Brevet FR2887072A1 — publié le 20061215

Système spectographique amélioré avec source plasma La présente invention concerne les dispositifs permettant de contrôler, par spectrométrie d'émission optique, des espèces gazeuses contenues dans une enceinte où est généré un plasma. On connaît déjà de tels dispositifs de contrôle par spectrométrie d'émission optique, dans lesquels on utilise la radiation lumineuse émise par un plasma présent dans le gaz à analyser, on relève le spectre optique de ladite radiation émise par le plasma, et on procède à une analyse du spectre optique pour en déduire la présence des espèces gazeuses. Un premier exemple de détecteur de gaz connu, décrit dans le document US 6,643,014, comprend une paroi étanche définissant une chambre d'excitation en communication directe avec les gaz présents dans une enceinte dont on veut détecter les espèces gazeuses présentes. Un plasma est réalisé dans cette enceinte d'excitation dérivée, par excitation électromagnétique au moyen d'une antenne d'excitation alimentée par un générateur de puissance. En alternative, l'excitation peut être réalisée par un générateur micro-ondes. La paroi de la chambre d'excitation est munie d'une fenêtre transparente à la lumière générée par le plasma, et permettant de transmettre cette lumière jusqu'à un spectromètre optique placé à l'extérieur de la chambre d'excitation. La chambre d'excitation est en pratique constituée d'un tube fermé à sa première extrémité par la fenêtre transparente à la lumière, et ouverte à l'autre extrémité pour être reliée à l'enceinte contenant les gaz à analyser. De tels dispositifs présentent des inconvénients lorsqu'on les utilise pour contrôler des espèces gazeuses présentes dans des procédés tels que des procédés de dépôt sous vide, dans lesquels la formation d'un plasma favorise la génération de dépôts sur les parois de la chambre d'excitation. En effet, le plasma formé favorise les dépôts de particules, non seulement sur les parties opaques de paroi de la chambre d'excitation, mais également sur la paroi transparente de la fenêtre. Il en résulte une dégradation progressive de la transmission de lumière vers le spectromètre optique. Les dépôts effectués sur la fenêtre transparente à la lumière constituent un filtre sélectif qui est susceptible de modifier le spectre lumineux transmis, produisant des erreurs dans le contrôle des espèces gazeuses. Il est alors nécessaire d'interrompre périodiquement le fonctionnement du dispositif de contrôle, pour procéder à un nettoyage de la face intérieure de fenêtre transparente. Par exemple, lors d'une utilisation dans des procédés de gravure sous vide, il faut ouvrir l'enceinte à l'atmosphère et nettoyer les parois par un procédé de nettoyage humide, en utilisant des acides ou des solvants. Après nettoyage, on doit pomper à nouveau l'enceinte pendant deux à trois heures pour extraire les gaz et vapeurs de nettoyage, puis on doit réaliser une série de gravures sur des substrats de test, et enfin on peut reprendre le fonctionnement normal des procédés de gravure. On comprend que ces opérations réduisent sensiblement le rendement global des procédés, et augmentent sensiblement le coût de la production. Les documents US 6,390,019 et US 6,712,927 décrivent diverses solutions pour réduire le risque ou la vitesse de formation des dépôts sur une fenêtre transparente de chambre de procédés permettant de contrôler par spectrométrie d'émission optique les espèces gazeuses contenues dans la chambre. En particulier, ces documents décrivent l'utilisation d'aimants permanents ou d'électroaimants placés dans l'atmosphère intérieure de la chambre de procédés, en amont de la fenêtre transparente mais en aval d'un masque ayant une faible ouverture, et générant ainsi un champ magnétique transversal intense qui piège les particules incidentes ionisées provenant du plasma pour les confiner en amont de la fenêtre. Un tel dispositif présente encore divers inconvénients, et notamment les aimants placés à l'intérieur de la chambre de procédés constituent une source de pollution supplémentaire inacceptable. En effet, tôt