Brevet FR2898884A1 — publié le 20070928

MICRO-CAPTEUR INERTIEL RESONANT À EPAISSEUR VARIABLE REALISÉ EN TECHNOLOGIES DE SURFACE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR L'invention concerne le domaine des micro- capteurs, notamment en silicium, par exemple les capteurs inertiels, notamment accéléromètres ou gyromètres. Elle trouve application dans des domaines variés, tels que l'automobile, la téléphonie mobile ou 10 l'avionique. De manière connue, les capteurs résonants peuvent être réalisés : • Soit en technologie de volume, auquel cas l'élément sensible du capteur est réalisé sur toute 15 l'épaisseur d'un substrat en silicium ou en quartz, en utilisant des gravures humides ; une telle technique est décrite dans le document FR 2 763 694 ; • Soit en technologie de surface : cette technique est décrite dans le document Resonant 20 accelerometer with self test , de M.Aikele et al., Sensors and Actuators, A92, 2001, p. 161-167. Les capteurs inertiels réalisés en technologie de volume sont basés sur une excitation électrostatique hors plan du résonateur. De ce fait 25 ils nécessitent le report de 2 substrats, dont l'un sert à réaliser la (ou les) électrode(s) d'excitation/détection et le second sert à fermer la cavité sous vide. Les technologies mises en jeu sont donc lourdes. De plus le résonateur a alors une épaisseur différente de la masse sismique. Cet amincissement est, entre autre, rendu nécessaire par le mode de vibration de la poutre qui se fait hors plan. Un autre problème de ce type de technique réside dans le positionnement du résonateur, qui ne peut pas être optimisé pour augmenter l'effet de bras de levier. En effet, afin de minimiser l'entrefer entre le résonateur et son électrode d'excitation, le résonateur est placé en surface du substrat. De manière optimum, le résonateur devrait se situer le plus près possible de la charnière (axe de rotation de la masse). Dans un capteur inertiel réalisé en technologie de surface le résonateur vibre dans un plan. Le principe d'un capteur inertiel selon l'art antérieur est illustré sur les figures 9A et 9B, respectivement en vue de dessus et en vue en coupe. Sur ces figures, un axe XX' 201 est l'axe sensible du capteur. Les références 202, 204, 206 désignent respectivement une masse sismique, un résonateur, et une charnière. La vue en coupe montre que la masse 202 et le résonateur 204 ont une même épaisseur. L'élément sensible 202 a une surface (en vue de dessus) de l'ordre du mm2. Or, dans de multiples applications, et notamment des applications grand public comme l'automobile ou la téléphonie mobile, où la demande en capteurs est croissante, la miniaturisation des composants reste un enjeu important, du fait en particulier de la course à la réduction du prix, à l'accroissement des fonctionnalités (nombre de capteurs de plus en plus important), à l'intégration avec l'électronique de traitement et à la réduction de la consommation. Il faut donc trouver une nouvelle conception de composants, encore plus miniaturisés, de masse encore plus faible que ceux connus actuellement, présentant un encombrement, pour les accéléromètres, de préférence inférieur à 0,1 mm2 ou même à 0,01 mm2. De même, toujours aux fins de miniaturisation, on cherche à associer électronique et MEMS et/ou NEMS sur un même substrat. Pour cette association, deux options existent. Une première approche, dite Above IC (ou AIC), consiste à reporter le MEMS sur le circuit MOS une fois réalisé. Le MEMS est dans ce cas réalisé par couches déposées. Les performances métrologiques des capteurs ainsi réalisés sont alors assez limitées, puisque les qualités mécaniques des matériaux déposés sont assez faibles au regard de ce que l'on a en utilisant le Si monocristallin. L'approche In IC consiste à réaliser le MEMS au même niveau que les circuits CMOS. Dans ce cas, il est possible d'avoir accès au Si monocristallin pour réaliser le MEMS et ainsi obtenir de bonnes performances. Pour des capteurs de classe 10-2 (et au-delà), il parait illusoire d'obtenir le niveau de performance requis par une technologie AIC dans les dimensions visées. L'approche In-IC apparaît à ce titre beaucoup plus prometteuse. Cette approche n'a cependant de sens que si l'on dispose d'une miniaturisation suffisamment poussée des structures mécaniques. En effet, pour rendre cette intégration réaliste d'un point de vue économique il convient de minimiser au maximum la surface de silicium occupée par le capteur au profit des circuits CMOS. On estime à environ 0.05mm2 l'encombrement maximum à ne pas dépasser pour un accéléromètre de ce type. A titre de comparaison, la surface classique de l'élément sensible d'un accéléromètre MEMS (de classe 10-2 ou de gamme de mesure 