Brevet FR2889885A1 — publié le 20070223

Domaine de l'invention La présente invention concerne un procédé d'ajustage d'une résistance en couches notamment dans un élément de mesure de dilatation, la résistance en couches possédant une zone d'alimentation faiblement ohmique et une zone résistante fortement ohmique, reliées à la zone d'alimentation. L'invention concerne également une résistance en couches obtenue par ce procédé et un élément de mesure de dilatation comportant de telles résistances en couches Etat de la technique Les résistances en couches sont utilisées fréquemment dans les éléments de mesure de dilatation par exemple dans les capteurs de haute pression. Pour cela on applique les résistances en couches en général sous une forme radiale sur une membrane déformable et on les branche selon un montage en pont, notamment selon un montage de Wheatstone comprenant quatre résistances en couches. Lorsque la membrane est sollicitée par une pression, elle se déforme et les différentes résistances en couches s'allongent ou se contractent ce qui désaccorde la tension offset du montage en pont. Le désaccord du montage en pont se traduit par un signal électrique dépendant reçu par un circuit d'exploitation qui en déduit une mesure de la pression. Suivant le domaine d'application, il faut en outre une stabilité en température élevée, une grande sensibilité et une constance à long terme élevée, pendant toute la durée de vie de l'élément de mesure de dilata- tion. Les résistances en couches destinées à de tels capteurs ou détecteurs sont fréquemment réalisées avec une matière formant la résistance qui est du NiCr ou NiCrSi; cette matière est appliquée selon un procédé de revêtement propre comme couche amorphe avec une structure de résistance. Le branchement des résistances en couches se fait par une couche de contact particulière ou par un système de couches correspondant comme par exemple NiCr/Pd/Au ou Ni. Les variations liées au procédé de mise en structure lors de la fabrication des résistances en couches ou d'autres pré-procédés, font que les valeurs des résistances en couches du montage en pont ne sont fréquemment pas identiques; ainsi la tension offset du montage en pont lorsque l'élément de dilatation est à l'état neutre, c'est-à-dire à l'état non sollicité, est différent de 0 Volt. Pour adapter la valeur de la tension de décalage ou tension offset à la valeur pré-définie par une spé-cification, on augmente les valeurs des résistances d'une ou au maximum de deux résistances en couches sélectionnées du montage en pont en les ajustant. Pour cela, habituellement on utilise un procédé d'ajustage selon lequel on découpe au laser (fusion de la matière ré-sistante à l'aide d'un faisceau laser) dans une zone d'ajustage de la résistance en couches pour augmenter la valeur correspondante de la résistance en couches. Le procédé de découpe par laser est habituel car il permet une très grande précision d'ajustage. Le procédé de découpe par laser repose sur l'enlèvement de matière par chauffage pour que la matière de la résistance en couches s'évapore ou fonde et forme une ligne de séparation (ligne de coupe) dans la matière de la résistance. Au bord de la ligne de coupe, on a un ourlet dans la matière de la couche avec recristallisation au moins partielle de la matière qui antérieure-ment était amorphe. La zone recristallisée de la résistance présente néanmoins par rapport à la zone amorphe de la résistance en couches, un coefficient de température différent pour la résistance; ainsi l'ensemble du comportement vis à vis de la température de la résistance en couches ou du circuit en pont est influencé par le procédé de dé-coupe par laser. Comme le procédé de découpe par laser appliqué à des résistances en couches d'un circuit en pont consiste habituellement à minimiser autant que possible la tension de décalage ou tension offset du montage en pont, selon la longueur de la coupe faite par le laser, on aura une modification non prévisible de la dépendance en température de la tension offset. Lors d'une opération de mesure finale, on détermine la relation de température et selon que le coefficient de température de la tension de décalage du montage en pont se situe à l'intérieur ou à l'extérieur des valeurs prédéfinies, l'élément de capteur sera accepté ou refusé. Buts de l'invention La présente invention a pour but de développer un procédé d'ajustage de la résistance en couches permettant d'augmenter le rendement de la fabrication après l'ajustage. L'invention a notamment pour but de développer un procédé d'ajustage d'un montage en pont composé de résistances en couches permettant de minimiser le coefficient de température résultant de la tension de décalage du montage en pont. L'invention a également pour but de développer une