Brevet FR2883071A1 — publié le 20060915

DISPOSITIF D'EXAMEN POUR CAPTEUR D'HUMIDITE ET PROCEDE DE REGLAGE DES CARACTERISTIQUES DE CAPTEUR DU CAPTEUR D'HUMIDITE Description La présente invention se rapporte à un dispositif d'examen destiné à examiner un capteur d'humidité dans un état de tranche et à un procédé de réglage des caractéristiques de capteur du capteur d'humidité dans l'état de tranche. De manière classique, un dispositif d'examen destiné à examiner les caractéristiques de capteur et les caractéristiques électriques (propriétés électriques) d'une puce à circuit intégré dans le capteur est décrit, par exemple, dans le brevet des Etats-Unis N 6 037 793. Dans ce cas, la puce à circuit intégré, en tant que puce de capteur, est formée sur une tranche de semiconducteur. Le dispositif d'examen comprend une chambre d'examen (c'est-à-dire une chambre de sonde) destinée à recevoir une tranche de semiconducteur, une sonde (c'est-à-dire une sonde d'une carte à sonde) en tant qu'élément de contact destiné à entrer en contact avec une plage de connexion d'électrode de la puce à circuit intégré, et un module de test destiné à examiner les caractéristiques électriques de la puce à circuit intégré. Le dispositif exécute l'examen des caractéristiques électriques en tant que test par sonde de sorte que la qualité de la puce à circuit intégré est contrôlée. Lorsque la puce à circuit intégré est un capteur, non seulement le test par sonde destiné à examiner les caractéristiques électriques du capteur mais également un test des caractéristiques de capteur destiné à examiner les caractéristiques de capteur du capteur sont exécutés. Sur la base du test des caractéristiques de capteur, les caractéristiques du capteur sont ajustées. En général, ce test de caractéristiques de capteur et le réglage des caractéristiques du capteur sont exécutés après que le capteur est encapsulé. De préférence, le test de caractéristiques de capteur et le réglage des caractéristiques de capteur sont exécutées lors d'une étape antérieure d'un procédé de fabrication du capteur. La raison en est que la perte de temps et/ou le coût de fabrication du capteur sont réduits lorsqu'un produit défectueux du capteur est éliminé à l'étape antérieure. Le produit défectueux est décidé sur la base du test de caractéristiques de capteur et du réglage des caractéristiques de capteur. En conséquence, on considère que le test de caractéristiques de capteur et le réglage des caractéristiques de capteur sont exécutés sur une tranche qui doit être la puce de capteur. En particulier, une partie de capteur et une partie de circuit destinées à traiter un signal provenant de la partie de capteur sont intégrées en une seule puce à circuit intégré de sorte qu'une seule puce à circuit intégré procure le capteur. La tranche comprend de multiples puces à circuits intégrés, et la tranche est divisée en multiples puces de sorte que chaque capteur est procuré. Cependant, lorsque le capteur est un capteur d'humidité, il est nécessaire d'examiner et de régler les caractéristiques de capteur à différentes multiples conditions de température-humidité présentant une humidité différente et une température différente. Dans ce cas, les caractéristiques de capteur comprennent, par exemple, la sensibilité du capteur, la dépendance vis-à-vis de la température (c'est-à-dire les caractéristiques en température) de la sensibilité, la compensation de la dépendance du capteur et de la température, (c'est-à-dire la caractéristique en température) de la compensation. Même lorsque la partie de capteur et la partie de circuit dans le capteur sont intégrées en une seule puce de circuit intégré, le dispositif d'examen décrit dans le brevet des Etats-Unis N 6 037 593 ne peut examiner les caractéristiques de capteur du capteur, qui est dans un état de tranche avant que le capteur ne soit séparé de la tranche. Au vu du problème décrit ci-dessus, c'est un but de la présente invention de procurer un dispositif d'examen destiné à examiner un capteur dans un état de tranche. C'est un autre but de la présente invention de procurer un procédé destiné à régler les caractéristiques de capteur du capteur d'humidité dans l'état de tranche. Un dispositif d'examen examine un capteur d'humidité ayant une partie de capteur et une partie de circuit, qui sont intégrées en une puce. La partie de capteur peut détecter l'humidité de l'atmosphère et la partie de circuit est électriquement reliée à la partie de capteur de sorte que la 2883071 3 partie de circuit peut traiter un signal de détection de la partie de capteur. Le dispositif d'examen comprend: une chambre d'examen destinée à recevoir une tranche, la tranche dans laquelle une pluralité de capteurs d'humidité sont disposés en tant que puce de capteur dans un état de tranche, une sonde, en tant qu'élément de contact destiné à entrer en contact avec une plage de connexion d'électrode de la partie de circuit, où la sonde est disposée dans la chambre d'examen, un module de test destiné à examiner les propriétés électriques du capteur d'humidité dans l'état de tranche, où le module de test est électriquement relié à la sonde pour examiner le capteur d'humidité, et une partie de commande de température-humidité destinée à commander une température et une humidité dans la chambre d'examen. Dans le dispositif d'examen ci-dessus, comme la partie de commande de température-humidité commande une température et une humidité dans la chambre d'examen de sorte qu'elle coïncide avec une condition prédéterminée de température-humidité, non seulement le test par sonde, mais également le test de caractéristiques de capteur, sont exécutés par le module de test. Donc, le coût de fabrication du capteur d'humidité est réduit. En outre, en exécutant le test de caractéristiques de capteur et le test par sonde simultanément, le coût de fabrication du capteur d'humidité est très réduit. En outre, un dispositif d'examen examine un capteur d'humidité ayant une partie de capteur et une partie de circuit qui sont intégrées en une puce. La partie de capteur peut détecter l'humidité dans l'atmosphère, et la partie de circuit est électriquement reliée à la partie de capteur de sorte que la partie de circuit est capable de traiter un signal de détection de la partie de capteur. Le dispositif d'examen comprend: une pluralité de chambres d'examen destinées à recevoir une tranche, la tranche dans laquelle une pluralité de capteurs d'humidité sont disposés en tant que puce de capteur dans un état de tranche, une sonde, en tant qu'élément de contact, destinée à entrer en contact avec une plage de connexion d'électrode de la partie de circuit où la sonde est disposée dans la chambre d'examen, et un module de test destiné à examiner les propriétés électriques du capteur d'humidité dans l'état de tranche, où le module de test est électriquement connecté à la sonde pour 2883071 4 examiner le capteur d'humidité. Chaque chambre d'examen présente une température différente et une humidité différente, et la tranche est transportée d'une chambre d'examen à une autre tour à tour, de sorte que le module de test examine le capteur d'humidité dans l'état de tranche dans différentes conditions de