Brevet FR2881832A1 — publié le 20060811

PROCEDE DE TEST DE CONDUCTEURS ELECTRIQUES PAR EFFET PHOTOELECTRIQUE, AU MOYEN D'UNE PLAQUE SEPARATRICE La présente invention concerne le test électrique sans contact d'éléments électriques en utilisant l'effet photoélectrique, notamment le test des conducteurs électriques présents sur les supports d'interconnexion, mais également le test et la mesure de conducteurs électriques, de composants électriques ou électroniques. Le test électrique des supports d'interconnexion représente un enjeu majeur de l'industrie de l'électronique moderne. Les deux séquences de test essentielles à conduire pour vérifier qu'un conducteur d'interconnexion ne présente pas de défaut de fabrication, sont le test de continuité et le test d'isolement. Le test de continuité consiste à vérifier que le conducteur n'est pas coupé entre ses extrémités, plus précisément entre les points de connexion qu':_l relie. Il s'agit généralement de mesurer la résistance du conducteur entre des points de connexion du conducteur (plages de contact) et de s'assurer que celle-ci est très faible (typiquement de l'ordre d'un ohm). Le test d'isolement vase à s'assurer que chaque conducteur d'un support d'interconnexion est isolé électriquement relativement aux autres conducteurs. Avec la miniaturisation et la complexification des circuits intégrés réalisés sous forme de puces de silicium, les supports d'interconnexion présentent une complexité croissante à l'image de celle des circuits intégrés qu'ils accueillent. Ainsi, les supports d'interconnexion à haute densité présentent des conducteurs dont la largeur et la longueur ne cessent de se réduire, ainsi que la surface de leurs points de connexion avec des circuits intégrés. De ce fait, les méthodes de test conventionnelles, utilisant des cartes à pointes ou des lits à clous s'avèrent de plus en plus inadaptées. Pour pallier ces inconvénients, on a développé ces dernières années des méthodes de test sans contact dans lesquelles l'effet photoélectrique est utilisé pour agir sur le potentiel électrique des conducteurs à tester et ainsi conduire des séquences de test d'isolement et de continuité. L'effet photoélectrique est provoqué en appliquant à un matériau conducteur un faisceau de particules ayant une énergie suffisante pour communiquer aux électrons de la couche de conduction du matériau cible une énergie au moins égale à leur travail de sortie ("work function"). Les électrons sont alors arrachés - éjectés - du matériau conducteur et sont ensuite accélérés par un champ électrique intense (plusieurs millions de Volt par mètre). Dans un souci de simplification du langage le terme "effet photoélectrique" est ici générique et désigne un phénomène d'arrachement ou d'éjection d'électrons d'un matériau cible. En effet avec des matériaux tels le cuivre, l'or, ou des conducteurs étamés à l'étain plomb, on utilise généralement des sources de lumière cohérente à longueur d'onde courte, notamment des sources de lumière laser ultraviolette, mais des sources de lumière non cohérente sont aussi utilisées ainsi que des particules autres que des photons, par exemple un faisceau d'ions ou un faisceau d'électrons. Historiquement, comme illustré par exemple par les brevets US 6, 369,590 et US 6,369,591, l'effet photoélectrique a été utilisé pour arracher des électrons présents dans un conducteur à tester. Comme il n'est généralement pas souhaité - ou. possible - d'accéder au conducteur pour lui appliquer un potentiel électrique négatif qui créerait un champ électrique répulsif au moment de l'éjection des électrons (le conducteur se trouve généralement à un potentiel flottant), une électrode de collecte portée à un potentiel positif permet de résoudre ce problème en générant un puissant champ électrique qui attire les électrons éjectés par le conducteur. L'électrode de collecte permet en outre la collecte et:Le comptage de la quantité d'électricité extraite du conducteur afin d'en déduire, par exemple, son potentiel électrique initial. La demande internationale WO 01/38892 apporte un perfectionnement majeur aux procédés de test basés sur l'effet photoélectrique, en prévoyant une injection d'électrons dans un conducteur en sus d'une extraction d'électrons présents dans un conducteur. Les figures lA et 1B illustrent respectivement l'injection d'électrons dans un conducteur et l'éjection d'électrons présents dans un conducteur selon le procédé décrit dans la demande internationale précitée. L'injection et l'éjection d'électrons sont mises en oeuvre au moyen d'une plaque de décharge et de collecte 5 comprenant des électrodes de décharge d'électrons 6 (électrodes émettrices d'électrons) et des électrodes de collecte d'électrons 7 (fig. 1B) agencées sur une plaque support 8, une seule électrode de chaque catégorie étant représentée sur les figures. La plaque support 8 est transparente ou partiellement transparente à un faisceau de particules Bl générateur d'effet photoélectrique. Le faisceau de particules B1 est par exemple un faisceau de lumière ultraviolette et la plaque support 8 est par exemple en silice. Sur la figure lA, un conducteur 1 agencé sur un substrat diélectrique 2 présente une plage de contact 3 ("contact pad") délimitée par une zone d'épargne pratiquée dans un vernis de protection 4. La plage 3 est utilisée comme point de test du conducteur 1, c'est-à.- dire comme zone cible pour l'injection d'électrons dans le conducteur. L'électrode de décharge 6 est disposée en regard de la plage 3, à une distance d de celle-ci. L'électrode de décharge 6 est portée à un potentiel électrique négatif Vn inférieur à un potentiel flottant Vf du conducteur 1, et sa face arrière est bombardée par le faisceau de lumière B1, par l'intermédiaire de la plaque support 8 et en présence d'un vide primaire. Des électrons sont éjectés par la face avant de l'électrode de décharge 6 et sont projetés sur le conducteur 1 sous l'action du champ électrique répulsif E=(Vn-Vf) /d généré par le potentiel négatif de l'électrode de décharge. Sur la figure 1B, un conducteur 1' agencé sur].e même substrat diélectrique 2 présente une plage de contact 3' délimitée par une zone d'épargne pratiquée dans le vernis de protection 4. La plage 3' est utilisée comme point de test du conducteur 1, ici comme zone cible pour l'éjection d'électrons présents dans le conducteur l'. L'électrode de collecte 7 est disposée en regard de la plage cible 3', à une distance d' de celle-ci, sensiblement identique à la distance d. L'électrode de collecte 7 est portée à un potentiel électrique positif Vp supérieur au potentiel flottant Vf du conducteur l', et la plage 3' est bombardée par le faisceau de lumière B1, par l'intermédiaire de la plaque support 8 et en présence d'un vide primaire. Des électrons sont éjectés par la plage 3' et sont recueillis par l'électrode de collecte 7 sous l'action du champ électrique attractif E=(Vp-Vf)/d' généré par le potentiel positif de l'électrode de collecte. Dans les deux cas, injection ou éjection d'électrons, des électrons sont échangés entre le conducteur et les