Brevet FR2904726A1 — publié le 20080208

--> i "Procédé et dispositif pour le dépôt de couche barrière par plasma froid et machine utilisant un tel dispositif" La présente invention concerne un procédé et un dispositif de contrôle d'un générateur d'ali mentation haute tension pour magnétron de dépôt de réacteur de couche barrière par plasma froid. Elle concerne aussi une machine de dépôt de couche barrière par plasma froid utilisant un tel dispositif. Dans l'état de la technique, on a déjà décrit des procédés qui , suite à l'injection de précurseurs gazeux, ou encore de mélanges gazeux, par exemple à base de carbone et/ou de siliciu m, à l'intérieur de corps creux en matériau plastique comme du P ET, permettent de produire un plasma froid conduisant à la formation de couches barrière. Ces couches sont particulièrement appropriées lorsque les corps creux sont des récipients : en effet, elles permettent de protéger le contenu ultérieurement rempli dans le récipient des échanges gazeux avec l'extérieur, notamment de l'oxygène de l'air. Une telle protection est particulièrement avantageuse par exemple, mais non exclusivement, lorsque le produit rempli dans le récipient est un produit alimentaire. Dans l'état de la technique, de tels procédés sont mis en œuvre au moyen de machines de dépôt de couche barrière par plasma froid comprenant chacun au moins un poste de traitement avec une cavité et un magnétron produisant des micro-ondes. Au moins un corps creux à traiter est introduit dans la cavité et l'énergie micro-ondes, qui est appliquée en un emplacement convenable du volume intérieur du corps creux produit dans le gaz précurseur un plasma froid dont les espèces actives sont projetées contre la paroi du corps creux. L'ensemble de ces espèces actives forme le dépôt barrière aux gaz. Cependant, les dispositifs destinés à générer l'ali mentation électrique du magnétron , qui transforme l'énergie électrique qu'il reçoit en une énergie micro-ondes qu'il rayonne, ne présentent -->pas dans l'état de la technique une performance opti misée par rapport à notre application . Pour parvenir à des cadences de production élevées, il est connu que les machines de dépôt de couches barrière comportent plusieurs postes de travail (jusqu 'à 48 sur les machines connues jusqu'alors) comprenant chacun au moins un magnétron ou une antenne rayonnante connectée à un magnétron . I l en résulte que la panne d'un seul de ces magnétrons entraîne des pertes de production . Une mauvaise définition de l 'ali mentation électrique du magnétron (forme d'onde de puissance) limite la performance du processus ainsi que la durée de vie de ce magnétron . La présente invention apporte remède à ces inconvénients de l'état de la technique en ce qu'elle concerne un procédé de contrôle d'un générateur d'une alimentation électrique haute tension pour magnétron destiné à produire un plasma froid à l'intérieur d'un corps creux de façon à déposer une couche barrière à l'intérieur du dit corps creux. Selon l'invention, le procédé consiste à choisir un mode de fonctionnement du générateur parmi une pluralité de modes de fonctionnement, chaque mode étant dimensionne de manière à respecter une aire de sécurité de fonctionnement du magnétron et de son alimentation en fonction d'un objectif de travail exprimé en termes de température du corps creux, de caractéristiques de couche barrière et/ou de coloration de la couche barrière déterminés en fonction de la puissance de consigne. Dans un premier mode de fonctionnement, le profil de l'alimentation en puissance du magnétron est déterminé par une série d'essais sur une gamme significative de corps creux. Les paramètres de puissance maximale (Pmax) et degré de conduction ou rapport cyclique de conduction (Th) sont ainsi définis en fonction de la puissance de consigne moyenne (Pmoy) . Dans un deuxième mode de fonctionnement, le profil de l'alimentation en puissance du magnétron est défini par une -->valeur figée de la puissance maxi male (Pmax) quelle que soit la puissance de consigne