Brevet FR2936351A1 — publié le 20100326

SYSTEME A CAPACITE VARIABLE A DIELECTRIQUE SOUPLE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR La présente invention se rapporte aux dispositifs à capacité variable utilisés pour la récupération d'énergie ou comme actionneurs par application d'une tension à leurs bornes, plus particulièrement aux dispositifs à capacité variable polarisés par un ou plusieurs électret(s). Dans le domaine de la récupération d'énergie, il est connu d'utiliser des systèmes à capacité variable comportant au moins une électrode fixe, et au moins une électrode mobile en regard, les électrodes étant séparées par un entrefer d'air. L'électrode mobile est mise en mouvement par les vibrations extérieures et par injection et retrait d'une charge dans le système à des moments précis, il est possible de convertir l'énergie vibratoire en énergie électrique. Des systèmes utilisant un entrefer formé d'un polymère déformable sont également connus, par exemple du document � Dielectric polymer: scavenging energy from human motion �, de Claire Jean-Mistral, Skandar Basrour, Jean-Jacques Chaillout, dans � Electroactive Polymer Actuators and Devices � (EAPAD) 2008 edited by Bar-Cohen, Yoseph, Proceedings of the SPIE, Volume 6927, pp. 692716-1-692716-10 (2008). Ces systèmes nécessitent également une polarisation de la structure à chaque cycle pour réaliser des cycles de 2 récupération d'énergie. Cette polarisation nécessite des moyens électroniques pour le transfert des charges électriques vers la structure électrostatique, de disposer toujours d'une énergie minimale et de faire une détection de la capacité maximale. Ceci engendre des pertes électriques importantes, et rend le système très complexe. Il est également connu d'utiliser des électrets pour polariser les électrodes. Dans ce cas, il n'est plus nécessaire de polariser la structure à chaque cycle ; la gestion de l'injection et du retrait des charges n'est alors plus requise. Pour rappel, un électret est un matériau isolant électrique dans lequel sont stockées des charges électriques, soit des électrons, soit des ions. Un électret permet d'imposer une polarisation, cependant il ne permet pas de conduire le courant. Des systèmes de récupération d'énergie mettant en oeuvre des électrets sont connus. Par exemple, le document � Efficiency Evaluation of Micro Seismic Electret Power Generator �, de T. Tsutsumino, Y. Suzuki, N. Kasagi, K. Kashiwagi, Y. Morizawa dans "Proceedings of the 23rd Sensor Symposium", 2006, Takamatsu, pp. 521-524. La structure décrite dans ce document comporte un électret déposé sur une électrode de base et formant avec cette électrode, un condensateur à capacité fixe, et une électrode mobile séparée de l'électret par une couche d'air, celle-ci formant avec l'électret un condensateur à capacité variable. L'électrode mobile se déplace parallèlement à l'électret. La variation de la capacité du condensateur 3 formé par l'électrode mobile et l'électret est obtenue par variation des surfaces en regard. En fonction de la position de l'électrode mobile, une redistribution des charges électrique se fait entre l'électrode de base et l'électrode mobile via une résistance de charge entre l'électrode de base et l'électrode mobile. D'autres systèmes de récupération d'énergie à capacité variable utilisant un électret sont également connus des documents � An Electret-based Electrostatic p-generator � T. Sterken, P. Fiorini, K. Baert, R. Puers, G. Borghs,), TRANSDUCERS '03, The 12th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Boston, June 8-12, 2003, 0-7803-7731-1/03/$17.00 02003 IEEE 1291, pages 1291- 1294, et � Harvesting Energy from Vibrations by a Micormachined Electret Generator �, T. Sterken, P. Fiorini, G. Altena, C. Van Hoof and R. Puers, 1-4244-0842-3/07/$20.0002007 IEEE, pages 129-132. Or il est souhaitable de pouvoir réaliser des systèmes à capacité variable à entrefer en matériau diélectrique déformable, dans lesquels les problèmes liés à la polarisation ne se posent pas. C'est par conséquent un but de la présente invention d'offrir un système à capacité variable comportant un entrefer en matériau déformable élastiquement, de conception simplifiée par rapport aux systèmes existants. EXPOSÉ DE L'INVENTION Le but précédemment énoncé est atteint par un système comportant au moins deux électrodes séparées par matériau diélectrique, au moins l'une des électrodes électrode formant une structure ajourée apte à se déformée élastiquement dans son plan, un électret étant disposé dans les lumières ainsi formées. L'électret forme avec la première électrode un premier condensateur à capacité variable et l'électret et la deuxième électrode forme un deuxième condensateur à capacité variable. En d'autres termes, on réalise un système à conversion d'énergie mécanique-électrique ou électrique-mécanique par déformation de ses électrodes, le système comportant au moins deux condensateurs à capacité variable, chacun polarisé par un électret, les capacités des condensateurs variant en sens inverse lorsque le système est déformé. Ainsi lorsque la capacité de l'un augmente, la capacité de l'autre diminue. Cette variation contraire de capacités provoque un transfert de charge entre les électrodes et la génération d'énergie électrique. Grâce à la mise en oeuvre d'au moins une électrode ajourée, il est possible d'obtenir sur un même diélectrique une variation en sens inverse des capacités, ce qui provoque une variation de la charge de chacune des électrodes et donc l'apparition d'un courant entre les électrodes. De manière particulièrement avantageuse, les deux électrodes sont ajourées, ce qui permet d'augmenter la quantité d'énergie électrique récupérée. 4 La présente invention a alors principalement pour objet un système à capacité variable comportant une première électrode, une deuxième électrode, une couche en matériau diélectrique 5 déformable élastiquement, ladite couche diélectrique étant disposée entre la première et la deuxième électrode, un premier électret formant avec la première électrode un premier condensateur, et le premier électret formant avec la deuxième électrode un deuxième condensateur, les capacités des premier et deuxième condensateur variant avec une déformation de la couche diélectrique, la première électrode, la deuxième électrode et le premier électret étant tels qu'ils suivent les déformations de la couche diélectrique et qu'une déformation de la couche diélectrique provoque une variation en sens opposé des capacités du premier et du deuxième condensateur, au moins la première électrode étant munie d'au moins une lumière dans laquelle est situé le premier électret, le bord de ladite lumière formant avec le premier électret situé dans ladite lumière le premier condensateur, ledit premier électret étant sur ou dans la couche diélectrique. Dans un exemple de réalisation, la deuxième électrode est une couche sensiblement pleine et est recouverte de la couche diélectrique, la première électrode recouvrant la couche électrique sur une face opposée à celle en contact avec la deuxième électrode. Dans un autre exemple de réalisation, la deuxième électrode comporte également au moins une lumière dans laquelle est disposé un deuxième électret 6 de charge opposée au premier électret, de sorte que la deuxième électrode forme avec le deuxième électret un quatrième condensateur à capacité variable, et la première électrode forme avec le deuxième électret un cinquième condensateur à capacité variable, les capacités des premier et quatrième condensateurs variant dans le même sens, et les capacités des deuxième et cinquième condensateur variant dans le même sens avec la déformation de la couche diélectrique. Par exemple, le premier et/ou le deuxième électret peut (peuvent) être disposé (s) sensiblement au centre de ladite lumière de manière sensiblement ponctuelle. Cette réalisation est particulièrement avantageuse dans le cas d'un électret rigide. Dans une variante, le premier électret et/ou le deuxième électret remplit (remplissent) la lumière et est (sont) en contact avec les bords de ladite lumière. Dans une autre variante, le premier électret et/ou le deuxième électret peut (peuvent) être