Brevet FR2842274A1 — publié le 20040116

La présente invention concerne des vannes pour la manipulation de fluides utilisées pour distribuer des liquides et, plus particulièrement, des vannes de manipulation de fluides qui sont spécialement conçues pour distribuer, de façon répétée, des volumes précis de liquides chimiquement agressifs et/ou chimiquement purs sans dégrader ou autrement affecter de façon nuisible les liquides ou le produit manufacturé. Les vannes de manipulation de fluides, par exemple les vannes de distribution de fluides, sont utilisées dans des applications dans lesquelles les parties internes des vannes sont soumises à des liquides acides ou caustiques corrosifs, ou dans lesquelles la pureté des liquides qui s'écoulent au travers des vannes doit être maintenue. Un exemple d'une telle application est l'industrie de la fabrication des semi- conducteurs o le produit chimique de traitement distribué via une telle vanne doit conserver un grand degré de pureté chimique pour éviter toute contamination qui pourrait se produire à l'échelle microscopique, et qui est connue pour endommager le produit manufacturé, par exemple une plaquette de semi-conducteur. Il est également souhaité que, au cours de certaines étapes du procédé, une quantité précise du produit chimique de traitement soit déposée sur le produit. Il est donc important qu'une vanne de distribution utilisée pour mettre en oeuvre une telle fonction soit capable de distribuer de façon répétée un volume précis du liquide de traitement sans faire goutter un excès de liquide sur le produit une fois la vanne fermée. Il est cependant connu dans l'industrie que les vannes de distribution utilisées pour mettre en oeuvre cette fonction ne cesse pas toujours de libérer du liquide une fois la vanne fermée. Par exemple, les vannes de distribution classiques utilisées dans cette application sont connues pour laisser caviter et/ou suinter un petit volume de liquide une fois la vanne fermée. Ce volume supplémentaire de liquide est soit distribué par la vanne sur le produit, fournissant un excès indésirable de liquide délivré, soit retenu au sein de l'orifice de sortie de la vanne ou du dispositif ultime de distribution, par exemple un conduit ou une buse. Dans le cas o l'excès de liquide est retenu dans la vanne, cette situation constitue également un problème car le liquide peut sécher au voisinage de la pointe du dispositif ultime de distribution. La portion séchée de liquide peut ensuite être distribuée sur un produit la prochaine fois qu'un volume du liquide de traitement sera distribué par la vanne de distribution. On sait que la distribution d'une telle portion séchée de liquide sur le produit peut l'endommager et elle n'est donc pas souhaitée. Il est donc souhaitable de concevoir une vanne de distribution de manière à maîtriser et/ou éliminer la possibilité d'une cavitation du liquide et/ou d'un suintement du liquide en excès et/ou d'une distribution une fois que la vanne a été fermée. Il est également souhaitable qu'une telle vanne de distribution soit configurée pour permettre son fonctionnement avec des liquides chimiquement agressifs et/ou chimiquement purs sans dégradation ou autre effet qui pourrait introduire du matériau contaminant dans le liquide. Il est en outre souhaitable qu'une telle vanne de distribution soit construite d'une manière qui réduise le nombre de trajets de fuite possible de liquide à travers elle, réduisant ainsi la possibilité de fuite de produit chimique vers l'environnement. Les vannes de distribution anti-pompage, construites selon les principes de la présente invention, peuvent être configurées selon au moins deux formes d'exécution. Une vanne de distribution selon une première forme d'exécution comprend un logement de transport de fluide ayant des passages d'entrée et de sortie de fluide, et une chambre de transport de fluide interposée entre eux. La première chambre de transport de fluide inclut un siège de vanne. Un logement d'actionneur est fixé au logement de transport de fluide et il inclut une chambre d'actionneur interne qui est en contact avec la chambre de transport de fluide. Un ensemble à diaphragme et clapet est disposé au sein de la chambre de transport de fluide et il inclut un clapet qui est positionné en aval du siège pour venir se placer contre celui-ci et maîtriser l'écoulement de fluide au travers de la vanne. Le