Brevet FR2903181A1 — publié le 20080104

PROCEDE ET DISPOSITIF POUR MESURER L'EPAISSEUR DE COUCHES MINCES AVEC UNE SONDE DE MESURE 10 L'invention concerne un procédé et un dispositif pour mesurer l'épaisseur de couches minces avec une sonde de mesure selon le préambule de la revendication 1 et le préambule de la revendication 6. On connaît, d'après le document DE 41 19 903 A1, un procédé et un dispositif pour mesurer l'épaisseur de couches minces, dans lesquels on effectue une mesure de l'épaisseur 15 des couches sans destruction. Dans ce cas, il est prévu un élément de capteur qui est placé par le biais d'une calotte de positionnement sur la surface de mesure, afin d'effectuer en-suite une mesure qui repose sur le principe des courants de Foucault. En variante, on peut utiliser aussi des procédés de mesure magnéto-inductifs en fonction des matériaux à tester. Avec de tels procédés de mesure tactiles, la calotte de positionnement repose sur la 20 surface de mesure. De ce fait, une distance définie à la surface de mesure est donnée. A cet effet, il est nécessaire de disposer d'une couche propre qui présente une certaine dureté minimale, pour effectuer la mesure. On connaît toutefois d'autres domaines d'application dans lesquels on veut contrôler la mesure d'une couche ayant une surface molle ainsi qu'une sur-face humide ou seulement partiellement nettoyée de la couche. 25 De ce fait, l'invention a pour objet de fournir un procédé et un dispositif de mesure de l'épaisseur de couches minces avec une sonde de mesure qui n'affecte pas la surface de me-sure. Cet objet est réalisé selon l'invention par un procédé selon les caractéristiques de la re- vendication 1. La sonde de mesure est maintenue au point de mesure par un milieu gazeux 30 sortant de la sonde de mesure au moins pendant l'opération de mesure en suspension par rapport à la surface de mesure, sans qu'il ne se produise de contact avec la surface de me- sure. De ce fait, on effectue une mesure sans contact. Ceci permet de déterminer exacte- ment des épaisseurs de couches molles ou des revêtements sans que le positionnement d'une sonde de mesure avec une calotte de positionnement ne provoque une déformation 35 mécanique dans le revêtement. En particulier dans le cas d'épaisseurs de couches dans la plage du micron, de faibles contacts peuvent déjà provoquer des erreurs dans le résultat de la mesure, dans la mesure où ces sondes de mesure ne sont pas posées doucement sur la surface de mesure. En outre, grâce à une telle mesure sans contact, on peut aussi contrôler 2903181 ù 2 une surface de mesure humide ou mouillée et déterminer exactement l'épaisseur de couche. Des surfaces de mesure souillées, comme par exemple avec une adhérence de films d'huile ou de lubrifiant, n'affectent pas non plus la mesure. Ceci est réalisé grâce au fait qu'au moins pendant la mesure, un milieu gazeux est acheminé par le biais d'une ouverture d'ali- 5 mentation de la sonde de mesure, et est guidé au moins par le biais d'un canal de connexion jusqu'à une ou plusieurs ouvertures de sortie et s'échappe à cet endroit, l'au moins une ouverture de sortie étant prévue sur un côté frontal de la sonde de mesure tourné vers la sur-face de mesure. Selon une configuration préférée du procédé, il est prévu que la pression du débit mas- sique sortant hors de l'au moins une ouverture de sortie soit ajustée en fonction de la masse de la sonde de mesure de telle sorte qu'un point de travail stable pour la sonde de mesure soit ajusté pendant la mesure par rapport à la surface de mesure. Dans le cas d'un rapprochement de la sonde de mesure de la surface de mesure, dans lequel le milieu gazeux s'échappe déjà de l'ouverture de sortie, la sonde de mesure subit d'abord une répulsion. A partir d'une certaine distance de la sonde de mesure, la répulsion s'inverse et il se produit une dépression qui attire la sonde de mesure vers la surface de mesure. Si l'on continue de réduire la distance à la surface de mesure, il se produit à nouveau une répulsion. La transition directe entre la dépression, c'est-à-dire une attraction, et la répulsion, lorsque l'on ré-duit davantage la distance de la sonde de mesure à la surface de mesure, constitue le point de travail stable. A cette distance, la sonde de mesure est maintenue automatiquement par rapport à la surface de mesure, c'est-à-dire qu'une distance définie de l'élément de capteur de la sonde de mesure à la surface de mesure est donnée pour une mesure exacte. La sonde de mesure est pratiquement sans contact à cette distance par rapport à la sur-face de mesure. Ce point de travail stable est fonction de la masse de la sonde de mesure, l'ajustement de la pression du milieu gazeux sortant permettant de prendre en compte la masse de la sonde de mesure pour ajuster le point de travail stable. De préférence, on prévoit que pendant l'opération de mesure à un endroit de mesure, un débit massique constant soit acheminé à l'ouverture d'alimentation, et sorte de l'ouver- ture de sortie. De ce fait, pour chaque mesure, on peut maintenir une distance exacte qui 30 permet à nouveau une mesure exacte. La sonde de mesure est de préférence sollicitée avant ou pendant le rapprochement de la sonde de mesure à un point de mesure avec un débit massique du milieu gazeux. De ce fait, il est garanti qu'un contact de l'élément de capteur de la sonde de mesure avec la sur-face de mesure n'a pas lieu. 35 En outre, il est prévu de préférence qu'après la fin de la mesure d'une épaisseur de couche, l'alimentation en milieu gazeux soit interrompue simultanément au soulèvement, ou après le soulèvement de la sonde de mesure de la surface de mesure. De ce fait, on peut économiser de l'énergie et empêcher un effet de tourbillon dû à l'air s'échappant. 