Brevet FR2915572A1 — publié le 20081031

PROCEDE DE MAINTENANCE D'UNE MATRICE DE DETECTEURS DU TYPE BOLOMETRE POUR LA DETECTION ET LA MESURE DE L'ENERGIE RAYONNANTE La présente invention porte sur un procédé de maintenance d'une matrice de détecteurs du type bolomètre, tels que les matrices à plan focal couramment dénommés FPA ou Focal Plan Array , pour la détection et la mesure de l'énergie rayonnante (infrarouge, visible ou ultraviolet) en provenance d'une scène radiative déterminée. A titre d'exemple, des matrices à détecteurs de type bolomètre sont décrits dans les documents WO 2006/100662 et WO2006/100663. II est couramment utilisé dans les matrices de détecteurs du type bolomètre une structure de type à pont de Wheatstone ou à structure différentielle (par exemple telle qu'illustrée à la figure 1 du document FR 2 846 666) avec des éléments résistifs appropriés, de manière courante en oxyde de vanadium Vox ou en silicium amorphe, permettant de réduire la sensibilité de ces détecteurs aux variations de température ambiante. Toutefois, les matrices de détecteurs du type bolomètre restent très sensibles aux variations de température ambiante. Par ailleurs, du fait que chaque détecteur du type bolomètre a un emplacement relatif différent, chaque détecteur est soumis à des conditions de radiation différentes, qui sont susceptibles de modifier les caractéristiques de paramétrage de chaque détecteur. De plus, les dispersions des propriétés physiques de résistance, de réponse et de sensibilité de chaque détecteur ajoutent des dispersions d'uniformité de réponse sur une radiation incidente uniforme De ce fait, une même radiation risque d'être mesurée avec une valeur différente en fonction de l'emplacement des détecteurs. Afin de réduire les différences de paramétrage entre les détecteurs de la matrice, il est proposé selon l'art antérieur de prévoir un système de compensation de la non-uniformité des détecteurs du type bolomètre, par exemple pour compenser les différences d'offset et de gain de chaque détecteur. Pour ce faire, il est déterminé au préalable les caractéristiques intrinsèques de chaque détecteur du type bolomètre à l'aide de prémesures du gain et de l'offset de chaque détecteur réalisées à des températures constantes prédéfinies. II en est alors déduit une première matrice (ou table look up) pour le gain et une seconde matrice (ou table look-up) pour l'offset, l'utilisation de ces deux matrices permettant d'ajuster au cours du temps le gain et l'offset pour chaque détecteur. Toutefois, afin d'obtenir des mesures les plus précises possibles à partir de chaque détecteur, il est nécessaire de mettre à jour régulièrement (en général toutes les 2 à 3 minutes) la matrice de l'offset, par exemple en montrant une image homogène à la matrice, en général à l'aide d'un obturateur masquant la scène radiative, ce qui résulte en un nouveau calibrage de la matrice de l'offset. Toutefois, le présent demandeur a constaté que, malgré la mise à jour régulière de la matrice de l'offset ou de gain et un ajustage régulier des différentes valeurs de gain et d'offset de chaque détecteur au cours du temps, il existe une rémanence des matrices de détecteurs du type bolomètre après exposition de cette matrice à un fort éblouissement ou à un flux important de longue durée (par exemple l'observation du soleil pendant quelques secondes). Cette rémanence, pouvant durer plusieurs jours, voire plusieurs semaines, s'explique du fait de la présence d'un état d'équilibre instable dans lequel se trouvent les matériaux constituant les surfaces sensibles des détecteurs du type bolomètre résultant de l'échauffement de certains détecteurs par rapport à d'autres. Durant cette période transitoire d'instabilité, les valeurs obtenues par les détecteurs sont fortement décalées d'un détecteur à l'autre du fait de la présence d'une image fantôme localisée sur les détecteurs ayant subit l'exposition à un fort éblouissement, II serait donc particulièrement intéressant de proposer un procédé permettant de stabiliser les différents détecteurs du type bolomètre d'une matrice pour retrouver une uniformité des différents détecteurs de la matrice. II a été proposé, pour la maintenance de matrices à bolomètres et la réinitialisation des détecteurs, une méthode à l'aide d'un réchauffement de la matrice de détecteurs du type bolomètre par un élément Peltier situé sous le substrat recevant les micro-ponts. Selon cette méthode, il est chauffé chacun des détecteurs à l'aide de l'élément Peltier pour que tous les détecteurs de la matrice se retrouvent à une même température et puissent refroidir de manière uniforme pour tous les détecteurs. Toutefois, cette méthode présente deux inconvénients majeurs : elle entraîne une forte consommation en courant de l'élément Peltier pendant les phases de réchauffement