Brevet FR2934366A1 — publié le 20100129

La présente invention concerne un dispositif optique et un procédé de mesure de rotation et/ou de vibrations en rotation d'un objet. Plus particulièrement, l'invention concerne un dispositif optique et un procédé de mesure de rotations ou vibrations en rotation d'un objet, ces rotations étant de faible amplitude angulaire angulaire au minimum de l'ordre de 0,1 micro-radian) et dont les fréquences de vibration peuvent atteindre plusieurs centaines de Hertz. En effet, il est important de pouvoir mesurer les rotations et/ou vibrations en rotation de très faible amplitude de certains objets. Par exemple Io sur une chaîne laser de grande longueur, les vibrations en rotation de composants entrant dans l'alignement optique peuvent produire des vibrations amplifiées des faisceaux et rendre l'alignement très difficile. Afin d'identifier la source des vibrations mécaniques et d'y remédier, il est important de mesurer l'amplitude des vibrations en rotations et au besoin d'en analyser le spectre en is fréquence. Différentes catégories de dispositifs permettent d'obtenir de manière plus ou moins directe une mesure de rotation et/ou vibration en rotation d'un objet. Une première catégorie de dispositifs utilise plusieurs accéléromètres 20 qui fournissent des mesures de translation, dont sont déduites une mesure indirecte en rotation. Une première méthode se base sur l'ajustement numérique des paramètres d'un modèle mécanique pour obtenir une simulation optimisée des vibrations en translation comparées aux mesures. Le modèle mécanique ainsi déterminé est ensuite utilisé pour calculer une 25 estimation des rotations. Bien que les modèles mécaniques soient souvent simplifiés par rapport à la réalité, les ajustements numériques nécessitent des temps de calcul relativement longs et coûteux. Une seconde méthode utilise la mesure de vibrations en translation de plusieurs accéléromètres dont les relevés sont synchronisés. La mesure différentielle des déplacements divisée 30 par la distance entre capteurs permet de déduire les vibrations angulaires en fonction du temps. Cependant la précision de la mesure est liée à l'espace entre les capteurs. Cet espace minimum requis est difficile à mettre en oeuvre pour des objets de petite taille. De plus, les capteurs peuvent être malencontreusement placés à des positions insensibles à certains modes 35 propres de vibrations de l'objet les noeuds de vibration. Une seconde catégorie de dispositif de mesure de rotation repose sur l'utilisation d'une méthode optique d'autocollimation illustrée en Figure 1. Une lunette auto-collimatrice 1 comprend une source 4 et un détecteur de position 7. Le faisceau collimaté 8 de la source est dirigé sous incidence normale sur une face plane réfléchissante 3 de l'objet 2 ou sur un miroir plan solidaire de l'objet à mesurer. De manière connue, lorsque la face réfléchissante 3 subit une rotation d'un angle e, le faisceau réfléchi 9 subit une déviation angulaire 20. Un détecteur de position 7 placé au foyer de la lunette permet de mesurer la déviation du faisceau réfléchi projeté sur le détecteur 11 induite par une io rotation de l'objet relativement à une position intiale faisceau réfléchi projeté 10. Connaissant la distance de la lunette à l'objet, la mesure du déplacement du faisceau réfléchi permet de calculer directement l'angle de rotation correspondant de l'objet. La précision de la mesure est fonction de la distance entre l'objet et la lunette auto-collimatrice. 15 Toutefois, la mesure de rotation obtenue par une lunette autocollimatrice n'est pas une mesure absolue des rotations de l'objet, mais uniquement une mesure relative des rotations entre l'objet et la lunette. En effet, il n'est pas possible de différencier les mouvements de la lunette de ceux de l'objet. Assurer la stabilité de la lunette est donc un enjeu majeur, qu'il 20 est difficile voire impossible à réaliser pour la mesure d'objets stables dont les mouvements sont de faible amplitude ou lorsqu'il est impossible d'isoler la lunette des vibrations ambiantes. La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients et concerne plus particulièrement un dispositif et un procédé de mesure de 25 rotation et/ou des vibrations en rotation d'un objet. L'invention concerne un dispositif optique de mesure de rotation d'un objet comprenant une source lumineuse apte