Brevet FR2892813A1 — publié le 20070504

Domaine de l'invention La présente invention concerne un capteur intégrable pour des surfaces portantes d'aéronefs notamment d'avions et d'hélicoptères. L'invention concerne également une pale d'hélicoptère ou une surface portante d'avion dans laquelle est intégré un tel capteur. Etat de la technique Les surfaces portantes d'avion ou les pales de rotor d'hélicoptère intègrent de plus en plus des capteurs pour mesurer les paramètres d'environnement tels que par exemple la pression, la température, l'écoulement, ou autres. De tels capteurs sont en particulier ex-posés aux conditions d'environnement brutales pendant leur fonctionnement. Les capteurs peuvent par exemple être endommagés par l'impact de particules ou la saleté telle que la poussière et les in-sectes. Précisément, les capteurs appliqués à des surfaces portantes ou des pales de rotor, sont également exposés aux influences extrêmes des intempéries telles que par exemple le gel, les variations de température et les variations de pression d'air. En cas d'encrassage ou de défauts des capteurs, il faut les remplacer ce qui se traduit par la mise en oeuvre de moyens impor- tants et des coûts d'entretien élevés pour l'avion ou l'hélicoptère. But de l'invention La présente invention a pour but de réduire les coûts d'entretien des capteurs équipant les pales d'hélicoptère et les avions, et de créer des capteurs susceptibles d'être intégrés et mis en oeuvre plus simplement et plus rapidement. Exposé et avantages de l'invention A cet effet l'invention concerne un capteur intégrable du type défini ci-dessus, caractérisé par - une capsule de capteur dont la cavité reçoit un élément de mesure pour mesurer un paramètre d'environnement, - un support de capsule intégré dans la surface portante d'un aéronef et recevant la capsule de capteur fixée de manière amovible, et - des éléments de contacts pour relier électriquement la capsule de capteur au support de capsule. Le capteur intégrable selon l'invention pour des surfaces portantes d'avion et d'hélicoptère comprend une capsule de capteur dont la cavité est équipée d'un élément de mesure permettant de mesurer un paramètre de l'environnement ; il est prévu un support de cap- suie intégré dans la surface portante d'un aéronef et servant à recevoir et à fixer de manière amovible la capsule de capteur. Des éléments de contacts sont également prévus pour assurer la liaison électrique entre la capsule de capteur et son support. Ainsi, grâce à l'invention, en cas de capteur défectueux ou d'encrassage, on peut remplacer facilement les parties défectueuses du capteur sans avoir à enlever l'ensemble du capteur de la surface portante ou de la pale de rotor. Cela signifie que l'on peut utiliser des capsules de capteur remplaçables qui peuvent s'échanger simplement en cas de défaut. Les liaisons électriques, câbles et autres n'ont pas à être démontés pour être ensuite remontés à neuf mais peuvent rester en place. Ainsi l'enlèvement par exemple de la pale de rotor et l'intégration d'une nouvelle pale de rotor y compris le câblage nécessaire en cas de capteur défectueux ne sont plus nécessaires. L'intégration de l'élément de mesure dans la capsule de capteur et l'enlèvement de la capsule de capteur dans le support de capsule garantissent en outre un capteur particulièrement fiable et robuste de durée de vie augmentée. Les coûts d'entretien des hélicoptères et des avions sont ainsi réduits de façon considérable. De manière préférentielle, les éléments de capteur sont élastiques. Cela permet une liaison électrique particulièrement fiable entre la capsule de capteur et son support, cette liaison est simple à établir et peut se détacher rapidement. Il n'y a aucun risque de rupture de contact ni d'endommagement par la pénétration d'eau comme cela est par exemple le cas des broches de contact ou des fiches. De manière avantageuse, l'élément de mesure est un élément de capteur de pression. Cela permet de réaliser le capteur intégrable comme capteur de pression. Mais il est également possible d'utiliser d'autres éléments de mesure par exemple des