10G) descend rarement en dessous de 0.5mm2 (sans tenir compte des plots de contact). Pour un gyroscope MEMS, la surface usuelle de l'élément sensible est de plus de 20 mm2. D'une manière générale, quel que soit le type de capteur inertiel, la miniaturisation par simple réduction homothétique des dimensions se traduit inexorablement par une perte de sensibilité significative. C'est ce qu'indique l'article de C.Hérold, Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol.14, S1 - S11, Vol.14, 2004, "from micro- to nanosytems: mechanical sensors go nano". Autrement dit, la miniaturisation homothétique se traduit par une rigidification relative de la structure mécanique par rapport aux forces d'inertie. Il se pose donc, outre le problème de trouver une nouvelle conception de composants, encore plus miniaturisés, celui de devoir pallier cette baisse significative de sensibilité qui accompagne toute réduction de la taille des composants. EXPOSÉ DE L'INVENTION Pour résoudre ces problèmes, l'invention propose de réaliser des capteurs MEMS à détection par résonateur utilisant une technologie planaire 3D . L'invention concerne un capteur résonant MEMS en technologie de surface et à excitation du résonateur dans un plan, à épaisseurs multiples. C'est par exemple un accéléromètre ou un gyromètre. Typiquement on peut avoir 2 épaisseurs différentes sur le même composant, mais aussi plus de deux épaisseurs, par exemple trois. Une première zone épaisse, présente une première épaisseur, et est utilisée pour la partie masse sismique, par exemple d'un accéléromètre ou d'un gyromètre. Une seconde zone, mince, a une deuxième épaisseur inférieure à la première. Le rapport entre ces deux épaisseurs est par exemple compris entre 2 et 10. La seconde zone est utilisée pour la détection et éventuellement pour la réalisation des charnières (ou d'un axe de torsion dans le cas d'un gyroscope). Selon l'invention, on modifie le design des capteurs résonants réalisés en technologie de surface en décorrélant la partie masse sismique de la partie détection. La première zone présente de préférence une surface S inférieure à 0,1 mm2 pour un accéléromètre, et inférieure à 5 mm2 pour un gyromètre. La première et la deuxième zone peuvent être formées dans la couche superficielle de semi-conducteur d'un substrat SOI. Un capteur selon l'invention peut en outre comporter une troisième zone formant charnière (ou un axe de torsion dans le cas d'un gyromètre), cette troisième zone ayant une épaisseur comprise entre celle de la première zone et celle de la deuxième zone, ou égale à celle de la première zone, ou égale à celle de la deuxième zone. L'invention permet d'optimiser différentes parties du capteur séparement : - le (les) résonateur(s), - la (les) charnière(s), ou l'axe de 15 torsion, - la (les) masse (s) sismique(s). Elle est en outre compatible avec une approche In-IC à très bas coût. Des butées mécaniques peuvent être prévues, 20 afin de limiter le déplacement de la masse sismique. Des moyens numériques de détection peuvent en outre être prévus, par exemple comportant des moyens de filtrage numérique et/ou de traitement numérique du signal. 25 L'invention concerne en outre un procédé de réalisation d'un dispositif selon l'invention, mettant en oeuvre des étapes de gravure différenciées, en profondeur, perpendiculairement à un plan de la masse sismique, des première et/ou deuxième et/ou troisièmes 30 zones. L'invention concerne en particulier un procédé de réalisation d'un capteur résonant MEMS, du type de surface, comportant un résonateur à excitation dans le plan, ce procédé comportant : - la formation d'une zone épaisse, présentant une première épaisseur (E1), formant masse sismique, - la formation d'une zone mince, présentant une deuxième épaisseur (E2), inférieure à la première, 10 pour la détection. La zone épaisse et la zone mince peuvent être formées par gravure d'une couche de matériau semi-conducteur, suivant 3 dimensions. Elles peuvent être formée par gravure d'une 15 couche superficielle de matériau semi-conducteur d'un substrat SOI, suivant une direction (z) perpendiculaire à un plan principal de ce substrat SOI. Un tel procédé peut en outre comporter la formation d'une troisième zone, dite zone charnière ou 20 axe de torsion, d'épaisseur comprise entre celle de la première zone et celle de la deuxième zone, ou égale à l'une des épaisseurs de ces deux zones. Avantageusement, la zone mince est réalisée dans une couche superficielle de semi-conducteur, la 25 zone épaisse étant réalisée dans une couche de semi-conducteur épitaxiée sur ladite couche superficielle et dans cette couche superficielle. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS - Les figures lA et 1B représentent, respectivement en vue de dessus et en vue de côté, un capteur inertiel selon l'invention. - La figure 1C représente, en vue de dessus, un capteur inertiel selon l'invention avec une autre disposition des éléments dans un plan. - La figure 1D représente, en vue de dessus, un dispositif selon l'invention, avec deux capteurs inertiels selon l'invention montés en différentiel, - les figures 2A - 2G et 3A - 3F représentent un premier mode de réalisation d'un procédé selon l'invention, - les figures 4A - 4F et 5A - 5E représentent un deuxième mode de réalisation d'un procédé selon l'invention, - les figures 6A - 6E et 7A - 7E représentent un troisième mode de réalisation d'un 20 procédé selon l'invention, - la figure 8 représente un gyromètre, - les figures 9A et 9B représentent, respectivement en vue de dessus et en vue de côté, un capteur inertiel selon l'art antérieur. 25 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Un exemple de capteur inertiel résonant 100 selon l'invention va être décrit en liaison avec les figures 1A et 1B. Un tel capteur 100 peut être par exemple un accéléromètre ou un gyromètre. Il s'agit d'un capteur en technologie de surface et à excitation du résonateur dans un plan. Sur ces figures, un axe XX' 1 est l'axe sensible du capteur. Les références 2, 4 désignent respectivement une masse sismique, un résonateur. La référence 6 désigne une charnière dans le cas d'un accéléromètre et un axe de torsion dans le cas d'un gyromètre (un gyromètre est décrit plus loin en liaison avec la figure 8). La vue en coupe (figure 1B) montre que la masse 2 et le résonateur 4 n'ont pas la même épaisseur : la masse 2 a une première épaisseur E1r par exemple de l'ordre du pm, supérieure à l'épaisseur E2 du résonateur. Le rapport E1/E2 est par exemple compris entre 2 et 10. La charnière permet de maintenir la masse sismique dans un même plan, celui de la figure 1A ou encore celui défini par la masse sismique 2 dont les dimensions dans le plan de la figure lA sont nettement plus importantes que dans une direction perpendiculaire à ce plan. La charnière a une épaisseur E3 qui peut être égale à E1r ou à E2, ou comprise entre E1 et E2. Comme on le voit sur la figure 1A, la charnière 6 et le résonateur 4 sont réalisés parallèlement à un plan défini par la masse sismique 2, mais (figure 1B) à des profondeurs différentes suivant une direction z sensiblement perpendiculaire au plan de la masse 2. La charnière 6 n'est pas nécessairement parallèle à la portion résonante 4 ; elle peut être disposée autrement, par exemple comme illustré sur la figure 1C sur laquelle des références identiques à celles des figures lA et 1B désignent des éléments identiques ou correspondants. Sur cette figure 1C, qui représente un dispositif selon l'invention en vue de dessus, la charnière est sensiblement perpendiculaire au résonateur. Dans le plan des figures, des dispositions autres que celles des figures 1A-1B et 1C peuvent être réalisées. La référence 10 (figure 1A) désigne des moyens de traitement numérique d'un signal provenant du système 100. Ces moyens peuvent être utilisés dans les modes de réalisation illustrés sur les autres figures, bien qu'ils n'y soient pas représentés. L'invention s'applique également à une structure différentielle, c'est-à-dire à une structure dans laquelle des capteurs sont montés en différentiel. Ainsi, sur la figure 1D, sont représentées schématiquement, d'une part une structure 100 telle que celle décrite ci-dessus, et d'autre part une deuxième structure 200, de même type, mais en montage tête bêche , ou différentiel. La mesure par résonateur est bien adaptée à une miniaturisation des dimensions. Par exemple, un capteur d'accélération selon l'invention présente une surface S (surface de la masse sismique 2, en vue de dessus, ou dans le plan de la figure 1A) inférieure à 0,1 mm2 ou même à 0,05 mm2. Dans le cas d'un gyromètre, cette valeur supérieure est de préférence de l'ordre de 5 mm2. Un capteur résonant mesure la variation de fréquence propre d'un résonateur (type diapason ou poutre vibrante) sous l'effet d'une contrainte extérieure (force d'inertie dans le cas présent). La réponse exploitée étant une fréquence, un certain nombre d'avantages, liés au traitement des signaux électriques, en découlent, comme la possibilité de pouvoir filtrer le signal (limitation du bruit) et de pouvoir traiter l'information directement en numérique par des moyens 10 de filtrage numérique et/ou de traitement numérique du signal. En fait c'est une mesure d'une fréquence de vibration par le biais d'une mesure capacitive (i = d(CV) /dt = CdV/dt + V dC/dt, la quantité mesurée étant V dC/dt). Sur la figure 1A , les références 15, 15' désignent respectivement une électrode