Brevet FR2933817A1 — publié le 20100115

Domaine technique général L'invention est relative à un laser comportant une cavité, présentant une surface développée interne et contenant un gaz, et un dispositif d'excitation du gaz pour l'émission d'un rayonnement laser dans la cavité. Elle concerne également un gyrolaser comportant un tel laser, ainsi qu'un procédé de fabrication d'un tel laser. Etat de l'art antérieur On connaît des navigateurs de véhicules qui comportent des centrales inertielles utilisant des gyrolasers. Un gyrolaser permet de déterminer la vitesse de rotation du véhicule par rapport à un axe, grâce à la comparaison de distances de parcours de deux faisceaux laser circulant dans le gyro laser. Les figures la et lb montrent schématiquement un mode de réalisation connu d'un gyrolaser 50. Deux faisceaux laser 54 et 55 sont émis par un laser 2 dans deux sens opposés. Ils sont guidés par des miroirs 53 pour parcourir le gyrolaser selon un parcours de forme annulaire, par exemple sous forme de triangle (figure la) ou de carré (figure lb). Le parcours annulaire des faisceaux 54 et 55 se fait dans un plan dont la normale est l'axe de rotation autour duquel le gyrolaser 50 effectue la mesure de vitesse. Si le véhicule tourne dans le sens direct 51 des figures la et lb par exemple, le faisceau 54 a alors une distance de parcours plus longue que dans le cas où le véhicule tourne dans le sens indirect 52. 1 La vitesse des faisceaux étant constante, on détermine dans un détecteur 58 la variation de la distance de parcours des deux faisceaux 54 et 55, ce qui permet selon un procédé connu de mesurer la vitesse de rotation dans les sens 52 ou 51. La figure 2 montre schématiquement un exemple d'un laser 2 connu, qui peut être compris dans un gyrolaser. Le laser 2 est composé d'une cavité 20 résonnante présentant des lames semi- réfléchissantes 21 et 22 et renfermant un milieu amplificateur composé d'un gaz 23. Le laser 2 est en outre muni d'un dispositif d'excitation 27 excitant le gaz 23 pour former un plasma, qui émet en réaction un rayonnement laser au sein de la cavité 20. Le rayonnement laser peut être transmis par exemple dans deux sens opposés à travers les lames 21 et 22. La puissance Pi de rayonnement à l'intérieur de la cavité 20 est donnée par la relation suivante : 'G Pi= --1 P ~ 20 où G est le gain de la cavité ; et P est la perte de la cavité. On comprend que plus le gain G est élevé et plus la perte P est faible, plus la puissance est importante, ce qui garantit par exemple une bonne qualité de mesure 25 de la vitesse de rotation dans le cas d'un gyrolaser. Lorsque la puissance n'est plus suffisante, le laser n'est plus utilisable. Les lasers connus présentent des inconvénients. 15 30 On constate en effet dans le temps une baisse de la puissance Pi affectant la durée de vie long terme des lasers. En effet, lorsque la cavité 20 comporte des impuretés 11, même sous forme gazeuse, ces dernières constituent une pollution car elles peuvent - absorber une partie de l'énergie d'excitation initialement destiné au plasma, ce qui diminue G ; et - être fixées par les lames 21 et 22, créant ainsi des structures solides qui absorbent le rayonnement laser, ce qui augmente P. On constate que l'effet des impuretés est donc très vite néfaste et détériore fortement la durée de vie des lasers. En outre, les lasers 2 utilisés dans les gyrolasers ont en général une cavité 20 de petit volume (de l'ordre de quelques cm3), et le gaz 23 est à basse pression (de l'ordre de quelques ton ou mbar). L'impact de la pollution est donc d'autant plus important que le nombre de molécules composant le gaz 23 est faible, car la moindre impureté 11 représente alors une pollution relativement importante. Les lasers 2 ne tolèrent ainsi que quelques dizaines de partie par million (ppm) d'impuretés à l'état gazeux au sein de la cavité. Or la cavité, même hermétiquement fermée, n'est jamais totalement dépourvue d'ouvertures (défauts d'étanchéité) permettant l'entrée d'impuretés dans la cavité. De plus, il se produit dans la cavité un dégazage d'impuretés, c'est-à-dire une libération sous forme gazeuse d'impuretés initialement contenus dans les éléments formant la cavité 20. Afin de maintenir un taux d'impuretés faible dans la cavité, la figure 2 montre qu'une solution connue consiste à placer dans la cavité 20 un pompeur 30 d'impuretés (également appelé � getter � par l'homme de l'art) absorbant les impuretés mais