Brevet FR2935054A1 — publié le 20100219

MIROIR DEFORMABLE A ACTIONNEURS DE FORCE ET RAIDEUR REPARTIE La présente invention concerne un miroir déformable à actionneurs de force et raideur répartie. DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne le domaine des miroirs déformables comportant une membrane réfléchissante et des actionneurs de force. Elle se rapporte plus particulièrement à un miroir déformable comprenant une membrane déformable avec une face extérieure réfléchissante et une face opposée, une plaque rigide de support et au moins un actionneur de force. Chaque actionneur comprend au moins deux éléments aptes à interagir entre eux à distance pour générer une force dans une direction sensiblement perpendiculaire à la surface de la membrane initialement non déformée et aptes à se déplacer l'un par rapport à l'autre suivant la direction de cette force générée de sorte à provoquer la déformation locale de la membrane. L'un des deux éléments est intégré à la plaque de support et l'autre est couplé à la membrane. L'un de ces deux éléments est apte à contrôler l'intensité de la force générée. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE On entendra par actionneur de force dans le présent brevet un actionneur pour lequel c'est la force créée par l'actionneur qui est contrôlable et non le déplacement d'un élément de cet actionneur. Dans le cas par exemple d'un actionneur constitué d'un électro-aimant et d'un aimant permanent, celui-ci sera qualifié d'actionneur de force dès lors que c'est le contrôle de la force magnétique créée qui commande l'amplitude du déplacement de l'aimant pour déformer la membrane : lorsque plus aucune force n'est appliquée, l'aimant revient à sa position initiale et la membrane n'est plus déformée. II sera par contre qualifié d'actionneur de déplacement dès lors que c'est la position d'un élément (par exemple un actionneur basé sur la variation de longueur d'un élément piézo-électrique) apte à se déplacer qui est directement commandée : lorsque l'on arrête d'appliquer la force, l'actionneur reste dans la même position. Ces deux types d'actionneurs ne sont pas équivalents, du fait notamment que la relation entre le déplacement et la force créée n'est pas nécessairement linéaire, bien que les actionneurs soient généralement dimensionnés pour que cette relation soit la plus linéaire possible. Par ailleurs, on entendra dans le présent brevet par liaison souple une liaison dont l'élongation est supérieure ou égale à 20 nanomètres sous l'action d'une force compatible avec celle que peut produire l'actionneur. Ce déplacement correspond à ce qui est observable dans l'état de la technique des capteurs de front d'onde. On entendra également par liaison rigide une liaison dont l'élongation est inférieure à 20 nanomètres dans les conditions décrites ci-dessus. Ces seuils ne sont donnés qu'à titre indicatif, puisque la souplesse dépend de nombreux paramètres parmi lesquels le diamètre du miroir, le matériau réalisant la liaison, la quantité de ce matériau et la façon dont celui-ci est disposé dans le miroir. Ainsi le fait de qualifier une liaison de souple ou rigide dépend de paramètres relatifs au cas considéré. Le principe général de tels miroirs déformables est connu de l'état de la technique. Les miroirs déformables dont la membrane réfléchissante est seulement suspendue sur les bords ont généralement une raideur faible. En effet, la raideur doit être compatible avec la force que l'actionneur de force est capable de générer afin d'engendrer une déformation suffisante. Leur membrane étant suspendue sur les bords, ces miroirs présentent une fréquence de résonance qui baisse lorsque le diamètre de la membrane augmente, ce qui rend impossible la réalisation de miroirs déformables disposant à la fois d'une réponse fréquentielle et d'un diamètre élevés. Le problème technique général que posent ces miroirs consiste donc à augmenter ou répartir leur raideur de sorte à augmenter leur réponse fréquentielle. L'augmentation de la raideur de la membrane reste toutefois limitée par la capacité de déformation des actionneurs de force. Un exemple de miroir déformable à raideur non répartie est décrit dans le document de brevet FR 2 876 460. Dans ce document, un miroir déformable comprend une membrane déformable présentant une face extérieure réfléchissante et une face intérieure sur laquelle est fixée une pluralité d'aimants permanents. Un boîtier comportant des électro-aimants est placé en regard des aimants permanents pour exercer sur ces derniers une force électromagnétique provoquant un déplacement local de la zone correspondante de la membrane déformable. L'association d'un aimant permanent et d'un électro-aimant correspond à un actionneur de force de type électromagnétique. Afin d'éviter les phénomènes d'empreinte sur la membrane, la face intérieure est recouverte d'une couche uniforme faite d'un matériau souple. L'inconvénient d'un tel miroir réside, d'une part, dans le fait que la couche de matériau souple, si elle réduit les phénomènes d'empreinte, ne permet pas de répartir la raideur de la membrane. Ainsi une déformation locale de la membrane n'est pas retranscrite de manière suffisamment localisée. Un autre inconvénient vient du fait que cette couche de matériau souple est placée très près des électro-aimants. Cette couche et la surface extérieure réfléchissante de la membrane seront donc inévitablement déformées par dilatation thermique du fait de l'émission de chaleur provoquée par les électro-aimants. Une première solution pour répartir la raideur est proposée dans le document de brevet WO 2005/050283. Dans ce document, un miroir déformable comprend une membrane déformable, une maille d'actionneurs située en face de la face opposée de la membrane et une maille de connexions actionnantes. Chaque connexion actionnante est couplée à une surface actionnante respectivement d'un des actionneurs de la maille et respectivement d'un point de la seconde surface opposée à la surface actionnante. Chaque connexion actionnante présente une rigidité anisotropique et transmet un mouvement perpendiculaire à la seconde surface. Les actionneurs sont