Brevet FR2958415A1 — publié le 20111007

MIROIR DEFORMABLE A FAIBLE EMPREINTE DE COLLAGE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL MIROIR La présente invention se rapporte au domaine général des miroirs déformables utilisés dans les systèmes optiques adaptatifs, pour des applications aussi diverses que l'astronomie, la médecine, notamment l'ophtalmologie, les télécommunications, la métrologie, etc. La présente invention se rapporte plus particulièrement à un miroir déformable comportant une membrane déformable possédant une face réfléchissante, ladite membrane étant montée sur un support pourvu d'au moins un actionneur conçu pour déformer ladite membrane, ledit actionneur comprenant au moins un organe mobile fixé à la membrane par un joint de colle. La présente invention concerne également un procédé de fabrication d'un miroir déformable comprenant une membrane déformable présentant une face réfléchissante, au cours duquel on fixe par collage sur ladite membrane un organe mobile d'actionneur conçu pour déformer localement ladite membrane. Il est connu d'employer des miroirs déformables afin de corriger les irrégularités du front d'onde d'un faisceau lumineux. A cet effet, de tels miroirs déformables sont pourvus d'une surface réfléchissante souple, généralement formée par une membrane, au dos de laquelle sont reliés des actionneurs capables de manoeuvrer localement la membrane en avance ou en retrait, et ainsi de modifier le chemin optique parcouru par les différents rayons constituant le faisceau qui se réfléchit sur ladite membrane. II est ainsi possible de compenser les déphasages à l'origine de la déformation du front d'onde. Les actionneurs peuvent notamment être de type électromagnétique, et comporter 25 alors des organes mobiles de type aimants permanents qui sont fixés à la membrane et pilotés à distance par des bobines fixes solidaires du support. B 10569/FR S'ils procurent des avantages indéniables, les miroirs déformables connus peuvent toutefois présenter certains inconvénients, qui résultent notamment de l'assemblage des organes mobiles des actionneurs sur la membrane. En effet, un tel assemblage, qui est généralement effectué par collage, peut affecter localement les propriétés de la membrane, aussi bien en termes de rigidité, de fréquence de résonance, que d'état de surface, et ainsi amoindrir les performances du miroir. Afin de limiter les conséquences de l'assemblage des actionneurs sur la qualité globale du miroir, il a notamment été envisagé de conserver une membrane relativement épaisse. Toutefois, plus la membrane est épaisse, plus elle est rigide, si bien qu'une telle solution limite globalement la capacité de ladite membrane à se déformer. En pareil cas, il peut donc être nécessaire de mettre en oeuvre des actionneurs relativement lourds et encombrants. En outre, une forte épaisseur tend plus particulièrement à limiter la capacité de ladite membrane à se déformer de manière essentiellement localisée, dans la mesure où il est difficile de contrôler finement et de manière nettement différenciée la déformation de plusieurs points de la face réfléchissante situés au voisinage immédiat l'un de l'autre. Une membrane épaisse possède par conséquent une résolution spatiale relativement limitée. Par ailleurs, il a également été envisagé d'enduire l'ensemble de la face cachée de la membrane d'une couche de colle uniforme sur laquelle viennent adhérer les organes mobiles des actionneurs. Toutefois, une telle solution présente l'inconvénient d'augmenter la masse de la 25 membrane en mouvement et d'abaisser sa fréquence de résonance, ce qui contraint à limiter sa vitesse d'asservissement au préjudice de la réactivité du miroir. B 10569/FR En outre, l'enduction de l'ensemble de la membrane par une couche de colle continue, peut créer une sorte de bilame dont le comportement thermique peut rendre le miroir sujet à une certaine instabilité ou à des phénomènes de dérive. Par ailleurs, les inventeurs ont constaté que, quelle que soit la solution envisagée, les miroirs obtenus par les procédés de fabrication connus présentaient toujours des irrégularités de surface, la mise en place des actionneurs induisant un bosselage de la surface réfléchissante. Or, ce phénomène, connu sous le nom d« Les objets assignés à l'invention visent par conséquent à remédier aux différents inconvénients susmentionnés et à proposer un nouveau miroir déformable dont la qualité, la précision et l'état de surface soient améliorés. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable dont la structure soit relativement simple. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable dont la fabrication et l'assemblage sont simplifiés et moins onéreux que la fabrication et l'assemblage des miroirs déformables connus. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable dont le comportement soit particulièrement homogène, reproductible, précis, et stable. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable qui soit particulièrement robuste et qui présente une bonne longévité. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau miroir déformable qui tolère un asservissement particulièrement rapide et qui présente une bonne réactivité. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un miroir déformable, notamment 25 de type micro-miroir, dont les organes en mouvement, et notamment la membrane, sont particulièrement légers. B10569/FR Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un nouveau procédé de fabrication d'un miroir déformable qui soit particulièrement simple à mettre en oeuvre et qui permette d'obtenir un miroir de qualité optimisée, présentant notamment un excellent état de surface. Un autre objet assigné à l'invention vise à proposer un procédé de fabrication d'un miroir déformable par collage qui soit relativement simple et rapide à mettre en oeuvre, et qui minimise la quantité de colle utilisée. Les objets assignés à l'invention sont atteints à l'aide d'un miroir déformable comportant une membrane déformable possédant une face réfléchissante, ladite membrane étant montée sur un support pourvu d'au moins un actionneur conçu pour déformer ladite membrane, ledit actionneur comprenant au moins un organe mobile fixé à la membrane par un joint de colle, ledit miroir étant caractérisé en ce que ledit organe mobile possède un corps principal, situé hors du joint de colle, qui se prolonge par une partie active qui pénètre en tout ou partie dans ledit joint de colle, de telle sorte que la colle adhère au moins en partie sur la paroi latérale de ladite partie active pour assurer une jonction entre l'organe mobile et la membrane, et en ce que ladite partie active présente une section transverse, délimitée par ladite paroi latérale, qui se différencie de celle du corps principal. Les objets assignés à l'invention sont également atteints à l'aide d'un procédé de fabrication d'un miroir déformable comprenant une membrane déformable présentant une face réfléchissante, au cours duquel on fixe par collage sur ladite membrane un organe mobile d'actionneur conçu pour déformer localement ladite membrane, ledit procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte une étape (a) de profilage d'un organe mobile d'actionneur au cours duquel on réalise, à l'extrémité du corps principal d'un organe mobile d'actionneur, une partie active dont la section transverse, délimitée par