Brevet FR2873814A1 — publié le 20060203

La présente invention se rapporte à un procédé d'analyse de caractéristiques optiques, ainsi qu'à un appareil de mesure d'échantillons et un ellipsomètre spectroscopique pour sa mise en oeuvre, avec lesquels la caractéristique optique d'un film multicouche peut être analysée, avec une tension appliquée à ce dernier, pour permettre d'évaluer l'effet électrooptique du matériau ayant une structure en film multicouche. Une substance pourvue d'un film à grande constante diélectrique ou d'un film ferroélectrique, formé sur un substrat, est traditionnellement utilisée comme matériau pour la production d'une mémoire ferroélectrique, d'un condensateur ferroélectrique, d'un élément piézo-électrique tel qu'un actionneur, et d'un composant électro-optique, tel qu'un obturateur optique et un coupleur optique, et analogues. Déterminer la caractéristique d'un film fait d'un tel matériau est extrêmement important pour jouer sur la performance de la mémoire ou autre composant, et l'indice de réfraction, le coefficient de transmission, notamment, changent avec le champ électrique appliqué au film, ce qui est connu sous le nom d'effet électro-optique, de sorte que, par exemple, les caractéristiques susmentionnées sont utilisées pour l'évaluation de la caractéristique d'un film. La figure 1 est une vue schématique illustrant un procédé classique de mesure d'effet électro-optique. Selon ce procédé de mesure, un prisme de couplage pyramidal P est placé sur la surface d'un échantillon S pourvu d'un film S2 formé sur un substrat S1, de la lumière est projetée sur le prisme de couplage P, en même temps qu'un champ électrique adéquat est appliqué à l'échantillon S, et l'indice de réfraction de la lumière, qui est envoyée sur l'échantillon S par le prisme de couplage P, est mesuré par un appareil de mesure adéquat. Il convient de noter que la mesure de l'effet électro-optique est divulguée également dans la demande de brevet japonais publiée n S63205543 (1988) et la demande de brevet japonais publiée n H1-41838 (1989). Dans le procédé de mesure classique illustré par la figure 1, de par le fait qu'une mesure est effectuée à l'aide du prisme de couplage P que l'on place sur la surface de l'échantillon S, un inconvénient est à voir dans le fait qu'il faut préparer un échantillon S de grande taille, possédant des dimensions au moins suffisantes pour y placer le prisme de couplage P. De 2873814 2 plus, comme il est nécessaire de polir la surface de l'échantillon S, sur lequel le prisme de couplage P est placé, jusqu'à ce qu'un lissé recherché soit obtenu, afin de prévenir l'apparition d'une réfraction indésirable au niveau de la zone de transition entre le prisme de couplage P et l'échantillon S, un autre inconvénient est à voir dans le fait que la préparation de l'échantillon S impose beaucoup d'efforts. Par ailleurs, étant donné que, dans le procédé de mesure classique, on effectue une mesure relativement à un emplacement sur lequel de la lumière est envoyée par le prisme de couplage P, un inconvénient supplémentaire réside dans le fait qu'il devient extrêmement difficile de procéder à ce que l'on appelle une mesure de répartition dans un plan de l'indice de réfraction, pour mettre en évidence de quelle façon l'indice de réfraction est réparti sur la surface entière de l'échantillon S. De plus, même quand on utilise le procédé conforme à la demande de brevet japonais publiée n S63-205543 (1988) et la demande de brevet japonais publiée n H1-41838 (1989), la mesure de répartition dans un plan de l'indice de réfraction, qui requiert le déplacement d'un emplacement de l'échantillon sur lequel une lumière est projetée, nécessite énormément d'efforts et de temps, et une mesure ne peut pas dès lors être réalisée facilement. D'autre part, lorsqu'un échantillon soumis à une mesure est une substance pourvue d'un film à grande constante diélectrique ou du film ferroélectrique, formé sur un substrat, il a été relevé qu'un film inconnu est automatiquement formé sur le substrat, lors de la formation du film à grande constante diélectrique ou d'un film ferroélectrique, et le résultat en est qu'une structure en film multicouche (structure possédant plusieurs couches) est formée. Si l'on exploite cette substance comme matériau pour la fabrication d'une mémoire ferroélectrique, d'un condensateur ferroélectrique ou autres, il est extrêmement important de mesurer la caractéristique d'un tel film multicouche pour chaque couche individuellement. Cependant, une mesure pour chaque couche ne peut pas être effectuée avec le procédé de mesure classique illustré sur la figure 1 et, de surcroît, une mesure de précision est difficile à réaliser même par la mise en oeuvre du procédé conforme à la demande de brevet japonais publiée n S63-205543 (1988) et à la demande de brevet japonais publiée n H1-41838 (1989). La présente invention s'est fixé pour objectif de remédier à l'ensemble de ces inconvénients et, pour ce faire, elle a pour but principal de procurer un procédé d'analyse de caractéristiques optiques ainsi qu'un appareil de mesure d'échantillons et un ellipsomètre spectroscopique pour sa mise en oeuvre, avec lesquels la caractéristique optique d'un échantillon, auquel un champ électrique est appliqué, puisse être analysée avec précision pour chaque couche, par l'utilisation d'un appareil, tel qu'un ellipsomètre spectroscopique, capable d'analyser la caractéristique de chaque couche d'un échantillon présentant une structure en film multicouche. Un autre but de la présente invention est de procurer un procédé d'analyse de caractéristiques optiques et un ellipsomètre spectroscopique, avec lesquels un échantillon puisse être déplacé, avec un champ magnétique continuant à lui être appliqué, afin que la répartition dans un plan de l'indice de réfraction de l'échantillon puisse être analysée facilement. Un autre but encore de la présente invention est de procurer un procédé d'analyse de caractéristiques optiques et un ellipsomètre spectroscopique, avec lesquels un échantillon puisse être analysé de manière efficace en conjonction avec une modification de l'intensité du champ électrique. Pour atteindre les buts mentionnés ci-dessus, la présente invention propose tout d'abord, selon un premier aspect, un procédé d'analyse de caractéristiques optiques pour analyser, à l'aide d'un ellipsomètre spectroscopique, la caractéristique optique d'un échantillon comportant un film constitué de plusieurs couches, caractérisé en ce qu'il comprend une première étape consistant à appliquer une tension à l'échantillon; une deuxième étape consistant à projeter de la lumière polarisée, constituée d'une multiplicité de composantes de longueur d'onde, sur la surface du film de l'échantillon auquel la tension est appliquée; et une troisième étape consistant à mesurer l'état de polarisation de la lumière réfléchie par l'échantillon et à analyser la caractéristique optique du film de l'échantillon pour chacune de ses couches. Selon un deuxième aspect constituant une variante du premier, la présente invention propose encore un procédé d'analyse de caractéristiques optiques pour analyser, à l'aide d'un ellipsomètre spectroscopique, la caractéristique optique d'un échantillon, qui comprend un film constitué de 2873814 4 plusieurs couches et de plusieurs électrodes, et qui comporte, parmi les diverses électrodes, une électrode optiquement transparente couvrant le film, caractérisé en ce qu'il comprend une première étape consistant à appliquer une tension entre les électrodes de l'échantillon; une deuxième étape consistant à projeter de la lumière polarisée, constituée d'une multiplicité de composantes de longueur d'onde, sur la surface de l'électrode optiquement transparente de l'échantillon auquel la tension est appliquée; et une troisième étape consistant à mesurer l'état de polarisation de la lumière réfléchie par l'échantillon et à analyser la caractéristique optique du film de l'échantillon pour chacune de ses