Brevet FR2882825A1 — publié le 20060908

CAPTEUR ULTRASONORE AYANT UN DISPOSITIF D'EMISSION ET UN DISPOSITIF DE RECEPTION D'ONDE ULTRASONORE La présente invention concerne un capteur ultrasonore. Un capteur ultrasonore est monté par exemple sur un véhicule automobile. Le capteur détecte une distance entre le capteur, c'est-à-dire le véhicule, et un obstacle lorsqu'un conducteur gare le véhicule ou lorsque le conducteur fait tourner le véhicule. Le capteur ultrasonore est décrit par exemple dans le document JP-A-2001-16694. Le capteur pour détecter l'obstacle comprend un dispositif d'émission qui émet une onde ul- trasonore et un dispositif de réception qui reçoit l'onde ultrasonore. Le capteur peut inclure un dispositif d'émission / réception. Lorsque le dispositif d'émission émet l'onde ultrasonore, l'onde ultrasonore rencontre l'obstacle. L'obstacle réfléchit l'onde ultrasonore, et ensuite l'onde ultra-sonore réfléchie est reçue par le dispositif de réception. Une pression acoustique de l'onde ultrasonore, un retard et/ou une différence de phase sont détectés sur la base de l'onde ultrasonore reçue par le dispositif de réception, de façon à calculer une direction de l'obstacle et une distance entre l'obstacle et le véhicule. En outre, il est possible de détecter une forme concave et une forme convexe de l'obstacle. Le dispositif de réception de l'onde ultrasonore est par exemple un élément ultrasonore ayant un vibreur constitué d'une pellicule mince piézoélectrique disposée sur une membrane consistant en une partie mince d'un substrat. L'élément ultrasonore avec une structure de membrane est décrit par exemple dans le document JP-A-2003-284182. Cet élément est formé par un procédé de micro-usinage, ce qui fait que l'élément est appelé un élément ultrasonore du type à système micro-électromécanique ou MEMS (c'est-à-dire "Micro Electro Mechanical System"). Le document JP-A2003-284182 décrit également un capteur ultra- sonore à réseau incluant les éléments ultrasonores du type MEMS. L'élément ultrasonore du type MEMS 90R est représenté sur la figure 13A. Dans l'élément 90R, une couche 2 consistant en une pellicule mince de céramique PZT, qui est une substance ferroélectrique, est inter-calée entre une paire d'électrodes 3a, 3b. L'élément 90R comprend en outre un capteur piézoélectrique ayant une fréquence de résonance pré-déterminée pour détecter l'onde ultrasonore. Lorsque l'élément 90R fonctionne, une tension de polarisation prédéterminée est appliquée entre les deux électrodes 3a, 3b, de façon que la fréquence de résonance de l'été- ment 90R soit changée, c'est-à-dire commandée. La figure 13B explique un procédé de mesure de position par l'utilisation de l'onde ultrasonore, qui est exposé dans le document JP-A-2003-284182. Un capteur ultrasonore 900 comprend une source d'onde ultrasonore 40 en tant que dispositif d'émission de l'onde ultrasonore, et un dispositif à réseau ultrasonore A90R en tant que dispositif de réception de l'onde ultrasonore. Le dispositif à réseau ultrasonore A90R comprend de multiples éléments ultrasonores du type MEMS, 90R, qui sont disposés en un réseau. Dans le capteur 900, la source 40 est adjacente au dispositif de détection A90R, et émet l'onde ultrasonore. L'onde ultrasonore ren- contre un objet 51, 52 tel qu'un obstacle; et ensuite l'onde ultrasonore est réfléchie par l'objet 51, 52. L'onde ultrasonore retourne donc au capteur 900. L'onde ultrasonore qui retourne est reçue par chaque élément de détection 90R dans le dispositif de détection A90R. La position de l'objet 51, 52, incluant un angle d'orientation de l'objet 51, 52, est déterminée sur la base de l'onde ultrasonore reçue. De façon spécifique, d'après un temps de transmission de l'onde ultrasonore dans chaque direction d'incidence de l'élément de détection 90R, on calcule la distance entre l'élément de détection 90R et l'objet 51, 52 dans la direction d'incidence. Par conséquent, on détermine la distribution de la distance dans différentes direc- tions d'incidence. On détermine donc la distance entre l'objet 51, 52 et l'élément de détection 90R dans une direction de profondeur de l'objet 51, 52. Ici, le temps de transmission de l'onde ultrasonore est un temps de-puis un instant d'émission auquel l'onde ultrasonore est émise par la source 40 jusqu'à un instant de retour auquel l'onde ultrasonore retourne à l'élément de détection 90R. Ici, la source 40 et le dispositif de détection A90R sont séparés l'un de l'autre. De ce fait, un coût de fabrication est nécessaire pour la source 40 ainsi que pour le dispositif de détection A90R. En outre, lors-que la source 40 et le dispositif de détection A90R sont montés sur un parechocs du véhicule, l'exactitude de montage de chacun de la source 40 et du dispositif de détection A90R affecte l'exactitude de détection de la direction et de la distance de l'objet. De plus, la distance de montage entre la source 40 et le dispositif de montage A90R peut être augmentée. En outre, de façon générale, lorsqu'un dispositif de détection ultrasonore est directement monté sur le pare-chocs du véhicule, le dis- positif de détection ne peut pas détecter avec exactitude la distance de l'objet en cas de présence d'une goutte d'eau ou de poussière adhérant à une surface de l'élément de détection. En outre, l'atténuation de l'onde ultrasonore transmise à travers l'air dépend de la température et de l'hu- midité de l'air. Cette température et cette humidité peuvent changer en fonction de l'environnement autour du véhicule. Par conséquent, l'exactitude de détection de l'objet peut dépendre d'un changement de température et d'un changement d'humidité. De façon spécifique, la température de l'environnement autour du véhicule peut être détectée au moyen d'un capteur de température externe ou d'un dispositif semblable. Il n'y a ce-pendant pas de capteur d'humidité externe approprié monté à l'extérieur du véhicule. On ne peut donc pas détecter l'humidité de l'environnement autour du véhicule. Compte tenu du problème décrit ci-dessus, un but de la pré- sente invention est de procurer un capteur ultrasonore ayant un dispositif d'émission et un dispositif de réception d'une onde ultrasonore. Un capteur ultrasonore pour détecter un objet comprend: un substrat; un dispositif d'émission pour émettre une onde ultrasonore; une pluralité de dispositifs de réception pour recevoir l'onde ultrasonore; et un circuit pour traiter des ondes ultrasonores reçues, qui sont reçues par les dispositifs de réception après que l'onde ultrasonore émise par le dispositif d'émission a été réfléchie par l'objet. Le dispositif d'émission et les dispositifs de réception sont intégrés dans le substrat. Les dimensions du capteur ci-dessus sont minimisées, en corn-paraison avec un capteur classique. En outre, un coût de fabrication du capteur est réduit. De plus, une relation de position entre le dispositif d'émission et le dispositif de réception est déterminée