Brevet FR2949172A1 — publié le 20110218

ASSEMBLAGE HERMETIQUE DE DEUX COMPOSANTS ET PROCEDE DE REALISATION D'UN TEL ASSEMBLAGE DOMAINE DE L'INVENTION Le domaine technique auquel se rapporte l'invention est celui de la microélectronique. Elle concerne plus particulièrement les dispositifs requérant simultanément la connexion verticale (mieux connue sous l'expression anglo-saxonne �flip-chip �) de deux 10 composants et une protection hermétique des composants de type SOC (acronyme de l'expression anglo-saxonne �System on Chip �). La présente invention présente un intérêt tout particulier pour les dispositifs ne supportant pas des températures élevées de packaging, fonctionnant dans une atmosphère particulière 15 ou nécessitant une protection poussée contre les agressions extérieures, tels que des imageurs bolométriques capotés collectivement sous vide sur tranche CMOS (acronyme de l'expression anglo-saxonne � Complementary Meta/ Oxide Semiconductor �). ETAT ANTERIEUR DE LA TECHNIQUE 20 Le capotage C2W (� chip to wafer �) sur tranche de composants électroniques est par exemple décrit dans le papier IMAPS 2008 (Lecarpentier et al., Proceeding 4th conference on device packaging , Scottsdale AZ, march 2008, DP08-TAI -P06). Ce document décrit la combinaison de la technique � chip to wafer � avec la technique de 25 refusion (�flux less soldering �), sous atmosphère contrôlée, pour assurer un assemblage hermétique. Cette publication démontre ainsi la mise en oeuvre d'un procédé par ailleurs décrit dans le document FR 2 780 200. De manière générale, celui-ci propose d'encapsuler un 30 composant disposé sur un support à l'aide d'un capot, grâce à un moyen de scellement entourant le composant et au moins une cale en matériau fusible de hauteur initiale supérieure à celle des moyens de scellement, de sorte à positionner correctement le capot avant la fusion.5 Il s'avère que dans toutes les techniques de capotage sur tranche proposées dans l'art antérieur, une étape de mise en température est en général nécessaire pendant l'assemblage : elle permet d'assurer l'assemblage du capot de protection sur les composants à protéger, grâce à un cordon de scellement réalisé sous la forme par exemple d'une soudure métal, d'une soudure laser ou d'une soudure verre. Or, certains composants ne peuvent tolérer de tels stress thermiques. Par ailleurs, les techniques proposées exigent l'application d'une force lors du scellement hermétique. Or, certains composants ne peuvent tolérer de telles contraintes mécaniques. Dans le domaine des connexions verticales à proprement parler, il a été proposé, notamment dans le document WO 2006/054005, de réaliser un lien simultanément électrique et mécanique entre deux composants, en utilisant des techniques d'insertion à basse température et à faible force d'un matériau dur dans un matériau mou. Il existe un besoin évident de développer de nouvelles solutions techniques permettant d'assembler deux composants et d'assurer simultanément les fonctions de connexion verticale et d'herméticité, sans les inconvénients sus-mentionnés de l'art antérieur. 20 EXPOSE DE L'INVENTION Ainsi, le Demandeur a conçu des composants autorisant un assemblage vertical hermétique. Selon un premier aspect, l'invention concerne donc un tel assemblage hermétique, illustré à la figure 1. Cet assemblage se caractérise par la présence d'au moins deux composants à connecter verticalement, de type puce/tranche (� chie to wafer � - C2W) ou tranche/tranche (� wafer to wafer� - W2W). 30 La présente application trouve donc de nombreuses applications, notamment concernant : - le capotage C2W ou W2W pour tous types d'applications : bolomètres, mems, détecteurs de gaz, optique hermétique, biochips, infrarouge refroidi, ... - les matrices de détection bolométriques avec un capot transparent ou munies d'optiques proches (réseaux, filtres, ...) ; l'invention rendant l'alignement du capot 35 et de la matrice de détection à mieux que +/-1�m, il est possible de réaliser des couches sur la face supérieure ou inférieure du capot. 