Brevet FR2868332A1 — publié le 20051007

Appareil de traitement d'effluents qazeux La présente invention concerne un appareil pour le traitement d'effluents gazeux par contact avec un liquide. Dans une chaîne de fabrication de semi-conducteurs, des pompes à vide sont souvent raccordées à des réacteurs de dépôt ou de gravure qui lors des phases où le procédé de fabrication est mis en oeuvre rejettent des gaz toxiques et corrosifs tels que HF, F2, HC, CL2,NH3, etc. Ces gaz sont hautement corrosifs et posent donc au niveau de la conception et de la réalisation des circuits de traitement et de destruction des effluents des problèmes difficiles à résoudre notamment en ce qui concerne le choix des matériaux à utiliser. Afin de pouvoir traiter les gaz ou fluides ainsi issus de ces machines à la source c'est-à-dire à la sortie de la pompe vide, il est nécessaire d'avoir des appareils compacts qui puissent être installés directement sous les réacteurs de dépôt et/ou de gravure des circuits et en particulier sous le faux plancher des salles blanches selon la conception actuelle de ces salles blanches. Afin de résoudre le problème ainsi posé, l'appareil pour le traitement d'effluents gazeux selon l'invention est caractérisé en ce qu'il comporte: - une chambre de contact gaz/liquide permettant de recevoir dans sa partie inférieure un liquide, surmonté par un ciel gazeux, cette chambre comportant des moyens d'introduction d'un gaz à traiter et des moyens d'évacuation des gaz résiduaires après traitement au contact du liquide, des moyens contacteurs gaz/liquide du type turbine, permettant d'assurer un contact amélioré du gaz et du liquide, lesdits moyens comportant dans leur partie supérieure une ouverture permettant d'aspirer le gaz situé dans le ciel gazeux au-dessus du liquide, - de préférence des moyens de mesure du pH du liquide, - optionnellement des moyens de modification et/ou de contrôle du pH du liquide. De préférence, l'appareil selon l'invention comportera en outre des moyens d'évacuation du liquide après une période prédéterminée. De préférence également, il comportera des moyens dévésiculeurs pour piéger les gouttelettes de liquide dans les gaz résiduaires évacués, lesdits moyens étant reliés aux moyens d'évacuation du gaz à traiter. La chambre de contact gaz/liquide comportera de préférence des parois anti-vortex et pourra être ainsi par exemple réalisée sous forme d'une chambre parallélépipédique. Différentes variantes de réalisation sont possibles: - Si aucune dépression n'est utile ou nécessaire au dispositif disposé en amont de l'appareil selon l'invention, les moyens d'introduction du gaz à traiter seront disposés dans la partie inférieure de la chambre de contact gaz/liquide, de manière à injecter le gaz dans le liquide lorsque l'appareil est en fonctionnement. Ces moyens d'introduction du gaz à traiter seront disposés préférentiellement, par rapport aux moyens contacteurs gaz/liquide, de telle manière que lorsque le gaz à traiter est injecté dans le liquide, on engendre des bulles de gaz dont le chemin passe à l'intérieur du champ d'action desdits moyens contacteurs. - Si une dépression légère par exemple comprise entre -10 mbar et -500 mbar relatif est utile ou nécessaire pour l'équipement placé en amont, il est préférable d'injecter les gaz à traiter directement dans le ciel gazeux dudit appareil, afin de profiter de la capacité d'aspiration naturelle, créée par les moyens contacteurs gaz/liquide, notamment lorsqu'il s'agit par exemple d'une turbine à arbre creux. - Si une dépression plus forte est requise par exemple comprise entre -50 et -500 mbar par l'équipement amont, ou encore un piégeage plus intensif des solides par exemple des sous produits de réactions qui se sont produites en amont de l'appareil, un injecteur peut être placé dans une canalisation d'amenée en entrée de laveur. Cet injecteur peut être alimenté de deux façons: par une pompe immergée montée sur le même arbre que la turbine ou par un deuxième ensemble pompe immergée juxtaposé au dispositif turbine. Selon un mode préférentiel de réalisation de l'invention, les moyens contacteurs gaz/liquide comporteront une partie supérieure non immergée dans le liquide en cours de fonctionnement de l'appareil, cette partie supérieure comportant une ouverture reliée à des moyens d'aspiration permettant d'aspirer le ciel gazeux situé au-dessus du liquide et le réinjecter dans le liquide. Par exemple, les moyens contacteurs