Brevet FR2878335A1 — publié le 20060526

Capteur de courant utilisant un pont de capacités La présente invention se rapporte à un capteur de courant capable de mesurer un courant électrique circulant dans une charge électrique, telle qu'un moteur électrique ou une résistance, à l'aide d'un pont diviseur de capacités comportant des capacités ayant une valeur variable dans le temps. La conception de ce capteur est bien adaptée à sa réalisation à l'aide de MEMS (Micro Electro Mechanical System). Une méthode classique pour mesurer un courant électrique consiste à utiliser un shunt résistif de courant relié en série avec la charge et à mesurer une tension électrique aux bornes de ce shunt. Le problème de ce type de mesure consiste à trouver un dispositif permettant l'isolement galvanique entre le système de traitement du signal bas niveau généré par le capteur et le courant de puissance circulant dans la charge. Celle-ci est en effet habituellement alimentée avec des tensions élevées sur des réseaux monophasés ou triphasés, par exemple de l'ordre de 380 Vac. Lorsque le système de traitement comporte de l'électronique, il est donc nécessaire d'isoler cette électronique de la tension du réseau, ce qui peut représenter un coût important en fonction de la technologie utilisée. L'utilisation d'un shunt résistif de courant nécessite par ailleurs de travailler avec des valeurs de résistance faibles du shunt pour minimiser les pertes par effet Joule. Cependant, si la tension fournie par le shunt est trop faible, le signal de mesure est très atténué et il est difficile de garantir une précision suffisante. II faut alors recourir à des techniques de traitement de signal (filtrage, ...) sophistiquées qui occasionnent un coût supplémentaire. De plus, il est souhaitable que la mesure obtenue soit indépendante de la température ambiante du capteur. C'est pourquoi l'invention a pour but de réaliser un capteur de courant isolé, de conception simple, économique et délivrant un signal de niveau suffisant indépendant de la température. Pour cela l'invention décrit un capteur de courant destiné à mesurer un courant électrique circulant dans une charge électrique, comportant un shunt résistif relié en série avec ladite charge et un pont diviseur de capacités relié en dérivation avec ledit shunt. Le pont diviseur est composé d'une première branche comprenant une première capacité en série avec une troisième capacité, d'une seconde branche en parallèle avec la première branche comprenant une deuxième capacité en série avec une quatrième capacité. Au moins une capacité de chaque branche a une valeur variable de façon périodique dans le temps. Le capteur comporte également des moyens de mesure de la différence de tension entre un premier point milieu situé entre la première et la troisième capacité et un deuxième point milieu situé entre la deuxième et la quatrième capacité. Selon une caractéristique, la première capacité a une valeur égale à la valeur de la quatrième capacité et la deuxième capacité a une valeur égale à la valeur de la troisième capacité. Selon une autre caractéristique, les. quatre capacités du pont diviseur ont une valeur variable de façon périodique dans le temps et les variations dans le temps des valeurs de la première capacité et de la quatrième capacité sont de sens opposé par rapport aux variations dans le temps des valeurs de la deuxième capacité et de la troisième capacité. Selon une autre caractéristique, le pont diviseur comprend deux supports fixes supportant chacun deux plaques métalliques fixes et comprend une poutre mobile placée entre les deux supports fixes, supportant deux plaques métalliques mobiles et entraînée par un actionneur animé d'un mouvement périodique dans le temps. Ce mouvement est dirigé selon un axe soit sensiblement