Brevet FR2879749A1 — publié le 20060623

Domaine de l'invention La présente invention concerne un capteur micromécanique de vitesse de rotation comprenant: une masse sismique, - des moyens d'entraînement produisant une oscillation d'entraînement de la masse sismique dans une première direction, des moyens de mesure mesurant un débattement de la masse sismique dans une seconde direction et générant un signal de débatte-ment, le débattement se composant d'un débattement de mesure lié à la force de Coriolis et d'un débattement perturbateur, déphasé pratiquement de 90 par rapport au débattement de mesure, des moyens de compensation agissant sur la masse sismique pour réduire le débattement perturbateur. Etat de la technique On connaît de façon générale des gyroscopes de vibrations à oscillations linéaires. Ces capteurs de vitesses de rotation ont des parties de la structure de capteur que l'on fait osciller dans une di-rection (oscillation primaire), c'est-à-dire selon un premier axe (axe x). Pour une vitesse de rotation extérieure autour d'un axe sensible, accentué, les forces de Coriolis s'exercent sur les parties en oscillation. Ces forces de Coriolis (périodicité variable avec la fréquence de l'oscillation primaire) produisent des oscillations sur les parties de la structure de capteur (oscillations secondaires) dans une seconde direction ou second axe (axe y) perpendiculaire à l'axe x. La structure de capteur comporte des moyens de détection qui détectent les oscillations secondaires (effet de mesure de Coriolis). Dans la conception des capteurs de vitesse de rotation, on prédéfinit par le choix de symétries appropriées, un système parfait de coordonnées cartésiennes K=(x,y) pour l'oscillation primaire et l'oscillation secondaire dans le plan du substrat. La répartition des masses et des ressorts est conçue pour que les axes principaux du système des capteurs de masse et de rigidité des ressorts pour les oscillations primaires et secondaires coïncident exactement avec le système K. En outre, dans la réalisation des moyens de détection on veille à ce que le fonctionnement des capteurs n'engendre pas de signaux dans l'oscillation primaire (sans vitesse de rotation externe) au niveau des moyens de détection de l'effet Coriolis. Pour cela, les moyens de détection sont conçus pour que leur système de coordonnées parfait KID, corresponde également au système de coordonnées de la mécanique K, c'est-à-dire que l'on a également KD=(x,y). Pour de tels capteurs de vitesse de rotation, idéaux, il n'y a pas de surcouplage de l'oscillation primaire dans le moyen de détec- to tion de l'effet de Coriolis. Un tel surcouplage qui se produit dans les capteurs de vitesse de rotation réels est appelé quadrature. Les signaux en quadrature sont des signaux des moyens de détection de l'effet de Coriolis qui existent sans qu'il n'y ait de mouvement relatif du capteur par rapport à un système inertiel extérieur, le capteur fonctionnant avec son oscillation primaire. La quadrature conduit à des signaux modulés périodiquement par la fréquence de l'oscillation primaire au niveau des moyens de détection de l'effet de Coriolis. La cause de l'arrivée des signaux en quadrature est que le système de coordonnées de la mécani- que des éléments de capteur K(x,y) ne coïncide pas avec le système de coordonnées des moyens de détection KD=(x',y'), mais les deux systèmes sont tournés légèrement l'un par rapport à l'autre d'un certain angle. Les causes caractéristiques de cette rotation en général faible sont l'absence de symétrie de la structure de capteur liée aux imperfections du procédé de fabrication. Ces défauts peuvent se traduire par des distributions asymétriques des masses ou aussi des rigidités de ressort asymétriques. En conséquence, les systèmes des axes principaux des capteurs de masse et de rigidité de ressort ne coïncident plus toujours avec le système KD. Les signaux perturbateurs en quadrature dans les capteurs de vitesse de rotation, liés aux imperfections du procédé de fabrication sont des signaux connus et se rencontrent dans des capteurs de vitesse de rotation travaillant selon des techniques très différentes. Se- lon l'état de la technique, on connaît des procédés très divers pour réduire ces signaux perturbateurs. Un