Brevet FR2925222A1 — publié le 20090619

PROCEDE DE REALISATION D'UNE INTERCONNEXION ELECTRIQUE ENTRE DEUX COUCHES CONDUCTRICES. DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention a trait à la réalisation d'une interconnexion électrique entre deux couches conductrices séparées par au moins une couche isolante ou semi-conductrice, plus particulièrement mise en oeuvre dans la réalisation de circuits électroniques. Elle s'applique notamment lorsque le dépôt de la couche séparatrice en matériau isolant ou semi-conducteur est réalisée par voie humide. On parle classiquement de vias qui, de manière connue, constitue un chemin conducteur à 15 travers une couche isolante. La présente invention s'applique tout particulièrement à la réalisation de transistors, pour lequel le via en question constitue le chemin conducteur à travers l'isolant de grille et le semi-conducteur. Elle s'applique également de manière générale pour la réalisation de vias dans le cadre de l'électronique utilisant des matériaux organiques et inorganiques et/ou des matériaux hybrides organiques-inorganiques, notamment déposés par voie humide. 25 ETAT ANTERIEUR DE LA TECHNIQUE On distingue classiquement deux procédés de réalisation de vias, plus généralement mis en oeuvre pour la réalisation de transistors à effet de champ. 30 Une première méthode dite �méthode soustractive �, consiste à réaliser de tels vias par attaque physique ou chimique de la couche ou des couches en matériau isolant ou semi-conducteur à traverser. Cette attaque est réalisée par ablation laser, par jet de solvant, par embossage, voire par utilisation d'une couche diélectrique photoréticulable sous l'action d'un rayonnement ultraviolet. Elle est donc nécessairement réalisée après dépôt de la 35 couche isolante ou semi-conductrice. 20 En fonction de l'architecture utilisée pour la réalisation de transistors à effet de champ, et notamment type � bottom-gate � (grille basse) ou � top-gate � (grille haute), cette étape d'attaque intervient en fin de processus ou en milieu de processus. Une telle attaque est susceptible de générer des pollutions, notamment constituées de débris dus au tir laser, de résidus de solvant, outre de dégradations de la couche semi-conductrice lors de la soumission de celle-ci à rayonnements ultraviolets. Or il s'avère que de telles pollutions sont particulièrement critiques lorsqu'elles touchent l'interface semiconducteur/isolant, et peuvent fortement dégrader les performances électriques des transistors. De plus, l'accumulation d'étapes en fin de processus augmente le risque de détériorer les couches déjà déposées, de telles détériorations se traduisant notamment par le décollement des couches après tir laser, voire la dissolution involontaire de partie desdites couches lorsque les vias sont réalisés par jets de solvants, etc... Une deuxième méthode, dite � méthode sélective �, consiste à réaliser le dépôt sélectif de la couche d'isolant ou de semi-conducteur. Cette méthode consiste à déposer localement la couche isolante ou semi-conductrice en évitant certaines zones. Dans les zones vierges, c'est-à-dire dépourvues de matériau isolant ou semi-conducteur, le premier niveau conducteur, c'est-à-dire la couche du matériau conducteur inférieure, est à nu. Lesdites zones vierges sont donc destinées à faire office de vias. Cette méthode présente l'avantage de ne pas engendrer de pollution du type de celles décrites dans la méthode précédente. Afin de réaliser un tel dépôt localisé, on peut utiliser les techniques d'impression de type flexographie, héliographie, jet d'encre, sérigraphie, etc... Cependant, l'expérience démontre que l'utilisation de certains matériaux diélectriques ou semi-conducteurs est difficilement formulable dans une encre adaptée aux techniques d'impression. Les plus simples demeurent le dépôt pleine couche par les technologies bien connues par l'homme du métier sous les expressions anglo-saxonnes � spin coating � (tournette), � dip-coating � (trempage), � spray coating � (pulvérisation), etc... De plus, ces méthodes de dépôt ne permettent pas une résolution spatiale suffisante dans un grand nombre d'applications. L'objectif visé par la présente invention est de réaliser de tels vias d'interconnexion en s'affranchissant des inconvénients liés aux techniques aujourd'hui disponibles et brièvement rappelées précédemment. DESCRIPTION SUCCINCTE DE L'INVENTION L'invention vise donc un procédé pour réaliser une interconnexion électrique entre deux couches conductrices séparées par au moins une couche isolante ou semi-conductrice. 