Brevet FR2896635A1 — publié le 20070727

PROCEDE ET DISPOSITIF DE CONVERSION D'ÉNERGIE MECANIQUE EN ENERGIE ELECTRIQUE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR La présente invention se rapporte principalement à un procédé et un dispositif de conversion d'énergie mécanique, notamment vibratoire en énergie électrique à rendement amélioré. Il est connu, par exemple du document Vibration-to-Electric Energy Conversion , Meninger, S. ; Mure-Miranda, J. O. ; Amirtharajah, R. ; Chandrakasan, A. ; Lang, JH ; Very Scale Integration (VLSI) Systems, IEEE Transactions on, Volume 9, Issue 1, Feb. 2001 Page(s) : 64-76, un dispositif de récupération d'énergie mecanique sous forme de vibration en énergie électrique, comportant une pluralité de condensateurs à capacité variable, formé par deux éléments en regard portés respectivement par un peigne fixe et un peigne mobile, le peigne mobile étant mis en mouvement sous l'effet des vibrations extérieures et modifiant l'entrefer entre les deux éléments et ainsi la capacité des condensateurs. Ainsi en générant des forces électrostatiques entre les armatures du condensateur, il est possible de récupérer une énergie électrique. Il est également connu d'utiliser un matériau piézo-électrique pour transformer une énergie mécanique en énergie électrique, l'énergie mécanique provoquant la déformation du matériau piézoélectrique et l'apparition de charges électriques dans le matériau, qui peuvent être récupérées. Cette récupération par des moyens électrostatiques ou piézoélectriques n'est pas optimale. C'est par conséquent un but de la présente invention d'offrir un procédé de récupération d'énergie électrique à partir d'une énergie mécanique à rendement augmenté par rapport aux procédés de l'état de la technique. C'est également un but de la présente invention d'offrir un dispositif pour convertir de manière optimisée une énergie mécanique en une énergie électrique EXPOSÉ DE L'INVENTION Les buts précédemment énoncés sont atteints par un dispositif de conversion d'énergie comportant des moyens piézoélectriques aptes à convertir une énergie mécanique en une énergie électrique, associés à des moyens électrostatiques amplifiant l'énergie électrique produite par les moyens piézoélectriques. En d'autres termes, le dispositif de conversion associe un élément piézoélectrique et un condensateur à capacité variable, les charges générées par l'élément piézoélectrique lors de sa déformation sont transmises au condensateur, qui par variation de sa capacité va amplifier l'énergie électrique produite par l'élément piézoélectrique. La variation de la capacité est obtenue par déplacement relatif des armatures du condensateur. Lors de la diminution de la capacité du condensateur, la charge électrique crée des forces électrostatiques tendant à freiner le mouvement des armatures du condensateur, transformant ainsi une partie de l'énergie mécanique en énergie électrique. Ainsi l'énergie électrique produite par l'élément piézoélectrique lors de sa déformation est amplifiée lors de la diminution de la capacité du condensateur. De manière avantageuse, la structure de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique combine les principes de conversion électrostatique et piézoélectrique de manière synchronisée. En effet si lors de la déformation de l'élément piézoélectrique, il se produit une variation de capacité, il est possible d'amplifier par la structure électrostatique l'énergie acquise par l'élément piézoélectrique, puis éventuellement de la réinjecter vers l'élément piézoélectrique pour subir une succession d'amplification. A chaque phase d'amplification, une force de freinage (électrostatique ou piézoélectrique) apparaît ; elle est à chaque fois plus importante et permet ainsi de convertir plus d'énergie mécanique en énergie électrique. De préférence, à un extremum de capacité de l'élément électrostatique correspond un extremum de tension aux bornes de l'élément piézoélectrique. A l'aide de moyens électroniques simples, ceci permet de façon efficace de transférer à l'élément électrostatique l'énergie convertie par l'élément piézoélectrique au moment où la valeur de capacité est maximale. Cette énergie est ensuite amplifiée durant la phase où la capacité diminue. En effet, si en plus de la synchronisation entre la conversion électrostatique et la conversion piézoélectrique, à chaque extremum de capacité sur la structure électrostatique il se produit un extremum de déformation de l'élément piézoélectrique, alors ces phases d'amplification peuvent s'effectuer de manière optimisée. Pour cela il suffit de transférer, lorsque la déformation est maximale, l'énergie potentielle électrique stockée dans l'élément piézoélectrique vers la structure électrostatique qui est à une valeur capacitive maximale. Ensuite, pendant que la structure électrostatique passe de sa valeur capacitive maximale à sa valeur minimale, il y a augmentation de l'énergie potentielle électrique au sein de cette structure. Lorsque cette énergie potentielle est maximale, soit elle est transférée vers un circuit de stockage (batterie) soit elle est réinjectée dans l'élément piézoélectrique pour quelle soit à nouveau amplifiée. Le système peut servir à recupérer l'énergie de vibration mécanique dans des milieux courant (voiture, machine outil, etc...), de l'ordre de quelques microwatts par gramme de masse mobile avec un rendement de l'ordre de 20 %. Le dispositif selon la présente invention permet, en outre, de manière avantageuse de pouvoir démarrer sans que cela nécessite une source d'énergie électrique initiale, tout en ayant les avantages des structures électrostatiques en terme de couplage mécanique/électrique en petite dimension. La présente invention a alors principalement pour objet un procédé de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique, au moyen d'au moins un élément piézoélectrique et d'au moins un condensateur à capacité variable, ledit procédé comportant les étapes : a) de déformation mécanique de l'élément piézoélectrique, b) de récupération de charges produites par la déformation de l'élément piézoélectrique, c) de transfert de charge de l'élément piézoélectrique au condensateur, d) de modification de la capacité du condensateur, e) de récupération d'au moins une partie de l'énergie électrique. De manière avantageuse, la déformation de l'élément piézoélectrique et la modification de la capacité du condensateur sont simultanées. En outre, de manière également très avantageuse, la déformation de l'élément piézoélectrique est maximale lorsque la capacité du condensateur est maximale. La capacité est, par exemple, modifiée par déformation mécanique du condensateur. L'élément piézoélectrique et le condensateur peuvent alors être déformés par une même contrainte mécanique. On peut prévoir qu'une partie de l'énergie électrique convertie par le condensateur soit transmise à l'élément piézoélectrique. Les charges peuvent également être transférées vers un premier ou un deuxième condensateur en fonction d'une direction de déformation de l'élément piézoélectrique. Il peut également être prévu, lorsqu'une tension à des bornes de l'élément piézoélectrique est maximale, que son signe soit inversé pour créer une force de freinage mécanique permettant d'augmenter l'énergie convertie sur un cycle de conversion suivant. En outre, le procédé selon l'invention peut comporter l'étape supplémentaire de transférer l'énergie électrique produite par un condensateur vers un deuxième condensateur et inversement jusqu'à atteindre un niveau d'amplification prédéterminé de l'énergie électrique. Une quantité d'énergie en excès par rapport 15 audit niveau d'amplification est alors transférée à une unité de stockage ou d'utilisation. De manière très avantageuse, le transfert de charges de l'étape c) est commandé par une diode ou un interrupteur muni d'un circuit de commande. 