Brevet FR2847384A1 — publié le 20040521

i L'invention concerne un procédé pour tester des substrats sensibles aux mouvements, dans lequel un substrat est fixé sur un mandrin de serrage et contacté avec des aiguilles de contact et ensuite des propriétés physiques du substrat sont déterminées au moyen des aiguilles de contact. L'invention concerne également un dispositif pour tester des substrats sensibles aux mouvements avec un mandrin de serrage muni d'une surface réceptionnant le substrat, un dispositif de positionnement raccordé au mandrin de serrage, et des aiguilles de contact. Dans des domaines d'application divers, comme p.ex dans les systèmes de positionnement ou d'airbag des véhicules automobiles, on utilise des composants à semi-conducteurs sensibles aux mouvements. Avec ces composants à semi-conducteurs sensibles aux mouvements, on mesure par exemple une accélération de nature li15 néaire ou angulaire agissant sur le composant. Ces composants à semi -conducteurs sensibles aux mouvements doivent être testés au cours du processus de fabrication, comme d'ailleurs aussi d'autres composants à semi-conducteurs. Pour tester ou contrôler des composants semi20 conducteurs, des équipements de test adéquats, dits testeurs, sont prévus. Sur ces testeurs, les composants semi-conducteurs peuvent être testés à différents stades de la fabrication, par exemple dans l'assemblage de la plaquette de semi-conducteurs ou en tant que composants singuliers. L es composants à semi-conducteurs ont une forme de pla25 quette avec une surface supérieure et une surface inférieure parallèle à celle-ci et une hauteur, qui correspond à l'épaisseur de la plaquette à semi-conducteurs. Pour les testeurs, les composants à semi-conducteurs représentent des substrats, qui sont maintenus fixés sur un dispositif de serrage du testeur, dit mandrin de serrage. Pour tester les substrats, des zones de mesure appropriées sur le substrat sont ensuite contactées au moyen d'aiguilles de contact, et à l'aide de ces aiguilles de contact, les propriétés physiques des substrats, en particulier les propriétés électriques, sont déterminées. Avec las testeurs classiques en l'état actuel de la technique, des substrats sensibles aux mouvements du genre cité en préambule ne peuvent être testés qu'en ce qui concerne leur comportement mécano-statique. L'inconvénient en ce cas est que le comportement mé5 cano-dynamique ne peut pas être contrôlé. L'invention a dès lors pour objet de permettre le test de propriétés physiques de substrats sensibles aux mouvements dans leur comportement mécano-dynamique. Selon l'invention, le problème est résolu, en termes de procédé, par le fait que le substrat est accéléré mécaniquement pendant que sont déterminées les propriétés physiques. Grâce à une telle accélération, un test du substrat et de conditions mécano-dynamiques peut avoir lieu, et ainsi l'utilisation pratique ultérieure peut déjà être envisagée lors d'un test. Dans une variante préférée du procédé, il est prévu que le substrat soit soumis à une accélération qui. es d'abord positive puis négative jusqu'à l'arrêt du mouvement. Il devient ainsi possible de déplacer le substrat via une brève déviation. Une possibilité de simulation le mouvement du substrat consiste en ce que l'accélération représente une accélération linéaire. Dans ce cas, il est possible que l'accélération linéaire ait lieu dans une direction parallèle à la surface supérieure du substrat. Une autre possibilité consiste en ce que l'accélération linéaire ait lieu dans une direction perpendiculaire à la surface supérieure du substrat. Une autre possibilité clé simulation du mouvement du substrat consiste en ce que l'accélération représente une accélération angulaire par rapport à un axe de rotation perpendiculaire à la surface supérieure. Les deux possibilités de simulation peuvent également être superposées. La possibilité de simulation choisie sera fonction du principe de fonctionnement et du but d'utilisation à tester. Il est avantageux que l'accélération soit répétée. En particulier, il est avantageux de faire osciller mécaniquement le substrat. La