Brevet FR2937791A1 — publié le 20100430

Dispositif d'imagerie polarimétrique optimisé par rapport au contraste de polarisation Le domaine de l'invention est celui des détecteurs d'ondes électromagnétiques en matériau semiconducteur et notamment à structure à multi-puits quantiques, particulièrement adaptés au domaine infrarouge. Les progrès rapides de la croissance par épitaxie sur substrat de type GaAs ont permis le développement d'une nouvelle classe de détecteurs d'ondes électromagnétiques utilisant l'absorption d'un rayonnement autour d'une longueur d'onde lambda, correspondant à la transition d'électrons entre différents niveaux d'énergie au sein d'une même bande d'énergie. Le schéma de la figure 1 illustre ce type de transition. L'évolution récente des performances de ce type de composants est liée en particulier à la réalisation relativement facile de structures multicouches de semiconducteurs dans le système standard de l'épitaxie par jets moléculaires (MBE), c'est-à-dire le système GaAs/Ga(1_X)AIXAs. En ajustant les paramètres de croissance, l'épaisseur des puits quantiques et le pourcentage x en Aluminium dans les barrières imposant le potentiel de confinement, on peut choisir de centrer une bande étroite de détection (environ 1 micron) sur une longueur d'onde donnée. Ce type de structure présente l'intérêt de fournir de très bonnes sensibilités en raison de la discrétisation des niveaux d'énergie au sein des bandes de conduction des matériaux photoconducteurs utilisés. Ainsi les détecteurs à multi-puits quantiques se sont imposés comme une très bonne solution technique pour la réalisation de matrices sensibles au rayonnement infrarouge dans la bande 8-12 pm. Dans le contexte des transitions intersousbande, pour que ce type de transition soit possible il est nécessaire que le champ électrique de l'onde électromagnétique incidente ait une composante le long de la direction de croissance des couches (direction perpendiculaire au plan des couches). La conséquence de cet effet physique est qu'un détecteur présente peu d'absorption dans le cas d'une illumination à incidence normale. II a déjà été proposé d'utiliser des moyens de couplage de type réseau de diffraction (cf Goossen et Lyon, APL 47(1985), p1257-1259) pour générer ladite composante perpendiculaire en créant des rayonnements diffractés. On peut ainsi graver sur chaque pixel un réseau de diffraction fonctionnant en réflexion (les détecteurs sont éclairés en face arrière) comme décrit dans l'article "Grating-coupled quantum-well infrared detectors: Theory and performance", J. Y. Anderson and L. Lundqvist, J. Appl. Phys. 71, 3600 (1992) et illustré en figure 2a qui met en évidence l'utilisation de réseaux de plots permettant de coupler le rayonnement incident quelle que soit sa polarisation. En remplaçant le réseau matriciel de plots à deux dimensions illustré en figure 2a, couramment dénommé réseau � 2D � par un réseau lamellaire à une dimension illustré en figure 2b, couramment dénommé réseau � 1 D �, on favorise le couplage de la polarisation incidente perpendiculaire au motif comme le montrent les résultats de la figure 2c qui montrent une courbe 2c, et une courbe 2c2 respectivement relatives à l'utilisation d'un réseau 1 D orienté comme représenté selon la flèche 2bl par rapport à une première direction de polarisation et à l'utilisation d'un réseau 1 D orienté comme représenté selon la flèche 2b2 par rapport à une seconde direction de polarisation orthogonale à la première direction. On obtient ainsi un pixel sensible à la polarisation incidente. L'imagerie polarimétrique présente le grand intérêt de permettre de déceler plus facilement des objets manufacturés pouvant notamment être de type métallique dans une scène observée et ainsi d'exploiter de nouvelles sources de contraste, dans des conditions de faible contraste thermique. Le principe de ce type de détecteur a été démontré sur des pixels compatibles avec la fabrication de matrices grand format (avec un pas de motif inférieur à 25pm) : "High contrast polarization sensitive quantum well infrared photodetectors", T. Antoni, A. Nedelcu, X. Marcadet, H. Facoetti, V. Berger, Appl. Phys. Lett. 90, 201107 (2007). II a aussi été montré que le paramètre pertinent pour ce type de système est le contraste de signal total (11-12)/(11+12), où Ii et 12 sont des courants délivrés par deux pixels dont les motifs dits � 1D � sont orthogonaux. On constate que la réponse d'un pixel polarimétrique n'est pas parfaitement polarisée : elle est non nulle pour une polarisation parallèle au motif 1 D de type lamellaire. Ceci est du à une contribution au couplage optique induite par les bords du pixel équivalente à des effets de taille finie. Cette contribution n'est pas sensible à la polarisation. Un imageur thermique sensible à la polarisation a ainsi été développé par la société Thales Optronics Ltd., dont le plan focal est une matrice à