Brevet FR2910964A1 — publié le 20080704

Dispositif et procédé de détection rapide de fuites La présente invention concerne un dispositif et un procédé de contrôle de l'étanchéité d'un objet. L'invention peut s'appliquer à tous types d'objets, mais plus 5 spécialement à des objets creux dans lesquels il est aisé de faire le vide. On connaît déjà des dispositifs permettant de détecter la présence d'un gaz de test présent dans l'atmosphère intérieure d'un objet soumis à ce gaz de test présent dans l'atmosphère extérieure. Les procédés les plus couramment utilisés se déroulent de la façon 10 suivante : l'objet à tester est connecté à un dispositif de contrôle de l'étanchéité un vide est créé dans le couple objet à tester/dispositif de contrôle de l'étanchéité on soumet l'objet à tester à un gaz de test présent dans l'atmosphère extérieure le défaut d'étanchéité est ensuite détecté par le dispositif de contrôle d'étanchéité qui recherche, dans son atmosphère intérieure, la présence du gaz de test. 15 On connaît un premier dispositif de détection de fuites d'un objet à tester, dans lequel un objet est relié à un analyseur de gaz et est relié à un système de pompage par une conduite munie d'un moyen de contrôle de flux. On soumet l'objet au gaz de test. En cas de présence de fuites, le gaz s'introduit dans l'atmosphère intérieure de l'objet par différence de pression entre l'atmosphère 20 intérieure et l'atmosphère extérieure de l'objet. Le gaz de test se propage dans l'analyseur de gaz qui en détecte la présence. Ceci est communément appelé détection en mode direct. La détection d'une petite fuite nécessite de disposer d'un analyseur de gaz très sensible. On prévoit ainsi des analyseurs de gaz de type analyseur de gaz 25 à filament, tels qu'un spectromètre de masse ou un quadripôle. Mais ce type d'analyseur nécessite de travailler à pression très basse, de l'ordre de 10-3 à 10.4 mbar. Le temps d'attente pour réaliser le vidage suffisant de l'objet jusqu'à atteindre la pression très basse, permettant le fonctionnement de l'analyseur de 30 gaz, dépend du volume de l'objet et du système de pompage. Un dispositif de pompage à faible débit conduit à un temps de pompage important, ce qui rend un tel dispositif inutilisable pour des objets à tester de grand volume. II faut aussi un dispositif de pompage capable de descendre dans la gamme des très basses pressions nécessaires. On a alors associé une pompe primaire et une pompe secondaire afin de diminuer le temps de pompage et de diminuer ainsi le temps d'attente avant de 5 pouvoir réaliser la détection de la fuite. Le temps d'attente est toutefois très long avec un tel système, et on risque en permanence de dégrader le filament de l'analyseur de gaz en cas de fonctionnement à une pression trop élevée. Un autre dispositif de détection de fuites, est divulgué dans le 10 document US-4,472,962, qui propose un dispositif comprenant une pompe à vide primaire connectée à l'objet à tester et une pompe à vide secondaire de type turbomoléculaire ayant une aspiration connectée à un analyseur de gaz pour détecter la présence d'un gaz de test dans l'atmosphère intérieure de l'objet. Un piquage intermédiaire dans la pompe à vide turbomoléculaire est connecté à l'objet 15 à tester. Le gaz de test indicatif d'une fuite s'écoule à partir de l'objet à tester dans le piquage intermédiaire de la pompe secondaire. La majorité du gaz de test est expulsée par la pompe turbomoléculaire et par la pompe primaire pour être rejetée dans l'atmosphère. Le reste du gaz de test se propage à contre-flux dans la pompe turbomoléculaire jusqu'à atteindre l'analyseur de gaz. 20 Un tel dispositif présente l'avantage de réduire le temps d'attente pour réaliser la détection des fuites. En effet, il suffit d'abaisser la pression dans l'objet jusqu'à la pression intermédiaire normale présente dans la zone de pompe turbomoléculaire correspondant au piquage intermédiaire, et de connecter alors l'objet au piquage intermédiaire : le gaz de test éventuel est alors détecté. Puisque 25 la pression intermédiaire est plus grande que la pression de fonctionnement de l'analyseur de gaz, le temps d'attente, ou temps de pompage nécessaire pour atteindre la pression intermédiaire, est réduit. Cependant, ce système reste encore insuffisant pour détecter des défauts d'étanchéité dans des objets de volumes importants. 