sa paroi latérale, est différente de celle du corps principal, puis une étape (b) d'assemblage au cours de laquelle on fixe l'organe mobile à la membrane par collage en réalisant un joint de colle reliant ladite membrane à au moins une partie de la paroi latérale de ladite partie active. B 10569/FR D'autres objets, caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront plus en détails à la lecture de la description qui suit, ainsi qu'à l'aide des dessins annexés, fournis à titre purement illustratif et non limitatif, parmi lesquels : - La figure 1 illustre, selon une vue en perspective écorchée, une première variante de réalisation d'un miroir déformable conforme à l'invention. - Les figures 2 et 3 illustrent, selon des vues partielles de côté en coupe, une seconde et une troisième variante de réalisation de miroirs déformables conformes à l'invention. - La figure 4 illustre, selon une vue schématique de côté en coupe, une jonction par collage entre des organes mobiles et une membrane au sein d'un miroir conforme à l'invention. - Les figures 5A, 5B, 5C, 5D, et 5E illustrent, selon des vues partielles de côté en coupe, différentes variantes de réalisation de parties actives sur des organes mobiles d'actionneurs conformes à l'invention. - La figure 6 illustre, selon une vue de côté, une variante de réalisation d'organe mobile d'actionneur conforme à l'invention. La présente invention se rapporte à un miroir déformable 1, et plus particulièrement à un miroir déformable 1 destiné à modifier, et en particulier à rectifier, un front d'onde dans une application optique quelconque, par exemple dans le domaine de l'astronomie, de la médecine, et plus particulièrement de l'ophtalmologie, des télécommunications, de la métrologie etc. A cet effet, le miroir déformable 1 comporte une membrane 2 déformable qui possède une face réfléchissante 3 destinée à réfléchir le faisceau lumineux incident, ainsi qu'une face opposée, dite « face cachée » 4. La membrane 2 est montée sur un support 5, de préférence rigide, qui peut former un boîtier creux recouvert par ladite membrane 2, tel que cela est illustré sur la figure 1. B 10569/FR Bien entendu, le matériau constitutif de la membrane 2, ainsi que l'épaisseur e2 de cette dernière seront choisis notamment pour conférer à ladite membrane 2 la souplesse nécessaire, tout en respectant les contraintes liées au seuil de fréquence de résonance. A ce titre, ladite membrane pourrait être réalisée dans un film polymère ou encore par une fine nappe de silicium, et pourra présenter une épaisseur inférieure ou égale à 50 pm, de préférence inférieure ou égale à 10 pm, voire sensiblement comprise entre 3pmet5pm. De préférence, l'épaisseur e2 de ladite membrane est sensiblement constante, de telle 10 sorte que la face réfléchissante 3 et la face cachée 4 sont sensiblement parallèles. Bien entendu, le profil moyen Po idéal de ladite membrane 2, et plus particulièrement de la face réfléchissante 3, pourra être quelconque. A titre d'exemple, ledit profil moyen Po, considéré de préférence au repos dans le plan sagittal n du miroir déformable 1, pourra être sensiblement rectiligne, de telle sorte que 15 la face réfléchissante sera sensiblement plane, tel que cela est représenté sur les figures 2, 3 et 4. Ledit profil moyen PO pourra également être légèrement, et de préférence régulièrement, incurvé, de telle sorte que la face réfléchissante 3 présente un profil bombé, de préférence concave, et par exemple forme une sorte de coupelle de type 20 calotte sphérique, telle qu'illustrée sur la figure 1, ou parabolique. Sur les figures, l'axe optique central du miroir 1, qui constitue de préférence son axe de révolution, s'étend sensiblement parallèlement à la direction verticale. Par ailleurs, le contour délimitant latéralement la membrane 2 ainsi que le support 5 pourra être de forme quelconque, mais correspondra de préférence à un 25 polygone régulier ou à un cercle, le miroir se présentant alors sensiblement sous la forme d'un cylindre, voire d'un disque tel que cela est illustré sur la figure 1. B10569/FR Selon l'invention, le support 5 est pourvu d'au moins un actionneur 6 conçu pour déformer ladite membrane 2, ledit actionneur comprenant à cet effet au moins un organe mobile 7 fixé à la membrane 2 par un joint de colle 8. De préférence, le miroir 1 comporte une pluralité d'actionneurs 6, de préférence de structure et de dimensions sensiblement identiques, et par conséquent une pluralité d'organes mobiles 7 indépendants les uns des autres et tous reliés à la membrane déformable 2. De façon particulièrement préférentielle, les actionneurs sont répartis, à l'intérieur du contour latéral de la membrane, et plus particulièrement logés dans le boîtier délimité par le support, selon les noeuds d'un réseau de mailles régulières, par exemple sensiblement carrées ou hexagonales, de telle sorte que lesdits actionneurs 6, et plus particulièrement les organes mobiles 7 associés, quadrillent la membrane 2 en la divisant ainsi en une matrice dont on peut avantageusement contrôler le déplacement de chaque cellule individuellement. A titre d'exemple, un miroir dont la membrane 2 présentera un diamètre d'environ 15 mm pourra comporter cinquante-deux actionneurs 6. De préférence, tel que cela est illustré sur les figures, les organes mobiles 7 seront agencés pour se déplacer, et entraîner localement la membrane 2 en déplacement, sensiblement en translation, selon une direction sensiblement perpendiculaire au profil moyen Po de la face réfléchissante, et plus particulièrement de bas en haut et inversement selon une direction sensiblement verticale sur les figures 1 à 3 et 5A à 5F. Selon une variante de réalisation non représentée, plusieurs joints de colle 8, voire l'ensemble des joints de colle 8, peuvent être reliés les uns aux autres de sorte à former une couche sensiblement continue et homogène recouvrant largement, voire entièrement, la face cachée 4 de la membrane 2. Toutefois, de façon particulièrement préférentielle, les organes mobiles 7 seront reliés à la membrane déformable 2 respectivement par une pluralité de joints de colle 8 qui sont séparés les uns des autres. B10569/FR Avantageusement, on pourra ainsi fixer individuellement chacun desdits organes mobiles 7 au moyen d'une seule goutte de colle isolée de faible volume, ce qui permet non seulement de limiter la quantité de colle nécessaire à l'assemblage, mais également de gagner en précision d'assemblage, en légèreté de l'ensemble ainsi réalisé, et d'améliorer l'état de surface tel que cela sera décrit plus loin. De surcroît, la réalisation de jonctions 15 individuelles et sensiblement ponctuelles entre organes mobiles 7 et membrane 2 permet au besoin de séparer un organe mobile 7 de ladite membrane sans dégrader cette dernière, afin par exemple de remplacer facilement un ou plusieurs organes mobiles 7 défectueux, ce qui est délicat, sinon impossible, dans le cas ou l'on réalise une liaison particulièrement forte au moyen d'une couche de colle continue. On remarquera en outre que la minimisation de la quantité de colle permet avantageusement de limiter considérablement les effets de dégazage qui peuvent éventuellement être observés lorsque le miroir est utilisé dans une application sous basse pression, et notamment « sous vide », par exemple au sein d'un cryostat. Bien entendu, des qualités de la colle et notamment sa