multi-puits quantiques couramment désignés par l'acronyme �QWIP �, au pas de 20 pm fabriquée par ATL III-V Lab comme décrit dans l'article "Small pitch, large format long-wave infrared QWIP focal plane arrays for polarimetric imagery", A. Nedelcu, H. Facoetti, E. Costard, P. Bois, SPIE 6542, 65420U (2007). Cet imageur présente une structure monolithique intégrant une matrice de détecteurs et une matrice de polariseurs au niveau du plan focal. II est à noter que dans le domaine infrarouge, la technologie dite � QWIP � est la seule à permettre cette intégration. Ce plan focal est construit à partir d'une cellule élémentaire de 2x2 pixels, chaque pixel ayant un motif lamellaire orienté différemment comme l'illustre la figure 3 qui met en évidence quatre type de réseaux de diffraction ID différents, RI, R2, R3 et R4. En combinant les signaux des quatre pixels, il est possible d'imager le degré de polarisation linéaire dans la scène. Pour conserver la résolution de l'image on utilise un système de micro-balayage. Quatre trames vidéo sont nécessaires pour construire quatre images contenant des informations polarimétriques différentes. La couche active est optimisée pour permettre un fonctionnement à haute cadence trame (200 Hz, temps d'intégration de 5 millisecondes), ce qui autorise une cadence proche de 50 Hz après traitement. L'architecture décrite ci-dessus pose néanmoins un problème. En effet, comme la réponse de chaque pixel n'est pas parfaitement polarisée, ce phénomène étant mis en évidence grâce à la figure 2c, cela génère une réduction du contraste par rapport à un système idéal. C'est pourquoi, la présente invention propose une nouvelle architecture de dispositif d'imagerie polarimétrique présentant un plan focal matriciel comportant une couche sensible à base de multi-puits quantiques et des moyens de couplage optique permettant de faire de l'imagerie polarimétrique sans altérer de manière significative le contraste. Plus précisément la présente invention a pour objet un dispositif 35 d'imagerie polarimétrique comprenant une structure à multi-puits quantiques fonctionnant sur des transitions intersousbande par absorption d'un rayonnement à une longueur d'onde lambda, ladite structure comportant une matrice de pixels élémentaires de détection caractérisé en ce que la matrice est organisée en sous-ensembles de quatre pixels élémentaires, un premier pixel polarimétrique comportant un premier réseau diffractif sensible à une première polarisation, un second pixel polarimétrique comportant un second réseau diffractif sensible à une deuxième polarisation orthogonale à la première polarisation, un troisième pixel polarimétrique comportant un troisième réseau diffractif sensible à une troisième polarisation orientée selon une angle compris entre les première et seconde polarisations, un quatrième pixel ne comportant pas de réseau diffractif sélectif en polarisation. II est à noter que la réponse du pixel sans réseau est uniquement due au couplage optique par les bords du pixel. Elle n'est pas sensible à la polarisation. Selon une variante de l'invention, le quatrième pixel ne comporte pas de réseau diffractif. Selon une variante de l'invention, le quatrième pixel comporte un quatrième réseau diffractif non sélectif en polarisation. Selon une variante de l'invention, le dispositif comporte en outre 20 des moyens de traitement des signaux récupérés au niveau des pixels de détection. Selon une variante de l'invention, les moyens de traitement des signaux comprennent des moyens de sommation des signaux issus respectivement des premier, second, troisième pixels de détection et des 25 moyens de soustraction du signal issu du quatrième pixel de détection. On est ainsi en mesure de s'affranchir de la contribution non polarisée de chaque pixel. Cette dernière contient le signal optique non polarisé (dû au couplage par les bords) mais aussi le courant d'obscurité Elle peut être mesurée à l'aide du pixel non sélectif en 30 polarisation et être soustraite du signal des trois autres pixels. Selon une variante de l'invention, le troisième pixel comporte un réseau diffractif sensible à une troisième polarisation orientée selon un angle de l'ordre de 45°. Selon une variante de l'invention, les premier, second et troisième réseaux de diffraction sont des réseaux à une dimension comportant des motifs lamellaires. Selon une variante de l'invention, le dispositif d'imagerie polarimétrique comprend un empilement de couches réalisé à la surface d'un substrat, ledit empilement comprenant la structure à multi-puits quantiques et des couches externes, les motifs lamellaires étant gravés au sein d'une couche externe. Selon une variante de l'invention, l'empilement des couches est un empilement de couches de type GaAs ou InGaAs dopé (constituant les puits) et AIGaAs ou InAlAs non dopé (constituant les barrières), le substrat étant de type GaAs ou InP non dopé. Selon une