Brevet FR2880730A1 — publié le 20060714

Microsystème utilisant un microactionneur magnétique à aimant permanent. La présente invention se rapporte à un microsystème comportant au moins un microactionneur magnétique fonctionnant à l'aide d'un aimant permanent. Un tel microsystème peut être utilisé comme appareil électrique interrupteur, en particulier du type commutateur, bouton poussoir, contacteur ou relais. Ce type de microsystème est particulièrement adapté pour être réalisé en technologie MEMS. Le document US 6,320,145 décrit un relais magnétostatique. Ce relais fonctionne à l'aide d'une poutre monostable et magnétisable. Sous l'action d'un champ magnétique, cette poutre fléchit pour tendre à s'aligner dans la direction de ce champ magnétique et vient fermer un circuit électrique. La poutre étant fabriquée dans un matériau élastique, elle revient dans sa position initiale simplement par effet mécanique lorsque l'interaction du champ magnétique avec la poutre est nulle. La force de rappel de la poutre vers sa position initiale est donc d'origine purement mécanique et est imposée uniquement par la nature du matériau de fabrication de la poutre et par la géométrie des éléments impliqués. Le brevet US 6,750,745 décrit des micro-relais magnétiques utilisant le mouvement entre deux positions, d'une poutre magnétisable bistable pour commander l'ouverture ou la fermeture d'un circuit électrique. Le mouvement de la poutre est commandé à l'aide d'un électro- aimant. Dans une première position de la poutre, le circuit électrique est ouvert et clans une seconde position de la poutre, le circuit électrique est fermé. La fermeture du circuit est assurée lorsque la poutre est dans sa seconde position par la mise en contact de contacts portés par la poutre avec des contacts fixes disposés sur un substrat. Au repos, la poutre est dans sa première position et le circuit électrique est donc ouvert. Cette position de repos est maintenue grâce au champ magnétique produit sur la poutre magnétisable par un aimant permanent. Lors de la mise sous tension de l'électro-aimant, celui-ci produit un second champ magnétique orienté de manière à provoquer le basculement de la poutre de sa première position vers sa seconde position. Une fois la poutre dans sa seconde position, l'électro-aimant est désactivé et la poutre est maintenue dans cette seconde position sous l'effet du champ magnétique permanent. Le brevet US 6,469,602 décrit un relais dans lequel une poutre identique à celle décrite ci-dessus peut prendre trois positions distinctes (voir figure 5) grâce à l'action conjuguée d'un aimant permanent et d'un électro-aimant. Dans une première position, la poutre fléchit dans une direction de manière à venir en contact avec un premier contact électrique situé au-dessous. Dans une seconde position, la poutre fléchit dans le sens opposé pour venir en contact avec un deuxième contact électrique situé au-dessus. Dans une position d'équilibre située entre ses deux positions extrêmes et dite de repos, la poutre ne touche aucun des contacts. Les relais présentés dans les brevets US 6,750,745 et US 6,469,602 sont pilotés à la fois grâce à l'action d'un aimant permanent et d'un électro-aimant. Pour faire fléchir la poutre entre ses positions, ces relais présentent donc l'inconvénient majeur de nécessiter l'utilisation d'une source de courant pour alimenter l'électro-aimant. Le but de l'invention est de proposer un microsystème utilisé comme appareil électrique interrupteur comportant au moins un microactionneur magnétique qui soit simple dans sa conception et sa fabrication et qui ne nécessite pas l'utilisation d'une source de courant pour être mis en oeuvre. Ce but est atteint par un microsystème utilisé comme appareil électrique interrupteur et comprenant un substrat supportant au moins un microactionneur magnétique, ledit microactionneur magnétique comportant un élément mobile supporté par ledit substrat et un aimant permanent, ledit microsystème étant caractérisé en ce que ledit aimant permanent est apte à être mis en mouvement, par des moyens d'actionnement, pour piloter par effet magnétique le mouvement de l'élément mobile entre au moins deux positions, chacune des positions pouvant correspondre à l'ouverture ou à la fermeture d'un circuit électrique. Selon une particularité, l'élément mobile est apte à prendre trois positions distinctes, deux positions extrêmes forcées prises sous l'action du champ magnétique permanent généré par l'aimant