Brevet FR2924816A1 — publié le 20090612

B08-3511FR 1 Société dite : MJC PROBE INCORPORATION DISPOSITIF DE CONTROLE SOUS POINTES Invention de : KU Wei-Cheng HO Chich-Hao LIN Ho-Hui FENG Te-Cheng LAI Jun-Liang HO Jia-Chi CHIEN Chich-Chung HUANG Chien-Huei CHANG Ai-Chuan SUN Horng-Chuan Priorité de deux demandes de brevets déposées à Taiwan République de Chine le 19 septembre 2007 sous le n° 096134978 et le 13 mars 2008 sous le n° 097108934 2 DISPOSITIF DE CONTROLE SOUS POINTES La présente invention concerne un dispositif de contrôle et, plus particulièrement, une sonde de test on un dispositif de contrôle sous pointes pour contrôler des plaquettes de circuits intégrés. Lors du contrôle d'une plaquette de circuits intégrés, une carte de contrôle sert à transmettre des signaux de contrôle depuis un contrôleur jusqu'à la plaquette de circuits intégrés. Une carte de contrôle typique selon la technique antérieure est constituée par une carte de circuit que vient toucher, en descendant, la tête de contrôle d'un contrôleur et recevant des signaux de contrôle produits par le contrôleur, et une pluralité de pointes de contrôle groupées d'une manière très dense dans la zone centrale de la face inférieure de la carte de circuit pour transmettre des signaux de contrôle depuis la carte de circuit vers la plaquette de circuits intégrés à contrôler. Après que les pointes ont descendu jusqu'à toucher les composants électroniques de la plaquette de circuit intégré à contrôler, des signaux de contrôle sont émis depuis le contrôleur vers les composants électroniques de la plaquette de circuit intégré par l'intermédiaire de la carte de contrôle, et les signaux mesurés sont renvoyés pour analyse au contrôleur, depuis les composants électroniques de la plaquette de circuits intégrés, via la carte de contrôle. Pendant tout le processus de contrôle de niveau d'une plaquette, le mode de transmission par le circuit de la carte de circuit de la carte de contrôle a une grande incidence sur le résultat du contrôle. Par suite de progrès, en électronique, dans le fonctionnement à grande vitesse, le processus de contrôle doit être exécuté dans un environnement à grande vitesse. Par conséquent, la conception du circuit d'émission doit convenir aux exigences d'un fonctionnement à grande vitesse. La Fig. 1 représente un type de carte de contrôle sous pointes selon le brevet US n° 5 808 475. Selon cette conception, la carte 1 de contrôle sous pointes est constituée d'une carte de contact 10 disposée sur la face supérieure, d'une carte de contrôle 12 disposée sur la face inférieure, et de séparateurs 14 installés entre la carte de contact 10 et la carte de contrôle 12. La carte de contact 10 est pourvue de contacts de contrôle 11 analogues à des câbles coaxiaux afin d'éviter un problème de courant de fuite dû à la formation d'une résistance parasite dans la structure diélectrique. Cependant, puisque la tête de contrôle du contrôleur 1' descend toucher directement la carte de contact 10 et que la carte de contrôle 12 sert au montage de 3 pointes de contrôle 13, les contraintes produites dans la carte de contrôle 1 lorsque la tête de contrôle du contrôleur descend toucher la carte de contact 10 et que les pointes 13 descendent toucher la plaquette de circuits intégrés à contrôler risquent de provoquer une déformation de la carte de contact 10 ou de la carte de contrôle 12 en raison d'une répartition irrégulière de la pression si la carte de contact 10 ou la carte de contrôle 12 elle-même n'est dotée ni d'une structure à résistance mécanique suffisante ni d'une certaine épaisseur. En outre, lorsque les pointes 13 descendent toucher la plaquette de circuits intégrés, l'avant de la carte de contrôle 12 continue à supporter la force de réaction exercée par la plaquette de circuits intégrés. Sous l'effet de cette force de réaction, la structure du plan frontal de la carte de contrôle 12 qui contient les pointes 13 risque de facilement se déformer. La Fig. 2 illustre une autre conception de carte de contrôle sous pointes selon la technique antérieure. Selon cette conception, la carte de contrôle 2 est constituée d'une carte de circuit imprimé multicouche 20 et d'une pluralité de pointes de contrôle 22. La carte de circuit imprimé multicouche 20 a de multiples rubans 21 de circuit s'étendant depuis la face extérieure vers la face intérieure et du haut vers le bas, puis respectivement connectés électriquement aux pointes de contrôle 22 suspendues sous la carte de circuit imprimé multicouche 20. La résistance structurale et la conception à surface de poussée unique de la carte de circuit imprimé multicouche peuvent en moyenne disperser la force reçue de l'exemplaire à contrôler lorsqu'elle subit les contraintes exercées par la tête de contrôle du contrôleur, ce qui empêche la déformation. Cependant, comme la carte de circuit imprimé multicouche 20 est une stratification de multiples couches de fibres de verre ou de matière céramique, et comme chaque couche possède des fils métalliques disposés sur celle-ci pour former les rubans 21 de circuit, la fabrication de ce type de carte de contrôle sous pointes est compliquée, ce qui nécessite beaucoup de dépenses et de main-d'oeuvre. En outre, lors de l'aménagement des rubans 21 de circuit dans la carte de circuit imprimé multicouche 20, la matière de la carte de circuit imprimé multicouche 20 intercalée dans chaque cas entre deux rubans 21 de circuit adjacents risque d'occasionner un courant de fuite. En outre, les trous d'interconnexion 210 de la carte de circuit imprimé multicouche 20 à travers lesquels s'étendent les rubans 21 de circuit ont tendance à provoquer une réflexion à l'interface pendant la transmission de signaux de contrôle, ce qui provoque une perte d'énergie. Ces inconvénients affectent les caractéristiques d'émission à haute 4 fréquence. Par conséquent, ce type de carte de contrôle sous pointes ne répond pas aux exigences de contrôle à grande vitesse de composants électroniques intégrés. La présente invention a été mise au point en fonction des circonstances évoquées. La présente invention vise principalement à réaliser une sonde de test on un dispositif de contrôle sous pointes, qui ait une structure à grande résistance mécanique, en conservant une caractéristique de grande qualité de transmission. La présente invention vise également à réaliser une sonde de test on un dispositif de contrôle sous pointes qui ait des caractéristiques de grande efficacité et de faible coût. La présente invention vise aussi à réaliser une sonde de test on un dispositif de contrôle sous pointes qui isole efficacement les rubans de signaux intérieurs contre l'humidité extérieure. Pour atteindre ces objectifs, et d'autres, de la présente invention, il est proposé une sonde de test on un dispositif de contrôle sous pointes pour transmettre des signaux de contrôle depuis un contrôleur vers une