Brevet FR2957412A1 — publié le 20110916

PROCEDE ET DISPOSITIF DE SUPPRESSION D'HYSTERESIS DE RESONATEURS PAR RESONANCES SIMULTANEES DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR L'invention concerne le domaine des résonateurs, notamment de type MEMS ou NEMS. Les applications concernées peuvent être des capteurs résonants, par exemple inertiels, ou des 10 capteurs de gaz ou de masse. Une autre application est celle de la réalisation d'oscillateurs pour base de temps. Dans tous ces domaines, les performances (résolution en accélération, concentration, masse, ou 15 stabilité de la fréquence générée) sont proportionnelles au rapport signal sur bruit, qu'on peut exprimer, par exemple en déplacement mécanique du résonateur, parSNR = P où Sx est la densité spectrale de Sx bruit et Po la puissance de la porteuse, soit P° = 2 A2 , 20 où A est l'amplitude de vibration du résonateur mécanique. Pour améliorer les performances du résonateur, on cherche à obtenir l'amplitude d'actionnement A du résonateur la plus grande possible. 25 L'homme du métier limite toujours cette amplitude à une valeur inférieure à l'amplitude dite critique, appelée A, au-delà de laquelle le régime de vibration devient non-linéaire. L'apparition de ce 2 régime non linéaire est illustrée en figure 1. Sur cette figure, sont représentées des courbes Cn d'évolution de la réponse du résonateur en fonction de la fréquence, ou de l'écart de celle-ci par rapport à la fréquence de résonance. On voit que certaines de ces courbes, ici les courbes Cl, C2 traduisent un régime linéaire. Au contraire, lorsque l'amplitude augmente, des phénomènes non linéaires apparaissent, ce qui est le cas pour les courbes C3, C4 de la figure 1. Cette non linéarité se traduit, pour certaines fréquences telles que la fréquence f1, par plusieurs amplitudes possibles : par exemple la parallèle à l'axe des ordonnées qui passe par la fréquence f1, coupe la courbe C4 en plusieurs points a, b, c. Cet effet apparaît encore plus clairement sur la figure 2. Autrement dit, dans ce régime non linéaire, le résonateur n'est plus stable. Dans une certaine zone de ce régime, 3 amplitudes sont possibles pour une fréquence f1 donnée. Le résonateur peut donc « sauter » brutalement d'une amplitude à l'autre quand il est actionné en boucle ouverte à une certaine fréquence. L'amplitude prise par le résonateur dépend en outre des conditions initiales et des perturbations extérieures. Le résonateur devient alors difficilement contrôlable. Par conséquent, lorsqu'on balaye la gamme de fréquence de manière montante ou descendante, on peut observer des sauts brutaux d'amplitude. En outre le chemin suivi est différent dans un sens ou dans l'autre : on observe une hystérésis, particulièrement visible sur le schéma de la figure 2, c'est-à-dire que 3 suivant le sens dans lequel la fréquence varie, l'évolution de l'amplitude n'est pas la même. L'apparition d'un régime non linéaire est en outre liée à une dégradation du bruit : en effet du bruit (basse ou haute fréquence) est mélangé par la composante non-linéaire du résonateur, et ramène du bruit à la fréquence d'intérêt, comme cela a été montré par V.Kaajakari et al dans l'article paru dans 20 IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, 52, 2322- 2331 (2005). Ainsi on augmente l'amplitude et donc la puissance de la porteuse, mais, simultanément, on dégrade le bruit, ce qui réduit totalement l'intérêt d'accroître l'amplitude. Par conséquent, non seulement le système 15 n'est pas stable en boucle ouverte, mais, en outre, le rapport signal sur bruit se trouve dégradé. Par opposition à un résonateur du second ordre linéaire, la vibration de tout résonateur mécanique non-linéaire vibrant sur un mode privilégié 20 peut être modélisée par une équation de Duffing, c'est-à-dire comportant un terme non-linéaire du 3e ordre : me ff.x +c e ff.x +k e ff.x +a mecax3 Fact où x est l'amplitude de vibration d'un point choisi du résonateur, Faet est la force 25 d'actionnement imposée au résonateur et IXméca est le coefficient de non-linéarité mécanique du résonateur. Ce coefficient est positif, on dit alors que la non-linéarité est de type durcissante, puisque, comme on le voit clairement sur la figure 2, le pic de résonance 30 s'incline vers les fréquences hautes. Une technique pour remédier à ce problème à été décrite par L. C. Shao et al., J. Micromech. Microeng. 