Brevet FR2860744A1 — publié le 20050415

Il a été mis au point un procédé de conception et de fabrication d'outils abrasifs et des outils abrasifs uniques en leur genre fabriqués par ce procédé. Dans ce procédé, des grains abrasifs individuels sont placés selon une disposition spatiale aléatoire et maîtrisée de telle sorte que les grains individuels ne sont pas contigus. Le fait d'avoir une disposition aléatoire, mais maîtrisée, des grains abrasifs sur une surface d'abrasion d'un outil abrasif peut déboucher sur une action abrasive optimale, améliorant ainsi la génération efficace et constante de surfaces de pièces d'oeuvre plane. Il a été constaté que le positionnement, selon un motif uniforme, de grains abrasifs sur diverses catégories d'outils abrasifs améliore les performances de l'outil abrasif. Une telle catégorie d'outils, à savoir les outils abrasifs appliqués "élaborés" ou "structurés" conçus pour des opérations de meulage fines, de précision, est disponible dans le commerce depuis la décennie passé. Des modèles types de ces outils abrasifs appliqués sont décrits dans US-A-5 014 468, US-A-5 304 223, US-A-5 833 724, US-A-5 863 306 et US-B-6 293 980. Dans ces outils, de petites structures composites conformées, par exemple, des pyramides, losanges, lignes et nervures hexagonales tridimensionnelles, contenant une pluralité de grains abrasifs maintenus au sein d'un liant, sont répétées sous la forme d'une monocouche selon un motif régulier à la surface d'une feuille support flexible. Il a été constaté que ces outils permettent une coupe plus franche, et que les espaces ouverts entre les composites de grains permettent un refroidissement plus intense et une élimination améliorée des débris. Des outils similaires appartenant à la catégorie des outils superabrasifs ayant un disque ou noyau support configuré, rigide, sont divulgués dans le brevet US n 6 096 107. Il a été conçu des outils abrasifs ayant une monocouche de grains abrasifs étalés selon un motif de grille uniforme de carrés, cercles, rectangles, hexagones ou autres motifs géométriques répétés et ces outils ont été utilisés dans une diversité d'applications de finitions de précision. Un motif peut comprendre des grains individuels ou des paquets de grains abrasifs en une monocouche, séparés par des espaces ouverts entre paquets. En particulier, parmi les outils superabrasifs, on pense que les motifs uniformes de grains abrasifs débouchent sur des états de surface plus lisses et plus plans que ceux qui sont obtenus lors du positionnement aléatoire des grains abrasifs sur l'outil abrasif. De tels outils sont divulgués, par exemple, dans US-B1-6 537 140, US-A-5 669 943, US-A-4 925 457, US-A-5 980 678, US-A-5 049 165, US-B1-6 368 198 et US-A-6 159 087. Ainsi, divers outils abrasifs ont été conçus et fabriqués selon des spécifications fortement précises nécessaires pour l'abrasion uniforme de pièces d'oeuvre semi-finies et coûteuses. Comme exemples de telles pièces d'oeuvre de l'industrie électronique, on peut citer les circuits intégrés semi-finis qui doivent être abrasés ou polis pour éliminer l'excès de matériau céramique ou métallique qui a été sélectivement déposé en couches superficielles multiples, avec ou sans attaque, sur des plaquettes (par exemple, de silice, ou d'un autre matériau substrat céramique ou de verre). La planarisation des couches superficielles nouvellement formées sur les circuits intégrés semi-finis est effectuée au moyen de procédés de planarisation chimiomécanique (CMP, d'après la nomenclature anglaise "chemical mechanical planarization") en utilisant des bouillies abrasives et des tapis peu élastiques polymères, appelés "pads". Les pads pour CMP doivent être continuellement ou périodiquement "conditionnés" au moyen d'un outil abrasif. Le conditionnement élimine le durcissement ou la vitrification du pad provoquée par la compression de débris et de particules de bouillie abrasive accumulées dans la surface de polissage des pads. L'action de conditionnement doit être uniforme d'un côté à l'autre de la surface du pad de façon que le pad conditionné puisse de nouveau planariser les plaquettes semi-finies d'un côté à l'autre de leur entière surface. La position des grains abrasifs sur l'outil de conditionnement est commandée pour effectuer des motifs de griffures uniformes sur la surface de polissage du pad. Un positionnement totalement aléatoire des grains abrasifs sur un plan bidimensionnel de l'outil est généralement considéré comme ne convenant pas au conditionnement d'un pad pour CMP. Il a été suggéré de maîtriser le positionnement des grains abrasifs sur les outils de conditionnement pour CMP en orientant chaque grain selon une certaine grille uniforme, et définie, sur la surface d'abrasion de l'outil (voir, par exemple, US-Bl-6 368 198). Cependant, les outils à grille uniforme présentent certaines limitations. Par exemple, une grille uniforme crée une périodicité dans la survenue de vibrations depuis le mouvement de l'outil qui, à son tour, peut provoquer la formation de vagues ou de gorges périodiques sur le pad ou une usure inégale de l'outil abrasif ou du pad de polissage, se traduisant au final par l'obtention de surfaces de qualité inférieure sur la pièce d'oeuvre semi-finie. Un procédé de création d'un motif de grille non-uniforme de grains abrasifs, en une monocouche, sur un substrat d'outil abrasif est divulgué dans le brevet japonais n 2002-178 264. Dans la fabrication de ces outils, on commence par définir une grille virtuelle ayant un motif uniforme, bidimensionnel, tel qu'une série de carrés, où des grains doivent être placés aux intersections des lignes de la grille. Ensuite, on sélectionne de manière aléatoire certaines intersections le long de la grille et déplace les grains depuis ces intersections en les repoussant sur une distance d'au moins trois fois le diamètre moyen des grains. Ce procédé ne comporte pas de disposition garantissant le positionnement de grains individuels selon une séquence numérique le long de l'axe des x ou des y, étant ainsi impropre à assurer que la surface de l'outil résultante peut permettre une action d'abrasion constante, sans manque ou incohérence significatif dans la zone de contact lorsque l'outil trace un chemin linéaire sur une pièce d'oeuvre. Le procédé est également impropre à garantir, autour de chaque grain abrasif, une zone d'exclusion définie, permettant ainsi à la fois des zones de grains concentrés et des zones de manque entre les grains qui peuvent provoquer des qualités de surface non-uniformes dans la pièce d'oeuvre finie. N'ayant aucune des insuffisances du brevet japonais n 2002-178 264, la présente invention permet la fabrication d'outils abrasifs ayant, autour de chaque grain abrasif, une zone d'exclusion définie dans une disposition bidimensionnelle aléatoire, mais maîtrisée. En outre, il est possible de fabriquer des outils ayant une séquence numérique, rendue aléatoire, d'emplacements de grains abrasifs le long de l'axe des x et/ou de l'axe des y de la surface de meulage de l'outil de façon à créer une action d'abrasion constante, sans manque ou incohérence significatif dans la zone de contact, tandis que l'outil trace un chemin linéaire sur la pièce d'oeuvre. Les outils abrasifs de l'art antérieur fabriqués avec une disposition de grille uniforme de grains disposés par positionnement de grains abrasifs individuels dans des vides interstitiels d'un treillis ou d'une feuille perforée formant gabarit (par exemple, US-A-5 620 489) sont limités aux dimensions structurelles uniformes et statiques d'une telle grille. Ces treillis et feuilles uniformément perforées ne peuvent produire qu'un modèle d'outil ayant une grille de dimensions régulières (souvent une grille de carrés ou de losanges). Au