2903181 ù 3 L'objet de l'invention est réalisé selon l'invention par une sonde de mesure selon les caractéristiques de la revendication 6. Cette sonde de mesure présente l'avantage que l'on peut effectuer une mesure sans contact par rapport à la surface de mesure au point de me-sure prévu, par le biais d'au moins une ouverture de sortie de la sonde de mesure tournée 5 vers la surface de mesure, qui achemine à une surface de mesure un débit massique sortant d'un milieu gazeux. L'au moins une ouverture de sortie est en liaison par le biais d'au moins un canal de connexion avec au moins une ouverture d'alimentation dans le boîtier, par le biais de laquelle le milieu gazeux est acheminé. Grâce à cet agencement, la sonde de me-sure peut être maintenue en suspension au-dessus de la surface de mesure et l'on peut ef- 10 fectuer en même temps sans effet défavorable sur la surface de mesure, du fait de l'agencement en suspension, une mesure de l'épaisseur de couches minces. Selon une configuration avantageuse de la sonde de mesure, il est prévu que l'ouverture de sortie soit prévue dans l'axe longitudinal du boîtier et que l'élément de capteur soit disposé concentriquement par rapport à l'ouverture de sortie. Cette configuration permet 15 une sortie centrale du débit massique de milieu gazeux vers la surface de mesure, de sorte que le milieu sortant s'écoule uniformément dans la direction radiale le long de la surface de mesure. De ce fait, on peut obtenir une construction plus simple, les sondes de mesure réalisées le plus souvent avec une symétrie de révolution pouvant conserver leur géométrie et leur symétrie. 20 De préférence, il est prévu que le canal de connexion de l'ouverture de sortie présente une première portion d'alésage orientée vers l'intérieur du boîtier, dont la longueur correspond au moins à la hauteur de l'élément de capteur. Ainsi, le mode de fonctionnement de l'élément de capteur peut être maintenu, ainsi que la construction antérieure, à l'exception de l'incorporation d'une telle portion d'alésage. Par exemple, on peut utiliser des potcores 2.5 qui reçoivent des corps de bobine et les protègent de l'extérieur. Dans ce cas, le pôle in-terne du potcore est pourvu de la portion d'alésage, le champ magnétique sortant au niveau du pôle interne n'étant pas affecté par cette portion d'alésage. Selon cette première forme de réalisation, il est avantageusement prévu que la pre- mière portion d'alésage dans l'élément de capteur soit en liaison avec un alésage transversal 30 qui est adjacent à l'élément de capteur ou qui est situé en dehors de l'élément de capteur, et avec un canal annulaire ou un alésage de branchement qui se raccordent à l'au moins une ouverture d'alimentation. De ce fait, on peut obtenir une structure simple qui permet une construction compacte de la sonde de mesure. L'élément de capteur est de préférence reçu par un palier d'air dans le boîtier de la 35 sonde de mesure. Grâce à un tel palier d'air, on peut prévoir un agencement sans bascule- ment et sans coincement entre l'élément de capteur et le boîtier, ce qui permet de maintenir faible la distance appropriée et requise pour la mesure par rapport à la surface de mesure et de disposer la sonde de mesure de manière autoportante par rapport à la surface de mesure. 2903181 - 4 De ce fait, on peut effectuer une mesure exacte. Selon une autre configuration avantageuse de l'invention, il est prévu que l'élément de capteur soit alimenté par un débit massique séparé d'un milieu gazeux. Ainsi, l'élément de capteur est commandé de rnanière indépendante d'autres éléments, comme cela sera décrit 5 plus en détail ci-dessous, par son propre débit massique, de sorte qu'un ajustement exact de l'élément de capteur pour la mesure de l'épaisseur de couches minces soit possible indépendamment des autres paramètres extérieurs et des autres débits massiques. Selon une configuration avantageuse de l'invention, il est prévu que l'ouverture de sortie, qui se situe dans l'axe longitudinal du boîtier, soit prévue au niveau d'une saillie en 10 forme de calotte sur la face frontale de la sonde de mesure, qui est tournée vers la surface de mesure. Ceci présente l'avantage que juste après l'ouverture de sortie, une distance par rapport à la surface de mesure augmente, de sorte qu'une dépression se produit et agit à l'encontre de la force de répulsion du débit massique sortant. De préférence, on prévoit sur le boîtier de la sonde de mesure une bague de support 15 s'étendant dans la direction radiale, laquelle présente plusieurs ouvertures de sortie tour-nées vers la surface de mesure, qui sont connectées de préférence par le biais d'un canal de connexion annulaire à une ou plusieurs ouvertures d'alimentation. Une telle bague de support présente l'avantage qu'une sortie séparée des débits massiques est possible pour agencer la sonde de mesure en suspension par rapport à la surface de mesure. En particulier 20 dans le