18 065014-9 (2008) et par M. Agarwal et al., presenté à IEEE International Electron Devices Meeting, Washington, DC, IEEE (2005). Cette technique permet d'augmenter l'amplitude de vibration au-dessus de l'amplitude critique sans dégrader le bruit. Elle consiste à annuler le coefficient IXméca en ajoutant une non-linéarité adoucissante, c'est-à-dire avec un coefficient négatif. Ceci peut être apporté par un actionnement électrostatique. On prend comme exemple de résonateur le cas d'une capacité plane, souvent utilisée en MEMS, dont la structure peut être symbolisée par une poutre 2, actionnée grâce à une électrode 4, comme illustré en figure 3. L'effort électrostatique s'écrit 1 V2 F, = ùsoS 2 (g_ où S est la surface en regard, g le gap (c'est-à-dire la distance entre les faces en regard de la poutre et de l'électrode), V la différence de potentiel entre électrode et résonateur. Il est d'usage de traiter cette équation en réalisant un développement limité de l'effort F t, et l'équation du mouvement devient : m e ff .x + C e ff x+ (k e ff + a elec )x + a elec 2 X 2 + (a meca + a eleci 2, x~ V 2 elec 3 où les coefficients aelec1 d'ordre impair sont négatifs. Il faut également noter que les termes d'ordre pair n'ont pas d'effet à la résonance (la 5 linéarisation d'un terme quadratique ne génère que des termes multiples de la fréquence de résonance, et aucun terme à la fréquence de résonance), ils ne sont donc pas un problème. Il est possible d'annuler en particulier (ameca +ae1ec3) pour annuler l' hystérésis . C'est ce qui est montré dans les articles de Shao et al. et de Agarwal et al., déjà cités ci-dessus, mais également dans l'article de Kozinski Et al. Appl. Phys. Lett 88 253101 (2006). Cependant, cette annulation des non-linéarités est délicate, puisqu'il faut annuler assez précisément la somme des termes d'ordre 3. Elle n'est donc valable que dans un domaine de fonctionnement limité, et surtout elle n'est valable que quand les termes supérieurs (c'est-à-dire les termes en xl, pour i>3) sont négligeables. D'autre part, elle amène la plupart du temps à utiliser des tensions très hautes et inutilisables. Ceci explique que cette technique est en pratique très peu utilisée. C'est d'autant plus vrai dans un NEMS pour lequel les dimensions, en particulier le gap, sont très faibles, et dont la zone d'utilisation linéaire est très limitée. Ainsi l'influence des termes supérieurs à 3 devient vite très grande aux dimensions usuelles des NEMS, provoquant 6 l'apparition d'un comportement mixte, durcissant puis adoucissant, hautement instable. Le problème est le même dans le cas des MEMS. Ce comportement est illustré en figure 4, où on a représenté A/g (où A est l'amplitude de vibration mécanique) en fonction de la fréquence et où: - la courbe I représente le cas non linéaire, décrit ci-dessus, sans actionnement électrostatique, avec un coefficient améca prépondérant, et avec Vdc = 5 V et g = 750 nm, - la courbe II représente un autre cas de comportement non linéaire, avec un coefficient aélec3 prépondérant, et avec Vdc = 5 V et g = 400 nm, - la courbe III représente un cas de comportement linéaire, avec un coefficient améca + aélec3 proche de zéro, et avec Vde = 6 V et g = 500 nm (et une amplitude critique mécanique de 15 nm), - la courbe IV représente un cas de comportement non linéaire, avec des termes d'ordre supérieurs à 3 non négligeables et avec Vde = 8 V et g = 750 nm. Sur cette figure le point P représente le point à partir duquel les termes d'ordre 5 ont une influence notable. Il a ici une amplitude de 450 nm. Sur cette figure encore, les branches stables sont représentées en traits continus, les branches instables en traits interrompus. Ce comportement rend cette technique d'annulation de améca + aélec3 délicate puisqu'instable, comme cela a été montré par N. Kacem et al., 7 Nanotechnology, 20, 275501 (2009) et par N. Kacem et S. Hentz, dans Appl. Phys. Lett., 95, 183104 (2009). Il se pose donc le problème de trouver un nouveau procédé et un nouveau dispositif, de type résonateur, permettant de réaliser une suppression de l'effet d'hystérésis (tel que celui illustré ci-dessus en figure 2), de manière stable, tout en permettant l'obtention d'amplitudes de vibration suffisamment élevées pour permettre une réduction efficace du rapport signal sur bruit du résonateur. EXPOSÉ DE L'INVENTION L'invention concerne d'abord un résonateur électromécanique comportant au moins un élément déformable, des moyens d'actionnement de cet élément déformable pour lui appliquer, simultanément, au moins une première force d'actionnement à une première fréquence, et une deuxième force d'actionnement à au moins une deuxième fréquence. La première et la deuxième fréquences créent au moins deux résonances simultanées à une fréquence de résonance égale à la fréquence d'une des forces d'actionnement. L'amplitude maximum de déformation de l'élément déformable est supérieure à l'amplitude critique mécanique du résonateur. Les moyens d'actionnement peuvent être de type électrostatique, et comporter une électrode ou plusieurs électrodes, qui peuvent être disposées parallèlement à au moins une face de l'élément mobile du résonateur. 