résistance en couches et un élément de mesure de dilatation qui soient simples à ajuster et pour lesquels l'influence du procédé d'ajustage sur la dépendance en température de la résistance soit réduite. Exposé et avantages de l'invention A cet effet, l'invention concerne un procédé du type défini ci-dessus caractérisé en ce que - on effectue une première opération de coupe par laser dans la zone résistante pour modifier le coefficient en température de la tension de décalage, et - on effectue une seconde opération de coupe par laser et on ajuste la valeur de la résistance en couches selon une valeur de consigne pré--définie. Selon un premier développement, l'invention concerne un procédé d'ajustage d'une résistance en couches notamment d'un élément de mesure de dilatation. La résistance en couches comporte une zone d'alimentation faiblement ohmique et une zone fortement ohmique reliées à la zone d'alimentation. Selon le procédé on effectue une coupe par laser de la zone résistante pour modifier le coefficient de température de la résistance en couches Cela ne modifie que peu la valeur de la résistance et ainsi la tension de décalage. Ensuite, selon un second pro- cédé de découpe par laser, on ajuste la couche résistante de façon à régler la tension de décalage (tension offset) de la résistance en couches selon une valeur de consigne. Le procédé selon l'invention permet dans le cas d'une résistance en couches, de compenser l'influence de la découpe par laser suivant la relation de température de la valeur de la résistance en ce que tout d'abord, on effectue une première découpe par laser dans la zone résistante de la résistance en couches. Cette coupe permet de régler le coefficient de température de la valeur de la résistance en couches d'une manière prédéfinie. Cela permet de fixer au préalable, la valeur ou la plage de valeurs dans laquelle se situe le coefficient de température de la valeur de la résistance pour qu'après avoir exécuter la seconde découpe par laser, la plage du coefficient de température de la tension offset soit en grande partie définie par la première découpe par laser. De manière préférentielle, on effectue le premier procédé de coupe ou de découpe par laser suivant une première longueur de coupe prédéfinie sur la plage de résistance de la résistance en couches Notamment on peut couper le long d'un segment du bord de la plage de résistance. Selon un mode de réalisation préférentiel, la résistance en couches fait partie d'un montage en pont et on effectue le premier procédé de découpe par laser pour régler le coefficient de température de la valeur de la résistance en couches pour régler ce coefficient sur une valeur de décalage (ou valeur offset) et/ou avoir une résistance glo- bale du montage en pont réglée sur une valeur de consigne prédéfinie. De manière préférentielle, on peut effectuer la première découpe par laser de façon que le coefficient en température de la tension de décalage du montage en pont soit pratiquement égal à 0 ou proche de O. Selon un autre mode de réalisation de l'invention, on peut effectuer le second procédé de découpe par laser dans la zone d'alimentation de la résistance en couches à l'aide d'une seconde longueur de coupe; cette longueur de la seconde coupe est choisie pour que le signal de décalage du montage en pont soit réglé sur une valeur de consigne prédéfinie. On ajuste ainsi le montage en pont sur la résis- tance en couches pour correspondre à une valeur prédéfinie selon des spécifications. On peut également prévoir que pendant que l'on effectue la seconde coupe par laser le long d'une ligne de coupe, on mesure la résistance totale et/ou la tension de décalage du montage en pont et on arrête le second procédé de découpe par laser lorsque la tension de dé-calage atteint la valeur pré-définie. De manière préférentielle, on peut effectuer la seconde découpe par laser dans une zone d'alimentation pour diminuer un seg- ment de la section de passage de courant de la zone d'alimentation en formant une entretoise conductrice en série sur la zone résistante. En outre, la zone d'alimentation et/ou la zone résistante peuvent comporter plusieurs segments de liaison et on effectue la seconde découpe par laser en séparant les segments de liaison successivement par la seconde opération de découpe par laser; pendant la découpe successive des segments de liaison, on détermine chaque fois la résistance totale ou la tension de décalage (tension offset) du montage en pont et on arête la coupe des segments de liaison lorsque la résistance totale ou la tension de décalage atteint ou dépasse la valeur de consigne pré-définie. Selon une autre caractéristique de l'invention, la résistance en couches est notamment destinée à un élément de mesure de dilatation notamment applicable à