à émettre un faisceau lumineux incident collimaté se propageant selon une direction incidente et un dioptre plan réfléchissant destiné à être rendu solidaire de l'objet dont on cherche à 30 mesurer la rotation et apte à former un premier faisceau réfléchi. Selon l'invention, le dispositif comprend un coin de cube rétro-réflecteur destiné à être rendu solidaire de l'objet, ledit coin de cube comprenant des faces planes réfléchissantes aptes à former un second faiceau réfléchi dans une direction parallèle à la direction incidente, un système de détection apte à mesurer 35 d'une part le déplacement A. du premier faisceau réfléchi par le dioptre plan réfléchissant et d'autre part le déplacement A2 du second faisceau réfléchi par les faces réfléchissantes du coin de cube, les déplacements Al et A2 étant mesurés respectivement par rapport à une position initiale du premier faisceau réfléchi et du second faisceau réfléchi et un système de traitement apte à calculer en fonction d'une part de la mesure du déplacement Al et de la distance D, entre le système de détection et le dioptre plan réfléchissant et d'autre part de la mesure du déplacement A2 et de la distance D2 entre le système de détection et le coin de cube, une mesure de rotation a de l'objet entre une position initiale et une position de mesure. io Selon un premier mode de réalisation de l'invention, le coin de cube est un demi-cube avantageusement plein comprenant trois faces planes réfléchissantes et dont la quatrième face constitue le dioptre plan réfléchissant. Selon un autre mode de réalisation, le dispositif de mesure de rotation is comporte un dioptre plan réfléchissant et un séparateur de faisceau apte à séparer angulairement le faisceau incident d'une part en un faisceau collimaté dirigé vers le dioptre plan et d'autre part en un faisceau collimaté dirigé vers le coin de cube. Selon un mode de réalisation particulier, le système de détection 20 comprend un premier détecteur de position apte à mesurer le déplacement Al du premier faisceau réfléchi et un second détecteur de position apte à mesurer le déplacement A2 du second faisceau réfléchi entre une position initiale et une position de mesure. Selon un mode de réalisation particulier, le système de détection 25 comprend une matrice CCD/CMOS apte à mesurer le déplacement Al du premier faisceau réfléchi et le déplacement A2 du second faisceau réfléchi entre une position initiale et une position de mesure. Selon un mode de réalisation particulier, le système de détection est apte à mesurer respectivement le déplacement Al du premier faisceau réfléchi 30 et le déplacement A2 du second faisceau réfléchi selon deux directions (X,Y) transverses pour en déduire les mesures de rotation de l'objet selon respectivement deux axes de rotation. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, le dispositif de mesure de rotation d'un objet comprend un accéléromètre destiné à être 35 rendu solidaire de l'objet et un système de traitement des données apte à calculer à partir des mesures fournies par le dit accéléromètre et de la mesure des déplacements A. et A2 des faisceaux réfléchis respectivement par le dioptre plan et par le coin de cube une mesure de rotation de l'objet corrigée de la translation. Selon un mode de réalisation particulier, le système de détection est apte à collecter d'une part une série de mesures du déplacement Al du faisceau réfléchi à une suite d'instants t;, et d'autre part une série de mesures du déplacement A2 du faisceau réfléchi à une suite d'instants t;, et en ce que le système de traitement est apte à appliquer à ces séries de mesures io temporelles A1(t;) et A2(t;) une opération de transformée de Fourier pour obtenir une mesure de la densité spectrale des vibrations en rotation de l'objet fonction de la fréquence de ces vibrations. Selon un mode de réalisation particulier, le système de traitement est apte à détecter l'amplitude et les fréquences de résonances dans le spectre is de vibrations en rotation de l'objet à partir de la densité spectrale mesurée. L'invention concerne également un procédé de mesure optique de rotation d'un objet comprenant les étapes suivantes : - rendre un coin de cube solidaire de l'objet, le coin de cube ayant des faces planes réfléchissantes, 20 - rendre un dioptre plan réfléchissant solidaire de l'objet, - diriger un faisceau lumineux incident collimaté