20 La présente invention a également pour objet un dispositif de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique, comportant au moins un élément piézoélectrique et au moins un condensateur à capacité variable, des moyens de commande de transfert de 25 charges entre l'élément piézoélectrique et le condensateur, de manière à ce que la charge produite lors d'une déformation de l'élément piézoélectrique soit transmise au condensateur pour générer une énergie électrique amplifiée par variation de sa capacité. 30 Les moyens de commande de transfert de charges sont avantageusement formés par au moins une diode ou au moins un interrupteur muni d'un circuit de commande. La capacité du condensateur est, par exemple modifiée par rapprochement des armatures du condensateur. L'élément piézoélectrique et les armatures du condensateur sont avantageusement sensiblement parallèles de manière à être soumis à la même contrainte mécanique. Le dispositif selon l'invention peut comporter deux condensateurs dont les capacités varient en sens inverse. Dans un exemple de réalisation, le dispositif selon l'invention comporte une partie mobile par application d'une contrainte mécanique munie de doigts de part et d'autre de son axe de déplacement, deux parties fixes munies également de doigts venant en regard des doigts de la partie mobile, les éléments piézoélectriques étant perpendiculaires au déplacement de la partie mobile et reliés électriquement à la partie mobile, les paires de doigts en regard formant deux ensembles de condensateurs en série dont les capacités varient en sens inverse. Dans un autre exemple de réalisation du dispositif selon l'invention, l'élément piézoélectrique est sous forme d'une membrane souple suspendue à distance d'une électrode électrostatique, de manière à ce que l'électrode électrostatique et une deuxième électrode de l'élément piézoélectrique forment un condensateur à capacité variable par déformation de la membrane. Le dispositif selon l'invention peut également comporter une structure stratifiée dans laquelle le condensateur est formé par une alternance de premières électrodes à un premier potentiel, de couches en matériau électriquement isolant et de deuxièmes électrodes à un deuxième potentiel, le matériau électriquement isolant étant élastiquement déformable et dans lequel l'élément piézoélectrique forme une couche de la structure stratifiée. L'élément piézoélectrique comporte avantageusement une couche en matériau piézoélectrique et une première et une deuxième électrode de part et d'autre de la couche en matériau piézoélectrique. Le matériau piézoélectrique peut être choisi parmi les céramiques : PZT (PbZrtiO3) ou PLZT (avec lanthane) ou BaTiO3, parmi les nanocristaux (PZN-PT ou PMN-PT), parmi les polymères (PVDF) ou les AFC (Active Fiber Composite). BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui va suivre et des dessins annexés, sur lesquels : la figure 1A est une vue de dessus d'une représentation schématique d'un exemple de réalisation d'un dispositif selon l'invention, - la figure 1B est un exemple de schéma électrique correspondant au dispositif de la figure 1A, - la figures 1C représente les variations de capacités en pF des condensateurs du dispositif des figures 1A et 1B en fonction du temps en milliseconde lorsque l'élément piézoélectrique est déformé, ainsi que la déformation en micromètre de l'élément piézoélectrique, - la figures 1D représente les variations du potentiel aux bornes des condensateurs du dispositif des figures 1A et 1B en fonction du temps lorsque l'élément piézoélectrique est déformé, - la figure 1E est une modélisation du fonctionnement électrique d'un élément piézoélectrique, - la figure 2A est une représentation schématique en perspective d'un autre exemple de réalisation d'un dispositif de récupération d'énergie selon la présente invention, - la figure 2B est un schéma électrique de principe de base d'un dispositif selon l'invention, - la figure 3 est une représentation schématique en perspective d'un autre exemple de réalisation de la présente invention, - la figure 4 est une représentation schématique d'un autre exemple de réalisation de la présente invention, - la figure 5A est une représentation schématique d'un autre exemple de réalisation de la présente invention, - les figures 5B et 5C sont des vues de détail du dispositif de la figure 5A, - la figure 5D est un exemple de schéma électrique correspondant au dispositif de la figure 5A, - la figure 6 est un exemple d'un schéma électrique correspondant à un autre exemple de réalisation de la présente invention, - la figure 7 est un exemple d'un schéma électrique correspondant à un autre exemple de réalisation de la présente invention, - la figure 8 est un exemple d'un schéma 5 électrique correspondant à un autre exemple de réalisation de la présente invention, - la figure 9 est un exemple d'un schéma électrique correspondant à un autre exemple de réalisation de la présente invention. 10 EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Dans toute la description, on entend par déformable , un élément apte à se déformer élastiquement sous une charge donnée, le matériau de l'élément étant choisi en fonction des contraintes 15 susceptibles d'être subies par le dispositif de récupération. Sur les figures 1A et 1B, on peut voir un exemple de réalisation de l'invention comportant une partie mobile 202 et deux parties fixes 204, 206 20 entourant la partie mobile 202, les parties mobile et fixes étant interdigitées. Les parties fixes et la partie mobile sont réalisées en matériau conducteur. La partie mobile 202 comporte un corps 208 25 d'axe Z muni d'une pluralité de doigts 210 s'étendant de part et d'autre de l'axe Z et perpendiculaires à celui-ci. Les parties fixes 204, 206 sont parallèles à l'axe Z et comportent des doigts 212, 214 perpendiculaires à l'axe Z. Les doigts 212 de la partie 30 fixe 204 sont en regard des faces 210.1 situées à la droite des doigts 210 sur le dessin et les doigts 214 sont en regard des faces 210.2 situées à la gauche des doigts 210 sur le dessin. La partie mobile 202 peut se déplacer le long de l'axe Z vers la droite et vers la gauche. Ainsi lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la droite, les doigts 210 s'éloignent des doigts 212 et se rapprochent des faces 214. Lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la gauche, les doigts 210 se rapprochent des doigts 212 et s'éloignent des doigts 214. La partie mobile 202 est reliée à un support 216 par des bras déformables 218, de manière à autoriser les déplacements selon l'axe Z. Quant