Brevet FR2863715A1 — publié le 20050617

REVÊTEMENT DIRECT EN MATERIAU SCINTILLANT POUR PROLONGER LA DUREE DE VIE D'UN ENSEMBLE DE DETECTEURS DE RAYONNEMENT La présente invention concerne d'une façon générale le domaine des ensembles de détecteurs de rayonnement et, plus particulièrement, les ensembles de détecteurs comportant des revêtements pour prolonger leur durée de vie. De tels ensembles de détecteurs de rayonnement conviennent en particulier dans des ensembles de détecteurs numériques de rayons X tels que ceux utilisés pour des examens en médecine ou dans l'industrie. Dans un ensemble de détecteurs de rayons X, un substrat de détecteurs en silicium amorphe est revêtu d'un matériau scintillant de radiographie déposé en phase vapeur. Le matériau scintillant génère des photons par voie isotropique du fait de l'absorption des rayons X. Une couche réfléchissante est nécessaire au-dessus de la couche de matériau scintillant pour réfléchir les photons qui sont émis dans une direction opposée au substrat de détecteurs pour revenir vers le substrat du détecteur. Un important facteur en imagerie médicale est la résolution spatiale des détecteurs. Les photons générés dans le matériau scintillant au-dessus d'un seul pixel de détecteur doivent être comptés uniquement par ce pixel situé au-dessous pour obtenir une image d'une grande définition. Les photons dispersés vers des pixels adjacents réduisent la clarté de l'image. Pour réduire la dispersion des photons, le matériau scintillant est déposé en phase vapeur sous une forme columnaire ou aciculaire. Les aiguilles individuelles sont séparées les unes des autres et elles possèdent des rapports d'aspect (longueur/diamètre) de 100 ou plus. Les photons descendant le long des aiguilles de matériau scintillant ont tendance à être contenues dans l'aiguille individuelle en raison du plus grand indice de réfraction du matériau scintillant dans l'air, à condition que les aiguilles individuelles de matériau scintillant restent séparées. On sait qu'un matériau scintillant tel que l'iodure de césium (CsI) est un sel très hygroscopique. L'exposition d'un matériau scintillant tel que le CsI à l'humidité risque d'amener ce matériau scintillant composé de CsI à absorber l'humidité, ce qui provoque en outre une coalescence des aiguilles individuelles de matériau scintillant constitué de CsI, ce qui réduit la qualité de l'image fournie par les détecteurs. Par conséquent, certaines configurations de la présente invention proposent un ensemble de détecteurs de rayonnement qui comprend un substrat de détecteurs et un réseau matriciel de détecteurs disposé sur le substrat de détecteurs. Un matériau scintillant est disposé sur le réseau matriciel de détecteurs et une couche résistante à l'humidité est disposée sur le matériau scintillant. La couche résistante à l'humidité comprend une pluralité de sous-couches. L'ensemble comprend également un habillage protecteur disposé par-dessus le substrat de détecteurs et la couche résistante à l'humidité et une matière adhésive disposée entre le substrat de détecteurs et l'habillage. La matière adhésive est disposée de façon à ne pas être au contact de la 1 o couche résistante à l'humidité. Dans diverses configurations, la présente invention propose également un ensemble de détecteurs de rayons X. L'ensemble de détecteurs de rayons X comprend un substrat de détecteurs et un réseau matriciel de détecteurs disposé sur le substrat de détecteurs. L'ensemble comprend en outre un matériau scintillant pour radiographie disposé sur le réseau matriciel de détecteurs. Une couche résistante à l'humidité est disposée sur le matériau scintillant. La couche résistante à l'humidité comporte une pluralité de sous-couches. L'ensemble comprend également un habillage protecteur disposé par-dessus le substrat de détecteurs et la couche résistante à l'humidité ; et une matière adhésive disposée entre le substrat de détecteurs et l'habillage. La matière adhésive est disposée de façon à ne pas être au contact de la couche résistante à l'humidité. Encore d'autres configurations de la présente invention proposent un ensemble de détecteurs de rayonnement qui comprend un substrat de détecteurs et un réseau matriciel de détecteurs disposé sur le substrat de détecteurs. L'ensemble comprend également une zone de plages de contact disposées sur le substrat