Brevet FR2870056A1 — publié le 20051111

La présente invention se rapporte à un commutateur statique permettant le transfert de charge vers la chambre d'ionisation d'un laser excimère. Ce commutateur statique, selon l'invention, peut notamment être utilisé en combinaison avec un laser à pré-ionisation Corona tel que décrit dans le document 5 FR 2 698 496. De façon connue, de tels lasers nécessitent une tension nominale variant de 24 à 30 KV, des courants de charge de condensateurs de l'ordre de 20 à 27 KA, des temps de transfert de charge compris entre 400 et 600 nanosecondes et des fréquences d'impulsions allant jusqu'à 1 KHz. io Dans une telle gamme de puissance, le seul type de commutateur connu est un commutateur d'énergie à gaz dénommé Thyratron. Malheureusement, ces commutateurs dont la durée de vie est d'environ 108 commutations ne sont pas compatibles avec les implications industrielles d'un laser excimère, pour lesquels une fiabilité de 10 000 à 30 000 heures est requise. Subsidiairement, la durée de vie réduite des commutateurs à gaz Thyratron augmente leur coût de maintenance. On connaît également des commutateurs statiques utilisant des transistors de type MOS associés en série et en parallèle, ce type de commutateur étant décrit dans le document EP 1 063 771. Le commutateur K260310 développé par le CEA est un commutateur de ce type. II permet de délivrer une tension de sortie de l'ordre de 25 000 volts sous un ampérage de 1400 ampères, ce qui, comme nous l'avons vu précédemment, n'est pas suffisant pour son utilisation en combinaison avec un laser excimère de forte puissance (1 kW). Afin de palier cet inconvénient, la demanderesse a cherché à utiliser plusieurs lasers du type du laser K260310 du CEA en connectant ces derniers en parallèle sur une plaque conductrice. Cette démarche s'est avérée infructueuse car, avec les paramètres de fonctionnement en tension et en intensité requis pour l'ionisation d'un laser excimère, des phénomènes électromagnétiques importants sont apparus au niveau de la plaque conductrice. L'invention vise à résoudre le problème précité. A cet effet, l'invention concerne un commutateur statique comportant plusieurs tours de commutation, chacune de ces tours comportant un contact de sortie adapté à délivrer une tension élevée en réponse à une commande de transfert de charge. Ce commutateur statique est caractérisé en ce que: - les tours de commutation sont divisées en groupes, les contacts de sortie des tours d'un même groupe étant connectés à une plaque conductrice reliée à un plot de connexion du commutateur statique, ces plaques de connexion étant isolées électriquement l'une de l'autre; en ce que: - les plots de connexion sont reliés entre eux pour la mise en parallèle des tours; et en ce que: to - la commande de transfert de charge est appliquée simultanément à chacune des tours. Avantageusement, les dimensions des plaques conductrices peuvent être réduites, la seule contrainte étant liée à l'encombrement auxquelles elles sont connectées. Ces dimensions réduites permettent de limiter les phénomènes électromagnétiques, en particulier engendrés par les courants qui se développent à la surface de ces plaques conductrices. De plus, la mise en parallèle des tours réalisée grâce à la liaison entre les plots de connexion, à l'extérieur du commutateur, permet d'obtenir une tension et un ampérage suffisants pour l'ionisation dans un laser excimère tout en s'affranchissant des phénomènes de perturbation électromagnétiques. Préférentiellement, le commutateur statique comporte une unité de commande reliée par un câble à chacune des tours de commutation pour déclencher le transfert de charge, ces câbles étant sensiblement de mêmes longueurs. Cette caractéristique particulièrement avantageuse permet de s'assurer que le transfert de charge des différentes tours vers les plots de connexion s'effectue sensiblement simultanément, ce qui permet de protéger les différentes tours de commutation. 