aux parties fixes 204, 206, celles-ci sont reliées rigidement au support 216. Des éléments piézoélectriques P sont disposés sur les bras 218 de manière à être également déformés lorsque la partie mobile 202 se déplace ; ils sont électriquement en série ou en parallèle. Les éléments piézoélectriques P comportent un matériau piézoélectrique et deux électrodes de part et d'autre du matériau piézoélectrique. L'ensemble des doigts 212 de la partie fixe 204 et des doigts 210 de la partie mobile 202 forment une première série de condensateurs, dont la capacité augmente lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la droite. L'ensemble des doigts 214 de la partie fixe 206 et 210 de la partie mobile 202, en regard forme une deuxième série de condensateurs dont la capacité augmente lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la gauche. Nous considérerons pour la suite de l'exposé que, lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la droite, la tension Vp aux bornes de l'élément piézoélectrique augmente et lorsque la partie mobile se déplace vers la gauche, la tension Vp aux bornes de l'élément piézoélectrique diminue. Sur la figure 1B, on peut voir un exemple de circuit électrique pouvant être associé au dispositif de la figure 1A. Le circuit électrique est composé de deux sous-circuits Cl, C2. Le premier sous-circuit Cl comporte l'élément piézoélectrique P, montée en série avec une première diode 224 et un premier condensateur 226 à capacité variable C226• Le condensateur 226 représente le condensateur équivalent à la succession de condensateurs formés par les doigts 210 et 212. Le deuxième sous-circuit C2 comporte le même élément piézoélectrique 22 également monté en série avec une deuxième diode 228 et un deuxième condensateur 230 à capacité C230 variable. Le deuxième condensateur représente le condensateur équivalent aux condensateurs formés par les doigts 210 et 214. Les première 224 et deuxième 228 diodes sont montées de manière opposée pour permettre chacune le passage d'un courant de sens opposé. Ainsi lorsque la tension Vp aux bornes de l'élément piézoélectrique P augmente, la diode 224 devient passante, et lorsque tension Vp aux bornes de l'élément piézoélectrique P diminue, c'est au tour de la diode 228 de devenir passante. Dans l'exemple représenté, les circuits Cl et C2 sont reliés chacun à une unité de stockage C5 ou à une application distincte, mais on peut prévoir de les relier à la même unité ou à la même application. Nous allons maintenant décrire le fonctionnement de ce dispositif. Lorsque le support 216 est soumis à des vibrations mécaniques, la partie mobile se déplace selon l'axe Z de gauche à droite. Le déplacement de la partie mobile provoque la déformation de l'élément piézoélectrique P. Il y a alors apparition d'une tension aux bornes de celui-ci, les charges produites sont alors transmises à l'un ou l'autre des condensateurs à capacité variable, qui amplifie l'énergie électrique récupérée du fait de la variation de la capacité et de la variation du potentiel à ses bornes. Ainsi dans chaque direction de déplacement, un élément piézoélectrique P est déformé, provoquant la conversion de l'énergie mécanique en énergie électrique. Dans l'exemple représenté, les moyens de commande de transfert de charge sont formés par des diodes 224, 228, mais on pourrait prévoir, par exemple des interrupteurs munis d'un circuit de commande. Dans le cas d'une diode, ce transfert s'effectue de manière continue à partir d'une valeur de charge minimale. Tandis que dans le cas d'un interrupteur de commande, ce transfert s'effectue d'un seul coup environ au moment où le potentiel entre les électrodes de l'élément piézoélectrique est maximum. L'interrupteur nécessite d'être commandé à l'inverse des diodes qui deviennent passantes automatiquement. Sur la figure 1E, on peut voir un schéma électrique modélisant de maniere simplifiée le fonctionnement électrique d'un élément piézoélectrique. Ce circuit comporte un condensateur 222.1 de capacité Cp et un générateur de tension alternative 222.2 formé par le matériau piézoélectrique déformé. Sur la figure 1C, on peut voir les variations des capacités aux bornes des condensateurs 226 (Courbe III), 230 (courbe IV), et la déformation de l'élément piézoélectrique (courbe V) en fonction du temps. Sur la figure 1D, on peut voir la variation du potentiel aux bornes de condensateurs 226 (courbe I, II) et 230 (courbe I', II'). Lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la droite, l'élément piézoélectrique P est déformée et la tension Vp aux bornes de l'élément piézoélectrique P augmente et rend la diode 304 conductrice (partie I , figure 1D) . La tension V226 aux bornes du condensateur 226 suit donc la tension Vp par un transfert progressif des charges électriques stockées dans le condensateur P.1 de l'élément piézoélectrique de la figure 1B vers le condensateur 226. Ensuite, lorsque la déformation de l'élément piézoélectrique atteint une valeur maximale, la tension Vp aux bornes de cet élément commence à diminuer alors que la tension V226 au contraire augmente (partie II de la figure 1D), ce qui engendre le blocage de la diode 224. Cette augmentation de V226 est liée au fait que lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la gauche, la capacité C226 diminue (partie II', figure 1D), le condensateur 226 étant alors isolé électriquement du reste, de par le blocage de la diode 224, sa charge Q226=C226V226 reste constante. Si cette charge Q226 est constante et la capacité C226 diminue, alors la tension V226 augmente. Lorsque la tension V226 atteint une valeur maximale, un circuit de décharge traditionnel (structure de type Flyback ou autre) peut être utilisé pour transférer l'énergie de cette charge vers l'unité de stockage C5 ou directement vers l'application à alimenter. L'énergie électrique E226 acquise durant cette phase de décroissance de la capacité C226 vaut 1/2Q226 (V226maxùV226min) OU encore 1/2Q226 (l/C226minù1/C226max) La charge Q226 est la charge transférée par l'élément piézoélectrique P au condensateur 226 jusqu'au moment où la tension aux bornes de l'élément piézoélectrique commence à décroître (début de la partie II, figure 1D) ; la tension V226max est la tension aux bornes du condensateur 226 à la fin de la partie II (figure 1D) ; la tension V226min est la tension aux bornes du condensateur 226 au début de la partie II (figure 1D) ; la capacité C226min est la capacité du condensateur 226 à la fin de la partie II (figure 1D) ; la capacité C226max est la capacité du condensateur 226 au début de la partie II (figure 1D) Pour détecter les extrema de tension au niveau de l'élément piézoélectrique P ou de la structure électrostatique, il suffit par exemple de détecter le passage de la dérivée de cette tension d'une valeur positive à une valeur négative. En outre, le dispositif offre avantageusement une symétrie, ainsi un fonctionnement similaire intervient dans le circuit C2 lorsque la tension Vp devient négative, c'est-à-dire lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la gauche. Cette symétrie de construction permet ainsi de récupérer de l'énergie dans les deux sens de déplacement. On peut cependant prévoir un seul circuit. De manière