15 25 A titre d'exemple privilégié, il peut donc s'agir d'un assemblage entre un capot, présentant avantageusement des filtres au niveau de la cavité centrale, et un bolomètre, présentant avantageusement des clous au niveau de la cavité centrale. Plus précisément, le premier composant de l'assemblage comporte un support comprenant à sa surface au moins une cale constituée d'un matériau ductile, disposée en périphérie ; et au moins un cordon constitué d'un matériau ductile, définissant une cavité ou un espace. De manière complémentaire, le second composant comporte un support comprenant à sa surface : au moins un insert, inséré sur toute ou partie de sa surface dans la cale ; au moins un insert en cordon, inséré sur toute ou partie de sa surface dans le cordon, définissant ainsi une cavité centrale hermétique. La ou les cales, se présentant avantageusement sous forme de billes, est (sont) donc avantageusement réalisée(s) en un matériau ductile ou mou, avantageusement un métal (par exemple cuivre, aluminium, indium, soudure et/ou composés à base d'étain), dans lequel peut être inséré un insert réalisé dans un matériau présentant une dureté supérieure. Ces cales sont avantageusement disposées en périphérie du support, de manière préférentiellement symétrique. Cette disposition a pour intérêt de conférer une plus grande stabilité à l'assemblage, notamment, comme il sera détaillé ci-dessous, lors de l'étape de préinsertion. La présence de ces cales permet en outre de libérer un espace entre les moyens de scellement, en l'espèce le cordon et l'insert en cordon pour assurer le pompage, notamment de gaz, dans la cavité qu'ils sont appelés à définir. Typiquement, ces cales sont au nombre de 4, disposés aux quatre coins du support. Le cordon constituant un deuxième élément de soudure, caractéristique du premier composant, est un moyen de scellement ou d'étanchéité de la cavité. Plus particulièrement, 35 il s'agit d'un élément en cordon ou en anneau, ci-après dénommé cordon. Dans la mesure où il est également destiné à recevoir un insert, il est avantageusement réalisé en un30 matériau ductile ou mou, avantageusement un métal (par exemple cuivre, aluminium, indium, soudure et/ou composés à base d'étain), présentant une dureté inférieure à celle de l'insert. Ce matériau est éventuellement de même nature que celui constitutif des cales. Avantageusement, les cales sont situées à l'extérieur du cordon. Ainsi, le cordon définit une zone centrale qui, dans l'assemblage, constitue une cavité centrale hermétique, isolée de l'extérieur et pouvant acceuillir un composant à protéger. Plusieurs cordons concentriques, notamment deux, peuvent être envisagés à la surface de ce premier composant. Selon un autre mode de réalisation avantageux de l'invention, la hauteur initiale des cales est supérieure à celle du cordon. Ainsi et comme il sera détaillé ci-dessous, ces éléments jouent réellement leur rôle de cale en particulier lors de l'étape de préinsertion : Avant insertion, la cale empêche les moyens de scellement (cordon) de relier les deux supports alors qu'après insertion, elle permet un contact étanche des moyens de scellement (cordon) avec les deux supports. Dans certaines conditions, ces cales subissent une déformation mécanique dans l'assemblage et se trouvent donc écrasées ou comprimées. Selon cette configuration, la hauteur de l'insert du second composant est inférieure à la hauteur de la cale du premier composant. Ainsi, lors de l'étape de préinsertion, la force exercée sur le second composant et/ou la surface du second composant au voisinage de l'insert va déformer ou comprimer la cale jusqu'à ce que ledit insert vienne en butée sur le premier composant. Le second composant se caractérise, quant à lui, par la présence de deux jeux d'inserts situés à la surface du support : - un premier jeu d'inserts, appelés inserts de préinsertion ou de surélévation, destinés à être insérés dans les cales telles que définies ci-dessus. Leur nombre, leur positionnement et leur dimension dépendent donc de ceux des cales ; - un second jeu d'inserts, appelés inserts en cordon ou en anneau, destinés à être insérés dans le cordon tel que défini ci-dessus. Leur nombre, leur positionnement et leur dimension dépendent donc de ceux du cordon. Avantageusement, les deux jeux d'inserts sont réalisés dans le même matériau, présentant une dureté supérieure à celles de la cale et du cordon. Ceux-ci sont de préférence réalisés à l'aide de W, WN, WSi, Pt, Ti, TiW ou peuvent être bicouches, constitués d'une couche de métal recouverte d'une couche d'or. Selon un autre mode de réalisation privilégié de l'invention, les deux jeux d'inserts présentent une hauteur similaire voire identique. Par ailleurs et de manière privilégiée, au moins un de ces inserts voire la totalité sont creux. Des inserts creux ont déjà été décrits, par exemple dans la publication ECTC 2008 (Saint-Patrice et al., Proceedings Electronic and Components Technology Conference, Orlando, 2008, pp 46-53). Ils peuvent présenter une section annulaire, notamment ronde ou ovale, ou parallélépipédique, avantageusement