Brevet FR2942880A1 — publié le 20100910

CAPTEURS DE COURANT ET PROCEDE DE FABRICATION DE CES CAPTEURS L'invention concerne des capteurs de courant et un procédé de fabrication de ces capteurs. Il existe des capteurs de courant comportant : - un conducteur électrique dans lequel circule le courant à mesurer lorsque ce conducteur est alimenté par ce courant, - un transducteur apte à transformer le champ magnétique produit par le courant circulant dans le conducteur électrique en un signal électrique, et - une unité de traitement de ce signal électrique pour en déduire l'intensité du courant. Typiquement, le transducteur est formé de deux magnétomètres disposés, au-dessus, respectivement de première et seconde sections parallèles du conducteur électrique. Par exemple, chaque magnétomètre produit une tension qui est proportionnelle au champ magnétique dans lequel il est placé. Le fait de placer les magnétomètres au-dessus du conducteur électrique évite d'avoir à faire passer ce conducteur à l'intérieur d'un anneau magnétique. Ces magnétomètres peuvent être raccordés l'un à l'autre de manière à ce que, lorsqu'ils sont placés simultanément dans le même champ magnétique, la tension produite par l'un est égale à l'inverse de la tension produite par l'autre. Cette disposition des magnétomètres permet de rejeter la composante des champs magnétiques perturbateurs tels que le champ magnétique terrestre ou un champ magnétique généré par une autre source à proximité du capteur. Cette autre source de champ magnétique peut être un moteur électrique ou un conducteur électrique dans lequel circule un courant de forte intensité. Toutefois, ces capteurs connus ne sont pas suffisamment précis. En particulier, il a été constaté que les erreurs de mesure d'un tel capteur de courant sont dues, en partie, à des erreurs de positionnement des deux magnétomètres l'un par rapport à l'autre. En effet, chaque magnétomètre présente une direction de mesure le long de laquelle sa sensibilité au champ magnétique à mesurer est maximale. Une erreur d'alignement entre les directions de mesure de ces deux magnétomètres se traduit par une réjection imparfaite des champs magnétiques perturbateurs et donc par une augmentation des erreurs de mesure. Par exemple, une erreur d'alignement de 0,1° entre ces deux directions de mesure peut provoquer une erreur de mesure de plus de 1 %. L'invention vise donc à proposer un capteur de courant dans lequel la rejection des champs magnétiques perturbateurs est améliorée. Elle a donc pour objet un capteur de courant dans lequel le transducteur 40 comprend : - un premier et un second barreaux magnétiques placés à proximité du conducteur électrique, ces premier et second barreaux magnétiques s'étendant, respectivement, le long de premier et second axes parallèles et non colinéaires au conducteur électrique, et - au moins une première et une seconde bobines de détection enroulées, respectivement, autour des premier et second barreaux magnétiques, ces première et seconde bobines étant électriquement raccordées en série entre des bornes de l'unité de traitement de manière à ce que, lorsque ces bobines sont placées dans le même champ magnétique, le signal électrique soit nul. Dans le capteur ci-dessus, le raccordement en série des première et seconde bobines de détection, en plus du parallélisme entre les premier et second axes des barreaux magnétiques, améliore la réjection des champs magnétiques perturbateurs. De plus, ce capteur de courant présente une linéarité améliorée. Autrement dit, la mesure délivrée par ce capteur de courant augmente linéairement avec l'intensité du courant à mesurer sur une plage plus importante qu'avec les capteurs connus. Les modes de réalisation de ce capteur de courant peuvent comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : ^ les premier et second barreaux magnétiques ne forment qu'un seul et même noyau magnétique commun aux première et seconde bobines de détection ; ^ le noyau magnétique commun est rectiligne de sorte que les premier et second axes sont confondus ; ^ le capteur comprend un générateur de champ magnétique d'excitation apte à saturer périodiquement les premier et second barreaux magnétiques et l'unité de traitement est apte à déduire l'intensité du courant à partir de l'amplitude d'une harmonique du signal électrique ; ^ le conducteur électrique présente au moins une première et une seconde sections parallèles traversées par le même courant à mesurer, respectivement, dans un sens et dans le sens opposé et les premier et second barreaux magnétiques sont placés à proximité, respectivement, des première et seconde sections, les premier et second axes de ces barreaux magnétiques étant non colinéaires aux première et seconde sections du conducteur électrique ; ^ les premier et second axes des premier et second barreaux magnétiques sont perpendiculaires aux première et seconde sections du conducteur ; ^ les barreaux magnétiques sont formés d'une bande en matériau magnétique gravée ou déposée sur une couche intermédiaire en matériau électriquement isolant, et chaque bobine de détection comprend des pistes conductrices inférieure et supérieure gravées ou déposées, respectivement, sur des couches inférieure et supérieure en matériau électriquement isolant entre lesquelles est interposée la couche intermédiaire sur laquelle est gravée ou déposée la bande en matériau magnétique ; ^ le conducteur électrique est gravé ou déposé sur une couche en matériau isolant solidaire des couches inférieure, supérieure et intermédiaire. Ces modes de réalisation présentent en outre les avantages suivants : - l'utilisation d'un noyau