Brevet FR2939960A1 — publié le 20100618

Le domaine technique de l'invention concerne la détection de photons dans des scènes à bas niveaux de lumière. Plus particulièrement, l'invention concerne le domaine des dispositifs de détection de photons comprenant un capteur doté d'une sensibilité de détection au photon unique ainsi que leurs procédés de mise en oeuvre. L'invention trouve une application préférée mais non exclusivement dans le domaine du traitement des scènes de Vision Nocturne, par exemple dans les domaines de la défense et de la sécurité ou de l'imagerie scientifique et industrielle telle que la microscopie par fluorescence. Dans l'état de la technique, il est connu d'utiliser à cet effet un capteur pixel silicium électro bombardé par une photocathode, habituellement appelé EBCMOS pour � Electro Bombarded Complementary Metal-Oxide Semiconductor �. Le document WO 0106571 décrit un tel capteur, qui se compose d'une 15 photocathode ainsi que d'une matrice de pixels en silicium. Ces deux composants sont scellés et forment une enceinte sous vide. La photocathode convertit les photons émis par au moins une source de lumière en électrons primaires, par effet photoélectrique. Les électrons primaires sont accélérés en direction de la matrice de pixels par un champ 20 électromagnétique qui leur confère suffisamment d'énergie cinétique pour qu'ils soient détectables individuellement. La matrice de pixels comporte un volume de détection, disposé face à la photocathode et dans lequel pénètrent les électrons primaires accélérés. L'interaction des électrons primaires dans le volume de détection crée des 25 charges qui diffusent jusqu'à des diodes disposées à pas régulier, par exemple matriciellement, et adaptées pour récolter les charges tout en optimisant le bruit de lecture. Le motif élémentaire de diode correspond à un pixel, et il est possible d'avoir plusieurs diodes par pixel. L'accumulation des charges dans les diodes permet la création de 30 signaux électriques traités de manière à générer un signal vidéo composé d'une succession d'images. Chaque image correspond à la somme des énergies déposées dans les pixels pendant un temps d'intégration du capteur. Ce type de capteur a principalement été conçu pour une utilisation en scène de vision à faible niveau de lumière, par exemple en Vision Nocturne, avec des fréquences d'images de l'ordre de 25 Hz correspondant à un temps d'intégration de 40 ms. Cependant, la matrice de pixels convertit également, de manière non souhaitée, des électrons ne provenant pas directement de la photocathode après conversion d'un photon. Cela génère des effets parasites sur l'image enregistrée par la matrice de pixels Un premier type d'effet parasite est l'effet de halo. Il est dû à la rétrodiffusion des électrons primaires sur la matrice de pixels, de leur réaccélération en direction de la matrice de pixels puis de leur détection par celle-ci. En effet, l'image prend la somme des énergies déposées dans les pixels pendant le temps d'intégration du capteur, que cette énergie provienne d'électrons rétrodiffusés ou d'électrons primaires. Pour une scène à bas niveau de lumière, c'est-à-dire inférieure au mLux, et contenant une source plus intense localisée, il se produit une accumulation de charges dues aux électrons rétrodiffusés qui aboutit à la formation d'un halo circulaire autour de l'image de la source. Le rayon du halo est au plus égal à deux fois la distance entre la photocathode et la matrice de pixels. Toutes les images des objets contenus dans ce halo disparaissent. Avec des distances entre la photocathode et la matrice de pixels usuellement de l'ordre du millimètre, le halo peut couvrir une grande partie de la surface du capteur et celui-ci perd toute fonctionnalité. Un deuxième type d'effet parasite est l'effet dit � de retour ionique sur la photocathode �. Un atome résiduel présent dans l'enceinte sous vide peut être ionisé par les électrons primaires, avant d'être lui-même accéléré vers la photocathode. Il s'ensuit un arrachement localisé de nombreux électrons de la photocathode, eux-mêmes accélérés en direction de la matrice de pixels. Cette forte densité d'électrons se traduit par un point intense sur l'image résultante. Un troisième type d'effet parasite est l'effet dit de � comptage noir �. Cet effet résulte du bruit de fond d'émission électronique provenant de l'émission d'électrons par la photocathode sous l'effet thermo-ionique ou par effet de champs. Pour des images de scènes à bas niveau de lumière, le bruit de fond électronique est responsable d'un effet de neige aléatoire sur les scènes reconstruites. Un objet de l'invention est de permettre la détection ou la reconnaissance de photons dans des scènes à bas niveaux de lumière malgré la présence d'effets parasites. Un autre objet de l'invention est de proposer un procédé de traitement des données produites par un capteur adapté au traitement des scènes à bas niveaux de lumière qui permet de détecter les électrons dits primaires résultant de la conversion de photons. A cette fin, le procédé selon l'invention exploite les données produites par un capteur du type comprenant une enceinte sous vide, une photocathode disposée dans l'enceinte, conçue pour convertir des photons émis par au moins une source lumineuse en électrons primaires et soumise à un champ électromagnétique adapté pour accélérer les électrons primaires, un convertisseur d'électrons en charges secondaires, disposé dans l'enceinte face à la photocathode et adapté pour convertir au moins une partie de l'énergie des électrons primaires accélérés en charges secondaires collectées par une pluralité de cellules de détection réparties selon un pas régulier, le convertisseur convertissant également des électrons dits parasites ne provenant pas directement de la conversion d'un photon et pouvant être du type rétrodiffusé, du type résultant d'un retour ionique ou du type provenant du bruit de fond d'émission électronique, et un circuit d'acquisition adapté pour lire les charges collectées par les cellules de détection avec un temps d'intégration permettant d'obtenir une densité d'impact par unité de temps et par unité de surface de cellule de l'ordre de l'électron unique. Selon l'invention, le procédé comporte les étapes suivantes : identifier un amas de cellules de détection contiguës dont au moins une cellule, dite principale, comporte une quantité de charges collectées supérieure à une valeur de seuil, déterminer au moins une caractéristique de l'amas, comparer la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas à au moins une caractéristique d'un amas résultant de la conversion d'un électron primaire, afin de mettre en évidence un amas résultant de la conversion d'un électron primaire. Selon une variante de réalisation, le procédé comporte en outre une 10 étape de suppression d'un amas identifié comme ne résultant