Brevet FR2876487A1 — publié le 20060414

Contexte de l'invention La présente invention concerne des éléments d'affichage à commande de matrice active, dans chacun desquels un dispositif à semi-conducteurs comprenant plusieurs anodes devant être respectivement commandées sous la forme d'une matrice est formé sur la surface intérieure d'une enveloppe à vide. La présente invention concerne des tubes d'affichage fluorescents, des écrans électroluminescents (ELD) et des écrans à émission de champ (FED), permettant chacun d'atteindre une haute définition et une haute io intensité. Actuellement, des écrans à cristaux liquides, des écrans au plasma, des ELD, des tubes d'affichage fluorescents, des FRD et similaires sont utilisés dans la pratique en tant qu'écrans plats. Parmi ceux-ci, les tubes d'affichage fluorescents et les FED font partie des écrans du type luminescent. Ces écrans sont en cours de développement pour une utilisation dans les postes de télévision de la future génération, à la place des tubes à rayons cathodiques classiques, parce qu'ils permettent d'atteindre une haute résolution. En particulier, l'utilisation des écrans fluorescents à commande 20 de matrice active, qui permettent d'atteindre une grande luminosité ou intensité, était attendue dans des éléments d'affichage tête haute. Cependant, lorsqu'un tel écran est commandé en utilisant la matrice unique, le rapport cyclique devient faible alors que la résolution de l'écran augmente, ce qui résulte en une luminosité insuffisante. De plus, il existe un problème en ce qu'une augmentation du courant pour obtenir une luminosité suffisante entraîne une dégradation des éléments lumineux ou une dégradation des substances lumineuses (telles que des substances fluorescentes). Dans le tube d'affichage fluorescent, les électrons émis par 3o chacune des cathodes dans une enveloppe (logement) à vide, qui comporte au moins un côté transparent, frappent la substance fluorescente déposée sur une anode correspondante et provoquent une émission de lumière par celle-ci, de sorte qu'un motif souhaité est affiché. Parmi ces tubes d'affichage fluorescents, il existe un tube d'affichage fluorescent à matrice active qui comprend une surface d'affichage lumineuse obtenue par une puce semiconductrice montée sur un substrat isolant. Sur la puce semi-conductrice, une section d'affichage lumineuse, dans laquelle plusieurs anodes, revêtues chacune d'une substance fluorescente, sont agencées sous la forme d'une matrice, et un circuit de commande pour commander la luminescence de la section d'affichage lumineuse sont réalisés intégralement. Le circuit de commande constituant le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active est présenté, par exemple, dans la publication de brevet japonais n 56-24993. Dans ce document, une substance fluorescente est déposée sur les électrodes de source de transistors à effet de champ (FET) intégrés sur un substrat monocristallin pour former des points d'affichage. L'opération d'affichage est réalisée lorsque la substance fluorescente luit du fait de l'émission d'électrons par une électrode de cathode. La luminosité est commandée par le potentiel de l'électrode de grille ou de l'électrode de drain correspondante. De plus, la publication de brevet japonais n 6-71202 présente un circuit de commande de cristaux liquides comprenant en tant que circuit unitaire un circuit de transistors MOS du type à mât totémique. Ce circuit de transistors MOS est constitué de quatre transistors métaloxyde-semiconducteur (MOS) à canal N, qui convertissent deux signaux d'entrée, ayant une phase normale et une phase inversée, pour atteindre une grande vitesse et une faible consommation de puissance, en deux signaux de sortie, ayant une phase normale et une phase inversée, avec une grande capacité de commande de courant. De plus, des transistors CMOS, qui sont constitués chacun d'un transistor MOS à canal P et d'un transistor MOS à canal N, sont généralement utilisés en tant que configurations d'éléments d'affichage à commande de matrice active, en vue d'atteindre la grande vitesse et la faible consommation de puissance. De plus, la publication de brevet japonais mise à l'inspection publique n 2002-244588 concerne un dispositif d'affichage d'image dans un écran du type à maintien de luminosité comprenant des transistors de sélection de pixels, des transistors de commande de lo courant de pixels et des condensateurs de maintien de tension de signal. Dans l'écran, une ligne de balayage adjacente agissant en tant que ligne d'alimentation en tension élimine la surface occupée par les lignes d'alimentation en tension. Dans le dispositif d'affichage d'image, une diminution du rapport d'ouverture ou de la surface d'électrodes de pixels peut être réduite à un minimum afin d'obtenir une luminosité d'affichage suffisante. De plus, dans le dispositif d'affichage d'image présenté, le transistor de sélection de pixel a sa grille connectée à une ligne de balayage, sa source connectée à la ligne de signal et son drain connecté à une électrode d'un condensateur et à la grille du transistor de commande de courant de pixel. Le transistor de commande de courant de pixel a son drain connecté à l'électrode de pixel et sa source connectée à l'autre électrode du condensateur et à l'autre ligne de balayage. Dans le dispositif d'affichage fluorescent du type à matrice active, un côté d'affichage lumineux est réalisé par une puce semi-conductrice, sur laquelle une section d'affichage lumineuse comportant des électrodes d'anodes, sur chacune desquelles une substance fluorescente est déposée, agencée sous la forme d'une matrice et un circuit de commande qui commande la luminescence de la section d'affichage lumineuse sont formés intégralement. Par conséquent, le procédé de fabrication, tel que la photolithographie ou la gravure, dans la technique de fabrication de circuit intégré à semi-conducteurs peut être utilisé pour former facilement de fins conducteurs de câblage ou électrodes d'anodes sur une puce en silicium. C'est-à-dire que la densité de groupement de points, constitués chacun d'électrodes d'anodes, peut être augmentée. En déposant des substances fluorescentes sur les électrodes d'anodes, en utilisant la technique photolithographique et d'impression, une configuration de matrice de points de plus haute définition peut être réalisée. De plus, dans la section d'affichage lumineuse du tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active, une substance fluorescente est déposée sur chacune des anodes connectées au circuit de commande, qui est formé sur le film de silicium recouvrant un substrat de verre. L'anode, sur laquelle une substance fluorescente est déposée, est connectée au circuit de commande par l'intermédiaire du trou traversant formé dans le film isolant sur le film de silicium. La technique d'extension de l'anode en connectant le circuit de commande à l'anode par l'intermédiaire du trou traversant formé dans la couche isolante sur la surface supérieure du film de silicium de sorte que les pixels puissent être agencés avec un pas de 0,31 mm est présentée. (Par exemple, voir les publications de brevets japonais mises à l'inspection publique n 2002-8571 et n 2002-215098). De plus, la publication de brevet japonais mise à l'inspection publique n 11-329310 présente la technique d'égalisation de l'émission de lumière de la section d'affichage lumineuse. Dans cette technique, une électrode auxiliaire agissant en tant que grille plate entourant des électrodes d'anodes respectives est posée sur la surface formant électrodes d'anodes du substrat d'anodes et l'électrode auxiliaire est mise à la masse ou connectée à la source de tension positive. La publication