premier procédé selon l'état de la technique pour éliminer les signaux en quadrature utilise la différence de phase des si- gnaux de vitesse de rotation et les signaux en quadrature. La force de Coriolis est proportionnelle à la vitesse de l'oscillation primaire alors que le signal en quadrature est proportionnel au débattement de l'oscillation primaire. Il y a ainsi un déphasage pratiquement de 90 entre le signal de vitesse de rotation et le signal en quadrature. Au ni- to veau des moyens de détection on détecte les signaux en quadrature et les signaux de vitesse de rotation comme signaux modulés en amplitude par la fréquence de l'oscillation primaire. Ce procédé de démodulation synchrone ou d'amplification sensible en phase comme décrit par exemple dans les documents DE 197 26 006 ou US 5672949 permet tout d'abord de redémoduler les signaux dans la bande de base. En plus, par un choix approprié de la phase du signal de référence pour la démodulation on peut éliminer le signal en quadrature. Selon ce procédé le signal en quadrature n'est pas influencé directement dans l'élément de capteur. En outre, il faut que le signal en quadrature tra- verse également le chemin de conversion primaire du signal au niveau des moyens de détection si bien que sa suppression électronique ne se fera que relativement tard dans le chemin suivi par le signal. Dans le cas de signaux en quadrature relativement importants par comparaison à la plage de mesure des vitesses de rotation, cela signifie une accen- tuation très importante des contraintes relatives à la plage dynamique des premiers niveaux de conversion du signal, et cela se traduit fréquemment par une augmentation des bruits dans le capteur. Un autre procédé selon l'état de la technique pour réduire les signaux en quadrature est l'équilibrage physique des structures mécaniques des capteurs. Contrairement au premier procédé, par le traitement en aval des éléments de capteur on élimine directement la cause de la quadrature de sorte que l'on ne rencontre pas de signaux en quadrature au niveau de tels moyens de détection. Selon un autre procédé connu de façon générale par l'état de la technique, on réalise une compensation électronique en quadra- ture dans les capteurs capacitifs micromécaniques de vitesse de rotation. Dans ce cas on élimine le signal en quadrature en injectant de manière précise un signal électrique dans le convertisseur électronique au niveau des moyens de détection de l'effet de Coriolis. On choisit dans ce cas l'amplitude du signal pour compenser exactement le signal géné- ré en quadrature au niveau des moyens de détection. Le document US 6067858 décrit un autre procédé selon l'état de la technique pour la compensation électronique de la quadrature dans les capteurs capacitifs micromécaniques de vitesse de rota- tion. On applique des potentiels électriques différents entre les doigts mobiles de peigne et les électrodes fixes. Le document DE 10237411 Al décrit comment réduire ou éviter les signaux en quadrature en fonction de l'action précise de forces variant périodiquement dans le temps. Pour cela, grâce à des structures d'électrodes installées sur des parties appropriées de la structure de capteur (structure de compensation) et en appliquant de manière précise des tensions continues, extérieures, on exerce des for-ces électrostatiques variables (dynamiques) sur la structure de capteur. Exposé et avantages de l'invention La présente invention concerne une structure micromécanique de capteur du type défini ci-dessus, caractérisé par des moyens de régulation recevant le signal de débattement comme grandeur d'entrée, démodulant un signal de débattement perturbateur du signal de dé-25 battement, et générant un signal de compensation du signal de débattement perturbateur pour l'appliquer aux moyens de compensation. De façon avantageuse, la régulation selon l'invention génère un signal de compensation qui réduit le débattement perturbateur à l'endroit où il est engendré, à savoir au niveau de la masse sismique à l'aide des moyens de compensation. Cela pei met de diminuer la composante de débattement perturbateur au niveau de l'ensemble du débattement par rapport au débattement de la masse. En conséquence, cela permet de réduire les exigences concernant