et de refroidissement et nécessite d'ajouter d'au moins un élément Peltier sous la matrice de détecteurs. Il serait donc particulièrement intéressant de réaliser une méthode 25 d'uniformisation des détecteurs d'une matrice dite FPA ne nécessitant pas une forte consommation de courant, ni l'ajout d'éléments supplémentaires. Un des objets de l'invention est d'uniformiser les détecteurs de type bolomètre d'une matrice dite FPA qui sont en phase de rémanence après 30 une forte ou longue exposition à une radiation importante ou intense, telle qu'issue de sources à températures élevées ou de feux. Un des objets de l'invention est d'uniformiser spatialement les détecteurs du type bolomètre d'une matrice à plan focal dite FPA. Un des objets de l'invention est de limiter la consommation électrique d'une matrice à plan focal tout en n'ajoutant pas un apport énergétique extérieur, par exemple du type élément Peltier ou four, au détecteur de la matrice dite FPA. Un des objets de l'invention est de réaliser une méthode d'uniformisation des 10 détecteurs d'une matrice dite FPA commandable aussi bien par l'utilisateur que par le détecteur du type bolomètre lui-même de manière automatique. Un des objets de l'invention est également de proposer une méthode d'uniformisation des détecteurs d'une matrice dite FPA dont les disparités 15 intrinsèques des offsets ou des gains sont trop prépondérantes. Un des objets de l'invention est de proposer une méthode d'uniformisation aussi bien d'une partie que de la totalité des détecteurs d'une matrice dite FPA. Un des objets de l'invention est également de proposer une méthode d'uniformisation des pixels d'une matrice dite FPA n'entraînant pas de risques élevés de dégazage et d'assurer la pérennité du niveau de vide dans le boîtier enfermant la matrice dite FPA de détecteurs du type bolomètre. 25 Pour ce faire, selon un premier de ses aspects, la présente invention porte sur un procédé de maintenance d'une matrice de (i x j) détecteurs du type bolomètre comprenant les étapes suivantes : Fourniture d'une matrice de (i x j) détecteurs du type bolomètre pour la 30 détection et la mesure de la radiation électromagnétique issue d'une scène radiative ; Mesure de la température et/ou de la résistance d'un élément résistif d'au moins un des (i x j) détecteurs ; 20 Fixation d'une température et/ou d'une résistance seuil, supérieure à la température et/ou la résistance mesurée, à laquelle doit être amené ledit au moins un des (i x j) détecteurs ; Alimentation en courant d'au moins un élément résistif dudit au moins un des (i x j) détecteurs, en dehors des périodes de détection et/ou de mesure des radiations issues de la scène radiative ; Dissipation de chaleur par effet Joule issue dudit élément résistif alimenté ; Echauffement dudit au moins un des (i x j) détecteurs comprenant ledit élément résistif alimenté jusqu'à ladite température ou résistance seuil ; Contrôle du refroidissement dudit au moins un des (i x j) détecteurs par asservissement du courant alimenté et de la puissance par effet Joule dissipée au cours du temps. Afin de permettre la maintenance et la ré-uniformisation de tout ou partie des (i x j) détecteurs, il est prévu une étape de mesure de la température et/ou de la résistance de tout ou partie des (i x j) détecteurs. De manière à uniformiser la température et/ou la résistance des (i x j) détecteurs, la valeur de la température et/ou de la résistance seuil est fixée en fonction de la température et/ou de la résistance de l'ensemble des (i x j) détecteurs. Afin d'automatiser le procédé selon l'invention, il comprend une étape de traitement des températures et/ou des résistances mesurées à l'aide d'un algorithme de traitement de données permettant de déterminer la valeur des courants à fournir aux éléments résistifs des (i x j) détecteurs de la matrice pour que la température et/ou la résistance d'au moins un élément résistif d'au moins une partie de l'ensemble des (i x j) détecteurs atteigne la même valeur de température et/ou de résistance seuil après formation d'un effet Joule issu des éléments résistifs alimentés en courant. Afin de sélectionner les détecteurs à alimenter en courant, le procédé selon l'invention comprend une étape de sélection des détecteurs à alimenter en courant et/ou une étape d'alimentation en courant des détecteurs sélectionnés réalisée(s) à partir d'un adressage du type CMOS. Selon un second de ses aspects, la présente invention porte sur un ensemble matriciel à plan focal comprenant une matrice de (i x j) détecteurs du type bolomètre et présentant des moyens de maintenance de ladite matrice, lesdits moyens de maintenance comprenant : des moyens de mesure de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif de chacun des (i x j) détecteurs du type bolomètre ; des moyens d'uniformisation de la