Brevet FR2936052A1 — publié le 20100319

DISPOSITIF POUR LA DETECTION D'UN RAYONNEMENT INFRAROUGE COMPORTANT UN BOLOMETRE RESISTIF D'IMAGERIE, SYSTEME COMPRENANT UNE MATRICE DE TELS BOLOMETRES, ET PROCEDE DE LECTURE D'UN BOLOMETRE D'IMAGERIE INTEGRE DANS UN TEL SYSTEME DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention a trait au domaine de l'imagerie infrarouge et de la pyrométrie bolométrique. Plus particulièrement, la présente invention concerne un dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge comportant un bolomètre résistif d'imagerie. Elle concerne également un système comprenant une matrice de tels dispositifs, ainsi qu'un procédé de lecture d'un bolomètre d'imagerie intégré dans un tel système. ETAT ANTERIEUR DE LA TECHNIQUE Dans le domaine des détecteurs infrarouges, il est connu d'utiliser des dispositifs agencés sous forme matricielle, et susceptibles de fonctionner à température ambiante, 20 c'est-à-dire ne nécessitant pas de refroidissement à de très basses températures, contrairement aux dispositifs de détection appelés "détecteurs quantiques" qui eux, nécessitent un fonctionnement à très basse température, typiquement celle de l'azote liquide. 25 Ces détecteurs non refroidis utilisent traditionnellement la variation d'une grandeur physique d'un matériau approprié, en fonction de la température, au voisinage de 300K. Dans le cas des détecteurs bolométriques, cette grandeur physique est la résistivité électrique. 30 Un tel détecteur élémentaire non refroidi associe généralement : - des moyens d'absorption du rayonnement infrarouge et de conversion de celui-ci en chaleur ; - des moyens d'isolation thermique du détecteur, de telle sorte à permettre à celui-ci de s'échauffer sous l'action du rayonnement infrarouge ; 35 - des moyens de thermométrie qui, dans le cadre d'un détecteur bolométrique, mettent en oeuvre un élément résistif ; - et des moyens de lecture des signaux électriques fournis par les moyens de thermométrie. 10 15 Les détecteurs destinés à l'imagerie infrarouge sont classiquement réalisés sous la forme d'une matrice de détecteurs élémentaires, ou bolomètres, selon une ou deux dimensions, chaque détecteur élémentaire de ladite matrice étant formé d'une membrane suspendue via des bras de soutien au dessus d'un substrat, généralement réalisé en silicium. Il est usuellement ménagé dans le substrat des moyens d'adressage séquentiel des détecteurs élémentaires et des moyens d'excitation électrique et de pré-traitement des signaux électriques générés par ces détecteurs élémentaires. Ces moyens d'adressage séquentiel, d'excitation électrique et de pré-traitement sont donc formés dans le substrat et constituent un circuit de lecture. Pour obtenir l'image d'une scène par l'intermédiaire de ce détecteur, l'image de la scène est projetée à travers une optique adaptée sur la matrice de détecteurs élémentaires, et des stimuli électriques cadencés sont appliqués par l'intermédiaire du circuit de lecture à chacun des détecteurs élémentaires, ou à chaque rangée de tels détecteurs, afin d'obtenir un signal électrique constituant l'image de la température atteinte par chacun desdits détecteurs élémentaires. Ce signal électrique est directement lié à la résistance électrique de chaque détecteur élémentaire. Ce signal est traité de manière plus ou moins élaborée par le circuit de lecture, puis éventuellement par un dispositif électronique extérieur au boîtier afin de générer l'image thermique de la scène observée. Or, il est généralement observé que les matériaux bolométriques habituellement utilisés pour la fabrication d'un bolomètre d'imagerie, comme par exemple du silicium amorphe (a-Si) ou de l'oxyde de vanadium (Vox), présentent une dérive de leur résistance électrique plus ou moins prononcée en fonction du temps. Dans le cadre de la présente invention, le terme de � dérive � caractérise le fait que, pour des conditions environnementales et de fonctionnement données, désignées ci-après par l'expression � conditions de référence �, comme par exemple le rayonnement incident sur le bolomètre, la température ambiante pour celui-ci et les signaux électriques de lecture, la résistance électrique du bolomètre d'imagerie s'écarte lentement au cours du temps de sa valeur initiale, dite de référence observée pour de telles conditions. Cette valeur de référence peut être mesurée dans des conditions de référence lors de la mise en service du détecteur, avant sa mise en service, ou lors d'une opération particulière dite de calibration. Une raison d'une telle dérive est la relative instabilité naturelle des matériaux thermométriques traditionnellement mis en oeuvre qui peut résulter en des variations de résistivité non négligeables en regard de la précision des images ou mesures thermiques qu'on entend réaliser. Ce type de dérive s'applique ordinairement de manière globale à l'ensemble des points élémentaires du détecteur, et résulte en une dérive globale de calibration. On peut aussi citer les dérives de résistances induites par l'illumination excessive du détecteur par un flux élevé, comme par exemple lors de l'observation trop prolongée d'une source de rayonnement intense (soleil, projecteur,...). Ces sources de dérive sont dommageables pour la qualité des images thermiques délivrées par le détecteur. Ce type de dérive s'applique ordinairement de manière localement limitée sur la surface sensible du détecteur, et résulte en une erreur de calibration spatialement dispersée du détecteur. EXPOSE DE L'INVENTION Le but de la présente invention est donc de fournir un détecteur qui reste précis, c'est-à-dire bien calibré, et précisément dont les signaux de sortie restent identiques lorsqu'on replace le détecteur dans les conditions dites de référence, tout au long de son cycle de vie, même en présence d'une dérive spatiale et/ou temporelle de ses éléments sensibles. A cet effet, l'invention a pour objet un dispositif pour la détection d'un rayonnement 25 infrarouge comportant un bolomètre résistif. Selon l'invention, ce dispositif comporte ^ des moyens de mesure d'une dérive de la résistance électrique dudit bolomètre par rapport à une résistance électrique de référence correspondant à des 30 conditions prédéterminées de fonctionnement dudit bolomètre ; et ^ des moyens de correction des effets de