pas de la conversion d'un électron primaire. Selon une variante avantageuse de réalisation, le procédé comporte en outre une étape de confrontation entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas, d'une part, et au moins une caractéristique d'un 15 amas résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé, d'autre part, afin d'identifier un amas résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé, et une étape de suppression des amas mis en évidence lors de l'étape de confrontation. Cette variante permet avantageusement de supprimer les effets de halo 20 dû aux électrons rétrodiffusés, dans la détection d'une scène à bas niveau de lumière comportant une source plus intense localisée. Selon une variante avantageuse de réalisation, le procédé comporte une étape de recherche de similitude entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas, d'une part, et au moins une caractéristique d'un 25 amas résultant d'un retour ionique, d'autre part, afin d'identifier un amas résultant d'un retour ionique, et une étape de suppression des amas mis en évidence lors de l'étape de confrontation. Cette variante permet avantageusement de supprimer les effets de retour ionique sur la photocathode. 30 Selon une variante avantageuse de réalisation, le procédé comporte par ailleurs les étapes suivantes : déterminer la position du photon à l'origine de chaque amas identifié et non supprimé, stocker au moins une partie de l'ensemble des positions déterminées, comparer chaque nouvelle position déterminée aux positions stockées, identifier à partir du résultat de la comparaison les nouvelles positions qui ne figurent pas dans les positions stockées, afin de mettre en évidence les positions d'électrons résultant du bruit de fond électronique, û supprimer les nouvelles positions mises en évidence par l'étape d'identification. Cette variante permet avantageusement de supprimer les effets du bruit de fond d'émission électronique provenant de l'émission d'électrons par la photocathode sous l'effet thermo-ionique ou par effet de champs. Le procédé selon l'invention peut en outre comporter au moins l'une des caractéristiques suivantes : l'étape d'identification de l'amas comprend une étape de mise en évidence d'au moins la cellule principale dont la quantité de charges collectées est supérieure à une valeur de seuil et une étape de reconnaissance de l'amas à partir des charges collectées dans les cellules adjacentes à la cellule de détection principale. le procédé comprend une étape de génération d'un signal vidéo à partir des amas identifiés et non supprimés. le procédé comprend une étape de génération d'un signal de position à partir des positions déterminées et non supprimées. Un autre objet de l'invention est de proposer un dispositif de détection 25 de photons dans des scènes à bas niveaux de lumière malgré la présence d'effets parasites. A cette fin, un dispositif de détection de photons selon l'invention comprend un capteur comportant une enceinte sous vide, une photocathode disposée dans l'enceinte sous vide, conçue pour convertir les photons en 30 électrons primaires et soumise à un champ électromagnétique adapté pour accélérer les électrons primaires, un convertisseur d'électrons en charges secondaires, disposé dans l'enceinte sous vide face à la photocathode et adapté pour convertir au moins une partie de l'énergie des électrons primaires accélérés en charges secondaires collectées par une pluralité de cellules de détection réparties selon un pas régulier, le convertisseur convertissant également des électrons dits parasites ne provenant pas directement de la conversion d'un photon et pouvant être du type rétrodiffusé, du type résultant d'un retour ionique ou du type provenant du bruit de fond d'émission électronique, et un circuit d'acquisition adapté pour lire les charges collectées par les cellules de détection avec un temps d'intégration permettant d'obtenir une densité d'impact par unité de temps et par unité de surface de cellule de l'ordre de l'électron unique. Selon l'invention, le dispositif de détection comprend également un système d'identification d'un amas de cellules de détection contiguës dont au moins une cellule, dite principale, comporte une quantité de charges collectées supérieure à une valeur de seuil, un système de détermination d'au moins une caractéristique de l'amas, un système de mémorisation d'au moins une caractéristique d'un amas résultant de la conversion d'un électron primaire, ainsi qu'un système de comparaison entre la ou les caractéristique(s) de l'amas et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) d'un amas résultant de la conversion d'un électron primaire, afin de mettre en évidence un amas résultant de la conversion d'un électron primaire. Selon une variante de réalisation, le dispositif de détection comporte un système de suppression d'un amas identifié par le système de comparaison, comme ne résultant pas de la conversion d'un électron primaire. Selon une variante avantageuse de réalisation, le système de mémorisation mémorise au moins une caractéristique d'un amas résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé, et le dispositif comporte un système de confrontation entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas, d'une part, et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) d'un amas résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé, d'autre part, afin de mettre en évidence un amas résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé, et le dispositif comporte un système de suppression d'un amas mis en évidence par le système de confrontation. Cette variante permet avantageusement d'empêcher la formation d'un effet de halo dans une scène à bas niveau de lumière comportant une source plus intense localisée. Selon une variante avantageuse de réalisation, le système de mémorisation mémorise au moins une caractéristique d'un amas résultant d'un retour ionique, et le dispositif comporte un système de confrontation entre la ou les caractéristique(s) déterminées) de l'amas, d'une part, et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) d'un amas résultant d'un retour ionique, d'autre part, afin de mettre en évidence un amas résultant d'un retour ionique, et le dispositif comporte un système de suppression d'un amas mis en évidence par le système de confrontation. Cette variante permet avantageusement de supprimer les effets de retour ionique sur la photocathode. Selon une variante avantageuse de réalisation, le dispositif comporte en outre un système de détermination de la position du photon à l'origine de chaque amas identifié et non supprimé, un système de stockage d'au moins une partie de l'ensemble des positions déterminées, un système de comparaison entre chaque nouvelle position déterminée et les positions stockées, un système d'identification à partir du résultat de