Brevet FR2901713A1 — publié le 20071207

La présente invention concerne un procédé de distribution de produits liquides notamment pyrophoriques d'un point de stockage à un point d'utilisation ainsi qu'un appareil de distribution de ces produits comportant notamment des moyens de condensation/fusion du produit purifié. L'industrie des semi-conducteurs est amenée à mettre en oeuvre de nouveaux produits afin de répondre aux exigences performances et de miniaturisation des circuits intégrés. Ces précurseurs sont non seulement utilisables pour la fabrication des semi-conducteurs mais également en optoélectronique pour le dépôt de couches de ces produits. Parmi ces produits se trouvent notamment les précurseurs de métaux, d'organo-métalliques, de silicium, ainsi que les précurseurs de couches de nitrure, carbure, dérivées ou non de ces produits, ainsi que pour la fabrication des écrans plats des cellules solaires. Certains de ces précurseurs comme le triméthyl aluminium (TMA) ou le triméthyl galium (TMGa), le dimethyl Zinc (DiZ), le DMAH (dimethyl hydrure d'aluminum), notamment, ont la particularité d'être pyrophoriques, c'est à dire de s'enflammer spontanément au contact de l'air et certains d'entre eux en outre de réagir de manière explosive au contact de l'eau. L'usage actuel de ces produits se fait en général à l'aide de bulleurs, c'est à dire que l'on fait traverser les produits sous forme liquide par un gaz tel que par exemple un gaz inerte (azote, argon, hélium, etc...) utilisable dans le processus de fabrication, ces bulleurs étant disposés le plus près possible de l'équipement de production de semi-conducteurs en salle blanche. Le produit sous forme liquide est fourni dans de petits récipients bulleurs préconditionnés qui sont déconnectés dès qu'ils sont vides. Un tel fonctionnement entraîne de nombreuses connexions et déconnexions dans cette salle blanche des systèmes qui fournissent ces précurseurs ce qui entraîne de nombreux risques en terme de sécurité, que ce soit pour les installations environnantes, mais également pour les opérateurs qui ne peuvent porter dans une salle blanche des équipements de protections appropriés pour la manipulation de produits notamment pyrophoriques ou explosifs. Lorsque la fréquence de changement des bulleurs devient trop élevée, une solution a été apportée dans laquelle on alimente ces bulleurs par un système de distribution centralisée du produit liquide, système que l'on peut installer dans une zone protégée. Cette solution a l'avantage de supprimer les changements de bulleurs en salle blanche, mais nécessite d'acheminer le liquide sous pression entre son stockage centralisé protégé jusqu'aux divers bulleurs à proximité du point d'utilisation. Différentes méthodes complémentaires comme la purge des lignes entre chaque remplissage aux points d'utilisation des bulleurs, ou l'emploi de doubles enveloppes pressurisées avec un gaz inerte autour des canalisations sous pression de liquides ont été développées afin de sécuriser davantage la distribution de ces liquides. Toutefois, une telle méthode présente un certain nombre d'inconvénients :parmi ceux ci on peut citer notamment le fait que le remplissage des bulleurs ne peut être que séquentiel et non simultané et que l'ensemble de cette installation représente un surcoût assez important lors de l'installation du système de distribution de ces précurseurs dans l'unité de fabrication. D'une manière générale, l'invention concerne la distribution de produits liquides par bullage d'un gaz inerte dans un récipient contenant ledit liquide. L'invention permet une purification du produit liquide, notamment pyrophorique qui est ainsi débarrassé au cours de son transport dans la ligne de distribution, d'au moins certaines de ses impuretés résiduelles. La présente invention permet en outre d'acheminer le produit, notamment pyrophorique au point d'utilisation de manière sûre et de mettre à disposition au plus près des équipements la quantité de liquide juste nécessaire aux besoins immédiats ou quasi-immédiats de l'appareil où est réalisé la fabrication des semi-conducteurs ou autres dispositifs optoélectroniques, écrans