ladite dérive ou de ladite dérive de la résistance. Selon un mode de réalisation de l'invention, les moyens de mesure comprennent : 35 un bolomètre résistif de référence sujet à ladite dérive ; ^ des moyens de mesure de la résistance électrique du bolomètre de référence ; et ^ des moyens de détermination de ladite dérive en fonction de la résistance électrique mesurée. Plus particulièrement, le bolomètre de référence est un bolomètre de compensation associé au bolomètre d'imagerie. En variante, le bolomètre de référence est le bolomètre d'imagerie. Selon un mode de réalisation de l'invention, les moyens de mesure de la résistance électrique du bolomètre de référence comprennent : ^ des moyens d'intégration d'un courant traversant celui-ci ; et ^ des moyens de détermination de la résistance électrique du bolomètre de 10 référence en fonction du courant intégré par les moyens d'intégration. Selon un mode de réalisation de l'invention, les moyens de mesure de la résistance électrique du bolomètre de référence comprennent : ^ une résistance de résistance électrique prédéterminée apte à être connectée au 15 bolomètre de référence ; ^ des moyens d'intégration d'une différence de courants traversant le bolomètre de référence et la résistance ; et ^ des moyens de détermination de la résistance électrique du bolomètre de référence en fonction de la différence de courants intégrée par les moyens 20 d'intégration. Plus particulièrement, un circuit de mesure de la résistance électrique du bolomètre d'imagerie par intégration d'un courant traversant celui-ci, destiné à la mesure d'une température du rayonnement infrarouge, et les moyens d'intégration appartiennent 25 audit circuit de mesure. Selon un mode de réalisation de l'invention, les moyens de correction comprennent des moyens de commande de la température du bolomètre d'imagerie de manière à compenser ladite dérive. 30 Selon un mode de réalisation de l'invention, le dispositif comporte en outre des moyens de mesure d'une résistance électrique du bolomètre d'imagerie et des moyens (30) de détermination d'une température du rayonnement incident sur celui-ci en fonction de la résistance électrique mesurée et d'au moins un paramètre dépendant de 35 la résistance électrique du bolomètre d'imagerie, et les moyens de correction sont aptes à corriger ledit au moins un paramètre en fonction de la dérive mesurée de manière corriger l'effet de celle-ci dans la détermination de la température. Selon un mode de réalisation de l'invention, ledit au moins un paramètre est une sensibilité électrique à la température d'un circuit de mesure de la résistance électrique du bolomètre d'imagerie. L'invention a également pour objet un système comportant au moins une ligne de dispositifs de détection dudit rayonnement. Selon l'invention, les dispositifs sont chacun du type susmentionné. L'invention a également pour objet un procédé de lecture d'un bolomètre résistif d'une matrice de bolomètres constitutive d'un système de détection d'un rayonnement infrarouge, ledit procédé comportant : ^ une étape de mesure d'une dérive de la résistance électrique dudit bolomètre par rapport à une résistance électrique de référence correspondant à des conditions 15 prédéterminées de fonctionnement de celui-ci ; et ^ une étape de correction des effets de ladite dérive ou de la dérive de la résistance. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES 20 L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple et réalisée en relation avec les figures annexées, dans lesquelles des références identiques se rapportent à des éléments identiques ou analogues, et dans lesquelles : 25 la figure 1 est une vue schématique d'un détecteur bolométrique selon un premier et un second mode de réalisation selon l'invention ; ^ la figure 2 est une vue schématique d'un agencement élémentaire entrant dans la constitution du détecteur de la figure 1 ; ^ la figure 3 est un organigramme d'un procédé de mesure et de compensation de 30 dérive selon le premier mode de réalisation ; ^ la figure 4 est un organigramme d'un procédé de mesure et de compensation de dérive selon le deuxième mode de réalisation de l'invention ; ^ la figure 5 est une vue schématique d'un agencement élémentaire d'un troisième et quatrième modes de réalisation de l'invention ; et 35 la figure 6 est un organigramme de mesure et de compensation de dérive selon un cinquième mode de réalisation selon l'invention. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION La figure 1 illustre de manière schématique un détecteur bolométrique 10. Un tel détecteur 10 comprend : ^ une matrice bidimensionnelle 12 comprenant n lignes et m colonnes de points élémentaires d'imagerie 14, comprenant chacun un bolomètre résistif 140, où n et m sont des entiers supérieurs ou égaux à 1. La matrice d'imagerie 12 est agencée dans le plan focal d'une optique transparente aux infrarouges (non représentée); ^ une ligne de circuits 24 de compensation, chacun associé à une colonne de la matrice 12 et comprenant un bolomètre de compensation 50 ; ^ une ligne d'intégrateurs 16, chacun associé à une colonne de la matrice 12 ; ^ un circuit d'adressage ligne par ligne 18 de la matrice 12 ; Comme cela est connu en soi, les bolomètres résistifs et de compensation 140, 50 sont usuellement constitués d'une membrane suspendue par des bras de soutien au dessus d'un substrat dans lequel sont formés les divers éléments électroniques nécessaires à la lecture. Ces éléments électroniques sont usuellement désignés par l'expression � circuit de lecture � Une telle structure de détecteurs bolométriques est classique et ne sera pas expliquée plus en détail par la suite. Pour de plus amples informations, on pourra utilement se reporter par exemple au document � Uncooled amorphous silicon enhancement for 25,um pixel pitch achievement � de E. Mottin et al, Infrared Technology and Application XXVIII, SPIE, vol. 4820. Selon l'invention, cette structure est complétée par : ^ une unité de traitement d'informations 28 connecté aux intégrateurs 16 et comprenant un bloc 30 mettant en oeuvre un algorithme de traitement des signaux délivrés par ceux-ci pour déterminer une image infrarouge projetée sur la matrice 12. A cette fin, l'unité 28 utilise des paramètres de calcul dont une ou plusieurs valeurs de sensibilité électrique des intégrateurs 16 à la température de la scène, ces valeurs étant mémorisées dans un bloc mémoire de l'unité 32. L'unité 28 comprend également un bloc de correction 34, qui compense la dérive mesurée des bolomètres d'imagerie 14, comme cela sera expliqué plus en détail par la suite ; et ^ une ligne de circuits de dérive 38, chacun associé à une colonne de la matrice 12. 