Brevet FR2884242A1 — publié le 20061013

DISPOSITIF DE CONNEXION DE CAPOT DANS UN SYSTEME D' ELECTROMOUILLAGE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE ET ART ANTÉRIEUR L'invention concerne le domaine des dispositifs de déplacement ou de manipulation de gouttes de liquide, par électromouillage. Le principe de l'électromouillage sur diélectrique et du déplacement et de la manipulation de gouttes de liquide, mis en oeuvre dans le cadre de l'invention, est illustré sur les figures 1A - 1C dans le cadre d'un système dit de type ouvert . Des exemples de dispositifs mettant en oeuvre ce principe sont décrits dans l'article de M.G. Pollack, A.D. Shendorov, R.B. Fair, intitulé Electrowetting-based actuation of droplets for integrated microfluidics , Lab Chip 2 (1) (2002), 96-101. Les forces utilisées pour le déplacement de gouttes de liquide sont alors des forces électrostatiques. Le document FR 2 841 063 décrit un dispositif mettant en oeuvre, en outre, un caténaire en regard des électrodes activées pour le déplacement. Une goutte 2 repose sur un réseau 4 d'électrodes, dont elle est isolée par une couche diélectrique 6 et une couche hydrophobe 8 (figure 1A). Le caractère hydrophobe de cette couche signifie que la goutte a un angle de contact, sur cette couche, supérieur à 90 . Les électrodes 4 sont elles-mêmes formées en surface d'un substrat 1. Lorsque l'électrode 4-1 située à proximité de la goutte 2 est activée, à l'aide de moyens 14 de commutation, dont la fermeture établit un contact entre cette électrode et une source de tension 13 via un conducteur commun 16, la couche diélectrique 6 et la couche hydrophobe 8 entre cette électrode activée et la goutte sous tension agissent comme une capacité. La contre-électrode 10 permet un éventuel déplacement par électromouillage à la surface de la surface hydrophobe; elle maintient un contact électrique avec la goutte pendant un tel déplacement. Cette contre-électrode peut être soit un caténaire comme dans FR - 2 841 063, soit un fil enterré soit une électrode planaire dans le capot d'un système confiné (un tel système confiné est décrit plus loin). En système ouvert, si il n'y a pas de déplacement, il est possible d'étaler la goutte sur la surface hydrophobe, sans contre-électrode. C'est par exemple le cas si la goutte peut être amenée sur la surface hydrophobe par un système de dispense classique, les électrodes 4-1, 4-2 servant uniquement à étaler ou déformer la goutte à l'endroit où elle a été déposée. La goutte peut être éventuellement déplacée de proche en proche (figure 1C), sur la surface hydrophobe 8, par activation successive des électrodes 4-1, 4-2,... etc, le long du caténaire 10. Il est donc possible de déplacer des liquides, mais aussi de les mélanger (en faisant s'approcher des gouttes de liquides différents), et de réaliser des protocoles complexes. Les documents cités ci-dessus donnent des exemples de mises en oeuvre de séries d'électrodes adjacentes pour la manipulation d'une goutte dans un plan, les électrodes pouvant en effet être disposées de manière linéaire, mais aussi en deux dimensions, définissant ainsi un plan de déplacement des gouttes. La figure 2 représente un autre mode de réalisation d'un dispositif de déplacement ou de manipulation de gouttes mettant également en oeuvre l'électromouillage, de type système fermé ou confiné. Sur cette figure, des références numériques identiques à celles des figures 1A - 1C y désignent des mêmes éléments. Ce dispositif comporte en outre un substrat supérieur 100, de préférence également recouvert d'une couche hydrophobe 108. Cet ensemble peut être éventuellement transparent, permettant une observation par le haut. Les figures 3A et 3B, sur lesquelles des références numériques identiques à celles de la figure 2 y désignent des éléments identiques ou similaires, représentent un système mixte déplacement ou de manipulation de gouttes, dans lequel une goutte 2 est initialement en milieu ouvert (figure 3A), l'activation d'électrodes 4-1, 4-2, 4-3 permettant un aplatissement de la goutte (figure 3B), en système fermé, dans une zone où le système est muni d'un capot, comme illustré ci-dessus en liaison avec la figure 2. La figure 4 représente une variante du système fermé, avec un capot conducteur 100, comportant une électrode ou un réseau d'électrodes 112, ainsi qu'une couche isolante 106 et une couche hydrophobe 108. Le caténaire 10 des figures précédentes