raideur, sa viscosité, son temps de séchage, son comportement thermique etc. seront adaptés à l'application visée. A ce titre, le joint de colle 8 sera de préférence réalisé à l'aide d'une colle de type élastomère, par exemple du genre silicone. Par ailleurs, il est remarquable que l'invention n'est nullement limitée à un type particulier d'actionneur 6, et peut notamment mettre en oeuvre, pour provoquer et contrôler le déplacement de l'organe mobile 7, et par conséquent l'éloignement ou le rapprochement de la membrane 2 par rapport au fond 5A du support 5, tout type de technologie susceptible de créer un mouvement, une déformation ou une dilatation, par exemple d'origine mécanique, électrique, électromagnétique, piézo-électrique, pneumatique, hydraulique, thermique, etc. A ce titre, l'actionneur 6 pourra par exemple comprendre un organe fixe 9, solidaire du support 5, et de préférence inséré dans un logement prévu à cet effet dans le fond 5A dudit support 5, de sorte à former un organe de propulsion de l'organe mobile 7, ce B 10569/FR dernier étant distinct dudit organe fixe 9 et monté librement mobile par rapport à celui-ci. Ainsi, selon la première variante de réalisation illustrée sur la figure 1, l'organe fixe 9 pourra être formé par un inducteur électromagnétique de type bobine, tandis que l'organe mobile 7 sera formé par un noyau mobile ferromagnétique apte à se déplacer le long de l'axe générateur dudit solénoïde. Selon la seconde variante de réalisation illustrée sur la figure 2, l'organe fixe 9 pourra être formé par un électroaimant permettant de piloter l'intensité et la polarité du champ magnétique appliqué à l'organe mobile 7, lui-même constitué d'un matériau ferromagnétique ou pourvu à sa base d'un aimant permanent 10 se présentant par exemple sous la forme d'une pastille. Bien entendu, il est également parfaitement envisageable que l'organe mobile 7 puisse constituer la tige d'un vérin pneumatique, hydraulique, à vis etc. A l'inverse, selon une troisième variante de réalisation illustrée sur la figure 3, 15 l'actionneur 6 pourra être formé par une colonne de hauteur ajustable reliant directement le fond 5A du support 5 à la membrane 2, à la manière d'une entretoise. Ladite colonne peut avantageusement comprendre au moins un tronçon réalisé dans un matériau piézo-électrique, sinon être formée intégralement dans barreau piézo-électrique, de telle sorte que l'on puisse modifier et contrôler sa hauteur, et par 20 conséquent la distance séparant la membrane 2 du fond 5A, en provoquant la dilatation, ou, alternativement, la contraction, longitudinale intrinsèque dudit matériau piézo-électrique. Selon une caractéristique importante de l'invention, l'organe mobile 7 possède un corps principal 11, situé hors du joint de colle 8, ledit corps principal 11 se prolongeant par 25 une partie active 12 qui pénètre en tout ou partie dans ledit joint de colle 8, de telle sorte que la colle adhère sur la paroi latérale 14 de ladite partie active 12 pour assurer une jonction 15 entre l'organe mobile 7 et la membrane 2. B 10569/FR Par « paroi latérale » 14, on désigne l'élément de paroi externe qui délimite latéralement la partie active 12 en s'étendant depuis le corps principal 11 jusqu'à l'extrémité libre 12A de ladite partie active 12 la plus éloignée dudit corps principal, ladite extrémité libre étant quant à elle située dans le joint de colle 8, à proximité la membrane 2. En d'autres termes, l'organe mobile 7, et plus particulièrement la partie active 12, s'étend de préférence sensiblement selon une ligne moyenne (XX') qui joint le corps principal 11 à l'extrémité libre 12A de la partie active 12, ladite ligne moyenne correspondant sensiblement à la direction générale selon laquelle ladite partie active 12 aborde la membrane 2 et pénètre dans le joint de colle 8, tandis que la paroi latérale 14 correspond à la surface qui s'enroule et se referme autour de ladite ligne moyenne (XX') afin de marquer la limite transversale de la partie active 12 par rapport à ladite ligne moyenne (XX'). Avantageusement, le mouillage par la colle d'au moins une partie de la paroi latérale 14 optimise la superficie et la répartition de ladite colle sur la partie active 12, ce qui garantit une bonne adhérence et permet ainsi de consolider l'ancrage de l'organe mobile 7 à la membrane 2. En particulier, une telle disposition permet de ne pas limiter la jonction 15 à une simple prise en bout, dans laquelle le joint de colle 8 formerait une pellicule confinée, sans débordement, dans un espace compris entre la face cachée 4 de la membrane 2 et la seule paroi supérieure délimitant l'extrémité libre 12A de la partie active. Tel que cela sera détaillé plus loin, il est ainsi possible de réaliser une jonction 15 particulièrement robuste et fiable, y compris et surtout lorsque la superficie de la paroi supérieure de la partie active 12, qui est située en vis-à-vis de la membrane 2, est particulièrement restreinte, voire sensiblement ponctuelle et nulle. De préférence, la ligne moyenne (XX') peut être sensiblement parallèle à l'axe optique du miroir 1, et plus particulièrement sensiblement perpendiculaire à la membrane 2, tel que cela est illustré sur les figures. B T 0569/FR En outre, l'organe mobile 7, et plus particulièrement son corps principal 11, est de préférence formé par une tige, qui se présente préférentiellement sensiblement sous la forme d'un cylindre, de préférence de base circulaire, et qui s'étend préférentiellement de façon sensiblement rectiligne selon ladite ligne moyenne (XX'), dite « axe générateur» . De préférence, ledit organe mobile 7, et plus particulièrement ladite tige, est réalisé d'un seul tenant dans un matériau rigide, et notamment suffisamment rigide en comparaison des efforts à fournir pour déformer la membrane 2 selon une course fonctionnelle suffisante, laquelle est verticale sur les figures. Chaque actionneur 6 pourra ainsi avantageusement être pourvu d'un unique organe mobile 7 monolithique. En outre, il conviendra que ledit matériau, et plus globalement l'organe mobile 7, soit léger et usinable facilement, à moindre coût. A titre d'exemple, une telle tige pourra être réalisée à partir d'un jonc composite de type 15 fibre de carbone/matrice époxy, en fibre de verre, ou en matériau métallique. Selon une autre caractéristique importante de l'invention, la partie active 12 présente une section transverse S12, délimitée par la paroi latérale 14, qui se différencie de la section transverse Sil du corps principal 11. Par « section transverse », on désigne la section de l'organe mobile 7, et plus 20 particulièrement la section de la partie active 12, respectivement du corps principal 11, considérée transversalement à ligne moyenne d'extension dudit organe mobile 7, ladite ligne moyenne allant du corps principal jusqu'à l'extrémité de la partie active 12. Lorsque l'organe mobile est formé par une tige d'axe générateur (XX'), les sections transverses correspondent aux sections planes mesurées sensiblement 25 perpendiculairement à cet axe générateur, lequel correspond par ailleurs de préférence sensiblement à la direction générale selon laquelle l'organe mobile 7 aborde la membrane 2, pénètre dans le joint de colle, et est susceptible de se déplacer. B 10569/FR De façon particulièrement avantageuse, l'agencement différencié de l'organe mobile 7 conforme à l'invention permet d'améliorer