perpendiculaire, soit sensiblement parallèle aux plaques mobiles. D'autres caractéristiques et avantages vont apparaître dans la description détaillée qui suit en se référant à un mode de réalisation donné à titre d'exemple et représenté par les dessins annexés sur lesquels: la figure 1 donne un schéma électrique général représentant un capteur de courant conforme à l'invention, - la figure 2 montre un premier mode de réalisation de l'invention en position repos, - la figure 3 reprend la figure 2 dans une position extrême de la poutre, la figure 4 montre un second mode de réalisation de l'invention en position repos, - la figure 5 reprend la figure 4 dans une position extrême de la poutre, la figure 6 schématise un exemple simplifié d'un tel capteur avec une technologie MEMS. En référence à la figure 1, un capteur de courant a pour but de mesurer un courant électrique I circulant dans une charge électrique M. Un tel capteur peut être par exemple amené à mesurer des courants de plusieurs ampères sous une tension alternative monophasée ou triphasée importante, de l'ordre de plusieurs centaines de volts. Le capteur comprend un shunt 12 qui est relié en série avec la charge M. Pour minimiser les pertes par effet Joule dues au capteur, le shunt 12 possède préférentiellement une faible valeur de résistance R, par exemple de l'ordre d'une centaine de milliohms. Le capteur de courant comporte un pont diviseur de capacités 10, qui est relié en dérivation entre un point amont P du shunt 12 et un point aval Q du shunt 12. Le pont diviseur 10 est composé de deux branches parallèles comprenant chacune deux capacités en série. La première branche comprend une première capacité 21 dont une des électrodes est reliée au point arnont P du shunt 12 et une troisième capacité 23 dont une des électrodes est reliée au point aval Q du shunt. Un premier point milieu A est placé entre les capacités 21,23 de la première branche et est connecté à l'autre électrode de la première capacité 21 et de la troisième capacité 23. La seconde branche du pont diviseur 10 comprend une deuxième capacité 22 reliée au point amont P du shunt 12, une quatrième capacité 24 reliée au point aval Q du shunt. Un second point milieu B est placé entre les capacités 22,24 de la seconde branche et est connecté à l'autre électrode de la deuxième capacité 22 et de la quatrième capacité 24. Le capteur de courant comporte des moyens de mesure 15 destinés à mesurer une différence de tension VBA existant entre les points milieux A et B des deux branches. Comme ces points milieux sont électriquement isolés du courant I à mesurer grâce aux quatre capacités 21 à 24, la mesure de tension VBA est également isolée et donc facile à réaliser, particulièrement avantageux pour réaliser un capteur capable de mesurer de fortes intensités de courant. Ces moyens de mesure 15 peuvent ensuite être raccordés à des moyens de traitement 16 (comprenant notamment un démodulateur) pour fournir un signal S représentatif du courant I à mesurer. D'après la loi d'Ohm, VPQ = R * I, dans lequel VPQ représente la différence de tension entre les bornes P et Q du shunt, R représente la valeur de la résistance du shunt 12 et 1 la valeur du courant électrique à mesurer circulant dans la charge M. Par ailleurs, on peut écrire que: VAQ = VPQ * Cl / (Cl + C3) et VBQ = VPQ * C2 / (C2 + C4), dans lequel Cl à C4 représentent respectivement les valeurs des capacités 21 à 24. D'où : VBA = VBQ VAQ = R * 1 * (C2 / (C2 + C4) - Cl / (Cl + C3)), ce qui montre que la tension différentielle mesurée VBA est bien proportionnelle au courant 1 à calculer. D'après l'invention, on choisit des valeurs Cx des capacités de la forme: Cx = Cox (1 + FX(t)), dans lequel Cox est une valeur fixe et Fx(t) est une fonction variable dans le temps