éléments pour mesurer l'écoulement, la température, l'humidité, l'accélération et au- tres paramètres physiques. De façon avantageuse, le support de capsule est intégré de manière permanente dans la pale de rotor ou dans la surface portante d'avion. De manière préférentielle, le volume intérieur de la capsule de capteur est entouré par une paroi de capsule dont la forme exté- rieure est adaptée au côté intérieur du support de capsule. Cela protège d'une part l'élément de mesure dans la cavité de la capsule de capteur et d'autre part cela permet de loger la capsule de capteur complètement dans le support de capsule et d'y tenir la capsule en sécurité. De manière préférentielle, la capsule de capteur est mu-nie d'un couvercle protecteur ayant au moins un orifice traversant per-mettant le passage de l'air. Ce moyen garantit une protection particulière de l'élément de mesure à l'intérieur de la capsule de capteur tout en permettant à l'air ambiant d'atteindre l'élément de mesure dans la cavité intérieure. 15 De façon avantageuse, la surface du couvercle protecteur de la capsule de capteur est à niveau avec la surface extérieure de la surface portante lorsque le capteur est intégré. Dans ces conditions, la circulation de l'air sur la surface portante reste pratiquement inchangée par le capteur. 20 De façon avantageuse, l'ouverture traversante du couvercle protecteur est au moins en partie inclinée ou dirigée transversale-ment par rapport à la surface supérieure du couvercle protecteur. Cette mise en structure du couvercle protecteur évite un choc direct des particules contre l'élément de mesure logé dans la cavité de la capsule de 25 capteur grâce à la géométrie des orifices traversant. En particulier, l'élément de capteur peut comporter au moins deux plaquettes reliées l'une à l'autre et formées pour constituer une cavité rendue étanche par une membrane. Cela donne un capteur de pression particulièrement fiable réalisable de manière économique et 30 fournissant des résultats de mesure précis. Il a en outre une très grande durée de vie. De manière préférentielle, la capsule de capteur est tenue dans le support de capsule par une force magnétique. Cela réduit encore plus les moyens à mettre en oeuvre pour le montage ou l'échange de la capsule de capteur. Néanmoins, la capsule de capteur est tenue de 35 manière certaine dans son support par la force magnétique lui permet- tant de résister à des accélérations intenses. La force magnétique est par exemple engendrée par un aimant permanent ou un électroaimant par exemple dans le support de capsule. Un électroaimant a l'avantage particulier d'exercer une force encore plus intense pour tenir la capsule de capteur et de pouvoir être coupé pour remplacer la capsule de capteur. En revanche un aimant permanent a l'avantage d'une construction plus simple des capteurs avec des moyens de construction plus réduits. L'aimant permanent peut par exemple être installé dans un support de capsule alors que la capsule de capteur comporte par exemple un métal ferromagnétique tel que du fer. En variante, il est également possible d'installer l'aimant permanent dans la capsule et d'avoir un métal ferromagnétique dans le support de capsule. Cette solution a l'avantage qu'en laminant le support de capsule en matière plastique renforcée par des fibres (matière CFK), dans la matière plastique renforcée de fibres (matière CFK) de la lame de rotor ou de la sur-face portante, on évite l'endommagement de l'aimant permanent par développement de chaleur et le cas échéant dépassement de la température de Curie des aimants permanent. En variante, il est également possible d'associer un aimant permanent à la fois dans la capsule de capteur et dans le support de capsule. De manière préférentielle, le support de capsule comporte des contacts électriques plans pour établir le contact des éléments de contacts élastiques de la capsule de capteur. Grâce à ces surfaces pla- nes du support de capsule, on réalise une liaison électrique particulièrement sûre et fiable entre le support de capsule et la capsule de capteur, une liaison facile à détacher et protégée