Brevet FR2860841A3 — publié le 20050415

FR 2860841 A3 20050415 FR 0410735 A 20041012 2860841 1 PERFECTIONNEMENTS APPORTES A L'EFFICACITE D'UN SYSTEME DE POMPAGE La présente invention concerne des perfectionnements apportés à l'efficacité de pompage, et en particulier à la diminution de la consommation d'énergie d'un système de pompage pour faire le vide ayant une pluralité de pompes. Le traitement sous vide est communément utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs pour le dépôt de couches minces sur des substrats. De manière type, une chambre de traitement est évacuée jusqu'à très basse pression en utilisant une pompe à vide, pression qui, en fonction du type de procédé, peut descendre jusqu'à 10-6 mbar, et des gaz d'alimentation sont introduits dans la chambre évacuée pour faire se déposer le matériau désiré sur un ou plusieurs substrats placés dans la chambre. Une fois le dépôt achevé, le substrat est retiré de la chambre et un autre substrat est inséré pour répétition du proces- sus de dépôt. Un temps de pompage important est nécessaire pour évacuer la chambre de traite- ment à la pression requise. En conséquence, pour pouvoir maintenir la pression dans la chambre au niveau requis ou aux alentours de celui-ci lorsqu'on change les substrats, on utilise habituellement des chambres de transfert et des sas de chargement. Le sas de char- gement est relié à la chambre de transfert par un premier hublot ou passage qui peut être ouvert de manière sélective pour permettre aux substrats d'être insérés et retirés de la chambre de transfert. La capacité du sas de chargement peut aller de quelques litres seule- ment jusqu'à plusieurs milliers de litres pour certains des outils de panneaux d'affichage plats les plus grands. Le sas de chargement possède aussi un deuxième hublot qui peut être ouvert à l'atmosphère de manière sélective pour permettre d'insérer et de retirer les subs- trats du sas de chargement. En utilisation, la chambre de traitement est maintenue sous le vide désiré par la pompe à vide de la chambre de traitement. Le premier hublot étant fermé, le deuxième hublot est ouvert à l'atmosphère pour permettre l'insertion du substrat dans le sas de chargement. Le deuxième hublot est alors fermé et, en utilisant une pompe à vide pour le sas de chargement, le sas de chargement est évacué jusqu'à ce qu'il soit essentiel- lement à la même pression que la chambre de transfert. Le premier hublot est alors ouvert pour permettre le transfert du substrat dans la chambre de transfert. La chambre de trans2860841 2 fert est alors évacuée à une pression qui est essentiellement la même que la chambre de traitement, à la suite de quoi le substrat est transféré dans la chambre de traitement. Lorsque le traitement sous vide est terminé, le substrat après traitement est à nouveau transféré dans le sas de chargement. Pendant que le premier hublot est fermé pour mainte- nir le vide dans la chambre de traitement, la pression dans le sas de chargement est amenée à la pression atmosphérique en autorisant un gaz non réactif, comme par exemple de l'air ou de l'azote, à entrer dans le sas de chargement. Lorsque la pression dans le sas de chargement est à la pression atmosphérique ou proche de celle-ci, le deuxième hublot est ou- vert pour permettre le retrait du substrat préparé. Ainsi, pour un sas de chargement, un cy- cle répétitif d'évacuation qui part de la pression atmosphérique et va jusqu'à un vide primaire ou moyen est-il nécessaire. Les pompes pour sas sont, de manière type, sans huile dans leurs chambres à vide, car tout lubrifiant présent dans les chambres à vide pourrait provoquer une contamination de l'environnement propre dans lequel le traitement sous vide est réalisé. Ces pompes à vide "sèches" sont souvent des pompes volumétriques multi-étagées utilisant des rotors s'engrenant. Les rotors peuvent avoir le même type de profil