d'excitation et une électrode de détection. Une mesure via un MOS peut aussi être réalisée, le courant du canal étant modulé par le déplacement de la structure résonante qui constitue la grille du transistor. Ce principe de mesure résonante permet également : • De travailler à la résonance mécanique, c'est-à-dire avec des amplitudes de déflexion du corps vibrant 2 optimisées, et ainsi de permettre une détection capacitive plus propre ; • D'avoir une précision de mesure faiblement dépendante du bruit électrique lié à la 25 variation de capacité. En terme de dimensionnement, le fait de réduire notablement la section du résonateur n'est pas sans conséquence. L'augmentation importante de la sensibilité 30 est égale à Af/f, où Af est la variation de fréquence de résonance sous l'effet d'une contrainte mécanique induite par le déplacement de la ou des masse sismique, fonction de l'accélération, dans le cas d'un accéléromètre, ou d'une vitesse de rotation dans le cas d'un gyromètre. Cette augmentation peut conduire à une augmentation notable de la non linéarité de réponse du capteur en fonction du niveau de l'accélération (cas de l'accéléromètre) ou de la vitesse de rotation (cas d'un gyromètre). On recherchera donc un bon équilibre entre la gamme de mesure, la masse de l'élément sensible 2 et la section du résonateur 4. La diminution de section des différents éléments mécaniques dans les zones amincies peut conduire à une concentration importante des contraintes. Ces contraintes peuvent être analysées pour éviter le flambage et la rupture de ces éléments, sous l'effet d'un choc par exemple. Pour résoudre ou limiter ce problème, il est possible d'ajouter des butées mécaniques limitant le déplacement de la masse. De telles butées 12 sont représentées sur la figure 1B. L'amincissement des zones mécaniques résulte en un déplacement de l'effort exercé par la masse sismique 2 sur chaque zone. Cet amincissement conduit en effet à décaler le centre de gravité de la masse du point d'application de la force sur le résonateur (en z, c'est à dire suivant l'épaisseur, voir figure 1B). Ce décalage peut conduire à un effet de couple parasite induisant par exemple une sensibilité aux accélérations transverses. L'amincissement du résonateur conduit à diminuer également la capacité d'excitation et/ou de détection de la vibration. Afin de limiter la perte de sensibilité électrique il est possible de mettre l'électronique au plus proche (éventuellement par une réalisation In-IC du capteur) pour limiter les capacités et/ou résistances parasites susceptibles de dégrader le rapport Signal/Bruit. Pour dimensionner un dispositif selon l'invention, on peut utiliser un logiciel de type éléments finis comme ANSYS ou Coventor ou tout autre logiciel d'aide à la conception comme FEMLab ou Matlab. Dans un capteur résonant selon l'invention, la mise en oeuvre d'une technologie planaire 3D (c'est-à-dire avec gravure dans le plan de la masse 2, mais aussi perpendiculairement à ce plan) permet de décorréler la partie détection du capteur (poutre 4 ou diapason résonant) de la partie inertielle (masse 2). Ceci permet d'optimiser séparément ces deux éléments pour palier la diminution de sensibilité amenée par la miniaturisation des capteurs inertiels. Cette optimisation séparée est par exemple obtenue lors du procédé de réalisation, par exemple par gravures séparées des zones correspondantes, comme expliqué plus loin. En effet la force d'inertie qui s'applique sur le résonateur est directement proportionnelle au volume de la masse sismique mise en jeu. Donc toute réduction de dimension résulte en une diminution de cette force et donc en une perte de sensibilité. Dans le cas du résonateur de détection, la réduction de certaines dimensions (sections) du résonateur conduit à une augmentation de sensibilité, c'est-à-dire à une variation de fréquence de résonance plus importante pour une contrainte donnée. En d'autres termes, plus la section du résonateur est petite, plus la fréquence de résonance du résonateur varie en fonction de la contrainte qui y est appliquée. Pour une force extérieure donnée s'exerçant sur le résonateur, la variation de sa fréquence f de résonance sera d'autant plus importante que la section du résonateur 4 sera faible : L2 F = fo 1 + 0.293 Etl3 F. avec : f : fréquence propre du résonateur sur 15 lequel s'exerce la contrainte axiale Fi; fo : la fréquence centrale sans effort (Fi= 0), Fi : la force d'inertie appliquée sur la poutre 4, 20 L, t et 1 : respectivement la longueur, l'épaisseur et la largeur de la poutre 4, E : le module d'Young. Af = fFi#o - fo ; Af/fo est la susceptibilité du capteur, et augmente lorsque la section du 25 résonateur diminue. On cherche à réduire le terme t13 pour accroître le rapport Af/f. Une diminution des dimensions latérales de la poutre 2 se traduit par un gain en sensibilité. 