Brevet FR2902193A1 — publié le 20071214

Méthode et appareil de test d'une pluralité de micro-interrupteurs La présente invention se rapporte à une méthode et à un appareil pour tester ou rôder des micro-interrupteurs. Les micro-interrupteurs sont plus particulièrement du type sensibles à l'orientation des lignes de champ d'un champ magnétique. Le test consiste à solliciter mécaniquement les micro-interrupteurs pendant un certain nombre de cycles mécaniques puis à effectuer des mesures électriques pour étudier l'évolution dans le temps de certains paramètres électriques et mécaniques. Les mesures électriques pourront être effectuées sur chaque micro- interrupteur pris individuellement ou sur tout un groupe de micro-interrupteurs en même temps. Le rodage consiste à solliciter mécaniquement les micro-interrupteurs pendant un certain nombre de cycles afin de stabiliser leur comportement mécanique avant leur implantation dans un produit. Il est connu notamment par le brevet US 7,005,876 une méthode de test électrique de micro-interrupteurs magnétiques disposés sur une galette de silicium ("wafer" en anglais). Cette méthode de test consiste à employer une carte de test destinée à tester le bon fonctionnement de chaque micro-interrupteur de la galette. La carte de test comporte deux jeux de broches conductrices, l'un d'eux étant relié à une bobine d'activation du micro-interrupteur et l'autre connecté d'une part à une source de courant et d'autre part aux contacts fixes du micro-interrupteur. La commutation de la bobine entraîne un basculement du micro-interrupteur d'une première position d'ouverture d'un circuit électrique vers une seconde position de fermeture du circuit électrique. En fonction de la position du micro-interrupteur, le second jeu de broches permet de détecter ou non le passage d'un courant dans ce circuit électrique et donc de déterminer dans quelle position est le micro-interrupteur. Cette méthode de test est particulièrement lente car les micro-interrupteurs sont testés un par un. En outre, elle ne permet pas de solliciter mécaniquement les micro-interrupteurs pendant un très grand nombre de cycles d'actionnement avant d'effectuer les mesures électriques ou de rôder mécaniquement les micro-interrupteurs avant leur implantation dans un produit. Le but de l'invention est donc de proposer une méthode simple, fiable et rapide pour tester ou rôder mécaniquement et en grande quantité des micro-interrupteurs magnétiques. Ce but est atteint par un méthode pour tester ou rôder une pluralité de micro- interrupteurs magnétiques, chacun des micro-interrupteurs comportant un élément mobile pilotable par effet magnétique entre deux positions suivant l'orientation des lignes de champ (L) d'un champ magnétique, ladite méthode consistant à : employer un élément magnétique pour générer des lignes de champ magnétique présentant deux orientations différentes, la méthode étant caractérisée en ce qu'elle consiste à : effectuer un déplacement l'un par rapport à l'autre de l'élément magnétique et de la pluralité de micro-interrupteurs, lors du déplacement, soumettre chaque élément mobile de chaque micro-interrupteur à deux orientations différentes des lignes de champ magnétique en vue de faire basculer l'élément mobile entre ses deux positions. répéter n fois le déplacement pour solliciter plusieurs fois chaque micro-interrupteur. Selon l'invention, le déplacement consiste par exemple à effectuer un 20 mouvement de translation de l'élément magnétique. L'élément magnétique balaye donc plusieurs micro-interrupteurs successivement. Les micro-interrupteurs sont par exemple montés sur au moins une galette de silicium. Selon une variante de réalisation, l'élément magnétique est par exemple une pièce en matériau magnétique doux agencée pour générer des lignes de champ 25 présentant deux orientations différentes à partir d'un champ externe constant. Selon une autre variante de réalisation, l'élément magnétique est par exemple un aimant permanent. Dans cette variante, les lignes de champ sont directement issues de l'aimant permanent. Selon une particularité, l'aimant permanent est par exemple actionné en 30 translation par rapport à la pluralité de micro-interrupteurs, parallèlement à un plan support