de brevet japonais mise à l'inspection publique n 2004- 87404 présente la technique d'égalisation de l'émission de lumière de la section d'affichage lumineuse. Dans cette technique, un dispositif d'affichage fluorescent comprend une électrode de grille, disposée entre une électrode d'anode et une cathode en forme de filament, et une enveloppe à vide contenant l'électrode d'anode, la cathode en forme de filament et l'électrode et grille et comportant au moins un côté transparent. Une électrode auxiliaire est disposée entourant chacune des électrodes d'anodes sur la surface formant électrodes d'anodes du substrat d'anodes. L'électrode auxiliaire est mise à la masse ou connectée à la source de tension positive. Comme décrit ci-dessus, le dispositif d'affichage fluorescent à matrice active classique permet de réaliser un affichage statique parce qu'il utilise le substrat d'anodes, sur lequel la section d'affichage lumineuse comportant les anodes, revêtues d'une substance fluorescente, agencées sous la forme d'une matrice, et un circuit de contrôle pour contrôler l'émission de lumière de la section d'affichage lumineuse, sont formés intégralement. Pour cette raison, le dispositif classique présente un excellent effet en ce qu'il atteint une haute intensité de 3000 à 4000 cd/cm2 avec une tension d'anode de +15 volts et permet de réaliser une configuration de matrice de points de haute résolution du fait de la haute densité de pixels. Parce que ce tube d'affichage fluorescent classique peut réaliser un affichage de haute intensité et une haute densité de pixels, l'excellent effet de réalisation d'une configuration de matrice de points de haute résolution est entièrement utilisé. Pour cette raison, une certaine technique présente le tube d'affichage fluorescent à matrice active de plus haute intensité pour une utilisation dans un afficheur tête haute. C'est-à-dire que, lorsque la tension de polarisation de filament est négative et que la tension de grille et la tension d'anode sont respectivement de 24 volts, l'intensité du VFD est de 8400 cd/m2. Cependant, lorsque la tension de polarisation de filament est négative, la section de non affichage luit avec une luminosité de 300 cd/m2 parce qu'il y a une différence de potentiel entre la grille et l'anode et le filament même dans le mode de non affichage (par exemple, voir la publication de brevet japonais mise à l'inspection publique n 11-174989). Cependant, dans le cas de la commande de matrice active, il existe un problème en ce que le nombre de transistors et le nombre de conducteurs de câblage sont augmentés. Dans les tubes d'affichage fluorescents, FED ou ELD selon l'opération de commande de matrice active classique, une ligne de tension constante et une ligne d'alimentation en tension sont nécessaires en plus de la ligne de io balayage et de la ligne de signal. De plus, des transistors de commande de courant sont nécessaires en plus des transistors de sélection de pixels et des condensateurs de maintien de tension de signal. Par conséquent, dans le cas de la commande de matrice active, il existe un problème en ce que l'augmentation du nombre de transistors et du nombre de conducteurs de câblage entraîne une diminution de la surface d'électrodes de pixels ou du rapport d'ouverture. En particulier, la ligne de tension constante pour la circulation de courant nécessite une diminution suffisante de sa résistance et occupe de ce fait considérablement la surface de pixels. Par exemple, lorsque la taille des pixels est de 100 m x 300 m, la ligne de tension constante occupe un grand pourcentage (par exemple, 10 %) de la surface de pixels, alors que la largeur du câblage est de 10 m et la longueur du câblage est de 300 m. En conséquence, dans le cas de ELD organiques, il existe un problème en ce que le rapport d'ouverture diminue, ce qui assombrit l'affichage. De plus, dans le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active classique, la distance d'espacement des anodes dans la section d'affichage lumineuse a une valeur critique de 310 m. Une électrode auxiliaire entourant chaque anode est disposée pour éviter une émission inégale de lumière à la périphérie et une dégradation de la qualité de l'affichage. Cet agencement nécessite une distance d'espacement des anodes de 70!lm (qui est la somme de l'électrode auxiliaire de 32 gm et du pas entre l'électrode auxiliaire et l'anode). Ainsi, un côté du pixel d'affichage devient de 240 m. Le rapport d'occupation de la surface lumineuse par rapport à la surface d'affichage a une valeur critique de 59 %. Il existe un problème en ce que la taille des pixels et le rapport d'occupation de la surface lumineuse ont des limites et qu'un affichage fin devient difficile à réaliser. Afin de résoudre les problèmes mentionnés ci-dessus et de to miniaturiser les anodes dans le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active, le présent inventeur a travaillé sur la miniaturisation d'anodes, la réduction du pas des substances fluorescentes formées sur la surface d'anodes et sur l'égalisation de l'émission de lumière. Dans le cas du circuit MOSFET à canal N classique, la surface de la puce de circuit intégré devient grande du fait d'un plus grand nombre de lignes de source de puissance dans la puce de circuit intégré entière, deux lignes de source de puissance (comprenant une ligne de source de puissance basse tension et une ligne de source de puissance haute tension) nécessaires dans la partie de pixels d'affichage, et d'un plus grand nombre de transistors à tension de tenue élevée. Dans le cas du circuit CMOSFET classique, deux lignes de source de puissance pour la basse tension et la haute tension sont nécessaires et la fabrication de deux éléments de transistors (comprenant un transistor MOS à canal P et un transistor MOS à canal N) conduit à un plus grand nombre de photomasques. Ainsi, il existe un problème en ce que le coût de la tranche ne diminue pas. La configuration de circuit du pilote de matrice active, qui comprend des éléments de commande de matrice active, constitués de transistors MOS à canal N, va être décrite ci-dessous en faisant référence à la figure 5. Le pilote de matrice active 50 montre un circuit pilote pour un pixel. Le pilote de matrice active 50 consiste en le circuit de sélection de rangée de pixels d'affichage 51 et le circuit de contrôle logique 52, l'unité de maintien 53 et l'unité de circuit de commande 59, pour commander l'électrode d'anode disposée pour chaque pixel d'affichage, et le circuit de sortie de pilote 60 pour l'unité de pixel d'affichage 61, la ligne de signal d'adresse 55, la ligne de signal de données 56, la source de puissance 63 et le filament 62. Le MOSFET à appauvrissement 58 met la grille (dans l'étage de sortie final) à un niveau haut. Le MOSFET à appauvrissement 58 peut être remplacé par un élément à haute résistance. Le signal d'entrée est un signal de sélection d'adresse de rangée, un signal de contrôle logique ou un signal de données d'affichage. Le décodeur ne sélectionne qu'un seule ligne de signal d'adresse de rangée 55 par le signal d'adresse de rangée. Les données d'affichage sont appliquées à chaque colonne. L'unité de maintien 53 maintient des données pour les pixels respectifs agencés sous la forme d'une matrice conformément au signal d'adresse de rangée et au signal de données. Celles-ci correspondent aux données pour une rangée. Les signaux d'adresse de rangée sont incrémentés séquentiellement. Cette étape est répétée jusqu'à ce que des données soient écrites dans toutes les rangées. Une combinaison du circuit de sortie de pilote 58, 59 et du circuit de sortie de pilote2 60 de la section de pixel d'affichage 61 reçoit un produit logique