Brevet FR2892652A1 — publié le 20070504

"Machine rotative de traitement de récipients" La présente invention concerne des perfectionnements aux machines rotatives de traitement de récipients, en particulier aux machines pour le dépôt d'une couche barrière sur des parois de récipients. Dans l'état de la technique, on a déjà proposé des machines de traitement de récipients dans lesquelles on réalise à l'aide d'un plasma, produit par un générateur micro-ondes en utilisant un gaz déterminé, le dépôt d'une couche barrière sur la io paroi intérieure du récipient. La couche barrière permet d'améliorer les propriétés barrière du récipient traité en empêchant la migration de gaz de l'intérieur vers l'extérieur et/ou de l'extérieur vers l'intérieur. On améliore ainsi la durée de conservation du produit contenu dans le récipient traité. 15 Le traitement d'un récipient nécessite la mise en oeuvre de divers composants mécaniques, fluidiques ou électriques, en particulier la mise en oeuvre d'une chambre ou cavité à vide dans lequel le récipient est placé, de même que celle d'un générateur de plasma, constitué par exemple d'un magnétron ou d'une autre 20 source de haute fréquence et celle d'une source électrique de haute tension pour alimenter le générateur, la dite source étant reliée à un ensemble d'alimentation électrique sous le contrôle d'une armoire de commande. En outre, des circuits de mise sous vide et des circuits d'alimentation en précurseur gazeux sont 25 prévus, afin d'injecter dans le récipient disposé dans la chambre, après que le vide ait été effectué dans la chambre et dans le récipient, un gaz ou mélange de gaz qui, transformé en plasma sous l'effet des hautes fréquences, se dépose sur la paroi (généralement interne) du récipient. En complément de la 30 réalisation à proprement parler des couches barrière, le traitement peut nécessiter la mise en oeuvre de dispositifs de mesure ou de contrôle de la qualité du plasma ou de la qualité d'autres paramètres afin de réaliser des opérations correctives en temps réel ou après analyse des résultats. 2 Dans la suite de la description, le terme "traitement" s'appliquera indifféremment aux opérations liées à la réalisation de la couche barrière proprement dite ou aux opérations de mesure ou de contrôle. Dans l'état de la technique, on a déjà décrit des machines de dépôt de couche barrière dans lesquelles un carrousel central porte des postes de travail, qui exécutent chacun une séquence identique d'opérations de traitement d'au moins un récipient lors d'un tour du carrousel. Les postes sont répartis en général de io manière régulière à la périphérie du carrousel, et le traitement d'un poste à l'autre et, en conséquence, les opérations élémentaires correspondantes d'un poste à l'autre, sont décalées temporellement. Chaque poste de travail comporte en particulier une is chambre ou cavité à vide telle que mentionnée ci dessus, de même que le générateur de plasma correspondant, et sa source électrique d'alimentation haute tension pour alimenter le générateur sous le contrôle d'une armoire de commande ; chaque poste peut en outre comporter des dispositifs de mesure ou de 20 contrôle de la qualité du plasma ou de mesure ou de contrôle d'autres paramètres. Les postes sont par ailleurs connectés à des circuits de mise sous vide et à des circuits d'injection de précurseur. La machine comporte par ailleurs des moyens de chargement et de déchargement des récipients dans les chambres 25 de traitement. Le traitement sur un poste est effectué lors d'une portion de tour du carrousel. Chaque opération de la séquence s'effectue elle-même sur une portion de tour de carrousel plus ou moins importante : en d'autres termes, chaque opération nécessite le 30 parcours d'un secteur angulaire plus ou moins important par le poste concerné, la durée de chaque opération étant fonction de la valeur du secteur angulaire considéré et de la vitesse angulaire du carrousel. Le traitement commence par le chargement (introduction) des récipients sur le carrousel, se poursuit par les 3 opérations nécessaires à la réalisation de la couche barrière et s'achève par le déchargement (sortie) des récipients traités, les opérations de contrôle ou de mesure ayant lieu, elles aussi, à des moments déterminés du tour du carrousel. Les machines connues présentent divers inconvénients, dus principalement au coût de leurs composants, de sorte que le prix de revient de telles machines est directement affecté par le nombre de postes présents sur la machine, en particulier par les composants électriques et électroniques qui sont de haute io précision, donc coûteux, puisque chacun des composants mentionnés ci avant se retrouve sur chacun des postes. Le problème est accru lorsqu'il s'agit d'accélérer les cadences de production de telles machines, puisqu'on est rapidement conduit à augmenter le nombre de postes présents sur is le carrousel : en effet, quand bien même il est envisageable d'accélérer la cadence unitaire de chaque poste, en accélérant la vitesse de rotation du carrousel, ceci s'avère difficile ou insuffisant du fait des contraintes mécaniques que cette accélération peut engendrer et du fait que la durée minimale de 20 traitement à proprement parler (à l'exclusion des opérations de chargement ou de déchargement des récipients, de même que les opérations de mise sous vide), pour une qualité donnée de la couche barrière, ne peut être réduite en dessous d'une valeur minimale. 