constitués d'aimants permanents et d'électro-aimants. La membrane déformable est liée par des tiges rigides à une membrane magnétisable. Lorsque l'électro-aimant fonctionne, l'aimant permanent û sans se déplacer û exerce localement une force magnétique sur la membrane magnétisable, ce qui provoque la déformation locale de cette dernière. Cette déformation locale est retransmise à la membrane réfléchissante par l'intermédiaire des tiges rigides. Des éléments mécaniques permettent de fermer le champ magnétique créé par chaque actionneur. L'inconvénient d'un tel miroir réside dans sa complexité de réalisation, du fait des nombreuses pièces mécaniques à assembler, ce qui implique de fortes tolérances mécaniques. Par ailleurs, l'aimant permanent ne provoque pas mécaniquement (par son déplacement propre) mais magnétiquement (sans se déplacer) la déformation locale d'une membrane intermédiaire magnétisable. Cela suppose de disposer d'une membrane magnétisable, ce qui peut être contraignant lorsqu'il s'agit de trouver le matériau magnétisable adéquat. Enfin, les électro-aimants sont disposés très près du reste de la structure, ce qui, d'une part, peut provoquer des dilatations thermiques du fait de l'émission de chaleur par les électro-aimants et, d'autre part, rend impossible une intervention de réparation sur un électro-aimant sans abîmer les membranes. Une deuxième solution pour répartir la raideur est décrite dans le document de brevet FR 07/07719. Dans ce document, un miroir déformable comprend une membrane déformable avec une face réfléchissante et une face opposée, une plaque rigide et une structure d'actionneurs fixés à la plaque rigide et aptes à déformer localement la membrane. Le miroir comprend également une couche adhésive contre la face opposée de la membrane, ainsi qu'une structure de moyens de couplage souple. Chaque moyen de couplage souple comprend un moyen de connexion mécanique, un moyen de liaison supérieure couplant l'extrémité supérieure du moyen de connexion mécanique à la couche adhésive, et un moyen de liaison inférieure couplant l'extrémité inférieure du moyen de connexion mécanique à la plaque rigide. Le moyen de couplage mécanique peut être par exemple une tige. Cette configuration fondée sur une structure souple offre une répartition de la raideur de la membrane sur l'ensemble de sa surface, tout en permettant un assemblage simple de tous les éléments constitutifs du miroir et en réduisant les exigences de tolérance mécanique au niveau des actionneurs. Néanmoins, dans le cas d'actionneurs de force de type électromagnétique, cette solution présente l'inconvénient de rendre difficile la réduction du pas entre les actionneurs de force, du fait de la grande taille des tiges ainsi que des usinages supplémentaires qui sont nécessaires. De plus, le boîtier dans lequel sont enfermés tous ces éléments est impossible à ouvrir en vue de procéder à une réparation û par exemple un remplacement d'une bobine û sans abîmer la membrane. Enfin, les électro-aimants sont disposés très près des couches de colle souple et des moyens de liaison constitués par des colles. Ceux-ci sont donc amenés à se dilater de manière non maîtrisable sous l'effet du réchauffement thermique provoqué par le fonctionnement des électro-aimants. Ainsi, aucune solution de l'état de la technique ne permet de disposer d'un miroir déformable à actionneurs de force, dont la raideur soit suffisamment répartie lors d'une déformation locale, sur lequel une intervention de réparation soit rendue suffisamment simple et peu coûteuse et pour lequel la distance entre les actionneurs puisse être réduite de manière significative. OBJET DE L'INVENTION Le but de la présente invention est de remédier à ce problème technique, en utilisant, en plus de la membrane déformable réfléchissante et de la plaque de30 support, une structure à double étage dont le deuxième étage comprend des moyens de référence. Chaque actionneur de force comporte un élément de commande (par exemple un électro-aimant) et un élément d'interaction (par exemple un aimant permanent) avec l'élément de commande. Un premier étage est composé d'une combinaison d'éléments de commande ou d'interaction, de moyens de liaison souple et rigide dont une partie est reliée à la membrane déformable. Un deuxième étage d'éléments de commande ou d'interaction permet le contrôle du déplacement relatif de ces deux éléments et d'entraîner ainsi la déformation locale de la membrane. L'approche de la solution a consisté à chercher un moyen de contrôler les déformations locales de la membrane (le mouvement des éléments de commande ou d'interaction est intégralement transformé en déformation locale à la membrane) et de les réaliser avec une raideur suffisamment répartie. II est alors apparu qu'une structure à double étage, combinant les actionneurs de force avec des moyens de liaison rigide et souple, pourrait permettre la création de mini membranes secondaires au niveau des éléments de déformation. Ces mini membranes seraient reliées à la membrane réfléchissante par des moyens de liaison rigide pour transmettre intégralement une déformation à la membrane réfléchissante tout en répartissant la raideur du miroir. Dans ce but, l'invention a pour objet un miroir déformable comprenant une membrane déformable avec une face extérieure réfléchissante et une face opposée, une plaque rigide de support et au moins un actionneur de force. Chaque actionneur comprend au moins deux éléments aptes à interagir entre eux à distance pour générer une force dans une direction sensiblement perpendiculaire à la surface de la membrane initialement non déformée et aptes à se déplacer l'un par rapport à l'autre suivant la direction de cette force générée de sorte à provoquer la déformation locale de la membrane. L'un des deux éléments est intégré à la plaque de support et l'autre est couplé à la membrane. L'un de ces deux éléments est apte à contrôler l'intensité de la force générée. Selon l'invention, le miroir comprend également des moyens de référence couplée à la membrane par au moins un moyen de liaison rigide et au moins un moyen de liaison souple. Chaque moyen de liaison rigide est