des données maintenues et du signal de suppression et sort ainsi les données d'affichage. Le circuit de pilote est constitué d'un transistor MOS à canal N à 30 enrichissement 59 et d'un transistor MOS à canal N à appauvrissement 58. Le circuit de pilote de l'étage final est constitué d'un transistor MOS à canal N 60. Chacun des trois transistors MOS à canal N 58, 59 et 60 est constitué d'un transistor MOS à canal N à tension de tenue élevée. Le transistor MOS à canal N utilisé pour le circuit de pilote doit être mis à la masse ou ouvert, dans un mode d'affichage désactivé. Pour cette raison, la tension de la sortie du transistor MOS à canal N est modifiée entre la tension de masse (GND) et une tension élevée (VH). En plus du circuit de pilote de l'étage final, le circuit de pilote 59 nécessite un transistor MOS à tension de tenue élevée. En conséquence, le circuit constitué de transistors MOS à canal N présente des limites quant à la diminution de la surface de la partie de pixel. C'est-à-dire que le circuit consomme un grand volume de courant, nécessite une source de puissance haute tension en plus d'une source de puissance basse tension, nécessite deux sources de puissance pour chaque pixel et nécessite trois transistors à tension de tenue élevée. Afin de tenter de réduire le pas des points de substance fluorescente et d'égaliser l'émission de lumière, le présent inventeur a fabriqué un tube d'affichage fluorescent. C'est-à-dire que, dans le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active, le pas entre les parties lumineuses, dont une couche de substance fluorescence de ZnO:Zn émettant une couleur cyan est déposée sur chacun d'un grand nombre de pixels en forme de points constitués d'anodes, est fixé pour être de 310 gm. Une électrode auxiliaire d'une largeur de 32 gm est formée autour de chaque anode. Ainsi, l'espace entre des anodes est fixé à 70 gm, correspondant à la somme de la largeur de l'électrode auxiliaire et du pas des anodes. Un substrat de matrice active, sur lequel des pixels d'affichage carrés, de 240 gm de côté chacun, sont formés, est disposé et une grille est disposée au-dessus de l'anode. Un dissipateur thermique est monté sur la surface arrière du substrat d'anodes dans le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active. L'état d'affichage du produit fini a été vérifié en appliquant 21, 5 volts à la grille et en appliquant 60 volts à l'anode. En conséquence, 20000 cd/m2 ont été obtenus, mais la grille s'est déformée et est venue en contact avec le filament. Un tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active fiable n'a pu être obtenu. Afin d'obtenir un tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active fiable avec une haute intensité de 20000 cd/m2, il s'est avéré que la grille à mailles doit être retirée afin d'éviter la déformation thermique de celle-ci et que la grille plate doit être retirée afin d'améliorer le rapport d'occupation de la substance fluorescente. Cependant, l'élimination uniquement de la grille à mailles et de la grille plate peut résulter en l'apparition d'une absence de caractères, ce qui était un problème dans l'art classique. Il a été supposé et étudié qu'en agençant des filaments avec un petit pas, l'absence de caractères, par laquelle des pixels entre des 15 filaments ne luisent pas suffisamment, peut être améliorée. Les facteurs suivants diminuant l'absence de caractères ont été supposés apporter des solutions. (1) Des pixels, sur chacun desquels une substance fluorescente est déposée, disposés immédiatement au-dessous d'un filament et des pixels, sur lesquels une substance fluorescente est déposée, disposés au-dessous de l'espace entre des filaments luisaient uniformément. Dans ce cas, la distance entre un filament et une anode est, par exemple, de 1 mm. La distance entre des filaments est, par exemple, de 1,5 mm. Ainsi, la distance entre l'anode au milieu de l'espace entre des filaments suspendus et un filament est fixée pour être plus longue que la distance entre des filaments. En réduisant l'espacement entre des filaments, la composante de vitesse V des électrons thermiques émis radialement à partir d'un filament (la composante de vitesse parallèlement au plan des pixels des électrons thermiques émis radialement à partir d'un filament) n'est pas réduite de manière significative. Par conséquent, cette configuration peut réduire à un minimum l'effet d'une tranche ou de pixels, non commandés, adjacents à la tranche, qui est mise au même potentiel que les filaments. (2) De plus, l'anode au milieu de l'espace entre des filaments reçoit suffisamment d'électrons thermiques d'un filament. Même lorsque l'anode adjacente est dans un état sans lumière, suffisamment d'électrons sont délivrés. Ainsi, l'absence de caractères provoquée par un pixel, sur lequel une substance fluorescente disposée au-dessous de l'espace entre des filaments est déposée, peut être réduite, de sorte que la qualité de l'affichage est uniformisée. Résumé de l'invention La présente invention est réalisée sur la base de la connaissance mentionnée ci-dessus. Un objet de la présente invention consiste à proposer un dispositif d'affichage d'image qui puisse obtenir une luminosité d'affichage suffisante, avec une diminution du rapport d'ouverture et une diminution de la surface d'électrodes de pixels, réduite à un minimum, dans des dispositifs d'affichage à commande de matrice active tels qu'un tube d'affichage fluorescent, des ELD organiques ou des FED. De plus, la présente invention consiste à proposer un tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active à haute intensité comprenant un substrat d'anodes sur lequel une section d'affichage lumineuse agencée sous la forme d'une matrice et un circuit de pilote pour contrôler de manière sélective les électrodes d'anodes et pour contrôler l'émission de lumière de la section d'affichage lumineuse sont formés intégralement sur un substrat. La section d'affichage lumineuse est constituée de plusieurs anodes sur lesquelles une substance fluorescente est déposée. L'espacement des anodes est réduit. Le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active à haute intensité peut convenir pour des tubes d'affichage fluorescents à commande de matrice active, des tubes d'affichage fluorescents à commande de matrice active multicolores, des afficheurs tête haute, comprenant chacun une fine anode et la section d'affichage lumineuse avec une émission de lumière uniforme. La présente invention est réalisée pour résoudre les problèmes mentionnés ci-dessus. Un élément d'affichage à commande de matrice active, comprenant plusieurs pixels, plusieurs lignes de balayage et plusieurs lignes de signaux, comprend un pilote de pixels; le pilote de pixels comprenant un circuit logique constitué d'un circuit de sélection Io d'adresse de rangée et d'un circuit de contrôle logique; une unité de maintien disposée pour chaque pixel; un circuit ET pour effectuer un produit logique entre un signal maintenu dans l'unité de maintien et un signal inversé de suppression provenant d'une ligne de signal de données d'entrée; un circuit de pré-pilote constitué d'un transistor à effet de champ à canal P à enrichissement et d'un transistor à effet de champ à canal P à appauvrissement; et un circuit de pilote de sortie connecté au circuit de pré-pilote. De plus, selon la présente invention, le circuit de pré-pilote comprend un transistor à effet de champ à canal P à enrichissement et 20 un élément à haute résistance. De plus, selon un autre aspect de la présente invention, un élément d'affichage à commande de matrice active, comprenant plusieurs pixels, plusieurs lignes de balayage et plusieurs lignes de signaux, comprend un