plats, etc.... Ceci permet notamment de s'approvisionner en liquide moins pur (donc moins coûteux) que celui qui est fourni dans les récipients bulleurs actuellement utilisés, tout en fournissant un produit de pureté au moins égale ou même supérieure à celle des produits actuellement fournis dans lesdits récipients bulleurs. Ceci permet également, partant de produits de qualité électrique , c'est à dire déjà très purs, de fournir un produit encore plus pur, dont de qualité améliorée. Le produit est distribué, selon l'invention, depuis un stockage (qui peut être un système centralisé) par bullage d'un gaz inerte dans le liquide, notamment pyrophorique à purifier contenu dans ce stockage (c'est à dire le produit, notamment pyrophorique liquide tel que vendu dans le commerce) de manière à engendrer un mélange de gaz inerte et de produit, notamment pyrophorique, le mélange de vapeurs de produit, notamment pyrophorique diluées dans le gaz inerte n'étant plus pyrophorique (et les impuretés les moins volatiles restent dans le liquide). Les vapeurs contenues dans le mélange sont ensuite condensées (après transport) sous forme liquide au plus près des équipements de production de manière à récupérer le produit, notamment pyrophorique purifié, éventuellement en passant par une phase à l'état solide selon le type de précurseur utilisé, après transport de ce mélange gazeux dans des conditions de sécurité adéquate sur la distance voulue (on peut aussi chauffer la ligne de transport pour éviter les condensations de liquide pendant ce transport). Les autres constituants du mélange (comme par exemple les hydrocarbures légers, ou impuretés plus volatiles que le précurseur selon les conditions de température et de pression du mélange, ainsi que le gaz inerte), restent à l'état gazeux et sont évacués avec la phase gazeuse du mélange, contenant essentiellement alors le gaz inerte et certaines de ces impuretés légères. Ceci est particulièrement important dans les applications notamment du domaine de l'optoélectronique. Par exemple, le triméthyl aluminium se solidifiant à 15 C, on passera généralement dans le cas de la distribution de ce produit par une phase liquide, puis solide ; le triméthyl gallium ayant un point de solidification à -15 C, il ne sera pas toujours nécessaire de passer par la phase solide. A la base de la réalisation de l'invention, se trouve un appareil permettant de séparer les vapeurs de produits, notamment pyrophoriques (après transport) des autres composants du mélange et notamment les gaz inertes. Les vapeurs peuvent être condensées ou bien solidifiées à l'aide d'un appareil qui engendre des frigories. L'utilisation de cet appareil de refroidissement du mélange transporté présente bien entendu le meilleur compromis de réalisation puisque l'étape de refroidissement permet à la fois de séparer le produit, notamment pyrophorique des impuretés qu'il contient initialement et du gaz inerte et de condenser (sous forme liquide et/ou solide) celui-ci. La solidification est préférée dans la mesure où elle permet de récupérer la quasi-totalité des vapeurs de produits après passage de préférence par une phase de récupération du produit sous forme liquide. Cette étape de solidification n'est réalisée que lorsque les températures sont compatibles avec un usage modéré d'énergie. (Pour un coût énergétique raisonnable, on peut facilement atteindre des températures de -30 C à -40 C). En cas de solidification, le solide peut ensuite être fondu en réchauffant le récipient où les parois du récipient dans lequel le produit a été solidifié, afin d'obtenir un volume de liquide en quantité juste nécessaire et directement utilisable par l'équipement. Ceci constitue un des aspects importants de l'appareil et du procédé selon l'invention. Le procédé selon l'invention est caractérisé en ce que l'on réalise le bullage d'un gaz inerte au travers du produit, notamment pyrophorique à purifier à l'état liquide, on achemine le mélange de préférence à proximité du point d'utilisation ou vers un second stockage, puis on sépare le produit, notamment pyrophorique sous forme liquide et/ou solide du gaz