est remplacé, dans ce mode de réalisation, par l'électrode 112. L'activation de cette électrode 112 et des électrodes 4 permet de déplacer la goutte dans la position voulue puis de l'étirer ou de la déformer, pour l'amener sur le trajet d'un faisceau lumineux 50. Les figures 5A et 5B, sur lesquelles des références numériques identiques à celles de la figure 4 y désignent des éléments identiques ou similaires, représentent un système mixte, dans lequel une goutte 2 est initialement en milieu ouvert (figure 5A), l'activation d'électrodes 4-1, 4-2, 4-3 permettant un aplatissement de la goutte (figure 5B), en système fermé, dans une zone où le système est muni d'un capot, comme illustré ci-dessus en liaison avec la figure 4. Dans le cas des systèmes fermés ou mixtes, dans lesquels le capot supérieur 100 comporte une électrode, se pose le problème de la connexion de cette électrode à un certain potentiel. Le problème technique posé et rencontré est la connexion du capot au potentiel VO. Il faut en effet reprendre le contact sur le capot par une colle conductrice, ou un conducteur anisotrope, ce qui alourdit la technologie. EXPOSE DE L'INVENTION Selon l'invention, les surfaces des substrats supérieur et inférieur sont traitées de sorte qu'une tension appliquée à l'un des moyens conducteurs de l'un des deux substrats puisse être transmise à l'un des moyens conducteurs de l'autre substrat, par une goutte d'un liquide conducteur placée, entre ces deux substrats. La goutte est donc par exemple en contact électrique avec une électrode non passivée qui est porté à un potentiel VO. Le potentiel de la goutte est donc égal à vo. C'est cette goutte conductrice qui assure la connections électrique avec l'électrode du capot. L'invention concerne un dispositif de déplacement de gouttes de liquide, comportant: - un premier et un deuxième substrat définissant une cavité, les surfaces en regard de ces substrats étant hydrophobes, - des électrodes, dites de déplacement, disposées dans le premier substrat (1), pour déplacer une goutte par électromouillage, - des moyens formant au moins une électrode dans le deuxième substrat, - des moyens pour faire circuler un courant d'une électrode du premier substrat aux moyens formant au moins une électrode dans le deuxième substrat, par l'intermédiaire d'une goutte d'un liquide conducteur. Au moins une portion de la surface du premier substrat peut être gravée pour faire apparaître une zone non passivée d'une électrode de déplacement. Au moins une portion de la surface du deuxième substrat peut être gravée pour faire apparaître une zone non passivée d'au moins une électrode du deuxième substrat. Selon un autre mode de réalisation, au moins une portion de la surface du deuxième substrat est gravée pour faire apparaître une zone non passivée d'au moins une électrode du deuxième substrat, située en face de la portion gravée de la surface du premier substrat. Selon encore un autre mode de réalisation, au moins une portion de la surface du deuxième substrat étant gravée pour faire apparaître une zone non passivée d'une électrode de déplacement, située en décalage de la portion gravée de la surface du premier substrat. Au moins une portion gravée de la surface du premier substrat peut être entourée d'une zone non 20 hydrophobe. Dans un dispositif selon l'invention, au moins un premier conducteur peut être en contact avec une des électrodes de déplacement du premier substrat, ce conducteur traversant la surface de ce premier substrat et débouchant dans ladite cavité. Au moins un deuxième conducteur peut être en contact avec une électrode du deuxième substrat, traversant la surface de ce deuxième substrat et débouchant dans ladite cavité. Le deuxième substrat peut comporter une couche mince recouvrant au moins partiellement au moins une portion des moyens formant contre-électrode du deuxième substrat, cette couche étant d'une épaisseur telle qu'un courant électrique peut la traverser. L'invention concerne également un procédé pour établir, dans un dispositif de déplacement de gouttes de liquide, un contact électrique entre des électrodes de déplacement de gouttes de liquide d'un premier substrat à surface hydrophobe et des moyens formant contre- électrode dans un deuxième substrat à surface hydrophobe, afin de polariser ces moyens formant contre-électrode, procédé dans lequel: on met en place au moins une première goutte de liquide conducteur entre une première portion du premier substrat et une deuxième portion du deuxième substrat, on porte les moyens formant contre électrode dans le deuxième substrat, à un potentiel donné par un courant circulant depuis une électrode du premier substrat, puis à travers au moins une des premières gouttes de liquide et vers les moyens formant contre-électrode dans le deuxième substrat. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS - Les figures 1A - 1C représentent le principe de déplacement de gouttes, par 25 électromouillage, - la figure 2 représente une configuration fermée de dispositif de déplacement de gouttes, les figures 3A et 3B représentent une configuration mixte de dispositif de déplacement de gouttes, - les figures 4 et 5A - 5B représentent un dispositif de déplacement de gouttes, dans lequel le capot supérieur est muni d'une électrode, - la figure 6 représente la structure d'un 5 dispositif selon l'invention, - les figures 7 à 10B représentent des variantes d'un dispositif selon l'invention, - la figure 11 représente un dispositif selon l'invention, comportant plusieurs électrodes dans 10 chacun des substrats formant la cavité, - les figures 12A à 12D représentent des moyens de formation d'une goutte à partir d'un réservoir. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS Un premier mode de réalisation de l'invention va être décrit en liaison avec la figure 6A. Cette figure, sur laquelle des références numériques identiques à celles de la figure 4 y désignent des éléments identiques ou similaires, représente un système de déplacement de gouttes par électromouillage, en configuration fermée. L'une des électrodes 4-1 du substrat 1 est non passivée et non recouverte par la couche hydrophobe 8. La zone non passivée du premier substrat est désignée par la référence 18. Une portion 107 de la couche 108 du capot est elle aussi gravée, de sorte qu'une goutte 20 de liquide conducteur permet de réaliser un contact entre l'électrode 4-1 et le conducteur 112 du capot, assurant la polarisation de ce conducteur 112 au potentiel de l'électrode 4-1. Une variante est illustrée en figure 6B. Dans la zone 107, la couche hydrophobe 109 du capot 100 est très fine, par exemple de l'ordre de quelques dizaines de nm pour du téflon; elle est alors poreuse aux charges électriques. Il n'est alors pas nécessaire, dans ce cas, de graver complètement la couche hydrophobe 108 dans cette zone. L'épaisseur de couche hydrophobe 109 permettant une certaine porosité aux charges, suffisante pour assurer une mise au potentiel voulu de la contreélectrode 112, dépendra du matériau de la couche 108. Dans le cas du téflon, on trouve des indications à ce sujet dans le document de S.-K. Cho et al., spliting a liquid droplet for electrowetting -based microfluidics , Proceedings of 2001 ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition, Nov. 11 - 16, New York. En ce qui concerne le téflon, une couche de 20 nm, ou par exemple inférieure à 30 nm, est suffisante pour laisser passer des charges. Pour chaque matériau hydrophobe et/ou isolant, un test pourra être réalisé en fonction de l'épaisseur déposée afin de déterminer si le potentiel voulu est atteint en ce qui concerne l'électrode 112. Selon l'invention il n'est donc pas nécessaire d'avoir un traitement hydrophobe, ou ce traitement hydrophobe peut être d'épaisseur faible, dans la zone où la goutte doit être positionnée pour assurer un contact. Comme on le voit sur les deux figures 6A et 6B, une portion 16 de couche de passivation est elle-même non recouverte de matériau de la couche hydrophobe 8. Du fait de l'absence de traitement hydrophobe sur la plaque inférieure et/ou supérieure, la goutte 20 peut s'étaler naturellement entre les deux plaques, ce qui améliore le contact électrique entre l'électrode 112 du capot et l'électrode dépassivée 4-1. Dans les modes de réalisation exposés, la goutte 20 est par exemple préalablement placée, avant fermeture du composant, ou introduite par la tranche après fermeture. Elle peut avoir été déplacée depuis une autre zone du dispositif par la technique de déplacement par électrouillage expliquée ci-dessus en liaison avec les figures 1A - 1C ou 2 - 5B. Elle peut avoir aussi été amenée depuis un réservoir, comme expliqué plus loin. Le liquide conducteur de la goutte 20 est par exemple de l'eau avec du KCL, ou du NaCl..., ou encore un liquide ionique. Une variante de l'invention, illustrée