Brevet FR2864639A1 — publié le 20050701

ECRAN A CRISTAUX LIQUIDES ET PROCEDE DE FABRICATION DE CELUI-CI La présente invention concerne un écran à cristaux liquides (LCD), et plus particulièrement, un LCD préservant un espace uniforme de cellule, et un procédé de fabrication de celui-ci. Depuis peu, des recherches sur les écrans plats, tels les écrans à cristaux liquides (LCD), les écrans à électroluminescence (ELD), les écrans plasma (PDP), les écrans fluorescents sous vide (VFD), etc., sont menées activement. Parmi les écrans plats, les LCD présentent des avantages comme un fonctionnement à basse tension, une faible consommation, un faible poids et un profil plat, ainsi que la réalisation de toutes les nuances. Les LCD sont donc largement utilisés pour l'affichage sur les montres et les calculatrices, les écrans d'ordinateurs, les écrans avec fonction de récepteur de télévision, les téléviseurs et les terminaux mobiles. Un LCD intègre un substrat de matrice sur lequel sont formés des électrodes de pixels, un substrat de filtre couleur possédant une couche de filtre chromatique et une électrode commune formée sur celle-ci, et une couche de cristaux liquides interposée entre le substrat de matrice et le substrat de filtre couleur. Un champ électrique est généré entre les électrodes de pixels et l'électrode commune lorsqu'une tension est appliquée aux électrodes de pixels et à l'électrode commune. Les molécules de cristaux liquides de la couche de cristaux liquides sont alignées par le champ électrique ainsi généré de façon à ajuster le coefficient de transmission. Du fait de cet ajustement du coefficient de transmission, la lumière est convertie en rayons visibles lors de son passage à travers la couche de filtre chromatique, de telle sorte qu'une image sous forme de points s'affiche. Les figures IA à 1C sont des vues en coupe illustrant un procédé de fabrication d'un substrat de filtre couleur selon l'art antérieur. Comme illustré sur la figure 1A, un film métallique opaque tel du chromium (Cr) ayant un faible pouvoir réflecteur est déposé sur un substrat de verre transparent 10 et est ensuite modelé pour former une couche de matrice noire 1. En variante, la couche de matrice noire 1 peut être formée en étalant une résine noire photosensible sur le substrat de verre transparent 10 puis en exposant et en gravant chimiquement cette résine noire photosensible. Une fois formée la couche de matrice noire 1, une couche de filtre chromatique intégrant des filtres couleur rouge, vert et bleu 3, 5, 7 est formée sur le substrat 10 comprenant la couche de matrice noire 1, comme illustré sur la figure 1B. La couche de filtre chromatique est généralement formée au moyen d'un procédé de dispersion R \13revets\23100\23122.doc - 13 octobre 2004 - 1/13 de pigments. Dans ce procédé de dispersion de pigments, une épargne photosensible mélangée à un pigment préparé est déposée par centrifugation et l'épargne photosensible ainsi déposée est exposée et développée de façon répétitive pour former le filtre de couleur rouge 3, le filtre de couleur verte 5 et le filtre de couleur bleue 7. Par exemple, après dépôt par centrifugation d'une épargne photosensible rouge sur le substrat de verre 10, l'épargne photosensible rouge déposée est exposée et développée pour former le filtre de couleur rouge 3. Puis une épargne photosensible verte est déposée par centrifugation sur le substrat de verre 10, et l'épargne photosensible rouge déposée est exposée et développée pour former le to filtre de couleur verte 5. Une épargne photosensible bleue est ensuite déposée par centrifugation sur le substrat de verre 10, et l'épargne photosensible rouge déposée est exposée et développée pour former le filtre de couleur bleue 7. En répétant les étapes ci-dessus, on forme la couche de filtre chromatique, comprenant le filtre de couleur rouge 3, le filtre de couleur verte 5 et le filtre de couleur bleue 7 sur toute la surface du substrat de verre 10. Une fois formée la couche de filtre chromatique comprenant le filtre de couleur rouge 3, le filtre de couleur verte 5 et le filtre de couleur bleue 7, le substrat de verre 10 comprenant la couche de matrice noire 1 et la couche de filtre chromatique est enduit d'une résine transparente à propriété isolante pour former une couche de finition 9, et planariser ainsi la couche de matrice noire 1 et la couche de filtre chromatique, comme illustré sur la figure. 