Brevet FR2956923A1 — publié le 20110902

B9565 - 09-T0-093 1 COMPOSANT DE PUISSANCE VERTICAL HAUTE TENSION Domaine de l'invention La présente invention concerne un composant de puissance vertical susceptible de supporter une tension élevée (supérieure à 500 V) et plus particulièrement la structure de la 5 périphérie d'un tel composant. Exposé de l'art antérieur Les figures 1, 2 et 3 représentent diverses façons de constituer la périphérie d'un composant de puissance vertical haute tension pour lui permettre de tenir des tensions élevées. 10 Dans ces figures, on a représenté un triac comprenant un substrat 1 faiblement dopé, couramment de l'ordre de 1014 à 1015 atomes/cm3, dont les faces supérieure et inférieure comprennent des couches ou régions 3 et 5 dopées de type P. La couche supérieure 3 contient une région 4 fortement dopée de 15 type N et la couche inférieure 5 contient une région 6 fortement dopée de type N dans une zone sensiblement complémentaire de celle occupée par la région 4. Une électrode Al revêt la face inférieure du composant et est contact avec les régions 5 et 6. Une électrode de face supérieure A2 est en contact avec la 20 région 4 et une partie de la région 3. Dans cette région 3 est également formée une région de petite étendue 8 fortement dopée de type N et une électrode de gâchette G recouvre la région 8 et B9565 - 09-T0-093 2 une partie de la région 3. Ainsi, quelle que soit la polarité entre les électrodes Al et A2, si une commande de gâchette est fournie, le composant devient passant. La conduction se fait de l'électrode Al vers l'électrode A2 par un thyristor vertical comprenant les régions 5, 1, 3 et 4, où de l'électrode A2 vers l'électrode Al par un thyristor vertical comprenant les régions 3, 1, 5 et 6. L'épaisseur et le niveau de dopage du substrat 1 sont calculés pour que le triac, à l'état bloqué, puisse tenir des tensions élevées, par exemple des tensions supérieures à 600 à 800 volts. Il faut alors éviter que des claquages se produisent au niveau des extrémités du composant. La figure 1 représente une structure périphérique dite mesa pour éviter de tels claquages. Une tranchée latérale annulaire plus profonde que les régions P 3 et 5 est formée à la périphérie de chacune des deux faces du substrat. Ces tranchées sont remplies d'un verre de passivation 9. En pratique des tranchées sont initialement formées sur une tranche de silicium entre deux composants avant découpe de la tranche en composants individuels. De nombreuses études ont été faites sur de tels composants de puissance verticaux de type mesa. Si un claquage survient, il se produit dans les zones ou les jonctions PN-coupent les tranchées isolées 9. Dans les meilleurs conditions, c'est-à-dire quand l'angle selon lequel les tranchée remplies de verre coupent les jonctions entre le substrat et les couches 3 et 5 est convenablement choisi, et quand la qualité du verre est optimisée, on doit pour obtenir une tenue en tension supérieure à 800 volts prévoir une distance el entre le bord du composant et la limite de la glassivation au moins égale à 300 pm. Ceci réduit d'autant la surface disponible pour les électrodes du composant de puissance ; ou bien, pour des valeurs données de surface des électrodes, ceci augmente la surface du composant et donc son coût. Un inconvénient particulier des structures mesa est que, étant donné que le verre de passivation n'a jamais le même coefficient de dilatation thermique que le silicium, l'interface B9565 - 09-T0-093 3 entre le verre et le silicium vieillit mal et, en cas de claquage accidentel, si la tension aux bornes du composant dépasse la limite autorisée, le composant n'est plus opérationnel. La figure 2 représente une autre structure classique de périphérie de composant de puissance. Un sillon rempli d'un verre de passivation est présent du côté de la face supérieure. Le composant est entouré d'un mur diffusé 12 fortement dopé de type P formé à partir des faces supérieure et inférieure et le sillon s'étend entre le mur 12 et la couche 3 de type P, sensiblement de la façon représentée. Ainsi, toutes les zones de tenue en tension sont regroupées du côté de la face supérieure du composant. C'est au niveau de la périphérie de la jonction entre le mur 12 et le substrat 1, du côté du sillon, dans la zone désignée par la référence 14, que sont susceptibles de se produire des claquages quand l'électrode inférieure Al est négative par rapport à l'électrode supérieure A2 (claquage dit inverse) ; et c'est au niveau de la périphérie de la jonction entre le substrat 1 et la couche 3, du côté du sillon, dans la zone désignée par la référence 16, que sont susceptibles de se produire des claquages quand l'électrode inférieure Al est positive par rapport à l'électrode supérieure A2 (claquage dit direct). Cette structure donne de bons résultats, et simplifie la réalisation de l'électrode