Brevet FR2883859A1 — publié le 20061006

La présente invention concerne des dispositifs à microsystème électromécanique ou MEMS (Micro Electro Mechanical System) tels que des commutateurs optiques, et elle concerne en particulier des dispositifs MEMS avec une fonction de diagnostic de défaillance. En considérant spécialement des commutateurs optiques, on note que des commutateurs optiques sont installés par exemple dans des noeuds dans un réseau en anneau constituant un réseau de communication optique à multiplexage en longueur d'onde dense ou DWDM (Dense Wavelength Division Multiplexing). La plupart des commutateurs optiques installés à de tels noeuds placent mécanique-ment des éléments optiques tels que des prismes ou des miroirs dans des chemins de lumière et les retirent de ces derniers, pour changer des chemins de lumière. Des commutateurs optiques qui changent des chemins de lumière sont utilisés comme des multiplexeurs optiques à insertion / extraction reconfigurables (ROADM pour "Reconfigurable Optical Add/Drop Multiplexer") capables de sélectionner ou de reconfigurer des longueurs d'onde de lumière à extraire ou à insérer aux noeuds. Des commutateurs optiques peuvent également être utilisés comme des dispositifs de secours pendant des services de maintenance et d'inspection ou la reprise sur défaillance dans des systèmes redondants ayant un double système de signaux consistant en un chemin de lumière qui est normalement en utilisation réelle (chemin d'exploitation) et un chemin de lumière de secours (chemin de secours) qui peut être commuté en service à de longs intervalles. Certains de ces commutateurs optiques sont formés sur une puce dans laquelle des systèmes optique et d'activation sont formés comme une structure intégrée dans un dispositif MEMS fabriqué en utilisant la technologie de micro-usinage des semiconducteurs, du fait qu'ils sont réalisés pour commuter des chemins optiques microstructure. Des commutateurs optiques considérés ici sont des dispositifs MEMS microscopiques et comprennent des éléments mobiles qui sont essentiels à leur fonction. Par conséquent, la fiabilité mécanique des éléments mobiles est particulièrement cruciale. La fiabilité mécanique exigée comprend la durabilité de commutation pour supporter une commutation fréquente de chemins de lumière, et la fiabilité de commutation concernant une opération de commutation effectuée après une longue période inactive. Par exemple, dans le cas de commutateurs optiques utilisés comme des ROADM mentionnés ci-dessus, un flux de signal optique changera fréquemment, du fait que la ligne optique est partagée sur une base de longueur d'onde ou de temps. Par conséquent, la fréquence d'opérations de commutation d'un commutateur optique augmente, ce qui exige une durabilité de commutation élevée. La durabilité de commutation est également essentielle pour des commutateurs optiques utilisés dans un système de surveillance qui fait intervenir une commutation, en fonction des besoins, entre un signal principal et un signal de surveillance. Par ailleurs, dans des dispositifs optiques utilisés comme des dispositifs de secours dans un système redondant, comme mentionné ci-dessus, la fréquence de commutation est très faible. De façon spécifique, la commutation d'un système d'exploitation vers un système de secours peut être effectuée lorsque l'inspection ou la maintenance du système d'exploitation est effectuée, par exemple une fois par an. Par conséquent, la fiabilité de commutation après une longue période inactive est exigée. Il est absolument essentiel d'assurer la fiabilité mécanique de dispositifs MEMS du type de commutateurs optiques qui ont des éléments mobiles. Une technique de l'art antérieur pour améliorer la fiabilité mécanique correspond à un sous-système de commutateur optique exposé dans la Demande de Brevet du Japon Ouverte à l'Examen du Public n 2004-48187. Le sous-système de commutateur optique utilise un mode de mouvement grossier ou un mode de mouvement fin de l'angle de miroirs, en tant que modes pour commander un commutateur optique, qui est un dispositif MEMS, afin d'obtenir les résultats de mesures de l'intensité de lumière provenant d'une source de lumière, lorsqu'un faisceau de lumière provenant de la source de lumière est commuté par le commutateur optique, il effectue un auto-diagnostic sur la base des mesures, il effectue un auto-diagnostic sur la base du temps de commutation, et il effectue un étalonnage sur la base du résultat des auto-diagnostics. Le document indique qu'une défaillance de commutation peut être détectée par le diagnostic, et que la fiabilité et les performances d'un système de commutation optique peuvent être améliorées. Cependant, l'art antérieur décrit ci-dessus exige une source de lumière et une optique de réception (un moniteur d'intensité lumineuse) supplémentaires, dédiés à l'auto-diagnostic du commutateur optique. Par conséquent, des commutateurs optiques capables d'effectuer un autodiagnostic sont équipés d'un nombre accru de composants. En outre, la technique de l'art antérieur correspond à un système incorporant un commutateur optique basé sur la correction de signaux d'entrée de commande, et n'est donc pas applicable à des commutateurs optiques actuellement sur le marché, qui ne sont pas basés sur la correction de signaux d'entrée de commande. La présente invention procure un dispositif MEMS, dont un exemple caractéristique est un commutateur optique, ayant une fonction de diagnostic de défaillance qui surveille des caractéristiques de réponse mécanique d'éléments mobiles du MEMS pour détecter un précurseur d'une défaillance fatale, sans avoir besoin en pratique d'ajouter des composants supplémentaires, et qui peut également être appliquée au diagnostic de défaillance de dispositifs MEMS associés à un système existant, sans exiger la correction de signaux d'entrée de commande. La présente invention procure un dispositif à microsystème électromécanique incluant. un substrat; un élément mobile, un élément fixe et un actionneur qui déplace l'élément mobile, tous formés sur le substrat; une unité de commande qui commande l'actionneur pour commuter la position de l'élément mobile entre des états binaires; un moyen de détection de vibration pour détecter une microvibration excitée dans l'élément mobile dans l'un des états de commutation binaires; un moyen d'analyse de caractéristique dynamique pour analyser une caractéristique dynamique de l'élément mobile, sur la base