ou tard, les particules chargées prises au piège dans le champ magnétique peuvent venir se déposer sur les aimants, créant une pollution chimique entre les espèces réactives piégées et la matière constituant les aimants. Ces nouvelles particules ainsi formées sont alors source de contaminations pour le procédé lui-même. Et les aimants eux-mêmes, placés sous vide, dégazent des 25 polluants. De plus, si les dépôts sont trop importants, les aimants doivent être changés ou nettoyés. Le problème proposé par la présente invention est de concevoir une nouvelle structure de dispositif de contrôle par spectrométrie d'émission optique qui à la fois permette un fonctionnement de longue durée sans nécessiter des nettoyages fréquents de la fenêtre transparente de transmission de radiation lumineuse, et évite toute génération de pollution susceptible de perturber les procédés. Le dispositif de contrôle selon l'invention doit être totalement propre et 35 transparent pour les procédés dans lesquels il est adapté. Pour atteindre ces buts ainsi que d'autres, l'invention propose un dispositif de contrôle pour contrôler par spectrométrie d'émission optique des espèces gazeuses contenues dans une enceinte où est généré un plasma et qui est isolée de l'extérieur par une paroi étanche aux gaz, la paroi comportant au moins une fenêtre étanche aux gaz mais transparente à la lumière émise par le plasma, des moyens d'analyse de spectre d'émission étant placés à l'extérieur de la paroi étanche et recevant la lumière émise par le plasma et traversant la fenêtre, la fenêtre fermant l'extrémité d'une excroissance axiale d'enceinte limitée par une paroi périphérique étanche perméable aux champs magnétiques; le dispositif comprend en outre, placé à proximité et à l'extérieur de la paroi périphérique étanche d'excroissance axiale d'enceinte, au moins un aimant générant, dans l'espace intérieur de l'excroissance axiale d'enceinte, un champ magnétique orienté transversalement par rapport à la direction de propagation du flux lumineux traversant la fenêtre et assurant une déviation du flux de particules ionisées du plasma et d'électrons du plasma à l'écart de la fenêtre. Les électrons du plasma, qui provoquent l'ionisation des particules, sont aussi piégés par le champ magnétique et ne peuvent pas passer la barrière magnétique constituée par le champ magnétique transversal. Ils ne peuvent donc pas ioniser des particules au-delà de la barrière magnétique. Grâce à la disposition particulière de la fenêtre à l'extrémité de l'excroissance axiale d'enceinte, l'aimant peut être placé à l'extérieur de l'enceinte tout en étant à proximité de la zone d'enceinte intérieure à l'excroissance axiale qui se trouve en amont de la fenêtre dans le sens de progression de la lumière et des particules ionisées provenant du plasma. De la sorte, l'aimant peut créer un champ magnétique en amont de la fenêtre, pour assurer la déviation du flux de particules ionisées et d'électrons du plasma et éviter ainsi que des particules ionisées atteignent la fenêtre et s'y déposent. Selon un mode de réalisation avantageux, on prévoit deux aimants disposés respectivement de part et d'autre de l'excroissance axiale d'enceinte et s'attirant l'un l'autre. Ainsi, les champs magnétiques créés par l'un et l'autre des aimants s'ajoutent dans la zone intérieure de l'excroissance axiale d'enceinte en amont de la fenêtre. Dans ce mode de réalisation, les aimants peuvent être plaqués contre la face externe de la paroi périphérique d'excroissance axiale d'enceinte, retenus en 35 place par leur propre force d'attraction magnétique mutuelle. De la sorte, les aimants sont aisément démontables, par exemple pour le démontage de la partie d'enceinte constituant l'excroissance axiale d'enceinte, par exemple lors d'un nettoyage. Une amélioration peut être obtenue en prévoyant que les aimants sont enveloppés extérieurement par une pièce extérieure annulaire en matière amagnétique, pour assurer la fonction de maintien mécanique, ou par une pièce extérieure annulaire en matériau magnétique pour assurer la double fonction de maintien mécanique et