température-humidité. Dans le dispositif d'examen ci-dessus, la tranche est transportée d'une chambre d'examen à une autre. Donc, les caractéristiques de capteur du capteur d'humidité sont examinées efficacement. Donc, le coût de fabrication du capteur d'humidité est réduit. En outre, comme chaque chambre d'examen est commandée au préalable de manière à présenter une température prédéterminée et une humidité prédéterminée, le temps d'attente pour commencer le test est raccourci. En conséquence, de nombreux capteurs d'humidité peuvent être examinés en une courte durée. En outre, un procédé destiné à régler les caractéristiques de capteur d'un capteur d'humidité est procuré. Le capteur d'humidité comporte une partie de capteur et une partie de circuit, qui sont intégrées dans une puce. La partie de capteur peut détecter l'humidité de l'atmosphère, et la partie de circuit est électriquement reliée à la partie de capteur de sorte que la partie de circuit peut traiter un signal de détection de la partie de capteur. Le procédé comprend les étapes consistant à : commander une température et une humidité autour d'une tranche pour qu'elles coïncident avec une condition de température-d'humidité prédéterminée, la tranche dans laquelle une pluralité de capteurs d'humidité sont disposés en tant que puce de capteur dans un état de tranche avant que la tranche ne soit divisée en une pluralité de puces de capteurs, à mesurer les propriétés électriques du capteur d'humidité dans la condition de température-humidité prédéterminée, à régler une sensibilité, une caractéristique en température de la sensibilité, une compensation et une caractéristique en température de la compensation du capteur d'humidité sur la base d'un résultat de mesure des propriétés électriques du capteur d'humidité. Dans le procédé ci-dessus, non seulement le test par sonde, mais également le test de caractéristiques de capteur, sont exécutés même lorsque le capteur d'humidité est dans l'état de 2883071 5 tranche, c'est- à-dire même lorsque la tranche n'est pas divisée en multiples puces de capteurs. En outre, sur la base du résultat de test, les caractéristiques de capteur du capteur d'humidité sont réglées. Donc, le coût de fabrication du capteur d'humidité est réduit. Les buts, caractéristiques et avantages ci-dessus de la présente invention, ainsi que d'autres, deviendront plus évidents d'après la description détaillée suivante faite en faisant référence aux dessins annexés. Sur les dessins: La figure lA est une vue en plan simplifiée représentant un capteur d'humidité en tant qu'objet de l'examen, conformément à un premier mode de réalisation de la présente invention, et la figure 1B est une vue en coupe transversale partielle représentant le capteur pris selon la droite IB-IB sur la figure 1A, La figure 2 est une vue en plan représentant une tranche, dans laquelle sont disposés de multiples capteurs d'humidité, La figure 3 est une vue simplifiée représentant un dispositif d'examen conforme au premier mode de réalisation, La figure 4 est une vue simplifiée partiellement agrandie représentant un dispositif d'examen conforme à un second mode de réalisation de la présente invention, et La figure 5 est un schéma simplifié expliquant un dispositif d'examen conforme à une modification des premier et second modes 25 de réalisation de la présente invention. (Premier mode de réalisation) Un capteur d'humidité 100, en tant qu'objet d'examen d'un dispositif d'examen conforme à un premier mode de réalisation de la présente invention, est représenté sur les figures lA et 1B. Le capteur 100 est formé pour être une puce dans une tranche de semiconducteur. Sur la figure 1A, une partie de ce circuit est omise pour la représentation, et une électrode et un câblage sont illustrés partiellement de manière transparente. Il est nécessaire de décider si une puce à circuit intégré est un produit défectueux et pour sélectionner la puce à circuit intégré en tant que produit non défectueux sur la base d'un test par sonde en tant que test de caractéristiques électriques, avant que la tranche ne soit divisée en multiples puces à circuits intégrés. En particulier, la puce à circuit intégré, en tant que puce de capteur dans un état de tranche est examinée 2883071 6 par le dispositif d'examen pour déterminer si des parties électriques, telles qu'un transistor et une résistance, destinées à composer la puce de circuit intégré, sont formées normalement sans défaut et si les parties électriques fonctionnent normalement en tant que circuit électrique du produit non défectueux. Lorsque la puce de circuit intégré est un capteur, il est nécessaire d'effectuer un test de caractéristiques de capteur afin de détecter les caractéristiques de capteur du capteur. Sur la base du résultat de test de caractéristiques de capteur, il est nécessaire de régler les caractéristiques de capteur du capteur. Ici, le capteur présentant les caractéristiques de capteur, qui sont dans une plage réglable, doit être réglé. Le capteur présentant les caractéristiques de capteur, qui sont hors de la plage de réglage ou sont impossibles à régler, est sélectionné en tant que défaut de caractéristiques de capteur, c'est-à-dire en tant que produit défectueux. En conséquence, il est préféré que le réglage et le test de caractéristiques de capteur soient exécutés à une étape précoce du processus de fabrication du capteur. Lorsqu'un produit défectueux de capteur est éliminé dans l'étape précoce, la perte de temps et/ou le coût de fabrication du capteur sont réduits. Cependant, dans un capteur d'humidité classique comportant une partie de capteur et une partie de circuit, qui sont formées individuellement, un test de caractéristiques de capteur est exécuté après qu'une tranche, comportant de multiples parties de capteurs, est divisée en multiples puces de capteurs, et que chaque puce de capteur est montée sur une carte de circuit comportant la partie de circuit. Par ailleurs, dans ce mode de réalisation, au vu de la difficulté ci-dessus, le capteur d'humidité 100 est formé comme suit. Comme indiqué sur la figure 1B, le capteur 100 comprend un substrat de semiconducteur 110, qui est fait, par exemple de silicium. Un film d'oxyde de silicium 120, en tant que film d'isolement, est formé sur une surface supérieure du substrat 110. Une paire d'électrodes de détection 131, 132 est disposée sur le film d'oxyde de silicium 120. Les électrodes 131, 132 sont séparées l'une de l'autre, et disposées sur le même plan du film d'oxyde de silicium 120. En outre, chaque électrode 131, 132 fait face à l'autre. La forme de chaque électrode 131, 132 est une forme de peigne. Cependant, la forme de l'électrode 131, 132 peut être une forme différente. L'électrode de détection 131, 132 est faite d'un matériau de câblage, tel que de l'aluminium, du cuivre, de l'or, du platine et du silicium polycristallin. En particulier, le matériau de câblage est déposé sur le substrat de semiconducteur 110 par un procédé de dépôt en phase vapeur, un procédé de pulvérisation ou autre. Puis, le film de matériau de câblage est mis en motif pour présenter le motif en forme de peigne par le biais d'un procédé de photolithographie. L'électrode de détection 131, 132 est faite