Brevet FR2921488A1 — publié le 20090327

Dispositif et procédé pour la détection de fuites à haute pression par qaz traceur dans une pièce à tester La présente invention concerne un dispositif et un procédé permettant la détection de fuites par le contrôle de l'étanchéité d'une pièce exposée à un gaz de test. L'invention peut s'appliquer à tous types d'objets, mais plus spécialement à des objets creux dans lesquels il est aisé de faire le vide. On connaît déjà des dispositifs permettant de détecter dans l'atmosphère intérieure d'une pièce à tester la présence d'un gaz de test provenant de l'atmosphère extérieure. Les procédés les plus couramment utilisés se déroulent de la façon suivante : la pièce à tester est connectée à un dispositif de contrôle de l'étanchéité ; un vide est créé dans le couple pièce à tester/dispositif de contrôle de l'étanchéité ; on soumet la pièce à tester à un gaz de test présent dans l'atmosphère extérieure ; le défaut d'étanchéité est ensuite détecté par le dispositif de contrôle d'étanchéité qui recherche, dans son atmosphère intérieure, la présence du gaz de test. De façon habituelle, les dispositifs de contrôle de l'étanchéité comprennent des moyens de pompage, un détecteur de gaz ainsi que des moyens de traitements de signal. Les moyens de pompage sont adaptés pour créer un vide adéquat permettant le fonctionnement idéal du détecteur de gaz. Ce détecteur de gaz émet un signal de mesure qui est traité par les moyens de traitement de signal pour fournir un signal de présence de fuites. Les détecteurs de fuites classiques comportent souvent, comme détecteur de gaz, un analyseur de gaz avec un filament, par exemple un spectromètre de masse ou un quadripôle. Pour des raisons de durée de vie de ce filament, la pression dans la cellule d'analyse de l'analyseur de gaz doit être toujours inférieure à 10-3 à 10"4 mbar lors des mesures. On utilise donc une jauge de pression de gaz, qui mesure la pression totale dans la pièce à tester, et qui fournit un signal de pression que l'on compare à un seuil de pression à partir duquel on peut commander sans risque de dégradation le fonctionnement de l'analyseur de gaz. On utilise différents types de jauge de pression, par exemple une jauge de type Pirani ou thermocouple, et leur signal est toujours exploité directement, par simple comparaison avec un seuil de pression, pour commander la détection de gaz de fuites par un analyseur de gaz basse pression. 2 Il existe différentes méthodes de détection de fuites à l'aide d'un spectromètre de masse ou d'un quadripôle, par exemple une méthode de détection directe, et une méthode de détection en contre-flux. La méthode de détection en mode direct consiste à connecter, à un instant donné, le détecteur de gaz directement à la pièce à tester. Cette méthode permet d'obtenir une mesure très sensible, mais elle est très lente car il faut attendre d'atteindre la pression de 10-3 à 10-4 mbar pour débuter la détection. La méthode de détection en contre-flux consiste en l'analyse du gaz qui remonte à contre-flux des moyens de pompage secondaires jusqu'au détecteur de gaz basse pression. C'est cette méthode, ou bien une association de ces deux méthodes, qui est habituellement utilisée pour la détection de fuites dans une pièce à tester, car elle est plus rapide. En effet, par la méthode de détection en contre-flux, le seuil de vide nécessaire dans le dispositif de contrôle de l'étanchéité pour effectuer les étapes 15 de test de fuites est de façon habituelle de l'ordre de 10 à 20 mbar, qui est déjà un seuil beaucoup plus élevé que celui de la méthode en mode direct. Le temps nécessaire pour atteindre un tel vide reste significatif et est d'environ 40 minutes pour une pièce de taille moyenne. Ce temps est perdu car l'opérateur effectuant l'opération de détection de fuites n'a pas d'autres opérations 20 à effectuer pendant ce temps. Ainsi il apparaît nécessaire de diminuer ce "temps perdu". De plus, dans le cas d'une fuite importante, l'opérateur ne peut ni détecter, ni localiser les fuites. En effet, les moyens de pompage ne permettent pas de descendre jusqu'à une pression suffisamment basse pour permettre au 25 détecteur de gaz de fonctionner. Les procédés de détection de fuites connus proposent plusieurs solutions permettant de débuter