Brevet FR2886456A1 — publié le 20061201

L'invention concerne un dispositif pour sécher une pièce d'un appareil permettant de contenir de façon hermétique des plaques destinées à des applications en électronique, optique ou optoélectronique, comme par exemple des plaques de silicium ou de semiconduteur-sur-isolant. En particulier, de tels appareils peuvent servir de simples contenants utilisés en salle blanche pour le stockage ou l'expédition des plaques. En référence à la figure 1 est représenté un tel contenant 30 de type nacelle à ouverture frontale (ou FOUP de l'acronyme anglo-saxon Front Opening Unified Pod ), qui comprend un logement principal 20 dans lequel sont placées les plaques, une ouverture (non représentée) par laquelle on introduit les plaques dans le logement principal 20, et une porte amovible 10 fermant l'ouverture. Une fois la porte 10 fermée, il est essentiel que l'atmosphère (qui peut être artificiel) dans le logement principal 20 soit conservée. En outre, il est tout à fait essentiel que le logement principal 20 soit protégé des contaminants extérieurs, selon une propreté définie par un degré de propreté de type salle blanche. A cet effet, en référence à la figure 2, où est représentée une vue externe de la porte 10, cette dernière est d'abord attachée au logement principal 20 par des moyens d'attache 16A,16B,16C,16D et comprend des moyens d'étanchéité adaptés, actionnés par les boutons 15A et 15B. Afin d'améliorer l'étanchéité, la porte 10 est munie d'une paroi interne et d'une paroi externe distantes l'une de l'autre. Pour améliorer la protection aux contaminants, il est en outre indispensable de nettoyer le contenant 40. Le nettoyage d'un contenant 40 se déroule typiquement en trois étapes: ^ immersion dans un bac rempli d'eau déionisée et de surfactant; ^ rinçage à l'eau déionisée haute pression; ^ séchage par air chaud. L'invention concerne particulièrement l'étape de séchage. Le logement principal 20 est séché séparément de la porte 10, qu'on détache alors pour l'occasion. Cette étape de séchage est essentielle pour que l'ensemble de l'eau présente sur les parois du contenant 40 disparaisse. En effet, la présence de 5 particules d'eau pourrait ultérieurement former une condensation sur les plaques, susceptibles d'altérer leur qualité. En particulier, il est nécessaire de faire disparaître toute trace d'eau entre lesdites parois interne et externe de la porte 10. A cet effet, il est connu d'utiliser un dispositif tel que représenté sur les 10 figures 3 et 4. Celui-ci comprend: une roue 50 formant support à la porte 10, et apte à être mise en rotation autour d'un axe de rotation 100 de sorte à faire sécher par centrifugation la porte 10, et une armature métallique 60 comprenant plusieurs moyens de 15 retenue 61, 62, 63, 64 de la porte 10 sur la roue 50. La roue 50 est dentée de sorte qu'un jet de fluide 200 orienté et projeté sur les dents 51 de la roue 50 puisse provoquer ladite rotation de la roue 50, et donc de la porte 10, lorsque cette dernière est retenue sur la roue 50 par l'armature 60. L'armature 60 est fixée à la roue 50 par des moyens de type vis 71, 72,73, 74,75,76, et comprend un premier moyen de retenue 61 de la porte 10, équivalent à un U , formant guidage et support à la porte 10 lorsque la roue 50 est en position de repos, un deuxième moyen de retenue 62, situé à l'opposé du premier moyen de retenue 61, agencé pour plaquer la porte 10 contre la roue 50, et des troisième et quatrième moyens de retenues 63-64 servant de guidage et retenue latérale de la porte 50. Afin d'éviter tout balourd, le centre de gravité de la porte 10 appartient à l'axe de rotation 100 de la roue 50. Ce dispositif de séchage de la porte 10 comporte cependant des inconvénients. Tout d'abord, l'armature métallique 60 choisie ne s'adapte pas à différentes dimensions et à différents types de portes 10 (il existe en effet de légères variations de côte suivant les types et marques de contenant 40). Ensuite, le premier moyen de retenue 61 comporte un fil en métal inoxydable 61A, tendu, formant le support de la porte 10 en position de repos. Or, le fil 61A a une certaine souplesse, et se déforme alors après un certain nombre d'utilisations du dispositif, n'assurant plus un verrouillage suffisant de la porte 10. En outre, la fixation des moyens de retenue 61,62,63,64 par des vis 71,72, 73,74,75,76 n'est pas fiable dans le temps, étant donné les problèmes d'usure et de détérioration du pas de vis occasionnés par les