d'aluminium dans ce mode de réalisation. Une paire d'électrodes de référence 133, 134 est formée sur le film d'oxyde de silicium 120. Chaque électrode de référence 133, 134 est séparée de l'autre et disposée sur le même plan du film d'oxyde de silicium 120. En outre, chaque électrode de référence 133, 134 fait face à l'autre. L'électrode de référence 133, 134 a le même motif que l'électrode de détection 131, 132, et est faite du même matériau que l'électrode de détection 131, 132. Un film de nitrure de silicium 140, en tant que film de protection, est formé sur le substrat 110 pour recouvrir les électrodes de détection 131, 132 et les électrodes de référence 133, 134. Le film de nitrure de silicium 140 est déposé sur le substrat 110 par un procédé de dépôt chimique en phase vapeur au plasma ou autre. Le film de nitrure de silicium 140 présente une épaisseur uniforme sur chaque partie du substrat 110. Lorsque l'électrode de détection 131, 132 et l'électrode de référence 133, 134 présentent une résistance à la corrosion suffisante vis-à-vis de l'eau, aucun film de protection, c'est-à-dire le film de nitrure de silicium 140, n'est nécessaire. Sur la figure 1A, le film de nitrure de silicium 140 n'est pas représenté. Un film sensible à l'humidité 150, ayant des propriétés hygroscopiques, est formé sur le film de nitrure de silicium 140 pour recouvrir les électrodes de détection 131, 132, et un espace entre les électrodes de détection 131, 132. Le film sensible à l'humidité 150 est fait, par exemple, de polymère de polyimide. Le film sensible à l'humidité 150 est formé de telle manière que le polymère de polyimide est appliqué sur le substrat 110 par un procédé de dépôt à la tournette ou un procédé d'impression et le polymère de polyimide est ensuite chauffé et durci. Le film sensible à l'humidité 150 présente une dépendance par rapport à la température de l'absorption/libération d'humidité, c'est-à-dire que la caractéristique d'absorption/libération d'humidité dépend de la température, de sorte que la sortie du capteur dépend également de la température. En particulier, la sensibilité du capteur et la compensation du capteur dépendent de la température. Dans le capteur d'humidité 100, lorsque l'humidité, c'est-à- dire une molécule d'eau pénètre dans le film sensible à l'humidité 150 la permittivité relative du film sensible à l'humidité 150 est modifiée en fonction de la quantité d'humidité qui a pénétré dans le film 150. La raison en est que l'humidité, c'est-à-dire la molécule d'eau, présente une permittivité relative importante. Donc une capacité électrique d'un condensateur formé entre les électrodes de détection 131, 132 est modifiée. Le condensateur comprend le film sensible à l'humidité 150 en tant que partie d'élément diélectrique. Par ailleurs, les électrodes de référence 133, 134 ne comportent aucun film sensible à l'humidité 150. En conséquence, la capacité électrique du condensateur formé entre les électrodes de référence 133, 134 n'est pas sensiblement changée ou est peu modifiée. La quantité d'humidité dans le film sensible à l'humidité 150 correspond à l'humidité autour du capteur 100. Donc, l'humidité est détectée sur la base de la différence entre la capacité des électrodes de détection 131, 132 et la capacité des électrodes de référence 133, 134. Dans ce cas, les électrodes de détection 131, 132 et le film sensible à l'humidité 150 fournissent une partie de détection 161, et les électrodes de référence 133, 134 fournissent une partie de référence 162. La partie de détection 161 et la partie de référence 162 procurent une partie de capteur 160. Comme indiqué sur la figure 1A, les électrodes de détection 131, 132 et les électrodes de référence 133, 134 comportent des plages de connexion d'électrode 131a, 132a, 133a, 134a en tant que borne de connexion pour un circuit externe respectivement. Chaque plage de connexion 131a, 132a, 133a, 134a est formée sur une extrémité de l'électrode 131, 132, 133, 134. Les électrodes de détection 131, 132 et les électrodes de référence 133, 134 sont connectées à une partie de circuit 170 comportant un 2883071 9 circuit convertisseur C-V (non représenté) par l'intermédiaire des plages de connexion d'électrode 131a, 132a, 133a, 134a. Comme indiqué sur la figure 1B, la partie de circuit 170 comprend un transistor de type CMOS 171 et autres. La variation de la capacité dans la partie de capteur 160 est traitée dans la partie de circuit 170. Un circuit de détection dans la partie de circuit est décrit dans la publication de la demande de brevet japonais N 2003-28 824, dont le demandeur est le même que celui de la présente demande. Le capteur d'humidité 100, comportant la partie de capteur 160 et la partie de circuit 170, est formé en tant que puce de circuit intégré dans une tranche W. La tranche W comporte de multiples puces de circuits intégrés destinées à procurer le capteur d'humidité 100. Donc la partie de capteur 160 et la partie de circuit 170 sont formées sur le substrat 110. Le capteur d'humidité 100 dans la tranche W peut être testé et réglé sans la division en chaque puce. Dans ce cas, le capteur d'humidité 100 est minimisé. En outre, le capteur d'humidité peut être fait à partir d'un matériau classique, de sorte que le capteur 100 est formé en utilisant une ligne de fabrication de semiconducteurs classique. Donc, le coût de fabrication du capteur 100 diminue. Les caractéristiques de capteur du capteur d'humidité 100 dans un état de la tranche W, c'est-à-dire le capteur d'humidité 100 sans la division en puces, sont examinées par un dispositif d'examen 200. Le dispositif d'examen 200 est représenté sur la figure 3. Le dispositif d'examen 200 comprend un module de test 210 et un dispositif de sonde 220. Le dispositif de sonde 220 comprend une partie de chargeur 221, une partie de sonde 222, une partie de commande 223 et une partie d'affichage 224. La partie de chargeur 221 transporte la tranche W logée dans une cassette C. La partie de sonde 222 mesure les propriétés électriques de la tranche W qui est transportée depuis la partie de chargeur 221. La partie de commande 223 commande la partie de chargeur 221 et la partie de sonde 222 indépendamment. La partie d'affichage 224 fonctionne en tant que tableau de commande destinée à actionner la partie de commande 223, et affiche les informations. La partie de sonde 222 procure une chambre de détection, c'est-à-dire une chambre d'examen. 