ne piégeant pas les molécules du gaz 23 composant le milieu amplificateur. Le pompeur 30 se présente en général sous forme d'un alliage métallique. Le pompeur connu fixe les impuretés 11 par absorption (également appelée � chimisorption �). Comme le montre la figure 3, l'absorption s'effectue par création 32 de liaisons entre les impuretés 311 et la surface 301 du pompeur 30, notamment par transformation chimique : les impuretés absorbées 313 réagissent chimiquement, par exemple par des réactions 32 d'oxydation ou de dissociation moléculaire. Cependant l'utilisation de ces getters 30 est limitée par des inconvénients majeurs des getters. Comme le montre la figure 3, les getters n'arrivent pas à absorber certains composés chimiques 312, comme par exemple les hydrocarbures ou d'autres composés organiques. Or dans les cas d'utilisation d'un laser 2 dans un gyrolaser 50 embarqué au sein de véhicule, ces composés chimiques sont présents dans l'environnement du laser 2. De plus, les getters ont une faible capacité de pompage. Enfin, les températures qui permettent d'augmenter leur capacité à absorber les impuretés sont trop élevées par rapport aux températures d'utilisation usuelles des lasers. L'utilisation de tels getters 30 n'est alors pas suffisante pour satisfaire aux exigences de durée de vie d'un dispositif laser 2, à savoir quelques années. Présentation de l'invention La présente invention a pour but de pallier au moins un de ces inconvénients. On propose selon l'invention un laser comportant une cavité présentant une surface interne et contenant un gaz, un dispositif d'excitation du gaz pour l'émission d'un rayonnement laser dans la cavité, ledit laser comportant en outre un purificateur placé dans la cavité apte à adsorber des impuretés dans le gaz, et présentant une surface développée telle que le rapport entre, d'une part, l'aire de cette surface développée et, d'autre part, l'aire de la surface interne de la cavité est supérieur à 100. L'invention est avantageusement complétée par les caractéristiques suivantes, prises seules ou en une quelconque de leur combinaison techniquement possible : - le rapport entre, d'une part, l'aire de la surface développée et, d'autre part, l'aire de la surface interne de la cavité est supérieur à 1000, préférentiellement supérieur à 5000 ; - le purificateur est composé : d'un matériau poreux dont la surface spécifique, à savoir la surface développée rapportée à sa masse, est de l'ordre de 100 m2/g ; par exemple une zéolithe ; - le purificateur comporte un pompeur apte à absorber des impuretés dans le gaz, le 20 pompeur pouvant être sous forme d'inclusions dans le purificateur, préférentiellement sous forme d'inclusions métalliques ; - le laser comporte un chauffage du purificateur, le chauffage étant apte à chauffer le purificateur à une température de l'ordre de 300°C ; - le gaz est un mélange de gaz rares préférentiellement d'Hélium et de Néon ; et/ou 25 - le gaz a une basse pression préférentiellement inférieure à 20 mbar ; et/ou - la cavité a un faible volume intérieur préférentiellement inférieur à 50 cm3. On propose en outre suivant l'invention, un gyrolaser comportant un laser précité. 30 On propose enfin un procédé de fabrication d'un laser précité, les étapes du procédé de fabrication étant : - la disposition d'un purificateur dans une coupelle métallique, le purificateur étant composé d'un matériau apte à adsorber des impuretés dans le gaz, et présentant une surface développée dont l'aire est supérieure à l'aire de la surface interne de la cavité ; - l'empastillage par pression mécanique dudit matériau dans la coupelle métallique ; - l'insertion de cette coupelle dans la cavité ; - le maintien sous vide de la cavité ; - le chauffage par induction de la coupelle qui, par conduction, provoque le dégazage dudit matériau à une température de l'ordre de 300°C, pendant le maintien sous vide de la cavité ; - le remplissage de la cavité par le gaz à basse pression ; et - la fermeture hermétique de la cavité. L'invention présente de nombreux avantages. Elle permet ainsi une augmentation de la durée de vie du dispositif. Elle permet notamment de purifier le milieu amplificateur de la cavité laser de l'ensemble des molécules qui constituent des impuretés, y compris les molécules ne 20 réagissant pas chimiquement avec la surface de getters conventionnels. Présentation des figures D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la 25 description