Brevet FR2945621A1 — publié le 20101119

STRUCTURE DE COUPLAGE POUR GYROMETRE RESONNANT DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention se rapporte à un capteur inertiel destiné à la mesure de vitesse angulaire suivant deux axes dans le plan (ou plus). Il s'agit d'un gyromètre et plus particulièrement d'un gyromètre micro-usiné. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTÉRIEURE L'utilisation des gyromètres est multiple : automobile, aéronautique, robotique, Comme tout produit entrant dans le domaine grand public comme l'automobile, où le coût est une donnée majeure, la réalisation collective de tels composant en technologie microélectronique devient très attractive. La réalisation de gyromètres micro-usinés dans du silicium est déjà largement répandue. Ce type de composant comprend typiquement 2 masses mobiles couplées en antiphase, vibrant dans le plan à la résonance. Les masses sont excitées par le biais de forces électrostatiques ou piézoélectriques appliquées par l'intermédiaire de structures en peignes interdigités ou d'un actionneur piézoélectrique. Si on admet que la vibration des masses s'exerce suivant l'axe x, lorsque le gyromètre tourne avec une certaine vitesse angulaire autour de l'axe y 2 (orthogonal à l'axe x), la composition de la vibration forcée avec la vitesse angulaire induit des forces (forces de Coriolis) qui mettent les masses mobiles en vibration suivant z. La vibration est alors détectée par le biais de moyens capacitifs par des électrodes placées au-dessus des masses mobiles et permet de remonter à la valeur de la vitesse de rotation autour de l'axe y. L'intérêt d'avoir un couplage en antiphase des masse permet de différencier l'effet de l'accélération translationnelle suivant les axes y ou z, de l'effet Coriolis généré par une rotation suivant y ou z, la première provoquant un mouvement en phase des masses la seconde générant un mouvement en antiphase des masses, dans les sens de détection y ou z. Cet état de l'art se décompose en deux parties : - l'application à un gyromètre 1 axe selon lequel il n'existe a priori aucun système gyrométrique permettant à la fois de générer une antiphase naturelle (existante) et de pouvoir moduler l'amplitude de déplacement des masses indépendamment du déplacement imposé dans la zone d'actionnement ; - l'application à un gyromètre 2 - 3-6 axes pour lesquels il n'existe pas de moyens comparables permettant de coupler mécaniquement en amplitude et en antiphase le mouvement d'excitation de 4 masses formant deux gyromètres parfaitement couplés en phase et amplitudes de déplacement en excitation. 3 La littérature sur les gyromètres 1 axe est très dense. Il existe notamment de nombreux brevets concernant la génération de couplage entre masse en détection ou en excitation. Des couplages qui se réalisent en antiphase en couplage modal fort ou faible (amplitude de mouvement). Le brevet US 5 895 850 divulgue un gyromètre résonnant comprenant un substrat, une première et une deuxième masse résonnante vibrant en opposition de phase dans une direction et un sens privilégiés, un premier et un deuxième ressort reliés au substrat et aux résonateurs, les ressorts étant plus souples dans la direction souhaitée de vibration des résonateurs. Des éléments de détection permettent de mesurer l'effet de Coriolis agissant sur le résonateur dans une direction perpendiculaire à la direction de vibration. Une région de couplage couple les deux masses vibrantes, cette région incluant une masse de couplage et au moins un résonateur de couplage. Le document WO-A-2006/037 928 divulgue un résonateur à masses oscillantes. Il s'agit d'un type de structure permettant d'avoir un couplage modal préférentiel en antiphase (c'est-à-dire que le mode d'antiphase précède de plusieurs kHz le mode en phase) en utilisant un réseau de poutres de forme carrée ou elliptique, ce réseau étant maintenu de part et d'autre par deux poutres droites de flexion ancrées. La structure reste cependant sensible aux modes parasites hors plan. D'autres structures de l'art connu utilisent des liaisons pivot et mettent en oeuvre un 4 couplage en antiphase (voir par exemple les documents US 2004/154 397 et US 2005/072 231). Cependant, ces structures ne permettent pas de moduler les amplitudes de déplacement. Dans le cas de gyromètres à 2 axes dans le plan, il existe quelques études menées sur des structures spécifiques. La première étude identifiée a été publiée dans T. Juneau et