Brevet FR2933714A1 — publié le 20100115

La présente invention concerne un appareil et un procédé de recyclage de silane (SiH4) et d'hydrogène (H2). La première application visée est le dépôt de couches minces de silicium. Cependant, ce système peut être utilisé pour d'autres applications dont les spécifications sont proches. La réduction du coût de l'énergie solaire passe par la réduction du coût de fabrication des cellules photovoltaïques. Pour la filière technologique dite � couches minces �, notamment pour l'application où le silicium est déposé en couche mince, et plus particulièrement pour la solution silicium micro cristallin et amorphe, la réduction de la consommation des gaz utilisés pour les dépôts des couches actives contribue à la diminution globale du coût de fabrication. La production de cellules photovoltaïques avec couches minces de silicium micro cristallin et / ou amorphe nécessite la mise en oeuvre des gaz tels que H2, SiH4, des gaz dopants tels que TMB - TriMethyl Bore, PH3 û phosphine, B2H6 - diborane et aussi N2, argon... Ces productions de cellules solaires seront bientôt réalisées dans des usines dont les capacités atteindront prochainement plusieurs centaines de mégawatts chaque année. La production des couches minces de silicium pour les piles solaires exige le dépôt séquentiel de couches de silicium dopées p, non dopées et dopées n sur un substrat. Chaque dépôt de silicium est conduit dans une chambre dans laquelle une méthode choisie parmi CVD, (dont MOCVD, PECVD, ALD, HWCVD, APCVD, VTD ...) ou PVD (en particulier évaporation et pulvérisation) est exécutée. Par exemple, le substrat est situé dans une première chambre dans laquelle un mélange de gaz contenant du silane, un dopant tel que le TMB et l'hydrogène comme gaz porteur est fourni pour façonner une couche de silicium de type p sur le substrat. Le substrat est alors déplacé vers une deuxième chambre dans laquelle un mélange de gaz d'hydrogène et de silane est fourni pour la conception d'une couche non dopée. Le substrat peut alors être déplacé vers une troisième chambre dans laquelle un mélange de gaz comportant de l'hydrogène comme gaz porteur, du silane et un dopant tel que la phosphine PH3 est fourni pour la réalisation d'une couche dopée n sur le substrat. Il y a une évolution dans ce type de fabrication de tels dispositifs : les substrats sur lesquels sont effectués ces dépôts sont de plus en plus grands. Ainsi, la taille des chambres de dépôt et les débits d'introduction des gaz, en particulier de l'hydrogène en tant que gaz porteur doivent également être augmentés. Dans les dispositifs actuels, les gaz non utilisés dans les chambres de dépôt sont aspirés à l'aide d'une pompe avant d'être traités afin de détruire les effluents dangereux. Les quantités de gaz nécessaires aux dépôts des couches actives cibles sont très importantes. Du fait de la taille des usines en projet et du besoin intrinsèque en gaz lié à la nature de la technologie, les débits nécessaires vont atteindre des dizaines, voire des centaines de m3 par heure pour l'hydrogène. La fourniture de gaz devient donc problématique pour l'hydrogène mais aussi pour le silane. Les volumes requis sont un frein au déploiement de ces technologies. Une façon de réduire le coût de la fourniture et de la logistique du silane (SiH4) et de l'hydrogène (H2) est de recycler ces gaz à leur sortie des réacteurs de dépôt. Cependant, les gaz réintroduits dans le réacteur doivent répondre aux spécifications requises pour obtenir des couches de bonne qualité. Les spécifications principales sont les suivantes : concentrations en H2O, 02 et N2 En conséquence, aucune solution satisfaisante n'a été mise en oeuvre jusqu'à présent pour réaliser de manière efficace et intégrée les différentes étapes nécessaires à la réalisation du recyclage de gaz utilisés dans la fabrication de structures notamment formées de films de silicium, dopés ou non, et déposés en couches minces. En résumé, afin de réduire la consommation en hydrogène et / ou silane pour la fabrication de systèmes composés de couches minces de silicium déposées par exemple par CVD ou PVD, tels que notamment les cellules photovoltaïques en couches minces de silicium, les bénéfices que la solution doit apporter sont par exemple: - La séparation des poudres d'un effluent gazeux (effluent récupéré en sortie d'un réacteur de dépôt