Brevet FR2919718A1 — publié le 20090206

GYROSCOPE A RESONATEUR HEMISPHERIQUE MILLIMETRIQUE A DISPOSITIF DE FORCE INTERNE L'invention se rapporte de manière générale à des gyroscopes à résonateur hémisphérique (appelés GRH) et, plus particulièrement, à des gyroscopes à résonateur hémisphérique à dispositif de force interne. Des gyroscopes à résonateur hémisphérique sont connus et sont souvent utilisés comme capteurs de vitesse en tant que partie d'unités inertielles de référence (UIR) dans un vaisseau spatial et en tant que partie d'unités inertielles de mesure (UIM) dans des aéronefs et des véhicules terrestres. Tout comme un verre de vin qui tinte lorsqu'il est heurté, le gyroscope à résonateur hémisphérique est une coque hémisphérique en verre, usinée précisément, montée à l'intérieur d'un boîtier protecteur que l'utilisation de forces électrostatiques fait résonner. Une rotation du véhicule contenant le gyroscope amènera le motif à résonance à tourner à l'intérieur de son boîtier. L'angle de la rotation du motif peut alors être détecté à l'intérieur du gyroscope afin de déterminer la rotation du véhicule. Ces informations de rotation sont ensuite fournies à un processeur qui les utilise pour déterminer l'orientation du véhicule dans un espace inertiel. La vibration de résonance est si minime qu'elle ne crée dans le gyroscope pratiquement aucun effet interne de contrainte ni de fatigue conduisant à une fiabilité dégradée. La miniaturisation des composants est un problème important pour de nombreuses applications, et elle est en particulier importante pour des vaisseaux spatiaux et autres véhicules où la taille et le poids sont très recherchés. Idéalement, la miniaturisation d'un composant devrait être accomplie sans détérioration des performances. Il existe donc un besoin de miniaturisation de gyroscopes à résonateur hémisphérique sans perte de performances. Un mode de réalisation du présent procédé et du présent appareil englobe un appareil. L'appareil peut comprendre : un résonateur et un corps couplé fonctionnellement au résonateur, le corps simple comportant de manière intégrée une unité de support d'électrodes, une pluralité d'électrodes, une bague soudée et une pluralité de broches électriquement conductrices, la pluralité de broches électriquement conductrices étant couplée fonctionnellement aux électrodes, une coiffe comportant de manière intégrée un dégazeur, un ensemble de carte à circuits tampon démontable, et un couvercle séparateur comportant de manière intégrée une bague de montage. Un autre mode de réalisation du présent procédé et du présent appareil englobe un procédé. Le procédé peut comprendre : la métallisation d'un résonateur, l'équilibrage du résonateur, la métallisation d'un corps afin de former des électrodes sur celui-ci, l'alignement du résonateur par rapport aux électrodes sur le corps, la soudure du résonateur sur le corps, l'activation du dégazeur, le soudage de la coiffe sur le corps, la mise sous vide et le scellement ainsi que le montage d'un séparateur et d'un couvercle sur le corps. Les fonctions des modes de réalisation du présent procédé et du présent appareil sont présentées en particulier dans les revendications annexées. Ces modes de réalisation peuvent être mieux compris en faisant référence à la description qui suit, prise conjointement avec les dessins annexés dans les différentes figures dans lesquelles des références numériques identiques identifient des éléments identiques et dans lesquelles : la figure 1 décrit un mode de réalisation du GRH millimétrique (GRHm) conformément au présent procédé et au présent appareil, la figure 2 décrit une vue en coupe du GRHm de la figure 1, la figure 3 décrit une vue en coupe éclatée du GRHm de la figure 1, la figure 4 est une vue en perspective d'un couvercle qui peut être utilisé sur le GRHm de la figure 1, la figure 5 est une autre vue en perspective d'un couvercle qui peut être utilisé sur le GRHm de la figure 1, la figure 6 est une vue en perspective et en coupe d'un corps qui peut être 30 utilisé sur le GRHm de la