Brevet FR2937464A1 — publié le 20100423

Assemblage d'une puce microélectronique à rainure avec un élément filaire sous forme de toron et procédé d'assemblage Domaine technique de l'invention L'invention est relative à un assemblage d'au moins une puce 10 microélectronique avec un élément filaire, ladite puce comportant deux faces principales parallèles et des faces latérales, au moins l'une des faces latérales comportant une rainure longitudinale d'encastrement de l'élément filaire. 15 État de la technique 20 De nombreuses techniques existent aujourd'hui pour connecter mécaniquement et électriquement des puces microélectroniques entre elles. Une technique conventionnelle consiste, une fois les puces formées sur un substrat et libérées par sciage, à réaliser une connexion mécanique rigide entre les puces. Les puces, alors fixées sur un support rigide, sont ensuite 25 connectées électriquement avant qu'un enrobage de protection ne soit formé. Cette approche, consistant à réaliser la connexion sur un support rigide, est classiquement utilisée lorsqu'il existe une grande complexité dans la connexion des puces. Cependant, cette approche a pour principal inconvénient d'utiliser un support mécanique rigide qui est particulièrement 30 mal adapté à une intégration dans des structures souples.5 Le document WO2008/025889 de la demanderesse décrit, comme l'illustre la figure 1, une puce microélectronique comportant deux faces principales parallèles 1, 2 et des faces latérales 3a, 3b reliant les deux faces principales 1 et 2. Au moins une des faces latérales 3a, 3b comporte une rainure 4 munie d'un élément de connexion électrique (non représenté) et formant un logement pour un élément filaire 5. L'élément de connexion électrique est réalisé par métallisation de la rainure 4. L'élément filaire 5 est ensuite solidarisé à la rainure 4 par soudure avec apport de matériau, par électrolyse, par collage, ou par encastrement. Si la puce microélectronique a besoin de deux bus de données indépendants, cela nécessite de réaliser deux rainures sur deux faces latérales indépendantes, chaque rainure 4 comportant un élément de connexion électrique distinct. Ainsi les deux bus de données sont réalisés par l'association de deux éléments filaires 5 électriquement conducteurs disposés dans deux rainures distinctes. Ceci ne pose pas de problèmes de réalisation tant que l'on ne multiplie pas le nombre de bus de données. En effet, si la puce a besoin d'une dizaine de connexions distinctes, il ne sera pas possible de réaliser ces connexions à moins de rajouter des bornes de connexion sur les faces principales 1 et 2 surchargeant la puce microélectronique et réduisant la souplesse de l'assemblage. De plus, dans le cas où un assemblage comporte plusieurs puces reliées les unes aux autres par un élément filaire, ces puces sont obligées de partager un même bus de données. Objet de l'invention L'objet de l'invention a pour but de réaliser un assemblage entre un élément filaire et une puce ne présentant pas les inconvénients de l'art antérieur. Ce but est atteint par le fait que l'élément filaire est un toron comportant au moins deux fils électriquement conducteurs recouverts d'isolant et en ce que la puce comporte, dans la rainure au moins un plot électriquement conducteur, ledit plot étant en contact électrique avec une zone dénudée d'un seul des fils électriquement conducteurs du toron. Selon une première variante, l'assemblage comporte au moins deux puces reliées par le toron, un fil électriquement conducteur du toron étant en contact avec un plot d'une seule puce. Selon une seconde variante, un fil électriquement conducteur du toron est en 1 o contact avec un plot d'au moins deux puces. Selon une autre variante, ladite puce comporte autant de plots que de fils électriquement conducteurs distincts du toron, chaque plot étant en contact électrique avec un fil associé du toron. Selon un développement, chaque plot est disposé sur au moins une première paroi latérale de la rainure et constitue des moyens de blocage du toron dans la rainure par pincement du toron entre chaque plot et une seconde paroi latérale de la rainure opposée audit plot. 20 Un autre objet de l'invention est un procédé de réalisation d'un assemblage d'une puce microélectronique à rainure avec un élément filaire sous forme de toron. Ce procédé comporte la formation d'un toron encastré dans la rainure, ledit toron étant bloqué par pincement entre chaque plot et la paroi latérale 25 opposée audit plot, et la dénudation d'une zone du fil électriquement conducteur du toron destiné à venir en contact avec le plot correspondant. 