l'exploitation du signal de débattement pour obtenir la valeur de mesure. En particulier, cela per- met de réduire les exigences relatives à la démodulation synchrone de la valeur de mesure. Il est en outre avantageux que la régulation per mette de compenser également des variations dans le temps du signal perturba- teur, par exemple des variations liées à la dérive ou au vieillissement du capteur. Les signaux perturbateurs liés au vieillissement et à la température ou occasionnés par l'injection de contrainte sont éliminés par le circuit de régulation. Il est avantageux de prévoir des moyens de régulation permettant de réguler le débattement perturbateur vers zéro. Un développement avantageux prévoit des moyens de régulation comportant un élément d'intégration. Un régulateur intégral élimine de façon idéale les signaux perturbateurs. Un autre développement avantageux prévoit un capteur de vitesse de rotation comportant une commande générant un signal de compensation supplémentaire à partir d'une information d'équilibrage. Une telle combinaison de la régulation et d'une commande réunit les avantages de la combinaison à une variation du signal perturbateur en fonction du temps de parcours ou de la durée de vie du capteur à compensation fixe pour la fabrication. Grâce à la compensation supplémentaire, on peut réduire la plage d'accrochage à prévoir pour la régulation et en revanche augmenter la résolution de la régulation. On choisit la résolution pour que le bruit de sortie du capteur d'une régu- Iation numérique ne soit pas augmenté de manière significative par les effets de quantification du circuit de régulation. D'autre part, la plage d'accrochage combinée de la régulation avec la commande peut être réalisée de manière très importante. Un développement particulièrement avantageux prévoit des moyens de régulation pour pouvoir régler la plage d'accrochage de la régulation en fonction de la valeur d'équilibrage. Avantageusement dans ce cas on adapte la plage d'accrochage du circuit de régulation au point de fonctionnement. La plage d'accrochage du circuit de régulation est ainsi indépendante du point de fonctionnement réglé par la compen- sation. Il est en outre avantageux de réduire les conditions relatives à l'amplitude du signal perturbateur maximum de l'élément de capteur mécanique car ce signal perturbateur peut être compensé simplement à l'aide de la régulation selon l'invention en utilisant une plage d'accrochage sélectionnée de manière appropriée. Cela diminue les conditions relatives à la précision et ainsi le coût de fabrication de l'élément de capteur mécanique. Enfin, les conditions relatives à la plage de commande de l'électronique d'exploitation du capteur sont réduites car le circuit de Io régulation élimine le débattement perturbateur dans l'élément de capteur et le débattement à exploiter ne contient ainsi en grande partie que le débattement de mesure. Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide d'exemples de réalisation représentés dans les dessins annexés dans lesquels: la figure 1 montre schématiquement la partie micromécanique fonctionnelle d'un capteur de vitesse de rotation selon l'état de la technique, la figure 2 montre schématiquement un circuit d'exploitation d'un capteur de vitesse de rotation selon l'état de la technique, la figure 3 montre schématiquement un circuit d'exploitation d'un capteur de vitesse de rotation selon l'état de la technique avec compensation du débattement perturbateur, la figure 4 montre schématiquement un circuit d'exploitation selon l'invention d'un capteur de vitesse de rotation, la figure 5 montre schématiquement un autre circuit d'exploitation selon l'invention d'un capteur de vitesse de rotation, et la figure 6 montre la relation fonctionnelle entre le signal de compen- sation et la plage d'accrochage du capteur de vitesse de rotation de la figure 5 selon l'invention. Description de modes de réalisation La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide de modes de réalisation. La figure 1 montre schématiquement la partie micromécanique fonctionnelle d'un capteur de vitesse de rotation selon l'état de la technique. La figure montre une masse sismique 100 accrochée à un substrat 160 par des éléments de ressort 150. Les