30 Cette diminution des dimensions latérales est néanmoins limitée par la technologie, c'est-à-dire par la résolution de la lithographie et le rapport de forme de la gravure (la largeur du motif à graver est inférieure à environ 10 fois l'épaisseur à graver pour un équipement de type DRIE ; la diminution de la largeur du résonateur tend également à faire chuter son facteur de qualité). Pour aller encore plus loin dans la réduction de section du résonateur, on peut amincir le résonateur 2, sans toucher à la masse sismique 4 et aux zones d'ancrages ; il peut en effet être avantageux d'amincir d'autres parties mobiles du capteur comme les charnières 6, dans le cas d'un accéléromètre, ou l'axe de torsion dans le cas d'un gyromètre. Cela revient à utiliser une technologie de surface (ou technologie planaire) 3D , ou une méthode selon l'invention, dans laquelle on amincit sélectivement certaines parties du MEMS. Trois exemples de réalisations d'un dispositif selon l'invention sont présentés ci-dessous. Ces trois exemples peuvent en outre être combinés entre eux. Ils sont décrits dans le cas d'un accéléromètre. Dans le cas d'un gyromètre, on remplace le terme charnière par l'expression axe de torsion . Un premier procédé va être décrit en liaison avec les figures 2A - 2G et 3A - 3F. Ce premier procédé met en œuvre une épitaxie de semi-conducteur (ici : Silicium ; le SiGe est un autre exemple), ce qui permet de réaliser la partie résonante dans une première épaisseur, faible, puis la masse sismique et la charnière dans une deuxième épaisseur, épitaxiée sur la première épaisseur et plus importante que cette première épaisseur. Un substrat SOI 20 est tout d'abord sélectionné (figure 2A). Par exemple, il comporte une couche 22 de Si de 1 pm d'épaisseur pour une couche 24 d'oxyde SiO2 de 0.4 pm d'épaisseur. Il est ensuite procédé à une lithographie puis une gravure de la couche 22 de Si pour définir l'entrefer 30 du résonateur (figures 2A et 3A). Cet entrefer est donc défini dans la couche superficielle de semi-conducteur, d'épaisseur faible. La gravure est arrêtée sur la couche 24 de SiO2. On procède ensuite au dépôt d'une couche (non représentée) de SiO2, par exemple d'épaisseur 2 pm, suivi d'une planarisation avec arrêt sur la couche 22 de Si, puis à un dépôt 32 de SiO2, par exemple d'environ 0.4 pm d'épaisseur (figure 2B). On procède ensuite (figures 2C et 3B) à une lithographie par gravure, dans la couche 32 de SiO2, d'une protection 34 au-dessus du résonateur, avec débordement au niveau de l'électrode d'excitation/détection. Une épitaxie 35 de Silicium est ensuite réalisée (figures 2D et 3C), sur la couche superficielle 22 initiale de semi-conducteur, par exemple sur une épaisseur d'environ 3 pm, supérieure à l'épaisseur de la couche 32. Un dépôt métallique Ti/Ni/Au, puis une lithographie par gravure, sont ensuite réalisés (figures 2E et 3D) en vue de former des contacts 36. Il est ensuite procédé à une lithographie et à une gravure anisotrope (par exemple : DRIE) de la structure mécanique (figures 2F et 3E), avec arrêt sur la couche de dioxyde SiO2 24. Cette étape permet de réaliser, au cours de la même opération, la masse sismique et la charnière 6, sur une même épaisseur de matériau. Le dispositif est enfin libéré par gravure HF (humide ou vapeur) de la couche 24 (figures 2G et 10 3F). Un deuxième procédé selon l'invention met en oeuvre un amincissement du résonateur 4 et de la charnière 6 par gravure (figures 4A - 4F et 5A - 5E). Un substrat SOI 20 est tout d'abord 15 sélectionné (figure 4A). Par exemple, il comporte une couche 22 de Si de 4 pm d'épaisseur pour une couche 24 d'oxyde SiO2 de 0.4 }.m d'épaisseur. Un dépôt métallique Ti/Ni/Au puis une litho-gravure sont ensuite réalisés en vue de former 20 des contacts 36 (figures 4A et 5A). Il est ensuite procédé à une lithographie et à une gravure DRIE de la structure mécanique (figures 4B et 5B), avec arrêt sur la couche de dioxyde SiO2 24. Cette étape permet de réaliser, au cours de la 25 même opération et dans une même épaisseur de matériau, d'une part la masse sismique 2, et d'autre part les zones dans lesquelles seront réalisées la charnière 6 et la partie résonante 4. Après dépôt d'une couche de résine 35, il 30 est procédé à une lithographie (figures 4C et 5C), ce qui permet de réaliser une ouverture du résonateur 4, avec débordement au niveau de l'électrode d'excitation/détection et ouverture sur la charnière 6. Les zones de la charnière 6 et du résonateur 4 sont amincies, par exemple gravées (par RIE ou DRIE par exemple) (figures 4D et 5D). Puis la résine 35 est éliminée (figure 4E). Le dispositif est libéré par gravure HF (humide ou vapeur) de la couche 24 (figures 4F et 5E). Dans ce procédé, les zones charnière et résonante ont des épaisseurs identiques car elles sont gravées en profondeur, suivant l'axe z, au cours d'une même étape, tandis que les motifs de la zone formant masse sismique ne sont quant à eux pas gravés suivant cette direction. Un troisième procédé selon l'invention est une variante du deuxième mode de réalisation, avec, en outre, un amincissement différentiel du résonateur 4 et de la charnière 6 (ou d'une autre partie mécanique)Un substrat SOI 20 est tout d'abord sélectionné (figure 6A). Par exemple, il comporte une couche 22 de Si de 4 pm d'épaisseur pour une couche 24 d'oxyde SiO2 de 0.4 pm d'épaisseur. Un dépôt métallique Ti/Ni/Au puis une litho-gravure sont ensuite réalisés en vue de former des contacts 36 (figures 6A et 7A). Il est ensuite procédé à un dépôt de résine, à une lithographie et à une gravure (RIE ou DRIE) de la structure mécanique (figures 6B et 7B), avec arrêt sur la couche de dioxyde SiO2 24. Cette étape permet de réaliser, au cours de la même opération et dans une même épaisseur de matériau, d'une part la masse sismique 2, et d'autre part les zones dans lesquelles seront réalisées la charnière 6 et la partie résonante 4. Cette étape permet donc de graver les motifs de la zone formant masse sismique, de la zone formant résonateur et de la zone de charnières. Les motifs de ces deux dernières zones vont ensuite pouvoir être gravées en profondeur, selon l'axe z (figures 6C et 6D), mais de manière séparée pour pouvoir contrôler leur épaisseur finale relative. Ainsi, après un dépôt de résine 35 (figure 6C), on réalise, par lithographie, une ouverture du résonateur, avec débordement au niveau de l'électrode d'excitation/détection. On procède à une gravure (RIE ou DRIE) du résonateur selon l'axe z, puis à une élimination de la résine 35. Ensuite (figure 6D), après un autre dépôt de résine 37, une ouverture par lithographie est réalisée au niveau de la charnière 6 Là encore, il est procédé à une gravure DRIE selon l'axe z, mais de la charnière 6, puis à une élimination de la résine 37. Le dispositif est libéré par gravure HF (humide ou vapeur) de la couche 24 (figures 6E et 7E) Dans ce troisième procédé, les zones charnière et résonante ont des épaisseurs différentes l'une de l'autre, et différentes de l'épaisseur de la zone sismique, car elles sont gravées en profondeur, suivant l'axe z, au cours d'étapes différentes, tandis que les motifs de la zone formant masse sismique ne sont quant à eux pas gravés suivant cette direction. Le premier mode de réalisation, bien qu'un peu plus complexe (il met en œuvre des étapes supplémentaires de planarisation et d'épitaxie), permet d'optimiser la sensibilité électrique du résonateur électromécanique (optimisation du rapport signal/bruit par accroissement des capacités utiles). En effet, l'entrefer entre le résonateur et les électrodes d'excitation/détection est réalisé directement dans une partie très fine de silicium. La gravure de l'entrefer se faisant sur une épaisseur fine, on peut atteindre une forte résolution d'usinage. Dans les deux autres modes de réalisation, résonateurs et entrefers sont réalisés sur une forte épaisseur de silicium, limitant la finesse de l'usinage, avant d'être amincis. Par exemple, en estimant un aspect ratio de 10 pour la gravure DRIE, on pourra obtenir un entrefer de 0.2 pm sur 2 pm de silicium, alors que l'on ne pourra pas descendre en dessous de 2 pm d'entrefer pour 20 pm de silicium. L'amincissement après gravure de l'entrefer conduit de plus à dégrader encore l'espace inter-électrodes. L'invention met en oeuvre des zones d'épaisseurs différentes dans uncapteur. Un capteur selon l'invention peut être réalisé par usinage du silicium ou d'un matériau semi-conducteur dans les 3 dimensions. Un résonateur selon l'invention, obtenu par usinage 3D dans un matériau semi-conducteur, est particulièrement bien adapté pour un gyromètre à détection par résonateur. Le principe d'un tel gyromètre est indiqué dans le document FR-2 874 257, qui est également représenté schématiquement en figure 8. Il comporte un support, non représenté, et 2 masses sismiques 120, 120' qui sont mobiles dans le plan (X, Y) du support, et notamment qui peuvent vibrer. Ces deux masses sont couplées par des moyens de liaison, eux aussi mobiles par rapport au support. Dans le cadre représenté, deux bras de liaison 140, 140', ici parallèles, sont reliés aux masses mobiles par l'intermédiaire de moyens 160, 160' ayant une flexibilité suffisante pour permettre les mouvements relatifs des deux masses 120, 120' par rapport aux bras 140, 140', tout en étant