Brevet FR2852537A1 — publié le 20040924

i L'invention concerne un ensemble permettant la fabrication d'une pièce mécanique creuse par soudage-diffusion et formage superplastique, l'utilisation d'un tel ensemble et le procédé de fabrication d'une pièce mécanique creuse par soudage-diffusion et formage superplastique. Plus précisément, la présente invention se rapporte à l'amélioration des conditions dans lesquelles est réalisée l'étape de soudage-diffusion et en particulier la présente invention vise à contribuer à l'élimination, avant mise à la température de soudage-diffusion, de toute 10 source de contamination des surfaces à assembler, notamment des résidus de la dégradation du produit anti-diffusion formant une barrière de diffusion et encore appelé " stop-off ". On rappelle que la technique de soudage-diffusion consiste à mettre en contact à haute température, sous une certaine pression et 15 pendant un certain temps, deux surfaces d'un matériau donné. Le soudage des deux surfaces s'opère alors par diffusion d'atomes, ce qui présente l'avantage de former une structure de liaison équivalente à la structure de base du matériau. Bien évidemment, la qualité de la soudure dépend des 20 paramètres opératoires: température, pression et temps mais aussi des paramètres liés aux éléments à assembler, généralement sous forme de plaques:structure métallurgique, état de surface (propreté, rugosité). En conséquence, il est primordial d'éliminer toute source de contamination des surfaces à assembler avant la mise en température de l'étape de 25 soudage-diffusion. Ce nettoyage des surfaces est réalisé classiquement par une mise sous vide de la cavité formée par les deux surfaces à souder. Cependant dans le cas d'un soudage-diffusion associé à un formage superplastique, on utilise un produit anti-diffusion ou " stop-off " pour 30 empêcher le soudage-diffusion dans les zones des surfaces en regard qui seront ultérieurement gonflées pour l'obtention d'une pièce mécanique creuse. Ce type de produit est composé d'un liant, généralement organique, et d'une poudre d'un matériau anti-diffusion tel qu'un matériau 35 réfractaire comme une céramique (par exemple oxyde d'yttrium ou alumine, ou encore nitrure de bore ou graphite). Après application du produit anti-diffusion selon un motif prédéfini correspondant aux zones des surfaces à ne pas relier par soudagediffusion, le liant est dégradé pour ne conserver que la poudre du produit anti-diffusion, laquelle est formée de particules qui présentent les 5 propriétés anti-adhésion en inhibant la diffusion des atomes des matériaux des plaques à souder. Lors de cette dégradation du liant par mise à une température située généralement entre 200 et 400 OC, se forment des résidus, en particulier gazeux, qui peuvent, à des degrés divers en fonction de leur 10 composition chimique, contaminer les surfaces à souder. Ainsi, on comprend qu'il est indispensable d'éliminer également les résidus de dégradation du produit anti-diffusion ou " stop-off ". Il faut noter que la résistance mécanique du produit antidiffusion est fortement réduite, après cette dégradation, de sorte qu'il 15 convient d'éviter de manipuler et/ou de déplacer des parties à souder ou encore de créer des perturbations à l'intérieur de la cavité, ce qui pourrait provoquer une dissémination des particules de la poudre anti-diffusion sur des zones des surfaces à souder devant être raccordées par soudagediffusion. Classiquement, ces résidus de dégradation sont réduits par mise sous vide partiel de la cavité formée par les deux surfaces à souder. Il a aussi été proposé de faire circuler un gaz neutre, tel que l'argon, dans cette cavité, puis de réaliser une étape de mise sous vide partiel de cette cavité avant l'étape de soudage diffusion proprement dite 25 (FR2754478). Cette solution est relativement lourde à mettre en oeuvre puisqu'il est nécessaire de mettre en place un ensemble de tubes et de raccords pour la circulation de gaz neutre et la mise sous vide ultérieure, cet ensemble constituant par ailleurs une source de fuites éventuelles et 30 rendant plus complexe la réalisation de l'opération de soudage-diffusion. En outre, cette solution permet le traitement d'une seule pièce à la fois et la mise