significativement l'état de surface de la face réfléchissante 3, de telle sorte que la surface réelle de ladite face réfléchissante 3 se rapproche sensiblement du profil moyen Po idéal que l'on souhaite ù au moins en théorie ù conférer à cette dernière. En effet, les inventeurs ont constaté qu'en réalisant des miroirs à l'aide d'organes mobiles connus, on générait un bosselage non négligeable de la face réfléchissante 3, du fait que chaque organe mobile 7 imprimait une empreinte au niveau de ladite face réfléchissante, niais qu'il était possible d'atténuer ce phénomène en conférant auxdits organes mobiles, et plus particulièrement à leur partie active, une forme spécifiquement étudiée. Plus particulièrement, les inventeurs ont constaté, que, lors du mouillage de l'extrémité d'un organe mobile 7 par la colle, cette dernière avait tendance à remonter le long dudit organe par capillarité en formant un ménisque qui avait pour effet de générer des contraintes entre ledit organe mobile 7 et la face cachée 4 sur laquelle est disposée la colle. Or, ces contraintes peuvent être à l'origine d'un phénomène de contraction, ou de rétreinte, qui provoque la flexion locale de la membrane 2, cette dernière ayant tendance à se resserrer autour de l'extrémité de l'organe mobile 7 qui est noyée dans la colle. L'assemblage des organes mobiles connus à la membrane avait donc pour effet, jusqu'ici, d'incurver localement ladite membrane en y imprimant une bosse 20, sensiblement au droit de chaque organe mobile. A l'inverse, tel que cela est illustré sur la figure 4, l'agencement spécifique du miroir 1 et de l'organe mobile 7 conformes à l'invention, et plus particulièrement le profilage particulier de la partie active 12, permet avantageusement de limiter l'empreinte induite par la jonction 15 sur la face réfléchissante 3 du miroir 1, et plus particulièrement d'atténuer ledit effet d'empreinte en réduisant l'amplitude des éventuelles bosses 20 B 10569/FR qui altèrent la qualité de l'état de surface de la membrane 2, et plus particulièrement de la face réfléchissante 3. Plus particulièrement, il a été constaté que l'éventuelle empreinte résiduelle résultant de l'assemblage conforme à l'invention est bien moindre que celle laissée par un organe mobile dont la section transverse serait relativement large et invariante depuis le corps principal 11 jusqu'à l'extrémité baignant dans la colle. Avantageusement, l'invention permet donc de contrôler finement le mouillage de l'organe mobile 7, et plus particulièrement de la partie active 12 afin de ne pas générer d'aspérités importantes sur la face réfléchissante 3. En outre, une telle disposition différenciant le corps principal 11 de la partie active 12 par leur géométrie et leurs dimensions permet, tout en préservant sensiblement la face réfléchissante 3 du phénomène d'empreinte, de conserver un corps principal 11 renforcé, de dimensions et notamment de section transverse relativement importante, qui présente par conséquent une excellente rigidité et plus particulièrement une bonne raideur en traction comme en compression. A titre d'exemple, le corps principal peut notamment présenter un diamètre supérieur ou égal à 200 pm, et de préférence sensiblement compris entre 200 pm et 400 pm. On peut ainsi assurer une transmission de mouvement plus fiable, rapide et reproductible, entre l'organe fixe 9, et plus particulièrement le support 5, et la 20 membrane 2 reliée à l'organe mobile 7. Le miroir 1 peut donc gagner en fiabilité et en rapidité, sans souffrir d'instabilité ou d'erreur d'asservissement dynamique. Dans ce qui suit, par commodité de description, on désignera par « portion immergée » 25 la portion de l'organe mobile 7, et plus particulièrement de la partie 25 active 12, qui est noyée dans le joint de colle 8, et par « portion émergente » 26, la portion de l'organe mobile 7, et plus particulièrement, le cas échéant, de la partie active 12, qui est située hors du joint de colle 8, sensiblement à l'opposé de la B 10569/FR membrane 2, et qui baigne de préférence dans l'atmosphère elle-même confinée à l'intérieur du boîtier que délimitent le support 5 et la membrane 2. En pratique, c'est donc l'interface colle-atmosphère 27 qui marque la séparation entre ladite portion émergente 26 et la portion immergée 25 de la partie active 12, cette séparation se matérialisant sur la face latérale 14 par une ligne de mouillage représentée en pointillés sur les figures 4 et 6. Selon une possibilité de réalisation, le changement de section transverse entre le corps principal 11 et la partie active 12 peut intervenir au moins en partie, sinon en totalité, dans la portion émergente 26 de l'organe mobile 7, c'est-à-dire en dehors du joint de colle 8, tel que cela est le cas par exemple sur les figures 5D, 5E. En d'autres termes, la variation de section transverse affectant la partie active 12 peut être localisée hors du joint de colle. La section transverse S12 de la partie active 12, bien que modifiée par rapport à celle du corps principal 11, peut alors se prolonger de façon sensiblement constante depuis la portion émergente 26 jusqu'à la portion immergée 25 comprise, tel que cela est le cas sur ces mêmes figures 5D, 5E. Toutefois, selon une autre possibilité de réalisation préférentielle, correspondant par exemple aux figures 5A, 5B, 5C, la portion immergée 25 de la partie active 12, noyée dans le joint de colle 8, présente au moins une variation dimensionnelle de sa section transverse S12. En d'autres termes, la partie active 12 présente de préférence au moins une variation, voire plusieurs variations successives, de sa section transverse S12, et plus particulièrement de la superficie de cette dernière, le long de sa portion immergée 25, c'est-à-dire dans l'espace compris entre l'interface colle-atmosphère 27 et l'extrémité libre de ladite partie active 12 située au voisinage de, voire sensiblement contre, la face cachée 4, Bien entendu, la nature de la variation dimensionnelle de la section transverse S12 de la partie active 12 n'est nullement limitée, et peut notamment consister en un B 90569/FR rétrécissement, c'est-à-dire en une réduction de la distance à l'axe générateur (XX) de tout ou partie des points formant le contour de la paroi latérale 14, ou au contraire en un élargissement, et plus particulièrement une augmentation de la distance à l'axe générateur (XX) de ladite paroi latérale 14. Il est également parfaitement envisageable que la partie active 12 présente plusieurs variations successives de sa section transverse S12, sensiblement étagées le long dudit axe générateur (XX'). Ainsi, selon une variante de réalisation non représentée, la paroi latérale 14 pourra former un collet saillant, etlou au contraire une gorge rentrante sensiblement annulaire, de préférence destinés l'un comme l'autre à être recouverts par le joint de colle 8. Par ailleurs, il est envisageable que la ou les variations de la section transverse S12 de la partie active 12 soi(en)t formée(s) par un ou plusieurs décrochements 30 abrupts, de type épaulements, tel que cela est illustré notamment sur la figure 5E. Toutefois, la partie active 12 présentera de préférence un tronçon de transition 31 le long duquel sa section transverse S32 varie progressivement. Avantageusement, on peut réaliser ainsi, notamment en incurvant et ou en inclinant la paroi latérale 14 de la partie active 12, par rapport à