peuvent être constitués d'un dispositif du type turbine rotative qui par sa rotation dans le liquide (à l'aide de l'arbre vertical auquel elle est reliée, arbre entraîné par un moteur actionné par un moyen quelconque) provoque une dépression dans la canalisation à laquelle la turbine est reliée. Ce dispositif turbine' est conçu de sorte à aspirer les gaz du ciel gazeux au dessus du liquide via son arbre creux, par exemple à l'aide d'une ouverture en partie haute et d'injecter les mêmes gaz dans le liquide via la turbine creuse en extrémité d'arbre creux. Selon, une variante de l'invention, ce dispositif permet de recycler partiellement les gaz avant rejet, de manière à laver plusieurs fois ces gaz dans le liquide. De préférence, les moyens contacteurs gaz/liquide seront constitués par une turbine qui plonge, en fonctionnement, dans le liquide, et qui tourne autour d'un axe vertical. Cet axe vertical pourra être par exemple excentré dans la chambre de contact gaz/liquide. Les moyens contacteurs gaz/liquide pourront être constitués par exemple par une turbine de surface (qui puise le liquide au fond de la chambre pour l'amener au contact des gaz en surface) ou une turbine située profondément dans le liquide (qui aspire les gaz en surface pour les injecter dans le liquide). L'invention sera mieux comprise à l'aide des exemples de réalisation suivants donnés à titre non limitatif conjointement avec les figures qui représentent: la figure 1, une vue générale de l'appareil selon l'invention, la figure 2, une vue schématique en coupe de l'appareil de la figure 1 dans sa version atmosphérique, c'est à dire avec injection du gaz à traiter dans le liquide - la figure 3, une représentation graphique de la capacité d'aspiration de la turbine en fonction de la fréquence de rotation du moteur, la figure 4, une représentation graphique des taux de destruction/conversion de CO2 gazeux en fonction du débit de gaz à traiter, - la figure 5, une variante de réalisation de l'invention telle que représentée sur la figure 2 comportant des moyens additionnels pour augmenter le mélange gaz/liquide. - les figures 6 a et b représentent une autre variante de réalisation de la figure 2 avec injection subatmosphérique du gaz dans le ciel gazeux situé au dessus du liquide. la figure 7 représente une variante de la figure 2 comportant deux étages de dispersion du gaz à traiter dans le liquide. - la figure 8 représente une autre variante de la figure 2 comportant trois étages de dispersion de gaz à traiter dans le liquide. L'appareil représenté sur les figures 1 et 2 va être décrit ci-après. Cet appareil comporte: - une chambre de contact gaz/liquide 1 de forme préférablement parallélépipédique ou à défaut cylindrique mais munie de parois anti- vortex, réalisée en un matériau résistant à la corrosion mais de préférence bon marché comme par exemple le chlorure de polyvinyle ou le polypropylène, un contacteur gaz/liquide constitué sait par une turbine de fond motorisée, à arbre creux 6 et pales creuses 7. Le gaz à traiter est injecté, soit via l'orifice d'entrée 15 directement dans le liquide soit dans le ciel gazeux au dessus du liquide. Dans certains cas, il pourra être installé un tube vertical du même diamètre que la turbine, puisant le liquide au fond de l'enceinte, ce qui améliore l'homogénéité du liquide de traitement et donc l'efficacité du traitement. Les pales 7 de la turbine sont reliées à l' arbre creux vertical 6 qui se prolonge en 8. - un pH mètre (ou plusieurs: 9 et 10 sur la figure 1)assurant la régulation de pH de la solution de traitement, suivant les cas, soit par injection d'eau (entrée 13), de soude ou d'acide (entrée 14) préférablement par pompe doseuse asservie, - une vanne de vidange de l'effluent de traitement (non représentée figure 1) vers un stockage ou la station de décantation et neutralisation, une sortie gaz dans le ciel gazeux pour l'évacuation du gaz traité vers les circuits d'évacuation et de traitement final classiques (adsorption), un dévésiculeur pour piéger les gouttelettes d'eau en suspension dans le gaz juste avant rejet dans le circuit de traitement classique des effluents gazeux acides habituels (CO2, etc...). La figure 2 représente une vue en coupe du dispositif de la figure 1. La chambre de contact gaz/liquide 101 est remplie d'eau 138 (ou tout autre liquide adapté, souhaité) jusqu'à un niveau 139 de l'absence de brassage, au-dessous de l'aspiration 140 de la turbine 106, 107 dans