Brevet FR2942596A1 — publié le 20100903

PROCEDES ET DISPOSITIF POUR LE DEPOT CHIMIQUE CONTROLE EN PHASE VAPEUR La présente invention concerne l'infiltration chimique en phase vapeur (CVI) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), plus particulièrement un dispositif et des procédés pour des injecteurs de gaz utilisés en conjonction avec CVD/CVI et des systèmes d'injecteurs de gaz qui présentent des durées de vie étendues. L'infiltration chimique en phase vapeur (CVI) et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) sont des procédés bien connus pour former des matériaux composites. Les CVI/CVD sont des procédés particulièrement utiles pour fabriquer des pièces en matériaux composites, telles que des disques de frein, des brûleurs et des composants de turbines, et les CVI/CVD sont également utilisés pour fabriquer divers produits semi-conducteurs et d'autres pièces électroniques. En général, le terme CVI implique le dépôt d'une matrice à l'intérieur des pores d'un substrat, et le terme CVD implique le dépôt d'un revêtement superficiel sur un substrat. Toutefois, tels qu'ils sont utilisés ici, les deux termes sont destinés à se référer d'une manière générale à l'infiltration et/ou au dépôt d'une matière sur ou à l'intérieur d'un substrat. D'une manière générale, le CVD est un procédé qui consiste à exposer un substrat à une matière sous forme de vapeur, conduisant au dépôt de la matière sur le substrat. Le CVD peut être effectué à différentes températures et pressions, et pendant différentes périodes de temps. Dans de nombreuses applications, le CVD est effectué à de hautes températures et sous de basses pressions, y compris sous vide ou pratiquement sous vide. Pour faciliter l'obtention de hautes températures, le CVD peut être effectué dans un four ou une autre enceinte adéquate. Dans de nombreuses applications, le CVD est effectué sur plusieurs substrats simultanément pour des raisons d'économie et de rendement. Pour faciliter l'application uniforme de matière sous forme de vapeur sur un substrat, on peut contrôler le débit, la durée, et la dispersion de la matière vaporisée. Le CVD peut être utilisé pour déposer une matière sur des substrats de formes et de configurations diverses, y compris des disques annulaires. Dans de telles applications, la matière vaporisée (c'est-à-dire des produits chimiques sous forme gazeuse) peuvent être dégagés dans l'enceinte via un tube central qui est disposé perpendiculairement à la surface des disques annulaires. La matière vaporisée est dégagée dans une enceinte en employant différents procédés. Dans des systèmes conventionnels, un gaz est dégagé à travers des tuyères ou des trous qui sont typiquement situés sur un tube central ou sur une plaque dans l'enceinte. Toutefois, certains inconvénients sont liés à ces systèmes et procédés conventionnels pour effectuer le CVD. Par exemple, lors de la mise en oeuvre de procédés CVD conventionnels, les gradients de température et de pression peuvent varier en différents endroits à l'intérieur de l'enceinte de traitement, provoquant une variation de la vitesse et de la quantité de dépôt de la matière vaporisée de substrat à substrat, selon la localisation du substrat à l'intérieur de l'enceinte de traitement. Dans certains systèmes conventionnels, le dégagement de matière vaporisée est peu contrôlé et elle ne peut pas être appliquée uniformément sur le substrat. Par exemple, des ouvertures de sortie peuvent être obstruées. Bien que dans certains cas un tube obstrué puisse être réusiné pour déboucher les trous, dans de nombreux cas il s'avère nécessaire de remplacer le tube, ce qui limite la durée de vie du tube. Par conséquent, il existe un besoin de systèmes d'injection de gaz qui procurent un meilleur contrôle et une meilleure distribution de la matière vaporisée dans des procédés CVD ainsi que de systèmes d'injection de gaz qui peuvent être réutilisés plus facilement. Un système d'injecteur de gaz améliore la distribution et le contrôle directionnel de la matière vaporisée dans un procédé CVD ou CVI. Des systèmes d'injecteur de gaz selon différents modes de réalisation peuvent être utilisés sans rencontrer d'obstruction importante des ouvertures du tube d'injecteur de gaz pendant plusieurs procédures CVD. En outre, différents modes de réalisation comprennent un système de dégagement à double ouverture et/ou permettent à la matière vaporisée de circuler à la fois sensiblement en direction horizontale et sensiblement en direction verticale. Par exemple, différents modes de réalisation comportent un système comprenant un tube d'injecteur de gaz présentant au moins une ouverture de tube qui le traverse, un collier de blindage présentant au moins une ouverture de collier qui correspond au moins en partie avec l'ouverture de tube, dans lequel le collier de blindage est configuré de telle manière que l'ouverture du tube s'aligne au moins en partie avec l'ouverture du collier. Un procédé comprend la formation d'un tube d'injecteur de gaz présentant au moins une ouverture de tube qui le traverse, la formation d'un collier de blindage présentant au moins une ouverture de collier correspondant au moins en partie avec l'ouverture de tube, dans lequel le collier de blindage est configuré de telle manière que l'ouverture du tube s'aligne au moins en partie avec l'ouverture du collier, et le couplage du collier de blindage avec le tube d'injecteur de gaz. En outre, un système comprend un premier tube d'injecteur de gaz comportant une première surface extérieure, un deuxième tube d'injecteur de gaz comportant une deuxième surface extérieure, un collier de blindage présentant une pluralité d'ouvertures de collier, dans lequel le premier tube d'injecteur de gaz et le deuxième tube d'injecteur de gaz sont configurés de façon à être sensiblement alignés coaxialement à un joint de tubes, dans lequel le collier de blindage est configuré de façon à couvrir une partie de la première surface extérieure et une partie de la deuxième surface extérieure, et dans lequel le joint de tubes présente un espacement entre le premier tube d'injecteur de gaz et le deuxième tube d'injecteur de gaz. Les FIG. 1A et 1B illustrent un collier de blindage selon un mode de