Brevet FR2925981A1 — publié le 20090703

SUBSTRAT POUR DISPOSITIF ELECTROLUMINESCENT ORGANIQUE, AINSI QUE DISPOSITIF ELECTROLUMINESCENT ORGANIQUE L'INCORPORANT La présente invention a pour objet un substrat pour dispositif électroluminescent organique ainsi qu'un dispositif électroluminescent organique l'incorporant. Les systèmes électroluminescents organiques connus ou OLED (pour Organic Light Emitting Diodes � en anglais) comportent un ou plusieurs matériaux électroluminescents organiques alimentés en électricité par des électrodes généralement sous forme de deux couches électroconductrices encadrant ce(s) matériau(x). Ces couches électroconductrices comportent communément une couche à base d'oxyde d'indium, généralement l'oxyde d'indium dopé à l'étain plus connu sous l'abréviation ITO. Les couches ITO ont été particulièrement étudiées. Elles peuvent être aisément déposées par pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique, soit à partir d'une cible d'oxyde (pulvérisation non réactive), soit à partir d'une cible à base d'indium et d'étain (pulvérisation réactive en présence d'un agent oxydant du type oxygène) et leur épaisseur est de l'ordre de 100 à 150 nm. Cependant, cette couche d'ITO présente un certain nombre d'inconvénients. En premier lieu, la matière et le procédé de dépôt à température élevée (350°C) pour améliorer la conductivité engendrent des surcoûts. La résistance par carré reste relativement élevée (de l'ordre de 10 0 par carré) à moins d'augmenter l'épaisseur des couches au-delà de 150 nm ce qui résulte en une diminution de la transparence et en une augmentation de la rugosité de surface ce qui est critique pour les OLEDs. En outre, pour un éclairage uniforme sur de grandes surfaces, il est nécessaire de former une électrode inférieure discontinue, typiquement en formant des zones d'électrodes de quelques mm2 et de réduire drastiquement la distance entre chaque zone d'électrodes, typiquement de l'ordre d'une dizaine de microns. Et, pour ce faire, on fait notamment appel à des techniques de photolithographie et de passivation coûteuses et complexes. Aussi, de nouvelles structures d'électrodes se développent utilisant une couche mince métallique à la place de l'ITO afin de fabriquer des dispositifs OLED émettant une lumière sensiblement blanche pour l'éclairage. -2- On connaît par exemple par le document U52005/0073228A1 un dispositif organique électroluminescent émettant une lumière sensiblement blanche, lequel est pourvu d'une électrode, communément appelée électrode inférieure ou arrière (ou bottom electrode � en anglais), qui est constituée de l'empilement de couches suivants: une sous couche de réduction de l'absorption, une couche mince métallique semi-réfléchissante, comme par exemple une couche d'argent de 22,5 nm, une surcouche en matériau conducteur transparent tel que l'ITO. L'électrode supérieure est, quant à elle, composée d'une couche mince métallique réfléchissante et opaque, comme par exemple une couche d'argent de 75,5 nm. Ces deux couches métalliques forment une microcavité de type Fabry-Pérot induisant un spectre d'émission du dispositif OLED centré sur une longueur d'onde de résonance donnée. Ce spectre d'émission étant fortement dépendant de l'angle d'observation, le dispositif OLED comporte en outre un élément optique apte à réduire cette dépendance angulaire en formant un seul spectre d'émission large bande dans le visible. Cet élément optique se présente comme un système limitant les réflexions internes totales (� FTIR � en anglais), lequel est agencé sous l'électrode inférieure ou sur la face opposée du substrat. Il se présente par exemple sous forme d'une feuille en téflon. Le but que se fixe l'invention est de fournir un dispositif OLED qui tout en limitant la dépendance angulaire du spectre d'émission polychromatique dans le visible soit de conception plus simple et/ou plus efficace. Il s'agit de mettre au point en particulier un dispositif OLED convenant tout particulièrement dans des applications d'éclairage général (architectural et/ou décoratif), et/ou de rétroéclairage, et/ou de signalétique, et ce pour toute taille. A cet effet, l'invention a pour premier objet un substrat pour dispositif électroluminescent organique, comportant un substrat transparent d'indice optique n0, porteur sur une première face principale d'un premier revêtement -3- d'électrode semi transparent ou transparent, dite électrode inférieure, qui comporte l'empilement de couches suivant: une sous-couche antireflet d'épaisseur optique L1 donnée et d'indice optique n1 tel que le rapport n1 sur n0 est supérieur ou égal à 6/5, une première couche métallique d'épaisseur el donnée, (formant ainsi un premier réflecteur), une première couche séparatrice, d'épaisseur optique L2 donnée, disposée sur la première couche métallique, une deuxième couche métallique et à propriété intrinsèque de conductivité électrique, (formant ainsi un deuxième réflecteur), d'épaisseur e2 donnée, cette deuxième couche métallique étant disposée sur la première couche séparatrice, une surcouche d'adaptation du travail de sortie, cette surcouche étant disposée sur la deuxième couche métallique, et étant d'épaisseur e3 15 donnée. En outre, conformément à l'invention : L1 est comprise entre 20 nm et 120 nm et L2 est comprise entre 75 nm et 160 nm , la somme des épaisseurs el +e2 des première et deuxième couches 20 métalliques est inférieure ou égale à 40 nm, et de préférence inférieure ou égale à 25 nm pour réduire l'absorption. Ainsi le choix d'une structure d'électrode comportant au moins deux couches métalliques combiné aux choix judicieux des épaisseurs optiques L1 et L2 permet de réduire significativement la variation colorimétrique en fonction de 25 l'angle d'observation. Plus précisément, la présence de deux couches métalliques dans l'électrode permet de créer, une fois le dispositif OLED complet, des microcavités résonantes à deux longueurs d'onde distinctes dans le visible et suffisamment espacées, (de préférence espacéd'au moins 100 nm, voire 200 nm), par exemple l'une à 450 nm et 30 l'autre à 650 nm. En ajustant correctement la gamme de valeurs de L1 et de L2 -4- conformément à l'invention, on élargit ces deux pics pour former un unique spectre targe bande dans le visible se rapprochant alors du spectre visé. Le spectre visé peut être indifféremment un spectre sensiblement � plat >> dans le visible, produisant une lumière blanche (quasi) pure, ou tout autre spectre notamment ceux répondant aux spécifications dans les domaines du rétroéclairage et de l'éclairage : spectre de l'illuminant A (lumière � jaune �), de l'illuminant B etc. De préférence, pour avoir un rendu colorimétrique optimal, les résonances obtenues par les choix de L1 et L2 n'atténuent pas fortement par des effets interférentiels une ou des couleurs du spectre d'émission des couches émettrices du système OLED. Par exemple, l'atténuation peut être inférieure à 70% voire inférieure ou égale à 50%. De manière avantageuse, pour limiter au mieux la dépendance angulaire : - L1 est inférieure ou égale à 100 nm, encore plus préférentiellement inférieure ou égale à 80 nm, et/ou - L1 est supérieure ou égale à 40 nm, encore plus préférentiellement supérieure ou égale à 50 nm, et/ou - L2 est inférieure ou égale à 130 nm, et/ou - et/ou L2 est supérieure ou égale à 90 nm, et/ou - L1 est inférieure à L2. L'électrode n'est pas optimisée pour être la plus transparente possible mais afin de réaliser les microcavités adaptées aux émetteurs large bande. Par ailleurs, de façon surprenante, l'ajout d'une deuxième couche d'argent pénalise peu l'efficacité d'extraction dans l'air du rayonnement optique émis par le dispostif OLED, c'est à dire ta proportion de puissance optique sortant dans l'air par rapport à la puissance optique totale émise par la source. Le dispositif OLED muni d'une telle électrode est simple, compact fiable, robuste et n'est pas tributaire d'un élément fonctionnel additionnel comme dans la solution décrite dans le document US2005/0073228A1. On peut toutefois augmenter encore l'extraction de lumière du dispositif OLED selon l'invention en rajoutant cet -5- élément fonctionnel décrit dans le document US2005/0073228A1 (couche diffusante en volume ou en surface, feuille de téflon etc). L'électrode selon l'invention peut s'étendre sur une grande surface par exemple une surface supérieure ou égale à 0,02 m2 voire même supérieure ou égale à 0,5 m2 ou supérieure ou égale à 1 m2. L'électrode selon l'invention conserve des propriétés