Brevet FR2958795A1 — publié le 20111014

DISPOSITIF OPTOELECTRONIQUE ORGANIQUE ET SON PROCEDE D'ENCAPSULATION. La présente invention concerne un dispositif optoélectronique organique, tel qu'un dispositif d'affichage, d'éclairage ou de signalisation, qui est protégé de l'air ambiant par une encapsulation étanche de type incluant des couches minces, et un procédé d'encapsulation d'un tel dispositif. L'invention s'applique notamment à des dispositifs à diodes électroluminescentes organiques (« OLED ») tels que des microécrans. De manière connue, les dispositifs optoélectroniques organiques, tels que les « OLED », les dispositifs à cellules photovoltaïques et ceux à « TFT » organiques nécessitent d'être encapsulés, pour assurer la protection de leurs composants sensibles contre les espèces gazeuses de l'atmosphère (principalement l'oxygène et la vapeur d'eau). En effet, si cette protection n'est pas convenablement réalisée, il risque de se produire une dégradation ultérieure du dispositif qui se manifeste principalement par l'apparition de points noirs non émissifs dans le cas des « OLED », qui sont en fait la résultante de la pénétration de la vapeur d'eau dans la diode, ce qui dégrade l'interface cathode (ou anode) / film(s) organique(s). Cette encapsulation peut être typiquement réalisée grâce à l'utilisation d'un capot de verre collé sur le dispositif organique à l'aide d'une colle spécifique présentant notamment une faible perméabilité à l'eau. En général, on ajoute un absorbeur d'humidité solide ou « getter » entre le substrat et le capot pour prolonger la durée de vie du dispositif. Pour certaines applications mais aussi pour une question de réduction de coût, on a développé des couches minces à effet de barrière dont le rôle, par similitude à cet ensemble capot-getter, est de protéger le dispositif sous-jacent de l'agression de l'humidité. D'une manière générale, ces couches barrières sont des oxydes, des nitrures ou des oxynitrures ou, dans certains cas, il peut s'agir de couches minces métalliques sauf si l'unité électroluminescente émet par le sommet de la structure (« top emission » en anglais) auquel cas les couches barrières doivent être transparentes. Ces couches minces sont déposées par des procédés standards de dépôt sous vide tels que le dépôt chimique en phase vapeur (« CVD ») éventuellement assisté par plasma (« PECVD »), le dépôt de couche atomique (« ALD », parfois appelée « AL-CVD ») ou par des procédés de dépôt physique en phase vapeur (« PVD ») incluant l'évaporation et la pulvérisation. Pour l'effet de barrière, on privilégie notamment les technologies « CVD » et en particulier « ALD » qui, à basse température donnent des couches barrières denses, avec peu de défauts (« pinholes » en anglais pour trous d'aiguilles) et 100 % conformes à des températures le plus souvent inférieures à 110° C qui sont compatibles avec les « OLED ». A basse température, il a ainsi été montré une densité de défauts d'une couche AI2O3 déposée par « ALD » aussi faible que 38/cm2. Pour des applications de microécrans, cette densité de défauts est néanmoins trop élevée car si l'on considère une surface de microécran de 45 mm2, cela conduit à 17 défauts par microécran soit potentiellement 17 points noirs sur l'afficheur « OLED ». En effet, même si ces points noirs intrinsèques à la fabrication sont microscopiques, leur présence est prohibée sur un dispositif « OLED » dont l'image est magnifiée par une optique adaptée, et il faut en outre leur ajouter les points noirs « extrinsèques » dus à la présence de particules indésirables à la surface du dispositif lors de l'encapsulation en couches minces. Par ailleurs, on sait qu'il faut protéger de l'eau sur le long terme l'AI2O3 déposé par « ALD » car il a tendance à s'hydrolyser en AI(OH)x. On a donc cherché à passiver de manière pérenne cette barrière que constitue un tel film d'AI2O3 par des matériaux inorganiques plus inertes chimiquement et plus stables tels que SiO2, Si3N4 ou SiOxNy, via des dépôts mis en oeuvre par « PECVD » à basse température qui permettent également de boucher les défauts résiduels de ces films d'AI2O3. En variante, on a cherché à passiver ces films d'AI2O3 déposés par « ALD » par des couches organiques relativement épaisses à base de polymères « planarisants » censés remédier à l'inconvénient des particules indésirables précitées en les enrobant à la manière d'un empilement BarixTM de la société Vitex, avec un empilement de couches organiques et inorganiques alternées. Un inconvénient de cette solution réside dans le procédé en phase gazeuse de type évaporation « flash » (i.e. évaporation du monomère, condensation sur substrat puis insolation UV pour la réticulation) qui est relativement coûteux en temps. Il est difficile d'envisager d'autres types de dépôt moins coûteux en temps comme le dépôt en phase liquide, car ce type de dépôt nécessite l'utilisation de solutions polymériques contenant des solvants susceptibles de dissoudre les couches de l'unité électroluminescente sous-jacente. Un but de la présente invention est de proposer un dispositif optoélectronique organique, tel qu'un dispositif « OLED » d'affichage, d'éclairage ou de signalisation, qui permette de remédier aux inconvénients précités en proposant une protection fiable et pérenne de l'unité électroluminescente à moindre coût, ce dispositif présentant une unité électroluminescente présentant au moins une zone active d'émission lumineuse revêtue d'une structure multicouches d'encapsulation étanche et une zone de connexion électrique adjacente à la ou chaque zone active, la structure d'encapsulation