8 Un dispositif selon l'invention peut comporter des moyens pour appliquer une première tension alternative, pour créer la première force d'actionnement, et au moins une deuxième tension alternative pour créer le deuxième force d'actionnement. Un tel dispositif peut comporter en tant qu'élément déformable une poutre, encastrée à une ou deux de ses extrémités (cette poutre pouvant être notamment un nanofil ou un nanotube), ou une membrane, ou une plaque ou un substrat à vibration en volume. L'élément déformable peut être réalisé au moins en partie en matériau semi-conducteur, par exemple en silicium. L'invention concerne également un procédé pour actionner un résonateur électromécanique ou mécanique comportant au moins un élément déformable, dans lequel on applique à l'élément déformable simultanément au moins une première force d'actionnement à une première fréquence, et au moins une deuxième force d'actionnement à au moins une deuxième fréquence. La première et la deuxième fréquences créent au moins deux résonances simultanées à une fréquence de résonance égale à la fréquence d'une des forces d'actionnement. Le mouvement de l'élément déformable est d'amplitude maximum supérieure à l'amplitude critique mécanique du résonateur. La présente invention propose donc un dispositif et un procédé pour une annulation au moins 9 partielle de l'hystérésis, par mise en oeuvre de résonances simultanées, afin de repousser l'influence des termes d'ordre supérieurs à 5 et stabiliser l'annulation des non-linéarités. On peut alors actionner le résonateur à de très fortes amplitudes de manière linéaire, et profiter pleinement de l'amélioration de ses performances. Les forces d'actionnement peuvent être appliquées de manière électrostatique, à l'aide d'au moins une électrode. On peut appliquer par exemple une première tension alternative et au moins une deuxième tension alternative. Dans un dispositif et un procédé selon l'invention, la première tension alternative (V1) peut être à une fréquence de résonance ((oc) du dispositif, et au moins une deuxième tension alternative peut être à une fréquence subharmonique (kcoo, avec k>1) ou à une fréquence super-harmonique (wo/k, avec k>1). Dans un mode préféré de réalisation, k = 2. Dans un autre mode de réalisation, on applique au moins une première tension alternative (VI, V2, Vac) et une deuxième tension continue (VdC). De préférence, la somme du coefficient de non-linéarité mécanique et du coefficient de non-linéarité électrique d'ordre 3 est nulle ou proche de zéro (la contribution des termes d'ordre 3 est négligeable par rapport aux termes linéaires, par exemple inférieure à 10% des termes linéaires). L'utilisation, pour actionner l'élément déformable, de au moins 2 résonnances simultanées 10 conformément à l'invention, permet de fonctionner en régime linéaire dans une zone de fonctionnement qui serait non linéaire sans cette résonance simultanée. Le fonctionnement de l'élément déformable dans une zone rendue ainsi linéaire permet d'utiliser des amplitudes de déformations supérieures à l'état de l'art et ainsi d'augmenter le rapport signal/bruit. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS - Les figures 1, 2 et 4 illustrent des comportements connus de résonateurs, la figure 3 étant une structure connue de résonateur, - les figures 5 à 11 sont des modes de réalisation de l'invention. - la figure 12 représente des résultats obtenus avec un dispositif selon l'invention. - la figure 13 représente un nanofil, - les figures 14A - 14G sont des étapes de réalisation d'un résonateur auquel peut être appliqué l'invention. EXPOSE DETAILLE DE MODE DE REALISATION DE L'INVENTION : Selon un premier exemple de l'invention on met en oeuvre un résonateur, par exemple une poutre encastrée 20, non-linéaire, auquel sont appliquées simultanément une résonance super- ou subharmonique et une résonance primaire. Précisons qu'une poutre peut être à section carrée ou rectangulaire (comme sur les figures), mais en variante de section quelconque, notamment circulaire, comme pour un nanofil 201 (comme sur la figure 13) ou un nanotube. 11 Soit un résonateur non-linéaire d'ordre n auquel on applique une force d'amplitude F et de fréquence propre i wo = . L'équation du mouvement meff de ce résonateur est : meffx+ceffx+keffx+OGnxn = FcoSwt Si le résonateur était purement linéaire (soit an=0) on n'observerait qu'une résonance dite primaire lorsque(=wo . La résonance primaire est celle à laquelle il y a résonance si le résonateur est purement linéaire. Du fait des termes non-linéaires on observe des résonances du résonateur sur son mode propre à wo lorsque w=wo/n (résonance superharmonique) et lorsque (B=nWo (résonance subharmonique). Soit maintenant un résonateur à double excitation, c'est-à-dire que la force d'excitation comporte une composante d'amplitude F1 (et de pulsation col) et composante d'amplitude F2 (et de pulsation col) : meffx+ceffx+keff x+anxn =FI cOScolt +F2 cOSw2t On peut donc ainsi exciter simultanément la résonance primaire avec w1=04 et une résonance super-harmonique ou subharmonique avec w2 =w0/n ouW2 =n(t)o (n>1). On a alors des résonances simultanées. Selon l'invention on met en oeuvre des moyens pour réaliser cette double excitation et la régler afin d'exciter la résonance primaire, à la 12 fréquence w1 =wo, jusqu'à des amplitudes qui amènent le résonateur dans un régime non-linéaire. Autrement dit l'amplitude du mouvement est supérieure à l'amplitude critique, à partir de laquelle on peut avoir plusieurs amplitudes pour une fréquence donnée (sur la figure 1, il s'agit de