d'un signal de sortie du moyen de détection de vibration; une mémoire qui stocke des données émises par le moyen d'analyse de caractéristique dynamique; une unité de calcul qui extrait des données de la mémoire, compare deux éléments de données en succession temporelle, et calcule une information de différence entre les deux éléments de données; et une unité de diagnostic de défaillance qui effectue un diagnostic de défaillance sur la base de l'information de différence émise par l'unité de calcul. Conformément à la présente invention, il est possible d'identifier un précurseur d'une défaillance fatale en surveillant de manière cohérente les caractéristiques de réponse mécanique d'éléments mobiles de dispositifs MEMS. La présente invention n'augmente pratiquement pas le nombre de composants de dispositifs MEMS, en comparaison avec des dispositifs MEMS classiques auxquels la présente invention n'est pas appliquée, et par conséquent le diagnostic de défaillance de la présente invention peut être appliqué à n'importe quels dispositifs MEMS existants, qu'on trouve sur le marché, qui ne sont pas basés sur la correction de signaux d'entrée de commande. Dans les dessins: la figure 1 est une vue en plan d'un commutateur 35 optique exemplifiant la présente invention; la figure 2 est une vue en plan montrant principalement des éléments mobiles du commutateur optique représenté sur la figure 1; la figure 3 est un schéma synoptique d'un mode de 5 réalisation de la présente invention; la figure 4 est une représentation graphique de la caractéristique de déplacement en fonction de la force pour un commutateur optique dans un état stable; la figure 5 est une représentation graphique de la 10 caractéristique de déplacement en fonction de l'isolation de lumière du commutateur optique; la figure 6 est un schéma synoptique montrant des électrodes incluant un capteur de caractéristique dynamique; et les figures 7A et 7B sont des diagrammes de formes d'onde montrant des exemples de caractéristiques de réponse. On va maintenant décrire des modes de réalisation de la présente invention en référence aux dessins annexés. Des exemples de précurseurs de défaillances fatales de dispositifs MEMS comprennent des défauts de fonctionnement dus à la friction statique (friction qui empêche le mouvement d'éléments mobiles), des fissures dues à la fatigue et une détérioration fonctionnelle due à l'usure. Dans les modes de réalisation présents, un diagnostic de défaillance est effectué en détectant et en identifiant de tels précurseurs, avant la commande normale d'un dispositif MEMS, ou simultanément à celle-ci. On décrira un commutateur optique, qui est un exemple caractéristique de dispositifs MEMS. Un commutateur optique dans le mode de réalisation présent est formé avec, par exemple, une tranche de type silicium sur isolant ou SOI, d'orientation (100) consistant en un substrat de silicium (avec une épaisseur de couche de 350 pm) / pellicule d'oxyde de silicium (avec une épaisseur de 3 pm) / couche de dispositifs en silicium (avec une épaisseur de pm). Les figures 1 et 2 sont des vues en plan du commutateur optique. Le commutateur optique est une structure bidimensionnelle ayant une épaisseur uniforme dans la direction de profondeur (la direction z) perpendiculaire aux feuilles des figures 1 et 2. La structure bidimensionnelle est fabriquée fondamentalement par les étapes suivantes. 1) On forme une pellicule d'oxyde de silicium sur la surface d'une couche de dispositifs en silicium formée 10 sur la tranche décrite ci-dessus. 2) On définit un motif dans la pellicule d'oxyde de silicium formée à l'étape (1), en utilisant la technologie de photolithographie. 3) On applique à la couche de dispositifs en silicium une gravure anisotrope utilisant une technique telle que la. gravure ionique réactive profonde ou DRIE (Deep Reactive Ion Etching), en utilisant en tant que masque la pellicule d'oxyde de silicium dans laquelle on a défini un motif. Le motif de la couche de dispositifs en silicium est ainsi formé. 4) On utilise un agent de gravure capable de graver sélectivement des pellicules d'oxyde de silicium, pour enlever l'oxyde de silicium enterré entre le substrat en silicium et la couche de dispositifs en silicium, pour libérer des éléments mobiles. Du fait que des contrastes différents, en termes d'étendue, sont établis pour des îlots d'éléments mobiles et d'éléments fixes isolés les uns des autres, l'oxyde de silicium audessous des éléments fixes reste si la gravure est accomplie en une durée appropriée. Ainsi, des motifs d'éléments fixes et d'éléments mobiles sont créés. Les structures des éléments fixes et mobiles seront décrites ultérieurement. 5) La surface de régions telles que des miroirs et des plages d'électrodes qui exigent une métallisation est 35 métallisée avec un métal à réflectance élevée, tel que Au. Un commutateur optique a ainsi été formé sur la tranche. On décrira une configuration et un fonctionnement du commutateur optique qui est un mode de réalisation de la présente invention, en se référant aux vues en plan des figures 1 et 2, qui sont des exemples. Sur les figures 1 et 2, des rainures de fibre 1 sont formées en croix. Les rainures de fibre 1 ont une largeur qui est suffisamment proche du diamètre extérieur d'une fibre optique. Des fibres de collimation (non représentées) ayant leurs extrémités polies sous un certain angle sont pressées dans les rainures de fibre 1, la position de l'axe optique est déterminée en utilisant un joint de butée pour fibre, 3, et les fibres de collimation pressées dans les rainures sont pressées contre le plan de référence 13 avec un ressort de pression de fibre 2. Un miroir 4 est installé de façon rétractable dans une partie de guide d'ondes transversal, 14, au niveau duquel des extrémités des fibres se font face à une intersection des rainures de fibre 1. L'alignement du miroir 4 doit être très précis lorsqu'il est inséré dans la partie de guide d'ondes transversal 14 et réfléchit la lumière. Par conséquent, le dispositif du mode de réalisation présent est fabriqué en utilisant pour la forme initiale l'état dans lequel le miroir 4 est inséré dans la partie de guide d'ondes transversal. 