Brevet FR2872958A1 — publié le 20060113

Procédé de fabrication d'un film mince structuré et film mince obtenu par un tel procédé. Domaine technique de l'invention L'invention concerne un procédé de fabrication d'un film mince en matériau semi-conducteur oxydable, structuré sous forme de motifs et disposé sur un substrat. L'invention concerne également un film mince obtenu par un tel procédé. État de la technique Dans de nombreux domaines de la microélectronique, les dispositifs issus des technologies conventionnelles sur silicium massif sont, de plus en plus, remplacés par des dispositifs sur substrat Silicium sur Isolant (SOI) ou sur substrat SOI sous contrainte, plus connu sous le nom anglo-saxon "strained SOI". Un substrat SOI est constitué d'un substrat en silicium sur lequel est disposé une couche isolante, par exemple en oxyde, recouverte d'un film mince en silicium et un substrat "strained SOI" est un substrat SOI sur lequel est disposé un film mince contraint ou déformé. De tels substrats SOI permettent une isolation totale des micro-composants destinés à être intégrés, tels que les circuits CMOS, grâce à la présence de la couche enterrée d'isolant disposée sur le substrat en silicium. Ils assurent également une réduction des capacités parasites et des effets de canaux courts. Cependant, lorsque des motifs sont créés dans le film mince en silicium, un phénomène de démouillage en phase solide des motifs a tendance à se produire à haute température. Ce phénomène est, généralement, observé lors de l'étape de recuit précédant une étape de croissance par épitaxie, l'étape de recuit étant, par exemple, réalisée à 950 C. Il peut être observé, plus généralement, lors de toute étape à haute température durant laquelle la surface supérieure du motif ainsi que ses parois latérales sont libres. En effet, les motifs formés dans le film mince en silicium sont intrinsèquement instables et ils évoluent spontanément vers une forme d'équilibre atteinte par transport de matière, majoritairement par diffusion de surface et qui, dans des o cas extrêmes, correspond à une population de cristaux disjoints les uns des autres. L'énergie du système formé par cette population de cristaux est, alors, plus faible que celle du motif initial. Cette forme d'équilibre est donc néfaste pour la suite des étapes de fabrication d'un micro-composant tel qu'un transistor MOS pour lequel les différentes zones du transistor à définir dans le motif mince, par exemple la source, le drain, le canal..., peuvent ne plus être connexes. Un tel phénomène de démouillage se retrouve également pour tout type de film mince structuré, en matériau semi-conducteur capable de former un oxyde stable lors d'une oxydation thermique, tel que, par exemple, un composé de silicium et de germanium (SiGe). Ce phénomène étant induit par la température élevée des étapes de fabrication des micro-composants et notamment l'étape de recuit, certains ont tenté de réaliser le recuit à une température moins élevée. En effet, pour des épaisseurs de films minces de l'ordre de 5 nm et pour des durées et des atmosphères de recuits usuelles, le fait de réaliser le recuit à une température inférieure à 800 C rend les films minces peu sensibles au démouillage. Cependant, les étapes suivantes, par exemple l'étape de nettoyage qui nécessite une désorption d'espèces ou bien l'étape d'épitaxie, ne permettent pas d'utiliser une telle température de recuit puisque, pour obtenir une interface capable d'assurer une bonne qualité cristalline du matériau épitaxié, la température de recuit ne peut pas être inférieure à 800 C. Objet de l'invention L'invention a pour but un procédé de fabrication permettant d'obtenir un film mince en matériau semi-conducteur structuré sous forme de motifs stables à des températures élevées, tout en étant facile à mettre en oeuvre et ne limitant yo pas l'épaisseur du film mince. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que le procédé comporte les étapes successives suivantes: - formation d'une couche d'oxyde sur l'ensemble du film mince, suivie du dépôt d'une couche de nitrure, structuration des couches de nitrure et d'oxyde et du film mince, ladite structuration s'arrêtant à la surface du substrat, - oxydation latérale du film mince de sorte que chaque motif du film mince comporte, à sa périphérie, une zone oxydée de largeur prédéterminée, - retrait des couches de nitrure et d'oxyde de manière à libérer le film mince structuré sous forme de motifs oxydés à leur périphérie. Selon un premier développement de l'invention, une couche isolante étant disposée entre le substrat et le film mince, la structuration des couches de nitrure et d'oxyde et du