permanent et une position de repos intermédiaire, située entre les deux positions extrêmes forcées. Selon l'invention, l'élément mobile est donc "tristable". Selon une première variante de réalisation, l'élément mobile comporte une membrane montée sur le substrat et apte à pivoter entre ses différentes positions, ladite membrane présentant au moins une couche faite dans un matériau magnétique. Selon l'invention, la membrane est par exemple reliée par l'une de ses extrémités à un plot d'ancrage par l'intermédiaire d'au moins un bras de liaison. Le pivotement de la membrane est obtenu par flexion dudit bras de liaison. Selon une seconde variante de réalisation, l'élément mobile est constitué d'une membrane pivotante reliée par l'intermédiaire de deux bras de liaison solidaires du substrat. Les bras de liaison forment une liaison élastique entre la membrane et leur plot d'ancrage respectif. Dans ce cas, le pivotement de la membrane est obtenu par torsion des bras de liaison. Dans ces différentes configurations, le microsystème est fabriqué selon une technologie planaire de type MEMS. Cette technologie consiste à procéder par dépôt de couches successives puis à façonner chaque couche pour former le produit souhaité. Selon cette technologie, la membrane ainsi que les bras de liaison peuvent être issus d'une même couche, par exemple métallique. Elle peut être dans un matériau magnétique doux comme par exemple un alliage de type FeNi ( permalloy ). Selon une autre particularité, l'aimant permanent est apte à être positionné au-dessus de la membrane de manière à ce que l'inclinaison, par rapport au microactionneur, des lignes du champ magnétique généré par l'aimant permanent puisse produire une aimantation dans la membrane dont l'orientation provoque le pivotement de la membrane entre ses différentes positions. Selon une autre particularité, la membrane est apte à pivoter sous l'action du champ magnétique permanent de part et d'autre d'une position d'équilibre, dite de repos dans laquelle le couple magnétique existant entre la membrane et le champ magnétique généré par l'aimant permanent est inférieur à la force de rappel mécanique des bras de liaison. Ainsi, la membrane peut prendre deux positions extrêmes forcées par l'action de l'aimant permanent dans laquelle, selon la configuration souhaitée, elle vient fermer ou ouvrir un ou plusieurs circuits électriques. L'espace d'ouverture maximum créé entre les deux positions extrêmes prises par la membrane, est important, de l'ordre de quelques dizaines de microns. Un tel espace permet de pouvoir utiliser un tel microsystème pour des tensions de l'ordre de quelques dizaines à centaines de volts. Ce n'est par exemple pas le cas dans le dispositif présenté dans la demande de brevet EP 0 602 538 (ou CH 688 213) qui décrit un contacteur de type "reed" dans lequel une poutre magnétisable peut être amenée en contact avec une autre poutre par action d'un champ magnétique créé par une bobine. En effet, l'inconvénient d'un tel dispositif est que la position de repos de la poutre est imposée par la géométrie et le procédé d'obtention du dispositif. II est donc difficile d'obtenir des espaces d'ouverture importants. Selon un premier mode de réalisation, l'aimant permanent est apte à effectuer un mouvement de translation au-dessus de la membrane, parallèlement au substrat. Selon un second mode de réalisation de l'invention, au-dessus de la membrane, l'aimant permanent est apte à effectuer un mouvement de rotation autour d'un axe. Selon une particularité de ces deux modes de réalisation, les moyens d'actionnement sont de type mécanique. Le microsystème fonctionne donc de manière totalement mécanique et aucune source d'énergie n'est nécessaire pour le faire fonctionner. Selon une autre particularité de ces modes de réalisation, les moyens d'actionnement sont à commande manuellle. Le microsystème selon l'invention est donc particulièrement adapté aux applications de type bouton poussoir où ledit bouton poussoir permet le déplacement en translation ou en rotation de l'aimant permanent. Selon une autre particularité de ces modes de réalisation, les moyens d'actionnement sont de type électromécanique. Selon une autre particularité, le microsystème commande l'ouverture et la fermeture de deux circuits électriques. Selon l'invention, dans chacune de ses positions extrêmes, la membrane vient par exemple fermer un circuit électrique distinct, la position de repos de la membrane correspondant à une