Brevet FR2903197A1 — publié le 20080104

La présente invention concerne, de manière générale, un article d'optique comprenant un substrat revêtu d'un revêtement anti-reflets multicouches, possédant une résistance accrue vis-à-vis de la température et une bonne résistance à l'abrasion, en particulier une lentille ophtalmique pour lunettes, ainsi qu'un procédé de fabrication d'un tel article. Dans le domaine de l'optique ophtalmique, il est classique de revêtir une lentille ophtalmique de divers revêtements afin de conférer à cette lentille diverses propriétés mécaniques et/ou optiques. Ainsi, classiquement, on forme sur une lentille ophtalmique successivement des revêtements tels que des revêtements anti-chocs, anti-abrasion et/ou anti-reflets. Un revêtement anti-reflets se définit comme un revêtement, déposé à la surface d'un article d'optique, qui améliore les propriétés anti-réfléchissantes de l'article d'optique final. Il permet de réduire la réflexion de la lumière à l'interface article-air sur une portion relativement large du spectre visible. Les revêtements anti-reflets sont bien connus et comprennent classiquement un empilement monocouche ou multicouches de matériaux diélectriques tels que SiO, SiO2, AI2O3, MgF2, LiF, Si3N4, TiO2, ZrO2, Nb2O5, Y2O3, HfO2, Sc2O3, Ta2O5, Pr2O3, ou leurs mélanges. Comme cela est bien connu également, les revêtements anti-reflets sont, de préférence, des revêtements multicouches comprenant alternativement des couches de haut indice de réfraction et des couches de bas indice de réfraction. Il est connu d'interposer une sous-couche entre le substrat et le revêtement anti-reflets dans le but d'améliorer la résistance à l'abrasion et/ou aux rayures dudit revêtement. D'une manière générale, les revêtements anti-reflets classiques présentent une bonne tenue à la température jusqu'à des températures de l'ordre de 70 C. Lorsque la température dépasse cette valeur, des craquelures peuvent apparaître au niveau de l'empilement anti-reflets, notamment à la surface du substrat de l'article, ce qui traduit une dégradation du revêtement anti-reflets. Dans la présente demande, la température critique d'un article ou d'un revêtement est définie comme étant celle à partir de laquelle on observe l'apparition de craquelures. Dans le cas de substrats en verre organique (résine synthétique), les dépôts de l'éventuelle sous-couche et du revêtement anti-reflets doivent être effectués par des procédés fonctionnant à des températures modérées afin d'éviter la dégradation du substrat, une précaution qui est inutile dans le cas des substrats en verre minéral. Il en découle, dans le cas de substrats en verre organique, une moins bonne durabilité du revêtement anti-reflets, notamment une moins bonne adhésion de ce revêtement au substrat, et de moins bonnes propriétés de résistance thermique. 2903197 2 De plus, les substrats en verre organique ayant un coefficient d'expansion thermique plus élevé que les substrats en verre minéral ou que les matériaux inorganiques constituant les sous-couches ou les couches d'un revêtement anti-reflets, ils conduisent à des articles pouvant développer des 5 contraintes élevées, à l'origine de l'apparition de craquelures. Certains brevets décrivent le remplacement, dans une ou plusieurs couches de bas indice de réfraction d'un empilement anti-reflets, de la silice, le matériau le plus classique, par d'autres matériaux tels que de la silice dopée par de l'alumine, dans le but d'obtenir de meilleures propriétés. 