Brevet FR2859016A1 — publié le 20050225

Domaine de l'invention La présente invention concerne un dispositif de mesure interféromètre pour saisir des données géométriques de surfaces d'au moins un objet avec un segment d'arrivée de faisceau comprenant un interféro- mètre à modulation alimenté par une source lumineuse avec un rayonne-ment cohérent court à bande large, un montage d'interféromètre de mesure relié à celui-ci et ayant plusieurs unités de sonde pour émettre des faisceaux de mesure vers les points de surface associés et recevoir le faisceau renvoyé par les points de la surface, ce faisceau interférant avec le rayonnement renvoyé par le montage d'éléments de référence correspondants, ainsi qu'une installation de réception et d'exploitation, en aval, pour déterminer les données géométriques à partir du rayonnement d'interférence. Etat de la technique On connaît un tel dispositif de mesure optique selon le document DE 198 08 273 Al. Dans ce dispositif de mesure connu qui comprend comme partie essentielle, un interféromètre hétérodyne à plusieurs longueurs d'ondes à cohérence courte à fibres optiques, il y a un segment d'arrivée du faisceau ayant une source lumineuse à cohérence courte et bande large et un interféromètre à modulation recevant cette lumière, une sonde de mesure dirigée vers la surface de l'objet et une sonde de référence installée sur le plateau de mesure sur lequel se trouve l'objet ou le composant dont on mesure la surface. Comme décrit dans ce document, ce montage du dispositif de mesure permet un multiplexage cohérent avec une source lumineuse à bande large, plutôt inhabituel dans ce procédé hétérodyne connu; pour cela, dans un interféromètre à modulation ayant par exemple les compo- sants et les montages optiques, compliqués, pour avoir les différents bras d'interféromètre avec des longueurs de trajets lumineux différents, supérieurs à la longueur de cohérence du faisceau qui les traverse et qui ensuite sont de nouveau compensés dans un segment de mesure à l'aide d'un dispositif à sonde optique pour obtenir les effets d'interférence qui ne se produisent qu'à l'intérieur de la longueur de cohérence et permettent de déterminer des zones de surfaces à l'aide des différences de phases dans l'installation d'exploitation. On peut également extraire facilement les dif- férentes longueurs d'ondes nécessaires pour le ou les procédés hétérody- nes à l'aide d'une unité de réception et de décomposition du faisceau à partir du spectre du faisceau qui a une bande (relativement large) ; on peut ainsi augmenter la plage de netteté de la mesure de distance ou de rugosité en augmentant une ou plusieurs longueurs d'ondes de synthèse d'une manière connue en soi par rapport aux longueurs d'ondes prises séparément. D'autres avantages du montage d'un tel interféromètre hété- rodyne à plusieurs longueurs d'ondes avec un interféromètre à modulation sont donnés dans ce document. En pratique, on peut néanmoins se trou-ver en face de demandes nécessitant la mise en oeuvre de moyens relativement élevés même dans un tel dispositif de mesure, par exemple pour mesurer différentes surfaces ou zones de surfaces pour en déterminer les différentes données géométriques. Dans ce cas, les travaux d'ajustage peuvent s'avérer difficile et le montage par adaptation aux différentes missions de mesure peut s'avérer coûteux. A côté de dispositifs de mesure interférométriques ponctuels du type défini ci-dessus, on connaît également des dispositifs de me- sure interférométriques mesurant des surfaces et reposant sur l'interférométrie en lumière blanche ou l'interférométrie avec un rayonne- ment cohérent court permettant une détermination très précise de surfa- ces relevant de fonctionnalités de forme et de rugosité, par exemple dans l'industrie automobile. De tels interféromètres en lumière blanche sont par exemple décrits dans les documents T. Dresel, G. Hâusler, H. Venzke, Three-dimensional sensing of rough surfaces by coherence radar , Appl. Opt. 31, 919 (1992) et aussi P. de Groot et L. Deck, Surface profiling by analysis of white-light