contre les accidents tels que par exemple le pliage, la rupture et la pénétration d'eau. De façon avantageuse, le support de capsule a une paroi dont la face intérieure est adaptée à la forme extérieure de la capsule de capteur. Cela permet par exemple une intégration par une liaison par la forme de la capsule de capteur dans le support de capsule. En plus, la capsule de capteur est protégée contre des forces radiales intenses tel-les que celles qui se produisent par exemple dans une pale de rotor en rotation, grâce au guidage dans le support de capsule. De manière préférentielle, le support de capsule et la capsule de capteur sont en prise l'un avec l'autre par une encoche et une partie en saillie correspondante pour éviter toute rotation relative. Grâce à ce moyen, on peut introduire de façon définie la capsule de capteur dans le support de capsule pour que les éléments de contacts de la capsule de capteur s'appliquent chaque fois précisément sur les contacts plans du support de capsule. Grâce à l'encoche et la partie en saillie correspondante, on évite toute rotation relative entre la capsule de capteur et le support de capsule. De manière avantageuse, l'élément de capteur a une cavité fermée de manière hermétique par une membrane souple ; la face intérieure de la cavité en regard de la membrane est adaptée au contour de la membrane à l'état fléchi. Grâce à ce moyen, la membrane est mieux protégée contre les accidents car elle-même s'applique avec une sollicitation excentrée non homogène, en surface contre la face intérieure du contour de la cavité. La limitation du fléchissement de la membrane assure en outre une protection contre la surcharge en cas de pression élevée évitant toute rupture de la membrane. Selon une caractéristique, l'invention concerne une pale de rotor d'hélicoptère ou une surface portante d'avion équipée d'un capteur selon l'invention, intégrée dans cet élément. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide d'exemples de réalisation représentés dans les dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 montre un mode de réalisation préférentiel d'une capsule de capteur faisant partie d'un capteur selon l'invention, - la figure 2 montre un exemple d'un support de capsule pour recevoir la capsule de capteur de la figure 1, - la figure 3 montre un mode de réalisation préférentiel d'un capteur intégrable selon l'invention présenté en vue en coupe et de façon schématique, - la figure 4 est une vue en coupe schématique d'un couvercle protecteur correspondant à un autre mode de réalisation préférentiel de l'invention, et - les figures 5a, 5b représentent un élément de capteur comme élément de mesure du capteur selon un mode de réalisation particulièrement préférentiel de l'invention à l'état droit et à l'état cintré de la membrane. Description détaillée de modes de réalisation de l'invention La figure 1 est une vue schématique d'une capsule de capteur 10 faisant partie d'un capteur intégrable correspondant à un mode de réalisation préférentiel de l'invention. La capsule de capteur 10 de cet exemple de réalisation est en forme de capsule de capteur de pression ou plus simplement capteur de pression. La capsule comprend une paroi 11 entourant un volume intérieur ou cavité 12 recevant un élément de mesure 13 équipé dans cet exemple d'un élément de mesure de pression. Le côté supérieur de la capsule de capteur 10 comporte un couvercle de protection 14 ayant deux orifices traversant 2a, 2b. Les orifices traversant 2a, 2b forment un passage d'air vers l'élément de mesure 13, une communication entre le volume intérieur 12 et l'environnement extérieur de la capsule de capteur. Le couvercle protecteur 14 ferme le volume intérieur 12 ou sépare l'élément de mesure 13 logé dans le volume intérieur ou cavité par rapport à l'extérieur. En général, on a plusieurs orifices traversant 2a, 2b répartis suivant un cercle dans le couvercle protecteur 14. Ces orifices se situent dans la zone extérieure si bien qu'ils ne sont pas directement à la verticale de l'élément de mesure ou de la membrane 13c. Les particules qui peuvent ainsi traverser les