Brevet FR2848012A1 — publié le 20040604

PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISQUE OPTIQUE ENREGISTRABLE, DISQUE OPTIQUE ET COUCHE INSCRIPTIBLE OBTENU PAR LEDIT PROCEDE. La présente invention concerne le domaine des disques inscriptibles multiniveaux et plus particulièrement au domaine de l'enregistrement optique irréversible, c'està-dire autorisant un seul enregistrement, plusieurs lectures et pas d'effacement ou de réécriture. Une application est, par exemple, l'enregistrement sur disques optiques multiniveaux de type CD (" Compact Disc "), DVD (" Digital Versatile Disc ") ou encore BD (" Bluray Disc "), " R " (" Recordable "), WORM (" WriteOnce Read Many "), DRAW (" Direct Read After Write ") à n 15 niveaux enregistrables. Actuellement, la grande majorité des disques simple niveau inscriptibles une fois utilise une technique à base de colorant organique. La structure d'un disque selon l'art antérieur est décrite dans le schéma de la figure 1. Généralement, ces disques sont constitués d'un empilement optique comprenant: * Un substrat transparent (1) en plastique, polycarbonate par exemple. * Une couche de colorant (2) sensible à la longueur 25 d'onde d'écriture. * Une couche réfléchissante, (3) formée par un alliage d'or ou d'argent par exemple. * Une ou deux couches de protection (4). Les données sont écrites en spirale sur la surface 30 du disque en focalisant une diode laser (5) de puissance élevée sur la couche de colorant à travers le substrat, si bien qu'au final, elles sont représentées par une alternance de zones non-écrites de réflexion haute et de zones écrites de réflexion basse. La lecture des données est faite avec une diode laser de basse puissance. Le suivi de cette spirale est rendu possible, à la lecture comme à l'écriture, par la présence d'un sillon pré-gravé sur le substrat en plastique. Des couches actives basées sur des matériaux organiques sont par exemple décrites dans le brevet américain US4940618, ou le brevet européen EP353393. Cependant, la trop faible transmission des colorants organiques empêche l'empilement de plusieurs 10 niveaux inscriptibles. On est alors obligé de se tourner vers une solution inorganique. On connaît également dans l'état de la technique l'utilisation de matériaux appartenant à la famille des cermets, terme usuel pour l'homme du métier pour désigner 15 des combinaisons céramiques métalliques déposées par projection d'un matériaux diélectrique et d'un ou de plusieurs éléments métalliques. On se référera par exemple au brevet américain US4640860 décrivant un procédé de fabrication d'un tel 20 disque utilisant des cermets. Le type de couche proposé par ce brevet ne permet toutefois pas de réaliser des supports d'enregistrement de haute densité, car les couches cermets présentent des taux d'absorption et de réflexion trop élevés pour permettre d'envisager des structures 25 multicouches. Des solutions similaires sont décrites dans le brevet japonais 56156942 décrivant un disque présentant un film de type cermet sur un support cylindrique. La surface d'écriture est certes augmentée, mais un tel support n'est 30 pas compatible avec les lecteurs généralement répandus. Le but de l'invention est de remédier aux inconvénients des solutions de l'art antérieur en permettant la réalisation de supports d'enregistrement avec une grande densité d'informations, sur des supports exploitables avec des équipements de lecture standard. A cet effet, l'invention concerne selon son acception la plus générale un procédé de fabrication d'un 5 disque optique enregistrable comportant une étape de formation d'une couche inscriptible avant comprenant un alliage métallique et un diélectrique constituant un cermet caractérisé en ce qu'il comporte au moins une étape antérieure de formation d'une couche inscriptible arrière 10 et de dépôt sur ladite couche inscriptible d'une couche intercalaire transparente, et en ce que ladite couche inscriptible avant présente un taux de transmission supérieur ou égal à 45%, préférentiellement supérieur à 55%. Le procédé comporte de préférence une pluralité d'étapes de formation de couches inscriptibles arrières, certaines au moins desdites étapes consistant à réaliser un co-dépôt d'un alliage métallique et d'un diélectrique formant un cermet, présentant un taux de transmission 20 supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55%, les couches inscriptibles étant séparées par des couches intercalaires transparentes, avantageusement appartenant à la famille constituée par Au-SiN, Au-Si3N4, d'Au-SiO2, Al-A1203, In-SiO2. Selon un mode de mise en oeuvre préféré, le cermet est du type Au-Si3N41 la proportion atomique d'or étant supérieure à 50%. Avantageusement, les couches inscriptibles présentent une épaisseur comprise entre 5 et 50 nm. Selon un mode de réalisation particulièrement avantageux, les couches inscriptibles sont réalisées par