lié à la membrane et chaque moyen de liaison souple est au moins en partie lié aux moyens de référence. On dira dans le présent brevet que deux éléments sont couplés lorsque ceux-ci sont reliés l'un à l'autre non nécessairement de manière directe mais éventuellement par l'intermédiaire d'autres éléments. On dira que deux éléments sont liés lorsque cette liaison est directe et sans aucun élément intermédiaire. L'actionneur de force comporte un premier élément de commande apte à contrôler l'intensité de la force générée et un deuxième élément d'interaction apte à interagir à distance avec l'élément de commande pour générer cette force. La force résulte de l'interaction de ces deux éléments et n'existe pas sans leur présence mutuelle. L'un de ces deux éléments et solidement fixé à une plaque rigide tandis que l'autre est fixé à une surface souple, de sorte que la force générée n'entraîne le déplacement que de l'élément fixé à une surface souple. Ce dernier élément peut être l'élément de commande ou l'élément d'interaction selon différents mode de réalisation de l'invention. Cette disposition permet de constituer pour chaque élément de déformation une mini membrane secondaire constituée par la limitation des moyens de liaison souple. Chaque mini membrane peut alors se déformer de manière quasi indépendante des autres, sous l'effet du déplacement d'un élément de l'actionneur de force associé. Cette déformation est intégralement transmise à la membrane réfléchissante par l'intermédiaire des moyens de liaison rigide. Enfin, une telle disposition permet d'éloigner les différents éléments d'un actionneur de force au plus loin de la membrane. Cela permet d'éviter que des poussières attirées par les éléments de commande ou d'interaction û notamment dans le cas d'électro-aimants et d'aimants permanents û viennent se coller sur la membrane réfléchissante, ce qui entraînerait dans le cas contraire une diminution de la qualité optique du miroir. Avantageusement, l'élément de l'actionneur de force apte à contrôler l'intensité de la force générée est intégré à la plaque de support. Dans ce cas, les éléments de commande sont éloignés du reste du miroir, ce qui permet d'éviter que leur fonctionnement ne provoque la dilatation thermique de certains autres éléments constitutifs du miroir. Avantageusement, au moins un moyen de liaison rigide est fixé par une extrémité à la face opposée de membrane et par une autre extrémité aux moyens de référence. Ce type de liaison permet de disposer de moyens de liaison rigide en dehors de la zone utile û définie par les actionneurs û pour diminuer les dimensions de la zone utile au strict minimum, qui devient inférieure à la partie de la membrane réfléchissante suspendue. Avantageusement, au moins un moyen de liaison rigide est fixé par une extrémité à la face opposée de la membrane et par une autre extrémité à un moyen de liaison souple. La raideur est ainsi mieux répartie en associant des moyens de liaison rigide et souple là où il n'y a pas forcément d'actionneurs. Selon un mode particulier de réalisation, les moyens de référence comprennent la plaque de support. Dans ce cas, la plaque de support comporte avantageusement un ensemble d'ouvertures, au moins un actionneur de force étant couplé à au moins l'une des ouvertures. Selon un autre mode particulier de réalisation, les moyens de référence comprennent une plaque de support intermédiaire disposée entre la membrane et la plaque de support. Le miroir comportant ainsi deux plaques de support, il est possible d'effectuer des opérations de maintenance sur un élément du miroir sans risquer d'endommager un autre élément, notamment une membrane fragile. En particulier, il sera possible de remplacer par exemple un seul actionneur sans endommager la membrane, ce qui nécessite malgré tout un minimum de précautions. De manière préférentielle, la plaque de support intermédiaire comporte un ensemble d'ouvertures, au moins un actionneur de force étant couplé à au moins l'une de ces ouvertures. L'interaction ù par exemple électromagnétique ù est ainsi favorisée entre les deux éléments de l'actionneur de force, puisque les deux éléments de l'actionneur ne sont ainsi pas séparés par la plaque. Dans le cas où la plaque de support intermédiaire présente au moins une ouverture, un moyen de liaison rigide est avantageusement disposé au niveau d'une ouverture et fixé par une extrémité à la face opposée de la membrane et par une autre extrémité à l'élément d'au moins un actionneur de force couplé à l'ouverture. L'élément de déformation est ainsi délocalisé par rapport à la membrane, les moyens de liaison rigide assurant la transformation intégrale du déplacement de l'élément de déformation en déformation locale de la membrane. Dans ce dernier cas, selon un mode particulier de réalisation, au moins un moyen de liaison souple est disposé au niveau d'une ouverture et fixé à l'élément d'au moins un actionneur de force couplé à l'ouverture. Selon un autre mode de réalisation, au moins un moyen de liaison souple est disposé au niveau d'une ouverture et fixé à au moins un moyen de liaison rigide. Cela permet de mieux répartir la raideur en dehors des zones où il n'y a pas d'actionneurs, y compris entre les actionneurs. Selon un autre mode de réalisation, l'élément d'au moins un actionneur de force couplé à une ouverture est fixé à la face opposée de la membrane. On dispose ainsi de plusieurs actionneurs pour lesquels aucun moyen de liaison rigide n'est utilisé. Avantageusement, au moins un moyen de liaison souple est disposé au niveau d'une ouverture et présente des dimensions supérieures à celles de l'ouverture. Cela permet de disposer d'une surface de contact suffisamment grande entre la plaque d'agencement et les moyens de liaison souple. Avantageusement, au moins un élément d'au moins un actionneur de force couplé à une ouverture présente des dimensions inférieures à celles de l'ouverture. Cela permet d'améliorer l'interaction entre les deux éléments d'un actionneur de force et éventuellement de disposer l'élément à l'intérieur de l'ouverture. Selon un mode particulier de réalisation, l'élément d'au moins un actionneur de