Brevet FR2909490A1 — publié le 20080606

FENETRE FORMANT FILTRE, ET NOTAMMENT SEPARATEUR D'HARMONIQUE POUR LASER DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR L'invention concerne le domaine des lasers à haute puissance, et en particulier le problème du filtrage et de la séparation de longueur d'ondes harmoniques à la sortie d'un laser. Ce problème se pose notamment pour des lasers de haute puissance fonctionnant dans le domaine de l'ultra-violet. Les techniques de conversion de fréquence, et de générations d'harmoniques en particulier, permettent de générer des faisceaux laser à des longueurs d'ondes souhaitées. Pour certaines applications, on a cependant besoin de séparer les harmoniques générées des longueurs d'ondes fondamentales ou d'autres longueurs d'ondes. Par exemple, lorsqu'on utilise la troisième harmonique d'un laser Nd : YAG, en vue de réaliser de l'excitation de fluorescence dans le domaine ultra-violet, on doit réaliser un filtrage de la deuxième harmonique et de la longueur d'onde fondamentale qui, sinon, interféreraient avec le signal de fluorescence. De même, dans le domaine du traitement des matériaux, la puissance résiduelle du second harmonique et de la longueur d'onde fondamentale peut causer des effets thermiques affectant la qualité des pièces traitées. 2909490 2 L'approche la plus usuelle, pour réaliser une séparation d'harmoniques, consiste à utiliser des éléments dispersifs tels que des prismes, ou à utiliser des miroirs dichroïques avec des revêtements 5 diélectriques. Or les lasers à puissance élevée nécessitent des séparateurs d'harmoniques répondant à certaines contraintes ; les revêtements diélectriques ont des résistances limitées aux puissances élevées 10 (qu'il s'agisse de la puissance crête ou de la puissance moyenne). Une autre limitation est la formation, sur les surfaces optiques, assistée par le faisceau laser lui même, de particules ou de polluants qui accroissent les pertes (par diffusion et/ou 15 absorption) et peuvent conduire à endommager ces surfaces optiques de manière grave, du fait des effets thermiques. Ceci est particulièrement problématique pour les lasers ultra-violets : les longueurs d'ondes courtes sont en effet susceptibles de photodissocier 20 des contaminants résiduels, par exemple des molécules organiques, situés dans la tête du laser. Ces contaminants seront ensuite déposés sur toutes les surfaces optiques situées sur le trajet du faisceau, en aval de la tête, et ceci à l'aide du champ électrique 25 du rayonnement ultra-violet lui-même. Pour résoudre ces problèmes, on connaît plusieurs techniques. Selon une première technique, utilisée aujourd'hui dans l'industrie du laser, on réalise un assemblage dans un environnement propre, on n'utilise que des matériaux dont le dégazage est faible, et enfin 2909490 3 la tête du laser est scellée de manière hermétique afin de prévenir toute contamination externe pendant sa durée de vie. Cependant, il y a toujours une quantité 5 résiduelle de contaminants, qui conduit à une dégradation, sur le long terme, du laser, en particulier en ce qui concerne les lasers à forte puissance. Le document US 6 798 813 décrit des moyens 10 permettant, par un système de purge en boucle fermée, d'éliminer tout contaminant de la tête du laser. Cependant, cette approche est complexe, accroît la taille du dispositif, ainsi que la consommation de puissance et le coût de fonctionnement du système 15 laser. Le document US 6 782 033 décrit une tête laser avec une fenêtre de sortie montée de manière rotative on peut ainsi sélectionner une nouvelle surface optique après qu'une autre surface ait été 20 endommagée par le faisceau UV, ce qui permet de retrouver les performances initiales de ce faisceaux. Cependant, tous les éléments optiques, disposés à l'intérieur de la tête laser, en particulier ceux utilisés pour la séparation d'harmoniques, subissent 25 encore des dégradations en cours d'utilisation. Une autre approche consiste à utiliser uniquement des surfaces sans revêtement, l'incidence sous angle de Brewster étant alors utilisée afin de limiter les pertes par réflexion. Le document 30 US 6 980 358 met en oeuvre un prisme avec cette incidence sous angle de Brewster et réflexion interne 2909490 4 totale afin d'effectuer une rotation à 90 d'un faisceau ultra-violet. Cependant, le dispositif décrit ne permet pas de réaliser la séparation de longueurs d'ondes harmoniques. 