cas de sondes de mesure relativement grandes ou lourdes, ou de surfaces de mesure très sensibles, on peut ici réaliser un coussin d'air pour positionner la sonde de mesure, notamment indépendamment de l'élément de capteur, dans le point de travail stable. Cette bague de support peut former un système extérieur qui est alimenté avec un débit massique séparé du système intérieur, qui est réalisé par l'élément de capteur monté par support aé- 2.5 rodynamique dans le boîtier. Selon une autre forme de réalisation de la sonde de mesure, il est prévu que plusieurs ouvertures de sortie soient disposées concentriquement par rapport à l'axe longitudinal du boîtier. Ces ouvertures de sortie sont de préférence réparties uniformément sur la périphérie de sorte qu'une sortie uniforme soit possible pour obtenir le point de travail stable. De telles ouvertures de sortie peuvent être réalisées de telle sorte que le sens de fuite du débit massique soit orienté perpendiculairement à la surface de mesure. En variante, on peut faire en sorte que le sens de sortie du débit massique se produise suivant un angle s'écartant de 90 par rapport à la surface de mesure. Par exemple, toutes les ouvertures de sortie peu-vent être inclinées par rapport à la région de bord extérieure, de sorte que l'angle entre le sens de sortie du débit massique hors des ouvertures de sortie et le sens de fuite du débit massique dans la direction radiale après l'incidence sur la surface de mesure soit supérieur à 90 . On fait en sorte de préférence qu'une fente annulaire périphérique soit prévue sur une 2903181 ù 5 face frontale de la sonde de mesure, laquelle relie ensemble les différentes ouvertures de sortie. De ce fait, les débits massiques sortant des ouvertures de sortie sont également dé-placés dans la direction périphérique de la fente annulaire de sorte que l'on obtienne une ouverture de sortie quasiment annulaire pour le débit massique. 5 De préférence, la fente annulaire disposée sur la face frontale de la sonde de mesure, qui relie ensemble les ouvertures de sortie, est plus large que le diamètre des ouvertures de sortie. De ce fait, il se produit des tourbillonnements supplémentaires qui favorisent la formation d'une sortie de débit massique annulaire. Au niveau d'un côté inférieur du boîtier de la sonde de mesure, il est de préférence 10 prévu un sabot coulissant qui présente plusieurs ouvertures de sortie, qui sont reliées en-semble par une fente annulaire, cette fente annulaire communiquant avec un ou plusieurs canaux de connexion dans ou sur le boîtier de la sonde de mesure, lesquels sont sollicités par le milieu gazeux par le biais de l'au moins une ouverture d'alimentation. De ce fait, on peut faire en sorte par exemple que la fente annulaire soit alimentée en débit massique par 15 le biais d'une ouverture d'alimentation et d'un canal de connexion, le débit massique étant à son tour acheminé à plusieurs ouvertures de sortie. En variante, on peut aussi conduire deux ou plusieurs canaux de connexion dans la fente annulaire, lesquels sont alimentés en milieu gazeux par le biais d'une ou de plusieurs ouvertures d'alimentation. Au niveau du côté inférieur du sabot coulissant réalisé de préférence, on prévoit avantageusement aussi une fente annulaire. Cette fente annulaire est réalisée de manière similaire à la fente annulaire prévue sur le boîtier et présente les mêmes avantages. Dans la mesure où un sabot coulissant est prévu sur un côté inférieur du boîtier, on peut prévoir soit dans le sabot coulissant soit sur le boîtier une fente annulaire communiquant avec le ou les canaux de connexion, ou bien prévoir dans le sabot coulissant et aussi 25 dans le boîtier la fente annulaire communiquant respectivement avec le ou les canaux de connexion. Avantageusement, dans les deux formes de réalisation susmentionnées de la sonde de mesure, on fait en sorte que l'élément de capteur soit disposé fixement dans le boîtier. Selon une variante de configuration de l'invention, il est prévu que l'au moins un élé- 30 ment de capteur soit monté en suspension par rapport au boîtier par le biais d'un coussin d'air. Ceci permet de rendre la masse à retenir au point de travail plus légère que dans le cas d'un élément de capteur disposé fixement dans le boîtier. En outre, on peut aussi compenser automatiquement des tolérances lors du positionnement du boîtier par rapport à la surface de mesure par le support en suspension de l'élément de capteur. 35 Selon un perfectionnement avantageux de cette variante de réalisation, il est prévu que d'élément de capteur présente des éléments de guidage pénétrant à l'intérieur du boîtier, réalisés en particulier sous forme de tourillons, qui sont guidés dans un alésage du boîtier avec un entrefer, des renfoncements périphériques radiaux étant de préférence prévus sur 2903181 - 6 l'élément de guidage ou sur l'alésage du boîtier. De ce fait, on peut obtenir une amélioration de la formation du coussin d'air en vue du support aérodynamique sans contact. La forme de réalisation préférée présente avantageusement une fente annulaire entre l'entrefer et les ouvertures de sortie du côté frontal au niveau de la sonde de mesure de 5 l'élément de capteur monté en suspension, cette fente annulaire étant réalisée avec un plus grand volume que le débit massique traversant l'entrefer et étant plus grande que le débit massique quittant les ouvertures de sortie. De ce fait, une dépression est produite dans cette fente annulaire, de sorte qu'un agencement autoportant de l'élément de capteur par rapport au boîtier soit obtenu. 