Brevet FR2895169A1 — publié le 20070622

OPTIMISATION DE LA FREQUENCE D'EXCITATION D'UN RESONATEUR L'invention concerne 1'alimentation de resonateurs par des tensions superieures a 100 V et des frequences superieures a 1 MHz et en particulier 1'alimentation de resonateurs utilises dans des generateurs de plasma. Pour une application a un allumage automobile a generation de plasma, des resonateurs dont la frequence de resonance est superieure a 1 MHz sont disposes au niveau de la bougie et sont typiquement alimentes avec des tensions superieures a 100 V et soumis a une intensite superieure a 10A. Cette application necessite 1'utilisation de resonateurs radio-frequence presentant un facteur de qualite eleve et un generateur haute tension dont la frequence de fonctionnement est tres proche de la frequence de resonance du resonateur. Plus la difference entre la frequence de resonance du resonateur et la frequence de fonctionnement du generateur •est reduite, plus le facteur d'amplification du resonateur (rapport entre sa tension de sortie et sa tension d'entree) est eleve. Plus le facteur de qualite du resonateur est eleve, plus la frequence de fonctionnement du generateur doit titre proche de sa frequence de resonance. De nombreux parametres ont une incidence sur la frequence de resonance : les dispersions de fabrication, la temperature dans la chambre de combustion ou dans le circuit de refroidissement ou les derives de vieillissement des composants du resonateur. Ces parametres ont une incidence encore plus importante pour le cas particulier des bobines bougies. Ainsi, it est delicat de garantir un facteur d'amplification du resonateur. L'invention vise a resoudre cet inconvenient. L'invention propose ainsi un dispositif d'alimentation d'un generateur de plasma radiofrequence, comprenant : - une interface de reception d'une requete de determination d'une frequence de commande optimale ; une interface de sortie destinee a etre connectee a un resonateur de generation de plasma ; un module d'alimentation appliquant sur 1'interface de sortie une tension a une frequence de consigne, cette tension etant selectivement inapte a permettre la generation de plasma du resonateur lors de la reception d'une requete ou apte a permettre la generation de plasma du resonateur ; une interface de reception d'une mesure electrique de 1'alimentation du resonateur ; - un module de determination de la frequence de commande optimale, fournissant successivement differentes frequences de consigne au module d'alimentation lors de la reception d'une requete, et determinant une frequence de commande optimale en fonction de mesures electriques revues. D'autres caracteristiques et avantages de 1'invention ressortiront clairement de la description qui en est faite ci-apres, a titre indicatif et nullement limitatif, en reference aux dessins annexes, dans lesquels : - la figure 1 illustre schematiquement un dispositif de generation de plasma selon 1'invention ; la figure 2 illustre un algorithme d'un exemple de mise en oeuvre de 1'invention ; la figure 3 illustre un mode de realisation d'un dispositif de generation de plasma selon 1'invention ; -la figure 4 illustre un premier exemple de signaux de commande applicables sur 1'interrupteur de la figure 3 ; - la figure 5 illustre un second exemple de signal de commande applicable sur 1'interrupteur de la figure 3 ; - la figure 6 illustre un premier exemple de circuit de mesure d'un parametre electrique du resonateur de la figure 3 ; - la figure 7 illustre un second exemple de 15 circuit de mesure d'un parametre electrique du resonateur de la figure 3. L'invention propose d'alimenter un generateur de plasma radiofrequence de facon distincte durant une phase de fonctionnement du generateur et durant une phase 20 d'optimisation de la frequence d'alimentation de ce generateur. Lorsque la determination d'une frequence de commande optimale est requise, un signal d'amplitude ou de forme specifique est appliquee aux bornes du resonateur afin de ne pas aboutir a la generation d'un 25 plasma. Une tension dont on modifie la frequence est appliquee sur le resonateur, une mesure electrique de 1'alimentation du resonateur etant effectuee pour chaque frequence appliquee. On determine alors la frequence de commande optimale en fonction des mesures electriques 30 effectuees. Les mesures electriques etant effectuees sans que le resonateur ne genere de plasma, ces mesures subissent moins de perturbations et necessitent un