de couches minces de silicium amorphe) ; - La concentration du silane dans un mélange silane / hydrogène ; - La séparation des gaz à recycler de l'azote utilisé dans le groupe de pompage soit en ballaste soit en dilution en aval de(s) la chambre(s) ; - La séparation des gaz dopants du silane ou de l'hydrogène ; - La mise à disposition des gaz silane et hydrogène en vue de leur réintroduction dans le réacteur de dépôt et de leur réutilisation pour lesdits dépôts. Un but de la présente invention est de pallier tout ou partie des inconvénients de l'art antérieur relevés ci-dessus. A cette fin, l'invention a pour objet un procédé de recyclage de silane comprenant les étapes successives suivantes: a) Injection d'un mélange silane pur/hydrogène pur (SiH4/H2) dans une chambre de réaction pour fabriquer des couches minces contenant du silicium ; b) Extraction du mélange : excès de silane non utilisé à l'étape a) / hydrogène (SiH4/H2), au moyen d'une pompe mettant en oeuvre un gaz d'alimentation ; c) Refoulement de ladite pompe à une pression proche de la pression atmosphérique, d'un mélange comprenant au moins du silane (SiH4), de l'hydrogène (H2) et une quantité non nulle dudit gaz d'alimentation; d) Séparation du silane (SiH4) du mélange hydrogène/gaz d'alimentation issus du mélange issu de l'étape c), ledit silane obtenu comprenant moins de 100 ppm de gaz d'alimentation, de préférence moins de 10 ppm de gaz d'alimentation, de préférence moins de 1 ppm de gaz d'alimentation ; caractérisé en ce qu'au moins 50%, de préférence 70%, et de préférence encore 80% du silane (SiH4) issu de l'étape b) est réutilisé après l'étape d) pour une nouvelle étape a). Ledit gaz d'alimentation est un gaz lourd permettant l'entraînement de l'hydrogène hors de ladite chambre de réaction ainsi qu'une lubrification de la pompe satisfaisante. Le gaz d'alimentation est par exemple de l'azote, de l'argon ou du 002. De manière préférée, le gaz d'alimentation est l'azote. Par gaz pur on entend des gaz comprenant moins de 1 ppm d'impuretés, par exemple moins de 1 ppm d'azote. Les dopants tels que cités plus haut ne sont pas 30 considérés comme des impuretés. L'invention a également pour objet un procédé de recyclage de silane et d'hydrogène mettant en oeuvre le procédé tel que défini ci-dessus, comprenant en outre une étape de: e) Purification de l'hydrogène (H2) issus de l'étape d) telle que le taux de gaz d'alimentation dans l'hydrogène n'est pas supérieur à 100 ppm, de préférence pas supérieur à 10 ppm, de préférence pas supérieur à 1 ppm ; caractérisé en ce qu'au moins 50%, de préférence 70%, et de préférence encore 85% de l'hydrogène (H2) issu de l'étape b) est réutilisé après l'étape e) pour une nouvelle étape a). La technique de fabrication de couche mince par dépôt de métal sous vide est une pratique très utilisée. A très basse pression (de l'ordre du centième de Pascal), les molécules de vapeur d'un métal se déplacent avec très peu de risque de collision avec d'autres molécules. Le gaz métallique se trouve projeté sur un substrat sans être freiné par les phénomènes de diffusion et sans risque de d'oxydation. La couche obtenue est ainsi très pure et très régulière. Par ailleurs, des modes de réalisation du procédé de l'invention peuvent comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : Procédé tel que précédemment défini, caractérisé en ce que ledit gaz d'alimentation de la pompe est l'azote (N2). Procédé tel que précédemment défini, caractérisé en ce que le mélange issu de l'étape c) comprend de 30% à 90% d'azote (N2), de préférence de 60% à 80% d'azote (N2) . Procédé tel que précédemment défini, comprenant en outre une étape de compression entre les étapes c) et d), au cours de laquelle la pression en sortie de pompe proche de la pression atmosphérique, est augmentée à une pression comprise entre 2 bars et 35 bars, de préférence entre 5 bars et 15 bars et de préférence encore entre 8 bars et 10 bars. Procédé tel que précédemment défini, comprenant en outre une étape de filtration avant l'étape d), des impuretés contenues dans le mélange issu de l'étape c). Procédé tel que précédemment défini, comprenant en outre une étape d'adsorption d'eau après compression et avant étape d). En effet, parmi les impuretés présentes dans le mélange issu de l'étape c), il peut se trouver de l'eau. Le moyen d'adsorption est par exemple un