contraire, les outils selon l'invention peuvent employer des distances non-uniformes, selon une diversité de longueurs, entre les grains abrasifs. Ainsi, la périodicité des vibrations peut être évitée. Libérée des dimensions d'un treillis, la surface de coupe de l'outil peut contenir une plus grande concentration en grains abrasifs et peut utiliser des tailles de grains abrasifs beaucoup plus fines tout en maîtrisant toujours le positionnement des grains. Pour le conditionnement de pads pour CMP, on pense que plus la concentration en grains abrasifs est élevée sur l'outil abrasif, plus grand est le nombre de points abrasifs en contact avec les pads et plus grande est l'efficacité d'élimination, depuis la surface de polissage des pads, des débris d'oxyde et autres matériaux de vitrification accumulés. Du fait que les pads pour CMP sont relativement tendres, de petites tailles de grains abrasifs conviennent à une utilisation dans cette application et on peut utiliser des concentrations relativement plus élevées de grains abrasifs de tailles de grains plus petites. En outre, dans les opérations de meulage périphériques mises en oeuvre au moyen des outils selon l'invention, chaque grain de la disposition aléatoire et maîtrisée de grains abrasifs non-contigus tracera des trajets ou lignes différents, s'auto-évitant, le long de la surface de la pièce d'oeuvre tandis que l'outil se déplace de façon linéaire. Cela constitue une différence favorable par rapport aux outils de l'art antérieur ayant une disposition uniforme en grille de grains abrasifs. Dans une grille uniforme, chaque grain partageant la même dimension x ou y sur la grille tracera, le long de la pièce d'oeuvre, le même trajet ou ligne que celui tracé par tous les autres grains situés sur la même dimension x ou y qui traversent également le pad. De cette manière, les outils à grille uniforme de l'art antérieur ont tendance à créer des "tranchées" à la surface de la pièce d'oeuvre. Les outils selon l'invention réduisent ces problèmes à un minimum. Les outils actionnés de façon rotative, plutôt que de façon linéaire, constitue une situation différente. Avec un outil de meulage de "face" ou surface, des dispositions régulières de grains ayant une symétrie multiple en rotation (par exemple, une grille uniforme en carrés a une symétrie quadruple en rotation, une grille hexagonale a une symétrie sextuple, etc. ) tandis que les outils selon l'invention n'ont qu'une symétrie unique en rotation. Ainsi, le cycle de répétition des outils selon l'invention est beaucoup plus long (par exemple, quatre fois plus long que celui d'une grille uniforme carré), l'effet net étant que les outils selon l'invention réduisent à un minimum la création de motifs réguliers sur la pièce d'oeuvre par rapport aux outils ayant une disposition uniforme régulière de grains abrasifs. En plus des avantages apportés dans le meulage périphérique et le conditionnement de pads pour CMP, les outils abrasifs selon l'invention offrent des avantages dans divers procédés de fabrication. Ces procédés comprennent, par exemple, l'abrasion d'autres composants électroniques, par exemple, l'amincissement de plaquettes en céramique, la finition de composants optiques, la finition de matériaux caractérisés par une déformation plastique et le meulage de matériaux "à copeaux longs", par exemple, le titane, les alliages Inconel, l'acier ayant une forte résistance à la traction, le laiton et le cuivre. Bien que l'invention soit particulièrement utile dans la fabrication d'outils ayant une monocouche de grains abrasifs sur une surface de travail plane, une disposition de grains bidimensionnelle peut être courbée ou conformée en un cylindre tridimensionnel creux et ainsi adaptée à une utilisation sur des outils construits selon une disposition tridimensionnelle cylindrique de grains abrasifs maintenus sur la surface de l'outil (par exemple, des outils de dressage rotatif). La disposition de grains abrasifs peut passer d'une configuration de feuille ou structure bidimensionnelle à une configuration de structure pleine tridimensionnelle en roulant la feuille portant la disposition de grains abrasifs liés en un rouleau à couches concentriques, créant ainsi une structure en spirale dans laquelle chaque grain est décalé de façon aléatoire de chaque grain adjacent dans la direction z et tous les grains sont non-contigus dans les directions x, y et z. L'invention est également utilisable dans la fabrication de nombreuses autres sortes d'outils abrasifs. Ces outils incluent, par exemple, des disques de rectification de surface, des outils de rectification de bord comprenant une couronne de grains abrasifs autour du périmètre d'un noyau ou moyeu d'outil rigide, et les outils comprenant une monocouche de grains abrasifs ou de composite grains abrasifs/liant sur une feuille ou un film support flexible. L'invention concerne un procédé de fabrication d'outils abrasifs ayant, autour de chaque grain abrasif, une zone d'exclusion sélectionnée, comprenant les étapes suivantes : (a) la sélection d'une zone plane bidimensionnelle ayant une taille et une forme définies ; (b) la sélection d'une taille et d'une concentration voulues de grains abrasifs pour la zone plane ; (c) la génération aléatoire d'une série de valeurs de coordonnées bidimensionnelles ; (d) la restriction de chaque paire de valeurs de coordonnées générées de manière aléatoire à des valeurs de coordonnées différant, d'une valeur minimale (k), de toute paire de valeurs de coordonnées voisines ; (e) la génération d'une disposition de valeurs de coordonnées générées de manière aléatoire et restreintes ayant suffisamment de paires, tracées sous la forme de points sur un graphique, pour donner la concentration voulue en grains abrasifs pour la zone plane bidimensionnelle sélectionnée et la taille de grains abrasifs sélectionnée ; et (f) le centrage d'un grain abrasif au niveau de chaque point de la disposition. En variante, le procédé de fabrication, selon l'invention, d'outils abrasifs ayant, autour de chaque grain abrasif, une zone d'exclusion sélectionnée, comprend les étapes suivantes : (a) la sélection d'une zone plane bidimensionnelle ayant une taille et une forme définies ; (b) la sélection d'une taille et d'une concentration voulues de grains abrasifs pour la zone plane ; (c) la sélection d'une série de paires de valeurs de coordonnées (x1, y1), de telle sorte que les valeurs de coordonnées le long d'au moins un axe soient restreintes à une séquence numérique dans laquelle chaque valeur diffère de la valeur suivante par une quantité constante ; (d) le découplage de chaque paire de valeurs de coordonnées sélectionnées (x1, y1) pour donner un jeu de valeurs sélectionnées x et un jeu de valeurs sélectionnées Y ; (e) la sélection aléatoire, à partir des jeux de valeurs x et y, d'une série de paires de valeurs de coordonnées aléatoires (x, y), chaque paire ayant des valeurs de coordonnées différant, d'une valeur minimale (k), des valeurs de coordonnées de toute paire de valeurs de coordonnées voisines ; (f) la génération d'une disposition des paires de valeurs de coordonnées sélectionnées de manière aléatoire, ayant suffisamment de paires, tracées sous la forme de points sur un graphique, pour donner la concentration en grains abrasifs voulue pour la zone plane bidimensionnelle sélectionnée et la taille de grains abrasifs sélectionnée ; et (g) le centrage d'un grain abrasif au niveau de chaque point de la disposition. L'invention concerne également un outil abrasif comprenant des grains abrasifs, un liant et un substrat, les grains abrasifs ayant un diamètre maximal sélectionné et une gamme de tailles sélectionnées, et les grains abrasifs étant collés sur le substrat au moyen du liant sous la