10 L'élément de capteur monté en suspension présente de préférence des ouvertures de sortie ouvertes aux bords, tournées vers l'alésage de boîtier et vers le côté frontal de la sonde de mesure. Elles supportent d'une part le palier d'air à l'extrémité inférieure du boîtier entre l'élément de capteur et l'alésage du boîtier, et d'autre part un coussin d'air est formé pour maintenir l'élément de capteur en équilibre stable par rapport à la surface de me- 15 sure. L'élément de guidage présente de préférence à son extrémité interne par rapport au boîtier une portion d'extrémité conique, sphérique ou tronconique. La surface circulaire active est la surface de référence pour la pression, à laquelle l'élément de capteur est amené dans la direction de la surface de mesure. Le débit massique sortant des ouvertures de sor- 20 tie détermine la force de rappel agissant sur l'élément de capteur afin de disposer l'élément de capteur en suspension par rapport à la surface de mesure. Selon une forme de réalisation préférée de la sonde de mesure, il est prévu de disposer sur une face frontale du boîtier ou du sabot coulissant tournée vers la surface de mesure, une région de bord extérieure qui est réalisée vers l'extérieur en vue d'augmenter la dis- 25 tance entre la face frontale et la surface de mesure. Une telle région de bord extérieure peut être réalisée par une droite, un arrondi ou une courbe de fonction du deuxième ou du troisième degré. Cette région de bord extérieure sert à produire une dépression qui agit à l'en-contre de la force de sortie du débit massique hors de la ou des ouvertures de sortie et qui agit de préférence de manière à accroître l'équilibre stable. 30 Selon une autre forme de réalisation avantageuse de l'invention, il est prévu que, pour le positionnement de l'élément de capteur en un point de mesure de la surface de mesure, on dispose une bascule, de préférence avec un frein de courant de Foucault, sur le bras libre de laquelle est placée la sonde de mesure. De ce fait, on peut effectuer un positionne-ment doux et sans à-coups de la sonde de mesure par rapport à la surface de mesure, et en 35 même temps un positionnement autoportant de la sonde de mesure est possible au point de travail stable. L'invention ainsi que d'autres formes de réalisation avantageuses et d'autres perfectionnements avantageux de l'invention vont être décrits et expliqués plus en détail ci- 2903181 ù 7 ù dessous à l'aide des exemples illustrés dans les dessins. Les caractéristiques ressortant de la description et des dessins peuvent être utilisées individuellement en soi ou conjointement dans une combinaison quelconque, conformément à l'invention. La figure 1 illustre une représentation en coupe schématique d'une première forme de .5 réalisation selon l'invention, la figure 2 illustre une représentation en coupe schématique d'une forme de réalisation différente de la figure 1, la figure 3 illustre une vue schématique de dessus selon la forme de réalisation de la figure 2, 10 la figure 4 illustre une vue schématique de dessous selon la forme de réalisation de la figure 2, la figure 5 illustre une représentation en coupe schématique d'une autre forme de réalisation selon l'invention, la figure 6 illustre une vue de dessous selon la forme de réalisation de la figure 5 et 15 la figure 7 illustre une représentation en coupe schématique d'une autre variante de réalisation de l'invention. La figure 1 illustre une sonde de mesure 11 qui est connectée par le biais d'une conduite de connexion 12 à un dispositif 13 pour la mesure de l'épaisseur de couches min-ces ainsi que pour l'analyse des données de mesure. La sonde de mesure 11 peut en va- 20 riante faire partie de ce dispositif 13 sous la forme d'un appareil stationnaire ou d'un appareil manuel. La sonde de mesure 11 est utilisée pour la mesure sans destruction et sans contact de l'épaisseur de couches. La sonde de mesure 11 présente un boîtier 14 qui est réalisé notamment sous forme cylindrique. Dans un axe longitudinal 16 du boîtier 14 est disposé au moins un élément de 25 capteur 17. Cet élément de capteur 17 est connecté fixement au boîtier 14 dans l'exemple de réalisation de la figure 1. L'élément de capteur 17 est par exemple réalisé par une bobine primaire et une bobine secondaire avec un aimant ou sous forme de dipôle non blindé. Dans l'exemple de réalisation, un potcore 18 est prévu avec au moins une bobine sur un pôle interne 19. Un tel élé-30 ment de capteur 17 permet une mesure conformément au procédé magnéto-inductif. Le procédé de mesure magnéto-inductif est approprié pour la mesure de couches métalliques non ferreuses, comme par exemple du chrome, du cuivre, du zinc ou similaires, sur des matériaux de base aimantables, comme par exemple de l'acier et du fer, et aussi pour les couches de peinture, de vernis et de plastique sur un matériau de base aimantable, comme 35 par exemple en acier ou en fer. La plage de mesure s'étend par exemple jusqu'à une épaisseur de couche de 1800 pi m, une fréquence inférieure à 300 her3 étant de préférence utilisée. En variante, on peut faire en sorte qu'au moins un