interferograms interferometrique the spatial frequency domain , Journal of Modern Optics, Vol. 42, 389-501 (1995). Les procédés d'interférométrie en lumière blanche pour mesurer des surfaces se caractérisent en ce qu'ils saisissent un segment complet de la surface fonctionnelle pendant une opération de mesure à l'aide d'un capteur d'image de surface. La densité d'informations est très élevée et permet de détel miner un grand nombre de grandeurs de formes et de surfaces dans cet extrait. Différents développements ont déjà été faits comme par exemple avec un endoscope pour mesurer des perçages profonds (DE 199 48 813 Al, DE 100 15 878 Al), des optiques pour générer des fronts d'onde adaptés à des géométries particulières comme par exemple des optiques circulaires (DE 100 39 239 Al). Les procédés d'interférométrie à mesures ponctuelles se caractérisent en ce qu'on parcourt la surface de l'objet à l'aide d'une sonde de détection en un point de mesure, successivement le long d'une trajectoire prédéfinie. Cela se fait de manière générale à l'aide d'une machine de mesure de forme, mécanique, très précise, qui conduit soit la pièce contrôlée le long de la sonde soit la sonde le long de la pièce contrôlée. L'utilisation d'une fibre unique comme cela est par exemple décrit dans le document DE 100 57 539 Al, permet de réaliser des sondes avec un diamètre extrêmement petit. Les procédés interférométriques mesurant d'une manière ponctuelle et en surface présentent des avantages spécifiques par rapport à la saisie de caractéristiques de mesures concernant la technique de saisie. Par exemple, pour mesurer la caractéristique de révolution d'un siège de soupape par rapport à un perçage de guidage dans un moteur, on peut effectuer une mesure ponctuelle alors que pour déterminer un rayon ou déceler une barbe à l'entrée d'un orifice d'injection, on utilise un procédé travaillant en surface. But de l'invention La présente invention a pour but de développer un dispositif de mesure interférométrique du type développé ci-dessus, permettant avec une mise en oeuvre d'installations et d'appareillages aussi réduite que possible, d'assurer une définition extrêmement précise des données géométriques de surfaces. Exposé et avantages de l'invention A cet effet, l'invention concerne un dispositif de mesure du type défini ci-dessus, caractérisé en ce que le segment d'alimentation de faisceau forme une plate-forme unique avec l'interféromètre à modulation, cette plate-forme comportant également l'installation de réception et d'exploitation et une interface à laquelle peuvent être raccordées sélectivement les différentes unités de sonde et d'une part, l'interféromètre à modulation, et, d'autre part, l'installation de réception et d'exploitation sont réalisés pour que les différentes unités de sonde puissent fonctionner avec la même plate-forme et que le rayonnement d'interférence puisse être exploité. Il est particulièrement avantageux dans ce montage que le dispositif d'interface ou plus simplement l'interface qui peut recevoir les différentes têtes de mesure, permette le branchement à l'installation d'exploitation par des liaisons à fibres optiques ou à câbles électriques, souples. Ces moyens permettent d'obtenir une plate-foiune interférométrique unique à laquelle on peut facilement coupler différentes son-des pour différents travaux de mesure; on aura me interface optique définie et comme on conserve la plate-forme on aura un positionnement précis du dispositif de mesure. Un développement avantageux pour différentes fonctions de mesure se caractérise par au moins deux unités de sonde distinctes qui font partie d'au moins deux groupes de sondes différentes mesurant de manière ponctuelle, linéaire ou en surface. Pour un couplage net, simple, les moyens de mesure sont caractérisés en ce que la plate-forme comporte au moins une tête de me-sure avec un côté de l'interface pour le branchement de différentes unités de sondes. Pour permettre de répondre à une multiplicité de missions de mesure, il est en outre prévu que la plate-forme comporte plusieurs têtes de mesure