Brevet FR2883858A1 — publié le 20061006

Microsystème à partie mobile bistable La présente invention se rapporte à un microsystème pouvant être utilisé dans un appareil électrique interrupteur pour commuter un circuit électrique entre une position ouverte et une position fermée. Plus précisément, ce microsystème comporte une partie mobile entre deux états stables, portant au moins un contact électrique mobile venant en contact, dans l'un des deux états stables, avec un ou plusieurs contacts fixes pour fermer le circuit électrique. La demande de brevet WO 02/058089 décrit un dispositif présentant une poutre bistable comprimée entre deux points d'ancrage. Dans cette demande de brevet, la déformation de la poutre est réalisée dés la fabrication du dispositif par la technique de photolithographie. Selon cette technique, le motif photoinscrit utilisé pour façonner la poutre est courbe. La poutre est donc libre, par fabrication, de se déplacer entre deux états mécaniquement stables dans un plan parallèle au substrat. L'application d'une force transversale par rapport à la poutre permet de faire passer la poutre d'un état stable à l'autre. Un tel dispositif est repris dans le brevet US 6,743,989 portant sur un micro-relais. Dans ce brevet, deux actionneurs permettent de faire basculer la poutre d'un état mécaniquement stable à l'autre pour ouvrir ou fermer des contacts électriques. Dans ces deux documents WO 02/058089 et US 6,743,989, la poutre est mobile dans un plan parallèle au substrat. Une telle configuration n'est pas optimale pour contrôler l'état de surface des contacts fixes et mobiles. En outre, dans le brevet US 6,743, 989 le procédé de fabrication utilisé permet difficilement de pouvoir utiliser des matériaux de contact différents sur les contacts fixes et sur les contacts mobiles. Pour obtenir un dispositif présentant une poutre mobile entre deux états stables, non plus dans un plan parallèle au substrat mais suivant une droite perpendiculaire au substrat, le brevet US 6,768,412 propose une structure en forme de pont composée de deux couches successives présentant des contraintes internes différentes à une température donnée. Un tel dispositif peut être appliqué à la détection d'un seuil de température. La poutre mobile bascule d'un état stable à l'autre lorsque la température ambiante dépasse un certain seuil ou descend au-dessous de ce seuil. Pour une application relais, Le dispositif décrit dans ce brevet US 6,768, 412 présente l'inconvénient d'être dépendant de la température ambiante. Le but de l'invention est de proposer un microsystème comportant une partie mobile entre deux états stables pouvant rester dans l'un de ses deux états stables sans consommer d'énergie et quelle que soit la température ambiante. Ce but est atteint par un microsystème utilisé dans un appareil électrique interrupteur, comportant: Une partie fixe portant un contact électrique fixe, une partie mobile entre deux états stables, portant un contact électrique mobile venant en contact, dans l'un des deux états stables, avec le contact fixe pour fermer un circuit électrique, caractérisé en ce que, un élément de jonction effectue une jonction entre la partie mobile et la partie fixe et, l'élément de jonction exerce des contraintes mécaniques entre la partie mobile et la partie fixe pour maintenir la partie mobile dans l'un ou l'autre des deux états stables. Selon l'invention, l'avantage d'avoir une structure bistable qui ne soit pas multicouche dans des applications de micro-relais est d'avoir un mécanisme indépendant de la température, contrairement au mécanisme décrit dans le brevet US 6,768,412. Le microsystème de notre invention utilisé comme micro-relais peut donc rester dans un état stable ouvert ou fermé pour des courants de faibles ou de grandes intensités. Selon une première configuration, la partie mobile comporte au moins deux poutres présentant chacune deux extrémités opposées et solidaires entre elles, une première poutre étant reliée directement à la partie fixe par une première extrémité, une deuxième poutre étant reliée par une première extrémité à la partie fixe par l'intermédiaire de l'élément de jonction. Selon une particularité ce cette première configuration, la première poutre et la deuxième poutre sont parallèles entre elles et reliées entre elles par leur deuxième extrémité. Selon un mode de réalisation avantageux de cette première configuration, la partie mobile comporte une troisième poutre présentant deux extrémités opposées, une première extrémité étant reliée à la partie fixe par l'intermédiaire d'un élément de