pour chaque étage ou bien le profil peut changer d'un étage à l'autre. Un exemple d'une telle pompe adaptée à une utilisation comme pompe pour sas de chargement est l'une des pompes de la série "iL" des pompes à vide sèches BOC Edwards. Les facteurs qui contribuent à la puissance réclamée par une pompe à vide englobent la puissance destinée à vaincre les pertes parasites, la puissance destinée à comprimer le fluide à aspirer, et les pertes de puissance dues à l'insuffisance du moteur. Pour réduire la puissance réclamée pour comprimer le fluide aspiré, il est connu de réduire la pression de refoulement de la pompe. Le dispositif auxiliaire Ulvac EcoShock fournit par exemple une pompe supplémentaire pour pomper les gaz évacués d'une pompe à vide. Dans une installation de fabrication de semi-conducteurs, le traitement sous vide peut être réalisé simultanément dans plusieurs chambres réactionnelles, chacune équipée d'un sas de chargement respectif. La présence d'un tel dispositif auxiliaire pour chaque pompe à vide pour sas de chargement augmenterait considérablement les coûts et augmenterait à la fois le nombre des sources d'énergie réclamées pour le système de pompage et l'empreinte totale au sol du système de pompage. Dans son mode de réalisation préféré au moins, la présente invention résout ces problèmes ainsi que d'autres. La présente invention offre un système de pompage pour faire le vide comprenant une pluralité de pompes à vide, chacune destinée à pomper un fluide d'une chambre res- pective, des moyens pour acheminer le fluide évacué des pompes vers une pompe supplémentaire pour pomper le fluide évacué, et, en communication fluidique avec lesdits moyens d'acheminement, des moyens pour détourner sélectivement de la pompe supplémentaire le fluide évacué. 2860841 3 En raccordant deux pompes à vide ou plus à une évacuation commune qui achemine le fluide évacué des pompes jusqu'à une pompe supplémentaire qui pompe le fluide évacué, la pression du fluide aux orifices de refoulement des pompes peut être réduite de 1000 mbar environ (pression atmosphérique) jusqu'à une pression de l'ordre de, par exemple, 10 mbar à 100 mbar. La réduction de la différence de pression entre l'orifice d'aspiration des pompes et l'orifice de refoulement des pompes d'un facteur de 10 ou plus peut réduire de manière importante la puissance nécessaire pour comprimer le fluide aspiré des chambres et ainsi réduire de manière importante la consommation d'énergie dans chacune des pompes à vide. Lorsque les pompes à vide comprennent des pompes pour sas de chargement destinées à évacuer une pluralité de sas de chargement, le débit masse du fluide évacué des refoulements des pompes variera en fonction du nombre de sas de chargement en cours d'évacuation à partir d'une pression relativement élevée, par exemple après que des substrats aient été insérés dans les chambres. En résultat, le débit masse du fluide évacué des pompes, et ainsi la pression à l'entrée d'admission de la pompe supplémentaire, varieront typiquement de manière importante avec le temps. Dans le cas où le débit des pompes de sas de chargement excède le débit de la pompe supplémentaire, comme lorsque, par exemple, quatre sas de chargement ou davantage, sont évacués simultanément en partant d'une pression relativement élevée, le fluide évacué "en excès" est détourné de la pompe de ma- nière à empêcher la pression du fluide en amont de la pompe supplémentaire d'excéder la pression du fluide en aval de la pompe supplémentaire et ainsi à éviter une surcharge de l'étage d'entrée de la pompe supplémentaire et de l'étage de refoulement des pompes des sas de chargement. Ainsi, on peut utiliser une unique pompe de puissance et de capacité relativement faibles comme pompe pour le fluide évacué de toutes les pompes à vide. En résultatn, on peut en anticiper que le coût de la fourniture et du fonctionnement