réalisation d'une oscillation est aisée et permet le test en cas d'accélérations très élevées et de faibles déviations, ce qui a une influence positive sur la mise en contact. Le procédé de l'invention peut également être concrétisé en produisant l'accélération par une frappe mécanique. En ce cas, l'ac5 célération est appliquée, au substrat sous forme d'une impulsion de Dirac. La réaction du substrat peut alors être mesurée sur le flanc, accélérant, comme sur le flanc ralentissant. A condition que l'impulsion de Dirac n'ait pas une forme idéale, c'est-à-dire qu'il y a une durée entre les deux flancs, il est également possible d'opérer la mesure Soit sur l'un, soit sur l'autre flanc de l'accélération ou du ralentissement saccadé. En termes de dispositif, le problème exposé dans l'invention est résolu par le fait que le mandrin de serrage se compose d'un élément de mandrin inférieur raccordé au dispositif de positionnement, et d'un élément de mandrin supérieur, pourvu de la surface réceptionnant le substrat. Les deux éléments de mandrin sont réunis avec une possibilité de mouvement relatif entre les cieux, et au moins un élément de déplacement est mis en place entre l'élément de mandrin supérieur et l'élément de mandrin inférieur. Ainsi peut être préservé le fonction20 nement normal du mandrin de serrage, grâce auquel le substrat être positionné, par rapport aux aiguilles de contact au moyen du dispositif de positionnement. Sans modification de la structure d'un testeur, l'accélération nécessaire à un test mécano-dynamique peut être alors induite dans le substrat par le biais de l'élément de déplacement. Pour induire une accélération linéaire dans la direction perpendiculaire, il est conforme au but envisagé que la face inférieure de l'élément clé mandrin supérieur et la face supérieure de l'élément de mandrin inférieur présentent un écartement entre elles, en formant un intervalle, et qu'au moins un élément de déplacement, mobile dans une direction perpendiculaire à la surface supérieure du substrat, soit mis en place dans l'intervalle. L'élément de mandrin supérieur repose alors sur l'élément de déplacement. Par un déplacement ou une dilatation de l'élément de déplacement, l'élément de mandrin supérieur est déplacé par rapport à l'élément de mandrin inférieur. Si on utilise un élément de déplacement ou deux éléments de déplacement, il faut de préférence prévoir un guide entre les éléments de mandrin supérieur et inférieur. Avec trois éléments de déplacement, comme le prévoit une forme de réalisation préférentielle de l'invention, un guide supplé5 mentaire peut être évité, étant donné que les éléments de déplacement forment eux-mêmes un appui à trois points et ainsi une stabilisation par l'intermédiaire d'un guide peut être omise. Pour éviter le sautillement de l'élément de mandrin supérieur en cas d'accélération, il est prévu que l'élément de mandrin supé10 rieur et l'élément de mandrin inférieur, étant espacés par les éléments de déplacement, soient réunis entre eux en étant chargés par effet de ressort. Il peut ainsi être évité que l'élément de mandrin supérieur se soulève des éléments de déplacement. Une forme de réalisation prévoit à cet effet qu'un tirant 15 soit fixé dans l'élément de mandrin supérieur, qui s'avance, de la face inférieure de l'élément de mandrin supérieur, au travers d'un trou débouchant, dans l'élément de mandrin inférieur, jusqu'au-dessus de la face inférieure de l'élément de mandrin inférieur. Ce tirant présente, à son extrémité située sous la face inférieure de l'élément de mandrin in20 férieur, une butée de ressort, entre laquelle et la face inférieure de l'élément de mandrin inférieur, un ressort est tendu. Pour induire une accélération linéaire dans une direction horizontale, il est prévu que l'élément de mandrin supérieur soit monté sur l'élément de mandrin inférieur avec une aptitude de mouvement 25 dans une direction parallèle à la surface supérieure du substrat. Au moins un élément de déplacement allongé est mis en place dans l'intervalle, le long de la face inférieure de l'élément de mandrin supérieur et le long de