moindre dimensionnement des composants de mesure. On peut ainsi realiser un asservissement en boucle fermee de la frequence d'alimentation du resonateur particulierement precis. La frequence de commande est ainsi maintenue tres proche de la frequence de resonance du resonateur, meme lorsque cette frequence de resonance tend a varier. La figure 1 illustre un dispositif de generation de plasma 1. Ce dispositif 1 est muni d'un resonateur serie 3 de generation de plasma. Le resonateur 3 comprend une resistance Rs en serie avec une inductance Ls, et une resistance Rsp en parallele avec une capacite Cs. Des electrodes d'allumage 4 et 5 sont connectees aux bornes de la capacite Csp. Le dispositif 1 est egalement muni d'un dispositif d'alimentation. Ce dispositif d'alimentation comprend notamment un module d'alimentation 2 appliquant une tension de sortie U sur une interface de sortie a laquelle est connectee le resonateur serie 3. Le module 2 applique sur 1'interface de sortie une tension a une frequence de consigne. Un module de commande 7 fournit la frequence de consigne au module d'alimentation 2. Afin de determiner une frequence de commande optimale pour la tension U, le module de commande 7 recoit une requete de determination d'une frequence de commande optimale sur une interface non representee. La frequence de commande optimale est une frequence de commande se rapprochant le plus possible de la frequence de resonance du resonateur 3. Lors de la reception d'une telle requete, le module 2 applique sur 1'interface de sortie une tension qui ne permet pas au resonateur 3 de generer un plasma. Lors de la reception d'une telle requete, le module 7 fournit egalement successivement differentes frequences de consigne au module d'alimentation 2. On realise une mesure electrique du comportement du resonateur 3, par exemple en utilisant le voltmetre 6 mesurant la tension Vm. Pour chaque frequence de consigne fournie, le module 7 releve une mesure electrique (par 1'intermediaire d'une interface de reception non illustree) et determine alors une frequence de commande optimale en fonction de ces mesures electriques. Les mesures electriques permettent par exemple de determiner une frequence de consigne la plus proche de la frequence de resonance du resonateur 3, cette frequence de consigne etant alors utilisee comme frequence de commande optimale. La frequence de commande optimale est alors memorisee, puis utilisee comme frequence de consigne pour le module d'alimentation 2, lors d'une phase de fonctionnement du dispositif 1 durant laquelle un plasma doit titre genere entre les electrodes 4 et 5. Le dispositif de generation de plasma 1 peut comprendre un resonateur de generation de plasma adapte pour realiser un allumage commande de moteur a combustion, adapte pour realiser un allumage dans un filtre a particules ou adapte pour realiser un allumage de decontamination dans un systeme de climatisation. La figure 2 illustre un exemple d'algorithme de determination d'une frequence de commande optimale. Lors d'une etape 201, on verifie si une requete de test a ete revue. En 1'absence de requete de test, on passe a 1' etape 208 et un plasma est genere par le resonateur 3 en utilisant la frequence de commande optimale pour la tension appliquee au resonateur. Le module d'alimentation 2 applique alors sur le resonateur 3 une tension adequate pour la generation d'un plasma, de facon connue en soi. En presence d'une requete de test, une tension de test est appliquee par le module d'alimentation 2 sur le resonateur 3 durant 1'etape 202. Cette tension est appliquee a une frequence de consigne fc predeterminee, cette tension etant telle qu'un plasma ne puisse pas titre genere par le resonateur 3. Le frequence fc predeterminee est par exemple une frequence que l'on sait avec certitude titre inferieure ou superieure a la frequence optimale de commande. Dans 1'exemple illustre, la frequence fc predeterminee est inferieure a la frequence de resonance du resonateur. Lors de 1'etape 203, on realise une mesure electrique A de 1'alimentation du resonateur, cette mesure etant representative de 1'ecart entre la frequence de consigne et la frequence de resonance. Dans 1'exemple, on suppose que la mesure electrique croit a mesure que 1'ecart entre la frequence de consigne et la frequence de resonance diminue. Des exemples de mesures electriques seront detailles ulterieurement. Lors de 1'etape 204, la mesure A est comparee a une reference Aref, dont la valeur initiale