10 La demande de brevet US 2005/0219724 décrit un article d'optique revêtu d'un film diélectrique multicouches tel qu'un revêtement anti-reflets, composé d'une alternance de couches de haut indice de réfraction (TiO2) et de couches de bas indice de réfraction. Toutes les couches de bas indice sont à base de SiO2 additionné d'une faible quantité d'AI2O3 de sorte que leur indice de réfraction (noté n) 15 vaille 1,47. Ce document recommande de ne pas utiliser de couches de bas indice de réfraction exclusivement composées de SiO2 (n = 1,46), car de telles couches conduisent à des films qui développent des contraintes en compression intenses, si bien qu'il n'est pas possible d'obtenir un film durable et ayant une bonne adhérence 20 au substrat. L'utilisation d'un mélange SiO2 / AI2O3 permet de réduire les contraintes dans les couches bas indice, et par là la probabilité d'apparition de craquelures à la surface du substrat. Le brevet russe SU 1176280 décrit un substrat revêtu d'un empilement de cinq couches alternativement de haut indice de réfraction (ZrO2, n = 1,95-2,05) et de bas 25 indice de réfraction (SiO2 dopée par 3 % d'AI2O3, n = 1,45-1,47). La demande de brevet WO 2005/059603, au nom du déposant, décrit un article comprenant un revêtement anti-reflets multicouches coloré comprenant au moins deux couches de haut indice de réfraction absorbant dans le visible à base d'oxyde de titane sous-stoechiométrique TiOX (x latex de type polyuréthane, telles que celles décrites dans les brevets US 5,316,791 et EP 0680492. 2903197 16 Les compositions de primaire préférées sont les compositions à base de polyuréthanes et les compositions à base de latex, en particulier les latex de polyuréthane. Les latex poly(méth)acryliques sont des latex de copolymères constitués 5 principalement par un (méth)acrylate, tel que par exemple le (méth)acrylate d'éthyle, de butyle, de méthoxyéthyle ou d'éthoxyéthyle, avec une proportion généralement mineure d'au moins un autre co-monomère, tel que par exemple du styrène. Les latex poly(méth)acryliques préférés sont les latex de copolymères acrylate-styrène. De tels latex de copolymères acrylate-styrène sont disponibles 10 commercialement auprès de la Société ZENECA RESINS sous la dénomination NEOCRYL . Les latex de polyuréthane sont également connus et disponibles dans le commerce. A titre d'exemple, on peut citer les latex de polyuréthane contenant des motifs polyesters. De tels latex sont également commercialisés par la société 15 ZENECA RESINS sous la dénomination NEOREZ et par la société BAXENDEN CHEMICALS sous la dénomination WITCOBOND . On peut également utiliser dans les compositions de primaire des mélanges de ces latex, en particulier de latex polyuréthane et de latex poly(méth)acrylique. Ces compositions de primaire peuvent être déposées sur les faces de l'article 20 par trempage ou centrifugation puis séchées à une température d'au moins 70 C et pouvant aller jusqu'à 100 C, de préférence de l'ordre de 90 C, pendant une durée de 2 minutes à 2 heures, généralement de l'ordre de 15 minutes, pour former des couches de primaire ayant des épaisseurs, après cuisson, de 0,2 à 2,5 m, de préférence de 0,5 à 1,5 m. 25 Bien évidemment, l'article d'optique selon l'invention peut également comporter des revêtements formés sur le revêtement anti-reflets et capables de modifier leurs propriétés de surface, tels que des revêtements hydrophobes et/ou oléophobes (top coat anti-salissures). Ces revêtements sont de préférence déposés sur la couche externe du revêtement anti-reflets. Leur épaisseur est en général 30 inférieure ou égale à 10 nm, de préférence de 1 à 10 nm, mieux de 1 à 5 nm. Il s'agit généralement de revêtements de type fluorosilane ou fluorosilazane. Ils peuvent être obtenus par dépôt d'un fluorosilane ou fluorosilazane précurseur, comprenant de préférence au moins deux groupes hydrolysables par molécule. Les fluorosilanes précurseurs contiennent préférentiellement des groupements 35 fluoropolyéthers et mieux des groupements perfluoropolyéthers. Ces fluorosilanes sont bien connus et sont décrits, entre autres, dans les brevets US 5,081,192, US 5,763,061, US 6,183, 872, US 5,739, 639, US 5,922,787, US 6,337,235, US 6,277,485 et EP 0933377. 2903197 17 Typiquement, un article d'optique selon l'invention comprend un substrat successivement revêtu d'une couche de primaire anti-chocs, d'une couche antiabrasion et/ou anti-rayures, d'une sous-couche selon l'invention, d'un revêtement anti-reflets selon l'invention et d'un revêtement hydrophobe et/ou oléophobe. L'article 5 selon l'invention est de préférence une lentille optique, mieux une lentille ophtalmique, ou une ébauche de lentille optique ou ophtalmique. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un article d'optique à propriétés anti-reflets tel que décrit ci-dessus, dans lequel toutes les couches de la sous-couche puis toutes les couches du revêtement anti-reflets sont 10 déposées par évaporation sous vide. Un tel procédé présente l'avantage d'éviter de chauffer le substrat, ce qui est particulièrement intéressant dans le cas des verres organiques. Les exemples suivants illustrent l'invention de façon plus détaillée mais non limitative. 15 EXEMPLES 1. Procédures générales 20 Les articles d'optique employés dans les exemples comprennent un substrat de lentille ORMA ESSILOR de 65 mm de diamètre, de puissance -2,00 dioptries et d'épaisseur 1,2 mm, revêtu du revêtement anti-abrasion et/ou anti-rayures (hard coat) divulgué dans l'exemple 3 du brevet EP 0614957 (d'indice de réfraction égal à 1,50), à base d'un hydrolysat de GLYMO et DMDES, de silice colloïdale et 25 d'acétylacétonate d'aluminium. Ce revêtement anti-abrasion est obtenu par dépôt et durcissement d'une composition comprenant en masse, 224 parties de GLYMO, 80,5 parties de HCI 0,1 N, 120 parties de DMDES, 718 parties de silice colloïdale à 30 0/0 massique dans le méthanol, 15 parties d'acétylacétonate d'aluminium et 44 parties d'éthylcellosolve. La composition comporte également 0,1 % de tensioactif 30 FLUORADTM FC-430 de 3M en masse par rapport à la masse totale de la composition. Ce revêtement anti-abrasion est déposé directement sur le substrat. Les sous-couches et les couches du revêtement anti-reflets ont été déposées sans chauffage des substrats par évaporation sous vide éventuellement assistée par 35 faisceau ionique, lorsque précisé (source d'évaporation : canon à électrons). Le mélange SiO2/AI2O3 utilisé est le LIMA commercialisé par Umicore Materials AG comprenant 4 % en masse d'AI2O3 par rapport à la masse totale de 2903197 18 SiO2 + AI2O3 (exemples 1, 2, 3, 5), ou la substance L5 commercialisée par Merck KGaA (exemple 4). Le bâti de dépôt est une machine Leybold 1104 équipé d'un canon à ions 5 ESV14 (8kV) pour l'évaporation des oxydes, d'un creuset à effet Joule pour le dépôt du top coat et d'un canon à ions (Commonwealth Mark II) pour la phase préliminaire de préparation de surface par des ions argon. L'épaisseur des couches est contrôlée au moyen d'une balance à quartz. 10 2. Modes opératoires Exemples 1 à 7 Le procédé de dépôt comprend l'introduction de l'article dans une enceinte de 15 dépôt sous vide, une étape de pompage, une étape de préparation de surface ionique par IPC (à une pression de 2.10-5 mBar), une étape de dépôt de la sous-couche BI anti-abrasion (SiO2 ou SiO2/AI2O3) avec une vitesse de 1 nm/s, le dépôt de la 1 ère couche H I (ZrO2) avec une vitesse de 0,3 nm/s, le dépôt de la 1 ère couche BI (SiO2 ou SiO2/AI2O3) avec une vitesse de 0,7 nm/s, le dépôt de la 2nde couche HI 20 (TiO2) à une pression de 1.10- 4 mBar avec une vitesse de 0,3 à 0,5 nm/s et une assistance d'ions oxygène correspondant à 2,5 A - 120 V, le dépôt de la 3ème couche HI (ZrO2) avec une vitesse de 0,3 nm/s (sauf exemples 2, 5, 7), le dépôt d'une couche ITO avec une vitesse de 0,3 à 0,5 nm/s et une assistance d'ions oxygène correspondant à 2,5 A - 120 V (sauf exemples 3 et 6), le dépôt de la 2nde couche BI 25 (SiO2 ou SiO2/AI2O3) avec une vitesse de I nm/s, une étape de dépôt d'un revêtement anti-salissure (top coat) et une étape de ventilation. Exemple 8 30 Le procédé de dépôt comprend l'introduction de l'article dans une enceinte de dépôt sous vide, une étape de pompage, une étape de préparation de surface ionique par IPC (à une pression de 1.10-4 mBar), le dépôt de la lère couche HI (ZrO2) sous atmosphère de 02 à une pression de 8.10-5 mBar et avec une vitesse de 0,3 nm/s, le dépôt de la lère couche BI (SiO2) avec une vitesse de 0,7 nm/s, le dépôt de 35 la 2nde couche HI (ZrO2) régulé sous atmosphère de 02 à une pression de 8.10-5 mBar avec une vitesse de 0,3 nm/s, le dépôt de la 2nde couche BI (SiO2) avec une vitesse de 1 nm/s, une étape de dépôt d'un revêtement anti-salissure (top coat) et une étape de ventilation. 