forme d'une disposition en monocouche, caractérisé en ce que : (a) les grains abrasifs sont orientés dans la disposition selon un motif non-uniforme ayant une zone d'exclusion autour de chaque grain abrasif, et (b) chaque zone d'exclusion a un rayon minimal qui excède le rayon maximal de la taille de grain abrasif voulue. Dans les dessins : La Figure 1 est une illustration d'un graphique d'une distribution de grains dans un outil de l'art antérieur, correspondant à des valeurs de coordonnées x et y générées de façon aléatoire et montrant la distribution irrégulière le long des axes x et y. La Figure 2 est une illustration d'un graphique d'une distribution de grains dans un outil de l'art antérieur correspondant à une grille uniforme de valeurs de coordonnées x et y montrant des espaces réguliers entre valeurs de coordonnées consécutives le long des axes x et y- La Figure 3 est une illustration d'un graphique d'une disposition de grains abrasifs selon l'invention montrant une disposition aléatoire de valeurs de coordonnées x et y qui ont été restreintes de telle sorte que chaque paire de valeurs de coordonnées générées de façon aléatoire diffère, d'une quantité minimale définie (k), de la paire de valeurs de coordonnées la plus proche pour créer une zone d'exclusion autour de chaque point du graphique. La Figure 4 est une illustration d'un graphique d'une disposition de grains abrasifs selon l'invention, montrant une disposition qui a été restreinte le long des axes x et y à des séquences numériques dans lesquelles chaque valeur de coordonnées sur un axe diffère de la valeur de coordonnées suivante d'une quantité constante. La disposition a en outre été restreinte en découplant les paires de valeurs de coordonnées et en réassemblant de façon aléatoire les paires de telle sorte que chaque paire réassemblée de façon aléatoire de valeurs de coordonnées est séparée, par une quantité minimale définie, de la paire la plus proche de valeurs de coordonnées. La Figure 5 est une illustration d'un graphique d'une disposition de grains abrasifs selon l'invention, tracé selon des coordonnées polaires r et # dans une zone plane de forme annulaire. Pour la fabrication des outils selon l'invention, on commence par générer un graphique bidimensionnel pour diriger le positionnement du centre de la dimension la plus longue de chaque grain abrasif sur un point d'une disposition spatiale aléatoire et maîtrisée consistant en points non-contigus. La dimension de la disposition et le nombre de points sélectionnés pour la disposition sont dictés par la taille des grains abrasifs et la concentration en grains voulue sur la zone plane bidimensionnelle d'une face de meulage ou de polissage de l'outil abrasif en cours de fabrication. Le graphique peut être généré par tout moyen connu de génération d'un graphique bidimensionnel, y compris, par exemple, des calculs mathématiques manuels, des dessins CAD et des algorithmes informatiques (ou "macros"). Dans une forme d'exécution préférée, on utilise une macro mise en oeuvre au moyen du logiciel Microsoft Excel@ pour générer le tracé graphique. Génération d'un graphique de disposition auto-évitante de grains abrasifs Dans une forme d'exécution de l'invention, la macro suivante créée au moyen du logiciel Microsoft Excel (version 2000) a été utilisée pour générer des points sur une grille bidimensionnelle, formant la disposition de points pour le positionnement de grains abrasifs individuels sur une surface d'outil comme illustré à la Figure 3. Macro pour générer la Figure 3 [Dim = dimension ; rnd = aléatoire (d'après la nomenclature anglaise "random")] DimX(lOOOO) Dimy(10000) Dim selectx (10000) Dim selecty(l 0000) b=2 'Picksthe firstxypair(on a 0 -10 grid) atrandom andwrites thevalues Randomize X1 = Rnd*10 Yl=Rnd*10 Worksheets("Sheetl").Cells(l, l).Value = XI Worksheets("Sheetl").Cells(l, 2). Value = Yl 'Adds the firstxypairtothe selectedlist selectx (1) = X1 selecty(l) =Yl 'Picks thenextxypair For counter=2 To 10000 Randomize X(counter) = Rnd* 10 y(counter) = Rnd* 10 'Makes sure subséquentpoints are adistance >xaway For a = 1 Tob If ((X(counter) - selectx(a)) #2+(y(counter) - selecty(a))^2) ^0.5 Dans une autre forme d'exécution de l'invention, la macro suivante créée au moyen du logiciel Microsoft Excel (version 2000) a été utilisée pour générer des points sur une grille bidimensionnelle, formant la disposition de points de positionnement de grains abrasifs individuels sur une surface d'outil qui est illustrée à la Figure 4. Dans cette illustration, les valeurs de coordonnées ont été sélectionnées selon une séquence numérique le long à la fois des axes x et y. Macro pour générer la Figure 4 [Dim = dimension ; Q = compte du nombre de points ou calculs ; rand = aléatoire (d'après la nomenclature anglaise "random")] Dim x(1000) Dim randx(1000) Dim Y(1000) Dim randy(1000) Dim z(1000) Dim x flag (1000) Dim y flag(1000) Dim picked x(1000) Dim picked y(1000) failed = -1 2 ForQ=2To101 x flag(Q) = 0 y flag(Q) = 0 N ext Q Cells. Select WithSelection .HorizontalAlignment= xlCenter . VerticalAlignment=xl Bottom .WrapText= False .Orientation = 0 . Add Indent= False .Shrink To Fit = False . Merge Cells= False EndWith Worksheets("sheet1").Cells(1, 2).Value = " Xvalues " Worksheets("sheet1").Cells(1, 5).Value = " Y values " Worksheets("sheet1").Cells(1, 3).Value =" Rand X values " Worksheets("sheet1").Cells(1, 6).Value = " Rand Yvalues " Worksheets("sheet1").Cells(1, 11). Value = "Avoiding X" Worksheets("sheet1").Cells(1, 12).Value = " Avoiding Y " Worksheets("sheet1 ").Cells(1, 8).Value = " X " Worksheets("sheet1"). Cells(1,9).Value = " Y " Worksheets("sheet1").Cells(3, 13).Value = " No. of Failed Tries " Worksheets ("Sheet1"). Range("A1:L1"). Columns.AutoFit Worksheets("Sheet1").Range("A1:L1").Font.Bold = True Worksheets("Sheet1").Columns("C"). ~ NumberFormat = "0.0000~)" Worksheets("Sheet1").Columns("F"). ~ NumberFormat = "0.0000~)" x counter = 1 For XX = 0 To 9. 9 Step 0.1 x counter = x counter + 1 x(x counter) = XX Randomize Rand x(x counter) = Rnd Worksheets("sheet1").Cells(xcounter, 2).Value = x(xcounter) Worksheets("sheet1").Cells(xcounter, 3).Value = randx(xcounter) Next XX Range("B2:C101").Select Selection.Sort Key1:=Range("C1"), Order1:=xlAscending, Header:=xlGuess, ~ OrderCustom:=1, MatchCase:=False, Orientation:=xITopToBottom ycounter =1 For YY = 0 To 9.9 Step 0.1 ycounter = ycounter + 1 Y(ycounter) = YY Randomize randy(ycounter) = Rnd Worksheets("sheet1").Cells(ycounter, 5).Value = Y(ycounter) Worksheet("sheet1"). Cells(ycounter, 6).Value = randy(ycounter) N ext YY Range("E2:F101").Select Selection.Sort Key1:=Range("F2"), Order1:=xlAscending, Header:=xlGuess,~ OrderCustom:=1, MatchCase:=False, Orientation:=xITopToBottom For counter = 2 To 101 x (counter) = Worksheets("sheet1").Cells(counter, 2) Y (counter) = Worksheets("sheet1"). Cells(counter, 5) Next counter For counter = 2 To 101 Worksheets("sheet1").Cells(counter, 8).Value = x(counter) Worksheets("sheet1").Cells(counter, 9).Value = Y(counter) Next counter Worksheets("sheet1").Cells(2, 11).Value = x(2) Worksheets("sheet1 ").Cells(2, 12).Value = Y(2) pickedx(1) = x(2) pickedy(1) = Y(2) 'Make sure points are not too close to each other accepted = 1 For xcounter= 3 To 101 For ycounter = 3 To 101 'makes sure x and y values have not been used before If xflag(xcounter) = 1 Or yflag(ycounter) = 1 Then GoTo 10 XX = x(xcounter) YY = Y(ycounter) 'Sets inter-point distance to some value range For a = 1 To accepted If ((XX - pickedx(a)) # 2 + (YY - pickedy(a)) # 2) # 0. 