Brevet FR2933492A1 — publié le 20100108

APPAREIL ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNALISATION DE MICRO-CAPTEURS La présente invention appartient au domaine de la fabrication des capteurs électrochimiques intégrés, et plus particulièrement de capteurs issus de la technologie des transistors à effet de champ sensibles à une espèce ionique. Elle a pour objet un appareil de dépôt d'une couche sensible comprenant une fonction chimique ou biochimique sur des micro-capteurs de type ISFET fixés sur une bande support (circuit imprimé), ainsi qu'un procédé de fonctionnalisation de tels capteurs. Les bandes obtenues sont également objet de l'invention. Dans le cadre du perfectionnement des techniques d'analyse médicale, notamment en vue d'améliorer le confort des patients hémodialysés par un suivi en continu de l'efficacité de l'épuration sanguine, et grâce au développement des micro-technologies, des micro-capteurs chimiques ont été mis au point. Dotés de membranes sensibles spécifiques avec une encapsulation adaptée à une utilisation exclusivement en milieux aqueux, ils permettent la détection de substances biologiques et plus précisément d'éléments chimiques tels que les ions H+, K+ et Na+ ... ou d'éléments biochimiques tels que l'urée et la créatinine ..., in situ et en temps réel. Les transistors ISFETs (pour Ion Sensitive Field Effect Transistor) sont dérivés des transistors classiques par remplacement de la grille métallique par un système composé d'une électrode de référence et d'une grille isolante sensible à la concentration d'une espèce ionique de l'électrolyte à analyser. Cette grille isolante peut en outre être fonctionnalisée par une couche sensible à une espèce chimique ou biochimique donnée. A cet effet, la couche sensible contient un composé réagissant avec ladite espèce chimique ou biochimique en induisant une variation du pH qui est détectée par la grille isolante. On dit alors que l'ISFET est fonctionnalisée. On appelle ENFET (Transistor à Effet de Champ Enzymatique) un ISFET dont la zone sensible est pourvue d'une couche comprenant une enzyme immobilisée par un polymère , et plus généralement BioFET, un ISFET dont la couche sensible réagit avec un composé d'origine biologique. Pour les couches de fonctionnalisation permettant l'analyse d'espèces ioniques, on utilise généralement des membranes organiques ionosensibles préparées à partir de polymères de haute masse moléculaire, d'un plastifiant et photo-initiateur, d'un ionophore et d'un sel lipophile dissous dans un solvant organique. Le polymère (souvent un polychlorure de vinyle, un polysiloxane, ou un polyamide) sert de matrice pour la membrane sensible. On connaît également des couches de fonctionnalisation permettant l'analyse de la créatinine et de l'urée. De tels capteurs sont décrits par exemple dans la demande de brevet FR 2 866 118. On utilise une résine hydrophile et photosensible comme base de la couche sensible, dans laquelle est immobilisée une enzyme, ici l'uréase ou la créatinine déiminase. Parmi les produits générés par la catalyse enzymatique de l'urée et de la créatinine, on trouve l'ammoniaque (NH4), détectable par un ISFET. Dans la pratique, une puce de type ISFET est un circuit intégré relié à des pistes métalliques pour assurer la polarisation et la conduction du courant électrique apparaissant au niveau de l'ISFET. Une variation de potentiel est générée au niveau de la couche sensible recouvrant l'ISFET, par exemple par la réaction enzymatique se produisant au contact du soluté. Un ou plusieurs ISFETs sont associés sur un support souvent appelé PCB (pour Printed Circuit Board). Chaque ensemble de puces avec ses connexions encapsulées fixées sur un PCB, constitue un module (ou micro-capteur), qui sera ensuite intégré dans un dispositif de mesure plus complexe. Un besoin existe de fabriquer avec un coût raisonnable des dispositifs incorporant un ou plusieurs micro-capteurs fonctionnalisés, notamment pour le contrôle de l'hémodialyse. Toutefois, la difficulté rencontrée jusqu'à présent est d'obtenir des ISFETs fonctionnalisés en grande quantité, de manière rapide, fiable et reproductible, pour permettre une production de ces capteurs en grande série, à faible coût et en conditions industrielles. Deux techniques ont été principalement utilisées jusqu'à présent. Selon la première technique, on part d'un circuit imprimé pré-assemblé avec le ou les ISFETs et on dépose manuellement des microgouttes d'une résine contenant l'enzyme avec une micropipette sur les ISFETs. Le dépôt est réalisé après application d'un promoteur d'adhérence sur la surface, puis réticulation sous lampe UV jusqu'à solidification de la membrane. Une vérification sous binoculaire valide le résultat avant conditionnement. Cette technique, largement utilisée en laboratoire permet une fonctionnalisation à la demande et ne nécessite pas d'adapter les procédés d'assemblage, puisque les enzymes sont déposées après le report des transistors sur circuit imprimé. Elle est simple à réaliser, et les équipements de dépose sont faciles à utiliser, peu encombrants. En revanche, elle présente un certain nombre d'inconvénients au nombre desquels, la mauvaise reproductibilité des couches (centrage, épaisseur, diamètre), la nécessité d'utiliser un promoteur d'adhérence pour que les membranes aient une durée de vie acceptable, et l'épaisseur des membranes réalisées (de 10 pm à 30 pm) qui augmente le temps de réponse et limite l'adhérence. En outre, elle ne permet pas une fabrication collective et ne convient donc pas à une fabrication industrielle économiquement acceptable. Selon une deuxième technique, la couche sensible est réalisée sur une plaque par la technique de "spin coating" (dépôt à la tournette d'une résine contenant l'enzyme). La plaque est ensuite révélée par photolithographie (réticulation sous lampe UV à travers un masque), avant découpe de la plaque et assemblage des capteurs sur le PCB. Cette technique présente plusieurs avantages. Du fait de la faible épaisseur des couches (de l'ordre 0,5 pm à 2 pm), celles-ci sont suffisamment adhérentes et ne nécessitent pas l'utilisation d'un promoteur d'adhérence. De plus, le temps de réponse est court. La géométrie des couches est reproductible et parfaitement définie. C'est un procédé de fabrication collective : un nombre important de capteurs est réalisé