2903197 3. Caractérisations a. Caractérisation de la résistance thermique : détermination de la température 5 critique Le verre organique ophtalmique revêtu d'un revêtement anti-reflets est placé pendant 1 heure dans une étuve thermostatée à une température T de 50 C, retiré de l'étuve puis l'aspect visuel de l'article est évalué en réflexion sous une lampe de 10 bureau. Si le revêtement anti-reflets apparaît intact, le verre organique ophtalmique est replacé dans l'étuve pendant 1 heure à la température T + 5 C. Dès que le revêtement anti-reflets apparaît craquelé, le test est arrêté. La température critique correspond à la température d'apparition des craquelures. Lorsque plusieurs verres sont testés, la température d'apparition des 15 craquelures mentionnée est la moyenne des résultats. b. Caractérisation de la résistance à l'abrasion La résistance à l'abrasion a été évaluée par détermination de la valeur BAYER 20 sur les substrats revêtus d'une sous-couche (sauf l'exemple 8) et d'un revêtement anti-reflets. Test BAYER ASTM (Bayer sable) 25 La détermination de cette valeur BAYER a été établie conformément à la norme ASTM F 735.81. Plus la valeur obtenue au test BAYER est élevée, plus la résistance à l'abrasion est élevée. Ce test consiste à agiter simultanément un verre échantillon et un verre étalon d'un mouvement alternatif déterminé dans un bac contenant une poudre abrasive 30 (sable) de granulométrie définie à une fréquence de 100 cycles/minute pendant 2 minutes. La mesure de diffusion H "avant / après" du verre échantillon est comparée à celle d'un verre étalon, en l'occurrence un verre nu à base de CR-39 , pour lequel la valeur BAYER est fixée à 1. La valeur de Bayer est R= H étalon/H verre échantillon. 35 Test Bayer ISTM 19 2903197 20 La détermination de cette valeur BAYER a été établie en suivant la norme ASTM F735-81, avec les modifications suivantes : L'abrasion s'effectue sur 300 cycles en utilisant approximativement 500 g d'alumine (oxyde d'aluminium AI2O3) ZF 152412 fournie par la société Ceramic 5 Grains (anciennement Norton Materials, New Bond Street, PO Box 15137 Worcester, Mass. 01615-00137). La diffusion est mesurée en utilisant un appareil Hazemeter modèle XL-211. La valeur de Bayer ASTM (Bayer sable) est qualifiée de bonne lorsque R est 10 supérieur ou égal à 3,4 et inférieur à 4,5. La valeur de Bayer ISTM est qualifiée de bonne lorsque R est supérieur ou égal à 3 et inférieur à 4,5. La valeur de Bayer Sable ou ISTM est qualifiée d'excellente pour des valeurs de 4,5 et plus. 15 4. Résultats Les empilements obtenus selon les exemples 1 à 8 sont détaillés en page 26 ci-après. Les résultats des mesures de températures critiques (TC, en C) et de 20 résistance à l'abrasion sont regroupés dans le tableau 1. Tableau 1 Exemple TC (24 h) en Test Bayer ASTM Test Bayer C (BAYER SABLE) ISTM 1 (invention) 85 4,7 11 2 (invention) 93 4,3 8,7 3 (comparatif) 93 2,9 4 (invention) 88 4,8 13 5 (comparatif) 96 3,8 5,6 6 (comparatif) 70 3,8 7(comparatif) 83 4,3 8,5 8 (comparatif) 70 5,0 8,5 25 La lentille de l'exemple 8 (revêtement anti-reflets tétracouche classique) possède une très bonne résistance à l'abrasion, mais sa température critique n'est que de 70 C. 2903197 21 Les lentilles des exemples 1, 2 et 4 correspondant à l'invention possèdent à la fois une résistance à l'abrasion et une température critique élevées. L'exemple 4 fournit le meilleur compromis entre ces deux propriétés. Une comparaison des exemples 1 et 2 révèle que l'utilisation de deux couches HI TiO2/ZrO2 juxtaposées 5 plutôt qu'une simple couche de TiO2 améliore la résistance à l'abrasion en ne diminuant que faiblement la température critique. D'autre part, le fait d'intercaler une couche de ZrO2 entre une couche de TiO2 et une couche ITO permet de réduire la diffusion par rapport à un article dans lequel une couche ITO et une couche de TiO2 sont juxtaposées. 