5 Ce procédé consiste à réaliser un plot s'étendant au moins entre la couche conductrice inférieure et la couche conductrice supérieure, plot dont la nature et/ou la forme lui confère des propriétés de non mouillabilité vis-à-vis de la couche réalisée en matériau isolant ou semi-conducteur. 10 Ce plot est réalisé avant dépôt de la couche séparatrice et de la couche conductrice supérieure. En d'autres termes, l'invention consiste à mettre en oeuvre un plot, conducteur ou non conducteur, et à jouer sur sa nature et/ou sur sa forme ou sur son facteur de forme, propre 15 à lui permettre d'assurer sa fonction de conduction électrique, soit en raison de sa nature, soit en raison du dépôt subséquent de la couche conductrice supérieure, susceptible de venir combler la zone de non mouillabilité laissée vierge de tout matériau isolant ou semi-conducteur. 20 Selon un premier mode de réalisation de l'invention, le plot est réalisé en un matériau conducteur et est déposé sur la couche conductrice inférieure, par exemple par technologie jet d'encre. Selon une autre forme de réalisation de l'invention, le plot est réalisé en un matériau 25 conducteur et est réalisé par déformation de la première couche conductrice ou couche conductrice inférieure. Afin de garantir un recouvrement non total de la surface du plot lors du dépôt de la couche de matériau isolant ou semi-conducteur, la hauteur dudit plot doit être supérieure à 30 l'épaisseur de ladite couche isolante ou semi-conductrice. De plus, l'inclinaison de l'orientation des flancs du plot a une influence sur la non mouillabilité de la couche isolante ou semi-conductrice à ce niveau. Typiquement, l'inclinaison des flancs et notamment la valeur de l'angle a entre l'horizontale et les 35 flancs, doit être avantageusement comprise entre 45 et 135°. 3 Les formes envisageables pour le plot peuvent être de différentes natures, notamment conique, tronconique, cylindrique, sphérique. Selon l'invention, le plot peut également résulter de la déformation du substrat sur lequel est déposée la première couche en matériau conducteur et du dépôt subséquent de la première couche conductrice venant recouvrir intégralement ledit substrat ainsi que sa déformation. Dans le même ordre d'idée, le plot peut être ajouté sur le substrat avant le dépôt de la 10 première couche conductrice. Selon une autre forme de réalisation de l'invention, le plot peut être réalisé en un matériau isolant définissant à sa périphérie une zone non mouillable pour le matériau semi-conducteur ou isolant déposé subséquemment à la première couche conductrice. Selon ce 15 mode de réalisation, la conduction électrique entre la couche conductrice inférieure et la couche conductrice supérieure résulte du dépôt de ladite couche conductrice supérieure, venant alors combler la zone non mouillante définie précédemment autour du plot. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS La manière dont l'invention peut être réalisée et les avantages qui en découlent ressortiront mieux des exemples de réalisation qui suivent, donnés à titre indicatif et non limitatif, à l'appui des figures annexées. 25 La figure 1 est une représentation schématique du principe sous-tendant la présente invention. La figure 2 est une représentation schématique visant à illustrer le mécanisme de démouillage de la couche isolante sur la surface du plot. La figure 3 illustre différentes formes possibles du plot conforme à l'invention. 30 La figure 4 est une illustration schématique d'un mode de réalisation de l'invention à partir d'un plot réalisé directement sur le substrat. Les figures 5a à 5d illustrent le principe de réalisation d'un plot en un matériau non conducteur. La figure 6 est une vue schématique illustrant la mise en oeuvre d'un plot présentant un 35 angle a inférieur à 90°. 20 La figure 7 est une vue schématique visant à illustrer le � coffee stain � effet, susceptible d'être utilisé dans le cadre de l'invention. MODES DE REALISATION DE L'INVENTION Comme on l'aura compris, la présente invention propose deux modes possibles pour réaliser un via d'interconnexion de deux couches conductrices 2, 5, séparées par une couche isolante ou semi-conductrice 4. 10 Selon l'invention, la réalisation de ce via passe par la mise en oeuvre d'un plot 3, rapporté sur la couche conductrice inférieure 2 ou directement sur le substrat 1, sur lequel est déposé ladite couche conductrice inférieure, ou émanant de cette couche conductrice inférieure. En fonction de la nature conductrice ou non conductrice du plot initial 3, différentes 15 méthodes peuvent être envisagées. Selon une première méthode visant à réaliser un plot directement conducteur, c'est à dire dont la nature du matériau qui le constitue est conducteur, on modifie la géométrie de la première couche conductrice inférieure 2. Cette couche 2 est classiquement déposée sur un substrat 1 de toute nature, notamment isolante, ou éventuellement semi-conductrice. Ladite couche 2 est par exemple réalisée en or, platine, cuivre, nickel, aluminium, etc. et le substrat 1 par exemple en matière plastique. 