Brevet FR2913265A1 — publié le 20080905

DESCRIPTION L'invention concerne un dispositif pour la mesure optique d'un objet, comprenant une unité d'évaluation de signaux ainsi qu'un interféromètre avec une source lumineuse et avec au moins un détecteur, l'interféromètre étant réalisé de façon qu'un faisceau lumineux généré par la source lumineuse soit divisé au moins en un faisceau de mesure et un faisceau de référence, le faisceau de mesure atteignant l'objet et le faisceau de mesure au moins partiellement réfléchi par l'objet étant superposé au faisceau de référence sur le détecteur et l'unité d'évaluation de signaux étant reliée au détecteur et comprenant une unité d'évaluation de vibromètre (qui est réalisée de façon qu'elle détermine des données de déplacement de l'objet à partir des signaux de mesure du détecteur. De tels dispositifs comprennent un interféromètre avec une source lumineuse et un détecteur. La source lumineuse émet un faisceau lumineux qui, typiquement, est divisé dans l'interféromètre en un faisceau de mesure et un faisceau de référence au moyen d'un diviseur de faisceau. Le faisceau de mesure est guidé ù le cas échéant en passant par d'autres composants optiques comme des miroirs ou des lentilles ù sur un point de mesure de l'objet à mesurer. Le faisceau de mesure est au moins partiellement réfléchi sur l'objet, revient dans le chemin optique de l'interféromètre et est guidé sur le détecteur. Le faisceau de référence est également guidé sur le détecteur, de sorte qu'il se produit une interférence entre faisceau de mesure et faisceau de référence. Le détecteur est relié à une unité d'évaluation de signaux qui détermine des données de déplacement de l'objet à partir des signaux de mesure. Cela est possible du fait qu'un déplacement de l'objet exerce une influence sur le faisceau de mesure en raison de l'effet Doppler et une évaluation du signal du détecteur permet donc de tirer des conclusions sur le déplacement de l'objet, en particulier sur sa vitesse de déplacement. De tels dispositifs sont habituellement appelés vibromètres laser Doppler ou simplement vibromètres. Le but de l'invention est d'améliorer la qualité de mesure des vibromètres connus, en particulier en évitant les signaux parasites, ainsi que -2- d'élargir les fonctionnalités du dispositif connu. L'invention doit en outre permettre de simplifier et/ou accélérer le processus de mesure. Le but précité est atteint par l'invention grâce à un dispositif pour la mesure optique d'un objet tel qu'évoqué en introduction, qui est caractérisé en ce que la source lumineuse est réalisée de façon qu'elle génère une lumière avec une longueur de cohérence inférieure à 1 cm et que le dispositif comprend une commande de focalisation et un dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique commandé par la commande de focalisation, le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique étant disposé de façon que la longueur de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence soit modifiée en fonction des signaux de commande de la commande de focalisation au moyen du dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique et la commande de focalisation étant réalisée de façon qu'elle commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique de façon que les longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence soient égalisées. En accord avec des réalisations avantageuses ou des caractérisations additionnelles de l'invention, il peut en outre être éventuellement prévu que : - le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique est disposé dans le chemin optique de l'interféromètre, en particulier dans le chemin optique du faisceau de référence ; - l'unité d'évaluation de signaux est réalisée de façon qu'elle évalue le signal de mesure du détecteur en ce qui concerne l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence ; - la commande de focalisation est reliée à l'unité d'évaluation de signaux et réalisée de façon qu'elle commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique en fonction du signal de mesure du détecteur, en particulier qu'elle commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique en fonction de l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence ; - l'interféromètre est réalisé sous forme d'interféromètre hétérodyne, avec une unité de décalage de fréquence qui est disposée dans le chemin optique des faisceaux de mesure et de référence et réalisée de façon qu'elle décale la fréquence des faisceaux de mesure et de référence, que l'unité d'évaluation de vibromètre est réalisée sous forme d'unité d'évaluation de vibromètre hétérodyne de façon qu'elle détermine avec les -3- données de déplacement également la direction de déplacement de l'objet, en particulier que l'unité d'évaluation de signaux est réalisée de façon qu'elle détermine l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence à partir de l'intensité de porteuse du signal hétérodyne du détecteur ; - la source lumineuse est réalisée de façon qu'elle génère un faisceau lumineux avec une longueur de cohérence inférieure à 50 m, en particulier inférieure à 20 m, plus particulièrement inférieure à 10 m ; - la source lumineuse est réalisée de façon qu'elle génère un faisceau lumineux avec un spectre de fréquences à large bande de façon que le faisceau lumineux possède une longueur de cohérence inférieure à 50 m, en particulier inférieure à 20 m, plus particulièrement inférieure à 10 m; - la source lumineuse est réalisée de façon qu'elle génère un faisceau lumineux avec une phase variable dans le temps de façon que le faisceau lumineux possède une longueur de cohérence inférieure à 50 m, en particulier inférieure à 20 m, plus particulièrement inférieure à 10 m ; - le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique est réalisé sous forme de miroir optique de référence déplaçable linéairement et disposé dans le chemin optique du faisceau de référence de façon que le miroir de référence puisse être déplacé dans la direction du faisceau de référence ; - la source lumineuse est réalisée de façon à ce qu'elle génère un faisceau lumineux d'une longueur d'onde supérieure à 1000 nm, en particulier d'une longueur d'onde comprise entre 1500 et 2500 nm, plus particulièrement d'une longueur d'onde de 1550 nm ; - l'unité d'évaluation de signaux possède une sortie de commande qui est reliée au dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique et commande celui-ci de façon que l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence soit déterminée pour au moins deux longueurs de chemin optique spécifiées du faisceau de référence et que, pour la longueur de chemin optique présentant le signal d'interférence maximal, les données de déplacement de l'objet soient déterminées au moyen de l'unité d'évaluation de vibromètre et/ou l'intensité du signal d'interférence soit mémorisée séparément ; -l'interféromètre est réalisé sous forme d'interféromètre multifaisceaux, avec un diviseur de faisceau de mesure qui est disposé dans -4- le