Brevet FR2906800A1 — publié le 20080411

SUSPENSION LIQUIDE ET POUDRE DE PARTICULES D'OXYDE DE CERIUM, PROCEDES DE PREPARATION DE CELLES-CI ET UTILISATION DANS LE POLISSAGE La présente invention concerne une suspension liquide et une poudre de particules d'oxyde de cérium, des procédés de préparation de celles-ci et leur utilisation dans le polissage notamment. Le développement de l'industrie de l'électronique nécessite l'utilisation de plus en plus importante de compositions pour le polissage de diverses pièces comme les disques ou les composés diélectriques. Ces compositions se présentent sous la forme de suspensions et elles doivent répondre à un certain nombre de caractéristiques. Par exemple, elles doivent offrir un taux d'enlèvement de matière élevé qui traduit leur capacité abrasive. Elles doivent aussi présenter une défectivité la plus basse possible, on entend par défectivité notamment le taux de rayures que présente le substrat une fois traité par la composition. Pour des raisons de stabilité et de facilité d'utilisation, ces suspensions doivent être constituées de particules de dimension submicronique, c'est à dire généralement inférieure à 300 nm. En outre, la présence de particules trop fines dans ces suspensions diminue leurs capacités abrasives. Par ailleurs, des particules trop grosses peuvent contribuer à une augmentation de la défectivité. On a donc besoin de suspensions dont les particules soient monodisperses. II faut en outre noter que pour obtenir des performances optimales cette monodispersité doit s'appliquer à la fois aux particules primaires et aux particules secondaires, c'est-à-dire les agrégats constitués par les particules primaires. On comprend donc que la mise au point de ces suspensions est un 30 problème complexe. L'objet de l'invention est de fournir des suspensions répondant aux conditions décrites ci-dessus, c'est à dire des suspensions dont les particules sont monodisperses. Dans ce but, la suspension de l'invention est une suspension de 35 particules d'oxyde de cérium dans une phase liquide, et elle est caractérisée en ce que ces particules (particules secondaires) présentent une taille moyenne d'au plus 200 nm, ces particules secondaires étant constituées de 2906800 2 particules primaires dont les tailles présentent une valeur moyenne d'au plus 100 nm avec un écart type d'au plus 20%. D'autres caractéristiques, détails et avantages de l'invention apparaîtront encore plus complètement à la lecture de la description qui va suivre, des 5 divers exemples concrets mais non limitatifs destinés à l'illustrer ainsi que du dessin annexé dans lequel : - la figure 1 est une photographie obtenue par microscopie à transmission électronique d'un produit selon l'invention; - la figure 2 est une photographie obtenue par microscopie à 10 transmission électronique d'un autre produit selon l'invention. Pour la suite de la description, l'expression suspension de particules d'oxyde de cérium désigne un système constitué de fines particules solides de dimension submicronique à base de cet oxyde, dispersées de manière stable dans une phase liquide, lesdites particules pouvant éventuellement, en 15 outre, contenir des quantités résiduelles d'ions liés ou adsorbés tels que par exemple des nitrates ou des ammoniums. Toujours pour la suite de la description, on entend par surface spécifique, la surface spécifique B.E.T. déterminée par adsorption d'azote conformément à la norme ASTM D 3663-78 établie à partir de la méthode BRUNAUER - 20 EMMETT- TELLER décrite dans le périodique "The Journal of the American Chemical Society, 60, 309 (1938)". Les particules de la suspension sont à base d'oxyde de cérium qui est généralement de l'oxyde cérique cristallisé. Les particules qui constituent la suspension de l'invention et qui 25 présentent une taille moyenne d'au plus 200 nm sont appelées dans la suite de la description particules secondaires . Ces particules sont des agrégats d'autres particules plus fines, agrégées, appelées par la suite particules primaires . Selon une caractéristique importante de l'invention, ces particules primaires sont fines et monodisperses. Elles présentent en effet une taille moyenne d'au plus 100 nm avec un écart type des tailles d'au plus 20%. La valeur moyenne de la taille des particules primaires est déterminée par la technique de diffraction des rayons X (DRX). La valeur mesurée en DRX correspond à la taille du domaine cohérent calculé à partir de la largeur des deux raies de diffraction les plus intenses et en utilisant le modèle de Scherrer. Cette valeur peut aussi être déterminée par la mesure de la surface BET. 2906800 3 L'écart type mentionné dans la présente invention a le sens habituel mathématique, il s'agit de la racine carrée de la variance et il s'exprime par la formule : 1 n i=i 5 n étant le nombre de particules pris en compte dans la mesure, x; étant la taille d'une particule i étant la valeur moyenne de la taille des particules (1/n>; x;) La mesure de la taille des n différentes particules est faite à partir d'un cliché obtenu par microscopie électronique à transmission (MET). 10 Cet écart type peut être plus particulièrement d'au plus 15% et encore plus particulièrement d'au plus 10%. Les particules primaires peuvent plus particulièrement avoir des tailles qui présentent une valeur moyenne d'au plus 80 nm, encore plus particulièrement d'au plus 60 nm. 15 Ces tailles moyennes de particules primaires peuvent être par ailleurs d'au moins 10 nm, notamment d'au moins 20 nm et plus particulièrement d'au moins 30 nm. Selon des modes de réalisation particuliers, ces tailles moyennes peuvent ainsi être comprises entre 10 nm et 100 nm, 20 nm et 80 nm et 30 nm et 60 nm. 20 Comme indiqué plus haut, ces particules primaires forment des agrégats qui constituent ainsi les particules secondaires. Ces particules secondaires peuvent avoir plus particulièrement une taille moyenne d'au plus 150 nm, plus particulièrement d'au plus 100 nm. Par ailleurs, selon une autre caractéristique avantageuse de l'invention, 25 ces particules secondaires sont elles aussi monodisperses. Elles peuvent présenter en effet un indice de dispersion d'au plus 0,5. Cet indice peut être plus particulièrement d'au plus 0,4 et encore plus particulièrement d'au plus 0,3. Pour l'ensemble de la description concernant les particules secondaires, 30 la taille moyenne et l'indice de dispersion sont les valeurs obtenues en mettant en oeuvre la technique de diffraction laser en utilisant un granulomètre laser (répartition en masse). On entend par indice de dispersion le rapport : 6/m = (d90-d1o)/2d5o 35 dans lequel : - d90 est la taille ou diamètre des particules pour lequel 90% des particules ont un diamètre inférieur à d90; 2906800 4 - d10 est la taille ou diamètre des particules pour lequel 10% des particules ont un diamètre inférieur à dm0; - d50 est la taille ou diamètre moyen des particules. La phase liquide des suspensions selon l'invention peut être de différente 5 nature. Ce peut être tout d'abord l'eau. Ce peut être aussi un mélange eau/solvant miscible à l'eau. On peut citer comme exemple de solvant de ce type, les alcools comme le méthanol ou l'éthanol, les glycols comme l'éthylène glycol, les dérivés acétates des glycols 10 comme le monoacétate d'éthylène glycol ou les polyols. La phase liquide peut enfin être constituée par un solvant organique. Comme exemple de solvant organique, on peut citer les hydrocarbures aliphatiques comme l'hexane, l'heptane, l'octane, le nonane, les hydrocarbures cycloaliphatiques inertes tels que le cyclohexane, le 15 cyclopentane, le cycloheptane, les hydrocarbures aromatiques tels que le benzène, le toluène, l'éthylbenzène, les xylènes, les naphtènes liquides. Conviennent également les coupes pétrolières du type Isopar ou Solvesso (marques déposées par la Société EXXON), notamment Solvesso 100 qui contient essentiellement un mélange de méthyléthyl- et triméthyl-benzène, le 20 Solvesso 150 qui renferme un mélange d'alcoylbenzènes en particulier de diméthylbenzène et de tétraméthylbenzène et l'Isopar qui contient essentiellement des hydrocarbures iso- et cyclo-paraffiniques en C-11 et C-12. On peut aussi citer, comme autres coupes pétrolières, celles de type Petrolink de la société Petrolink ou de type Isane de la société Total. 