entretiens et les efforts ressentis lors de la rotation de la roue. De plus, les changements de température lors du procédé de nettoyage (typiquement de 20 C à 45 C lors du nettoyage-rinçage à 95 C lors du séchage) font dilater et travailler le métal des vis et de l'armature 60, de sorte que les vis peuvent se desserrer plus vite, retenant de façon moins précise l'armature 60. De façon générale, un tel assemblage mécanique comporte toujours des imprécisions liées aux jeux entre les différents éléments après assemblage. De plus, le fait d'avoir une armature en métal 60 provoque des problèmes de corrosion au contact des produits chimiques utilisés, même dans le cas d'utilisation de métaux dits inoxydables , qui peuvent altérer sa résistance mécanique et contaminer la porte 10. Enfin, des problèmes de tenue sont liés au deuxième moyen de retenue 62 utilisé dans ce type de dispositif: Selon une première variante (représentée sur la figure 3), le deuxième moyen de retenue 62 est de type sauterelle de fixation, et vient alors pincer la porte 10 contre la roue 50, par l'intermédiaire d'un cadre métallique inclus dans l'armature métallique 60 et solidaire de la roue 50. 2886456. Selon une deuxième variante (non représentée), la porte 10 est prise en sandwich entre deux cadres métalliques (faisant partie de l'armature métallique). Les deux cages immobilisent la porte 10 lorsqu'elles sont reliées entre elles par un deuxième moyen de retenue 62 de type verrou. En ce qui concerne le deuxième moyen de retenue 62 selon la première variante, la sauterelle de fixation 62 peut se déformer et devenir difficile à verrouiller ou celle-ci n'assure plus sa fonction, après quelques semaines de fonctionnement. En ce qui concerne le deuxième moyen de retenue 62 selon la deuxième 10 variante, la porte 10 s'appuie sur le verrou lors de la rotation de la roue 50, et il arrive que le verrou n'assure plus le maintien de la porte 10. Tous les inconvénients précités entraînent à répétition l'éjection de la porte 10 lors de sa rotation. La porte 10 est alors systématiquement cassée. Un but de l'invention est de prévoir un dispositif qui pallie ces inconvénients. A cet effet, l'invention propose un dispositif pour sécher une pièce d'un appareil permettant de contenir de façon hermétique des plaques destinées à des applications en électronique, optique ou optoélectronique, le dispositif comprenant: un support de la pièce apte à être mis en rotation autour d'un axe de rotation de sorte à sécher par centrifugation ladite pièce, et plusieurs moyens de retenue de la pièce sur le support, caractérisé en ce que le dispositif comprend en outre des moyens de contrainte agencés pour contraindre, au repos, la pièce à entrer en butée contre un moyen de retenue, le moyen de retenue ainsi sollicité offrant donc une résistance mécanique. D'autres caractéristiques de ce dispositif sont les suivantes: -les moyens de contrainte comprennent un des moyens de retenue comportant un moyen élastique situé à l'opposé, par rapport à ladite pièce, dudit moyen de retenue sollicité, le moyen élastique étant agencé pour appliquer une force de rappel sur la pièce pour la contraindre à exercer une pression contre le moyen de retenue opposé ; - le moyen élastique est une plaque retenant ladite pièce sur une de ses 5 tranches, et qui est formée de sorte à présenter une élasticité lorsqu'elle est sollicitée par la pièce; - la forme donnée à la plaque est une forme en Z ; - les moyens de retenue sont essentiellement en matériau(x) non métallique(s) ; - au moins une partie des moyens de retenue sont en matériau plastique, tel 10 que le polypropylène; - le support est en matériau plastique, et en ce que les moyens de retenue sont soudés sur le support; - les moyens de retenue sont au nombre de quatre; - les ouvertures angulaires entre les moyens de retenue voisins sont 15 sensiblement identiques les unes des autres, si on prend ledit axe comme référant à l'ouverture d'angle; -les moyens de retenue sont sensiblement équidistants dudit axe de rotation; - les moyens de contrainte comprennent des moyens permettant de fixer la pièce au support de sorte que le centre de gravité de la pièce soit décalée d'une distance prédéterminée par rapport au point d'intersection dudit axe de rotation avec la pièce; - le décalage à partir du point d'intersection se fait vers ledit moyen de retenue sollicité ; - le support comprend en outre un contre-point apte à compenser au moins en 25 partie l'asymétrie dynamique lors