Brevet FR2913529A1 — publié le 20080912

BOÎTIER DE CIRCUIT INTEGRE, NOTAMMENT POUR CAPTEUR D'IMAGE, ET PROCEDE DE POSITIONNEMENT L'invention concerne la fabrication des circuits intégrés en général, et notamment les circuits de capteurs d'image destinés à former le coeur électronique des caméras ou appareils photographiques. Dans la suite on parlera uniquement de caméras, qu'il s'agisse 5 d'appareils photographiques destinés à des prises de vue fixes ou d'appareils destinés à des prises de vues animées. Un problème important qui se pose est le positionnement très précis du capteur d'image (une puce de circuit intégré) par rapport à l'optique de la caméra qui focalise une image sur ce capteur. 10 Dans une situation idéale, il faut que le plan de la puce de circuit intégré soit parfaitement perpendiculaire à l'axe optique, et, en supposant cette condition réalisée, il faut d'une part que la surface active du capteur d'image soit dans le plan focal de la puce (alignement en Z), et d'autre part que les axes transversaux et longitudinaux de la puce (dans le plan de celle- 15 ci) se croisent sur l'axe du système optique de la caméra (alignement en X et en Y). La présente invention s'intéresse d'abord à l'alignement en X et en Y, mais aussi à l'alignement en Z. Le positionnement du capteur d'image par rapport à la caméra est fait en principe par des moyens mécaniques qui 20 prennent le boîtier de la puce et le placent aussi précisément que possible par rapport à la caméra, aussi bien en X et Y (dans un plan "horizontal" qui est le plan de la surface de la puce) qu'en Z (dans une direction "verticale" perpendiculaire à la surface de la puce). La marge d'erreur liée aux moyens de positionnement mécanique du boîtier est d'une à deux centaines de 25 micromètres. Elle dépend principalement des tolérances de dimensions du boîtier. Mais cette marge d'erreur suppose que la puce soit parfaitement positionnée (en général centrée) en X et Y dans son boîtier, et à une hauteur bien connue en Z par rapport à la surface inférieure du boîtier. Pour centrer la puce dans le boîtier, et en même temps pour 30 souder des fils de connexion entre la puce et le boîtier, les machines de mise en boîtier utilisent généralement un positionnement optique grâce à des marques d'indexation formées sur le boîtier. La machine saisit la puce, détecte la position des marques, et place la puce à un endroit centré par rapport aux marques. Ce positionnement optique est nécessaire en particulier pour faire en sorte que les fils de connexion entre la puce et le boîtier soient correctement mis en place et soudés sur les plots de connexion métalliques respectifs de la puce et du boîtier. Ces marques d'indexation sont utilisées en particulier sur les boîtiers en céramique, réalisés par superposition puis cuisson de couches multiples de céramique crue revêtues de dépôts métalliques sérigraphiés ; les marques d'indexation sont utilisées pour toutes sortes de circuits intégrés, c'est-à-dire pas seulement sur les capteurs d'image. Pour que le positionnement de la puce par rapport aux plots de connexion du boîtier soit optimisé, les marques d'indexation sont en général constituées par des zones métallisées faisant partie des mêmes couches de métallisation que les plots de connexion du boîtier ; les marques sont donc sérigraphiées en même temps que les plots de connexion et que d'autres conducteurs éventuels. Mais si la position des marques est très précise par rapport aux plots du boîtier puisqu'elles sont sérigraphiées en même temps, elle n'est pas très précise par rapport aux bords du boîtier car la sérigraphie n'est pas référencée par rapport aux bords du boîtier étant donné qu'elle est réalisée avant découpage des couches de céramique en boîtiers individuels. Ceci résulte des méthodes de fabrication de ces boîtiers ; typiquement, un boîtier de céramique est fait par superposition de feuilles de céramique crue sérigraphiées avec des pâtes conductrices ; la pile superposée est ensuite découpée en boîtiers individuels qui sont cuits à haute température. La position de la découpe de l'empilement par rapport aux marques d'indexation n'est pas suffisamment précise. La tolérance de position n'est pas meilleure que 150 micromètres, et cette tolérance s'ajoute à l'erreur globale de positionnement de la puce lorsqu'on évalue la précision finale de positionnement de la puce par rapport à l'optique de la caméra. Ce positionnement insuffisamment précis de la puce par rapport à l'optique de la caméra rend nécessaire un ajustement manuel coûteux, par exemple un réglage final de position par des vis micrométriques avant collage définitif du boîtier de la puce dans la caméra. L'invention a pour but de proposer des moyens pour améliorer le positionnement relatif entre un capteur d'image et l'optique