comprenant n empilement(s) (n >_ 1) film inorganique FI, ..., Fn / couche polymérique photosensible Cl, ..., Cn incluant un empilement interne FI/C1 où le film FI recouvre la ou chaque zone active et est surmonté par la couche Cl qui est déposée en phase liquide. A cet effet, un dispositif selon l'invention est tel que la ou chaque couche Cl, ..., Cn est gravée (par photolithographie) et recouvre le film FI, ..., Fn en s'étendant autour d'un bord périphérique de la ou de chaque zone active en au moins une portion enveloppante structurée se terminant en deçà de la zone de connexion adjacente, avec si n >_ 2 la ou chaque couche C2, ..., Cn qui est structurée de manière enveloppante par rapport à la couche Cl, ..., Cn-1 de l'empilement immédiatement sous-jacent, de telle sorte que la ou chaque couche Cl, ..., Cn passive le film FI, ..., Fn et protège latéralement la ou chaque zone active sous-jacente des solvants et solutions de développement utilisés pour la gravure de cette couche Cl, ..., Cn. Comme cela sera détaillé ci-après, cette structure gravée totalement enrobante de la ou de chaque couche photosensible vis-à-vis de la ou de chaque zone active de l'unité électroluminescente (i.e. une structure non seulement enrobante pour la face externe de cette zone active mais encore pour ses faces latérales) peut être précisément obtenue grâce à la photolithographie c'est-à-dire par insolation locale de la couche photosensible au moyen d'un masque et d'un développement de cette couche, cette gravure permettant de structurer et donc de localiser précisément ladite au moins une portion enveloppante de chaque zone active par rapport à la zone de connexion électrique adjacente devant être laissée libre et également par rapport aux portions enveloppantes des zones actives adjacentes. Avantageusement, la ou chaque couche photosensible Cl, Cn peut être à base d'une résine positive de photolithographie. Par « résine positive », on entend de manière connue une résine qui se polymérise lors de son dépôt, les parties insolées au rayonnement UV sélectivement à travers un masque étant dépolymérisées puis dissoutes lors du développement. En variante, cette résine peut être négative (i.e. par définition sa zone insolée se polymérisant et devenant ainsi insoluble lors du développement). Selon une autre caractéristique de l'invention, le ou chaque film FI, ..., Fn peut être déposé sur la ou chaque zone active par dépôt de couche atomique (« ALD ») ou bien par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (« PECVD »), et est à base d'au moins un composé inorganique choisi dans le groupe constitué par les composés de formule AIXOy, SiOx, SiXNy, SiOXNy, ZnSe, Sb2O3 et les oxydes transparents conducteurs (OTC) optionnellement combinés à un métal, tel que l'aluminium. Selon un premier mode de réalisation de l'invention, le ou chaque film FI, ..., Fn est déposé par « ALD » et est à base d'au moins un oxyde d'aluminium AIXOy optionnellement combiné à un composé de formule SiOX, SiXNy ou SiOXNy, et ladite au moins une portion enveloppante de la ou couche Cl, ..., Cn peut s'étendre alors sur l'unité électroluminescente au-delà de la périphérie de ce film. Selon un second mode de réalisation de l'invention, le ou chaque film FI, ... , Fn est déposé par « ALD » et est à base d'au moins un oxyde transparent conducteur (OTC) optionnellement combiné à un métal, tel qu'un oxyde de zinc de formule ZnO ou une couche mince ZnO:Al, et ladite au moins une portion enveloppante de la ou couche Cl, ..., Cn peut s'étendre alors au contact de la périphérie de ce film. On notera qu'en référence tant à ce premier qu'à ce second modes, le dépôt par voie humide de la ou chaque couche photosensible Cl, Cn est réalisable grâce aux excellentes qualités passivantes du film FI, ..., Fn avantageusement à base d'oxyde d'aluminium ou d'oxyde de zinc qui sert de pré-encapsulation. Avantageusement, la ou chaque couche Cl, ..., Cn isolant la ou chaque zone active peut être elle-même recouverte d'un film inorganique externe diélectrique à effet de barrière qui surmonte à la fois la ou chaque zone active en recouvrant la totalité de sa ou de sa dernière couche Cl, ..., Cn correspondante et sa zone de connexion adjacente, de sorte à isoler de l'extérieur ladite au moins une portion enveloppante de cette couche. Selon un autre aspect de l'invention, ledit dispositif peut être en outre pourvu d'une plaque de protection (réalisable en un matériau transparent à la lumière émise par l'unité électroluminescente, comme le verre ou une matière plastique) qui est collée sous pression sur la structure d'encapsulation surmontant la ou chaque zone active au moyen d'une colle, et ladite portion enveloppante relative à la ou chaque zone active présente des entailles lui conférant par exemple une forme régulièrement crénelée, de sorte à maximiser le contact entre la colle et les emplacements de l'unité électroluminescente situés entre deux portions enveloppantes adjacentes sans pénaliser l'adhésion de ces dernières sur cette unité. Selon une variante de réalisation de l'invention, la ou chaque couche Cl, ..., Cn peut être gravée de sorte que ladite au moins une portion enveloppante qu'elle présente comprenne une portion périphérique débordante qui déborde de manière continue au-delà dudit bord de la ou de chaque zone active en enrobant cette dernière, et au moins une portion périphérique enveloppante auxiliaire qui entoure de manière espacée cette portion débordante et qui, dans le cas de plusieurs portions auxiliaires, s'entourent mutuellement, et ledit film externe diélectrique à effet de