clapet est intentionnellement placé en aval du siège pour que le mouvement d'actionnement nécessaire à la mise en place du clapet contre le siège provoque une augmentation de volume de cette portion du logement de transport de fluide en aval du siège. Cette augmentation de volume lors de la fermeture de la vanne agit pour provoquer un léger effet de succion au sein de la portion de la vanne en aval du siège de vanne, servant ainsi à retenir au sein de la vanne tout liquide non distribué. Une vanne de distribution selon une seconde forme d'exécution comprend un logement de transport de fluide ayant un passage d'entrée de fluide s'étendant jusque dans le logement, un passage de sortie de fluide s'étendant hors du logement, et des première et seconde chambres de transport de fluide montées en série et disposées dans le logement. La seconde chambre de transport de fluide est positionnée en aval de la première chambre de transport de fluide, et la première chambre de transport de fluide inclut un siège de vanne. Un logement d'actionneur est fixé au premier logement de transport de fluide et il inclut des première et seconde chambres d'actionneur qui sont en contact avec les première et seconde chambres de transport de fluide respectives. Un ensemble à diaphragme et clapet est disposé au sein de la première chambre de transport de fluide et il comprend un clapet positionné en aval du siège de vanne pour venir se placer contre le siège pour maîtriser l'écoulement du fluide au travers de la première chambre de transport de fluide. Des moyens sont disposés au sein de la seconde chambre de transport de fluide pour modifier le volume de la seconde chambre de transport de fluide, par exemple en augmentant le volume de la seconde chambre de transport de fluide. Un moyen actionneur est disposé au sein de chacune des première et seconde chambres d'actionneur pour déplacer l'ensemble à diaphragme et clapet respectif et les moyens pour faire changer le volume. Les vannes de distribution selon l'invention sont appelées vannes "antipompage" car le mouvement de fermeture du clapet (dans la vanne de distribution de la première forme d'exécution) et le mouvement combiné du clapet et du moyen de commande du volume (dans la vanne de distribution de la seconde forme d'exécution) ne fonctionnent pas pour pousser ou "pomper" un volume additionnel et indésirable de liquide depuis la vanne après qu'elle a été fermée. Au lieu de cela, le clapet et/ou le moyen de commande du volume opèrent chacun pour créer un léger vide au sein des passages d'écoulement du fluide des vannes respectives pour retenir ou refouler dans la vanne tout liquide non distribué. Ce fonctionnement est souhaitable car il élimine et/ou réduit grandement la possibilité d'une contamination du produit via une distribution non souhaitée de liquide en excès ou de liquide résiduel séché. Plus particulièrement, l'invention concerne une vanne de distribution comprenant: - un logement de transport de fluide ayant un passage d'entrée de fluide s'étendant jusque dans le logement, un passage de sortie de fluide s'étendant hors du logement, et une chambre de transport de fluide disposée au sein du logement et en communication de fluide avec les passages d'entrée et de sortie de fluide; - un siège de vanne d'un seul tenant avec la chambre de transport de fluide et interposé entre le passage d'entrée de fluide et le passage de sortie de fluide; - un ensemble à diaphragme et clapet, en une seule pièce, disposé au sein de la chambre de transport de fluide, comprenant: une tête de clapet nonperforée au niveau d'une extrémité axiale de l'ensemble et positionnée au sein de la chambre de transport de fluide en aval du siège de vanne pour venir se placer contre le siège et interrompre l'écoulement de fluide au travers de la chambre de transport de fluide et un diaphragme flexible au niveau d'une extrémité axiale opposée et s'étendant radialement vers l'extérieur depuis l'ensemble; - un logement d'actionneur fixé au logement de transport de fluide et incluant un ensemble de piston d'actionneur disposé en son sein et qui est en contact avec l'ensemble à diaphragme et clapet pour déplacer l'ensemble à diaphragme et clapet au sein de la chambre de transport de fluide; et - des moyens pour régler la longueur de la course de l'ensemble de piston d'actionneur disposés au sein du logement d'actionneur. L'ensemble de piston