de blindage magnétique en refermant les lignes de champ magnétique autour de l'excroissance axiale d'enceinte. En pratique, la paroi périphérique d'excroissance axiale d'enceinte peut être en un matériau présentant des qualités amagnétiques satisfaisantes, comme l'aluminium ou un alliage d'aluminium. Selon une première application, l'excroissance axiale d'enceinte est réalisée dans la paroi d'une chambre de procédés en regard du plasma de traitement, le dispositif de contrôle étant ainsi adapté pour contrôler les espèces gazeuses à l'intérieur même de la chambre de procédés. Selon une seconde application, l'excroissance axiale d'enceinte est réalisée sous forme d'un tube axial, destiné à être rapporté et mis en communication avec une enceinte où sont présentes les espèces gazeuses à contrôler, le tube étant fermé à une extrémité par la fenêtre et étant ouvert à l'extrémité opposée pour le raccordement à l'enceinte, et des moyens de génération de plasma étant prévus pour ioniser les espèces gazeuses à contrôler dans l'espace intérieur du tube. Dans ce cas, pour générer le plasma, on peut prévoir une antenne extérieure d'excitation alimentée par un générateur haute fréquence pour produire un champ électromagnétique haute fréquence d'excitation qui traverse la paroi périphérique d'excroissance axiale d'enceinte elle-même réalisée pour cela en un matériau non conducteur de l'électricité tel que le quartz, le verre, le BK7, le saphir. D'autres objets, caractéristiques et avantages de la présente invention 30 ressortiront de la description suivante de modes de réalisation particuliers, faite en relation avec les figures jointes, parmi lesquelles - la figure 1 est une vue schématique illustrant un dispositif de contrôle selon un premier mode de réalisation, sous forme d'un dispositif indépendant raccordé à une chambre de procédés, - la figure 2 est une vue schématique d'un dispositif de contrôle selon un second mode de réalisation de l'invention, formant une partie d'une chambre de procédés, - la figure 3 illustre schématiquement le dispositif de contrôle selon le mode de réalisation de la figure 1, adapté pour contrôler les gaz dans une ligne de vide elle- même raccordée à une chambre de procédés, - la figure 4 est une vue de côté schématique partielle d'un dispositif de contrôle selon l'invention, en coupe longitudinale à plus grande échelle, - la figure 5 est une coupe transversale selon le plan A-A de la figure 4, - la figure 6 est une vue de dessus schématique partielle en coupe à plus grande échelle du dispositif de la figure 4, illustrant la déviation des particules ionisées, - la figure 7 illustre le spectre de l'air à travers une fenêtre dépourvue du dispositif selon l'invention, et - la figure 8 illustre le spectre de l'air à travers une fenêtre munie du dispositif selon l'invention. Sur les figures 7 et 8, l'intensité des raies en unités arbitraires (u.a.) est donnée en ordonnée, et en abscisse la longueur d'onde en nanomètre (nm). Les spectres des figures 7 et 8 ont été obtenus avec le même réglage du spectromètre optique. Dans tous les modes de réalisation illustrés sur les figures, un dispositif de contrôle 1 selon l'invention est destiné à contrôler, par spectrométrie d'émission optique, des espèces gazeuses contenues dans une enceinte où est généré un plasma et qui est isolée de l'extérieur par une paroi 2 étanche aux gaz, la paroi 2 comportant au moins une fenêtre 3 étanche aux gaz mais transparente à la lumière émise par le plasma. Des moyens d'analyse de spectre d'émission 4 sont placés à l'extérieur de la paroi 2 étanche, et reçoivent la lumière émise par le plasma et traversant successivement la fenêtre 3, puis un moyen de transmission tel qu'une fibre optique 4a. Dans tous les modes de réalisation, la fenêtre 3 ferme l'extrémité d'une excroissance axiale d'enceinte 5, limitée par une paroi périphérique 6 étanche aux 30 gaz et perméable aux champs magnétiques. La paroi périphérique 6 d'excroissance axiale d'enceinte 5 peut avantageusement être en un matériau présentant des propriétés satisfaisantes d'amagnétisme pour être perméable aux champs