l'opération de détection de fuites alors que la pression dans la pièce à tester est encore élevée, et ceci tout en réalisant une pression basse appropriée dans l'analyseur de gaz. 30 On connaît un premier dispositif divulgué dans le document US-4,472,962. Ce dispositif comporte une pompe à vide turbomoléculaire ayant une admission reliée à un analyseur de gaz pour détecter la présence du gaz traceur. Un piquage intermédiaire dans la pompe à vide turbomoléculaire est relié à la pièce à tester. Le gaz de test, indicatif d'une fuite, va s'écouler à partir de la 35 pièce à tester dans le piquage intermédiaire puis, à contre-flux de la direction de fonctionnement de la pompe à vide turbomoléculaire, jusque dans l'analyseur de 3 gaz où le gaz de test est détecté. La mesure en contre-flux utilise le taux de compression élevé du piquage intermédiaire pour réaliser une mesure à une pression plus haute dans la pièce à tester. Le document US-5,561,240 divulgue un détecteur de fuites ayant une pompe turbomoléculaire multiétagée comportant une pluralité de piquages intermédiaires, chacun de ces piquages ayant une position correspondant à un taux de compression différent de la pompe turbomoléculaire. Une vanne est disposée sur chacun des piquages. Une mesure de vide est réalisée dans la conduite connectée à la pièce à tester et en communication avec chacune des to vannes par l'intermédiaire d'un contrôleur, de sorte que les vannes sont séquentiellement ouvertes et fermées par un signal du contrôleur selon un changement de pression détecté par la mesure de vide. Un autre dispositif divulgué dans le document US-5,585,548 propose de conserver une différence de pression entre la cellule d'analyse de l'analyseur de 15 gaz et la conduite d'aspiration, en disposant une restriction sur le piquage intermédiaire du détecteur de fuites en contre-flux. D'autres procédés suggèrent de placer des membranes ou quartz dans le système de pompage pour pomper de façon sélective le gaz de test tel que l'hélium et pour le diriger vers l'analyseur de gaz, ce qui lui permet de conserver 20 une pression totale basse tout en recevant une plus grande concentration d'hélium. Le document EP-0 352 371 divulgue un détecteur contenant une pompe ionique connectée à une sonde formée d'un tube capillaire en verre. Pour empêcher une grande quantité d'air de passer dans l'analyseur de gaz tout en pompant préférentiellement le gaz de test tel que l'hélium, des moyens de 25 chauffage du tube de verre sont asservis à un dispositif de commande qui les neutralise dès que le courant de la pompe excède un seuil prédéterminé. Ceci entraîne un refroidissement du tube et une diminution substantielle de sa perméabilité à l'hélium. On connaît également le détecteur divulgué dans le document 30 US-5,325,708 utilisant une membrane capillaire de quartz chauffée par un filament. En présence d'hélium, la température du capillaire doit être réduite pour empêcher la saturation de la chambre de prélèvement. Le document US 5,661,229 divulgue un détecteur de fuites avec une fenêtre en polymère ou en quartz chauffé, pour laisser passer sélectivement 35 l'hélium de façon à ce que, lorsqu'une quantité suffisante d'hélium est passée pour la formation d'un signal de mesure, le réchauffeur est alors coupé. Ainsi il est possible d'éviter l'entrée de trop d'air dans le système de détection. 4 Tous ces détecteurs connus permettent en principe d'augmenter le seuil de pression à partir duquel on peut commencer à détecter des fuites. Cependant le seuil de pression qu'il faut atteindre avant d'effectuer une mesure de détection de fuites reste trop bas. De plus, les dispositifs évoqués sont onéreux et sensibles aux contaminants présents dans l'atmosphère. Cette sensibilité aux contaminants rend la sensibilité de la mesure nettement moins bonne. Le problème posé par la présente demande est de pouvoir assurer une détection des fuites dans une pièce à tester exposée à un gaz de test dès que la pression dans la pièce à tester descend au-dessous d'un seuil qui est lui-même nettement supérieur à 20 mbar, par exemple d'environ 50 à 200 mbar, pouvant même être de l'ordre de la pression atmosphérique. L'invention vise à réaliser cela avec des moyens peu onéreux, c'est-à- dire en évitant le recours à des structures