des micro-interrupteurs. L'aimant permanent balaye ainsi successivement plusieurs micro-interrupteurs. L'aimant permanent peut notamment être actionné en 15 translation, de manière oscillante par rapport à la pluralité de micro-interrupteurs. Dans ce dernier cas, l'aimant permanent peut effectuer plusieurs allers et retours au-dessus des micro-interrupteurs qu'il est chargé de commander. Le mouvement d'oscillation peut être d'une amplitude variable. L'aimant permanent pourra par exemple être affecté à un seul micro-interrrupteur et osciller au-dessus de celui-ci pour soumettre successivement son élément mobile aux deux orientations de ses lignes de champ. Pour commander l'ensemble des micro-interrupteurs, on peut ainsi envisager d'employer une matrice d'aimants vibrante dans laquelle chaque aimant permanent est affecté à la commande d'au moins un micro-interrupteur. Selon l'invention, la méthode peut consister à employer plusieurs éléments magnétiques. Les éléments magnétiques sont par exemple des aimants permanents regroupés dans une ou plusieurs matrices. Chaque aimant permanent peut être affecté au pilotage de un ou plusieurs micro-interrupteurs Selon une variante de réalisation, les aimants permanents sont répartis sur une bande sans fin tournante actionnée en mouvement, de manière à balayer chacun la totalité des microinterrupteurs lors du déplacement. Selon une autre variante de réalisation, les aimants permanents sont montés sur une roue actionnée en rotation pour rouler suivant un plan parallèle au plan support des micro-interrupteurs. Selon une autre variante de réalisation, les aimants permanents sont affectés au test ou au rodage des micro-interrupteurs répartis sur plusieurs galettes de silicium distribuées circulairement, lesdits aimants permanents étant montés sur une roue actionnée en rotation sur elle-même pour balayer les micro-interrupteurs présents sur toutes les galettes. L'invention concerne également un appareil pour tester ou rôder une pluralité de micro-interrupteurs magnétiques, chacun des micro-interrupteurs comportant un élément mobile pilotable par effet magnétique entre deux positions suivant l'orientation des lignes de champ d'un champ magnétique, l'appareil comportant : un élément magnétique pour générer des lignes de champ magnétique présentant deux orientations différentes, et étant caractérisé en ce qu'il comprend : des moyens d'actionnement pour créer un mouvement relatif entre l'élément magnétique et la pluralité de micro-interrupteurs et en ce que, après activation des moyens d'actionnement, chaque élément mobile de chaque micro-interrupteur peut être soumis à deux orientations différentes des lignes de champ magnétique en vue de faire basculer l'élément mobile entre ses deux positions, le mouvement relatif est maintenu activé pour solliciter plusieurs fois chaque micro-interrupteur. Le mouvement relatif entre l'élément magnétique et la pluralité de micro-interrupteurs est par exemple un mouvement de translation. Les particularités définies cidessus pour la méthode de test ou de rodage sont également valables pour définir plus précisément cet appareil de test ou de rodage. D'autres caractéristiques et avantages vont apparaître dans la description détaillée qui suit en se référant à un mode de réalisation donné à titre d'exemple et représenté par les dessins annexés sur lesquels : la figure 1 représente, vue en coupe longitudinale, une matrice d'aimants employée dans l'appareil de test ou de rodage selon l'invention, la figure 2 représente en perspective une première variante de réalisation d'un appareil de test ou de rodage de micro-interrupteurs déposés sur une galette, la figure 3 représente en vue de côté l'appareil de test ou de rodage de la figure 2, la figure 4 représente une deuxième variante de réalisation d'un appareil de test ou de rodage de micro-interrupteurs déposés sur une galette, la figure 5 représente une troisième variante de réalisation d'un appareil de test ou de rodage de micro-interrupteurs déposés sur une galette, la figure 6 représente une quatrième variante de réalisation d'un appareil de test ou de rodage de micro-interrupteurs déposés sur une galette, la figure 7 représente une cinquième variante de réalisation d'un