5 b = accepted + 2 Worksheets("sheet1").Cells(b, 11).Value = XX Worksheets("sheetl ").Cells(b, 12).Value = YY xflag(xcounter) = 1 yflag(ycounter) = 1 accepted = accepted + 1 pickedx(a) = XX pickedy(a) = YY 10Next ycounter 20 Next xcounter 'This block resets the algorithm if the number of accepted 'points is too low. maximum effort is 500 loops. failed = failed + 1 Worksheets("sheet1").Cells(4, 13).Value = failed If failed = 500 Then GoTo 50 If accepted La Figure 1 illustre une distribution aléatoire selon l'art antérieur de 100 points sur une grille plane 10 x 10 générée au moyen d'une fonction numérique aléatoire du logiciel Microsoft@ Excel@ 2000. Le long des axes x et y (illustrés par des formes en losange) se trouvent les emplacements où les points de coordonnées (illustrés sous la forme de cercles) interceptent (au sens géométrique du terme) l'axe. Par exemple, le point (3,4,8,6) (x, y) serait représenté sur l'axe des x en (3,4, 0,0) et sur l'axe des y en (0,0, 8,6). On voit qu'il y a des régions où ces points sont agglomérés et des régions qui sont dépourvues de points. Telle est la nature d'une distribution aléatoire. La Figure 2 montre une disposition complètement ordonnée de points selon l'art antérieur, les points étant équidistants à la fois sur l'axe des x et sur l'axe des y pour générer une disposition de grille carrée. Dans ce cas, si les points de forme en losange le long de l'axe des x et de l'axe des y sont uniformément espacés, ils sont fortement écartés. Une amélioration significative peut être faite en décalant la disposition de particules légèrement le long d'une direction en diagonale par rapport à l'axe des x et l'axe des y. Dans ce cas, chaque particule de grain est décalée de telle sorte que, dans la disposition carrée, le point (x, y) devient maintenant (x + 0,ly, y + O,lx). Cela améliore la "densité de points" par rapport aux deux axes d'un facteur de x 10, les points étant maintenant dix fois plus proches les uns des autres. Cependant, la disposition est toujours ordonnée et cela créera des vibrations périodiques qui sont indésirables lorsque l'on met en oeuvre des outils abrasifs. La Figure 3, illustrant une forme d'exécution de l'invention et qui est générée au moyen de la macro détaillée ci-dessus, montre une distribution de 100 points de coordonnées sélectionnés de façon aléatoire sur une grille 10 x 10, une restriction imposant que deux points soient au moins séparés par 0,5. Le nombre de points aléatoires qui peut être placé sur une grille 10 x 10 en fonction de la séparation minimale de points permise est représenté dans le Tableau 1. Tableau 1 Nombre de points placés en fonction de la séparation minimale des points. Si 1 000 tentatives successives de placer un point ont échoué, les calculs ont été arrêtés. Séparation minimale des Nombre moyen de points points (cinq passes) 0,5 257 0,6 183,2 0,7 135,6 0,8 108,8 0,9 86,8 1,0 71,4 Il est à noter que l'espace, à la Figure 3, n'est pas total et qu'il ne montre que 100 points, mais l'espace peut (en moyenne) supporter 157 autres points avec une séparation minimale des points de 0,5. Une fois que le diamètre le plus grand des grains abrasifs a été sélectionné, la concentration maximale en grains peut être facilement déterminée pour une zone plane donnée. La Figure 4 illustre une autre forme d'exécution de l'invention, montrant une disposition graphique tracée, générée au moyen de la macro détaillée plus haut. La grille de points de coordonnées cartésiennes représentée à la Figure 4 produit une densité de points uniforme le long de l'axe des x et de l'axe des y. Les points sont choisis de façon aléatoire à partir de deux jeux de paires de valeurs sélectionnées découplées (x) et (y), avec les valeurs sur l'axe des x suivant une séquence numérique régulière et les valeurs sur l'axe des y suivant une séquence numérique régulière. Du fait qu'elle a été créée à partir de paires de valeurs x et y découplées et réassemblées de façon aléatoire, cette disposition spatiale s'éloigne de manière significative tant d'une disposition de treillis ordonnée que d'une disposition aléatoire. Le graphique de la Figure 4 inclut une restriction supplémentaire d'exigence de zone d'exclusion, grâce à quoi il ne se trouve aucune paire de points dans laquelle les points sont à moins d'une certaine distance l'un de l'autre, distance qui, dans ce cas, est de 0,7. La distribution de points représentée à la Figure 4 a été obtenue comme suit : a) Une liste de x points et une liste de y points a été préparée. Dans ce cas, les deux étaient 0,0, 0,1, 0,2, 0,3, ...9,9. b) Un nombre aléatoire a été attribué à chacune des valeurs x et y. Les nombres aléatoires ont été classés en ordre croissant selon leurs valeurs associées x ou y. Cette étape rend simplement aléatoire les points x et les points Y. c) Le premier point (x, y) a été choisi et placé sur la grille. Un second point (x1, y1) a été sélectionné. f) Le point (x1, y1) a été ajouté à la grille seulement s'il était à une certaine distance spécifiée depuis tout point existant sur la grille. g) Si le point (x1, y1) ne satisfaisait pas au critère de distance, il a été rejeté, et le point (x1, y1) a été tenté. Une grille n'a été considérée comme acceptable que si tous les points ont pu être placés. Avec une distance de pas de 0,1 dans x et y, il a été constaté qu'une grille était acceptée du premier coup si l'espace minimum entre points était de 0,4 ou moins. Si l'espace minimal entre points était de 0,5 ou 0,6, un certain nombre de tentatives étaient nécessaire pour placer tous les points. L'espacement maximal ayant permis le positionnement de tous les points était de 0,7, et souvent plusieurs centaines de tentatives ont été nécessaires avant de placer tous les points. La Figure 5 illustre une autre forme d'exécution de l'invention, générée au moyen d'une macro similaire à la macro utilisée pour générer la Figure 4 ; cependant, la distribution de points, pour la Figure 5, a été générée avec des coordonnées polaires r, #. Un anneau a été choisi comme zone plane, et des points ont été placés sur la disposition de telle sorte que toute ligne radiale tirée depuis le point central (0,0) intercepte une distribution de points uniforme. Du fait que la dimension radiale dirige le positionnement de davantage de points à proximité du centre de l'anneau et moins de points à proximité du périmètre de l'anneau et que le périmètre affecte une plus grande zone que le centre, la densité de points par unité de surface n'est pas uniforme. Dans un outil fabriqué avec une telle disposition, les grains abrasifs situés au voisinage du périmètre auront à meuler une plus grande zone et s'useront plus rapidement. Pour éviter un tel inconvénient et pour créer une distribution de grains abrasifs de densité uniforme, une seconde disposition cartésienne peut être générée et superposée à la disposition de coordonnées polaires. Une macro et une disposition du type illustré à la Figure 3 peuvent être utilisées à cette fin. Avec la restriction en matière de zone d'exclusion, la disposition cartésienne superposée évitera le positionnement de points dans la zone centrale fortement peuplée de l'anneau, mais remplira de façon uniforme les zones ouvertes au voisinage du périmètre. Les dispositions relatives de valeurs interceptées représentées sous la forme de losanges sur les différents graphiques représentés dans les Figures peuvent être comparées pour prédire les performances des outils abrasifs en cours de déplacement selon un trajet linéaire pendant le meulage. Un outil abrasif ayant des grains multiples situés au niveau d'une (ou plusieurs) valeur(s) d'interception identique(s) tracera un trajet de couverture inégale (par exemple, l'outil de l'art antérieur de la Figure 2). Des manques, dans l'action d'abrasion, seront parsemés parmi des pistes de meulage qui seront devenues des tranchées profondes par suite du passage de grains multiples au même endroit. Ainsi, les points en forme de losange