Brevet FR2898122A1 — publié le 20070907

SUBSTRAT MUNI D'UN EMPILEMENT A PROPRIETES THERMIQUES L'invention concerne les substrats transparents, notamment en matériau rigide minéral comme le verre, lesdits substrats étant revêtus d'un empilement de couches minces comprenant au moins deux couches fonctionnelles de type métallique pouvant agir sur le rayonnement solaire et/ou le rayonnement infrarouge de grande longueur d'onde. L'invention concerne plus particulièrement l'utilisation de tels substrats pour fabriquer des vitrages d'isolation thermique et/ou de protection solaire. Ces vitrages peuvent être destinés aussi bien à équiper les bâtiments que les véhicules, en vue notamment de diminuer l'effort de climatisation et/ou d'empêcher une surchauffe excessive (vitrages dits de contrôle solaire ) et/ou diminuer la quantité d'énergie dissipée vers l'extérieur (vitrages dits bas émissifs ) entraînés par l'importance toujours croissante des surfaces vitrées dans les bâtiments et les habitacles de véhicules. Ces vitrages peuvent par ailleurs être intégrés dans des vitrages présentant des fonctionnalités particulières, comme par exemple des vitrages 20 chauffants ou des vitrages électrochromes. Un type d'empilement de couches connu pour conférer aux substrats de telles propriétés est constitué d'au moins deux couches métalliques fonctionnelles à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment de couches fonctionnelles métalliques à 25 base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent. Chaque couche fonctionnelle métallique est déposée sous une forme cristallisée sur une couche de mouillage également cristallisée favorisant l'orientation cristalline adéquate de la couche métallique déposée dessus. Chaque couche fonctionnelle se trouve disposée entre deux revêtements 30 en matériau diélectrique du type oxyde ou nitrure métallique. Cet empilement est généralement obtenu par une succession de dépôts effectués -2- par une technique utilisant le vide comme la pulvérisation cathodique éventuellement assistée par champ magnétique. Peuvent aussi être prévus un, voire deux, revêtement(s) très fin(s) appelé(s) revêtement de blocage , disposé(s) directement sous, sur ou de chaque côté de chaque couche métallique fonctionnelle à base d'argent, le revêtement sous-jacent en tant que revêtement d'accrochage, de nucléation et/ou de protection lors d'un éventuel traitement thermique postérieurement au dépôt, et le revêtement sus-jacent en tant que revêtement de protection ou sacrificiel afin d'éviter l'altération de l'argent si une couche qui le surmonte est déposée par pulvérisation cathodique en présence d'oxygène ou d'azote et/ou si l'empilement subit postérieurement au dépôt un traitement thermique. Il est ainsi connu de ta demande de brevet européen EP-0 638 528 des empilements de ce type, à deux couches à base d'argent. Il est connu par ailleurs de la demande de brevet européen N''EP 803 481, l'utilisation sous une couche de mouillage à base d'oxyde de zinc d'une couche amorphe à base d'oxyde mixte de zinc et d'étain directement au contact du substrat. Il s'avère qu'une telle couche amorphe lorsqu'elle n'est pas déposée directement sur le substrat mais qu'elle est intercalée entre une couche diélectrique sous-jacente et une couche de mouillage permet de modifier l'interface entre la couche diélectrique et la couche de mouillage située au-dessus et ainsi d'améliorer sensiblement la cristallisation de ta couche de mouillage ainsi que la cristallisation de la couche métallique fonctionnelle. Toutefois, l'intégration d'une telle couche amorphe dans chaque revêtement sous-jacent à une couche fonctionnelle et pourvu d'au moins une couche diélectrique sous cette couche amorphe dans un empilement à plusieurs couches fonctionnelles ne permet pas de parvenir dans tous les cas à l'amélioration souhaitée de la cristallisation des couches fonctionnelles et ainsi à l'amélioration souhaitée de la résistivité de l'empilement complet. -3- Le but de l'invention est de parvenir à remédier aux inconvénients de l'art antérieur, en mettant au point un nouveau type d'empilement à couches fonctionnelles du type de ceux décrits précédemment, empilement qui présente une résistivité améliorée, plus faible que dans un empilement similaire à épaisseur de couches fonctionnelles et revêtements équivalents, que l'empilement subisse ou non, un (ou des) traitement(s) thermique(s) à haute température du type bombage, trempe ou recuit et dans le cas où il subit un (ou plusieurs) tel(s) traitement(s), tout en préservant sa qualité optique et sa tenue mécanique. L'invention a ainsi pour objet, dans son