magnétiques, comme par exemple en aluminium ou en alliage d'aluminium. Dans les modes de réalisation illustrés sur les figures, l'excroissance axiale d'enceinte 5 est de forme tubulaire, mais peut prendre également toute autre forme. Dans le cas représenté sur les figures, le tube est fermé à une première extrémité par la fenêtre 3, et il est ouvert à la seconde extrémité 5a pour le passage des gaz à contrôler. Dans tous les modes de réalisation illustrés sur les figures, le dispositif de contrôle 1 comprend en outre, placé à proximité et à l'extérieur de la paroi périphérique 6 étanche d'excroissance axiale d'enceinte 5, au moins un aimant 7 qui génère, dans l'espace intérieur 8 de l'excroissance axiale d'enceinte 5, un champ magnétique 9 orienté transversalement par rapport à la direction de propagation du flux lumineux traversant la fenêtre 3. La direction de propagation du flux lumineux utile est illustrée, sur les figures, par l'axe I-1 longitudinal de l'excroissance axiale d'enceinte 5. Le champ magnétique 9 transversal assure une déviation du flux de particules ionisées du plasma en les maintenant à l'écart de la fenêtre 3. Dans la réalisation illustrée sur les figures, le dispositif de contrôle 1 15 comprend deux aimants 7 et 7a, disposés respectivement de part et d'autre de l'excroissance axiale d'enceinte 5, et s'attirant l'un l'autre. Par exemple, les aimants 7 et 7a peuvent être simplement plaqués contre la face externe de la paroi périphérique 6 d'excroissance axiale d'enceinte 5, retenus en place par leur propre force d'attraction magnétique mutuelle. Pour concentrer le champ magnétique 9 dans l'espace intérieur 8 de l'excroissance axiale d'enceinte 5, favorisant la déviation des particules chargées à l'écart de la fenêtre 3, on peut avantageusement prévoir, comme illustré sur les figures 4 et 5, que les aimants 7 et 7a soient enveloppés extérieurement par une pièce extérieure annulaire 10 en matériau magnétique, formant une armature assurant la fonction de blindage magnétique et refermant les lignes de champ magnétique autour de l'excroissance axiale d'enceinte 5. On considère maintenant le mode de réalisation illustré sur la figure 1. Dans ce cas, le dispositif de contrôle 1 est rapporté sur une chambre de procédés 11 dans laquelle se déroulent des procédés de traitement d'un substrat 12 par un plasma 13 de traitement généré par des moyens de génération de plasma de traitement 14 alimentés par une source de puissance 15, de façon connue. La chambre de procédés 11 contient généralement des gaz de procédés à faible pression, dont on veut contrôler la présence et la concentration. Le dispositif de contrôle 1 selon l'invention, sous forme d'un tube axial amovible, est rapporté et mis en communication avec l'enceinte constituée par la chambre de procédés 11 où sont présentes les espèces gazeuses à contrôler. Dans ce cas, le dispositif de contrôle 1 comprend lui-même des moyens pour générer un plasma 16 de contrôle dont la lumière va être analysée par les moyens d'analyse de spectre d'émission 4. Le dispositif de contrôle 1 comprend ainsi une antenne d'excitation 17 alimentée par un générateur de puissance 18, qui excite les particules gazeuses chargées présentes dans l'espace intérieur 8 de l'excroissance axiale d'enceinte 5 pour créer un plasma 16 de contrôle. Ce premier mode de réalisation est adapté pour contrôler la présence des espèces gazeuses indépendamment du plasma 13 de traitement, dès lors que l'on génère un plasma 16 de contrôle. En particulier, le dispositif de contrôle 1 peut être positionné en toute zone désirée de la chambre de procédés 11, c'est-à-dire qu'il peut être à l'écart du plasma 13 de traitement. On considère maintenant le second mode de réalisation illustré sur la figure 2. On y retrouve les moyens essentiels du mode de réalisation de la figure 1, qui sont repérés par les mêmes références numériques. On retrouve ainsi le dispositif de contrôle 1 associé à une chambre de procédés 11 dans laquelle on traite un substrat 12 par un plasma 13 de traitement généré par un générateur de plasma de traitement 14 alimenté par