de détecteurs, qui communique électriquement avec le réseau matriciel de détecteurs. Un matériau scintillant est disposé sur le réseau matriciel de détecteurs. L'ensemble comprend en outre une couche résistante à l'humidité disposée sur le matériau scintillant. La couche résistante à l'humidité comporte une pluralité de sous-couches. Un habillage protecteur est disposé par-dessus le substrat de détecteurs et la couche résistante à l'humidité. L'habillage protecteur est fixé à la couche résistante à l'humidité à l'aide d'une matière adhésive. Par ailleurs, la couche résistante à l'humidité est disposée de façon qu'une partie formant bord de la couche résistante à l'humidité soit fixée au substrat de détecteurs entre la matière adhésive et la zone de plages de contact. Dans certaines configurations également, la présente invention propose un ensemble de détecteurs de rayons X qui comprend un substrat de détecteurs et un réseau matriciel de détecteurs disposé sur le substrat de détecteurs. L'ensemble de détecteurs de rayons X comprend également une zone de plages de contact disposée sur le substrat de détecteurs, qui est électriquement en communication avec le réseau matriciel de détecteurs. Un matériau scintillant pour radiographie est disposé sur le réseau matriciel de détecteurs. Une couche résistante à l'humidité est disposée sur le matériau scintillant. La couche résistante à l'humidité comporte une pluralité de sous-couches. L'ensemble de détecteurs de rayons X comprend en outre un habillage protecteur disposé par-dessus le substrat de détecteurs et la couche résistante à l'humidité. L'habillage protecteur est fixé à la couche résistante à l'humidité à l'aide d'une matière adhésive. Par ailleurs, la couche résistante à l'humidité est disposée de façon qu'une partie formant bord de la couche résistante à l'humidité soit fixée au substrat de détecteurs entre la matière adhésive et la zone de plages de contact. Ainsi, diverses configurations de la présente invention proposent un détecteur de rayonnement avec un revêtement enrobant pour le matériau scintillateur, qui préserve physiquement la séparation des aiguilles en présence d'humidité. Le revêtement enrobant, dans certaines configurations, est sensiblement transparent à la lumière visible ainsi qu'au rayonnement à détecter, par exemple le rayonnement X. L'exposition globale du matériau scintillant à l'humidité est limitée, dans diverses configurations de la présente invention, grâce à une étanchéité par rapport à l'atmosphère extérieure. De plus, le matériau scintillant et la matrice de détecteurs sont avantageusement protégés contre les dommages mécaniques dans diverses configurations. L'invention sera mieux comprise à l'étude de la description détaillée d'un mode de réalisation pris à titre d'exemple non limitatif et illustré par les dessins annexés sur lesquels: la Fig. 1 est une vue en coupe transversale représentant des configurations d'un ensemble de détecteurs de rayonnement selon la présente invention, dans lequel une couche résistante à l'humidité est disposée de façon à couvrir une couche de matériau scintillant, et dans lequel une partie formant bord de la couche résistante à l'humidité se situe à l'intérieur d'un joint d'étanchéité constitué par un adhésif; la Fig. 2 est une vue en coupe transversale représentant des configurations d'un ensemble de détecteurs de rayonnement selon la présente invention, dans lequel une couche résistante à l'humidité est disposée de manière à couvrir une couche de matériau scintillant et à s'étendre au-delà d'une zone d'étanchéité en résine époxyde de façon qu'une partie formant bord de la couche résistante à l'humidité se trouve à l'extérieur de la zone d'étanchéité en résine époxyde mais à l'intérieur d'une zone de plages de contact. Les figures 1 et 2 représentent toutes deux seulement une partie d'une coupe transversale des ensembles respectifs de détecteurs de rayonnement, qui s'étendent, du côté gauche, au-delà de l'emprise des dessins. La présente invention propose, dans certaines configurations, un ensemble de détecteurs de rayonnement qui comprend un substrat de détecteurs et un réseau matriciel de détecteurs disposé sur le substrat de détecteurs. La matrice de détecteurs a pour objet de convertir de la lumière en signaux électriques qui peuvent ensuite être extraits du détecteur à