6 Les circuits de dérive 38 associés aux intégrateurs 16 forment ensemble un module de mesure des dérives des bolomètres de la matrice 12, comme cela sera expliqué plus en détail par la suite. PREMIER MODE DE REALISATION La figure 2 illustre un agencement élémentaire du détecteur 10 selon un premier mode de réalisation comportant : ^ un point élémentaire d'imagerie 14 de la matrice 12 ; un intégrateur 16 pour la mesure du bolomètre 140 du point d'imagerie 14 ; ^ un circuit de compensation 24 pour la compensation du courant de mode commun circulant dans le bolomètre d'imagerie 140 lors de la lecture de celui-ci ; et ^ un circuit de dérive 38 pour la mesure de la dérive de la résistance électrique du bolomètre 140. L'intégrateur 16 comprend : ^ un amplificateur opérationnel 40, dont l'entrée non inverseuse (+) est mise à une tension constante Vbus prédéterminée ; ^ un condensateur 42, de capacité Ch, prédéterminée, connecté entre l'entrée inverseuse (-) de l'amplificateur 40 et la sortie de celui-ci ; ^ un interrupteur de remise à zéro 44 connecté en parallèle du condensateur 42 et pilotable au moyen d'un signal � Reset � commandé par le circuit d'adressage 18 ; Le circuit 14, ou � point élémentaire �, comprend le bolomètre 140, qui est soumis à un rayonnement infrarouge IR issu d'une scène et est connecté à un potentiel constant (assimilé à la masse sur les figures) par une première borne A. Le point élémentaire comprend en outre : ^ un interrupteur 46 de lecture, pilotable au moyen d'un signal � Select� commandé par le circuit d'adressage 18, dont une borne est connectée à l'entrée inverseuse (-) 30 de l'amplificateur opérationnel ; et ^ un premier transistor MOS 48 d'injection, dont la grille est mise à une tension Vfid constante prédéterminée, dont la source est connectée à une seconde borne B du bolomètre 140, et dont le drain est connecté à l'autre borne de l'interrupteur 46 de lecture. 35 Le circuit de compensation 24 du courant de mode commun traversant le bolomètre d'imagerie 140 comprend un bolomètre résistif de compensation 50 réalisé dans le même matériau que le bolomètre d'imagerie 140, présentant une résistance thermique négligeable vers le substrat et pourvu, de manière optionnelle, d'un écran 52 contre le rayonnement issu de la scène. Le bolomètre de compensation 50 est connecté à l'une de ses bornes à une tension prédéterminée VSK et à l'autre de ses bornes à la source d'un second transistor MOS d'injection 54 du circuit 24. Le drain du transistor 54 est connecté à l'entrée inverseuse de l'amplificateur opérationnel 40 et la grille est connectée à une tension prédéterminée GSK. Le circuit de dérive 38 comporte quant à lui une résistance 56 et un troisième transistor MOS d'injection 58, agencés de manière analogue au bolomètre de compensation 50 et 15 au second transistor d'injection 54. Le circuit de dérive 38 comporte également un premier interrupteur de mesure de dérive 60, agencé entre le troisième transistor MOS 58 et la borne inverseuse (-) de l'amplificateur opérationnel 40, et pilotable par le circuit d'adressage 18 au moyen 20 d'un signal � Der1 �. Enfin, le circuit de compensation est également associé à un second interrupteur de mesure de dérive 62, disposé dans la branche de compensation 24, pilotable par le circuit de cadencement 18 au moyen d'un signal � Der2 � et agencé entre le second 25 transistor 54 et la borne inverseuse (-) de l'amplificateur opérationnel 40. La résistance 56 est sélectionnée pour présenter une valeur de résistance électrique Rref prédéterminée constante sur le domaine de températures auquel le bolomètre d'imagerie 140 est soumis. Plus particulièrement, la résistance 56 présente une valeur 30 de résistance électrique sensiblement égale à celle du bolomètre d'imagerie 140 dans les conditions initiales de référence. La valeur de la résistance électrique Rref est conservée dans le bloc mémoire 32 de l'unité de traitement d'informations 28. Lors d'un cycle de lecture d'une ligne de la matrice d'imagerie 12 pour déterminer la 35 température de la scène détectée par celle-ci, le premier interrupteur de mesure de dérive 60 est ouvert et le second interrupteur de mesure de dérive 62 est fermé. L'interrupteur de remise à zéro 44, qui est fermé au cours du cycle préliminaire de remise à zéro du condensateur 42, est basculé dans son état ouvert par le circuit de cadencement 18. Ce dernier ferme alors l'interrupteur 46 de sélection de lecture. La différence entre le courant traversant le bolomètre d'imagerie 140 et le courant traversant le bolomètre de compensation 50 est alors intégré par le condensateur 42. Lorsqu'une durée d'intégration Tint prédéterminée s'est écoulée depuis la fermeture de l'interrupteur de lecture 46, le circuit de cadencement 18 ouvre alors celui-ci. La tension Vaut en sortie de l'intégrateur 16 est alors donnée par l'expression : ~ oTn~ Vaut Vbus + J (imag (t) ù Zcomp (t))dt (1) Ch, o où t est le temps, iimag est le courant circulant dans le bolomètre d'imagerie 140 et icomp est le courant circulant dans le bolomètre de compensation 50. Comme le courant iaomp traversant le bolomètre de compensation 50 est sensiblement égal au courant de mode commun traversant le bolomètre d'imagerie 140, la différence entre la résistance électrique du bolomètre d'imagerie 140 et la résistance du bolomètre de compensation 50, qui induit la différence de courant en entrée de l'intégrateur 16, est alors sensiblement représentative de la variation ARimag de la résistance électrique Rimag du bolomètre d'imagerie 140 induite par le rayonnement issu de la scène et incident sur celui-ci. La tension Vaut est ensuite envoyée au bloc de calcul 30 de l'unité de traitement d'informations 28, par exemple à la suite d'une séquence d'échantillonnage - blocage puis multiplexage vers un, ou plusieurs, amplificateur série de sortie, comme cela est connu de l'état de la technique. 