plaquette de circuits intégrés pour contrôler des caractéristiques électriques de la plaquette de circuits intégrés. Le dispositif de contrôle sous pointes comprend un châssis qui possède un élément extérieur de support s'étendant autour de la périphérie et supportant une couche de circuit et un élément central de support disposé au centre et supportant un ensemble de pointes de contrôle. Lorsque le contrôleur descend toucher la couche de circuit du dispositif de contrôle, l'élément extérieur de support du châssis supporte les contraintes résultant de ce mouvement de descente. Lorsque les pointes du porte-pointes descendent toucher les composants électroniques d'une plaquette de circuits intégrés à contrôler, l'élément central de support du châssis supporte la force de réaction exercée par la plaquette de circuits intégrés. Par conséquent, la grande résistance mécanique de la structure du châssis permet de supporter toute structure équivalente de couche de circuit et d'ensemble de pointes apte à transmettre les signaux de contrôle du contrôleur à la plaquette de circuits intégrés à contrôler. En outre, puisque la couche de circuit a une structure en matière électriquement isolante dont l'épaisseur de couche est plus petite que celle d'une carte de circuit imprimé multicouche typique selon la technique antérieure, le parcours suivi par chaque signal de contrôle qui traverse la couche de circuit est court, ce qui supprime efficacement le problème de l'effet de courant de fuite entre deux signaux d'émission adjacents que l'on constate dans les conceptions selon la technique antérieure et supprime aussi l'inconvénient du processus de fabrication compliqué de la conception selon la technique antérieure du type à carte de circuit imprimé multicouche. 5 L'invention sera mieux comprise à l'étude de la description détaillée d'un mode de réalisation pris à titre d'exemple non limitatif et illustré par les dessins annexés sur lesquels : la Fig. 1 est une vue schématique de la structure d'une carte de contrôle sous pointes fabriquée selon le brevet US n° 4 808 475 ; la Fig. 2 est une vue schématique de la structure d'un autre type de carte de contrôle sous pointes selon la technique antérieure ; la Fig. 3 est une vue de dessus d'un dispositif de contrôle sous pointes selon une première forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 4 est une vue de dessous du dispositif de contrôle sous pointes selon la première forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 5 est une vue en coupe prise suivant la ligne A-A de la Fig. 3 ; la Fig. 6 est une élévation oblique du châssis du dispositif de contrôle sous pointes selon la première forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 7 est un diagramme de courbes caractéristiques de signaux à haute fréquence, obtenu à l'aide du dispositif de contrôle sous pointes selon la première forme de réalisation de la présente invention ; la fig. 8 correspond à la Fig. 5, représentant un adhésif garnissant le châssis ; la Fig. 9 est un dessins schématique représentant une autre forme possible de la première forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 10 est une vue schématique de la structure d'un dispositif de contrôle sous pointes selon une deuxième forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 11 est une vue schématique de la structure d'un dispositif de contrôle sous pointes selon une troisième forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 12 est une vue éclatée d'un dispositif de contrôle sous pointes selon une quatrième forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 13 est une élévation oblique de dessous de la quatrième forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 14 est une vue schématique en coupe de la structure du dispositif de contrôle sous pointes selon la quatrième forme de réalisation de la présente invention ; 6 la Fig. 15 est une élévation oblique de dessus du châssis de la quatrième forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 16 est une vue de dessus d'une partie de la quatrième forme de réalisation de la présente invention, représentant la couche de circuit, des lignes de signaux et l'ensemble de pointes présents sur la face supérieure du châssis ; la Fig. 17 est une vue de dessous de la Fig. 16 ; la Fig. 18 est un dessin schématique de la quatrième forme de réalisation de la présente invention, après garnissage par l'adhésif ; la Fig. 19 est une vue schématique éclatée d'un dispositif de contrôle sous pointes selon une cinquième forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 20 est une vue schématique d'ensemble en coupe du dispositif de contrôle sous pointes selon la cinquième forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 21 est une vue schématique éclatée d'un dispositif de contrôle sous pointes selon une sixième forme de réalisation de la présente invention ; la Fig. 22 est une élévation oblique de dessous de la sixième forme de réalisation de la présente invention ; et la Fig. 23 est une vue schématique d'ensemble en coupe du dispositif de contrôle sous pointes selon la sixième forme de réalisation de la présente invention. Considérant les figures 3 à 5, il y est représenté une sonde de test on dispositif de contrôle 3 sous pointes selon une première forme de réalisation de la présente invention pour transmettre des signaux de contrôle depuis un contrôleur vers une plaquette de circuits intégrés pour mesurer des caractéristiques électriques de la plaquette de circuits intégrés. Le dispositif de contrôle 3 sous pointes comprend un châssis 30, une couche de circuit 40, un ensemble 50 de pointes en porte-à-faux et de multiples lignes 60 de signaux. Considérant la Fig. 6 et à nouveau la Fig. 5, le châssis 30 est un élément annulaire rigide ayant une certaine résistance mécanique et des dimensions approximativement égales à celles d'une plaquette de circuits intégrés à semiconducteur. Le châssis 30 peut être entièrement métallique (par exemple en acier inoxydable), d'une épaisseur correspondant à une carte ordinaire typique de circuit imprimé multicouche pour supporter des contraintes pendant l'opération de contrôle, sans provoquer de déformation de la planéité du corps rigide. Le châssis 30 a une surface supérieure 301, et une surface inférieure 302 opposée à la surface 7 supérieure 301. Le châssis comporte en outre, disposées dans l'ordre depuis le pourtour vers le centre, une première partie annulaire 31, une deuxième partie annulaire 32, une pluralité de parties formant nervures radiales 33, une troisième partie annulaire 34 et une quatrième partie annulaire 35. La deuxième partie annulaire 32 et les parties formant nervures radiales 33 forment une première partie de support 36 du châssis 30. La superficie en coupe transversale de la première partie de support 36 correspond à la section transversale de la couche 40 de circuit. En outre, la