Brevet FR2852109A1 — publié le 20040910

SYSTEME D'ELECTRODE POUR MODULATEUR ELECTRO-OPTIQUE A ONDE PROGRESSIVE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE L'invention se situe dans le domaine des systèmes d'électrodes destinées à modifier une qualité optique d'un guide d'onde lumineuse. Elle concerne plus particulièrement à ce titre les modulateurs électro10 optique de signal optique, c'est à dire des modulateurs dans lesquels un signal électrique est employé pour faire varier localement une qualité optique d'un milieu dans lequel se propage une onde optique. Les variations des qualités optiques, par exemple d'indice ou 15 d'absorption, se traduisent par une modulation, par exemple de phase ou d'amplitude d'une onde optique traversant le milieu o s'exerce la modulation de champ électrique. L'invention est applicable en particulier dans le domaine des transmissions optiques 20 d'informations. ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE La modulation d'un signal optique circulant dans un guide d'onde optique est obtenue par application d'un champ électrique local, modifiant les 25 qualités optiques du guide d'onde là o le champ électrique est présent. L'exemple classique d'un tel modulateur a été proposé et expérimenté il y a environ 30 ans (IP Kaminov et al Applied physic letter, VoL. 22, n0 10, 30 Mai 1973). Les modulateurs représentés figure 1 et 2 se B 14263 GB composent d'un circuit optique 10 comportant une entrée 2, par exemple un guide d'onde, un coupleur 11, par exemple 3db, couplant le guide d'onde d'entrée à deux bras 4, 12 formés chacun par un guide d'onde 4, 12 et 5 un coupleur 13 joignant les deux bras 4, 12 en un guide d'onde unique 3. Un jeu d'électrodes 6, 7 permet de faire varier la valeur d'un champ électrique au niveau d'une zone comprenant l'un ou l'autre ou les deux bras de l'interféromètre. Le fonctionnement connu est le 10 suivant: Si les chemins optiques passant par chacun des deux bras 4, 12, entre les coupleurs d'entrée 11 et de sortie 13, sont égaux entre eux, les signaux optiques arrivant dans le bras 3 de sortie sont en 15 phase. Si les chemins optiques entre les deux coupleurs 11, 13 sont suffisamment différents l'un de l'autre, pour qu'il y ait entre eux un écart de phase voisin de X radians, une interférence réduisant le niveau de chacune des ondes présentes au niveau du coupleur de 20 sortie se produit. On réduit ainsi l'amplitude du signal de sortie par rapport au signal d'entrée. Le chemin optique parcouru par l'onde optique dans l'un ou l'autre des bras est une fonction de l'indice optique dans le bras. Le matériau des guides étant électro25 optique il est possible d'obtenir une variation algébrique de l'indice en modifiant le potentiel entre les deux électrodes 6, 7. Il est ainsi possible par une modulation d'un signal électrique d'obtenir une modulation de phase d'une onde lumineuse présente dans 30 le guide et par suite une modulation d'amplitude du signal optique de sortie. B 14263 GB L'exemple représenté figure 1 correspond au cas o la fréquence de variation du signal de modulation est suffisamment petite, par exemple inférieure à un gigahertz, pour que la variation de 5 l'indice optique d'un guide soit obtenue au moyens d'électrodes 6, 7 capacitives. Lorsque la fréquence de modulation devient supérieure, les temps de charge et décharge des électrodes deviennent prohibitifs, les électrodes capacitives sont remplacées, comme 10 représenté figure 2, par des électrodes progressives. L'électrode est dite progressive, parce que le signal électrique de modulation est appliqué en un point de l'électrode et se propage le long de l'électrode. Pour une bonne efficacité de modulation, il convient que le 15 signal électrique se propage le long de l'électrode à la même vitesse que l'onde optique dans le guide d'onde. La variation progressive de champ électrique qui en résulte est ainsi toujours vue par le même groupe de photons. La vitesse