de manière exacte; et par conséquent l'exactitude de détection du capteur n'est pas affectée par l'exactitude de montage du capteur. Selon une variante, le nombre des dispositifs de réception peut être égal ou supérieur à trois, de façon que le circuit soit capable de détecter un défaut de fonctionnement. En outre, chacun du dispositif d'émission et des trois dispositifs de réception a une surface pour émettre ou recevoir l'onde ultrasonore, la surface étant perpendiculaire au sol. Les trois dispositifs de réception comprennent des premier à troisième dispositifs de réception. Le premier dispositif de réception est disposé au-dessus du troisième dispositif de réception, et est disposé du côté gauche du deuxième dispositif de réception. Le circuit est capable de calculer une distance dans un plan horizontal entre l'objet et le capteur, dans un plan horizontal parallèle au sol, et un angle de direction dans un plan horizontal à partir du capteur vers l'objet dans le plan horizontal, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les premier et deuxième dispositifs de réception. Le circuit est en outre capable de calculer une distance dans un plan vertical entre l'objet et le capteur, dans un plan vertical perpendiculaire au sol, et un angle de direction dans un plan ver-tical à partir du capteur vers l'objet, dans le plan vertical, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les premier et troisième dispositifs de réception. Le circuit est capable de contrôler les distances dans les plans horizontal et vertical, et les angles de direction dans les plans horizontal et vertical, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les deuxième et troisième dispositifs de réception, de façon que le circuit soit capable de détecter le défaut de fonctionnement. Selon une variante, le nombre des dispositifs de réception peut être égal ou supérieur à quatre. En outre, chacun du dispositif d'émission et des quatre dispositifs de réception a une surface pour émettre ou recevoir l'onde ultrasonore, la surface étant perpendiculaire au sol. Les quatre dispositifs de réception comprennent des premier à quatrième dispositifs de réception. Le premier dispositif de réception est disposé au-dessus du troisième dispositif de réception, et disposé du côté gauche du deuxième dispositif de réception. Le quatrième dispositif de réception est disposé au-dessous du deuxième dispositif de réception, et disposé du côté droit du troisième dispositif de réception. Le circuit est capable de calculer une distance dans un plan horizontal entre l'objet et le capteur, dans un plan horizontal parallèle au sol, et un angle de direction dans un plan horizon- tal à partir du capteur vers l'objet, dans le plan horizontal, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les premier et deuxième dispositifs de réception, et il est en outre capable de calculer une dis-tance dans un plan vertical entre l'objet et le capteur, dans un plan vertical perpendiculaire au sol, et un angle de direction dans un plan vertical à partir du capteur vers l'objet, dans le plan vertical, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les premier et troisième dispositifs de réception, de façon à obtenir une première donnée de l'objet. Le circuit est capable de calculer la distance dans un plan horizontal et l'angle de direction dans un plan horizontal sur la base des ondes ultrasono- res reçues qui sont reçues par les troisième et quatrième dispositifs de réception, et il est en outre capable de calculer la distance dans un plan vertical et l'angle de direction dans un plan vertical sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les deuxième et quatrième dispositifs de réception, de façon à obtenir une deuxième donnée de l'objet. Le circuit est capable de contrôler la première donnée et la deuxième don-née, de façon que le circuit soit capable de détecter le défaut de fonctionnement. Selon une variante, le dispositif d'émission peut être capable d'émettre de multiples ondes ultrasonores ayant différentes fréquences, de façon que le circuit soit capable de compenser l'humidité. En outre, le dispositif d'émission est capable d'émettre une première onde ultrasonore ayant une première fréquence et une deuxième onde ultrasonore ayant une deuxième fréquence. Le nombre des dispositifs de réception est égal ou supérieur à trois. Chacun du dispositif d'émission et des trois disposi- tifs de réception a une surface pour émettre ou recevoir l'onde ultrasonore, la surface étant perpendiculaire au sol. Les trois dispositifs de réception comprennent des premier à troisième dispositifs de réception. Le premier dispositif de réception est disposé au-dessus du troisième dispositif de réception, et disposé du côté gauche du deuxième dispositif de réception. Le circuit est capable de calculer une distance dans un plan horizontal entre l'objet et le capteur, dans un plan horizontal parallèle au sol, et un angle de direction dans un plan horizontal à partir du capteur vers l'objet, dans le plan horizontal, sur la base des ondes ultrasonores reçues ayant la première fréquence, qui sont reçues par les premier et deuxième dispositifs de réception, et il est en outre capable de calculer une distance dans un plan vertical entre l'objet et le capteur, dans un plan vertical perpendiculaire au sol, et un angle de direction dans un plan ver-tical à partir du capteur vers l'objet, dans le plan vertical, sur la base des ondes ultrasonores reçues ayant la première fréquence qui sont reçues par les premier et troisième dispositifs de réception. Le circuit est capable de calculer une première perte d'atténuation entre l'onde ultrasonore émise et les ondes ultrasonores reçues ayant la première fréquence. Le circuit est capable de calculer une deuxième perte d'atténuation entre l'onde ultrasonore émise et les ondes ultrasonores reçues ayant la deuxième fréquence. Le circuit est capable de calculer l'humidité de l'environnement sur la base des première et deuxième pertes d'atténuations et d'une température obtenue à partir d'un capteur de température ex-terne. Selon une variante, chacun du dispositif d'émission et des dis-positifs de réception peut comporter un élément ultrasonore. L'élément ultrasonore est disposé sur une membrane sur le substrat. L'élément ultrasonore comprend une pellicule mince piézoélectrique et une paire d'électrodes métalliques, de façon à former un vibreur piézoélectrique. La pellicule mince piézoélectrique est intercalée entre les électrodes métalli- ques. Le vibreur piézoélectrique est capable de résonner conjointement à la membrane à une fréquence ultrasonore prédéterminée. En outre le dispositif d'émission occupe une étendue plane de la membrane qui est plus petite que celle du dispositif d'émission. En outre, la pellicule mince piézoélectrique du dispositif d'émission comprend un motif de coupure partiel, qui est disposé sur une région de concentration de contraintes d'une