force couplé à une ouverture et présentant des dimensions inférieures à celles de l'ouverture est disposé à l'intérieur de ladite ouverture. Afin de s'assurer que l'interaction entre les éléments de commande et d'interaction est optimale, au moins un élément d'au moins un actionneur de force couplé à une ouverture et présentant des dimensions inférieures à celles de l'ouverture est disposé à l'intérieur de l'ouverture. Avantageusement, les actionneurs de force sont disposés suivant une matrice uniformément répartie. Une disposition optimale des actionneurs peut ainsi être obtenue pour éviter des discontinuités dans l'influence de chaque actionneur sur la déformation. Selon un mode particulier de mise en oeuvre, l'élément de l'actionneur de force apte à contrôler l'intensité de la force générée est un électro-aimant. Selon un mode particulier de mise en oeuvre, l'élément de l'actionneur de force apte à interagir à distance avec l'élément apte à contrôler l'intensité de la force générée est un aimant permanent. Selon un mode particulier de réalisation des moyens de liaison souple, les moyens de liaison souple comprennent au moins un film souple revêtu d'un matériau adhésif. Ce film souple réalise la fonction de liaison souple. Le matériau adhésif peut n'être disposé sur ce film qu'au niveau des zones où une fixation avec un autre élément doit être opéré. Avantageusement, les moyens de liaison souple disposés d'un même côté des moyens de référence sont constitués d'un film souple couvrant l'ensemble de ces moyens de liaison souple. Cela évite d'avoir à faire plusieurs petits films, mais permet de mettre en commun une partie des moyens de liaison souple. Avantageusement, les moyens de liaison rigide sont constitués de tiges rigides. Cela permet d'avoir un moyen de liaison simple, rigide et présentant deux extrémités pour associer la membrane à la plaque de support intermédiaire. Avantageusement, les moyens de liaison rigide sont fixés à la face opposée de la membrane par des plots de colle souple dans une direction perpendiculaire à la force générée et rigide suivant la direction de ladite force générée. Ce plot de colle permet de conférer plusieurs degrés de liberté à l'interaction entre le moyen de liaison rigide et la membrane. Celle-ci ne se déforme pas dans la direction de la force mais seulement dans une direction perpendiculaire. Le mouvement de l'actionneur est ainsi intégralement transmis. Avantageusement, tous les moyens de liaison rigide sont fixés à la face opposée de la membrane par un couche de colle souple dans une direction perpendiculaire à la force générée et rigide suivant la direction de ladite force générée, recouvrant la face opposée de la membrane, ce qui simplifie le collage des moyens de liaison rigide à la membrane. Avantageusement, les moyens de liaison rigide sont fixés du côté opposé à la face opposé de la membrane par un plot de colle rigide. On assure ainsi la transmission intégrale du déplacement de l'élément de déformation pour déformer localement la membrane. Aux fins de faciliter une intervention, de manière avantageuse, la plaque de support et la plaque de support intermédiaire sont mécaniquement désolidarisées. Une intervention est donc simplifiée sur les éléments de commande, ou même sur un autre élément constitutif du miroir à condition de prendre certaines précautions. Afin d'économiser de la place tout en fixant d'autant mieux les éléments de commande à la plaque de support, les éléments des actionneurs de force intégrés à la plaque de support sont encastrés dans ladite plaque de support. On s'assure ainsi que seuls les éléments de déformation seront aptes à se déplacer. Afin d'éviter d'avoir déformations non uniformes selon les zones considérées sur le miroir, la plaque de support est plane, de même que la plaque de support intermédiaire est plane. Selon un mode particulier de réalisation, la commande des éléments des actionneurs de force aptes à contrôler l'intensité de la force générée est asservie électriquement. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description détaillée d'un exemple non limitatif de réalisation, accompagnée de figures représentant respectivement : - la figure 1, un schéma d'un miroir déformable à actionneurs de force et raideur répartie selon un premier mode de réalisation de l'invention, - la figure 2, une vue de dessus d'une plaque d'agencement selon l'invention, et - les figures 3 à 11, des schémas d'un miroir déformable à actionneurs de force et raideur répartie selon respectivement un deuxième, un troisième, un quatrième, un cinquième, un sixième, septième, huitième et neuvième et un dixième mode de réalisation de l'invention. EXPOSE DETAILLE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS La figure 1 représente un schéma d'un miroir déformable à actionneurs de force et raideur répartie selon un premier mode de réalisation de l'invention. Ce miroir déformable 1 est composé : 15 - d'une membrane déformable 2, - d'actionneurs de force comprenant chacun un élément de commande 5 et un élément de déformation 6, - d'une plaque de support 7, - d'une plaque de support intermédiaire 8, 20 - de moyens de liaison rigide 10, et - de moyens de liaison souple 11. La membrane déformable 2 est un substrat optique comportant une face réfléchissante 3 et une face opposée 4. Elle est réalisée dans un matériau de 25 type silicium et présente une épaisseur typiquement de l'ordre de 5 à 30 micromètres. Dans un autre mode de réalisation, elle est réalisée en Kapton. Un traitement de surface réfléchissant est déposé sur la face extérieure 3 pour réaliser la fonction réfléchissante. Ce traitement est adapté à l'application souhaitée. 