couches. Selon un troisième aspect de la présente invention, il est avantageusement prévu que la valeur de la tension à appliquer soit modifiée au cours de la première étape, et que les deuxième et troisième étapes soient exécutées pour chaque valeur de tension modifiée. De même, il est avantageusement prévu, selon un quatrième aspect de la présente invention, qu'un emplacement sur la surface de l'échantillon, où la lumière est projetée, soit déplacé par pas successifs au cours de la deuxième étape et que la caractéristique optique soit analysée pour chaque emplacement déplacé, au cours de la troisième étape. La présente invention propose en outre, selon un cinquième aspect, un appareil de mesure d'échantillons, comprenant des moyens de génération pour générer une lumière ayant une multiplicité de composantes de longueur d'onde, des moyens de projection pour polariser la lumière générée par les moyens de génération et projeter la lumière sur un échantillon, placé sur un support d'échantillon, et des moyens de mesure pour détecter et mesurer la lumière réfléchie par l'échantillon, caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens d'application de tension pour appliquer une tension à l'échantillon placé sur le support d'échantillon, les moyens de projection étant conçus pour projeter de la lumière sur l'échantillon auquel les moyens d'application de tension appliquent une tension. De même, il est proposé, selon un sixième aspect de la présente invention, un ellipsomètre spectroscopique, destiné à projeter de la lumière polarisée sur un échantillon, placé sur un support d'échantillon, et à analyser la caractéristique de l'échantillon sur la base d'une mesure de l'état de polarisation de la lumière réfléchie par l'échantillon, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'application de tension pour appliquer une tension à l'échantillon placé sur le support d'échantillon, une analyse étant réalisée par projection de lumière sur l'échantillon auquel les moyens d'application de tension appliquent une tension. Selon un septième aspect de la présente invention, dans cet ellipsomètre spectroscopique, les moyens d'application de tension comprennent, de préférence, des moyens de contact destinés à venir en contact électrique avec l'échantillon et des moyens d'alimentation en courant destinés à fournir du courant aux moyens de contact, et les moyens d'alimentation en courant sont conçus de façon à modifier une valeur de tension liée à l'alimentation en courant. Avantageusement, l'ellipsomètre spectroscopique comprend en outre, conformément à un huitième aspect de la présente invention, des moyens pour analyser l'échantillon pour chaque valeur de tension, modifiée par les moyens d'alimentation en courant. De préférence, il comprend également, conformément à un neuvième aspect de la présente invention, des moyens de déplacement pour déplacer le support d'échantillon, les moyens de contact étant alors prévus sur le support d'échantillon. Dans ce cas, l'ellipsomètre spectroscopique comprend avantageusement, selon un dixième aspect de la présente invention, des moyens pour analyser l'échantillon pour chaque déplacement effectué par les moyens de déplacement. Grâce au fait qu'un ellipsomètre spectroscopique, conformément aux premier et sixième aspects de la présente invention, analyse un échantillon, en même temps qu'une tension est appliquée à ce dernier, la caractéristique optique d'un film constitué d'une pluralité de couches, prévu sur l'échantillon, peut être analysée pour chaque couche. Le résultat en est qu'il devient possible d'évaluer l'effet électro-optique d'un échantillon présentant une structure en film multicouche, dont la mesure est difficile à réaliser avec des procédés de mesure classiques, pour chaque couche, et que, par conséquent, un film inconnu, qui est produit lors de la formation d'un film à grande constante diélectrique ou d'un film ferroélectrique, peut également faire l'objet d'une analyse séparée de celle d'autres films, ce qui permet d'assister à la recherche et la fabrication, notamment, du matériau constitutif d'une mémoire ferroélectrique, d'un condensateur ferroélectrique, d'un élément piézo-électrique, d'un composant électro- optique et autres. Selon le deuxième aspect de la présente invention, grâce au fait qu'une lumière est projetée sur la surface d'une électrode optiquement transparente d'un échantillon, qui possède une électrode optiquement transparente couvrant un film constitué de plusieurs couches, le degré de liberté de l'angle et du point d'incidence de la lumière projetée est augmenté, et un processus d'analyse efficace peut être exécuté. Il convient de noter qu'une électrode transparente qui transmet de la lumière, une électrode présentant une épaisseur extrêmement faible de façon à transmettre de la lumière ou électrodes analogues, correspondent à l'électrode optiquement transparente. Selon les troisième et huitième aspects de la présente invention, grâce au fait que la valeur de tension à appliquer est modifiée et qu'une analyse est effectuée pour chaque valeur modifiée, la relation entre l'intensité du champ électrique généré et l'effet électro-optique peut être analysée efficacement et, comme conséquence, la caractéristique optique, en fonction du champ électrique, d'un échantillon peut être analysée facilement. Selon les quatrième et dixième aspects de la présente invention, grâce au fait qu'un emplacement sur la surface de l'échantillon où la lumière est projetée, est déplacé par pas successifs et qu'une analyse est effectuée pour chaque emplacement déplacé, une analyse successive de plusieurs emplacements sur un échantillon, laquelle est difficile avec des procédés de mesure classiques, est ici possible et, comme conséquence, il devient possible d'effectuer en toute facilité une analyse de l'échantillon dans un plan. Selon le cinquième aspect de la présente invention, grâce au fait qu'un appareil de mesure d'échantillon permettant de projeter une lumière, présentant une multiplicité de composantes de longueur d'onde, sur un échantillon et de pratiquer une mesure, est muni de moyens d'application de tension destinés à appliquer une tension à l'échantillon, il devient possible de mesurer un échantillon auquel une tension est appliquée, et d'évaluer, par exemple, l'effet électro-optique d'un échantillon présentant une structure en film multicouche, dont la mesure est difficile avec des procédés de mesure 2873814 7 classiques, pour chaque couche, ce qui permet d'assister la recherche et la fabrication, notamment, d'une mémoire ferroélectrique, d'un condensateur ferroélectrique, d'un élément piézo-électrique, d'un composant électrooptique et autres. Selon le septième aspect de la présente invention, grâce au fait qu'il est prévu des moyens de contact, destinés à venir en contact électrique avec un échantillon, et des moyens d'alimentation électrique permettant de faire varier une valeur de tension de l'alimentation, il devient possible d'analyser l'échantillon avec des valeurs de tension différentes et d'analyser la caractéristique de l'échantillon en détail. Selon le neuvième aspect, grâce au fait que le support d'échantillon est rendu mobile et que des moyens de contact, destinés à venir en contact électrique avec un échantillon, sont prévus sur le support d'échantillon, les moyens de contact peuvent être déplacés en bloc avec le support d'échantillon, le contact électrique peut être maintenu, même lorsque l'emplacement sur l'échantillon où de la lumière est projetée, est changé de place par le déplacement du support d'échantillon, et, par conséquent, un environnement favorable pour l'analyse peut être procuré. Selon les premier et sixième aspects de la présente invention, grâce au fait qu'un ellipsomètre spectroscopique analyse un échantillon en même temps qu'une tension est appliquée à celui-ci, il devient possible d'évaluer l'effet électro-optique de l'échantillon présentant une structure en film multicouche, pour lequel une mesure est difficile avec des procédés de mesure classiques, pour chaque couche. Selon le deuxième aspect, grâce au fait qu'une lumière est projetée sur la surface d'une électrode optiquement transparente d'un échantillon, qui possède une électrode optiquement transparente couvrant un film constitué d'une pluralité de couches, une forme de projection de lumière fonction de la forme de l'échantillon peut être assurée. Selon les troisième et huitième aspects de la présente invention, grâce au fait que la valeur de la tension à appliquer est modifiée et qu'une analyse est effectuée pour chaque valeur modifiée, la relation entre l'intensité du champ électrique généré et l'effet électro-optique peut être analysée efficacement. 