Brevet FR2952473A1 — publié le 20110513

PROCEDE DE REALISATION D'UN CIRCUIT COURBE DOMAINE DE L'INVENTION L'invention a trait aux circuits électroniques courbés et plus particulièrement aux détecteurs de rayonnements électromagnétiques quel que soit leur domaine spectral. ETAT DE LA TECHNIQUE Que ce soit en photographie ou en vidéo, la formation d'images numériques est aujourd'hui encore réalisée sur des capteurs plans, essentiellement pour des raisons historiques liées à la forme plane des films analogiques ainsi qu'au parc optique existant des fabricants. L'essentiel des recherches a ainsi porté sur l'augmentation de la résolution en nombre d'éléments unitaires de détection, ou pixels, ainsi que la gestion du bruit numérique provoqué par des gains importants d'amplification de signal. Toutefois, l'utilisation de capteurs plans a pour conséquence directe un certain nombre d'aberrations, tant géométriques que chromatiques, au rang desquels figurent les distorsions en barillet et en coussinet, les aberrations sphériques (ou aberrations dites de « lumière diffuse »), le coma, l'astigmatisme, le vignettage, les éblouissements, la lumière parasite (reflet), ou encore les franges chromatiques. De telles aberrations nécessitent d'être corrigées, directement lors de la formation des images par l'utilisation d'optiques complexes, et/ou à posteriori par la mise en oeuvre d'algorithmes de traitement d'images nécessitant d'importantes puissances de calcul. Ainsi, la nature plane des capteurs induit directement des aberrations et la correction de celles-ci implique des objectifs encombrants et couteux ainsi que des calculateurs puissants embarqués dans les caméras et les appareils photographiques numériques. De telles aberrations disparaissent cependant lorsque le capteur prend une forme sphérique, proche de celle d'un oeil animal. Le fait de pouvoir courber le capteur permet donc, non seulement de corriger les aberrations, mais également de concevoir des caméras et des appareils photographiques compacts et bon marché et ne nécessitant pas de grande puissance de calcul, le tout accompagnée d'une acuité visuelle augmentée pouvant aller jusqu'au 180° pour les objectifs de type fish-eye. On conçoit donc aisément l'intérêt de concevoir des capteurs courbés dans le domaine de la formation d'image. Les capteurs courbés présentent également un intérêt dans d'autres domaines, comme par exemple en spectrométrie optique. Ainsi, il est connu que les spectromètres optiques forment une image de diffraction sur une surface sphérique. Le réglage d'un spectromètre optique consiste alors pour l'essentiel à optimiser la position du capteur plan par rapport à la surface sphérique de formation de l'image de diffraction, et à gérer le décalage entre les deux. Le document « Concept of a miniature optical spectrometer using integrated optical and micro-optical components » d'Ivan Avratusky et al., Applied Optics, vol.45, n°30, octobre 2006, permet de comprendre les difficultés engendrées par un capteur plan dans le domaine de la spectrométrie optique. La réalisation d'un capteur courbé permettrait ainsi de positionner de manière idéale la détection au niveau de cette surface sphérique. Usuellement, les capteurs numériques, quelle que soit leur technologie (CCD ou CMOS pour le visible, à base de CdHgTe pour l'infrarouge, etc...), et leur configuration (monolithique, hybridé, etc...) comprennent un substrat dans lequel est formé un circuit de lecture des pixels, ce substrat présentant une épaisseur de quelques dizaines de micromètres à plusieurs millimètres. Or, la réalisation d'un substrat courbé, ou plus généralement la réalisation d'un circuit souple, restent difficile pour de telles épaisseurs. En effet, courber un circuit plan présentant une épaisseur élevée (typiquement supérieure à 50 micromètres), et ayant donc une rigidité élevée, provoque des défauts nuisant à la qualité du circuit, comme par exemple des bourrelets, des fêlures, des déchirures, voire même la destruction de connexions et de composants électriques contenus dans le