figure 1, la figure 7 est une vue en perspective d'un corps qui peut être utilisé sur le GRHm de la figure 1, la figure 8 est une vue en perspective d'une coiffe qui peut être utilisée sur le GRHm de la figure 1, la figure 9 est une vue en perspective et en coupe d'une coiffe qui peut être utilisée sur le GRHm de la figure 1, et la figure 10 est un organigramme d'un assemblage du GRHm de la figure 1. Le gyroscope à résonateur hémisphérique millimétrique à dispositif de force interne (GRHm) est un nouveau GRH, petit, de faible coût, à hautes performances, qui peut être utilisé par exemple dans des dispositifs de localisation de cible portatifs de haute précision pour des soldats à pied. Il peut présenter une conception extrêmement simplifiée ne comportant, dans un mode de réalisation du présent procédé et du présent appareil, que cinq pièces principales au total, la plupart des pièces remplissant de multiples fonctions. Dans un tel mode de réalisation, les pièces incluent : un résonateur comportant une surface interne métallisée, un corps comportant un support d'électrodes combinées, des électrodes, une bague soudée et une pluralité de broches électriquement conductrices telles que des traversées hermétiques, une coiffe possédant un dégazeur qui sert à obtenir une étanchéité par le vide autour du résonateur et un absorbeur de gaz résiduel dans la cavité entourant le résonateur, un couvercle avec une bague de montage qui protège les circuits électroniques et procure un procédé de montage du gyroscope tout en fournissant un fléchissement dans la fixation afin d'absorber tout défaut d'adaptation de la dilatation thermique entre les matériaux du bloc et du gyroscope, ainsi qu'un séparateur comportant des circuits électriques destiné à lire les signaux de capteurs et délivrer les tensions du dispositif de force au gyroscope. Le GRHm peut présenter les performances et la fiabilité de la conception éprouvée du gyroscope à résonateur hémisphérique utilisé dans de nombreuses applications critiques dans l'espace, destinées à des fonctions de pointage et de stabilisation. Bien que les modes de réalisation du présent procédé et du présent appareil peuvent être de taille significativement plus petite par comparaison à des capteurs GRH classiques, le GRHm possède une capacité unique d'auto-étalonnage et garantit des performances constantes dans des environnements opérationnels rudes. Le GRH classique présente un bruit de vitesse de rotation extrêmement faible, un fonctionnement à faible puissance et une petite taille ainsi qu'un petit poids. D'autres réductions de taille et de poids sont autorisées par le GRHm grâce à la mise en oeuvre d'une mécanisation du système qui n'utilise que huit électrodes internes, lesquelles fournissent à la fois des fonctions de capteur et de force (appelées "dispositif de force interne"). Ceci supprime le besoin des 32 électrodes externes utilisées aujourd'hui sur les GRH classiques. L'amplitude maximum de fléchissement du résonateur dans le GRHm est lue par une électrode de capteur. Une force peut être imposée au résonateur pour le faire fléchir, et ceci est accompli par l'électrode du dispositif de force. En service, des forces électrostatiques se produisent entre les électrodes sur le corps et le résonateur qui présente une surface métallisée. Dans ce mode de réalisation, quatre des électrodes sont utilisées comme électrodes du dispositif de force, et les quatre autres électrodes sont utilisées comme électrodes de capteur. La figure 1 décrit un mode de réalisation du GRHm conforme au présent procédé et au présent appareil. La figure 2 décrit une vue en coupe du GRHm de la figure 1 et la figure 3 est une vue en coupe éclatée du GRHm de la figure 1. La figure 4 est une vue en perspective d'un couvercle qui peut être utilisé dans le GRHm de la figure 1 et la figure 5 est une autre vue en perspective d'un couvercle qui peut être utilisé dans le GRHm de la figure 1. La figure 6 est une vue en perspective et en coupe d'un corps qui peut être utilisé dans le GRHm de la figure 1 et la figure 7 est