14. Le miroir 4 est supporté par le bout d'une tige mobile 7, et un peigne mobile 51 et une électrode mobile 5 qui constituent un actionneur en peigne électrostatique (qu'on appelle quelquefois simplement l'actionneur électrostatique) sont couplés à la tige mobile 7. La tige mobile 7 est supportée d'une manière mobile en direction axiale par des articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D formées des deux côtés de l'actionneur électrostatique, le long de l'axe de l'actionneur. Le commutateur optique doit effectuer une commande binaire (commande binaire par activation normale) entre un état dans lequel le miroir 4 est inséré dans la partie de guide d'ondes transversal 14, et un état dans lequel le miroir 4 est rétracté à partir de la partie de guide d'ondes transversal 14. Par conséquent, les articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D sont déviées vers un côté et restent dans un premier état stable pendant que le miroir 4 est inséré. Elles sont déviées vers l'autre côté et restent dans un deuxième état stable pendant que le miroir 4 est maintenu rétracté. L'ensemble de composants tels que le miroir 4, l'électrode mobile 5 de l'actionneur électrostatique et les articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D, sont couplés ensemble par l'intermédiaire de la tige mobile 7, et ils constituent dans leur intégralité un élément mobile. Des peignes fixes 81 et 91 sont formés contre le peigne mobile 51 de l'actionneur électrostatique, d'une manière telle qu'il y ait une interpénétration mutuelle des peignes 81 et 91 avec les deux côtés du peigne mobile 51. Le peigne fixe 81 est couplé à une première électrode fixe 8 et le peigne fixe 91 est couplé à une deuxième électrode fixe 9. Pour les première et deuxième électrodes 8, 9, il existe des électrodes 11, 12, qui fonctionnent comme des bornes de commutation pour appliquer une tension à ces électrodes ou diminuer la tension jusqu'à une tension de masse. Une structure d'ancrage 10 est formée autour du peigne mobile 51, de l'électrode mobile 5, des peignes fixes 81, 91, des première et deuxième électrodes fixes 8, 9 et des articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D, avec la tige mobile 7 située au centre. Les peignes fixes 81 et 91 de l'actionneur électrostatique, les première et deuxième électrodes fixes 8, 9 et la structure d'ancrage 10 constituent un élément fixe. L'élément fixe incluant les peignes fixes 81, 91 de l'actionneur électrostatique, les première et deuxième électrodes fixes 8, 9 et la structure d'ancrage 10, est fixé au substrat en silicium avec interposition d'une couche isolante (pellicule d'oxyde de silicium). Par ailleurs, l'élément mobile incluant la tige mobile 7, le peigne mobile 51 et l'électrode mobile 5 est supporté par les quatre articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D, de telle manière qu'il flotte au-dessus du substrat en silicium. Par conséquent, lorsque les quatre articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D sont courbées, l'élément mobile est placé dans la position supérieure ou inférieure sur les figures 1 et 2, ce qui fait qu'il est placé dans le premier ou le deuxième état stable décrit ci-dessus. Ainsi, lorsque les articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D sont courbées vers le haut sur les figures et maintenues dans cette position, le commutateur optique est dans le premier état stable dans lequel le miroir 4 est inséré dans la partie de guide d'ondes transversal 14; lorsqu'elles sont déviées vers le bas sur les figures et maintenues dans cette position, le commutateur optique est dans le deuxième état stable dans lequel le miroir est rétracté à partir de la partie de guide d'ondes transversal 14. En procédant ainsi, deux parties plus épaisses de la tige mobile 7, à l'endroit auquel la largeur d'éléments d'arrêt 7S1 et 7S2 représentés sur la figure 2 est augmentée, peuvent entrer en collision contre une paroi de la structure d'ancrage 10, qui appartient à l'élément fixe, pour agir ainsi comme un agencement d'arrêt qui limite les deux extrémités de la plage de mouvement de la tige mobile 7 le long de l'axe de la tige 7. On décrira ci-dessous un fonctionnement de base correspondant à l'activation normale du commutateur optique conforme au mode de réalisation présent. Dans la forme initiale immédiatement après la fabrication du commutateur optique (le premier état stable), le miroir 4 reste dans la partie de guides d'ondes transversal 14. A ce moment, la lumière entrant à partir d'un port d'Entrée représenté sur. la figure 1 est réfléchie par le miroir 4 et guidée vers un port d'Extraction. De façon similaire, la lumière entrant à travers un port d'Insertion est réfléchie vers un port de Sortie. Lorsqu'une tension est appliquée à la première électrode fixe 8 par l'intermédiaire de l'électrode 11, pendant que la structure d'ancrage 10, la deuxième électrode fixe 9 et l'électrode 12 qui sont connectées électriquement à l'élément mobile par l'intermédiaire des articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D, sont mises à la masse, une attraction électrostatique se produit entre le peigne fixe 81 de la première électrode fixe 8 et le peigne mobile 51 de l'électrode mobile 5. Si l'attraction est plus grande que la force qui retient le premier état stable, les articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D sont placées dans le deuxième état stable, et l'état est auto-maintenu à cause de la déviation des articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D, même lorsque l'alimentation est coupée. A ce moment, le miroir 4 est rétracté à partir de la partie de guide d'ondes transversal 14. Par conséquent, la lumière qui entre à travers le port d'Entrée est directement guidée vers le port de Sortie, ou bien la lumière qui entre par le port d'Insertion est guidée vers le port d'Extraction. Par ailleurs, lorsqu'une tension est appliquée à la deuxième électrode fixe 9 par l'intermédiaire de l'électrode 12, pendant que la structure d'ancrage 10, la première électrode fixe 8 et l'électrode 11 sont mises à la masse, une attraction électrostatique se produit entre le peigne fixe 91 de la deuxième électrode fixe 9 et le peigne mobile 51 de l'électrode mobile 5. Si l'attraction est plus grande que la force retenant le deuxième état stable, le dispositif retourne au premier état stable. Par conséquent, en appliquant une tension prédéterminée et une tension de masse alternativement à la première électrode fixe 8 et à la deuxième électrode fixe 9, il est possible d'accomplir la commutation entre le deuxième et le premier état stable. De cette manière, pour commuter entre les premier et deuxième états stables, une tension constante est appliquée à l'une de l'électrode