avantageuse, il est prévu que la tension Vp aux bornes de l'élément piézoélectrique soit maximale lorsque la capacité du condensateur 226, 230 est maximale. La conversion est alors optimisée, puisque les valeurs des tensions V226 pour le calcul de l'énergie électrique convertie sont les valeurs extrêmes aux bornes du condensateur 226. En effet, si la tension Vp de l'élément piézoélectrique P devenait maximale avant ou après la capacité C226 du condensateur 226, les valeurs des tensions V226 aux bornes du condensateur 226 ne seraient pas les valeurs extrêmes, mais des valeur se trouvant sur la partie II (Figure 1D) dans l'intervalle V226min; V226max De plus de manière avantageuse, la conversion opérée par l'élément piézoélectrique et la conversion opérée par les condensateurs 226, 230 sont synchronisées, puisque la déformation de l'élément piézoélectrique P et des condensateurs 226, 230 résultent des mêmes efforts mécaniques externes, ceux- ci provoquant l'apparition d'une différence de potentiel aux bornes de l'élément piézoélectrique, et la variation de capacité des condensateurs 226, 230. Le dispositif selon la présente invention présente par ailleurs l'avantage par rapport à un système électrostatique de l'état de la technique, de pouvoir démarrer sans nécessité de disposer d'une source énergie électrique initiale, puisque celle-ci est fournie par l'élément piézoélectrique lorsqu'il est déformé par la partie mobile 202. Par ailleurs, le cycle de charge actif de l'état de la technique est source de pertes électriques dues à la consommation du circuit électrique qui permet de puiser l'énergie dans une unité de stockage déjà chargée, de détecter l'instant de charge de la capacité et d'injecter cette énergie dans le dispositif. Selon l'invention, le cycle de charge actif est avantageusement remplacé par un cycle de charge totalement passif et naturellement synchronisé. Puisque la conversion d'énergie s'effectue majoritairement au travers de la structure électrostatique, l'élément piézoélectrique, qui a pour fonction principale d'injecter une petite charge initiale dans la structure électrostatique, n'a pas besoin d'être très performant. Sur la figure 2A, on peut voir un autre exemple de réalisation d'un dispositif selon la présente invention, comportant un élément piézoélectrique P et une électrode 4 électrostatique. L'élément piézoélectrique P et l'électrode 4 sont sensiblement parallèles et séparés par un matériau diélectrique, par exemple de l'air. L'élément piézoélectrique P et l'électrode fixe 4 sont fixés par leurs extrémités longitudinales à un support 6. L'élément piézoélectrique P et l'électrode fixe 4 sont isolés électriquement. L'élément piézoélectrique P comporte un matériau piézoélectrique 9, par exemple une membrane en polymère piézoélectrique type PVDF, une première 8 et une deuxième 10 électrode de part et d'autre de la membrane. La deuxième électrode 10 est en vis-à-vis de l'électrode fixe 4 de manière à former un condensateur 12. L'élément piézoélectrique P est apte à se déformer sous l'application d'une charge mécanique selon la direction Z, cette déformation provoquant un déplacement de la deuxième électrode 10 et donc une variation de la distance d entre l'électrode fixe 4 et l'électrode mobile 10. Le condensateur 12 est donc à capacité variable par application d'un effort mécanique sur la membrane 9. Sur la figure 2B, on peut voir un schéma électrique de principe de base d'un dispositif selon l'invention, par exemple le dispositif de la figure 1A. Des moyens de commande du transfert de charge 20 sont disposés dans le circuit. Ces moyens sont, par exemple du type diode ou interrupteur muni d'un circuit de commande. Ces moyens 20 autorisent le transfert de charge de l'élément piézoélectrique P vers le condensateur 12. Lorsqu'un effort est exercé sur l'élément piézoélectrique P selon Z, la membrane piézoélectrique 9 se déforme, provoquant l'apparition d'un potentiel électrique entre les première 8 et deuxième 10 électrodes. Cette déformation de l'élément piézoélectrique P engendre le rapprochement de la deuxième électrode 10 et de l'électrode fixe 4, et une augmentation de capacité du condensateur 12. Le fonctionnement est identique à celui décrit en relation avec les figures 1A à 1E. La charge générée par la déformation de l'élément piézoélectrique P est transférée au condensateur 10. Puis, lorsque l'effort cesse de s'exercer sur l'élément piézoélectrique P, le condensateur reprend sa position repos, les électrodes 4 et 10 s'écartent provoquant une diminution de la capacité. Cette variation de capacité associée à une variation du potentiel aux bornes du condensateur 12, permet de récupérer une énergie électrique qui peut être stockée ou directement utilisée par une application déterminée. La déformation de l'élément piézoélectrique P est synchronisée avec la variation de capacité d'un élément électrostatique, puisque c'est la même énergie mécanique extérieure qui provoque la variation de capacité et la déformation de l'élément piézoélectrique. Ce dispositif peut, par exemple servir à récupérer l'énergie de pression ou de chocs pouvant s'exercer sur une membrane, telle que celle résultant de l'appui tactile sur un interrupteur..., la variation de pression d'un gaz, la variation de pression d'un vaisseau sanguin, ou encore la chute d'une goutte de pluie sur l'élément piézoélectrique. Sur la figure 3, on peut voir un autre exemple de réalisation d'un dispositif selon la présente invention comportant un support 104 en forme de U allongé , dont des extrémités intérieures 106, 108 des branches portent des électrodes électrostatiques 110, 112 en vis-à-vis. Ledispositif comporte également un élément piézoélectrique P fixé sur le fond du U. L'élément piézoélectrique P comporte deux parties 114, 116 en matériau piézoélectrique comportant respectivement sur leur face externe une électrode 118, 120 et fixées par leur face interne à une première extrémité d'une poutre 122 en matériau conducteur s'étendant parallèlement aux branches du U. La poutre comporte à sa deuxième extrémité une masse mobile 124 disposée entre les électrodes électrostatiques 110, 112. La masse 124 comporte des faces conductrices 126, 128 en regard respectivement des électrodes 110, 112, et séparées de celles-ci par un matériau diélectrique, par exemple de l'air. Les faces 126, 128 et les électrodes 110, 112 forment respectivement des condensateurs, dont la capacité peut varier lorsque la masse 124 se déplace entre les branches du U. Ainsi, le dispositif peut servir, grâce à l'inertie de la masse mobile 124, à récupérer de l'énergie électrique si le support 104 est soumis à des vibrations mécaniques. Lorsque le support 104 est soumis à des vibrations mécaniques, la masse 124 oscille entre les branches du U, provoquant une déformation des parties piézoélectriques 114, 116 et donc l'apparition d'un potentiel électrique entre les électrodes 118,120 et l'électrode commune 122 et simultanément une variation de la capacité des condensateurs. La poutre étant conductrice, le potentiel de l'électrode 122 se retrouve sur les électrodes 1126, 128. Il est alors possible de récupérer une énergie électrique en associant un circuit électrique, par exemple comme