inerte et d'au moins une partie des impuretés légères éventuellement contenues dans le produit notamment pyrophorique à purifier, de manière à obtenir un produit, notamment pyrophorique purifié à proximité du point d'utilisation. De préférence, cette séparation se fera à l'aide de moyens engendrant du froid de manière à faire passer le produit, notamment pyrophorique gazeux sous forme de produit, notamment pyrophorique liquide et/ou de produit, notamment pyrophorique, solide, tout en éliminant (généralement) une partie des impuretés contenues dans le produit pyrophorique impur. Selon différentes variantes du procédé selon l'invention utilisées seules ou en combinaison entre elles : - le produit, notamment pyrophorique à purifier est chauffé. - le mélange de gaz inerte et de produit, notamment pyrophorique est chauffé pendant au moins une partie de son acheminement. - le mélange est chauffé essentiellement sur toute la longueur de son acheminement jusqu'à la séparation du produit pyrophorique et du gaz inerte. - le produit pyrophorique du mélange est séparé d'au moins le gaz inerte à l'aide d'un système de condensation cryogénique, une membrane et/ou un système à adsorption. - un système de condensation cryogénique est utilisé dans lequel la séparation s'effectue dans une première phase, au cours de laquelle le produit sous forme gazeuse est liquéfié et récupéré. Dans une deuxième phase, le produit liquide est éventuellement solidifié. - le passage de la phase gazeuse à la phase liquide et/ou solide est réalisé par passage dans un échangeur thermique. - le refroidissement dans l'échangeur thermique s'effectue par contact indirect avec un liquide caloporteur refroidi à l'aide d'un compresseur, ou à l'aide d'un dispositif à effet Pelletier (refroidissement thermoélectrique). - le produit pyrophorique solidifié est fondu à l'état de liquide pyrophorique purifié. - un gaz inerte est injecté dans le liquide, notamment pyrophorique à purifier, de manière à engendrer un mélange de gaz inerte et de vapeurs de liquide purifié qui peut être immédiatement délivré dans le réacteur. - le liquide est directement vaporisé dans un vaporiseur dit flash . Selon un autre aspect de l'invention, on réalise un appareil de distribution de produit, notamment pyrophorique caractérisé en ce qu'il comporte : - des premiers moyens de stockage d'un produit initial (impur) à distribuer, - des moyens pour délivrer un gaz inerte, - des moyens de bullage du gaz inerte dans le produit initial pour engendrer des vapeurs de mélanges de gaz inerte et de produit, notamment pyrophorique, - des moyens de transport dudit mélange, - des moyens de condensation du produit, notamment pyrophorique éventuellement débarrassé de certaines au moins de ses impuretés, pour engendrer un produit, notamment pyrophorique final. Selon différentes variantes de l'invention, l'appareil pourra comporter, seules ou en combinaisons, les différentes caractéristiques suivantes : -les moyens de condensation du produit, notamment pyrophorique sont constitués par un échangeur thermique dans lequel circule le mélange et un fluide caloporteur, de préférence par un serpentin sous forme d'un tube double enveloppe. - l'échangeur comporte une première portion permettant de liquéfier le produit, notamment pyrophorique sous forme de produit final. - l'échangeur comporte une seconde portion permettant de solidifier ledit produit, notamment pyrophorique. - des seconds moyens de stockage dudit produit pyrophorique final. De plus l'appareil selon l'invention pourra comporter une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : - des moyens de chauffage des premiers moyens de stockage du produit initial. - des moyens de chauffage disposés sur au moins une partie des moyens de transport dudit mélange. - la séparation du produit, notamment pyrophorique à purifier des autres éléments du mélange est réalisée par des moyens de refroidissement cryogénique comportant dans leur partie supérieure des moyens d'évacuation du gaz inerte et de certaines au moins des impuretés constituant le mélange (celles qui ne sont pas condensables dans les conditions utilisées). - des