une autre vue en perspective d'un corps qui peut être utilisé dans le GRHm de la figure 1. La figure 8 est une vue en perspective d'une coiffe qui peut être utilisée dans le GRHm de la figure 1 et la figure 9 est une vue en perspective et en coupe d'une coiffe qui peut être utilisée dans le GRHm de la figure 1. La figure 10 est un organigramme d'un assemblage du GRHm de la figure 1. Dans les diverses figures, les éléments identiques sont identifiés par des références numériques identiques. Un GRHm 100, conforme à un mode de réalisation du présent procédé et du présent appareil, peut comporter un résonateur 108 possédant une tige 109, un corps 105 possédant des électrodes 124, une structure de support d'électrodes 107, une bague soudée 104, des traversées hermétiques ou des broches électriquement conductrices 112 et une connexion électrique au résonateur 122 entre les broches électriquement conductrices 112 et la tige de résonateur 109, une coiffe 106 qui sert à obtenir une étanchéité par le vide autour du résonateur 108 comportant un dégazeur intégré 126, un couvercle 102 comportant une bague de montage qui protège les circuits électroniques, procure un procédé de montage du gyroscope et procure un fléchissement permettant d'absorber tout défaut d'adaptation de la dilatation thermique entre les matériaux du bloc et du gyroscope, ainsi qu'un séparateur 110 comportant des circuits électriques pour lire les signaux de capteurs et délivrer les tensions du dispositif de force au gyroscope. Le résonateur 108 peut présenter, par exemple, une conception hémisphérique de diamètre 30 mm. Des résonateurs de diamètre réduit (par exemple 15 mm) peuvent également être utilisés conformément au présent procédé et au présent appareil si une importante réduction de taille est souhaitée. Alors que la structure du résonateur n'a pas changé par rapport à la conception utilisée dans des gyroscopes précédents, les étapes de traitement ont été réduites. Sans aucun dispositif de forces externe, la nécessité de métalliser l'extérieur du résonateur est éliminée. Celle-ci élimine également la nécessité de la seconde étape du traitement d'équilibrage qui est actuellement effectuée après une métallisation extérieure. Dans un mode de réalisation conforme au présent procédé et au présent appareil, la structure de support d'électrodes 107 peut être conçue à partir d'une pièce en céramique moulée pouvant être usinée. La structure de support d'électrodes 107 peut être moulée puis, après chauffage, usinée à des proportions légèrement surdimensionnées. Celle-ci peut ensuite être chauffée une seconde fois, ce qui résulte en un matériau très résistant et dur qui ne demandera qu'un usinage de rectification minimal en vue de son achèvement. Une fois réalisées, les broches des traversées 112 et la bague soudée 104 peuvent être brasées sur la pièce, ce qui résulte en une pièce de précision qui peut être rendue étanche hermétiquement pour maintenir le vide poussé demandé par le GRHm 100. Le corps 105 peut comporter : une structure de support d'électrodes 107 qui est formée à partir d'un matériau en céramique pouvant être usiné, une pluralité de broches électriquement conductrices 112 qui s'étendent de part et d'autre du corps 105 à des emplacements prédéterminés, une bague soudée 104, une pluralité d'électrodes 124 et une connexion électrique 122 au résonateur. Les électrodes 124 et la connexion électrique 122 au résonateur peuvent être déposées sur la structure de support d'électrodes 107 selon une configuration prédéterminée. La pluralité d'électrodes 124 et la connexion électrique 122 au résonateur établissent également des connexions électriques respectives avec la pluralité de broches 112 électriquement conductrices. Les broches 112 électriquement conductrices et les électrodes associées 124 fournissent de la puissance au gyroscope, lisent des données du gyroscope, etc. Les broches 112 électriquement conductrices et la connexion électrique 122 au résonateur fournissent de la puissance au résonateur du gyroscope. Les broches 112 électriquement