Brevet FR2928006A1 — publié le 20090828

La présente invention concerne le domaine technique des capteurs de mesure d'un champ magnétique ou magnétomètres. L'objet de l'invention concerne plus particulièrement les magnétomètres de type flux gate ou magnéto-inductif. Dans l'état de la technique, il est connu de nombreuses formes de réalisation de magnétomètres. De manière générale, un magnétomètre comporte une ou plusieurs sondes magnétiques comportant chacune un noyau magnétique associé à un bobinage. Ces noyaux magnétiques sont en général de faible épaisseur pouvant atteindre 25 pm. Selon un exemple de réalisation, le noyau magnétique est constitué de feuilles minces d'alliage ferromagnétique à haute perméabilité insérées dans deux demi-coquilles en alumine. Ces feuilles minces sont calées à l'aide de deux fils de cuivre. Après traitement de l'ensemble à haute température pour restaurer les propriétés magnétiques, ce mandrin d'alumine est utilisé pour l'enroulement d'un bobinage de cuivre de manière à obtenir une sonde avec un axe privilégié de mesure. Un magnétomètre comporte ainsi une sonde ou une série de sondes arrangées orthogonalement dans le cas d'une détermination vectorielle des champs magnétiques. Chaque sonde est couplée à un circuit de mesure et de commande de tout type connu en soi. La fabrication de tels magnétomètres présente un certain nombre d'inconvénients liés notamment aux diverses opérations pour fabriquer les noyaux ainsi qu'à l'opération de traitement thermique des noyaux. Il est à noter que si l'utilisation d'un autre type d'alliage pour le noyau tel qu'un alliage amorphe permet de s'affranchir de l'opération de traitement thermique, ce type d'alliage est instable. Par ailleurs, l'assemblage de ces sondes afin de constituer un magnétomètre multiaxial s'avère relativement complexe à mener à bien. La présente invention vise donc à remédier aux inconvénients de l'état de la technique en proposant une nouvelle méthode de fabrication d'un capteur de champ magnétique, conçue pour permettre une fabrication industrielle relativement simple et peu onéreuse tout en permettant un assemblage fiable et sûre des sondes entre elles. Pour atteindre un tel objectif, le procédé de fabrication d'un capteur de champ magnétique comporte une série de n sondes composées chacune d'un noyau d'alliages magnétiques associé à un bobinage, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes : - prédécouper dans une plaque support amagnétique, une série de n bandes s'étendant selon des axes concourants en un point d'intersection, en les laissant reliées à la plaque support par au moins une attache, - assurer le dépôt des noyaux d'alliages magnétiques sur les bandes de la plaque support en les séparant les uns des autres, - assembler chaque bande avec un bobinage, - plier éventuellement une bande selon une ligne de pliage perpendiculaire à son axe, - et supprimer le ou les attaches pour détacher le capteur de la plaque support. Selon une variante de réalisation de l'invention, le procédé consiste : -à déposer le noyau d'alliages magnétiques sur la plaque support en recouvrant les bandes, - prédécouper le noyau d'alliages magnétiques en suivant le contour des bandes et en laissant subsister les attaches, - et à supprimer le noyau d'alliages magnétiques de la zone d'intersection entre les bandes afin de séparer les noyaux d'alliages magnétiques entre les bandes. Selon une caractéristique préférée de réalisation, le procédé consiste à déposer le noyau d'alliages magnétiques en collant au moins une couche 25 d'alliages nanocristallins sur la plaque support. Selon une variante de réalisation, le procédé consiste à assembler chaque bande avec un bobinage tubulaire enfilé sur la bande. Selon une autre variante de réalisation, le procédé consiste à assembler chaque bande avec un bobinage plat. 30 Avantageusement, le procédé consiste à monter un bobinage plat sur chaque bande de la plaque support, sur lequel