première partie de support 36 est entièrement maintenue au contact de la surface horizontale de la couche 40 de circuit pour supporter la couche 40 de circuit et toutes contraintes reçues par la couche 40 de circuit. La quatrième partie annulaire 35 forme une deuxième partie de support du châssis 30 pour supporter l'ensemble 50 de pointes de contrôle et toutes contraintes reçues par l'ensemble 50 de pointes. Considérant à nouveau les figures 3 et 5, la couche 40 de circuit est une carte de circuit imprimé monocouche, en matière électriquement isolante, et montée sur la surface supérieure 301 du châssis 30 correspondant à la première partie de support 36. La couche 40 de circuit a de multiples contacts de contrôle 41 pour la connexion du contrôleur précité pour recevoir du contrôleur des signaux de contrôle, une pluralité de trous d'interconnexion 42 respectivement disposés d'une manière correspondant aux contacts de contrôle 41. Les trous d'interconnexion 42 ont chacun une extrémité inférieure respective respectivement connectée aux lignes 60 de signaux pour transmettre les signaux de contrôles depuis les contacts de contrôles respectifs 41 vers les lignes respectives 60 de signaux. Considérant à nouveau les figures 4 et 5, l'ensemble 50 de pointes de contrôle comprend un porte-pointes 51, une carte adaptatrice 52 et de multiples pointes de contrôle en porte-à-faux 53. Le porte-pointes 51 est disposé sur la face inférieure de la quatrième partie annulaire 35 du châssis 30. Par ailleurs, le porte-pointes 51 est en matière électriquement isolée et a des caractéristiques de résistance aux chocs pour le montage des pointes en porte-à-faux 53. Les pointes de contrôle en porte-à-faux 53 sont installées dans le porte-pointes 51, avec leur extrémité suspendue sous le porte-pointes 51. La carte adaptatrice 52 est une carte de circuit imprimé monocouche, en matière électriquement isolée, et est fixée à la face inférieure des troisième et quatrième parties annulaires 34 et 35 du châssis 30, ayant une pluralité de trous d'interconnexion électriquement conducteurs 520. Les extrémités supérieures et inférieures respectives des trous d'interconnexion 520 sont 8 respectivement connectées électriquement aux lignes 60 de signaux et aux pointes de contrôle 53, par exemple par brasage. Comme indiqué plus haut, l'invention utilise la structure rigide du châssis 30 servant à supporter la couche 40 de circuit sur la face supérieure et le porte- pointes 51 sur la face inférieure. Quand le contrôleur descend jusqu'à toucher les contacts de contrôle 41 de la couche 40 de circuit, la première partie de support 36 du châssis 30 support les contraintes ; lorsque les pointes 53 touchent des composants électroniques respectifs de la plaquette de circuits intégrés à contrôler, la deuxième partie de support du châssis 30 subit la force de réaction exercée par la plaquette. Par conséquent, l'invention simplifie la fabrication d'une carte de circuit imprimé multicouche. En outre, le châssis 30 convient pour une fabrication en grande série et se prête à une utilisation dans n'importe quelle structure équivalente de couche de circuit et d'ensemble de pointes de contrôle, en abrégeant le temps de fabrication du dispositif de contrôle. Par ailleurs, comme la couche 40 de circuit et la carte adaptatrice 52 ont en commun une structure à couche unique en matière électriquement isolante, les trous d'interconnexion 42 de la couche 40 de circuit et les trous d'interconnexion 520 de la carte adaptatrice 52 ont un trajet très court, ce qui élimine efficacement l'effet de courant de fuite entre deux signaux d'émission adjacents pendant l'acheminement de signaux de contrôle à travers le diélectrique. Par ailleurs, les trajets verticaux des trous d'interconnexion 40 et 520 ne traversent pas d'autre diélectrique entre couches, et par conséquent on ne rencontrera aucun problème de perte d'énergie pendant l'acheminement de signaux de contrôles via les trous d'interconnexion 40 et 520, c'est-à-dire que le dispositif de contrôle 3 sous pointes conserve une excellente caractéristique d'adaptation d'impédance de signaux pendant un contrôle à haute fréquence. La fig. 7 est un diagramme de courbes de caractéristique de fréquence de signal, obtenu à l'aide du dispositif de contrôle 3 sous pointes. Sur ce diagramme, la courbe S11 de perte par réflexion montre que le dispositif de contrôle 3 sous pointes a une excellente adaptation d'impédance pendant l'acheminement de signaux à haute fréquence ; la courbe S12 de perte d'insertion montre que la fréquence du seuil de bande passante à gain de -3 dB pendant une application à haute fréquence peut atteindre une bande de fréquences de plusieurs GHz, ayant une grande qualité d'émission de signaux à haute fréquence, à faibles pertes et excellente adaptation. Il doit être entendu que les structures de la couche 40 de circuit et de la carte adaptatrice ne se limitent pas à des monocouches. Si la perte d'énergie est maintenue 9 dans les limites acceptables, la couche 40 de circuit et la carte adaptatrice 52 peuvent avoir une structure bicouche, ce qui accroît la résistance mécanique de la structure. En outre, comme représenté sur la Fig. 8, un adhésif (par exemple, une résine époxy) 37 peut être employé pour garnir le châssis entre la surface supérieure 301 et la surface inférieure 302 pour améliorer la résistance mécanique de la structure du dispositif de contrôle 3 sous pointes afin d'encapsuler les lignes 60 de signaux, en isolant les lignes 60 de signaux contre l'humidité extérieure. Par ailleurs, l'adhésif accroît la résistance mécanique du châssis 30. Le châssis 30 peut être en matière non métallique, par exemple en matière plastique armée, en céramique usinable. En référence à la Fig. 9, des trous d'interconnexion de mise à la terre 44 et 54 sont respectivement formés dans la couche de circuit 40 et la carte adaptatrice 52 d'une manière correspondant aux trous d'interconnexion 42 et 5210, et les trous d'interconnexion 42 de la couche de circuit 40 sont respectivement connectés électriquement aux trous d'interconnexion 520 de la carte adaptatrice 52 par l'intermédiaire d'une ligne coaxiale de transmission respective 62. Les deux extrémités opposées du conducteur central métallique de chacune des lignes coaxiales de transmission 62 sont respectivement branchées dans les trous d'interconnexion 42 de la couche de circuit 40 et dans les trous d'interconnexion 520 de la carte adaptatrice 52, et les deux extrémités opposées du métal de mise à la terre de chacune des lignes coaxiales de transmission 62 sont respectivement fixées aux trous d'interconnexion de mise à la terre 44 de la couche de circuit 40 et aux trous d'interconnexion de mise à la terre 54 de la carte adaptatrice 52. Pour de meilleures performances lors d'une application à haute fréquence, un dispositif de contrôle 4 sous pointes selon une deuxième forme de réalisation de la présente invention est représenté sur la Fig. 10 est un bon choix. Comme dans la première forme de réalisation ci-dessus, le dispositif de contrôle 4 sous pointes selon cette deuxième forme de réalisation est constitué d'un châssis 30, d'une couche de circuit 45, d'un ensemble 55 de pointes de contrôle en porte-à-faux et d'une pluralité de lignes 65 de signaux. En comparaison de ladite première forme de réalisation, cette deuxième forme de réalisation a les caractéristiques suivantes : La couche de circuit 45 comporte une pluralité de contacts de contrôle 46 et une pluralité de trous traversants 47 correspondant aux contacts de contrôle 46. Les lignes 65 de signaux sont respectivement insérées à travers les trous traversants 46 et sont respectivement connectées électriquement aux contacts de contrôle 46. 