conductrices peuvent être rendues étanches hermétiquement dans le corps 107. La bague soudée 104 peut être formée à partir de matériaux tels que de l'aluminium de haute résistance, du Kovar ou de l'acier inoxydable, et elle est fixée au diamètre extérieur de la structure de support d'électrodes 107. Les broches 112 peuvent établir une conductivité électrique avec les circuits électroniques (non représentés) en se mettant en prise, par exemple, avec les supports de broches 114 dans un séparateur 110. Les circuits électroniques peuvent être situés sur le séparateur 110 sur un côté opposé à la structure de support d'électrodes 107. Les électrodes 124 peuvent s'étendre le long du côté de la structure de support d'électrodes 107 et par- dessus la structure de support d'électrodes 107 afin de se connecter aux broches 112. Dans le mode de réalisation décrit, les électrodes 124 peuvent avoir une forme sensiblement en coin sur le côté du corps 107, et elles sont réparties autour de la structure de support d'électrodes 107. Dans le mode de réalisation décrit, la connexion électrique 122 au résonateur peut s'étendre le long de la surface interne 117 de la structure de support d'électrodes 107 et par-dessus la structure de support d'électrodes 107 afin de se connecter aux broches 112. La coiffe 106 peut comporter un dégazeur 126 qui provient d'une pièce composite. La fonction de la coiffe peut être d'obtenir la cavité de vide enfermant le résonateur 108. La coiffe 106 peut être soudée sur la bague soudée 104 alors que, dans un état de vide tel que lorsque la soudure hermétique encercle complètement le cylindre, la cavité de vide est rendue étanche, ce qui élimine ainsi la nécessité d'une ouverture d'évacuation séparée. Le dégazeur 126 peut être d'un type activé par la chaleur qui peut être déposé dans la coiffe 106. Dans un exemple de dégazeur, avant que le matériau utilisé pour le dégazeur fonctionne comme un dégazeur, il peut être activé par la chaleur à 450 C puis rendu étanche dans le gyroscope. Le dégazeur 126 peut être activé immédiatement avant le traitement consistant à souder la coiffe 106 sur la bague soudée 104. Le couvercle 102 peut fonctionner en tant que protection des circuits électroniques sur le séparateur 110 situé en dessous. Le côté 103 du couvercle 102 peut être découpé pour fournir un montage en ressort qui permettra au gyroscope de se dilater thermiquement indépendamment de la plate-forme du système. Ceci empêche la contrainte thermique de provoquer des pertes dans le résonateur 108 pendant le fonctionnement. Le couvercle 102, dans un mode de réalisation du présent procédé et du présent appareil, peut être formé d'aluminium, de Kovar ou d'acier inoxydable. Le couvercle 102 peut être fixé à la bague soudée 104 du corps 105, par exemple, par des vis ou des boulons (non représentés) qui peuvent s'étendre de part et d'autres d'un premier ensemble de pattes de fixation 116 situé sur un côté extérieur 103 du couvercle 102. Un second ensemble de pattes 118 sur le côté extérieur 103 du couvercle 102 peut recevoir des vis ou des boulons, par exemple, qui immobilisent le gyroscope sur une plate-forme (non représentée). Dans le mode de réalisation décrit, les premières et secondes pattes 116, 118 alternent autour du couvercle 102. Le couvercle 102 peut également comporter une bague déformable 122 du côté extérieur 103 du couvercle 102. La bague déformable 122 étant formée par une série de fentes pratiquées dans le côté extérieur 103 du couvercle 102, laquelle s'étend entre les pattes 118 et l'ensemble adjacent de pattes 118. Dans le mode de réalisation décrit, la bague déformable 122 comporte trois fentes qui sont situées de manière contiguë au premier ensemble de trois pattes 118 afin de fixer le couvercle 102 sur la bague soudée 104. La bague déformable 122 est ainsi une structure intégrée au couvercle 102. La bague déformable 122 permet le fléchissement dû à la dilatation de la plate-forme par rapport au gyroscope, provoquée, par exemple, par la chaleur. Le séparateur 110 peut être un ensemble de carte