Brevet FR2885408A1 — publié le 20061110

Dispositif de détection de rayonnement thermique à maintien déporté Domaine technique de l'invention L'invention concerne un dispositif de détection thermique de rayonnement électromagnétique comportant une pluralité de détecteurs élémentaires juxtaposés, chaque détecteur élémentaire comportant une membrane, sensible au rayonnement, maintenue en suspension sur un support par l'intermédiaire d'éléments de maintien isolant thermiquement la membrane du support. État de la technique Les dispositifs de détection thermique de rayonnement électromagnétique sont classiquement constitués par des matrices de détecteurs élémentaires. Un détecteur élémentaire 1 ou microbolomètre, de type connu, illustré aux figures 1 et 2, comporte classiquement une fine membrane 2, sensible aux rayonnements électromagnétiques incidents. La membrane 2 est suspendue sensiblement parallèlement à un substrat de support 3, par l'intermédiaire d'éléments de maintien, qui isolent thermiquement la membrane du substrat de support 3. Sur les figures 1 et 2, les éléments de maintien de la membrane 2 comportent deux bras 4 d'isolation thermique, allongés, solidaires de la membrane 2 et disposés sensiblement dans le plan de la membrane 2. Chacun des bras 4 est fixé à une de ses extrémités au substrat de support 3 par l'intermédiaire d'un plot d'appui 5 servant de point d'ancrage de la membrane 2 sur le substrat de support 3. L'isolation thermique de la membrane 2 est assurée - d'une part par la suspension de la membrane 2 au-dessus du substrat de support 3. L'air présent dans l'espace compris entre la surface du substrat de support 3 et le niveau de la membrane est, de préférence, évacué ou remplacé par un gaz à faible conductivité thermique. d'autre part par la forme des bras 4, qui ont une longueur importante visà-vis de leur largeur et de leur épaisseur. Sous l'effet d'un rayonnement électromagnétique, la membrane 2, qui absorbe le rayonnement, s'échauffe et transmet sa température à une zone 6 de la membrane, généralement constituée par une couche mince jouant le rôle d'un thermomètre. Cette zone 6 a pour cela une caractéristique électrique qui varie avec la température. C'est, par exemple, sa résistance dans le cas d'un thermistor. L'interposition, entre la membrane 2 et le substrat de support 3, d'éléments de maintien caractérisés par leur résistance thermique définit dans une large mesure la sensibilité du détecteur. En effet, cette isolation thermique permet de limiter les pertes thermiques de la membrane et, par conséquent, de préserver son échauffement. Le substrat de support 3 peut être constitué par un circuit électronique intégré sur une plaquette de silicium comprenant, d'une part, les dispositifs de stimuli et de lecture du thermomètre et, d'autre part, des composants de multiplexage qui permettent de sérialiser les signaux issus de différents thermomètres et de les transmettre vers un nombre réduit de sorties, par exemple pour être exploités par un système de visualisation d'image. L'interconnexion électrique entre la zone 6, servant de thermomètre, et les bornes de contact du circuit électronique disposées à la surface du substrat de support 3, est généralement assurée par une couche électriquement conductrice, par exemple métallique, disposée le long des éléments de maintien. De tels détecteurs élémentaires sont classiquement reproduits à l'identique, de manière matricielle sur un substrat de support commun. Une telle structure matricielle est plus particulièrement adaptée à l'élaboration de rétines électroniques. Celles-ci sont ainsi capables de reconstituer une image en deux dimensions d'une scène émettant un rayonnement électromagnétique, qui est projetée sur la rétine par un système optique, classiquement constitué par des lentilles optiques. Chaque détecteur élémentaire forme ainsi un pixel ("picture element" en anglais) du dispositif de détection. Les technologies classiquement utilisées en microélectronique permettent d'élaborer simultanément un grand nombre de matrices sur un même substrat de support. Diverses solutions ont été proposées pour améliorer l'isolation thermique de la 15 membrane 2 par rapport au substrat de support 3. Une première solution consiste à allonger les bras constituant les éléments de maintien de la membrane sensible sur le substrat de support. Comme représenté à la figure 3, les bras 7 peuvent être allongés d'un facteur de l'ordre de 4 par rapport aux bras 4 de la figure 1, grâce à un repliement des bras le long des quatre arêtes du détecteur élémentaire. L'encombrement