réalisation; La FIG. 2 illustre un tube d'injecteur de gaz présentant une pluralité d'ouvertures de tube selon un mode de réalisation; La FIG. 3A illustre un tube d'injecteur de gaz avec des colliers de blindage séparés selon un mode de réalisation; La FIG. 3B illustre un tube d'injecteur de gaz couplé aux colliers de blindage selon un mode de réalisation; La FIG. 4 illustre un tube d'injecteur de gaz avec un manchon à bride séparé selon un mode de réalisation; La FIG. 5 illustre un tube d'injecteur de gaz selon un mode de réalisation; La FIG. 6A illustre un tube d'injecteur de gaz couplé à une bride d'extrémité selon un mode de réalisation; La FIG. 6B illustre un tube d'injecteur de gaz couplé à un manchon à bride selon un mode de réalisation; Les FIG. 7A, 7B, et 7C illustrent des tubes d'injecteur de gaz et des colliers de blindage selon un mode de réalisation; Les FIG. 8A et 8B illustrent l'intérieur d'une enceinte contenant divers substrats annulaires selon divers modes de réalisation; La FIG. 9 illustre une plaque selon un mode de réalisation; La FIG. 10 illustre une plaque avec une configuration d'ouverture différente selon un mode de réalisation; et Les FIG. 11A et 11B illustrent une chambre d'injecteur de gaz selon un mode de réalisation. La description détaillée de modes de réalisation donnée ici à titre d'exemples fait référence aux dessins annexés, qui présentent des exemples de modes de réalisation à titre d'illustration et de meilleur mode de réalisation, mais en aucun cas en vue d'une limitation. Alors que ces exemples de modes de réalisation sont décrits de façon suffisamment détaillée pour qu'un homme du métier soit en mesure de mettre l'invention en pratique, on comprendra que d'autres modes de réalisation peuvent être imaginés et que des changements logiques, chimiques et mécaniques peuvent être effectués sans se départir de l'esprit et de la portée de l'invention. Par exemple, les étapes énumérées dans n'importe laquelle des descriptions de procédé ou de traitement peuvent être exécutées dans un ordre quelconque et ne sont pas nécessairement limitées à l'ordre présenté. De plus, plusieurs des fonctions ou des étapes peuvent être externalisées vers ou exécutées par une ou plusieurs tierces parties. En outre, toute référence au singulier inclut des modes de réalisation multiples, et toute référence à plus d'un composant ou à plus d'une étape englobe aussi un mode de réalisation ou une étape à titre individuel. De même, toute référence aux termes attaché, fixé, connecté ou analogue peut comprendre toute option d'attache permanente, amovible, temporaire, partielle, complète et/ou toute autre option possible. En plus, toute référence à 'sans contact' (ou à des phrases similaires) peut aussi comprendre un contact réduit ou un contact minimal. Dans divers modes de réalisation, l'injection de gaz dans une enceinte dans un procédé CVD (également appelé ici vapeur chimique ou matière vaporisée) est effectuée sans obstruction importante des ouvertures du tube d'injecteur de gaz au cours d'une ou de plusieurs procédures CVD. L'obstruction peut être empêchée en utilisant un système de dégagement à ouvertures multiples, dans lequel un gaz est injecté à travers des ouvertures successives de tailles différentes. Par exemple, un système de dégagement à ouverture double peut comprendre un composant plus aisément réutilisable présentant une pluralité d'ouvertures et un composant potentiellement moins réutilisable présentant une pluralité d'ouvertures. Le composant réutilisable peut présenter des ouvertures qui sont plus grandes que les ouvertures du composant moins réutilisable. Lorsqu'il y a une pluralité d'ouvertures disposées à la fois dans le composant réutilisable et dans le composant moins réutilisable, la surface totale des ouvertures du composant réutilisable peut être moins étendue que la surface totale des ouvertures du composant moins réutilisable. Les ouvertures plus grandes du composant aisément réutilisable peuvent empêcher l'obstruction du composant, améliorant de ce fait la durée de vie du composant. Les ouvertures plus petites du composant moins réutilisable peuvent permettre un contrôle de la direction et de la pression du gaz. Comme le composant moins réutilisable peut être plus petit et être fabriqué à un coût moins élevé que le composant réutilisable, le coût de plusieurs procédures CVD/CVI est réduit. Dans divers modes de réalisation, un composant aisément réutilisable est un tube d'injecteur de gaz. Dans divers modes de réalisation, le composant moins réutilisable est un collier de blindage. Dans différents modes de réalisation, l'injection de gaz dans une enceinte dans un procédé CVD est généralement réalisée avec un contrôle directionnel. Le contrôle directionnel comprend la distribution de gaz à la fois en direction sensiblement horizontale et en direction sensiblement verticale. Le contrôle directionnel peut aussi comprendre la distribution de gaz dans une ou plusieurs directions autres que verticale ou horizontale. Un composant d'écoulement multidirectionnel peut présenter des ouvertures disposées de telle manière qu'un fluide s'écoulant à travers les ouvertures puisse être contrôlé quant à sa direction. Par exemple, un collier de blindage peut être un composant d'écoulement multidirectionnel. Le CVD peut être utilisé pour déposer une matière sur une variété de substrats, y compris des semi-conducteurs et des matériaux composites. Par exemple, le CVD peut être utilisé avec des matériaux composites en fibre de carbone. Le CVD peut être effectué à des températures d'environ 500°F à environ 4000°F. Le CVD peut être effectué à des pressions d'environ 0 kPa à environ 100 kPa. L'injection de gaz dans une enceinte dans un procédé CVD peut être effectuée selon une ou plusieurs méthodes. Par exemple, un tube peut être utilisé pour conduire du gaz dans un four ou une autre enceinte. On peut employer tout four adéquat ou toute autre enceinte adéquate. En outre, on peut envisager tout agencement du tube (ou des tubes) à l'intérieur de l'enceinte. Lorsque le CVD est utilisé avec des substrats comprenant des disques annulaires ou circulaires, un tube peut être disposé en position sensiblement coaxiale aux disques