Brevet FR2849182A1 — publié le 20040625

Dispositif pour la mesure de l'épaisseur de couches minces La présente invention concerne un dispositif pour la mesure de l'épaisseur de couches minces par rayons X. Par le DE 32 39 379 C 2, on connaît un dispositif du type générique qui est utilisé pour la mesure de l'épaisseur de couches minces selon le principe de la fluorescence X Ce dispositif présente un tube à rayons X qui émet des rayons X, qui sont dirigés vers une couche à mesurer d'un objet de mesure Entre l'objet de mesure et le tube à rayons X est 10 prévu, à une distance réglable de l'objet de mesure ou de la couche à mesurer, un dispositif à diaphragme qui limite les rayons X sur un point de mesure situé sur la couche à mesurer. Un détecteur capte le rayonnement de fluorescence émis par l'objet de mesure irradié et l'analyse Entre le dispositif à diaphragme et le tube à rayons X, un miroir de renvoi semitransparent est placé sur le trajet des rayons, miroir qui est transparent pour les rayons X et 15 permet d'observer l'objet de mesure et la couche à mesurer. Le dispositif à diaphragme de ce dispositif présente plusieurs ouvertures de passage, qui sont disposées à une distance fixe les unes des autres et sont réalisées dans des tailles différentes Ces ouvertures de passage peuvent être choisies en fonction de l'opération de mesure, des points ou zones de mesure de petite taille déterminables précisément pouvant 20 ainsi être analysés Avec ce dispositif, de très petites zones peuvent être examinées précisément sur la couche à mesurer Cela nécessite une grande intensité, qui agit sur l'objet de mesure Plus la durée de la mesure est grande, plus la précision réalisable de la mesure est grande. La mesure de l'épaisseur de couches minces doit être conduite également sur des 25 produits de grande série Par exemple sur les pièces de soupape des pompes d'injection, il est nécessaire d'analyser une épaisseur de couche appliquée par un procédé de galvanisation Ces pièces sont fabriquées en plusieurs millions d'exemplaires La conduite de la mesure afin de déterminer l'épaisseur des couches minces ne doit donc demander qu'un temps de mesure limité. L'objectif de la présente invention est donc d'améliorer le dispositif du type générique de telle manière qu'une mesure précise de l'épaisseur de couches minces soit possible en un temps de mesure très court. Cet objectif est atteint par un dispositif pour la mesure de l'épaisseur de couches minces par des rayons X, avec un tube à rayons X qui émet des rayons X qui sont dirigés 35 vers une couche à mesurer, avec au moins un dispositif à diaphragme placé entre le tube à rayons X et la couche à mesurer, qui est composé d'une zone absorbant les rayons X et présente une ouverture de diaphragme, caractérisé en ce qu'au moins une ouverture de diaphragme du dispositif à diaphragme présente une forme géométrique qui, en regardant dans la direction des rayons, projette une surface qui est adaptée au moins par section à la géométrie de la couche à mesurer D'autres variantes et configurations avantageuses sont décrites plus loin. Le temps de mesure court pour les pièces de grande série, pour lesquelles l'épaisseur 5 du revêtement doit être mesurée, est obtenu par le fait qu'un dispositif à diaphragme est prévu, qui présente une ouverture de diaphragme de forme géométrique qui projette dans la direction du rayon une surface qui est adaptée au moins par section à la géométrie de la couche à mesurer Ainsi, un éclairage régulier de la surface de la couche à mesurer peut être obtenu, de telle sorte que toute la surface de mesure est analysée en une opération de 10 mesure Cette adaptation de l'ouverture de diaphragme au moins par section à la géométrie de la couche à mesurer permet de raccourcir la durée de la mesure pour des pièces fabriquées en grande série Cela revêt une importance économique considérable Du fait du raccourcissement de la durée de la mesure, la cadence de production des pièces peut être augmentée Cela permet de procéder à un contrôle à 100 % et de réduire les cots de l'assu15 rance qualité Du fait de la configuration du dispositif à diaphragme selon la présente invention, une mesure sans contact avec des rayons X est permise sur des pièces de grande série, pour lesquelles on ne dispose que d'un temps de mesure très court. D'après une variante avantageuse de l'invention, il est prévu que l'ouverture de diaphragme du dispositif à diaphragme comprenne une zone absorbante qui