Brevet FR2937721A1 — publié le 20100430

Domaine de l'invention La présente invention concerne un procédé de gestion d'un dispositif de capteur comportant un substrat avec un plan principal d'extension et une structure oscillante mobile par rapport au substrat, la structure oscillante étant excitée par des éléments d'entraînement pour exécuter une oscillation de rotation autour d'un axe d'oscillation essentiellement perpendiculaire au plan principal d'extension, et un premier mouvement de basculement de la structure oscillante autour d'un premier axe de basculement essentiellement parallèle au plan principal d'extension, se détectant à l'aide de premiers éléments de détection. L'invention concerne également un dispositif de capteur comportant un substrat ayant un plan principal d'extension ainsi qu'une structure oscillante mobile par rapport au substrat, le dispositif de capteur comportant des éléments d'entraînement pour générer une oscillation de rotation de la structure oscillante autour d'un axe d'oscillation essentiellement perpendiculaire au plan principal d'extension, et le dispositif de capteur comporte des premiers éléments de détection pour détecter un premier mouvement de basculement de la structure oscillante autour d'un premier axe de basculement essentiellement parallèle au plan principal d'extension. Etat de la technique De tels procédés et dispositifs sont connus de manière générale. Par exemple, selon le document DE 199 15 257 Al, on connaît un capteur de vitesse de rotation à effet Coriolis comportant une structure oscillante suspendue de manière mobile en rotation sur un élément de base. La structure oscillante est soumise à une vitesse de rotation d'origine externe produisant une variation de l'impulsion de rotation; un dispositif de capteur capacitif détecte le mouvement de basculement de la structure oscillante, produit par la variation d'impulsion de rotation ; le dispositif de capteur capacitif est formé par un ensemble de capacités et une des électrodes des capacités se trouve sur un cercle de la structure oscillante constituant l'autre électrode en se faisant face pour permettre une détection capacitive des mouvements de basculement de la structure oscillante dans plusieurs directions des 2 mouvements de basculement. Cela permet de mesurer les variations d'impulsions de rotation autour d'axes de rotation parallèles au plan principal d'extension de l'élément de base. Mais il n'est pas prévu de mesurer les vitesses de rotation perpendiculaires au plan principal d'extension. Exposé et avantages de l'invention La présente invention concerne un procédé du type défini ci-dessus, caractérisé en ce qu'on détecte une accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation du substrat essentiellement autour de l'axe d'oscillation à l'aide de troisièmes éléments de détection. L'invention concerne également un dispositif de capteur du type défini ci-dessus, caractérisé en ce que le dispositif de capteur comporte des troisièmes éléments de détection pour détecter une accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation de la structure oscillante, cette accélération de rotation se faisant pratiquement autour de l'axe d'oscillation. Le procédé et le dispositif de capteur selon l'invention présentent, vis-à-vis de l'état de la technique, l'avantage que le dispositif de capteur (appelé ci-après également capteur de vitesse de rotation) permet non seulement de détecter une vitesse de rotation autour d'un axe de rotation parallèle au plan principal d'extension en s'appuyant sur une structure oscillante soumise à la force de Coriolis mais en même temps, on mesure une accélération de rotation de la structure oscillante autour de l'axe d'oscillation à l'aide des troisièmes moyens de détection. En effet, les troisièmes moyens de détection exploitent le mouvement de la structure oscillante autour de l'axe d'oscillation par rapport au substrat et détectent ainsi une accélération de la structure oscillante autour de l'axe d'oscillation ; cette accélération est combinée à l'oscillation de rotation produite par les éléments d'entraînement et elle est générée par l'inertie de la masse de la structure oscillante sous l'effet d'une accélération de rotation d'origine externe appliquée à l'ensemble de la structure de capteur, c'est-à-dire du substrat et de la structure oscillante autour de l'axe de rotation. Dans un grand nombre de domaines d'applications de capteurs de vitesse de rotation, il faut des mesures faites sur d'eux canaux, c'est-à-dire des mesures de deux 3 mouvements de rotation dans des directions essentiellement perpendiculaires l'une à l'autre. Le procédé de gestion d'un capteur de vitesse de rotation, selon l'invention permet avantageusement de mesurer les mouvements de rotation autour d'un axe de rotation