supplémentaires onéreuses. Pour atteindre ces buts ainsi que d'autres, l'invention propose un dispositif de détection de fuites, comprenant : - un système de pompage primaire, adapté pour refouler à la pression atmosphérique, et ayant une entrée d'aspiration primaire, - une conduite principale, ayant une entrée de connexion adaptée pour être 20 connectée à une pièce à tester, et ayant une sortie de connexion connectée à l'entrée d'aspiration du système de pompage primaire, - une jauge de pression de gaz, sensible aux coefficients d'échange thermique des gaz, connectée à la conduite principale, et produisant un signal de mesure de pression, 25 - des moyens de traitement de signal, qui reçoivent le signal de mesure de pression de la jauge de pression de gaz, et qui sont adaptés pour détecter la présence d'une variation significative du signal de mesure de pression de gaz et pour fournir alors un signal de présence de fuites. L'invention utilise le fait qu'un gaz de test peut présenter un coefficient 30 d'échange thermique différent de celui des autres gaz présents dans la pièce à tester. La pénétration de gaz de test dans la pièce à tester, à cause d'une fuite, modifie alors le coefficient d'échange thermique du mélange gazeux présent dans la pièce, et malgré le maintien d'une pression totale sensiblement constante ou lentement variable déterminée par les moyens de pompage, la jauge de pression 35 procure un signal de sortie rapidement variable qui résulte de cette modification de coefficient d'échange thermique auquel elle est sensible. Cette variation rapide est l'indice de présence d'une fuite, et est décelée par les moyens de traitement du signal. Selon un mode de réalisation de l'invention, la jauge de pression de gaz 5 peut être telle que celles habituellement utilisées pour mesurer la pression gazeuse dans la pièce à tester et pour commander le fonctionnement d'un analyseur de gaz dès qu'un seuil de vide satisfaisant est atteint, par exemple une jauge de type Pirani ou thermocouple. Toutefois, l'invention utilise de manière nouvelle le signal produit par une telle jauge de pression lorsque celle-ci est sensible aux coefficients d'échange thermique des gaz, en traitant ce signal de façon appropriée. Ainsi, la jauge de pression de gaz, associée aux moyens de traitement de signal, constitue elle-même un moyen de détection de fuites à haute pression, sans intervention d'un analyseur de gaz basse pression. Ce dispositif permet de détecter les fuites de façon fiable sans avoir besoin de baisser la pression en dessous d'environ 50 à 200 mbar. En effet, avec une telle pression d'environ 50 à 200 mbar dans la conduite principale, dix fois supérieure à celle à laquelle il faut descendre avec les dispositifs connus jusqu'alors pour commencer à détecter les fuites, les fuites peuvent être détectées de façon fiable et plus rapide. Différentes méthodes de traitement de signal peuvent être utilisées par les moyens de traitement de signal. Une première méthode consiste à analyser en continu la dérivée du signal de mesure de pression délivré par la jauge de pression de gaz ; par exemple on analyse en continu le signe de la dérivée du signal filtré de mesure de pression délivré par la jauge de pression de gaz et on émet un signal de présence de fuites si ce signe s'inverse. Le filtrage du signal de mesure de pression, et la sensibilité de détection du signe de la dérivée, sont choisis pour garantir que l'utilisateur ne soit pas alerté pour de petites variations dues aux bruits du système et non aux fuites. Une seconde méthode consiste à comparer le signal de mesure de pression délivré par la jauge de pression de gaz avec des courbes d'étalonnage préalablement enregistrées dans un moyen de stockage, et à émettre un signal de présence de fuites si le signal de mesure de pression diffère de manière significative des courbes d'étalonnage. Chacune des méthodes exposées est simple, rapide, efficace et fiable. Selon un mode de réalisation avantageux de l'invention, le dispositif de détection de fuites comprend en outre une pompe secondaire, multiétagée, ayant une aspiration principale, ayant un refoulement relié à l'entrée d'aspiration primaire, et ayant au moins une aspiration intermédiaire reliée à la conduite principale par une conduite intermédiaire, un