Brevet FR2842348A1 — publié le 20040116

L'invention se rattache au secteur technique de la pulvérisation cathodique de matériaux, notamment dans une installation de traitement sous vide, et plus particulièrement des cathodes destinées à la production de vapeur. Généralement, selon l'état antérieur de la technique, une cathode à membrane se présente sous forme d'une embase présentant, dans son épaisseur, des cavités constituant des canaux pour la circulation d'un fluide de refroidissement. Sur cette embase est fixée, généralement au moyen de vis, une membrane. En regard de cette embase support à membrane, est montée, d'une manière jointive, une cible pour la pulvérisation d'un matériau. Généralement, la membrane est réalisée au moyen d'un seul matériau. Selon l'invention, on a voulu réaliser un nouveau type de cathode dont le refroidisseur présente des propriétés particulièrement intéressantes. Selon l'invention, la cathode présente un support de cible constitué par un refroidisseur qui comprend une embase support sur laquelle est superposé un cadre délimitant au moins un espace vide pour la circulation d'un fluide de refroidissement, ledit cadre recevant en superposition une membrane, l'embase, le cadre et la membrane étant assemblés, ensemble, en périphérie. Avantageusement, la membrane est composée d'au moins deux matériaux superposés. Compte tenu de la fonction que doit remplir la membrane, en vue notamment du refroidissement et de la coopération avec la cible, l'un des matériaux fait office de structure est sélectionné pour accepter une déformation élastique, tandis que l'autre est sélectionné pour accepter une déformation plastique afin d'épouser la surface de la cible de pulvérisation montée en combinaison avec la membrane. Compte tenu du problème posé d'assurer la circulation d'un fluide de refroidissement, dans une forme de réalisation, l'un des côtés au moins du cadre, présente, dans le même plan, au moins un bras pour délimiter des canaux de circulation du fluide de refroidissement. Comme indiqué, l'invention, trouve une application particulièrement avantageuse dans le cas d'une cathode de pulvérisation sous vide comprenant une cible montée sur l'ensemble d'un refroidisseur à membrane. Un autre problème que se propose de résoudre l'invention est d'assurer, d'une manière simple, sure et efficace et rapide, la fixation de la cible, et de pouvoir la changer très facilement. En effet, selon l'état antérieur de la technique, les moyens de fixation de la cible ne permettent pas sa manipulation et son interchangeabilité aisée. Le plus souvent, la cible est fixée au moyen d'une pluralité de vis disposées périphériquement. Si l'on considère le nombre de vis très important nécessaires pour assurer la fixation de la cible, il est évident que le temps du montage et du démontage est particulièrement long. Par ailleurs, des risques de grippage peuvent apparaître. On a également proposé d'assurer la fixation de la cible au moyen d'un bridage facial, en combinaison avec des vis. Cette solution n'est toujours pas satisfaisante, étant donné que là encore se sont les vis qui participent directement au serrage ensemble de la cible. Pour résoudre le problème posé d'assurer la fixation de la cible de manière rapide et efficace, en permettant par conséquent son démontage et remontage rapide, en vue de son remplacement, la cathode est rendue solidaire d'un cadre délimitant un espace fermé pour le positionnement et le centrage de la cible; ledit cadre présente périphériquement un rebord d'accrochage et d'emboîtement profilé apte à coopérer avec un ensemble d'éléments de pincement indépendants présentant des formes d'accrochage complémentaires aptes à autoriser un effet de basculement desdits éléments résultant d'une action de serrage exercée sur des organes engagés dans l'épaisseur des éléments en appui sur une partie du rebord d'accrochage du cadre, de sorte que sous ledit effet de basculement une partie des formes d'accrochage de l'ensemble d'éléments de pincement prend appui facialement sur le bord périphérique de la cible en vue de sa fixation. L'invention est exposée ci-après plus en détail à l'aide des figures des dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue en perspective, avant montage, des principaux éléments de la cathode, selon l'invention; la figure 2 est une vue en perspective correspondant à la figure 1, après assemblage des différents éléments; - la figure 3 est une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 3-3 de la figure 2; - la figure 4 est une vue partielle, à très grande échelle, montrant la structure interne de la membrane en tant que telle; - la figure 5 est une vue en plan d'une partie de cathode de pulvérisation, avant mise en place des éléments de pincement pour la fixation de la cible; - la figure 6 est une vue correspondant à la figure 1 après mise en place des éléments de pincement; - la figure 7 est une vue en coupe illustrant la réalisation et l'application de la cathode avant serrage de la cible; - la figure 8 est une vue correspondant à la figure 3 après serrage de la cible; - la figure 9 est une vue partielle en perspective montrant les profils en section du support à membrane et des éléments de pincement. Comme le