moyenne (Pmoy). Le rapport cyclique de conduction (Th) résulte des deux paramètres précédemment cités. Dans un troisième mode de fonctionnement, le profil de l'alimentation en puissance du magnétron est défini par une valeur figée du rapport cyclique de conduction (Th) quelle que soit la puissance de consigne moyenne (Pmoy). La puissance maximale (Pmax) résulte des deux paramètres précédem ment cités. Selon d'autres caractéristiques de l'invention , un dispositif de contrôle d'un générateur d'ali mentation haute tension pour magnétron de dépôt de couche barrière par plasma froid est caractérisé en ce qu'il comporte indépendamment ou en combinaison : - un circuit pour piloter un générateur d'alimentation haute tension ; - un circuit pour contrôler les électrodes de commande d'un pont d'interrupteurs de puissance en fonction d'une forme d'onde de puissance de consigne, ledit dispositif de contrôle mettant en œuvre le procédé de l'invention et comportant : - des moyens pour mémoriser des paramètres de puissance maxi male, de rapport cyclique de conduction maxi mal en fonction d'un mode de fonctionnement prédéterminé, - un moyen pour sélectionner une valeur de puissance de consigne, un moyen pour déterminer une fréquence de fonctionnement, - un moyen pour sélectionner un mode de fonctionnement du générateur d'ali mentation haute tension, - un moyen pour déterminer en fonction de la puissance et/ou de la fréquence sélectionnées une valeur de fonctionnement de la consigne de puissance instantanée assurant un objectif de travail expri mé en termes de température du corps creux, -->d'épaisseur de couche barrière et/ou de coloration de la couche barrière déterminés par une puissance de consigne. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention seront mieux compris à l'aide de la description et des figures annexées parmi lesquelles : -- la figure 1 comporte trois parties respectivement 1 a, 1 b, 1 c pour illustrer un dispositif de contrôle d'un générateur et un générateur d'alimentation électrique haute tension destiné à l'alimentation de magnétrons pour une machine de dépôt de couche barrière par plasma froid, le plasma froid étant induit par le rayonnement micro-ondes du magnétron alimenté ; -- la figure 2 représente une récurrence de formes d'onde d'ali mentation électrique du magnétron ; -- la figure 3 représente un organigram me d'un mode de réalisation du procédé de l'invention ; -- les figures 4a et 4b représentent deux fonctions permettant de déterminer une forme d'onde d'ali mentation électrique du magnétron dans un premier mode de fonctionnement ; -- la figure 5 représente une surface de sécurité permettant de déterminer une forme d'onde d'alimentation électrique du magnétron dans un second mode de fonctionnement ; -- la figure 6 représente une surface de sécurité permettant de déterminer une forme d'onde d'alimentation électrique du magnétron dans un troisième mode de fonctionnement -- la figure 7 représente un circuit permettant de com muter entre plusieurs modes de fonctionnement pour la détermination de la forme d'onde d'ali mentation du magnétron . À la figure 1 , on a représenté : -- dans une première partie 1 a : un dispositif de contrôle d'un générateur d'ali mentation haute tension pour magnétron . -- dans une seconde partie 1 b -->la partie convertisseur à résonance. -- dans une troisième partie 1 c : la partie haute tension de l 'alimentation du magnétron Le dispositif de contrôle de l'invention comporte un organe de traitement représenté dans la partie 1 a construit autour d'un microcontrôleur 1 0 de type DSP (Digital Signal Processing) qui reçoit au moins deux signaux de mesure respectivement : -- un signal de mesure du courant Is, i mage du courant alimentant l 'anode du magnétron , délivré par une première partie du générateur d'ali mentation haute tension qui sera décrit à l'aide de la partie 1 c, -- un signal de mesure de la tension Us, i mage de la tension d'ali mentation entre l'anode du magnétron et sa masse, délivré par une seconde partie