10 Les lentilles des exemples 3 et 5 ont une bonne résistance thermique grâce à la présence de SiO2/AI2O3 dans les couches BI et la sous-couche, mais une faible résistance à l'abrasion, particulièrement celle de l'exemple 3. De façon surprenante, on constate qu'il n'est pas avantageux d'employer une sous-couche comprenant un mélange de SiO2 et d'AI2O3 (une comparaison directe est possible entre les exemples 15 2 et 5). Sans vouloir être lié par une quelconque théorie, les inventeurs pensent que l'augmentation de la contrainte globale de l'empilement en compression, apportée par la substitution de la silice par de la silice dopée en alumine, devient en effet trop importante, si bien que l'adhérence de l'empilement des couches est affaiblie et la réponse aux tests d'abrasion est moindre. 20 Les lentilles des exemples 6 et 7, dont les couches BI du revêtement antireflets sont faites de SiO2, ont une température critique relativement faible. Une comparaison des exemples 2 et 7 montre que le remplacement des deux couches BI de SiO2 par deux couches BI de SiO2/AI2O3, toutes choses étant égales par ailleurs, n'a pas d'influence sur la résistance à l'abrasion mais augmente la température 25 critique de façon conséquente (+ 10 C). Il a été vérifié grâce à un spectrophotomètre, tel que le lambda 900 de Perkin Elmer, que le facteur relatif de transmission dans le visible Tv des articles selon l'invention, calculé entre 380 et 780 nm, était supérieur à 90 %. 2903197 22 CONSTITUTION DES LENTILLES PREPAREES DANS LES EXEMPLES Exemple 1 (invention) Substrat + hard coat SiO2 150 nm ZrO2 24 nm SiO2/AI203 23 nm TiO2 90 nm ZrO2 15 nm ITO 13 nm SiO2/AI203 77 nm Top coat Air Exemple 2 (invention) Substrat + hard coat SiO2 150 nm ZrO2 24 nm SiO2/AI203 23 nm TiO2 98 nm ITO 13 nm SiO2/AI203 77 nm Top coat Ai r Exemple 3 (comparatif) Substrat + hard coat ST02/AI203 150 nm ZrO2 22 nm SiO2/AI203 28 nm TiO2 101 nm ZrO2 15 nm SiO2/AI203 76 nm Top coat Air Exemple 4 (invention) Substrat + hard coat Si02 150 nm ZrO2 24 nm STO2/AI203 23 nm TiO2 90 nm ZrO2 15 nm ITO 13 nm STO2/AI203 77 nm Top coat Air Exemple 5 (comparatif) Substrat + hard coat SiO2/AI203 150 nm ZrO2 24 nm STO2/AI203 23 nm TiO2 98 nm ITO 13 nm STO2/AI203 77 nm Top coat Ai r * STO2/AI203 : substance L5 (Merck KGaA). Exemple 6 (comparatif) Substrat + hard coat SiO2 150 nm ZrO2 22 nm SiO2 28 nm TiO2 101 nm ZrO2 15 nm SiO2 76 nm Top coat Ai r Exemple 7 (comparatif) Substrat + hard coat ST02 150 nm ZrO2 24 nm SiO2 23 nm TiO2 98 nm ITO 13 nm SiO2 77 nm Top coat Ai r Exemple 8 (comparatif) Substrat + hard coat ZrO2 27 nm SiO2 21 nm ZrO2 80 nm SiO2 81 nm Top coat Air Les sous-couches apparaissent en grisé. Les couches HI apparaissent en gras. REVENDICATIONS 1. Article d'optique à propriétés anti-reflets, comprenant un substrat et, en partant du substrat : - une sous-couche comprenant une couche à base de SiO2, ladite couche à base de SiO2 ayant une épaisseur supérieure ou égale à 75 nm et étant exempte d'AI2O3 ; et - un revêtement anti-reflets multicouches comprenant un empilement d'au moins une couche de haut indice de réfraction et d'au moins une couche de bas indice de réfraction, caractérisé en ce que toutes les couches de bas indice de réfraction du revêtement anti-reflets comprennent un mélange de SiO2 et d'AI2O3, et en ce que les couches de haut indice de réfraction du revêtement anti-reflets ne sont pas des couches absorbant dans le visible comprenant un oxyde de titane sous- stoechiométrique et réduisant le facteur relatif de transmission dans le visible (Tv) de l'article d'optique d'au moins 10 % par rapport au même article ne comportant pas lesdites couches absorbant dans le visible. 2. Article selon la revendication 1, caractérisé en ce que son facteur relatif de transmission dans le visible (Tv) est supérieur à 90 %. 3. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que son facteur moyen de réflexion par face de l'article dans le domaine visible (Rm) est inférieur à 2,5 %, mieux inférieur à 2 % et encore mieux inférieur à 1 %. 4. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que sa température critique est supérieure ou égale à 80 C, mieux supérieure ou égale à 85 C et encore mieux supérieure ou égale à 90 C. 5. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite couche à base de SiO2 exempte d'AI2O3 a une épaisseur supérieure ou égale à 80 nm, de préférence supérieure ou égale à 100 nm, mieux supérieure ou égale à 120 nm. 6. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que toutes les couches de bas indice de réfraction du revêtement anti-reflets comprennent de 1 à 10 %, préférentiellement de 1 à 5 % en masse d'AI2O3 par rapport à la masse totale de SiO2 + AI2O3 dans ces couches. 7. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les couches de haut indice de réfraction du revêtement anti-reflets comprennent au moins un matériau choisi parmi TiO2, PrTiO3, ZrO2 et leurs mélanges. 2903197 24 8. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins une couche de haut indice de réfraction du revêtement anti-reflets est une couche à base de TiO2. 9. Article selon la revendication 8, caractérisé en ce que la couche à base de 5 TiO2 a été déposée sous assistance ionique. 10. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le revêtement anti-reflets comprend une couche de TiO2 et une couche de ZrO2 déposées l'une sur l'autre. 11. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en 10 ce que le revêtement anti-reflets comprend au moins une couche électriquement conductrice. 12. Article selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche électriquement conductrice varie de 0,1 à 30 nm, mieux de 1 à 20 nm et encore mieux de 1 à 10 nm. 15 13. Article selon l'une quelconque des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce que la couche électriquement conductrice est fabriquée à partir d'un oxyde métallique choisi parmi les oxydes d'indium, d'étain, de zinc et leurs mélanges. 14. Article selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'oxyde métallique est l'oxyde d'étain-indium. 20 15. Article selon l'une quelconque des revendications 11 à 14, caractérisé en ce que la couche électriquement conductrice a été déposée sous assistance ionique. 16. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le revêtement anti-reflets comprend un empilement TiO2 / ZrO2 / couche électriquement conductrice. 25 17. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend, en partant du substrat, une sous-couche de SiO2 d'épaisseur supérieure ou égale à 75 nm, une couche de ZrO2 de 10 à 40 nm d'épaisseur, une couche de SiO2/AI2O3 de 10 à 40 nm d'épaisseur, une couche de TiO2 de 40 à 150 nm d'épaisseur, une couche de ZrO2 de 10 à 30 nm d'épaisseur, une couche 30 électriquement conductrice de 0,1 à 30 nm d'épaisseur et une couche de SiO2/AI2O3 de 40 à 150 nm d'épaisseur. 18. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat est un verre organique ou minéral. 19. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en 35 ce que le substrat est un verre organique ayant un coefficient de dilatation thermique de 50.10-6 0C-1 à 180.10-6 C-', et préférentiellement de 100.10-6 0C-1 à 180.10-6 C-' 20. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat est revêtu d'une couche anti-abrasion et/ou anti-rayures, d'une 2903197 25 couche de primaire anti-chocs, ou d'une couche de primaire anti-chocs revêtue d'une couche anti-abrasion et/ou anti-rayures. 21. Article selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est une lentille optique. 5 22. Procédé de fabrication d'un article d'optique à propriétés anti-reflets selon l'une quelconque des revendications 1 à 21, caractérisé en ce que toutes les couches de la sous-couche puis toutes les couches du revêtement anti-reflets sont déposées par évaporation sous vide. 23. Procédé selon la revendication 22, caractérisé en ce que la surface du 10 substrat est soumise avant le dépôt de la sous-couche à un traitement de nettoyage destiné à augmenter l'adhésion de la sous-couche choisi parmi un bombardement avec des espèces énergétiques, un traitement par décharge corona, par effluvage ou un traitement par plasma sous vide. 24. Procédé selon la revendication 23, caractérisé en ce que le traitement de 15 nettoyage est un bombardement par faisceau d'ions.