en une opération. Cependant, les couches enzymatiques sont sensibles aux conditions auxquelles elles sont soumises lors de la fabrication des modules. Les étapes ultérieures de préparation des modules (affinage, découpe) et de montage dans des dispositifs de mesure intégrés, soumettent aussi les enzymes à des produits chimiques et des températures qui nuisent à leur intégrité. Leur stockage prolongé n'est pas possible. Au final, de sérieux problèmes de rendement et de conservation des activités enzymatiques apparaissent. De plus, la technique de photolithographie est onéreuse et génère un énorme gaspillage de résine, donc aussi d'enzymes (la perte est d'environ 90%). Cette méthode impose aussi d'utiliser des équipements spécifiques encombrants et onéreux : hotte de chimie, tournette, machine d'alignement, environnement contrôlé de type salle blanche. Or, pour répondre aux besoins en équipements médicaux performants, rapides et fiables, il est apparu indispensable de proposer un mode de fabrication à grande échelle, automatisable et modulable, permettant de produire rapidement à des coûts raisonnables des capteurs dotés des fonctionnalités requises, pouvant être montés aisément dans des dispositifs médicaux. Dans ce contexte de fabrication en grande série de capteurs chimiques et biochimiques, les problématiques liées à la reproductibilité des performances des capteurs deviennent cruciales, ainsi que les objectifs de coût. La présente invention se propose de répondre à ce besoin grâce à un appareil de fabrication en série de capteurs fonctionnalisés permettant la mise en oeuvre d'une technique de micro-dépôt d'une couche sensible comportant notamment des espèces ioniques ou des enzymes, pour former une membrane dotée des propriétés de réactivité et d'adhésion requises. Grâce à cet équipement, il devient possible de déposer les membranes sensibles après l'assemblage des modules, de manière totalement automatisée. Le procédé de fabrication à l'aide de cet équipement remédie aux inconvénients précédemment exposés, tout en en préservant les avantages. II offre d'autres avantages encore qui seront précisés par la suite. Ainsi, le but de la présente invention est de proposer un équipement permettant de réaliser des membranes sensibles compatibles avec la fabrication en grande série des capteurs. Un autre but de l'invention est de disposer d'un procédé assurant une bonne reproductibilité des membranes en ce qui concerne le positionnement (centrage), la dimension des gouttes (diamètre et épaisseur) et la structure des gouttes (bulles et homogénéité, profil de séchage et de polymérisation). Un autre but de l'invention est d'obtenir une adhésion parfaite de la membrane sur la surface du capteur. Un autre but de l'invention est d'offrir un procédé de dépôt dans le respect des contraintes liées à la nature de ce produit. II ne doit pas comprendre d'opération à température élevée, les matériaux du système de dépôt doivent être compatibles avec l'activité des enzymes. Ainsi, la présente invention a pour objet un appareil de dépôt d'une membrane sensible comprenant une fonction chimique ou biochimique sur des puces IFSET assemblées en modules sur une bande support, l'appareil comportant une zone de traitement, un dispositif d'entrée de la bande dans ladite zone de traitement et un dispositif de stockage de la bande en sortie de ladite zone de traitement, ledit appareil comprenant : - des moyens d'avancement de ladite bande aptes à amener au moins un module dans la zone de traitement, - au moins un dispositif de dispense d'une goutte d'une solution d'un polymère photosensible comprenant ladite fonction chimique ou biochimique, alimenté par un réservoir, - des moyens de placement dudit au moins un organe de dispense à l'aplomb d'une puce 5 (101) dudit module, - des moyens de séchage aptes à provoquer une évaporation de l'eau de la solution, - un dispositif d'insolation de la goutte apte à provoquer la réticulation du polymère et la formation d'une membrane. 10 Chaque micro-capteur, partie intégrante de la bande support, comporte une ou deux puces ISFET assemblées avec des connexions électriques enrobées d'une résine de protection. La bande support est obtenue par les moyens connus de l'homme de l'art, à partir d'un film souple ou semi-rigide constitué d'un diélectrique et d'une ou de deux faces métallisées (Printed Circuit Board). De telles bandes sont en effet utilisées pour réaliser 15 des circuits pour cartes à puces et étiquettes électroniques. Les modules seront ultérieurement séparés / découpés pour être fixés, par l'intermédiaire d'une colle ou d'un adhésif, sur le corps de dispositifs de mesure ou de contrôle auxquels ils sont destinés. Les bandes se présentent communément sous le format de films de 35 mm et sont généralement conditionnées en bobines. Elles peuvent supporter des séries importantes 20 de modules, le film comprenant deux modules en parallèle. Bien que d'autres types de films puissent être utilisés pour la présente invention, il est bien évidemment commode de recourir à des standards déjà établis. La membrane sensible permettant le dosage enzymatique d'espèces doit être placée sur 25 la grille isolante de chacune des puces des modules. La solution de polymère photosensible à déposer peut être préparée selon les techniques connues de l'homme de l'art. On peut utiliser par exemple un polychlorure de vinyle (PVC), un polysiloxane (PSX), ou encore un polyvinylalcool (PVA) qui présente l'avantage d'être hydrophile, compatible avec les composés organiques et qui se prête bien au greffage de radicaux 30 photosensibles, sans faire appel à des solvants agressifs ni à une température élevée. On emploie avantageusement un radical styrylpyridinium pour obtenir un polyvinylalcool greffé, polymérisant sous irradiation UV (noté PVA/SbQ). Cette solution aqueuse comprend au moins une enzyme susceptible de réagir avec un 35 composé chimique ou biochimique présent dans le milieu étudié. Le type, l'activité spécifique et la quantité de l'enzyme à incorporer dans la couche sensible sont choisis en fonction de la sensibilité recherchée du capteur vis-à-vis de l'espèce dosée, différents milieux pouvant contenir des composés chimiques ou biochimiques différents, à des concentrations variables. Des préparations d'enzymes sélectionnées ou recombinantes, d'activité définie, sont