d'actionneur peut comprendre - un piston disposé au niveau d'une extrémité axiale du logement d'actionneur, le piston étant mobile axialement au sein du logement d'actionneur; - un presse-étoupe annulaire disposé au niveau d'une extrémité axiale opposée du logement d'actionneur adjacente au logement de transport de fluide; et - un ressort interposé axialement entre le piston et le presse-étoupe. L'ensemble de piston d'actionneur peut comprendre, en outre, des moyens pour connecter le piston à l'ensemble à diaphragme et clapet. Dans une forme d'exécution, le moyen de connexion est un arbre commun. Plus précisément, l'ensemble de piston d'actionneur peut comprendre un arbre qui est disposé au travers du logement d'actionneur et le moyen de réglage peut comprendre un mécanisme à détente disposé au sein du logement d'actionneur et qui est configuré pour coopérer avec l'arbre. La vanne de distribution selon l'invention peut comprendre, en outre, une autre chambre de transport de fluide disposée au sein du logement de transport de fluide, positionnée en aval du siège de vanne, la seconde chambre de transport de fluide comprenant, en son sein, un moyen pour augmenter le volume de la seconde chambre de transport de fluide en réponse au mouvement de l'ensemble à diaphragme et clapet. La vanne de distribution peut comprendre, de plus, un autre ensemble actionneur disposé au sein du logement d'actionneur et placé en contact avec le moyen pour augmenter le volume, et le moyen pour augmenter le volume pouvant comprendre un diaphragme qui est positionné entre le siège de vanne et le passage de sortie de fluide. Dans une forme d'exécution, l'autre ensemble actionneur peut être configuré pour fournir une longueur de course qui est différente de celle de l'ensemble à diaphragme et clapet, de telle sorte que le mouvement du diaphragme se poursuit après que le clapet est venu assurer l'étanchéité contre le siège de vanne. Définir d'une autre manière, la vanne de distribution selon l'invention comprend: - un logement de transport de fluide ayant un passage d'entrée de fluide s'étendant jusque dans le logement, un passage de sortie de fluide s'étendant hors du logement, et une première et une seconde chambres de transport de fluide disposées au sein du logement, la seconde chambre de transport de fluide étant en aval de la première chambre de transport de fluide, la première chambre de transport de fluide incluant un siège de vanne d'un seul tenant; - un logement d'actionneur fixé au logement de transport de fluide et incluant une première et une seconde chambres d'actionneur en contact avec les première et seconde chambres de transport de fluide respectives; - un ensemble à diaphragme et clapet disposé au sein de la première chambre de transport de fluide, et comprenant un clapet positionné en aval du siège de vanne pour venir se placer contre le siège et interrompre l'écoulement de fluide au travers de la première chambre de transport de fluide; - un moyen disposé dans la seconde chambre de transport de fluide pour faire varier le volume de la seconde chambre de transport de fluide en réponse au mouvement du clapet; et - des moyens actionneurs disposés dans chacune des première et seconde chambres d'actionneur pour déplacer l'ensemble à diaphragme et clapet respectif et les moyens de variation du volume. La vanne peut comprendre, en outre, des moyens de commande du mouvement relatif de chaque moyen actionneur au sein de sa première ou seconde chambre d'actionneur respective. Les moyens de commande peuvent comprendre une paire de mécanismes à détente, dont chacun est disposé au sein du logement d'actionneur, et dont chacun est configuré pour réaliser un contact avec une portion de chacun des moyens actionneurs respectifs pour commander une longueur de course de chacun des moyens actionneurs. Dans une forme d'exécution, les moyens de commande agissent à la fois pour fournir un mouvement aux moyens actionneurs utilisés pour déplacer l'ensemble à diaphragme et clapet pour faire que le clapet vienne assurer l'étanchéité contre le siège de vanne, et pour fournir le mouvement aux moyens actionneurs utilisés pour déplacer les moyens de variation de volume pour provoquer une augmentation de volume dans la seconde chambre de transport de fluide après que le clapet est venu assurer l'étanchéité contre le siège de vanne. Les moyens actionneurs peuvent