PSA ou un TSA. Le dit moyen d'adsorption étant alors présent dans l'appareil (défini ci-dessous) mettant en oeuvre le procédé selon l'invention. Procédé tel que précédemment défini, caractérisé en ce que l'étape d) est effectuée par séparation et/ou distillation cryogénique. Procédé tel que précédemment défini, caractérisé en ce que le mélange injecté à l'étape a) comprend moins de 50% de silane (SiH4) dans de l'hydrogène (H2) et de préférence moins de 25%. Le procédé selon l'invention peut aussi être mis en oeuvre pour un mélange injecté à l'étape a) contenant plus de 50% de silane. Procédé tel que précédemment défini, caractérisé en ce que le rapport : concentration de silane (SiH4) sur concentration d'hydrogène (H2) est contrôlé et ajusté si nécessaire avant réinjection, pour une nouvelle étape a), du mélange silane/hydrogène (SiH4/H2) comprenant au moins du silane (SiH4) recyclé selon ledit procédé. Procédé tel que précédemment défini, caractérisé en ce que la fabrication des couches minces dans la chambre de réaction est faite sous vide. Une caractéristique essentielle du procédé selon l'invention est le recyclage du silane et si nécessaire de l'hydrogène, effectué autrement que sous vide. En effet, le silane est un gaz très réactif avec l'air donc il est très difficile à manipuler autrement qu'en utilisant des membranes ou alors par absorption mais ces techniques ne sont pas satisfaisantes lorsqu'un gaz à recycler requière une exigence de pureté. De plus, la manipulation du silane sous vide représente un grand danger en terme de sécurité dû au risque de la pénétration d'air, d'oxygène ou d'humidité. D'autre part, le fait de mettre en oeuvre un procédé à une pression relativement élevée (à pression atmosphérique ou plus) permet d'optimiser les blocs de l'appareil permettant la réalisation du procédé selon l'invention. Un autre objet de l'invention est un appareil, fonctionnant à une pression au moins égale à la pression atmosphérique, de recyclage d'au moins un gaz mis en oeuvre dans une chambre de réaction sous vide au cours d'un procédé de dépôt pour couche mince comprenant : - une pompe à vide alimentée en gaz d'alimentation ; - au moins un moyen de purification du mélange de gaz aspiré par ladite pompe; - au moins un moyen de séparation des gaz issus du mélange purifié ; - au moins un moyen de recyclage des gaz séparés vers ladite chambre de réaction. Par ailleurs, des modes de réalisation de l'appareil de l'invention peuvent comporter l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : Appareil tel que défini précédemment, comprenant en outre un moyen de compression situé en aval du moyen de purification et en amont du moyen de séparation. Appareil tel que défini précédemment, caractérisé en ce que le moyen de séparation consiste en un appareil pour séparation de phase cryogénique et/ou distillation cryogénique. Appareil tel que défini précédemment, caractérisé en ce que ledit gaz d'alimentation est l'azote (N2). Un autre objet de l'invention est l'utilisation de l'appareil défini ci-dessus pour la mise en oeuvre d'un procédé défini selon l'invention. L'invention a également pour objet un procédé de dépôt d'un film contenant du silicium mettant en oeuvre au moins un gaz recyclé selon le procédé défini ci-dessus. De manière préférée, ce dépôt est fait à l'aide d'un mélange SiH4 (précurseur)/H2 comprenant moins de 50% de silane, de préférence moins de 25%. Le gaz recyclé décrit dans le procédé ci-dessus employé dans le procédé de dépôt selon l'invention est soit le silane précurseur, soit le silane précurseur et l'hydrogène. D'autres particularités et avantages apparaîtront à la lecture de la description ci-après, faite en référence à la figure 1: - la figure 1 représente un schéma d'un exemple de circuit de recyclage selon l'invention et apte à mettre en oeuvre le procédé objet de la présente invention. Sur la figure 1 est représenté un circuit de recyclage (C) comprenant une source 1 de précurseur de silicium, en particulier le gaz silane (SiH4), une source d'hydrogène 2. L'hydrogène peut-être employé en tant que gaz porteur. L'appareil comprend également une source 3 de gaz dopants tels que TMB - TriMethyl Bore, PH3 ù phosphine, B2H6 ù diborane destinés à la fabrication des couches minces pour les applications mentionnées ci-dessus. D'autres gaz peuvent-être utilisés en fonction de l'application