de cette pompe supplémentaire puisse être plus que compensé par les dépenses annuelles économisées grâce à la réduction de la consommation d'énergie des pompes à vide. De manière préférée, les moyens d'acheminement comprennent une pluralité de pre- miers conduits servant chacun à acheminer un fluide évacué d'une pompe à vide respective vers un deuxième conduit destiné à recevoir le fluide évacué de chacun des premiers conduits et à acheminer le fluide évacué vers la pompe supplémentaire. De manière préférée, les moyens de détournement (ou dérivation) comprennent une vanne. La vanne peut comprendre une entrée de vanne pour recevoir un fluide évacué, une sortie de vanne, et des moyens permettant au fluide évacué de s'écouler de l'entrée de la vanne vers la sortie de la vanne lorsque la différence de pression entre l'entrée de vanne et la sortie de vanne excède une valeur prédéterminée, par exemple 50 mbar environ. De ma- nière commode, la vanne peut prendre la forme d'un clapet à bille, comprenant une bille 2860841 4 placée de manière à s'appuyer sur un siège de clapet pour empêcher le passage du fluide entre la sortie de la vanne et l'entrée de la vanne, et qui, à l'utilisation, est déplaçable du siège du clapet par le fluide évacué sous pression à l'extrémité d'entrée de la vanne pour permettre le passage du fluide évacué de l'entrée de la vanne jusqu'à la sortie de la vanne. De manière préférée, la pompe supplémentaire possède une sortie de refoulement en communication fluidique avec la sortie de la vanne, de telle sorte que la sortie de la vanne et la sortie de la pompe soient à la même pression. De manière préférée, les moyens d'acheminement comprennent, en amont de la pompe supplémentaire, des moyens de séparation du fluide évacué des pompes en un pre- mier courant s'écoulant vers la pompe supplémentaire et un deuxième courant s'écoulant vers la vanne. Dans un mode de réalisation, les moyens de séparation peuvent comprendre une bifurcation pour diviser l'écoulement du fluide évacué provenant des pompes en deux courants. Dans un autre mode de réalisation, les moyens de séparation peuvent aussi compren- dre une vanne trois voies, qui comporte une entrée de vanne destinée à recevoir le fluide évacué des pompes, une première sortie de vanne pour envoyer vers la pompe supplémentaire le fluide évacué reçu et une deuxième sortie de vanne pour détourner de la pompe supplémentaire le fluide évacué reçu. Des moyens peuvent être prévus pour commander sélectivement à la vanne trois voies soit d'envoyer le fluide évacué reçu seulement de la première sortie de la vanne, soit d'envoyer le fluide évacué à la fois de la première sortie de la vanne et de la deuxième sortie de la vanne. Un capteur peut par exemple être prévu pour détecter la pression du fluide évacué à l'entrée de la vanne, les moyens de commande étant agencés pour commander la vanne trois voies en dépendance d'une grandeur de sortie du capteur. Ceci peut permettre à la deuxième sortie de vanne d'être ouverte si la pression à l'entrée de vanne excède un niveau prédéterminé, par exemple si plus de trois chambres ont été évacuées en partant d'une pression relativement élevée. La vanne de purge située en aval de la deuxième sortie de vanne peut fournir un élément de sécurité dans l'éventualité d'une défaillance de la vanne trois voies, en fermant la deuxième sortie de vanne lorsque la pression chute au-dessous du niveau prédéterminé. Alternativement, ou en complément, des moyens peuvent être prévus pour surveiller la consommation d' énergie des pompes à vide, les moyens de commande étant prévus pour commander la vanne supplémentaire en dépendance d'une grandeur de sortie des moyens de surveillance. Ceci peut permettre à la deuxième sortie de vanne d'être ouverte si la consommation en énergie des pompes augmente au-delà d'un niveau prédéterminé, qui peut aussi être indicatif de