l'amplitude A, du point Po). L'amplitude critique est la limite entre un régime de vibration linéaire et celui d'un régime non linéaire. En outre, le dispositif est amené dans des conditions où les termes d'ordre 3 s'annulent ou deviennent négligeables devant les termes d'ordre 1 (ou la valeur des termes d'ordre 3 est inférieure à 10%, ou même à 5%, de celle des termes d'ordre 1). Pour ce faire on peut jouer sur les paramètres d'amplitude de la tension, de gap g et de surface S, mais la résonance simultanée contribue aussi à la réduction des termes d'ordre 3. En terme de représentation graphique, telle que celle de la figure 4, cela signifie qu'on repousse la valeur limite (la position du point P) de sorte qu'on peut mettre en oeuvre des amplitudes plus importantes que celles mises en oeuvre lors d'un simple comportement linéaire. L'invention permet de stabiliser le comportement du résonateur grâce à la superposition de la résonance subharmonique ou superharmonique avec la résonance primaire, pour ainsi annuler l'hystérésis jusqu'à des amplitudes bien plus grande que sans résonance simultanée. On réalise ainsi du « pompage énergétique », en transférant de l'énergie d'une 13 première résonance à une autre (subharmonique ou superharmonique) afin de stabiliser la première. Un exemple de réalisation de l'invention est illustré en figure 5. Sur cette figure, la référence 20 désigne une poutre, dans cet exemple encastrée à ses deux extrémités 20', 20", cette poutre ayant une longueur 1 (par exemple comprise entre 500 nm et 500 }gym, ou par exemple encore entre 500 nm et 100 }gym, ou par exemple encore entre 500 nm et 10 }gym) une épaisseur h (par exemple comprise entre 10 nm et 10 }gym, ou par exemple encore entre 10 nm et 1 }gym, ou par exemple encore entre 10 nm et 500 nm) et une largeur b (par exemple comprise entre 10 nm et 10 }gym, ou par exemple encore entre 10 nm et 1 }gym, ou par exemple encore entre 10 nm et 500 nm). La référence 14 désigne une électrode, disposée de manière sensiblement parallèle à la poutre 20, à une distance, ou « gap », g de celle-ci (par exemple compris entre 10 nm et 10 }gym, ou par exemple encore entre 10 nm et 1 }gym, ou par exemple encore entre 10 nm et 500 nm). Cette électrode 40 est munie de moyens générateurs de tension 42, 44, qui vont permettre de lui appliquer, respectivement : -une tension alternative d'amplitude V1 et de pulsation w1= Cho (Wo est la fréquence primaire telle que définie ci-dessus), superposée à une tension continue Vdc1, ou de pulsation C)1= wo/2 si Vdc1 = 0; -une tension alternative d'amplitude V2 et de pulsation w2=wo/2 (en variante, on peut choisir 14 w2=2wo), superposée à une tension continue Vdc2. ; ou de pulsation CO2= 0)o/4 si Vdc2 = 0; Selon cet exemple, on superpose donc deux harmoniques sur une même électrode 40. La longueur de l'électrode et le gap sont dimensionnés, avec V1 et V2, afin d'obtenir l'influence des 2 résonances (primaire et sub-harmonique ou super-harmonique) simultanément et d'amener le résonateur à des amplitudes de vibration supérieures à l'amplitude critique mécanique. Un autre exemple de réalisation est illustré en figure 6. Selon cet exemple, les harmoniques sont réparties sur des électrodes différentes 50, 51, respectivement situées à une distance go et une distance g1 de la poutre 20. Autrement dit : - l'électrode 50 est munie d'un générateur de tension 52 qui va permettre de lui appliquer une tension alternative d'amplitude V1 et de pulsation 0)2= wo, superposée à une tension continue Vdci ( Wo est la fréquence primaire telle que définie ci-dessus) ; ou de pulsation 0)2= Cho/2 si Vdci = 0; - l'électrode 51 est munie d'un générateur de tension 54 qui va permettre de lui appliquer une tension alternative d'amplitude V2 et de pulsation 0)2= Cho/2 (en variante, on peut choisir C)2=20o), superposée à une tension continue Vdc2• superposée à une tension continue Vdc2; ou de pulsation C)2= 0o/4 si Vdc2=0, La longueur de l'électrodes 50 peut être différente de celle de l'électrodes 51. Le gap go peut être différent du gap g1. Ces paramètres sont 15 dimensionnés, avec V1 et V2, afin d'obtenir l'influence des 2 résonances (primaire et sub-harmonique ou super-harmonique) simultanément et d'amener le résonateur à des amplitudes de vibration supérieures à l'amplitude critique mécanique. Dans les deux exemples qui viennent d'être décrits, on réalise l'obtention de 2 forces électrostatiques à 2 fréquences différentes avec un ou deux signaux électriques alternatifs. Un autre exemple de réalisation est illustré en figure 7. Cette structure comporte des éléments identiques ou similaires (poutre 20, électrode 40) à ceux qui ont déjà été décrits ci-dessus en liaison avec la figure 5. L'électrode 40 est cette fois munie de moyens générateurs de tension 42', 44' qui vont permettre de lui appliquer simultanément, respectivement : -une tension alternative d'amplitude V1 et de pulsation 0)2= w0/2 ou O)o; -une tension continue d'amplitude Vdc. On réalise alors l'obtention de 2 forces électrostatiques à 2 fréquences