comprendre un premier ensemble actionneur et un second ensemble actionneur, chacun des premier et second ensembles actionneurs formant un joint étanche aux fuites au sein, respectivement, de la première et de la seconde chambres d'actionneur pour faciliter le mouvement d'actionnement par des moyens pneumatiques, chacun des premier et second ensembles actionneurs étant sollicité, à l'état non-activé, par des ressorts qui sont disposés dans chacune des première et seconde chambres d'actionneur. L'ensemble à diaphragme et clapet peut comprendre un diaphragme mobile disposé au niveau d'une extrémité axiale opposée au clapet, le diaphragme mobile incluant une bride positionnée le long d'un bord périphérique de diaphragme, laquelle bride assure l'étanchéité avec le logement de transport de fluide. De préférence, l'ensemble à diaphragme et clapet est une construction en une pièce et le clapet est non-perforé. En pratique, l'ensemble à diaphragme et clapet peut être monté fixe sur un moyen actionneur respectif. Les moyens de variation de volume peuvent comprendre un diaphragme mobile disposé au sein de la seconde chambre de transport de fluide et qui a une bride positionnée le long d'un bord périphérique, laquelle bride forme un joint étanche avec le logement de transport de fluide. Définie encore d'une autre manière, la vanne de distribution selon l'invention comprend: - un logement de transport de fluide ayant une première et une seconde chambres de transport de fluide interposées entre un passage d'entrée de fluide dans le logement et un passage de sortie de fluide hors du logement, la seconde chambre de transport de fluide étant en aval de la première chambre de transport de fluide et en communication de fluide avec elle, la première chambre de transport de fluide incluant un siège de vanne interposé entre le passage d'entrée de fluide et la seconde chambre de transport de fluide; - un logement d'actionneur connecté au logement de transport de fluide et comprenant une première et une seconde chambres d'actionneur connectées aux première et seconde chambres de transport de fluide respectives; - un premier ensemble actionneur disposé au sein de la première chambre d'actionneur, et en contact avec un clapet disposé au sein de la première chambre de transport de fluide en aval du siège de vanne et en état de communication interrompue hermétiquement avec le siège lorsque la vanne est mise en position fermée, - un second ensemble actionneur disposé au sein de la seconde chambre d'actionneur, et en contact avec un diaphragme mobile positionné au sein de la seconde chambre de transport de fluide, le diaphragme mobile comprenant une bride le long d'un bord périphérique, laquelle bride forme un joint étanche aux fuites avec le logement de transport de fluide, - des moyens pour commander le mouvement relatif des premier et second ensembles actionneurs au sein de leur chambres d'actionneur respectives de telle sorte qu'il en résulte une augmentation de volume de la seconde chambre de transport de fluide après que le clapet est venu assurer l'étanchéité contre le siège de vanne. Les moyens de commande du mouvement relatif peuvent comprendre une paire d'ensembles à détente qui sont disposés au sein du logement d'actionneur, et qui viennent en concordance avec une portion d'un ensemble actionneur respectif. Le clapet peut être positionné au niveau d'une extrémité axiale d'un ensemble à diaphragme et clapet comprenant un second diaphragme mobile disposé au niveau d'une extrémité axiale opposée, le second diaphragme incluant une bride le long d'un bord périphérique, bride qui forme un joint étanche aux fuites avec le logement de transport de fluide. Là encore, de préférence, l'ensemble à diaphragme et clapet est une construction en une pièce et le clapet est non perforé. Dans une forme d'exécution pratique, l'ensemble à diaphragme et clapet peut comprendre un canal creux qui s'étend partiellement et axialement au travers de l'ensemble et l'ensemble à diaphragme et clapet peur être fixé au premier ensemble actionneur par l'utilisation d'un arbre commun qui s'étend entre le premier ensemble actionneur et jusque dans le canal. Le premier ensemble actionneur peut comprendre un arbre qui s'étend axialement jusque dans le premier logement d'actionneur, un piston annulaire et un presse-étoupe de piston qui sont chacun positionnés au sein de la première chambre