2883071 10 Un module de test 210 comprend un calculateur dans celui-ci. Le module de test 210 exécute un test par sonde destiné à vérifier et sélectionner le circuit intégré dans le capteur 100 et un test de caractéristiques de capteur du capteur d'humidité 100 dans la tranche W. En outre, le module de test 210 exécute le réglage des caractéristiques de capteur sur la base du résultat du test de caractéristiques de capteur. En particulier, le module de test 210 comprend une tête de module de test 211 disposée sur le module de test 210. La tête de module de test 211 est reliée à une carte à sonde 226 électriquement lorsque le module de test 210 exécute le test. La carte de sonde 226 est montée sur une plaque de tête 225 de la partie de sonde 222. Lorsque le module de test 210 subit un entretien ou autre, la tête de module de test 211 est détachée de la partie de sonde 222. Donc, un signal peut être communiqué entre le module de test 210 et le capteur d'humidité 100 dans la tranche W par l'intermédiaire de la tête de module de test 211 et de la carte à sonde 226. Un sous-mandrin (non représenté) destiné à aligner au préalable la tranche W sur la base d'une encoche de la tranche est disposé dans la partie de chargeur 221. Bien que la tranche W soit transportée depuis la partie de chargeur 221 jusqu'à la partie de sonde 222, la tranche W est au préalable alignée par le sous-mandrin dans la partie de chargeur 221. La partie de sonde 222 comprend un mandrin principal 227, un élément d'entraînement 228 et un élément d'alignement 229. Le mandrin principal 227 absorbe la tranche W par vide et la reçoit. L'élément d'entraînement 228 déplace le mandrin principal 227 dans une direction X, une direction Y, une direction Z et une direction O. L'élément d'alignement 229 aligne la position de la tranche W sur le mandrin principal 227 par rapport à une sonde 226a de la carte à sonde 226 en actionnant l'élément d'entraînement 228. Une plage de connexion d'électrode (non représentée) du capteur d'humidité 100 dans la tranche W disposée sur le mandrin principal 227 et la sonde 226a de la carte à sonde 226 sont alignées l'une avec l'autre de sorte que la plage de connexion d'électrode et la sonde 226a sont électriquement reliées ensemble par l'intermédiaire de l'élément d'entraînement 228 et l'élément d'alignement 229. 2883071 11 En outre, le dispositif de sonde 220 comprend une partie de commande de température-humidité 230 destinée à commander l'humidité et la température de l'intérieur de la partie de sonde 222. La partie de commande de température-humidité 230 fournit le gaz ayant une température prédéterminée et une humidité prédéterminée, qui sont commandées par la partie de commande de température-humidité 230, à l'intérieur de la partie de sonde 222. En outre, la partie de commande de température-humidité 230 maintient la pression dans la partie de sonde 222 de sorte qu'elle soit constante, ou la partie de commande de température-humidité 230 remplace le gaz dans la partie de sonde 222. En particulier, sur la base du signal provenant de la partie de commande 223, la partie de commande de température-humidité 230 fournit le gaz réglé de manière à obtenir la température prédéterminée et l'humidité prédéterminée à l'intérieur de la partie de sonde 222. La partie de commande de température-humidité 230 modifie la température et l'humidité du gaz devant être fourni dans la partie de sonde 222 de manière à avoir des conditions différentes, c'est-à-dire une température différente et une humidité différente. En outre, la partie de commande de températurehumidité 230 arrête de fournir le gaz dans la partie de sonde 222. Dans ce cas, la partie de commande de température-humidité 230 peut commander la température et l'humidité du gaz par un procédé de diffluence bien connu, un procédé à deux températures bien connu ou un procédé à deux pressions bien connu. Une partie de détection de température-humidité 231 détecte la température et l'humidité dans la partie de sonde 222. Lorsque le signal de température et le signal d'humidité fournis en sortie de la partie de détection de température-humidité 231 satisfont une condition de température-humidité prédéterminée, qui est établie pour avoir une marge prédéterminée, c'est-à-dire pour être dans une plage prédéterminée, la partie de commande 223 actionne l'élément d'entraînement 228 et l'élément d'alignement 229. Ici, la marge prédéterminée représente par exemple une erreur de 1 %. La plage de connexion d'électrode du capteur d'humidité 100 dans la tranche W sur le mandrin principal 227 et la sonde 226a de la carte à sonde 226 sont alignées à une position prédéterminée de sorte que la plage de connexion d'électrode du capteur d'humidité 100 et la sonde 226a soient électriquement en contact l'une avec l'autre. Le réglage des caractéristiques de capteur du capteur d'humidité 100 est expliqué comme suit. Dans ce cas, le test par sonde et le test de caractéristiques de capteur sont exécutés simultanément. Tout d'abord, la sensibilité du capteur 100, en tant que l'une des caractéristiques de capteur, est réglée. Dans l'étape de réglage de la sensibilité, la température est maintenue à une valeur constante et l'humidité est modifiée à des conditions différentes. En particulier, la partie de commande de température-humidité 230 commande approximativement la température et l'humidité dans la partie de sonde 222 de sorte qu'elles satisfassent la première condition, qui est, par exemple la température de 25 C et l'humidité de 50 % RH (humidité relative). Le module de test 210 détecte la sortie du capteur d'humidité 100, c'est-à- dire que le module de test 210 détecte les caractéristiques de capteur, de sorte que le test de caractéristiques de capteur est exécuté. Alors, le module de test 210 envoie un signal au capteur d'humidité 100 pour commander la sortie du capteur d'humidité 100 de manière à être une valeur prédéterminée, par exemple, pour être dans une plage de 2,5 V 1, 0 V lorsque la plage de sortie va de 0 V à 5 V. Donc, la compensation du capteur 100 est approximativement réglée. Ce test de caractéristiques de capteur procure le test par sonde. En conséquence, lorsque le module de test 210 décide que le capteur est un produit défectueux, c'est-à-dire présente un défaut de circuit intégré, le test du capteur 100 se termine à ce moment. Ensuite, la partie de commande de température-humidité 230 commande la température et l'humidité dans la partie de sonde 222 pour qu'elles soient dans la seconde condition et la troisième condition à la suite. Ici, la seconde condition est, par exemple, la température de 25 C et l'humidité de 20 % RH, et la troisième condition est, par exemple, la température de 25 C et l'humidité de 80 % RH. Dans chaque condition, le module de test 210 détecte la sortie du capteur 100. Sur la base des résultats du test de caractéristiques de capteur dans la seconde et la troisième conditions, le module de test 210 calcule la sensibilité du capteur d'humidité 100. Alors le module de test 2883071 13 210 envoie le signal au capteur d'humidité 100, de sorte que la sensibilité du capteur 100 est réglée. En particulier, par exemple, les données de réglage sont écrites dans une mémoire EPROM dans la partie de circuit 170 dans le capteur 100. De préférence, la partie de commande de température-humidité 230 commande la température et l'humidité dans la partie de sonde 222 pour qu'elles soient à nouveau dans la première condition. A ce moment, la sortie du capteur 100 est réglée finement pour être de 2,5 V. Donc, le réglage fin de la compensation du capteur 100 est exécuté. Ensuite, la dépendance vis-à-vis de la température, c'est-à-dire la caractéristique en température de la sensibilité du capteur 100 est réglée. Dans l'étape de réglage de la caractéristique en température, l'humidité est maintenue à une valeur constante, et la température est modifiée en des conditions différentes. En particulier, la partie de commande de température-humidité 230 