orifices 2a, 2b n'arrivent pas directement sur la membrane de l'élément de mesure 13. La face inférieure de la capsule de capteur comporte un fond 15 recevant l'élément de mesure 13. Le fond de capsule 15 ferme le volume intérieur 12 par la force inférieure de la capsule de capteur. Le fond 15 de la capsule comporte des passages électriques 16a, 16b for- tuant chacun une liaison électroconductrice entre le volume intérieur ou cavité 12 et les éléments de contacts 17a, 17b situés à l'extérieur. Les éléments ce contact 17a, 17b sont prévus sur la face inférieure du fond 15 de la capsule et ont la forme de pattes de contacts élastiques. Le fond 15 de la capsule comporte également un aimant permanent 18 exerçant une force magnétique pour fixer la capsule de capteur 10 dans le support de capsule. L'aimant permanent 18 est intégré au fond 15 de la capsule et une partie de l'aimant permanent 18 dé-passe la face inférieure du fond 15 de la capsule. Un élément de joint 19 avec des formes circulaires ou annulaires est prévu sur la face inférieure de la capsule de capteur 10 en étant fixé sous la paroi cylindrique 11 de la capsule. L'élément de joint ou d'étanchéité 19 réalise l'étanchéité de la face inférieure de la capsule de capteur 10 par rapport aux éléments de contacts 17a, 17b qui se trouvent à cet endroit lorsque la capsule de capteur 10 est intégrée au support de capsule. L'élément d'étanchéité ou de joint 19 protège tous les composants qui se trouvent dans la zone sous la capsule de capteur 10 à l'état intégré, contre l'humidité ou autres influences perturbatrices de l'environnement. L'élément de mesure 13 qui, dans cet exemple de réalisa- 15 tion est un capteur de pression ou un élément de capteur de pression se compose d'une plaquette supérieure 13a et d'une plaquette inférieure 13b ; reliées l'une à l'autre. La plaquette supérieure 13a de cet exemple de réalisation est en silicium et comprend une partie centrale particulièrement mince et formant une membrane souple 13c. La membrane 20 souple 13c est équipée d'éléments piézoélectriques ou de résistances piézoélectriques non représentés dans la figure ; lorsque la membrane 13c se déforme, ces éléments génèrent des signaux électriques. La plaquette inférieure 13b est en pyrex ou en silicium ; sa face supérieure comporte au centre une cavité 13d fermant 25 l'équipement par la membrane 13c placée au-dessus et constituant une cavité étanche. Lorsque la pression agissant de l'extérieur sur la membrane 13c change, cette membrane se déforme et génère un signal de mesure. Des contacts 3a, 3b ou contacts de plaquettes sont pré- 30 vus pour transmettre les signaux de mesure générés par l'élément de mesure 13 ; ces plaquettes se présentent par exemple sous la forme de fils de liaison ou de plaquettes d'enclipsage réalisant une liaison électrique entre les éléments de mesure 13 et les passages électriques 16a, 16b du fond 15 de la capsule. La figure 2 montre schématiquement une coupe d'un support de capsule 20 comportant un autre élément de capteur intégrable selon l'invention correspondant à un mode de réalisation préférentiel. Le support de capsule 20 comporte sur son côté extérieur une paroi de support 21 de forme cylindrique entourant un volume intérieur 22 recevant la capsule de capteur 10 représentée à la figure 1. A cet effet, le côté intérieur de la paroi de support 21 est adapté en taille, en forme au côté intérieur de la paroi 11 de la capsule de capteur 10 représentée à la figure 1. Les dimensions de la paroi de support 21 sont choisies pour permettre d'introduire facilement la capsule de capteur 10 dans le support de capsule 20 et l'enlever du support 20 tout en assurant la tenue de la capsule de capteur 10 contre tout coulissement latéral par exemple sous l'effet d'accélération. La face inférieure du support de capsule 20 est formée par un fond 23 muni de passages électriques 24a, 24b. Les passages électriques 24a, 24b relient les éléments de contacts plans 25a, 25b prévus sur la face supérieure du fond de support 23, par liaison électrique aux éléments de raccordement 26 sous la forme d'un câble de raccordement