différentes avec un seul signal électrique alternatif et un signal électrique continu. Dans ce cas, on utilise un actionnement électrostatique avec superposition d'une tension continue et d'une tension alternative. On a ainsi, si on se limite à l'ordre 3 : 16 me ffx + Ce ffx + (ke ff + aelec )x + aelec2x2 + (ameca + aelec3)x3 X(Vac cos wt + VdY XlVacVdc cos wt + XZVac2 cos 2wt Ainsi avec un seul signal électrique alternatif de pulsation(=CIO/2 ou Wo, on obtient un effort électrostatique de pulsation w0 responsable de la résonance primaire, et un effort électrostatique de pulsation w0/2 responsable de la résonance superharmonique à w0 (de pulsation 2(x)0 responsable de la résonance subharmonique à w0), grâce au terme non linéaire d'ordre 2 dans l'équation du mouvement. Ce dispositif peut être réalisé à partir d'un dispositif de caractérisation connu, par exemple avec un lock-in en mode 2f (on mesure l'amplitude de l'harmonique de sortie à 2 fois la fréquence d'actionnement). On remarquera que, dans les dispositifs connus, on utilise des valeurs des tensions alternative Vac et continue Va, telles que Vac «Vdc, afin de pouvoir négliger un harmonique par rapport à l'autre. Evidemment, classiquement, le domaine non linéaire est évité, donc l'influence du 2e harmonique est inexistante. Ici, au contraire, on utilise une tension continue et une tension alternative comparables (Va, est par exemple compris entre Vac et 10Vac) ce qui permet d'amener le résonateur dans le domaine non linéaire, afin de bénéficier des résonances simultanées. Pour chacun des exemples de réalisation décrits, on peut utiliser, ou pas, une tension continue 17 Vdc superposée aux autres tensions. La caractérisation électrique peut être effectuée par exemple avec un lock-in du commerce en mode 1f ou 2f selon la résonance à utiliser. Chacun des dispositifs décrits peut comporter en outre des moyens de détection, par exemple de type électrostatique ou piezorésistif, ou autre. La structure mécanique d'un dispositif selon l'invention peut être : - une poutre encastrée à deux extrémités 20', 20" (cas des figures 5-7) ou à une seule extrémité 20' (cas de la figure 8), - ou une poutre avec d'autres conditions aux limites, par exemple en appui simple sur un côté et 15 encastrée de l'autre côté ou en appui simple sur deux côtés; - la poutre pouvant être un nanofil 201 (comme sur la figure 13) ou un nanotube, encastré à une extrémité 20' (cas de la figure 13) ou en appui simple 20 sur un côté ou deux côtés; - ou une membrane ou une plaque 60, plane, circulaire ou carrée ou rectangulaire ou de toute autre forme, en flexion : c'est le cas de la figure 9 où cette plaque 60 est disposée en face d'une électrode 25 70, par exemple de même forme que celle de la membrane ou de la plaque 60 et à laquelle des résonances simultanées peuvent être appliquées de la manière déjà expliquée ci-dessus pour une poutre ; elle peut être encastrée sur tout ou partie de sa périphérie, 30 ou une structure en mode de volume : c'est le cas de la figure 10. Ce type de dispositif est 10 18 expliqué de manière plus détaillée dans V.Kaajari et al., »Square extensional mode single-crystal micromechanical RF resonator », in Proc. Transducers 04, Int.Conf. Solid State Sens. Actuators, 2004, p ;951-954 et dans »Square extensional mode singlecrystal micromechanical resonator for low phase noise oscillator applications», IEEE Electron. Device Lett., vol.25, 4, p.173-175, 2004. Les mouvements d'une plaque ou d'un substrat 80 sont alors dans son propre plan, suivant les flèches indiquées en figure 10 (d'autres modes peuvent être mis en oeuvre, par exemple le mode de Lamé); des électrodes 81, 82, 83, 84, reliées à des moyens 85 pour fournir les tensions voulues, permettent d'actionner ces mouvements, auxquels, conformément à l'invention, des résonances simultanées peuvent être appliquées de la manière déjà expliquée ci-dessus (à chaque électrode on applique les deux tensions ou bien on applique une tension alternative à deux électrodes opposées et une tension continue aux deux autres électrodes opposées, ou bien on applique une tension alternative aux 4 électrodes et une tension continue à la plaque 80). Comme indiqué dans les exemples ci-dessus, avantageusement, on utilise n=2 dans les termes non linéaires de l'équation de mouvement, c'est-à-dire des harmoniques dont une fréquence est le double de l'autre. Mais d'autres variantes peuvent être mises en oeuvre, avec une fréquence wo et une fréquence k wo ou encore wo/k, avec k>2. Encore un autre exemple de réalisation est celui du dispositif de la figure 11, avec n applications de tensions, de fréquences cv1r (02r (03, (04, (J5. On pourra prendre coi = oo (fréquence primaire). Selon cet exemple, les harmoniques sont réparties sur des électrodes différentes 40i, (i 1,...5) respectivement situées à une distance gi de la poutre 20. Autrement dit chacune des électrodes 40i est munie d'un générateur de tension 42i qui va permettre de lui appliquer une tension alternative d'amplitude Vi et de pulsation (o1= Wo, ou wi=i wo