Brevet FR2893094A1 — publié le 20070511

Dispositif de fixation pour une pompe à vide La présente invention se rapporte au domaine des pompes à vides à rotation rapide que l'on solidarise et raccorde à une structure fixe telle qu'une canalisation ou une enceinte à vide pour générer un vide poussé. Elle concerne plus particulièrement un dispositif pour la fixation d'une telle pompe à vide Dans l'industrie des composants électroniques ou micromécaniques, on utilise des procédés d'usinage ou de traitement par plasma qui sont exécutés dans une enceinte où l'on doit maintenir une atmosphère de vide contrôlé. La génération du vide nécessite l'utilisation de pompes capables de générer rapidement et de maintenir un vide poussé adapté au procédé d'usinage ou de traitement. On utilise généralement des pompes de type turbomoléculaire, composées d'un corps de pompe dans lequel un rotor est entraîné en rotation rapide, par exemple une rotation à plus de trente mille tours par minute. Avec une telle vitesse de rotation élevée, le rotor acquiert une énergie cinétique très élevée. Le corps de pompe comporte un orifice d'aspiration coaxial, que l'on raccorde à un orifice de sortie de la structure fixe telle que la canalisation ou l'enceinte à vide. En général, la pompe est solidarisée à la seule structure fixe telle que la canalisation ou l'enceinte à vide, et son support s'effectue par la seule zone entourant l'orifice d'aspiration de pompe et l'orifice correspondant de structure fixe. Ainsi, le corps de pompe comporte une bride annulaire coaxiale entourant l'orifice d'aspiration, des trous taraudés sont prévus sur la paroi de structure fixe autour de l'orifice de sortie, des trous traversants sont prévus sur la bride annulaire coaxiale du corps de pompe, et des vis à tête sont adaptées de façon que leurs tiges traversent les trous traversants et se vissent dans les trous taraudés associés de la structure fixe pour solidariser la pompe à vide à la structure fixe en plaquant la bride contre la paroi de structure fixe. De façon traditionnelle, les tiges des vis sont cylindriques de révolution, avec un tronçon lisse qui traverse un trou traversant de diamètre légèrement supérieur au diamètre de la tige, et avec un tronçon d'extrémité fileté qui se visse dans un trou taraudé associé. Des normes prévoient les dimensions respectives de la bride, des vis, et des trous nécessaires, ainsi que le nombre de vis et trous, en fonction des diamètres de pompes. Ainsi, pour une pompe turbomoléculaire de type ATHM de la société ALCATEL, on fixe la pompe en prévoyant une bride de la norme PNEUROP 66061 de type DN 250 iso-F, avec douze vis de type M10 dont la tige a une longueur de trente millimètres environ pour un diamètre de dix millimètres, et les trous de bride et de structure fixe ont un diamètre nominal de onze millimètres. Une telle structure de fixation donne toute satisfaction dans les conditions normales d'utilisation, et permet ainsi de supporter les efforts mécaniques générés par le fonctionnement de la pompe à vide lors d'une utilisation normale. Par contre, on a pu constater qu'une difficulté insurmontable peut survenir en cas de destruction accidentelle du rotor de pompe lors d'une rotation à pleine vitesse. En effet, dans une telle hypothèse, le rotor lancé à pleine vitesse de rotation se trouve alors déséquilibré, peut venir frapper violemment la paroi du corps de pompe en lui imprimant une force de déplacement transversale ou radiale, et peut frotter fortement sur la paroi du corps de pompe en lui imprimant un couple de rotation coaxial. Du fait de la grande énergie accumulée dans le rotor en rotation rapide, les contraintes mécaniques appliquées par le rotor sur le corps de pompe sont très élevées, et ces contraintes sont transmises au dispositif de fixation de pompe à vide sur la structure fixe. Il en résulte des efforts violents de cisaillement des vis de fixation, et l'on a pu constater que dans les structures actuelles ces efforts