dû aux éléments d'isolation thermique dans le plan de la membrane est alors plus important. En conséquence, pour une même surface globale du détecteur élémentaire, cette structure présente l'inconvénient de réduire la surface de la membrane absorbante 2 et la surface du thermomètre qui y est intégré. Il en résulte une diminution sensible de la proportion surfacique de l'onde électromagnétique incidente qui atteint effectivement le détecteur, c'est-à-dire une diminution du facteur de remplissage du détecteur. Pour remédier à cet inconvénient, le brevet US 6144030 propose un microbolomètre dans lequel les éléments d'isolation thermique sont disposés à un niveau intermédiaire entre la membrane et le substrat. Les éléments d'isolation thermique sont constitués par des poutres repliées sur elles-mêmes, de manière à former des serpentins occupant au-dessous de la membrane sensiblement toute la surface dévolue au détecteur élémentaire. Ceci permet de ne pas dégrader le facteur de remplissage, tout en allongeant les éléments d'isolation thermique servant d'éléments de maintien. Cette structure présente cependant les inconvénients suivants: - Dans le seul mode de réalisation représenté dans le brevet précité, le maintien mécanique des poutres, en forme de serpentin, en porte-à-faux par un point d'ancrage situé à une extrémité du serpentin, nécessite une augmentation de l'épaisseur des poutres et, ainsi, une augmentation de la conductance thermique. Cette structure conduit, par ailleurs, à un accroissement de la masse suspendue. Or, un tel accroissement augmente la constante de temps thermique du détecteur, c'est-à-dire diminue la vitesse de réponse du détecteur à une variation de température de la scène. De plus, il exacerbe la vulnérabilité du détecteur aux agressions mécaniques, par exemple aux chocs et aux vibrations. Une autre solution pour minimiser la conductance thermique des éléments de maintien consiste à réduire la section des bras d'isolation thermique ou, plus généralement, des éléments de maintien. Cependant, des sections trop faibles affaiblissent la rigidité des éléments de maintien. Ceci peut compromettre la stabilité du positionnement de la membrane absorbante. Un fléchissement des éléments de maintien de la membrane peut, par exemple, entraîner un basculement de la membrane jusqu'au contact avec le substrat de support, court-circuitant alors l'isolation thermique. Le mode de réalisation particulier d'un dispositif de détection connu, comportant plusieurs détecteurs élémentaires adjacents, illustré à la figure 4 permet de remédier à cet inconvénient. En effet, le basculement des membranes est empêché par l'adjonction d'un élément 8 de connexion mécanique, qui relie deux membranes adjacentes (2a et 2b ou 2b et 2c sur la figure 4). Cependant, cette connexion mécanique présente l'inconvénient de coupler thermiquement deux membranes adjacentes. Or, ceci conduit à une dégradation de la résolution spatiale du dispositif de détection. Comme illustré à la figure 5, une autre solution connue pour empêcher le basculement consiste à augmenter le nombre de points d'ancrage des moyens de support sur le substrat. Dans ce dispositif de détection, des plots d'appui supplémentaires 9 sont disposés aux deux coins de chaque détecteur élémentaire, qui sont opposés aux points d'ancrage classiques où sont disposés les plots d'appui 5. Les plots d'appui supplémentaires 9 sont, de préférence, communs à 4 détecteurs élémentaires adjacents. Pour cela, un plot d'appui supplémentaire 9 est disposé à l'extrémité d'un bras supplémentaire 10, disposé dans le prolongement d'un bras 4, le long d'un côté du détecteur élémentaire correspondant, et fait saillie vers l'extérieur du détecteur élémentaire, dans le plan de la membrane. Ainsi, pour chaque détecteur élémentaire, deux plots d'appui 5 constituent, comme précédemment, les points d'ancrage de la membrane 2 sur le substrat de support, assurant ainsi les fonctions de maintien mécanique et de connexion électrique de la membrane par l'intermédiaire des bras 4. De plus, les plots d'appui supplémentaires 9 constituent des points d'ancrage supplémentaires, assurant des fonctions de soutien mécanique par l'intermédiaire des bras d'isolation thermique supplémentaires 10. Cette structure assure une bonne tenue mécanique avec des bras d'isolation thermique de section réduite. Cependant, la présence de 4 bras d'isolation thermique (4, 10) pour chaque détecteur élémentaire rend plus difficile l'obtention de l'objectif d'une résistance thermique élevée. Par ailleurs, dans tous les dispositifs connus, l'espace disponible pour réaliser l'isolation thermique devient insuffisant lorsque le pas de la matrice de détection est réduit. Objet de l'invention L'invention a pour but l'amélioration de l'isolation thermique de la membrane d'un détecteur thermique par rapport au substrat de support et à l'environnement dans un dispositif de détection thermique de rayonnement électromagnétique. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait qu'une extrémité d'appui sur le support d'au moins un élément de maintien de chaque détecteur élémentaire est disposée au-dessous de la membrane d'un détecteur élémentaire, par exemple adjacent. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: Les figures 1 et 2 représentent un mode particulier de réalisation d'un détecteur thermique de rayonnement électromagnétique selon l'art antérieur, respectivement en vue de dessus et en perspective. Les figures 3 à 5 représentent divers modes de réalisation d'un dispositif de détection thermique de rayonnement électromagnétique selon l'art antérieur. La figure 6 illustre, en vue de dessus, un mode particulier de réalisation d'un assemblage de 3 détecteurs élémentaires d'un dispositif selon l'invention. Les figures 7 et 8 représentent, en coupe selon A-A, deux variantes de réalisation de l'assemblage selon la figure 6. Description de modes particuliers de réalisation La figure 6 illustre un assemblage de 3 détecteurs élémentaires adjacents la, 1 b et 1c, comportant respectivement des membranes 2a, 2b et 2c. Cet assemblage fait, de préférence, partie d'un dispositif de détection thermique comportant une matrice de détecteurs élémentaires formés sur un support commun (non représenté sur la figure 6). Les 3 détecteurs élémentaires représentés sur la figure 6 sont alignés, les détecteurs élémentaires la et 1c étant disposés de part et d'autre du détecteur élémentaire 1 b. Chaque détecteur élémentaire comporte au moins un élément de maintien, par exemple un bras d'isolation thermique 11, de préférence sensiblement linéaire, ayant au moins une extrémité, constituant une extrémité d'appui sur le support, disposée au-dessous d'un détecteur élémentaire adjacent. Dans le mode particulier de réalisation de la figure 6, chaque bras d'isolation thermique 11 fait saillie de part et d'autre de la membrane correspondante et ses deux extrémités sont respectivement disposées audessous des membranes des détecteurs élémentaires adjacents disposés de part et d'autre du détecteur élémentaire correspondant. Une telle structure, à maintien déporté des membranes, permet d'obtenir une isolation thermique très élevée. En effet, cela permet, plus particulièrement lorsque les éléments d'isolation thermique sont essentiellement constitués par des bras ou poutres linéaires, d'augmenter leur longueur, tout en réduisant leur section et en assurant un maintien mécanique suffisant de la membrane. Sur la figure 6, le détecteur élémentaire central 1 b comporte deux bras d'isolation thermique 11 b et 11'b, sensiblement linéaires et parallèles. Le bras d'isolation 11 b a deux extrémités respectivement associées à des premier et second plots d'appui B1 et B2, respectivement disposés sous les membranes adjacentes 2a et 2c. De même, le bras d'isolation 11'b a deux extrémités respectivement associées à des troisième et quatrième plots d'appui B3 et B4, respectivement disposés sous les membranes adjacentes 2a et 2c. De manière analogue, le détecteur élémentaire la comporte deux bras d'isolation thermique 11 a et 11'a sensiblement linéaires et parallèles aux bras du détecteur élémentaire lb. Les extrémités du bras 11 a sont respectivement associées à des cinquième et sixième plots d'appui B5 et B6, respectivement disposés sous une membrane (non représentée) disposée du côté de la membrane 2a qui est opposé à la membrane 2b et sous la membrane 2b. De même, les extrémités du bras 11'a sont respectivement associées à des septième et huitième plots d'appui B7 et B8, respectivement disposés sous la même membrane (non représentée) que le plot B5 et sous la membrane 2b. Dans le mode de réalisation préférentiel représenté à la figure 6, le bras 11c du détecteur élémentaire 1c est aligné avec le bras 11a du détecteur élémentaire la et les bras 11 a et 1 1c sont disposés entre les bras 1l b et 11'b. Les bras 11 a et 1 1c ont, de préférence, en commun le plot d'appui B6. De même, le bras 11'c du détecteur élémentaire 1c est aligné avec le bras 11'a du détecteur élémentaire la et les bras 11'a et 11'c ont, de préférence, en commun le plot d'appui B8. Les autres extrémités