du générateur d'alimentation haute tension qui sera décrite à l'aide de la figure 1 c, -- un signal de consigne Pmoy (consigne de puissance moyenne), reçu par un organe 1 1 de détermination de puissance de consigne. Le dispositif de contrôle de l'invention met en oeuvre sous la forme d'un program me enregistré dans la mémoire du microcontrôleur, un mode de réalisation du procédé de contrôle selon l'invention, adapté au générateur d'alimentation haute tension pour magnétron qui sera décrit plus loin . Le programme enregistré, lorsqu'il est exécuté notamment par le circuit DS P du dispositif de contrôle 1 a à 1 c, détecte périodiquement la valeur de consigne Pmoy ainsi que les valeurs de mesures du courant Is et de la tension Us et détermine quatre signaux de com mande respectivement IG 1 à I G4 à destination de deux circuits de pilotage 1 3a et 1 3b d'interrupteurs de puissance Q1 à Q4 qui vont piloter un convertisseur à résonance utilisant la technologie MLl (modulation à largeur d'i mpulsion) . Le convertisseur est constitué d'interrupteurs de puissance Q1 à Q4 capables de commuter des puissances i mportantes en haute fréquence. La partie primaire 1 2 -->du transformateur haute tension, est dans la branche de courant du convertisseur constitué d'un filtre à résonance. On se reporte maintenant à la seconde partie 1 c du générateur haute tension , c'est-à-dire celle située après le circuit en aval du transformateur haute tension dans la partie 1 c de la figure 1 . Ainsi qu'il est déjà connu dans l'état de la technique des dispositifs permettant de déposer une couche barrière sur des corps creux en matériau plastique à l'aide d'un plasma froid amorcé et entretenu à l 'aide d'un magnétron produisant un rayonnement micro-ondes, lorsqu'un précurseur gazeux convenable (gaz simple ou mélange de gaz) a été introduit à l'intérieur du corps creux en matériau plastique, le magnétron doit être connecté à un générateur de haute tension fonctionnant de la manière qui a été rappelée ci-dessus. Afin de transformer le courant alternatif produit dans la première partie du générateur représenté à la partie 1 b en un courant alternatif haute tension , il est connu d'utiliser un transformateur rehausseur haute tension 1 7 dont le circuit pri maire 1 2 est connecté dans la branche de courant située entre les quatre interrupteurs de puissance , et dont le secondaire est connecté sur un pont redresseur haute tension 1 8 par exemple constitué de quatre diodes montées de la manière connue (pont de Graetz). Par ailleurs, pour réaliser un filtrage de façon à adapter les valeurs maxi males de l'onde haute tension délivrée en sortie du pont redresseur, il est connu d'utiliser des bobines à noyau magnétique (non représentées) pour assurer le filtrage du courant aux bornes du magnétron 1 6. En aval du filtrage est connecté le magnétron 1 6, via les connexions haute tension négative -HT et haute tension positive +HT, utilisées pour connecter les électrodes de masse haute tension et de filament haute tension . Une troisième connexion de chauffage de filaments est aussi disposée et l'alimentation haute tension négative -HT ainsi que la tension de chauffage de filaments sont fournies par un générateur 1 5 -->d'alimentation haute tension adapté au magnétron 1 6. La borne haute tension positive +HT est connectée à la masse haute tension du dispositif de l'invention . En dérivation sur les deux bornes haute tension négative et haute tension positive du générateur 1 5 d'ali mentation haute tension, est disposé un circuit de mesure de la tension instantanée qui permet de mesurer le potentiel haute tension négative Us, image de la tension d'alimentation entre l'anode du magnétron et sa masse, sous lequel est alimenté le magnétron 1 6 et dont la mesure instantanée permet de représenter l'énergie micro-ondes radiante qui est appliquée de façon à entretenir le plasma froid, générateur de la couche barrière. Par ailleurs, la mesure du courant Is, i mage du courant alimentant l 'anode du magnétron, délivré par la