analyseur de gaz, relié à l'aspiration principale de la pompe secondaire multiétagée, pour détecter la présence d'un gaz de fuite remontant la pompe secondaire multiétagée en contre-flux. De préférence la pompe secondaire multiétagée est une pompe turbo moléculaire. En combinant un tel analyseur de gaz à haute sensibilité, permettant la détection de fuites à basse pression, avec la jauge de pression de gaz qui permet la détection de fuites à plus haute pression, on détecte plus rapidement les grosses fuites (dès le début de la descente en pression) et on peut, avec le même dispositif, détecter les petites fuites (à basse pression). De préférence, avec un tel analyseur de gaz à faible pression, les moyens de traitement de signal peuvent comparer le signal de mesure de pression à un seuil de pression déterminé, et peuvent générer un signal de mise en connexion de l'analyseur de gaz lorsque la pression mesurée est inférieure audit seuil de pression. Ainsi, la jauge de pression remplit, avec les moyens de traitement de signal, une première fonction de détecteur de fuites pour la détection de fuites à haute pression, et une seconde fonction de commande de l'analyseur de gaz pour la détection de fuites à basse pression. Le dispositif de détection de fuites peut comporter en outre au moins un 25 capteur de présence de gaz de fuite, connecté à la conduite principale, apte à détecter le gaz de fuite à une pression proche de la pression atmosphérique, et produisant un signal de présence de gaz envoyé aux moyens de traitement de signal. Un tel dispositif permet de détecter les fuites de façon fiable sans avoir 30 besoin de baisser la pression en dessous d'environ la pression atmosphérique, soit environ 1000 mbar. On peut détecter plus tôt les fuites pour un même volume. On détecte plus tôt les fuites sur les pièces comportant de grosses fuites. Le capteur de présence de gaz de fuite peut par exemple être un détecteur d'hydrogène de référence "H2000" commercialisé par la société 35 Alcatel-Lucent. Selon un autre aspect, l'invention propose un procédé de détection de fuites dans une pièce à tester dans lequel : - on met l'atmosphère intérieure d'une pièce à tester en dépression vis-à-vis de l'atmosphère extérieure, et on surveille le coefficient d'échange thermique du mélange gazeux présent dans ladite atmosphère intérieure de la pièce à tester, - on asperge à un instant donné l'extérieur de la pièce à tester avec un gaz de test, - on recherche la présence d'une variation brusque significative du coefficient d'échange thermique du mélange gazeux peu après l'instant d'aspersion, cette présence étant le signe de l'existence d'une fuite. De préférence, le gaz de test est choisi parmi l'hélium, l'hydrogène, le néon et l'argon. Ce procédé permet de façon simple, fiable, efficace et rapide de détecter la présence de fuites dans une pièce à tester, grâce à un dispositif peu encombrant et peu onéreux, à partir d'une pression d'environ 200 mbar dans le 15 dispositif de détection de fuites. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description suivante de modes de réalisation particuliers, faite en relation avec les figures jointes, parmi lesquelles : - la figure 1 illustre schématiquement une réalisation pratique d'un dispositif de 20 détection de fuites selon un premier mode de réalisation de la présente invention ; - la figure 2 est une représentation graphique des signaux de mesure de pression en présence et en absence de fuites pour un dispositif selon l'invention, le temps T en minutes est représenté en abscisse et la pression P en mbar en ordonnée; - la figure 3 illustre schématiquement une réalisation pratique d'un dispositif de 25 détection de fuites dans un second mode de réalisation de la présente invention ; -la figure 4 est une représentation graphique de la descente en pression lors de la détection de fuites avec un dispositif de détection de fuites selon un mode de réalisation de la présente invention, le temps T en minutes est représenté en abscisse et la pression P en mbar en ordonnée ; et 30 - la figure 5 illustre schématiquement une réalisation pratique d'un dispositif de détection de fuites dans un troisième mode de réalisation de l'invention. Dans le mode de réalisation illustré sur la figure 1, le dispositif de détection de fuites 2 selon l'invention est utilisé pour détecter les fuites d'une pièce à tester 1. 