la comparaison des nouvelles positions qui ne figurent pas dans les positions stockées, afin de mettre en évidence les nouvelles positions d'électrons résultant du bruit de fond d'émission électronique par effet thermoionique ou par effet de champs, ainsi qu'un système de suppression des positions mises en évidence par le système d'identification. Cette variante permet avantageusement de supprimer les effets du bruit de fond d'émission électronique provenant de l'émission d'électrons par la photocathode sous l'effet thermo-ionique ou par effet de champs. Le dispositif selon l'invention peut en outre comporter au moins l'une des caractéristiques suivantes : û le système d'identification de l'amas comporte un système d'identification d'au moins une cellule principale dont la une quantité de charges collectées est supérieure à une valeur de seuil et un système de reconnaissance de l'amas à partir des charges collectées dans les cellules adjacentes à la cellule de détection principale, le dispositif comprend un système de génération d'un signal vidéo à partir des amas identifiés et non supprimés pendant un intervalle de temps donné. le dispositif comprend un système de génération d'un signal de position à partir de chaque position déterminée et non supprimée. Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de l'objet de l'invention. La Figure 1 est un schéma représentant un exemple de réalisation d'un dispositif selon l'invention. La Figure 2 représente un exemple d'un amas résultant de la conversion d'un électron primaire, ainsi que les quantités de charges collectées dans les cellules de l'amas. La Figure 3 est un schéma explicitant l'effet de halo. La Figure 4A est une image obtenue par un capteur de type EBCMOS usuel et comportant un effet de halo. La Figure 4B est une image similaire à l'image de la Fig.4A mais obtenue par un dispositif selon l'invention. La Figure 5 est un logigramme du procédé selon l'invention. Le dispositif de détection de photons 1 représenté sur la Figure 1 est adapté pour les scènes à bas niveaux de lumière. Ce dispositif de détection 1 comporte un capteur 2, doté par construction d'une sensibilité de détection au photon unique. Dans le mode préféré de réalisation illustré, ce capteur 2 est de type EBCMOS. Bien entendu, l'invention ne se limite pas aux dispositifs munis d'un capteur de ce type. Tout capteur silicium susceptible d'être sensible au photo-électron unique, comme par exemple les pixels hybrides ou les CMOS type SOI (Silicon on Insulator), peut être employé dans le cadre de l'invention. Le dispositif 1 comporte une enceinte 3 considérée sous vide, ainsi qu'une photocathode 4 disposée dans l'enceinte 3. La photocathode 4 est adaptée pour convertir des photons 5, émis par au moins une source de lumière non représentée, en électrons. L'ensemble des photons émis par la ou les source(s) et convertis au moins en partie par le dispositif définit un flux incident. Dans la présente description, les électrons résultant de la conversion d'un photon 5 par la photocathode 4 sont appelés électrons primaires 6. Les photons 5 peuvent par exemple provenir du spectre visible et/ou du proche infra-rouge et/ou du proche ultra-violet. La photocathode 4 est soumise à un champ électromagnétique E induit par une différence de potentiel et créé à l'aide d'un système 7 de génération du champ électromagnétique E. Ledit champ électromagnétique E est adapté pour accélérer les électrons primaires 6 depuis la photocathode 4 jusqu'à un convertisseur d'électrons 8, de sorte à générer des impacts d'électrons primaires 6 sur le convertisseur d'électrons. La photocathode 4 est distante d'une distance d'éloignement D du convertisseur d'électrons 8. La valeur du champ électromagnétique E est adaptée pour conférer suffisamment d'énergie cinétique aux électrons primaires 6 pour permettre la détection individuelle de chaque électron primaire 6 par le capteur 2. Le convertisseur d'électrons 8 est adapté pour convertir au moins une partie de l'énergie des électrons primaires 6 accélérés en charges secondaires 9, collectées par une pluralité de cellules de détection 10 réparties selon un pas régulier par exemple matriciellement. Dans l'exemple de réalisation illustré, le convertisseur d'électron 8 comporte une couche d'entrée 11 dite passive, munie d'une épaisseur e, disposée face à la photocathode 4 et traversée par au moins une partie des électrons primaires 6. Le convertisseur d'électrons 8 comporte également un volume de détection 12 contigu à la couche d'entrée 11, dans lequel au moins les électrons primaires 6 interagissent pour créer des paires électrons-trous qui diffusent jusqu'aux cellules de détection 10, préférentiellement des diodes réparties matriciellement. De manière préférentielle, le convertisseur d'électron 8 est un composant CMOS, pour � Complementary Metal-Oxide Semiconductor � et de type MAPS pour � Monolythic Active Pixel Sensor �. Bien entendu, d'autres types de convertisseurs d'électrons primaires 8 peuvent être utilisés dans le cadre de l'invention, comme par exemple un convertisseur d'électron muni d'une couche sensible connectée par billes ou par TSV, pour Through Silicon Via en anglais, à un circuit CMOS de lecture. Le dispositif 1 comporte en outre un circuit d'acquisition 13 adapté pour lire les charges 9 collectées par les cellules de détection 10, avec un temps d'intégration adapté pour obtenir une densité d'impact sur le convertisseur d'électron 8 par unité de temps et par unité de surface de cellule 10 de l'ordre de l'électron unique. Le temps d'intégration est de préférence inférieur ou égal à ims. Selon une variante avantageuse de réalisation, le temps d'intégration est calculé, de manière dynamique ou non, par un système de calcul du temps d'intégration non représenté, en fonction de la taille des cellules de détection 10 et du flux lumineux incident. Le circuit d'acquisition 13 est adapté pour offrir un rapport entre les charges 9 lues et un bruit de lecture généré lors de la lecture des cellules de détection 10 adapté pour permettre une sensibilité de détection au photon 5 unique. Le rapport entre les charges 9 lues et le bruit de lecture dépend au moins de la valeur du champ électromagnétique E, de l'épaisseur de la couche passive e du convertisseur d'électrons 8 ainsi que de la distance d'éloignement D entre la photocathode 4 et le convertisseur d'électrons 8. Selon l'invention, le dispositif 1 comprend en outre un système d'identification 14 d'un amas 15, dont un exemple est représenté sur la Figure 2. En l'occurrence, la Fig.2 représente un amas 15 résultant de la conversion d'un électron primaire. Le système d'identification 14 identifie un amas 15 de cellules de détection 10 contiguës dont au moins une cellule dite principale 10a comporte une quantité de charges 9 collectées supérieure à une valeur de seuil Vs, à partir des charges 