chemin optique du faisceau de mesure et réalisé de façon qu'il divise le faisceau de mesure en au moins deux faisceaux partiels et avec un diviseur de faisceau de référence qui est disposé dans le chemin optique du faisceau de référence et réalisé de façon qu'il divise le faisceau de référence en au moins deux faisceaux partiels, que l'interféromètre présente au moins un deuxième détecteur et est réalisé de façon que le premier faisceau de mesure soit superposé au premier faisceau de référence sur le premier détecteur et le deuxième faisceau de mesure au deuxième faisceau de référence sur le deuxième détecteur et que l'unité d'évaluation de signaux est reliée aussi bien au premier qu'au deuxième détecteur et réalisée de façon qu'elle évalue les signaux de mesure des deux détecteurs, en particulier qu'elle évalue simultanément les données des deux détecteurs. - l'interféromètre présente au moins un deuxième dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique, lequel est disposé dans le chemin optique d'un des faisceaux partiels de référence ou d'un des faisceaux partiels de mesure ; - le diviseur de faisceau de mesure est disposé dans le chemin optique du faisceau de mesure entre l'objet et le détecteur de façon que le faisceau de mesure atteigne l'objet à mesurer sans être divisé et que le faisceau de mesure au moins partiellement réfléchi par l'objet soit divisé en faisceaux partiels par le diviseur de faisceau de mesure ; - le deuxième dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique est réalisé sous forme d'unité à retard optique ; - le dispositif comprend une unité de déplacement et une unité de commande de balayage, l'unité de commande de balayage étant réalisée de façon à coopérer avec l'unité de déplacement de façon que l'unité de commande de balayage commande l'unité de déplacement au moyen de signaux de commande de façon à modifier la position relative de l'objet à mesurer et du faisceau de mesure afin que le faisceau de mesure puisse être dirigé sur au moins deux points de mesure spécifiés à des emplacements différents sur l'objet ; -l'unité de déplacement est réalisée sous forme d'unité de déviation optique qui est disposée dans le chemin optique du faisceau de mesure entre la source lumineuse et l'objet et réalisée de façon que le faisceau de mesure soit dévié au choix dans au moins deux directions de l'espace spécifiées, de façon que le faisceau de mesure atteigne au moins deux points de mesure spécifiés à des emplacements différents sur l'objet ; -5-- le dispositif est réalisé sous forme de microscope confocal, avec un objectif et un filtre spatial, l'objectif et le filtre spatial étant disposés dans le chemin optique du faisceau de mesure de façon que des rayons non focaux qui arrivent de points situés en dehors du foyer de l'objectif soient essentiellement éliminés par le filtre spatial ; - que la commande de focalisation est réalisée de façon qu'elle commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique de façon à égaliser chaque fois les longueurs de chemin des faisceaux de mesure et de référence pour plusieurs plages de profondeur spécifiées et que le dispositif est réalisé de façon à évaluer l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence pour chaque plage de profondeur spécifiée. Les sources lumineuses des vibromètres connus de l'état de la technique sont typiquement réalisées sous forme de laser qui génère un faisceau lumineux essentiellement cohérent. Cela signifie qu'après la division du faisceau lumineux en faisceau de mesure et faisceau de référence, une interférence des deux faisceaux est possible indépendamment du fait que les longueurs de chemin optique des deux faisceaux soient identiques ou non. Le dispositif selon l'invention se différencie par conséquent fondamentalement des vibromètres connus par le fait que la source lumineuse génère une lumière avec une longueur de cohérence inférieure à 1 cm. L'indication d'une longueur de cohérence donne une mesure typique de la cohérence. La longueur de cohérence est définie en traçant l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence enregistrée par le photodétecteur en fonction de la différence des longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence entre source lumineuse et détecteur. Si les longueurs de chemin sont égales, c'est-à-dire que la longueur de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence entre source lumineuse et détecteur est identique, on obtient une interférence maximale et, par conséquent, un signal d'interférence maximal. Plus la différence entre les longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence est grande, plus l'intensité du signal d'interférence optique est faible. La longueur de cohérence active dépend de la largeur de bande à l'intérieur de laquelle l'intensité du signal d'interférence est déterminée. -6- Dans les dispositifs typiques pour la mesure optique d'un objet, la longueur de cohérence est définie comme la différence de chemin des longueurs de chemin optique entre signaux de mesure et de référence à laquelle le signal d'interférence, partant d'un maximum, est tombé à 1/e2 de la valeur maximale. Dans les vibromètres laser Doppler actuels, on mesure habituellement des intensités de signal d'interférence avec une largeur de bande de 70 MHz, tandis que la longueur de cohérence est habituellement mesurée avec une largeur de bande pour l'intensité de signal d'interférence L'utilisation d'une lumière avec une longueur de cohérence inférieure à 1 cm présente l'avantage de rendre possible une sélection de la plage de mesure par la longueur de cohérence. Essentiellement, il ne se produit une interférence bien exploitable des faisceaux de mesure et de référence lors de la superposition sur le détecteur que quand les longueurs de chemin optique que les faisceaux de mesure et de référence parcourent entre source lumineuse et détecteur diffèrent de moins d'une longueur de cohérence. De ce fait, les parts du faisceau de mesure réfléchi qui présentent une longueur de chemin optique beaucoup plus grande ou beaucoup plus petite comparée à celle du faisceau de référence ne contribuent pas à un signal d'interférence. Si, par exemple, on mesure un objet, on égalise les longueurs de chemin des faisceaux de mesure et de référence de façon qu'un faisceau de mesure réfléchi par la surface de l'objet présente au total (c'est-à-dire de la source lumineuse au détecteur en passant par la surface de l'objet) à peu près la même longueur de chemin optique que le faisceau de référence (de la source lumineuse au détecteur). Si des parts du faisceau de mesure sont réfléchies par des objets parasites, par exemple de la poussière ou une encapsulation d'un objet à mesurer, la longueur de chemin optique de la source lumineuse au détecteur en passant par l'objet parasite est différente de celle du faisceau de référence, c'est-à-dire que pour cette part du faisceau de mesure, les longueurs de chemin optique ne sont pas égalisées. De ce fait, la part du faisceau de mesure réfléchie par