électrodes jusqu'à ce que le potentiel du conducteur soit égal au potentiel de l'électrode de décharge ou de collecte. Le procédé permet ainsi de porter le potentiel flottant du conducteur à la tension Vn de l'électrode de décharge ou à la tension Vp de l'électrode de collecte, par exemple pour conduire un test d'isolement. Il permet également de faire circuler un courant dans un conducteur, en injectant des électrons en un premier point du conducteur et en éjectant des électrons en un second point du conducteur. Si par exemple le conducteur 1' de la figure 1B et le conducteur 1 de la figure lA sont le même conducteur, et les plages 3, 3' deux plages de ce même conducteur, un courant circule dans le conducteur si des électrons sont injectés sur la plage 3 et des électrons sont éjectés de la place 3'. La mesure du courant ou des charges électriques échangées permet de conduire un test de continuité ou d'effectuer une mesure de résistance. Ce procédé présente toutefois des inconvénients. D'une part, le faisceau d'électrons doit être canalisé afin que des électrons circulant entre l'électrode de décharge et le conducteur cible ou entre le conducteur cible et l'électrode de collecte n'atteignent pas des conducteurs voisins ou des électrodes voisines. Cet inconvénient est résolu dans la demande internationale précitée en portant à un potentiel électrique répulsif des électrodes avoisinant les électrodes de décharge ou de collecte, de manière à former des couloirs de circulation des électrons délimités par un champ électrique répulsif. Toutefois, cette solution nécessite d'amener le potentiel répulsif jusqu'aux électrodes concernées, ce qui implique la prévision d'un système d'adressage et de multiplexage des électrodes relativement complexe et complique également la structure de la plaque de décharge et de collecte. D'autre part, la distance d ou d' entre le conducteur cible et l'électrode de décharge ou de collecte, de l'ordre de quelques dizaines à quelques centaines de micromètres, doit être contrôlée avec précision et ne doit pas varier au cours d'une séquence de test. A cet effet, on utilise des moyens de positionnement de la plaque de décharge et de collecte d'une grande précision, mais coûteux à réaliser et complexe à utiliser. Ainsi, la présente invention vise un moyen spécifique permettant de faciliter la mise en oeuvre du procédé d'injection ou d'éjection d'électrons par effet photoélectrique décrit ci-dessus, et d'améliorer les 5 performances de ce procédé. La présente invention vise également un procédé d'injection et d'éjection d'électrons par effet photoélectrique qui utilise le moyen spécifique selon l'invention. De façon simple mais non moins inventive, le moyen de l'invention est un matériau électriquement isolant disposée autour des chemins de circulation des électrons, par exemple une plaque isolante comprenant des orifices agencés à des emplacements correspondant à des points d'injection ou d'éjection d'électrons. Une telle plaque isolante, lorsqu'elle est agencée entre une plaque de décharge ou de collecte et des éléments à tester, forme également une entretoise qui permet de caler la distance entre les électrodes de la plaque de décharge et de collecte et:Les zones cibles des éléments à tester. Divers autres avantages seront décrit dans ce qui suit. Ainsi, la présente invention prévoit un procédé pour injecter des électrons dans un élément électrique cu éjecter des électrons présents dans l'élément électrique, comprenant les étapes consistant à disposer à proximité de l'élément au moins une électrode de décharge d'électrons ou une électrode de collecte d'électrons, porter l'électrode à un premier potentiel électrique, et appliquer un faisceau de particules à l'électrode ou à l'élément, pour que des électrons soient arrachés de l'électrode ou de l'élément et atteignent l'élément cu l'électrode, procédé dans lequel les électrons circulant entre l'électrode et l'élément, ou entre l'élément et l'électrode, sont canalisés par un matériau électriquement isolant agencé autour d'une zone de circulation des électrons. Selon un mode de réalisation, les électrons circulent dans un orifice pratiqué dans une plaque séparatrice électriquement isolante. Selon un mode de réalisation, la plaque séparatrice 5 comprend au moins une région métallique débouchant dans l'orifice, et la région métallique est portée à un potentiel électrique. Selon un mode de réalisation, la région métallique est une couche métallique percée avec l'orifice, formant une sorte d'anneau métallique sur les parois d.e l'orifice. Selon un mode de réalisation se rapportant à l'injection d'électrons dans l'élément, le procédé comprend l'application à l'électrode d'un faisceau de particules réfléchi issu du faisceau de particules incident appliqué à l'élément et se réfléchissant sur celui-ci. Selon un mode de réalisation, le faisceau de particules est un faisceau de lumière ultraviolette. Selon un mode de réalisation, l'élément électrique est une piste conductrice, une plage d'une piste conductrice, un composant électrique ou électronique ou une borne d'un composant électrique ou électronique. L'invention concerne également un procédé de test ou de mesure d'éléments électriques comprenant des étapes d'injection d'électrons dans des éléments à tester ou d'éjection d'électrons présents dans des éléments à tester, au moyen d'au moins un faisceau de particules et d'une plaque de décharge ou de collecte d'électrons agencée au-dessus des éléments à. tester et comportant des électrodes de décharge ou de collecte d'électrons, procédé dans lequel une plaque séparatrice électriquement isolante est agencée entre la plaque de décharge ou de collecte et:Les éléments à tester, et comprend des orifices à des emplacements correspondant à des points d'injection ou de collecte d'électrons. Selon un mode de réalisation, la plaque séparatrice comprend au moins une région métallique débouchant dans les orifices, et la région métallique est portée à un potentiel électrique. Selon un mode de réalisation, la région métallique est une couche métallique percée avec l'orifice, formant une sorte d'anneau métallique sur les parois de l'orifice. Selon un mode de réalisation, la plaque de décharce ou de collecte comprend des électrodes de même structure, chacune pouvant former une électrode de décharge ou une électrode de collecte. Selon un mode de réalisation, la plaque de décharce ou de collecte d'électrons comporte des électrodes disposées de façon matricielle, en lignes et en colonnes. Selon un mode de réalisation, la plaque de décharge ou de collecte comporte des électrodes en forme de bandes conductrices parallèles entre elles Selon un mode de réalisation, un élément électrique est au moins l'un des éléments suivants: un conducteur électrique, un composant électrique, un composant électronique, une borne d'un conducteur électrique ou une borne d'un composant électrique ou électronique. L'invention concerne également un dispositif de test ou de mesure d'éléments électriques comprenant au moins une source d'un faisceau de particules, au