Brevet FR2896565A1 — publié le 20070727

La présente invention concerne une structure de vanne destinée à permettre le passage ou l'arrêt d'un fluide et un dispositif de vanne contenant la structure de manière interne. Une vanne à soufflet est un exemple des dispositifs de vanne utilisés pour le passage- l'arrêt, ou l'ouverture-la fermeture de la structure de vanne, d'un fluide haute pression et d'un fluide qui nécessite d'être arrêté depuis l'extérieur, en plus de la formation d'un vide et analogue (par exemple, voir la publication de brevet japonais non examinée Nos. 10-504375, JP-A-2005-155677). La figure 6 représente de manière simplifiée la manière d'ouvrir-fermer la structure de vanne dans une vanne à soufflet classique, dans laquelle la surface de paroi interne d'un boîtier (chambre) V10 de vanne comporte un trou 100 de vanne ouvert destiné à constituer l'entrée d'un fluide depuis l'extérieur, et la périphérie de la bouche ouverte dans la surface de paroi interne met à disposition un siège 120 de vanne. Un disque 130 de vanne effectue un mouvement alternatif de mise en contact étroite avec le siège 120 de vanne, et de dégagement d'avec celui-ci, ce qui ouvre ou ferme de ce fait le trou de vanne. De cette façon, l'action d'ouverture-fermeture d'un dispositif de vanne est effectuée. Bien qu'une bague d'étanchéité, un joint torique et analogues soient placés sur la sur-face 120 de siège de vanne ou sur une surface 130a de disque de vanne (la surface du disque de vanne destinée à être contact étroit avec le siège de vanne) pour améliorer l'aptitude à 2 2896565 l'étanchéité lors de la fermeture de la vanne, ils ne sont pas représentés. Sur la figure 6(a), le disque 130 de vanne est dans la position fermée pour arrêter 5 l'écoulement entre le trou 100 de vanne et un autre passage 150 de fluide ouvert dans le boîtier de vanne. Sur la figure 6(b), le disque 130 de vanne est dans la position ouverte, et un fluide A10 dans un espace interne V20 du trou de 10 vanne peut s'écouler à travers le boîtier V10 de vanne vers le passage 150 de fluide. Un arbre d'actionnement S10 pour le mouvement alternatif du disque de vanne est raccordé à une face arrière 130b du disque 130 de vanne, 15 où l'arbre pénètre dans la paroi du boîtier de vanne et est raccordé à un mécanisme d'entraînement situé à l'extérieur du boîtier de vanne. De surcroît, un soufflet 140 est placé de façon à entourer l'arbre d'actionnement S10. Une face 20 d'extrémité du soufflet 140 est liée (normale-ment soudée) à la face arrière 130b du disque 130 de vanne, et l'autre face d'extrémité du soufflet 140 est liée à la surface de paroi interne du boîtier de vanne. Par conséquent, le 25 soufflet 140 suit le mouvement alternatif du disque 130 de vanne pendant qu'il se dilate et/ou se contracte, empêche une fuite depuis le site de pénétration de l'arbre d'actionnement S10 à travers la paroi, sépare un espace V30 sur 30 le côté mécanisme d'entraînement du boîtier V10 de vanne, et maintient un état de très bonne fermeture dans le boîtier de vanne. Le dispositif de vanne représenté de manière exemplaire sur la figure 6 est ce que l'on 35 appelle une "vanne en L", où le trou 100 de 3 2896565 vanne et l'autre passage 150 de fluide sont approximativement orthogonaux l'un par rapport à l'autre, et s'ouvrent dans le boîtier de vanne généralement sur un angle de 90 . 5 Cependant, le présent inventeur a examiné l'état d'ouverture-de fermeture de la structure de vanne dans la vanne mentionnée ci-dessus au fil du temps, et a noté le problème suivant. Le problème concerne des performances d'ar- 10 rêt dégradées de la vanne lorsque, par exemple, l'écoulement d'un gaz d'échappement dans un four à diffusion doit être commandé au moyen de la vanne représentée sur la figure 6, laquelle dégradation de performance est provoquée par le 15 dépôt d'impuretés, contenues dans le gaz d'échappement, principalement sur la surface du disque de vanne (la surface qui doit être mise en contact avec la surface du siège de vanne et dégagé d'avec celle-ci) au cours d'une opération 20 d'ouverture-de fermeture répétée du disque de vanne, lequel dépôt gène à son tour un contact de fermeture entre le disque de vanne et le siège de vanne. Ces performances d'arrêt dégradées de la 25 vanne provoquent des dysfonctionnements dans les équipements utilisant la vanne, où le rétablissement des performances d'arrêt fait augmenter les frais d'entretien. Le problème mentionné ci-dessus de dépôt de 30 substances étrangères sur la surface du disque de vanne apparaît dans toute structure d'ouverture-de fermeture quelconque de la vanne, outre la vanne à soufflet. 4 2896565 L'objet de la présente invention consiste à supprimer au moins le dépôt de substances étrangères sur la surface du disque de vanne. Le présent inventeur a mené des études 5 approfondies et a découvert une structure dans laquelle un élément tubulaire fait saillie depuis la surface du disque de vanne jusque dans un trou de vanne, et un fluide s'écoule depuis un trou traversant formé dans l'élément tubufaire lorsque le disque de vanne est dans la position ouverte, ce qui modifie de ce fait la direction de l'écoulement de fluide, peut supprimer de préférence le dépôt de la substance sur la surface du disque de vanne, ce qui a eu 15 pour résultat l'achèvement de la présente invention. Par conséquent, la présente invention est caractérisée en ce que : (1) Une structure de vanne comprend au moins 20 un trou de vanne ouvert dans une surface de paroi interne d'un boîtier de