ou wo/i qui peut être superposée à une tension continue Vdci. Les longueurs li des électrodes 40i peuvent être différentes entre elles. Les gap gi des électrodes 40i peuvent être différents entre eux. Ces paramètres géométriques sont dimensionnés, avec Vi, afin d'obtenir l'influence des diverses résonances (primaire et subharmonique ou super-harmonique) simultanément. Plus généralement, soit un système à n excitations . n n me- x + ce- x+ keff x+ L OGixi e -x+Ceff.x+%effx+LOGiXi = L Fi cos (Oit i=2 i=2 On peut alors exciter simultanément la résonance primaire avec w1=wo et plusieurs résonances sub ou superharmonique avec WZ = Wo /i ouWZ = iWo (i>1). L'invention permet donc la réalisation 25 d'une multi excitation, réglée afin d'exciter la résonance primaire, jusqu'à des amplitudes qui amènent le résonateur dans un régime non-linéaire et dans des conditions où les termes d'ordre 3 peuvent s'annuler comme déjà expliqué ci-dessus.20 20 On stabilise le comportement du résonateur grâce à plusieurs résonances sub ou superharmoniques, pour ainsi rendre possible l'utilisation du dispositif dans un domaine d'amplitude exempt d'hystérésis. On réalise ainsi du «pompage énergétique» en cascade, en transférant de l'énergie d'une première résonance à une deuxième résonance afin de stabiliser la première. Ce type d'excitation est très pratique pour les nanorésonateurs. En effet, plus on réduit les tailles des dispositifs, plus les nonlinéarités d'ordre au moins égal à 5 limitent le domaine de la suppression d'hystérésis près de l'amplitude critique. A certaines tailles (notamment celles d'un nanofil, ou d'un nanotube ; la poutre 20 peut être un nanofil ou un nanotube), une seule résonance n'est pas suffisante pour l'effet voulu, c'est-à-dire la présence d'un pic linéaire à très large amplitude d'oscillation. Plusieurs électrodes peuvent ainsi être utilisées pour une multi-excitation en résonances simultanées (une excitation à la fréquence primaire wo et n (n>0) superharmoniques ok (n>k>0)). Quel que soit le mode de réalisation adopté, l'annulation de l'hystérésis grâce aux résonances simultanées peut être obtenue de diverses manières. On décrit ci-dessous une démarche expérimentale pour dimensionner un résonateur destiné à fonctionner selon l'invention. Il est en effet possible, expérimentalement, de définir les dimensions de la 21 structure pour approcher les performances globales recherchées, et en particulier la fréquence de travail souhaitée. Le gap g peut être fixé pour permettre l'amplitude de vibration souhaitée, c'est-à-dire la plus grande possible pour l'application envisagée. Comme expliqué ci-dessus ce gap permet l'annulation des termes d'ordre 3 et l'influence de la résonance sub- ou superharmonique; une règle approximative consiste à utiliser un gap g de l'ordre de grandeur de la dimension vibrante de la structure (cette dimension vibrante est la largeur h de la poutre de la figure 5 mesurée sensiblement parallèlement à sa direction de vibration) ; par exemple le gap est compris entre 10 nm et 100 nm. On cherche ensuite à s'approcher le plus possible du domaine de fonctionnement où les travaux antérieurs cherchent à annuler les termes d'ordre 3. C'est-à-dire qu'on cherche à atteindre l'amplitude de vibration mécanique dite critique A, soit uniquement avec une tension alternative, soit en superposant une tension continue à cette tension alternative, mais en gardant Vac«Vdc, comme cela est toujours pratiqué de manière connue. On cherche alors à observer une légère influence de la variation de ces tensions, non seulement sur l'amplitude du pic, mais aussi sur sa forme. On peut alors augmenter la valeur de tension alternative, jusqu'à observer l'influence des termes d'ordre supérieur, c'est-à-dire le comportement mixte ou des instabilités brutales. 22 L'étape suivante consiste à exploiter l'effet des résonances simultanées : - Dans le cas où on utilise 2 tensions alternatives : V1 entraîne la résonance primaire, et V2 la résonance sub ou super harmonique. On peut alors augmenter progressivement l'amplitude du 2e harmonique, lorsqu'on utilise 2 signaux électriques, afin de stabiliser le pic, puis, de manière itérative, augmenter successivement V1 et V2 de proche en proche (afin d'accroître l'amplitude tout en conservant un comportement linéaire). - Lorsqu'un seul signal électrique est utilisé (avec une composante alternative et une composante continue), la résonance primaire est pilotée par Vae2, et la résonance sub ou superharmonique par VacVac. On cherche alors à augmenter de manière itérative les tensions Vae et Vac pour stabiliser le comportement tout en augmentant l'amplitude d'actionnement. On peut avoir recours à une modélisation pour prévoir approximativement les valeurs des tensions à utiliser. Des modèles semi-analytiques peuvent être utilisés comme expliqué dans l'article de Kacem et al., J. Micromech. Microeng. 