commande la température et l'humidité dans la partie de sonde 222 pour qu'elles satisfassent la quatrième condition et la cinquième condition à la suite. Ici, la quatrième condition est, par exemple, la température de 5 C et l'humidité de 80 % RH, la cinquième condition est, par exemple, la température de 45 C et l'humidité de 80 % RH. Dans chaque condition, le module de test 210 détecte la sortie du capteur 100. Sur la base des résultats du test de caractéristiques de capteur dans les quatrième et cinquième conditions, le module de test 210 calcule la caractéristique en température du capteur d'humidité 100. Alors, le module de test 210 envoie le signal au capteur d'humidité 100 de sorte que la caractéristique en température de la sensibilité du capteur 100 soit réglée. En particulier, par exemple, les données de réglage sont écrites dans la mémoire EPROM de la partie de circuit 170 du capteur 100. Ici, lorsque le module de test 210 décide que le capteur est un produit défectueux, c'est-à-dire présente un défaut de circuit intégré sur la base du test de caractéristiques de capteur dans chaque condition, le test du capteur 100 se termine à ce moment. En particulier, lorsque les caractéristiques du capteur 100 ne peuvent pas être réglées ou se trouvent en dehors de la plage de réglage, le capteur 100 est décidé comme 2883071 14 présentant un défaut de caractéristiques de capteur, c'est-à-dire comme produit défectueux. En utilisant le dispositif d'examen 200 destiné à examiner le capteur d'humidité 100 et en utilisant le procédé de réglage de caractéristiques de capteur pour régler le capteur 100, non seulement le test par sonde mais également le test de caractéristiques du capteur sont exécutés même lorsque le capteur 100 est disposé dans la tranche W, c'est-à-dire dans l'état de tranche sans la division en puces de circuits intégrés. Dans ce cas, le test de caractéristiques de capteur est le test de sensibilité, le test de caractéristiques en température de la sensibilité, le test de compensation et le test de caractéristiques en température de la compensation. Sur la base de ces tests, les caractéristiques de capteur du capteur d'humidité 100 sont réglées. En conséquence, le coût de fabrication du capteur 100 est réduit. En outre, comme une partie du test de caractéristiques de capteur permet le test par sonde, le temps de test, c'est-à-dire le temps de mesure est également réduit, de sorte que le coût de fabrication du capteur 100 est réduit. Dans ce mode de réalisation, la sensibilité et la caractéristique en température de la sensibilité sont détectées et réglées par la partie de commande de température-humidité 230 dans cinq conditions de température et d'humidité dans la partie de sonde 222. En variante, la sensibilité peut être détectée et réglée dans deux conditions présentant la même température et une humidité différente et la caractéristique en température de la sensibilité peut être détectée et réglée dans deux conditions ayant la même humidité et une température différente. En particulier, lorsque la caractéristique en température de la sensibilité est détectée et réglée, l'une des deux conditions différentes peut être établie pour être la même condition que l'une des deux conditions dans un cas où la sensibilité est détectée et réglée. Dans ce cas, la sensibilité et la caractéristique en température de la sensibilité peuvent être réglées en utilisant trois conditions différentes. Donc le temps de détection et de réglage est raccourci. Dans ce mode de réalisation, le module de test 210 règle la sensibilité et la caractéristique en température de la 40 sensibilité du capteur 100 sur la base du test de 2883071 15 caractéristiques de capteur. Cependant, un dispositif de réglage de caractéristique peut être formé en plus dans le dispositif d'examen 200. Le dispositif de réglage de caractéristique règle la sensibilité, la caractéristique en température de la sensibilité, la compensation et la caractéristique en température de la compensation sur la base des caractéristiques de capteur détectées par le module de test 210. (Second mode de réalisation) Un dispositif d'examen 200 conforme à un second mode de réalisation de la présente invention est indiqué sur la figure 4. La figure 4 est une vue partiellement agrandie représentant la carte à sonde 226 dans le dispositif d'examen 220. La carte à sonde 226 est fixée à un côté inférieur d'un anneau de contact 232 par un moyen de fixation (non représenté). L'anneau de contact 232 et la carte à sonde 226 sont électriquement reliés par une broche ressort 233. L'anneau de contact 232 est également fixé à la plaque de tête 225 avec un autre moyen de fixation (non représenté). Les propriétés électriques du capteur 100 sont détectées et testées comme suit. La tête de module de test 211 entre en contact par pression avec le côté supérieur de l'anneau de contact 232 de sorte que la tête de module de test 211 et l'anneau de contact 232 soient électriquement reliés avec la broche de ressort 233. Puis, le mandrin principal 227 est élevé de sorte que la sonde 226a entre en contact avec la plage de connexion d'électrode du capteur d'humidité 100 dans la tranche W. Donc le module de test 210 examine les propriétés électriques du capteur 100, c'est-à- dire le test par sonde. En particulier, le test de caractéristiques de capteur et le réglage de caractéristiques de capteur sont exécutés par le module de test 210 dans la condition de contact ci-dessus. Lorsque le dispositif d'examen 200 comprend la partie de commande de température-humidité 230 conforme au premier mode de réalisation, une longue durée est nécessaire pour stabiliser la température et l'humidité dans la partie de sonde 222 dans une marge prédéterminée de la condition de température-humidité, par exemple, avec une erreur inférieure à 1 % au maximum. Par ailleurs, le dispositif d'examen 200 conforme au second mode de réalisation comprend en outre une partie d'alimentation en gaz 234 destinée à souffler le gaz sur la tranche W alors que les 2883071 16 caractéristiques de capteur sont détectées. En particulier, la partie d'alimentation en gaz 234 souffle le gaz présentant une température prédéterminée et une humidité prédéterminée, qui correspondent aux mêmes conditions de température et d'humidité que dans la partie de sonde 222 devant être établies. La figure 4 représente une partie de la partie d'alimentation en gaz 234, et la partie d'alimentation en gaz 234 est disposée au travers de l'anneau de contact 232 et la carte de sonde 226 de sorte que la partie d'alimentation en gaz 234 souffle le gaz sur la tranche W. En conséquence, comme le gaz ayant la température prédéterminée et l'humidité prédéterminée est directement soufflé sur la tranche W, même lorsque la température et l'humidité dans la partie de sonde 222 sont dans une marge plus large, qui est plus large qu'une marge prédéterminée, et présente, par exemple une erreur inférieure à 3 %, les caractéristiques de capteur sont détectées avec précision. Donc le temps d'attente pour lancer le test des caractéristiques de capteur est réduit. La partie d'alimentation en gaz 234 peut présenter une conception autre que la partie représentée sur la figure 