1C. Puis, bien que ceci ne soit pas illustré sur la figure 1C, une électrode commune électrode commune destinée à l'application d'une tension commune est formée sur la couche de finition 9. La figure 2 est une vue en plan schématique d'un substrat de filtre couleur 25 destiné à un modèle multimodèle sur verre (MMG). Le modèle MMG comporte une pluralité de panneaux ayant différentes résolutions sur un substrat de verre unique. Un exemple de modèle MMG est un panneau VGA et un panneau XGA sur un substrat de verre, comme illustré sur la figure. 2A. La structure de la couche de matrice noire et l'épaisseur de la couche de filtre chromatique du panneau XGA diffèrent de celles du panneau VGA. En outre, du fait que le panneau VGA a un diamètre de pixel supérieur à celui du panneau XGA, la résolution du panneau VGA est inférieure à celle du panneau XGA. Donc, du fait que le LCD selon le modèle MMG comporte deux panneaux ayant des résolutions différentes réunis sur un seul substrat de verre, il a pour avantage de maximiser le rendement d'utilisation du substrat de verre. Dans le LCD selon le modèle MMG, la couche de filtre chromatique est, toutefois, formée à l'aide d'un procédé d'enduction par centrifugation. Ceci fait que les intervalles des réseaux de la couche de matrice noire du panneau XGA et du R:\Brevets\23100\23122.doc - 13 octobre 2004 - 2/13 panneau VGA diffèrent. Cette différence entre les intervalles des réseaux du panneau XGA et du panneau VGA pose un problème en ce que les épaisseurs des couches couleur formées entre les réseaux de la couche de matrice noire diffèrent. La figure 3 est une vue schématique illustrant un intervalle de cellule non uniforme entre le panneau XGA et le panneau VGA du LCD selon le modèle MMG. Comme illustré sur la figure 3, le LCD selon le modèle MMG intègre des panneaux ayant des résolutions différentes. C'est pourquoi une épargne couleur est déposée sur chacun des panneaux par un procédé d'enduction par centrifugation. Une fois l'épargne couleur déposée par centrifugation, l'épargne couleur s'étale sur la couche de matrice noire. Comme mentionné plus haut, les intervalles des réseaux de couches de matrice noires formés sur des panneaux à différentes résolutions diffèrent. Ces différents intervalles font que l'épargne couleur, une fois déposée, s'étale à des vitesses d'étalement différentes, de telle sorte que les épaisseurs des filtres couleur ainsi formés varient d'un panneau à l'autre. En d'autres termes, les épaisseurs des filtres couleur du panneau XGA sont supérieures à celles des filtres couleur du panneau VGA. Ceci indique que l'épaisseur du substrat de filtre couleur du panneau XGA est supérieure à celle du substrat de filtre couleur du panneau VGA. Du fait de la différence d'épaisseur entre les filtres couleur de panneaux ayant différentes résolution, les espaces de cellule du panneau VGA et du panneau XGA, dans le LCD selon le modèle MMG, ne sont pas uniformes, comme illustré sur la figure 3. Pour résoudre le problème ci-dessus, il est suggéré de disperser des billes d'espacement lorsque le substrat de matrice et le substrat de filtre couleur sont fixés l'un à l'autre, ou de disposer des colonnes d'espacement dans une zone de non- transmission dia substrat de matrice. Toutefois, ces procédés ne résolvent pas de façon satisfaisante le problème susmentionné. Les espaces non uniformes de cellule entraînent une différence de trajet optique, qui détériore la qualité de l'image. En conséquence, la présente invention est destinée à obtenir un LCD et un procédé de fabrication de celui-ci qui éliminent sensiblement un ou plusieurs des problèmes dus aux limitations et désavantages de l'art antérieur. Un avantage de la présente invention est qu'elle propose un LCD correspondant à un modèle multimodèle sur verre (MMG) comportant des panneaux à différentes résolutions et des procédés de fabrication de ceuxci dans lesquels un motif de compensation est formé sur un substrat de matrice, dans une zone ayant des épaisseurs de filtre chromatique relativement faibles, pour maintenir ainsi un espace uniforme de cellule. D'autres fonctions et avantages de la présente invention seront présentés dans la description qui suit et apparaîtront en partie dans la description, ou pourront être R:\Brevets\23100\23122.doc - 13 octobre 2004 - 3/13 appréhendés en mettant l'invention en pratique. Les objectifs et autres avantages de la présente invention seront réalisés avec la structure indiquée dans la description écrite et les revendications de celles-ci, ainsi que dans les dessins annexés. Pour réaliser ces objectifs et autres avantages selon le but de la présente