perpendiculaire au plan principal d'extension, en plus de la mesure du mouvement de basculement autour d'un axe de basculement dans le plan principal d'extension ; cela permet d'une manière particulièrement avantageuse, une mesure de type à deux canaux, des accélérations de rotation avec un capteur de vitesse de rotation autour d'axes de rotation quelconques ; on peut ainsi choisir librement l'alignement du capteur de vitesse de rotation au montage ou à l'utilisation. Cette solution a l'avantage que le capteur de vitesse de rotation s'adapte mieux aux données de montage spécifiques car la position de montage ou l'alignement de montage du capteur de vitesse de rotation n'est pas définie en fonction des axes sensibles du capteur de vitesse de rotation. Cela réduit de manière significative les coûts de fabrication et de montage. La structure oscillante est de préférence suspendue au substrat à l'aide d'éléments à ressort, par une suspension élastique ou mobile vis-à-vis du substrat. Le plan principal d'extension dans le sens de la présente invention, est essentiellement parallèle au plan X/Y alors que l'axe d'oscillation perpendiculaire au plan principal d'extension, est essentiellement parallèle à l'axe Z. Selon un développement préférentiel, à l'aide des troisièmes éléments de détection, on détecte une variation de capacité entre l'électrode de détection du substrat et une contre électrode de détection de la structure oscillante. De manière préférentielle, l'accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation, se détecte par la variation de capacité entre l'électrode de détection et la contre électrode de détection, variation qui est indépendante des électrodes d'entraînement. En particulier, l'accélération de rotation résulte d'une variation de capacité mesurée par les troisièmes moyens de détection et qui diffère d'une variation pratiquement périodique de capacité entre l'électrode de détection et la contre électrode de détection et qui est 4 produite par l'oscillation de rotation appliquée, car la variation périodique de capacité produite par l'oscillation de rotation excitée, se mesure également en l'absence d'une accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation à l'aide des troisièmes moyens de détection. Selon un autre développement préférentiel, l'oscillation de rotation se génère de manière capacitive à l'aide des éléments d'entraînement qui comprennent des électrodes d'entraînement sur le substrat et des contre électrodes d'entraînement, correspondantes sur la structure oscillante ; on applique de préférence des tensions d'entraînement entre les électrodes d'entraînement et les contre électrodes d'entraînement. Les électrodes d'entraînement et les contre électrodes d'entraînement comportent notamment un entraînement électrostatique en forme de peigne, l'action de la force entre les électrodes d'entraînement et les contre électrodes d'entraînement, correspondantes, étant générée par une tension d'entraînement appliquée entre les électrodes d'entraînement et les contre électrodes d'entraînement ; la capacité entre les électrodes d'entraînement et les contre électrodes d'entraînement varie en fonction du débattement entre les électrodes d'entraînement et les contre électrodes d'entraînement. Selon un autre développement préférentiel, à l'aide des troisièmes éléments de détection, on exploite les tensions d'entraînement. Une accélération de rotation de la structure oscillante combinée à l'oscillation de rotation, est détectée d'une manière particulièrement avantageuse par l'exploitation des tensions d'entraînement appliquées aux éléments d'entraînement de façon qu'indépendamment des troisièmes éléments de détection, pour exploiter les tensions d'entraînement, il ne faut aucun élément supplémentaire de détection au niveau de la structure oscillante. Les effets d'une accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation, sont réalisés en particulier pour de tels éléments d'entraînement dans lesquels, les tensions d'entraînement sont commandées par réaction. Cela signifie que l'oscillation de rotation est contrôlée avec des moyens de détection supplémentaires et elle est couplée en réaction pour la commande précise en fréquence des éléments d'entraînement en étant déphasée par rapport à la tension. Une accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation, peut ainsi se quantifier par l'exploitation d'une variation de tension d'entrée. Selon un autre développement préférentiel, le premier 5 mouvement de basculement se détecte de manière capacitive à l'aide des premiers éléments de détection, ces premiers éléments de détection comprenant des premières électrodes sur le substrat et des premières contre électrodes correspondantes sur la structure oscillante ; de préférence, on détecte une première variation