le long des axes aux Figures 1-4 suggèrent la façon selon laquelle les outils abrasifs se comporteront lorsqu'ils sont déplacés selon une direction linéaire d'un côté à l'autre du plan d'une pièce d'oeuvre. Les Figures 1 et 2, illustrant des outils de l'art antérieur, présentent des agglomérats et des manques le long des valeurs d'interception en forme de losange. Les Figures 3 et 4, illustrant l'invention, ont relativement peu d'agglomérats ou de manques, en admettant qu'ils en aient, le long des valeurs d'interception en forme de losange. Pour cette raison, les outils fabriqués avec les dispositions de grains abrasifs représentées aux Figures 3-5 peuvent meuler des surfaces jusqu' à un état de surface lisse, uniforme et relativement dépourvue de défauts. La taille de la zone d'exclusion autour de chaque grain peut varier d'un grain à l'autre et n'a pas nécessairement la même valeur [c'est-à-dire que la valeur minimale (k) définissant la distance centre à centre des grains adjacents peut être une constante ou une variable]. Pour créer une zone d'exclusion, la valeur minimale (k) doit excéder le diamètre maximal de la gamme de taille voulue pour les grains abrasifs. Dans une forme d'exécution préférée, la valeur minimale (k) est d'au moins 1,5 fois le diamètre maximal des grains abrasifs. La valeur minimale (k) doit éviter tout contact de surface entre grains et réaliser des canaux entre grains suffisamment grands pour permettre l'élimination des débris de meulage depuis les grains et la surface de l'outil. La dimension de la zone d'exclusion sera dictée par la nature de l'opération de meulage, les matériaux travaillés qui génèrent de grands copeaux nécessitant des outils ayant de plus grands canaux entre grains abrasifs adjacents et de plus grandes dimensions de zone d'exclusion que les matériaux qui génèrent de fins copeaux. Fabrication d'un outil abrasif utilisant un graphique de disposition auto-évitante La disposition bidimensionnelle de points aléatoires maîtrisés peut être transférée à un substrat d'outil ou à un gabarit pour le positionnement des grains abrasifs par une diversité de techniques et d'équipements. Cela inclut, par exemple, des systèmes robotiques automatisés pour orienter et positionner les objets, des transferts d'images graphiques (par exemple, bleus pour CAD) vers des équipements de coupe au laser ou d'attaque chimique photo-resist pour la fabrication de gabarit ou de matrice, des équipements laser ou photo-resist pour l'application directe de la disposition sur un substrat d'outil, un équipement automatisé de distribution de points d'adhésif, des équipements de poinçonnage mécanique, et analogues. Telle qu'utilisée ici, l'expression "substrat d'outil" se réfère à un support, un noyau ou une couronne mécanique sur laquelle la disposition de grains abrasifs est collée. Un substrat d'outil peut être sélectionné parmi diverses préformes d'outils rigides et supports flexibles. Les substrats qui sont des préformes d'outils rigides ont de préférence une forme géométrique ayant un axe de symétrie en rotation. La forme géométrique peut être simple ou elle peut être complexe en ce sens qu'elle peut inclure une diversité de formes géométriques assemblées le long d'un axe de rotation. Dans ces catégories d'outils abrasifs, les formes géométriques préférées pour les préformes d'outils rigides comprennent les disques, les couronnes, les anneaux, les cylindres et les formes tronconiques, ainsi que leurs combinaisons. Ces préformes d'outils rigides peuvent être faites en acier, aluminium, tungstène ou autres métaux, et en alliages et composites métalliques de tels matériaux avec, par exemple, des céramiques ou des matériaux polymères, et d'autres matériaux ayant une stabilité dimensionnelle suffisante pour être utilisée dans la construction d'outils abrasifs. Les substrats de support flexibles comprennent les films, les feuilles, les toiles, les feuilles non-tissées, les voiles, les canevas, les feuilles perforées et les laminés et combinaisons de ceux-ci avec tout autre type de supports connus dans la technique de la fabrication des outils abrasifs. Les supports flexibles peuvent se présenter sous la forme de bandes, disques, feuilles, pads, rouleaux, rubans et autres formes, tels que ceux utilisés, par exemple, pour les outils en abrasifs appliqués (papier de verre). Ces supports flexibles peuvent être fabriqués à partir de papier, feuilles polymères ou métalliques, feuilles métalliques minces ou laminés flexibles. Les dispositions de grains abrasifs peuvent être collées sur le substrat d'outil au moyen d'une diversité de matériaux de liaison pour abrasifs, tels que ceux qui sont connus dans la fabrication des outils abrasifs agglomérés ou appliqués. Les matériaux de liaison préférés pour abrasifs incluent les matériaux adhésifs, les matériaux de brasage, les matériaux d'électrodéposition, les matériaux électromagnétiques, les matériaux électrostatiques, les matériaux vitrifiés, les matériaux de liaison en poudre métallique, les matériaux polymères et les matériaux en résine, ainsi que leurs combinaisons. Dans une forme d'exécution préférée, la disposition de points non-contigus peut être appliquée ou imprimée sur le substrat d'outil de telle sorte que les grains abrasifs soient liés directement au substrat. Le transfert direct de la disposition sur le substrat peut être mis en oeuvre par positionnement d'une disposition de gouttelettes adhésives ou de gouttelettes de pâte de brasure métallique sur le substrat puis en centrant un grain abrasif sur chaque gouttelette. En variante, un bras de robot peut être utilisé pour sélectionner une disposition de grains abrasifs, avec un grain unique tenu au niveau de chaque point de la disposition, et le bras de robot peut ensuite positionner la disposition de grains sur une surface d'outil qui a été pré-enduite d'une couche superficielle d'adhésif ou de pâte de brasure métallique. La pâte adhésive ou brasée métallique fixe temporairement les grains abrasifs en place jusqu'à ce que l'ensemble ait été davantage traité pour fixer à demeure le centre de chaque grain abrasif à chaque point de la disposition. Des adhésifs convenant à cette fin comprennent, par exemple, les époxy, le polyuréthane, le polyimide et les compositions acryliques, ainsi que leurs modifications et combinaisons. Les adhésifs préférés ont des propriétés non-Newtoniennes (amincissement au cisaillement) pour permettre un écoulement suffisant au cours du positionnement des gouttelettes ou revêtements tout en empêchant un écoulement excessif, de façon à maintenir la précision du positionnement de la disposition de grains abrasifs. Les caractéristiques de temps utile de travail de l'adhésif peuvent être sélectionnées pour satisfaire au temps nécessaire à la mise en oeuvre des étapes restantes de la fabrication. On préfère les adhésifs à durcissement rapide (par exemple, au moyen d'un durcissement sous l'effet d'un rayonnement) dans la plupart des opérations de fabrication. Dans une forme d'exécution préférée, on peut utiliser un équipement Microdrop disponible auprès de Microdrop GmbH, Nordestedt, Allemagne, pour déposer une disposition de gouttelettes d'adhésif sur la surface du substrat d'outil. La surface du substrat d'outil peut être dentelée ou rayée pour aider au positionnement direct des grains abrasifs sur les points de la disposition. En variante au positionnement direct de la disposition sur le substrat d'outil, la disposition peut être transférée ou imprimée sur un gabarit, et les grains abrasifs collés à la disposition de points sur le gabarit. Les grains peuvent être collés au gabarit par des moyens permanents ou temporaires. Le gabarit joue le rôle soit d'un support pour les grains orientés selon la disposition