Brevet FR2896620A1 — publié le 20070727

Circuit intégré tridimensionnel de type C-MOS et procédé de fabrication s Domaine technique de l'invention L'invention concerne un circuit intégré tridimensionnel de type CMOS formé dans un substrat hybride et comportant des transistors de type de conductivité différents, formés respectivement dans des première et seconde 10 couches semi-conductrices superposées. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un tel circuit. 15 État de la technique La recherche de rapidité dans les circuits intégrés de type C-MOS implique une diminution des temps de commutation des transistors ainsi que des temps de propagation dans les interconnexions du circuit. 20 La diminution des temps de commutation peut être obtenue par une réduction de la longueur des canaux des transistors ainsi que par une augmentation de la mobilité des porteurs dans le semi-conducteur. L'augmentation de la mobilité des porteurs peut être obtenue par l'utilisation 25 de deux couches de semi-conducteurs ayant chacun une mobilité améliorée, respectivement pour les électrons et pour les trous, à la place du silicium massif standard, d'orientation (100), non contraint, classiquement utilisé à la fois pour les transistors n-MOS et p-MOS du circuit. L'augmentation de la mobilité, pour les électrons dans les transistors n-MOS et pour les trous dans 30 les transistors p-MOS, peut être obtenue par un choix d'orientation cristalline, la mise en contrainte des semi-conducteurs, un changement de matériau ou une combinaison de plusieurs de ces paramètres. Ainsi, une contrainte en tension dans le silicium améliore la mobilité des électrons, l'orientation de surface (110) procure une meilleure mobilité des trous mais une moins bonne mobilité des électrons que l'orientation (100), le germanium procure une meilleure mobilité des trous que le silicium, etc. Par ailleurs, les diélectriques de grille et les matériaux d'électrode de grille sont, de préférence, adaptés aux deux types de transistors, surtout si ceux-ci sont réalisés dans deux couches de natures, de contraintes ou d'orientations différentes. Il est ainsi connu d'utiliser pour la fabrication d'un circuit de type C-MOS un substrat hybride, c'est-à-dire un substrat sur lequel sont formées deux types de couches de semi-conducteur. Actuellement, il existe essentiellement trois méthodes de fabrication d'un substrat hybride. Une première méthode, illustrée aux figures 1 à 3, utilise l'hétéroépitaxie. Des couches épitaxiales 1 et 2, respectivement destinées à servir de base aux transistors n-MOS et p-MOS, sont formées successivement sur un substrat 3. Typiquement, on fait croître, sur un substrat 3 de silicium d'orientation (100), une première couche tampon d'alliage SiGe, par CVD, de composition graduellement croissante jusqu'à obtenir une couche de germanium pur relaxé en surface. Sur cette couche 1, on fait croître une fine couche 2 de silicium contraint. Après élimination sélective locale de la couche 2 de silicium contraint, les transistors p-MOS 4 sont formés dans la couche 1 de germanium et les transistors nMOS 5 dans la couche 2 de silicium contraint. Des interconnexions 6 entre les transistors p-MOS et n-MOS, sont ensuite formées, par exemple comme représenté schématiquement sur la figure 3, entre le drain et la source des transistors p-MOS et n-MOS. Une seconde méthode, notamment décrite dans l'article "High Performance CMOS Fabricated on Hybrid Substrate With Different Crystal Orientations", de Yang et al., dans IEDM 03-453, p.18.7.1-18.7.2, et illustrée schématiquement à la figure 4, utilise le transfert de couche par collage moléculaire. Un substrat de silicium 7, d'orientation donnée, par exemple (110), est oxydé (couche isolante 8), puis transféré par la technologie Smart Cut (implantation d'hydrogène, collage et détachement à l'emplacement de la ligne pointillée 9) sur un substrat de silicium 3 d'orientation différente, par ~o exemple (100). La couche supérieure (substrat 7 sur isolant 8) amincie constitue ainsi une couche de silicium sur isolant (SOI), dans laquelle sont ultérieurement formés les transistors p-MOS. Cette couche est gravée pour exposer la surface du substrat 3 aux emplacements prévus pour les transistors n-MOS. On fait ensuite croître sélectivement, par homo-épitaxie 15 localisée dans les orifices ainsi formés, du silicium d'orientation (100), dans lequel seront ultérieurement formés les transistors n-MOS. Dans l'article précité, les transistors n-MOS et p-MOS sont ainsi formés au même niveau, dans des substrats de silicium d'orientations différentes. 