de capacité entre la io première électrode et la première contre électrode. L'oscillation de rotation de la structure oscillante avec un axe d'oscillation perpendiculaire au plan principal d'extension exerce sur la structure oscillante, une première force de Coriolis essentiellement parallèle à l'axe d'oscillation si une première vitesse de rotation apparaît autour 15 d'un premier axe de rotation sur le dispositif de capteur, la première force de Coriolis produisant le premier mouvement de basculement de la structure oscillante autour du premier axe de basculement, le premier axe de rotation étant essentiellement perpendiculaire au premier axe de basculement tout en étant également essentiellement 20 perpendiculaire à l'axe d'oscillation et en outre, le premier axe de basculement étant dirigé essentiellement perpendiculairement à l'axe d'oscillation. Le mouvement de basculement génère une variation de distance de la première électrode et de la première contre électrode, qui se chevauchent perpendiculairement au plan principal d'extension, qui 25 se mesure sous la forme d'une première variation de capacité entre la première électrode et la première contre électrode. Les premiers éléments de détection comprennent de préférence au moins deux paires de premières électrodes et de premières contre électrodes correspondantes, installées dans une position symétrique en rotation 30 autour de l'axe d'oscillation. Selon un autre développement préférentiel, un second mouvement de basculement de la structure oscillante autour d'un second axe de basculement essentiellement parallèle au plan principal d'extension et essentiellement perpendiculaire au premier axe de 35 basculement se détecte à l'aide de seconds éléments de détection, ces 6 seconds éléments de détection comprenant de préférence des secondes électrodes sur le substrat et des secondes contre électrodes correspondantes sur la structure oscillante, et d'une manière particulièrement préférentielle, une seconde variation de capacité entre la seconde électrode et la seconde contre électrode étant détectée. D'une manière particulièrement avantageuse, le dispositif de capteur est ainsi sensible à des vitesses de rotation perpendiculaires dans le plan principal d'extension et en même temps à une accélération de rotation perpendiculaire au plan principal d'extension. Cela permet de réaliser d'une manière particulièrement simple et économique, de préférence sans élément de détection supplémentaire pour la structure oscillante, un capteur de vitesse de rotation à trois canaux. L'orientation et la position de montage du capteur de vitesse de rotation se choisissent ainsi, notamment, librement. Les seconds moyens de détection sont réalisés de préférence de façon analogue aux premiers moyens de détection et peuvent être tournés de 90° autour de l'axe d'oscillation par rapport aux premiers moyens de détection. L'invention concerne également un dispositif de capteur ayant un substrat avec un plan principal d'extension et une structure oscillante mobile par rapport au substrat ; le dispositif de capteur comporte des éléments d'entraînement pour générer une oscillation de rotation de la structure oscillante autour d'un axe d'oscillation essentiellement perpendiculaire au plan principal d'extension, le dispositif de capteur comporte des premiers éléments de détection pour détecter un premier mouvement de basculement de la structure oscillante autour d'un premier axe de basculement essentiellement parallèle au plan principal d'extension et en outre le dispositif de capteur comporte des troisièmes éléments de détection pour détecter une accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation de la structure oscillante essentiellement autour de l'axe de rotation. La réalisation de troisièmes éléments de détection pour détecter l'accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation, permet d'une manière particulièrement simple et économique, de réaliser un capteur de vitesse de rotation détectant une accélération de rotation de la structure oscillante autour de l'axe d'oscillation. D'une façon 7 particulièrement avantageuse, on obtient ainsi un capteur de vitesse de rotation à trois canaux. Selon un développement préférentiel, les éléments d'entraînement comprennent des électrodes d'entraînement sur le substrat et des contre électrodes d'entraînement correspondantes sur la structure oscillante ; les troisièmes éléments de détection sont prévus dans ce montage, pour exploiter les tensions d'entraînement entre les électrodes d'entraînement et les contre électrodes d'entraînement. D'une façon particulièrement avantageuse, il ne faut ainsi aucune modification constructive de la structure oscillante et/ou des électrodes de la structure oscillante ou du substrat. Les troisièmes éléments de détection