d'une part vers le dioptre plan réfléchissant de manière à former un premier faisceau réfléchi et d'autre part vers le coin de cube de manière à former un second faisceau réfléchi dans une direction parallèle à la direction 25 incidente, - détecter la position initiale du point d'impact du premier faisceau réfléchi par le dioptre plan sur un détecteur, - détecter la position du point d'impact du second faisceau réfléchi par les faces planes réfléchissantes sur un détecteur, 30 - mesurer les déplacements respectifs Al et A2 des faisceaux réfléchis et entre une position initiale et une position de mesure, - calculer une fonction arithmétique de Al et A2, - déduire une mesure de rotation de l'objet portant le coin de cube. L'invention concerne également un procédé de mesure optique des vibrations en rotation d'un objet comprenant les étapes suivantes : - mesurer les déplacements repectifs A, et A2 des faisceaux réfléchis et selon le procédé de mesure de rotation à une série d'instants de mesure t;, et - appliquer une opération de transformée de Fourier à ces séries de mesures temporelles [A1(t/ ) ; A2(t;)] pour obtenir un spectre des vibrations en rotation de l'objet en fonction de la fréquence. L'invention trouvera une application particulièrement avantageuse dans Io la mesure de l'amplitude de rotation, de l'amplitude des vibrations en rotation, et de la densité en fréquences de vibrations en rotation de supports de composants optiques dans une chaîne laser de grande longueur. La présente invention concerne également les caractéristiques qui ressortiront au cours de la description qui va suivre et qui devront être is considérées isolément ou selon toutes leurs combinaisons techniquement possibles. Cette description donnée à titre d'exemple non limitatif fera mieux comprendre comment l'invention peut être réalisée en référence aux dessins annexés sur lesquels : 20 - la figure 1 représente le schéma de principe d'utilisation d'une lunette auto-collimatrice ; - la figure 2 représente un premier mode de réalisation d'un dispositif de mesure de rotation selon l'invention ; - la figure 3 représente un dispositif de mesure de rotation en position 25 initale (Fig 3A), dans le cas d'une rotation de l'objet (3B) et dans le cas d'une rotation de l'ensemble source-détecteur (3C) ; - la figure 4 représente un dispositif de mesure de rotation en position initale Fig (4A), dans le cas d'une translation de l'objet (4B) et dans le cas d'une translation de l'ensemble source-détecteur (4C) ; 30 - la figure 5 représente des spectres de vibration en rotation obtenus par un procédé de l'invention ; - la figure 6 représente un second mode de réalisation d'un dispositif de mesure de rotation selon l'invention. Un premier mode de réalisation d'un dispositif selon l'invention est représenté figure 2. Le dispositif 20 comprend d'une part un bloc émetteur-récepteur lumineux et d'autre part un coin de cube rétro-réflecteur 12. Le bloc émetteur-récepteur comprend une source lumineuse 4 et un système détection 17. Ce bloc peut également comprendre un système optique de collimation, et une lame semi-réfléchissante. La source 4 émet un faisceau incident collimaté 8 se propageant selon une direction incidente. Le coin de cube 12 est rendu solidaire de l'objet dont on cherche à mesurer la rotation et/ou les vibrations en rotation. Le coin de cube comprend un dioptre plan 13 io et des faces réfléchissantes 14, 14', 14". Le coin de cube est généralement un tétraèdre, dont trois faces 14, 14', 14" sont perpendiculaires. Le faisceau incident 8 sur le dioptre plan 13 du coin de cube est partiellement réfléchi et partiellement transmis à l'intérieur du coin de cube. Le faisceau partiellement réfléchi sur le dioptre 13 forme un premier faisceau réfléchi 15. Le faisceau is transmis à l'intérieur du coin de cube est réfléchi par les faces réfléchissantes 14, 14', 14" et ressort du coin de cube à travers le dioptre d'entrée-sortie sous la forme d'un faisceau réfléchi 16 se propageant suivant une direction parallèle à la direction du faisceau incident, selon une propriété connue du coin de cube. Le système de détection 17 comprend un premier détecteur 18 20 qui mesure le déplacement Al (amplitude et signe) du premier faisceau réfléchi et un second détecteur 19 qui mesure le déplacement A2 du second faisceau réfléchi à un instant t. Les signes des déplacements Al et