des bras 1 1c et 11'c sont respectivement associées à des neuvième plot B9 et dixième plot B10, tous deux disposés sous une membrane (non représentée) disposée du côté de la membrane 2c qui est opposé à la membrane 2b. Le bras 11'b est alors disposé entre les bras 11 a et 1 1c et les bras 11'a et 11'c. Chaque détecteur élémentaire (la, lb, 1c) comporte ainsi des premier et second bras (11 a, 11'a; 11 b, 11'b; 11 c, 11'c) sensiblement parallèles, disposés de part et d'autre d'un plot (B3; B6; B4) d'appui sur le support d'un élément de maintien d'au moins un détecteur élémentaire adjacent (1 b; la ou 1 c; lb). Chaque bras d'isolation thermique 11 comporte une zone centrale de liaison avec la membrane 2 du détecteur élémentaire 1 correspondant, qu'il supporte. L'emplacement de la liaison entre un bras d'isolation thermique 11 et la membrane correspondante est représenté schématiquement par un cercle sur la figure 6. Ainsi, les bras 11 b et 11'b sont respectivement connectés à la membrane 2b aux points d'appui Cl et C2, tandis que les bras 11a et 11'a sont respectivement connectés à la membrane 2a aux points d'appui C3 et C4 et les bras 1 1c et 11'c à la membrane 2c aux points d'appui C5 et C6. Le plot B5, le point d'appui C3, le plot B6, le point d'appui C5 et le plot B9 sont ainsi alignés le long des bras 11 a et 1 1c. De même, le plot B7, le point d'appui C4, le plot B8, le point d'appui C6 et le plot B10 sont ainsi alignés le long des bras 11'a et 11'c. Les plots B1à B4 et B6 sont disposés en quinconce, le plot B6 étant situé sensiblement au centre d'un rectangle délimité par les plots Blà B4. De même, les points d'appui C2 à C6 sont disposés en quinconce, le point d'appui C2 étant situé sensiblement au centre d'un rectangle délimité par les points d'appui C3 à C6. D'autres configurations peuvent être envisagées. Comme représenté à la figure 6, sous chaque membrane, les plots communs aux détecteurs élémentaires adjacents sont sensiblement alignés, sur un axe S perpendiculaire aux bras 11, avec les points d'appui de la membrane considérée, les plots et les points d'appui étant disposés en alternance sur cet axe. Ainsi, sous la membrane 2b, le point d'appui Cl, le plot B6, le point d'appui C2 et le plot B8 sont disposés successivement le long d'un axe Sb. Sous la membrane 2a, le plot B1, le point d'appui C3, le plot B3 et le point d'appui C4, sont disposés successivement le long d'un axe Sa et sous la membrane 2c, le plot B2, le point d'appui C5, le plot B4 et le point d'appui C6, sont disposés successivement le long d'un axe Sc. Les membranes 2a, 2b et 2c ont, de préférence la forme de carrés, de 10 à 100 m, par exemple de 251.tm, de côté. Elles sont assemblées de manière quasi-jointive à un niveau supérieur du dispositif, au-dessus du plan du support. Les bras 11 des éléments de maintien des membranes sont, pour l'essentiel, disposés à un niveau intermédiaire entre le support et les membranes. Ils ont chacun une longueur nettement supérieure à la longueur d'un côté de la membrane, tout en conservant une forme sensiblement linéaire, sans repliement. Ceci permet d'améliorer l'isolation thermique des membranes tout en assurant une tenue mécanique suffisante, même si la section des bras 11 est réduite. Une matrice de détecteurs élémentaires ayant la structure décrite cidessus permet un remplissage optimal de la surface disponible au niveau supérieur par les membranes sensibles. Ceci permet donc de maximiser la surface consacrée à la détection du rayonnement électromagnétique, par exemple infrarouge, et, en conséquence, les performances globales de la rétine. Dans la variante de réalisation représentée en coupe selon A-A à la figure 7, le support comporte un substrat 12, de préférence plan, par exemple en silicium, avec un circuit intégré 13 constituant un circuit de lecture. Ce circuit intégré 13 est destiné à polariser le détecteur et à traiter les signaux électriques de sortie du détecteur, auquel il est connecté électriquement par l'intermédiaire de deux plots métalliques 14 constituant des bornes de connexion du détecteur avec le circuit intégré de lecture. Une couche 15 de passivation, destinée à assurer la protection du circuit intégré 13, est, de préférence, déposée sur le circuit intégré 13 muni des plots métalliques 14, de manière à recouvrir la face avant du circuit intégré, à l'exception de la zone centrale des plots métalliques 14. La couche de passivation 15 ayant une épaisseur sensiblement uniforme, comporte ainsi, entre deux plots d'appui, par exemple B1 et B2, une partie centrale, munie de deux rebords