3o En effet, la demanderesse s'est rendue compte que, si une telle synchronisation n'était pas assurée, les tours de commutation présentant une tension nulle en leur sortie sont endommagées lors du transfert de charge en sortie des autres tours à cause de la mise en parallèle de l'ensemble des tours du commutateur par les plots de connexion. Selon une autre caractéristique particulièrement avantageuse, les valeurs des tensions de sortie des tours appliquées à chacune des plaques conductrices sont sensiblement identiques. Cette caractéristique permet avantageusement de s'assurer que le temps de décharge des tours de commutation regroupées sur une même plaque conductrice est identique, ce qui contribue là aussi à préserver les différentes tours de commutation. to Par ces deux caractéristiques avantageuses, on obtient un commutateur statique fiable et compatible avec les contraintes d'ionisation d'un laser excimère. Dans un mode préféré de réalisation, le contact de sortie d'une tour de commutation est maintenu dans un support en forme de U de la plaque conductrice à laquelle elle est connectée, au moyen d'une double rangée de contacts élastiques en bronze de béryllium ayant la forme de lamelles arrondies. Ce mode de réalisation est particulièrement avantageux car il permet d'obtenir un excellent contact de sortie entre la sortie d'une tour de commutation et la plaque conductrice. Dans un tel agencement, le rendement de transfert tension-courant impulsionnel obtenu est supérieur à 99 %. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaissent à la lumière de la description des différents modes de réalisation qui va suivre, cette description étant donnée à titre d'exemple non limitatif est faite en référence aux dessins dans lesquels: - la figure 1 représente une tour de commutation connue de l'art antérieur, - la figure 2 représente un commutateur statique conforme à l'invention dans un mode préféré de réalisation; - la figure 3 représente le commutateur statique de la figure 2 relié à un laser excimère; 3o - les figures 4A et 4B représentent en coupe des parties mâle et femelle d'un plot de connexion conforme à l'invention; - la figure 5 représente un plot de connexion conforme à l'invention dans un mode préféré de réalisation, et - la figure 6 représente, en coupe, un support d'un plot de connexion conforme à l'invention. La figure 1 représente une tour T de commutation connue de l'art antérieur. Cette tour T comporte six cartes de commutation T101, T106 reliées entre 5 elles en série par des liaisons T20 en cuivre étamé, dans un châssis T5 rempli d'huile T7. Chaque carte de commutation T10; comporte une pluralité de transistors MOS T30 reliés entre eux en série et en parallèle. Les cartes de commutation T10; sont reliées à la masse, par exemple via la io première carte de commutation T101, comme dans l'exemple de réalisation de la figure 1. La tour de commutation T comprend également des condensateurs primaires T40 reliés d'une part à une plaque de liaison T50 et, d'autre part, à une plaque de transfert T60, ces deux plaques étant électriquement conductrices et préférentiellement en cuivre. La plaque de liaison T50 est alimentée en tension par une alimentation externe T70 de 30 kv. Cette alimentation T70 permet le chargement des condensateurs T40. La plaque de liaison T50 est également reliée à la dernière plaque de 20 commutation T106 au moyen d'une liaison T20 en cuivre étamé identique ou similaire aux liaisons inter-cartes T20 précitées. Les cartes de commutation T101 à T106 sont commandées par une unité de commande T80 externe à la tour de commutation T, cette unité de commande étant, dans le mode décrit ici, reliée à la première carte T101 par un câble T81. L'unité de commande T80 permet la décharge des condensateurs T40 dans la plaque de transfert conductrice T60, via les liaisons inter-cartes T20. Cette plaque de transfert T60 comporte une sortie T90 extérieure à la tour de commutation T. La tour T agit ainsi comme un