d'électroconductivité satisfaisantes voire même améliorer lorsque ta première couche séparatrice permet n'est pas isolante. Par � couche � au sens de la présente invention, il faut comprendre qu'il peut y avoir une couche en un matériau unique (monocouche) ou plusieurs couches (multicouche), chacune en un matériau différent. Au sens de la présente invention, en l'absence de toute indication, l'épaisseur correspond à l'épaisseur géométrique. Au sens de ta présente invention, l'expression � à base de � s'entend d'une manière habituelle d'une couche contenant majoritairement le matériau en jeu, c'est-à-dire contenant au moins 50 % de ce matériau en masse . Au sens de la présente invention, l'expression � est compris(e) entre � comprend naturellement les valeurs limites indiquées. Dans ta présente invention, on parle d'une couche sous jacente � x �, ou d'une couche � x � sous une autre couche � y �, cela implique naturellement que ta couche � x � est plus proche du substrat que la couche � y Pour les indices optiques n0, n1 on peut choisir la valeur à 550 nm. La sous couche antireflet (comme la première couche séparatrice) pouvant être multicouche, l'épaisseur optique L1 (ou L2) est naturellement la somme des épaisseurs optiques de chaque couche en jeu, et l'indice optique n1 est l'indice de ta multicouche. Naturellement, la sous couche antireflet et la première couche séparatrice sont préférentiellement (essentiellement) diélectriques (c'est-à-dire non métalliques). Naturellement, la sous couche antireflet et la première couche séparatrice, la surcouche sont préférentiellement composées de couches minces. De préférence, la première et/ou la deuxième couche métallique peut être : -6- - à base d'un matériau pur choisi, en premier choix, parmi l'argent, l'or, l'aluminium, le cuivre, ou en deuxième choix, parmi d'autres métaux moins conducteurs tels que le molybdène, - ou à base d'un des matériaux précités allié ou dopé avec au moins un autre matériau choisi parmi : Ag, Au, Pd, Al, Pt, Cu, Zn, Cd, ln, Si, Zr, Mo, Ni, Cr, Mg, Mn, Co, Sn, notamment est à base d'un alliage argent et de palladium et/ou d'or et/ou de cuivre, pour améliorer la résistance à l'humidité de l'argent. La première couche métallique peut en particulier en molybdène notamment lorsqu'elle ne contribue pas à la conductivité électrique de l'électrode. Les première et deuxième couches métalliques peuvent être en un même matériau. Dans une conception préférée, les première et deuxième couches métalliques sont à base d'argent (c'est-à-dire en argent pur ou en alliage métallique contenant majoritairement de l'argent) et éventuellement : -l'épaisseur el est inférieure ou égale à 15 nm, notamment comprise entre 6 et 15 nm, voire inférieure ou égale à 13 nm, et/ou inférieure ou égale à 13 nm, et/ou - l'épaisseur e2 est inférieure ou égale à 15 nm, notamment comprise entre 6 et 15 nm, voire inférieure ou égale à 7 nm, et/ou supérieure ou égale à 10 nm, et/ou - l'épaisseur el est supérieure à l'épaisseur e2 (de 1 à quelques nanomètres). Naturellement, la première et/ou la deuxième couche métallique peut être une multicouche métallique. Avantageusement, l'électrode inférieure selon l'invention peut présenter : une résistance par carré inférieure ou égale à 6 0/carré, voire à 3 0/carré, notamment pour une épaisseur de deuxième couche métallique (fonctionnelle) à partir de 6 nm et éventuellement une épaisseur de première couche métallique, choisi également fonctionnelle à partir de 6 nm, et/ou une transmission lumineuse TL supérieure ou égale à 50% et de 2925981 -7- préférence comprise entre 60% et 90%, voire plus si cela ne nuit pas aux performances de l'OLED. Naturellement, l'électrode peut comprendre une séquence de couches. répétée éventuellement une à plusieurs fois, entre la deuxième couche métallique et 5 la surcouche, la séquence étant formée : - d'une autre couche séparatrice, en matériau tel que ceux listés pour la première couche séparatrice, éventuellement en le même matériau que la première couche séparatrice et/ ou d'épaisseur optique dans la gamme donnée pour la première couche séparatrice, et de préférence 10 conductrice, - surmontée (directement ou non) d'une autre couche métallique, en matériau tel que ceux listés pour les couches métalliques, éventuellement en le même matériau que la deuxième couche métallique, notamment à base d'argent. 15 On peut préférer alors que la somme des épaisseurs des couches métalliques soit inférieure ou égale à 40 nm. La sous couche antireflet peut comprendre une ou plusieurs couches ne perturbant pas la fonction antireflet, notamment lorsque cette couche ou ces couches présentent chacune une faible épaisseur, typiquement inférieure à 10 nm, 20 et un indice optique proche de celui du substrat. De préférence, la sous couche antireflet peut présenter l'une au moins des caractéristiques suivantes : - elle peut être de préférence directement déposée sur le substrat, et/ou 25 - elle présente un indice optique n1 supérieur à égal à 1,8, voire à 2, en particulier pour un substrat d'indice optique autour de 1,5, et/ou et/ou la majorité voire l'ensemble des couches formant la sous couche antireflet (voire l'ensemble des couches entre le substrat et la première 30 couche métallique) présente un indice optique n1 supérieur à égal à 1,8, voire à 2 et/ou - l'ensemble des couches entre le substrat et la première couche métallique présente une épaisseur optique inférieure ou égale à 120 nm, 8 et/ou elle comprend une couche de fond, c'est-à-dire une couche la plus proche du substrat, couvrant de préférence sensiblement ladite face principale du substrat, et formant de préférence une barrière aux alcalins (si nécessaire) et/ou une couche d'arrêt de gravure(s) (sèche et/ou humide). A titre d'exemple de couche de fond, on peut citer une couche d'oxyde de titane ou d'oxyde d'étain. Une couche de fond formant une barrière aux alcalins (si nécessaire) et/ou une couche d'arrêt de gravure(s) peut être préférentiellement: à base d'oxycarbure de silicium (de formule générale SiOC), à base de nitrure de silicium (de formule générale SixNy), tout particulièrement à base de Si3N4, à base d'oxynitrure de silicium (de formule générale SixOyNZ), à base d'oxycarbonitrure de silicium (de formule générale SixOyNZC,W). voire à base d'oxyde de silicium (de formule générale SixOy), pour des épaisseurs inférieure à 10 nm, On peut choisir également d'autres oxydes et/ou nitrures et notamment : - de l'oxyde de niobium (Nb205), - de l'oxyde de zirconium (ZrO2), - de l'oxyde de titane (TiO2), - de l'alumine (Al203), - de l'oxyde de tantale (Ta205), - ou encore des nitrures d'aluminium, de gallium, de silicium et leurs mélanges, éventuellement dopé Zr. Il est possible que la nitruration de la couche de fond soit légèrement sous stoechiométrique. La couche de fond peut être ainsi une barrière aux alcalins sous jacents à l'électrode. Elle protège de toute pollution la ou les éventuelles couches sus-jacentes, notamment une couche de contact sous la première couche métallique (pollutions qui peuvent entraîner des défauts mécaniques tels que des délaminations) ; elle préserve en outre la conductivité électrique de la première couche métallique. Elle évite aussi que la structure organique d'un dispositif OLED ne soit polluée par les alcalins, réduisant de fait considérablement la durée de vie de l'OLED. -9- La migration des alcalins peut intervenir pendant la fabrication du dispositif, engendrant un manque de fiabilité, et/ou postérieurement, réduisant sa durée de vie. La couche de fond peut améliore les propriétés d'accrochage de la couche de contact sans accroître notablement la rugosité de l'ensemble de l'empilement de couches, même en cas d'interposition d'une ou de plusieurs couche entre la couche de fond et la couche de contact (couche de lissage etc). La couche de fond, est éventuellement dopée notamment pour augmenter son indice. La couche de fond peut présenter de préférence une épaisseur supérieure ou égale à 3 nm, voire à 5 nm. Pour obtenir une épaisseur optique L1 souhaitée, on peut choisir une sous couche antireflet dont au moins la moitié, voire 60% ou plus, de son épaisseur géométrique est constituée de la couche de fond. Il peut s'agir notamment - d'une couche de SixNä (Si3N4 notamment), seule ou dans un empilement de fond, de SnO2 seule ou dans un empilement de fond, type SixNä/ SnO2i voire de TiO2, seule ou dans un empilement de fond, de type SixNy/SnO2, TiO2 étant éventuellement limité en épaisseur de par son indice optique élevé. La sous couche