Brevet FR2924856A1 — publié le 20090612

-1- CONDENSATEUR A CAPACITE VARIABLE COMPRENANT UN PEIGNE MOBILE ET UN PEIGNE FIXE INTERDIGITES, ACCELEROMETRE ET GYROMETRE COMPRENANT UN TEL CONDENSATEUR DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention a trait au domaine des condensateurs à capacité variable comprenant deux peignes à dents interdigitées. L'invention trouve notamment application dans les accéléromètres et les gyromètres miniaturisés. ETAT ANTERIEUR DE LA TECHNIQUE Un condensateur à capacité variable, utilisé dans un accéléromètre ou un gyromètre miniaturisé, comprend un peigne mobile et un peigne fixe. Les dents de ces peignes sont interdigitées et forment entre elles une capacité dont l'entrefer varie en fonction du déplacernent du peigne mobile. Un dispositif de mesure et de commande est par ailleurs connecté aux peignes mobile et fixe pour mesurer la capacité que ceux-ci forment entre eux et pour asservir, à l'aide d'une boucle de rétroaction, la position du peigne mobile sur une position centrale. On observe usuellement que chacune des dents du peigne mobile présente un mode de vibration propre et est capable d'entrer en résonance avec les dents voisines. Lorsque les dents du peigne mobile vibrent ensembles (on parle alors de � mode de résonance � du peigne mobile), le condensateur devient souvent inutilisable en raison du bruit généré par une telle vibration. Par ailleurs l'asservissement de la position du peigne mobile peut devenir instable, et les dents se fragilisent en raison des efforts en flexion importants qu'elles subissent. Pour pallier de tels inconvénients, les documents FR-A-2 858 853 et FR-A-2 858 854 divulguent des peignes dont les dents, toutes identiques, présentent une section de largeur variable le long de leur axe longitudinal, ainsi qu'un choix particulier de boucle fermée pour l'asservissement de position. Le mode de résonance du peigne mobile est ainsi positionné dans une zone caractérisée par un gain sensiblement nul de la boucle fermée. Par un choix approprié de celle-ci, cette zone est en outre située hors de la gamme de fréquences utiles du condensateur de -2-sorte que l'entrée en résonance des dents du peigne mobile ne perturbe sensiblement pas la mesure de la capacité formée par les peignes. Toutefois, les dents du peigne mobile étant toujours identiques, le mode de résonance du peigne mobile n'est pas éliminé en tant que tel. Les dents du peigne mobile sont donc encore soumises à des efforts importants de flexion pouvant les fragiliser. De plus, la géométrie proposée par les documents mentionnés précédemment induit des dents plus volumineuses et par conséquent un condensateur de moindre qualité. EXPOSE DE L'INVENTION Le but de la présente demande est de résoudre le problème susmentionné en proposant un condensateur à capacité variable dont le mode de résonance du peigne mobile est atténué, évitant ainsi le bruit, l'instabilité de l'asservissement de position et la fragilisation des dents. A cet effet, l'invention a pour objet un condensateur à capacité variable comportant un peigne mobile et un peigne fixe, chacun des peignes comprenant un corps, des dents ayant des extrémités fixées au corps et des extrémités libres, les dents des peignes mobile et fixe étant interdigitées. Selon l'invention, les dents du peigne mobile présentent entre elles des différences géométriques de manière à atténuer des modes de résonance du peigne mobile. 25 En d'autres termes, on procède à un découplage énergétique des dents du peigne mobile. En effet, les dents vibrent ensemble en raison de l'égalité de leurs fréquences propres de résonance. De fait, lorsque les dents présentent entre elles des différences géométriques, leurs fréquences propres ne sont plus toutes identiques et 30 le mode de résonance du peigne est ainsi atténué. En outre, on remarque qu'il n'est pas nécessaire de modifier l'asservissement de position pour tenir compte des différences géométriques du peigne mobile. Les lois de commande de l'état de la technique peuvent ainsi être utilisées avec un 35 condensateur selon l'invention. Suivant des modes de réalisation particuliers de l'invention, le condensateur comprend une ou plusieurs des caractéristiques suivantes. -3 Les dents du peigne présentent entre elles des différences de longueur, de largeur et/ou de forme. En d'autres termes, le découplage énergétique des dents est assuré par des différences géométriques dans le plan du peigne. La fabrication du peigne, par attaque chimique par exemple, est ainsi facilitée par l'utilisation d'un masque approprié. Une fréquence de résonance naturelle d'une dent du peigne mobile diffère de celles de dents voisines d'au moins un pourcent. En d'autres termes, les inventeurs ont observé qu'une différence d'un pourcent entre les fréquences de résonance propre de dents voisines du peigne mobile a pour effet de sensiblement annuler le mode de résonance de celui-ci. L'agencement des dents du peigne mobile présente des blocs de dents sensiblement identiques. Notamment, les extrémités libres des dents du peigne mobile forment un agencement linéaire par morceau