2873814 8 Selon les quatrième et dixième aspects de la présente invention, grâce au fait qu'un emplacement où la lumière est projetée, est déplacé par pas successifs, et qu'une analyse est effectuée pour chaque emplacement déplacé, une analyse de plusieurs emplacements d'un échantillon successivement est réalisée, de sorte qu'une analyse de l'échantillon dans un plan peut être exécutée facilement. Selon le cinquième aspect, grâce au fait que des moyens d'application de tension sont prévus pour appliquer une tension à un échantillon, il devient possible de mesurer un échantillon en même temps qu'une tension lui est appliquée et d'assister l'évaluation de l'effet électrooptique d'un échantillon présentant une structure en film multicouche pour chaque couche. Selon le septième aspect de la présente invention, grâce au fait qu'il est prévu des moyens de contact destinés à venir en contact électrique avec un échantillon et des moyens d'alimentation électrique permettant de faire varier une valeur de tension liée à l'alimentation, il devient possible d'analyser l'échantillon avec des valeurs de tension différentes. Selon le neuvième aspect de la présente invention, grâce au fait que le support d'échantillon est rendu mobile et que des moyens de contact destinés à assurer un contact électrique avec un échantillon sont prévus sur le support d'échantillon, les moyens de contact peuvent être déplacés en bloc avec le support d'échantillon, et le contact électrique peut être maintenu par le déplacement du support d'échantillon, même lorsque le point de l'échantillon où la lumière est projetée est changé de place. Les précédents et d'autres objets ainsi que des caractéristiques de la présente invention vont maintenant être donnés avec plus en détail dans la description détaillée qui suit et en référence aux dessins annexés, sur lesquels: la figure 1, à laquelle il a déjà été fait référence, est une vue schématique illustrant un procédé classique d'analyse de caractéristiques optiques; la figure 2 est une vue représentant la structure générale d'un ellipsomètre spectroscopique conforme à un mode de réalisation de la présente invention; la figure 3A est une vue en perspective d'un échantillon; 2873814 9 la figure 3B est une vue en plan de l'échantillon; la figure 4 est une vue schématique illustrant un état d'un échantillon placé sur une platine porte-objet; la figure 5 est une vue en coupe d'un montant à sonde conductrice, 5 qui en montre la partie principale à échelle agrandie; la figure 6 est un schéma fonctionnel par blocs illustrant la structure interne d'un dispositif d'alimentation en courant; la figure 7 est un organigramme illustrant la procédure opératoire liée à un procédé d'analyse de caractéristiques optiques; la figure 8 est une vue schématique montrant un montant à sonde conductrice selon une variante de réalisation; et la figure 9 est une vue schématique montrant un échantillon dont la structure doit être analysée conformément à la présente invention. La figure 2 est une vue schématique illustrant la structure générale d'un ellipsomètre spectroscopique 1 conforme à un mode de réalisation de la présente invention. L'ellipsomètre spectroscopique 1 est conçu de façon à analyser la caractéristique optique d'un échantillon 30, pour chacune de ses couches, et à évaluer l'effet électro-optique, en générant un champ électrique sur l'échantillon 30, qui présente une structure en film multicouche, et en projetant une lumière polarisée sur celui-ci. L'ellipsomètre spectroscopique 1 selon le présent mode de réalisation comprend un dispositif d'alimentation en courant 18 et une paire de montants à sonde conductrice 19, constituant des moyens d'application de tension destinés à appliquer une tension pour générer un champ électrique sur l'échantillon 30. Bien que l'ellipsomètre spectroscopique 1 puisse analyser, comme objet de l'évaluation, toutes sortes d'échantillons, dans le présent mode de réalisation, tel que représenté sur les figures 3A et 4, l'objet de l'évaluation est l'échantillon 30 produit en formant un film 32 de PLZT sur un substrat 31 en Si (silicium), qui a un film de Pt (platine) formé sur sa surface par dépôt en phase vapeur, et en réalisant des électrodes 33a et 33b constituées de IrO2 ou de W (tungstène) sur la surface du film 32 de PLZT. Le film 32 de PLZT est un film ferroélectrique renfermant du plomb (Pb), du lanthane (La), du zirconium (Zr) et du titane (Ti), et peut être représenté dans le détail par Pbi_XLax(ZryTii_y) 03 (0 Plus particulièrement, comme le montre la figure 4, le film 32 de PLZT de l'échantillon 30 possède un total de trois couches: un deuxième film 35 qui est un film à base de PLZT dont la formation est voulue, un premier film inconnu 34 qui est formé à la suite du deuxième film 35 et dont la caractéristique ne peut pas être analysée avec des procédés d'analyse classiques, et un troisième film 36 formé au-dessus du deuxième film 35. En revenant à la figure 2, on va maintenant décrire la structure de l'ellipsomètre spectroscopique 1 selon le présent mode de réalisation de l'invention. L'ellipsomètre spectroscopique 1 est divisé grossièrement en une partie liée au système de mesure et d'analyse, une partie liée au système d'actionnement et une partie liée à l'application de tension à l'échantillon 30. Dans sa partie liée au système de mesure et d'analyse, l'ellipsomètre spectroscopique 1 est conçu de façon à relier une lampe au xénon 2 et un polariseur de lumière 3 par un premier câble à fibre optique 15a, à appliquer une lumière polarisée sur l'échantillon 30 placé sur une platine porte-objet 4 (support d'échantillon) et à recevoir la lumière (état de polarisation de la lumière) réfléchie par l'échantillon 30, à l'aide d'un récepteur de lumière 5. Le récepteur de lumière 5 est relié à un spectromètre 7 par l'intermédiaire d'un deuxième câble à fibre optique 15b, et le spectromètre 7 mesure la lumière pour chaque longueur d'onde et transmet le résultat de la mesure, sous forme d'un signal analogique, à un dispositif de saisie de données 8. Le dispositif de saisie de données 8 convertit le signal analogique en une valeur adéquate et transmet cette valeur à un ordinateur 10, qui l'analyse. En outre, dans sa partie liée au système d'actionnement, l'ellipsomètre spectroscopique 1 comporte des premier à sixième moteurs M1 à M6, respectivement prévus au niveau de la platine 4, du polariseur de lumière 3, du récepteur de lumière 5 et du spectromètre 7, et commande l'entraînement de chaque moteur M1 à M6 à l'aide d'une commande de moteurs 9 reliée à l'ordinateur 10, de telle façon que la platine 4, le polariseur de lumière 3, le récepteur de lumière 5 et le spectromètre 7 puissent être convenablement déplacés en conformité avec la mesure prévue. Il convient de noter que la commande de moteurs 9 commande 2873814 11 l'entraînement de chaque moteur M1 à M6 sur la base d'indications délivrées par l'ordinateur 10. Par ailleurs, dans sa partie liée à l'application de tension, l'ellipsomètre spectroscopique 1 est muni de la paire de montants à sonde conductrice 19 (correspondant aux moyens de contact), qui sont fixés à une surface 4a de la platine 4, de façon à venir en contact électrique avec l'échantillon 30, comme décrit plus haut, ainsi que