Brevet FR2868206A1 — publié le 20050930

TRANSISTOR BIPOLAIRE Â BASE EXTRINSÈQUE MONOCRISTALLINE ISOLÉE DU COLLECTEUR La présente invention concerne la formation et une structure d'un transistor bipolaire. Plus particulièrement, la présente invention concerne la formation de la base extrinsèque d'un tel transistor. Les figures lA à 1D illustrent, par des vues en coupe partielles et schématiques, différentes étapes d'un procédé de fabrication d'un transistor bipolaire de circuit intégré. Comme l'illustre la figure 1A, le procédé couuuence par la formation successive, sur un substrat de silicium monocris- tallin 1 faiblement dopé de type N, d'une couche d'oxyde de silicium 3, d'une couche de silicium polycristallin 5 fortement dopé de type P et d'une couche de nitrure de silicium 7. Ensuite, comme l'illustre la figure 1E, on ouvre une fenêtre 9 dans les couches de nitrure 7 et de silicium polycris- tallin 5 de façon à découvrir partiellement la couche d'oxyde 3. On forme sur la paroi verticale de la fenêtre 9 un espaceur 11 de nitrure de silicium. Aux étapes suivantes illustrées en figure 1C, on ouvre la couche d'oxyde 3 depuis le fond de la fenêtre 9 de façon à découvrir le substrat 1. On grave la couche 3 de façon que l'évidement formé s'étende depuis la fenêtre 9 jusque sous la couche 5. On procède ensuite à une croissance épitaxiale sélective d'un matériau semiconducteur 13, de silicium ou de silicium germanium, fortement dopé de type P. La croissance du matériau 13 s'effectue sélectivement sur les portions de silicium exposées. On forme ainsi une région centrale monocristalline 131 sur la surface supérieure du substrat 1 et une région latérale polycristalline 132 sous la couche de silicium polycristallin 5. Comme l'illustre la figure 1D, le procédé se poursuit par la formation d'un espaceur en L 15 sur la paroi et le fond de la fenêtre 9. On dépose une couche de silicium 19 fortement dopé de type N de façon à remplir la fenêtre 9. On grave les couches de silicium 19 et de nitrure 7 de façon à ne les laisser en place qu'à proximité de la fenêtre 9. On découvre ainsi la couche de silicium polycristallin 5. Le procédé se poursuit ensuite par des étapes non représentées, notamment de siliciuration des surfaces de silicium 5 et 19 et de formation de métallisations solidaires de ces surfaces. On a ainsi formé un transistor bipolaire dont le 20 collecteur est le substrat 1, la base la région 13 et l'émetteur la couche 19. Un inconvénient d'un tel procédé réside dans la croissance épitaxiale de la base 13 décrite en relation avec la figure 1C. En effet, la région 13 comporte des régions 131 et 132 de réseaux cristallins distincts. La région de base extrinsèque 132, polycristalline, affecte désavantageusement les performances électriques nominales recherchées pour le transistor final. Son effet est d'autant plus important que la région de base 13 est fine et la jonction base- émetteur petite. La présente invention vise par conséquent à proposer une nouvelle structure de transistor bipolaire qui présente des performances électriques améliorées. La présente invention vise à proposer un tel transistor dont la région de base présente un seul réseau cristallin. La présente invention vise également à proposer un procédé de réalisation d'un tel transistor. La présente invention vise à proposer un tel procédé qui pallie les inconvénients des procédés connus. Pour atteindre ces objets, la présente invention prévoit un transistor bipolaire réalisé dans un substrat semi-conducteur d'un premier type de conductivité, comportant, directement sur le substrat, une région semiconductrice monocristalline dopée d'un second type de conductivité délimitée par un isolant et immédiatement sous-jacente à une couche semiconductrice monocristalline dopée du second type de conductivité constituant la base extrinsèque du transistor, ladite base extrinsèque monocristalline s'étendant également sur ledit isolant, un émetteur du transistor étant formé sur ladite région semiconductrice monocristalline et étant isolé de ladite base extrinsèque monocristalline. La présente invention prévoit aussi un procédé de formation d'un transistor bipolaire dans un substrat semiconducteur monocristallin, comportant la formation sur le substrat d'une couche semiconductrice monocristalline isolée du substrat. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la formation de la couche semiconductrice monocristalline isolée du substrat sous-jacent comprend les étapes suivantes: former sélectivement sur une région du substrat délimitée par des zones d'isolement de champ une couche monocristalline de silicium-germanium; former sur les zones d'isolement et sur la couche de silicium-germanium une bande semiconductrice monocristalline dopée d'un type de conductivité donné, ladite bande ne 30 s'étendant que sur une partie de ladite couche; éliminer ladite couche, d'où il résulte que la surface supérieure du substrat est découverte, un évidement séparant la bande du substrat; et déposer une couche isolante de façon à remplir ledit évidement. 