magnétique commun permet d'avoir une hystérésis identique pour les premier et second barreaux, ce qui améliore la réjection des perturbations magnétiques, - l'utilisation d'un noyau magnétique commun rectiligne simplifie la réalisation du transducteur et facilite l'obtention d'un bon parallélisme entre les premier et second axes des barreaux magnétiques, - la déduction de l'intensité du courant à partir d'harmonique du signal électrique permet d'améliorer la précision du capteur, - utiliser des première et seconde sections dans lesquelles le courant à mesurer circule en sens inverse permet d'améliorer la sensibilité du capteur, - la réalisation du barreau magnétique et des bobines à l'aide de bande et pistes conductrices gravées ou déposées sur des couches de matériau isolant permet de rendre le capteur plus compact et d'améliorer la réjection du champ perturbateur car le champ perturbateur est d'autant plus homogène que la zone dans lesquelles les deux barreaux sont disposés est petite, et - la réalisation des sections du conducteur électrique par gravure ou dépôt sur une couche en matériau isolant solidaire des couches utilisées pour réaliser les bobines permet d'obtenir un positionnement précis et robuste de ces sections par rapport aux bobines et au noyau magnétique, ce qui accroît la précision. L'invention a également pour objet un capteur de courant homopolaire résultant de la somme des courants monophasés de chacune des phases d'un courant polyphasé, ce capteur comprenant : - pour chaque phase, un conducteur électrique dans lequel circule le courant monophasé à mesurer lorsque ce conducteur est alimenté par le courant monophasé de cette phase, - un transducteur apte à transformer le champ magnétique produit par le courant homopolaire en un signal électrique, et - une unité de traitement de ce signal électrique pour en déduire l'intensité du courant homopolaire, Le transducteur de ce capteur de courant homopolaire comprend également pour chaque phase : - un premier et un second barreaux magnétiques placés à proximité du conducteur électrique de cette phase, ces premier et second barreaux magnétiques s'étendant, respectivement, le long de premier et second axes parallèles et non colinéaires au conducteur électrique, - au moins une première et une seconde bobines de détection enroulées, respectivement, autour des premier et second barreaux magnétiques, ces première et seconde bobines étant électriquement raccordées en série entre elles et avec les première et seconde bobines des autres phases entre des bornes de l'unité de traitement de manière à ce que, lorsque toutes ces bobines de détection sont placées dans le même champ magnétique, le signal électrique soit nul. Le raccordement en série des première et seconde bobines de chaque phase entre elles et avec les première et seconde bobines des autres phases permet de sommer précisément les forces électromotrices produites par chacune des phases et donc d'obtenir une mesure précise du courant homopolaire. L'invention a également pour objet un procédé de fabrication des capteurs de courant ci-dessus comportant : - le dépôt ou la gravure d'une piste conductrice dans une couche inférieure pour former une partie inférieure d'une spire d'une bobine de détection ou d'excitation, - le dépôt ou la gravure d'une bande en matériau magnétique dans une couche intermédiaire superposée sur et électriquement isolée de la piste conductrice de la couche inférieure, pour former le noyau magnétique, - le dépôt ou la gravure d'une piste conductrice dans une couche supérieure pour former une partie supérieure de la spire de la bobine de détection ou d'excitation, la couche supérieure étant superposée sur le noyau magnétique et électriquement isolée de ce noyau magnétique, et - la réalisation de traverses conductrices traversant la couche intermédiaire pour connecter électriquement les parties inférieure et supérieure de manière à ce que la spire soit enroulée autour du noyau magnétique. Ce procédé de fabrication permet d'obtenir un alignement très précis des axes des bobines et du noyau magnétique. Cette disposition précise des bobines par rapport au noyau magnétique se traduit par une augmentation de la précision du capteur. De plus, ce procédé permet de raccourcir la distance entre les bobines de détection et le noyau magnétique, ce qui augmente également la précision du capteur. Ce procédé de fabrication peut également comporter la caractéristique suivante : ^ le dépôt ou la gravure d'une bande conductrice sur une couche fixée sans aucun degré de liberté aux couches inférieure, intermédiaire et supérieure pour former le conducteur électrique dans lequel circule le courant à mesurer. Ce mode de réalisation du procédé de fabrication permet un alignement très précis des première et seconde sections du conducteur électrique par rapport aux bobines et au noyau magnétique. Ceci augmente la précision du capteur de courant. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple non limitatif et faite en se référant aux dessins sur lesquels : - la figure 1 est une illustration schématique d'un capteur de courant monophasé, - les figures 2 et 3 représentent des graphes illustrant le fonctionnement du capteur de la figure 1, respectivement, en absence de courant à mesurer mais en présence d'un champ perturbateur, et en présence de courant à mesurer mais en l'absence de champ perturbateur, - les figures 4 à 10 sont des illustrations schématiques de modes de réalisation du capteur de courant de la figure 1 sous forme de circuit intégré, - la figure 11 est un organigramme d'un procédé de fabrication d'une bobine du capteur des figures 4 à 10, - les figures 12 à 19 sont des illustrations schématiques et en coupe de différentes étapes de fabrication du procédé de la figure 11, - la figure 20 est une illustration schématique d'un capteur de courant homopolaire, et - la figure 21 est une illustration schématique d'une variante du capteur de courant de la figure 1. Dans ces figures, les mêmes références sont utilisées pour désigner les mêmes éléments. Dans la suite de cette description, les caractéristiques et fonctions bien connues de l'homme du métier ne sont pas décrites en détails. La figure 1 représente un capteur 2 de courant. Ce capteur 2 comprend un conducteur électrique 4 dans lequel circule le courant monophasé le à mesurer. Le courant le peut être soit un courant alternatif soit un courant continu. Ce conducteur 4 présente deux sections parallèles 6 et 8. La section 6 s'étend le long d'un axe 10 et la section 8 s'étend le long d'un axe 12. Ces axes 10 et 12 sont parallèles l'un par rapport à l'autre et espacés d'une distance d. Par exemple, d est ici de l'ordre de quelques centimètres. Ici, le conducteur 2 présente la forme d'un � U � qui s'étend dans un plan X, Y, la direction Y étant parallèle aux axes 10 et 12. Dans la section 6, le courant le circule dans un sens et dans la section 8 le courant le circule dans le sens opposé. Sur la figure 1, le sens de circulation du courant le est représenté par des flèches 14. Le capteur 2 comprend également un générateur d'un champ d'excitation Hexc. Ce champ Hexc est capable de saturer, de façon périodique, un noyau magnétique 20. Par exemple, le générateur est réalisé à l'aide : - d'une bobine 22 enroulée autour du noyau 20, et - d'une source 24 de courant d'excitation Iexc raccordée aux extrémités de la bobine 22. Le courant IeXC a une fréquence fexc. L'intensité de ce courant IeXC est choisie de manière à générer un champ Hexc capable de saturer le noyau 20. De préférence, les spires de la bobine 22 sont régulièrement espacées les unes des autres sur toute la longueur du noyau magnétique 20. Par exemple, la bobine 22 comprend 300 spires. Des bobines 26, 28 de détection sont également enroulées autour du noyau 20 pour transformer le champ magnétique en un signal électrique. Plus précisément, lorsque ces bobines 26 et 28 sont traversées par des champs magnétiques, elles produisent des forces électromotrices notées, respectivement, VI et V2. Par exemple, ces bobines sont enroulées au-dessus des spires de la bobine 22. Les extrémités du noyau 20 autour desquelles s'entourent les bobines 26 et 28 sont appelées � barreaux magnétiques �. Les bobines 26 et 28 sont disposées à proximité, respectivement, des sections 6 et 8 de manière à ce que le champ magnétique H,c créé par le courant le qui circule dans ces sections traverse la section transversale de chacune de ces bobines 26, 28. Par exemple, l'axe d'enroulement des spires de chacune des bobines 26 et 28 est sensiblement perpendiculaire aux axes 10 et 12. Dans ce texte, par sensiblement perpendiculaire, on indique que l'angle est égal à 90° à � 5° et, de préférence, à � 10. Les bobines 26 et 28 sont placées au-dessus, respectivement, des sections 6 et 8. Par exemple, le centre de chaque bobine 26 et 28 est situé exactement au-dessus du milieu de la largeur des sections 6 et 8. Ainsi, le même champ H,c traverse dans un sens la section transversale de la bobine 26 et dans le sens opposé la section transversale de la bobine 28. Les bobines 26 et 28 sont électriquement raccordées en série l'une avec l'autre entre des bornes 29A et 29B d'une unité 29 de traitement du signal électrique produit. De plus, ici la bobine 28 est enroulée autour du noyau 20 en sens inverse de la bobine 26 de manière à annuler la tension résiduelle des bobines de détection. Les bobines 26 et 28 sont également équilibrées l'une par rapport à l'autre de manière à ce que, si elles sont traversées par le même champ magnétique, le signal électrique produit est nul. Ici, on considère qu'un signal électrique est nul s'il ne peut pas être distingué du bruit. L'équilibrage des bobines 26 et 28 peut consister à ajuster très précisément le nombre de spires de chacune de ces bobines pour qu'en absence de courant Ic, la tension entre les bornes 29A et 29B soit nulle. L'unité 29 est apte à déduire l'intensité du courant le à partir du signal électrique reçu entre ses bornes 29A et 29B. A cet effet, l'unité 29 comprend un capteur 30 de tension et une unité de calcul 32 propre à convertir la tension mesurée par le capteur 30 en une intensité du courant I. A cet effet, cette unité 32 utilise l'amplitude des harmoniques de la tension mesurée. Par exemple, c'est l'amplitude des harmoniques à des multiples entiers de la fréquence fexc qui est utilisée. De préférence, l'amplitude utilisée est celle des harmoniques paires et, typiquement, de la seconde harmonique à 2fexc. Le noyau 20 s'étend dans un plan parallèle au plan dans lequel s'étend le conducteur 4 de manière à ne pas entourer ce conducteur. Le noyau 20 est un noyau magnétique réalisé dans un matériau magnétique saturable. Par exemple, le noyau magnétique est réalisé en matériau amorphe tel que du FeCoSiB. Ici, ce noyau magnétique se compose de deux extrémités correspondant à ce qui a été appelé précédemment les barreaux magnétiques et d'une partie intermédiaire raccordant magnétiquement ces deux barreaux magnétiques. Pour simplifier la réalisation du noyau 20, les barreaux magnétiques et la partie intermédiaire sont alignés. Ainsi, le noyau 20 est un noyau rectiligne. Le noyau 20 s'étend ici le long d'un axe 36 sensiblement perpendiculaire aux axes 10 et 12. Le noyau 20 