35 Une pompe primaire 5 est connectée à la pièce à tester 1 par un moyen de connexion 3 et par une conduite principale 4. Cette pompe primaire 5 refoule à la pression atmosphérique. De façon avantageuse, cette pompe primaire 5 peut être une pompe sèche à membrane, pompe habituellement utilisée dans les laboratoires. Une jauge de pression de gaz 10 est connectée à la conduite principale 5 4, et produit un signal de mesure de pression sur sa sortie 10a. Des moyens de traitement du signal 11 sont connectés à la sortie 10a de la jauge de pression de gaz 10, et sont adaptés pour analyser le signal de mesure de pression et pour produire, le cas échéant, un signal de présence de fuites. 10 Selon l'invention, on choisit une jauge de pression de gaz 10 sensible aux coefficients d'échange thermique des gaz, par exemple une jauge de pression de gaz 10 de type Pirani. On sait que les jauges de pression de gaz de type Pirani fournissent un signal de mesure de pression qui varie en fonction de la nature des gaz présents dans le volume à caractériser. 15 Dans une jauge de pression de gaz 10 de type Pirani, la perte de chaleur d'un filament exposé à une pression basse est généralement mesurée électriquement par un pont de Wheatstone, qui sert à chauffer le fil résistant et à mesurer sa résistance. La tension du pont de Wheatstone est maintenue constante. Un changement de pression gazeuse autour du fil résistant fait varier la 20 température du fil résistant exposé à la pression basse, change sa résistance, et déséquilibre le pont de Wheatstone. Un microampèremètre calibré en unité de mesure de pression convertit ce déséquilibre en un signal de mesure de pression. La gamme des pressions pouvant être mesurées va généralement de 10-2 à 100 mbar, mais certaines jauges Pirani spéciales ont une gamme plus étendue jusqu'à 25 au moins 200 mbar. Un avantage d'utiliser une jauge Pirani est que la courbe de réponse du courant du pont est quasi linéaire en fonction de la pression en air. Selon un autre mode de réalisation, la jauge de pression de gaz 10 est de type thermocouple. Cette jauge de pression de gaz établit alors le bilan d'échange 30 thermique entre un conducteur chaud et la paroi froide extérieure, en fonction de la pression, par mesure directe de la température du conducteur chaud avec un thermocouple. De façon encore plus avantageuse, on peut utiliser des versions de jauges Pirani ou de thermocouple optimisées pour inclure les phénomènes de 35 convection qui existent à haute pression. En pratique, pour la détection de fuites d'une pièce à tester, on asperge la pièce à tester 1 d'un gaz de test, qui est avantageusement de l'hélium, de l'hydrogène ou dans une moindre mesure du néon ou de l'argon. La pompe primaire 5 met en dépression l'atmosphère intérieure de la pièce à tester 1 et du dispositif de détection de fuites 2 (conduite principale 4 et jauge de pression de gaz 10) par rapport à l'atmosphère extérieure. Ainsi, en cas de fuites, le gaz de test pénètre dans l'atmosphère intérieure du dispositif de détection de fuites 2, et se propage vers la jauge de pression de gaz 10 et vers la pompe primaire 5. Les moyens de traitement du signal 11 détectent alors les variations du signal de mesure de pression fourni par la jauge de pression de gaz 10. En utilisant le fait que le signal de mesure de pression d'une jauge de pression de gaz 10, sensible aux coefficients d'échange thermique, varie en fonction de la nature des gaz présents dans l'atmosphère à tester, et en étudiant le signal de mesure de pression, on détecte la présence de fuites. Le signal de mesure de pression produit par la jauge varie de façon significative et immédiate en cas de fuites, bien que la variation de pression totale reste monotone. La figure 2 illustre le signal fourni par la jauge de mesure de pression 10 lors d'une séquence de pompage. Dans un premier temps, le signal de mesure de la pression P est décroissant monotone, car la pompe primaire 5 fait le vide dans le dispositif de détection de fuites 2 et dans la pièce à tester 1. La courbe A illustre un signal de mesure de pression, fourni par la jauge de pression de gaz 10, dans le cas où la pièce à tester 1 ne présente pas