Brevet FR2932899A1 — publié le 20091225

PROCEDE D'ELIMINATION DE DEFAUT DE GRAVURE D'UNE COUCHE METALIQUE DEPOSEE SUR UN SUPPORT SOUPLE DOMAINE DE L'INVENTION L'invention concerne l'élimination de défauts présents à la suite de la gravure par ablation laser d'une couche métallique déposée sur un support souple. ETAT DE LA TECHNIQUE Pour créer des motifs métalliques à la surface d'un support souple, tel qu'un film plastique par exemple, il est connu de déposer sur celui-ci, par exemple par évaporation, une couche métallique d'une épaisseur d'une dizaine à une centaine de nanomètres, puis de graver la couche métallique déposée au moyen d'un faisceau laser à excimère présentant une longueur d'onde dans les ultraviolets entre 157 et 408 nanomètres, ledit faisceau pulsé étant projeté au travers d'un masque de verre et d'aluminium définissant les motifs à graver. On observe cependant que ce type de gravure, plus communément désignée sous l'expression �gravure par ablation laser par projection de masque �, produit sur les bords des motifs gravés des défauts nuisant à la qualité du composant final. En effet, les bords de gravure sont généralement accompagnés de bourrelets de métal en raison de la fusion de la couche métallique sous l'effet du laser, ou de décollements de métal formant des surplombs, ces décollements en surplomb portant usuellement le nom de � casquettes �, ces surplombs pouvant mesurer de 200 nanomètres à 10 micromètres. L'apparition de ces défauts est inhérente à la gravure par laser à excimère et s'explique par le fait que la chaleur des ultraviolets produits par le laser vaporise le support sur lequel est déposée la couche métallique, ce qui fait localement exploser cette dernière, et cela quelque soit le matériau métallique la composant. Or, le composant gravé est généralement utilisé ultérieurement dans les composants microélectroniques et peut se voir recouvrir d'autres types de couches fonctionnelles, comme une couche mince de 100 nanomètres ou moins, telle qu'une couche de semi-conducteur d'épaisseur comprise entre 30 et 70 nanomètres par exemple. Le dépôt de couches sur une surface présentant des défauts de gravure du type bourrelets ou casquettes pose cependant de nombreux problèmes, comme par exemple des fuites électriques, des difficultés du passage de marche, des pertes de côte, un vieillissement prématuré, etc... Pour pallier ces inconvénients, le document � Excimer ablation of ITO on flexible substrates for large format display applications �, de Osman A. Ghandour et al., Photon Processing Microelectronics Photonics, SPIE, vol. 4637, pages 90-101, 2002, propose de projeter un jet de neige carbonique sur la surface gravée du composant. Toutefois, on observe dans ce procédé de l'état de la technique que l'arrachement des casquettes est violent et peu maîtrisé, comme cela est visible à la figure 10, page 101 du document précité. Au final, la couche métallique finit par peler et le bord des gravures est détérioré. EXPOSE DE L'INVENTION Le but de la présente invention est de résoudre le problème susmentionné en proposant un procédé d'élimination efficace des défauts de gravure, et plus particulièrement les 20 casquettes, et qui ne dégrade pas les bords de gravure. A cet effet, l'invention a pour objet un procédé d'élimination de défauts de gravure par ablation laser par projection de masque d'une couche métallique déposée sur un support souple, avantageusement réalisé en matière plastique, telle que le PEN (polyéthylène 25 naphtalate), le PET (polyéthylène térephtalate), le polyimide. On entend par substrat ou support souple, tout substrat apte à prendre des formes et à revenir dans sa position initiale. C'est en particulier le cas des matières plastiques, qui sont constituées de chaînes carbonées, et qui forment des films isolants après extrusion. Selon l'invention, le procédé comporte la projection sur lesdits défauts d'un liquide sous une pression comprise entre environ 1500 PSI et environ 3000 PSI. En d'autres termes, les inventeurs se sont aperçus que la projection d'un liquide sous une 35 pression correctement choisie a pour effet d'éliminer sensiblement l'ensemble des casquettes, tout en évitant les phénomènes de décollement et pelage de la couche métallique et de détérioration des bords de gravures. 10 15 30 On notera qu'une élimination efficace et sans détérioration, qui offre une reproductibilité accrue de la qualité de la surface gravée, permet d'éviter l'utilisation d'une couche sacrificielle sous et/ou sur la couche métallique devant être gravée mais aussi de réduire les énergies associées à l'ablation et donc de garantir une surface sous gravure de qualité, c'est-à-dire sans endommagement du support. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, la projection est réalisée selon un angle supérieur ou égal à 30 ° avec la surface, et même sensiblement perpendiculairement à celle-ci. Dans ces conditions, toutes les casquettes, quelle que soit leur orientation, peuvent être éliminées. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, le liquide est de l'eau désionisée. En d'autres termes, le jet d'eau désionisée est chimiquement inoffensif pour la couche métallique, n'altère donc pas la surface de celle-ci, notamment sa rugosité. En outre, de par son mode de production, l'eau désionisée ne comporte pas de résidus et ne contamine donc pas le composant. Enfin, aucune charge n'est crée à la surface de celui-ci. D'autres types de liquide sont possibles. De manière avantageuse, de l'alcool ou de 20 l'acétone est utilisé lorsqu'un nettoyage de la surface du composant est en outre souhaité. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, la projection de liquide est réalisée selon un mouvement rotatif et de va-et-vient relativement à la couche métallique. 25 Ainsi, la surface gravée est parcourue de manière efficace par le jet de liquide et les résidus sont balayés hors de celle-ci. En effet, la rotation associée à l'angle choisi permet d'attaquer les casquettes sous tous les angles, et ainsi les supprimer. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, la pression du liquide est 30 inférieure à environ 1800 PSI lorsque la couche métallique a été déposée par évaporation sur le support souple. En d'autres termes, un dépôt métallique par évaporation, selon la technique dite par � effet joule � ou par canon à électrons par exemple, induit une adhérence réduite de la 35 couche métallique sur le support souple. L'utilisation d'une pression inférieure à 1800 PSI mais supérieure à 1500 PSI évite d'arracher les bords des motifs gravés tout en maintenant une élimination élevée des casquettes. Pour des couches métalliques adhérant plus fortement au support souple, comme celle déposée par pulvérisation cathodique par exemple, une pression supérieure peut être utilisée afin d'augmenter l'efficacité de l'élimination des casquettes. En outre, le nombre de passages du jet de liquide haute pression peut être augmenté sans risque de détérioration des motifs gravés. Par exemple, le nombre de passages peut être triplé par rapport à des couches métalliques peu adhérentes. On notera que l'épaisseur et la nature des matériaux de la couche métallique déposée (Cu, NiPd, Pt, Au ou autres) n'ont sensiblement pas d'influence sur l'efficacité de l'élimination, l'adhérence constituant le principal facteur influençant celle-ci. Le procédé selon l'invention est par exemple mis en oeuvre par un équipement standard de nettoyage de particules utilisé dans le domaine de la microélectronique. Cet équipement comporte usuellement un support rotatif pour recevoir le composant à nettoyer, un bras articulé apte à effectuer des mouvements de va-et-vient et muni d'une buse d'un diamètre d'environ 30 micromètres. L'équipement comporte également un circuit de liquide sous pression alimentant la buse, celle-ci étant dirigée sensiblement perpendiculairement au composant à nettoyer. Lors d'un usage conventionnel d'un tel équipement, c'est à dire pour le nettoyage, la pression du liquide est de l'ordre de 1200 à 1500 PSI. Selon l'invention, cet équipement de l'état de la technique est utilisé dans une autre gamme de pressions, à savoir pour fonctionner à des pressions de liquide comprises entre environ 1500 PSI et environ 3000 PSI avec une buse située à une distance d'un dizaine de millimètres de la surface du composant dont il faut éliminer les défauts. REVENDICATIONS1. Procédé d'élimination de défauts de gravure par ablation laser par projection de masque d'une couche métallique déposée sur un support souple, caractérisé en ce qu'il comporte la projection sur lesdits défauts d'un liquide sous une pression comprise entre environ 1500 PSI et environ 3000 PSI. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la projection du liquide est réalisée selon un angle supérieur ou égal à 30 ° avec la couche métallique. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la projection du liquide est réalisée sensiblement perpendiculairement à la couche métallique. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le liquide 15 projeté est de l'eau désionisée. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la projection de liquide est réalisée selon un mouvement rotatif et de va-et-vient relativement à la couche métallique. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la pression du liquide est inférieure à environ 1800 PSI lorsque la couche métallique a été déposée par évaporation sur le support souple. 25 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le support souple est réalisé en matière plastique. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que le support souple est réalisé en un matériau choisi dans le groupe comprenant le PEN (polyéthylène naphtalate), 30 le PET (polyéthylène térephtalate) et le polyimide. 20