suffisamment rigides pour transmettre les mouvements des masses 120, 120' aux bras 140, 140'. De préférence, les bras de liaison 140, 140' et les moyens flexibles, ou bras de flexion, 160, 160' forment un cadre rectangulaire les moyens flexibles 160, 160' peuvent par exemple être des ressorts de flexion ou une languette d'attache. Des moyens sont prévus pour mettre les masses 120, 120' en vibration dans le plan (X, Y) du support, par exemple des peignes d'excitation 180, 180' s'imbriquant dans une ou les deux faces de chaque masse mobile 120, 120'. Les peignes 180, 180' engendrent par l'intermédiaire de forces électrostatiques un déplacement en va-etûvient de chaque masse 120, 120' dans une première direction X, ici de gauche à droite de la feuille ; d'autres moyens peuvent être envisagés, comme une excitation électromagnétique. En particulier, les masses 120, 120' sont excitées, de préférence à la résonance ou au voisinage de la résonance, par le biais de forces électrostatiques appliquées par l'intermédiaire des structures en peignes inter digités 180, 180' l'ensemble des masses 120, 120' et moyens de liaison 35 140, 140', 160, 160' forme ainsi un premier résonateur d'excitation 200. Le fonctionnement à la résonance permet en effet d'obtenir une forte amplitude de déplacement, et un grand facteur de qualité, augmentant d'autant la sensibilité du gyromètre. Avantageusement, la vibration des masses 120, 120' est en opposition de phase, c'est-àdire que leurs mouvements sont en direction opposée à chaque instant la distance séparant les deux masses 120, 120' est variable, cette variation étant tolérée par les moyens flexibles 160, 160'. Ceci permet la détection par des deuxièmes résonateurs. Lorsque le gyromètre subit un déplacement angulaire autour d'un axe Z perpendiculaire au support, une force de Coriolis est générée sur chaque masse 120, 120', perpendiculaire aux axes X et Z et donc ici dans la direction verticale Y de la feuille, issue de la composition de la vibration forcée par les éléments 180, 180' avec la vitesse angulaire O. Les forces de Coriolis sont transmises aux bras 140, 140' par les moyens flexibles 160, 160' ;si un deuxième résonateur 220 est couplé à un bras 140, il subit lui aussi une contrainte issue de la force de Coriolis. Cette contrainte déplace la fréquence de résonance du résonateur de détection 220. La vitesse de rotation 0 autour de l'axe Z est alors déduite du déplacement en fréquence mesuré. En particulier, le résonateur 220 est excité et asservi de préférence sur son pic de résonance ou à son voisinage ; un système électronique numérique permet de remonter aisément à la fréquence de résonance à chaque instant. Le résonateur 220 peut par exemple être sous la forme d'une poutre vibrante telle que schématisée sur la figure 8, dont une première extrémité est reliée au bras de liaison 140 et l'autre est ancrée au substrat par tout moyen 240 connu. Selon un mode de réalisation préféré, le résonateur 220 est excité à la résonance de façon capacitive par des électrodes fixes qui servent également à la détection. On peut également avoir une électrode de détection 260 dissociée de l'électrode d'excitation 280. Une excitation électromagnétique est également envisageable, tout comme une détection par jauge piézoélectrique. Afin d'augmenter la détection possible et la sensibilité du résonateur 220, avantageusement, sur chaque bras 140, 140' est localisé un axe de torsion 300, 300' destiné à transformer les forces de Coriolis s'exerçant au niveau des masses 120, 120' en un couple de forces autour de cet axe de torsion 300, 300', par un effet de bras de levier qui permet d'exercer la contrainte la plus importante possible sur le résonateur. Chacun des axes de torsion est ainsi rattaché à une extrémité au support par un ancrage 320, 320' et à l'autre extrémité au bras de liaison 140, 140', 160, 160', vers le centre de la structure 200 pour limiter les dérives en température du gyromètre. D'autres modes de réalisation sont possibles, comme illustré sur les figures 4A - 4D du document FR-2874257, par exemple deux résonateurs sur un même bras de liaison 140 (figure 4A), ou situés du même côté d'un axe du dispositif mobile défini par les axes de torsion (figure 4B), ou bien encore avec des résonateurs de type diapason (figure 4C), ou bien encore avec des résonateurs disposés comme en figure 4D de ce même document. Pour tous ces dispositifs, l'invention permet de réaliser un ou des résonateurs d'épaisseur ou de section inférieure à celle de la ou des masses sismiques. Les forces mises en jeu pour ce type de composant sont extrêmement faibles à l'échelle des micro-capteurs (forces de Coriolis). L'utilisation des technologies de surface classiques