4 tant que la partie d'alimentation en gaz 234 peut souffler le gaz ayant une température prédéterminée et une humidité prédéterminée. (Modifications) Le dispositif d'examen 200 peut présenter une conception autre que le dispositif représenté sur les figures 3 et 4 tant que le dispositif 200 mesure les propriétés électriques du capteur d'humidité 100 dans l'état de tranche avant que la tranche W ne soit divisée en puces de circuits intégrés dans de multiples conditions présentant une température différente et une humidité différente de l'environnement autour du capteur d'humidité 100. En outre, le capteur d'humidité 100 comprend la partie de capteur 160 et la partie de circuit 170, qui sont intégrées sur une puce. De préférence, le dispositif d'examen règle les caractéristiques de capteur du capteur 100 sur la base des résultats de mesure des propriétés électriques, les caractéristiques de capteur qui sont la sensibilité, les caractéristiques en température de la sensibilité, la 2883071 17 compensation et les caractéristiques en température de la compensation. Bien que le dispositif d'examen 200 comprenne une partie de sonde 222 en tant que chambre d'examen pour l'examen de la tranche W, le dispositif d'examen 200 peut comporter de multiples parties de sonde 222, comme indiqué sur la figure 5. Sur la figure 5, chaque partie de sonde 222 présente une température différente et une humidité différente, respectivement. Le dispositif d'examen 200 comprend quatre parties de sonde 222 sur la figure 5. Dans ce cas, la tranche W est transportée depuis la première partie de sonde 222 jusqu'à la quatrième partie de sonde 222. Donc, les caractéristiques de capteur sont détectées et réglées, de sorte que le coût de fabrication du capteur 100 est réduit. En outre, de multiples parties de sonde 222 sont commandées au préalable pour être à une température prédéterminée et à une humidité prédéterminée indépendamment. Donc, le temps d'attente pour commencer le test est raccourci. En conséquence, de nombreux capteurs peuvent être testés au cours d'une courte durée. Bien que le capteur d'humidité 100 comporte des électrodes en forme de peigne 131, 132, le capteur d'humidité 100 peut présenter une autre conception tant que le capteur 100 comprend la partie de capteur 160 destinée à détecter l'humidité et la partie de circuit 170 destinée à traiter le signal détecté provenant de la partie de capteur 160, et la partie de capteur 160 et la partie de circuit 170 sont intégrées en une seule puce et sont reliées électriquement ensemble. Ici, dans le capteur d'humidité 100, conformément à ce mode de réalisation, la partie de capteur 160 et la partie de circuit 170 peuvent être aisément intégrées en une seule puce. La présente invention procure les aspects d'exemples suivants. Un dispositif d'examen examine un capteur d'humidité comportant une partie de capteur et une partie de circuit, qui sont intégrées en une seule puce. La partie de capteur permet de détecter l'humidité de l'atmosphère et la partie de circuit est électriquement reliée à la partie de capteur de sorte que la partie de circuit peut traiter un signal de détection de la partie de capteur. Le dispositif d'examen comprend: une chambre d'examen destinée à recevoir une tranche, la tranche dans 2883071 18 laquelle une pluralité de capteurs d'humidité sont disposés en tant que puces de capteurs dans un état de tranche, une sonde, en tant qu'élément de contact destiné à entrer en contact avec une plage de connexion d'électrode de la partie de circuit, où la sonde est disposée dans la chambre d'examen, un module de test destiné à examiner les propriétés électriques du capteur d'humidité dans l'état de tranche, où le module de test est électriquement relié à la sonde en vue de l'examen du capteur d'humidité, et une partie de commande de température- humidité destinée à commander une température et une humidité dans la chambre d'examen. Dans le dispositif d'examen ci-dessus, comme la partie de commande de température-humidité commande une température et une humidité dans la chambre d'examen de manière à ce qu'elles soient une condition de température-humidité prédéterminée, non seulement le test par sonde mais également le test de caractéristiques de capteur sont exécutés par le module de test. Donc le coût de fabrication du capteur d'humidité est réduit. En outre en exécutant le test de caractéristiques de capteur et le test par sonde simultanément, le coût de fabrication du capteur d'humidité est réduit de manière importante. En variante, la partie de commande de température-humidité peut permettre de fournir un gaz dans la chambre d'examen, le gaz présentant une température prédéterminée et une humidité prédéterminée et la partie de commande de température-humidité peut remplacer l'air par le gaz dans la chambre d'examen. En variante, le dispositif peut en outre comprendre. une partie d'alimentation en gaz destinée à souffler un gaz, présentant une température prédéterminée et une humidité prédéterminée sur la tranche dans la chambre d'examen alors que les propriétés électriques du capteur d'humidité sont examinées par le module de test. En variante, le dispositif peut en outre comprendre. une partie de commande de caractéristiques de capteur destinée à régler une sensibilité, une caractéristique en température de la sensibilité, une compensation et une caractéristique en température de la compensation dans le capteur d'humidité sur la base d'un résultat d'examen des propriétés électriques du capteur d'humidité. En outre, la partie de commande de caractéristiques de capteur est fournie par le module de test. En variante, la partie de commande de température-humidité peut 2883071 19 permettre de commander la pression dans la chambre d'examen de sorte qu'elle soit constante alors que les propriétés électriques du capteur d'humidité sont examinées par le module de test. En outre, un dispositif d'examen examine un capteur d'humidité comportant une partie de capteur et une partie de circuit, qui sont intégrées en une seule puce. La partie de capteur permet de détecter l'humidité de l'atmosphère, et la partie de circuit est électriquement reliée à la partie de capteur de sorte que la partie de circuit peut traiter un signal de détection de la partie de capteur. Le dispositif d'examen comprend une pluralité de chambres d'examen destinées à recevoir une tranche, la tranche dans laquelle une pluralité de capteurs d'humidité sont disposés en tant que puce de capteur dans un état de tranche, une sonde en tant qu'élément de contact destinée à entrer en contact avec une plage de connexion d'électrode de la partie de circuit, où la sonde est disposée dans la chambre d'examen, et un module de test destiné à examiner des propriétés électriques du capteur d'humidité dans l'état de tranche, où le module de test est électriquement relié à la sonde destinée à examiner le capteur d'humidité. Chaque chambre d'examen présente une température différente et une humidité différente, et la tranche est transportée d'une chambre d'examen à une autre tour à tour, de sorte que le module de test examine le capteur d'humidité dans l'état de tranche dans différentes conditions de température-humidité. Dans