25 On peut mettre en oeuvre également comme solvant organique des hydrocarbures chlorés tels que le chloro- ou le dichloro-benzène, le chlorotoluène. Les éthers ainsi que les cétones aliphatiques et cycloaliphatiques comme par exemple l'éther de diisopropyle, l'éther de dibutyle, la méthyléthylcétone, la méthylisobutylcétone, la diisobutylcétone, 30 l'oxyde de mésityle, peuvent être envisagés. Des esters peuvent être utilisés comme ceux issus de la réaction d'acides avec des alcools en Cl à C8 et notamment les palmitates d'alcools secondaires tel l'isopropanol. On peut mentionner l'acétate de butyle à titre d'exemple. 35 Bien entendu, la phase liquide peut être à base d'un mélange de deux ou plusieurs hydrocarbures ou composés du type décrit ci-dessus. Les suspensions de l'invention présentent une teneur globale en oxyde, c'est-à-dire en oxyde de cérium qui peut varier dans de larges limites et qui 2906800 5 peut être par exemple d'au plus 25% à 30% en masse d'oxyde. De même, le pH de ces suspensions peut être compris dans une large gamme. Ainsi, le pH des suspensions issues des procédés de préparation qui seront décrits plus loin est généralement compris entre 2 et 5 mais ce pH peut être augmenté au- 5 delà de la valeur de 5 d'une manière connue, par addition à la suspension de composés comme des polymères anioniques ou cationiques ou zwiterionic. On notera enfin que les suspensions de l'invention sont stables. On entend par là que l'on n'observe pas sur ces suspensions de formation d'un gâteau de décantation avant plusieurs jours, par exemple au moins 8 jours. De 10 plus le gâteau de décantation, s'il se forme, peut être remis en suspension par simple agitation. Des procédés de préparation des suspensions de l'invention vont maintenant être décrits. Selon un premier mode de réalisation, une suspension de l'invention peut 15 être préparée par un procédé qui comprend les étapes suivantes : - (a) on prépare une solution d'un sel de cérium III qui comprend en outre du cérium IV; - (b) on met en contact sous atmosphère inerte cette solution avec une base ce par quoi on obtient un précipité; 20 - (c) on soumet le milieu obtenu à l'étape précédente à un traitement thermique sous atmosphère inerte, au moins une des étapes (a), (b) ou (c) étant conduite en présence d'ions nitrates; - (d) on effectue successivement mais dans un ordre quelconque une acidification et un lavage du milieu ainsi obtenu ce par quoi on obtient la 25 suspension. La première étape (a) du procédé ci-dessus consiste donc à préparer une solution de départ qui est une solution d'un sel de cérium III. Comme sels de cérium III, on peut utiliser plus particulièrement le nitrate, le chlorure, le sulfate ou le carbonate de cérium III ainsi que des mélanges de 30 ces sels comme des mixtes nitrate/chlorure. D'une manière connue cette solution de départ doit présenter l'acidité convenable pour que le cérium soit bien entièrement présent en solution. La solution de départ comprend en outre du cérium IV. Le cérium IV est apporté par un sel. Ce peut être par exemple le nitrate de cérium IV. 35 Généralement, la quantité de cérium IV est telle que le rapport molaire (CeIV/Celll) dans la solution de départ soit compris entre 1/5000 et 1/50. La solution de départ préparée à l'étape (a) peut être préalablement dégazée par bullage d'un gaz inerte. Par gaz inerte ou atmosphère 2906800 6 inerte , on entend pour la présente description une atmosphère ou un gaz exempt d'oxygène, le gaz pouvant être par exemple de l'azote ou de l'argon. La seconde étape (b) du procédé consiste à faire réagir la solution de départ avec une base. 5 Comme base, on peut utiliser notamment les produits du type hydroxyde. On peut citer les hydroxydes d'alcalins ou d'alcalino-terreux et l'ammoniaque. On peut aussi utiliser les amines secondaires, tertiaires ou quaternaires. Toutefois, les amines et l'ammoniaque peuvent être préférés dans la mesure où ils diminuent les risques de pollution par les cations alcalins ou alcalino 10 terreux. La base peut aussi être préalablement dégazée par bullage d'un gaz inerte. Pour conduire la réaction de la seconde étape du procédé, la mise en contact peut se faire dans un ordre quelconque d'introduction des réactifs. 