position d'ouverture de ces deux circuits. Selon une autre particularité de l'invention, le microsystème est fabriqué selon une technologie de type MEMS. Selon un mode de réalisation très avantageux, le substrat supporte une pluralité de microactionneurs magnétiques identiques apte à être commandée simultanément par ledit aimant permanent. Un même aimant permanent agit donc sur une matrice de microactionneurs. Les microactionneurs sont par exemple des micro-relais reliés par des pistes électriques et arrangés en série pour augmenter la tension d'isolation ou en parallèle pour diviser l'intensité du courant. D'autres caractéristiques et avantages vont apparaître dans la description détaillée qui suit en se référant à un mode de réalisation donné à titre d'exemple et représenté par les dessins annexés sur lesquels: - La figure 1 représente, en perspective, un microsystème selon une première variante de réalisation. - Les figures 2A, 2B et 2C représentent, en vue de côté, le microsystème selon la première variante de réalisation respectivement en position de repos, d'ouverture et de fermeture. - La figure 3 représente, en perspective, le microsystème selon une seconde variante de réalisation. - Les figures 4A, 4B et 4C représentent, en vue de côté, le microsystème selon la seconde variante de réalisation, respectivement en position de repos, d'ouverture et de fermeture. - La figure 5 représente le microsystème selon l'invention selon une troisième variante de réalisation. - La figure 6 représente une variante de réalisation du microactionneur pouvant être utilisé dans le microsystème selon l'invention. L'invention va à présent être décrite en liaison avec les figures 1 à 6. Comme dans l'art antérieur exposé ci-dessus, le microsystème 1, 1' selon l'invention commande l'ouverture ou la fermeture d'au moins un circuit électrique en utilisant un microactionneur 2 magnétique. En référence aux figures 1 à 4C, le microsystème 1, 1' selon l'invention comporte un microactionneur 2 supporté par un substrat 3. Le substrat 3 est par exemple fabriqué dans des matériaux comme le silicium, le verre, des céramiques ou sous forme de circuits imprimés. Le substrat 3 présente une surface 30 plane de laquelle est solidaire le microactionneur 2. De manière connue (voir la demande de brevet n US 2002/0140533), le substrat 3 porte par exemple au moins deux électrodes identiques 31, 32 destinées à être reliées électriquement afin d'obtenir la fermeture du circuit électrique. Pour cela, le microactionneur 2 magnétique porte au moins un contact 21 mobile apte à venir relier électriquement les deux électrodes 31, 32 lorsque le microactionneur 2 est activé. En référence aux figures 1 à 4C, un microactionneur 2 tel que celui utilisé dans le microsystème 1, 1' selon l'invention comporte un élément mobile. Cet élément mobile est composé d'une membrane 20 parallélépipédique reliée par une de ses extrémités à un plot 23 d'ancrage solidaire du substrat 3 par l'intermédiaire de deux bras 22a, 22b de liaison prolongeant la membrane 20. Le contact 21 est par exemple formé sur la membrane 20 à proximité de l'extrémité libre de la membrane 20 et fait face à la surface 30 du substrat 3. Par l'intermédiaire de ces deux bras 22a, 22b, la membrane 20 est apte à pivoter par rapport au substrat 3 suivant un axe (P) parallèle à l'axe décrit par les points de contact de la membrane 20 avec les électrodes 31, 32. Les bras 22a, 22b de liaison forment une liaison élastique entre la membrane 20 et le plot 23 d'ancrage. Dans une telle configuration, le pivotement de la membrane 20 est donc obtenu par flexion des bras 22a, 22b de liaison.. Un autre mode de réalisation de microactionneur 2' utilisable dans un microsystème 1, 1' selon l'invention est décrit ultérieurement en liaison avec la figure 6. La description des microsystèmes 1, 1' faite ci- dessous doit être comprise comme pouvant intégrer le microactionneur 2' décrit en liaison avec la figure 6. Le microactionneur selon l'invention peut être fabriqué par exemple à l'aide de technologies classiques de circuit imprirné en PCB ou Kapton. Le microactionneur 2 décrit dans l'invention peut également être réalisé grâce à la technologie MEMS (Micro Electro-Mechanical System). En effet, la réalisation par dépôt de couches successives dans un processus itératif se prête bien à la fabrication de tels objets. Dans ce cas, la membrane 20 ainsi que les bras 22a, 22b pourraient être issus d'une même couche de matériau. Ce