ne forme qu'un seul bloc de matière. Le fonctionnement du capteur 2 va maintenant être décrit en regard des graphes des figures 2 et 3. Les graphes de la figure 2 correspondent à la situation dans laquelle le courant le est nul et le capteur 2 est placé dans un champ magnétique perturbateur Hp uniforme. Le champ Hp résulte, par exemple, de la combinaison du champ magnétique terrestre et d'un champ magnétique produit par un conducteur électrique voisin parcouru par un courant d'intensité élevée. Le capteur 2 fonctionne comme les magnétomètres connus sous le terme anglais de �fluxgate� ainsi son fonctionnement n'est que brièvement abordé. La courbe 40 en trait continu représente schématiquement l'évolution au cours du temps du champ magnétique Happ dans lequel est placée la bobine 26. Ce champ magnétique Happ est le résultat de l'addition du champ magnétique Hexc, du champ magnétique Hic et du champ magnétique perturbateur Hp. Sur les graphes de la figure 2, le champ magnétique Hic est nul car le courant le est nul. La courbe 42 représente les mêmes données que la courbe 40 mais pour la bobine 28. Les lignes 40 et 42 sont symétriques car, lorsque le champ Hic est nul, le champ Happ qui traverse les sections transversales des bobines 26 et 28 est le même. La courbe 42 est inversée par rapport à la courbe 40 car les bobines 26 et 28 sont enroulées en sens inverse l'une de l'autre. Sur ces graphes, les limites au-delà desquelles le noyau 20 sature sont représentées par des lignes en pointillé 44 et 46. Au-delà de ces limites, l'induction magnétique B à l'intérieur du noyau 20 est sensiblement constante quel que soit le champ magnétique Happ. C'est ce qui est représenté par la courbe 48. Très schématiquement, comme représenté par les courbes 50 et 52, à chaque fois que le champ Happ dépasse l'une des limites 44 et 46, l'induction magnétique B à l'intérieur du noyau 20 est écrêtée. Cet écrêtage des formes d'onde de l'induction magnétique se traduit par l'apparition d'harmoniques dans la décomposition de Fourier de cette forme d'onde. Ici, étant donné que les bobines 26 et 28 sont placées dans le même champ magnétique Happ, les forces électromotrices VI et V2 qu'elles produisent sont de même amplitude mais de signes opposés. Dès lors, étant donné que les bobines 26 et 28 sont raccordées en série, la tension mesurée Vsu,,, par le capteur 30 est nulle comme représenté par la courbe 56. La figure 3 représente les mêmes courbes mais dans le cas où un courant le circule dans le conducteur 4. Ce courant le génère un champ magnétique H,c. Toutefois, étant donné que le courant le circule dans la section 6 en sens inverse de ce qui se passe dans la section 8, le champ Hic traverse la bobine 26 dans un sens et traverse la bobine 28 dans un sens opposé. Ainsi, le champ Happ vu par la bobine 26 est le résultat de la somme des champs Hexc, Hp et Hic tandis que le champ Happ vue par la bobine 28 est le résultat de la somme des champs Hexc, Hp et -H,c. On comprend donc que le passage du courant dans le conducteur 4 génère un déséquilibre entre le champ magnétique Happ vu par la bobine 26 et celui vu par la bobine 28. Ce déséquilibre est directement proportionnel à 2Ie. Dès lors, la tension Vsu,,, qui résulte de la somme des forces électromotrices VI et V2 n'est pas nulle (courbe 56). L'unité 32 est apte à partir de la tension Vsu,,, mesurée à déterminer l'intensité du courant I. Par exemple, à cet effet, une décomposition de Fourier peut être utilisée pour déterminer l'amplitude de l'harmonique à la fréquence 2fexc. L'amplitude de cette harmonique est proportionnelle à l'intensité du courant le sur une large plage de fonctionnement. La figure 4 représente un autre mode de réalisation d'un capteur 60 de courant. Ce capteur 60 est similaire au capteur 2 à l'exception du fait qu'il est réalisé à l'aide de moyens utilisés en microélectronique pour réaliser les circuits intégrés. A titre d'illustration, la plus grande largeur du capteur 60 est inférieure à 5 mm et, de préférence, inférieure à 2 ou à 1 mm. Dans cette figure ainsi que dans les figures suivantes, les éléments qui remplissent les mêmes fonctions que les éléments correspondants dans la figure 1 portent les mêmes références. De plus, l'unité de traitement 29 et la source 24 n'ont pas été représentés. Dans ce mode de réalisation, le conducteur 4 est réalisé par une piste en matériau conducteur gravée ou déposée sur une couche en matériau isolant. Pour simplifier la figure 4, les différentes couches en matériau isolant n'ont pas été représentées. La bobine 22 d'excitation comporte ici des pistes supérieures 22A et des pistes inférieures 22B en forme de � L � gravées ou déposées, respectivement, sur des couches supérieure et inférieure. Ces couches inférieure et supérieure sont situées en dessous et au-dessus d'une couche intermédiaire sur laquelle est gravée ou déposée une bande formant le noyau magnétique 20. Pour former la bobine 22, les pistes inférieures 22A et 22B sont raccordées les unes aux autres par des traverses conductrices verticales 22C (Figure 6), c'est-à-dire s'étendant le long de la direction Z perpendiculaire aux directions X et Y. De façon similaire, les bobines 26 et 28 comportent des pistes supérieures 26A, 28A et des pistes inférieures 26B, 28B en forme de � L �. Ces pistes supérieures et inférieures sont raccordées également par l'intermédiaire de traverses conductrices verticales de manière à former des enroulements autour du noyau 20. Un exemple de procédé de fabrication des bobines du capteur 60 est décrit plus en détail en regard de la figure 11. La figure 5 représente un autre mode de réalisation