visée. Les gaz issus de ces sources sont ensuite injectés, via les lignes de gaz 4, 5, 6 dans la chambre de réaction 7 où a lieu le dépôt des couches minces. Par exemple, ledit mélange comporte au plus 50% de silane dans l'hydrogène, de préférence moins de 25% de silane. La concentration en éléments dopants est généralement inférieure à 5% et dépend du niveau de dopage voulu et de l'efficacité de dopage du précurseur utilisé. Ainsi, le rapport, en concentrations, entre H2 et SiH4 est choisi avec précision et doit être contrôlé avant d'être introduit dans la chambre de réaction 7. Une fois ledit mélange injecté dans la chambre de réaction 7, le dépôt a lieu. Au cours du dépôt, une quantité du précurseur de silicium, en particulier le silane, préalablement introduit pouvant atteindre jusqu'à 85% n'est pas utilisée lors de la réaction à l'intérieur de la chambre. Un objectif de la présente invention étant de recycler la totalité ou la quasi-totalité de cette quantité non utilisée, les autres composants de l'appareil ont pour utilité le recyclage de ce silane. Selon une variante du procédé selon l'invention, outre le silane, l'hydrogène est également recyclé. En aval de la chambre de réaction 7, une pompe 8 est présente. Cette pompe 8 aspire un mélange: excès de silane non utilisé dans la chambre 7 / hydrogène (SiH4/H2) à travers un conduit 9 dans lequel la pression est de quelques millibars. Ledit mélange peut comprendre en outre des impuretés telles que par exemple H2O, 02, des traces de dopants comme PH3, B2H6, TMB, des particules formées dans le réacteur issues de la décomposition du plasma introduit. La pompe 8 est par exemple alimentée en azote (N2) (utilisé ici comme � gaz d'alimentation � comme défini ci-dessus) en particulier pour ces qualités d'inertage, de lubrifiant et d'entrainement des gaz légers. Il en résulte qu'en sortie de la pompe 8, un mélange comprenant, entre autre, de l'azote, du silane (en général de 0.01% à 15%) et de l'hydrogène (de 10% à 80 %) circule à une pression proche de la pression atmosphérique dans un conduit 10. Une vanne trois voies 11 peut-être installée afin de diriger le mélange soit vers la canalisation 12 afin de le recycler, soit vers la canalisation 13 et les équipements de retraitement et l'évent. Ceci permet, par exemple, de sélectionner les mélanges, sortant de la chambre de réaction 7, à recycler en fonction des mélanges injectés dans cette même chambre de réaction 7. La vanne 11 permet aussi l'évacuation du mélange venant de la canalisation 10 vers la canalisation 13 en cas de défaillance du circuit de recyclage, de sorte que si le procédé de recyclage selon l'invention ne peut pas fonctionner, l'évacuation des gaz issus de la chambre de réaction 7 a lieu comme dans les systèmes standards de l'état de la technique. Le mélange circulant dans la canalisation 12 peut également comporter des impuretés comme celles qui ont été décrites précédemment. Les exigences de pureté dans les applications visées par la présente invention nécessitent donc une élimination maximale de ces impuretés, c'est pourquoi, un filtre 14 peut être placé à l'extrémité du conduit 12. Ledit filtre 14 est par exemple du type séparateur à effet centrifuge, séparateur inertiel et par sédimentation, séparateur électrique, électrofiltre, filtre à manches, séparateurs humide, laveur. La position du filtre peut être en aval ou en amont d'un moyen de compression 16 (par exemple un compresseur) en fonction des caractéristiques dudit moyen de compression 16. En effet dans le cas ou la force de succion du compresseur est suffisante, le filtre peut être placé en amont, avec cependant un risque de dépression en aval des filtres. Si la force de succion du compresseur est insuffisante, les filtres doivent être placés en aval du compresseur. Le mélange ainsi filtré circule dans un conduit 15 vers un moyen de compression 16. En sortie de ce moyen de compression 16, la pression du mélange comportant au moins du silane, de l'hydrogène et de l'azote est comprise entre 2 bars et 35 bars, de préférence comprise entre 8 bars et 10 bars. La pression préférée est celle qui permet d'aboutir au meilleur compromis entre la taille des équipements de l'appareil (C) selon l'invention et le coût de l'énergie permettant d'élever la pression de travail. Ladite taille des équipements étant réduite lorsque la pression est élevée, mais le coût de l'énergie à dépenser pour aboutir à une pression élevé est à prendre en considération. 