15 Toutefois, il est préférable d'introduire la solution de départ dans un milieu contenant la base. Cette seconde étape doit être conduite sous atmosphère inerte, soit dans un réacteur fermé soit dans un réacteur semi-fermé avec balayage par le gaz inerte. La mise en contact se fait généralement dans un réacteur agité. 20 Enfin, cette seconde étape est généralement effectuée à température ambiante (20 C-25 C) ou à une température d'au plus 50 C. La troisième étape (c) du procédé est un traitement thermique du milieu réactionnel obtenu à l'issue de l'étape précédente. Ce traitement consiste à chauffer le milieu et à le maintenir à une 25 température qui est généralement d'au plus 95 C et plus particulièrement comprise entre 60 C et 95 C. La durée de ce traitement peut être comprise entre quelques minutes et quelques heures. Ce traitement est effectué aussi sous atmosphère inerte, ce qui a été 30 décrit au sujet de cette atmosphère pour la seconde étape s'appliquant de même ici. Selon une caractéristique du procédé de l'invention, au moins une des étapes (a), (b) ou (c) doit être conduite en présence d'ions nitrates. Généralement, les ions nitrates sont apportés par addition d'acide nitrique, 35 plus particulièrement à l'étape (a), lors de la préparation de la solution de cérium III. La quantité d'ions nitrates, exprimée par le rapport molaire NO3%Ce3 est généralement comprise entre 1/3 et 5. 2906800 7 La dernière étape du procédé, étape (d), comprend en fait deux opérations successives qui peuvent être effectuées dans un ordre quelconque. Ces opérations sont d'une part une acidification et d'autre part un lavage. On va décrire ci-dessous plus précisément ces opérations dans le cas 5 d'un enchaînement acidification puis lavage. L'acidification a lieu généralement après refroidissement du milieu obtenu à l'issue de l'étape (c) par addition d'un acide. On peut utiliser tout acide minéral ou organique. On utilise plus particulièrement l'acide nitrique. 10 La quantité d'acide ajoutée est telle que le pH du milieu après acidification soit compris entre 2 et 5. Cette opération peut être conduite à l'air, il n'est plus nécessaire d'opérer sous atmosphère inerte à ce stade du procédé. L'acidification est suivie d'un lavage qui a pour but d'éliminer de la 15 suspension les espèces solubles, essentiellement des sels. Le lavage peut se faire de différentes manières avec ou sans séparation solide/liquide. On peut ainsi l'effectuer en séparant les particules solides de la phase liquide par exemple par filtration frontale, décantation ou centrifugation. Le 20 solide obtenu est remis ensuite en suspension dans une phase aqueuse. On peut aussi procéder par filtration tangentielle. Ce lavage peut être éventuellement renouvelé si nécessaire par exemple jusqu'à l'obtention d'une conductivité donnée de la suspension, la conductivité mesurant le taux d'impuretés présentes dans cette suspension. 25 Comme indiqué plus haut, l'ordre des opérations peut être inversé par rapport à ce qui vient d'être décrit. Ainsi, à l'issue de l'étape (c) et, là aussi, généralement après refroidissement du milieu obtenu, on peut alors procéder à un lavage de la manière décrite ci-dessus. A l'issue du lavage, on effectue ensuite l'acidification du milieu obtenu. 