interrupteur fournissant, en sa sortie T90, une 30 tension égale à 0 volt ou 30 000 volts, sous la commande des moyens de commande T80. La figure 2 représente un commutateur statique C conforme à l'invention dans un mode préféré de réalisation. Ce commutateur statique C comporte, dans un châssis rempli d'huile T7, dix tours T1 à T10 identiques ou similaires à la tour T décrite précédemment en référence à la figure 1, ces dix tours étant utilisées pour l'ionisation du gaz d'un laser excimère, tel que décrit ultérieurement en référence à la figure 3. La paroi C5 du commutateur statique C est une paroi en inox d'une épaisseur de 5 à 10 mm. Le commutateur statique C comporte cinq conducteurs sous forme de plaques de cuivre C30, chacune d'entre elles permettant de relier deux tours de commutation en parallèle, à savoir, dans ce mode de réalisation: -lestours T1,T2; io - les tours T3, T4; - les tours T5, T6; - les tours T7, T8; et les tours T9, T10. Conformément à l'invention, les dix tours T1i T10 sont commandées 15 simultanément par une unité de commande C80. Cette unité de commande C80 fournit un signal de commande à chacune des tours T1, T10 pour décharger les condensateurs T40 contenus dans ces tours, vers leur sorties T90. Plus précisément, l'unité de commande C80 est reliée à une carte de 20 communication T101 de chacune des tours Ti, d'une façon similaire à la connexion entre l'unité de commande T80 et la carte de commutation T101 de la tour T décrite en référence à la figure 1. Conformément à la présente invention, les câbles de liaison C811, C8110 entre l'unité de commande C80 et les tours T1, T10 sont de longueurs identiques. Ainsi, les tours T1, T10 reçoivent des commandes de décharge simultanément, en provenance de l'unité de commande C80 avec un décalage temporel tout au plus inférieur à quelques nano-secondes. Dans le mode préféré de réalisation décrit ici, chaque tour T1, T10 est reliée à une plaque conductrice C30 au moyen de sa sortie T90. Afin d'assurer ces connexions, chacune des cinq plaques conductrices C30 comporte deux connecteurs C10 en forme de U dans lesquels sont insérées les sorties T90 de deux tours reliées en parallèle. Pour assurer un bon contact électrique entre la sortie T90 d'une tour et ce connecteur C10 en forme de U, on utilise deux rangées de contacts élastiques en bronze au béryllium ayant la forme de lamelles arrondies. A cet effet, on peut notamment utiliser le doigt de contact connu de l'homme 5 du métier sous la dénomination SPRINGLINE (marque déposée) référence 8101 11829S6305. De tels contacts élastiques sont connus de l'homme du métier et ne seront pas décrits ici. Chacune des cinq plaques conductrices de cuivre C30 est reliée Io électriquement par une extrémité C95 à un plot de connexion P1, P5 comme décrit ci-après, en référence à la figure 4. Les cinq plotsP1, P5 du commutateur sont reliés entre eux par une plaque L8 permettant la mise en parallèle des dix tours de commutation T1i T10. Le commutateur statique C de la figure 2 comprend également une tour T et 15 une unité de commande T80 identiques ou similaires à celles décrites précédemment en référence à la figure 1. Cette tour T est connectée au moyen de sa sortie T90 à un plot P6 identique aux cinq plots décrits P1, P5 précités. Cette tour T, dont la décharge est commandée indépendamment de la 20 décharge des dix autres tours T1, T10 est utilisée pour la pré- ionisation du gaz du laser excimère. La figure 3 représente un commutateur statique C conforme à la présente invention relié à un laser excimère avec pré-ionisation Corona. Le laser excimère décrit ici fonctionne en mode impulsionnel, la fréquence 25 d'impulsions pouvant aller jusqu'à 1 KHz. Chaque impulsion comprend une phase de pré-ionisation d'un gaz G suivie d'une phase d'ionisation de ce gaz. Dans le mode de réalisation décrit ici, ce gaz est constitué de la façon suivante: HCI à 0,07 %, Xe à 0,2 % et Ne à 99,73%. Le laser excimère L comporte une plaque L2 de séparation