un montage en pont. La résistance en couches a une zone d'alimentation faiblement ohmique et une zone résistante fortement ohmique reliée à la zone d'alimentation, la zone d'alimentation et la zone résistante étant réalisées chacune en une matière en couches conductrice. La zone d'alimentation et/ou la zone résistante ont plusieurs segments de liaison entre un premier segment et un second segment de la zone d'alimentation ou de la zone résistante disposée de façon que lorsque la résistance en couches est traversée par un courant, elle reçoive chaque fois une partie du courant. Une telle résistance en couches a l'avantage de pouvoir être ajustée de manière définie par la coupe de segment de liaison, et la découpe par laser pour l'ajustage réduit la longueur d'une zone de bourrelet qui influence de manière gênante le coefficient de température. Selon un autre mode de réalisation de l'invention, les segments de liaison peuvent être formés par des zones d'entretoise entre un premier et un second segment, ces zones étant séparées par une ou plusieurs découpes dans la matière de la couche. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide de modes de réalisation préférentielle représentés dans les dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 montre un schéma électrique de résistance en couches, sensible à la dilatation d'un montage en pont pour un élément électrique de mesure de dilatation; - la figure 2 est une vue détaillée d'une résistance en couches pour un élément de dilatation selon la figure 1; - les figures 3a et 3b sont des coupes possibles par laser dans la zone d'alimentation des résistances en couches pour ajuster l'élément de mesure de dilatation; - la figure 4 montre une résistance en couches après une première dé-coupe par laser dans la résistance en couches selon un premier mode de réalisation de l'invention; - la figure 5 montre la relation entre les tensions de décalage et la température d'un certain nombre d'éléments de mesure de dilatation avant la découpe par laser; - la figure 6 montre la variation des coefficients de température TKO de la tension de décalage des éléments de mesure de dilatation après une première découpe par laser pour une partie des éléments de me-sure de dilatation; - la figure 7 montre la dépendance de la température des tensions de décalage du nombre d'éléments de mesure de dilatation après avoir exécuté la seconde découpe par laser pour ajuster les valeurs des résistances ou de la tension de décalage de l'élément de mesure de dilatation; - la figure 8 montre un autre mode de réalisation d'une résistance en couches notamment destinée à un élément de mesure de dilatation selon lequel au moins une zone d'alimentation comporte des décou- pes ou cavités; - la figure 9 montre les coefficients de température des tensions de décalage selon le mode de réalisation de la figure 8 avec un nombre d'éléments de mesure de dilation avant la découpe par laser; - la figure 10 montre les coefficients de température des tensions de décalage d'un certain nombre d'éléments de mesure de dilation après la première découpe par laser pour une partie des éléments de me-sure de dilatation; - la figure 11 montre les coefficients de température de la tension de décalage d'un certain nombre d'éléments de mesure de dilatation après avoir exécuté les deux découpes par laser; - la figure 12 montre un autre mode de réalisation d'une résistance en couches selon l'invention. Description de modes de réalisation de l'invention La figure 1 montre un schéma électrique d'un montage en pont (pont de Wheatstone) composé de résistances en couches 2, sensible à la dilatation; de telles résistances sont par exemple appliquées à des capteurs de dilatation, des capteurs de pression ou autres éléments capteurs. Les résistances en couches 2 sont fréquemment appliquées sur une surface de capteurs, déformable qui s'allonge ou se comprime suivant la valeur à mesurer. Les résistances en couches 2 sont disposées par leur direction de plus grande sensibilité suivant un tracé croisé. Pour le montage en pont 2, on a chaque fois deux résistan- ces en couches 2 en série et les branches de courant ainsi formées sont parallèles. La tension de sortie UA d'un élément de mesure de dilatation 1 se détecte entre un noeud des deux résistances en couches 2 d'une branche de courant et un noeud des deux résistances en couches 2 de l'autre branche de courant. Les résistances en couches 2 sont fréquemment réalisées de la même manière pour que dans le cas idéal elles aient la même va-leur. Dans le cas idéal, la tension de décalage (tension offset) correspondrait à une valeur 0 c'est-à-dire que pour des résistances en couches non sollicitées, sans dilatation ni compression des surfaces de détection, appliquée aux résistances en couches 