20 Une troisième méthode, non représentée, utilise des déformations élastiques localisées. Les transistors n-MOS et p-MOS sont alors réalisés dans un même matériau (par exemple Si), dans des zones adjacentes, respectivement constituées par des couches de forte contrainte en tension et de forte contrainte en compression. 25 Actuellement, la diminution du temps de propagation dans les interconnexions est essentiellement obtenue par une diminution de la résistivité des métaux (utilisation de cuivre) et/ou de la permittivité des diélectriques utilisés dans les interconnexions. La réduction de la permittivité 30 des diélectriques implique une augmentation de leur porosité, provoquant une forte dégradation de leurs propriétés mécaniques et thermiques. Il est donc difficile d'aller au-delà dans cette voie. Une diminution du temps de propagation dans les interconnexions a 5 également été obtenue par une intégration tridimensionnelle (intégration 3D) des circuits, les transistors étant empilés les uns sur les autres. La demande de brevet US 2004/0145399 décrit un circuit CMOS tridimensionnel constitué par la superposition d'un transistor p-MOS sur un 10 transistor n-MOS (ou inversement). La couche de semi-conducteur supérieure est formée par épitaxie localisée en utilisant comme germe un via semi-conducteur, lui-même formé par croissance épitaxiale du semi-conducteur inférieur. La source et le drain du transistor n-MOS sont verticalement alignés respectivement avec la source et le drain du transistor 15 p-MOS. Il en va de même de leurs grilles. Des interconnexions sont prévues, notamment pour connecter les deux transistors de la manière représentée à la figure 5, pour former un inverseur. Les deux transistors sont ainsi connectés en série entre une borne d'alimentation et la masse, le point commun aux deux transistors en série constituant la sortie S de l'inverseur, 20 et leurs grilles sont connectées à l'entrée E de l'inverseur. Dans le mode de réalisation décrit dans l'article "3-D ICs : A Nove! Chip Design for Improving Deep-Submicrometer Interconnect Performance and Systems-on-Chip Integration", de Banerjee et al., dans Proceedings of the 25 IEEE, vo1.89, n 5, p. 602-630, de mai 2001, des transistors ou des blocs de circuits complets, incluant leurs métallisations et une partie des interconnexions, sont réalisés séparément sur au moins deux substrats. Les blocs sont ensuite alignés et collés les uns au-dessus des autres. L'un des substrats est éliminé et les différents niveaux sont interconnectés par des 30 techniques connues de métallisation en surface. La densité de connexion d'un niveau à l'autre est notamment limitée par les technologies d'alignement actuellement disponibles (au mieux de l'ordre de 1 à 2 m). L'article "Three-Dimensional Metal Gate-High-K-GOI CMOSFETS on 1-Poly-6-Metal 0.1811m Si Devices", de YU et al., dans IEEE Electron Device Letters, vol.26, n 2, p.118-120, de février 2005, décrit une intégration 3D de CMOS formés dans une couche de germanium sur isolant (GeOl) et de CMOS formés dans du silicium. La superposition est réalisée par report par la technologie Smart Cut (implantation d'hydrogène, collage et détachement) d'une couche de germanium au-dessus de multicouches d'interconnexions en cuivre des circuits CMOS préalablement réalisés dans le silicium, au premier niveau. Des circuits CMOS sont ensuite formés dans le germanium, au second niveau, sans affecter les structures sous-jacentes. Objet de l'invention L'invention a pour but un circuit tridimensionnel ne présentant pas les inconvénients des circuits connus, ainsi que son procédé de fabrication. Plus particulièrement, l'invention a pour but d'optimiser la fabrication d'un tel circuit. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que la première couche semi-conductrice est en silicium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors de type n-MOS, la seconde couche semi-conductrice étant en germanium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors de type p-MOS. Un procédé de fabrication d'un tel circuit est caractérisé par le fait qu'il 30 comporte successivement : - la fabrication d'un premier bloc comportant les transistors de type n-MOS formés dans une couche semi-conductrice en silicium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors de type n-MOS, - le transfert sur le premier bloc d'une couche semi-conductrice en 5 germanium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors de type p-MOS et - la fabrication des transistors de type p-MOS dans la couche semi-conductrice en germanium, à une température n'affectant pas les transistors formés dans la couche semi-conductrice en silicium. 10 Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la 15 description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels : Les figures 1 à 3 illustrent la réalisation d'un substrat hybride selon l'art 20 antérieur par hétéroépitaxie. La figure 4 illustre la formation d'un substrat hybride selon l'art antérieur par transfert de couche. La figure 5 représente le schéma électrique classique d'un inverseur constitué par des transistors p-MOS et n-MOS. 25 Les figures 6 à 8 illustrent un mode de réalisation particulier d'un circuit selon l'invention, respectivement en perspective, en vue de dessus et en coupe selon A-A. La figure 9 illustre un mode particulier de fabrication d'un circuit selon l'invention. 30 La figure 10 illustre schématiquement un mode particulier de réalisation d'un via multiple d'un circuit selon l'invention. Description de modes particuliers de réalisation Le circuit tridimensionnel représenté aux figures 6 à 8, comporte, sur un substrat 10 (non représenté dans la vue en perspective de la figure 6), deux niveaux superposés, respectivement inférieur 11 et supérieur 12 (fig.8). Le niveau inférieur 11 comporte les transistors 13 de type n-MOS, formés dans une première couche semi-conductrice. Celle-ci est en silicium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors de type n-MOS. Le niveau inférieur est complété par une couche diélectrique inférieure 14 (non représentée dans la vue en perspective de la figure 6), déposée sur les transistors 13 et le substrat 10 et dont la face libre est aplanie. Le niveau supérieur 12 est disposé sur la face libre aplanie de la couche diélectrique inférieure 14. II comporte les transistors 15 de type p-MOS, formés dans une seconde couche semi-conductrice et recouverts par une couche diélectrique supérieure 16 (non représentée dans la vue en perspective de la figure 6). La seconde couche semi-conductrice est en germanium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors de type p-MOS. La réalisation des transistors p-MOS dans la couche de germanium peut se faire à une température de l'ordre de 400 à 700 C, n'affectant pas les transistors n-MOS 13, formés dans le silicium au niveau inférieur, plus particulièrement lors des étapes de fabrication nécessitant une forte température, comme l'activation des dopants ou la fabrication de l'isolant de grille. Le choix de l'ordre d'empilement des transistors des deux niveaux n'est pas aléatoire, mais tient compte des températures maximales associées aux matériaux, notamment aux matériaux semi-conducteurs.30 Les transistors 13 du niveau inférieur 11, qui sont de type n-MOS, sont, de préférence, formés dans une couche de silicium d'orientation (100), tandis que les transistors 15 du niveau supérieur 12, qui sont de type p-MOS, sont, de préférence, réalisés dans une couche de germanium d'orientation (110). Au moins l'une des première et seconde couches semi-conductrices peut avoir une contrainte adaptée à la fabrication des transistors correspondants. Ainsi, la couche de silicium est, de préférence, contrainte en tension et la couche de germanium en compression. La seconde couche semi-conductrice est, de préférence, en germanium contraint biaxialement. Le germanium est, de préférence, monocristallin. La couché de silicium, d'orientation (100), du niveau inférieur 11 