la paroi latérale du corps principal 11 etlou par rapport à l'axe générateur ()O'), une variation de section progressive, sensiblement continue et douce, qui s'étend longitudinalement sur une distance non ponctuelle le long dudit l'axe générateur (XX'). De préférence, ledit tronçon de transition 31 s'étendra sur la majorité, voire sur la totalité de la longueur de la partie active 12, tel que cela est illustré notamment sur les figures 5A, 5B et 5C, ledit tronçon de transition 31 pouvant être unique et monotone, c'est-à-dire exclusivement dédié au rétrécissement ou au contraire à l'élargissement de la section transverse S12. De préférence, tel que cela est illustré sur les figures 5A, 5B et 5C, le tronçon de transition 31 s'étend de part et d'autre de l'interface colle-atmosphère 27, c'est-à-dire B10569/FR que la variation de section transverse S12 amorcée dans la portion émergente 26 se prolonge avantageusement jusque dans la portion immergée 25 et à travers cette dernière, le tronçon de transition 31 étant réparti à la fois sur la portion émergente 26 et sur la portion immergée 25. Bien entendu, cette disposition dépendra des caractéristiques géométriques et dimensionnelles de l'organe mobile 7, et plus particulièrement du profil de la partie active 12, ainsi que de la quantité de colle utilisée pour former le joint de colle 8 ainsi que du degré d'enfoncement, c'est-à-dire de pénétration, de la partie active 12 dans ledit joint de colle. De façon particulièrement préférentielle, la section transverse S12 de la partie active 12 varie de sorte à présenter au moins un rétrécissement, tel que cela est représenté sur l'ensemble des figures. Plus particulièrement, selon une variante de réalisation préférentielle qui peut constituer une invention en temps que telle, la partie active 12 peut aller en s'affinant progressivement de sorte à former une pointe 32 à la première extrémité 33 de l'organe mobile 7. En d'autres termes, la partie active 12 présente de préférence un rétrécissement terminal, de telle sorte que l'extrémité de l'organe mobile 7 va en diminuant, sa section transverse étant globalement décroissante, en particulier par rapport à la section transverse Sul du corps principal qui la précède. Ainsi, la paroi latérale 14 tend de préférence à se rabattre progressivement et à converger vers l'axe générateur ()(X'), dans le sens de pénétration de la partie active 12 dans le joint de colle 8, de telle sorte que ladite partie active 12 peut constituer un embout profilé de pénétration et de mouillage, dont la section transverse S12 réduit au fur et à mesure que l'on s'approche de la face cachée 4, et dont la forme peut notamment rappeler celle d'un coin. Cette convergence, sensiblement totale ou tronquée, est de préférence réalisée au moyen d'un profil sensiblement continu, formant un tronçon de transition 31 tel que B10569/FR décrit plus haut, ledit profil sensiblement continu pouvant être notamment rectiligne, tel que cela est illustré en traits pleins sur les figures 5A, 5B, ou au contraire incurvé, et notamment convexe, c'est-à-dire bombé vers l'extérieur, tel que cela est illustré dans la figure 5C, ou concave, tel que cela est illustré en traits pointillés sur la figure 5B. Plus particulièrement, la pointe 32 pourra présenter une forme sensiblement conique, tel que cela est illustré sur les figures 1, 5A et 6, sensiblement tronconique, tel que cela est illustré sur les figures 2, 3, 4, et 5B, arrondie en dôme, notamment en dôme sensiblement parabolique, tel que cela est illustré sur la figure 5C, en ogive, ou encore hyperboloïde, tel que cela est illustré en pointillés sur la figure 5B. Afin de simplifier l'usinage de parties actives particulièrement fines, tout en préservant la solidité ces dernières, on privilégiera de préférence les pointes tronconiques ou en dôme. En outre, l'extrémité libre 12A de la pointe 32 pourra être avantageusement émoussée, aplanie ou arrondie, par exemple par polissage. Par ailleurs, la convergence de la pointe peut également être réalisée de manière discrète, au moyen d'un ou plusieurs décrochements 30, de préférence sensiblement concentriques et agencés en gradins, de sorte à former une pointe de type téton, dont les contours peuvent par exemple s'inscrire sensiblement dans une enveloppe fictive sensiblement tronconique ou en ogive. Ainsi, il n'est pas exclu que la pointe puisse notamment présenter la forme d'un cylindre de section sensiblement constante et plus étroite que celle du corps principal 11, et de façon préférentielle comporter au moins deux cylindres concentriques successifs alignés par diamètre décroissant, chacun présentant un diamètre sensiblement constant et plus faible que le diamètre du cylindre qui le précède, tel que cela est illustré sur la figure 5E. Bien entendu, la géométrie de la pointe 32 peut résulter de la combinaison d'un ou plusieurs profils tels que décrits plus haut. B 10569/FR Il est remarquable que le recours à des organes mobiles pointus permet de réaliser, entre chaque organe mobile 7 et la membrane 2, une liaison quasi-ponctuelle, du fait que la jonction 15, en particulier lorsqu'elle ne fait intervenir qu'un joint de colle 8 isolé et peu volumineux, n'occupe qu'une très faible superficie sur la face cachée. A titre d'exemple, la surface de la membrane 2 occupée par la jonction 15, et plus particulièrement recouverte par la colle formant un joint 8 isolé, peut présenter une dimension transverse hors-tout D8 strictement inférieure à 1 mm, et notamment inférieure ou égale à 600 pm. Un tel assemblage quasi-ponctuel permet en outre aux organes mobiles de ne quasiment pas affecter les propriétés et le comportement de la membrane 2 au niveau des jonctions 15 et au voisinage de ces dernières, et plus particulièrement de suivre sensiblement sans l'altérer le profil PO au repos de ladite membrane, que celui-ci soit plan ou incurvé. De préférence, la pointe 32 est unique, d'un seul tenant, et sensiblement centrée sur l'axe générateur (XX'), ladite pointe 32, plus globalement la partie active 12, et de manière plus générale l'ensemble de l'organe mobile 7 présentant préférentiellement une géométrie de révolution autour dudit axe générateur (XX'). Par ailleurs, de façon particulièrement préférentielle, la pointe 32 est enfoncée (seulement) partiellement dans le joint de colle 8. En d'autres termes, la partie active 12, et plus particulièrement la pointe 32, peut n'être pas totalement noyée dans le joint de colle 8, de telle sorte que l'interface colle-atmosphère 27 se situe dans une zone intermédiaire de la pointe 32, sensiblement comprise entre la base large de la pointe, qui est reliée au corps principal 11, et l'extrémité libre affinée de ladite pointe 32, qui est orientée vers la membrane 2. Avantageusement, une telle disposition permet de limiter d'une part les dimensions de la portion immergée 25, et plus particulièrement le diamètre de la section transverse de la partie active 12 dans ladite portion immergée, tout en maintenant d'autre part une superficie globale de paroi latérale 14 qui est suffisante pour assurer une bonne B 10569/FR adhésion du joint de colle sur l'organe mobile 7, et ainsi un bon arrimage dudit organe mobile 7 à la membrane 2. Un tel agencement permet notamment de limiter la quantité de colle nécessaire à la réalisation du joint 8, et de surcroît, de contrôler, et plus particulièrement de limiter, la remontée de la colle le long de la partie active 12, et par conséquent la formation et l'étendue d'un ménisque correspondant, ce qui contribue à une réduction significative des contraintes exercées par la jonction 15 sur la membrane 2, et par conséquent à l'atténuation de l'effet d'empreinte. Afin de garantir l'émergence d'une portion de la pointe hors de la colle, ou par 10 disposition constructive indépendante, on pourra prévoir que la longueur L32 de la pointe 32, mesurée entre sa base et son extrémité libre, et qui coïncide de préférence avec la longueur de la partie active 12, est supérieure ou égale à la hauteur totale H8 du joint de colle 8, ou « hauteur de mouillage », mesurée entre la face cachée 4 et l'interface colle-atmosphère 27. 