film mince s'arrête à la surface de la couche isolante. Selon un deuxième développement de l'invention, le matériau semiconducteur du film mince est choisi parmi le silicium et un composé de silicium et de germanium. Selon un mode de réalisation préférentiel, l'épaisseur du film mince est inférieure à 10 nm. Selon une autre caractéristique de l'invention, la couche d'oxyde peut être formée par dépôt chimique en phase vapeur à basse pression, par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma ou par oxydation thermique d'une fine épaisseur du film mince. Selon une autre caractéristique de l'invention, la largeur de la zone oxydée du film mince est déterminée par l'épaisseur de la couche d'oxyde formée sur le film mince et par le rapport entre les vitesses respectives de structuration de la couche d'oxyde et de la zone oxydée. Avantageusement, la largeur de la zone oxydée du film mince est supérieure à l'épaisseur de la couche d'oxyde. L'invention a également pour but un film mince obtenu par un tel procédé, structuré sous forme de motifs stables à des températures élevées. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que chaque motif du film mince est oxydé à sa périphérie. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: Les figures 1 à 6 représentent schématiquement, en coupe, différentes étapes d'un mode particulier de réalisation d'un film mince structuré, selon l'invention. Description de modes particuliers de réalisation Comme représenté aux figures 1 à 6, un film mince 1 en matériau semiconducteur oxydable, de préférence choisi parmi le silicium et un composé de silicium et de germanium est structuré sous forme de motifs la. Ainsi, le film mince 1, avec une épaisseur, de préférence inférieure à 10nm, est préalablement disposé sur la face supérieure d'une couche isolante 2 recouvrant un substrat 3 (figure 1). Dans l'exemple décrit, le substrat 3 est en silicium et la couche isolante 2 est en oxyde de silicium, généralement appelée appelé oxyde enterré. L'ensemble constitué par le substrat et la couche isolante forme alors un substrat SOI. Une couche d'oxyde 4, par exemple en oxyde de silicium ou constitué d'un bicouche SiO2/HfO2, est, ensuite, formée sur la totalité de la surface libre du film mince 1 (figure 2). La couche d'oxyde 4, avec de préférence, une épaisseur de l'ordre de 2nm peut être formée par dépôt chimique en phase vapeur à basse température, également appelé procédé LPCVD, par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma, également appelé procédé PECVD ou bien par oxydation thermique d'une fine épaisseur du film mince 1. Puis, une couche de nitrure 5, par exemple de nitrure de silicium, est déposée sur la totalité de la surface libre de la couche d'oxyde 4. La couche de nitrure 5 a, de préférence, une épaisseur comprise entre 10 et 20nm. Les couches de nitrure et d'oxyde 5 et 4 et le film mince 1 sont ensuite structurés, de sorte que la structuration s'arrête à la surface de la couche isolante 2. La structuration est, par exemple réalisée par photolithographie ou par une méthode appelée "lithographie e-beam" et qui consiste à réaliser une lithographie par l'intermédiaire d'un masqueur électronique puis par gravure des couches de nitrure et d'oxyde et du film mince. Aux figures 3 et 4, les couches de nitrure et d'oxyde 5 et 4 et le film mince 1 sont structurés par photolithographie, au moyen d'un masque 6 en résine photosensible. Le masque 6 comporte des motifs et il est disposé à la surface libre de la couche io de nitrure 5. Les couches de nitrure 5 et d'oxyde 4 et le film mince 1 sont ensuite gravés à travers le masque 6. Les zones des couches de nitrure 5 et d'oxyde 4 et du film mince 1 non recouvertes par les motifs du masque 6 sont ainsi éliminées de sorte que seules les zones recouvertes 5a, 4a et la respectivement de la couche de nitrure 5, de la couche d'oxyde 4 et du film mince 1 restent sur la face supérieure de la couche isolante 2 qui elle n'est pas structurée. Les zones la du film mince recouvertes par le masque 6 correspondent alors aux motifs du film mince. Puis, comme illustré aux figures 5 et 6, le masque 6 est retiré, par exemple par combinaison d'un plasma oxygène et d'une solution chimique. Les zones 1 a du film mince subissent alors une oxydation latérale de sorte que chaque motif du film mince comporte, à sa périphérie, une zone oxydée 1 b de largeur prédéterminée. A la figure 5, l'oxydation latérale est illustrée par deux flèches disposées latéralement et de part et d'autre du motif la, de manière à former la zone oxydée 1 b à la périphérie du motif 1 b. Puis, les couches de nitrure 5 et d'oxyde 4 sont retirées de manière à libérer le