vanne, un siège de vanne entourant l'ouverture, et un disque de vanne qui vient en contact étroit avec le siège de vanne, ou se dégage d'avec celui-ci, pour 25 ouvrir et fermer le trou de vanne susmentionné, dans laquelle la surface du disque de vanne, qui est un plan sur le côté de la surface entière du disque de vanne destiné à venir en contact étroit avec 30 le siège de vanne, comporte une partie tubulaire faisant saillie capable de s'emboîter par coulissement à l'intérieur du trou de vanne, lorsque le disque de vanne est dans la position fermée, la partie tubulaire entière se 35 trouve à l'intérieur du trou de vanne, un jeu 5 2896565 dans l'emboîtement entre la partie tubulaire et le trou de vanne étant capable d'arrêter sensiblement l'écoulement d'un fluide passant à travers le trou de vanne, la partie tubulaire 5 ayant une ouverture dans une face d'extrémité de bout, la partie tubulaire ayant un trou traversant dans la surface circonférentielle de son corps, et le trou traversant étant formé au niveau d'une position telle qu'une partie, ou 10 l'ensemble du trou traversant, entre dans le boîtier de vanne lorsque le disque de vanne est dans la position ouverte, et lorsque le disque de vanne est déplacé de la position fermée à la position ouverte, le trou 15 traversant formé dans la partie tubulaire entre dans le boîtier de vanne depuis l'intérieur du trou de vanne, ce qui fait communiquer de ce fait le trou de vanne et le boîtier de vanne par l'intermédiaire de l'intérieur de la partie 20 tubulaire. (2) La structure de vanne du point (1), dans laquelle la longueur entière de la partie tubulaire est déterminée de façon à placer le bout de la partie tubulaire à l'intérieur du 25 trou de vanne même lorsque le disque de vanne est dans la position ouverte. (3) La structure de vanne du point (1), dans laquelle la position et la taille du trou traversant sont déterminées de façon à placer le 30 trou traversant entier à l'intérieur du boîtier de vanne lorsque le disque de vanne est dans la position ouverte. (4) La structure de vanne du point (1), dans laquelle le trou de vanne a une forme transver- 6 2896565 sale circulaire, et la partie tubulaire est de forme cylindrique. (5) La structure de vanne du point (1), comprenant en outre, outre le trou de vanne, un 5 passage de fluide, communicant avec l'extérieur, dans la surface de paroi interne du boîtier de vanne, l'axe central du trou de vanne étant sensiblement orthogonal par rapport à celui du pas-10 sage de fluide, le nombre de trous traversants à former dans la partie tubulaire étant de un, et le trou traversant faisant face à l'ouverture du passage de fluide et l'axe central du 15 trou étant parallèle à celui du passage de fluide. (6) Un dispositif de vanne comprenant la structure de vanne de l'un quelconque parmi les points (1) à (5) mentionnés ci-dessus. 20 (7) Le dispositif de vanne du point (6), comprenant, en outre un arbre d'actionnement pour ouvrir-fermer le disque de vanne dans la structure de vanne depuis l'extérieur du boîtier de vanne, l'arbre étant inséré depuis 25 l'extérieur dans le boîtier de vanne, et le bout de l'arbre étant raccordé au disque de vanne. (8) Le dispositif de vanne du point (6), qui est une vanne à soufflet dans laquelle la circonférence externe du corps de l'arbre 30 d'actionnement est recouverte d'un soufflet. (9) Le dispositif de vanne du point (6), qui est une vanne en L, comprenant en outre, outre le trou de vanne, une ouverture de passage de fluide, communiquant avec l'extérieur, dans la 35 surface de paroi interne du boîtier de vanne, 7 2896565 dans lequel l'axe central du trou de vanne est sensiblement orthogonal par rapport à celui du passage de fluide. (10) Le dispositif de vanne du point (9), 5 dans lequel l'axe central du trou de vanne est sensiblement orthogonal par rapport à celui du passage de fluide, le nombre de trous traversants à former dans la partie tubulaire est de un, et 10 le trou traversant fait face à l'ouverture du passage de fluide et l'axe central du trou est sensiblement parallèle par rapport à celui du passage de fluide. La figure 1 est une vue en coupe représen- 15 tant de manière simplifiée la composition et l'action de la structure de vanne de la présente invention. Sur la figure 1(a), le disque de vanne est dans la position fermée, sur la figure 1(b), le disque de vanne est dans la position 20 ouverte, et un fluide dans le trou de vanne peut communiquer depuis l'intérieur de la partie tubulaire, par l'intermédiaire du trou traversant jusque dans le boîtier de vanne. La figure 2 représente un exemple de la 25 forme d'une ouverture du trou traversant à former dans la partie tubulaire. La figure 3 est une vue en coupe représentant un exemple de la position du trou traversant à former dans la partie tubulaire. 