l'aide d'une série de plages de contact. En outre, l'ensemble comprend un matériau scintillant disposé au moins par-dessus le réseau matriciel de détecteurs pour convertir en lumière un rayonnement incident, par exemple un rayonnement X. L'ensemble comprend en outre une couche résistante à l'humidité comportant une pluralité de sous-couches disposées sur le matériau scintillant. La couche résistante à l'humidité comporte, dans certaines configurations, un revêtement enrobant disposé sur le matériau scintillant pour empêcher les aiguilles de matériau scintillant de fusionner les unes avec les autres en présence d'humidité, une couche réfléchissante pour faire revenir vers le détecteur des photons qui, sinon, s'échapperaient, et une ou plusieurs couches disposées sur la couche réfléchissante pour assurer une plus grande protection contre l'humidité et pour constituer une structure protégée contre des défauts tels que les piqûres. En outre, certaines configurations de la présente invention présentent un habillage mécaniquement protecteur, résistant à l'humidité, comportant une feuille d'aluminium fixée à chaque face d'une âme en résine graphitée. L'habillage est fixé au substrat de détecteurs à l'aide d'un cordon de résine époxyde. L'habillage mécaniquement protecteur, résistant à l'humidité, se fixe au substrat de détecteurs dans une zone située entre la matrice de détecteurs et un ensemble de plages de contact périphériques. Un revêtement enrobant appliqué sur le matériau scintillant préserve physiquement la séparation mutuelle des aiguilles en présence d'humidité. Une propriété souhaitable pour le revêtement enrobant est qu'il soit sensiblement transparent à la lumière visible ainsi qu'au rayonnement qu'on cherche à détecter, par exemple le rayonnement X. L'exposition globale du matériau scintillant à l'humidité est limitée par son isolation vis-à-vis de l'atmosphère extérieure. Un habillage est prévu pour protéger le matériau scintillant et la matrice de détecteurs contre les dommages mécaniques. Un revêtement enrobant approprié est constitué par le Parylene (une marque déposée de the Specialty Coating Systems, Inc. 5701 West Minnesota St. Indianapolis, IN 46241), en raison de son aptitude à pénétrer dans les petits interstices entre les aiguilles de matériau scintillant. Le Parylene est sensiblement transparent à la lumière visible et est relativement facile à appliquer à de basses températures. Le Parylene est commercialisé sous la forme de diverses variantes telles que le ParyleneN (para-xylylène), le Parylene-C (mono-chloro-poly-paraxylylène) et le Parylene-D (di-chloro-poly-para-xylylène). De nouvelles variantes pourront également être élaborées à l'avenir. L'utilisation d'un type particulier de Parylene est déterminée d'après l'application spécifique du dispositif d'imagerie par rayonnement. De plus, il est possible d'utiliser dans la présente invention n'importe quelle combinaison d'un type de Parylene et d'un nombre global de sous-couches de Parylene. La sous-couche réfléchissante peut être constituée par de l'argent, de l'aluminium ou d'autres métaux très réfléchissants. Dans certaines configurations, la réflectivité de la couche réfléchissante est encore accrue à l'aide de couches de diélectriques tels que MgF2, SiO, SiO2, TiO2 et autres, disposées sous le réflecteur métallique. En choisissant convenablement l'indice de réfraction et l'épaisseur des couches de diélectriques, on améliore la réflectivité. Dans certaines configurations de la présente invention, des sous-couches supplémentaires sont disposées par-dessus la sous-couche réfléchissante. Ces sous-couches supplémentaires assurent une plus grande protection contre l'humidité et créent une structure résistant à des défauts tels que les piqûres dans les films métalliques, ainsi qu'à la contamination superficielle par des matières particulaires. Une alternance de couches de Parylene et de titane ou d'aluminium métal est utilisée dans certaines configurations de la présente invention comme sous-couches supplémentaires appropriées, bien que d'autres matières puissent être utilisées, comme indiqué plus loin. Le nombre de couches dépend des exigences de l'application spécifique pour laquelle est utilisé le réseau de détecteurs. De nombreuses autres combinaisons de couches sont possibles et l'exemple cité ci- dessus n'est pas