un générateur de puissance 15. Le dispositif de contrôle 1 est alors formé d'une portion tubulaire de la paroi étanche 2 de la chambre de procédés 11, constituant une excroissance axiale d'enceinte 5 se développant le long de l'axe 1-1 à l'écart de la partie principale de paroi étanche 2 de la chambre de procédés 11. L'axe longitudinal 1-1 de l'excroissance axiale d'enceinte 5 passe par la zone de traitement occupée par le plasma 13 de traitement, de sorte que la lumière émise par le plasma 13 de traitement se propage selon l'axe 1-1 jusqu'à la fenêtre 3, puis par la fibre optique 4a jusqu'aux moyens d'analyse de spectre d'émission 4. Dans ce cas, le dispositif de contrôle 1 est dépourvu de moyens pour générer un plasma spécifique de contrôle dans son espace intérieur 8. On retrouve les aimants 7 et 7a pour générer, dans l'espace intérieur 8 de l'excroissance axiale d'enceinte 5, un champ magnétique 9 transversal qui dévie les particules ionisées à l'écart de la fenêtre 3. On considère maintenant le dispositif illustré sur la figure 3. On y retrouve le dispositif de contrôle 1 du mode de réalisation de la figure 1, qui est un dispositif rapporté sur une enceinte constituée par une ligne de vide 19 elle-même raccordée à une chambre de procédés 11. On retrouve les moyens pour générer un plasma 16 de contrôle dans 5 l'espace intérieur 8 de l'excroissance axiale d'enceinte 5, à savoir une antenne d'excitation 17 et un générateur de puissance 18. On retrouve les autres moyens constituant le dispositif de contrôle 1, tel qu'illustré précédemment sur la figure 1, et ces mêmes moyens sont repérés par les mêmes références numériques. Sur cette figure 3, le dispositif de contrôle 1 est ainsi adapté pour contrôler les espèces gazeuses contenues dans la ligne de vide 19. On considère maintenant les figures 4 et 5, qui illustrent un mode de réalisation dans lequel les aimants 7 et 7a sont tenus par une pièce extérieure annulaire 10. Selon une première réalisation, la pièce extérieure annulaire 10 est réalisée en matériau amagnétique, par exemple en aluminium ou en matière plastique, pour assurer la fonction de maintien mécanique des aimants 7 et 7a. Selon un second mode de réalisation, la pièce extérieure annulaire 10 peut être réalisée en matériau magnétique, pour assurer la double fonction de maintien mécanique et de blindage magnétique en refermant les lignes de champ magnétique autour de l'excroissance axiale d'enceinte 5. Dans tous les cas, le ou les aimants 7 et 7a peuvent être des aimants permanents. En alternative, on peut prévoir que le ou les aimants 7 et 7a sont des 25 électroaimants, alimentés en énergie électrique par une source d'énergie électrique, non illustrée sur les figures. Dans le mode de réalisation de la figure 2, dans lequel le dispositif de contrôle 1 est constitué d'une paroi périphérique 6 réalisée sous forme d'une excroissance de la paroi étanche 2 de la chambre de procédés 11, la paroi périphérique 6 peut être en aluminium ou alliage d'aluminium, qui présente des propriétés amagnétiques satisfaisantes, pour laisser passer le champ magnétique 9 généré par les aimants 7 et 7a. Selon l'invention, on réalise ainsi une chambre de procédés comprenant elle-même un dispositif de contrôle tel que défini ci-dessus. Dans le mode de réalisation illustré sur les figures 1 et 3, le dispositif de 35 contrôle 1 est un dispositif rapporté muni de moyens de génération (l'antenne d'excitation 17 et le générateur de puissance 18 d'un plasma 16 de contrôle. II faut aussi que la paroi périphérique 6 soit en un matériau non conducteur de l'électricité, laissant passer les ondes électromagnétiques d'excitation du plasma générées par l'antenne d'excitation 17 et le générateur de puissance 18. Dans ce cas, on peut avantageusement prévoir que l'excroissance axiale d'enceinte 5 est sous forme d'un tube dont la paroi périphérique 6 est en matériau non conducteur de l'électricité tel que le quartz, le verre, le BK7, ou le saphir, par exemple. Le fonctionnement du dispositif de contrôle 1 selon l'invention est le suivant. Dans tous les modes de réalisation, les moyens