30 La figure 4 est une vue en coupe représentant de manière simplifiée la structure d'une vanne à soufflet, qui est l'un des modes de réalisation préférés du dispositif de vanne. La figure 5 est une vue en coupe représen- 35 tant plus précisément la structure d'une vanne à 8 2896565 soufflet, qui est un exemple du dispositif de vanne. La figure 6 est une vue en coupe représentant de manière simplifiée la structure d'une 5 vanne à soufflet classique. Les symboles de référence sur les figures représentent les éléments suivants : 1 ; trou de vanne, 2 ; siège de vanne (surface du siège de vanne), 3 ; disque de vanne, 4 ; partie tubulaire, 5 ; trou traversant, V1 ; boîtier (chambre) de vanne. Dans une structure de vanne classique, lorsqu'un fluide est expulsé depuis le trou de vanne jusque dans le boîtier de vanne, un fluide 15 A10, tel que représenté sur la figure 6(b), vient directement heurter la surface 130a du disque de vanne dans la position ouverte, puis se répand de manière omnidirectionnelle dans le boîtier V10 de vanne. Donc, les substances 20 contenues dans le fluide (appelées ci-après substances contenues) ont de très fortes chances de se déposer sur la surface du disque de vanne. Par contraste, dans la structure de vanne de la présente invention, dont l'état fermé est 25 représenté sur la figure 1(a), une partie tubulaire 4 faisant saillie depuis une surface 3a du disque de vanne entre par coulissement dans un trou 1 de vanne. La partie tubulaire 4 et le trou de vanne sont dans une relation 30 d'emboîtement, avec un jeu qui permet le coulissement de la partie tubulaire et une fuite moindre d'un liquide. La partie tubulaire 4 comporte une face 4a d'extrémité de bout ouverte, et son corps comporte un trou 9 2896565 traversant 5 sur la surface de la circonférence externe. Grâce à l'ajout de cette partie tubulaire, lorsque la structure de vanne est ouverte (état 5 d'écoulement), un fluide Al s'écoule transversalement hors du trou traversant 5 de la partie tubulaire 4 jusque dans un large boîtier de vanne, tel que représenté sur la figure 1(b). Donc, le fluide ne frappe pas directement la 10 surface du disque de vanne dans la direction perpendiculaire. En conséquence, la quantité de dépôt de la substance contenue sur la surface du disque de vanne diminue. En particulier, dans une vanne en L, les 15 axes centraux du trou 1 de vanne et d'un passage 6 de fluide sur l'autre côté sont sensiblement orthogonaux l'un par rapport à l'autre, tel que représenté sur la figure 3. Lorsque la structure de vanne doit être 20 appliquée à la vanne en L, on peut également introduire plus efficacement le fluide Al dans le passage 6 de fluide en plaçant le trou traversant 5 dans la partie tubulaire 4 pour faire face au passage 6 de fluide sur l'autre côté. 25 La structure de vanne de la présente invention est tout d'abord expliquée. Tel que représenté sur la figure 1, la structure de vanne de la présente invention est composée d'au moins un siège 2 de vanne et un 30 disque 3 de vanne. Le siège 2 de vanne est formé sur la surface Wl de paroi interne d'un boîtier V1 de vanne, et le siège 2 de vanne comporte un trou 1 de vanne ouvert dans sa partie centrale. Le disque 3 de vanne fournit un mouvement alter- 35 natif (mouvement d'ouverture-de fermeture) de 10 2896565 mise en contact étroite avec le siège de vanne, et de détachement d'avec celui-ci, pour ouvrir-fermer de ce fait le trou 1 de vanne. Tel qu'expliqué dans la section mentionnée 5 ci-dessus consacrée à l'effet, la surface 3a du disque de vanne, qui est la surface du disque 3 de vanne à mettre en contact étroit avec le siège de vanne, comporte une partie tubulaire 4 en tant que saillie (l'axe central de la partie 10 tubulaire étant perpendiculaire à la surface du disque de vanne). Tel que représenté sur la figure 1(a), lorsque le disque 3 de vanne est dans la position fermée, la longueur entière de la partie tubulaire entre dans le trou 1 de 15 vanne susmentionné. Bien que le détail de la relation d'emboîtement entre la partie tubulaire et le trou de vanne soit expliqué ci-dessous, son jeu permet un coulissement de la partie tubulaire bien 20 qu'il arrête sensiblement l'écoulement d'un fluide. Un arrêt complet de l'écoulement du fluide est offert par le contact étroit entre la surface du siège de vanne et la surface du disque de vanne. 25 La face 4a d'extrémité de bout de la partie tubulaire 4 comporte une ouverture et l'espace interne 4b de la partie tubulaire communique avec l'espace interne V2 du trou de vanne. De surcroît, la partie tubulaire 4 comporte un trou 30 traversant 5 dans la circonférence externe du corps. La position du trou traversant 5 est déterminée de façon à constituer une partie ou l'ensemble du trou traversant qui entre dans le boîtier de vanne lorsque le disque de vanne est 11 2896565 dans la position ouverte (état de pleine ouverture). Tel que représenté sur la figure 1(b), lorsque le disque de vanne est déplacé de la 5 position fermée à la position ouverte, la partie tubulaire 4 est tirée depuis le trou de vanne jusque dans le boîtier de vanne, ce qui permet au trou traversant 5 d'apparaître depuis l'intérieur du trou de vanne dans le boîtier de 10 vanne, moyennant quoi le trou de vanne communique avec le boîtier de vanne via l'intérieur de la partie tubulaire et le trou traversant. Dans la position ouverte, le siège 2 de vanne et la surface 3a du disque de vanne sont suffi- 15 samment écartés, et un fluide Al est expulsé transversalement (perpendiculairement par rapport à l'axe central) depuis le trou traversant 5 à travers le large espace, en conséquence de quoi l'impact direct du fluide Al sur la surface 20 3a du disque de vanne peut être atténué et la quantité de dépôt de la substance contenue peut être réduite. Bien que la direction de l'écoulement d'un fluide ne soit pas particulièrement limitée 25 lorsque la structure de vanne est utilisée, lorsque le fluide passe d'un espace V2 dans le trou de vanne à un boîtier V1 de vanne, le dépôt de substances étrangères sur la surface du siège de vanne, qui est observé avec les structures de 30 vanne classiques, peut être plus efficacement réduit, et l'utilité de la présente invention devient visible. De surcroît, lorsque la structure de vanne est appliquée à une vanne en L, la direction 35 d'écoulement peut être dirigée vers l'ouverture 12 2896565 de sortie au moyen du trou traversant dans la partie tubulaire. Ainsi, l'utilité de la présente invention devient plus remarquable. La forme transversale du trou de vanne 5 (lorsque le trou de vanne est coupé perpendiculairement à son axe central) n'est pas limitée, et il peut s'agir d'une forme circulaire, d'une ellipse, d'un polygone (triangle, rectangle, polygone), d'une forme irrégulière et analogues. 