moins une plaque de décharge ou de collecte d'électrons comportant des électrodes pouvant être portées individuellement à des potentiels électriques pour injecter des électrons dans des éléments ou pour collecter des électrons éjectés des éléments, et une plaque séparatrice électriquement isolante disposée ou à disposer entre la plaque de décharge ou de collecte et les éléments à tester, la plaque séparatrice comprenant des orifices à des emplacements correspondant à des points d'injection d'électrons dans les éléments ou à des points d'éjection d'électrons présents dans les éléments et formant des couloirs de circulation des électrons. Selon un mode de réalisation, la plaque séparatrice comprend au moins au moins une région métallique débouchant dans l'orifice un potentiel électrique. Selon un mode de réalisation, la région métallique est une couche métallique percée avec l'orifice, formant une sorte d'anneau métallique sur les parois de l'orifice Selon un mode de réalisation, le dispositif est agencé pour appliquer à une électrode un faisceau de particules réfléchi issu du faisceau de particules incident appliqué à un élément et se réfléchissant sur celui-ci, pour l'éjection d'électrons de l'électrode et leur injection dans l'élément. Selon un mode de réalisation, la plaque de décharge ou de collecte d'électrons comporte des électrodes de même structure, chacune pouvant former une électrode de décharge ou une électrode de collecte. Selon un mode de réalisation, la plaque de décharge 20 ou de collecte comporte les zones conductrices disposées de façon matricielle, en lignes et en colonnes. Selon un mode de réalisation, la plaque de décharge ou de collecte d'électrons comporte des zones conductrices en forme de bandes parallèles entre elles. Selon un mode de réalisation, le faisceau de particules est un faisceau de lumière ultraviolette. Selon un mode de réalisation, un élément électrique est au moins L'un des éléments suivants: un conducteur électrique, un composant électrique, un composant électronique, une borne d'un conducteur électrique ou une borne d'un composant électrique ou électronique. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés plus en détail dans la description suivante d'exemples de réalisation d'une plaque séparatrice selon l'invention, d'un procédé et d'un dispositif de test utilisant une telle plaque séparatrice, faite à titre non limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: - les figures 1A, 1B précédemment décrites illustrent respectivement un procédé classique d'injection d'électrons dans un conducteur et d'éjection d'électrons présents dans le conducteur, - la figure 2 est une vue de dessus d'une plaque séparatrice selon l'invention, - la figure 3A est une vue en coupe de la plaque 10 séparatrice de la figure 2 selon un premier mode de réalisation, - la figure 3B est une vue en coupe de la plaque séparatrice de la figure 2 selon un second mode de réalisation, - la figure 4 représente un dispositif d'injection et d'éjection d'électrons utilisant la plaque séparatrice selon l'invention, - les figures 5A et 5B illustrent respectivement l'injection d'électrons dans un conducteur et l'éjection d'électrons présents dans un conducteur au moyen du dispositif de la figure 4, - la figure 6 illustre la mise en oeuvre d'un test de continuité au moyen du procédé selon l'invention, - la figure 7 représente sous forme de blocs un 2.5 dispositif de test selon l'invention ainsi qu'un exemple de réalisation d'une plaque de décharge ou de collecte selon l'invention, et - la figure 8 représente un autre exemple de réalisation d'une plaque de décharge ou de collecte selon 30 l'invention. La figure 2 est une vue de dessus d'une plaque séparatrice 30 selon l'invention. La plaque séparatrice est réalisée en un matériau électriquement isolant et présente des orifices 31 (31-1, 31-2, 31-3, 314, 31-5... 31-i) qui traversent la plaque 30 de part en part. La plaque 30 est destinée à être agencée entre une plaque c'.e décharge ou de collecte d'électrons et des éléments à tester ou à mesurer. L'épaisseur de la plaque 30 correspond ainsi à la distance souhaitée entre les électrodes de décharge ou de collecte et les éléments à tester ou à mesurer (conducteurs, composants électriques ou électroniques ou bornes de tels composants). Les orifices 31 sont agencés à des emplacements correspondant aux points d'injection ou d'éjection d'électrons. Les orifices 31 et leurs parois en matériau isolant forment des couloirs de circulation des électrons empêchant ceux- ci d'atteindre des zones cibles voisines ou d'atteindre des électrodes de décharge ou de collecte voisines. La figure 3A est une vue en coupe de la plaque 30 selon un axe AA' passant par les orifices 31-1 à 31-4 et selon un premier mode de réalisation 30(A). La plaque 30 est ici réalisée en une seule couche ou bloc du matériau électriquement isolant, mais peut également être formée d'un empilement de couches isolantes. La plaque 30 est par exemple réalisée avec l'un des matériaux utilisés dans l'industrie du circuit imprimé pour former les substrats des circuits d'interconnexion, par exemple du verre-époxy, du RCC ("Resin Coated Core") ou du Kapton. Le matériau peut être rigide ou souple. Dans le second cas, la plaque 30 forme une sorte de film isolant. La plaque 30 est découpée et les orifices 31 sont usinés en utilisant des équipements classiques comme des perceuses mécaniques ou laser ou des équipements de fraisage/détourage. La figure 3B est une vue en coupe de la plaque 30 selon l'axe AA' et selon un second mode de réalisation 30(B) dans lequel la plaque 30 est pourvue d'une ou plusieurs âmes conductrices, ici trois âmes conductrices. La plaque 30 est réalisée en plusieurs couches du matériau électriquement isolant, ici quatre couches isolantes 300, 301, 302, 303. Une couche conductrice 313 formant la première âme conductrice est agencée entre les couches isolantes 300 et 301. Une couche conductrice 311 formant la deuxième âme conductrice est agencée entre les couches 301 et 302. Une couche conductrice 312 formant La troisième âme conductrice est agencée entre les couches 302 et 303. Les couches conductrices 310, 311, 312 sont reliées à une borne de contact: externe 320. Elles sont percées aux endroits où traversent les orifices 31 et forment ainsi, vues depuis l'intérieur des orifices 3:L, des sortes d'anneaux métalliques qui affleurent les parois des orifices 31. La plaque à âmes conductrices est fabriquée par empilement et stratification des couches isolantes avec les couches conductrices, qui sont de préférence des couches métalliques, en utilisant les procédés de fabrication de l'industrie du circu_Lt imprimé. Les empilements sont ensuite usinés de la même manière que la plaque séparatrice sans âme conductrice. Les couches conductrices 310, 311, 312 forment, vues depuis l'intérieur des orifices 31, des sortes d'anneaux métalliques. La borne de contact 320 permet de les relier à une source de potentiel électrique fournissant un potentiel Vec. Le potentiel Vec peut être utilisé à plusieurs