matériau devrait alors être sensible aux champs magnétiques pour provoquer le pivotement de la membrane 20 sous l'action d'un champ magnétique. Le contact 21 porté par la membrane 20 peut alors être issu d'une couche inférieure métallique conductrice du courant qui lorsque la membrane 20 est en contact avec les deux électrodes 31, 32 posées sur le substrat 3 assure la liaison électrique entre les deux électrodes. Cependant, dans une autre configuration, les bras 22a, 22b de liaison et une couche inférieure de la membrane 20 peuvent être issus d'une couche métallique. Une couche d'un matériau sensible aux champs magnétiques est déposée sur cette couche métallique pour générer la partie supérieure de la membrane 20. Une telle configuration peut permettre d'optimiser les propriétés mécaniques des bras 22a, 22b en utilisant, pour permettre le pivotement de la membrane 20, un matériau mécaniquement plus adapté que le matériau sensible aux champs magnétiques. De plus la couche métallique peut faire office de contact pour la fermeture d'un circuit électrique. Le matériau sensible aux champs magnétiques est par exemple du type magnétique doux et peut être par exemple un alliage de fer et de nickel ( permalloy Ni8oFe2o). Selon l'invention, il est donc possible de faire pivoter la membrane 20 autour de son axe (P) de pivotement. Ce pivotement est réalisé en soumettant la membrane à un champ magnétique produit par un aimant 4, 4' permanent. La membrane 20 est donc apte à prendre deux positions extrêmes distinctes. Dans une première position extrême (figures 2B et 4B), l'extrémité de la membrane 20 portant le contact 21 n'est pas en appui contre les électrodes 31, 32. Le circuit électrique est donc ouvert. Dans sa seconde position extrême (figures 2C et 4C), l'extrémité de la membrane 20 portant le contact 21 est en appui contre les électrodes 31, 32. Dans cette seconde position, le circuit électrique est fermé. Dans une troisième position (figures 2A et 4A), intermédiaire et située entre ses deux positions extrêmes, dite de repos ou d'équilibre, la membrane 20 est parallèle au substrat 3. Selon l'invention, l'aimant 4, 4' permanent est disposé au-dessus du substrat 3 et présente au repos (figures 1 et 3) une face 40, 40' plane parallèle à la surface 30 du substrat 3 portant le microactionneur 2. L'invention consiste donc à utiliser l'inclinaison des lignes L du champ magnétique généré par un aimant 4, 4' permanent pour produire une aimantation dans la membrane 20 qui va permettre son pivotement autour de son axe (P) de pivotement (voir figures 2A à 2C et 4A à 4C). Ce pivotement est permis grâce au couple magnétique existant entre l'aimantation de la membrane 20 et le champ magnétique créé par l'aimant 4, 4' permanent. Le sens de pivotement de la membrane 20 résulte du positionnement de l'aimant 4, 4' permanent au-dessus de la membrane 20. Selon une première variante de réalisation représentée en figures 1, 2A à 2C, pour faire pivoter la membrane 20 entre ses positions, l'aimant 4 permanent est animé d'un mouvement de translation parallèlement à la surface 30 du substrat 3. Comme représenté en figure 2A, le champ magnétique créé par l'aimant 4 permanent a une influence nulle sur la membrane 20, la membrane 20 est donc dans une position d'équilibre, dite de repos, dans laquelle elle est parallèle à la surface 30 du substrat 3. Comme représenté en figure 2B, l'aimant 4 permanent prend une position au-dessus de la membrane 20 selon laquelle, du fait de l'inclinaison de ses lignes L de champ, le champ magnétique de l'aimant 4 permanent crée une aimantation de la membrane 20 dont la composante BP0 est dirigée le long de la membrane, suivant l'axe (A) perpendiculaire à l'axe (P) de pivotement de la membrane 20, de l'extrémité de la membrane 20 portant le contact 21 à son extrémité sans contact. Le couple magnétique existant entre la membrane 20 et le champ de l'aimant 4 permanent provoque alors le mouvement de la membrane 20 vers sa première position comme représenté en figure 2B. L'aimant 4 permanent est ensuite translaté vers une position dans laquelle le champ magnétique, suivant l'inclinaison de ses lignes L de champ, crée une aimantation de la membrane 20 suivant une composante BPI opposée à la composante BP0 (figure 2C). Cette composante BP1 est donc dirigée selon l'axe (A) de la membrane 20, de son extrémité sans contact vers son extrémité à contact. Le couple magnétique existant alors entre la composante BPI dans la membrane 