moyens de distribution pour délivrer le produit, notamment pyrophorique purifié depuis les seconds moyens de stockage jusqu'au point d'utilisation (sous forme liquide ou de mélange avec un gaz inerte que l'on fait buller dans le liquide, comme expliqué précédemment. L'invention sera mieux comprise à l'aide des exemples de réalisation suivants, donnés à titre non limitatif, conjointement avec les figures qui représentent : - la figure 1, un schéma de principe du procédé et du dispositif selon l'invention, - la figure 2, une vue détaillée du schéma de la figure 1, -la figure 3, un premier exemple de réalisation d'une configuration d'échangeur thermique, - la figure 4, une variante de l'échangeur de la figure 3, - la figure 5, deux autres configurations simplifiées d'un échangeur selon l'invention, - la figure 6, une autre variante de réalisation de l'échangeur selon l'invention. Sur la figure 1 est représenté un schéma de principe du procédé et dispositif de distribution selon l'invention. L'ensemble 100 comprend un récipient 170 dans lequel se trouve le produit précurseur 120 sous forme liquide tel qu'on peut se le procurer dans le commerce, récipient (qui peut être chauffé par les moyens 99) dans lequel on injecte un gaz vecteur par bullage, le mélange produit, notamment pyrophorique et gaz vecteur inerte étant entraîné dans la canalisation 200 (éventuellement chauffée sur une partie de sa longueur par la résistance chauffante 40 enroulée autour de 200) qui est elle-même reliée à la canalisation 201 dont une extrémité (partie supérieure) va être connectée au piège 301, ce piège 301 condensant sous forme liquide le produit, notamment pyrophorique, celui-ci s'écoulant alors via la canalisation 201 dans le récipient 500 où il est stocké pour une utilisation future. Dans le cas où le produit, notamment pyrophorique est stocké dans le piège sous forme solide, ce produit, notamment pyrophorique sera ensuite liquéfié dans le piège 301 (qui comporte des moyens de chauffage adéquats), le liquide s'écoulant alors via la canalisation 201 dans le récipient 500. Afin de permettre la condensation ou la solidification du produit, notamment pyrophorique, le piège est relié à un groupe froid 400 qui procède par l'intermédiaire d'un échangeur thermique, a un échange de calories entre le liquide caloporteur du groupe froid et la phase vapeur, le mélange de gaz inerte et de vapeur pyrophorique. Le récipient 500 comme représenté sur le schéma comporte un système d'injection de gaz vecteur qui vient buller dans le liquide avec une sortie vers l'utilisateur situé à une distance très proche. L'appareil qui engendre les frigories et les calories appelé piège (ci-dessus 301) peut comporter typiquement : - un ou plusieurs éléments à effet Pelletier dont le sens du courant peut être inversé pour refroidir ou chauffer (de manière connue en soi par l'homme de métier), - un groupe froid avec ou sans compresseur, complété ou non par un chauffage d'appoint de quelque nature que ce soit (résistance chauffante, induction, halogène, convection forcée, etc....). La figure 2 représente une mise en oeuvre détaillée du schéma de principe de la figure 1. Les vapeurs de produits entraînées dans le gaz vecteur entrent par la vanne 310 qui est par exemple pilotée par un capteur de niveau 340 sous le piège 301 (piège ou ensemble fonctionnant comme un piège froid). La phase de récupération de liquide peut être également contrôlée sans capteur de niveaux à l'aide de simples temporisations commandées par un automate ou un micro-processeur, de manière connue en soi. Le débit de gaz est contrôlé par un orifice 350, la pression du gaz entrant dans le piège 301, étant alors contrôlée dans le bulleur. Un contrôleur de débit en phase gazeuse peut également être utilisé. Les vapeurs entrent dans le piège par un échangeur de chaleur 320 qui peut prendre toutes les formes connues pour l'homme de métier (tube et calandre, tube dans un tube, échangeur à plaque, etc...). Cet échangeur 320 a une double fonction, la première fonction est de liquéfier puis de solidifier les vapeurs entraînées dans le gaz vecteur (lorsque le précurseur