15 30 Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels : La figure 1 illustre une puce microélectronique reliée à des éléments filaires par encastrement dans une rainure selon l'art antérieur. La figure 2 illustre, en vue de côté, une puce microélectronique utilisée pour réaliser l'assemblage selon l'invention. La figure 3 illustre, selon une coupe A-A de la figure 2 une puce microélectronique. La figure 4 illustre, selon une vue B-B de la figure 2, une puce 15 microélectronique dans laquelle un élément filaire sous forme de toron a été inséré. La figure 5 illustre, selon une coupe similaire à la coupe A-A de la figure 2, une variante de réalisation des plots de connexion dans la rainure. Les figures 6 et 7 illustrent un procédé de raccordement d'une puce 20 microélectronique avec un élément filaire. Les figures 8, 9 et 10 illustrent schématiquement des types de connexions électriques possible d'un assemblage. 25 Description d'un mode préférentiel de l'invention Les puces microélectroniques peuvent être utilisées pour former un assemblage de puces sous forme de guirlandes. Les puces sont alors reliées entre elles par un élément filaire. Comme l'illustre la figure 2, la puce 30 microélectronique comporte deux faces principales parallèles 1, 2 et des faces latérales 3a et 3b reliant les deux faces principales 1 et 2. Au moins une des faces latérales 3a, 3b comporte une rainure 4 longitudinale d'encastrement de l'élément filaire 5. La rainure 4 est délimitée par deux parois latérales 10a et 10b pouvant être reliées au fond de la rainure 4 par un pan 11. Ce type de puce peut se présenter sous la forme d'un assemblage de deux composants microélectroniques, ou d'un composant microélectronique 6 et d'une contreplaque 7 comme sur la figure 2. Les deux composants, ou le composant et la contreplaque, sont sensiblement de mêmes dimensions et io sont reliés par une entretoise 8. L'entretoise 8 étant de dimensions inférieures à celles du composant microélectronique 6, son placement permet d'obtenir naturellement au moins une rainure 4. Une puce peut aussi comporter, comme l'illustre la figure 2, deux rainures se situant de part et d'autre de l'entretoise 8. L'assemblage avec l'entretoise 8 permet d'obtenir 15 les rainures 4 par montage de la puce, en évitant une étape d'usinage, complexe et risquée pour l'intégrité de la puce lors de la fabrication. Les rainures 4 sont alors conformées en U et délimitées par les deux parois latérales 10a et 10b, pouvant être sensiblement parallèles, reliées par le pan 11 formant le fond de la rainure 4. La contreplaque 7 peut être réalisée en 20 verre, matériau composite, etc. Une puce est destinée à être reliée par un élément filaire 5 constitué d'au moins deux fils électriquement conducteur, isolés l'un de l'autre, formant un toron. Chaque rainure 4 de chaque puce comporte alors au moins un plot 9 25 (� bump � en anglais) électriquement conducteur, le plot 9 étant, après l'assemblage de d'élément filaire 5 avec la puce microélectronique, en contact électrique avec une zone dénudée d'un seul des fils électriquement conducteurs du toron. Une fois en place, l'élément filaire 5 peut être solidarisé de la rainure par simple collage, par exemple par l'introduction 30 d'une colle époxy dans la rainure. De préférence, l'isolation électrique des fils électriquement conducteurs constituant le toron est constituée par un dépôt isolant que revêt chaque fil électriquement conducteur. Ce dépôt isolant peut être organique, par exemple un thermoplastique, une colle époxy, et/ou minéral, par exemple le SiO2 ou l'Alumine. Ainsi, lorsque le toron est inséré dans la rainure 4, le dépôt isolant recouvrant chaque fil électriquement conducteur est percé lors de la sollicitation du fil avec son plot 9. Le fil est alors en contact électrique avec le plot correspondant au niveau d'une zone dénudée 12 de contact intime (figure 4) et isolé en dehors de cette zone 12. Le contact intime est nécessaire pour assurer une bonne conduction électrique entre chaque fil électriquement conducteur du toron et son plot 9. En général, le contact intime est obtenu par sollicitation de l'élément filaire 5 