entoure une ou20 verture de diaphragme et qu'au moins une zone absorbante soit prévue dans l'ouverture de diaphragme ou au moins partiellement à son voisinage Avec cette configuration, les rayons X peuvent être adaptés à une pluralité de géométries et être projetés sur la surface de mesure Du fait de l'agencement d'au moins une zone absorbante dans l'ouverture de diaphragme, des zones partielles peuvent être masquées lors de la projection des rayons sur 25 la surface de la couche à mesurer Ainsi, on peut disposer d'un trajet de rayons adapté à l'objet de mesure ou à la surface de la couche à mesurer. Selon un mode de réalisation préféré, l'ouverture de passage au nombre d'au moins une prévue à l'intérieur de l'ouverture de diaphragme présente une largeur de fente et/ou une longueur de fente qui projette sur la surface de la couche à mesurer, dans la direction 30 du rayon, une surface qui est aussi grande ou plus petite que la surface de la couche à mesurer Ainsi, le dispositif à diaphragme autorise un éclairement de toute la surface de la couche à mesurer dans le cadre d'une même opération de mesure Du fait de la configuration géométrique au choix de l'ouverture de passage au nombre d'au moins une en termes de longueur et de largeur, les zones intéressantes pour le contrôle qualité peuvent être me35 surées simultanément et les autres zones peuvent être masquées Ainsi, le dispositif à diaphragme peut être adapté en vue d'une opération de mesure particulière. Le dispositif à diaphragme présente de manière préférée, entre l'ouverture de diaphragme au nombre d'au moins une et la zone absorbante située dedans ou juste voisine, au moins une ouverture de passage en forme de fente Il est ainsi possible de former des structures découpées et des zones ou des formes linéiques, à travers lesquelles le rayonnement passe et arrive sur la surface de la couche à mesurer Du fait de cette configuration en forme de fente de l'ouverture de passage au nombre d'au moins une, des zones revêtues très 5 découpées et des zones dont l'extension de surface est variable peuvent également être mesurées. De manière préférée, il est prévu au moins une ouverture de passage qui forme une fente annulaire Ainsi, un diaphragme annulaire ou un collimateur annulaire peut être créé, qui est utilisé en particulier pour la mesure des couches sur des pièces à symétrie de rota10 tion Ces pièces à symétrie de rotation peuvent comprendre une ou plusieurs zones circulaires ou annulaires sur lesquelles est appliqué un revêtement, et dont l'épaisseur de couche doit être contrôlée. Dans un mode de réalisation préféré, il est prévu entre l'ouverture de passage en forme de fente au nombre d'au moins une, qui est agencée en une fente annulaire, au moins 15 un méplat qui est positionné à l'intérieur de la zone absorbante placée dans l'ouverture de diaphragme Le ou les méplats sont, de manière avantageuse, très étroits, de telle sorte qu'en fonction des ouvertures de passage voisines, on obtienne un éclairement pratiquement uniforme de la surface de la couche à mesurer. En variante, il peut être prévu une pluralité de méplats espacés, par exemple en fil 20 métallique mince Le ou les fils métalliques peuvent être prévus d'un côté du dispositif à diaphragme, ou en tant que couche à l'intérieur du dispositif à diaphragme. D'après une autre configuration avantageuse de l'invention, il est prévu que la ou les zones absorbantes placées à l'intérieur de l'ouverture de diaphragme puissent être placées à l'extérieur du plan de l'ouverture de diaphragme Par exemple, par un déplacement de la 25 zone absorbante intérieure ou des zones en direction de la source de rayonnement, on peut obtenir une réduction de la largeur de fente des ouvertures de passage La surface projetée du rayonnement dans un plan de mesure peut ainsi être réduite. Ainsi, par exemple, une moindre épaisseur de matière peut également être choisie pour le dispositif à diaphragme, lequel est alors plus facile à usiner Le dispositif à dia30 phragme est de préférence formé dans un verre organique ou inorganique, qui est de préférence transparent L'utilisation d'un verre au plomb est particulièrement adaptée En fonction de la composition énergétique du rayonnement nécessaire, l'épaisseur du verre au plomb peut être réduite, afin d'obtenir malgré tout une absorption des rayons X Comme une plus grande surface est irradiée lors de la mesure, une moindre intensité de rayonne35 ment peut suffire pour conduire la mesure. Les