de la rotation de la pièce due audit décalage; - ledit support est une roue; - ledit support est une roue dentée de sorte qu'un jet de fluide orienté et projeté sur la tranche de la roue puisse provoquer ladite rotation du support; - le diamètre de la roue, pris au sommet des dents, est compris entre environ 450 mm et environ 550 mm, le poids de la roue est compris entre environ 1 kg et environ 2 kg, le nombre des dents est compris entre environ 45 et environ 60, la hauteur des dents est compris entre environ 5 mm et environ 20 mm, et le jet de fluide à projeter a une pression comprise entre environ 1 bar et environ 5 bars et a une orientation angulaire, par rapport à une projection qui serait perpendiculaire à une tangente à la roue, comprise entre environ 30 et environ 50 ; - ladite pièce d'un appareil permettant de contenir de façon hermétique des plaques, est une porte de cet appareil comprenant des moyens pour permettre une fermeture hermétique de cet appareil de sorte à éviter une contamination des plaques et à conserver une atmosphère déterminée dans l'appareil. D'autres caractéristiques, buts et avantages de l'invention seront détaillés dans la description qui suit, illustrée par les figures suivantes: La figure 1 représente une vue en perspective d'un contenant de type FOUP . En référence à la figure 2, est illustrée une porte amovible d'un contenant de type FOUP selon une vue d'extérieur. La figure 3 représente un dispositif formant support à une porte de contenant selon l'état de la technique, utilisé lors du séchage de la porte après nettoyage de celle-ci. La figure 4 représente une vue schématique illustrant le fonctionnement général du dispositif de séchage d'une porte de contenant. La figure 5 représente un dispositif formant support d'une porte d'un contenant selon l'invention, utilisé pour le séchage de la porte après nettoyage de celle-ci. La figure 6 représente une vue schématique d'un dispositif support de porte d'un contenant, lorsque la porte est montée en vue du séchage. Les figures 7A, 7B et 7C représentent respectivement des vues de face, de côté et de dessus d'une partie d'un premier moyen de retenue d'une porte de contenant d'un dispositif de séchage selon l'invention. Les figures 8A, 8B et 8C représentent respectivement des vues de face, de côté et de dessus d'une autre partie du premier moyen de retenue, la première partie étant représentée par les figures 7A, 7B et 7C. Les figures 9A, 9B et 9C représentent respectivement des vues de face, 5 de côté et de dessus d'un deuxième moyen de retenue de la porte d'un contenant d'un dispositif de séchage selon l'invention. Les figures 10A, 10B et 10C représentent respectivement une vue de face, de côté et de dessus d'un troisième moyen de retenue de la porte d'un contenant d'un dispositif de séchage selon l'invention. En référence aux figures 5 et 6, est représenté un dispositif pour sécher une pièce d'un contenant de plaques, les plaques destinées à être placées dans le contenant étant de type à application pour l'électronique, l'optique ou l'optronique, telles que par exemple des plaques de silicium ou de semiconducteur-sur-isolant. La pièce à sécher peut par exemple être une porte amovible d'un contenant de type FOUP ou autre contenant, telle que des portes de contenant de type ENTREGRIS, S.E.P. Le dispositif comprend: un support, ici une roue 50, apte à être mis en rotation autour d'un 20 axe de rotation 100 de sorte à sécher par centrifugation la porte 10, et plusieurs moyens de retenue 610, 620, 630 et 640 solidaires de la roue 50. La roue 50 est préférentiellement en matériau plastique, tel que du 25 polypropylène. La périphérie de la roue 50 est optionnellement munie de dents 51 s'étendant sur toute la tranche de la roue 50, et agencées de sorte qu'un jet de fluide (tel qu'un jet de fluide 200 illustré sur la figure 2) orienté et projeté sur la tranche de la roue 50 puisse provoquer la rotation de celle-ci. Par exemple, pour un diamètre de roue 50, pris au sommet des dents, compris entre environ 450 mm et environ 550 mm, et pour un poids de roue 50 compris entre environ 1 kg et environ 2 kg, pour un nombre de dents compris entre environ 45 et environ 60, pour une hauteur de dents comprise entre environ 5 mm et environ 20 mm et pour un jet de fluide à projeter à une pression comprise environ 1 bar et environ 5 bars et ayant une orientation angulaire, par rapport à une projection qui serait perpendiculaire à une tangente à la roue 50, comprise entre