de chambre qui définit deux enceintes LA et LG de ce laser isolées l'une de l'autre. L'enceinte LG est remplie de gaz G. L'enceinte LA est remplie d'air sec (gaz isolant) sous pression. Dans ce mode de réalisation, l'enceinte LA du laser excimère L comporte six plots de connexion P1, P6, chacun d'entre eux étant relié au plot P1, P6 de même référence du commutateur statique C. Plus précisément, le laser excimère L comporte cinq plots P1, P5, chacun d'entre eux étant relié au moyen d'une bande de cuivre L10 à un plot P1, P5 du commutateur statique C pour le transfert de charge d'ionisation et pour la mise en parallèle des cinq paires de tours de 30 kV chacune. Le laser L comporte également un plot de connexion P6 relié au plot de connexion P6 du commutateur statique C pour la pré-ionisation. io Dans le mode préféré de réalisation décrit ici, la liaison entre les plots P6 du laser L et le commutateur statique C pour la pré-ionisation est réalisée au moyen d'un câble blindé. Le laser excimère L est aussi relié au commutateur statique C par deux liaisons L20 reliées à la masse qui, de façon connue, permettent de fermer les 15 champs électromagnétiques. Comme décrit précédemment, les cinq plots P1i P5 du commutateur statique C, utilisés pour le transfert de la charge d'ionisation sont reliés entre eux par la plaque L8. Les plots P1, P5 du laser excimère L sont reliés par des vis L24 à une plaque de liaison en cuivre L25 sur laquelle sont connectés des condensateurs secondaires L40, identiques ou similaires aux condensateurs primaires T40 des tours de commutation Ti. Les condensateurs secondaires L40 sont également reliés à une plaque en cuivre de transfert L60, identique dans sa fonction à la plaque de transfert 25 conductrice T60 de la tour T décrite en référence à la figure 1. La plaque de connexion L25, les condensateurs L40 et la plaque de transfert L60 sont tous situés dans l'enceinte LA remplie d'air sec sous pression. L'enceinte LG remplie de gaz G comporte un support L30 isolant, préférentiellement en céramique (alumine pure AI2O3), fixé contre la paroi interne de la plaque de séparation de chambre L2. Le laser excimère comporte également une cathode L45 fixée au support isolant L30 en vis-àvis d'une anode L50; l'anode L50 et la cathode L45 sont situées dans l'enceinte LG remplie de gaz. 2870056 s Dans le mode de réalisation décrit ici, l'anode L50 est reliée à la masse par deux liaisons L55 profilées en inox via la plaque L2 de séparation de chambre. Pour plus de détails sur cet agencement, l'homme du métier pourra se reporter à la figure 2 de la demande de brevet FR 92 14098 Al au nom de Laserdot. Le laser excimère L comporte également une vis L70 permettant de relier la plaque de transfert L60 de l'enceinte LA contenant de l'air sec à la cathode L45 contenue dans l'enceinte LG contenant le gaz G. Cette vis L70 traverse ainsi la plaque de séparation de chambre L2 et le io support isolant en céramique L30. Les figures 4A et 4B représentent respectivement des parties mâle PM et femelle PF isolantes d'un plot de connexion P1, P6 conforme à l'invention. Dans le mode préféré de réalisation décrit, les deux parties PM et PF sont en matière plastique (téraphtalate de polyéthylène, PETP ). La partie mâle PM comporte une base cylindrique M1 dont un axe de symétrie A est représenté sur la figure 4A. Cette base cylindrique M1 comporte une face externe M2 et une face interne M3, ces deux faces étant sensiblement planes, parallèles entre elles et normales à l'axe de symétrie A. La partie mâle PM comporte également un appendice M4 cylindrique autour de l'axe A. Cet appendice M4 vient préférentiellement de matière avec la base M1 qu'il prolonge à partir de sa face interne M3. Le diamètre de l'appendice M4 est inférieur au diamètre de la base M1. Cet appendice M4 comporte, à son extrémité, une face M5 plane, normale à l'axe A et parallèle aux faces externe M2 et interne M3 de la base M1. La partie mâle PM comporte aussi un trou cylindrique débouchant M6 d'axe A traversant la partie mâle PM de part en part depuis la face externe M2 jusqu'à la surface M5 de l'appendice M4. 