appareil de test de micro-interrupteurs déposés sur une galette, la figure 8 représente une sixième variante de réalisation d'un appareil de test ou de rodage de micro-interrupteurs déposés sur une galette, la figure 9 représente un appareil de test ou de rodage de micro-interrupteurs répartis sur une pluralité de galettes distribuées circulairement, la figure 10 représente un micro-interrupteur tel que déposé en grande quantité sur une galette, les figures 11A et 11B représentent en vue de côté le micro-interrupteur de la figure 10, actionné par un aimant permanent entre respectivement une position d'ouverture et une position de fermeture. L'invention consiste à proposer une méthode et un appareil de test ou de rodage de micro-interrupteurs 2 magnétiques. De manière connue, les micro-interrupteurs 2 à tester ou à rôder sont 15 déposés sur un plan support constitué d'une galette 3 de silicium ("wafer" en anglais). Une galette 3 peut supporter plusieurs milliers de micro-interrupteurs 2. La galette 3 se présente souvent de manière circulaire et comporte plusieurs rangées de micro-interrupteurs 2 alignés et régulièrement espacés (figure 2). La galette 3 peut être découpée pour récupérer la quantité de micro-20 interrupteurs 2 utile à l'application. Selon l'invention, le test effectué sur les micro-interrupteurs 2 est de nature mécanique et s'intercale par exemple entre deux tests électriques effectués par exemple individuellement sur chaque micro-interrupteur 2. Après un premier test électrique d'un micro-interrupteur 2, on effectue des tests d'usure mécanique de ce 25 micro-interrupteur 2 pendant un très grand nombre de cycles puis on effectue un nouveau test électrique afin de connaître l'état d'usure du micro-interrupteur 2 en fonctionnement après un certain nombre de sollicitations. En revanche, le rodage consiste simplement à solliciter mécaniquement les micro-interrupteurs 2 pendant un certain nombre de cycles afin de stabiliser leur 30 comportement et leur réponse mécaniques avant leur implantation dans un produit. 10 Selon l'invention, l'appareil de test ou de rodage permet de tester ou de roder mécaniquement tous les micro-interrupteurs 2 d'une galette 3 dans un même processus. Les micro-interrupteurs 2 testés ou rôdés sont de type magnétique, sensibles à l'orientation des lignes de champ L d'un champ magnétique généré par un élément magnétique tel qu'un aimant permanent 400, 410. Ce type de micro-interrupteur 2 peut être commuté par un élément magnétique entre deux positions, une position d'ouverture (figure 11A) et une position de fermeture (figure 11B). Il est par exemple fabriqué en technologie MEMS (pour "Micro-Electro-Mechanical System"). Un exemple de configuration d'un micro-interrupteur 2 sensible à l'orientation des lignes de champ L est représenté en figures 10 à 11B. Un micro-interrupteur 2 sensible à l'orientation des lignes de champ L comporte une membrane 20 mobile ferromagnétique déformable pouvant être actionnée en rotation autour d'un axe de rotation (R) par l'élément magnétique. La membrane 20 est par exemple en Fer-Nickel. La membrane 20 présente un axe longitudinal (A) et est reliée, à l'une de ses extrémités, par l'intermédiaire de bras de liaison 22a, 22b, à un ou plusieurs plots 23 d'ancrage solidaires d'un substrat tel que la galette 3 de silicium. La membrane 20 est apte à pivoter par rapport au substrat suivant son axe (R) de rotation perpendiculaire à son axe longitudinal (A). Les bras 22a, 22b de liaison forment une liaison élastique entre la membrane 20 et le plot 23 d'ancrage et sont sollicités en flexion lors du pivotement de la membrane 20. A son extrémité distale par rapport à son axe de rotation, la membrane 20 porte un contact mobile 21. En pivotant, la membrane 20 peut prendre au moins deux positions déterminées, une position d'ouverture (figure 11A) dans laquelle deux pistes électriques 31, 32 fixes déposées sur le substrat sont déconnectées ou une position de fermeture (figure 11B) dans laquelle les deux pistes 31, 32 sont reliées entre elles par le contact mobile 21 porté par la membrane 20. L'un des modes d'actionnement de la membrane 20 consiste à appliquer un champ magnétique créé par un aimant permanent 400, 410. Selon ce mode