en figure 7, consiste à introduire la goutte 20 par un trou ou un orifice ou un puits 120 réalisé dans le capot 100. Sur la figure 7, ce trou est situé à l'aplomb de l'électrode 41 lorsque le capot 100 est mis en place. Le liquide conducteur peut donc être introduit par ce trou ou ce puits 120 et être ainsi directement en contact avec d'une part l'électrode 4-1 et, d'autre part, les moyens 112 formant contre-électrode. Là encore, l'absence de matériau hydrophobe dans une zone périphérique 16 de la zone dépassivée de l'électrode 4-1 permet un étalement de la goutte entre les deux plaques, ce qui facilite le contact électrique entre cette électrode et la ou les électrodes du capot 100. Selon encore une autre variante, illustrée en figure 8A, l'étalement de la goutte conductrice 20 sur une zone non recouverte de matériau hydrophobe peut en outre être favorisé par électromouillage. Ceci permet d'avoir une grande surface de mouillage de la goutte et donc d'assurer un bon contact électrique avec le capot 100. Pour cela on utilise deux électrodes 4-1 et 4-2, dont l'une (ici l'électrode 4-1) est dépassivée et connectée à une source de potentiel Vo. La deuxième électrode 4-2 est passivée, avec ou sans traitement hydrophobe. Cependant, le traitement hydrophobe est utilisé pour avoir un effet d'électromouillage réversible. Lorsqu'il n'y a pas de traitement hydrophobe sur l'électrode 4-2; l'électromouillage va favoriser l'étalement sur toute cette électrode, puis on va pouvoir désactiver cette même électrode 4-2 sans risquer de voir le liquide remonter vers le puits 120. L'électrode 4-2 est connectée à un potentiel V1 différent de Vo. Par électromouillage la goutte conductrice 20 s'étale au maximum sur l'électrode 4-2 ce qui permet d'étirer le liquide de la goutte entre les deux plaques. Dans ce mode de réalisation de la figure 30 8A, l'électrode dépassivée 41 est située en face du trou ou du puits 120. Selon une autre variante illustrée en figure 8B, l'électrode dépassivée 42 n'est pas située en face du puits 120. Une activation de l'électrode voisine 4-1, située, elle, en face du puits 120, permet d'étirer la goutte et de l'amener en contact avec le puits 120, et donc avec l'électrode 112. Le principe d'étirement de la goutte par électromouillage, expliqué cidessus en liaison avec les figures 8A et 8B, peut aussi s'appliquer au cas des figures 6A et 6B, cas dans lesquels il n'y a pas de puits réalisé dans le capot. De même, dans ces modes de réalisation des figures 6A et 6B, les zones 18 et 107 pourraient ne pas être en face l'une de l'autre, une goutte assurant le contact par activation d'une électrode du substrat 1 située en face de la zone 107. Dans le cas de la présence d'un puits 120, le liquide peut s'évaporer par ce puits. On peut alors, comme déjà mentionné ci-dessus, amener une goutte par électromouillage dans la puce. Autrement dit la goutte peut être amenée par électromouillage sur une électrode dépassivée du substrat 1, comme décrit dans l'introduction à la présente demande en liaison avec les figures 1A - 1C ou 2 - 5B. Elle est alors confinée, et ne peut s'évaporer, ou ne s'évaporera beaucoup plus lentement que dans la configuration avec un puits 120. Dans toutes les configurations exposées, le confinement peut aussi être assuré ou renforcé si la goutte baigne dans un environnement d'un liquide avec lequel elle est non miscible, par exemple de l'huile. La figure 9A représente une goutte 20 assurant, conformément à l'invention, la circulation d'un courant entre une électrode 4-1 du substrat 1 et les moyens 108 de contre-électrode du capot 100. La goutte 20' est par exemple fabriquée à partir de la goutte 20, ellemême dispensée à partir du puits. La goutte 20, qui est au contact de l'air, risque de s'évaporer alors que la goutte 20', confinée, ne peut pas s'évaporer et pourra assurer la connexion électrique du capot. Cette goutte, étant confinée et calibrée, sert de sécurité. Sur la figure 9B, sont représentées deux zones 200 et 201, respectivement de dispense d'une goutte (par une ouverture 120 du type de celle illustré en figure 8B) et de réaction chimique et/ou biologique. Dans cette deuxième zone 201, un ou plusieurs tests pourront être réalisés sur une goutte 2 de liquide, dès lors qu'un courant électrique pourra circuler, par l'intermédiaire d'une goutte de liquide conducteur 20, conformément à l'invention, entre une électrode du substrat inférieur (non