est collé avec interposition d'un isolant, au moins un noyau d'alliages nanocristallins. Selon une autre variante de réalisation, le procédé consiste à déposer le noyau d'alliages magnétiques sur chaque bande avec une largeur évolutive selon la direction d'extension de la bande. Selon une variante préférée de réalisation, le procédé consiste : - à prédécouper trois bandes dont deux s'étendent selon des axes perpendiculaires tandis que l'axe de la troisième bande forme un angle de l'ordre de 135° avec l'axe de la bande voisine. - et à plier la troisième bande de manière que l'axe d'extension forme un angle déterminé avec le plan formé par les axes des deux autres bandes. Un autre objet de l'invention est de proposer un capteur de champ magnétique qui comporte une série de n sondes composées chacune d'un noyau d'alliages magnétiques associé à un bobinage, caractérisé en ce que les n sondes comportent n bandes d'une plaque support commune s'étendant selon n axes concourants en un point d'intersection. Selon une variante de réalisation, le capteur comporte en tant qu'un noyau d'alliages magnétiques, au moins une couche d'alliages nanocristallins collée sur une bande. Selon une variante de réalisation, un bobinage tubulaire est enfilé autour de chaque bande de la plaque support. Selon une variante de réalisation, un bobinage plat est fixé sur chaque bande de la plaque support. Avantageusement, chaque noyau d'alliages magnétiques présente une largeur évolutive selon l'axe d'extension de la bande de la plaque support associée. Selon l'invention, chaque noyau d'alliages magnétiques présente par rapport à son milieu, une largeur diminuant ou augmentant progressivement de manière symétrique par rapport à l'axe d'extension de la bande. Selon l'invention, chaque noyau d'alliages magnétiques présente au moins une zone d'étranglement centrée par rapport à l'axe d'extension de la bande constituant une zone de saturation pour la sonde associée. Diverses autres caractéristiques ressortent de la description faite ci-dessous en référence aux dessins annexés qui montrent, à titre d'exemples non limitatifs, des formes de réalisation de l'objet de l'invention. La Figure 1 est une vue d'un exemple de réalisation d'un capteur de champ magnétique conforme à l'invention. Les Figures 2 à 6 sont des vues en plan du capteur de champ magnétique conforme à l'invention illustré dans différentes phases caractéristiques de fabrication. La Figure 7 est une vue en coupe élévation montrant une autre étape 10 caractéristique de fabrication du capteur de champ magnétique conforme à l'invention. La Figure 8 est une vue en plan d'une autre étape de fabrication du capteur de champ magnétique conforme à l'invention. La Figure 9 illustre une vue en coupe d'une autre variante de 15 réalisation d'un capteur de champ magnétique conforme à l'invention. La Figure 9A est une vue de dessous d'un exemple de réalisation d'un bobinage plat pour le capteur conforme à l'invention. Les Figures 1OA à 1OD illustrent différentes formes caractéristiques de réalisation d'un noyau pour un capteur de champ magnétique conforme à 20 l'invention. Tel que cela ressort plus précisément de la Fig. 1, l'objet de l'invention concerne un capteur de champ magnétique 1 comportant une série de n sondes 2 avec n = 3 dans l'exemple de réalisation. Chaque sonde 2 comporte un noyau 3 d'alliages magnétiques associés à un bobinage 4. 25 Chaque sonde 2 comporte un axe ou une direction de mesure respectivement x, y et z. Dans l'exemple illustré, les trois axes x, y, z sont orthogonaux entre eux. La fabrication d'un tel capteur 1 est réalisée selon le procédé décrit ci-après en relation des Fig. 2 à 8. 