Brevet FR2950042A1 — publié le 20110318

PROCEDE DE FABRICATION D'UNE MICROPARTICULE ET MICROPARTICULE AINSI FABRIQUEE [1] L'invention concerne un procédé de fabrication d'une microparticule ainsi que 5 la microparticule fabriquée. [2] Par microparticule on désigne ici une particule usinée dont les dimensions sont de l'ordre micrométrique. Les dimensions d'ordre micrométrique sont généralement inférieures à 500 pm et, de préférence, inférieures à 100 pm. [003 Il existe des microparticules équipées : 10 û d'au moins une queue flexible oblongue apte à propulser la microparticule dans une solution le long d'une trajectoire grâce à des battements transversaux à la trajectoire, chaque queue étant pourvue à cet effet d'au moins un élément magnétique permettant de provoquer les battements de la queue sous l'action d'un champ magnétique extérieur alternatif non colinéaire avec la trajectoire, et 15 û d'une tête mécaniquement raccordée à une extrémité proximale de la queue pour limiter le débattement de l'extrémité proximale de la queue par rapport au débattement d'une extrémité distale de la queue. [4] La solution est tout milieu dans lequel les battements de la queue permettent à la microparticule 2 d'avancer le long d'une trajectoire. Par exemple, la solution est 20 un liquide présentant une viscosité plus ou moins importante tel que de l'eau, de la glycérine, un solvant, ...etc. Il peut également s'agir d'un milieu mou tel que de la gélatine. La solution peut être un milieu biologique tel que la moelle épinière ou du blanc d'oeuf [5] Par exemple, de telles microparticules sont décrites dans l'article Dl suivant : 25 Remi Dreyfus, Jean Baudry, Marcus R. Roper, Marc Fermigier, Howard A. Stone et Jérôme Bibette, « Microscopic artificial swimmers », Nature, Volume 437 du 6 octobre 2005, page 862. [006 Dans l'article Dl, la queue est magnétique c'est-à-dire qu'elle porte au moins un élément magnétique déplacé par le champ magnétique alternatif pour provoquer 30 les battements de la queue. [7] D'autres particules ayant une queue non magnétique ont été décrites par exemple dans l'article suivant : S. Sudo, S. Segawa et T. Honda, « Magnetic swimming mecanism in a viscous liquid », Journal of Intelligent material systems and structures, volume 17- 35 août/septembre 2006, page 729, Edition SAGE publications. [8] Toutefois, le fait que la queue soit magnétique permet un contrôle plus précis des battements de la queue et, surtout, une plus grande variété de battements que dans le cas où les éléments magnétiques sont uniquement prévus dans la tête de la micropadicule. [009 Dans l'article Dl, la queue est réalisée par l'assemblage de microbilles superparamagnétiques. La section transversale de cette queue est donc nécessairement circulaire. [oo10] Par ailleurs, certains paramètres, comme la vitesse de déplacement, de la microparticule dépendent fortement de la conformation de sa queue. Il est donc souhaitable de proposer un procédé de fabrication de telles microparticules permettant une plus grande variété de formes pour la queue de la microparticule. [0011] L'invention vise à satisfaire ce souhait en proposant un procédé de fabrication de la microparticule comportant : - le dépôt et/ou la gravure d'au moins une couche déposée sur un substrat pour former la queue, puis û la libération de la queue du substrat. [0012] La réalisation de la queue de la microparticule par dépôt et/ou gravure d'une couche permet d'obtenir facilement une grande diversité de formes pour la queue magnétique. Par conséquent, l'hydrodynamisme de la queue de la microparticule est plus facilement optimisé. En fin de compte, cela permet, par exemple, d'obtenir des microparticules qui se déplacent plus rapidement, dans des conditions de fonctionnement identiques à celles décrites dans l'article D1. [0013] Ce procédé de fabrication permet également d'avoir une grande variété de choix pour le matériau magnétique utilisé (matériau magnétique doux ou dur, avec aimantation parallèle ou perpendiculaire au plan de la couche, ...) pour obtenir le mouvement désiré de la queue. [0014] Les modes de réalisation de ce procédé peuvent comporter la caractéristique