conduisent à la rupture totale des vis. La pompe se trouve alors détachée de la structure fixe, et constitue un projectile dangereux qui peut parcourir le local d'utilisation. Une solution a été proposée par le document WO-2004/020 839 qui décrit un dispositif de fixation de pompe à vide sur une paroi de structure fixe, comprenant une bride annulaire coaxiale et solidaire du corps de pompe à vide placée autour de l'orifice d'aspiration. Des trous taraudés sont prévus sur la paroi de structure fixe et des trous traversants sont prévus sur la bride annulaire, des vis à tête sont adaptées de façon que leurs tiges traversent les trous traversants et se vissent dans les trous taraudés associés pour solidariser la pompe à vide à la structure fixe en plaquant la bride contre la paroi de structure fixe. Les trous traversants comprennent un tronçon distal cylindrique de révolution suivi d'un tronçon proximal élargi coaxial de révolution adjacent à la paroi de structure fixe. Lors d'efforts de cisaillement en toute direction latérale dans la zone de liaison entre la pompe à vide et la structure fixe, cette conformation autorise une flexion de la tige de vis et un décalage latéral correspondant entre le trou traversant et le trou taraudé associé. Cette solution permet d'absorber les efforts violents de cisaillement subis par les vis de fixation. Toutefois la vitesse de rotation du rotor est augmentée dans les nouvelles générations de pompes turbomoléculaires. En cas de crash de la pompe, l'énergie qui doit être dissipée sans être transmise à la structure fixe devient nettement supérieure, et la résistance limite avant la rupture des vis dans cette configuration devient insuffisante. En outre cette solution ne permet pas d'éviter que la pompe se trouve détachée de la structure fixe en cas de rupture totale des vis. La présente invention a pour but d'éliminer les inconvénients de l'art antérieur. Pour cela l'invention propose de modifier la structure de fixation des pompes à vide qui, tout en restant compatible avec les normes en vigueur, augmente la capacité de retenue de la pompe à vide sur la structure fixe et évite la rupture des vis de fixation et le détachement de la pompe en cas d'éclatement du rotor lancé à pleine vitesse de rotation. A cette fin, la présente invention propose une bride annulaire pour la fixation d'une pompe à vide sur une paroi d'une structure fixe, comportant des trous susceptibles de coopérer avec des vis à tête pour solidariser la pompe à vide à la structure fixe en plaquant la bride contre la paroi, caractérisé en ce qu'elle comprend - une bride supérieure et une bride inférieure coopérant de manière à pincer l'extrémité du corps de pompe entre la bride supérieure et la bride inférieure, - au moins une cavité ménagée dans une face de la bride supérieure qui est dans un plan perpendiculaire à celui de la face de la bride supérieure destinée à être en contact avec la paroi de la structure fixe. L'invention a aussi pour objet un système de fixation d'une pompe à vide sur une paroi d'une structure fixe comprenant une bride annulaire disposée coaxialement au corps de pompe autour de l'orifice d'aspiration de la pompe, et comportant des trous susceptibles de coopérer avec des vis à tête pour solidariser la pompe à vide à la structure fixe en plaquant la bride contre la paroi, caractérisé en ce que: - la bride annulaire comprend une bride supérieure et une bride inférieure 30 coopérant de manière à pincer l'extrémité du corps de pompe entre la bride supérieure et la bride inférieure, - au moins une première cavité ménagée dans une face de la bride supérieure en contact avec une face de l'extrémité du corps de pompe, et au moins une seconde cavité ménagée dans la face de l'extrémité du corps de pompe, la première cavité s'accouplant avec la seconde cavité pour former un logement, et - au moins un plot en matériau souple inséré dans le logement. Selon un mode de réalisation préféré, la première cavité est