fins. S'il est choisi négatif, il a un effet répulsif sur les électrons et permet de focaliser le faisceau d'électrons traversant les orifices 31. S'il est choisi positif, il crée un champ électrique accélérateur permettant d'empêcher la formation d'une charge d'espace qui pourrait freiner la circulation des électrons, ou à tout le moins de limiter la formation d'une telle charge d'espace. Un potentiel Vec nul (masse) peut également être utilisé pour évacuer des électrons qui pourraient se coller le long des parois des orifices. Une charge d'espace est formée par un nuage d'électrons qui peut apparaître lorsque le nombre d'électrons collectés par unité de temps (courant) par une électrode de collecte ou fournis par unité de temps par une électrode de décharge, dépasse un certain seuil. Des charges peuvent alors s'accumuler le long des parois des orifices 31, ce qui peut créer un étranglement c.0 canal de circulation des électrons. Les calculs théoriques confirment que le courant recueilli par effet photoélectrique est limité par la charge d'espace créée par les charges en transit. Plus la distance entre les électrodes de décharge ou de collecte d'électrons est grande, plus le nombre de charges en transit à un instant donné est important. L'utilisation de la plaque séparatrice avec âme(s) conductrice(s) est ainsi avantageuse lorsque la distance entre les électrodes de décharge ou de collecte et Les points de test est importante. En pratique, on peut choisir de réduire au maximum la distance entre les électrodes et les points de test pour augmenter le courant et donc le rendement du processus, ou d'empêcher la formation de la charge d'espace en utilisant la plaque séparatrice à âme(s) conductrice(s) polarisée(s). Dans le second cas, les électrons éjectés avec une vitesse initiale déterminée sont rapidement évacués par la combinaison de leur vitesse initiale et du champ électrique accélérateur créé par la tension Vec choisie positive, auxquels s'ajoute le champ répulsif de l'électrode de décharge ou le charr.p attractif de l'électrode de collecte. La plaque séparatrice 30 selon l'invention est susceptible de diverses utilisations. Elle peut par exemple être utilisée pour mettre en oeuvre le procédé classique d'éjection et d'injection d'électrons illustré par les figures 1A, 1B. La plaque 30 est alors agencée entre les conducteurs 1, 1' et la plaque de décharge et de collecte 5. Un premier orifice est prévu entre la plage 3 et l'électrode de décharge 6 et un second orifice est prévu entre la plage 3' et l'électrode de collecte 7, pour canaliser les flux d'électrons. On décrira dans ce qui suit un procédé d'éjecticn et d'injection d'électrons utilisant un effet photoélectrique dit "indirect", en tant qu'exemple de mise en uvre préféré de la plaque séparatrice selcn l'invention. Ce procédé se fonde sur la constatation que les métaux ou matériaux classiquement utilisés pour former les conducteurs d'interconnexion ou recouvrir ceux-ci, ou encore ceux utilisés pour former les bornes de contact des composants électriques ou électroniques, notamment le cuivre, l'or, la soudure à l'étain avec ou sans plomb, présentent un bon coefficient de réflexion - généralement de l'ordre de 30 à 85% - vis-àvis des faisceaux de particules utilisés pour provoquer l'effet photoélectrique, en particulier les faisceaux de lumière ultraviolette. Ainsi, l'idée de base de ce procédé est d'extraire des électrons présents dans une électrode de décharge, au moyen d'un faisceau de particules réfléchi issu d'un faisceau incident appliqué sur l'élément cible 1.5 et se réfléchissant sur celui-ci, au lieu d'appliquer le faisceau de particules sur la face arrière de l'électrode de décharge. L'électrode de décharge se trouve ainsi frappée par le faisceau de particules sur sa face avant (par convention celle qui se trouve en regard du conducteur cible) au lieu d'être frappée sur sa face arrière. Un banc de test d'éléments électriques mettant en oeuvre ce procédé est illustré par une vue en coupe sur la figure 4. Le banc de test comprend: les éléments à tester ou à mesurer, ici des conducteurs 10, 10', - une plaque de décharge ou de collecte 20, - au moins une source d'un faisceau de particules orientable vers tout point de la plaque de décharge ou de collecte, ici un faisceau de lumière ultraviolette Bl, - une plaque séparatrice 30 selon l'invention agencée entre le substrat 12 et la plaque de décharge ou de collecte 20. Les conducteurs 10, 10' sont agencés sur t:.n substrat électriquement isolant 12 et présentent des plages de contact 11A, 11A' ("contact pads") délimitées par des zones d'épargne dans un vernis de protection 13, les plages de contact formant des points de test ou zones cibles pour l'injection ou l'éjection d'électrons (appelées également dans ce qui suit zones d'impact photoélectrique). La plaque de décharge ou de collecte 20 comprend une plaque support en silice 21 transparente cru partiellement transparente aux rayons ultraviolets, dont la face avant (coté conducteurs 10, 10') comporte deys électrodes 22 accessibles individuellement pour l'application à chaque électrode d'un potentiel électrique. Le faisceau de lumière incident B1 est appliqué sur la face arrière de la plaque support 21, selon un angle d'incidence déterminé qui est ici perpendiculaire à la plaque 21, et traverse la plaque support 21 pour atteindre les zones d'impact photoélectrique. La plaque support 21 est maintenue parallèle au substrat 12 par la plaque séparatrice 30, de manière que le conducteur 10 se trouve à une distance d des électrodes 22 selon un axe perpendiculaire au plan du substrat 12. La plaque séparatrice 30 selon l'invention présente une épaisseur d correspondant à la distance souhaitée entre les électrodes 22 et les zones d'impact photoélectrique. Elle présente comme précédemment des orifices aux emplacements correspondant aux points de test des conducteurs 10, 10'et notamment des orifices 31, 31' agencés entre les plages 11A, 11A' et des électrodes 22 se trouvant en regard de ces plages. Bien que la plaque 30 représentée soit formée par une simple couche de matériau isolant, elle peut également comprendre une ou plusieurs âmes conductrices reliées au potentiel Vec, comme indiqué plus haut. Les électrodes 22 sont ici de même structure, chacune pouvant former une électrode de décharge ou une électrode de collecte. Chaque électrode comprend une couche mince de métal d'une épaisseur de l'ordre de quelques centaines de nanomètres déposée sur la plaque support 21. Les électrodes 22 sont disposées ici de façon matricielle (en lignes et en colonnes) et sont reliées par des conducteurs (non représentés) permettant de leur appliquer individuellement des potentiels électriques. La forme et la taille des électrodes et leur espacement sont choisis de manière que le faisceau incident B1 traverse partiellement la plaque de décharge ou de collecte 20 et atteigne les zones cibles. Par exemple, un agencement des électrodes 22 considéré comme satisfaisant est tel que:0 à 60% environ du faisceau incident B1 atteigne les zones cibles, le