formé(s) par ionisation de la couche diélectrique délimitée par la lumière, par exemple par procédé corona. Cette réalisation évite un dépôt supplémentaire sur la couche diélectrique. Dans une variante, le premier électret et/ou le deuxième électret est (sont) sous la forme d'une poudre déposée sur la couche diélectrique. A titre d'exemple, la couche diélectrique est en polymère, par exemple de type VHB�, avantageusement en VHB F9460, VHB F9469, VHB F9473, VHB4905� ou encore en VHB4910�, et les première et 7 deuxième électrodes sont réalisées par exemple en cuivre, en argent, en graisse d'argent, en poudre de carbone, en or ou en polymère conducteur. De manière avantageuse, la première et/ou la deuxième électrode(s) a (ont) des structures telles qu'elle(s) est (sont) déformable(s) élastiquement. La première électrode et/ou la deuxième électrode peut (peuvent) alors être formée(s) par un ensemble de barreaux interconnectés de sorte à former un treillis délimitant plusieurs lumières, dans chacune desquelles le premier électret et/ou le deuxième électret est (sont) situés. Le treillis peut être tel qu'une déformation du treillis dans une direction de son plan ne provoque peu ou pas de déformation dans une autre direction contenue dans le plan. Par exemple, les barreaux forment des sapins disposés côte à côte connectés électriquement par les extrémités de leurs branches, ou les barreaux forment des rangées de chevrons parallèles, lesdites rangées étant électriquement interconnectées par des barreaux d'interconnexions s'étendant entre deux rangées successives. Le treillis peut également être tel qu'une déformation du treillis dans une direction de son plan provoque une déformation dans une autre direction contenue dans le plan. Dans ce cas, le treillis peut comporter des rangées de chevrons, deux rangées successives étant décalées d'un demi-pas, de sorte que les chevrons de deux rangées successives dessinent des losanges, des barreaux d'interconnexion reliant les 8 pointes des chevrons de deux rangées successives, ces pointes étant les sommets de losanges. Les barreaux peuvent également définir des lumières en forme de nid d'abeille. Cette forme est particulièrement adaptée à l'utilisation d'un électret rigide, déposé ponctuellement au centre des lumières. De manière avantageuse, la première et la deuxième électrode sont telles que la capacité du condensateur formé par la première et la deuxième électrode séparées par la couche diélectrique est minimale. Pour cela, on peut prévoir que la deuxième électrode soit structurée de sorte que les surfaces en regard des première et deuxième électrodes soient réduites. La présente invention a également pour objet un ensemble à capacité variable, comportant au moins deux systèmes selon la présente invention, lesdits systèmes étant superposés et une couche diélectrique étant interposée entre la deuxième électrode de l'une des systèmes et la première électrode de l'autre système. La présente invention a également pour objet un système de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique comportant au moins un système selon la présente invention, la conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique ayant lieu lors d'une phase de déformation de la couche diélectrique à partir de sa forme initiale et lors de son retour d'une forme déformée à sa forme initiale.30 9 Le système de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique, est du type interrupteur, destiné à envoyer une commande à un appareil, et l'énergie électrique produite lors de la première phase de déformation est utilisée pour envoyer la commande à l'appareil, le système de conversion étant ainsi autoalimenté. La présente invention a également pour objet un actionneur comportant au moins un système selon la présente invention, l'application d'une tension entre la première et la deuxième électrode provoquant une déformation dans un plan moyen du système et/ou dans une direction orthogonale au dit plan moyen. La présente invention a également pour objet un procédé de fabrication d'un système à capacité variable selon la présente invention, comportant les étapes de : - dépôt de la première électrode sur une 20 face de la couche diélectrique, par exemple par lithographie, - dépôt d'un matériau destiné être polarisé pour former le premier électret dans la au moins une lumière de la première électrode, par exemple du téflon 25 ou du parylène, - polarisation dudit matériau, - dépôt de la deuxième électrode sur l'autre face de la couche diélectrique, par exemple par lithographie. 30 10 Le procédé selon l'invention peut également comporter les étapes supplémentaires de : - dépôt d'un matériau destiné être polarisé pour former le deuxième électret dans la au moins une lumière de la deuxième électrode, par exemple du téflon ou du parylène, - polarisation dudit matériau. Une étape d'application d'une précontrainte en étirement de la couche diélectrique peut également être prévue, préalablement au dépôt de la première électrode, ainsi qu'une étape de réajustement de la précontrainte après la polarisation du premier ou du deuxième électret. Le procédé selon l'invention peut utiliser une couche diélectrique se trouvant sous la forme d'une bande dont des zones subissent simultanément les différentes étapes du procédé de fabrication. A la fin du procédé de fabrication la bande ainsi obtenue peut par exemple être enroulée sur elle- même pour former un système à capacité variable multicouches. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre et des dessins en annexes sur lesquels : - la figure 1 est vue de côté d'un exemple de réalisation d'un système à capacité variable selon la présente invention dans un état non déformé, - la figure 1' est une vue de détail du système de la figure 1, 11 - la figure 1" est une vue de détail d'une variante de réalisation du système de la figure 1, - la figure 2 est une vue de côté du système de la figure 1 dans un état déformé, - les figures 3A à 3E sont des exemples de réalisation, vue de dessus, de l'électrode ajourée pouvant être mise en oeuvre dans le système selon la présente invention, - la figure 4 est une vue de côté d'un système selon l'invention mettant en oeuvre deux électrets de charges opposées, le système étant dans un état non déformé, - la figure 5 est une vue de côté du système de la figure 4 dans un état déformé, - la figure 6 est une vue de côté d'un système multicouches selon l'invention basé sur le système de la figure 1, - la figure 6' est une vue de côté d'un système multicouches selon l'invention basé sur le système de la figure 4, - la figure 7 est une représentation simplifiée d'un système selon l'invention, - les figures 8A et 8B sont des représentations schématiques de côté d'un système selon l'invention fonctionnant comme actionneur, - la figure 9 est une représentation schématique d'un interrupteur mettant en oeuvre un système selon la présente invention, - la figure 10 est une représentation schématique d'un exemple d'un procédé de réalisation d'un système selon la présente invention. 