30 Tel que cela ressort plus précisément de la Fig. 2, le procédé consiste à prédécouper dans une plaque support amagnétique 5, une série de n bandes 6 (avec n = 3 dans l'exemple illustré) s'étendant selon des axes concourants x, y, z en un point d intersection I. Les bandes 6 s'étendant selon les axes x, y sont décalées entre elles d'un angle de 90°, tandis que la bande 6 qui s'étend selon l'axe z est décalée d'une valeur de 135° par rapport à chaque bande 6 d'axe respectivement x, y. Il est à noter que les trois bandes 6 sont maintenues reliées à la plaque support 5 par au moins une et dans l'exemple illustré deux attaches 7. Il doit être compris que la découpe des bandes 6 est réalisée tout autour des bandes à l'exception des zones de liaison formant les attaches 7. Dans l'exemple illustré, les deux attaches 7 sont formées dans le prolongement de la bande 6 d'axe z, au niveau de la jonction avec les deux autres bandes 6 d'axes x, y. Par exemple, cette plaque support amagnétique 5 est réalisée par une plaque métallique amagnétique ou de préférence par une plaque en polymère mince. En tant que plaque métallique amagnétique, il peut être prévu de prendre selon la fréquence du signal, par exemple un inox austénitique amagnétique, ou de l'aluminium, ou du cuivre et de ses alliages amagnétiques. En tant que support polymère, il peut être choisi un polymère de type Poly Chlorure de Vinyle (PVC), Polyester, Polyoléfine (Polyéthylène, polypropylène). Le procédé selon l'invention consiste ensuite à déposer une ou plusieurs couches d'alliages magnétiques 9 sur les bandes 6 de la plaque support 5 afin de constituer le noyau 3 des sondes. Selon une caractéristique préférée de réalisation illustrée à la Fig. 3, le procédé consiste à déposer une ou plusieurs couches d'alliages nanocristallins 9 sur le support. Par exemple, chaque bande d'alliages nanocristallins est collée sur la plaque support comme décrit par exemple dans les documents WO 2005/002308 et WO 00/43556. A titre d'exemple, les alliages suivants peuvent être utilisés : alliages de cuivre, alliages CoCrNi, des alliages de titane, etc. . Le procédé selon l'invention consiste ensuite à prédécouper la ou les couches d'alliages magnétiques 9 suivant le contour des bandes 6 et en laissant subsister les attaches 7. Selon une caractéristique de réalisation, une telle découpe est réalisée par une opération de gravure laser ou par micro-sablage. A cet effet, et tel que cela ressort plus précisément de la Fig. 4, la ou les couches d'alliages magnétiques 9 sont gravées en retournant la plaque de support 5 qui sert de cache. Le procédé selon l'invention consiste ensuite à supprimer la ou les couches d'alliages magnétiques 9 de la zone d'intersection Z des bandes 6 afin de séparer entre elles les couches d'alliages magnétiques 9 des bandes 6. Dans l'exemple illustré, et tel que cela ressort de la Fig. 5, un cache métallique 10 est placé pour recouvrir l'ensemble des bandes 6 à l'exception de la zone d'intersection Z des bandes 6. Ces couches d'alliages magnétiques 9 sont ainsi supprimées par exemple par micro-sablage au niveau de l'absence du cache métallique 10. Tel que cela ressort plus précisément de la Fig. 6, il est ainsi obtenu trois bandes 6 pourvues chacune d'un noyau nanocristallin 3 indépendant. Les noyaux 3 des bandes 6 sont séparés les uns des autres par la zone d'intersection Z dépourvue des couches d'alliages magnétiques 9. Bien entendu, il peut être envisagé de remplacer le cache métallique par une couche de polymère ou d'élastomère, sérigraphiée dans les zones à protéger de la gravure. De même, il peut être envisagé de supprimer les couches d'alliages magnétiques 9 par gravure chimique. Le procédé selon l'invention consiste ensuite à assembler chaque bande 6 ou noyau 3 avec un bobinage 4. Dans l'exemple de réalisation illustré à la Fig. 7, le bobinage 4 présente une forme tubulaire. Selon cette variante de réalisation, les bandes 6 sont pliées autour des attaches 7 de manière à permettre d'enfiler chaque bobine 4 autour d'une bande 6. Chaque bobine 4 est ainsi engagée par l'extrémité libre d'une bande 6. Le procédé selon l'invention consiste (comme illustré à la Fig. 8) à assurer le pliage d'une bande 6 selon une