vibration de direction radiale de la membrane. En outre, la membrane est séparée en quatre parties par le motif de coupure partiel. La membrane a une forme plane carrée, et chaque partie de la membrane a une forme plane carrée. Le motif de coupure partiel traverse l'une des électrodes métalliques et la pellicule mince piézoélectrique. Les buts, caractéristiques et avantages de la présente invention mentionnés ci-dessus, ainsi que d'autres, ressortiront davantage de la description détaillée suivante, faite en référence aux dessins annexés. Dans les dessins: La figure 1A est une vue de dessus montrant un capteur ultra-sonore conforme à un mode de réalisation préféré de la présente invention, et la figure 1B est une vue en perspective schématique montrant le capteur monté sur une plaquette de circuit; La figure 2A est une vue en plan montrant un élément ultraso-10 nore dans le capteur, et la figure 2B est une coupe montrant l'élément, selon une ligne IIB-IIB sur la figure 2A; La figure 3 est une vue en plan montrant un autre capteur ultra-sonore, conforme à une modification du mode de réalisation; La figure 4A est une vue en plan montrant un élément ultraso-15 nore conforme à une seconde modification du mode de réalisation, et la figure 4B est une coupe montrant l'élément selon une ligne IVB-IVB sur la figure 4A; La figure 5A est une vue en plan montrant un élément ultraso- nore conforme à une troisième modification du mode de réalisation, et la 20 figure 5B est une coupe montrant l'élément, selon une ligne VB-VB sur la figure 5A; La figure 6A est une vue en plan montrant un élément ultrasonore conforme à une quatrième modification du mode de réalisation, la figure 6B est une coupe montrant l'élément selon une ligne VIB-VIB sur la figure 6A, et la figure 6C est une coupe partiellement agrandie, montrant une partie VIC de l'élément de la figure 6B; La figure 7A est une vue en plan montrant un élément ultrasonore conforme à une cinquième modification du mode de réalisation, et la figure 7B est une coupe montrant l'élément, selon une ligne VIIB-VIIB sur la figure 7A; La figure 8A est une vue en plan montrant un élément ultrasonore conforme à une sixième modification du mode de réalisation, la figure 8B est une coupe montrant l'élément, selon une ligne VIIIB-VIIIB sur la figure 8A, et la figure 8C est une coupe montrant l'élément selon une ligne VIIIC-VIIIC sur la figure 8A; La figure 9A est une représentation schématique expliquant une onde ultrasonore de réception dans un plan X-Y qui est reçue par des dispositifs de réception, la figure 9B est une représentation schématique expliquant l'onde ultrasonore de réception dans un plan Z qui est reçue par les dispositifs de réception, et la figure 9C est un diagramme temporel montrant des signaux provenant d'un dispositif d'émission et de quatre dispositifs de réception; La figure 10 est un diagramme temporel montrant des signaux ayant deux fréquences différentes, provenant d'un dispositif d'émission et de quatre dispositifs de réception, conformément à une septième modifi- cation du mode de réalisation; La figure 11A est une vue de dessus montrant un capteur ultra-sonore conforme une huitième modification du mode de réalisation, et la figure 11B est un diagramme temporel montrant des signaux ayant deux fréquences différentes, provenant de deux dispositifs d'émission et de quatre dispositifs de réception, en conformité avec la huitième modification; La figure 12 est une vue de dessus montrant un capteur ultrasonore conforme à une neuvième modification du mode de réalisation; et La figure 13A est une coupe partiellement agrandie montrant un élément ultrasonore conforme à l'art antérieur, et la figure 13B est une représentation schématique expliquant un procédé pour détecter un objet en utilisant une onde ultrasonore, en conformité avec l'art antérieur. Un capteur ultrasonore 100 conforme à un mode de réalisation préféré de la présente invention est représenté sur les figures 1A et 1B. La figure 1B montre le capteur 100 monté sur une plaquette de circuit K. Le capteur 100 comprend un dispositif d'émission S1 et quatre dispositifs de réception R1-R4, qui sont intégrés sur le même substrat semiconducteur 10. La figure 2A montre un élément ultrasonore 90 pour constituer chacun du dispositif d'émission S1 et des dispositifs de réception R1-R4. L'élément ultrasonore 90 est similaire à l'élément ultrasonore du type MEMS, 90R, pour le dispositif de réception représenté sur la figure 13A. Le dispositif d'émission S1 de l'élément ultrasonore 90 a la même structure que le dispositif de réception R1-R4 de l'élément ultrasonore 90. L'élément ultrasonore 90 comprend un substrat semiconducteur du type SOI (c'est-à-dire silicium sur isolant). Le substrat 10 comprend une première couche de semiconducteur la constituant une couche de support, une couche d'oxyde enterrée 1 b, une deuxième couche de semi-conducteur 1c et une pellicule d'oxyde de protection 1d. Une membrane M constituée d'une partie mince du substrat 10 est formée en utilisant un procédé de micro- usinage de semiconducteur. Un vibreur piézoélectrique 20 est formé sur la membrane M de façon à couvrir la membrane M. Le vibreur piézoélectrique 20 comprend une pellicule mince piézoélectrique 2 et une paire d'électrodes métalliques 3a, 3b. De façon spécifique, la pelli-cule mince piézoélectrique 2 est intercalée entre une paire des électrodes métalliques 3a, 3b, qui sont constituées d'une pellicule métallique. Lorsque l'élément ultrasonore 90 est utilisé comme le dispositif d'émission S1, une tension alternative est appliquée aux électriques métalliques 3a, 3b du vibreur piézoélectrique 20, de façon que la membrane M résonne, conjointement au vibreur piézoélectrique 20, avec une fréquence ultrasonore prédéterminée. L'onde ultrasonore est donc émise. Lorsque l'élément ultrasonore 90 est utilisé comme le dispositif de réception R1-R4, l'onde ultrasonore retournée, réfléchie par l'objet à mesurer, fait résonner la membrane M conjointement au vibreur piézoélectrique 20, de façon que l'onde ultrasonore retournée soit convertie en un signal électrique par le vibreur piézoélectrique 20. L'onde ultrasonore est donc reçue. Lorsque l'élément ultrasonore 90 est utilisé comme le dispositif d'émission S1, il est préférable qu'une aire en plan de la membrane M dans le dispositif d'émission S1 soit relativement grande. Ceci vient du fait qu'il est nécessaire de générer une grande pression ultrasonore émise par le dispositif d'émission S1. Par conséquent, il est préférable que l'aire en plan de la membrane M dans le dispositif d'émission SI soit plus grande que celle dans le dispositif de réception R1-R4. Ainsi, le dis- positif d'émission S1 peut émettre l'onde ultrasonore ayant une grande pression sonore. Cependant, l'aire en plan de la membrane M dans le dis-positif de réception R1-R4 peut être comparativement petite, à condition que le dispositif de réception R1-R4 