de la caméra. Pour y parvenir, l'invention propose un boîtier de circuit intégré qui comporte plusieurs marques optiques d'indexation pour le positionnement d'une puce de circuit intégré dans le boîtier, les marques ayant un bord aligné avec un bord latéral du boîtier. De préférence, il y a au moins une marque sur un premier bord et deux marques sur un bord perpendiculaire au premier. Les marques sont de préférence réalisées par des portions d'une 10 couche conductrice servant également à former des plots d'interconnexion pour la soudure de fils de connexion sur ces plots. De préférence, la hauteur des marques au-dessus d'un fond plat du boîtier est égale à la hauteur de la surface supérieure de la puce au-dessus du fond plat sur lequel elle est posée. On tient compte de préférence 15 dans cette détermination de hauteur de l'épaisseur de colle ou de soudure pouvant exister entre la puce et le fond. Les marques sont ainsi placées dans un plan qui est le plus voisin possible du plan de la surface supérieure de la puce montée dans le boîtier. Les marques sont de préférence placées sur une portion 20 périphérique du boîtier, dans un plan situé au-dessous de la partie la plus haute du boîtier. Elles peuvent être formées soit sur un décrochement périphérique entourant tout le boîtier, soit dans des encoches locales (typiquement une encoche par marque) creusées dans la partie supérieure du boîtier. Si la marque est placée dans une encoche respective, elle peut 25 occuper la totalité ou une partie seulement du fond de l'encoche. Le procédé d'alignement selon l'invention, qui est un procédé de positionnement précis de puce de capteur d'image par rapport à un système optique d'une caméra, comprend deux étapes : - alignement optique, par machine, de la puce dans un boîtier de 30 circuit intégré comportant au moins une marque optique d'indexation ayant un bord aligné avec un bord latéral du boîtier ; - et positionnement mécanique des bords du boîtier par rapport à la caméra. Les marques d'indexation peuvent servir de référence d'alignement soit mécanique soit optique en hauteur pour un positionnement précis du boîtier dans le sens de l'axe optique de la caméra. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 représente, en vue de dessus, un boîtier de circuit intégré classique, adapté ici à un capteur d'image en forme de barrette 70 linéaire ; - la figure 2 représente une vue en coupe agrandie montrant la disposition de la puce de capteur dans son boîtier ; - la figure 3 représente un boîtier de circuit intégré modifié selon l'invention ; 15 - la figure 4 représente une vue en coupe agrandie du boîtier de la figure 3 avec sa puce ; - la figure 5 représente une variante de réalisation du boîtier selon l'invention. 20 On considère à titre d'exemple un capteur d'image, en boîtier de céramique, l'invention étant tout particulièrement intéressante pour un capteur d'image bien que les marques d'indexation soient utiles pour n'importe quel autre type de circuit intégré. Le capteur d'image est, dans cet exemple, une barrette multilinéaire de forme très allongée. 25 Le boîtier 10 de capteur d'image classique des figures 1 et 2 est rectangulaire et allongé ; il est par exemple en forme de double cuvette et possède un fond plat sur lequel repose la puce 12 de capteur d'image. Le boîtier comporte un premier rebord de cuvette, 14, qui entoure totalement ou partiellement la puce 12 ; le rebord est plan, parallèle au fond plat du boîtier. 30 Sur la figure 1, le rebord 14 n'entoure que partiellement la puce puisqu'on ne trouve pas ce rebord sur les petits côtés du boîtier. La puce ne possède de plots de connexion électrique que sur ses grands côtés. Si elle en possédait sur ses quatre côtés (cas d'une puce carrée par exemple) le rebord 14 serait présent sur les quatre côtés. Le rebord 14 porte des plots métallisés 16 servant à la soudure de fils de connexion 18 qui sont soudés entre chaque plot 16 et un plot correspondant, non représenté, formé sur la puce. Seuls quelques fils 18 sont représentés sur le dessin. Le boîtier 10 comporte une deuxième rebord de cuvette 20, dans un plan parallèle au plan du premier rebord 14, plus haut que le premier, et plus haut que les fils 18. Enfin, la puce et ses fils sont de préférence protégés par une plaque de protection transparente 22 (par exemple en verre) qui ferme la partie supérieure de la cuvette et qui s'étend parallèlement au fond plat du boîtier. Cette plaque est collée sur toute la périphérie du rebord 20. La plaque transparente 22 protège la puce, tout en laissant passer la lumière pour permettre au capteur d'image de recevoir une image à convertir en signaux électroniques. Des marques d'indexation 24 (au moins deux) sont formées sur le rebord plan 14. Elles sont constituées par des portions isolées