première partie du générateur d'alimentation haute tension et donc par le convertisseur à résonance est effectuée à l'aide d'un circuit disposé entre la sortie du pont redresseur haute tension 1 8 et les deux bornes haute tension négative et haute tension positive du générateur 1 5 d'ali mentation haute tension. I I en résulte que le contrôle précis du courant délivré par le convertisseur à résonance ainsi que de la tension appliquée au magnétron permet de produire une représentation de la puissance instantanée absorbée par le magnétron , et grâce à une relation déterminée de conversion d'énergie électrique en énergie microonde effectuée par le magnétron 1 6, permet de contrôler l'état du plasma froid généré dans le précurseur gazeux convenable introduit ainsi qu'il est connu à l'intérieur du corps creux en matière plastique lors de l'opération de production de la couche barrière. Par de nombreux essais, on détermine la forme de l'onde de puissance à appliquer au magnétron 1 6 de façon à produire une couche barrière correcte sans chauffer excessivement le corps creux en matière plastique. En effet, il est indispensable de -->générer une couche barrière avec des caractéristiques précises tout en maîtrisant échauffement de la paroi en matériau plastique du corps creux, afin de ne pas le déformer ou modifier son aspect. I l en résulte que c'est en jouant sur la brièveté de l'application des micro-ondes ainsi que sur les pressions sous lesquelles le mélange gazeux est distribué dans le corps creux que l'on parvient à réaliser une couche barrière correcte. Pour rendre plus facile et mieux contrôlable la production d'une onde d'ali mentation haute tension du magnétron en vue d'obtenir des corps creux correctement recouverts d'une couche barrière homogène sans qu'ils soient sou mis à une température trop élevée du plasma froid, et que le dépôt présente une couche avec les propriétés barrière sou haitées notam ment liées à son homogénéité et son épaisseur, l'invention propose un procédé pour générer une onde de puissance contrôlée selon une pluralité de modes de fonctionnement. À la figure 2, on a représenté un chronogramme d'une succession de formes d'onde 20, 21 , ... dans un mode particulier de réalisation de l'invention. On a représenté en abscisse l'axe des temps et en ordonnée l'axe des puissances instantanées. Selon le procédé de l'invention , une pluralité de formes d'onde comme des formes d'onde représentant la forme d'une arche de sinusoïde positive dont les caractéristiques d'amplitude maximale Pmax, de période T et de rapport cyclique de conduction Th = Tmo/T, (durée active = Tmo) sont paramétrables. I l est entendu que d'autres formes d'onde sont aussi concernées par le procédé de l'invention . Le procédé de l'invention permet de choisir la forme d'onde et son rapport cyclique de conduction et son taux de modification de façon à s'adapter à des objectifs de traitement par recouvrement de couche barrière déterminés en termes de coloration du corps creux traité, de température de corps creux lors de l'application du plasma micro-ondes, et en -->terme de régularité de la couche barrière, la régularité étant expri mée notamment en terme d'épaisseur de dépôt. Particulièrement, l 'invention pose une condition prédéterminée entre la puissance moyenne de consigne, la puissance maxi male et le rapport cyclique de conduction ou de répétition de la forme d'onde. Par exemple, dans le cas où la forme d'onde est figée pendant une durée suffisamment longue sur une forme d'onde en arche de sinusoïde une telle condition prédéterminée est exprimée par une relation de la forme : Pmoy = (2 * Pmax * Th)/pi dans laquelle pi réfère à l 'unité d'angle. Dans l'exemple de réalisation de la figure 2, une première arche de sinusoïde 20 présente une durée active, Tmo, qui est une première partie d'une période T de répétition de la forme d'onde. Pour déterminer complètement cette forme d'onde destinée à alimenter le magnétron 1 6 (figure 1 ), il faut aussi déterminer la valeur maximale de l'enveloppe