ait une sensibilité suffisante à l'onde ultrasonore. La figure 3 montre un autre capteur ultrasonore 100a conforme au mode de réalisation préféré de la présente invention. Dans ce cas, l'aire en plan de la membrane Ms dans le dispositif d'émission S1a est plus grande que l'aire en plan de la membrane Mr dans le dispositif de réception R1-R4. Les figures 4A à 8C montrent d'autres éléments ultrasonores 91-95 prévus pour être utilisés comme le dispositif d'émission S. L'élément ultrasonore 91 représenté sur les figures 4A et 4B comprend le substrat semiconducteur ayant une structure SOI. Le vibreur piézoélectrique 21 est formé sur la membrane M formée de façon à être une partie mince du substrat 10. Le vibreur piézoélectrique 21 recouvre la membrane M. Le vibreur piézoélectrique 21 comprend également la pellicule mince piézoélectrique 2 et les électrodes métalliques 3a, 3b. La pellicule mince piézoélectrique 2 est intercalée entre les électrodes métalliques 3a, 3b. Dans le vibreur piézoélectrique 21 de l'élément ultrasonore 91, la pellicule mince piézoélectrique comprend un motif de coupure partiel 2a, sous la forme d'un sillon, qui sépare la pellicule mince piézoélectrique 2 en quatre parties. Ce motif de coupure partiel 2a est obtenu en enlevant une partie de la pellicule mince piézoélectrique 2 dans laquelle une contrainte occasionnée par la vibration en direction radiale de la membrane M est concentrée. Par conséquent, la rigidité de la partie de la pellicule mince piézoélectrique 2 qui constitue une région de concentration de contraintes est réduite, ce qui fait que la membrane M est aisément cour-bée, c'est-à-dire que la flexibilité de la membrane M est augmentée. Par conséquent, le vibreur piézoélectrique 21 peut émettre, c'est-à-dire four- nir en sortie, l'onde ultrasonore ayant une pression sonore suffisante. Dans le vibreur piézoélectrique 22 de l'élément ultrasonore 92 représenté sur les figures 5A et 5B, la pellicule mince piézoélectrique 2 comprend un motif de concavité partiel 2b, sous la forme d'un sillon par-tiel. L'épaisseur de la partie de la pellicule mince piézoélectrique 2 qui est la région de concentration de contraintes de la vibration en direction radiale de la membrane M est réduite, de façon à former le motif de concavité partiel 2b. Par conséquent, la flexibilité de la membrane M est augmentée de façon que le vibreur piézoélectrique 21 puisse émettre l'onde ultrasonore ayant une pression sonore suffisante. Le vibreur piézoélectrique 23 de l'élément ultrasonore 93 représenté sur les figures 6A à 6C est constitué de multiples couches composées de multiples pellicules minces piézoélectriques 2 et de multiples électrodes métalliques 3a-3c, qui sont empilées en alternance. Lorsque la tension est appliquée au vibreur piézoélectrique 23, une déformation du vibreur piézoélectrique 23 est augmentée. Par conséquent, l'amplitude de vibration de la membre M est augmentée, de façon que le vibreur 23 émettre l'onde ultrasonore ayant une pression sonore suffisante. Dans le vibreur piézoélectrique 24 de l'élément ultrasonore 94 représenté sur les figures 7A et 7B, le vibreur piézoélectrique 24 et la membrane Md sont disposés en console sur le substrat 10. Par conséquent, la membrane Md peut être déformée suffisamment, c'est-à-dire qu'il n'existe dans la membrane Md aucune partie de la membrane Md qui empêche la membrane Md de se déformer. De ce fait, lorsque la tension est appliquée au vibreur piézoélectrique 24 de façon à déformer le vibreur piézoélectrique 24, la membrane Md est également fortement déformée. Il en résulte que le vibreur 24 émet l'onde ultrasonore ayant une pression sonore suffisante. Dans le vibreur piézoélectrique 25 de l'élément ultrasonore 95 représenté sur les figures 8A à 8C, la membrane Me est formée de manière qu'une partie de la couche d'oxyde enterrée 1 b du substrat 10 soit évidée, c'est-à-dire enlevée à partir d'un côté de surface supérieure du substrat 10, par un procédé de gravure sacrificielle. Un trou H pour le procédé de gravure sacrificielle est formé autour de la membre Me et d'un barreau Ha. Par conséquent, la périphérie de la membrane Me est supportée de manière partielle sur le substrat 10 par l'intermédiaire du barreau Ha. Ainsi, la partie de fixation de la membrane Me, qui empêche la membrane Me de se déformer, devient petite. Lorsque la tension est appliquée au vibreur piézoélectrique 25 de façon à déformer la membrane Me, une distorsion du barreau Ha est produite et le barreau Ha est fortement dé-formé; par conséquent, la membrane Me est fortement déformée. Le vibreur 25 émet donc l'onde ultrasonore ayant une pression sonore suffisante. Du fait que chaque élément ultrasonore 91-95 peut émettre l'onde ultrasonore ayant une pression sonore suffisante, l'élément 91-95 peut procurer le dispositif d'émission S1 du capteur ultrasonore 100 ayant une exactitude de détection élevée. L'élément 91-95 peut également pro-curer ici le dispositif de réception R1-R4 du capteur ultrasonore 100. On expliquera ensuite en référence aux figures 9A à 9C un pro-cédé pour détecter l'objet en utilisant le capteur ultrasonore 100. Sur les figures 9A à 9C, la surface du substrat du capteur ultrasonore 100 est disposée de façon à être perpendiculaire au sol. De façon spécifique, la surface du dispositif d'émission S1 est perpendiculaire au sol. Ici, un plan X-Y sur la figure 9A est parallèle au sol. Un axe Z sur la figure 9B est perpendiculaire au sol. La figure 9A montre les dispositifs de réception R1, R2 du capteur ultrasonore 100 et l'onde ultrasonore de réception dans le plan X-Y. De façon spécifique, l'onde ultrasonore émise par le dispositif d'émission S1 est réfléchie par l'obstacle 50, et ensuite l'onde ultrasonore réfléchie est reçue par le dispositif de réception R1, R2 sous la forme de l'onde ultrasonore de réception. La figure 9B montre les dispositifs de réception R1, R3 du capteur ultrasonore 100 et l'onde ultrasonore de réception dans le plan Z-X, Y. Ici, le plan Z-X, Y sur la figure 9B est perpendiculaire au sol. AL représente la différence d'un chemin de l'onde ultrasonore de réception. La figure 9C est un diagramme temporel montrant un signal d'impulsion alternative de l'onde ultrasonore émise par le dispositif d'émission S1 et quatre signaux d'impulsion alternative de l'onde ultrasonore qui sont reçus par quatre dispositifs de réception R1-R4. Sur la figure 9A, Dx représente une distance entre le centre du capteur ultrasonore 100 et l'obstacle 50 dans le plan X-Y. La distance Dx estcalculée sur la base d'un signal S n 1 émis par le dispositif d'émission S1, d'un signal R n 1 reçu par le dispositif de réception R1 et d'un signal R n 2 reçu par le dispositif de réception R2. Les dispositifs de réception R1, R2 sont disposés sur un côté supérieur du capteur 100 de la figure 1. De façon spécifique, la distance Dx est calculée à partir d'une différence de temps moyenne ATx entre des instants