dépôt par co-pulvérisation sur un substrat d'une couche active d'Au-Si3N4 d'environ 20 nm avec une quantité d'or d'environ 80% atomique et une quantité de Si3N4 d'environ 20% atomique. L'invention concerne également un disque optique enregistrable constitué par un substrat et une couche 5 active de type Cermet, caractérisé en ce que ladite couche active recouvre au moins une couche arrière inscriptible et en ce que ladite couche active Cermet présente un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55%. De préférence, lesdites couches actives Cermet recouvrant une couche arrière inscriptible, les couches consécutives étant séparées par une couche formant un substrat transparent. L'invention concerne encore une couche inscriptible 15 constituée par un dépôt de cermet sur un substrat caractérisé en ce qu'elle présente un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55%, le cermet appartenant préférentiellement à la famille constituée par A Au-Si3N4, . d'Au-SiO2, Al-A1203, In20 SiO2 et étant avantageusement une combinaison Au-SiN4, la proportion atomique d'or étant supérieure à 50% et l'épaisseur comprise entre 5 et 50 nm. L'invention concerne encore un procédé d'enregistrement d'un disque inscriptible par activation 25 d'une pluralité de couches inscriptibles superposées avec au moins un faisceau d'activation focalisé dans des plans distincts, caractérisé en qu'il comporte au moins une activation d'une couche positionnée dans un plan avant, ladite couche présentant un matériau cermet présentant un 30 taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% présentent une épaisseur comprise entre 5 et 50 nm, et au moins une activation d'une couche positionnée dans un plan arrière. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit, se référence aux figures annexées correspondant un mode de réalisation non limitatif o : - la figure 1 représente une vue en coupe d'un disque optique selon l'état de la technique. - la figure 2 représente une vue en coupe d'un disque optique selon l'invention - la figure 3 représente le tableau des propriétés optiques mesurées avant et après écriture pour 10 une couche de 20 nm d'épaisseur de Au81(Si3N4),9 - les figures 4 et 5 représentent les signaux 3T et 14T pour une fréquence F=19.6 MHz, Vlinéaire=3.9 m/s, P=10 mW et une couche de 20 nm d'épaisseur de Au81(Si3N4),9 (format DVD) - La figure 6 représente le tableau des propriétés optiques mesurées avant écriture pour une couche de 20 nm d'épaisseur de Au81l(Si3N4)19 - La figure 7 représente la courbe de variation de la largeur de la porteuse (jitter) 2T et 8T 20 digitaux en fonction de la puissance d'écriture pour une fréquence d'écriture de 41 MHz et une vitesse linéaire de 5.1 m/s. Couche de 20 nm d'épaisseur de Au8l(Si3N4)19 (format Bluray) - Les figures 8 et 9 représentent les signaux 25 2T et 8T correspondant à une fréquence F=41 MHz, Vlinéaire=5.1 m/s, P=8 mW pour une couche de 20 nm d'épaisseur de Au81(Si3N4)19. La figure 2 représente une vue en coupe selon un plan radial d'un disque conforme à l'invention. Le disque selon l'invention est constitué de façon connue par un substrat transparent (1) formant le dos du disque. Il s'agit par exemple d'un disque en polycarbonate (PC) ou en PMMA sur lequel sont formées plusieurs couches inscriptibles (7, 8) séparées par des couches intercalaires transparentes (10). Une dernière couche inscriptible - la couche arrière (9) est revêtue par une couche de protection protégeant contre les dégradations physiques. Les couches inscriptibles (7, 8) sont choisies pour être suffisamment réflectives pour être vues dans un testeur ou un graveur, mais aussi assez absorbantes pour permettre l'inscription d'information afin qu'elles aient 10 un taux de transmission permettant d'atteindre les niveaux supérieurs ou arrière. L'invention réside notamment dans le choix de cermets très transparents (T=45% et plus) comme couche active pour chaque niveau semi-transparent. Leurs 15 réflexions et absorptions sont de fait bien inférieures à celles connues dans l'art antérieur. Les fractions atomiques de métal dans les alliages mis en oeuvre dans l'invention sont de plus bien supérieures à celles utilisées dans l'art antérieur. Dans l'invention, 20 les alliages comportent une proportion d'alliages métalliques supérieurs à 50%, alors que dans l'art antérieur, la proportion d'alliages métalliques est de l'ordre de 20% en proportion atomique. Chacune des couches inscriptibles (7, 8) présente 25 une épaisseur de 5 à 50 nm. Une ou plusieurs couches supplémentaires transparentes peuvent être ajoutées pour augmenter la réflexion et/ou le contraste d'un niveau. La proportion de métal augmente de la couche avant vers la couche la plus éloignée. Les couches de protection 30 sont optionnelles. La couche de protection n'est pas indispensable au fonctionnement du disque, mais permet de le protéger. Dans la