2 on aura une tension de décalage égale à 0 Volt, si les valeurs de résistance 2 étaient identiques. Néanmoins, en pratique on a des différences liées à la fabrication pour les valeurs des résistances en couches 2 si bien qu'il faut ajuster une ou plusieurs résistances en couches 2 pour qu'à l'état non sollicité on obtienne une tension de décalage aussi faible que possible. En variante ou en plus on peut régler le montage en pont 1 pour que la résistance totale c'est-à-dire la résistance d'entrée et de sortie du montage en pont se situe dans une plage prédéfinie par une spécification ou corresponde à une valeur prédéfinie. Un tel élément de mesure de dilatation 1 ayant de telles valeurs de résistance, différentes les unes des autres présente en outre une tension de décalage ou une résistance to- tale dépendant de la température et qui selon les spécifications ne doit pas non plus dépasser une certaine amplitude. La figure 2 montre de manière détaillée une résistance en couches 2. La résistance en couches 2 comporte deux zones d'alimentation 21 reliées électriquement par des contacts appropriés extérieurs ou reliées à une autre résistance en couches Les zones d'alimentation 21 sont reliées électriquement à deux raccordements d'une zone de résistance 23. La zone de résistance 23 a une structure en méandres ayant dans sa direction transversale Q, la plus grande sensibilité vis à vis de l'extension et de la compression; dans sa direction longitudinale L sa sensibilité est plus faible vis à vis de l'extension et de la compression. La résistance en couches 2 est intégrée à un substrat (non représenté) par exemple une surface déformable de capteurs d'un capteur de pression ou d'un moyen analogue; cette résistance en couches est appliquée de manière sélective par exemple par lithographie ou à l'aide d'un masque et présente ainsi une épaisseur pratiquement constante. La matière de la résistance en couches est de préférence un alliage NiCrSi isolé par rapport à la surface du capteur par l'intermédiaire d'une couche d'isolation en général une couche en SiO2. La matière de la résistance en couches est habituellement à l'état amorphe appliquée par exemple par pulvérisation. Pour ajuster la tension de décalage (tension offset) ou la résistance globale du montage en pont 1, l'état de la technique prévoit de faire une coupe dans la zone d'alimentation 21 et d'ajuster ainsi la valeur de la résistance de toute la résistance en couches La coupe se fait de préférence à l'aide d'un laser et celui-ci fait fondre la résistance en couches 2 et divise ainsi la résistance à l'endroit approprié. La fusion de la matière constituant la couche forme au niveau des bords des deux parties de la matière en couches, des bourrelets le long de la ligne de coupe. Dans ces bourrelets la matière de la résistance se recristallise lorsqu'elle fige. La matière de la couche recristallisée présente habituellement une résistance spécifique différente de celle de la matière résis- tante et des coefficients de température également différents de la matière de la résistance. Suivant l'endroit de la coupe dans la zone d'alimentation, on formera une entretoise ou branche 24 de largeur différente qui réduit sur une longueur prédéterminée la zone d'alimentation et augmente ainsi la valeur totale de la résistance en io couches. Des exemples de position de ligne de coupe dans la zone d'alimentation sont donnés aux figures 3a et 3b. Plus la coupe par laser dans chaque résistance en couches est longue et plus importante sera l'influence de la résistance spécifique différente et des coefficients de température différents de la résistance du bourrelet formé au bord de la ligne de coupe. Il en résulte que la dépendance de la température de la résistance en couches ajustée par le procédé de découpe par laser est fonction de la longueur de la ligne de coupe respective et cela se traduit ainsi par une plus forte dépendance de la tension de décalage ou de la résistance globale du montage en pont par rapport à la température. Comme la longueur de la coupe par laser lors de l'ajustage de la tension de décalage ou de la résistance globale du montage en pont provient par exemple du fait que pendant l'opération d'ajustage c'est-à-dire pendant l'opération de coupe par laser, on mesure la tension de décalage ou la résistance globale et lors de la découpe par laser, on ne peut régler la fonction de la température. Pour cette raison, l'invention prévoit d'exécuter l'opération de découpe par laser en deux étapes. Au cours d'une première opération de découpe par laser que l'on exécute avant l'ajustage proprement dit de la tension de décalage ou de la résistance globale, on effectue dans la zone de résistance 23, une première coupe de longueur pré-définie au bord de la zone de résistance de