jonction et une deuxième extrémité étant reliée à la deuxième extrémité de la première poutre. Selon une autre particularité de cette première configuration, l'élément de jonction exerce des contraintes mécaniques de compression ou de traction sur la partie mobile. Selon une deuxième configuration, la partie mobile comporte une poutre présentant deux extrémités, une première extrémité de la poutre étant reliée directement à la partie fixe et l'élément de jonction effectuant la jonction entre une seconde extrémité de la poutre et la partie fixe. Selon une variante de réalisation de cette deuxième configuration, la partie mobile comporte une poutre présentant deux extrémités, chaque extrémité de la 15 poutre étant jointe à la partie fixe par un élément de jonction distinct. Selon une troisième configuration, la partie mobile est constituée d'une membrane présentant un pourtour, l'élément de jonction effectuant la jonction entre le pourtour de la membrane et la partie fixe. Selon une particularité de la deuxième et de la troisième configurations, 20 l'élément de jonction exerce des contraintes mécaniques de compression sur la partie mobile. Ce but est également atteint par un microsystème utilisé dans un appareil électrique interrupteur, comportant: Une partie fixe portant un contact électrique fixe, une partie mobile entre deux états stables, portant un contact électrique mobile venant en contact, dans l'un des deux états stables, avec le contact fixe pour fermer un circuit électrique, caractérisé en ce que, la partie mobile comporte au moins deux portions jointes entre elles par un élément de jonction, l'élément de jonction exerce des contraintes mécaniques sur les deux portions de la partie mobile pour la maintenir dans l'un ou l'autre de ses deux états stables. Selon une première configuration, la partie mobile comporte au moins deux poutres présentant chacune deux extrémités opposées, solidaires entre elles à l'une de leurs extrémités et de la partie fixe à l'autre de leurs extrémités, l'élément de jonction effectuant la jonction entre deux portions de l'une des poutres. Selon une particularité de cette première configuration, l'élément de jonction exerce des contraintes mécaniques de compression ou de traction sur la partie mobile. Selon une deuxième configuration la partie mobile présente deux extrémités reliées toutes deux à la partie fixe. Selon une troisième configuration, la partie mobile est une membrane présentant un pourtour, reliée directement par ce pourtour à la partie fixe. Selon l'invention, l'élément de jonction est dans un matériau présentant des contraintes résiduelles à température ambiante. Selon l'invention, la partie mobile se déplace entre ses deux états stables suivant une direction perpendiculaire à un substrat constituant la partie fixe. L'avantage d'avoir une structure qui se déplace perpendiculairement au substrat pour des applications de type microrelais est de permettre un très bon contrôle de l'état de surface et de la nature des contacts contrairement au relais décrit dans le brevet US 6, 743,989. En effet, les contacts fixes et mobiles de notre invention sont parallèles au substrat. Leur état de surface dépend de l'état de surface du substrat et de la granulosité des matériaux déposés. De plus, il est plus facile dans notre cas de déposer des matériaux différents sur les contacts fixes et mobiles (matériau dur et matériau mou par exemple). Ces avantages conditionnent d'autant plus les performances du micro-relais qu'on augmente la puissance le traversant. Selon l'invention, la partie mobile porte au moins une couche faite dans un matériau magnétique. Ainsi l'actionnement de la partie mobile entre ses deux états stables pourra être réalisé par effet magnétique. Selon l'invention, le microsystème comporte des moyens d'actionnement de la partie mobile de type électrostatique, thermique, piézoélectrique ou magnétique. Le microsystème selon l'invention peut être utilisé pour des applications de micro-relais, micro-interrupteur ou micro-commutateur. D'autres caractéristiques et avantages vont apparaître dans la description détaillée qui suit en se référant à un mode de réalisation donné à titre d'exemple et représenté par les dessins annexés sur lesquels: La figure 1 illustre en vue de dessus une première configuration du microsystème selon l'invention. La figure 2 représente, en vue de côté, la première configuration du microsystème selon l'invention. La figure 3 représente en perspective la déformation subie par la partie mobile du microsystème dans sa première configuration. Les figures 4A et 