l'objet parasite ne contribue, comme décrit ci-dessus, que de manière insignifiante au signal d'interférence et on évite une falsification de la mesure. Par conséquent, l'utilisation d'une lumière avec une longueur de cohérence limitée prescrit une plage de mesure à l'intérieur de laquelle - I - des signaux de mesure contribuent au signal d'interférence, tandis qu'à l'extérieur de cette plage de mesure des réflexions du faisceau de mesure n'ont qu'une influence négligeable sur le résultat de mesure. L'utilisation d'une lumière avec une longueur de cohérence inférieure à 1 cm rend donc nécessaire une égalisation des longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence. Le dispositif selon l'invention comprend de ce fait un dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique. Le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique permet de faire varier le rapport des longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence. La commande de focalisation commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique de façon que faisceaux de mesure et de référence soient égalisés, c'est-à-dire présentent la même longueur de chemin optique. De cette manière, il est garanti que l'on mesure avec des longueurs de chemin optique égalisées entre faisceaux de mesure et de référence et donc que le rapport signal/bruit est optimal pour la mesure de déplacement et que les erreurs de mesure sont minimalisées. L'égalisation des longueurs de chemin optique peut se faire de différente manière : Dans une forme de réalisation préférée, le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique est disposé dans le chemin optique du faisceau de référence. La commande de focalisation règle le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique de façon que la longueur de chemin optique du faisceau de référence (de la source lumineuse au détecteur) soit modifiée de façon à correspondre à la longueur de chemin optique du faisceau de mesure (de la source lumineuse au détecteur en passant par l'objet), afin que les deux longueurs de chemin optique soient égalisées lors de la mesure. Le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique peut être réalisé, par exemple, en disposant un miroir dans le chemin optique du faisceau de référence, lequel peut être déplacé dans la direction du faisceau au moyen d'un moteur de façon qu'un déplacement du miroir fasse varier la longueur de chemin optique du faisceau de référence. De manière analogue, dans une autre forme de réalisation préférée, une égalisation des longueurs de chemin optique peut être effectuée en disposant le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique dans le chemin optique du faisceau de mesure. -8- Il entre également dans le cadre de l'invention de faire varier la position de l'objet par rapport à l'interféromètre au moyen d'une unité de support d'objet afin que la commande de focalisation puisse faire varier au moyen de l'unité de support d'objet la position de l'objet par rapport à l'interféromètre et par conséquent la longueur de chemin optique du faisceau de mesure et que de ce fait, dans cette forme de réalisation préférée, une égalisation des longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence soit possible. Il entre en outre dans le cadre de l'invention que le dispositif comprenne plusieurs détecteurs et que faisceaux de mesure et de référence soient divisés chacun en plusieurs faisceaux partiels, un faisceau partiel de mesure et un faisceau partiel de référence étant superposés sur chaque détecteur. Dans ce cas, le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique est disposé dans le chemin optique d'un ou plusieurs faisceaux partiels des faisceaux de mesure et de référence, de sorte que les différentes paires de faisceaux de mesure et de référence présentent chacune un rapport différent des longueurs de chemin optique. Le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique comprend dans ce cas une unité de sélection de signal qui est reliée aux détecteurs et à l'unité d'évaluation de signaux. La commande de focalisation règle l'unité de sélection de signal de façon à transmettre à l'unité d'évaluation de signaux le signal du détecteur pour lequel les longueurs de chemin optique sont égalisées. Dans cette forme de réalisation préférée, il ne se produit donc pas un ajustement adaptatif de la longueur de chemin optique mais l'égalisation s'effectue en sélectionnant parmi plusieurs paires de faisceaux de mesure et de référence la paire qui présente des longueurs de chemin optique égalisées ou la plus petite différence dans les longueurs de chemin optique. Bien entendu, il entre aussi dans le cadre de l'invention de 30 combiner deux ou plusieurs des possibilités exposées ci-dessus dans un dispositif. Dans une forme de réalisation préférée, la commande de focalisation est réalisée de façon que la distance de l'objet à mesurer par rapport à l'interféromètre puisse être prescrite. La longueur de chemin 35 optique du faisceau de mesure à l'intérieur de l'interféromètre est prescrite par construction et mémorisée dans la commande de focalisation. La commande de focalisation calcule la longueur de chemin optique du -9- faisceau de mesure (c'est-à-dire la longueur de chemin optique à l'intérieur de l'interféromètre plus la double distance entre interféromètre et objet à mesurer) et commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique de façon à égaliser les faisceaux de mesure et de référence. De manière avantageuse, l'égalisation des longueurs de chemin optique s'effectue cependant en fonction du signal du détecteur. Dans une forme de réalisation préférée, la commande de focalisation est reliée au détecteur et commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique en fonction du signal de mesure du détecteur de façon à égaliser les longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence. De manière avantageuse, dans cette forme de réalisation, l'égalisation est réalisée en fonction d'un signal d'intensité, c'est-à-dire de l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence. L'unité d'évaluation de signaux du dispositif selon l'invention évalue le signal de mesure du détecteur en ce qui concerne l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence. La commande de focalisation règle le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique de façon que l'intensité devienne maximale car lorsque l'intensité du signal d'interférence est maximale, les longueurs de chemin optique des deux faisceaux sont égalisées. Le calcul de l'intensité du signal d'interférence à partir du signal du détecteur peut se faire selon des méthodes connues en soi, comme décrit par exemple dans C. Rembe, A. Drbenstedt, The laser-scanning confocal vibrometer microscope: Theory and experiments , Rev. Sci. Instrum., 77 083702(2006). De manière avantageuse, l'interféromètre du dispositif selon l'invention est réalisé sous forme d'interféromètre hétérodyne. Dans un interféromètre hétérodyne, les fréquences du faisceau de mesure et du