sorte qu'une partie de la matière de la couche de la zone résistante fond et recristallise en formant un bourrelet. La coupe est de préférence exécutée pour que la largeur de la zone résistante 23 et ainsi la valeur de la résistance ne soit pas diminuée de manière considérable et qu'une partie de la matière de la couche de la zone résistante 23 soit transformée en un bourrelet ayant un coefficient de température modifié pour la résistance. La figure 4 montre par exemple une position de la première coupe par laser dans la zone résistante. Cette première opération de coupe par laser (coupe préalable) ne modifie pas considérable- ment la valeur de la résistance de la zone résistante 23 mais uniquement son coefficient de température si bien que cette première opération de découpe par laser n'influence pratiquement que le coefficient de température de la résistance en couches et n'influence ainsi que faiblement la valeur de la résistance en couches 2. Cela permet d'adapter autant que possible comme souhaité le coefficient de température de la résistance en couches 2 ou de la tension de décalage et/ou de la résistance totale du circuit de mesure de dilatation muni de la résistance en couches 2. De façon préférentielle, par la première découpe par laser, on déplace la dépendance en température de la tension de décalage ou de la résistance totale du montage en pont 1 dans la zone de O. Au cours de la seconde découpe par laser, suivante, comme cela est connu selon l'état de la technique, on règle la tension de décalage ou la résistance totale du montage en pont suivant les consignes prescrites en procédant de manière connue. La longueur de la coupe effectuée lors de la première coupe par laser (longueur de la coupe préalable) on sélectionne un certain nombre d'éléments de mesure de dilatation d'un lot (c'est-à-dire des éléments fabriqués au cours du même procédé) et on applique la dé- pendance de température moyenne des montages en pont au nombre d'éléments de mesure de dilatation avant d'effectuer la première dé-coupe par laser. A l'aide des valeurs d'expérience ou en appliquant un modèle de calcul, en fonction de la dépendance moyenne de la température pour la tension de décalage ou la résistance totale, on sélec- tionne une ou plusieurs résistances de couches et on associe celles-ci à une première longueur de coupe. Ensuite, on coupe les résistances de couches correspondantes à l'aide de la première opération de découpe par laser suivant la même première longueur de coupe (coupe préalable). Une caractéristique essentielle du premier procédé de dé-coupe par laser consiste à faire fondre la matière de la résistance en couches sans modifier de manière déterminante la résistance totale. En faisant fondre et en laissant figer la matière de la résistance dans la zone de la résistance, on développe un bourrelet de matière de résistance, recristallisée, influençant le coefficient de température de la résistance en couches La largeur de l'entretoise résultant de la ligne de coupe réalisée par la seconde opération de découpe par laser peut représenter par exemple un quart jusqu'à la moitié de la largeur initiale de l'entretoise de la zone d'alimentation. Cela signifie que pour une largeur de la zone d'alimentation de 200 m, la largeur de l'entretoise sera comprise entre 50 et 100 m. La figure 5 montre le coefficient de température de la ten- Sion de décalage d'un montage en pont comme celui de la figure 1 pour un certain nombre d'éléments de mesure de dilatation. On a formé deux groupes de comparaison d'éléments de mesure de dilatation, les valeurs de mesure représentées par les carrés correspondant à des valeurs de mesure de dilatation qui seront pré-découpés au cours de l'étape sui- vante par la première opération de découpe par laser (avec un pré-découpe) et les valeurs de mesure correspondant à des losanges sont celles d'éléments de mesure de dilatation ajustés sans coupe préalable. La figure 5 montre qualitativement que la tension de décalage dépend de la température pour pratiquement tous les éléments de dilatation est inférieure à 0. La figure 6 montre le coefficient de température modifié de la tension de décalage pour les deux groupes de comparaison d'éléments de mesure de dilatation, coefficients obtenus après la première coupe par laser. On voit qu'après la première coupe par laser, les éléments de mesure de dilatation ajustés de manière correspondante (carré) ont un coefficient de température de la tension de décalage qui se situe au voisinage de 0, c'est-à-dire que la valeur du coefficient de température se déplace dans une zone autour de 0 % / K. Ainsi la première opération de coupe par laser assure un décalage pratiquement régulier des coefficients de température de la tension de décalage sans augmenter la dispersion