circuit logique constitué d'une adresse de rangée pour chaque pixel d'affichage et d'un circuit de contrôle logique; une unité de maintien et un circuit de pilote, pour commander une électrode d'anode disposée pour chaque pixel d'affichage; et un circuit de sortie de pilote dans une unité de pixel d'affichage. Un signal d'entrée est constitué d'un signal de sélection d'adresse, d'un signal de contrôle logique et de données d'affichage; et un décodeur sélectionne un signal d'adresse de rangée pour une seule rangée; et des données d'affichage sont appliquées pour chaque colonne; et des données d'affichage pour des pixels agencés sous la forme d'une matrice par un circuit ET, qui effectue un produit logique entre le signal d'adresse de rangée et la ligne de signal de données, correspondent à des données pour une rangée; et le signal d'adresse de rangée est incrémenté séquentiellement de manière répétée jusqu'à ce que des données soient écrites pour toutes les rangées. Le circuit ET, qui effectue un produit logique entre des données maintenues et un signal de suppression, délivre des données en tant que données d'affichage au circuit de pilote de l'étage final par l'intermédiaire du circuit de pilote. Selon la présente invention, parce que le circuit de pilote peut être miniaturisé, la taille d'un pixel sur lequel une substance fluorescente est déposée peut être miniaturisée. Parce que la section de mémoire et le circuit de pilote de sortie sont disposés sous les pixels, un fonctionnement erroné du circuit intégré du fait d'une lumière entrante ou de rayons d'électrons peut être évité. La miniaturisation de chaque pixel permet de diminuer l'espace entre les points. Selon le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active de haute précision, la qualité de l'affichage est améliorée. La luminosité (ou l'intensité) de plan accrue permet d'augmenter facilement la luminosité et le nombre de pixels de la section d'affichage projetée par un demi-miroir (ou un combineur). Des pixels, constitués chacun de deux anodes lumineuses de couleur, peuvent réaliser la haute intensité du tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active lumineux multicolore de haute précision. De plus, des pixels, constitués chacun de trois anodes lumineuses de couleur, peuvent réaliser la haute intensité du tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active lumineux en couleurs de haute précision. Brève description des dessins Ces objets, caractéristiques et avantages et d'autres de la présente invention deviendront plus évidents lors de la lecture de la description détaillée qui suit et des dessins, sur lesquels: la figure 1 est un schéma illustrant un circuit MOSFET à canal P selon la présente invention; la figure 2 est un schéma illustrant une configuration d'un seul pixel; la figure 3 est un schéma illustrant un circuit de commande 10 multiple selon la présente invention; la figure 4 est un schéma de circuit illustrant un système de tube d'affichage fluorescent selon la présente invention; et la figure 5 est un schéma illustrant un circuit MOSFET à canal N classique. Description des modes de réalisation Un pilote de matrice active comprenant de fines anodes réalisées par des transistors MOS à canal P selon un mode de réalisation de la présente invention va être décrit ci-dessous en faisant référence à la figure 1. En faisant référence à la figure 1, un pilote de matrice active consiste en un circuit logique constitué d'un circuit de contrôle d'adresse de rangée et logique pour un pixel d'affichage, une unité de maintien et un circuit de commande, pour commander une électrode d'anode pour chaque pixel d'affichage, et un circuit de sortie de pilote pour une section de pixel d'affichage. Le pilote de matrice active 10 comprend un circuit de commande constitué d'un circuit de sélection de rangée 11 et d'un circuit logique de commande pour un pixel d'affichage, une unité de maintien 13 et un circuit de commande 19, pour commander une électrode d'anode formée pour chaque pixel d'affichage, et un circuit de sortie de pilote 20 pour une section de pixel d'affichage 21, une ligne de signal d'adresse 15, une ligne de signal de données 16, une source de puissance 23 et des filaments 22. Ce circuit de commande 10 est montré pour un pixel. Le MOSFET à appauvrissement 18 met la grille dans l'étage de sortie final à un niveau bas et peut être remplacé par un élément à haute résistance. Le signal d'entrée comprend un signal de sélection d'adresse de rangée, un signal de contrôle logique et un signal de données to d'affichage. Le dispositif de sélection sélectionne uniquement la ligne de signal d'adresse 15 d'une rangée, en réponse au signal d'adresse de rangée. Les données d'affichage sont appliquées pour chaque rangée. En réponse au signal d'adresse de rangée et au signal de données, l'unité de maintien 13 maintient des données pour chacun des pixels agencés sous la forme d'une matrice. Ces données correspondent à des données par rangée. Une incrémentation séquentielle du signal d'adresse de rangée est répétée jusqu'à ce que des données soient écrites pour toutes les rangées. Les circuits de commande 18, 19 et le circuit de sortie de pilote 10 pour le pixel d'affichage 21 reçoivent les données sorties en réponse à un produit logique entre les données maintenues et le signal de suppression et délivrent ensuite des données d'affichage. Le circuit de commande est constitué d'un transistor MOS à canal P à enrichissement 19 et d'un transistor MOS à canal P à appauvrissement 18. Le circuit de pilote de l'étage final est constitué d'un transistor MOS à canal P 20. Seul le transistor MOS à canal P 58 est un transistor MOS à canal N à tension de tenue élevée. Le signal d'entrée comprend un signal de sélection d'adresse de rangée, un signal de contrôle logique et un signal de données d'affichage. Le signal d'adresse de rangée est sélectionné uniquement pour la ligne unique au moyen du dispositif de sélection. Les données d'affichage sont appliquées pour chaque colonne. Le circuit ET, connecté à la ligne de signal d'adresse de rangée et à la ligne de signal de données, maintient des données pour chacun des pixels agencés sous la forme d'une matrice. Celles-ci correspondent à des données pour une rangée. Le signal d'adresse de rangée est incrémenté séquentiellement et cette opération est répétée jusqu'à ce que des données soient écrites pour toutes les rangées. Le circuit de pilote de l'étage final reçoit des données sorties du Io circuit ET, couplé aux données maintenues et au signal de suppression, par l'intermédiaire du circuit de commande et délivre des données d'affichage. Le circuit de commande est constitué uniquement d'un transistor MOS à canal P à enrichissement et d'un transistor MOS à canal P à appauvrissement. Le pilote de l'étage final est constitué d'un transistor MOS à canal P. Pour cette raison, dans l'opération de commande d'anode, la tension de niveau de signal est appliquée à l'électrode d'anode à laquelle est superposée une tension de filament de prise centrale. Cette configuration permet que la sortie de signal du circuit de commande soit à une tension de faible niveau. Par conséquent, des transistors à tension de tenue élevée ne sont pas nécessaires, excepté pour le transistor d'étage final. Parce que la configuration peut être réalisée uniquement avec des 25 transistors MOS à canal P, chaque partie de pixel d'affichage nécessite uniquement une source de puissance basse tension et une masse. Cette caractéristique permet qu'un seul transistor à tension de tenue élevée avec une grande règle de tracé soit suffisant pour chaque pixel, de sorte que la consommation de courant peut être réduite à une faible