de réception (c'est-àdire un instant d'arrivée) des signaux R n 1 et n 2, et un instant d'émission (c'est-à-dire un instant de départ) du signal S n 1. Sur la figure 9A, Ox représente un angle de direction de l'obstacle 50 dans le plan X-Y. L'angle de direction Ox est mesuré à partir de l'axe X pris comme un axe de référence. L'angle de direction Ox est obte- nu sur la base des signaux R n 1 et n 2 provenant des dispositifs de réception R1 et R2. De façon spécifique, l'angle de direction Ox est calculé d'après une différence de phase APx entre le signal R n 1 et le signal R n 2. Sur la figure 9B, Dz représente une distance entre le centre du capteur ultrasonore 100 et l'obstacle 50 dans le plan Z-X, Y, qui est perpendiculaire au sol. La distance Dz est calculée sur la base du signal S n 1 provenant du dispositif d'émission S1, du signal R n 1 provenant du dispositif de réception R1 et d'un signal R n 3 reçu par le dispositif de réception R3. Les dispositifs de réception R1, R3 sont disposés d'un côté gauche du capteur 100 sur la figure 1. De façon spécifique, la distance Dz est calculée d'après une différence de temps moyenne OTz entre des instants de réception des signaux R n 1 et n 3, et l'instant d'émission du signal S n 1. Sur la figure 9B, Oz représente un angle de direction de l'obstacle 50 dans le plan Z-X, Y. L'angle de direction Oz est mesuré à partir du plan X-Y pris comme un plan de référence. L'angle de direction Oz est obtenu sur la base des signaux R n 1 et n 3 provenant des dispositifs de réception R1 et R3. De façon spécifique, l'angle de direction Oz est calcu- lé à partir d'une différence de phase APz entre le signal R n 1 et le si- gnal R n 3. La distance entre l'obstacle 50 et le capteur 100, et la direction de l'obstacle 50, sont déterminées d'après les distances Dx, Dz et les angles direction Ox, Oz. Le capteur 100 détecte donc l'obstacle 50. Dans le capteur 100, le dispositif d'émission S1 et les dispositifs de réception R1-R4 sont intégrés dans le même substrat 10. Par conséquent, les dimensions du capteur 100 et le coût de fabrication du capteur 100 sont réduits, en comparaison avec le capteur 900 représenté sur la figure 13B, dans lequel le dispositif d'émission SI et le dispositif à réseau ultrasonore A90R sont formés indépendamment. En outre, la relation de position entre le dispositif d'émission S1 et le dispositif de réception RI-R4 est établie avec précision, c'est-à-dire qu'elle est déterminée sur le substrat 10. Par conséquent, même lorsque le capteur 100 est monté sur un pare-chocs d'un véhicule automobile, l'exactitude de montage du capteur 100 sur le pare-chocs n'affecte pas l'exactitude de détection du capteur 100. Même lorsque le nombre des dispositifs d'émission S1 et/ou le nombre des dispositifs de réception R1-R4 sont augmentés ou réduits, et/ou même lorsque les dimensions du dispositif d'émission S1 et/ou les dimensions du dispositif de réception R1-R4 sont changées, le capteur 100 peut être formé en changeant seulement un masque. Par conséquent, le coût de fabrication du capteur 100 est presque le même. Bien que le capteur 100 comprenne quatre dispositifs de réception R1-R4, l'obstacle 50 peut être détecté en utilisant trois dispositifs de réception R1-R3. De façon spécifique, la distance Dx dans le plan X-Y et l'angle de direction Ox mesuré à partir de l'axe X sont obtenus en utilisant deux dispositifs de réception R1, R2 qui sont disposés du côté supérieur du capteur 100. La distance Dz dans le plan Z-X, Y et l'angle de direction Oz mesuré à partir du plan X-Y sont obtenus en utilisant deux dispositifs de réception RI, R3 qui sont disposés du côté gauche du capteur 100. Cependant, la distance Dx dans le plan X-Y et l'angle de direction Ox mesuré à partir de l'axe X peuvent être obtenus en utilisant deux dispositifs de réception R3, R4 qui sont disposés sur un côté inférieur du capteur 100. La distance Dz dans le plan Z-X, Y et l'angle de direction Oz mesuré à partir du plan X-Y peuvent être obtenus en utilisant deux dispositifs de réception R2, R4 qui sont disposés du côté droit du capteur 100. L'obstacle 50 peut donc être détecté par trois dispositifs de réception R2-R4. Ainsi, dans le capteur 100, on obtient deux distances différentes et deux angles de direction différents pour l'obstacle 50. En comparant ces deux données de l'obstacle 50, on juge s'il y a un défaut de fonctionnement du capteur 100. De façon spécifique, lorsque deux données de l'obstacle ne coïncident pas, un défaut de fonctionnement du capteur 100 s'est produit. Par conséquent, le capteur 100 a une fonction de détection de défaut de fonctionnement. Si le capteur 100 détermine qu'un seul dispositif de réception R1-R4 provoque le défaut de fonctionnement, le capteur 100 peut détecter l'obstacle 50 en utilisant trois autres dispositifs de réception R1-R4. Le capteur 100 a donc une fonction de sûreté intégrée. En outre, même lorsque le capteur 100 comprend seulement trois dispositifs de réception R1-R3, le capteur 100 peut avoir la fonction de détection de défaut de fonctionnement. De façon spécifique, la dis-tance Dx et l'angle de direction Ox sont obtenus à partir de deux dispositifs de réception R1, R2, et la distance Dz et l'angle de direction Oz sont obtenus en utilisant deux dispositifs de réception R1, R3. Par conséquent, l'obstacle 50 est détecté sur la base de deux données combinées, dont l'une est obtenue à partir des dispositifs de réception R1, R2, et l'autre est obtenue à partir des dispositifs de réception R1, R3. Les autres don-nées combinées obtenues à partir des dispositifs de réception R2, R3 peuvent être utilisées pour contrôler le calcul de détection de l'obstacle 50. Par conséquent, même lorsque le capteur 100 comprend trois dispositifs de réception R1-R3, le capteur 100 peut avoir la fonction de détection de défaut de fonctionnement. Par conséquent, lorsque le capteur 100 comprend trois, ou plus, dispositifs de réception R1-R3, ou plus, le capteur 100 a la fonction de détection de défaut de fonctionnement. Lorsque le capteur 100 comprend quatre dispositifs de réception R1-R4, ou plus, le capteur 100 a la fonction de sûreté intégrée. De ce fait, si le défaut de fonctionnement du capteur 100 est occasionné par une goutte d'eau ou de la poussière, qui ad- hère au capteur 100, le capteur 100 peut éviter le défaut de fonctionne- ment. Le capteur 100 peut émettre deux, ou plus, ondes ultrasonores différentes, ou plus, ayant des fréquences différentes, qui sont émises à partir d'un seul dispositif d'émission S1, en commandant dans le temps la fréquence du signal d'impulsion alternative, le signal d'impulsion étant appliqué au dispositif d'émission S1. En utilisant deux ondes ultrasonores différentes, le capteur 100 peut détecter l'obstacle 50 avec une fonction de compensation d'humidité. Ici, la tension d'entrée est commandée de façon à avoir une plage de fréquence autre que la fréquence de réso- nance de