du dispositif d'alimentation en courant 18 (correspondant aux moyens d'alimentation en courant). Une tension est appliquée à l'échantillon 30 lorsque le dispositif d'alimentation 18 fournit un courant sous une valeur de tension requise aux montants à sonde conductrice 19. Le dispositif d'alimentation 18 est relié à l'ordinateur 10, et il réalise le déclenchement et la coupure de l'application de tension, le réglage et la modification de la valeur de tension à appliquer, ainsi que d'autres opérations analogues, sur la base d'indications délivrées par l'ordinateur 10. Il convient de noter que l'ellipsomètre spectroscopique 1 comporte un élément cylindrique en verre grossissant 17, déplaçable, disposé au-dessus de l'échantillon 30, afin que l'on puisse vérifier, avec cet élément cylindrique en verre grossissant 17, si l'état du contact entre les montants à sonde conductrice 19 et l'échantillon 30 est correct ou non. Les unités respectives 2, 3 et autres, décrites ci-dessus, vont à présent être décrites en détail dans cet ordre. La lampe au xénon 2 constitue un moyen de génération de lumière, qui génère de la lumière blanche renfermant une multiplicité de composantes de longueur d'onde, en tant que source de lumière, et transmet la lumière blanche générée au polariseur de lumière 3, au travers du premier câble à fibre optique 15a. Le polariseur de lumière 3 est positionné sur un rail semi-circulaire 6, contient un polariseur 3a proprement dit, polarise la lumière blanche à l'aide du polariseur 3a et applique la lumière polarisée à l'échantillon 30. De plus, lorsque le quatrième moteur M4 est entraîné, le polariseur de lumière 3 se déplace le long du rail 6, pour permettre de régler l'angle (angle d'incidence 0) de la lumière émise, par rapport à une droite perpendiculaire à la surface de l'échantillon 30. La platine 4 est placée sur un tronçon de rail mobile 4b, afin de pouvoir coulisser, et peut être déplacée respectivement dans la direction X 35 et la direction Y (direction perpendiculaire à la surface du papier sur la 2873814 12 figure 2), qui se croisent à 90 degrés, ainsi que dans la direction Z qui est la direction dans le sens de la hauteur, d'une surface 4a de la platine, sur laquelle l'échantillon 30 est placé, ceci par l'entraînement des premier, deuxième et troisième moteurs M1, M2, M3 (correspondant aux moyens de déplacement). Par déplacement de la platine 4, la lumière peut frapper en un grand nombre d'emplacements différents l'échantillon 30, et une analyse de l'échantillon 30 dans un plan peut être effectuée. Il convient de noter que la platine 4 est pourvue de plusieurs trous à vis pour la fixation de la paire de montants à sonde conductrice 19, formés sur la surface 4a de la platine, de sorte que chaque montant à sonde conductrice 19 peut être fixé en un emplacement adéquat de la surface 4a de la platine, fonction des dimensions et de la forme de l'échantillon 30. Le récepteur de lumière 5 est positionné sur le rail 6 de la même façonque le polariseur de lumière 3, et il renferme un PEM (Photo Elastic Modulator) 5a ainsi qu'un analyseur 5b et dirige la lumière réfléchie par l'échantillon 30 jusqu'à l'analyseur 5b, au travers du PEM 5a. De plus, le récepteur de lumière 5 peut être déplacé le long du rail 6 par l'entraînement du cinquième moteur M5 et commandé par la commande de moteur 9, de telle façon que ce déplacement du récepteur de lumière 5 se fasse conjointement avec le déplacement du polariseur de lumière 3 et que l'angle de réflexion 4 et l'angle d'incidence 4 deviennent identiques. Il convient de noter que le PEM 5a, incorporé dans le récepteur de lumière 5, permet d'obtenir une polarisation elliptique à partir d'une polarisation linéaire, par l'application d'une modulation de phase à la lumière reçue, à une fréquence adéquate (50 kHz, par exemple). De plus, l'analyseur 5b transmet une polarisation spécifiée parmi diverses polarisations modulées en phase par le PEM 5a. Le spectromètre 7 comporte principalement un miroir réfléchissant, un réseau de diffraction, un photomultiplicateur (PMT) et une unité de commande, et il réfléchit, à l'aide du miroir réfléchissant, la lumière transmise depuis le récepteur de lumière 5 à travers le deuxième câble à fibre optique 15b et dirige la lumière sur le réseau de diffraction. L'angle du réseau de diffraction est modifié par le sixième moteur M6, et la longueur d'onde de la lumière réfléchie par le réseau de diffraction peut être changée. La lumière polarisée sortante est mesurée par le PMT, et l'unité de 2873814 13 commande exécute des opérations de génération d'un signal analogique en fonction de la longueur d'onde mesurée, et d'envoi de ce signal au dispositif de saisie de données 8. Il convient de noter que le photomultiplicateur peut être combiné à des matrices de photodiodes (PDA). Le dispositif de saisie de données 8 calcule la différence de phase A et le rapport d'amplitudes P de l'état de polarisation (polarisation P, polarisation S) de la lumière réfléchie, mesuré sur la base du signal provenant du spectromètre 7, et transmet le résultat du calcul à l'ordinateur 10. Il convient de noter que la différence de phase A et le rapport d'amplitudes P se trouvent dans la relation représentée par l'expression qui suit (1) avec le coefficient de réflexion de Fresnel complexe Rp de la lumière polarisée P et le coefficient de réflexion de Fresnel complexe Rs de la lumière polarisée S. Rp/Rs = tanY.exp(iÉA) ... (1) Ici, i est une unité imaginaire (ceci vaut également pour la suite). De plus, Rp/Rs est désigné comme étant le rapport des coefficients de réflexion de Fresnel complexes p. Par ailleurs, chaque montant à sonde conductrice 19, représenté sur la figure 4, comprend une partie formant montant 19a semblable à une tige carrée, une partie de support 19b semblable à une plaque, prévue à l'extrémité inférieure de la partie formant montant 19a, une partie de retenue 21 fixée à la partie formant montant 19a de façon à être déplaçable vers le haut et vers le bas, et une sonde 20 destinée à venir en contact avec l'échantillon 30 et à établir une conduction. La partie de support 19b est dotée de trous traversants formés dans les angles périphériques, et le montant à sonde conductrice 19 est fixé à la surface 4a de la platine 4 par l'introduction d'une vis dans le trou traversant et vissage de cette dernière dans un trou à vis adéquat correspondant de la platine 4. Comme le montre la figure 5, la partie formant montant 19a présente une cavité intérieure et est pourvue d'une partie fendue 19c, qui est formée dans la direction verticale et présente une ouverture ayant une largeur adéquate sur une face latérale où la partie de retenue 21 est fixée. Une partie en forme de rail convexe 19d est prévue sur une face d'extrémité de ladite partie fendue 19c. De plus, la partie de retenue 21 est constituée par un court barreau carré, et le côté d'une partie d'extrémité 21d de celui-ci 2873814 14 est placé en prise avec la partie fendue 19c de la partie formant montant 19a, par une légère pression d'ajustement. Plus particulièrement, la partie de retenue 21 est dotée d'un évidement 21e formé sur le pourtour de la partie d'extrémité 21d et est conçue de façon à pouvoir coulisser vers le haut et vers le bas le long de la partie en forme de rail 19d, avec cet évidement 21e engagé sur la partie en forme de rail 19d de la partie fendue 19c. La partie de retenue 21 présente également une cavité intérieure et comporte un renfoncement sphérique 21b réalisé, sous une forme sphérique, depuis la face d'extrémité de l'autre partie d'extrémité 21a où la sonde 20 est fixée; une partie de calage 21c formée en saillie depuis un emplacement situé à une distance adéquate du renfoncement sphérique 21b vers la première partie d'extrémité 21d; et un trou traversant 21f formé au niveau d'une face d'extrémité de la première partie d'extrémité 21d. La partie de retenue 21 retient un élément d'articulation sphérique 22 dans le renfoncement sphérique 21b, de