ouvertures de passage de l'ouverture de diaphragme sont de préférence formées perpendiculairement à la surface du dispositif à diaphragme De même, ces ouvertures de passage peuvent s'élargir au moins légèrement en regardant dans la direction des rayons. Un autre mode de réalisation avantageux de l'invention prévoit que le dispositif à diaphragme soit réalisé rotatif Du fait de la déviation par rapport à un agencement horizontal ou à une disposition parallèle au plan de mesure, il est possible de créer, par exemple dans un dispositif à diaphragme présentant une fente annulaire, une ouverture de pas5 sage qui projette une surface elliptique Ainsi, un dispositif à diaphragme peut être adapté à plusieurs formes géométriques de la surface de l'objet à mesurer. Dans un autre mode de réalisation alternatif de l'invention, il peut être prévu qu'au moins une zone située dans l'ouverture de diaphragme ou au moins partiellement contiguÙ à celle-ci soit rotative par rapport à l'ouverture de diaphragme Dans le cas d'un dia10 phragme annulaire, par exemple, la zone absorbante intérieure peut être prévue rotative, de telle sorte qu'un dispositif à diaphragme avec une transmission déterminable soit possible. L'invention ainsi que d'autres modes de réalisation et variantes avantageuses de celleci sont décrits et expliqués en détail dans ce qui suit à l'aide de l'exemple représenté sur les dessins Les caractéristiques apparaissant dans la description et sur les dessins peuvent être 15 appliquées séparément ou à plusieurs dans n'importe quelle combinaison selon la présente invention Sont représentés: Figure 1: une vue schématique d'un dispositif pour la mesure de couches minces par rayons X, Figure 2: une vue schématique d'un trajet de rayon avec un dispositif à diaphragme 20 selon la présente invention, Figure 3: une vue de dessus schématique du dispositif à diaphragme selon la figure Figures 4 a et 4 b: une vue en coupe schématique d'un objet de mesure dans différentes positions de mesure pendant une mesure de l'épaisseur de couche, Figures 5 a et 5 b: une vue schématique d'un mode de réalisation alternatif d'un dispositif à diaphragme, et Figure 6: une vue schématique d'un trajet de rayon avec un mode de réalisation alternatif du dispositif à diaphragme de la figure 2. Sur la figure 1 est représenté un dispositif 11 pour la mesure de l'épaisseur de cou30 ches minces par rayons X, en particulier par rayonnement fluorescent X Ce dispositif 11 présente un tube 12 à rayons X pour produire des rayons X dans un boîtier 13 Par l'intermédiaire d'une ouverture dans le boîtier 13, des rayons X sortent et arrivent sur une surface 14 d'un objet 16 de mesure A travers un dispositif 17 à diaphragme placé à une distance définie de la surface 14 de l'objet de mesure 16, une zone de surface déterminée des 35 rayons X est projetée sur la surface 14 de l'objet de mesure 16 Un tube cible proportionnel 18 ou détecteur capte le rayonnement fluorescent ou rayonnement secondaire émis par l'objet de mesure et l'analyse avec le soutien d'un appareil de traitement de données. Le dispositif 11 présente un miroir semi-transparent 21 placé sur le trajet des rayons m -m X, qui permet que l'image de la surface 14 de l'objet de mesure 16 soit lue par une optique, ou captée par un appareil d'affichage électronique 22 et affichée sur un moniteur. Sur la figure 2 est représenté en perspective et à échelle agrandie le trajet des rayons du tube à rayons X jusqu'à l'objet de mesure 16 Le dispositif 17 à diaphragme présente 5 une zone absorbante 26, qui est serrée par exemple dans un mécanisme de réglage 27, par l'intermédiaire duquel la distance par rapport à la surface 14 de l'objet de mesure 16 peut être réglée Le dispositif 17 à diaphragme présente une ouverture 28 de diaphragme adjacente à la zone absorbante extérieure 26 Dans l'ouverture 28 de diaphragme est placée une zone absorbante intérieure 29, à travers laquelle est formée une fente annulaire 31 en di10 rection de l'ouverture de diaphragme 28 La zone absorbante intérieure 29 est positionnée par rapport à l'ouverture de diaphragme 28 par des méplats 32, comme le montre la vue de dessus de la figure 3 Avec la formation d'une fente annulaire 31, qui est formée de trois ouvertures 33 de passage dans l'exemple de réalisation, il est possible que les rayons X projettent une surface annulaire 36 sur la surface 14 de l'objet de mesure 16 Cette surface 15 annulaire 36 correspond à une surface de mesure dont