A2 sont définis par convention au départ. Un système de traitement (non représenté) collecte les mesures de Al et A2 et en fait un traitement mathématique fonction 25 de A1, A2 , de la somme (A1 + A2) et/ou de la différence (A1 - A2), et de la distance D entre le coin de cube 12 et le système de détection 17. Le coin de cube est un tétraèdre. Si le coin de cube est en verre, l'intensité du 1er faisceau réfléchi est de l'ordre de 4% de l'intensité du faisceau 8, et l'intensité du 2nd faisceau réfléchi est de l'ordre de 92%. Le 30 rapport signal sur bruit de la mesure de Al est dans ces conditions bien inférieur à celui de la mesure de A2. Le dioptre d'entrée-sortie 13 peut comporter un traitement semi-réfléchissant pour améliorer la dynamique en équilibrant l'intensité des deux faisceaux réfléchis. Le principe de fonctionnement de l'invention sera décrit en lien avec la 35 figure 3. La figure 3A représente le dispositif en position d'auto-collimation, considérée pour l'explication comme une position initale de référence. Le faisceau incident collimaté 8 atteint le dioptre plan 13 sous incidence normale : le premier faisceau réfléchi 15 se superpose au faisceau incident, se propageant en sens inverse et le second faisceau 16 est réfléchi parallèlement. La figure 3B représente l'effet d'une rotation a du coin de cube 12 : le 2nd faisceau réfléchi 16 ne produit pas de déviation angulaire (propriété du coin de cube), tandis que le 1er faisceau réfléchi 15 subit une déviation angulaire de 2.a. Les angles de rotation a étant très faibles, la distance D entre le système de détection 17 et le coin de cube 13 est quasiment io invariante au 1 er ordre et le déplacement du faisceau 15 sur le détecteur peut être approché par une formule du type Al = 2. a.D, tandis que A2= 0. La figure 3C représente l'effet d'une rotation 13 du bloc source 4-détecteurs 17, sans rotation du coin de cube 12. Une rotation d'un angle R du bloc source implique une déviation du faisceau incident 8 d'un angle R et une 15 déviation angulaire du 1 er faisceau réfléchi 15 de -2. 13. Sur le détecteur 17 le 1& faisceau est déplacé de Al = -2. R.D. Le 2nd faisceau réfléchi 16 est réfléchi parallèlement au faisceau incident 8 et symétrique par rapport à l'image du sommet du coin de cube vue à travers la face avant. Le 2nd faisceau réfléchi 16 subit un déplacement sur le détecteur 18 d'une quantité A2= -2. (3.D. 20 Selon le mode de réalisation préféré de l'invention, la somme arithmétique de Al et A2 , rapportée à la distance D, permet de mesurer les rotations de l'objet 2 et d'éliminer les rotations parasites du bloc source-détecteurs. Le dispositif de l'invention est ainsi sensible à de très faibles rotations 25 de l'objet portant le coin de cube tout en étant insensible aux rotations du bloc d'éclairage et de mesure. Selon le mode de réalisation préféré, les détecteurs 18 et 19 sont deux détecteurs de position. Chacun des détecteurs mesure l'écart en position de chaque faisceau 15, 16 respectivement par rapport à une position d'origine 30 sur le détecteur. Des détecteurs de position (Position Sensitive Detectors) délivrent une tension proportionnelle à l'écart en position. Ces détecteurs peuvent être sensibles à la déviation du faisceau selon une ou préférentiellement selon deux directions X, Y dans un plan transverses à l'axe du faisceau. Le signe du déplacement de chaque faisceau est calibré au 35 départ. La technologie des détecteurs est préférentiellement des détecteurs de position car ils ont des temps de réponse rapide (fréquence acquisition 500-1000Hz pour des fréquences de vibration recherchées de l'ordre de la centaine de Hertz). Un détecteur CCD unique peut également être utilisé pour mesurer le déplacement des deux faisceaux réfléchis. Toutefois la réponse d'une CCD est plus limitée en fréquence. Un système de traitement des données collecte les valeurs de Al et A2 et effectue la somme de ces déviations à un instant t de manière à éliminer le terme correspondant au bougé de la source. Une série de mesures est généralement effectuée en fonction du io temps à la fréquence d'acquisition des détecteurs 18, 19. On obtient ainsi une série de points A; = (A1 + A2) j_1, ..., N à des instants t1 . La transformée de Fourier de ces séries de mesures temporelles A1(t1), A2(t1), (A1+A2)(t1) permet d'obtenir un spectre en fréquence des vibrations en rotation du coin