contre le plot 9 correspondant. Cette sollicitation permet de rayer le fil au niveau de la zone de contact 12 intime et ainsi de dénuder automatiquement une zone du fil. Un assemblage peut comporter au moins deux puces reliées par le toron. Un fil électriquement conducteur du toron est en contact avec un plot 9 d'une seule puce. Selon l'exemple particulier illustré à la figure 8, trois puces sont reliées par un élément filaire 5 sous forme de toron comportant trois fils électriquement conducteurs, chaque fil électriquement conducteur étant relié électriquement à une seule puce par l'intermédiaire du plot 9 de connexion. Une puce comporte alors un bus de données totalement indépendant. Bien entendu, ce principe peut s'appliquer à une pluralité de puces, le toron comportant alors autant de fils électriquement conducteurs que l'assemblage comporte de puces. Selon une variante, un fil électriquement conducteur du toron est en contact électrique avec un plot 9 d'au moins deux puces. Ainsi, comme l'illustre la figure 9, l'assemblage comporte trois puces et les puces de chaque extrémité de l'assemblage partagent un même fil électriquement conducteur servant par exemple de bus de données commun. Selon une autre variante, une puce peut comporter autant de plots que de fils électriquement conducteur du toron. Dans le cas de l'exemple particulier illustré à la figure 10, la puce comporte trois plots 9 et le toron 5 est constitué par trois fils électriquement conducteurs. Chaque plot 9 est en contact électrique avec un seul fil électriquement conducteur du toron permettant de multiplier les connexions pour une même puce. Bien entendu, les trois exemples d'assemblage décrits ci-dessus ne sont pas limitatifs. En effet, tout type d'assemblage et de connexion peut être envisagé, les différents types peuvent notamment être utilisés en combinaison. Un fil électriquement conducteur constitutif du toron peut correspondre à un bus de données ou à une connexion d'alimentation. Dans le cas où le dépôt isolant est un thermo-plastique, lorsque le toron a été inséré dans la rainure 4 et que les plots 9 sont en contact intime avec le fil correspondant, l'assemblage obtenu peut être chauffé afin d'assurer le blocage du toron dans la rainure 4, tout en conservant l'isolation électrique entre les différents fils constituant le toron. Selon un développement illustré aux figures 2 à 5, les plots 9 sont disposés sur au moins l'une des parois latérale 10a, 10b de la rainure 4 et constituent des moyens de blocage par pincement du toron entre chaque plot 9 et la paroi latérale 10a de la rainure 4 opposée au plot 9 correspondant. Les plots 9 agissent comme une pince mécanique lorsqu'un toron est inséré dans la rainure 4. Ainsi, comme illustré à la figure 4, le toron comporte, à titre d'exemple, trois fils électriquement conducteurs 5a, 5b et 5c. La torsion de ces trois fils pour réaliser le toron a généré naturellement des interstices 13 entre les fils électriquement conducteurs enroulés en hélice autours d'un axe longitudinal du toron A2 (figure 5). Les interstices 13 représentent des espaces vides entre deux fils adjacent au niveau de la surface extérieure du toron. Le diamètre D; du toron au niveau des interstices 13 est inférieur au diamètre Dt maximal du toron, et inférieur à la distance Dp séparant les plots 9 de la paroi latérale 10a de la rainure opposée audits plots 9. Le diamètre Dt maximal du toron est supérieur à la distance Dp tout en restant inférieur ou égal à la distance D, séparant les deux parois latérales 10a et 10b. Ainsi, lors de l'insertion du toron dans la rainure 4, le toron est, de préférence, placé de io manière à ce que les plots 9 soient en regard des interstices 13, permettant une insertion sans force du toron dans la rainure 4. Pour cela, les interstices 13 doivent pouvoir recevoir sans frottement un plot 9. Une fois le toron inséré, ce dernier subit une force de traction T, réalisée selon un axe longitudinal A, (figure 3) de la rainure 4, permettant aux fils 5a, 5b et 5c du 15 toron de venir en contact intime (zone 12) avec leurs plots 9 respectifs et d'assurer la dénudation des fils électriquement conducteurs du toron au niveau de la zone 12 de contact intime. La traction permet aussi au toron d'être bloqué par pincement entre les plots 9, placés sur la paroi latérale 10b de la rainure 4, et la paroi latérale 10a de la rainure 4 opposée aux plots 9. 