valeur. De plus, la taille des pixels peut être réduite parce que deux lignes de source de puissance, comprenant une basse tension et la masse, sont suffisantes pour le système. Pour cette raison, le circuit de maintien, le circuit de commande et le circuit de pilote peuvent être agencés sous les anodes formant les pixels dans la section de sortie de pilote. De plus, les pixels peuvent être agencés avec un petit pas de sorte qu'un affichage à haute définition peut être réalisé. Une configuration d'un pixel est montrée sur la figure 2. Le pixel comprend un circuit de maintien à mémoire, un circuit de pilote et un pilote. La partie de pixel sur laquelle une substance fluorescente est déposée comporte deux couches d'Al. Les circuits mentionnés ci-dessus sont agencés au-dessous du motif à deux couches d'Al. Parce que chaque circuit présente la configuration qui arrête la 15 lumière entrante ou les rayons d'électrons, la fiabilité du circuit intégré augmente. La figure 4 montre un système de tube d'affichage fluorescent mettant en oeuvre un élément d'affichage à commande de matrice active. Le système de tube d'affichage fluorescent comprend un panneau d'affichage 30 et un contrôleur (circuit intégré de contrôle) 31 pour commander le panneau d'affichage 30. Le circuit intégré de contrôle 31 utilise un pilote sérieparallèle pour une CIG (puce dans du verre). Un circuit intégré de contrôleur ayant une fonction de mémorisation peut étre utilisé en tant que circuit intégré de contrôle 31. Ce système reçoit un signal de données série (SI) de l'unité centrale 32 en synchronisation avec le signal CLK. Le signal LAT est un signal pour écrire des données dans le circuit intégré de contrôleur 31. Le signal BK est un signal provenant du contrôleur, pour déterminer la largeur de la sortie. Le signal WE et le signal BKD sont tous deux appliqués directement au panneau d'affichage. Le signal WE est un signal de contrôle d'écriture de données. Le signal BKD est un signal pour ajuster la luminosité de la section d'affichage 30. Dans la configuration de circuit, seule la source de puissance basse tension est utilisée en tant que source de puissance de commande de circuit intégré. La configuration de circuit nécessite en outre une source de puissance (Vct) pour la prise centrale du filament 35, en tant que source de puissance supplémentaire. Parce que le circuit du panneau d'affichage est constitué uniquement de transistors à canal P, le pilote peut effectuer la commande de manière avantageuse io avec une faible tension. Dans l'élément d'affichage à commande de matrice active prévu dans le système de tube d'affichage fluorescent de la présente invention, les parties lumineuses sont réalisées par un grand nombre de pixels en forme de points agencés sous la forme d'une matrice à des intervalles de 20 m. Dans chaque partie lumineuse, une couche de substance fluorescente de ZnO:Zn émettant une couleur cyan est déposée sur une électrode d'un mince film d'aluminium (Al) carré de 226 m de côté. Chaque électrode constituée d'un mince film d'Al carré de 226 gm de côté est connectée au drain du pilote de sortie de chaque élément à commande de matrice active par l'intermédiaire du trou traversant formé dans une couche isolante recouvrant une tranche de silicium. Le rapport d'occupation de surface de chaque élément à commande de matrice active par rapport à une électrode à film mince d'Al de 226 gm de côté est d'environ 45 %. Par conséquent, l'électrode à film mince d'Al peut être amincie davantage. Un substrat d'anodes est fabriqué où l'élément à commande de matrice active, dans lequel une substance fluorescente est déposée sur la surface de chaque électrode formée sur la surface de celui-ci, de la manière bien connue, est placé sur la surface intérieure d'une enveloppe à vide. Un circuit intégré à commande de matrice active, qui est constitué d'un grand nombre de parties lumineuses en forme de points sous la forme d'une matrice correspondant à des électrodes à film mince d'Al carré agencées sous la forme d'une matrice à des intervalles de 20 pm, chacune de 226 m de côté, est disposé dans le tube d'affichage fluorescent. Ainsi, un tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active est fabriqué, l'espacement entre les filaments au-dessus de la couche de substance fluorescente étant de 1,5 mm et l'espacement entre le filament et la surface de substance fluorescente étant de 1,0 mm. Un dissipateur thermique est fixé à la surface arrière du substrat d'anodes dans le tube d'affichage fluorescent. Une tension de 20 volts étant appliquée à l'anode, il a été vérifié que les anodes luisaient uniformément dans la condition d'affichage. Lorsque la grille du pilote connecté à l'anode sur laquelle un pixel de l'élément à commande de matrice active est formé n'est pas alimentée, le drain est ouvert. La couche isolante formée sur la surface de l'élément à commande de matrice active accumule les électrons provenant de la cathode sur sa surface, de sorte qu'elle a presque le même potentiel que le filament. Par conséquent, en supposant qu'une tension de 20 volts ou plus soit appliquée à l'anode, à laquelle le signal d'éclairage est appliqué, l'anode reçoit suffisamment d'électrons thermiques du filament, de sorte que l'affichage uniforme peut être obtenu. Dans le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active de la présente invention, étant donné qu'il n'y a pas de mailles, la déformation de mailles et l'arrêt de la lumière par les mailles ne se produisent pas. De plus, étant donné qu'il n'y a pas de grille plate, le rapport d'occupation de la surface lumineuse a été augmenté et la 30 luminosité de 40000 cd/m2 ou plus est obtenue. Etant donné qu'il n'y a pas de grille plate au-dessus du circuit intégré à commande de matrice active, le circuit intégré à commande de matrice active peut être miniaturisé, de sorte que la réduction de coût du circuit intégré peut être obtenue. La figure 3 montre la configuration d'un circuit de commande multiple. Dans le cas de l'opération de commande multiple (deux couleurs), la ligne de signal de données est partagée. Cependant, le dispositif de sélection 12a peut répartir en couleurs les données aux pixels à la même position. Le circuit ET, qui est connecté à la ligne de signal de données et au signal de sortie provenant du circuit ET commandé par le signal de rangée et le dispositif de sélection, maintient des données pour chacun des pixels agencés sous la forme d'une matrice. La configuration de circuit suivante est constituée uniquement de transistors MOS à canal P, d'une manière similaire à celle montrée sur la figure 1. De plus, les signaux de suppression sont appliqués, respectivement, de manière à les passer dans un mode multiple, de sorte que l'équilibre des couleurs puisse être ajusté. Le cas où le circuit intégré à commande de matrice active selon la présente invention est utilisé sur le substrat d'anodes d'un FED va être expliqué ci-dessous. Dans la section de pixels d'affichage, chaque électrode de pixel est constituée d'une électrode transparente telle qu'en ITO. Une substance fluorescente agissant en tant que couche lumineuse est déposée sur l'électrode transparente. Un substrat de cathodes, sur lequel des éléments d'émission d'électrons à cathodes froides du type Spint sont formés par le processus de fabrication bien connu, est disposé de manière à faire face à la section de pixels d'affichage. Ainsi, un FED est fabriqué, le vide étant fait à l'intérieur du logement. L'émission de lumière à partir d'une substance fluorescente est utilisée à travers l'électrode transparente et le substrat de verre. Dans ce cas, le rapport d'ouverture des pixels affecte considérablement la luminosité. Dans