acception la plus large, un substrat, notamment substrat verrier transparent, muni d'un empilement de couches minces comportant une alternance de n couches fonctionnelles à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment de couches fonctionnelles métalliques à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et de (n + 1) revêtements, avec n nombre entier > 2, lesdits revêtements étant composés d'une pluralité de couches diélectriques, de manière à ce que chaque couche fonctionnelle soit disposée entre deux revêtements, au moins deux couches fonctionnelles étant déposées chacune sur une couche de mouillage déposée elle-même respectivement directement sur un revêtement sous-jacent, caractérisé en ce que deux revêtements sous-jacent comprennent chacun au moins une couche diélectrique et au moins une couche de lissage non cristallisée en un matériau différent du matériau de ladite couche diélectrique à l'intérieur de chaque revêtement, ladite couche de lissage étant en contact avec ladite couche de mouillage sus-jacente et en ce que ces deux revêtements sous-jacent étant d'épaisseur différentes, l'épaisseur de la couche de lissage du revêtement sous-jacent présentant une épaisseur totale inférieure à celle de l'autre revêtement sous-jacent est inférieure ou égale à l'épaisseur de la couche de lissage de cet autre revêtement sous-jacent. -4- L'invention consiste ainsi à prévoir une couche de lissage non cristallisée sous la couche de mouillage qui elle est cristallisée pour permettre une croissance adéquate de la couche fonctionnelle située au-dessus de cette couche de mouillage, directement au contact de la couche de mouillage ou par l'intermédiaire d'un revêtement de sous-blocage. Toutefois, il est apparu que dans les empilements à plusieurs couches fonctionnelles, il était important de prendre en considération l'épaisseur des revêtements sous-jacents pour calculer l'épaisseur des couches de lissage présentent dans ces revêtements sous-jacents. L'invention consiste ainsi à prévoir que l'épaisseur de la couche de lissage d'un revêtement sous-jacent moins épais ne peut pas être supérieure à l'épaisseur de la couche de lissage d'un revêtement sous-jacent plus épais. L'invention s'applique aux revêtements qui sont sous-jacents à une couche fonctionnelle, quel que soit l'emplacement des couches fonctionnelles dans l'empilement ; toutefois il est préférable que dans un même empilement de couches minces, tous les revêtements sous-jacent comportant une couche de lissage répondent à la définition de l'invention. Au sens de la présente invention lorsqu'il est précisé qu'un dépôt de couche ou de revêtement (comportant une ou plusieurs couches) est effectué directement sous ou sur une autre dépôt, c'est qu'il ne peut y avoir interposition d'aucune couche entre ces deux dépôts. Les couches de lissage sont dites non cristallisées dans le sens où elles peuvent être complètement amorphes ou partiellement amorphes et ainsi partiellement cristallisées, mais qu'elles ne peuvent pas être complètement cristallisées, sur toute leur épaisseur. L'intérêt d'une telle couche de lissage est de permettre d'obtenir une interface avec la couche de mouillage directement sus-jacente qui est peu rugueuse. Cette faible rugosité est d'ailleurs observable au microscope électronique à transmission. -5- Par ailleurs, la couche de mouillage se texture mieux et présente en outre une orientation cristallographique préférentielle plus marquée. L'invention ne s'applique pas seulement à des empilements ne comportant que deux couches fonctionnelles , disposées entre trois revêtements dont deux sont des revêtements sous-jacents. Elle s'applique aussi à des empilements comportant trois couches fonctionnelles alternées avec quatre revêtements dont trois sont des revêtements sous-jacents, ou de quatre couches fonctionnelles alternées avec cinq revêtements dont quatre sont des revêtements sous-jacents. Pour ces empilements pluri couches fonctionnelles, au moins une, et de préférence chaque, couche fonctionnelle est disposée directement sur au moins un revêtement de blocage sous-jacent et/ou directement sous au moins un revêtement de blocage sus-jacent. Dans le cas des empilements bicouches fonctionnelles, voire également dans les autres cas, le revêtement le moins épais desdits deux revêtements sous-jacents comportant une couche de lissage est, de préférence, le plus proche du substrat, voire au contact du substrat, directement ou indirectement par l'intermédiaire d'une couche de contact par exemple à base d'oxyde de titane (TiO2). Dans le cas des empilements à plus de deux couches fonctionnelles, le