Brevet FR2858574A1 — publié le 20050211

Plateau de polissage comportant un tissu de polissage n'adhérant qu'horizontalement au support. Domaine technique de l'invention L'invention concerne un plateau de polissage comportant: - un support, - un tissu de polissage mécanique ou mécano-chimique comprenant un 10 revêtement superficiel, une couche intermédiaire assurant la fixation permanente du revêtement superficiel sur une sous-couche ayant une surface libre lisse - et des moyens de fixation disposés entre le support et la surface libre de la sous-couche du tissu. État de la technique De manière connue, la fixation d'un tissu de polissage sur un support, destiné, 20 par exemple à être placé dans une machine de polissage, peut intervenir de différentes manières en fonction de l'utilisation du tissu. Le tissu comportant une face supérieure destinée à être en contact avec une pièce à polir et une face inférieure par laquelle le tissu est fixé au support, il peut être, par exemple, fixé directement par collage grâce à un revêtement adhésif réparti sur la face inférieure du tissu. Il peut également être fixé grâce à une feuille souple en polychlorure de vinyle 5 ou en matériau similaire. Un premier revêtement adhésif est disposé entre la face inférieure du tissu et la feuille souple et un second revêtement adhésif est disposé entre la feuille souple et le support. La feuille souple permet d'obtenir un ensemble présentant une certaine rigidité. Dans ces deux cas, après fixation, le tissu de polissage ne peut pas être décollé du support sans être endommagé. Or, la fixation permanente du tissu sur le support rend l'utilisation du plateau et son stockage peu pratique et encombrante. En effet, cela oblige à stocker, pour chaque type de tissu, un support et, lors du polissage d'une pièce qui nécessite plusieurs types de tissus, 15 il est nécessaire de changer, à chaque opération, le support du plateau sur la machine de polissage. Il est également connu de fixer le tissu par attraction magnétique au moyen d'un revêtement magnétique collé sur la face inférieure du tissu. Bien que ce mode 20 de fixation permette d'utiliser un même support pour plusieurs types de tissus, il nécessite, cependant, de coller sur la face inférieure de chaque tissu un revêtement magnétique qui est relativement coûteux. Objet de l'invention L'invention a pour but de réaliser un plateau de polissage relativement peu cher et permettant de conserver une parfaite adhésion entre le tissu et le support, 5 notamment lorsque le plateau est soumis à un mouvement de rotation, tout en autorisant un changement de tissus. Selon l'invention, ce but est atteint par le fait que les moyens de fixation comportent des moyens d'adhérence comportant au moins une couche 10 d'adhérence fixée de manière permanente sur le support par l'intermédiaire d'une première couche de colle, la couche d'adhérence étant constituée par une toile de fibres cellulosiques artificielles, imprégnée d'élastomère de silicone avec une masse adhésive en caoutchouc synthétique, de sorte que le tissu n'adhère parfaitement qu'horizontalement au support. Selon un développement de l'invention, la couche d'adhérence a une épaisseur de 400tm. Selon un mode de réalisation préférentiel, les moyens d'adhérence comportent 20 également une couche en polychlorure de vinyle, disposée entre la première couche de colle et une seconde couche de colle disposée sur le support. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de la description qui va suivre de modes particuliers de réalisation de l'invention 5 donnés à titre d'exemples non limitatifs et représentés aux dessins annexés, dans lesquels: La figure 1 représente schématiquement, en coupe, un plateau de polissage selon l'invention. La figure 2 est une représentation schématique, en coupe, du support du plateau selon la figure 1. La figure 3 est une représentation schématique, en coupe, du tissu de polissage du plateau selon la figure 2. Description de modes particuliers de réalisation Comme illustré aux figures 1 à 3, un plateau de polissage 1 comporte un support 2, de préférence sous forme d'un disque en métal et comprenant des 20 faces supérieure 2a et inférieure 2b (figure 2). Un tissu de polissage 3 mécanique ou mécano-chimique doit être fixé sur la face supérieure 2a du support. Le plateau est destiné à être disposé, par la face inférieure 2b du support, dans une machine de polissage et, de préférence, sur un élément de support de plateau. Le plateau est, généralement utilisé, dans des applications diverses, telles que la préparation d'échantillons métallographiques, de pièces géologiques ou de substrats semi-conducteurs. Comme illustré à la figure 3, le tissu de polissage 3 comprend un revêtement superficiel 4 permettant le polissage mécanique ou mécanochimique de pièces. Ainsi, au cours d'une opération de polissage, le plateau est animé d'un mouvement de rotation et les pièces sont posées sur le revêtement superficiel 4 du tissu, de manière à obtenir des pièces avec une surface polie. De plus, lors 10 de l'opération de polissage et selon le type de revêtement superficiel utilisé, un liquide abrasif destiné à faciliter le polissage des pièces, tel qu'une suspension diamantée, est déversé sur le revêtement superficiel du tissu. Le revêtement superficiel du tissu est du type de ceux classiquement utilisés pour réaliser le polissage de pièces. Ainsi, il peut être diamanté, composite lisse, embossé ou S15 gaufré, ou en papier abrasif. Une couche intermédiaire 5 assure la fixation permanente du revêtement superficiel 4 sur une sous-couche 6 ayant une surface libre 6a lisse. La surface libre 6a est destinée à assurer le contact et la fixation du tissu sur le support 2. La sous- couche 6 peut être en tout type de matériau présentant une surface libre 6a lisse. Elle peut, par exemple, être en 20 