30 Les éléments de commande 5 et de déformation 6 forment les actionneurs de force permettant la commande de la déformation locale de la membrane du10 miroir. Dans le présent mode de réalisation, les actionneurs de force sont de type électromagnétique. Les éléments de commande 5 sont ainsi des électro-aimants û par exemple des bobines en cuivre û et les éléments de déformation 6 sont des aimants permanents û par exemple en samarium/neodyme. Chaque actionneur de force magnétique comprend ainsi un couple composé d'un électro-aimant 5 et d'un aimant permanent 6. Ce couple est apte à générer une force dont la direction est sensiblement perpendiculaire à la surface de la membrane initialement non déformée. L'aimant est apte à se déplacer suivant la direction de cette force magnétique. Pour cela, chaque électro-aimant 5 est disposé en regard de l'aimant permanent 6 auquel il est associé, suivant l'axe perpendiculaire à la surface de la membrane 2 initialement non déformée. De plus, chaque électro-aimant 5 est solidement fixé à la plaque de support 7 tandis que chaque aimant permanent 6 est seulement fixé à un moyen de liaison souple. Seul l'aimant permanent 6 est ainsi susceptible de se déplacer sous l'effet de la force magnétique résultant de l'interaction entre l'électro-aimant et l'aimant permanent. Selon un autre mode de réalisation, c'est l'aimant permanent 6 qui est solidement fixé à la plaque de support 7 et l'électro-aimant 5 qui est fixé à un moyen de liaison souple. Seul l'électro-aimant 5 est alors susceptible de se déplacer sous l'effet de la force magnétique. L'électro-aimant 5 est commandé en modulant le courant circulant à l'intérieur de celui-ci. Une force de Laplace est alors créée par interaction avec l'aimant permanent 6. Cette force repousse ou attire l'aimant permanent 6, ce qui entraîne son déplacement et provoque ensuite la déformation locale de la membrane 2. II est entendu que l'homme du métier saura adapter le présent mode de réalisation à des actionneurs de force de type non magnétique sans pour autant sortir du cadre du brevet. La plaque de support 7 une plaque mécanique rigide et plane. Elle peut être par exemple réalisée en aluminium ou bien encore dans un alliage aluminium/laiton. Les électro-aimants 5 sont encastrés dans des trous percés dans la plaque de support 7. Les électro-aimants sont ainsi d'autant plus éloignés du reste des éléments constitutifs du miroir, ce qui leur permet d'encore moins subir le phénomène de dilatation thermique provoqué par le fonctionnement des électro-aimants. Dans un autre mode de réalisation, les électro-aimants 5 ne sont pas encastrés mais simplement déposés sur la plaque de support 7. La plaque de support intermédiaire 8 est une plaque mécanique rigide et plane. Elle peut être par exemple réalisée en aluminium. Elle constitue les moyens de référence pour les aimants permanents, de sorte que ceux-ci bénéficient d'une référence fixe vis-à-vis des électro-aimants auxquels ils sont associés. Cette plaque de support intermédiaire 8 présente un ensemble d'ouvertures 9 afin d'y agencer les aimants permanents 6. Chaque aimant permanent est disposé à l'intérieur d'une ouverture. Chaque ouverture est disposée en regard de l'électro-aimant 5 auquel l'aimant permanent 6 disposé à l'intérieur est associé, suivant l'axe perpendiculaire à la surface de la membrane 2 initialement non déformée. Les ouvertures 9 présentent des dimensions supérieures à celles des aimants permanents 6 afin de pouvoir insérer ces derniers à l'intérieur des ouvertures. Elles présentent également une forme identique à celle des aimants permanents, qui sont avantageusement de forme circulaire. En référence à la figure 2, représentant une vue de dessus d'un exemple de plaque d'agencement selon l'invention, les ouvertures 9 sont disposées dans30 la plaque 8 suivant une forme géométrique assurant un confinement des actionneurs de force, ce qui permet de réduire la distance inter-actionneurs au sein du miroir. Les actionneurs de force et les ouvertures sont avantageusement disposés en projection sur l'ensemble de la surface couvrant la membrane 2, selon une matrice uniformément répartie, comme représenté sur la figure 2. L'influence de chacun des actionneurs sur la déformation de chacune des zones correspondantes de la membrane est ainsi identique. La distance inter- actionneurs est typiquement de l'ordre de 2,5 millimètres. D'autres configurations des actionneurs et ouvertures sont également possibles, en particulier suivant une forme hexagonale ou cartésienne. Chaque moyen de liaison rigide 10 est associé à un actionneur de force afin que le déplacement de l'aimant permanent soit intégralement transmis à la membrane 2 sous forme de déformation locale. Chaque moyen de liaison rigide 10 est pour cela constitué d'une tige rigide réalisée par exemple en silice. Cette tige rigide est relié à ses extrémités, d'un côté, à la face opposée 4 de la membrane 2 et, de l'autre côté, à l'aimant permanent 6 associé. Elle présente typiquement un diamètre compris entre 50 et 300 micromètres et une longueur comprise entre 50 et 5000 micromètres. L'homme du métier remarquera que la taille des tiges rigides 10 étant beaucoup plus faible que le diamètre des aimants permanents 6, le phénomène d'empreinte sur la face réfléchissante 3 est rendu d'autant plus faible. Afin que la transformation du déplacement de l'aimant en déformation locale de la membrane soit intégral, chaque moyen de liaison rigide 10 est fixé à la face opposée 4 de la membrane 2 au moyen d'un plot de colle souple 13 assurant un nombre de degrés de liberté suffisant pour que la membrane puisse être déformée localement. De même, chaque moyen de liaison rigide 10 est fixé au centre de l'aimant permanent 6 associé par un plot de colle rigide 12. Ainsi chaque aimant permanent 6 est lié à la membrane 2 de manière rigide, ce qui permet de maintenir fixe la distance entre le centre de l'aimant 6 et la zone de la face opposée 4 de la membrane 2 sur laquelle est collée la tige 10, assurant donc la transformation intégrale du déplacement de l'aimant en déformation locale de la membrane. La colle utilisée pour les plots de colle rigide 12 est choisie parmi les colles présentant une faible dilatation thermique de façon à se protéger de la dissipation thermique provoquée par les électro-aimants 5. Leur faible dilatation thermique les empêche de se déformer sous l'effet Joule des électro-aimants et évite donc une déformation incontrôlable de la membrane 2. Une colle adéquate pour les plots de colle rigide 12 peut être choisie dans la famille des colles � epoxy �, connues pour leur faible dilatation