9 lues par le circuit d'acquisition 13. De manière préférentielle, la valeur de seuil Vs retenue dépend de la valeur du bruit de lecture de la cellule de détection 10. La valeur de seuil Vs est préférentiellement égale à 5 fois la valeur du bruit de lecture. Selon le mode préféré de réalisation illustré, le système d'identification 14 comporte un système de mise en évidence 17 d'au moins la cellule principale 1Oa dont la quantité de charges 9 collectées est supérieure à la valeur de seuil Vs. Le système d'identification 17 comporte en outre un système de reconnaissance 18 de l'amas 15 à partir des quantités de charges 9 collectées dans les cellules adjacentes 1Ob à la cellule principale 1Oa. La taille optimale de l'amas 15, c'est-à-dire le nombre de cellules 10 adjacentes prises en comptes, est variable et dépend de la distribution des charges 9 autour de la cellule principale 1Oa et du pitch des cellules de détection 10. De manière préférentielle, l'amas 15 a une taille de 3x3, de 5x5 ou de 7x7 cellules de détection 10. Dans l'exemple de réalisation illustré, la taille de l'amas 15 est de 3x3 cellules de détection 10. La taille optimale de l'amas 15 peut avantageusement être calculée, de manière dynamique ou non, par un système de détermination de la taille optimale de l'amas non représenté. De manière avantageuse, le système d'identification 14 d'un amas 15 permet d'identifier des zones pouvant potentiellement correspondre à un impact d'électron primaire 6 sur le convertisseur d'électron 8 en vue de les analyser. Le dispositif 1 comporte en outre un système de détermination 19 d'au 25 moins une caractéristique de l'amas 15. De manière préférentielle, le système de détermination 19 détermine la quantité de charges 9 totale collectée dans l'amas 15, par la sommation des charges 9 collectées dans les cellules principales 1Oa, et adjacentes 1Ob de l'amas 15. 30 Selon différentes variantes de réalisation, le système de détermination 19 peut déterminer d'autres caractéristiques de l'amas 15, comme par exemple sa topologie ou sa densité de charges 9 moyenne. Par exemple, les cellules 1Oa, 1Ob dont la quantité de charges 9 collectée est la plus importante peuvent former un motif en croix ou en carré, suivant que l'impact de l'électron à l'origine de l'amas 15 se situe respectivement au dessus d'une seule cellule 1Oa, 1Ob ou entre 4 cellules 1Oa, 1Ob. Le dispositif 1 comporte en outre un système de mémorisation 20 d'au moins une caractéristique d'un amas de référence 15a résultant de la conversion d'un électron primaire 6. Les caractéristiques de l'amas de référence 15a sont connues en soi, et le choix de la ou des caractéristique(s) retenue(s) est purement arbitraire et dépend du mode de réalisation du dispositif 1. De manière préférentielle, le système de mémorisation 20 mémorise la quantité de charges 9 totale de l'amas de référence 15a, qui est comprise entre 220 et 280 Qadc et préférentiellement égale à 250 Qadc, pour un bruit moyen par cellule de 3 Qadc. Selon une variante de réalisation, le système de mémorisation 20 mémorise la densité de charges 9 moyenne de l'amas de référence 15a, qui est comprise entre 24 et 30 et préférentiellement égale à 27 Qadc/cellule sur une matrice de 3x3 cellules 10 avec un pitch de 17 pm. Le dispositif 1 comporte par ailleurs un système de comparaison 21 entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas 15, d'une part, et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) de l'amas de référence 15a, d'autre part, afin de mettre en évidence si l'amas 15 résulte de la conversion d'un électron primaire 6. En d'autres termes, on compare l'amas 15 à l'amas de référence 15a qui possède un profil connu de sorte à déterminer si ces amas 15, 15a sont similaires. De manière préférentielle, le système de comparaison 21 compare la quantité de charges 9 totale collectée dans l'amas 15 à la quantité de charges 9 totale de l'amas de référence 15a. Le dispositif 1 selon l'invention permet ainsi d'identifier de manière simple et sûre les électrons primaires résultant de la conversion de photons. Le dispositif 1 permet de générer une image et/ou un signal vidéo constitué d'une succession d'images, chaque image étant générée à partir de la somme des charges 9 collectées par les cellules de détection 10 pendant le temps d'intégration du capteur 2. Toutefois, il doit être noté que le convertisseur d'électron 8 convertit également en charges secondaires 9, et de manière non souhaitée, des électrons dits parasites ne provenant pas de la conversion d'un photon 5. Les électrons parasites peuvent être au moins du type rétrodiffusé, du type résultant d'un retour ionique ou du type provenant du bruit de fond d'émission électronique. Chaque type d'électron parasite génère un type d'effet parasite distinct. Les électrons parasites de type rétrodiffusé génèrent un effet parasite de halo, les électrons parasites de type résultant d'un retour ionique génèrent un effet parasite dit de � retour ionique � et les électrons parasites du type provenant du bruit de fond d'émission électronique par la photocathode génèrent un effet parasite dit de � comptage noir �. Aussi, il est avantageux d'identifier et de préférence de supprimer les amas 15 résultants de la conversion des électrons parasites afin de ne conserver que les amas 15 résultants de la conversion des électrons primaires 6, afin de générer une image et/ou un signal vidéo sans effets parasites. Selon une variante de réalisation, tout amas 15 dont ou les caractéristique(s) déterminée(s) présentent au moins une différence par rapport à la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) de l'amas de référence 15a est considéré comme un amas résultant de la conversion d'un électron parasite et par conséquent supprimé. Le dispositif 1 comporte, selon cette variante de réalisation, un système de suppression 22 relié en sortie du système de comparaison 21 et adapté pour supprimer les amas 15 identifiés par le système de comparaison 21 comme ne résultant pas de la conversion d'un électron primaire. Selon une variante avantageuse de réalisation, le dispositif 1 permet d'identifier au moins un et de préférence les trois types d'électrons parasites définis ci-dessus afin, par exemple, de les éliminer. Comme explicité sur la Figure 3, l'effet de halo est dû à des électrons rétrodiffusés 61 par le convertisseur d'électrons 8, c'est-à-dire diffusés par le convertisseur d'électron en direction de la photocathode 4. Entre 12% et 18% des électrons primaires 6 sont rétrodiffusés par le convertisseur d'électrons 8, accélérés par le champ électromagnétique E en direction de la photocathode 4 puis détectés à une position différente de la position de l'électron primaire 6 initiale. Il est possible de montrer, par exemple au moyen de simulations réalisées par la méthode Monte-Carlo ou au moyen de calculs analytiques, que la