annulaires. Dans divers modes de réalisation, des substrats empilés peuvent être groupés en plusieurs groupes dans l'enceinte de telle manière que chaque groupe soit au moins partiellement séparé par une plaque. Les plaques utilisées peuvent être pleines ou elles peuvent présenter une variété d'ouvertures qui peuvent permettre la circulation du gaz à travers la plaque. Faisant référence aux Figures 1-11B, un tube d'injecteur de gaz peut être utilisé dans divers modes de réalisation. Un tube d'injecteur de gaz peut être tout tube ou tuyau capable de conduire du gaz dans une enceinte. Le tube d'injecteur de gaz peut être une structure cylindrique creuse, bien que d'autres formes géométriques puissent également être utilisées. Un tube d'injecteur de gaz peut présenter n'importe quelle longueur, largeur ou hauteur adaptée à son application particulière. Des injecteurs peuvent être des tuyaux ou des chambres. Les chambres peuvent être construites à partir de plaques plates ou d'autres formes géométriques dans différentes configurations. Les chambres peuvent comprendre les parois de l'enceinte comme parties de la chambre. Par exemple, en faisant référence aux Figures 11A et 11B, une ou plusieurs plaques plates peuvent être installées contre une paroi de four cylindrique formant une chambre 1101 entre ladite au moins une plaque et la paroi. La plaque plate 1101 peut présenter des ouvertures 1102. D'une manière générale, une dimension d'un tube ou d'une chambre peut être adaptée à la taille et à la longueur de l'enceinte. Un diamètre intérieur [ID] ou extérieur [OD] du tube peut valoir d'environ 1/64 de pouce à environ 24 pouces. Un tube d'injecteur de gaz peut être fabriqué en toute matière capable de résister aux températures et aux pressions typiques du CVD. Par exemple, un tube d'injecteur de gaz peut être fabriqué en acier, en fer, en aluminium, et/ou en matériau de carbone tel que le graphite. Dans divers modes de réalisation, un tube d'injecteur de gaz est fabriqué en graphite. Comme on l'a indiqué plus haut, dans divers modes de réalisation, un tube d'injecteur de gaz 200 est une structure cylindrique creuse. Dans de tels modes de réalisation, les parois du tube cylindrique peuvent présenter toute épaisseur appropriée. Par exemple, les parois d'un tube d'injecteur de gaz cylindrique 200 peuvent présenter une épaisseur d'environ 1/64 de pouce à environ 6 pouces. Dans divers modes de réalisation, les parois d'un tube d'injecteur de gaz cylindrique peuvent présenter une épaisseur d'environ 4/32 de pouce à environ 1/2 pouce. Dans d'autres applications, les parois d'un tube d'injecteur de gaz cylindrique peuvent présenter une épaisseur de 9/32 de pouce. A une ou aux deux extrémités terminales du tube d'injecteur de gaz, des ouvertures de capuchon peuvent être usinées. Comme on le décrira plus loin, des ouvertures de capuchon 202 permettent d'attacher de façon appropriée un capuchon d'extrémité ou un manchon à bride. Des ouvertures de capuchon peuvent présenter tout diamètre approprié. Par exemple, des ouvertures de capuchon peuvent valoir d'environ 1/64 de pouce à environ 24 pouces. Dans divers modes de réalisation, le tube d'injecteur de gaz est percé d'une pluralité d'ouvertures. Par exemple, des tubes d'injecteur de gaz 103, 200, 500 et 301 présentent des ouvertures de tube d'injecteur de gaz 105, 201, 501 et 304. La pluralité d'ouvertures peuvent être disposées selon un motif quelconque sur le tube. Par exemple, les ouvertures peuvent être disposées autour d'une circonférence commune sur le tube d'injecteur de gaz. Les ouvertures peuvent aussi être décalées par rapport à la circonférence commune du tube d'injecteur de gaz. Les ouvertures peuvent présenter toute forme géométrique, y compris le cercle, le quadrilatère, l'octogone ou une autre forme géométrique. Les ouvertures peuvent être formées par tout procédé convenant pour la fabrication ou l'usinage du matériau qui constitue le tube d'injecteur de gaz. Par exemple, les ouvertures peuvent être formées par perçage, gravure, mortaisage, burinage, estampage, et/ou forgeage. Dans divers modes de réalisation, les ouvertures sont usinées dans un tube d'injecteur de gaz en graphite en utilisant un foret. Les ouvertures peuvent avoir une taille ou un diamètre quelconque. Dans divers modes de réalisation, la taille de l'ouverture de tube de gaz est sélectionnée de telle manière que, après plusieurs utilisations, l'ouverture de tube d'injecteur de gaz ait moins tendance à s'obstruer. Les ouvertures peuvent présenter un diamètre allant d'environ 1/64 de pouce (approximativement 0,39 mm) à environ 2 pouces (approximativement 50,8 mm). On comprendra que la taille de l'ouverture peut être exprimée par le diamètre d'un cercle, mais aussi selon tout axe latéral de la forme géométrique choisie pour l'ouverture. Des ouvertures d'environ 9/32 de pouce (approximativement 7,14 mm) peuvent être utilisées. Dans une autre application, des ouvertures d'environ 3/8 de pouce (approximativement 9,52 mm) peuvent être utilisées. Dans d'autres applications encore, des ouvertures d'environ 1/4 de pouce (approximativement 6,35 mm) peuvent être utilisées. Dans différents modes de réalisation, on utilise un collier de blindage en conjonction avec un tube d'injecteur de gaz. Un collier de blindage comprend toute structure qui peut être couplée à un tube d'injecteur de gaz. Tel qu'il est utilisé ici, le terme "couplage" signifie que le collier de blindage s'ajuste autour ou sur un tube d'injecteur de gaz. Un collier de blindage peut prendre la forme d'une structure cylindrique creuse et/ou il peut comprendre en outre une structure cylindrique creuse comportant des cylindres creux concentriques. Des cylindres creux concentriques peuvent être formés là où une structure cylindrique creuse unique est composée d'un ou de plusieurs sous-cylindres ayant un rayon différent. Un collier de blindage peut être fabriqué en tout matériau qui convient également pour être utilisé pour le tube d'injecteur de gaz. En faisant référence aux Figures 1A, 1B, 3A et 3B, les colliers de blindage 100 et 300 sont une structure cylindrique creuse et comprennent des cylindres creux concentriques. Dans de tels modes de réalisation, les parois