telle façon qu'il puisse tourner, et un ressort hélicoïdal de compression 24 est disposé entre le renfoncement sphérique 21b et la partie de calage 21c, de façon à exercer une poussée dirigée vers l'extérieur sur l'élément d'articulation sphérique 22. L'élément d'articulation sphérique 22 est muni d'une partie formant connecteur cylindrique 22a formée en saillie de façon à venir en contact avec la sonde 20, d'une borne de connexion 22b prévue au niveau du fond interne de la partie formant connecteur 22a, de façon à venir en contact électrique avec la sonde 20, et d'un fil conducteur électrique 23 s'étendant à partir de cette borne de connexion 22b. Il convient de noter que le fil conducteur 23 s'étend à travers la cavité intérieure de la partie de retenue 21 et à travers le trou traversant 21f, jusqu'à la cavité intérieure de la partie formant montant 19a, une extrémité du fil conducteur étant raccordée au dispositif d'alimentation en courant 18. La sonde 20, qui doit être connectée à la partie formant connecteur 22a de l'élément d'articulation sphérique 22, est en un matériau conducteur de section circulaire, présentant une rigidité suffisante pour se mettre en contact avec l'échantillon 30, et une face d'extrémité d'une partie d'extrémité 20a de la sonde 20 vient en contact avec la borne de connexion 22b de l'élément d'articulation sphérique 22 et établit la 2873814 15 conduction lorsque la sonde 20 vient en contact avec la partie formant connecteur 22a. L'extrémité, qui est destinée à venir en contact avec l'échantillon 30, de la sonde 20 connectée à la partie formant connecteur 22a, peut être déplacée vers la droite, la gauche, le haut et le bas, par la rotation de l'élément d'articulation sphérique 22. De plus, comme l'élément d'articulation sphérique 22 est repoussé par le ressort hélicoïdal de compression 24, il est possible de maintenir la sonde 20 dans un grand nombre d'orientations différentes, et d'assurer une pression de contact contre l'échantillon 30, appropriée pour la conduction. Il convient de noter que, dans le présent mode de réalisation, le montant à sonde conductrice 19, qui est situé à gauche sur la figure 4, est du côté de l'électrode positive et que l'autre montant à sonde conductrice 19, qui est situé à droite, est du côté de l'électrode négative. Par ailleurs, le dispositif d'alimentation en courant 18, représenté sur la figure 6, correspond aux moyens d'alimentation en courant et renferme une unité de génération d'alimentation constante 18a, une unité à résistance variable 18b, un moteur 18c, un étage d'attaque de moteur 18d, une unité de mesure de tension 18e et une unité de commande 18f. L'unité de génération d'alimentation constante 18a est reliée à une source commerciale de courant alternatif AC et génère une tension continue d'une valeur de tension adéquate à partir de la tension alternative. L'unité à résistance variable 18b est reliée au côté + de l'unité de génération de courant constant 18a, et la valeur de sa résistance est modifiée par l'entraînement du moteur 18c. Cette modification de la valeur de la résistance de l'unité à résistance variable 18b provoque une modification de la valeur de tension de l'alimentation électrique délivrée par le dispositif d'alimentation 18. Il convient de noter que le moteur 18c est actionné sur une plage d'entraînement fonction d'un signal issu de l'étage d'attaque 18d du moteur, et l'étage d'attaque 18d du moteur est commandé par l'unité de commande 18f. L'unité de mesure de tension 18e est reliée à l'unité à résistance variable 18b et, en parallèle, au côté de l'unité de génération de courant constant 18a, mesure la valeur de tension de la puissance électrique délivrée par le dispositif d'alimentation 18 et envoie le résultat de la mesure à l'unité de commande 18f. L'unité de commande 18f est reliée à l'ordinateur 10 et 2873814 16 commande la valeur de tension de l'alimentation électrique devant être délivrée par le dispositif d'alimentation 18, en fonction d'un signal d'indication de l'ordinateur 10. Plus particulièrement, à la réception d'un signal d'indication définissant une valeur de tension, en provenance de l'ordinateur 10, l'unité de commande 18f délivre à l'étage d'attaque 18d du moteur, un signal renfermant des indications pour l'entraînement du moteur 18c, afin que la valeur de tension définie soit obtenue. De plus, l'unité de commande 18f accomplit une opération de réception du résultat de mesure en provenance de l'unité de mesure de tension 18e, une opération consistant à détecter si la valeur de tension de l'alimentation électrique appelée à être délivrée est différente ou non de la valeur de tension définie par l'ordinateur 10, et une opération consistant à délivrer à l'étage d'attaque 18d du moteur, des indications pour la commande d'entraînement du moteur 18c, de façon à corriger la valeur de tension à la sortie pour qu'elle soit égale à la valeur définie, lorsqu'une différence est détectée. Par ailleurs, l'ordinateur 10, représenté sur la figure 2, analyse l'échantillon 30, sur la base de la différence de phase A et du rapport d'amplitudes yr de l'état de polarisation obtenu par le dispositif de saisie de données 8, procède à un déplacement de la platine 4 durant la mesure, et commande la tension à appliquer à l'échantillon 30, entre autres opérations. L'ordinateur 10 comprend principalement un corps d'ordinateur 11, un dispositif d'affichage 12, un clavier 13, une souris 14, et le corps d'ordinateur 11 renferme une CPU (unité centrale de traitement) 11a, une unité de mémorisation 1 lb, une mémoire RAM 11c, une mémoire ROM l ld et une interface de connexion 11e, qui sont reliées entre elles par un bus interne. La CPU I 1 a exécute diverses opérations qui seront décrites plus loin, conformément à divers programmes d'ordinateur, mémorisés dans l'unité de mémorisation 1 lb. La mémoire RAM llc mémorise temporairement diverses données liées aux opérations. La mémoire ROM 11d mémorise le contenu lié à la fonction de l'ordinateur 10. L'interface de connexion Il e est reliée au dispositif de saisie de données 8, à la commande de moteur 9 et au dispositif d'alimentation 18, et elle transmet et reçoit des signaux ainsi que diverses sortes de données. Il convient de noter que l'unité de mémorisation 1 lb de l'ordinateur 10 contient préalablement en mémoire un programme 2873814 17 d'ordinateur pour l'analyse d'échantillon, un programme d'ordinateur pour la commande du déplacement de la platine 4, un programme d'ordinateur pour la commande de tension et autres, et contient également en mémoire des données connues relatives aux opérations de fabrication de l'échantillon 30, une série de formules de dispersion destinées à être utilisées pour l'élaboration d'un modèle, des données de référence conformes à diverses sortes d'échantillons, et autres. En ce qui concerne l'analyse de l'échantillon 30, l'ordinateur 10 analyse l'indice de réfraction et le coefficient d'extinction du film de PLZT 32, en tant que caractéristiques optiques de l'échantillon 30, et l'épaisseur du film de PLZT 32 pour chaque couche, et réalise une analyse du substrat 31 et autres. En particulier, lorsque les indices de réfraction complexes du substrat 31 et du milieu formant l'environnement de l'échantillon 30 sont connus à partir de la différence de phase mesurée A et du rapport d'amplitudes mesuré yr, l'ordinateur 10 obtient l'épaisseur et l'indice de réfraction complexe des premier à troisième films 34 à 36, en formant un modèle correspondant à la structure matérielle de l'échantillon 30, à l'aide d'un programme de modélisation antérieurement mémorisé dans l'unité de mémorisation 1 lb. Si n représente l'indice de réfraction du film à analyser et k représente le coefficient d'extinction, l'indice de réfraction complexe N peut être calculé à partir de l'expression optique suivante (2): N=n ik...