25 Selon l'invention, la couche 2 est déformée notamment par attaque d'un rayonnement laser. La couche conductrice 2 et/ou son support 1, peut ainsi absorber tout ou partie du rayonnement laser pulsé ou continu. Une ou plusieurs de ces couches peut ainsi être ablatée ou fondue, créant de la sorte une déformation au moins de la couche conductrice 2. Plus spécifiquement, la topologie de la couche métallique conductrice 2 est modifiée à la 30 frontière du tir laser. Plus particulièrement, la couche conductrice 2 tend à se décoller du support 1 au niveau des bords du tir laser. Ce décollement peut ainsi faire office de plot conducteur pour la réalisation des vias selon l'invention. La forme de la déformation ainsi engendrée va dépendre de la forme du spot laser, circulaire ou linéaire, de sa puissance, de sa durée, du nombre de pulses (dans le cadre de la mise en oeuvre d'un laser pulsé), de 35 l'interaction de sa longueur d'onde avec les couches déformables et des propriétés 20 mécaniques, notamment de la couche conductrice à déformer, et notamment de sa ductilité et de son épaisseur. On peut ainsi mettre en oeuvre des lasers de type Excimer (longueur d'onde 308 nm) ou autre longueur d'onde, ou laser YAG, voire laser CO2. La déformation en résultant va ainsi empêcher le mouillage. Selon une variante de ce procédé de l'invention, on peut également procéder à un embossage ou à un micro-embossage pour déformer la première couche conductrice 2 et ainsi réaliser le plot. Cette déformation peut altérer soit directement la couche conductrice 2, soit l'ensemble constitué par la couche conductrice 2 et le substrat 1. Quel que soit le mode de déformation de la couche conductrice inférieure 2 mise en oeuvre, il se crée une excroissance par rapport au plan général dans lequel est située la couche conductrice 2, dont on assure une hauteur suffisante pour être supérieure à l'épaisseur de la couche isolante 4 destinée à recouvrir la couche conductrice inférieure 2 et ainsi assurer la conduction électrique avec la couche conductrice supérieure 5 et ce, conformément à l'invention. La déformation de cette couche conductrice inférieure peut également résulter d'une attaque mécanique � scratching �, d'une attaque chimique, d'une attaque électrique (électroérosion), d'une attaque thermique, d'une attaque magnétique, voire par plusieurs de ces méthodes couplées entre elles. Cette ou ces attaques induisent la formation de surépaisseurs à la périphérie du lieu de l'attaque. C'est le phénomène qui est mis à profit dans le cadre de l'invention. Lorsque le plot 3 est ainsi constitué, on procède au dépôt de la couche isolante ou semi-30 conductrice 4. Une telle couche isolante est par exemple constituée d'un polymère tel que le PMMA, le polyvinylphénol, les polyoléfines, les polysulfones, le polyimide. Quand elle est réalisée en un matériau semi-conducteur ou semi-isolant, elle peut être alors en pentacene, en polythiophènes, en polytriarylamines. 35 Compte tenu de la forme du plot, décrite ci- après plus en détail, on aboutit à un démouillage partiel du plot. Ce démouillage résulte tout d'abord de la gravité, qui tend à faire s'écouler le matériau isolant ou semi-conducteur en solution constitutif de la couche 4 (lorsque le solvant n'est pas encore évaporé) le long des flancs du plot, ce qui tend à diminuer l'épaisseur de la couche de matériau isolant ou semi-conducteur au niveau des flancs. En outre, ce démouillage partiel du plot peut également résulter des phénomènes de tension 10 de surface apparaissant au niveau de l'angle a formé par la surface supérieure du plot et le ou les flancs du plot, et tel que par exemple illustre au sein de la figure 2. On observe ainsi que pour aboutir à ce démouillage, l'angle a est avantageusement choisi compris entre 45 et 135°. Ainsi, la quantité de liquide constitutif de la couche isolante ou semi-conductrice tend à se minimiser au maximum au niveau de la surface de contact avec le plot. Ce phénomène dépend entre autres de la viscosité de la solution du matériau isolant ou semi-conducteur et de l'angle de contact entre la solution et la surface. 