température et/ou de la résistance de l'ensemble des (i x j) détecteurs du type bolomètre à l'aide des mesures relevées par lesdits moyens de mesure, lesdits moyens d'uniformisation comprenant : ^ Une unité de traitement des mesures de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif d'au moins un des (i x j) détecteurs relevées par lesdits moyens de mesure ; ^ Une unité de commande de l'alimentation en courant des (i x j) détecteurs; • Une unité de calcul du courant à appliquer par ladite unité de commande de l'alimentation en courant au dit au moins un des (i x j) détecteurs pour que ledit au moins un des (i x j) détecteurs atteigne une température et/ou une résistance seuil après dissipation d'énergie par effet Joule ; ^ Une unité de calcul d'asservissement du courant à appliquer par ladite unité de commande de l'alimentation en courant au dit au moins un des (ix j) détecteurs pour que ledit au moins un des (i x j) détecteurs suive un cycle de refroidissement contrôlé au cours du temps. La présente invention est maintenant décrite à l'aide d'un exemple uniquement illustratif et nullement limitatif de la portée de l'invention, et à partir des illustrations ci-jointes, dans lesquelles : La figure 1 est une représentation schématique simplifiée d'une matrice de bolomètres dite FPA de type connu en soi ; et La figure 2 est une représentation schématique de la structure à pont de Wheatstone d'un détecteur d'une matrice dite FPA ; La figure 3 est une vue en coupe simplifiée de la structure générale d'une matrice dite FPA. Comme représenté schématiquement sur la figure 1, une matrice 1 dite FPA typique présente i lignes et j colonnes et donc comprend (i x j) détecteurs du type bolomètre. La mesure et la lecture de la matrice 1 sont réalisées tout d'abord en sélectionnant une des i lignes de la matrice à l'aide d'un sélectionneur de lignes 2. Une fois la ligne sélectionnée, il est enregistré les valeurs de tous les détecteurs de la ligne sélectionnée qui sont ensuite fournies aux entrées des amplificateurs A, - Ai de la colonne j correspondante. La figure 2 représente une vue schématique de la structure à pont de Wheatstone d'un des (i x j) détecteurs de la matrice illustrée à la figure 1. Afin de fournir une mesure différentielle, tous les détecteurs présentent, aux 25 dispersions de process de fabrication près, les mêmes caractéristiques, à savoir la même résistivité, le même coefficient de résistance thermique, ainsi que les mêmes capacitances et résistances thermiques, chacun des (i x j) détecteurs étant disposé sous la forme d'un pont de Wheatstone ou à structure différentielle avec une pluralité d'éléments résistifs, à savoir: 30 û une résistance Rp active spécifique à chaque détecteur, thermiquement isolée et exposée à la zone ou scène de détection/mesure ; une résistance Riigne commune à tous les détecteurs de chaque ligne, totalement masquée de la zone ou scène de détection/mesure ;20 une résistance Rm commune à tous les détecteurs de la matrice dite FPA et thermiquement court-circuitée sur le substrat de la matrice dite FPA ; une résistance Rcol commune à tous les détecteurs d'une même colonne et thermiquement court-circuitée sur le substrat de la matrice dite FPA. Ainsi, la matrice dite FPA telle que représentée sur la figure 1 comprend (i x j) résistances Rp, j résistances Rco,, i résistances Riigne et une seule résistance Rm. Toutefois, il est également possible de concevoir chacune de ces résistances Rp, Riigne, R0Qi et Rm par plusieurs résistances en parallèles. La figure 3 représente une vue en coupe schématique simplifiée d'une matrice 1 dite FPA comprenant un boîtier 3 dans lequel est inclus un substrat 4 sur lequel est fixé un ensemble à circuit imprimé 5 présentant la pluralité des résistances nécessaires pour les détecteurs et telles que précédemment décrites, et faisant face à une fenêtre 6 préférentiellement infrarouge. Le boîtier 3 est hermétiquement clos et sous vide. Selon l'art antérieur, il est prévu un élément Peltier 7 placé sous le substrat 4, qu'il est prévu de supprimer selon le procédé selon l'invention. En effet, selon l'invention, il est proposé un procédé de maintenance d'une matrice de (i x j) détecteurs du type bolomètre comprenant, dans un premier temps, une étape de fourniture d'une matrice de (i x j) détecteurs du type bolomètre pour la détection et la mesure de la radiation électromagnétique issue d'une zone ou scène radiative. Il est ensuite procédé à la mesure de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif, préférentiellement de la résistance de la résistance active Rp, de tout ou partie des (i x j) détecteurs, et préférentiellement de chacun des (i x j) détecteurs, notamment à l'aide de moyens de mesure de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif de chacun des (i x j) détecteurs de