25 Le bloc 30 détermine alors une température escène du rayonnement infrarouge IR incident sur le bolomètre d'imagerie 140 en fonction de la tension Vaut et des paramètres de calibration, dont la sensibilité S de la tension Vaut par rapport à la température de la scène du détecteur 10 conservée dans le bloc mémoire 32. 30 Les paramètres de calibration sont obtenus lors d'une phase initiale dite de calibration, typiquement par exposition du détecteur 10 devant deux corps noirs portés à deux températures connues spatialement uniformes, qui donne accès aux tables bidimensionnelles dites d'offset et de gain bien connues de l'homme du métier. 35 Chaque élément de ces tables correspondant à un détecteur élémentaire de la matrice d'imagerie. Les termes � gain �, � sensibilité � utilisés ici, ou encore20 � Réponse électrique �, se rapportent à la grandeur S = AVout / A escène , exprimée habituellement en millivolt par degré Kelvin. On montre que cette sensibilité S du détecteur 10 s'exprime, de manière générale au premier ordre et pour de faibles variations de résistance, selon la relation : 1 S= x V mag x Tnt x TCR x Rth x~ (Oseene) (2) Rimag x Oint où : ^ Rimag est la résistance électrique de référence du bolomètre 140 sous les conditions de référence prédéterminées ; ^ Vmag est une tension de polarisation aux bornes du bolomètre 140 lors de la lecture de celui-ci ; ^ TCR est le coefficient de variation de la résistance électrique du bolomètre 140 en fonction de la température de celui-ci ; ^ Rth est la résistance thermique entre le bolomètre 140 et le substrat au dessus duquel il est suspendu ; et ^ (Y(6scène) est le flux d'énergie absorbé par le bolomètre 140, lequel est fonction de la température de la scène BSCene . Comme on peut le noter, la sensibilité S est au premier ordre inversement proportionnelle à la valeur Rimag . On conçoit donc que si la grandeur Rimag dérive, le résultat de détermination de la température BSCene est faussé. L'agencement et le fonctionnement des éléments venant d'être décrits en relation avec la lecture du bolomètre d'imagerie 140 sont classiques et ne seront donc pas expliqués plus en détail pour des raisons de concision. Pour de plus amples détails, on pourra par exemple se référer au document � Uncooled amorphous silicon enhancement for 25,um pixel pitch achievement � de E. Mottin et al, Infrared Technology and Application XXVIII, SPIE, vol. 4820. Il va maintenant être décrit en relation avec l'organigramme de la figure 3 un procédé de mesure et de compensation de la dérive des résistances électrique des bolomètres d'imagerie 140 de la matrice d'imagerie 12 mise en oeuvre par un détecteur 10 présentant l'agencement de la figure 2.35 Une première étape 70 d'initialisation, mise en oeuvre avant la première utilisation du détecteur 10, typiquement en usine, consiste à déterminer les valeurs initiales des résistances électriques des bolomètres d'imagerie 140 de la matrice 12 pour des conditions de référence prédéterminées. A cet effet, en 72, le détecteur 10 est soumis aux conditions de référence pendant la durée de la mesure des résistances. L'étape 72 consiste notamment à imposer au détecteur 10 une température uniforme connue Bref et à soumettre celui-ci à un éclairement thermique 1 ref uniforme également connu. A cette fin, le détecteur 10 est par exemple muni d'un système de régulation de la température de son plan focal et d'un obturateur, comme cela est connu en soi. Lors de l'étape 72, le système de régulation de température porte la matrice d'imagerie 12 à la température 9ref, et l'obturateur est fermé pour que celle-ci soit soumise à un éclairement `bref de référence. Ensuite, en 74, un compteur de ligne Nligne et un compteur de mesure Nmesure du circuit de cadencement 18 sont initialisés à la valeur � 1 �. En 76, le circuit de cadencement 18 ouvre les interrupteurs de lecture 46 de la ligne 20 Nligne de la matrice 12. Le circuit de cadencement 18 ouvre également les premiers et seconds interrupteurs de mesure de dérive 60, 62 et ferme les interrupteurs de remise à zéro 44 de la ligne de circuits d'intégration 16. Les condensateurs 42 des intégrateurs 16 se déchargent alors presque instantanément. 25 Le circuit de cadencement 18 ferme ensuite, en 78, les interrupteurs de lecture 46 de la ligne N,igne de la matrice 12. En outre, le circuit de cadencement 18 ferme les premiers interrupteurs de mesure de dérive 60 et ouvre les interrupteurs de remise à zéro 44 de la ligne d'intégrateurs 16. Par chaque agencement de la ligne Nligne illustré à la figure 2, la différence entre le courant ümag circulant dans le bolomètre d'imagerie 140 et le 30 courant iref circulant dans la résistance de référence Rref 56 commence donc à être intégrée par le condensateur 42. Une fois écoulée la durée Tint, le circuit de cadencement 18 ouvre, en 80, les interrupteurs de lecture 46 de la ligne Nligne ainsi que les premiers interrupteurs de 35 mesure de dérive 60 de la ligne de circuits de dérive 38. La tension Vout en sortie d'un circuit d'intégration 16 d'un agencement de la figure 2 est alors donnée par l'expression :15 1 Tt Vout Vbus + f (imag (t) ù lref (t))dt (3) Cint 0 Cette tension Vout est alors mémorisée après transfert par des moyens classiques, en 82, par le bloc de correction 34 de l'unité de traitement d'informations 28. Toujours en 82, le bloc 34 détermine en fonction de la tension Vout la différence entre la résistance électrique Rimag du bolomètre d'imagerie 140 et la résistance électrique Rref de la résistance de référence 56. Puis, connaissant la valeur Rref qui est conservée dans le bloc mémoire 32 de l'unité 28, le bloc 34 détermine la résistance électrique Rimag du bolomètre d'imagerie 140. La valeur Rimag calculée est ensuite, en 84, mémorisée dans le bloc mémoire 32. Dans une étape 86 optionnelle suivante, un test est mis en oeuvre pour savoir si la valeur d'un compteur de mesure Nmesure est égale à une valeur prédéterminée Nm sure Si tel n'est pas le cas, le circuit de cadencement incrémente, en 88, le compteur Nmesure de � 1 �, puis l'étape 88 boucle sur l'étape 76 pour un nouveau cycle de lecture de la ligne Niigne . Si le test mis en oeuvre en 86 est positif, le bloc de correction 34 forme, en 90, pour 20 chaque bolomètre d'imagerie 140 de la ligne N,igne, la moyenne temporelle g, des N