25 Outre les problèmes de coût, particulièrement en lien avec le coût global des composants électriques ou électroniques nécessaires au traitement, à la mesure ou au contrôle, une telle augmentation du nombre de postes de travail accroît les problèmes de construction mécanique puisque, en raison de 30 l'accroissement de la masse embarquée. Afin de résoudre les problèmes précités de l'état de la technique, la présente invention met à profit le fait que la structure rotative de la machine provoque des séquences identiques d'opérations décalées temporellement d'un poste à 4 l'autre, et que de surcroît au moins une des opérations de la séquence sur un poste est réalisée en décalage temporel total par rapport à la même opération sur au moins un autre poste ; par opération en décalage temporel total, on entend que la dite opération commence et se termine sur un poste avant que la même opération ne commence et ne se termine sur un autre poste. Dans la suite de la description, de même que dans les revendications, le terme "décalage total" sera employé en lieu et place de "décalage temporel total". io Selon l'invention, une machine rotative de traitement de produits comprenant un carrousel central portant au moins deux postes de travail identiques, exécutant chacun pendant un tour du carrousel une même séquence prédéterminée d'opérations de traitement de façon décalée temporellement d'un poste à l'autre , is au moins l'une des opérations de ladite séquence étant réalisée en décalage total d'un poste à l'autre, est caractérisée en ce que chaque poste comporte au moins une partie postée avec des premiers moyens agencés pour être mis en oeuvre lors de l'exécution de ladite opération en décalage total, et la machine 20 comporte au moins une partie commune avec des seconds moyens agencés pour être mis en oeuvre lors de l'exécution de ladite opération en décalage total, et la machine comporte des moyens de combinaison pour mettre sélectivement en relation ladite au moins une partie 25 commune à la partie postée d'un poste de travail pendant la durée nécessaire à l'exécution sur ce poste de ladite opération en décalage total, et permettre que ladite opération soit réalisée entre autres par l'action combinée des premiers moyens de la partie postée de ce poste et des seconds moyens de la partie 30 commune qui s'y trouve associée . Ainsi, on simplifie et optimise la machine, en mutualisant des ressources entre plusieurs postes dès lors qu'une même opération peut être effectuée en décalage total entre deux postes, ce qui est en fait possible en théorie quel que soit le nombre de postes sur la machine dès lors que l'opération s'effectue sur un angle inférieur à 180 . Les moyens que comprennent la ou les parties communes peuvent être des composants électroniques ou électrotechniques coûteux et/ou encombrants. s Selon le nombre de postes que comporte la machine et le secteur angulaire nécessité par une opération réalisable en décalage total, il est envisageable d'effectuer une mutualisation plus ou moins poussée : - ainsi, si une opération donnée de la séquence s'effectue sur io un secteur angulaire inférieur ou égal à celui séparant deux postes successifs du carrousel, une seule partie commune avec des moyens dédiés à ladite opération sera alors nécessaire pour permettre à tous les postes de réaliser successivement ladite opération ; dans un tel cas, les moyens de combinaison mettront 15 successivement en relation la partie commune à la partie postée de chacun des postes de travail. - par contre, si une opération donnée de la séquence s'effectue sur un secteur angulaire supérieur à celui séparant deux postes successifs du carrousel, de sorte que deux postes ou 20 plus sont susceptibles de se trouver au même moment en train de réaliser la même opération de la séquence, toutefois en n'étant pas au même stade de la dite opération, et qu'il n'est pas possible de partager des ressources entre deux postes, alors il faudra prévoir plusieurs parties communes avec des moyens permettant 25 de contribuer à la réalisation de la dite opération, lesquelles parties communes seront mises en combinaison sélectivement avec des parties postées différentes. Selon un autre aspect de l'invention, - des moyens de combinaison sont agencés pour permettre 30 l'association entre une partie postée à l'une des parties communes disponible lors de l'entrée de l'équipement correspondant dans la zone de traitement ; 6 - l'équipement est de type électrique et au moins un moyen de combinaison est associé de manière permanente aux parties postées d'au moins deux postes de travail ; - l'équipement est de type électrique et le moyen de combinaison comporte un ensemble de connexion électrique reliant une partie commune à au moins deux parties postées ; - le moyen de combinaison comporte un moyen de multiplexage pour activer la connexion électrique entre la partie commune et une partie postée lorsque ladite opération en io décalage total doit être exécutée dans le poste comportant ladite partie postée ; - le moyen de multiplexage pour activer la connexion électrique comporte un circuit de multiplexage électronique qui produit un