l'évacuation en cours, à partir d'une pression relativement élevée, de plusieurs chambres par les pompes et, ainsi, d'une augmentation en cours ou anticipée du débit des gaz évacués qui sont acheminés vers la pompe supplémentaire. Dans 2860841 5 une autre variante, les moyens de surveillance peuvent contrôler l'ouverture et la fermeture des vannes situées entre les chambres et les pompes. Le système comprend, de manière préférée, en communication fluidique avec lesdits moyens d'acheminement, une chambre supplémentaire pour le pompage en utilisant la pompe supplémentaire. La présence de cette chambre peut réduire l'augmentation de pression à l'entrée de la pompe supplémentaire lorsqu'un ou plusieurs des sas de chargement sont évacués en partant d'une pression relativement élevée, ce qui peut aider à éviter une surcharge de la pompe supplémentaire. La pression minimale du fluide évacué peut être contrôlée par la quantité d'un gaz de purge pompé en continu par les pompes à vide. Cependant, lorsqu'il n'est pas utilisé de gaz de purge, le fluide évacué pourra alors être pompé jusqu'à une valeur aussi basse que le vide limite de la pompe supplémentaire qui, en fonction de la nature de la pompe supplémentaire, pourra être inférieur à 1 mbar. Comme le pompage du fluide évacué jusqu'à moins de 5 mbar par exemple peut diminuer l'efficacité d'ensemble du système de pom- page, le système comprend de manière préférée des moyens pour contrôler la consommation d'énergie de la pompe supplémentaire. La consommation d'énergie peut alors être diminuée comme et lorsque c'est nécessaire pour empêcher la pompe supplémentaire de produire un vide inférieur à, par exemple, 5 mbar. Des caractéristiques préférées de la présente invention vont maintenant être décrites, 20 à titre d'exemple uniquement, en faisant référence aux dessins annexés, dans lesquels: La Figure 1 illustre un système de pompage pour faire le vide; et La Figure 2 illustre la variation de la consommation d'énergie en fonction de la pression de refoulement pour une pompe BOC Edwards iL600. En faisant référence à la Figure 1, un mode de réalisation d'un système 10 de pom- page pour faire le vide comprend une pluralité (huit représentées sur la Figure 1, bien que tout nombre approprié de pompes puisse être prévu) de pompes à vide, P1 à P8, chacune raccordée à une chambre respective, Cl à C8, par l'intermédiaire de vannes respectives, V1 à V8. Dans ce mode de réalisation, chacune des chambres Cl à C8 est un sas de charge-ment d'un système de fabrication de semi-conducteurs, et chacune des pompes à vide est une pompe pour sas de chargement. Sont des exemples de pompes appropriées destinées à une utilisation comme pompe pour sas de chargement, les pompes sèches BOC Edwards iL70 et iL600. La sortie de refoulement de chacune des pompes P 1 à P8 des sas de chargement est raccordée à un conduit correspondant 20. Les conduits 20 acheminent le fluide évacué des pompes pour sas de chargement vers une évacuation commune 30 qui comporte des conduits 32, 34. Une bifurcation N5 possède une entrée 40 pour recevoir la totalité du fluide évacué des pompes des sas de chargement, une première sortie 42 pour envoyer le fluide évacué vers l'entrée 50 d'une pompe pour l'échappement Péchappement' et une deuxième 2860841 6 sortie 44 pour envoyer le fluide évacué vers l'entrée 62 d'une vanne de purge 60. La pompe pour l'échappement peut aussi se présenter sous la forme d'une pompe sèche, telle la pompe BOC Edwards iL70. La pompe pour l'échappement possède une sortie 52 raccordée via les conduits 54 et 56 à la sortie 64 de la vanne de purge 60. A l'utilisation, les sas de chargement C 1 à C8 sont maintenus à basse pression, typiquement dans une plage de 10"2 à 10-3 mbar, par les pompes P 1 à P8 des sas de chargement. Le fluide évacué des pompes des sas de chargement est acheminé vers la pompe pour l'échappement