éS ,e dernières valeurs calculées Rimag de résistance électrique. La moyenne Rimag est alors mémorisée dans le bloc mémoire 32. Un test est alors ensuite mis en oeuvre en 92 pour savoir si la valeur du compteur de 25 ligne Niigne est égale au nombre de lignes n de la matrice 12. Si tel n'est pas le cas, le circuit de cadencement incrémente, en 94, la valeur de ce compteur de � 1 �, et l'étape 94 boucle sur l'étape 76 pour la lecture de la ligne suivante. Si tel est le cas, l'ensemble des résistances électriques des bolomètres d'imagerie 140 a 30 été lu, et le procédé se poursuit par une étape 98 dans laquelle la valeur Rimag de chaque bolomètre d'imagerie 140 est mémorisée dans le bloc mémoire 32 dans une table des résistances électriques de référence R~ ag du bolomètre d'imagerie 140 soumis aux conditions de référence. L'intérêt de procéder à un moyennage temporel de valeurs de résistance électrique mesurées réside dans la possibilité de filtrer un bruit de mesure sur celle-ci. La valeur moyenne permet d'obtenir une valeur de résistance électrique mesurée plus précise. L'étape 70 d'initialisation est alors terminée. Le bloc mémoire 32 contient donc à ce stade une matrice de valeurs de référence Kâg de résistance électrique pour les bolomètres 140 de la matrice 12. En complément et suivant un cycle de lecture similaire au moyen du circuit de cadencement 18, les sensibilités Stntt des n fois m bolomètres d'imagerie 140 sont mesurées suivant un procédé standard de l'état de la technique au moyen de deux sources de rayonnement (corps noirs uniformes) de températures différentes et sont mémorisées dans le bloc de mémoire 32. La table de sensibilité Stntt est copiée dans une table S du bloc mémoire 32 et utilisée comme table opérationnelle de sensibilité 15 pour la mise en oeuvre du détecteur. Une fois le détecteur 10 mis en service, le procédé se poursuit par une étape 100 de mesure de la dérive en résistance de chaque bolomètre d'imagerie 140 de la matrice 12, suivie d'une étape 102 de correction de ces dérives. Les étapes de mesure et de correction de dérive 100, 102 sont par exemple déclenchées régulièrement et/ou périodiquement ou bien à la demande de l'utilisateur du détecteur 10, quand ce dernier suspecte que le détecteur 10 est sujet à une dérive préjudiciable. 25 Plus particulièrement, l'étape 100 de mesure de la dérive comprend les étapes 72 à 94 susmentionnées. A l'issue de l'étape 100, il est donc mémorisé dans le bloc mémoire 32 de l'unité de traitement d'informations 28, une nouvelle mesure moyennée gmag de la résistance électrique de chaque bolomètre d'imagerie 14. 30 Lors de l'étape de correction 102, le bloc de correction 34 de l'unité 28 modifie alors la table de sensibilité électrique S du bloc de mémoire 32 en multipliant chacun des Yef éléments de la table Stntt par le rapport R`mag correspondant, et en mémorisant le Rimag résultat dans la table S de bloc 32, qui devient la nouvelle table opérationnelle. 35 L'étape 102 boucle alors, suivant une périodicité prédéterminée, sur l'étape 100 pour la mesure et la correction de nouvelles dérives des bolomètres d'imagerie 140 de la matrice 12. La périodicité peut typiquement être de l'ordre du mois ou de l'année. 20 Comme on peut le constater, le premier mode de réalisation selon l'invention présente l'avantage de ne pas nécessiter une correction � active � des dérives des bolomètres d'imagerie. Le premier mode de réalisation est applicable à des matrices de microbolomètres, afin par exemple de moduler ou d'annuler les phénomènes de dispersion spatiale de sensibilité, liés aux dérives différentielles de résistances d'un microbolomètre à un autre (tels que typiquement produit par un éblouissement local). Dans ce cas, c'est avantageusement, mais pas nécessairement, la table entière des sensibilités individuelles (appelée table de gain par les familiers du domaine) qui est remise à jour grâce à la mise en oeuvre proposée. Le familier du domaine comprendra qu'il ne s'agit pas d'une recalibration, opération beaucoup plus lourde, mais d'un processus de stabilisation � arithmétique � de la table de gain. De cette manière, l'exactitude de la sensibilité de chaque point d'imagerie est préservée dans le temps sur de très longues durées, sans recalibration. Comme on peut le noter, dans ce premier mode de réalisation, la correction des dérives des résistances électriques des bolomètres d'imagerie 140 requiert de reconstituer précisément, lors de chaque mesure de dérive, les conditions de référence en vigueur lors de la première mesure de � référence � des résistances R~ ag . Ces conditions sont directement obtenues par la disposition dans le détecteur d'un régulateur de température et d'un obturateur, moyens traditionnels du domaine. Cependant, ceci peut s'avérer dans certains cas contraignant pour l'utilisateur DEUXIEME MODE DE REALISATION Les inventeurs ont remarqué que, dans la grande majorité des cas, l'évolution temporelle de la dérive des bolomètres de compensation 50 est sensiblement la même que celle des bolomètres d'imagerie 140. Ceci peut en effet s'expliquer par le fait que les deux types de structures sont intentionnellement et avantageusement élaborés à partir de la, ou des, même(s) couche(s) de matériau sensible, lesquelles subissent ensuite sensiblement la même histoire thermique. Or, les bolomètres de compensation 50 sont conçus pour être très peu sensibles, et idéalement insensibles au rayonnement issu de la scène. Le second mode de réalisation tire avantageusement partie de ce trait en mesurant la dérive des bolomètres de compensation et en corrigeant la dérive des bolomètres d'imagerie 140 en fonction des dérives mesurées des bolomètres de compensation 50. Ceci évite donc d'avoir à fixer des conditions d'éclairement (de flux infrarouge) particulières lors de la mesure de dérive, puisque les bolomètres de compensation 50 y sont insensibles. L'utilisateur y gagne donc en confort d'utilisation et/ou il n'est pas nécessaire de prévoir des moyens de fixation de l'éclairement tel un obturateur par exemple, même si il est avantageux de les prévoir. Selon ce deuxième mode de réalisation, l'agencement élémentaire du détecteur 10, comportant un bolomètre d'imagerie 140, un intégrateur 16, un circuit de compensation 24 et un circuit de dérive 38, est