il et de l'électrode 12 et l'autre est mise à la masse, avec une forme d'onde rectangulaire. Dans le premier ou le deuxième état après l'achèvement de la commutation, la structure d'ancrage 10, l'électrode 11 et l'électrode 12 sont toutes à la masse. Par conséquent, la commutation du commutateur optique qui est placé dans le premier ou le deuxième état stable par la force de retenue des articulations à ressort à lame 6A, 6B, 6C et 6D, peut être accomplie comme décrit ci-dessus, et par conséquent l'activation normale du commutateur optique peut être accomplie correctement. Conformément à la présente invention, un précurseur d'une défaillance fatale dans un dispositif MEMS est détecté et identifié avant l'activation normale du dispositif MEMS, ou simultanément à celle-ci, comme indiqué précédemment. Dans le mode de réalisation présent, une activation pour le diagnostic de défaillance est effectuée de façon à générer activement une microvibration pour le diagnostic de défaillance dans un élément mobile d'un commutateur optique dans le premier ou le deuxième état stable, ou bien on utilise une microvibration amortie qui est induite par la commutation dans le cadre de l'activation normale. En détectant une microvibration (incluant une vibration amortie) de l'élément mobile et en analysant des caractéristiques dynamiques, on peut effectuer un diagnostic de défaillance. La figure 3 est un schéma synoptique montrant un dispositif MEMS avec une fonction de diagnostic de défaillance conforme au mode de réalisation présent. Le dispositif MEMS représenté dans le schéma synoptique est un commutateur optique. Sur la figure 3, une unité de commande 30 comprend un circuit d'activation d'actionneur électrostatique et, en réponse à une instruction de commutation provenant d'une source externe, non représentée, ce circuit applique un signal d'activation de commutation à un actionneur électrostatique 80 du commutateur optique 70 pour commander l'activation normale du commutateur optique 70, ou applique à l'actionneur électrostatique 80 un signal d'excitation qui génère une microvibration d'un élément mobile 60 du commutateur optique, conformément au mode de réalisation présent, pour commander ainsi une opération d'activation pour le diagnostic de défaillance. L'actionneur électrostatique 80 du commutateur optique 70 est également utilisé comme un capteur, c'est-à-dire un moyen de détection de vibration. Une information concernant une microvibration de l'élément mobile 60 est envoyée par le moyen de détection de vibration à une unité d'analyse de caractéristique dynamique 90. L'unité d'analyse de caractéristique dynamique 90 analyse la microvibration, envoie à l'unité de calcul 110 des données obtenues par l'analyse, et les stocke également dans une mémoire 100. Ce processus est répété et l'unité de calcul 110 compare de façon cohérente les données les plus récentes obtenues par l'analyse de la microvibration, provenant de l'unité d'analyse de caractéristique dynamique 90, avec les données précédentes stockées dans la mémoire 100, et calcule et fournit en sortie la différence entre elles. Une unité de diagnostic de défaillance 120 surveille l'information de sortie de différence et la compare avec un seuil préétabli. Si l'unité de diagnostic de défaillance 120 détecte une différence dépassant le seuil, c'est-à-dire si elle détecte un changement radical dans les caractéristiques de vibration de l'élément mobile 60 du commutateur optique 70, elle détermine alors qu'une défaillance se produit. La configuration de dispositif du commutateur optique 70 et la réalisation de l'unité de commande 30 sont fondamentalement les mêmes que dans des commutateurs optiques classiques. La présente invention existe seulement dans le traitement de signal effectué par l'unité d'analyse de caractéristique dynamique 90 et le traitement ultérieur, partant de la détection d'une microvibration par le moyen de détection de vibration, qui fait partie de l'actionneur électrostatique 30, et dans la commande par l'unité de commande 30 dans certains modes de réalisation, comme on le décrira ultérieurement. On décrira en détail ci-dessous les sous-ensembles de la figure 3. Dans un premier mode de réalisation de la présente invention, l'unité de commande 30 commande l'activation normale du commutateur optique 70 de façon à placer le commutateur optique 70 dans un premier ou un deuxième état stable, et elle commande également l'activation pour le diagnostic de défaillance de façon à générer un signal d'excitation de vibration pour exciter activement une microvibration de la partie qui travaille dans le commutateur optique 70. Dans l'activation normale, intrinsèque, une tension constante sous la forme d'une onde rectangulaire est appliquée à une (première ou deuxième) électrode fixe de l'actionneur électrostatique 80 comme un signal d'activation de commutation provenant de l'unité de commande 30. Les articulations à ressort à lame 6A, 6B et 6C, 6D qui supportent l'élément mobile du commutateur optique, comme représenté sur la figure 2, ont de préférence une caractéristique déplacement / force bistable, comme représenté sur la figure 4. La caractéristique bistable représentée sur la figure 4 indique qu'un premier état stable est auto-maintenu avec l'aide de la force de maintien occasionnée par une déviation des articulations à ressort à lame 6A, 6B et 6C, 6D vers un côté, un deuxième état stable est auto-maintenu avec l'aide de la force de maintien occasionnée par une déviation des articulations à ressort à lame 6A, 6B et 6C, 6D vers l'autre côté, et la transition entre les premier et deuxième états stables est produite en exerçant une attraction électrostatique de l'actionneur électrostatique qui dépasse la force de maintien maintenant le premier état stable ou le deuxième état stable. Par conséquent, le signal d'excitation de commutation doit avoir une tension suffisamment élevée pour produire une attraction électrostatique de l'actionneur électrostatique qui dépasse un point P sur la caractéristique de la figure 4, qui est le pic (force de maintien) de la force de réaction des articulations à ressort à lame bistables, et la tension est appliquée pendant une durée exigée pour accomplir entièrement l'opération pour faire en sorte que la force dépasse le point P. Un mode de réalisation établi par l'invention montre qu'une tension de 70 V doit être appliquée pendant une durée approximativement égale à une largeur d'impulsion de 10 ms L'unité