ménagée dans 5 une face de la bride supérieure qui est dans un plan perpendiculaire à celui de la face de la bride supérieure en contact avec la paroi de la structure fixe. Selon une variante, le logement a une section circulaire dans un plan perpendiculaire à l'axe du corps de pompe. Cette forme de logement associée à des plots cylindriques conduit à une 10 configuration dans laquelle les plots sont sollicités en cisaillement lors d'une défaillance. Ce type de configuration présente l'avantage d'une fabrication simple et de permettre une rotation de la pompe dans la bride de 5 maximum que les plots peuvent accepter sans se rompre. La taille maximale du logement et du plot doit être compatible avec les 15 contraintes imposées par la normalisation de la bride. Le logement est prévu avec un diamètre égal ou très légèrement inférieur à celui du plot de manière à permettre d'introduire les plots sous une faible compression radiale en jouant sur l'élasticité du matériau ; ainsi les plots ne peuvent pas sortir de leur logement. A titre d'exemple, le système de fixation selon l'invention peut comporter des 20 logements ayant un diamètre de 10 0,1 mm et des plots de diamètre 10 0,5mm pour une hauteur de 14 0,5mm, ce qui conduit à une compression maximum du plot de 0,6mm. Selon une autre variante, le logement a une section oblongue, i.e. plus longue que large, dans un plan perpendiculaire à l'axe du corps de pompe. 25 Avantageusement le logement délimité par l'accouplement de la cavité portée par la bride et celle placée à l'extrémité du corps de pompe est de forme oblongue, afin d'augmenter le volume des plots dans le but d'améliorer leur capacité d'amortissement, tout en respectant les contraintes géométriques de la norme. 30 Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, les cavités formant le logement par accouplement sont de forme arrondie avec des rayons de courbure différents pour chacune des cavités. De préférence l'une des cavités formant le logement a une forme arrondie épousant celle du plot et des angles adoucit afin d'éviter la dégradation du plot par contact avec des arêtes vives. L'autre cavité a un rayon de courbure beaucoup plus large permettant un travail en compression, moins contraignant pour le plot. Ce type de configuration permet une rotation de 30 du corps de pompe par compression des plots dans le logement en évitant leur rupture. La destruction du rotor entraînant en rotation le corps de pompe génère des contraintes de compression sur la longueur du plot qui sont absorbées grâce aux propriétés de déformation élastique du matériau constitutif du plot. Selon l'invention, le plot est constitué d'un matériau souple et de préférence un élastomère. La nature du matériau constituant les plots, de part sa raideur et sa qualité d'amortissement, va autoriser un léger déplacement de la bride par rapport à l'extrémité du corps de pompe sans briser le plot. L'élastomère est choisi de préférence parmi les polysiloxanes, les polychloroprènes et leurs copolymères, les homopolymères et les copolymères de l'isoprène, les homopolymères et les copolymères de l'isobutylène, et notamment un copolymère d'isobutylène et d'isoprène. Pour une configuration travaillant en cisaillement, on préférera un polychloroprène 70 shore. Pour une configuration travaillant en compression, on préférera un copolymère d'isobutylène et d'isoprène 70 shore. Dans le cas extrême ou la rupture du plot se produirait, la securité de l'installation resterait néanmoins assurée car le corps de pompe pris en sandwich tournera entre la bride supérieure et la bride inférieure sans risquer de casser les vis de retenues. L'invention a encore pour objet un procédé de fixation d'une pompe à vide sur une paroi d'une structure fixe au moyen d'un système de fixation comprenant une bride annulaire disposée coaxialement au corps de pompe autour de l'orifice d'aspiration de la pompe, et comportant des trous susceptibles de coopérer avec des vis à tête pour