de l'onde optique dans le 20 guide d'onde est une fonction de l'indice du guide d'onde. La vitesse de l'onde électrique le long de l'électrode est une fonction de la géométrie de l'électrode et du milieu diélectrique dans lequel elle se trouve. Un exemple de réalisation d'électrodes progressives est donné dans le brevet US-A- 6,021,232 Madabhushi. Dans ce brevet il est tout d'abord expliqué au milieu de la colonne 3, que la tension de modulation 30 et que la largeur de bande de modulation ont entre eux une relation de compromis. La largeur de bande du modulateur optique dépend principalement du matériel, B 14263 GB de la géométrie des électrodes et de la constante diélectrique d'un substrat. Il est aussi expliqué que la tension de modulation dépend aussi de l'intégrale de recouvrement de l'onde électrique et de l'onde optique, 5 plus précisément de l'intégrale d'un recouvrement d'un profil du champ électrique et d'un profil du mode optique. Lorsque l'intégrale de recouvrement diminue, alors la tension de modulation doit être augmentée. Si l'intégrale de recouvrement augmente, alors la tension 10 de modulation peut être diminuée. De plus, lorsque l'épaisseur de la couche électrique tampon est accrue, l'intégrale de recouvrement est décrue. Lorsque l'épaisseur de la couche tampon de diélectrique est diminuée, l'intégrale de recouvrement est augmentée. Il 15 est conclu que si l'épaisseur de la couche de diélectrique tampon est accrue, alors la tension de modulation doit aussi être accrue. Le brevet US donne ensuite une explication mathématique de ce que l'on entend par intégrale de recouvrement du champ 20 électrique et de l'onde optique. De façon physique, et pour simplifier, on peut dire que l'intégrale de recouvrement du champ électrique et du champ optique est proportionnelle à une valeur moyenne du champ électrique à l'intérieur du guide d'onde optique, en 25 supposant que l'onde optique est entièrement confinée dans le guide d'onde. Cela signifie comme on peut le comprendre intuitivement, qu'il vaut mieux que les lignes du champ électrique soient concentrées au niveau du guide d'onde optique. A la fin du paragraphe 30 décrivant l'arrière plan technologique de l'invention en colonne 6, il est expliqué que l'accord de vitesse (entre l'onde optique et l'onde électrique) ainsi que B 14263 GB l'atténuation de l'onde électrique et de l'impédance caractéristique autour de 50 ohms peut être obtenu par une optimisation de l'épaisseur de la couche de diélectrique tampon, l'épaisseur et la largeur d'une 5 électrode transportant le signal, ainsi que l'espacement entre l'électrode de signal et des électrodes de masse. Lorsque ces paramètres sont fixés la tension de modulation est fixée. Le but poursuivi par la réalisation décrite dans le brevet est de 10 réduire l'épaisseur de diélectrique, de façon à obtenir une réduction de la valeur de la tension de modulation, sans qu'il y ait réduction concomitante de la largeur de bande modulée. Selon l'invention décrite dans ce brevet et telle que représentée en particulier dans les 15 figures 10, 1lB et 13, le résultat souhaité est obtenu en diminuant l'épaisseur du diélectrique qui se trouve entre une électrode de signal 6 et une électrode de masse 7, au moins dans une partie centrale de l'espace inter-électrode. De plus, on voit par exemple sur la 20 figure 13 que la largeur de la partie o la couche de diélectrique située entre les électrodes est diminuée va tout d'abord en croissant puis en décroissant. Les améliorations apportées par ce mode de réalisation sont commentées notamment colonne 77 en relation avec la 25 figure 14. Il est expliqué qu'une réduction de la tension de modulation de 3,4 à 2,8 volts d'un modulateur de Mach-Zehnder résulte d'une réduction d'épaisseur de diélectrique inter-électrode. Il est expliqué également colonne 77 à partir de la ligne 10, 30 que "l'effet de la partie la plus épaisse de la couche de diélectrique tampon sur