30 On obtient à l'issue de l'étape (d) une suspension selon l'invention. Dans le cas d'une suspension partiellement ou totalement en milieu solvant organique différent de l'eau, cette suspension peut être préparée d'une manière connue en soi à partir d'une suspension aqueuse telle qu'obtenue par le procédé qui vient d'être décrit et par mise en contact avec le solvant 35 organique. A ce stade, il peut être avantageux d'ajouter dans la phase organique un agent promoteur dont la fonction est d'accélérer le transfert des particules de 2906800 8 la phase aqueuse à la phase organique et d'améliorer la stabilité des suspensions organiques obtenues. A titre d'agent promoteur, on peut utiliser les composés à fonction alcool et tout particulièrement des alcools aliphatiques linéaires ou ramifiés ayant de 5 6 à 12 atomes de carbone. Comme exemples spécifiques, on peut citer l'éthyl-2 hexanol, le décanol, le dodécanol ou leurs mélanges. La mise en contact peut se faire à température ambiante par exemple environ 20 C, mais aussi à une température plus élevée, par exemple dans un intervalle allant de 60 C à 150 C. 10 La séparation entre les phases aqueuse et organique se fait par exemple par distillation, par décantation ou centrifugation en fonction de la nature du solvant organique. Un second mode de réalisation du procédé va maintenant être décrit. Ce second mode diffère du premier uniquement par la première étape. 15 Cette première étape consiste à préparer une solution d'un sel de cérium III qui comprend en outre de l'eau oxygénée. Ce qui a été décrit plus haut sur la nature du sel de cérium III s'applique de même ici. La quantité de solution de H2O2 est telle que le rapport molaire 20 (H2O2/Celll) dans la solution de sel de cérium soit compris entre 1/10000 et 1/100. La suite du procédé selon ce second mode se déroule comme décrit plus haut pour le premier mode c'est-à-dire que l'on met en contact sous atmosphère inerte avec une base la solution de la première étape, on effectue 25 un traitement thermique sous atmosphère inerte et on acidifie et lave le milieu ainsi obtenu (étapes (b), (c) et (d) telles que décrites plus haut avec présence d'ions nitrates à au moins une des étapes (a) (b) et (c)). Ce qui a été décrit précédemment pour l'ensemble de ces étapes ultérieures et pour le premier mode de réalisation du procédé s'applique donc de même ici pour le second 30 mode. L'invention concerne aussi une poudre redispersible de particules d'oxyde de cérium. Cette poudre a pour caractéristique le fait qu'après introduction dans une phase liquide et redispersion dans une phase liquide elle conduit à une suspension selon l'invention telle que décrite plus haut. La 35 redispersion se fait par simple agitation de la poudre dans la phase liquide. Cette poudre peut être obtenue à partir d'une suspension selon l'invention par séchage puis calcination à une température qui peut être par 2906800 9 exemple d'au plus 300 C et notamment comprise entre 100 C et 200 C, sur une durée qui peut varier entre quelques minutes et quelques heures. L'invention concerne encore une suspension pour polissage comprenant soit une suspension telle que décrite plus haut, soit une suspension telle 5 qu'obtenue par les procédés décrits précédemment soit encore une suspension obtenue après redispersion d'une poudre selon l'invention. Cette suspension peut être utilisée au polissage du verre, par exemple dans l'industrie de la cristallerie, de la glacerie, du verre plat, des écrans de télévision, des lunettes, ou encore au polissage des matières céramiques ou 10 autres matériaux de type vitreux. Cette suspension peut aussi être utilisée tout particulièrement pour le polissage de type CMP dans l'industrie de l'électronique et donc pour le polissage des substrats métalliques entrant dans la constitution des microprocesseurs mais aussi pour le polissage des couches isolantes de ces mêmes microprocesseurs, la suspension de l'invention étant 15 particulièrement adaptée au polissage de celles-ci. Ces couches sont généralement en silice (silice dopée, silice poreuse). Généralement, de tels suspensions comprennent, outre le composé à propriété abrasive comme les particules d'oxyde de cérium, des additifs comme un dispersant ou un oxydant. 