détaillée qui décrit des exemples de modes de réalisation. Cette description sera faite en référence aux dessins annexés dans lesquels : - Les figures la et lb, déjà discutées, sont des représentations schématiques de deux modes de réalisation de gyro lasers connus ; - La figure 2, déjà discutée, est une représentation schématique d'un mode de 30 réalisation d'un laser selon l'art antérieur ; - La figure 3, déjà discutée, représente un schéma de fonctionnement du mécanisme de chimisorption mis en oeuvre par un getter connu ;15 - La figure 4 est un schéma de fonctionnement du mécanisme d'adsorption mis en oeuvre par un purificateur selon l'invention ; - La figure 5 est un schéma de fonctionnement du mécanisme d'adsorption sur une surface développée plus importante que celle de la figure 4 ; - La figure 6 est un schéma illustrant la différence entre une surface apparente et une surface développée ; - La figure 7 est un graphique comparant l'évolution dans le temps de la pression partielle des impuretés d'un gaz pour différentes surfaces développées de purificateurs ; - La figure 8 est un schéma d'un premier mode de réalisation de l'invention ; - La figure 9 est la courbe représentant l'efficacité de l'adsorption en fonction du rapport entre l'aire de la surface développée du purificateur et l'aire de la surface interne de la cavité ; - La figure 10 est une représentation d'un mode de réalisation du purificateur selon l'invention comportant des inclusions de matériaux absorbants ; - La figure 11 est un schéma montrant le phénomène de dégazage du purificateur ; et - La figure 12 est un schéma d'un mode de réalisation des moyens de chauffage du purificateur du laser. Description détaillée La figure 8 montre un mode de réalisation possible d'un laser suivant l'invention. Le laser 2 comporte une cavité 20 contenant un gaz 23, et un dispositif 27 d'excitation du gaz 23 pour l'émission d'un rayonnement laser dans la cavité 20. Le gaz 23 composant le milieu amplificateur est préférentiellement un gaz chimiquement inerte, du type gaz rare, comme par exemple un mélange de gaz rares 30 Hélium-Néon. La cavité 20 présente une surface développée interne, que l'on appelle dans la suite de la présente description � surface interne � 25. La figure 6 montre schématiquement la différence entre deux surfaces développées 90 et 91 (encore appelées � surfaces spécifiques � par l'homme de l'art lorsqu'elles sont rapportées à une masse ou à un volume) de deux faces. Les deux surfaces développées 90 et 91 correspondent à une même surface apparente S. Dans le cas où la face dont on mesure la surface développée est parfaitement plane, 10 la surface apparente S et la surface développée 90 sont identiques est ont la même aire. En revanche, dans le cas où la face comporte des irrégularités 92, la surface apparente S est toujours la même, alors que la surface développée 91 représente la 15 dimension totale de la surface de la face, y compris la surface interne des irrégularités 92. La figure 6 est un mode de représentation en coupe non limitative du développement d'une surface. Les surfaces développées peuvent avoir des configurations plus complexes, que la représentation simplifiée de la figure 6 n'écarte pas, par exemple dans le cas de matériaux poreux tridimensionnel. On 20 comprend cependant grâce à la figure 6 que la surface développée peut être significativement supérieure à la surface apparente. La surface interne 25 de la cavité 20 reprend l'ensemble des éléments formant la cavité (comme par exemple les parois et les lames semi-réfléchissantes), mais est 25 d'une dimension relativement proche de la surface apparente de la cavité. Le laser 2 comporte en outre un purificateur 10 placé dans la cavité 20. Le purificateur 10 présente une surface développée 101 importante. 