allant vers le côté extérieur du support de capsule 20. Les éléments de contacts plans 25a, 25b sont intégrés dans la face supérieure du fond 23 pour que la face supérieure du fond 23 et la face supérieure des éléments de contacts plans 25a, 25b se si-tuent dans un plan. Les éléments de contacts plans 25a, 25b servent à la mise en contact électrique des éléments de contacts élastiques 17a, 17b contre la face inférieure de la capsule de capteur 10 (voir figure 1) lorsque la capsule de capteur 10 se trouve dans la cavité 22 du support 20. Cette réalisation des contacts sur une surface supérieure plane garantit une durée de vie importante et une grande fiabilité du support de capsule intégré dans une pale de rotor. Un aimant permanent 27 intégré au centre du fond 23 du support fixe la capsule de capteur 10 dans le support 20. L'aimant permanent 27 exerce une force magnétique sur l'aimant permanent 18 de la capsule de capteur 10 lorsque la capsule 10 du capteur est logée dans le support de capsule 20. La figure 3 montre schématiquement une vue en coupe du capteur intégrable correspondant à un mode de réalisation préférentiel de l'invention ; la capsule de capteur 10 est installée dans le support de capsule 20. Les éléments de la capsule de capteur 10 et du support de capsule 20 portent ici les mêmes références qu'aux figures 1 et 2 et pour leur description on se reportera à celle des figures 1 et 2. A l'état monté, la capsule de capteur 10 est logée complètement dans le support de capsule 20 c'est-à-dire que la face supérieure de la capsule de capteur 10 est appliquée contre un plan avec la face supérieure de la paroi de support 21 du support de capsule 20. Les forces magnétiques exercées réciproquement par les aimants permanents 18, 27 bloquent verticalement la capsule de capteur 10 dans le support de capsule 20. Le blocage latéral ou horizontal se fait par la pa- 15 roi de support environnante 21. Les éléments de contacts élastiques 17a, 17b de la capsule de capteur 10 sont facilement comprimés dans la direction verticale et s'appliquent ainsi complètement contre les éléments de forme plane 25a, 25b du support de capsule. Ces éléments sont entourés par l'élément de joint ou d'étanchéité 19 également com- 20 primé légèrement dans la direction verticale et assurant l'étanchéité de l'espace compris entre la capsule de capteur 10 et le support de capsule 20. On réduit ainsi la pénétration d'humidité au niveau des contacts électriques si l'humidité devait progresser en descendant le long de la surface comprise entre le côté intérieur de la paroi de support 21 et le 25 côté extérieur de la paroi de capsule 11. La figure 4 est une vue en coupe d'un couvercle protecteur 34 correspondant à un autre mode de réalisation préférentiel de l'invention ; ce couvercle est intégré dans une surface portante 5 et sa surface supérieure est à niveau avec la surface supérieure 51 ou de la 30 surface de support 50. Le couvercle protecteur 34 correspond par sa fonction pratiquement à celle du couvercle protecteur 14 de la capsule de capteur 10 présentée à la figure 1. Toutefois, le couvercle protecteur 34 comporte des orifices traversant 35a, 35b formés géométriquement pour éviter tout choc direct des particules qui se trouvent au-dessus du 35 couvercle protecteur, sur l'élément de mesure 13 situé en dessous (voir figure 1). Cela signifie que le couvercle protecteur 34 est structuré pour que les orifices traversant 35a, 35b n'arrivent pas suivant le chemin le plus court à travers le couvercle protecteur 34 mais soient dirigés en biais ou de façon graduelle par des gradins à travers le couvercle pro- tecteur 34. L'élément de mesure 13 logé dans la cavité de la capsule de capteur est ainsi protégé efficacement contre les influences extérieures en particulier les impacts des particules. Les figures 5a, 5b montrent un mode de réalisation préférentiel de l'élément de mesure 13 de la capsule de capteur 10 de la figure 1. La figure 5a montre l'élément de mesure 13 dans un état dans lequel la membrane 13c n'est pas fléchie alors que la figure 5b montre l'élément de mesure 13 avec une membrane 