al., � Dual axis operation of a micromachined rate gyroscope �, Transducers, 1997 International Conference on Solid State Sensors and Actuators, vol. 2, 16-19 juin 1997, pages 883 à 886. Cette première étude a été suivie d'autres études sur les disques à masses oscillantes. Le gyromètre divulgué dans l'article de T. Juneau et al. présente en effet le défaut d'être très sensible au couplage entre axes transversaux (directions d'excitation et de détection). Les études sur les disques à masses oscillantes ont donné lieu à diverses publications. On peut noter : - l'article � Decoupled microgyros and the design principle DAVED � de W. Geiger et al., Sensors and Actuators A : Physical, vol. 95, n°2-3, 2002, pages 239 à 249 ; - US 2005/0 210 978 ; - l'article � Dual-axis microgyroscope with closed-loop detection � de S. An et al., The Eleventh Annual International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, 1998, 25 au 29 janvier 1998, pages 328 à 333. Dans les structures décrites dans ces publications, il n'y a pas de couplage mécanique entre des différentes masses. L'ensemble des mouvements est commandé par un asservissement électrostatique. 5 On connaît aussi des gyromètres 2 axes basés sur le couplage de 4 diapasons. De tels gyromètres sont par exemple décrits dans les documents US 2007/0 013 464, WO 2008/021 534, US 5 763 781 et WO 2007/105 211. Ces gyromètres sont basés sur un couplage fort de 4 diapasons par la liaison d'ancrage central en excitation et en détection. Si un diapason est excité, les 3 autres diapasons vibreront à la même fréquence et en phase par rapport au diapason excité. Il s'agit d'une liaison de transmission de mouvement. Ces structures ont un ancrage central commun avec le substrat, ce qui induit un fonctionnement en rotation et non en translation. EXPOSÉ DE L'INVENTION La présente invention est proposée pour améliorer les dispositifs gyroscopiques de l'art antérieur. Pour cela, il est proposé une structure de couplage à assemblage fermé de poutres pouvant par exemple être constitué de motifs ayant une forme de losange, de carré ou d'ellipse, constituant par exemple une étoile comprenant plusieurs losanges ou ellipses (sous la forme d'un treillis hyperstatique), sans ancrage au substrat, permettant de transmettre un déplacement axial en couplage fort dans au moins 4 directions et permettant de générer un mouvement 6 d'antiphase naturelle, symétrique et modulé en amplitude pour au moins une paire de masses. L'invention a donc pour objet une structure de couplage pour microgyromètre résonnant réalisé sur un substrat, la structure de couplage permettant de recueillir un mouvement vibratoire fourni par des moyens d'excitation selon un premier axe et à le transmettre à des masses sismiques disposées dans un plan comprenant le premier axe, caractérisée en ce que la structure de couplage comprend un assemblage fermé de poutres relié d'une part aux masses sismiques et d'autre part aux moyens d'excitation, l'assemblage étant disposé pour recueillir le mouvement vibratoire fourni par les moyens d'excitation et le transmettre aux masses sismiques selon au moins un deuxième axe contenu dans ledit plan, la structure de couplage ne présentant pas de point d'ancrage au substrat. Le gyromètre selon l'invention permet une décorrélation entre l'amplitude d'excitation et l'amplitude de déplacement des masses. Par ailleurs, le gyromètre de l'invention peut être monoaxe ou multiaxe. La géométrie de la structure de couplage permet notamment une vibration des masses sensiblement identique en phase et en amplitude. L'assemblage fermé de poutres peut comprendre au moins un motif fermé ayant une forme choisie parmi un losange et une ellipse, le motif étant agencé pour recueillir le mouvement vibratoire selon l'un des axes du losange ou de l'ellipse et le transmettre selon l'autre axe du losange ou de l'ellipse. Le mouvement vibratoire peut être recueilli 7 selon le grand axe du losange ou de l'ellipse et transmis selon le petit axe du losange ou de l'ellipse. L'assemblage fermé de poutres peut comprendre au moins un motif fermé ayant une forme de carré, le motif étant agencé pour recueillir le mouvement vibratoire selon l'une des diagonales du carré et le transmettre selon l'autre diagonale du carré. La structure de couplage peut, pour mettre en vibration au moins quatre masses sismiques sous l'effet de quatre moyens d'excitation, comprendre quatre motifs fermés, les motifs fermés étant reliés