faisceau de référence sont décalées l'une par rapport à l'autre, de sorte que l'on peut déterminer à partir du signal d'interférence non seulement la vitesse de déplacement, mais aussi la direction de déplacement de l'objet. Un interféromètre hétérodyne présente typiquement une unité de décalage de fréquence qui est disposée dans le chemin optique du faisceau de mesure ou du faisceau de référence. La fréquence du faisceau de mesure ou du faisceau de référence est décalée au moyen de l'unité de décalage de fréquence, de sorte qu'à partir du signal d'interférence il est possible de - 10 - déterminer la direction de déplacement au moyen de l'unité d'évaluation du vibromètre. Dans cette forme de réalisation avantageuse, le signal d'interférence présente donc une fréquence qui correspond au décalage de fréquence généré par l'unité de décalage de fréquence. De façon correspondante, dans cette forme de réalisation avantageuse, l'unité d'évaluation de signaux est réalisée de façon que l'intensité du signal d'interférence soit déterminée à partir de l'enveloppe du signal d'interférence, c'est-à-dire à partir de l'intensité de signal de la porteuse hétérodyne du signal d'interférence, typiquement avec une largeur de bande de mesure de 70 MHz. La source lumineuse de l'interféromètre est réalisée de façon à générer une lumière avec une longueur de cohérence limitée. Comme décrit précédemment, il ne se produit une interférence bien exploitable des faisceaux de mesure et de référence lors de la superposition sur le détecteur que quand les longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence diffèrent de moins que la longueur de cohérence optique. La longueur de cohérence optique prescrit par conséquent aussi une plage de profondeur sur l'objet, à l'intérieur de laquelle le faisceau de mesure réfléchi contribue à un signal de mesure. La source lumineuse est de ce fait avantageusement réalisée de façon à générer un faisceau lumineux avec une longueur de cohérence inférieure à 50 m, de sorte que des effets parasites résultant de la lumière diffusée ne contribuent pas au signal d'interférence. Il est particulièrement avantageux de choisir la longueur de cohérence inférieure à 20 m, en particulier inférieure à 10 m. La génération d'une lumière avec une longueur de cohérence définie peut s'effectuer de différente manière. En particulier, il est avantageux de réaliser la source lumineuse sous forme de diode superluminescente. De même, il est possible de soumettre la phase d'un laser ou d'une diode laser à du bruit. L'utilisation d'un laser femtoseconde est également envisageable. Le dispositif selon l'invention convient particulièrement pour mesurer des objets encapsulés. Pour cela, il est avantageux de choisir la source lumineuse de façon que le faisceau lumineux ne soit que pas ou peu absorbé par l'encapsulage afin que le faisceau de mesure atteigne l'objet encapsulé quasiment avec l'intensité de départ. Les microsystèmes, en -11- particulier, sont souvent encapsulés dans du silicium ou des matériaux contenant du silicium. Etant donné que l'absorption de lumière par le silicium diminue fortement aux longueurs d'onde supérieures à 1000 nm, il est avantageux de réaliser la source lumineuse de façon qu'elle génère une lumière d'une longueur d'onde supérieure à 1000 nm, particulièrement d'une longueur d'onde comprise entre 1500 et 2500 nm, plus particulièrement d'une longueur d'onde de 1550 nm. Après égalisation des longueurs de chemin, il est possible, avec le dispositif selon l'invention, de mémoriser trois types de données pour le 10 point de mesure à mesurer : Premièrement, il est possible de mémoriser le chemin qui a été nécessaire pour égaliser les faisceaux de mesure et de référence au moyen du dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique. Deuxièmement, il est possible de mémoriser les données de déplacement 15 déterminées pour le point de mesure. Troisièmement, il est possible de mémoriser l'intensité du signal de mesure pour le point de mesure. Si l'objet à mesurer est partiellement transparent, c'est-à-dire présente un indice de réfraction par rapport à la lumière qui varie avec la profondeur, il est possible de déterminer une image tridimensionnelle de 20 l'objet à mesurer au moyen du dispositif selon l'invention. Pour cela, on balaye comme décrit précédemment une certaine plage de mesure en égalisant chaque fois faisceau de mesure et faisceau de référence pour différentes positions en profondeur définies (c'est-à-dire différentes distances de la plage de mesure par rapport à 25 l'interféromètre) dans l'objet à mesurer. Il est ainsi possible d'effectuer une mesure en fonction de la profondeur de pénétration, de sorte que les signaux d'intensité mesurés reproduisent une image en trois dimensions de l'objet à mesurer. Le dispositif selon l'invention comprend par conséquent la fonctionnalité de la tomographie par cohérence optique. 30 En outre, il est possible d'effectuer à différentes positions en profondeur, en particulier à des positions auxquelles le signal d'intensité présente un maximum local, des mesures de vibration comme décrit précédemment, de sorte que l'on dispose en même temps d'une image en trois dimensions de l'objet à mesurer et de données de déplacement en 35 fonction de la profondeur de l'objet à mesurer. Après un balayage de plusieurs points de mesure sur l'objet (par exemple au moyen d'une unité de commande de balayage conne décrit - 12 - ci-après), il est possible de déterminer à partir des données de parcours un profil de surface de l'objet mesuré, des données de déplacement étant disponibles en plus pour chaque point mesuré, de sorte qu'il est possible de calculer aussi des processus de déplacement en trois dimensions, c'est-à- dire en particulier perpendiculairement ( out of plane ) et parallèlement ( in plane ) au faisceau de mesure à partir des données au moyen de méthodes de corrélation connues en soi. Pour la détermination de l'information de déplacement quantitative à partir des données de mesure, il est possible de recourir aux procédésconnus d'analyse de déplacement dans le plan, comme exposés par exemple dans T. Preul3er, M. Rumpf, Extracting Motion Velocities from 3D Image Sequences and Coupled Spatio-Temporal Smoothing , SPIE Conferences on Visualization and Data Analyses, SPIE Vol. 5009, 2003, p. 181-192 et L. Alvarez, J. Weickert, J. Sànchez, A scale-space approach to nonlocal optical flow calculations , Scale-Space 1999, Corfu, Greece, Sept. 1999, Lecture Notes in Computer Science ; 1682, pp. 235-246, Springer 1999. Dans une forme de réalisation préférée, le dispositif selon l'invention pour la mesure optique d'un objet est réalisé sous forme d'interféromètre multifaisceaux. Un multiplicateur de faisceau de faisceau de mesure est ici disposé aussi bien dans le chemin optique du faisceau de mesure que dans le chemin optique du faisceau de référence, de sorte que faisceau de mesure et faisceau de référence sont divisés chacun en au moins deux faisceaux partiels. L'interféromètre comprend en