antireflet peut comprendre de manière préférentielle une couche d'arrêt de gravure, notamment une couche à base d'oxyde d'étain. Tout particulièrement, par souci de simplicité, la couche d'arrêt de gravure peut faire partie ou être la couche de fond : elle peut être de préférence être à base de nitrure de silicium ou elle peut être une couche qui est à base d'oxyde de silicium ou à base d'oxynitrure de silicium ou à base d'oxycarbure de silicium ou encore à base d'oxycarbonitrure de silicium et avec de l'étain pour renforcer par propriété d'anti gravure, couche de formule générale SnSiOCN. La couche d'arrêt de gravure sert à protéger le substrat dans le cas d'une gravure chimique ou une gravure par plasma réactif. Grâce à la couche d'arrêt de gravure, la couche de fond reste présente même dans des zones gravées ( Alternativement ou cumulativement, la deuxième couche métallique, notamment à base d'argent peut être de préférence déposée sous une forme cristallisée sur une couche mince diélectrique (non métallique), dite deuxième couche de contact, qui est également de préférence cristallisée. Une couche de contact favorise l'orientation cristalline adéquate de la couche métallique déposée dessus. La première et /ou la deuxième couche de contact est, de préférence, à base de l'un au moins des oxydes métalliques suivants, éventuellement dopé : oxyde de chrome, oxyde d'indium, oxyde de zinc éventuellement sous stoechiométrique, oxyde d'aluminium, oxyde de titane, oxyde de molybdène, oxyde de zirconium, oxyde d'antimoine, oxyde d'étain, oxyde de tantale, oxyde de silicium (par simplification, le silicium est considéré ici comme un métal). Le dopage s'entend d'une manière habituelle comme exposant une présence de l'élément dans une quantité inférieure à 10 % en masse d'élément métallique dans la couche) l'expression � à base de � couvre ainsi le dopage. L'oxyde métallique peut être dopé notamment entre 0,5 et 5 % avec pour exemple un oxyde d'étain dopé par F ou S. On peut choisir en particulier comme première couche de contact TiO2, ITO, IZO (à base d'indium et de zinc), IGZO (à base d'indium, de gallium etAe zinc) voire SnxZnyOZ. On peut choisir en particulier comme deuxième couche de contact ITO, IZO, IGZO voire SnXZnyOZ. La première et /ou la deuxième couche de contact peuvent être de préférence à base d'oxyde de zinc dopé par Al (AZO), Ga (GZO), voire par B, Sc, ou Sb - 11 - pour une meilleure stabilité de procédé de dépôt. On préfère en outre une couche d'oxyde de zinc ZnOX, avec préférentiellement x inférieur à 1, encore plus préférentiellement compris entre de 0,88 à 0,98, notamment de 0,90 à 0,95. La première et /ou la deuxième couche de contact peut être en outre à base de nitrure métallique et peut alors se confondre avec la couche de fond, en particulier lorsque la couche de fond est à base de nitrure de silicium. La première et/ou deuxième couche métalliques peuvent être de préférence, déposées directement sur leur couche de contact (sans tenir compte de la ou les couches de sous blocage décrites ultérieurement). Naturellement, par souci de simplification, les première et deuxième couches de contact peuvent être en le même matériau. L'épaisseur de la première ou de la deuxième couche de contact est de préférence supérieure ou égale à 3 nm voire supérieure ou égale à 5 nm. En cas de séquence(s) rajoutée (électrode à tri-couche métallique ou plus) comme déjà décrit, la ou chaque couche métallique rajoutée peut être sur une couche de contact en un ou les matériaux précités pour les couches de contact. Le substrat selon l'invention revêtu de l'électrode inférieure présente, de préférence, une faible rugosité de telle sorte que l'écart de l'endroit le plus creux à l'endroit le plus haut (� peak to valley � en anglais) sur la surcouche soit inférieur ou égal à 10 nm. Le substrat selon l'invention revêtu de l'électrode inférieure présente, de préférence, sur la surcouche une rugosité RMS inférieure ou égale à 3 nm, de préférence même inférieure ou égale à 2 nm et encore plus préférentiellement inférieure ou égale à 1,5 nm voire inférieure ou égale à 1 nm, afin d'éviter les défauts de pointes (� spike effect � en anglais) qui réduisent drastiquement la durée de vie et la fiabilité notamment de l'OLED. La rugosité RMS signifie rugosité La première couche de tissage est, de préférence, une couche d'oxyde simple ou mixte, à base d'oxyde d'un ou de plusieurs des métaux suivants : Sn, Si, Ti, Zr, Hf, Zn, Ga, ln et notamment est une couche d'oxyde mixte à base de zinc et d'étain éventuellement dopée ou une couche d'oxyde mixte d'indium et d'étain (ITO) ou une couche d'oxyde mixte d'indium et de zinc (IZ0). La première couche de tissage peut être en particulier à base d'un oxyde mixte de zinc et d'étain SnXZnyOZ notamment non stoechiométrique et sous phase amorphe, éventuellement dopé, notamment à l'antimoine, ou d'un oxyde mixte d'indium et d'étain (ITO) notamment déposé à froid, ou d'un oxyde mixte d'indium et de zinc (IZO). Cette première couche de lissage peut être de préférence sur la couche de fond ou encore directement sur le substrat. On peut utiliser également une deuxième couche de lissage directement sous la deuxième couche de contact et en les matériaux déjà listés pour la première couche de lissage. Naturellement, par souci de simplification, les première et deuxième couches de lissage peuvent être en te même matériau. Plus largement, on peut utiliser une couche en SnXZnyOZ, dopé ou non, éventuellement non stoechiométrique en oxygène, directement sous la première couche métallique (hors sous bloqueur éventuel) et/ou une couche en SnXZnyOZ dopé ou non, directement sous la deuxième couche métallique (hors sous bloqueur éventuel). La première couche séparatrice peut comprendre sous la deuxième couche de contact et sous l'éventuelle deuxième couche de lissage, une première couche - 13 - additionnelle d'oxyde métallique tel que l'oxyde de zinc, l'oxyde d'étain, et/ou une deuxième couche additionnelle à base de nitrure de silicium. Pour obtenir une épaisseur optique L1 souhaitée, on peut choisir une sous couche dont au moins la moitié, voire 60% ou plus, de son épaisseur géométrique est constituée de la couche de fond et/ou de la première couche de tissage, notamment des couches de SiXNy, SnO2, TiO2 seules ou empilées, et/ou de la couche de SnXZnyOZ On prévoit par exemple : Si3N4/SnXZnyOZ, SnO2/ SnXZn,,OZ, SnO2 /TiO2, TiO2/ Sn,Znä OZ. Pour obtenir une épaisseur optique L2 souhaitée, on peut choisir une première couche séparatrice dont au moins la moitié, voire 60% ou plus, de son épaisseur géométrique est constituée de la couche de lissage (formant éventuellement couche de contact), notamment de SnXZn,,OZ seul, de SiXNY seul ou combiné avec SnXZn,,OZ ou SnO2 sus jacent. On prévoit par exemple (sous une éventuelle couche de contact notamment à base de ZnO) : Si3N4/ SnXZnyOZ, Si3N4/ SnO2. En cas de séquence(s) rajoutée (électrode à tri-couche métallique ou plus) comme déjà décrit, la ou chaque couche séparatrice rajoutée peut comprendre une couche de lissage et/ou une couche de contact en les matériaux précités avec des éventuelles sur et/ou sous bloqueurs. La surcouche d'adaptation du travail de sortie peut avoir un travail de sortie Ws à partir de 4,5 eV et de préférence supérieur ou égal à 5 eV. La surcouche selon l'invention est, de préférence, à base d'un oxyde simple ou mixte, à base de l'un au moins des oxydes métalliques suivants, éventuellement dopé(s) : oxyde d'étain, oxyde d'indium, oxyde de zinc éventuellement sous stoechiométrique, oxyde d'aluminium, oxyde de chrome, oxyde de titane, oxyde de molybdène, oxyde de zirconium, oxyde d'antimoine, oxyde de tantale, oxyde de silicium. Cette surcouche peut en particulier être en oxyde d'étain éventuellement dopé par F, Sb, ou en oxyde de zinc éventuellement dopé à l'aluminium, ou être éventuellement à base d'un oxyde mixte notamment un oxyde mixte d'indium et d'étain (ITO), un oxyde mixte d'indium et de zinc (IZO), oxyde mixte de zinc et d'étain SnXZn,,OZ. - 14 - Cette surcouche peut présenter de préférence une épaisseur e3 inférieure ou égale à 40 nm, notamment inférieure ou égale à 30 nm, par exemple comprise entre 15 et 30 nm. La surcouche selon l'invention peut être, alternativement, une couche mince métallique, notamment à base de nickel, platine ou palladium, par exemple d'épaisseur inférieure ou égale à 5 nm, notamment de 1 à 2 nm, et séparée de la deuxième couche métallique par une couche sous jacente, dite espaceur, en oxyde métallique