l'élargissement de la largeur de bande de modulation excède l'effet opposé de B 14263 GB rétrécissement de cette bande résultant de la réduction d'épaisseur entre les deux électrodes sur une certaine distance. Il est plus efficace de faire varier l'épaisseur de la couche tampon de diélectrique que de 5 la garder constante à une valeur moyenne qui est calculée en moyennant les différentes épaisseurs de cette couche". EXPOSÉ DE L'INVENTION La présente invention vise à améliorer les 10 performances des modulateurs à forte fréquence de modulation en particulier supérieure au gigahertz, donc à ondes progressives. Pour améliorer les performances des modulateurs il est nécessaire d'ajuster la vitesse de l'impulsion électrique de modulation à celle de 15 l'onde optique dans le guide d'onde. Selon l'invention il est veillé à ce que les vitesses de l'onde électrique le long des électrodes et de l'onde optique dans le guide d'onde soient égales. En conséquence, la géométrie des 20 électrodes du diélectrique et du guide d'onde est conservée constante tout au long de la zone d'influence réciproque entre l'onde électrique et l'onde optique. Lorsqu'on dit que la géométrie est conservée constante, cela signifie qu'une section droite de la zone 25 comportant le diélectrique, le guide d'onde et l'électrode, a la même forme et la même dimension quel que soit l'endroit de la section droite à l'intérieur de cette zone d'influence réciproque. Cela signifie en particulier que l'épaisseur de diélectrique est 30 conservée constante, en particulier, l'épaisseur de diélectrique inter-électrode est égale à l'épaisseur de B 14263 GB diélectrique dans les autres parties du modulateur. Par contre, pour augmenter l'efficacité de l'intégrale de recouvrement entre l'onde électrique et l'onde optique, une partie inférieure de l'une au moins des électrodes 5 sera entièrement enterrée dans la couche de diélectrique. L'invention est ainsi relative à un système d'électrode(s) s'étendant dans une direction Y au-dessus d'une couche tampon réalisée en matériau 10 diélectrique, une direction X étant une direction perpendiculaire à la direction Y contenue dans le plan de la couche tampon et une direction Z étant une direction perpendiculaire au plan défini par les directions X et Y, la couche tampon s'étendant elle 15 même au-dessus d'un matériau électro-optique, comportant une ou plusieurs partie(s) formant guide d'ondes lumineuses selon la direction Y, caractérisé en ce que l'une au moins des électrodes a une partie inférieure et une partie supérieure, la partie 20 inférieure étant entièrement enterrée dans la couche de matériau diélectrique, la largeur de la partie enterrée de l'électrode étant inférieure ou égale à la largeur de la partie non enterrée de l'électrode au niveau de la surface supérieure de matériau diélectrique. 25 BREVE DESCRIPTION DES DESSINS L'invention sera maintenant décrite en regard des dessins annexés dans lesquels: - les figures 1 et 2, déjà décrites, sont 30 des schémas destinés à expliquer le principe de fonctionnement d'un modulateur électro-optique; B 14263 GB - la figure 3 représente une vue en perspective d'un modulateur électro- optique incorporant des électrodes et des guides d'ondes conformément à un mode de réalisation de l'invention; les figures 4, 5 et 6 sont des coupes transversales selon des plans perpendiculaires à la direction de propagation destinées à montrer des positions relatives dans le sens de la largeur des électrodes et de guides d'ondes; et - la figure 7 est une vue de dessus schématique d'un autre exemple de réalisation. Dans les différentes figures les éléments ayant même fonction sont repérés par les mêmes numéros de référence. EXPOSÉ DÉTAILLÉ DE MODES DE RÉALISATION PARTICULIERS La figure 3, représente une vue en perspective d'un composant 100, par exemple un modulateur optique, incorporant un système d'électrode(s) et des guides optiques selon l'invention. De façon en