de cube. La figure 5 représente des courbes de densités spectrales typiques ainsi 15 obtenues pour A1, A2 et (A1+A2). Ces courbes présentent des pics de vibrations correspondant à des fréquences de résonance. La courbe correspondant à Al présente un premier pic correspondant à des vibrations en rotation a de l'objet et un second pic correspondant à des vibrations en rotation /3 de la lunette. La courbe correspondant à A2 est insensible aux 20 rotations de l'objet, mais présente un pic correspondant à des vibrations en rotation /3 de la lunette et un autre pic correspondant à une translation T, yrdu système de détection et/ou de l'objet. La différence entre les densités spectrales de Al et de A2 présente un premier pic correspondant aux vibrations en rotation de l'objet et un autre pic correspondant à des vibrations en 25 translation. Les courbes de la figure 5 permettent ainsi d'identifier des fréquences de résonance et leur amplitude relative. Un inconvénient du premier mode de réalisation de l'invention décrit ci-dessus est sa sensibilité aux translations parasites du coin de cube et/ou du bloc source-détection. La figure 4 illustre des exemples de translations et 30 leurs effets sur les mesures. La figure 4A représente le dispositif de l'invention en position d'auto-collimation. La figure 4B représente l'effet d'une translation F du coin de cube 12 : le 1 er faisceau réfléchi 15 ne subit pas de déviation angulaire, tandis que le 2nd faisceau réfléchi 16 subit un décalage de 2. F. Le déplacement du faisceau 16 sur le détecteur est A2 = 2. F, tandis que Al = 0. La figure 4C représente l'effet d'une translation yr du bloc source-détection, sans translation du coin de cube 13. Une translation d'amplitude yr de la source 4 implique une translation du point d'impact du faisceau incident 8 sur le coin de cube. Le détecteur 17 étant solidaire de la source 4, le détecteur ne mesure aucune déplacement apparent A. = 0. Le 2nd faisceau réfléchi 16 est réfléchi parallèlement au faisceau incident 8 et avec un déplacement sur le détecteur 18 d'une quantité A2 = 2. yr. Ni l'addition ni la soustraction de A, et A2 ne permettent d'éliminer l'effet de ces translations ou de vibrations en translation sur les mesures. Les io fréquences de résonance des modes de vibration en rotation et en translation sont toutefois différentes (cf Fig 5) et peuvent ainsi être identifiées. Afin de limiter l'importance relative des vibrations en translation par rapport aux vibrations en rotations dans le signal mesuré, il est souhaitable d'augmenter la sensibilité de la mesure en rotation en augmentant la distance is D entre le bloc source-détection et le coin de cube, de manière à amplifier les déviations angulaires. Selon une variante de l'invention, le dispositif de mesure de rotation de l'invention peut être combiné à un ou plusieurs accéléromètres mesurant les translations du coin de cube et du bloc source-détection. 20 La figure 6 représente un second mode de réalisation d'un dispositif de mesure de rotation conforme à l'invention. Ce mode de réalisation utilise également une source 4 émettant un faisceau lumineux collimaté 8 se propageant dans une direction incidente et un coin de cube 12 réfléchissant une partie du faisceau lumineux dans une direction parallèle à la direction 25 incidente. Le système de détection est similaire à celui décrit en lien avec le premier mode de réalisation de l'invention (Fig 2). Toutefois, le second mode de réalisation n'utilise pas la réfléxion sur un dioptre plan d'entrée-sortie du coin de cube. Le dispositif comporte en outre un dioptre plan réfléchissant 23 solidaire de l'objet à mesurer et placé à proximité du coin de cube. Le 30 dispositif comprend un séparateur de faisceau apte à séparer angulairement le faisceau incident 8 en deux faisceaux collimatés : d'une part en un faisceau collimaté 8" se propageant selon la direction incidente et d'autre part en un faisceau collimaté 8' se propageant selon une direction formant un angle avec la direction incidente. Le séparateur de faisceau peut par exemple être une 35 lame prismatique biréfringente ou un masque holographique. Le faisceau 8' est dirigé vers le dioptre plan 23 et réfléchi pour former un faisceau réfléchi 15. Le faisceau 8" est dirigé vers le coin de cube et réfléchi par les faces réfléchissantes du coin de cube 12 pour former un faisceau 16 se propageant