la membrane M, de façon à émettre les ondes ultrasonores ayant deux fréquences différentes. La figure 10 explique le procédé pour compenser l'humidité. Sur la figure 10, le dispositif d'émission S1 émet deux ondes ultrasonores différentes ayant deux fréquences différentes f1, f2. Le dispositif d'émission S1 émet la première onde ultrasonore ayant la première fréquence f1, et ensuite le dispositif S1 émet la deuxième onde ultrasonore ayant la deuxième fréquence f2. Les première et deuxième ondes ultrasonores sont émises périodiquement, c'est-à-dire avec un intervalle de temps pré- déterminé. Dans quatre dispositifs de réception R1-R4, on détecte les si- gnaux allant du premier signal R n 1 correspondant à la première onde ultrasonore et du deuxième signal R n 1 correspondant à la deuxième onde ultrasonore, jusqu'au premier signal R n 4 correspondant à la première onde ultrasonore et au deuxième signal R n 4 correspondant à la deuxième onde ultrasonore. La relation parmi les premiers signaux R n 1-4 et le premier signal S n 1 correspondant à la première onde ultra-sonore sur la figure 10, est la même que celle sur la figure 9C. En outre, la relation parmi les deuxièmes signaux R n 1-4 et le deuxième signal S n 1 correspondant à la deuxième onde ultrasonore sur la figure 10, est la même que celle sur la figure 9C. Sur la figure 10, la hauteur du signal d'impulsion alternative du premier signal S n 1 de la première fréquence f1, est égale à celle du deuxième signal S n 1 de la deuxième fréquence f2. Cependant, la hauteur du premier signal R n 1 de la première fréquence f1 est plus élevée que celle du signal de la deuxième fréquence f2, c'est-à-dire que le deuxième signal R n 1 de la deuxième fréquence f2 est fortement atténué, en comparaison avec le première signal R n 1 de la première fréquence f1. De façon similaire, les deuxièmes signaux R n 2-4 sont forte-ment atténués, c'est-à-dire réduits. Ici, la perte d'atténuation P, c'est-à-dire l'atténuation d'absorp-tion de l'onde ultrasonore, est obtenue par les formules suivantes: Poce-mr (F1) m = (33+0,2T)f2 x 10-12 + 2f 27cf + k (F2) \1,3 k = 1,92 x G xh x 105 (F3) G Ici, m représente le coefficient d'absorption, r représente la dis-Mf tance de transmission, M représente un coefficient prédéterminé, f représente une fréquence, T représente une température, Go représente une pression de vapeur saturante, G représente une pression d'air totale, et h représente une humidité. D'après la formule F1 ci-dessus, la perte d'atténuation P dépend de la fréquence f. Lorsque la fréquence f de l'onde ultrasonore devient plus élevée, la perte d'atténuation devient plus grande. En outre, la perte d'atténuation P dépend non seulement de la fréquence, mais également de la température T et de l'humidité h de l'environnement de transmission. La fréquence f de l'onde ultrasonore est déterminée de façon préliminaire. La température T de l'environnement peut être détectée par une capteur de température externe ou un dispositif similaire. Lorsque le capteur 100 est monté sur le véhicule, la température, T, c'est-à-dire la température extérieure, peut être détectée aisément. Cependant, l'humidité h de l'envi- ronnement, c'est-à-dire l'humidité extérieure h, n'est pas détectée aisé-ment par un capteur d'humidité. Ceci est dû au fait qu'il n'y a pas de capteur d'humidité approprié pour détecter l'humidité extérieure autour du véhicule. Cependant, du fait que les ondes ultrasonores reçues ayant deux fréquences différentes f1, f2 sont mesurées, il est possible de calculer l'humidité h d'après la différence de deux pertes d'atténuations P obtenues à deux fréquences différentes f1, f2. Cette humidité calculée h est utilisée pour compenser l'humidité standard, qui est déterminée de façon préliminaire et mémorisée dans le capteur 100. Par conséquent, le cap- teur 100 a la fonction de compensation d'humidité. Dans ce cas, l'exactitude de détection du capteur 100 est fortement améliorée en ce qui concerne le changement d'humidité. Bien que le capteur 100 comprenne un seul dispositif d'émission S1, il est préférable que le capteur 100 comprenne deux dispositifs d'émission S1, ou plus. Lorsque le capteur 100 comprend deux dispositifs d'émission S1, chaque dispositif d'émission SI peut émettre l'onde ultra-sonore ayant une fréquence différente avec une valeur de Q élevée, le dispositif S1 émettant l'onde en utilisant une fréquence de résonance différente de la membrane M. La figure 11 montre un capteur ultrasonore 101 ayant deux dispositifs d'émission S1, S2. Le capteur 101 peut émettre simultanément deux ondes ultrasonores ayant des fréquences différentes f1, f2, en utilisant deux dispositifs d'émission S1, S2 pour émettre deux ondes ultrasonores différentes. Par conséquent, aucune compensation pour compenser le mouvement du véhicule n'est nécessaire. Ici, du fait que les ondes ultrasonores ayant des fréquences f1, f2 différentes ont la même vitesse de propagation, les ondes ultrasonores réfléchies arrivent en même temps au capteur 100. Par conséquent, une analyse de fréquence pour décomposer les ondes ultrasonores de réception pour donner la composante ayant la première fréquence f1 et la composante ayant la deuxième fréquence f2, est exigée. La figure 12 montre un capteur ultrasonore 102 ayant le dispositif d'émission S1 et huit dispositifs de réception R1-R8. Le dispositif d'émission S1 est entouré par huit dispositifs de réception R1-R8. Dans ce cas, il est préférable que deux dispositifs de réception R1-R8 soient disposés symétriquement par rapport au dispositif d'émission SI. De façon spécifique, une paire des dispositifs de réception R1, R8, une paire des dispositifs de réception R2, R7, une paire des dispositifs de réception R3, R6 et une paire des dispositifs de réception R4, R5 sont disposées symétriquement par rapport au dispositif d'émission Si, de façon que chaque paire des dispositifs de réception R1-R8 entoure le dispositif d'émission S1. Dans ce cas, du fait que chaque paire des dispositifs de réception R1-R8 est disposée symétriquement, l'onde ultrasonore réfléchie qui est émise par le dispositif d'émission S1 retourne à la paire des dispositifs de réception R1-R8 d'une manière telle que la pression sonore de l'onde ultrasonore reçue qui est reçue par l'un de la paire de dispositifs de réception R1-R8, soit presque la même que pour l'autre de la paire de dispositifs de réception R1-R8. L'exactitude de détection de l'obstacle 50 est donc améliorée. Ainsi, chaque capteur 100, 100a, 101, 102 a de faibles dimensions et un faible coût de fabrication, et l'exactitude de détection du capteur 100, 100a, 101, 102 n'est pas affectée par l'exactitude de montage du capteur sur le véhicule. En outre, le capteur 100, 100a, 101, 102 a une exactitude de détection élevée, même si une goutte d'eau ou de la pous- sière adhère au capteur 100, 100a, 101, 102, et même si l'humidité autour du capteur 100, 100a, 101, 102 change. Bien