type bolomètre. Afin de réinitialiser l'état de stabilité de la matrice à une valeur donnée, il est alors fixé une température ou une résistance seuil, supérieure à la température et/ou la résistance mesurée(s), à laquelle doit être amené ledit au moins un des (i x j) détecteurs. En effet, puisque la résistance des éléments résistifs des (i x j) détecteurs est dépendante de la température, il est possible de contrôler l'état de stabilité des détecteurs soit en contrôlant la résistance de chacun des éléments résistifs, soit en contrôlant la température de chacun des détecteurs. Préférentiellement, la valeur de la température ou de la résistance seuil est fixée en fonction des propriétés thermodynamiques de l'ensemble des (i x j) détecteurs, de manière à chauffer tous les (i x j) jusqu'à cette température seuil. Pour ce faire, il est procédé à l'alimentation en courant d'au moins un élément résistif, préférentiellement la résistance active Rp, dudit au moins un des (i x j) détecteurs. Du fait de l'alimentation en courant, il y a alors lieu à une dissipation de chaleur par effet Joule issue dudit élément résistif alimenté résultant en un échauffement dudit au moins un des (i x j) détecteurs comprenant ledit élément résistif alimenté jusqu'à ladite température ou résistance seuil, étant entendu qu'il conviendra de déterminer la valeur du courant à appliquer à l'élément résistif pour produire l'effet Joule souhaité jusqu'à ce que le détecteur ait atteint la température ou résistance seuil. Pour ce faire, l'ensemble matriciel à plan focal selon l'invention présente des moyens de maintenance de la matrice de (i x j) détecteurs du type bolomètre comprenant, en outre des moyens de mesure de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif de chacun des (i x j) détecteurs, mais également des moyens d'uniformisation de la température et/ou de la résistance d'au moins une partie de l'ensemble des (i x j) détecteurs du type bolomètre à l'aide des mesures relevées par lesdits moyens de mesure, lesdits moyens d'uniformisation comprenant une unité de traitement des mesures de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif d'au moins un des (i x j) détecteurs relevées par lesdits moyens de mesure ; une unité de commande de l'alimentation en courant des (i x j) détecteurs; et une unité de calcul du courant à appliquer par ladite unité de commande de l'alimentation en courant au dit au moins un des (ix j) détecteurs pour que ledit au moins un des (i x j) détecteurs atteigne une température et/ou une résistance seuil après dissipation d'énergie par effet Joule. Préférentiellement, les moyens de mesure mesurent la température et/ou la résistance d'au moins un élément résistif d'un des (i x j) détecteurs, préférentiellement la résistance de l'élément résistif Rp, au cours du temps et sont aptes à commander l'arrêt de l'alimentation en courant quand la température ou la résistance seuil est atteinte. Avantageusement, il est prévu selon l'invention une étape de traitement des températures et/ou des résistances mesurées à l'aide d'un algorithme de traitement de données permettant de déterminer la valeur des courants à fournir aux éléments résistifs des (i x j) détecteurs de la matrice pour que la température et/ou la résistance d'au moins un élément résistif d'au moins une partie de l'ensemble des (i x j) détecteurs atteigne la même valeur de température et/ou de résistance seuil après formation d'un effet Joule issu des éléments résistifs alimentés en courant. Afin de contrôler la température de refroidissement des ( i x j ) détecteurs, il est également prévu selon l'invention une étape d'asservissement du courant à appliquer par ladite unité de commande de l'alimentation en courant au dit au moins un des (ix j) détecteurs pour que ledit au moins un des (i x j) détecteurs suive un cycle de refroidissement contrôlé au cours du temps, l'alimentation en courant se faisant indifférentement soit de manière continue, soit de manière pulsée. Préférentiellement, cette étape d'asservissement du courant est réalisée à partir d'une unité de calcul d'asservissement du courant à appliquer par ladite unité de commande de l'alimentation en courant au dit au moins un des (ix j) détecteurs pour que ledit au moins un des (i x j) détecteurs suive un cycle de refroidissement contrôlé au cours du temps. Il est compris par cycle de refroidissement contrôlé au cours du temps un cycle permettant à l'ensemble des (i x j) détecteurs d'être à la même température au cours du temps en refroidissant de manière homogène entre eux. Il existe donc selon l'invention une étape de contrôle du refroidissement d'au moins un des (i x j) détecteurs par asservissement du courant alimenté et de 15 la puissance par effet Joule dissipée au cours du temps par ce détecteur. Préférentiellement, l'étape de