par l'un de leurs sommets en un point constituant le centre de symétrie de la structure de couplage, de façon à présenter des motifs opposés et alignés deux à deux, deux motifs opposés et alignés étant orthogonaux aux deux autres motifs opposés et alignés, les sommets des motifs opposés au centre de symétrie de la structure de couplage étant destinés à être solidaires chacun d'un moyen d'excitation, deux motifs consécutifs étant destinés à être reliés chacun par une poutre à une desdites masses de façon que deux masses sismiques opposées sont situées sur un même axe passant par le centre de symétrie. Les deux axes des masses sismiques peuvent être orthogonaux entre eux et décalés de 45° par rapport aux motifs opposés et alignés. Dans le cas où le motif fermé a une forme de losange, et pour mettre en vibration au moins six masses sismiques sous l'effet d'au moins quatre moyens d'excitation, la structure de couplage peut comprendre huit motifs en forme de losange juxtaposés, les motifs 8 étant reliés par l'un de leurs sommets en un point constituant le centre de symétrie de la structure de couplage, de façon à présenter des motifs opposés et alignés deux à deux, les sommets des motifs opposés au centre de symétrie étant destinés à être solidaires chacun de l'une desdites six masses sismiques. L'invention a aussi pour objet un microgyromètre résonnant formé à la surface d'un substrat, comprenant au moins deux masses sismiques aptes à se déplacer par rapport au substrat, et comprenant des moyens d'excitation destinés à mettre les masses sismiques en vibration par l'intermédiaire d'au moins une structure de couplage, dans lequel la structure de couplage est l'une des structures décrites ci-dessus. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages et particularités apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre d'exemple non limitatif, accompagnée des dessins annexés parmi lesquels : - les figures 1A à 1C sont des schémas de principe d'un gyromètre résonnant un axe selon la présente invention, - la figure 2 est un schéma de principe d'un gyromètre résonnant deux axes, à couplage antiphase avec amplitude de déplacement amplifiée, selon l'invention, - les figures 3A à 3C sont des schémas de principe d'un gyromètre résonnant à quatre masses 9 sismiques disposées dans un même plan et mettant en oeuvre une structure de couplage symétrique selon l'invention, - la figure 3A' est une variante du gyromètre résonnant représenté à la figure 3A, - la figure 4 est un schéma de principe d'un gyromètre résonnant à six masses sismiques déposées dans un même plan et mettant en oeuvre une structure de couplage en forme d'étoile à six branches selon l'invention, - la figure 5 est un schéma de principe d'un gyromètre résonnant utilisant trois structures de couplage selon la présente invention. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Dans toutes les figures décrites ci-après, chaque masse sismique est représentée ancrée au substrat par des moyens de liaison connus de l'homme de l'art. Ces moyens de liaison, référencés R sur les figures, sont par exemple des ressorts. Ils permettent de limiter certains déplacements des masses sismiques. Les moyens d'actionnement (ou d'excitation) des masses sismiques peuvent être du type à peignes capacitifs, comme représenté sur les figures annexées ou d'un autre type connu de l'homme de l'art. La figure 1A est un schéma de principe d'un gyromètre résonnant utilisant une structure de couplage selon la présente invention. Le gyromètre comprend une première masse sismique 1 et une deuxième masse sismique 2 apte à se déplacer, selon un premier axe par rapport à un substrat support, chacune selon la 10 direction indiquée par des flèches sur les figure 1B et 1C. Les masses sismiques 1 et 2 sont mises en vibration grâce à des structures de peignes capacitifs interdigités 3 et 4 comme il est bien connu dans la technique. La structure de peignes 3 comprend deux peignes fixes 31 et 33 solidaires du substrat support et un peigne mobile 32 apte à se déplacer par rapport aux peignes fixes 31 et 33. La structure de peignes 4 comprend deux peignes fixes 41 et 43 solidaires du substrat support et un peigne mobile 42 apte à se déplacer par rapport aux peignes fixes 41 et 43. Les peignes mobiles 32 et 42 se déplacent selon un deuxième axe par rapport au substrat support. Les premier et deuxièmes axes sont orthogonaux entre eux et parallèles au substrat. Le gyromètre résonnant