tels qu'un agencement en sapin ou un agencement en V par exemple. En d'autres termes, il n'est pas nécessaire que toutes les dents soient différentes. Des groupes de dents identiques peuvent être ainsi envisagés tout en assurant une atténuation ou une annulation efficace du mode de résonance du peigne mobile. La fabrication du condensateur est ainsi facilitée et le peigne mobile est plus compact. Les extrémités libres des dents du peigne mobile forment un agencement pseudoaléatoire. En d'autres termes, en choisissant motif pseudo-aléatoire, on garantit avec une très 30 forte probabilité que toutes les dents du peigne mobile sont différentes de manière à annuler le mode de résonance de celui-ci. En effet, avec des groupes de dent identiques, il peut subsister un couplage énergétique entre des dents éloignées. Le mode de résonance, bien qu'atténué, peut donc encore exister, même, si en pratique, 20 25 -4-- on observe qu'un tel couplage est trop faible pour induire un bruit gênant pour lei. applications visées. Les dents du peigne fixe sont sensiblement identiques aux dents du peigne mobile. Ainsi, en choisissant un peigne fixe sensiblement identique au peigne mobile, l{ condensateur est plus compact. L'invention a également pour objets un accéléromètre et un gyromètre comportant un condensateur du type susmentionné. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple, et faite en relation avec les dessins annexés, dans 15 lesquels des références identiques désignent des éléments identiques ou analogues. et dans lesquels : la figure 1 est une vue schématique d'un premier condensateur de l'état de la technique ; la figure 2 est un tracé illustrant un mode de résonance du condensateur de la 20 figure 1 la figure 3 est un premier mode de réalisation d'un condensateur selon l'invention la figure 4 est un tracé illustrant l'absence de mode de résonance du condensateur de la figure 3 ; 25 û la figure 5 est un second mode de réalisation d'un condensateur selon l'invention la figure 6 est un tracé illustrant l'absence de mode de résonance du condensateur de la figure 5 ; la figure 7 est un troisième mode de réalisation d'un condensateur selon 30 l'invention la figure 8 est un tracé illustrant l'absence de mode de résonance du condensateur de la figure 7 ; et la figure 9 est une vue schématique d'un second condensateur de l'état de la technique auquel s'applique l'invention. 35 DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION 10 -5- Sur la figure 1, il est illustré, sous la référence générale 10, un condensateur à capacité variable de l'état de la technique, tel que décrit dans le document FR-A-2 700 012. Le condensateur 10, ici utilisé dans un accéléromètre, comprend deux peignes fixes 12, 14, ainsi que deux peignes mobiles 16, 18, un peigne mobile étant interdigité avec un peigne fixe. Les peignes fixes 12, 14 comprennent un corps unique 20, par exemple formé d'une couche de substrat en silicium, et des dents 24, 26, dont des extrémités sont fixées au corps 2G au moyen de points d'ancrage 28, 30. Chaque peigne mobile 16, 18 comprend quant à lui des dents 32, 34 dont des extrémités sont fixées à une masse mobile unique 38. La masse mobile 38 est fixée à un cadre déformable 40, lui même fixé au corps 22 par des points d'ancrage 42. Les portions du cadre 40 parallèles aux dents assurent par ailleurs une fonction de ressort. Sous l'effet d'une accélération dans la direction des flèches F, la masse mobile 38 est animée d'un mouvement dans cette même direction. L'écart entre les dents des peignes mobiles et les dents des peignes fixes, et donc la capacité formée entre des peignes mobile et fixe interdigités, varie ainsi en fonction de l'accélération subie. Pour plus de détail sur l'agencement et le fonctionnement de cet accéléromètre, on se référera au document susmentionné. Dans l'exemple de l'état de la technique venant d'être illustré, les dents 32, 34 des peignes mobiles 16, 18 sont sensiblement identiques. On observe ainsi un mode de résonance de chaque peigne mobile 16, 18. Par exemple, dans le cas d'un peigne mobile formé de dents d'une longueur de 500 micromètres, un mode de résonance est présent à environ 40 kHz, comme cela est illustré à la figure 2. Pour mesurer un tel mode de résonance, il est appliqué une tension sinusoïdale aux extrémités du peigne mobile. par exemple à des bornes A et B de la masse mobile 38, en faisant varier la fréquence de celle-ci d'un pas prédéterminé. Sur la figure 3, un premier mode de réalisation d'un condensateur selon l'invention est illustré. Ce mode de réalisation est identique à celui de la figure 1 à la seule différence que les longueurs des dents 50, 52 des peignes mobiles 16, 18 diffèrent -6- d'une dent voisine à l'autre. Plus particulièrement, les extrémités libres des dents 50, 52 de chaque peigne mobile 16, 18 forment un agencement en V, la longueur d'une dent variant d'au moins 3 micromètres par rapport à la longueur de dents voisines. Comme cela est illustré à la figure 4, le mode de résonance des peignes mobiles 14, 16 a sensiblement disparu. Sur la figure 5, un deuxième mode de réalisation