sous vide allonge le temps de fabrication. De plus, il faut noter que lorsque les liants se volatilisent, la tenue mécanique du produit anti-diffusion se dégrade fortement de sorte 35 que le flux du gaz neutre circulant dans la cavité peut entraîner une dissémination locale de particules anti-diffusion sur les surfaces à souder. Enfin, il faut noter que malgré la mise sous vide partiel dans la cavité en fin de dégradation, le risque de conserver du gaz neutre emprisonné dans certains zones de la cavité n'est pas nul, ces poches de gaz résiduelles pouvant empêcher localement le soudage-diffusion. Egalement, selon US 5 484 977 et US 5 273 202, est proposée une élimination des résidus de dégradation du liant des produits antidiffusion par le fait que l'ensemble est placé dans une chambre placée sous vide partiel en dynamique, c'est-à-dire avec aspiration en continu pour évacuer les gaz issus de la dégradation du liant. Là encore, il est difficile de traiter plusieurs pièces en même temps du fait des volumes à mettre sous vide partiel, le temps de traitement est long et il est nécessaire de mettre en place une chambre à vide de grandes dimensions, ce qui est lourd à mettre en oeuvre. La présente invention a pour objectif de fournir un ensemble 15 permettant la fabrication d'une pièce mécanique creuse par soudagediffusion et formage superplastique, qui ne présente pas les inconvénients de l'art antérieur mais qui réalise de manière satisfaisante l'évacuation des résidus gazeux provenant de la dégradation des produits anti-diffusion ou " stop-off ", avant l'étape de soudage-diffusion. A cet effet, selon la présente invention est proposé un ensemble permettant la fabrication d'une pièce mécanique creuse par soudagediffusion et formage superplastique, qui comprend: - un empilement d'au moins deux pièces primaires, lesdites pièces primaires étant assemblées à leur périphérie à l'exception d'un 25 emplacement formant un passage de manière à définir entre elles deux à deux une cavité, et lesdites pièces primaires ayant au moins une face en regard de ladite cavité qui est recouverte, selon un motif, d'un produit anti-diffusion contenant un liant susceptible d'être dégradé thermiquement, et - un réservoir étanche présentant un espace interne et une extrémité ouverte, ladite extrémité étant raccordée de manière étanche audit passage dudit empilement afin de permettre une communication entre ledit espace interne dudit réservoir et ladite cavité, le réservoir étant placé sous vide partiel, étant réalisé de manière à être indéformable à la 35 température et à la pression de soudage diffusion dudit empilement, et présentant un volume tel que lorsque ledit ensemble est placé à la température de dégradation thermique dudit liant, les gaz issus de la dégradation du liant sont aspirés dans le réservoir. De cette manière, on comprend que par la présence du réservoir, de volume adapté pour permettre une aspiration des résidus 5 gazeux, et qui est réalisé dans un matériau pouvant résister, sans se déformer, à de fortes températures et de fortes pressions, on réalise l'évacuation des résidus gazeux issus de la dégradation du liant du produit anti- diffusion directement lors d'une montée en température pouvant correspondre à l'étape précédant la réalisation du soudage-diffusion. Egalement, on comprend qu'un tel agencement est vraiment facile à mettre en oeuvre du fait qu'il n'y a pas de chambre sous vide extérieure, ni de pompage ou de circulation de gaz à réaliser une fois que le raccordement entre l'empilement et le réservoir a été opéré. Cette solution présente aussi l'avantage supplémentaire de 15 permettre de réaliser simultanément, en série, l'étape de soudage diffusion de plusieurs empilements/ensembles pour lesquels l'évacuation des résidus gazeux a été réalisée, sans avoir à démonter ou modifier chaque empilement/ensemble. Globalement, grâce à l'agencement selon la présente invention, 20 il est possible, de manière très simple, de réaliser simultanément avec l'étape de dégradation effectuée en mettant l'empilement sous une température permettant la dégradation du liant, à savoir en général entre et 4000C, l'évacuation des résidus gazeux. Selon une disposition préférentielle, ledit empilement se 25 