élément de capteur 17 comprenne 2903181 une bobine. Grâce à un tel élément de capteur 17, la réalisation conformément au procédé des courants de Foucault est possible, autrement dit, la mesure de l'épaisseur de couches non conductrices de l'électricité peut s'effectuer sur des métaux non ferreux, comme des peintures, des vernis, des plastiques, sur de l'aluminium, du laiton, ou de l'acier inoxydable 5 ou d'autres couches anodisées à un champ alternatif de haute fréquence. La plage de me-sure peut également s'étendre jusqu'à une épaisseur de couche de 1800 ym. La sonde de mesure 11 présente sur le boîtier 14 une ouverture d'alimentation 21 sur laquelle est appliqué un raccord 22. Celui-ci reçoit une conduite tubulaire souple non illustrée plus en détail, par le biais de laquelle un milieu gazeux est acheminé depuis une source 10 d'alimentation non illustrée plus en détail à l'ouverture d'alimentation 21. En tant que mi-lieu gazeux, on utilise de préférence de l'air, qui est notamment exempt de poussière et/ou d'huiles. En variante, on peut aussi utiliser d'autres gaz non explosifs. L'ouverture d'alimentation 21 est connectée par le biais d'un canal de connexion 24 à une ouverture de sortie 26 qui est prévue sur un côté frontal 29 de la sonde de mesure 11, notamment de l'élément de 15 capteur 17, disposé vers la surface de mesure 28. Le canal de connexion 24 se raccordant à l'ouverture d'alimentation 21 est réalisé sous forme de canal annulaire 31 qui se prolonge par un alésage transversal 32, afin qu'une première portion d'alésage 33 soit alimentée en un débit massique du milieu gazeux. Cette première portion d'alésage 33 est située dans l'axe longitudinal 16 de l'élément de capteur 17, respectivement du boîtier 14 et permet une 20 sortie centrale du débit massique par le biais du pôle interne 19 hors de la sonde de mesure 1 1. La première portion d'alésage 33 présente, dans la région inférieure, un rétrécissement en forme de buse 34, qui se prolonge par l'ouverture de sortie 26. Le débit massique sort de l'ouverture de sortie 26 et s'écoule radialement le long de la surface de mesure 28. L'ouverture de sortie 26 est prévue au niveau d'une saillie 36 en forme de calotte, de 25 sorte qu'à proximité de celle-ci, on obtienne un agrandissement de la distance entre l'ouverture de sortie 26 et la surface de mesure 28, de sorte qu'il se crée une région de dépression qui se raccorde à l'ouverture de sortie 26. Du fait de la pression du débit massique sortant et orienté vers la surface de mesure 28, on ajuste la distance entre l'élément de capteur 17, disposé en suspension par rapport au 30 boîtier 14 ou supporté par un palier d'air central, et la surface de mesure 28, un équilibre entre le poids de la sonde de mesure 11 et la dépression appliquée du fait du débit massique sortant d'une part, et d'une force de rappel du débit massique d'autre part, qui résulte du débit massique arrivant sur la surface de mesure 28, étant ainsi réalisé. Dans le point de travail stable peut s'effectuer une mesure sans contact de l'épaisseur 35 de la couche à une distance définie par rapport à la surface de mesure 28. De ce fait, les surfaces salies, comme par exemple des surfaces huileuses ou graisseuses, ainsi que des surfaces mouillées ou humides, n'ont pas d'effet négatif sur la mesure de l'épaisseur de couche. En outre, on peut aussi détecter des revêtements mous sans déformations mécani- 2903181 - 9 ques de la surface de mesure 28. On peut aussi mesurer des couches qui n'ont pas encore complètement durci. Au niveau du bord inférieur du boîtier 14 est de préférence prévue une bague de support 38 en tant que système extérieur séparé de l'élément de capteur 17 comprenant le sys- 5 tème intérieur, qui comprend des ouvertures de sortie 52 dans la région de bord centrale ou extérieure, lesquelles sont tournées vers la surface de mesure 28 et disposées sur un côté inférieur de la bague de support 38. Par le biais d'une ouverture d'alimentation 51, un débit massique du milieu gazeux est acheminé à la bague de support 38, et par le biais d'une fente annulaire réalisée sous forme de canal de connexion 24, alimente plusieurs ouvertu- 10 res de sortie 52 qui sont de préférence réparties uniformément sur la périphérie. Par exemple, une seule ouverture d'alimentation 51 suffit pour solliciter plusieurs ouvertures de sortie 52 sur la fente annulaire avec un débit massique. Si un débit massique accru est requis, on peut aussi prévoir plusieurs ouvertures d'alimentation 51 pour alimenter en milieu gazeux le ou les canaux de connexion 24. 15 Du fait de la séparation entre le système extérieur et le système intérieur, on peut obtenir que, grâce au système extérieur, la sonde de mesure 11 soit maintenue en suspension au-dessus de la surface de mesure 28 et que l'élément de capteur 17 puisse prendre une position de mesure autoportante indépendante de celle-ci, dans laquelle la distance à la sur-face de mesure est nettement plus petite que dans le cas d'un côté inférieur de la bague de 20 support 38 du système extérieur. De ce fait, le champ magnétique est rapproché par le biais du pôle interne 19 plus étroitement contre la surface de mesure de l'objet à mesurer, de sorte que l'on obtienne une bonne résolution permettant d'augmenter la précision de me-sure. L'alimentation centrale du débit massique par le biais des portions d'alésage 33 et 26 dans le pôle interne 19 n'a dans ce cas aucune influence ou une influence négligeable sur le 25 champ magnétique. Une région de bord extérieure 39 de la bague de support 38, qui est tournée vers la sur-face de mesure 28, est réalisée de telle sorte qu'une distance à la surface de mesure 28 soit augmentée vers l'extérieur. De ce fait, il peut se produire une dépression qui peut servir à favoriser l'établissement du point de travail stable. 