Brevet FR2877490A1 — publié le 20060505

La présente invention a trait à un procédé et un système pour déterminer une défaillance d'une condition de fabrication d'un dispositif à semiconducteurs. Avec les progrès des dispositifs à semiconduc- teurs à fonctions multiples, comme par exemple un circuit intégré à semiconducteurs, il existe une demande constante de réduction des dimensions de configuration et pour obtenir une intégration à grande échelle. Il est nécessaire de fabriquer un tel dispositif à semiconducteurs dans une pluralité de régions formant puces sur un substrat semi-conducteur, avec une performance uniforme et un rendement élevé de fabrication. Dans un procédé de fabrication du dispositif à semiconducteurs, on utilise différents processus de fabri- cation. Pour améliorer le rendement de fabrication du dispositif à semiconducteurs, il est nécessaire d'améliorer le rendement pour chacun des processus de fabrication. C'est pourquoi, la détermination d'une défaillance de conditions de fabrication, qui affecte le rendement pour chacun des processus de fabrication, est importante. Pour déterminer une défaillance d'une condition de fabrication, on exécute une analyse de corrélation de données variables caractéristiques, qui représentent différents paramètres de fonctionnement de dispositifs de fabri- cation. Habituellement, des produits du dispositif à semi-conducteurs possédant des comportements similaires en ce qui concerne les données caractéristiques variables sont classés dans le même groupe. Les données caractéristiques variables dans chaque groupe sont superposées entre elles de sorte que la corrélation pour les données caractéristiques variables est déterminée visuellement. Avec un tel procédé, on peut comprendre des paramètres de fonctionne-ment caractéristiques des dispositifs de fabrication dans chaque groupe. Cependant, il est difficile de comprendre une corrélation entre l'exécution des processus de fabrication évalués pour chaque groupe et pour chaque paramètre de fonctionnement. C'est pourquoi il est difficile de déterminer visuellement des paramètres de fonctionnement de dispositifs de fabrication qui affectent la performance du produit. Selon un premier aspect de l'invention, il est prévu un procédé mis en oeuvre sur ordinateur pour déterminer une défaillance d'une condition de fabrication, caractérisé en ce qu'il consiste à créer une pluralité de formes d'ondes constituées par des premières suites respectives de données de premières variables caractéristiques correspondant à des données de paramètres de fonctionnement d'une pluralité de dispositifs de fabrication qui exécutent une pluralité de processus de fabrication d'une pluralité de produits dans des conditions respectives de fabrication pour ces produits, classer les premières suites de données, qui sont analogues entre elles en une pluralité de groupes sur la base d'une corrélation des formes d'ondes; créer une première table de données visualisées pour chacun des groupes, la première table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitude entre les premières variables caractéristiques, ajouter des secondes suites de données de secondes variables caractéristiques aux groupes, les secondes variables caractéristiques correspondant à des données d'exécution représentant des résultats de mesure et d'inspection des produits, et créer une seconde table de données visualisées pour chacun des groupes, la seconde table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les secondes variables caractéristiques. Selon un second aspect de la présente invention, il est prévu un système pour déterminer une défaillance d'une condition de fabrication, caractérisé en ce qu'il comprend une pluralité d'unités de contrôle configurées pour acquérir des données de paramètres de fonctionnement d'une pluralité de dispositifs de fabrication, qui exécu- tent une pluralité de processus de fabrication d'une pluralité de produits dans des conditions respectives de fabrication pour les produits, un outil d'inspection configuré pour l'acquisition de données d'exécution représentant les résultats de mesure et d'inspection des produits, un module de création de formes d'ondes configuré pour créer une pluralité de formes d'ondes constituées par des premières suites de données de premières variables caractéristiques correspondant aux données de paramètres de fonctionnement pour chacun des produits, un module de classification configuré pour classer les premières suites de données, qui sont analogues entre elles, en une pluralité de groupes sur la base d'une corrélation des formes d'ondes, un module de création de tables configuré pour créer une première table de données visualisées pour chacun des groupes et une seconde table de données visualisées par addition de secondes suites de données de secondes variables caractéristiques correspondant aux données d'exécution, aux groupes, la première table de données visualisées visuali- sant des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques, la seconde table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les secondes variables caractéristiques, et une mémoire interne configurée de manière à mémoriser les données de paramètres de fonctionnement, les données d'exécution, les première et seconde suites de données, les groupes et les première et seconde tables de données visualisées. Selon un troisième aspect de l'invention, il est prévu un procédé pour fabriquer un produit industriel, caractérisé en ce qu'il consiste à exécuter des processus de fabrication d'une pluralité de produits dans des conditions respectives de fabrication pour les produits; acquérir des données de paramètres de fonctionnement d'une pluralité de dispositifs de fabrication, qui exécutent les processus de fabrication, les données de paramètres de fonctionnement correspondant aux conditions de fabrication; créer une pluralité de formes d'ondes constituées par