carré ou rectangle. Typiquement, ces inserts se présentent sous la forme de tubes de hauteur et de diamètre de quelques micromètres (par exemple de 3 à 10 �m) et d'épaisseur de quelques centaines de nanomètres (par exemple 150 nm). Leur insertion dans la cale et/ou le cordon, respectivement, peut se faire selon deux modes de réalisation. Selon un premier mode de réalisation, l'insert est inséré sur toute sa surface. Dans ce cas de figure, il est nécessaire de prévoir un diamètre ou une largeur d'insert compatibles (à savoir inférieurs) avec les dimensions des cales et cordons. De manière privilégiée, dans le cas d'inserts creux, ceux-ci présentent une extrémité libre biseautée, de sorte qu'au moment de l'insertion, aucun gaz n'est emprisonné. Lors de la préinsertion, la hauteur du biseau est supérieure à la hauteur de ce qui est préinséré. Alternativement, l'insertion peut se faire uniquement sur une partie de la surface de l'insert. Celui se trouve donc dans une position décalée par rapport à la cale ou au cordon et donc chevauchant dans l'assemblage. Comme illustré à la figure 6, même dans le cas d'inserts creux, il n'y pas d'emprisonnement de l'atmosphère dans l'étape de préinsertion et/ou d'insertion, et donc pas de piégeage de bulles. Il s'agit donc de concevoir et de positionner les inserts de manière décalée par rapport aux cales et/ou au cordon. Pour garantir une meilleure étanchéité, il est possible de prévoir plusieurs inserts en cordon, à insérer soit dans un même cordon soit dans plusieurs cordons. Il est possible d'envisager de disposer plusieurs composants d'un type sur un même composant de l'autre type, présentant le nombre de fois nécessaires les élements d'insertion ou de soudure. A ce titre, les figures 4 et 5 illustrent plusieurs composants (B) dotés d'inserts assemblés à un composant (A) présentant une succession d'éléments de soudure. Selon un mode de réalisation particulier, il est en outre possible de réaliser un empilement vertical de ces assemblages. Ce mode de réalisation particulier, appelé � batch �, permet d'empiler plusieurs wafers sous vide. Il peut être avantageux de prévoir d'interposer entre chaque assemblage une couche d'un matériau souple de manière à compenser la variabilité de hauteur des assemblages. Selon un autre aspect, l'invention concerne un procédé de fabrication d'un assemblage ou d'un empilement tels qu'ils viennent d'être décrits. Un tel procédé, illustré aux figures 2 et 3, comprend les étapes suivantes : - mise en regard des surfaces des composants comportant la cale et le cordon d'une part et les inserts d'autre part ; - alignement partiel ou total entre la cale et l'insert, ainsi qu'entre le cordon et l'insert en cordon ; - préinsertion d'au moins l'insert de préinsertion dans la cale ; - insertion des inserts dans la cale et le cordon. A noter que, comme illustré à la figure 3, l'étape de préinsertion peut aboutir à deux situations distinctes, ayant des implications dans l'étape suivante d'insertion. Dans un premier cas, l'insert de surélévation est déjà totalement inséré et donc en butée dans la cale, avant que l'insert en cordon ne contacte le cordon de soudure. Pour compenser la force exercée par la cale, il est nécessaire de déformer mécaniquement cet élément. Ceci permet : - d'insérer l'insert en cordon dans le cordon, malgré la force exercée par l'élément de surélévation sur la partie plane du composant B ; - puis d'insérer complétement le cordon. Dans ce cas de figure, il est nécessaire de dimensionner les cales de manière à ce que leur déformation n'exige pas des forces supérieures aux forces requises par l'insertion du cordon. L'étape de préinsertion ne résulte donc qu'en l'insertion de l'insert dans la cale et l'étape d'insertion aboutit à la déformation de la cale. Dans le second cas, l'insert de surélévation n'est pas totalement inséré dans la cale, avant que l'insert en cordon ne contacte le cordon de soudure. Dans ce cas, l'étape de préinsertion résulte en l'insertion des deux jeux d'inserts dans la cale et dans le cordon, respectivement, et l'étape d'insertion ne déforme pas la cale. Dans le dispositif final, il apparaît donc que la hauteur des cales peut être supérieure ou égale à celle du cordon, avantageusement supérieure dans le second cas de figure. L'insertion finale est réalisée sous atmosphère contrôlée, avantageusement sous une 15 pression inférieure à 10.3 mbar. Elle peut être collective, c'est-à-dire concerner plusieurs composants disposés sur un même composant ou plusieurs assemblages empilés. Dans ce dernier cas, une couche réalisée en un matériau souple est avantageusement mise en place entre les assemblages, avant l'étape d'insertion. 