Brevet FR2944112A1 — publié le 20101008

La présente invention concerne un dispositif de mesure d'un faisceau de rayons X. Elle concerne également une installation et un procédé correspondants. L'invention s'applique notamment à un compteur proportionnel à gaz. Ce type de dispositif comporte généralement une chambre de détection de rayons X contenant un gaz et absorbant les rayons X par ionisation de ce gaz par des photons entrant dans la chambre de détection via une première fenêtre d'entrée. En effet, lorsqu'une particule ionisante traverse la fenêtre d'entrée et entre dans la chambre de détection, elle rencontre des molécules de gaz et les ionise (arrachement d'électrons). La fenêtre d'entrée est étanche à l'air mais transparente aux rayonnements : il s'agit en général d'un polymère métallisé posé sur une grille métallique destinée à lui donner une bonne résistance mécanique. La chambre de détection est par exemple délimitée par une gaine cylindrique au centre de laquelle est prévue une anode filaire. La gaine cylindrique forme elle-même une cathode. Un générateur et régulateur de haute tension crée une différence de potentiel prédéterminée et réglable entre la cathode cylindrique et l'anode filaire. Ainsi, les ions générés lors de l'interaction des photons dans le gaz sont attirés vers l'anode filaire ou vers la cathode cylindrique selon leur signe et provoquent des impulsions de tension lorsqu'ils l'atteignent. Enfin, un circuit électronique d'amplification, de filtrage et de comptage de ces impulsions est fourni pour enregistrer le nombre de photons ayant interagi dans la chambre de détection. En théorie, un faisceau de rayons X peut être ainsi mesuré, d'autant mieux que la haute tension peut être réglée à un niveau relativement faible pour éviter le phénomène d'avalanche de Townsend. Mais en pratique, tous les photons ne sont pas absorbés par le gaz de la chambre de détection lors de leur passage. En outre, une partie des rayons X est rétrodiffusée dans les parois de la gaine cylindrique et interagit dans le volume de gaz. Par conséquent, un compteur proportionnel à gaz, et même plus généralement tout dispositif de mesure de rayons X, nécessite d'être étalonné. La connaissance de son taux d'absorption, autrement dit de son rendement de détection, permet ensuite de mesurer des flux de rayons X avec une précision d'autant meilleure que ce taux d'absorption est lui-même connu avec précision. Une première solution consiste à étalonner le dispositif de mesure à l'aide de radionucléides étalonnés en flux d'émission de rayons X ou de sources de rayonnement X artificiel, de type tubes à rayon X ou rayonnements synchrotron, elles-mêmes préalablement étalonnées. Cette solution n'est cependant pas satisfaisante, en particulier en métrologie de rayonnement X de basse énergie, notamment entre 1 keV et 20 keV. En effet, à ces basses énergies, il n'est tout d'abord pas possible de trouver un ensemble de radionucléides étalonnés couvrant toute la gamme de mesure et permettant de caractériser précisément le rendement de détection d'un dispositif de mesure, en raison d'une faible diversité des radionucléides étalons disponibles dans cette gamme d'énergie ainsi que d'une mauvaise connaissance de leur intensité d'émission photonique. A titre d'exemple, les radionucléides généralement utilisés à basse énergie correspondent aux éléments suivants : 51Cr (énergies de 4,95 keV et 5,43 keV), 54Mn (énergies de 5,41 keV et 5,95 keV), 55Fe (énergies de 5,89 keV et 6,41 keV), 57Co (énergies de 6,40 keV et 7,06 keV), 65Zn (énergies de 8,03 keV et 8,91 keV), 241Am (énergies de 11,9 keV, 13,93 keV, 17,51 keV et 21,01 keV). On notera en particulier qu'il n'existe pas d'étalon radioactif en dessous de 4,5 keV. En outre, les périodes radioactives de ces radionucléides étalonnés sont très différentes et, pour certains, trop courtes, comme dans le cas du 51Cr dont la période est de 27 jours. Enfin, les sources radioactives sont principalement caractérisées par l'activité qu'elles renferment, mais dans le domaine des basses énergies, et en particulier en dessous de 10 keV, il est nécessaire de prendre en compte les phénomènes d'auto absorption, non négligeables et difficilement mesurables, pour déterminer le nombre de photons sortant réellement d'une source. En ce qui concerne les sources de rayonnement X artificiel, elles doivent être étalonnées au préalable, ce qui repose le même problème. Pourtant, les compteurs ou détecteurs de rayonnements X de basse énergie sont utilisés dans de très nombreux domaines, tels que la métrologie des radionucléides, l'astrophysique, la microscopie électronique, etc. Une seconde solution consiste à déterminer le rendement de détection du dispositif de mesure par calcul ou par simulations informatiques telles que des simulations de Monte-Carlo. Cette solution permet de se passer d'étalons radioactifs mais requiert une parfaite connaissance de la structure interne du compteur ou détecteur à étalonner. Or, dans le cadre de la caractérisation de détecteurs du commerce tels que les détecteurs à semi-conducteurs, les secrets industriels liés aux procédés de fabrication empêchent d'avoir accès à toutes les caractéristiques des appareils (géométrie réelle du cristal de détection, zone morte, contact électrique, etc.). De plus, la connaissance des paramètres utilisés dans les calculs est souvent partielle. Cela a pour conséquence de dégrader la justesse et la précision des valeurs de rendements obtenues par ces méthodes. Il est plus aisé de déterminer, par calcul ou par mesure, le rendement de détection d'un compteur proportionnel à gaz. En effet, il est possible de caractériser les différents éléments qui le constituent : la transmission de la fenêtre d'entrée peut être mesurée expérimentalement et l'absorption du gaz peut être déterminée à l'aide d'un logiciel. Les résultats des mesures obtenus avec ce type de compteurs sont alors directement dépendants de l'exactitude du calcul du taux d'absorption des rayons X dans le gaz. Cependant, des rendements d'absorption peu élevés dans le gaz, une mauvaise connaissance des coefficients d'atténuation linéique du gaz ainsi que le phénomène parasite de rétrodiffusion du rayonnement non absorbé dans les parois du compteur dégradent la précision et la justesse du calcul, et donc la mesure obtenue avec ce type de compteur. Or il est en particulier