3o Dans le mode de réalisation décrit ici, la partie mâle PM comporte une pluralité de trous débouchants lisses M7 traversant de part en part la base cylindrique M1 pour la fixation de cette partie mâle PM avec le commutateur statique C. Seul l'un de ces trous est représenté sur la figure 4A. Les plots PI, P6 selon l'invention comportent également une partie femelle PF, adaptée à s'imbriquer avec la partie mâle PM. Cette partie femelle comporte une base F1 cylindrique autour d'un axe de rotation A', cette base cylindrique F1 comportant une face interne F2 et une face 5 externe F3 planes, parallèles entre elles et normales à l'axe de rotation A'. Préférentiellement, le diamètre de la base F1 de la partie femelle PF est identique au diamètre de la base cylindrique M1 de la partie mâle PM. La partie femelle PF comporte également un appendice cylindrique F4 d'axe de symétrie A' et comportant, à son extrémité, une face F5 plane et parallèle à la io face interne F2 et à la face externe F3 de la base F1. Le diamètre de l'appendice F4 de la partie femelle PF est d'une part, inférieur au diamètre de la base F1 de cette partie femelle PF et, d'autre part, supérieur au diamètre de l'appendice M4 de la partie mâle PM. La partie femelle PF comporte un perçage cylindrique F6 d'axe A' réalisé à 15 partir de la face F5 de son appendice F4. La profondeur de ce perçage F6 est sensiblement égale à la hauteur de l'appendice M4 de la partie mâle PM. Le fond de ce perçage est référencé F8 sur la figure 4B. Le diamètre de ce perçage F6 est très légèrement supérieur au diamètre de 20 l'appendice M4 de la partie mâle PM. La partie femelle PF comporte également un trou cylindrique débouchant F7 d'axe A' de diamètre égal au diamètre du trou débouchant M6 de la partie mâle PM. Ce trou débouchant F7 débouche d'une part sur la face interne F2 de la base F1 et, d'autre part, sur le fond F8 du perçage F6. Conformément à l'invention, la partie mâle PM et la partie femelle PF sont adaptées à être imbriquées l'une dans l'autre, leurs axes de symétrie A et A' s'étant alors confondus. Plus précisément, l'appendice M4 de la partie mâle PM peut être introduit dans le premier trou cylindrique F6 de la partie femelle PF. Lorsque tel est le cas, la face externe F3 de la base F1 de la partie femelle PF vient en contact avec la face interne M3 de la base M1 de la partie mâle PM. De même, la face M5 de l'appendice M4 de la partie mâle PM vient en contact du fond F8 du perçage F6 de la partie femelle PF. Les trous cylindriques débouchants M6 de la partie mâle PM et F7 de la partie femelle PF sont alignés. Préférentiellement, la partie femelle PF comporte une gorge F9 circulaire autour de l'appendice F4, cette gorge F9 étant adaptée à recevoir un joint torique. Dans le mode de réalisation décrit ici, la partie femelle PF comporte une pluralité de trous débouchant lisses F10 traversant de part en part la base cylindrique F1, pour la fixation de cette partie femelle PF avec le commutateur statique C. Seul l'un d'entre eux est représenté sur la figure 4B. Nous allons maintenant décrire en référence à la figure 5 la liaison entre un Io plot de connexion P1, P6 du commutateur statique C et le plot de connexion P1, P6 correspondant du laser excimère L pour le transfert de la charge de ionisation (P1, P5) ou de préconisation (P6), Dans le mode de réalisation décrit ici, ces six liaisons sont identiques. Dans le mode de réalisation décrit ici, le commutateur statique C comporte 15 une paroi C5 en inox d'une épaisseur de 10 mm revêtue sur sa partie externe par une paroi isolante C6. Conformément à la présente invention, la partie femelle PF du plot P1 décrit en référence à la figure 4B est destinée à être fixée à l'intérieur du commutateur statique C. En conséquence, la hauteur de l'appendice F4 de la partie femelle PF correspond sensiblement