suivante : ^ le dépôt et/ou la gravure de la même couche déposée sur le substrat pour former également la tête d'un seul tenant avec la queue. [0015] Ces modes de réalisation du procédé de fabrication présentent en outre l'avantage suivant : û réaliser la tête de la microparticule par dépôt et/ou gravure de la même couche que celle utilisée pour former la queue permet de fixer simplement la queue sur la tête. De plus, cela limite les frottements visqueux car la queue et la tête sont plates. [0016 L'invention a également pour objet une microparticule obtenue à l'aide du procédé de fabrication ci-dessus. [0017] Les modes de réalisation de cette microparticule peuvent comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : ^ la queue comprend une couche en un seul bloc de matière s'étendant de l'extrémité proximale jusqu'à l'extrémité distale ; ^ la couche est une couche en matériau magnétique ; ^ la tête et la queue sont formées dans la même couche en matériau magnétique 40 doux et les dimensions de la queue sont aptes à maintenir la direction du moment magnétique de la queue dans l'axe longitudinal de la queue tandis que les dimensions de la tête sont aptes à permettre un alignement du moment magnétique de la tête sur la direction du champ magnétique alternatif ; ^ la microparticule comprend une première queue mécaniquement raccordée à la tête et une seconde queue qui est le symétrique de la première queue par rapport à un plan perpendiculaire au plan de la couche et passant par le centre de gravité de la tête ; ^ la queue forme systématiquement un coude entre ses extrémités proximale et distale en absence du champ magnétique alternatif ; ^ la tête et la queue sont planaires et le plan de la couche de la queue est oblique par rapport au plan de la tête ; ^ la longueur de la queue est au moins cinq fois supérieure à l'une des dimensions transversales de cette queue. [0018] Les modes de réalisation de la microparticule présente en outre les avantages suivants : ù une queue comprenant une couche en un seul bloc de matière est plus facile à réaliser, ù lorsque la couche utilisée pour former la queue est en matériau magnétique cela permet de réaliser en même temps la queue et l'élément magnétique, ù la réalisation de la tête et de la queue dans la même couche en matériau magnétique doux et le choix des dimensions de la tête et de la queue pour permettre ou non un alignement du moment magnétique sur la direction du champ magnétique alternatif permet d'exercer un couple magnétique différent sur la queue et sur la tête alors que la queue et la tête sont réalisées à partir du même matériau magnétique, ù l'utilisation d'une première et d'une seconde queues symétriques l'une de l'autre améliore l'efficacité du déplacement de la microparticule le long d'une trajectoire rectiligne, ù l'utilisation d'une queue coudée permet d'obtenir des battements de la queue en pliant et dépliant ce coude, ù une queue dont les couches sont obliques par rapport à celles de la tête permet d'accroître la surface de la queue s'appuyant sur la solution pour propulser la microparticule, et ù une longueur de la queue au moins cinq fois supérieure à l'une de ses dimensions transversales permet d'obtenir une queue dont la raideur est suffisamment faible pour 35 battre. [0019] L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins sur lesquels : ù la figure 1 est une illustration schématique et en perspective d'une microparticule, ù la figure 2 est un organigramme d'un procédé de fabrication de la microparticule de la figure 1, ù les figures 3 à 6 sont des illustrations schématiques de différentes étapes du procédé de la figure 2, ù les figures 7 et 8 sont des illustrations schématiques du fonctionnement de la microparticule de la figure 1, ù les figures 9 à 11 sont des illustrations schématiques et en perspective de trois autres modes de réalisation possibles d'une microparticule, ù la figure 12 est une illustration schématique et en vue de dessus d'un autre mode 10 de réalisation de la microparticule de la figure 1, et ù les figures 13 et 14 sont des illustrations schématiques en vue de côté d'autres modes de réalisation de la microparticule de la figure 1. [0020] Dans ces figures, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. 