est illustré dans lequel les extrémités libres des dents 54, 56 de chaque peigne mobile 14, 16 forment un agencement en sapin, la longueur d'une dent variant d'au moins 3 micromètres par rapport à la longueur de dents voisines. La encore, comme cela est illustré à la figure 6, le mode de résonance des peignes mobiles 14, 16 a sensiblement disparu. Sur la figure 7., un troisième mode de réalisation est illustré dans lequel la longueur des dents 58, 60 de chaque peigne mobile 14, 16 varie de manière pseudo-aléatoire dans la garnme de 449 micromètres à 551 micromètres avec une différence d'au moins 3 micromètres entre deux dents voisines. La encore, comme cela est illustré à la figure 8, le mode de résonnance des peignes mobiles 14 et 16 a sensiblement disparu. D'une manière générale, les inventeurs ont observé qu'une différence géométrique, comme une différence de longueur, de largeur ou de forme, entre des dents voisines d'un peigne mobile, correspondant à une différence d'au moins 1 pourcent de leur fréquence de vibration propre, annule sensiblement le mode de résonance du peigne mobile. On comprendra évidemment qu'il existe une multitude de modes de réalisation possibles de l'invention. En fonction des contraintes technologiques de fabrication par exemple, il peut être préféré l'une ou l'autre des différences géométriques. Pour concevoir un peigne selon l'invention, une démarche d'essais et erreurs peut être appliquée. Par exemple, un peigne mobile présentant des différences géométriques parmi ses dents est conçu. Ensuite, pour déterminer si les différences géométriques entre les dents de ce peigne sont suffisantes pour annuler ou atténuer le mode de résonnance, une tension alternative est par exemple appliquée aux bornes du peigne avec une fréquence variable. Si le mode de résonance est toujours présent, il sera ainsi excité. I l s'agira alors de modifier la conception du peigne mobile, par exemple en accentuant l'amplitude des différences géométriques entre ses dents. -7- Les inventeurs ont également observé qu'il n'est pas nécessaire que les dents d'un peignes mobiles soient toutes différentes les unes des autres. Ainsi par exemple, comme cela est illustré aux figures 3 et 5, le peigne mobile peut présenter des blocs de dents identiques tout en atténuant ou annulant sensiblement le mode de résonance. Prévoir des blocs de dents identiques facilite ainsi la fabrication du peigne. On comprendra également que l'invention s'applique à tout type de condensateur à capacité variable comprenant au moins un peigne mobile et un peigne fixe interdigités. Par exemple, l'invention s'applique à un condensateur 70 tel qu'illustré à la figure 9 dans lequel les peignes mobile et fixe comprennent un même nombre de dents. L'invention trouve notamment application dans le domaine des accéléromètres et des gyromètres. REVENDICATIONS 1. Condensateur à capacité variable comportant un peigne mobile (16, 18) et un peigne fixe (12, 14), chacun des peignes comprenant un corps (20, 38). des dents (50, 52 ; 54, 56 ; 58, 60) ayant des extrémités fixées au corps et des extrémités libres, les dents des peignes mobile et fixe étant interdigitées, caractérisé en ce que les dents (50, 52 ; 54, 56 ; 58, 60) du peigne mobile (16, 18) présentent entre elles des différences géométriques de manière à atténuer des modes de résonance du peigne mobile. 2. Condensateur selon la revendication 1, caractérisé en ce que les dents (50, 52 ; 54, 56 ; 58, 60) du peigne mobile (16, 18) présentent entre elles des différences de longueur, de largeur et/ou de forme. 3. Condensateur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'une fréquence de résonance naturelle d'une dent (50, 52 ; 54, 56 ; 58, 60) du peigne mobile (16, 18) diffère de celles de dents voisines d'au moins un pourcent. 4. Condensateur selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que l'agencement des dents (50, 52 ; 54, 56) du peigne mobile (16, 18) présentent des blocs de dents sensiblement identiques. 5. Condensateur selon la revendication 2, 3 ou 4, caractérisé en ce que les extrémités libres des dents (50, 52 ; 54, 56) du peigne mobile (16, 18) forment un agencement linéaire par morceau. 6. Condensateur selon la revendication 5, caractérisé en ce que les extrémités libres des dents (54, 56) du peigne mobile (16, 18) forment un agencement en 30 sapin. 7. Condensateur selon la revendication 5, caractérisé en ce que les extrémités libres des dents (50, 52) du peigne mobile (16, 18) forment un agencement en V. 5-9- 8. Condensateur selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que les extrémités libres des dents (58, 60) du peigne mobile (16, 18) forment un agencement pseudo-aléatoire. 9. Condensateur selon l'une quelconque des revendications précédentes. caractérisé en ce que les dents (24, 26) du peigne fixe (12, 14) sont sensiblement identiques aux dents (32, 34) du peigne mobile (16, 18). 10 10. Accéléromètre comportant un condensateur conforme à l'une quelconque des revendications précédentes. 11. Gyrornètre comportant un condensateur conforme à l'une quelconque des revendications 1 à 9. 15