Brevet FR2902533A1 — publié le 20071221

SUBSTRAT MERE POUR DISPOSITIF D'AFFICHAGE A CRISTAUX LIQUIDES ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF D'AFFICHAGE A CRISTAUX LIQUIDES La présente invention concerne un substrat mère pour dispositif d'affichage à cristaux liquides (LCD) et un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides (LCD), et plus particulièrement, un substrat mère pour un dispositif d'affichage à cristaux liquides de type à "grille dans le panneau" (GIP "gate in panel' possédant un pilote de grille intégré dans un panneau à cristaux liquides et un procédé de fabrication du dispositif d'affichage à cristaux liquides de type GIP. Les dispositifs d'affichage à cristaux Iiquides (LCD) sont largement utilisés comme écrans pour les ordinateurs portables ou les ordinateurs de bureau et les télé-visions à cause de leur haute résolution, leur haut rapport de contraste, leur capacité de rendu des images et leurs performances supérieures pour l'affichage d'images en mouvement. Un dispositif LCD repose sur des propriétés d'anisotropie optique et de polarisation des cristaux liquides pour produire une image. Un dispositif LCD comprend un panneau à cristaux liquides comprenant deux substrats et une couche de cristaux liquides entre les deux substrats. Un champ électrique généré entre les deux substrats contrôle une direction d'alignement des molécules de cristaux liquides dans la couche de cristaux liquides pour produire des différences de transmittance. De plus, le dispositif LCD affiche les images en réfléchissant les différences de transmittance à la lumière depuis une unité de rétroéclairage sous le panneau à cristaux liquides. Récemment, on utilise largement un dispositif d'affichage à cristaux liquides de type à matrice active (AM-LCD) où les pixels de chaque unité destinée à afficher les images sont agencés en une matrice et où un transistor à couches minces d'un élément de commutation contrôle chaque pixel. La figure 1 est un schéma de principe schématique d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides selon l'art connexe. Sur la figure 1, le dispositif d'affichage à cristaux liquides comprend un panneau à cristaux liquides 10 et un circuit d'entraînement 20 fournissant des signaux au panneau à cristaux liquides 10. Bien que cela ne soit pas représenté sur la figure 1, le panneau à cristaux liquides 10 comprend un premier et un second substrats et une couche de cristaux liquides entre le premier et le second substrats. Le premier substrat, qui est appelé un substrat de matrice, comprend un élément de matrice destiné à entraîner la couche de cristaux liquides.. Une pluralité de lignes de grille 12 et une pluralité de lignes de données 14 sont formées sur le premier substrat. La pluralité de lignes de grille 12 et la pluralité de lignes de données 14 se croisent les unes les autres pour définir une pluralité de R`BrevetsV26000A?6025- 06 1204-n adi XT doc -5 décernbre 2006 - 1115 régions de pixel P en une matrice. Un transistor à couches minces (TFT) T est connecté à la ligne de grille 12 correspondante et à la ligne de données 14 correspondante près d'un croisement de la ligne de grille 12 et de la ligne de données 14, et une électrode de pixel dans chaque région de pixel P est connectée au transistor à couches minces (TFT) T . De plus, le second substrat, qui est appelé un substrat de filtre chromatique, comprend une couche de filtre chromatique (non représentée) et une électrode commune (non représentée). L'électrode commune fait face à l'électrode de pixel avec la couche de cristaux liquides interposée. Par conséquent, l'électrode commune, l'électrode de pixel et la couche de cristaux liquides consti-tuent un condensateur à cristaux liquides Clc connecté au TFT T . Un circuit d'entraînement 20 comprend un contrôleur de temporisation 22, un pilote de grille 24 et un pilote de données 26. Bien que cela ne soit pas représenté sur la figure 1, le circuit d'entraînement 20 peut en outre comprendre une interface, un générateur de tension de référence et un générateur de tension source. L'interface transmet des signaux de source provenant d'un système d'entraînement externe (non représenté), tel qu'un ordinateur personnel, au contrôleur de temporisation 22. Le contrôleur de temporisation 22 génère des signaux de contrôle de grille pour le pilote de grille 24, et des signaux de contrôle de données et des signaux de données pour le pilote