barrière recouvre ces portions auxiliaires de sorte à former une pluralité de surfaces parallèles entre elles et perpendiculaires au plan du substrat qui forment autant d'obstacles à la pénétration latérale de vapeur d'eau vers cette zone active. Selon une autre caractéristique de l'invention, ledit dispositif optoélectronique peut comprendre une multitude de zones actives, telles que des microécrans, qui sont toutes surmontées par les films FI, ..., Fn et par les couches Cl, ..., Cn qui s'étendent chacune au-delà dudit bord sous-jacent mais à distance de ladite portion enveloppante adjacente de chaque zone active voisine, un film inorganique externe diélectrique surmontant optionnellement les couches ou dernières couches respectives des zones actives en recouvrant également leurs zones de connexion adjacentes. Avantageusement, ce dispositif peut former au moins un microécran couleur qui est défini par la ou chaque zone active et qui comporte des filtres colorés ou des moyens changeurs de couleurs en regard de points de couleur correspondants de chaque pixel du microécran. Encore plus avantageusement, ce dispositif peut comprendre un substrat revêtu sur l'une au moins de ses faces de l'unité électroluminescente de type « OLED » qui comporte au moins deux électrodes interne et externe entre lesquelles est intercalée une structure émettrice de lumière et dont l'une au moins est transparente à la lumière émise, et la structure d'encapsulation peut alors recouvrir l'électrode externe. Un procédé d'encapsulation selon l'invention d'un dispositif tel que défini ci-dessus comprend les étapes successives suivantes : a) on dépose un film inorganique interne FI sur ladite au moins une zone active, par exemple sur une électrode externe de ladite unité électroluminescente, par un dépôt de couche atomique (« ALD ») ou bien par un dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (« PECVD »), ce film FI étant à base d'au moins un composé inorganique de préférence choisi dans le groupe constitué par les composés de formule AIxOy, SiOx, SixNy, SiOxNY, ZnSe, Sb2O3 et les oxydes transparents conducteurs (OTC) optionnellement combinés à un métal, b) on recouvre l'unité électroluminescente d'une couche polymérique photosensible interne Cl déposée en phase liquide, pour que cette dernière recouvre de manière continue le ou chaque film FI et également la zone de connexion adjacente, optionnellement en déposant au préalable sur ce film FI un promoteur d'adhésion par exemple de type silane, c) on insole la couche Cl à des emplacements prédéterminés de l'unité électroluminescente en la masquant sélectivement des rayonnements d'insolation pour qu'elle soit, d'une part, polymérisée suite à cette insolationau-dessus de la ou chaque zone active recouverte du film FI et en ladite au moins une portion enveloppante à distance de celle de la ou de chaque zone active adjacente et, d'autre part, dépolymérisée sur le reste de la surface de l'unité incluant la ou chaque zone de connexion, de sorte que la couche Cl polymérisée enrobe le film FI et la ou chaque zone active en les protégeant vis-à-vis de l'étape d), d) on développe la couche Cl polymérisée par trempage dans un bain e.g. de type tétraméthyl ammonium hydroxyde (TMAH), optionnellement suivi d'une insolation complémentaire de la couche Cl, puis e) on répète optionnellement ces étapes a) à d) au moins une fois en déposant au moins un autre empilement film inorganique F2, ..., Fn / couche polymérique photosensible C2, ..., Cn , avec le ou chaque film F2, ..., Fn déposé sur la couche Cl, ..., Cn-1 et la ou chaque couche C2, ..., Cn polymérisée de manière enveloppante par rapport à la couche Cl, ..., Cn-1. On notera que l'étape a) est de préférence mise en oeuvre par «ALD », dépôt réalisable à basse température et permettant d'obtenir un film de densité élevée et de perméabilité très réduite qui épouse au plus près les micro- ou nanoreliefs de la surface sous-jacente. On notera également que ce film déposé par « ALD » permet l'usage de solvants polaires ou apolaires, e.g. l'éthanol, l'eau, acétone et de 2958795 s solutions de développement/stripping de résines photosensibles tels que celles de dénominations TMAH et ROR. Quant à l'étape b), elle peut être mise en oeuvre par toute technique d'enduction comme par exemple à la tournette ou via un 5 revêtement par immersion ou « dip-coating ». De préférence, on utilise à titre de polymère photosensible pour la couche Cl, ..., Cn une résine positive de photolithographie et, à l'étape c), l'on masque sélectivement la ou chaque couche photosensible surmontant la ou chaque zone active au moyen d'un masque débordant en 10 regard dudit bord périphérique pour que cette couche y soit protégée de l'insolation en demeurant polymérisée y compris en ladite au moins une portion enveloppante correspondante, au contraire du reste de cette couche qui est dépolymérisée par cette insolation en vue de sa dissolution. Conformément au premier mode précité de réalisation de 15 l'invention, l'on utilise pour le ou chaque film FI, ..., Fn à déposer à l'étape a) au moins un composé inorganique diélectrique choisi dans le groupe constitué par les composés de formule AIXOy, SiOX, SiXNy, SiOXNy, ZnSe et Sb203 et, suite à l'étape d), ladite au moins une portion enveloppante de la ou de chaque couche Cl, ..., Cn s'étend sur l'unité électroluminescente au-delà de 20 la périphérie de ce film. Conformément au second mode précité de réalisation de l'invention, l'on utilise pour le ou chaque film FI, ..., Fn à déposer à l'étape a) au moins un oxyde transparent conducteur (OTC) optionnellement combiné à un métal, tel qu'un oxyde de zinc de formule ZnO ou une couche mince 25 ZnO:Al et, suite à l'étape d), on réalise une gravure humide de ce film en utilisant à titre de masque la couche Cl, ..., Cn polymérisée surmontant la ou chaque zone active de manière débordante, de sorte que ladite au moins une portion enveloppante de cette couche s'étende au contact de la périphérie de ce film et que ce dernier soit enlevé de l'unité partout ailleurs. 