disponibles dans le commerce. La zone de traitement de l'appareil selon l'invention comprend plusieurs postes, incluant le poste de dispense, le poste de séchage et le poste de réticulation. Le poste de dispense peut mettre en oeuvre différentes techniques. Selon un premier mode de réalisation, dans l'appareil objet de la présente invention, le dispositif de dispense de gouttes peut être un dispositif volumétrique comprenant une vis sans fin contrôlée par un moteur, débouchant dans une tête d'éjection munie d'une buse. 15 Selon un mode de réalisation alternatif de l'invention, le dispositif de dispense de gouttes peut être un dispositif d'éjection mécanique comprenant un circuit d'amenée sous pression muni d'une électrovanne à ouverture intermittente débouchant dans une tête d'éjection munie d'une buse. L'ouverture et la fermeture de la vanne peuvent être commandées par un pointeau activé par un solénoïde apte à actionner ladite 20 électrovanne à une fréquence déterminée. Selon un autre mode de réalisation alternatif de l'invention, le dispositif de dispense de gouttes peut être un dispositif d'éjection piézoélectrique, relié à une tête d'éjection percée de fins canaux. Ce dispositif comprend un cristal piézo-électrique relié à une source de 25 courant, apte à exercer une pression sur une cartouche alimentée par le réservoir et débouchant dans la tête d'éjection. La paroi du réservoir en contact avec le cristal piézo-électrique se déforme suite à une excitation électrique, ce qui provoque l'éjection d'une goutte de solution. 30 Ces trois techniques font partie intégrante de l'invention. Le mode de réalisation préféré pour le dépôt d'une membrane sensible à l'urée ou à la créatinine est la technique de dispense par éjection mécanique de gouttes calibrées. Il est bien entendu possible d'adapter des têtes d'éjection différentes en fonction du type de polymère utilisé. Le dimensionnement des buses et les procédures d'éjection (pression, temps d'ouverture) 35 sont choisis en fonction de la viscosité des produits, de manière à délivrer des gouttes10 d'un volume tel que la membrane après évaporation et réticulation ne dépasse pas 4 pm, ce qui permet d'obtenir en même temps une bonne l'adhésion des membranes sur la puce et une sensibilité adéquate. Les techniques ici mentionnées se prêtent bien à ce type de réglages. Conformément à une caractéristique intéressante de l'appareil objet de la présente invention, chaque dispositif de dispense peut comprendre deux têtes d'éjection alimentées par un réservoir unique, lesdites têtes étant placées transversalement par rapport au sens d'avancement de la bande de modules. Ceci permet de délivrer simultanément ou successivement à bref intervalle de temps, un volume de solution polymérique sur les ISFETs de deux modules voisins. En outre, selon un mode de réalisation particulier, l'appareil selon l'invention peut comprendre au moins deux dispositifs de dispense successifs dotés de réservoirs indépendants. Cette configuration permet de déposer l'une après l'autre deux gouttes de produits différents sur les deux puces de silicium d'un module. On peut alors réaliser des détecteurs multiples à partir d'un module possédant deux puces recouvertes de membranes sensibles à deux solutés différents. Les deux buses sont alimentées par deux réservoirs et sont maintenues sous une pression ajustée indépendamment par deux manomètres. La conception modulaire du dispositif permet son adaptation à une large gamme d'espèces enzymatiques ou ioniques. II permet une fonctionnalisation simultanée de deux capteurs. Ainsi, selon le mode de réalisation choisi par l'opérateur, l'appareil selon l'invention offre le choix, en donnant la possibilité de combiner les membranes réalisées. L'appareil selon l'invention comprend des moyens de séchage. Le poste de séchage, placé après le ou les dispositifs de dispense, a pour fonction de provoquer l'évaporation d'une partie de l'eau et de figer partiellement la solution déposée. On peut utiliser pour ce faire un four, comprenant une plaque chauffante placée dans une enceinte. On règle avantageusement la température de la plaque pour qu'elle n'excède pas 40°C. L'appareil selon l'invention comprend également un dispositif d'insolation, placé en suivant. Le poste d'insolation est doté d'une source UV, de préférence équipée de filtres optiques, pour générer une lumière de longueur d'onde ? qui sera comprise entre 320 nm et 500 nm. L'onde électromagnétique produite est acheminée sur la goutte de solution déposée à la surface des capteurs par deux fibres optiques. Selon un mode de réalisation avantageux, le dispositif est conçu pour permettre une programmation automatique des paramètres de réticulation en fonction du polymère à déposer (PVC ou PSX ou PVA), en particulier la dose UV, de manière à ce que l'insolation ne provoque pas une montée en température supérieure à 40°C. Selon une caractéristique intéressante de l'invention, l'appareil comporte des moyens de neutralisation des charges électrostatiques à la surface du micro-capteur, ces moyens 10 étant placés avant ledit au moins un dispositif de dispense. De préférence, les moyens de neutralisation des charges électrostatiques comprennent une buse ionisante munie d'un limitateur de débit. Les buses ionisantes sont utilisées pour le contrôle de l'électricité statique par neutralisation des charges statiques, ou pour 15 supprimer les poussières et autres contaminants des petits objets. Le débit de la buse doit être réglé de façon à obtenir un balayage très léger du film. Comme déjà indiqué, l'appareil comprend des moyens d'avancement de la bande pour amener les modules vers la zone de traitement et les faire avancer pas à pas de poste en 20 poste. L'avancée de la bande est assurée par des galets d'entrainement situés en fin de la zone de traitement, de manière à tirer la bande avec douceur et précision. Selon une autre caractéristique avantageuse, l'appareil selon l'invention comprend des moyens de contrôle et de régulation de l'avancée pas à pas de la bande dans la zone de 25 traitement. De manière commode, on utilise un système de repérage d'une indexation de la bande. Pour ce faire, un pointeur laser peut être placé juste avant le poste de dispense de manière à repérer l'électrode de référence des modules. La motorisation des galets d'entrainement de la bande est bien