Brevet FR2871571A1 — publié le 20051216

L'invention se rapporte à la détection d'au moins. un gaz déterminé dans une atmosphère ambiante. Il s'agit de détecter la présence de ce(s) gaz, voire de fournir l'indication d'un niveau de présence, par exemple par l'intermédiaire d'un afficheur gradué indiquant une présence plus ou moins importante du gaz dans l'atmosphère ambiante. L'invention concerne tant un procédé de détection qu'un détecteur en tant que tel. Dans le contexte de la détection de gaz, il a déjà été proposé d'utiliser une onde optique. Toutefois, les détecteurs existants et/ou les procédés de détection jusqu'à présent proposés sont considérés comme constituant des solutions présentant tout ou partie des inconvénients suivants: problème de précision de mesure, problème de sélectivité, problème de fiabilité et/ou de stabilité dans le temps (étalonnage parfois à effectuer périodiquement) , problème de performance du principe de détection utilisé, coût des détecteurs, complexité des moyens utilisés (optique/acoustique--.), utilisation de sources lumineuses centrées sur une longueur d'onde précise pouvant poser des problèmes dans le temps, problème d'environnement (la conductivité superficielle de certains capteurs est fonction de la température ambiante, de l'humidité et/ou de la pression dans l'atmosphère ambiante de détection). L'invention a pour objet d'apporter une solution à tout ou partie de ces problèmes et un de ses objectifs est d'améliorer la qualité des détecteurs optiques existants. Un objectif est également d'assurer une 2871571 2 sélectivité relativement élevée. Une précision de mesure est également visée. Dans ce contexte, il est proposé un procédé de détection dans lequel: - on met en liaison optique une onde optique quelconque et (au moins) une couche de matériau par ailleurs en communication gazeuse avec ladite atmosphère ambiante, ce matériau laissant passer l'onde optique et présentant un indice de réfraction qui varie sous l'effet du gaz à détecter dont la présence dans le matériau perturbe donc les conditions de propagation de l'onde, - on mesure la perturbation intervenue sur l'onde optique sous l'effet de la variation de l'indice de réfraction du matériau, - et on en déduit au moins la présence ou l'absence dudit gaz, dans ladite atmosphère, en établissant donc une relation (directe) entre la concentration en gaz à détecter et la variation de l'indice de réfraction du matériau. Pour favoriser la précision des mesures et/ou la fiabilité dans le temps et/ou le coût et la performance d'un détecteur conforme à l'invention, il est par ailleurs conseillé que l'étape de mise en liaison optique de l'onde optique avec la couche de matériau comprenne un couplage optique par l'intermédiaire avantageusement de l'un parmi un prisme et un réseau de diffraction, voire un guide d'ondes. Par souci de performance, on conseille en outre, pendant l'étape de mise en liaison, de guider l'onde 30 optique dans, ou au contact de la couche de matériau sensible, par l'intermédiaire d'un guide d'ondes. 2871571 3 Dans le cadre de l'invention, la mesure de la perturbation intervenue sur l'onde optique du fait de la présence du gaz dans le matériau sensible peut être effectuée de différentes manières: - tout d'abord, par une mesure de flux (intensité lumineuse de l'onde optique émise par la source lumineuse utilisée), en prenant en compte les caractéristiques de réflexion ou de transmission à travers en particulier la couche de matériau sensible et son substrat support; toutefois de tels moyens d'évaluation sont ici jugés comme a priori les moins performants, mesure des modifications de la propagation de l'onde (guidée si elle l'est) sous l'effet du gaz; on note, voire on mesure, la déviation apparaissant sur une mire ou une cible entre une première position d'une ligne foncée marquant l'entrée de l'onde optique dans la couche sensible et une position de référence de cette même ligne préalablement enregistrée, en l'absence de gaz. Concernant le détecteur optique de gaz en tant que tel, il est proposé dans l'invention qu'il comprenne: - un moyen capteur