de données 26. Le pilote de grille 24 et le pilote de données 26 sont fixés à deux côtés adjacents du panneau à cristaux liquides 10 par le biais d'une enveloppe de mécanisme d'entraînement de bande (TCP) destiné à être connecté à la ligne de grille 12 et à la ligne de données 14, respectivement. En réponse au signal de contrôle de grille, le pilote de grille 24 génère un signal de grille qui active séquentiellement la pluralité de lignes de grille 12 dans chaque trame. Le TFT T connecté à chaque ligne de grille 12 est activé/désactivé en fonction du signal de grille. De plus, le pilote de données 26 sélectionne une tension de référence en réponse au signal de contrôle de données et au signal de données et fournit la tension de référence à la pluralité de lignes de données 14. Par conséquent, lorsque le TFT T est activé en fonction du signal de grille du pilote de grille 24, le signal de données du pilote de données 26 est transmis à l'électrode de pixel par l'intermédiaire du TFT T , et la couche de cristaux liquides est entraînée par un champ électrique entre l'électrode de pixel et l'électrode commune. Le générateur de tension de référence génère une tension de références pour un convertisseur numérique-analogique (CNA) du pilote de données 26, et la tension de source génère une tension de source pour les éléments du circuit d'entraînement 20 et une tension commune pour l'électrode commune du panneau à cristaux liquides 10. R '.Rresets\2 600012 602 5-06 1 203-iradTXT doc - 6 décembre 2006 - 22.15 Le TFT pour un dispositif LCD peut être classé en un TFT en silicium amorphe et un TFT en silicium polycristallin en fonction de l'état d'un matériau semi-conducteur. Lorsque l'on utilise un TFT en silicium amorphe, le pilote de grille 24 et le pilote de données 26 sont formés à part du panneau à cristaux liquides 10 et sont fixés au panneau à cristaux liquides IO par un procédé de transfert automatique sur bande (TAB) pour être connectés à la ligne de grille 12 et la ligne de données 14, respectivement. Récemment, on a cherché et développé un dispositif LCD de type à "grille dans panneau" ((gaze in panel) GIP) où une partie de ou un pilote de grille entier sont intégrés dans un panneau à cristaux liquides en utilisant un TFT en silicium amorphe, pour réduire les coûts de fabrication et simplifier le processus de fabrication. En général, un pilote de grille comprend une unité de registre à décalage et une unité de décalage de niveau. L'unité de registre à décalage comprend une pluralité de circuits Eccles-Jordan dont chacun est un dispositif bistable et génère un signal de sortie en fonction de la sélection d'un réglage et d'une réinitialisation. De plus, l'unité de décalage de niveau amplifie un niveau du signal de sortie. Dans un dispositif LCD de type GIP, au moins l'unité de registre à décalage comprenant une pluralité d'étages de registre à décalage est intégrée sur un premier substrat. La pluralité d'étages de registre à décalage correspond à une pluralité de lignes de grille sur le premier substrat. La partie de ou le pilote de grille tout entier intégré sur le premier substrat peut être fabriqué de manière concourante pendant qu'un élément de matrice est formé sur le premier substrat. Par conséquent, aucun coût de fabrication supplémentaire ni processus de fabrication supplémentaire ne sont nécessaires pour l'intégration. Cependant, un dispositif LCD de type GIP présente certains inconvénients. Bien que le pilote de grille soit terminé lorsque le processus de fabrication pour le premier substrat est terminé, le pilote de grille intégré sur le premier substrat peut être inspecté une fois qu'un panneau LCD est terminé. Ainsi, le pilote de grille ne peut pas être inspecté avant que le processus de fabrication du panneau LCD soit fini, c'est à dire qu'aucune inspection intermédiaire du pilote de grille n'existe. Par conséquent, il est difficile d'inspecter les propriétés du pilote de grille telles que le fonctionnement normal de la pluralité d'étages de registre à décalage, la fiabilité pendant une longue période de fonctionnement et la détérioration avant que le panneau LCD ne soit fabriqué. Le pilote de grille comprenant la pluralité d'étages de registre à décalage peut être inspecté même après le processus de fabrication du panneau LCD, qui comprend une étape de fabrication du premier substrat possédant un élément de matrice, une étape de fabrication du second substrat