environ 30 et environ 50 , on obtient par exemple une vitesse angulaire de la roue 50 comprise entre environ 500 tr/min et environ 1000 tr/min. Selon une variante, la roue 50 ne comporte pas de dents 51, et est entraînée à rotation par un moyen d'entraînement de type moteur. Eventuellement, la roue 50 comporte des évidements de sorte à alléger sensiblement son poids. Les moyens de retenue 61, 62, 63, 64, ici au nombre de quatre, peuvent être répartis autour de la roue 50 de sorte que les ouvertures angulaires (à partir de l'axe de rotation 100) entre les moyens de retenue voisins soient sensiblement identiques les unes des autres, et/ou de sorte que les moyens de retenue opposés par rapport à la porte 10 soient sensiblement équidistants de l'axe de rotation 100. Ainsi, peut être obtenue une certaine symétrie dans la disposition de ces moyens de retenue, et donc une similitude dans la valeur de la pression centrifuge exercée par la porte 10 à leurs niveaux respectifs. Un premier moyen de retenue 610 comporte préférentiellement un moyen élastique 611 contre lequel un côté 11 de la porte 10 vient en appui. La distance entre le premier moyen de butée 610 et le deuxième moyen de butée 620, ce dernier étant situé à l'opposé du premier moyen de butée 610 par rapport à la porte 10, est choisie de sorte que, une fois la porte 10 venant en appui sur les moyens élastiques 611, le côté 12 de la porte 10 (opposé audit côté 11) vienne en butée contre le deuxième moyen de retenue 620. Ainsi, le premier moyen de retenue 610 a une fonction équivalente au verrouillage en contraignant, notamment au repos, la porte 10 à entrer en butée contre le deuxième moyen de retenue 620, le deuxième moyen de retenue 620 sollicité formant ainsi une résistance mécanique au déplacement de la porte 10 5 initié par la force de rappel desdits moyens élastiques 611. Avantageusement, le deuxième moyen de retenue 620 comprend un épaulement agencé de sorte que le côté 12 de la porte 10 puisse être guidé latéralement entre cet épaulement et la roue 50, ou deux épaulements entre lesquels est inséré le côté 12 de la porte 10. On empêche ainsi la porte 10 de s'échapper au niveau de ce deuxième moyen de retenue 620. Ainsi, en référence aux figures 9A, 9B et 9C, est représenté un deuxième moyen de retenue 620 selon l'invention, celui-ci comprenant deux épaulements 623A et 623B permettant ainsi de définir un U selon une vue latérale du moyen de retenue 620 (cf. figure 9B), et donc une rainure 621 ayant une largeur égale ou légèrement supérieure à l'épaisseur du côté 12 de la porte 10, afin que cette dernière puisse s'y glisser. Le deuxième moyen de retenue 620 est fixé à la roue 50 par sa face arrière 624. En outre, des rainures 622A, 622B et 622C peuvent être prévues pour recevoir des nervures de porte 10 d'un ou plusieurs types, et permettre ainsi une retenue et un réglage plus précis de la porte 10 sur la roue 50. En référence aux figures 7A, 7B et 7C, est représenté un type de moyen élastique 611 dudit premier moyen de retenue 210, agencé de sorte à présenter une élasticité lorsqu'il est sollicité par la porte 10 avec un coefficient d'élasticité k égal à environ 2 kg/mm. Ce moyen élastique 611 est une plaque en forme de Z ayant une tranche 611D destinée à recevoir la porte 10. Cette tranche 611D est éventuellement pourvue d'une ou de plusieurs rainures 611E destinée(s) à coopérer avec des nervures que comporterait éventuellement le côté 11 de la porte 10, afin d'améliorer encore la tenue de la porte 10 sur la roue 50. Le moyen élastique 611 étant une simple plaque, elle ne présente donc pas de cavité ou de milieu intérieur apte à retenir de l'eau (susceptible alors de contaminer les portes à sécher ultérieurement). En outre, ce moyen élastique 611 n'empêche pas une circulation d'air à son niveau, et ne gêne donc pas le 5 séchage ainsi que l'évacuation de poussières. Le moyen élastique 611 est positionné et guidé par un châssis fixé à la roue 50. En référence aux figues 8A, 8B et 8C, le châssis comprend ici deux éléments de châssis 612, 613 munis chacun d'une rainure 618, 619, ces dernières rainures 618, 619 étant agencées pour recevoir chacun une partie latérale du moyen élastique 611, ces parties latérales étant fixées aux éléments de châssis 612, 613 au moyen d'éléments de fixation, par exemple de type vis, à travers des orifices 614, 615 pratiqués à cet effet dans au moins une paroi de chacun des éléments de châssis 612 et 613, ainsi qu'à travers des orifices traversants