représenté sur la figure 9B) et les moyens du capot 100 formant contre-électrode. Selon une autre variante, illustrée en figure 10, on utilise, à la place d'une électrode dépassivée, un caténaire 10 connecté à un potentiel Vo. Ce caténaire est par exemple relié par une de ses extrémités 10 - 1 à une électrode 4-1 du substrat 1, électrode elle-même portée à un potentiel Vo. C'est encore la goutte 20 qui assure la mise à la tension Vo du conducteur 112 du capot 100, que ce soit à travers une mince couche hydrophobe 109, comme expliqué ci- dessus, ou directement en contact avec le substrat 100 ou le conducteur 112. Sur la figure 10, le caténaire 10 est également relié à une électrode 4-5 par sa deuxième extrémité 10 - 2. Cette électrode 4-5 peut être également au potentiel Vo, ou encore à un potentiel flottant. Selon une variante, non représentée, seule une extrémité 10 - 1 du caténaire est reliée à une électrode 4-1, l'autre extrémité 10 - 2 étant flottante au-dessus de la couche 8. Là encore, une goutte d'un liquide conducteur assure le maintien de la contre-électrode 112 à un potentiel Vo. La goutte 20', confinée, sert encore, comme dans le cas de la figure 9A, de sécurité. Le caténaire de la figure 10 peut être utilisé en combinaison avec une des autres solutions exposées ci-dessus en relation avec les figures 6A - 9B. Dans tous les modes de réalisation ci- dessus, il est possible d'utiliser n (n > 2) gouttes, avec par exemple n zones de contact dans le substrat 1 et n zones de contact dans le capot 100. Il est ainsi possible de réaliser une redondance pour tester la connexion électrique du capot. Ce rôle peut être goutte 20' certaines applications, en oeuvre, le capot peut plusieurs électrodes. On peut utiliser l'invention pour réaliser plusieurs connections électriques entre les 30 deux substrats. éventuellement assuré par la deuxième (figures 9A et 10). Pour mises certaines ou pour comporter Un exemple de ce mode de réalisation est illustré en figure 11. Des électrodes 1080, 1081, 1082,... sont réalisées dans le capot 100. Elles sont électriquement isolées l'une de l'autre. Des électrodes 400, 401, 402,... sont réalisées dans le substrat 1. Elles sont également électriquement isolées l'une de l'autre. Toutes les connexions électriques 80 du système sont disposées dans ou sur un seul substrat, en l'espèce le substrat inférieur 1. Le contact entre une électrode du capot 100 et une électrode du substrat 1 peut être assuré, conformément à l'invention, par une goutte de liquide conducteur. Plusieurs contacts peuvent être établis simultanément entre plusieurs électrodes du substrat 1 d'une part et plusieurs électrodes du capot 100 d'autre part. Ainsi, des gouttes 200, 201, 202 sont représentées, qui permettent de réaliser un contact entre les électrodes 1080 et 405, 1081 et 403, 1083 et 400. Les contacts avec chaque électrode peuvent avoir une des formes déjà exposées ci-dessus. En particulier, pour chaque électrode du capot 100 peut être prévue au moins une zone exempte de matériau diélectrique 108, avec ou sans puits 120 (comme sur la figure 9A) et/ou au moins une zone pour laquelle ce matériau diélectrique est d'épaisseur suffisamment faible pour permettre une circulation du courant entre la goutte et l'électrode correspondante du capot, comme déjà expliqué ci-dessus, et/ou un caténaire, comme illustré en figure 10B. De même, pour chaque électrode du substrat 1 est prévue au moins une zone exempte de matériau de passivation et éventuellement de matériau diélectrique, de manière à assurer un contact électrique entre une goutte 20 et chaque électrode du substrat 1. Un moyen de contact tel qu'un caténaire (comme sur la figure 9A) peut aussi être utilisé. On peut ainsi assurer un contact entre deux électrodes quelconques, l'une du substrat 1 et l'autre du capot 100. Sur la figure 11, les électrodes du capot 1 sont représentées parallèles entre elles, mais d'autres configurations sont possibles, les différentes électrodes étant électriquement isolées l'une de l'autre. Il en va de même pour les électrodes du substrat 1. On réalise ainsi une matrice d'électrodes de déplacement de gouttes, en configuration fermée ou semi fermée, toutes les connexions extérieures 80 pouvant être amenées à un seul substrat. Quelle que soit la configuration retenue, les électrodes et les tensions qui leur sont appliquées peuvent être commandées ou activées selon un schéma souhaité par