outre au moins un deuxième détecteur, le premier et le deuxième détecteur étant disposés de façon que le premier faisceau de référence soit superposé au premier faisceau de mesure sur le premier détecteur et le deuxième faisceau de référence au deuxième faisceau de mesure sur le deuxième détecteur. L'unité d'évaluation de signaux est reliée aussi bien au premier qu'au deuxième détecteur. De cette manière, il est possible d'évaluer les signaux de mesure des deux détecteurs par rapport à l'intensité du signal de détecteur respectif et par rapport aux données de déplacement. De manière avantageuse, l'unité d'évaluation de signaux est réalisée de façon que les deux signaux puissent être évalués simultanément. Dans une forme de réalisation préférée, les deux faisceaux de mesure sortent séparément du dispositif selon l'invention, de sorte qu'ils - 13 - peuvent être dirigés sur deux points de mesure différents de l'objet à mesurer. Dans cette forme de réalisation, il est donc possible de mesurer en même temps deux points différents sur l'objet. Dans un développement avantageux de l'interféromètre multifaisceaux précédemment décrit, l'interféromètre présente au moins un deuxième dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique, lequel est disposé dans le chemin optique d'un des faisceaux partiels de référence. Dans cette forme de réalisation, il est donc possible de modifier en même temps la longueur de chemin optique des deux faisceaux de référence avec le premier dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique, tandis qu'avec le deuxième dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique on modifie seulement un des deux faisceaux de référence, ce qui permet de prescrire une différence de longueur de chemin entre les faisceaux de référence. Il est ici particulièrement avantageux que le dispositif selon l'invention soit réalisé de façon que seulement un chemin optique de mesure quitte le dispositif selon l'invention. Cela peut être obtenu par le fait qu'au moins deux faisceaux de mesure quittent le dispositif optique sur un chemin optique identique et atteignent par conséquent aussi un point de mesure identique sur l'objet à mesurer. De manière avantageuse, le dispositif est cependant réalisé de façon que le faisceau de mesure soit divisé seulement après retour dans l'interféromètre. Cela permet de générer un faisceau de mesure qui sort du dispositif, est au moins partiellement réfléchi par l'objet à mesurer et rentre ensuite de nouveau dans le dispositif selon l'invention. Après le retour dans le dispositif selon l'invention, le faisceau de mesure traverse un multiplicateur de faisceau et est ainsi divisé en au moins deux faisceaux de mesure qui sont superposés chacun à un faisceau de référence correspondant sur un détecteur. Cette forme de réalisation offre l'avantage que pour un point de mesure sur l'objet à mesurer, des signaux d'interférence sont présents sur au moins deux détecteurs, la différence de longueur de chemin entre faisceaux de mesure et de référence étant différente pour les deux détecteurs et cette différence pouvant être prescrite par le deuxième dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique. De cette manière, on dispose de deux signaux de mesure avec un réglage différent des longueurs de chemin optique entre faisceaux de - 14 - mesure et de référence sans qu'il soit nécessaire de balayer une longueur de chemin optique comme décrit précédemment, c'est-à-dire sans qu'il soit nécessaire d'évaluer plusieurs signaux de mesure successifs dans le temps en faisant varier la longueur de chemin optique. Il est ainsi possible de sélectionner parmi les deux signaux de détecteur celui de plus grande intensité sans qu'un lent balayage de la longueur de chemin optique pour trouver le signal d'intensité maximale soit nécessaire. Bien entendu, une combinaison des deux manières de procéder est possible aussi, en égalisant avec le premier dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique la longueur de chemin optique des deux faisceaux de référence lors d'un réglage grossier et en lisant ensuite les signaux des deux détecteurs puis en évaluant à partir de cela le signal d'interférence maximale. Il est particulièrement avantageux que faisceaux de mesure et de référence soient divisés en un plus grand nombre de faisceaux de mesure et de référence afin qu'ils puissent être superposés sur un plus grand nombre correspondant de détecteurs. Les faisceaux de référence sont munis chacun d'une longueur de chemin optique différente en une suite descendante par des dispositifs correspondants pour faire varier la longueur de chemin optique, de sorte qu'il est possible d'évaluer simultanément un plus grand nombre de signaux de mesure pour différents rapports de longueur de chemin entre faisceaux de mesure et de référence au moyen de l'unité d'évaluation de signaux. De ce fait, il est possible de trouver le signal d'interférence avec des faisceaux de mesure et de référence accordés sans qu'il soit nécessaire d'effectuer une modification de longueur de chemin au moyen du premier dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique. Ou les différences provoquées par le deuxième dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique sont étroitement échelonnées, de sorte qu'après un accord grossier au moyen du premier dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique, il existe une résolution fine de rapports différents de longueurs de chemin optique. De manière avantageuse, le dispositif selon l'invention comprend au moins 50, en particulier au moins 100 détecteurs (et faisceaux de mesure et de référence sont divisés en autant de faisceaux) afin qu'il soit possible d'enregistrer en même temps des signaux de mesure avec 100 rapports d'accord différents entre faisceaux de mesure et de référence. - 15 - De manière avantageuse, le deuxième dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique est réalisé sous forme d'unité à retard optique. Cela peut se faire, par exemple, en guidant le faisceau de référence à travers un milieu optiquement plus dense et en le retardant ainsi. Par rapport au faisceau de référence non retardé, il en résulte une différence de temps qui est équivalente à une longueur de chemin optique. Dans une autre forme de réalisation avantageuse, le dispositif comprend une unité de déplacement et une unité de commande de balayage. Cela permet une mesure en trame de plusieurs points de mesure spécifiés à des emplacements différents sur l'objet à mesurer. L'unité de commande de balayage commande l'unité de déplacement de façon à modifier la position relative de l'objet à mesurer et du faisceau de mesure. Cela permet de diriger le faisceau de mesure sur au moins deux points de mesure spécifiés à des emplacements différents sur l'objet. L'unité de déplacement peut être disposée sur l'objet, par exemple sur une table X-Y qui peut déplacer l'objet dans deux directions de l'espace essentiellement perpendiculairement au faisceau de mesure. Il est cependant possible aussi de