comprend une structure de couplage 5 formée de quatre poutres 51, 52, 53 et 54 mises bout à bout pour constituer un losange dont l'un des axes est confondu avec l'axe de déplacement des masses sismiques 1 et 2 et dont le deuxième axe est confondu avec l'axe de déplacement des peignes mobiles 32 et 42. La structure de couplage 5 est fixée par des angles opposés du losange aux peignes mobiles 32 et 42 et par les deux autres angles opposés aux masses sismiques 1 et 2. La figure 1A représente le gyromètre résonnant à l'état de repos. La figure 1B représente le gyromètre résonnant dans un état excité tel que les peignes mobiles 32 et 42 se rapprochent l'un de l'autre. La déformation de la structure de couplage 5 force alors les masses 1 et 2 à s'écarter l'une de 11 l'autre. La figure 1C représente le gyromètre résonnant dans un état excité tel que les peignes mobiles 32 et 42 s'écartent l'un de l'autre. La déformation de la structure de couplage 5 force alors les masses 1 et 2 à se rapprocher l'une de l'autre. L'utilisation d'un losange allongé permet de transmettre un mouvement modulé (amplifié ou diminué) et de guider en antiphase (de manière amplifiée ou diminuée) dans la direction orthogonale en supprimant des degrés de liberté. Cette liaison ne dispose pas de point d'ancrage. C'est elle qui produit l'excitation par translation axiale des apex formant un angle aigu par exemple. Ceci permet de transmettre un déplacement amplifié dans la direction orthogonale égale de part et d'autre et modulé en antiphase sur les deux masses reliées aux deux apex formant un angle obtus par exemple. Ceci permet de dissocier l'actionnement de la surface des masses et de dissocier l'amplitude d'excitation générée par un dispositif électrostatique thermique ou piézoélectrique de l'amplitude des mouvements de chacune des masses, en garantissant la conservation de la phase et de l'amplitude du mouvement des deux masses quelles que soient les dissymétries technologiques. L'amplitude de chaque masse est réglée : - par la rigidité globale de l'ensemble du système suivant la direction d'excitation et ramené au nombre de masse, - la force appliquée sur la liaison centrale 12 le coefficient de qualité globale du système. La structure de couplage représentée à la figure 1 pourrait être en forme d'ellipse plutôt que de losange. Il suffit pour cela de remplacer chaque poutre droite de la structure de couplage par une poutre arquée. L'utilisation d'une forme carrée, circulaire, en étoile, etc. pour la structure de couplage permet d'envisager la réalisation d'un gyromètre deux axes dans le plan, parfaitement couplé en excitation. En particulier, les formes orthosymétriques ou à symétrie radiale permettent une transmission de déplacement de même amplitude dans plusieurs directions. L'utilisation d'une forme en étoile permet d'envisager la réalisation d'une matrice inertielle parfaitement couplée en excitation. L'utilisation de toute forme géométrique de ce type permet d'envisager l'actionnement d'un système de masses à travers cette liaison de couplage qui lie les masses entres elles. Le paramétrage des dimensions de ces formes géométriques de manière orthotropique permet d'envisager, à déplacement imposé dans une direction, de pouvoir paramétrer les amplitudes de déplacements générés dans les autres directions. On propose également, selon la présente invention, un gyromètre de type structure à cardan, avec excitation de quatre masses sismiques à la résonance mais suivant deux axes, et génération de forces de Coriolis suivant une direction orthogonale à 13 ces axes de vibration et aux deux axes de rotation, respectivement. Une liaison centrale non ancrée qui peut prendre plusieurs formes (carré inversé, cercle, étoile) permet un couplage fort de chaque masse sismique axisymétrique (en antiphase). Si une masse est excitée, les 3 autres vibreront à la même fréquence, la même amplitude et en anti-phase par rapport à la masse excitée. Ainsi, grâce à un couplage fort multi-masse pour l'excitation, une seule unité de détection (par � feedback �) de l'excitation électronique est nécessaire. Seules deux masses peuvent être excitées, la détection pouvant être réalisée sur les deux autres. La présente invention se différentie de l'état de l'art en ce qu'elle propose le couplage fort de deux ou plusieurs directions d'excitation de masses sismiques à cardan produisant un mouvement axisymétrique (en opposition de phase) par le moyen d'une liaison