20 Comme autres applications des suspensions de l'invention, on peut citer la catalyse notamment pour post combustion automobile, dans ce cas les suspensions sont utilisées dans la préparation de catalyseurs. Les suspensions peuvent aussi être mises en oeuvre pour leurs propriétés anti-UV par exemple dans la préparation de films de polymères (du type acrylique ou 25 polycarbonate par exemple), de peintures, de papiers ou de compositions cosmétiques notamment dans la préparation de crèmes anti-UV. Des exemples vont maintenant être donnés. EXEMPLE 1 30 Une solution de nitrate de cérium diluée est préparée par addition de 380,8 g d'une solution de nitrate de cérium trivalent 2,88 M, de 163,0 mg d'une solution de H2O2110V et de 877,9 g d'eau permutée. Cette solution, de rapport molaire H2O2/Ce de 1/450, est chargée dans un réservoir semi-fermé puis dégazée sous vive agitation et sous bullage d'azote pendant 2 heures. 35 Une solution d'ammoniaque diluée est préparée par ajout de 839,5 g d'eau permutée et d'une solution de 233,2 g d'ammoniaque à 28%. Cette solution est chargée dans un réacteur double enveloppe de 2L semi fermé puis mise sous agitation et sous bullage d'azote pendant 2 heures. 2906800 10 La solution de nitrate de cérium diluée est ensuite ajoutée à température ambiante dans la solution d'ammoniaque diluée en 30 min. sous agitation et sous balayage d'azote. Le mélange réactionnel est ensuite monté en température à 80 C en 3/4 5 d'heure environ puis maintenu à cette température pendant 4h toujours sous balayage d'azote. A l'issue de ce traitement thermique, le mélange réactionnel est laissé à refroidir puis il est acidifié à pH de 2 par ajout d'acide nitrique 68%. Le balayage d'azote est arrêté et la suspension finalement lavée par 10 centrifugation, élimination des eaux de centrifugation et remise en suspension du gateau dans l'eau permutée. Plusieurs cycles de lavage par centrifugation sont effectués jusqu'à l'obtention d'une conductivité inférieure à 0,5 mS/cm. La suspension finalement obtenue est ajustée à 10% poids en CeO2. La suspension est observée en MET. On constate bien que les particules 15 primaires sont bien monodisperses et de taille centrée autour de 35 nm. Sur une photo d'environ 150 particules (figure 1) représentatives de la suspension, on dénombre et on mesure chacune des particules, ce par quoi on obtient une taille moyenne de 33 nm avec un écart type de 12%. Une partie de la suspension est séchée à l'étuve à 200 C, ce qui permet 20 l'obtention d'une poudre de CeO2 pour l'analyse DRX. Le diffractogramme X de cette poudre a la signature de CeO2 cristallisé (fiche ASTM 34-394). La taille moyenne de la zone de cohérence calculée à partir de la largeur à mi-hauteur des pics de diffraction situés à 20 = 28,6 , 47,5 et 56,4 par application du modèle de Scherrer donne 40 nm. La surface spécifique BET 25 déterminée par adsorption d'azote est de 23,5 m2/g, ce qui donne une taille moyenne des particules primaires de 35nm. La taille des particules secondaires est mesurée à partir d'un granulomètre laser de type Horiba LA910 en considérant une valeur de l'indice optique de CeO2 dans eau de 1,7. La taille médiane d50 est de 102 nm. 30 L'indice de dispersion a/m calculé à partir des valeurs d10, d50 et d90 respectivement de 81, 102 et 128 nm est de 0,23. EXEMPLE 2 Une solution de nitrate de cérium diluée est préparée par addition de 6,4 35 kg d'une solution de nitrate de cérium trivalent 2,88 M (d=1,715), de 1,0 kg d'une solution de HNO3 68%, de 4,8 kg d'eau permutée et de 8,87 g de nitrate de cérium tétravalent 1,39 M (d=1,440). Cette solution, de rapport molaire 2906800 11 Ce4+/Cetota, de 1/1250, est chargée dans un réservoir semi-fermé puis dégazée sous vive agitation et sous bullage d'azote pendant 2 heures. Une solution d'ammoniaque diluée est préparée par ajout de 22,6 kg d'eau permutée et d'une solution de 4,6 kg d'ammoniaque à 28%. Cette 5 solution est chargée dans un réacteur double enveloppe de 40L semi fermé puis mise sous agitation et sous bullage d'azote pendant 2 heures. La solution de nitrate de cérium diluée est ensuite ajoutée à température ambiante dans la solution d'ammoniaque diluée en 30 min. sous agitation et sous balayage d'azote. 