30 Afin d'augmenter encore davantage la sensibilité et de réduire le temps d'attente, le document US-5,561,240 propose un dispositif de détection de fuite ayant deux piquages intermédiaires sur une pompe turbomoléculaire. Chaque piquage correspond à un taux de compression différent dans la pompe. Une vanne est disposée sur chacun des piquages. Le vide est fait progressivement dans 35 l'objet et dans le dispositif de détection de fuite. On expose l'objet à tester à un gaz de test. On effectue le pompage tout d'abord par la pompe primaire, puis à travers le piquage inférieur de la pompe secondaire, enfin par le piquage supérieur de la pompe secondaire. Les piquages sont ouverts en succession, c'est-à-dire l'un après l'autre, et à aucun moment les deux piquages ne sont ouverts simultanément. La détection de fuites se fait également en contre-flux. L'ouverture successive des vannes des piquages est réalisée par l'intermédiaire d'un contrôleur recevant un signal de mesure de pression dans la conduite principale par un appareil de mesure de pression. Un tel dispositif offre l'avantage de réduire le temps d'attente avant la détection ainsi que d'améliorer la sensibilité de la détection. Cependant le temps 10 d'attente reste trop long lors du test d'objets de grand volume. Pour augmenter la sensibilité de la mesure, un autre dispositif, divulgué dans le document US-5,585,548, propose de conserver une différence de pression entre la cellule d'analyse et la conduite d'aspiration, en disposant une restriction sur le piquage intermédiaire du détecteur de fuite contre-flux. 15 L'utilisation d'un tel dispositif présente l'inconvénient d'être limité à la détection de fuite dans de petits volumes. Avec les dispositifs de l'art antérieur, le temps d'attente nécessaire avant de pouvoir détecter des fuites est dépendant du volume de l'objet à tester. Plus l'objet est volumineux, plus le temps d'attente sera long. 20 Pour réduire le temps d'attente et permettre ainsi une détection plus rapide de fuites, il est possible d'augmenter la taille des pompes ou bien d'augmenter les conductances du circuit en utilisant des canalisations et des vannes de plus grand diamètre. Mais ces modifications ne sont pas satisfaisantes car elles conduisent à des dispositifs plus chers et plus encombrants. 25 Le problème proposé par la présente invention est d'assurer une détection rapide de fuites dans un objet exposé à un gaz de test présent dans l'atmosphère extérieure, sans augmenter l'encombrement du dispositif par rapport aux dispositifs de l'art antérieur, et sans affecter la sensibilité de la détection. Pour atteindre ces buts ainsi que d'autres, l'invention propose un 30 dispositif de détection de fuites par mesure à contre-flux pour contrôler l'étanchéité d'un objet exposé à un gaz de test, comprenant : - une pompe secondaire multiétagée, ayant une pluralité d'accès dont un accès d'aspiration secondaire et au moins un accès intermédiaire correspondant à un taux de compression intermédiaire dans la pompe secondaire multiétagée, 35 - un détecteur de gaz de test connecté à l'accès d'aspiration secondaire, - un système de pompage primaire ayant une aspiration connectée à un refoulement de la pompe secondaire multiétagée et apte à être connectée à l'objet par l'intermédiaire d'un moyen de contrôle de flux, - au moins une conduite intermédiaire munie d'un moyen de contrôle de flux 5 intermédiaire et apte à connecter l'objet à l'accès intermédiaire de la pompe secondaire multiétagée, - une conduite d'entrée directe munie d'un moyen de contrôle de flux d'entrée et apte à connecter l'objet à l'accès d'aspiration secondaire de la pompe secondaire multiétagée ou au détecteur de gaz de test, 10 - des moyens de commande électroniques, pour commander les moyens de contrôle de flux, et produisant au moins une séquence de pompage à haut débit au cours de laquelle au moins deux moyens de contrôle de flux reliés aux accès correspondants de la pompe secondaire multiétagée sont maintenus en ouverture simultanée. 15 Ceci a pour effet que l'on obtient une réponse fiable du détecteur de fuite plus rapidement qu'avec les dispositifs de l'art antérieur, car le pompage à haut débit permet d'abaisser plus vite la pression dans l'objet à tester. De plus, l'encombrement du dispositif selon l'invention n'est pas augmenté par rapport aux dispositifs de l'art antérieur. 