solidariser la pompe à vide à la structure fixe en plaquant la bride contre la paroi. Selon l'invention, la bride annulaire comporte une bride supérieure et une bride inférieure composée de deux demi-brides. Le procédé comprend les étapes suivantes : -on place la bride supérieure autour de l'extrémité du corps de pompe en l'insérant par le dessus, la bride supérieure comportant au moins une première cavité ménagée dans sa face en contact avec une face de l'extrémité du corps de pompe et s'accouplant avec une seconde cavité ménagée dans la face de l'extrémité du corps de pompe pour former un logement, on insère par en dessous un plot dans le logement, on dispose chaque demi-bride composant une bride inférieure autour de 5 l'extrémité du corps de pompe en dessous de la bride supérieure, on assemble par des vis la bride supérieure et la bride inférieure, on fixe au moyen de vis l'ensemble composé des brides enserrant le corps de pompe à la paroi de la structure fixe. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention 10 apparaîtront à la lecture de la description qui suit d'un mode de réalisation, donné bien entendu à titre illustratif et non limitatif, et dans le dessin annexé sur lequel - la figure 1 est une vue schématique illustrant, en coupe longitudinale, une structure de pompe turbomoléculaire selon la présente invention et sa fixation sur une structure fixe telle qu'une enceinte à vide ; 15 - la figure 2 est une vue de dessous de la bride supérieure selon l'invention, - la figure 3 est une vue de dessus de la bride inférieure selon l'invention, - la figure 4 est une vue en perspective éclatée du dispositif de fixation selon l'invention, 20 - la figure 5 est une vue en coupe du système de fixation selon l'invention dans le plan des vis de fixation sur la structure fixe, - la figure 6 est une vue en coupe du système de fixation selon l'invention dans le plan des plots, - les figures 7a, 7c et 7c montrent des variantes de réalisation d'un 25 logement et du plot associé. On considère tout d'abord la figure 1, illustrant une structure de pompe à vide 1 de type turbomoléculaire, solidarisée à une paroi 2 d'une structure fixe 3, telle qu'une enceinte à vide par exemple. La pompe à vide 1 comprend un corps de pompe 4 dans lequel tourne à 30 grande vitesse un rotor 5 en rotation axiale selon l'axe 1-1 du corps de pompe 4. Le corps de pompe 4 comporte un orifice d'aspiration 6 coaxial au corps de pompe 4 par lequel pénètrent les gaz pompés 7, et un orifice de rejet 8 par lequel sont évacués les gaz refoulés 9. Le rotor 5 est entraîné en rotation dans le corps de pompe 4 par un moteur interne 10 et il est guidé latéralement par des paliers 35 magnétiques ou mécaniques 11 et 12. La paroi 2 de la structure fixe 3 comprend un orifice de sortie 13 des gaz à pomper en correspondance avec l'orifice d'aspiration 6 de la pompe à vide 1. La paroi 2 de la structure fixe 3 délimite une enceinte fermée isolée de l'extérieur dans laquelle la pompe à vide 1 peut créer un vide contrôlé. Selon la présente invention, une bride annulaire 14 en acier inoxydable, comportant une bride supérieure 15 munie d'un épaulement 16 et une bride inférieure 17, est mise en place sur le corps 4 de la pompe à vide 1, autour de l'extrémité 18 du corps de pompe 4 coaxiale à l'orifice d'aspiration 6, afin de permettre la fixation de la pompe à vide 1 à la paroi 2 de la structure fixe 3. L'épaulement 16 permet le positionnement axial de la bride supérieure 15 sur le corps de pompe 4. La figure 2 est une vue en perspective de la bride supérieure 15 selon la présente invention. La bride supérieure 15 est destinée à être accolée à la paroi 2 d'une structure fixe 3 par sa face de contact 20. La bride 15 est de forme annulaire et comporte un épaulement 16 destiné à faciliter sa mise en place sur l'extrémité 18 du corps de pompe 4. Dans le mode de réalisation représenté sur la figure 2, la bride 15 est perforée de douze trous traversants 21 disposés à intervalle