présente invention, on désigne par " avant " la couche la plus proche du faisceau incident utilisé pour l'enregistrement, et le terme " arrière " désigne la couche la plus éloignée. Les modes d'obtention de ces matériaux sont divers (mélange à partir de composés primaires nanométriques, 5 procédés sol-gel, dépôts sous vide...) , mais leur fabrication par pulvérisation cathodique sous vide est l'une des plus utilisée. Le dépôt est réalisé sur des substrats portés à une température de l'ordre de 1000C à 1500C. Le procédé 10 comporte des opérations connues par ailleurs de dégazage de la cible et de mise à l'air libre des échantillons. La description qui suit se réfère à un exemple particulier de mise en oeuvre de l'invention pour la fabrication d'un DVD-R fonctionnant à une longueur d'onde 15 X=650 nm. Sur un substrat (1) formé par un disque de polycarbonate d'une épaisseur de 0,6 millimètres, on dépose une couche active d'Au-Si3N4 d'environ 20 nm est déposée par co-pulvérisation avec une intensité de 0.044 mA/cm sur 20 la cible de silicium et 0.011 mA/cm sur celle d'or. La pression est 102 mbar. Le débit d'argon, comme celui d'azote, est 40 sccm. La quantité d'or est alors de 81% atomique (celle de Si3N4 donc de 19% atomique). Les propriétés optiques mesurées avant et après 25 écriture sont données dans le tableau représenté en figure 3 présentant les propriétés optiques mesurées avant et après écriture pour une couche de 20 nm d'épaisseur de Au8. (Si3N4)19' Pour une fréquence d'écriture de 19.6 MHz, une 30 vitesse linéaire de 3.9 m/s et une puissance d'écriture de mW, les mesures ont donné une modulation de 0.26, une résolution de 0.58 et une asymétrie de 6.9%. Les signaux 3T et 14T sont montrés en figures 4 et 5 correspondant à une fréquence F=19.6 MHz, Vlinéaire=3.9 m/s, P=10 mW et une couche de 20 nm d'épaisseur de Au8l(Si3N4)19. Selon un deuxième exemple, l'invention est appliquée au cas du Blu disc avec une longueur d'onde 5 d'inscription et de lecture X=405 nm, sur un substrat polycarbonate 1.2 mm et avec une couche de 100 1um. La figure 6 représente le tableau des propriétés optiques mesurées avant écriture pour une couche de 20 nm d'épaisseur de Au8l(Si3N4)19. On a mesuré les largeurs de la porteuse (jitter) des signaux 2T et 8T digitalisés en fonction de la puissance d'écriture (figure 4) pour une fréquence d'écriture de 41 MHz et une vitesse linéaire de 5.1 m/s, ce qui correspond à une densité de 15 GB pour un track pitch 15 de 0.32p.m. La figure 7 représente la courbe de largeur de la porteuse (jitter) 2T et 8T digitaux en fonction de la puissance d'écriture pour une fréquence d'écriture de 41 MHz et une vitesse linéaire de 5.1 m/s. Couche de 20 nm 20 d'épaisseur de Au81(Si3N4)19. Ce paramètre tient compte du degré de distorsion et de la régularité des marques inscrites. L'analyse spectrale à la fréquence vr fournit un signal proportionnel à la transformée de Fourier des variations de courants induites lors du balayage du spot 25 sur les marques amorphes. Les variations de réflectivité ne sont pas abruptes, et ce, du fait de la nature gaussienne du spot de lecture d'une part, de la forme des marques ensuite, et d'autres phénomènes d'origines diverses introduisant des variations sur la longueur des marques 30 inscrites d'autre part. Tout ceci se traduit par un élargissement de la densité spectrale de la porteuse à la fréquence de lecture. Cette dégradation du spectre peut entraîner des erreurs de lecture. Elle est quantifiable en mesurant la largeur de la porteuse et est couramment appelée jitter (exprimé en ns ou en %). Dans cette configuration, et pour une puissance d'écriture de 8 mW, on a une modulation de 0.688, une résolution de 0.463 et une asymétrie de -5. 6%. Les signaux 2T et 8T sont montrés en figures 8 et 9 correspondant à une fréquence F=41 MHz, Vlinéaire=5.1 m/s, P=8 mW pour une couche de 20 nm d'épaisseur de Au81(Si3N4)>9. REVEND I CATI ONS 1 - Procédé de fabrication d'un disque optique enregistrable comportant une étape de formation d'une 5 couche inscriptible avant comprenant un alliage métallique et un diélectrique constituant un cermet, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une étape antérieure de formation d'une couche inscriptible arrière et de dépôt sur ladite couche inscriptible d'une couche intercalaire transparente, 10 et en ce que ladite couche inscriptible avant présente un taux de transmission supérieur ou égal à 45%. 2 - Procédé de fabrication d'un disque optique enregistrable selon la revendication 1, caractérisé en ce 15 que le taux de transmission de la couche inscriptible avant est supérieur à 55%. 3 - Procédé de fabrication d'un disque optique enregistrable selon la revendication 1, caractérisé en ce 20 qu'il comporte une pluralité d'étapes de formation de couches inscriptibles arrières, certaines au moins desdites étapes consistant à réaliser un co-dépôt d'un alliage métallique et d'un diélectrique formant un cermet, présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% 25 et préférentiellement supérieur à 55%, les couches inscriptibles étant séparées par des couches intercalaires transparentes. 