15 Ladite hauteur totale H8 du joint de colle 8 pourra notamment être sensiblement comprise entre 100 pm et 300 pm, et plus particulièrement voisine de 200 pm, tandis que la longueur L32 de la pointe 32 pourra sensiblement être comprise entre 300 pm et 500 pm, et notamment voisine de 400 pm. Ainsi, la colle mouillera de préférence la pointe 32 sensiblement à mi-hauteur de celle-20 ci, et plus particulièrement à mi-hauteur de la paroi latérale 14 et du tronçon de transition 31. Ainsi, la jonction pourra présenter une structure sensiblement biconique, dont la forme rappelle celle d'un sablier, et comprenant un cône supérieur, souple, formé par le joint de colle 8 dont la base large adhère à la face cachée 4, lequel est relié à un cône 25 inférieur, rigide, formé par la pointe 32 qui pénètre sensiblement dans ledit cône supérieur par le sommet de ce dernier. B 10569/FR Par ailleurs, une fois l'organe mobile 7 assemblé, l'extrémité libre 12A de la partie active, donc de la pointe 32, se situera avantageusement en retrait de la face cachée 4, par exemple à une distance d'environ 20 pm à 40 pm de celle-ci. Ainsi, l'épaisseur résiduelle E8 du joint de colle, compris entre la partie active 12, et plus particulièrement son extrémité libre 12A, et la membrane 2 et séparant ces dernières, sera de préférence inférieure ou égale à 50 pm, et de façon particulièrement préférentielle sensiblement comprise entre 20 pm et 30 pm. Par ailleurs, l'angle au sommet a de la pointe 32, le cas échéant de l'enveloppe fictive dans laquelle s'inscrit sensiblement ladite pointe 32, sera de préférence compris sensiblement entre 15 degrés et 45 degrés et de préférence sensiblement voisin de 20 degrés à 30 degrés, voire de 40 degrés. De façon particulièrement préférentielle, la rugosité quadratique Rq de la face réfléchissante 3, après jonction par collage de la membrane 2 avec le ou les organes mobiles 7, peut ainsi être inférieure ou égale à 7 nm (nanomètres), ou inférieure ou égale à 6 nm, de préférence inférieure ou égale à 5 nm, préférentiellement inférieure ou égale à 4 nm, voire inférieure ou égale à 3 nm. Par « rugosité quadratique Rq », également appelée « rugosité RMS » pour « Roof Mean Square », on désigne la mesure de rugosité effectuée selon la norme ISO 4287 et qui correspond à la formule suivante : Rq = »- . J ri. z2 (y) . dy où L représente la longueur de base de profil sur laquelle est réalisée la mesure, selon la direction y, et Z(y) correspond à l'ordonnée des profils de rugosité, par rapport au profil moyen théorique Po considéré le long de ladite longueur de base. Selon une variante de réalisation préférentielle, les valeurs de rugosité susmentionnées 25 peuvent être atteintes sur une longueur de base de l'ordre d'au moins 15 mm, qui correspond de préférence au diamètre total de la membrane 2. B 10569/FR Par comparaison, les meilleures rugosités quadratiques obtenues jusqu'à présent pour des miroirs plans avec les procédés connus étaient de l'ordre de plus de 7 nm à 10 nm, soient des valeurs deux à trois fois supérieures. La qualité, la résolution et la précision dudit miroir 1 conformes à l'invention sont donc grandement améliorées, l'état de surface « brut» de la face réfléchissante 3 du miroir 1 conforme à l'invention n'étant quasiment pas perturbé davantage par l'opération d'assemblage des organes mobiles. En outre, les inventeurs ont constaté que les valeurs de rugosité jusqu'ici atteintes par les miroirs connus et considérées comme reflétant le meilleur résultat accessible, se dégradaient (c'est-à-dire augmentaient) très rapidement lorsque l'on essayait, au sein desdits miroirs connus, de conférer à la membrane 2 un profil globalement bombé, notamment parabolique. Cette dégradation s'explique notamment par le fait que les organes mobiles, et plus particulièrement les disques aimantés, employés dans les dispositifs de l'art antérieur, présentent, en vis-à-vis de la membrane, une surface de contact relativement étendue, dont le diamètre avoisine 1 mm, et dont la raideur est très supérieure à la raideur propre de ladite membrane 2. Par conséquent, les zones collées aux disques rigides étant incapables de fléchir, on peut assister, lorsque l'on cherche à incurver la membrane pour lui conférer un profil bombé, à une véritable segmentation de ladite membrane, et donc de la face réfléchissante, cette dernière ayant tendance à se fractionner en une succession de facettes relativement larges, sensiblement planes et inclinées les unes par rapport aux autres selon des lignes brisées, au lieu de conserver une courbure régulière. A l'inverse, au sein du miroir conforme à l'invention, il est possible de réaliser une liaison quasi-ponctuelle entre chaque organe mobile 7 et la membrane 2, notamment au moyen d'une pointe 32 très fine coiffée d'une gouttelette de colle de faible diamètre, ce qui permet aux actionneurs d'épouser sensiblement le profil Po de la membrane, quel qu'il soit, sans interférer avec ce dernier, ni en particulier tendre à le « redresser » B 10569/FR localement (hormis pour ce qui est des déformations volontaires contrôlées, nécessaires à la correction du front d'onde). Ainsi, on peut en particulier éviter sensiblement l'apparition de plats sur la déformée de la membrane 2. Avantageusement, les performances et l'état de surface du miroir 1 conforme à l'invention sont donc relativement peu sensibles à une mise en forme non plane de la membrane 2, notamment lorsque l'on confère à cette dernière un profil moyen théorique Po bombé, par exemple concave régulier, et en particulier sphérique ou parabolique. Par ailleurs, la membrane 2 conservant sensiblement sa souplesse en tous points, et notamment à l'aplomb et au voisinage immédiat des jonctions 15, il est possible de déformer localement ladite membrane 2, par rapport à son profil nominal au repos et dans la limite de sa souplesse intrinsèque, de façon particulièrement fine, précise et spatialement différenciée, ce qui améliore la résolution spatiale du miroir 1. Bien entendu, l'invention peut concerner en temps que tel un miroir déformable possédant au moins un organe mobile 7 fixé par collage à la membrane 2 et dont le joint de colle 8 et l'organe mobile 7 sont choisis et agencés l'un par rapport à l'autre de telle sorte que la rugosité quadratique de la face réfléchissante 3 corresponde aux valeurs susmentionnées. Par ailleurs, selon une caractéristique préférentielle qui peut constituer une invention à part entière, l'organe mobile 7 présente à sa seconde extrémité 34, opposée à la partie active 12, une embase 35 élargie, tel que cela est notamment illustré sur les figures 2, 3 et 6. De