régulier, conformément à la norme PNEUROP 66061 actuellement en vigueur. Selon un mode de réalisation particulier les trous traversants sont du type décrit dans le document WO-2004/020 839 et comprennent un tronçon distal cylindrique de révolution suivi d'un tronçon proximal élargi coaxial de révolution adjacent à la paroi de structure fixe. En pratique, on peut avantageusement prévoir que le tronçon proximal de trou traversant comporte une portion proximale cylindrique de révolution se raccordant au tronçon distal de trou traversant par une portion distale tronconique de révolution. La bride supérieure 15 comprend également douze cavités 22 régulièrement répartis sur sa paroi annulaire interne 23, en contact avec l'extrémité 18 du corps de pompe, qui sont intercalés entre chaque paire de trous traversants 21. La figure 3 montre en perspective la bride inférieure 17 qui est également perforée de douze trous traversants 30 correspondants aux trous traversants 21 de la bride supérieure 15. Pour permettre de positionner la bride inférieure 17 autour de l'extrémité 18 du corps de pompe 4, celleci est composée en deux demi-brides 17a et 17b. Sur la vue en perspective éclatée de la figure 4 on retrouve la bride supérieure 15, la bride inférieure 17 et l'extrémité 18 du corps de pompe 4. L'extrémité 18 du corps de pompe 4 porte des cavités 40 qui s'accouplent respectivement avec les cavités 22 de la bride supérieure 15 pour former un logement 40-22 destiné à accueillir un plot 41. L'assemblage de ces trois éléments est réalisé de la manière suivante. (a) On place la bride supérieure 15 autour de l'extrémité supérieure 18 du corps 4 de la pompe turbomoléculaire 1 en l'insérant par le haut. L'épaulement 16 prévu dans la bride annulaire supérieure 15 permet d'ajuster son positionnement axial sur le corps de pompe 4. (b) On insère par en dessous des plots 41 dans leurs logements 40-22, (c) On monte la bride inférieure 17 en disposant chaque demi-bride 17cl et 17b autour de l'extrémité 18 de la pompe turbomoléculaire en dessous de la bride supérieure 15. La bride supérieure 15 et les deux demi-brides inférieuresl7q et 17b sont assemblées par des vis 44 pour constituer la bride annulaire 14. Des encoches 43 sont prévues dans le corps de pompe 4 pour faciliter le passage des vis. De cette manière, il est possible de transporter la pompe turbomoléculaire pour la solidariser à la structure fixe ou chassis 3 sans avoir besoin de retenir manuellement la bride supérieure 15. (d) On fixe l'ensemble pompe turbomoléculaire 4 et bride annulaire 14 au châssis 3 par des vis 42 en utilisant les trous lisses 21 et 30 traversant respectivement les brides 15 et 17. Lors d'une destruction du rotor 5 lancé à pleine vitesse de rotation, l'énergie cinétique accumulée dans le rotor 5 est transmise au corps de pompe 4, qui tend à se déplacer en rotation. L'invention vise à absorber cette énergie grâce aux propriétés de déformation élastique du matériau des plots. On comprend que le corps de pompe 4 peut se déplacer en rotation jusqu'à ce que le plot 41 vienne buter contre la paroi latérale du volume formé par les cavités 22 et 40 accouplés. La nature des plots en élastomère, de part sa raideur et sa qualité d'amortissement, va autoriser un léger déplacement de la bride annulaire 14 par rapport à l'extrémité 18 du corps de pompe 4 sans briser le plot 41. L'énergie est dissipée par l'écrasement du plot 41. Ainsi la structure du système garantit que les vis 42 resteront malgré tout en place car les contraintes de cisaillement qui leur sont imposées ont été fortement diminuées. De plus, si le plot 41 ne parvient pas à absorber suffisamment d'énergie pour éviter la rupture, les débris du plot 41 vont s'infiltrer dans le sens de la rotation entre la bride annulaire 14 et l'extrémité 18 du corps de pompe 4, ce qui aura pour effet de continuer à freiner la rotation du corps de pompe 4, lui évitant de tourner librement dans la bride 14. La figure 5 illustre en coupe