Brevet FR2872571A1 — publié le 20060106

La présente invention concerne un dispositif optique réflecteur et des dispositifs spectroscopiques tels que des monochromateurs ou spectromètres comportant ces dispositifs optiques réflecteurs. Pour étudier la composition d'une lumière, on peut mettre en oeuvre un dispositif comportant une fente d'entrée sur laquelle on concentre la lumière et dont on forme, à l'aide de moyens de dispersion, par exemple un prisme ou un réseau, un ensemble d'images résultant de la séparation dans l'espace des radiations monochromatiques qui constituent la lumière étudiée. On peut ainsi analyser le spectre de la lumière étudiée. Ce spectre peut être continu ou non, io et dans ce dernier cas, il s'agit alors d'un spectre de raies ou de bandes. On connaît différents types de tels dispositifs. On parlera de spectromètres et de spectrographes lorsqu'ils sont munis de détecteur permettant d'analyser avec précision la répartition spectrale de l'énergie dans un faisceau lumineux et de monochromateurs lorsqu'ils comportent une fente de sortie permettant le transfert d'une bande spectrale ou d'une longueur d'onde vers un autre appareil ou un détecteur. La Figure 1 montre un spectromètre de l'art antérieur sur lequel est envoyé un faisceau lumineux à analyser 1. Le faisceau lumineux 1 est focalisé sur une fente d'entrée 2 puis envoyé par un premier miroir 3 sur un réseau de diffraction 4 de pas d sous un angle d'incidence i par rapport à la normale au réseau. Le faisceau 1 est diffracté par ledit réseau 4 et est reçu par un deuxième miroir 5 dans une direction parallèle au plan de dispersion qui est perpendiculaire aux traits du réseau 4. Le faisceau lumineux dispersé est ensuite envoyé sur un détecteur 6 à dispositif à transfert de charges ("charge- coupled diode"- CCD) par le deuxième miroir 5. Le signal mesuré par ce détecteur 6 est alors dirigé vers une unité de traitement 7 pour stockage et éventuellement visualisation du spectre du faisceau lumineux 1. Cependant, les dimensions limitées des détecteurs actuels ne permettent pas l'acquisition de spectre entier sur de larges domaines de longueurs d'onde avec une bonne résolution. Il est ainsi nécessaire de procéder à plusieurs acquisitions en déplaçant mécaniquement le réseau au moyen d'un moteur pas à pas pour faire varier la fenêtre spectrale d'acquisition. Cette rotation motorisée du réseau réduit non seulement la vitesse d'acquisition d'un spectre entier mais est source d'éventuelles erreurs de mesure. 2872571 2 On connaît par Han {Han et al. ; Rev. Sci. Instrum. 74 (2003) 2973} un réseau de diffraction plan composé de trois sous réseaux juxtaposés et présentant chacun une densité de traits par unité de longueur différente. Ce réseau associé à un spectromètre permet de tripler la bande spectrale mesurable avec un détecteur CCD classique. La mesure en une seule acquisition d'un spectre sur un large domaine de longueurs d'onde 200-1000 nm est ainsi rapportée par la mise en oeuvre de ce réseau. Ce domaine de longueurs d'onde est divisé lors de son acquisition en trois bandes spectrales parallèles sur une fenêtre de détection d'un détecteur CCD comportant 1024x1024 pixels. Néanmoins, ces gravures multiples sur la surface d'un substrat pour former des sous réseaux ayant des densités de traits par unité de longueur différentes sont difficiles techniquement à réaliser et sont d'un coût économique élevé. L'objectif de la présente invention est de proposer un dispositif spectroscopique et un dispositif optique réflecteur, simple dans leur conception et dans leur mode opératoire, économique et permettant de détecter la totalité d'un spectre de lumière avec une excellente résolution par repliement dans l'espace dudit spectre pour sa mesure sur une fenêtre de détection d'un détecteur à deux dimensions. A cet effet, l'invention concerne un dispositif spectroscopique comprenant des moyens de dispersion d'un faisceau comportant un ensemble de flux lumineux centrés sur des longueurs d'onde différentes (AI, À2, ... , An), un dispositif optique réflecteur destiné à recevoir lesdits flux lumineux dispersés et à envoyer au moins une partie desdits flux vers un détecteur