10 L'ensemble 55 de pointes de contrôle en porte-à-faux comporte un porte-pointes 51 et une pluralité de pointes de contrôle en porte-à-faux 56. Les pointes en porte-à-faux 56 sont respectivement connectées électriquement aux lignes 65 de signaux à des emplacements proches du porte-pointes 51. Quand les contacts de contrôle 46 reçoivent du contrôleur des signaux de contrôle à haute fréquence, les signaux de contrôle à haute fréquence sont transmis directement aux pointes respectives 56 via les lignes 65 de signaux, sans aucun diélectrique, en empêchant l'effet de courant de fuite entre les signaux de chaque paire de signaux d'émission adjacents. Dans cet environnement de transmission à signal unique et de haute qualité, le dispositif de contrôle 4 sous pointes a une qualité de transmission de signal à haute fréquence avec de faibles pertes et une excellente adaptation. En plus des structures à pointes en porte-à-faux des deux formes de réalisation ci-dessus, l'invention peut être réalisée sous la forme représentée sur la Fig. 11. Selon la troisième forme de réalisation, le dispositif de contrôle 5 sous pointes est une application d'une structure à pointes verticales. Selon cette troisième forme de réalisation, le dispositif de contrôle 5 sous pointes est constitué d'un châssis 30, d'une couche de circuit 70, d'un ensemble 80 de pointes de contrôle verticales et d'une pluralité de lignes 90 de signaux. En comparaison de la première forme de réalisation ci-dessus, cette troisième forme de réalisation a les caractéristiques suivantes : La couche de circuit 70 comporte une pluralité de contacts de contrôle 71 et une pluralité de points de brasure 72 pour lignes de signaux respectivement disposés de manière adjacent et connectés électriquement aux contacts de contrôle 71. Les points de brasure 72 pour lignes de signaux sont respectivement connectés électriquement aux lignes 90 de signaux pour transmettre des signaux de contrôle depuis les contacts de contrôle 71 vers les lignes de signaux respectives 90. L'ensemble 80 de pointes comprend un bloc de positionnement 81, un porte-pointes 82 et une pluralité de pointes verticales 83. Le bloc de positionnement 81 est assujetti à la quatrième partie annulaire 35 du châssis 30, il comporte une ouverture supérieure 811 et un fond 812. Les lignes 90 de signaux s'étendent à travers l'ouverture supérieure 811 jusqu'à l'intérieur du bloc de positionnement 81. La face inférieure du fond 812 du bloc de positionnement 81 est assujettie au porte-pointes 82. Le porte-pointes 82 est en matière électriquement isolante. Les pointes de contrôle 83 sont insérées verticalement à travers le porte-pointes 82, chacune ayant 11 une première extrémité, à savoir la tête, respectivement connectée électriquement aux lignes 90 de signaux, et l'autre extrémité, à savoir la pointe extrème, suspendue sous le porte-pointes 82. Comme dans lesdites première et deuxième formes de réalisation, le dispositif de contrôle 5 sous pointes utilise la structure rigide du châssis 30 pour supporter la couche de circuit 70 sur la face supérieure et la quatrième partie annulaire 35 pour supporter le bloc de positionnement 81 et le porte-pointes 82 sur la face inférieure, ce qui permet au châssis 30 de supporter toutes les contraintes reçues directement par la couche de circuit 70 et les pointes 83. Par conséquent, la présente forme de réalisation réduit efficacement l'effet de courant de fuite entre les signaux de chaque paire de signaux d'émission adjacents, en créant un environnement de transmission de signaux de grande qualité. Les figures 12 à 14 représentent un dispositif de contrôle 3' sous pointes selon une quatrième forme de réalisation de la présente invention. Selon cette quatrième forme de réalisation, le dispositif de contrôle 3' sous pointes a deux faces opposées, à savoir la face supérieure 3a' et la face inférieure 3b'. La face supérieure 3a' sert à la connexion du contrôleur, en permettant au contrôleur de descendre la toucher. La face inférieure 3b' sert à contacter les composants électroniques d'une plaquette de circuits intégrés à contrôler pour acheminer des signaux de contrôle depuis le contrôleur jusqu'à la plaquette de circuits intégrés pour un contrôle électrique. Le dispositif de contrôle 3' sous pointes comporte un châssis 30', une couche de circuit 40', un ensemble 504 de pointes de contrôle en porte-à-faux et une pluralité de lignes 60' de signaux. Considérant la Fig. 15 et à nouveau la Fig. 12, le châssis 30' est constitué d'une structure de corps intérieur rigide et d'une structure de corps extérieur rigide, à savoir le premier élément de support, extérieur, 31' et le second élément de support, intérieur, 32'. Le premier élément de support 31' représente une structure annulaire, à superficie en coupe transversale à peu près égale à la section transversale de la couche de circuit 40' pour supporter le montage de la couche de circuit 40' et subir les contraintes exercées par la couche de circuit 40'. Le premier élément de support 31' a un cadre intérieur 311' et une pluralité de trous traversants 312' pour l'insertion des lignes 60' de signaux. Le second élément de support 32' est un élément formant cadre annulaire comportant un cadre extérieur 321' et une pluralité de nervures radiales 322'. Le cadre extérieur 321' du second élément de support 32' est assujetti au cadre intérieur 311' du premier élément de support 31', en dépassant au-dessus de 12 la face inférieure du premier élément de support 31' à une certaine distance de façon que de multiples intervalles 33' soient définis entre le premier élément de support 31' et le second élément de support 32' pour le passage des lignes 60' de signaux depuis la zone bordière du châssis 30' jusqu'à la zone centrale de celui-ci. Les nervures 322' s'étendent dans une direction radiale dans le même plan par rapport au cadre extérieur 321' afin d'assurer une résistance de support relativement plus grande pour supporter l'ensemble 50' de pointes en porte-à-faux et subir de manière égale les