1 bar = 105 Pa. Selon une variante de l'invention, une capacité tampon 18 peut-être installée afin de lisser les variations de flux du mélange circulant dans la canalisation 17 en aval dudit moyen de compression 16. La taille et la manière de connecter cette capacité 16 à la canalisation 17 dépendent des flux utilisés et du mode de fonctionnement désiré. Selon une variante de l'invention, un ou plusieurs systèmes d'élimination d'impuretés pourra être disposé autour du module de compression. En effet, la localisation exacte permettra d'éliminer une majorité d'une ou de plusieurs impuretés préjudiciables à la suite du procédé. La présence de fluorés peut engendrer des problèmes par exemple de corrosion ou de tenue mécanique des matériaux présents dans l'appareil selon l'invention. Le coût peut être aussi élevé si la présence de composés fluorés nécessite l'utilisation de matériaux particulièrement adaptés donc chers. Le compresseur 16 est particulièrement visé par ces possibles problèmes. Alors, un système d'élimination 19 sera de préférence placé en amont du système de compression 16. Bien entendu, en l'absence d'impuretés préjudiciables, aucun système d'élimination nécessaire n'est à ajouter. Selon une variante de l'invention, un moyen de séparation 19 fonctionnant par exemple sur le principe de l'adsorption (par exemple, PSA, TSA : en anglais, Pressure or Thermal Swing Absorption) est situé en aval du moyen de compression 16 dans le but est d'adsorber les impuretés telles que par exemple H2O, 02 ou des composés fluorés voire chlorés. Dans le conduit 20 en sortie du moyen de séparation 19, circule un mélange azote/silane/hydrogène, la pression étant de quelques bars. Un des objectifs de la présente invention est de recycler des gaz, tels que le silane et l'hydrogène, purs. Par gaz pur on entend des gaz comprenant moins de 100 ppm d'impuretés, par exemple moins de 100 ppm d'azote, voire moins de 1 ppm d'impureté, par exemple moins de 1 ppm d'azote. Ces spécifications dépendent de l'application visée. Or le recyclage à une pression de quelques bars d'un mélange de gaz (silane/hydrogène) comprenant moins de 100 ppm d'azote, de préférence moins de 1 ppm d'azote, issu d'un mélange initial (silane/hydrogène) pouvant contenir jusqu'à 90% d'azote est un problème technique à résoudre par la présente invention. C'est pourquoi, un dispositif de séparation cryogénique 21 est situé en aval dudit conduit 20. Un système cryogénique 21, permet de condenser, voire solidifier, le silane (SiH4) et assure donc la séparation de SiH4. En fonction des conditions de séparation (pression et température), la phase de silane condensée peut contenir plus ou moins d'azote et d'autres produits lourds. Une purification supplémentaire du silane (colonne à distiller ou TSA par exemple) peut être envisagée suivant les spécifications demandées. En particulier, l'obtention d'un taux d'azote inférieur à 1 ppm peut être efficacement obtenue à l'aide d'une colonne à distiller 23 qui est alimentée par le mélange condensé dans le séparateur 21 et circulant dans la canalisation 22. Par exemple, la colonne à distiller 23 peut-être configurée pour permettre d'éliminer les impuretés dites légères par la canalisation 25 et les impuretés dites lourdes par la canalisation 26. Le silane ayant la pureté souhaitée est alors récupéré dans la canalisation 24. Il existe différentes méthodes pour réinjecter le SiH4 purifié dans le réacteur. Soit de manière directe en renvoyant directement le flux dans le système de distribution de SiH4, soit en passant par des capacités tampon voire du remplissage de bouteilles. De manière préférée, la solution selon l'invention met en oeuvre des capacités tampon (27) qui permettent d'adapter les flux de sortie de la colonne à la demande en gaz du système de distribution. En particulier, un système mettant en oeuvre deux capacités tampon en parallèle, permet de remplir une capacité pendant que l'autre se vide et d'avoir donc un découplage total entre le flux de sortie de la colonne et le flux demandé par le système de distribution. Le remplissage de ces capacités peut par exemple se faire par cryo-remplissage, mode bien connu dans le domaine des gaz produits par voies cryogéniques. Selon une variante de l'invention, le