thermique. La colle utilisée pour les plots de colle souple 13 est en silicone car légèrement plus souple, ce qui permet à la membrane de se déformer en tournant un peu, tout en étant tout de même suffisamment rigide dans la direction perpendiculaire à celle de la force générée par l'actionneur pour que le déplacement de l'aimant permanent 6 soit intégralement transmis à la membrane 2. La colle souple utilisée est avantageusement uniforme pour répartir au mieux la raideur, comme évoqué dans le septième mode de réalisation décrit plus loin en référence à la figure 8. Les aimants permanents 6 sont disposés uniquement dans les ouvertures 9 de la plaque 8, ces ouvertures présentant des dimensions supérieures à celles des aimants. Les moyens de liaison souple 11 relient ainsi la plaque d'agencement 8 et les aimants permanents 6. Ils sont constitués d'un matériau insensible au champ magnétique afin d'éviter qu'elle soit déformée sous l'effet des électro-aimants 5. Dans le présent mode de réalisation, ces moyens 11 sont constitués d'un film plastique souple 14 recouvrant entièrement la plaque d'agencement 8. Le matériau pour réaliser ce film est choisi dans la famille des silicones ou des polymères, qui présentent une forte élasticité. De la colle est disposé sur les bords et le centre de ce film, afin d'y coller l'aimant permanent et les bords de l'ouverture associée à l'aimant. Selon un mode particulier de réalisation, le film 14 est un film réfléchissant de chaleur, ce qui permet de renvoyer la chaleur émise par les électro-aimants vers ces derniers et de disposer ainsi d'un miroir thermique. La face supérieure du film 14 est collée contre la face inférieure de la plaque de support intermédiaire 8. Au niveau des ouvertures 9, la face supérieure du film 14 est collée contre la face inférieure des aimants permanents 6. La rigidité supplémentaire fournie par ce film peut être paramétrée par son épaisseur et le diamètre de l'ouverture 9, à autres paramètres constants. En effet, la course diminue lorsque la quantité de matière augmente, puisque la rigidité augmente. Par ailleurs, lorsque le diamètre de l'ouverture augmente, la rigidité de la membrane diminue. Les moyens de liaison souple 11 ainsi constitués peuvent jouer le rôle de membrane secondaire par rapport à la membrane réfléchissante 2. Sous l'effet du déplacement des aimants permanents, le film 14 va se déformer localement comme une membrane souple, et cette déformation va être transmise à la membrane réfléchissante 2 par l'intermédiaire des tiges rigides 10. Plus précisément, dans la mesure où le film 14 est collé contre la plaque de support intermédiaire 8 aux endroits où elle ne l'est pas contre un aimant permanent 6, ce filml4 est déformé au niveau d'un aimant permanent indépendamment du reste du film disposé au niveau des autres aimants permanents. Ainsi le film 14 joue au niveau d'une ouverture 9 le rôle d'une mini membrane secondaire délimitée par cette ouverture. Chaque mini membrane peut ainsi se déformer de manière indépendante des autres mini membranes, sous l'effet du déplacement de l'aimant associé. Tous les éléments constitutifs d'une unité d'actionnement du miroir û actionneur de force, moyens de liaison rigide et de liaison souple û présentent également l'avantage d'être facilement reproductibles, ce qui permet de faciliter une production en série par rapport à des miroirs déformables de l'art antérieur, plus complexes ou utilisant des pièces mécaniques plus difficiles à manipuler. Lors de la réalisation industrielle du miroir déformable 1, la plaque de support 7 des électro-aimants 5 est montée dans un premier assemblage mécanique. Le reste du miroir ù la membrane 2, la plaque de support intermédiaire 8 des aimants permanents 6, les moyens de liaison rigide 10 et de liaison souple 11 ù sont montés dans un deuxième assemblage mécanique. Ces deux assemblages sont réalisés de manière indépendante l'un de l'autre puis solidarisés aux moyens de vis. La plaque de support 7 des électro-aimants 5 est ainsi facilement détachable du reste du miroir, de sorte à pratiquer une intervention sur celle-ci ù notamment sur un des électro-aimants û sans toutefois abîmer un des autres éléments constitutifs du miroir. Dans un autre mode de réalisation, les deux assemblages pourront être entièrement et mécaniquement désolidarisés. Les figures 3 à 11 représentent des schémas de différentes variantes mise en oeuvre de l'invention décrits ci-après. Selon le deuxième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 3, le film souple 14 n'est pas collé à la face inférieure des aimants permanents 6 mais à leur face supérieure. Les tiges rigides 10, ainsi que les plots de colle 12, transpercent le film 14. Les aimants permanents 6 ne sont ainsi plus disposés à l'intérieur des ouvertures mais à l'extérieur de ceux-ci. Selon le troisième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 4, les moyens de liaison souple 11 sont constitués d'un ensemble de films souples 15,15',15" dont les dimensions sont supérieures à celles des ouvertures 9 de la plaque de support intermédiaire 8. Chaque plot de colle souple est associé à une ouverture de la plaque de support intermédiaire au niveau de laquelle est disposé un aimant permanent. Chaque plot de colle souple 15,15',15" est relié, d'une part, à la plaque 8 et, d'autre part, à l'aimant permanent 6,6',6" auquel il est associé. Le matériau pour réaliser ces mini films 15,15',15" peut être identique à celui utilisé pour réaliser le film souple 14 du premier mode de réalisation précédemment décrit, par exemple un silicone ou un polymère. Ces films souples 15,15',15" jouent le rôle de membranes secondaires vis-à-vis de la membrane réfléchissante 2. Dans la mesure où ils sont physiquement indépendants, chaque film est déformé au niveau de l'aimant permanent auquel il est associé indépendamment des autres films. Chaque film 15,15',15" joue ainsi d'autant plus le rôle d'une mini membrane secondaire délimitée par l'ouverture 9,9',9" associée et est susceptible de se déformer de manière indépendante des autres, sous l'effet de l'aimant permanent associé. Selon le