optique comprenant (au moins) une couche de matériau sensible au dit gaz, en liaison optique avec une source d'onde optique et pouvant être mis en communication gazeuse avec l'atmosphère ambiante susceptible de renfermer ledit gaz à détecter, la couche de matériau sensible laissant passer l'onde optique et présentant un indice de réfraction qui varie sous l'effet du gaz à détecter dont la présence dans le matériau perturbe donc les conditions de propagation de l'onde optique, - des moyens d'évaluation de la présence ou de l'absence du gaz, ces moyens d'évaluation comprenant des 2871571 4 moyens de détection pour détecter, et de préférence mesurer, la perturbation intervenue sur l'onde optique sous l'effet de la variation de l'indice de réfraction du matériau. Concernant la réalisation d'un détecteur conforme à l'invention, et pour favoriser ses performances globales, sa fiabilité et les conditions de fabrication performantes, on conseille cde recourir à l'une au moins des solutions préférées suivantes: - le moyen capteur optique comprend: * un substrat support, * et la couche de matériau sensible au gaz dans laquelle est formé un réseau de diffraction qui définit un moyen de couplage optique, - le moyen capteur optique comprend un substrat support et la couche de matériau sensible au gaz à détecter, et un espace libre en communication gazeuse avec l'atmosphère ambiante est interposé entre la couche de matériau sensible au gaz à détecter et un prisme définissant ledit moyen de couplage optique, - un prisme définit ledit moyen de couplage optique et le moyen capteur optique comprend la couche de matériau sensible au gaz à détecter pouvant être mise en communication gazeuse avec l'atmosphère ambiante et une couche d'interface en contact avec le prisme pour obtenir une onde évanescente. Dans ce qui précède, on peut prévoir que la couche de matériau sensible au gaz à détecter définisse un guide d'ondes pour l'onde optique ou qu'une couche guide d'ondes pour l'onde optique soit disposée au contact, ou soit proche, de ladite couche de matériau sensible au gaz à détecter. 2871571 5 Si la (les) couche(s) de matériau sensible au gaz définit(ssent) le guide d'ondes, on conseille par ailleurs que le substrat présente un indice de réfraction inférieur à celui de la couche de matériau sensible au gaz. Dans l'autre cas précité, on conseille que le guide d'onde présente un indice de réfraction supérieur à celui de la couche de matériau sensible au gaz. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront encore de la description complémentaire qui suit et qui fait référence aux dessins annexés donnés sans prétention d'échelle ou de respect des dimensions relatives (épaisseurs en particulier), uniquement à titre d'exemples non limitatifs et dans lesquels les figures 1,2,3,4,5 et 6 présentent schématiquement (sans volonté d'échelle) six modes différents de réalisation d'un capteur optique, la figure 1 illustrant les moyens de détection associés qui sont repris partiellement sur les figures 4 et 6. Un principe qui sous-tend l'invention est celui de la variation, sous l'effet d'un gaz, de l'indice de réfraction d'un matériau sensible à ce gaz et de l'effet perturbateur des conditions de propagation de l'onde optique que l'on a mis en liaison optique avec cette couche de matériau sensible. Sur la figure 1, une source d'onde optique 1 électroluminescente) illumine (telle qu'un faisceau laser ou une diode un moyen capteur optique 3 5 superposées sur une face comprenant plusieurs d'un prisme 15. Les couches (atmosphère ambiante5 comprennent, depuis l'extérieur 13 où le gaz à détecter se trouve, couches s'il est présent) vers la face 15a du prisme où ces 2871571 6 couches sont déposées, une couche de matière 8 en matériau sensible au gaz à détecter (c'est-à-dire dont l'indice de réfraction nA varie avec la concentration de ce gaz dans la couche), une couche guide d'ondes 9 d'indice nG et une couche d'interface 10 d'indice de réfraction nB qui reçoit en premier l'onde incidente lia issue du moyen de couplage optique 15 ici retenu. La couche 10 est donc ici en contact direct avec