disposer l'unité de déplacement dans le chemin optique du faisceau de mesure de façon que le faisceau de mesure puisse être dévié sur des points spécifiés de l'objet à mesurer. Dans cette forme de réalisation avantageuse, il est possible, après le balayage de l'objet, de générer une topographie de surface de l'objet mesuré par les différences de chemin mémorisées pour chaque point de mesure en vue d'égaliser les faisceaux de mesure et de référence. En particulier pour mesurer des objets de la microtechnique, par exemple des capteurs de vitesse de rotation, d'accélération et de pression encapsulés dans du silicium, il est avantageux que le dispositif soit réalisé sous forme de microscope confocal. Le faisceau de mesure est alors focalisé sur le point de mesure de l'objet à mesurer au moyen d'un objectif Le faisceau de mesure au moins partiellement réfléchi par l'objet entre de nouveau dans le microscope confocal via le chemin optique de l'objectif Le dispositif présente en outre un filtre spatial qui est disposé dans le chemin optique du faisceau de mesure de façon que des rayons non focaux, qui arrivent de points situés en dehors du foyer de l'objectif sur l'objet, soient essentiellement éliminés par le filtre spatial. -16- Un tel filtre spatial peut typiquement être réalisé par un diaphragme à trou qui est disposé dans le chemin optique du faisceau de mesure. Deux exemples de réalisation de l'invention sont décrits et expliqués en détail ci-après à l'aide des dessins joints qui montrent : fig. 1 un exemple de réalisation du dispositif selon l'invention pour la mesure optique d'un objet, dans lequel l'interféromètre est réalisé sous forme d'interféromètre multifaisceaux, et fig. 2 un exemple de réalisation dans lequel différents rapports 10 d'accord entre faisceaux de mesure et de référence sont obtenus par un élément d'aberration optique. La fig. 1 représente un dispositif selon l'invention pour la mesure optique de l'objet 1. Il comprend une unité d'évaluation de signaux 2 ainsi qu'un interféromètre avec une source lumineuse 3 et un total de 100 15 détecteurs dont seulement quatre, disposés sur une ligne horizontale, sont représentés et dont les deux extérieurs sont identifiés par les références numériques 4a et 4d. L'interféromètre comprend en outre un miroir de déviation 5, quatre diviseurs de faisceau 6a à 6d, deux multiplicateurs de faisceau 7a et 20 7b, deux cellules de Bragg 8a et 8b, deux lames 2L,/4 9a et 9b, une unité à retard optique 10 et un miroir de référence 11 déplaçable au moyen d'un moteur. La source lumineuse 3 est réalisée de façon à générer une lumière avec une longueur de cohérence d'environ 20 m. Le faisceau 25 lumineux 12 émis par la source lumineuse est dévié sur le diviseur de faisceau 6a par le miroir de déviation 5. Là, il se divise en un faisceau de mesure 12a et un faisceau de référence 12b. Le faisceau de mesure 12a traverse la cellule de Bragg 8a, le deuxième diviseur de faisceau 6b et est focalisé sur l'objet à mesurer 1 au moyen de lentilles et via la lame 2L,/4 9a. 30 Le faisceau de mesure 12a au moins partiellement réfléchi par l'objet 1 traverse de nouveau la lame 2L,/4 9a, est dévié par le deuxième diviseur de faisceau 6b sur le multiplicateur de faisceau 7b et atteint les quatre détecteurs 4a à 4d après avoir traversé le multiplicateur de faisceau 7b et le troisième diviseur de faisceau 6c. 35 La source lumineuse génère une lumière polarisée, de sorte qu'une déviation des faisceaux lumineux sans perte d'intensité est possible - 17 - au moyen des lames 2L,/4 9a et 9b en combinaison avec les diviseurs de faisceau polarisants. L'interféromètre de l'exemple de réalisation est réalisé sous forme d'interféromètre hétérodyne : au moyen des deux cellules de Bragg 8a et 8b, faisceau de mesure 12a et faisceau de référence 12b sont décalés l'un par rapport à l'autre en ce qui concerne la fréquence. Le faisceau de référence 12b traverse le quatrième diviseur de faisceau 6d et atteint le miroir de référence 11 déplaçable par moteur, y est réfléchi et est dévié par le quatrième diviseur de faisceau 6d sur la deuxième cellule de Bragg 8b. Ensuite, le faisceau de référence 12b est ouvert en éventail par le multiplicateur de faisceau 7a et traverse l'unité à retard optique 10 où les différents faisceaux partiels sont chacun retardés d'une manière différente, de sorte qu'après la traversée de l'unité à retard optique 10 une longueur de chemin optique différente peut être associée à chacun des faisceaux partiels. Le faisceau de référence ouvert en éventail est dévié au moyen du troisième diviseur de faisceau 6c sur les 100 détecteurs (dont seul les détecteurs 4a à 4b sont représentés ici) et y sont superposés au faisceau de mesure 12a ouvert en éventail. Il existe donc sur chaque détecteur un rapport d'accord différent entre faisceaux de mesure et de référence. L'unité d'évaluation de signaux 2 est reliée aux détecteurs (représentés : détecteurs 4a à 4d) et au moteur du miroir de référence 11 déplaçable par moteur. L'unité d'évaluation de signaux comprend les composants suivants : un diviseur de signaux 2a, une saisie de données analogique-numérique (AN) 2b, une évaluation d'intensité de signaux 2c, une commande de focalisation 2d, un multiplexeur 2e et une unité d'évaluation de vibromètre 2f. Les signaux de mesure des détecteurs (représentés : 4a à 4d) sont dirigés au moyen du diviseur de signaux 2a d'une part vers la saisie de 30 données AN 2b et d'autre part vers le multiplexeur 2e. La saisie de données AN 2b est réalisée de façon que l'intensité de signal des signaux de sortie de chacun des détecteurs soit déterminée et convertie en un signal numérique. Intensité de signal signifie ici que l'on détermine l'intensité momentanée du signal d'interférence à partir de 35 l'enveloppe du signal de sortie généré par les détecteurs respectifs. Les intensités de signal disponibles sous forme numérique sont évaluées à plusieurs points de vue dans l'évaluation de signaux 2c. - 18 - D'une part, l'intensité de signal du signal le plus fort est transmise à la commande de focalisation 2d. Le numéro de canal, c'est-à-dire le numéro du détecteur avec le signal de plus forte intensité, est également transmis au multiplexeur 2e. Un processus de mesure se déroule donc comme suit : L'unité à retard optique 10 associe à chacun des détecteurs un retard différent du faisceau de référence. Le moteur du miroir de référence 11 est commandé au moyen de la commande de focalisation 2d de façon qu'un signal de mesure maximal soit présent à un détecteur avec un retard moyen entre faisceaux de mesure et de référence. Faisceaux de mesure et de référence sont donc à peu près égalisés pour ce détecteur. On réalise ainsi le réglage grossier. Dès que cette égalisation de la longueur de chemin optique du faisceau de référence a été effectuée, l'évaluation d'intensité de signaux 2c transmet le numéro de canal du canal qui présente le signal de détecteur le plus fort au multiplexeur 2e. Le multiplexeur 2e transmet le signal d'interférence du détecteur