le dispositif d'examen ci-dessus, la tranche est transportée d'une chambre d'examen à une autre. Donc les caractéristiques de capteur du capteur d'humidité sont examinées efficacement. Donc le coût de fabrication du capteur d'humidité est réduit. En outre, comme chaque chambre d'examen est commandée au préalable pour présenter une température prédéterminée et une humidité prédéterminée, le temps d'attente pour lancer le test est raccourci. En conséquence, de nombreux capteurs d'humidité peuvent être examinés en une courte durée. En outre, un procédé de réglage de caractéristiques de capteur d'un capteur d'humidité est procuré. Le capteur d'humidité comporte une partie de capteur et une partie de circuit qui sont intégrées en une seule puce. La partie de capteur permet de détecter l'humidité de l'atmosphère, et la 2883071 20 partie de circuit est reliée électriquement à la partie de capteur de sorte que la partie de circuit peut traiter un signal de détection de la partie de capteur. Le procédé comprend les étapes consistant à . commander une température et une humidité autour d'une tranche pour qu'elles soient dans une condition de température-humidité prédéterminée, la tranche dans laquelle une pluralité de capteurs d'humidité sont disposés en tant que puce de capteur dans un état de tranche avant que la tranche ne soit divisée en une pluralité de puces de capteurs, mesures les propriétés électriques du capteur d'humidité dans la condition de température-humidité prédéterminée, régler d'une sensibilité, une caractéristique en température de la sensibilité, une compensation et une caractéristique en température de la compensation dans le capteur d'humidité sur la base d'un résultat de mesure des propriétés électriques du capteur d'humidité. Dans le procédé ci-dessus, non seulement le test par sonde mais également le test de caractéristiques de capteur sont exécutés même lorsque le capteur d'humidité est dans l'état de tranche, c'est-à-dire même lorsque la tranche n'est pas divisée en multiples puces de capteurs. En outre, sur la base du résultat de test, les caractéristiques de capteur du capteur d'humidité sont réglées. Donc, le coût de fabrication du capteur d'humidité est réduit. En variante, l'étape consistant à commander la température et l'humidité autour de la tranche et l'étape consistant à mesurer les propriétés électriques du capteur d'humidité peuvent être exécutées une pluralité de fois dans des conditions de température-humidité différentes de sorte que la sensibilité, la caractéristique en température de la sensibilité, la compensation et la caractéristique en température de la compensation du capteur d'humidité soient réglées dans l'étape de réglage. En outre, les différentes conditions de température-humidité peuvent comprendre deux conditions présentant une même température et une humidité différente et deux conditions présentant une même humidité et une température différente. En variante, l'étape de mesure des propriétés électriques du capteur d'humidité peut comprendre un test par sonde du capteur d'humidité dans l'état de tranche. 2883071 21 Bien que l'invention ait été décrite en faisant référence à ces modes de réalisation préférés, on doit comprendre que l'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation et conceptions préférés. L'invention est prévue couvrir diverses modifications et agencements équivalents. En outre, bien que les diverses combinaisons et configurations soient préférées, d'autres combinaisons et configurations comprenant plus d'un élément, moins d'un élément ou seulement un élément respectent également l'esprit et la portée de l'invention. 2883071 22 REVENDICATIONS 1. Dispositif d'examen destiné à examiner un capteur d'humidité (100) comportant une partie de capteur (160) et une partie de circuit (170) qui sont intégrées dans une seule puce, dans lequel la partie de capteur (160) peut détecter l'humidité de l'atmosphère, et dans lequel la partie de circuit (170) est électriquement reliée à la partie de capteur (160) de sorte que la partie de circuit (170) peut traiter un signal de détection de la partie de capteur (160), le dispositif d'examen comprenant: une chambre d'examen (222) destinée à recevoir une tranche (W) , la tranche (W) dans laquelle une pluralité de capteurs d'humidité (100) sont disposés en tant que puces de capteurs dans un état de tranche, une sonde (226a) en tant qu'élément de contact destinée à entrer en contact avec une plage de connexion d'électrode de la partie de circuit (170), où la sonde (226a) est disposée dans la chambre d'examen (222), un module de test (210) destiné à examiner les propriétés électriques du capteur d'humidité (100) dans l'état de tranche, où le module de test (210) est électriquement relié à la sonde (226a) afin d'examiner le capteur d'humidité (100), et une partie de commande de température-humidité (230) destinée à commander une température et une humidité dans la 25 chambre d'examen (222). 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel la partie de commande de température-humidité (230) peut fournir un gaz dans la chambre d'examen (222), le gaz présentant une température prédéterminée et une humidité prédéterminée, et la partie de commande de température-humidité (230) remplace l'air par le gaz dans la chambre d'examen (222). 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, comprenant en 35 outre. une partie d'alimentation en gaz (234) destinée à souffler un gaz présentant une température prédéterminée et une humidité prédéterminée sur la tranche (W) dans la chambre d'examen (222) alors que les propriétés électriques du capteur d'humidité (100) sont examinées par le module de test (210). 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comprenant en outre: une partie de commande de caractéristiques de capteur (210) destinée à régler une sensibilité, une caractéristique en température de la sensibilité, une compensation et une caractéristique en température de la compensation du capteur d'humidité (100) sur la base d'un résultat d'examen des propriétés électriques du capteur d'humidité (100). 5. Dispositif selon la revendication 4, dans lequel la partie de commande de caractéristiques de capteur (210) est procurée par le module de test (210). 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, dans lequel la partie de capteur (160) du capteur d'humidité (100) comprend un substrat (110), une paire d'électrodes en forme de peigne (131, 132) et un film sensible à l'humidité (150), les électrodes en forme de peigne (131, 132) sont disposées sur le substrat (110), se font face l'une l'autre, sont séparées l'une de l'autre, et sont imbriquées l'une avec l'autre de sorte que les dents de peigne de chaque électrode en forme de peigne (131, 132) sont engagées les unes avec les autres, le film sensible à l'humidité (150) recouvre les électrodes en forme de peigne (131, 132) et un espace entre les électrodes en forme de peigne (131, 132) , les électrodes en forme de peigne (131, 132) procurent un condensateur ayant une capacité entre les électrodes en forme de 30 peigne (131, 132), et la capacité est variable en fonction de l'humidité de l'atmosphère. 