d'actionnement, la membrane 20 ferromagnétique se déplace entre ses deux positions en s'alignant sur les lignes de champ L du champ magnétique généré par l'aimant permanent 400, 410. En référence aux figures 11A et 11B, le champ magnétique de l'aimant permanent 400, 410 présente des lignes de champ L dont l'orientation génère une composante magnétique BP0, BPI dans une couche ferromagnétique de la membrane 20 suivant son axe longitudinal (A). Cette composante magnétique BP0, BPI générée dans la membrane 20 engendre un couple magnétique imposant à la membrane 20 de prendre l'une de ses positions de fermeture (figure 11B) ou d'ouverture (figure 11A). En déplaçant l'aimant permanent 400, 410 par rapport à la membrane 20, il est donc possible de soumettre la membrane à deux orientations différentes des lignes de champ L du champ magnétique de l'aimant permanent 400, 410 et de faire basculer la membrane 20 entre ses deux positions. La position d'ouverture ou de fermeture de la membrane dépend de la position et de l'orientation du micro-interrupteur 2 par rapport à l'aimant permanent 400, 410. Sur les figures et dans la description ci-dessous, les micro-interrupteurs 2 15 sont tous orientés dans une même direction et dans un même sens sur la galette 3. Le principe d'actionnement des micro-interrupteurs 2 qui est décrit ci-dessus est employé pour tester ou rôder mécaniquement l'ensemble des micro-interrupteurs 2 présents sur une galette 3. Il s'agit de soumettre alternativement la membrane 20 20 mobile de chaque micro-interrupteur à des champs magnétiques opposés afin de commuter son aimantation et de commander son basculement entre ses deux positions. Pour cela, de manière générale, on déplace relativement les microinterrupteurs 2 et le champ magnétique pour que les lignes de champ vues par une membrane 20 d'un micro-interrupteur 2 présentent alternativement une orientation 25 inversée par rapport à un axe normal de la membrane 20, perpendiculaire à son axe de rotation (R) et à son axe longitudinal (A). Selon l'invention, la méthode de test ou de rodage consiste à employer plusieurs éléments magnétiques. La méthode est donc mise en oeuvre en effectuant un mouvement relatif entre les éléments magnétiques et la galette 3 portant les micro- 30 interrupteurs 2 pour, lors du mouvement relatif, soumettre chaque micro-interrupteur 2 à deux orientations des lignes de champ d'un champ magnétique afin de commander le basculement de la membrane 20 de chaque micro-interrupteur 2 entre ses deux positions. Les éléments magnétiques sont par exemple des aimants permanents 400, 410. S'il existe plusieurs aimants permanents, ceux-ci sont par exemple regroupés dans une ou plusieurs matrices 4. Dans une première configuration, une matrice est par exemple constitué d'un barreau 40 doté de plusieurs aimants 400 identiques alignés et régulièrement espacés le long du barreau 40 (figure 1). Les aimants permanents 400 sont par exemple noyés à l'intérieur du barreau 40. Le nombre d'aimants permanents 400 présents dans le barreau 40 correspond par exemple au nombre maximum de rangées de micro-interrupteurs 2 présents sur la galette 3. Selon une première variante de réalisation de l'appareil de test selon l'invention (figures 2 et 3), le barreau 40 comportant par exemple plusieurs aimants 400 est positionné au-dessus de la galette 3 de sorte qu'un aimant permanent 400 du barreau soit aligné suivant chaque rangée de micro-interrupteurs 2 de la galette 3. Le barreau 40 est actionné en translation au-dessus de la galette 3, par exemple grâce à un moteur (non représenté), suivant un plan parallèle à la surface de la galette 3 de manière à balayer celle-ci. Lors du passage du barreau 40, chaque membrane 20 des micro-interrupteurs 2 est soumise aux deux orientations des lignes de champ d'un aimant permanent 400 du barreau 40 et effectue ainsi un battement entre ses deux positions. Tous les micro-interrupteurs 2 sont ainsi balayés. Le barreau 40 peut effectuer plusieurs allers et retours au-dessus de la galette 3 afin de solliciter plusieurs fois les micro-interrupteurs. Cette première variante de réalisation fonctionne également lorsque le barreau 40 comporte un seul aimant permanent sur toute sa longueur. Un même aimant