signal d'activation lorsqu'un poste entre dans la portion is de tour de la machine au cours de laquelle l'opération doit être effectuée ; - le moyen de multiplexage pour activer la connexion électrique comporte un circuit de multiplexage électrique composé par au moins un contacteur d'activation commandé par la 20 détection de l'entrée ou de la sortie dans une portion de tour de la machine rotative correspondant à l'exécution de ladite opération. - le contacteur est constitué par un collecteur tournant sur un arbre central de la machine rotative et des contacts glissants en relation avec le collecteur ; 25 - le contacteur est déporté du poste qu'il active. - le contacteur déporté comprend une partie mobile destinée à venir en contact avec une came disposée en relation avec la portion de tour de la machine rotative correspondant à l'exécution de ladite opération ; 30 - la partie commune comporte un générateur d'alimentation micro-ondes pour magnétron de traitement des produits lors d'une opération de traitement mettant en oeuvre un plasma et la partie postée comporte au moins un magnétron ; 7 - le générateur d'alimentation micro-ondes comporte un circuit générateur d'une haute tension d'alimentation, destiné à être partagé entre plusieurs parties postées ; - le générateur d'alimentation micro-ondes comporte aussi au moins deux circuits de pilotage micro-ondes destinés à être partagés entre plusieurs parties postées ; - la partie commune comporte des moyens de mesure et d'analyse d'un signal représentatif d'un paramètre de traitement et la partie postée comporte un capteur dudit signal ; les moyens io de mesure et d'analyse sont constitués par un analyseur de signal de mesure de la luminosité du plasma généré par un magnétron et le capteur de signal est un capteur de l'énergie rayonnée par le plasma généré par un magnétron associé au poste ; D'autres avantages et caractéristiques de la présente is invention seront mieux compris à l'aide de la description et des figures annexées parmi lesquelles : - la figure 1 représente schématiquement une position instantanée du carrousel d'une machine rotative de traitement de récipients sur laquelle est mise en oeuvre une première variante 20 de l'invention, lors d'une opération de la séquence; - la figure 2 représente schématiquement une position instantanée du carrousel d'une machine rotative de traitement sur laquelle est mise en oeuvre une seconde variante de l'invention, lors dune opération de la séquence ; 25 - la figure 3 représente un schéma de signaux permettant de commander les traitements mis en oeuvre dans les machines des figures 1 ou 2 ; - la figure 4 représente une application à un premier exemple de réalisation ; 30 - la figure 5 représente une application à un second exemple de réalisation ; - la figure 6 représente une application particulière à un générateur micro-ondes adapté à la machine de traitement précitée ; 8 - la figure 7 représente un séquencement des opérations de traitement réalisé à l'aide de l'application de la figure 6 ; - la figure 8 représente la disposition d'une telle application de la figure 6 dans une machine rotative selon l'invention ; - la figure 9 représente une disposition particulière de détection des éléments liés au déroulement angulaire dans une machine rotative selon les figures 1, 2 ou 8 ; - la figure 10 représente un mode particulier de réalisation io d'un système permettant de transférer des signaux de commande à une machine rotative selon l'une des figures 1, 2 ou 6 ; et - la figure 11 représente une disposition appliquée sur un poste de travail d'une machine rotative de traitement de récipients telle qu'elle est représentée à la figure 8. 15 A la figure 1, on a schématiquement représenté une partie d'une machine rotative de traitement de récipients notamment pour exécuter le dépôt d'une couche barrière au moyen d'un traitement plasma micro-ondes ainsi qu'il a été décrit ci-dessus. Il sera plus spécifiquement décrit dans la suite de la 20 description la façon dont l'invention peut être appliquée aux opérations de la séquence consistant en l'application des micro ondes ou en la mesure de paramètres lors du traitement, tout particulièrement de paramètres liés à la formation du plasma, l'homme du métier étant en mesure d'extrapoler la manière 25 d'appliquer l'invention à d'autres opérations de la séquence autorisant une mutualisation de ressources. La machine de la figure 1 comporte une partie principale constituée d'un carrousel 1, qui tourne autour d'un arbre central. Le carrousel porte une pluralité de postes de travail, 30 identiques, répartis régulièrement autour de sa circonférence. Dans l'exemple illustré, le carrousel 1 porte huit postes de travail P1 à P8.Le poste P1 est représenté dans une position angulaire dite 8=0 correspondant à la position d'introduction des récipients dans le poste. 