30 Selon une autre caractéristique de l'invention, l'on peut mettre en oeuvre suite à l'étape d) une gravure sèche par exemple par gravure ionique réactive (« RIE ») ou par un plasma d'oxygène, de la ou de chaque couche Cl, ..., Cn polymérisée pour réduire son épaisseur et donc satisfaire aux spécifications des microécrans concernant le problème des perturbations entre pixels (« cross-talk » en anglais). Selon une autre caractéristique de l'invention, l'on peut met en oeuvre suite à l'étape d) et éventuellement suite à cette gravure sèche un dépôt conformant à basse température d'un film inorganique externe à effet de barrière qui surmonte à la fois la ou chaque zone active en recouvrant la totalité de la couche Cl, ..., Cn correspondante et sa zone de connexion adjacente, de sorte à isoler de l'extérieur ladite au moins une portion enveloppante de cette couche, ce dépôt conformant étant de préférence réalisé par un dépôt de couche atomique (« ALD ») ou un dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (« PECVD ») d'au moins un composé diélectrique. On notera que la structure d'encapsulation ainsi obtenue constitue une encapsulation monolithique robuste et que, dans le cas spécifique où l'épaisseur de l'empilement barrière revêt une importance particulière (cas des microécrans notamment où l'empilement doit être suffisamment fin afin d'éviter le « cross-talk » entre pixels), l'amincissement de la couche Cl, ..., Cn par la gravure sèche précitée permet de parfaitement contrôler l'intervalle, au moins dans l'empilement barrière, entre chaque pixel du microécran et le filtre coloré correspondant. D'autres avantages, caractéristiques et détails de l'invention ressortiront du complément de description qui va suivre en référence aux dessins annexés, donnés uniquement à titre d'exemples et dans lesquels : la figure 1 est une vue schématique en coupe transversale d'un dispositif à microécran(s) selon le premier mode de l'invention en cours de fabrication, suite à l'étape b) d'enduction de l'unité électroluminescente par la couche à résine positive Cl recouvrant notamment un film diélectrique FI, la figure 2 est une vue schématique en coupe transversale du dispositif de la figure 1 montrant l'étape c) d'insolation de cette couche Cl, i0 la figure 3 est une vue schématique en coupe transversale du dispositif de la figure 2 suite à l'étape d) de développement de la couche Cl, la figure 4 est une vue schématique en coupe transversale du dispositif de la figure 3 montrant une étape ultérieure de gravure sèche mise en oeuvre sur la couche Cl insolée et développée, la figure 5 est une vue schématique en coupe transversale du dispositif de la figure 4 montrant le résultat d'une étape de dépôt d'un film barrière inorganique sur la couche Cl suite à cette étape de gravure sèche, la figure 6 est une vue schématique en coupe transversale du dispositif de la figure 4 en fin de fabrication selon ce premier mode de l'invention, suite à une étape finale de collage d'un capot transparent de protection muni de filtres colorés sur le dispositif de la figure 5, la figure 7 est une vue schématique partielle de dessus de deux champs d'un dispositif à quatre microécrans où est représentée pour l'un deux la portion enveloppante d'une couche photosensible gravée Cl selon un exemple de l'invention en relation avec les microécrans voisins, la figure 8 est une vue schématique de dessus d'un microécran d'un dispositif selon l'exemple de l'invention visible à la figure 7, montrant un exemple de recouvrement débordant de la couche photosensible gravée vis-à-vis de la zone active de ce microécran, la figure 9 est une vue schématique partielle de dessus d'un microécran d'un dispositif selon une variante de l'invention par rapport à la figure 8, montrant un recouvrement avec portion enveloppante crénelée de la couche photosensible gravée vis-à-vis de la zone active de ce microécran, la figure 10 est une vue schématique en coupe transversale d'un dispositif à microécran(s) selon le second mode de l'invention en cours de fabrication, suite à l'étape d) de développement d'une couche insolée à résine positive Cl recouvrant un film conducteur FI' déposé sur toute l'unité, la figure 11 est une vue schématique en coupe transversale du dispositif de la figure 10 suite à une étape ultérieure de gravure humide de ce film FI' pour sa suppression sélective au-delà de la couche Cl, Il la figure 12 est une vue schématique en coupe transversale du dispositif de la figure 11 suite à une étape de dépôt d'un film barrière inorganique sur cette couche Cl faisant suite à cette gravure humide, la figure 13 est un graphique relatif aux propriétés optiques du film inorganique conducteur FI' selon ce second mode de l'invention, montrant deux courbes respectivement de constantes optiques n et k en fonction de la longueur d'onde émise, la figure 14 est une vue schématique de dessus d'un microécran d'un dispositif selon un autre exemple de l'invention, montrant pour la couche photosensible Cl recouvrant ce microécran surmonté d'un film inorganique FI, deux portions enveloppantes auxiliaires espacées autour d'une portion enveloppante