12 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Sur les figures 1 et 2, on peut voir un exemple de réalisation d'un système à capacité variable 2 selon la présente invention dans un état non déformé et dans un état déformé respectivement. Le système 2 selon la présente invention comporte une première électrode 4 formant une couche ajourée déposée sur une couche de matériau diélectrique 6, une deuxième électrode 8 formant une couche plane continue et un électret 10 disposé sur ou dans le matériau diélectrique dans les lumières 12 ménagées dans la première électrode 4. La couche diélectrique 6 est déformable élastiquement. Par exemple, il peut s'agir de polymères diélectrique de type VHB�. Le matériau formant la couche diélectrique est généralement peu ou pas compressible. Cette faible compressibilité ou absence de compressibilité permet avantageusement d'associer à une augmentation de surface une réduction d'épaisseur, et inversement à une réduction de surface une augmentation d'épaisseur, et donc d'obtenir un effet augmenté sur la valeur de la capacité électrique. En effet, la capacité est proportionnelle au rapport surface/épaisseur. Par conséquent, une augmentation de la surface et une diminution de l'épaisseur provoquent une forte augmentation de la capacité. De même une diminution de la surface implique une augmentation de l'épaisseur et, par conséquent une forte diminution de la capacité. Cependant un diélectrique ayant une compressibilité notable ne sort pas du cadre de la présente invention, 13 par exemple dans le cas d'un diélectrique contenant des bulles de gaz. La deuxième électrode 8 est apte à suivre les déformations de la couche diélectrique sans perdre ses propriétés de conductivité électrique, elle peut donc être réalisée en un matériau électriquement conducteur déformable élastiquement au moins dans son plan ou avoir une structure qui se déforme au moins dans son plan. La deuxième électrode peut être réalisée en cuivre, argent ou or en graisse d'argent, en poudre de carbone, en polymère conducteur ou par implantation d'ions sur la couche superficielle du polymère, comme cela est décrit dans le document � Electroactive Polymer Actuators and Devices � (EAPAD) 2008, edited by Yoseph Bar-Cohen, Proc. of SPIE Vol. 6927 69270W-1). Lorsque la deuxième électrode est réalisée en cuivre, en or ou en argent, on peut prévoir une structuration de type ressort dont des exemples sont représentés sur les figures 3A à 3E, et seront décrits en détail dans la suite de la description. La première électrode 4 ajourée a une structure telle qu'elle est apte à se déformer dans au moins une direction de l'espace de sorte à pouvoir suivre les déformations de la couche diélectrique 6, sans perdre ses propriétés de conductivité électrique. L'électret 10 est disposé dans les lumières 12 pratiquées de la première électrode. L'électret 10 peut soit : - remplir les lumières 12 et venir en contact avec la première électrode 4. Dans ce cas, l'électret est apte à se déformer élastiquement pour suivre les déformations de la couche diélectrique, - être déposé dans une zone centrale des lumières 12 pour être sensiblement à égale distance des bords de la lumière, dans ce cas l'électret peut être rigide puisqu'il n'a qu'une localisation ponctuelle, et ne subit pas ou peu de déformation. La mise en place de l'électret peut être réalisée de différentes manières. Dans le cas d'un électret solide, celui est placé au milieu des lumières 12 de manière relativement ponctuelle pour ne pas empêcher l'étirement/contraction de la couche diélectrique 6. Dans le cas d'un électret déformable, celui-ci est par exemple collé sur la couche diélectrique. On peut également envisager un électret sous forme de poudre chargée déposée sur la couche diélectrique. Il est également envisageable de polariser les zones de la surface libre de la couche diélectrique délimitées par les lumières 12 de la première électrode 4, par polarisation directe du diélectrique par ionisation, pour former l'électret directement dans la couche diélectrique. Cette méthode présente l'avantage de ne pas nécessiter la fixation préalable d'un matériau, la réalisation est donc simplifiée et plus rapide. Certains polymères, comme le Téflon�, se prêtent à un tel procédé de réalisation de l'électret par polarisation. Les méthodes de polarisation peuvent être de type corona. Pour cette méthode, on prévoit de créer un arc électrique sous faible courant entre une pointe et le diélectrique, ce qui a pour effet de ioniser des molécules de gaz séparant la pointe et le diélectrique et de les implanter dans la couche diélectrique. On peut également accélérer les électrons délivrés par un canon à électrons vers les zones de la couche diélectrique à ioniser. Ces méthodes de polarisation étant largement connues de l'homme du métier, elles ne seront pas décrites en détail. A titre d'exemple avantageux, la couche diélectrique peut être réalisé en VHB4910�, qui est un polymère déformable ayant des propriétés adhésives, la fixation d'un électret solide ou sous forme de poudre sur la couche diélectrique est donc particulièrement simplifiée. Dans le cas d'un électret sous forme de poudre, on peut prévoir : - de déposer la poudre non polarisée sur la couche de polymère, par exemple de la poudre de 20 Parylène�, - de la polariser ensuite directement sur le polymère par une méthode classique, type décharge corona, accélération d'électrons ou accélération d' ions. 25 La première électrode 4 forme avec l'électret un premier condensateur COND1 à capacité variable. La deuxième électrode 8 forme ave l'électret 10 un deuxième condensateur à capacité variable COND2. Sur la figure 1, sont schématisés les 30 condensateurs COND1 et COND2, la capacité Cl représente la capacité électrique équivalente entre l'ensemble des 16 barreaux conducteurs de la première électrode 4 et les charges électrique de l'électret, et C2 représente la capacité électrique équivalente totale entre la deuxième électrode 8 et les charges électriques stockées dans de la deuxième électrode 8. A des fins de simplification pour l'explication, nous désignerons par Cl et C2 les capacités formées par une partie seulement des première et deuxième électrodes et de l'électret. Comme on peut le voir sur la figure 1, la deuxième électrode 8 forme avec l'électret 10 et la couche diélectrique 6 un deuxième condensateur désigné COND2. La capacité C2 du deuxième condensateur COND2 est déterminée par la distance entre la deuxième électrode 8 et l'électret 10, qui est égale à l'épaisseur de la couche diélectrique 6, et par les surfaces en regard de la deuxième électrode 8 et de l'électret 10. On rappelle que la capacité d'un condensateur est définie par : (I) Avec s° : permittivité électrique du vide, Er : permittivité relative du diélectrique, S : la surface en regard des deux plaques 25 du condensateur, d : la distance entre les deux plaques. Dans la présente description, on entend par étirement de la couche diélectrique, une déformation de celle-ci telle qu'elle provoque une réduction de son 30 épaisseur et une augmentation de sa surface dans son 17 plan moyen. Cet étirement peut être obtenu, par exemple par l'application d'un effort orthogonal au plan moyen de la couche diélectrique en direction de la couche, ou par application d'efforts, vers l'extérieur, au niveau de sa périphérie extérieure dans le plan moyen de la couche diélectrique. L'étirement peut également être une phase de retour à une position repos, après une phase de compression latérale ou d'étirement selon l'épaisseur. On entend par compression, une augmentation de l'épaisseur de la couche diélectrique et une diminution de sa surface dans son plan moyen. Cette compression peut faire suite à une phase de déformation par étirement, ou peut être obtenue par application d'un effort orthogonal au plan moyen de la couche en éloignement de la couche diélectrique, ou par une compression par une application d'un effort. Lorsqu'un effort d'étirement est appliqué au système par application d'un effort schématisé par la flèche 16 sensiblement orthogonalement au plan moyen du système, la couche diélectrique 6 se déforme, voyant son épaisseur diminuer et sa surface augmenter, comme représenté sur la figure 2. La deuxième électrode 8 et l'électret suivent la déformation de la couche diélectrique 6. Par conséquent, les surfaces en regard augmentent, tandis que la distance les séparant diminue. En reprenant la relation I, un étirement de la couche diélectrique provoque l'augmentation de la capacité C2. On rappelle que le matériau de la couche diélectrique 6 est peu ou pas compressible. Ainsi, il y 18 a conservation du volume, i.e. une augmentation de surface par rapport à la diminution de l'épaisseur, et inversement lors de la déformation. Lorsque le système subit une compression, par exemple lors d'un retour à un état non déformé après une phase d'étirement, il y a une diminution des surfaces en regard et un éloignement de la deuxième électrode 8 et de l'électret 10, la capacité C2 diminue. La capacité du deuxième condensateur COND2 est donc variable. Ainsi lors d'un cycle d'étirement-compression, apparaît un cycle d'augmentation et de diminution de la capacité C2 du deuxième condensateur COND2. Sur les figures 3A à 3E, on peut voir différents exemples de réalisation de la première électrode 4 comportant des lumières. La première électrode 4 est formée par un réseau de barreaux 18 définissant des formes géométriques déformables. Les barreaux sont solidaires entre eux de sorte à former un treillis. Avantageusement, le treillis est fait d'une seule pièce par dépôt d'un conducteur, implantation d'ions sur la couche superficielle du diélectrique, gravure ou découpage d'une surface conductrice. Cette réalisation en treillis est particulièrement avantageuse, puisqu'elle offre un grand nombre d'interconnexions. Grâce à cette structure, la rupture d'une des interconnexions ne provoque qu'une défaillance locale. 