de fuites. Le signal de mesure de pression est monotone décroissant. La courbe B illustre le signal de mesure de pression dans le cas où la pièce à tester présente au moins une fuite. On remarque que la courbe B présente un pic C qui résulte du fait que, suite à l'aspersion de la surface externe de la pièce à tester par un gaz de test, du gaz de test a pénétré par une fuite à l'intérieur de la pièce à tester et a modifié le mélange gazeux à l'intérieur du couple pièce à tester 1 / dispositif de détection de fuites 2. La jauge de mesure de pression 10 a alors réagi à une brusque variation du coefficient d'échange thermique du mélange gazeux dans l'atmosphère intérieure du dispositif de détection de fuites 2. Le pic C peut ainsi être interprété comme un signal de présence de fuites. II est à noter que le pic dû à la brusque variation du coefficient 35 d'échange thermique du mélange gazeux dépend du gaz de test utilisé. Par exemple, ce pic est positif si le gaz de test est de l'hélium, il sera négatif pour de l'argon. On remarque que le pic C du signal de mesure de pression de la courbe B a une valeur de 65 mbar, et que l'ordonnée du point D correspondant de 5 la courbe A est de 20 mbar. En utilisant comme indiqué ci-dessus une jauge Pirani ayant une gamme de fonctionnement jusqu'à au moins 200 mbar, on peut accélérer sensiblement la détection de fuite. En effet, pour un même volume, le temps nécessaire pour atteindre 200 mbar (au lieu de 10-20 mbar) est de 20 minutes au 10 lieu de 40 minutes. Le "temps perdu" est alors diminué de moitié. On a vu que plusieurs méthodes de traitement de signal pouvaient être utilisées, notamment l'analyse du signe de la dérivée du signal de mesure de pression. La figure 3 illustre un second mode de réalisation du dispositif selon 15 l'invention, qui comprend en outre : - une pompe secondaire 6, multiétagée, ayant une aspiration principale 9, ayant un refoulement relié à l'entrée d'aspiration primaire, et ayant au moins une aspiration intermédiaire reliée à la conduite principale 4 par une conduite intermédiaire 6b', - un analyseur de gaz 8, relié à l'aspiration principale 9 de la pompe secondaire 20 multiétagée 6, pour détecter la présence d'un gaz de fuite remontant la pompe secondaire multiétagée 6 en contre-flux. Une pompe primaire 5 est connectée à une pièce à tester 1 par un moyen de connexion 3 et par une conduite principale 4 munie d'un moyen de contrôle de flux primaire 13. Cette pompe primaire 5 refoule à la pression 25 atmosphérique. Une jauge de pression de gaz 10, de type Pirani ou thermocouple par exemple, est directement reliée à la conduite principale 4 et mesure la pression dans la conduite principale 4. Cette jauge de pression de gaz 10 est reliée à des moyens de traitement du signal 11 selon l'invention. 30 La pompe secondaire multiétagée 6 refoule à l'entrée d'aspiration de la pompe primaire 5 par l'intermédiaire d'un moyen de contrôle de flux secondaire 7. Cette pompe secondaire multiétagée 6 est avantageusement une pompe moléculaire, turbomoléculaire ou hybride, de façon à assurer un vide adéquat pour permettre l'utilisation d'un analyseur de gaz 8 de type basse pression 35 à grande sensibilité. Ce type de pompe multiétagée augmente avantageusement les possibilités d'adaptation à des volumes différents d'objets, par l'augmentation du débit de pompage. La pompe secondaire multiétagée 6 peut posséder au moins deux accès intermédiaires, tels que par exemple les accès 6b et 6c illustrés sur la figure 3. Dans le mode de réalisation illustré sur la figure 3, la pompe secondaire multiétagée 6 possède trois accès intermédiaires 6a, 6b, 6c associés à trois conduites intermédiaires 6a', 6b', 6c' et à trois moyens de contrôle de flux intermédiaires 6a", 6b", 6c". Ces conduites intermédiaires 6a', 6b', 6c' relient la pompe secondaire multiétagée 6 à la conduite principale 4. L'analyseur de gaz 8 est avantageusement un analyseur de gaz à filament, qui peut avantageusement être un spectromètre de masse, un quadripôle ou autre. Ce type de détecteur de gaz permet de réaliser une mesure avec une très grande sensibilité. La pression de fonctionnement adéquate dans le détecteur de gaz 8 est d'environ de 10-3 à 10-4 mbar pour que le filament ne soit pas endommagé. Dans le mode de réalisation