à circuits tampon qui détermine la position des circuits électroniques nécessaires pour lire les capacités des électrodes dans le gyroscope. Celles-ci sont des signaux à bas niveau qui seraient sensibles à des interférences électriques si elles étaient tracées du gyroscope vers les cartes du système. Il fournit également l'acheminement des signaux pour les signaux du dispositif de force nécessaires pour commander le gyroscope. Le séparateur 110 peut comporter une pluralité de supports à force d'insertion nulle ou de plots métallisés 114 qui reçoivent et établissent une connexion électrique avec les broches 112 du corps 105. Par exemple, les circuits électroniques peuvent comporter des circuits tampons sur les capteurs où la tension qui se produit aux bornes des électrodes est lue par l'intermédiaire d'un amplificateur opérationnel. Ces tensions peuvent être amplifiées et émises vers les circuits électroniques du système. Les circuits électroniques du système peuvent comporter des convertisseurs analogique-numérique qui sont couplés fonctionnellement à un processeur numérique du signal afin de convertir les mesures lues en mesures où fléchit le résonateur, et avec quelle amplitude. Un algorithme de commande émet ensuite des signaux de dispositif de force vers les électrodes du dispositif de force afin de maintenir le fléchissement du résonateur dans un état prédéterminé. En général, un gyroscope est un capteur qui donne des informations sur une vitesse angulaire ou sur la vitesse à laquelle il tourne. Du fait que la sortie du gyroscope indique à quelle vitesse un objet tourne, le signal de sortie doit être intégré ou être accumulé dans le temps. L'intégration implique l'échantillonnage périodique du gyroscope avec un convertisseur analogique -numérique, la multiplication du nombre résultant par le nombre de secondes entre les échantillons et son addition à une variable statique qui conserve la trajectoire de l'angle. Le décalage de polarisation du gyroscope, connu également comme la sortie à vitesse nulle, représente le signal du dispositif de force présent lorsque le gyroscope ne tourne pas autour de son axe sensible. Par exemple, un gyroscope peut avoir un décalage de polarisation d'environ 0,5 /h. Des mesures de la sortie du gyroscope au-delà du décalage de polarisation indiquent une rotation dans un sens, par exemple dans le sens des aiguilles d'une montre, alors que des mesures de la sortie en dessous du décalage de polarisation indiquent une rotation dans le sens opposé, par exemple dans le sens contraire des aiguilles d'une montre. La figure 10 est un organigramme d'un assemblage du GRHm 100 de la figure 1. Le processus de construction pour le GRHm 100 est significativement simplifié selon le présent procédé. Le processus global peut être divisé en seulement 8 étapes : la métallisation du résonateur (1001), l'équilibrage du résonateur (1002), la métallisation du corps (1003), l'alignement du résonateur par rapport aux électrodes du corps (1004), la soudure du résonateur au corps (1005), la mise sous vide et le scellement (1006) (ce qui inclut le chauffage du dégazeur, l'étuvage et le soudage de la coiffe sur le corps), l'assemblage du sommet (1007) (ce qui inclut le montage du séparateur et du couvercle) et le test (1008). On devra comprendre que les pièces du gyroscope peuvent présenter de nombreuses formes différentes et que les formes décrites en représentent seulement un mode de réalisation. Par exemple, la coiffe peut être cylindrique plutôt que d'avoir un sommet en forme de dôme. Le gyroscope conforme au présent procédé et au présent appareil est moins cher à construire et est moins lourd que des gyroscopes de la technique antérieure. Le présent appareil dans un exemple de réalisation peut comprendre une pluralité de composants tels qu'un ou plusieurs composants électroniques, des composants physiques et des composants de logiciel informatique. Un certain nombre de tels composants peut être combiné ou séparé dans l'appareil. Le présent procédé et le présent appareil ne sont pas limités aux