2868206 4 Selon un mode de réalisation de la présente invention, la formation de la bande comporte les étapes suivantes: déposer une couche semiconductrice sur la couche mono-cristalline de silicium-germanium et sur les zones d'isolement; et graver sélectivement la couche semiconductrice de façon à ne la laisser en place que sous la forme d'une bande passant à l'aplomb d'une partie de la région du substrat délimitée par des zones d'isolement de champ et s'appuyant de part et d'autre de ladite région sur lesdites zones. Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures lA à 1D illustrent, en vue en coupe partielle et schématique, différentes étapes d'un procédé connu de formation d'un transistor bipolaire; les figures 2A à 2D illustrent, en vue en coupe 20 partielle et schématique, différentes étapes de formation d'un transistor bipolaire selon la présente invention; la figure 3 est une vue de dessus de la structure de la figure 2B; et les figures 4A et 4B sont des vues en coupe partielles 25 et schématiques d'un transistor bipolaire selon la présente invention à différentes étapes de sa formation. Par souci de clarté, les mêmes éléments ont été désignés par les mêmes références aux différentes figures. De plus, comme cela est habituel dans la représentation des circuits intégrés, les diverses figures ne sont pas tracées à l'échelle. Comme l'illustre la figure 2A, un substrat de silicium monocristallin 20 faiblement dopé de type N comporte au moins une zone active définie en face avant par des zones d'isolement de champ 22. Les zones 22 sont, par exemple, du type tranchée isolante (STI). On procède à une épitaxie sélective sur les 2868206 5 seules surfaces de silicium du substrat 20 d'une couche semi-conductrice monocristalline hétéroatomique de siliciumgermanium 24. La couche 24 n'est pas formée sur les zones isolantes 22. La proportion de germanium dans la couche 24 est choisie de la façon décrite ultérieurement. Ensuite, on procède à un dépôt non sélectif d'une couche de silicium 26 très fortement dopée de type P. La couche 26 est monocristalline sur la couche 24 et est polycristalline sur les zones d'isolement 22. Comme l'illustre la figure 2B, on grave la couche 26 de façon à ne la laisser en place que sous la forme d'une bande, comme l'illustre également la vue de dessus de la figure 3 dont la figure 2B est une coupe selon le plan I-I. Couune l'illustre la figure 2C, on retire ensuite sélectivement la seule couche de silicium-germanium 24. Comme on le comprend mieux en se référant à la figure 3, la couche 26 demeure en place en appui sur les zones d'isolement 22. La couche 26 est séparée du substrat 20 par un évidement 28. Aux étapes suivantes, illustrées en figure 2D, on dépose une couche d'oxyde de silicium 30 de façon à remplir l'évidement 28 de la figure 2C. La couche 30 recouvre la bande 26. On a ainsi obtenu une couche semiconductrice monocristalline 26 isolée d'un substrat semiconducteur monocristallin 20. La suite du procédé est décrite en relation avec les figures 4A et 4B qui sont des vues en coupe partielles et schématiques d'un transistor bipolaire à des étapes de formation ultérieures à celle de la figure 2D. Comme l'illustre la figure 4A, on procède à une gravure anisotrope de la couche d'oxyde de silicium 30 de façon à la retirer des surfaces planes de la couche 26. On dépose ensuite une couche 32 de nitrure de silicium. On retrouve alors entre les plans BB' une structure similaire à celle de la figure lA si ce n'est que la couche semiconductrice intermédiaire 26 est une couche monocristalline dont l'orientation est cohérente avec celle du substrat 20. Le procédé se poursuit de façon similaire à ce qui a été décrit précédemment en relation avec les figures 1C et 1D pour obtenir la structure illustrée en figure 4B dans laquelle une région de base 34 de type P est interposée entre un substrat/collecteur 20 de type N et une couche semiconductrice d'émetteur 36 fortement dopée de type N. Le procédé selon la présente invention permet avantageusement d'obtenir une région de base 34 totalement monocristalline. En effet, lors de la croissance épitaxiale de la région 34, les surfaces de silicium découvertes du substrat 20 et des parties inférieures de la couche 26 sont monocristallines. Les performances électriques du transistor selon la présente invention sont par conséquent améliorées par rapport au transistor obtenu par le procédé illustré en figures lA à 1D. D'autre part, le procédé selon l'invention permet avantageusement d'obtenir une base extrinsèque 26 monocristalline. Les performances électriques d'un transistor ayant une telle base extrinsèque sont meilleures que celles d'un transistor classique dont la base extrinsèque (132-5, figure 1D) est en silicium polycristallin. En particulier, la résistance d'accès du transistor est réduite. A titre d'exemple, selon un mode de réalisation de la présente invention, la nature et les épaisseurs des diverses couches sont les suivantes: substrat 20: silicium monocristallin dopé au phosphore à 1017-1018 at/cm3; première couche semiconductrice 24: couche de silicium germanium de 10 à 100 nm, de préférence de 30 à 70 nm, par exemple de 50 nm, comprenant une proportion de germanium propre à assurer la sélectivité de gravure vis à vis du substrat sous-jacent 20 et de la couche supérieure 26, par exemple de l'ordre de 