sélection des détecteurs à alimenter en courant et/ou l'étape d'alimentation en courant des détecteurs sélectionnés est réalisée à l'aide d'un adressage du type CMOS ( Complementary Metal 20 Oxide Semi-conductor ), permettant ainsi de sélectionner la totalité ou seulement une partie des (i x j) détecteurs que l'on souhaite uniformiser ou ré-uniformiser. Ainsi, selon l'invention, il est possible de réinitialiser tout ou partie de 25 l'ensemble des (i x j) détecteurs d'une matrice dite FPA en les amenant à une température déterminée uniquement en contrôlant l'intensité des courants circulant dans les bolomètres et le temps d'alimentation (durée d'application) de chacun des (i x j) détecteurs, et non en rajoutant un élément chauffant comme cela est le cas selon l'art antérieur. Il est ainsi possible 30 grâce à l'invention d'uniformiser les résistances électriques des bolomètres et de piloter le réchauffement par asservissement électronique du courant et donc des puissances (Joules) dissipées des éléments résistifs dans chaque bolomètre concerné. REVENDICATIONS 1. Procédé de maintenance d'une matrice (1) de (i x j) détecteurs du type bolomètre comprenant les étapes suivantes : Fourniture d'une matrice (1) de (i x j) détecteurs du type bolomètre pour la détection et la mesure de la radiation électromagnétique issue d'une scène radiative ; Mesure de la température et/ou de la résistance d'un élément résistif d'au moins un des (i x j) détecteurs ; Fixation d'une température et/ou d'une résistance seuil, supérieure à la température et/ou la résistance mesurée, à laquelle doit être amené ledit au moins un des (i x j) détecteurs ; Alimentation en courant d'au moins un élément résistif dudit au moins un des (i x j) détecteurs en dehors des périodes de détection et/ou de mesure des radiations issues de la scène radiative ; Dissipation de chaleur par effet Joule issue dudit élément résistif alimenté ; Echauffement dudit au moins un des (i x j) détecteurs comprenant ledit élément résistif alimenté jusqu'à ladite température ou résistance seuil ; Contrôle du refroidissement dudit au moins un des (i x j) détecteurs par asservissement du courant alimenté et de la puissance par effet Joule dissipée au cours du temps. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de mesure de la température et/ou de la résistance de tout ou partie des (i x j) détecteurs. 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la valeur de la température et/ou de la30résistance seuil est fixée en fonction de la température et/ou de la résistance de l'ensemble des (i x j) détecteurs. 4. Procédé selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de traitement des températures et/ou des résistances mesurées à l'aide d'un algorithme de traitement de données permettant de déterminer la valeur des courants à fournir aux éléments résistifs des (i x j) détecteurs de la matrice pour que la température et/ou la résistance d'au moins un élément résistif d'au moins une partie de l'ensemble des (i x j) détecteurs atteigne la même valeur de température et/ou de résistance seuil après formation d'un effet Joule issu des éléments résistifs alimentés en courant. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend une étape de sélection des détecteurs à alimenter en courant et/ou une étape d'alimentation en courant des détecteurs sélectionnés réalisée(s) à partir d'un adressage du type CMOS. 6. Ensemble matriciel à plan focal comprenant une matrice de (i x j) détecteurs du type bolomètre et présentant des moyens de maintenance de ladite matrice, lesdits moyens de maintenance comprenant : des moyens de mesure de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif de chacun des (i x j) détecteurs du type bolomètre ; des moyens d'uniformisation de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif d'au moins une partie de l'ensemble des (i x j) détecteurs du type bolomètre à l'aide des mesures relevées par lesdits moyens de mesure, lesdits moyens d'uniformisation comprenant : 30 5 10 15^ Une unité de traitement des mesures de la température et/ou de la résistance d'au moins un élément résistif d'au moins un des (i x j) détecteurs relevées par lesdits moyens de mesure ; ^ Une unité de commande de l'alimentation en courant des (i x j) détecteurs; ^ Une unité de calcul du courant à appliquer par ladite unité de commande de l'alimentation en courant au dit au moins un des (ix j) détecteurs pour que ledit au moins un des (i x j) détecteurs atteigne une température et/ou une résistance seuil après dissipation d'énergie par effet Joule. ^ Une unité de calcul d'asservissement du courant à appliquer par ladite unité de commande de l'alimentation en courant au dit au moins un des (ix j) détecteurs pour que ledit au moins un des (i x j) détecteurs suive un cycle de refroidissement contrôlé au cours du temps