elle-même connue, le composant 100 est de façon non représentée munie de connexions électriques et optiques permettant d'alimenter les électrodes et les guides d'ondes. Le système d'électrode(s) représenté figure 3, se compose de deux électrodes de masse 7 c'est-à-dire reliées à la masse, et d'une électrode de signal 6, c'est-à-dire reliée à une arrivée d'un signal de modulation de l'onde optique. Les connexions 30 électriques et optiques en elles-mêmes connues n'ont pas été représentées. Le composant comporte notamment B 14263 GB une couche 1, par exemple en niobate de lithium, comportant des parties 4 formant guides d'ondes. De façon en elles-mêmes connues, les parties 4 formant guides d'ondes se distinguent du reste de la couche en 5 niobate de lithium 1, par un dopage différent des parties 4. La lumière se propage dans une direction Y matérialisée sur la figure 3 comme une composante d'un système orthonormé. Dans ce système, une direction Z est perpendiculaire au plan des couches et une 10 direction X est perpendiculaire au plan formé par les directions Y et Z. Par convention, lorsqu'on parlera de la direction Z on situera les différents éléments comme étant au-dessus ou au-dessous. Quand on parlera de distance dans la direction X, ces distances seront par 15 convention appelées largeur. De préférence les parties guide d'onde 4 sont réalisées de façon en ellesmêmes connues, par échange protonique doux, par exemple, sur niobate de lithium. Un exemple d'un tel procédé est décrit, par 20 exemple, dans un article de L. Chanvillard, P. Aschieri, P. Baldi, D.B. Ostrowsky, M. de Micheli, L. Huang et D.J. Bamfort, intitulé "Soft Proton Exhange on PPLN: a simple waveguide fabrication process for highly efficient nonlinear interactions", Applied 25 Physics Letters Vol. 76(9), p. 1089 (Fev.2000). L'utilisation des techniques décrites dans ces documents permet un accroissement d'indice An entre le substrat et le guide intégré environ deux fois supérieur aux accroissements d'indice obtenu avec 30 d'autres techniques plus classiques de fabrication des guides d'onde intégrés. (Diffusion Titane, échange protonique plus recuit). Le fait d'avoir une différence B 14263 GB d'indice An élevée entre le substrat et le guide intégré permet de mieux confiner le mode optique et de réduire la tension de commande du modulateur. Des électrodes 6 et 7 sont disposées 5 au-dessus de la couche de diélectrique 5. Dans une direction longitudinale, c'est-à-dire définie par l'axe Y, les électrodes 6, 7 ont une section transversale selon un plan perpendiculaire à la direction Y qui a une forme et une dimension constantes quel que soit le 10 plan de section. L'épaisseur de la couche de diélectrique est également constante. Dans l'exemple représenté figure 3, l'électrode 6 est une électrode de signal et deux électrodes 7 sont des électrodes reliées à la masse. L'une au moins des électrodes, par exemple 15 l'électrode 6 est constituée en deux parties une première partie 9 dite supérieure qui se trouve au-dessus de la couche de diélectrique 5 et une partie inférieure 8 qui se trouve enterrée complètement dans la couche de diélectrique 5. Lorsqu'il est dit qu'une 20 partie inférieure d'une électrode telle que la partie inférieure 8 est complètement enterrée dans la couche de diélectrique 5, cela signifie que la partie enterrée est adjacente à la couche de diélectrique sur toute ses faces exceptée la face supérieure qui joint cette 25 partie inférieure à la partie supérieure 9. On note que sous la partie inférieure 8 de l'électrode 6, la couche de diélectrique 5 est inférieure au reste de la couche de diélectrique. Ceci semble en contradiction avec l'affirmation précédente selon laquelle la couche de 30 diélectrique a une épaisseur constante. Il convient de noter cependant que la largeur de la partie 8 a une dimension très faible, par exemple comprise entre 3 et B 14263 GB il pm en sorte que la partie dans laquelle l'épaisseur