20 Afin de garantir un recouvrement partiel de la surface du plot, et plus particulièrement afin de s'assurer que la surface supérieure du plot, c'est-à-dire de la surface du plot destinée à se trouver au dessus de la couche de matériau isolante ou semi-conductrice 4 après dépôt de celle-ci, et comme déjà dit, on fait en sorte que la hauteur du plot soit supérieure à 25 l'épaisseur de la couche isolante ou semi- conductrice 4. Enfin, plus la surface de la base du plot (interface plot/couche inférieure) est petite, plus la non-mouillabilité du plot est importante. Ceci permet de disposer d'une plus grande surface de contact entre les deux couches conductrices. De fait, différentes formes de plot peuvent être envisagées et illustrées à titre exemplatif au sein de la figure 3. Typiquement, ces plots peuvent être de nature tronconique, tronconique inversée, cylindrique ou sphérique. 15 30 Selon une variante de l'invention représentée à l'appui de la figure 4, le plot peut être réalisé avant le dépôt de la couche conductrice inférieure 2. Pour ce faire (figure 4b), on procède à une déformation de la couche constitutive du substrat ou on rapporte sur ledit substrat un plot 3 non conducteur. La déformation du substrat peut être réalisée par attaque laser, ainsi que déjà précisé précédemment. S'il est rapporté sur ledit substrat 1, un plot en matériau isolant, tel que par exemple en 10 polymère ou en céramique, est alors déposé par exemple par technologie jet d'encre, ou par sérigraphie, par héliographie ou par flexographie. On procède ensuite (figure 4c) au dépôt de la couche conductrice inférieure 2, qui recouvre les surfaces latérales du plot afin d'assurer sa fonction conductrice ultérieure. Le dépôt de 15 cette couche conductrice inférieure s'effectue de manière classique par pulvérisation. On peut également procéder au dépôt de cette couche conductrice inférieure par voie liquide qui recouvre alors toute la surface du plot. On utilise par exemple pour ce faire la technique dite du � spray coating �, ou une technique d'électrodéposition (ou selon l'expression anglo-saxonne � electroless �). 20 On procède ensuite au dépôt de la couche isolante ou semi-conductrice 4, dont on observe qu'elle s'étend sur une hauteur inférieure à la hauteur totale du plot, et enfin au dépôt de la couche conductrice supérieure 5. On observe que celle-ci vient en contact avec la couche conductrice recouvrant les flancs du plot 3 et partant, permettant d'aboutir à un via 25 conforme à l'invention. Selon une autre méthode de l'invention, par exemple décrite en relation avec les figures 5a et 5b, on met en oeuvre un plot non conducteur. Ainsi par exemple, on procède au dépôt d'une microbille de verre sur la surface conductrice inférieure 2, par exemple en mettant en 30 oeuvre la technologie jet d'encre. Cette microbille présente typiquement un diamètre voisin de un micromètre adapté pour une épaisseur de la couche isolante ou en matériau semi-conducteur 4 d'environ 400 nanomètres.5 Cette microbille 3 s'avère partiellement démouillante avec un matériau tel que le polyvinyle phénol constitutif de la couche isolante 4. Il se crée de fait de part et d'autre de la bille 3 une zone 6 dépourvue de matériau isolant lorsque la couche dudit matériau a été déposée. Lorsque l'on procède au dépôt de la couche conductrice supérieure 5, celle-ci vient combler partiellement la zone 6 périphérique du plot, exempte de matériau isolant, et vient en contact avec la couche conductrice inférieure 2, constituant ainsi un via pour la structure ainsi obtenue. Bien évidemment, plus faible sera l'affinité chimique entre la couche de matériau isolant ou semi-conductrice à déposer et le plot, plus efficace sera le démouillage réalisé autour dudit plot. 15 Si dans l'exemple décrit, le plot est non conducteur, cette méthode particulière peut également fonctionner avec un plot conducteur. On a représenté, en relation avec la figure 6, la mise en oeuvre d'un plot tronconique inversé susceptible d'être mis en place en lieu et place de la sphère ou microbille des figures 5a et 20 5b. Dans ce cas, l'angle a tel que défini précédemment, est inférieur à 90°. Il se définit de la même manière une zone de non mouillabilité 6 à la périphérie de la petite base du plot au contact avec la couche conductrice inférieure 2. Lorsque le plot est réalisé en utilisant la technologie du jet d'encre, une ou plusieurs gouttes 25 peuvent être déposées successivement au même endroit afin d'aboutir aux caractéristiques géométriques requises, notamment afin d'aboutir à la hauteur suffisante du plot au regard de l'épaisseur respective de la couche conductrice inférieure et de la couche isolante ou semi-conductrice. Ainsi, la hauteur du plot dépend du nombre de gouttes déposées, de l'épaisseur de chacune des gouttes et du temps d'attente entre le dépôt de deux gouttes consécutives. 