(2) De plus, en supposant que la longueur d'onde de la lumière devant être projetée par le polariseur de lumière 3 est 24 la différence de phase A et le rapport d'amplitudes yr, calculés par le dispositif de saisie de données 8, sont, avec l'épaisseur d d'un film à analyser, l'indice de réfraction n et le coefficient d'extinction k, dans une relation correspondant à l'expression suivante (3): (d, n, k) = F(p) = F(VJ(240), A(2,O)) ...(3) Il convient de noter que l'ordinateur 10 exécute une opération (adaptation) de modification de l'épaisseur, des paramètres de la formule de dispersion, et autres, de telle sorte que la différence entre un spectre de modèle (yJM(?,,), AM(21, i)), obtenu de façon théorique à partir du modèle 2873814 18 formé, et le spectre mesuré (yJE(2^,), AE(21,i)), lié au résultat de mesure obtenu par le dispositif de saisie de données 8, devienne minimale, en utilisant l'épaisseur d'un film à analyser et une formule de dispersion, qui représente la dépendance de la longueur d'onde vis-à-vis de la constante diélectrique complexe et contient une multiplicité de paramètres. Il convient encore de noter qu'un exemple de la formule de dispersion à appliquer est représenté par l'expression suivante (4): 7i 07 2 2 ro g2 ûT F 11 W ru -1- arum -m. +In tg Dans l'expression (4), E dans le membre de gauche désigne une constante diélectrique complexe, Eo. et Es désignent des constantes diélectriques, Fo, F D et y, désignent des facteurs d'amortissement, et won, wt et wp désignent des pulsations (fréquence d'oscillateur, fréquence transversale, fréquence de plasma). Il convient de noter que E- est une constante diélectrique à haute fréquence (constante diélectrique haute fréquence) et que Es est une constante diélectrique à basse fréquence (constante diélectrique statique) . De plus, la constante diélectrique complexe E (correspondant à E(2)) et l'indice de réfraction complexe N (correspondant à N(2)) sont dans une relation correspondant à l'expression suivante (5): E(2) = N2(2) ...(5) Pour donner une explication simplifiée de l'adaptation, si l'on suppose que T paires de données de mesure, dans le cas de la mesure de l'échantillon 30, sont Exp (i = 1, 2, ..., T), et que les paires de données calculées à partir du modèle sont Mod (i = 1, 2, ..., T), l'erreur quadratique moyenne x2, d'après le procédé des moindres carrés, en utilisant 6, comme écart standard, est obtenue par l'expression (6) ci-après, étant donné que l'erreur de mesure doit être normalement répartie. Il convient de noter que P est le nombre de paramètres. Si la valeur de l'erreur quadratique moyenne x2 est faible, la coïncidence entre le résultat de mesure et le modèle formé est grande, et la valeur minimale de l'erreur quadratique moyenne x2, obtenue par comparaison de plusieurs modèles, correspond au meilleur modèle. =[1/(2T -P)l ( , - Mod, )Z /c (6) à=1 2873814 19 Une séquence d'étapes opératoires relatives à l'analyse d'échantillon, devant être exécutée par l'ordinateur 10, décrit plus haut, est définie dans un programme d'ordinateur pour l'analyse d'échantillon, mémorisé dans l'unité de mémorisation 1 lb, et les étapes programmées dans ce programme d'ordinateur comprennent une opération d'affichage, en particulier sur l'écran du dispositif d'affichage 12, d'un menu pour l'introduction et le réglage de l'épaisseur ou autres caractéristiques, en tant que données conditionnant l'élaboration d'un modèle à former correspondant aux propriétés physiques de l'échantillon. En exécutant l'opération d'analyse décrite plus haut, l'ordinateur 10 peut analyser le film de PLZT 32 de l'échantillon 30 pour chaque couche 34 à 36. Il convient de noter que l'opération d'analyse est programmée de façon à être exécutée pour chaque déplacement de la platine 4 et pour chaque modification de la valeur de tension à appliquer, ce qui sera décrit ci-après. De plus, en ce qui concerne le déplacement de la platine 4 durant la mesure, l'ordinateur 10 exécute une opération d'acceptation de la spécification de points (emplacements) P1 à Pn de l'échantillon 30, représentés sur la figure 3B, sur lesquels de la lumière doit être projetée, et de commande du déplacement de la platine 4, de telle façon que la lumière soit projetée successivement sur les points spécifiés P1 à Pn, ainsi qu'une opération consistant à déterminer si la platine 4 a été déplacée vers tous les points spécifiés ou non, sur la base du contenu spécifié du programme d'ordinateur pour la commande de déplacement. Concernant les points P1 à Pn, leur nombre et leurs positions, notamment, peuvent être spécifiés dans le menu affiché sur l'écran du dispositif d'affichage 12. Il convient de noter qu'une partie 32b (voir figure 3A) de la surface 32a du film de PLZT 32, située entre des électrodes 33a et 33b de l'échantillon 30, est une zone spécifiée des points Pl à Pn dans le présent mode de réalisation. En ce qui concerne, par ailleurs, la commande de la tension appliquée, l'ordinateur 10 exécute une opération d'acceptation de la spécification de valeurs de tension à appliquer à l'échantillon 30 et de commande du dispositif d'alimentation 18 pour qu'il applique les valeurs de tension spécifiées à l'échantillon 30 avant la projection de lumière, et une opération pour déterminer si toutes les valeurs de tension spécifiées ont été appliquées ou non, sur la base du contenu spécifié du programme 2873814 20 d'ordinateur pour la commande de tension. Concernant les valeurs de tension respectives à établir, une série de valeurs de tension et un procédé pour modifier la valeur de tension, en particulier, peuvent être spécifiés dans le menu affiché sur l'écran du dispositif d'affichage 12. Il convient de noter que, pour l'échantillon 30 du présent mode de réalisation, une valeur de tension de 100 à 500 V, environ, est fixée comme valeur de tension de référence, et des réglages sont effectués pour que la valeur de tension augmente, à partir de la valeur de tension de référence, jusqu'à un nombre requis de valeurs de tension, avec des intervalles de 5 V, par exemple, et revienne à la valeur de tension de référence. On va, à présent, expliquer, en référence à l'organigramme de la figure 7, une séquence de la procédure opératoire liée à un procédé d'analyse de caractéristiques optiques pour l'analyse de l'échantillon 30 à l'aide de l'ellipsomètre spectroscopique 1 conçu comme indiqué plus haut. On commence par placer l'échantillon 30 sur la platine 4 de l'ellipsomètre spectroscopique 1 (Si). Il convient de noter que chaque électrode 33a, 33b de l'échantillon 30 vient en contact avec la sonde 20, comme représenté sur la figure 4, lorsque l'échantillon 30 est mis en place. Ensuite, on entre dans l'ordinateur 10, en tant que données relatives à l'analyse, les points P1 à Pn pour mesurer l'échantillon 30, la valeur de tension à appliquer, l'angle d'incidence 0, les conditions (matériau du substrat, épaisseur, constante optique et autres) pour la formation du modèle en conformité avec l'échantillon 30 (S2) et autres. Il convient de noter que l'ellipsomètre spectroscopique 1 déplace le polariseur de lumière 3, la platine 4 et le récepteur de lumière 5, de façon à donner l'angle d'incidence 4 et l'angle de réflexion 4 par rapport au premier point P1, à réception de l'entrée des points P1 à Pn et de l'entrée de l'angle d'incidence 0, et l'ordinateur 10 forme un modèle pour l'analyse, à réception de l'entrée des conditions pour la formation du modèle. De plus, l'ellipsomètre spectroscopique 1 applique une tension à l'échantillon 30 en partant de la première valeur de tension fixée par l'entrée (S3). Cette application de tension induit la génération du champ électrique E dans la direction représentée sur la figure 4, entre les électrodes 33a et 33b de l'échantillon 30. Dans cette situation, l'ellipsomètre spectroscopique 1 applique de la lumière polarisée sur 2873814 21 l'échantillon 30 à partir du polariseur de lumière 3 (S4) et mesure la différence de phase AE et le rapport d'amplitudes 'FE (S5). En outre, l'ellipsomètre spectroscopique 1 calcule, à l'aide de l'ordinateur 10, la différence de phase AM et le rapport d'amplitudes 