4B représentent, en vue de dessus, deux variantes de réalisation d'une deuxième configuration du microsystème selon l'invention. La figure 5 illustre, en vue de dessus, une troisième configuration du microsystème selon l'invention. La figure 6 illustre, en coupe, la deuxième ou la troisième configuration du microsystème selon l'invention. Les figures 7A et 7B illustrent deux variantes de réalisation respectivement de la première configuration et de la deuxième configuration du microsystème selon l'invention. Les figures 8A à 8E représentent en coupe selon A-A sur la figure 1 et de manière simplifiée, les étapes successives d'un procédé de fabrication d'un microsystème selon l'invention. De manière connue, un microsystème peut être utilisé comme appareil électrique interrupteur pour commuter un circuit électrique entre deux positions. Ce microsystème est monté sur un substrat 2 et comporte typiquement une partie mobile 1, 10, 100 portant un contact électrique 6 mobile. Cette partie mobile 1, 10, 100 est fixée à un ou plusieurs plots d'ancrage 4, 40, 41, 400 solidaires du substrat 2. Le substrat 2 porte par exemple deux contacts électriques fixes 21, 22 destinées à être reliées électriquement par le contact mobile 6 afin d'obtenir la fermeture d'un circuit électrique. Pour cela, la partie mobile 1 est apte à prendre deux états stables alignés suivant une droite perpendiculaire au substrat 2. Selon l'invention, la partie mobile 1, 10, 100 est maintenue dans chacun de ses états stables uniquement par effet mécanique. Aucun moyen particulier, par exemple de type magnétique, n'est nécessaire pour la maintenir dans chacun de ses états stables. Le passage de la partie mobile 1, 10, 100 d'un état stable à l'autre peut être réalisé à l'aide de moyens d'actionnement de différents types. Ces moyens d'actionnement doivent pouvoir générer une force suffisante pour dépasser le point d'équilibre de la partie mobile 1, 10, 100. Lorsque ce point d'équilibre est dépassé la partie mobile passe d'un état stable à l'autre. La partie mobile 1, 10, 100 peut comporter par exemple une couche en matériau ferromagnétique (non représentée) pouvant se magnétiser sous l'influence d'un champ magnétique externe. Le sens de la force magnétique résultante présente dans la partie mobile entraîne celle- ci vers l'un ou l'autre de ses deux états stables. La magnétisation de la partie mobile pourra être obtenue en déplaçant un aimant permanent au- dessus de la partie mobile ou à l'aide d'un électroaimant créant un champ magnétique de direction appropriée. La figure 2 montre la présence d'un aimant permanent 5 au-dessus de la partie mobile 1 générant un champ magnétique dont les lignes de champ L induisent une magnétisation de la partie mobile 1 de sorte que celle-ci est forcée à passer d'un état stable (en trait plein) à son autre état stable (en pointillés). Des moyens d'actionnement de la partie mobile de type électrostatique, thermique ou piézoélectrique peuvent également être utilisés. Selon l'invention, plusieurs configurations de microsystème sont évoquées ci- dessous. Les formes présentées ci-dessous ne sont nullement limitatives et il est bien entendu que d'autres configurations permettant d'obtenir le même résultat pourraient être envisagées. Le principe de l'invention consiste à employer un élément de jonction 3a, 3b, 3', 30a, 30b, 30', 300 exerçant des contraintes à température ambiante dans la partie mobile 1, 10, 100 du microsystème. Selon l'invention, les contraintes générées par l'élément de jonction 3a, 3b, 3', 30a, 30b, 30', 300 s'exercent en permanence et quelle que soit la température extérieure ce qui confère une bistabilité permanente et irréversible au microsystème selon l'invention. Ces contraintes résiduelles peuvent être obtenues lors de la fabrication du microsystème. Dans une première configuration représentée en figure 1, la partie mobile 1 a la forme d'un levier apte à pivoter par rapport au substrat suivant un axe (R) parallèle à l'axe décrit par les points de contact de la partie mobile 1 avec les contacts fixes 21, 22 portés par le substrat 2. La partie mobile 1 comporte trois poutres 11, 12, 13 parallèles dont les axes sont perpendiculaires à l'axe de rotation (R) de la partie mobile 1, une poutre centrale 12 et deux poutres externes 11, 13 situées de part et d'autre de la poutre centrale 12. Ces trois poutres 11, 12, 13 présentent chacune deux extrémités, et sont reliées entre elles à une de leurs extrémités par une poutre 14 d'axe parallèle à l'axe de rotation (R) de la partie mobile 1. A son extrémité opposée, la poutre