la face supérieure de l'élément de mandrin inférieur, et fixé, par une extrémité, à l'élément de mandrin supérieur, et par l'autre ex30 trémité, à l'élément de mandrin supérieur. L'élément de déplacement induit alors l'accélération dans l'élément de mandrin supérieur, par déplacement ou dilatation. Pour induire une accélération angulaire, il est prévu que l'élément de mandrin supérieur soit monté sur l'élément de mandrin 35 inférieur avec une faculté de rotation autour d'un axe de rotation per- pendiculaire à la surface supérieure. Au moins un élément de déplacement allongé est mis en place dans l'intervalle, le long de la face inférieure de l'élément de mandrin supérieur et le long de la face supérieure de l'élément de mandrin inférieur, et fixé, par une extrémité, à l'élément de mandrin inférieur, et par l'autre extrémité, à l'élément de mandrin supérieur, avec un écartement latéral par rapport à l'axe de rotation. Il existe en ce cas la possibilité que l'axe de rotation se présente comme un axe de rotation virtuel. Il est alors prévu que plusieurs éléments de déplacement soient mis en place, dont les moments de rotation sont en équilibre entre eux, par rapport à l'axe de rotation. Grâce à l'équilibre des moments de rotation, on s'assure que l'élément de mandrin supérieur tourne autour de l'axe de rotation virtuel et n'est pas poussé. Dans une forme de réalisation particulièrement préféren15 tielle, il est prévu que les éléments de déplacement prennent la forme de composants piézocéramiques, qui sont connectés avec conduction électrique à un dispositif d'amorçage électronique. Les composants piézocéramiques modifient leurs dimensions géométriques en fonction d'une tension appliquée, par une modification dans le réseau cristallin. La modification géométrique se situe certes dans ou en dessous du domaine du millimètre, mais elle peut se produire très rapidement, raison pour laquelle, avantageusement, des accélérations très élevées peuvent être obtenues. D'une part, des mouvements relatifs entre substrat et ai25 guilles de contact peuvent être possibles, ce qui peut être obtenu notamment par une configuration particulière des aiguilles de contact. Toutefois, d'autre part, des mouvements relatifs entre le substrat et les aiguilles de contact peuvent être évités par le fait que les aiguilles de contact sont raccordées mécaniquement, au moins indirectement, à l'élément de mandrin supérieur, pour pouvoir se mouvoir avec celui-ci. Les aiguilles sont alors également accélérées avec l'élément de mandrin supérieur, et suivent ainsi le mouvement de l'élément de mandrin supérieur. Ceci, d'une part, rend inutile une configuration particulière des aiguilles de contact, et d'autre, part, permet des courses plus grandes, sans que les aiguilles de contact " égratignent " le substrat. Une forme de réalisation prévoit en ce cas que les aiguilles de contact soient disposées sur une carte à aiguilles et que la carte à aiguilles soit réunie mécaniquement à l'élément, de mandrin supérieur. En ce cas, la carte à aiguilles se charge de communiquer le mouvement aux aiguilles de contact. Une autre forme de réalisation à cet effet est caractérisée par le fait que les aiguilles de contact sont pourvues de porte-aiguilles et qu'une platine porte-aiguilles, sur laquelle peuvent être fixés les porteaiguilles, est reliée à l'élément de mandrin supérieur. Dans ce cas, une accélération de l'élément de mandrin supérieur sur les aiguilles est conduite au travers de la platine porte-aiguilles et des porte-aiguilles sur les aigiuilles de contact. L'invention sera expliquée plus en détail ci-après à l'aide d'un exemple de réalisation. Sont représentés sur les dessins annexés; - figure 1 une vue de côté d'un mandrin de serrage pour accélération perpendiculaire, figure 2 une vue de côté d'un mandrin de serrage, pour accélération perpendiculaire avec précontrainte par ressort, - figure 3 une vue de côté d'un mandrin de serrage pour accélération angulaire, et - figure 4 une représentation en coupe suivant la ligne IV-IV à la figure 3. Un dispositif conforme à l'invention, pour tester des substrats