le système de fixation selon la présente invention dans le plan des vis de fixation sur la structure fixe. Conformément aux normes en vigueur, des trous taraudés 50 sont prévus dans la paroi 2 de structure fixe 3 répartis autour de l'orifice de sortie 13. Des trous traversants lisses 21 associés sont prévus sur la bride 15 dans lesquels des vis 42 à tête 51 sont adaptées de façon à ce que leurs tiges 52 traversent les trous 21 et se vissent dans les trous taraudés 50 associés pour solidariser la pompe à vide 1 à la structure fixe 3 en plaquant la face 20 de la bride 14 contre la paroi 2 de la structure fixe 3. Une vue en coupe dans le plan des plots du système de fixation selon l'invention, parallèlement à celle de la figure 5, est montrée sur la figure 6. Selon l'invention, la face 23 annulaire interne de la bride supérieure 15 porte des cavités 22. L'extrémité 18 du corps de pompe 4 comprend également des cavités 40. Les cavités 22 et 40 coopèrent deux à deux pour former un logement 40-22 dans lequel est inséré un plot 41 constitué d'un matériau souple. Ce matériau est de préférence un élastomère comme un polysiloxane, un polychloroprène ou un copolymère du chloroprène, l'isoprène ou un copolymère de l'isoprène, ou bien encore l'isobutylène ou un copolymère de l'isobutylène. Dans le cas présent le matériau utilisé est un copolymère de l'isoprène et de l'isobutylène. Selon une variante de réalisation de l'invention, la figure 7a représente un montage en cisaillement d'un plot cylindrique. Le volume du logement délimité par la cavité 70 de la bride supérieure 71 et la cavité 72 de l'extrémité 73 du corps de pompe a une section circulaire dans un plan perpendiculaire à l'axe du corps de pompe. Le volume du logement est prévu pour permettre une compression du plot 74 dans son logement. Selon une autre variante de réalisation, la figure 7b représente un montage en cisaillement d'un plot oblong. Le volume limité par les cavités 75 de la bride supérieure 76 et la cavité 77 de l'extrémité 78 du corps de pompe ainsi que le plot 79 peuvent avantageusement être de forme oblongue, c'est à dire de lo longueur supérieure à la largeur. Ce mode de réalisation permet d'augmenter le volume du plot 79, donc la quantité de polymère, dans le but d'améliorer les capacités d'amortissement du plot 79, tout en respectant les contraintes géométriques de la norme. Selon encore une autre variante de réalisation, la figure 7c représente un montage en compression d'un plot cylindrique. La partie supérieure du logement 80 a une dimension très proche de celle du plot 81 et est adoucit aux angles pour éviter de cisailler le plot 81 par des arêtes vives. La partie inférieure 82 a un rayon de courbure beaucoup plus large pour un travail en compression plus doux. Avec ce type de montage, lors d'une défaillance, les plots cylindriques 81 sont sollicités en compression. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits mais est susceptible de nombreuses variantes aisément accessibles à l'homme de l'art. Naturellement l'invention s'applique non seulement aux pompes à vide fixées par un système conforme à la norme PNEUROP 66061 à douze vis, mais également à des pompes à vide de tailles différentes fixées par des systèmes normalisés différents et adaptés à leur taille. REVENDICATIONS 1. Bride annulaire (14) pour la fixation d'une pompe à vide (1) sur une paroi (2) d'une structure fixe (3), comportant des trous (21, 30) susceptibles de coopérer avec des vis à tête (42) pour solidariser la pompe à vide (1) à la structure fixe (3) en plaquant la bride (14) contre la paroi (2), caractérisé en ce qu'elle comprend une bride supérieure (15) et une bride inférieure (17) coopérant de manière à pincer l'extrémité (18) du corps de pompe (4) entre la bride supérieure (15) et la bride inférieure (17), - au moins une cavité (22) ménagée dans une face (23) de la bride supérieure (15) qui est dans un plan perpendiculaire à celui de la face (20) de la bride supérieure (15) destinée à être en contact avec la paroi de la structure fixe (3). 