20 En pratique, on peut prévoir que le dispositif peut être tel que : - on prévoit une conduite principale ayant une entrée de connexion adaptée pour être connectée à l'objet, - le système de pompage primaire est adapté pour refouler à la pression atmosphérique, et a une entrée d'aspiration primaire connectée à la conduite 25 principale par l'intermédiaire d'un moyen de contrôle de flux primaire, - un moyen de contrôle de flux secondaire est interposé entre le refoulement de la pompe secondaire multiétagée et l'entrée d'aspiration primaire du système de pompage primaire, - ladite au moins une conduite intermédiaire connecte l'accès intermédiaire à la 30 conduite principale, - on prévoit un dispositif de mesure de pression adapté pour mesurer la pression gazeuse dans la conduite principale et pour produire un signal de mesure de pression, - les moyens de commande électroniques sont adaptés pour commander 35 l'ouverture des moyens de commande de flux en fonction du signal de mesure de pression, selon un programme de commande enregistré produisant ladite au moins une séquence de pompage à haut débit. Un tel dispositif selon l'invention possède avantageusement une architecture simple et peu onéreuse, et qui n'ajoute pas de volume à pomper 5 supplémentaire par rapport aux dispositifs de l'art antérieur. La réponse du dispositif de contrôle d'étanchéité est ainsi rapide. Selon un autre aspect, l'invention propose un procédé de détection de fuites par mesure à contre-flux, dans lequel on pompe les gaz d'un objet par une pompe primaire et par une pompe secondaire multiétagée munie d'une pluralité lo d'accès dont un accès d'aspiration secondaire et au moins un accès intermédiaire correspondant à un taux de compression intermédiaire dans la pompe secondaire multiétagée, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une étape de pompage à haut débit au cours de laquelle au moins deux accès de la pompe secondaire multiétagée sont raccordés à l'objet à tester. 15 L'effet avantageux est que l'on obtient une réponse fiable du détecteur de fuite plus rapidement qu'avec les procédés de l'art antérieur. De plus, le procédé peut être mis en oeuvre avec un dispositif dont l'encombrement n'est pas augmenté par rapport aux dispositifs de l'art antérieur. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention 20 ressortiront de la description suivante de modes de réalisation particuliers, faite en relation avec les figures jointes, parmi lesquelles : - la figure 1 illustre schématiquement une réalisation pratique d'un dispositif de contrôle d'étanchéité selon un mode de réalisation de la présente invention ; - la figure 2 illustre graphiquement la descente en pression d'un objet à tester au 25 cours d'un procédé de la présente invention ; - la figure 3 est un organigramme des étapes successives de fonctionnement du dispositif selon la figure 1. Dans le mode de réalisation illustré sur la figure 1, le dispositif de détection de fuites 2 selon l'invention est utilisé pour détecter les fuites d'un 30 objet 1. Une pompe primaire 5 est connectée à l'objet 1 par un moyen de connexion 3 et par une conduite principale 4 munie d'un moyen de contrôle de flux primaire 13. Cette pompe primaire 5 refoule à la pression atmosphérique. De façon avantageuse, cette pompe primaire 5 peut avantageusement être une pompe à 35 membrane, pompe habituelle dans les laboratoires. Une pompe secondaire multiétagée 6 refoule à l'entrée d'aspiration de la pompe primaire 5 par l'intermédiaire d'un moyen de contrôle de flux secondaire 7. Son entrée d'aspiration secondaire est connectée à un détecteur de gaz 8. Cette pompe secondaire multiétagée 6 est avantageusement une pompe moléculaire, turbomoléculaire ou hybride, de façon à assurer un vide adéquat pour permettre la détection par le dispositif selon l'invention. Ce type de pompe multiétagée augmente avantageusement les possibilités d'adaptation à des volumes différents d'objets. Dans le mode de réalisation illustré sur la figure 1, la pompe secondaire multiétagée 6 possède au moins trois accès intermédiaires 6a, 6b, 6c associés à trois conduites intermédiaires 6a', 6b', 6c' et à trois moyens de contrôle de flux intermédiaires 6a", 6b", 6c". Ces conduites intermédiaires 6a', 6b', 6c' relient la pompe secondaire multiétagée 