20 Le coincement du toron par pincement permet son maintien dans la rainure 4. Afin qu'un coincement par pincement soit efficace, il est préférable que le matériau composant les fils électriquement conducteurs du toron soit plus 25 malléable que les matériaux constituant les plots 9 et la paroi latérale 10a de la rainure 4 opposée aux plots 9 ou inversement. À titre d'exemple, les fils peuvent être réalisés en argent, aluminium ou cuivre. La paroi latérale opposée au plot peut être constituée de silicium, de verre, d'époxy ou éventuellement de couches en oxyde de silicium ou nitrure de silicium dans 30 des épaisseurs comprises entre 500 et 51.tm. Les plots peuvent être réalisés en nickel, en cuivre ou en tungstène recouvert d'un film d'or. Les plots 9 situés au niveau de la rainure 4 peuvent se présenter sous différentes formes. Par exemple, comme illustré à la figure 5, ils peuvent avoir une forme allongée et être agencés de manière inclinée par rapport à l'axe longitudinal A, de la rainure 4. De préférence, l'inclinaison des plots 9 est parallèle à l'inclinaison locale des interstices 13 du toron pour faciliter l'insertion du toron, sans force, dans la rainure 4. L'inclinaison des plots 9 dépend alors du pas de la torsade du toron. En effet, plus le toron est torsadé plus le pas de la torsade devient faible, c'est-à-dire que l'axe local ~o des interstices tend à se rapprocher de la perpendiculaire selon l'axe longitudinal A2 du toron. Le blocage du toron dans la rainure 4 est ensuite réalisé par traction du toron. Comme précédemment décrit, la traction permet de pincer le toron entre chaque plot 9 et la paroi latérale 10a de la rainure 4 opposée au plot 9. L'utilisation de plots 9 inclinés permet, lors de la traction, 15 de plaquer naturellement le toron contre le fond de la rainure 4. De plus, la traction du toron permet au plot 9 d'inciser le dépôt isolant du fil électriquement conducteur correspondant et de créer le contact intime au niveau de l'interface entre le plot 9 et le fil électriquement conducteur correspondant. 20 Afin d'améliorer le contact intime entre le fil et son plot 9 au niveau de la zone de contact 12, le sommet des plots 9 est, de préférence, en forme de pointe. Cette forme de pointe est avantageuse pour permettre de faciliter la dénudation des fils et le contact intime. La rainure peut comporter certains plots destinés uniquement à améliorer le blocage du toron dans la rainure par pincement entre le plot 9 et la paroi latérale 10a de la rainure 4 opposée audit plot 9. C'est à dire que ces plots ne sont pas actifs. 25 30 Le toron peut aussi comporter des brins non conducteurs pour augmenter la résistance de l'assemblage. Dans le cas où la puce microélectronique est composée de deux composants électroniques 6, une rainure peut comporter des plots 9 sur chacune de ses parois latérales 10a et 10b. Les composants électroniques peuvent alors partager certains bus de données ou être reliés distinctement l'un de l'autre. 1 o De manière générale, le procédé d'assemblage comporte la formation d'un toron encastré dans la rainure 4. Le toron est bloqué par pincement entre chaque plot 9 et la paroi latérale opposée 10a. Le toron est dénudé au niveau d'une zone 12 du fil électriquement conducteur destiné à venir en contact avec ledit plot. 15 La dénudation est soit provoquée par l'encastrement lui-même, c'est-à-dire que le toron est encastré et pincé lors de son insertion dans la rainure 4, soit après encastrement du toron dans la rainure par traction de ce dernier selon l'axe longitudinal Al de la rainure. Selon un développement, la dénudation est réalisée après l'encastrement du toron dans la rainure par traction de ce dernier selon l'axe longitudinal Al de la rainure. 