simple ou mixte, tels que ceux précités pour la surcouche ou tes couches de lissage ou de contact. L'électrode inférieure selon l'invention est facile à fabriquer en particulier en choisissant pour les matériaux de l'empilement des matériaux qui peuvent être déposées à température ambiante, et ne nécessitant pas de recuit thermique pour obtenir une conductivité électrique correcte comme l'ITO. Encore plus préférentiellement la plupart voire toutes les couches de l'empilement sont déposées sous vide (de préférence successivement) de préférence par pulvérisation cathodique éventuellement assistée par magnétron, permettant des gains de productivité significatif. Pour réduire le coût de l'électrode inférieure, on peut préférer que l'épaisseur totale en matériau contenant de l'indium de cette électrode soit inférieure ou égale à 60 nm, voire inférieure ou égale à 40 nm, voire à 30 nm. Peuvent aussi être prévus un, voire deux, revêtement(s) très fin(s) appeté(s) � revêtement de blocage �, disposé(s) directement sous, sur ou de chaque côté de la première et/ou de la deuxième couche métallique; notamment lorsque ces couches sont à base d'argent. Le revêtement de sousblocage sous-jacent à une couche métallique (la première et/ou la deuxième), en direction du substrat, est un revêtement d'accrochage, de nucléation et/ou de protection. Le revêtement de surblocage sus-jacent à une couche métallique (la première et/ou la deuxième) sert de revêtement de protection ou � sacrificiel � afin d'éviter l'altération de la couche métallique par attaque et/ou migration d'oxygène d'une couche qui le surmonte, voire aussi par migration d'oxygène si la couche qui le surmonte est déposée par pulvérisation cathodique en présence d'oxygène. - 15 - La couche métallique (la première et/ou la deuxième) peut ainsi être disposée directement sur au moins un revêtement de blocage sous-jacent et/ou directement sous au moins un revêtement de blocage sus-jacent, chaque revêtement présentant une épaisseur comprise de préférence entre 0,5 et 5 nm. Au sens de la présente invention lorsqu'il est précisé qu'un dépôt de couche ou de revêtement (comportant une ou plusieurs couches) est effectué directement sous ou directement sur un autre dépôt, c'est qu'il ne peut y avoir interposition d'aucune couche entre ces deux dépôts. Au moins un revêtement de blocage comprend, de préférence, une couche métallique, nitrure et/ou oxyde métallique, à base d'au moins l'un des métaux suivants : Ti, V, Mn, Fe, Co, Cu, Zn, Zr, Hf, Al, Nb, Ni, Cr, Mo, Ta, W, ou à base d'un alliage d'au moins un desdits matériaux, de préférence à base de Ni, ou Ti, à base d'un alliage de Ni, à base d'un alliage de NiCr. Par exemple, un revêtement de blocage peut être constitué d'une couche à base de niobium, tantale, titane, chrome ou nickel ou d'un alliage à partir d'au moins deux desdits métaux, comme un alliage de nickel-chrome. Une fine couche de blocage forme une couche de protection voire même une couche � sacrificielle � qui permet d'éviter l'altération du métal de la couche métallique (la première et/ou la deuxième), notamment dans l'une et/ou l'autre des configurations suivantes : si la couche qui surmonte la couche métallique (la première et/ou la deuxième) est déposée en utilisant un plasma réactif (oxygène, azote ...), par exemple si la couche d'oxyde qui la surmonte est déposée par pulvérisation cathodique, si la composition de la couche qui surmonte la couche métallique (la première et/ou la deuxième) est susceptible de varier lors de la fabrication industrielle (évolution des conditions de dépôt type usure d'une cible etc.) notamment si la stoechiométrie d'une couche de type oxyde et/ou nitrure évolue, modifiant alors la qualité de la couche métallique et donc les propriétés de l'électrode (résistance carré, transmission lumineuse, ...), si le revêtement électrode subit postérieurement au dépôt un traitement thermique. - 16 - Cette couche protectrice voire sacrificielle améliore significativement la reproductibilité des propriétés électriques et optiques de l'électrode. Cela est très important pour une démarche industrielle où seule une faible dispersion des propriétés des électrodes est acceptable. On préfère en particulier une fine couche de blocage à base d'un métal choisi parmi le niobium Nb, le tantale Ta, le titane Ti, le chrome Cr ou le nickel Ni ou d'un alliage à partir d'au moins deux de ces métaux, notamment d'un alliage de niobium et de tantale (Nb/Ta), de niobium et de chrome (Nb/Cr) ou de tantale et de chrome (Ta/Cr) ou de nickel et de chrome (Ni/Cr). Ce type de couche à base d'au moins un métal présente un effet de piégeage (effet � getter �) particulièrement important. Une fine couche de blocage métallique peut être aisément fabriquée sans altérer la couche métallique (la première et/ou la deuxième). Cette couche métallique peut être de préférence déposée dans une atmosphère inerte (c'est-à-dire sans introduction volontaire d'oxygène ou d'azote) constituée de gaz noble (He, Ne, Xe, Ar, Kr). Il n'est pas exclu ni gênant qu'en surface cette couche métallique soit oxydée lors du dépôt ultérieur d'une couche à base d'oxyde métallique. La fine couche de blocage métallique permet en outre d'obtenir une excellente tenue mécanique (résistance à l'abrasion, aux rayures notamment). Néanmoins, pour l'utilisation de couche de blocage métallique, il faut limiter l'épaisseur de la couche métallique et donc l'absorption lumineuse pour conserver une transmission lumineuse suffisante pour les électrodes transparentes. La fine couche de blocage peut être partiellement oxydée. Cette couche est déposée sous forme non métallique et n'est donc pas déposée sous forme stoechiométrique, mais sous forme sous-stoechiométrique, du type M0x, où M représente te matériau et x est un nombre inférieur à la stoechiométrie de l'oxyde du matériau ou du type MNOX pour un oxyde de deux matériaux M et N (ou plus). On peut citer par exemple TiOx, NiCrOx. x est de préférence compris entre 0,75 fois et 0,99 fois la stoechiométrie normale de l'oxyde. Pour un monoxyde, on peut notamment choisir x entre 0,5 et 0,98 et pour un dioxyde x entre 1,5 et 1,98. Dans une variante particulière, ta fine couche de blocage est à base de TiOx et x peut être en particulier tel que 1,5 x 1,98 ou 1,5 La fine couche blocage choisie oxyde et/ou nitrure sous stoechiométrique peut être, de préférence à base d'un métal choisi parmi l'un au moins des métaux suivants : Ti, V, Mn, Fe, Co, Cu, Zn, Zr, Hf, Al, Nb, Ni, Cr, Mo, Ta, W, ou d'un oxyde d'un alliage sous stoechiométrique à base d'au moins un de ces matériaux. On préfère en particulier une couche à base d'un oxyde ou d'oxynitrure d'un métal choisi parmi le niobium Nb, le tantale Ta, le titane Ti, le chrome Cr ou le nickel Ni ou d'un alliage à partir d'au moins deux de ces métaux, notamment d'un alliage de niobium et de tantale (Nb/Ta), de niobium et de chrome (Nb/Cr) ou de tantale et de chrome (Ta/Cr) ou de nickel et de chrome (Ni/Cr). Comme nitrure métallique sous-stoechiométrique, on peut choisir aussi une couche en nitrure de silicium SiNX ou d'aluminium AlNx ou de chrome Cr Nx , ou de titane TiNX ou de nitrure de plusieurs métaux comme le NiCrNx. La fine couche de blocage peut présenter un gradient d'oxydation, par exemple M(N)OX; avec x; variable, la partie de la couche de blocage en contact avec la couche métallique est moins oxydée que la partie de cette couche la plus éloignée de la couche métallique en utilisant une atmosphère de dépôt particulière. Le revêtement de blocage peut aussi être multicouche et notamment comprendre : - d'une part une couche � d'interface � immédiatement en contact avec ladite couche fonctionnelle, cette couche d'interface étant en un - 18 - matériau à base d'oxyde, de nitrure ou d'oxynitrure métallique non stoechiométrique, tels que ceux précités, d'autre part, d'au moins une couche en un matériau métallique, tels que ceux précités, couche immédiatement en contact avec ladite couche � d'interface �. La couche d'interface peut être un oxyde, un nitrure ou un oxynitrure d'un métal ou de métaux qui est ou sont présent(s) dans la couche métallique adjacente éventuelle. Naturellement, par souci de simplification, les première et deuxième couches de surblocage peuvent être en le même matériau et/ou les première et deuxième couches de sousblocage peuvent être en le même matériau. Le substrat comporte par ailleurs, de préférence, une structure de bus-électrode inférieure au-dessus du revêtement électrode inférieur, ladite structure de