10 Le mélange réactionnel est ensuite monté en température à 83 C en 3/ d'heure environ puis maintenu à cette température pendant 4h toujours sous balayage d'azote. A l'issue de ce traitement thermique, le mélange réactionnel est laissé à refroidir puis il est acidifié à pH de 2 par ajout d'acide nitrique 68%. Le 15 balayage d'azote est arrêté et la suspension finalement lavée par centrifugation, élimination des eaux de centrifugation et remise en suspension du gateau dans l'eau permutée. Plusieurs cycles de lavage par centrifugation sont effectués jusqu'à l'obtention d'une suspension finalement ajustée à 10% poids en Ce02 ayant un pH de 3,2 et une conductivité ionique de 0,38 mS/cm. 20 La suspension est observée en MET. On constate que les particules primaires sont bien monodisperses et de taille centrée autour de 60 nm. Sur une photo de plusieurs centaines de particules (figure 2) représentatives de la suspension, on dénombre et on mesure chacune des particules, ce par quoi on obtient une taille moyenne de 65 nm avec un écart type de 9%. 25 Une partie de la suspension est séchée à l'étuve à 200 C, ce qui permet l'obtention d'une poudre de CeO2 pour l'analyse DRX. Le diffractogramme X de cette poudre a la signature de CeO2 cristallisé (fiche ASTM 34-394). La taille moyenne de la zone de cohérence calculée à partir de la largeur à mi-hauteur des pics de diffraction situés à 20 = 28,6 , 47,5 et 56,4 par 30 application du modèle de Scherrer donne 70 nm. La surface spécifique BET déterminée par adsorption d'azote est de 13,0 m2/g, ce qui donne une taille moyenne des particules primaires de 64 nm. La taille des particules secondaires est mesurée à partir d'un granulomètre laser de type Horiba LA910 en considérant une valeur de l'indice 35 optique de CeO2 dans eau de 1,7. La taille médiane d50 est de 112 nm. L'indice de dispersion 6/m calculé à partir des valeurs d10, d50 et d90 respectivement de 84, 112 et 157nm est de 0,32. 2906800 12 EXEMPLE 3 Une suspension d'oxyde de cérium est préparée selon le même procédé que dans l'exemple 2 mais avec un rapport molaire Ce4+/Cetotai dans la solution de nitrate de cérium diluée de 1/1000 au lieu de 1/1250. 5 La suspension est caractérisée par une concentration de 10% poids en CeO2 ayant un pH de 3,5 et une conductivité ionique de 0,18 mS/cm. La taille moyenne de la zone de cohérence calculée à partir de la largeur à mi-hauteur des pics de diffraction situés à 20 = 28,6 , 47,5 et 56,4 par application du modèle de Scherrer donne 54 nm. La surface spécifique BET déterminée par 10 adsorption d'azote est de 19, 0 m2/g, ce qui donne une taille moyenne des particules primaires de 44 nm. La taille des particules secondaires est mesurée à partir d'un granulomètre laser de type Horiba LA910 en considérant une valeur de l'indice optique de CeO2 dans eau de 1,7. La taille médiane d5o est de 110 nm. L'indice de dispersion 6/m calculé à partir des valeurs d10, d5o 15 et d90 respectivement de 85, 110 et 147 nm est de 0,28. La suspension est séchée 1 nuit à 100 C puis 4 heures à 200 C ce qui permet l'obtention d'une poudre. Cette poudre est redispersée dans l'eau permutée. La suspension ainsi obtenue est caractérisée par une concentration de 10% poids en CeO2, un pH 20 de 3,5 et une conductivité ionique de 0,21 mS/cm. La taille des particules secondaires est mesurée à partir d'un granulomètre laser de type Horiba LA910 en considérant unevaleur de l'indice optique de CeO2 dans eau de 1,7. La taille médiane d50 est de 93 nm. L'indice de dispersion 6/m calculé à partir des valeurs d10, d50 et d90 respectivement de 76, 93 et 116 nm est de 25 0,21. REVENDICATIONS 1- Suspension de particules d'oxyde de cérium dans une phase liquide, caractérisée en ce que ces particules (particules secondaires) présentent une taille moyenne d'au plus 200 nm, ces particules secondaires étant constituées de particules primaires dont les tailles présentent une valeur moyenne d'au plus 100 nm avec un écart type d'au plus 20%. 