13c fléchie au maximum. Dans le mode de réalisation présenté, la plaquette supérieure 13a a une membrane 13c comme déjà décrit en référence à la 15 figure 1. La plaquette inférieure 13b comporte toutefois une cavité 13f adaptée à la forme de la membrane 13c lorsque celle-ci est dans son état de fléchissement maximum autorisé. Cela signifie que la surface supérieure de la plaquette inférieure 13b qui représente la limite inférieure de la cavité 13d est formée pour avoir le contour de la membrane 20 13c dans le cas où cette membrane 13c présente le fléchissement maximum autorisé. Ainsi la membrane 13c est elle-même appliquée immédiatement en surface contre la plaquette inférieure 13b en cas de sollicitations excentrées non homogènes, et cette plaquette inférieure 25 constitue une butée pour la membrane 13c fléchie, qui ne risque pas de se détruire. La mesure de pression normale n'est pas influencée car dans ce cas la membrane 13c n'est pas appliquée contre la butée. La réalisation de cette géométrie permet l'utilisation de techniques de la 30 micromécanique pour usiner la plaquette, comme cela se fait par exemple pour la fabrication de microlentilles. Pour la fabrication, on relie par exemple la plaquette supérieure 13a et la plaquette inférieure 13b. La plaquette supérieure 13a forme la plaquette de la membrane alors que la plaquette inférieure 13b 35 sert à sceller la cavité à la pression de référence comme par exemple le vide. La profondeur de la cavité peut être adaptée pour que sous l'effet d'un fléchissement important vers le bas, la membrane 13c rencontre la face supérieure de la plaquette inférieure 13b. Il en résulte une limitation du fléchissement de la membrane et une protection de surcharge en cas de pression élevée ce qui évite que la membrane 13c ne se déchire. En cas de sollicitations homogènes de la membrane 13c comme celle qui se produit par exemple en cas de surpression, le mode de réalisation particulier de la cavité 13f tel que présenté aux figures 5a et 5b n'est pas indispensable, car le milieu de la membrane n'est pas fléchi au maximum dans ce cas et bute contre la limite. Toutefois, en cas de sollicitations trop fortes non homogènes, la membrane risquerait comme cela est par exemple le cas pour des impacts de particules intenses à proximité du bord de la membrane, d'être trop fortement fléchie et près de se rompre. Dans ce cas, on évite que la membrane 13c ne puisse être endommagée par la forme particulière de l'élément de mesure comme le montrent les figures 5a et 5b. D'autres détails avantageux possibles de l'invention seront donnés ci-après : La résistante de passage pour la mise en contact électri- que de la capsule de capteur 10 et du support de capsule 20 n'est pas constante en général c'est pourquoi, on effectue une mesure en quatre points avec six contacts à l'aide d'un montage en pont de Wheatston à quatre résistances de mesure. Cela permet avec une résistance de pas-sage et également au niveau des éléments de contacts élastiques 17a, 17b, de ne pas influencer la précision de la mesure. L'élément d'étanchéité 19 et les pattes de contacts élastiques 17a, 17b peuvent être formés par exemple d'une seule surface globale qui est constituée par exemple par un film d'élastomère avec une conductivité électrique anisotrope par exemple exclusivement verticale. A la place de la fixation de la capsule de capteur 10 dans le support de capsule 20 par une force magnétique, on peut également assurer la fixation à l'aide d'un écrou chapeau vissé fixé au support de capsule 20. Cela permet à la capsule de capteur de tenir à des accélérations particulièrement élevées dans la direction radiale et dans la di- rection verticale avec par exemple une accélération supérieure à 1000 g dans la direction radiale et supérieure à 100 g dans la direction verticale. L'utilisation de l'aimant permanent a l'avantage particulier de nécessiter des moyens de montage réduits pour l'installation et le démontage, la capsule de capteur 10 étant fixée par rapport aux forces radiales produites en plus de la fixation magnétique par le guidage dans le support de capsule 20. En