30 En effet, selon l'invention, le rapport entre, d'une part, l'aire de la surface développée 101 et, d'autre part, l'aire de la surface interne 25 de la cavité 20 est supérieur à 100. Le purificateur 10 est ainsi apte à adsorber des impuretés 11 dans le gaz. L'adsorption, encore appelée �physisorption �, est la fixation de molécules de gaz par toute surface solide. L'adsorption conserve l'intégrité chimique des molécules, à la différence de l'absorption. Le processus inverse de l'adsorption est la désorption. Comme le montrent les figures 4 et 5, l'adsorption permet une fixation 111, sur des sites 102 d'adsorption de la surface développée 101, d'un grand nombre de molécules 311 et 312 différentes, ce que ne permet pas le phénomène d'absorption, car on l'a vu, certaines molécules ne peuvent être absorbées. L'adsorption est en effet susceptible de fixer toutes les molécules 311 et 312 présentant un moment dipolaire électrique, ce qui est le cas d'un grand nombre de molécules. Bien entendu, le gaz 23 est inerte est n'est pas adsorbé par le purificateur 10. Tant que la surface 101 présente des sites d'adsorption 102 libres, les impuretés 11 du gaz 23 ont tendance à remplir ses sites d'adsorption 102 par physisorption 111. Les impuretés adsorbées ne sont alors plus présentes dans le gaz 23 et ne représentent plus de pollution. Une partie des molécules déjà adsorbées par la surface 101 sont cependant libérées par désorption 112 dans le gaz 23. La quantité de molécules adsorbées sur cette surface 101 est ainsi en équilibre dynamique avec la quantité d'impuretés dans le gaz 23. Ce phénomène réversible d'adsorption/désorption est connu en thermodynamique par l'homme de l'art, grâce aux théories des isothermes de Langmuir et BET. Ces théories montrent que l'équilibre dépend notamment de la température. On ne peut cependant pas modifier la température d'utilisation des lasers pour augmenter la quantité d'impuretés adsorbées par le purificateur 10, pour des raisons techniques. Les inventeurs ont constaté qu'une grande surface 101 développée comportant un grand nombre de sites d'adsorption, c'est à dire présentant un taux de recouvrement faible (le taux de recouvrement est le rapport entre d'une part le nombre de molécules adsorbées et d'autre part le nombre de sites d'adsorption 102 de la surface 101), peut jouer le rôle de système de purification du gaz. En d'autres termes, le nombre de sites d'adsorptions 102 influe sur l'équilibre dynamique d'adsorption/désorption. Comme on le comprend d'une comparaison entre les figures 4 et 5, si l'on augmente la surface développée 101 du purificateur, on augmente le nombre de sites d' adsorption 102. L'équilibre de l' adsorption/désorption est ainsi déplacé dans le sens d'une plus grande adsorption des impuretés. L'influence de l'augmentation de la surface développée 101 sur la présence d'impuretés 11 dans la cavité au cours du temps a été étudiée, à l'aide d'une simulation fondée sur la théorie de Langmuir. La figure 7 montre qu'avec un purificateur 10 ayant une surface développée de 100 m2, la pression partielle d'impuretés 11 dans la cavité (la pression partielle d'impuretés est directement liée au nombre d'impuretés 11 présentes dans la cavité 20) est toujours 100 fois inférieure à la pression partielle d'impuretés lorsque aucun purificateur n'est placé dans la cavité. Chaque surface à l'intérieur de la cavité 20 laser participe au dégazage et à l' adsorption/désorption d'impuretés 11. L'efficacité de la purification du gaz 23 dépend alors du rapport entre d'une part les surfaces participant principalement à l'adsorption des impuretés 11, c'est-à-dire la surface 101 développée du purificateur, et d'autre part les surfaces participant principalement au dégazage des impuretés 1l, c'est-à-dire la surface interne 25. La figure 9 montre que, dans le cas d'un rapport des aires de l'ordre de 100, le gain sur la pression partielle des impuretés 101 est perceptible. Le nombre d'impuretés 11 dans la cavité 20 diminue donc. Le fonctionnement du purificateur 10 ne s'attache à aucun matériau en particulier. Le purificateur 10 peut donc être dans un matériau quelconque, à partir du moment où il présente une surface développée importante. 15 Le purificateur est cependant préférentiellement composé d'un matériau poreux, de telle sorte que la surface développée 101 du purificateur 10 ait une aire supérieure à plus de 100 fois l'aire de la surface interne 25 de la cavité 20. Selon la figure 9, il est préférable d'utiliser un purificateur dont l'aire de la surface 20 développée est au moins 1000 fois supérieure à l'aire de la surface interne de la cavité (on a un gain sur la pression partielle d'impuretés de 5 environ, c'est-à-dire que la pression partielle d'impuretés est 5 fois inférieure), et même au moins 5 000 fois supérieure (gain de 10 environ). 25 Ainsi le purificateur 10 peut être composé d'un matériau dont la surface spécifique (c'est-à-dire la surface développée du purificateur rapportée à sa masse) est supérieure à 100 m2/g, par exemple 600 m2/g. Les matériaux du type zéolithe, qui présentent des surfaces piégeantes importantes 30 relativement à leur volume et à leur masse, semblent particulièrement adaptés à ce type de contrainte. 