sensibles aux mouvements, est équipe d'un mandrin de ser25 rage 1 tel que représenté à la figure 1. Ce mandrin de serrage i est doté d'une surface 2 réceptionnant le substrat. Une plaquette à semiconducteurs 3 peut être posée sur cette surface réceptionnant le substrat. Cette plaquette à semiconducteurs 3 est maintenue par un vide entre la face inférieure de la plaquette à semi-conducteurs 3 et la sur30 face 2 réceptionnant le substrat. Ce vide est appliqué par des canaux adducteurs de vide 4. Le mandrin de serrage i est réuni à un dispositif de positionnement 5 qui peut positionner le mandrin de serrage i dans un plan X-Y parallèle à la surface 2 réceptionnant le substrat, dans une direction L perpendiculaire à la surface 2 réceptionnant le substrat, et avec. un écart angulaire a. La plaquette à semi-conducteurs 3 comporte des substrats sensibles aux mouvements sous forme de composants mesurant l'accélération, appelés accéléromètres. Pour tester, Ces substrats sont contactés avec des aiguilles de contact 6 et, ce faisant, les propriétés physiques des substrats sont déterminées, ces aiguilles de contact sont tenues par des porte-sondes 7 prenant appui, quant à eux, sur une platine porte-sondes 8, et étant fixés sur cette dernière. Le mandrin de serrage 1 est partagé en deux et se compose d'un élément de mandrin inférieur 9 et d'un élément de mandrin supérieur 10. L'élé10 ment de mandrin inférieur 9 est raccordé au dispositif de positionnement 5. L'élément de mandrin supérieur 10 est pourvu de la surface 2 réceptionnant le substrat. Les deux éléments de mandrin 9 et 10 sont mobiles l'un par rapport a l'autre. Entre la face inférieure 11 de l'élément de mandrin supérieur 10 et la face supérieure 12 de l'élément de mandrin inférieur 9, on met en place des éléments de déplacement 13 sous forme de composants piézocéramiques. Par les éléments de déplacement 13 est ajusté un écartement entre la face inférieure 11 et la face supérieure 12, et de ce fait un intervalle est formé. Les trois éléments de déplacement constituent un appui sr à trois points de l'élément de mandrin supérieur 10 sur l'élément de mandrin inférieur 9. Les composants piézocéramiques réalisés sous forme d'éléments de déplacement 13 sont connectés avec conduction électrique, d'une manière, qui n'a pas été illustrée plus en détail, à un dispositif électronique d'amorçage. Via ce dispositif électronique d'amorçage, les composants piézocéramiques peuvent être exposés à une tension. Selon l'amplitude de la tension, les composants piézocéramiques se dilatent au-delà de leur structure cristalline et se chargent, pendant cette prise de forme, d'induire une accélération dans l'élément de mandrin supérieur 10 et, de là, également dans le substrat 14. Il se produit généralement, au niveau d'un composant piézo-céramique, une dilation qui est proportionnelle à la tension appliquée. L'accélération du substrat 14, intéressante pour la génération du mouvement, peut être calculée, comme on l'a représenté ci-après. S'agissant d'une excitation sinusodale, la déviation s, la vitesse v, et l'accélération a en tant que fonction du temps t et de la fréquence f, se calculent, selon la théorie connue, comme suit: s(t) = * sin(27tf. t) v(t) = S027f. cos(27rf e t) a(t) = -SO * 47r2f2 a sin(27tf * t) apeak = 47t2f2SO aRMS = 2fr2f2SO 2 2.7r2f-2 Comme on peut le voir, l'accélération augmente, dans le cas d' une amplitude de déviation constante, avec le carré de la fréquence. Pour cette raison, des accélérations importantes peuvent être obtenues justement dans le cas de faibles amplitudes de déviation. D'autre part, de faibles accélérations ne peuvent justement pas être obtenues à des fréquences peu élevées. A lkHz, il faut une amplitude de déviation de 0,36 pm pour atteindre une (RMS-) effective de 1 g (1 g = 9,82 m/s2). Dès lors, il faut 1,8 Mm pour une accélération effective de 5 g. A 500 Hz, il faut pour cela 7 Mm. Une accélération de 1 g effectif nécessiterait, à 10 Hz, une déviation de 3,6 mm, ce qui n'est pas réalisable avec des aiguilles de con20 tact fixes et conduirait à un bris des aiguilles. C'est la raison pour