entendu placée sous le contrôle du système de repérage. Cette disposition contribue de manière importante à l'automatisation de 30 l'équipement pour la fabrication en grandes séries. Selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, l'appareil comprend des moyens d'ajustement de la position de ladite au moins une buse d'éjection au-dessus de ladite puce ISFET, selon les axes horizontaux et de préférence également selon l'axe 35 vertical. En effet, l'opération de dispense d'une goutte de solution requiert une précision plus élevée que les autres étapes réalisées par l'appareil. Une fois que le système de régulation de l'avancée de la bande a amené un module sous un système de dispense, il est encore nécessaire d'ajuster finement la position de la buse à l'aplomb de la puce visée. On ajuste la position de la buse au moins dans les deux directions horizontales (selon les axes x et y du plan de la bande) et en général, également dans la direction verticale (selon l'axe z du plan de la bande). Dans un mode de réalisation préféré de l'appareil selon l'invention, les moyens d'ajustement de la position de ladite au moins une buse d'éjection sont associés à des moyens de repérage optique de la position de ladite puce ISFET par rapport audit au moins un dispositif de dispense. On a de préférence recours à un contrôle optique qui permet le centrage des gouttes. Par exemple, une caméra solidaire du/des dispositifs de dispense et associée à un processeur guidant un bras robotisé peut être utilisée pour repérer la position exacte des puces de silicium puis pour positionner les buses tour à tour au-dessus de chacune des puces. Par ailleurs de manière intéressante, l'appareil objet de l'invention est doté de moyens d'apport de la bande à la zone de traitement, ces moyens comprenant, outre les galets d'entraînement déjà mentionnés, un support de bobine apte à recevoir une bobine de ladite bande, et un dérouleur motorisé asservi par un système de contrôle de la longueur de bande déroulée. Ces bobines sur lesquelles sont fixés les modules, permettent une utilisation de dispositifs automatiques d'enroulement et un convoyage rapide. En particulier, le dérouleur assure de façon automatique le dévidage de la bobine, de sorte que la bande soit introduite sans tension dans la zone de traitement. Le système de contrôle de la longueur de bande déroulée peut être muni d'une ou de plusieurs cellules détectant la présence de la bande quand celle-ci forme une boucle tampon trop longue. La cellule est associée à un processeur de gestion de la boucle tampon, qui stoppe ou enclenche le moteur du dérouleur. Selon une caractéristique avantageuse de l'appareil selon l'invention, celui-ci comprend des moyens de contrôle optique de la qualité des membranes obtenues et des moyens pour écarter les modules dont au moins une puce ISFET fonctionnalisée (EnFET) est recouverte d'une membrane défectueuse. Pour être considérées comme répondant au niveau de qualité et de fiabilité indispensable dans les domaines d'application concernés, les gouttes doivent en particulier être contrôlées en taille et en apparence avec les critères d'acceptation suivants : - la goutte recouvre le motif actif au centre de la puce ; - les bords de la goutte sont détectables dans quatre zones autour du centre de la puce ; 5 - absence de bulles et de particules sur la goutte. C'est pourquoi, de préférence, les moyens de contrôle optique de la qualité des membranes obtenues comprennent un ou plusieurs des moyens suivants : - des moyens de contrôle du centrage des membranes sur l'ISFET ; 10 - des moyens de contrôle du diamètre et de l'épaisseur des membranes ; - des moyens de contrôle de l'homogénéité des membranes. Selon un mode de réalisation préféré, les moyens de repérage optique de la position de ladite puce ISFET par rapport audit au moins un dispositif de dispense d'une part, et les 15 moyens de contrôle optique de la qualité des membranes d'autre part, comprennent chacun une caméra associée à un programme de reconnaissance de formes. La caméra associée au dispositif de dispense est dans ce cas montée fixe par rapport audit dispositif de dispense, de manière à former un bloc mobile solidaire. Si deux dispositifs de dispense sont employés, c'est l'ensemble des deux dispositifs et de la caméra qui forment ce bloc 20 mobile. Il est ainsi possible, à l'étape de dispense d'une goutte de solution, de régler la visée de la buse de manière automatique et performante. Il est également possible, à l'étape de contrôle de la qualité, de réaliser un tri à postériori, automatique et performant. La caméra de contrôle placée en sortie de ligne enregistre 25 une photographie de chaque membrane et les clichés obtenus sont analysés à l'aide du programme de reconnaissance de formes, en fonction de critères établis au préalable. Si le critère n'est pas respecté, le capteur est refusé. Les "mauvais" capteurs peuvent être poinçonnés de sorte qu'ils seront directement rebutés : il ne sera pas possible de les assembler par exemple sur les dispositifs médicaux ultérieurement. Grâce aux techniques 30 de reconnaissance de formes, cette étape est rapide et fiable. La machine peut en outre réaliser à la demande des calculs de cadences et de rendements et assure la traçabilité des composants. Ensuite, pour finir, les capteurs fonctionnalisés sont reconditionnés directement en bobine 35 ce qui facilite le stockage. Le rembobinage est réalisé selon le même principe que le dévidage en entrée, avec de préférence contrôle optique et régulation de l'avancée de la bande issue de la zone de traitement vers la bobine de stockage. Le système de double bobine permettant d'insérer une bande de protection intercalaire, bien connu, n'est pas décrit ici. Ce dispositif en sortie fait partie intégrante des moyens d'avancée de la bande revendiqués. L'appareil objet de la présente invention est simple d'utilisation et nécessite peu de moyens humains pour fonctionner en routine. Son faible encombrement et la nature des éléments qui le composent n'imposent pas de l'installer dans un environnement contraignant. Mais surtout, du fait de l'automatisation de toutes les fonctions, l'appareil est capable de réaliser à grande cadence, pouvant aller jusqu'à 500 capteurs/heure, des membranes sensibles avec un positionnement précis et contrôlé. L'appareil qui vient d'être décrit est spécialement conçu pour réaliser des bandes de 15 micro-capteurs fonctionnalisés, selon un procédé original, ici revendiqué. Ainsi un autre objet de l'invention concerne un procédé de dépôt d'une membrane sensible comprenant une fonction chimique ou biochimique sur des puces ISFET assemblées en modules sur une bande support, le procédé comprenant les étapes 20 consistant à - faire avancer ladite bande dans la zone de traitement d'un appareil tel que décrit précédemment ; - placer au moins une puce ISFET à l'aplomb d'une buse d'éjection dudit appareil ; - dispenser au moins une goutte d'une solution d'un polymère photosensible comprenant 25 ladite fonction chimique ou biochimique sur ladite puce ; - soumettre ladite goutte à un séchage pour provoquer une évaporation de l'eau de la solution ; - soumettre ladite goutte à une insolation pour provoquer la réticulation du polymère et la formation d'une membrane. 