qui présente le signal d'interférence le plus fort à l'unité d'évaluation de vibromètre 2f. L'unité d'évaluation de vibromètre 2f évalue le signal d'interférence qui lui a été transmis d'une manière connue en soi, c'est-à-dire qu'elle détermine la vitesse de déplacement et la direction de déplacement du point de mesure à mesurer sur l'objet 1 et mémorise ces données. Le dispositif selon l'invention représenté sur la figure 1 permet donc pour la première fois de mesurer pour l'objet 1 aussi bien l'intensité du signal d'interférence que la vitesse de déplacement et la direction de déplacement du point de mesure mesuré sur l'objet 1. En raison de la longueur de cohérence limitée de la source lumineuse 3, seules contribuent à un signal d'interférence sur l'un des détecteurs 4a à 4d les réflexions lumineuses de l'objet à mesurer 1 qui ont lieu dans les limites de la longueur de cohérence d'environ 20 m de la plage de focalisation réglée au moyen du miroir de référence 11. Par conséquent, il est possible, au moyen du miroir de référence 11, de régler une plage dans laquelle des signaux de mesure sont enregistrés. La source lumineuse 3 génère une lumière d'une longueur d'onde d'environ 1550 nm. Cela permet d'effectuer une mesure même sur des objets à mesurer encapsulés dans du silicium car le silicium n'absorbe - 19 - pratiquement pas la lumière de cette longueur d'onde et la technique de transmission par fibre optique met à disposition des composants optiques appropriés. Il entre aussi dans le cadre de l'invention de générer les rapports d'accord différents décrits ci-dessus entre faisceaux de mesure et de référence par aberration chromatique. La figure 2 représente un exemple de réalisation dont la structure de base correspondant à l'exemple de réalisation représenté sur la figure 1. Le processus de mesure et d'évaluation se déroule aussi comme décrit ci-dessus. Une différence essentielle consiste en ce que faisceaux de mesure et de référence ne sont pas divisés au moyen de deux multiplicateurs de faisceau 7a et 7b comme représenté sur la figure 1 et que l'on n'introduit pas de retard optique par un élément à retard 10. A la place de cela, l'exemple de réalisation de la figure 2 présente un élément d'aberration optique 20 et un réseau de translation 21. Le faisceau de mesure 12a traverse l'élément d'aberration 20 et atteint ensuite l'objet à mesurer 1. L'élément d'aberration génère différents foyers pour différentes composantes de longueur d'onde du faisceau de mesure, c'est-à-dire qu'il est possible d'associer au faisceau de mesure une plage de focalisation différente en fonction de la longueur d'onde. Le faisceau de mesure au moins partiellement réfléchi par l'objet 1 traverse, comme sur la figure 1, la lame 2L,/4 9a et est dévié par le deuxième diviseur de faisceau 6b sur le troisième diviseur de faisceau 6c. Après avoir traversé le troisième diviseur de faisceau 6c, le faisceau de mesure superposé au faisceau de référence 12b atteint le réseau de translation 21. Les différentes composantes de longueur d'onde des faisceaux de mesure et de référence superposés sont ici déviées chacune sur un des détecteurs 4a à 4d. Comme sur la figure 2, seuls quatre des 100 détecteurs présents au total sont représentés à titre d'exemple. L'essentiel est qu'au moyen du réseau de translation, une certaine composante de longueur d'onde des faisceaux de mesure et de référence superposés puisse être associée à chaque détecteur afin qu'en raison des différents foyers des composantes de longueur d'onde du faisceau de mesure, il existe sur chaque détecteur un rapport d'accord différent entre faisceaux de mesure et de référence. - 20 - La structure de principe pour générer des rapports d'accord différents par aberration optique est décrite dans Papasathopoulos, Karner, Osten, Chromatic confocal spectral interferometry , Applied Optics, Vol. 45, No 32, 10 November 2006, pp. 8244-8252. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrit et représenté aux dessins annexés. Des modifications restent possibles, notamment du point de vue de la constitution des divers éléments ou par substitution d'équivalents techniques, sans sortir pour autant du domaine de protection de l'invention. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour la mesure optique d'un objet, comprenant une unité d'évaluation de signaux (2) ainsi qu'un interféromètre avec une source lumineuse (3) et avec au moins un détecteur (4a, 4d), l'interféromètre étant réalisé de façon qu'un faisceau lumineux (12) généré par la source lumineuse (3) soit divisé au moins en un faisceau de mesure (12a) et un faisceau de référence (12b), le faisceau de mesure (12a) atteignant l'objet (1) et le faisceau de mesure (12a) au moins partiellement réfléchi par l'objet étant superposé au faisceau de référence (12b) sur le détecteur (4a, 4d) et l'unité d'évaluation de signaux (2) étant reliée au détecteur (4a, 4d) et comprenant une unité d'évaluation de vibromètre (2f) qui est réalisée de façon qu'elle détermine des données de déplacement de l'objet (1) à partir des signaux de mesure du détecteur (4a, 4d), dispositif, caractérisé en ce que la source lumineuse (3) est réalisée de façon qu'elle génère une lumière avec une longueur de cohérence inférieure à 1 cm et que le dispositif comprend une commande de focalisation (2d) et un dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique (11) commandé par la commande de focalisation (2d), le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique (11) étant disposé de façon que la longueur de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence soit modifiée en fonction des signaux de commande de la commande de focalisation au moyen du dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique (11) et la commande de focalisation étant réalisée de façon qu'elle commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique de façon que les longueurs de chemin optique des faisceaux de mesure et de référence soient égalisées. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique 30 (11) est disposé dans le chemin optique de l'interféromètre, en particulier dans le chemin optique du faisceau de référence (12b). 3. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que- 22 - l'unité d'évaluation de signaux (2) est réalisée de façon qu'elle évalue le signal de mesure du détecteur en ce qui concerne l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure (12a) et de référence (12b). 4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la commande de focalisation est reliée à l'unité d'évaluation de signaux (2) et réalisée de façon qu'elle commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique en fonction du signal de mesure du détecteur, en particulier qu'elle commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique en fonction de l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure (12a) et de référence (12b). 