10 Eu égard à l'aptitude à l'étanchéité du trou de vanne, la facilité du traitement du trou, la facilité du traitement de la partie tubulaire à s'emboîter dans le trou et analogues, la forme transversale du trou de vanne est de préférence 15 une forme circulaire. La forme de la partie tubulaire est de préférence rendue cylindrique conformément à celle-ci. Un mode de réalisation dans lequel la forme transversale du trou de vanne est une forme 20 circulaire et la partie tubulaire a une forme cylindrique est expliqué ci-après. Lorsque la forme transversale du trou de vanne est modifiée, la conception d'autres parties peut être modifiée de manière appropriée. 25 Le diamètre interne du trou de vanne n'est pas particulièrement limité et varie en fonction de l'écoulement du fluide à commander et analogues. En vue de l'applicabilité à des vannes à usage général, il est de préférence 30 d'environ 20 mm à 300 mm, particulièrement d'environ 25 mm à 100 mm. La longueur de course de la position fermée à la position ouverte du disque de vanne peut être conçue de façon à convenir à la taille du 35 trou de vanne, et la longueur de course du 13 2896565 disque de vanne des dispositifs de vanne à usage général peut être prise comme référence. Par exemple, lorsque le trou de vanne a un diamètre interne de 70 mm, la longueur de course du dis- 5 que de vanne est de manière appropriée d'environ 30 mm à 40 mm. Le matériau du siège de vanne, la forme de la surface du siège de vanne, le matériau du disque de vanne, la forme de la surface du 10 disque de vanne, la structure d'étanchéité (la forme de la bague d'étanchéité ou joint torique, et sa structure de montage) pour améliorer la propriété de fermeture lorsque l'on rend étanche la surface du siège de vanne et la surface du 15 disque de vanne et analogues peuvent être conçues de manière appropriée pour l'utilisation de la structure de vanne et la technique antérieure peut être prise comme référence. La surface du siège de vanne et la surface du 20 disque de vanne sont toutes deux représentées sur un simple plan plat de la figure 1 pour les besoins de l'explication. Cependant, par exemple, une surface convexe ou concave complexe, une bague d'étanchéité ou un joint torique 25 peuvent être employés pour améliorer l'aptitude à l'étanchéité de la vanne. Le diamètre externe de la partie tubulaire est déterminé en fonction du diamètre interne du trou de vanne. 30 Le jeu dans l'emboîtement des deux [la différence (D-d) entre le diamètre interne D du trou de vanne et le diamètre externe d de la partie tubulaire] est tel qu'il permet un coulissement de la partie tubulaire dans le trou de 14 2896565 vanne et arrête sensiblement l'écoulement d'un fluide passant à travers le trou de vanne. Par l'expression "arrête sensiblement l'écoulement d'un fluide" on entend une diminution 5 suffisante de l'écoulement d'un fluide à tel point qu'un dépôt classique des substances soit empêché même lorsque l'écoulement du fluide passant à travers le jeu heurte directement la surface du disque de vanne. 10 Bien que la valeur du jeu d'emboîtement ne soit pas particulièrement limitée, un jeu trop important diminue l'importance de la partie tubulaire. Bien qu'un jeu inférieur soit davantage préféré, un jeu trop faible gène le coulis- 15 sement de la partie tubulaire, ce qui empêche à son tour un mouvement alternatif sans à-coup du disque de vanne. Un exemple préféré du jeu dans l'emboîtement d'une partie tubulaire et d'un trou de vanne est 20 représenté ci-après. Lorsque le diamètre interne du trou de vanne est de 20 mm à 100 mm, le jeu dans l'emboîtement est de 0,1 mm à 5 mm, de préférence de 0,5 mm à 1 mm. 25 Lorsque le diamètre interne du trou de vanne est de 100 mm à 150 mm, le jeu dans l'emboîtement est de 0,2 mm à 15 mm, de préférence de 1 mm à 3 mm. Lorsque le diamètre interne du trou de vanne 30 est de 150 mm à 300 mm, le jeu dans l'emboîtement est de 0,4 mm à 25 mm, de préférence de 2 mm à 5 mm. Ces plages numériques sont de simples valeurs approximatives, et peuvent être ajustées 35 de manière appropriée en fonction de la finition de la surface interne du trou de vanne, de la surface de la circonférence externe de la partie tubulaire et analogues. Lorsque le diamètre interne du trou de vanne est hors des plages mentionnées ci-dessus, la quantité de jeu dans l'emboîtement, qui permet le coulissement de la partie tubulaire dans le trou de vanne, et arrête sensiblement l'écoulement d'un fluide passant à travers le trou de vanne, peut être déterminée par expérimentation pour atteindre l'objectif de la présente invention. La longueur entière de la partie tubulaire peut être conçue en fonction de la longueur de course du disque de vanne, et du diamètre interne du trou de vanne. Cependant, la longueur entière est de préférence plus longue que la longueur de course du disque de vanne, de sorte que le bout de la partie tubulaire se trouve à l'intérieur du trou de vanne même lorsque le disque de vanne est dans la position