invention, conformément à son mode de réalisation et à sa description générale, un LCD (écran à cristaux liquides) intègre un premier panneau ayant une première résolution, un second panneau ayant une seconde résolution, la seconde résolution étant inférieure à la première résolution; et un motif de compensation sur le substrat de matrice du second panneau pour maintenir un intervalle de cellule uniforme. Ce motif de compensation peut être formé sur une ligne de bus de grille du substrat de matrice. Le motif de compensation peut être formé sur la même couche que la couche active du substrat de matrice. Le motif de compensation peut être du même matériau qu'une couche active du 15 substrat de matrice. Le motif de compensation peut être formé sur la même couche qu'une électrode de source/drain du substrat de matrice. Le motif de compensation peut être du même matériau que l'électrode de source/drain du substrat de matrice. Selon un autre aspect de la présente invention, un procédé de fabrication d'un écran à cristaux liquides (LCD) comportant un premier panneau et un second panneau ayant des résolutions différentes, comprend la formation d'une électrode de grille et d'une ligne de bus de grille sur un premier substrat du premier panneau et un second substrat du second panneau, la formation d'une couche d'isolation de grille sur les premier et second substrats comprenant la ligne de bus de grille, la formation d'une couche active intégrant une couche de canal et une couche de contact ohmique sur les premier et second substrats intégrant la couche d'isolation de grille, la formation en même temps d'un motif de compensation sur le premier substrat du premier panneau, la formation d'une électrode de source/drain et d'une ligne de bus de données sur les premier et second substrats intégrant la couche active, et la formation d'une électrode de pixel sur les premier et second substrats intégrant l'électrode de source/drain. Selon un autre aspect de la présente invention, un procédé de fabrication d'un écran à cristaux liquides (LCD) compenant un premier panneau et un second panneau ayant des résolutions différentes comprend la formation d'une électrode de grille et d'une ligne de bus de grille sur un premier substrat du premier panneau et un second substrat du second panneau, la formation d'une couche d'isolation de grille sur les premier et second substrats intégrant la ligne de bus de grille; la formation R:\Brevets\23100\23122.doc - 13 octobre 2004 - 4/ 13 d'une couche active intégrant une couche de canal et une couche de contact ohmique sur les premier et second substrats intégrant la couche d'isolation de grille, la formation d'une électrode de source/drain et d'une ligne de bus de données sur les premier et second substrats intégrant la couche active et la formation en même temps d'un motif de compensation sur le premier substrat du premier panneau, et la formation d'une électrode de pixel sur les premier et second substrats intégrant l'électrode de.source/drain. Il est précisé qu'aussi bien la description générale qui précède que la description détaillée qui suit de la présente invention sont données à titre d'exemples et à titre indicatif, et sont destinés à fournir une explication complémentaire de l'invention telle que revendiquée. Les dessins en annexe, annexés pour permettre de mieux comprendre l'invention et incorporés en tant que partie de la présente demande, illustrent le(s) mode(s) de réalisation de l'invention et, avec la description, ont pour but d'expliquer le principe de l'invention. Sur les dessins: les figures 1A à travers 1C sont des vues en coupe illustrant un procédé de fabrication d'un de filtre couleur selon l'art antérieur; la figure 2 est une vue en plan schématique d'un substrat de filtre couleur 20 destiné à un modèle multimodèle sur verre (MMG) ; la figure 3 est une vue schématique illustrant un intervalle de cellule nonuniforme entre le panneau XGA et le panneau VGA d'un LCD selon le modèle MMG; la figure 4 est une vue schématique illustrant la structure des pixels d'un LCD 25 selon le modèle MMG, selon un mode de réalisation de la présente invention; la figure 5 est une vue en coupe de la ligne I-I' de la structure des pixels d'un LCD selon le modèle MMG sur la figure 4; et la figure 65 est une vue schématique illustrant une structure destinée à maintenir un espace uniforme de cellule d'un LCD selon le modèle MMG intégrant un panneau 30 VGA et un panneau XGA, selon un mode de réalisation de la présente invention. Référence va maintenant être faite de