latéraux 15' recouvrant partiellement les plots métalliques 14. La zone 6, jouant le rôle de thermomètre, de chaque membrane 2a, 2b et 2c, sensible au rayonnement incident est, de préférence, constituée par une couche en un matériau ayant une résistivité qui varie en fonction de la température, par exemple en silicium amorphe. Comme représenté sur la figure 7, chaque membrane comporte classiquement, sur sa face inférieure plane, des éléments 16, électriquement conducteurs. Les éléments 16, par exemple, réalisés en nitrure de titane, assurent simultanément les fonctions d'électrodes et d'absorbeur de rayonnement électromagnétique. À titre d'exemple, le bras 11 b d'isolation thermique de l'un des éléments de maintien de la membrane 2b en suspension au-dessus du support (12, 13), et les plots d'appui B1 et B2 correspondants sont représentés plus en détail sur la figure 7. Le bras 11 b comporte une première couche 17, thermiquement isolante et, de préférence électriquement isolante, constituant la structure de base du bras 11 b. La couche 17 est recouverte partiellement par une couche électriquement conductrice 18, destinée à assurer la connexion électrique entre au moins un élément conducteur 16 de la membrane 2b et au moins l'un des plots métalliques 14, par l'intermédiaire du plot d'appui correspondant. La zone centrale de liaison d'un bras 11 peut être constituée par une déformation du bras. Dans le mode de réalisation illustré à la figure 7, la première couche 17 du bras 11 b a sensiblement la forme d'un pont ayant une zone centrale, sensiblement plane, surélevée par rapport aux deux parties inférieures constituant les extrémités du bras 11 b. Des parties inclinées, qui convergent en direction de la zone centrale surélevée, relient la zone centrale aux parties inférieures du bras. Cette conformation des bras 11 permet de garantir une bonne tenue mécanique des membranes 2 au-dessus du support. La distance séparant les parties inférieures du bras de sa zone centrale est de l'ordre de quelques centaines à quelques milliers de nanomètres. La couche 18 est disposée sur la partie surélevée et s'étend au moins sur une des parties inclinées et sur la partie inférieure correspondante du bras 11 b. Au moins un élément conducteur 16 de la face inférieure de la membrane 2b est directement en contact avec la couche 18 au niveau de la zone surélevée du bras d'isolation thermique 11 b. Le bras 11 b prend appui par ses extrémités respectivement sur les plots d'appui B1 et B2, disposés respectivement au-dessous des membranes 2a et 2b des détecteurs élémentaires adjacents. Il est ainsi possible de maximiser la longueur du bras, tout en offrant la possibilité d'en limiter la section. Chaque plot d'appui B est, de préférence, essentiellement constitué par un pilier d'ancrage 19, de quelques micromètres de hauteur, en contact avec le plot métallique 14 correspondant, éventuellement par l'intermédiaire d'une galette 20 de matériau réflecteur, électriquement conducteur. Les galettes 20 sont, de préférence réalisées en même temps, avec le même matériau, qu'un réflecteur 21 formé sur la partie centrale de la couche de passivation 15. Le réflecteur et les galettes 20 sont, par exemple, constitués par un empilement de films minces de titane et d'aluminium. Sur la figure 7, une galette 20 est formée sur la partie centrale d'un plot métallique 14, qui n'est pas recouverte par la couche de passivation. Elle recouvre partiellement le rebord 15' et est isolée électriquement du réflecteur 21. X étant la longueur d'onde du rayonnement auquel le détecteur doit être sensible, le réflecteur 21 est, de préférence, situé à une distance X/4 de la face inférieure des membranes 2. Le réflecteur 21 et les éléments absorbants des membranes se comportent alors comme un filtre interférentiel quart d'onde. Ceci permet de maximiser l'absorption du rayonnement dans une gamme prédéterminée de longueurs d'onde, par exemple dans le domaine de l'infrarouge, c'est-à- dire pour des longueurs d'onde comprises entre 8 et 14 m. Le courant de mesure du détecteur élémentaire 1 b circule ainsi successivement à travers le plot métallique 14 associé à la borne B1, la galette 20 et le pilier d'ancrage 19 correspondants, la couche conductrice 18 du bras 11 b et, au niveau du point d'appui Cl, un élément conducteur 16 correspondant de la membrane 2b et la zone 6 de la membrane. Dans le mode de réalisation de la figure 7, l'autre extrémité du bras 11 b et le point d'appui B2 n'ont pas de fonction électrique, mais uniquement une fonction de maintien et, pour cette autre