permanent 400 du barreau 40 peut présenter une surface étendue suffisante pour balayer plusieurs micro-interrupteurs situés sur une même colonne ou sur une même rangée. Par exemple, en référence à la figure 3, lors du passage du barreau 40, un micro-interrupteur 2 d'une rangée et d'une colonne C3 pourra être soumis à une orientation des lignes de champ L1 d'un aimant permanent 400 lui imposant par exemple une position d'ouverture tandis que le micro-interrupteur 2 de la même rangée située dans la colonne adjacente C4 pourra être soumis à l'autre orientation des lignes de champ L2 du même aimant permanent 400 et être ainsi en position de fermeture (figure 3). Cette dernière particularité est valable pour toutes les variantes de réalisation décrites ci-dessous. Dans une seconde variante de réalisation de l'appareil de test ou de rodage (figure 4), on utilise plusieurs matrices 4 d'aimants permanents de la première configuration, montées sur une bande sans fin tournante 500, par exemple actionnée par un moteur (non représenté), formant un tapis roulant 50. Les barreaux 40 sont espacés régulièrement sur le périmètre complet de la bande sans fin 500 et sont positionnés parallèles au plan support formé par la galette 3, parallèlement entre eux et perpendiculairement à la direction de transport sur la bande 500. Par rapport à la solution précédente, lorsque la bande sans fin 500 est mise en mouvement, chaque micro-interrupteur 2 d'une galette 3 est soumis successivement au passage de chaque matrice 4 de la bande 500 et est donc systématiquement sous l'influence d'un aimant permanent 400 de l'une des matrices 4 de la bande. Comme précédemment, à chaque passage d'un aimant permanent 400 d'une matrice 4, la membrane 20 de chaque microinterrupteur 2 est soumise consécutivement aux deux orientations des lignes de champ L de cet aimant permanent 400 et effectue donc un battement entre ses deux positions. Cette solution permet notamment de faire effectuer un très grand nombre de cycles aux micro-interrupteurs en un minimum de temps. Bien entendu, cette seconde variante de réalisation fonctionne également lorsque le barreau 40 comporte un seul aimant permanent sur toute sa longueur. Dans une troisième variante de réalisation de l'appareil selon l'invention (figure 5), on utilise plusieurs matrices 4 d'aimants permanents de la première configuration montées sur une roue 51 entraînée par un moteur pour rouler suivant un plan parallèle au plan support formé par la galette 3. Les barreaux sont parallèles entre eux, parallèles au plan support formé par la galette 3 et perpendiculaires à l'axe de progression de la roue. Lors du déplacement de la roue 51, chaque micro-interrupteur 2 est soumis successivement aux deux orientations des lignes de champ L de l'aimant permanent 400 le plus proche et effectue donc un battement entre ses deux positions. Pour augmenter le nombre de cycles, la roue 51 peut notamment effectuer plusieurs allers et retours au-dessus de la galette 3. Cette troisième variante de réalisation fonctionne également lorsque le barreau 40 comporte un seul aimant permanent sur toute sa longueur. Selon l'invention, on peut employer un ou plusieurs éléments magnétiques constitués de une ou plusieurs pièces 420 en matériau magnétique doux. Dans une quatrième variante de réalisation de l'appareil selon l'invention (figure 7), on applique un champ magnétique uniforme M, de direction normale par rapport au plan support formé par la galette 3 supportant les micro-interrupteurs 2. Ce champ uniforme M peut être formé dans l'entrefer d'un aimant permanent (non représenté) ou à l'intérieur de bobines en position de Helmholtz (non représentées). Les éléments magnétiques 420 sont régulièrement espacés pour former un diffuseur magnétique 42 comportant en alternance un orifice 421 et un élément magnétique 420 en matériau magnétique doux. Le diffuseur magnétique 42 pourra notamment être une pièce monobloc en matériau magnétique doux au travers de laquelle sont formés les orifices 421. Le diffuseur 42 est déplacé parallèlement à la surface de la galette 3 et forme un guide du champ magnétique M uniforme vers la galette 3. La déplacement du diffuseur 42 peut être oscillant avec une amplitude plus ou moins