différentes ayant chacune une partie ou un côté d'interface permettant de brancher ou de faire fonctionner simultanément plusieurs unités de sonde différentes. On obtient des développements différents pour de multiples fonctions de mesure si l'interféromètre à modulation est un montage interférométrique à modulation de phase, à modulation de trajet ou à modulation de fréquence. Selon d'autres développements avantageux, le dispositif de mesure comporte un interféromètre en lumière blanche ou un interféromètre laser avec un laser à longueur d'onde accordée (interféromètre à puce laser) et l'interféromètre en lumière blanche est un interféromètre à balayage latéral. On peut mesurer des emplacements différents d'une surface avec des moyens réduits si au moins une unité de sonde comporte plu-sieurs sondes de mesure ponctuelles et si pour commander les sondes on dispose d'un multiplexeur fonctionnant en parallèle ou en série dans le temps. On dispose de différentes possibilités de montage si les sondes à mesure ponctuelle comportent des éléments optiques distincts ou si elles sont constituées par une fibre guide de lumière ou fibre optique. Pour avoir de multiples possibilités de mesures il est en outre intéressant de réaliser au moins un capteur linéaire avec exploitation des signaux de plusieurs sondes de mesure ponctuelles les uns par rapport aux autres, ou encore par l'exploitation d'un montage linéaire d'éléments de prise d'image d'un capteur d'image en surface. En particulier pour effectuer des mesures dans des volumes creux, étroits, il est avantageux d'avoir au moins une sonde de mesure en surface ayant un montage pour générer une image intermédiaire. On développe la multiplicité des possibilités du dispositif de mesure pour servir dans des situations de mesure différentes avec au moins une sonde de mesure en surface ayant un endoscope, une optique circulaire et/ou un dispositif de balayage latéral. D'une manière également avantageuse, pour simplifier le montage et obtenir des résultats de mesure plus précis, on influence le front d'onde ou la longueur d'onde en installant au moins un élément op-tique adaptatif dans le chemin du faisceau vers l'installation de réception ou vers une unité de sonde. Pour effectuer une mesure simplement ponctuelle et/ou au choix en surface, on utilise avantageusement un montage composé d'une installation de réception formée d'une combinaison d'une sonde de surface et d'une sonde ponctuelle en liaison avec un photodétecteur ponctuel. Une caractéristique essentielle de l'invention réside dans l'utilisation d'une plate-forme unique avec un interféromètre à modulation et une installation de détection permettant d'utiliser différentes sondes interférométriques mesurant de manière ponctuelle ou en surface. La plateforme unique permet de standardiser et d'optimiser à la fois du point de vue technique et du point de vue économique. Il est également possible par exemple pour une mesure en surface de combiner des têtes de mesure séparément de l'interféromètre à modulation à une machine de mesure de formes précise. Toutes les données géométriques importantes peuvent être ainsi obtenues avec un système de coordonnées sans englober l'objet de mesure. Suivant la fonction de mesure on utilise les avantages de procédés de mesure ponctuelle ou en surface avec seulement un système. Il en résulte un degré de liberté plus important pour l'adaptation des son-des de mesure à la fonction de mesure. On peut utiliser de nombreux canaux séparés (mono-canaux) dans un montage parallèle quelconque, en particulier un capteur linéaire, un capteur d'épaisseur, etc... Dessins La présente invention sera décrite ci-après à l'aide d'exemples de réalisation représentés dans les dessins annexés dans les-quels: - la figure 1 est un schéma d'un premier exemple de réalisation d'un dispositif de mesure interférométrique comportant une plate-forme unique à laquelle peuvent être couplées différentes unités de sonde, - la figure 2 montre un autre exemple de réalisation d'un dispositif de mesure interférométrique avec une plate-forme