débordant continûment de la zone active, et la figure 15 est une vue schématique en coupe transversale du microécran de la figure 14 montrant en outre un capot transparent de protection collé sur un film barrière inorganique externe surmontant cette même couche Cl. La structure d'encapsulation multicouches 1, 101, 201 illustrée sur ces figures recouvre par exemple la face d'émission externe d'un dispositif optoélectronique électroluminescent 2, dont les composants sensibles sont à protéger de l'humidité et de l'oxygène de l'air ambiant. Le dispositif optoélectronique 2 illustré est par exemple de type microécran « OLED », comprenant de manière connue un substrat 3 typiquement en silicium revêtu d'une unité électroluminescente 4 définissant une zone active 5 et une zone de connexion électrique 6. L'unité électroluminescente 4 comporte deux électrodes interne et externe (non visibles) entre lesquelles est intercalée une structure émettrice de lumière (non illustrée), l'une au moins des électrodes (dans cet exemple l'électrode externe telle que la cathode) étant transparente ou semi-transparente à la lumière émise afin de la faire rayonner via la zone active 5 vers l'extérieur du dispositif 2. L'électrode externe est de préférence constituée d'un métal tel que l'argent, l'aluminium ou le samarium pour les propriétés de transparence de ces métaux dans le domaine visible ainsi que pour leur conductivité électrique à faible épaisseur (l'épaisseur de l'électrode externe est par exemple comprise entre 10 nm et 30 nm). La structure émettrice « OLED » est par exemple constituée d'un empilement de films organiques conçu pour transférer les électrons et les trous qui proviennent des électrodes et qui sont recombinés pour générer des excitons et donc l'émission de lumière. Comme notamment visible à la figure 6, une structure d'encapsulation 1 peut comprendre, selon le premier mode de l'invention : - un film inorganique diélectrique interne FI de « préencapsulation » déposé de préférence par « ALD » sur chaque zone active 5 de l'unité « OLED », qui est par exemple à base d'un oxyde AI2O3 déposé selon une épaisseur comprise entre 10 nm et 25 nm optionnellement combiné à un dépôt « PECVD » de Si3N4 ou SiO2 (e.g. AI2O3 « ALD » / Si3N4 ou AI2O3 « ALD » / SiO2), ou encore à base d'un empilement d'une ou plusieurs multicouches AI2O3/ZnO (l'ensemble de l'empilement pouvant être réalisé par « ALD »), - une couche polymérique Cl par exemple à base d'une résine photosensible positive de dénomination « TELR-P002 » OU « JSR420 », qui recouvre de manière enveloppante chaque zone active 5 recouverte du film FI en débordant continûment de la périphérie de ce film F1 mais à distance de la zone de connexion 6 adjacente et des autres couches polymériques Cl enveloppant les zones actives voisines 5, - un film inorganique diélectrique externe Fe à effet de barrière qui recouvre continûment la totalité de l'unité « OLED » (zones de connexion 6 incluses) et qui est de préférence déposé par « ALD », « PECVD » ou « PVD » de Si3N4, d'AI2O3/Si3N4 ou de SiO2 par exemple, et - un capot de protection 7 (par exemple en verre ou en matière plastique) qui est pourvu sur sa face interne de filtres optiques colorés R, V, B disposés en regard des points de couleur correspondants de chaque pixel de microécran et qui est assemblé sous pression sur celui-ci via une colle 8 (de préférence acrylate ou époxy) réticulable par un rayonnement UV. La figure 1 illustre le « couchage » à la tournette de la couche Cl formée de la résine positive sur la totalité de l'unité « OLED » (selon une épaisseur de 1 pm environ), zone de connexion 6 incluse, étant précisé que la zone active 5 de microécran a été préalablement revêtue du film inorganique FI, avec optionnellement utilisation d'un promoteur d'adhésion de type HMDS (étuve à 110° C et pendant 30 s) préalablement à ce couchage. On peut réaliser un recuit (« bake » en anglais) de la résine à une température de recuit compatible avec les dispositifs organiques du type « OLED » qui peut être inférieure à 110° C pour les « OLED » à petites molécules et à 140° C pour les « OLED » à polymères (également appelées « PLED » pour « Polymer Light Emitting Diode »). La figure 2 montre l'insolation de la couche Cl au-delà de la zone active 5 du microécran mais en deçà de la zone de connexion 6 adjacente comportant les plots de contact afin de la laisser libre pour la prise de contact ultérieure en unité de fabrication finale (« back-end » en anglais), grâce au masque de photolithographie 9 surmontant de manière débordante cette zone active 5 et s'opposant ainsi à la dépolymérisation de la résine engendrée par le rayonnement UV d'insolation. Comme illustré à la figure 7, on veille à définir une surface maximum autorisée pour chaque portion débordante structurée 10 de la couche Cl insolée qui est représentée par une distance (xi, i=0, ..., 3) entre le bord périphérique 5a de chaque zone active 5 de microécran et le bord périphérique du masque 9 (lequel définit également le bord final de cette portion 10). En effet, la distance xi joue un rôle important contre la pénétration latérale par diffusion de vapeur d'eau dans le dispositif et doit être la plus grande possible afin de retarder cette pénétration. Cette distance xi doit être également choisie en fonction de la disposition des autres microécrans contenus dans le champ concerné par le masquage (champ de « stepper » en anglais) et dans les champs mitoyens. Les différentes distances xi peuvent donc être différentes. On peut réaliser un découpage à la scie sous forme de dés (« dicing » en anglais) dans