5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'interféromètre est réalisé sous forme d'interféromètre hétérodyne, avec une unité de décalage de fréquence (8a, 8b) qui est disposée dans le chemin optique des faisceaux de mesure (12a) et de référence (12b) et réalisée de façon qu'elle décale la fréquence des faisceaux de mesure et de référence, que l'unité d'évaluation de vibromètre (2f) est réalisée sous forme d'unité d'évaluation de vibromètre hétérodyne de façon qu'elle détermine avec les données de déplacement également la direction de déplacement de l'objet (1), en particulier que l'unité d'évaluation de signaux (2) est réalisée de façon qu'elle détermine l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure (12a) et de référence (12b) à partir de l'intensité de porteuse du signal hétérodyne du détecteur. 6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la source lumineuse (3) est réalisée de façon qu'elle génère un faisceau lumineux avec une longueur de cohérence inférieure à 50 m, en particulier inférieure à 20 m, plus particulièrement inférieure à 10 m. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que la source lumineuse (3) est réalisée de façon qu'elle génère un faisceau lumineux avec un spectre de fréquences à large bande de façon que le faisceau lumineux possède une longueur de cohérence inférieure à 50 m, en particulier inférieure à 20 m, plus particulièrement inférieure à 10 m.-23 - 8. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que la source lumineuse (3) est réalisée de façon qu'elle génère un faisceau lumineux avec une phase variable dans le temps de façon que le faisceau lumineux possède une longueur de cohérence inférieure à 50 m, en particulier inférieure à 20 m, plus particulièrement inférieure à 10 m. 9. Dispositif selon l'une des revendications 5 à 8, caractérisé en ce que le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique est réalisé sous forme de miroir optique de référence (11) déplaçable linéairement et disposé dans le chemin optique du faisceau de référence (12a) de façon que le miroir de référence puisse être déplacé dans la direction du faisceau de référence (12a). 10. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, 15 caractérisé en ce que la source lumineuse (3) est réalisée de façon à ce qu'elle génère un faisceau lumineux d'une longueur d'onde supérieure à 1000 nm, en particulier d'une longueur d'onde comprise entre 1500 et 2500 nm, plus particulièrement d'une longueur d'onde de 1550 nm. 20 11. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'unité d'évaluation de signaux (2) possède une sortie de commande qui est reliée au dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique et commande celui-ci de façon que l'intensité du signal 25 d'interférence des faisceaux de mesure et de référence soit déterminée pour au moins deux longueurs de chemin optique spécifiées du faisceau de référence (12a) et que, pour la longueur de chemin optique présentant le signal d'interférence maximal, les données de déplacement de l'objet soient déterminées au moyen de l'unité d'évaluation de vibromètre (2f) et/ou 30 l'intensité du signal d'interférence soit mémorisée séparément. 12. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'interféromètre est réalisé sous forme d'interféromètre multifaisceaux, avec un diviseur de faisceau de mesure (7b) qui est disposé 35 dans le chemin optique du faisceau de mesure (12b) et réalisé de façon qu'il divise le faisceau de mesure en au moins deux faisceaux partiels et avec un diviseur de faisceau de référence (7a) qui est disposé dans le chemin- 24 - optique du faisceau de référence (12a) et réalisé de façon qu'il divise le faisceau de référence en au moins deux faisceaux partiels, que l'interféromètre présente au moins un deuxième détecteur (4d) et est réalisé de façon que le premier faisceau de mesure soit superposé au premier faisceau de référence sur le premier détecteur (4a) et le deuxième faisceau de mesure au deuxième faisceau de référence sur le deuxième détecteur (4b) et que l'unité d'évaluation de signaux (2) est reliée aussi bien au premier qu'au deuxième détecteur et réalisée de façon qu'elle évalue les signaux de mesure des deux détecteurs, en particulier qu'elle évalue simultanément les données des deux détecteurs. 13. Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'interféromètre présente au moins un deuxième dispositif (10) pour faire varier la longueur de chemin optique, lequel est disposé dans le chemin optique d'un des faisceaux partiels de référence ou d'un des faisceaux partiels de mesure. 14. Dispositif selon l'une des revendications 12 à 13, caractérisé en ce que le diviseur de faisceau de mesure est disposé dans le chemin optique du faisceau de mesure (12b) entre l'objet (1) et le détecteur (4a, 4d) de façon que le faisceau de mesure atteigne l'objet à mesurer sans être divisé et que le faisceau de mesure au moins partiellement réfléchi par l'objet soit divisé en faisceaux partiels par le diviseur de faisceau de mesure (7b). 15. Dispositif selon l'une des revendications 13 à 14, caractérisé en ce que le deuxième dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique est réalisé sous forme d'unité à retard optique (10). 16. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif comprend une unité de déplacement et une unité de commande de balayage, l'unité de commande de balayage étant réalisée de façon à coopérer avec l'unité de déplacement de façon que l'unité de commande de balayage commande l'unité de déplacement au moyen de signaux de commande de façon à modifier la position relative de l'objet à mesurer et du faisceau de mesure afin que le faisceau de mesure puisse être-dirigé sur au moins deux points de mesure spécifiés à des emplacements différents sur l'objet. 17. Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'unité de déplacement est réalisée sous forme d'unité de déviation optique qui est disposée dans le chemin optique du faisceau de mesure entre la source lumineuse et l'objet et réalisée de façon que le faisceau de mesure soit dévié au choix dans au moins deux directions de l'espace spécifiées, de façon que le faisceau de mesure atteigne au moins deux points de mesure spécifiés à des emplacements différents sur l'objet. 18. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif est réalisé sous forme de microscope confocal, avec un objectif et un filtre spatial, l'objectif et le filtre spatial étant disposés dans le chemin optique du faisceau de mesure de façon que des rayons non focaux qui arrivent de points situés en dehors du foyer de l'objectif soient essentiellement éliminés par le filtre spatial. 19. Dispositif selon l'une des revendications 3 à 17, caractérisé en ce que la commande de focalisation est réalisée de façon qu'elle commande le dispositif pour faire varier la longueur de chemin optique de façon à égaliser chaque fois les longueurs de chemin des faisceaux de mesure et de référence pour plusieurs plages de profondeur spécifiées et que le dispositif est réalisé de façon à évaluer l'intensité du signal d'interférence des faisceaux de mesure et de référence pour chaque plage de profondeur spécifiée.