a une température de solidification adéquate, c'est à dire pas trop basse), la deuxième fonction est de permettre la fusion du solide formé à l'intérieur de l'échangeur dans la phase précédente afin de récupérer un volume de liquide directement utilisable par l'équipement 500. Un avantage important de l'invention est de n'utiliser qu'un seul et même fluide pour apporter les frigories nécessaires à la première fonction (solidification) et les calories nécessaires à la seconde (fusion du solide pour obtenir un liquide de préférence). Il suffit généralement de stopper le fonctionnement du compresseur 430 pour obtenir la fusion du produit solide (sans même faire circuler de liquide caloporteur chaud ). Ceci est rendu possible par la conception du groupe froid 400 qui incorpore deux vannes 421 et 422, permettant de faire fonctionner ce groupe froid, soit respectivement sans dispositif d'expansion capillaire ou détendeur 410, soit avec un dispositif d'expansion capillaire ou détendeur 410 (lorsque 421 est fermé et 422 est ouverte). Le groupe froid solidifie alors les vapeurs lorsque le capillaire ou le détendeur est en service et il fond le solide lorsque ce dernier est évité, en reliant ainsi directement le compresseur 440 à l'échangeur 320 par l'intermédiaire de la vanne 421. Le compresseur 440 et l'échangeur 430 peuvent utiliser l'air ambiant, de l'eau ou tout autre fluide pour refroidir le gaz à la sortie du compresseur. L'invention présente l'avantage d'être facilement intégrable dans les équipements de procédés existants, la conception du piège 300 étant telle qu'il peut être facilement intégré dans le coffret d'alimentation en produits des équipements disponibles dans une unité de fabrication de semi-conducteurs, tandis que le groupe froid peut quant à lui être déporté et simplement relié par les canalisations qui transportent le liquide calo-porteur au contact du piège 300. De préférence, le diamètre du tuyau dans lequel se solidifiera éventuellement le 10 produit dans le système échangeur aura un diamètre d'au moins 0,5 mm pour éviter un bouchage trop rapide lors de la solidification. Les figures 3, 4, 5 et 6 représentent différentes mises en oeuvre possibles de l'échangeur de chaleur 320 données à titre d'exemple non limitatif. Bien 15 entendu, de multiples variantes peuvent être réalisées par l'homme de métier tout en restant dans le cadre défini ci-dessus de l'invention. Sur la figure 3, on a représenté un serpentin 39 qui est alimenté par la base via les canalisations 200 et 42 par un mélange de gaz inerte et de vapeur 20 pyrophorique, ce mélange remontant par la canalisation 42 à l'intérieur d'un serpentin 39 à double enveloppe 43 et 48 dans lesquelles circulent respectivement (généralement de préférence à contre-courant) un fluide caloporteur 44 qui va venir condenser puis solidifier éventuellement le produit, notamment pyrophorique à l'intérieur de la canalisation 43, tandis que le gaz 25 vecteur et les impuretés non condensées s'échappent par le haut en 45. Lorsque cette canalisation 43 est remplie de produit sous forme solide, on stoppe la circulation de fluide frigorifique et on la remplace par la circulation d'un fluide chauffant, de manière à liquéfier progressivement le produit, notamment pyrophorique qui alors s'écoule par l'intermédiaire de la même 30 canalisation 43 et continue ensuite vers le bas par l'intermédiaire des canalisations 42 et 41 pour être stocké par exemple dans les moyens de stockage 500 de liquide alors purifié. La récupération et le stockage du liquide purifié peuvent également être réalisés dans le récipient 499 muni d'une sonde de niveau 498 pour lui permettre de déverser via la vanne 497 et 201 le liquide dans le stockage 500. Pour accélérer et améliorer la condensation du produit, notamment pyrophorique, on peut le faire buller lors de son arrivée par la canalisation 496 dans le récipient 499 (comme représenté sur la figure 2), ce qui condense déjà au contact du liquide une partie des vapeurs présentes dans le mélange. La figure 4 est un système similaire au système de la figure 3, mais dans lequel il est prévu une partie supérieure qui