19 Cependant, une électrode formée par une pluralité de rangées en zigzag parallèles et non interconnectées ne sort pas du cadre de la présente invention. Sur la figure 1', on peut voir une vue agrandie de la première électrode 4 et de l'électret 10, plus particulièrement on peut voir deux barreaux 18', 18" séparés par l'électret 10. La première électrode 4 et l'électret 10 forment également un premier condensateur COND1. Mais contrairement, au deuxième condensateur COND2, les surfaces en regard du condensateur ne sont pas horizontales comme dans la représentation de la figure 1, mais sont verticales. Comme on peut le voir sur la figure 1', la face en regard 20 de la première électrode 4 est portée par une face latérale du barreau 18', la face 22 de l'électret en regard de la face 20 est formée par une section verticale de l'électret. On considère que la face 22 de l'électret se situe au milieu de la moitié de la surface d'électret du côté du barreau 18'. Cette hypothèse s'applique dans le cas d'un électret remplissant la lumière 12. Le milieu de la moitié correspond à la distance moyenne des charges d'une des deux électrodes 18' ou 18" si l'électret s'étale sur tout l'espace inter-électrode et qu'il possède une densité de charge homogène sur toute cette largeur. Dans le cas d'un électret ponctuel, celui-ci est placé de préférence au milieu des deux électrodes. 20 Ainsi pour une distance L entre les barreaux 18', 18", la distance entre les plaques du premier condensateur COND1 est L/4. Chaque barreau 18 porte deux faces, formant chacune une plaque d'un condensateur. Lorsque la couche diélectrique 6 est étirée, la distance entre deux barreaux 18', 18" augmente, comme on peut le voir sur la figure 2. Par conséquent la distance entre les deux faces en regard augmente. Par contre, les surfaces en regard ne sont pas modifiées, puisque, lorsque les épaisseurs de l'électret et de la première électrode diminuent, leurs profondeurs (non visibles) augmentent. En reprenant la relation (I), lors d'un étirement, la capacité Cl du premier condensateur COND1 diminue, tandis que lors d'une compression, celle-ci augmente. On peut donc résumer l'évolution des capacités Cl, C2 des condensateurs COND1, COND2 respectivement comme suit : Cl C2 Etirement T Compression T Par conséquent, lors de la déformation du système les capacités des condensateurs COND1 et COND2 varient en sens inverse. La relation reliant la charge à la capacité est la suivante : Q = CxV (II) Q : charge du condensateur, C : capacité du condensateur, V : tension aux bornes du condensateur. 25 21 Lorsque le système est étiré, il y a augmentation de la capacité C2 et diminution de la capacité Cl. Si la tension Vc, aux bornes de la première et de la deuxième électrode, est constante, alors la charge Q2 augmente lorsque C2 augmente et la charge Q1 diminue lorsque C1 diminue, et inversement. Cette variation en opposition des capacités Cl et C2, provoque donc une variation de la charge entre la première et la deuxième électrode, ce qui conduit à une redistribution des charges électriques entre les électrodes supérieure et inférieure via une résistance de charge Rc reliant la première électrode 4 et la deuxième électrode 8. Il y a donc production d'énergie électrique. La résistance de charge Rc peut être une batterie ou un dispositif utilisateur directement. Sur la figure 1, est également représenté un troisième condensateur COND3 de capacité C3 formé entre la première électrode 4 et la deuxième électrode 8, qui se trouve connecté électriquement en parallèle avec les condensateurs COND1 et COND2. Il est préférable que cette capacité C3 ait une valeur négligeable devant Cl et C2 pour éviter de limiter le niveau de tension et la puissance de sortie. Pour cela, on prévoit par exemple de réduire les surfaces en regard des électrodes 4, 8. Cela est obtenu, par exemple en minimisant la largeur des barreaux de la première électrode et/ou en réalisant la deuxième électrode de sorte qu'elle ne se trouve pas que partiellement en face des barreaux de la première 22 électrode. Cette structure est cependant telle qu'elle assure une continuité électrique dans toute la deuxième électrode. Par exemple, sur la figure 1", on a représenté un détail d'un système selon l'invention dans lequel la deuxième électrode 8' est structurée de sorte à réduire sa surface faisant face à la première électrode. Les zones 8.1' de la deuxième électrode 8' situées en face de la première électrode sont omises. On peut donc envisager de réaliser une deuxième électrode dont la structure soit sensiblement � un négatif � de la structure de la première électrode tout en réalisant la continuité électrique. Dans l'exemple représenté, la première électrode comporte une pluralité de lumières, mais une électrode ne comportant qu'une lumière ne sort pas du cadre de la présente invention. Cependant un grand nombre de lumières permet de former un grand nombre de premiers condensateurs, et donc d'augmenter la quantité d'énergie convertie. Il est avantageux que la largeur des lumière soit de l'ordre de l'épaisseur du diélectrique, avec une largeur des lumières inférieure à l'épaisseur en situation compressée et à une largeur des lumières supérieure à l'épaisseur en situation étirée, de façon à ce que l'électret influence préférentiellement l'électrode 4 en position compressée, puis l'électrode 8 en position étirée. En outre, l'exemple représenté comporte des lumières dont les bords sont sensiblement orthogonaux à la couche diélectrique, mais il est bien entendu que des lumières ayant des bords inclinés ne sortent pas du cadre de la présente invention. 23 La couche diélectrique est par exemple un polymère de type VHB4910�. Les électrodes peuvent être réalisées en cuivre, en argent, en graisse d'argent, en poudre de carbone, en or.... L'électret peut être basé sur du parylène, du Téflon ou du Kapton� dans lesquels des charges électriques ont été injectées, par des techniques connues comme décrites précédemment. Nous allons maintenant décrire plus particulièrement les exemples de réalisation de la première électrode ajourée représentés sur les figures 3A à 3E. De manière générale, on cherche à réaliser une première électrode présentant des lumières de tailles et de formes sensiblement constantes afin que les efforts électrostatiques soient sensiblement homogènes sur toute la surface de l'électrode. En outre, on recherche des formes qui ne s'opposent pas à la déformation de la couche diélectrique. Par conséquent, on cherche une structure d'électrode qui se déforme de manière importante (>1%) sans engendrer de déformation significative du matériau en lui-même, i.e. dont la modification de forme est obtenue préférentiellement par flexion des différentes parties de la structure et non par compression/étirement du matériau lui-même. Ceci est particulièrement le cas lorsque le matériau d'électrodes offre une faible aptitude à la déformation, par exemple lorsque les barreaux de la première électrode sont réalisés en matériau conducteurs métalliques. Enfin, il est souhaitable que les connexions entre barreaux soient 24 relativement nombreuses pour assurer une continuité électrique élevée. Sur la figure 3A, les barreaux dessinent des sapins 24 disposés les uns à côté des autres et reliés les uns aux autres par au niveau des extrémités des branches des sapins. Les barreaux sont connectés de sorte à assurer une continuité électrique dans toute la surface de l'électrode. Cette électrode est déformable dans la direction des flèches 26. Elle s'allonge dans la direction des flèches 26, par contre elle ne se déforme que très peu dans la direction orthogonale des flèches 26. Cette structure d'électrode présente un grand nombre d'interconnexions entre barreaux, et une homogénéité dans la forme des lumières, celles-ci étant toutes identiques. Sur la figure 3B, les barreaux dessinent des lignes chevrons disposées parallèlement les unes aux autres et connectées les unes aux autres par des barreaux de connexion transverses 18.1. A l'inverse de la structure de la figure 3A, les barreaux de connexion transverses 18.1 entre trois lignes de chevrons successifs ne sont pas alignés. Cette électrode est déformable dans la direction des flèches 26. Elle s'allonge dans la direction des flèches 26, par contre elle ne se déforme que très peu dans la direction 27 orthogonale aux flèches 26. Elle présente également des lumières de même forme, les efforts électrostatiques sont donc sensiblement homogènes. 