30 Au surplus, le plot peut être orienté d'un angle variable par rapport au substrat. La mise en oeuvre de cette technologie du jet d'encre peut conduire à l'effet bien connu de � coffee stain � tel qu'illustré sur la figure 7. Ce phénomène résulte de la différence d'évaporation entre le centre et les bords de la goutte, générant un gradient de concentration 35 qui pousse le soluté vers les bords, créant ainsi une surépaisseur. Cette surépaisseur peut, en 10 raison de sa non uniformité, engendrer des problèmes, et par exemple des courts-circuits entre les couches. Cet effet est donc en général à éviter. Mais dans le cadre de l'invention, en contrôlant cet effet, on peut jouer sur la topologie du flanc du plot, et ainsi favoriser la non-mouillabilité du plot avec la couche en matériau isolant ou semi-conducteur, permettant ainsi de garantir le caractère conducteur du plot avec la couche conductrice supérieure. On conçoit tout l'intérêt de la présente invention qui, en jouant sur la non-mouillabilité d'un plot, permet de faire la jonction entre deux couches conductrices en passant à travers une couche isolante ou semi-conductrice, simplifiant les techniques de fabrication, notamment des composants électroniques organiques ou inorganiques, tels que les transistors à effet de champ, mais également des microsystèmes pour la biologie, des antennes, des micro batteries, des piles à combustible, etc... REVENDICATIONS 1. Procédé pour réaliser une interconnexion électrique entre deux couches conductrices (2, 5) séparées par au moins une couche isolante ou semi-conductrice (4), caractérisé en ce qu'il consiste à réaliser un plot (3) s'étendant au moins entre la couche conductrice inférieure (2) et la couche conductrice supérieure (5), plot dont la nature et/ou la forme lui confère des propriétés de non mouillabilité vis-à-vis du matériau constitutif de la couche séparatrice (4). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le plot (3) est réalisé préalablement au dépôt de la couche séparatrice (4) et de la couche conductrice supérieure (5). 3. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le plot (3) est réalisé en un matériau conducteur et est déposé sur la première couche conductrice inférieure (2). 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le plot (3) est déposé sur la première couche conductrice inférieure (2) par technologie jet d'encre. 5. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le plot (3) est réalisé en un matériau conducteur et est réalisé par déformation de la première couche conductrice inférieure (2). 25 6. Procédé selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la hauteur du plot (3) est supérieure à l'épaisseur de la couche séparatrice (4). 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que l'inclinaison de l'orientation des flancs du plot (3) par rapport à l'horizontale est comprise entre 45 30 et 135°. 8. Procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le plot (3) présente une forme choisie dans le groupe comprenant le cône, le tronc de cône, le tronc de cône inversé, le cylindre et la sphère. 1120 9. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le plot (3) est obtenu par la déformation d'un substrat (1) sur lequel est déposée la première couche en matériau conducteur (2), et par dépôt subséquent de ladite première couche conductrice (2), venant recouvrir intégralement ledit substrat ainsi que sa déformation. 10. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le plot (3) est rapporté sur un substrat (1), sur lequel est déposée la première couche en matériau conducteur (2), puis est revêtu d'un matériau conducteur constitué par le dépôt de la couche conductrice inférieure (2). 11. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le plot (3) est obtenu par la déformation de la première couche conductrice inférieure (2), notamment par attaque laser. 12. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé : • en ce que le plot (3) est réalisé en un matériau isolant, déposé sur la couche conductrice inférieure (2), et définissant à sa périphérie une zone non mouillable (6) vis à vis du matériau semi-conducteur ou isolant déposé subséquemment à la première couche conductrice et constitutif de la couche séparatrice (4), • et en ce que la conduction électrique entre la couche conductrice inférieure (2) et la couche conductrice supérieure (5) résulte du dépôt de ladite couche conductrice supérieure (5), venant alors combler la zone non mouillante (6) définie autour du plot.25