20, 2010, pour prévoir les amplitudes à atteindre. La tension Vae optimale peut être estimée analytiquement pour une configuration donnée en équilibrant les deux non-linéarités d'ordre 3 (la composante mécanique et la composante électrostatique). Ceci correspond à une égalité entre les deux amplitudes critiques (mécanique et électrostatique). Par exemple, dans le cas d'un résonateur de type poutre encastré sur une seule extrémité 20' et libre à l'autre extrémité 20" (cas de la figure 8), les amplitudes critiques mécanique et électrostatique sont données respectivement par les expressions suivantes, tirées de l'article de Kacem et al. précité, où 1 est la longueur de la poutre, Q le facteur de qualité de la poutre, et Acm l'amplitude critique: A~m = 6.3 l h (5*107h28*10-15 2'4 97. 3.Vdc A ce =2*10g _ lVdc~ l4 g3h La tension Vdc optimale est donc : V _ 1 1.65*1039g14h6 3.2*1042g'oh6 8.1*1019gh3 dcOP + 2 116 112 18 Une fois la tension DC fixée, on applique des tensions AC, par exemple 2 à 5 fois ou 1 à 10 fois plus faibles que la tension DC (comme déjà expliqué ci- 20 dessus) pour assurer un effet de pompage énergétique dû à la résonance super harmonique. De préférence on se ramène à un système réglable sur lequel on peut superposer un nombre de superharmoniques ou de subharmoniques qui dépend du 25 niveau d'instabilité et des ordres des non linéarités. Ceci permet un contrôle direct (actif) de la forme du pic sous résonances simultanées. Plus les instabilités sont hautes, plus on corrige en ajoutant des superharmoniques ou des subharmoniques jusqu'à 30 obtention de l'effet voulu.15 24 D'autre part, on peut avoir recours à un calcul par éléments finis. La démarche à utiliser reste la même que la démarche expérimentale décrite ci dessus. Dans un dispositif et un procédé selon l'invention, l'effet de la résonance sub- ou superharmonique est de repousser l'influence des termes d'ordre supérieurs à 3. Comme indiqué précédemment, ceux-ci se manifestent par un comportement dit mixte, montrant de fortes instabilités : l'influence de ces termes est visualisée par l'existence et l'amplitude du point P, sur la courbe IV de la figure 4. On peut montrer que, lorsqu'on n'utilise que la résonance primaire (sans super- ou sub harmonique), l'amplitude à ce point P n'est fixée que par la géométrie du dispositif (dimensions du résonateur, et gap). Ainsi le domaine de vibration du résonateur est limité par l'apparition des termes d'ordre supérieur, c'est-à-dire par l'amplitude de ce point P, qui est elle-même fixée par la géométrie, sans possibilité de la modifier, de quelque manière y compris par les tensions d'utilisation du dispositif. Ce domaine est donc très limité. En revanche, l'utilisation de résonances simultanées conformément à l'invention permet de modifier à souhait l'amplitude de ce point P, et donc de repousser l'influence des termes supérieurs, en fonction de la proportion relative de résonance primaire et de résonance sub ou superharmonique. 25 C'est ce que montre la figure 12, qui représente, pour 3 cas (identifiés par les références I,, IIs, III,), l'amplitude mécanique de vibration en fonction de la fréquence, en régime de résonances simultanées, selon l'invention, obtenu ici par superposition d'une tension alternative d'amplitude Vac (0,6 V pour I,, 0,8 V pour IIs, 1 V pour III,) , et d'une tension continue Va, (10 V pour Iä 10 V pour IIs, 10 V pour III,). Les branches stables sont représentées en traits continus, les branches instables en traits interrompus. On voit que le rapport entre Va, et Vac peut même être un peu en dehors de la gamme déjà indiquée ci-dessus. On notera que, sur cette figure, est représenté un comportement mixte, sans suppression des termes d'ordre 3: si, en outre, on se place dans des conditions permettant d'annuler ces termes d'ordre 3, on observe alors un pic tel que celui de la courbe III (figure 4) mais avec une amplitude beaucoup plus importante. Un dispositif et un procédé selon l'invention permettent d'augmenter la puissance Po de la porteuse du résonateur, sans augmenter le bruit produit. On peut donc augmenter le rapport signal sur bruit, et donc les performances du dispositif, tout en conservant sa stabilité et en ne dégradant pas son bruit. Des exemples de dispositif auxquels on peut appliquer l'invention sont décrits dans les publications mentionnées ci-dessus. L'article de N. Kacem et al., Nanotechnology, 20, 275501 (2009), décrit en outre une technique de réalisation d'un résonateur, 26 mettant en ouvre les techniques de la microélectronique, à partir d'un substrat SOI. L'article de L. C. Shao et al., J. Micromech. Microeng. 18 065014-9 (2008) décrit la réalisation d'un autre dispositif à partir, également, d'un substrat SOI. Un autre exemple de réalisation d'un résonateur est décrit dans J.Arcamone et al. « Full wafer fabrication Full-wafer fabrication by nanostencil lithography of micro/nanomechanical mass sensors monolithically integrated with CMOS", Nanotechnology, 19 (2008) 305302. Encore un autre exemple de réalisation d'un résonateur est donné en liaison avec les figures 14A - 14G. L'élément de départ, en figure 14A, est un substrat de type SOI, comportant une couche 201 d'oxyde d'environ 1 }gym d'épaisseur sur un substrat 200 en silicium, cette couche d'oxyde étant recouverte d'une fine couche de silicium 202 de 400 nm d'épaisseur environ. On fait croître sur ce substrat de départ une couche 204 de silicium par épitaxie, sur une épaisseur d'environ 4 }gym. Cette couche est dopée in situ (figure 14B). Des étapes de photolithographie puis de gravure vont permettre de définir la géométrie d'un MEMS. Les références 205, 206, 207 désignent, sur la figure 14C, des zones gravées de la couche superficielle 204. 