la présente invention, le rapport d'ouverture a été amélioré de 40 % à 50 %, avec une réduction de la surface d'élément. Ainsi, un FED à commande de matrice active à anodes à haute intensité peut être formé. Un mode de réalisation dans le cas où un afficheur EL organique est commandé va être décrit ci-dessous. Dans la section de pixels d'affichage, chaque électrode de pixel est to constituée d'une électrode transparente telle qu'en ITO. Un mince film organique agissant en tant que couche lumineuse est formé sur l'électrode transparente. Une cathode est formée sur la couche supérieure. L'émission de lumière provenant de la couche lumineuse organique est utilisée à travers l'électrode transparente et le substrat de verre. Dans ce cas, le rapport d'ouverture des pixels affecte considérablement la luminosité. Dans la présente invention, le rapport d'ouverture a été amélioré de 40 % à 50 % avec une réduction de la surface d'élément. Ainsi, un afficheur EL organique de haute intensité a été fabriqué. Un mode de réalisation de l'élément à commande de matrice active selon la présente invention, montré sur la figure 4, monté dans un tube d'affichage fluorescent va être expliqué en détail ci-dessous. Dans le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active 30 du mode de réalisation, une tranche de silicium ou une puce semi-conductrice, sur laquelle plusieurs anodes devant être respectivement commandées sont agencées sous la forme d'une matrice, est fixée sur la surface intérieure du substrat de l'enveloppe. Le tube d'affichage comporte une enveloppe réalisée par un substrat isolant tel que du verre et un conteneur en forme de boîte scellé sur le substrat. Le vide est fait à l'intérieur de l'enveloppe et celle-ci est maintenue dans une atmosphère de vide poussé. A l'intérieur de l'enveloppe, une tranche de silicium rectangulaire est fixée fermement sur la surface supérieure du substrat. Une couche isolante réalisée en SiN et en verre d'acide phosphorique est formée sur la surface supérieure de la tranche de silicium. Un grand nombre de parties lumineuses en forme de points sont formées et agencées sous la forme d'une matrice à des intervalles de 20 m. Dans les parties lumineuses en forme de points, des électrodes à film mince d'Al carré de 226 gm de côté chacune, sont connectées à des drains formés dans la couche isolante par l'intermédiaire de trous traversants, respectivement. La tranche de silicium rectangulaire est constituée d'un substrat de silicium sous la forme d'un disque, obtenue en découpant en tranches une colonne cylindrique de silicium monocristallin de grande pureté. Autrement dit, plusieurs éléments rectangulaires sont formés sur la tranche de silicium en forme de disque. Ensuite, la pluralité d'éléments rectangulaires sont découpés. Dans chaque élément rectangulaire, des configurations nécessaires sont réalisées, qui comprennent plusieurs points lumineux sous la forme d'une matrice, des transistors agissant en tant qu'éléments de commutation respectivement disposés pour des points lumineux respectifs, des configurations de câblage de connexion et des dispositifs de commande pour commander des points lumineux respectifs dans un mode de matrice active, des éléments de commande pour des mémoires. En faisant référence à la figure 4, la tranche de silicium rectangulaire est collée sur le substrat, au moyen d'une pâte de liaison de puce. Des conducteurs d'anodes et des anodes comprenant des couches de substances fluorescentes, sur chacun desquels une couche de substance fluorescente de ZnO:Zn est déposée, sont agencés sous la forme d'une matrice sur la surface supérieure d'une tranche de silicium. Un transistor (non montré) agissant en tant qu'élément de commutation est formé sous chaque anode. Des cathodes en forme de filaments agissant en tant que sources d'électrons sont supportées au-dessus de la tranche de silicium à l'intérieur de l'enveloppe. Un matériau émissif est déposé autour du fil central tel que du tungstène, qui chauffe par excitation électrique. Il y a, par exemple, un oxyde métallique alcalino-terreux contenant du Ba en tant que matériau émissif. Les cathodes en forme de filaments sont supportées de sorte que la distance entre un filament et une anode au milieu de l'espace entre des filaments supportés soit supérieure à la distance entre des filaments. Spécifiquement, la distance entre un filament et une anode est de 1 mm et la distance entre des filaments est de 1,0 mm. Ainsi, les filaments sont supportés de sorte que la distance entre un filament et une anode disposée au milieu de l'espace entre des filaments soit supérieure à la distance entre des filaments. Dans une telle configuration, l'anode disposée au milieu de l'espace entre des filaments reçoit suffisamment d'électrons thermiques d'un filament. Même lorsqu'une anode adjacente est dans un état sans lumière, suffisamment d'électrons lui sont délivrés, de sorte que l'affichage devient uniforme. Ensuite, un processus de fabrication du tube d'affichage 1 selon le présent mode de réalisation va être expliqué ci-dessous. (1) Des éléments rectangulaires devant être utilisés pour le tube d'affichage 1 sont formés sur une tranche de silicium circulaire découpée (de 8 pouces de diamètre et de 0,6 mm de d'épaisseur). Dans un exemple, 17 éléments rectangulaires (tranches de silicium) sont fabriqués sur une tranche de silicium circulaire unique. (2) Une pâte de substance fluorescente contenant une résine sensible aux ultraviolets est déposée uniformément sur la surface 30 supérieure de la tranche de silicium circulaire. (3) En utilisant une lampe UV, la surface supérieure de la tranche de silicium circulaire est exposée à des rayons ultraviolets par l'intermédiaire d'un photomasque, qui comporte des ouvertures correspondant à des formes de points lumineux. s (4) Une pâte de substance fluorescente molle est éliminée par rinçage en utilisant un développement à l'eau. (5) Un acrylique dispersé avec de l'acétone est déposé et ensuite séché sur la surface supérieure d'une tranche de silicium circulaire sur laquelle un motif de substance fluorescente a été formé, de sorte qu'une couche d'acrylique de protection soit formée. Lorsque des éléments circulaires sont découpés de la tranche de silicium circulaire, les copeaux sont éliminés avec de l'eau. La couche d'acrylique de protection évite que la substance fluorescente ne soit détachée par l'eau. L'acrylique, qui est décomposé à de faibles températures, est retiré au cours du processus de frittage ultérieur. (6) Des éléments rectangulaires (la tranche de silicium) sont découpés de la tranche de silicium circulaire par découpage en dés, par exemple, en utilisant un dispositif de coupe à diamant. (7) Les éléments rectangulaires découpés sont connectés, c'est-à- dire qu'ils sont joints à la surface supérieure du substrat dans un tube d'affichage au moyen d'une pâte de liaison de puce, dans laquelle de l'Ag et du Ti organique sont mélangés ensemble. Parce que la pâte de liaison de puce, qui est constituée d'Ag et de Ti organique, se décompose facilement, elle n'est pas laissée dans l'enveloppe après l'achèvement d'un produit. (8) Dans le circuit intégré de contrôle, le pilote série-parallèle pour CIG (puce dans du verre) est lié à la surface supérieure du susdit substrat au moyen d'une pâte de liaison de puce. (9) La résine dans la couche de substance fluorescente, la résine 30 acrylique recouvrant la substance fluorescente et la pâte de liaison de puce, utilisées au cours des étapes mentionnées ci-dessus, sont retirées par décomposition thermique. Le sol d'alumine est fritté et solidifié, étant ainsi converti en un film de recouvrement isolant. (10) Un processus de liaison