Brevet FR2838522A1 — publié le 20031017

La présente invention concerne les capteurs inertiels, notamment les accéléromètres et les gyromètres. L'invention concerne plus particulièrement les capteurs comprenant une cellule sensible comportant une plaque dans laquelle sont délimités une partie formant un organe support et au moins un élément vibrant associé à des moyens d'excitation. Les moyens d'excitation permettent de faire vibrer l'élément vibrant et de détecter la fréquence de vibration de celui-ci. Dans le cas d'un accéléromètre, un élément inertiel est relié à l'élément vibrant. Cet élément inertiel est une masse elle-même délimitée dans la plaque et mobile par rapport à l'organe support. Lorsque le capteur est soumis à une accélération, la masse exerce une force sur l'élément vibrant. Cette force modifie la fréquence de vibration de telle manière que la variation de la fréquence de vibration de l'élément vibrant permet de déterminer l'accélération à laquelle le capteur est soumis. Toutefois, on s'est aperçu que des variations de température provoquaient également des variations de la fréquence de vibration de l'élément vibrant. Pour obtenir une mesure précise d'accélération, il est donc nécessaire de déterminer l'influence respective de l'accélération et de la température dans la variation de la fréquence de vibration. Pour ce faire, il est connu d'associer un capteur de température au capteur d'accélération. Cependant, du fait de la compacité des capteurs d'accélération du type précité, les capteurs de température connus doivent être montés séparés de la cellule sensible. Or, il s'avère que, d'une part, le gradient de température régnant à l'intérieur du capteur et, d'autre part, le décalage temporel entre une variation de température de la sonde et la température de l'élément vibrant sont trop importants pour que la température mesurée permette de déterminer de façon fiable l'influence de la température dans la variation de la fréquence de vibration. Un but de l'invention est de fournir un capteur minimisant les erreurs dues à des variations de température. En vue de la réalisation de ce but, on prévoit, selon l'invention, un capteur inertiel qui comporte une plaque dans laquelle sont délimités une partie formant un organe support et au moins un élément vibrant porté par l'organe support et sensible à des mouvements auxquels le capteur est soumis, et une sonde de température comportant une piste conductrice fixée sur la plaque et ayant une résistance qui varie en fonction d'une température ambiante. Ainsi, la température peut être déterminée de fa- çon précise, au plus près de l'élément vibrant à partir de la mesure de la résistance de la piste conductrice puis être prise en compte pour déterminer de façon fiable la part respective de la température et du mouvement du capteur dans la variation de la fréquence de vibration de l'élément vibrant. De préférence, la sonde de température s'étend de façon symétrique par rapport à l'élément vibrant. On minimise ainsi les erreurs pouvant résulter d'un gradient de température à l'intérieur du capteur. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront à la lecture de la description qui suit d'un mode de réalisation particulier non limitatif de l'invention. Il sera fait référence aux dessins annexés, parmi lesquels : - la figure 1 est une vue de dessus d'un capteur d'accélération conforme à l'invention, - la figure 2 est une vue analogue à la figure 1 d'un capteur d'accélération selon une variante de réali- sation. En référence à la figure 1, le capteur d'accélération comporte une plaque généralement désignée en 1 en quartz piézo-électrique dans laquelle sont délimités de manière connue en elle-même une partie formant organe support 2 destinée à être fixée dans un boîtier, un cadre de découplage 3 ayant un côté solidaire de l'organe support 2 et un côté opposé relié à une masse 4, une masse 5 reliée à la masse 4 par des charnières 6, et un élément vibrant 7 ayant des extrémités solidaires des masses 4,5. Les charnières 6 sont formées par des pattes déformables formées dans la plaque 1 et ont des axes compris dans le plan de la figure de sorte que la direction sensible du capteur est quasi normale à ce plan. Le capteur comprend un circuit 8 d'excitation piézo-électrique de l'élément vibrant 7 qui est symbolisé sur la figure par un trait mixte et qui est agencé de fa- çon connue en soi pour, d'une part, mettre en vibration l'élément vibrant 7 selon une fréquence déterminée et, d'autre part, détecter les variations de la fréquence de vibration de l'élément vibrant 7. Le circuit 8 s'étend sur une face 9 de la plaque 1 et comporte des bornes 8' de liaison à un module électronique (non représenté) de commande du capteur. Le capteur comprend également une sonde de température qui comporte une piste conductrice 10, symbolisée sur la figure par un trait fort, qui dans cet exemple de réalisation s'étend sur la face 9 de la plaque 1 au niveau de l'organe support 2. La piste conductrice 10 est réalisée en un matériau dont la conductivité varie en fonction des variations de température, en l'occurrence de l'or ou un alliage d'or. Si nécessaire, la piste conductrice 10 comprend des portions sinueuses afin que la piste conductrice ait une longueur compatible avec la résistance ap- propriée pour un bon fonctionnement de l'électronique de mesure et de calcul de la compensation thermique correspondante. De préférence, la piste conductrice 10 est symétrique par rapport à l'élément vibrant pour que l'erreur de mesure de la température soit minimisée dans le cas d'un gradient de température à l'intérieur du boîtier du capteur. La piste conductrice 10 comporte des bornes 10' de liaison au module électronique de commande du capteur. Le circuit 8 et la piste conductrice 10 sont ici dans le même de métal et peuvent être réalisés soit par dépôt localisé de métal sur la plaque 1 pour former le circuit 8 et la piste conductrice 10, soit en recouvrant les faces de la plaque 1 d'une couche métallique puis en attaquant ou gravant celle-ci selon des techniques connues en elles-mêmes pour former le circuit 8 et la piste conductrice 10. Le module de commande du capteur est agencé pour, d'une part commander le circuit d'excitation 8 et traiter l'information relative à la fréquence de vibration de l'élément vibrant 7 et, d'autre part, pour déterminer la température à partir de la résistance de la piste conductrice 10 afin de distinguer dans la fréquence de l'élément vibrant 7 la part résultant de la température de la part résultant de l'effort exercé sur l'élément vibrant 7 par la masse 6 soumise à une accélération. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée au mode de réalisation décrit et on peut y apporter des variantes de réalisation sans sortir du cadre de l'invention tel que défini par les revendications. En particulier, l'invention s'applique à tous les capteurs à élément vibrant. Ainsi, bien que le capteur décrit soit réalisé à partir d'une plaque de quartz et mette en #uvre l'effet piézo-électrique, le capteur peut être réalisé à partir d'une plaque de silicium dont l'élément vibrant est excité de façon capacitive, magnétique, thermoélectrique ou autre. Le mode de fabrication d'un tel capteur est analogue à celui décrit ci-dessus. Bien que le capteur ait été décrit avec un élément inertiel se présentant sous forme d'une masse 5 pour réaliser un accéléromètre, la sonde de température selon l'invention peut être utilisée en relation avec n'importe quel élément inertiel, par exemple un gyromètre pour réaliser un capteur de rotation. De même, bien que l'invention ait été décrite selon un mode de réalisation dans lequel l'élément vibrant a une extrémité reliée à l'organe support par l'intermédiaire d'une masse et d'un cadre de découplage, l'invention s'applique à tout montage de l'élément vibrant, par exemple aux capteurs ayant des éléments vibrants associés pour former un diapason. Dans le cas où plusieurs capteurs d'accélération sont délimités dans la même plaque, une piste conductrice de mesure de température peut être associée à chaque capteur ou à des groupes de plusieurs capteurs. L'information fournie par la ou les sondes de températures peut être utilisée en combinaison avec les fréquences de résonance des éléments vibrants pour calculer de manière précise la température de l'un au moins des éléments vibrants. Bien que la piste conductrice formant la sonde de température ait été illustrée sur la figure 1 selon une disposition sur la même face 9 de la plaque 1 que le circuit d'excitation, ce qui en facilite la fabrication, la sonde de température peut être disposée sur la face 9' de la plaque 1 opposée à la face 9 comme sur la variante de la figure 2. Ceci permet de disposer la sonde de température plus près encore de l'élément vibrant 7. Ainsi la piste conductrice 10 s'étend sur l'organe support 1, le cadre de découplage 3 et les masses 4 et 5. On notera que la piste conductrice 10 possède ici une portion large 10. 1 (symbolisée par un trait épais) qui s'étend sur l'organe support 2 et le cadre de découplage 3 et une portion étroite 10.2 (symbolisée par un trait fin) qui s'étend sur les masses 4 et 5. La portion étroite 10. 2 a ainsi une résistance plus grande que la portion large 10. 1 de sorte que les variations de résistance en fonction de la température sont plus importantes sur la portion étroite 10. 2. De la sorte, la température a proximité de l'élément vibrant 7 est privilégiée dans la mesure réalisée. On peut également avoir une ou des portions de largeur non constante sur les masses, l'organe support ou le cadre de découplage. Pour avoir une portion agencée pour présenter une plus forte résistance, on peut également, d'une manière générale, diminuer la section transversale de cette portion (par exemple en diminuant l'épaisseur de cette portion) ou utiliser un métal de conductivité différente, par rapport à celle des autres portions de la piste conductrice. REVENDICATIONS 1. Capteur inertiel comportant une plaque (1) dans laquelle sont délimités une partie formant un organe support (2) et au moins un élément vibrant (7) porté par l'organe support et sensible à des mouvements auxquels le capteur est soumis, caractérisé en ce que le capteur comprend une sonde de température comportant une piste conductrice (10) fixée sur la plaque et ayant une résistance qui varie en fonction d'une température ambiante. 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la sonde de température (10) s'étend de façon symétrique par rapport à l'élément vibrant (7). 3. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la piste conductrice (10) comprend une portion (10. 2) agencée pour présenter une plus forte résistance au voisinage de l'élément vibrant (7). 4. Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que cette portion (10. 2) présente une section transversale réduite. 5. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plaque est en matière piézo-électrique et les moyens d'excitation comprennent un circuit d'excitation (8) s'étendant sur une face (9) de la plaque et en ce que la sonde de température (10) s'étend sur la face (9) de la plaque (1) portant le circuit d'excitation (8) . 6. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plaque est en matière piézo-électrique et les moyens d'excitation comprennent un circuit d'excitation (8) s'étendant sur une face (9) de la plaque et en ce que la sonde de température (10) s'étend sur la face opposée (9') de la plaque (1) portant le circuit d'excitation (8). 7. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la sonde de température (10) et le circuit d'excitation (8) sont formés dans un même métal.