possède une très bonne mobilité pour les électrons, tandis que la couche en 15 germanium, d'orientation (110), du niveau supérieur 12 offre une excellente mobilité pour les trous. Les matériaux semi-conducteurs utilisés sont donc optimums pour les deux types de transistors. La couche de silicium, éventuellement contraint, du niveau inférieur 11 peut 20 être réalisée par tout procédé connu approprié. Dans une première variante de réalisation, cette couche est formée sur le substrat 10 en silicium, d'orientation (100), par hétéroépitaxie d'une couche de SiGe relaxée, de composition graduellement croissante en germanium, 25 jusqu'à obtention de la composition désirée. Puis une fine couche de silicium, d'épaisseur inférieure à l'épaisseur critique (non relaxé) est formée par hétéroépitaxie sur la couche en SiGe. La composition désirée de la couche de SiGe comporte typiquement de l'ordre de 20 à 30% de germanium dans le silicium, ce qui permet une augmentation importante de la mobilité dans la 30 couche de silicium contraint, élaborée ensuite. Dans une seconde variante de réalisation, la couche de silicium contraint est réalisée par transfert par le procédé Smart Cut (implantation d'hydrogène, collage et détachement) d'une couche de surface contenant la couche de silicium contraint et tout ou partie de la couche SiGe sur une structure de type SOI, comportant un substrat de silicium et une couche isolante. La couche de SiGe est alors éliminée par attaque chimique sélective pour ne laisser que la couche de silicium contraint. Dans les deux variantes, les transistors 13, de type n-MOS, sont ensuite ~o réalisés, de manière classique, dans la couche de silicium d'orientation (100). Cette réalisation comporte les étapes successives suivantes : isolation latérale entre transistors par gravure et dépôt de diélectriques, dépôt d'au moins un diélectrique de grille, dépôt et définition de motifs dans un matériau conducteur constituant l'électrode de grille G13, définition d'espaceurs par 15 dépôt de diélectrique et gravure sèche, dopage par implantation ionique et activation des dopants n de la source et du drain par recuit. Le diélectrique 14 du niveau inférieur 11 est ensuite déposé sur le substrat 10 et les transistors 13, puis planarisé, terminant ainsi la fabrication du niveau inférieur 11. 20 Dans un mode de réalisation préférentiel, une couche de germanium d'orientation (110), issue d'un substrat contenant ce matériau, est ensuite transférée sur le niveau inférieur 11, par collage moléculaire et amincissement ou par le procédé Smart Cut (implantation d'hydrogène, 25 collage et détachement), comme illustré à la figure 9. Ce type de substrat peut être un substrat monocristallin de germanium, d'orientation (110), élaboré par les procédés classiques (par exemple Czochralski) ou un substrat de silicium d'orientation (110) sur lequel on a fait croître une première couche relaxée (sans contrainte), dite couche tampon, d'alliage 30 SiGe de concentration graduellement croissante en germanium, puis une couche de germanium pur. La couche de germanium peut aussi être obtenue à partir d'un substrat GeOl que l'on colle et dont on supprime la couche support en silicium ainsi que la couche isolante (initialement l'oxyde enterré). On peut aussi obtenir cette couche de germanium par épitaxie en phase liquide (LPE : Liquid Phase Epitaxy), notamment après ouverture d'une cavité débouchant sur le substrat ayant dans ce cas une orientation (110) afin d'obtenir un germe de cristallisation orienté, suivie d'une étape de coupure du germe. Les transistors 15, de type p-MOS, sont ensuite réalisés, de manière classique, dans la couche de germanium ainsi transférée sur le niveau inférieur 11. Cette réalisation comporte, comme précédemment, successivement l'isolation latérale entre transistors par gravure et dépôt de diélectriques, le dépôt d'au moins un diélectrique de grille, le dépôt et la définition de motifs dans un matériau conducteur constituant l'électrode de grille G15, la définition d'espaceurs par dépôt de diélectrique et gravure sèche, le dopage par implantation ionique et activation des dopants p de la source et du drain par recuit. L'utilisation d'une couche