caractérise en ce que ladite pièce mécanique est une aube creuse de turbomachine, en particulier une aube de rotor de soufflante, et en ce que ledit empilement comporte trois pièces primaires composées d'une pièce primaire d'extrados, d'une tôle centrale et d'une pièce primaire d'intrados. En effet, la présente invention est tout particulièrement adaptée 30 à la réalisation d'une pièce mécanique obtenue à partir de trois pièces primaires afin de former une aube creuse de turbomachine, la pièce primaire d'extrados et la pièce primaire d'intrados allant constituer, pour la pièce finale, respectivement la partie supérieure (ou peau d'extrados) et la partie inférieure (ou peau d'intrados) de l'aube, et la tôle centrale allant 35 constituer, pour la pièce finale, une entretoise de renforcement. Cette entretoise de renforcement est disposée entre la partie supérieure et la partie inférieure de l'aube, en étant soudée à ces deux parties aux emplacements des surfaces en regard des trois pièces primaires qui n'ont pas été recouvertes de produit anti- diffusion. De préférence, ledit réservoir est réalisé dans un alliage métallique à base nickel ou à base cobalt. Selon une autre disposition préférentielle, ledit volume du réservoir est compris entre 10 et 100 fois le volume de ladite cavité de l'empilement. De préférence, ledit réservoir est placé sous un vide partiel 10 compris entre 0,01 et 0,1 Pa, de préférence entre 0,03 et 0, 07 Pa, et de manière préférentielle sensiblement égal à 0, 05 Pa (soit entre 1 104 mbar et 10 104 mbar, de préférence entre 3 et 7 104 mbar, et de manière préférentielle sensiblement égal à 5 10-4 mbar) Un tel dimensionnement allié à ces niveaux de pression garantit 15 en effet l'aspiration complète des résidus gazeux pendant l'étape de dégradation du liant effectuée à haute température. La présente invention porte aussi sur l'utilisation d'un tel ensemble pour l'évacuation des résidus gazeux présents dans une cavité séparant au moins deux pièces primaires destinées à être reliées par 20 soudage- diffusion en vue de l'obtention, après formage superplastique, d'une pièce mécanique creuse. La présente invention porte également sur le procédé de fabrication d'une pièce mécanique creuse par soudage-diffusion et formage superplastique, comprenant les étapes suivantes 25 a) fourniture d'au mois deux pièces primaires; b) dépôt suivant un motif prédéfini d'un produit antidiffusion sur au moins une face parmi chaque paire de faces desdites pièces primaires, destinées à venir en regard l'une de l'autre; c) fourniture d'un réservoir étanche présentant une extrémité ou30 verte, étant réalisé de manière à être indéformable à la température et à la pression de soudage diffusion du matériau desdites pièces primaires; d) assemblage des pièces primaires à leur périphérie à l'exception d'un emplacement formant un passage, lesdites pièces primaires formant un 35 empilement en délimitant entre elles deux à deux une cavité en communication avec ledit passage; e) placement de l'empilement et du réservoir dans un enceinte avec mise sous vide partiel de l'enceinte, ce par quoi le volume interne du réservoir est mis sous vide partiel; f) raccordement étanche entre ladite extrémité ouverte du réservoir et 5 ledit passage dudit empilement dans ladite enceinte sous vide partiel, afin de former un ensemble permettant une communication entre ledit espace interne dudit réservoir et ladite cavité; g) chauffage de l'enceinte à la température de dégradation thermique dudit liant, de préférence entre 200 et 4000C, ce qui permet aux gaz issus 10 de la dégradation du liant d'être aspirés dans le réservoir; h) chauffage de l'enceinte à la température de soudage-diffusion et mise sous pression de l'enceinte à la pression de soudage-diffusion, ce qui entraîne le soudage- diffusion de l'empilement en pression isostatique; i) séparation entre le réservoir et l'empilement soudé; j) placement dudit empilement soudé dans un moule; k) mise à la température de formage superplastique dudit moule et injection sous la pression de formage superplastique d'un gaz inerte par ledit passage dans ladite cavité, ce qui entraîne le gonflement de 20 l'empilement et le formage superplastique permettant l'obtention d'une