30 Les avantages et particularités de ce procédé découlent directement de la structure de l'appareil de dépôt tel que décrit précédemment. Ils ne seront donc pas répétés en détail pour chaque étape de réalisation dudit procédé dont les caractéristiques essentielles sont indiquées ci-après. 35 Dans le procédé selon l'invention, l'étape de dispense d'une goutte peut être réalisée par une des méthodes suivantes : - dispense volumétrique à l'aide d'une vis sans fin contrôlée par un moteur, par une tête d'éjection munie d'une buse ; - éjection mécanique sous pression à l'aide d'une électrovanne s'ouvrant à une fréquence déterminée grâce à un pointeau activé par un solénoïde, par une tête d'éjection munie d'une buse ; - éjection piézoélectrique par déformation d'une cartouche, par une tête d'éjection percée de fins canaux. Dans un mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, on dispense deux gouttes de ladite solution de polymère sur deux puces ISFET de deux modules placés côte à côte sur la bande (en général transversalement par rapport au sens d'avancement de la bande), à l'aide d'un dispositif de dispense comprenant deux buses d'éjection alimentées par un même réservoir. Dans un mode de réalisation particulier du procédé selon l'invention, on dispense successivement deux gouttes de deux solutions différentes sur deux puces ISFET d'un même module, à l'aide de deux dispositifs de dispense dotés de réservoirs indépendants. Selon une caractéristique intéressante du procédé, l'avancée de la bande dans la zone de traitement est effectuée pas à pas, et est contrôlée et régulée par indexation de ladite bande. 25 Selon une autre caractéristique intéressante du procédé, la position dudit au moins un dispositif de dispense au-dessus d'une puce est ajustée selon au moins les axes horizontaux et de préférence également selon l'axe vertical (axes x, y et z du plan de la bande), par repérage optique de la position de ladite puce. 30 Selon une caractéristique avantageuse du procédé inventif, on neutralise les charges électrostatiques de la surface du module à l'aide d'une buse ionisante, avant de dispenser la goutte de solution. Dans un mode de réalisation préféré du procédé selon l'invention, le séchage et 35 l'insolation de la goutte sont réalisées à une température maximum de 40°C.20 Selon une caractéristique intéressante de l'invention, le procédé comprend une étape de contrôle optique de la qualité des membranes obtenues et d'élimination des modules dont au moins une puce est défectueuse, par exemple par poinçonnage. De manière avantageuse, le contrôle optique de la qualité des membranes est effectué par une caméra associée à un programme de reconnaissance de formes repérant la périphérie de la puce, laquelle périphérie a été teintée par l'ajout d'un colorant (de préférence blanc) dans la colle utilisée pour sa fixation, afin d'en accentuer le contraste. On utilise par exemple une colle blanche (du type de celle employée pour les plots de fixation des puces), ce qui permet une meilleure reconnaissance des tranches des puces. Commodément, dans une dernière étape du procédé, la bande comportant les modules avec puces ISFET revêtues d'au moins une membrane sensible est conditionnée et 15 stockée sous forme de bobine. Les bandes obtenues en fin de processus constituent des supports de micro-capteurs fonctionnalisés, qui pourront être découpés et intégrés dans un dispositif de contrôle ou de mesure d'espèces chimiques ou biochimiques présentes dans un milieu liquide, tel 20 qu'un fluide biologique, par exemple au cours d'une séance d'hémodialyse. Ainsi, est également objet de la présente invention une bande sur laquelle sont assemblées en modules des puces ISFET, cette bande étant susceptible d'être obtenue par un procédé tel qu'il vient d'être décrit, et dans laquelle lesdites puces ISFET sont 25 dotées d' une membrane sensible comprenant une fonction chimique ou biochimique. De manière préférée, ladite au moins une membrane sensible a une épaisseur inférieure ou égale à 4 �m. II a en effet été établi qu'une épaisseur inférieure à 4 �m facilite l'adhésion de la couche et optimise sa sensibilité. II n'est donc plus nécessaire d'utiliser 30 un promoteur d'adhérence pour que les membranes aient une durée de vie acceptable. Selon un mode de réalisation particulier de ladite bande, les modules comportent chacun une première et une seconde puces ISFET recouvertes de membranes sensibles, ladite première puce ISFET comprenant une fonction chimique ou biochimique différente de 35 celle de ladite seconde puce. Grâce à la technologie ici définie, des couches sensibles peuvent être déposées sur des ISFET de manière contrôlée et automatique. Une maîtrise et un contrôle précis des paramètres de la membrane sont réalisés (taille, épaisseur, positionnement, homogénéité, adhérence, profil de séchage et de polymérisation). II devient alors possible de garantir la reproductibilité et la fiabilité des détecteurs et des mesures, qui constituent des qualités essentielles pour une application dans le domaine de la mesure en milieu médical. La présente invention sera mieux comprise, et des détails en relevant apparaîtront, à la lumière de la description qui va être faite de différentes variantes de réalisation, en relation avec les figures annexées, dans lesquelles : La figure 1 est une vue schématique de l'appareil de dépôt d'une membrane sensible selon l'invention. La figure 2 