9 Dans cette position, de façon connue en soi, un récipient non traité peut être chargé (ce qui est illustré par la flèche 2) en synchronisme avec la rotation 3 du carrousel dans le poste de travail P1. L'opération est répétée chaque fois qu'un nouveau poste se présente, soit à chaque 1 /8e de tour avec l'exemple de machine illustré. L'opération de chargement consiste à insérer le récipient à traiter dans une chambre à vide. Suite à cette opération, la io chambre est fermée, puis le vide est réalisé à à l'intérieur du récipient et de la chambre. Un injecteur est par ailleurs descendu à l'intérieur du récipient à traiter, la descente pouvant survenir en synchronisme ou pas avec la mise sous vide. Ensuite, un mélange gazeux est insufflé par l'injecteur à l'intérieur du récipient contenu is dans le poste de travail P1. Dans l'exemple illustré, lorsqu'un poste de travail parvient dans la position 01, il entre alors dans une zone angulaire du carrousel dans laquelle on réalise l'opération de la séquence consistant à appliquer l'énergie micro-ondes pour réaliser le 20 plasma à l'intérieur du récipient à traiter. Le plasma est obtenu à l'aide du mélange gazeux qui a été préalablement insufflé et de l'application correcte d'une énergie micro-ondes. Le traitement micro-ondes est appliqué jusqu'à ce que le poste de travail parvienne dans une position angulaire 82 ainsi 25 qu'il sera décrit ci-après, puis à la sortie de la position 82, la rotation du carrousel 1 se poursuivant, le récipient traité dans un poste de travail subit alors une remise à la pression atmosphérique, et enfin le poste parvient à une position de déchargement, illustrée par la flèche 4, du récipient traité par le 30 traitement micro-ondes appliqué entre les positions 81 et 82. Dans ce qui précède, on a seulement décrit les opérations successives appliquées à un récipient inséré dans un seul poste de travail. i0 Bien entendu, les huit postes de travail qui tournent conjointement sur le carrousel 1, exécutent exactement les mêmes opérations à la même fréquence avec un décale temporel correspondant au temps nécessaire à chaque poste pour parcourir un huitième de la circonférence. Il est connu de réaliser des machines avec un nombre de postes de travail notablement plus important, typiquement avec jusqu'à 20 ou 40 postes, de façon à permettre une cadence optimale de traitement par micro-ondes. io Dans l'exemple de la figure 1, on a illustré le cas où, à tout instant, seulement trois postes de travail peuvent se trouver en même temps dans le secteur angulaire compris entre 81 et 82. Il en résulte qu'à tout moment cinq des huit équipements associés au traitement micro-ondes ne sont pas utilisés, ou encore qu'un is équipement n'est utilisé que pendant 3/8e du tour du carrousel. Selon l'invention, chaque équipement de traitement comporte : - des premières parties postées respectives Eq1 - Eq8 associées directement, électriquement et mécaniquement à 20 chaque poste P1 à P8; - plusieurs parties communes, ici trois parties Cl à C3, qui peuvent être mutualisées pour plusieurs postes. En fait, dans l'exemple illustré, le nombre de parties communes correspond au nombre de postes de travail qui peuvent se trouver en même 25 temps dans le secteur angulaire compris entre 81 et 82. Ainsi, en fonction des disponibilités, la partie postée Eq1 du poste P1 sera associée à l'une des parties communes Cl à C3 de l'équipement de traitement qui est disponible au moment de l'entrée à la position angulaire 81 dans la zone de traitement. 30 Dans le mode de réalisation de la figure 1, un agencement de moyens M1, M2, M3 de combinaison permet l'association entre une partie postée Eq1 à Eq8 à l'une des parties communes Cl, 2892652 Il C2 ou C3 disponible lors de l'entrée de l'équipement correspondant dans la position e1 de la zone de traitement. Dans un mode particulier de réalisation, qui sera décrit plus loin, l'agencement de moyens M1, M2, M3 constitue un 5 connecteur multiplexé ou dispositif d'adressage, agencé pour que la partie postée Eq1 à Eq8 du poste P1 à P8 qui parvient à la position e1 soit associée à une partie commune Cl à C3 d'équipement de traitement qui se trouve disponible audit moment où le poste P1 à P8 considéré parvient à la position e1. io Dans une mise en oeuvre, la machine rotative traitement de l'invention comporte un capteur de séquence, qui peut être constitué par un capteur e de position angulaire du carrousel ainsi qu'il a été représenté à la figure 3. En fonction du signal représentatif de la position angulaire, l'agencement de moyens is M1, M2, M3 de combinaison détermine la connexion appropriée qu'il convient de réaliser entre une partie postée et une partie commune disponible à l'arrivée à la position 01. Dans une mise en oeuvre qui sera décrite plus loin, l'association peut être exécutée à l'aide d'un connecteur associé 20 à l'arbre central du carrousel à l'aide de contacts glissants qui sont successivement associés en fonction des périodes déterminées par l'écart angulaire 02 - e1 pour un traitement revenant une fois par tour du carrousel. A la figure 2, on a illustré un autre mode de réalisation 25 d'une machine dans lequel on a conservé la même disposition en huit postes P1 à P8, chacun comprenant le poste de travail proprement dit associé mécaniquement au carrousel 1, ainsi qu'une partie postée Eq1 à Eq8 respective, et dans laquelle trois postes peuvent se trouver simultanément dans le secteur 30 angulaire e1 à 02. Selon ce mode de réalisation, la machine comporte plusieurs parties communes, ici quatre parties communes Cl, à C4, qui peuvent chacune d'entre elles être mises sélectivement en 12 relation avec la partie postée de deux postes de travail prédéterminés, lesquels postes sont séparés d'une