celui de la figure 1B. Le fonctionnement est identique à celui du dispositif de la figure 1A. Sur la figure 4, on peut voir un autre exemple de réalisation d'un dispositif de conversion de contrainte mécanique en énergie électrique, ayant une structure en sandwich formée par une pluralité de couches. Le dispositif comporte un élément piézoélectrique P muni, de part et d'autre d'un matériau piézoélectrique 404, d'électrodes 406,408. Le dispositif comporte également une structure multicouches comportant des premières couches conductrices 410 à un même potentiel U410 alternées avec des deuxièmes couches conductrices 412 à un même potentiel U412, séparées par des couches isolantes 414 déformables. Cette structure est déposée sur l'élément piézoélectrique. Le potentiel U410 est différent du potentiel U412 Les premières 410 et deuxièmes 412 couches conductrices forment avec les couches isolantes 414, une succession de condensateurs à capacité variable, électriquement en parallèle. L'électrode 406 est en contact électrique avec l'électrode 410. Un côté opposé à celui de l'élément piézoélectrique est destiné à recevoir une contrainte mécanique variable selon la direction Z. Lorsqu'une contrainte s'applique au sandwich, il y a augmentation de l'énergie potentielle électrique aux bornes de l'élément piézoélectrique P et une augmentation de la capacité électrostatique de par le rapprochement des couches 410, 412. Le rapprochement de ces couches 410, 412 est rendu possible par le choix d'un isolant électrique très souple, par exemple en caoutchouc, qui sous la contrainte va permettre aux couches 410, 412 de se rapprocher. Comme pour le dispositif de la figure 1A, l'énergie électrique produite par l'élément piézoélectrique P est transférée vers le condensateur 416 lorsqu'elle est maximale. L'énergie potentielle électrique est alors amplifiée durant le relâchement de la contrainte appliquée sur le dispositif. Lors de la compression, l'élément piézoélectrique convertit une partie de l'énergie mécanique en énergie électrique et au relâchement de la contrainte, c'est le condensateur ou la partie électrostatique qui amplifie cette conversion. On peut également parler de structure électrostatique. En effet, lorsque les couches conductrices 410, 412 sont rapprochées l'une de l'autre, elles reçoivent une charge électrique provenant de l'élément piézoélectrique P. Cette charge électrique crée alors des forces électrostatiques tendant à empêcher les couches conductrices de s'éloigner, transformant ainsi une partie de l'énergie potentielle mécanique acquise lors de la compression en énergie potentielle électrique. Cette énergie potentielle électrique acquise peut alors être utilisée pour alimenter un circuit électronique, un actionneur ou une unité de stockage d'énergie. Sur les figures 5A, 5B et 5C, on peut voir une représentation d'un exemple de réalisation pratique d'un dispositif selon la présente invention de forme similaire à celle du dispositif de la figure 1A. Pour des raisons de simplification, nous reprendrons les mêmes références que celles utilisées sur la figure 1A. Les bras 218 sont formés par les éléments piézoélectriques P s'étendant perpendiculairement à l'axe de déplacement Z sur toute la largeur du support. Les éléments piézoélectriques P sont par exemple encastrés par leurs extrémités entre le support et les parties fixes 204, 206, comme on peut le voir sur le détail de la figure 5B. Une couche 223 de matériau isolant électrique est interposée entre les éléments piézoélectriques P et les parties fixes 204, 206. Les éléments piézoélectriques comportent une électrode 234 disposée d'un côté d'un matériau piézoélectrique 232, cette électrode est reliée électriquement à la partie mobile 202, deux électrodes 236, 238 disposées de l'autre côté du matériau piézoélectrique 232. Les électrodes 236, 238 sont connectées ensemble à un même potentiel électrique. Le dispositif comporte avantageusement des butées 239 pour éviter un court-circuit par un contact entre les doigts en fin de course. Il est à noter que le dispositif de conversion d'énergie peut comporter un nombre de doigts plus grand que celui représenté. Les dimensions indiquées sur les figures 5A à 5C sont données uniquement à titre d'exemple et ne sont aucunement limitatives. La partie mobile 202 a une largeur de 300 pm et une longueur de 7000 pm. Les doigts sont espacés de 150 pm et ont une hauteur de 1200 pm. Le dispositif peut avoir une épaisseur de 400 pm, comporter 46 doigts de chaque côté de la partie mobile 202 et peser environ 1 g. L'entrefer entre les doigts peut varier entre 1 pm et 50 pm. Lorsque la partie mobile 202 se déplace vers la droite du dessin selon Z par rapport aux parties fixes 204, 206, il y a augmentation de la capacité entre la partie mobile 202 et la partie fixe 204, et diminution de la capacité entre la partie mobile 202 et la partie fixe 206. Il y a également en même temps, déformation, notamment étirement, des éléments piézoélectriques P. Nous considérons que les électrodes 234 des éléments piézo-électriques sont au même potentiel électrique que la partie mobile 202. Lorsque les éléments piézoélectriques P s'étirent, nous considérons que par symétrie les potentiels des électrodes 236, 238 augmentent de la même manière et peuvent être connectés ensemble à un potentiel électrique V. Le système peut être réalisé partiellement ou totalement par les technologies de la microélectronique ou à plus grande échelle avec les techniques classiques de fabrication (usinage, moulage ou autres). Sur la figure 5D, on peut voir un circuit électrique adapté à la structure mécanique du circuit de la figure 5A. Celui-ci comporte en plus du circuit représenté en figure 1B, un exemple d'un circuit de décharge C3 de l'énergie électrique récupérée par conversion de l'énergie mécanique vers une unité de stockage C5 d'énergie électrique, et avantageusement un circuit de source électrique secondaire C4 pour l'actionnement du circuit de décharge C3 au démarrage. Le circuit de décharge C3 est relié en parallèle aux circuits Cl et C2. Le circuit de décharge comporte un interrupteur K1, K2 en série avec une bobine L1, L2, respectivement en parallèle avec le circuit Cl, C2. Il comporte également, reliée à l'interrupteur K1, K2 une diode DS et une bobine LS en série avec l'unité de stockage C5. Les bornes L1, L2 et LS ont de plus le même circuit magnétique. Une diode Dp est également montée en parallèle avec l'élément piézoélectrique P. Le circuit de source secondaire C4 comporte, par exemple deux diodes 224' et 228' reliées d'une part aux diodes 224 et 228 et d'autre part à une source E' rechargeable par les diodes 224' et 228'. A chaque fois que la capacité C226 ou C230 atteint une valeur maximale C226max ou C230max , l'élément piézoélectrique P atteint aussi une déformation maximale et produit une tension Vp positive susceptible de précharger le condensateur 226, 230 dont la capacité a atteint une valeur maximale. L'énergie de la charge injectée est alors amplifiée par la décroissance de la valeur de la capacité du condensateur 226, 230 préchargé ou de la croissance de la tension aux bornes du condensateur 226, 230, de la même manière que pour le dispositif de la figure 1A. Quand la