est predeterminee. Si la mesure A depasse la reference Aref, la valeur fc est augmentee et la reference Aref est mise a jour avec la mesure A lors de 1'etape 205. Les etapes 202 a 204 sont alors repetees avec les nouvelles valeurs de fc et de Aref. Lorsqu'on a determine a 1'etape 204 que la mesure A est inferieure a la reference Aref, on determine que la frequence optimale de commande etait la precedente frequence de consigne. Lors de 1'etape 206, on met a jour la frequence de consigne avec sa valeur precedente. Lors de 1'etape 207, on fixe la frequence optimale de commande Fopt a cette valeur de la frequence de consigne. La frequence Fopt peut alors titre utilisee pour la generation de plasma a 1'etape 208. La frequence de commande optimale peut egalement titre determinee en extrapolant une courbe caracteristique d'un parametre electrique du resonateur en fonction de la frequence d'excitation, ce parametre etant maximal pour la frequence de resonance. La courbe est extrapolee sur la base de plusieurs mesures de 1'alimentation du resonateur. Ainsi, si 1'on veut approximer un parametre electrique du resonateur par un polynome du second degre, on effectue trois mesures electriques Al, A2 et A3 de ce parametre pour 3 frequences de consigne respectives differentes f1, f2 et f3. I1 suffit alors de resoudre le systeme lineaire suivant pour deduire les valeurs de a, b et c : A1=a*f12+b*fl+c A2=a*f22+b*f2+c A3=a*f32+b*f3+c La frequence de resonance est alors obtenu pour le maximum de la courbe, c'est-a-dire pour la valeur Fres=-25 b/2a. La figure 3 represente un mode de realisation d'un dispositif de generation de plasma selon 1'invention. Le module 7 fournit une frequence de consigne a un generateur de signal de commande 8. Ce generateur 8 30 applique une tension de commande V1 a la frequence de consigne fc sur la grille d'un transistor MOSFET de puissance 9. Le transistor 9 fait office d'interrupteur commande par ce signal de commande. Le transistor 9 permet 1'application de la tension Va sur 1'interface de sortie connectee au resonateur. Comme decrit dans la demande de brevet EP-A- 1 515 594, un circuit resonant parallele 10 est connecte entre une source de tension intermediaire V2 et le drain du transistor 9. Ce circuit 10 comprend une inductance Lp et une capacite Cp. La figure 4 illustre un exemple de signal de commande applique par le generateur 8 sur la grille du transistor 9. Les traits continus representent le signal de commande lors de la reception d'une requete de determination d'une frequence de commande optimale, les traits discontinus representant le signal de commande lors d'une commande de generation de plasma. Afin d'2viter de generer un plasma lors de 1'optimisation, le rapport cyclique du signal de commande est reduit de facon adequate par rapport a une commande de generation de plasma. Ainsi, 1'inductance Ls de la figure 3 n'est pas chargee pendant une duree suffisante pour permettre au resonateur 3 de generer un plasma. Les frequences de consigne utilisees pour le signal de commande durant 1'optimisation sont alors de 1'ordre de grandeur de la frequence de resonance du resonateur 3. Un tel signal de commande peut avantageusement titre utilise sans reduire la tension V2, afin de ne pas augmenter la complexite du dispositif de generation de plasma 1. La figure 5 illustre un autre exemple de signal de commande applique par le generateur 8 sur la grille du transistor 9. Le diagramme superieur correspond a un signal de commande de generation de plasma, le diagramme inferieur correspondant au signal de commande durant une optimisation. Lors de la generation d'un plasma, le signal de commande est un train d'impulsions regulier, dont la frequence est de 1'ordre de grandeur de la frequence de resonance du resonateur 3. Afin de ne pas generer de plasma durant 1'optimisation, le train d'impulsions du signal de commande d'optimisation ne comprend qu'une partie des impulsions du signal de commande de generation de plasma correspondant. Ainsi, Bans 1'exemple, deux impulsions successives sur quatre ont ete retirees du train d'impulsions. Meme si la frequence de commutation du transistor 9 n'est alors plus de 1'ordre de grandeur de la frequence de resonance du resonateur 3, des harmoniques de faible amplitude des impulsions appliquees sur le resonateur permettent d'exciter le resonateur 3 pour determiner la frequence de commande optimale a utiliser lors de la generation de plasma. On peut egalement envisager d'empecher