30 Une forme de réalisation non illustrée plus en détail, différente de celle de la figure 1, peut en plus de la première portion d'alésage 33 ou à la place de la première portion d'alésage 33, présenter une ou plusieurs portions d'alésage s'étendant parallèlement dans la région de bord extérieure entre le boîtier 14 et l'élément de capteur 17 ou la région de bord extérieure de l'élément de capteur 17, de sorte que d'autres ouvertures de sortie 26 tournées 35 vers la surface de mesure 28 soient alimentées en débitmassique par le biais du canal annulaire 31. Une forme de réalisation pas non plus illustrée, différente de celle de la figure 1, peut être prévue de telle sorte qu'au lieu des éléments de capteur 17 montés en suspension, on 2903181 - 10 - dispose d'un agencement fixe de l'élément de capteur 17 par rapport au boîtier 14, l'alimentation en débit massique par le biais de l'ouverture d'alimentation 21 au niveau du raccord 22 ainsi que par le biais de l'ouverture d'alimentation 51 étant adaptées l'une à l'autre de telle sorte qu'une distance de mesure optimale soit établie de manière autoportante, et que 5 l'élément de capteur 17 soit maintenu sans contact par rapport à la surface de mesure 28. La figure 2 illustre une représentation schématique en coupe d'une forme de réalisation de l'invention différente de celle de la figure 1. La figure 3 illustre une vue de dessus. Dans cette forme de réalisation, l'élément de capteur 17 est également fixé dans le boîtier 14. Au lieu d'une sortie centrale d'un débit massique dans l'axe longitudinal 16 du boîtier 14, on 10 prévoit au contraire que plusieurs ouvertures de sortie 26 soient prévues concentriquement à l'axe longitudinal 16 du boîtier, et qu'elles forment approximativement, notamment de manière idéale, une sortie annulaire du milieu gazeux. Au niveau du boîtier 14 est prévue au moins une ouverture d'alimentation 21 qui conduit le débit massique par le biais du canal de connexion 24 jusqu'à une fente annulaire 42. Cette fente annulaire 42 peut être pré- 15 vue selon l'exemple de réalisation dans un sabot coulissant 41, qui est vissé, collé, enclipsé ou encliqueté au boîtier 14 ou qui est directement intégré à un côté inférieur du boîtier 14. Dans le sabot coulissant 41 sont prévues de préférence plusieurs ouvertures de sortie 26 espacées uniformément sur la périphérie, comme cela est par exemple illustré dans la figure 4. Ces ouvertures de sortie 26 sont alimentées par le biais du canal annulaire 40. Pour 20 une alimentation plus uniforme de la sonde de mesure 11 en milieu gazeux, on prévoit, dans l'exemple de réalisation de la figure 2, une deuxième ouverture d'alimentation 21 avec un deuxième canal de connexion 24, qui s'étend séparément par rapport au premier canal de connexion 24. Les ouvertures de sortie 26 débouchent dans une fente annulaire 40 qui est aussi grande ou de préférence plus grande que le diamètre des ouvertures de sortie 26. 25 De ce fait, il se produit des tourbillonnements supplémentaires. En même temps, la formation d'un coussin d'air annulaire ou d'une sortie d'air peut être favorisée. Le sabot coulissant 41 présente de préférence une région de bord extérieure de manière similaire à celle de la bague de support 38. Dans le couvercle du boîtier est prévu un passage 43 à travers lequel les conduites de 30 raccordement ou les conduites de liaison 12 entre l'élément de capteur 17 et le dispositif 13 peuvent être ressorties du boîtier 14. Cette forme de réalisation présente l'avantage que l'élément de capteur 17 est prévu dans un espace de logement séparé du boîtier 14, et qu'une sortie simple de la conduite d'alimentation 12 est possible. 35 Les figures 5 et 6 illustrent une forme de réalisation différente d'une sonde de mesure 11. Dans cette forme de réalisation, l'élément de capteur 17 est disposé en suspension par le biais d'un palier d'air par rapport au boîtier 14. L'élément de capteur 17 présente un élé- ment de guidage 44 pénétrant à l'intérieur du boîtier, lequel est guidé dans un alésage du 2903181 ù 11 ù boîtier 46. A l'extrémité inférieure de l'élément de guidage 44 est disposé l'élément de capteur 17. Entre l'élément de guidage 44 et l'alésage du boîtier 46 est prévu un entrefer de sorte qu'un mouvement sans frottement de l'élément de capteur 17 par rapport au boîtier 14 soit possible. A proximité de l'élément de capteur 17 sont prévues des ouvertures de sortie 5 26 qui sont réalisées sous forme de fentes ouvertes au bord, qui débouchent dans un canal annulaire 48. Ce canal annulaire 48 est alimenté en milieu gazeux par le biais de l'entrefer entre l'élément de guidage 44 et l'alésage de boîtier 46 et forme avec celui-ci le canal de connexion 24. Du fait de l'élargissement du volume dans le canal annulaire 48 en face de l'entrefer et du rétrécissement de la section transversale des ouvertures de sortie 26, il se 10 produit dans cette région une dépression, de sorte que l'élément de capteur 17 est maintenu dans le boîtier 14. En même temps, du fait du débit massique appliqué à la surface de me-sure 28, une force de rappel est produite sur la face frontale 29 de l'élément de capteur 17, de sorte que cet élément de capteur 17 est maintenu en suspension par rapport à la surface de mesure 28. 