le moyen de couplage optique 15. La couche 8 sensible au gaz est quant à elle en contact direct avec le milieu ambiant 13. Le rôle de la couche 10 est en particulier de permettre d'obtenir une onde évanescente sous le prisme. Cette couche 10 présente un faible indice nB inférieur à celui nc du coupleur optique 15. Quant à l'indice de réfraction nG de la couche guide d'ondes 9, il sera de préférence supérieur à celui, nA, de la couche 8 et nB. Des exemples de nature de couche 8 sont présentés dans le tableau 1 cidessous, pour différents exemples de gaz à détecter. L'épaisseur des couches 8, 9, 10 sera de préférence comprise entre quelques nanomètres (1 à 5 nm) et quelques microns (1 à 10 microns). Matériau de la couche Gaz détectables (d'après la sensible littérature) autres que C4H10 et 03 ZnO H2, CH4r SF6, alcools, aldéhydes, cétones S nO2 CO, CH4, NO2, H2 TiO2 H2, alcools Polysiloxanes Hydrocarbures SnAcAc hydrogène, méthanol, éthanol, n-propanol n-butanol Tableau 1 2871571 7 Le butane (C4H10) et l'ozone (03) ont été spécifiquement testés avec les différents matériaux à disposition mentionnés dans ce tableau. La couche 9 peut être par exemple et sans 5 caractère limitatif en un oxyde métallique. La couche 10 peut être par exemple et sans caractère limitatif en silice. Sur la figure 1, un prisme sert donc de moyen de couplage 15 entre l'onde incidente lla et le capteur 3. Sur la base d'une réalisation comme sur cette figure, les conditions de propagation montrent qu'il y a excitation du mode guidé et qu'un champ évanescent s'étend de part et d'autre du guide d'ondes 9. Ce champ décroît de manière exponentielle et dépend des paramètres opto- géométriques de la couche et des milieux adjacents (couches 8 et 10). Si dans le milieu adjacent, comme ici, ou dans le guide d'ondes lui-même, comme évoqué ci-après, on trouve un matériau sensible physicochimiquement au gaz à détecter, une variation de son indice de réfraction est alors observée et conduit à une perturbation mesurable du signal optique guidé. Avec un tel couplage de lumière dans un guide d'ondes à l'aide d'un prisme, on constate que le couplage à lieu pour des valeurs Os de l'angle d'incidence (angle entre la direction du faisceau incident lia et la normale 35 à la face du prisme que rencontre l'onde lia, le prisme 15 étant posé à plat sur les couches 5. Cet angle, appelé angle de synchronisme, est donné 30 par la formule suivante: N = nP sin aresin r sin 9s l n \ P / où N est l'indice effectif du guide d'ondes, np est l'indice de réfraction du prisme et Ap son angle au sommet. On en tire donc OS: Os = arcsin nP sin arcsin On en déduit DOS en fonction de An: - (N cos Jn - P 10 A95 = np arcsin \np l - AP _ aresin( N - AP _ 2 \nP) _ AN Le tableau suivant donne des valeurs de AOs pour un matériau testé au laboratoire (N=1.8944, np=2.5821 (indice de réfraction du prisme), Ap=45 ) . AN AOs 0.1 0.148 0.01 0.015 0.001 0.02 La précision de mesure avec le montage est de l'ordre de 10-2 sur 0 (ici Os), ce qui paraît bien adapté pour de si faibles variations de n (N dans ce cas). De plus, un avantage de cette solution est que la distance parcourue par la lumière dans le guide d'ondes est de l'ordre de la centaine de microns. L'interaction entre la lumière (moyen de mesure) et le matériau de la couche 2871571 9 sensible 8 est donc assez importante confère à ce procédé une bonne sensibilité. On aura compris que la variation de l'indice de réfraction est directement proportionnel à la variation 5 de l'angle 0 (ici Os). On aura également compris que la variation de l'indice de réfraction (An) est donc fonction de la présence du gaz à déterminer dans le matériau sensible 8 et que AN = 0 en l'absence de ce gaz. Après avoir cheminé dans les couches 5, l'onde optique ressort de ces couches puis du moyen de couplage (figure 1) et l'onde réfléchie correspondante llb passe dans un moyen 17 d'évaluation de la présence ou de l'absence du gaz comprenant un moyen de détection 19 qui est en liaison optique avec le capteur 3 et travaille à au moins une longueur d'onde déterminée. Le moyen de détection 19 consiste ici en une cible