annulaire et disposés autour différentes sections de l'arbre, et un ressort qui est disposé au sein du premier logement d'actionneur et qui est interposé axialement entre le piston annulaire et le presse-étoupe de piston pour solliciter le clapet contre le siège de vanne. Le second ensemble actionneur peut comprendre un arbre qui s'étend axialement jusque dans le second logement d'actionneur qui est en contact, au niveau d'une de ses extrémités axiales, avec un troisième diaphragme mobile disposé au sein de la seconde chambre d'actionneur, et une tige qui est interposée axialement entre le diaphragme mobile et le troisième diaphragme mobile, la tige étant sollicitée vers la position non-activée souhaitée par un ressort positionné autour de la tige et qui est disposé au sein de la seconde chambre d'actionneur. Le logement d'actionneur peut inclure un orifice d'entrée d'air pour recevoir un courant d'air comprimé d'actionnement, et des orifices de distribution d'air dirigeant l'air d'actionnement, en parallèle, jusque dans les première et seconde chambres d'actionneur. Les première et seconde chambres de transport de fluide peuvent être connectées l'une à l'autre par un orifice de fluide intermédiaire qui s'étend au travers du logement de transport de fluide en aval du siège vers la seconde chambre de transport de fluide. Avantageusement, le clapet et le diaphragme sont chacun formés en un matériau polymère fluoré. La présente invention concerne également un procédé pour commander un liquide au sein d'une vanne de distribution, procédé qui comprend les étapes suivantes: - la fourniture d'une alimentation en liquide dans la vanne et jusque dans une première chambre de transport de fluide de vanne: - l'actionnement d'un clapet au sein de la première chambre de transport de fluide pour initier la distribution du liquide d'un côté à l'autre d'un siège de vanne, ledit clapet étant positionné en aval par rapport au siège de vanne; - le fait de diriger le liquide vers une seconde chambre de transport de fluide disposée au sein de la vanne en aval de la première chambre de transport de fluide, et la distribution du liquide depuis la vanne, la seconde chambre de transport de fluide comprenant un diaphragme disposé en son sein; - l'actionnement du clapet pour assurer l'étanchéité contre le siège de vanne pour mettre fin à la distribution du liquide depuis la première chambre de transport de fluide; et - l'actionnement du diaphragme pour augmenter le volume de la seconde chambre de transport de fluide, retenant ainsi tout liquide pas encore distribué depuis la vanne, après que la distribution depuis la première chambre de transport de fluide a cessé. Le procédé peut comprendre en outre l'étape de commande de la vitesse relative à laquelle le clapet et le diaphragme sont actionnés pour produire un mouvement successif du diaphragme par rapport au clapet. De préférence, la vitesse du diaphragme est commandée de telle sorte qu'il soit actionné à une vitesse plus lente que celle du clapet. En pratique, les étapes d'actionnement du clapet et du diaphragme peuvent être mises en oeuvre par des ensembles actionneurs séparés qui sont chacun disposés au sein d'une chambre d'actionneur respective dans un logement d'actionneur commun. Les première et seconde chambres de transport de fluide sont disposées au sein d'un logement de transport de fluide, et le clapet et le diaphragme comprennent chacun un élément formant bride qui forme un joint étanche aux fuites avec le logement de transport de fluide. Les caractéristiques, aspects et avantages de la présente invention, ainsi que d'autres, seront plus totalement compris lorsqu'examinés à la lumière de la description détaillée suivante et des revendications ci-jointes, éclairés par les dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue en perspective d'une première forme d'exécution d'une vanne de distribution construite selon les principes de la présente invention - la figure 2 est une vue latérale en coupe de la vanne de distribution de la figure 1 à l'état fermé de fonctionnement pour maîtriser le déplacement du fluide au travers de ladite vanne; - la figure 3 est une vue latérale en coupe d'un ensemble à diaphragme/clapet prise au travers de la vanne des figures 1 et 2; - la figure 4 est une vue en perspective d'une seconde forme d'exécution d'une vanne de distribution construite selon les principes