qui, à son tour, décharge le fluide dans l'atmosphère. Comme indiqué sur la Figure 1, un gaz de purge léger, de l'azote par exemple, peut être fourni à chacune des pompes des sas de chargement à, par exemple, 4 slpm (litres standard par minute), et ainsi, en présence de ce gaz de purge, la quantité de fluide évacué des pompes des sas de chargement et envoyé ensuite vers la pompe pour l'échappement sera d'au moins 32 slpm. A un tel débit, la pompe pour l'échappement est apte à abaisser la pression du fluide aux sorties de refoulement des pompes des sas de chargement jusqu'à moins de 100 mbar, et typique- ment jusqu'à environ 12 mbar ou moins. En faisant référence à la Figure 2, la réduction de la pression de refoulement d'une pompe de sas de chargement de 1000 mbar (pression atmosphérique) jusqu'à environ 12 mbar peut considérablement diminuer la consommation en énergie de cette pompe. A titre d'exemple, l'économie d'énergie moyenne attendue pour une pompe BOC Edwards iL600N individuelle fonctionnant sous 60 Hz avec une pression de refoulement aux alentours de 5 mbar sera d'environ 0,6 kW, ce qui pourrait donner une économie de coût annuelle d'environ 300 dollars. Pour un système à huit pompes tel qu'il-lustré sur la Figure 1 comprenant, par exemple, cinq pompes iL70 et trois pompes iL 600, on pourra attendre une économie de coût annuelle supérieure à 1000 dollars. A l'utilisation, chacun des sas de chargement C 1 à C8 sera périodiquement ramené à la pression atmosphérique, par exemple en utilisant une source de gaz non réactif tel que l'air ou l'azote. En étudiant cette mise sous pression pour, par exemple, le sas de charge-ment Cl, la vanne V1 est tout d'abord fermée pour isoler la pompe P 1 de sas de charge-ment du sas Cl. Du gaz est alors fourni au sas Cl pour ramener le sas à la pression atmosphérique afin de permettre à un substrat transformé d'être retiré de la chambre et à un nou- veau substrat d'être inséré pour sa transformation ultérieure. La vanne V1 est alors ouverte pour permettre l'évacuation du sas par la pompe P 1 du sas. Pendant l'évacuation de la chambre, il se produira une augmentation du débit masse du fluide évacué de la pompe P1, ce qui fera monter la pression du fluide évacué à l'entrée d'aspiration 50 de la pompe pour l'échappement PéchappementÉ En s'assurant que la pression à l'entrée 50 de la pompe pour l'échappement n'excède pas la pression à la sortie de refoule- ment 52 de la pompe pour l'échappement, la pompe pour l'échappement sera apte à pomper efficacement le fluide évacué. Cependant, en fonction de la durée du processus réalisé dans chacune des chambres de traitement (non représentées) reliées aux sas de chargement, il est 2860841 7 possible que plusieurs sas de chargement puissent être évacués en même temps. La présence d'une vanne de purge 60 en communication fluidique avec l'entrée d'aspiration 50 de la pompe pour l'échappement, il est possible d'éviter une situation où le débit du fluide venant des pompes P1 à P8 des sas de chargement serait si important qu'il entraînerait une surcharge de la pompe pour l'échappement. Si par exemple, la différence de pression entre l'entrée 62 et la sortie 64 de la vanne de purge 60 devenait supérieure à 50 mbar par exemple, le fluide évacué sous pression provoquerait la sortie de la bille du siège 68 de vanne, permettant au fluide évacué d'éviter la pompe pour l'échappement et d'être déchargé dans l'atmosphère. Une fois que la différence de pression est tombée au-dessous de 50 mbar, la vanne 60 se ferme et la totalité du fluide évacué est une fois encore évacuée via la pompe pour l'échappement. La pression minimale du fluide évacué est contrôlée par la quantité du gaz de purge pompé en continu par les pompes à vide. Cependant, lorsqu'il n'est pas utilisé de gaz de purge, le fluide évacué pourra être abaissé jusqu'au vide limite de la pompe pour l'échap- pement, qui