20 Comme déjà dit, le dispositif et le procédé selon l'invention autorisent l'insertion collective de wafers préinsérés. Le coût de l'opération d'insertion finale peut se révéler élevé car il s'agit de réaliser une opération sous vide ou dans des conditions particulières d'atmosphère contrôlée. 25 Ainsi, selon un schéma préféré de mise en oeuvre illutré à la figure 4, l'étape d'insertion finale est réalisée comme suit : empilement de plusieurs wafers (C2W ou W2W) ayant subi l'étape de préinsertion et placement dans une chambre à procédé sous une presse ; - mise sous atmosphère contrôlée choisie de la chambre (l'intérieur de la cavité est accessible grâce aux cales de hauteur contrôlée) ; - pressage de la pile constituée avec établissement global de l'herméticité sous toutes 35 les cavités. 10 30 Comme illustré à la figure 5, afin de compenser les différences de hauteur des puces préinsérées, une couche d'un matériau souple est avantageusement introduite entre chaque wafer préinséré et empilé. Cette couche, avantageusement réalisée dans un matériau souple tel que du teflon� (p olytétrafluoroethylène), un film élastomère, ou tout matériau propre à encaisser une déformation sous contrainte, permet d'absorber les différences de hauteur liées au procédé de préinsertion ou à la variabilité de hauteur des puces reportées. Les avantages d'un assemblage selon l'invention et du procédé permettant sa fabrication sont nombreux : - l'herméticité peut être réalisée à force quasi nulle ; - l'herméticité peut être réalisée à température ambiante ; - le procédé mis en oeuvre permet une mise en herméticité collective très simple : en pratique, une machine de positionnement �pick and place� standard préinsère M capots avant soudure (les assemblages réalisés peuvent alors être déplacés sans risque de désalignement � avant insertion finale �). Un empilement de N wafers comprenant M composants préinsérés peut être complètement inséré sous atmosphère choisie. Puis on procède à l'étape de soudure proprement dite, et ce, selon deux manières possibles, soit à température ambiante, soit en élevant la température : o si on chauffe à une température supérieure à la température de fusion de la cale : il y a soudure avec formation d'une liaison métallurgique ; o si on reste à teméprature ambiante, la liaison métallurgique s'effectue par interdiffusion (insert en indium par exemple, cale en or). - la surface de contact entre les inserts est maximisée par rapport au volume de soudure mis en jeu. Il est donc possible de récupérer la soudure dans un �réservoir de soudure � situé au fond du tube femelle, à savoir les inserts creux. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES La manière dont l'invention peut être réalisée et les avantages qui en découlent ressortiront mieux des exemples de réalisation qui suivent, donnés à titre indicatif et non limitatif, à l'appui des figures annexées parmi lesquelles : La figure 1 représente une vue schématique de dessus (A) ou en section (B) d'un assemblage selon l'invention. La figure 2 décrit les différentes étapes (A, B et C) d'un procédé de fabrication d'un assemblage selon l'invention. La figure 3 schématise deux cas de figures (A et B) concernant l'assemblage à l'issue de l'étape de préinsertion. La figure 4 schématise un empilement d'assemblages à l'issue de l'étape de préinsertion. La figure 5 illustre la disposition d'une couche en matériau souple pour compenser la variabilité de hauteur des assemblages, notamment des composants B, à l'issue de l'étape de préinsertion. La figure 6 illustre les étapes de préinsertion (A) et d'insertion (B) dans le cas d'inserts creux décalés. La figure 7 illustre des vues schématiques de dessus d'un capot (A) et d'un bolomètre (B) avant assemblage. La figure 8 représente une vue schématique en section d'une tranche de bolomètre présentant à sa surface un insert de préinsertion et des clous �bolomètres �. La figure 9 représente une vue schématique en section d'une tranche de bolomètre présentant à sa surface un double insert en anneau et des clous �bolomètres �. La figure 10 présente une vue schématique en section de l'assemblage des deux composants A et B à l'issue de l'étape de préinsertion (A) et à l'issue de l'étape d'insertion (B). MODES DE REALISATION DE L'INVENTION L'invention va être illustrée plus avant à l'aide d'une application particulière ayant trait au capotage de puces de type bolomètre à l'aide d'un capot fonctionnalisé. Dans cette