des valeurs de me-sure. En conséquence, la première opération de coupe par laser permet d'ajuster les coefficients de température de la tension de décalage pratiquement sur O. Comme le montre la figure 7, avec la seconde opération de coupe par laser, on ajuste individuellement chacun des éléments de mesure de dilatation de sorte que suivant la longueur de coupe nécessaire on aura un décalage différent des coefficients de température de la tension de décalage. Comme selon les spécifications, les coefficients de température de la tension de décalage ou de la résistance totale de l'élément de mesure de dilatation doivent se situer dans une plage de tolérance autour de 0, la première opération de coupe par laser permet d'ajuster la partie importante des éléments de mesure de dilatation pour respecter la spécification. Pour des éléments de mesure de dilata- tion qui n'ont pas eu de pré-découpe par une première opération de dé-coupe par laser, cela n'est pas possible le cas échéant car suivant la longueur de coupe nécessaire, lors de la seconde coupe par laser, le coefficient de température de la tension de décalage ou de la résistance totale ne se situera plus dans la plage pré-définie par la spécification. Dans ce cas, il faut mettre au rebus l'élément de mesure de dilatation. L'application du procédé selon l'invention permet ainsi d'augmenter le rendement de l'ajustage des résistances en couches par exemple destinées à un élément de mesure de dilatation. La figure 8 montre un mode de réalisation d'une résis- tance en couches permettant de réduire l'influence de la longueur de coupe sur les coefficients de température de la tension de décalage ou de la résistance totale lors de la seconde opération de coupe par laser. Pour cela, l'une des zones d'alimentation 21 est munie de découpes 27 réalisées déjà lors de la fabrication de la résistance en couches 2 par lithographie ou avec un masque. De ce fait, les découpes 27 n'ont pas de bourrelets le long de leur bord qui influencerait de manière gênante la fonction de température car elle ne résulte pas d'opération thermique avec fusion de la matière résistante de la résistance en couches Les dé-coupes 27 sont réparties selon une rangée dans la zone d'alimentation 21 et des segments de liaison 28 subsistent entre les cavités ou décou- pes. La série de découpes 27 se trouve pratiquement dans la direction du courant traversant de la résistance en couches Lors de l'ajustage de la résistance en couches 2 à l'aide de la seconde opération de coupe par laser, on coupe les segments de liaison 28 entre les découpes 27 formés de matière résistante; cette coupe se fait successivement et au cours de cette coupe ou après chaque coupe d'une entretoise on mesure la tension de décalage ou la résistance totale du montage en pont 1. Selon la valeur mesurée on décide de couper un autre segment de liaison 28 ou non. En particulier si après la coupe d'un segment de liaison 28 on constate que la tension de décalage ou la résistance totale a atteint la valeur souhaitée ou l'a dépassée, on termine la seconde opération de coupe par laser pour l'élément de mesure de dilatation concerné. Les figures 9 à 11 montrent de façon analogue aux figures 5 à 7, les coefficients de température des tensions de décalage pour un certain nombre d'éléments de mesure de dilatation ayant une résistance en couchescorrespondant au mode de réalisation de la figure 8. Ainsi la figure 10 montre comme la figure 6, que la première opération de coupe par laser transfère les coefficients de température pratique-ment dans la zone autour de 0 et que la seconde opération de coupe par laser selon la figure 11 adapte la tension de décalage ou la résistance totale de l'élément de mesure de dilatation. Grâce au segment de liaison 28 ou aux découpes 27 de la zone d'alimentation 21 de la résistance en couches 2, la dispersion de la fonction de température de la tension de décalage résultant de l'opération d'ajustage par la seconde coupe par laser est significativement plus réduite; l'exemple des carrés de la figure 11 montre que cette dispersion est très fortement réduite par comparaison aux losanges de la figure 7. Cela provient du fait que les zones dans lesquelles la seconde opération de coupe par laser forme dans la zone d'alimentation un bourrelet de matière résistante recristallisée est fortement réduite par rapport à celle des exemples des figures 3a et 3b. La figure 12 montre un autre mode de réalisation d'une résistance en couches selon l'invention. La résistance comporte une zone résistante 23 en forme de méandre et entre deux méandres, on a des liaisons en forme d'entretoise que l'on coupe sélectivement par la seconde opération de coupe par laser pour adapter la valeur de la ré- sistance en couches 2. Cette coupure se fait