possédant une couche de filtre chromatique et RVBrevetsV^_6000:2 6025-06 1 2 04-tradT\T doc - 6 décembre 2006 - 3'15 une étape de fixation du premier et du second substrats avec une couche de cristaux liquides interposée, est terminé. De plus, puisqu'un processus de retrait de couches stratifiées sur le pilote de grille est nécessaire pour exposer la pluralité d'étages de registre à décalage, le panneau LCD inspecté ne peut plus être utilisé comme un produit. Ainsi, le coût de fabrication augmente et le rendement de production dimi- nue. Ainsi, la présente invention concerne un substrat mère pour un dispositif d'affichage à cristaux liquides et un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides qui surmontent un ou plusieurs des problèmes dus aux limitations et inconvénients de l'art connexe. Un objectif de la présente invention consiste à fournir un substrat mère pour un dispositif d'affichage à cristaux liquides et un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides où une inspection intermédiaire du pilote de grille peut être facilement réalisée. Un autre objectif de la présente invention consiste à fournir un substrat mère pour un dispositif d'affichage à cristaux liquides et un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides où le coût de fabrication est réduit et le rendement de production amélioré. Pour atteindre ces avantages, un procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides comprend : la fourniture d'un premier substrat mère ayant au moins une zone de cellule et au moins une zone de test ; la formation d'un pilote de grille et d'un élément de matrice dans l'au moins une zone de cellule et d'un élément de test dans l'au moins une zone de test ; et l'inspection au niveau de l'élément de test pour déterminer l'état du pilote de grille. Selon un mode de réalisation, la formation de l'élément de matrice comprend la formation d'une ligne de grille connectée au pilote de grille, la formation d'une ligne de données croisant la ligne de grille pour définir une région de pixel, la formation d'un transistor à couches minces connecté à la ligne de grille et à la ligne de données et possédant une couche de silicium amorphe, et la formation d'une élec- trode de pixel dans la région de pixel et connectée au transistor à couches minces. Le pilote de grille peut comprendre une pluralité d'étages de registre à décalage chacun étant connecté à la ligne de grille, et l'élément de test comprend un étage de registre à décalage de test correspondant à chacun de la pluralité d'étages de registre à décalage. L'élément de test peut comprendre en outre une pluralité de pastilles d'entrée et une pluralité de pastilles de sortie connectées à l'étage de registre à décalage de test. R'V3re'ets''_6000','_6025-061'_04-tradTXT doc - 6 décembre 2006 - 4 15 Selon un mode de réalisation, l'inspection au niveau de l'élément de test comprend la fourniture de signaux d'entrée à la pluralité de pastilles d'entrée, la mesure de signaux de sortie de la pluralité de pastilles de sortie, et l'analyse des signaux de sortie. De préférence, le nombre de l'au moins une zone de test est égale ou inférieur au nombre de l'au moins une zone de cellule, et l'au moins une zone de test est disposée sur l'extérieur de l'au moins une zone de cellule. Le procédé peut comprendre en outre : la fourniture d'un second substrat mère possédant une couche de filtre chromatique et une électrode commune ; la fixation du premier et du second substrats mères ; la formation d'une couche de cristaux liquides entre le premier et le second substrats mères ; et la découpe du premier et du second substrats mères dans l'au moins une zone de cellule pour obtenir au moins un panneau à cristaux liquides. Selon un mode de réalisation, le premier substrat mère destiné à fixer le 15 premier et le second substrats mères est sélectionné en inspectant au niveau de l'élément de test. Dans un autre aspect, l'invention propose un substrat mère pour dispositif d'affichage à cristaux liquides, qui comprend : au moins une zone de cellule possé- dant un pilote de grille et un élément de matrice ; et au moins une zone de test possé-20 dant un élément de test. Selon un mode de réalisation, l'élément de matrice comprend : une ligne de grille connectée au pilote de grille ; une ligne de données croisant la ligne de grille pour définir une région de pixel ; un transistor à couches minces connecté à la ligne de grille et