montre la figure 1, la cathode, selon l'invention, est composée d'une embase support (3) présentant tout type d'agencement pour la circulation d'un fluide de refroidissement avec une entrée (E) et une sortie (S). L'embase (3), par exemple de forme générale parallélépipédique, reçoit, en superposition, une plaque (11) convenablement découpée pour constituer un cadre délimitant au moins un espace vide (1 la) pour la circulation du fluide de refroidissement. L'un des côtés au moins du cadre (11) présente, dans le même plan, au moins un bras (1 lb) pour délimiter des canaux de circulation du fluide de refroidissement. Ce cadre (11) reçoit, en superposition, une membrane (4). L'embase (3), le cadre (11) et la membrane (4) sont assemblés ensemble, au niveau de leur périphérie. Par exemple, cette liaison s'effectue au moyen d'une soudure traversante (ST). Selon une autre caractéristique, la membrane (4) est composée d'au moins deux couches (4a) et (4b) de matériaux différents. La couche (4b), disposée du côté du cadre (11) qui fait office de structure, est réalisée dans un matériau sélectionné pour accepter une déformation élastique. L'autre couche (4a) est réalisée dans un matériau sélectionné pour accepter une déformation plastique, afin d'épouser la surface d'une cible de pulvérisation (2) (tracé traits interrompus, figure 3). Ainsi, l'invention trouve une application avantageuse dans le domaine de la pulvérisation cathodique sous vide au moyen d'une cible. Suivant une autre caractéristique, l'ensemble du support (3), du cadre (11) et de la membrane (4), est rendu solidaire d'un cadre (5) délimitant un espace fermé (6) pour le positionnement et le centrage de la cible (2). Par exemple, lorsque la cible (2) a une forme générale rectangulaire, le cadre (5) peut être réalisé à partir de 4 profils rectilignes (5A) (5B) (5C) (5D) découpés et assemblés pour constituer un cadre fermé. Le cadre (5), ainsi réalisé, est fixé par exemple au moyen de vis (7) dans l'épaisseur du support à membrane (3) - (4) et la culasse (1). Le cadre (5) présente périphériquement un rebord d'accrochage et d'emboîtement profilé (5d) apte à coopérer avec un ensemble d'éléments de pincement (8) présentant des formes d'accrochage complémentaires (8a). Les profils d'accrochage (5d) et les formes complémentaires (8a) sont conformées en section pour autoriser un effet de basculement des éléments de pincement (8) résultant d'une action de serrage exercée sur des organes (9) engagés dans l'épaisseur desdits éléments (8) et en appui sur une partie du rebord d'accrochage du cadre (7). Sous l'effet de basculement, une partie des formes d'accrochage (8a) de l'ensemble des éléments de pincement (8) prend appui facialement sur le bord périphérique de la cible (2) en vue de sa fixation comme indiqué ci-après. La figure 9 montre une réalisation avantageuse du profil en section du rebord d'accrochage (5d) du cadre (5), et les formes d'accrochage complémentaires (8a) des éléments de pincement (8). Le rebord d'accrochage et d'emboîtement (5d) est constitué par un profil rectiligne déporté (5dl) délimitant une rainure rectiligne (5d2). Le profil rectiligne (5dl) est raccordé à une face d'appui (5d3) par une face inclinée (5d4). Les formes complémentaires des éléments de pincement (8) sont constituées par une gorge rectiligne (8al) qui est apte à être engagée sur le profil rectiligne déporté (5dl) du cadre (5). La gorge rectiligne (8al) délimite un bec (8a2) coopérant avec une rainure (5d2). Le bec (A2) est établi en débordement d'une face d'appui inclinée (8a3) destinée à coopérer avec le rebord périphérique de la cible (2). Après imbrication de la section transversale des éléments de pincement (8) dans les profils d'accrochage et d'emboîtement du cadre (5), (engagement du bec (8a2) dans la rainure (5d2) du profil (5d) dans la gorge (8al)), il suffit d'agir sur les organes (9) pour créer l'effet de basculement des éléments de pincement (8). Dans ce but, les organes (9) sont constitués par des vis de pression intégrées dans l'épaisseur des éléments (8), sous les formes d'accrochage (8a), et en appui au niveau de la face inclinée de raccordement (5d4) du cadre (5). La figure 3 montre les éléments (8) avant serrage des vis de pression (9), tandis que la figure 4 montre les éléments (8) après serrage desdites vis de pression (9). On voit qu'après l'action de serrage, la face inclinée (8a3) est en appui sur le bord périphérique de la cible (2). Comme le montrent les figures 5 et 6, les éléments de pincement (8) sont convenablement découpés pour constituer, après assemblage en juxtaposition, un cadre périphérique fermé entourant et enfermant totalement les 4 côtés de la cible (2) en délimitant une zone centrale libre pour la pulvérisation. Autrement dit, après assemblage, les éléments (8) reproduisent la même forme géométrique que celle du cadre (5). Compte tenu de l'imbrication des formes des profils d'accrochage des éléments (8) et du cadre (5), les différents éléments (8) sont indépendants les uns des autres. Certains présentent au moins un bord biseauté pour former les angles, tandis que d'autres sont droits pour être insérés par glissement entre deux éléments notamment, préalablement positionnés par rapport au