comprennent de préférence uniquement un circuit électronique ou un composant électronique pour l'exploitation de la tension d'entraînement, ce qui permet une réalisation relativement économique ou une fabrication de capteurs de vitesse de rotation à trois canaux. Selon un développement préférentiel, les troisièmes éléments de détection comprennent des électrodes de détection sur le substrat et des contre électrodes de détection sur la structure oscillante ce qui permet de mesurer de manière simple une accélération de rotation combinée à l'oscillation de rotation par l'intermédiaire des variations de capacité entre les électrodes de détection et les contre électrodes de détection. Les troisièmes moyens de détection sont dans ce cas, de préférence indépendants des électrodes d'entraînement. Selon un développement préférentiel, le dispositif de capteur comporte des seconds éléments de détection pour détecter un second mouvement de basculement de la structure oscillante autour d'un second axe de basculement essentiellement parallèle au plan principal d'extension et essentiellement perpendiculaire au premier axe de basculement. D'une manière particulièrement avantageuse, on peut ainsi mesurer deux vitesses de rotation indépendantes l'une de l'autre toutes deux parallèles au plan principal d'extension et essentiellement perpendiculaires l'une à l'autre de sorte qu'une unique structure 8 oscillante réalise d'une manière simple un capteur de vitesse de rotation globalement à trois canaux. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide de l'exemple de réalisation représenté dans les dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 est une vue de dessus schématique d'un dispositif de capteur correspondant à un exemple de réalisation de l'invention, - la figure 2 est une coupe en vue de côté schématique d'un dispositif de capteur selon l'exemple de réalisation de l'invention, - la figure 3 est une vue en coupe et en perspective schématique d'un dispositif de capteur selon l'exemple de réalisation de l'invention. Dans les différentes figures, on utilisera les mêmes références pour désigner les mêmes éléments qui ne seront désignés en général qu'une seule fois. Description de modes de réalisation de l'invention La figure 1 est une vue de dessus schématique d'un dispositif de capteur 1 selon un exemple de réalisation de la présente invention; le dispositif de capteur 1 comporte un substrat 2. Le substrat 2 a un plan principal d'extension 100 aligné parallèlement au plan X/Y. Le dispositif de capteur 1 comporte en outre une structure oscillante 3 suspendue élastiquement sur le substrat 2 à l'aide d'un ressort 4 en étant mobile par rapport au substrat 2. La structure oscillante 3 est excitée par des éléments d'entraînement 5 réalisés sous la forme d'un entraînement en peigne 5' comportant des électrodes d'entraînement 50 sur le substrat 2 et des contre électrodes d'entraînement 51 correspondantes sur la structure oscillante 3 pour générer une oscillation de rotation 10 autour d'un axe d'oscillation 11 ; l'axe d'oscillation 11 est essentiellement perpendiculaire au plan principal d'extension 100 et parallèle à l'axe Z. Le dispositif de capteur 1 comporte en outre des premiers éléments de détection 6 réalisés sous la forme de premières électrodes 60 sur le substrat 2 et des premières contre électrodes 61 sur la structure oscillante 3 ; les premières électrodes 60 chevauchent les premières contre électrodes 61, parallèlement à la direction Z et entre 9 les premières électrodes 60 et les premières contre électrodes correspondantes 61, on a chaque fois des premières capacités 62. Les premiers éléments de détection 6 comprennent deux paires de premières électrodes 60 et de premières contre électrodes 61 qui présentent une symétrie en miroir suivant l'axe Y et une symétrie ponctuelle par rapport à l'axe d'oscillation 11 de sorte qu'un premier mouvement de basculement 63 autour de l'axe Y se détecte à l'aide chaque fois d'une première variation de capacité de la première capacité 63 respective sur les deux paires de premiers moyens de détection 6 ; la première capacité 63 d'une paire augmente alors qu'elle diminue sur l'autre paire. De façon analogue aux premiers éléments de détection 6, le dispositif de capteur comporte des seconds moyens de détection 7 réalisés de façon analogue aux premiers moyens de détection 6 et fonctionnant de façon analogue aux premiers moyens de détection 6 ; en outre, ces seconds moyens de détection 7, sont tournés de 90° autour de l'axe d'oscillation 11 par rapport aux premiers moyens de détection 6, de sorte qu'entre les secondes électrodes 70 du substrat 2 et les secondes électrodes 71 de la structure oscillante 3, on ait des secondes capacités 73 qui, par des secondes variations de capacité, permettent de détecter