centrale non ancrée possédant au moins deux axes de symétries. Cet aspect offre entre autres l'avantage de réduire le nombre d'architectures indépendantes pour produire une matrice inertielle 3 (6) axes permettant de réduire la superficie et donc le coût de fabrication de celle-ci. Sur le principe du couplage fort, le déplacement d'une masse sera reproduit à l'identique sur l'ensemble des autres masses. Ceci permet de réduire le nombre d'asservissements électroniques, de transmettre une amplitude d'excitation et une fréquence 14 de résonance égale sur toute les masses suivant la relation suivante : Lmi Lki mi et ki représentant les masses et raideurs respectives de chacune des masses Quelles que soient les masses mi et constantes ki de raideur relative, en supposant des défauts de masse ou de raideur relative, la sommation de l'ensemble des masses, s'il s'agit de structure répliquée permet de réduire l'impact des imperfections sur les caractéristiques programmées du gyromètre. L'amplitude Xexc du déplacement de la masse excitée est : X _ Qexc F'exc keyc avec Qexe = facteur de qualité de la masse excitée, keXC = raideur dans le sens d'excitation, FeXC = force d'excitation ? La Force de Coriolis Fcorioiis transmise par le mouvement d'excitation pour l'ensemble des masses ne différera que par les défauts des masses découplées de détection. Coriolis avec : eti = masse de chacun des éléments de détection, exc : pulsation d'excitation. La variation de sensibilité entre les axes devient uniquement dépendante des paramètres de masses 5 sismiques de détection 2 . mi det . Qdet . 0exc . Xexc S mi avec : Qdet facteur de qualité de détection, 10 ki : raideur de chaque élément de détection. L'utilisation de formes en treillis plus complexes tel que l'assemblage de losanges de dimensions variables permettrait de réaliser en même temps l'amplification du déplacement imposé et le 15 couplage des déplacements en opposition de phases respectives. La figure 2 est un schéma de principe d'un autre gyromètre résonnant utilisant une structure de couplage selon la présente invention. Il s'agit d'un 20 gyromètre deux axes, à couplage antiphase avec amplitude de déplacement amplifiée. Le gyromètre comprend deux masses sismiques 11 et 13 situées sur un premier axe parallèle au substrat support, et deux masses sismiques 12 et 14 25 situées sur un deuxième axe parallèle au substrat support et orthogonal au premier axe. Chaque masse sismique est apte à se déplacer selon l'axe sur lequel elle se trouve. ki 16 Les masses sismiques sont mises en vibration grâce à des structures de peignes capacitifs interdigités 130, 140, 150 et 160. Ces peignes ont été représentés de maniere simplifiée pour ne pas surcharger la figure 2. La structure de peignes 130 comprend un peigne fixe 131, solidaire du substrat support, et un peigne mobile 132 apte à se déplacer par rapport au peigne fixe 131. La structure de peignes 140 comprend un peigne fixe 141, solidaire du substrat support, et un peigne mobile 142 apte à se déplacer par rapport au peigne fixe 141. La structure de peignes 150 comprend un peigne fixe 151, solidaire du substrat support, et un peigne mobile 152 apte à se déplacer par rapport au peigne fixe 151. La structure de peignes 160 comprend un peigne fixe 161, solidaire du substrat support, et un peigne mobile 162 apte à se déplacer par rapport au peigne fixe 161. Le gyromètre résonnant comprend une structure de couplage 100 constituée par un treillis complexe. Ce treillis comprend quatre losanges 101, 102, 103 et 104 constitués chacun par un assemblage de poutres comme pour la figure 1. Les losanges 101 et 103 sont mis bout à bout et leurs grands axes sont alignés. Les losanges 102 et 104 sont également mis bout à bout et leurs grands axes sont également alignés. Les grands axes des losanges 101 et 103 sont orthogonaux aux grands axes des losanges 102 et 104. Le point de rencontre des losanges 101 à 104 constitue le centre de symétrie de la structure de couplage 100. Les sommets des losanges 101, 102, 103 et 104, opposés au centre de symétrie de la structure de 17 couplage, sont solidaires des peignes mobiles respectivement 162, 132, 142 et 152. Chaque structure de peignes est disposée de sorte que l'axe de déplacement de son peigne mobile est confondu avec le grand axe du losange qui est solidaire de ce peigne mobile. Les axes de déplacement des masses 11 à 14 et les axes d'excitation des structures de peignes 130, 140, 150 et 