d'un capteur 70 de courant. Ce capteur 70 est identique au capteur 60 à l'exception que les pistes supérieures et inférieures 22A, 26A, 28A, 22B, 26B et 28B des bobines 22, 26 et 28 ont chacune la forme d'une bande rectiligne. Les bandes rectilignes formant les pistes supérieures 22A, 26A et 28A sont inclinées dans un sens par rapport à l'axe 36 et les bandes rectilignes formant les pistes inférieures 22B, 26B et 28B sont inclinées dans un sens opposé. Dans le capteur 70, les bobines 26 et 28 sont enroulées dans le même sens autour du noyau 20. Toutefois, elles sont électriquement raccordées en série et en opposition l'une de l'autre de manière à ce que les forces électromotrices VI et V2 s'annulent mutuellement lorsque que ces bobines sont placées dans le même champ magnétique. Ceci permet d'annuler la tension résiduelle des bobines de détection. La figure 6 représente une vue en coupe selon le plan XZ des bobines 22, 26 et 28 et du noyau 20 du capteur 60. Sur cette vue, les traverses, numérotées 22C, 26C et 28C reliant respectivement les pistes 22A et 22B, 26A et 26B et 28A et 28B sont visibles. Dans le mode de réalisation de la figure 6, le capteur 60 est réalisé sur un substrat 74 partiellement représenté. Par exemple, ce substrat 74 est un substrat en silicium ou en verre. Des pistes gravées ou déposées sur la surface supérieure du substrat 74 forment les sections 6 et 8 du conducteur 4. Les pistes inférieures 22B, 26B et 28B des bobines sont gravées ou déposées dans une couche d'isolant électrique 76. Cette couche d'isolant isole électriquement les pistes inférieures 22B, 26B et 28B des sections 6 et 8 du conducteur 4. Au-dessus de la couche 76 est superposée une autre couche d'isolant 78 dans laquelle est incorporé le noyau magnétique 20. Les pistes supérieures 22A, 26A et 28A des bobines sont gravées ou déposées sur la surface supérieure de cette couche 78. Cette couche 78 est traversée par les traverses conductrices 22C, 26C et 28C qui servent à raccorder électriquement les pistes supérieures aux pistes inférieures des bobines. Enfin, une couche de protection 80 recouvre les pistes supérieures 22A, 26A et 28A des bobines. Par exemple, cette couche de protection est réalisée en polymère. Des trous 81, 82, 84 et 86 d'accès aux bobines 22, 26 et 28 sont réalisés dans la couche 80. Ces trous permettent de raccorder électriquement la bobine 22 à la source de courant 24 et les bobines 26 et 28 aux bornes 29A, 29B Ce mode de réalisation permet de rapprocher les sections 6 et 8 des bobines 26 et 28, ce qui augmente la sensibilité et permet, par exemple, la mesure de courant dont l'intensité serait de quelques picoampères. De plus, le fait de réaliser les sections 6 et 8 et les bobines 22, 26 et 28 sur un même substrat 74 permet de positionner très précisément les bobines 26 et 28 par rapport aux sections 6 et 8, ce qui améliore également la précision de la mesure. La figure 7 représente un autre mode de réalisation qui se différencie de celui décrit en regard de la figure 6 uniquement par le fait que les sections 6 et 8 sont gravées ou déposées sur une couche d'isolant 90 plaquée sur la surface inférieure de la couche 74. Ce mode de réalisation permet d'éloigner les sections 6 et 8 des bobines 26 et 28 et donc d'augmenter l'isolation galvanique. Ainsi, il est possible de mesurer des courants d'intensité plus grande que dans le cas du mode de réalisation de la figure 6 sans détériorer le capteur de courant. Le mode de réalisation de la figure 8 est identique au mode de réalisation de la figure 7 à l'exception du fait que les sections 6 et 8 se présentent sous la forme de conducteurs collés à l'aide d'une colle 92 sur la face inférieure de l'isolant 90. Un substrat 94 peut également être rapporté sur la face inférieure de la colle 92 de manière à coincer les sections 6 et 8 entre d'une part l'isolant 90 et d'autre part le substrat 94. Cet espace entre l'isolant 90 et le substrat 94 est de préférence rempli à l'aide de la colle 92 de manière à immobiliser et à garantir un bon positionnement de ces sections 6 et 8 par rapport aux bobines 26 et 28. Le mode de réalisation de la figure 9 est identique à celui décrit en regard de la figure 8 à l'exception que les sections 6 et 8 sont collées sur la couche protectrice 80 et non plus sur la couche d'isolant 90. Ce mode de réalisation présente une sensibilité accrue par rapport au mode de réalisation de la figure 8 étant donné que les sections 6 et 8 sont beaucoup plus proches des bobines 26 et 28. Par contre, l'isolation galvanique est réduite. Le mode de réalisation de la figure 10 est identique au mode de réalisation de la figure 6 à l'exception du fait que le capteur de courant est réalisé en deux parties. D'une part, une partie 96 identique à ce qui a été décrit en regard de la figure 6 à l'exception du fait que les sections 6 et 8 ont été omises. D'autre part, une partie 98 formée d'un substrat 99 sur lequel sont gravés ou déposés les différents conducteurs du capteur dans lesquels circule du courant. En particulier, les sections 6 et 8 sont gravées ou déposées sur la surface du substrat 99. Les éléments suivants sont également gravés ou déposés sur la surface de ce substrat 99 : - des pistes 100, 102 pour raccorder la bobine 22 à la source de courant 24, - des pistes 104 et 106 pour raccorder les extrémités des bobines 26 et 28 au capteur 30. La partie inférieure 98 est électriquement raccordée à la partie supérieure 96 par l'intermédiaire de points de soudure 108 à 111. Ce mode de réalisation permet d'ajouter un capteur de courant sur des circuits existants représentés ici par la partie 98. D'autres