au même niveau une zone 616 et 617 desdites parties latérales du moyen élastique 611. Les éléments de châssis 614 et 615 sont fixés à la roue 50 par leurs faces arrière respectives 609. Grâce à la position du deuxième moyen de retenue et au moyen élastique 611, la porte 10 est contrainte à entrer en butée avec ledit deuxième moyen de retenue 620, le centre de gravité 200 de la porte 10 étant décalé d'une distance d de l'axe 100 (la distance d étant bien sûr prise en projection orthogonale du centre de gravité 200 sur l'axe 100), vers ledit deuxième moyen de retenue 620. En effet, ce décalage peut ainsi permettre une meilleure tenue de la porte 10 contre le moyen de retenue 620. Ainsi, la porte 10 est plus fortement retenue en étau entre le moyen élastique 611 et le deuxième moyen de retenue 620, uniquement au niveau de deux côtés opposés 11 et 12 de la porte 10, et sans employer de moyen de pincement de type verrou ou sauterelle de fixation. En outre, ce décalage d peut être ajusté selon la dimension de la porte 30 10, adaptant ainsi le dispositif à la dimension de la porte 10. Par exemple, pour une porte 10 de dimension 364 x 305,5 mm2, la porte 10 peut être décalée d'une distance d de 2 mm, alors qu'on pourra décaler la porte 10 de dimension 361 x 303 mm2 d'une distance d d'environ 4,5 mm pour obtenir une tenue de la porte 10 sensiblement identique. Eventuellement, la roue 50 est dotée d'un contrepoids apte à compenser la légère surcharge ainsi créée du côté du deuxième moyen de retenue 620. Des troisième et quatrième moyens de retenue 630 et 640, sensiblement identiques l'un de l'autre, sont en outre avantageusement prévus dans le dispositif selon l'invention, de sorte à retenir latéralement la porte 10 au niveau de ses deux autres côtés 13 et 14 respectivement. L'écartement entre ces deux guides a été optionnellement choisi afin de pouvoir positionner plusieurs types de portes tout en gardant un positionnement fiable à 5 mm. A cet effet, et en référence aux figures 10A, 10B, 10C, chaque moyen de retenue 630 comprend ici une surface 631 formant butée au côté 13 de la porte 10, et au moins un épaulement 632 de sorte à ce qu'ils définissent, avec la roue 50, un U dans lequel le côté 13 de la porte 10 est apte à être inséré et ainsi retenue lorsque la roue 50 supportant la porte 10 entrera en rotation. Les troisième et quatrième moyens de retenue 630 et 640 sont fixés à la roue 50 par leurs faces arrière respectives 633. Ainsi retenue par les moyens de retenue 610, 620, 630, 640, ainsi que par la roue 50, la porte 10 ne pourra pas s'échapper lors de la mise en rotation de la roue 50. Eventuellement, les moyens de retenue 610, 620, 630, 640 sont au moins 25 pour certains essentiellement formés en matériau plastique, tel que du polypropylène comme par exemple du polyfluorure de vinylidène. On évite ainsi les problèmes liés aux variations mécaniques de matériau selon les températures de nettoyage et de séchage, telles que celles rencontrées avec l'utilisation des métaux. De plus, ce dispositif évite des maintenances de type lubrification ou autres. On supprime ainsi toute présence d'huile, potentiellement contaminante. Dans ce dernier cas, ces moyens de retenue sont avantageusement soudés à la roue 50. On supprime ainsi un resserrage périodique d'assemblage de pièces, et les problèmes de jeu engendrés par l'usure des différentes pièces assemblées ainsi que par le desserrage. Il est à noter que les exemples de moyens de retenue 610, 620, 630, 640 illustrés par les figures 7A, 7B, 7C, 8A, 8B, 8C, 9A, 9B, 9C, 10A, 10B, 10C, ont 10 été représentés à la même échelle. Ainsi, en prenant comme référence la figure 9A, la longueur réelle du deuxième moyen de retenue 620 est d'environ 150 mm. Ces dernières dimensions de moyens de retenue sont proposées pour des moyens de retenue en polypropylène, tel que du polyfluorure de vinylidène, et pour un diamètre de roue 50 (pris aux sommets de dents 51) d'environ 500 mm. Le dispositif selon l'invention est adaptable à tout type de pièce d'un contenant selon l'invention. Par exemple, il peut s'agir de pièce de type porte de ENTREGRIS, S.E.P. Ces types de portes ont typiquement des dimensions comprises entre 363 x 305 mm et 364 x 307 mm et des poids compris entre 0,5 kg et 1,5 kg. Les avantages procurés par le dispositif de séchage selon la présente invention sont notamment les suivants: - une mécanique simple et robuste, - des risques diminués de stockage de l'eau qui apporterait des problèmes de contamination, - une maintenance quasi-inexistante car il n'y a éventuellement qu'une pièce mobile et démontable (moyen élastique 611), l'éjection de la porte 10 est rendue impossible lors de la rotation de la roue 50. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour sécher une pièce d'un appareil permettant de contenir de 5 façon hermétique des plaques destinées à des applications en électronique, optique ou optoélectronique, le dispositif comprenant: un support de la pièce apte à être mis en rotation autour d'un axe de rotation de sorte à sécher par centrifugation ladite pièce, et plusieurs moyens de retenue de la pièce sur le support, caractérisé en ce que le dispositif comprend en outre des moyens de contrainte agencés pour contraindre, au repos, la pièce à entrer en butée contre un moyen de retenue, le moyen de retenue ainsi sollicité offrant donc une résistance mécanique. 2. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que les moyens de contrainte comprennent un des moyens de retenue comportant un moyen élastique situé à l'opposé, par rapport à ladite pièce, dudit moyen de retenue sollicité, le moyen élastique étant agencé pour appliquer une force de rappel sur la pièce pour la contraindre à exercer une pression contre le moyen de retenue opposé. 3. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le moyen élastique est une plaque retenant ladite pièce sur une de ses tranches, et qui est formée de sorte à présenter une élasticité lorsqu'elle est sollicitée par la pièce. 4. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que la 25 forme donnée à la plaque est une forme en Z . 5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de retenue sont essentiellement en matériau(x) non métallique(s). 6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que au moins une partie des moyens de retenue sont en matériau plastique, tel que le polypropylène. 7. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le 5 support est en matériau plastique, et en ce que les moyens de retenue sont soudés sur le support. 8. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de retenue sont au nombre de quatre. 9. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les ouvertures angulaires entre les moyens de retenue voisins sont sensiblement identiques les unes des autres, si on prend ledit axe comme référant à l'ouverture d'angle. 10. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de retenue sont sensiblement équidistants dudit axe de 15 rotation. 11. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de contrainte comprennent des moyens permettant de fixer la pièce au support de sorte que le centre de gravité de la pièce soit décalée d'une distance prédéterminée par rapport au point d'intersection dudit axe de rotation avec la pièce. 12. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le décalage à partir du point d'intersection se fait vers ledit moyen de retenue sollicité. 13. Dispositif selon l'une des deux revendications précédentes, caractérisé en ce que le support comprend en outre un contre-point apte à compenser au moins en partie l'asymétrie dynamique lors de la rotation de la pièce due audit décalage. 14. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit support est une roue. 15. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit support est une roue dentée de sorte qu'un jet de fluide orienté et projeté sur la tranche de la roue puisse provoquer ladite rotation du support. 16. Dispositif selon la revendication précédente, caractérisé en ce que le diamètre de la roue, pris au sommet des dents, est compris entre environ 450 mm et environ 550 mm, en ce que le poids de la roue est compris entre environ 1 kg et environ 2 kg, en ce que le nombre des dents est compris entre environ 45 et environ 60, en ce que la hauteur des dents est comprise entre environ 5 mm et environ 20 mm, et en ce que le jet de fluide à projeter a une pression comprise entre environ 1 bar et environ 5 bars et a une orientation angulaire, par rapport à une projection qui serait perpendiculaire à une tangente à la roue, comprise entre environ 500 tr/min et environ 1000 tr/min. 17. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite pièce d'un appareil permettant de contenir de façon hermétique des plaques, est une porte de cet appareil comprenant des moyens pour permettre une fermeture hermétique de cet appareil de sorte à éviter une contamination des plaques et à conserver une atmosphère déterminée dans l'appareil.