soit comme moyen pour l'orientation permanente des grains dans l'ensemble d'outil abrasif final. Selon un procédé préféré, le gabarit est gravé d'une disposition d'indentations de perforations correspondant à la disposition voulue, et les grains abrasifs sont fixés temporairement au gabarit au moyen d'un adhésif temporaire ou par application d'un vide ou d'une force électromagnétique ou d'une force électrostatique, ou par tout autre moyen, ou par une combinaison ou une série de moyens. La disposition de grains abrasifs peut être délogée du gabarit et amenée sur la surface du substrat d'outil et le gabarit peut être enlevé tout en garantissant que les grains restent centrés aux points sélectionnés de la disposition de telle sorte que le motif voulu de grains soit créé sur le substrat. Dans une seconde forme d'exécution, une disposition voulue de points de positionnement d'adhésif (par exemple, un adhésif hydrosoluble) peut être créée sur un gabarit (au moyen d'un masque ou d'une disposition de microgouttes), après quoi un grain abrasif peut être centré sur chaque point de l'adhésif de positionnement. Le gabarit est ensuite placé sur un substrat d'outil enduit d'un matériau de liaison (par exemple, un adhésif insoluble dans l'eau) et le grain est libéré depuis le gabarit. Dans le cas d'un gabarit fait d'un matériau organique, l'ensemble peut être traité thermiquement (par exemple, à 700-950 C) pour braser ou fritter le liant métallique utilisé pour faire coller les grains au substrat, grâce à quoi le gabarit et l'adhésif de positionnement sont éliminés par dégradation thermique. Dans une autre forme d'exécution préférée, la disposition de grains à coller au gabarit peut être pressée contre le gabarit pour aligner uniformément la disposition de grains selon leur hauteur, après quoi la disposition peut être liée au substrat d'outil de telle sorte que les pointes des grains liés soient à une hauteur sensiblement uniforme à partir du substrat d'outil. Des techniques convenables pour la mise en oeuvre de ce procédé sont connues dans la technique et décrites par exemple dans US-A-6 159 087, US-A-6 159 286 et US-B1-6 368 198. En variante, des grains abrasifs sont fixés à demeure au gabarit et l'ensemble grain/gabarit est monté sur le substrat d'outil au moyen d'un liant adhésif, d'un liant de brasage, d'un liant électrodéposé ou par un autre moyen. Des techniques convenables pour la mise en oeuvre de ce procédé sont connues dans la technique et divulguées par exemple dans US-A-4 925 457, US-A-5 131 924, US-A-5 817 204, US-A-5 980 678, US-A-6 159 286, US-B1-6 286 498 et US-B1-6 368 198. D'autres techniques convenables pour l'assemblage d'outils abrasifs fabriqués avec des dispositions de grains abrasifs auto-évitantes selon l'invention sont divulguées dans US-A-5 380 390 et US-A-5 620 489. Les techniques décrites ci-dessus pour la fabrication d'outils abrasifs incorporant des grains abrasifs non-contigus agencés selon des dispositions spatiales aléatoires maîtrisées peuvent être employées dans la fabrication de nombreuses catégories d'outils abrasifs. Parmi ces outils, on peut citer les outils de dressage ou de conditionnement pour pads pour CMP, les outils pour l'amincissage de composants électroniques, les outils de meulage et de polissage pour des procédés optiques ophtalmique, tels que la finition de la surface et des bords des verres, des dresseurs rotatifs et des dresseurs de lames pour réaménager la face de travail de meules, des outils abrasifs de fraisage, des outils superabrasifs de géométrie complexe (par exemple, des meules en grains CBN électrodéposées pour une rectification passe profonde grande vitesse), des outils de meulage pour le meulage grossier de matériaux "à copeaux courts, tels que le Si3N4, ayant une tendance à générer de fines particules de débris, se tassant facilement, qui colmatent les outils de meulage et les outils de meulage utilisés pour assurer le fini de surface de matériaux "à copeaux longs, tels que le titane, les alliages Inconel, l'acier ayant une grande résistance à la traction, le laiton et le cuivre, ayant une tendance à former des copeaux gommeux qui barbouillent la face de l'outil de meulage. De tels outils peuvent être faits au moyen de n'importe quels grains abrasifs connus dans la technique, y compris, par exemple, le diamant, le nitrure de bore cubique (CBN), le sous-oxyde de bore, divers grains d'alumine, tels que l'électro-corindon, l'alumine frittée, l'alumine sol-gel frittée ensemencée ou non-ensemencée, avec ou sans modificateur ajouté, les grains d'alumine-oxyde de zirconium, les grains d'alumine oxy-nitrure, le carbure de silicium, le carbure de tungstène ainsi que leurs modifications et combinaisons. Telle qu'utilisée ici, l'expression "grains abrasifs" se réfère à des grains abrasifs uniques, des points de coupe et des composites comprenant une pluralité de grains abrasifs, et leurs combinaisons. On peut employer tout liant utilisé dans la fabrication des outils abrasifs pour lier la disposition de grains abrasifs au substrat d'outil ou au gabarit. Par exemple, des liants métalliques convenables comprennent le bronze, le nickel, le tungstène, le cobalt, le fer, le cuivre, l'argent, ainsi que leurs alliages et combinaisons. Les liants métalliques peuvent être sous la forme d'une brasure, d'une couche électrodéposée, d'une masse compacte ou matrice de poudre de métal fritté, d'une soudure, ou d'une combinaison de tels liants, avec des additifs facultatifs, tels qu'un infiltrant secondaire, des particules de charge dure et d'autres additifs pour améliorer la fabrication ou les performances. Des liants convenables organiques ou formés de résine comprennent les liants époxy, phénol, polyimide et d'autres matériaux et combinaisons de matériaux utilisés dans la technique des grains abrasifs agglomérés et appliqués pour la fabrication d'outils abrasifs. Des matériaux liants vitrifiés, tels que des mélanges de précurseurs de verre, des frittes de verre pulvérulentes, des poudres céramiques et leurs combinaisons, peuvent être utilisés en combinaison avec un matériau liant adhésif. Ce mélange peut être appliqué sous la forme d'un revêtement sur un substrat d'outil ou imprimé sous la forme d'une matrice de gouttelettes sur le substrat, par exemple, de la manière décrite dans JP 99 201 524. Exemple 1 Un outil de conditionnement pour pad de CMP, ayant un positionnement de grains abrasifs auto-évitant, est fabriqué en enduisant tout d'abord un substrat en acier en forme de disque [plaque ronde de 101,6 mm (4 pouces) de diamètre ; 7,62 mm (0,3 pouce) d'épaisseur] au moyen d'une pâte de brasure. La pâte de brasure contenait une poudre d'alliage métallique formant charge de brasure (LM Nicrobraz, obtenue auprès de Wall Colmonoy Corporation), et un liant organique fugace, à base aqueuse (liant Vitta Braze-Gel, obtenu auprès de Vitta Corporation) consistant en 85 % en poids de liant et 15 % en poids de tripropylène glycol. La pâte de brasure contenait 30 % en volume de liant et 70 % en volume de poudre métallique. La pâte de brasure est appliquée sur le disque sur une épaisseur uniforme de 0,203 mm (0,008 pouce) au moyen d'une raclette. Des grains abrasifs en diamant (tamis de maille 100/200, taille FEPA D151, diamant MBG 660, obtenu auprès de GE Corporation, Worthington, Ohio) sont tamisés jusqu'à un diamètre moyen de 151/139 microns. Un vide est appliqué à un bras de prélèvement équipé d'un gabarit en acier en forme de disque de 101,6 mm (4 pouces) portant le motif de disposition auto-évitante illustré à la Figure 4. Le motif se présente sous la forme d'une disposition de perforations dont la taille est de 40-50 % plus petite que le diamètre moyen des grains abrasifs. Le gabarit monté sur le bras de prélèvement