du diélectrique est diminuée est petite en sorte qu'en dehors de cette partie l'épaisseur du diélectrique est bien constante. De façon optionnelle l'une des 5 électrodes de masse 7 ou les deux électrodes de masse 7 peuvent également avoir une partie inférieure enterrée. Ainsi, sur la figure 3 on a représenté l'une des électrodes 7 avec une partie supérieure 15 et une partie inférieure 16 enterrée dans la couche de 10 diélectrique 5. Par contre, dans l'exemple représenté figure 3, la seconde des électrodes 7 n'a pas de partie inférieure enterrée. La largeur des parties enterrées 8, 16 des électrodes est inférieure ou égale à la largeur des parties non enterrées. Comme il n'est pas 15 obligatoire que les largeurs des parties enterrées et non enterrées soient constantes dans la direction Z, il est précisé qu'une largeur d'une partie enterrée prise à un niveau quelconque est inférieure ou égale à la largeur de l'électrode prise au niveau de la surface 20 supérieure de la couche de diélectrique. Avec cette précision on comprend que la partie enterrée 8, 16 contribue à une concentration dans le sens de la largeur des lignes de champ électrique. Ainsi, ce mode de réalisation contribue au confinement du champ 25 électrique dans le diélectrique, ce qui améliore l'intégrale de recouvrement des champs électriques et de l'onde optique. Dans la direction X, les positions de chacune des parties enterrées d'une électrode par 30 rapport au reste de l'électrode peuvent varier. De même, les positions de ces parties enterrées dans la direction X par rapport au guide d'onde 4 peuvent B 14263 GB également varier. Les exemples de positions différentes seront examinés ci-après. Il est précisé que les exemples représentés n'englobent pas tout le champ des réalisations possibles. Dans l'exemple représenté 5 figure 3, la partie enterrée 8 de l'électrode 6 se trouve au-dessus de l'un des deux guides d'ondes 4. Lorsqu'il est dit au-dessus cela ne signifie pas seulement que la partie enterrée 8 se trouve à un niveau défini par la direction Z qui est supérieur au 10 niveau auquel se trouvent les guides d'ondes 4. Cela signifie qu'un plan perpendiculaire à la direction X est à la fois séquent au guide d'onde 4 et à la partie enterrée 8. Dans l'exemple représenté figure 3, la partie enterrée 8 occupe une position centrale par 15 rapport au guide d'onde 4 qui se trouvent immédiatement en dessous. Cela signifie qu'un axe central selon la direction de propagation de l'onde lumineuse Y, de la partie enterrée 8, de l'électrode 6, se trouve dans un plan perpendiculaire au plan des couches, contenant un 20 axe central du guide d'onde selon la direction Y. Dans l'exemple représenté figure 3, le système d'électrode(s) constitué par l'électrode 6 et les deux électrodes 7, comporte deux électrodes 6, 7 ayant chacune une partie enterrée 8, 16 respectivement, et la 25 partie enterrée de l'électrode 6 et éventuellement de l'électrode 7, se trouve au-dessus d'un guide d'onde 4. D'autres exemples de configuration seront maintenant exposés en référence aux figures 4 à 6. Chacune de ces figures représente une coupe selon un 30 plan perpendiculaire à la direction de propagation Y. Ces coupes peuvent avoir été faites en un point quelconque des électrodes, la forme et les dimensions B 14263 GB de ces coupes étant constantes au moins, sur une certaine longueur de guide d'onde correspondant à la longueur o les électrodes modifient les propriétés optiques du guide d'onde. Dans l'exemple représenté 5 figure 4, le système d'électrode(s) selon l'invention comporte les électrodes 6 et 7. La largeur de l'électrode 6 est supérieure à la largeur de l'électrode 7. L'électrode la plus large 6 à sa partie enterrée 8 au-dessus d'un guide d'onde 4. Un axe 10 central selon la direction Y, qui est ici la direction perpendiculaire au plan de la figure, se trouve dans un plan perpendiculaire au plan des couches contenant un axe central du guide d'onde