photosensible à deux dimensions ayant une fenêtre de détection. Selon l'invention, le dispositif optique réflecteur comprend un premier miroir destiné à envoyer un premier sous-ensemble de flux lumineux dispersés (A;, ..., À) vers une première zone de ladite fenêtre de détection, et au moins un deuxième miroir, fixé au premier miroir, destiné à envoyer un deuxième sous-ensemble de flux lumineux dispersés (Àk, ..., A,) sur une deuxième zone de la fenêtre de détection. Dans différents modes de réalisation, la présente invention concerne également les caractéristiques suivantes qui devront être considérées 35 isolément ou selon toutes leurs combinaisons techniquement possibles: 2872571 3 - ledit premier miroir et ledit deuxième miroir sont sphériques et destinés à recevoir lesdits flux lumineux dispersés dans un plan de dispersion parallèle au plan de diffraction des moyens de dispersion, É ledit premier miroir et ledit deuxième miroir ayant respectivement un premier et deuxième axes normaux chacun à leur surface, ledit premier axe est incliné d'un angle cp par rapport au deuxième axe dans une direction parallèle au plan de dispersion et décalé d'un angle e dans une direction perpendiculaire au plan de dispersion, É les premier et deuxième miroirs ont une même focale f et ont des io sommets respectifs qui coïncident, l'angle 8 que fait ledit premier axe normal avec ledit deuxième axe normal dans une direction parallèle au plan de dispersion est tel que: 8 = +Arctan " p'xN fpd / où N est le nombre de capteurs élémentaires de la fenêtre de détection à deux 15 dimensions, p' est le pas corrigé du capteur élémentaire et fpd est la focale des miroirs dans le plan de diffraction, - la première zone et la deuxième zone sont superposées sur la fenêtre de détection du détecteur à deux dimensions et que Àk = À, lesdits sous- ensembles de flux lumineux dispersés étant spectralement adjacents, - lesdits premier et deuxième miroirs sphériques sont des miroirs sphériques concaves, - les moyens de dispersion comprennent un prisme ou un réseau de diffraction ou un déflecteur accordable acousto-optique, - le détecteur photosensible comprend des capteurs CCD ou des capteurs 25 CID ou des capteurs CMOS, - le dispositif optique réflecteur a un diamètre D permettant d'envoyer vers ledit détecteur l'ensemble des flux lumineux dispersés par les moyens de dispersion. L'invention concerne également un dispositif optique réflecteur. Selon l'invention, il comprend un premier miroir ayant un premier axe normal à sa surface et au moins un deuxième miroir ayant un deuxième axe normal à sa surface, lesdits premier et deuxième miroirs étant sphériques et fixés l'un à l'autre. Ledit premier miroir et ledit deuxième miroir sont destinés à recevoir un ensemble de flux lumineux dans un plan de dispersion, ledit premier axe est 2872571 4 incliné d'un angle cp par rapport au deuxième axe dans une direction perpendiculaire au plan de dispersion et décalé d'un angle e dans une direction parallèle au plan de dispersion. Les premier et deuxième miroirs ont une même focale f. s Dans différents modes de réalisation, la présente invention concerne également les caractéristiques suivantes qui devront être considérées isolément ou selon toutes leurs combinaisons techniquement possibles: lesdits premier et deuxième miroirs sont obtenus par découpe d'un miroir principal. io L'invention concerne également un dispositif de spectrométrie d'émission atomique en particulier, celle mettant en oeuvre des techniques ICP, SPARK ou GDS. Selon l'invention, ce dispositif de spectrométrie d'émission atomique comprend un dispositif spectroscopique tel que décrit précédemment. L'invention concerne enfin un dispositif de spectrométrie Raman. Selon l'invention, ce dispositif de spectrométrie Raman comprend un dispositif spectroscopique tel que décrit précédemment. Dans différents modes de réalisation possibles, l'invention sera décrite plus en détail en référence aux dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une représentation schématique d'un spectromètre de l'art antérieur; - la figure 2 est une représentation schématique d'un dispositif spectroscopique, selon un mode de