représente une bande de micro-capteurs, comportant deux modules de front. La figure 3 est une vue d'un module comportant deux puces ISFET après dépôt de membranes sensibles. La figure 4 représente les zones analysées par le programme de reconnaissance de formes sur une puce munie d'une membrane sensible. EXEMPLE 1 : Architecture de l'appareil de dépôt Sur la figure 1, est représenté un appareil de dépôt de membranes sensibles, comprenant la zone de traitement 2, alimentée par le dispositif d'entrée 3 de la bande 1 dans ladite zone de traitement et se terminant par le dispositif de stockage 4 de la bande 1 en sortie de ladite zone de traitement. La bande 1 est similaire aux films de 35 mm qui sont utilisés dans la technique de fabrication des cartes à puce. Elle est constituée d'un diélectrique souple ou semi-rigide ainsi que de deux faces métallisées et s'enroule aisément sur des bobines. Comme représenté sur les figures 2 et 3, elle comporte les modules 100, 110, ...200, 210, ..., sur lesquels deux puces 101, 101' ont été assemblés avec leurs connexions encapsulées sous une couche de résine 104.35 Deux dispositifs de dispense 6, 6' équipent l'appareil. Ils sont placés l'un à la suite de l'autre et comportent chacun un réservoir 7, 7' et une buse d'éjection 11 et 11', placées parallèlement par rapport au sens d'avancée de la bande. La solution enzymatique contenue dans les réservoirs 7, 7' est préparée en ajoutant une enzyme (uréase et créatinine déiminase par exemple) à une solution de PVA/SbQ (polyvinylalcool greffé par des groupes styrylpyridinium, de type SPP-S-13) diluée dans de l'eau dé-ionisée (avec SbQ (Mol %) : 1,35 +/-0,05 ; PVA (masse %) : 11,3 +/-0,5). La bande 1 est introduite dans la zone de traitement 2 par l'action de traction des galets d'entrainement 19 placées en fin de la zone de traitement 2, avec un contrôle de l'avance d'un poste à l'autre grâce à un système de repérage d'une indexation de la bande 1 et un pointeur laser 25 aligné sur l'électrode de référence 106 des capteurs 101. L'appareil comprend aussi des moyens d'ajustement de la position de chaque buse d'éjection 11, 11' au-dessus d'une puce ISFET 101, selon les axes horizontaux et selon l'axe vertical. Cet ajustement est réalisé à l'aide de la caméra 8 fixée aux moyens de dispense 6, 6', pour former un bloc solidaire qui est déplacé par un bras robotisé, lui-même étant piloté par un processeur. La caméra 8 repère la position exacte des puces de silicium, puis le bras robotisé positionne les buses tour à tour au-dessus de chacune des puces. La zone de traitement 2 comprend en outre les postes suivants, nommés dans l'ordre de leur mise en oeuvre. 1) Avant le pointeur laser 25 et les postes de dispense 6, 6', se trouve la buse ionisante 12, munie d'un limiteur de débit qui est réglé de façon à obtenir un balayage très léger du film. 2) Après les postes de dispense 6, 6', se trouve le four 9 qui contient une plaque chauffante. 3) Le poste d'insolation 10 comprend des fibres optiques reliées à une source UV, émettant à des longueurs d'ondes comprises entre 320 nm et 500 nm. La source UV utilisée est une lampe à vapeur de mercure, ayant une puissance de 200 W à 100%, soit 30W/cm2 (référence S200 OMNICURE, commercialisée par EXFO). L'onde est acheminée vers la zone active des capteurs par deux fibres optiques. Le dispositif permet une programmation automatique des paramètres de réticulation (dose UV) en fonction du produit à déposer (PVC ou PSX ou PVA) et des autres paramètres utiles.35 L'insolation UV provoque une augmentation de la température de la surface qui doit être prise en compte pour ne pas dégrader l'activité enzymatique. Les paramètres de séchage et de polymérisation sont donc définis conjointement et réglés de sorte que la température subie par les enzymes n'excède pas 40°C. Par ailleurs, l'adhérence des membranes est variable en fonction des conditions d'insolation UV et de polymérisation du PVA. Un compromis doit en particulier être trouvé entre l'énergie et la durée d'insolation de manière à limiter l'augmentation de température de la couche, préjudiciable à l'activité enzymatique, tout en obtenant une adhérence satisfaisante. Le réglage de ces paramètres est validé pour chaque type de membranes, en qualifiant l'adhérence après trempage dans du dialysat pendant 24h à l'aide d'un profilomètre tactile. La couche déposée pourra être utilisée en milieu aqueux à une température comprise entre 10 et 40°C, avec un pH compris entre 6 et 9. 4) Le poste de contrôle optique 16 de la qualité des membranes 102 comprend une caméra associée à un programme de reconnaissance de formes. La figure 4 montre la bordure contrastée 105, ainsi que les zones repérées par la caméra (en traits pointillés) et analysées par le programme. Les photos obtenues sont comparées à des critères établis au préalable et mémorisés par le logiciel de reconnaissance de formes. 5) Au niveau du poste de poinçonnage 17, les modules dont un capteur a été invalidé sont détruits, afin que ces modules soient directement rebutés. Un logiciel permet de compter les capteurs validés et rend compte des cadences et des rendements. Le dispositif d'entrée 3 de la bande 1 dans la zone de traitement 2 comprend les moyens d'avancement de la bande 1 pour amener les micro-capteurs 100 dans la zone de traitement. Le support de bobine 13 reçoit la bobine 14. Le dérouleur 24 assure de façon automatique le déroulage de la bande 1 et la gestion de la boucle tampon 1', grâce à trois cellules de détection 15 montées selon un axe vertical face à la boucle tampon 1'. Le dispositif de stockage 4 de la bande 1 en sortie de la zone de traitement 2 permet d'enrouler la bande 1 sur la bobine 14' après dépôt des membranes sensibles 102 sur les puces ISFET 101. Le support de bobine 13' reçoit la bobine 14'. L'enrouleur 24' assure de façon automatique l'enroulage de la bande 1 et la gestion de la boucle tampon 1", grâce à trois cellules de détection 15' montées selon un axe vertical face à la boucle tampon 1". EXEMPLE 2 : Micro-dispense par éjection mécanique de gouttes Le dispositif de dispense de gouttes 6 peut être un dispositif d'éjection mécanique. Il comprend un circuit d'amenée du produit constitué du réservoir 7 sous pression, muni d'une électrovanne à ouverture intermittente de type LeeProducts VHS LT débouchant dans la tête d'éjection 