destiné à être exclusif. Dans certaines configurations de la présente invention, un habillage mécaniquement protecteur, résistant à l'humidité, est disposé par-dessus la couche résistante à l'humidité. L'habillage est fixé au substrat de détecteurs à l'aide d'un cordon d'adhésif, par exemple un cordon de résine époxyde. L'habillage ralentit la pénétration de l'humidité dans l'ensemble et assure une protection mécanique. La composition et la structure de l'habillage dépendent des besoins de protection mécanique et contre l'humidité de l'application. A titre d'exemple nullement limitatif, l'habillage résistant à l'humidité peut comporter une âme en résine graphitée couverte sur ses deux faces par une feuille d'aluminium. Si la couche résistante à l'humidité assure une bonne protection contre l'humidité pour une application donnée, l'habillage peut servir principalement à protéger l'ensemble contre les chocs mécaniques. La matière d'habillage peut alors être constituée par une matière plastique. Dans certaines configurations de la présente invention et en référence à la Fig. 1, une couche 300 résistante à l'humidité est disposée dans un ensemble 1000 de détecteurs de rayonnement de manière à couvrir une couche de matériau scintillant 3, une partie formant bord 500 de la couche 300 résistante à l'humidité se trouvant à l'intérieur d'un joint d'étanchéité 6 constitué par un adhésif. Dans certaines configurations, l'ensemble 1000 de détecteurs de rayonnement est un ensemble de détecteurs de rayons X et la couche 3 de matériau scintillant est constituée par un matériau scintillant pour rayons X. Les matériaux scintillants appropriés pour les rayons X comprennent des aiguilles d'iodure de césium (CsI). Il est entendu que l'expression "aiguilles d'iodure de césium" couvre le CsI dopé tel que CsI(Tl) et CsI(Na), sans exclure forcément d'autres formes de CsI. Parmi d'autres matériaux scintillants appropriés pour rayons X figurent Nal(Tl) et Lil(Eu). Un matériau scintillant pour rayons X peut être constitué par des combinaisons de ces matériaux scintillants. De plus, la liste de matériaux scintillants appropriés pour rayons X présentée ici n'est destinée qu'à servir d'exemple et n'est pas exhaustive. Le matériau scintillant 3 est disposé sur un réseau matriciel 20 de détecteurs et le réseau matriciel 20 de détecteurs est disposé sur un substrat 1 de détecteurs. (Au sens de la présente description, on désigne typiquement par l'expression réseau matriciel 20 de détecteurs un réseau de photodétecteurs disposés pour détecter des photons émis par un matériau scintillant 3 en réponse à un rayonnement incident.) Un revêtement enrobant 4 est disposé sur la couche 3 de matériau scintillant et une partie du substrat 1 de détecteurs à l'intérieur du joint d'étanchéité 6 en matière adhésive, qui peut être constituée par une résine époxyde appropriée. Une liste non exhaustive de matières convenant pour le revêtement enrobant 4 contient le fluorure de magnésium (MgF2), l'oxyde de silicium (SiO), le fluorure d'aluminium (A1F3), le dioxyde de titane (TiO2), le dioxyde de silicium (SiO2) et un polymère constitué par un ou plusieurs types de matériaux paraxylyléniques substitués ou non substitués, ou par des combinaisons de ceux-ci. La communication électrique avec les photodétecteurs du réseau matriciel 20 de détecteurs est assurée par une zone de plages de contact 400 accessible à l'aide d'un connecteur électrique (non représenté). Une sous-couche réfléchissante 5 est disposée sur le revêtement enrobant 4 de façon à couvrir au moins le réseau matriciel 20 de détecteurs. Une liste non exhaustive de matières convenant pour la sous-couche réfléchissante 5 contient l'argent (Ag), l'or (Au), l'aluminium (Al) et un film de polyester avec une couche d'adhésif autocollant, et des combinaisons de celles-ci. Pour accroître la résistance à l'humidité, des sous-couches supplémentaires 310 sont disposées sur la sous-couche réfléchissante 5. Bien que deux sous-couches supplémentaires 310 soient représentées sur la Fig. 1, un nombre plus grand ou plus petit est utilisé dans certaines autres configurations, selon les besoins d'une application particulière. Dans certaines configurations, les sous-couches 310 sont constituées par une alternance de couches de métal (par exemple du titane ou de l'aluminium) et de Parylene, mais d'autres