laquelle on préfère des fréquences plus élevées lors d'un emploi de composants piézocéramiques. L'accélération pouvant être atteinte avec des composants piézocézamiques peut se calculer à partir de la fréquence f, de la tension alternative appliquée avec une tension de crête UAC-peak (sans tension continue superposée), et de la déviation maximale Smax. qui est atteinte avec un maximum d'une tension autorisée UDcmax pour le composant piézocêranique. Par division par 9,82 m/g S2, le résultat d'unités SI est converti en g, et par division par ô2, il est converti en une valeur effec30 tive (RMS) importante ici: S SnUAC - Peak UDC - max 2 27r2f2 U AC - peaks max RMS 9,82M U 2 Dl - max On peut ainsi, par la tension appliquée au composant piézocéramique, régler exactement l'accélération qui est nécessaire à un test du substrat 14. Dans le cas d'accélérations élevées notamment, il est possible, avec un mandrin de serrage 1 suivant la figure 1, que l'élément de mandrin supérieur se détache un court moment des éléments de déplacement 13 ou de l'élément de mandrin inférieur 9, et donc qu'il saute. Pour éviter un tel sautillement, on prévoit un mandrin de serrage 1 selon la figure 2. Un tel mandrin de serrage 1 est utilisé de la même manière que celle illustrée à la figure 1. Dans le cas du mandrin de serrage 1 selon la figure 2, des tirants 15 sont fixés dans l'élément de mandrin supérieur 10. Ces tirants 15 traversent un trou débouchant 16 dans l'élément de mandrin inférieur 9. Aux extrémités inférieures des tirants 15, qui s'engagent jusqu'en dessous de la face inférieure 17 de l'élément inférieur 9, on prévoit des butées de ressorts 17a, entre lesquelles et la face inférieure 17 de l'élément de mandrin inférieur 9, des ressorts 18 sont tendus. Comme représenté à la figure 2, les ressorts 18 prennent la forme de rondelles-ressorts. Du fait du tirant 15, l'élément de mandrin supérieur 10 est à présent attiré par charge de ressort dans la direction de l'élément de mandrin inférieur 9. En conséquence de cela, l'écartement entre l'élément de mandrin supérieur et l'élément de mandrin inférieur 9, réglé via les éléments de déplacement 13, est maintenu et les éléments de déplacement 13 sont coincés entre les deux éléments. On s'assure ainsi qu'en cas de fortes accélérations, qui sont induites par les éléments de déplacement 13 dans l'élément de mandrin supérieur 10, celui-ci ne saute pas. Aux figures 3 et 4, on a représenté un mandrin de ser30 rage 1 qui peut être utilisé dans le même mode de montage que celui représenté à la figure 1. Le mandrin de serrage 1 selon les figures 3 et 4 sert à produire un mouvement de rotation ou une accélération angu- laire qui agit sur la plaquette à semi-conducteurs J et donc sur le substrat 14. Dans ce but, l'élément de mandrin supérieur 10 et monté à rotation autour d'un axe de rotation virtuel 20, par le biais des billes 19, sur l'élément de mandrin inférieur 9. L'écartement entre l'élément de mandrin supérieur 10 et l'élément de mandrin inférieur 9 est réglé, en ce cas, par les billes 19. Dans l'intervalle ainsi formé, on a mis en place quatre éléments de, déplacement 13 allongés. Ils sont placés le long de la face inférieure 11 de l'élément de mandrin supérieur 10 et le long de la face supérieure 12 de l'élément de mandrin inférieur 9 et présentent 10 tous le même écartement latéral par rapport à l'axe de rotation 20. Chaque élément de déplacement 13 est fixé, par une première extrémité 21, à l'élément de mandrin inférieur 9, et, par une seconde extrémité 22, à l'élément de mandrin supérieur 10. Du fait de l'écartement identique des éléments de déplacement 13 par rapport à l'axe de rotation virtuel 15 20, il existe, dans l'axe de rotation 20, un équilibre des moments de rotation, si bien qu'avec l'excitation des éléments de déplacement 13, l'élément de mandrin supérieur est amené à tourner, mais n'est pas poussé, par rapport à l'élément de mandrin inférieur. En conséquence de cela, l'excitation des éléments de déplacement 13 également réalisés 20 ici sous forme de composants piézoceramiques se produit, via toujours la même tension