'Fm à partir du modèle, et procède à un ajustement de l'épaisseur du modèle, des paramètres de la formule de dispersion et analogues, de telle façon que la différence entre les valeurs mesurées et les valeurs calculées du modèle devienne minimale, et, lorsque la différence obtenue par la méthode des moindres carrés après l'ajustement tombe à une valeur requise (c'est-à-dire devient suffisamment faible) il analyse l'épaisseur, les constantes optiques (indice de réfraction n, coefficient d'extinction k) et autres caractéristiques de l'échantillon 30, pour chaque couche, à partir de valeurs telles que l'épaisseur et les paramètres de la formule de dispersion à l'instant considéré (S6). Ensuite, l'ellipsomètre spectroscopique 1, détermine si tous les points P1 à Pn, fixés par l'entrée, sont analysés ou non (S7) et, lorsque l'un au moins des points P1 à Pn n'a pas été analysé (S7: NON), il déplace la platine 4 de telle façon que la lumière frappe le prochain point fixé (S8) et revient à l'étape (S4) du processus opératoire, consistant à appliquer la lumière polarisée. Pendant la poursuite du processus, les étapes S4 à S8 sont réitérées jusqu'à ce que l'analyse de tous les points P1 à Pn soit achevée et qu'une analyse ait été réalisée pour chaque point. En outre, lorsqu'il a été déterminé que l'analyse de tous les points P1 à Pn est achevée (S7: OUI), l'ellipsomètre spectroscopique 1 détermine si une analyse a été effectuée ou non sous toutes les valeurs de tension entrées (S9). Lorsqu'il est déterminé qu'une analyse n'a pas été réalisée à toutes les valeurs de tension (S9: NON), l'ellipsomètre spectroscopique 1 modifie la valeur de tension conformément à l'ordre fixé (S10) et revient à l'étape (S4) du processus opératoire, consistant à appliquer la lumière polarisée. Pendant la poursuite du processus, les étapes S4 à sic) sont réitérées jusqu'à ce qu'une analyse sous toutes les valeurs de tension soit achevée et qu'une analyse ait été effectuée pour chaque valeur de tension. Enfin, quand il a été déterminé qu'une analyse sous toutes les valeurs de tension est achevée (S9: OUI), il est mis fin au processus opératoire d'analyse par l'ellipsomètre spectroscopique 1. Ainsi, grâce au 2873814 22 fait que l'ellipsomètre spectroscopique 1, conforme à la présente invention, effectue une analyse d'échantillon automatiquement pour chaque couche, en même temps qu'une tension est appliquée, il est possible d'obtenir l'indice de réfraction et, par ailleurs, le coefficient de transmission de la lumière et autres, pour évaluer l'effet electrooptique de l'échantillon, ayant une structure en film multicouche, pour chaque couche, et d'effectuer une mesure en plusieurs points P 1 à Pn et de pratiquer une analyse à chaque point, ce qui permet de réaliser une analyse de l'effet électro-optique dans un plan. Plus particulièrement avec l'échantillon 30 conforme au présent mode de réalisation, la caractéristique des couches respectives du film de PLZT 32 peut être analysée individuellement pour chaque couche et, par conséquent, la présente invention peut fortement contribuer à la recherche de l'échantillon 30, au transfert de l'opération de préparation de l'échantillon du stade de la recherche au stade de la fabrication et à la commande de la fabrication, entre autres. Il convient de noter que l'ellipsomètre spectroscopique 1 et le procédé d'analyse de caractéristiques optiques, conformes à la présente invention, ne sont pas limités aux formes décrites plus haut et que toutes sortes de variantes peuvent être envisagées. Par exemple, bien que l'ellipsomètre spectroscopique 1 selon le mode de réalisation décrit soit conçu pour exécuter de façon automatique le processus allant de l'application de tension à l'analyse d'échantillon, un ellipsomètre spectroscopique conforme à la présente invention peut présenter une structure avec laquelle l'une des opérations d'application de tension et de déplacement de la platine 4, ou les deux, sont exécutées manuellement. Lorsque l'application de tension est effectuée manuellement, le processus opératoire relatif à la commande de tension par l'ordinateur 10 et la configuration du dispositif d'alimentation 18, liée à la modification de la valeur de tension par l'intermédiaire du moteur 18c, peuvent être omis, de façon appropriée, tandis que, lorsque le déplacement de la platine 4 est effectué manuellement, le processus opératoire de l'ordinateur 10, relatif au déplacement de la platine 4, ainsi que les premier à troisième moteurs M1 à M3 peuvent être omis. Il convient de noter que les montants à sonde conductrice 19 doivent être disposés en des emplacements où ils ne font pas 2873814 23 obstacle à la projection et à la réflexion de lumière, lorsque la platine 4 n'est pas déplacée. De plus, lorsqu'il n'est pas nécessaire de pratiquer l'analyse en plusieurs points d'un échantillon, le processus opératoire représenté par S7 et S8 sur l'organigramme conforme au procédé d'analyse de caractéristiques optiques, présenté sur la figure 7, peut être omis, tandis que, lorsqu'il n'est pas nécessaire de pratiquer l'analyse en modifiant la valeur de tension, le processus opératoire représenté par S9 et S10 sur l'organigramme conforme au procédé d'analyse de caractéristiques optiques, peut être omis. En outre, au lieu de mettre les sondes 20 des montants à sonde conductrice 19, représentés sur les figures 4 et 5, en contact avec l'échantillon, on peut faire en sorte que l'ellipsomètre spectroscopique 1 soit équipé, par exemple, de fils de connexion métalliques 50 s'étendant chacun depuis un support respectif 51 prévu sur un montant 49 comme représenté sur la figure 8, une conduction continue avec l'échantillon étant alors assurée par les fils de connexion 50. Par ailleurs, l'objet de l'analyse réalisée par l'ellipsomètre spectroscopique 1 n'est pas limité à un échantillon comportant un film de PLZT, et l'ellipsomètre spectroscopique peut analyser convenablement un échantillon comportant un film ferroélectrique de PZT obtenu en mélangeant du titanate de plomb (PbTiO3) et du zirconate de plomb (PbZrO3) , ainsi qu'un échantillon présentant une structure en film multicouche à grande constante diélectrique, un échantillon présentant une structure en film multicouche ferroélectrique et analogues, et, de plus, il peut aussianalyser toutes sortes d'autres échantillons ayant un film formé sur un substrat. De plus, la structure d'un échantillon, qui peut être analysé par l'ellipsomètre spectroscopique 1, n'est pas limitée non plus à la forme représentée sur les figures 3A, 3B et 4, et un échantillon 60 ayant une structure telle que représentée sur la figure 9 peut également être analysé. Pour expliquer la structure de l'échantillon 60 en référence à la figure 9, l'échantillon 60 est pourvu d'un film multicouche 62 formé sur le substrat 61 de façon à être enserré entre une électrode B 63a et une électrode A 63b. Comme l'étendue du film multicouche 62 dans la direction de son plan est légèrement inférieure à celle de l'électrode B 63a, la surface 2873814 24 d'une partie d'extrémité de droite de l'électrode B 63a est mise à nu et une partie 62a, à savoir l'extrémité de droite, de la surface du film multicouche 62 n'est pas couverte par l'électrode A 63b. Il convient de noter que l'ellipsomètre spectroscopique 1 peut analyser le film multicouche pour chaque couche, lorsque le film multicouche 62 est un film à grande constante diélectrique ou un film ferroélectrique ayant une constante diélectrique supérieure ou égale à 50 sur la base d'une mesure électrique. Lorsque l'échantillon 60 ayant la structure décrite ci-dessus est analysé, l'une des deux sondes 20 vient en contact avec l'électrode A 63b, comme représenté sur la figure 9, et l'autre sonde vient en contact avec une partie de surface à nu de l'électrode B 63a, et une tension est appliquée dans cet état. Il convient de noter que, lorsque le film multicouche 62 a, par exemple, une structure à trois couches, une valeur de tension V1 est appliquée