27 On dépose ensuite (figure 14D) une couche 208 d'oxyde conforme, puis on réalise des étapes de photolithographie et de gravure en vue d'ouvrir des zones 209 de formation de plots de connexion. Une implantation de bore permet de définir ces plots 210 (figure 14E), qui sont terminés (figure 14F) par un dépôt d'un matériau formant les contacts, par exemple d'AlSi, auquel on peut appliquer des étapes de photolithographie et de gravure afin de bien définir les plots. Enfin (figure 14G), on dégage le résonateur 20 lui-même, par attaque au HF en phase vapeur de la couche d'oxyde 201.15 REVENDICATIONS1. Résonateur électromécanique comportant au moins un élément déformable (20, 60, 80), des moyens (42, 44, 52, 54, 42', 44', 401 - 405, 81 - 84) d'actionnement de cet élément déformable pour lui appliquer, simultanément, au moins une première force d'actionnement à une première fréquence, et une deuxième force d'actionnement à au moins une deuxième fréquence, la première et la deuxième fréquences créant au moins deux résonances simultanées à une fréquence de résonance égale à la fréquence d'une des forces d'actionnement. 2. Résonateur selon la revendication 1, les moyens d'actionnement étant de type électrostatique, et comportant au moins une électrode (40, 50, 51). 3. Résonateur selon la revendication 2, comportant des moyens pour appliquer aux moyens (20, 70) d'actionnement de type électrostatique, au moins une première tension alternative (V1) pour créer la première force d'actionnement et une deuxième tension alternative (V2, V3, V4, Vn) pour créer la deuxième force d'actionnement 4. Résonateur selon la revendication 3, la première tension alternative (V1) étant à ladite première fréquence, celle-ci étant choisie égale à la fréquence de résonance (coo) du dispositif, et la deuxième tension alternative étant à ladite deuxième 29 fréquence, celle-ci étant choisie égale à une fréquence de resonance subharmonique (kcoo, avec k>1) du résonateur, ou à une fréquence de résonance superharmonique (wo/k, avec k>1). 5. Résonateur selon la revendication 4, dans lequel k = 2. 6. Résonateur selon la revendication 2, 10 comportant des moyens pour appliquer au moins une première tension alternative (VI, V2, Vac) et une deuxième tension continue (Vd,) aux moyens (20, 70) d'actionnement électrostatique. 15 7. Résonateur selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'élément déformable est une poutre (20), encastrée à une ou deux de ses extrémités (20', 20"), ou une membrane (60), ou une plaque ou un substrat (80) à vibration en volume. 8. Résonateur selon la revendication 7, dans lequel l'élément déformable est un nanofil ou un nanotube. 9. Résonateur selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la somme du coefficient de non-linéarité mécanique et du coefficient de non-linéarité électrique d'ordre 3 est nulle ou proche de zéro. 20 25 30 30 10. Procédé pour actionner un résonateur électromécanique comportant au moins un élément déformable (20, 60, 80), dans lequel on applique à cet élément déformable, simultanément, au moins une première force d'actionnement à une première fréquence, et une deuxième force d'actionnement à au moins une deuxième fréquence, la première et la deuxième fréquences créant au moins deux résonances simultanées à une fréquence de résonance égale à la fréquence d'une des forces d'actionnement. 11. Procédé selon la revendication 10, les forces d'actionnement étant appliquées de manière électrostatique, à l'aide d'au moins une électrode (40, 70, 81 - 84). 12. Procédé selon la revendication 11, dans lequel on applique au moins une première tension alternative (V1) et au moins une deuxième tension alternative (V2, V3, V4, M. 13. Procédé selon la revendication 12, la première tension alternative (V1) étant ladite première fréquence, celle-ci étant choisie égale à la fréquence de résonance ((oc) du résonateur, et au moins une deuxième tension alternative étant ladite deuxième fréquence, choisie égale à une fréquence de résonance subharmonique (kcoo, avec k>1) ou à une fréquence de résonance superharmonique (w0/k, avec k>1) du réosnateur. 31 14. Procédé selon la revendication 13, dans lequel k = 2. 15. Procédé selon la revendication 11, dans lequel on applique au moins une première tension alternative (VI, V2, Vac) et une deuxième tension continue (Vd,). 16. Procédé selon l'une des revendications 10 à 15, dans lequel la somme du coefficient de non-linéarité mécanique et du coefficient de non-linéarité électrique d'ordre 3 est nulle ou proche de zéro.