25 La structure de la figure 3C est proche de celle de la figure 3B. Elle diffère de celle-ci en ce que des barreaux de connexion transverses 18.1 sont prévus à tous les chevrons et décalés d'un pas entre deux lignes de chevrons successives. Cette électrode présente différentes formes de lumières. Cependant, elle comporte une grande densité de connexions entre barreaux, ce qui permet d'avoir une bonne continuité électrique. Cette structure se déforme essentiellement dans la direction des flèches 26. La structure de la figure 3D présente l'avantage de se déformer dans la direction des flèches 26 et simultanément dans celle des flèches 27. En effet, un étirement de la couche diélectrique dans une première direction tend à provoquer aussi une dilatation dans une direction orthogonale à la première direction contenue dans le plan de la couche diélectrique souple. Cette configuration permet de maximiser les variations de capacité et donc la quantité d'énergie récupérable pour une amplitude d'étirement donnée. La structure de la figure 3D comporte des lignes de chevrons, les chevrons de deux lignes successives étant opposés deux à deux. Des barreaux de connexion transverses 18.1 sont prévus entres les pointes de deux chevrons de deux lignes successives, les chevrons connectés étant ceux dont les pointes sont les plus éloignées. La structure de la figure 3E présente une disposition des barreaux telle qu'ils définissent des 26 nids d'abeille 28. Cette structure présente l'avantage de permettre l'utilisation d'électrets plus rigides disposés de manière ponctuelle au centre des lumières, puisque les lumières présentent une forme offrant une distance entre les barreaux d'une lumière et une zone centrale de la lumière plus homogène que les autres structures. Il est bien entendu que d'autres structures d'électrodes peuvent convenir. Sur les figures 4 et 5, on peut voir une variante de réalisation d'un système à capacité variable selon la présente invention comportant à la fois un premier électret 10 du côté de la première électrode 4 et un deuxième électret 110 du côté de la deuxième électrode 108. Nous allons décrire en détail cette variante de réalisation. La première électrode est similaire à celle du système de la figure 1. Par contre la deuxième électrode 108 présente une structure ajourée déformable au moins dans son plan, similaire à celle de la figure 1, un deuxième électret 110 étant disposé dans chaque lumière 112 de la deuxième électrode 108. Le premier électret 10 et le deuxième électret 110 sont de charges opposées. Par exemple, si le premier électret 10 est chargé négativement, le deuxième électret 110 est chargé positivement. Le premier électret 10 et le deuxième électret 110 peuvent être réalisés dans le même matériau. Le système de la figure 4 ou 5 comporte un premier condensateur COND1 de capacité Cl entre le 27 premier électret 10 et la première électrode 4, un deuxième condensateur COND2 de capacité C2 entre le premier électret 10 et la deuxième électrode 108, un troisième condensateur COND3 de capacité C3 entre la première 4 et la deuxième électrode 108, un quatrième condensateur COND4 de capacité C4 entre la deuxième électrode 108 et le deuxième électret 110 et un cinquième condensateur COND5 de capacité C5 entre la première électrode 4 et le deuxième électret 110. Le deuxième électret 110 est déposé sur la couché diélectrique 6 ou dans la couche diélectrique 6, dans les lumières 112 de la deuxième électrode 108 de manière similaire au premier électret 10. Nous allons maintenant expliquer le comportement des différentes capacités en fonction du type de déformation subi par la couche diélectrique 6. Lors d'un étirement de la couche diélectrique 6, de manière similaire au système de la figure 1, Cl diminue puisque la distance entre le premier électret 10 et la première électrode 4 augmente. Le comportement du quatrième condensateur COND4 est identique à celui du premier condensateur COND1, la capacité C4 diminue également. Quant à la capacité C2 du deuxième condensateur, elle augmente, ainsi que celle C5 du cinquième condensateur C5, celles-ci étant directement proportionnelles à l'épaisseur et à la surface de la couche diélectrique 6. A l'état initial, la première électrode 4 est initialement soumise à l'influence du premier électret 10 qui se trouve dans les lumières 12. Lors de l'étirement, la première électrode 4 est de moins en 28 moins soumise à l'influence du premier électret 10, et de plus en plus soumise à l'influence du deuxième électret 110. Ce changement d'influence s'opère également pour la deuxième électrode 108, qui est initialement sous l'influence du deuxième électret 110, puis progressivement soumise à l'influence du premier électret 10. Ce changement d'influence engendre alors une redistribution des charges électriques sur les première 4 et deuxième 108 électrodes, via une résistance de charge Rc entre les deux électrodes 4, 108 et le troisième condensateur COND3. Comme dans le système de la figure 1, il est avantageux de réduire la capacité C3 du troisième condensateur COND3. Ceci peut être particulièrement aisé dans ce cas, puisque la deuxième électrode est ajourée et permet de décaler les surfaces des première 4 et deuxième 108 électrode pour réduire les surfaces en regard. Dans le cas d'une compression, l'évolution des capacités est inversée. Dans le tableau suivant, sont rassemblées les évolutions des capacités Cl, C2, C3, C4, C5 des condensateurs COND1, COND2, COND3, COND4, COND5 respectivement : Cl C2 C3 C4 C5 Etirement T T T Compression T T Cette variante de réalisation permet de récupérer une quantité d'énergie supérieure à celle récupérée dans le système de la figure 1, puisque 29 l'énergie de déplacement des charges des deux électrets est convertie. Sur la figure 6, on peut voir un exemple de réalisation d'un système multicouches obtenu par la superposition de systèmes selon la figure 1. Dans cet empilement, les première 4 et deuxième 8 électrode face à face sont séparées par une couche diélectrique 6. Cette structure superposée permet d'augmenter l'énergie récupérée. Dans l'exemple représenté les zones d'électret sont alignées, mais cette disposition n'est en aucun cas limitative. Dans le cas du système de la figure 4 et 5 dans lequel des électrets sont disposés sur les deux faces du diélectrique, il est par contre souhaitable, dans le cas d'un système multicouches, de superposer les zones d'électrets d'une couche avec les électrodes d'une autre couche, comme cela est représenté sur la figure 6'. Nous allons maintenant donner, à titre d'exemple le calcul d'une puissance récupérable par un système similaire à celui de la figure 1. Nous considérons un système dans lequel la couche diélectrique 6 est en VHB4910�, dont la permittivité relative Er est égale à 4,8. A l'état de repos, la couche diélectrique 6 a une épaisseur eo = 50 pm et une surface So = 1 cm2. Pour le calcul, nous considérons que la première électrode 4 comporte un barreau 18 et un électret 10 comme sur la figure 7, ce qui correspond à un motif élémentaire. La longueur de l'électret est do = 20 pm, la largeur du barreau 18 est égale à 30 L = 5 pm et la hauteur du barreau 18 est égale à h = 5 pm. On considère que le barreau 18 et l'électret 10 ont la même épaisseur. En outre, on considère que la face 22 de l'électret formant la plaque du deuxième condensateur se situe au milieu de la moitié de la surface d'électret, i.e. la distance moyenne des charges d'un des barreaux de l'électrode 18, donc à une distance de 5 pm de la face 22. Par ailleurs, la surface de la première électrode 4 représente 1/5eme de la surface SO et la surface de l'électret 10 représente 4/5 ème de la surface SO. Nous allons calculer les valeurs des capacités électriques Cl, C2 et C3 avant étirement, notées Cm, C20, C30 respectivement : = 339pF C20 = C 30 Nous calculons maintenant les valeurs des capacités électriques après étirement, notées C] C2, C31 respectivement. Nous considérons un étirement d'un facteur 2 et un volume constant, i.e. l'épaisseur de la couche diélectrique est divisée par deux tandis que la �o�r 2 cm' 8.84 • 10ù12 • 4.8 • ? • 10-4 �0�rSlattéraleElectrodesup 5 5 Clo = = moy dmoy représente la distance moyenne des charges de l'électret par rapport à l'électrode supérieure. i dmoyo d 5 . 