tension aux bornes du condensateur 226, 230 atteint une valeur maximale, son énergie électrique est alors transférée vers l'unité de stockage C5 à l'aide du circuit de décharge C3, en fermant, sur un quart de période de résonance (Lic226 ou L2C23o), l'interrupteur K1, K2 correspondant. L'énergie potentielle électrique acquise par le condensateur 226, 230 est alors transférée vers le circuit de décharge C3 à travers l'interrupteur K1 ou K2, puis du circuit de décharge C3 vers l'unité de stockage C5 à travers la diode D. Si au démarrage l'unité de stockage C5 est vide, l'énergie nécessaire à la commande des interrupteurs K1 et K2 peut être fournie par la source secondaire E' qui se charge naturellement avec les diodes 224' et 228'. Ensuite, dès que l'unité de stockage C5 a atteint une tension suffisante, elle peut alimenter la commande de ces interrupteurs. La diode Dp a pour rôle de réinjecter sur l'électrode 222.3 de l'élément piézoélectrique P, les charges transférées précédemment sur le condensateur 226 ou 230. Pour minimiser les pertes, les diodes sont choisies de préférence avec un faible seuil, une faible résistance à l'état passant et une haute impédance en tension inverse, ce sont par exemple des diodes de type Schottky. Les transistors sont de préférence choisis avec une faible résistance à l'état passant, une très grande impédance à l'état ouvert et une faible capacité parasite, par exemple ce sont des transistors de type MOSFET ou JFET. Concernant l'élément piézoélectrique, le matériau utilisé, son épaisseur et sa longueur sont choisis de telle manière qu'ils soient capables de fournir suffisamment de tension et de courant pour effectuer la précharge de la structure électrostatique comportant les circuits Cl et C2, et qu'ils conduisent de préférence à une résonance de la structure électrostatique dans la plage fréquentielle des vibrations mécaniques ou mouvements relatifs que l'on cherche à récupérer. Le matériau piézoélectrique peut être choisi parmi les céramiques : PZT (PbZrtiO3) ou PLZT (avec lanthane) ou BaTiO3r parmi les nanocristaux (PZN-PT ou PMN-PT), parmi les polymères (PVDF) ou les AFC (Active Fiber Composite). Le circuit magnétique du transformateur inductif est choisi de telle manière qu'il puisse stocker l'énergie acquise par le condensateur 226 ou 230 sur un cycle. Le nombre de spires de la bobine L1, L2 et Ls placé sur ce circuit magnétique est tel que les temps de charge/décharge du circuit magnétique soient négligeables par rapport à la période mécanique du déplacement relatif. Ce nombre de spires dépend entre autre de la valeur de C226min, C230min et de la tension aux bornes de l'unité de stockage C5. On peut prévoir, par exemple, que la période de résonance des circuits LIC226min et L2C23omin soit de l'ordre de la microseconde, c'est à dire très faible par rapport à celle des vibrations mécaniques de quelques millisecondes de période. Nous allons, sur la base des dimensions du dispositif données ci-dessus, déterminer l'énergie récupérable par le dispositif selon l'invention. La surface capacitive du condensateur 226 ou 230 est égale à : S=46*0,4*1 = 18,4 mm2 C226min=C230min= C226max=C230max= dmax et dmin E0S/dmax = 18,4 mm2/50 pm = 3,3 pF E0S/dmin = E0*18, 4 mm2/1 pm = 162,7 pF sont respectivement les distances d'entrefer maximale et minimale entre deux doigts des condensateurs C226 et 0230 lors du déplacement. Si la fréquence de résonance est prise égale à fr = 50Hz, alors la raideur globale k des éléments piézoélectriques par rapport à un déplacement selon Z de la partie mobile 202 est égale à : k=M (2nfr) 2= 10-2(2n50)2 = 98,7 N/m. L'énergie mécaniquement disponible sur un cycle avec A l'amplitude du déplacement relatif est égale à Edispo 1/2kA2. Dans le cas le plus favorable (celui qui génère le plus d'énergie), A vaut (dmax-dmin) /P = 24,5 pm. Ainsi Edispo 1/2kA2 = 1/2*98, 7* (24, 85*10 6) 2 = 29 ,6 nJ. L'énergie convertible électriquement en un cycle par la structure électrostatique vaut : 1 Cmax (C min)V2charge -4.10 9V2charge 2 Cmin Si l'on souhaite que l'énergie convertible électriquement soit égale à l'énergie disponible mécaniquement, ce qui correspond à un amortissement proche de 1 : E = Edispo, ainsi V2charge = 2.7 V. L'énergie à injecter dans la structure électrostatique (C226 ou C230) pour effectuer la précharge vaut : écha 2 .V-2charge -0,6nJ Il suffit alors que les éléments piézoélectriques soient capables, pour un déplacement relatif d'amplitude 24.5 pm de produire, à chaque cycle, une énergie de 0.6 nJ sous 2.7 V, ce qui correspond à une énergie 49 fois inférieure à celle qui sera convertie par la structure électrostatique. Il apparaît donc que les poutres piézoélectriques n'ont en fait ici pour rôle électrique que d'amorcer le fonctionnement de la structure de conversion électrostatique. Puisque l'énergie électrique convertie par les éléments piézoélectriques ne représente que 2% de l'énergie mécanique disponible, le choix des matériaux piézoélectriques pourra ainsi se faire en tenant principalement compte de leur compatibilité avec les technologies de fabrication utilisées en microélectronique. La puissance récupérable avec un tel système à 50 Hz et à pleine amplitude est : Précupérab1e5OHz = 29, 6.10-9*2*50 = 2,96 pW, puisque nous avons deux cycles par période mécanique, un cycle avec le condensateur 0226 et un cycle avec le condensateur C230. La présente invention permet de gagner 20% 15 de rendement par rapport à un système uniquement électrostatique. Sur la figure 6, on peut voir un schéma d'un circuit électrique utilisable pour exploiter l'association d'éléments piézoélectriques et 20 électrostatique synchronisés selon un mode avantageux de la présente invention. Le circuit comporte un élément piézoélectrique P, une diode 504, un condensateur 506 à capacité variable C506, et un interrupteur 508 et une 25 bobine 510 en parallèle avec l'élément piézoélectrique P. La tension aux bornes de l'élément piézoélectrique P est Vp et la tension aux bornes de condensateur 506 est V506• Nous considérons ici que la capacité du 30 condensateur 506 augmente lorsque Vp diminue inversement. On prévoit, dans cet exemple de réalisation, d'actionner l'interrupteur 508 pour inverser la tension aux bornes de l'élément piézoélectrique et pour améliorer le rendement du dispositif. Lorsque la tension Vp est maximale, la tension aux bornes de l'élément piézoélectrique P peut être inversée en fermant l'interrupteur 508 sur une demi-période de résonance du circuit formé par la bobine 510 et la capacité de l'élément piézoélectrique P. Cette inversion du signe des charges stockées dans l'élément piézoélectrique P entraîne l'apparition d'une force de freinage mécanique qui permet d'augmenter l'énergie convertie sur le cycle suivant. Ce cycle correspond à la phase pendant laquelle la tension Vp diminue. Ensuite lorsque la tension Vp est minimale, l'interrupteur 508 est à nouveau fermé sur une demi-période de résonance entraînant une inversion de la polarité de la tension Vp et, grâce à la diode 504, une charge du condensateur 506 au moment où elle est maximale. Ensuite quand la capacité Cso6 diminue, son énergie potentielle électrique augmente jusqu'à une valeur maximale avant d'être transférée en tout