le ciel gazeux 141 au-dessus du niveau liquide 139. Un palier 133 traversé par l'arbre vertical 106 de la turbine et raccordé à la roue à engrenage 105, permet de transmettre le mouvement de rotation à la turbine 107 via une courroie crantée 104, et une roue à engrenage 103 directement montée sur le moteur 102. Le gaz à traiter est injecté en 117 via la canalisation 116 dans la partie basse 115 de la chambre parallélépipédique 101 (pour la variante atmosphérique du laveur), le gaz entrant en 115 dans la chambre 101 est injecté dans le champ d'action de la turbine 107, dont la forte agitation engendre une surface de transfert efficace du gaz par dispersion fine dans le liquide 138. Le gaz après traitement (c'est-à-dire après plusieurs circulations dans l'eau dans la variante atmosphérique du laveur, passage dans le ciel gazeux, aspiration du ciel gazeux et réinjection dans le bas du bain par la turbine 107, est évacué par l'ouverture 112, la canalisation 118, le passage sur un dévésiculeur 119 afin d'enlever l'humidité superflue puis passage dans la cavité 121 et échappement par l'orifice 120 (vers un traitement sec ou directement à l'atmosphère, selon les cas). La cavité 121 comporte un système d'évacuation 122, et la vanne 125 du liquide piégé qui rejoint la canalisation 126 de drain gravitaire. Sur ce même drain 126 est connecté une canalisation 123 via la vanne 124. Ce circuit permet l'évacuation depuis le piquage 143 du liquide excédentaire provenant de 121 via 124 et 123 nécessaire à la stabilisation dans la composition du liquide et à l'évacuation des matières en suspension excédentaires. Dans le ciel gazeux 141 se trouve un capteur de pression 142 permettant de contrôler la pression au-dessus du liquide est d'éviter les surpressions. De l'eau désionisée est injectée en 130 via deux branches: la vanne 134 et la canalisation 135 (complément du liquide évacué par de l'eau ou du produit frais) et la vanne 132 et la canalisation 131 puis l'injection en 136 après passage à travers 133 (lubrification du palier supérieur de l'arbre de turbine) Le fonctionnement du système décrit sur les figures 1 et 2 est expliqué ci-après: L'enceinte remplie d'eau est munie d'une turbine d'agitation de surface ou de fond destinée à augmenter la surface de transfert gaz/liquide pour accélérer l'absorption des gaz corrosifs dans la solution de traitement. Pour améliorer ces échanges, le gaz traité est directement injecté sous la turbine d'agitation (dans le cas spécifique de la variante atmosphérique du laveur). Dans le cas où une turbine de surface est utilisée, selon une variante de l'invention une meilleure agitation est obtenue en puisant l'eau au fond à l'aide d'un tube vertical (ou en adoptant une solution décrite sur la figure 5). L'évacuation du gaz traité, vers le circuit de traitement centralisé lorsqu'il s'agit d'une unité de fabrication de semi-conducteurs, se fait à travers une soupape hydraulique et un dévésiculeur. Suivant les polluants à retirer, on pourra jouer sur le pH de la solution de traitement par adjonction du produit basique ou seulement d'eau asservie par la régulation de pH. Il faut noter que pour un gaz alcalin comme NH3, l'injection de soude est inutile et que la régulation de pH peut être utilisée pour injecter de l'eau. La vidange de la solution de traitement est de préférence commandée à la fois par la régulation de pH et par la régulation de niveau. L'évacuation de la solution usée se fait soit vers un stockage soit vers une station de neutralisation. Parmi les avantages de l'invention décrite ci-avant, on peut citer notamment: la polyvalence d'un tel appareil car il permet de traiter des fluides ou gaz polluants très différents tout en provoquant une très faible perte de charge dans l'enceinte c'est-à-dire ne provoquant pas de perturbations sur le fonctionnement des pompes à vide qui se trouvent en sortie des chambres de dépôt ou de gravure de semi-conducteurs. La consommation d'énergie pour un tel système s'est avérée faible (de l'ordre de 50 à 500 Watt) et il est possible de réaliser une géométrie de l'ensemble de faible encombrement ce qui rend cet appareil installable sous le faux plancher des salles blanches. Sur la figure 3 est représenté un exemple de la capacité d'aspiration d'une turbine selon l'invention en fonction de la fréquence de rotation du moteur. On peut ainsi adapter facilement la capacité de traitement de l'appareil selon l'invention en augmentant la