ébauche de la pièce mécanique. Selon un mode de réalisation préférentiel, lesdites étapes d) d'assemblage des pièces primaires et f) de raccordement étanche sont effectuées par soudage par faisceau d'électrons. Selon une autre disposition préférentielle, ledit vide partiel est compris entre 0,01 et 0,1 Pa, de préférence entre 0,03 et 0, 07 Pa, et de manière préférentielle sensiblement égal à 0, 05 Pa (soit entre 1 104 mbar et 10 104 mbar, de préférence entre 3 et 7 10-4 mbar, et de manière préférentielle sensiblement égal à 5 10-4 mbar). Selon une application privilégiée du procédé objet de la présente invention, ladite pièce mécanique est une aube creuse de turbomachine, en particulier une aube de rotor de soufflante, et en ce que ledit empilement comporte trois pièces primaires composées d'une pièce primaire d'extrados, d'une tôle centrale et d'une pièce primaire d'intrados. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention ressortiront à la lecture de la description suivante faite à titre d'exemple et en référence aux dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 montre, schématiquement et en coupe longitudinale, un ensemble selon la présente invention - la figure 2 montre, en perspective, un ensemble selon la présente invention dans son application à une aube de turbomachine, et - la figure 3 montre de manière partielle et agrandie, la section longitudinale de l'ensemble de la figure 2. Sur la figure 1 est représenté un ensemble 10 selon la présente invention qui est constitué, à gauche, d'un empilement 12, et à droite, d'un réservoir 14. Le réservoir 14 est étanche et présente une extrémité ouverte 14a, en définissant un espace interne 14b présentant un volume 15 prédéterminé. On comprend que ce réservoir 14 doit résister à des pressions à des températures correspondant à celles pratiquées pendant l'étape de soudagediffusion, c'est-à-dire jusqu'à une température de l'ordre 900 à 1 0000C et une pression de l'ordre de 4 106 Pa, c'est-à-dire 40 bars. A cet effet, on choisit de réaliser le réservoir 14 dans un matériau adéquat, de préférence dans un alliage métallique à base nickel (par exemple IN100 ou NK15CAT), ou encore à base cobalt (par exemple MAR 509 ou KC24NWTa), c'est-à-dire un alliage à haute résistance. Ce réservoir 14 peut présenter la forme générale d'un 25 parallélépipède rectangle ou toute autre forme, et il peut également être équipé (cas de figure non illustrés) de raidisseurs internes pour mieux résister à la pression à laquelle il sera soumis pendant l'étape de soudagediffusion. L'empilement 12 de la figure 1 représente un premier mode de 30 réalisation dans lequel il est constitué d'une première pièce primaire 12a et d'une deuxième pièce primaire 12b, entre lesquelles est délimitée une cavité 12c. Cet empilement 12 est obtenu après que les pièces primaires 12a et 12b, présentant essentiellement la forme d'une plaque, ont été 35 assemblées le long de leur périphérie afin de délimiter entre elles la cavité 12c. Plus précisément, lors de cet assemblage, la périphérie des pièces primaires 12a et 12b n'est pas refermée au niveau d'un emplacement destiné à former un passage i2d entre l'extérieur et la cavité 12c. Comme on le voit sur la figure 1, les pièces primaires 12a et 12b, sont conformées, dans leur partie correspondant au passage 12d, pour qu'un montage étanche puisse être réalisé entre le réservoir 14, au niveau de son extrémité ouverte 14a, et l'empilement 12, au niveau du passage 12d. Les pièces primaires 12a et 12b sont réalisées dans des matériaux susceptibles d'être formés de manière superplastique, par exemple en titane ou dans un alliage à base de titane ou encore dans un matériau composite à base métallique comprenant du titane. L'assemblage précité des pièces primaires 12a et 12b, ainsi que 15 l'assemblage entre le réservoir 14 et l'empilement 12 peuvent être réalisés par différents types de soudure. De préférence, on réalise ces deux assemblages par un soudage au laser ou sous faisceau d'électrons. Ces deux étapes de soudage peuvent être réalisées successivement dans une même enceinte placée sous vide partiel, ceci 20 afin de permettre, après formation de l'ensemble 10, que l'espace interne 14b issu du réservoir 14 soit placé sous