contraintes exercées par l'ensemble 50' de pointes en porte-à-faux. En outre, les lignes 60' de signaux peuvent être insérées à travers l'espace défini entre les nervures de chaque paire de nervures adjacentes 322', puis connectées à l'ensemble 50' de pointes en porte-à-faux. Considérant la Fig. 16 et à nouveau les figures 12 et 14, la couche de circuit 40' est montée sur la face supérieure du premier élément de support 31' et disposée sur la face supérieure 3a' du dispositif de contrôle 3' sous pointes. La couche de circuit 40' comporte une pluralité de contacts de contrôle 41' pour le contact dudit contrôleur afin de recevoir du contrôleur des signaux de contrôle. Les contacts de contrôle 41' s'étendent verticalement jusqu'à la face inférieure de la couche de circuit 40' pour la connexion des lignes 60' de signaux afin que des signaux de contrôle puissent être acheminés du contrôleur aux lignes 60' de signaux. Considérant la Fig. 17 et à nouveau les figures 12 et 14, l'ensemble 50' de pointes en porte-à-faux comprend une carte adaptatrice 51', un porte-pointes 52', un anneau de positionnement 53' et une pluralité de pointes en porte-à-faux 54'. La carte adaptatrice 51' est une carte de circuit imprimé à couche unique, montée sur la face inférieure du second élément de support 32' et disposée sur la face inférieure 3b' du dispositif de contrôle 3' sous pointes. En outre, la carte adaptatrice 51' comporte une pluralité de points de brasure 510' disposés sur les faces supérieure et inférieure de celle-ci, et une pluralité de composants électroniques 511' connectés électriquement aux points de brasure 510'. Les points de brasure 510' sur les faces supérieure et inférieure de la carte adaptatrice 51' servent à fixer respectivement les lignes 60' de signaux et les pointes en porte-à-faux 54' de façon que les lignes 60' de signaux et les pointes en porte-à-faux 54' puissent être respectivement connectées électriquement dans une direction verticale ou que les signaux de contrôle transmis via les lignes 60' de signaux puissent être traités par l'intermédiaire des composants électroniques 511', puis transmis aux pointes en porte-à-faux 54'. Le porte-pointes 52' est en matière électriquement isolée et est monté dans la zone centrale de la carte 13 adaptatrice 51'. L'anneau de positionnement 53' est en matière collante électriquement isolée et est monté dans le porte-pointes 52'. Les pointes en porte-à-faux 54' sont fixées par les corps respectifs de celles-ci au porte-pointes 52' à l'aide de l'anneau de positionnement 53' de façon que les bouts des pointes en porte-à-faux 54' soient suspendus sous l'anneau de positionnement 53'. Considérant à nouveau les figures 12 à 14, quand le châssis 30', la couche de circuit 40' et l'ensemble 50' de pointes en porte-à-faux sont assemblés, les faces supérieure et inférieure de l'ensemble sont respectivement couvertes de manière fixe par un couvercle supérieur 301' et un couvercle inférieur 302'. Le couvercle supérieur 301' couvre le cadre intérieur 311' du premier élément de support 31'. Le couvercle inférieur 302' entoure la carte adaptatrice 51' pour enfermer hermétiquement les lignes 60' de signaux à l'intérieur du dispositif de contrôle 3' sous pointes, ce qui rend esthétique le dispositif de contrôle 3' sous pointes et empêche que des corps étrangers ne pénètrent à l'intérieur du dispositif de contrôle 3' sous pointes, et par conséquent la qualité de l'intégration du dispositif de contrôle 3' sous pointes est maintenue. Par conséquent, le dispositif de contrôle 3' sous pointes selon la présente forme de réalisation utilise la structure rigide du premier élément de support 31' pour supporter la couche de circuit 40' et du second élément de support 32' pour supporter l'ensemble 50' de pointes de porte-à-faux. Quand le contrôleur descend toucher les contacts de contrôle 41' de la couche de circuit 40', le premier élément de support 31' subit les contraintes ; quand les pointes 54' sur la face inférieure 3b' touchent des composants électroniques respectifs de la plaque de circuits intégrés à contrôler, le second élément de support 32' subit la force de réaction exercée par la plaquette. Par conséquent, la présente forme de réalisation simplifie la fabrication d'une carte de circuit imprimé multicouche. En outre, le châssis 30' convient pour une fabrication en grande série et se prête à une utilisation dans n'importe quelle structure équivalente de couche de circuit et d'ensemble de pointes en abrégeant le temps de fabrication du dispositif de contrôle sous pointes. Par ailleurs, puisque la couche de circuit 40' et la carte adaptatrice 51' ont en commun une structure monocouche en matière électriquement isolante, le trajet de circulation de chaque signal de contrôle qui traverse la couche de circuit 40' et la carte adaptatrice 51' est court, ce qui supprime donc efficacement l'effet de courant de fuite entre deux signaux d'émission adjacents pendant l'acheminement des signaux de contrôle à travers le diélectrique. En outre, comme les trajets verticaux de circulation de signaux ne traversent aucun 14 diélectrique entre couches, le dispositif de contrôle 3' sous pointes supprime le problème de perte d'énergie dans un diélectrique entre couches, que l'on constate couramment dans la structure à trous traversants à placage d'une carte de circuit imprimé multicouche selon la technique antérieure. Par conséquent, le dispositif de contrôle 3' sous pointes maintient une excellente caractéristique d'adaptation d'impédance de signaux pendant un contrôle à haute fréquence, en assurant de faibles pertes de signaux et une grande qualité d'émission de signaux. Il doit être entendu que les structures de la couche de circuit 40' et de la carte adaptatrice 52' ne se limitent pas à des monocouches. Si les pertes d'énergie sont maintenues dans les limites acceptables, la couche de circuit 40' et la carte adaptatrice 52' peuvent avoir une structure bicouche, ce qui améliore la résistance mécanique de la structure. En référence à la Fig. 18, un adhésif (par exemple une résine époxy) 34' peut servir à garnir le châssis 30' entre le premier élément de support 31' et le cadre extérieur 321' du second élément de support 32' pour accroître la résistance mécanique de la structure du dispositif de contrôle 3' sous pointes et pour encapsuler les lignes 60' de signaux, en isolant les lignes 60' de signaux contre l'humidité extérieure. Les figures 19 et 20 représentent un dispositif de contrôle 4' sous pointes selon une cinquième forme de réalisation de la présente invention. Selon la présente forme de réalisations, le dispositif de contrôle 4' sous pointes est constitué d'un châssis 30', d'une couche de circuit 40', de lignes 60' de signaux et d'un ensemble intégré 70' de pointes de contrôle. L'ensemble intégré 70' de pointes de contrôle est disposé sur la face inférieure du second élément