détails particuliers des modes de réalisation décrits. D'autres modifications et applications peuvent être envisagées. Certains autres changements peuvent être réalisés dans les modes de réalisation décrits ci-dessus sans s'écarter de l'esprit et de la portée du présent procédé et du présent appareil en question ici. Il est prévu, par conséquent, que le sujet de la description ci-dessus soit interprété dans un sens d'illustration est non dans un sens de limitation. REVENDICATIONS 1. Appareil comprenant : un résonateur (108) comportant une surface interne métallisée, un corps (105) couplé fonctionnellement au résonateur, une coiffe (106) couplée fonctionnellement au corps de telle sorte que la coiffe et le corps forment une chambre étanche de vide qui contient le résonateur, un séparateur (110) comportant des circuits électriques, lequel fournit, par l'intermédiaire du corps, des signaux de lecture de capteurs et des tensions de dispositif de force afin de réaliser l'interface avec le résonateur, et un couvercle (102) couplé fonctionnellement au corps de telle sorte que le couvercle et le corps forment un espace qui contient les circuits électroniques, dans lequel le corps fonctionne pour supporter le résonateur et pour transporter les signaux de lecture de capteurs et des tensions de dispositif de force entre les circuits électroniques et le résonateur. 2. Appareil selon la revendication 1, dans lequel le corps comporte une ouverture sensiblement centrale et dans lequel le résonateur possède une tige (109) qui peut être reçue fonctionnellement par l'ouverture sensiblement centrale pratiquée dans le corps. 3. Appareil selon la revendication 1, dans lequel le corps possède une pluralité d'électrodes (124) et une unité de support d'électrodes (107), une bague soudée (104), une pluralité de broches (112) électriquement conductrices et une connexion électrique au résonateur. 4. Appareil selon la revendication 3, dans lequel les électrodes (124) sont respectivement couplées fonctionnellement aux broches (112) électriquement conductrices. 5. Appareil selon la revendication 3, dans lequel la bague soudée (104) est couplée fonctionnellement à un diamètre extérieur de l'unité de support d'électrodes. 6. Appareil selon la revendication 3, dans lequel la pluralité d'électrodes (124) est déposée sur une surface de l'unité de support d'électrodes selon un motif prédéterminé. 7. Appareil selon la revendication 3, dans lequel la pluralité de broches (112) sont des traversées hermétiques. 8. Appareil selon la revendication 1, dans lequel la coiffe possède un dégazeur (126) déposé sur une surface interne de celle-ci. 9. Appareil selon la revendication 8, dans lequel le dégazeur (126) est activé par la chaleur avant le scellement de la coiffe sur le corps. 10. Appareil selon la revendication 1, dans lequel le couvercle procure un fléchissement afin d'absorber tout défaut d'adaptation dû à la température entre les matériaux de la plate-forme et du gyroscope. 11. Appareil selon la revendication 3, dans lequel le corps est formé à partir d'une pièce en céramique moulée pouvant être usinée. 12. Appareil selon la revendication 11, dans lequel les broches électriquement conductrices (112) et la bague soudée (104) sont accouplées sur l'unité de support d'électrodes (107), ce qui résulte en un corps de précision qui est hermétiquement rendu étanche afin de maintenir un vide poussé. 13. Appareil comprenant : un résonateur (108), et un corps (105) couplé fonctionnellement au résonateur, le corps simple comportant de manière intégrée des électrodes (124), une unité de support (107) d'électrodes, une bague soudée (104), une pluralité debroches électriquement conductrices (112), la pluralité d'électrodes étant couplée fonctionnellement aux broches électriquement conductrices, ainsi qu'une connexion électrique au résonateur couplée fonctionnellement à une broche électriquement conductrice. 