de commande 30 génère le signal d'activation de commutation en réponse à une instruction d'activation de commutation provenant d'une source externe. Sauf pendant une opération de commutation, l'élément mobile du commutateur optique est dans le premier ou le deuxième état stable. L'unité de commande 30 peut donc générer le signal d'excitation de vibration pour le diagnostic de défaillance pendant une période autre que la durée au cours de laquelle le signal d'activation de commutation est généré. Par exemple, l'unité de commande 30 peut générer constamment le signal d'excitation de vibration pour le diagnostic de défaillance, sauf pendant que le signal d'excitation de commutation est généré. Selon une variante, l'unité de commande 30 peut générer le signal d'excitation de vibration à des intervalles appropriés. La fréquence à laquelle le signal d'activation de commutation du commutateur optique est généré varie en fonction de l'utilisation spécifique du commutateur optique 70. Par exemple, l'instruction peut être émise fréquemment dans des systèmes ROADM dans lesquels les mêmes lignes de communication sont partagées par répartition en longueur d'onde ou dans le temps, tandis que dans des systèmes redondants dans lesquels un système d'exploitation et un système de secours sont utilisés, l'instruction d'activation de commutation est émise en cas de reprise sur défaillance ou de maintenance ou d'inspection, au bout d'une longue durée pendant laquelle le système de secours est inactif. Le signal d'excitation de vibration peut être généré au moment approprié conformément à l'utilisation du commutateur optique,sauf pendant une période de commutation. Par ailleurs, le signal d'excitation de vibration pour le diagnostic de défaillance doit premièrement avoir un niveau qui n'occasionne pas une attraction électrostatique qui dépasse le point P et qui se trouve de préférence à l'intérieur d'une région linéaire de la caractéristique, et deuxièmement ne pas avoir un effet notable sur les caractéristiques optiques du dispositif qui sont exigées dans les premier et deuxième états stables, si le dispositif est un commutateur optique. Il est important que la microvibration pour le diagnostic de défaillance dans le mode de réalisation présent soit suffisamment faible pour garantir que la lumière réfléchie soit recouplée vers une fibre optique en présence de la microvibration, dans le premier état stable dans lequel le miroir 4 est inséré, et ne bloque pas la lumière transmise dans le deuxième état stable dans lequel le miroir 4 est rétracté. Les performances optiques du commutateur optique sont spécifiées sous la forme de spécifications de performances telles que, par exemple, les suivantes, se référant à la figure 1: la lumière de signal est couplée vers le port d'Extraction et transmise à celui-ci avec un rapport de couplage approprié même lorsque la lumière de signal est introduite seulement à partir de la fibre optique du port d'Entrée, dans un état dans lequel le miroir 4 est inséré dans la partie de guide d'ondes transversal 14, et de façon caractéristique, une très petite quantité de lumière dispersée est couplée vers les autres ports, c'est-à-dire le port de Sortie et le port d'Insertion, et cette quantité est suffisamment faible. De plus, des spécifications pour tous les rendements de couplage concernant les ports à la fois dans les premier et deuxième états stables sont définies, et l'amplitude de microvibration conforme à la présente invention doit être à l'intérieur d'une plage admissible spécifiée dans les spécifications. En particulier, les spécifications concernant les caractéristiques optiques doivent spécifier une faible amplitude équivalant à un déplacement d'un élément mobile tel que des variations de la quantité de lumière soient inférieures à 60 dB, par exemple, qui réponde aux besoins d'un utilisateur du commutateur optique concernant l'isolation optique, comme dans la caractéristique d'isolation optique en fonction du déplacement qui est représentée sur la figure 5. En pratique, la faible amplitude est déterminée par des paramètres tels que la taille du miroir 4, la taille de la trace de lumière illuminant le miroir 4, et l'angle du faisceau de lumière. Dans un mode de réalisation établi par l'inventeur, lorsque la course de l'activation de commutation normale du miroir 4 est approximativement de 50 pm, il peut y avoir une marge de plusieurs micromètres dans chacun des deux états stables pour la plage admissible mentionnée ci-dessus. Lorsqu'une amplitude de microvibration dans cette plage admissible est choisie, il est possible d'accomplir un diagnostic de défaillance préférable dans lequel l'amplitude satisfait à toutes les conditions. Dans un exemple d'un commutateur optique réalisé par l'inventeur, une tension d'environ 40 V est exigée pour le signal d'excitation de vibration fourni par l'unité de commande 30, afin d'obtenir l'amplitude de microvibration qui tombe à l'intérieur de cette plage. En dépit du fait que la distance parcourue par l'élément mobile diffère notablement de celle dans la commutation du commutateur optique par l'activation normale, la tension du signal d'activation est de l'ordre de 70 V, qui est la tension du signal d'excitation de commutation donnée ci- dessus, à cause des caractéristiques de force de réaction des articulations bistables. On décrira ci-dessous la fréquence de la microvibration. Pour détecter de manière très sensible des variations dans les caractéristiques dynamiques d'un élément mobile d'un dispositif, en vue du diagnostic de défaillance, il est idéal d'utiliser la fréquence de résonance de l'élément mobile. On peut trouver la fréquence de résonance mécanique d'un élément mobile pendant une phase de conception du dispositif ou par des expériences préliminaires. L'excitation de microvibration conformément à la présente invention peut être effectuée à la fréquence de résonance ou à une certaine fréquence approximativement égale à la fréquence de résonance qui procure un effet d'excitation suffisant. En choisissant une fréquence dans la plage comprise entre une fréquence de résonance au point de résonance ou à proximité de celui-ci, et la fréquence à laquelle la puissance de vibration diminue de 3 dB, on peut obtenir une excitation suffisante et on peut accomplir un diagnostic de défaillance préférable. Selon une variante, on peut exciter une microvibration par balayage de fréquence dans une gamme de fréquence appropriée incluant le