configurations ne se limitent pas à ces matières et peuvent employer des matières différentes. Les propriétés souhaitables des sous-couches 310 sont la résistance à l'humidité, une grande transparence au rayonnement à détecter (par exemple des rayons X) et une résistance à des défauts tels que des piqûres. Une liste non exhaustive de matières comprend le titane, l'aluminium, le nickel, un polymère constitué par un ou plusieurs types de matériaux paraxylyléniques substitués ou non substitués, le fluorure de magnésium (MgF2), l'oxyde de silicium (SiO), le fluorure d'aluminium (A1F3), le dioxyde de silicium (SiO2), le dioxyde de titane (TiO2), une matière d'enrobage aux silicones et des combinaisons de celles-ci. Conjointement avec la couche de revêtement d'enrobage 4 et la sous-couche réfléchissante 5, les sous-couches 310 constituent une couche 300 résistante à l'humidité. La matière adhésive 6, par exemple une résine époxyde appropriée, est disposée entre le substrat 1 de détecteurs et un habillage 2 de manière à fixer l'habillage 2 au substrat 1. La matière adhésive 6 est disposée de façon à ne pas être au contact de la couche 300 résistante à l'humidité. L'habillage 2 peut être en n'importe quelle matière protectrice appropriée, par exemple en graphite ou en graphite aluminisé. Les propriétés souhaitables de la matière d'un habillage 2 comprennent la résistance à la pénétration de l'humidité et une grande transparence au rayonnement qu'on cherche à détecter (par exemple, le rayonnement X) et la réflectivité à la lumière visible. Dans certaines autres configurations de la présente invention et en référence à la Fig. 2, la couche 300 résistante à l'humidité est disposée dans un ensemble 1000 de détecteurs de rayonnement de façon à couvrir une couche 3 de matériau scintillant et à s'étendre au-delà d'une zone d'étanchéité 600 en résine époxyde de façon qu'une partie formant bord 500 de la couche 300 résistante à l'humidité se trouve à l'extérieur de la zone d'étanchéité 600 en résine époxyde mais à l'intérieur d'une zone de plages de contact 400. Dans certaines de ces configurations, l'ensemble 1000 de détecteurs de rayonnement est un ensemble de détecteurs de rayons X comportant un matériau scintillant 3 tel que des aiguilles d'iodure de césium (CsI) ou un autre matériau scintillant approprié aux rayons X comme ceux présentés plus haut, disposé sur un réseau matriciel 20 de détecteurs. Le réseau matriciel 20 de détecteurs est disposé sur un substrat 1 de détecteurs. Un revêtement d'enrobage 4 est disposé sur la couche 3 de matériau scintillant et une partie du substrat 1 de détecteurs à l'intérieur de la matière adhésive 6. Une liste non exhaustive de matières convenant pour le revêtement enrobant 4 comprend le fluorure de magnésium (MgF2), l'oxyde de silicium (SiO), le fluorure d'aluminium (AIF3), le dioxyde de titane (TiO2), le dioxyde de silicium (SiO2) et un polymère comportant un ou plusieurs types de matériaux paraxylyléniques substitués ou insubstitués, ou des combinaisons de ceux-ci. La communication électrique avec les photocapteurs du réseau matriciel 20 de détecteurs est assurée par une zone de plages de contact 400 accessible à l'aide d'un connecteur électrique (non représenté). Une sous-couche réfléchissante 5 est disposée sur le revêtement enrobant 4 afin de couvrir au moins le réseau matriciel 20 de détecteurs. Une liste non exhaustive de matériaux appropriés pour la sous-couche réfléchissante 5 comprend l'argent (Ag), l'or (Au), l'aluminium (Al) et un film de polyester avec une couche d'adhésif autocollant, et des combinaisons de celles-ci. Pour améliorer la résistance à l'humidité, des sous-couches supplémentaires 310 sont déposées sur la sous-couche réfléchissante 5. Le revêtement enrobant 4, la sous-couche réfléchissante 5 et les souscouches 310 constituent une couche 300 résistante à l'humidité. Dans certaines configurations, les sous-couches 310 sont constituées par une alternance de couches de métal (par exemple du titane ou de l'aluminium) et de Parylene. Un nombre plus ou moins grand de sous-couches 310 sont utilisées dans certaines autres configurations, selon les besoins d'une application particulière. Par ailleurs, les autres configurations ne se limitent pas aux matières mentionnées ici et peuvent employer des matières différentes dans les sous-couches 310. Une