5 Le document US 5 052 780 utilise un prisme de Fresnel sous incidence de Brewster : le faisceau harmonique souhaité est dévié en réflexion interne totale, ce qui n'est pas le cas des harmoniques indésirables. Cette approche présente plusieurs 10 inconvénients : le positionnement angulaire du prisme est critique, du fait de la très faible différence d'angle de réflexion interne totale aux différentes longueurs d'ondes. Il en résulte qu'une sélection efficace en longueurs d'ondes nécessite plusieurs 15 aller-retour dans le prisme, qui est alors encombrant. Une séparation supplémentaire en longueur d'onde peut être réalisée avec des éléments optiques supplémentaires, tels que des filtres absorbants ce qui, en fait, accroît encore le problème de 20 l'endommagement des surfaces optiques. Le document US 5 850 407 décrit un dispositif optique dans lequel la séparation d'harmoniques est réalisée par la surface de sortie d'un cristal non-linéaire lui même, qui est taillé à 25 l'angle de Brewster. Du fait de la faible séparation angulaire entre les différentes longueurs d'ondes à la sortie du cristal, une séparation complète des faisceaux nécessite un chemin optique long, ce qui accroît la taille et le coût de la tête du laser. 30 Il se pose donc le problème de la réalisation d'un composant optique permettant de 2909490 5 séparer des faisceaux harmoniques avec des surfaces d'exposition réduite. De préférence, un tel composant est compatible avec un scellement hermétique d'une tête 5 laser afin d'assurer une meilleure qualité de fonctionnement. EXPOSÉ DE L'INVENTION L'invention concerne d'abord un dispositif de filtrage spectral d'un faisceau incident comportant 10 une fenêtre dont chaque face comporte une zone sans revêtement et une zone munie d'un revêtement permettant de réfléchir, dans la fenêtre, un rayonnement à une longueur d'onde, ou à une gamme de longueurs d'onde, souhaitée prédéterminée (21), et au moins partiellement 15 transparent à au moins une autre longueur d'onde, ou à une gamme de longueurs d'onde, non souhaitée et prédéterminée (22,23), le revêtement d'une des faces étant situé partiellement en regard du revêtement de l'autre face. Un faisceau entrant subit au moins deux réflexions dans la fenêtre, sur les zones traitées ou munies de revêtements, avant formation d'un faisceau sortant. Le faisceau entre et sort de la fenêtre par les régions ou les zones non traitées. Les réflexions ayant lieu à l'intérieur de la fenêtre, l'interaction du faisceau avec tout contaminant qui serait déposé sur les faces ou les zones traitées de la fenêtre, en contact avec le milieu extérieur à la fenêtre, est réduite. 20 25 2909490 6 En outre, aucun élément supplémentaire ou composant additionnel n'est nécessaire entre la sortie des moyens de génération d'harmoniques et la sortie du faisceau laser après traversée de la fenêtre. 5 Les caractéristiques de réflexion des deux zones munies de revêtements peuvent être identiques ou différentes l'une de l'autre. La fenêtre peut être montée dans des moyens de maintien hermétique de la fenêtre sur le trajet d'un 10 faisceau laser. Par exemple, la fenêtre est maintenue dans les moyens de maintien par au moins un joint torique, ou une colle, ou une soudure sur verre, ou une soudure métallique. Selon un mode de réalisation préféré, 15 l'angle d'incidence du faisceau avec la fenêtre est égal à l'angle de Brewster pour la longueur d'onde souhaitée. Selon encore un autre mode de réalisation la partie non traitée d'au moins une des faces d'entrée 20 et de sortie définissent un pan formant un angle (9o) non nul avec la partie traitée de cette même face. La fenêtre peut être montée dans des moyens permettant de réaliser une variation du recouvrement des régions traitées par rapport à la trajectoire du 25 faisceau incident. Par exemple, ces moyens peuvent être des moyens pour monter la fenêtre en rotation ou en translation par rapport à un axe optique. Les zones sur lesquelles les revêtements sont réalisés peuvent avoir des limites rectilignes, ou 30 non rectilignes. 