distance angulaire au moins égale à la distance angulaire séparant la position angulaire d'entrée 81 de la position angulaire de sortie 82 du traitement appliqué dans ce secteur angulaire. Ainsi, la partie commune Cl peut être connectée avec les parties postées Eq1 ou Eq5, lorsque les postes correspondants Pl, P5 qui sont diamétralement opposés rentrent dans le secteur angulaire ; la partie commune C2 peut être connectée avec les lo parties postées Eq4 ou Eq8, lorsque les postes correspondants P4, P8 diamétralement opposés rentrent dans le secteur angulaire ; la partie commune C3 peut être connectée avec les parties postées Eq3 ou Eq7, lorsque les postes correspondants P3, P7 diamétralement opposés rentrent dans le secteur is angulaire ; enfin, la partie commune C4 peut être connectée avec les parties postées Eq2 ou Eq6, lorsque les postes correspondants P2, P6 diamétralement opposés rentrent dans le secteur angulaire. De la sorte, une partie commune d'équipement, Cl par 20 exemple, fonctionne deux fois par tour du carrousel : - une première fois quand l'équipement P1 avec sa partie postée Eq1 entre dans le secteur de traitement compris entre 81 et 82, et - une seconde fois quand l'équipement diamétralement 25 opposé ici P5 entre à son tour dans la partie de traitement compris entre 81 et 82. Il en est de même des autres parties communes, C3 à C4 qui fonctionnent selon le même principe. Dans ce mode de réalisation, on remarque que dans le cas 30 d'équipements de traitement qui peuvent être connectés électriquement, la connexion électrique est fixe et déterminée. Dans le mode de réalisation de la figure 2, un agencement de moyens M1, M2, M3, M4 de combinaison reliés respectivement 13 aux parties communes Cl, C2, C3, C4 permet l'association entre une partie postée Eq1 à Eq8 à l'une des parties communes Cl, C2, C3, C4 prédéterminées lors de l'entrée de l'équipement correspondant dans la position 61 de la zone de traitement. Comme dans le cas de la figure 1, pour permettre l'association entre une partie commune d'équipement de traitement et au moins une partie postée d'équipement prédéterminée au moment approprié, la machine rotative traitement de l'invention peut comporter un capteur de séquence, qui peut être lo constitué par un capteur de position angulaire du carrousel 6 ainsi qu'il a été représenté à la figure 3. Chaque fois que le capteur de position angulaire 6 détecte l'entrée à la position 01, d'un poste déterminé, par exemple le poste P1, un signal d'activation provoque l'association entre la 1s partie postée Eq1 de ce poste à l'aide du moyen M1 de l'agencement de moyens M1, M2, M3, M4 de combinaison avec la partie commune Cl prédéterminée, de sorte que l'opération peut être réalisée. Lorsque la partie commune Cl redevient disponible, c'est- 20 à-dire lorsque le poste P1 sort du secteur angulaire 61 - 62, cette partie commune Cl peut être associée par le moyen M1, ainsi qu'il est représenté sur le troisième diagramme de la figure 3, à une autre partie postée Eq5 (dans l'exemple des figures 2 et 3). Dans ce cas, lors d'un tour du carrousel, l'équipement Cl 25 est connecté ou bien à la partie postée Eq1 ou bien à la partie postée Eq5 ou pendant un temps mort à aucun équipement posté. L'un des buts de l'invention est bien entendu de minimiser cette période de temps mort en attribuant à une partie commune Ci un autre équipement ou une partie postée d'équipement, ce qui 30 permet par exemple de connecter un troisième et parfois même, selon l'amplitude 62 û 61 de la zone de traitement, un quatrième poste de travail. 14 On conçoit ainsi que l'on puisse réduire le nombre de composants utilisés pour exécuter un équipement de traitement complet en mutualisant dans une partie commune le plus de composants nécessaires à l'exécution d'une opération de traitement. On constate que dans le cas particulier d'une machine à huit postes dont trois seulement se trouvent en même temps dans la zone de traitement, comme illustré sur les figures 1 et 2, la configuration de la figure 1 est celle qui permet de réduire au mieux le nombre de composants, puisqu'elle ne nécessite que trois parties communes contre quatre dans le cas de la figure 2. Il est toutefois des cas où le choix de la configuration de la figure 2 n'est pas moins avantageux : ainsi, si quatre postes sont susceptibles de se trouver en même temps dans une zone de 1s traitement, il faudrait prévoir quatre parties communes, et dans ce cas il n'y a pas plus d'intérêt à utiliser l'une ou l'autre ds configurations. Pour chaque opération, l'homme du métier est en mesure d'effectuer le choix de l'agencement le plus approprié. A la figure 4, on a représenté un mode de réalisation 20 particulier d'un équipement de traitement destiné à exécuter un traitement micro-ondes ainsi qu'il a été décrit ci-dessus La partie commune est constituée par une alimentation Cl qui est connectée par un multiplexeur M1 à deux magnétrons, qui constituent chacun respectivement l'un la partie postée Eq1 d'un 25 premier poste de travail P1 et l'autre la partie postée Eq2 d'un second poste de travail P2. Les postes de travail P1 et P2 sont séparés d'une distance angulaire au moins égale à l'écart angulaire 82 û 81 de la zone de travail. 