extrémité du bras, une fonction d'isolation thermique. En sens inverse, de la membrane vers le circuit de lecture, le courant de mesure passe, au niveau du point d'appui C2 (figure 6), d'un autre élément conducteur 16 de la membrane 2b au bras 11'b. Il circule alors successivement à travers la couche conductrice 18 du bras 11'b, le pilier d'ancrage du plot d'appui B3 (ou B4), la galette 20 et le plot métallique 14 correspondants. Le mode de réalisation de la figure 8 se distingue du mode de réalisation de la figure 7 par le fait que le bras 11 de l'élément de maintien est sensiblement plan. La zone centrale de liaison de l'élément de maintien est alors constituée par un plot de liaison 22, électriquement conducteur, disposé entre le bras 11 et la membrane 2 correspondante. Sur la figure 8, la couche conductrice 18 du bras 11 b s'étend sur toute la longueur du bras, entre les piliers d'ancrage 19 des plots d'appui B1 et B2. Le plot de liaison 22, sensiblement en forme de U, est en contact avec la couche 18 dans la zone centrale du bras et comporte deux rebords, en saillie vers l'extérieur, en contact avec un élément conducteur 16 de la membrane 2b. Le passage du courant de mesure entre le bras 11 b et la membrane passe ainsi de la couche conductrice 18 du bras à l'élément conducteur 16 de la membrane 2b par l'intermédiaire du plot de liaison 22 et inversement. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation particuliers décrits ci-dessus. En particulier, le maintien de la membrane d'un détecteur élémentaire peut être déporté non seulement sous les détecteurs adjacents mais, plus généralement, sous des détecteurs élémentaires éloignés du détecteur élémentaire considéré. Ainsi, dans les dispositifs connus, tous les constituants de chaque détecteur élémentaire sont disposés dans un espace restreint, correspondant aux dimensions de la membrane correspondante. Par contre, selon l'invention, les éléments de maintien de la membrane d'un détecteur sont allongés et vont au-delà de cet espace restreint en s'étendant jusque sous les membranes d'autres détecteurs élémentaires. Revendications 1. Dispositif de détection thermique de rayonnement électromagnétique comportant une pluralité de détecteurs élémentaires juxtaposés, chaque détecteur élémentaire (1) comportant une membrane (2), sensible au rayonnement, maintenue en suspension sur un support (12, 13) par l'intermédiaire d'éléments de maintien, qui isolent thermiquement la membrane du support, dispositif caractérisé en ce qu'une extrémité d'appui sur le support d'au moins un élément de maintien de chaque détecteur élémentaire (lb) est w disposée au-dessous de la membrane (2a, 2b) d'un autre détecteur élémentaire (la, 1c) 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que qu'une extrémité d'appui sur le support d'au moins un élément de maintien de chaque détecteur élémentaire (lb) est disposée au-dessous de la membrane (2a, 2b) d'un détecteur élémentaire (la, 1c)adjacent. 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que chaque élément de maintien comporte un bras (11) sensiblement linéaire et deux plots (B) d'appui sur le support, disposés aux extrémités opposées dudit bras au-dessous des membranes de deux détecteurs élémentaires, disposés de part et d'autre dudit détecteur élémentaire. 4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce que chaque détecteur élémentaire (la; lb; 1c) comporte des premier et second bras (11 a, 11'a; 11 b, 11'b; 11 c, 11'c) sensiblement parallèles, disposés de part et d'autre d'un plot (B3; B6; B4) d'appui sur le support d'un élément de maintien d'au moins un autre détecteur élémentaire (lb; la ou 1c; lb). 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que les premiers (11 a, 11c) ou seconds (11'a, 11'c) bras des éléments de maintien de deux détecteurs élémentaires (1 a, 1c) disposés de part et d'autre d'un premier détecteur élémentaire (1 b) sont alignés et ont en commun un plot (B6; B8) d'appui sur le support. 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que chaque élément de maintien comporte une zone centrale de liaison avec la membrane du détecteur élémentaire correspondant. 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que la zone centrale de liaison est constituée par une déformation d'un bras (11) de l'élément de maintien. 8. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'élément de maintien comportant un bras (11) sensiblement plan, la zone centrale est constituée par un plot (22) de liaison, électriquement conducteur, disposé entre le bras (11) et la membrane (2) correspondante.