15 [0021] Dans la suite de cette description, les caractéristiques et fonctions bien connues de l'homme du métier ne sont pas décrites en détail. [0022] La figure 1 représente une microparticule 2 apte à se déplacer le long d'une trajectoire 3 dans une solution quand un champ magnétique alternatif Ba est appliqué dans une direction non colinéaire à la trajectoire 3. Par exemple, le liquide visqueux 20 est de l'eau ou de la glycérine ou un solvant. [0023] Un exemple de dispositif permettant d'appliquer le champ Ba sur la microparticule 2 est décrit dans l'article Dl de sorte qu'ici ce dispositif n'est pas décrit. De plus, ici, ce dispositif applique également un champ magnétique continu dont la direction est parallèle à la trajectoire 3 pour aligner et maintenir la microparticule 2 25 alignée sur cette trajectoire. [0024] Ici, la trajectoire 3 est une trajectoire rectiligne. Cette trajectoire est horizontale et s'étend parallèlement à une direction X. Le champ Ba est sensiblement parallèle à une direction horizontale Y perpendiculaire à la direction X. [0025] La microparticule 2 est équipée d'une tête 4 et d'une queue 6 réalisée d'un 30 seul tenant dans une même couche en matériau magnétique doux. [0026] Par matériau magnétique doux on désigne un matériau magnétique qui, lorsque aucun facteur de forme particulier ne lui est appliqué, présente un champ coercitif inférieur à 0,005 Tesla. Dans cette description, un matériau magnétique dur est un matériau présentant un champ coercitif supérieur à 0,01 Tesla. 35 [0027] La queue 6 est oblongue et flexible. Elle possède une extrémité proximale 8 mécaniquement fixée à la tête 4 et une extrémité distale 10 libre. [0028] La microparticule 2 se déplace le long de la trajectoire 3 grâce à des battements transversaux de la queue 6. Les battements transversaux correspondent à des déplacements de l'extrémité 10 qui propulsent la microparticule 2 le long de la 40 trajectoire 3 dans un sens ou dans l'autre tout en maintenant la tête stable. On considère que la tête est stable lorsqu'elle n'effectue pas de révolution complète sur elle même autour d'un axe parallèle à la trajectoire 3. Par exemple, les battements de la queue 6 sont des ondulations de sorte que la queue fonctionne comme un flagelle. Dans le cas particulier décrit ici, les battements correspondent à un déplacement de l'extrémité 10 dans un plan parallèle à la trajectoire 3. Ici les battements transversaux sont réalisés dans le plan X, Y. Les battements de la queue 6 imitent ceux d'un flagelle pour propulser la microparticule 2 dans la solution. Le mode de propulsion obtenu est donc totalement différent de celui qui serait obtenu en faisant tourner sur elle-même la queue 6 à la manière d'une hélice. [0029] Sur la figure 1, la microparticule 2 est représentée au repos c'est-à-dire en absence du champ Ba. Dans cet état, la queue 6 s'étend le long d'un axe longitudinal confondu ici avec la trajectoire 3. [0030] Les dimensions de la queue 6 et le matériau magnétique sont choisis pour permettre la flexion de la queue 6 sous l'effet du champ Ba. Ici, la raideur de la queue 6 est suffisamment faible pour qu'elle s'incurve dans le plan XY aussi bien dans un sens que dans l'autre sous l'action du champ Ba. De préférence, les déformations de la queue 6 provoquées par le champ Ba sont des déformations élastiques. A cet effet, le facteur de forme de la queue 6 est important c'est-à-dire qu'il est supérieur à cinq et, de préférence, supérieur à 10 ou 100. Par facteur de forme, on désigne le rapport de la longueur L de la queue 6 mesurée entre les extrémités 8 et 10 sur sa dimension moyenne dans une direction parallèle au champ Ba. Ici, la queue 6 est un parallélépipède. Ses dimensions transversales, c'est-à-dire celles perpendiculaires à son axe longitudinal 3, sont donc constantes sur toute sa longueur. Dès lors, le facteur de forme est le rapport de la longueur L sur la largeur I de la queue 6 dans la direction Y. Ici, la longueur L et la largeur I sont égales, respectivement, à 50 pm et 0,35 pm. L'épaisseur e de la