20 et le champ de l'aimant 4 permanent provoque le pivotement de la membrane 20 de sa première position vers sa seconde position comme représenté en figure 2C. Une fois que la membrane 20 a pivoté dans sa seconde position, le contact 21 porté par la membrane 20 vient relier électriquement les deux électrodes 31, 32 présentes sur le substrat 3. Le circuit électrique est alors fermé. Selon une seconde variante de réalisation de l'invention représentée aux figures 3 et 4A à 4C, un aimant 4' permanent est animé d'un mouvement de rotation, au-dessus du substrat 3 et du microactionneur 2, autour d'un axe (R) parallèle à l'axe (P) de pivotement de la membrane 20. Sur la figure 4A, l'aimant 4' permanent a sa face 40 inférieure parallèle au substrat 3. Dans cette configuration, la membrane 20 est en position stable de repos, le champ magnétique généré par l'aimant 4' permanent ayant une influence nulle sur la membrane 20. Selon la figure 4B, lorsque l'aimant 4' permanent effectue une rotation dans le sens des aiguilles d'une montre (suivant la flèche représentée sur la figure.4B), suivant l'inclinaison de ses lignes L' de champ, le champ magnétique généré par l'aimant 4' permanent crée une composante magnétique BP2 dans la membrane 20, suivant son axe (A), dirigée de l'extrémité sans contact vers l'extrémité à contact de la membrane 20. Le couple magnétique résultant du champ permanent et de cette composante magnétique BP2 impose à la membrane 20 de prendre sa première position dans laquelle le circuit électrique est ouvert. En référence à la figure 4B, lorsque l'aimant 4' permanent effectue une rotation dans le sens inverse des aiguilles d'une montre (suivant le sens de la flèche représentée en figure 4C), l'inclinaison des lignes L' du champ magnétique de l'aimant 4' permanent est utilisée pour créer une nouvelle composante magnétique BP3 opposée à BP2. Le nouveau couple magnétique résultant provoque le pivotement de la membrane 20 de sa première position vers sa seconde position dans laquelle le circuit électrique est fermé. Selon l'invention, la translation ou la rotation de l'aimant 4, 4' permanent peut être obtenue par pression d'un bouton poussoir. Par conséquent, le fonctionnement du microsystème 1, 1' selon l'invention est donc entièrement mécanique et ne nécessite pas l'apport d'une source de courant externe. Dans une autre configuration, la translation ou la rotation de l'aimant 4, 4' permanent peut être réalisée à partir d'une consigne électrique. Selon une variante de réalisation représentée en figure 5, un microsystème 1, 1' selon l'invention est utilisé pour la commande de deux circuits électriques distincts. Selon cette variante, un premier substrat 3a porte les électrodes 31a d'un premier circuit électrique et un second substrat 3b, par exemple disposé au-dessus, parallèlement au premier substrat 3a, porte les électrodes 31b d'un second circuit électrique. Les électrodes 31a, 31b sont disposées symétriquement par rapport à l'axe (A) de la membrane 20 d'un microactionneur selon l'invention. Les deux substrats sont par exemples reliés par des éléments 5 de liaison. Le microactionneur 2 selon l'invention est solidaire d'au moins l'un des substrats 3a, 3b. La membrane 20 pivotante peut donc pivoter entre ses trois positions. Dans sa position d'équilibre (en trait plein sur la figure 5), les deux circuits électriques sont ouverts et la membrane 20 est parallèle aux deux substrats. Dans une première position extrême (en pointillés sur la figure 5), la membrane 20 vient en contact avec la première électrode 31a pour fermer le premier circuit électrique tandis que dans sa seconde position extrême opposée (en pointillés sur la figure 5), la membrane 20 vient en contact avec la seconde électrode 31b pour fermer le second circuit électrique. Selon une variante de réalisation représentée en figure 6, un microactionneur 2' selon l'invention comporte une membrane 20' pivotante autour d'un axe (P') parallèle à l'axe décrit par les points de contact de la membrane 20' avec les électrodes 31, 32. La membrane 20' est reliée à deux plots 23a', 23b' d'ancrage situées de part et d'autre de son axe (A') perpendiculaire à (P') et solidaires du substrat 3, par l'intermédiaire de deux bras 22a', 22b' de liaison. Préférentiellement, l'axe (P') de pivotement de la membrane 20' est décalé par rapport à l'axe médian parallèle ce qui permet de définir sur la membrane 20', de part et d'autre de son axe (P') de pivotement, deux parties