reste du faisceau B1 étant réfléchi ou absorbé par la face arrière des électrodes 22. A cet effet, les électrodes 22 sont ici d'une largeur inférieure à celle des plages de contact 11A, 11A' de sorte que plusieurs électrodes se trouvent au voisinage immédiat des plages 11A, 11A' tandis que d'autres se trouvent en dehors des zones d'impact photoélectrique, et sont masquées par la plaque séparatrice 30. Toutefois des électrodes pourvues d'une ou plusieurs fenêtres permettant le passage du faisceau de lumière B1 peuvent également être prévues. Les figures 5A, 5B sont des vues dilatées de la figure 4 au voisinage de la plage 11A du conducteur 10. La figure 5A illustre une étape d'injection d'électrons dans le conducteur 10 et la figure 5B illustre une étape d'éjection d'électrons présents dans le conducteur 10. Les deux étapes sont mises en oeuvre au moyen du faisceau de lumière Bl en présence d'un vide primaire (vide partiel). Sur la figure 5A, les électrodes 22 sont portées à un potentiel électrique Vn inférieur au potentiel électrique Vf du conducteur 10, qui est un potentiel flottant. Si nécessaire, le potentiel Vf peut être préalablement initialisé à une valeur connue supérieure à Vn. Le conducteur 10 peut par exemple être mis à la masse ou être porté à un potentiel positif par divers moyens connus (balai de carbone, bombardement ionique) voire au moyen de l'étape d'éjection d'électrons représentée st:.r la figure 5B et décrite ci-après. Le potentiel électrique Vn est par exemple une tension de l'ordre de 0 à -5V. Le faisceau de lumière incident B1 se réfléchit sur la plage 11A du conducteur 10 pour former un faisceau de lumière réfléchi BR qui est renvoyé sur les électrodes 22. On observe ainsi un double effet photoélectrique: 1) le premier effet photoélectrique ou "effet photoélectrique direct" est produit par l'impact du faisceau incident B1 sur la plage 11A et conduit à l'éjection d'électrons de type "el" qui se trouvent renvoyés dans le conducteur 10 en raison du champ électrique répulsif E=(Vn-Vf)/d qui règne entre les électrodes 22 et le conducteur 10. 2) le second effet photoélectrique ou "effet photoélectrique indirect" est produit par l'impact du faisceau réfléchi BR sur les électrodes 22 et conduit à l'éjection d'électrons de type "e2" qui sont projetés sur le conducteur 10 par le champ électrique répulsif et sont absorbés par celuici. Ainsi, le conducteur 10 se charge négativement (charge de sa capacité parasite) et son potentiel électrique tend vers celui des électrodes 22. Au terme du processus, le conducteur 10 est au potentiel Vn. La durée du processus est typiquement de l'ordre de quelques nanosecondes et détermine la durée d'un tir photoélectrique. Sur la figure 5B, les électrodes 22 en regard de la plage 11A du conducteur 10 sont portées à un potentiel électrique Vp supérieur au potentiel électrique Vf du conducteur 10, par exemple une tension positive de l'ordre de 1 à 5V. Si nécessaire, le potentiel Vf est initialisé à une valeur inférieure à Vp, par exemple le potentiel de masse ou le potentiel Vn obtenu au moyen de l'étape d'injection d'électrons. Comme précédemment, une partie de l'intensité du faisceau de lumière incident B1 se réfléchit sur la plage 11A du conducteur 10 pour former un faisceau de lumière réfléchi BR qui est renvoyé sur les électrodes 22. On observe donc de nouveau un effet photoélectrique direct et un effet photoélectrique indirect, mais ici l'effet photoélectrique direct est prépondérant tandis que l'effet photoélectrique indirect est neutralisé dans ses effets par le champ électrique attractif E'=(Vd-Vf)/d qui règne entre les électrodes 22 et le conducteur 10. Ainsi, l'impact du faisceau incider..t B1 sur la plage 11A du conducteur 10 provoque l'arrachement d'électrons de type "el" qui sont projetés sur les électrodes 22 en raison du champ électrique attractif, tandis que l'impact sur les électrodes 22 du faisceau de lumière réfléchi BR conduit à l'éjecticn d'électrons de type "e2" qui sont renvoyés dans les électrodes 22 par le champ électrique attractif. Ainsi, le conducteur 10 perd des électrons et son potentiel électrique tend vers le potentiel Vp des électrodes 22. Au terme du processus, le conducteur se trouve au potentiel Vp. La plaque séparatrice 30 offre ici divers 20 avantages. i) elle empêche les électrons circulant entre la plage 11A et les électrodes 22 ou vice-versa d'atteindre les conducteurs voisins ou d'atteindre les électrodes 22 voisines (électrodes masquées par la plaque 30) et à ce titre elle remplace le champ électrique répulsif utilisé dans l'art antérieur, ii) elle empêche les rayons lumineux réfléchis sur la plage 11A d'atteindre des électrodes 22 ne devant pas intervenir dans l'effet photoélectrique direct ou indirect (électrodes masquées par la plaque 30), ce qui constitue un avantage que ne peut apporter l'utilisation d'un champ électrique répulsif, iii) elle empêche également des rayons lumineux réfléchis sur les électrodes 22 (deuxième réflexion après la réflexion sur la plage 11A) d'atteindre des conducteurs voisins (non visibles sur les vues en coupe), iv) elle permet de régler avec précision la distance d entre les électrodes 22 et les zones cibles, v) si les conditions de travail sont telles qu'une charge d'espace peut apparaître (selon l'épaisseur d de la plaque séparatrice et l'intensité du flux d'électrons), la prévision d'une ou plusieurs âmes conductrices permet de résoudre ce problème, les âmes conductrices étant portées à une tension Vec légèrement positive. vi) comme il n'est plus nécessaire de prévoir un champ électrique répulsif pour canaliser les électrons, elle permet de réaliser une plaque de décharge ou de collecte qui n'utilise que les deux tensions primaires Vn et Vp. Il en résulte une simplification de la structure de 1a plaque de décharge ou de collecte qui ne comprend alors que des conducteurs assurant l'amenée des deux tensions primaires Vn, Vp aux électrodes de décharge ou de collecte. Une séquence de test d'isolement du conducteur 7.0 sera maintenant décrite à titre d'exemple. Considérons que l'isolement du conducteur 10 doive être testé relativement au conducteur 10'. La séquence de test d'isolement est par exemple conduite de la manière suivante: i) le conducteur 10 est tout d'abord porté à une tension de référence, par exemple la masse, d'une manière conventionnelle (par exemple avec un balai en carbone) ou en utilisant l'effet photoélectrique indirect ou direct:, puis est laissé flottant, ii) le conducteur 10 est ensuite porté à la tension Vp par effet photoélectrique direct, en portant les électrodes 22 au potentiel Vp et en appliquant eau conducteur 10 un tir de lumière ultraviolette, iii) le conducteur 10' est porté à la masse, de la même manière que le conducteur 10, puis est laissé flottant, iv) après un laps de temps, un tir de lumière ultraviolette est effectué sur le conducteur 10', n portant les électrodes 22 au potentiel Vp. Les électrons circulant entre les électrodes 22 et le conducteur 10' sont comptés pour déterminer la quantité d'électricité échangée