du tube cylindrique peuvent présenter une épaisseur quelconque. Par exemple, les parois d'un collier de blindage cylindrique 300 peuvent présenter une épaisseur d'environ 1/64 de pouce à environ 6 pouces. Dans le mode de réalisation selon les Figures 1A et 1B, les parois d'un collier de blindage cylindrique ont une épaisseur d'environ 1/8 de pouce. Dans divers modes de réalisation, les parois d'un collier de blindage cylindrique ont une épaisseur d'environ 1/4 de pouce. Dans divers modes de réalisation, le collier de blindage est percé d'une pluralité d'ouvertures. La pluralité d'ouvertures peuvent être disposées selon un motif quelconque sur le collier de blindage. Par exemple, les ouvertures peuvent être disposées autour d'une circonférence commune du collier de blindage. Les ouvertures peuvent aussi être décalées par rapport à une circonférence commune du collier de blindage. Les ouvertures du collier de blindage peuvent être disposées perpendiculairement à l'épaisseur du collier de blindage, de manière similaire aux ouvertures disposées sur le tube d'injecteur de gaz. Il peut exister un espacement entre un tube d'injecteur de gaz et un collier de blindage. En faisant référence aux Figures 1A, 1B, 2, 3A et 3B, l'espacement 102 entre le collier de blindage 100 et le tube d'injecteur 103 peut diriger un fluide dans une direction sensiblement perpendiculaire à l'ouverture 101 de la Figure I B. De façon similaire aux ouvertures de tube d'injecteur de gaz, la géométrie de l'espacement du collier de blindage peut épouser la géométrie du tube d'injecteur ou peut être circulaire, quadrangulaire, octogonale ou autre, et elle peut être "décentrée" par rapport à l'axe du tube d'injecteur. L'axe d'une ouverture de collier de blindage et l'axe d'une ouverture correspondante du tube d'injecteur de gaz peuvent se recouvrir au moins en partie. La taille de cet espacement peut être constante ou elle peut varier le long de la surface extérieure du tube d'injecteur. Dans divers modes de réalisation, par exemple comme le montre la Figure 1B, l'espacement 102 est circulaire et constant autour de la circonférence. L'espacement du collier de blindage peut être formé en utilisant tout procédé convenant pour travailler le matériau qui constitue le collier de blindage. Les ouvertures du collier de blindage peuvent présenter une taille ou un diamètre quelconque. Les ouvertures peuvent présenter un diamètre d'environ 1/64 de pouce (approximativement 0,39 mm) à environ 2 pouces (approximativement 50,8 mm). On comprendra que la taille de l'ouverture peut être exprimée par le diamètre d'un cercle, mais aussi selon tout axe latéral de la forme géométrique choisie pour l'ouverture. Dans divers modes de réalisation, des ouvertures de collier de blindage d'environ 9/32 de pouce (approximativement 7,14 mm) peuvent être utilisées. Dans une autre application, des ouvertures de collier de blindage d'environ 3/8 de pouce (approximativement 9,52 mm) peuvent être utilisées. Dans d'autres applications encore, des ouvertures de collier de blindage d'environ 1/4 de pouce (approximativement 6,35 mm) peuvent être utilisées. Par exemple, des ouvertures 101 sont agencées autour d'une circonférence commune du collier de blindage 100. L'ouverture 101 est disposée de telle manière qu'un écoulement à travers l'ouverture soit dirigé radialement à partir de l'axe du collier de blindage. Par exemple également, l'écoulement à travers l'espacement 102 est dirigé sensiblement perpendiculairement à la direction de l'écoulement de l'ouverture 101. L'espacement 102 peut présenter un diamètre d'environ 1/64 de pouce (approximativement 0,39 mm) à environ 2 pouces (approximativement 50,8 mm). Dans divers modes de réalisation, un espacement de 5/32 de pouce (approximativement 4,0 mm) peut être utilisé. Dans divers modes de réalisation, le collier de blindage peut être couplé à un tube d'injecteur de gaz. Le collier de blindage peut être couplé (être attaché) au tube d'injecteur de gaz en l'ajustant au moins partiellement autour ou sur le tube d'injecteur de gaz. Par exemple, le collier de blindage peut être disposé sensiblement en position coaxiale par rapport au tube d'injecteur de gaz. Dans divers modes de réalisation, là où le tube d'injecteur de gaz et le collier de blindage sont cylindriques, on utilise une disposition sensiblement coaxiale. Le collier de blindage peut être fabriqué de façon à s'ajuster sûrement autour ou sur le tube d'injecteur de gaz, de telle manière qu'un ajustement à friction ou un "ajustement serré" maintienne le collier de blindage sur le tube d'injecteur de gaz. Des matériaux de liaison, tels que la colle, l'époxy ou divers matériaux carbonés peuvent être utilisés pour fixer le collier de blindage sur le tube d'injecteur de gaz. Le collier de blindage peut être fabriqué de façon à s'ajuster autour ou sur le tube d'injecteur de gaz au moyen de boulons ou de broches. Dans divers modes de réalisation, un collier de blindage peut être couplé à un tube d'injecteur de gaz en utilisant une broche de fixation à travers le diamètre du collier de blindage et du tube d'injecteur de gaz. Dans divers modes de réalisation, des trous de fixation sont usinés dans un tube d'injecteur de gaz et un collier de blindage pour y loger une broche de fixation. Dans d'autres modes de réalisation, une broche de fixation 302 peut être insérée à travers une ouverture de collier de blindage et une ouverture de tube d'injecteur de gaz 303. Par exemple, une broche de fixation peut être insérée à travers une ouverture de collier de blindage 104 et une ouverture de tube d'injecteur de gaz. Dans divers modes de réalisation, le collier de blindage peut être couplé au tube d'injecteur de gaz de telle manière qu'une partie de la hauteur du collier de blindage soit au moins partiellement disposée sur ou autour d'une pluralité d'ouvertures de tube d'injecteur de gaz. Par exemple, le collier de blindage 300 peut être disposé sensiblement en position coaxiale par rapport au tube d'injecteur de gaz 301. La Figure 3B montre le collier de blindage 300 ayant une partie de sa hauteur disposée sur ou autour de la pluralité d'ouvertures de tube d'injecteur de gaz 304. Dans divers modes de réalisation, il