unique et plusieurs unités de sonde. Description de modes de réalisation La figure 1 montre un dispositif de mesure interférométrique ayant une plate-forme unique PF à laquelle peuvent être raccordées 10 différentes unités de sonde SE1, SE2 par des interfaces S. La plate-foi one PF comprend un interféromètre à modulation MI dans lequel on couple le rayonnement cohérent court à bande large émis par une source lumineuse LQ. Ce rayonnement est réparti entre deux bras d'interféromètre ayant chacun un modulateur acousto- optique AOM1, AOM2 pour arriver en aval d'un coupleur de fibre FK dans une fibre optique FO commune. La plate-forme PF comporte également une tête de mesure MK et une installation de réception et d'exploitation reliée à celle-ci et un capteur d'image BA installé de préférence dans la tête de mesure MK et un calculateur R relié par une ligne de liaison. Le rayonnement passant par la fibre optique FO arrive par l'intermédiaire d'une optique de découplage A0 dans un diviseur de faisceau ST de la tête de mesure MK pour passer par un côté d'une interface S dans une unité de sonde SE I ou SE2 couplée et arriver à une sonde respective ou à un montage de sondes formé par exemple de sondes MS effectuant des mesures ponctuelles sur une ou plusieurs zones de surfa- ces d'un ou plusieurs objets O. Le rayonnement renvoyé par la surface de l'objet traverse de nouveau la sonde ou les sondes des unités de sonde SE 1, SE2 correspondantes puis l'interface S pour arriver dans la tête de mesure MK de la plate-forme PF; le faisceau traverse le diviseur de fais- ceau ST et un élément adaptatif AE installé dans le trajet des faisceaux de la tête de mesure MK pour tomber sur le capteur d'image BA, en particulier une caméra; les signaux ainsi obtenus sont ensuite exploités dans le calculateur R en fonction du modèle d'interférence correspondant au rayonnement reçu et ayant interféré. Le rayonnement d'interférence résuite de l'interférence entre le rayonnement partiel appliqué aux surfaces réfléchissantes des unités de sonde SEl, SE2, de manière connue (voir par exemple les documents évoqués dans le préambule) et le rayonnement de mesure. L'interféromètre à modulation MI génère, à l'aide des modulateurs acoustooptiques AOM1, AOM2, un décalage de fréquence de la fréquence de la lumière suivant une fréquence hétérodyne pour un procédé interférométrique hétérodyne. De plus l'interféromètre à modulation comporte une unité de décalage V pour le décalage de la longueur d'onde des faisceaux partiels traversant les deux gras de l'interféromètre, l'un par rapport à l'autre. Cette unité de décalage permet un décalage de longueur d'onde supérieur à la longueur de cohérence du rayonnement à cohérence courte, de sorte que le rayonnement conduit par la fibre optique FO n'interfère pas. Dans l'unité de sonde SE1 ou SE2 on neutralise de nouveau ce décalage de longueur d'onde par un montage approprié de la référence RF par rapport à la surface de l'objet pour obtenir les interférences nécessaires à la saisie des données géométriques comme cela est par exemple indiqué dans le document DE 198 08 273 Al évoqué dans le pré- ambule. Pour réaliser une décomposition spectrale du rayonnement injecté dans l'interféromètre à modulation MI, pour que cette décomposition se fasse déjà dans celui-ci, on a prévu un premier et un second filtre spectral F1, F2; ceux-ci permettent de générer une longueur d'onde de synthèse pour la mesure selon le procédé hétérodyne, pour augmenter la plage de signification non équivoque de la profondeur de mesure de la surface de l'objet. Un obturateur SH permet des possibilités de synchronisation des parcours de mesure et l'actionnement est synchronisé par le calculateur relié à l'interféromètre à modulation MI. On peut également prévoir d'autres moyens de commande comme la commande de l'unité de décalage V et des modulateurs acoustico-optiques AOM1, AZOM2 par le calculateur R. L'unité de sonde SE1 est réalisée de préférence comme une sonde pour mesurer une surface ayant une surface de référence RF dans le chemin optique commun et pour générer