distinctes, de volumes différents, une partie portant un contact permettant la fermeture d'un circuit électrique, et une partie sans contact, c'est-à- dire ne portant aucun contact électrique. Sur la figure 6, la partie à contact est par exemple celle de plus grande taille alors que la partie sans contact est celle de plus petite taille. La description réalisée ci- dessus en liaison avec les figures 1 à 5 est valable pour le microactionneur 2' représenté en figure 6 et décrit dans ce paragraphe. La membrane 20' de ce microactionneur 2' pourra donc parfaitement remplacer la membrane 20 du microactionneur 2 représenté aux figures 1 à 5. Selon l'invention, un microsystème peut comporter une pluralité de microactionneurs 2, 2' identiques tels que décrits ci-dessus. Ces microactionneurs 2, 2' sont par exemple organisés en matrice suivant plusieurs lignes parallèles. Ainsi, selon l'influence du champ magnétique de l'aimant 4, 4' permanent, tous les microactionneurs 2, 2' d'une ligne ou de plusieurs lignes peuvent être actionnés simultanément par translation ou rotation de l'aimant 4, 4' permanent. II est bien entendu que l'on peut, sans sortir du cadre de l'invention, imaginer d'autres variantes et perfectionnements de détail et de même envisager l'emploi de moyens équivalents. REVENDICATIONS 1. Microsystème (1, 1') utilisé comme appareil électrique interrupteur et comprenant un substrat (3) supportant au moins un microactionneur (2, 2') magnétique, ledit microactionneur (2, 2') magnétique comportant un élément mobile supporté par ledit substrat (3), et un aimant (4, 4') permanent générant un champ magnétique permanent, ledit microsystème (1, 1') étant caractérisé en ce que ledit aimant (4, 4') permanent est apte à être mis en mouvement, par des moyens d'actionnement, pour piloter par effet magnétique le mouvement de l'élément mobile entre au moins deux positions, chacune des positions pouvant correspondre à l'ouverture ou à la fermeture d'un circuit électrique. 2. Microsystème (1, 1') selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément mobile est apte à prendre trois positions distinctes, deux positions extrêmes forcées prises sous l'action du champ magnétique permanent généré par l'aimant (4, 4') permanent et une position de repos intermédiaire située entre les deux positions extrêmes forcées. 3. Microsystème (1, 1') selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément mobile comporte une membrane (20, 20') montée sur le substrat (3) et apte à pivoter entre ses différentes positions, ladite membrane (20, 20') présentant au moins une couche faite dans un matériau magnétique. 4. Microsystème (1, 1') selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'aimant (4, 4') permanent est apte à être positionné au-dessus de la membrane (20, 20') de manière à ce que l'inclinaison, par rapport au microactionneur, des lignes (L, L') du champ magnétique généré par l'aimant (4, 4') permanent puisse produire une aimantation dans la membrane (20, 20') dont l'orientation provoque le pivotement de la membrane (20, 20') entre l'une et l'autre de ses deux positions extrêmes forcées. 5. Microsystème (1) selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'aimant (4) permanent est apte à effectuer un mouvement de translation au-dessus de la membrane (20, 20'), parallèlement au substrat (3). 6. Microsystème (1') selon la revendication 3, caractérisé en ce que, au-dessus de la membrane (20, 20'), l'aimant (4') permanent est apte à effectuer un mouvement de rotation autour d'un axe. 7. Microsystème (1, 1') selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les moyens d'actionnement sont de type mécanique. 8. Microsystème (1, 1') selon la revendication 6, caractérisé en ce que les 10 moyens d'actionnement sont à commande manuelle. 9. Microsystème (1, 1') selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que les moyens d'actionnement sont de type électromécanique. 10. Microsystème (1, 1') selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce qu'il commande l'ouverture ou la fermeture de deux circuits électriques distincts. 11. Microsystème (1, 1') selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en 20 ce qu'il est fabriqué selon une technologie de type MEMS. 12. Microsystème (1, 1') selon l'une des revendications 1 à 11, caractérisé en en ce que le substrat (3) supporte une pluralité de microactionneurs magnétiques identiques apte à être actionnée simultanément par ledit aimant (4, 4') permanent.