à la ligne de données, le transistor à couches minces comprenant une 25 couche de silicium amorphe ; et une électrode de pixel dans la région de pixel et connectée au transistor à couches minces. Selon un autre mode de réalisation, le pilote de grille comprend une pluralité d'étages de registre à décalage chacun étant connecté à la ligne de grille, et l'élément de test comprend un étage de registre à décalage de test correspondant à chacun de la 30 pluralité d'étages de registre à décalage. Selon un autre mode de réalisation, l'étage de registre à décalage de test possède la même structure de circuit que chacun de la pluralité d'étages de registre à décalage. Selon un autre mode de réalisation, l'élément de test comprend en outre une 35 pluralité de pastilles d'entrée et une pluralité de pastilles de sortie connectées à l'étage de registre à décalage de test. R IBrevets'_26000'26025-061201-tradT\T doc - 6 décembre 2006 - 5,15 Selon un autre mode de réalisation, un nombre de l'au moins une zone de test est égale ou inférieur à un nombre de l'au moins une zone de cellule, et l'au moins une zone de test est disposée sur l'extérieur de l'au moins une zone de cellule. On comprendra qu'à la fois la description générale précédente et la description 5 détaillée qui suit d'un ou plusieurs modes de réalisation de la présente invention sont exemplaires et explicatives de l'invention. La description qui suit d'un ou plusieurs modes de réalisation donnés à titre d'exemples non limitatifs, est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels La figure 1 est un schéma de principe schématique d'un dispositif d'affichage à 10 cristaux liquides selon l'art connexe. La figure 2 est un schéma de principe schématique d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides selon un mode de réalisation de la présente invention. La figure 3 est une vue en plan schématique représentant un premier substrat mère pour un dispositif d'affichage à cristaux liquides selon un mode de réalisation 15 de la présente invention. La figure 4 est une vue en plan schématique représentant une partie A de la figure 3. La figure 5 est une vue en plan schématique représentant une zone de test de la figure 3. 20 Il va maintenant être décrit en détail un ou plusieurs modes de réalisation préférés de la présente invention, dont des exemples sont illustrés sur les dessins joints. La figure 2 est un schéma de principe schématique d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides selon un mode de réalisation de la présente invention. Sur la figure 2, un dispositif d'affichage à cristaux liquides comprend un 25 panneau à cristaux liquides 110 et un circuit d'entraînement 120. Bien que cela ne soit pas représenté sur la figure 2, le panneau à cristaux liquides 110 comprend un premier substrat, un second substrat et une couche de cristaux liquides entre le premier et le second substrats. Le premier substrat, qui est appelé un substrat de matrice, comprend un élément de matrice tel qu'une pluralité de lignes de grille 112 30 et une pluralité de lignes de données 114. La pluralité de lignes de grille 112 et la pluralité de lignes de données 114 se croisent les unes les autres pour définir une pluralité de région de pixels P en une matrice. Un transistor à couches minces (TFT) T est connecté à la ligne de grille 112 correspondante et à la ligne de données 114 correspondante près d'un croisement de la ligne de grille 112 et de la 35 ligne de données 114, et une électrode de pixel dans chaque région de pixel P est connectée au transistor à couches minces (TFT) T . De plus, le second substrat, qui est appelé un substrat de filtre chromatique, comprend une couche de filtre chromatique (non représentée) et une électrode commune (non représentée). La R `.Brevets`.26000v'_6025-061204tradrXT doc 6 décembre 2006 - 6/15 couche de filtre chromatique comprend des filtres de couleur rouge, vert et bleu, transmettant chacun de manière sélective de la lumière ayant une bande de longueur d'onde prédéterminée. L'électrode commune fait face à l'électrode de pixel avec la couche de cristaux liquides interposée. Par conséquent, l'électrode commune, l'électrode de pixel et la couche de cristaux liquides constituent un condensateur à cristaux liquides Clc connecté au TFT T . Un circuit d'entraînement 120 comprend un contrôleur de temporisation 122, un pilote de grille 124 et un pilote de données 126. Bien que cela ne soit pas représenté