techniques d'assemblage des parties 96 et 98 peuvent être utilisées et notamment les techniques dites � flip chip �, techniques d'assemblage à l'aide de billes fusibles disposées sur des surfaces mouillantes agencées en regard sur chacune des parties à assembler. Un procédé de fabrication des bobines décrites en regard des figures 4 à 10 va maintenant être décrit en regard de la figure 11. Pour simplifier cette description, seule la fabrication de la bobine 22 et du noyau 20 est décrite en détail. La fabrication des bobines 26 et 28 est réalisée de façon similaire. Initialement, lors d'une étape 120, la couche isolante 76 est déposée sur le substrat 74. Par exemple, la couche isolante 76 est réalisée en SiO2. Par exemple, cette couche fait 5 pm d'épaisseur. Ensuite, on procède à une étape 122 de lithographie lors de laquelle on dessine dans une couche de résine les pistes inférieures 22B de la bobine 22. Plus précisément, lors de cette étape 122, une couche de résine est déposée sur la surface supérieure de la couche 76 puis les zones de cette résine correspondant à l'emplacement des pistes inférieures 22B sont irradiées, par exemple, à l'aide d'un faisceau lumineux. Cette irradiation dissout la résine uniquement aux endroits irradiés. Ensuite, lors d'une étape 124, la surface 76 est gravée. Lors de cette étape, seules les parties non recouvertes de résine sont attaquées. On obtient alors la superposition de couches représentée dans la figure 12. Dans cette figure, la couche de résine irradiée porte la référence 125. Ensuite, lors d'une étape 126, la couche de résine 125 est retirée. Puis, lors d'une étape 128, on dépose une sous-couche permettant de réaliser un dépôt de cuivre par électrolyse. Cette sous-couche est électriquement conductrice. Une fois cette sous-couche déposée, lors d'une étape 130, une couche de cuivre est déposée par électrolyse. Ensuite, lors d'une étape 132, la surface de la couche isolante 76 est polie pour revenir à une surface plane telle que représentée dans la figure 13. Lors d'une étape 134, on dépose une nouvelle couche de matériau isolant 135 sur la surface supérieure de la couche 76. Puis, lors d'une étape 136, on dépose une couche de matériau magnétique telle que par exemple du FeNi. On procède alors à une nouvelle étape 138 de lithographie lors de laquelle on dessine dans une couche de résine le pourtour que doit avoir le noyau 20. Ensuite, lors d'une étape 140, on grave la couche de matériau magnétique aux endroits délimités par la résine de façon à obtenir le noyau 20 à partir de la couche en matériau magnétique. Après, lors d'une étape 142, la couche de résine restante est retirée. On obtient alors l'empilement de couches représenté sur la figure 14. Lors d'une étape 144, on dépose à nouveau une couche de matériau isolant 145 sur la surface supérieure de la couche 135. Cette couche 145 recouvre entièrement le noyau 20 (figure 15). Une fois cette couche 145 déposée, on procède à une nouvelle étape 146 de lithographie pour dessiner dans une couche de résine l'emplacement où doivent être creusées les traverses 22C. Ces traverses sont également appelées � vias � dans le domaine de la microélectronique. Ensuite, lors d'une étape 148 de gravure, on creuse des trous traversant entièrement les couches 145 et 135 jusqu'à atteindre les pistes inférieures 22A de la bobine 22. Une fois ces trous creusés, on retire, lors d'une étape 150, la résine restante. L'empilement de couches obtenu à l'issue de l'étape 150 est représenté sur la figure 16. Lors d'une étape 152, une sous-couche pour permettre un dépôt par électrolyse de cuivre est alors déposée sur l'ensemble de la surface supérieure de l'empilement représenté sur la figure 16. Ce dépôt se dépose également dans les trous creusés lors de l'étape 148. Ensuite, lors d'une étape 154, on dessine sur cette sous-couche d'électrolyse à l'aide d'un procédé lithographique l'emplacement des pistes supérieures 22A de la bobine 22. Ainsi, à l'issue de cette étape 154, les parties de la sous-couche d'électrolyse sur lesquelles doit être déposé par électrolyse le cuivre sont accessibles à partir de l'extérieur alors que les autres parties sont recouvertes d'une couche de résine isolante. Ensuite, lors d'une étape 156, on procède au dépôt par électrolyse du matériau conducteur, c'est-à-dire ici du cuivre. Une fois l'étape 156 achevée, lors d'une étape 158, on retire la couche de résine résiduelle. Le retrait de la couche de résine expose de nouveau à l'extérieur la sous-couche d'électrolyse déposée lors de l'étape 152 et non utilisée pour le dépôt par électrolyse. On procède alors à une étape 160 de gravure pour éliminer cette sous-couche d'électrolyse qui se situe en dehors des emplacements où ont été réalisées les pistes supérieures 22A de la bobine 22. A l'issue de l'étape 160, on obtient l'empilement de couches représenté sur la figure 17. Lors d'une étape 162, on dépose la couche de protection 80 et l'on creuse dans celle-ci les trous 81 et 86 d'accès aux spires d'extrémité de la bobine 22. On obtient ainsi l'empilement de couches représenté sur la figure 18. Enfin, lors d'une étape 164, on réalise des plots métalliques 166 et 168 permettant de connecter électriquement la bobine 22 à la source 24 de courant (Figure 19). La figure 20 représente un capteur de courant homopolaire 180. Le courant homopolaire est le résultat de la somme des courants monophasés de chaque phase d'un courant polyphasé. Ici, le capteur 180 est représenté dans le cas particulier d'un courant triphasé. Pour chaque phase, le capteur 180 comprend un capteur de courant monophasé similaire ou identique à celui décrit en