liste non exhaustive de matières comprend le titane, l'aluminium, le nickel, un polymère constitué d'un ou plusieurs types de matières paraxylyléniques substituées ou non substituées, le fluorure de magnésium (MgF2), l'oxyde de silicium (SiO), le fluorure d'aluminium (A1F3), le dioxyde de silicium (SiO2), le dioxyde de titane (TiO2), une matière d'enrobage aux silicones et des combinaisons de celles-ci. Les propriétés souhaitables des matières des sous-couches 310 sont la résistance à l'humidité, une grande transparence au rayonnement qu'on cherche à détecter, par exemple le rayonnement X, et la résistance à des défauts tels que les piqûres. La couche 300 résistante à l'humidité est disposée de manière à couvrir la couche 3 de matériau scintillant, une première couche de résine époxyde 11 et une partie du substrat 1 pour détecteurs à l'extérieur de la première couche 11 de résine époxyde mais à l'intérieur de la zone de plages de contact 400.Une seconde couche de résine époxyde 14 est appliquée sur l'habillage 2 résistant à l'humidité et l'habillage 2 est fixé au reste de l'ensemble 1000 à l'aide d'une deuxième couche 14 de résine époxyde. L'adhérence de la couche 300 résistante à l'humidité au substrat 1 pour détecteurs est améliorée dans certaines configurations par un traitement de surface du substrat 1 ou à l'aide d'un adjuvent d'adhérence. Le nombre de couches 11, 14 de résine époxyde est différent dans certaines configurations, comme peuvent le nécessiter certaines applications spécifiques. Par exemple, dans certaines configurations, la première couche 11 de résine époxyde est absente et l'habillage 2 est directement fixé au substrat 1 de détecteurs par l'intermédiaire de la couche 14 de résine époxyde. On comprendra que des configurations de la présente invention créent donc un détecteur de rayonnement à revêtement enrobant pour le matériau scintillant, qui maintient physiquement séparées les aiguilles en présence d'humidité. Le revêtement enrobant est sensiblement transparent à la lumière visible ainsi qu'au rayonnement à détecter, par exemple le rayonnement X. L'exposition globale du matériau scintillant à l'humidité est limitée, dans les configurations de la présente invention, par un joint d'étanchéité isolant de l'atmosphère extérieure. De plus, le matériau scintillant et la matrice de détecteurs sont avantageusement protégés contre les dommages mécaniques. REVÊTEMENT DIRECT EN MATERIAU SCINTILLANT POUR PROLONGER LA DUREE DE VIE D'UN ENSEMBLE DE DETECTEURS DE RAYONNEMENT LIS'TE DES REPERES 1 Substrat de détecteurs 2 Habillage résistant à l'humidité 3 Couche de matériau scintillant 4 Couche de revêtement d'enrobage Sous-couche réfléchissante 6 Matière adhésive 11 Première zone de résine époxyde 14 Deuxième zone de résine époxyde Réseau matriciel de détecteurs 300 Couche résistante à l'humidité 310 Sous-couches 400 Zone de plages de contact 500 Partie formant bord 600 Zone d'étanchéité en résine époxyde 1000 Ensemble de détecteurs de rayonnement REVENDICATIONS, 1. Ensemble (1000) de détecteurs de rayonnement, comprenant: un substrat (1) de détecteurs; un réseau matriciel (2) de détecteurs disposé sur ledit substrat de détecteurs; un matériau scintillant (3) disposé sur ledit réseau matriciel de détecteurs; une couche (300) résistante à l'humidité disposée sur ledit matériau scintillant, ladite couche résistante à l'humidité comportant une pluralité de sous-couches (310), 1 o un habillage protecteur (2) disposé au-dessus dudit substrat de détecteurs et de ladite couche résistante à l'humidité ; et une matière adhésive (6) disposée entre ledit substrat de détecteurs et ledit habillage; ladite matière adhésive étant disposée de façon à ne pas être au contact de ladite couche résistante à l'humidité. 2. Ensemble (1000) de détecteurs selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite couche (300) résistante à l'humidité comporte en outre un revêtement enrobant (14) disposé sur ledit matériau scintillant (3) et une sous-couche réfléchissante (5) disposée sur ledit revêtement enrobant. 3. Ensemble (1000) de détecteurs selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite couche (300) résistante à l'humidité comporte en outre une ou plusieurs sous-couches (310) résistantes à l'humidité, disposées sur ladite couche réfléchissante (5), lesdites unes ou plusieurs sous-couches résistantes à l'humidité étant sensiblement transparentes à un rayonnement destiné à être détecté par ledit ensemble de détecteurs. 