identique à celui de la figure 2. Ce deuxième mode de réalisation diffère donc du premier mode de réalisation par le procédé qu'il met en oeuvre. Ce procédé est illustré par l'organigramme de la figure 4. Le procédé débute par une phase 112 de mesure des résistances électriques des 15 bolomètres de compensation 50 de la ligne de circuits 24. Cette phase 112 comprend une étape 114 dans laquelle le détecteur 10 est soumis à des conditions prédéterminées pendant la durée de la mesure des résistances. Ces conditions consistent, pour ce mode de réalisation, à imposer au détecteur 10 la 20 température uniforme connue 9ref . Ensuite, en 116, un compteur de mesure Nmesure du circuit de cadencement 18 est initialisé à � 1 � et l'ensemble des interrupteurs de lecture 46 de la matrice 12 sont ouverts par le circuit de cadencement 18. Puis, en 118, le circuit de cadencement 18 ouvre les premiers et seconds interrupteurs de mesure de dérive 60, 62 et ferme les interrupteurs de remise à zéro 44 de la ligne de circuits d'intégration 16. Les condensateurs 42 des intégrateurs 16 se déchargent sensiblement instantanément. 30 Ensuite, le circuit de cadencement 18 ferme en 120 les premiers et seconds interrupteurs de mesure de dérive 60, 62, et ouvre les interrupteurs de remise à zéro 44 des lignes de circuits 16. Pour chaque agencement de circuit de compensation 24, de circuit de dérive 38 et d'intégrateur 16 illustré à la figure 2, la différence entre le 35 courant ieomp circulant dans le bolomètre de compensation 50 et le courant iref circulant dans la résistance de référence 56 commence donc à être intégrée par le condensateur 42. 25 Une fois écoulée la durée lt , le circuit de cadencement 18 ouvre, en 122, les premiers et seconds interrupteurs de mesure de dérive 60, 62 de la ligne de circuit de dérive 38. La tension Vout en sortie d'un circuit de mesure 22 d'un agencement de la figure 2 est alors donnée par l'expression : 1 Tt Vout = Vbus + f (icomp (t) ù iref (t))dt (4) Cint 0 Cette tension Vout est alors mémorisée après transfert par des moyens classiques, en 124, par le bloc de correction 34 de l'unité de traitement d'informations 28. Toujours 10 en 124, le bloc 34 détermine ensuite en fonction de la tension Vout la différence entre une résistance électrique Roomp du bolomètre de compensation 50 et la résistance électrique Rref de la résistance 56. Puis, connaissant la valeur Rref qui est stockée dans le bloc mémoire 32 de l'unité 28, le bloc 34 détermine la résistance électrique Roomp du bolomètre de compensation 50. La valeur Roomp calculée est ensuite, en 126, 15 mémorisée dans le bloc mémoire 32. Dans une étape 128 optionnelle suivante, un test est mis en oeuvre pour savoir si la valeur d'un compteur de mesure Nmesure est égale à la valeur Nm sure. Si tel n'est pas le cas, le circuit de cadencement 18 incrémente en 130 le compteur Nmesure de � 1 �, puis 20 l'étape 130 boucle sur l'étape 118 pour un nouveau cycle de lecture de la ligne des bolomètres de compensation 50. Si le test mis en oeuvre en 128 est positif, le bloc de compensation 34 forme, en 132, pour chaque bolomètre de compensation 50 de la ligne de circuits de compensation 24, 25 la moyenne Romp des N,n sure dernières valeurs calculée Roomp de résistance électrique. La moyenne Romp est alors mémorisée en 134 dans un espace dédié du bloc mémoire 32 comme valeur de résistance électrique de référence Rref du bolomètre de omP compensation 50. 30 En complément, et suivant un cycle de lecture similaire au moyen du circuit de cadencement 18, les réponses Stntt des n fois m bolomètres d'imagerie 140 sont mesurées suivant le procédé standard de l'état de la technique au moyen de deux sources de rayonnement uniformes de température différentes et sont mémorisées dans 35 le bloc de mémoire 32. La table Stnit est ensuite copiée dans la table opérationnelle S .5 Une fois le détecteur mis en service, le procédé se poursuit par une étape 136 de mesure de la dérive en résistance de chaque colonne de la matrice d'imagerie 12, suivie d'une étape 138 de correction de cette dérive. Les étapes de mesure et de correction de dérive 136, 138 sont par exemple déclenchées régulièrement et/ou périodiquement ou encore à la demande de l'utilisateur du détecteur 10, quand ce dernier suspecte que le détecteur 10 est sujet à une dérive préjudiciable. Plus particulièrement, l'étape 136 de mesure de la dérive comprend les étapes 114 à 132 susmentionnées. A l'issue de l'étape 132, il est donc mémorisé dans le bloc mémoire 32 de l'unité de traitement d'informations 28, une nouvelle mesure moyennée Romp de la résistance électrique de chaque bolomètre de compensation 50. Lors de l'étape de correction 138, le bloc de correction 34 de l'unité 28 recalcule alors la table opérationnelle de sensibilité électrique S du bloc de mémoire 32 en RYef multipliant chacun des éléments de la table Stntt par le rapport eOmp correspondant. Rcomp Dans les premier et second modes de réalisation, les intégrateurs 16, usuellement présents dans le détecteur 10 pour la lecture de la matrice d'imagerie 12, sont utilisés pour la mesure des dérives de celle-ci. Or, la valeur de la capacité C,nt des condensateurs 42 est classiquement sélectionnée pour intégrer une différence entre le courant circulant dans un bolomètre d'imagerie 140 et un bolomètre de compensation 50. 25 De fait, il est nécessaire d'utiliser des circuits de dérive 38 comprenant chacun une résistance 56 proche des résistances 140 ou 50, afin de ne pas saturer les condensateurs 42 lors de la mesure de la dérive des bolomètres d'imagerie 140. Toutefois l'utilisation d'une telle résistance 56 induit une imprécision dans cette 30 mesure, par exemple en raison d'une imprécision liée à la dispersion technologique sur la valeur RYef de la résistance électrique de celle-ci. Selon un troisième et un quatrième mode de réalisation décrits ci-dessous, la mesure de la dérive des bolomètres d'imagerie 140 est réalisée à partir d'une mesure absolue 35 de leur résistance électrique.20 TROISIEME MODE DE REALISATION Comme cela est visible à la figure 5 qui illustre le troisième mode de réalisation, les éléments de celui-ci diffèrent de ceux décrits en relation avec les figures 1 et 2 en ce que les circuits de dérive 38 sont omis. L' agencement élémentaire du détecteur 10 