4 - Procédé de fabrication d'un disque optique 30 enregistrable selon l'une au moins des revendications précédentes, caractérisé en ce que les couches inscriptibles présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% sont réalisées par dépôt d'un cermet appartenant à la famille il constituée par Au-Si3N4, Au-Si3N4, d'Au-SiC2, Al-Al203, InS'02. - Procédé de fabrication d'un disque optique 5 enregistrable selon l'une au moins des revendications précédentes, caractérisé en ce que les couches inscriptibles présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% sont réalisées par dépôt d'un cermet Au-Si3N4, la proportion 10 atomique d'or étant supérieure à 50%. 6 - Procédé de fabrication d'un disque optique enregistrable selon l'une au moins des revendications précédentes, caractérisé en ce que les couches 15 inscriptibles présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% présentent une épaisseur comprise entre 5 et 50 nm. 7 - Procédé de fabrication d'un disque optique 20 enregistrable selon l'une au moins des revendications précédentes, caractérisé en ce que les couches inscriptibles sont réalisées par dépôt par co-pulvérisation sur un substrat d'une couche active d'Au-Si3N4 d'environ 20 nm avec une quantité d'or d'environ 80% atomique et une 25 quantité de Si3N4 d'environ 20% atomique. 8 - Disque optique enregistrable constitué par un substrat et une couche active de type Cermet, caractérisé en ce que ladite couche active recouvre au moins une couche 30 arrière inscriptible et en ce que ladite couche active Cermet présente un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55%. 9 - Disque optique enregistrable constitué par un substrat et une couche active de type Cermet, selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comporte une pluralité de couche active Cermet présentant un taux de 5 transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55%, lesdites couches actives Cermet recouvrant une couche arrière inscriptible, les couches consécutives étant séparées par une couche formant un substrat transparent. - Disque optique enregistrable, selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que les couches inscriptibles présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% sont 15 réalisées par dépôt d'un cermet appartenant à la famille constituée par Au-Si3N,, Au-SiA, d'Au- SiO2, Al-A1203, InSiO2. 11 - Disque optique enregistrable, selon la 20 revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que les couches inscriptibles présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% sont réalisées par dépôt d'un cermet Au-Si3N4, la proportion atomique d'or étant supérieure à 50%. 25 12 - Disque optique enregistrable, selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que les couches inscriptibles présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% 30 présentent une épaisseur comprise entre 5 et 50 nm. 13 - Disque optique enregistrable, selon l'une quelconque des revendications 8 à 12, caractérisé en ce que les couches inscriptibles présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% sont constituée par une combinaison d'AuSi3N4 avec une quantité d'or d'environ 80% atomique et une quantité de Si3N4 d'environ 20% atomique. 14 - Couche inscriptible constituée par un dépôt de cermet sur un substrat, caractérisé en ce qu'elle présente un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55%. - Couche inscriptible selon la revendication 14, caractérisé en ce que le cermet appartient à la famille constituée par Au-Si3N4, Au-Si3N4, d'AuSiC2, Al-A1203, InSiC2. 16 - Couche inscriptible selon la revendication 14, caractérisé en ce que le cermet est une combinaison AuSi3N4, la proportion atomique d'or étant supérieure à 50%. 17 - Couche inscriptible selon la revendication 14, caractérisé en ce que le cermet présente une épaisseur comprise entre 5 et 50 nm. 18 - Couche inscriptible selon la revendication 14, 25 caractérisé en ce que le cermet est une combinaison d'AuSi3N4 avec une quantité d'or d'environ 80% atomique et une quantité de Si3N4 d'environ 20% atomique. 19 - Procédé d'enregistrement d'un disque 30 inscriptible par activation d'une pluralité de couches inscriptibles superposées avec au moins un faisceau d'activation focalisé dans des plans distincts, caractérisé en qu'il comporte au moins une activation d'une couche positionnée dans un plan avant, ladite couche présentant un matériau cermet présentant un taux de transmission supérieur ou égal à 45% et préférentiellement supérieur à 55% présentent une épaisseur comprise entre 5 et 50 nm, et au moins une activation d'une couche positionnée dans un plan arrière.