éléments de ressort 150 sont accrochés à la masse sismique 100 pour que la masse sismique 100 puisse exécuter une oscillation d'entraînement dans une première direction x et un débattement dans une seconde direction y perpendiculaire à la précédente. Pour l'entraînement de la masse sismique 100 dans la première direction x on a des moyens d'entraînement 110. Ces moyens d'entraînement 110 peuvent être par exemple des moyens capacitifs. C'est pourquoi ils sont simplement représentés par des condensateurs. Les moyens d'entraînement 110 reçoivent un signal d'entraînement 105. En outre, la masse sismique 100 est équipée de moyens d'entraînement 115 qui mesurent le débattement de la masse sismique 100 dans la première direction x et génère à partir de là un signal d'oscillation d'entraînement 117. Les moyens de mesure d'entraînement 115 de cet exemple de réalisation sont également des moyens capacitifs et ils sont représentés schématiquement dans la figure sous la forme d'une structure de condensateur. La masse sismique 100 est en outre équipée de moyens de mesure 120 pour mesurer le dé-battement dans la deuxième direction y. Dans le cas de gyromètres vibrants pour détenniner une vitesse de rotation extérieure on utilise l'effet de Coriolis. La force de Coriolis Fc = 2mvx.Q proportionnelle à la vitesse qui en résulte agit dans la seconde direction (y) si bien que v est dirigé dans la direction x du fait de l'oscillation d'entraînement et le vecteur de la vitesse de rotation ou la vitesse de rotation S2 est perpendiculaire au plan (x,y) en étant dirigé dans la direction z. La force de Coriolis Fc produit ainsi un débattement de mesure de la masse sismique 100 dans la direction y. Les imperfections de l'élément de capteur mi- cromécanique génèrent en outre un débattement perturbateur proportionnel à la course, à savoir la quadrature, pour la fréquence de résonance de l'oscillation d'entraînement. Ce débattement perturbateur de la masse sismique 100 est engendré par une force Fg et est déphasé de 90 par rapport au débattement de mesure du fait de la force de Co- riolis Fc proportionnelle à la vitesse. L'ensemble du débattement dans la seconde direction (y) est une combinaison du débattement de mesure et du débattement perturbateur. Ce débattement se mesure par les moyens de mesure 120 et se transfoinie en un signal de débattement 125. Les moyens de mesure 120 ont également une structure capacitive et ils sont représentés symboliquement dans la figure par une structure de condensateur. La quadrature ou le débattement perturbateur peut avoir des directions différentes. L'élément décisif est la composante dans la deuxième direction (y) car les moyens de détection exploitent les débattements précisément dans cette direction. Pour éliminer les dé- battements perturbateurs comme cela est décrit dans le document DE 10237411 Al, on a des moyens de compensation 130 agissant sur la masse sismique 100. Les moyens de compensation 130 ont égale-ment ici une structure capacitive et ils ne sont représentés que schématiquement à la figure sous la forme de condensateurs. La figure 2 montre schématiquement un circuit d'exploitation d'un capteur de vitesse de rotation selon l'état de la technique. Le débattement de la masse sismique 100 dans la seconde direction (y) est capté par les moyens de mesure 120 qui en déduisent un signal de débattement 125. Le signal de débattement 125 représente l'ensemble du débattement, c'est-à-dire les composantes du débatte-ment de mesure engendrées par l'effet d'une force de Coriolis Fc et les composantes du débattement perturbateur provenant de la quadrature Fg. Le débattement de mesure résultant de la force de Corio- lis Fc = 2mvx.Q est un signal dont la fréquence est celle de l'oscillation d'entraînement. Ce signal est proportionnel à la vitesse de la masse sismique 100 dans la première direction (x), c'est-à-dire dans la direction d'entraînement. Le débattement de mesure est également déphasé de 90 par rapport au débattement de l'oscillation d'entraînement. Les imperfections de l'élément de capteur micromécanique engendrent en outre un signal perturbateur dont la fréquence est égale à celle de l'oscillation d'entraînement, à savoir la quadrature. Le débattement perturbateur provoqué par la