comprend donc le point élémentaires d'image 14, l'intégrateur 16 et le circuit de compensation 24. Le troisième mode de réalisation met en oeuvre un procédé analogue à celui du premier mode de réalisation décrit en relation avec la figure 3. La principale différence réside dans le fait que, lors de la mesure de la dérive du bolomètre 140, le courant intégré par le condensateur 42 n'est plus la différence entre le courant circulant dans le bolomètre d'imagerie 140 et la résistance de référence 56, mais directement le courant circulant dans le bolomètre d'imagerie 140. La seconde différence réside dans le fait que la durée d'intégration est réduite pour éviter que le condensateur 42 ne sature. Ainsi, à la fin d'un cycle d'intégration, la tension Vaut en sortie de l'intégrateur 16 est donnée par la relation : 1 L. Vaut = Vbus + Jiimag (t)dt Cint 0 où Tint est une durée d'intégration réduite sélectionnée pour ne pas saturer le condensateur 42 lors de la mesure de la dérive d'un bolomètre d'imagerie 140. Le bloc 34 de calcul détermine alors une résistance électrique Rtmag du bolomètre d'imagerie 25 140 en fonction de la tension Vaut . En variante, plutôt que de réduire la durée d'intégration, la valeur de la capacité Cint des condensateurs 42 est augmentée de manière à ce que ceux-ci ne saturent pas lors d'une intégration de durée Tint . Par exemple, l'intégrateur 16 comporte deux condensateurs, un premier étant sélectionné par le circuit de cadencement 18 lors de la lecture de la matrice d'imagerie 12 et le second étant sélectionné lors de la mesure de la dérive des bolomètres d'imagerie 140. 1s 15 20 (5) 30 35 QUATRIEME MODE DE REALISATION Dans le quatrième mode de réalisation, la mesure et la correction de la dérive des bolomètres d'imagerie 140 est réalisée sur la base de la mesure de la dérive des bolomètres de compensation 50, pour les mêmes avantages que ceux évoqués pour le deuxième mode de réalisation. A cet effet, dans le quatrième mode de réalisation, l'agencement élémentaire du détecteur 10 est identique à celui de la figure 5. Le procédé de mesure et de compensation des dérives est analogue à celui du deuxième mode de réalisation décrit en relation avec la figure 4. La principale différence réside dans le fait que, lors de la mesure de la dérive du 15 bolomètre 140, le courant intégré par le condensateur 42 n'est plus la différence entre le courant circulant dans le bolomètre de compensation 50 et la résistance de référence 56 mais directement le courant circulant dans le bolomètre de compensation 50. La seconde différence réside dans le fait que la durée d'intégration est raccourcie pour 20 éviter que le condensateur 42 ne sature. Ainsi, à la fin d'un cycle d'intégration, la tension Vaut en sortie de l'intégrateur 16 est donnée par la relation : 7 Vaut Vbus + Zcomp (t)dt Cint 0 25 Le bloc de correction 34 détermine alors une résistance électrique Rcomp du bolomètre de compensation 140 en fonction de la tension Vaut . En variante, plutôt que de diminuer la durée d'intégration, la valeur de la capacité Cint des condensateurs 42 est augmentée de manière à ce que ceux-ci ne saturent pas lors 30 d'une intégration de durée Th, . Par exemple, l'intégrateur 16 comporte deux condensateurs, un premier étant sélectionné par le circuit de cadencement 18 lors de la lecture de la matrice d'imagerie 12 et le second étant sélectionné lors de la mesure de la dérive des bolomètres de 35 compensation 50. 19 (6) Comme on peut le constater, les quatre modes de réalisation selon l'invention permettent une correction spatiale de la dérive de la matrice d'imagerie 12. En effet, la dérive des bolomètres d'imagerie est compensée bolomètre par bolomètre de ladite matrice (cas des premier et troisième modes de réalisation) ou est compensée colonne par colonne de la matrice d'imagerie 12 (cas des deuxième et quatrième modes de réalisation). CINQUIEME MODE DE REALISATION Selon un cinquième mode de réalisation de l'invention, le détecteur est muni d'un système de régulation de la température de son plan focal. Par exemple, le détecteur est équipé d'un module à effet Peltier ou d'un réchauffeur à effet Joule, bien connus en soi. Dans ce mode de réalisation, la mesure de la dérive des bolomètres d'imagerie est identique à celle de l'un quelconque des modes de réalisation décrits précédemment en relation avec les figures 1 à 5. En revanche, la correction des dérives des bolomètres est réalisée de manière � active � en corrigeant la dérive de la résistance électrique de ceux-ci au moyen de la commande de la température du plan focal, comme cela est illustré par l'organigramme de la figure 6. Sur la figure 6, le procédé de mesure et de correction des dérives des bolomètres d'imagerie 140 comprend, par exemple, une première étape initiale 160 comprenant les étapes 72 à 94 du premier mode de réalisation, suivie d'une étape 162 de mesure de dérive identique à l'étape de mesure 100 du premier mode de réalisation, les étapes 72 - 94 et 100 ayant été décrites précédemment en relation avec la figure 3. Le procédé se poursuit alors par une phase 164 de correction des dérives mesurées, déclenchée selon les mêmes critères que ceux précédemment décrits. La phase de correction 164 comporte une première étape 166, dans laquelle le bloc de correction 34 de l'unité de traitement d'informations 28 calcule une dérive moyenne ARimag des n fois m bolomètres 140 de la matrice d'imagerie 12 ou bien une dérive moyenne ARcomp des bolomètres de compensation 50. Plus particulièrement, le bloc 34 détermine la moyenne des différences Rlmag û Ri ag associées aux bolomètres d'imagerie 140 de la matrice 12 ou des différences Romp ûRf associées aux bolomètres de compensation 50. Dans une étape 166 suivante, le bloc de correction 34 calcule en fonction de la dérive moyenne LXRimag (ou ARoomp), une température de consigne Tc pour le système de régulation de la température du plan focal. Cette consigne Tc est calculée de manière à ce que son application au plan focal ait pour effet une diminution de ARimag (respectivement ORoomp) des résistances électriques des bolomètres d'imagerie 140. On sait en effet qu'il existe, dans le domaine de fonctionnement du détecteur 10, une relation continûment décroissante entre la température d'un bolomètre d'imagerie 140 et la valeur de sa résistance électrique. Ainsi, commander sa température est équivalent à commander sa résistance électrique. L'étape de compensation 164 se poursuit donc par une étape 170 de régulation de la 15 température du plan focal sur la température de consigne Tc . Enfin, l'étape 170 boucle sur l'étape 162 pour la mesure d'une nouvelle dérive moyenne ARimag et d'une nouvelle consigne de température Tc compensant celle-ci. 20 Comme on peut le constater, lors du fonctionnement du détecteur 10 pour la formation d'images thermiques de la scène, les bolomètres d'imagerie 14 voient leur résistance électrique diminuée de la valeur LXRimag à la suite de ce processus de correction par changement de température de plan focal. De ce fait, la dérive de leur résistance électrique est compensée de manière active. 