une image intermédiaire ZB à l'aide de plusieurs éléments optiques munis de lentilles L1, L2 installés dans l'unité de sonde SE1 de manière à permettre des mesures de surfa-ces relativement importantes avec des perçages étroits. La seconde unité de sonde SE2 comporte plusieurs sondes MS, ponctuelles, commandées en parallèle ou en série dans le temps et qui ont également chaque fois des surfaces de référence RF par exemple dans le chemin optique commun. Une sonde de référence RF permet des mesures complémentaires. La commande des différentes sondes MS, RS se fait par un multiplexeur installé de préférence entre les sondes MS, RS et le côté correspondant de l'interface S dans l'unité de sonde SE2. Dans l'exemple de réalisation de la figure 2, la plate-forme PF comporte deux têtes de mesure MK1, MK2. La tête MK1 correspond pour l'essentiel à la tête de mesure MK de la figure 1 alors que l'autre tête de mesure MK2 est couplée à l'interféromètre à modulation MI en parallèle par un coupleur de fibre FK. Un autre coupleur de fibre combiné à un multiplexeur relie l'unité de sonde SE2 à la seconde tête de mesure MK2. Le faisceau arrivant de l'unité de sonde SE2 est conduit à travers une unité de photodétecteur PD des différents canaux à l'unité d'exploitation du calculateur R. Les deux unités de sonde SE 1, SE2 peuvent être réalisées comme dans l'exemple de la figure 1. La plate-forme PF peut être réalisée comme interféromètre à modulation de phase, continu (en particulier comme interféromètre hété- rodyne ou interféromètre hétérodyne à plusieurs longueurs d'ondes) ou encore comme interféromètre à modulation de longueur de trajet (interféromètre à cohérence courte ou à lumière blanche) ou encore comme interféromètre à modulation de fréquence (interféromètre Chirp) pour l'interféromètre à modulation. L'interféromètre peut également appliquer une combinaison de ces procédés et dispositifs interférométriques. Les exemples de réalisation représentés aux figures 1 et 2 constituent une combinaison d'un interféromètre hétérodyne à plusieurs longueurs d'ondes et d'un interféromètre à lumière blanche. A l'aide des modulateurs acousto-optiques AMO1, AMO2 on génère une modulation de phase continue alors que l'unité de décalage de précision V produit une modulation de trajet. L'optique de découplage AO qui relie la tête de me- sure MK ou MK1 à la liaison optique conduisant à l'interféromètre à modulation MI, de préférence sous la forme d'une fibre optique FO, transforme le signal modulé de la fibre en ondes planes qui sont couplées par le diviseur de faisceau ST et l'interface S dans les sondes. On peut également avoir plusieurs têtes de mesure identiques MK dans la plate- forme PF. Dans l'exemple de réalisation de la figure 2 ayant plusieurs têtes de mesure différentes MK1, MK2, on utilise des unités d'exploitation différentes et un interféromètre à modulation MI commun. La tête de mesure MK1 comporte un capteur d'image de surface BA alors que la se- conde tête de mesure MK2 est reliée à plusieurs détecteurs monocanal, de préférence des photodiodes PD. Cela permet un fonctionnement simulta- né, par exemple d'une sonde de surface et de plusieurs sondes ponctuelles MS. Le multiplexeur MU installé dans la seconde tête de mesure MK2 peut fonctionner dans ce cas en parallèle ou en série comme commutateur. Les sondes de mesure de surfaces peuvent également être réalisées sous la forme d'un interféromètre de Michelson ou de Mirau. On peut utiliser des optiques spéciales telles que des endoscopes ou des optiques de vision circulaire comme indiqué dans le préambule. Des sondes de mesure fonctionnant de manière ponctuelle fonctionnent avec un multiplexeur MU du côté de l'unité de sonde (SE2) qui réalise une répartition parallèle des ondes planes entre plusieurs fibres de lumière. Cela peut se faire par exemple en utilisant des optiques de diffraction, des micro-lentilles ou des moyens analogues. Les fronts d'ondes réfléchis par les sondes de mesure MS dans le bras objet et dans le bras de référence reviennent dans les têtes de mesure correspondantes