14. Appareil selon la revendication 13, dans lequel l'appareil comprend en outre : une coiffe (106) couplée fonctionnellement au corps de telle sorte que la coiffe et le corps forment une chambre étanche de vide qui contient le 10 résonateur, un séparateur (110) comportant des circuits électriques qui fournissent, par l'intermédiaire du corps, des signaux de lecture de capteurs et des tensions de dispositif de force afin de réaliser l'interface avec le résonateur, et 15 un couvercle (102) couplé fonctionnellement au corps de telle sorte que le couvercle et le corps forment un espace qui contient les circuits électroniques, dans lequel le corps fonctionne afin de supporter le résonateur et transporter les signaux de lecture de capteurs et des tensions de dispositif de 20 force entre les circuits électroniques et le résonateur. 15. Appareil selon la revendication 14, dans lequel l'unité de support d'électrodes (107) comporte une ouverture sensiblement centrale, et dans lequel le résonateur (108) possède une tige (109) qui peut être reçue 25 fonctionnellement par l'ouverture sensiblement centrale dans l'unité de support d'électrodes (107). 16. Appareil selon la revendication 15, dans lequel les électrodes sont respectivement couplées fonctionnellement aux broches électriquement 30 conductrices (112). 17. Appareil selon la revendication 14, dans lequel la bague soudée (104) est couplée fonctionnellement à un diamètre extérieur de l'unité de support d'électrodes. 35 18. Appareil selon la revendication 14, dans lequel la pluralité d'électrodes (124) est déposée sur une surface de l'unité de support d'électrodes selon un motif prédéterminé. 19. Appareil selon la revendication 14, dans lequel la pluralité de broches sont des traversées hermétiques. 20. Appareil selon la revendication 14, dans lequel la coiffe comporte un dégazeur (126) sur une surface interne de celle-ci. 21. Appareil selon la revendication 20, dans lequel le dégazeur (126) est activé par la chaleur avant le scellement de la coiffe sur l'unité de support d'électrodes (127). 15 22. Appareil selon la revendication 14, dans lequel le couvercle procure un fléchissement permettant d'absorber tout défaut d'adaptation dû à la température entre les matériaux de la plate-forme et du gyroscope. 23. Appareil selon la revendication 14, dans lequel l'unité de support 20 d'électrodes est formée à partir d'une pièce en céramique moulée pouvant être usinée. 24. Appareil selon la revendication 23, dans lequel les broches électriquement conductrices et la bague soudée sont accouplées sur l'unité 25 de support d'électrodes, ce qui résulte en un corps de précision qui est hermétiquement rendu étanche afin de maintenir un vide poussé. 25. Procédé comprenant : la métallisation d'un résonateur (108), 30 l'équilibrage du résonateur, la métallisation d'une unité de support d'électrodes (107) afin de former des électrodes sur celle-ci, l'alignement du résonateur par rapport aux électrodes sur l'unité de support d'électrodes, 35 la soudure du résonateur sur un corps (105),10la mise sous vide et le scellement, et le montage d'un séparateur (110) et du couvercle sur le corps. 26. Procédé selon la revendication 25, dans lequel la mise sous vide et le montage incluent le chauffage d'un dégazeur, un étuvage et un scellement d'une coiffe (106) sur la bague soudée par l'intermédiaire d'un soudage. 27. Procédé selon la revendication 25, dans lequel l'unité de support d'électrodes (107) est formée à partir d'une pièce en céramique moulée pouvant être usinée. 28. Procédé selon la revendication 25, dans lequel une pluralité d'électrodes (124) est déposée sur une surface de l'unité de support d'électrodes selon un motif prédéterminé. 29. Procédé selon la revendication 25, dans lequel le corps comporte une ouverture sensiblement centrale et dans lequel le résonateur possède une tige (109) qui peut être reçue fonctionnellement par l'ouverture sensiblement centrale pratiquée dans le corps. 30. Procédé selon la revendication 25, dans lequel l'unité de support d'électrodes comporte des broches électriquement conductrices, et dans lequel les électrodes sont respectivement couplées fonctionnellement aux broches électriquement conductrices.