représente une zone de solidification et de fonte du précurseur, selon le type de fluide calo-porteur utilisé et une partie inférieure qui est simplement une zone de condensation des vapeurs. La canalisation 200 d'amenée du mélange est chauffée (optionnel) à l'aide de résistances chauffantes, bandeaux chauffants, etc... 40. La canalisation 200 débouche d'une part dans la canalisation 41 (dans laquelle circule vers le bas le liquide purifié), d'autre part, la canalisation 42 dans laquelle circule le mélange liquide/vapeurs. Cette canalisation non entourée de fluide de refroidissement caloporteur, est cependant déjà refroidie (indirectement par conduction) par la présence de la canalisation 43 qui la poursuit vers le haut et qui est elle-même refroidie. La condensation des vapeurs en liquide se produit déjà dans cette portion de canalisation 42. Dans la partie de canalisation 43, le liquide caloporteur 44 circulant dans l'enveloppe extérieure 48 permet la condensation et/ou la solidification du liquide pyrophorique à l'intérieur de 43. Le fluide caloporteur circule ici à contre-courant (co-courant est possible également) du mélange, tandis que le gaz vecteur (gaz inerte ici) et éventuellement des impuretés sont évacuées en 45, à l'extrémité supérieure de 43. Après éventuelle solidification, du produit, notamment pyrophorique dans la canalisation 43, celui-ci est re-liquéfié en faisant circuler dans l'enveloppe 48 un liquide caloporteur suffisamment chaud. La figure 5 représente une variante de réalisation du système précédant, dans 30 laquelle les mêmes éléments portent les mêmes références que précédemment. Dans la figure 5a, le fluide caloporteur est envoyé par le bas et après échange, évacué par le haut de l'échangeur tandis que les vapeurs et le gaz inerte sont injecté vers le bas, au sommet de l'échangeur, le liquide après fonte étant récupéré en bas de l'échangeur tandis que le gaz vecteur s'échappe par le haut. Sur la figure 5b, le système est quasiment identique, à l'exception des vapeurs et du gaz vecteur qui sont injectés par le bas tandis que le fluide calo-porteur est injecté de haut en bas. Sur l'ensemble de la figure 5, l'échangeur peut être beaucoup plus compact que sur la figure 4, du fait de la disposition des tuyaux 43, parallèlement entre eux et connectés entre eux dans leurs parties inférieure et supérieure. Sur la figure 6 est représentée une autre variante de réalisation de l'échangeur selon l'invention, qui comporte (comme celui de la figure 4) dans sa partie supérieure une zone de solidification et de fonte du produit, notamment pyrophorique (échangeur à plaques) et dans sa partie inférieure une zone de condensation des vapeurs. Ce système est similaire à celui décrit sur la figure 4, à l'exception du système échangeur qui fonctionne comme celui de la figure 5b. Les mêmes éléments que ceux des figures précédentes portent les mêmes références. La ligne d'alimentation 200 en mélange est également chauffée à l'aide des manchons chauffants 40. Bien entendu, l'invention s'étend également aux variantes selon lesquelles le liquide initial et le liquide final auraient sensiblement la même pureté. L'un des points importants de l'invention consiste en effet à transporter un produit, notamment pyrophorique liquide d'un point à un autre, dans des conditions de sécurité très améliorée, par rapport aux conditions habituelles de transport de ces liquides et en améliorant généralement la pureté du produit final .30 Revendications 1 û Procédé de distribution de produit liquide, notamment pyrophorique d'un point de stockage à un point d'utilisation, caractérisé en ce que l'on réalise le bullage d'un gaz inerte au travers du produit à l'état liquide de manière à engendrer un mélange de gaz inerte et de vapeurs dudit produit, on achemine le mélange de préférence à proximité du point d'utilisation ou vers un second stockage, on sépare le produit du mélange gazeux par condensation de celui-ci, le gaz inerte et au moins une partie des impuretés notamment légères contenues initialement dans le produit liquide à purifier, étant conservés sous forme de résidus gazeux. 