pourra être inférieur à 1 mbar. Du fait qu'un pompage du fluide évacué pour descendre à moins de 5 mbar par exemple peut réduire l'efficacité d'ensemble du système de pompage, un système de régulation peut être prévu pour réguler la consommation en énergie de la pompe pour l'échappement. La consommation en énergie peut alors être diminuée quand et lorsque c'est nécessaire pour empêcher la pompe pour l'échappement de produire une dépression inférieure à, par exemple, 5 mbar. Comme montré sur la Figure 1, une chambre supplémentaire 70 peut être prévue en aval des pompes P1 à P8 des sas de chargement pour un pompage utilisant la pompe pour l'échappement. La présence d'une telle chambre 70 peut réduire l'augmentation de pression à l'entrée d'aspiration de la pompe pour l'échappement lorsqu'un ou plusieurs sas de char- gement Cl à C8 est(sont) évacué(s), ce qui peut aider à éviter une surcharge de l'étage d'entrée de la pompe pour l'échappement et de l'étage de refoulement des pompes pour les sas de chargement. On comprendra que ce qui précède ne représente qu'un mode de réalisation de l'invention, dont d'autres de ceux-ci ne manqueront pas de venir à l'esprit de l'homme de l'art 30 sans s'éloigner de la portée réelle de l'invention. A titre d'exemple, à la place ou en plus de la vanne de purge 60, une vanne trois voies pourra être placée à la bifurcation N5. Cette vanne peut être commandée pour diriger le fluide évacué vers et/ou l'écarter de la pompe pour l'échappement, comme nécessaire pour éviter une surcharge de la pompe pour l'échappement. Un capteur peut par exemple être prévu pour détecter la pression du fluide évacué au niveau de l'entrée 40. En dépendance d'une grandeur de sortie du capteur, la vanne peut être commandée pour envoyer le fluide dans la sortie 44, c'est- à-dire le dévier de la pompe pour l'échappement, si la pression à l'entrée 40 excède un niveau prédéterminé, par exemple si plus de trois sas de chargement 2860841 8 sont évacués simultanément. Alternativement, ou en plus, la consommation en énergie des pompes des sas de chargement peut être surveillée, et la vanne trois voies commandée pour ouvrir la deuxième sortie 44 si la consommation en énergie des pompes augmente au- dessus d'un niveau prédéterminé, qui peut aussi être indicatif d'une évacuation en cours, à partir d'une pression relativement élevée, de plusieurs des sas de chargement par les pompes, et donc d'une augmentation en cours ou anticipée du débit des gaz évacués qui sont acheminés vers la pompe pour l'échappement. Dans une autre variante, la vanne trois voies peut être commandée en surveillant le statut des vannes V1 à V8. Une vanne de purge 60 située en aval de la sortie 44 peut fournir un élément de sécurité dans l'éventualité d'une défaillance de la vanne trois voies à fermer la deuxième sortie 44 lorsque la pression du fluide à l'entrée 40 chute au-dessous du niveau prédéterminé. En résumé, un système de pompage pour faire le vide comprend une pluralité de pompes à vide, chacune destinée à pomper le fluide d'un sas de chargement respectif. Pour diminuer la pression du fluide aux sorties de refoulement des pompes et ainsi réduire la consommation en énergie des pompes, le fluide évacué des pompes est acheminé vers une pompe supplémentaire qui pompe la totalité du fluide évacué. Pour empêcher une sur-charge de la pompe supplémentaire, lorsque plusieurs des chambres sont évacuées simultanément, une vanne de purge dévie sélectivement une partie du fluide évacué de la pompe supplémentaire. 9 REVENDICATIONS 1. Système de pompage pour faire le vide, comprenant une pluralité de pompes à vide (P 1-P8) destinées chacune à pomper un fluide d'une chambre respective (C 1-C8), des moyens (20, 30) pour acheminer le fluide évacué des pompes vers une pompe supplémentaire (Péchappement,) pour pomper le fluide évacué, et, en communication fluidique avec lesdits moyens d'acheminement (20, 30), des moyens (60) pour détourner sélectivement de la pompe supplémentaire le fluide évacué. 