de la présente invention; - la figure 5 est une vue latérale en coupe de la vanne de distribution de la figure 4 à l'état fermé de fonctionnement pour maîtriser le déplacement du fluide au travers de ladite vanne. Les vannes de distribution construites selon l'invention comprennent un ensemble diaphragme/clapet, en une pièce, qui est positionné dans un logement de vanne. L'ensemble diaphragme/clapet est configuré pour avoir un clapet positionné dans une position d'étanchéité en aval d'un siège de vanne disposé dans une chambre de transport de fluide au travers du logement. Configuré de cette manière, l'ensemble diaphragme/clapet sert à commander et/ou éliminer la cavitation et/ou le suintement indésirables de liquide depuis la vanne après qu'elle a été placée en position fermée. Les vannes de distribution selon l'invention peuvent comprendre, en plus de l'ensemble diaphragme/clapet décrit ci-dessus, un second diaphragme disposé au sein d'une seconde chambre de transport de fluide au travers du logement, en aval de l'ensemble diaphragme/clapet. Le second diaphragme est actionné en conjonction avec l'ensemble diaphragme/clapet pour augmenter le volume de la seconde chambre de transport de fluide pour retenir ainsi tout liquide en aval de l'ensemble diaphragme/clapet au sein de la vanne après que la vanne a été placée en position fermée. Les vannes de distribution selon l'invention comportent des pièces humides qui sont formée de matériaux polymères fluorés pour résister à une dégradation indésirable résultant de l'exposition à des liquides de traitement agressifs sur le plan chimique. Si l'on se réfère à la figure 1, il est représenté une première forme d'exécution d'une vanne de distribution réalisée conformément à l'invention et qui comprend un corps de vanne 12 fait, en allant du bas en haut de la Figure 1, d'une base 14, d'un logement de transport de fluide (ci-après FTH) 16 disposé sur le dessus de la base 14, et d'un logement d'actionneur 18 disposé sur le dessus du FTH 16. Des vis 20, ou autre moyen de fixation convenable, s'étendent au travers du logement d'actionneur 18 et du FTH 16, et elles sont vissées dans la base 14 pour y fixer le logement d'actionneur 18 et le FTH 16. Le FTH 16 comprend un orifice d'entrée de fluide 22 au travers de l'une de ses parois latérales, et un orifice de sortie de fluide 24 au travers d'une paroi latérale opposée. Dans une forme d'exécution de la vanne de distribution 10 à actionnement pneumatique, le logement d'actionneur 18 comprend un orifice d'entrée d'air 26 et un orifice de sortie d'air ou évent 28 s'étendant au travers de sa paroi latérale. Le FTH peut également être configuré pour avoir un orifice de détection de fuite (non représenté) s'étendant au travers de l'une de ses parois latérales pour contrôler la survenue de toute fuite de fluide au sein de la vanne de distribution. Comme illustré aux figures 2 et 3, et comme cela sera discuté avec davantage de détails ci-dessous, un ensemble diaphragme/clapet 30 est disposé au sein du FTH 16 et il inclut un diaphragme mobile 32 à l'une de ses extrémités, et un clapet non-perforé 34 à son autre extrémité. L'ensemble diaphragme/clapet est fixé à un ensemble à piston actionneur 36 qui est mis en oeuvre pour déplacer l'ensemble diaphragme/clapet axialement au sein d'une chambre de transport de fluide 38 du FTH 16. Le clapet 34 est positionné en aval d'un siège de vanne 40 placé au sein de la chambre de transport de fluide 38, et il est conçu pour interagir avec le siège de vanne pour maîtriser le déplacement du fluide au travers de la vanne. Dans une forme d'exécution préférée, la vanne de distribution est conçue pour avoir un ensemble diaphragme/clapet actionné pneumatiquement. On doit comprendre que le modèle de vanne de distribution peut être changé, sans sortir de l'esprit de l'invention, pour répondre aux besoins d'autres moyens d'actionnement d'ensemble diaphragme/clapet, par exemple des moyens d'actionnement mécaniques, électromagnétiques, hydrauliques et analogues. Si l'on se réfère à la figure 2, le FTH 16 inclut un passage d'entrée de fluide 42 qui s'étend depuis l'orifice d'entrée de fluide 22 au travers d'une portion de paroi latérale du FTH et jusque dans la chambre de transport de fluide 38. La chambre de transport de fluide 38 s'étend au travers du FTH, perpendiculairement à l'orifice d'entrée de fluide, depuis une extrémité