illustré, on prévoit également que le dispositif de contrôle de fuites 2 comprend en outre une conduite d'entrée directe 9' munie d'un moyen de contrôle de flux d'entrée 9" et apte à connecter l'objet 1 à l'accès d'aspiration secondaire 9 de la pompe secondaire multiétagée 6 ou à l'analyseur de gaz de test 8. Le dispositif de contrôle de fuites 2 comprend des moyens de commande électroniques 12, comportant par exemple un processeur associé à une mémoire contenant un programme enregistré. Les moyens de commande 12 reçoivent les signaux de pression générés par la jauge de pression de gaz 10 apte à mesurer la pression gazeuse dans la conduite principale 4. Les moyens de commande 12 sont couplés à un système d'affichage 14 pour afficher le résultat des tests de fuites. Les moyens de contrôle de flux 6a", 6b", 6c", 7, 9" et 13, qui sont par exemple des électrovannes d'isolement de type tout ou rien, sont tous pilotés par les moyens de commande électroniques 12. Les moyens de contrôle de flux 6a", 6b", 6c", 7, 9" et 13 peuvent être chacun ouverts ou fermés avec une grande rapidité, selon un programme enregistré déterminé. Le programme enregistré commande l'ouverture et la fermeture des moyens de contrôle de flux 6a", 6b", 6c", 7, 9" et 13 en fonction de la pression P mesurée par la jauge de pression de gaz 10. Les opérations d'ouverture ou de fermeture des divers moyens de contrôle de flux 6a", 6b", 6c", 7, 9" et 13 s'effectuent lorsque les moyens de commande électroniques 12 constatent que la pression P atteint l'un de plusieurs seuils de pression prédéterminés et fonction du dispositif de détection de fuites 2. Le programme enregistré contient une séquence initiale de détection de fuite à haute pression, effectuée pendant le prévidage de la pièce à tester 1, et mettant en oeuvre la pompe primaire 5, la jauge de pression de gaz 10 et le système de pilotage et de mesure 11. Cette séquence est par exemple identique à la procédure de détection de fuites décrite précédemment en relation avec la figure 1. En l'absence d'une détection de fuites lors de la séquence initiale, le programme enregistré poursuit la détection par une séquence ultérieure de détection de fuites pendant laquelle la pompe secondaire multiétagée 6 poursuit l'établissement du vide dans la pièce à tester 1, et pendant laquelle le gaz de test remonte en contre-flux dans l'analyseur de gaz 8, pour une détection de fuites en contre-flux. Le procédé selon l'invention, ainsi complété, permet d'effectuer dans un premier temps et de façon rapide une détection de grosses fuites par la jauge de pression de gaz 10, et de poursuivre dans un deuxième temps la recherche des petites fuites par l'analyseur de gaz 8. La figure 4 illustre une descente en pression montrant le gain de temps lorsqu'on peut détecter des fuites à 200 mbar au moyen du dispositif selon l'invention (point R), au lieu de 10 à 20 mbar avec un dispositif de l'art antérieur (point S), pour une pièce à tester d'un même volume. Dans l'exemple illustré, on remarque qu'une attente de 40 minutes est nécessaire avant de pouvoir passer en mode de détection de fuites avec un analyseur de gaz en contre-flux de l'art antérieur, alors qu'une attente de seulement 20 minutes, soit deux fois moins de temps, est nécessaire avant de pouvoir passer en mode de détection de fuites avec un détecteur de fuites selon l'invention. La figure 5 illustre un troisième mode de réalisation du dispositif de 30 l'invention, qui comprend en outre au moins un capteur de présence de gaz de fuite 15 à haute pression (proche de la pression atmosphérique), connecté à la conduite principale 4. Le procédé selon l'invention, ainsi complété, permet d'effectuer de façon encore plus rapide une détection de très grosses fuites par le capteur de présence 35 de gaz de fuite 15, de poursuivre ensuite la détection de grosses fuites par la jauge de pression de gaz 10, et de poursuivre enfin par la recherche des petites fuites par l'analyseur de gaz 8. Comme capteur de présence de gaz de fuite à haute pression on peut utiliser un capteur sensible à l'hydrogène de référence "H2000" commercialisé par la société Alcatel-Lucent. Le gaz de fuite peut être un mélange de 5% d'hydrogène et 95% d'hélium. En alternative, on peut utiliser l'hydrogène seul et régler l'analyseur