centrale 13 est reliée directement au plot d'ancrage 20. A l'extrémité opposée de chacune des poutres externes 11, 13, un élément de jonction 3a, 3b effectue la jonction entre la poutre 11, 13 et le plot d'ancrage 4. Dans cette première configuration, chaque élément de jonction 3a, 3b exerce en permanence des contraintes mécaniques de compression ou de traction entre chacune des poutres externes 11, 13 et le plot d'ancrage 4. Ainsi comme représenté en figure 3, chaque élément de jonction 3a, 3b exerçant des contraintes mécaniques de compression sur les poutres externes 11, 13, celles-ci sont de longueur supérieure à celle de la poutre centrale 12. Pour compenser la différence de longueur entre la poutre centrale 12 et les poutres externes 11, 13, la partie mobile 1 se déforme (voir figure 3) et prend une forme courbe dans chacun de ses états stables. Dans un premier état stable (en trait plein sur la figure 2), la partie mobile 1 vient fermer un circuit électrique. Si une force transversale d'intensité suffisante permet de la faire passer au-delà de son point d'équilibre, la partie mobile pivote vers son deuxième état stable (en pointillés sur la figure 2) entraînant l'ouverture du circuit électrique. Une variante évidente de cette première configuration consisterait à relier directement les poutres externes 11, 13 au plot d'ancrage 4 et à effectuer la jonction de la poutre centrale 12 avec le plot d'ancrage 4 par un élément de jonction 3a, 3b en matériau contraint. Une autre variante est présentée en figure 7B et sera décrite ultérieurement. Selon une deuxième configuration du microsystème selon l'invention, représentée en figures 4A et 4B, la partie mobile 10 a la forme d'une poutre fixée à ses deux extrémités de manière à former un pont bistable. Dans cette deuxième configuration, en référence à la figure 4A, la poutre est reliée directement à l'une de ses extrémités à un plot d'ancrage 41 et à son autre extrémité, un élément de jonction 30a identique à celui décrit ci-dessus effectue la jonction entre la poutre et un second plot d'ancrage 40. Selon une variante représentée en figure 4B, un élément de jonction distinct 30a, 30b peut effectuer la jonction entre chaque extrémité de la poutre et un plot d'ancrage 40, 41 du substrat 2. Dans cette deuxième configuration, le ou les éléments de jonction 30a, 30b exercent des contraintes de compression entre la poutre et le ou les plots d'ancrage 40, 41. Ces contraintes de compression forcent la poutre à se déformer et à prendre l'un ou l'autre de ses deux états stables. Comme représenté en figure 6, la poutre porte par exemple un contact mobile 60 central destiné à venir relier électriquement les contacts fixes 21, 22 portés par le substrat 2 lorsqu'elle est dans sa position basse (en trait plein sur la figure 6). L'application d'une force transversale d'intensité suffisante pour faire passer la poutre au-delà de son point d'équilibre, entraîne le retournement de la poutre qui change d'état stable pour passer dans sa position haute (en pointillés sur la figure 6), provoquant l'ouverture du circuit électrique. Selon une troisième configuration représentée en figure 5, la partie mobile 100 a la forme d'une membrane, par exemple circulaire. Un élément de jonction 300 en forme d'anneau entourant la membrane effectue la jonction entre la membrane et un plot d'ancrage 400 lui-même circulaire. Dans cette troisième configuration, comme précédemment, l'élément de jonction 300 exerce des contraintes de compression entre le plot d'ancrage 400 et la membrane. Ainsi la membrane prend deux états stables en se bombant en direction du substrat 2 ou dans une direction opposée à celui-ci. La membrane porte par exemple en son centre un contact électrique 600 mobile destiné à venir relier électriquement les contacts fixes 21, 22 portés par le substrat 2. Dans un premier état stable (en trait plein sur la figure 6), la membrane est bombée en direction du substrat 2 et vient fermer le circuit électrique. En exerçant une force d'intensité suffisante pour faire passer la membrane au-delà de son point d'équilibre, la membrane se retourne vers son deuxième état stable, provoquant l'ouverture du circuit électrique. La coupe représentée en figure 6 est similaire pour la deuxième configuration et la troisième configuration. Les références se rapportant à ces deux configurations sont donc indiquées sur cette figure. Selon l'invention, il est bien entendu que le ou les éléments de jonction 3a, 3b, 30a, 30b, 300 peuvent prendre des positions différentes dans les parties mobiles et peuvent réaliser la jonction