10 Toutefois, selon les matériaux qui composent le purificateur, les énergies des liaisons physiques entre les impuretés 11 et la surface 101 du purificateur 10 seront modifiées. Cette propriété aura un impact direct sur l'équilibre d' adsorption/désorption précédemment décrit. Il est donc clair que certains matériaux, et certaines molécules, seront plus efficaces pour piéger ou être piégées. On peut en outre profiter des mécanismes d'absorption en combinaison avec le phénomène d'adsorption, pour encore diminuer le nombre d'impuretés dans la cavité. La combinaison de ces deux phénomènes de sorption permet une purification de la cavité 20 encore plus grande. L'absorption est réalisée par des matériaux spécifiques, chimiquement réactifs, comme le titane, le molybdène, le tungstène, le palladium, le platine, le vanadium, le zirconium ou un alliage de plusieurs de ces éléments métalliques. Selon une variante de l'invention représentée à la figure 10, le purificateur 10 peut ainsi être composé d'un matériau dont la surface développée est grande et comportant en outre des inclusions 31 de matériaux aptes à l'absorption, par exemple des inclusions de type métallique. Les impuretés réagissant à la chimisorption 311 peuvent ainsi être absorbées par les inclusions 31 métalliques, en plus d'être adsorbées par la surface 101. Le laser 2 décrit par l'invention présente de nombreux avantages dans le cas d'une 25 utilisation comme gyrolaser 50 pour une centrale inertielle. En effet, les centrales inertielles sont embarquées au sein de véhicule ayant des durées de vie relativement longue. Le laser 2 décrit par l'invention permet ainsi d'allonger la durée de vie du laser 2 et de limiter ainsi le recours à la mise à l'arrêt 30 du véhicule pour le remplacement des centrales inertielles. 20 L'utilisation d'un laser 2 décrit par l'invention permet l'adsorption d'impuretés 11 présentes dans l'environnement des gyrolasers, comme par exemple les composés organiques et particulièrement les hydrocarbures. Dans le cas d'un laser d'un gyrolaser, la pression du gaz 23 est inférieure à 20 mbar, alors que le volume de la cavité est préférentiellement inférieur à 50 cm3 Comme le montre la figure 1l, le purificateur 10 contient, dans son état initial, des impuretés 11 qu'il est susceptible de dégazer lorsqu'il est placé à l'intérieur de la cavité, contribuant alors à une pollution supplémentaire du gaz 23 de la cavité 20. Le dégazage des impuretés 1l, initialement contenues dans le purificateur 10, peut être provoqué avant que le purificateur 10 ne soit disposé dans la cavité 20 fermée hermétiquement. Le dégazage préalable du purificateur permet bien entendu d'éviter le dégazage, mais également de diminuer le taux de recouvrement de la surface 101, en libérant des espaces d'adsorption notamment. 20 A cet effet, le laser comporte avantageusement un chauffage 40 du purificateur 10. Le purificateur 10 chauffé, à une température de l'ordre de 300°C, dégaze les impuretés 11 qu'il contenait initialement. Le dégazage par chauffage peut se réaliser directement dans la cavité 20 avant 25 qu'elle ne soit hermétiquement fermée. L'invention concerne ainsi également un procédé de fabrication d'un laser 2. Selon un mode de fabrication privilégiée représenté à la figure 12, on dispose par 30 exemple 80 mg de matériau zéolithe dans une coupelle métallique 41 appartenant au chauffage 40. On choisit un matériau zéolithe pour constituer un purificateur 1015 dont l'aire de la surface développée 101 est très supérieure (par exemple supérieure à 5000 fois) à l'aire de la surface interne 25 de la cavité. On presse mécaniquement le purificateur 10 dans la coupelle 41 pour former une 5 pastille. On insère alors la coupelle métallique 41 contenant le purificateur 10 empastillé dans la cavité 20 laser. On maintient la coupelle 41 sur la paroi de la cavité 20 à l'aide, par exemple, d'un ressort. On fait alors le vide dans la cavité 20 laser. Pendant la mise sous vide, on procède au dégazage du purificateur 10 grâce au chauffage 40. A cet effet, la coupelle métallique 41 est chauffée par des moyens 41 15 d'induction appartenant également au chauffage 40. Le purificateur 10 étant en contact avec la coupelle 41, cette dernière, chauffée par induction, chauffe le purificateur 10 par rayonnement et par conduction à une température supérieure à 300°C. Cette température permet un dégazage suffisant du 20 purificateur 10, libérant notamment un maximum de sites d'adsorption 102. La cavité 20 étant maintenue activement sous vide pendant le temps du dégazage, les impuretés libérées 11 sont évacuées par les moyens de mise sous vide (non représentés). Une fois le dégazage terminé, on arrête le chauffage et on peut procéder au remplissage de la cavité 20 par le gaz 23 constituant le milieu amplificateur. La cavité 20 ensuite fermée hermétiquement. 