25 Selon une variante, le procédé de réalisation de l'assemblage comporte l'insertion des fils électriquement conducteurs dans la rainure 4 entre chaque plot 9 électriquement conducteur et la paroi latérale opposé 10a. Ensuite, une torsion des fils permet de former le toron directement dans la rainure 4. Enfin, une traction longitudinale du toron permet de former des zones 30 dénudées sur chaque fil, permettant la mise en contact électrique d'un fil électriquement conducteur avec un plot 9 associé. Concomitamment à la 20 dénudation, la traction permet de bloquer le toron par pincement entre le plot 9 et la deuxième paroi latérale 10a de la rainure opposée audit plot. Un exemple particulier est illustré aux figures 6, 7 et 4, ainsi, la puce microélectronique comporte trois plots allongés dont la longueur est inférieure ou égale à la profondeur P de la rainure 4. Ces plots sont perpendiculaires au pan 11 formant le fond de la rainure 4. Selon l'exemple, trois fils 5a, 5b, 5c électriquement conducteur et isolés électriquement les uns des autres sont insérés côte à côte dans la rainure 4 (figure 6). Le diamètre de chaque fil 5a, 5b, 5c étant inférieur au diamètre Dt du toron final supérieur à la distance Dp séparant le plot 9 de la paroi latérale 10a opposée, les fils 5a, 5b, 5c sont insérés sans effort dans la rainure 4. Les trois fils sont ensuite torsadés directement dans la rainure 4 pour former le toron. L'effort exercé entre les fils lors de la réalisation du toron suffit à produire une force qui tend à plaquer les fils conducteurs contre les plots 9 à connecter. Le pas de la torsade est adapté de manière à ce que chaque fil vienne en contact avec un plot distinct. La dénudation sur une zone de chaque fil se fait ensuite par la traction T du toron selon l'axe longitudinal Al de la rainure 4. La traction permet aussi de bloquer le toron par pincement entre chaque plot 9 et la paroi latérale 10a de la rainure 4 opposée audit plot 9. Avantageusement, la liaison entre un fil et un plot 9 peut être renforcée par voie chimique ou électrochimique. L'encastrement d'un toron dans une rainure 4 peut lui aussi être consolidé par électrolyse ou par insertion d'une colle époxy électriquement isolante dans la rainure.25 Revendications1. Assemblage d'au moins une puce microélectronique avec un élément filaire (5), ladite puce comportant deux faces principales (1, 2) parallèles et des faces latérales (3a, 3b), au moins l'une des faces latérales (3a,3b) comportant une rainure (4) longitudinale d'encastrement de l'élément filaire (5), assemblage caractérisé en ce que l'élément filaire (5) est un toron comportant au moins deux fils électriquement conducteurs recouverts d'isolant et en ce que la puce comporte, dans la rainure (4) au moins un plot (9) électriquement conducteur, ledit plot (9) étant en contact électrique avec une zone dénudée (12) d'un seul des fils électriquement conducteurs du toron. 2. Assemblage selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte au moins deux puces reliées par le toron, un fil électriquement conducteur du toron étant en contact avec un plot (9) d'une seule puce. 3. Assemblage selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un fil 20 électriquement conducteur du toron est en contact avec un plot (9) d'au moins deux puces. 4. Assemblage selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite puce comporte autant de plots (9) que de fils électriquement conducteurs distincts 25 du toron, chaque plot étant en contact électrique avec un fil associé du toron. 5. Assemblage selon l'une quelconque des revendication 1 à 4, caractérisé en ce que chaque plot (9) est disposé sur au moins une première paroi latérale (10b) de la rainure et constitue des moyens de blocage du toron 30 dans la rainure (4) par pincement du toron entre chaque plot (9) et une seconde paroi latérale (10a) de la rainure opposée audit plot (9). 12 6. Assemblage selon la revendication 5, caractérisé en ce que chaque plot a une forme allongée et est agencé de manière inclinée par rapport à l'axe longitudinal (A,) de la rainure (4). 7. Procédé pour réaliser un assemblage selon l'une des revendications 5 et 6, caractérisé en ce qu'il comporte la formation d'un toron encastré dans la rainure, ledit toron étant bloqué par pincement entre chaque plot (9) et la paroi latérale (10a) opposée audit plot (9), et la dénudation d'une zone (12) io du fil électriquement conducteur du toron destiné à venir en contact avec le plot correspondant. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que la dénudation est réalisée lors de l'encastrement. 9. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que la dénudation est réalisée après encastrement par traction du toron selon l'axe longitudinal de la rainure (4). 20 10. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que toron encastré est formé par torsion après insertion des fils le constituant dans la rainure (4), la dénudation et le blocage par pincement étant ensuite réalisés par traction du toron. 15