ou partie vers l'application à alimenter en un temps très court par rapport à la période de variation de la capacité Cso6. Une énergie résiduelle peut être laissée dans le condensateur 506, de manière à ce que la tension Vp démarre le prochain cycle avec une valeur non nulle. Sur la figure 7, on peut voir un schéma d'un circuit électrique d'un autre exemple avantageux de réalisation de la présente invention, permettant un démarrage du dispositif de conversion sans apport d'énergie. Le circuit comporte un élément piézoélectrique P monté, d'une part en parallèle avec une diode 604 et un condensateur 606, et d'autre part en parallèle avec une diode 608. L'élément piézoélectrique P et le condensateur 606 sont reliés par une de leurs bornes à un potentiel de masse 610. Le condensateur 606 est relié par son autre borne à un circuit de décharge. Il est supposé que la tension Vp aux bornes de l'élément piézoélectrique augmente, lorsque la capacité C du condensateur 606 augmente et inversement. Lorsque la tension Vp augmente, la diode 604 devient passante et charge le condensateur 606 jusqu'à ce que la tension Vp atteigne une valeur maximale. Ensuite lorsque la capacité C6o6 diminue, la 20 charge qui a été transférée au condensateur 606 est amplifiée. Lorsque cette énergie potentielle électrique est maximale, elle est transférée, à l'aide d'un circuit de décharge, vers une application à alimenter ou une unité de stockage. L'introduction de la diode 608 permet, lorsque la tension Vp est normalement négative, de recharger la capacité Cp de l'élément piézoélectrique P afin d'augmenter la valeur maximale de la tension Vp lors de son cycle positif. Sur la figure 8, on peut voir un schéma électrique d'une variante avantageuse de réalisation de 25 30 la présente invention, permettant de rendre l'élément piézoélectrique actif pour la récupération d'énergie. Rendre l'élément piézoélectrique actif pendant la récupération d'énergie signifie dans la présente demande, de manière similaire à la conversion électrostatique, qu'une charge électrique est injectée dans l'élément piézoélectrique de façon à créer une force piézoélectrique qui s'oppose à sa déformation. En créant ainsi une force d'opposition au déplacement, l'énergie convertie en un cycle par l'élément piézoélectrique augmente de façon significative par rapport à un fonctionnement totalement passif. Le circuit de la figure 8 comporte un premier circuit C6 et un deuxième circuit C7. Le premier circuit C6 comporte un élément piézoélectrique P, une diode 704, un condensateur 706, un interrupteur 708 et une bobine 710. L'interrupteur 708 et la bobine 710 sont montés en parallèle avec la diode 704. Le deuxième circuit C7 comporte l'élément piézoélectrique P, une diode 712, un condensateur 714, un interrupteur 716 et une bobine 718 montés en parallèle avec la diode 712. L'interrupteur 708 et la bobine 710 sont montés en parallèle avec la diode 704. L'élément piézoélectrique P est relié à une unité de stockage C5. Le premier circuit C6 entre l'interrupteur 708 et la bobine 710 et le deuxième circuit C7 entre l'interrupteur 716 et la bobine 718 sont reliés à l'unité de stockage C5 par un interrupteur 720, 722 respectivement. Lorsque tous les interrupteurs 708, 716, 720, 722 sont ouverts, le circuit fonctionne comme celui de la figure 1B. Cette configuration permet le démarrage du système, c'est à dire que, lorsque la tension Vp aux bornes de l'élément piézoélectrique augmente, le condensateur 706 se charge, puis, quand la capacité du condensateur 706 diminue, la tension V706 aux bornes du condensateur augmente. Ensuite, lorsque la tension V706 est maximale, au lieu de décharger entièrement la structure électrostatique vers l'unité de stockage C5, une partie de l'énergie électrique est transférée vers l'élément piézoélectrique P. Pour cela on ferme l'interrupteur 708, ce qui a pour effet d'établir un courant entre le condensateur 706 et l'élément piézoélectrique P. Cette circulation de courant permet d'inverser la tension Vp et ainsi de créer une force mécanique de freinage au niveau de l'élément piézoélectrique P. Enfin une partie de l'énergie électrique totale (stockée dans l'élément piézoélectrique, le condensateur 706 et la bobine 710) peut être renvoyée vers l'unité de stockage en ouvrant l'interrupteur 708 et en fermant l'interrupteur 720, jusqu'à annulation du courant circulant entre le circuit C6 et l'unité de stockage C5. Il est à noter que, du fait de la présence de la diode 704, le condensateur 706 ne peut être totalement déchargé si on veut que la capacité de l'élément piézoélectrique Cp ne soit pas complètement déchargée de façon à redémarrer le cycle suivant avec une polarisation non nulle. Cela n'est pas gênant tant que cette tension Vp reste faible devant la valeur maximale de la tension V706. Le temps de fermeture de l'interrupteur 708 peut être réglé en fonction de la valeur de polarisation que l'on souhaite au niveau de l'élément piézoélectrique P et de l'énergie que l'on souhaite transférer vers l'unité de stockage C5 à chaque cycle. De par la symétrie de la structure, un fonctionnement similaire existe grâce au circuit C7, lorsque le déplacement de l'élément piézoélectrique se fait dans l'autre sens de manière similaire au dispositif de la figure 1A. Sur la figure 9, on peut voir un schéma d'un circuit électrique d'une autre variante avantageuse de la présente invention dans lequel l'élément piézoélectrique est utilisé uniquement comme source d'énergie initiale, l'énergie étant ensuite amplifiée en plusieurs étapes à travers les capacités variables de la structure électrostatique. Le circuit comporte un premier circuit C9 et un deuxième circuit C10. Le circuit C9 comporte un élément piézoélectrique P, une diode 804 et un condensateur à capacité variable 806. Le deuxième circuit C10 comporte un élément piézoélectrique P, une diode 808 et un condensateur à capacité variable 810. Le condensateur 806 est monté en parallèle avec un interrupteur 812 et une bobine 814. Le condensateur 810 est monté en parallèle avec un interrupteur 816 et la bobine 814. La bobine 814 est également reliée à une unité de stockage C5 par un interrupteur 818. Au départ, la tension V806 aux bornes du 30 condensateur 806 est nulle. Lorsque la tension aux bornes de l'élément piézoélectrique Vp devient 25 positive, il y a charge initiale du condensateur 806, puis l'énergie associée à cette charge est amplifiée par la diminution de la capacité du condensateur 806. Lorsque la capacité du condensateur 806 atteint sa valeur minimale, c'est à dire lorsque la tension V8o6 est maximale, l'énergie potentielle électrique du condensateur 806 est transférée, tout d'abord, dans l'inductance 814, en fermant l'interrupteur 812, puis de l'inductance 814 vers le condensateur 810, en fermant l'interrupteur 816. En outre, puisque lorsque la capacité du condensateur 806 est minimale, la capacité du condensateur 810 est maximale, il y a à nouveau augmentation de l'énergie potentielle électrique au cours de la diminution de la capacité du condensateur 810. Les temps de transfert de l'énergie d'une capacité à l'autre devant la période mécanique sont considérés comme négligeables, c'est à dire que les fréquences de résonance du