à l'épaisseur de la paroi interne C5 additionnée de l'épaisseur et de la paroi isolante C6, du commutateur statique C. Le commutateur C comporte ainsi un perçage cylindrique A5 d'un diamètre sensiblement supérieur au diamètre de l'appendice F4 de la partie femelle PF, ce 25 perçage étant réalisé dans la paroi interne C5 et dans la paroi isolante C6 de ce commutateur. Ainsi, la partie femelle PF du plot P1 est positionnée à l'intérieur du commutateur statique C de sorte que la face externe F3 de la base cylindrique F1 de la partie femelle PF soit en appui contre la face interne de la paroi interne C5 du commutateur statique C. Pour assurer la fixation de la partie femelle PF dans le commutateur statique C au moyen de plusieurs vis non représentées, la paroi interne C5 comporte des parties filetées non débouchantes C9 en vis-à-vis des trous lisses F10 de la partie femelle PF. La partie femelle PF permet ainsi d'assurer l'étanchéité du commutateur statique C rempli d'huile T7. De la même façon, la partie mâle PM du plot P1 est conçue pour être fixée, à l'extérieur du commutateur C et de façon amovible, contre la paroi isolante C6 du commutateur statique C, lorsqu'elle est imbriquée dans la partie femelle PF. A cet effet, les trous lisses M7 de la partie mâle PM sont placés en visà-vis de parties filetées C10 débouchantes de la paroi interne C6, ces parties filetées débouchantes C10 étant elle-même en vis-à-vis de parties filetées non débouchantes C11 percées sur la face externe de la paroi C5 du commutateur statique C. Dans cet agencement, la face interne M3 de la base M1 de la partie mâle PM vient se positionner contre la paroi isolante C6. Conformément à la présente invention, le plot de connexion P1 comporte des moyens de liaison avec une plaque conductrice C30 reliée à deux tours de commutation (par exemple T1, T2) comme décrit précédemment en référence à la figure 2. Dans le mode de réalisation préféré décrit ici, ces moyens de liaison comportent un support A10 et un organe de serrage A20, tous deux en cuivre, pour le maintien d'une extrémité C95 de la plaque conductrice C30 précitée. A cet effet, l'extrémité C95 de la plaque conductrice C30, le support A10 et l'organe de serrage A20 comportent tous une partie filetée, ces parties filetées étant alignées pour recevoir une vis non représentée sur la figure 5, en vue de la fixation de la plaque conductrice C30 entre le support A10 et l'organe de serrage A20. Dans le mode préféré de réalisation de l'invention décrit ici, le support A10 comporte sur sa surface en contact avec la plaque conductrice C30, des stries A25 qui permettent, lors du serrage de l'organe A20 sur le support A10, d'améliorer le 30 contact électrique entre la plaque conductrice C30 et le support A10. Le support en cuivre A10 est constitué dans le mode de réalisation décrit ici par une pièce sensiblement cylindrique d'axe A", comme représenté plus en détails à la figure 6. La figure 6 représente en coupe le support en cuivre A10 d'un plot de connexion P1 conforme à l'invention. Ce support est constitué par une pièce cylindrique en cuivre d'axe A". Le support A10 comporte une face interne S1 plane, circulaire, d'axe de 5 symétrie A", cette face interne S1 comportant les stries A25 précitées qui, dans ce mode préféré de réalisation, sont également circulaires. Le support A10 comporte une face externe S2 parallèle à la face interne S1. Le support A10 comporte un premier perçage cylindrique non débouchant S4 d'axe A" réalisé à partir de la face interne S2. Le diamètre de ce premier perçage S4 est inférieur au diamètre du support A10 et supérieur au diamètre du trou débouchant M6 de la partie mâle PM de ce plot. Le fond du perçage S4 est référencé S3 sur la figure 6. A partir de ce fond S3, le support A10 comporte un deuxième perçage S5 15 d'axe A", non débouchant et dont le diamètre est égal au diamètre du trou débouchant M6 de la partie mâle PM de ce plot P1. Le fond de ce deuxième perçage S5 est référencé