inférieure Al, mais la distance e2 entre le bord du composant et la limite de l'électrode A2 est plus grande que dans le cas précédent, par exemple de 350 }gym pour tenir une tension supérieure à 800 volts. De plus, comme dans le cas précédent, l'interface entre le silicium et le verre de passivation reste problématique. De plus, ce procédé nécessite un nombre de masques plus important que celui de la structure précédente. La figure 3 représente une structure de passivation en technologie dite "planar". Comme dans le cas de la figure 3, la structure est entourée d'un mur annulaire diffusé fortement dopé B9565 - 09-T0-093 4 de type P à sa périphérie. Pour tenir la tension, on prévoit une certaine distance entre la limite de la couche 3 de type P et le mur périphérique 20. Si un claquage survient, il se produit dans les régions 23 de courbure du caisson P 3 ou dans la région 24 de jonction entre la couche P 5 et le substrat 1. Un avantage de cette structure est qu'un claquage, n'est pas nécessairement destructif pour le composant. Toutefois, cette structure présente l'inconvénient de nécessiter un anneau d'arrêt de canal 22 à la périphérie de la face supérieure dans la région N1 entre la limite de la région P 3 et la limite du mur d'isolement 20. Ceci entraîne l'inconvénient de nécessiter une distance de garde e3 relativement élevée entre le bord du composant et la limite de l'électrode A2, par exemple, de l'ordre de 370 pm pour tenir une tension supérieure à 800 volts. Résumé Ainsi, il existe un besoin pour une structure périphérique de composant de puissance qui soit moins étendue que les diverses structures connues. Il existe également un besoin pour une telle structure qui évite une dégradation du composant en cas de surtension accidentelle très élevée entraînant un claquage. Ainsi, un mode de réalisation de la présente invention prévoit un composant de puissance vertical haute tension comprenant un substrat semiconducteur faiblement dopé d'un premier type de conductivité et, du côté d'une face supérieure, une couche semiconductrice supérieure du second type de conductivité ne n'étendant pas jusqu'à la périphérie du composant, dans lequel la périphérie du composant comprend du côté de la face inférieure, une région diffusée annulaire du deuxième type de conductivité s'étendant sur le tiers à la moitié de l'épaisseur du composant ; et du côté de la face supérieure, une rainure annulaire isolée traversant le substrat jusqu'à pénétrer dans une partie supérieure de ladite région annulaire. B9565 - 09-T0-093 Selon un mode de réalisation de la présente invention, la rainure est isolée latéralement par une couche d'oxyde de silicium et est remplie de silicium non dopé. Selon un mode de réalisation de la présente invention, 5 le composant de puissance vertical constitue un triac, dans lequel une première région fortement dopée du premier type de conductivité s'étend dans une partie de ladite couche semiconductrice supérieure, ladite première région et une partie de ladite couche semiconductrice supérieure étant en contact avec une première électrode ; et la face inférieure comprend une couche semiconductrice inférieure dopée du second type de conductivité, dans laquelle est formée une seconde région du premier type de conductivité, sensiblement complémentaire en projection de la première région. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la rainure a une largeur de l'ordre de 5 à 10 pm. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la rainure a une profondeur de l'ordre de 100 à 200 pm. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le composant est susceptible de supporter une tension supérieure à 800 volts, et la distance entre la limite de ladite couche semiconductrice supérieure et la périphérie du composant est de l'ordre de 250 pm. Brève description des dessins Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : les figures 1 à 3 représentent diverses structures connues de composants de puissance verticaux ; et la figure 4 représente un exemple de structure de composant vertical de puissance selon un mode de réalisation de la présente invention. B9565 - 09-T0-093 6 Comme cela est habituel dans la représentation des composants semiconducteurs, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Description détaillée La figure 4 représente un triac dont les différents éléments sont désignés par les mêmes références que les éléments correspondants des figures 1, 2 et 3. A la périphérie du composant, on trouve du côté de la face inférieure, une portion de mur diffusé 30 fortement dopée de type P traversant la couche inférieure de type P 5 et pénétrant sur une certaine profondeur dans le substrat 1, par exemple du tiers à la moitié de l'épaisseur de ce substrat. Du côté de la face supérieure, à la périphérie du composant, une rainure annulaire droite et profonde 32 rejoint la région diffusée 