variante, la fixation peut également être faite par un électroaimant installé dans le support de capsule 20. Cela permet d'engendrer une force encore plus importante que l'on peut de plus couper pour remplacer la capsule de capteur 10. Vis-à-vis de cela, une fixation à l'aide d'un aimant permanent a l'avantage d'éviter tout câblage supplémentaire pour les électroaimants. En outre, la fixation à l'aide de l'aimant permanent agit même lorsque l'électronique embar- quée est coupée d'autant plus qu'alors aucune force significative n'est appliquée sur la capsule de capteur. L'aimant permanent peut être installé par exemple seulement dans le support de capsule 20 alors que la capsule 10 comporte uniquement un métal ferromagnétique par exemple du fer. Cela se tra- duit par une construction particulièrement simple. Mais il est égale-ment possible d'installer un aimant permanent seulement dans la capsule du capteur 10 et de prévoir seulement un métal ferromagnétique tel que par exemple du fer dans le support de capsule 20. Grâce à l'encoche dans le support de capsule 20 et à une partie en saillie correspondante de la capsule 10, on peut introduire celle-ci dans une position définie dans le support de capsule 20 évitant toute rotation par rapport au positionnement prévu. Les éléments de contacts 17a, 17b sont alors situés précisément sur les éléments de contacts plans 25a, 25b du support de capsule 20. On peut également prévoir des encoches dans la capsule de capteur 10 permettant une prise pour faciliter l'extraction de la capsule de capteur 10 contre la force magnétique. La cavité 12 peut être remplie jusqu'à mi-hauteur avec du silicium pour protéger les contacts 3a, 3b ou les contacts de pla- quettes contre l'humidité ou la pénétration de saletés ou contre les vi- brations. En outre, le volume d'eau est dans ces conditions limité, volume qui peut s'accumuler dans la cavité 12. On évite ainsi de détruire la membrane 13c lorsque l'eau gèle car de plus une quantité minimale d'eau gelée est nécessaire en fonction de la géométrie de l'élément de mesure 13. En outre, on peut utiliser une membrane protectrice en Parylen sur la membrane 13, membrane qui assure une protection parti-culière contre l'humidité. Pour la réalisation de l'élément de mesure on peut utiliser les techniques de garnissage au niveau de la plaquette. Cette technique appliquée jusqu'alors seulement pour la fabrication d'éléments de me-sure MEMS, elle offre une simplification considérable par exemple une économie. Pour cela, on fixe une plaquette supplémentaire au-dessus de la plaquette supérieure 13a et cette plaquette supplémentaire ayant le rôle de couvercle protecteur 14, 34 (figures 1 et 4). En variante, cette fonction peut également être assurée par l'écrou chapeau évoqué ci-dessus qui s'utilise par exemple àla place d'un aimant permanent pour fixer la capsule de capteur 10 dans le support de capsule 20. La plaquette inférieure 13 peut en outre être munie de passages électriques vers le bas. En outre, on peut avoir des joints MEMS et des contacts élastiques MEMS comme faisant partie de la capsule de plaquette ce qui se traduit par une miniaturisation, une simplification et économie de matière puisque la fabrication peut se faire selon un procédé par lots. La fabrication des capsules de capteurs ne nécessite alors pas de procédé de technique fine pour l'intégration des différents composants (paroi de capsule, cloison 11, couvercle protecteur 14, couvercle de capsule 15, élément de mesure 13, contacts 3a, 3b, éléments de contacts 17a, 17b, élément d'étanchéité 19, aimant permanent 18). La capsule de capteur se compose d'une seule plaquette en micromécanique reliée par liaison à différentes couches (par exemple collage de plusieurs plaquettes). La couche supérieure constitue une plaquette assurant le rôle de couvercle protecteur 14, 34. Au-dessus de celui-ci se trouvent les deux couches pour percevoir la fonction de capteur (couche analogue à 13a, 13b). Au contraire de la couche 13b selon la figure 1, la couche comporte des conducteurs électriques traversant la couche. La couche inférieure forme