2909490 7 La partie non traitée d'au moins une des faces d'entrée et de sortie définissant un pan peuvent former un angle (9o) non nul avec la partie traitée de cette même face. 5 L'invention concerne également un dispositif laser, comportant un milieu actif laser pouvant générer un faisceau laser, et des moyens de filtrage tels que ci-dessus. L'invention concerne notamment un 10 dispositif laser, comportant des moyens de génération d'un faisceau laser ultra-violet, et des moyens de filtrage tels que décrits ci-dessus, montés de manière à former une fenêtre étanche de sortie d'un faisceau laser. 15 Un tel dispositif peut comporter en outre des moyens de génération d'harmoniques du faisceau. De préférence, aucun composant optique n'étant disposé sur le trajet d'un faisceau généré par la cavité laser, entre la sortie de cette cavité et la 20 fenêtre étanche de sortie, ou entre les moyens de génération d'harmoniques et la fenêtre étanche de sortie. L'invention concerne également un procédé de séparation d'harmoniques d'un faisceau incident à 25 l'aide d'un dispositif selon l'invention, procédé dans lequel ce faisceau incident entre dans la fenêtre par la zone sans revêtement de la face d'entrée de la fenêtre, subit au moins deux réflexions sur les zones munies d'un revêtement, et sort de la fenêtre par la 30 zone sans revêtement de la face de sortie. 2909490 8 BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS Les figures 1A, 1B et 1C représentent, en vue de face, de côté et arrière, un mode de réalisation d'une fenêtre laser pour séparation d'harmoniques, 5 selon l'invention. La figure 2 représente des trajets de faisceaux dans une fenêtre laser selon l'invention. La figure 3 représente le montage d'une fenêtre de séparation d'harmoniques selon l'invention, 10 dans une tête laser. La figure 4 représente une fenêtre pour séparation d'harmoniques, selon l'invention, avec des angles d'incidences et de réflexion contrôlés. La figure 5 représente le trajet d'un 15 faisceau laser dans une fenêtre laser, selon l'invention, à réflexion multiple. Les figures 6 et 7 représentent chacune un dispositif laser mettant en oeuvre des moyens de filtrage selon l'invention. 20 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS L'invention va d'abord être expliquée en liaison avec les figures 1A-1C et 2. Sur ces figures, la séparation d'un faisceau harmonique, à la longueur d'onde 2 3r d'autres 25 faisceaux non souhaités dans le faisceau de sortie, aux longueurs d'ondes 22, 23, ..., est obtenue à l'aide d'une fenêtre de sortie de la tête laser, désignée par la référence 2. Les longueurs d'onde 22, 23, ... sont par exemple la longueur d'onde fondamentale, à partir de 2909490 9 laquelle les harmoniques sont obtenues, ainsi que les longueurs d'onde d'une ou plusieurs autres harmoniques générées à partir de la longueur d'onde fondamentale. Sur une partie des surfaces d'entrée 6 et 5 de sortie 10 de cette fenêtre sont appliqués des revêtements diélectriques 4, 8, qui se recouvrent partiellement entre les faces d'entrée et de sortie. Les autres zones 14, 18 des faces d'entrée et de sortie ne sont pas traitées avec de tels revêtements. 10 Les zones traitées sont représentées sur ces figures avec une forme circulaire tronquée, avec une limite rectiligne 5, 7 entre zones traitées et non traitées. Sur les figures 1A et 1B on peut voir un 15 revêtement 4 qui recouvre partiellement la face d'entrée 6 de la fenêtre 2. Un revêtement 8 recouvre partiellement la face 10 de sortie de la fenêtre 2. Selon les longueurs d'onde considérées, les intensités des faisceaux et les coefficients de 20 transmission souhaités, ces revêtements peuvent être constitués de multicouches diélectriques (à base de SiO2 et/ou TiO2 et/ou HfO2 et/ou Ta2O5 et/ou ZrO2 par exemple) ou de monocouche d'épaisseur contrôlée (MgF2 par exemple) ou de tout autre traitement usuel. 