difficile de prendre en compte les rayonnements rétrodiffusés dans la modélisation du dispositif de mesure. En outre, pour que la caractérisation des éléments qui constituent un compteur à gaz soit la plus fiable possible, il est aussi nécessaire de prévoir une architecture très spécifique pour ce compteur. Le document intitulé � Gain Stabilisation of Gas-flow Proportional Counters �, de B. Denecke et al, publié dans Applied Radiation and Isotopes, vol. 49, n°9-11, pp. 1117-1121, 1998, présente un compteur proportionnel à gaz qui résout partiellement ces problèmes en atténuant l'impact de la rétrodiffusion du rayonnement non absorbé dans les parois du compteur. Ce dispositif comporte une chambre d'émission de rayons X, une chambre d'ionisation remplie d'un mélange d'Argon et de méthane et une chambre arrière constituant un volume tampon. Une première fenêtre d'entrée des rayons X dans la chambre d'ionisation sépare la chambre d'émission de la chambre d'ionisation et une seconde fenêtre de sortie, pour les rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre d'ionisation, sépare la chambre d'ionisation du volume tampon dans le dispositif. Ainsi, les rayons X non absorbés dans la chambre d'ionisation, au lieu de se rétrodiffuser dans cette chambre d'ionisation, traversent le volume tampon et sont essentiellement rétrodiffusés dans les parois de la chambre arrière. Cependant, même si cela permet de rapprocher le modèle calculé du comportement réel du compteur proportionnel à gaz, cela ne résout pas complètement le problème des imprécisions intrinsèques du modèle et c'est aussi au prix d'un encombrement plus important du compteur. Il peut ainsi être souhaité de prévoir un dispositif de mesure d'un faisceau de rayons X qui permette de s'affranchir d'au moins une partie des problèmes et contraintes précités, notamment un dispositif qui puisse s'affranchir de la nécessité de recourir à un modèle de calcul. L'invention a donc pour objet un dispositif de mesure d'un faisceau de rayons X comportant une chambre de détection de rayons X par absorption de ces rayons X, une première fenêtre d'entrée des rayons X dans la chambre de détection et une seconde fenêtre de sortie des rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre de détection, dans lequel la seconde fenêtre est disposée à une interface entre l'intérieur et l'extérieur du dispositif de mesure de manière à permettre la transmission des rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre de détection vers un autre dispositif de mesure de rayons X, différent dudit dispositif de mesure, destiné à être disposé en aval dudit dispositif de mesure dans le sens de circulation des rayons X. Ainsi, un dispositif de mesure selon l'invention permet non seulement de limiter de manière importante la rétrodiffusion parasite des rayons X dans les parois de la chambre de détection, mais aussi d'exploiter la partie du faisceau de rayons X n'ayant pas interagi dans la chambre de détection du dispositif de mesure puisque celle-ci sort librement du dispositif de mesure. L'exploitation rendue possible de cette partie du faisceau permet d'envisager des protocoles de mesure plus élaborés, par exemple réalisables à l'aide d'un autre dispositif de mesure de rayons X pouvant être disposé en aval dudit dispositif de mesure dans le sens de circulation des rayons X. De façon optionnelle, la chambre de détection contient un gaz, notamment un mélange d'environ 10% de méthane et 90% d'argon, et est une chambre d'absorption de rayons X par ionisation du gaz par ces rayons X. De façon optionnelle également, les première et seconde fenêtres sont de même épaisseur et constituées d'un même matériau, notamment du béryllium, pour présenter un même taux de transmission des rayons X traversant ledit dispositif de mesure. De façon optionnelle également, les première et seconde fenêtres sont fixées aux parois de la chambre de détection par collage, notamment à l'aide d'une résine époxyde électroconductrice. L'invention a également pour objet une installation de mesure d'un faisceau de rayons X comportant : un émetteur de faisceau de rayons X, un premier dispositif de mesure tel que défini précédemment, un second dispositif de mesure de rayons X différent du premier dispositif de mesure et disposé sur le trajet du faisceau de rayons X, et des moyens de positionnement du premier dispositif de mesure sélectivement dans une première position, située sur le trajet du faisceau de rayons X entre l'émetteur et le second dispositif de mesure, dans laquelle une partie du faisceau de rayons X émis traverse le premier dispositif de mesure via ses première et seconde fenêtres puis est reçue par le second dispositif de mesure, et dans une seconde position, dans laquelle le premier dispositif de mesure est en dehors du trajet du faisceau de rayons X émis. De façon optionnelle, le second dispositif de mesure est un dispositif de détection de rayons X à semi-conducteur. De façon optionnelle également, les moyens de positionnement comportent une plate-forme motorisée en translation pour un déplacement du premier dispositif de mesure dans un plan orthogonal au trajet du faisceau de rayons X. L'invention a également pour objet un procédé de mesure d'un faisceau de rayons X à l'aide d'un premier dispositif de mesure comportant une chambre de détection de rayons X par absorption de ces rayons X, une première fenêtre d'entrée des rayons X dans la chambre de détection et une seconde fenêtre de sortie des rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre de détection, comportant une étape de comptage, par un second dispositif de mesure de rayons X différent du premier dispositif de mesure et disposé en aval du premier dispositif de mesure dans le sens de circulation des rayons X, de rayons X ayant traversé le premier dispositif de mesure sans avoir été absorbés par celui-ci et sortant du premier dispositif de mesure par la seconde fenêtre. De façon optionnelle, un procédé de mesure selon l'invention peut comporter les étapes suivantes : comptage, par le second dispositif de mesure, d'un faisceau de rayons X issu d'un émetteur de rayons X et reçu par le second dispositif de mesure, pour fournir une première valeur de comptage, interposition du premier dispositif de mesure sur le trajet du faisceau entre l'émetteur et le second dispositif de mesure, puis : • comptage, par le second