circuit. Pour éviter de tels inconvénients, il est possible de concevoir un circuit ayant une épaisseur très faible (typiquement inférieure à 50 micromètres), et par conséquent une grande souplesse, puis de coller celui-ci sur un support présentant la courbure souhaitée. Toutefois, la manipulation d'un circuit présentant une épaisseur très faible rend délicate sa manipulation, ce qui nécessite des dispositifs de préhension onéreux. En outre, le moindre défaut (poussière, bulle, inhomogénéité de la colle...) présent sur une surface venant au contact du circuit, que cela soit un défaut de surface des dispositifs de préhension ou du support recevant le circuit, se reporte sur ce dernier, diminuant ainsi la qualité du circuit, détériorant son fonctionnement, voire même détruisant des connexions ou composants électriques contenus dans celui-ci. La manipulation d'un circuit d'épaisseur très faible nécessite donc des mesures de protection particulièrement onéreuses. EXPOSE DE L'INVENTION La présente invention vise à résoudre les problèmes susmentionnés en proposant un procédé permettant de courber un circuit, initialement plan et ayant une épaisseur importante permettant de conserver une rigidité mécanique suffisante pour être manipulé aisément. 10 A cet effet, l'invention a pour objet un procédé de fabrication d'un circuit courbé, consistant : ^ à former dans une face dudit circuit et selon au moins une direction prédéterminée, des tranchées triangulaires parallèles débouchant de part et d'autre dudit circuit ; 15 à déposer une colle sur les flancs des tranchées ainsi réalisées; et ^ à rapprocher les flancs des tranchées de manière à fermer celle-ci. On entend ici des circuits d'épaisseur inférieure au millimètre, par exemple une épaisseur allant de 50 micromètres à 1 millimètre. 20 On notera que le rôle d'un substrat, composant usuel d'un circuit, sur lequel est fabriqué l'ensemble des composants électroniques en technologie couches minces (la couche disposée sur le substrat et comprenant ces composants est communément appelée « couche active »), a pour unique but d'assurer la tenue mécanique du circuit, et donc 25 permettre la manipulation de celui-ci à chaque étape de sa fabrication. Eliminer le substrat pour n'en conserver qu'une faible épaisseur sous la couche active rend la manipulation du circuit en cours de fabrication très difficile, au prix d'outils coûteux et délicats à mettre en oeuvre. Cette problématique de préhension des dispositifs très fins ( En d'autres termes, le fond des tranchées définissent des lignes de « fragilisation» permettant de plier le circuit à leur endroit et donc de courber le circuit. En outre, en ayant ôté de la matière, lorsque le circuit est courbé par le rapprochement des flancs des 35 tranchées, il n'y a pas de formation des bourrelets ou de déchirures. Ainsi, le circuit peut être réalisé avec une épaisseur élevée lui conférant une bonne tenue mécanique. Enfin prévoir des tranchées de section triangulaire permet de parfaitement fermer celle-ci et ainsi obtenir une portion annulaire dans le plan perpendiculaire aux tranchées.5 Selon une caractéristique avantageuse du procédé de l'invention, la largeur des tranchées est choisie de manière à satisfaire la relation : Linf = Lsup x expression dans laquelle : - Linf est longueur d'un arc de cercle formé par la face du circuit dans laquelle sont formées les tranchées une fois celles-ci fermées, - LSä p est la longueur d'un arc de cercle formée par la face du circuit opposée à la face dans laquelle sont formées les tranchées lors que les tranchées sont fermées, - W est l'épaisseur du circuit, et - Rc est le rayon de courbure souhaité pour le circuit. En outre, l'épaisseur résiduelle du circuit au dessus du fond des tranchées est 15 avantageusement inférieure à 50 micromètres, et la largeur desdites tranchées est supérieure ou égale à 100 micromètres. Selon l'invention, la somme des largeurs des tranchées est avantageusement inférieure à 75% de la largeur de la face dans laquelle elles sont formées, afin de ne pas remettre le 20 dispositif en état de fragilité, avec trop peu de substrat pour en assurer la tenue mécanique. Enfin, la formation de tranchées peut être réalisée selon des directions différentes afin d'obtenir une courbure anisotrope du circuit. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre d'exemple, et réalisée en relation avec les dessins annexés, dans lesquels des 30 références identiques désignent des éléments identiques ou analogues fonctionnellement, et dans lesquels : - les figures 1 à 5 sont des vues schématiques en section d'un circuit monolithique à différents stades du procédé selon l'invention ; - la figure 6 est une vue schématique en section d'un circuit hybridé de l'état de la 35 technique particulièrement adapté pour être courbé selon le procédé de l'invention ; - la figure 7 est une vue schématique de dessus d'un circuit illustrant l'orientation de tranchées selon différentes directions. 25 DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION Sur la figure 1, un circuit électronique monolithique plan 10, par exemple un capteur d'image réalisé en technologie CCD ou CMOS, comporte un substrat 12 en silicium formant support sur lequel est formée une couche dite « active » 14 comportant l'ensemble des éléments électroniques nécessaires à la formation et à la lecture d'images, comme cela est connu en soi de l'état de la technique. Le circuit plan 10 est réalisé à l'aide de techniques classiques qui ne seront pas décrites plus en détails pour des raisons de concision. Selon l'invention, des tranchées 16 de section transversale triangulaire sont alors formées dans la face libre du substrat 12 (figure 2) et traversent de part en part ce dernier. Plus précisément, les tranchées débouchent de part et d'autre du circuit 10. Les tranchées 16 sont réalisées à l'aide de techniques classiques, par exemple par découpage, gravure sèche ou humide, microfraisage, etc... La forme et les dimensions des tranchées sont choisies pour à la fois obtenir la courbure souhaitées pour le circuit 10, courbure non nécessairement en arc de cercle, et pour définir des lignes de « pliure » le long desquelles le circuit 10 se pliera ultérieurement de manière certaine pour obtenir la courbure souhaitée. Plus particulièrement, lorsque la section des tranchées 16 est isocèle, la largeur Lt des tranchées 16, le nombre de tranchées 16, ainsi que leur espacement, sont choisis pour obtenir une courbure en arc de cercle souhaitée pour le circuit 10. La profondeur Pt des tranchées 16 est quant à elle choisie pour régler l'épaisseur résiduelle e du circuit 10 au dessus du fond 18 des tranchées 16, d'une manière qui sera expliquée plus en détail par la suite. Le procédé selon l'invention se poursuit alors par le dépôt d'une colle 20, par exemple de l'époxy, sur les flancs des tranchées 16 (figure 3). Le dépôt de colle est par exemple réalisé au moyen d'une seringue qui dispense de la colle à l'entrée des tranchées 16, la colle migrant alors par capillarité dans lesdites tranchées, et par conséquent sur leurs flancs. Une fois la colle 20 déposée sur le flanc des tranchées 16, le circuit 10 est courbé afin de fermer les tranchées (figure 4). Par exemple, le circuit 10 est rapporté sur une membrane élastique, ou en un matériau à mémoire de forme, maintenue plate et reprenant lorsqu'elle est relâchée la forme attendue pour le circuit 10. 5 Une telle membrane de forme sphérique, est par exemple décrite dans le document «A hemispherical electonic eye camera based on compressible silicon optoelectronics » de H. Cho KO et al, Nature, vol. 454, pp 748-753, août 2008. On notera que ce document divulgue une matrice de pixels reliés par des connexions souples et qu'il n'est pas décrit la courbure du substrat et du circuit de lecture nécessairement associés auxdits pixels et dont l'épaisseur est telle qu'ils ne peuvent être courbés directement à l'aide de la membrane, comme cela a été expliqué plus haut. En reprenant sa forme, la membrane impose ainsi la fermeture des tranchées 16 et donc la courbure souhaitée pour le circuit 10, à savoir, dans l'exemple illustré, une