film mince structuré sous forme de motifs oxydés à leur périphérie. La couche de nitrure 5 est, par exemple, retirée par traitement chimique avec, par exemple, H3PO4 et si la couche d'oxyde 4 est en oxyde de silicium, elle peut par exemple être retirée au moyen d'une solution d'acide fluorhydrique. Un film mince en matériau semi-conducteur oxydable obtenu par un tel procédé de fabrication présente des motifs stables à des températures élevées et, plus particulièrement, ne subissant pas le phénomène de démouillage lors d'un recuit. En effet, le fait que chaque motif soit oxydé à sa périphérie, c'est-à-dire qu'il comporte une bordure périphérique oxydée, permet d'obtenir une stabilité thermique. chaque bordure périphérique oxydée retarde, en effet, le phénomène de démouillage du motif correspondant car chaque bordure périphérique oxydée subit le phénomène de démouillage avant le reste du motif non oxydé et le démouillage d'une bordure périphérique oxydée passe par une déformation de la surface supérieure du motif préalablement plane, ce qui nécessite une augmentation de l'énergie du système. De plus, la surface de contact entre une bordure périphérique oxydée et la couche isolante constitue un point d'ancrage car elle correspond à une rugosité macroscopique qui doit être contournée pour que le motif puisse subir le phénomène de démouillage. De plus, la présence des couches d'oxyde et de nitrure 4 et 5, pendant l'étape d'oxydation latérale, permet d'empêcher l'oxydation de la surface du film mince 1. Elle permet, en outre, de contrôler indépendamment les épaisseurs de la couche d'oxyde 4 et des zones oxydées 1 b. Ceci permet d'assurer qu'une fois les couches d'oxyde 4 et de nitrure 5 retirées, chaque motif soit toujours oxydé à sa périphérie. Par ailleurs, l'oxydation latérale est, de préférence, réalisée par oxydation thermique. L'oxydation thermique est avantageusement réalisée dans des conditions de température et de pression partielle d'O2 déterminées pour obtenir une vitesse d'oxydation thermique suffisamment lente pour contrôler la largeur de chaque zone oxydée créée. La largeur de chaque zone oxydée est, de préférence, déterminée en fonction du mode de réalisation de l'oxyde utilisé pour la couche d'oxyde 4 car la vitesse de gravure d'un oxyde diffère selon le mode de réalisation utilisé. Plus particulièrement, la largeur des zones oxydées est déterminée par l'épaisseur de la couche d'oxyde 4 formée sur le film mince 1 et par le rapport entre les vitesses respectives de structuration de la couche d'oxyde 4 et des zones oxydées des motifs. Ainsi, un oxyde obtenu par oxydation thermique tel que celui des zones oxydées des motifs du film mince est gravé environ cinq fois moins vite qu'un oxyde obtenu par dépôt. Selon le mode de réalisation utilisé pour former la couche d'oxyde 4, il est alors souhaitable de déterminer la largeur des zones à oxyder dans le film mince, de manière à ce qu'une fois libéré, le film mince 1 comporte encore des motifs oxydés à leur périphérie, c'est-à-dire que chaque motif comporte une bordure périphérique oxydée. Ainsi, si l'oxyde de la couche d'oxyde 4 est obtenu par oxydation thermique, l'oxydation latérale du film mince est, de préférence, réalisée pour que la largeur des zones oxydées du film soit, de préférence, supérieure à l'épaisseur de la couche d'oxyde 4 car la couche d'oxyde 4 et les zones oxydées du film mince ont des vitesses de gravure identiques. Si la couche d'oxyde 4 est déposée par dépôt LPCVD, la largeur de la zone oxydée peut être supérieure à 1/sème de l'épaisseur de la couche d'oxyde 4, ce rapport étant déterminé par le rapport des vitesses respectives de structuration de la couche d'oxyde 4 et de la zone oxydée. La largeur des zones oxydées est, par exemple, comprise entre 10 et 20 nm. L'utilisation de couches en oxyde et en nitrure est connue en tant que telle pour réaliser des zones latérales oxydées. Par exemple, le brevet US5518949 décrit une méthode d'isolation électrique latérale pour des composants réalisés sur un substrat SOI. Cette méthode consiste à former latéralement un espacement en oxyde nécessitant la création par structuration, d'une marche dans la couche isolante, ce qui peut induire des difficultés technologiques lors des étapes ultérieures. Il est, en effet, nécessaire de supprimer cette marche par une combinaison d'étapes de planarisation des niveaux des contacts électriques. Une telle méthode nécessite également une gravure latérale de la couche de nitrure, ce qui rend le procédé sensible aux effets de charge qui peuvent alors induire des dispersions sur les caractéristiques électriques des dispositifs. Par ailleurs, un tel procédé limite l'épaisseur du film mince à environ 200 nm. Par contre, le procédé de fabrication selon l'invention est destiné à empêcher le phénomène de démouillage, ce qui est obtenu la création de bordures périphériques oxydées qui forment un ancrage des motifs, notamment dans une isolation mesa. Un tel procédé de fabrication permet également d'obtenir un film mince structuré sous forme de motifs, sans espaceur en oxyde. L'épaisseur du film mince n'est pas limitée par le procédé de fabrication. Le procédé de l'invention permet ainsi d'utiliser une couche de nitrure de faible épaisseur, typiquement 10 nm, ce qui réduit le risque d'introduction potentielle de défauts par le nitrure. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation décrits ci-dessus. Ainsi, le film mince 1 n'est pas nécessairement disposé sur un substrat SOI, c'est-à-dire sur une couche isolante 2 recouvrant un substrat 3. Le film mince peut être disposé directement sur le substrat et, dans ce cas, l'étape de structuration des couches de nitrure et d'oxyde et du film mince s'arrête à la surface du substrat. Le substrat peut alors être un substrat massif, par exemple en silicium, ou bien il peut être composé d'un empilement de plusieurs couches d'un ou plusieurs matériaux. Le substrat peut également être, en surface, de même nature que le film mince qu'il supporte. Revendications 1. Procédé de fabrication d'un film mince (1) en matériau semi-conducteur oxydable, structuré sous forme de motifs (1 a) et disposé sur un substrat (3), procédé caractérisé en ce qu'il comporte les étapes successives suivantes: - formation d'une couche d'oxyde (4) sur l'ensemble du film mince, suivie du dépôt d'une couche de nitrure (5), - structuration des couches de nitrure et d'oxyde (5, 4) et du film mince (1), o ladite structuration s'arrêtant à la surface du substrat (3), - oxydation latérale du film mince (1) de sorte que chaque motif (1 a) du film mince (1) comporte, à sa périphérie, une zone oxydée (1 b) de largeur prédéterminée, - retrait des couches de nitrure et d'oxyde (5, 4) de manière à libérer le film mince (1) structuré sous forme de motifs (la) oxydés à leur périphérie. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une couche isolante (2) étant disposée entre le substrat (3) et le film mince (1), la structuration des couches de nitrure et d'oxyde et du film mince s'arrête à la surface de la couche isolante (2). 3. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le matériau semi-conducteur du film mince (1) est choisi parmi le silicium et un composé de silicium et de germanium. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'épaisseur du film mince (1) est inférieure à 10 nm. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche d'oxyde (4) est de l'ordre de 2nm. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce 5 que l'épaisseur de la couche de nitrure (5) est comprise entre 10 et 20 nm. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la couche d'oxyde (4) est formée par dépôt chimique en phase vapeur à basse pression. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la couche d'oxyde (4) est formée par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la couche d'oxyde (4) est formée par oxydation thermique d'une fine épaisseur du film mince (1). 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce 20 que l'étape de structuration est réalisée par photolithographie. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'étape de structuration est réalisée par lithographie à travers un masqueur électronique puis par gravure des couches de nitrure et d'oxyde (5, 4) et du film mince (1). 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, caractérisé en ce que l'étape d'oxydation latérale est réalisée par oxydation thermique. 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que la largeur de la zone oxydée (1b) du film mince (1) est déterminée par l'épaisseur de la couche d'oxyde formée sur le film mince et par le rapport entre les vitesses respectives de structuration de la couche d'oxyde et de la zone oxydée. 14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que la largeur de la zone oxydée (lb) du film mince (1) est supérieure à l'épaisseur de la couche d'oxyde (4). 15. Procédé selon l'une des revendications 13 et 14, caractérisé en ce que la largeur de la zone oxydée (1 b) du film mince (1) est comprise entre 10 et 20 nm. 16. Film mince (1) en matériau semi-conducteur oxydable obtenu par un procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, structuré sous forme de motifs (la) et disposé sur un substrat (3), caractérisé en ce que chaque motif (1 a) du film mince (1) est oxydé à sa périphérie. io