dispositif de mesure, d'un faisceau de rayons X issu de l'émetteur de rayons X, après que celui-ci a traversé le premier dispositif de mesure dans lequel la chambre de détection est sans gaz ionisable via sa première et/ou sa seconde fenêtre, pour fournir au moins une deuxième valeur de comptage, • comptage, par le second dispositif de mesure, d'un faisceau de rayons X issu de l'émetteur de rayons X, après que celui-ci a traversé le premier dispositif de mesure dans lequel la chambre de détection contient un gaz ionisable, notamment un mélange d'environ 10% de méthane et 90% d'argon, via ses première et seconde fenêtres, pour fournir une troisième valeur de comptage, et détermination d'au moins l'un des éléments de l'ensemble constitué d'un taux d'absorption des rayons X dans le premier dispositif de mesure, d'une valeur de flux du faisceau de rayons X émis par l'émetteur et d'un rendement de détection du second dispositif de mesure, à partir de ces trois valeurs de comptage. De façon optionnelle, les deux fenêtres du premier dispositif de mesure étant de caractéristiques identiques pour un même taux de transmission des rayons X, le taux R d'absorption des rayons X dans le premier dispositif de mesure est déterminé selon l'équation suivante : R = Nl x 1- -- I , où N1 est la première valeur de comptage, N2 la deuxième valeur de comptage et N3 la troisième valeur de comptage. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins annexés dans lesquels : les figures 1A et 1B représentent schématiquement la structure générale d'un dispositif de mesure d'un faisceau de rayons X selon un mode de réalisation de l'invention, la figure 2 représente schématiquement la structure générale d'une installation de mesure d'un faisceau de rayons X, comportant le dispositif de la figure 1, la figure 3 illustre les étapes successives d'un procédé de mesure mis en oeuvre par l'installation de la figure 2, et les figures 4 à 7 illustrent des caractéristiques en transmission ou en absorption de rayons X à travers des éléments du dispositif des figures 1A et 1B. Le dispositif de mesure 10 représenté schématiquement sur la figure 1A en coupe longitudinale et sur la figure 1B en coupe transversale selon la coupe AA indiquée sur la figure 1A comporte une enceinte 12 à l'intérieur de laquelle est aménagée une chambre de détection cylindrique 14. L'enceinte 12 est par exemple réalisée en acier inoxydable de type 316L selon la norme AISI. Ses parois intérieures et extérieures peuvent être recouvertes d'une fine couche d'or, par dépôt électrolytique puis polissage de surface. La présence d'or améliore la conductivité électrique du corps du dispositif de mesure 10 dans un souci d'améliorer l'homogénéité d'un champ électrique créé à l'intérieur de celui-ci. De plus, le polissage permet de diminuer les défauts de surface. Plus précisément, la chambre de détection 14 est une chambre d'ionisation remplie d'un gaz, par exemple un mélange d'environ 10% de méthane et 90% d'argon. Lorsque la chambre d'ionisation 14 est traversée par des rayons X, ceux-ci peuvent ioniser le mélange gazeux qu'elle contient. Dans l'axe de la forme cylindrique de la chambre d'ionisation 14, un filament 16 est maintenu entre deux supports 18, 20 (par exemple des écrous et contre-écrous de fixation) et est relié à un circuit électronique d'amplification, de filtrage et de comptage classique (non représenté) par un connecteur 22, de manière à former une anode. L'enceinte 12 du dispositif de mesure 10 est reliée à ce même circuit électronique d'amplification, de filtrage et de comptage pour former une cathode. L'isolation électrique entre le filament 16 et l'enceinte 12 est par exemple assurée par des entretoises en téflon associées aux supports 18 et 20. Ainsi, comme indiqué précédemment, ce montage permet de compter les photons qui traversent la chambre d'ionisation 14 selon un rendement de détection propre au dispositif de mesure 10. Le mélange d'environ 10% de méthane et 90% d'argon est un mélange couramment utilisé par les compteurs proportionnels à gaz parce qu'il offre de bonnes caractéristiques en matière de détection de rayons X de basse énergie : notamment une énergie minimale d'ionisation faible et une densité apparente suffisante. Le volume de la chambre d'ionisation 14 doit être suffisamment important pour atteindre un rendement d'absorption souhaité mais suffisamment réduit pour limiter l'encombrement du dispositif de mesure 10. Pour une chambre cylindrique, un diamètre de l'ordre de 30 mm est un bon compromis pour la gamme d'énergie comprise entre 1 keV et 20 keV. Le filament 16 utilisé est avantageusement de petit diamètre. En effet, l'adoption d'un faible diamètre permet d'accroître l'amplification gazeuse du dispositif de mesure 10 pour obtenir un meilleur rapport signal sur bruit. Pour une chambre cylindrique dont le diamètre est de l'ordre de 30 mm, on utilise de préférence un filament de diamètre inférieur à 20 �m, par exemple 10 �m à 12 �m, et constitué d'acier inoxydable ou de tungstène avec ou sans traitements de surface par dépôt d'or ou autre. Pour permettre l'entrée des photons dans la chambre d'ionisation 14 du dispositif de mesure 10, une première fenêtre 24 d'entrée des rayons X dans la chambre d'ionisation 14 est prévue dans l'enceinte 12, plus précisément sur la paroi cylindrique de la chambre d'ionisation 14. Diamétralement opposée à cette première fenêtre d'entrée 24 par rapport à la section circulaire de la paroi cylindrique, une seconde fenêtre 26 de sortie des rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre d'ionisation 14 est également prévue dans l'enceinte 12. Les première et seconde fenêtres 24 et 26 sont, par exemple dans un mode de réalisation préféré, de forme générale circulaire, de même épaisseur et constituées d'un même matériau pour présenter un même paramètre de transmission des rayons X traversant le dispositif de mesure 10. En variante, elles pourraient être différentes mais présenteraient alors des paramètres de transmission différents. Elles sont de préférence fixées à la paroi cylindrique de la chambre d'ionisation 14 par collage, notamment à l'aide d'une résine époxyde électroconductrice bi-composants, dopée de particules d'argent. Cette particularité rend le collage conducteur, ce qui est important si l'on souhaite respecter la régularité des lignes de champ dans la chambre