circuit formé par la bobine 814 et le condensateur 806 et du circuit formé par la bobine 814 et le condensateur 810 sont beaucoup plus élevées que la fréquence d'oscillation mécanique de la partie mobile. Ensuite, lorsque l'énergie potentielle du condensateur 810 atteint sa valeur maximale, son énergie est transférée vers le condensateur 806. Les transferts entre les deux condensateurs 806, 810 se poursuivent jusqu'à ce que le niveau d'amplification devienne suffisant. A chaque période mécanique, l'excédant d'énergie est transféré vers une unité de stockage C5. Ceci peut se faire à partir de l'énergie stockée temporairement dans la bobine 816, puis transférée en partie ou totalement vers l'unité de stockage C5 en fermant l'interrupteur 818. De par la symétrie du montage, la charge initiale peut se faire par le deuxième circuit, avec une tension Vp négative aux bornes de l'élément piézoélectrique. Ce dispositif présente l'avantage d'avoir un démarrage s'effectuant avec une tension très faible au niveau de l'élément piézoélectrique, de l'ordre de quelques dixièmes de volts (tension légèrement supérieure aux tensions de seuil des diodes 806 et 810). Le fonctionnement des dispositifs, notamment de celui de la figure 2A, a été décrit en considérant une force de compression, mais la conversion d'une énergie appliquée sous forme d'un force de traction visant à écarter les couches 410, 412 est également réalisable. La présente invention ne se limite pas aux microsystèmes, elle s'applique également aux systèmes de taille métrique ainsi qu'aux systèmes de taille nanométrique. REVENDICATIONS 1. Procédé de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique, au moyen d'au moins un élément piézoélectrique et d'au moins un condensateur à capacité variable, ledit procédé comportant les étapes . a) de déformation mécanique de l'élément piézoélectrique, b) de récupération de charges produites par la déformation de l'élément piézoélectrique, c) de transfert de charges de l'élément piézoélectrique au condensateur, d) de modification de la capacité du condensateur e) de récupération d'au moins une partie de l'énergie électrique. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel la déformation de l'élément piézoélectrique et la modification de la capacité du condensateur sont simultanées. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel la déformation de l'élément piézoélectrique est maximale lorsque la capacité du condensateur est maximale. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel la capacité est modifiée par déformation mécanique du condensateur. 5. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel l'élément piézoélectrique et le condensateur sont déformés par une même contrainte mécanique. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel une partie de l'énergie électrique convertie par le condensateur est transmise à l'élément piézoélectrique. 10 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel les charges sont transférées vers un premier ou un deuxième condensateur en fonction d'une direction de déformation 15 de l'élément piézoélectrique. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel lorsqu'une tension à des bornes de l'élément piézoélectrique est 20 maximale, son signe est inversé pour créer une force de freinage mécanique permettant d'augmenter l'énergie convertie sur un cycle de conversion suivant. 9. Procédé selon l'une quelconque des 25 revendications précédentes, comportant l'étape supplémentaire de transférer l'énergie électrique produite par un condensateur vers un deuxième condensateur et inversement jusqu'à atteindre un niveau d'amplification prédéterminé de l'énergie électrique. 30 10. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel une quantité d'énergie en excès par rapport audit niveau d'amplification est transférée à une unité de stockage ou d'utilisation. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel le transfert de charges de l'étape c) est commandé par une diode ou un interrupteur muni d'un circuit de commande. 10 12. Dispositif de conversion d'énergie mécanique en énergie électrique, comportant au moins un élément piézoélectrique (P) et au moins un condensateur à capacité variable, des moyens de commande de 15 transfert de charges entre l'élément piézoélectrique et le condensateur, de manière à ce que la charge produite lors d'une déformation de l'élément piézoélectrique (P) soit transmise au condensateur pour générer une énergie électrique amplifiée par variation de sa capacité. 20 13. Dispositif selon la revendication précédente, dans lequel les moyens de commande de transfert de charges sont formés par au moins une diode ou au moins un interrupteur muni d'un circuit de 25 commande. 14. Dispositif selon la revendication 12 ou 13, dans lequel la capacité du condensateur est modifiée par déplacement des armatures du condensateur. 30 15. Dispositif selon la revendication précédente, dans lequel l'élément piézoélectrique (P) et les armatures du condensateur sont sensiblement parallèles de manière à être soumis à la même contrainte mécanique. 16. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 15, comportant deux condensateurs dont les capacités varient en sens inverse. 17. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 16, comportant une partie mobile (202) par application d'une contrainte mécanique munie de doigts (210) de part et d'autre de son axe de déplacement, deux parties fixes (204, 206) munies également de doigts (212, 214) venant en regard des doigts (212) de la partie mobile (202), les éléments piézoélectriques (P) étant perpendiculaires au déplacement de la partie mobile (202) et reliés électriquement à la partie mobile (202), les paires de doigts en regard formant deux ensembles de condensateurs en série dont les capacités varient en sens inverse. 18. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 16, dans lequel l'élément piézoélectrique (P) est sous forme d'une membrane souple suspendue à distance d'une électrode électrostatique (4), de manière à ce que l'électrode électrostatique (4) et une deuxième électrode (10) del'élément piézoélectrique forment un condensateur à capacité variable par déformation de ladite membrane. 19. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 16, comportant une structure stratifiée dans laquelle le condensateur est formé par une alternance de premières électrodes (410) à un premier potentiel, de couches (414) en matériau électriquement isolant et de deuxièmes électrodes (412) à un deuxième potentiel, le matériau électriquement isolant étant élastiquement déformable et dans lequel l'élément piézoélectrique (P) forme une couche de la structure stratifiée. 20. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 12 à 19, dans lequel l'élément piézoélectrique (P) comporte une couche en matériau piézoélectrique et une première et une deuxième électrodes de part et d'autre de la couche en matériau piézoélectrique. 21. Dispositif selon la revendication précédente, dans lequel le matériau piézoélectrique peut être choisi parmi les céramiques : PZT (PbZrtiO3) ou PLZT (avec lanthane) ou BaTiO3r parmi les nanocristaux (PZN-PT ou PMN-PT), parmi les polymères (PVDF) ou les AFC (Active Fiber Composite).