par fil est exécuté. C'est-à-dire que s les électrodes, qui sont formées sur les surfaces supérieures d'éléments rectangulaires et sur le substrat, sont respectivement connectées par un fil. (11) Ensuite, une liaison face à face est effectuée. C'est-à-dire que la grille de connexion achevée est placée à une position prédéterminée io sur le substrat. La structure intermédiaire est placée sur l'enveloppe achevée et est fixée temporairement par des moyens de fixation (tels qu'une pince). (12) La structure intermédiaire est frittée et scellée à environ 450 C. Ainsi, le verre d'étanchéité entre l'enveloppe et le substrat fond 15 afin de fixer l'enveloppe et la grille de connexion et le substrat. (13) Ensuite, le vide est fait à l'intérieur de l'enveloppe. Lorsque l'enveloppe est à une atmosphère de vide poussé prédéterminée, le tube sous vide est scellé. Lorsqu'un dégazeur est pulvérisé, un film de dégazeur est formé sur la surface intérieure de l'enveloppe. (14) La structure est frittée de 160 C à 300 C dans un four de sorte que le film de dégazeur absorbe le gaz résiduel. (15) Le tube d'affichage est soumis à un vieillissement. Pour l'opération de commande du tube d'affichage fabriqué comme décrit cidessus, un transistor de commutation sélectionne une anode souhaitée sur une tranche de silicium déplacée dans une enveloppe et les électrons émis par la cathode frappent la couche de substance fluorescente correspondant à l'anode sélectionnée. Lorsque des anodes souhaitées dans la matrice émettent de la lumière de manière sélective, un affichage graphique arbitraire est présenté. Un dissipateur thermique étant fixé à la surface arrière du substrat d'anodes dans le tube d'affichage fluorescent, une tension de 60 volts a été appliquée à une anode afin de vérifier l'état d'affichage. La substance fluorescente a émis de la lumière uniformément de sorte que l'affichage a été obtenu à une intensité lumineuse de 40000 cd/m2. Parce que la grille à mailles n'est pas utilisée, une déformation de mailles ne se produit pas. De plus, parce que les mailles n'arrêtent pas la lumière, une intensité lumineuse de 40000 cd/m2 est obtenue. Parce que la grille plate n'est pas disposée au-dessus du circuit intégré à commande de matrice active, le circuit intégré à commande de matrice active peut être miniaturisé. Le coût du circuit intégré peut être réduit. Un dissipateur thermique étant fixé à la surface arrière du substrat d'anodes dans le tube d'affichage fluorescent, une tension de 15 volts a été appliquée à une anode pour vérifier l'état d'affichage, de sorte qu'une intensité lumineuse de 4000 cd/m2 a été obtenue. La luminosité de la surface périphérique autour de l'anode entre des filaments a été abaissée. Cependant, en appliquant une tension de 20 volts à l'anode, il a été observé que l'anode luit uniformément. Lorsqu'une anode, à laquelle une tension de 20 volts ou plus est appliquée, reçoit suffisamment d'électrons thermiques du filament, le potentiel du substrat de matrice active devient le même que celui du filament. Pour cette raison, il est supposé que même lorsque l'anode adjacente ne luit pas, suffisamment d'électrons sont appliqués, de sorte que l'affichage devient uniforme. Dans l'opération de commande multiple (deux couleurs) montrée sur la figure 3, une couche de substance fluorescente de ZnO:Zn émettant une couleur cyan est formée pour un pixel connecté au drain du pilote du circuit intégré à commande de matrice active. Une couche de substance fluorescente de ZnCdS:Ag,CI émettant une couleur tango est formée pour l'autre pixel. Ainsi, un tube d'affichage à commande de matrice active est fabriqué d'une manière similaire à celle du mode de réalisation 1. Une tension de 15 volts étant appliquée à l'anode, il a été observé que la substance fluorescente de ZnO:Zn émettant une couleur cyan luit à 4000 cd/m2 uniformément et que la substance fluorescente de ZnCd:Ag,CI émettant une couleur tango luit à 400 cd/m2 uniformément. Dans cette configuration, une configuration en couleurs (trois couleurs) peut être facilement fabriquée en ajoutant une substance lo fluorescente bleue à l'anode. Un mode de réalisation utilisant du polysilicium Si va être expliqué cidessous. Dans ce mode de réalisation, du verre borosilicaté (décrit ultérieurement) , agissant en tant que corps de base d'un substrat d'anodes, est utilisé pour l'élément en verre réalisant une enveloppe à vide. Le substrat d'anodes est un substrat de matrice active sur lequel une section d'affichage lumineuse et un circuit de commande pour contrôler la section d'affichage lumineuse sont formés intégralement. Le substrat d'anodes comporte un film de polysilicium formé sur la surface d'un substrat de verre agissant en tant que corps de base. Un circuit intégré à semi-conducteurs, comprenant des transistors à couches minces (TFT), est formé dans le film de polysilicium. Le circuit à semi-conducteurs configure un circuit de commande. Le transistor à couches minces formé dans le film de polysilicium a des caractéristiques de deux ou trois chiffres supérieures à celles du transistor à couches minces formé dans un film de silicium amorphe. En particulier, la surface d'affichage peut être réalisée en une grande taille de manière efficace. Le film de polysilicium dit de basse température, qui est traité à 30 une température inférieure à un point de distorsion d'un substrat de verre, est utilisé pour le film de polysilicium. Le film de polysilicium de basse température est habituellement utilisé de 450 C à 600 C et, par exemple, est formé selon une technique bien connue telle que le processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Un verre borosilicaté, qui ne contient pas de sodium, qui affecte négativement les caractéristiques des transistors, est utilisé en tant que substrat de verre. Le circuit intégré à semi-conducteurs formé dans le film de polysilicium est fabriqué par le processus de fabrication bien connu, qui utilise des films de polysilicium de basse température. La surface du film de polysilicium est recouverte d'un film de passivation (un film isolant) et une section d'affichage lumineuse est formée sur le film de passivation. La section d'affichage lumineuse est constituée d'électrodes d'anodes agencées sur le film de passivation sous la forme d'une matrice et avec un pas prédéterminé, de substances fluorescentes en forme de points, qui sont déposées chacune sur les électrodes d'anodes, et d'électrodes auxiliaires, qui sont agencées chacune sur le film de passivation de manière à entourer chacune des électrodes d'anodes. Une partie formée par un transistor à couches minces de la partie de commande d'anodes agissant en tant que partie d'un circuit de commande est formée au-dessous de chaque électrode d'anode. La partie formée par un transistor à couches minces est connectée aux électrodes d'anodes par l'intermédiaire de trous traversants formés dans le film de passivation. Dans ce cas, les électrodes d'anodes et les pastilles de connexion sont réalisées en aluminium. La substance fluorescente est formée en utilisant la substance fluorescente utilisée dans le dispositif d'affichage classique. Les films de passivation, les électrodes d'anodes, la substance fluorescente et les pastilles de connexion peuvent être formés selon l'art antérieur classique. Dans ce dispositif d'affichage fluorescent, les électrons thermiques émis par un filament chauffé électriquement sont rayonnés à partir d'un substrat d'anodes. Les électrons rayonnés pénètrent dans les anodes, à chacune desquelles une tension positive est appliquée, lors d'une opération de commande de matrice active pour que la substance fluorescente émette de la lumière. Ainsi, l'image pour des données