fréquence de rotation du moteur sachant que cette capacité est multipliée par six environ pour une augmentation de fréquence de 2.5 environ. La figure 4 donne un exemple de représentation graphique du taux de traitement de CO2 gazeux avec de l'eau en fonction du débit de gaz à traiter pour une concentration en entrée du gaz à traiter de 2500 ppm de CO2 et un débit d'aspiration grâce à la turbine de 300 litres par minutes. Ainsi pour une débit de 50 litres par minute on obtient un taux de destruction de 95 % du dioxyde de carbone qui passe à 70 % pour un débit de gaz à traiter de 200 litres par minutes. Dans les applications nécessitant des taux de destruction (DRE) supérieurs, on pourra sélectivement opter pour des options mufti-étages décrites ci-après (la solution turbine seule de la figure 2 constituant la base commune simple étage) sur les figures 6, 7 et 8. La figure 5 représente une modification du système décrit sur la figure 2 permettant si nécessaire d'augmenter l'efficacité du contact gaz/liquide et augmenter ainsi le taux de destruction/traitement de gaz entrant dans l'appareil selon l'invention, en particulier dans le cas où la turbine est proche de la surface. Pour cela, on peut prévoir un carter 140 qui vient coiffer la turbine 107 et qui s'étend jusqu'à un niveau inférieur à la sortie des gaz de la turbine 107, avec l'adjonction éventuelle d'ailettes 141 solidaires de l'arbre de turbine 106. Ces ailettes ont pour fonction d'augmenter l'agitation dans le liquide et de favoriser ainsi le transfert de matière lesdites ailettes permettant en outre de rejeter le mélange vers le bas du récipient (selon leur orientation) allongeant ainsi le temps de séjour et l'échange gaz-liquide à l'intérieur de la cuve. Bien entendu, si l'on veut permettre un accès des gaz à l'intérieur de la chambre de mélange on peut prévoir (non représenté sur la figure) soit de relier directement l'extrémité 115 de la canalisation 116 à l'entrée du carter 140, soit plus simplement prévoir une ou plusieurs ouvertures dans le carter. Cette variante de l'invention avec un carter de protection autour de la turbine et/ou du système d'ailettes 141 formant une hélice qui va rejeter le mélange vers le bas du récipient, est bien entendu applicable aux variantes des figures 6, 7 et 8 ci-après. L'appareil décrit sur la figure 6 correspond au cas où une dépression légère est nécessaire ou préférable pour améliorer le fonctionnement de l'appareil de destruction plasma des effluents gazeux placé en amont de l'appareil selon l'invention. En outre, l'aspiration contribue à réduire la perte de charge en ligne de l'appareil laveur de gaz selon l'invention. Sur cette figure, les mêmes éléments que ceux des figures précédentes portent les mêmes références. Le ciel gazeux au dessus du liquide est en légère dépression lorsque le moteur entraîne la turbine en rotation. Les gaz à traiter sont injectés dans ce ciel gazeux, aspirés par l'ouverture dans l'axe de la turbine, rejetés dans le liquide par les extrémités de la turbine puis recirculés dans la cuve et réaspirés par l'ouverture de l'axe de la turbine, etc... Une partie de ces gaz cependant s'échappe dans la garde hydraulique 701 qui est mieux représentée sur la figure 6b. Cette garde hydraulique a la forme d'un tuyau, par exemple cylindrique 701, de diamètre d, placée à l'intérieur du récipient 702, par exemple cylindrique également, de diamètre D. En pratique, il convient de déterminer un bon compromis du rapport d/D afin d'obtenir une bonne efficacité de transfert matière et de ne pas aspirer tous les gaz présents dans le ciel gazeux (afin de permettre leur recyclage plusieurs fois à travers le liquide traitement). Pour trouver le meilleur compromis, il suffit de faire quelques essais avec des tuyaux 701 de diamètres différents et de noter les taux de destruction obtenus. L'extrémité basse 703 du tube 701 doit être immergée dans le liquide afin de permettre cette différence de pression entre le gaz qui se trouve dans la partie supérieure du tuyau 701 et qui est évacué vers la sortie et le gaz qui constitue le ciel gazeux au-dessus du liquide en contact avec l'entrée des gaz dans le récipient de traitement. Sur les figures 7 et 8 sont décrites des variantes de réalisation de la figure 2, correspondant à des taux de destruction (DRE) supérieurs à celui fourni par l'appareil de la figure 2. L'exemple décrit sur cette figure 6 correspond au cas d'une dépression légère de l'ordre