des premières suites de données de premières variables caractéristiques correspondant aux données de paramètres de fonc- tionnement pour chacun des produits, classer les premières suites de données, qui sont analogues entre elles, en une pluralité de groupes sur la base d'une corrélation des formes d'ondes, créer une première table de données visualisées pour chacun des groupes, la première table de don- nées visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques, acquérir des données d'exécution représentant des résultats de mesure et d'inspection des produits, ajouter des secondes suites de données de secondes variables caractéristiques aux groupes, les secondes variables caractéristiques correspondant aux données d'exécution, créer une seconde table de données visualisées pour chacun des groupes, la seconde table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les secondes variables caractéristiques, extraire un groupe cible parmi les groupes, sur la base des corrélations d'amplitudes entre une seconde variable caractéristique cible parmi les secondes variables caractéristiques moyennant l'utilisation de la seconde table de données visualisées; extraire une première variable caractéristique parmi les premières variables caractéristiques du groupe cible sur la base des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques, moyennant l'utilisation de la première table de données visualisées; et exécuter un processus de fabrica- tion cible en déterminant des mesures pour une condition de fabrication cible correspondant à la première variable caractéristique cible lors de la production suivante. Selon une caractéristique de l'invention, le pro-cédé consiste en outre à extraire un groupe cible parmi les groupes basés sur les corrélations d'amplitudes entre une seconde variable caractéristique cible parmi les secondes variables caractéristiques moyennant l'utilisation de la seconde table de données visualisées, et extraire une première variable caractéristique cible à partir des pre- mières variables caractéristiques du groupe cible sur la base des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques, moyennant l'utilisation de la première table de données visualisées. Selon une autre caractéristique de l'invention, les premières variables caractéristiques sont des écarts par rapport à des valeurs moyennes des données de paramètres de fonctionnement. Selon une autre caractéristique de l'invention, les groupes sont classés sur la base d'un coefficient de corrélation pour toutes les combinaisons des produits. Selon une autre caractéristique de l'invention, les première et seconde configurations graphiques représentent les corrélations d'amplitudes au moyen de l'une de tailles de cercles, de longueurs de barres et de densités d'échelles de gris. Selon une autre caractéristique de l'invention, les données de paramètres de fonctionnement incluent au moins une donnée parmi une pression, un débit de gaz, une température de pastille et une puissance en radiofréquences dans au moins une chambre de traitement du dispositif de fabrication. Selon une autre caractéristique de l'invention, les produits sont des dispositifs à semiconducteurs. D'autres caractéristiques et avantages de la pré- sente invention, ressortiront de la description donnée ci-après, prise en référence aux dessins annexés, sur les-quels: - la figure 1 est un schéma-bloc montrant un exemple d'une configuration d'un système pour déterminer une défaillance d'une condition de fabrication conformément à une forme de réalisation de la présente invention; - la figure 2 est un schéma représentant des exemples de premières suites de données conformément à la forme de réalisation de la présente invention; - la figure 3 est un schéma représentant des exemples d'une forme d'onde d'une première suite de données conformément à la forme de réalisation de la présente invention; la figure 4 est un schéma représentant un exem-10 ple de classification de groupes conformément à la forme de réalisation de la présente invention; la figure 5 est un schéma représentant un exemple d'une première table de données visuelles conformément à la forme de réalisation de la présente invention; - la figure 6 est un schéma représentant des exemples de secondes suites de données conformément à la forme de réalisation de la présente invention; - la figure 7 est un schéma représentant un exemple d'une seconde table de données visuelles conformément à la forme de réalisation de la présente invention; - la figure 8 est un organigramme représentant un exemple d'un procédé pour déterminer une défaillance d'une condition de fonctionnement conformément à la forme de réalisation de la présente invention; - la figure 9 est un schéma représentant un autre exemple d'une première table de données visuelles conformé-ment à la forme de réalisation de la présente invention; - la figure 10 est un schéma montrant un autre exemple d'une seconde table de données visuelles conformé- ment à la forme de réalisation de la présente invention; - la figure 11 est un schéma représentant un exemple d'une première table de données visuelles conformé-ment à une autre forme de réalisation de la présente invention; - la figure 12 est un schéma montrant un exemple d'une seconde table de données visuelles conformément à l'autre forme de réalisation de la présente invention; - la figure 13 est un schéma montrant un autre exemple d'une première table de données visuelles conformé- ment à l'autre forme de réalisation de la présente invention; et - la figure 14 est un schéma représentant un autre exemple d'une seconde table de données visuelles conformément à l'autre forme de réalisation de la présente invention. On va décrire différentes formes de réalisation de la présente invention en référence aux dessins annexés. On notera que les mêmes chiffres de référence ou des chiffres de référence similaires sont appliqués aux mêmes parties et éléments