lumineuse qui est illuminée, lorsqu'un gaz est entré en contact avec le capteur 3, par l'onde optique llb, laquelle marque alors la cible 19 à l'endroit de la ligne brillante 21, la longueur 1, parallèle à la direction 23 de circulation de l'onde optique dans le capteur 3 en mode guidé, matérialisant la distance suivant laquelle l'onde optique a circulé dans les couches 5. Le repère 25 marque quant à lui la ligne d'entrée de l'onde optique ila dans les couches sensibles 5 (la lumière devient absente pour la cible). On cherchera à ce que la longueur 1 (décalage de la ligne de mode) soit relativement importante, typiquement de quelques microns (10 à 100 microns a priori) à quelques millimètres, de manière à améliorer la fiabilité des mesures et la performance du capteur. 2871571 10 Avant que le capteur réagisse ainsi en présence du gaz à détecter dans l'atmosphère 13, on aura préalablement paramétré le capteur 3, hors présence du gaz à détecter, de manière qu'ait été défini, et de préférence enregistré en mémoire, la ligne ou position de référence 27 sur la cible 19 correspondant à l'emplacement suivant la direction 23 de propagation de l'onde où cette onde disparaît au contact des couches 5, en l'absence du gaz à détecter. Et c'est donc cette grandeur 1 entre les lignes 25 et 27 qui va définir l'absence (les lignes sont confondues) ou la présence (les lignes sont disjointes) dudit gaz à déterminer dans l'atmosphère 13, l'importance de la distance 1 étant proportionnelle à la teneur de l'atmosphère 13 en gaz à détecter. En adjoignant des moyens électroniques de traitement et de calcul (calculateur) 29, associés à une mémoire d'un calculateur (dans laquelle on aura en particulier pu entrer la position de la ligne de référence sans gaz 27), on va pouvoir afficher sur l'afficheur 31 (par exemple un afficheur gradué à diodes), une indication sur la présence du gaz (au moins un barreau de diode allumé), voire fournir une donnée sur la teneur en gaz (le nombre de barreaux de diodes allumés étant fonction de la concentration en gaz). Bien entendu, d'autres moyens d'affichage et/ou de détection pourraient convenir. Ainsi pourrait-on prévoir que la cible 19 comprenne une photodiode 33 disposée entre les (à l'interface des) lignes 25 (ou 27) et 21, de manière qu'une déviation (par exemple en 25) de la ligne de référence 27 due à la présence du gaz à détecter soit 2871571 11 décelée par la photodiode et transmise à l'afficheur 31, via éventuellement le calculateur 29. Les moyens de détection en liaison optique avec le capteur optique 3 pourront donc définir des moyens d'évaluation/détection, et de préférence de mesure, en particulier d'angle (AOs) ou de déplacement (Al). Dans le cas de la figure 2, une couche 9b guide d'ondes et une couche 8b de matériau sensible au gaz à détecter ont été successivement déposées sur un substrat support 7 (par exemple en verre). Un espace 36 pour la circulation de l'atmosphère gazeuse ambiante (donc potentiellement du gaz à détecter) est réservé entre la surface libre 80 de la couche 8b et la base en regard 15a du prisme 15. Les indices de réfraction nS du substrat, nG de la couche 9b guide d'ondes et nA de la couche active 8b sont tels que nG supérieur à nA et nG supérieur à nS. L'épaisseur de espace libre 36 est typiquement compris de l'ordre de 0,05 à 0,5 micron. Des écarteurs 38 maintiennent cet espace. Ils peuvent prendre appui sur le substrat 7. L'illumination peut se faire comme sur la figure 1, de même pour la détection (moyens 17,31,33). Un réseau de diffraction peut, en substitution 25 d'un prisme, réaliser le couplage optique de la lumière dans le guide d'ondes. Plutôt que de réaliser le guide d'ondes dans une couche adjacente à la couche sensible au gaz à détecter, on peut prévoir, comme sur la figure 3, que la structure en matériau sensible 8a définisse elle-même une couche guide d'ondes placée au contact de l'atmosphère ambiante 13 où le gaz à détecter se trouve. 