de 10 à 50 mbar (de 1 à 5 X 103 Pascal). La figure 7 représente une variante subatmosphérique de l'appareil selon l'invention, comportant deux étages de dispersion du gaz à traiter dans le liquide de traitement. Le gaz, injecté au niveau du ciel gazeux au dessus du liquide, est aspiré par le liquide de traitement dans un dispositif de type hydroinjecteur. D'une manière générale, l'homme de métier trouvera toutes les indications nécessaires concernant le matériel à utiliser dans le livre de P. Perry et al. intitulé Perry's Chemical Engineer's Handbook, 6th Edition , notamment à la page 20-97. Le liquide fournit à cet hydro-injecteur ( hydro-injector en anglais) provient d'une pompe immergée placée sous la turbine et reliée à l'axe de rotation de la turbine. La rotation de l'axe de la turbine entraîne la rotation des pales 715 de la pompe immergée 714. Le liquide est aspiré par une ouverture 716 sous la pompe 714. Selon une variante de l'invention, la pompe peut être placée à l'extérieur de la cuve de traitement, c'est-à-dire non immergée. Une canalisation, par exemple cylindrique 717 entoure l'hydro-éjecteur 710 à la sortie du mélange gaz/liquide de manière à limiter l'expansion latérale du jet de sortie de mélange gaz/liquide: le liquide retourne par gravité dans le bain de liquide, la partie gaz qui n'a pas réagi avec le liquide dans I'hydroéjecteur retournant dans le ciel gazeux pour être à nouveau aspirée à l'entrée d'aspiration 140 au niveau de l'arbre de la turbine. Les dimensions de la canalisation 717 doivent être limitées de manière à contrôler la perte de charge et obtenir une dépression plus forte, de l'ordre de 50 à 500 mbar (soit de 5 x 03 Pascal à 5 x 104 Pascal). Comme sur la figure 6, il est prévu une canalisation d'évacuation 701 des gaz traités issus du liquide. Comme précédemment, le liquide utilisé aura un pH adapté au gaz à traiter (donc généralement un pH > 7 pour des gaz généralement acides) pour obtenir la réaction chimique désirée ou bien de l'eau (du réseau distributeur à pH 7) dans laquelle on réalisera une absorption des gaz dans le liquide. Comme précédemment on prévoira des moyens de mesure du pH et éventuellement des moyens de contrôle de celui-ci, en le maintenant dans une fourchette de valeurs prédéfinies, soit en rajoutant des additifs de pH opposé, soit en remplaçant la solution lorsqu'elle devient hors spécification (hors fourchette). Afin d'améliorer l'échange gaz/liquide, on pourra prévoir de préférence de mélanger au liquide, notamment l'eau, des agents tensio-actifs, en faible quantité pour éviter le moussage, de manière à diminuer la taille des bulles de gaz et augmenter la surface d'échange gaz/liquide. La variante de réalisation de la figure 8 correspond notamment à un système d'échange gaz/liquide à trois étages, comportant en plus des deux étages prévus sur la figure 7 un troisième étage comportant une canalisation 700 de sortie de la pompe immergée 716, qui dirige une partie du liquide aspiré par la pompe 716 vers la canalisation de sortie 701, la projette sur un déflecteur 720, par exemple, dont la fonction est de faire redescendre ce liquide en pluie à contre-courant du gaz provenant du liquide (du ciel gazeux) de préférence sous la forme d'un jet plat circulaire. Selon une autre variante de réalisation, on peut également relier un mélangeur statique relié à son autre extrémité à l'évacuation extérieure des gaz après traitement. Un exemple de mélangeurs statiques appropriés est décrit par exemple dans l'ouvrage de W. L. Mc Cabe intitulé Unit Operations of Chemical Engineering 5th Edition. Sur la figure 8 est également prévu un détecteur de niveau 800 pour détecter le niveau de fluide 801 récupéré dans le dévésiculeur, ce détecteur commandant la vidange au drain gravitaire 126 via la vanne commandée 125 et la canalisation 122. De même, la vidange de la cuve est commandée par le détecteur de pH 740 qui ouvre la vanne de vidage via 123 et 126. Selon l'invention, les moyens contacteurs gaz/liquide apportent de l'énergie (moyens motorisés) de manière à la fois à réaliser un système compact engendrant très peu de perte de charge ou une perte de charge nulle ou négative, un tel système par un effet de pompage, améliorant la circulation des effluents gazeux dans les canalisations d'évacuation de ces gaz. Selon une autre variante de l'invention, on pourra prévoir un système connu en soi appelé hydro-cyclone permettant de séparer la phase solide de