semi-conductrice en germanium monocristallin permet de réaliser les transistors 15 à des températures aussi faibles que 400-700 C n'affectant pas les transistors 13 déjà réalisés au niveau inférieur 11. Comme représenté à la figure 8, le diélectrique 16 du niveau supérieur 12 est ensuite déposé sur le diélectrique 14 du niveau inférieur 11 et sur les transistors 15, puis éventuellement planarisé, terminant ainsi la fabrication du niveau supérieur 12. La réalisation d'un premier niveau de connexions et d'interconnexions du circuit commence ensuite par la gravure et la métallisation de vias à travers les différentes couches du circuit. Des vias simples V3 et V4, respectivement associé aux transistors 13 et 15, sont gravés à travers les diélectriques 14 et/ou 16 recouvrant les transistors 13 et 15, avec arrêt sur la couche semi- conductrice du transistor correspondant. Des vias multiples V1 et V2 interconnectent un transistor n-MOS 13 du niveau inférieur à un transistor p-MOS 15 associé du niveau supérieur pour former un circuit CMOS. Les vias sont réalisés par gravure sèche, de préférence séquentiellement avec plusieurs niveaux de lithographie, de manière à contrôler les risques de surgravure susceptibles d'apparaître si l'on procède en une seule étape. Le profil de gravure des vias multiples V1 et V2, qui partent respectivement du drain ou de la source et de la grille du transistor 13 et traversent io successivement le diélectrique 14, respectivement la source ou le drain et la grille du transistor 15 associé et le diélectrique 16, est, de préférence adapté de manière à maximiser la surface de gravure entre le métal du via et le matériau du transistor. Ceci peut, par exemple, être réalisé par une légère surgravure des diélectriques 14 et 16 par rapport aux matériaux du transistor 15 15 qui sont traversés par le via, comme représenté à la figure 10 pour le via V1. L'orifice du via V1 est ainsi plus large au niveau des diélectriques 14 et 16 qu'au niveau de la couche semi-conductrice du transistor 15 qu'il traverse. Comme représenté à la figure 10, un second niveau d'interconnexion est 20 formé sur le diélectrique 16, par exemple pour connecter les vias V1 à V4, respectivement aux bornes de sortie S, d'entrée E et d'alimentation de l'inverseur ou à d'autres éléments (non représentés) du circuit. Le procédé de fabrication selon l'invention comporte ainsi successivement au 25 moins : - la fabrication d'un premier bloc comportant les transistors (13) de type n- MOS formés dans une couche semi-conductrice en silicium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors (13) de type n-MOS, - le transfert sur le premier bloc d'une couche semi-conductrice en 30 germanium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors (15) de type p-MOS et - la fabrication des transistors (15) de type p-MOS dans la couche semi-conductrice en germanium, à une température n'affectant pas les transistors formés dans la couche semi-conductrice en silicium. Dans le mode particulier de réalisation décrit ci-dessus, le procédé de fabrication comporte successivement : - la fabrication des transistors 13, de type n-MOS, du premier niveau ou niveau inférieur 11, dans une couche en silicium contraint en tension, d'orientation (100), - le dépôt et la planarisation d'une couche diélectrique 14, au premier niveau, - la formation de la seconde couche semi-conductrice, en germanium monocristallin d'orientation (110), contraint en compression, - la fabrication des transistors 15, de type p-MOS, du second niveau ou niveau supérieur 12, - le dépôt d'une seconde couche diélectrique 16, au second niveau, - la formation de vias multiples verticaux (V1, V2), constituant les interconnexions entre les transistors (13, 15) de niveaux différents, et de vias simples verticaux (V3, V4), constituant diverses connexions du circuit. Les transistors 13 et 15 des niveaux inférieur et supérieur sont, de préférence, disposés de manière à ce que les zones de ces transistors destinées à être interconnectées se recouvrent. Ainsi, par exemple, sur les figures 6 à 8, pour fabriquer un inverseur selon la figure 5, les axes longitudinaux respectifs A13 et A15 d'un transistor 13 du niveau