l'épaisseur de couche est déterminée sur un objet de mesure par ce dispositif 11. D'après l'exemple de réalisation, l'objet de mesure 16 est une pièce à symétrie de rotation, qui est utilisée dans une pompe d'injection dans des véhicules Sur une face frontale 37 est appliqué un revêtement 38 qui s'étend au moins partiellement sur les bords latéraux 20 dans le procédé de galvanisation utilisé de manière préférée Ce revêtement 38 est par exemple un revêtement au chrome, dont il convient de mesurer l'épaisseur. Ces objets de mesure 16 représentés à titre d'exemple sont des pièces de grande série, pour lesquelles un contrôle à 100 % doit être conduit Il est ici nécessaire de contrôler l'épaisseur de couche sur la surface frontale 37 et de vérifier que le revêtement appliqué 38 25 comprend au moins l'épaisseur de couche nécessaire. Du fait de la configuration du dispositif 17 à diaphragme selon les figures 2 et 3, qui est également qualifié de collimateur annulaire, il est possible de mesurer l'épaisseur de couche de la surface annulaire 36 en quelques secondes, par exemple une seconde de temps de mesure Le dispositif 17 à diaphragme permet aux rayons X de rencontrer uni30 formément la surface 14 Les méplats 32 interposés sont relativement minces, de telle sorte que leur ombre est négligeable. La figure 4 a montre une vue schématique en coupe de l'objet de mesure 16 Avec une orientation idéale de l'objet de mesure 16 par rapport au trajet des rayons, une surface annulaire 36 est projetée sur le revêtement 38 de la surface frontale 37 comme sur la figure 35 4 a Cette surface annulaire 36 est de préférence placée dans la partie centrale. La particularité de ces pièces est que le revêtement 38 augmente de l'intérieur vers l'extérieur En conséquence, la surface annulaire 36 est prévue de telle manière que celle-ci soit plus fortement contiguÙ des parties de bord extérieures que des parties intérieures de la surface périphérique La largeur de la surface annulaire 36 est adaptée à la largeur de la surface de mesure ou de la surface frontale 37 de l'objet de mesure 16 Une unité d'analyse intègre les données relevées à partir du rayonnement secondaire émis par la surface annulaire, afin de déterminer l'épaisseur de couche. Ce dispositif à diaphragme annulaire présente l'avantage d'être insensible aux tolérances Par exemple, sur la figure 4 b, l'objet de mesure 16 est positionné avec un décalage latéral par rapport à l'axe de rayonnement Du positionnement de la surface annulaire 36 par rapport au revêtement 38, on voit qu'on éclaire du côté droit une section présentant un revêtement plus épais que du côté gauche Du fait qu'on détermine une valeur intégrale sur 10 toute la surface annulaire, il se produit une moyenne, de telle sorte que l'on obtient une valeur pertinente. Grâce à cet éclairement complet ou sensiblement complet de la surface annulaire, un contrôle à 100 % de pièces de grande série peut être effectué dans un temps court Cela est particulièrement avantageux pour les surfaces fragiles Du fait de la plus grande surface de 15 mesure, qui est présente en raison du dispositif à diaphragme par rapport à une mesure ponctuelle traditionnelle, on dispose d'une plus grande quantité de rayonnement primaire, donc de rayonnement secondaire émis qu'un détecteur peut capter Cela permet de réduire la durée des mesures Avec l'objet de mesure représenté dans l'exemple de réalisation, des temps de mesure d'une seconde ou moins, par exemple, peuvent être atteints Une mesure 20 sans contact par fluorescence X peut ainsi être utilisée même avec des cadences rapides. Le dispositif à diaphragme 17 se prête fondamentalement à de nombreuses modifications de sa configuration et peut être adapté à la géométrie respective de la surface 14 de l'objet de mesure 16 ou de la partie de surface d'un objet de mesure 16 Par exemple, la surface annulaire 36 peut s'étendre sur toute l'épaisseur de paroi d'une pièce à symétrie de 25 rotation représentée sur les figures 4 a et 4 b La largeur d'anneau de la surface annulaire 36 peut être choisie librement De même, différents segments annulaires peuvent être de forme et de contour variable Par exemple, les méplats 32 peuvent couvrir une part nettement plus grande de la surface annulaire En outre, au lieu d'un ou plusieurs méplats, par exemple comme sur la figure 3, qui sont composés du même matériau que les zones absor30 bantes, des fils métalliques peuvent par exemple être prévus, qui positionnent la zone