bus-électrode étant en contact électrique avec ledit revêtement électrode. La structure de bus-électrode inférieure se présente sous forme de couche pour l'amenée de courant avant la gravure ; elle est de préférence d'épaisseur comprise entre 0,5 à 10 pm et de préférence sous forme d'une monocouche en l'un des métaux suivants : Mo, Al, Cr, Nd ou en alliage tel que MoCr, AINd ou sous forme d'une multicouche telle que MoCr/Al/MoCr. Toutes les couches de l'électrode sont de préférence déposées par une technique de dépôt sous vide, mais il n'est toutefois pas exclu que la première ou les premières couches de l'empilement puisse(nt) être déposée(s) par une autre technique, par exemple par une technique de décomposition thermique de type pyrolyse. L'ensemble des couches d'électrode, peut être, de préférence, gravé suivant un même motif de gravure et de préférence par une seule gravure, sauf la couche de fond qui, elle, n'est pas gravée. La couche d'arrêt de gravure, si elle est présente, est de préférence également intacte, mais peut se trouvée légèrement gravée, par exemple sur un dixième de son épaisseur initiale. Il en est de même pour la couche de fond si la couche d'arrêt de gravure n'est pas présente. Le substrat peut être plan ou courbe, et en outre rigide, flexible ou semiflexible. Ses faces principales peuvent être rectangulaires, carrées ou même de toute - 19 -autre forme (ronde, ovale, polygonale...). Ce substrat peut être de grande taille par exemple de surface supérieure à 0,02m2 voire même 0.5 m2 ou 1 m2 et avec une électrode inférieure (divisée éventuellement en plusieurs zones) occupant sensiblement la surface (aux zones de structuration près et/ou aux zones de bords près) Le substrat est sensiblement transparent. Il peut présenter une transmission lumineuse TL supérieure ou égale à 70%, de préférence supérieure ou égale à 80% voire à 90%. Le substrat peut être minéral ou en matière plastique comme du polycarbonate PC ou du polymétacrylate de méthyle PMMA ou encore le PET, du polyvinyle butyral PVB, polyuréthane PU, le polytétrafluoréthylène PTFE etc... Le substrat peut être de préférence verrier, notamment en verre sodocalcique ou silicosodocalcique, un verre clair, extraclair, un verre float. Le substrat peut être avantageusement un verre présentant un coefficient d'absorption inférieur à 2,5 m"', de préférence inférieur à 0,7 m"' à la longueur d'onde des rayonnements OLEDs. On choisit par exemple des verres silicosodocalciques avec moins de 0,05% de Fe III ou de Fe203, notamment le verre Diamant de Saint-Gobain Glass, le verre Optiwhite de Pilkington, le verre B270 de Schott. On peut choisir toutes les compositions de verre extraclair décrites dans le document W004/025334. Avec une émission du système OLED à travers l'épaisseur du substrat transparent, une partie du rayonnement émis est guidé dans le substrat. Aussi, dans une conception avantageuse de l'invention, l'épaisseur du substrat choisi verrier peut être d'au moins 1 mm, de préférence d'au moins 5 mm, par exemple. Cela permet de diminuer le nombre de réflexions internes et d'extraire ainsi plus de rayonnement guidé dans le verre, augmentant ainsi la luminance de la zone lumineuse. Dans une configuration supplémentaire, le substrat selon l'invention comporte sur une deuxième face principale un revêtement fonctionnel choisi parmi : une multicouche antireflet, une couche antibuée ou antisalissures, un filtre ultraviolet, notamment une couche d'oxyde de titane, une couche luminophore, une couche miroir, une zone diffusante d'extraction de lumière. - 20 - En outre, il est en général préférable de munir le revêtement électrode de bus électrode avant le dépôt du système OLED. La couche qui va former les bus-électrodes est, de préférence, gravée en même temps que le revêtement électrode. On peut utiliser le substrat tel que défini précédemment pour un dispositif OLED comportant au moins une zone d'électrode (pleine) de taille supérieure ou égale à 1x1 cm2, voire jusqu'à 5x5 cm2 et au-delà. On peut utiliser le substrat tel que défini précédemment pour un dispositif OLED formant un panneau d'éclairage, ou de rétroéclairage (sensiblement blanc et/ou uniforme) notamment de surface (pleine) d'électrode supérieure ou égale à 1x1 cm2, voire jusqu'à 5x5 cm2 et au-delà. Pour la réalisation d'un dispositif OLED, le substrat selon l'invention comportant en outre un système OLED, au-dessus de l'électrode inférieure telle que définie précédemment, prévu pour émettre un rayonnement polychromatique défini à 0° par des coordonnées (x1, yl) dans le diagramme colorimétrique CIE XYZ 1931, cordonnées données donc pour un rayonnement à la normale, Le dispositif OLED peut être à émission par le bas et éventuellement aussi par le haut suivant que l'électrode supérieure est réfléchissante ou semi réfléchissante. Le dispositif OLED peut comporter en outre : - une électrode supérieure au-dessus dudit système OLED ; - et de préférence une structure de bus-électrode supérieure au-dessus du revêtement électrode supérieur, ladite structure de bus-électrode étant en contact électrique avec ledit revêtement électrode supérieur. Plus préférentiellement, on réalise un dispositif OLED émettant en sortie un spectre défini à 0° par ses coordonnées colorimétriques (x2, y2) dans le diagramme colorimétrique CIE XYZ 1931, telles que j((xlùx2)2 +(ylùy2)2) est inférieure à 0,1 encore plus préférentiellement inférieure ou égale 0, 08, voire inférieure ou égale à 0,03. Le système OLED peut être adapté pour émettre une lumière (sensiblement) blanche, de cordonnées (0,33 ; 0,33). Le dispositif OLED peut être adapté pour produire en sortie une lumière (sensiblement) blanche, de cordonnées (0,33 ; 0,33). - 21 - En outre, pour apprécier ta dépendance angulaire de ta couleur une fois te dispositif OLED réalisé, on évalue la variation colorimétrique en fonction de l'angle Vcolor c'est-à-dire la longueur du chemin, dans le diagramme colorimétrique CIE XYZ 1931, entre te spectre émis à 0° et le spectre émis à 60°, ceci en passant par au moins un angle intermédiaire comme par exempte 30°. Ce chemin peut avoir des formes diverses comme une droite ou un arc de cercle par exemple. La mesure de la variation colorimétrique s'effectue en mesurant le spectre du dispositif électroluminescent à des angles différents (par exemple entre 0° et un angle limite donné 0, égal à 60°, ceci tous les 5°) avec un spectrophotomètre. Ensuite, les coordonnées colorimétriques pour chaque spectre d'angle 0, sont exprimées par le couple (x(0,);y(0,)) dans le diagramme colorimétrique CIE XYZ 1931. La longueur du chemin Vco,or peut être calculée en utilisant la formule suivante: Vcoror =1 (x(91) ù x(e;+1 ))2 + (y(e1) ù Y(e;+l ))2 0,=0 La longueur du chemin V�,,,,- est minimisée, et peut être ainsi inférieure ou égale à 0,1, encore plus préférentiellement inférieure ou égale à 0,08 voire à inférieure ou égale 0,05 voire 0,03. On peut encore optimiser davantage en minimisant la longueur du chemin entre 0° et 85°. Le dispositif peut faire partie d'un vitrage multiple, notamment un vitrage sous vide ou avec lame d'air ou autre gaz. Le dispositif peut aussi être monolithique, comprendre un vitrage monolithique pour gagner en compacité et/ou en légèreté. Le système OLED peut être collé ou de préférence feuilleté avec un autre substrat plan dit capot, de préférence transparent tel qu'un verre, à l'aide d'un intercalaire de feuilletage, notamment extraclair. Les vitrages feuilletés sont usuellement constitués de deux substrats rigides entre lesquels est disposée une feuille ou une superposition de feuilles de polymère du type thermoplastique. L'invention inclut aussi les vitrages feuilletés dits asymétriques � utilisant un substrat notamment porteur rigide du type verre et comme substrat couvrant une ou des feuilles protectrices de polymère. L'invention inclut aussi les vitrages feuilletés ayant au moins une feuille intercalaire à base d'un polymère adhésif simple ou double face du type élastomère - 22 -(c'est-à-dire ne nécessitant pas une opération de feuilletage au sens classique du terme, feuilletage imposant un chauffage généralement sous pression pour ramollir et rendre adhérente la feuille intercalaire thermoplastique). Dans cette configuration, le moyen pour solidariser capot et substrat porteur peut être alors un intercalaire de feuilletage notamment une feuille de matière thermoplastique par exemple en polyuréthane (PU), en polyvinylbutyral (PVB), en éthylène vinylacétate (EVA), ou être en résine pluri ou mono-composants