préférence, ladite embase élargie 35 est reliée à la pointe 32 formant la partie 25 active 12 par un tronc 36. Avantageusement, tel que cela est notamment le cas sur la troisième variante de réalisation illustrée sur la figure 3, l'embase 35 peut avantageusement fournir un socle B10569/FR permettant à l'organe mobile 7 de reposer directement en contact contre le support 5, en profitant d'une bonne assise du fait que l'embase 35 forme une semelle de grande étendue et présentant une excellente planéité. Selon la seconde variante de réalisation illustrée sur la figure 2, ladite embase 35 fournit une surface de collage importante permettant d'accrocher, et plus particulièrement de suspendre, un aimant permanent 10 à la membrane 2, de préférence en suspension libre à distance de la face cachée et du fond 5A, par l'intermédiaire de l'organe mobile 7 qui forme alors une entretoise. Avantageusement, une telle entretoise permet de déporter l'aimant en retrait de la membrane 2, et plus particulièrement de la jonction 15, et par conséquent de minimiser l'étendue des éléments rigides placés à proximité immédiate de ladite membrane. On peut ainsi réaliser une liaison qui reste essentiellement souple au voisinage immédiat de ladite membrane. Plus particulièrement, on peut ainsi conserver un contact sensiblement ponctuel entre l'organe mobile 7 et la membrane 2 tout en utilisant un actionneur 6, et plus particulièrement un aimant 10, de dimensions relativement importantes, bien supérieures à celles de la jonction 15, et par conséquent puissant mais aussi facile à manipuler et à assembler. De surcroît, lorsque l'aimant 10 est formé par un disque, le diamètre de l'embase 35 peut avantageusement être choisi sensiblement égal à celui dudit disque, ce qui facilite grandement le centrage relatif de l'aimant par rapport à l'organe mobile 7 et plus particulièrement à la pointe 32. Dans tous les cas, cette embase 35 permet d'améliorer l'efficacité et la fiabilité de l'actionneur 6, et par conséquent du pilotage de la membrane 2. Avantageusement, un organe mobile comportant, de préférence d'un seul tenant, à la fois une embase élargie 35 et une pointe 32 permet de concilier stabilité et maniabilité lors de l'assemblage d'une part, et contact robuste mais de faible interférence avec la membrane 2 d'autre part. B 10569/FR A titre indicatif, le diamètre de l'embase 35 pourra par exemple correspondre à deux à trois fois celui du tronc 36. Par exemple, la longueur totale hors-tout de l'organe mobile 7 pourra être sensiblement comprise entre 1 mm et 3 mm, et de préférence voisine de 1,5 mm, le diamètre du tronc 36 compris entre 200 pm et 500 pm, et de préférence voisin de 300 pm, et le diamètre de l'embase 35 compris entre 800 pm et 1 mm. La hauteur de l'embase 35 pourra quant à elle représenter de préférence moins de 30 %, de préférence moins de 25 % et préférentiellement entre 15 % et 20 % de la longueur totale du corps principal 11, ce dernier comprenant le tronc 36 et ladite embase 35. Bien entendu, l'homme du métier sera à même d'adapter l'agencement du miroir 1, et plus particulièrement de l'organe mobile 7 et de sa partie active 12, en fonction notamment des dimensions du miroir 1 et de la membrane 2, ainsi que du degré de précision requis pour l'asservissement, ou encore de l'état de surface désiré. A ce titre, il est parfaitement envisageable de considérer l'un ou l'autre des enseignements qui précèdent isolément ou en combinaison l'un avec l'autre, notamment en ce qui concerne la mise en oeuvre d'une pointe 32 à l'extrémité de l'organe mobile 7, quel que soit par ailleurs l'agencement selon lequel ladite pointe est introduite, en tout ou partie, dans le joint de colle 8. Bien entendu, la présente invention concerne également un procédé de fabrication d'un miroir déformable 1 tel que décrit ci-dessus, au cours duquel on fixe par collage sur la membrane 2 un organe mobile 7 conçu pour déformer localement ladite membrane. Selon une caractéristique conforme à l'invention, ledit procédé comporte au moins une étape (a) de profilage d'un organe mobile 7 d'actionneur au cours de laquelle on réalise, à l'extrémité 33 du corps principal 11 d'un organe mobile d'actionneur 7, une partie active 12 dont la section transverse S12, délimitée par sa paroi latérale 14, est différente de la section transverse Sil du corps principal 11, puis une étape (b) d'assemblage au cours de laquelle on fixe l'organe mobile 7 à la membrane 2 par B 10569/FR collage en réalisant un joint de colle 8 qui relie ladite membrane 2 à au moins une partie de la paroi latérale 14 de la partie active 12. Bien entendu, il est envisageable de mettre en oeuvre tout type de procédé adapté pour réaliser le profilage de l'organe mobile 7, et notamment tout procédé de moulage, d'étirage, de polissage, d'usinage, de taillage etc. Bien entendu, ce profilage est réalisé de manière à réduite l'empreinte qu'induit la jonction 15, et plus particulièrement l'organe mobile 7, sur la face réfléchissante 3 lors du collage, et pourra correspondre à des formes variées, déterminables par exemple par simulation ou empiriquement. De préférence, l'étape (a) de profilage conduira à former une pointe 32 venant affiner la première extrémité 33 de l'organe mobile 7. Plus particulièrement, selon une caractéristique qui peut constituer une invention à part entière, indépendamment de la présence ou de l'absence d'une partie active 12 conforme à l'invention, l'étape (b) d'assemblage peut comporter une sous-étape (b1) d'encollage par transfert au cours de laquelle on vient placer l'extrémité 33 de l'organe mobile 7 au contact d'une réserve de colle, et plus particulièrement au cours de laquelle on amène la partie active 12 profilée au contact d'une masse de colle sensiblement liquide, voire on plonge légèrement la pointe 32 dans ladite masse de colle, afin de prélever par capillarité une goutte de colle mouillant ladite extrémité, puis une sous-étape (b2) de jonction au cours de laquelle on vient appliquer l'extrémité ainsi encollée de l'organe mobile 7 contre la face cachée 4 de la membrane 2. Avantageusement, un tel procédé permet de limiter la quantité de colle prélevée et appliquée contre la membrane 2 à une quantité minimale juste nécessaire et suffisante pour assurer la fixation convenable de l'organe mobile 7 sur la membrane 2, et par conséquent de limiter le phénomène d'empreinte. De surcroît, un tel procédé permet de garantir une approche particulièrement précise et régulière des organes mobiles 7 lorsque ceux-ci doivent accoster la membrane 2. B 10569/FR Bien entendu, le procédé, qui s'appliquera de préférence à une membrane plane, pourra comporter une étape (c) de déformation de la membrane au cours de laquelle on confère à ladite membrane 2 un profil moyen Po non plan, par exemple parabolique ou sphérique. Avantageusement, aussi bien lors de la sous-étape (b1) d'encollage par transfert que lors de la sous-étape (b2) de jonction, on contrôle l'enfoncement de l'organe mobile 7, et plus particulièrement de la pointe 32 formant sa partie active 12, de telle sorte que la colle puisse remonter partiellement le long de la paroi latérale 14 de la partie active 12, et plus particulièrement le long du tronçon de transition 31 de la pointe 32, mais que ladite colle reste sensiblement en retrait du corps principal 11, et plus particulièrement de la base large de la pointe 