S6 sur la figure 6. Dans le mode préféré de réalisation décrit ici, le support A10 comporte des débouchants filetés S7 parallèles à l'axe A", et percés à proximité du bord externe de la face interne S2 pour la fixation du support A10 sur la face interne F2 de la base F1 de la partie femelle PF. A cet effet, la partie F2 comporte des parties filetées non débouchantes en vis-à-vis des parties filetées S7 du support A10, ces parties filetées n'étant pas représentées sur les figures 4B et 5 pour simplification. Le plot de connexion P1 selon l'invention comporte également un tube cylindrique de liaison A30 de diamètre très légèrement inférieur au diamètre du perçage M6 de la partie mâle PM. La longueur du tube de liaison A30 est sensiblement égale à la somme des longueurs suivantes: - deux fois la profondeur du premier perçage S4 du support en cuivre A10; - deux fois la profondeur du deuxième perçage S5 du support en cuivre A10; - hauteur de la base M1 de la partie mâle PM; hauteur de la base F1 de la partie femelle PF; et - hauteur de l'appendice F4 de la partie femelle PF. Le tube de liaison A30 est ainsi adapté à traverser de part en part les parties mâle PM et femelle PF lorsque celles-ci sont imbriquées l'une dans l'autre. Avant de fixer le support A10 à la face interne F2 de la partie femelle PF, on positionne un ressort élastique en cuivre A35 annulaire contre la surface S3 du premier perçage S4 du support en cuivre A10. La hauteur de ce ressort élastique en cuivre A35 est sensiblement égale à la profondeur du premier perçage S4. Conformément à l'invention, le diamètre de l'espace circulaire défini par ce ressort élastique A35 est sensiblement inférieur au diamètre du tube de liaison A30. Ainsi, une fois le support A10 fixé contre la face interne F2 de la partie femelle PF, il est possible d'insérer le tube de liaison A30 à travers le trou débouchant F7 de la partie femelle PF, jusqu'à atteindre le fond S6 du deuxième perçage S5 du support en cuivre A10, ce second perçage étant adapté, de par son diamètre, à recevoir une extrémité du tube de liaison 130.. Pour atteindre ce fond S6, le tube de liaison A30 traverse à force l'anneau élastique A35. Cet anneau A35 permet ainsi d'assurer un excellent contact électrique entre la périphérie externe du tube de liaison A30 et le support A10. On vient ensuite positionner la partie mâle PM en enfilant le tube de liaison A30 à travers le trou débouchant M6 de cette partie mâle PM. Puis, on vient imbriquer la partie mâle PM dans la partie femelle PF comme décrit précédemment. Dans cette configuration, la face interne M3 de la base M1 de la partie mâle PM vient se plaquer contre la surface externe de la paroi isolante C10. Cette partie mâle PM est fixée solidairement à la paroi interne C5 du commutateur statique C à travers la paroi interne C11 au moyen de vis non représentées sur la figure 6, ces vis traversant les trous lisses M7 de lapartie mâle PM, les tiges filetées C10 et C11 de la paroi isolante C6 et de la paroi C5. Le plot PI comporte ensuite un deuxième support A10 dans lequel on a positionné à force un deuxième ressort annulaire élastique en cuivre A35, comme décrit ci-dessus. Ce deuxième support A10 est fixé à la surface externe M2 de la partie mâle PM avec des vis non représentées. A cet effet, la partie mâle PM comporte des parties filetées non débouchantes en vis-à-vis des parties filetées S7 du support A10. Après fixation, l'extrémité du tube cylindrique de liaison A30 est en contact avec le fond S6 du deuxième trou débouchant S5 du deuxième support A10. Là encore, un excellent contact électrique est assuré entre le tube de liaison A30 et le deuxième support en cuivre A10 grâce au ressort annulaire élastique en cuivre A35. Le plot P1 selon l'invention comporte enfin un deuxième organe de serrage A20 pour le maintien de la plaque de liaison en cuivre L10 en coopération avec le 10 deuxième support A10. La fixation de la plaque de liaison en cuivre L10 avec le plot P1 