d'ionisation 14. Les centres des deux fenêtres 24 et 26 définissent l'axe principal de la trajectoire suivie par un faisceau de rayons X destiné à traverser le dispositif de mesure 10. Les première et seconde fenêtres 24 et 26 sont de préférence amovibles et plusieurs paires de fenêtres peuvent être prévues de différentes épaisseurs et de différents matériaux. Cela permet d'adapter la gamme de fonctionnement en énergie du dispositif de mesure 10 ainsi que la pression maximale qu'il peut supporter (pour le cas des énergies élevées). Ces paires de fenêtres peuvent avantageusement présenter les caractéristiques suivantes : utilisation d'un même matériau et choix d'une même épaisseur pour les deux fenêtres d'une même paire comme indiqué ci-dessus, pour qu'elles présentent un même paramètre de transmission des rayons X, utilisation d'un matériau présentant un faible pouvoir d'absorption du rayonnement X, notamment quelques dizaines de pour cent d'absorption à 1 keV, utilisation d'un matériau présentant une bonne résistance mécanique, au moins 1 kg/cm2, pour résister aux variations de pression, utilisation d'un matériau présentant une faible résistance électrique, par exemple inférieure à quelques m52,.cm-', pour assurer une bonne homogénéité du champ électrique à l'intérieur de la chambre d'ionisation 14, et utilisation d'un matériau pouvant être collé sur un support avec une résine époxyde électroconductrice. Pour répondre à ces critères, le dispositif de mesure 10 peut être muni de deux paires de fenêtres amovibles. Une première paire, dans laquelle l'épaisseur de chacune des deux fenêtres est par exemple de 10 �m, est adaptée aux énergies basses de la gamme de mesures du dispositif de mesure 10. Une seconde paire, dans laquelle l'épaisseur de chacune des deux fenêtres est par exemple de 25 �m, est adaptée aux énergies élevées de la gamme de mesures du dispositif de mesure 10. Les fenêtres sont par ailleurs avantageusement réalisées en un matériau présentant les résistance, conduction électrique et faible absorption requises, par exemple du béryllium. Conformément à l'invention, la seconde fenêtre 26 est disposée sur l'enceinte 12 à l'interface entre l'intérieur et l'extérieur du dispositif de mesure 10, de manière à permettre aux rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre d'ionisation 14 de sortir du dispositif de mesure 10. Ils ne sont ainsi arrêtés par aucune paroi du dispositif de mesure 10 et peuvent être reçus et comptés et/ou détectés par un autre dispositif de mesure de rayons X, différent du dispositif de mesure 10 et destiné à être disposé en aval du dispositif de mesure 10 dans le sens de circulation des rayons X. Enfin, dans le mode de réalisation illustré sur les figures 1A et 1 B, le dispositif de mesure 10 est à flux gazeux. L'enceinte 12 est donc connectée à une réserve de gaz (non représentée), celui-ci étant renouvelé en permanence dans la chambre d'ionisation 14 à l'aide d'une entrée 28 et d'une sortie 30 de gaz aménagées dans l'enceinte 12 du dispositif de mesure 10. La valeur de la pression à l'intérieur du dispositif de mesure 10 n'est pas un paramètre qu'il est nécessaire de connaître avec une grande précision : elle peut par exemple varier entre 100 hPa et 1000 hPa. Ce qui est important en revanche, c'est la stabilité de cette pression lorsque des mesures sont effectuées : elle doit être de l'ordre de 10-3 pendant plusieurs heures. Pour ce faire, le circuit de circulation de gaz connecté au dispositif de mesure 10 par l'entrée 28 et la sortie 30 est équipé d'un banc de régulation de la pression de gaz à l'intérieur de la chambre d'ionisation 14. Le dispositif de mesure 10 peut être intégré dans une installation telle que celle représentée schématiquement sur la figure 2. Cette installation comporte un émetteur 32 de faisceaux de rayons X. Cet émetteur 32 est de type classique et ne sera pas détaillé. Il émet un faisceau de rayons X de basse énergie dans l'installation, notamment dans la gamme comprise entre 1 keV et 24 keV, dont la trajectoire suit un axe D. L'installation comporte un premier dispositif de mesure, identique à celui décrit en référence aux figures 1A et 1B, portant donc la même référence 10. Elle comporte en outre un second dispositif 34 de mesure de rayons X différent du premier dispositif de mesure 10 et disposé sur l'axe D, autrement dit sur le trajet du faisceau de rayons X. Le second dispositif 34 est par exemple un dispositif de détection de rayons X à semi-conducteur de type classique, au silicium avec adjonction de lithium et refroidi par un module à effet Peltier. Le second dispositif de mesure 34 est fixé à une paroi 36 (partiellement représentée) de l'installation par l'intermédiaire d'une bride 38 supportant par ailleurs également des connexions d'alimentation en gaz et en énergie électrique de l'installation. Un dispositif 40 de guidage étanche de rayons X pour détecteur à semi-conducteur est fourni en entrée du second dispositif de mesure 34 et permet à ce dernier de recevoir des rayons X circulant à l'intérieur de l'installation. On notera que l'on fait le vide à l'intérieur de l'installation, l'espace intérieur dans lequel circulent les rayons X étant hermétiquement délimité par la paroi 36 qui n'est représentée que partiellement sur la figure 2. Le dispositif de guidage 40 est alors aménagé dans la bride 38 pour permettre la fixation par l'extérieur du second dispositif de mesure 34. Cela permet son remplacement de façon simple. Le premier dispositif de mesure 10 est positionné dans l'installation par l'intermédiaire de moyens de positionnement 42 comprenant une plate-forme motorisée en translation pour un déplacement du premier dispositif de mesure 10 le long de l'axe D, mais aussi dans un plan orthogonal à l'axe D, c'est-à-dire dans un plan orthogonal au trajet du faisceau de rayons X. La plate-forme motorisée peut être commandée automatiquement par un programme d'ordinateur. Plus précisément, lorsque le dispositif de mesure 10 est dans une première position, située sur le trajet du faisceau de rayons X entre l'émetteur 32 et le second dispositif de mesure 34, c'est-à-dire lorsque ses fenêtres d'entrée et de sortie 24 et 26 sont centrées sur l'axe D, un plateau tournant 44 associé à une vis sans fin 46 permet de régler la position longitudinale du premier dispositif de mesure 10 sur l'axe D ; deux autres dispositifs