sur la figure 2, le circuit d'entraînement 120 peut en outre comprendre une interface, un générateur de tension de référence et un générateur de tension source. L'interface transmet des signaux de source provenant d'un système d'entraînement externe (non représenté), tel qu'un ordinateur personnel, au contrôleur de temporisation 122. Par exemple, les signaux de source peuvent comprendre un signal d'image de source possédant des informations de luminosité et des signaux de contrôle tels qu'un signal synchrone vertical (Vsync), un signal synchrone horizontal (Hsync), un signal d'activation de données (DE) et une horloge de données (DCLK). Le signal synchrone vertical (Vsync) indique le début et la fin d'une seule image de trame et le signal synchrone horizontal (Hsync) indique le début et la fin d'une seule image de ligne horizontale. De plus, le signal d'activation de données (DE) indique une section valide d'une donnée d'une seule ligne horizontale et l'horloge de données (DCLK) indique une période de la section valide. Le contrôleur de temporisation 122 génère un signal de contrôle de grille pour le pilote de grille 124, et un signal de contrôle de données et un signal de données pour le pilote de données 126 en utilisant les signaux de source. En réponse au signal de contrôle de grille, le pilote de grille 124 génère un signal de grille qui active séquentiellement la pluralité de lignes de grille 112 dans chaque trame. De plus, le pilote de données 126 sélectionne une tension de référence en réponse au signal de contrôle de données et au signal de données, et fournit la tension de référence à la pluralité de lignes de données 114. Par conséquent, lorsque le TFT T connecté à la ligne de grille 112 est activé en fonction du signal de grille du pilote de grille 124, la tension de référence correspondant au signal de données du pilote de données 126 est transmise à l'électrode de pixel par le biais du TFT T . La couche de cristaux liquides correspondant à la région de pixel P est entraînée par un champ électrique entre l'électrode de pixel et l'électrode commune, causant de ce fait une diffé- rence de transmittance. Pour l'opération ci-dessus, le contrôleur de temporisation 122 envoie des signaux de contrôle de trame incluant une horloge de décalage de grille (GSC), un signal d'activation de sortie de grille (GOE) et une impulsion de début de grille R \Brevets'2600026025-061204-tradTXT doc - 6 décembre 2006 - 7 15 (GSP) au pilote de grille 124. L'horloge de décalage de grille (GSC) indique une heure à laquelle le TFT T est activé et le signal d'activation de sortie de grille (GOE) ajuste les sorties du pilote de grille 124. L'impulsion de début de grille (GSP) indique l'heure du début d'une trame. Le contrôleur de temporisation 122 envoie en outre des signaux de contrôle d'image incluant une horloge d'échantillonnage de source (SSC), un signal d'activation de sortie de source (SOE), une impulsion de début de source (SSP) et un signal de polarisation (POL) au pilote de données 126. L'horloge d'échantillonnage de source (SSC) agence et verrouille le signal de données, et le signal d'activation de sortie de source (SOE) indique l'heure de début du signal de données verrouillé. L'impulsion de début de source (SSP) indique l'heure de début un seul signal de données horizontal, et le signal de polarisation (POL) détermine une polarité du signal de données. Le signal de polarisation (POL) est synchronisé avec le signal d'activation de sortie de source (SOE) et le signal de données possède alternativement une polarité positive (+) et une polarité négative (-) par le signal de polarisation (POL). Le dispositif LCD de la figure 2 est d'un type à grille dans panneau ("gaze in panel" GIP) où une partie de ou un pilote de grille tout entier 124 est intégré dans le panneau à cristaux liquides 110 et le TFT T comprend une couche active de silicium amorphe. Ainsi, au moins une unité de registre à décalage du pilote de grille 124 peut être formée sur le premier substrat en même temps que l'élément de matrice tel que la ligne de grille 112, la Iigne de données 114 et le TFT T . Le premier et le second substrats pour le dispositif LCD peuvent être obtenus à partir du premier et du second substrats mères, respectivement. Une pluralité de premiers substrats ayant chacun un élément de matrice et un pilote de grille 124 sont agencés en zones de cellules sur le premier substrat mère et une