10-6 �0�rSélectretO eo �0�rSElectrodeSup eo 50 . 10-6 = 68pF = 17pF surface de la 2 : couche diélectrique est multipliée par �0�rSlattéraleEle t_ dmoyl up = 170 pF or •104 10 . 10-6 �0�rSélectretl et �o�r2 •104 = 272F Cm 25.10-6 C31 = e° C30 = 34pF (on considère que la surface de l'électrode et supérieure ne change pas). 5 Soit une charge négative QO stockée dans l'électret 10 tel que le champ électrique ne dépasse pas Eo = 100 V/}gym dans la couche diélectrique 6 pour éviter tout claquage diélectrique. En position initiale, le potentiel de l'électret 10 à la distance dmoyo de la première électrode 4 est alors égal à Vo=V20=-V1o= -dmoyo Eo= -500 V (on considère que V30=0V, sortie déchargée), donc E0 = 100 V/}gym. Il a été montré qu'il était possible de créer un champ électrique de 204 V/}gym avec un électret, par exemple dans le document � Parylene HT based electret rotor generator �, MEMS 2008, Tucson, AZ, USA, January 13-17, 2008, p984-987. Le choix d'un champ électrique de 100 V/}gym est donc complètement fondé. La distribution des charges électrique en position initiale est la suivante : Qo = (Clo + C20 )Vo = -203nC Q10 = C1oVio = ûC10Vo =169nC Q20 = C2oVo = -34nC Q30 = OnC Nous allons maintenant calculer le gain en énergie électrique potentielle suite à la déformation 32 de la couche diélectrique avec, pendant la déformation une consommation nulle ; i.e. Rc = infinie. Le circuit électrique est alors formé de trois condensateurs en série, la circulation d'un courant électrique dans le circuit engendre alors la même variation de charge électrique dans chacun des condensateurs. Le système peut alors être décrit par le système d'équation suivant . ~Q1 = C11Vi1 û Q10 û OQ1 = ûAQ2 = OQ3 avec OQ2 = C21V21 û Q20 AQ3 C31V31 ù Q30 V31 V21 + Vl l C11 Q20 + C11 Q30 + C31 Q20 ù C31 Q10 - -207 V V 658 v 31 _ La capacité équivalente Ceq vue par la charge Rc correspond aux capacités Cl et C2 en série, 15 toutes deux en parallèle avec C3, celle-ci est donc égale à : Ceq = C11C21 +C31 =138.6pF Cll +C21 L'énergie électrique potentielle Ep 20 disponible à la sortie du système, suite à la déformation vaut alors : 1 2 Ep 2 CegV31 =30/.J . Si on considère un système multicouches de couches similaire à celui de la figure 6, en 25 rapportant cette énergie au volume de la couche {v2, = ù C11C21 +C11C31 ùC21C31 C O, +CQ,0 +C2,O,0 -C21O, 0 C11 C21 + C11 C31 + C21 C31 200 33 diélectrique utilisée, on obtient une densité d'énergie de 30pJ*200couches = 6 mJ/cm3. Il est à noter qu'une énergie équivalente est récupérable suite au retour en situation initiale du système. Un cycle complet permet donc de récupérer 12 mJ/cm3, soit par exemple, pour une fréquence de fonctionnement de 1 Hz (correspondant par exemple environ à la fréquence d'application d'un effort sur une chaussure pour un marcheur), une puissance récupérable de 12 mW/cm3. Le système à capacité variable selon la présente invention a été appliqué à la récupération d'énergie, mais il peut également être utilisé en tant qu'actionneur. Grâce au système selon la présente invention, il est possible de réaliser un actionneur permettant à la fois d'étirer et de contracter la couche diélectrique, ce qui n'est pas le cas des actionneurs connus dans lesquels seul l'étirement peut être favorisé, la contraction se faisant uniquement par les contraintes interne de la couche diélectrique. Sur la figure 8A est schématisé un fonctionnement en mode étirement, et sur la figure 8B est schématisé un fonctionnement en mode compression. Le mode de déformation dépend du signe de la tension de commande Vc entre la première 4 et la deuxième 8 électrode. Les flèches symbolisent des interactions et non un type d'interaction particulier. On considère un électret 10 polarisé négativement. Lorsque la tension de commande Vc est négative, la deuxième électrode 8 est polarisée 34 positivement et la première électrode 4 est polarisée négativement. Par conséquent, comme cela est schématisé sur la figure 8A, il y a répulsion entre l'électret et la première électrode 4 symbolisée par les flèches 30, et attraction, symbolisée par les flèches 32, entre l'électret 10 et la deuxième électrode 8. L'épaisseur de la couche diélectrique 6 diminue et sa surface augmente. Lorsque la tension de commande Vc est positive, la deuxième électrode 8 est polarisée négativement et la première électrode 4 est polarisée positivement. Par conséquent, comme cela est schématisé sur la figure 8B, il y a répulsion, symbolisée par les flèches 30, entre l'électret 10 et la deuxième électrode 8, provoquant une augmentation de l'épaisseur de la couche diélectrique 6. Il y a attraction, symbolisée par les flèches 32, entre l'électret 10 et la première électrode 4, provoquant une réduction de surface de couche diélectrique 6. Il est à noter qu'il y a également apparition d'efforts d'attraction entre les première 4 et deuxième 8 électrodes, ces efforts s'opposent avec l'effet de compression recherché. Cependant, en minimisant la capacité C3 entre la première électrode 4 et la deuxième électrode 8, par exemple en minimisant la largeur des barreaux, alors cet effet d'attraction peut être considéré comme négligeable par rapport aux autres efforts électrostatiques. Il est à noter que l'épaisseur d'un système selon l'invention est suffisamment faible pour que les déformations provoquées par les efforts d'attraction et 35 de répulsion entre l'électret et la première électrode soient répartis de manière homogène dans toute l'épaisseur du système. Par ailleurs, concernant les déformations provoquées par les efforts d'attraction et de répulsion entre l'électret et la deuxième électrode, celles-ci apparaissent dans tout le système. Il y a donc bien une augmentation ou une réduction de l'épaisseur uniformément répartie. Le système de conversion d'énergie réalisable grâce à l'invention présente l'avantage de ne plus nécessiter de moyens spécifiques pour polariser la structure à chaque cycle pour réaliser des cycles de récupération d'énergie, et ceci grâce à la mise en oeuvre d'électret. Ceci permet de simplifier le système puisque l'électronique de transfert de charge électrique vers la structure électrostatique peut être supprimée. Par ailleurs, il n'est plus nécessaire de disposer d'une énergie minimale et de faire une détection de la capacité maximale. Les pertes électriques engendrées par cette électronique sont donc supprimées. En outre, le système selon la présente invention présente l'avantage de permettre une récupération de l'énergie à la fois durant la période d'étirement et durant la période de relâchement. Les systèmes de l'art antérieur, ne permettant une récupération que durant la période de relâchement. Cette récupération durant ces deux phases présente l'avantage de disposer d'une énergie électrique dés l'étirement de la couche diélectrique. Cette génération d'énergie rapide est particulièrement 36 intéressante, dans le cas d'un interrupteur ou d'une télécommande sans-fil, puisque l'interrupteur ou la télécommande utilise l'énergie produite par l'étirement de la couche diélectrique pour envoyer la commande avant que l'utilisateur