couche en matériau magnétique est ici prise égale à 0,1 pm. [0031] Par ailleurs, les dimensions transversales choisies de la queue 6 sont suffisamment petites pour maintenir la direction de plus facile aimantation du matériau magnétique parallèle à l'axe 3 même lorsque le champ Ba est appliqué. [0032] La tête 4 est directement solidaire de l'extrémité 8 pour limiter le débattement de l'extrémité 8 par rapport au débattement de l'extrémité 10 lorsque le champ Ba est appliqué. Cette dissymétrie entre les débattements des extrémités 8 et 10 permet à la microparticule 2 d'avancer le long de la trajectoire 3 lorsque le champ Ba est appliqué. [0033] A cet effet, les dimensions transversales de la tête 4 sont plus grandes que celles de la queue 6. Cette conformation de la tête 4 permet d'augmenter l'inertie de l'extrémité 8 en augmentant les frottements visqueux entre la tête 4 et la solution. Le champ magnétique continu appliqué sur la tête 4 contribue aussi à augmenter l'inertie de l'extrémité 8 et à stabiliser la tête 4. Ceci limite l'amplitude du débattement de l'extrémité 8 par rapport à l'amplitude du débattement de l'extrémité 10 en présence du même champ Ba. [0034] De plus, les dimensions transversales de la tête 4 sont choisies suffisamment grandes pour permettre à la direction de plus facile aimantation du matériau magnétique doux de s'aligner sur la direction du champ Ba. Par exemple, la tête 4 est un disque horizontal d'épaisseur e et de diamètre 5 [gym. La forme plate de la tête 4 améliore l'hydrodynamisme de la microparticule 2. [0035] Un procédé collectif de fabrication de microparticules 2 va maintenant être décrit en regard du procédé de la figure 2 et des illustrations des figures 3 à 6. [0036] Initialement, lors d'une étape 20, un réseau de plots verticaux 22 est réalisé sur un substrat 24 (figure 3). Ces plots 22 sont réalisés dans un matériau sacrificiel susceptible d'être éliminé à l'aide d'un solvant ou d'une autre type d'attaque chimique sans pour autant détruire les microparticules 2. [0037] La face au sommet de chaque plot 22 est identique à la section horizontale 15 de la microparticule 2. Toutefois, pour simplifier les figures 3, 5 et 6, cette section horizontale est représentée comme étant rectangulaire. [0038] Par exemple, le réseau de plots 22 est réalisé par lithographie optique ou électronique. Il peut également être réalisé par nano-impression. Le matériau sacrificiel utilisé pour réaliser les plots 22 est une résine telle qu'un polymère ou tout 20 autre matériau dissoluble dans un solvant qui ne détruit pas les microparticules 2. [0039] Une fois les plots 22 réalisés, lors d'une étape 26, on procède au dépôt d'une couche en matériau magnétique doux sur les sommets de chacun des plots 22. Par exemple, la couche en matériau magnétique ne se dépose pas sur les faces verticales des plots 22. 25 [0040] Ici, la couche en matériau magnétique doux est réalisé par un empilement de trois sous-couches respectivement en alliage NiFe, en ruthénium (Ru), et en alliage NiFe. Ces sous-couches sont représentées sur la figure 4. Le résultat obtenu à l'issu de l'étape 26 est représenté sur la figure 5. [0041] Ensuite, lors d'une étape 28, on procède à la libération des microparticules 2 30 (ou « lift off» en anglais) du substrat 24. Pour cela, on procède à l'élimination du matériau sacrificiel. Par exemple, un solvant est utilisé pour libérer les microparticules 2. Dès lors, les microparticules 2 qui étaient solidaires des sommets des plots 22 s'en détachent et sont libres de se mouvoir dans le solvant utilisé. [0042] Le résultat obtenu à l'issu de l'étape 28 est représenté sur la figure 6. 