revêtement le moins épais desdits deux revêtements sous-jacents est, de préférence, le plus éloigné du substrat. De préférence, au moins une couche de lissage, voire toutes les couches de lissage, est (ou sont) une couche d'oxyde à base d'oxyde d'un ou de plusieurs des métaux suivants : Sn, Si, Ti, Zr, Hf, Zn, Ga, In et plus précisément une couche d'oxyde mixte à base de zinc et d'étain ou d'oxyde mixte de zinc et d'indium (ITO) déposée à froid. De préférence en outre, au moins une couche de tissage, voire toutes les couches de lissage, est (ou sont) une couche d'oxyde non stoechiométrique en oxygène et plus particulièrement encore une couche d'oxyde mixte à base de zinc et d'étain sous-stoechiométrique, dopée à l'antimoine (SnZnOX:Sb). -6- Par ailleurs, la (ou chaque) couche de lissage présente de préférence une épaisseur géométrique entre 0,1 et 30 nm et de préférence encore comprise entre 0,2 et 10 nm. Dans une variante préférée, au moins un revêtement de blocage est à 5 base de Ni ou de Ti ou est à base d'un alliage à base de Ni, notamment est à base d'un alliage de NiCr. De plus, au moins une, et de préférence chaque, couche de mouillage sous-jacente à une couche fonctionnelle est, de préférence, à base d'oxyde de zinc ; ces couches de mouillage peuvent être en particulier à base d'oxyde 10 de zinc dopé à l'aluminium. En outre, au moins une, et de préférence chaque, couche diélectrique adjacente à une couche de lissage à l'intérieur desdits revêtements sous-jacents et en particulier la couche diélectrique directement sous-jacente à la couche de lissage, est, de préférence, à base de nitrure, notamment de 15 nitrure de silicium et/ou de nitrure d'aluminium. Le vitrage selon l'invention incorpore au moins le substrat porteur de l'empilement selon l'invention, éventuellement associé à au moins un autre substrat. Chaque substrat peut être clair ou coloré. Un des substrats au moins 20 notamment peut être en verre coloré dans la masse. Le choix du type de coloration va dépendre du niveau de transmission lumineuse et/ou de l'aspect colorimétrique recherchés pour le vitrage une fois sa fabrication achevée. Ainsi pour des vitrages destinés à équiper des véhicules, certaines 25 normes imposent que le pare-brise présente une transmission lumineuse TL d'environ 75% et d'autres normes imposent une transmission lumineuse TL d'environ 65% ; un tel niveau de transmission n'étant pas exigé pour les vitrages latéraux ou le toit-auto, par exemple. Les verres teintés que l'on peut retenir sont par exemple ceux qui, pour une épaisseur de 4 mm, 30 présentent une TL de 65 % à 95 %, une transmission énergétique TE de 40 % à 80 %, une longueur d'onde dominante en transmission de 470 nm à 525 nm -7- associée à une pureté de transmission de 0,4 % à 6 % selon l'Illuminant D65, ce que l'on peut traduire dans le système de colorimétrie (L, a*, b*) par des valeurs de a* et b* en transmission respectivement comprises entre -9 et 0 et entre -8 et +2. Pour des vitrages destinés à équiper des bâtiments, le vitrage présente, de préférence, une transmission lumineuse TL d'au moins 75% voire plus pour des applications bas-émissif , et une transmission lumineuse TL d'au moins 40% voire plus pour des applications contrôle solaire . Le vitrage selon l'invention peut présenter une structure feuilletée, associant notamment au moins deux substrats rigides du type verre par au moins une feuille de polymère thermoplastique, afin de présenter une structure de type verre/empilement de couches minces/feuille(s)/verre. Le polymère peut notamment être à base de polyvinylbutyral PVB, éthylène vinylacétate EVA, polyéthylène téréphtalate PET, polychlorure de vinyle PVC. Le vitrage peut aussi présenter une structure de vitrage feuilleté dit asymétrique, associant un substrat rigide de type verre à au moins une feuille de polymère de type polyuréthane à propriétés d'absorbeur d'énergie, éventuellement associée à une autre couche de polymères à propriétés auto-cicatrisantes . Pour plus de détails sur ce type de vitrage, il est possible de se reporter notamment aux brevets EP-0 132 198, EP-0 131 523, EP-0 389 354. Le vitrage peut alors présenter une structure de type verre/empilement de couches minces/feuille(s) de polymère. Les vitrages selon l'invention sont aptes à subir un traitement thermique sans dommage pour l'empilement de couches minces. Ils sont donc éventuellement bombés et/ou trempés. Le vitrage peut être bombé et/ou trempé en étant constitué d'un seul substrat, celui muni de l'empilement. Il s'agit alors d'un vitrage dit monolithique . Dans le cas où ils sont bombés, notamment en vue de -8- constituer des