quadrature est proportionnel au débatte-ment d'entraînement, c'est-à-dire à la course de la masse sismique 100 parcourue dans la première direction (x) sous l'effet de la position de l'agent oscillant. Le débattement perturbateur est ainsi déphasé de 90 en phase, c'est-à-dire qu'il est décalé de 180 par rapport au débatte- ment de l'oscillation d'entraînement. Le signal de débattement analogique 125 de cet exemple de réalisation est converti dans un circuit d'entrée 200 à l'aide d'un convertisseur analogique/numérique (ADU) en un signal de débatte-ment 202 numérique. Le signal de débattement numérique 202 est dé-modulé en synchronisme avec un signal périodique 205 à la phase du débattement de mesure et à la fréquence de l'oscillation d'entraînement. t 0 En conséquence, on obtient un signal de mesure 203. Le signal de me-sure 203 est appliqué à un circuit de sortie 210 qui effectue également un filtrage et génère à partir de là un signal de capteur 215 contenant une information relative à la vitesse de rotation sous la foi nie souhaitée. La relation présentée ci-dessus entre l'oscillation d'entraînement, le débattement de mesure et le débattement perturbateur, est utilisée pour éliminer le signal perturbateur. Une démodulation synchrone avec un signal périodique 215 élimine les signaux perturbateurs et replie le signal de Coriolis dans la bande utile souhaitée, réglé à la sortie de capteur par des filtres. Les inconvénients de ce type de suppression de perturbations sont ceux d'exigences très strictes relatives à l'exactitude absolue des phases et le bruit de phase du signal de démodulation et de la plage de dynamique élevée, nécessaire dans le traitement de signal. Des signaux perturbateurs trop grands doivent être traités dans le chemin du signal pour être démodulés. La figure 3 montre schématiquement un circuit d'exploitation d'un capteur de vitesse de rotation selon l'état de la technique avec compensation du débattement perturbateur. A côté des parties déjà décrites à propos de la figure 2, le circuit d'exploitation comporte une mémoire 300, par exemple une mémoire programmable à lecture seule (mémoire PROM) et un convertisseur numérique/analogique (DAU) 310. La mémoire 300 contient une valeur de compensation 302 fournie au convertisseur DAU 310. Le convertisseur DAU 310 transforme la valeur de compensation ou d'équilibrage en une tension continue, à savoir un signal de compensation 135 qui est 2879749 to transmis au moyen de compensation 130. Il se produit alors une compensation du débattement perturbateur. Les moyens de compensation 130 peuvent être des structures d'entraînement propres ou aussi d'autres structures existantes du capteur telles que par exemple des moyens d'entraînement ou de mesure utilisés de manière habile. Un tel montage et son fonctionnement sont par exemple décrits dans le document US 6067858. Ce circuit d'exploitation élimine avec le signal de compensation 135, le débattement perturbateur par des moyens appropriés, directement dans l'élément capteur. L'équilibrage se fait par t o exemple par une mémoire PROM dont la valeur d'équilibrage est ensuite convertie du mode numérique au mode analogique. Cet équilibrage peut toutefois se faire également dans n'importe quelle autre forme appropriée. L'inconvénient est qu'en cas de variation du signal perturbateur, par exemple à cause du vieillissement ou de la dérive, on ne peut plus éliminer de manière idéale cette valeur d'équilibrage fixe. La figure 4 montre schématiquement un circuit d'exploitation selon l'invention d'un capteur de vitesse de rotation. A côté des parties déjà décrites à propos de la figure 2, le circuit d'exploitation comporte un régulateur 100 et un convertisseur numéri- que/analogique DAU 410. Le signal de débattement numérique 202 est démodulé en synchronisme avec un signal périodique 205 à la phase du débattement de mesure et à la fréquence de l'oscillation d'entraînement. Le signal numérique de débattement 202 est en outre démodulé en synchronisme dans un second chemin de signal avec un signal périodique 405 et la phase du débattement perturbateur et la fréquence de l'oscillation d'entraînement par une démodulation synchrone. On obtient ainsi un signal perturbateur 401 fourni au régulateur 400. Le régulateur 