de support 32' du châssis 30'. A la différence de la conception à pointes individuelles de la quatrième forme de réalisation ci-dessus, la présente cinquième forme de réalisation emploie l'ensemble 70' de pointes avec un procédé de fabrication intégrée d'un système micro-électromécanique (MEMS). L'ensemble intégré 70' de pointes de contrôle est une structure de boîtier constituée d'une carte adaptatrice 71' et d'un dispositif de pointes MEMS 72'. La carte adaptatrice 71' est en matière électriquement isolée qui peut être une structure organique multicouche ou une structure céramique multicouche, ayant une fonction de transformation d'espace de circuits. Par ailleurs, la carte adaptatrice 71' a de multiples fils conducteurs 710' disposés dans celle-ci. Ces fils conducteurs 710' sont agencés de telle manière que la distance entre les fils de chaque paire de fils 15 conducteurs adjacents diminue progressivement depuis la face supérieure de la carte adaptatrice 71' vers la face inférieure de la carte adaptatrice 71'. Les fils conducteurs 710' s'étendent verticalement à travers la carte adaptatrice 71', leurs extrémités supérieures étant respectivement connectées électriquement aux lignes 60' de signaux, et leurs extrémités inférieures étant respectivement connectées électriquement au dispositif de pointes MEMS 72'. Le dispositif de pointes MEMS 72' comporte un porte-pointes 720' constitué d'un substrat électriquement isolé, et une pluralité de pointes de contrôle 722' formées sur le porte-pointes 720' à l'aide d'un procédé MEMS. Le porte-pointes 720' comporte une pluralité de trous d'interconnexion 721' respectivement connectés électriquement aux pointes 722'. Par conséquent, le regroupement de l'ensemble intégré 70' de pointes de contrôle se fait en connectant électriquement les fils conducteurs 710' de la carte adaptatrice 71' aux trous d'interconnexion 721' du porte-pointes 720'. En outre, le dispositif de pointes MEMS peut être formé en formant les pointes MEMS directement sur la carte adaptatrice 71'. Puisque les pointes MEMS 722' sont directement et électriquement connectées aux fils conducteurs respectifs 710', la carte adaptatrice 71' sert de porte-pointes destiné à tenir les pointes MEMS ainsi qu'une carte de circuit à fonction de transformation d'espace. Par conséquent, quand la couche de circuit 40' reçoit du contrôleur des signaux de contrôle, les lignes 60' de signaux transmettent immédiatement ces signaux de contrôle aux pointes 722' du dispositif à pointes MEMS 72' via les fils conducteurs 710' de la carte adaptatrice 71'. Outre les fonctions équivalentes à celles de la quatrième forme de réalisation ci-dessus, le dispositif de contrôle 4' sous pointes selon la présente cinquième forme de réalisation se prête au contrôle de composants électroniques d'une plaquette à espacements ultrafins à l'aide du dispositif à pointes MEMS 72'. Le dispositif de contrôle sous pointes peut être réalisé sous la forme représentée sur les figures 21 à 23. Selon la présente sixième forme de réalisation, le dispositif de contrôle 5' sous pointes est une application d'une structure à pointes verticales, comprenant une couche de circuit 45', un châssis 80', une pluralité de lignes 65' de signaux, un couvercle supérieur 501', un couvercle inférieur 502' et un ensemble vertical 90' de pointes de contrôle. Le châssis 80' comporte un premier élément de support 81' disposé sur une face extérieure pour supporter la couche de circuit 45', et un second élément de support 82' disposé sur une face intérieure pour supporter l'ensemble vertical 90' de pointes. En comparaison de la cinquième forme 16 de réalisation ci-dessus, la présente sixième forme de réalisation a les caractéristiques suivantes : L'ensemble vertical 90' de pointes comporte un porte-pointes constitué d'une plaque supérieure 91', d'une plaque inférieure 92' et d'une plaque intermédiaire de mise en place 93', et est constitué de pointes de contrôle verticales 94' installées dans le porte-pointes. La plaque supérieure 91' est montée à demeure sur la face inférieure du second élément de support 82' du châssis 80' de façon que les pointes verticales 94' soient respectivement connectées électriquement aux lignes 65' de signaux. La plaque supérieure 91', la plaque inférieure 92' et la plaque intermédiaire de mise en place 93' sont respectivement en matière électriquement isolée. Les pointes de contrôle verticales 94' s'étendent verticalement à travers la plaque supérieure 91', la plaque inférieure 92' et la plaque intermédiaire de mise en place 93', chacune ayant une première extrémité connectée électriquement à la ligne de signal correspondante 65' et l'autre extrémité se terminant par un bout et suspendue sous la plaque inférieure 92'. Par conséquent, le dispositif de contrôle 5' sous pointes selon la présente sixième forme de réalisation utilise la structure rigide du châssis 80' pour supporter la couche de circuit 45' sur la face supérieure et l'ensemble vertical 90' de pointes sur la face inférieure et subissant efficacement les contraintes reçues par la couche de circuit 45' et l'ensemble vertical 90' de pointes. En outre, puisque l'ensemble vertical de pointes 90' est directement connecté aux lignes 65' de signaux, les lignes 65' de signaux transmettent directement les signaux de contrôle depuis le contrôleur vers les pointes 94', et par conséquent on n'a besoin d'aucun moyen formant circuit adaptateur intermédiaire entre les lignes 65' de signaux et les pointes 94. 30 REVENDICATIONS 1. Dispositif de contrôle (3) sous pointes pour transmettre des signaux de contrôle depuis un contrôleur jusqu'à une plaquette de circuits intégrés pour mesurer des caractéristiques électriques de ladite plaquette de circuits intégrés, le dispositif de contrôle (3) sous pointes étant caractérisé en ce qu'il comprend : un châssis (30), définissant une surface supérieure (301) et une surface inférieure (302) opposée à ladite surface supérieure (301), ledit châssis (30) comportant un premier élément de support (36) et un second élément de support (35) entouré par ledit premier élément de support (36) ; une couche de circuit (40) montée sur ladite surface supérieure (301) dudit châssis (30) et supportée par ledit premier élément de support (36), ladite couche de circuit (40) comportant une pluralité de contacts de contrôle (41) pour la connexion électrique dudit contrôleur ; un ensemble (50) de pointes de contrôle, ledit ensemble (50) de pointes comportant un porte-pointes électriquement isolant (51) supporté par ledit second élément de support (35) et une pluralité de pointes de contrôle (53) montées à demeure dans ledit porte-pointes (51), chaque pointe de contrôle (53) ayant une extrémité suspendue sous ledit porte-pointes (51) ; et une pluralité de lignes (65) de signaux connectées électriquement entre lesdits contacts de contrôle (41) de ladite couche de circuit (40) et lesdites pointes de contrôle (53) dudit ensemble (50) de pointes. 