existe un espacement entre un collier de blindage et un tube d'injecteur de gaz. Comme on le décrit ici, un espacement peut diriger un écoulement de fluide dans une direction sensiblement perpendiculaire à la direction d'écoulement du fluide provenant d'une ouverture de collier de blindage. Faisant référence à la Figure 1B par exemple, un espacement 102 est représenté entre un tube d'injecteur de gaz et un collier de blindage. Dans divers modes de réalisation, au moins une ouverture de la pluralité d'ouvertures de collier de blindage est plus petite qu'au moins une ouverture de la pluralité d'ouvertures de tube d'injecteur de gaz. Dans certains modes de réalisation, l'ouverture plus grande du tube d'injecteur de gaz est au moins en partie alignée avec l'ouverture plus petite du collier de blindage. Un alignement au moins partiel signifie que lorsqu'un fluide s'écoule à travers l'ouverture plus grande du tube d'injecteur de gaz, une partie du fluide s'écoulerait aussi à travers une ouverture adjacente du collier de blindage et l'espacement du collier de blindage. Par conséquent, dans de telles configurations, du gaz peut s'écouler à travers les deux ouvertures au moins partiellement alignées. Lors de la sortie de l'ouverture du tube d'injecteur de gaz et de l'entrée dans l'ouverture du collier de blindage, il peut se produire un changement de pression dû au changement de la taille de l'ouverture. En plus, la surface totale des ouvertures de collier de blindage peut être plus grande que la surface totale des ouvertures de tube d'injecteur de gaz. La surface plus grande des ouvertures de tube d'injecteur de gaz signifie que l'écoulement total à travers chaque collier de blindage est déterminé par les ouvertures de tube d'injecteur de gaz. L'ouverture de plus grande taille du tube d'injecteur de gaz peut s'obstruer moins souvent après plusieurs utilisations, et la variation de l'écoulement total de gaz à travers chaque collier de blindage au cours de plusieurs utilisations peut aussi être moindre que dans des systèmes conventionnels. La taille de l'ouverture de collier de blindage et de l'espacement peut être sélectionnée de façon à obtenir des caractéristiques d'écoulement optimales compte tenu du substrat particulier, du gaz utilisé, de la quantité de gaz, et/ou de la quantité d'écoulement à travers l'espacement qu'il faut diriger sensiblement perpendiculairement à la direction d'écoulement des ouvertures. Dans divers modes de réalisation, l'alignement des ouvertures est tel que les ouvertures soient coaxiales l'une à l'autre ou sensiblement coaxiales l'une à l'autre, bien que l'on envisage toute quantité de recouvrement des ouvertures susceptible de permettre un écoulement de gaz à travers les deux ouvertures. Telle qu'elle est utilisée ici, une ouverture de collier correspond à une ouverture de tube lorsque l'ouverture de collier est située de façon à recouvrir au moins en partie l'ouverture de tube correspondante lorsque le tube d'injecteur de gaz et le collier de blindage sont couplés. Par exemple, le collier de blindage 300 peut se coupler au tube d'injecteur de gaz 301 de telle manière que les ouvertures du collier de blindage 305 soient sensiblement alignées avec les ouvertures du tube d'injecteur de gaz 304. De cette manière, du gaz peut s'écouler à travers les ouvertures de tube plus grandes et les ouvertures de collier de blindage plus petites et l'espacement du collier de blindage. Comme on l'a indiqué plus haut, un capuchon d'extrémité ou un manchon à bride peut être utilisé à une ou aux deux extrémités d'un tube d'injecteur de gaz. Pour un mode de réalisation, un capuchon d'extrémité comprend tout composant qui ferme hermétiquement une extrémité d'un tube d'injecteur de gaz. Un manchon à bride comprend tout composant utilisé pour l'entrée de gaz et/ou pour la fixation destinée à maintenir ou à orienter le tube d'injecteur de gaz. Un capuchon d'extrémité ou un manchon à bride peut être fabriqué en tout matériau convenant pour fabriquer un tube d'injecteur de gaz. Par exemple, dans divers modes de réalisation, un capuchon d'extrémité et un manchon à bride sont fabriqués en graphite. Un capuchon d'extrémité peut comprendre une partie intérieure qui s'étend dans l'extrémité d'un tube d'injecteur de gaz. Dans des modes de réalisation où on utilise des tubes d'injecteur de gaz cylindriques, le capuchon d'extrémité peut comprendre une partie intérieure qui présente le même diamètre que le diamètre intérieur du tube d'injecteur de gaz. Un capuchon d'extrémité 306 est représenté dans la Figure 3A. Une partie intérieure de capuchon d'extrémité peut en plus comporter des ouvertures de broche 307. Un capuchon d'extrémité ou un manchon à bride peut aussi comporter une partie de bride. Dans des modes de réalisation où on utilise des tubes d'injecteur de gaz cylindriques, la partie de bride du capuchon d'extrémité ou un manchon à bride peut présenter un diamètre égal ou supérieur au diamètre extérieur du tube d'injecteur de gaz. Dans de tels modes de réalisation, un manchon à bride peut accepter une extrémité d'un tube d'injecteur de gaz à l'intérieur du manchon. Un manchon à bride 400 est représenté dans la Figure 4, avec une partie de manchon 401, une partie de bride 402, et une ouverture de broche 405. Un film de carbone peut être utilisé à un joint entre le capuchon d'extrémité et le tube d'injecteur de gaz ou entre un manchon à bride et d'autres composants. Par exemple, un film de carbone peut être placé à une interface entre la partie de bride 402 du manchon à bride 400 et une plaque 900 et 1000 représentée dans la Figure 9 et dans la Figure 10. Par exemple également, un film de carbone peut être placé à l'interface 602 entre le manchon à bride et une bride d'extrémité 600. Une bride d'extrémité peut présenter une ouverture 601. Comme le montre la Figure 6A, l'ouverture 601 peut être d'une taille plus petite ou égale à l'intérieur du manchon à bride 400. L'écoulement de gaz total vers le tube d'injecteur de gaz 406 peut être déterminé par l'ouverture 601. Un capuchon d'extrémité ou un manchon à bride peut être fixé à un tube d'injecteur de gaz. On peut utiliser à cet effet tout procédé capable de fixer un capuchon d'extrémité