pluralité de seconds substrats ayant chacun une couche de filtre chromatique et une électrode commune sont agencés en zones de cellules sur le second substrat mère. Le premier et le second substrats mères sont fixés l'un à l'autre avec une couche de cristaux liquides interposée entre eux, puis le premier et le second substrats mères sont coupés par zones de cellules pour obtenir une pluralité de panneaux à cristaux liquides 110. La figure 3 est une vue en plan schématique représentant un premier substrat mère pour un dispositif d'affichage à cristaux liquides selon un mode de réalisation de la présente invention. Sur la figure 3, un premier substrat mère 130 comprend une pluralité de zones de cellule 132 et chaque zone de cellule 132 comprend une région de pixel P définie par une ligne de grille 112 et une ligne de données 114. Un transistor à couches minces (TFT) (non représenté) est connecté à la ligne de grille 112 et à la R .Brevetsv26000'26025-061201-tr8ct] NT doc - 6 décembre 2006 - 8'15 ligne de données 114, et une électrode de pixel (non représentée) dans la région de pixel P est connectée au TFT. Un pilote de grille 124 est intégré dans un côté de chaque zone de cellule 132 et la ligne de grille 112 est connectée au pilote de grille 124. Le pilote de grille 124 possède une unité de registre à décalage comprenant une pluralité d'étages de registre à décalage étant chacun connecté à la ligne de grille 112. En outre, le premier substrat mère 130 comprend au moins une zone de test 142 où un élément de test est formé. L'élément de test comprend un étage de registre à décalage de test correspondant à l'étage de registre à décalage de l'unité de registre à décalage. L'étage de registre à décalage de test dans la zone de test 142 et l'unité de registre à décalage du pilote de grille 124 sont formés de manière concourante avec l'élément de matrice tel que la ligne de grille 112, la ligne de données 114 et le TFT. Essentiellement, l'étage de registre à décalage de test peut avoir la même structure de circuit que chacun de la pluralité d'étages de registre à décalage. La figure 4 est une vue en plan schématique représentant une partie A de la figure 3, et la figure 5 est une vue en plan schématique représentant une zone de test de la figure 3. Sur les Figures 4 et 5, l'unité de registre à décalage 125 comprend la pluralité d'étages de registre à décalage chacun étant connecté à la ligne de grille 112, et un élément de test 144 comprenant un étage de registre à décalage de test 145 est formé dans la zone de test 142. L'élément de test 144 comprend en outre une pluralité de pastilles d'entrée 146 et une pluralité de pastilles de sortie 148 connectées à l'étage de registre à décalage de test 144. Bien que l'élément de test 144 dans la zone de test 142 soit séparé électriquement de l'élément de matrice et du pilote de grille 124 dans la zone de cellule 132, l'élément de test 144 est formé de manière concourante avec l'élément de matrice et le pilote de grille 124. L'élément de test 144 est utilisé pour inspecter l'unité de registre à décalage 125 du pilote de grille 124. Une fois que des signaux d'entrée destinés à l'inspection sont fournis à la pluralité de pastilles d'entrée 146 de l'élément de test 144, des signaux de sortie de la pluralité de pastilles de sortie 148 sont mesurés et analysés pour inspecter l'étage de registre à décalage de test 145. Puisque le registre à décalage de test 145 est formé de manière concourante avec l'unité de registre à décalage 125 du pilote de grille 124 par le même processus, le résultat de l'inspection pour l'élément de test 144 peut être utilisé comme un résultat d'inspection pour le pilote de grille 124. Par conséquent, le premier substrat mère 130 comprend le pilote de grille 124 dans la zone de cellule 132 et l'élément de test 144 dans la zone de test 142 pour une inspection intermédiaire du pilote de grille 124. Puisque l'étage de registre à décalage de test 145 de l'élément de test 144 est formé de manière concou- R ,Brevets'26000 26925-061204 trITXT doc - 6 décembre 2006 - 9 15 rante avec l'unité de registre à décalage 125 du pilote de grille 124, le fonctionne-ment normal ou anormal du pilote de grille 124 peut être vérifié par le résultat d'inspection de l'étage de registre à décalage de test 145. Les signaux d'entrée fournis à la pluralité de pastilles d'entrée 146 peuvent être identiques au signal de grille appliqué au pilote de grille 