35 [0043] Le procédé décrit ici est un procédé de fabrication collectif et simultané d'une multitude de microparticules 2. Des informations supplémentaires sur un tel procédé de fabrication peuvent être trouvées dans le document suivant : Wei Hu et al., « High-moment antiferromagnetic nanoparticules tunable magnetic properties », Abvanced Materials, 2008, 20, 1479-1483, Willey-VCH, Verlag Gmbh 40 and Co. [0044] Comme cela va maintenant être décrit en regard des figures 7 et 8, une microparticule 2 ainsi fabriquée se déplace dans une solution visqueuse tel que le solvant utilisé lors de l'étape 28 ou tout autre solution visqueuse. [0045] A l'instant t1 (figure 7) la direction du champ magnétique Ba est contenue 5 dans le plan XY et fait un angle e non nul avec la direction Y. [0046] A cause des dimensions transversales de la queue 6, le moment magnétique MQ dans la queue 6 reste aligné sur l'axe longitudinal 3. De plus, ici, l'angle e est choisi de manière à orienter systématiquement la direction du moment magnétique MQ de la queue vers la tête. Un couple magnétique important s'exerce donc sur la 10 queue 6 car l'écart angulaire entre les directions du moment MQ et du champ Ba est important. [0047] Dans le même temps, à cause des dimensions transversales plus importantes de la tête 4, le moment magnétique Mt de la tête 4 s'aligne sur la direction du champ Ba. L'écart angulaire entre les directions du moment magnétique 15 Mt et du champ Ba est donc faible. Par conséquent, le couple magnétique qui s'exerce sur la tête 4 est au moins deux fois inférieur à celui qui s'exerce sur la queue 6. Ici, le couple magnétique sur la tête 4 est nul ou presque nul. Ainsi, dans ce mode de réalisation, la géométrie particulière de la microparticule 2 permet d'exercer un couple magnétique plus important sur la queue 6 que sur la tête 4 alors que la 20 quantité de matériau magnétique dans la tête 4 est supérieure voire très supérieure à la quantité de matériau magnétique dans la queue 6. [0048] Dans ces conditions, la queue 6 se courbe dans le plan X, Y pour atteindre une position telle que celle représentée en pointillée sur la figure 7. La tête 4 ne tourne quasiment pas dans le même temps. 25 [0049] A un instant t2 ultérieur (figure 8), le champ Ba est le symétrique par rapport à la direction X du champ Ba à l'instant t1. Comme précédemment, le moment magnétique MQ de la queue 6 reste alignée sur l'axe longitudinal de cette queue alors que le moment magnétique Mt de la tête 4 tourne pour s'aligner sur la direction du champ Ba. Dans ces conditions, la queue 6 se courbe dans le plan X, Y pour atteindre 30 une position telle que celle représentée en pointillée sur la figure 8. [0050] En alternant la direction du champ Ba entre les deux positions représentées sur les figures 7 et 8, on obtient un battement de la queue 6. Ce battement, à la manière de celui d'un flagelle, propulse la microparticule 2 le long de la trajectoire 3. Lors de ces battements, l'extrémité 10 se déplace dans le plan X, Y entre les deux 35 positions extrêmes représentées, respectivement, sur les figures 7 et 8. [0051] De nombreux autres modes de réalisation de la microparticule 2 sont possibles. Par exemple, la figure 9 représente une microparticule 40 équipée d'une queue 42 et d'une tête 44. La queue 42 est par exemple identique à la queue 6. La tête 44 a une section transversale identique à celle de la queue 42. Toutefois, la tête 40 44 est réalisée dans un matériau, par exemple non-magnétique, plus dense que le matériau magnétique utilisé pour la queue 42. L'inertie pour déplacer l'extrémité proximale et donc plus importante que celle pour déplacer l'extrémité distale. Ainsi, cette tête 44 limite le débattement de l'extrémité proximale de la queue 42 par rapport au débattement de son extrémité distale sans pour autant avoir une section transversale différente de celle de la queue 42. [0052] La figure 10 représente une microparticule 50 équipée d'une queue 52 et d'une tête pointue 54. La direction du moment magnétique M de la queue 52 est parallèle à la direction Z, c'est-à-dire perpendiculaire au plan de la couche en matériau magnétique utilisé pour réaliser la queue 52. A cet effet, le matériau magnétique utilisé pour réaliser la queue 52 est un matériau magnétique doux avec une anisotropie perpendiculaire au plan de la couche. Le matériau magnétique utilisé est par exemple composé de plusieurs couches de cobalt (Co) et de platine (Pt). [0053] La tête 54 est par exemple réalisée dans une matériau magnétique doux ou un matériau non-magnétique ou amagnétique. [0054] Cette microparticule 50 se déplace dans une solution lorsqu'elle est soumise, en