que le capteur 100, 100a, 101, 102 comprenne un dispositif d'émission Si et quatre ou huit dispositifs de réception R1-R8, le capteur peut inclure un ou plusieurs dispositifs d'émission S1 et deux dispositifs de réception ou plus. Lorsque le capteur comprend de multiples dispositifs d'émission et de multiples dispositifs de réception, l'information pro-venant du capteur est accrue. En outre, lorsque le capteur comprend deux dispositifs d'émission, ou plus, la pression sonore de l'onde ultrasonore devient plus grande, et la directivité de l'onde ultrasonore est commandée. Selon une variante, les dispositifs de réception dans le capteur peuvent être disposés en réseau de façon qu'un signal d'émission soit reçu par de multiples dispositifs de réception afin d'annuler le signal d'émission, du fait que le signal d'émission peut occasionner du bruit pour le capteur. De façon spécifique, lorsque le dispositif d'émission et le dis- positif de réception sont intégrés dans un seul substrat, le signal d'émission peut entrer dans le dispositif de réception, ce qui fait que le signal d'émission peut occasionner du bruit pour le capteur. Ainsi, en annulant le signal d'émission introduit, le bruit du capteur est réduit. Par conséquent, lorsque l'obstacle est disposé près du capteur, le rapport signal /' bruit du signal est amélioré pour détecter l'obstacle. Bien que le dispositif de réception comprenne la pellicule mince piézoélectrique de façon que le dispositif de réception procure un dispositif de type piézoélectrique, le dispositif de réception peut être un disposi- tif de type capacitif pour détecter un changement de capacité entre des électrodes. En outre, le dispositif de réception peut être d'un type piézoélectrique pour détecter un signal de sortie d'un extensomètre, généré par la pression. En outre, le capteur peut inclure une combinaison de ces différents types de dispositifs de réception. Bien que l'invention ait été décrite en référence à des modes de réalisation préférés de celle-ci, il faut noter que l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation et aux structures préférés. L'invention vise à couvrir divers agencements équivalents et modifications. De plus, bien que les diverses combinaisons et configurations décrites soient préférées, d'autres combinaisons et configurations, incluant plus ou moins d'élé- ments, ou un seul élément, entrent également dans l'esprit et le cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Capteur ultrasonore pour détecter un objet (50), caractérisé en ce qu'il comprend: un substrat (10); un dispositif d'émission (Si, S2) pour émettre une onde ultrasonore; une pluralité de dispositifs de récep-tion (R1-R8) pour recevoir l'onde ultrasonore; et un circuit (K) pour traiter des ondes ultrasonores reçues, qui sont reçues par les dispositifs de réception (R1-R8) après que l'onde ultrasonore émise par le dispositif d'émission (Si, S2) a été réfléchie par l'objet (50); et en ce que le dispositif d'émission (Si, S2) et les dispositifs de réception (R1-R8) sont inté- grés dans le substrat (10). 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le nombre des dispositifs de réception (R1-R8) est égal ou supérieur à trois, de façon que le circuit (K) soit capable de détecter un défaut de fonctionnement. 3. Capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que chacun du dispositif d'émission (Si, S2) et des trois dispositifs de réception (R1R3) a une surface pour émettre ou recevoir l'onde ultrasonore, la surface étant perpendiculaire au sol; les trois dispositifs de réception (R1R3) sont composés d'un premier à un troisième dispositifs de réception (R1-R3); le premier dispositif de réception (RI) est disposé au-dessus du troisième dispositif de réception (R3), et est disposé d'un côté gauche du deuxième dispositif de réception (R2); le circuit (K) est capable de calculer une distance dans un plan horizontal entre l'objet (50) et le capteur, dans un plan horizontal parallèle au sol, et un angle de direction dans un plan horizontal à partir du capteur vers l'objet (50), dans le plan horizontal, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les premier et deuxième dispositifs de réception (R1, R2); le circuit (K) est en outre capable de calculer une distance dans un plan vertical entre l'objet (50) et le capteur, dans un plan vertical perpendiculaire au sol, et un an- gle de direction dans un plan vertical à partir du capteur vers l'objet (50), dans le plan vertical, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les premier et troisième dispositifs de réception (R1, R3); et le circuit (K) est capable de contrôler les distances dans les plans horizontal et vertical, et les angles de direction dans les plans horizontal et vertical, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les deuxième et troisième dispositifs de réception (R2, R3), de façon que le circuit (K) soit capable de détecter le défaut de fonctionnement. 4. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le nombre des dispositifs de réception (R1-R8) est égal ou supérieur à quatre. 5. Capteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que chacun du dispositif d'émission (Si, S2) et des quatre dispositifs de réception (R1R4) a une surface pour émettre ou recevoir l'onde ultrasonore, la surface étant perpendiculaire au sol; les quatre dispositifs de réception (R1-R4) sont composés d'un premier à un quatrième dispositifs de réception (R1-R4) ; le premier dispositif de réception (R1) est disposé au-dessus du troisième dispositif de réception (R3), et est disposé sur un côté gauche du deuxième dispositif de réception (R3); le quatrième dispositif de réception (R4) est disposé au-dessous du deuxième dispositif de réception (R2), et est disposé sur un côté droit du troisième dispositif de réception (R3); le circuit (K) est capable de calculer une distance dans un plan horizontal entre l'objet (50) et le capteur, dans un plan horizontal parallèle au sol, et un angle de direction dans un plan horizontal à partir du capteur vers l'objet (50), dans le plan horizontal, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les premier et deuxième dispositifs de réception (R1, R2), et est en outre capable de calculer une dis-tance dans un plan vertical entre l'objet (50) et le capteur, dans un plan vertical perpendiculaire au sol, et un angle de direction dans un plan ver-tical à partir du capteur vers l'objet (50), dans le plan vertical, sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les premier et troisième dispositifs de réception (R1, R3) de façon à obtenir une première donnée de l'objet (50); le circuit (K) est capable de calculer la distance dans un plan horizontal et l'angle de direction dans un plan horizontal sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les troisième et quatrième dispositifs de réception (R3, R4), et est en outre capable de calculer la distance dans un plan vertical et l'angle de direction dans un plan vertical sur la base des ondes ultrasonores reçues qui sont reçues par les deuxième et quatrième dispositifs de réception (R2, R4), de façon à obtenir une deuxième donnée de l'objet (50); et le circuit (K) est capa- ble de contrôler la première donnée et la deuxième donnée, de façon que le circuit (K) soit capable de détecter le défaut de fonctionnement. 6. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1-5, caractérisé en ce que le dispositif d'émission (Si, S2) est capable d'émettre de multiples ondes ultrasonores ayant différentes fréquences, de façon que le circuit (K) soit capable de compenser l'humidité. 7. Capteur selon la revendication 6, caractérisé en ce que le dispositif d'émission (Si) est capable d'émettre une première onde ultra-sonore ayant une première fréquence et une deuxième onde ultrasonore ayant une deuxième fréquence; le nombre des dispositifs de réception (R1-R3) est égal ou supérieur à trois; chacun du dispositif d'émission (Si) et des trois dispositifs de réception (R1-R3) a une surface pour émettre ou recevoir l'onde ultrasonore, la surface étant perpendiculaire au sol; les trois dispositifs de réception (R1-R3) sont composé d'un premier à un troisième dispositifs de réception (R1-R3); le premier dispositif de récep- tion (R1) est disposé au-dessus du troisième dispositif de réception (R3), et est disposé sur un côté gauche du deuxième dispositif de réception (R2); le circuit (K) est capable de calculer une distance dans un plan horizontal entre l'objet (50) et le capteur, dans un plan horizontal parallèle au sol, et un angle de direction dans un plan horizontal à partir du capteur vers l'objet (50), dans le plan horizontal, sur la base des ondes ultrasonores reçues ayant la première fréquence qui sont reçues par les premier et deuxième dispositifs de réception (R1, R2), et est en outre capable de calculer une distance dans un plan vertical entre l'objet (50) et le capteur, dans un plan vertical perpendiculaire au sol, et un angle de direction dans un plan vertical à partir du capteur vers l'objet (50), dans le plan vertical, sur la base des ondes ultrasonores reçues ayant la première fréquence qui sont reçues par les premier et troisième dispositifs de réception (R1, R3); le circuit (K) est capable de calculer une première perte d'atténuation entre l'onde ultrasonore émise et les ondes ultrasonores re- çues ayant la première fréquence; le circuit (K) est capable de calculer une deuxième perte d'atténuation entre l'onde ultrasonore émise et les ondes ultrasonores reçues ayant la deuxième fréquence; et le circuit (K) est capable de calculer l'humidité de l'environnement sur la base des première et deuxième pertes d'atténuations et d'une température obtenue à partir d'un capteur de température externe. 8. Capteur selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un deuxième dispositif d'émission (S2) pour émettre une deuxième onde ultrasonore ayant une deuxième fréquence, qui est différente d'une fréquence de l'onde ultrasonore émise par le dispositif d'émission (Si). 9. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1-8, caractérisé en ce que les dispositifs de réception (R1-R8) entourent le dis-positif d'émission (Si) d'une manière telle qu'une paire des dispositifs de réception (R1-R8) soit disposée symétriquement par rapport au dispositif d'émission (Si). 10. Capteur selon la revendication 9, caractérisé en ce que le nombre des dispositifs de réception (R1-R8) est égal à huit; le dispositif d'émission (Si) est disposé à un centre du capteur; et chaque dispositif de réception est disposé autour du dispositif d'émission (Si) de manière telle que chacune de quatre paires de dispositifs de réception (R1-R8) soit disposée symétriquement par rapport au dispositif d'émission (Si). 11. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1-10, caractérisé en ce que chacun du dispositif d'émission (Si, S2) et des dis-positifs de réception (R1-R8) est constitué d'un élément ultrasonore (90-95); l'élément ultrasonore (90-95) est disposé sur une membrane (M) du substrat (10); l'élément ultrasonore (90-95) comprend une pellicule mince piézoélectrique (2) et une paire d'électrodes métalliques (3a-3c), de façon à former un vibreur piézoélectrique (20-25); la pellicule mince piézoélectrique (2) est intercalée entre les électrodes métalliques (3a3c); et le vi- breur piézoélectrique (20-25) est capable de résonner conjointement à la membrane (M) à une fréquence ultrasonore prédéterminée. 12. Capteur selon la revendication 11, caractérisé en ce que le dispositif d'émission (Si) occupe une étendue plane de la membre (M); et chaque dispositif de réception (R1-R4) occupe une étendue plane de la membrane (M) qui est plus petite que celle du dispositif d'émission (Si). 13. Capteur selon la revendication 11 ou 12, caractérisé en ce que la pellicule mince piézoélectrique (2) du dispositif d'émission (Si) comprend un motif de coupure partiel (2a) qui est disposé dans une région de concentration de contraintes d'une vibration de direction radiale de la membrane (M). 14. Capteur selon la revendication 13, caractérisé en ce que la membrane (M) est séparée en quatre parties par le motif de coupure partiel (2a); la membrane (M) a une forme plane carrée et chaque partie de la membrane (M) a une forme plane carrée; et le motif de coupure partiel (2a) traverse l'une des électrodes métalliques (3b) et la pellicule mince piézoélectrique (2). 15. Capteur selon la revendication 11 ou 12, caractérisé en ce que la pellicule mince piézoélectrique (2) du dispositif d'émission (Si) comprend un motif de concavité partiel (2b) qui est disposé sur une ré- gion de concentration de contraintes d'une vibration de direction radiale de la membrane (M). 16. Capteur selon la revendication 15, caractérisé en ce que la membrane (M) est séparée en quatre parties par le motif de concavité partiel (2b); la membrane (M) a une forme plane carrée, et chaque partie de la membrane (M) a une forme plane carrée; et le motif de concavité partiel (2b) traverse l'une des électrodes métalliques (3b) et atteint la pellicule mince piézoélectrique (2). 17. Capteur selon l'une quelconque des revendications 11-16, caractérisé en ce que le vibreur piézoélectrique (23) comprend de multi-pies pellicules minces piézoélectriques (3a-3c) et de multiples électrodes métalliques (2), qui sont empilées de manière alternée. 18. Capteur selon l'une quelconque des revendications 11-17, caractérisé en ce que le vibreur piézoélectrique (24) et la membrane (M) sont disposés en console sur le substrat (10). 19. Capteur selon la revendication 11, caractérisé en ce que la membrane (M) est formée en enlevant une partie du substrat (10) à partir d'une surface du substrat (10), par un procédé de gravure sacrificielle. 20. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1-19, caractérisé en ce que le capteur peut être monté sur un véhicule automo-bile.