application et comme il sera détaillé ci-dessous, un cordon double insert est mis en oeuvre. A titre de dimensions des éléments caractéristiques de l'invention, on peut donner l'exemple suivant : - distance entre le cordon (3) et la cale (1) : 100 �m - largeur du cordon (3) : 100 �m - largeur de l'insert en cordon (4) : 80 �m - décallage horizontal éventuel entre l'insert en cordon (4) et le cordon (3) : 10 �m. l/ Composants avant assemblage : L'exemple a trait à des matrices de détection bolométrique avec capot transparent ou munies d'optiques proches (réseaux, filtres, etc...). Le but visé est d'aligner le capot et la matrice de détection à mieux que +/-1�m et de réaliser des couches filtrantes sur la face supérieure ou inférieure du capot, de manière à obtenir un spectromètre spatial infrarouge. 10 Des vues de dessus des composants avant assemblage sont représentées à la figure 7. La figure 7A représente le capot correspondant au composant (A) ; celui-ci est doté de quatre billes support (1) servant de cale, et d'un cordon de soudure (3) délimitant une zone centrale (5) dans laquelle sont disposés des filtres (7). La figure 7B représente le bolomètre correspondant au composant (B) ; celui-ci est doté de quatre inserts de � préinsertion � (2), et de deux inserts � cordon � (4). Dans la zone centrale (5) sont disposés des clous �bolomètre � (8). 20 1-1/Fabrication des capots Les capots (A) sont réalisés à l'aide d'un matériau transparent à l'infrarouge, de type silicium, germanium ou ZnSe. Ils sont ensuite munis d'éléments de soudure de type billes (1) et de type cordon (3), les billes étant situées à l'extérieur du cordon. Ces éléments sont 25 réalisés par exemple par électrolyse puis refonte. Typiquement, les billes (1) présentent un diamètre de 45 gm et une hauteur de 35 �m, alors que les cordons (3) présentant une largeur de 100�m et une hauteur de 20�m. Les billes (1) sont avantageusement au nombre de 4, situées aux quatre coins du capot. Sur le capot et sur la même face, à l'intérieur de la zone centrale (5) définie par le cordon, des filtres infrarouges passe bande de différentes longueur d'onde (7) sont disposés. 10 15 30 1-2/Fabrication des wafers de bolomètre : Les bolomètres sont réalisés de manière traditionnelle, en utilisant des clous support de planche bolométrique, appelés par la suite clous �bolomètres � (8), de hauteur de 3�m (figure 8). Avantageusement, les inserts de préinsertion (2) sont réalisés en utilisant les mêmes matériaux et en se servant des mêmes étapes de procédé que celles utilisées pour la fabrication des clous �bolomètres �. Ces inserts (2) sont traités de manière à ne conserver que la partie verticale du matériau du clou, comme décrit dans la publication ECTC 2008 (Saint-Patrice et al., Proceedings Electronic and Components Technology Conference, Orlando, 2008, pp 46-53), de sorte qu'il s'agit d'inserts cylindriques creux. Ils présentent avantageusement une hauteur de 3�m et un diamètre de 10�m, permettant leur insertion sur toute leur surface dans les billes (1). Ils sont avantageusement au nombre de 4 disposés aux quatre coins de la surface de la tranche et en regard des quatre billes (1) du capot. Comme illustré à la figure 9, le double anneau d'insertion (4) est constitué de deux inserts creux en forme de cordons concentriques. Il est réalisé en utilisant les mêmes matériaux et en se servant des mêmes étapes de procédé que celles utilisées pour la fabrication des clous �bolomètres �. Ce double anneau (4) est également traité de la même manière que les inserts de préinsertion (2). Un tel anneau (4) a par exemple deux double inserts de largeur 10�m, espacés de 10�m, soit 30 �m au total, compatible avec leur insertion sur toute leur surface dans le cordon (3). Il présente avantageusement une hauteur équivalente à celle des inserts de préinsertion (2) et des clous �bolomètres � (8), soit 3�m. Il est positionné sur la tranche du bolomètre de sorte à être en regard du cordon (3) du capot. 