ne relâche sa pression sur l'interrupteur ou le bouton de la télécommande. Ainsi, il n'est pas nécessaire de prévoir un moyen pour stocker l'énergie pour l'envoi de la commande, celle-ci est disponible immédiatement, contrairement aux dispositifs de l'état de la technique pour lesquels l'énergie n'est récupérée que lorsque la couche diélectrique est relâchée. Ceci est également particulièrement avantageux pour tout capteur utilisant la déformation pour détecter et mesurer une grandeur physique, par exemple un capteur de pression ou de déformation. Un capteur de pression, comportant un système de génération d'énergie électrique selon la présente invention, est d'une part auto-alimenté puisque c'est la déformation de la couche diélectrique qui génère l'énergie électrique, et permet d'autre part de connaître la valeur de la pression détectée par le capteur avant que celle-ci soit retirée, i.e. avant la fin de l'étirement de la couche diélectrique. Par ailleurs, dans le cas d'un interrupteur ou d'une télécommande, l'étirement de la couche diélectrique est imposée par l'utilisateur, par conséquent la récupération d'énergie n'est pas commandée par le comportement de la couche diélectrique lors de son retour dans une position contractée, elle est donc potentiellement plus efficace et plus rapide. 37 Sur la figure 9, on peut voir un exemple de réalisation d'un interrupteur 34 selon la présente invention comportant un système 2 à capacité variable selon l'invention. Le système 2 selon l'invention est réalisé à partir d'une bande similaire à celle de la figure 1 ou de la figure 4, enroulée sur elle-même de sorte à former un système multicouche en forme de bobine. L'interrupteur comporte un bouton poussoir 36 monté mobile axialement dans un support 38. Le bouton poussoir comporte une extrémité 36.1 destiné à servir d'interface pour l'utilisateur et une deuxième extrémité 36.2 solidaire en déplacement du système 2 et destiné à provoquer la déformation du système 2. Le système 2 est fixé par une première extrémité longitudinale 42.1 au support 38 et par une deuxième extrémité longitudinale 42.2 au piston 36. Un passage d'air 44 est prévu dans le piston 36.2 pour éviter l'apparition d'une suppression dans le système 2. Lorsque l'opérateur enfonce le bouton poussoir, la deuxième extrémité 36.2 du bouton poussoir 36 coulisse vers le bas, dans la représentation de la figure 9, provoquant un étirement du système et une diminution des capacités Cl et une augmentation des capacités C2, il y a conversion de l'énergie mécanique servant au déplacement du bouton poussoir en énergie électrique, cette énergie étant directement disponible pour la commande associée à l'interrupteur. Lorsque l'effort sur le bouton poussoir 36 est relâché, les capacités Cl diminuent et les capacités C2 augmentent, 38 provoquant également une conversion d'énergie mécanique en énergie électrique. Nous allons maintenant décrire un exemple d'un procédé de réalisation d'un système à capacité variable selon la présente invention. Sur la figure 10, on peut voir un exemple de représentation d'une fabrication d'un système selon la présente invention sous la forme d'une chaîne de fabrication. On part du diélectrique sous forme de bande enroulée. Lors d'une étape 100, le diélectrique est mis en forme, par exemple en lui appliquant une précontrainte en étirement de surface, de sorte à créer une force élastique de rappel en son sein facilitant le retour du système à sa forme initiale. Lors d'une étape 200, on effectue le dépôt de la première électrode 4 ajourée sur une face du diélectrique, par exemple par lithographie. Lors d'une étape 300, on effectue le dépôt du matériau de base de l'électret 10, ce matériau étant non chargé, par exemple il peut s'agir de téflon ou de parylène, dans les lumières de l'électrode 4, sur toute la surface dans le cas d'un matériau déformable, de type poudre ou polymère élastique, ou sensiblement au centre des lumières dans le cas d'un matériau solide. Lors d'une étape 400, a lieu la polarisation du matériau de base de l'électret de sorte à former l'électret, cette polarisation étant obtenue par décharge Corona, par vent ionique, par accélération d'électrons ou par accélération d'ions. 39 Lors d'une étape 500, on retourne le diélectrique et on dépose ensuite la deuxième électrode 8, par exemple par lithographie. La deuxième électrode peut être pleine ou ajourée. Si on souhaite réaliser un système similaire à celui de la figure 4, on effectue, lors d'une étape 600, le dépôt d'un matériau de base d'un deuxième électret dans les lumières 112 de la deuxième électrode. Puis, lors d'une étape 700, on effectue la polarisation de ce matériau comme pour le premier électret. Lors d'une étape 800, on peut effectuer un réajustement de la précontrainte, soit pour augmenter la précontrainte du diélectrique, soit pour assurer une synchronisation des différents éléments du système dans le cas de la réalisation d'un système multicouches du type de celui de la figure 6'. En effet, dans le cas où le système comporte des premier 10 et deuxième 110 électrets, et que l'on veut réaliser un système multicouches par enroulement d'une bande sur elle-même, il faut prévoir de synchroniser les motifs du premier électret avec les motifs des deuxièmes électrodes des couches amont et aval ortho-radialement. Du fait de la superposition des couches, le périmètre de l'enroulement augmente, la bande est donc étirée de sorte à aligner ortho-radialement les motifs. L'alignement ortho-radial est également requis entre les motifs du deuxième électret avec les motifs des premières électrodes des couches amont et aval. Pour obtenir un fonctionnement correct dans une structure 40 multicouche avec deux types d'électrets 10 et 110, il est important, comme présenté figure 6', d'avoir selon l'épaisseur une succession de couches de type 4,6,110,6,4,6,110,6,4,6,110,6,4_ alternées/juxtaposées avec des successions de type 10,6,108,6,10,6,108,6,10,6,108,6,10,6,108_ Les électrodes 4 sont alors toujours en face d'électrets de type 110 et à coté d'électrets de type 10 et les électrodes 108 en face d'électrets de type 10 et à coté d'électrets de type 110. Dans une étape 900, on peut prévoir d'enrouler la bande sur elle-même pour former un système multicouches. On peut prévoir d'insérer un séparateur diélectrique 1000 entre chaque enroulement de la bande. Cet exemple de procédé présente l'avantage de permettre de réaliser sur les différentes zones de la même bande diélectrique les différentes étapes simultanément, chaque étape étant effectuée successivement sur chaque zone de la bande. Il est bien entendu que l'ordre des étapes ci-dessus n'est en aucun cas limitatif. Par ailleurs, un système à capacité variable obtenu par un procédé de réalisation classique, dans lequel on ferait subir la même étape à toute la couche diélectrique ne sort pas du cadre de la présente invention. REVENDICATIONS1. Système à capacité variable comportant une première électrode (4), une deuxième électrode (8, 108), une couche en matériau diélectrique (6) déformable élastiquement, ladite couche diélectrique (6) étant disposée entre la première (4) et la deuxième électrode (8, 108), un premier électret (10) formant avec la première électrode (4) un premier condensateur (COND1), et le premier électret (10) formant avec la deuxième électrode (8, 108) un deuxième condensateur (COND2), les capacités (Cl, C2) des premier (COND1) et deuxième (COND2) condensateur variant avec une déformation de la couche diélectrique (6), la première électrode (4), la deuxième électrode (8, 108) et le premier électret (10) étant tels qu'ils suivent les déformations de la couche diélectrique (6) et qu'une déformation de la couche diélectrique (6) provoque une variation en sens opposé des capacités (Cl, C2) du premier (CONdl) et du deuxième (CONd2) condensateur, au moins la première électrode (4) étant munie d'au moins une lumière (12) dans laquelle est situé le premier électret (10), le bord de ladite lumière (12) formant avec le premier électret (10) situé dans ladite lumière (12) le premier condensateur (COND1), ledit premier électret (10) étant sur ou dans la couche diélectrique (6). 