32. En particulier, lors de la sous-étape (b2) de jonction, lorsque l'on applique un effort de compression tendant à rapprocher la pointe 32 de la face cachée 4 de manière à ce que la goutte de colle prélevée adhère à et s'étale sur ladite face cachée, tandis qu'elle est sensiblement écrasée et chassée par ladite pointe 32, on veille de préférence à maintenir au moins une portion de ladite pointe en dehors du joint de colle. A ce titre, il est remarquable que la variation progressive du tronçon de transition 31 permet avantageusement d'ajuster le degré d'enfoncement de l'organe mobile 7 dans la colle. On peut ainsi envisager de régler finement la position au repos dudit organe par rapport à la membrane 2, de même que la superficie effective d'encollage sur la paroi latérale 14, et par conséquent la résistance mécanique et la raideur de la jonction 15, et ce de façon progressive en conservant, quel que soit le réglage retenu, le bénéfice de la fonction anti-empreinte procurée par le profil spécifique de la partie active 12. Bien entendu, le procédé comportera ensuite une étape de polymérisation ou de « séchage » au cours de laquelle on laisse « durcir » le joint de colle 8. Ainsi, la présente invention permet avantageusement de réaliser, au moyen d'un procédé polyvalent applicable tant à des miroirs plans qu'à des miroirs bombés, un B 10569/FR 2958415 2 7 miroir déformable présentant une excellente finition, un haut degré de précision, une bonne vitesse d'exécution lors des modifications dynamiques de la configuration de sa membrane par les actionneurs 6, c'est-à-dire un faible temps de réponse, ainsi qu'une bonne stabilité mécanique et thermique, et ce tout en conservant une structure 5 relativement simple, compacte et relativement facile à assembler, à modifier, ou à remettre en état. 810569/FR REVENDICATIONS1 Miroir déformable (1) comportant une membrane (2) déformable possédant une face réfléchissante (3), ladite membrane (2) étant montée sur un support (5) pourvu d'au moins un actionneur (6) conçu pour déformer ladite membrane (2), ledit actionneur (6) comprenant au moins un organe mobile (7) fixé à la membrane (2) par un joint de colle (8), ledit miroir étant caractérisé en ce que ledit organe mobile (7) possède un corps principal (11), situé hors du joint de colle (8), qui se prolonge par une partie active (12) qui pénètre en tout ou partie dans ledit joint de colle (8) de telle sorte que la colle adhère au moins en partie sur la paroi latérale (14) de ladite partie active (12) pour assurer une jonction (15) entre l'organe mobile (7) et la membrane (2), et en ce que ladite partie active présente une section transverse (S12), délimitée par ladite paroi latérale (14), qui se différencie de la section transverse (S11) du corps principal (11). 2 - Miroir déformable selon la revendication 1 caractérisé en ce que la portion immergée (25) de la partie active (12), noyée dans le joint de colle (8), présente au moins une variation dimensionnelle de sa section transverse (S12). 3 - Miroir déformable selon la revendication 1 ou 2 caractérisé en ce que la partie active (12) présente un tronçon de transition (31) le long duquel sa section transverse (S12) varie progressivement. 4 - Miroir déformable selon les revendications 2 et 3 caractérisé en ce que le tronçon de transition (31) s'étend de part et d'autre de l'interface colle-atmosphère (27) qui marque la séparation entre la portion émergente (26) et la portion immergée (25) de la partie active (12). 5 - Miroir déformable selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la section transverse (S12) de la partie active (12) varie de sorte à présenter au moins un rétrécissement. 810569/FR 6 - Miroir déformable selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la partie active (12) forme une pointe (32) à la première extrémité (33) de l'organe mobile (7). 7 - Miroir déformable selon la revendication 6 caractérisé en ce que la pointe (32) présente une forme sensiblement conique, tronconique, arrondie en dôme, ou hyperboloïde. 8 - Miroir déformable selon l'une des revendications 6 ou 7 caractérisé en ce que la pointe (32) est enfoncée partiellement dans le joint de colle (8). 9 - Miroir déformable selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que l'organe mobile (7) présente, à sa seconde extrémité (34) opposée à la partie active (12), une embase (35) élargie. 10 -Miroir déformable selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que l'organe mobile (7) est formé par une tige qui est fixée à la face cachée (4) de la membrane (2), opposée à la face réfléchissante (3), et qui est réalisée d'un seul tenant dans un matériau rigide, de préférence à partir d'un jonc composite de type fibre de carbone/matrice époxy, en fibre de verre ou métallique. 11 -Miroir déformable selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il comporte une pluralité d'organes mobiles (7) indépendants les uns des autres et reliés à la membrane déformable (2) respectivement par une pluralité de joints de colle (8) qui sont séparés les uns des autres. 12 - Miroir déformable selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la rugosité quadratique (Rq) de la face réfléchissante (3), après jonction par collage de la membrane (2) avec l'organe mobile (7), est inférieure à 7 nm, de préférence inférieure ou égale à 5 nm, préférentiellement inférieure ou égale à 4 nm, voire inférieure ou égale à 3 nm. 13 -Miroir déformable selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la membrane déformable (2) présente une épaisseur (e2) inférieure ou égale B 105691FR à 50 pm, de préférence inférieure ou égale à 10 pm, voire sensiblement comprise entre 3 pm et 5 pm, tandis que l'épaisseur (E8) du joint de colle séparant la partie active (12) de la membrane (2) est sensiblement inférieure ou égale à 50 pm, et de préférence sensiblement comprise entre 20 pm et 30 pm. 14 -Procédé de fabrication d'un miroir déformable (1) comprenant une membrane déformable (2) présentant une face réfléchissante (3), au cours duquel on fixe par collage sur ladite membrane (2) un organe mobile (7) d'actionneur (6) conçu pour déformer localement ladite membrane (2), ledit procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte une étape (a) de profilage d'un organe mobile (7) d'actionneur au cours de laquelle on réalise, à l'extrémité du corps principal (11) un organe mobile d'actionneur (7), une partie active (12) dont la section transverse (S12), délimitée par sa paroi latérale (14), est différente de la section transverse (S11) du corps principal (11), puis une étape (b) d'assemblage au cours de laquelle on fixe l'organe mobile (7) à la membrane (2) par collage en réalisant un joint de colle (8) qui relie ladite membrane (2) à au moins une partie de la paroi latérale (14) de ladite partie active (12). 15 - Procédé de fabrication selon la revendication 14 caractérisé en ce que l'étape (b) d'assemblage comporte une sous-étape (b1) d'encollage par transfert au cours de laquelle on vient placer l'extrémité (33) de l'organe mobile (7) au contact d'une réserve de colle afin de prélever par capillarité une goutte de colle mouillant ladite extrémité (33), puis une sous-étape (b2) de jonction au cours de laquelle on vient appliquer l'extrémité encollée de l'organe mobile (7) contre la face cachée (4) de la membrane (2) opposée à la face réfléchissante (3). B T0569/FR