2/ Assemblage : Les étapes d'assemblage sont comme détaillées ci-dessus et illustrées de manière générale à la figure 2. La figure 10 schématise la position respective des composants (A) et (B) à l'issue de l'étape de préinsertion (Fig. 10A) puis à l'issue de l'insertion (Fig. 10B). On distingue les étapes suivantes : - mise en regard des surfaces des composants (A) et (B) à assembler ; - alignement, notamment des inserts de préinsertion (2) avec les billes (1) et du double anneau d'insertion (4) avec le cordon de soudure (3) ; - étape de préinsertion, avantageusement réalisée à température ambiante et à force quasi-nulle. Dans la mesure où les billes sont plus hautes que le cordon (35 gm contre 20 �m), seuls les inserts de préinsertion (2) sont engagés dans les billes (1) (Figure 10A). - étape d'insertion à proprement parler de sorte à engager le double anneau d'insertion (4) dans le cordon de soudure (3) (Figure 10B). Dans ce cas précis, il est nécessaire d'écraser les billes (1) jusqu'à ce qu'elles présentent une hauteur de l'ordre de celle du cordon (3). En pratique, il faut donc les écraser de 15�m pour insérer entièrement l'insert cordon (4) dans le cordon de soudure (3). L'insertion se fait avantageusement sous une pression inférieure à 10-3 mbar. 12 REVENDICATIONS1. Assemblage hermétique de deux composants comprenant : - un premier composant (A) comportant un support comprenant à sa surface : • au moins une cale (1) constituée d'un matériau ductile, disposée en périphérie dudit composant ; • au moins un cordon (3) constitué d'un matériau ductile ; un second composant (B) comportant un support comprenant à sa surface : ^ au moins un insert (2), inséré sur toute ou partie de sa surface dans la cale (1) dudit premier composant ; • au moins un insert en cordon (4), inséré sur toute ou partie de sa surface dans le cordon (3) dudit premier composant, définissant une cavité centrale hermétique (5). 2. Assemblage hermétique de deux composants selon la revendication 1, caractérisé en ce que les inserts (2, 4) dudit second composant (B) sont réalisés à l'aide d'un matériau présentant une dureté supérieure à celle des matériaux constitutifs de la cale (1) et du cordon (3) dudit premier composant. 3. Assemblage hermétique de deux composants selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que l'insert (2) et/ou l'insert (4) est creux. 4. Assemblage hermétique de deux composants selon la revendication 3, caractérisé en 25 ce que l'insert (2) et/ou l'insert (4) présente une extrémité libre biseautée. 5. Assemblage hermétique de deux composants selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'insert (2) et/ou l'insert (4) est (sont) inséré(s) de manière chevauchante dans la cale (1) et/ou le cordon (3), respectivement. 6. Assemblage hermétique de deux composants selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la cale (1), avantageusement sous la forme d'une bille, présente une hauteur supérieure à celle du cordon (3). 30 35 7. Assemblage hermétique de deux composants selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la cale (1) présente une déformation mécanique sous la forme d'un écrasement ou d'une compression. 8. Assemblage hermétique de deux composants selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les composants (A) et (B) sont choisis dans le groupe des puces et des tranches, l'assemblage correspondant avantageusement à un � chip to wafer � (C2W) ou à un � wafer to wafer � (W2W). 9. Assemblage hermétique de deux composants selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le composant (A) est un capot, présentant avantageusement des filtres (7) au niveau de la cavité centrale (5), et le composant (B) est un bolomètre, présentant avantageusement des clous (8) au niveau de la cavité centrale (5). 10. Assemblage hermétique de deux composants selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que plusieurs inserts en cordon (4) sont insérés dans un ou plusieurs cordons (3). 11. Empilement d'assemblages selon l'une des revendications 1 à 10. 12. Empilement d'assemblages selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'une couche réalisée en un matériau souple (6) est disposée entre les assemblages. 13. Procédé de fabrication d'assemblages selon l'une des revendications 1 à 10 ou d'empilements selon l'une des revendications 11 à 12 comprenant les étapes suivantes : - mise en regard des surfaces des composants (A) et (B) comportant la cale (1) et le cordon (3) et les inserts (2, 4), respectivement ; - alignement partiel ou total entre la cale (1) et l'insert (2), ainsi qu'entre le cordon (3) et l'insert en cordon (4) ; - préinsertion d'au moins l'insert (2) dans la cale (1) ; - insertion des inserts (2, 4) dans la cale (1) et le cordon (3), respectivement. 14. Procédé de fabrication d'assemblages selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'insertion est réalisée sous atmosphère contrôlée. 15. Procédé de fabrication d'assemblages selon la revendication 13 ou 14, caractérisé en ce que l'empilement des assemblages, et éventuellement la mise en place de couches réalisées en un matériau souple (6), est réalisé avant l'étape d'insertion.