silane ainsi recyclé et purifié est réinjecté dans la canalisation 4 via la canalisation 28. Le mélange N2/H2 ressortant à quelques bars, de l'étape de séparation effectuée par le système 21, à travers un conduit 29 peut ensuite être séparé à l'aide d'une membrane 30 pour permettre le recyclage de l'hydrogène H2 si nécessaire. En effet, la distillation du mélange hydrogène/azote n'est pas très aisée du fait des très faibles températures nécessaires. L'obtention d'hydrogène pur avec moins de 100 ppm d'azote, voire moins de 1 ppm d'azote, est classiquement obtenue en utilisant des systèmes basés sur l'adsorption (PSA, adsorption cryogénique ...). Cependant, pour être pleinement opérationnels, ces types d'équipements nécessitent un flux d'entrée ayant des taux d'azote limités (inférieur à environ 20% pour un PSA ou inférieur à 5000 ppm pour un système de cryo-adsorption). L'utilisation d'une membrane permet, à moindre cout, d'appauvrir le mélange en azote de manière à le faire correspondre aux spécifications d'un éventuel système de purification se trouvant en aval. L'azote issu de la séparation avec l'hydrogène pur est de préférence évacué du système (C) au moyen par exemple, d'un évent 31. Une partie de l'azote issu de cette séparation peut également être employé par recyclage pour alimenter la pompe 8, au moyen d'un conduit de recyclage 32. La réutilisation de l'azote n'est probablement financièrement pas pertinente du fait du faible coût de l'azote. On préférera donc mettre l'azote à l'évent 31 plutôt que de le recycler vers la pompe à vide 8 de la chambre de réaction 7. A la sortie de la membrane 30 par laquelle circule l'hydrogène purifié, l'hydrogène sortant de la membrane peut être utilisé pour la régénération du système de séparation 19 via une canalisation non représentée sur la figure 1 ou alors être aussi réinjecté (recyclé) dans la chambre de réaction 7 via une conduite 33 après avoir subit une purification supplémentaire si nécessaire. Cette purification supplémentaire peut se faire, par exemple par PSA ou par cryoadsoprtion en fonction des spécifications de pureté requises. Selon une variante de l'invention, l'hydrogène circulant dans la canalisation 33 est compressé à l'aide d'un moyen de compression 34 puis acheminé vers le système de purification 36 via la canalisation 35. Le fait de compresser le gaz permet d'optimiser la purification. Par exemple, en cas d'utilisation d'un PSA, la pression de fonctionnement de l'ordre de 25 bars. L'hydrogène ainsi recyclé et purifié peut être, par exemple réinjecté dans la canalisation 5 à l'aide de la canalisation 37. Selon une variante de l'invention, une ou plusieurs capacités 38 peuvent être utilisées afin de stocker l'hydrogène et de découpler ainsi le flux d'hydrogène recyclé du flux demandé par l'application. Selon une autre variante de l'invention, l'hydrogène recyclé peut être réinjecté dans la capacité servant de source d'hydrogène 2. Selon une variante de l'invention, la composition des flux de gaz recyclés peut être contrôlée par un système adéquat (FTIR, catharomètre ...) connecté soit sur les canalisations 28 et/ou 37, soit sur les capacités 27 et/ou 38. Les différentes grandeurs mesurées peuvent ainsi être renvoyées à un système de supervision qui peut agir sur les débits des gaz frais injectés afin de contrôler le procédé. Une autre methode de contrôle de la qualité des gaz recyclés consiste à effectuer un prélèvement des dits gaz sur les lignes 28 et/ou 37 ou dans les capacités 27 et/ou 38, puis de réaliser une analyse ex-situ des ces prélèvements. Selon un mode de l'invention, l'appareil comporte des réservoirs ou chambres de mélanges (non représentés sur la figure 1). Ces chambres sont destinées à mélanger les gaz recyclés avec des gaz purs issus par exemple des sources 1 et 2. Ces types de mélanges permettent, par exemple, d'amortir les fluctuations de qualité de la composition des gaz recyclés à mélanger avant d'être réinjectés dans la chambre de réaction 7. Afin que le mélange silane/hydrogène soit injecté dans la chambre de réaction 7 dans les mêmes proportions que le mélange silane/hydrogène circulant dans les conduits 4 et 5 contenant les gaz issus des sources 1 et 2, le rapport silane sur hydrogène en concentrations est contrôlé avant injection dans la chambre de réaction 7. Selon une variante, le système de séparation cryogénique 