vitrages pour véhicules, l'empilement de couches minces se trouve de préférence sur une face au moins partiellement non plane. Le vitrage peut aussi être un vitrage multiple, notamment un double-vitrage, au moins le substrat porteur de l'empilement pouvant être bombé et/ou trempé. Il est préférable dans une configuration de vitrage multiple que l'empilement soit disposé de manière à être tourné du côté de la lame de gaz intercalaire. Dans une structure feuilletée, le substrat porteur de l'empilement est de préférence en contact avec la feuille de polymère. Lorsque le vitrage est monolithique ou multiple du type double-vitrage ou vitrage feuilleté, au moins le substrat porteur de l'empilement peut être en verre bombé ou trempé, ce substrat pouvant être bombé ou trempé avant ou après te dépôt de l'empilement. Dans une variante le vitrage est pourvu de moyens permettant d'alimenter ledit empilement en énergie électrique. L'invention concerne également le procédé de fabrication des substrats selon l'invention, qui consiste à déposer l'empilement de couches minces sur son substrat par une technique sous vide du type pulvérisation cathodique éventuellement assistée par champ magnétique, puis à effectuer sur le substrat revêtu un traitement thermique de bombage/trempe ou recuit sans dégradation de sa qualité optique et/ou mécanique. Il n'est toutefois pas exclu que ta première ou les premières couches de l'empilement puisse(nt) être déposée(s) par une autre technique, par exemple par une technique de décomposition thermique de type pyrolyse. Les détails et caractéristiques avantageuses de l'invention ressortent des exemples non limitatifs suivants, illustrés à l'aide des figures ci-jointes : La figure 1 illustre l'évolution, avant traitement thermique, de la résistance par carré d'un empilement monocouche fonctionnelle pourvu d'un revêtement monocouche de sur-blocage, sans et avec une couche de lissage, en fonction de l'épaisseur de la couche diélectrique placée dessous ; -9- La figure 2 illustre l'évolution, après traitement thermique, de la résistance par carré du même empilement monocouche fonctionnelle qu'en figure 1, sans et avec une couche de lissage, en fonction de l'épaisseur de la couche diélectrique placée dessous ; La figure 3 illustre l'évolution, avant traitement thermique, de la résistance par carré d'un empilement monocouche fonctionnelle pourvu d'un revêtement monocouche de sur-blocage en fonction de l'épaisseur de la couche de lissage ; La figure 4 illustre l'évolution, après traitement thermique, de la résistance par carré du même empilement monocouche fonctionnelle qu'en figure 3 en fonction de l'épaisseur de la couche de lissage ; La figure 5 illustre un empilement bicouches fonctionnelles selon l'invention, chaque couche fonctionnelle étant pourvue d'un revêtement de sur-blocage mais pas d'un revêtement de sous- blocage ; La figure 6 illustre un empilement bicouches fonctionnelles selon l'invention, chaque couche fonctionnelle étant pourvue d'un revêtement de sous-blocage mais pas d'un revêtement de sur-blocage ; La figure 7 illustre un empilement bicouches fonctionnelles selon l'invention, chaque couche fonctionnelle étant pourvue d'un revêtement de sous-blocage et d'un revêtement de sur-blocage ; La figure 8 illustre un empilement tricouches fonctionnelles selon l'invention, chaque couche fonctionnelle étant pourvue d'un revêtement de sous-blocage mais pas d'un revêtement de sur-blocage ; et La figure 9 illustre un empilement quadricouches fonctionnelles selon l'invention, chaque couche fonctionnelle étant pourvue d'un revêtement de sous-blocage mais pas d'un revêtement de sur-blocage. - 10 - Dans les figures illustrant des empilements de couches, les proportions entre les épaisseurs des différents matériaux ne sont pas rigoureusement respectées afin de faciliter leur lecture. Par ailleurs, dans tous les exemples ci-après l'empilement de couches minces est déposé sur un substrat 10 en verre sodo-calcique d'une épaisseur de 2 mm, sauf mention explicite différente. Dans tous les cas où un traitement thermique a été appliqué au substrat, il s'agissait d'un recuit pendant environ 5 minutes à une température d'environ 660 C suivi d'un refroidissement à l'air ambiant (environ 20 C). Les figures 1 à 4 ont pour but d'illustrer l'importance de la présence d'une couche de lissage dans un empilement. Toutefois, l'empilement qui a servi à la réalisation de ces figures n'est pas un empilement selon l'invention car il s'agit d'un empilement 15 monocouche fonctionnelle du type : Substrat / Si3N4 / SnZnOx:Sb / ZnO / Ag /Ti / ZnO / Si3N4 Variable / Variable / 8nm / 