30. Cette rainure 32 a une largeur de 5 à 10 }gym et est isolée. Elle comprend par exemple à sa périphérie une couche d'oxyde 33 et dans sa partie centrale du silicium non dopé 34. Du côté de la face supérieure, la région dopée de type P 3 s'étend jusqu'à une distance e4 de la rainure. La rainure a une largeur e4 et la distance entre la rainure et le bord du composant est égale à e6. Une couche supérieure de SiO2 (42) revêt toutes les surfaces du composant non occupées par une métallisation. Dans une telle structure, les claquages directs peuvent se produire dans la région 36 de courbure de la couche 3 de type P et les claquages inverses peuvent se produire dans la région 38 quasiment tout le long de la jonction inférieure formée par la couche 5 et le substrat 1. Une telle structure présente de très nombreux avantages. D'une part, la région diffusée 30 formée à partir de la face inférieure n'a pas besoin de rejoindre une région diffusée supérieure et peut s'étendre sur une profondeur inférieure à la moitié de l'épaisseur du substrat, par exemple sur une épaisseur de l'ordre du tiers de l'épaisseur du B9565 - 09-T0-093 7 substrat, par exemple sur une profondeur de l'ordre de seulement 100 pm. De préférence, la tranchée 32 s'étend sur une profondeur de l'ordre de 20 pm à l'intérieur de la région diffusée 30. Dans une telle structure, étant donné que les claquages susceptibles de se produire se produisent en profondeur dans le substrat, on n'a pas besoin de prévoir de régions d'arrêt de canal. En fait, on constate, que la distance entre la périphérie du composant et la limite de la région 3 peut être seulement de l'ordre de 250 pm, avec une tranchée d'une largeur de l'ordre de 10 pm, pour obtenir une tension supérieure à 800 volts. Cette valeur est nettement inférieure à toutes les valeurs des dispositifs connus. D'autre part, un claquage accidentel provoqué par une surtension très élevée ne produit pas de destruction du composant. Eventuellement, on pourra prévoir une zone N plus fortement dopée 40 au voisinage du débouché de la rainure du côté de la surface supérieure pour contrôler l'extension de la zone de charge d'espace (notamment pour la fiabilité de la jonction directe) et éviter tout phénomène d'inversion de surface. Ainsi, la structure selon la présente invention permet 25 de réduire nettement la surface occupée par la périphérie du composant en supportant efficacement les claquages. La présente invention a été décrite précédemment dans le cas où le composant de puissance était un triac. On comprendra qu'une structure analogue peut s'appliquer à tout 30 autre type de composant de puissance vertical connu. REVENDICATIONS1. Composant de puissance vertical haute tension comprenant un substrat semiconducteur (1) faiblement dopé d'un premier type de conductivité et, du côté d'une face supérieure, une couche semiconductrice supérieure (3) du second type de conductivité ne n'étendant pas jusqu'à la périphérie du composant, dans lequel la périphérie du composant comprend : du côté de la face inférieure, une région diffusée annulaire (30) du deuxième type de conductivité s'étendant sur le tiers à la moitié de l'épaisseur du composant ; et du côté de la face supérieure, une rainure annulaire isolée (32) traversant le substrat jusqu'à pénétrer dans une partie supérieure de ladite région annulaire (30). 2. Composant de puissance vertical haute tension selon la revendication 1, dans lequel la rainure (32) est isolée latéralement par une couche d'oxyde de silicium (33) et est remplie de silicium non dopé (34). 3. Composant de puissance vertical haute tension selon la revendication 1 ou 2, constituant un triac, dans lequel : une première région (4) fortement dopée du premier type de conductivité s'étend dans une partie de ladite couche semiconductrice supérieure (3), ladite première région (4) et une partie de ladite couche semiconductrice supérieure (3) étant en contact avec une première électrode (A2) ; et la face inférieure comprend une couche semiconductrice inférieure (5) dopée du second type de conductivité, dans laquelle est formée une seconde région (6) du premier type de conductivité, sensiblement complémentaire en projection de la première région (4). 4. Composant de puissance vertical haute tension selon 30 l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la rainure a une largeur de l'ordre de 5 à 10 }gym. 5. Composant de puissance vertical haute tension selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, dans lequel la rainure a une profondeur de l'ordre de 100 à 200 }gym.B9565 - 09-T0-093 9 6. Composant de puissance vertical haute tension selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, susceptible de supporter une tension supérieure à 800 volts, dans laquelle la distance entre la limite de ladite couche semiconductrice supérieure et la périphérie du composant est de l'ordre de 250 pm.