selon la direction Y. La partie enterrée 16 a une face 19, selon un plan YZ qui 15 se trouve dans le prolongement d'une face 18 de la partie supérieure 15. Il n'est pas obligatoire que les faces 18 et 19 soient toutes deux selon un plan YZ, il suffit pour qu'elles soient dans le prolongement l'une de l'autre que ces faces aient une arête commune 25 20 située au niveau de la surface de la couche de diélectrique. L'autre face 20 de la partie enterrée 16 de l'électrode 7 ne se trouve pas elle dans le prolongement de l'une des faces de la partie non enterrée 15. De même, par exemple, comme représenté 25 figure 4 aucune des faces YZ de la partie enterrée 8 de l'électrode 6 ne se trouve dans le prolongement d'une face verticale de la partie non enterrée 9. Dans l'exemple représenté figure 5, le système d'électrodes selon l'invention comporte au 30 moins, comme représenté figure 5, deux électrodes 6 et 7. Les électrodes 6 et 7 sont disposées latéralement de part et d'autre d'un guide d'onde 4. Comme représenté' B 14263 GB figure 5, l'une des électrodes 6 a une partie enterrée 8. De façon optionnelle l'autre électrode 7 peut également avoir une partie enterrée 16. Dans l'exemple représenté figure 6, le 5 système d'électrode comporte trois électrodes, d'une part, une électrode centrale 6 portant le signal et deux électrodes latérales 7 reliées par exemple à la masse. L'électrode 6 est moins large que chacune des deux électrodes 7. L'une des électrodes de masse, par 10 exemple, l'électrode 7 représentée à droite sur la figure 6 a une partie enterrée 16. Une face 18 de l'électrode 7 portant la partie enterrée 16 est plus proche de l'électrode centrale 6 que la face opposée 21. La partie enterrée 16 est plus proche de la face YZ 15 18 que de la face YZ opposée 21 de l'électrode 7. Le dispositif comporte deux guides d'onde 4, par exemple, les deux bras d'un interféromètre de Mach-Zehnder. L'un des bras 4 est situé sous l'électrode 6. L'autre des bras est situé entièrement sous l'électrode 7 20 représentée à droite sur la figure 6. Dans le mode de réalisation représenté figure 6, le guide d'onde 4 a une partie 23 qui est située sous la partie enterrée 16 de l'électrode 7. La partie 24 du bras 4 qui ne se trouve pas sous la partie enterrée 16 est plus proche 25 de l'électrode 6 que celle 23 qui se trouve sous la partie enterrée 16. Il convient de rappeler que la figure 6 est une vue en coupe selon un plan XZ. Lorsqu'il est dit qu'une partie est plus proche ou plus éloignée de l'autre, cette proximité ou cet éloignement 30 s'entend dans le sens de la direction X c'est-à-dire selon le sens de la largeur. Dans l'exemple représenté figure 6, le guide d'onde 4 est divisé fictivement en B 14263 GB deux parties, une partie 23 qui se trouve sous une partie 22 de la partie enterrée 16 de l'électrode latérale 7 et une partie 24. Les parties fictives, 22, 23, et 24 ont été délimitées par des traits d'axe verticaux. Dans tous les cas, tel que représenté figure 3, 4, 5 ou 6, le fait qu'il y ait une partie enterrée contribue à concentrer les lignes de champs électriques représentées sur les figures 4 à 6 par des 10 courbes fléchées, au niveau des guides d'ondes 4. On améliore ainsi l'intégrale de recouvrement. On note que dans le cas représenté figure 4, le déphasage de l'onde optique se propageant dans chacun des guides 4 résulte d'une part du décalage d'indice optique introduit par 15 le champ électrique induit par l'électrode 6 dans le guide d'onde se trouvant immédiatement au-dessus, et d'autre part, par le décalage en sens inverse de l'indice optique dans le guide d'onde 4 se trouvant au-dessous de l'électrode 7. Le décalage est en sens 20 inverse parce que les champs électriques dans le premier guide 4 et le second guide 4 ont des sens différents comme représenté figure 4. Dans les exemples représentés, la couche de diélectrique 5 est réalisée dans un matériau d'indice électromagnétique e inférieur 25 à 5 et