réticulables thermiquement (époxy, PU) ou aux ultraviolets (époxy, résine acrylique). Elle est de préférence (sensiblement) de même dimension que le capot et le substrat. L'intercalaire de feuilletage peut permettre d'éviter un fléchissement du capot notamment pour des dispositifs de grande dimension par exemple de surface supérieure à 0,5m2. L'EVA offre en particulier de multiples avantages : - il n'est pas ou peu chargé en eau en volume, - il ne nécessite pas nécessairement une mise sous pression élevée pour sa mise en oeuvre. Un intercalaire de feuilletage thermoplastique peut être préféré à une couverture en résine coulée car elle est à la fois plus facile à mettre en oeuvre, plus économique et est éventuellement plus étanche. L'intercalaire comporte éventuellement un réseau de fils électroconducteurs incrustés sur sa surface, dite interne, en regard de l'électrode supérieure, et/ou une couche électroconductrice ou des bandes électroconductrices sur la surface interne du capot. Le système OLED peut être disposé de préférence à l'intérieur du double 25 vitrage, avec une lame de gaz notamment inerte (argon par exemple). L'électrode supérieure peut être une couche électroconductrice avantageusement choisie parmi les oxydes métalliques notamment les matériaux suivants : l'oxyde de zinc dopé, notamment à l'aluminium ZnO:Al ou au gallium 30 ZnO:Ga, ou encore l'oxyde d'indium dopé, notamment à l'étain (ITO) ou l'oxyde d'indium dopé au zinc (IZO). On peut utiliser plus généralement tout type de couche électroconductrice transparente, par exemple une couche dite � TCO � (pour � Transparent Conductive - 23 - Oxyde � en anglais), par exemple d'épaisseur entre 20 et 1000 nm. On peut aussi utiliser une couche mince métallique dite � TCC � (pour Transparent conductive coating � en anglais) par exemple en Ag, At, Pd, Cu, Pd, Pt In, Mo, Au et typiquement d'épaisseur entre 5 et 150 nm en fonction de la transmission/réflexion lumineuse souhaitée. L'électrode n'est pas forcément continue. L'électrode supérieure peut comprendre une pluralité de bandes conductrices ou de fils conducteurs (grille). En outre, il peut être avantageux d'ajouter un revêtement ayant une fonctionnalité donnée sur la face opposée du substrat porteur de l'électrode selon l'invention ou sur un substrat additionnel. Il peut s'agir d'une couche anti-buée (à l'aide d'une couche hydrophile), anti-salissures (revêtement photocatalytique comprenant du TiO2 au moins partiellement cristallisé sous forme anatase), ou encore un empilement anti-reflet du type par exempte Si3N4/SiO2/Si3N4/SiO2 ou encore un filtre aux UV comme par exemple une couche d'oxyde de titane (TiO2). Il peut en outre s'agir d'une ou plusieurs couches luminophores, d'une couche miroir, d'au moins une zone diffusante d'extraction de lumière. L'invention concerne également les diverses applications que l'on peut trouver à ces dispositifs OLEDS, formant une ou des surfaces lumineuses transparentes et/ou réfléchissantes (fonction miroir) disposés aussi bien en extérieur qu'en intérieur. Le dispositif peut former (choix alternatif ou cumulatif) un système éclairant, décoratif, architectural, etc.), un panneau d'affichage de signalisation - par exemple du type dessin, logo, signalisation alphanumérique, notamment un panneau d'issue de secours. Le dispositif OLED peut être arrangé pour produire une lumière uniforme, notamment pour un éclairage homogène, ou pour produire différentes zones lumineuses, de même intensité ou d'intensité distincte. Inversement, on peut rechercher un éclairage différencié. Le système électroluminescent organique (OLED) produit une zone de lumière directe, et une autre zone lumineuse est obtenue par extraction du rayonnement OLED qui est guidé par réflexion totale dans l'épaisseur du substrat choisi verrier. Pour former cette autre zone lumineuse, ta zone d'extraction peut être adjacente au système OLED ou de l'autre côté du substrat. La ou les zones d'extraction peuvent servir par exemple pour renforcer l'éclairage fourni par la zone -24 - de lumière directe, notamment pour un éclairage de type architectural, ou encore pour signaler le panneau lumineux. La ou les zones d'extraction sont de préférence sous forme de bande(s) de lumière, notamment uniforme(s), et préférentiellement disposée(s) en périphérie d'une des faces. Ces bandes peuvent par exemple former un cadre très lumineux. L'extraction est obtenue par l'un au moins des moyens suivants disposés dans la zone extraction : une couche diffusante, le substrat rendu diffusant, notamment texturé ou rugueux. Lorsque les électrodes et la structure organique du système OLED sont choisies transparentes, on peut réaliser notamment une fenêtre éclairante. L'amélioration de l'éclairage de la pièce n'est alors pas réalisée au détriment de la transmission lumineuse. En limitant en outre ta réflexion lumineuse notamment du côté extérieur de la fenêtre éclairante, cela permet aussi de contrôler le niveau de réflexion par exemple pour respecter les normes anti-éblouissement en vigueur pour les façades de bâtiments. Plus largement, le dispositif, notamment transparent par partie(s) ou entièrement, peut être : - destiné au bâtiment, tel qu'un vitrage lumineux extérieur, une cloison lumineuse interne ou une (partie de) porte vitrée lumineuse notamment coulissante, - destiné à un véhicule de transport, tel qu'un toit lumineux, une (partie de) vitre latérale lumineuse, une cloison lumineuse interne d'un véhicule terrestre, aquatique ou aérien (voiture, camion train, avion, bateau, etc.), - destiné au mobilier urbain ou professionnel tel qu'un panneau d'abribus, une paroi d'un présentoir, d'un étalage de bijouterie ou d'une vitrine, une paroi d'une serre, une dalle éclairante, destiné à l'ameublement intérieur, un élément d'étagère ou de meuble, une façade d'un meuble, une dalle éclairante, un plafonnier, une tablette éclairante de réfrigérateur, une paroi d'aquarium, - destiné au rétro-éclairage d'un équipement électronique, notamment d'écran de visualisation ou d'affichage, éventuellement double écran, comme un écran de télévision ou d'ordinateur, un écran tactile. Pour former un miroir éclairant, l'électrode supérieure peut être - 25 - réfléchissante Il peut être aussi un miroir. Le panneau lumineux peut servir à l'éclairage d'une paroi de salle de bains ou d'un plan de travail de cuisine, être un plafonnier. Les OLED sont généralement dissociés en deux grandes familles suivant le matériau organique utilisé. Si les couches électroluminescentes sont des petites molécules, on parle de SM-OLED ( De préférence, le dispositif OLED peut comporter un système OLED épais compris entre 90 et 130 nm, voire entre 100 et 120 nm. L'invention sera maintenant décrite plus en détails à l'aide d'exemples non limitatifs et de figures : La figure 1 est une vue schématique en coupe d'un dispositif électroluminescent organique, pour un éclairage uniforme, lequel comprend une électrode inférieure conforme à l'invention dans un premier mode de réalisation, la figure 2 est une vue partielle montrant cette électrode inférieure plus en détail, - la figure 3 est une vue montrant dans le diagramme colorimétrique différentes longueurs de chemins, - la figure 4 montre des spectres de dispositifs OLEDs. On précise que par un souci de clarté les différents éléments des objets (y compris les angles) représentés ne sont pas nécessairement reproduits à l'échelle. 2925981 -26 - La figure 1 est volontairement très schématique. Elle représente en coupe un dispositif électroluminescent organique 10 (à émission à travers le substrat ou � bottom emission � en anglais) comprenant successivement : - un substrat plan 1 de verre silico-sodo-calcique clair ou extraclair par 5 exemple à partir de 0,7 mm d'épaisseur, avec des première et deuxième faces principales 11, 12, la première face principale 11 comportant d'abord une électrode inférieure (semi) transparente 3, comportant l'empilement de couches (voir figure 2) suivant : une sous couche antireflet comportant : 10 une couche de fond 2, déposée directement sur la première face principale 11, en nitrure de silicium et couvrant sensiblement la totalité de la première face principale 11, - une première couche de lissage 31 en SnyZnZOx dopée à l'antimoine Sb, 15 - une première couche de contact 32 en ZnOx dopée à l'aluminium, une première couche métallique 30, de préférence en argent par exemple pur, - une première couche séparatrice comportant : éventuellement un revêtement de surblocage 33 sus-jacent, directement sur la couche métallique 3.a éventuellement une couche additionnelle 34 en ZnOx dopée à l'aluminium, - une deuxième couche de lissage 31' en SnyZnZOx dopée à l'antimoine Sb, une deuxième couche de contact 32' en ZnOx dopée à l'aluminium, - une deuxième couche métallique 30', de préférence en argent par exemple pur ? ~ 3 3 , ù c~~.