de la puissance maximum Pmax. Pour contrôler l'énergie appliquée au plasma micro-ondes par le magnétron , on dispose donc notamment d'un moyen de réglage de la puissance maxi mu m Pmax et de la durée de la première partie constituant la durée active, Tmo, d'application des micro-ondes par la forme d'onde sur la période complète T de récurrence de la forme d'onde. Pour contrôler le fonctionnement du générateur haute tension d'alimentation du magnétron, on détermine un mode de fonctionnement dans lequel on se donne une valeur de consigne de puissance moyenne qui sera désignée dans la suite de la description par la valeur P moy, étant entendu que le dispositif de contrôle de l'invention comporte, en fonction du mode de fonctionnement retenu , un moyen pour déterminer : -- la forme d'onde proprement dite comme une forme d'onde en arche de sinusoïde, -->-- les paramètres déterminant la forme d'onde, com me le rapport cyclique de conduction Th des micro-ondes par rapport à la période de la récurrence de la forme d'onde T, et la puissance maximale Pmax. A la figure 3, on a représenté un organigram me du procédé de l'invention . Lors de l 'étape E1 , la forme d'onde de puissance proprement dite est choisie, préférentiellement une forme d'arche de sinusoïde. Lors de l 'étape E2, est sélectionné un mode de fonctionnement parmi une pluralité de modes prédéfinis. En fonction du mode sélectionné, dans l 'étape E3, il peut être nécessaire de renseigner la valeur d'un paramètre (Pmax ou Th) et vérifier que la valeur de ce paramètre est compatible avec la plage de consigne Pmoy que l'on sou haite utiliser pour l'application. Le mode de calcul des li mites est défini ultérieurement (plage de fonctionnement). Avant de lancer le traitement des corps creux, un processus est défini dans l'étape E4 permettant à l 'opérateur de saisir la puissance de consigne moyenne. Le dispositif de contrôle comportant un microcontrôleur exécute une séquence (par exemple un program me informatique) incluant un algorith me de calcul du paramètre Pmax et/ou du paramètre Th , si nécessaire, lors de l'étape E5. La forme d'onde de consigne est figée. Dans un mode de réalisation , le microcontrôleur comporte aussi un moyen pour déterminer la puissance de consigne instantanée permettant la régulation de l'alimentation du magnétron. Enfin, lors de l 'étape E6, le dispositif d'alimentation du magnétron génère la forme d'onde définie par les étapes préalables. À la figure 4, on a représenté deux courbes : respectivement à la figure 4a le rapport cyclique Th , déterminé par une relation de la forme Th = Tmo / T, est appliqué à la forme d'onde représentée à l'aide de la figure 2 en fonction de la puissance consommée par le magnétron ; et à la figure 4b, la valeur de puissance maximum Pmax de la forme d'onde -->n d'ali mentation du magnétron en fonction de la puissance consommée par le magnétron . Ces deux courbes permettent, en combinaison , d'établir un premier mode de fonctionnement assurant les objectifs décrits ci-dessus pour le corps creux et sa couche barrière déposée par plasma froid. Lors de nombreux essais, en utilisant des magnétrons de puissance inférieure à 1 kW et fonctionnant pour une fréquence nominale de l'ordre de 2,45G Hz, on a déterminé que le rapport cyclique était convenablement modélisé par une section de parabole déterminée par la relation de la forme Th = ai * Pmoy 2 + b1 * Pmoy + d li mitée par les points de coordonnées (PcO, ThO) et ( Pc1 , Th 1 ) dans laquelle les constantes ai , b1 et d sont établies à partir des essais réalisés sur une gam me significative de corps creux utilisés dans les machines de dépôt de couche barrière de l'invention . De même, lors de ces essais, on a déterminé que pour une fréquence nominale la puissance maxi male Pmax, est correctement représentée par une section de parabole déterminée par une relation de la forme : Pmax = a2 * (Pmoy) 2 + b2 * Pmoy + c2 dans laquelle les constantes a2, b2 et c2 sont établies à partir des essais réalisés sur une gamme significative