ou à des parties et éléments similaires sur l'ensemble des dessins, et la description des parties ou éléments identiques ou similaires sera omise ou simplifiée. Comme représenté sur la figure 1, un système pour la détermination d'une défaillance d'une condition de fabrication selon une forme de réalisation de la présente invention inclut une unité de traitement de visualisation 30, une unité d'entrée 50, une unité de sortie 52, une mémoire externe 54, un système de commande de fabrication 60, une base de données d'informations de fabrication 62, une pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, 64n, une pluralité d'unités de contrôle 66a, 66b, ..., 66n, un outil d'inspection 68, et analogue. En outre, l'unité de traitement de visualisation 30 inclut un module d'entrée 32, un module 34 de création de formes d'ondes, un module de classification 36, un module 38 de création de tables, un module de sortie 40, une mémoire interne 42 et analogues. Les procédés de fabrication pour une pluralité de 35 produits sont exécutés dans des conditions de fabrication respectives des dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n. L'unité de traitement de visualisation 30 acquiert des données de paramètres de fonctionnement correspondant aux conditions de fabrication. Des formes d'ondes de premières suites de données de premières variables caractéristiques correspondant aux données de paramètres de fonctionnement pour chacun de la pluralité de produits sont créées. Sur la base d'une corrélation entre les formes d'ondes, les premières suites de données analogues entre elles sont clas- Sées selon des groupes. Une première table de données visualisées pour chacun des groupes est créée. Dans la première table de données visualisées, des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques sont visualisées au moyen d'une première configuration graphique. En outre, des données d'exécution représentant des résultats de mesure et d'inspection de la pluralité de produits sont acquises. Des secondes suites de données de secondes variables caractéristiques correspondant aux données d'exécution sont ajoutées aux groupes. Ensuite, une seconde table de données visualisées pour chacun des groupes est créée. Dans la seconde table de données visualisées, des corrélations d'amplitudes entre les secondes variables caractéristiques sont visualisées au moyen d'une seconde configuration graphique. Le système de contrôle de fabrication 60 et la base de données d'informations de fabrication 62 sont connectés à l'unité de traitement de visualisation 30 par l'intermédiaire d'un réseau local (LAN) 70. Une pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n et la pluralité d'unités de contrôle 66a, 66b, ..., 66n prévus respectivement pour la pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n, sont connectées au système de contrôle de fabrication 60 par l'intermédiaire du réseau LAN 70. Par exemple, les procédés de fabrication d'un dispositif à semiconducteurs, en tant que produit, sont exécutés en utilisant la pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n dans des conditions correspondantes de fabrication. Différents capteurs rattachés à chacun de la pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n contrôlent, au cours du traitement, des paramètres de fonctionnement qui correspondent aux conditions de fabrication. Les dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n incluent un dispositif de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), un dispositif de dépôt en phase vapeur, un dispositif d'attaque chimique à sec, un dispositif d'implantation ionique, un système de photolithographie et analogue. Dans le cas d'un dispositif CVD, les capteurs incluent une jauge de pression, un débitmètre, un thermomè- tre, un appareil de mesure de la puissance en radiofréquence (RF) et analogues. La pluralité d'unités de contrôle 66a, 66b, 66n prévues respectivement pour la pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n, acquièrent des données de paramètres de fonctionnement contrôlées par les capteurs et transmettent les données de paramètres de fonctionnement au système de contrôle de fabrication 60. Les données de paramètres de fonctionnement incluent par exemple une pression, un débit de gaz, une température, une puissance RF d'entrée et analogue, dans une chambre de traitement d'un dispositif CVD. Le système de commande de fabrication 60 collecte les données de paramètres de fonctionnement transmis à partir de la pluralité d'unités de contrôle 66a, 66b, 66n. Le système de commande de fabrication 60 mémorise les numéros de la pluralité de produits traités par la pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n, et les données de paramètres de fonctionnement correspondant à chacun des produits dans la base de données d'informations de fabrication 62. lo En outre, l'outil d'inspection 68 est connecté au système de commande de fabrication 60 par l'intermédiaire du réseau LAN 70. L'outil d'inspection 68 acquiert des données d'exécution pour chacun des produits par mesure et inspection de caractéristiques de contrôle de qualité après l'achèvement de chaque processus de fabrication, et des caractéristiques électriques après achèvement de l'ensemble des processus de fabrication. Les caractéristiques de contrôle de qualité d'un film isolant ou analogue déposé par un dispositif CVD par exemple incluent l'épaisseur de film, l'uniformité dans le plan, l'indice de réfraction, le nombre de particules, la vitesse de dépôt et analogues. Les caractéristiques électriques d'un transistor à effet de champ (FET) par exemple incluent une tension de seuil, un courant dans l'état de conduction, une transconductance et analogue. Le système de commande de fabrication 60 mémorise les données d'exécution, comme par exemple des caractéristiques de contrôle de qualité et des caractéristiques électriques, mesurées et inspectées par l'outil