400 génère un signal de régulation 402 fourni au convertisseur DAU 410. Le signal de régulation est converti par le convertisseur DAU 410 en un signal de compensation 135, un signal de tension continue est transmis au moyen de compensation 135. On compense ainsi le dé-battement perturbateur de la masse sismique 100 ou du. moins on ré-duit ce débattement et on obtient sur les moyens de mesure 120, le signal de débattement généré 125 qui contient une faible composante de débattement perturbateur et une composante élevée de débattement de mesure. Avec la conversion du signal de débattement 125 dans le convertisseur ADU 200 et la fourniture du signal de débattement numérique 202, on retentie le circuit de régulation. Vis-à-vis de l'état de la technique, la présente invention a l'avantage que l'élimination des perturbations comme cela est représenté à la figure 4 dans l'élément de capteur ne peut se faire par une commande mais par une régulation. Comme le débattement de mesure et le débattement perturbateur sont déphasés de 90 , on peut séparer ces deux signaux par démodulation synchrone avec la phase correcte. to Le signal de compensation 135 est présenté comme une tension continue que l'on applique aux électrodes de l'élément de capteur mécanique. Lorsqu'une première électrode fixée à la masse sismique 100 balaye deux électrodes, il en résulte, comme cela est décrit dans le document DE 102 37 411, des forces électrostatiques proportionnelles à la course qui s'opposent aux mouvements des signaux perturbateurs et les éliminent. Si de façon avantageuse le régulateur 400 comporte une partie intégrale, le débattement perturbateur sera éliminé de façon idéale jusqu'aux effets occasionnés par la quantification. Ce circuit de régulation dit en quadrature pourrait également être réalisé comme circuit purement analogique, solution qui n'a pas été utilisée pour des raisons de souplesse et aussi à cause de l'inconvénient général, connu, des difficultés de dérive dans les circuits analogiques. Dans la conception numérique comme celle décrite à l'aide de la figure 4, il subsiste une erreur résiduelle liée à la quantifica- Lion. Dans le cas d'un déphasage à la démodulation du signal numérique de débattement 202 avec le signal 205 on arrive à un décalage du signal de mesure 203. Les variations dans le temps du signal de régulation 402 situées dans la plage de bande utile du filtre de sortie du circuit arrière se traduisent dans le cas d'une démodulation avec défaut par un bruit à la sortie de la vitesse de rotation. La résolution du convertisseur DAU doit pour cela être choisie pour ne pas dépasser le bruit de sortie exigé. La figure 5 montre schématiquement un autre circuit d'exploitation selon l'invention d'un capteur de vitesse de rotation. Les 35 éléments micromécaniques de capteur ont entre autre des tolérances importantes liées à la dispersion des procédés de fabrication se retrouvant dans les signaux perturbateurs proportionnels aux courses. Les exigences relatives à la résolution du régulateur 400 augmentent dans la mesure où. la plage d'accrochage du signal perturbateur 401 aug- mente alors que la condition relative au bruit du capteur global reste constante. Selon l'invention, selon un autre développement du circuit d'exploitation, on évite cette difficulté en combinant un moyen d'équilibrage de signal perturbateur selon la figure 3 et une régulation 1 o selon la figure 4. A la différence des figures 3 et 4, la composa te du signal de compensation 135 de la commande porte la référence I35B et la composante du signal de compensation 135 de la régulation porte la référence 135A. Dans cet exemple de réalisation, dans une première étape on compense grossièrement le débattement perturbateur par la dispersion. La valeur d'équilibrage 302 est prise dans la mémoire 300 pour être appliquée au convertisseur DAU 310. Le convertisseur DAU en dé-duit le signal de compensation 135B qui est appliqué comme tension continue au moyen de compensation 130 sous la foline de paires d'électrodes pour la masse sismique 100. La conversion tension/force se fait de manière électrostatique par la structure de condensateur engendrée par l'électrode fixe d'un côté et l'électrode mobile de l'autre côté. La figure 6 montre la relation