~-~- _u nie .e. - une surcouche 35 d'adaptation du travail de sortie, en ITO. Cl Le dispositif 10 comporte en outre }à,t,v.- 2-t(., (e J vo k 3 ti 30 - un système électroluminescent organique 4, par exemple un SM-OLED émettant une lumière blanche formée de : - 45 nm de 2-TNATA, 15 nm de NPB (10 nm), - 5 nm de NPB : DCJTB (0,2% en poids), 20 25 - 27 - 6 nm de BCS : perylene (0,5% en poids), 1 nm de Atg3 :C545T (0,2% en poids), 50 nm de Alg3 , 1 nm de Li. Ces couches sont décrites dans le document intitulé � four wavelength white organic light emitting diodes using 4, 4'- bis- [carbazoyl-(9)]-stilbene as a deep blue emissive layer � de C.H. Jeong et autres, publié dans Organics Electronics 8 (2007) pages 683-689. Le dispositif 10 comporte en outre .uA ,,,,1 C~t,rp ~F - une électrode supérieure métallique 5, (semi) réfléchissante, notamment à base d'argent ou d'aluminium. Une série d'exemples 1 à 4 de dépôt d'empilements pour réaliser l'électrode inférieure selon l'invention a été réalisée par pulvérisation cathodique assistée par champ magnétique, à température ambiante, en général le substrat 1. A titre comparatif, on présente aussi : - un exemple construit n°5 d'électrode à base d'une seule couche d'argent entre une sous couche antireflet et une surcouche, - un exempte classique n°6 d'électrode à base d'ITO. Le tableau 1 ci-après résume la nature et l'épaisseur géométrique en nanomètres des différentes couches de ces exemples, ainsi que leurs principales caractéristiques optiques et électriques. 30 -28- Exemples n°1 n°2 n°3 n°4 n°5 n°6 Couches/ e(nm) ITO 120 Si3N4 30 23 26 15 21 SnZnO 5 7 4 6 5 ZnO 5 ( 3 6 4 5 Ag 8 9 111 9 12 Ti 0,5 Une feuille type EVA peut permettre de feuilleter le substrat 1 à un autre verre de préférence de mêmes caractéristiques que le substrat 1. Optionnellement, la face 12 du verre 1 tournée vers la feuille d'EVA est munie d'un empilement de fonctionnalité donnée décrite plus tard. L'électrode inférieure 3 est en deux parties espacées par la zone de gravure -30- 310. La gravure humide est utilisée pour séparer électriquement l'électrode inférieure 3 de l'électrode supérieure 5 du dispositif 10. Le tableau 2 ci-après résume les propriétés optiques du dispositif OLED des 5 exemples précités. Exemples n°1 n°2 n°3 n°4 n°5 n°6 Coordonnées (0,38; (0,36; (0,34; (0,33; (0,40; (0,36; colorimétriques à 0,4) 0,35) 0,35) 0,33) 0,42) 0,35) 0° (x2 ; y2) Ecart 0,081 0,031 0,018 0,005 0,109 0,031 colorimétrique à 0°par rapport à l'émetteur blanc (0,33 ; 0,33) Dépendance 0,08 0,03 ( 0,030 0,02 0,13 j 0,07 angulaire Vcolor Efficacité 24% 123% 24% 21% 26% 21% d'extraction Tableau 2 Pour calculer l'efficacité d'extraction, on calcule d'abord le rendement 10 quartique externe Pout/Pin c'est-à-dire le rapport entre la puissance électrique Pout injectée dans le dispositif OLED et la puissance lumineuse Pin intégrée entre 0 et 85°. Ensuite, en considérant un rendement quantique interne de 25%, on divise le rendement quartique externe par 0,25 pour obtenir l'efficacité d'extraction. Les valeurs du tableau 2 montrent que l'électrode bicouche argent (exemples 15 1 à 4) permet d'obtenir une très faible dépendance colorimétrique angulaire et ne pénalise pas l'efficacité d'extraction. La figure 3 montre l'évolution des coordonnées colorimétriques dans le diagramme colorimétrique CIE XYZ 1931 en fonction de l'angle d'observation dans l'air pour les exemples 2 (courbe 100) 5 (courbe 110), 6 (courbe 120). - 31 - On voit ainsi que le chemin le plus court et proche du blanc émetteur (0,33 ; 0,33) correspond à l'électrode bicouche argent. La figure 4 montre les spectres des dispositifs OLED pour les exemples 2 (courbe 100') 5 (courbe 110') à 0°. On voit ainsi que te spectre 100' obtenu grâce à l'électrode bicouche est relativement plat sur une large partie du spectre visible contrairement au spectre 110'. Il va de soi que l'invention s'applique de la même manière aux systèmes utilisant d'autres systèmes électroluminescents que ceux décrits dans les exemptes. La présente invention est décrite dans ce qui précède à titre d'exemple. Il est entendu que l'homme du métier est à même de réaliser différentes variantes de l'invention sans pour autant sortir du cadre du brevet tel que défini par les revendications. REVENDICATIONS 1. Substrat pour dispositif électroluminescent organique (10), comportant un substrat transparent (1) d'indice optique n0 porteur, sur une première face principale (11), d'un premier revêtement d'électrode (3) transparent ou semitransparent, dite électrode inférieure, et qui comporte l'empilement de couches suivant: une sous couche antireflet d'épaisseur optique L1 donnée et d'indice optique n1 tel que le rapport n1 sur n0 est supérieur ou égal à 6/5, une première couche métallique (30) d'épaisseur e1 donnée, disposée sur la sous couche antireflet, une surcouche d'adaptation du travail de sortie (35), d'épaisseur e3 donnée, disposée sur la première couche métallique, caractérisé en ce que l'électrode inférieure (3) comporte en outre : une première couche séparatrice, d'épaisseur optique L2 donnée, disposée sur la première couche métallique et sous la surcouche, une deuxième couche métallique (30'), à propriété intrinsèque de conductivité électrique, d'épaisseur e2 donnée, cette deuxième couche étant disposée entre la première couche séparatrice et la surcouche, et en ce que L1 est comprise entre 20 nm et 120 nm, L2 est comprise entre 75 nm et 160 nm, et la somme des épaisseurs e1 +e2 des première et deuxième couches métalliques est inférieure ou égale à 40 nm. 2. Substrat (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce que L1 est inférieure ou égale à 100 nm, de préférence inférieure ou égale à 80 nm. 3. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que L2 est inférieure ou égale à 130 nm. 4. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que L1 est inférieure à L2. 5. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, 30 caractérisé en ce que la première couche métallique (30) est à base d'un matériau- 33 - pur choisi parmi l'argent, l'or, l'aluminium, le cuivre, le molybdène ou à base dudit matériau allié ou dopé avec au moins un autre matériau choisi parmi : Ag, Au, Pd, Al, Pt, Cu, Zn, Cd, ln, Si, Zr, Mo, Ni, Cr, Mg, Mn, Co, Sn et en ce que la deuxième couche métallique (30') est à base d'un matériau pur choisi parmi l'argent, l'or, l'aluminium, le cuivre, le molybdène ou à base dudit matériau allié ou dopé avec au moins un autre matériau choisi parmi : Ag, Au, Pd, Al, Pt, Cu, Zn, Cd, ln, Si, Zr, Mo, Ni, Cr, Mg, Mn, Co, Sn. 6. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les première et deuxième couches métalliques (30, 30') sont à base d'argent, l'épaisseur el de la première couche métallique inférieure ou égale à 15 nm et/ou l'épaisseur e2 de la deuxième couche métallique est inférieure ou égale à 15 nm, et, de préférence, l'épaisseur el est supérieure à l'épaisseur e2. 7. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'électrode inférieure présente une résistance par carré inférieure ou égale à 6 0/carré. 8. Substrat (1) l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'électrode inférieure comprend une séquence de couches, répétée éventuellement une à plusieurs fois, entre la deuxième couche métallique et la surcouche, la séquence formée d'une autre couche séparatrice, notamment à base d'oxyde(s) métallique(s) et/ou de nitrure(s) métallique(s), surmontée d'une autre couche métallique, notamment à base d'argent. 9. Substrat (1) l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la sous couche antireflet comprend une couche de fond (2) formant une barrière aux alcalins et/ou une couche d'arrêt de gravure(s), ta couche de fond couvrant de préférence sensiblement ladite face principale (11) du substrat. 10. Substrat (1) l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la sous couche antireflet comprend une couche de fond (2) en un matériau à base, à base de nitrure de silicium, d'oxycarbure de silicium, d'oxynitrure de silicium, d'oxycarbonitrure de silicium, le matériau de ladite couche de fond étant éventuellement dopé et ladite couche de fond présentant une épaisseur supérieure ou égale à 3 nm.