d'inspection 68 ainsi que les nombres de produits dans la base de données d'informations de fabrication 62. A partir de la base de données d'informations de fabrication 62, le module d'entrée 32 de l'unité de traite- ment de visualisation 30 acquiert les données de paramètres de fonctionnement de la pluralité de dispositifs de fonctionnement 64a, 64b, ., 64n, qui ont exécuté les processus de fabrication pour la pluralité de produits. En outre, à partir de la base de données d'informations de fabrica- tion 62, le module d'entrée 32 acquiert les données d'exécution qui représentent les mesures et les résultats d'inspection de la pluralité de produits...DTD: Le module 34 de création de formes d'ondes crée une première suite de données pour chacun des nombres de produits. La première suite de données possède une suite de valeurs d'une pluralité de premières variables caractéristiques correspondant aux données de paramètres de fonctionnement de la pluralité de dispositifs de fonctionnement 64a, 64b, ., 64n. Par exemple, des premières variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd et PFe correspondant aux données de paramètres de fonctionnement tels qu'une pression, un débit de gaz, une température, une puissance RF d'entrée et analogue d'un dispositif CVD sont disposées suivant une ligne pour chacun des numéros de produits, comme représenté sur la figure 2. Chacune des premières variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd et PFe est calculée par exemple en tant qu'écart par rapport à une valeur moyenne de la pluralité complète de produits. En outre, comme représenté sur la figure 3, le module 34 de création de formes d'ondes crée des formes d'ondes des premières suites de données en représentant la première suite de données en rapport avec la pluralité de premières variables caractéristiques pour chacun de la pluralité de produits sous la forme d'un graphique en forme de courbe...DTD: Comme représenté sur la figure 4, le module de classification 36 classe les formes d'ondes des premières suites de données, qui sont analogues entre elles sur la base d'une corrélation entre les formes d'ondes des premières suites de données et des produits respectifs, en une pluralité de groupes Grl à Gr9. Par exemple, en utilisant les formes d'ondes créées des premières suites de données, un coefficient de corrélation est calculé pour l'ensemble des combinaisons entre les produits. Les formes d'ondes des premières suites de données des produits, qui possèdent un coefficient de corrélation supérieur à une valeur de seuil préalablement spécifiée, sont déterminées comme étant analogues entre elles. Par exemple, les formes d'ondes des premières suites de données sont classées, moyennant la spécification de la valeur de seuil du coefficient de corrélation égale à 0,8. Par conséquent, la pluralité de produits sont classés en la pluralité de groupes Grl à Grn sur la base des longueurs d'onde des premières suites de données. Comme cela est représenté sur la figure 5, le mo- dule 38 de création de table crée une première table de données visualisées servant à indiquer la pluralité de premières variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd et PFe en utilisant des configurations graphiques, table qui visualise des corrélation d'amplitudes entre la pluralité de groupes Grl à Gr9. Dans la forme de réalisation de la présente invention, des cercles sont utilisés en tant que configurations graphiques. Chaque amplitude de la pluralité de premières variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd et PFe est indiquée par la taille du cercle. Par exemple, en rapport avec chacune de la pluralité de premières variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd et PFe, une différence entre les valeurs maximale et minimale parmi les valeurs moyennes des écarts dans chacun de la pluralité de groupes Grl à Gr9 est divisée en quatre niveaux. Les tailles différentes des cercles sont affectées respectivement aux amplitudes correspondantes des valeurs moyennes des écarts. Les secondes suites de données comportant des suites de valeurs numériques d'une pluralité de secondes variables caractéristiques correspondant aux données d'exé- cution acquises par le module d'entrée 32 sont ajoutées aux premières suites de données des produits, qui sont classées respectivement dans la pluralité de groupes Grl à Gr9. Par exemple, comme représenté sur la figure 6, les secondes variables caractéristiques RFa, RFb, RFc, RFd et RFe correspondant aux données d'exécution, tels que l'épaisseur du film, l'uniformité dans le plan, l'indice de réfraction, le nombre de particules, la vitesse de dépôt et analogues pour les caractéristiques de contrôle de qualité du dépôt CVD, sont ajoutées aux premières suites de données. Comme seconde variable caractéristiques, on peut utiliser les données d'exécution, comme par exemple une tension de seuil, un courant à l'état de conduction, une transconductance et analogues pour les caractéristiques électriques d'un transistor FET. Comme cela est représenté sur la figure 7, le module 38 de création de tables crée la seconde table de données visualisées, dans laquelle différentes tailles des cercles sont utilisées en tant que configurations graphiques pour indiquer des amplitudes de la pluralité de secondes variables caractéristiques RFa, RFb, RFc, RFd et RFe dans chacun des groupes Gri à Gr9. Par exemple, en rapport avec chacune des secondes variables caractéristiques RFa, RFb, RFc, RFd et Rfe, une différence entre des valeurs maximale et minimale parmi les valeurs moyennes des écarts dans chacune des secondes variables caractéristiques RFa, RFb, RFc, RFd et Rfe est divisée en quatre niveaux dans chacun des groupes Gri à Gr9. Différentes tailles des cercles sont affectées respectivement à des amplitudes correspondantes de déviations. Le module de sortie 40 transmet les première et seconde tables de données visualisées à l'unité