20 à 25; couche semiconductrice 26: couche de silicium dopée au bore à 1020-1021 at/cm3, d'une épaisseur de l'ordre de 50 à 35 100 nm; couche 30: oxyde de silicium d'une épaisseur comprise entre 10 et 100 nm, par exemple 50 nm; couche 32: nitrure de silicium, d'une épaisseur comprise entre 10 et 100 nm, par exemple 50 nm; fenêtre d'émetteur: ouverture comprise entre 200 et 1000 nm en fonction de la filière technologique utilisée, formée de préférence par une gravure sèche; espaceur 11: réalisé par le dépôt puis la gravure anisotrope d'une couche de nitrure de silicium de l'ordre de 10 10 à 50 nm, par exemple de 30 nm; retrait de la couche 30 depuis le fond de la fenêtre d'émetteur: effectué au moyen d'une gravure humide sélective de façon à obtenir un retrait au-delà de la fenêtre de l'ordre de 50 à 150 nm, par exemple de 100 nm; ce retrait garantit le contact de la région de base 34 avec le contact de base 26 au-delà de l'espaceur 11; espaceur en L 15: constitué d'une sous-couche d'oxyde de silicium d'une épaisseur de 5 à 10 nm, par exemple de 8 nm, et d'une couche externe de nitrure de silicium de 10 à 30 nm, par exemple de 20 nm; et l'émetteur: constitué par le dépôt d'une couche de silicium 19 fortement dopé de type N, 1020-1021 at/cm3 d'arsenic, d'une épaisseur de 50 à 150 nm, par exemple 150 nm. Bien entendu, la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, on a décrit précédemment l'invention appliquée à la réalisation d'un transistor bipolaire de type NPN. Toutefois, l'homme de l'art comprendra que la présente invention s'applique également à la formation de transistors bipolaires de type PNP. Par ailleurs, l'homme de l'art saura apporter toutes modifications de dimensions et de dopage des divers éléments (fenêtre 28, espaceur 30, couches 24 et 26, ...) en fonction des performances électriques recherchées. De plus, l'homme de l'art adaptera le matériau semiconducteur monocristallin constituant 2868206 8 la couche 26 à des performances recherchées. Par exemple, la couche semiconductrice 24 peut être une couche de silicium-germanium comportant une proportion importante de germanium et la couche 26 une couche de silicium germanium comportant une proportion de germanium moindre. De cette façon, on conserve la condition de gravure sélective de la couche 24 par rapport à la couche superposée 26 tout en assurant de meilleures performances électriques à la base extrinsèque 26. L'homme de l'art comprendra également qu'il n'est pas indispensable de retirer la couche supérieure d'oxyde de silicium 30 avant le dépôt de la couche de nitrure de silicium 32. Lors du retrait ultérieur de la couche 30 au fond de la fenêtre d'émetteur, la couche supérieure 32 et l'espaceur 11 empêche une gravure parasite de la couche 30 en-dehors de la fenêtre. On notera que par substrat 20 on a désigné autant une tranche de silicium uniformément dopée que des zones épitaxiées et/ou spécifiquement dopée par diffusion/implantation formée sur ou dans un substrat massif. REVENDICATIONS 1. Transistor bipolaire réalisé dans un substrat semi-conducteur (20) d'un premier type de conductivité, caractérisé en ce qu'il comporte, directement sur le substrat, une région semiconductrice monocristalline (34) dopée d'un second type de conductivité délimitée par un isolant (30) et immédiatement sous-jacente à une couche semiconductrice monocristalline (26) dopée du second type de conductivité constituant la base extrinsèque du transistor, ladite base extrinsèque monocristalline s'étendant également sur ledit isolant, un émetteur (19) du transistor étant formé sur ladite région semiconductrice mono-cristalline et étant isolé de ladite base extrinsèque monocristalline. 2. Procédé de formation d'un transistor bipolaire dans un substrat semiconducteur monocristallin (20), caractérisé en ce qu'il comporte la formation sur le substrat d'une couche semiconductrice monocristalline (26) isolée du substrat. 3. Procédé selon la revendication 2, dans lequel la formation de la couche semiconductrice monocristalline (26) isolée du substrat (20) sous- jacent comprend les étapes suivantes: former sélectivement sur une région du substrat délimitée par des zones d'isolement de champ une couche monocristalline de silicium-germanium (24) ; former sur les zones d'isolement et sur la couche de silicium-germanium une bande semiconductrice monocristalline 25 (26) dopée d'un type de conductivité donné, ladite bande ne s'étendant que sur une partie de ladite couche; éliminer ladite couche, d'où il résulte que la surface supérieure du substrat est découverte, un évidement (28) séparant la bande du substrat; et déposer une couche isolante (30) de façon à remplir ledit évidement. 4. Procédé selon la revendication 3, dans lequel la formation de la bande (26) comporte les étapes suivantes: déposer une couche semiconductrice sur la couche mono-cristalline de silicium-germanium (24) et sur les zones d'isolement (22) ; et graver sélectivement la couche semiconductrice de façon à ne la laisser en place que sous la forme d'une bande passant à l'aplomb d'une partie de la région du substrat délimitée par des zones d'isolement de champ et s'appuyant de part et d'autre de ladite région sur lesdites zones.