vide partiel. Ce vide partiel est de préférence compris entre 0,01 et 0,1 Pa, de préférence entre 0,03 et 0,07 Pa, et préférentiellement à 0,05 Pa (c'est-à-dire entre 1 104 mbar et 10 10 - 4 mbar, de préférence entre 3 et 7 104 mbar, préférentiellement 25 5 10-4 mbar). Pour permettre de réaliser l'aspiration des résidus gazeux, le volume de l'espace interne 14b du réservoir 14 est compris entre 10 et 100 fois, de préférence entre 50 fois et 100 fois le volume de ladite cavité 12c de l'empilement 12. On comprend donc que l'ensemble 10 présente une structure interne dans laquelle la cavité 12c présente un volume beaucoup plus faible que le volume de l'espace interne 14b. C'est grâce à une telle différence de volume que l'on parvient à aspirer le gaz résiduel issu de la dégradation du produit anti-diffusion: en 35 effet, lorsque l'on porte l'ensemble 10 à une température de dégradation thermique située entre 200 et 4000C, le produit anti-diffusion se décompose par la dégradation du liant qui engendre un résidu gazeux augmentant la pression dans la cavité 12c, cette augmentation de pression étant compensée, au niveau de l'espace interne 14b placé initialement sous vide partiel, par une aspiration du résidu gazeux ainsi 5 formé du fait de l'équilibrage entre les pressions de l'espace interne 14b et de la cavité 12c. Ces étapes de dégradation thermique du liant et d'aspiration des résidus gazeux dans le réservoir 14 s'effectuant de manière très rapide, il est possible de réaliser de manière très rapprochée et quasiment 10 simultanément l'étape de soudage diffusion. En effet, après montage de l'ensemble 10 comme indiqué précédemment, ce dernier est placé dans une enceinte de chauffage qui va être soumise à une montée en température, la dégradation thermique ayant lieu lorsque la température a atteint au moins 2000C. Cette montée en température est poursuivie jusqu'à 9000C puis une pression isostatique de 4 106 Pa, soit 40 bars, est alors exercée pendant environ 3 heures pour réaliser le soudage diffusion entre les pièces primaires 12a et 12b. De manière connue en soi, les faces en regard des pièces 20 primaires 12a et 12b sont recouvertes, avant l'étape d'assemblage de l'empilement 12, d'un produit anti-diffusion ou " stop-off " (plus précisément, l'une de ces deux faces en regard ou bien les deux faces en regard sont recouvertes du produit anti-diffusion). Ce dépôt est effectué selon un motif prédéfini, par exemple par la technique connue de 25 sérigraphie. Ainsi, il n'y a pas soudage entre les surfaces en regard des pièces primaires 12a et 12b selon le motif pré-défini qui correspond aux emplacements ne devant pas être soudés ensemble pour permettre de gonflage lors du formage superplastique ultérieur. On comprend donc que l'élimination des résidus gazeux de la dégradation thermique du produit d'anti-diffusion est réalisée quasi simultanément à l'étape de soudage-diffusion. En tout cas, il n'est pas nécessaire d'effectuer ces deux étapes dans des environnements différents de sorte que l'on encoure pas le risque d'une contamination par 35 les particules anti-diffusion des surfaces des pièces primaires 12a et 12b devant être soudées entre elles lors de l'étape de soudage-diffusion. De plus, il faut noter que l'étape de soudage-diffusion n'endommageant pas le réservoir, celui-ci étant par ailleurs retiré avant l'étape de formage superplastique, il peut être réutilisé ultérieurement dans un autre ensemble, conjointement avec un autre empilement, pour la formation d'une autre pièce mécanique creuse. On se reportera maintenant aux figures 2 et 3 montrant un deuxième mode de réalisation d'un ensemble selon l'invention qui correspond à l'application à la réalisation d'une aube creuse. En effet, notamment dans le cas des aubes de rotor de 10 soufflantes des turboréacteurs à double flux, des aubes à grandes cordes sont utilisées. De telles aubes doivent répondre à des conditions sévères d'utilisation et posséder notamment des caractéristiques mécaniques suffisantes associées à des propriétés antivibratoires et de résistance aux 15 impacts de corps étrangers. L'objectif de vitesses suffisantes en bout d'aube a de plus mené à rechercher une réduction des masses, ce but étant notamment atteint par