2. Système de fixation d'une pompe à vide (1) sur une paroi (2) d'une structure fixe (3) comprenant une bride annulaire (14) disposée coaxialement au corps de pompe (4) autour de l'orifice d'aspiration (6) de la pompe (1), et comportant des trous (21, 30) susceptibles de coopérer avec des vis à tête (42) pour solidariser la pompe à vide (1) à la structure fixe (3) en plaquant la bride (14) contre la paroi (2), caractérisé en ce que : la bride annulaire (14) comprend une bride supérieure (15) et une bride inférieure (17) coopérant de manière à pincer l'extrémité (18) du corps de pompe (4) entre la bride supérieure (15) et la bride inférieure (17), - au moins une première cavité (22) ménagée dans une face (23) de la bride supérieure (15) en contact avec une face de l'extrémité (18) du corps de pompe (4), et au moins une seconde cavité (40) ménagée dans la face de l'extrémité (18) du corps de pompe (4), la première cavité (22) s'accouplant avec la seconde cavité (40) pour former un logement (40-22), et au moins un plot (41) en matériau souple inséré dans le logement (40-22). 3. Système de fixation selon la revendication 2, dans lequel la première cavité (22) est ménagée dans une face (23) de la bride supérieure (15) qui est dans un plan perpendiculaire à celui de la face (20) de la bride supérieure (15) destiné à être en contact avec la paroi (2) de la structure fixe (3). 11 4. Système de fixation selon l'une des revendications 2 et 3, dans lequel le logement (40-22) a une section circulaire dans un plan perpendiculaire à l'axe du corps de pompe (4). 5. Système de fixation selon l'une des revendications 2 et 3, dans lequel le 5 logement (40-22) a une section oblongue dans un plan perpendiculaire à l'axe du corps de pompe (4). 6. Système de fixation selon l'une des revendications 2 et 3, dans lequel les cavités (22, 40) formant le logement (40-22) par accouplement sont de forme arrondie avec des rayons de courbure différents pour chacune des cavités (22, 10 40). 7. Système de fixation selon l'une des revendications précédentes, dans lequel le plot (41) est constitué d'un élastomère. 8. Système de fixation selon la revendication 7, dans lequel l'élastomère est choisi parmi les polysiloxanes, les polychloroprènes et leurs copolymères, les 15 homopolymères et les copolymères de l'isoprène, et les homopolymères et les copolymères de l'isobutylène. 9. Procédé de fixation d'une pompe à vide (1) sur une paroi (2) d'une structure fixe (3) au moyen d'un système de fixation comprenant une bride annulaire (14) disposée coaxialement au corps de pompe (4) autour de l'orifice 20 d'aspiration (6) de la pompe (4), et comportant des trous (21, 30) susceptibles de coopérer avec des vis à tête (42) pour solidariser la pompe à vide (1) à la structure fixe (3) en plaquant la bride (14) contre la paroi (2), caractérisé en ce que la bride annulaire (14) comporte une bride supérieure (15) et une bride inférieure (17) composée de deux demi-brides (17a, 17b), et en ce que le procédé comprend les 25 étapes suivantes : - on place la bride supérieure (15) autour de l'extrémité (18) du corps de pompe (4) en l'insérant par le dessus, la bride supérieure (15) comportant au moins une première cavité (22) ménagée dans sa face (23) en contact avec une face de l'extrémité (18) du corps de pompe (4) et s'accouplant avec une 30 seconde cavité (40) ménagée dans la face de l'extrémité (18) du corps de pompe (4) pour former un logement (40-22), - on insère par en dessous un plot (41) dans le logement (40-22),- on dispose chaque demi-bride (17a, 17b) composant une bride inférieure (17) autour de l'extrémité (18) du corps de pompe (4) en dessous de la bride supérieure (15), - on assemble par des vis la bride supérieure (15) et la bride inférieure (17), - on fixe au moyen de vis (42) l'ensemble composé des brides (15, 17) enserrant le corps de pompe (4) à la paroi (2) de la structure fixe (3).