Q. Si la quantité d'électricité mesurée Q correspond à une quantité d'électricité de référence Qr déterminée au cours d'une étape d'étalonnage, on en déduit que le conducteur 10' était toujours au potentiel de masse au moment du tir, de sorte que son isolement vis à vis du conducteur 10 est assuré (et réciproquement). Si la quantité d'électricité Q est nulle, cela signifie que le potentiel électrique du conducteur 10' est passé de la tension 0 à la tension Vp pendant le laps de temps susmentionné en raison d'un défaut d'isolement. Dans le cadre d'un test d'isolement quantitatif ou d'une mesure de résistance d'isolement, la quantité mesurée Q et la durée du laps de temps permettent de déterminer la résistance d'isolement entre les conducteurs 10, 10' en se référant à des abaques, et de décider si celle-ci est supérieure ou inférieure à un seuil de rejet du circuit. Ce procédé de test d'isolement entre deux conducteurs est destiné à être appliqué par itération à des ensembles de paires de conducteurs devant être testés. Il est susceptible de diverses variantes de réalisation, notamment en ce qui concerne les potentiels électriques utilisés. Une séquence de test de la continuité électrique du conducteur 10 est illustrée sur la figure 6. Le test est conduit entre la plage de contact 11A du conducteur 10 et une plage de contact 11B présente à une autre extrémité du conducteur. Les électrodes en regard de la plage 11.A sont désignées 22a et celles en regard de l'extrémité 11B sont désignées 22b. La plaque séparatrice 30 présente un orifice 31A de circulation des électrons entre la place 11A et les électrodes 22a (déjà décrit sous la référence 31) et un orifice 31B de circulation des électrons entre la plage 11B et les électrodes 22b. Les électrodes 22a sont portées au potentiel Vn par une source de tension 2881832 21 VGEN1, par l'intermédiaire d'un circuit AMCT1 d'acquisition et de mesure des électrons circulant entre la source de tension VGEN1 et les électrodes 22a. Les électrodes 22b sont portées au potentiel Vp par une source de tension VGEN2, par l'intermédiaire d'un circuit AMCT2 d'acquisition et de mesure des électrons circulant entre les électrodes 22b et la source de tension VGEN2. La séquence de test fait également intervenir deux sources S1, S2 de lumière ultraviolette et deux miroirs motorisés dont l'orientation est pilotée par une unité CMU de contrôle et de mesure. Les circuits de mesure AMCT1, AMCT2 sont reliés à l'unité CMU pour l'exploitation des résultats de mesure. La source S1 fournit un faisceau de lumière incident B11 qui est envoyé par le miroir Ml sur la place 11A et la source S2 fournit un faisceau de lumière incident B12 qui est envoyé par le miroir M2 sur la placre 11B. Ainsi, la plage 11A est tirée vers le potentiel Vn par effet photoélectrique indirect (injection d'électrons) tandis que la plage 11B est tirée vers le potentiel Vp par effet photoélectrique direct (éjection d'électrons), et des électrons circulent dans le conducteur. La charge électrique Q collectée par la placre 11B est mesurée de préférence en mode différentiel par les circuits AMCT1, AMCTT2 (respectivement charge injectée dans la plage 11A et charge extraite de la placre 11B) afin de détecter des phénomènes parasites éventuels qui pourraient provoquer une perte et/ou une injection de charges électriques dans la boucle de test. Des abaques élaborés au cours d'une phase d'étalonnage permettent à l'unité CMU d'en déduire la valeur de la résistance série R du conducteur 10, qui est fonction de la charge collectée. Ainsi le procédé de test de continuité peut être 3.5 exploité en tant que procédé de mesure de résistance:, indépendamment du test de conducteurs d'interconnexion.., par exemple pour la mesure de composants résistifE. Suivant le même principe, une valeur "C" de capacité peut être mesurée entre deux conducteurs en application de la relation existant entre la capacité, la charge électrique "Q" et la tension appliquée "V" (Q = CV). Egalement, ur.e valeur de self-inductance peut être mesurée. Bien que les exemples décrits ici soient relatifs au test de conducteurs, il apparaîtra clairement à l'homme de l'art que l'invention s'applique également au test de composants électriques ou à la mesure de leurs propriétés électriques (résistances, capacités et self-inductances). De tels composants peuvent être testés dans une configuration isolée ou en étant fixés sur un support d'interconnexion ou intégrés à celui-ci. Le faisceau de particules générateur d'effet photoélectrique peut être appliqué directement sur les bornes de composants à tester ou sur des pistes conductrices d'interconnexion auxquelles ces composants sont reliés (test dit "in situ", une fois les composants montés). L'invention s'applique également au test ou à la mesure de composants électroniques actifs. Ceux-ci se modélisent en effet sous forme d'un ensemble de composants passifs, un transistor MOS étant par exemple modélisé en une somme de capacités et de résistances. Ainsi, l'injection/extraction de charges électriques sur des bornes d'un composant actif permet de déterminer les caractéristiques électriques du composant. Elle est réalisée au moyen d'une plaque de décharge ou de collecte qui comporte des électrodes de forme et d'agencement adaptés aux bornes des composants. La figure 7 représente sous forme de blocs l'architecture générale d'un dispositif de test 40 selon l'invention. Le dispositif 40 comprend: l'unité de contrôle et de mesure CMU précédemment décrite, par exemple un microcontrôleur, - la plaque de décharge ou de collecte 20, - les sources de lumière ultraviolette Si, E2 précédemment décrites (non représentées sur la figure) - les miroirs motorisés Ml, M2 précédemment décrits (non représentés sur la figure), - les circuits AMCT1, AMCT2 précédemment décrits, - les sources de tension VGEN1, VGEN2 précédemment 5 décrites, un décodeur de ligne LDEC1, et: - deux décodeurs de colonne CDEC1, CDEC2. Le décodeur CDEC1 est alimenté électriquement par le générateur VGEN1, par l'intermédiaire du circuit AMCT1. Le décodeur CDEC2 est alimenté électriquement par le générateur VGEN2, par l'intermédiaire du circuit AMCT2. La plaque de décharge ou de collecte 20 comprend une pluralité d'électrodes 22 agencées en lignes de rang i et en colonnes de rang j, quatre électrodes ';2 seulement étant représentées sur la figure. Chaque électrode 22 comprend ici: - une plage métallique 220 formant l'électrode proprement dite, pour émettre ou collecter des électrons, ici d.e forme carrée et formée par une grille de conducteurs fir..s (une couche monobloc de dépôt métallique peut égalemer..t être prévue), - un transistor-interrupteur 221 dont la grille de contrôle est reliée à une sortie du décodeur LDEC1 par l'intermédiaire d'une ligne de sélection LSELli, dont le drain est relié à une sortie du décodeur CDEC1 par l'intermédiaire d'une ligne de sélection CSELlj et dont la source est reliée à l'électrode 220, - un transistor-interrupteur 222 dont la grille de contrôle est reliée à une sortie du décodeur LDEC1 par l'intermédiaire d'une