classiques de commande 48 et 50 de la plate-forme motorisée permettent de déplacer le premier dispositif de mesure 10 en translation selon deux directions orthogonales, dans un plan lui-même orthogonal à l'axe D, pour le positionner sélectivement dans la première position précitée ou dans au moins une autre position, dite seconde position, dans laquelle le premier dispositif de mesure 10 est en dehors du trajet du faisceau de rayons X émis par l'émetteur 32. Ainsi, lorsque le premier dispositif de mesure 10 est dans sa première position, le faisceau de rayons X émis par l'émetteur 32 entre dans la chambre d'ionisation 14 par la fenêtre d'entrée 24 et la traverse. En fonction du taux d'absorption de cette chambre d'ionisation 14 et des taux de transmission des fenêtres d'entrée et de sortie 24, 26, une partie du faisceau émis sort du premier dispositif de mesure 10 par la fenêtre de sortie 26 puis est reçue par le second dispositif de mesure 34. Au contraire, lorsque le premier dispositif de mesure 10 est dans sa seconde position, le faisceau de rayons X émis par l'émetteur 32 est directement reçu par le second dispositif de mesure 34, sans traverser le premier dispositif de mesure 10. Comme on l'aura compris, les moyens 42 permettent de positionner sélectivement et automatiquement le dispositif de mesure 10 dans sa première ou sa seconde position. Grâce à l'installation qui vient d'être décrite en référence à la figure 2, il est possible de mettre en oeuvre un procédé de mesure d'un faisceau de rayons X performant, notamment tel que celui dont les trois étapes principales sont illustrées sur la figure 3. On note N une quantité de rayons X émis pendant un certain temps T par l'émetteur 32 et susceptibles d'être comptés par le premier dispositif de mesure 10 et/ou par le second dispositif de mesure 34. On note Rio le taux d'absorption des rayons X dans le premier dispositif de mesure 10 et R34 le rendement de détection du second dispositif de mesure 34 (le taux d'absorption Rio peut également être vu comme représentant le rendement de détection du premier dispositif de mesure 10). Au cours d'une première étape 100, lors de laquelle le premier dispositif de mesure 10 est dans la seconde position définie ci-dessus, l'émetteur 32 émet un faisceau par exemple monochromatique contenant une quantité N de rayons X pendant le temps T. L'intégralité de ce faisceau est reçue par le second dispositif de mesure 34 puisque ce faisceau ne traverse pas le premier dispositif de mesure 10 qui se trouve en dehors du trajet. Le second dispositif de mesure 34 mesure une quantité N1 de rayons X. Compte tenu du rendement de détection du second dispositif de mesure 34, la quantité N1 vérifie la relation suivante : N1=R34xN. (1) Le rendement de détection du second dispositif de mesure 34 n'étant pas connu, il n'est bien sûr pas possible à cette étape de connaître la valeur de N sans étalonnage préalable du second dispositif 34. Au cours d'une deuxième étape 102, lors de laquelle le premier dispositif de mesure 10 est déplacé dans la première position définie ci-dessus et sa chambre d'ionisation 14 est vide (c'est-à-dire sans gaz ionisable), l'émetteur 32 émet dans les mêmes conditions un faisceau contenant une quantité N de rayons X pendant le temps T. Le second dispositif de mesure 34 mesure alors une quantité N2 de rayons X. En admettant dans le mode de réalisation illustré sur la figure 2 que les deux fenêtres en béryllium 24 et 26 présentent les mêmes caractéristiques et notamment la même épaisseur e, d'après la loi de Beer-Lambert, la quantité N2 vérifie la relation suivante : i ,u Be )PBe .2e PBe PBe PBe .e PBe N2 = R34 x exp xN=R34xNxexp 2 (2) où PBe est l'atténuation linéique des rayons X dans le béryllium et pBe la densité du béryllium (le rapport de ces deux paramètres est donc l'atténuation massique généralement donnée par des tableaux de valeurs). Cette relation est d'autant mieux vérifiée que le phénomène de rétrodiffusion parasite peut être négligé dans le premier dispositif de mesure 10 grâce à la présence des deux fenêtres 24 et 26. Aucune correction particulière n'est donc à prévoir. Au cours d'une troisième étape 104, lors de laquelle le premier dispositif de mesure 10 est dans la première position définie ci-dessus et sa chambre d'ionisation 14 est remplie de gaz, l'émetteur émet un faisceau contenant une quantité N de rayons X pendant le temps T. Le second dispositif de mesure 34 mesure alors une quantité N3 de rayons X et le premier dispositif de mesure 10 mesure une quantité N4 de rayons X. D'après la loi de Beer-Lambert, la quantité N3 vérifie la relation suivante : /iBe .PBe .2e PBe Pg \ Pg pg .d N3 = R34 x exp x exp (3) xN, où ,ug est l'atténuation linéique des rayons X dans le gaz, pg la densité du gaz et d l'épaisseur de gaz traversée, c'est-à-dire le diamètre de la chambre d'ionisation 15 cylindrique 14. D'après la loi de Beer-Lambert également, la quantité N4 vérifie la relation suivante : N4=exp /Be •PBe .e PBe ~ Pg .pg .d x N = Rio x N . (4) De même que pour la relation (2), les relations (3) et (4) sont d'autant mieux 20 vérifiées que le phénomène de rétrodiffusion parasite peut être négligé dans le premier dispositif de mesure 10 grâce à la présence des deux fenêtres 24 et 26. En faisant le rapport des équations (1) et (2), on trouve : -2 N2_ Ni = expi IiBe •PBe .e PBe , d'où exp PBe •PBe .e PBe N1 (5) En faisant le rapport des équations (2) et (3), on trouve : 25 N3 = exp pg \Pg )pg .d (6) En reportant les relations (5) et (6) dans l'équation (4), on en déduit une expression du taux d'absorption Rio des rayons X dans le premier dispositif de mesure 10 pour l'énergie considérée, qui ne dépend plus que des mesures effectuées lors des étapes 100, 102 et 104 : R10 ~ N1 x ~1 N2 . (7) On en déduit aussi une estimation de la quantité N de rayons X émise par 5 l'émetteur 32 qui ne dépend que des mesures effectuées lors des étapes 100, 102 et 104 : N4 ,/N1x N2 N==N4x Rio N2 ûN3 En reportant la relation (8) dansl'équation (1), on en déduit aussi une (8) expression du rendement de détection du second dispositif de mesure 34 pour 10 l'énergie considérée, qui ne dépend que des mesures effectuées lors des étapes 100, 102 et 104 : N1 N2 ûN3 R34 _ x N2 N4 Ainsi, il apparaît bien que la présence des deux fenêtres dans le premier dispositif de mesure 10, combinée au fait que la disposition