fonctionnelle entre le signal de compensation et la plage d'accrochage du capteur de vitesse de rota- tion selon l'invention représenté à la figure 5. Ce diagramme montre la plage d'accrochage F en fonction du signal de compensation 135 désigné ici comme tension de compensation U-Q. Comme dans le dia-gramme, il s'établit une relation fonctionnelle quadratique. Celle-ci est en outre représentée par la variation de la plage d'accrochage aF pour une variation de la tension de compensation DU-Q en deux points d'équilibrage différents Abgl- 1 et Abgl-2. La figure 6 montre que l'on obtient aux différents points de fonctionnement et en fonction de l'équilibrage, pour une même variation AU-Q de la tension de sortie du régulateur, des plages d'accrochage AF-1 ou AF-2, avec des différences significatives pour l'élimination des signaux perturbateurs. Selon l'invention, on compense cet effet avec le circuit d'exploitation de la figure 5 en ce que l'on adapte la plage d'accrochage du convertisseur DAU 410 suivant le point de fonctionnement. Pour cela, on combine la valeur d'équilibrage 302 disponible dans la mémoire 300 par un tableau de comparaison 510 enregistré avec une adaptation de la plage d'accrochage du convertisseur DAU 410 dépendant de l'équilibrage. Le tableau de comparaison 510 fournit à cet effet un mot numérique 515 dépendant de l'équilibrage et qui est converti en une valeur analogique 525 dans le convertisseur DAU 520, numéri- que/analogique. Cette valeur analogique 525 définit la plage d'accrochage du convertisseur DAU 410. La régulation ainsi définie par le contenu du tableau de comparaison 510 présente une certaine plage d'accrochage pour chaque point de fonctionnement ou valeur d'équilibrage 302. De manière avantageuse, on peut par exemple régler la même plage d'accrochage indépendamment de l'équilibrage. La plaged'accrochage est ainsi indépendante de la relation fonctionnelle de la figure 6. Par la combinaison de l'équilibrage avec commande et de la régulation on diminue en outre la plage d'accrochage requise pour la régulation et ainsi l'exigence de la résolution du convertisseur DAU 410 sans réduire l'ensemble de la plage d'accrochage pour le signal perturbateur à éliminer. On peut également envisager d'autres exemples de réalisation exécutant différemment la régulation selon l'invention ou la corn-25 binant à des solutions selon l'état de la technique. REVENDICATIONS 1 ) Capteur micromécanique de vitesse de rotation comprenant: - une masse sismique (100), des moyens d'entraînement (110) produisant une oscillation 5 d'entraînement de la masse sismique (100) dans une première direction (x), - des moyens de mesure (120) mesurant un débattement de la masse sismique (100) dans une seconde direction (y) et générant un signal de débattement (125), le débattement se composant d'un débatte-ment de mesure lié à la force de Coriolis et d'un débattement perturbateur, déphasé pratiquement de 90 par rapport au débattement de mesure, des moyens de compensation (130) agissant sur la masse sismique (100) pour réduire le débattement perturbateur, caractérisé par des moyens de régulation recevant le signal de débattement (125) comme grandeur d'entrée, démodulant un signal de débattement perturbateur (401) du signal de débattement (125), et générant un signal de compensation (135, 135A) du signal de dé-battement perturbateur (401) pour l'appliquer aux moyens de compensation (130). 2 ) Capteur micromécanique de vitesse de rotation selon la revendica-25 tion 1, caractérisé en ce que les moyens de régulation assurent la régulation sur zéro du débatte-ment perturbateur. 3 ) Capteur micromécanique de vitesse de rotation selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de régulation comportent un élément d'intégration. 4 ) Capteur micromécanique de vitesse de rotation selon la revendication 1, caractérisé en ce que le capteur de vitesse de rotation comporte une commande qui génère un 5 signal de compensation supplémentaire (I35B) à partir d'une infoiination d'équilibrage (302). 5 ) Capteur micromécanique de vitesse de rotation selon la revendication 4, to caractérisé en ce que les moyens de régulation permettent de régler une plage d'accrochage de la régulation en fonction de la valeur de compensation (302).