la generation de plasma lors de 1'optimisation en utilisant un niveau de tension intermediaire V2 reduit, par rapport au niveau de la tension V2 utilise lors de la generation de plasma. Les regles suivantes peuvent notamment titre utilisees pour determiner des pas de frequence pour la frequence de consigne durant 1'optimisation. Sur la base du schema de la figure 3, on determine 30 la pulsation propre du resonateur 3 : 20 Rs + Rsp Ls * Cs * Rsp 10 On pose : 1 Rsp 1 Ls Cs + Rs 2 RsP+ Rs RsP Cs V Ls ~ ) A la resonance, o=wo et Vm (coo) =VMAx. On peut alors definir le rapport 10 WO= 15 V max Rsp 1 * 25 U Rsp + Rs 2 Avec le dimensionnement du circuit utilise, Rsp>> 30 Rs. Par consequent, V max U Pour une pulsation distincte de la pulsation de resonance, on obtient le rapport suivant : Rsp * 1 Rsp + Rs 0.1z 04 1+(4~ù2) + z 4 1 35 40 2 Vm U =A Ce coefficient A peut etre a la discretion du fabricant du dispositif de generation de plasma. Ce coefficient A permet de definir une plage dans laquelle doit etre incluse la pulsation de resonance de chaque 5 resonateur de generation de plasma. Par consequent, en connaissant au prealable les valeurs de A et U, on peut determiner la precision minimale en pulsation necessaire pour qu'un systeme asservi utilise une pulsation dans cette plage. 10 Soient wl et w2 tels que Vm(coi)=Vm(w2)=A*U Soit Aw-d w1_w2 l, pour que la pulsation generee par le systeme asservi appartienne a ladite plage, le pas d'asservissement doit etre au maximum de Aw/2. Ainsi, pour une precision maximale de 1'asservissement de la 15 pulsation, on utilisera un pas d'asservissement de Aw/N avec N un entier prenant la plus grande valeur possible. Pour atteindre la pulsation optimale d'excitation du resonateur de generation de plasma, le systeme asservi modifiera la pulsation par increments de Ow/N. La mesure 20 de Vm permet de determiner la pulsation w pour laquelle : w=wref +i*Mw/N,wo, avec 1 un entier signe et wref une pulsation de reference utilisee au depart de 1'asservissement en pulsation. 25 On peut etudier la reponse de la tension Vm a un train de creneaux periodiques de la tension U, dont la pulsation est calee sur la pulsation de resonance O. En posant n un nombre entier, on exprime la tension U(t) de la fawn suivante : 30 U(t)=O si 2n*lt/wo Les valeurs de ces admittances etant maximales lorsque la frequence d'excitation du resonateur est egale a sa frequence de resonance, ces parametres electriques permettent de determiner la frequence optimale de 5 commande. Les figures 6 et 7 illustrent des exemples de moyens pour effectuer une mesure electrique de 1'alimentation du resonateur. Sur la figure 6, un pont diviseur de tension est 10 forme en respectant la relation R2*C2=Rl*Cl, les capacites Cl et C2 etant des capacites de stockage. La mesure de tension aux bornes de R2 permet de deduire 1'energie consommee par un train d'impulsions. Sur la figure 7, on mesure la tension aux bornes 15 d'une resistance R3, afin de mesurer le courant traversant les capacites Cb lors de 1'ouverture du transistor 9. Une variante permet egalement de detecter un 20 dysfonctionnement du resonateur, dans une application a un moteur a combustion. L'invention propose ainsi un dispositif de detection de dysfonctionnement base sur la determination d'une frequence de reference en fonctionnement normal. Ce dispositif de detection 25 comprend : - une interface de reception de signaux de mesures de parametres de fonctionnement du moteur a combustion ; une interface de sortie d'un signal de reference ; 30 - un module memoire memorisant des relations entre des signaux de mesure et la frequence d'un signal de reference en fonctionnement normal du moteur a combustion ; - un module determinant la frequence d'un signal de reference en fonction de signaux de mesures recus sur 1'interface de reception et des relations memorisees dans le module memoire. Un module de comparaison compare la frequence de reference a la frequence de commande optimale determinee par le dispositif d'alimentation. Lorsque 1'ecart entre ces frequences depasse un seuil predetermine, le dispositif de detection de dysfonctionnement du resonateur genere un signal d'erreur. REVENDICATIONS 1. Dispositif d'alimentation d'un generateur de plasma radiofrequence, caracterise en ce 5 qu'il comprend : - une interface de reception d'une requete de determination d'une frequence de commande optimale ; - une interface de sortie destinee a etre connectee a un resonateur de generation de plasma ; 