15 Les ouvertures de sortie 26 ouvertes au bord sur l'élément de capteur 17 peuvent en variante aussi être réalisées sous forme d'alésages qui sont ouverts aux bords ou fermés. Le nombre, l'orientation ainsi que la géométrie des ouvertures de sortie 26 sont adaptés au dé-bit massique requis, afin que l'élément de capteur 17 puisse adopter un point de travail stable par rapport à la surface de mesure 28. 20 La figure 7 illustre une forme de réalisation différente des figures 5 et 6. Dans cette forme de réalisation, l'élément de capteur 17 est également reçu de manière déplaçable ou en suspension par rapport au boîtier 14. Une ouverture d'alimentation 21 alimente en mi-lieu gazeux un canal de connexion 24 qui est réalisé dans une première portion par un canal annulaire 31 duquel partent plusieurs portions d'alésage 33 qui conduisent aux ouvertu- 25 res de sortie 26. Ces ouvertures de sortie 26 entourent de préférence à distance uniforme l'élément de capteur 17 situé à l'intérieur, qui est disposé dans l'axe longitudinal 16 du boîtier 14. Dans l'élément de capteur 17 sont prévus deux canaux annulaires espacés parallèle-ment l'un de l'autre, dont la distance correspond essentiellement au diamètre de l'ouverture 30 d'alimentation 21, de sorte que les deux canaux annulaires 49 soient sollicités en milieu gazeux et qu'il s'établit un équilibre. L'élément de capteur 17 présente, de manière analogue à la bague de support 38, une région de bord extérieure 39 afin d'obtenir le même effet et les mêmes avantages. Toutes les caractéristiques décrites ci-dessus sont essentielles en soi pour l'invention et 35 peuvent être combinées de manière quelconque les unes aux autres. REVENDICATIONS 1. Procédé de mesure de l'épaisseur de couches minces comprenant une sonde de me-sure (11), qui comprend un boîtier (14), qui reçoit au moins un élément de capteur (17), dont l'axe longitudinal se situe en particulier dans un axe longitudinal (16) du boîtier (14), caractérisé en ce qu'au moins pendant l'opération de mesure sur une surface de mesure (28) un milieu gazeux est acheminé à une ouverture d'alimentation (21) de la sonde de me-sure (11), lequel est acheminé, par le biais d'au moins un canal de connexion (24) se raccordant à l'ouverture d'alimentation (21), à une ou plusieurs ouvertures de sortie (26) qui sont prévues sur un côté frontal (29) de la sonde de mesure (11) tourné vers la surface de mesure (28), et en ce qu'au moins un débit massique du milieu gazeux sortant d'une ou de plusieurs ouvertures de sortie (26) est orienté vers la surface de mesure (28) et en ce que la sonde de mesure (Il) est maintenue pendant l'opération de mesure sans contact avec la sur-face de mesure (28). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la pression du débit massique sortant est ajustée pour un point de travail stable de la sonde de mesure (Il), qui s'obtient en fonction de la masse de la sonde de mesure (11) et d'une force de rappel du débit massique sortant sur la surface de mesure (28). 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que pendant l'opération de 20 mesure, un débit massique constant est acheminé à l'ouverture d'alimentation (21) et sort par l'ouverture de sortie (26). 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la sonde de mesure (11) est sollicitée avant ou pendant le rapprochement d'une surface de mesure (28) avec un débit massique du milieu gazeux. 25 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'après la réalisation de la mesure, on interrompt l'alimentation en milieu gazeux simultanément au soulèvement de la sonde de mesure (11) ou après le soulèvement de la sonde de mesure (11) de la surface de mesure (28). 6.Sonde de mesure pour un dispositif de mesure de l'épaisseur de couches minces, no- 30 tamment pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, comprenant un boîtier (14) qui reçoit au moins un élément de capteur (17) dont l'axe longitudinal se situe notamment dans un axe longitudinal (16) du boîtier (14), caractérisée en ce que la sonde de mesure (11) présente une ouverture d'alimentation (21) sur laquelle peut être monté un raccord (22) pour l'alimentation d'un milieu gazeux, et présente au 35 moins une ouverture de sortie (26), qui est prévue sur un côté frontal (29) de la sonde de mesure (11) tourné vers la surface de mesure (28), et comprend au moins un canal de connexion (24) qui relie l'au moins une ouverture d'alimentation (21) à une ou plusieurs ouvertures de sortie (26). 2903181 ù 13 ù 7. Sonde de mesure selon la revendication 6, caractérisée en ce que l'ouverture de sortie (26) est prévue dans l'axe longitudinal (16) du boîtier (14) et l'élément de capteur (17) est disposé de manière concentrique par rapport à l'ouverture de sortie (26). 