particulière de la fenêtre 15 de sortie 26 permet à une partie du faisceau de rayons X émis d'être reçu par un second dispositif de mesure après avoir traversé le premier dispositif de mesure 10, permet d'envisager des protocoles de mesure plus élaborés, notamment tels que celui détaillé ci-dessus. Ces protocoles de mesure plus élaborés peuvent entre autre rendre les estimations moins dépendantes des modèles mathématiques portant sur 20 les compteurs et détecteurs. En particulier, le procédé décrit en référence à la figure 3 fournit directement, uniquement grâce aux valeurs N1, N2 et N3 mesurées aux étapes 100, 102 et 104, une estimation du taux d'absorption du premier dispositif de mesure 10 sans nécessité de connaître les paramètres du modèle utilisé (réaliste grâce à la présence 25 des deux fenêtres 24 et 26) pour démontrer la relation (7) et sans étalonnage préalable de ce dispositif 10. Grâce à la connaissance supplémentaire de la valeur N4 mesurée à l'étape 104, il est possible d'en déduire une estimation du flux du faisceau de rayons X émis par l'émetteur 32 et une estimation du rendement de détection du second dispositif 30 de mesure 34, ceci sans supposer aucun modèle et aucun étalonnage préalable non plus du second dispositif 34. Compte tenu de la difficulté d'obtenir des étalons dans (9) la gamme des basses énergies comprises entre 1 keV et 20 keV et de leur coût, l'installation de la figure 2 utilisée comme indiqué en référence à la figure 3 comporte donc l'avantage de pouvoir s'en passer pour mesurer de façon absolue des flux incidents de basse énergie. De plus, la détention de radionucléides dans un laboratoire de mesure s'avère de plus en plus contraignante face aux exigences des autorités de sûreté. Pouvoir s'en passer est donc un avantage vraiment significatif. En outre, puisque aucune hypothèse n'a été faite sur la structure du second dispositif de mesure 34 pour l'établissement des équations (1) à (9), l'installation illustrée sur la figure 2 permet de caractériser le rendement de détection de tout type de compteur ou détecteur de rayons X, notamment ceux vendus dans le commerce, et pas seulement celui des détecteurs à semi-conducteur au silicium avec adjonction de lithium qui a été pris en exemple. Enfin, on notera que la relation (7) permet de connaître la valeur de l'incertitude uR10 sur le taux d'absorption R10 des rayons X dans le premier dispositif de mesure 10, lorsque l'on connaît les incertitudes uN1, uN2 et uN3 sur les valeurs mesurée N1, N2 et N3. En dérivant cette relation (7), on obtient effectivement : 1 N32 4N1.N2.(uN2)2 + 4N1.N23 .(uN2)2 (N2 ù N3)2 2 1 2 + (uN1) + .(uN3) 2 4N13.N2 N1.N2 Les relations (7) à (9) ont été obtenues en faisant l'hypothèse que les deux fenêtres 24 et 26 sont identiques, notamment de même épaisseur e. En variante, on pourrait envisager un mode de réalisation dans lequel les deux fenêtres d'entrée et de sortie ne sont pas identiques. Dans ce cas, pour retrouver, uniquement à l'aide de valeurs mesurées, les valeurs de taux d'absorption du premier dispositif de mesure 10, de quantité N de rayons X émise par l'émetteur 32 et de rendement de détection du second dispositif de mesure 34, il conviendrait de disposer de deux fenêtres amovibles et de scinder l'étape 102 en deux étapes 102a et 102b. Au cours de l'étape 102a, le premier dispositif de mesure 10 serait déplacé dans la première position, sa première fenêtre d'entrée serait escamotée, sa seconde fenêtre serait conservée et la chambre d'ionisation 14 serait vide, l'émetteur émettant un faisceau contenant une quantité N de rayons X pendant le temps T. Le second dispositif de mesure 34 mesurerait alors une quantité N2a de rayons X. Au cours de l'étape 102b, le premier dispositif de mesure 10 serait dans la première position, sa première fenêtre d'entrée serait conservée, sa seconde fenêtre uR10 = -1/2 (10) serait escamotée et la chambre d'ionisation 14 serait vide, l'émetteur émettant un faisceau contenant une quantité N de rayons X pendant le temps T. Le second dispositif de mesure 34 mesurerait alors une quantité N2b de rayons X. En appliquant la loi de Beer-Lambert dans chaque situation 102a et 102b, puis en appliquant le même raisonnement que précédemment, on trouverait une nouvelle équation reliant le taux d'absorption Rio des rayons X dans le premier dispositif de mesure 10 aux valeurs mesurées N1, N2a, N2b et N3 et de nouvelles relations entre la quantité N de rayons X émise par l'émetteur 32 et le rendement de détection du second dispositif de mesure 34, d'une part, et les valeurs mesurées N1, N2a, N2b, N3 et N4, d'autre part. Concrètement, des choix technologiques peuvent être faits pour concevoir un dispositif de mesure 10 tel que celui illustré sur les figures 1A et 1B présentant les meilleurs taux d'absorption et de transmission possibles afin d'optimiser les mesures. Ces choix sont par exemple guidés par les critères suivants : permettre une gamme de mesures comprise entre 1 keV et 24 keV, présenter un taux d'absorption de quelques pourcents ou dizaines de pourcents selon l'énergie du faisceau émis, conduisant à l'adoption d'une fenêtre d'entrée 24 mince et d'une pression de gaz en relation avec l'absorption du rayonnement et la résistance mécanique des fenêtres 24 et 26, fournir une résolution en énergie assez grossière, par exemple de l'ordre de 10 à 20% à 6 keV, présenter un encombrement réduit pour une mise en place aisée sur les moyens de positionnement 42, par exemple une largeur maximale de l'ordre de 15 cm, une hauteur de 10 cm et une profondeur de quelques centimètres. Comme indiqué précédemment, plusieurs de paires de fenêtres 24 et 26 amovibles peuvent être prévues. Il est en effet nécessaire de trouver un compromis entre la pression du gaz à l'intérieur de la chambre d'ionisation 14 et l'épaisseur des fenêtres. L'accès en mesure à la gamme 1 keV à 24 keV est facilité avec plusieurs types de fenêtres : une forte pression du gaz permet d'obtenir une bonne absorption des rayons X mais nécessite la mise en place de fenêtres de forte épaisseur qui, en contrepartie, absorbent les photons de basses énergies. De ce fait, à basse énergie, l'utilisation d'un matériau plus fin et d'une basse pression de gaz s'imposent. Pour illustrer le choix d'une paire de fenêtres en béryllium de 10 �m d'épaisseur et d'une paire de fenêtres en béryllium de 25 �m d'épaisseur, le