t. On choisit les capacités telles que ces valeurs Cox soient toutes égales à une valeur prédéfinie Co, c'est-à-dire Co, = Col = Cos = C04 = Co. On peut alors écrire: VBA = VPQ * ((1 + F2(t)) / (2 + F2(t) + F4(t)) - (1 + F1(t)) / (2 + F,(t) + F3(t))) C'est-à-dire: VBA = X(t) * VPQ On constate ainsi que le rapport VBA / VPQ est indépendant de la valeur prédéfinie Co et dépend uniquement d'une fonction X(t) qui est variable dans le temps. Le signal VBA mesuré est donc une modulation par cette fonction X(t) d'un signal VPQ qui est proportionnel au courant I. Cette fonction X(t) étant indépendante de la température ambiante du capteur, les variations de mesure du capteur de courant seront donc faiblement influencées par la température. Pour simplifier l'équation de VBA calculée ci-dessus, on choisit les valeurs Cl à C4 de telle sorte que la première capacité 21 a une valeur Cl égale à la valeur C4 de la quatrième capacité 24 et la deuxième capacité 22 a une valeur C2 égale à la valeur C3 de la troisième capacité 23. On a alors: VBA = VpQ * ((F2(t) - F,(t)) / (2 + F2(t) + F1(t)) Lorsque aucune des capacités 21 à 24 n'a une valeur Cl à C4 qui varie dans le temps, alors F,(t) = F2(t) = F3(t) = F4(t) O. De ce fait la tension mesurée VBA est nulle, et le capteur de courant ne peut pas être utilisé pour calculer le courant I. Selon une première variante de l'invention, les quatre capacités 21 à 24 ont toutes une valeur Cl à C4 qui est variable dans le temps. Les variations F,(t) à F4(t) sont choisies de la façon suivante: F,(t) = F4(t) = F(t) et F2(t) = F3(t) = -F(t) ce qui signifie que les variations dans le temps de la première capacité Cl et de la quatrième capacité C4 sont de sens opposé par rapport aux variations dans le temps de la deuxième capacité C2 et de la troisième capacité C3. On obtient alors: C,=C4=Co*(1+F(t)) C2 = C3 = Co * (1 - F(t)) Dans ce cas, on obtient le résultat très simple: VBA = - F(t) * VPQ Selon une deuxième variante, seulement une des capacités de chaque branche, à savoir les capacités 21 et 24 ou les capacités 22 et 23, ont des valeurs variables dans le temps. Par exemple, F2(t) = F3(t) = F(t) et F,(t) = F4(t) = 0 de telle sorte que: C2=C3=Co*(1 +F(t)) et C, =C4=Co Dans ce cas, on obtient: VBA = VF)Q * -F(t) / (2 + F(t)) Selon une troisième variante, on suppose que: F,(t) = F4(t) = F(t) et F2(t) = F3(t) = G(t). Dans ce cas, on obtient: VBA = VPQ * (G(t) F(t)) / (2 + F(t) + G(t)) Les figures 2 & 3 montrent un premier mode de réalisation du pont diviseur 10. Le pont diviseur comprend deux supports fixes 30,40 supportant chacun deux plaques 31,32 & 41,42 métalliques fixes et une poutre mobile 50 placée entre les deux supports fixes 30,40 et supportant deux plaques métalliques mobiles 51,52 sensiblement planes. Le support fixe amont 30 comprend une première plaque amont 31 et une seconde plaque amont 32 avec un isolant électrique entre ces deux plaques fixes. De même, Le support fixe aval 40 comprend une première plaque aval 41 et une seconde plaque aval 42 avec un isolant électrique entre ces deux plaques fixes. Les deux plaques fixes d'un même support sont alignées l'une par rapport à l'autre suivant un axe longitudinal Y. Les supports amont et aval 30,40 sont éloignés l'un de l'autre d'une distance fixe égale à 2E augmentée de l'épaisseur des plaques mobiles 51,52 suivant un axe Z perpendiculaire à l'axe Y. Chaque plaque 31,32 du support amont est placée en vis-à-vis suivant l'axe Z de la plaque correspondante 41,42 du support aval. Pour une meilleure compréhension des dessins, les vraies proportions ne sont pas respectées dans les figures 2 à 5, en particulier les dimensions de l'axe Z sont augmentées par rapport aux dimensions de l'axe Y. La poutre mobile 50 comprend une première plaque mobile 51 et une seconde