le champ même, et ce entre les quatre microécrans du champ dans l'exemple de la figure 7 avec dans ce cas les distances xi qui doivent en plus tenir compte de la largeur des traits de scie. On peut avantageusement, dans le cas d'un design avec quatre écrans par champ, respecter les conditions dimensionnelles suivantes pour ces distances xi : xOsLO - xl La figure 5 montre le résultat d'une étape ultérieure de dépôt conformant à basse température (de préférence par « ALD » ou « PECVD ») sur la couche Cl du film diélectrique externe Fe à effet de barrière, pour fermer de manière étanche la portion débordante 10 de la couche Cl et éviter ainsi la diffusion latérale d'eau à travers cette couche Cl. La figure 6, comme indiqué plus haut, est un exemple de conditionnement protecteur avec le capot 7 muni des filtres colorés R, V, B pour le microécran. La figure 8 montre une géométrie possible pour la portion périphérique débordante 10 de la couche photosensible Cl enveloppant un microécran selon l'invention, où cette portion débordante 10 présente un contour rectangulaire de largeur constante, alors que la variante de la figure 9 montre une portion enveloppante 110 rectangulaire crénelée par exemple en forme de timbre-poste pour optimiser l'adhésion ultérieure de la colle 8 du capot 7 entre les microécrans individuels dépourvus de la couche Cl et à séparer par découpe, tout en conservant une largeur débordante suffisante pour que la couche Cl enveloppe la zone active 5 du microécran de sorte à différer suffisamment la diffusion de vapeur d'eau et à adhérer suffisamment à l'unité « OLED » 4. La structure d'encapsulation 101 pour microécran selon le second mode de l'invention dont la fabrication est illustrée aux figures 10 à 12 se différencie essentiellement de celle des figures 1 à 6, en ce que l'on dépose en lieu et place du film inorganique diélectrique FI un film FI' transparent également inorganique et déposé par « ALD » mais qui est électriquement conducteur en étant de préférence constitué de ZnO ou de ZnO:Al. Ce film FI' à base d'un tel oxyde transparent conducteur déposé par « ALD » présente notamment les trois avantages suivants : - il peut être déposé à une température inférieure à 100° C, ce qui convient pour ne pas altérer les composants de l'unité « OLED », - comme le montre le graphique de constantes optiques n et k de la figure 13 (mesures « WOOLAM » effectuées avec un appareil « Savannah 200 »), ce film FI' forme une excellente sous-couche notamment du fait que la constante n est élevée dans le domaine visible (sa valeur moyenne étant sensiblement égale à 2), et - son dépôt par « ALD » contribue à l'obtention d'une encapsulation de qualité. Comme visible à la figure 10, on commence par déposer ce film FI' sur toute la surface de l'unité « OLED » 4 (zone de connexion 6 incluse) avant l'enduction, l'insolation et le développement de la couche photosensible Cl qui est débordante vis-à-vis de la zone active 5 à l'instar de celle du premier mode de l'invention. On notera que ce revêtement initial du film conducteur FI' a pour effet de mettre les champs et les zones de connexion 6 en court-circuit. Comme visible à la figure 11, on met ensuite en oeuvre une étape ultérieure de gravure humide du film F1' (par exemple avec une solution acide, par exemple à base d'HCI dilué dans de l'eau désionisée) pour sa suppression sélective au-delà de la couche polymérisée Cl (donc notamment à l'emplacement de la zone de connexion 6), cette gravure humide étant réalisée en utilisant cette couche Cl comme masque. Et comme visible à la figure 12, on met ensuite en oeuvre une étape de dépôt sur toute l'unité « OLED » 4 d'un film barrière inorganique Fe (par exemple d'AI203 déposé par « ALD ») sur cette couche Cl, à l'instar du premier mode de l'invention. La structure d'encapsulation 201 selon la variante de l'invention illustrée aux figures 14 et 15 a sa couche photosensible Cl recouvrant la zone active 5 du microécran (laquelle zone active 5 est entourée d'un anneau de cathode 5b formant l'électrode externe et est surmontée d'un film inorganique FI par exemple analogue à celui des figures 1 à 6) qui présente deux portions enveloppantes auxiliaires 211 et 212 espacées de manière périphérique, via un masque de photolithographie adapté, autour d'une portion enveloppante centrale 210 débordant continûment de la zone active 5. Plus précisément, on voit à la figure 15 que ces portions auxiliaires 211 et 212 forment des reliefs (de section transversale rectangulaire dans l'exemple de la figure 15) de même hauteur égale à celle de la portion centrale 210, et ces portions auxiliaires 211 et 212 sont reliées entre elles au niveau de leurs bases par le film diélectrique externe Fe à effet de barrière (par exemple à base d'AI2O3 déposé par « ALD », à titre non limitatif) qui revêt à la fois leurs sommets 211a, 212a et leurs flancs 211b, 212b. Et comme visible à la figure 15 où est en outre représenté le capot transparent de protection 7 collé sur le film barrière inorganique externe Fe surmontant la couche Cl, ces deux portions enveloppantes auxiliaires 211 et 212 obtenues par photolithographie permettent de minimiser encore davantage la pénétration latérale par diffusion de la vapeur d'eau extérieure, grâce à la multiplication des interfaces à effet de barrière du film externe Fe recouvrant les flancs 211b et 212b des portions auxiliaires 211 et 212 (quatre flancs dans l'exemple de la figure 15). REVENDICATIONS1) Dispositif optoélectronique organique (2), tel qu'un dispositif d'affichage, d'éclairage ou de signalisation à diodes électroluminescentes