10nm / 2nm / 8nm / 20 nm Sur les figures 1 et 2, les courbes Cl et C11 illustrent la variation de la 20 résistance par carré (en ohms) de l'empilement en fonction de l'épaisseur de la couche de diélectrique à base de nitrure de silicium (e Si3N4) en contact avec le substrat, respectivement avant (BHT) et après (AHT) traitement thermique, lorsque l'empilement n'est pas pourvu d'une couche de lissage. Les courbes C2 et C12 illustrent la variation de la résistance par carré 25 (en ohms) de l'empilement en fonction de l'épaisseur de la couche de diélectrique à base de nitrure de silicium (e Si3N4) en contact avec le substrat, respectivement avant et après traitement thermique, lorsque l'empilement est pourvu d'une couche de lissage en SnZnO.:Sb d'une épaisseur de 6 nm (x désigne un nombre non nul) 30 Les courbes C3 et C13 illustrent la variation de la résistance par carré (en ohms) de l'empilement en fonction de l'épaisseur de ta couche de - 11 - diélectrique à base de nitrure de silicium (e Si3N4) en contact avec le substrat, respectivement avant et après traitement thermique, lorsque l'empilement est pourvu d'une couche de tissage à base de SnZnOx:Sb d'une épaisseur de 20 nm. Comme visible sur ces figures 1 et 2, pour une même épaisseur de diélectrique en contact avec le substrat (par exemple 20 nm), la résistance par carré de l'empilement est toujours plus faible - donc meilleure - pour les courbes C2, C3, C12 et C13 lorsque l'empilement comporte une couche de lissage à base de SnZnOx:Sb entre la couche de diélectrique à base de nitrure de silicium en contact avec le substrat et la couche de mouillage à base d'oxyde de zinc ZnO sous-jacente à la couche fonctionnelle à base d'argent Ag ; par ailleurs, la résistance par carré de l'empilement est toujours plus faible pour une épaisseur de couche de lissage de 20 nm (courbes C3 et C13). En conséquence, la présence d'une couche de lissage améliore d'une manière importante la résistance par carré de l'empilement à épaisseur de diélectrique sous-jacent comparable et cette amélioration est d'autant plus forte que l'épaisseur de la couche de lissage en importante. Sur les figures 3 et 4, les courbes illustrent la variation de la résistance par carré (en ohms) de l'empilement en fonction de l'épaisseur de la couche de lissage à base d'oxyde de zinc et d'étain dopé à l'antimoine (e SnZnOx:Sb), respectivement avant (BHT) et après (AHT) traitement thermique, lorsque l'empilement est pourvu d'une couche à base de nitrure de silicium Si3N4 de 20 nm entre le substrat et la couche à base de SnZnOx:Sb. Comme visible sur ces figures 3 et 4 également, la présence d'une couche de tissage améliore d'une manière importante la résistance par carré de l'empilement pour une couche de lissage comprise entre 0 et 4 nm d'épaisseur et cette amélioration est d'autant plus forte que l'épaisseur de la couche de lissage en importante. Des constatations similaires peuvent être faites avec un empilement monocouche fonctionnelle pourvu d'un revêtement de sous-blocage et sans -12 - revêtement de sur-blocage ou pourvu d'un revêtement de sous-blocage et d'un revêtement de sur-blocage. Des essais ont en outre été conduis pour permettre de mesurer la 5 rugosité des couches. Le tableau 1 ci-après illustre tes rugosités mesurées par réflectométrie X et exprimées en nm (la rugosité du substrat étant d'environ 0,4) : Couche(s) Epaisseur Rugosité o (nm) (nm) Si3N4 28, 5 1,1 Verre Substrat SnO2 29,5 0,8 Verre Substrat SnZnOx:Sb 32,0 0,7 Verre Substrat SnZnOx:Sb 11,2 0,8 Si3N4 19,7 0, 5 Verre Substrat SnO2 10,4 0,8 Si3N4 19, 3 0, 5 Verre Substrat Tableau 1 Comme visible dans ce tableau, la rugosité de la couche à base de 10 nitrure de silicium Si3N4 déposée seule sur te verre est élevée, mais la rugosité finale d'un empilement comprenant une couche à base de oxyde d'étain SnO2 ou une couche à base d'oxyde mixte de zinc et d'étain SnZnOx:Sb déposée sur la couche à base de nitrure de silicium permet d'améliorer la rugosité, en la diminuant. 