124 pour le fonctionnement du panneau à cristaux liquides. Par exemple, l'élément de test 144 peut comprendre neuf pastilles d'entrée. Le premier substrat mère 130 peut également présenter une non-uniformité dans les propriétés électriques des éléments en fonction de la position due à un processus de fabrication. Ainsi, le pilote de grille 124 peut aussi présenter une dévia- tion de position même lorsque le pilote de grille 124 est formé par le même processus. Pour augmenter la fiabilité de l'inspection du pilote de grille 124, les zone de test 142 peuvent être disposées en des positions séparées près de la pluralité de régions de cellules 132. Tel que représenté sur la figure 3, lorsque 16 régions de cellule sont disposées en une matrice 4 par 4 sur lepremier substrat mère 130, les zones de test 142 peuvent être disposées en une matrice 2 par 5 de sorte que chaque zone de test 142 est disposée entre les deux régions de cellules adjacentes 132. De plus, les zones de test 142 peuvent être disposées près de chaque région de cellule 132 avec une disposition un pour un dans un autre mode de réalisation. La zone de test 142 peut posséder une zone dans laquelle sont disposés l'étage de registre à décalage de test 145, la pluralité de pastilles d'entrée 146 et la pluralité de pastilles de sortie 148. Puisque l'élément de test 144 est utilisé pour l'inspection intermédiaire et est séparé électriquement de l'élément de matrice et du pilote de grille 124 dans la région de cellule 132, l'élément de test 144 est disposé au niveau d'une partie qui est retirée par découpe après la fixation du premier et du second substrats mères. Une fois que le premier substrat mère 130 est terminé, l'élément de test dans la zone de test 142 peut être mesurée pour l'inspection intermédiaire du pilote de grille 124. En fonction du résultat de l'inspection intermédiaire, le premier substrat mère 130 peut être jugé comme étant bon ou mauvais, et l'exécution du processus suivant tel que la fixation des deux substrats mères et l'injection du matériau à cristaux liqui- des est déterminée. Le processus suivant peut ne pas être exécuté pour le mauvais premier substrat mère 130 et peut être exécuté uniquement pour le bon premier substrat mère 130. Ainsi, le coût de fabrication et le rendement de production sont améliorés. Le premier substrat mère 130 passant l'inspection intermédiaire peut être fixé au second substrat mère et le premier et le second substrats mères fixés sont découpés en une pluralité de cellules de cristaux liquides. Un matériau à cristaux liquides est injecté dans la pluralité de cellules de cristaux liquides pour obtenir la pluralité de panneau à cristaux liquides. R `Brevets"_6000'26025-0612_04-IradTXT doc 6 décembre 2006 - 10/15 Par conséquent, dans la présente invention, une inspection intermédiaire du pilote de grille intégré dans le panneau à cristaux liquides est facilement réalisée sans processus de retrait des couches stratifiées sur le pilote de grille. De plus, puisque l'inspection intermédiaire est réalisée pour un élément de test séparé du pilote de grille, le premier substrat mère peut être utilisé pour le panneau à cristaux liquides même une fois que l'inspection intermédiaire est finie. Ainsi, le coût de fabrication et le rendement de production sont améliorés. En outre, l'élément de test est disposé au niveau d'une partie qui est retirée après un processus de découpe et une zone supplémentaire pour l'élément de test n'est pas nécessaire. De plus, puisque l'élément de test est formé de manière concourante avec l'élément de matrice et le pilote de grille, une inspection simple et fiable peut être réalisée. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation ciùdessus décrits et représentés, à partir desquels on pourra prévoir d'autres modes et d'autres formes de réalisation, sans pour autant sortir du cadre de l'invention. Ainsi, diverses modifications et variations peuvent apparaître à l'homme du métier qui restent comprises dans la portée des revendications. R:\Brevets126000\.'.6025-06I204-tradTXT doc 6 décembre 2006 - 11115 REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un dispositif d'affichage à cristaux liquides, comprenant : la fourniture d'un premier substrat mère (130) ayant au moins une zone de cellule et au moins une zone de test (142) ; la formation d'un pilote de grille et d'un élément de matrice dans l'au moins une zone de cellule et d'un élément de test dans l'au moins une zone de test (142) ; et l'inspection au niveau de l'élément de test pour déterminer l'état du pilote de grille. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la formation de l'élément de matrice comprend la formation d'une ligne de grille connectée au pilote de grille, la formation d'une ligne de données croisant la ligne de grille pour définir une région de pixel, la formation d'un transistor à couches minces connecté à la ligne de grille et à la ligne de données et possédant une couche de silicium amorphe, et la formation d'une électrode de pixel dans la région de pixel et connectée au transistor à couches minces. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel le pilote de grille comprend une pluralité d'étages de registre à décalage chacun étant connecté à la ligne de grille, et l'élément de test comprend un étage de registre à décalage de test correspondant à chacun de la pluralité d'étages de registre à décalage. 4. Procédé selon la revendication 3, dans lequel l'élément de test comprend en outre une pluralité de pastilles d'entrée et une pluralité de pastilles de 25 sortie connectées à l'étage de registre à décalage de test. 5. Procédé selon la revendication 4, dans lequel l'inspection au niveau de l'élément de test comprend la fourniture de signaux d'entrée à la pluralité de pastilles d'entrée, la mesure de signaux de sortie de la pluralité de pastilles de sortie, et 30 l'analyse des signaux de sortie. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel un nombre de l'au moins une zone de test (142) est égale ou inférieur au nombre de l'au moins une zone de cellule, et l'au moins une zone de test est disposée sur 35 l'extérieur de l'au moins une zone de cellule. R^Brevets',26000A26025-061'_04-rradTX7 doc - 6 décernbre 2006 - 1215 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, comprenant en outre : la fourniture d'un second substrat mère possédant une couche de filtre chromatique et une électrode commune ; la fixation du premier et du second substrats mères ; la formation d'une couche de cristaux liquides entre le premier et le second substrats mères ; et la découpe du premier et du second substrats mères dans l'au moins une zone de cellule pour obtenir au moins un panneau à cristaux liquides. 8. Procédé selon la revendication 7, dans lequel le premier substrat mère destiné à fixer le premier et le second substrats mères est sélectionné en inspectant au 10 niveau de l'élément de test. 9. Substrat mère (130) pour dispositif d'affichage à cristaux liquides, qui comprend : au moins une zone de cellule possédant un pilote de grille (124) et un élément de matrice (112,114) ; et au moins une zone de test (142) possédant un 15 élément de test. 10. Substrat selon la revendication 9, dans lequel l'élément de matrice (112, 114) comprend : une ligne de grille (112) connectée au pilote de grille (124) ; une ligne de données (114) croisant la ligne de grille pour définir une région de pixel 20 ; un transistor à couches minces connecté à la ligne de grille et à la ligne de données, le transistor à couches minces comprenant une couche de silicium amorphe ; et une électrode de pixel dans la région de pixel et connectée au transistor à couches minces. 25 11. Substrat selon la revendication 10, dans lequel le pilote de grille (124) comprend une pluralité d'étages de registre à décalage (125) chacun étant connecté à la ligne de grille, et l'élément de test comprend un étage de registre à décalage de test (145) correspondant à chacun de la pluralité d'étages de registre à décalage. 30 12. Substrat selon la revendication 11, dans lequel l'étage de registre à décalage de test (145) possède la même structure de circuit que chacun de la pluralité d'étages de registre à décalage. 13. Substrat selon la revendication 11, dans lequel l'élément de test 35 comprend en outre une pluralité de pastilles d'entrée (146) et une pluralité de pastil- les de sortie (148) connectées à l'étage de registre à décalage de test (145). R'Brevets'-2b000'26025-061204-tradTXT. doc - 6 décembre 2006 - 13- 15 5I4. Substrat selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, dans lequel un nombre de l'au moins une zone de test (142) est égale ou inférieur à un nombre de l'au moins une zone de cellule, et l'au moins une zone de test (142) est disposée sur l'extérieur de l'au moins une zone de cellule. RIBrevets126000`16025-06804-tradfXT doc - 6 décembre 2006 - 14'15