organiques (« OLED »), ce dispositif présentant une unité électroluminescente (4) présentant au moins une zone active (5) d'émission lumineuse revêtue d'une structure multicouches d'encapsulation (1, 101, 201) étanche et une zone de connexion électrique (6) adjacente à la ou chaque zone active, la structure d'encapsulation comprenant n empilement(s) (n 1) film inorganique F1, ..., Fn / couche polymérique photosensible Cl, ..., Cn incluant un empilement interne F1/C1 où le film FI recouvre la ou chaque zone active et est surmonté par la couche Cl qui est déposée en phase liquide, caractérisé en ce que la ou chaque couche Cl, ..., Cn est gravée et recouvre le film F1, Fn en s'étendant autour d'un bord périphérique (5a) de la ou de chaque zone active en au moins une portion enveloppante structurée (10, 110, 210, 211, 212) se terminant en deçà de la zone de connexion adjacente, et en ce que si n 2 la ou chaque couche C2, ..., Cn est structurée de manière enveloppante par rapport à la couche Cl, ..., Cn-1 de l'empilement immédiatement sous-jacent, de telle sorte que la ou chaque couche Cl, ..., Cn passive le film FI, ..., Fn et protège latéralement la ou chaque zone active sous-jacente des solvants et solutions de développement utilisés pour la gravure de cette couche Cl, ..., Cn. 2) Dispositif (2) selon la revendication 1, caractérisé en ce que 25 la ou chaque couche Cl, ..., Cn est à base d'une résine positive de photolithographie. 3) Dispositif (2) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le ou chaque film FI, ..., Fn est déposé par dépôt de couche atomique 30 (« ALD ») ou bien par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (« PECVD »), et est à base d'au moins un composé inorganique choisi dans le groupe constitué par les composés de formule AIXOy, SiOX, SiXNy, SiOxNY,ZnSe, Sb203 et les oxydes transparents conducteurs (OTC) optionnellement combinés à un métal. 4) Dispositif (2) selon la revendication 3, caractérisé en ce que le ou chaque film FI, ..., Fn est déposé par « ALD » et est à base d'au moins un oxyde d'aluminium AIxOy optionnellement combiné à un composé de formule SiOx, SixNy ou SiOXNy, et en ce que ladite au moins une portion enveloppante (10, 110, 210, 211, 212) de la ou chaque couche Cl, ..., Cn s'étend sur l'unité électroluminescente (4) au-delà de la périphérie de ce film. 5) Dispositif (2) selon la revendication 3, caractérisé en ce que le ou chaque film (F1') est déposé par « ALD » et est à base d'au moins un oxyde transparent conducteur (OTC) optionnellement combiné à un métal, tel qu'un oxyde de zinc de formule ZnO ou une couche mince ZnO:Al, et en ce que ladite au moins une portion enveloppante (10) de la ou chaque couche Cl, ..., Cn s'étend au contact de la périphérie de ce film. 6) Dispositif (2) selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la ou chaque couche Cl, ..., Cn isolant la ou chaque zone active (5) est elle-même recouverte d'un film inorganique externe diélectrique (Fe) à effet de barrière qui surmonte à la fois la ou chaque zone active en recouvrant la totalité de sa ou de sa dernière couche Cl, ..., Cn correspondante et sa zone de connexion (6) adjacente, de sorte à isoler de l'extérieur ladite au moins une portion enveloppante (10, 110, 210, 211, 212) de cette couche. 7) Dispositif (2) selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est en outre pourvu d'une plaque de protection (7) qui est collée sous pression sur la structure d'encapsulation (1, 201) surmontant la ou chaque zone active (5) au moyen d'une colle (8), et en ce que ladite portion enveloppante (110) relative à la ou à chaque zone active présente des entailles lui conférant par exemple une forme régulièrement crénelée, de sorteà maximiser le contact entre la colle et les emplacements de l'unité électroluminescente (4) situés entre deux portions enveloppantes adjacentes sans pénaliser l'adhésion de ces dernières sur cette unité. 8) Dispositif (2) selon la revendication 6, caractérisé en ce que la ou chaque couche Cl, ..., Cn est gravée de sorte que ladite au moins une portion enveloppante qu'elle présente comprenne une portion périphérique enveloppante débordante (210) qui déborde de manière continue au-delà dudit bord (5a) de la ou de chaque zone active (5) en enrobant cette dernière, et au moins une portion périphérique enveloppante auxiliaire (211, 212) qui entoure de manière espacée cette portion débordante et qui, dans le cas de plusieurs portions auxiliaires, s'entourent mutuellement, et en ce que ledit film inorganique externe diélectrique (Fe) à effet de barrière recouvre ces portions auxiliaires de sorte à former une pluralité de surfaces parallèles entre elles et perpendiculaires au plan du substrat (3) qui forment autant d'obstacles à la pénétration latérale de vapeur d'eau vers la ou chaque zone active. 9) Dispositif (2) selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une multitude de zones actives (5), telles que des microécrans, qui sont toutes surmontées par les films FI, ..., Fn et par les couches Cl, ..., Cn qui s'étendent chacune au-delà dudit bord sous-jacent mais à distance de ladite portion enveloppante (10, 110, 212) adjacente de chaque zone active voisine, un film inorganique externe diélectrique (Fe) surmontant optionnellement les couches ou dernières couches respectives (Cl) des zones actives en recouvrant également leurs zones de connexion (6) adjacentes. 10) Dispositif (2) selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il forme au moins un microécran couleur qui est défini par la ou chaque zone active (5) et qui comporte des filtres colorés (R, V, B) ou des moyens changeurs de couleurs en regard de points de couleur correspondants de chaque pixel du microécran. 