de sortie 52 de manière à afficher les première et seconde tables de données visualisées. Dans les première et seconde tables de données visualisées, les amplitudes des première et seconde variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd, Pfe, et RFa, RFb, RFc, RFd, Rfe sont indiquées visuellement respective-ment par les tailles des configurations graphiques. C'est pourquoi, les données d'exécution et les données de paramètres de fonctionnement des dispositifs de fabrication peuvent être comparées visuellement entre elles dans chacun de la pluralité de groupes Grl à Gr9. La mémoire interne 42 mémorise les données de paramètres de fonctionnement et les données d'exécution acquises par le module d'entrée 32, les première et seconde suites de données et les groupes créés respectivement par le module 43 de création de formes d'ondes et par le module de classification 36, des première et seconde tables de données visualisées créées par le module 38 de création de tables et analogue. L'unité d'entrée 50 se réfère à des dispositifs tels qu'un clavier et une souris. lorsqu'une opération d'entrée est exécutée à partir de l'unité d'entrée 50, une information de clé correspondant est transmise à l'unité de traitement de visualisation 30. L'unité de sortie 52 se réfère à un moniteur à écran, comme par exemple un dispositif d'affichage à cristal liquide (LCD), un panneau à diode électroluminescentes (LED), un panneau électroluminescent (EL) et analogue. L'unité de sortie 52 affiche des tables de données traitées au moyen de l'unité de traitement de visualisation 30 et des tables graphiques et analogues acquises par cette unité. La mémoire externe 54 mémorise des programmes qui permettent à l'unité de traitement de visualisation 30 de mettre en oeuvre un traitement graphique, une classifica- tion au moyen d'opérations statistiques, une création de tables et analogue pour les données acquises. La mémoire interne 42 ou la mémoire externe 54 de l'unité de traite-ment de visualisation 30 mémorisent temporairement des données obtenues pendant un calcul et une analyse de ces données pendant le fonctionnement de l'unité de traitement de visualisation 30. Comme décrit précédemment, le système servant à déterminer une défaillance d'une condition de fabrication conformément à la forme de réalisation de la présente invention classe la pluralité de produits en la pluralité de groupes Grl à Gr9 sur la base des formes d'ondes des premières suites de données créées à partir des paramètres de fonctionnement des dispositifs de fabrication 64a, 64b, 64n qui exécutent des processus de fabrication de la pluralité de produits. Dans chacun de la pluralité de groupes Grl à Gr9, des corrélations d'amplitudes entre les première et seconde variables caractéristiques correspondant respectivement aux paramètres de fonctionnement des dispositifs de fabrication et aux exécution des produits ont visualisées au moyen de configurations graphiques. Par conséquent, conformément à la forme de réalisation de la présente invention, on peut aisément identifier une relation entre l'exécution des produits et les paramètres de fonctionnement de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n, qui ne pouvaient pas être compris jusqu'alors. Par conséquent, il est possible de déterminer un paramètre de fonctionnement des dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n, qui entraînent une défaillance lors de l'exécution. Ci-après, on va décrire un procédé pour déterminer une défaillance d'une condition de fonctionnement conformément à la forme de réalisation de laprésente invention, en référence à l'organigramme représenté sur la figure 8. Lors du pas S100, les processus de fabrication pour la pluralité des produits sont exécutés en utilisant la pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n représentés sur la figure 1 dans des conditions de fabrication correspondantes. Dans les processus de fabrication, les paramètres de fonctionnement de la pluralité de dispositifs de fabrication 64a, 64b, ..., 64n, qui correspondent aux conditions de fabrication sont contrôlés par la pluralité d'unités de contrôle 66a, 66b, ., 66n et sont mémorisés dans la base de données d'informations de fabrication 62, en tant que données de paramètres de fonctionne-ment, au moyen du système de commande de fabrication 60...DTD: Lors du pas 5101, les données de paramètres de fonctionnement sont acquises par le module d'entrée 32 de l'unité de traitement de visualisation 30 à partir de la base de données d'informations de fabrication 62. Lors du pas S102, le module 34 de création de formes d'ondes crée des formes d'ondes d'une première suite de données pour chacun de la pluralité de produits à partir des premières suites de données comprenant une suite de valeurs de la pluralité de premières variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd et PFe correspondant aux données de paramètres de fonctionnement. Lors du pas S103, le module de classification 36 classe les premières suites de données qui sont analogues entre elles dans la pluralité de groupes Grl à Gr9, sur la base de corrélations entre les formes d'ondes des premières suites de données. Lors du pas S104, pour chacun de la pluralité de groupes Grl et Gr9, le module 38 de création de tables crée une première table de données visualisées qui visualise des corrélations d'amplitude de la pluralité des premières variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd et PFe en utilisant une première configuration graphique. L'outil d'inspection 68 inspecte et mesure la fabrication de la pluralité de produits, comme par exemple des caractéristiques de contrôle de qualité une fois achevé chaque processus de fabrication, et des caractéristiques électriques après l'achèvement de l'ensemble des processus de fabrication. Le système de commande de fabrication 60 mémorise les données d'exécution mesurées par l'outil d'inspection 68 dans la