25 Comme on le notera également, la compensation des dérives du cinquième mode de réalisation est une compensation en moyenne des dérives des bolomètres d'imagerie de la matrice d'imagerie 12. 30 La présente invention trouve application dans le domaine des capteurs d'image à détection bolométrique, quelle que soit la bande de fréquences de détection ou du type de matériau bolométrique utilisé pour réaliser les bolomètres d'imagerie et de référence, comme par exemple du silicium amorphe (a-Si), de l'oxyde de vanadium (Vox), de l'oxyde métallique (Ti). 35 Ainsi, la présente invention trouve application dans : ^ la pyrométrie infra-rouge à micro-bolomètres ; ^ l'imagerie infra-rouge à micro-bolomètres ; ^ l'aide à la conduite et la détection de piétons par imagerie infra-rouge à micro-5 bolomètres ; ^ la mesure de gaz par imagerie infrarouge à micro-bolomètres ; ou ^ plus généralement dans les mesures physiques à micro-bolomètres. REVENDICATIONS1. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge comportant un bolomètre résistif d'imagerie (140), caractérisé en ce qu'il comporte : ^ des moyens (16, 38 ; 16, 24, 38 ; 16, 140 ; 16, 24) de mesure d'une dérive de la résistance électrique dudit bolomètre (140) par rapport à une résistance électrique de référence correspondant à des conditions prédéterminées de fonctionnement dudit bolomètre (140); et ^ des moyens (34) de correction des effets de ladite dérive ou de ladite dérive de la résistance. 2. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de mesure comprennent : ^ un bolomètre résistif de référence (140 ; 50) sujet à ladite dérive ; ^ des moyens (16, 38 ; 16, 140) de mesure de la résistance électrique du bolomètre de référence (140 ; 50) ; et ^ des moyens (34) de détermination de ladite dérive en fonction de la résistance électrique mesurée. 3. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon la revendication 2, caractérisé en ce que le bolomètre de référence est un bolomètre de compensation (50) associé au bolomètre d'imagerie. 4. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon la revendication 2, caractérisé en ce que le bolomètre de référence est le bolomètre d'imagerie (140). 5. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon l'une des revendications 2, 3 ou 4, caractérisé en ce que les moyens de mesure de la résistance électrique du bolomètre de référence (140 ; 50) comprennent : ^ des moyens (42) d'intégration d'un courant traversant celui-ci ; et ^ des moyens (34) de détermination de la résistance électrique du bolomètre de référence en fonction du courant intégré par les moyens d'intégration. 6. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon l'une des revendications 2, 3 ou 4, caractérisé en ce que les moyens (16, 34, 38) de mesure de la résistance électrique du bolomètre de référence comprennent : ^ une résistance (56) de résistance électrique prédéterminée apte à être connectée au bolomètre de référence (140 ; 50) ;^ des moyens (42) d'intégration d'une différence de courants traversant le bolomètre de référence (140 ; 50) et la résistance (56) ; et ^ des moyens (34) de détermination de la résistance électrique du bolomètre de référence en fonction de la différence de courants intégrée par les moyens d'intégration. 7. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon l'une des revendications 5 et 6, caractérisé en ce qu'il comporte un circuit de mesure de la résistance électrique du bolomètre d'imagerie par intégration d'un courant traversant celui-ci, destiné à la mesure d'une température du rayonnement infrarouge, et en ce que les moyens (42) d'intégration appartiennent audit circuit de mesure. 8. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les moyens de correction (34) comprennent des moyens de commande de la température du bolomètre d'imagerie de manière à compenser ladite dérive. 9. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé : ^ en ce qu'il comporte en outre des moyens de mesure d'une résistance électrique du bolomètre d'imagerie (140) et des moyens (30) de détermination d'une température du rayonnement incident sur celui-ci en fonction de la résistance électrique mesurée et d'au moins un paramètre dépendant de la résistance électrique du bolomètre d'imagerie (140), et ^ en ce que les moyens (34) de correction sont aptes à corriger ledit au moins un paramètre en fonction de la dérive mesurée de manière corriger l'effet de celle-ci dans la détermination de la température. 10. Dispositif pour la détection d'un rayonnement infrarouge selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit au moins un paramètre est une sensibilité électrique à la température d'un circuit de mesure de la résistance électrique du bolomètre d'imagerie (140). 11. Système de détection d'un rayonnement infrarouge comportant au moins une ligne de dispositifs de détection dudit rayonnement, caractérisé en ce que les dispositifs sont chacun conformes à l'une quelconque des revendications 1 à 10. 12. Procédé de lecture d'un bolomètre résistif (140) d'une matrice de bolomètres (12) constitutive d'un système de détection d'un rayonnement infrarouge (10), ledit procédé comportant : ^ une étape (100 ; 136 ; 162) de mesure d'une dérive de la résistance 5 électrique dudit bolomètre (140) par rapport à une résistance électrique de référence correspondant à des conditions prédéterminées de fonctionnement de celui-ci ; et ^ une étape (102 ; 138 ; 164) de correction des effets de ladite dérive ou de ladite dérive de la résistance. 10