6 à la conduite principale 4. Le détecteur de gaz 8 est avantageusement un détecteur de gaz à filament, qui peut avantageusement être un spectromètre de masse, un quadripôle ou autre. Ce type de détecteur de gaz permet de réaliser une mesure avec une très grande sensibilité. La pression de fonctionnement adéquate dans le détecteur de gaz 8 est d'environ de 10-3 à 10-4 mbar pour que le filament ne soit pas endommagé. Dans le mode de réalisation illustré, on prévoit également que le dispositif 2 de contrôle de fuites comprend en outre une conduite d'entrée directe 9' munie d'un moyen de contrôle de flux d'entrée 9" et apte à connecter l'objet 1 à l'accès d'aspiration secondaire 9 de la pompe secondaire multiétagée 6 ou au détecteur de gaz de test 8. Le dispositif 2 de contrôle de fuites comprend des moyens de commande électroniques 11 comportant par exemple un processeur associé à une mémoire contenant un programme enregistré. Les moyens de commande Il reçoivent les signaux de pression générés par un dispositif de mesure de pression 10 apte à mesurer la pression gazeuse P dans la conduite principale 4. Les moyens de commande 11 sont couplés à un système d'affichage 12, avantageusement un écran d'ordinateur, pour afficher le résultat des tests de fuite. Les moyens de contrôle de flux 6a", 6b", 6c", 7, 9" et 13, qui sont par exemple des électrovannes d'isolement de type tout ou rien, sont tous pilotés par les moyens de commande électroniques 11. Les moyens de contrôle de flux 6a", 6b", 6c", 7, 9" et 13 peuvent être chacun ouverts ou fermés avec une grande rapidité, selon un programme enregistré déterminé. Le programme enregistré commande l'ouverture et la fermeture des moyens de contrôle de flux 6a", 6b", 6c", 7, 9" et 13 en fonction de la pression P mesurée par le dispositif de mesure de pression 10. Les opérations d'ouverture ou de fermeture des divers moyens de contrôle de flux 6a", 6b", 6c", 7, 9" et 13 s'effectuent lorsque les moyens de commande électroniques 11 constatent que la pression P atteint l'un de plusieurs seuils de pression déterminés P1-P4 (figure 3). On va maintenant décrire le fonctionnement du dispositif 2 de test de la figure 1, en considérant l'organigramme de la figure 3. La recherche des fuites pourra, par exemple, être effectuée au cours de plusieurs périodes réparties tout au long du processus de pompage dans l'objet 1 connecté à la conduite principale 4 par le moyen de connexion 3. Lors d'étapes préliminaires, on prévoit que le programme de commande enregistré comprend : - une séquence d'attente, définissant une étape d'attente au cours de laquelle, parmi les éléments de contrôle de flux, seul le moyen de contrôle de flux secondaire 7 est ouvert, pour que les pompes primaires 5 et secondaire 6 maintiennent un vide approprié (10-3 à 10-4 mbar) dans le détecteur de gaz de test 8 et dans la pompe secondaire multiétagée 6, - une séquence de prévidage, définissant une étape de prévidage au cours de laquelle seul le moyen de contrôle de flux primaire 13 est ouvert, pour assurer le prévidage de l'objet 1, et à l'issue de laquelle on ouvre le moyen de contrôle de flux secondaire 7 lorsque la pression dans l'objet 1 est devenue suffisamment basse pour un fonctionnement correct de la pompe secondaire multiétagée 6. On poursuit le pompage en maintenant ouverts les moyens de contrôle de flux primaire 13 et secondaire 7, en contrôlant la pression P dans la conduite principale 4. L'objet 1 est exposé à un gaz de test présent dans l'atmosphère extérieure. En cas de défaut d'étanchéité, par différence de pression, le gaz de test va pénétrer dans l'atmosphère intérieure de l'objet à tester 1. Ce gaz de test va se propager dans le dispositif 2 de détection de fuites. On peut prévoir simultanément une première étape de test de fuite : en cas d'une très grosse fuite, une quantité décelable de gaz de test peut remonter à contre-flux la totalité de la pompe secondaire multiétagée 6 et être alors détectée par le détecteur de gaz 8. Tant que le dispositif de mesure de pression 10 n'a pas atteint un premier seuil de pression P1 (fig. 3) dépendant du dispositif, rien n'est modifié. Dans le mode de réalisation particulier de la figure 1, ce premier seuil de pression P1 (fig. 3) se trouve à environ 20 mbar. Si le gaz de test n'a pas été détecté, on poursuit le pompage en modifiant