base de données d'informations de fabrication 62. Lors du pas S105, le module d'entrée 32 acquiert une pluralité de secondes variables caractéristiques RFa, RFb, RFc, RFd et RFe, qui correspondent aux données d'exécution, à partir de la base de données d'informations de fabrication 62. Lors du pas S106, des secondes suites de données comportant des suites de valeurs de la pluralité de secondes variables caractéristiques RFa, RFb, RFc, RFd et RFe sont ajoutées à la pluralité de groupes respectivement Grl à Gr9. Lors du pas S107, le module 38 de création de tables crée une seconde table de données visualisées, qui indique les corrélations d'amplitudes des secondes variables caractéristiques respectives RFa, RFb, RFc, RFd et RFe dans chacun de la pluralité de groupes Grl à Gr9, au moyen d'une configuration graphique. Lors du pas S108, sur la base des corrélations d'amplitudes d'une seconde variable caractéristique cible dans la pluralité de secondes variables caractéristiques RFa, RFb, RFc, RFd et RFe, un groupe cible, qui est une cible de détermination pour une défaillance d'un processus de fabrication, est extrait à partir de la pluralité de groupes Grl à Gr9. Une première variable caractéristique cible, qui est la cause d'une mauvaise exécution du groupe cible, est extraite des premières variables caractéristiques PFa, PFb, PFc, PFd et PFe du groupe cible sur la base des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques, moyennant l'utilisation de la première table de données visualisées. Lors du pas S109, sur la base du paramètre de fonctionnement cible du dispositif de fabrication correspondant à la première variable caractéristique cible extraite, des mesures sont déterminées pour améliorer la condition de fabrication du procédé de fabrication. Par conséquent, après révision des conditions de fabrication correspondantes aux paramètres de fonctionne-ment pour la qualité de produit désirée, les processus de fabrication sont exécutés lors de la production suivante. A titre d'exemple de produit, pendant un processus de dépôt d'un dispositif à semiconducteurs, la pression, le débit de gaz silane (SiH4), le débit d'hydrogène (H2), la température de la tranche ou pastille, la puis- sance RF et analogue dans une chambre de dépôt CVD sont obtenus à partir des données de paramètres de fonctionne-ment au moyen d'une unité de contrôle d'un dispositif de dépôt CVD. Comme cela est représenté sur la figure 9, une première table de données visualisées est créée pour les groupes Grl à Gr9, qui sont classés sur la base de formes d'ondes des premières suites de données variables caractéristiques correspondant aux données de paramètres de fonctionnement du processus de dépôt. Dans la première table de données visualisées, les corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques sont indiquées par la taille de configurations graphiques. Après le processus de dépôt, un processus de contrôle de qualité est exécuté et les résultats (exécution) du processus de dépôt sont mesurés. On mesure une épaisseur de film, une uniformité dans le plan, un indice de réfraction d'un film déposé, un nombre de particules, une vitesse de dépôt et analogue en tant que données d'exécution du processus de dépôt. Les secondes variables caractéristiques correspondant aux données d'exécution mesurées sont classées dans les groupes Grl à Gr9, qui correspondent aux numéros de produits. Ensuite, comme représenté sur la figure 10, on crée la seconde table de données visualisées, qui indique des corrélations d'amplitudes entre les secondes variables caractéristiques au moyen des tailles des configurations graphiques. Par exemple, lorsqu'il existe un problème dans le processus de dépôt de telle sorte que le nombre de particules est élevé et que le rendement est réduit, le groupe, dans lequel le nombre élevé de particules est détectée, est extrait de la seconde table de données visualisées. Comme représenté sur la figure 10, les configurations graphiques indiquent que le nombre de particules est élevé dans les groupes Gr2 et Gr3. Par conséquent les groupes Gr2 et Gr3 sont identifiés visuellement comme étant les groupes cibles pour la détermination d'une défaillance d'une condition de fabrication. Ci-après, on identifie aisément visuellement le fait que, dans la première table de données visualisées représentée sur la figure 9, les tailles des configurations graphiques pour des débits de SiH4 et de H2, et la température des deux groupes cibles Gr2 et Gr3 sont plus faibles que dans les autres groupes. Il en résulte qu'il est établi que le nombre de particules augmente dans des conditions de dépôt avec de faibles débits de SiH4 et de H2, et une faible température de pastille. On peut comprendre que les accroissements des débits de SiH4 et de H2 ainsi que la température de la pastille sont des mesures utiles pour réduire le nombre de particules. En outre, pour obtenir des conditions de dépôt visant à réaliser une faible épaisseur de film, une bonne uniformité dans le plan et un petit nombre de particules, un groupe dans lequel les tailles de configurations graphiques pour une épaisseur de film, une uniformité dans le plan et le nombre de particules est faible, sont extraits de la seconde table de données visualisées. Comme représenté sur la figure 10, le groupe Gr7 est identifié visuellement comme étant le groupe cible pour la détermination d'une défaillance d'une condition de fabrication. Il est établi à partir de la première table de données visualisées représentée sur la figure 9, que le processus de dépôt du groupe cible Gr7 possède un débit élevé de SiH4, une température élevée de pastille et des valeurs moyennes d'autres premières variables caractéristiques. C'est pourquoi, en ajustant les valeurs réglées des conditions de dépôt du dispositif CVD, on obtient un processus de dépôt pour une faible épaisseur de film, une bonne uniformité dans le plan et un faible nombre de