25 Comme on le voit clairement sur la vue de côté de la figure 1B, les revêtements 4 et 8 recouvrent une zone commune 11 de la fenêtre 2. (Zone hachurée sur cette figure). Le degré de recouvrement (mesuré par la hauteur h de la zone de recouvrement, sur la figure 1B) 30 des deux parties munies d'un revêtement dépend des réflexions souhaitées, comme expliqué ci-dessous. 2909490 10 L'épaisseur e (voir figure 1B) de la fenêtre est par exemple comprise entre 1 mm à 10 mm, tandis que son diamètre ou sa dimension la plus large (la fenêtre n'est pas nécessairement de forme 5 circulaire) est par exemple compris entre 5 mm et 50 mm. Le faisceau 20 du laser, comportant toutes les longueurs d'ondes engendrées par le milieu actif laser, et éventuellement par les divers moyens de 10 génération d'harmoniques utilisés, rencontre la fenêtre 2 dans une portion non traitée 14 de la face d'entrée 6 de la fenêtre. Dans la fenêtre, le faisceau 20 subit un trajet défini par les lois de la réfraction, et donc 15 fonction de l'indice du matériau de la fenêtre 2, ce trajet étant représenté sur la figure 2 par les références 20', 20", 20"'. La référence 22 désigne le faisceau de sortie qui émerge par la face de sortie 10 de la fenêtre 2. Ce faisceau est parallèle au 20 faisceau d'entrée 20. Au cours du trajet dans la fenêtre, le faisceau va rencontrer les revêtements 4 et 8 des faces d'entrée et de sortie. Dans l'exemple indiqué en figure 2, ces revêtements sont au moins partiellement 25 transparents pour les longueurs d'ondes 22, 23 ... (en fait pour toutes les longueurs d'ondes que l'on souhaite éliminer), et fortement réfléchissants pour la longueur d'onde 21r qui est la longueur d'onde souhaitée du faisceau de sortie 22. 30 Sur le schéma de la figure 2, le faisceau 20 d'entrée, qui arrive sous incidence 9e par rapport à 2909490 11 la normale Ne à la face d'entrée, est dévié vers la surface traitée 8 de la face de sortie. Le faisceau dévié 20' va rencontrer cette surface traitée au point RI, d'où il est réfléchi, sous la forme d'un faisceau 5 réfléchi 20", vers la surface d'entrée 6, et plus spécifiquement vers sa zone traitée 4, pour y être réfléchi au point R2. En R2 se produit encore une réflexion vers le point de sortie S du faisceau 22. 10 En fait, c'est surtout la composante à la longueur d'onde 21 de ce faisceau qui va être réfléchie aux points R1 et R2. Les longueurs d'onde 22, 23 sont, au moins partiellement, transmises vers l'extérieur de la fenêtre, par transmission à travers les faces de 15 sortie, au point R1, et d'entrée, au point R2. Selon un mode de réalisation préféré, on met en oeuvre un angle d'incidence 9e (voir figure 2) égal à l'angle de Brewster pour la longueur d'onde 21 afin de minimiser les pertes par réflexion, que ce soit 20 à la surface d'entrée ou de sortie. Cependant, d'autres angles peuvent être utilisés. La figure 4 représente un mode de réalisation dans lequel l'angle 90 entre les surfaces 25 traitées 4, 8 et non traitées 14, 18 d'une même face est choisi de sorte que l'angle d'incidence 9R du faisceau aux points RI, R2,... permette de simplifier la conception des revêtements 4, 8 (par exemple, 9R=45 ). Ce mode de réalisation peut être particulièrement 30 avantageux dans le cas où les faisceaux aux différentes longueurs d'ondes 21, 22, 2 3, ....sont associés à des 2909490 12 polarisations différentes. En effet, le coefficient de réflexion des revêtements dépendant à la fois de la longueur d'onde et de l'angle d'incidence, le contrôle de l'angle 9R grâce au choix de 00 offre un degré de 5 liberté supplémentaire dans la conception des revêtements 4,8. Là encore, ce faisceau de sortie 22 est parallèle au faisceau d'entrée 20. Comme illustré sur la figure 5, le nombre de réflexions à l'intérieur de la fenêtre 2 peut être 10 plus grand que 2. Ce nombre peut être contrôlé en ajustant les surfaces des zones traitées et non traitées des faces de la fenêtre, ainsi que le rapport ou le taux de recouvrement des sections traitées sur les deux côtés (hauteur h de la figure 1B). Le nombre 15 d'aller et retour du faisceau dans la fenêtre est choisi de manière à réaliser un niveau souhaité d'élimination de certaines harmoniques, ce qui dépend aussi des caractéristiques de réflexion des revêtements 4, 8 et du spectre du faisceau 20 incident. 