d'excitation, avec la même fréquence d'excitation. Une accélération linéaire dans le plan X-Y peut être réalisée de manière simple avec ce dispositif, par le fait que les éléments de déplacement 13 se faisant face peuvent être commandés en sens oppo25 sé, c'est-à-dire que quand un élément de déplacement 13 se dilate, l'autre élément de déplacement 13 se contracte de la même valeur. On obtient ainsi un mouvement linéaire dans la longueur de ces éléments de déplacement 13. Des superpositions de mouvements linéaires et de rota30 tion sont de ce fait également possibles. Les mouvements du substrat 14 par rapport aux aiguilles de contact 6 sont compensés par les aiguilles de contact 6, du fait que celles-ci sont élastiques. Cette élasticité peut être obtenue, par exemple, par des aiguilles de contact 6 très longues et minces. il Une autre compensation des mouvements peut être obtenue par une modification de la force de pression des aiguilles de contact 6 sur le substrat 14. Il est en ce cas possible de régler la force de contact soit pour que l'aiguille de contact 6 dérape sur la surface de con5 tact, ou précisément pour qu'un dérapage soit évité et pour que la totalité du mouvement soit interceptée via les aiguilles de contact 6. Le réglage correspondant est fonction du cas d'utilisation et de la nature des substrats. NOMENCLATURE 1. mandrin de serrage 2. surface réceptionnant les substrats 3. plaquette à semi-conducteurs 4. canal adducteur de vide 5. dispositif de positionnement 6. aiguille de contact 7. porte-sondes 8. platine portesondes 9. élément de mandrin inférieur 10. élément de mandrin supérieur 11. face inférieure de l'élément de mandrin supérieur 12. face supérieure de l'élément de mandrin inférieur 13. éléments de déplacement 14. substrat 1 5. tirant 16. trou débouchant 17. face inférieure de l'élément de mandrin inférieur 17a butée de ressort 18 ressort 19 bille axe de rotation 21 première extrémité 22 seconde extrémité REVENDICATIONS ) Procédé pour tester des substrats sensibles aux mouvements, dans lequel un substrat est fixé, sur un mandrin de serrage et contacté avec des aiguilles de contact, et ensuite des propriétés physiques du substrat sont déterminées au moyen des aiguilles de contact, caractérisé en ce que le substrat (14) est soumis à une accélération mécanique pendant que sont déterminées ses propriétés physiques. 20) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le substrat (141) est soumis a une accélération qui est d'abord positive, puis négative jusqu'à l'arrêt du mouvement. 30) Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'accélération représente une accélération linéaire. ) Procédé selon la revendication 3, caractérise en ce que l'accélération linéaire est produite dans une direction parallèle à la surface supérieure du substrat (14). ) Procédé selon la revendication 3, caractérise en ce que l'accélération linéaire est produite dans une direction perpendiculaire à la surface supérieure du substrat (14). 6 ) Procédé selon la revendication 1 ou 2. caractérisé en ce que l'accélération représente une accélération angulaire par rapport à un axe de rotation (20) perpendiculaire à la surface supérieure. ) Procédé selon l'une des revendications 2 à 6, caractérisé en ce qu' on répète l'accélération. ) Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que le substrat (14) est animé d'oscillations mécaniques. ) Procédé selon l'une des revendications 2 à 7, caractérisé en ce que l'accélération est produite par une frappe mécanique. ) Dispositif pour tester des substrats sensibles aux mouvements, comprenant un mandrin de serrage, pourvu d'une surface réceptionnant le substrat, un dispositif de positionnement raccordé au mandrin de serrage, et des aiguilles de contact, caractérisé en ce que le mandrin de serrage (1) se compose d'un élément de mandrin inférieur (9), qui est raccordé à un dispositif de positionnement, et d'un élément de mandrin supérieur (10) qui est pourvu de la surface (2) réceptionnant le substrat, les deux éléments de mandrin (9; 10) sont raccordés avec une aptitude de déplacement l'un par rapport à l'autre, et au moins un élément de déplacement (13) est mis en place entre l'élément de mandrin supérieur (10) et l'élément de mandrin inférieur (9). 