10 - un module d'alimentation (2) appliquant sur 1'interface de sortie une tension a une frequence de consigne, cette tension etant selectivement inapte a permettre la generation de plasma du resonateur lors de la reception d'une requete ou apte a permettre la 15 generation de plasma du resonateur ; - une interface de reception d'une mesure electrique de 1'alimentation du resonateur - un module (7) de determination de la frequence de commande optimale, fournissant successivement 20 differentes frequences de consigne au module d'alimentation (2) lors de la reception d'une requete, et determinant une frequence de commande optimale en fonction de mesures electriques revues. 2 Dispositif selon la 25 revendication 1, clans lequel le module (7) de determination de la frequence de commande optimale determine une frequence de commande optimale sensiblement egale a la frequence de resonance du resonateur de generation de plasma. 30 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, clans lequel le module d'alimentation (2) comprend-un generateur d'un signal de commande a la frequence de consigne ; - un interrupteur (9) commande par le signal de commande et connecte a 1'interface de sortie. 4. Dispositif selon la revendication 3, dans lequel, lors de la reception d'une requete de determination d'une frequence de commande optimale, la frequence du signal de consigne est de 1'ordre de grandeur de la frequence de resonance du resonateur destine a etre connecte a 1'interface de sortie et le generateur de signal de commande reduit le rapport cyclique du signal de commande. 5. Dispositif selon la revendication 3 ou 4, dans lequel, lors de la reception d'une requete de determination d'une frequence de commande optimale, le signal de commande genere comprenant une partie des impulsions d'un train d'impulsion regulier ayant une frequence de 1'ordre de grandeur de la frequence de resonance du resonateur destine a etre connecte a 1'interface de sortie. 6. Dispositif selon 1'une quelconque des revendications precedentes, dans lequel le niveau de tension crete applique sur 1'interface de sortie est reduit lors de la reception d'une requ6te de determination d'une frequence de commande optimale. 7. Dispositif selon 1'une quelconque des revendications precedentes, dans lequel le module (7) de determination de la frequence de commande optimale compare deux valeurs successives de mesures electriques revues, modifie la frequence de consigne dans un premier lens si la difference entre les valeurs successives presente un premier signe, determine que laprecedente frequence de consigne est la frequence de commande optimale si la difference entre les valeurs successives presente un second signe. 8. Dispositif de generation de plasma comprenant un dispositif d'alimentation selon 1'une quelconque des revendications precedentes et un resonateur (3) de generation de plasma connecte a 1'interface de sortie du dispositif d'alimentation. 9. Dispositif de generation de plasma selon la revendication 8, dans lequel le resonateur de generation de plasma est adapte pour realiser un allumage commande de moteur a combustion, adapte pour realiser un allumage dans un filtre a particules ou adapte pour realiser un allumage de decontamination dans un systeme de climatisation. 10. Dispositif de generation de plasma selon la revendication 8 ou 9, comprenant un module de mesure electrique de 1'alimentation du resonateur connecte a 1'interface de reception d'une mesure electrique. 11. Dispositif de generation de plasma selon la revendication 9, dans lequel le resonateur de generation de plasma est adapte pour realiser un allumage commande de moteur a combustion, et comprenant un dispositif de detection de dysfonctionnement presentant - une interface de reception de signaux de mesures de parametres de fonctionnement du moteur a combustion ; une interface de sortie d'un signal de 30 reference ; - un module memoire memorisant des relations entre des signaux de mesure et la frequence d'un signal dereference en fonctionnement normal du moteur a combustion ; - un module determinant la frequence d'un signal de reference en fonction de signaux de mesures recus sur 1'interface de reception et des relations memorisees dans le module memoire ; - un module de comparaison comparant la frequence de reference a la frequence de commande optimale determinee par le dispositif d'alimentation et generant un signal d'erreur lorsque 1'ecart entre ces frequences depasse un seuil predetermine.