réalisation de l'invention; - la figure 3 est une représentation schématique de la fenêtre de détection d'un détecteur à deux dimensions avec repliement d'un spectre en deux bandes spectrales continues, selon un mode de réalisation de l'invention; - la figure 4 est une représentation schématique d'un dispositif optique réflecteur, selon un mode de réalisation de l'invention; - la figure 5 est une représentation schématique de la fenêtre de détection du 30 détecteur montrant l'angles formé entre la normale au détecteur et l'axe optique; la figure 6 donne un premier mode de mise en oeuvre de l'invention dans lequel on mesure la largeur de la bande spectrale mesurable sur la fenêtre de détection d'un détecteur à 2 dimensions en fonction de la longueur d'onde À sur laquelle est centrée l'énergie du faisceau incident; 2872571 5 - la figure 7 représente un deuxième mode de mise en oeuvre de l'invention montrant la mesure du doublet du mercure (Hg) à 313 nm; - la figure 8 représente un troisième mode de mise en oeuvre de l'invention montrant la mesure de certaines raies du mercure (Hg); La Figure 2 montre un dispositif spectroscopique de l'invention selon un mode de réalisation. Le montage utilisé est du type Czerny-Turner. Un faisceau comportant un ensemble de flux lumineux centrés sur des longueurs d'onde différentes (KI, À2, ..., À n) est envoyé au travers d'une fente fine d'entrée 9 sur un miroir 10. Ce miroir est par exemple un miroir sphérique io concave. Des moyens de dispersion 11 placés dans le plan focal de ce miroir 10 reçoivent le faisceau de lumière collimaté. Ces moyens de dispersion 11 comprennent, dans ce mode de réalisation particulier, un réseau de diffraction. Mais d'autres moyens de dispersion 11 permettant d'étaler spectralement le faisceau lumineux sont possibles. On peut citer par exemple un prisme ou un déflecteur accordable acousto- optique. Les flux lumineux 12 centrés sur des longueurs d'onde différentes et dispersés sont envoyés vers un dispositif optique réflecteur 13 et reçus par ce dispositif dans un plan de dispersion parallèle ou perpendiculaire au plan de diffraction des moyens de dispersion 11. Ce dispositif optique réflecteur 13 envoie alors au moins une partie des flux lumineux dispersés 12 vers un détecteur à deux dimensions 14 ayant une fenêtre de détection. Le faisceau lumineux est généré, par exemple, par une source à plasma 15 à couplage inductif ("Inductively coupled plasma" ICP) dont l'axe central du plasma est centré sur la fente d'entrée 9 du dispositif spectroscopique. La fenêtre de détection du détecteur à deux dimensions 14 comprend une matrice ligne-colonne de N capteurs élémentaires. Le terme ligne-colonne ne doit pas être entendu comme limitant la matrice de capteurs élémentaires à une forme particulière, par exemple carrée, rectangulaire, ovoïde, ..., mais est introduit pour définir des axes de référence au sein de ladite matrice, lesdits axes étant dans un mode préféré perpendiculaires ou sensiblement perpendiculaires entre eux. Les capteurs élémentaires sont, par exemple, des capteurs CCD ou des capteurs CID ("Charge Injected device"- Dispositif à Injection de Charge) ou des capteurs CMOS. 2872571 6 Le dispositif optique réflecteur 13 de l'invention permet la mesure du spectre de l'énergie dans un faisceau lumineux sur un large domaine de longueurs d'onde par repliement dans l'espace dudit spectre en au moins deux bandes spectrales. Ces bandes spectrales sont reçues et mesurées sur la fenêtre de détection du détecteur à deux dimensions 14. La Figure 3 montre une fenêtre de détection 16 recevant deux bandes spectrales. Une première bande spectrale est reçue sur une première zone 17 de la fenêtre de détection 16 et une deuxième bande spectrale est reçue sur une deuxième zone 18. La fenêtre de détection 16 est ainsi par exemple séparée en deux dans le sens de sa hauteur. Lesdites première et deuxième zones 17, 18 sont alors superposées. Mais la fenêtre de détection 16 pourrait également être séparée en deux dans le sens de sa longueur, lesdites bandes spectrales étant alors juxtaposées sur la fenêtre de détection. Les deux axes 19, 20 représentent la longueur d'onde (en mm). Le