21 comprend des échangeurs permettant de réduire la température du mélange. Ces échangeurs sont conçus et dimensionnés afin d'optimiser le bilan énergétique. Le principe repose sur la liquéfaction du silane. Pour ce faire, la température du gaz contenant le silane à liquéfier est conduite à une température inférieure à la température de liquéfaction (température de bulle) du silane en utilisant des échangeurs refroidis en mettant en oeuvre de l'azote étendu par exemple. En effet, il permet facilement de moduler cette température. D'autres sources froides sont utilisables. Ensuite, lorsque le silane se trouve en majorité sous forme liquide, il est nécessaire de séparer les gouttes du gaz résiduaire. On utilise alors un pot de séparation, éventuellement muni d'un ou de plusieurs systèmes de récupération des gouttes afin de récupérer un maximum de gouttes. Une partie de l'azote contenu dans le gaz se liquéfie et/ou se solubilise dans le silane liquide. Or, il est nécessaire de recycler un silane produit de haute pureté, il est donc préférable de purifier ce mélange azote/silane (principalement). De préférence une colonne de distillation dont l'une des sorties sera constituée de silane de haute pureté sera utilisée. De tels systèmes de séparation cryogénique permettent de mettre en oeuvre le procédé selon l'invention de manière continue. REVENDICATIONS1. Procédé de recyclage de silane comprenant les étapes successives suivantes : a) Injection d'un mélange silane pur/hydrogène pur (SiH4/H2) dans une chambre de réaction (7) pour fabriquer des couches minces contenant du silicium ; b) Extraction du mélange : excès de silane non utilisé à l'étape a) / 10 hydrogène (SiH4/H2), au moyen d'une pompe (8) mettant en oeuvre un gaz d'alimentation ; c) Refoulement de ladite pompe (8) à une pression proche de la pression atmosphérique, d'un mélange comprenant au moins du silane (SiH4), de l'hydrogène (H2) et une quantité non nulle dudit gaz d'alimentation ; 15 d) Séparation du silane (SiH4) du mélange hydrogène/gaz d'alimentation issus du mélange issu de l'étape c), ledit silane obtenu comprenant moins de 100 ppm de gaz d'alimentation, de préférence moins de 10 ppm de gaz d'alimentation, de préférence moins de 1 ppm de gaz d'alimentation ; caractérisé en ce qu'au moins 50%, de préférence 70%, et de préférence 20 encore 80% du silane (SiH4) issu de l'étape b) est réutilisé après l'étape d) pour une nouvelle étape a). 2. Procédé de recyclage de silane et d'hydrogène mettant en oeuvre le procédé tel que défini à la revendication 1, comprenant en outre une étape de: e) Purification de l'hydrogène (H2) issus de l'étape d) telle que le taux de gaz 25 d'alimentation dans l'hydrogène n'est pas supérieur à 100 ppm, de préférence pas supérieur à 10 ppm et de préférence encore pas supérieur à 1 ppm ; caractérisé en ce qu'au moins 50% de l'hydrogène (H2) et de préférence au moins 85% de l'hydrogène issu de l'étape b) est réutilisé après l'étape e) pour une nouvelle étape a). 30 3. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que ledit gaz d'alimentation de la pompe (8) est l'azote (N2). 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le mélange issu de l'étape c) comprend de 30% à 90% d'azote (N2), de préférence de 60% à 80% d'azote. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, comprenant en outre une étape de compression entre les étapes c) et d), au cours de laquelle la pression en sortie de pompe (8), proche de la pression atmosphérique, est augmentée à une pression comprise entre 2 bars et 35 bars, de préférence entre 5 bars et 15 bars et de préférence encore entre 8 bars et 10 bars. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce l'étape d) est effectuée par séparation et/ou distillation cryogénique. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la fabrication des couches minces dans la chambre de réaction (7) est faite sous vide. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le rapport : concentration de silane (SiH4) sur concentration d'hydrogène (H2) est contrôlé et ajusté si nécessaire avant réinjection, pour une nouvelle étape a), du mélange silane/hydrogène (SiH4/H2) comprenant au moins du silane (SiH4) recyclé selon ledit procédé. 9. Procédé de dépôt d'un film contenant du silicium mettant en oeuvre au moins un gaz recyclé selon le procédé défini à l'une des revendications 1 à 8.