l'utilisation d'aubes creuses. Sur la figure 2 apparaît un ensemble 10' selon ce deuxième 20 mode de réalisation qui comporte, à droite, le réservoir 14, et à gauche l'empilement 12' destiné à former, après soudage diffusion et formage superplastique une aube creuse. Comme on le voit de manière plus détaillée sur la coupe partielle de la figure 3, le réservoir 14 (à gauche) est similaire à celui de la 25 figure 1. Par contre, dans le deuxième mode de réalisation, l'empilement 12' (à droite sur la figure 3) diffère de l'empilement 12 du premier mode de réalisation illustré à la figure 1 en ce qu'il comporte trois pièces primaires 12a', 12b' et 12e'. Plus précisément, la première pièce primaire 12a' et la troisième pièce primaire 12e' constituent respectivement une pièce primaire d'extrados et une pièce primaire d'intrados, qui sont raccordées au réservoir 14 au niveau d'une zone élargie destinée à forme le pied d'aube. La deuxième pièce primaire 12b', qui est intercalée entre la 35 première pièce primaire 12a' et la troisième pièce primaire 12e' constitue une tôle centrale, d'épaisseur moins importante qui va former i ultérieurement l'entretoise servant de raidisseur d'aube après la déformation superplastique. Cet empilement 12' délimite une cavité en deux parties comprenant une première cavité 12c', entre la première pièce primaire 5 12a' et la deuxième pièce primaire 12b', et une deuxième cavité 12f', entre la deuxième pièce primaire 12b' et la troisième pièce primaire 12e'. Pour que la cavité formée par les première et deuxième cavités 12c' et 12f' soit étanche tout en communiquant avec l'espace interne 14b du réservoir 14, comme on peut le voir sur la figure 3, l'agencement 10 suivant est prévu. La première pièce primaire 12a', la deuxième pièce primaire 12b' et la troisième pièce primaire 12d' sont assemblées de manière étanche le long de leur périphérie (voir en particulier à droite de la figure 3) sauf à un emplacement correspondant au passage 12d' à l'entrée des 15 première et deuxième cavités 12c' et 12f'. Sur cette figure 3 apparaît également à différents emplacements correspondant au motif prédéfini, le produit anti-diffusion 16 qui est ici disposé sur la face interne de la première pièce primaire 12a' et la face interne de la troisième pièce primaire 12e'. Le principe de l'assemblage de l'ensemble 10' et son utilisation pour l'évacuation des résidus gazeux par dégradation thermique des résidus gazeux présents dans l'empilement 10', sont tout à fait similaires à ce qui est expliqué précédemment en relation avec le premier mode de réalisation de l'ensemble 10. REVENDICATIONS 1. Ensemble (10; 10') permettant la fabrication d'une pièce mécanique creuse par soudage-diffusion et formage superplastique, comprenant: - un empilement (12;129 d'au moins deux pièces primaires (12a, 12b; 12a', 12b', 12e'), lesdites pièces primaires (12a, 12b; 12a', 12b', 12e') étant assemblées à leur périphérie à l'exception d'un emplacement formant un passage (12d;12d') de manière à définir entre elles deux à deux une cavité (12c;12c',12f), et lesdites pièces primaires (12a, 12b; 10 12a', 12b', 12e') ayant au moins une face en regard de ladite cavité (12c;12c',12f' qui est recouverte, selon un motif, d'un produit antidiffusion (16) contenant un liant susceptible d'être dégradé thermiquement, et - un réservoir (14) étanche présentant un espace interne (14b) et une 15 extrémité ouverte (14a), ladite extrémité (14a) étant raccordée de manière étanche audit passage (12d;12d) dudit empilement (12;12' afin de permettre une communication entre ledit espace interne (14b) dudit réservoir (14) et ladite cavité (12c;12c',12f), le réservoir (14) étant placé sous vide partiel, étant réalisé de manière à être indéformable à la 20 température et à la pression de soudage diffusion dudit empilement (12;129, et présentant un volume tel que lorsque ledit ensemble (10; 10') est placé à la température de dégradation thermique dudit liant, les gaz issus de la dégradation du liant sont aspirés dans le réservoir (14). 2. Ensemble (10') selon la revendication 1, caractérisé en 25 ce que ladite pièce mécanique est une aube creuse de turbomachine, en particulier une aube de rotor de soufflante, et en ce que ledit empilement comporte trois pièces primaires (12a', 12b', 12e') composées d'une pièce primaire d'extrados, d'une tôle centrale et d'une pièce primaire d'intrados. 