intérieure 29 par rapport à la zone extérieure 26 Des fils ou un réseau de fils peuvent par exemple être enrobés dans un dispositif à diaphragme 17 réalisé en verre au plomb. En variante, il peut également être prévu que la zone absorbante intérieure 29, qui forme par exemple un disque circulaire, soit logée à travers un axe rotatif En fonction de 35 la surface de mesure souhaitée, cela permet d'obtenir une transmission déterminable par rotation de la zone absorbante intérieure 29 La zone absorbante intérieure 29 peut présenter une position fermée dans laquelle l'ouverture 28 de diaphragme est fermée Par une légère ouverture de quelques degrés, deux zones falciformes peuvent par exemple être dégagées, qui projettent des surfaces correspondantes sur la surface 14 de l'objet de mesure 16 De même, par une rotation de 90 , un éclairement de pratiquement toute la surface peut devenir possible. Le dispositif 17 à diaphragme est composé d'un verre organique ou inorganique De 5 manière préférée, on utilise du verre au plomb transparent, afin d'observer l'objet de mesure grâce à un dispositif d'affichage L'épaisseur de verre utilisée pour obtenir l'absorption des rayons X dépend de la qualité de rayonnement des rayons X Par exemple, des verres au plomb d'une épaisseur de moins de 8 mm, de préférence de 1 à 4 mm, peuvent être utilisés Le dispositif 17 à diaphragme peut présenter des faces supérieure et inférieure 10 traitées De même, des revêtements peuvent être prévus, par exemple en métal. La géométrie et la forme de l'ouverture 28 de diaphragme dans la zone 26 et l'agencement de la zone absorbante intérieure 29 par rapport à l'ouverture 28 sont quelconques. On peut prévoir n'importe quelle structure géométrique pour les objets de mesure 16 présentant un revêtement dont on doit mesurer l'épaisseur Par exemple, des ouvertures de 15 passage en U ou en V peuvent être réalisées De même, des structures en forme de trèfle ou plusieurs structures annulaires concentriques peuvent être formées La largeur et la longueur des ouvertures 33 de passage, ainsi que leur nombre et la taille et le nombre des zones absorbantes intérieures 29, sont variables et peuvent adopter de multiples combinaisons. Par exemple, le dispositif 17 à diaphragme, qui est réalisé comme un collimateur annulaire, peut imager une surface annulaire elliptique 36 par rotation autour d'un axe horizontal ce basculement autour d'un axe de rotation peut se superposer le basculement autour d'au moins un autre axe de rotation. Sur les figures 5 a et 5 b est représenté un autre mode de réalisation alternatif d'un dis25 positif 17 à diaphragme Dans cette configuration, la zone absorbante intérieure 29 est formée par un clapet rotatif qui est placé rotatif hors du plan autour d'un axe 40 Cet axe peut être relié à une unité d'entraînement, de telle sorte qu'une position pilotable de la zone absorbante intérieure 29 puisse être réglée Cette unité d'entraînement peut permettre un réglage fin d'une position angulaire. Par exemple, suivant la position 41, la zone absorbante intérieure 29 est prévue dans le plan par rapport à la zone extérieure 26 Dans cette disposition, on produit une surface projetée qui est représentée sous la référence 41 ' sur la figure 5 b. Dans cet exemple de réalisation, il est prévu une ouverture annulaire 33 qui est également représentée sous forme de surface annulaire 33 sur la figure 5 b En variante, il peut 35 également être prévu que la zone intérieure 29 se place dans une position 41 en affleurement contre la zone extérieure 26, de telle sorte qu'il n'y ait quasiment aucun passage de rayons X. En cas de rotation de l'axe de quelques degrés, la zone intérieure 29 est amenée par exemple dans une position 42 Il en résulte qu'une surface projetée 42 ' est masquée et, pour le reste, les rayons rencontrent la surface de mesure. Une autre position 43 représentée à titre d'exemple forme une zone 43 ' encore plus petite, de telle sorte que la zone couverte par le rayonnement est encore plus grande La 5 rotation de la zone intérieure 29 peut, à un maximum de 90 , couvrir une zone minimale qui est négligeable Par un déplacement de préférence progressif, différentes positions peuvent être prises La géométrie représentée de la zone intérieure 29 ou du clapet rotatif n'est donnée qu'à titre d'exemple et n'est nullement limitative. Sur la figure 6 est représentée une autre variante d'un dispositif 17 à diaphragme. 