de la couche métallique qui sert à former les plots de connexion 16 du boîtier, et elles ont une forme permettant une aide pour un système de positionnement optique capable de les repérer. Le contraste entre la métallisation de la marque 24 et les parties non métallisées qui l'entoure permet ce repérage. Les marques peuvent être classiquement en forme de croix comme cela est représenté. Ces marques sont utilisées au moment de la mise en place de la puce sur le fond plat du boîtier, et au moment de la soudure des fils de connexion entre la puce et le boîtier ; elles servent à l'appareil de manipulation et de soudure de la puce, assisté par le système de positionnement optique, pour placer la puce exactement à l'endroit désiré, de manière à pouvoir ensuite souder automatiquement et très précisément chaque fil de connexion 18 entre un plot de la puce et un plot respectif 16 du boîtier. Les marques 24 sont placées d'une manière très précise par rapport aux plots 16 du boîtier. Elles sont d'ailleurs formées dans le même plan et à l'aide du même masque et de la même opération de gravure ou plus généralement de sérigraphie. Ainsi, on est à peu près sûr d'avoir une très faible marge d'erreur de positionnement entre ces marques et les plots. Mais ces marques ne sont pas très précisément positionnées par rapport aux bords du boîtier. Elles sont par exemple à une distance I d'un grand bord dans la direction de la largeur du boîtier et une distance L d'un petit bord selon la longueur du boîtier, comme cela est représenté sur la figure 1. L'incertitude sur les valeurs de I et de L est importante car seule est considérée comme importante la position de la marque par rapport aux plots. L'invention propose de modifier la constitution de la marque d'indexation pour que la marque possède un bord aligné avec un bord du boîtier. L'incertitude sur le positionnement de cette marque par rapport à ce bord devient nulle. S'il y a au moins une marque sur deux côtés perpendiculaires, on dispose alors d'au moins une marque dont l'incertitude de positionnement par rapport à un bord est nulle et une autre marque dont l'incertitude par rapport à un bord perpendiculaire est nulle. Si les marques sont sérigraphiées ou gravées par le même masque que les plots métallisés, l'incertitude de positionnement de la marque par rapport à ces plots reste la même que dans le cas de la figure 1, c'est-à-dire faible. Au total la puce sera maintenant positionnée correctement non seulement par rapport aux plots mais aussi par rapport aux bords du boîtier. La figure 3 et la figure 4 représentent le boîtier selon l'invention. Les mêmes références qu'aux figures 1 et 2 sont utilisées pour les mêmes éléments. Cinq marques ont été représentées à titre d'exemple: deux marques 30 et 32 sur un grand côté, deux marques 34 et 36 sur l'autre grand côté, et une marque 38 sur un petit côté perpendiculaire aux grands côtés. Un groupe de trois marques seulement pourrait suffire (deux sur un grand côté, une sur un petit côté), voire même deux seulement (un sur chacun de deux côtés perpendiculaires). Chaque marque possède un bord rigoureusement aligné avec le côté respectif sur lequel elle est placée. Ce résultat est facile à obtenir compte-tenu du procédé de fabrication usuel des boîtiers de céramique : découpage par emboutissage de plaques de céramique crue d'assez grande dimension pour former simultanément plusieurs boîtiers juxtaposés les uns aux autres ; sérigraphie de métallisations sur ces plaques, pour la pluralité de boîtiers ; empilement des couches ; découpage des plaques empilées en boîtiers individuels ; et cuisson de la céramique. Lors de la sérigraphie, les marques d'indexation pourront être formées comme une marque deux fois plus longue servant pour deux boîtiers à la fois, mais ceci n'est pas obligatoire ; lors de la découpe selon une ligne séparant deux boîtiers juxtaposés, la marque est coupée en deux et chaque boîtier dispose d'une marque dont le bord découpé est exactement aligné avec le bord du boîtier. Sur les figures 3 et 4, on a représenté les marques comme étant disposées chacune dans une encoche 40 creusée dans le rebord supérieur 20. La profondeur de l'encoche est de préférence égale à la différence de hauteur entre le rebord 20 (qui constitue la surface supérieure du boîtier) et le rebord 14, afin que les marques puissent être sérigraphiées en même temps que les plots métallisés sur une seule surface de céramique crue qui est la surface du rebord 14. Les encoches sont formées lors de l'opération de découpage/emboutissage des plaques de céramique crue (avant empilement de ces plaques). Les marques vont servir au système de positionnement optique pour placer la puce et souder les fils de connexion entre la puce et les plots 16. Puis, lors du positionnement du boîtier (contenant la puce) à l'intérieur d'une caméra, ou à l'intérieur d'un système optique de caméra, le positionnement sera mécanique par rapport aux bords du boîtier, aussi bien dans le plan horizontal (en X et Y) que selon l'axe optique (en Z, perpendiculairement au fond du boîtier. De préférence, la hauteur du fond de l'encoche au-dessus du fond plat du boîtier est égale à la hauteur de la surface supérieure de la puce au-dessus de ce fond plat (en tenant compte éventuellement d'une épaisseur de colle entre la puce et le fond du boîtier). Ainsi, la marque optique est dans le plan de la surface supérieure de la puce, qui est le plan sur lequel l'optique de focalisation de la caméra devra focaliser une image. Les marques peuvent alors encore mieux servir en outre au positionnement précis (optique ou mécanique) du boîtier dans la caméra dans une direction Z perpendiculaire au fond du boîtier, c'est-à-dire dans la direction de l'axe optique de la caméra. On fera en sorte que la plaque de verre ne recouvre pas les encoches et les marques (ou tout au moins la partie véritablement utile des encoches et des marques). On facilite ainsi le positionnement vertical, dans le sens de la hauteur Z, du boîtier par rapport à la caméra. Sur la figure 3, on a représenté des marques qui n'occupent pas tout le fond des encoches. On peut aussi, comme cela est représenté sur la figure 5, utiliser des encoches qui sont plus petites que les marques sérigraphiées, de sorte que la marque occupe tout le fond de l'encoche et c'est l'encoche elle-même qui définit les bords de la marque (bords autres que le bord aligné avec le bord de boîtier). Les traits pointillés de la figure 5 indique la surface de marque métallisée qui s'étend non seulement dans l'encoche mais tout autour des bords de l'encoche. Inversement, les marques pourraient aussi ne pas être formées dans des encoches et être tout simplement sérigraphiées sur un rebord plan continu, en décrochement par rapport à la surface supérieure 20 du boîtier, ce rebord s'étendant tout autour de la périphérie extérieure du boîtier. La hauteur de ce rebord extérieur serait alors la même que la hauteur du rebord intérieur 14. Sur la figure 4, on a représenté des marques d'indexation qui sont dans le plan des plots de connexion 16 mais qui ne sont pas nécessairement dans le plan du haut de la puce. Sur la figure 6, on a choisi de placer les marques dans un plan qui est celui des plots de connexion 16 ruais qui est aussi le plan de la surface supérieure de la puce 12. Le plan de la surface supérieure est le plan sur lequel le système optique de la caméra devra focaliser les images. REVENDICATIONS 1. Boîtier de circuit intégré comportant plusieurs marques optiques d'indexation pour le positionnement d'une puce de circuit intégré dans le boîtier, caractérisé en ce que les marques ont un bord aligné avec un bord latéral du boîtier. 2. Boîtier de circuit intégré selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une marque sur un premier bord et deux marques sur un bord perpendiculaire au premier. 10 3. Boîtier de circuit intégré selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les marques sont constituées par des portions d'une couche conductrice servant également à former des plots d'interconnexion pour la soudure de fils de connexion sur ces plots. 15 4. Boîtier selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les marques sont formées à l'intérieur d'encoches formées sur une surface supérieure du boîtier. 5. Boîtier selon la revendication 4, caractérisé en ce que la 20 marque occupe tout le fond de l'encoche. 6. Boîtier selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les marques sont formées sur un rebord périphérique entourant toute la périphérie du boîtier et situé au-dessous de la surface supérieure du boîtier. 7. Boîtier selon l'une des revendications 1 à 6, contenant une puce de circuit intégré soudée et reliée électriquement au boîtier, caractérisé en ce que la puce est un capteur d'image pour une caméra. 30 8. Boîtier de circuit intégré selon la revendication 7, caractérisé en ce que la hauteur des marques au-dessus d'un fond plat du boîtier est égale 25à la hauteur de la surface supérieure de la puce au-dessus du fond plat sur lequel elle est posée. 9. Boîtier selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il est céramique multicouches. 10. Procédé de positionnement précis d'une puce de capteur d'image par rapport à un système optique d'une caméra, comprenant une étape d'alignement optique, par machine, de la puce dans un boîtier de ~o circuit intégré comportant au moins une marque optique d'indexation, et une étape de positionnement mécanique des bords du boîtier par rapport à la caméra, caractérisé en ce que la marque a un bord aligné avec un bord latéral du boîtier.