un opérateur, à l'aide de moyens électroniques programmés à cet effet. L'activation d'une électrode conduit par exemple à la fermeture d'un moyen de commutation tel que le moyen 14 de la figure 1A. Le dispositif comporte en outre des moyens d'alimentation en tension, associés à l'ensemble d'électrodes, de moyens 14 de commutation et de pilotage ou de commande. Une électrode dépassivée, telle que l'électrode 4-1 des figures 6A - 8A, ou l'électrode 4-2 de la figure 8B ou bien encore le caténaire 10 de la figure 10A peuvent être alimentés par des moyens séparés d'alimentation en tension Vo. Les figures 12A - 12D représentent comment peut être réalisé un réservoir pouvant être utilisé comme réservoir de liquide conducteur. Un tel liquide 210 est déposé dans un puits 121 de ce dispositif (figure 12A). Ce puits est par exemple réalisé dans le capot supérieur 100 du dispositif. La partie inférieure, représentée de manière schématique sur les figures 12A - 12D, est par exemple similaire à la structure des figures 1A-1C. 3 électrodes 41', 42', 43', similaires aux électrodes 4 de déplacement de gouttes de liquide, sont représentées sur les figures 12A -12D. L'activation de cette série d'électrodes 41', 42', 43' conduit à l'étalement d'une goutte à partir du puits 121, et donc à un segment liquide 201 comme illustré sur la figure 12C. Puis, on coupe ce segment liquide en désactivant une des électrodes activées (électrode 42' sur la figure 12C). On obtient ainsi une goutte 2, comme illustré sur la figure 12D. On utilise donc une série d'électrodes 41', 42', 4'3 pour étirer du liquide du réservoir 121 en un doigt 201 (figures 12B et 12C) puis pour couper ce doigt 201 de liquide (figure 12D) et former une goutte 2 qui va pouvoir être emmenée vers tout site d'un dispositif tel que décrit cidessus afin d'y assurer un rôle de contact entre deux substrats, conformément à l'invention. On peut appliquer ce procédé en insérant des électrodes telles que les électrodes 41' entre le réservoir 121 et une ou plusieurs électrode 42' dite électrode de coupure. Le liquide conducteur utilisé peut être un liquide un gel conducteur, un matériau fusible à basse température (par exemple: plomb, ou étain, ou indium ou argent ou alliage d'au moins deux de ces matériaux) qui, par changement de phase, induit un contact définitif ou temporairement fixé (le changement de phase peut être en effet réversible) , ou encore une colle conductrice (se durcissant ou se solidifiant par polymérisation par exemple). REVENDICATIONS 1. Dispositif de déplacement de gouttes de liquide, comportant: un premier et un deuxième substrat (1, 100) définissant une cavité, les surfaces (8, 108) en regard de ces substrats étant hydrophobes, - des électrodes (4, 400, 401, 402, 403, 404), dites de déplacement, disposées dans le premier substrat (1), pour déplacer une goutte par électromouillage, - des moyens (108, 1080, 1081, 1082, 1083) formant au moins une électrode dans le deuxième substrat (100), - des moyens (18, 107, 109) pour faire circuler un courant d'une électrode (4-1) du premier substrat (1) aux moyens (108, 1080, 1081, 1082, 1083) formant au moins une électrode dans le deuxième substrat, par l'intermédiaire d'une goutte (20) d'un liquide conducteur. 2. Dispositif selon la revendication 1, au moins une portion (18) de la surface du premier substrat étant gravée pour faire apparaître une zone non passivée d'une électrode (4-1) de déplacement. 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, au moins une portion de la surface du deuxième substrat étant gravée pour faire apparaître une zone (107) non passivée d'au moins une électrode du deuxième substrat. 4. Dispositif selon la revendication 2, au moins une portion de la surface du deuxième substrat (100) étant gravée pour faire apparaître une zone (107) non passivée d'au moins une électrode du deuxième substrat, située en face de la portion gravée (18) de la surface du premier substrat. 5. Dispositif selon la revendication 2, au moins une portion de la surface du deuxième substrat étant gravée pour faire apparaître une zone (107) non passivée d'une électrode de déplacement, située en décalage de la portion gravée (18) de la surface (8) du premier substrat. 6. Dispositif selon l'une des revendications 2 à 5, au moins une portion gravée (18) de la surface du premier substrat étant entourée d'une zone (16) non hydrophobe. 