entrées est affichée. Le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active, qui a le pas de pixels de 250 gm ou moins et un intervalle de pixels de 20 m ou moins, peut être réalisé. Un dissipateur thermique étant fixé à la surface arrière du substrat d'anodes, une tension de 60 volts est appliquée à une anode. Dans un tel cas, il a été observé qu'un tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active de haute intensité peut être obtenu, dans lequel la substance fluorescente luit uniformément et lepixel luit uniformément à 40000 cd/m2. La luminosité peut être multipliée par quatre par rapport à 10000 cd/m2 obtenus par le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active de haute intensité classique. Un afficheur tête haute à matrice de points de haute intensité peut être utilisé dans la pratique en utilisant le tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active de haute intensité. De plus, un tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active multicolore de haute intensité peut être réalisé. De plus, des substrats d'anodes pour des ELD organiques dans un micromotif de haute intensité et pour des FED dans un micromotif de haute intensité peuvent être réalisés en utilisant la configuration de circuit intégré à commande de matrice active de la présente invention. REVENDICATIONS 1. Elément d'affichage à commande de matrice active, comprenant un pilote de pixels; ledit pilote de pixels comprenant: un circuit logique constitué d'un circuit de sélection d'adresse de rangée (11) et d'un circuit de contrôle logique (12) ; une unité de maintien (13) disposée pour chaque pixel (1) ; un circuit ET pour effectuer un produit logique entre un signal maintenu dans ladite unité de maintien (13) et un signal inversé de 10 suppression provenant d'une ligne de signal de données d'entrée; un circuit de prépilote (18, 19) constitué d'un transistor à effet de champ à canal P (19) à enrichissement et d'un transistor à effet de champ à canal P à appauvrissement (18) ; et un circuit de pilote de sortie (20) connecté audit circuit de 15 prépilote (18, 19). 2. Elément d'affichage à commande de matrice active comprenant un pilote de pixels; ledit pilote de pixels comprenant: un circuit logique constitué d'un circuit de sélection d'adresse de rangée (11) et d'un circuit de contrôle logique (12) ; une unité de maintien (13) disposée pour chaque pixel (1) ; un circuit ET pour effectuer un produit logique entre un signal maintenu dans ladite unité de maintien (13) et un signal inversé de suppression provenant d'une ligne de signal de données d'entrée; un circuit de prépilote (18, 19) constitué d'un transistor à effet de 25 champ à canal P à enrichissement (19) et d'un élément à haute résistance (18) ; et un circuit de pilote de sortie (20) connecté audit circuit de prépilote (18, 19). 3. Elément d'affichage à commande de matrice active selon la revendication 1, dans lequel ledit circuit de sortie de pilote (20) disposé pour chacun de ladite pluralité de pixels (1) est composé d'un transistor à tension de tenue élevée (20), et dans lequel ladite unité de maintien (13), pour commander des électrodes d'anodes et ledit circuit de prépilote (18, 19) pour commander un transistor de sortie (19) dans un étage précédent, sont composés d'un transistor à tension de tenue faible. 4. Elément d'affichage à commande de matrice active selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant en outre une électrode de pixel qui provoque une émission de lumière par un matériau lumineux dans un pixel (1) connecté à une électrode de drain dudit circuit de pilote de sortie (20), et dans lequel une unité de commande de pixel est constituée de transistors MOS à effet de champ à canal P (20), ladite unité de commande de pixel consistant en ladite unité de maintien (13) pour commander une électrode d'anode disposée pour chacun desdits pixels (1), ledit circuit ET pour effectuer un produit logique entre un signal maintenu dans ladite unité de maintien (13) et un signal inversé de suppression provenant d'une ligne de signal de données d'entrée, ledit circuit de prépilote (18n 19) pour commander un transistor de sortie (20) dans un étage précédent, et ledit circuit de sortie de pilote (20) connecté audit circuit de prépilote (18, 19). 5. Elément d'affichage à commande de matrice active, comprenant: un circuit logique constitué d'une d'adresse de rangée (11) pour chaque pixel d'affichage (1) et d'un circuit de contrôle logique (12) ; une unité de maintien (13) et un circuit de prépilote (18, 19), pour commander une électrode d'anode disposée pour chaque pixel d'affichage (1) ; et un circuit de sortie de pilote dans une unité de pixel d'affichage (21) ; dans lequel un signal d'entrée est constitué d'un signal de sélection d'adresse de rangée (15), d'un signal de contrôle logique et de données d'affichage (16) ; et un décodeur sélectionne un signal d'adresse de rangée (15) pour une seule rangée; et des données d'affichage (16) sont entrées pour chaque colonne; et des données d'affichage pour des pixels (1) agencés sous la forme d'une matrice par un circuit ET, qui effectue un produit logique sur ledit signal d'adresse de rangée (15) et ladite ligne de signal de données (16), correspondent à des données pour une rangée; et ledit signal d'adresse de rangée (15) est incrémenté séquentiellement de manière répétée jusqu'à ce que des données soient écrites pour toutes les rangées; dans lequel ledit circuit ET, qui effectue un produit logique entre des données maintenues (13) et un signal de suppression (17), délivre des données en tant que données d'affichage au circuit de pilote (20) dans l'étage final par l'intermédiaire dudit circuit de prépilote (18, 19). 6. Dispositif d'affichage à commande de matrice active, selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel l'utilisation d'une ligne de signal de données (16) est partagée; et un dispositif de sélection (12a) commute ledit signal de données (16) ; et un circuit ET, qui est commandé par un signal d'adresse de rangée(15), une sortie de signal provenant d'un circuit ET dans ledit dispositif de sélection (12a), et une ligne de signal de données (16), maintient des données pour chacun des pixels (1) agencés sous la forme d'une matrice, chaque pixel (1) étant divisé en couleurs à la même position; et dans lequel des signaux de suppression (17an 17b) sont appliqués en entrée séparément pour commuter chaque mode multiple. 7. Elément d'affichage à commande de matrice active selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel un circuit suivant le circuit de maintien (13) d'un circuit ET, qui effectue un produit logique entre une ligne de signal de données (16) et une ligne de signal de sélection de rangée(15), est disposé pour chaque cellule; et dans lequel ledit circuit est agencé au-dessous de chaque pixel (1). 8. Elément d'affichage à commande de matrice active selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel ledit circuit de prépilote (18, 19) est constitué de transistors à effet de champ fabriqués sur une tranche de Si. 9. Dispositif d'affichage fluorescent comprenant un élément d'affichage à commande de matrice active selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, dans lequel ledit circuit de commande (18, 19) et un circuit intégré pour commander ledit circuit de commande sont montés dans une enveloppe à vide, et dans lequel des pixels (1) sont constitués d'anodes (21) qui sont des électrodes de drain, sur chacune desquelles une substance fluorescente est déposée. 10. Tube d'affichage fluorescent à commande de matrice active 15 selon la revendication 9, dans lequel l'espacement entre des filaments (22), est de 1,5 mm ou moins.