exclusivement les contacts élasti- ques et les joints fabriqués par exemple en tissant ou en structurant un polymère approprié. La face inférieure peut recevoir également une couche à aimantation permanente par exemple par pulvérisation. Du fait de cette faible épaisseur de couche, la force magnétique sera considérablement plus faible que celle régissant l'utilisation de paramètres permanents classiques ; il faut néanmoins une autre force beaucoup plus faible pour compenser les forces d'accélération produites car la masse de cette capsule MEMS est considérablement plus faible que celle de la capsule lo de capteur 10 telle que représentée et décrite à la figure 1. 15 20 REVENDICATIONS 1 ) Capteur intégrable pour des surfaces portantes d'aéronefs notamment d'avions et d'hélicoptères, caractérisé par - une capsule de capteur (10) dont la cavité reçoit un élément de me-sure (13) pour mesurer un paramètre d'environnement, - un support de capsule (20) intégré dans la surface portante d'un aéronef et recevant la capsule de capteur (10) fixée de manière amovible, et - des éléments de contacts (17a, 17b ; 25a, 25b) pour relier électriquement la capsule de capteur (10) au support de capsule (20). 2 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que les éléments de contacts (17a, 17b) sont élastiques. 3 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de mesure (13) est un élément capteur de pression. 4 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que le support de capsule (20) est intégré de manière définitive dans une pale de rotor ou une surface portante d'avion. 25 5 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que la cavité (12) de la capsule de capteur (10) est entourée par une cloison (11) dont la forme extérieure est adaptée au côté inférieur du support de 30 capsule (20). 6 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce quela capsule de capteur (10) est fermée par un couvercle protecteur (14, 34), ce couvercle ayant au moins un orifice de passage (2a, 2b ; 34a, 34b) pour l'air. 7 ) Capteur intégrable selon la revendication 6, caractérisé en ce que la surface supérieure du couvercle (14, 34) de la capsule de capteur est à niveau avec la surface supérieure (51) de la surface portante (50) lors-que le capteur avec sa capsule est intégré. 8 ) Capteur intégrable selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'orifice traversant (35a, 35b) du couvercle protecteur (34) est dirigé au moins partiellement en biais ou transversalement par rapport à la sur- face supérieure du couvercle (34). 9 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de capteur (13) comporte au moins deux plaquettes (13a, 13b) reliées l'une à l'autre par liaison, et formées pour constituer une cavité (13d, 13f) fermée de manière étanche par une membrane (13c). 10 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que la capsule de capteur (10) est tenue dans le support de capsule (20) par une force magnétique. 11 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que le support de capsule (20) comporte des contacts électriques plans (25a, 25b) pour réaliser le contact des éléments de contacts élastiques (17a, 17b) de la capsule de capteur (10). 12 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce quele support de capsule (20) comporte une paroi (21) dont la face intérieure est adaptée à la forme extérieure de la capsule de capteur (10). 13 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que le support de capsule (20) et la capsule de capteur (10) sont en prise par l'intermédiaire d'une encoche et d'une partie en saillie correspondante pour éviter toute rotation relative. 14 ) Capteur intégrable selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de capteur (13) comporte une cavité (13f) fermée de manière hermétique par une membrane souple (13c), la face intérieure de la cavité (13f) en regard de la membrane (13c) étant adaptée au contour de la membrane (13c) à l'état fléchi. 15 ) Pale de rotor d'hélicoptère ou surface portante d'avion, caractérisée en ce qu' un capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 14 y est inté- gré.