grande. A partir du champ magnétique M uniforme, les éléments magnétiques 420 génèrent des lignes de champ L de deux orientations différentes et les diffuse en direction de la galette 3. Au fur et à mesure du défilement du diffuseur au-dessus de la galette 3, chaque micro-interrupteur 2 est soumis consécutivement aux deux orientations différentes des lignes de champ L générées par les éléments magnétiques 420, de sorte que leur membrane 20 effectue un battement entre ses deux positions. La répartition et la forme des lignes de champ L générées par les éléments magnétiques 420 sont notamment fonction de la forme géométrique des éléments magnétiques 420 ainsi que de la position du diffuseur 42 par rapport à la galette 3. L'effet généré par le diffuseur 42 peut être complété en ajoutant un diffuseur similaire 43 fixe sous la galette 3. En variante, la commande des micro-interrupteurs 2 peut être obtenue en translatant la galette par rapport 3 aux deux diffuseurs 42, 43 qui sont alors fixes ou en translatant l'un ou l'autre des deux diffuseurs 42, 43 par rapport à la galette 3 fixe. Dans cette solution, chaque élément magnétique 420 se comporte donc comme un aimant permanent. Son principe de fonctionnement se rapproche donc de celui décrit ci-dessus pour la seconde variante de réalisation de l'appareil. Dans une cinquième variante de réalisation de l'appareil (figure 8), on fait osciller en rotation, entre deux positions angulaires, une ou plusieurs galettes 3 de micro-interrupteurs (deux galettes sur la figure 8) placées sous l'influence d'un champ magnétique M uniforme. Comme dans la variante précédente, ce champ magnétique M uniforme peut être généré dans l'entrefer d'un aimant permanent (non représenté) ou à l'intérieur de bobines en position de Helmholtz (non représentées). L'axe de rotation (X) des galettes 3 est situé dans le plan support des micro-interrupteurs 2 et est perpendiculaire à la direction du champ magnétique M uniforme. En fonction de la position angulaire du plan support des micro-interrupteurs 2 par rapport à la direction du champ magnétique M uniforme, les lignes de champ vues par chaque membrane 20 des micro-interrupteurs 2 prennent deux orientations différentes suivant lesquelles les membranes 20 s'alignent pour prendre une position d'ouverture ou de fermeture. Le mouvement d'oscillation en rotation des galettes 3 peut être maintenu pendant une certaine durée selon le nombre de cycles d'ouverture-fermeture à effectuer pour les membranes 20. Dans cette solution, contrairement à certaines solutions décrites ci-dessus, tous les micro-interrupteurs 2 sont actionnés simultanément. Leur actionnement ne dépend donc pas de la progression d'une matrice 4 en translation. Dans une seconde configuration, la matrice 4 d'aimants est par exemple composée d'une plaque 41 portant un nombre d'aimants 410 correspondant au nombre de micro-interrupteurs 2 présents sur la galette 2 (figure 6). Bien entendu, un même aimant permanent 410 pourra également être affecté à l'actionnement de plusieurs micro-interrupteurs 2 de la galette 3. Dans une sixième variante de réalisation (figure 6) utilisant cette seconde configuration de matrice d'aimants permanents, la galette 3 supportant les micro- interrupteurs 2 et la plaque 41 supportant les aimants 410 effectuent un mouvement d'oscillation de translation l'un par rapport à l'autre. Sur la figure 6, la galette 3 est représentée fixe et la plaque 41 effectue le mouvement d'oscillation. A chaque oscillation de la plaque 41, chaque membrane 20 des micro-interrupteurs 2 de la galette 3 peut être soumise consécutivement aux deux orientations des lignes de champ de l'aimant permanent 410 qui lui est affecté de manière à effectuer un battement entre ses deux positions. Le mouvement d'oscillation pourra par exemple être réalisé par vibration de la plaque 41. L'invention consiste également à pouvoir tester plusieurs galettes 3 de micro- interrupteurs 2 dans un même processus. Pour cela, les galettes 3 sont par exemple disposées suivant un cercle, autour de l'axe de rotation d'une roue 6 apte à tourner sur elle-même. Cette roue 6 porte plusieurs matrices 4 d'aimants de la première configuration décrite ci-dessus, comportant un ou plusieurs aimants