portion d'anneau sphérique de rayon R, dans le plan perpendiculaire à la direction de formation des tranchées (figure 5). Pour obtenir une courbure en arc de cercle de rayon R, de la surface libre 22 de la couche active 14, par exemple la surface de détection d'un capteur d'images, la forme et les dimensions des tranchées sont choisies pour que la relation suivante soit satisfaite : Linf = Lsup x où : - Linf est longueur de la surface libre 24 du circuit 10 dirigée vers le centre de courbure O du circuit 10 une fois celui-ci courbé, c'est-à-dire la surface libre du substrat 12 une fois le circuit 10 courbé (figure 5), - LSäp est la longueur de la surface libre 24 opposée à la surface 22, c'est-à-dire celle de la couche 14, et - W est l'épaisseur du circuit 10. Dans le cas où le circuit 10 prend initialement la forme d'un parallélogramme rectangle, et en choisissant des tranchées identiques, de section triangulaire isocèle et d'espacement 30 constant, comme cela est le cas de l'exemple illustré, la largeur Lt est alors égale à : L sup ù Linf N où N est le nombre de tranchées. La profondeur Pt des tranchées 16 est quant à elle choisie de manière à ce que la hauteur résiduelle e=W-Pt soit inférieure à 50 micromètres et supérieure à 15 micromètres. De cette manière, une souplesse du circuit 10 au niveau du fond 18 des tranchées est obtenue du fait de la faible épaisseur, sans pour autant risquer de déchirer le circuit. Par ailleurs, la couche active 14 comportant les composants et connexions électroniques, il est préférable de laisser une marge M entre le fond 18 des tranchées 16 d'une dizaine de micromètres pour ne pas risquer d'endommager lesdits composants et connexions électroniques lors de la formation des tranchées 16. 10 A titre d'exemple numérique, pour un circuit 10 d'une épaisseur W de 525 micromètres et d'une largeur Lsul, de 10 millimètres, ayant une couche active 14 de 25 micromètres, et dont on souhaite un rayon de courbure de 17,2 millimètres, il convient donc de répartir un total de 300 micromètres de tranchées 16, soit par exemple trois tranchées de 100 15 micromètres chacune séparées d'une distance de 2425 micromètres. De préférence, la largeur des tranchées est supérieure ou égale à 100 micromètres afin de pouvoir utiliser des seringues de l'état de la technique pour l'amenée de la colle 20 dans les tranchées. De préférence également, la somme des largeurs des tranchées est inférieure à 75% à la largeur de la face dans laquelle elles sont formées, afin de ne pas remettre le dispositif en état de fragilité, avec trop peu de substrat pour en assurer la tenue mécanique. 25 Il a été décrit un mode de réalisation dans lequel une courbure en arc de cercle est obtenue à l'aide de tranchées identiques isocèles régulièrement réparties. Bien entendu, des courbures différentes peuvent être obtenues en fonction des applications visées et/ou de contraintes de construction et d'assemblage. Par exemple, les 30 tranchées peuvent avoir des largeurs différentes et/ou peuvent être espacées de manière non régulière. De même, il a été décrit un mode de réalisation dans lequel un circuit monolithique, par exemple un capteur CCD ou CMOS dans lequel les éléments de détection sont intégrés à 35 la couche active, notamment pour des questions de simplicité de câblage. 20 La présente invention s'applique cependant également aux circuits hybridés, et avantageusement à celui décrit dans la demande WO2008/007008 dont la figure 6d est ici reproduite à la figure 6. Selon ce document, un dispositif électronique 620 comprend une pluralité de composants électroniques 611 rapportés sur un substrat 602. Chaque composant 611 est mécaniquement relié au substrat 602 par l'intermédiaire d'un élément de liaison 603, comme une bille de brasure par exemple. Chaque composant 611 est en outre électriquement connecté à au moins un composant adjacent au moyen d'au moins un conducteur 606. Les conducteurs 606 présentent une élasticité susceptible de conserver l'intégrité de la connexion électrique avec un composant adjacent malgré un déplacement