160 sont donc décalés de 45°. La structure de couplage 100 comprend d'autres poutres permettant de la rattacher aux masses sismiques 11 à 14. Ce rattachement se fait de manière similaire pour chaque masse à un même point de la masse situé sur son axe de déplacement. Ainsi, la masse 11 est rattachée par des poutres 111 et 112 aux losanges qui lui sont le plus proches, c'est-à-dire les losanges 101 et 102. Ce rattachement se fait aux apex les plus proches des losanges concernés et qui font un angle obtus. L'utilisation des gyromètres est multiple : en automobile, en aéronautique, en robotique, Comme tout produit entrant dans le domaine grand public comme l'automobile, où le coût est une donnée majeure, la réalisation collective de tels composant en technologie microélectronique devient très attractive. La réalisation d'un gyromètre micro-usiné dans du silicium est déjà largement répandue. Ce type de composant comprend typiquement deux masses mobiles couplées, vibrant dans le plan à la résonance (montage en diapason). Les masses sont excitées par le biais de 18 forces électrostatiques appliquées par l'intermédiaire de structures en peignes interdigités. Si on admet que la vibration des masses s'exerce suivant l'axe x, lorsque le gyromètre tourne avec une certaine vitesse angulaire autour de l'axe y (orthogonal à l'axe x), la composition de la vibration forcée avec la vitesse angulaire induit des forces (forces de Coriolis) qui mettent les masses mobiles en vibration suivant z. La vibration est alors détectée par le biais de moyens capacitifs par des électrodes placées au-dessus des masses mobiles et permet de remonter à la valeur de la vitesse de rotation autour de l'axe y. La structure de couplage de la figure 2 met en oeuvre des losanges. Ces losanges peuvent selon la présente invention être remplacés par des ellipses, pourvu que la structure de couplage reste symétrique. Les figures 3A à 3C sont des schémas de principe d'un gyromètre résonnant à quatre masses sismiques disposées dans un même plan et mettant en oeuvre une structure de couplage symétrique. La figure 3A représente le gyromètre résonnant à l'état de repos. Le gyromètre comprend deux masses sismiques 211 et 213 situées sur un premier axe parallèle au substrat support et deux masses sismiques 212 et 214 situées sur un deuxième axe parallèle au substrat support et orthogonal au premier axe. Chaque masse sismique est apte à se déplacer selon l'axe sur lequel elle se trouve. Les masses sismiques sont mises en vibration grâce à des structures de peignes capacitifs 19 interdigités 230, 240, 250 et 260. La structure de peignes 230 comprend un peigne fixe 231, solidaire du substrat support, et un peigne 232 solidaire de la masse 211. La structure de peignes 240 comprend un peigne fixe 241, solidaire du substrat support, et un peigne 242 solidaire de la masse 212. La structure de peignes 250 comprend un peigne fixe 251, solidaire du substrat support, et un peigne 252 solidaire de la masse 213. La structure de peignes 260 comprend un peigne fixe 261, solidaire du substrat support, et un peigne 262 solidaire de la masse 214. Le gyromètre résonnant comprend une structure de couplage 200 de la forme d'un carré pivoté de 45°. Le carré formant la structure de couplage comprend une poutre 201 reliant les masses 211 et 212, une poutre 202 reliant les masses 212 et 213, une poutre 203 reliant les masses 213 et 214 et une poutre 204 reliant les masses 214 et 211. Les figures 3B et 3C représentent le gyromètre résonnant lorsqu'un signal d'excitation est envoyé aux structures de peignes interdigités 230 et 250, par exemple. La structure de couplage 200 se déforme alors : elle se transforme de carré en losange. La figure 3B représente un état où les masses 211 et 213 s'écartent l'une de l'autre. Dans ce cas, les masses 212 et 214 se rapprochent l'une de l'autre. La structure de couplage 200 forme un losange dont le grand axe correspond à l'axe des masses 211 et 213, et dont le petit axe correspond à l'axe des masses 212 et 214. La structure de couplage 200 est représentée en trait plein dans son état déformé et en 20 trait interrompu dans son état non déformé, c'est-à-dire au repos. La figure 3C représente un état où les masses 211 et 213 se rapprochent l'une de l'autre. Dans ce cas, les masses 212 et 214 s'écartent l'une de l'autre. La structure de couplage 200 forme un losange dont le grand axe correspond à l'axe des masses 212 et 214, et dont le petit axe