30 A la figure 5, on a représenté un autre mode de réalisation du système de l'invention appliqué à une ressource d'analyse de signal détecté sur un poste de travail. Dans ce cas, la partie commune est constituée par un analyseur de signal Cl qui est connecté par un multiplexeur M1 à 15 deux capteurs de luminosité, qui constituent chacun respectivement l'un la partie postée Eq1 d'un premier poste de travail P1 et l'autre la partie postée Eq2 d'un second poste de travail P2. s Particulièrement, dans le cas du dépôt par plasma froid, il peut être important de connaître pour chaque récipient en cours de traitement l'état dans lequel se trouve le plasma de façon à estimer la qualité du dépôt et à effectuer, le cas échéant, un contrôle du traitement en synchronisme avec le fonctionnement 10 de la machine rotative. En fonction de la luminosité, d'une part, et le cas échéant, de la répartition spectrale de la lumière rayonnée par le plasma, d'autre part, il est possible d'estimer sur la base de tables préenregistrées et obtenues par échantillonnage dans des 15 productions que l'on estime manuellement, de déterminer ainsi la qualité des bouteilles traitées et deproduire, et le cas échéant, au niveau d'un analyseur de qualité, un signal associé au poste de travail indiquant si la bouteille est de qualité correcte ou d'une autre qualité. 20 Particulièrement dans le cas d'une qualité mauvaise, la bouteille peut alors être suivie par un mécanisme et éjectée du processus de production. Dans d'autres modes de réalisation, il est possible de réaliser un tri des récipients traités en catégories de qualité en 25 aiguillant à la sortie 4 du carrousel ainsi qu'il est illustré aux figures 1 et 2, sur plusieurs chaînes de transfert des récipients traités et triés par classes de qualités différentes. Dans un tel système, le signal utile se transmet depuis un poste de travail périphérique sur le carrousel vers un élément 30 central, dit adaptateur de signal. Particulièrement, les capteurs constituent des parties postées d'équipement tandis que les spectromètres et/ou les analyseurs de luminosité, d'intensité de lumière par exemple, 16 peuvent être mutualisés sur plusieurs postes de travail, et former de ce fait des parties communes. On conçoit que la surveillance de la luminosité ou la spectrographie de la lumière émise par le plasma ne présente un intérêt que pendant le passage d'un récipient dans la zone de traitement entre les angles 81 et 82. De ce fait, le même système de l'invention s'utilise aussi en détection, et donc, ainsi qu'il a été défini plus haut, en contrôle du traitement. Ainsi qu'il a été représenté à la figure 5, les capteurs de luminosité associés comme partie postée d'équipement avec le poste P1 se trouvent dans le module Eq1 embarqué et la partie postée Eq2 est identique et est associée à un poste P2 qui est par exemple montée sur un poste diamétralement opposé dans un 1s exemple de réalisation. Les signaux issus des capteurs sont alors multiplexés à l'aide du multiplexeur M1 et le signal de multiplexage est transmis à l'entrée d'un analyseur de signal Cl tel qu'il a été décrit ci-dessus. 20 L'analyseur de signal Cl constitue alors un équipement commun ou une partie commune qui est partagée au bénéfice des parties postées Eq1 et Eq2 entre deux postes P1 et P2 du carrousel. Le séquencement du multiplexeur entre son entrée 25 associée à la partie postée Eq2 et à la partie postée Eq1 est exécuté à l'aide du capteur d'état du carrousel. En revenant à l'application de l'invention à un système de traitement micro-ondes pour exécuter un plasma froid de façon à exécuter le dépôt d'une couche barrière à l'intérieur d'un récipient 30 contenu dans un poste de travail d'un carrousel d'une machine rotative selon l'invention, on s'est rendu compte qu'il était possible de réaliser un second niveau de mutualisation des ressources. 17 Particulièrement, on s'est rendu compte qu'il était possible de faire travailler un équipement de traitement en prévoyant trois parties principales : - un générateur de haute tension HT ; - deux générateurs de micro-ondes qui sont réalisés sur la base d'un hacheur de la haute tension générée ; - des têtes micro-ondes. Ainsi, les parties postées comportent les têtes micro-ondes proprement dites qui seront décrites plus loin. io Les parties communes, quand à elles, peuvent être mutualisées en deux niveaux différents à savoir : - le générateur haute tension ; - deux générateurs micro-ondes qui constituent un second niveau de mutualisation ; 15 - les têtes d'application micro-ondes respectivement A et B pour chaque générateur micro-ondes. Le générateur micro-ondes est connecté à des têtes associées au poste proprement dit à l'aide d'un multiplexeur à une entrée vers deux sorties de sorte que, en fonction de la position 20 angulaire, l'énergie micro-ondes soit appliquée à l'une ou l'autre des têtes d'application. A la figure 7, on a représenté le schéma du séquencement appliqué par le multiplexeur à l'aide de cinq générateurs haute tension dans le cas d'une machine rotative de traitement 25 comportant vingt postes de travail angulairement répartis sur le carrousel 1. Chaque générateur haute tension est connecté et fournit de l'énergie à deux générateurs micro-ondes. Des câbles A et B sont issus de chaque générateur de 30 manière fixe et chaque câble est connecté à la tête micro-ondes du