plaque mobile 52 alignées l'une par rapport à l'autre suivant l'axe longitudinal Y et séparées par un isolant électrique. La première plaque 51 est placée entre les deux premières plaques 31,41 des supports amont et aval et la seconde plaque 52 est placée entre les deux secondes plaques 32,42 des supports amont et aval. Lorsqu'elle n'est pas en mouvement, c'est-à-dire en position repos, la poutre mobile 50 est positionnée à égale distance des deux supports fixes suivant l'axe Z, de sorte que les plaques mobiles 51,52 sont éloignées de chaque support fixe 30,40 d'une distance égale à E. La poutre mobile 50 est entraînée mécaniquement suivant l'axe Z à l'aide d'un actionneur (non représenté sur les figures) animé d'un mouvement linéaire périodique dans le temps, tel qu'un mouvement de type vibratoire. Les deux plaques mobiles 51,52 étant fixées sur la même poutre, elles sont donc animées de façon synchrone l'une par rapport à l'autre. Ce dispositif permet de réaliser les quatre capacités 21,22,23,24 de la façon suivante. La capacité 21 est formée entre la première plaque fixe 31 du support amont 30 et la première plaque mobile 51. La capacité 23 est formée entre la première plaque fixe 41 du support aval 40 et la première plaque mobile 31. Le point milieu A est donc sur la première plaque mobile 51. La capacité 22 est formée entre la seconde plaque fixe 42 du support aval 40 et la seconde plaque mobile 52. La capacité 24 est formée entre la seconde plaque fixe 32 du support amont 30 et la seconde plaque mobile 52. Le point milieu B est donc sur la seconde plaque mobile 52. Comme indiqué en figure 2, la première plaque fixe 31 du support amont 30 est reliée électriquement à la seconde plaque fixe 42 du support aval 40 et au point amont P du shunt 12. La seconde plaque fixe 32 du support amont 30 est reliée électriquement à la première plaque fixe 41 du support aval 40 et au point aval Q du shunt 12. Les plaques fixes 31, 32,41,42 et mobiles 51,52 sont par exemple de forme rectangulaire. Alternativement, la plaque mobile 51 peut être constituée de façon équivalente par deux films métalliques disposés respectivement sur la face supérieure et sur la face inférieure de la poutre 50 et connectés électriquement entre eux. Le film de la face supérieure servirait alors d'électrode pour la capacité 21 et le film de la face inférieure servirait d'électrode pour la capacité 23. Le point milieu A serait placé entre ces deux films. Le même agencement pourrait évidemment s'appliquer à la plaque mobile 52. Dans ce premier mode de réalisation, l'actionneur entraîne la poutre 50 suivant l'axe Z de sorte que les deux plaques mobiles 51,52 s'écartent d'une distance variant entre +z et -z par rapport à la position médiane de repos, faisant ainsi varier la distance d'isolement des capacités 21, 22,23,24. La figure 3 montre ainsi la poutre 50 dans une position de ses positions extrêmes. Les plaques mobiles 51,52 sont distantes de E-z du support amont 30 et de E+z du support aval 40. Donc, la distance d'isolement des capacités Cl et C4 est égale à E-z et la distance d'isolement des capacités C2 et C3 est égale à E+z. Lorsque la poutre 50 est en position médiane de repos, les valeurs C1,C2, C3,C4 des capacités 21,22,23,24 sont égales à Co = k * S / E, dans lequel S est la surface fixe des plaques mobiles, E est la distance d'isolement entre les plaques mobiles 51,52 et les supports 30 40 et k est la permittivité du diélectrique séparant les supports 30,40 et la poutre 50. Ce diélectrique peut être de l'air ou un élément plus isolant pour améliorer l'isolement des points milieux A et B. Lorsque la poutre 50 se met en mouvement, la distance d'isolement varie et les valeurs des capacités sont les suivantes: Cl =C4=k*S/(E z(t))=Co*E/(E z(t)) et C2 = C3 = k * S / (E + z(t)) = Co * E / (E + z(t)) dans lequel z(t) représente le mouvement suivant l'axe Z de la poutre 50. Cette équation est assimilable à la troisième variante de l'invention. Si la vibration de la poutre mobile 50 est sinusoïdale de fréquence égale à f et d'amplitude égale à z, alors z(t) = z * sin (2nf t). Ceci permet d'en déduire que: VBA=-(z/E)* sin(271ft)*VPQ avec: -1 Le pont diviseur 10 réalise ainsi une fonction de transfert de type modulation d'amplitude entre VPQ et VBA avec un coefficient d'atténuation égal à (z / E). L'amplitude z est choisie de façon à ne pas trop rapprocher les plaques mobiles 51,52 des plaques fixes 31,32,41,42 pour ne pas trop altérer l'isolement des points milieux A et B. On peut par exemple limiter l'amplitude z pour avoir: z / E = 1/10. Cet inconvénient peut aussi est évité en revêtant la face intérieure des plaques fixes avec un isolant de bonne qualité. Un second mode de réalisation du pont diviseur, correspondant aux figures 4 & 5, se différencie du premier mode de réalisation principalement par le fait que le mouvement de la poutre mobile se fait suivant l'axe longitudinal Y perpendiculaire à l'axe Z. Ainsi, l'écartement E entre plaques fixes et plaques mobiles reste constant ce qui évite d'éventuels problèmes de distance d'isolement des capacités. Dans ce second mode, le pont diviseur comprend deux supports fixes 60,70 et une poutre mobile 80 placée à égale distance E entre les deux supports fixes 60,70. La poutre 80 supporte deux plaques métalliques mobiles 81,82 sensiblement planes, alignées l'une par rapport à l'autre suivant l'axe Y et séparées par un isolant électrique. Le support fixe amont 60 comprend une première plaque fixe amont 61 et une seconde plaque fixe amont 62 métalliques, alignées l'une par rapport à l'autre suivant l'axe Y et un isolant électrique entre ces deux plaques fixes 61,62. De même, Le support fixe aval 70 comprend une première plaque fixe aval 71 et une seconde plaque fixe aval 72 métalliques, alignées l'une par rapport à l'autre suivant l'axe Y et un isolant électrique entre ces deux plaques fixes 71,72. Dans l'exemple représenté aux figures 4 & 5., les plaques métalliques 61, 81,71 sont placées en vis-à-vis mais de façon légèrement décalée suivant l'axe Z. De même, les plaques fixes 62,82,72 sont placées en vis-à-vis et sont décalées l'une de l'autre suivant l'axe Z mais avec un décalage inversé par rapport aux plaques 61,81,71. La poutre mobile 80 est positionnée à égale distance des deux supports fixes 60,70 suivant l'axe Z, de sorte que les plaques mobiles 81, 82 sont éloignées de chaque support fixe 60,70 d'une distance égale à E. La poutre mobile 50 est entraînée mécaniquement suivant l'axe Y à l'aide d'un actionneur (non représenté sur les figures 4 & 5) animé d'un mouvement linéaire périodique dans le temps, tel qu'un mouvement de type vibratoire. Les deux plaques mobiles 81,82 étant fixées sur la même poutre, elles sont donc animées de façon synchrone l'une par rapport à l'autre suivant: l'axe Y. Les quatre capacités 21,22,23,24 sont alors placées de la façon suivante. La capacité 21 est formée entre la première plaque fixe 61 du support amont 60 et la première plaque mobile 81. La capacité 23 est formée entre la première plaque fixe 71 du support aval 70 et la première plaque mobile 81. Le point milieu A est donc sur la première plaque mobile 81. La capacité 22 est formée entre la seconde plaque fixe 62 du support amont 60 et la seconde plaque mobile 82. La capacité 24 est formée entre la seconde plaque fixe 72 du support aval 70 et la seconde plaque mobile 82. Le point milieu B est donc sur la seconde plaque mobile 82. Comme indiqué en figure 4, les deux plaques fixes 61,62 du support amont 60 sont reliées électriquement au point amont P du shunt 12. Les