non plus entre un plot d'ancrage 4, 40, 41, 400 et la partie mobile 1, 10, 100 mais entre deux portions espacées de la partie mobile 1, 10, 100. En référence à la figure 7A, dans le cas où la partie mobile 10 est une poutre fixée à ses deux extrémités, un élément de jonction 30' peut être placée à n'importe quel endroit de la poutre, par exemple au milieu de celle-ci, et relier non plus la poutre au plot d'ancrage 40, 41 mais deux portions de la poutre. Comme précédemment, dans une telle situation, l'élément de jonction 30' exerce des contraintes de compression sur les deux portions de la poutre, entraînant sa déformation. De même dans la première configuration, en référence à la figure 7B, on peut imaginer utiliser un ou plusieurs éléments de jonction 3' reliant deux portions de la poutre centrale 12 (voir figure 7B) ou des poutres externes 11, 13. Comme dans la première configuration, l'élément de jonction 3' peut alors exercer des contraintes de traction ou de compression sur les deux portions de la partie mobile 1. Selon l'invention, afin d'obtenir une déformation cohérente et symétrique de la partie mobile 1, 10, 100, il s'avère nécessaire de respecter une symétrie dans la disposition des éléments de jonction 3a, 3b, 3', 30a, 30b, 30', 300 dans la partie mobile. En référence aux figures 8A à 8E, un procédé de fabrication d'un microsystème selon la première configuration se déroule de la manière suivante: Dans une première étape (figure 8A), on dépose sur un substrat 2 une couche sacrificielle CS. Dans une deuxième étape (figure 8B), on effectue une gravure d'une partie de la couche sacrificielle CS par exemple par un procédé de photolithographie suivi d'un micro-usinage. Cette gravure consiste à creuser un puits traversant la couche sacrificielle CS pour réaliser l'ancrage. Dans une troisième étape (figure 8C), on dépose une couche d'un premier matériau que l'on grave, par exemple par photolithographie/micro-usinage de manière à former dans le puits un plot d'ancrage 4 et une couche espacée du plot d'ancrage formant la partie mobile 1. Dans une quatrième étape (figure 8D), on dépose une couche d'un second matériau et on grave cette couche, par exemple par photolithographie/micro-usinage, de manière à remplir l'espace existant entre la partie mobile 1 et le plot d'ancrage 4. On crée ainsi l'élément de jonction 3b entre la partie mobile 1 et le plot d'ancrage 4. Dans une cinquième étape (figure 8E), on élimine la couche sacrificielle CS afin d'obtenir le produit final. Selon l'invention, le second matériau constituant l'élément de jonction 3a, 3b, 3', 30a, 30b, 300, 30' introduisant les contraintes dans la partie mobile 1, 10, 100 peut par exemple: Soit présenter des contraintes thermiques résiduelles. Dans ce cas la déformation de la partie mobile 1 apparaît durant l'élimination de la couche CS sacrificielle. Par exemple, il pourrait s'agir de déposer un premier matériau métallique à une certaine température basse et de déposer un second matériau métallique à une température plus élevée. Une fois à température ambiante, le second matériau déposé à température élevée présente des contraintes résiduelles. Soit être contraint par une étape spécifique du processus de fabrication. Si le second matériau est sensible à la chaleur ou photosensible (comme par exemple des matériaux polymères ou des colles époxy), un recuit ou une illumination UV peut permettre de transformer le second matériau de manière à créer sur le premier matériau des contraintes de traction ou de compression. II est bien entendu que l'on peut, sans sortir du cadre de l'invention, imaginer d'autres variantes et perfectionnements de détail et de même envisager l'emploi de moyens équivalents. 11 REVENDICATIONS 1. Microsystème utilisé dans un appareil électrique interrupteur, comportant: Une partie fixe (2, 4, 40, 41, 400) portant un contact électrique fixe (21, 22), une partie mobile (1, 10, 100) entre deux états stables, portant un contact électrique mobile (6, 60, 600) venant en contact, dans l'un des deux états stables, avec le contact fixe (21, 22) pour fermer un circuit électrique, caractérisé en ce que, un élément de jonction (3a, 3b, 30a, 30b, 300) effectue une jonction entre la partie mobile (1, 10, 100) et la partie fixe (2, 4, 40, 41, 400) et, l'élément de jonction (3a, 3b, 30a, 30b, 300) exerce des contraintes mécaniques entre la partie mobile (1, 10, 100) et la partie fixe pour maintenir la partie mobile dans l'un ou l'autre des deux états stables. 