regard de la figure 1. Ces capteurs portent les références 182 à 184. Par exemple, ces capteurs sont identiques à celui décrit en regard de la figure 1 et ne seront donc pas décrits plus en détail. Toutefois, de manière à mesurer le courant homopolaire, les bobines 26 et 28 de chaque capteur 182 à 184 sont non seulement raccordées en série entre elles mais également en série avec les autres bobines 26 et 28 des capteurs utilisés pour mesurer le courant monophasé dans les autres phases du courant triphasé. Ainsi, les bobines de détection sont raccordées en série entre des bornes 185A et 185B d'une unité de traitement 185. Par exemple, l'unité 185 comprend un capteur 186 de la tension entre les bornes 185A et 185B et une unité 192 de calcul apte à déduire l'intensité du courant homopolaire à partir de la tension mesurée par le capteur 186. Cette unité 192 est, de préférence, également apte à traiter la tension mesurée par chacun des capteurs 30 de chaque capteur 182 à 184 pour également déterminer l'intensité du courant dans chacune des phases. Ainsi, dans ce mode de réalisation, les unités de traitement 29 et 185 partagent la même unité de calcul 192. De plus, les noyaux magnétiques 20 de chacun de ces capteurs 182 à 184 sont magnétiquement raccordés les uns aux autres. De préférence, ces différents noyaux magnétiques ne forment qu'un seul noyau magnétique commun à l'ensemble des bobines de détection des capteurs 182 à 184. Ici, ce noyau magnétique commun est un noyau magnétique rectiligne s'étendant le long d'un axe 190 sensiblement perpendiculaire aux sections 6,8 de chaque conducteur 4 de chaque capteur 182 à 184. Plutôt que d'avoir un générateur du champ d'excitation par capteur 182 à 184, un seul générateur commun à l'ensemble des capteurs 182 à 184 est utilisé. Par exemple, ce générateur du champ magnétique d'excitation est réalisé à l'aide d'une bobine d'excitation 22 enroulée autour du noyau magnétique 20 et d'une source de tension non représentée raccordée à chacune des extrémités de cette bobine. Ce capteur 180 permet de mesurer précisément le courant homopolaire étant donné que toutes les bobines de détection sont raccordées en série et qu'un noyau magnétique commun à toutes ces bobines de détection est utilisé. La figure 21 illustre un capteur 200 de courant identique au capteur 2 à l'exception du fait que la section 8 du conducteur électrique 4 est omise. Bien que ce capteur 200 ne comporte qu'une seule section du conducteur électrique 4, les champs magnétiques perturbateurs sont rejetés comme dans le capteur 2. Dans ce mode de réalisation, le champ magnétique Hic qui traverse la bobine 26 n'a pas la même amplitude que le champ Hic qui traverse la bobine 28 lorsque le courant le n'est pas nul. Ce déséquilibre entre les champs vu par chacune des bobines dépend uniquement de la position des bobines 26 et 28 par rapport au conducteur 4. Ici, il est corrigé par l'unité de calcul 32 lors du calcul de l'intensité du courant I,. Cette correction peut éventuellement nécessiter la mise en oeuvre d'une étape de calibration du capteur à l'aide d'un courant I, dont l'intensité est connue. De nombreux autres modes de réalisation sont possibles. Par exemple, pour linéariser encore plus le capteur, il est possible d'utiliser une bobine de contre-réaction elle-même enroulée autour du noyau 20. L'utilisation d'une telle bobine de contre-réaction est par exemple décrite dans la demande de brevet FR 2 891 917. Le noyau 20 peut avoir la forme d'une ellipse, ce qui permet d'obtenir une uniformité accrue du champ magnétique à l'intérieur de ce barreau. Le conducteur 4 peut avoir d'autres formes que la forme en � U �. Par exemple, il peut présenter plus de deux sections. Un exemple d'un conducteur présentant quatre sections est décrit en regard de la figure 4 de la demande de brevet US 2003/0155905 pour que chaque bobine de détection soit sensible à un champ magnétique proportionnel à 2I,. II n'est pas non plus nécessaire que les première et seconde sections 6, 8 soient parallèles. Dans ce cas, le champ H,, vu par les bobines 26 et 28 n'a pas la même amplitude. Cette différence d'amplitudes peut facilement être corrigée comme décrit en regard de la figure 21. En variante, le noyau 20 n'est pas rectiligne. Par exemple, les axes des barreaux magnétiques autour desquels sont enroulées les bobines 26 et 28 sont parallèles mais non pas confondus, c'est-à-dire qu'ils sont décalés l'un par rapport à l'autre dans l'espace. Le noyau 20 peut également être remplacé par deux barreaux magnétiques, séparés par un entrefer, autour desquels sont enroulées, respectivement, les bobines 26 et 28. Cet entrefer est de préférence suffisamment petit pour que ces deux barreaux magnétiques soient suffisamment magnétiquement couplés pour présenter un fonctionnement quasiment identique à celui obtenu à l'aide d'un noyau magnétique commun ne formant qu'un seul bloc de matière. Le matériau conducteur utilisé pour réaliser les bobines peut être du cuivre ou tout autre matériau électriquement conducteur. En variante, les bobines peuvent être enroulées dans le même sens autour du noyau magnétique commun et électriquement raccordées en opposition comme illustré sur la figure 5. REVENDICATIONS1 Capteur de courant comportant : - un conducteur électrique (4) dans lequel circule le courant à mesurer lorsque ce conducteur est alimenté par ce courant, - un transducteur (20, 26, 28) apte à transformer le champ magnétique produit par le courant circulant dans le conducteur électrique en un signal électrique, et - une unité (29) de traitement de ce signal électrique pour en déduire l'intensité du