2. Système selon la Revendication 1, dans lequel les moyens d'acheminement com- prennent une pluralité de premiers conduits (20) servant chacun à acheminer le fluide évacué d'une pompe à vide respective vers un deuxième conduit (30) destiné à recevoir le fluide évacué de chacun des premiers conduits et à acheminer le fluide évacué vers la pompe supplémentaire. 3. Système selon la Revendication 1 ou la Revendication 2, dans lequel les moyens 15 de détournement comprennent une vanne (60). 4. Système selon la Revendication 3, dans lequel la vanne comprend une entrée (62) de vanne pour recevoir un fluide évacué, une sortie (64) de vanne, et des moyens (66) per-mettant au fluide évacué de s'écouler de l'entrée de la vanne à la sortie de la vanne lorsque la différence de pression entre l'entrée de la vanne et la sortie de la vanne excède une valeur prédéterminée. 5. Système selon la Revendication 4, dans lequel la vanne comprend une bille (66) placée de manière à s'appuyer sur un siège (68) de vanne pour empêcher le passage du fluide entre la sortie (64) de la vanne et l'entrée (62) de la vanne, et qui, à l'utilisation, est déplaçable du siège de la vanne par le fluide évacué sous pression à l'extrémité d'entrée de la vanne pour permettre le passage du fluide évacué de l'entrée de la vanne jusqu'à la sortie de la vanne. 6. Système selon la Revendication 4 ou la Revendication 5, dans lequel la pompe supplémentaire possède une sortie (52) de refoulement en communication fluidique avec la sortie (64) de la vanne. 7. Système selon l'une quelconque des Revendications précédentes, dans lequel les moyens d'acheminement comprennent, en amont de la pompe supplémentaire, des moyens (N5) de séparation du fluide évacué des pompes en un premier courant s'écoulant vers la pompe supplémentaire (Péchappement,) et un deuxième courant s'écoulant vers les moyens (60) de détournement. 8. Système selon la Revendication 7, dans lequel les moyens de séparation comprennent une vanne trois voies, qui comporte une entrée (40) de vanne destinée à recevoir le fluide évacué des pompes, une première sortie (42) de vanne pour envoyer vers la pompe 2860841 10 supplémentaire le fluide évacué reçu et une deuxième sortie (44) de vanne pour dévier de la pompe supplémentaire le fluide évacué reçu. 9. Système selon la Revendication 8, comprenant des moyens pour commander sélectivement à la vanne trois voies soit d'envoyer le fluide évacué reçu seulement de la pre- mière sortie de la vanne, soit d'envoyer le fluide évacué à la fois de la première sortie de la vanne et de la deuxième sortie de la vanne. 10. Système selon la Revendication 9, comprenant un capteur pour détecter la pression du fluide évacué à l'entrée de la vanne, les moyens de commande étant agencés pour commander la vanne trois voies en dépendance d'une grandeur de sortie du capteur. 11. Système selon la Revendication 9 ou la Revendication 10, comprenant des moyens pour surveiller la consommation d'énergie des pompes à vide, les moyens de commande étant prévus pour commander la vanne supplémentaire en dépendance d'une grandeur de sortie des moyens de surveillance. 12. Système selon l'une quelconque des Revendications précédentes, comprenant, en 15 communication fluidique avec lesdits moyens d'acheminement, une chambre supplémentaire (70) pour le pompage en utilisant la pompe supplémentaire. 13. Système selon l'une quelconque des Revendications précédentes, comprenant des moyens pour surveiller la consommation d'énergie de la pompe supplémentaire. 14. Système selon l'une quelconque des Revendications précédentes, dans lequel les pompes à vide comprennent une pluralité de pompes à vide (P1P8) pour sas de charge-ment, chacune servant à évacuer un sas de chargement respectif (Cl-C8).