distance R parcourue par un électron rétrodiffusé entre l'impact primaire et l'impact secondaire est au plus égale à deux fois la distance entre la photocathode 4 et le convertisseur d'électrons 8. La Figure 4A, représente une image d'une scène à bas niveau de lumière, c'est-à-dire inférieure au mLux, et contenant une source plus intense localisée constituée d'une fibre optique 23. Cette image provient d'un capteur 2 EBCMOS usuel selon l'état de la technique. L'accumulation de charges 9 dues aux électrons rétrodiffusés 61 aboutit à la formation d'un halo 24 circulaire autour de la source plus intense. Toutes les images des objets contenus dans le halo 24, par exemple un objet 25, sont atténuées et/ou masquées par le halo 24. Selon un mode de réalisation de l'invention avantageusement adapté pour supprimer l'effet de halo, le système de mémorisation 20 mémorise au moins une caractéristique d'un amas étalon 15b résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé 61. Les caractéristiques de l'amas étalon 15b sont connues en soi, et le choix de la ou des caractéristique(s) retenue(s) est purement arbitraire et dépend du mode de réalisation du dispositif 1. De manière préférentielle, le système de mémorisation 20 mémorise la quantité de charges 9 totale de l'amas étalon 15b, qui est comprise entre 75 et 125 Qadc et préférentiellement égale à 125 Qadc. Selon cette variante, le dispositif 1 comporte également un système de confrontation 26 entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas 15, d'une part, et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) de l'amas étalon 15b, d'autre part, afin de mettre en évidence si l'amas 15 résulte de la conversion d'un électron rétrodiffusé 61. En d'autres termes, on compare l'amas 15 à l'amas étalon 15b qui possède un profil connu, de sorte à déterminer si ces amas 15, 15b sont similaires. De manière préférentielle, le système de confrontation 26 confronte la quantité de charges 9 totale collectée dans l'amas 15 à la quantité de charges 9 totale de l'amas étalon 15b. Selon cette variante, le dispositif 1 comporte de préférence un système de suppression 22 de l'amas 15 correspondant à un électron rétrodiffusé 61 et mis en évidence par le système de confrontation 26. La Figure 4B représente une image similaire à l'image de la Fig.4A, mais obtenue par un dispositif 1 selon l'invention adapté pour supprimer les effets de halo. Les images des objets proches de la source lumineuse 23, par exemple l'objet 25, ne sont pas masquées. L'effet de retour ionique sur la photocathode 4 est dû à l'ionisation par les électrons primaires 6 d'un atome résiduel présent dans l'enceinte 3. Une fois ionisé positivement, l'atome résiduel est accéléré par le champ électromagnétique E en direction de la photocathode 4. Il s'ensuit un arrachement localisé de nombreux électrons de la photocathode 4, ces électrons arrachés étant eux-mêmes accélérés en direction du convertisseur d'électrons 8. Selon un mode de réalisation de l'invention avantageusement adapté pour supprimer l'effet de retour ionique, le système de mémorisation 20 mémorise au moins une caractéristique d'un amas modèle 15c résultant d'un retour ionique. Les caractéristiques de l'amas modèle 15c sont connues en soi, et le choix de la ou des caractéristique(s) retenue(s) est purement arbitraire et dépend du mode de réalisation du dispositif 1. De manière préférentielle, le système de mémorisation 20 mémorise la quantité de charges 9 totale de l'amas modèle 15c, qui est comprise entre 1000 et 4000 Qadc et préférentiellement égale à 2000 Qadc. Selon une variante de réalisation, le système de mémorisation 20 mémorise la densité de charges 9 moyenne de l'amas modèle 15c, qui est comprise entre 40 et 60 Qadc/cellule et préférentiellement égale à 50 Qadc/cellule sur une matrice de 7x7 cellules 10 avec un pitch de 17 pm. Selon cette variante, le dispositif 1 comporte en outre un système de recherche de similitude 28 entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas 15, d'une part, et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) de l'amas modèle 15c, d'autre part, afin de mettre en évidence si l'amas 15 résulte d'un retour ionique. Autrement dit, le système de recherche de similitude 28 effectue une comparaison entre l'amas 15 et l'amas modèle 15c qui possède un profil connu, de sorte à déterminer si ces amas 15, 15c sont similaires. De manière préférentielle, le système de recherche de similitude 28 confronte la quantité de charges 9 totale collectée dans l'amas 15 à la quantité de charges 9 totale de l'amas modèle 15c. Le dispositif 1 comporte de préférence un système de suppression 22 d'un amas 15 considéré comme résultant d'un retour ionique et mis en 15 évidence par le système de recherche de similitude 28. L'effet de bruit de fond d'émission électronique, quant à lui, est dû aux électrons émis spontanément et aléatoirement par la photocathode 4 par effet thermo-ionique ou par effet de champ. Pour des images de scènes à bas niveau de lumière, ce type d'effet se traduit par un effet de � neige � 20 aléatoire sur l'image. Avantageusement, il est possible de détecter les électrons de type provenant du bruit de fond d'émission électronique en déterminant s'ils ont une localisation aléatoire. A cette fin, le dispositif 1 comprend, selon une variante de l'invention adaptée pour supprimer les effets du bruit de fond d'émission électronique, 25 un système de détermination 29 de la position du photon 5 à l'origine de chaque amas 15 identifié et non supprimé. Selon cette variante, le dispositif 1 comprend en outre un système de stockage 30 d'au moins une partie de l'ensemble des positions déterminées, et un système de comparaison 31 entre chaque nouvelle position déterminée et les positions stockées. Le 30 système de détermination 29 et le système de stockage 30 sont ainsi reliés au système de comparaison 31. Le dispositif 1 comprend de préférence un système d'identification 32 à partir du résultat de la comparaison des nouvelles positions qui ne figurent pas dans les positions stockées, afin de mettre en évidence les positions de photons résultant du bruit de fond d'émission électronique. En d'autres termes, le système d'identification 32 détermine si chaque nouvelle position est déjà présente dans les positions stockées, auquel cas la nouvelle position correspond probablement à un photon 5 émis par une des sources lumineuses, ou si elle n'est pas présente dans les positions stockées, auquel cas elle correspond probablement à la conversion d'un électron de type provenant du bruit de fond d'émission électronique par le convertisseur d'électron 8. Le dispositif 1 comprend également de préférence un système de suppression 22 des positions mises en évidence par le système d'identification 32. Bien entendu, les positions supprimées par le système de suppression 32 peuvent être stockées