ligne de pliage perpendiculaire à son axe de manière que l'axe de cette bande 6 se trouve perpendiculaire au plan formé par les bandes s'étendant dans le plan de la plaque support 5. Dans l'exemple illustré, la bande 6 d'axe z est pliée selon un angle de 90° par rapport au plan de la plaque support 5 dans lequel s'étendent les bandes 6 d'axes x, y. Dans la mesure où les bandes 6 d'axe x et y sont perpendiculaires entre elles, il est obtenu un ensemble de trois sondes perpendiculaires deux à deux. Après l'opération de pliage, les attaches 7 sont ensuite supprimées pour détacher le capteur de la plaque support 5. Dans l'exemple de réalisation illustré aux Fig. 1 à 8, chaque bande 6 est associée avec un bobinage tubulaire 4. Dans l'exemple illustré à la Fig. 9, chaque bande 6 peut être associée avec un bobinage plat 4. Selon cet exemple de réalisation, un bobinage plat 4 est fixé sur chaque bande 6 de la plaque support. Par exemple, le bobinage 4 est gravé directement sur la plaque support 5. Le bobinage plat 4 peut présenter une forme circulaire ou rectangulaire comme illustré à la Fig. 9A. Le noyau d'alliages magnétiques 3 est fixé sur le bobinage plat 4 avec interposition d'un isolant 12. Le bobinage plat 4 et le noyau 3 sont positionnés ainsi en regard ou l'un en face de l'autre. Comme expliqué ci-dessus, le noyau 3 peut être réalisé par une ou plusieurs couches d'alliages nanocristallins collées sur la plaque support où sont réalisés les bobinages plats 4. Bien entendu, les bandes 6 sont formées et découpées selon les techniques décrites ci-dessus. Selon l'exemple de réalisation illustré sur les Fig. 1 à 10, chaque noyau d'alliages magnétiques 3 présente une largeur constante le long de son axe x, y, ou z. Dans les exemples illustrés aux Fig. 10 à 1Od, chaque noyau d'alliages magnétiques 3 présente une largeur évolutive selon l'axe d'extension de la bande 6. Dans l'exemple illustré aux Fig. 10 et 10b, chaque noyau d'alliages magnétiques 3 présente par rapport à son milieu, respectivement une largeur diminuant ou augmentant progressivement de manière symétrique par rapport à l'axe d'extension par exemple x de la bande. Les formes illustrées aux Fig. 1Oa et 1Ob permettent respectivement d'augmenter et de diminuer l'anisotropie du capteur. Selon un autre exemple de réalisation illustré aux Fig. 1Oc et 1Od, chaque noyau 3 présente au moins une zone d'étranglement 15 centrée par rapport à l'axe d'extension x de la bande. Cette zone d'étranglement 15 constitue une zone de saturation pour la sonde associée. Les variantes illustrées aux Fig. 10c et 10d permettent d'augmenter la sensibilité des sondes mettant en oeuvre respectivement les noyaux illustrés aux Fig. 10a et 10b. Il apparaît en effet une saturation du noyau au niveau de l'étranglement 15. Dans les exemples illustrés aux Fig.10c et 10d, l'étranglement 15 est réalisé respectivement par une diminution de la largeur du noyau et par la réalisation d'un trou 16 au centre du noyau 3. Il ressort de la description qui précède que l'objet de l'invention permet de réaliser un capteur avec une série de sondes convenablement orientées les unes par rapport aux autres en vue de déterminer l'orientation et l'intensité d'un champ magnétique. Le procédé selon l'invention permet de positionner précisément et facilement les sondes des unes par rapports aux autres. Bien entendu, le capteur peut comporter un nombre différent de sondes et présenter des angulations diverses entre elles en fonction des applications envisagées. L'invention n'est pas limitée aux exemples décrits et représentés car diverses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1 - Procédé de fabrication d'un capteur de champ magnétique (1) comportant une série de n sondes (2) composées chacune d'un noyau d'alliages magnétiques (3) associé à un bobinage (4), caractérisé en ce qu'il 5 comporte les étapes suivantes : - prédécouper dans une plaque support amagnétique (5), une série de n bandes (6) s'étendant selon des axes concourants (x, y, z) en un point d'intersection, en les laissant reliées à la plaque support par au moins une attache (7), 10 - assurer le dépôt des noyaux d'alliages magnétiques (3) sur les bandes de la plaque support en les séparant les uns des autres, - assembler chaque bande (6) avec un bobinage (4), - plier éventuellement une bande (6) selon une ligne de pliage perpendiculaire à son axe, 15 - et supprimer le ou les attaches (7) pour détacher le capteur de la plaque support. 