quatrième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 5, les moyens de liaison souple 11 sont constitués d'un ensemble de films souples 15,15',15". Chaque film est collé à la face supérieure des aimants permanents 6. Les tiges rigides 10, ainsi que les plots de colle 12, transpercent le film 14. Selon un autre mode de réalisation, les tiges rigides ne transpercent pas le film. Selon le cinquième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 6, un aimant permanent 6 directement collé contre la membrane réfléchissante 2 via un plot de colle souple 13'. Une tige rigide 10 est fixée à un film souple 15 lui-même collé par sa face inférieure à la plaque d'agencement 8 au niveau d'une ouverture. Une autre tige rigide 10' est fixée à un film souple 15' lui-même collé par sa face inférieure à la plaque d'agencement 8 sur une zone dépourvue d'ouverture. Selon le sixième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 7, un aimant permanent 6 est disposé entre un moyen de liaison rigide 10' et un film souple 15' de manière identique au premier mode de réalisation de l'invention précédemment décrit. Une tige rigide 10 est fixée à un film souple 15 lui-même collé par sa face supérieure à la plaque d'agencement 8 au niveau d'une ouverture. Une autre tige rigide 10" est fixée à un film souple 15" lui-même collé par sa face supérieure à la plaque d'agencement 8 au niveau d'une ouverture. Selon le septième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 8, les plots de colle souple 13 ont été remplacé par une couche de colle souple 16 recouvrant la face opposée 4 de la membrane 2 sur toute sa longueur. Cette disposition rend plus simple le collage des éléments contre la membrane et réduit les phénomènes d'empreinte. Selon le huitième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 9, le film souple 15 n'est pas directement collé à la face supérieure de l'aimant permanent associé 6. La tige rigide 10 transperce le film 14. Afin d'assurer la stabilité de la tige rigide 10 et donc de l'aimant permanent 6, un plot de colle rigide 16 supplémentaire est disposé contre la face supérieure du film souple 15 et contre la paroi de la tige rigide 10 au-dessus du film souple 15. Selon le neuvième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 10, les aimant permanents 6 et les électro-aimants 5 sont inversés. Ce sont donc toujours les électro-aimants qui commande l'intensité de la force générée, mais ce sont aussi eux qui sont aptes à se déplacer sous l'effet de cette force magnétique puisqu'ils ne sont liés qu'à un moyen de liaison souple. Les aimants permanents sont eux fixés à la plaque de support 7. Ce mode de réalisation n'est cependant pas privilégié, dans la mesure où celui avec les électro-aimants fixés à la plaque de support permet d'éloigner ceux-ci du reste 21 de la structure et d'éviter des phénomènes de dilatation thermique du fait du fonctionnement des électro-aimants. Selon le dixième mode de réalisation de l'invention représenté en figure 11, les moyens de référence sont constitués d'une plaque de support 7. Celles-ci comportent des ouvertures 9 afin d'éloigner les électro-aimants du reste du miroir de sorte à limiter les conséquences du phénomène de dilatation thermique. Selon un autre mode de réalisation possible, les moyens de référence comportent à la fois une plaque de support 7 conforme au dixième mode de réalisation décrit ci-dessus et une plaque de support intermédiaire 8, ce qui signifie que les moyens de liaison souple 11 sont disposés à la fois contre la plaque de support 7 et contre la plaque de support intermédiaire 8. La structure d'un miroir déformable selon les modes de réalisation précédemment décrits de la présente invention permet d'augmenter la bande passante du miroir et de construire ainsi des miroirs déformables ayant un très grand nombre d'actionneurs. Cette structure rend de plus aisé le choix du matériau optimal de la membrane secondaire û ou des moyens de liaison souple. En effet, le diamètre de cette membrane peut être adapté pour fixer la rigidité supplémentaire. Puisque la rigidité varie en fonction du diamètre de la membrane, l'augmentation de la rigidité du miroir déformable est ainsi rendue d'autant plus simple. Les modes de réalisation précédemment décrits de la présente invention sont donnés à titre d'exemples et ne sont nullement limitatifs. Il est entendu que l'homme du métier est à même de réaliser différentes variantes de l'invention sans pour autant sortir du cadre du brevet. En particulier, ces modes de réalisation peuvent s'appliquer à des actionneurs de force non nécessairement magnétiques, par exemple30 mécaniques. Ils peuvent également s'appliquer à toute de combinaison des différents modes de réalisation en fonction des avantages souhaités. Enfin, l'invention peut aussi être mise en oeuvre pour donner une forme initiale à un miroir, par exemple avec des tiges rigides de longueur variable. Cette forme initiale donnée au miroir peut être modifiée par la suite ou fixée une fois pour toute. REVENDICATIONS1 ù Miroir déformable (1) comprenant une membrane déformable (2) avec une face extérieure réfléchissante (3) et une face opposée (4), une plaque rigide de support (7) et au moins un actionneur de force (5,6), chaque actionneur (5,6) comprenant au moins deux éléments (5,6) aptes à interagir entre eux à distance pour générer une force dans une direction sensiblement perpendiculaire à la surface de la membrane (2) initialement non déformée et aptes à se déplacer l'un par rapport à l'autre suivant la direction de ladite force générée de sorte à provoquer la déformation locale de ladite membrane (2), l'un des deux éléments (5,6) étant intégré à la plaque de support (7) et l'autre étant couplé à ladite membrane (2), l'un desdits deux éléments (5,6) étant apte à contrôler l'intensité de ladite force générée, caractérisé en ce que le miroir (1) comprend également des moyens de référence (7,8) couplés à ladite membrane (2) par au moins un moyen de liaison rigide (10) et au moins un moyen de liaison souple (11), chaque moyen de liaison rigide (10) étant lié à ladite membrane (2) et chaque moyen de liaison souple (11) étant au moins en partie lié aux moyens de référence (7,8). 