permanents 400. Chaque barreau 40 constituant une matrice 4 est orienté suivant un rayon de la roue 6. Le nombre de matrices 4 correspond par exemple au nombre de galettes 3 à tester. Les matrices 4 sont positionnées par rapport aux galettes 3 de manière à pouvoir les balayer en totalité lors de la rotation de la roue 6. Chaque matrice 4 peut être amenée à survoler toutes les galettes 3 si la roue 6 effectue une rotation complète ou peut être affectée au balayage d'une partie des galettes 3 uniquement si la roue 6 effectue une rotation partielle, oscillante dans les deux sens de rotation. Lors de l'actionnement en rotation de la roue 6, les aimants 400 des matrices 4 pilotent par effet magnétique les micro-interrupteurs 2 présents sur chaque galette 3. Sur chaque galette 3, le principe d'actionnement des micro-interrupteurs 2 est identique à celui décrit dans la première variante ci-dessus et consiste donc à soumettre consécutivement chaque membrane 20 à deux orientations des lignes de champ d'un aimant permanent 400 d'une matrice 4 passant à son voisinage. Il est bien entendu que l'on peut, sans sortir du cadre de l'invention, imaginer 15 d'autres variantes et perfectionnements de détail et de même envisager l'emploi de moyens équivalents. REVENDICATIONS 1. Méthode pour tester ou rôder une pluralité de micro-interrupteurs (2) magnétiques, chacun des micro-interrupteurs (2) comportant un élément mobile (20) pilotable par effet magnétique entre deux positions suivant l'orientation des lignes de champ (L) d'un champ magnétique, ladite méthode consistant à : employer un élément magnétique (400, 410, 420) pour générer des lignes de champ magnétique (L) présentant deux orientations différentes, la méthode étant caractérisée en ce qu'elle consiste à : effectuer un déplacement l'un par rapport à l'autre de l'élément magnétique (400, 410, 420) et de la pluralité de micro-interrupteurs (2), lors du déplacement, soumettre chaque élément mobile (20) de chaque micro-interrupteur (2) à deux orientations différentes des lignes de champ magnétique en vue de faire basculer l'élément mobile (20) entre ses deux positions. répéter n fois le déplacement pour solliciter plusieurs fois chaque micro-interrupteur (2). 2. Méthode selon la revendication 1, caractérisée en ce que le déplacement 20 consiste à effectuer un mouvement de translation de l'élément magnétique. 3. Méthode selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que l'élément magnétique est une pièce en matériau magnétique doux (420) agencée pour générer des lignes de champ (L) présentant deux orientations différentes à partir d'un champ externe constant (M). 25 4. Méthode selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'élément magnétique est un aimant permanent (400, 410). 5. Méthode selon la revendication 4, caractérisée en ce que l'aimant permanent (400, 410) est actionné en translation par rapport à la pluralité de micro-interrupteurs (2), parallèlement à un plan support des micro-interrupteurs 30 (2). 15 6. Méthode selon la revendication 5, caractérisée en ce que l'aimant permanent (410) est actionné en translation, de manière oscillante par rapport à la pluralité de micro-interrupteurs (2). 7. Méthode selon la revendication 1 à 6, caractérisée en ce qu'elle consiste à employer plusieurs éléments magnétiques. 8. Méthode selon la revendication 7, caractérisée en ce que les éléments magnétiques sont des aimants permanents (400, 410). 9. Méthode selon la revendication 8, caractérisée en ce que les aimants permanents (400) sont répartis sur une bande sans fin tournante (500) actionnée en mouvement, de manière à balayer chacun la totalité des micro-interrupteurs (2) lors du déplacement. 10. Méthode selon la revendication 8, caractérisée en ce que les aimants permanents (400) sont montés sur une roue (51) actionnée en rotation pour rouler suivant un plan parallèle au plan support des micro-interrupteurs (2). 11. Méthode selon l'une des revendications 8 à 10, caractérisée en ce que les aimants permanents (400, 410) sont regroupés dans une ou plusieurs matrices (4). 12. Méthode selon l'une des revendications 4 à 11, caractérisée en ce que chaque aimant permanent (400, 410) est affecté au pilotage de un ou plusieurs micro-interrupteurs (2). 