ouverte. La longueur de la partie tubulaire à l'intérieur du trou de vanne dans la position ouverte est de préférence d'environ 2 mm à 50 mm. Par exemple, lorsque le diamètre interne du trou de vanne est de 70 mm et la course du disque de vanne est de 30 mm, la longueur entière de la partie tubulaire d'environ 32 mm à 35 mm convient à une utilisation pratique. Étant donné que la longueur entière de la partie tubulaire est plus longue que la longueur de course du disque de vanne, le fluide s'écoule toujours depuis la partie tubulaire via le trou traversant jusque dans le boîtier de vanne, même lorsque le disque de vanne est dans la position ouverte. De plus, des problèmes de " "mauvais 16 2896565 contact incliné" qui apparaît au cours d'un coulissement entre la partie tubulaire et le trou de vanne n'apparaissent pas facilement. La partie tubulaire peut être solidairement 5 formée avec le disque de vanne par coulage, découpage et usinage et analogues. Etant donné que l'épaisseur est plutôt faible et que le matériau peut être librement déterminé exclusivement pour la partie tubulaire, une partie 10 tubulaire est de préférence formée séparément puis liée au disque de vanne. Le procédé de liaison peut être un procédé de soudage, épissurage par fusion, boulonnage, matage et analogues. 15 Bien que le matériau de la partie tubulaire ne soit pas limité, des matériaux métalliques sont préférables de part leurs aspects de résistance à la corrosion, résistance à la chaleur et analogues. Parmi les matériaux métal- 20 liques, l'acier inoxydable est particulièrement préféré. Bien que l'épaisseur de la partie tubulaire varie en fonction du diamètre interne du trou de vanne et du matériau de la partie tubulaire, 25 elle est, par exemple, de préférence d'environ 1 mm à 5 mm lorsque le diamètre interne du trou de vanne est d'environ 20 mm à 300 mm et que le matériau est de l'acier inoxydable. La surface circonférentielle externe du 30 corps de la partie tubulaire et la surface interne du trou de vanne sont de préférence sou- mises à un traitement de lissage pour réduire la résistance au coulissement, tel qu'un traitement abrasif et analogue. De surcroît, divers traite- 17 2896565 ments de lubrification peuvent être appliqués, si possible, par rapport au fluide. La position et la forme du trou traversant à former dans la partie tubulaire peut être toute 5 position et forme quelconques à condition qu'une partie ou l'ensemble de l'ouverture de l'ouverture du trou traversant entre dans le boîtier de vanne de sorte que le trou traversant puisse fonctionner comme le passage du fluide 10 lorsque le disque de vanne est dans la position ouverte. Pour une utilisation suffisante du trou traversant ainsi formé comme trajet d'écoulement, le trou traversant entier entre de 15 préférence dans le boîtier de vanne lorsque le disque de vanne est dans la position ouverte. Pour une séparation de l'écoulement d'un fluide, qui entre dans le boîtier de vanne depuis le trou traversant, d'avec la surface du siège de 20 vanne, de plus, tel que représenté sur la figure 3, la surface interne du côté bout du trou traversant 5 est de préférence située à l'intérieur du boîtier de vanne à une distance particulière dl de la surface 2 de siège de 25 vanne. Lorsque la distance particulière sus-mentionnée dl doit être formée, on la détermine de manière appropriée en se référant au diamètre interne du trou de vanne et au diamètre interne du trou traversant. Pour un usage général, une 30 distance dl d'environ 2 mm à 15 mm convient. De manière similaire, pour une séparation de l'écoulement d'un fluide, qui s'avance depuis le trou traversant jusque dans le boîtier de vanne, d'avec la surface du disque de vanne, tel que 35 représenté sur la figure 3, la surface interne 18 2896565 du côté d'extrémité de base du trou traversant 5 est de préférence éloignée de la surface 3a du disque de vanne vers le côté bout d'une distance particulière d2. Lorsque la distance particu- 5 fière susmentionnée d2 doit être formée, une distance d'environ 2 mm à 15 mm, comme dans le cas de la distance susmentionnée dl convient. La forme de l'ouverture du trou traversant à former dans la partie tubulaire (la forme du 10 trou traversant apparaissant dans la vue en plan du trou traversant le long de l'axe central du trou traversant) n'est pas particulièrement limitée. Etant donné que la formation du trou et le calcul de la vitesse d'écoulement sont aisés, 15 et qu'un tourbillon non souhaité dans l'écoule-ment peut être éliminé, une forme circulaire telle que représentée sur la figure 2(a), une ellipse plus longue dans direction axiale de la partie tubulaire telle que représentée sur la 20 figure 2(b), une ellipse plus longue dans la direction circonférentielle externe de la partie tubulaire telle que représentée sur la figure 2 (c) , un carré tel que représenté sur la figure 2(d), et analogues sont préférés. Lorsque la 25 partie tubulaire est un cylindre circulaire, la forme réelle de l'ouverture du trou traversant est la ligne d'intersection. Bien que la taille (diamètre interne) et le nombre de trous traversants à former dans la 30 partie tubulaire ne soient pas particulièrement limités, ils sont de préférence conçus pour avoir une superficie d'ouverture totale suffi-sante, de sorte que le trou traversant ne gênera pas l'écoulement lorsque le disque de vanne se 35 trouvera dans la position ouverte. Par exemple, 19 2896565 lorsque le diamètre interne du trou de vanne est de 70 mm, et la partie tubulaire de forme