2871571 12 Pour que cette couche 8a joue le rôle de guide d'ondes, il faut que l'indice de réfraction nA de cette couche 8a soit supérieur à ceux nGA de la couche (ici gazeuse, 36 -atmosphère 13-, entre la base 15a du prisme et la couche 8a) et nS du substrat support 7, l'indice de réfraction nP du prisme étant quant à lui toujours supérieur à tous les autres (nS, nGA, nA). Dans cette réalisation, la couche sensible au gaz et guide d'onde 8a a donc été déposée sur un substrat support 7, par exemple en silicium, et un espace bas indice 36 d'atmosphère gazeuse ambiante a été réservé entre la surface libre 80a1 de la couche 8a et la base en regard 15a du prisme 15. On obtient ainsi toujours l'onde évanescente sous le prisme. Le moyen de relevé 80 s'étend ici en surface extérieure d'une partie de la couche 8a sensible au gaz, dans l'exemple en regard de l'espace libre 36, même si un dépôt direct sur le substrat 7 paraît techniquement plus approprié. Sur la figure 4, une couche 37 de matériau sensible au gaz à détecter et guide d'ondes est disposée au-dessus d'un substrat 39. Des exemples de couches en matériau sensible au gaz se trouvent à nouveau dans le tableau 1. Le substrat 39 est transparent, par exemple en silice, verre ou silicium oxydé (SiO2). Son indice de réfraction nS est inférieur à celui de la couche de matériau sensible au gaz à détecter. Un réseau de diffraction 41 est gravé dans le guide d'ondes sensible, à l'interface entre la couche sensible 37 et le milieu ambiant 13, pour réaliser donc 2871571 13 le couplage optique recherché entre l'onde incidente lla issue de la source 1 et le capteur 43 ainsi réalisé. L'avantage de cette solution par rapport à un couplage par prisme, réside, outre dans l'intégration du moyen de couplage, dans la possibilité de regarder le décalage de la ligne de mode en présence de gaz dans le faisceau transmis llc ou réfléchi. La mesure de l'angle s'effectue de la même manière que pour le coupleur à prisme 15. La relation qui lie l'angle de synchronisme 0 (par rapport à la normale 35a au plan moyen du réseau 41), à la longueur d'onde du faisceau 2., au pas du réseau A, à l'indice de réfraction du guide n, son indice effectif (en mode guidé) N est, pour l'ordre zéro: N=sin0- A On en déduit: A9= AN 1-1N- A) Le tableau suivant donne des valeurs de A0 pour un réseau testé A=360 nm) : au laboratoire (N=1.84071, n=2.07, AN A0 0.1 0.1034 0.01 0.0103 0.001 0.0010 Cette méthode de mesure est comparable à la précédente en termes de précision sur la mesure. A cet égard, le système de détection associé à un tel capteur repéré globalement 43 sur la figure 4 peut 2871571 14 être identique à celui présenté en relation avec la figure 1, avec donc un moyen de détection 19 dont le décalage dans l'illumination de la cible par le faisceau transmis 11c ou réfléchipeut être détecté par une photodiode reliée si nécessaire par exemple à l'afficheur 31 de la figure 1. Un réseau de diffraction pourrait également être utilisé sur des couches telles que 8 et 9 présentées en relation avec la figure 1, avec donc dissociation entre la couche guide d'ondes et celle en matériau sensible au gaz et donc placée à son contact. On aurait alors successivement la couche en matériau sensible avec sa surface libre entaillée par le réseau, la couche guide d'ondes puis le substrat support. Les indices de réfraction seraient tels que nG supérieur à nS et nG supérieur à nA. Un réseau de diffraction peut aussi être utilisé en configuration d'espace libre, donc sans mode guidé. On regardera alors le décalage angulaire des ordres de diffraction d'un réseau. Ce décalage angulaire est directement relié à la variation An de l'indice de réfraction du réseau si celui-ci est sensible au gaz à détecter. Ainsi, sur l'illustration de la figure 5, un substrat transparent 45, par exemple en verre est recouvert par une couche de matériau sensible au gaz à détecter, 47 (qui ne constitue donc pas ici un guide d'ondes). Un réseau de diffraction 49 est gravé dans cette 30 couche 47, à l'interface avec l'atmosphère gazeuse ambiante 13. 