dans une direction parallèle à la direction incidente. La mesure du déplacement A. du faisceau 15 sur le détecteur 18 et respectivement du déplacement A2 du faisceau 16 sur le détecteur 18 permet de manière analogue au premier mode de réalisation, de mesurer les rotations de l'objet portant le coin de cube 12 et le dioptre plan réfléchissant 23. Ce second mode de réalisation permet de dissocier les réglages io initiaux des deux faisceaux réfléchis. Ce mode de réalisation permet aussi d'utiliser un coin de cube creux constitué de trois miroirs plans. Les deux modes de réalisation de l'invention décrits peuvent utiliser un coin de cube tétraèdrique à l'intérieur duquel le faisceau incident subit générallement trois réflexions dans un espace à trois dimensions avant de is ressortir du coin de cube dans une direction parallèle à la direction incidente. Un prisme peut également permettre la rétro-réflexion d'un faisceau collimaté, par réflexion interne sur deux faces du prisme, le faisceau réfléchi étant parallèle au faisceau incident et dans le même plan. L'homme du métier pourra transposer l'invention en remplaçant le coin de cube par un prisme. Le 20 dispositif de mesure de rotation ainsi obtenu ne permet toutefois qu'une mesure de rotation suivant un axe de rotation perpendiculaire au plan contenant le faisceau incident et réfléchi. L'invention utilise un dispositif et un procédé de mesure qui permet de s'affranchir, au premier ordre, des rotations parasites de la lunette. Le 25 dispositif de l'invention utilise une méthode optique et donc sans contact avec l'objet. Le dispositif requiert uniquement l'installation d'un coin de cube solidaire des mouvements de l'objet à mesurer. Le coin de cube peut par exemple être fixé sur le support de l'objet. Les dimensions du coin de cube peuvent être extrêmement réduites (quelques mm de côté). Le dispositif utilise 30 des composants peu coûteux et de réalisation facile. Le dispositif ne nécessite pas d'alignement précis. Le dispositif permet d'obtenir des mesures précises de rotation d'un objet. Le dispositif muni d'un système de détection à deux dimensions, permet de mesurer les rotations d'un objet suivant deux axes de rotation transverses 35 à l'axe du faisceau de la source. Le dispositif de l'invention permet des REVENDICATIONS1. Dispositif optique de mesure de rotation (20) d'un objet (2) comprenant : - une source lumineuse (4) apte à émettre un faisceau lumineux incident collimaté (8) se propageant selon une direction incidente, - un dioptre plan réfléchissant (13, 23) destiné à être rendu solidaire de l'objet (2) dont on cherche à mesurer la rotation et apte à former un premier faisceau réfléchi (15), caractérisé en ce qu'il comprend : - un coin de cube rétro-réflecteur (12) destiné à être rendu solidaire de l'objet (2), ledit coin de cube (12) comprenant des faces planes io réfléchissantes (14, 14', 14") aptes former un second faiceau réfléchi (16) dans une direction parallèle à la direction incidente, - un système de détection (17) apte à mesurer d'une part le déplacement Al du premier faisceau réfléchi (15) par le dioptre plan réfléchissant (13, 23) et d'autre part le déplacement A2 du second 15 faisceau réfléchi (16) par les faces réfléchissantes (14, 14', 14") du coin de cube (12), les déplacements A, et A2 étant mesurés respectivement par rapport à une position initiale du premier faisceau réfléchi (15) et du second faisceau réfléchi (16), et - un système de traitement apte à calculer en fonction d'une part de 20 la mesure du déplacement Al et de la distance D, entre le système de détection (17) et le dioptre plan réfléchissant (13, 23) et d'autre part de la mesure du déplacement A2 et de la distance D2 entre le système de détection (17) et le coin de cube (12), une mesure de rotation a de l'objet (2) entre une position initiale et une position de 25 mesure. 2. Dispositif (20) de mesure de rotation d'un objet selon la revendication 1, caractérisé en ce que le coin de cube (12) est un demi-cube comprenant trois faces planes réfléchissantes (14, 14', 14") et dont la quatrième face 30 constitue le dioptre plan réfléchissant (13). 3. Dispositif (20) de mesure de rotation d'un objet selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte un dioptre plan réfléchissant (23) et un séparateur de faisceau (22) apte à séparer angulairement le faisceau incident (8) d'une part en un faisceau collimaté (8') dirigé vers le dioptre plan (23) et d'autre part en un faisceau collimaté (8") dirigé vers le coin de cube (12). 