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, comportant au moins un premier conducteur (10) en contact avec une des électrodes (4-1) de déplacement du premier substrat (1), ce conducteur traversant la surface de ce premier substrat (1) et débouchant dans ladite cavité. 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, comportant au moins un deuxième conducteur (10') en contact avec une électrode du deuxième substrat, traversant la surface de ce deuxième substrat et débouchant dans ladite cavité. 9. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, le deuxième substrat (100) comportant une couche mince (109) recouvrant au moins partiellement au moins une portion des moyens (112) formant contre-électrode du deuxième substrat, cette couche étant d'une épaisseur telle qu'un courant électrique peut la traverser. 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, le deuxième substrat comportant au moins une ouverture (120) pour introduire une goutte de liquide dans la cavité. 11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 10, comportant en outre au moins un réservoir (121) de liquide conducteur et des moyens (41', 42', 43') pour amener une goutte de ce liquide vers la cavité entre les deux substrats. 12. Dispositif selon la revendication 11, comportant des moyens pour amener par électromouillage une goutte de liquide depuis ledit au moins un réservoir de liquide conducteur vers la cavité. 13. Procédé pour établir, dans un dispositif de déplacement de gouttes de liquide, un contact électrique entre des électrodes de déplacement de gouttes de liquide d'un premier substrat (1) à surface hydrophobe et des moyens (112) formant contre- électrode dans un deuxième substrat (100) à surface hydrophobe, afin de polariser ces moyens (112) formant contreélectrode, procédé dans lequel: - on met en place au moins une première goutte (20, 20') de liquide conducteur entre une première portion du premier substrat et une deuxième portion du deuxième substrat, - on porte les moyens (112) formant contre électrode dans le deuxième substrat, à un potentiel donné par un courant circulant depuis une électrode (4-1) du premier substrat, puis à travers au moins une des premières gouttes de liquide et vers les moyens (112) formant contre-électrode dans le deuxième substrat. 14. Procédé selon la revendication 13, la goutte étant en contact, avec une première portion (18) de la surface du premier substrat, gravée pour faire apparaître une zone non passivée d'une électrode (4-1), ou avec un caténaire (10) relié à une électrode (4-1) du premier substrat. 15. Procédé selon la revendication 13 ou 14, la goutte étant en contact, avec une deuxième portion (107) de la surface du deuxième substrat (100) : - gravée pour faire apparaître une zone non recouverte d'une couche hydrophobe, - et/ou recouverte d'une couche hydrophobe d'épaisseur telle qu'un courant électrique peut la 30 traverser, - et/ou traversée par au moins un deuxième conducteur (10') en contact avec une électrode du deuxième substrat, traversant la surface de ce deuxième substrat et débouchant dans la cavité. 16. Procédé selon l'une des revendications 13 à 15, au moins une des premières gouttes traversée par le courant étant étalée par électromouillage. 17. Procédé selon l'une des revendications 13 à 16, au moins une des premières gouttes de liquide conducteur étant préalablement introduite par une ouverture (120) pratiquée dans l'un des substrats. 18. Procédé selon l'une des revendications 13 à 17, au moins une des premières gouttes de liquide conducteur étant amenée par électomouillage depuis un réservoir (121). 19. Procédé selon l'une des revendications 13 à 18, au moins une des premières gouttes de liquide conducteur étant confinée dans un environnement d'un liquide avec lequel elles est/sont non miscible(s). 20. Procédé selon l'une des revendications 13 à 19, au moins une des premières gouttes de liquide conducteur étant confinée dans un environnement d'huile. 21. Procédé selon l'une des revendications 13 à 20, dans lequel on réalise en outre un test 15 20 chimique et/ou physique sur une deuxième goutte de liquide (2). 22. Procédé selon l'une des revendications 13 à 21, dans lequel on la goutte de liquide conducteur est une solution de KC1 ou de NaCl ou un liquide ionique ou un gel conducteur, ou un matériau fusible à basse température qui, par changement de phase, induit un contact définitif ou réversible, ou encore une colle conductrice.