ou un manchon à bride au tube d'injecteur de gaz. Par exemple, on peut employer des matériaux de liaison, tels que la colle, l'époxy ou divers matériaux de carbone, pour coupler le capuchon d'extrémité ou le manchon à bride au tube d'injecteur de gaz. Dans divers modes de réalisation, une ou plusieurs broches peuvent être utilisées pour coupler un capuchon d'extrémité ou un manchon à bride au tube d'injecteur de gaz. De telles broches peuvent être fabriquées en tout matériau convenant pour fabriquer un tube d'injecteur de gaz. Dans divers modes de réalisation, les broches sont fabriquées en graphite. Les broches peuvent être insérées à travers les ouvertures de capuchon d'extrémité sur un tube d'injecteur de gaz et les ouvertures de broche sur un capuchon d'extrémité. Les broches peuvent aussi être insérées à travers les ouvertures de manchon à bride 203 sur un tube d'injecteur de gaz et les ouvertures de broche sur un manchon à bride. Par exemple, la broche 403 peut passer à travers l'ouverture de tube d'injecteur de gaz 404 et l'ouverture de manchon à bride 405. Faisant référence aux Figures 6A et 6B, on a représenté les ouvertures de manchon à bride 404 et 405. Dans divers modes de réalisation, un ou plusieurs tubes d'injecteur de gaz sont couplés en un ensemble unique. Par exemple, deux tubes d'injecteur de gaz 25 peuvent être alignés coaxialement et en recouvrement partiel. Une extrémité de chaque tube d'injecteur de gaz peut être couplée à un collier de blindage. Lorsqu'ils sont couplés, un espacement entre chaque tube d'injecteur peut être prévu pour permettre au gaz de s'écouler à travers le collier de blindage. Par exemple, en faisant référence aux Figures 7A, 7B et 7C, des tubes d'injecteur de gaz 700 et 701 peuvent être disposés sensiblement en position coaxiale et couplés en utilisant le collier de blindage 703. Lorsqu'elles sont couplées, les extrémités des tubes d'injecteur de gaz 700 et 701 forment un espacement à l'intérieur du collier de blindage, permettant au gaz de s'écouler à travers l'espacement et à travers les ouvertures de collier de blindage 702 et 704. Le collier de blindage 703 peut être utilisé dans de tels modes de réalisation. Le collier de blindage 703 présente une ouverture de collier 702 et une ouverture de collier 704 qui sont positionnées sensiblement perpendiculairement l'une à l'autre. Le collier de blindage 703 présente également un degré descendant 705. Pour le couplage, une extrémité de tube d'injecteur de gaz 700 peut être positionnée sur ou dans le degré descendant 705. La Figure 8A illustre un mode de réalisation comportant un ou plusieurs tubes d'injecteur de gaz couplés en un ensemble unique 700 et leur relation par rapport à un exemple de substrat. La figure 8B illustre un mode de réalisation utilisant un injecteur 500 par rapport à un exemple de substrat. Le joint d'étanchéité 806 peut être disposé au sommet d'une pile de substrats 804 et 807. Le joint d'étanchéité 806 peut aussi être disposé au sommet de plaques 805. Le joint d'étanchéité 806 peut être fabriqué en tout matériau approprié, y compris en film de carbone et/ou en graphite. La plaque 805 sépare la pile 804 et la pile 807. Des ouvertures de tube d'injecteur de gaz 501 permettent l'écoulement du fluide. Les joints d'étanchéité 806 forcent le gaz à s'écouler sensiblement entre les substrats individuels dans 804 et dans 807. La matière de vapeur chimique utilisée en conjonction avec divers modes de réalisation peut être n'importe quel gaz contenant un ou plusieurs composants capables de se décomposer pour former un résidu solide sur ou à l'intérieur d'un substrat. Dans divers modes de réalisation, le gaz comprend un ou plusieurs composants réactifs et/ou un ou plusieurs composants porteurs. Le composant réactif d'un gaz peut être capable de former un résidu par décomposition thermique. Par exemple, lorsque le carbone est le résidu désiré (comme dans la formation de composites carbone/carbone), le composant réactif peut contenir un ou plusieurs hydrocarbures. Des hydrocarbures appropriés comprennent les alcanes tels que les alcanes à chaîne droite, ramifiés et/ou cycliques. L'alcane peut contenir par exemple d'environ 1 à environ 8 atomes de carbone, et plus spécifiquement d'environ 1 à environ 6 atomes de carbone, et plus spécifiquement encore d'environ 1 à environ 3 atomes de carbone. Des exemples d'alcanes comprennent le méthane, l'éthane, le propane, le cyclopentane ou des mélanges de ceux-ci. Dans d'autres modes de réalisation, le composant réactif peut comprendre un ou plusieurs alcènes, contenant par exemple environ 2 à environ 8 atomes de carbone, seuls ou en addition à un ou plusieurs alcanes. En outre, on peut utiliser le trichlorure de bore et/ou des chlorosilanes tels que le méthyltrichlorosilane ou le diméthyldichlorosilane. En plus encore, on peut déposer du silicium en utilisant un silane, du nitrure de silicium en utilisant un silane et l'ammoniac, ou du SiO2 en utilisant l'oxygène, le dichlorosilane, l'oxyde nitreux ou l'orthosilicate tétraéthyle. De nombreux métaux peuvent être déposés par CVD en utilisant des chlorures, des fluorures, ou à basse température en utilisant des précurseurs de carbonyle. Ces métaux comprennent sans y être limités le rhénium, le tungstène, le molybdène, le tantale, et le nickel. De nombreux composés organométalliques sont utilisés pour déposer des métaux, des semi-conducteurs et des céramiques. Par exemple, du GaAs peut être déposé par CVD au moyen d'arsine et de triméthylgallium. Le composant porteur comprend un gaz capable de transporter et/ou de diluer le composant réactif. Le composant porteur peut comprendre l'hydrogène, l'azote, l'hélium, l'argon ou un mélange de deux ou plusieurs de ceux-ci. On comprendra que le composant porteur peut comprendre tous gaz diluants et/ou inertes. Tel qu'il est utilisé ici, le terme "substrat" comprend des matériaux aptes à être traités par CVD/CVI. Dans divers modes de réalisation, un substrat comprend un matériau poreux présentant une taille et un volume de pores suffisants pour permettre à un gaz de s'infiltrer dans les pores dans des conditions de réaction pour former un résidu solide dans ceux-ci par suite d'une décomposition