2- Suspension selon la revendication 1, caractérisée en ce que les particules primaires ont des tailles qui présentent un écart type d'au plus 15%. 3- Suspension selon la revendication 2, caractérisée en ce que les particules primaires ont des tailles qui présentent un écart type d'au plus 10%. 4- Suspension selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les particules primaires ont des tailles qui présentent une valeur moyenne d'au plus 80 nm, plus particulièrement d'au plus 60 nm. 20 5- Suspension selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les particules secondaires présentent un indice de dispersion d'au plus 0,5. 6- Suspension selon la revendication 5, caractérisée en ce que les particules 25 secondaires présentent un indice de dispersion d'au plus 0,4, plus particulièrement d'au plus 0,3. 7- Suspension selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que les particules secondaires présentent une taille moyenne d'au plus 150 30 nm, plus particulièrement d'au plus 100 nm. 8- Suspension selon l'une des revendications précédentes, caractérisée en ce que la phase liquide est l'eau. 35 9- Suspension selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que la phase liquide est un solvant organique. 2906800 14 10- Procédé de préparation d'une suspension selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : - (a) on prépare une solution d'un sel de cérium III qui comprend en outre du cérium IV; 5 - (b) on met en contact sous atmosphère inerte cette solution avec une base ce par quoi on obtient un précipité; - (c) on soumet le milieu obtenu à l'étape précédente à un traitement thermique sous atmosphère inerte, au moins une des étapes (a), (b) ou (c) étant conduite en présence d'ions nitrates; 10 - (d) on effectue successivement mais dans un ordre quelconque une acidification et un lavage du milieu ainsi obtenu ce par quoi on obtient la suspension. 11- Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que la solution d'un 15 sel de cérium III de l'étape (a) contient du cérium IV dans une proportion molaire cérium IV/cérium III comprise entre 1/5000 et 1/50. 12- Procédé selon la revendication 10 ou 11, caractérisé en ce que la teneur en ions nitrates lors de la mise en oeuvre au moins une des étapes (a), (b) ou 20 (c) exprimée par le rapport molaire NO3"/Ce3+ est comprise entre 1/3 et 5. 13- Procédé de préparation d'une suspension selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : - (a) on prépare une solution d'un sel de cérium III qui comprend en outre de 25 l'eau oxygénée; - (b) on met en contact sous atmosphère inerte cette solution avec une base ce par quoi on obtient un précipité; - (c) on soumet le milieu obtenu à l'étape précédente à un traitement thermique sous atmosphère inerte, au moins une des étapes (a), (b) ou (c) 30 étant conduite en présence d'ions nitrates; - (d) on effectue successivement mais dans un ordre quelconque une acidification et un lavage du milieu ainsi obtenu ce par quoi on obtient la suspension. 35 14- Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que la solution de la première étape contient de l'eau oxygénée dans une proportion molaire H2O2/Ce III comprise entre 1/10000 et 1/100. 2906800 15 15- Procédé selon l'une des revendications 10 à 14, caractérisé en ce qu'on effectue le traitement thermique à une température d'au plus 95 C. 16- Poudre redispersible de particules d'oxyde de cérium, caractérisée en ce 5 qu'elle est obtenue par séchage puis calcination d'une suspension selon l'une des revendications 1 à 9 et en ce qu'après redispersion dans une phase liquide elle conduit à une suspension selon l'une des revendications 1 à 9. 17- Suspension pour polissage, caractérisée en ce qu'elle comprend une 10 suspension selon l'une des revendications 1 à 9, ou une suspension telle qu'obtenue par le procédé selon l'une des revendications 10 à 15, ou une suspension obtenue par redispersion dans une phase liquide de la poudre selon la revendication 16.