de corps creux utilisés dans les machines de dépôt de couche barrière de l 'invention. Possédant les deux courbes des caractéristiques Pmax = f (Pmoy) et Th = F(Pmoy), il suffit à l 'utilisateur de définir la valeur de consigne P moy sou haitée. Dans un mode particulier de réalisation le microcontrôleur comporte aussi un moyen pour déterminer les valeurs Pmax et Th automatiquement, connaissant les autres paramètres indispensables (fréquences, ..) , sur la base d'une mémoire de cartographie incorporant les deux courbes précitées, variées selon les dits paramètres indispensables comme la fréquence. La forme d'onde en arche de sinusoïde à -->utiliser lors de la régulation des micro-ondes (ali mentation du magnétron) est ainsi calculée précisément. À la figure 5, on a représenté un graphique établissant un second mode de fonctionnement. On a représenté les évolutions de la puissance maximale Pmax de la forme d'onde en arche de sinusoïde représentée à la figure 2, en fonction de la puissance micro-onde instantanée Pmoy. La puissance maxi male Pmax du second mode de fonctionnement est librement déterminée en fonction des caractéristiques souhaitées des récipients après traitement. Elle est choisie dans la surface trapézoïdale limitée par les droites verticales correspondant à une puissance moyenne mini male Pc5 et à une puissance moyenne maximale Pc6, par une droite horizontale 33 correspondant à une valeur électrique Pmax, maximu m de puissance à ne pas dépasser pour le magnétron 1 6 (figure 1 ) et son ali mentation, et par une droite inclinée 34 comprise entre les points (Pc5, PO) et (Pc6, P 1 ) dont l'équation est de la forme : Pmax = a * Pmoy + b, dans laquelle les coefficients a et b sont déterminés Pmoy pour ne jamais dépasser une valeur de Th li mite. Cette valeur limite, constante quelque soit la puissance de consigne moyenne, est donnée par la conception du magnétron 1 et de son alimentation . Dans un mode préféré d'opération , l 'opérateur saisit sur un moyen de saisie de valeurs de puissance maxi male, réalisé sur une interface hom me-machine, une valeur de Pmax, soit une valeur Pmax x. Le générateur comporte un moyen pour produire et indiquer sur l'interface hom me-machine une plage possible P P de puissances de consigne Pmoy. La plage donnée P P sur la figure 5 est liée à deux limites de puissance maxi male Pmax, respectivement à gauche et à droite. Pour mettre en œuvre le second mode de fonctionnement, le dispositif de contrôle de l'invention comporte un moyen pour exécuter une séquence de calcul , la sortie dudit moyen étant -->connectée à un moyen pour indiquer à un opérateur la plage possible d'utilisation de Pmoy en fonction de la valeur Pmax qu 'il a saisi sur un moyen de saisie d'une valeur nu mérique. Si lors de l'étape E4 de la figure 3, la valeur Pmoy est en dehors de ces li mites, le dispositif de contrôle qui comporte un moyen pour tester la valeur de puissance moyenne Pmoy et un moyen pour interdire l 'étape d'exécution d'un plasma froid, interdit le passage à l'étape E6. Le dispositif de contrôle de l'invention comporte alors un moyen pour signaler la situation d'interdiction d'exécution du plasma. I l faut, soit modifier la valeur de Pmoy, soit reconsidérer la valeur de Pmax pour élargir la fenêtre de valeur Pmoy disponible lors de l 'étape E4 de la figure 3. A cette fin , le dispositif de contrôle de l 'invention comporte alors un moyen pour permettre de saisir une nouvelle valeur de la puissance moyenne Pmoy en réponse à l 'activation du moyen pour signaler la situation d'interdiction d'exécution du plasma et/ou un moyen pour élargir la fenêtre de valeurs de puissances maximales Pmax particulièrement par un moyen pour saisir une nouvelle valeur de la puissance maxi male Pmax. À la figure 6, on a représenté un graphique établissant un troisième mode de fonctionnement assurant les objectifs définis pour le corps creux et sa couche barrière déposée par plasma froid. Sont représentées les évolutions du rapport cyclique de conduction Th de la forme