2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste : -à déposer le noyau d'alliages magnétiques sur la plaque support (5) en recouvrant les bandes (6), 20 - prédécouper le noyau d'alliages magnétiques (3) en suivant le contour des bandes (6) et en laissant subsister les attaches (7), - et à supprimer le noyau d'alliages magnétiques (3) de la zone d'intersection entre les bandes afin de séparer les noyaux d'alliages magnétiques entre les bandes. 25 3 - Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il consiste à déposer le noyau d'alliages magnétiques (3) en collant au moins une couche d'alliages nanocristallins sur la plaque support (5). 4 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste à assembler chaque bande (6) avec un bobinage tubulaire (4) enfilé sur la 30 bande. - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste à assembler chaque bande (6) avec un bobinage plat (4). 6 -Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il consiste à monter un bobinage plat (4) sur chaque bande (6) de la plaque support (5), sur lequel est collé avec interposition d'un isolant (12), au moins un noyau d'alliages nanocristallins (3). 7 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il consiste à déposer le noyau d'alliages magnétiques (3) sur chaque bande (6) avec une largeur évolutive selon la direction d'extension de la bande. 8 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste : - à prédécouper trois bandes (6) dont deux s'étendent selon des axes perpendiculaires (x, y) tandis que l'axe (z) de la troisième bande forme un angle de l'ordre de 135° avec l'axe de la bande voisine. - et à plier la troisième bande de manière que l'axe d'extension forme un angle déterminé avec le plan formé par les axes des deux autres bandes. 9 - Capteur de champ magnétique comportant une série de n sondes (2) composées chacune d'un noyau d'alliages magnétiques (3) associé à un bobinage (4), caractérisé en ce que les n sondes comportent n bandes (6) d'une plaque support commune (5) s'étendant selon n axes concourants (x, y, z, ...) en un point d'intersection (I). 10 - Capteur de champ magnétique selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte en tant qu'un noyau d'alliages magnétiques (3), au moins une couche d'alliages nanocristailins collée sur une bande (6). 11 - Capteur de champ magnétique selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'un bobinage tubulaire (4) est enfilé autour de chaque bande (6) de la plaque support (5). 12 - Capteur de champ magnétique selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'un bobinage plat (4) est fixé sur chaque bande (6) de la plaque support (5). 13 - Capteur de champ magnétique selon la revendication 9 ou 10, caractérisé en ce que chaque noyau d'alliages magnétiques (3) présente une largeur évolutive selon l'axe d'extension de la bande (6) de la plaque support associée.14 -Capteur de champ magnétique selon la revendication 13, caractérisé en ce que chaque noyau d'alliages magnétiques (3) présente par rapport à son milieu, une largeur diminuant ou augmentant progressivement de manière symétrique par rapport à l'axe d'extension de la bande. 15 - Capteur de champ magnétique selon la revendication 13, caractérisé en ce que chaque noyau d'alliages magnétiques (3) présente au moins une zone d'étranglement (15) centrée par rapport à l'axe d'extension de la bande constituant une zone de saturation pour la sonde associée.