graphe de la figure 4 donne des valeurs théoriques des taux de transmission de ces paires de fenêtres pour différentes énergies incidentes. Il comporte une courbe en trait continu pour l'épaisseur de 10 �m et une courbe en pointillés pour l'épaisseur de 25 �m. Ces deux courbes permettent de constater que pour obtenir une transmission raisonnable des rayons X entre 1 keV et 2 keV, l'utilisation de fenêtres très fines de 10 �m d'épaisseur est nécessaire. Pour des énergies supérieures, l'adoption d'une épaisseur de 25 �m est suffisante. Un autre compromis est à trouver entre l'épaisseur de gaz traversée par les rayons X et la pression dans la chambre d'ionisation 14. Plus l'épaisseur et la pression sont importantes, plus le taux d'absorption Rio sera élevé. Le procédé décrit précédemment étant basé sur une mesure différentielle entre le rayonnement incident sur le premier dispositif de mesure 10 et le rayonnement transmis, il est important qu'une fraction non négligeable des photons soit détectable en sortie de ce premier dispositif de mesure 10. Il faut par exemple que le rapport flux transmis/flux incident soit au moins supérieur à 0,2. A titre illustratif, pour une pression de fonctionnement moyenne de 500 hPa de gaz composé de 10% de méthane et 90% d'argon, le graphe de la figure 5 donne des valeurs théoriques des taux d'absorption pour différentes énergies incidentes et selon différentes épaisseurs de gaz possibles dans la chambre d'ionisation 14. Il comporte une courbe en pointillés pour une épaisseur de gaz de 2 cm, une courbe en trait continu pour une épaisseur de gaz de 3 cm et une courbe en trait interrompu pour une épaisseur de gaz de 4 cm. Une forte variation de réponse autour du seuil K d'absorption de l'argon (à 3,2 keV) est marquée sur ce graphe par une droite verticale en trait interrompu. Elle constitue certes un handicap pour ce type de dispositif mesure, mais la pression de fonctionnement peut être ajustée en fonction du domaine d'énergie exploité. On déduit de ce graphe qu'un fonctionnement au-dessus de 5 keV avec une chambre d'ionisation 14 de 3 cm de diamètre est possible avec une pression comprise entre 500 hPa et 1000 hPa. Il en est de même pour le domaine compris entre 2 keV et 3 keV. Pour les énergies où le taux d'absorption est supérieur à 60 0/0 (1 keV à 2 keV et 3 keV à 5 keV), la pression du gaz peut être diminuée afin d'ajuster la transmission du rayonnement vers le second dispositif de mesure 34. On constate donc qu'un dispositif de comptage à gaz comportant une chambre d'ionisation 14 de 3 cm de diamètre présente un compromis intéressant et que l'encombrement qu'il génère est compatible avec les contraintes géométriques précitées. Le graphe de la figure 6 donne les valeurs théoriques du rendement de détection R résultant dans le premier dispositif de mesure 10 pour différentes énergies incidentes et pour les deux épaisseurs de fenêtres envisagées, avec une épaisseur de gaz traversée de 3 cm et une pression de 500 hPa. Il comporte une courbe en trait continu pour l'épaisseur de 10 �m et une courbe en pointillés pour l'épaisseur de 25 �m. On constate que l'unique zone où un ajustement de la pression s'avère nécessaire est comprise entre 3,2 keV et 5 keV car l'absorption, trop élevée dans le premier dispositif de mesure 10, ne permet pas de transmettre suffisamment de photons au second dispositif de mesure 34. Enfin, le graphe de la figure 7 donne les valeurs théoriques du taux de transmission résultant des rayons X au second dispositif de mesure 34 par le premier dispositif de mesure 10 pour différentes énergies incidentes et pour les deux épaisseurs de fenêtres envisagées, avec une épaisseur de gaz traversée de 3 cm et une pression de 500 hPa. Il comporte une courbe en trait continu pour l'épaisseur de 10 �m et une courbe en pointillés pour l'épaisseur de 25 �m. On constate également sur ce graphe qu'une diminution de la pression du gaz s'avère nécessaire entre 3,2 keV et 5 keV. En outre, l'absorption supplémentaire des deux fenêtres 24 et 26, même pour une épaisseur de 10 �m chacune, ne permet pas la transmission de rayons X en dessous d'environ 1,5 keV. Toutefois, dans cette gamme d'énergie très faible, le rendement de détection peut être évalué par des méthodes classiques (par calcul) avec des incertitudes acceptables. Il apparaît clairement qu'une installation telle que celle décrite précédemment permet d'envisager des protocoles de mesure plus élaborés que les protocoles classiques. Comme indiqué précédemment, ces protocoles de mesure plus élaborés peuvent entre autre rendre les estimations moins dépendantes des modèles mathématiques portant sur les compteurs et détecteurs. Lorsque le procédé décrit précédemment est aussi mis en oeuvre, l'installation comporte un certain nombre d'avantages supplémentaires, parmi lesquels : - aucun étalonnage préalable nécessaire, y compris pour quantifier un flux incident, pas de contrainte particulière sur la structure du second dispositif de mesure 34 utilisé dans l'installation, une très bonne précision et reproductibilité des mesures, une adaptabilité à la gamme d'énergies mesurées, possibilité d'utiliser un gaz de détection standard, pas de contrainte sur la précision de la pression interne en gaz, seule une pression constante étant requise, une automatisation des étapes de mesure réalisable très simplement, un faible encombrement, et une facilité d'utilisation. Tous ces avantages permettent d'envisager sérieusement l'utilisation d'une telle installation pour caractériser des flux de rayonnements X monochromatiques générés dans les rayonnements synchrotron, des flux de rayonnements X issus de cibles de fluorescence implantées dans des tubes à rayons X et des flux de rayonnements X issus de radionucléides commercialisés comme étalons radioactifs. Par conséquent, cette installation peut servir à l'étalonnage de n'importe quel compteur ou détecteur de rayons X, ce qui ouvre le champ d'application industrielle à divers domaines tels que l'astrophysique pour l'étalonnage de détecteurs embarqués, la physique des plasmas ou la métrologie des rayonnements ionisants. Enfin, on notera que l'invention n'est pas limitée au mode de réalisation et aux variantes précédemment décrits. Il apparaîtra en effet à l'homme de l'art que diverses modifications peuvent être apportées au mode de réalisation décrit ci-dessus, à