10 25 30 Au cours de la vie du laser 2, des impuretés 11 qui seront dégazées par les différentes surfaces du laser 2 ou encore entrées par les ouvertures (défauts d'étanchéité) de la cavité 20 seront captées par le purificateur 10. Le purificateur permet alors un maintien de la puissance du laser 2 en adsorbant les impuretés 11 présentent au sein de la cavité 20. REVENDICATIONS1. Laser (2) comportant - une cavité (20) présentant une surface interne (25) et contenant un gaz (23), et - un dispositif (27) d'excitation du gaz (23) pour l'émission d'un rayonnement laser dans la cavité (20), ledit laser (2) étant caractérisé en ce qu'il comporte en outre : - un purificateur (10) placé dans la cavité et apte à adsorber des impuretés (11) dans le gaz, et présentant une surface développée (101) telle que le rapport entre, d'une part, l'aire de ladite surface développée (101) et, d'autre part, l'aire de la surface interne (25) de la cavité (20) est supérieur à 100. 2. Laser (2) selon la revendication 1, dans lequel le rapport entre, d'une part, l'aire de la surface développée (101) et, d'autre part, l'aire de la surface interne (25) de la cavité (20) est supérieur à 1000, préférentiellement supérieur à 5000. 3. Laser (2) selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel le purificateur (10) est composé d'un matériau poreux dont la surface spécifique, à savoir la surface développée rapportée à sa masse, est de l'ordre de 100 m2/g. 4. Laser (2) selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel un matériau composant le purificateur (23) est une zéolithe. 5. Laser (2) selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel le purificateur (10) comporte un pompeur (30) apte à absorber des impuretés (11) dans le gaz (23). 6. Laser (2) selon la revendication 5, dans lequel le pompeur (30) est sous forme d'inclusions (31) dans le purificateur (10), préférentiellement sous forme d'inclusions métalliques, lesdites inclusions métalliques étant constituées, de titane,de molybdène, de tungstène, de palladium, de platine, de vanadium, de zirconium ou d'un alliage de plusieurs de ces éléments métalliques. 7. Laser (2) selon l'une des revendications 1 à 6, comportant un chauffage 5 (40) du purificateur (10), le chauffage (40) étant apte à chauffer le purificateur à une température de l'ordre de 300°C. 8. Laser (2) selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel : - le gaz (23) est un mélange de gaz rares préférentiellement d'Hélium et 10 de Néon ; et/ou - le gaz (23) a une basse pression préférentiellement inférieure à 20 mbar ; et/ou - la cavité (20) a un faible volume intérieur préférentiellement inférieur à 50 cm3. 12. Centrale inertielle comportant un gyrolaser (50) caractérisée en ce que le gyrolaser (50) comporte un laser (2) suivant l'une des revendications 1 à 8. 13. Procédé de fabrication d'un laser (2) selon l'une des revendications 1 à 20 8, le laser présentant une cavité (20) ayant une surface interne (25) et contenant un gaz (23) à basse pression, le procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte les étapes de : - disposition d'un purificateur (10) dans une coupelle métallique (41), le purificateur (10) étant composé d'un matériau apte à adsorber des impuretés (11) 25 dans le gaz (23), et présentant une surface développée (101) dont l'aire est supérieure à l'aire de la surface interne (25) de la cavité (20), - empastillage par pression dudit matériau dans la coupelle métallique (41), - insertion de cette coupelle dans la cavité (20), 30 - maintien sous vide de la cavité (20), 15- chauffage par induction de la coupelle (41) qui, par conduction, provoque le dégazage dudit matériau à une température de l'ordre de 300°C, pendant le maintien sous vide de la cavité (20), - arrêt du chauffage une fois le dégazage terminé, - remplissage de la cavité (20) par le gaz (23) à basse pression, et - fermeture hermétique de la cavité (20).