par le système de stockage 30 afin d'être comparées aux positions ultérieures. Avantageusement, cette caractéristique permet de ne pas supprimer les photons d'une source lumineuse qui apparaît. Il est à noter que le mode de réalisation adapté pour supprimer l'effet de halo, le mode de réalisation adapté pour supprimer l'effet de retour ionique et le mode de réalisation adapté pour supprimer l'effet du bruit d'émission électronique ne sont pas incompatibles. Un dispositif 1 selon l'invention peut mettre en oeuvre l'un et/ou l'autre de ces modes de réalisation en combinaison, et de préférence les trois. Enfin, le dispositif 1 comprend un système de génération 33 d'un signal de sortie. Selon une variante de l'invention, ce signal est un signal vidéo composé d'une pluralité d'images, et le système de génération 33 d'un signal de sortie comporte un système de génération d'un signal vidéo à partir des amas identifiés et non supprimés pendant un intervalle de temps donné, par exemple 40ms de manière à obtenir une fréquence d'image de 25Hz. Selon une variante de l'invention, ce signal est un signal numérique donnant les positions des photons détectés. Dans ce cas, le système de génération 33 d'un signal se compose d'un système de génération d'un signal de position à partir de chaque position déterminée et non supprimée. De manière avantageuse, cette variante permet de reconstituer ultérieurement et à volonté une image par un système de traitement externe non représenté à partir des positions successives des photons. Le procédé selon l'invention, dont le logigramme est représenté sur la Figure 5, traite des données produites par un capteur 2 sensible par construction au photon unique, dans le but d'identifier des électrons primaires provenant de la conversion de photons pour permettre éventuellement de s'affranchir d'au moins un type d'effet parasite dans le traitement des scènes à bas niveaux de lumière. Ces effets parasites peuvent être de plusieurs types, incluant l'effet parasite de halo, l'effet parasite dit de � retour ionique � et l'effet parasite dit de � comptage noir �. Dans cet exemple de réalisation et de manière préférentielle, le procédé selon l'invention est conçu pour être mis en oeuvre sur le dispositif 1 selon l'invention et/ou pour traiter des données en provenance d'un capteur 2 selon l'invention. Bien entendu, il est possible de mettre en oeuvre ledit procédé sur un dispositif non-conforme à l'objet de l'invention. Le procédé comporte une première étape El d'identification d'un amas 15 de cellules de détection 10 contiguës dont au moins une cellule dite principale 10a comporte une quantité de charges 9 collectée supérieure à une valeur de seuil Vs déterminée. Dans l'exemple de réalisation illustré, l'identification de l'amas 15 est réalisée au moyen du système d'indentification 14. Selon une variante de réalisation, l'étape El comporte une première sous étape d'identification E11 d'au moins la cellule principale 10a dont la quantité de charges 9 collectée est supérieure à la valeur de seuil Vs, et une deuxième sous-étape E12 de reconnaissance de l'amas 15 à partir des quantités de charges 9 collectées dans les cellules adjacentes 10b à la cellule principale 10a. Dans l'exemple de réalisation illustré, l'identification de la cellule principale 10a est réalisée au moyen du système de mise en évidence 17, et la reconnaissance de l'amas 15 est réalisée par le système de reconnaissance 18. Ensuite, le procédé détermine dans une deuxième étape E2 au moins une caractéristique de l'amas 15. Dans l'exemple de réalisation illustré, la détermination s'effectue au moyen du système de détermination 19. De manière préférentielle, la deuxième étape E2 détermine la quantité de charges 9 totale collectée dans l'amas 15, par la sommation des charges 9 collectées dans les différentes cellules 10a, 10b de l'amas 15. Le procédé compare alors dans une troisième étape E3 la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas 15, d'une part, à au moins une caractéristique d'un amas de référence 15a résultant de la conversion d'un électron primaire 6, d'autre part, afin de mettre en évidence si l'amas 15 résulte de la conversion d'un électron primaire 6. Autrement dit, le procédé compare l'amas 15 à l'amas de référence 15a qui possède un profil connu, de sorte à déterminer si ces amas 15, 15a sont similaires. Les caractéristiques de l'amas de référence 15a sont connues en soi, et le choix de la ou des caractéristique(s) retenue(s) est purement arbitraire et dépend du mode de réalisation du procédé selon l'invention. Dans l'exemple de réalisation illustré, la comparaison s'effectue au moyen du système de comparaison 21. De manière préférentielle, la troisième étape E3 compare la quantité de charges 9 totale collectée dans l'amas 15 à la quantité de charges 9 totale de l'amas de référence 15a. De manière préférentielle, au moins la première, la deuxième et la troisième étape sont répétées successivement et en continu. Le procédé selon l'invention permet ainsi de détecter les photons par l'identification des amas résultant de la conversion d'électrons primaires. Selon une variante de réalisation non représentée, il est à noter que le procédé peut mettre en oeuvre une étape de suppression des amas identifiés comme ne résultant pas de la conversion d'électrons primaires. Selon une variante avantageusement adaptée pour supprimer les effets de halo, le procédé comporte une quatrième étape E4 de confrontation entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas 15, d'une part, et au moins une caractéristique d'un amas étalon 15b résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé 61, d'autre part, afin d'identifier si l'amas 15 résulte de la conversion d'un électron rétrodiffusé 61. De ce fait, le procédé compare l'amas 15 à l'amas étalon 15b qui possède un profil connu, de sorte à déterminer si ces amas 15, 15b sont similaires. Les caractéristiques de l'amas étalon 15b sont connues en soi, et le choix de la ou des caractéristique(s) retenue(s) est purement arbitraire et dépend du mode de réalisation du procédé selon l'invention. De manière préférentielle, la quatrième étape E4 compare la quantité de charges 9 totale collectée dans l'amas 15 à la quantité de charges 9 totale de l'amas étalon 15b. Dans cet exemple, la confrontation s'effectue au moyen du système de confrontation 26. Selon cette variante, le procédé comporte en outre une cinquième étape E5 de suppression des amas 15 mis en évidence lors de la quatrième étape E4. Dans l'exemple de réalisation, la suppression s'effectue au moyen du système de suppression 22. Selon une variante avantageusement adaptée pour supprimer les effets de retour ionique, le procédé comporte en outre une sixième étape E6 de confrontation entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas 15, d'une part, et au moins une caractéristique