la phase liquide du liquide après usage dans la cuve. Un tel système permet de recycler l'eau ainsi nettoyée de ses solides, dans l'appareil selon l'invention. REVENDICATIONS 1. Appareil pour le traitement d'effluents gazeux par contact avec un liquide, caractérisé en ce qu'il comporte: - une chambre de contact gaz/liquide (1,101) permettant de recevoir dans sa partie inférieure un liquide et surmontée par un ciel gazeux, comportant des moyens d'introduction (15) d'un gaz à traiter et des moyens d'évacuation des gaz résiduaires après traitement au contact du liquide, - des moyens contacteurs gaz/liquide (6,7), permettant d'assurer un contact amélioré du gaz et du liquide, lesdits moyens comportant dans leur partie supérieure une ouverture permettant d'aspirer le gaz situé dans le ciel gazeux (141) au-dessus du liquide, - de préférence, des moyens (9,10) de mesure du pH du liquide, 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens de modification et/ou de contrôle du pH du liquide. 3. Appareil selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens dévésiculeurs pour piéger les gouttelettes de liquide et reliés aux moyens d'évacuation du gaz à traiter. 4. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens contacteurs gaz/liquide sont du type turbine (106,107). 5. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la chambre de contact (101) gaz/liquide est de forme parallélépipédique ou cylindrique. 6. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens d'introduction du gaz à traiter sont disposés dans la partie inférieure de la chambre de contact gaz/liquide (101), de manière à injecter le gaz dans le liquide lorsque l'appareil est en fonctionnement. 7. Appareil selon l'une des revendications1 à 5, caractérisé en ce que les moyens d'introduction du gaz à traiter sont disposés dans la partie supérieure de la chambre de contact gaz/liquide (101), de manière à injecter le gaz dans le ciel gazeux (141) lorsque l'appareil est en fonctionnement. 8. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens contacteurs gaz/liquide (107) comportent une partie supérieure non immergée dans le liquide, en cours de fonctionnement de l'appareil, cette partie supérieure comportant une ouverture reliée à des moyens d'aspiration permettant d'aspirer le ciel gazeux situé au-dessus du liquide et le réinjecter dans le liquide de manière à faire circuler plusieurs fois le gaz constituant le ciel gazeux (141) dans le liquide. 9. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens contacteurs gaz/liquide sont constitués par une turbine plongée, en fonctionnement, dans le liquide et tournant autour d'un axe vertical. 10. Appareil selon la revendication précédente, caractérisé en ce que l'axe vertical de la turbine est excentré dans la chambre de contact gaz/liquide. 11. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens contacteurs gaz/liquide sont constitués par une turbine de surface. 12. Appareil selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que les moyens contacteurs gaz/liquide sont constitués par une turbine située profondément dans le liquide. 13. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le conduit de passage du gaz aspiré dans le ciel gazeux et injecté dans le liquide via la turbine a un axe parallèle ou confondu avec l'axe de rotation de 2o la turbine. 14. Appareil selon l'une des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que le gaz à traiter est injecté via un hydro-injecteur (710) dans le liquide. 15. Appareil selon la revendication 14, caractérisé en ce qu'une canalisation, par exemple cylindrique (717) entoure l'hydro-injecteur (710) pour limiter l'expansion latérale du jet. 16. Appareil selon l'une des revendications 14 ou 15, caractérisé en ce qu'il comporte une pompe immergée (716) qui recircule le liquide via une canalisation (730) reliée à l'hydro-injecteur (710). 17. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte une pompe immergée (716) qui renvoie le liquide vers une canalisation de sortie (701) reliée au ciel gazeux au-dessus du bain de liquide, dans laquelle est placée un déflecteur (720) qui est destiné à renvoyer en pluie le 2868332 13 jet de liquide issu de la pompe, à contre courant des gaz qui sont évacués par la canalisation de sortie. 18. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte un appareil de mesure (740) du pH du liquide qui commande 5 une vanne (741) d'évacuation de la solution liquide vers un drain.