d'onde en arche de sinusoïde représenté à la figure 6, en fonction de la puissance de consigne moyenne Pmoy consommée par le magnétron 1 6. Le rapport cyclique du troisième mode de fonctionnement est librement déterminé en fonction des caractéristiques souhaitées des récipients après traitement. I l est sélectionné dans la surface trapézoïdale li mitée par les droites verticales correspondant à une puissance consommée minimale Pc7 et une puissance consommée maximale Pc8, par une droite horizontale 35 -->correspondant à une valeur de rapport cyclique Th, max à ne pas dépasser pour la sécurité de fonctionnement du magnétron et de son circuit d'ali mentation utilisé dans la machine de dépôt de couche barrière de l'invention , et par une droite inclinée 36 dont l'équation est de la forme Th = c * Pmoy + d dans laquelle les coefficients c et d sont déterminés pour un type de magnétron pour ne pas dépasser une puissance Pmax donnée par les caractéristiques du magnétron et de son alimentation, Pmoy comprise entre les valeurs Pc7 et Pc8 définies ci-dessus. Pour mettre en œuvre le troisième mode de fonctionnement, le dispositif de contrôle de l 'invention comporte un moyen pour exécuter une séquence de calcul, la sortie dudit moyen étant connectée à un moyen pour indiquer à un opérateur la plage possible d'utilisation de Pmoy en fonction de la valeur Th qu 'il a saisie sur un moyen de saisie d'une valeur numérique. Si lors de l 'étape E4 de la figure 3, la valeur Pmoy est en dehors de ces limites, le dispositif de contrôle comporte et active un moyen pour interdire le passage à l'étape E6. I l faut soit modifier la valeur de Pmoy, soit reconsidérer la valeur de Th pour élargir la fenêtre de valeur Pmoy disponible lors de l 'étape E4 de la figure 3. I l en résulte que le dispositif de l 'invention comporte aussi un moyen pour modifier la valeur de Th , rapport cyclique de conduction (ou de répétition) de la forme d'onde, un moyen pour modifier la valeur de la consigne de puissance Pmoy et un moyen pour sélectionner le premier moyen ou le second moyen précités. À la figure 7, le dispositif de l 'invention comporte aussi un circuit permettant une sélection de modes de fonctionnement représenté dans l 'étape E2 de la figure 3, circuit qui est incorporé dans le microcontrôleur et comporte un circuit 71 de sélection de mode correspondant à une demande de mode de fonctionnement. Un commutateur électronique 72 est connecté à trois circuits 72, 73 et 74 correspondant chacun à un mode de fonctionnement MOD E 1 (figure 2), MODE 2 (figure 5) et MOD E 3 (figure 6). -->Enfin , une machine de dépôt de couche barrière sur la paroi intérieure d'un corps creux en matériau plastique à l 'aide d'un plasma froid est réalisée selon l 'invention en assemblant une mécanique de transfert de corps creux, et au moins un poste de travail pour appliquer un plasma froid sur le ou les corps creux qui y sont insérés à chaque pas de fonctionnement de la mécanique de transfert de la machine. Ce traitement nécessite l 'association à chaque poste de travail d'au moins un magnétron et son générateur haute tension associé. --> REVEN D I CATIONS 1 - Procédé de contrôle d'un générateur d'ali mentation électrique haute tension pour magnétron destiné à produire un plasma froid à l'intérieur d'un corps creux de façon à déposer une couche barrière à l'intérieur dudit corps creux, caractérisé en ce qu 'il consiste à choisir (E2) un mode de fonctionnement du générateur parmi une pluralité de modes de fonctionnement (MOD E 1 , MOD E 2, MOD E 3), chaque mode étant dimensionne de manière à respecter une aire de sécurité de fonctionnement (24 - 25 ; 33 - 34 ; 35 - 36) du magnétron (1 6) et de son alimentation en fonction des performances du dépôt créé sur le corps creux, du respect de son intégrité en maîtrisant son échauffement lors du dépôt. 2 - Procédé selon la revendication 1 , caractérisé en ce que dans un premier mode de fonctionnement (MODE 1 ), le rapport cyclique de conduction (Th) et la puissance maximale (Pmax) de la forme d'onde sont prédéterminés en fonction de la puissance de consigne (Pmoy). 