façon détaillée aux modes de réalisation préférés de la présente invention, dont des exemples sont illustrés dans les dessins annexés. La figure 4 est une vue schématique illustrant une structure de pixels d'un LCD selon le modèle MMG, selon un mode de réalisation de la présente invention. Le LCD selon le modèle MMG est placé sur un seul substrat de verre, avec un panneau VGA et un panneau XGA ayant des résolutions différentes. Chacun du panneau VGA et du panneau XGA est configuré pour intégrer un substrat de matrice, R: \Brevets\23I00\23122.doc - [3 octobre 2004 - 5/13 un substrat de filtre couleur, et une couche de cristaux liquides entre le substrat de matrice et le substrat de filtre couleur. La résolution est généralement déterminée par la taille des filtres chromatique R, V et B disposés selon une configuration matricielle sur le substrat de filtre couleur. Les filtres chromatiques du panneau VGA, à résolution relativement faible, ont donc une taille supérieure à celle des filtres chromatiques du panneau XGA, à résolution relativement élevée. Les filtres chromatiques étant formés au moyen d'un procédé d'enduction par centrifugation, les épaisseurs des filtres chromatiques varient selon la taille de ces filtres chromatiques. En d'autres termes, les épaisseurs des filtres chromatiques du panneau XGA sont supérieures aux épaisseurs des filtres chromatiques du panneau VGA. Du fait de la différence d'épaisseur entre les filtres chromatiques des panneaux VGA et XGA, qui ont des résolutions différentes, l'intervalle de cellule du substrat de matrice et du substrat de filtre couleur n'est pas uniforme lorsque le substrat de matrice et le substrat de filtre couleur sont fixés l'un à l'autre, comme décrit dans la section qui précède. Dans la présente invention, un motif de compensation 120 est placé sur le substrat de matrice d'un panneau VGA pour compenser la différence d'intervalle de cellule entre les panneaux VGA et XGA, et maintenir ainsi un espace uniforme de cellule. Un substrat de matrice d'un panneau VGA, dans un LCD selon le modèle MMG, selon un mode de réalisation of présente invention, est illustré sur la figure 4. Comme illustré sur la figure 4, une zone de pixel unitaire est définie par le point d'intersection d'une ligne de données 103 et d'une ligne de bus de grille 101. Un transistor en couches minces et une électrode de pixel 109 sont disposés dans cette zone de pixel unitaire. Le transistor en couches minces comprend une électrode de grille 100, des électrodes de source et de drain 106a et 106b, et une couche active entre l'électrode de grille 100 et les électrodes de source et de drain 106a et 106b. L'électrode de grille 100 est reliée à la ligne de bus de grille 101, l'électrode de source 106a est reliée à la ligne de bus de données 103, et l'électrode de drain 106b est reliée à l'électrode de pixel 109. Le transistor en couches minces est donc activé par un signal de commande appliqué via la ligne de bus de grille 101 et un signal de données appliqué via la ligne de bus de données 103, et le signal de données est appliqué à l'électrode de pixel 109 via le transistor en couches minces ainsi activé. Dans la présente invention, pour éviter tout déséquilibre de l'intervalle de cellule dû à une différence d'épaisseur entre les filtres chromatiques de panneaux ayant des résolutions différentes, un motif de compensation 120 est placé sur la ligne de bus de grille 101. Le motif de compensation 120 est formé selon une forme rectangulaire. est toutefois précisé que le motif de compensation 120 peut être formé selon une forme triangulaire, circulaire, polygonale, etc. Le motif de R:\Brevets\23100\23122.doc - 13 octobre 2004 - 6/13 compensation 120 peut être fait du même matériau que la couche active ou l'électrode de source/drain 106a et 106b. Donc, en formant le motif de compensation 120 sur la ligne de bus de grille 101 du substrat de matrice du panneau VGA, on compense l'espace non uniforme de cellule, entre le panneau VGA et le panneau XGA, pour maintenir ainsi un espace uniforme de cellule sur toute la surface du LCD selon le modèle MMG. La figure 5 est une vue en coupe d'une ligne I-I' dans la structure de pixels du LCD selon le modèle MMG de la figure 4. Le LCD selon le modèle MMG est placé sur un substrat de verre unique avec un panneau VISA et un panneau XGA. Comme illustré sur la figure 5, l'épaisseur d'une couche de filtre chromatique 210 formée sur un substrat de filtre couleur 200a dans un panneau VGA est relativement inférieure à celle d'une couche