20 Sur le schéma de la figure 5, le faisceau 20 d'entrée, qui arrive sous incidence 9e par rapport à la normale Ne à la face d'entrée, est dévié vers la surface traitée 8 de la face de sortie. Le faisceau dévié 20' va rencontrer cette surface traitée au point 25 R1r d'où il est réfléchi, sous la forme d'un faisceau réfléchi 20", vers la surface d'entrée 6, et plus spécifiquement sa zone traitée 4, pour y être réfléchi au point R2. En R2 se produit encore une réflexion vers la face de sortie, où le faisceau 20"' est réfléchi au 30 point R3. Un autre trajet dans la fenêtre conduit au point R4 où le faisceau 20(4) est réfléchi. Un dernier 2909490 13 trajet conduit le faisceau réfléchi 20(5) au point de sortie S du faisceau 22. En fait c'est surtout la composante à la longueur d'onde 2 de ce faisceau qui va être réfléchie 5 aux points R1 R2 R3 et R4. Les longueurs d'onde 22, 23 sont, au moins partiellement, transmises vers l'extérieur de la fenêtre, par transmission à travers les faces de sortie, aux points R1, R3, et d'entrée, aux points R2, R4. 10 De préférence, les caractéristiques des revêtements 4, 8 sont choisis de manière à minimiser le nombre souhaité de réflexions à l'intérieur de la fenêtre 2, afin de limiter les pertes possibles dues à la propagation dans la fenêtre, en particulier dans le 15 cas d'un rayonnement ultra-violet pour lequel l'absorption par le matériau de la fenêtre peut être importante. D'autres modes de réalisation permettent de contrôler le nombre de réflexions dans la fenêtre, tel 20 que par exemple l'existence des faces non parallèles sur lesquelles les traitements sont réalisés (comme sur la figure 4). En outre, sur une face, ou sur les deux faces, de la fenêtre, les zones traitées 4, 8 d'une 25 face, ou sur lesquelles les revêtements 4, 8 sont réalisés, peuvent avoir, par rapport aux zones 14, 18 non traitées (et ne constituant pas le pourtour extérieur de la fenêtre), des limites 5, 7 (figure 1A, 1C) non rectilignes. 30 Selon encore un autre mode de réalisation, un montage en rotation ou en translation de la fenêtre 2909490 14 par rapport à l'axe optique de la tête du laser peut être prévu. De tels moyens sont par exemple indiqués dans le document US 6 782 033. Ces différents moyens permettent de 5 réaliser une variation du recouvrement des régions traitées par rapport à la trajectoire du faisceau incident. Dans les exemples donnés ci-dessus, les zones traitées 4, 8 des faces d'entrée et de sortie 10 peuvent avoir les mêmes caractéristiques en termes de réflexion et de transmission. Mais, en variante, les revêtements 4, 8 déposés sur les deux faces de la fenêtre peuvent avoir des coefficients de réflexion et de transmission différents l'un de l'autre. 15 La forme de la fenêtre n'est pas limitée à une forme circulaire, comme sur les figures 1A-1C, mais peut être également une forme elliptique, ou rectangulaire, .... La zone traitée peut aussi être entourée par un bord non traité permettant la 20 manipulation et la fixation de la fenêtre, par exemple lors de la formation des revêtements 4, 8 sur les faces d'entrées et de sorties. La figure 3 représente un exemple de montage d'une fenêtre à séparation d'harmoniques, selon 25 l'un quelconque des modes de réalisation exposés ci-dessus, dans une tête laser : la fenêtre 2 est fixée entre deux pièces de maintien 30, 32, assemblées à l'aide de deux vis 34. La fenêtre est maintenue dans un 30 compartiment 36 à l'aide de joints toriques 38, 40. Un 2909490 15 tel montage permet d'assurer un scellement hermétique de la tête laser, afin d'éliminer toute contamination. Les deux parties 30, 32 du support sont telles que les faisceaux transmis aux longueurs d'ondes 5 22, 23, qui passeraient à travers les surfaces traitées de la fenêtre 2 soient absorbés ou diffusés et ne sortent pas de la tête laser. Seul le faisceau à la longueur d'onde 2 peut sortir de cette tête, via l'orifice 44. Les autres longueurs d'ondes sont 10 absorbées ou diffusées par les parois de la cavité 36. D'autres moyens peuvent être utilisés pour monter la fenêtre de manière fixe dans son compartiment : cette fenêtre peut être collée, par exemple avec des moyens adhésifs tels qu'une colle époxy, ou bien une soudure à 15 verre peut être utilisée. Selon encore une autre variante, la fenêtre peut avoir une métallisation périphérique permettant son soudage. La fenêtre peut également être maintenue (c'est le cas de la figure 3), par des joints toriques, le caractère hermétique du 20 compartiment étant assuré par le serrage des vis 34. Pour tous ces moyens de maintien, on utilisera de préférence des matériaux à très faible dégazage, afin de minimiser les risques de contamination de la tête laser. 