d'un amas modèle 15c résultant d'un retour ionique, d'autre part, afin d'identifier si l'amas 15 résulte d'un retour ionique. De ce fait, le procédé compare l'amas 15 à l'amas modèle 15c qui possède un profil connu, de sorte à déterminer si ces amas 15, 15c sont similaires. Les caractéristiques de l'amas modèle 15c sont connues en soi, et le choix de la ou des caractéristique(s) retenue(s) est purement arbitraire et dépend du mode de réalisation du procédé selon l'invention. De manière préférentielle, la sixième étape E6 compare la quantité de charges 9 totale collectée dans l'amas 15 à la quantité de charges 9 totale de l'amas modèle 15c. Dans l'exemple de réalisation illustré, la confrontation s'effectue au moyen du système de recherche de similitude 28. Selon cette variante, le procédé comporte en outre une septième étape E7 de suppression des amas 15 mis en évidence lors de la sixième étape E6. Dans l'exemple de réalisation illustré, la suppression s'effectue au moyen du système de suppression 22. Selon une variante avantageusement adaptée pour supprimer les effets du bruit d'émission électronique, le procédé comporte en outre une huitième étape E8 de détermination de la position du photon 5 à l'origine de chaque amas 15 identifié et non supprimé. Dans l'exemple illustré, la détermination de la position du photon 5 s'effectue au moyen du système de détermination 29 de la position du photon 5. Le procédé comporte en outre une neuvième étape E9 de stockage d'au moins une partie de l'ensemble des positions déterminées, réalisée dans cet exemple au moyen du système de stockage 30 du dispositif 1. Selon cette variante, chaque nouvelle position déterminée est comparée aux positions stockées lors d'une dixième étape E1O, et les nouvelles positions qui ne figurent pas dans les positions stockées sont identifiées à partir du résultat de la comparaison dans une onzième étape E11 afin de mettre en évidence les positions résultant du bruit de fond d'émission électronique. Dans l'exemple de réalisation illustré, la comparaison est effectuée au moyen du système de comparaison 21 du dispositif 1 et l'identification des nouvelles positions est effectuée par le système d'identification 32. Par ailleurs, cette variante de réalisation comporte une douzième étape E12 de suppression des nouvelles positions mises en évidence lors de la onzième étape E11. Dans cet exemple de réalisation, la suppression est réalisée au moyen du système de suppression 22. Bien entendu, les positions supprimées peuvent être néanmoins stockées pour être comparées ultérieurement aux nouvelles positions, afin de pouvoir identifier l'apparition d'une nouvelle source lumineuse dont il ne faut plus supprimer les photons 5. Il est à noter que la variante du procédé adaptée pour supprimer les effets de halo, la variante du procédé adaptée pour supprimer les effets de retour ionique et la variante du procédé adaptée pour supprimer les effets du bruit d'émission électronique ne sont pas incompatibles. Un procédé selon l'invention peut mettre en oeuvre l'une et/ou l'autre de ces variantes, et de préférence les trois. Enfin, le procédé selon l'invention comporte une treizième étape E13 de génération d'un signal de sortie. Selon une variante de l'invention, ce signal est un signal vidéo composé d'une pluralité d'images et la treizième étape E13 consiste à générer un signal vidéo à partir des amas 15 identifiés et non supprimés pendant un intervalle de temps donné, par exemple 40ms de manière à obtenir une fréquence d'image de 25Hz. Selon une autre variante de l'invention, ce signal est un signal numérique donnant les positions des photons 5 détectés et la treizième étape E13 consiste à générer un signal de position à partir de chaque position déterminée et non supprimée. L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés car diverses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre. REVENDICATIONS1 - Dispositif (1) de détection de photons (5) comportant un capteur (2) comprenant : une enceinte sous vide (3), une photocathode (4) disposée dans l'enceinte (3) sous vide, conçue pour convertir les photons (5) en électrons primaires (6) et soumise à un champ électromagnétique (E) adapté pour accélérer les électrons primaires (6), un convertisseur (8) d'électrons (6) en charges secondaires (9), disposé dans l'enceinte sous vide (3) face à la photocathode(4) et adapté pour convertir au moins une partie de l'énergie des électrons primaires (6) accélérés en charges secondaires (9) collectées par une pluralité de cellules de détection (10) selon un pas régulier, le convertisseur (8) convertissant éventuellement en charges secondaires (9) des électrons dits parasites ne provenant pas directement de la conversion d'un photon (5) et pouvant être du type rétrodiffusé, du type résultant d'un retour ionique ou du type provenant du bruit de fond d'émission électronique, ù un circuit d'acquisition (13) adapté pour lire les charges (9) collectées par les cellules de détection (10) avec un temps d'intégration permettant d'obtenir une densité d'impact par unité de temps et par unité de surface de cellule (10) de l'ordre de l'électron unique, ledit dispositif de détection (1) étant caractérisé en ce qu'il comprend : ù un système d'identification (14) d'un amas (15) de cellules de détection (10) contiguës dont au moins une cellule, dite principale (10a), comporte une quantité de charges (9) collectées supérieure à une valeur de seuil Vs, - un système de détermination (19) d'au moins une caractéristique de l'amas (15), un système de mémorisation (20) d'au moins une caractéristique d'un amas de référence (15a) résultant de la conversion d'un électron primaire (6),un système de comparaison (21) entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas (15), d'une part, et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) de l'amas de référence (15a) afin de mettre en évidence si l'amas (15) résulte de la conversion d'un électron primaire (6). 2 - Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le système d'identification (14) comporte : un système de mise en évidence (17) d'au moins la cellule principale (10a) dont la quantité de charges (9) collectées est supérieure à la valeur de seuil Vs, un système de reconnaissance (18) de l'amas (15) à partir des charges (9) collectées dans les cellules adjacentes (10b) à la cellule principale (10a). 3 - Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte un système de suppression (22) d'un amas (15) identifié par le système de comparaison (21), comme ne résultant pas de la conversion d'un électron primaire. 