un second mouvement de basculement 73 de la structure oscillante 3 autour de l'axe X ou d'un premier axe de basculement 105. Une première vitesse de rotation 12 autour de l'axe Y se traduit du fait de l'oscillation de rotation 10 par deux premières forces de Coriolis 13 respectives par rapport à l'axe d'oscillation 11, sur un côté de la structure oscillante 3 qui agissent parallèlement au second axe Z et sont antiparallèles de sorte, qu'en fonction de la première vitesse de rotation 12, on génère un second mouvement de basculement 73 qui se quantifie à l'aide des seconds moyens de détection 7. De façon analogue, une seconde vitesse de rotation 14 autour de l'axe X génère deux secondes forces de Coriolis 15 qui sont également parallèles à la direction Z et antiparallèles entre elles et génèrent le premier mouvement de basculement 63 autour de l'axe Y ou d'un premier axe de basculement 106 qui est quantifié par les premiers moyens de détection 6. Le dispositif de capteur 1 comprend en outre 10 des moyens 80 pour mesurer l'oscillation de rotation 10 entraînée, qui sont réalisés sous la forme d'électrodes en forme de doigts 81 sur le substrat 2 et de contre électrodes en forme de doigts 82, pénétrant dans les électrodes en forme de doigts 81 sur la structure oscillante 3. La mesure capacitive 83 de l'oscillation de rotation 10, est utilisée pour commander les tensions d'entraînement 55 des éléments d'entraînement 5. En outre, le dispositif de capteur 1 comporte des troisièmes moyens de détection non représentés qui surveillent les tensions d'entraînement 55 ; en particulier, on exploite un écart des tensions d'entraînement 55 par rapport à une courbe caractéristique essentiellement périodique des tensions d'entraînement 55 sous l'effet de l'oscillation de rotation 10. Une accélération de rotation 18 du dispositif de capteur 1 autour de l'axe Z, combinée à l'oscillation de rotation 10, se traduit sous l'effet de l'inertie de la masse de la structure oscillante, par un débattement de la structure oscillante 3 par rapport au substrat 2 autour de l'axe d'oscillation 11. Ce débattement se traduit par un écart des tensions d'entraînement 55 qui est détecté et quantifié par les troisièmes moyens de détection. La première vitesse de rotation 12 est ainsi détectée par les seconds moyens de détection 7 ; la seconde vitesse de rotation 14 est détectée par les premiers moyens de détection 6 et l'accélération de rotation 18 est détectée par les troisièmes moyens de détection de sorte que le dispositif de capteur donne un capteur de vitesse de rotation à trois canaux, sensible simultanément et de manière indépendante dans les directions X, Y et Z. La figure 2 est une coupe d'une vue de côté schématique d'un dispositif de capteur 1 selon l'exemple de réalisation de l'invention. La figure 2 correspond à une coupe suivant le plan de coupe 101 de la figure 1. Ce plan est perpendiculaire à l'axe Y et contient l'axe d'oscillation 11. Pour la représentation, on a indiqué schématiquement les deux premières capacités 63, 63' sous la forme de symboles de circuit tels que des condensateurs à plaques. En outre, les deux secondes forces de Coriolis 15 parallèles à l'axe Z, sont représentées schématiquement par des flèches; les secondes forces de Coriolis 15 20 11 sont dirigées de manière antiparallèle l'une par rapport à l'autre et sont engendrées par une seconde vitesse de rotation 73 de la structure oscillante 3 autour de l'axe X de sorte que la structure oscillante 3 puissent effectuer par rapport au substrat 2, un premier mouvement de basculement 63 autour de l'axe Y. Du fait de ce mouvement de basculement, l'écart entre les premières électrodes 60 et les premières contre électrodes correspondantes 61, change ; ces écarts sont mesurés par deux premières variations de capacité, opposées des deux premières capacités 63 à l'aide des premiers éléments de détection 6. La figure 3 est une coupe d'une vue en perspective schématique d'un dispositif de capteur 1 selon l'exemple de réalisation de la présente invention ; à la figure 3, on a explicité les tensions d'entraînement 55 entre les électrodes d'entraînement 50 et les contre électrodes d'entraînement 51. En outre, on a représenté schématiquement la mesure de capacité 83 de l'oscillation de rotation 10 avec les électrodes en forme de doigts 81 et les contres électrodes en forme de doigts 82 qui pénètrent dans les électrodes en forme de doigts 81. 