2. Système à capacité variable selon la revendication 1, dans lequel la deuxième électrode (8) est formée par une couche sensiblement pleine et est 42 recouverte de la couche diélectrique (6), la première électrode (4) recouvrant la couche électrique (6) sur une face opposée à celle en contact avec la deuxième électrode (8). 3. Système à capacité variable selon la revendication 1, dans lequel la deuxième électrode (108) comporte également au moins une lumière (112) dans laquelle est disposé un deuxième électret (110) de charge opposée au premier électret (10), de sorte que la deuxième électrode (108) forme avec le deuxième électret (110) un quatrième condensateur (COND4) à capacité variable (C4), et la première électrode (4) forme avec le deuxième électret (110) un cinquième condensateur (COND5) à capacité variable (C5), les capacités (Cl, C4) des premier (COND1) et quatrième (COND4) condensateurs variant dans le même sens, et les capacités (C2, C5) des deuxième (CONd2) et cinquième (CONd5) condensateur variant dans le même sens avec la déformation de la couche diélectrique (6). 4. Système à capacité variable selon la revendication 3, dans lequel le premier (10) et/ ou le deuxième (110) électret est (sont) disposé(s) sensiblement au centre de ladite lumière (12, 112) de manière sensiblement ponctuelle. 5. Système à capacité variable selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel le premier (10) 30 électret et/ ou le deuxième (110) électret remplit 43 (remplissent) la lumière (12, 112) et est (sont) en contact avec les bords de ladite lumière (12, 112). 6. Système à capacité variable selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel le premier électret (10) et/ ou le deuxième (110) électret est (sont) formé(s) par ionisation de la couche diélectrique (6) délimitée par la lumière (12, 112), par exemple par procédé corona. 7. Système à capacité variable selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel le premier électret (10) et/ ou le deuxième électret (112) est (sont) sous la forme d'une poudre déposée sur la couche diélectrique (6). 8. Système à capacité variable selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel la couche diélectrique (6) est en polymère, par exemple de type VHB�, avantageusement en VHB4910�, et les première (4) et deuxième (8, 108) électrodes sont réalisées par exemple en cuivre, en argent, en graisse d'argent, en poudre de carbone, en or, en polymère conducteur ou sous forme d'une implantation d'ions sur la couche superficielle du diélectrique. 9. Système à capacité variable selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la première et/ou la deuxième électrode(s) a (ont) des structures telles qu'elle(s) est (sont) déformable(s) élastiquement. 44 10. Système à capacité variable selon la revendication précédente, dans lequel la première électrode (4) et/ ou la deuxième électrode (108) est (sont) formée(s) par un ensemble de barreaux (18) interconnectés de sorte à former un treillis délimitant plusieurs lumières (12, 112), dans chacune desquelles le premier électret (10) et/ou le deuxième (110) électret est (sont) situés. 11. Système à capacité variable selon la revendication 10, dans lequel le treillis est tel qu'une déformation du treillis dans une direction de son plan ne provoque peu ou pas de déformation dans une autre direction contenue dans le plan. 12. Système à capacité variable selon la revendication 11, dans lequel les barreaux (18) forment des sapins disposés côte à côte connectés électriquement par les extrémités de leurs branches. 20 13. Système à capacité variable selon la revendication 11, dans lequel les barreaux (18) forment des rangées de chevrons parallèles, lesdites rangées étant électriquement interconnectées par des barreaux 25 d'interconnexions s'étendant entre deux rangées successives. 14. Système à capacité variable selon la revendication 10, dans lequel le treillis est tel 30 qu'une déformation du treillis dans une direction de 15 45 son plan provoque une déformation dans une autre direction contenue dans le plan. 15. Système à capacité variable selon la revendication 14, dans lequel le treillis comporte des rangées de chevrons, deux rangées successives étant décalées d'un demi-pas, de sorte que les chevrons de deux rangées successives dessinent des losanges, des barreaux d'interconnexion reliant les pointes des chevrons de deux rangées successives, ces pointes étant les sommets de losanges. 16. Système à capacité variable selon la revendication 10, dans lequel les barreaux (18) définissent des lumières en forme de nid d'abeille. 17. Système à capacité variable selon l'une des revendications 1 à 16, dans lequel la première (4) et la deuxième (8, 108) électrode sont telles que la capacité (C3) du condensateur formé par la première (4) et la deuxième (8, 108) électrode séparées par la couche diélectrique (6) est minimale. 18. Système à capacité variable selon la revendication précédente, dans lequel la deuxième (8, 108) électrode est structurée, par exemple elle comporte des lumières, de sorte que les surfaces en regard des première (4) et deuxième (8, 108) électrodes soient réduites. 46 19. Ensemble à capacité variable, comportant au moins deux systèmes selon l'une des revendications précédentes, lesdits systèmes étant superposés et une couche diélectrique (6) étant interposée entre la deuxième électrode (8, 108) de l'un des systèmes et la première électrode (4) de l'autre système. 20. Système de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique comportant au moins un système selon l'une des revendications précédentes, la conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique ayant lieu lors d'une phase de déformation de la couche diélectrique à(6) partir de sa forme initiale et lors de son retour d'une forme déformée à sa forme initiale. 21. Système de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique selon la revendication précédente, de type interrupteur, destiné à envoyer une commande à un appareil, dans lequel l'énergie électrique produite lors de la première phase de déformation est utilisée pour envoyer la commande à l'appareil, le système de conversion étant ainsi autoalimenté. 22. Actionneur comportant au moins un système selon l'une des revendications 1 à 18, l'application d'une tension entre la première et la deuxième électrode provoquant une déformation dans un plan moyen du système et/ou dans une direction orthogonale au dit plan moyen. 47 23. Procédé de fabrication d'un système à capacité variable selon l'une des revendications 1 à 18, comportant les étapes de : - dépôt de la première électrode (4) sur une face de la couche diélectrique (6), par exemple par lithographie, - dépôt d'un matériau destiné être polarisé pour former le premier électret (10) dans la au moins une lumière (12) de la première électrode (4), par exemple du téflon ou du parylène, - polarisation dudit matériau, - dépôt de la deuxième électrode (8, 108) sur l'autre face de la couche diélectrique (6), par exemple par lithographie. 24. Procédé de fabrication selon la revendication précédente, comportant les étapes supplémentaires de : - dépôt d'un matériau destiné être polarisé pour former le deuxième électret (110) dans la au moins une lumière de la deuxième électrode (108), par exemple du téflon ou du parylène, - polarisation dudit matériau. 25. Procédé de fabrication selon la revendication 23 ou 24, comportant l'étape d'application d'une précontrainte en étirement de la couche diélectrique (6), préalable au dépôt de la première électrode (4).30 48 26. Procédé de fabrication selon l'une des revendications 23 à 25, comportant l'étape de réajustement de la précontrainte après la polarisation du premier (10) ou du deuxième (110) électret. 27. Procédé de fabrication selon l'une des revendications 23 à 26, dans lequel la couche diélectrique (6) se trouve sous la forme d'une bande dont des zones subissent simultanément les différentes étapes du procédé de fabrication. 28. Procédé de fabrication selon la revendication précédente, dans lequel à la fin du procédé de fabrication la bande ainsi obtenue est enroulée sur elle-même pour former un système à capacité variable multicouches.