3 - Procédé selon la revendication 1 , caractérisé par un second mode de fonctionnement, selon lequel le paramétrage de la puissance maximale (Pmax) est figé indépendamment de la valeur de la puissance de consigne moyenne (Pmoy) et le rapport cyclique de conduction (Th) est déterminé en fonction de paramètres prédéfinis ( Pmax, Pmoy ... ). 4 - Procédé selon la revendication 1 , caractérisé par un troisième mode de fonctionnement, selon lequel le paramétrage du rapport cyclique de conduction (Th) est figé indépendam ment de la valeur de la puissance de consigne moyenne ( Pmoy), et la valeur de puissance maximale (Pmax) est déterminée en fonction de paramètres prédéfinis (Th , Pmoy). 5 - Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la forme d'onde d'ali mentation du magnétron (1 6) est répétée dans une récurrence dont le rapport cyclique de conduction (Th) -->est déterminé par une relation parabolique de la forme Th = ai * (Pmoy) 2 + b1 * Pmoy + d dans laquelle les coefficients ai , b1 et d sont déterminés par des essais de traitement d'un lot significatif de corps creux tout en respectant une condition entre la puissance moyenne de consigne, la puissance maxi male et le rapport cyclique de conduction. 6 - Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que la puissance maximale (Pmax) de la forme d'onde de puissance d'alimentation du magnétron (1 6) en fonction de la puissance moyenne de consigne (Pmoy) est déterminée par une relation parabolique de la forme Pmax = a2 * (Pmoy) 2 + b2 * Pmoy + c2 dans laquelle les coefficients a2, b2 et c2 sont déterminés par essais de traitement d'un lot significatif de corps creux tout en respectant une condition prédéterminée entre la puissance moyenne de consigne, la puissance maximale et le rapport cyclique de conduction . 7 - Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que la puissance maximale est déterminée sur la base d'une surface de sécurité li mitée par une valeur maxi male admissible (Pmax, m) pour le magnétron et une valeur inférieure déterminée par un rapport cyclique de conduction maximum donnée par la conception du magnétron et de son alimentation . 8 - Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le rapport cyclique de conduction (Th) de la forme d'onde est déterminé sur la base d'une surface de sécurité li mitée par une valeur du rapport cyclique de conduction maximale admissible (Thmax) et une valeur inférieure déterminée en fonction de la li mitation de la puissance maxi male admise qui dépend des caractéristiques du magnétron et de son ali mentation. 9 - Dispositif de contrôle d'un générateur d'ali mentation haute tension pour magnétron de dépôt de couche barrière par plasma froid de l'invention, du genre comportant : -->- un circuit pour piloter un générateur d'alimentation haute tension ; - un circuit pour contrôler les électrodes de commande d'un pont d'interrupteurs de puissance en fonction d'une forme d'onde de puissance de consigne, ledit dispositif de contrôle mettant en œuvre le procédé de l'invention et comportant : - des moyens pour mémoriser des paramètres de puissance maxi male, de conduction en fonction d'un mode de fonctionnement prédéterminé, - un moyen pour sélectionner une valeur de puissance de consigne moyenne, un moyen pour déterminer une fréquence de fonctionnement, - un moyen pour sélectionner un mode de fonctionnement du générateur, et - un moyen pour déterminer toutes les puissances de consigne instantanées définissant la forme d'onde de puissance assurant un objectif de travail exprimé en termes de performance du dépôt créé sur le corps creux et le respect de son intégrité en maîtrisant son échauffement lors du dépôt. 1 0 - Machine de dépôt de couche barrière sur la paroi intérieure d'un corps creux en matériau plastique à l'aide d'un plasma froid excité par un magnétron , ali menté par un générateur haute tension , contrôlé par un dispositif de contrôle selon la revendication précédente.