parti-cules. Dans le procédé pour déterminer une défaillance 35 d'une condition de fabrication conformément à la forme de réalisation de la présente invention, une relation entre les données d'exécution et les données de paramètres de fonctionnement des dispositifs de fabrication est aisément identifiée visuellement. C'est pourquoi il est possible de déterminer une défaillance d'une condition de fabrication qui affecte un rendement du processus de fabrication. Dans la forme de réalisation de la présente invention, on a décrit à titre d'exemple un procédé de fabrication d'un dispositif à semiconducteurs. Cependant on comprendra aisément à partir des descriptions précédentes, que la présente invention peut être également appliquée à des processus de fabrication de produits industriels tels que des automobiles, des produits chimiques, des composants pour le bâtiment, des dispositifs à cristal liquide, des supports d'enregistrement magnétique, des supports d'enregistrement optique, des têtes magnétiques à film mince, des dispositifs supraconducteurs et analogues. En outre, dans la forme de réalisation de la pré-sente invention, on utilise des cercles comme configura- tions graphiques dans les première et seconde tables de données visualisées. Cependant les configurations graphiques ne sont pas limitées à des cercles. Par exemple, comme représenté sur les figures il et 12, on peut utiliser des barres en tant que configurations graphiques dans les première et seconde tables de données visualisées. Les corrélations d'amplitudes entre les écarts des première et seconde variables caractéristiques sont exprimées par les longueurs des barres. Sinon, comme représenté sur les figures 13 et 14, on peut utiliser une échelle des gris en tant que configurations graphiques des première et seconde tables de données visualisées. Les corrélations d'amplitudes entre les écarts des première et seconde variables caractéristiques sont exprimées par des densités différentes de l'échelle des gris. Différentes variantes peuvent être mises en oeu- vre par les spécialistes de la technique sur la base des enseignements de la présente description. REVENDICATIONS 1. Procédé mis en oeuvre sur ordinateur pour déterminer une défaillance d'une condition de fabrication, caractérisé en ce qu'il consiste à : créer (en 34) une pluralité de formes d'ondes constituées par des premières suites respectives de données de premières variables caractéristiques (PFa - PFe) correspondant à des données de paramètres de fonctionnement d'une pluralité de dispositifs de fabrication (64a - 64n) qui exécutent une pluralité de processus de fabrication d'une pluralité de produits dans des conditions respectives de fabrication pour ces produits, classer (en 36) les premières suites de données, qui sont analogues entre elles en une pluralité de groupes (Grl - Gr9) sur la base d'une corrélation des formes d'ondes; créer (en 38) une première table de données visualisées pour chacun des groupes, la première table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitude entre les premières variables caractéristiques (PFa - PFe), ajouter des secondes suites de données de secondes variables caractéristiques (RFa - RFe) aux groupes, les secondes variables caractéristiques correspondant à des données d'exécution représentant des résultats de mesure et d'inspection des produits, et créer une seconde table de données visualisées pour chacun des groupes, la seconde table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les secondes variables caractéristiques (RFa - RFe). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il consiste en outre à . extraire un groupe cible parmi les groupes (Grl - Gr9) sur la base des corrélations d'amplitudes d'une seconde variable caractéristique cible parmi les secondes variables caractéristiques moyennant l'utilisation de la seconde table de données visualisées, et extraire une première variable caractéristique cible à partir des premières variables caractéristiques du groupe cible sur la base des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques (PFa - PFe), moyennant l'utilisation de la première table de données visualisées. 3. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les premières variables caractéristiques sont des écarts par rapport à des valeurs moyennes des données de paramètres de fonctionnement. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les groupes sont classés sur la base d'un coefficient de corrélation pour toutes les combinaisons des produits. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les première et seconde configurations graphiques représentent les corrélations d'amplitudes au moyen de l'une de tailles de cercles, de longueurs de barres et de densités d'échelles de gris. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les données de paramètres de fonctionnement incluent au moins une donnée parmi une pression, un débit de gaz, une température de pastille et une puissance en radiofréquences dans au moins une chambre de traitement du dispositif de fabrication. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les produits sont des dispositifs à semiconducteurs. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que les données d'exécution incluent des caractéristiques de contrôle de qualité une fois achevé chacun des processus de fabrication, et des caractéristiques électri- ques des dispositifs à semiconducteurs. 