cadre (5). Dans l'exemple illustré, les éléments de pincement (8) sont constitués de deux éléments (8A) et (8B) correspondant aux deux petits côtés du cadre, ces deux éléments (8A) (8B) étant biseautés à chacune de leurs extrémités, de quatre éléments (8C) biseautés à l'une de leur extrémité pour être positionnés en relation avec les éléments (8A) et (8B) et enfin de deux éléments (8D) destinés à être insérés, après montage de deux éléments (8C) considérés du même côté du cadre. Compte tenu de ces dispositions, il apparaît que le montage et démontage de la cible (2) est particulièrement simple et rapide. En effet, il suffit de démonter les éléments de pincement (8) en desserrant les vis de pression (9). De la même façon la mise en place d'une nouvelle cible (2) s'effectue très rapidement. Après l'avoir positionnée à l'intérieur du cadre (7), il suffit de remettre en place, comme indiqué, les éléments de pincement (8) et de serrer les vis de pression (9) de manière à provoquer le basculement desdits éléments (8). Il apparaît donc que ce sont les profils conjugués des éléments de pincement (8) et du cadre (5), qui assurent la fixation de la cible et non pas des vis de serrage. Selon une caractéristique importante de l'invention, l'ensemble de la cathode telle que définie selon les caractéristiques de l'invention, est montée au niveau de la culasse (1), sur une partie de la machine agencée pour être facilement extractable. Cette partie de la machine peut avantageusement être constituée par une porte (10). A noter que les éléments de pincement (8) sont, ou non, dans le même matériau que celui de la cible de pulvérisation. Les avantages ressortent bien de la description. REVENDICATIONS -1- Cathode pour pulvérisation sous vide dont le support de cible (2) est constitué par un refroidisseur, caractérisée en ce qu'elle comprend une embase support (3) sur laquelle est superposé un cadre (I1) délimitant au moins un espace vide (la) pour la circulation d'un fluide de refroidissement, ledit cadre (11) recevant en superposition une membrane (4), l'embase (3), le cadre (11) et la membrane (4) étant assemblés ensemble en périphérie. -2- Cathode selon la revendication 1, caractérisée en ce que la membrane (4) est composée d'au moins deux matériaux superposés (4a) et (4b). -3- Cathode selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'un des matériaux (4b) fait office de structure et est sélectionné pour accepter une déformation élastique, tandis que l'autre (4a) est sélectionné pour accepter une déformation plastique afin d'épouser la surface de la cible de pulvérisation (2) montée en combinaison avec la membrane (4). -4- Cathode selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'un des côtés au moins du cadre (11), présente, dans le même plan, au moins un bras (1 lb) pour délimiter des canaux de circulation du fluide de refroidissement. -5- Cathode selon l'une quelconque des revendications 1 et 3, caractérisée en ce que l'ensemble du support (3) du cadre (11) et de la membrane (4), est rendu solidaire d'un cadre (5) délimitant un espace fermé (6) pour le positionnement et le centrage de la cible (2); ledit cadre (5) présentant périphériquement un rebord d'accrochage profilé (5d) apte à coopérer avec un ensemble d'éléments indépendants de pincement (8) présentant des formes d'accrochage complémentaires (8a) aptes à autoriser un effet de basculement desdits éléments (8) résultant d'une action de serrage exercée sur des organes (9), engagés dans l'épaisseur des éléments, et en appui sur une partie du rebord d'accrochage du cadre (5), de sorte que sous ledit effet de basculement une partie des formes d'accrochage de l'ensemble d'éléments de pincement (8), prend appui facialement sur le bord périphérique de la cible (2) en vue de sa fixation. -6- Cathode selon la revendication 5, caractérisée en ce que l'ensemble des éléments de pincement (8) sont convenablement découpés pour constituer, après assemblage en juxtaposition, un cadre périphérique fermé entourant et enfermant totalement les quatre côtés de la cible (2) en délimitant une zone de centrage libre pour la pulvérisation. -7- Cathode selon la revendication 6, caractérisée en ce que certains des éléments (8) présentent au moins un bord biseauté pour former les angles tandis que d'autres sont droits pour être insérés par glissement, entre deux éléments d'angle notamment, préalablement positionnés par rapport au cadre. -8- Cathode selon la revendication 5, caractérisée en ce que les rebords d'accrochage et d'emboîtement du cadre (5) sont constitués par un profil rectiligne déporté délimitant une rainure rectiligne (5d2). -9- Cathode selon l'une quelconque des revendications 5 et 8, caractérisée en ce que les formes complémentaires d'accrochage des éléments de pincement (8), sont constituées par une gorge rectiligne (8al) coopérant avec le profil rectiligne déporté du cadre (5) et délimitant un bec coopérant avec la rainure (5d2) pour provoquer l'effet de basculement sous l'action de serrage. -10- Cathode selon la revendication 5, caractérisée en ce que l'ensemble du support à membrane (3), (11), (4) est monté sur une partie de la machine agencée pour être facilement extractable, sous forme notamment d'une porte.