relatif entre composants. Ayant réalisé un tel dispositif 620, il est alors possible de le courber en mettant en oeuvre le procédé de la présente invention au substrat 602, les conducteurs 606 étant 15 suffisamment élastiques pour s'étirer sans se casser. En variante, le substrat 602 est tout d'abord courbé selon l'invention puis les éléments 611 et leur conducteur 606 reportés ensuite sur le substrat courbé. De même il a été décrit une courbure selon une seule direction. Bien entendu, l'invention 20 permet de courber un circuit selon deux dimensions. Par exemple, comme cela est illustré à la figure 7, un premier ensemble de tranchées 70 peut être réalisé selon une première direction x, et un second ensemble de tranchées 72 peut être réalisé selon une deuxième direction y, perpendiculaire à la première direction x. En choisissant, des tranchées identiques et de même espacement pour les deux ensembles 25 70, 72, il est ainsi obtenu un circuit prenant la forme d'une portion de sphère. Une courbure anisotrope peut également être obtenue en choisissant des ensembles différents, par exemple ayant des tranchées différentes et/ou des espacements différents, auquel cas la courbure selon la première direction sera différente de la courbure selon la deuxième direction, comme cela est le cas de la figure 7. 30 De même, il est possible de choisir des tranchées formant, non pas un réseau de rectangles 74 comme illustré à la figure 7, mais un réseau de pentagones, d'hexagones, etc... Grâce à l'invention, il est ainsi obtenu : ^ un circuit courbé d'épaisseur importante, ce qui simplifie notamment sa manipulation et évite sa dégradation en cas de contact avec des surfaces non homogènes ; ^ une courbure qui peut être isotrope ou non isotrope en fonction des applications visées ; et ^ un procédé qui n'impose pas de revoir la conception du circuit plan qui est courbé. En effet, le circuit peut être fabriqué selon les techniques usuelles puis courbé. Notamment, il n'est pas besoin de prévoir un traitement différencié pour la couche comprenant les éléments et connexions électroniques du circuit. 9 REVENDICATIONS1. Procédé de réalisation d'un circuit courbé (10), caractérisé en ce qu'il consiste : ^ à former, dans une face (24) dudit circuit (10) et selon au moins une direction prédéterminée, des tranchées (16) de section transversale triangulaire, parallèles entre elles et débouchant de part et d'autre dudit circuit (10) ; ^ à déposer une colle (20) sur les flancs des tranchées (16) ainsi réalisées ; et ^ à rapprocher les flancs des tranchées (16) de manière à fermer celle-ci. 2. Procédé de réalisation d'un circuit courbé (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la largeur des tranchées (16) est choisie de manière à satisfaire la relation : Linf = Lsup x où Linf est la longueur d'un arc de cercle formé par la face (24) du circuit (10) dans laquelle sont formées les tranchées (16) une fois celles-ci fermées, LSäp est la longueur d'un arc de cercle formée par la face (22) du circuit opposée à la face (24) dans laquelle sont formées les tranchées lors que les tranchées sont fermées, W est l'épaisseur du circuit, et Rc est le rayon de courbure souhaité pour le circuit. 3. Procédé de réalisation d'un circuit courbé (10) selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que l'épaisseur résiduelle (e) du circuit (10) au dessus du fond (18) des tranchées (16) est inférieure à 50 micromètres. 4. Procédé de réalisation d'un circuit courbé (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la largeur (Lt) des tranchées (16) est supérieure ou égale à 100 micromètres. 30 5. Procédé de réalisation d'un circuit courbé (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la somme des largeurs (Lt) des tranchées (16) est inférieure à 75% de la largeur de la face dans laquelle elles sont formées. 35 6. Procédé de réalisation d'un circuit courbé (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé qu'il comporte la formation de tranchées selon des directions différentes afin d'obtenir une courbure anisotrope du circuit.25