de gaz 8 sur le gaz hydrogène. Dans ce dernier cas, on réalise un détecteur hydrogène à gamme étendue. REVENDICATIONS 1. Dispositif de détection de fuites (2), comprenant : - un système de pompage primaire (5), adapté pour refouler à la pression atmosphérique, et ayant une entrée d'aspiration primaire, - une conduite principale (4), ayant une entrée de connexion adaptée pour être connectée à une pièce à tester (1), et ayant une sortie de connexion connectée à l'entrée d'aspiration du système de pompage primaire (5), - une jauge de pression de gaz (10), sensible aux coefficients d'échange thermiques des gaz, connectée à la conduite principale (4), et produisant un 10 signal de mesure de pression, caractérisé en ce qu'il comprend : - des moyens de traitement de signal (11), recevant le signal de mesure de pression de la jauge de pression de gaz (10), et adaptés pour détecter la présence d'une variation significative du signal de mesure de pression de gaz 15 et pour fournir alors un signal de présence de fuites. 2. Dispositif de détection de fuites selon la revendication 1, dans lequel les moyens de traitement de signal (11) analysent en continu la dérivée du signal de mesure de pression délivré par la jauge de pression de gaz (10). 3. Dispositif de détection de fuites selon la revendication 2, dans lequel les 20 moyens de traitement de signal (11) analysent en continu le signe de la dérivée du signal filtré de mesure de pression délivré par la jauge de pression de gaz (10) et émettent un signal de présence de fuites si ce signe s'inverse. 4. Dispositif de détection de fuites selon la revendication 1, dans lequel les moyens de traitement de signal (11) comparent le signal de mesure de pression 25 délivré par la jauge de pression de gaz (10) avec des courbes d'étalonnage préalablement enregistrées dans un moyen de stockage et émettent un signal de présence de fuites si le signal de mesure de pression diffère de manière significative des courbes d'étalonnage. 5. Dispositif de détection de fuites selon l'une des revendications précédentes, 30 comprenant en outre : - une pompe secondaire (6), multiétagée, ayant une aspiration principale, ayant un refoulement relié à l'entrée d'aspiration primaire, et ayant au moins une aspiration intermédiaire reliée à la conduite principale (4) par une conduite intermédiaire (6b), 15 - un analyseur de gaz (8), relié à l'aspiration principale de la pompe secondaire multiétagée (6), pour détecter la présence d'un gaz de fuite remontant la pompe secondaire multiétagée (6) en contre-flux. 6. Dispositif de détection de fuites selon la revendication 5, dans lequel l'analyseur de gaz (8) est un spectromètre de masse ou un quadripôle, et en ce que les moyens de traitement de signal (11) comparent en outre le signal de mesure de pression à un seuil de pression déterminé et génèrent un signal de mise en connexion de l'analyseur de gaz (8) lorsque la pression mesurée est inférieure audit seuil de pression. 7. Dispositif de détection de fuites selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre au moins un capteur de présence de gaz de fuite (15), connecté à la conduite principale (4), apte à détecter le gaz de fuite à une pression proche de la pression atmosphérique, et produisant un signal de présence de gaz envoyé aux moyens de traitement de signal (11). 8. Procédé de détection de fuites dans une pièce à tester dans lequel : -on met l'atmosphère intérieure d'une pièce à tester en dépression vis-à-vis de l'atmosphère extérieure, et on surveille le coefficient d'échange thermique du mélange gazeux présent dans ladite atmosphère intérieure de la pièce à tester, - on asperge à un instant donné l'extérieur de la pièce à tester avec un gaz de test, - on recherche la présence d'une variation brusque significative du coefficient d'échange thermique du mélange gazeux peu après l'instant d'aspersion, cette présence étant le signe de l'existence d'une fuite. 9. Procédé de détection de fuites selon la revendication 8, comprenant en outre une séquence ultérieure de détection de fuites pendant laquelle une pompe secondaire multiétagée poursuit l'établissement du vide dans la pièce à tester, et pendant laquelle le gaz de test remonte en contre-flux dans l'analyseur de gaz, pour une détection de fuites en contre-flux.