pour l'essentiel selon le même procédé que celui décrit ci-dessus pour la mesure de la tension de décalage ou de la résistance totale. Du fait de la nature quantifiée de l'ajustage pour cette réalisation de la résistance en couches, il peut être nécessaire d'ajuster la valeur de la résistance en face dans le montage en pont. NOMENCLATURE 1 Montage en pont 2 Résistance en couches 21 Zone d'alimentation 22 Contact 23 Zone résistante 24 Entretoise Bourrelet 26 Zone de coupe 27 Découpe 28 Segment de liaison 29 Zone de coupe REVENDICATIONS 11 Procédé d'ajustage d'une résistance en couches (2) notamment dans un élément de mesure de dilatation (1), la résistance en couches possédant une zone d'alimentation (21) faiblement ohmique et une zone ré-sistante (23) fortement ohmique, reliées à la zone d'alimentation (21), caractérisé en ce qu' - on effectue une première opération de coupe par laser dans la zone résistante (23) pour modifier le coefficient en température de la tension de décalage, et - on effectue une seconde opération de coupe par laser et on ajuste la valeur de la résistance en couches (2) selon une valeur de consigne prédéfinie. 2 ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' on effectue la première opération de coupe par laser avec une première longueur de coupe prédéfinie dans la zone résistante (23). 3 ) Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu' on effectue la première opération de coupe par laser en coupant le long d'une zone de bord de la zone résistante (23). 4 ) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la résistance en couches (2) fait partie d'un montage en pont, on effectue la première opération de coupe par laser pour régler le coefficient de température de la valeur de la résistance en couches (2), et on règle un coefficient de température d'une valeur de décalage et/ ou d'une résistance totale du montage en pont selon la valeur de consigne prédéfinie. 5 ) Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce qu' on effectue la seconde opération de coupe par laser dans la zone d'alimentation (21) de la résistance en couches avec une seconde longueur de coupe, la longueur de la seconde coupe étant choisie pour que la résistance 5 totale du montage en pont et/ ou la tension de décalage du montage en pont soient réglées sur une valeur de consigne prédéfinie. 6 ) Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que pendant que l'on effectue la seconde opération de coupe par laser le long d'une ligne de coupe, on mesure la résistance totale ou la tension de décalage du montage en pont (1), et on arrête la seconde opération de coupe par laser si la résistance totale ou la tension de décalage a atteint la valeur de consigne prédéfinie. 7 ) Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce qu' on effectue la seconde opération de coupe par laser dans la zone d'alimentation (21) pour diminuer la section de passage de courant de la zone d'alimentation (21) dans un segment en formant une entretoise conductrice en série avec la zone résistante (23). 8 ) Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que la zone d'alimentation (21) et/ou la zone résistante (23) comporte plu-sieurs segments de liaison (28), on effectue la seconde opération de coupe par laser en coupant les segments de liaison (28) successivement par la seconde opération de coupe par laser et pendant la coupe successive des segments de liaison (28), on détermine la résistance totale ou la tension de décalage du montage en pont et on arrête la coupe des segments de liaison (28) si la résistance totale ou la tension de décalage atteint ou dépasse une valeur de seuil. 9 ) Résistance en couches (2) notamment pour un élément de mesure de dilatation (1) destinée à un montage en pont, la résistance en couches (2) ayant une zone d'alimentation faiblement ohmique (21) et une zone résistante (23) fortement ohmique, reliée électriquement à la zone d'alimentation (21), la zone résistante étant en une matière conductrice, en couches, caractérisée en ce que la zone d'alimentation (21) et/ou la zone résistante (23) comportent plu-sieurs segments de liaison (28) entre un premier segment et un second segment de la zone d'alimentation (21) ou de la zone résistante (23), ces segments étant disposés pour que lorsque la résistance en couches (2) est traversée par un courant, une partie du courant traverse ces segments. 10 ) Résistance en couches (2) selon la revendication 9, caractérisée en ce que les segments de liaison (28) sont formés par des zones d'entretoise entre le premier et le second segment, ces zones étant séparées par une ou plusieurs découpes (27) dans la matière en couches 11 ) Elément de dilatation (1) comportant un montage en pont ayant au moins un élément résistant (2) selon l'une des revendications 9 ou 10.