correspond à l'axe des masses 211 et 213. La structure de couplage 200 est représentée en trait plein dans son état déformé et en trait interrompu dans son état non déformé, c'est-à-dire au repos. La figure 3A' est une variante du gyromètre résonnant représenté à la figure 3A. Les éléments de ce gyromètre qui sont identiques à ceux de la figure 3A sont référencés à l'identique. Les deux paires de masses de ce gyromètre sont représentées au repos. Dans cette variante, une seule paire de masses est excitée : les masses 212 et 214. Par rapport au schéma de la figure 3A, la masse 212 est aussi excitée par la structure de peignes capacitifs 270 et la masse 214 est aussi excitée par la structure de peignes capacitifs 280. La structure 270 comprend un peigne fixe 271, solidaire du substrat support, et un peigne 272 solidaire de la masse 212. La structure 280 comprend un peigne fixe 281, solidaire du substrat support, et un peigne 282 solidaire de la masse 214. La figure 4 est un schéma de principe d'un gyromètre résonnant à six masses sismiques déposées dans un même plan et mettant en oeuvre une structure de 21 couplage en forme d'étoile à huit branches selon l'invention. La structure de couplage 300 est constituée de poutres assemblées pour obtenir huit losanges identiques 301 à 308, juxtaposés et ayant un sommet commun constituant le centre de symétrie de la structure de couplage. Les sommets d'un premier groupe de trois losanges juxtaposés 301, 302 et 303, ces sommets étant opposés au centre de symétrie de la structure de couplage, sont chacun solidaires d'une masse sismique 311, 312 et 313, respectivement. Les sommets d'un deuxième groupe de trois losanges juxtaposés 305, 306 et 307, ces sommets étant opposés au centre de symétrie de la structure de couplage, sont chacun solidaires d'une masse sismique 314, 315 et 316, respectivement. Les deux groupes de losanges juxtaposés sont symétriques par rapport au centre de symétrie de la structure de couplage 300. Sur la figure 4, les dispositifs d'actionnement sont représentés par des rectangles. Ce sont par exemple des structures à peignes capacitifs. Le gyromètre comprend quatre dispositifs d'actionnement 330, 340, 350 et 360. Les dispositifs d'actionnement 330 et 340 agissent respectivement sur les sommets opposés des losanges 308 et 304. Ils sont alignés sur une droite passant par le centre de symétrie de la structure de couplage. Les dispositifs d'actionnement 350 et 360 agissent respectivement sur les sommets opposés des losanges 302 et 306 par l'intermédiaire, respectivement, des masses 312 et 315. Ils sont alignés 22 sur une droite passant par le centre de symétrie de la structure de couplage et perpendiculaire à la droite sur laquelle sont alignés les dispositifs d'actionnement 330 et 340. Chaque masse sismique permet de détecter un mouvement vibratoire selon l'une des directions x, y ou z comme indiqué sur la figure 4. La figure 5 est un schéma de principe d'un gyromètre résonnant utilisant trois structures de couplage selon l'invention. Dans cette figure, on trouve une première structure de couplage 400 constituée de poutres et ayant la forme d'un carré pivoté de 45° à l'état de repos. Une première diagonale du carré formant la structure de couplage 400 constitue un premier axe x pour le gyromètre tandis qu'une deuxième diagonale du carré formant la structure de couplage 400 constitue un deuxième axe y pour le gyromètre, orthogonal au premier axe. La structure de couplage 400 couple, selon l'axe x, deux dispositifs 501, 502 tel que celui représenté à la figure 1A. Pour cela, la structure de couplage 400 est rendue solidaire, par un premier sommet du carré situé sur l'axe x, de l'une des deux masses d'un premier dispositif tel que celui représenté à la figure 1A. La structure de couplage 400 est aussi rendue solidaire, par un deuxième sommet du carré situé sur l'axe x, de l'une des deux masses d'un deuxième dispositif tel que celui représenté à la figure 1A. La structure de couplage 400 couple aussi, selon l'axe y, deux masses sismiques 411 et 412. Pour 23 cela, la structure de couplage 400 est rendue solidaire, par un premier sommet du carré situé sur l'axe y, de la masse sismique 411. La structure de couplage 400 est aussi rendue solidaire, par un deuxième sommet du carré situé sur l'axe y de la masse sismique 412. Un tel microgyromètre possédant la structure de couplage selon l'invention peut être réalisé sur un substrat SOI selon des techniques