la lumière de l'enseignement qui vient de lui être divulgué. Dans les revendications qui suivent, les termes utilisés ne doivent pas être interprétés comme limitant les revendications au mode de réalisation exposé dans la présente description, mais doivent être interprétés pour y inclure tous les équivalents que les revendications visent à couvrir du fait de leur formulation et dont la prévision est à la portée de l'homme de l'art en appliquant ses connaissances générales à la mise en oeuvre de l'enseignement qui vient de lui être divulgué. REVENDICATIONS1. Dispositif (10) de mesure d'un faisceau de rayons X comportant une chambre (14) de détection de rayons X par absorption de ces rayons X, une première fenêtre (24) d'entrée des rayons X dans la chambre de détection (14) et une seconde fenêtre (26) de sortie des rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre de détection (14), caractérisé en ce que la seconde fenêtre (26) est disposée à une interface entre l'intérieur et l'extérieur du dispositif de mesure (10) de manière à permettre la transmission des rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre de détection (14) vers un autre dispositif (34) de mesure de rayons X, différent dudit dispositif de mesure (10), destiné à être disposé en aval dudit dispositif de mesure (10) dans le sens de circulation des rayons X. 2. Dispositif de mesure (10) selon la revendication 1, dans lequel la chambre de détection (14) contient un gaz, notamment un mélange d'environ 10% de méthane et 90% d'argon, et est une chambre d'absorption de rayons X par ionisation du gaz par ces rayons X. 3. Dispositif de mesure (10) selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les première (24) et seconde (26) fenêtres sont de même épaisseur et constituées d'un même matériau, notamment du béryllium, pour présenter un même taux de transmission des rayons X traversant ledit dispositif de mesure. 4. Dispositif de mesure (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel les première (24) et seconde (26) fenêtres sont fixées aux parois (12) de la chambre de détection (14) par collage, notamment à l'aide d'une résine époxyde électroconductrice. 5. Installation de mesure d'un faisceau de rayons X comportant : - un émetteur (32) de faisceau de rayons X, - un premier dispositif de mesure (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, un second dispositif de mesure de rayons X (34) différent du premier dispositif de mesure (10) et disposé sur le trajet du faisceau de rayons X, et des moyens (42, 44, 46, 48, 50) de positionnement du premier dispositif de mesure (10) sélectivement dans une première position, située sur le trajet du faisceau de rayons X entre l'émetteur (32) et le second dispositif de mesure (34), dans laquelle une partie du faisceau derayons X émis traverse le premier dispositif de mesure (10) via ses première (24) et seconde (26) fenêtres puis est reçue par le second dispositif de mesure (34), et dans une seconde position, dans laquelle le premier dispositif de mesure (10) est en dehors du trajet du faisceau de rayons X émis. 6. Installation de mesure selon la revendication 5, dans laquelle le second dispositif de mesure (34) est un dispositif de détection de rayons X à semi-conducteur. 7. Installation de mesure selon la revendication 5 ou 6, dans laquelle les moyens de positionnement (42, 44, 46, 48, 50) comportent une plate-forme motorisée en translation pour un déplacement du premier dispositif de mesure (10) dans un plan orthogonal au trajet du faisceau de rayons X. 8. Procédé de mesure d'un faisceau de rayons X à l'aide d'un premier dispositif de mesure (10) comportant une chambre (14) de détection de rayons X par absorption de ces rayons X, une première fenêtre (24) d'entrée des rayons X dans la chambre de détection (14) et une seconde fenêtre (26) de sortie des rayons X n'ayant pas été absorbés dans la chambre de détection (14), caractérisé en ce qu'il comporte une étape (102, 104) de comptage, par un second dispositif de mesure de rayons X (34) différent du premier dispositif de mesure (10) et disposé en aval du premier dispositif de mesure dans le sens de circulation des rayons X, de rayons X ayant traversé le premier dispositif de mesure (10) sans avoir été absorbés par celui-ci et sortant du premier dispositif de mesure (10) par la seconde fenêtre (26). 9. Procédé de mesure selon la revendication 8, comportant les étapes suivantes : comptage (100), par le second dispositif de mesure (34), d'un faisceau de rayons X issu d'un émetteur (32) de rayons X et reçu par le second dispositif de mesure, pour fournir une première valeur de comptage (N1 ), 35 interposition (102) du premier dispositif de mesure (10) sur le trajet du faisceau entre l'émetteur (32) et le second dispositif de mesure (34), puis : comptage (102), par le second dispositif de mesure (34), d'un faisceau de rayons X issu de l'émetteur de rayons X (32), après que celui-ci a traversé le premier dispositif de mesure (10) dans lequel la chambre de détection (14) est sans gazionisable via sa première et/ou sa seconde fenêtre (24, 26), pour fournir au moins une deuxième valeur de comptage (N2), comptage (104), par le second dispositif de mesure (34), d'un faisceau de rayons X issu de l'émetteur de rayons X (32), après que celui-ci a traversé le premier dispositif de mesure (10) dans lequel la chambre de détection (14) contient un gaz ionisable, notamment un mélange d'environ 10% de méthane et 90% d'argon, via ses première et seconde fenêtres (24, 26), pour fournir une troisième valeur de comptage (N3), et - détermination d'au moins l'un des éléments de l'ensemble constitué d'un taux d'absorption des rayons X dans le premier dispositif de mesure (10), d'une valeur (N) de flux du faisceau de rayons X émis par l'émetteur (32) et d'un rendement de détection du second dispositif de mesure (34), à partir de ces trois valeurs de comptage (N1, N2, N3). 10. Procédé de mesure selon la revendication 9, dans lequel, les deux fenêtres (24, 26) du premier dispositif de mesure (10) étant de caractéristiques identiques pour un même taux de transmission des rayons X, le taux R d'absorption des rayons X dans le premier dispositif de mesure (10) est déterminé selon l'équation suivante : R = Nl x 1- -- I , ou N1 est la première valeur de comptage, N2 la deuxième valeur de comptage et N3 la troisième valeur de comptage.