15 Partant de ces constatations, il est ainsi possible de déposer sur un substrat 10 un empilement de couches minces comportant une alternance de n couches fonctionnelles 40, 80, 120, 160 à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment de couches 20 fonctionnelles métalliques à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et de (n + 1) revêtements 20, 60, 100, 140, 180, avec n nombre entier supérieur ou égal à 2, lesdits revêtements étant composés -13- d'une pluralité de couches diélectriques 24, 26 ; 62, 64, 66 ; 102, 104, 106, 142, 144, 146, 182, 184, de manière à ce que chaque couche fonctionnelle 40, 80, 120, 140 soit disposée entre deux revêtements 20, 60, 100, 140, 180, au moins deux couches fonctionnelles, et de préférence chaque couche fonctionnelle, étant déposée sur une couche de mouillage 30, 70, 110, 150 déposée elle-même respectivement directement sur un revêtement sous-jacent 20, 60, 100, 140. Ainsi, sur la base des tests monocouche fonctionnelle ci-dessus, plusieurs essais bicouches fonctionnelles ont été réalisés mais tous ne donnent pas 10 satisfaction. Deux exemples, numérotés 1 et 2, ont été réalisés sur la base de la structure d'empilement bicouches fonctionnelles illustrée figure 5 dans laquelle chaque couche fonctionnelle 40, 80 est pourvue d'un revêtement de sur-blocage 45, 85, mais de revêtement de sous-blocage. 15 Le tableau 2 ci-après illustre les épaisseurs en nanomètres de chacune des couches : Couche Matériau Ex. 1 Ex. 2 104 Si3N4 20 20 102 ZnO 8 8 85 Ti 2 2 80 Ag2 10 10 70 ZnO 8 j 8 66 SnZnOx:Sb 20 6 64 Si3N4 40 ' 52 62 ZnO 8 8 45 Ti 2 -- - 2 40 Agi 10 10 30 ZnO 8 -L 8 - 26 SnZnOx:Sb 20 24 Si3N4 20 6 Î Tableau 2 - 14 - Ainsi, dans l'exemple 1 selon l'invention, l'épaisseur de la couche de lissage 26 à base d'oxyde de zinc et d'étain dopé à l'antimoine SnZnOx:Sb du revêtement sous-jacent moins épais 20 est inférieure à l'épaisseur de la couche de lissage 66 à base d'oxyde de zinc et d'étain dopé à l'antimoine SnZnOx:Sb du revêtement sous-jacent plus épais 60, alors que dans le contre-exemple 2, l'épaisseur de la couche de lissage 26 du revêtement 20 sous-jacent moins épais est supérieure à l'épaisseur de ta couche de lissage 66 du revêtement sous-jacent plus épais 60. Les résistivités obtenues sont présentées dans le tableau 3 ci-après : Ex.1 Ex.2 Avant R - , Ag2 4,80 5,4 R Agi 4,75 4,5 traitement R Total 2,39 2,45 thermique Après R Agz 3,73 4,35 R Agi 3,65 3,45 traitement R Total 1,84 1,92 thermique Tableau 3 Ainsi, ta résistivité de l'exemple 1 selon l'invention est meilleure que celle de l'exemple 2 tant avant traitement thermique qu'après traitement thermique. Dans le cas de l'exemple 2, l'intégration de La couche de tissage dans un empilement à plusieurs couches fonctionnelles ne permet pas de parvenir à L'amélioration souhaitée et obtenue dans de Le cas de l'exemple 1 de la cristallisation des couches fonctionnelles. Une autre série d'exemptes, numérotée 3, a été réalisée sur ta base de La structure d'empilement bicouches fonctionnelles illustrée figure 6, dans laquelle chaque couche fonctionnelle 40, 80 est pourvue d'un revêtement de sous-blocage 35, 75, sans toutefois de couche de protection mécanique 200 visible sur la figure 6. -15- Le tableau 4 ci-après illustre les épaisseurs en nanomètres de chacune des couches : Tableau 4 Sur cette base six exemples, numérotés 3a à 3f, ont été réalisés. Le tableau 5 ci-après illustre Les valeurs de X et de Y en nanomètres de chaque exemple : Couche Matériau Ex. 3 104 Si3N4 27 102 Zn0 8 80 Ag2 10 75 Ti 2 70 ZnO 10 66 SnZnOx:Sb Y 64 Si3N4 65-Y 62 ZnO 8 40 Agi 10 35 Ti 2 30 ZnO 7 26 SnZnO.:Sb X 24 Si3N4 23-X Ex. type X Y 3a X Y 6 2 3c X Y 10 2 3e X Y 4 2 Tableau 5 -16- Ainsi, dans les exemples 3a, 3c et 3e selon l'invention, l'épaisseur de ta couche de lissage 26 du revêtement sous-jacent moins épais 20 est inférieure à l'épaisseur de la couche de lissage 66 du revêtement sous-jacent plus épais 60, alors que dans les contre-exemples 3b, 3d et 3f, L'épaisseur de la couche de lissage 26 du revêtement 20 sous-jacent moins épais est supérieure à l'épaisseur de la couche de lissage 66 du revêtement sous-jacent plus épais 60. Les caractéristiques de résistivité, optiques et énergétiques de ces exemples sont reportées dans le tableau 6 ci-après (les caractéristiques optiques et énergétiques ont été mesurées après recuit et insertion dans un vitrage feuilleté présentant la structure : extérieur I Substrat en verre de 2,1 mm / 0,25 mm de PVB / Substrat en verre de 2,1 mm porteur de l'empilement ; l'empilement de couche se trouve ainsi en face 3, numérotée par rapport au sens de la lumière solaire incidente) Ex. R TE TL(A) a*(D65) b*(D65) RE RL (D65) (ohms) 3a 2,7 45,02 77,25 -2,36 -5,75 33,40 11,29 3b 2,9 44,58 75,30 -4, 88 -4,64 32,70 13,08 3c 2,6 45,46 78,31 -1,98 -4,78 33,36 10,96 3d 2,8 45,21 77,33 -2,81 -4,3833,08 11,79 3e 2,8 44,96 77,49 -3,02 -4,51 33,43 11,42 3f 2,9 45,12 77,81 -1,79 -4,72 33,64 11,19 Tableau 6 Ainsi, la résistivité de l'empilement (mesurée ici après traitement thermique) des exemples 3a, 3c, 3e selon l'invention est toujours inférieure respectivement aux contre-exemples 3b, 3d, 3f correspondants. De plus, la transmission énergétique TE, la transmission lumineuse TL mesurée selon