alternance, à deux champs magnétiques 13,1 et Bz2. Les champs 13,1 et Bz2 sont inclinées par rapport à la direction du moment M. Ici, les directions des champs 13,1 et Bz2 sont contenues dans un plan parallèle au plan X, Z et inclinées, respectivement de +45° et de -45° par rapport à la direction X. Le battement de la queue 52 s'effectue alors dans le plan vertical X, Z et non pas dans le plan horizontal X, Y comme décrit en regard des figures 7 et 8. Dans ces conditions, la surface d'appui de la queue 52 sur la solution est accrue ce qui améliore l'efficacité du déplacement de la microparticule 50. [0055] La figure 11 représente une microparticule 60 équipée d'une queue 62 et 25 d'une tête 64. La tête 64 est un parallélépipède dont les plus grandes faces sont parallèles au plan X, Y. [0056] La queue 62 est par exemple identique à la queue 6 à l'exception du fait que le plan de la couche qui la forme est incliné par rapport au plan X, Y. Cette configuration de la queue 62 permet d'augmenter la surface d'appui de la queue sur 30 la solution et donc d'augmenter la force de propulsion. En fin de compte, cela favorise le déplacement de la microparticule 60. [0057] La figure 12 représente une microparticule 70 identique à la microparticule 2 à l'exception du fait que la queue 6 est remplacée par deux queues 72 et 74. Les queues 72 et 74 sont les symétriques l'une de l'autre par rapport à un plan vertical 35 passant par le centre de gravité de la tête 4. Ici ce plan vertical contient l'axe 3. Au repos, chaque queue 72, 74 est incurvée de manière à former un coude, respectivement 76 et 78 dans le plan X, Y. Ces coudes se situent entre les extrémités proximale et distale de la queue. Par exemple, les coudes 76 et 78 sont formés au milieu de la longueur des queues 72 et 74. [0058] Sur la figure 12, la position des queues 72 et 74 représentée en traits fins correspond à la position de ces queues en absence de champ magnétique alternatif extérieur. Lorsqu'un champ magnétique alternatif By est appliqué parallèlement à la direction Y, les coudes 76 et 78 se plient de manière à ce que les queues 72 et 74 atteignent les positions représentées en trait pointillée sur la figure 12. Lorsque le champ magnétique By disparaît de nouveau, les queues 72 et 74 retrouvent, par exemple par déformation élastique, leurs positions représentées en trait plein. Ainsi, les queues 72 et 74 effectuent un mouvement proche d'un mouvement de brasse pour déplacer la microparticule 70 en présence du champ By. [0059] Dans ce mode de réalisation, les queues 72 et 74 sont réalisées à l'aide d'un matériau magnétique doux. [0060] La figure 13 représente en vue de côté une microparticule 80 équipée d'une tête 82 raccordée à une queue 84. La tête 82 et la queue 84 sont réalisées à partir d'une couche 86 en matériau non magnétique 86 d'un seul tenant. [0061] Des plots magnétiques 88 sont gravés sur la couche 86 pour former les éléments magnétiques de la queue 84 qui vont lui permettre de battre en présence d'un champ magnétique alternatif extérieur. [0062] Pour augmenter l'inertie de la tête 82, un plot 90 en matériau magnétique ou non peut être réalisé sur la couche 86 au niveau de la tête 82. [0063] Les plots 88 et 90 sont par exemple réalisés par gravure d'une même couche en matériau magnétique lors de la fabrication de la microparticule 80. [0064] La figure 13 montre que l'élément magnétique dont est pourvue la queue de la microparticule n'est pas nécessairement une couche en matériau magnétique qui s'étend continûment de l'extrémité proximale à l'extrémité distale. De plus, comme représenté, la queue 84 peut comporter plusieurs éléments magnétiques disjoints. Toutefois, en variante, la queue comporte un seul élément magnétique tel qu'un seul plot 88. [0065] La figure 14 représente en vue de côté une microparticule 90 équipée d'une tête 92 et d'une queue 94. La tête 92 est réalisée à partir d'une couche 96 de 30 matériau magnétique ou non. [0066] L'extrémité proximale de la queue 94 ainsi qu'une bonne partie de la queue 94 est également réalisée dans la couche 96. [0067] La queue 94 comporte également une couche 98, par exemple en matériau