thermique. Des exemples de matériaux poreux adéquats comprennent par exemple le carbone, le silicium, le bore, le carbure de silicium, le nitrure de silicium, le nitrure d'aluminium, le nitrure de titane, le carbure de bore, la zircone cubique et analogues, ou un mélange de deux ou plusieurs de ceux-ci. Selon divers modes de réalisation, le matériau poreux est formé à partir d'un matériau fibreux, tel que des fibres de carbone et analogues. Les fibres de carbone peuvent être dérivées du polyacrylonitrile, de la rayonne (fibre synthétique dérivée de la cellulose), du bitume et analogues. Dans un mode de réalisation, le substrat poreux est formé en torsadant ensemble ou en joignant d'une autre manière les fibres pour former un fil de fibres. Le fil peut être tissé, tressé, tricoté ou assemblé d'une autre manière en couches de matériau fibreux. Ces couches sont alors combinées pour former un substrat poreux. Dans divers modes de réalisation, le substrat comprend un matériau essentiellement massif. Par exemple, des matériaux composites peuvent être utilisés comme substrats pour le CVD. Toutefois, on comprendra qu'un substrat peut comprendre tout matériau (poreux ou massif) qui est apte à être traité par CVI et/ou CVD. Le substrat peut présenter toute forme ou configuration désirée. Par exemple, le substrat peut avoir la forme d'un polygone, tel qu'un triangle, un carré, un rectangle, un pentagone, un hexagone, un octogone et analogue. De même, le substrat peut présenter d'autres formes, y compris des formes symétriques et asymétriques. Dans divers modes de réalisation, le substrat peut avoir la forme d'un disque circulaire ou annulaire. Dans divers modes de réalisation, des substrats empilés sont groupés ensemble en plusieurs groupes et agencés dans l'enceinte de telle manière que chaque groupe soit séparé par une plaque. Les plaques utilisées peuvent être pleines ou elles peuvent présenter une variété d'ouvertures pouvant permettre au gaz de circuler à travers la plaque. Les substrats peuvent être séparés, par exemple en utilisant des écarteurs, ou ils peuvent être empilés surface contre surface. Dans certains modes de réalisation, les substrats sont empilés surface contre surface, ce qui signifie que des substrats sont empilés par paires de telle manière qu'une surface de chaque substrat soit en contact l'une avec l'autre. Dans une telle configuration, seule une surface de chaque substrat recevra un dépôt de matière vaporisée. Par exemple, en faisant référence aux Figures 8A, 8B, l'enceinte 803 contient deux piles de substrats 800, 801, 804 et 807. Les piles 800 et 801 sont séparées par une 25 plaque 802. La plaque 802 peut être fabriquée en tout matériau apte à résister aux températures et aux pressions usuelles en CVD/CVI. La plaque 802 peut être dépourvue d'ouvertures ou présenter des ouvertures disposées selon n'importe quel motif, comme le montrent la plaque 900 et la plaque 1000. Un tube d'injecteur de gaz 700 est couplé à un collier de blindage 703. Le collier de blindage 703 peut présenter des ouvertures 702 et 704 pour permettre au gaz de s'écouler à la fois horizontalement et verticalement à travers et sur la pile. Le tube d'injecteur de gaz 700 peut être d'un type représenté dans la Figure 3. Le tube d'injecteur de gaz 301 est couplé au collier de blindage 300. Les ouvertures 305 et l'espacement 102 permettent au gaz de s'écouler à la fois horizontalement et verticalement à travers et sur la pile. Dans une telle configuration, le revêtement du substrat peut faire l'objet d'un contrôle directionnel, permettant un dépôt de matière amélioré. De plus, l'utilisation de colliers de blindage peut prolonger la durée de vie du tube d'injecteur de gaz. En faisant référence aux Figures 8B et 5, le tube d'injecteur de gaz 500 peut présenter des ouvertures 501 alignées avec l'intérieur de piles de substrats. Deux piles de substrats 804 et 807 sont représentées. Les piles 804 et 807 sont séparées par une plaque 805. La plaque 805 peut être fabriquée en tout matériau apte à résister aux températures et aux pressions usuelles en CVD/CVI. La plaque 805 peut être dépourvue d'ouvertures ou elle peut présenter des ouvertures disposées selon n'importe quel motif, comme le montrent la plaque 900 et la plaque 1000. Le haut et le bas des piles de substrats peuvent être partiellement ou complètement isolés par un composant d'étanchéité approprié constitué d'une autre matière apte à résister aux températures et aux pressions usuelles en CVD/CVI. Des composants d'étanchéité peuvent être fabriqués en différents matériaux à base de carbone et peuvent prendre diverses formes géométriques. Par exemple, le composant d'étanchéité 806 est un disque fabriqué en graphite. Le joint d'étanchéité 806 est disposé sur le sommet d'une pile de substrats 804 et 807. De plus, un joint d'étanchéité 806 est placé sur des plaques 805 en dessous de la pile de substrats 804 et 807. L'écoulement de gaz peut être dirigé à partir du centre et entre les substrats séparés par des écarteurs. Des bénéfices, d'autres avantages et des solutions à des problèmes ont été décrits ici en faisant référence à des modes de réalisation spécifiques. Toutefois, les bénéfices, les avantages et les solutions à des problèmes, et des éléments quelconques pouvant entraîner l'apparition ou l'accentuation d'un bénéfice, d'un avantage ou d'une solution quelconque ne doivent pas être interprétés comme des caractéristiques ou des éléments critiques, nécessaires ou essentiels de l'invention. La portée de l'invention ne pourra par conséquent être limitée que par les revendications annexées, dans lesquelles la référence à un élément au singulier n'est pas destinée à signifier "un et un seul", sauf si cela est indiqué explicitement, mais plutôt "un ou plusieurs". De plus, lorsqu'une phrase telle que "au moins un de A, B ou C" est utilisée dans les revendications, cela signifie que la phrase doit être interprétée comme signifiant que A peut être présent seul dans un mode de réalisation, que B peut être présent seul dans un mode de réalisation, que C peut être présent seul dans un mode de réalisation, ou que toute combinaison de A, B et C peut être présente dans un même mode de réalisation; par exemple, A et