deux plaques fixes 71,72 du support aval 70 sont reliées électriquement au point aval Q du shunt 12. Dans la position repos, le positionnement relatif des plaques fixes 61,62, 71,72 par rapport aux plaques mobiles 81,82 est déterminé pour que les surfaces métalliques en regard formant les électrodes de chacune des quatre capacités 21 à 24 soient égales à s, comme indiqué en figure 4. On a donc: C,=C2=C3=C4=k*S/E Lorsque l'actionneur entraîne la poutre 80 suivant l'axe Y, le positionnement relatif des plaques fixes 61, 62,71,72 par rapport aux plaques mobiles 81,82 est modifié. Donc, les surfaces en regard des électrodes des quatre capacités 21 à 24 sont modifiées de la façon suivante (voir figure 5) : C,=C4=k*(S-D*y(t))/E et C2=C3k*(S+D*y(t)) /E dans lequel y(t) représente le mouvement suivant l'axe Y de la poutre 80 et D représente la profondeur des plaques. Cette équation est assimilable à l'équation de la première variante de l'invention décrite précédemment. Si la vibration de la poutre mobile 80 est sinusoïdale de fréquence égale à f et d'amplitude égale à y, alors y(t) = y * sin (271f t). Ceci permet d'en déduire que: VBA=-(y*D/S)*sin(27tft)*VPQ La figure 5 montre ainsi une des positions extrêmes de la poutre 80 dans laquelle la surface des électrodes des capacités C, & C4 est désormais à s y*D et la surface des électrodes des capacités C2 & C3 est désormais à S + y*D. Le pont diviseur 10 réalise ainsi une fonction de transfert de type modulation d'amplitude entre VPQ et VBA avec un coefficient d'atténuation égal à (y*D / S). Dans ce cas, il est donc possible d'avoir une fonction de transfert proche de 1 tout en conservant une distance d'isolement entre plaques fixes et mobiles égale à E. Les deux modes de réalisation de l'invention peuvent être réalisés à l'aide de différentes technologies. La technologie ME:MS avec gravure sur Silicium est l'une de celles qui se prêtent bien à ce type de réalisation. II est en effet intéressant de fabriquer les différentes capacités (supports et plaques fixes, poutre et plaques mobiles) à partir du même substrat. De même, l'actionneur permettant de faire vibrer la poutre mobile peut également être intégré sur ce même substrat, suivant différents principes: un actionneur magnétique, électrostatique ou autres. La figure 6 présente un exemple simplifié en technologie MEMS du premier mode de réalisation de la figure 2, montrant un pont diviseur associé avec un actionneur. La poutre mobile 50 supporte deux plaques métalliques 51,52. Cette poutre 50 est en matériau structurel pouvant supporter des vibrations, tel que du polysilicium. Les plaques mobiles 51, 52 sont en vis-à-vis des plaques fixes 31,41 et 32,42, comme indiqué en figure 2. L'actionneur comporte une électrode centrale fixe 90 et deux plots d'ancrage 91,92 destinés à fixer les extrémités de la poutre 50. L'actionneur comporte également une autre électrode 55 qui est solidaire de la poutre 50. L'électrode centrale 90 est placée sensiblement en vis-àvis de l'électrode 55 de la poutre 50 de façon à créer une capacité entre l'électrode 55 et l'électrode centrale 90. L'électrode 55 est alimentée électriquement à un des plots 91 par exemple via un conducteur 56. Ainsi, lorsqu'on applique une différence de potentiel sinusoïdale entre l'électrode centrale 90 et le plot 91 relié à l'électrode 55, il se crée un effet électrostatique qui provoque un mouvement sinusoïdal de l'électrode 55 et donc de la poutre 50 suivant l'axe vertical Z entre les plots d'ancrage 91,92. La fréquence d'oscillation de la poutre est alors la fréquence de la tension sinusoïdale appliquée. Préférentiellement, une valeur de fréquence d'oscillation qui correspond à la fréquence de résonance mécanique propre de la poutre 50 permettrait en plus d'apporter une meilleure