4. Dispositif (20) de mesure de rotation d'un objet selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le système de détection (17) io comprend un premier détecteur de position (18) apte à mesurer le déplacement Al du premier faisceau réfléchi (15) et un second détecteur de position (19) apte à mesurer le déplacement A2 du second faisceau réfléchi (16) entre une position initiale et une position de mesure. is 5. Dispositif (20) de mesure de rotation d'un objet selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le système de détection (17) comprend une matrice CCD/CMOS apte à mesurer le déplacement Al du premier faisceau réfléchi (15) et le déplacement A2 du second faisceau réfléchi (16) entre une position initiale et une position de mesure. 20 6. Dispositif de mesure de rotation (20) d'un objet (2), selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le système de détection (17) est apte à mesurer respectivement le déplacement Al du premier faisceau réfléchi (15) et le déplacement A2 du second faisceau réfléchi (16) 25 selon deux directions (X,Y) transverses pour en déduire les mesures de rotation de l'objet (2) selon respectivement deux axes de rotation. 7. Dispositif de mesure de rotation (20) d'un objet (2) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il comprend : 30 - un accéléromètre destiné à être rendu solidaire de l'objet (2) et - un système de traitement des données apte à calculer à partir des mesures fournies par le dit accéléromètre et de la mesure des déplacements Al et A2 des faisceaux réfléchis respectivement par le dioptre plan (13, 23) et par le coin de cube (12) une mesure de 35 rotation de l'objet (2) corrigée de la translation. 8. Dispositif de mesure des vibrations en rotation d'un objet comprenant un dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le système de détection est apte à collecter d'une part une série de mesures du déplacement Al du faisceau réfléchi (15) à une suite d'instants t;, et d'autre part une série de mesures du déplacement A2 du faisceau réfléchi (16) à une suite d'instants t;, et en ce que le système de traitement est apte à appliquer à ces séries de mesures temporelles A1(t;) et02(t;) une opération de transformée de Fourier pour obtenir une mesure de la densité io spectrale des vibrations en rotation de l'objet (2) fonction de la fréquence de ces vibrations. 9. Dispositif de mesure selon la revendication 8, caractérisé en ce que le système de traitement est apte à détecter l'amplitude et les fréquences de 15 résonances dans le spectre de vibrations en rotation de l'objet à partir de la densité spectrale mesurée. 10. Procédé de mesure optique de rotation d'un objet (2) comprenant les étapes suivantes : 20 - rendre un coin de cube (12) solidaire de l'objet (2), le coin de cube ayant des faces planes réfléchissantes (14, 14', 14"), - rendre un dioptre plan réfléchissant (13, 23) solidaire de l'objet (2), - diriger un faisceau lumineux incident collimaté (8) d'une part vers le dioptre plan réfléchissant (13, 23) de manière à former un premier 25 faisceau réfléchi (15) et d'autre part vers le coin de cube (12) de manière à former un second faisceau réfléchi (16) dans une direction parallèle à la direction incidente, - détecter la position initiale du point d'impact du premier faisceau réfléchi (15) par le dioptre plan (13, 23) sur un détecteur (18), 30 - détecter la position du point d'impact du second faisceau réfléchi (16) par les faces planes réfléchissantes (14, 14', 14") sur un détecteur (19), - mesurer les déplacements respectifs Al et A2 des faisceaux réfléchis (15) et (16) entre une position initiale et une position de mesure, 35 - calculer une fonction arithmétique de Al et A2,- déduire une mesure de rotation de l'objet portant le coin de cube. 11. Procédé de mesure optique des vibrations en rotation d'un objet comprenant les étapes suivantes : - mesurer les déplacements repectifs Al et A2 des faisceaux réfléchis (15) et (16) selon le procédé de la revendication 10 à une série d'instants de mesure t;, et - appliquer une opération de transformée de Fourier à ces séries de mesures temporelles [A1(t;) ; A2(t;)] pour obtenir un spectre des vibrations en Io rotation de l'objet en fonction de la fréquence.