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 35 6, dans lequel la partie de commande de température-humidité (230) permet de commander la pression dans la chambre d'examen (222) de manière qu'elle soit constante alors que les propriétés électriques du capteur d'humidité (100) sont examinées par le module de test (210). 2883071 24 8. Dispositif d'examen destiné à examiner un capteur d'humidité (100) comportant une partie de capteur (160) et une partie de circuit (170) qui sont intégrées en une seule puce, où la partie de capteur (160) permet de détecter l'humidité de l'atmosphère et où la partie de circuit (170) est électriquement reliée à la partie de capteur (160) de sorte que la partie de circuit (170) peut traiter un signal de détection de la partie de capteur (160), le dispositif d'examen comprenant: une pluralité de chambres d'examen (222) destinées à recevoir une tranche (W), la tranche (W), dans laquelle une pluralité de capteurs d'humidité (100) sont disposés sous forme de puces de capteurs dans un état de tranche, une sonde (226a) en tant qu'élément de contact destinée à entrer en contact avec une plage de connexion d'électrode de la partie de circuit (170), où la sonde (226a) est disposée dans la chambre d'examen (222), et un module de test (210) destiné à examiner les propriétés électriques du capteur d'humidité (100) dans l'état de tranche 20 où le module de test (210) est électriquement relié à la sonde (226a) pour examiner le capteur d'humidité (100), où chaque chambre d'examen (222) présente une température différente et une humidité différente, et la tranche (W) est transportée d'une chambre d'examen (222) à une autre tour à tour de sorte que le module de test (210) examine le capteur d'humidité (100) dans l'état de tranche dans différentes conditions de température-humidité. 9. Dispositif selon la revendication 8, comprenant en 30 outre: une partie d'alimentation en gaz (234) destinée à souffler un gaz présentant une température prédéterminée et une humidité prédéterminée sur la tranche (W) dans la chambre d'examen (222) alors que les propriétés électriques du capteur d'humidité (100) sont examinées par le module de test (210). 10. Dispositif selon la revendication 8 ou 9, comprenant en outre. une partie de commande de caractéristiques de capteur (210) 40 destinée à régler une sensibilité, une caractéristique en température de la sensibilité, une compensation et une caractéristique en température de la compensation du capteur d'humidité (100) sur la base d'un résultat d'examen des propriétés électriques du capteurs d'humidité (100). 11 Dispositif selon la revendication 10, comprenant en outre. la partie de commande de caractéristiques de capteur (210) qui est procurée par le module de test (210). 12. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 8 à 11, dans lequel la partie de capteur (160) du capteur d'humidité (100) comprend un substrat (110), une paire d'électrodes en forme de peigne (131, 132) et un film sensible à l'humidité (150), les électrodes en forme de peigne (131, 132) sont disposées sur le substrat (110), se font face l'une l'autre, sont séparées l'une de l'autre, et sont imbriquées l'une avec l'autre de sorte que les dents de peigne de chaque électrode en forme de peigne (131, 132) soient engagées les unes avec les autres, le film sensible à l'humidité (150) recouvre les électrodes en forme de peigne (131, 132) et un espace entre les électrodes en forme de peigne (131, 132) , les électrodes en forme de peigne (131, 132) fournissent un 25 condensateur ayant une capacité entre les électrodes en forme de peigne (131, 132), et la capacité est variable en fonction de l'humidité de l'atmosphère. 13. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 8 à 12, dans lequel la partie de commande de température-humidité (230) permet de commander la pression dans la chambre d'examen (222) de manière qu'elle soit constante alors que les propriétés électriques du capteur d'humidité (100) sont examinées par le module de test (210). 14. Procédé de réglage de caractéristiques de capteur d'un capteur d'humidité (100) comportant une partie de capteur (160) 40 et une partie de circuit (170), qui sont intégrées en une seule 2883071 26 puce, où la partie de capteur (160) peut détecter l'humidité de l'atmosphère, et dans lequel la partie de circuit (170) est électriquement reliée à la partie de capteur (160) de sorte que la partie de circuit (170) peut traiter un signal de détection de la partie de capteur (160), le procédé comprenant les étapes consistant à : commander une température et une humidité autour d'une tranche (W) de sorte qu'elles respectent une condition de température-humidité prédéterminée, la tranche (W) dans laquelle une pluralité de capteurs d'humidité (100) sont disposés en tant que puces de capteurs dans un état de tranche avant que la tranche (W) ne soit divisée en une pluralité de puces de capteurs, mesurer les propriétés électriques du capteur d'humidité 15 (100) dans la condition de température-humidité prédéterminée, et régler une sensibilité, une caractéristique en température de la sensibilité, une compensation et une caractéristique en température de la compensation du capteur d'humidité (100) sur la base d'un résultat de mesure des propriétés électriques du capteur d'humidité (100). 15. Procédé selon la revendication 14, dans lequel l'étape consistant à commander la température et l'humidité autour de la tranche (W) et l'étape consistant à mesurer les propriétés électriques du capteur d'humidité (100) sont exécutées une pluralité de fois dans des conditions de température-humidité différentes de sorte que la sensibilité, les caractéristiques en température de la sensibilité, la compensation et la caractéristique en température de la compensation du capteur d'humidité (100) sont réglées dans l'étape de réglage. 16. Procédé selon la revendication 15, dans lequel les différentes conditions de température-humidité comprennent deux conditions ayant une même température et une humidité différente et deux conditions ayant une même humidité et une température différente. 2883071 27 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 14 à 16, dans lequel la partie de capteur (160) du capteur d'humidité (100) comprend un substrat (110), une paire d'électrodes en forme de peigne (131, 132) et un film sensible à l'humidité (150), les électrodes en forme de peigne (131, 132) sont disposées sur le substrat (110) se font face l'une l'autre, sont séparées l'une de l'autre, et s'imbriquent l'une l'autre de sorte que les dents de peigne de chaque électrode en forme de peigne (131, 132) s'engagent l'une l'autre, le film sensible à l'humidité (150) recouvre les électrodes en forme de peigne (131, 132) et un espace entre les électrodes en forme de peigne (131, 132), les électrodes en forme de peigne (131, 132) procurent un 15 condensateur ayant une capacité entre les électrodes en forme de peigne (131, 132), et la capacité est variable en fonction de l'humidité de l'atmosphère. 18. Procédé selon l'une quelconque des revendications 14 à 17, dans lequel l'étape consistant à mesurer les propriétés électriques du capteur d'humidité (100) comprend un test par sonde du capteur d'humidité (100) dans l'état de tranche.