stabilité au mouvement d'oscillation. Pour améliorer la linéarité du mouvement des plaques mobiles 51,52 de la poutre 50 selon l'axe Z, on peut rallonger la poutre 50 de façon à éloigner les points ancrages aux plots 91,92. Par ailleurs, des conducteurs sont agencés sur la poutre 50 (par exemple via une technologie de circuit imprimé) pour permettre de sortir les connexions des points milieux A et B entre lesquels le capteur doit mesurer une tension. L'actionneur peut être de type actionneur MEMS à action électrostatique (comme dans la figure 6) ou à action électromagnétique ou de type FBAR (Film Bulk Resonator Beam) capable de générer des oscillations périodiques à fréquence rapide, par exemple supérieure à une centaine de kHz. L'actionneur pourrait également être de type piézoélectrique. Par ailleurs, on aurait également pu envisager un actionneur MEMS agissant sur la poutre par effet électromagnétique au lieu d'un effet électrostatique. Il est bien entendu que l'on peut, sans sortir du cadre de l'invention, imaginer d'autres variantes et perfectionnements de détail et de même envisager l'emploi de moyens équivalents. REVENDICATIONS 1. Capteur de courant destiné à rnesurer un courant électrique (I) circulant dans une charge électrique (M), comportant un shunt résistif (12) relié en série avec ladite charge et un pont diviseur (10) de capacités relié en dérivation avec ledit shunt, caractérisé en ce que le pont diviseur est composé d'une première branche comprenant une première capacité (21) en série avec une troisième capacité (23), d'une seconde branche en parallèle avec la première branche comprenant une deuxième capacité (22) en série avec une quatrième capacité (24), au moins une capacité de chaque branche ayant une valeur variable de façon périodique dans le temps, et en ce que le capteur comporte des moyens de mesure (15) de la différence de tension entre un premier point milieu (A) situé entre la première et la troisième capacité et un deuxième point milieu (B) situé entre la deuxième et la quatrième capacité. 2. Capteur de courant selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première capacité (21) a une valeur (Cl) égale à la valeur (C4) de la quatrième capacité (24) et la deuxième capacité (22) a une valeur (C2) égale à la valeur (C3) de la troisième capacité (23). 3. Capteur de courant selon la revendication 2, caractérisé en ce que les 20 quatre capacités (21,22,23,24) du pont diviseur ont une valeur (C1,C2, C3,C4) variable de façon périodique dans le temps. 4. Capteur de courant selon la revendication 3, caractérisé en ce que les variations dans le temps des valeurs (Cl,C4) de la première capacité (21) et de la quatrième capacité (24) sont de sens opposé par rapport aux variations dans le temps des valeurs (C2,C3) de la deuxième capacité (22) et de la troisième capacité (23). 5. Capteur de courant selon la revendication 2, caractérisé en ce que le pont diviseur (10) comprend deux supports fixes (30,4C),60,70) supportant chacun deux plaques métalliques fixes (31,32,41,42,61,62,71,72) et comprend une poutre mobile (50,80) placée entre les deux supports fixes, supportant deux plaques métalliques mobiles (51,52,81,82) et entraînée par un actionneur (90,91,92) animé d'un mouvement périodique dans le temps. 6. Capteur de courant selon la revendication 5, caractérisé en ce que la poutre mobile (50) est entraînée suivant un axe (Z) sensiblement perpendiculaire 5 aux plaques mobiles (51,52). 7. Capteur de courant selon la revendication 5, caractérisé en ce que la poutre mobile (80) est entraînée suivant un axe (Y) sensiblement parallèle aux plaques mobiles (81,82). 8. Capteur de courant selon la revendication 5, caractérisé en ce que le 10 pont diviseur (10) et l'actionneur (90,91,92) sont réalisés en technologie MEMS.