dispositif optique réflecteur 13 générant ces deux bandes spectrales comprend un premier miroir destiné à envoyer un premier sous-ensemble de flux lumineux dispersés (À1, ..., Iii) vers ladite première zone 17 et un deuxième miroir destiné à envoyer un deuxième sous-ensemble de flux lumineux dispersés (Àk, ..., A,) sur ladite deuxième zone 18 de la fenêtre de détection 16 (Figure 2). Dans un mode de réalisation préférentiel, lesdits sous-ensembles de flux lumineux dispersés étant spectralement adjacents, la dernière longueur d'onde À de la bande spectrale mesurée dans la première zone 17 et la première longueur d'onde Àk de la bande spectrale mesurée dans la deuxième zone 18 sont identiques afin d'assurer la continuité de la mesure du spectre. II est remarqué que cette continuité de détection est indépendante de la longueur d'onde dispersée, de la densité de traits du réseau de diffraction 11 par unité de longueur et de l'ordre de diffraction utilisé. Le dispositif optique réflecteur 13 de l'invention permet également des mesures de spectre discontinues en longueur d'onde. On peut ainsi mesurer en une seule acquisition deux bandes spectrales totalement distinctes sur la fenêtre de détection du détecteur à deux dimensions. Le dispositif optique réflecteur 13 comprend au moins deux miroirs qui sont fixés l'un à l'autre. Ces miroirs sont par exemple obtenus par découpe d'un miroir principal. Préférentiellement, le miroir principal a un diamètre D 2872571 7 permettant de recevoir et d'envoyer vers ledit détecteur l'ensemble des flux lumineux dispersés par les moyens de dispersion. Le diamètre D est suffisant pour ne pas tronquer la fenêtre spectrale d'analyse du détecteur 14. Ces miroirs découpés sont ensuite convenablement orientés l'un par rapport à l'autre dans le plan de diffraction (angle 8) et dans le plan perpendiculaire au plan de diffraction (angle (p), puis fixés ensemble par exemple par collage. Avantageusement, le premier miroir a un premier axe normal à sa surface et ledit deuxième miroir a un deuxième axe normal à sa surface, lesdits miroirs étant sphériques. Ces miroirs ont une même focale f. Ledit premier miroir et ledit deuxième miroir sont destinés à recevoir lesdits flux lumineux dispersés dans un plan de dispersion des longueurs d'onde parallèle ou perpendiculaire au plan de diffraction des moyens de dispersion 11. Le premier axe est incliné d'un angle (p par rapport au deuxième axe dans une direction perpendiculaire au plan de dispersion et décalé d'un angle 8 dans une direction parallèle au plan de dispersion. La figure 4 montre le dispositif optique 13 mis en oeuvre dans le spectromètre décrit à la Figure 2. Les premier 21 et deuxième 22 miroirs sont des miroirs sphériques concaves. Il est connu de manière générale qu'un réseau de diffraction 11 plan de pas d a un plan de diffraction perpendiculaire à ses traits. Les flux lumineux centrés sur des longueurs d'onde différentes et dispersés sont donc envoyés vers le dispositif optique réflecteur 13 dans une direction parallèle au plan de diffraction. Le plan de dispersion des longueurs d'onde est parallèle au plan de diffraction. L'angle cp permet le déplacement vertical de la bande spectrale envoyé par le premier miroir sur la fenêtre de détection 16 du détecteur à deux dimensions 14. Lorsque la continuité du spectre est recherchée, i.e. que lesdits premier et deuxième sous-ensembles de flux lumineux dispersés étant spectralement adjacents, la dernière longueur d'onde À de la bande spectrale mesurée dans la première zone 17 et la première longueur d'onde Àk de la bande spectrale mesurée dans la deuxième zone 18 sont identiques, l'angle 8 entre ces deux miroirs 21, 22 dans une direction parallèle au plan de diffraction est tel que: 8 = +Arc tan/p'XN fpe i p' est le pas corrigé du capteur élémentaire et vaut p'= p x cosg où c est l'angle formé entre la normale 23 au plan 24 passant par la surface de la fenêtre de détection (16) du détecteur à deux dimensions (14) et l'axe optique 2872571 8 (Figure 5) et p est le pas du capteur élémentaire. fpd est la focale des miroirs dans le plan de diffraction ou encore la focale sagittale. Le dispositif spectroscopique de