3. Ensemble (10; 10') selon l'une quelconque des 30 revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit réservoir (14) est réalisé dans un alliage métallique à base nickel ou à base cobalt. 4. Ensemble (10; 10') selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit volume du réservoir (14) est compris entre 10 et 100 fois le volume de ladite cavité 35 (12c;12c',12f') de l'empilement (12;12'). 5. Ensemble (10; 10') selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit réservoir (14) est placé sous un vide partiel compris entre 0,01i et 0,1 Pa, de préférence entre 0,03 et 0, 07 Pa. 6. Utilisation d'un ensemble (10; 10') selon l'une quelconque des revendications précédentes, pour l'évacuation des résidus gazeux présents dans une cavité (12c;12c',12f') séparant au moins deux pièces primaires (12a, 12b; 12a', 12b', 12e') destinées à être reliées par soudagediffusion en vue de l'obtention, après formage superplastique, 10 d'une pièce mécanique creuse. 7. Procédé de fabrication d'une pièce mécanique creuse par soudagediffusion et formage superplastique, comprenant les étapes suivantes: a) fourniture d'au mois deux pièces primaires (12a, 12b; 12a', 12b', 15 12e') ; b) dépôt suivant un motif prédéfini d'un produit anti-diffusion sur au moins une face parmi chaque paire de faces desdites pièces primaires, destinées à venir en regard l'une de l'autre; c) fourniture d'un réservoir étanche (14) présentant une extrémité 20 ouverte (14a), étant réalisé de manière à être indéformable à la température et à la pression de soudage diffusion du matériau desdites pièces primaires (12a, 12b; 12a', 12b', 12e'); d) assemblage des pièces primaires (12a, 12b; 12a', 12b', 12e') à leur périphérie à l'exception d'un emplacement formant un passage 25 (12d;12d'), lesdites pièces primaires formant un empilement (12;12') en délimitant entre elles deux à deux une cavité (12c;12c',12f') en communication avec ledit passage (12d;12d') ; e) placement de l'empilement (12;12') et du réservoir (14) dans une enceinte avec mise sous vide partiel de l'enceinte, ce par quoi le volume 30 interne du réservoir (14) est mis sous vide partiel; f) raccordement étanche entre ladite extrémité ouverte (14a) du réservoir (14) et ledit passage (12d; 12d') dudit empilement (12;12') dans ladite enceinte sous vide partiel, afin de former un ensemble (10; 10) permettant une communication entre ledit espace interne dudit réservoir 35 (14) et ladite cavité (12c;12c', 12f'); g) chauffage de l'enceinte à la température de dégradation thermique dudit liant, ce qui permet aux gaz issus de la dégradation du liant d'être aspirés dans le réservoir (14); h) chauffage de l'enceinte à la température de soudage-diffusion et mise 5 sous pression de l'enceinte à la pression de soudage-diffusion, ce qui entraîne le soudage-diffusion de l'empilement (12;12) en pression isostatique; i) séparation entre le réservoir (14) et l'empilement soudé (12;12'; j) placement dudit empilement soudé (12;12' dans un moule; k) mise à la température de formage superplastique dudit moule et injection sous la pression de formage superplastique d'un gaz inerte par ledit passage dans ladite cavité, ce qui entraîne le gonflement de l'empilement et le formage superplastique permettant l'obtention d'une ébauche de la pièce mécanique. 8. Procédé de fabrication selon la revendication 7, caractérisé en ce que lesdites étapes d) d'assemblage des pièces primaires et f) de raccordement étanche sont effectuées par soudage par faisceau d'électrons. 9. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des 20 revendications 7 et 8, caractérisé en ce que ledit vide partiel est compris entre 0,01 et 0,1 Pa, de préférence entre 0,03 et 0, 07 Pa. 10. Procédé de fabrication selon l'une quelconque des revendications 7 à 9, caractérisé en ce que ladite pièce mécanique est une aube creuse de turbomachine, en particulier une aube de rotor de 25 soufflante, et en ce que ledit empilement comporte trois pièces primaires (12a', 12b', 12e') composées d'une pièce primaire d'extrados, d'une tôle centrale et d'une pièce primaire d'intrados.