2 ù Miroir déformable (1) selon la revendication 1, dans lequel l'élément de l'actionneur de force (5,6) apte à contrôler l'intensité de la force générée est intégré à la plaque de support (7). 3 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, dans lequel au moins un moyen de liaison rigide (10) est fixé par une extrémité à la face opposée (4) de la membrane (2) et par une autre extrémité aux moyens de référence (7,8). 4 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel au moins un moyen de liaison rigide (10) est fixé par une extrémité à la face opposée (4) de la membrane (2) et par une autre extrémité à un moyen de liaison souple (11). ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens de référence (7,8) comprennent la plaque de support (7). 6 ù Miroir déformable (1) selon la revendication 5, dans lequel la plaque de support (7) comporte un ensemble d'ouvertures (9), au moins un actionneur de force (5,6) étant couplé à au moins l'une des ouvertures (9). 7 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens de référence (7,8) comprennent une plaque de support intermédiaire (8) disposée entre la membrane (2) et la plaque de support (7). 8 ù Miroir déformable (1) selon la revendication 7, dans lequel la plaque de support intermédiaire (8) comporte un ensemble d'ouvertures (9), au moins un actionneur de force (5,6) étant couplé à au moins l'une des ouvertures (9). 9 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 6 ou 8, dans lequel au moins un moyen de liaison rigide (10) est disposé au niveau d'une ouverture (9) et fixé par une extrémité à la face opposée (4) de la membrane (2) et par une autre extrémité à l'élément d'au moins un actionneur de force (5,6) couplé à l'ouverture (9). 10 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 8 ou 9, dans lequel au moins un moyen de liaison souple (11) est disposé au niveau d'une ouverture (9) et fixé à l'élément d'au moins un actionneur de force (5,6) couplé à l'ouverture (9). 11 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, dans lequel au moins un moyen de liaison souple (11) est disposé au niveau d'une ouverture (9) et fixé à au moins un moyen de liaison rigide (10). 5 12 û Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 8 à 11, dans lequel l'élément d'au moins un actionneur de force (5,6) couplé à une ouverture (9) est fixé à la face opposée (4) de la membrane (2). 13 û Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 8 à 12, dans lequel au moins un moyen de liaison souple (11) est disposé au niveau d'une ouverture (9) et présente des dimensions supérieures à celles de l'ouverture (9). 14 û Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 8 à 13, dans lequel au moins un élément d'au moins un actionneur de force (5,6) couplé à une ouverture (9) présente des dimensions inférieures à celles de l'ouverture (9). 15 û Miroir déformable (1) selon la revendication 14, dans lequel l'élément d'au moins un actionneur de force (5,6) couplé à une ouverture (9) et présentant des dimensions inférieures à celles de l'ouverture (9) est disposé à l'intérieur de ladite ouverture (9). 16 û Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel au moins un élément d'au moins un actionneur de force (5,6) couplé à une ouverture (9) et présentant des dimensions inférieures à celles de l'ouverture (9) est disposé à l'intérieur de l'ouverture (9). 17 û Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les actionneurs de force (5,6) sont disposés suivant une matrice uniformément répartie. 30 18 û Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel l'élément de l'actionneur de force (5,6) apte à contrôler l'intensité de la force générée est un électro-aimant. 10 15 20 25 19 ù Miroir déformable (1) selon la revendication 18, dans lequel l'élément de l'actionneur de force (5,6) apte à interagir à distance avec l'élément apte à contrôler l'intensité de la force générée est un aimant permanent. 20 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens de liaison souple (11,11',11") comprennent au moins un film souple (14,14',14") revêtu d'un matériau adhésif. 21 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens de liaison souple (11) disposés d'un même côté des moyens de référence (7,8) sont constitués d'un film souple (15) couvrant l'ensemble desdits moyens de liaison souple (11). 15 22 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens de liaison rigide (10) sont constitués de tiges rigides. 20 23 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 22, dans lequel les moyens de liaison rigide (10) sont fixés à la face opposée (4) de la membrane (2) par des plots de colle (13) souple dans une direction perpendiculaire à la force générée et rigide suivant la direction de ladite force générée. 25 24 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 22, dans lequel tous les moyens de liaison rigide (10) sont fixés à la face opposée (4) de la membrane (2) par un couche de colle (13) souple dans une direction perpendiculaire à la force générée et rigide suivant la direction de 30 ladite force générée, recouvrant la face opposée (4) de la membrane (2). 10 25 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les moyens de liaison rigide (10) sont fixés du côté opposé à la face opposé (4) de la membrane (2) par un plot de colle rigide (12). 26 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 7 à 25, dans lequel la plaque de support (7) et la plaque de support intermédiaire (8) sont mécaniquement désolidarisées. 27 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les éléments des actionneurs de force (5,6) intégrés à la plaque de support (7) sont encastrés dans ladite plaque de support (7). 28 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la plaque de support (7) est plane. 29 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 7 à 28, dans lequel la plaque de support intermédiaire (8) est plane. 30 ù Miroir déformable (1) selon l'une quelconque des revendications 20 précédentes, dans lequel la commande des éléments des actionneurs de force (5,6) aptes à contrôler l'intensité de la force générée est asservie électriquement.15