MK, MK1, MK2 et arrivent sur le capteur d'image par exemple une caméra CMOS. Pour asservir la profondeur de champ on peut utiliser l'élément optique adaptatif AE en le réalisant par exemple comme modulateur de lumière actif dans l'espace, comme lentille déformable ou comme moyen analogue. Pour les sondes de mesure de surfaces on exploite directement une zone bi-dimensionnelle de l'installation de réception ou de la caméra. Pour des sondes de mesure ponctuelles on réa-lise le multiplexeur MU pour former les signaux des différentes sondes sur différents éléments de prise d'image (pixel) de la caméra. La caméra peut être programmée pour ne lire que les points de prise d'éléments d'image occupés ce qui permet d'avoir une vitesse de mesure optimale, proportionnelle au nombre des sondes de mesure MS. Les données de l'installation de réception ou caméra sont lues par une liaison à vitesse de transmission élevée dans le calculateur notamment un ordinateur PC pour être exploitées selon les modes de fonctionnement de l'interféromètre à modulation (interféromètre hétérodyne, interféromètre à lumière blanche, interféromètre à modulation de fréquence) en appliquant un programme. Les différentes étapes de traite-ment du signal comme par exemple la différentiation, le couplage AC, un filtre passe-bande, etc...peuvent être effectuées directement par des cir- cuits au niveau de la caméra CMOS. Dans le mode de fonctionnement comme interféromètre-hétérodyne, on détermine la distance à partir de la position de phase des signaux hétérodyne dans les différents éléments de prise d'image. La fréquence hétérodyne utilisée est adaptée à la vitesse de fonctionnement de la caméra pour le nombre donné de pixels à exploiter. Le cas échéant on peut avoir une exploitation de signal optimisée en souscalibrant la détection. L'avantage du procédé d'interféromètre hétérodyne est son temps de mesure court; son inconvénient est la limitation de sa plage de netteté. La plage de netteté, limitée, peut néanmoins être étendue d'une manière connue en soi avec une autre longueur d'onde. Comme le montre la figure 1, on obtient cela par multiplexage séquentiel des éléments spectraux, par exemple par les filtres F1, F2 et l'obturateur SH. L'installation de réception ou la caméra est déclenchée suivant l'obturateur SH de sorte que les images prises successivement (trames) appartiennent aux deux longueurs d'ondes. Les positions de phase résultantes des différents signaux hétérodynes peuvent être calculées par pro-gramme pour les deux longueurs d'ondes et notamment vis-à-vis de la longueur d'onde de synthèse qu'on en déduit. En variante, les éléments spectraux peuvent également être installés dans la tête de mesure MK en amont de l'installation de réception ou caméra; on peut également utiliser une seconde caméra ou encore éclairer des zones partielles différentes d'une caméra en fonction de longueur d'onde. Dans le mode de fonctionnement d'interféromètre à lumière blanche, on effectue une détection de longueur de trajet dans l'interféromètre à modulation MI (balayage de trajet). La distance mesurée résulte de la prise du corrélogramme résultant dans chaque élément de prise d'image du capteur d'image BA. Dans le mode de fonctionnement avec modulation de fréquence, on utilise une source lumineuse accordable LQ et on détermine la distance par l'analyse des signaux d'intensité selon l'analyse de Fourrier (voir par exemple les documents SR. Chinn, E.A. Swanson, J.G. Fujimoto, Optical coherence tomography using a frequency-tunable optical source , Opt. Lett. 22, 340 (1997) ou U. Haberland, P. Jansen, V. Blazek, H.J. Schmitt, Optical coherence tomography of scattering media using frequency modulated continous wave technique with tunable near infrared laser , SPIE 2981, 20 (1997). REVENDICATIONS 1 ) Dispositif de mesure interféromètre pour saisir des données géométriques de surfaces d'au moins un objet (0) avec un segment d'arrivée de faisceau comprenant un interféromètre à modulation (MI) alimenté par une source lumineuse (LQ) avec un rayonnement cohérent court à bande large, un montage