25 L'invention offre, en regard des dispositifs décrits dans l'art antérieur, plusieurs avantages. Elle permet notamment de réaliser un scellement hermétique pouvant assurer à la fois une contamination réduite et une séparation des 30 harmoniques, et donc une compacité maximum, un coût minimum et un procédé d'assemblage très simple ; en 2909490 16 outre, le nombre de surfaces à traiter que doit rencontrer le faisceau laser sur son trajet est réduit à un minimum puisque, dans sa version la plus élémentaire, seules deux faces d'une fenêtre unique 5 permettent d'assurer le filtrage ou la sélection des harmoniques souhaitées. L'invention ne nécessite qu'un alignement réduit : le faisceau 22 de sortie est colinéaire ou parallèle au faisceau 20 incident, quel que soit 10 l'angle d'incidence. Le seul effet de ce dernier est une légère augmentation des pertes à la longueur d'onde 21 (ou, plus généralement à la longueur d'onde souhaitée) lorsque l'on s'écarte de l'angle d'incidence de Brewster. Il en résulte que le dispositif selon 15 l'invention est bien plus robuste par rapport au défaut d'alignement, qui pourrait être induit par des variations de température et/ou des vibrations mécaniques, et/ou un vieillissement des adhésifs, que les dispositifs de l'art antérieur. Un dispositif selon 20 l'invention permet donc d'atteindre une sensibilité minimale à d'éventuels défauts d'alignement, ce qui accroît la robustesse et simplifie le procédé d'assemblage. Un dispositif selon l'invention permet 25 également de réaliser un nombre minimum d'interfaces, et donc de minimiser les surfaces éventuellement contaminantes. Le même dispositif peut être utilisé pour la séparation d'harmoniques, ainsi que pour le 30 scellement hermétique de la tête du laser, réduisant 2909490 17 ainsi les coûts, la taille et le nombre d'interfaces traitées. Enfin, le nombre de réflexions dans la fenêtre peut également être facilement contrôlé, ce qui 5 permet de contrôler le taux de réjection des harmoniques non souhaitées. La figure 6 représente un dispositif laser mettant en oeuvre des moyens de filtrage selon l'invention. Il comporte un milieu actif laser 50, par 10 exemple un barreau YAG, des moyens 51 de génération d'harmoniques, par exemple un cristal doubleur de fréquence, des moyens 52, 54 de pompage de ce milieu actif, par exemple des lampes flash, et des miroirs d'entrée 56 et de sortie 58 formant une cavité laser. 15 Une fenêtre 2 selon l'invention, permet de séparer les harmoniques, conformément à l'invention. Un faisceau de sortie 22 a donc les propriétés souhaitées en termes de longueurs d'onde et d'harmoniques. La fenêtre 2 est par exemple maintenue par des moyens de maintien du type 20 décrit ci-dessus en liaison avec la figure 3. La figure 7 représente un dispositif microlaser 60 auquel est associé un cristal 62 non linéaire en vue de la génération d'harmoniques, et des moyens de filtrage selon l'invention, qui permet 25 d'assurer un filtrage d'harmoniques, conformément à l'invention. Là encore, un faisceau de sortie 22 a les propriétés souhaitées en termes de longueurs d'onde et d'harmoniques et la fenêtre 2 est par exemple maintenue par des moyens de maintien du type décrit ci-dessus en 30 liaison avec la figure 3. 