est positionné au-dessus des grains de diamant, un vide est appliqué pour faire coller un grain de diamant à chaque perforation, les grains en excès étant éliminés par brossage de la surface du gabarit, en ne laissant qu'un diamant par perforation, et le gabarit portant les diamants est positionné au-dessus du substrat d'outil enduit de brasure. Le vide est cassé après que chaque diamant est venu en contact avec la surface de la pâte de brasure tandis que la pâte est encore humide, transférant ainsi la disposition de diamants sur la pâte de brasure. La pâte lie temporairement la disposition de brasure, en fixant les grains en place en vue de la poursuite du traitement. L'outil assemblé est ensuite séché à la température ambiante et brasé dans un four à vide pendant 30minutes à une température d'environ 980-1 060 C pour lier à demeure la disposition de diamants au substrat. Exemple 2 Une meule en diamant (meule de type 1A1 ; diamètre 100 mm, épaisseur 20 mm avec un alésage de 25 mm) pour des opérations grossières de meulage d'optique ophtalmique, ayant une distribution pseudo-aléatoire d'une monocouche de grains abrasifs en diamant selon le motif de disposition auto-évitante illustré à la Figure 3, est fabriquée de la manière suivante. L'un des deux procédés est utilisé pour le transfert de la disposition sur le substrat d'outil (préforme). Procédé A : En utilisant l'empreinte de la disposition de grains abrasifs de la Figure 3, des trous dont le diamètre va jusqu'à 1,5 fois le diamètre moyen des grains sont pratiqués dans un ruban de masquage adhésif (hydrosoluble) par une technologie photo-resist, après quoi le ruban est fixé à la surface de travail d'une préforme d'outil en acier inoxydable en forme de disque qui a été enduite d'un adhésif (hydroinsoluble), de telle sorte que l'adhésif hydroinsoluble soit exposé via les trous du masque. Des grains abrasifs en diamant (FEPA D251 ; taille de grain au tamis US 60/70 ; moyen de 250 microns ; diamant obtenu auprès de GE Corporation, Worthington, Ohio) sont positionnés dans les trous du ruban de masquage et collés au moyen du revêtement adhésif insoluble dans l'eau et exposé sur la préforme. Le ruban de masquage est ensuite éliminé de la préforme. Le noyau est monté sur un axe en acier inoxydable et relié à un circuit électrique. Après un dégraissage cathodique, l'ensemble est immergé dans un bain d'électrodéposition (électrolyte de Watt contenant du sulfate de nickel). Une couche métallique est déposée par voie électrolytique selon une épaisseur moyenne égale à 10-15 % du diamètre des grains abrasifs fixés. L'ensemble est ensuite enlevé du bain et, dans une seconde étape d'électrodéposition, un dépôt recouvrant de nickel est appliqué sur une épaisseur égale à 50-60 % de la taille moyenne des grains. L'ensemble est rincé et l'outil sur lequel est plaquée une monocouche de grains abrasifs selon une distribution pseudo-aléatoire est enlevé de l'axe en acier inoxydable. Procédé B : Les valeurs de jeu de coordonnées illustrées à la Figure 3 sont transférées directement sur une préforme d'outil en forme de disque en tant que disposition de microgouttes d'adhésif. La préforme d'outil est positionnée sur une table de positionnement équipée d'un axe de rotation (équipement Microdrop, obtenu auprès de Microdrop GmbH, Nordestedt, Allemagne) qui est conçue pour positionner précisément des gouttelettes d'adhésif (une composition acrylique modifiée durcissable sous l'effet d'un rayonnement UV) au moyen d'un système de micro-dosage, tel que décrit dans EP-A1-1 208 945. Chaque goutte d'adhésif a un diamètre inférieur au diamètre moyen (250 microns) des grains abrasifs en diamant. Après que l'on a placé le centre d'un grain en diamant sur chaque goutte d'adhésif et qu'on a laissé l'adhésif durcir et fixer la disposition de grains à la préforme, on monte la préforme d'outil sur un axe en acier inoxydable et réalise le contact électrique. Après dégraissage cathodique, l'ensemble est immergé dans un bain d'électrodéposition (électrolyte de Watt contenant du sulfate de nickel) et une couche de métal est déposée selon une épaisseur moyenne égale à 60 % du diamètre des grains abrasifs fixés. L'ensemble d'outil est ensuite enlevé du bain et rincé, et il est enlevé de l'axe en acier inoxydable un outil sur lequel est électrodéposée une monocouche de grains abrasifs positionnés selon la disposition illustrée à la Figure 3. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'outils abrasifs ayant, autour de chaque grain abrasif, une zone d'exclusion sélectionnée, comprenant les étapes suivantes : (a) la sélection d'une zone plane bidimensionnelle ayant une taille et une forme définies ; (b) la sélection d'une taille et d'une concentration voulues de grains abrasifs pour la zone plane ; (c) la génération aléatoire d'une série de valeurs de coordonnées bidimensionnelles ; (d) la restriction de chaque paire de valeurs de coordonnées générées de manière aléatoire à des valeurs de coordonnées différant, d'une valeur minimale (k), de toute paire de valeurs de coordonnées voisines ; (e) la génération d'une disposition de valeurs de coordonnées générées de manière aléatoire et restreintes ayant suffisamment de paires, tracées sous la forme de points sur un graphique, pour donner la concentration voulue en grains abrasifs pour la zone plane bidimensionnelle sélectionnée et la taille de grains abrasifs sélectionnée ; et (f) le centrage d'un grain abrasif au niveau de chaque point de la disposition. 2. Procédé de fabrication d'outils abrasifs ayant, autour de chaque grain abrasif, une zone d'exclusion sélectionnée, comprenant les étapes suivantes : (a) la sélection d'une zone plane bidimensionnelle ayant une taille et une forme définies ; (b) la sélection d'une taille et d'une concentration voulues de grains abrasifs pour la zone plane ; (c) la sélection d'une série de paires de valeurs de coordonnées x1, y1), de telle sorte que les valeurs de coordonnées le long d'au moins un axe soient restreintes à une séquence numérique dans laquelle chaque valeur diffère de la valeur suivante par une quantité constante ; (d) le découplage de chaque paire de valeurs de coordonnées sélectionnées (x1, y1) pour donner un jeu de valeurs sélectionnées x et un jeu de valeurs sélectionnées Y ; (e) la sélection aléatoire, à partir des jeux de valeurs x et y, d'une série de paires de valeurs de coordonnées aléatoires (x, y), chaque paire ayant des valeurs de coordonnées différant, d'une valeur minimale (k), des valeurs de coordonnées de toute paire de valeurs de coordonnées voisines ; (f) la génération d'une disposition des paires de valeurs de coordonnées sélectionnées de manière aléatoire, ayant suffisamment de paires, tracées sous la forme de points sur un graphique, pour donner la concentration en grains abrasifs voulue pour la zone plane bidimensionnelle sélectionnée et la taille de grains abrasifs sélectionnée ; et (g) le centrage d'un grain abrasif au niveau de chaque point de la disposition. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, comprenant en outre l'étape de liaison de la disposition de grains abrasifs au moyen d'un matériau de liaison pour fixer les grains abrasifs en chaque point de la disposition. 4. Procédé selon la revendication 3, comprenant en outre l'étape de liaison de la disposition de grains abrasifs à un substrat pour former un outil abrasif. 5. Procédé selon la revendication 4, dans lequel le substrat est sélectionné dans le groupe consistant en une préforme d'outil rigide et un support flexible, et leurs combinaisons. 6. Procédé selon la revendication 5, dans lequel la préforme d'outil rigide a une forme géométrique ayant un axe de symétrie en rotation. 