2. Dispositif de contrôle (3) sous pointes selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un adhésif (37) garnissant ledit châssis (30) entre ladite surface supérieure (301) et ladite surface inférieure (302). 3. Dispositif de contrôle (3) sous pointes selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit châssis (30) est entièrement réalisé d'une seule pièce. 4. Dispositif de contrôle (3) sous pointes selon la revendication 3, caractérisé en ce que ledit châssis (3à) est en matière métallique. 5. Dispositif de contrôle (3) sous pointes selon la revendication 4, 35 caractérisé en ce que ladite matière métallique est de l'acier inoxydable. 18 6. Dispositif de contrôle (3) sous pointes selon la revendication 1, caractérisé en ce que le premier élément de support (36) dudit châssis (30) comporte au moins une partie annulaire (31, 32, 34, 35) et une pluralité de nervures radiales (33), la superficie en coupe transversale des parties constituant ladite au moins une partie annulaire (31, 32, 34, 35) et lesdites nervures radiales (33) correspondant à la section transversale de ladite couche de circuit (40) et étant maintenue au contact d'une surface horizontale de ladite couche de circuit (40). 7. Dispositif de contrôle (3) sous pointes selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche de circuit (40) est une carte de circuit imprimé monocouche, en matière électriquement isolée. 8. Dispositif de contrôle (3) sous pointes selon la revendication 7, caractérisé en ce que ladite couche de circuit (40) comporte une pluralité de trous d'interconnexion électriquement conducteurs (42) respectivement connectés électriquement entre lesdits contacts de contrôle (41) et lesdites lignes (60) de signaux. 9. Dispositif de contrôle (4) sous pointes selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit porte-pointes (51) est disposé sur une face inférieure dudit second élément de support (35) dudit châssis. 10. Dispositif de contrôle (4) sous pointes selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit ensemble (55) de pointes de contrôle comporte en outre une carte adaptatrice (52) disposée sur la surface inférieure (302) dudit châssis (30) et calée entre ledit premier élément de support (36) et ledit second élément de support (35) pour maintenir la connexion électrique desdites pointes de contrôle (56) à ladite carte adaptatrice (52). 11. Dispositif de contrôle (4) sous pointes selon la revendication 10, caractérisé en ce que ladite carte adaptatrice (52) est une carte de circuit imprimé monocouche, en matière électriquement isolée, ladite carte adaptatrice (52) ayant une pluralité de trous d'interconnexion électriquement conducteurs (520), respectivement 19 connectés électriquement entre lesdites lignes (65) de signaux et lesdites pointes de contrôle (56). 12. Dispositif de contrôle (4) sous pointes selon la revendication 9, caractérisé en ce que lesdites pointes de contrôle (56) s'étendent à travers ledit porte-pointes (51), chaque pointe (56) ayant une première extrémité formant la pointe extrème et une extrémité opposée connectée électriquement à une ligne (65) de signal. 13. Dispositif de contrôle (4) sous pointes selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche de circuit (45) comporte une pluralité de trous traversants 47 respectivement ménagés sous lesdits contacts de contrôle (41) pour le passage desdites lignes (65) de signaux pour connecter électriquement lesdits contacts de contrôle (46). 14. Dispositif de contrôle (5) sous pointes selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche de circuit (70) comporte une pluralité de points de brasure (72) pour lignes de signaux, disposés dans le même plan par rapport auxdits contacts de contrôle (71), lesdites lignes (90) de signaux étant respectivement connectées électriquement auxdits points de brasure (72) pour lignes de signaux. 15. Dispositif de contrôle (5) sous pointes selon la revendication 14, caractérisé en ce que ledit second élément de support (35) dudit châssis (30) entoure ledit porte-pointes (82), lesdites pointes de contrôle (83) s'étendent à travers ledit porte-pointes (82), chaque dite pointe (83) ayant une première extrémité formant la pointe extrème et une extrémité opposée connectée électriquement à une ligne (90) de signal. 16. Dispositif de contrôle (5) sous pointes selon la revendication 15, caractérisé en ce que ledit ensemble (80) de pointes de contrôle comporte un bloc de positionnement (81) entouré par ledit second élément de support (35) dudit châssis (30), ledit porte-pointes (82) est disposé sur une face inférieure dudit bloc de positionnement (81), lesdites lignes (90) de signaux s'étendent à travers ledit bloc de positionnement (81).35 20 17. Dispositif de contrôle (3') définissant une face supérieure (3a') et une face inférieure (3b') pour la connexion électrique d'un contrôleur et d'une plaquette de circuits intégrés respectivement pour transmettre des signaux de contrôle depuis ledit contrôleur jusqu'à ladite plaquette de circuits imprimés pour mesurer des caractéristiques électriques de ladite plaquette de circuits intégrés, le dispositif de contrôle 3' sous pointes comprenant : un châssis (30'), comportant un premier élément de support (31') et un second élément de support (32') entouré par ledit premier élément de support (31') ; une couche de circuit (40') montée sur la face supérieure dudit châssis (30') et supportée par ledit premier élément de support (31'), ladite couche de circuit (40') comportant une pluralité de contacts de contrôle (4' 1) pour la connexion électrique dudit contrôleur ; un ensemble (50') de pointes de contrôle monté sur la face inférieure dudit châssis (30') et supporté par ledit second élément de support (32'), ledit ensemble (50') de pointes comportant un porte-pointes électriquement isolante (52') et une pluralité de pointes de contrôle (54'), chaque pointe de contrôle (54') ayant une extrémité suspendue sous ledit porte-pointes (52') ; et une pluralité de lignes (60') de signaux connectées électriquement entre lesdits contacts de contrôle (51) de ladite couche de circuit (40') et lesdites pointes de contrôle (54') dudit ensemble (50') de pointes de contrôle. 18. Dispositif de contrôle (3') sous pointes selon la revendication 17, caractérisé en ce que ledit premier élément de support (31') est une structure de forme annulaire ayant une pluralité de trous traversants (312'), lesdites lignes (60') de signaux s'étendant à travers lesdits trous traversants (312') 19. Dispositif de contrôle (3') sous pointes selon la revendication 17, caractérisé en ce que ledit châssis (30') comporte une pluralité d'espaces (33') ménagés entre ledit premier élément de support (31') et ledit second élément de support (32'), lesdites lignes (60') de signaux s'étendent à travers lesdits espaces (33') pour se connecter auxdites pointes de contrôle (54') dudit ensemble (50') de pointes. 