inférieur et d'un transistor 15 du niveau supérieur, passant respectivement par le drain, le canal et la source du transistor considéré, sont perpendiculaires. Dans certains cas, notamment pour résoudre des problèmes de connectique, les transistors sont asymétriques, le drain ou la source destinée à être connectée à la source ou au drain du transistor associé du niveau adjacent étant prolongé longitudinalement, de manière à former une première zone de recouvrement, dans laquelle est formée une première interconnexion des transistors de niveaux différents, constituant la sortie S de l'inverseur. Cette première interconnexion peut alors être constituée par un premier via vertical V1. Simultanément, les grilles G13 et G15 des transistors, classiquement formées au-dessus du canal correspondant, sont prolongées, perpendiculairement à leurs axes longitudinaux respectifs, de manière à former une seconde zone de recouvrement à une de leurs extrémités. Une seconde interconnexion des transistors de niveaux différents, constituant l'entrée E de l'inverseur, peut alors être constituée par un second via vertical V2. Ces interconnexions ou vias multiples connectent ainsi directement un transistor avec le transistor complémentaire associé du niveau adjacent. Des troisième et quatrième vias verticaux V3 et V4 sont respectivement formés aux extrémités des transistors 13 et 15 opposés à la première zone de recouvrement. Ces connexions ou vias simples peuvent alors servir de connexions du circuit, notamment aux bornes d'alimentation de l'inverseur. Toutes les interconnexions du circuit CMOS sont ainsi réalisées par l'intermédiaire de vias verticaux, interconnectant directement les parties à connecter de deux transistors associés de niveaux différents et permettant leur connexion à d'autres éléments du circuit. Elles peuvent être formées en même temps que les connexions simples connectant un transistor à d'autres éléments du circuit que le transistor complémentaire de niveau adjacent. Cette disposition particulière des transistors complémentaires associés des deux niveaux superposés permet d'obtenir un assemblage 3D très dense, avec une densification du nombre de transistors par unité de surface et une diminution de la longueur moyenne des connexions. Les températures utilisées lors de la fabrication de la couche semi-conductrice en germanium étant inférieures à 700 C, les vias peuvent être réalisées avant de réaliser la couche de germanium, ce qui est notamment plus facile à mettre en oeuvre qu'après le collage du Ge. Le matériau d'électrode de grille de chaque type de transistor (N et P) doit être adapté au travail de sortie du transistor correspondant. Dans le cas d'une technologie planaire, on dépose typiquement un premier matériau pour former des premières grilles associées à l'un des deux types de transistors, puis il est nécessaire de graver le matériau pour pouvoir former les secondes grilles associées à l'autre type de transistors. Cette étape de gravure io supplémentaire n'est pas nécessaire dans le cas de la technologie tridimensionnelle selon l'invention. Revendications 1. Circuit intégré tridimensionnel de type CMOS formé dans un substrat hybride et comportant des transistors de type de conductivité différents, formés respectivement dans des première et seconde couches semi-conductrices superposées, circuit caractérisé en ce que la première couche semi-conductrice est en silicium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors (13) de type n-MOS, la seconde couche semi-conductrice étant en germanium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors (15) de type p-MOS. 2. Circuit selon la revendication 1, caractérisé en ce que le silicium de la première couche semi-conductrice a une orientation (100) et le germanium 15 de la seconde couche semi-conductrice une orientation (110). 3. Circuit selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'au moins l'une des première et seconde couches semi-conductrices a une contrainte adaptée à la fabrication des transistors correspondants. 4. Circuit selon la revendication 3, caractérisé en ce que la première couche semi-conductrice est en silicium contraint en tension. 