B, A et C, B et C, ou A et B et C. En outre, aucun élément, aucun composant ou aucune étape de procédé de la présente divulgation n'est destiné à être mis à la disposition du public, peu importe que l'élément, le composant ou l'étape de procédé soit repris explicitement dans les revendications. Tels qu'ils sont utilisés ici, les termes "comprend", "comprenant", ou toute variante de ceux-ci, sont destinés à couvrir une inclusion non exclusive, de telle manière qu'un procédé, une méthode, un article ou un dispositif qui comprend une liste d'éléments ne comprenne pas uniquement ces éléments mais puisse comprendre d'autres éléments qui ne sont pas expressément cités ou inhérents à ce procédé, cette méthode, cet article ou ce dispositif. REVENDICATIONS1. Système comprenant: et un tube d'injecteur de gaz présentant une ouverture de tube qui le traverse; un collier de blindage présentant une ouverture de collier correspondant au moins en partie à ladite ouverture de tube, ledit collier de blindage étant configuré de telle manière que l'ouverture de collier de blindage s'aligne au moins partiellement avec ladite ouverture de tube. 2. Système selon la revendication 1, dans lequel ladite ouverture de tube est plus grande que ladite ouverture de collier. 3. Système selon la revendication 1, dans lequel ledit collier de blindage présente une pluralité d'ouvertures de collier. 4. Système selon la revendication 2, dans lequel ladite pluralité d'ouvertures de collier est configurée de façon à diriger un écoulement de gaz horizontalement et 15 verticalement. 5. Système selon la revendication 3, dans lequel ledit tube d'injecteur de gaz présente une pluralité d'ouvertures de tube et dans lequel lesdites ouvertures de tube sont couvertes par ledit collier de blindage. 6. Système selon la revendication 3, dans lequel ledit tube d'injecteur de gaz 20 présente une pluralité d'ouvertures de tube et dans lequel la surface totale desdites ouvertures de tube est plus petite que la surface totale desdites ouvertures de collier. 7. Système selon la revendication 1, dans lequel ledit collier de blindage est configuré de façon à être coaxialement aligné avec ledit tube d'injecteur de gaz. 8. Système selon la revendication 1, dans lequel ledit tube d'injecteur de gaz et ledit collier de blindage sont constitués d'un matériau de carbone. 9. Système selon la revendication 1, dans lequel ledit tube d'injecteur de gaz et ledit collier de blindage sont constitués de graphite. 10. Système selon la revendication 1, comprenant en outre un capuchon d'extrémité configuré de façon à être couplé à une extrémité dudit tube d'injecteur de gaz. 11. Système selon la revendication 1, comprenant en outre un manchon à bride configuré de façon à se coupler à une extrémité dudit tube d'injecteur de gaz. 12. Système selon la revendication 11, dans lequel ledit capuchon d'extrémité est configuré de façon à être couplé à une extrémité dudit tube d'injecteur de gaz via une broche en graphite. 13. Procédé comprenant les étapes consistant à: former un tube d'injecteur de gaz présentant une ouverture de tube qui le 15 traverse; former un collier de blindage présentant une ouverture de collier correspondant au moins en partie à ladite ouverture de tube, dans lequel ledit collier de blindage est configuré de telle manière que ladite ouverture de collier s'aligne au moins en partie avec ladite ouverture de tube, dans lequel ladite ouverture de tube 20 est plus grande que ladite ouverture de collier; et coupler ledit collier de blindage avec ledit tube d'injecteur de gaz. 14. Système comprenant un premier tube d'injecteur de gaz présentant une première surface extérieure;un deuxième tube d'injecteur de gaz présentant une deuxième surface extérieure; un collier de blindage présentant une pluralité d'ouvertures de collier; dans lequel ledit premier tube d'injecteur de gaz et ledit deuxième tube d'injecteur de gaz sont configurés de façon à se recouvrir au moins partiellement à un joint de tubes; dans lequel ledit collier de blindage est configuré de façon à couvrir une partie de ladite première surface extérieure et une partie de ladite deuxième surface extérieure; et dans lequel ledit joint de tubes présente un espacement entre ledit premier tube d'injecteur de gaz et ledit deuxième tube d'injecteur de gaz. 15. Système selon la revendication 14, dans lequel ladite pluralité d'ouvertures de collier est configurée de façon à diriger un écoulement de gaz horizontalement et verticalement. 16. Système selon la revendication 14, dans lequel ledit premier tube d'injecteur de gaz présente une pluralité d'ouvertures de tube. 17. Système selon la revendication 14, dans lequel ledit premier tube d'injecteur de gaz et ledit collier de blindage comprennent un matériau de carbone. 18. Système selon la revendication 14, dans lequel ledit premier tube d'injecteur de gaz et ledit collier de blindage comprennent du graphite. 19. Système selon la revendication 14, comprenant en outre un capuchon d'extrémité configuré de façon à être couplé à une extrémité dudit premier tube d'injecteur de gaz. 20. Système selon la revendication 17, dans lequel ledit capuchon d'extrémité est configuré de façon à être couplé à une extrémité dudit premier tube d'injecteur de gaz via une broche en graphite. 21. Procédé comprenant les étapes consistant à agencer un substrat à proximité d'un tube d'injecteur de gaz de telle manière qu'un axe dudit tube d'injecteur de gaz soit sensiblement perpendiculaire à une surface dudit substrat, dans lequel ledit tube d'injecteur de gaz présente une pluralité d'ouvertures de tube qui le traversent, dans lequel ladite pluralité d'ouvertures de tube est configurée de façon à dégager du gaz dans une direction parallèle à ladite surface dudit substrat; et fixer un joint d'étanchéité entre ledit tube d'injecteur de gaz et ledit substrat. 22. Procédé selon la revendication 21, comprenant en outre l'injection de gaz à travers ledit tube d'injecteur de gaz dans un procédé de dépôt chimique en phase vapeur. 23. Procédé selon la revendication 21, dans lequel ladite pluralité d'ouvertures de tube est configurée de façon à dégager un gaz dans une direction parallèle à une surface dudit joint d'étanchéité.