de filtre chromatique formée sur un substrat de filtre couleur dans un panneau XGA. C'est pourquoi un motif de compensation 120 est formé sur le substrat de matrice 200b correspondant à la couche de filtre chromatique 210 du substrat de filtre couleur 200a. Grâce à ce motif de compensation 120, l'intervalle de cellule entre le substrat de filtre couleur 200a et le substrat de matrice 200b reste uniforme. Si le motif de compensation 120 n'est pas formé dans le panneau VGA, l'extrémité de la colonne d'espacement 220 risque de ne pas être en contact avec le substrat de matrice 200b. Dans ce cas, la colonne d'espacement 220 ne pourra maintenir un espace uniforme de cellule. Si une couche active ou une électrode de source/drain est formée durant le processus de fabrication du substrat de matrice 200b, le motif de compensation 120 pourra être formé en même temps que cette couche active ou cette électrode de source/drain. Toujours sur la figure 5, un film métallique est déposé sur le substrat de matrice 200b et modelé de façon à former l'électrode de grille et la ligne de bus de grille 101. Puis une couche d'isolation de grille 203 est formée sur toute la surface du substrat de matrice 200b intégrant l'électrode de grille et la ligne de bus de grille 101. Enfin, un film de silicium amorphe non dopé et un film de silicium amorphe dopé contre les impuretés sont déposés sur la couche d'isolation de grille 203 et sont ensuite modelés pour former une couche active intégrant une couche de canal et une couche de contact ohmique. Pour compenser la différence d'épaisseur entre les couches de filtre chromatique 210 du substrat de filtre couleur 200a du panneau VGA et du panneau XGA, le motif de compensation 120 est alors formé sur la ligne de bus de grille 101. Le motif de compensation 120 est formé en même temps que la couche active. L'épaisseur du motif de compensation 120 est donc identique à celle de la couche active, et est dans la plage de 1 1,5 m. Ceci fait que la zone où est formé le motif de compensation 120 est saillante et plus haute que les autres zones. R: \Brevets\23100\23122. doc - 13 octobre 2004 - 7/13 Si la colonne d'espacement 220 est placée sur cette zone saillante, la colonne d'espacement 220 sera en contact avec cette zone saillante car elle compensera la hauteur de 1 1,5 m, ce qui maintiendra ainsi un espace uniforme de cellule. Un film métallique de source/drain est ensuite déposé sur le substrat de matrice 200b intégrant la couche active puis modelé de façon à former l'électrode de source/drain et la ligne de bus de données. Une couche de passivation 205 est formée sur toute la surface du substrat de matrice 200b intégrant la ligne de bus de données, puis est modelée pour former un trou de contact. Un film conducteur transparent tel que de 1'ITO est ensuite déposé sur la couche de passivation 205 intégrant le trou de contact et est alors modelé pour former l'électrode de pixel. L'électrode de pixel est reliée à l'électrode de drain à travers le trou de contact de la couche de passivation 205. Puis une couche de finition faite d'un matériau isolant transparent peut être formée sur le substrat de matrice 200b intégrant l'électrode de pixel afin de planariser la surface supérieure du substrat de matrice 200b. Dans une modification de la présente invention, le motif de compensation 120 peut être formé en même temps que l'électrode de source/drain, mais pas en même temps que la couche active. En d'autres termes, si un film métallique de source/drain est déposé et modelé pour former l'électrode de source/drain sur le substrat de matrice 200b intégrant la couche active, le motif de compensation 120 peut être formé du même matériau que l'électrode de source/drain sur la ligne de bus de grille 101. L'électrode de source/drain est formée de façon à avoir une épaisseur comprise entre 2 m et 2,5 m, c'est-à-dire relativement plus épaisse que la couche active. Donc, si le motif de compensation 120 est fait du même matériau que l'électrode de source/drain et si la colonne d'espacement 220 est placé sur le motif de compensation 120, il est possible de compenser une différence de hauteur comprise entre 2 m et 2,5 m. Sur la figure 5, le numéro de référence non décrit 230 désigne une couche de finition sur le substrat de filtre couleur 200a. La figure 6 est une vue schématique qui illustre une structure maintenant un espace uniforme de cellule dans un LCD selon le modèle MMG avec un panneau VGA et un panneau XGA, selon un mode de réalisation de la présente invention. Comme illustré