2909490 18 Dans un dispositif laser selon l'invention, le faisceau issu, soit de la cavité laser, soit des moyens de générations d'harmoniques, ne rencontre aucun élément optique autre que la fenêtre de sortie selon 5 l'invention, qui assure également l'étanchéité dans l'ensemble du dispositif ou de la tête laser. Par exemple il règne dans la tête laser une pression, par exemple d'air sec, d'environ 1,5 bar, et la fenêtre permet d'assurer un minimum d'échanges entre 10 l'intérieur de la tête laser et l'atmosphère extérieure. REVENDICATIONS 1. Dispositif de filtrage spectral d'un faisceau incident (20) comportant une fenêtre (2) dont chaque face comporte une zone (14, 18) sans revêtement et une zone (4, 8) munie d'un revêtement permettant de réfléchir, dans la fenêtre, un rayonnement à une longueur d'onde souhaitée (21), et au moins partiellement transparent à au moins une autre longueur d'onde non souhaitée (22,23), le revêtement d'une des faces étant situé partiellement en regard du revêtement de l'autre face. 2. Dispositif selon la revendication 1, un faisceau entrant subissant au moins deux réflexions dans la fenêtre avant formation d'un faisceau sortant (22). 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, la fenêtre étant maintenue inclinée sur la trajet du faisceau laser à un angle proche de l'angle de Brewster pour la longueur d'onde souhaitée (21). 4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, les caractéristiques de réflexion des deux zones (4, 8) munies d'un revêtement étant identiques l'une de l'autre. 5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, les caractéristiques de réflexion 2909490 20 des deux zones (4, 8) munies d'un revêtement étant différentes l'une de l'autre. 6. Dispositif selon l'une des 5 revendications 1 à 5, comportant en outre des moyens (30, 32) de maintien de la fenêtre sur le trajet (20, 22) d'un faisceau laser. 7. Dispositif selon la revendication 6, la 10 fenêtre étant maintenue de manière étanche dans les moyens (30, 32) de maintien. 8. Dispositif selon la revendication 7, la fenêtre étant maintenue de manière étanche dans les 15 moyens (30, 32) de maintien par au moins un joint torique, ou une colle, ou une soudure sur verre, ou une soudure métallique. 9. Dispositif selon l'une des 20 revendications 1 à 8, comportant en outre des moyens permettant de réaliser une variation du recouvrement des régions traitées par rapport à la trajectoire du faisceau incident. 25 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, les zones sur lesquelles les revêtements (4, 8) sont réalisés ayant des limites non rectilignes. 30 11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 10, comportant en outre des moyens 2909490 21 pour monter la fenêtre en rotation ou en translation par rapport à un axe optique. 12. Dispositif selon l'une des 5 revendications 1 à 11, la partie non traitée (14, 18) d'au moins une des faces d'entrée et de sortie définissant un pan formant un angle (9o) non nul avec la partie traitée (4, 8) de cette même face. 10 13. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 12, les faces d'entrée et de sortie étant parallèles entre elles. 14. Dispositif laser, comportant une tête 15 de génération d'un faisceau laser ultra-violet, cette tête comportant elle-même une cavité laser pour générer ce faisceau laser, et des moyens de filtrage, selon l'une des revendications 1 à 13, montés de manière à former une fenêtre étanche de sortie de ladite tête. 20 15. Dispositif selon la revendication 14, comportant en outre des moyens (51, 62) de génération d'harmoniques du faisceau. 25 16. Dispositif selon la revendication 14 ou 15, aucun composant optique n'étant disposé sur le trajet d'un faisceau généré par la cavité laser, entre la sortie de cette cavité et la fenêtre étanche de sortie, ou entre les moyens de génération d'harmoniques 30 et la fenêtre étanche de sortie. 2909490 22 17. Procédé de séparation d'harmoniques d'un faisceau incident (20) à l'aide d'un dispositif selon l'une des revendications 1 à 16, dans lequel ce faisceau incident entre dans la fenêtre (2) par la zone 5 (14) sans revêtement de la face d'entrée (6) de la fenêtre, subit au moins deux réflexions sur les zones (4, 8) munies d'un revêtement, et sort de la fenêtre par la zone (18) sans revêtement de la face de sortie (8). 10 18. Procédé selon la revendication 17, l'angle d'incidence du faisceau incident (20) sur la face d'entrée étant égal à l'angle de Brewster pour la longueur d'onde souhaitée (21).