magnétique, qui s'étend au-delà de la couche 96 parallèlement à la direction X 35 jusqu'à l'extrémité distale de la queue 94. Les couches 96 et 98 se superposent l'une au-dessus de l'autre dans une zone de chevauchement de manière à raccorder mécaniquement les extrémités proximale et distale de la queue 94. [0068] De nombreuses formes différentes sont possibles pour la tête de la microparticule, par exemple celle-ci peut être carrée, avoir la forme d'un disque, d'un 40 parallélépipède, avoir une section horizontale ellipsoïdale, conique ou autre. De façon générale, la forme de la tête est optimisée afin d'améliorer l'hydrodynamisme de la microparticule. [0069] Les battements de la queue ne sont pas nécessairement limités à des mouvements de l'extrémité distale dans un plan. Selon la forme de la queue et la direction du champ magnétique alternatif appliqué, les déformations de la queue peuvent entraîner des déplacements de l'extrémité distale en dehors d'un plan. [0070] Le matériau magnétique utilisé dans les différents modes de réalisation précédents peut être doux ou dur. [0071] De préférence, lorsque la tête est réalisée dans un matériau magnétique, 10 celle-ci ne forme qu'un seul bloc de matière avec la queue. [0072] II n'est pas nécessaire que la tête soit réalisée dans un matériau magnétique pour que la microparticule puisse se déplacer. Ainsi, en variante, une queue telle que la queue 6 est mécaniquement raccordée à une tête non magnétique tel qu'un globule rouge ou une tête réalisée dans un matériau non magnétique ou 15 amagnétique. [0073] La section transversale de la queue n'est pas nécessairement constante. Par exemple, elle peut présenter des renflements ou aller en s'élargissant ou, au contraire en s'amenuisant au fur et à mesure que l'on se rapproche de l'extrémité distale. [0074] La microparticule peut avoir deux ou plus de trois queues aptes à battre pour 20 la propulser. [0075] La queue de la microparticule n'est pas nécessairement rectiligne au repos. Par exemple, dans un mode de réalisation particulier, l'extrémité proximale de la queue est raccordée à l'avant de la tête puis se recourbe pour s'étendre vers l'arrière de la tête. 25 [0076] Eventuellement, d'autres couches que des couches magnétiques peuvent également être déposées lors l'étape 26 du procédé de fabrication. Par exemple, des couches externes de la microparticule 2 sont réalisées en matériau biocompatible tel que de l'or ou de la silice. [0077] D'autres procédés de fabrication que celui impliquant la réalisation de plots 30 dans un matériau sacrificiel sont utilisables. Par exemple, les différentes couches qui composent la microparticule peuvent être déposées sur une couche sacrificielle elle-même déposée sur un substrat. Ensuite, l'empilement de couches est gravé pour former la tête et la queue de la microparticule puis la couche sacrificielle est éliminée pour libérer la microparticule du substrat. Plusieurs étapes de gravures peuvent être 35 utilisées de manière à conformer de façon différente plusieurs des couches de l'empilement de couches formant la microparticule. Par exemple, plusieurs étapes de gravure sont nécessaires pour réaliser la microparticule des modes de réalisation des figures 13 et 14. [0078] Pour déplacer la microparticule, un champ alternatif est nécessaire. 40 Toutefois, il n'est pas nécessaire que ce champ alternatif change de signe. [0079] Par ailleurs, il n'est pas non plus nécessaire qu'un champ magnétique continu soit utilisé pour aligner les particules sur la direction de déplacement. En effet, pour qu'une microparticule se déplace il suffit que le champ magnétique alternatif ne soit pas parallèle au moment magnétique des éléments magnétiques de la queue. Dès qu'il existe une légère inclinaison entre la direction du champ magnétique appliqué et le moment magnétique des éléments magnétiques de la queue, la microparticule est susceptible de se déplacer. Toutefois, dans le cas idéal, le moment magnétique des éléments magnétiques de la queue est perpendiculaire au champ magnétique alternatif de manière à maximiser l'efficacité du déplacement. [0080] Le champ magnétique alternatif peut également être un