2. Microsystème selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie mobile (1) comporte au moins deux poutres (11, 12, 13) présentant chacune deux extrémités opposées et solidaires entre elles, une première poutre (12) étant reliée directement à la partie fixe (4) par une première extrémité, une deuxième poutre (11, 13) étant reliée par une première extrémité à la partie fixe (4) par l'intermédiaire de l'élément de jonction (3a, 3b). 3. Microsystème selon la revendication 2, caractérisé en ce que la première poutre (12) et la deuxième poutre (11, 13) sont parallèles entre elles et reliées entre elles par leur deuxième extrémité. 4. Microsystème selon la revendication 3, caractérisé en ce que la partie mobile (1, 10, 100) comporte une troisième poutre (13) présentant deux extrémités opposées, une première extrémité étant reliée à la partie fixe (4) par l'intermédiaire d'un élément de jonction (3b) et une deuxième extrémité étant reliée à la deuxième extrémité de la première poutre (12). 5. Microsystème selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que l'élément de jonction (3a, 3b) exerce des contraintes mécaniques de compression ou de traction sur la partie mobile (1). 6. Microsystème selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie mobile (10) comporte une poutre présentant deux extrémités, une première extrémité de la poutre étant reliée directement à la partie fixe (41) et l'élément de jonction (30a) effectuant la jonction entre une seconde extrémité de la poutre et la partie fixe (40). 7. Microsystème selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie mobile (10) comporte une poutre présentant deux extrémités, chaque extrémité de la poutre étant jointe à la partie fixe (40, 41) par un élément de jonction (30a, 30b) distinct. 8. Microsystème selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie mobile (100) est constituée d'une membrane présentant un pourtour, l'élément de jonction (300) effectuant la jonction entre le pourtour de la membrane et la partie fixe (400). 9. Microsystème selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que l'élément de jonction (30a, 30b, 300) exerce des contraintes mécaniques de compression sur la partie mobile (10, 100). 10. Microsystème utilisé dans un appareil électrique interrupteur, comportant: Une partie fixe (2, 4, 40, 41, 400) portant un contact électrique fixe (21, 22), une partie mobile (1, 10, 100) entre deux états stables, portant un contact électrique mobile (6, 60, 600) venant en contact, dans l'un des deux états stables, avec le contact fixe (21, 22) pour fermer un circuit électrique, caractérisé en ce que, la partie mobile (1, 10, 100) comporte au moins deux portions jointes entre elles par un élément de jonction (3', 30'), l'élément de jonction (3', 30') exerce des contraintes mécaniques sur les deux portions de la partie mobile (1, 10, 100) pour la maintenir dans l'un ou l'autre de ses deux états stables. 11. Microsystème selon la revendication 10, caractérisé en ce que la partie mobile (1) comporte au moins deux poutres (11, 12, 13) présentant chacune deux extrémités opposées, solidaires entre elles à l'une de leurs extrémités et de la partie fixe (2, 4) à l'autre de leurs extrémités, l'élément de jonction (3') effectuant la jonction entre deux portions de l'une des poutres (11, 12, 13). 12. Microsystème selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'élément de jonction (3') exerce des contraintes mécaniques de compression ou de traction sur la partie mobile (1). 13. Microsystème selon la revendication 10, caractérisé en ce que la partie mobile (10) présente deux extrémités reliées toutes deux à la partie fixe (40, 41). 14. Microsystème selon la revendication 10, caractérisé en ce que la partie mobile (100) est une membrane présentant un pourtour, reliée directement par ce pourtour à la partie fixe. 15. Microsystème selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que l'élément de jonction (3a, 3b, 3', 30a, 30b, 300, 30') est dans un matériau présentant des contraintes résiduelles à température ambiante. 16. Microsystème selon l'une des revendications 1 à 15, caractérisé en ce que la partie mobile (1, 10, 100) se déplace entre ses deux états stables suivant une direction perpendiculaire à un substrat (2) constituant la partie fixe. 17. Microsystème selon l'une des revendications 1 à 16, caractérisé en ce que la partie mobile (1, 10, 100) porte au moins une couche faite dans un matériau magnétique. 18. Microsystème selon l'une des revendications 1 à 17, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens d'actionnement de la partie mobile de type électrostatique, thermique, piézoélectrique ou magnétique.