11, munie d'une buse. Le diamètre des buses peut varier de 50 pm à 250 �m. L'ouverture de la vanne est commandée par un pointeau activé par un solénoïde qui actionne ladite électrovanne à une fréquence déterminée. Les fréquences d'éjection de gouttes varient de 100 à 1000 Hz, et les gammes de viscosités des fluides acceptées sont très larges. Le volume des gouttes éjectées dépend de la viscosité du produit, et des autres paramètres utilisés. II peut varier de 50 à 500 nanolitres. La dilution du PVA avec de l'eau dé-ionisée est nécessaire pour réaliser une éjection contrôlée. La mise en oeuvre optimale du procédé de dépôt demande de fixer les paramètres suivants : diamètre de la buse, durée d'ouverture de la vanne et pression du fluide. Le meilleur dimensionnel est obtenu avec une buse de diamètre 127 pm qui permet un diamètre de membrane de 0,7 mm à 1 mm parfaitement adapté à la structure de notre composant. Le plus petit volume éjecté par l'électrovanne est obtenu avec un temps d'ouverture de 0,3 ms. Une pression de 2 bars est préconisée pour ne pas boucher les buses d'éjection et obtenir des gouttes de manière homogène et répétable. Elle permet de plus une bonne adhésion sur la surface. L'épaisseur de la membrane obtenue est de l'ordre de 1 pm avec un ménisque d'environ 5 pm d'épaisseur. Le diamètre obtenu est d'environ 750 pm. EXEMPLE 3 : Micro-dispense par éjection piézo-électrique de gouttes Le dispositif de dispense 6 de gouttes peut être un dispositif d'éjection piézoélectrique. Il comprend un circuit d'amenée du produit constitué du réservoir 7 alimentant une cartouche intermédiaire associée à un cristal piézo-électrique. La cartouche débouche dans la buse d'éjection 11 percée de fins canaux. Lorsque le cristal se déforme sous l'effet d'une excitation électrique, il exerce une pression sur la cartouche et envoie la solution dans la tête d'éjection, ce qui provoque l'éjection d'une goutte de solution. Cette technologie est directement issue de l'impression jet d'encre. Les têtes ne peuvent 35 fonctionner qu'avec des produits de très faible viscosité (inférieure à 25 cPs), mais peuvent être chauffées pour diminuer la viscosité du produit. Cette variante de réalisation est incompatible avec l'utilisation d'enzymes, mais reste valable pour le dépôt de couches sensibles d'ions plus stables. Les gouttes éjectées peuvent varier de 50 à 500 picolitres. EXEMPLE 4 : Application à la fabrication d'un dispositif de contrôle de fluide biologique Les micro-capteurs fonctionnalisés par des couches sensibles tels qu'ils sont précédemment décrits sont utilisés dans cet exemple pour la réalisation d'un dispositif médical tel que celui présenté dans FR 2 866 118. Le processus utilisé ici est apte à être réalisé en totalité en conditions industrielles pour la production en série, selon les étapes suivantes : - réalisation des plaques de silicium (wafers) détenant les puces avec tests de fonctionnalité des puces en sortie de fonderie ; - assemblage électrique sur PCB, encapsulation des connexions électriques, selon une technologie de type "carte à puces" et tests de fonctionnalité afin d'aboutir à la réalisation des micro-capteurs sur la bande support ; - dépôt des couches sensibles spécifiques, à base de polymère chargé avec des enzymes ou des ionophores, sur les micro-capteurs connectés (cette étape est l'objet de la présente invention) ; - incorporation des micro-capteurs ainsi réalisés dans un dispositif de contrôle d'un fluide biologique tel qu'un dialysat par exemple ; - dans les centres d'hémodialyse, insertion du dispositif de contrôle à la chaîne d'hémodialyse et mesure en continu de diverses substances critiques lors des traitements en hémodialyse par exemple.25 REVENDICATIONS1.- Appareil de dépôt d'une membrane sensible comprenant une fonction chimique ou biochimique sur des puces ISFET (101) assemblées en modules (100) sur une bande support (1), l'appareil comportant une zone de traitement (2), un dispositif d'entrée (3) de ladite bande dans ladite zone de traitement et un dispositif de stockage (4) de ladite bande en sortie de ladite zone de traitement, caractérisé en ce qu'il comprend : - des moyens d'avancement de ladite bande, aptes à amener au moins un module (100) dans la zone de traitement (2); - au moins un dispositif de dispense (6) d'une goutte d'une solution d'un polymère photosensible comprenant ladite fonction chimique ou biochimique, alimenté par un réservoir (7); - des moyens de placement (8) dudit au moins un organe de dispense (6) à l'aplomb d'une puce (101) dudit module ; - des moyens de séchage (9) aptes à provoquer une évaporation de l'eau de la solution, - un dispositif d'insolation (10) de la goutte apte à provoquer la réticulation du polymère et la formation d'une membrane (102). 2.- Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de dispense de gouttes (6) est un dispositif volumétrique comprenant une vis sans fin contrôlée par un moteur, débouchant dans une buse d'éjection (11). 3.- Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de dispense de gouttes (6) est un dispositif d'éjection mécanique comprenant un circuit d'amenée sous pression muni d'une électrovanne à ouverture intermittente débouchant dans une buse d'éjection (11). 4.- Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de dispense de gouttes (6) est un dispositif d'éjection piézoélectrique, relié à une buse d'éjection (11) percée de fins canaux. 5.- Appareil selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que chaque au moins un dispositif de dispense (6) comprend deux buses d'éjection (11)alimentées par un réservoir (7) unique, lesdites buses étant placées transversalement par rapport au sens d'avancement de la bande (1). 6.- Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend au moins deux dispositifs de dispense (6, 6') successifs dotés de réservoirs indépendants (7, 7'). 7.- Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de neutralisation des charges électrostatiques à la surface du module (100), placés avant ledit au moins un dispositif de dispense (6). 8.- Appareil selon la revendication précédente, caractérisé en ce que les moyens de neutralisation des charges électrostatiques comprennent une buse ionisante (12) munie d'un !imitateur de débit. 9.- Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens d'avancement de la bande (1) comprennent des moyens de contrôle optique et de régulation de l'avancée pas à pas de ladite bande dans la zone de traitement (2). 20 10.- Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'ajustement de la position de ladite au moins une buse d'éjection (11) au-dessus de ladite puce ISFET (101), selon les axes horizontaux et de préférence également selon l'axe vertical. 25 11.- Appareil selon la revendication précédente, caractérisé en ce que les moyens d'ajustement de la position de ladite au moins une buse d'éjection (11) sont associés à des moyens de repérage optique de la position de ladite puce ISFET (101) par rapport audit au moins un dispositif de dispense. 30 12.- Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est doté de moyens d'apport de la bande support (1) à la zone de traitement (2) comprenant un support de bobine (13) apte à recevoir une bobine (14) de ladite bande, et un dérouleur motorisé (24) asservi par un système de contrôle (15) de la longueur de bande déroulée (1'). 35 21 13.- Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de contrôle optique (16) de la qualité des membranes (102) obtenues et des moyens pour écarter (17) les modules (100) dont au moins une puce ISFET (101) est recouverte d'une membrane (102) défectueuse. 14.- Appareil selon la revendication précédente, caractérisé en ce que les moyens de contrôle optique (16) de la qualité des membranes (102) obtenues comprennent un ou plusieurs des moyens suivants : - des moyens de contrôle du centrage desdites membranes sur les puces ISFET (101) ; 10 - des moyens de contrôle du diamètre et de l'épaisseur desdites membranes ; - des moyens de contrôle de l'homogénéité desdites membranes. 15.- Appareil selon les revendications 10 et 13, caractérisé en ce que les moyens de repérage de la position d'une puce ISFET (101) par rapport audit au moins un dispositif de 15 dispense (6), et les moyens de contrôle de la qualité (16) des membranes (102), comprennent chacun une caméra (8, 18) associée à un programme de reconnaissance de formes. 16.- Procédé de dépôt d'une membrane sensible comprenant une fonction chimique ou 20 biochimique sur des puces ISFET (101) assemblées en modules (100) sur une bande support (1), caractérisé en ce qu'il comprend les étapes consistant à : - faire avancer ladite bande (1) dans la zone de traitement (2) d'un appareil selon l'une des revendications 1 à 15 ; - placer au moins une puce ISFET (101) à l'aplomb d'une buse d'éjection (11) 25 dudit appareil ; - dispenser au moins une goutte d'une solution d'un polymère photosensible comprenant ladite fonction chimique ou biochimique sur ladite puce ; - soumettre ladite goutte à un séchage pour provoquer une évaporation de l'eau de la solution ; 30 - soumettre ladite goutte à une insolation pour provoquer la réticulation du polymère et la formation d'une membrane (102). 17.- Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'étape de dispense d'une goutte est réalisée par une des méthodes suivantes :- dispense volumétrique à l'aide d'une vis sans fin contrôlée par un moteur, par une tête d'éjection munie d'une buse ; - éjection mécanique sous pression à l'aide d'une électrovanne s'ouvrant à une fréquence déterminée grâce à un pointeau activé par un solénoïde, par une tête d'éjection munie d'une buse ; - éjection piézoélectrique par déformation d'une cartouche, par une tête d'éjection percée de fins canaux. 18.- Procédé selon l'une des revendications 16 ou 17, caractérisé en ce que l'on dispense deux gouttes de ladite solution de polymère sur deux puces ISFET (101, 201) de deux modules (110,210) placés côte à côte sur la bande (1), à l'aide d'un dispositif de dispense (6) comprenant deux buses d'éjection (11) alimentées par un même réservoir (7). 19.- Procédé selon l'une des revendications 16 à 18, caractérisé en ce que l'on dispense successivement deux gouttes de deux solutions différentes sur deux puces ISFET (101, 101') d'un même module (100), à l'aide de deux dispositifs de dispense (6, 6') dotés de réservoirs indépendants (7, 7'). 20.- Procédé selon l'une des revendications 16 à 19, caractérisé en ce que l'avancée de la bande (1) dans la zone de traitement (2) est effectuée pas à pas, et est contrôlée et régulée par indexation optique de ladite bande. 21.- Procédé selon l'une des revendications 16 à 20, caractérisé en ce que la position dudit au moins un dispositif de dispense (6) au-dessus d'une puce (101) est ajustée selon au moins les axes horizontaux et de préférence également selon l'axe vertical, par repérage optique de la position de ladite puce. 22.- Procédé selon l'une des revendications 16 à 21; caractérisé en ce que l'on neutralise les charges électrostatiques de la surface du module (100) à l'aide d'une buse ionisante (12), avant de dispenser une goutte de solution. 23.- Procédé selon l'une des revendications 16 à 22, caractérisé en ce que le séchage et l'insolation de la goutte sont réalisées à une température maximum de 40°C.35 24.- Procédé selon l'une des revendications 16 à 23, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de contrôle optique de la qualité des membranes (102) obtenues et d'élimination des modules (100) dont au moins une puce (101) est défectueuse. 25 .- Procédé selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le contrôle optique de la qualité des membranes (102) est effectué par une caméra (18) associée à un programme de reconnaissance de formes repérant la périphérie de la puce (101), laquelle périphérie a été teintée par l'ajout d'un colorant dans la colle utilisée pour sa fixation, afin d'en accentuer le contraste. 26.- Bande support sur laquelle sont assemblées en modules (100) des puces ISFET (101), susceptible d'être obtenue par un procédé selon l'une des revendications 16 à 25, caractérisée en ce que les puces (101) sont dotées d'une membrane sensible (102) comprenant une fonction chimique ou biochimique. 27.- Bande selon la revendication précédente, caractérisée en ce que ladite au moins une membrane sensible (102) a une épaisseur d'au plus 4 �m. 28.- Bande selon l'une des revendications 26 ou 27, caractérisée en ce que chaque 20 module (100) comporte une première et une seconde puces ISFET (101, 101') recouvertes de membranes sensibles, ladite première puce (101) comprenant une fonction chimique ou biochimique différente de celle de ladite seconde puce (101').15