pour cela l'état du dispositif : on ferme le moyen de contrôle de flux primaire 13, on ouvre le moyen de contrôle de flux intermédiaire inférieur 6a" de la pompe secondaire multiétagée 6, tout en maintenant ouvert le moyen de contrôle de flux secondaire 7 et en maintenant fermés tous les autres moyens de contrôle de flux. Cet état est maintenu jusqu'à un second seuil de pression P2 (fig. 3). Le gaz de l'atmosphère intérieure de l'objet 1 et de la conduite principale 4 passe dans la pompe secondaire multiétagée 6 et est majoritairement évacué vers la pompe primaire 5. La proportion de gaz restant remonte en contre-flux vers le détecteur de gaz 8. Le pompage s'effectue à vitesse normale. Au cours de ce pompage, on peut prévoir une seconde étape de test de fuite : en cas de grosses fuites, une quantité décelable de gaz de test peut remonter en contre-flux et être détectée par le détecteur de gaz 8. Dans le mode de réalisation particulier de la figure 1, le second seuil de pression P2 (fig. 3) se trouve à environ 0,5 mbar. C'est à partir de l'étape qui suit que le dispositif selon l'invention diffère des dispositifs de l'art antérieur. Si le gaz de test n'a pas encore été détecté, on poursuit le pompage en modifiant encore pour cela l'état du dispositif : on prévoit qu'au moins deux moyens de contrôle de flux soient maintenus en ouverture simultanée. De préférence, ces moyens de contrôle de flux doivent correspondre à des taux de compression assez proches l'un de l'autre dans la pompe secondaire multiétagée 6. On ouvre donc le moyen de contrôle de flux intermédiaire médian 6b", en maintenant les autres moyens de contrôle de flux dans leur état précédent. Ainsi les moyens de contrôle de flux intermédiaire inférieur 6a" et médian 6b" sont simultanément en position ouverte, de sorte que l'on combine les deux débits disponibles des accès inférieur 6a et médian 6b. Pour deux accès ouverts simultanément, les débits se cumulent sans trop dégrader la sensibilité du mode de détection. En effet, comme les deux accès inférieur 6a et médian 6b correspondent à des taux de compression assez proches l'un de l'autre, la sensibilité du contrôle de l'étanchéité n'est pas dégradée. Une partie décelable du gaz de test remonte vers le détecteur de gaz 8. Pour effectuer une mesure à contre-flux, seule la quantité de gaz remontant vers le détecteur de gaz 8 est considérée. Cette étape est poursuivie jusqu'à ce que la pression dans la conduite principale 4 atteigne le troisième seuil de pression P3 (fig. 3). Le pompage s'effectue à grande vitesse. Au cours de ce pompage, on peut prévoir une troisième étape de test de fuite : en cas de fuites moyennes, une quantité décelable de gaz de test peut remonter en contre-flux et être détectée par le détecteur de gaz 8. Dans le mode de réalisation particulier de la figure 1, le troisième seuil 5 de pression P3 (fig. 3) est d'environ 0,1 mbar. Si le gaz de test n'a pas encore été détecté, on poursuit le pompage en modifiant encore pour cela l'état du dispositif : on ferme le moyen de contrôle de flux intermédiaire inférieur 6a" et on ouvre le moyen de contrôle de flux intermédiaire supérieur 6c". Ainsi, les moyens de contrôle de flux intermédiaire 10 médian 6b" et supérieur 6c" sont maintenus ouverts simultanément. La détection de petites fuites peut alors être effectuée par une mesure à contre-flux, et le pompage est rapide. Cet état est maintenu jusqu'à un quatrième seuil de pression P4 (fig. 3). Dans le mode de réalisation particulier de la figure 1, le quatrième seuil 15 de pression P4 est d'environ 0,01 mbar. Pour une mesure à haute sensibilité, les moyens de contrôle de flux d'entrée 9" et intermédiaire supérieur 6c" sont maintenus en ouverture simultanée alors que le moyen de contrôle de flux intermédiaire médian 6b" est fermé. La détection de petites fuites peut être effectuée par une mesure à contre-flux, et le 20 pompage est rapide. Le programme de commande électronique 11 peut comprendre en outre une séquence de test en mode direct à très haute sensibilité, au cours de laquelle seuls le moyen de contrôle de flux d'entrée 9" et le moyen de contrôle de flux secondaire 7 sont ouverts. Cela permet un dernier test de fuite à sensibilité 25 maximale. Les moyens de commande électronique 11 prévoient les étapes illustrées en figure 3. La simultanéité de