l'illuminant A, la réflexion énergétique RE, la réflexion lumineuse RL (D65) mesurée selon l'illuminant D65 et les couleurs en réflexion a* et b* dans le système LAB mesurées selon l'illuminant D65 côté couches ne - 17 - varient pas de manière vraiment significative entre les exemples selon l'invention et les contre-exemples 3b, 3d, 3f correspondants. En comparant les caractéristiques optiques et énergétiques mesurées ici avant traitement thermique avec ces mêmes caractéristiques après 5 traitement thermique, aucune dégradation n'a été constatée. D'autres essais ont été réalisés sur la base de la structure d'empilement bicouches fonctionnelles illustrée figure 7 dans laquelle chaque couche fonctionnelle 40, 80 est pourvue d'un revêtement de sous-blocage 35, 75 et 10 d'un revêtement de sur-blocage 45, 85. Ces essais ont permis d'arriver à des constatations similaires. Pour les structures bicouches fonctionnelles, il a été constaté qu'il était préférable que la couche de lissage du revêtement sous-jacent moins épais 15 soit la plus proche du substrat et que par conséquent la couche de lissage du revêtement sous-jacent plus épais soit la plus éloignée du substrat. Il est par ailleurs possible d'appliquer l'invention à un empilement à trois couches fonctionnelles, comme par exemple l'empilement illustré en 20 figure 8. Dans la configuration illustrée, chaque couche fonctionnelle 40, 80, 120 est pourvue d'un revêtement de sous-blocage 35, 75, 115 ; toutefois, il est aussi possible de prévoir en plus ou sans ce revêtement de sous-blocage 35, 75, 115, un revêtement de sur-blocage. 25 De plus, dans la configuration illustrée, chaque revêtement sous-jacent 20, 60, 100 comporte une couche de lissage 26, 66, 106 conformément à l'invention. Pour les structures tri couches fonctionnelles, il a été constaté qu'il était préférable que la couche de lissage du revêtement sous-jacent moins 30 épais soit la plus proche du substrat et que la couche de lissage du revêtement sous-jacent plus épais soit la couche de lissage centrale 66 et que -18- la couche la plus éloignée du substrat 106, soit plus épaisse que la couche de lissage 26 la plus proche du substrat et moins épaisse que la couche de lissage centrale 66. Dans cette structure, il est possible de ne prévoir que deux couches de lissage, c'est-à-dire de prévoir que deux revêtements sous-jacents seulement correspondent à l'invention. Il est par ailleurs possible d'appliquer l'invention à un empilement à quatre couches fonctionnelles, comme par exemple l'empilement illustré en figure 9. Dans la configuration illustrée, chaque couche fonctionnelle 40, 80, 120, 160 est pourvue d'un revêtement de sous- blocage 35, 75, 115, 155 ; toutefois, il est aussi de possible de prévoir en plus ou sans ce revêtement de sous-blocage 35, 75, 115, 155, un revêtement de sur-blocage. De plus, dans la configuration illustrée, chaque revêtement sous-jacent 20, 60, 100, 140 comporte une couche de lissage 26, 66, 106, 146 conformément à l'invention. Cet empilement peut être obtenu, par exempte, en passant deux fois le substrat 10 dans un dispositif de dépôt d'un empilement bicouches fonctionnelles, comme cela est connu de la demande internationale de brevet N WO2005/051858, pour déposer : lors d'un premier passage les couches 24 à 102, puis lors d'un second passage les couches 104 à 182, puis dans un appareil de finition du dépôt, les couches 184 et 200. 25 Dans cette structure, il est possible de ne prévoir que deux couches de lissage, c'est-à-dire de prévoir que deux revêtements sous-jacents seulement correspondent à l'invention. 30 La présente invention est décrite dans ce qui précède à titre d'exemple. Il est entendu que l'homme du métier est à même de réaliser différentes - 19 - variantes de l'invention sans pour autant sortir du cadre du brevet tel que défini par les revendications. REVENDICATIONS 1. Substrat (10), notamment substrat verrier transparent, muni d'un empilement de couches minces comportant une alternance de n couches fonctionnelles (40, 80) à propriétés de réflexion dans l'infrarouge et/ou dans le rayonnement solaire, notamment de couches fonctionnelles métalliques à base d'argent ou d'alliage métallique contenant de l'argent, et de (n + 1) revêtements (20, 60, 100), avec n nombre entier 2, lesdits revêtements étant composés d'une pluralité de couches diélectriques (24, 26 ; 64, 66 ; 104), de manière à ce que chaque couche fonctionnelle (40, 80) soit disposée entre deux revêtements (20, 60, 100), au moins deux couches fonctionnelles (40, 80) étant déposées chacune sur une couche de mouillage (30, 70) déposée elle-même respectivement