poste de travail auquel il correspond. Ainsi qu'il est visible à la figure 7, la dernière ligne du tableau comporte le numéro du poste et son rattachement 18 respectivement au câble, au générateur micro-ondes, et au générateur haute tension correspondant. Ainsi, on remarque que l'on a obtenu une mutualisation de ressource à deux niveaux. s A la figure 8, on a représenté un tel exemple pour un générateur haute tension 80 qui est connecté de façon à fournir de l'énergie haute tension à un générateur micro-ondes 82 et un générateur micro-ondes 84. Chaque générateur micro-ondes 82 ou 84 porte des têtes io de câble A et B qui sont connectés respectivement à des postes diamétralement opposés sur le carrousel 1. Dans ce cas, la tête de câble A du générateur micro-ondes 82 est connectée au poste de travail P1 tandis que la tête de câble B est connectée au poste de travail P11. 15 De même, la tête de câble A du second générateur micro-ondes 84 est connectée au poste de travail P2, tandis que la tête de câble B est connectée au poste P12. A la figure 9, on a représenté un mode particulier de réalisation d'un capteur d'activation des moyens de multiplexage 20 qui sont associés à un poste de travail. Un chariot est associé à un poste de travail qui comporte une partie fixe 90 dans laquelle une partie mobile 92 peut se déplacer sous l'influence d'un ressort 94 de façon à rouler en permanence à l'aide d'une roulette 96 sur un profil de came 98 qui 25 peut être associé, ou bien au bord périphérique du carrousel ou bien renvoyé sur une came montée en relation avec l'arbre central de la machine rotative. La partie mobile 92 est associée à un conducteur 90A qui est porté à une première polarité électrique, tandis que la partie 30 de fond du support 90 est connectée à un connecteur 90B. Quand la rotation 3 est effectuée, le poste de travail qui porte le chariot 90 parvient dans la zone de traitement 01 et le profil de came repousse alors le chariot 92 de sorte qu'un contact 19 est établi et que le conducteur 90B est porté au potentiel électrique du conducteur 90A, ce qui active le multiplexage. De même, le profil haut 100 de la came se prolonge jusqu'à la position 82 et un profil de descente revient à la position neutre 102. A la figure 10, on a représenté un autre mode de réalisation d'un moyen de multiplexage qui utilise l'arbre central 110 de la machine rotative. L'arbre central 110 porte une bague 112 sur laquelle est 10 disposée une pluralité de contacts conducteurs respectivement 114, 116, 118 et 120. Chaque poste de travail est associé à un bras ou élément de transfert qui va rejoindre la zone de contact avec la bague 112 et porte des balais de contact comme le balai 122, en contact 1s avec la piste 114, pendant le passage du poste de travail dans la zone de traitement de façon à réaliser la connexion de l'équipement posté avec l'équipement commun. Des contacts électriques 124 permettent d'indiquer la position angulaire dans lequel se trouve le poste de travail, ce qui 20 permet d'activer la partie postée de l'équipement de traitement sur le poste considéré. A l a figure 1 1 , on a représenté la partie postée Eq1 du poste de travail P1 dans le cas d'un traitement micro-ondes. Le poste de travail P1 comporte une enceinte 130 à deux 25 parois dont une paroi en quartz à l'intérieur de laquelle peut être fait le vide à l'aide d'une machine à vide (non représentée) et dans laquelle est chargé le récipient 132 à l'intérieur duquel on désire déposer une couche barrière. Un injecteur 134 est mécaniquement associé à un 30 couvercle 136 qui peut être ôté lors de l'introduction de la bouteille 132 dans l'enceinte 130. Quand le couvercle 136 est placé en position de traitement, le réceptacle 130 est entièrement mis sous vide. Puis, un gaz est injecté par l'injecteur 134. 20 Par ailleurs, l'équipement de traitement comporte sa partie postée Eq1 dans laquelle se trouve un magnétron 138 qui est connecté, par un tunnel ou guide d'onde 140 réalisé de manière connue, à l'enceinte 130. Un générateur de micro-ondes 142 est connecté par un connecteur Cx à un câble 144 qui est alors rattaché à la partie commune de l'équipement de traitement associée avec la partie postée Eq1 ainsi qu'il a été décrit ci-dessus. Lors du passage du poste P1 dans la zone de traitement, io le câble 144 permet de transmettre l'énergie électrique haute fréquence, produite par la partie commune de l'équipement de traitement, au générateur micro-ondes 142 et au magnétron 138. Le guide d'ondes 140 produit alors un rayonnement micro-ondes qui, correctement associé à l'aide de l'injecteur ainsi qu'il is est connu, démarre un plasma froid qui, par la répartition des lignes de champ électrique, dépose alors la couche barrière sur la paroi intérieure de la bouteille 132. A la fin de la zone de traitement, la partie postée Eq1 est désactivée et séparée de la partie commune (non représentée) de 20 l'équipement de traitement, la partie commune étant alors disponible pour la mutualisation avec la partie postée d'un autre poste qui se présenterait à l'entrée de la zone de traitement. REVENDICATIONS 1 - Machine rotative de traitement de produits, la machine rotative comprenant un carrousel central portant une pluralité de postes de travail identiques (P1 û P8), exécutant chacun pendant un