l'ouverture de plusieurs accès de la pompe secondaire multiétagée 6 augmente le débit de pompage de l'atmosphère 30 intérieure de l'objet 1 à tester et du dispositif 2 de détection de fuites. La figure 2 propose un graphique comparatif de la descente en pression pour un objet de 12,5 litres entre un dispositif de l'art antérieur et le dispositif selon l'invention. Dans le mode de réalisation particulier utilisé pour la comparaison 35 illustrée sur la figure 2, le dispositif 2 de détection de fuites selon l'invention possède une pompe secondaire multiétagée 6 avec seulement deux accès intermédiaires 6a et 6b tels que ceux illustrés sur la figure 1. L'étape 1 correspond à la séquence de prévidage. Dès que la pression dans la conduite principale 4 atteint une pression seuil S1, le moyen de contrôle de flux 6a" est ouvert par les moyens de commande électronique 11, pour effectuer l'étape 2. Dans ce mode de réalisation particulier de la figure 1, ce premier seuil de pression S1 (fig. 2) se trouve à environ 20mbar. S1 (fig. 2) correspond à pi (fig. 3). Lorsque la pression dans la conduite principale 4 atteint une pression seuil S2, le moyen de contrôle de flux intermédiaire 6b" est ouvert par les moyens 10 de commande électronique 11 tandis que le moyen de contrôle de flux intermédiaire 6a" est fermé. On effectue ainsi l'étape 3. Dans ce mode de réalisation particulier de la figure 1, le second seuil de pression S2 (fig. 2) se trouve à environ 0,5 mbar. Dès que la pression dans la conduite principale 4 atteint le seuil de 15 pression S4 (fig. 2), on prévoit qu'au moins lesdits deux moyens de contrôle de flux 6b", 9" soient maintenus en ouverture simultanée, et on effectue ainsi l'étape 4. De préférence, ces moyens de contrôle de flux 6b", 9" doivent correspondre à des taux de compression assez proches l'un de l'autre dans la pompe secondaire multiétagée 6. 20 Dans ce mode de réalisation particulier de la figure 1, le seuil de pression S4 (fig. 2) se trouve à environ 0,01 mbar. S4 (fig. 2) correspond à P4 (fig. 3). On remarque que, pendant les étapes 1, 2, et 3, la descente en pression est équivalente pour le dispositif de l'art antérieur et pour le dispositif 25 selon l'invention. Les débits de pompage sont semblables. Cela est le cas car le dispositif 2 de détection de fuites selon l'invention est dans ce cas utilisé simplement en mode de détection à haute sensibilité et non en mode de détection avec pompage à haut débit. A partir de l'étape 4, les courbes A et B de la descente en pression 30 diffèrent et l'on remarque alors aisément que le dispositif selon l'invention est avantageux par rapport au dispositif de l'art antérieur. En effet, la descente en pression B dans le dispositif selon l'invention est plus rapide et de meilleure qualité que la descente en pression A de l'art antérieur. Pour la qualité, avec le dispositif selon l'invention, on atteint un vide d'environ 6.10- mbar alors qu'avec le dispositif 35 de l'art antérieur le maximum de vide atteint une valeur 2.10-3 mbar. Pour la rapidité, une pression de 5.10-3 mbar est atteinte en environ 7,5 minutes avec le dispositif de l'art antérieur, et en environ 6 minutes seulement avec le dispositif selon l'invention. La présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation qui ont été explicitement décrits, mais elle en inclut les diverses variantes et 5 généralisations qui sont à la portée de l'homme du métier. REVENDICATIONS 1. Dispositif de détection de fuites par mesure à contre-flux pour contrôler l'étanchéité d'un objet (1) exposé à un gaz de test, comprenant : - une pompe secondaire multiétagée (6), ayant une pluralité d'accès (9, 6a, 6b, 6c) dont un accès d'aspiration secondaire (9) et au moins un accès intermédiaire (6b) correspondant à un taux de compression intermédiaire dans la pompe secondaire multiétagée (6), - un détecteur de gaz de test (8) connecté à l'accès d'aspiration secondaire (9), - un système de pompage primaire (5) ayant une aspiration connectée à un refoulement de la pompe secondaire multiétagée (6) et apte à être connectée à l'objet (1) par l'intermédiaire d'un moyen de contrôle de flux (13), - au moins une conduite intermédiaire (6b') munie d'un moyen de contrôle de flux intermédiaire (6b") et apte à connecter l'objet (1) à l'accès intermédiaire (6b) de la pompe secondaire multiétagée (6), - une conduite d'entrée directe (9') munie d'un moyen de contrôle de flux d'entrée (9") et apte à connecter l'objet (1) à l'accès d'aspiration secondaire (9) de la pompe secondaire multiétagée (6) ou au détecteur de gaz de test (8), -des moyens de commande électroniques (11) pour commander les moyens de contrôle de flux (6b", 9", 13), caractérisé en ce que les moyens de commande électroniques (11) produisent au moins une séquence de pompage à haut débit au cours de laquelle au moins deux moyens de contrôle de flux (6b", 9") reliés aux accès correspondants (6b, 9) de la pompe secondaire multiétagée (6) sont maintenus en ouverture simultanée. 