d'interféromètre de mesure relié à celui-ci et ayant plu-sieurs unités de sonde (SE1, SE2) pour émettre des faisceaux de mesure vers les points de surface associés et recevoir le faisceau renvoyé par les points de la surface, ce faisceau interférant avec le rayonnement renvoyé par le montage d'éléments de référence correspondants (R), ainsi qu'une installation de réception et d'exploitation (BA, R), en aval, pour déterminer les données géométriques à partir du rayonnement d'interférence, caractérisé en ce que le segment d'alimentation de faisceau forme une plate-forme unique (PF) avec l'interféromètre à modulation (MI), cette plate-forme comportant également l'installation de réception et d'exploitation (BA, R) et une interface (S) à laquelle peuvent être raccordées sélectivement les différentes unités de sonde (SEl, SE2) et d'une part, l'interféromètre à modulation (MI), et, d'autre part, l'installation de réception et d'exploitation (BA, R) sont réalisés pour que les différentes unités de sonde (SE1, SE2) puissent fonctionner avec la même plate-forme (PF) et que le rayonnement d'interférence puisse être exploité. 2 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé par au moins deux unités de sonde différentes (SE1, SE2) qui appartiennent à au moins deux groupes différents de sondes de forme ponctuelle, mesurant de façon linéaire ou en surface. 3 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la plate-forme (PF) comporte une tête de mesure (MK) ayant un côté d'interface auquel les différentes unités de sonde (SE 1, SE2) peuvent être 35 raccordées. 4 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plate-forme (PF) comporte plusieurs têtes de mesure (MK1, MK2) ayant chacune un côté d'interface permettant de raccorder et de faire fonctionner simultanément plusieurs unités de sonde différentes (SE1, SE2) . 5 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'interféromètre à modulation (MI) est un montage interférométrique à modulation de phase continue, à modulation de trajet ou à modulation de fréquence. 6 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' il comporte un interféromètre à lumière blanche ou un interféromètre laser avec un laser dont la longueur d'onde peut être définie (interféromè-15 tre à puce laser). 7 ) Dispositif de mesure selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'interféromètre à lumière blanche est un interféromètre à balayage latéral. 8 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' au moins une unité de sonde (SE2) comporte plusieurs sondes de mesure ponctuelle (MS), et un multiplexeur (MU) fonctionnant en parallèle ou en 25 série dans le temps commande les sondes (MS). 9 ) Dispositif de mesure selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que les sondes de mesure ponctuelle (MS) comportent des éléments optiques 30 distincts ou sont réalisées par une fibre guide de lumière. 10 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' au moins un capteur linéaire est réalisé en exploitant les signaux de plusieurs sondes de mesures ponctuelles (MS) les uns par rapport aux autres, ou par l'exploitation d'un montage linéaire d'éléments de prise d'image d'un capteur d'image de surface. 11 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé par au moins une sonde de mesure de surface équipée d'un dispositif pour générer une image intermédiaire (ZW). 12 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé par au moins une sonde de mesure de surface ayant un montage endoscopique, une optique circulaire et/ou un dispositif à balayage latéral. 13 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que pour influencer le front d'onde ou la longueur d'onde au moins un élément optique adaptatif (AE) est installé dans le chemin du faisceau vers 15 l'installation de réception (BA) ou vers une unité de sonde (SEl, SE2). 14 ) Dispositif de mesure selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'installation de réception (BA) comporte une combinaison formée d'un 20 photodétecteur de surface et d'un photodétecteur ponctuel relié à une sonde ponctuelle.