4 - Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que : le système de mémorisation (20) mémorise au moins une caractéristique d'un amas étalon (15b) résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé (61), le dispositif (1) comporte un système de confrontation (26) entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas (15), d'une part, et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) de l'amas étalon (15b), d'autre part, afin de mettre en évidence si l'amas (15) résulte de la conversion d'un électron rétrodiffusé (61), le dispositif (1) comporte un système de suppression (22) d'un amas (15) mis en évidence par le système de confrontation (26). 5 - Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que : le système de mémorisation (20) mémorise au moins une caractéristique d'un amas modèle (15c) résultant d'un retour ionique, le dispositif (1) comporte un système de recherche de similitude (28) entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas (15) , d'unepart, et la ou les caractéristique(s) mémorisée(s) de l'amas modèle (15c), d'autre part, afin de mettre en évidence si l'amas (15) résulte d'un retour ionique, - le dispositif (1) comporte un système de suppression (22) d'un amas (15) mis en évidence par le système de recherche de similitude (28). 6 - Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le dispositif (1) comprend en outre un système de génération d'un signal (33) vidéo à partir des amas (15) identifiés et non supprimés pendant un intervalle de temps donné. 7 - Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le dispositif (1) comprend en outre : un système de détermination (29) de la position du photon (5) à l'origine de chaque amas (15) identifié et non supprimé, un système de stockage (30) d'au moins une partie de l'ensemble des positions déterminées, - un système de comparaison (31) entre chaque nouvelle position déterminée et les positions stockées, ù un système d'identification (32) à partir du résultat de la comparaison des nouvelles positions qui ne figurent pas dans les positions stockées, afin de mettre en évidence les positions d'électrons résultant du bruit de fond d'émission électronique par effet thermo-ionique ou par effet de champs, û un système de suppression (22) des positions mises en évidence par le système d'identification (32). 8 - Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que le dispositif (1) comprend en outre un système de génération d'un signal (33) de position à partir de chaque position déterminée et non supprimée. 9 - Procédé de traitement de données produites par un capteur (2) du type incluant : ù une enceinte (3) sous vide, ù une photocathode (4) disposée dans l'enceinte (3), conçue pour convertir des photons (5) émis par au moins une source lumineuse en électronsprimaires (6) et soumise à un champ électromagnétique (E) adapté pour accélérer les électrons primaires (5), un convertisseur (8) d'électrons (6) en charges secondaires (9), disposé dans l'enceinte (3) face à la photocathode (4) et adapté pour convertir au moins une partie de l'énergie des électrons primaires (6) accélérés en charges secondaires (9) collectées par une pluralité de cellules de détection (10) réparties selon un pas régulier, le convertisseur (8) convertissant éventuellement en charges secondaires (9) des électrons dits parasites ne provenant pas directement de la conversion d'un photon (5) et pouvant être du type rétrodiffusé, du type résultant d'un retour ionique ou du type provenant du bruit de fond d'émission électronique, un circuit d'acquisition (13) adapté pour lire les charges (9) collectées par les cellules de détection (10) avec un temps d'intégration permettant d'obtenir une densité d'impact par unité de temps et par unité de surface de cellule (10) de l'ordre de l'électron unique, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes répétées successivement et en continu : identifier un amas (15) de cellules de détection (10) contiguës dont au moins une cellule, dite principale (1Oa), comporte une quantité de charges (9) collectées supérieure à une valeur de seuil Vs, déterminer au moins une caractéristique de l'amas (15), comparer la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas (15) à au moins une caractéristique d'un amas de référence (15a) résultant de la conversion d'un électron primaire (6), afin de mettre en évidence si l'amas (15) résulte de la conversion d'un électron primaire (6). 10 - Procédé de traitement selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'étape d'identification de l'amas (15) comprend les étapes suivantes : identifier au moins la cellule principale (1Oa) dont la quantité de charges (9) collectées est supérieure à la valeur de seuil Vs, reconnaître l'amas (15) à partir de la quantité de charges (9) collectées dans les cellules adjacentes (1Ob) à la cellule de détection principale (1Oa). 11 - Procédé de traitement selon la revendication 9 ou 10, caractérisé en ce que le procédé comporte une étape de suppression d'un amas (15) identifié comme ne résultant pas de la conversion d'un électron primaire (6). 12 - Procédé de traitement selon l'une des revendications 9 à 11, caractérisé en ce que le procédé comporte : une étape de confrontation entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas (15), d'une part, et au moins une caractéristique d'un amas étalon (15b) résultant de la conversion d'un électron rétrodiffusé (6a) , d'autre part, afin d'identifier si l'amas (15) résulte de la conversion de l'électron rétrodiffusé (6a), une étape de suppression des amas (15) mis en évidence lors de l'étape de confrontation. 13 - Procédé de traitement selon l'une des revendications 9 à 12, caractérisé en ce que le procédé comporte : une étape de confrontation entre la ou les caractéristique(s) déterminée(s) de l'amas (15) , d'une part, et au moins une caractéristique d'un amas modèle (15c) résultant d'un retour ionique, d'autre part, afin d'identifier si l'amas (15) résulte d'un retour ionique, une étape de suppression des amas (15) mis en évidence lors de l'étape de confrontation. 14 - Procédé de traitement selon l'une des revendications 9 à 13, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de génération d'un signal vidéo à partir des amas (15) identifiés et non supprimés. 15 - Procédé de traitement selon l'une des revendications 9 à 13, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les étapes suivantes : déterminer la position du photon (5) à l'origine de chaque amas (15) identifié et non supprimé, stocker au moins une partie de l'ensemble des positions déterminées, comparer chaque nouvelle position déterminée aux positions stockées, identifier à partir du résultat de la comparaison les nouvelles positions qui ne figurent pas dans les positions stockées, afin de mettre en évidence les nouvelles positions résultant du bruit de fond électronique,supprimer les nouvelles positions mises en évidence par l'étape d'identification. 16 - Procédé de traitement selon la revendication 15, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de génération d'un signal de position à 5 partir des positions déterminées et non supprimées.