7. Procédé selon la revendication 5, dans lequel la forme géométrique de la préforme d'outil rigide est sélectionnée dans le groupe consistant en les formes de disque, de couronne, d'anneau, de cylindre et de tronc de cône, et leurs combinaisons. 8. Procédé selon la revendication 5, dans lequel le support flexible est sélectionné dans le groupe consistant en les films, les feuilles métalliques minces, les étoffes, les feuilles non-tissées, les voiles, les treillis, les feuilles perforées, les laminés et leurs combinaisons. 9. Procédé selon la revendication 8, dans lequel le support flexible est transformé en une forme sélectionnée dans le groupe consistant en les bandes, les disques, le feuilles, les pads, les rouleaux et les rubans. 10. Procédé selon la revendication 3, comprenant les étapes suivantes : a) l'impression, sur un substrat d'outil, de la disposition de valeurs de coordonnées générées de manière aléatoire et restreintes, tracées sous la forme de points sur un graphique, et b) la fixation d'un grain abrasif au niveau de chaque point de la disposition sur le substrat d'outil au moyen d'un matériau de liaison pour abrasif. 11. Procédé selon la revendication 3, comprenant les étapes suivantes : a) l'impression, sur un gabarit, de la disposition de valeurs de coordonnées générées de manière aléatoire et restreintes, tracées sous la forme de points sur un graphique, b) la fixation d'un grain abrasif au niveau de chaque point de la disposition sur le gabarit pour former une disposition de grains abrasifs ; c) le transfert de la disposition de grains abrasifs sur un substrat d'outil ; et d) le collage de la disposition de grains abrasifs sur le substrat d'outil au moyen d'un matériau de liaison pour abrasif. 12. Procédé selon la revendication 11, comprenant en outre l'étape d'enlèvement du gabarit du substrat d'outil. 13. Procédé selon la revendication 11, comprenant en outre l'étape de liaison du gabarit portant la disposition de grains abrasifs sur le substrat d'outil pour former l'outil abrasif. 14. Procédé selon la revendication 3, dans lequel le matériau de liaison pour abrasif est sélectionné dans le groupe consistant en les matériaux adhésifs, les matériaux de brasage, les matériaux d'électrodéposition, les matériaux électromagnétiques, les matériaux électrostatiques, les matériaux vitrifiés, les matériaux de liaison en poudre métallique, les matériaux polymères et les matériaux en résine, ainsi que leurs combinaisons. 15. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la disposition est définie par un jeu de coordonnées cartésiennes (x,y). 16. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la disposition est définie par un jeu de coordonnées polaires (r,#). 17. Procédé selon la revendication 16, dans lequel la disposition est définie en outre par un jeu de coordonnées cartésiennes (x,y). 18. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel la valeur minimale (k) excède le diamètre maximal d'un grain abrasif. 19. Procédé selon la revendication 18, dans lequel la valeur minimale (k) est égale à au moins 1,5 fois le diamètre maximal d'un grain abrasif. 20. Procédé selon la revendication 3, comprenant en outre l'étape de conversion de la disposition de grains abrasifs d'une structure bidimensionnelle en une structure tridimensionnelle par roulage de la disposition de grains abrasifs en un rouleau à couches concentriques. 21. Procédé selon la revendication 1 ou 2, dans lequel les grains abrasifs sont sélectionnés dans le groupe consistant en les grains abrasifs uniques, les points de coupe et les composites comprenant une pluralité de grains abrasifs, et leurs combinaisons. 22. Outil abrasif comprenant des grains abrasifs, un liant et un substrat, les grains abrasifs ayant un diamètre maximal sélectionné et une gamme de tailles sélectionnée, et les grains abrasifs étant collés sur le substrat au moyen du liant sous la forme d'une disposition en monocouche, caractérisé en ce que : (a) les grains abrasifs sont orientés dans la disposition selon un motif non-uniforme ayant une zone d'exclusion autour de chaque grain abrasif, et (b) chaque zone d'exclusion a un rayon minimal qui excède le rayon maximal de la taille de grain abrasif voulue. 23. Outil abrasif selon la revendication 22, dans lequel chaque grain abrasif est situé en un point sur la disposition qui a été définie en restreignant une série de points sélectionnés de manière aléatoire sur un plan bidimensionnel de telle sorte que chaque point soit séparé de tout autre point par une valeur minimale (k) qui est égale à au moins 1,5 fois le diamètre maximal du grain abrasif. 24. Outil abrasif selon la revendication 22, dans lequel chaque grain abrasif est situé en un point sur la disposition qui a été défini par : (a) la restriction d'une série de paires de valeurs de coordonnées (x1, y1) de telle sorte que les valeurs de coordonnées le long d'au moins un axe soient restreintes à une séquence numérique dans laquelle chaque valeur diffère, d'une quantité constante, de la valeur suivante ; (b) le découplage de chaque paire de valeurs de coordonnées sélectionnées (x1, y1) pour donner un jeu de valeurs sélectionnées x et un jeu de valeurs sélectionnées Y ; (c) la sélection aléatoire, à partir des jeux de valeurs x et y, d'une série de paires de valeurs de coordonnées aléatoires (x, y), chaque paire ayant des valeurs de coordonnées différant, d'une valeur minimale (k), des valeurs de coordonnées de toute paire de valeurs de coordonnées voisines ; (d) la génération d'une disposition des paires de valeurs de coordonnées sélectionnées de manière aléatoire, ayant suffisamment de paires, tracées sous la forme de points sur un graphique, pour donner la zone d'exclusion voulue autour de chaque grain abrasif. 25. Outil abrasif selon la revendication 22, dans lequel le substrat est sélectionné dans le groupe consistant en une préforme d'outil rigide et un support flexible, et leurs combinaisons. 26. Outil abrasif selon la revendication 25, dans lequel la préforme d'outil rigide a une forme géométrique ayant un axe de symétrie en rotation. 27. Outil abrasif selon la revendication 26, dans lequel la forme géométrique de la préforme d'outil rigide est sélectionnée dans le groupe consistant en les formes de disque, de couronne, d'anneau, de cylindre et de tronc de cône, et leurs combinaisons. 28. Outil abrasif selon la revendication 25, dans lequel le support flexible est sélectionné dans le groupe consistant en les films, les feuilles métalliques minces, les étoffes, les feuilles non-tissées, les voiles, les treillis, les feuilles perforées, les laminés et leurs combinaisons. 29. Outil abrasif selon la revendication 28, dans lequel le support flexible est transformé en une forme sélectionnée dans le groupe consistant en les bandes, les disques, les feuilles, les pads, les rouleaux et les rubans. 30. Outil abrasif selon la revendication 22, dans lequel le matériau de liaison pour abrasif est sélectionné dans le groupe consistant en les matériaux adhésifs, les matériaux de brasage, les matériaux d'électrodéposition, les matériaux électromagnétiques, les matériaux électrostatiques, les matériaux vitrifiés, les matériaux de liaison en poudre métallique, les matériaux polymères et les matériaux en résine, ainsi que leurs combinaisons. 31. Outil abrasif selon la revendication 23, dans lequel la disposition de grains abrasifs d'une structure bidimensionnelle a été transformée en une structure tridimensionnelle par roulage de la disposition de grains abrasifs en un rouleau à couches concentriques. 32. Outil abrasif selon la revendication 22, dans lequel les grains abrasifs sont sélectionnés dans le groupe consistant en les grains abrasifs uniques, les points de coupe et les composites comprenant une pluralité de grains abrasifs, et leurs combinaisons.