9. Système pour déterminer une défaillance d'une condition de fabrication, caractérisé en ce qu'il comprend: une pluralité d'unités de contrôle (66a - 66n) configurées pour acquérir des données de paramètres de fonctionnement d'une pluralité de dispositifs de fabrication (64a - 64n), qui exécutent une pluralité de processus de fabrication d'une pluralité de produits dans des conditions respectives de fabrication pour les produits, un outil d'inspection (68) configuré pour l'acquisition de données d'exécution représentant les résultats de mesure et d'inspection des produits, un module (32) de création de formes d'ondes configuré pour créer une pluralité de formes d'ondes constituées par des premières suites de données de premières variables caractéristiques correspondant aux données de paramètres de fonctionnement pour chacun des produits, un module de classification (36) configuré pour classer les premières suites de données, qui sont analogues entre elles, en une pluralité de groupes sur la base d'une corrélation des formes d'ondes, un module (38) de création de tables configuré pour créer une première table de données visualisées pour chacun des groupes et une seconde table de données visualisées par addition de secondes suites de données de secondes variables caractéristiques correspondant aux données d'exécution, aux groupes, la première table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques, la seconde table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les secondes variables caractéristiques, et une mémoire interne (42) configurée de manière à mémoriser les données de paramètres de fonctionnement, les données d'exécution, les première et seconde suites de données, les groupes et les première et seconde tables de données visualisées. 10. Système selon la revendication 9, caractérisé en ce que les premières variables caractéristiques (PFa - PFe) sont des écarts par rapport à des valeurs moyennes des données de paramètres de fonctionnement. 11. Système selon l'une des revendications 9 ou 10, caractérisé en ce que les groupes sont classés sur la base d'un coefficient de corrélation pour toutes les combinaisons des produits. 12. Système selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, les première et seconde configurations graphiques représentent les corrélations d'amplitude au moyen de l'une de tailles de cercles, de longueurs de barres et de densités d'échelles de gris. 13. Système selon l'une quelconque des revendications 9 à 12, caractérisé en ce que les données de paramètres de fonctionnement incluent au moins une donnée parmi une pression, un débit de gaz, une température de pastille et une puissance en radiofréquences dans au moins une chambre de traitement du dispositif de fabrication. 14. Système selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, caractérisé en ce que les produits sont des dispositifs à semiconducteurs. 15. Système selon la revendication 14, caractérisé en ce que les données d'exécution incluent des carac- téristiques de contrôle de qualité une fois achevé chacun des processus de fabrication, et des caractéristiques électriques des dispositifs à semiconducteurs. 16. Procédé pour fabriquer un produit industriel, caractérisé en ce qu'il consiste à : exécuter (en 64a - 64n) des processus de fabrication d'une pluralité de produits dans des conditions respectives de fabrication pour les produits; acquérir des données de paramètres de fonctionne-ment d'une pluralité de dispositifs de fabrication (en 64a - 64n), qui exécutent les processus de fabrication, les données de paramètres de fonctionnement correspondant aux conditions de fabrication; créer (en 34) une pluralité de formes d'ondes constituées par des premières suites de données de premières variables caractéristiques correspondant aux données de paramètres de fonctionnement pour chacun des produits, classer (en 36) les premières suites de données, qui sont analogues entre elles, en une pluralité de groupes sur la base d'une corrélation des formes d'ondes, créer (en 38) une première table de données visualisées pour chacun des groupes, la première table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques (PFa - PFe), acquérir des données d'exécution représentant des résultats de mesure et d'inspection des produits, ajouter des secondes suites de données de secondes variables caractéristiques (RFa - RFe) aux groupes, les secondes variables caractéristiques correspondant aux données d'exécution, créer une seconde table de données visualisées pour chacun des groupes, la seconde table de données visualisées visualisant des corrélations d'amplitudes entre les secondes variables caractéristiques, extraire un groupe cible parmi les groupes, sur la base des corrélations d'amplitudes entre une seconde variable caractéristique cible parmi les secondes variables caractéristiques moyennant l'utilisation de la seconde table de données visualisées; extraire une première variable caractéristique cible parmi les premières variables caractéristiques du groupe cible sur la base des corrélations d'amplitudes entre les premières variables caractéristiques, moyennant l'utilisation de la première table de données visualisées; et exécuter un processus de fabrication cible en déterminant des mesures pour une condition de fabrication cible correspondant à la première variable caractéristique cible lors de la production suivante. 17. Procédé de fabrication selon la revendication 16, caractérisé en ce que les premières variables caractéristiques (PFa - PFe) sont des écarts par rapport à des valeurs moyennes des données de paramètres de fonctionnement. 18. Procédé de fabrication selon l'une des revendications 16 ou 17, caractérisé en ce que les groupes (Grl - Gr9) sont classés sur la base d'un coefficient de corrélation pour toutes les combinaisons des produits. 19. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 16 à 18, caractérisé en ce que les première et seconde configurations graphiques représentent les corrélations d'amplitudes au moyen de l'une de tailles de cercles, de longueurs de barres et de densités d'échelles de gris. 20. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 16 à 19, caractérisé en ce que les données de paramètres de fonctionnement incluent au moins une donnée parmi une pression, un débit de gaz, une température de pastille et une puissance en radiofréquences dans au moins une chambre de traitement du dispositif de fabrication.