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel : - on prévoit une conduite principale (4) ayant une entrée de connexion adaptée pour être connectée à l'objet (1), - le système de pompage primaire (5) est adapté pour refouler à la pression atmosphérique, et a une entrée d'aspiration primaire connectée à la conduite principale (4) par l'intermédiaire du moyen de contrôle de flux primaire (13), - un moyen de contrôle de flux secondaire (7) est interposé entre le refoulement de la pompe secondaire multiétagée (6) et l'entrée d'aspiration primaire du système de pompage primaire (5), - ladite au moins une conduite intermédiaire (6b') connecte l'accès intermédiaire (6b) à la conduite principale (4), 12- on prévoit un dispositif de mesure de pression (10) adapté pour mesurer la pression gazeuse dans la conduite principale (4) et pour produire un signal de mesure de pression, - les moyens de commande électroniques (11) sont adaptés pour commander l'ouverture des moyens de commande de flux (6b", 9") en fonction du signal de mesure de pression, selon un programme de commande enregistré produisant ladite au moins une séquence de pompage à haut débit. 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que le programme de commande enregistré comprend en outre : - une séquence d'attente, définissant une étape d'attente au cours de laquelle, parmi les éléments de contrôle de flux, seul le moyen de contrôle de flux secondaire (7) est ouvert, pour maintenir un vide approprié dans la pompe secondaire multiétagée (6) et dans le détecteur de gaz de test (8), - une séquence de prévidage, définissant une étape de prévidage au cours de laquelle seul le moyen de contrôle de flux primaire est ouvert (13), pour assurer le prévidage de l'objet (1), et à l'issue de laquelle on ouvre le moyen de contrôle de flux secondaire (7). 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la pompe secondaire multiétagée (6) est une pompe 20 moléculaire, une pompe turbomoléculaire, ou une pompe hybride. 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que la pompe secondaire multiétagée (6) comprend au moins trois accès intermédiaires (6a, 6b, 6c) associés à trois conduites intermédiaires (6a', 6b', 6c') et à trois moyens de contrôle de flux 25 intermédiaires (6a", 6b", 6c"). 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que lesdits au moins deux moyens de contrôle de flux (6b", 9") dont on commande le maintien en ouverture simultanée correspondent à des taux de compression assez proches l'un de l'autre dans la pompe secondaire 30 multiétagée (6). 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le détecteur de gaz de test (8) est de type détecteur de gaz à filament. 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le détecteur de gaz de test (8) est un spectromètre de masse ou un quadripôle. 9. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le programme de commande électronique (11) comprend en outre une séquence de test en mode direct au cours de laquelle seuls le moyen de contrôle de flux d'entrée (9") et le moyen de contrôle de flux secondaire (7) sont ouverts. 10. Procédé de détection de fuites par mesure à contre-flux, dans lequel on pompe les gaz d'un objet (1) par une pompe primaire (5) et par une pompe secondaire multiétagée (6) munie d'une pluralité d'accès (9, 6a, 6b, 6c) dont un accès d'aspiration secondaire (9) et au moins un accès intermédiaire (6b) correspondant à un taux de compression intermédiaire dans la pompe secondaire multiétagée (6), caractérisé en ce qu'il comprend au moins une étape de pompage à haut débit au cours de laquelle au moins deux accès (9, 6b) de la pompe secondaire multiétagée (6) sont raccordés à l'objet à tester (1).