2 û Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le produit à purifier est chauffé. 3 û Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le mélange de gaz inerte et de vapeurs de produit est chauffé pendant au moins une partie de son acheminement. 20 4 û Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que le mélange est chauffé essentiellement sur toute la longueur de son acheminement jusqu'à la séparation du produit et du gaz inerte. 5 û Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que 25 le produit contenu dans le mélange gazeux est séparé d'au moins le gaz inerte à l'aide d'un système de condensation cryogénique, une membrane et/ou un système à adsorption. 6 û Procédé selon la revendication 5, dans lequel on utilise un système de 30 condensation cryogénique, caractérisé en ce que la séparation s'effectue tout d'abord dans une première phase, au cours de laquelle le produit notamment pyrophorique sous forme gazeuse est liquéfié et récupéré.15 7 û Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que dans une deuxième phase, le produit notamment pyrophorique liquide est solidifié. 8 û Procédé selon l'une des revendications 6 ou 7, caractérisé en ce que le passage de la phase gazeuse à la phase liquide et/ou solide est réalisé par passage dans un échangeur thermique. 9 û Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que le refroidissement dans l'échangeur thermique s'effectue par contact indirect avec un liquide caloporteur refroidi à l'aide d'un compresseur. 10 û Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le produit pyrophorique solidifié est fondu à l'état de liquide pyrophorique purifié. 11 û Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que un gaz inerte est injecté dans le liquide pyrophorique purifié, de manière à engendrer un mélange de gaz inerte et de vapeurs de liquide pyrophorique purifié qui peut être immédiatement délivré dans le réacteur. 20 12 û Appareil de distribution de produit de type précurseur liquide caractérisé en ce qu'il comporte : -des premiers moyens de stockage d'un produit initial à distribuer, - des moyens pour délivrer un gaz inerte, 25 - des moyens de bullage du gaz inerte dans le produit initial pour engendrer des vapeurs de mélanges de gaz inertes et de produit, - des moyens de transport dudit mélange, - des moyens de condensation du produit éventuellement débarrassé de certaines au moins de ses impuretés, pour engendrer un produit final. 30 13 û Appareil selon la revendication 12, caractérisé en ce que les moyens de condensation du produit sont constitués par un échangeur thermique dans lequel circule le mélange et un fluide caloporteur, de préférence un serpentin sous forme d'un tube double enveloppe.1514 ù Appareil selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'échangeur comporte une portion permettant de liquéfier le produit sous forme de produit final. 15 ù Appareil selon l'une des revendications 13 ou 14, caractérisé en ce que l'échangeur comporte une seconde portion permettant de solidifier ledit produit. 16 ù Appareil selon l'une des revendications 12 à 15, caractérisé en ce qu'il 10 comporte des seconds moyens de stockage dudit produit final. 17 ù Appareil selon l'une des revendications 12 à 16, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de chauffage des premiers moyens de stockage du produit initial. 18 ù Appareil selon l'une des revendications 12 à 17, caractérisé en que qu'il comporte des moyens de chauffage disposés sur au moins une partie des moyens de transport dudit mélange. 20 19 ù Appareil selon l'une des revendications 12 à 18 dans lequel la séparation du produit des autres éléments du mélange est réalisée par des moyens de refroidissement cryogénique comportant dans leur partie supérieure des moyens d'évacuation du gaz inerte et de certaines au moins des impuretés constituant le mélange. 25 20 ù Appareil selon l'une des revendications 12 à 19, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de distribution pour délivrer le produit purifié. 21 ù Utilisation d'un échangeur thermique pour purifier un produit, notamment 30 pyrophorique, à proximité de son point d'utilisation. 15