sur la figure 6, le LCD selon le modèle MMG comporte un panneau VGA et un panneau XGA. Les couches de filtre chromatique 210 et 215 et la couche de finition 230 sont formées sur les substrats de filtre chromatique 200a du panneau VGA et du panneau XGA, et une ligne de bus de grille 101, une couche d'isolation de grille 203 et une couche de passivation 205 sont formées sur les substrats de matrices 200b du panneau VGA et du panneau XGA. Comme mentionné précédemment, l'épaisseur de la couche de filtre chromatique 210 du panneau VGA est inférieure à celle de la couche de filtre R:\Brevets\23100\23122.doc - 13 octobre 2004 - 8/13 chromatique 215 du panneau XGA. La hauteur de la colonne d'espacement 220 du panneau VGA. est identique à celle de la colonne d'espacement 225 du panneau XGA. Si l'on suppose qu'un motif de compensation 120 n'est pas présent sur le panneau VGA., l'extrémité de la colonne d'espacement 220 du panneau VGA ne sera pas en contact avec la surface supérieure du substrat de matrice 200b du fait de la différence d'épaisseur des couches de filtres couleurs 210 et 215 entre le panneau VGA et la panneau XGA. Un espace uniforme de cellule du LCD selon le modèle MMG ne pourra donc être maintenu. C'est pour compenser cet espace non uniforme de cellule entre le panneau VGA et le panneau XGA qu'est formé le motif de compensation 120 dans le panneau VGA. Plus exactement, le motif de compensation 120 est formé sur la ligne de bus de grille 101 du substrat de matrice 200b du panneau VGA. Des essais ont confirmé que l'épaisseur de la couche de filtre chromatique 215 du panneau XGA, à résolution relativement haute, est supérieure à celle de la couche de filtre chromatique 210 du panneau VGA, à résolution relativement faible. Donc, en formant le motif de compensation 120 sur le substrat de matrice 200b du panneau VGA comportant une couche de filtre chromatique 210 relativement peu épaisse, on peut maintenir un espace uniforme de cellule du LCD selon le modèle MMG. En d'autres termes, le LCD selon le modèle MMG de la présente invention est conçu de façon à ce que le panneau XGA, qui comporte une couche de filtre chromatique 215 relativement plus épaisse, maintienne l'intervalle de cellule à l'aide du substrat de matrice 200b et de la colonne d'espacement 225, tandis que le panneau VGA, qui comporte une couche de filtre chromatique 210 relativement plus mince, maintienne l'intervalle de cellule à l'aide du motif de compensation 120 formé sur le substrat de matrice 220b, du substrat de matrice 200b et de la colonne d'espacement 220. Comme décrit ci-dessus, selon la présente invention, dans un LCD selon le modèle MMG, qui intègre des panneaux ayant des résolutions différentes, un motif de compensation, destiné à compenser la différence d'épaisseur entres les couches de filtre chromatique des panneaux, est formé sur un substrat de matrice, pour maintenir ainsi un espace uniforme de cellule. En outre, du fait que ce motif de compensation est formé en même temps que la couche active ou l'électrode de source/drain, aucun processus supplémentaire n'est nécessaire. Il apparaîtra à l'homme du métier que diverses modifications et variantes peuvent être exécutées à partir de la présente invention. Il est donc entendu que la présente invention couvre ces modifications et variantes sous réserve qu'elles s'inscrivent dans les limites des revendications en annexe et de leurs équivalents. R:/Brevets\23 1 00/23 1 2 2.doc - 3 octobre 2004 - 9/ 13 REVENDICATIONS 1. Un écran à cristaux liquides (LCD) comprenant: un premier panneau ayant une première résolution; un second panneau ayant une seconde résolution, cette seconde résolution étant inférieure à la,première résolution; et un motif de compensation (120), sur le substrat de matrice du second panneau, pour maintenir un intervalle de cellule uniforme. 2. L'écran à cristaux liquides (LCD) selon la revendication 1, dans lequel le motif de compensation (120) est formé sur une ligne de bus de grille (101) du substrat de matrice (200b). 3. L'écran à cristaux liquides (LCD) selon la revendication 1, dans lequel 15 le motif de compensation (120) est formé sur la même couche que la couche active du substrat de matrice (200b). 4. L'écran à cristaux liquides (LCD) selon la revendication 1 ou 3, dans lequel le motif de compensation (120) comprend le même matériau que la couche 20 active du substrat de matrice (200b). 5. :L'écran à cristaux liquides (LCD) selon la revendication 1, dans lequel le motif de compensation (120) est formé sur la même couche que l'électrode de source/drain du. substrat de matrice (106a/106b). 