champ magnétique tournant, c'est-à-dire dont la direction tourne autour d'un axe tel qu'un axe colinéaire à la trajectoire 3. [0081] D'autres actions de propulsion peuvent se superposer à celles des battements de la queue. Par exemple, un gradient de champ magnétique peut également être utilisé en plus ou la microparticule peut être entraînée par l'écoulement du fluide. [0082] Enfin, on notera que le champ magnétique alternatif n'est pas nécessairement sinusoïdal ou périodique. Par exemple, il peut être appliqué par impulsions successives. Lors d'une première impulsion, le champ magnétique est uniquement appliqué dans un sens puis annulé. Après un intervalle de temps plus long que celui de l'impulsion, une seconde impulsion de champ magnétique est appliquée. Pendant la seconde impulsion, le champ magnétique est par exemple appliqué dans la direction opposée. Ces première et seconde impulsions sont répétées en alternance pour faire avancer la microparticule par à-coup. Par exemple, pendant l'intervalle de temps où il n'existe aucune impulsion de champ magnétique, la queue se relâche pour retrouver sa position de repos. Dans ce mode de réalisation, la queue subit uniquement des déformations élastiques. REVENDICATIONS1. Procédé de fabrication d'une microparticule équipée : û d'au moins une queue flexible oblongue apte à propulser la microparticule dans une solution le long d'une trajectoire grâce à des battements transversaux à la trajectoire, chaque queue étant pourvue à cet effet d'au moins un élément magnétique permettant de provoquer les battements de la queue sous l'action d'un champ magnétique extérieur alternatif non colinéaire avec la trajectoire, et û d'une tête mécaniquement raccordée à une extrémité proximale de la queue pour limiter le débattement de l'extrémité proximale de la queue par rapport au débattement d'une extrémité distale de la queue, caractérisé en ce que le procédé comprend - le dépôt (26) et/ou la gravure d'au moins une couche déposée sur un substrat pour former la queue, puis û la libération (28) de la queue du substrat. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel le procédé comprend le dépôt (26) et/ou la gravure de la même couche déposée sur le substrat pour former également la tête d'un seul tenant avec la queue. 3. Microparticule, caractérisée en ce qu'elle est obtenue par un procédé conforme à 20 l'une quelconque des revendications précédentes. 4. Microparticule, dans laquelle la queue (6 ; 42 ; 62 ; 72, 74 ; 84) comprend une couche en un seul bloc de matière s'étendant de l'extrémité proximale jusqu'à l'extrémité distale. 5. Microparticule selon l'une quelconque des revendications 3 à 4, dans laquelle la 25 couche est une couche en matériau magnétique. 6. Microparticule selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, dans laquelle la tête (4) et la queue (6) sont formées dans la même couche en matériau magnétique doux et les dimensions de la queue sont aptes à maintenir la direction du moment magnétique de la queue dans l'axe longitudinal de la queue tandis que les 30 dimensions de la tête sont aptes à permettre un alignement du moment magnétique de la tête sur la direction du champ magnétique alternatif. 7. Microparticule selon l'une quelconque des revendications 3 à 6, dans laquelle la microparticule comprend une première queue (72) mécaniquement raccordée à la tête (7) et une seconde queue (74) qui est le symétrique de la première queue par rapport à un plan perpendiculaire au plan de la couche et passant par le centre de gravité de la tête. 8. Microparticule selon l'une quelconque des revendications 3 à 7, dans laquelle la queue (72, 74) forme systématiquement un coude entre ses extrémités proximale et distale en absence du champ magnétique alternatif. 9. Microparticule selon l'une quelconque des revendications 3 à 8, dans laquelle la 10 tête (64) et la queue (62) sont planaires et le plan de la couche de la queue est oblique par rapport au plan de la tête. 10.Microparticule selon l'une quelconque des revendications 3 à 9, dans laquelle la longueur de la queue est au moins cinq fois supérieure à l'une des dimensions transversales de cette queue.