tour du carrousel une même séquence prédéterminée d'opérations de traitement de produits de façon décalée temporellement d'un poste à l'autre, au moins l'une des opérations de ladite séquence étant réalisée en décalage total d'un poste à l'autre, lo caractérisée en ce que chaque poste (Pi) comporte au moins une partie postée (Eqi) avec des premiers moyens agencés pour être mis en oeuvre lors de l'exécution de ladite opération en décalage total, et en ce que la machine comporte au moins une partie is commune (Cj) avec des seconds moyens agencés pour être mis en oeuvre lors de l'exécution de ladite opération en décalage total, et en ce que la machine comporte des moyens de combinaison (Mj) pour mettre sélectivement en relation ladite au moins une partie commune (Cj) à la partie postée (Eqi) d'un poste 20 de travail pendant la durée nécessaire à l'exécution sur ce poste de ladite opération en décalage total, et permettre que ladite opération soit réalisée par l'action des premiers moyens de la partie postée (Eqi) de ce poste et des seconds moyens de la partie commune (Cj) qui s'y trouve associée . 25 2 - Machine rotative selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'équipement est de type électrique et des moyens (M1 , M2, M3) de combinaison sont agencés pour permettre l'association entre une partie postée (Eqi à Eq8) à l'une des parties communes (Cl, C2 ou C3) disponible lors de l'entrée de 30 l'équipement correspondant dans la zone de traitement. 3 - Machine rotative selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'équipement est de type électrique et au moins un moyen (Mi) de combinaison est associé de manière permanente 22 aux parties postées (Eq1, Eq5) d'au moins deux postes de travail (P1, P5). 4 - Machine rotative selon la revendication 2 ou 3, caractérisée en ce que les moyens de combinaison comportent un moyen de multiplexage pour activer la connexion électrique entre une partie commune et une partie postée lorsque ladite opération en décalage total doit être exécutée dans le poste comportant ladite partie postée. 5 - Machine rotative selon la revendication 4, caractérisée io en ce que les moyen de combinaison (Mj) comportent un ensemble de connexion électrique reliant une partie commune (Cj) à au moins deux parties postées (Eq1, Eq2) ainsi qu'un moyen de multiplexage pour activer la connexion électrique active entre la partie commune et une partie postée lorsque ladite is opération en décalage total doit être exécutée dans le poste comportant ladite partie postée. 6 - Machine rotative selon la revendication 5, caractérisée en ce que le moyen de multiplexage pour activer la connexion électrique active comporte un circuit de multiplexage électronique 20 qui produit un signal d'activation lorsque un poste entre dans la portion de tour de la machine au cours de laquelle l'opération doit être effectuée. 7 - Machine selon la revendication 6, caractérisée en ce que le moyen de multiplexage pour déterminer la connexion 25 électrique active comporte un circuit de multiplexage électrique composé par au moins un contacteur d'activation commandé par la détection de l'entrée ou de la sortie dans une portion (81 û 82) de tour de la machine rotative correspondant à l'exécution de ladite opération. 30 8 - Machine selon la revendication 7, caractérisée en ce que le contacteur est constitué par un collecteur tournant sur un arbre central de la machine rotative et des contacts glissants en relation avec le collecteur. 23 9 - Machine selon la revendication 8, caractérisé en ce que le contacteur est déporté du poste qu'il active. 10 - Machine selon la revendication 9, caractérisée en ce que le contacteur déporté comprend une partie mobile destinée à venir en contact avec une came disposée en relation avec portion (81 û 82) de tour de la machine rotative correspondant à l'exécution de ladite opération. 1 1 -Machine rotative selon la revendication 1, caractérisée en ce que la partie commune (Cl) comporte un générateur io d'alimentation micro-ondes pour magnétron de traitement des produits lors d'une opération de traitement mettant en oeuvre un plasma froid et en ce que la partie postée (Eq1 , Eq2) comporte au moins un magnétron. 12 - Machine rotative selon la revendication 1 1 , is caractérisée en ce que le générateur d'alimentation micro-ondes comporte un circuit générateur d'une haute tension d'alimentation, destiné à être partagé entre plusieurs parties postées. 13 - Machine rotative selon la revendication 12, caractérisée en ce que le générateur d'alimentation micro-ondes 20 comporte aussi au moins deux circuits de pilotage micro-ondes destinés à être partagés entre plusieurs parties postées. 14 - Machine rotative selon la revendication 1, caractérisée en ce que la partie commune (Cl) comporte des moyens de mesure et d'analyse d'un signal représentatif d'un paramètre de 25 traitement et la partie postée (Eq1, Eq2) comporte un capteur de signal. 15 - Machine rotative selon la revendication 14, caractérisée en ce que les moyens de mesure et d'analyse sont constitués par un analyseur de signal de mesure de la luminosité 30 du plasma généré par un magnétron et en ce que le capteur de signal de la partie postée (Eq1, Eq2) est un capteur de l'énergie rayonnée par le plasma généré par un magnétron associé au poste (Pl, P2).