du laser excimère est réalisée avec des vis. Elle ne sera pas décrite en détail ici. Préférentiellement, la forme de la plaque de liaison en cuivre L10 est choisie pour régler l'inducteur du système et pour faire varier le temps de charge des condensateurs secondaires L40. Dans un mode préféré de réalisation, le tube de liaison A30 comporte à son extrémité extérieure une partie filetée A32 dans laquelle peut être insérée une vis permettant le retrait de ce tube de liaison de façon aisée. Dans le mode préféré de réalisation décrit ici, ce tube de liaison comprend un percement A33 sur toute sa longueur permettant d'injecter de la graisse à travers le tube, cette graisse venant s'infiltrer en particulier dans les zones de contact entre les parties mâle PM et femelle PF du plot P1 et dans les zones de contact entre la partie femelle PF et la surface interne de la paroi C5 du commutateur statique C. Cette graisse permet ainsi un excellent isolant électrique qui évite la formation de plasma le long du tube de liaison A30. Dans le mode préféré de réalisation de l'invention décrit ici, les zones de contact entre la poutre mâle PM et la poutre femelle PF constituent un chemin de contournement de courant électrique d'au moins 40 mm entre le tube de liaison A30 et la paroi c5. Cette caractéristique permet avantageusement d'améliorer l'isolation électrique du commutateur statique. L'homme du métier comprendra aisément que, grâce à l'agencement particulièrement avantageux de l'invention, la partie mâle PM du tube de liaison P1 peut être retirée alors que la partie femelle PF reste fixée à la paroi C5 du commutateur statique, cette partie femelle PF assurant l'étanchéité de ce commutateur statique. On peut ainsi retirer le tube de liaison A30 et rompre la liaison électrique sans compromettre l'étanchéité du commutateur statique. REVENDICATIONS 1 - Commutateur statique (C) comportant plusieurs tours de commutation (T1, T10), chacune de ces tours (T1) comportant un contact de sortie (T90) adapté à 5 délivrer une tension élevée en réponse à une commande de transfert de charge, ledit commutateur statique étant caractérisé en ce que: - lesdites tours (T1, T10) sont divisées en groupes, lesdits contacts de sortie (T90) des tours (T1, T2) d'un même groupe étant connectés à une plaque conductrice (C30) reliée à un plot de connexion (P1, P5) dudit commutateur statique, lesdites plaques de connexion étant isolées électriquement l'une de l'autre; en ce que: - les dits plots de connexion sont reliés entre eux pour la mise en parallèle desdites tours (T1, T10) ; et en ce que: - la commande de transfert de charge est appliquée simultanément à 15 chacune desdites tours. 2 - Commutateur statique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte une unité de commande (C80) reliée par un câble à chacune des dites tours (T1, T10) pour déclencher ledit transfert de charge, lesdits câbles étant sensiblement de mêmes longueurs. 3 - Commutateur statique selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les valeurs des tensions de sortie des tours (T1, T2) appliquées à chacune des plaques conductrices (T30) sont sensiblement identiques. 4 - Commutateur statique (C) selon l'une quelconque des revendications a 1 à 3, caractérisé en ce que le contact de sortie (T90) d'une tour de commutation (T1) est maintenu dans un support (C10) en forme de U de ladite plaque conductrice (C30) à laquelle elle est connectée, au moyen d'une double rangée de contacts élastiques (C20) en bronze de béryllium ayant la forme de lamelles arrondies. - Commutateur statique (C) selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte dix tours de commutation (T1, T10) connectées deux par deux à cinq plots de connexions (P1, P5), chacune desdites tours (T1, T10) étant adaptée à délivrer par son contact de sortie (T90) une tension nominale comprise entre 24 et 30kV, en réponse à ladite commande de transfert, celle-ci étant générée à une fréquence d'impulsions inférieure à 1 kHz.