l'invention peut avantageusement être mis en oeuvre pour la spectrométrie d'émission atomique, en particulier celle mettant en oeuvre des techniques ICP, SPARK ou GDS, la spectroscopie Raman ou encore la spectrofluorimétrie. On décrira maintenant différents exemples de mesures spectroscopiques nouvelles et utiles conformes à l'invention et que ce dispositif spectroscopique permet de réaliser. io EXEMPLE 1 La figure 6 donne un premier mode de mise en oeuvre de l'invention dans lequel on mesure la largeur, en nm, de la bande spectrale mesurable sur la fenêtre de détection 16 (axe des ordonnées 26) en fonction de la longueur d'onde À, en nm, sur laquelle est centrée l'énergie du faisceau incident (axe des abscisses 27). Cette mesure a été réalisée avec un monochromateur de focale F = 1000 mm, un réseau plan ayant une densité de traits de 2400 traits/mm, une matrice de capteurs élémentaires CCD de 1024x256 pixels de 26 pm de coté. La première courbe 28 en pointillé représente les mesures obtenues avec un réflecteur normal, par un exemple un miroir sphérique concave de demi-diamètre égal à 60 mm de l'art antérieur. La seconde courbe 29 en trait plein montre les mesures obtenues pour un dispositif optique réflecteur 13 de l'invention comprenant deux miroirs 21, 22 dont les axes normaux respectifs forment un angle ci> = 2,83 et un angle e = 1,53 , de demi-diamètre égale à 60 mm. On vérifie ainsi que le dispositif optique réflecteur (13) de l'invention permet de doubler le domaine spectral mesurable avec un détecteur à 2 dimensions par rapport à un réflecteur classique. Ce doublement du domaine spectral est obtenu quelle que soit la plage d'utilisation en longueur d'onde, par exemple de 120 à 1100 nm. EXEMPLE 2 Une mesure d'une partie du spectre du mercure (Hg) et en particulier, du doublet du mercure à 313 nm dans l'ordre 2 est présentée dans un deuxième mode de mise en oeuvre de l'invention. Cette mesure a été réalisée avec une lampe à vapeur de mercure 35 qui est une source présentant un spectre de raies entre 190 nm et 800 nm. Un 2872571 9 monochromateur de focale F = 1000 mm comprenant un réseau plan ayant une densité de traits de 2400 traits/mm et une matrice de capteurs élémentaires CCD de 1024x256 pixels de 26 pm de coté ont également été mis en oeuvre. La figure 7 montre que la fenêtre de détection 16 du détecteur CCD 14 a été divisée en deux zones superposées 30, 31 dans le sens vertical pour la mesure de deux bandes spectrales produites par le dispositif optique réflecteur 13 de l'invention à partir des radiations dispersées du mercure. Les axes des abscisses 32, 33 représentent les colonnes de pixels numérotées de io 1 à 1024 de la matrice de capteurs CCD et l'axe des ordonnées 34 représente l'intensité des raies mesurées en unité arbitraire. On observe que la dernière longueur d'onde À1 de la bande spectrale mesurée dans la zone inférieure 31 de ladite fenêtre de détection 16 et la première longueur d'onde Àk de la bande spectrale mesurée dans la zone supérieure 30 sont identiques afin d'assurer la continuité de la mesure du spectre, lesdites bandes spectrales étant spectralement adjacentes. Ces mesures sont obtenues pour un dispositif optique réflecteur de l'invention comprenant deux miroirs dont les axes normaux respectifs forment un angle cf) = 2,83 et un angle 8 = 1,53 , de demi-diamètre égale à 60 mm. EXEMPLE 3 Une mesure d'une partie du spectre du mercure (Hg) et en particulier, des raies du mercure dans l'ordre 1 à À1 = 365,015 nm, À2 = 365,453 nm et À3 = 366,328 nm est présentée dans un troisième mode de mise en oeuvre de l'invention. Cette mesure (Figure 8) a été réalisée dans les mêmes conditions qu'à la Figure 7 mais la fenêtre de détection du détecteur CCD 14 a été divisée en deux zones dans le sens horizontal pour la mesure de deux bandes spectrales produites par le dispositif optique réflecteur de l'invention à partir des radiations dispersées du mercure. Le dispositif optique réflecteur 13 de l'invention comprend deux miroirs. Une sommation verticale des intensités de chaque capteur élémentaire le long d'une même colonne est réalisée ("pixel bining"). La résolution verticale est ainsi diminuée mais le rapport signal sur bruit est meilleur. La courbe 35 représente l'intensité ainsi sommée (axe des ordonnées 36) en fonction de la longueur d'onde (axe des abscisses 37). Les 35 pics apparaissant aux extrémités de cette courbe sont identiques et 2872571 10 correspondent à l'intensité mesurée par la même longueur d'onde X = 365, 01 nm. Ils indiquent le début de chacune des deux bandes spectrales adjacentes. 