-34- 11. Substrat (1) l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la sous couche antireflet comporte une couche, dite première couche de contact (32), à base d'oxyde métallique et/ou de nitrure métallique, sous jacente à la première couche métallique. 12. Substrat (1) l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la première couche séparatrice comporte une couche, dite deuxième couche de contact (32'), à base d'oxyde métallique et/ou de nitrure métallique, sous jacente à la deuxième couche métallique. 13. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce que la première et/ou la deuxième couche de contact (32, 32') est à base de l'un au moins des oxydes métalliques suivants, éventuellement dopé : oxyde de chrome, oxyde d'indium, oxyde de zinc éventuellement sous stoechiométrique, oxyde d'aluminium, oxyde de titane, oxyde de molybdène, oxyde de zirconium. oxyde d'antimoine, oxyde d'étain, oxyde de tantale, oxyde de silicium et en ce que ta première et/ou la deuxième couche de contact présente de préférence une épaisseur supérieure égale à 3 nm. 14. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications 11 à 13, caractérisé en ce que la première et/ou la deuxième couche de contact (32, 32') est à base d'oxyde de zinc dopé ou non. 15. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications 11,13 ou 14, caractérisé en ce que la sous couche antireflet comporte une première couche de lissage (31) non cristallisée en un oxyde simple ou mixte, ladite couche de lissage (31) étant disposée immédiatement sous ladite première couche de contact (32) et étant en un matériau autre que celui de la première couche de contact. 16. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications 12 à 14, caractérisé en ce que la première couche séparatrice comporte une deuxième couche de tissage (31') non cristallisée en un oxyde simple ou mixte, ladite deuxième couche de lissage (31') étant disposée immédiatement sous ladite deuxième couche de contact (32') et étant en un matériau autre que celui de la deuxième couche de contact.- 35 - 17. Substrat (1) selon l'une des revendications 15 ou 16, caractérisé en ce que la première et/ou la deuxième couche de lissage (31, 31') est une couche à base d'oxyde simple ou mixte, à base d'un ou de plusieurs des métaux suivants : Sn, Si, Ti, Zr, Hf, Zn, Ga, ln et notamment est une couche d'oxyde mixte à base de zinc et d'étain SnxZnyOZ ou une couche d'oxyde mixte d'indium et d'étain (ITO) ou une couche d'oxye mixte d'indium et de zinc (IZO). 18. Substrat (1) selon l'une des revendications 15 à 17, caractérisé en ce que la première et/ou la deuxième couche de lissage (31, 31') est une couche à base d'oxyde non stoechiométrique en oxygène_à base de zinc et d'étain SnxZnyOZ et éventuellement dopée. 19. Substrat (1) selon l'une des revendications 11 à 18, caractérisé en ce que la première couche séparatrice comprend sous la deuxième couche de contact et sous l'éventuelle deuxième couche de lissage, une couche additionnelle d'oxyde métallique tel que l'oxyde de zinc, l'oxyde d'étain, et/ou une couche additionnelle à base de nitrure de silicium. 20. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la surcouche (35) est à base d'un oxyde simple ou mixte, à base de l'un au moins des oxydes métalliques suivants, éventuellement dopé : oxyde de chrome, oxyde d'indium, oxyde de zinc éventuellement sous stoechiométrique, oxyde d'aluminium, oxyde de titane, oxyde de molybdène, oxyde de zirconium, oxyde d'antimoine, oxyde d'étain, oxyde de tantale, oxyde de silicium, et de préférence d'ITO, d'IZO, de SnxZnyOZ, et en ce que la surcouche présente de préférence une épaisseur e3 inférieure ou égale à 40nm. 21. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 20, caractérisé en ce que la surcouche (35) est à base d'une couche mince métallique, notamment à base de nickel, platine ou palladium, et est associée à une couche espaceur sous jacente en oxyde métallique simple ou mixte. 22. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la première couche métallique (30) est disposée directement sur au moins un premier revêtement de sousblocage sous-jacent et/ou est directement sous au moins un premier revêtement de surblocage (33) sus-jacent.- 36 - 23. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la deuxième couche métallique (32) est disposée directement sur au moins un deuxième revêtement de sousblocage sous-jacent et/ou est directement sous au moins un deuxième revêtement de surblocage (33') sus-jacent. 24. Substrat (1) selon l'une des revendications 22 ou 23, caractérisé en ce qu'au moins un premier ou deuxième revêtement de surblocage (33, 33') ou de sous blocage comprend une couche métallique, nitrure et/ou oxyde métallique, à base d'au moins l'un des métaux suivants : Ti, V, Mn, Fe, Co, Cu, Zn, Zr, Hf, Al, Nb, Ni, Cr, Mo, Ta, W, ou à base d'un alliage d'au moins un desdits matériaux, de préférence à base de Ni, ou Ti, à base d'un alliage de Ni, à base d'un alliage de NiCr. 25. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en que l'épaisseur totale en matériau contenant de l'indium dans l'électrode inférieure est inférieure ou égale à 60 nm. 26. Substrat (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte un système OLED (4), et situé au-dessus de l'électrode inférieure (3). 27. Substrat (1) selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'il comporte une électrode (5) supérieure au-dessus dudit système OLED (4). 28. Utilisation du substrat (1) selon l'une des revendications précédentes pour former un dispositif OLED (10) formant un panneau d'éclairage ou de rétroéclairage, notamment de surface d'électrode supérieure ou égale à 1x1 cm2. 29. Dispositif électroluminescent organique (10) incorporant un substrat (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 28 et un système OLED (4), au-dessus de l'électrode inférieure et émettant un rayonnement polychromatique défini à 0° par des coordonnées (xl, yl) dans le diagramme colorimétrique CIE XYZ 1931. 30. Dispositif électroluminescent organique (10) selon la revendication précédente caractérisé en ce qu'il émet en sortie un spectre défini à 0° par ses coordonnées calorimétriques (x2, y2) dans le diagramme calorimétrique CIE XYZ 1931, telles que j((xlùx2)2 +(ylùy2)2) est inférieure à 0,1 et en ce que la- 37 - longueur du chemin, dans le diagramme colorimétrique CIE XYZ 1931, entre le spectre émis à 0° et le spectre émis à 60° est inférieure ou égale à 0,1. 31. Dispositif électroluminescent organique (10) selon la revendication précédente caractérisé en ce que ta longueur du chemin, dans le diagramme colorimétrique CIE XYZ 1931, entre le spectre émis à 0° et le spectre émis à 60° est inférieure ou égale à 0,05. 32. Dispositif électroluminescent organique (10) selon l'une des revendicatior 3 29 à 31 intégré dans un vitrage et notamment un double vitrage ou un vitrage feuilleté 33. Dispositif électroluminescent organique (10) selon l'une des revendications 29 à 32 caractérisé en ce qu'il forme une ou des surfaces lumineuses transparentes et/ou réfléchissantes, notamment un système éclairant, décoratif, architectural, un panneau d'affichage de signalisation par exemple du type dessin, logo, signalisation alphanumérique, le système produisant une lumière uniforme ou des zones lumineuses différenciées notamment par extraction de lumière guidée dans le substrat verrier. 34. Dispositif électroluminescent organique (10) selon l'une des revendications 29 à 33 caractérisé en ce qu'il est : - destiné au bâtiment, tel qu'un vitrage lumineux extérieur, une cloison lumineuse interne ou une (partie de) porte vitrée lumineuse notamment coulissante, -destiné à un véhicule de transport, tel qu'un toit lumineux, une (partie de) vitre latérale lumineuse, une cloison lumineuse interne d'un véhicule terrestre, aquatique ou aérien. - destiné au mobilier urbain ou professionnel tel qu'un panneau d'abribus, une paroi d'un présentoir ou d'une vitrine, une paroi d'une serre, une dalle éclairante, - destiné à l'ameublement intérieur, tel qu'un élément d'étagère ou de meuble, une façade d'un meuble, une dalle éclairante, un plafonnier, une tablette éclairante de réfrigérateur, une paroi d'aquarium, - destiné au rétro-éclairage d'un équipement électronique, notamment d'un écran de visualisation ou d'affichage éventuellement double écran, comme un écran de télévision ou d'ordinateur, un écran tactile,- 38 - - un miroir éclairant, notamment pour l'éclairage d'une paroi de salle de bains ou d'un plan de travail de cuisine, ou pour être un plafonnier.