11) Dispositif (2) selon une des revendications précédentes comprenant un substrat (3) revêtu sur l'une au moins de ses faces de ladite unité électroluminescente (4) de type « OLED » qui comporte au moins deux électrodes interne et externe entre lesquelles est intercalée une structure émettrice de lumière et dont l'une au moins est transparente à la lumière émise, caractérisé en ce que la structure d'encapsulation (1, 101, 201) recouvre ladite électrode externe. 12) Procédé d'encapsulation d'un dispositif (2) selon une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes successives suivantes : a) on dépose un film inorganique interne FI sur ladite au moins une zone active (5), par exemple sur une électrode externe de l'unité électroluminescente, par un dépôt de couche atomique (« ALD ») ou bien par un dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (« PECVD »), ce film FI étant à base d'au moins un composé inorganique de préférence choisi dans le groupe constitué par les composés de formule AIXOy, SiOx, SixNy, SiOXNy, ZnSe, Sb2O3 et les oxydes transparents conducteurs (OTC) optionnellement combinés à un métal, b) on recouvre l'unité électroluminescente (4) d'une couche polymérique photosensible interne Cl déposée en phase liquide par exemple à la tournette, pour que cette dernière recouvre de manière continue le ou chaque film FI et également la zone de connexion (6) adjacente, optionnellement en déposant au préalable sur ce film FI un promoteur d'adhésion par exemple de type silane, c) on insole la couche Cl à des emplacements prédéterminés de l'unité électroluminescente en la masquant sélectivement des rayonnements d'insolation pour qu'elle soit, d'une part, polymérisée suite à cette insolation au-dessus de la ou de chaque zone active recouverte du film FI et en ladite au moins une portion enveloppante (10, 110, 210, 211, 212) à distance de celle de la ou de chaque zone active adjacente et, d'autre part,dépolymérisée sur le reste de la surface de l'unité incluant la ou chaque zone de connexion, de sorte que la couche Cl polymérisée enrobe le film FI et la ou chaque zone active en les protégeant vis-à-vis de l'étape d), d) on développe la couche Cl polymérisée par trempage dans un bain par exemple de type tétraméthyl ammonium hydroxyde, optionnellement suivi d'une insolation complémentaire de la couche Cl, puis e) on répète optionnellement ces étapes a) à d) au moins une fois en déposant au moins un autre empilement film inorganique F2, ..., Fn / couche polymérique photosensible C2, ..., Cn , avec le ou chaque film F2, ..., Fn déposé sur la couche Cl, ..., Cn-1 et la ou chaque couche C2, ..., Cn polymérisée de manière enveloppante par rapport à la couche Cl, ..., Cn-1. 13) Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'on utilise à titre de couche Cl, ..., Cn une couche à base d'une résine positive de photolithographie, et en ce qu'à l'étape c) l'on masque sélectivement la couche Cl, ..., Cn surmontant la ou chaque zone active au moyen d'un masque (9) débordant en regard dudit bord périphérique (5a) pour que cette couche y soit protégée de l'insolation en demeurant polymérisée y compris en ladite au moins une portion enveloppante (10, 110, 210, 211, 212) correspondante, au contraire du reste de cette couche Cl, ..., Cn qui est dépolymérisée par cette insolation en vue de sa dissolution. 14) Procédé selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que l'on utilise pour le ou chaque film FI, ..., Fn à déposer à l'étape a) au moins un composé inorganique diélectrique choisi dans le groupe constitué par les composés de formule Al Oy, SiOX, SiXNY, SiOXNy, ZnSe et Sb2O3, et en ce que suite à l'étape d) ladite au moins une portion enveloppante (10, 110, 210, 211, 212) de la ou de chaque couche Cl, ..., Cn s'étend sur l'unité électroluminescente (4) au-delà de la périphérie de ce film. 15) Procédé selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que l'on utilise pour le ou chaque film (F1') à déposer à l'étape a) au moinsun oxyde transparent conducteur (OTC) optionnellement combiné à un métal, tel qu'un oxyde de zinc de formule ZnO ou une couche mince ZnO:AI, et en ce que suite à l'étape d) on réalise une gravure humide de ce film en utilisant à titre de masque la couche Cl, ..., Cn polymérisée surmontant la ou chaque zone active (5) de manière débordante, de sorte que ladite au moins une portion enveloppante (10) de cette couche s'étende au contact de la périphérie de ce film et que ce dernier soit enlevé de l'unité (4) partout ailleurs. 16) Procédé selon une des revendications 12 à 15, caractérisé en ce que l'on met en oeuvre suite à l'étape d) une gravure sèche par exemple par gravure ionique réactive (« RIE ») ou par un plasma d'oxygène, de la ou de chaque couche Cl, ..., Cn polymérisée pour réduire son épaisseur. 17) Procédé selon une des revendications 12 à 16, caractérisé en ce que l'on met en oeuvre suite à l'étape d) un dépôt conformant à basse température d'un film inorganique externe (Fe) à effet de barrière qui surmonte à la fois la ou chaque zone active (5) en recouvrant la totalité de la couche Cl, ..., Cn correspondante et sa zone de connexion (6) adjacente, de sorte à isoler de l'extérieur ladite au moins une portion enveloppante (10, 110, 210, 211, 212) de cette couche, ce dépôt conformant étant de préférence réalisé par un dépôt de couche atomique (« ALD ») ou un dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (« PECVD ») d'au moins un composé diélectrique.