25 REVENDICATIONS1 °) Procédé de gestion d'un dispositif de capteur (1) comportant un substrat (2) avec un plan principal d'extension (100) et une structure oscillante (3) mobile par rapport au substrat (2), la structure oscillante (3) étant excitée par des éléments d'entraînement (5) pour exécuter une oscillation de rotation (10) autour d'un axe d'oscillation (11) essentiellement perpendiculaire au plan principal d'extension (100), et un premier mouvement de basculement (63) de la structure oscillante (3) autour d'un premier axe de basculement (105) essentiellement parallèle au plan principal d'extension (100), se détectant à l'aide de premiers éléments de détection (6), caractérisé en ce qu' on détecte une accélération de rotation (18) combinée à l'oscillation de rotation (10) du substrat (2) essentiellement autour de l'axe d'oscillation (11) à l'aide de troisièmes éléments de détection. 2°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' à l'aide des troisièmes éléments de détection, on détecte une variation de capacité entre une électrode de détection du substrat (2) et une contre électrode de détection de la structure oscillante (3). 3°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' on génère l'oscillation de rotation (10) à l'aide des éléments d'entraînement (5) de manière capacitive, les éléments d'entraînement (5) comprenant des électrodes d'entraînement (50) sur le substrat (2) et des contre-électrodes d'entraînement (51) correspondantes sur la structure oscillante (3), et de préférence, on applique des tensions d'entraînement (55) entre les électrodes d'entraînement (50) et les contre-électrodes d'entraînement (51).35 13 4°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' on exploite les tensions d'entraînement (55) à l'aide des troisièmes éléments de détection. 5°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' on détecte de manière capacitive le premier mouvement de basculement (63) à l'aide des premiers éléments de détection (6), les premiers éléments de détection (6) ayant des premières électrodes (60) sur le substrat (2) et des premières contre électrodes (61) sur la structure oscillante (3), et de préférence, on détecte une première variation de capacité entre les premières électrodes (60) et les premières contre électrodes (61). 6°) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' on détecte un second mouvement de basculement (73) de la structure oscillante (3) autour d'un second axe de basculement (106) essentiellement perpendiculaire au premier axe de basculement (105) et essentiellement parallèle au plan principal d'extension (100), à l'aide de seconds éléments de détection (7), les seconds éléments de détection (7) comprenant de préférence des secondes électrodes (70) sur le substrat (2) et des secondes contre électrodes (71) correspondantes sur la structure oscillante (3), et de manière particulièrement préférentielle, on détecte une seconde variation de capacité entre les secondes électrodes (70) et les secondes contre électrodes (71). 7°) Dispositif de capteur (1) comportant un substrat (2) ayant un plan principal d'extension (100) ainsi qu'une structure oscillante (3) mobile par rapport au substrat (2), le dispositif de capteur (1) comportant des éléments d'entraînement (5) pour générer une oscillation de rotation (10) de la structure oscillante 14 (3) autour d'un axe d'oscillation (11) essentiellement perpendiculaire au plan principal d'extension (100), et le dispositif de capteur (1) comporte des premiers éléments de détection (6) pour détecter un premier mouvement de basculement (63) de la structure oscillante (3) autour d'un premier axe de basculement (105) essentiellement parallèle au plan principal d'extension (100), caractérisé en ce que le dispositif de capteur (1) comporte des troisièmes éléments de détection pour détecter une accélération de rotation (18) combinée à l'oscillation de rotation (10) de la structure oscillante (3), cette accélération de rotation se faisant essentiellement autour de l'axe d'oscillation (Il). 8°) Dispositif de capteur (1) selon la revendication 7, caractérisé en ce que les éléments d'entraînement (5) comportent des électrodes d'entraînement (50) sur le substrat (2) et des contre électrodes d'entraînement (51) correspondantes sur la structure oscillante (3), les troisièmes éléments de détection étant prévus entre les électrodes d'entraînement (50) et les contre-électrodes d'entraînement (51), pour l'exploitation des tensions d'entraînement (55). 9°) Dispositif de capteur (1) selon la revendication 7, caractérisé en ce que les troisièmes éléments de détection comportent des électrodes de détection sur le substrat (2) et des contre électrodes de détection, correspondantes sur la structure oscillante (3). 10°) Dispositif de capteur (1) selon la revendication 7, caractérisé en ce que le dispositif de capteur (1) comporte des seconds éléments de détection (7) pour détecter un second mouvement de basculement (73) de la structure oscillante (3) autour d'un second axe de basculement (106) essentiellement parallèle au plan principal d'extension (100) et essentiellement perpendiculaire au premier axe de basculement (105).