d'analyse de spectre d'émission 4, tels qu'un spectromètre optique, reçoivent, par une fibre optique 4a ou tout autre moyen de transmission approprié, la lumière émise par un plasma 13 ou 16 situé dans une enceinte contenant des espèces gazeuses à analyser. La lumière se propage le long de l'excroissance axiale d'enceinte 5, traverse la fenêtre 3 et se propage par la fibre optique 4a jusqu'au spectromètre optique 4. Simultanément, la présence d'un plasma 13 ou 16 implique la présence de particules ionisées susceptibles de créer des dépôts sur la fenêtre 3, conduisant à l'obscurcir progressivement en dénaturant le spectre optique mesuré. Sur la figure 7, on a illustré le spectre optique d'émission du même plasma dans l'air, mesuré à travers une fenêtre transparente d'un dispositif selon l'art antérieur, fenêtre portant un dépôt de particules ionisées. On voit que le dépôt déforme sensiblement le spectre. Les raies UV sont extrêmement faibles car elles sont complètement absorbées par le dépôt qui s'est formé à l'intérieur du tube, sur la face interne de la fenêtre (intensité maximum 550 u.a.). Au pire la fenêtre peut devenir complètement opaque et et empêcher tout fonctionnement correct du système de détection. Sur la figure 8, on a illustré le spectre optique d'émission d'un plasma dans l'air, mesuré à travers une fenêtre transparente d'un dispositif selon l'invention, fenêtre propre et dépourvue de dépôt de particules ionisées. Les raies UV ressortent bien car elles ne rencontrent aucun obstacle (intensité maximum 1600 u.a.). Le dispositif selon l'invention empêche les particules ionisées d'atteindre la fenêtre, gardant celle-ci parfaitement propre et permettant uene sensibilité des mesures qui reste optimale. La sensibilité de détection est environ 100 fois meilleure que dans le cas de la figure 7. En considérant les figures 4 à 6, on a illustré des particules ionisées 20, présentes dans l'espace intérieur 8 de l'excroissance axiale d'enceinte 5. Les particules se déplacent en tous sens, et certaines particules ionisées 20 tendent à se déplacer axialement en direction de la fenêtre 3 dans la zone Z1 en amont des aimants 7 et 7a. Le champ magnétique 9 généré entre les aimants 7 (placé derrière l'excroissance axiale d'enceinte 5 et représenté par une ligne de tirets) et 7a, en amont de la fenêtre 3, produit sur ces particules ionisées 20 une force de déviation qui tend à leur imprimer un mouvement circulaire 21 s'enroulant autour des lignes du champ magnétique 9 transversal, comme symbolisé de manière schématique dans la zone Z2 de la figure 6. En pratique, les aimants 7 et 7a réalisent une barrière magnétique qui empêche la propagation des particules ionisées 20 et des électrons dans la zone Z3, au-delà de la zone Z2 occupée par le champ magnétique 9. Ainsi, les dépôts éventuels 22 de particules s'effectuent sur la paroi périphérique 6 en amont de la zone Z2 occupée par les aimants 7 et 7a, et les particules ionisées 20 n'atteignent pas la fenêtre 3. On conserve ainsi la mesure correcte du spectre optique d'émission comme illustré sur la figure 8. Dans tous les modes de réalisation de l'invention, l'enceinte contenant les gaz à analyser, ainsi que l'excroissance axiale d'enceinte 5, ne contiennent aucun élément étranger tel que des antennes, des aimants ou autres, susceptibles de créer une pollution des gaz contenus à l'intérieur de l'enceinte. Les gaz contenus à l'intérieur de l'enceinte sont en contact seulement avec les parois 2 ou 6, de sorte que le dispositif de contrôle 1 selon l'invention est parfaitement neutre vis-à- vis des procédés se déroulant dans l'enceinte. Dans le mode de réalisation des figures 1 et 3, le dispositif de contrôle 1 peut aisément être démonté en enlevant les aimants 7 et 7a puis le tube constituant l'excroissance axiale d'enceinte 5, pour un nettoyage, le cas échéant. Grâce à la présence des aimants 7 et 7a, la fenêtre 3 n'est pas affectée par la présence d'un plasma intérieur 13 ou 16, et il n'est plus nécessaire de procéder à son nettoyage fréquent. La présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation qui