6. L'écran à cristaux liquides (LCD) selon la revendication 1 ou 5, dans lequel le motif de compensation (120) comprend le même matériau que l'électrode de source/drain du substrat de matrice (106a/106b). 7. Un procédé de fabrication d'un écran à cristaux liquides (LCD) intégrant un premier panneau et un second panneau ayant des résolutions différentes, ce procédé comprenant: la formation d'une électrode de grille (100) et d'une ligne de bus de grille (101) sur un premier substrat du premier panneau et un second substrat du second panneau 35; la formation d'une couche d'isolation de grille (203) sur les premier et second substrats intégrant la ligne de bus de grille (101) ; R\Brevets\23100\23122.doc - 13 octobre 2004 - 10/13 la formation d'une couche active intégrant une couche de canal et une couche de contact ohmique sur les premier et second substrats intégrant une couche d'isolation de grille (203) et, en même temps, la formation d'un motif de compensation (120) sur le premier substrat du premier panneau; la formation d'une électrode de source/drain (106a/106b) d'une ligne de bus de données sur les premier et second substrats intégrant la couche active; et la formation d'une électrode de pixel (109) sur les premier et second substrats intégrant l'électrode de source/drain (106a/106b). 8. Le procédé selon la revendication 7, dans lequel le premier panneau a une première résolution inférieure à la seconde résolution du second panneau. 9. Le procédé selon la revendication 7 ou 8, dans lequel le motif de compensation (120) est formé sur la ligne de bus de grille (101). 10. Le procédé selon la revendication 7 ou 8, dans lequel le motif de compensation (120) est formé sur la même couche que la couche active. 11. _Le procédé selon l'une des revendications 7, 8 ou 10, dans lequel le 20 motif de compensation (120) comprend le même matériau que la couche active. 12. Le procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 11, dans lequel le motif de compensation (120) est formé selon une forme rectangulaire, circulaire, triangulaire ou polygonale. 13. Un procédé de fabrication an LCD intégrant un premier panneau et un second panneau ayant des résolutions différentes, ce procédé comprenant: la formation d'une électrode de grille (100) et d'une ligne de bus de grille (101) sur un premier substrat du premier panneau et un second substrat du second panneau; la formation d'une couche d'isolation de grille (203) sur les premier et second substrats intégrant la ligne de bus de grille (101) ; la formation d'une couche active intégrant une couche de canal et une couche de contact ohmique sur les premier et second substrats intégrant la couche d'isolation de grille (203) ; la formation d'une électrode de source/drain (106a/106b) et d'une ligne de bus de données sur les premier et second substrats intégrant la couche active et, en même temps, la formation d'un motif de compensation (120) sur le premier substrat du premier panneau; et R:ABrevets\23100A23122.doc - 13 octobre 2004 - I1/13 la formation d'une électrode de pixel (109) sur les premier et second substrats intégrant l'électrode de source/drain (106a/106b). 14. Le procédé selon la revendication 13, dans lequel le premier panneau a une première résolution qui est inférieure à une seconde résolution du second panneau. 15. Le procédé selon l'une quelconque des revendications 13 ou 14, dans lequel le motif de compensation (120) est formé sur la ligne de bus de grille (101). 16. Le procédé selon l'une quelconque des revendications 13 ou 14, dans lequel le motif' de compensation (120) est formé sur la même couche que l'électrode de source/drain (106a/106b). 17. Le procédé selon l'une quelconque des revendications 13, 14 ou 15, dans lequel le motif de compensation comprend le même matériau que l'électrode de source/drain (106a/106b). 18. Le procédé selon l'une quelconque des revendications 13 à 17, dans lequel le motif de compensation (120) est formé selon une forme rectangulaire, circulaire, triangulaire ou polygonale. 19. L'écran à cristaux liquides (LCD) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel le motif de compensation (120) est formé selon une 25 forme rectangulaire, circulaire, triangulaire ou polygonale. 20. L'écran à cristaux liquides (LCD) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6 ou la revendication 19, dans lequel les premier et second panneaux ont des tailles différentes. R:\Brevets\23 I00\23122.doc - 13 octobre 2004 - 12/13