point de résonance, au lieu d'utiliser une fréquence constante. Dans ce cas, le signal d'excitation de vibration pour produire une microvibration est de préférence soumis à un balayage répété dans la gamme allant de 10 Hz à 10 kHz, par exemple, de façon continue ou par intervalles, sauf dans des périodes au cours desquelles le signal. d'activation de commutation est généré, comme décrit ci- dessus. Selon une variante, il est possible d'exciter une vibration en appliquant une signal de percussion à l'élément mobile pour le signal d'excitation de vibration, au lieu d'effectuer une commande de fréquence, sauf pendant des périodes au cours desquelles le signal d'activation de commutation est généré. Un signal d'entrée sous forme de percussion excite une vibration amortie qui contient de nombreuses composantes de fréquence qui peuvent être utilisées pour l'excitation. On décrira ultérieurement: l'analyse des caractéristiques dynamiques de l'élément mobile en relation avec ces formes de signal d'excitation de vibration. La commutation normale du commutateur optique est activée en utilisant un signal impulsionnel court avec une forme d'onde rectangulaire, comme décrit ci-dessus. Le signal d'activation de commutation contient également de nombreuses composantes de fréquence, incluant celles suffisamment proches de la fréquence de résonance de l'élément mobile. Dans un deuxième mode de réalisation de la présente invention, on peut effectuer le diagnostic de défaillance en utilisant une vibration amortie excitée seulement par l'activation de commutation normale par l'unité de commande 30, pour la microvibration pour le diagnostic de défaillance, au lieu de générer séparément un signal d'excitation de vibration par l'unité de commande 30, comme dans le premier mode de réalisation. Bien que ce mode de réalisation ne convienne pas pour un diagnostic de défaillance de haute sensibilité, du fait que les amplitudes de microvibrations disponibles sont faibles, il a un avantage consistant en ce que le diagnostic de défaillance peut être accompli commodément dans une phase d'activation du dispositif avec une configuration de l'art antérieur, sans effectuer de modifications. Dans un troisième mode de réalisation de la présente invention, on utilise un agencement d'éléments d'arrêt qui est souvent utilisé dans des commutateurs optiques classiques ou d'autres dispositifs MEMS de commutation. En particulier, par exemple, un commutateur optique comprend des éléments d'arrêt mécaniques 7S1 et 7S2, comme représenté sur la figure 2, se présentant sous la forme d'extensions de la largeur d'une tige mobile 7, comme mentionné ci-dessus et représenté sur la figure 2. Dans des commutateurs optiques classiques, il est rare que de tels éléments d'arrêt entrent réellement en collision avec une paroi de la structure d'ancrage sous l'effet de l'activation de commutation. Ils sont incorporés principalement dans le but d'éviter un choc. Conformément à la présente invention, on utilise une tension accrue d'un signal d'activation de commutation pour le commutateur optique, de façon à entraîner les éléments d'arrêt pour produire une collision chaque fois qu'une activation de commutation est effectuée. Une vibration amortie occasionnée par la collision peut être utilisée comme la microvibration pour le diagnostic de défaillance. Dans le troisième mode de réalisation, l'intensité de la collision de l'élément d'arrêt doit être telle que l'amplitude d'une microvibration occasionnée par la collision tombe à l'intérieur de la plage spécifiée par la spécification de caractéristiques optiques envisagée ci-dessus. Des conditions pour la tension du signal d'activation de commutation pour satisfaire à cette exigence peuvent aisément être déterminées expérimentalement. On a décrit l'excitation d'une microvibration d'un élément mobile pour un diagnostic de défaillance en conformité avec la présente invention. On décrira ci-dessous un processus pour détecter et analyser la microvibration pour diagnostiquer une défaillance. Un moyen de détection de vibration pour détecter une microvibration d'un élément mobile utilisé pour la présente invention peut évidemment être une certaine sorte de capteur de déplacement ajouté au dispositif MEMS pour détecter des déplacements de l'élément mobile du dispositif MEMS. Cependant, si le dispositif MEMS est un dispositif activé de manière électrostatique, le meilleur moyen est d'utiliser son actionneur électrostatique comme un capteur de déplacement basé sur la capacité. Dans l'exemple du commutateur optique décrit ci-dessus, on peut détecter un déplacement de l'électrode mobile 5, c'est-à-dire une vibration de l'élément mobile, en détectant des capacités Cl et C2 formées respectivement entre l'électrode mobile 5 et la première électrode fixe 8, et entre l'électrode mobile 5 et la deuxième électrode fixe 9. Cette configuration est représentée sur la figure 6. En utilisant un actionneur électrostatique symétrique ou "push-pull" ayant deux électrodes fixes, comme représenté dans cet exemple, on peut augmenter davantage la sensibilité de détection de déplacement en obtenant au moyen d'un comparateur 87 la différence entre les capacités Cl et C2 détectées par des détecteurs 85 et 86. Un signal représentant une vibration de l'élément mobile 60 est extrait du moyen de détection de vibration 80, qui fonctionne également comme un actionneur électrostatique, et le signal est envoyé au moyen de détection de caractéristiques dynamiques 90. Dans le moyen de détection de caractéristiques dynamiques 90, on extrait une information concernant la fonction de transfert de vibration de l'élément mobile du dispositif MEMS. De façon spécifique, lorsque l'unité de commande 30 dans le premier mode de réalisation de la présente invention excite une microvibration avec une certaine fréquence, l'unité de commande 30 analyse, à partir d'un signal représentant la vibration de l'élément mobile 60, qui peut être obtenu à partir du moyen de détection de vibration 80, soit l'amplitude de la vibration, soit un retard de phase par rapport à un signal d'excitation de vibration envoyé par l'unité de commande 30, ou les deux si on désire une amélioration de la sensibilité de diagnostic de défaillance, et les données résultantes sont fournies en sortie. Dans le premier mode de réalisation dans lequel l'unité de commande 30 excite une vibration en effectuant un balayage de fréquence, ou dans le deuxième ou le troisième mode de réalisation, c'est- à-dire