20. Dispositif de contrôle (3') sous pointes selon la revendication 19, caractérisé en ce que ledit premier élément de support (31') comporte un cadre 21 intérieur (311'), ledit second élément de support (32') comporte un cadre extérieur (321') assujetti audit cadre intérieur (311') dudit premier élément de support (31'), lesdits espaces (33') sont ménagés entre ledit cadre intérieur (311') dudit premier élément de support (31') et ledit cadre extérieur (321') dudit second élément de support (32'). 21. Dispositif de contrôle (3') sous pointes selon la revendication 17, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un adhésif (34') garnissant ledit châssis (30') entre ledit premier élément de support (31') et ledit second élément de support to (32'). 22. Dispositif de contrôle (3') sous pointes selon la revendication 17, caractérisé en ce que lesdites lignes (60') de signaux sont respectivement connectées électriquement auxdits contacts de contrôle (41') et disposées sur une face inférieure 15 de ladite couche de circuit (40'), ladite couche de circuit (40') est une carte de circuit imprimé monocouche en matière électriquement isolante. 23. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 17, caractérisé en ce que lesdites pointes de contrôle (722') sont formées sur ledit porte- 20 pointes (720') à l'aide d'un procédé de fabrication intégrée d'un système micro-électromécanique, ledit porte-pointes (720') ayant une pluralité de fils conducteurs (710') disposés dans celui-ci, lesquels sont respectivement connectés électriquement entre lesdites lignes (60') de signaux et lesdites pointes de contrôle (722'). 25 24. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 23, caractérisé en ce que lesdits fils conducteurs (710') s'étendent depuis une face' supérieure dudit porte-pointes (720') jusqu'à une face inférieure dudit porte-pointes (720'), et la distance entre les fils de chaque paire de fils conducteurs adjacents (710') diminue progressivement dans une direction allant de la face supérieure dudit 30 porte-pointes (720') vers la face inférieure dudit porte-pointes (720'), lesdites lignes (60') de signaux sont respectivement connectées électriquement auxdits fils conducteurs (710') sur la face supérieure dudit porte-pointes (720'), lesdites pointes de contrôle (722') sont respectivement connectées électriquement auxdits fils conducteurs (710') sur la face inférieure dudit porte-pointes (720'). 35 22 25. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 24, caractérisé en ce que ledit porte-pointes (720') se présente sous la forme d'une structure organique multicouche ou d'une structure céramique multicouche. 26. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 17, caractérisé en ce que lesdites pointes de contrôle (722') s'étendent verticalement à travers ledit porte-pointes (720'), chacune ayant une extrémité supérieure respectivement connectée électriquement auxdites lignes (60') de signaux et une extrémité inférieure suspendue sous ledit porte-pointes (720'). 27. Dispositif de contrôle (3') sous pointes selon la revendication 17, caractérisé en ce que ledit ensemble (50') de pointes comporte en outre une carte adaptatrice (51') disposée sur une face inférieure dudit second élément de support (52') dudit châssis (30'), ledit porte-pointes (52') est assujetti à ladite carte adaptatrice (51'), lesdites pointes de contrôle (54') sont respectivement connectées électriquement auxdites lignes (60') de signaux sur ladite carte adaptatrice (51'). 28. Dispositif de contrôle (3') sous pointes selon la revendication 27, caractérisé en ce que ladite carte adaptatrice (51') est une carte de circuit imprimé monocouche en matière électriquement isolante, lesdites lignes (60') de signaux sont fixées par brasage sur une face supérieure de ladite carte adaptatrice (51'), lesdites pointes (54') sont connectées électriquement à une face inférieure de ladite carte adaptatrice (51'), lesdites lignes (60') de signaux sont respectivement connectées électriquement auxdites pointes de contrôle (54') via ladite carte adaptatrice (51') suivant une connexion verticale. 29. Dispositif de contrôle (3') sous pointes selon la revendication 27, caractérisé en ce que ladite carte adaptatrice (51') comporte au moins un composant électronique (511') connecté électriquement auxdites lignes (60') de signaux et auxdites pointes de contrôle (54'). 30. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 27, caractérisé en ce que ladite carte adaptatrice (71') est en matière électriquement isolante, ayant une pluralité de fils conducteurs (710') disposés dans celle-ci et s'étendant depuis une face supérieure de ladite carte adaptatrice (71') vers une face 23 inférieure de ladite carte adaptatrice (71'), l'espace entre les fils de chaque paire de fils conducteurs adjacents (710') diminuant progressivement dans une direction allant de la face supérieure de ladite carte adaptatrice (71') vers la face inférieure de ladite carte adaptatrice (71'), lesdites lignes (60') de signaux sont respectivement connectées électriquement auxdits fils conducteurs (710') sur la face supérieure de ladite carte adaptatrice (71), lesdites pointes (722') sont respectivement connectées électriquement auxdits fils conducteurs (710') sur la face inférieure de ladite carte adaptatrice (71'). l0 31. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 30, caractérisé en ce que ladite carte adaptatrice (70') se présente sous la forme d'une structure organique multicouche ou d'une structure céramique multicouche. 32. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 30, 15 caractérisé en ce que lesdites pointes de contrôle (722') s'étendent verticalement à travers ledit porte-pointes (720'), chacune ayant une extrémité supérieure respectivement connectées électriquement auxdites lignes (60') de signaux et une extrémité inférieure suspendue sous ledit porte-pointes (720'). 20 33. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 30, caractérisé en ce que lesdites pointes de contrôle (722') sont formées sur ledit porte-pointes (720') à l'aide d'un procédé de fabrication intégrée d'un système micro-électromécanique, ledit porte-pointes (720') comporte une pluralité de trous d'interconnexion électriquement conducteurs (721') respectivement connectés 25 électriquement entre lesdits fils conducteurs (710') et la carte adaptatrice (71') et lesdites pointes de contrôle (722'). 34. Dispositif de contrôle (4') sous pointes selon la revendication 33, caractérisé en ce que lesdites pointes de contrôle (722') s'étendent verticalement à 30 travers ledit porte-pointes (720') chacune ayant une extrémité supérieure respectivement connectée électriquement auxdites lignes (60') de signaux et une extrémité inférieure suspendue sous ledit porte-pointes (720').