courant, caractérisé en ce que le transducteur comprend : - un premier et un second barreaux magnétiques (20) placés à proximité du conducteur électrique (4), ces premier et second barreaux magnétiques s'étendant, respectivement, le long de premier et second axes parallèles (36) et non colinéaires au conducteur électrique, et - au moins une première et une seconde bobines (26, 28) de détection enroulées, respectivement, autour des premier et second barreaux magnétiques, ces première et seconde bobines étant électriquement raccordées en série entre des bornes (29A, 29B) de l'unité de traitement de manière à ce que, lorsque ces bobines sont placées dans le même champ magnétique, le signal électrique soit nul. 2. Capteur selon la revendication 1, dans lequel les premier et second barreaux magnétiques ne forment qu'un seul et même noyau magnétique (20) commun aux première et seconde bobines (26, 28) de détection. 3. Capteur selon la revendication 2, dans lequel le noyau magnétique commun (20) est rectiligne de sorte que les premier et second axes (36) sont confondus. 4. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le capteur comprend un générateur (22, 24) de champ magnétique d'excitation apte à saturer périodiquement les premier et second barreaux magnétiques et l'unité (29) de traitement est apte à déduire l'intensité du courant à partir de l'amplitude d'une harmonique du signal électrique. 5. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le conducteur électrique (4) présente au moins une première et une seconde sections (6, 8) traversées par le même courant à mesurer, respectivement, dans un sens et dans le sens opposé et les premier et second barreaux magnétiques (20) sont placés à proximité, respectivement, des première etseconde sections (6, 8), les premier et second axes de ces barreaux magnétiques (20) étant non colinéaires aux première et seconde sections du conducteur électrique. 6. Capteur selon la revendication 5, dans lequel les premier et second axes (36) des premier et second barreaux magnétiques sont perpendiculaires aux première et seconde sections (6, 8) du conducteur. 7. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel - les barreaux magnétiques sont formés d'une bande en matériau magnétique gravée ou déposée sur une couche intermédiaire (135) en matériau électriquement isolant, et - chaque bobine de détection comprend des pistes conductrices inférieures (26B, 28B) et supérieures (26A, 28A) gravées ou déposées, respectivement, sur des couches inférieure (76) et supérieure (145) en matériau électriquement isolant entre lesquelles est interposée la couche intermédiaire (135) sur laquelle est gravée ou déposée la bande en matériau magnétique. 8. Capteur selon la revendication 7, dans lequel le conducteur électriques est gravé ou déposé sur une couche (74) en matériau isolant solidaire des couches inférieure, supérieure et intermédiaire. 9. Capteur d'un courant homopolaire résultant de la somme des courants monophasés de chacune des phases d'un courant polyphasé, ce capteur comprenant : - pour chaque phase, un conducteur électrique (4) dans lequel circule le courant monophasé à mesurer lorsque ce conducteur est alimenté par le courant monophasé de cette phase, - un transducteur (20, 26, 29) apte à transformer le champ magnétique produit par le courant homopolaire en un signal électrique, et - une unité (185) de traitement de ce signal électrique pour en déduire l'intensité du courant homopolaire, caractérisé en ce que ce transducteur comprend pour chaque phase : - un premier et un second barreaux magnétiques placés à proximité du conducteur électrique de cette phase, ces premier et second barreaux magnétiques s'étendant, respectivement, le long de premier et second axes parallèles et non colinéaires au conducteur électrique de cette phase, - au moins une première et une seconde bobines (26, 28) de détection enroulées, respectivement, autour des premier et second barreaux magnétiques, ces première et seconde bobines (26, 28) étant électriquement raccordées en série entre elles et avec les première et seconde bobines des autresphases entre des bornes (185A, 185B) de l'unité de traitement de manière à ce que, lorsque toutes ces bobines de détection sont placées dans le même champ magnétique, le signal électrique soit nul. 10. Procédé de fabrication d'un capteur de courant conforme à l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le procédé comprend : - le dépôt (130) ou la gravure d'une piste conductrice dans une couche inférieure pour former une partie inférieure d'une spire d'une bobine de détection ou d'excitation, - le dépôt ou la gravure (140) d'une bande en matériau magnétique dans une couche intermédiaire superposée sur et électriquement isolée de la piste conductrice de la couche inférieure, pour former le noyau magnétique, - le dépôt (156) ou la gravure d'une piste conductrice dans une couche supérieure pour former une partie supérieure de la spire de la bobine de détection ou d'excitation, la couche supérieure étant superposée sur le noyau magnétique et électriquement isolée de ce noyau magnétique, et - la réalisation (148, 156) de traverses conductrices traversant la couche intermédiaire pour connecter électriquement les parties inférieure et supérieure de manière à ce que la spire soit enroulée autour du noyau magnétique. 11. Procédé selon la revendication 10, dans lequel le procédé comprend le dépôt ou la gravure d'une piste conductrice sur une couche fixée sans aucun degré de liberté aux couches inférieure, intermédiaire et supérieure pour former le conducteur électrique dans lequel circule le courant à mesurer.