polychlorure de vinyle ou en polyester et la couche intermédiaire 5 est constituée par un matériau fortement adhésif tel qu'un matériau ayant une masse adhésive acrylique. La fixation du tissu de polissage 3 sur le support 2 est réalisée au moyen d'au moins une couche d'adhérence 7 fixée, de manière permanente, à la face supérieure 2a du support 2. La fixation permanente de la couche d'adhérence 7 est réalisée par l'intermédiaire d'au moins une première couche de colle 8. Une 5 couche en polychlorure de vinyle 9 est, de préférence, disposée entre la première couche de colle 8 et une seconde couche de colle 10 disposée sur la surface supérieure 2a du support 2, comme illustrée aux figures 1 et 2. Les première et seconde couches de colle 8 et 10 sont, de préférence, en un matériau de masse adhésive acrylique et la couche d'adhérence 7 est 10 constituée par une toile de fibres cellulosiques artificielles, et de préférence une toile de type fibranne , imprégnée d'élastomère de silicone avec une masse adhésive en caoutchouc synthétique. La couche d'adhérence 7 a, de préférence, une épaisseur de 400,im. La couche d'adhérence 7 permet au tissu d'adhérer parfaitement au support, mais uniquement horizontalement à celui-ci, notamment grâce à la surface libre 6a lisse de la sous-couche 6 du tissu 3. Ainsi, le tissu n'adhère parfaitement qu'horizontalement au support. Par n'adhérer qu'horizontalement au support, on entend que, lorsque l'on tire sur le tissu de polissage selon un axe de traction 20 situé dans le plan de l'interface 1 1 entre la surface libre 6a de la sous-couche 6 et la couche d'adhérence 7, le tissu 3 ne se déplace pas et adhère parfaitement à la couche d'adhérence 7, le plan de l'interface 1 1 étant un plan horizontal par rapport au support 7. Ainsi, la couche d'adhérence 7 étant fixée de manière permanente au support 2, le tissu 3 adhère parfaitement au support 2 dans le plan horizontal. Ainsi, lorsque le plateau subit un mouvement de rotation selon un axe de rotation vertical sl, le tissu ne bouge pas malgré la force centrifuge créée, I'axe de rotation vertical sl étant, de préférence, un axe de symétrie du 5 plateau 1. Par contre, il suffit de soulever le tissu 3, c'est-à-dire de tirer sur le tissu 3 selon un axe de traction non contenu dans le plan horizontal du plateau et, de préférence, sensiblement verticalement à l'interface 1 1, pour que le tissu n'adhère plus au support. Il peut, ainsi, être retiré du support sans être endommagé. Un support unique peut donc être utilisé pour les différents types 10 de tissus utilisés lors du procédé de polissage d'une pièce. Un tel mode d'adhérence permet avantageusement de réaliser une fixation autocollante réversible du tissu de polissage 3 sur le support 2 sans utiliser d'élément mécanique d'accrochage. Ainsi, il est possible changer uniquement le 15 tissu de polissage du plateau, à chaque nouvelle étape d'un procédé de polissage d'une pièce, tout en conservant sur la machine de polissage, le même support recouvert par la même couche d'adhérence 7. Il permet également de stocker, uniquement les tissus de polissage et non plus les plateaux. Ceci permet, notamment, de gagner du temps lors du procédé de polissage, le 20 changement de tissus étant effectué plus rapidement. Ceci permet également de réduire l'espace de stockage des plateaux de polissage, car l'espace requis pour stocker une quantité prédéterminée de tissus de polissage, est inférieur à celui requis pour stocker la même quantité de tissus respectivement collés à un support. De plus, le coût de la couche d'adhérence 7, des couches de colle 8 et 10, et de la couche en polychlorure de vinyle 9 est relativement peu élevé par rapport au coût d'un revêtement magnétique et il est plus facile de nettoyer les tissus seuls. Revendications 1. Plateau de polissage comportant: - un support (2), - un tissu de polissage (3) mécanique ou mécano-chimique comprenant un revêtement superficiel (4), une couche intermédiaire (5) assurant la fixation permanente du revêtement superficiel (4) sur une sous-couche (6) ayant une surface libre (6a) lisse, - et des moyens de fixation disposés entre le support (2) et la surface libre (6a) de la sous-couche (6) du tissu (3), plateau caractérisé en ce que les moyens de fixation comportent des moyens d'adhérence comportant au moins une couche d'adhérence (7) fixée de manière permanente sur le support (2) par l'intermédiaire d'une première couche de colle 15 (8), la couche d'adhérence (7) étant constituée par une toile de fibres cellulosiques artificielles, imprégnée d'élastomère de silicone avec une masse adhésive en caoutchouc synthétique, de sorte que le tissu (3) n'adhère parfaitement qu'horizontalement au support (2). 2. Plateau selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche d'adhérence (7) a une épaisseur de 400gm. 3. Plateau selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les moyens d'adhérence comportent également une couche en polychlorure de vinyle (9), disposée entre la première couche de colle (8) et une seconde couche de colle (10) disposée sur le support (2). 4. Plateau selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la sous-couche (6) du tissu (3) est en polychlorure de vinyle. 5. Plateau selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce 10 que la sous-couche (6) du tissu (3) est en polyester. 6. Plateau selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le revêtement superficiel (4) du tissu (3) est diamanté. 7. Plateau selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le revêtement superficiel (4) du tissu (3) est composite. 8. Plateau selon la revendication 7, caractérisé en ce que le revêtement superficiel (4) du tissu (3) est embossé. 20 9. Plateau selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le revêtement superficiel (4) du tissu (3) est en papier abrasif.