connues de l'homme de l'art. D'autres variantes de réalisation sont possibles. Une structure de couplage sous forme d'étoile à huit branches, constituant un treillis, permet d'envisager une amplification des déplacements dans quatre directions de l'espace en même temps que la réalisation d'un gyromètre deux axes sur le même principe que décrit précédemment. Cependant, l'excitation doit être asservie sur quatre branches mais ne nécessite pas d'ancrage central. Une structure de couplage présentant une étoile à au moins six branches permet de réaliser un couplage dans au moins six directions, cependant les masses en vis-à-vis sont en phases. REVENDICATIONS1. Structure de couplage pour microgyromètre résonnant réalisé sur un substrat, la structure de couplage permettant de recueillir un mouvement vibratoire fourni par des moyens d'excitation (3, 4, 130, 140, 150, 160) selon un premier axe et à le transmettre à des masses sismiques (1, 2, 11, 12, 13, 14) disposées dans un plan comprenant le premier axe, caractérisée en ce que la structure de couplage comprend un assemblage fermé de poutres (5, 100) relié d'une part aux masses sismiques et d'autre part aux moyens d'excitation, l'assemblage étant disposé pour recueillir le mouvement vibratoire fourni par les moyens d'excitation et le transmettre aux masses sismiques selon au moins un deuxième axe contenu dans ledit plan, la structure de couplage ne présentant pas de point d'ancrage au substrat. 2. Structure de couplage selon la revendication 1, dans laquelle l'assemblage fermé de poutres comprend au moins un motif fermé ayant une forme choisie parmi un losange et une ellipse, le motif étant agencé pour recueillir le mouvement vibratoire selon l'un des axes du losange ou de l'ellipse et le transmettre selon l'autre axe du losange ou de l'ellipse. 3. Structure de couplage selon la revendication 2, dans laquelle le mouvement vibratoire est recueilli selon le grand axe du losange ou de 25 l'ellipse et transmis selon le petit axe du losange ou de l'ellipse. 4. Structure de couplage selon la revendication 1, dans laquelle l'assemblage formé de poutres comprend au moins un motif fermé ayant une forme de carré, le motif étant agencé pour recueillir le mouvement vibratoire selon l'une des diagonales du carré et le transmettre selon l'autre diagonale du carré. 5. Structure de couplage selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, pour mettre en vibration au moins quatre masses sismiques (11, 12, 13, 14) sous l'effet de quatre moyens d'excitation (130, 140, 150, 160), comprenant quatre motifs fermés (101 à 104), les motifs fermés étant reliés par l'un de leurs sommets en un point constituant le centre de symétrie de la structure de couplage, de façon à présenter des motifs opposés et alignés deux à deux, deux motifs opposés et alignés étant orthogonaux aux deux autres motifs opposés et alignés, les sommets des motifs opposés au centre de symétrie de la structure de couplage étant destinés à être solidaires chacun d'un moyen d'excitation, deux motifs consécutifs (101, 102) étant destinés à être reliés chacun par une poutre (111, 112) à une desdites masses (11) de façon que deux masses sismiques opposées sont situées sur un même axe passant par le centre de symétrie.30 26 6. Structure de couplage selon la revendication 5, dans laquelle les deux axes des masses sismiques sont orthogonaux entre eux et décalés de 45° par rapport aux motifs opposés et alignés. 7. Structure de couplage selon la revendication 2 lorsque le motif fermé a une forme de losange, pour mettre en vibration au moins six masses sismiques sous l'effet d'au moins quatre moyens d'excitation, la structure de couplage comprenant huit motifs en forme de losange juxtaposés, les motifs étant reliés par l'un de leurs sommets en un point constituant le centre de symétrie de la structure de couplage, de façon à présenter des motifs opposés et alignés deux à deux, les sommets des motifs opposés au centre de symétrie étant destinés à être solidaires chacun de l'une desdites six masses sismiques. 8. Microgyromètre résonnant formé à la surface d'un substrat, comprenant au moins deux masses sismiques aptes à se déplacer par rapport au substrat, et comprenant des moyens d'excitation destinés à mettre les masses sismiques en vibration par l'intermédiaire d'au moins une structure de couplage, caractérisé en ce que la structure de couplage est une structure selon l'une quelconque des revendications 1 à 7.