lorsque les composantes de fréquence de la microvibration excitée sont réparties sur une certaine gamme, on analyse de préférence la caractéristique de réponse en fréquence de la microvibration excitée. Les caractéristiques de réponse en fréquence d'amplitude et de phase peuvent être celles représentées sur les figures 7A et 7B. L'une des caractéristiques, ou les deux si on désire une sensibilité de diagnostic de défaillance élevée, peut être analysée et fournie en sortie, et les valeurs de l'amplitude / phase pour chacune des fréquences en lesquelles la gamme de fréquence est divisée, d'une manière appropriée, peuvent être utilisées comme des données dans une comparaison effectuée dans l'étage suivant. Selon une variante, la valeur de Q relative à un point de résonance dans les caractéristiques de réponse peut être analysée et fournie en sortie, et utilisée comme les données. Selon une variante, l'intégrale des gains peut être obtenue et utilisée pour analyser et fournir en sortie l'énergie de vibration, et l'information de sortie peut être utilisée comme les données. Bien entendu, il est possible d'utiliser simultanément plus d'un des éléments de données mentionnés ci-dessus, afin d'améliorer davantage l'exactitude de diagnostic de défaillance. La figure 7A montre un exemple de variation du gain en fonction de la variation de fréquence, et la figure 7B montre un exemple de la variation de phase en fonction de la variation de fréquence. Sur ces figures, le symbole X indique un point de résonance, et la caractéristique représentée par la ligne en trait mixte et la caractéristique représentée par la ligne en trait continu illustrent respectivement une vibration normale et une vibration défectueuse. Ensuite, une unité de détermination constituée de l'unité de calcul 110 et de l'unité de diagnostic de défaillance 120 effectue un diagnostic de défaillance. En particulier, les caractéristiques de réponse obtenues dans l'unité d'analyse de caractéristique dynamique 90 sont stockées séquentiellement dans la mémoire 100, et dans l'unité de calcul 110 la caractéristique de réponse la plus récente obtenue dans l'unité d'analyse de caractéristique dynamique 90 est comparée à la caractéristique de réponse immédiatement précédente stockée dans la mémoire. Ainsi, on obtient la différence entre les données fournies par l'unité d'analyse de caractéristique dynamique 90. L'unité de diagnostic de défaillance 120 détermine si la différence entre les données obtenues par l'unité de calcul 110 est supérieure ou non à un seuil, pour déterminer s'il y a une défaillance. Un changement dans les caractéristiques de réponse indique un changement dans les caractéristiques mécaniques de l'élément mobile. Par conséquent, la valeur de changement par rapport à la valeur précédente est comparée avec un seuil prédéterminé, et si la valeur de changement est supérieure au seuil, il est déterminé qu'une anomalie mécanique, c'est-à-dire une défaillance, se produit. Le seuil pour les données utilisées peut être déterminé expérimentalement de manière appropriée, conformément à l'utilisation du dispositif. Conformément au mode de réalisation présent, des données concernant les caractéristiques de réponse de l'élément mobile sont toujours comparées avec les données obtenues par l'analyse précédente, et il est déterminé qu'une défaillance se produit seulement si un changement radical dans des données utilisées est trouvé. Dans le cas d'un changement normal, progressif, dans les caractéristiques de réponse, le diagnostic de défaillance conforme au mode de réalisation présent ne détecte pas qu'une défaillance se produit, même si la valeur de changement est grande. Bien que la présente invention ait été décrite en relation avec un commutateur optique, à titre d'exemple de dispositifs MEMS, la présente invention peut être utilisée pour le diagnostic de défaillance de n'importe quel dispositif MEMS qui commute entre deux états. Par exemple, la présente invention peut être appliquée au diagnostic de défaillance de dispositifs tels que des relais. Dans ce cas, le signal de diagnostic a une amplitude dans une plage qui n'affecte pas le fonctionnement du relais. REVENDICATIONS 1. Dispositif à microsystème électromécanique, caractérisé en ce qu'il comprend: un substrat; un élément mobile (60), un élément fixe (8, 9, 10, 81, 91) et un actionneur (80) qui déplace l'élément mobile (60), tous étant formés sur le substrat; une unité de commande (30) qui active l'actionneur (80) pour commuter la position de l'élément mobile (60) entre des états binaires; un moyen de détection de vibration (80) pour détecter une microvibration excitée dans l'élément mobile (60) dans l'un des états de commutation binaires; un moyen d'analyse de caractéristique dynamique (90) pour analyser une caractéristique dynamique de l'élément mobile (60) sur la base d'un signal de sortie du moyen de détection de vibration (80); une mémoire {100) qui stocke des données fournies par le moyen d'analyse de caractéristique dynamique (90); une unité de calcul (110) qui extrait des données de la mémoire (100), compare deux éléments de données en succession dans le temps et calcule une information de différence entre ces deux éléments de données; et une unité de diagnostic de défaillance (120) qui effectue un diagnostic de défaillance sur la base de l'information de différence qui est fournie par l'unité de calcul (110). 2. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 1, caractérisé en ce que: l'actionneur est un actionneur électrostatique (80) comprenant une électrode mobile (5) montée sur l'élément mobile, et une électrode fixe (8, 9) formée sur l'élément fixe, les électrodes mobile et fixe étant mutuellement face à face; et le moyen de détection de vibration {80) détecte une vibration d'une capacité électrostatique formée par l'électrode mobile (5) et l'électrode fixe (8, 9) de l'actionneur électrostatique (80). 3. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ce 2883859 24 dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 4. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication:L ou 2, caractérisé en ce que l'unité de commande (30) applique à l'actionneur (80) un signal d'excitation de vibration pour exciter la microvibration dans l'élément mobile (60), lorsque l'élément mobile est dans l'un des états de commutation binaires. 5. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 4, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 6. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 4, caractérisé en ce que le signal d'excitation de vibration est un signal de fréquence constante dans une région de fréquence dans laquelle une puissance de vibration dans une caractéristique de fréquence de résonance de l'élément mobile (60) est au moins égale approximativement à la moitié d'une valeur de crête de résonance. 7. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 6, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est. générée, respectent les spécifications. 8. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 4, caractérisé en ce que le signal d'excitation de vibration répète un balayage de fréquence dans une gamme de fréquence prédéterminée. 9. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 8, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile {60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 10. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'unité d'analyse de caractéristique dynamique (90) fournit en sortie et stocke dans la mémoire (100) au moins des données quelconques parmi des données sur une caractéristique de réponse en fréquence de l'amplitude ou de la phase de la microvibration de l'élément mobile (60), des données sur une valeur de Q relative à une fréquence de résonance d'une caractéristique de réponse en fréquence de l'amplitude, et des données concernant la valeur d'énergie de vibration. 11. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 10, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 8:L, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 12. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 4, caractérisé en ce que le signal. d'excitation de vibration est un signal de percussion et la microvibration de l'élément mobile (60) détectée par le moyen de détection de vibration (80) est une vibration amortie de l'élément mobile induite par l'application du signal de percussion. 13. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 12, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 14. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'unité d'analyse de caractéristique dynamique (90) fournit en sortie et stocke dans la mémoire (100) au moins des données quelconques parmi des données sur une caractéristique de réponse en fréquence de l'amplitude ou de la phase de la microvibration de l'élément mobile (60), des données sur une valeur de Q relative à une fréquence de résonance d'une caractéristique de réponse en fréquence de l'amplitude, et des données concernant la valeur d'énergie de vibration. 15. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 14, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les 2883859 28 rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 16. Dispositif à système électromécanique selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la microvibration de l'élément mobile (60) détectée par le moyen de détection de vibration (80) est une vibration amortie induite par la commutation binaire de l'élément mobile. 17. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 16, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile {60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 18. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'unité d'analyse de caractéristique dynamique (90) fournit en sortie et stocke dans la mémoire (100) au moins des données quelconques parmi des données sur une caractéristique de réponse en fréquence de l'amplitude ou de la phase de la microvibration de l'élément mobile (60), des données sur une valeur de Q relative à une fréquence de résonance d'une caractéristique de réponse en fréquence de l'amplitude, et des données concernant la valeur d'énergie de vibration. 19. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 18, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 20. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'un agencement d'arrêt (7S1, 7S2) est incorporé dans chacun de l'élément mobile (60) et de l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), cet agencement d'arrêt limitant la plage de mouvement de l'élément mobile par collision entre une partie de l'élément mobile et une partie de l'élément fixe, et la microvibration de l'élément mobile (60) détectée par le moyen de détection de vibration (80) est une vibration amortie induite par la collision de l'agencement d'arrêt (7S1, 7S2) se produisant au moment de la commutation binaire de l'élément mobile. 21. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 20, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin 2883859 30 de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 22. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 20, caractérisé en ce que l'unité d'analyse de caractéristique dynamique (90) fournit en sortie et stocke dans la mémoire (100) au moins des données quelconques parmi des données sur une caractéristique de réponse en fréquence de l'amplitude ou de la phase de la microvibration de l'élément mobile (60), des données sur une valeur de Q relative à une fréquence de résonance d'une caractéristique de réponse en fréquence de l'amplitude, et des données concernant la valeur d'énergie de vibration. 23. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 22, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications. 24. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'unité d'analyse de caractéristique dynamique (90) fournit en sortie et stocke dans la mémoire (100) au moins soit des données concernant l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60), soit des données concernant un retard de phase par rapport au signal d'excitation de vibration. 25. Dispositif à microsystème électromécanique selon la revendication 24, caractérisé en ce que ce dispositif à microsystème électromécanique est un commutateur optique (70) qui déplace un miroir (4) monté sur l'élément mobile (60) pour commuter entre deux positions dans lesquelles le miroir (4) est inséré dans un chemin de lumière aérien formé entre des extrémités d'une multiplicité de fibres optiques placées dans l'élément fixe (8, 9, 10, 81, 91), ou est rétracté par rapport à ce chemin de lumière; et l'amplitude de la microvibration de l'élément mobile (60) est dans une plage dans laquelle les rapports de couplage optique de toutes les paires d'extrémités de la multiplicité de fibres optiques dans l'un des états de commutation binaires dans lequel la microvibration est générée, respectent les spécifications.