les électrodes sont en or. Les largeurs des parties enterrées 8, 16 sont de préférence comprises entre 3 et 10,um. L'épaisseur de la couche 5 de diélectrique est de préférence d'un ordre de grandeur compris entre 0,2 et 30 1,5 pm. La profondeur des parties enterrées 8, 16 c'est-à-dire dans la dimension Z est de préférence inférieure à 1,3 p.m. De préférence, la profondeur de B 14263 GB pénétration de la partie enterrée est telle que l'épaisseur de diélectrique qui se trouve sous la partie enterrée est d'au moins 0,2,um. La largeur des guides d'ondes 4 est en général de l'ordre de 5 à 7,um. 5 Dans le mode préféré de réalisation représenté figure 7, un composant 100 comportant l'invention est équipé de connexions non représentées pour raccorder le composant à des fibres optiques 31, par exemple pour raccorder l'entrée 2, 32 pour 10 raccorder la sortie 3. Dans ce mode, un chemin optique entre l'entrée 2 et la fibre optique d'entrée 31 ou entre la sortie 3 et la fibre optique de sortie 32 est réalisé au moyen d'un guide segmenté 33, 34 respectivement. De façon en elle-même connue 15 l'utilisation d'un guide segmenté permet de réduire, en entrée, ou d'agrandir, en sortie, la taille du mode optique se propageant dans un guide. On peut ainsi confiner de plus en plus, grâce à l'utilisation par exemple du guide segmenté 33, la taille du mode entrant 20 dans l'entrée 2 du modulateur formé par les bras 4, 12 d'un modulateur formé par un interféromètre de Mach-Zehnder. B 14263 GB REVENDICATIONS 1. Système d'électrode(s) (6, 7) s'étendant dans une direction Y audessus d'une couche tampon (5) 5 réalisée en matériau diélectrique, une direction X étant une direction perpendiculaire à la direction Y contenue dans le plan de la couche tampon (5) et une direction Z étant une direction perpendiculaire au plan défini par les directions X et Y, la couche tampon (5) 10 s'étendant elle même au-dessus d'un matériau électrooptique (1), comportant une ou plusieurs partie(s) (4) formant guide d'ondes lumineuses selon la direction Y, caractérisé en ce que l'une au moins des électrodes (6) a une partie inférieure (8) et une partie supérieure 15 (9) , la partie inférieure (8) étant entièrement enterrée dans la couche (5) de matériau diélectrique, la largeur de la partie enterrée (8) de l'électrode (6) étant inférieure ou égale à la largeur de la partie non enterrée (9) de l'électrode (6) au niveau de la surface 20 supérieure de matériau diélectrique (5). 2. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 1 caractérisé en ce que une partie enterrée (8) d'une électrode au moins du système d'électrodes (6, 7) se trouve au-dessus d'un guide 25 d'onde (4) optique formé dans le matériau électrooptique (1). 3. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 2 caractérisé en ce que un axe central selon la direction Y de la partie enterrée (8) d'une 30 électrode (6, 7) se trouve dans un plan perpendiculaire au plan des couches contenant un axe central du guide d'onde (4) selon la direction Y. B 14263 GB 4. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 1 caractérisé en ce que il comporte au moins deux électrodes (6, 7) ayant chacune une partie (8,16) entièrement enterrée dans le diélectrique (5), 5 la partie enterrée (8) de l'une au moins des électrodes (6, 7) se trouvant au-dessus d'un guide d'onde (4). 5. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 4 caractérisé en ce que chacune des parties enterrées (8, 16) de chacune des au moins deux 10 électrodes (6, 7) se trouve au-dessus d'un guide d'onde (4). 6. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 1 caractérisé en ce qu'il comporte au moins deux électrodes (6, 7), l'une (6) des au moins 15 deux électrodes (6, 7) ayant une largeur supérieure à la largeur de l'autre (7) des au moins deux électrodes (6, 7), l'électrode (6) la plus large ayant sa partie enterrée (8) au-dessus d'un guide d'onde (4). 7. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la 20 revendication 6 caractérisé en ce que un axe central selon la direction Y de la partie enterrée (8) de l'électrode la plus large (6) se trouve dans un plan perpendiculaire au plan des couches contenant un axe central du guide d'onde (4) selon la direction Y. 8. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 1 caractérisé en ce que il comporte au moins deux électrodes (6, 7) disposées latéralement de part et d'autre d'un guide d'onde (4), l'une (6) au moins des deux électrodes (6, 7) ayant une partie (8) 30 entièrement enterrée dans le diélectrique. 9. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 8 caractérisé en ce que les deux B 14263 GB électrodes situées de part et d'autre du guide d'onde (4) ont chacune une partie (8,16) entièrement enterrée dans le diélectrique (5). 10. Système d'électrode(s) (6, 7) selon 5 l'une des revendications 1 à 9 caractérisé en ce que, la partie enterrée (16) de l'une au moins des électrodes (6, 7) a une face (19) selon un plan YZ qui est commune à une face (18) de la partie non enterrée (15). 11. Système d'électrode(s) (6, 7) selon l'une des revendications 1 à 9 caractérisé en ce que, la partie enterrée (8) de l'une au moins des électrodes (6, 7) a une face selon un plan YZ qui n'est pas dans le prolongement direct d'une face de la partie non 15 enterrée (9). 12. Système d'électrode(s) (6, 7) selon l'une des revendications 1 ou 2 caractérisé en ce qu'il comporte trois électrodes (6, 7), une électrode centrale (6), et deux électrodes latérales (7), une première (7) ayant une partie enterrée (16) et deux faces (18, 21) s'étendant selon la direction Y, une première face (18) proche de l'électrode centrale (6) et une seconde face (21) éloignée de l'électrode centrale (6), la partie enterrée (16) de la première 25 électrode (7) latérale étant plus proche de la première face (18) que de la seconde (21), l'électrode centrale (6) étant moins large que la première électrode latérale (7), l'électrode centrale (6) étant au dessus d'un premier guide d'onde (4), la première électrode 30 latérale étant entièrement au dessus d'un second guide d'onde (4), le second guide d'onde (4) étant plus B 14263 GB proche de la première face de la première électrode que de la seconde. 13. . Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 12 caractérisé en ce que, une partie 5 (22) de la partie enterrée (16) de la première électrode (7) latérale est selon le sens de la largeur, au dessus d'une partie (23) selon le sens de la largeur du second guide d'onde (4), la partie (23) du second guide d'onde (4) se trouvant sous la partie enterrée 10 (16) de la première électrode latérale (7) étant celle qui est la plus éloignée du premier guide d'onde 14. Système d'électrode(s) (6, 7) selon l'une des revendications 1 à 13 caractérisé en ce que la couche de diélectrique (5) est réalisée dans un 15 matériau d'indice électromagnétique ú inférieur à 5. 15. Système d'électrode(s) (6, 7) selon l'une des revendications 1 à 14 caractérisé en ce que le matériau (1) comportant le guide d'onde est du niobate de lithium. 16. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la revendication 15 caractérisé en ce que le guide d'onde (4) est du niobate de lithium obtenu par un procédé d'échange protonique doux. 17. Système d'électrode(s) (6, 7) selon la 25 revendication 15 caractérisé en ce que l'une au moins des électrodes (6, 7) ayant une partie entièrement enterrée dans le diélectrique est en or. 18. Composant (100) électro-optique en particulier modulateur électrooptique caractérisé en 30 ce qu'il comporte un système d'électrodes (6, 7) selon l'une des revendications 1 à 17. B 14263 GB 19. Composant (100) électro-optique en particulier modulateur électro- optique selon la revendication 18 caractérisé en ce que une entrée (2) et/ou une sortie (3) d'un guide d'onde (4) soumis au 5 champ électrique entre électrodes (6, 7) est un guide d'onde segmenté (33, 34). B 14263 GB