ligne de sélection LSEL2i, dont le drain est relié à une sortie du décodeur CDEC2 par l'intermédiaire d'une ligne de sélection CSEL2j et dont la source est reliée à l'électrode 220, - une capacité de mesure CS reliant l'électrode 220 à une référence de potentiel, ici la tension Vn présente sur la ligne CSEL2j. Cette capacité CS est par exemple la capacité parasite de l'un des transistors 221, 222 ou =_a capacité parasite résultante des deux transistors. Elle forme un moyen de stockage temporaire des charges collectées lors d'un tir et permet aux circuits AMCT:, AMCT2 de mesurer des quantités d'électricité échangées par effet photoélectrique. Ainsi, une fois un tir photoélectrique effectué, la charge stockée dans:a capacité CS est vidée en mettant à la masse le conducteur CSEL2j, pour récupérer et mesurer la charge Q prélevée lors du tir, ce qui permet, comme indiqué plus haut, d'en déduire une valeur de résistance série. Pour sélectionner des électrodes 22 et appliquer aux électrodes sélectionnées l'une des tensions Vp et Vn, l'unité CMU fournit au décodeur LDEC1 un signal d'adresse de ligne ADL1 qui désigne l'ensemble des lignes LSEL1i devant être activées pour rendre passants les transistors-interrupteurs reliés à ces lignes, et un signal d'adresse de ligne ADL2 qui désigne l'ensemble des lignes LSEL2i devant être activées pour rendre passants les transistors-interrupteurs reliés à ces lignes. L'unité CMU fournit également au décodeur CDEC1 un signal d'adresse de colonne ADC1 qui désigne l'ensemble des lignes CSELlj devant recevoir la tension Vp, et au décodeur CDEC2 un signal d'adresse de colonne ADC2 qui désigne l'ensemble des lignes CSEL2j devant recevoir la tension Vn. Un tel adressage multiplexé utilisant les tensions Vp, Vn comme signaux de sélection de colonnes permet à l'unité CMU d'appliquer indépendamment à chacur..e des électrodes l'une des tensions précitées. La figure 8 représente une plaque 200 de décharge ou de collecte selon l'invention dans laquelle les électrodes 22 précédemment décrites sont remplacées par des bandes conductrices 230-1, 230-2,...230-i parallèles entre elles et ici de forme rectiligne, des bandes conductrices en zigzag, en "Z", en "S"... pouvant également être prévues. La structure de la plaque de décharge ou de collecte s'en trouve donc considérablement simplifiée. Les bandes 230-i formant électrodes de décharge ou de collecte sont pilotées en tension et en sélection par un décodeur de ligne LDEC2 recevant les tensions à multiplexer Vp, Vn et deux signaux d'adresse ADL1, ADL2 désignant les bandes devant recevoir 1a tension Vp et les bandes devant recevoir la tension Vn. Une telle plaque 200 de décharge ou de collecte permet comme la précédente de conduire des tests d'isolement et de continuité sur divers types d'éléments. A titre d'exemple, considérons qu'un test d'isolement doit être conduit entre deux plages conductrices C43, C44 appartenant à des équipotentielles (conducteurs) différentes d'un support d'interconnexion. Pour conduire ce test, la bande conductrice 230-2 passant au-dessus de la plage C43 est portée à la tension Vn tandis que des bandes conductrices 230-6, 230-7, passant en tout ou en partie au-dessus de la plage C44, sont portées à la tension Vp. Un premier tir de lumière ultraviolette est effectué au-dessus des plages C43, C44 pour les porter respectivement à la tension Vn et à la tension Vp. Après un laps de temps, la bande conductrice 230-2 est portée au potentiel Vp, un tir de lumière ultraviolette est effectué au-dessus de la plage C43 et est accompagné d'un comptage de la quantité d'électricité fournie par le générateur VGEN1, pour déterminer, comme indiqué plus haut, si la plage C43 est toujours au potentiel Vn ou non. Il apparaîtra clairement à l'homme de l'art que la présente invention est susceptible de diverses autres variantes de réalisation, notamment en ce qui concerne la forme de la plaque séparatrice, ses applications, la mise en oeuvre des tests de continuité ou d'isolement, la réalisation de la plaque de décharge ou de collecte, la réalisation des moyens de contrôle, d'acquisition et de mesure décrits ci-dessus, et les choix des tensions de test Vp, Vn. Les couches métalliques débouchant dans les orifices de la plaque séparatrice pour former des sortes d'anneaux conducteur permettant de réguler le flux d'électrons sont susceptibles de diverses variantes c.e réalisation, notamment ne pas être des couches à proprement parler mais un maillage de conducteurs formant après perçage de la plaque séparatrice des zones conductrices qui débouchent en certains points des parois des orifices et permettent d'imposer le champ électrique souhaité. La plaque séparatrice se=lon l'invention peut par ailleurs être utilisée pour la mise en oeuvre de procédés de test ne comprenant que l'éjection d'électrons par effet photoélectrique, l'injection étant alors réalisée avec des lits à clous, des cartes à pointe, des micropointes à décharge, des couches élastomères à conduction anisotrope, etc. Dans ce cas, la plaque c.e décharge ou de collecte est utilisée uniquement en tant que plaque de collecte. Réciproquement, la collecte d'électrons peut être faite avec des moyens à contact tels que ceux qui viennent d'être mentionnés et la plaque de décharge ou de collecte peut alors être utilisée comme plaque de décharge uniquement. Les électrodes de décharge ou de collecte peuvent présenter diverses autres formes que celles décrites ci-dessus, notamment une forme ronde, triangulaire ou une forme de parallélogramme quelconque, être agencées en biais relativement à la surface de la plaque support, présenter une forme en relief adaptée au test de certains composants, etc. . La présente invention est également susceptible c.e diverses applications et n'est pas limitée au test d.e supports d'interconnexion. L'invention permet notamment de tester ou de mesurer des circuits imprimés équipés de composants, des composants électriques et électroniques passifs et actifs, des bornes de composants, etc. L'invention permet également le test dit "in situ", c'est à dire la mesure de composants électroniques montés sur un support d'interconnexion (les zones cibles étant soit les bornes des composants eux-mêmes soit des pistes ou des plages reliées à ces bornes). L'invention permet également le test des conducteurs présents dans les circuits intégrés en silicium, en effectuant des tirs sur des contacts d'entrée/sortie reliés par des équipotentielles, le test des conducteurs présents sur des écrans plats, et de façon générale le test de tout conducteur ou composant offrant des points de test accessibles depuis l'extérieur. Dans de telles applications, la plaque séparatrice selon l'invention peut présenter, en regard des éléments à tester, une face inférieure en relief de forme complexe adaptée à la topographie de la surface du circuit à tester. REVENDICATION: 1. Procédé pour injecter des électrons dans un élément électrique (10, 11A, 11B, C43, C44) ou éjecter des électrons présents dans l'élément électrique, comprenant les étapes consistant: à : - disposer à proximité de l'élément au moins une électrode (22) de décharge d'électrons ou une électrode (22) de collecte d'électrons, - porter l'électrode (22) à un premier potentiel électrique (Vn, Vp), et - appliquer un faisceau de particules (Bl, B11, B12) à l'électrode ou à l'élément, pour que des électrons soient arrachés de l'électrode ou de l'élément et atteignent l'élément ou l'électrode, procédé caractérisé en ce que les électrons circulant entre l'électrode et l'élément, ou entre l'élément et l'électrode, sont canalisés par un matériau électriquement isolant agencé autour d'une zone de circulation des électrons. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel les électrons circulent dans un orifice (31, 31', 31k, 31B) pratiqué dans une pLaque séparatrice (3C) électriquement isolante. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel la plaque séparatrice comprend au moins une région métallique (310, 311, 312) débouchant dans l'orifice (31, 31', 31A, 31B), et dans lequel la région métallique est portée à un potentiel électrique (Vec). 4. Procédé selon la revendication 3, dans lequel la région métallique est une couche métallique (310, 311, 312) percée avec l'orifice (31, 31', 31A, 31B), formar..t une sorte d'anneau métallique sur les parois de l'orifice. 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, pour l'injection d'électrons dans l'élément (10, ilA, 11B, C43, C44), comprenant l'application à l'électrod.e (22) d'un faisceau de particules réfléchi (BR) issu d.0 faisceau de particules incident (B1, B11, B12) appliqué à l'élément et se réfléchissant sur celui-ci. 6. Procédé selon l'une des revendications 1 à E, 10 dans lequel le faisceau de particules est un faisceau d.e lumière ultraviolette. 7. Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel l'élément électrique est une piste conductrice, une plage d'une piste conductrice, un composant électrique ou électronique ou une borne d'un composant électrique ou électronique. 8. Procédé de test ou de mesure d'éléments électriques (10, 11A, 11B, C43, C44) comprenant des étapes d'injection d'électrons dans des éléments à tester ou d'éjection d'électrons présents dans des éléments à tester, au moyen d'au moins un faisceau de particules (B1, B11, B12) et d'une plaque (20, 200) de décharge cu de collecte d'électrons agencée au-dessus des éléments à tester et comportant des électrodes (22, 230-i) de décharge ou de collecte d'électrons, procédé caractérisé en ce qu'une plaque séparatrice (30) électriquement isolante est agencée entre la plaque (20, 200) de décharge ou de collecte et les éléments à tester, et comprend des orifices (31, 31', 31A, 31B) à des emplacements correspondant à des points d'injecticn ou de collecte d'électrons. 9. Procédé selon la revendication 8, dans lequel la plaque séparatrice (30) comprend au moins une régicn métallique (310, 311, 312) débouchant dans les orifices (31, 31', 31A, 31B), et dans lequel la région métallique est portée à un potentiel électrique (Vec). 10. Procédé selon la revendication 9, dans lequel la région métallique est une couche métallique (310, 311, 312) percée avec l'orifice (31, 31', 31A, 31B), formant une sorte d'anneau métallique sur les parois de l'orifice. 11. Procédé selon l'une des revendications 8 à 10, dans lequel la plaque de décharge ou de collecte (20, 200) comprend des électrode: (22, 220-i) de même structure, chacune pouvant former une électrode de décharge ou une électrode de collecte. 12. Procédé selon l'une des revendications 8 à 11, dans lequel la plaque de décharge ou de collecte d'électrons comporte des électrodes disposées de façon matricielle, en lignes et en colonnes. 13. Procédé selon l'une des revendications 8 à 11, dans lequel la plaque de décharge ou de collecte comporte des électrodes en forme de bandes conductrices (230-i) parallèles entre elles. 2.5 14. Procédé selon l'une des revendications 8 à 12, dans lequel un élément électrique est au moins l'un des éléments suivants un conducteur électrique, un composant électrique, un composant électronique, une borne d'un conducteur électrique ou une borne d'un composant électrique ou électronique. 15. Dispositif (40) de test ou de mesure d'éléments électriques (10, 11A, 11B, C43, C44) comprenant: - au moins une source (Sl, S2) d'un faisceau de particules (BI, B11, B12), - au moins une plaque (20, 200) de décharge ou de collecte d'électrons comportant des électrodes (22, 230-i) pouvant être portées individuellement à des potentiels électriques (Vp, Vn) pour injecter des électrons dans des éléments ou pour collecter des électrons éjectés des éléments, caractérisé en ce qu'il comprend une plaque séparatrice (30) électriquement: isolante disposée ou à disposer entre la plaque de décharge ou de collecte (20, 200) et les éléments à tester, la plaque séparatrice comprenant des orifices (31, 31', 31A, 31B) à des emplacements correspondant à des points d'injection d'électrons dans les éléments ou à des points d'éjection d'électrons présents dans les éléments et formant des couloirs de circulation des électrons. 16. Dispositif selon la revendication 15, dans lequel la plaque séparatrice comprend au moins au moiras une région métallique (310, 3L1, 312) débouchant dams l'orifice (31, 31', 31A, 31B. 17. Dispositif selon la revendication 1E, comprenant une source de potentiel pour appliquer à la région métallique (310, 311, 312) un potentiel électrique (Vec). 18. Dispositif selon l'une des revendications 16 et 17, dans lequel la région métallique est une coucl.e métallique (310, 311, 312) percée avec l'orifice (31., 31', 31A, 31B), formant une sortie d'anneau métallique st. r les parois de l'orifice 19. Dispositif selon l'une des revendications 15 à 18, agencé pour appliquer à une électrode (22) t.n faisceau de particules réfléchi (BR) issu du faisceau c.e particules incident (Bl) appliqué à un élément et se réfléchissant sur celui-ci, pour l'éjection d'électrons de l'électrode et leur injection dans l'élément. 20. Dispositif selon l'une des revendications 15 à 19, dans lequel la plaque (20, 200) de décharge ou de collecte d'électrons comporte des électrodes (22, 230-=_) de même structure, chacune pouvant former une électrode de décharge ou une électrode de collecte. 21. Dispositif selon l'une des revendications 15 à 20, dans lequel la plaque (20,, 200) de décharge ou de collecte comporte les zones conductrices disposées de façon matricielle, en lignes et en colonnes. 22. Dispositif selon l'une des revendications 15 à 20, dans lequel la plaque (200) de décharge ou de collecte d'électrons comporte des zones conductrices (230-i) en forme de bandes para=llèles entre elles. 23. Dispositif selon l'une des revendications 15 à 22, dans lequel le faisceau de particules est un faisceau de lumière ultraviolette. 24. Dispositif selon l'une des revendications 15 à 23, dans lequel un élément électrique est au moins l'un des éléments suivants un conducteur électrique, un composant électrique, un composant électronique, une borne d'un conducteur électrique ou une borne d'un composant électrique ou électronique.