8. Sonde de mesure selon la revendication 7, caractérisée en ce que le canal de 5 connexion (24) présente une première portion d'alésage (33) orientée depuis l'ouverture de sortie (26) dans l'intérieur du boîtier, dont la longueur correspond au moins à la hauteur de l'élément de capteur (17), qui est réalisé de préférence sous forme de "potcore" (18) avec un pôle interne cylindrique (19), le pôle interne (19) présentant une portion d'alésage (33). 9. Sonde de mesure selon la revendication 8, caractérisée en ce que la première por- 10 tion d'alésage (33) débouche dans un alésage transversal (32) et est en liaison avec un canal annulaire (31) pour former un canal de connexion (24), ou en ce que la première portion d'alésage (33) est en liaison avec un alésage de branchement qui débouche dans l'ouverture d'alimentation (21). 10. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, caractérisée en 15 ce que l'élément de capteur (17) est disposé dans le boîtier (14) de manière déplaçable en longueur par un palier d'air central. 11. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 6 à 10, caractérisée en ce que l'élément de capteur (17) est alimenté en milieu gazeux par un débit massique séparé. 12. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 8 à 11, caractérisée en ce que l'ouverture de sortie (28) est prévue au niveau d'une saillie (36) en forme de calotte sur une face frontale (29) de l'élément de capteur (17). 13. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 6 à 12, caractérisée en ce qu'une bague de support (38) s'étendant dans la direction radiale est prévue sur le boîtier (14), laquelle présente plusieurs ouvertures de sortie (26) tournées vers la surface de me-sure (28), qui sont connectées par le biais de préférence d'un canal de connexion annulaire (24) à une ou plusieurs ouvertures d'alimentation (21). 14. Sonde de mesure selon la revendication 6, caractérisée en ce que plusieurs ouvertures de sortie (26) disposées concentriquement par rapport à l'axe longitudinal (16) du boî-30 tier (14) sont prévues sur un côté frontal (29) de la sonde de mesure (11). 15. Sonde de mesure selon la revendication 14, caractérisée en ce qu'une fente annulaire périphérique (40) est prévue sur une face frontale (29) de la sonde de mesure (11), et relie les différentes ouvertures de sortie (26) les unes aux autres. 16. Sonde de mesure selon la revendication 15, caractérisée en ce que la fente annu-35 taire (40) est plus large que le diamètre des ouvertures de sortie (26). 17. Sonde de mesure selon la revendication 6, caractérisée en ce qu'un sabot coulissant (41) est prévu sur un côté inférieur du boîtier (14), lequel présente plusieurs ouvertures de sortie (26) qui sont connectées les unes aux autres par une fente annulaire (42), la 2903181 ù 14 ù fente annulaire (42) communiquant avec un ou plusieurs canaux de connexion (24) qui sont sollicités par le milieu gazeux par le biais d'au moins une ouverture d'alimentation (21). 18. Sonde de mesure selon la revendication 17, caractérisée en ce que le sabot coulis-5 sant (41) présente, sur un côté frontal (29) tourné vers la surface de mesure (28), une fente annulaire (40) reliant les ouvertures de sortie (26). 19. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 14 à 18, caractérisée en ce que l'au moins un élément de capteur (17) est disposé fixement sur le boîtier (14). 20. Sonde de mesure selon la revendication 6, caractérisée en ce que l'élément de cap- 10 teur (17) est monté en suspension par rapport au boîtier (14) par un coussin avec un milieu gazeux. 21. Sonde de mesure selon la revendication 20, caractérisée en ce que l'élément de capteur (17) présente un élément de guidage (44) saillant à l'intérieur du boîtier, lequel est guidé dans un alésage du boîtier (46) avec une fente pour le milieu gazeux, de préférence 15 des renfoncements périphériques radiaux étant prévus sur l'élément de guidage (44) ou sur l'alésage du boîtier (46). 22. Sonde de mesure selon la revendication 20 ou 21, caractérisée en ce qu'entre la fente et les ouvertures de sortie du côté frontal (24) de la sonde de mesure (Il) de l'élément de capteur (17) monté en suspension, une fente annulaire (48) est formée, laquelle a un vo- 20 lume supérieur au débit massique traversant l'entrefer et est plus grande que le débit massique quittant les ouvertures de sortie (28). 23. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 20 à 22, caractérisée en ce que des ouvertures de sortie (24) ouvertes au bord, tournées vers le côté frontal (29) et vers l'alésage du boîtier (46) sont prévues sur l'élément de capteur (17) monté en suspen- 25 Sion. 24. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 20 à 23, caractérisée en ce que l'élément de guidage (44) présente à son extrémité interne par rapport au boîtier une portion d'extrémité conique, sphérique ou tronconique. 25. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 6 à 24, caractérisée en ce qu'une région de bord extérieure (39) est prévue sur une face frontale (29) du boîtier (14) et/ou du sabot coulissant (41) tournée vers la surface de mesure (28), laquelle région de bord augmente vers l'extérieur sa distance par rapport à la surface de mesure (28). 26. Sonde de mesure selon l'une quelconque des revendications 6 à 24, caractérisée en ce que pour le positionnement de l'élément de capteur (17) en un point de mesure de la sur- face de mesure (28), on prévoit une bascule, de préférence avec un frein de courant de Foucault, sur le bras libre de laquelle est placée la sonde de mesure (11).