cylindrique à insérer dans le trou a un trou traversant avec une forme d'ouverture circu- 5 laire, le diamètreinterne est de préférence d'environ 25 mm à 50 mm, particulièrement d'environ 30 mm à 35 mm. Ces plages sont de simples exemples, et des valeurs optimales peuvent être choisies à l'extérieur des plages susmention- 10 nées, en fonction de la pression du fluide à commander. Tel qu'indiqué dans l'explication de l'effet mentionné ci-dessus, lorsque la vanne est une vanne en L représentée sur la figure 3, l'axe 15 central d'un trou 1 de vanne et l'axe central d'un passage 6 de fluide sur l'autre côté sont approximativement orthogonaux l'un par rapport à l'autre (c'est-à-dire qu'ils se croisent selon un angle de près de 90 ) , et forment en général 20 un angle de 90 . Dans ce cas, il est préférable que le nombre de trous traversants dans la partie tubulaire soit de un, que le trou traversant soit en face du côté surface de paroi interne où le passage de fluide est ouvert, et que l'axe 25 central du trou traversant soit parallèle à l'axe central du passage de fluide, moyennant quoi le fluide est introduit sans à-coup vers le passage de fluide sur l'autre côté par l'action du trou traversant. 30 La structure de vanne de la présente invention est applicable non seulement à un produit indépendant d'un dispositif de vanne mais peut être directement formé dans une partie avec laquelle l'écoulement d'un fluide est 35 commandé. 20 2896565 Le dispositif de vanne de la présente invention est maintenant expliqué. Le dispositif de vanne est produit au moyen de la structure de vanne de la présente inven-5 tion. La composition d'autres parties du dispositif de vanne peut être la même que dans les dispositifs de vanne classiquement connus. Tel que représenté sur la figure 1, un arbre d'actionnement S est de préférence inséré dans 10 le boîtier de vanne depuis l'extérieur pour actionner le mouvement d'ouverture-de fermeture du disque de vanne depuis l'extérieur du boîtier de vanne, et le bout de l'arbre est de préférence raccordé à la face arrière du disque 3 15 de vanne. Le dispositif de vanne peut avoir diverses formes telles qu'une vanne en L (vanne d'équerre) et analogues, à partir de la relation de position entre les deux orifices (le trou de 20 vanne et l'autre passage) ouvert dans le boîtier de vanne. Dans le cas d'une vanne en L telle que mentionnée ci-dessus, un fluide peut être introduit sans à-coup vers le passage de fluide sur 25 l'autre côté par l'action du trou traversant formé dans la structure de vanne de la présente invention. La figure 4 est une vue en coupe représentant de manière simplifiée une vanne à soufflet, 30 qui est un exemple préféré du dispositif de vanne. Le dispositif de vanne est une vanne en L, dans laquelle deux orifices ouverts dans le boîtier de vanne sont sensiblement orthogonaux l'un par rapport à l'autre. 21 2896565 Comme structure de vanne, on utilise la structure de vanne de la présente invention et la partie tubulaire 4 formée dans le disque 3 de vanne entre dans le trou 1 de vanne. La campo- 5 sition de la vanne à soufflet elle-même autre que la structure de vanne est la même que le mécanisme classique représenté sur la figure 6. Pour être précis, un arbre S, comme mécanisme pour un mouvement de course alternatif du disque 10 3 de vanne est raccordé à une face arrière 3b du disque de vanne, et l'arbre est raccordé à un mécanisme alternatif (un vérin pneumatique, etc.) disposé à l'extérieur du boîtier de vanne (figure 4). Un soufflet 7 est formé sur la face 15 arrière 3b du disque 3 de vanne pour isoler de manière étanche à l'air et étanche à un fluide un espace V3 sur le côté mécanisme alternatif d'un boîtier V1 de vanne, et recouvre la zone entourant l'arbre S. Une extrémité du soufflet 7 20 est raccordée à la face arrière 3b du disque 3 de vanne et l'autre face d'extrémité est liée à une surface de paroi interne du boîtier de vanne. En conséquence, le soufflet 7 isole le boîtier V1 de vanne de l'espace V3 sur le côté 25 mécanisme alternatif, tandis qu'il s'étire à la suite du mouvement alternatif du disque 3 de vanne avec une très haute aptitude à l'étanchéité. Le matériau (acier inoxydable et analogues) 30 et la taille des vannes à soufflet classiques peuvent ici être utilisés pour le soufflet. Comme soufflet destiné à manipuler un fluide ou un vide haute pression, on utilise de préférence un soufflet métallique obtenu à un pas 22 2896565 ultra fin grâce au procédé de production suivant. Un procédé de production d'un tube formant soufflet métallique, qui comprend les étapes 5 consistant à préparer un tube de base formant soufflet métallique dans lequel les formes transversales d'une crête et d'un creux dans une paroi de tube en forme de soufflet sont en forme de U, compresser ledit tube de base dans la 10 direction longitudinale pour amener les crêtes et creux adjacents de la paroi de tube en forme de soufflet en contact étroit les uns avec les autres, former en outre par pression le tube jusqu'à ce que l'espace intérieur de chaque 15 creux et l'écartement entre les crêtes adjacentes disparaissent sensiblement par pressage, puis étirage, dans la direction longitudinale du tube, du tube de base après le formage par pression jusqu'à ce qu'un écartement crête à 20 crête des crêtes adjacentes atteigne une dis-tance prédéterminée. Le mécanisme permettant d'offrir un mouvement alternatif du disque de vanne n'est pas limité. Par exemple, dans l'exemple représenté 25 sur la figure 4, un arbre (tige) S destiné