24/11/2004 11 REVENDICATIONS 1. Dispositif spectroscopique comprenant des moyens de dispersion (11) d'un faisceau comportant un ensemble de flux lumineux centrés sur des longueurs d'onde différentes (AI, A2, ..., An), un dispositif optique réflecteur (13) destiné à recevoir lesdits flux lumineux dispersés et à envoyer au moins une partie desdits flux vers un détecteur photosensible (14) à deux dimensions ayant une fenêtre de détection (16), caractérisé en ce que le dispositif optique réflecteur comprend un premier io miroir (21) destiné à envoyer un premier sous-ensemble de flux lumineux dispersés (a;, ..., Agi) vers une première zone (17) de ladite fenêtre de détection (16), et au moins un deuxième miroir (22), fixé au premier miroir (21), destiné à envoyer un deuxième sous-ensemble de flux lumineux dispersés (ak, ..., À1) 15 sur une deuxième zone (18) de la fenêtre de détection (16). 2. Dispositif spectroscopique selon la revendication 1, caractérisé en ce que - ledit premier miroir (21) et ledit deuxième miroir (22) sont sphériques et destinés à recevoir lesdits flux lumineux dispersés dans un plan de dispersion parallèle au plan de diffraction des moyens de dispersion (11), - ledit premier miroir (21) et ledit deuxième miroir (22) ayant respectivement un premier et deuxième axes normaux chacun à leur surface, ledit premier axe est incliné d'un angle p par rapport au deuxième axe dans une direction perpendiculaire au plan de dispersion et décalé d'un angle e dans une direction parallèle au plan de dispersion, les premier et deuxième miroirs (21, 22) ont une même focale f et ont des sommets respectifs qui coïncident. 3. Dispositif spectroscopique selon la revendication 1 et 2, caractérisé en ce que l'angle 6 que fait ledit premier axe normal avec ledit deuxième axe 30 normal dans une direction parallèle au plan de dispersion est tel que: e = + Arc tan(p'x" fpd / où N est le nombre de capteurs élémentaires de la fenêtre de détection (16) à deux dimensions, p' est le pas corrigé du capteur élémentaire et fpd est la focale des miroirs (21, 22) dans le plan de diffraction. 24/11/2004 12 4. Dispositif spectroscopique selon la revendication 3, caractérisé en ce que la première zone (17) et la deuxième zone (18) sont superposées sur la fenêtre de détection (16) du détecteur à deux dimensions et que Ak = Ai, lesdits sous-ensembles de flux lumineux dispersés étant spectralement adjacents. 5. Dispositif spectroscopique selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que lesdits premier (21) et deuxième (22) miroirs sphériques sont des miroirs sphériques concaves. 6. Dispositif spectroscopique selon l'une quelconque des revendications io 1 à 5, caractérisé en ce que les moyens de dispersion (11) comprennent un prisme ou un réseau de diffraction ou un déflecteur accordable acoustooptique. 7. Dispositif spectroscopique selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le détecteur photosensible (14) comprend des is capteurs CCD ou des capteurs CID ou des capteurs CMOS. 8. Dispositif spectroscopique selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le dispositif optique réflecteur a un diamètre D permettant d'envoyer vers ledit détecteur (14) l'ensemble des flux lumineux dispersés par les moyens de dispersion (11). 9. Dispositif spectroscopique selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que lesdits premier et deuxième miroirs (21, 22) sont obtenus par découpe d'un miroir principal. 10. Dispositif de spectrométrie d'émission atomique caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif spectroscopique selon l'une quelconque des 25 revendications 1 à 9. 11. Dispositif de spectrométrie Raman caractérisé en ce qu'il comprend un dispositif spectroscopique selon l'une quelconque des revendications 1 à 9.