11 ) Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que la face inférieure (11) de l'élément de mandrin supérieur (10) et la face supérieure (12) dé l'élément de mandrin inférieur (9) présentent un écartement l'une par rapport là l'autre, en formant un intervalle, et au moins un élément de déplacement (13) mobile dans une direction per30 pendiculaire à la surface supérieure du substrat est mis en place dans l'intervalle. 12 ) Dispositif selon la revendication 1 1, caractérisé en ce qu' on met en place trois éléments de déplacement (13). 13 ) Dispositif selon la revendication 1 1 ou 12, caractérisé en ce que l'élément de mandrin supérieur (10) et l'élément de mandrin inférieur, étant espacés par les éléments de déplacement (13), sont réunis entre eux en étant chargés par effet de ressort. 14 ) Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce qu' un tirant (15) est fixé dans l'élément de mandrin supérieur (10), qui s'avance, de la face inférieure (11) de l'élément de mandrin supérieur (ICI), au travers d'un trou débouchant (16) dans l'élément de mandrin inférieur (9), jusqu'au dessus de la face inférieure (17) de l'élément de mandrin inférieur (9), et qui présente, à son extrémité située sous la face inférieure (17) de l'élément de mandrin inférieur (9), une butée de ressort (17a) entre laquelle et la face inférieure (17) de l'élément de mandrin inférieur (9) un ressort (18) est tendu. ) Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'élément de mandrin supérieur (10) est monté mobile sur l'élément clé mandrin inférieur (9), dans une direction parallèle à la surface supérieure du substrat (14), et en ce qu'au moins un élément de déplacement (13) allongé est mis en place dans l'intervalle, le long de la face inférieure (11) de l'élément de mandrin supérieur (10) et le long de la face supérieure (12) de l'élément de mandrin inférieur (9), et est fixé, par une extrémités (21), à l'élément de mandrin inférieur (9), et par l'autre extrémité (22), à l'élément de mandrin supérieur (10). ) Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'élément de mandrin supérieur (10) est monté à rotation sur l'élément de mandrin inférieur (9), autour d'un axe de rotation (20) perpendiculaire à la surface supérieure, et en ce qu'au moins un élément de déplacement (13) allongé est mis en place dans l'intervalle le long de la face inférieure (11) de l'élément de mandrin supérieur (10) et le long de la face supérieure (12) de l'élément de mandrin inférieur (9), et fixé, par une extrémité (21), à l'élément de mandrin inférieur (9), et par l'autre extrémité (22), à l'élément de mandrin supérieur (10), avec un écartement latéral par rapport à l'axe de rotation (20). ) Dispositif selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'axe de rotation (20) se présente comme un axe de rotation virtuel (20), et en ce que plusieurs éléments de déplacement (13), dont les moments de rotation par rapport à l'axe de rotation (20) sont équilibrés entre eux, sont mis en place. ) Dispositif selon l'une des revendications 10 à 17, caractérisé en ce que les éléments de déplacement (13) se présentent sous la forme de composants piézocèramiques qui sont réunis, avec conduction de l'électricité, à un dispositif électronique d'amorçage. ) Dispositif selon l'une des revendications 10 à 18, caractérisé en ce que les aiguilles de contact (6) sont raccordées mécaniquement à l'élément de mandrin supérieur (10), au moins indirectement, pour pouvoir se mouvoir avec celui-ci. 200) Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que les aiguilles de contact (6) sont agencées sur une carte à aiguilles, et la carte à aiguilles est raccordée mécaniquement à l'élément de mandrin supérieur (10). 21 ) Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que les aiguilles de contact (6) sont dotées de porte-aiguilles, et en ce qu'une platine porte aiguilles sur laquelle peuvent être fixés les porteaiguilles est raccordée à l'élément de mandrin supérieur (10).