5. Circuit selon l'une des revendications 3 et 4, caractérisé en ce que la 25 seconde couche semi-conductrice est en germanium contraint en compression. 6. Circuit selon la revendication 5, caractérisé en ce que la seconde couche semi-conductrice est en germanium contraint biaxialement. 15 20 30 7. Circuit selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le germanium est monocristallin. 8. Circuit selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les axes longitudinaux (A13, A15) d'un transistor (13) de type n-MOS et d'un transistor (15) de type p-MOS associé sont perpendiculaires, de manière à former au moins une zone de recouvrement, dans laquelle est formée une interconnexion (V1, V2) desdits transistors associés. 9. Circuit selon la revendication 8, caractérisé en ce que le drain ou la source d'un transistor (13) de type n-MOS étant destinée à être connecté à la source ou au drain d'un transistor (15) de type n-MOS associé, ils sont prolongés longitudinalement, de manière à former une première zone de recouvrement, dans laquelle est formée une première interconnexion (V1) des transistors. 10. Circuit selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comporte des connexions verticales (V3, V4) formées aux extrémités des transistors (13, 15) opposées à la première zone de recouvrement. 11. Circuit selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, caractérisé en ce que les grilles (G13, G15) des transistors (13, 15) sont prolongées, perpendiculairement à leurs axes longitudinaux respectifs (A13, A15), de manière à former, à une de leurs extrémités, une seconde zone de recouvrement, dans laquelle est formée une seconde interconnexion (V2) des transistors. 12. Procédé de fabrication d'un circuit intégré tridimensionnel de type CMOS formé dans un substrat hybride et comportant des transistors de type de 30 conductivité différents, formés respectivement dans des première et seconde couches semi-conductrices superposées, procédé caractérisé en ce qu'il comporte successivement : - la fabrication d'un premier bloc comportant les transistors (13) de type n-MOS formés dans une couche semi-conductrice en silicium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors (13) de type n-MOS, - le transfert sur le premier bloc d'une couche semi-conductrice en germanium ayant une orientation adaptée à la fabrication de transistors (15) de type p-MOS et - la fabrication des transistors (15) de type p-MOS dans la couche semi-conductrice en germanium, à une température n'affectant pas les transistors formés dans la couche semi-conductrice en silicium. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que la température de fabrication des transistors (15) de type p-MOS dans la couche semi- 15 conductrice en germanium est de l'ordre de 400 à 700 C. 14. Procédé selon l'une des revendications 12 et 13, caractérisé en ce que le transfert de la couche semi-conductrice en germanium sur le premier bloc est réalisé par collage moléculaire et amincissement. 15. Procédé selon l'une des revendications 12 et 13, caractérisé en ce que le transfert de la couche semi-conductrice en germanium sur le premier bloc est réalisé par report par implantation d'hydrogène, collage et détachement. 25 16. Procédé selon l'une des revendications 12 et 13, caractérisé en ce que le transfert de la couche semi-conductrice en germanium sur le premier bloc est réalisé par épitaxie en phase liquide après ouverture d'une cavité débouchant sur le substrat ayant une orientation (110) afin d'obtenir un germe de cristallisation orienté. 20 30 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 16, caractérisé en ce qu'il comporte la formation de vias multiples (V1, V2) verticaux, constituant les interconnexions entre les transistors associés de type n-MOS (13) et de type p-MOS (15) de niveaux différents. 18. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 17, caractérisé en ce qu'il comporte la formation de vias simples (V3, V4) verticaux, constituant diverses connexions du circuit. 10 19. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 18, caractérisé en ce qu'il comporte la formation de vias avant la réalisation de la couche semi-conductrice en germanium.5