13. Méthode selon l'une des revendications 1 à 12, caractérisée en ce que les micro-interrupteurs (2) sont montés sur au moins une galette de silicium (3). 14. Méthode selon la revendication 8, caractérisée en ce que les aimants permanents (400) sont affectés au test ou au rodage des micro-interrupteurs (2) répartis sur plusieurs galettes (3) de silicium distribuées circulairement, lesdits plusieurs aimants permanents (400) étant montés sur une roue (6) actionnée en rotation sur elle-même pour balayer les micro-interrupteurs (2) présents sur toutes les galettes (3). 15. Appareil pour tester ou rôder une pluralité de micro-interrupteurs (2) magnétiques, chacun des micro-interrupteurs (2) comportant un élément mobile (20) pilotable par effet magnétique entre deux positions suivant l'orientation des lignes de champ (L) d'un champ magnétique, l'appareil comportant :un élément magnétique (400, 410, 420) pour générer des lignes de champ magnétique présentant deux orientations différentes, et étant caractérisé en ce qu'il comprend : des moyens d'actionnement pour créer un mouvement relatif entre l'élément magnétique (400, 410, 420) et la pluralité de micro-interrupteurs (2) et en ce que, après activation des moyens d'actionnement, chaque élément mobile (20) de chaque micro-interrupteur (2) peut être soumis à deux orientations différentes des lignes de champ magnétique en vue de faire basculer l'élément mobile entre ses deux positions, le mouvement relatif est maintenu activé pour solliciter plusieurs fois chaque micro-interrupteur. 16. Appareil selon la revendication 15, caractérisée en ce que le mouvement relatif entre l'élément magnétique (400, 410, 420) et la pluralité de micro-15 interrupteurs (2) est un mouvement de translation. 17. Appareil selon la revendication 15 ou 16, caractérisé en ce que l'élément magnétique est constitué d'au moins une pièce en matériau magnétique doux (420) agencée pour générer des lignes de champ (L) présentant deux orientations différentes à partir d'un champ externe constant (M). 20 18. Appareil selon la revendication 15, caractérisé en ce que l'élément magnétique est constitué d'un aimant permanent (400, 410). 19. Appareil selon la revendication 18, caractérisé en ce que l'aimant permanent (400, 410) est actionné en translation par rapport à la pluralité de micro-interrupteurs (2), parallèlement à un plan support des micro-interrupteurs 25 (2). 20. Appareil selon la revendication 19, caractérisé en ce que l'aimant permanent (410) est actionné en translation, de manière oscillante par rapport à la pluralité de micro-interrupteurs (2). 21. Appareil selon l'une des revendications 15 à 20, caractérisé en ce qu'il 30 comporte plusieurs éléments magnétiques. 22. Appareil selon la revendication 21, caractérisé en ce que les éléments magnétiques sont des aimants permanents (400, 410). 10 23. Appareil selon la revendication 22, caractérisé en ce que les aimants permanents (400) sont répartis sur une bande sans fin tournante (500) actionnée en mouvement, de manière à balayer chacun la totalité des micro-interrupteurs (2) lors du déplacement. 24. Appareil selon la revendication 22, caractérisé en ce que les aimants permanents (400) sont montés sur une roue (51) actionnée en rotation pour rouler suivant un plan parallèle au plan support des micro-interrupteurs (2). 25. Appareil selon l'une des revendications 22 à 24, caractérisé en ce que les aimants permanents (400, 410) sont regroupés dans une ou plusieurs matrices (4). 26. Appareil selon l'une des revendications 18 à 25, caractérisé en ce que chaque aimant permanent (400, 410) est affecté au pilotage de un ou plusieurs micro-interrupteurs (2). 27. Appareil selon l'une des revendications 15 à 26, caractérisé en ce que les micro-interrupteurs (2) sont montés sur au moins une galette de silicium (3). 28. Appareil selon la revendication 22, caractérisé en ce que les aimants permanents (400) sont affectés au test ou au rodage des micro-interrupteurs (2) répartis sur plusieurs galettes (3) de silicium distribuées circulairement, lesdits aimants permanents (400) étant montés sur une roue (6) actionnée en rotation sur elle-même pour balayer les micro-interrupteurs (2) présents sur toutes les galettes (3).