d'un accéléromètre 80. Cet accéléromètre 80 25 comprend une masselotte 82 en appui sur une face sensible d'un capteur de pression. Sur la figure 6, seul le transducteur 84 du capteur de pression est représenté. Ce transducteur 84 est construit en appliquant les enseignements donnés en regard des transducteurs 14, 60 et 70. Par exemple, le transducteur 84 est identique au transducteur 14. 30 [0071] La masselotte 82 comprend une face inférieure 86 en appui sur l'électrode 38 déposée sur la face 46 du plot 30. [0072] De plus, la masselotte 82 est déplaçable en translation verticale le long de la direction Z en réponse à une accélération ou à une contrainte mécanique exercée sur la masselotte 82. Par exemple, à cet effet, la masselotte 82 est raccordée par un bras 35 élastique 88 au substrat 26 du transducteur 14. [0073] Lorsqu'une accélération ou une contrainte mécanique est appliquée à la masselotte 82, la pression exercée par la masselotte 82 sur l'électrode 38 est modifiée. Par conséquent, en mesurant la pression exercée par la masselotte 82 sur l'électrode 38, il est possible d'en déduire l'accélération ou la valeur de la contrainte mécanique subie par cette masselotte. [0074] De nombreux autres modes de réalisation sont possibles. Pour que l'électrode ne se déforme pas, il n'est pas nécessaire que sa partie centrale soit plaquée sur le substrat. Par exemple, la partie centrale 50 peut être suspendue entre les deux plots 28 et 30 de sorte que la pression à mesurer s'exerce uniformément sur toute sa circonférence de cette partie centrale. Ainsi, la partie centrale 50 ne se déforme pas en réponse à une variation de la pression à mesurer. [0075] En variante, les jonctions électriques dont la résistance électrique varie en fonction de la pression sont uniquement réalisées sur un seul des deux plots. [0076] De façon préférée, pour qu'une liaison de Van Der Waals soit créée entre l'électrode et un plot, il faut que l'un parmi l'électrode et le plot soit réalisé en graphite ou en polymère conducteur et que l'autre soit réalisé en graphite ou en métal. Typiquement, le polymère conducteur est un polymère conducteur organique appartenant à l'une des classes suivantes : les polyacétylènes, les polypyrroles, les polythiophènes, les polyanilines et les polyvinyles de para-phénylène (PVPP). Ainsi, dans une variante, le nanotube de carbone est remplacé par un nanofil métallique tel qu'un nanofil d'argent. Dans ce dernier cas, les plots sont réalisés en graphite. [0077] Pour diminuer la surface de contact et donc augmenter la résistance de la jonction électrique, il est aussi possible de diminuer la largeur des plots conducteurs. [0078] Un transducteur de pression en résistance électrique tel que ceux décrits ci-dessus peut également être utilisé pour mesurer des pressions plus faibles telles que des pressions comprises entre 1 Bar et 1 kBar. [0079] Ce qui a été décrit dans le cas particulier où les électrodes et les plots sont à 25 l'échelle nanométrique peut également s'appliquer à des échelles dimensionnelles supérieures. REVENDICATIONS1. Transducteur de pression en résistance électrique, ce transducteur comportant : - au moins un premier et un second plots conducteurs (28, 30), au moins le premier 5 plot présentant une face (44, 46) exposée à la pression à mesurer, et - une électrode conductrice (38; 62; 72) raccordée électriquement entre les premier et second plots conducteurs de manière à ce que la résistance électrique entre les deux plots varie en fonction de la pression à mesurer, caractérisé en ce qu'au moins une partie de l'électrode (38; 62; 72) est déposée sur 10 la face (44, 46) du premier plot (28, 30) de manière à ce que la pression à mesurer appuie sur l'électrode en direction de cette face, cette partie de l'électrode étant reliée électriquement à cette face uniquement par une liaison de Van Der Waals pour former ainsi une jonction électrique dont la résistance électrique varie en fonction de la pression à mesurer. 15 2. Transducteur selon la revendication 1, dans lequel l'électrode (38; 62; 72) et le premier plot (28, 30) sont agencés de manière à ne pas plier sous l'action de la pression à mesurer. 20 3. Transducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le second plot (28, 30) comprend aussi une face (44, 46) exposée à la pression à mesurer sur laquelle est déposée une autre partie de l'électrode (38; 62; 72) de manière à ce que la pression à mesurer appuie sur cette autre partie de l'électrode en direction de cette face du second plot, cette autre partie de l'électrode étant reliée 25 électriquement à cette face du second plot uniquement par une liaison de Van Der Waals pour former une autre jonction électrique dont la résistance varie en fonction de la pression à mesurer. 4. Transducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel 30 l'un de l'électrode (38; 62; 72) et du premier plot (28, 30) est en métal ou en graphite et l'autre de l'électrode et du premier plot est en graphite ou en polymère conducteur. 5. Transducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les matériaux de l'électrode et du premier plot conducteur sont choisis de manière à 35 ce que la liaison de Van Der Waals présente un coefficient a supérieur à 0.001 Akbar, où le coefficient a est défini par la relation suivante : a = -6d/6P, où :- bd est une variation de la plus courte distance qui sépare l'électrode du premier plot, et - 6P est une variation de pression appliquée sur l'électrode pour générer cette variation bd. 6. Transducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'électrode comprend un ou plusieurs nanotubes de carbone (38; 64, 66) présentant chacun une partie directement déposée sur la face du premier plot et électriquement reliée à cette face uniquement par une liaison de Van Der Waals. 10 7. Transducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'électrode comprend au moins une feuille de graphène (72) dont une partie est directement déposée sur la face du premier plot et électriquement reliée à cette face uniquement par une liaison de Van Der Waals. 15 8. Capteur de pression comportant un ohmmètre (12) apte à mesurer une variation de résistance entre deux plots conducteurs, caractérisé en ce que le capteur comporte aussi un transducteur (2; 60; 70) conforme à l'une quelconque des revendications précédentes, entre les plots conducteurs duquel l'ohmmètre est 20 raccordé pour mesurer la variation de résistance causée par la pression à mesurer. 9. Capteur selon la revendication 8, dans lequel l'électrode (38; 62; 72) et la face (44, 46) du premier plot sont directement exposées au fluide dont la pression doit être mesurée. 10. Accéléromètre, caractérisé en ce que l'accéléromètre comporte : - un capteur de pression conforme à l'une quelconque des revendications 8 à 9, et - une masselotte (82) déplaçable sous l'action de l'accélération de manière à venir modifier la pression mesurée par le capteur de pression. 25 30