variante de l'invention, la structure à multi-puits quantiques est composée d'une alternance de couches de GaAs dopé et de couches de GaAIAs non dopé, les couches externes étant des couches de contact ohmique à base de GaAs plus fortement dopées que celles constitutives de la structure à multipuits quantiques. Selon une variante de l'invention, le dispositif de l'invention comprend un substrat transparent à la longueur d'onde du rayonnement incident et une couche réflectrice à ladite longueur d'onde, ladite couche réflectrice étant à la surface des réseaux de diffraction, de manière à faire fonctionner le détecteur en réflexion. Ainsi selon l'invention, le dispositif de l'invention permet de faire de l'imagerie polarimétrique dans l'ensemble du spectre infrarouge 3-20 pm. En autorisant la soustraction des effets de bord la présente invention permet d'augmenter le contraste polarimétrique. L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre donnée à titre non limitatif et grâce 30 aux figures annexées parmi lesquelles : la figure 1 illustre une structure à multipuits quantiques selon l'art connu ; les figures 2a, 2b, 2c illustrent respectivement une structure d'imageur comportant un réseau 2D, une structure d'imageur comportant un réseau 1 D et l'évolution de la réponse spectrale de ces deux structures; la figure 3 illustre un dispositif d'imagerie polarimétrique comportant un plan focal à multi-puits quantiques QWIP selon l'art antérieur; la figure 4 illustre un premier exemple de dispositif d'imagerie comportant un plan focal optimisé par rapport au contraste polarimétrique selon l'invention; la figure 5 illustre un second exemple de dispositif d'imagerie ~o comportant un plan focal optimisé par rapport au contraste polarimétrique selon l'invention; la figure 6 illustre un exemple de réalisation de plan focal utilisé dans un imageur de l'invention. 15 Premier exemple d'imageur selon l'invention : La figure 4 illustre une première variante de l'invention dans laquelle l'imageur comporte une structure à multi-puits quantiques MPQ comprenant un ensemble d'éléments de détection à la surface desquels sont 20 réalisés des réseaux de diffraction sensibles sélectivement en terme de polarisation. Plus précisément, cet ensemble comporte des sous-ensembles Eij constitués de quatre sous-pixels comportant respectivement chacun un premier réseau de diffraction 1 D sensible à une première polarisation RP1, un deuxième réseau de diffraction 1 D sensible à une deuxième polarisation RP2, 25 un troisième réseau de diffraction 1 D sensible à une troisième polarisation RP3 et un quatrième sous-pixel sans réseau de diffraction et référencé sur la figure Ro. Typiquement la seconde polarisation est orthogonale à la première, la troisième polarisation faisant un angle d'environ 45 degrés avec la première. Avantageusement l'imageur comporte en outre des moyens de 30 traitement du signal permettant de restituer une information en terme d'imagerie polarimétrique de qualité. 35 7 Deuxième exemple d'imaqeur selon l'invention : La figure 5 illustre une seconde variante de l'invention dans laquelle l'imageur comporte une structure à multi-puits quantiques MPQ comprenant un ensemble d'éléments de détection à la surface desquels sont réalisés des réseaux de diffraction sensibles sélectivement en terme de polarisation. Plus précisément, cet ensemble comporte des sous-ensembles constitués de quatre sous-pixels comportant respectivement chacun un premier réseau de diffraction 1 D sensible à une première polarisation RP1, un deuxième réseau de diffraction 1 D sensible à une deuxième polarisation RP2, un troisième réseau de diffraction 1 D sensible à une troisième polarisation RP3 et un quatrième sous-pixel avec un réseau de diffraction par exemple 2D R2D non sélectif en longueur d'onde. L'imageur peut avantageusement également comporter des moyens de traitement du signal permettant de restituer une information en terme d'imagerie polarimétrique de qualité. De manière connue, le dispositif d'imagerie polarimétrique de l'invention peut être réalisé à la surface d'un substrat en matériau semiconducteur S. A la surface de ce matériau semiconducteur, on procède à un assemblage de couches constituant un contact ohmique dit inférieur Ci en matériau semiconducteur fortement dopé est déposé à la surface du substrat. Ce contact ohmique supporte l'ensemble des couches semiconductrices constitutives de la structure à multi-puits quantiques MPQ. Celle-ci est en contact avec un assemblage de couches constituant un contact ohmique dit supérieur Cs, la détection étant assurée entre les deux contacts ohmiques. Avantageusement les réseaux diffractifs constitués de motifs lamellaires peuvent être gravés dans la couche de contact ohmique comme illustré en figure 6 qui représente une vue en coupe selon l'axe AA' représenté en figure 5. Exemple de réalisation d'un imageur selon l'invention : Nous allons décrire un exemple d'imageur selon l'invention, fonctionnant dans le domaine infrarouge et plus particulièrement adapté aux 35 domaines 8-12 microns : Sur un substrat en GaAs intrinsèquement non dopé, on réalise le dépôt de la couche de contact ohmique inférieur en GaAs dopé Si avec un taux de dopage de 1.10 18 cm-3 et une épaisseur typiquement de 2 microns. La structure à multi-puits quantiques est réalisée par l'empilement de 50 puits composés d'une couche de GaAs dopée silicium avec une concentration en porteurs de charge de 2 10 " cm-2 d'épaisseur 5 nm, insérée entre deux couches barrières constituées de Gao,75A10,25As d'épaisseur 50 nm. La couche de contact supérieur est semblable à la couche de 1 o contact inférieur. Les motifs lamellaires sont réalisés au sein de cette couche de contact supérieur. Pour obtenir les effets diffractants recherchés à une longueur d'onde de fonctionnement de 9 microns, les profondeurs de gravure sont de 15 0.7 micron et le pas des motifs est de 2,7 microns (l'indice moyen de la structure étant de 3,3 microns à 9 microns). Le taux de remplissage de la surface de la couche de contact supérieur est typiquement de l'ordre de 50%. Les différents réseaux de diffraction RPR, RP2, Rp3 sont réalisés en orientant selon une direction 20 privilégiée les différents motifs lamellaires. REVENDICATIONS1. Dispositif d'imagerie polarimétrique comprenant une structure à multipuits quantiques fonctionnant sur des transitions intersousbande par absorption d'un rayonnement à une longueur d'onde lambda, ladite structure comportant une matrice de pixels élémentaires de détection caractérisé en ce que la matrice est organisée en sous-ensembles de quatre pixels élémentaires, un premier pixel polarimétrique comportant un premier réseau diffractif (Rpi) sensible à une première polarisation, un second pixel polarimétrique comportant un second réseau diffractif (RP2) sensible à une deuxième polarisation orthogonale à la première polarisation, un troisième pixel polarimétrique comportant un troisième réseau diffractif (RP3) sensible à une troisième polarisation orienté selon une angle compris entre les première et seconde polarisations, un quatrième pixel ne comportant pas de réseau diffractif sélectif en polarisation. 2. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le quatrième pixel ne comporte pas de réseau diffractif. 3. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le quatrième pixel comporte un quatrième réseau diffractif (R2D) non sélectif en polarisation. 4. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon l'une des revendications 25 1 à 3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de traitement des signaux récupérés au niveau des pixels de détection. 5. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon la revendication 4, caractérisé en ce que les moyens de traitement des signaux comprennent 30 des moyens de sommation des signaux issus respectivement des premier, second, troisième pixels de détection et des moyens de soustraction du signal issu du quatrième pixel de détection. 6. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon l'une des revendications 35 1 à 5, caractérisé en ce que le troisième pixel comporte un réseau diffractifsensible à une troisième polarisation orientée selon un angle de l'ordre de 45°. 7. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon l'une des revendications 5 1 à 6, caractérisé en ce que les premier, second et troisième réseaux de diffractions sont des réseaux à une dimension comportant des motifs lamellaires. 8. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon la revendication 7, 10 caractérisé en ce qu'il comprend un empilement de couches réalisé à la surface d'un substrat, ledit empilement comprenant la structure à multipuits quantiques et des couches externes, les motifs lamellaires étant gravés au sein d'une couche externe . 15 9. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'empilement des couches est un empilement de couches de type GaAs ou InGaAs dopé (constituant les puits) et AlGaAs ou InAlAs non dopé (constituant les barrières), le substrat étant de type GaAs ou InP non dopé. 20 10. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon la revendication 9, caractérisé en ce que la structure à multipuits quantiques est composée d'une alternance de couches de GaAs dopé et de couches de GaAIAs non dopé, les couches externes étant des couches de contact ohmique à base de 25 GaAs plus fortement dopé que celles constitutives de la structure à multipuits quantiques. 11. Dispositif d'imagerie polarimétrique selon l'une des revendications 8 à 10, caractérisé en ce qu'il comprend un substrat 30 transparent à la longueur d'onde du rayonnement incident et une couche réflectrice à ladite longueur d'onde, ladite couche réflectrice étant à la surface des réseaux de diffraction, de manière à faire fonctionner le détecteur en réflexion.