10 Dans cette variante, il est prévu que la partie absorbante intérieure 29 soit sortie du plan de la zone extérieure 26 et placée par exemple décalée en direction de la source des rayons. Un déplacement dans la direction opposée est également possible Ainsi, la largeur de fente peut être modifiée en conservant la géométrie de base des ouvertures 33 de passage En plus, tant la zone 26 que la zone 29 peuvent être placées mobiles au moins autour d'un axe 15 de rotation indépendamment l'une de l'autre La zone intérieure 29 peut être prévue séparément de la zone 26 et est portée par des fils minces ou d'autres moyens appropriés, afin de permettre un agencement séparé de la zone extérieure 26. Il va de soi qu'au lieu d'une fente annulaire, des formes triangulaires, carrées, polygonales, elliptiques ou autres formes circulaires ouvertes ou des formes en ligne ondulée 20 ou analogues peuvent être prévues, en prévoyant en particulier les géométries de la surface d'une couche à mesurer pour lesquelles une partie de la surface de l'objet de mesure est masquée par rapport aux rayons X ou à la surface projetée à la surface de l'objet de mesure. - REVENDICATIONS 1 Dispositif pour la mesure de l'épaisseur de couches minces par des rayons X, avec un tube ( 12) à rayons X qui émet des rayons X qui sont dirigés vers une couche à mesurer, 5 avec au moins un dispositif ( 17) à diaphragme placé entre le tube ( 12) à rayons X et la couche à mesurer, qui est composé d'une zone ( 26) absorbant les rayons X et présente une ouverture ( 28) de diaphragme, caractérisé en ce qu'au moins une ouverture ( 28) de diaphragme du dispositif ( 17) à diaphragme présente une forme géométrique qui, en regardant dans la direction des rayons, projette une surface qui est adaptée au moins par section à la 10 géométrie de la couche à mesurer. 2 Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif ( 17) à diaphragme comprend une zone absorbante ( 26) qui entoure au moins une ouverture ( 28) de diaphragme, et dans l'ouverture ( 28) de diaphragme au nombre d'au moins une, ou au moins partiellement contiguÙ à elle, est prévue une zone absorbante intérieure ( 29) par 15 laquelle est formée au moins une ouverture ( 33) de passage dans l'ouverture ( 28) de diaphragmne. 3 Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'ouverture de passage ( 33) au nombre d'au moins une présente une longueur et une largeur qui, dans la direction des rayons, projette sur la couche à mesurer une surface qui est aussi grande ou 20 plus petite que la géométrie de la couche à mesurer. 4 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'entre l'ouverture ( 28) de diaphragme et la zone absorbante intérieure ( 29) est formée au moins une ouverture ( 33) de passage en forme de fente. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en 25 ce que l'ouverture ( 33) de passage au nombre d'au moins une est en forme de fente annulaire. 6 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les ouvertures ( 33) de passage en forme de fente sont disposées pour former une fente annulaire qui est interrompue par au moins un méplat ( 32). 7 Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'une pluralité de méplats ( 32) distants les uns des autres sont prévus. 8 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'une zone absorbante ( 29) située à l'intérieur de l'ouverture ( 28) de diaphragme, ou au moins partiellement contiguÙ à elle, est positionnable dans un plan en dehors de l'ouverture 35 ( 28) de diaphragme. 9 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif ( 17) à diaphragme est réalisé en verre organique ou anorganique, en particulier en verre au plomb. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que dispositif ( 17) à diaphragme est réalisé en verre transparent. 11 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'ouverture ( 33) de passage au nombre d'au moins une est formée perpendiculaire5 ment à la surface du dispositif ( 17) à diaphragme. 12 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le dispositif ( 17) à diaphragme est monté pivotant autour d'au moins un axe. 13 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins une zone absorbante ( 29) placée dans l'ouverture ( 28) de diaphragme est 10 montée pivotante. 14 Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la surface projetée par le dispositif ( 17) à diaphragme émet avec les rayons X sur la couche à mesurer, un rayonnement secondaire à partir duquel on peut déterminer une valeur intégrale sur l'épaisseur de la couche.