à animer d'un mouvement alternatif le disque de vanne entre dans le boîtier de vanne depuis l'extérieur du logement h. L'autre extrémité de l'arbre S peut être manuel ou automatique et 30 peut être raccordé à tout mécanisme quelconque à condition que l'arbre puisse être animé d'un mouvement alternatif. Comme mécanisme alternatif manuel, par exem- ple, on peut utiliser un mécanisme à genouillère 35 utilisant un embiellage, un mécanisme à vis qui 23 2896565 offre un mouvement alternatif dans la direction axiale par simple vissage d'un disque de vanne et analogues. Comme mécanisme alternatif utilisant une puissance mécanique, on peut utiliser 5 un arbre mobile cylindrique pouvant être action-né par des actionneurs hydrauliques pneumatiques ou à huile, un solénoïde électromagnétique et analogues. Le matériau, la taille, la forme des détails 10 nécessaires à l'ouverture/la fermeture, la composition de la configuration et analogues des parties classiquement connues telles qu'un logement qui constitue un boîtier de vanne, un appareil d'entraînement (pour un appareil à vis 15 manuel, un cylindre automatique, etc.) pour un mouvement alternatif d'un disque de vanne, un joint torique de chaque partie et sa structure de montage, une partie de couplage de tuyau avec un agencement de tuyaux externes, une précision 20 quand au soufflet dans le cas d'une vanne à soufflet et analogues, peuvent être connus grâce aux dispositifs de vanne classiques et aux dispositifs de vannes à soufflet classiques. L'utilisation de la structure de vanne et du 25 dispositif de vanne n'est pas particulièrement limitée, et peut être d'un usage général pour commander l'écoulement d'un fluide tel qu'un gaz (air, divers gaz), un liquide (huile, eau, aliment, médicament, mélange, composé) et analo- 30 gues, en plus de la manipulation d'un fluide spécifique haute pression sous vide poussé. Tel qu'examiné dans l'explication de la technique antérieure, une tuyauterie pour l'échappement d'un four à diffusion utilisé pour un 35 processus de production de semi-conducteur et 24 2896565 analogues est associée à un problème de dépôt de produits réactionnels sur la surface du siège de vanne et la surface du disque de vanne. Grâce à l'utilisation de la vanne comme appareil de 5 vanne de commande de cette tuyauterie, l'utilité du dispositif de vanne devient plus remarquable. Une vanne à soufflet en L ayant la structure de vanne de la présente invention a été réellement préparée. Sa coupe est repré- 10 sentée sur la figure 5. Sur la figure 5, un disque 3 de vanne, un siège 2 de vanne (intégré à un orifice d'entrée), et une partie tubulaire 4 seule sont hachurés pour clarifier la zone correspondant à 15 chaque partie. Une partie intermédiaire du soufflet est omise du dessin de la figure 5. L'orifice d'entrée et l'orifice de sortie s'ouvrent dans la paroi interne d'un boîtier V1 de vanne de telle manière que leurs axes centraux 20 se croisent selon un angle de 90 . Le diamètre interne du trou de vanne est de 70 mm, et la course du disque de vanne est de 36 mm. La partie tubulaire est un cylindre circulaire en acier inoxydable, ayant une épaisseur 25 de 2 mm, un diamètre externe de 68,5 mm, et une longueur totale de 44,5 mm depuis la surface du disque de vanne. La partie tubulaire a été liée au disque de vanne (matériau SUS304) par soudage au tungstène sous gaz inerte (TIG). 30 Le trou traversant formé dans la partie tubulaire avait une ouverture de forme circulaire (lorsque observée le long de l'axe central) avec un diamètre interne de 32 mm, qui faisant face à un orifice de sortie (côté 35 supérieur du dessin). 25 2896565 La distance dl entre le trou traversant et la surface de siège de vanne représentée sur la figure 3 était de 7 mm, et la distance d2 entre le trou traversant et la surface du disque de 5 vanne représentée sur la figure 3 était de 3,5 mm. (évaluation) Le dispositif de vanne (vanne à soufflet en L) de la présente invention ayant la composition mentionnée ci-dessus a été inséré dans une 10 tuyauterie et utilisé comme vanne de commande d'un gaz d'échappement depuis un four à diffusion. Des tranches à semi-conducteurs ont été produites de manière répétée, et le niveau de dépôt des substances contenues sur la surface du 15 siège de vanne a été observé. A titre de comparaison, on a effectué une observation similaire au moyen d'une vanne à soufflet en L ayant une structure de vanne classique telle que représentée sur la figure 6. 20 Dans la production utilisant une vanne à soufflet en L classique, le nombre de particules dans le vide, tel que mesuré en amont (côté four à diffusion) de la vanne a augmenté lorsque le nombre de traitements de tranche a dépassé 30 25 lots. Par contraste, dans la production utilisant la vanne à soufflet en L de la présente inven- tion, le nombre de particules dans le vide n'a pas changé même lorsque le nombre de traitements 30 de tranche a dépassé 100 lots, ce qui indique que le vide dans le four à diffusion a été main- tenu dans un état propre préféré. On considère que cela peut être attribué au dépôt supprimé du produit réactionnel sur la surface d'ouverture- de fermeture de la structure de vanne de la présente invention. De plus, on a également découvert que des dispositifs de vanne classiques requièrent un entretien pour compenser les performances d'arrêt dégradées en production normale de tranches à semi-conducteurs, en désassemblant les dispositifs presque chaque mois, alors que le dis-positif de vanne de la présente invention permet de se passer de cet entretien pendant pas moins de 6 mois. Selon la structure de vanne de la présente invention, le dépôt de la substance contenue sur la surface du disque de vanne peut être supprimé même lors d'une utilisation pour commander un fluide spécial (qui facilite un dépôt des substances qui y sont contenues), tel qu'une tuyauterie d'échappement d'un four à diffusion et analogues. De surcroît, cette structure de vanne a permis de mettre à disposition un dispositif de vanne préféré présentant une charge réduite d 'entretien de la surface du disque de vanne et de la surface du siège de vanne. Cette demande est basée sur une demande de brevet N 2006-15598 déposée au Japon, dont le contenu est ici incorporé intégralement par le biais de cette référence. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation ci-dessus décrits et représentés, à partir desquels on pourra prévoir d 'autres modes et d'autres formes de réalisation, sans pour autant sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Structure de vanne comprenant au moins un trou (1) de vanne ouvert dans une surface (Wl) de paroi interne d'un boîtier (Vl, V10) de vanne, un siège (2) de vanne entourant l'ouverture, et un disque (3) de vanne qui vient en contact étroit avec le siège (2) de vanne ou se dégage d'avec celui-ci, pour ouvrir-fermer ledit trou (1) de vanne, dans laquelle la surface du disque (3) de vanne, qui est un plan sur le côté de la surface entière du disque (3) de vanne à mettre en contact étroit avec le siège (2) de vanne, a une partie tubulaire faisant saillie (4) capable de s'emboîter par coulissement à l'intérieur du trou (1) de vanne, lorsque le disque (3) de vanne est dans la position fermée, la partie tubulaire entière (4) est à l'intérieur du trou (1) de vanne, un jeu dans l'emboîtement entre la partie tubulaire (4) et le trou (1) de vanne est capable d'arrêter sensiblement l'écoulement d'un fluide (Al) passant à travers le trou (1) de vanne, la partie tubulaire (4) ayant une ouverture dans une face (4a) d'extrémité de bout, la partie tubulaire (4) ayant un trou traversant (5) dans la surface circonférentielle de son corps, et le trou traversant (5) étant formé au niveau d'une position telle qu'une partie ou l'ensemble du trou traversant (5) entre dans le boîtier (Vl, V10) de vanne lorsque le disque (3) de vanne est dans la position ouverte, et lorsque le disque (3) de vanne est déplacé de la position fermée à la position ouverte, letrou traversant (5) formé dans la partie tubulaire (4) entre dans le boîtier (Vl, V10) de vanne depuis l'intérieur du trou (1) de vanne, ce qui permet de ce fait de faire communiquer le trou (1) de vanne et le boîtier (Vl, V10) de vanne par l'intermédiaire de l'intérieur de la partie tubulaire (4). 2. Structure de vanne selon la revendication 1, dans laquelle la longueur entière de la partie tubulaire (4) est déterminée de façon à placer le bout de la partie tubulaire (4) à l'intérieur du trou (1) de vanne même lorsque le disque (3) de vanne est dans la position ouverte. 3. Structure de vanne selon la revendication 1, dans laquelle la position et la taille du trou traversant (5) sont déterminées de façon à placer le trou traversant entier (5) à l'intérieur du boîtier (Vl, V10) de vanne lorsque le disque (3) de vanne est dans la position ouverte. 4. Structure de vanne selon la revendication 1, dans laquelle le trou (1) de vanne a une forme transversale circulaire, et la partie tubulaire (4) a une forme cylindrique. 5. Structure de vanne selon la revendication 1, comprenant en outre, outre le trou (1) de vanne, un passage (6) de fluide, qui communique avec l'extérieur, dans la surface (Wl) de paroi interne du boîtier (Vl, VIO) de vanne, l'axe central du trou (1) de vanne étant sensiblement orthogonal par rapport au passage (6) de fluide, le nombre du trous traversants (5) à former 35 dans la partie tubulaire (4) étant de un, etle trou traversant (5) faisant face à l'ouverture du passage (6) de fluide et l'axe central du trou étant parallèle à celui du passage (6) de fluide. 6. Dispositif de vanne comprenant la structure de vanne selon l'une quelconque des revendications 1 à 5. 7. Dispositif de vanne selon la revendication 6, comprenant en outre un arbre d'action- nement (S) destiné à ouvrir-fermer le disque (3) de vanne dans la structure de vanne depuis l'extérieur du boîtier (Vl, V10) de vanne, l'arbre (S) étant inséré depuis l'extérieur dans boîtier (Vl, V10) de vanne, et le bout de l'arbre (S) étant raccordé au disque (3) de vanne. 8. Dispositif de vanne selon la revendication 6, qui est une vanne à soufflet dans laquelle la circonférence externe du corps de l'arbre d'actionnement (S) est recouverte d'un soufflet. 9. Dispositif de vanne selon la revendication 6, qui est une vanne en L, comprenant en outre, outre le trou (1) de vanne, une ouverture de passage (6) de fluide, qui communique avec l'extérieur, dans la surface (3a) de paroi interne du boîtier (Vl, V10) de vanne, dans lequel l'axe central du trou (1) de vanne est sensiblement orthogonal par rapport à celui du passage (6) de fluide. 10. Dispositif de vanne selon la revendication 9, dans lequel l'axe central du trou (1) de vanne est sensiblement orthogonal par rapport à celui du passage (6) de fluide, 30 2896565 le nombre de trous traversants (5) à former dans la partie tubulaire (4) est de un, et le trou traversant (5) fait face à l'ouverture de passage (6) de fluide et l'axe central 5 du trou est sensiblement parallèle à celui du passage (6) de fluide.