4. Ensemble (1000) de détecteurs de rayons X, comprenant: un substrat (1) de détecteurs; un réseau matriciel (20) de détecteurs disposé sur ledit substrat de détecteurs un matériau scintillant (3) pour rayons X disposé sur ledit réseau matriciel de détecteurs; une couche (300) résistante à l'humidité disposée sur ledit matériau scintillant, ladite couche résistante à l'humidité comportant une pluralité de sous-couches (310), un habillage protecteur (2) disposé par-dessus ledit substrat de détecteurs et ladite couche résistante à l'humidité ; et une matière adhésive (6) disposée entre ledit substrat de détecteurs et ledit habillage; ladite matière adhésive étant disposée de façon à ne pas être au contact de ladite couche résistante à l'humidité. 5. Ensemble (1000) de détecteurs de rayons X selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite couche (300) résistante à l'humidité comporte en outre une couche de revêtement enrobant (4) disposée sur ledit matériau scintillant (3) et une sous-couche réfléchissante (5) disposée sur ladite couche de revêtement enrobant. 6. Ensemble (1000) de détecteurs de rayonnement, comprenant: un substrat (1) de détecteurs; un réseau matriciel (20) de détecteurs disposé sur ledit substrat de détecteurs une zone de plages de contact (400) disposée sur ledit substrat de détecteurs et en communication électrique avec ledit réseau matriciel de détecteurs; un matériau scintillant (3) disposé sur ledit réseau matriciel de détecteurs; une couche (300) résistante à l'humidité, disposée sur ledit matériau scintillant, ladite couche résistante à l'humidité comportant une pluralité de sous-couches (310) ; et un habillage protecteur (2) disposé par-dessus ledit substrat de détecteurs et ladite couche résistante à l'humidité ; ledit habillage protecteur étant fixé à ladite couche résistante à l'humidité à 25 l'aide d'une matière adhésive (6) ; et ladite couche résistante à l'humidité étant disposée de façon qu'une partie formant bord (500) de ladite couche résistante à l'humidité soit fixée audit substrat de détecteurs entre ledit matériau adhésif et ladite zone de plages de contact. 7. Ensemble (1000) de détecteurs de rayonnement selon la revendication 6, caractérisé en ce que ladite couche (300) résistante à l'humidité comporte en outre une couche de revêtement enrobant (4) disposée sur ledit matériau scintillant (3) et une sous-couche réfléchissante (5) disposée sur ladite couche de revêtement enrobant. 8. Ensemble (1000) de détecteurs de rayonnement selon la revendication 7, 35 caractérisé en ce que ladite couche (300) résistante à l'humidité comporte en outre une ou plusieurs sous-couches (310) résistantes à l'humidité, disposées sur ladite couche réfléchissante (5), lesdites une ou plusieurs sous-couches résistantes à l'humidité étant sensiblement transparentes aux rayons X. 9. Ensemble (1000) de détecteurs de rayons X, comprenant: un substrat (1) de détecteurs; un réseau matriciel (20) de détecteurs disposé sur ledit substrat de détecteurs une zone de plages de contact (400) disposée sur ledit substrat de détecteurs et en communication électrique avec ledit réseau matriciel de détecteurs; un matériau scintillant (3) pour rayons X disposé sur ledit réseau matriciel de détecteurs; une couche (300) résistante à l'humidité disposée sur ledit matériau scintillant, ladite couche résistante à l'humidité comportant une pluralité de sous-couches (310) ; et un habillage protecteur (2) disposé sur ledit substrat de détection et ladite couche résistante à l'humidité ; ledit habillage protecteur étant fixé à ladite couche résistante à l'humidité à l'aide d'une matière adhésive (6) ; et couche résistante à l'humidité étant disposée de façon qu'une partie formant bord (500) de ladite couche résistante à l'humidité soit fixée audit substrat de détecteurs entre ladite matière adhésive et ladite première plage de contact. 10. Ensemble (1000) de détecteurs de rayons X selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite couche (300) résistante à l'humidité comporte en outre une couche de revêtement enrobant (4) disposée sur ledit matériau scintillant (3) et une sous-couche réfléchissante (5) disposée sur ladite couche de revêtement enrobant.