conduit à une sensibilité très réduite, même en poussant la technologie à ses limites, en essayant de réduire la largeur du résonateur au maximum (limites imposées par la lithographie et la DRIE). La possibilité de réduire la section du résonateur par un usinage 3D permet de viser des sensibilités très élevées difficilement atteignables par les autres concepts de gyromètres à détection capacitive. L'invention permet d'avoir des capteurs inertiels (accéléromètres ou gyromètres) de très bonnes performances (sensibilité) pour des dimensions très réduites. REVENDICATIONS 1. Capteur résonant MEMS de type de surface, comportant un résonateur (4) à excitation dans 5 un plan, caractérisé en ce qu'il comporte : - une première zone (2), dite zone épaisse, présentant une première épaisseur (E1), formant masse sismique, - une deuxième zone (4), mince, présentant 10 une deuxième épaisseur (E2), inférieure à la première, pour la détection. 2. Capteur selon la revendication 1, de type accéléromètre, la première zone (2) présentant une 15 surface S inférieure à 0,1 mm2. 3. Capteur selon la revendication 1, de type gyromètre, la première zone (2) présentant une surface S inférieure à 5 mm2. 4. Capteur selon l'une des revendications 1 à 3, la première et la deuxième zones étant formées dans la couche superficielle (22) de semi-conducteur d'un substrat SOI (20). 25 5. Capteur selon l'une des revendications 1 à 4, comportant une troisième zone (6) formant charnière ou axe de torsion. 20 6. Capteur selon la revendication 5, la troisième zone ayant une épaisseur comprise entre celle de la première zone et celle de la deuxième zone. 7. Capteur selon la revendication 5, la troisième zone ayant une épaisseur égale à celle de la première zone. 8. Capteur selon la revendication 5, la 10 troisième zone ayant une épaisseur égale à celle de la deuxième zone. 9. Capteur selon l'une des revendications 1 à 8, comportant en outre des butées mécaniques (12) 15 limitant le déplacement de la masse sismique (2). 10. Capteur selon l'une des revendications 1 à 9, comportant en outre des moyens (10) de détection. 11. Capteur selon la revendication 10, les moyens (10) de détection comportant des moyens de filtrage numérique et/ou de traitement numérique du signal. 25 12. Dispositif de détection de surface, comportant un premier résonant (100) et un deuxième capteur résonant (200), chacun selon l'une des revendications 1 à 11, à montage différentiel. 20 30 13. Procédé de réalisation d'un capteur résonant MEMS, du type de surface, comportant un résonateur à excitation dans le plan, ce procédé comportant : - la formation d'une zone épaisse, présentant une première épaisseur (E1), formant masse sismique, - la formation d'une zone mince, présentant une deuxième épaisseur (E2), inférieure à la première, 10 pour la détection. 14. Procédé selon la revendication 13, la zone épaisse et la zone mince étant formées par gravure d'une couche (22) de matériau semi-conducteur, suivant 15 3 dimensions. 15. Procédé selon l'une des revendications 13 ou 14, les zones mince et épaisse étant formée par gravure d'une couche superficielle de matériau 20 semi-conducteur d'un substrat SOI, suivant une direction (z) perpendiculaire à un plan principal de ce substrat SOI. 16. Procédé selon l'une des revendications 25 13 à 15, comportant en outre la formation d'une troisième zone (6), dite zone charnière ou axe de torsion, d'épaisseur comprise entre celle de la première zone et celle de la deuxième zone. 17. Procédé selon la revendication 16, la deuxième zone et la troisième zones étant obtenues par étapes de gravure indépendantes l'une de l'autre. 18. Procédé selon l'une des revendications 13 à 17, comportant en outre la formation d'une troisième zone (6), dite zone charnière ou axe de torsion, d'épaisseur égale à celle de la première zone. 19. Procédé selon la revendication 18, la première et la deuxième zones étant obtenues au cours d'une même étape de gravure, indépendante de l'étape de gravure permettant de réaliser la troisième zone. 15 20. Procédé selon l'une des revendications 13 à 19, comportant en outre la formation d'une troisième zone (6), dite zone charnière ou axe de torsion, d'épaisseur égale à celle de la deuxième zone. 20 21. Procédé selon la revendication 20, la deuxième zone et la troisième zones étant obtenues au cours d'une même étape de gravure, indépendante de l'étape de gravure permettant de réaliser la première zone. 25 22. Procédé selon l'une des revendications 13 à 21, la zone mince étant réalisée dans une couche superficielle (22) de semi-conducteur, la zone épaisse étant réalisée dans une couche de semi-conducteur (35) 30 épitaxiée sur ladite couche superficielle et dans cette couche superficielle. 10