2871571 15 Des exemples de couches en matériau sensible au gaz se trouvent encore dans le tableau 1. Les épaisseurs correspondent à celles précitées. Dans l'exemple illustré, le capteur de gaz 51 ainsi réalisé est illuminé par une onde optique incidente lla issue de la source 1. Le décalage angulaire de différents ordres du réseau est montré. En présence de gaz, les angles de diffraction des ordres (par rapport à la normale 35a au plan moyen du réseau 49) 01, 02, 0_I et A_2 se décalent, et il est possible de relier ce décalage à la quantité de gaz en présence, par exemple de la même manière que précédemment. Dans les cas comme ci-avant d'ondes guidées, il est prévu que le facteur d'absorption optique A dans la couche sensible soit faible, inférieur à 5. 10-4 et de préférence à 10-4, quels que soient le matériau sensible au gaz à détecter utilisé et la/les longueur(s) d'ondes de détection, lorsque le matériau sensible constitue le guide d'ondes. Encore une solution pour détecter ou discriminer optiquement un gaz par variation de l'indice de réfraction d'un matériau sélectif, consiste à relever, voire mesurer, la variation du coefficient de réflexion R ou de transmission T d'une onde optique, via donc une mesure de flux ou d'intensité lumineuse. Comme illustré figure 6, une onde incidente lla est pour cela envoyée sur une couche mince supérieure 71 en matériau sensible au gaz à détecter dont l'indice de réfraction varie donc en présence du gaz à détecter. La couche mince 71 a été déposée par exemple et sans caractère limitatif par pulvérisation cathodique, 2871571 16 sur un substrat transparent visà-vis de l'onde 11a, par exemple en verre, 73. Au capteur correspondant 70 est associé le détecteur 17 présenté ci-avant et par exemple à l'afficheur à diodes 31, ceci pour une détection sur l'onde réfléchie lib et/ou sur l'onde transmise lic après passage à travers le capteur 70. La photodiode 33 joue alors le rôle de détecteur d'intensité lumineuse de l'onde sortie du capteur, en lieu et place de celui de détecteur angulaire ou de position notamment de la figure 1. Il résulte d'une présence de gaz dans la couche 71 d'interface avec le milieu gazeux ambiant 13, une variation des coefficients de réflexion R et de transmission T de cette couche 71 en fonction de son indice de réfraction n, suivant les expressions suivantes, données ici en incidence normale: R= (n-12 et T n+li n+1 On en déduit les variations AR et AT de respectivement R et T en fonction de An et par rapport à une situation sans gaz détecté, telles que: AR=4 n-1 (n + An et AT= l)3 2 - An (n+1)2 Le tableau suivant donne un ordre de grandeur de la variation de AR et AT en fonction de An: An OR OT 0.1 0.0148 0.2217 0.01 0.0015 0.0222 0.001 0.0002 0.0022 Dans la réalité on s'attend à des variations de n de l'ordre de 10-3 et l'on voit dès lors que ce type de mesure parait moins adapté à des modifications aussi faibles étant donné la technologie actuelle. Sur les figures, les capteurs s'étendent globalement dans des plans. Toutefois, des surfaces quelconques peuvent être prévues. Les gaz détectés (ou détectables) peuvent être de différentes natures, telles que Ox, NOx, CO, Sox, alcanes, COV, les matériaux sensibles étant donc sélectionnés en conséquence et pouvant aussi être des matériaux fonctionalisés ou dopés ou encore des nanomatériaux. A noter également que dans le cas d'une onde guidée dans le capteur, le guide d'onde peut donc être distinct ou non de la couche de matériau sensible au gaz à détecter. 2871571 18 REVENDICATIONS 1. Procédé de détection d'au moins un gaz déterminé dans une atmosphère ambiante (13), le procédé 5 comprenant des étapes dans lesquelles: - on met en liaison optique une onde optique (lla) et une couche de matériau (5,8,8a,37,47,61,71) par ailleurs en communication gazeuse avec ladite atmosphère ambiante, ce matériau laissant passer l'onde optique et présentant un indice de réfraction (n,N) qui varie sous l'effet du gaz à détecter dont la présence dans le matériau perturbe donc les conditions de propagation de l'onde, - on mesure la perturbation intervenue sur l'onde 15 optique (ila) sous l'effet de la variation de l'indice de réfraction (n,N) du matériau, - et on en déduit au moins la présence ou l'absence dudit gaz, dans ladite atmosphère. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de mise en liaison optique de l'onde optique (lla) avec la couche de matériau (5,8,8a,37,47,61,71) comprend un couplage optique par l'intermédiaire de préférence de l'un parmi un prisme (15) et un réseau de diffraction (41,49). 3. Procédé selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé en ce, pendant l'étape de mise en liaison, on guide l'onde optique par l'intermédiaire d'un guide d'ondes. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, 30 caractérisé en ce qu'on mesure la perturbation intervenue sur l'onde optique par une mesure de flux. 2871571 19 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce qu'on mesure la perturbation intervenue sur l'onde optique par une mesure des modifications de la propagation de l'onde sous l'effet dudit gaz. 6. Détecteur optique de gaz comprenant: - un moyen capteur optique (3,43,51,60,70) comprenant au moins une couche de matériau sensible (5,8,8a,37,47,61,71) au dit gaz, à mettre en liaison optique avec une source d'onde optique et en communication gazeuse avec une atmosphère ambiante susceptible de renfermer ledit gaz à détecter, la couche de matériau sensible laissant passer l'onde optique (lla) et présentant un indice de réfraction (n,N) qui varie sous l'effet du gaz à détecter dont la présence dans le matériau perturbe donc les conditions de propagation de l'onde optique, et - des moyens (17,19,33) d'évaluation de la présence ou de l'absence du gaz, ces moyens d'évaluation comprenant des moyens (19) de détection pour détecter, et de préférence mesurer, la perturbation intervenue sur l'onde optique sous l'effet de la variation de l'indice de réfraction du matériau. 7. Détecteur selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un moyen (15,41,49) de couplage optique pour la liaison optique entre la source optique (1) et le moyen capteur optique (3,43,51,60), ce moyen de couplage optique comprenant de préférence l'un parmi un prisme (15) et un réseau de diffraction {41,49). 8. Détecteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que le moyen capteur optique (43,51) comprend un substrat support (39,45) et la couche de matériau sensible au gaz (37,43) dans laquelle est formé un réseau de diffraction (41,49) définissant ledit moyen de couplage optique. 9. Détecteur selon la revendication 7, caractérisé 5 en ce que: - le moyen capteur optique comprend un substrat support (7) et la couche (8b) de matériau sensible au gaz à détecter, et - un espace libre (36) en communication gazeuse avec l'atmosphère ambiante (13) est interposé entre la couche (8b) de matériau sensible au gaz à détecter et un prisme (15) définissant ledit moyen de couplage optique. 10. Détecteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que: - un prisme (15) définit ledit moyen de couplage optique, et - le moyen capteur optique comprend la couche (8,8a) de matériau sensible au gaz à détecter pouvant être mise en communication gazeuse avec l'atmosphère ambiante (13) et une couche d'interface (10) en contact avec le prisme (15) pour obtenir une onde évanescente. 11. Détecteur selon l'une des revendications 8 à 10, caractérisé en ce que la couche de matériau sensible au gaz à détecter (8a,37) définit un guide d'ondes pour l'onde optique. 12. Détecteur selon l'une des revendications 8 à 10, caractérisé en ce qu'une couche (9b) guide d'ondes pour l'onde optique est disposée au contact de la couche de matériau sensible au gaz à détecter (8b). 13. Détecteur selon l'une des revendications 6 à 12, caractérisé en ce que les moyens de détection comprennent des éléments (19) de détection de la variation de la transmission et/ou de la réflexion de l'onde à travers ladite couche de matériau sensible au gaz à détecter, sous l'effet dudit gaz. 14. Détecteur selon l'une des revendications 6 à 12, caractérisé en ce que les moyens (17,19,60) de détection de la perturbation intervenue sur l'onde optique sous l'effet de la variation de l'indice de réfraction du matériau comprennent l'un au moins parmi un moyen de mesure du flux de l'onde optique et un moyen de mesure de la déviation de l'onde optique sous l'effet dudit gaz.