à la couche supérieure, une valeur de tension V2 est appliquée à la couche du milieu et une valeur de tension V3 est appliquée à la couche inférieure, et la valeur de tension appliquée, représentée par V, est donnée par la relation V1 + V2 + V3 = V. De plus, dans ce cas, la direction du champ électrique devant être engendré par l'application de la tension est une direction qui joint l'électrode A 63b et l'électrode B 63a en traversant le film multicouche 62 verticalement. Comme le champ électrique est appliqué dans une direction transversale au film multicouche 62 et que l'effet électro-optique tend mieux à se manifester, il est possible de fixer la tension appliquée à des valeurs plus basses par comparaison avec l'échantillon 32, représenté sur la figure 3A, par exemple, et les valeurs de tension de référence pourraient être fixées à environ 1 à 10 V. En outre, la zone de l'échantillon 60, représenté sur la figure 9, que la lumière frappe, est la partie de surface découverte 62a du film multicouche 62. Par ailleurs, lorsque l'électrode A 63b couvrant le film multicouche 62 est une électrode transparente présentant une transparence optique ou lorsque l'électrode A 63b est suffisamment mince pour transmettre de la lumière, il devient possible également d'effectuer les mesures depuis le dessus de l'électrode A 63b, c'est-à- dire en appliquant la lumière sur la surface de l'électrode A 63b. Il convient de noter que, lorsque la lumière frappe l'électrode A 63b d'en dessus, l'électrode A 63b influe 2873814 25 également sur la mesure et l'analyse et, par conséquent, il est nécessaire d'entrer le matériau, l'épaisseur et autres caractéristiques de l'électrode A 63b à l'étape (S2) d'entrée des données dans l'organigramme représenté sur la figure 7. Par ailleurs, la présente invention n'a pas toujours à être élaborée sur la base d'un ellipsomètre spectroscopique et peut être mise en oeuvre sous forme d'une structure obtenue en combinant un appareil de mesure et d'analyse, qui comprend des moyens de génération d'une lumière ayant une multiplicité de composantes de longueur d'onde, tels que la lampe au xénon 2, des moyens de projection aptes à polariser la lumière générée et à la projeter sur un échantillon placé sur un support d'échantillon, tels que le polariseur de lumière 3, et des moyens de mesure pour détecter et mesurer la lumière réfléchie par l'échantillon, tels que le récepteur de lumière 5 et le spectromètre 7, avec des moyens d'application de tension, tels que le dispositif d'alimentation 18 et les montants à sonde conductrice 19. Dans cette structure, les moyens de projection projettent de la lumière polarisée sur un échantillon, en même temps qu'une tension est appliquée à ce dernier, par les moyens d'application de tension, et les moyens de mesure effectuent les mesures. 2873814 26 REVENDICATIONS 1. Procédé d'analyse de caractéristiques optiques pour analyser, à l'aide d'un ellipsomètre spectroscopique (1), la caractéristique optique d'un échantillon (30, 60) comportant un film (32, 62) constitué de plusieurs couches, caractérisé en ce qu'il comprend: une première étape consistant à appliquer une tension à l'échantillon (30, 60) ; une deuxième étape consistant à projeter de la lumière polarisée, constituée d'une multiplicité de composantes de longueur d'onde, sur la surface du film (32, 62) de l'échantillon (30, 60) auquel la tension est appliquée; et une troisième étape consistant à mesurer l'état de polarisation de la lumière réfléchie par l'échantillon (30, 60) et à analyser la caractéristique optique du film (32, 62) de l'échantillon (30, 60) pour chacune de ses couches. 2. Procédé d'analyse de caractéristiques optiques pour analyser, à l'aide d'un ellipsomètre spectroscopique (1), la caractéristique optique d'un échantillon (30, 60), qui comprend un film (32, 62) constitué de plusieurs couches et de plusieurs électrodes (33a, 33b, 63a, 63b), et qui comporte, parmi les diverses électrodes (33a, 33b, 63a, 63b), une électrode optiquement transparente couvrant le film (32, 62), caractérisé en ce qu'il comprend: une première étape consistant à appliquer une tension entre les électrodes (33a, 33b, 63a, 63b) de l'échantillon (30, 60) ; une deuxième étape consistant à projeter de la lumière polarisée, constituée d'une multiplicité de composantes de longueur d'onde, sur la surface de l'électrode optiquement transparente de l'échantillon (30, 60) auquel la tension est appliquée; et une troisième étape consistant à mesurer l'état de polarisation de la lumière réfléchie par l'échantillon (30, 60) et à analyser la caractéristique optique du film (32, 62) de l'échantillon (30, 60) pour chacune de ses couches. 2873814 27 3. Procédé d'analyse de caractéristiques optiques selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la valeur de la tension à appliquer est modifiée au cours de la première étape, et les deuxième et troisième étapes sont exécutées pour chaque valeur de tension modifiée. 4. Procédé d'analyse de caractéristiques optiques selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'un emplacement sur la surface de l'échantillon, où la lumière est projetée, est déplacé par pas successifs au cours de la deuxième étape et la caractéristique optique est analysée pour chaque emplacement déplacé, au cours de la troisième étape. 5. Appareil de mesure d'échantillons comprenant des moyens de génération (2) pour générer une lumière ayant une multiplicité de composantes de longueur d'onde, des moyens de projection (3) pour polariser la lumière générée par les moyens de génération (2) et projeter la lumière sur un échantillon (30, 60), placé sur un support d'échantillon (4), et des moyens de mesure (5, 7) pour détecter et mesurer la lumière réfléchie par l'échantillon (30, 60), caractérisé en ce qu'il comprend en outre: des moyens d'application de tension (18, 19, 49) pour appliquer une tension à l'échantillon (30, 60) placé sur le support d'échantillon (4), les moyens de projection (3) étant conçus pour projeter de la lumière sur l'échantillon (30, 60) auquel les moyens d'application de tension (18, 19, 49) appliquent une tension. 6. Ellipsomètre spectroscopique, destiné à projeter de la lumière polarisée sur un échantillon (30, 60) placé sur un support d'échantillon (4) et à analyser la caractéristique de l'échantillon (30, 60) sur la base d'une mesure de l'état de polarisation de la lumière réfléchie par l'échantillon (30, 60), caractérisé en ce qu'il comprend: des moyens d'application de tension (18, 19, 49) pour appliquer une tension à l'échantillon (30, 60) placé sur le support d'échantillon (4), une analyse étant réalisée par projection de lumière sur l'échantillon (30, 60) auquel les moyens d'application de tension (18, 19, 49) appliquent une tension. 2873814 28 7. Ellipsomètre spectroscopique selon la revendication 6, caractérisé en ce que les moyens d'application de tension (18, 19, 49) comprennent des moyens de contact (19, 49) destinés à venir en contact électrique avec l'échantillon (30, 60) et des moyens d'alimentation électrique (18) destinés à fournir une alimentation aux moyens de contact (19, 49), et les moyens d'alimentation (18) sont conçus de façon à modifier une valeur de tension liée à l'alimentation électrique. 8. Ellipsomètre spectroscopique selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comprend, en outre, des moyens (10) pour analyser l'échantillon (30, 60) pour chaque valeur de tension modifiée par les moyens d'alimentation électrique (18). 9. Ellipsomètre spectroscopique selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce qu'il comprend, en outre, des moyens de déplacement (M1 à M3) pour déplacer le support d'échantillon (4), les moyens de contact (19, 49) étant prévus sur le support d'échantillon (4). 10. Ellipsomètre spectroscopique selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend, en outre, des moyens (10) pour analyser l'échantillon (30, 60) pour chaque déplacement effectué par les moyens de déplacement (M1 à M3).