directement sur un revêtement sous-jacent (20, 60), caractérisé en ce que deux revêtements sous-jacent (20, 60) comprennent chacun au moins une couche diélectrique (24, 64) et au moins une couche de lissage (26, 66) non cristallisée en un matériau différent du matériau de ladite couche diélectrique à l'intérieur de chaque revêtement, ladite couche de lissage (26, 66) étant en contact avec ladite couche de mouillage (30, 70) sus-jacente et en ce que ces deux revêtements sous-jacent (20, 60) étant d'épaisseur différentes, l'épaisseur de la couche de lissage (26, 66) du revêtement sous-jacent (20, 60) présentant une épaisseur totale inférieure à celle de l'autre revêtement sous-jacent (60, 20) est inférieure ou égale à l'épaisseur de la couche de lissage (66, 26) de cet autre revêtement sous-jacent (60, 20). 2. Substrat (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que 25 l'empilement comporte deux couches fonctionnelles alternées avec trois revêtements. 3. Substrat (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'empilement comporte trois couches fonctionnelles alternées avec quatre revêtements.- 21 - 4. Substrat (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'empilement comporte quatre couches fonctionnelles alternées avec cinq revêtements. 5. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications 5 précédentes, caractérisé en ce que le revêtement le moins épais desdits deux revêtements sous-jacents (20, 60) est le plus proche du substrat. 6. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que le revêtement le moins épais desdits deux revêtements sous-jacents (20, 60) est le plus éloigné du substrat. 10 7. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins une couche de lissage (26, 66), voire toutes les couches de lissage (26, 66), est (ou sont) une couche d'oxyde à base d'oxyde d'un ou de plusieurs des métaux suivants : Sn, Si, Ti, Zr, Hf, Zn, Ga, ln. 15 8. Substrat (10) selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'au moins une couche de lissage (26, 66), voire toutes les couches de lissage (26, 66), est (ou sont) une couche d'oxyde mixte à base de zinc et d'étain ou d'oxyde mixte de zinc et d'indium (ITO) déposée à froid. 9. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications 20 précédentes, caractérisé en ce qu'au moins une couche de lissage (26, 66), voire toutes les couches de lissage (26, 66), est (ou sont) une couche d'oxyde non stoechiométrique en oxygène. 10. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ta ou chaque couche de lissage (26, 66) 25 présente une épaisseur géométrique entre 0,1 et 30 nm et de préférence comprise entre 0,2 et 10 nm. 11. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins une, et de préférence chaque, couche fonctionnelle (40, 80) est disposée directement sur au moins un- 22 -revêtement de blocage (35, 75) sous-jacent et/ou directement sous au moins un revêtement de blocage (45, 85) sus-jacent. 12. Substrat (10) selon la revendication précédente, caractérisé en ce qu'au moins un revêtement de blocage (35, 45, 75, 85) est à base de Ni ou de Ti ou est à base d'un alliage à base de Ni, notamment est à base d'un alliage de NiCr. 13. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins une, et de préférence chaque, couche de mouillage (30, 70) sous-jacente à une couche fonctionnelle (40, 80) est à base d'oxyde de zinc. 14. Substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins une, et de préférence chaque, couche diélectrique (24, 64) adjacente à une couche de lissage (26, 66) à l'intérieur desdits revêtements sous-jacents (20, 60) est à base de nitrure, notamment de nitrure de silicium et/ou de nitrure d'aluminium. 15. Vitrage incorporant au moins un substrat (10) selon l'une quelconque des revendications précédentes, éventuellement associé à au moins un autre substrat. 16. Vitrage selon la revendication précédente monté en monolithique ou en vitrage multiple du type double-vitrage ou vitrage feuilleté, caractérisé en ce qu'au moins le substrat porteur de l'empilement est bombé ou trempé. 17. Vitrage selon la revendication 15 ou 16, caractérisé en ce qu'il est pourvu de moyens permettant d'alimenter ledit empilement en énergie 25 électrique. 18. Procédé de fabrication du substrat (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce qu'on dépose l'empilement de couches minces sur le substrat par une technique sous vide du type pulvérisation cathodique éventuellement assistée par champ magnétique,- 23 - puis en ce qu'on effectue un traitement thermique du type bombage, trempe ou recuit sur ledit substrat, sans dégradation de sa qualité optique et/ou mécanique.