ont été explicitement décrits, mais elle en inclut les diverses variantes et généralisations qui sont à la portée de l'homme du métier. REVENDICATIONS 1. Dispositif de contrôle (1) pour contrôler par spectrométrie d'émission optique des espèces gazeuses contenues dans une enceinte où est généré un plasma (13, 16) et qui est isolée de l'extérieur par une paroi (2) étanche aux gaz, la paroi (2) comportant au moins une fenêtre (3) étanche aux gaz mais transparente à la lumière émise par le plasma (13, 16), des moyens d'analyse de spectre d'émission (4) étant placés à l'extérieur de la paroi (2) étanche et recevant la lumière émise par le plasma (13, 16) et traversant la fenêtre (3), la fenêtre (3) fermant l'extrémité d'une excroissance axiale d'enceinte (5) limitée par une paroi périphérique (6) étanche perméable aux champs magnétiques, caractérisé en ce qu'il comprend en outre, placé à proximité et à l'extérieur de la paroi périphérique (6) étanche d'excroissance axiale d'enceinte (5), au moins un aimant (7) générant, dans l'espace intérieur (8) de l'excroissance axiale d'enceinte (5), un champ magnétique (9) orienté transversalement par rapport à la direction (I-1) de propagation du flux lumineux traversant la fenêtre (3) et assurant une déviation du flux de particules ionisées (20) et d'électrons du plasma à l'écart de la fenêtre (3). 2. Dispositif selon la revendication 1, comprenant deux aimants (7, 7a) disposés respectivement de part et d'autre de l'excroissance axiale d'enceinte (5) 20 et s'attirant l'un l'autre. 3. Dispositif selon la revendication 2, dans lequel les aimants (7, 7a) sont plaqués contre la face externe de la paroi périphérique (6) d'excroissance axiale d'enceinte (5), retenus en place par leur propre force d'attraction magnétique mutuelle. 4. Dispositif selon l'une des revendications 2 et 3, dans lequel les aimants (7, 7a) sont enveloppés extérieurement par une pièce extérieure annulaire (10), réalisée en matériau amagnétique pour assurer la fonction de maintien mécanique, ou réalisée en matériau magnétique pour assurer la double fonction de maintien mécanique et de blindage magnétique en refermant les lignes de champ magnétique autour de l'excroissance axiale d'enceinte (5). 5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel la paroi périphérique (6) d'excroissance axiale d'enceinte (5) est en un matériau présentant des propriétés satisfaisantes d'amagnétisme pour être perméable aux champs magnétiques. 6. Dispositif selon la revendication 5, dans lequel le matériau est l'aluminium ou un alliage d'aluminium. 7. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel l'excroissance axiale d'enceinte (5) est réalisée dans la paroi d'une chambre de procédés (11) en regard du plasma de traitement (13), le dispositif de contrôle (1) étant ainsi adapté pour contrôler les espèces gazeuses à l'intérieur même de la chambre de procédés (11). 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel l'excroissance axiale d'enceinte (5) est réalisée sous forme d'un tube axial, destiné à être rapporté et mis en communication avec une enceinte (11, 19) où sont présentes les espèces gazeuses à contrôler, le tube étant fermé à une extrémité par la fenêtre (3) et étant ouvert à l'extrémité opposée (5a) pour le raccordement à l'enceinte (11, 19), et des moyens de génération de plasma (17, 18) étant prévus pour ioniser les espèces gazeuses à contrôler dans l'espace intérieur (8) du tube. 9. Dispositif selon la revendication 8, dans lequel la paroi périphérique (6) d'excroissance axiale d'enceinte (5) est en matériau non conducteur de l'électricité. 10. Dispositif selon la revendication 9, dans lequel le matériau de la paroi périphérique (6) d'excroissance axiale d'enceinte (5) est choisi parmi quartz, le verre, le BK7, et le saphir. 11. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le ou les aimants (7, 7a) sont des aimants permanents. 12. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le ou les aimants (7, 7a) sont des électroaimants. 13. Chambre de procédés comprenant un dispositif de contrôle selon l'une des revendications précédentes.