ouverte 44 du FTH, jusqu'à une base ou extrémité fermée 46 du FTH orientée à l'opposé. La chambre de transport de fluide 38 est généralement de forme conique, ayant un diamètre allant en se réduisant depuis l'extrémité ouverte 44 vers la base 46. Cependant, on doit comprendre que cette forme varie en fonction de l'application particulière de la vanne. Le FTH 16 inclut un passage de sortie de fluide 48 qui s'étend depuis l'orifice de sortie de fluide 24 au travers d'une portion de paroi latérale du FTH à l'opposé de l'orifice d'entrée de fluide et jusque dans la chambre de transport de fluide 38. Le siège de vanne 40 est positionné au sein de la chambre de transport de fluide entre les passages d'entrée et de sortie de fluide 42 et 48. Le siège de vanne 40 est défini circonférentiellement par une section de diamètre réduit de la chambre de transport de fluide. L'extrémité ouverte 44 du FTH 16 comprend une rainure disposée circonférentiellement autour d'un bord périphérique d'une surface de FTH 52 sensiblement plate qui s'étend radialement vers l'intérieur depuis la rainure vers la chambre de transport de fluide 38. La rainure 50 est conçue pour recevoir une languette complémentaire appartenant à l'ensemble diaphragme/clapet, comme cela sera décrit avec plus de détails ci-dessous, pour réaliser entre eux un joint étanche aux fuites. Le FTH 16 peut être formé de n'importe quel type de matériau structurellement rigide. Dans une forme d'exécution formant exemple, lorsque la vanne de distribution est destinée à distribuer des produits chimiques de traitement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs, il est souhaitable que le FTH soit formé à partir d'un matériau nonmétallique pour éviter la contamination du liquide de traitement. Dans une telle application, le FTH peut être formé de matériaux de construction plastiques ou polymères classiques tels que le polypropylène et analogue. Si on le désire, le FTH peut être formé d'un matériau polymère fluoré sélectionné dans le groupe comprenant le polytétrafluoroéthylène (PTFE), l'éthylène-propylène fluoré (FEP), une résine perfluoroalkoxy-fluorocarbonée (PFA), le polychlorotrifluoroéthylène (PCTFE), un copolymère éthylènechlorotrifluoroéthylène (ECTFE), un copolymère éthylènetétrafluoroéthylène (ETFE), du poly(fluorure de vinylidène) (PVDF) , du poly(fluorure de vinyle) (PVF) et analogues. Dans une forme d'exécution préférée, le FTH est en polypropylène moulé. Du fait que la base 14 n'est pas mouillée par le liquide de traitement, elle peut être faite d'un matériau métallique et, dans une forme d'exécution préférée pour l'application à un procédé de fabrication de semi-conducteurs, elle est formée d'acier inoxydable. Le logement d'actionneur 18 est fixé à l'extrémité ouverte 44 du FTH 16. Le logement d'actionneur inclut une chambre de piston 54 qui s'étend axialement à travers elle depuis une extrémité ouverte 56, qui s'interface avec l'extrémité ouverte 44 du FTH, jusqu'à une extrémité partiellement fermée 58, disposée à l'opposé, du logement d'actionneur. Comme mentionné plus haut, le logement d'actionneur inclut, lorsqu'il est adapté à fournir un mouvement de l'ensemble à clapet actionné pneumatiquement, un orifice d'entrée d'air 26 (voir figure 1) et un orifice de sortie d'air 28 (voir figure 1) qui s'étendent, chacun, au travers d'une paroi latérale du logement d'actionneur. En outre, le logement d'actionneur peut être configuré pour fournir une détection de fuite via un orifice de détection de fuite (non représenté) s'étendant au travers de sa paroi latérale. Le chambre de piston 54, dans une forme d'exécution préférée, a une section transversale radiale circulaire et elle inclut à la fois une section d'un premier diamètre 60, qui s'étend axialement sur une distance depuis l'extrémité ouverte 56 de logement d'actionneur, et une section 62 d'un second diamètre, plus petit, qui s'étend axialement depuis la section de premier diamètre 60 jusqu'à l'extrémité partiellement fermée 58 du logement d'actionneur. La chambre de piston 54 est construite de cette manière pour loger en son sein, immobile, un presse-étoupe 64 de piston. Le logement d'actionneur 18 peut être formé à partir des mêmes types de matériaux que ceux indiqués plus haut à propos du FTH. Cependant, du fait que le logement d'actionneur n'est pas mouillé par le liquide de traitement convoyé au travers de la vanne, il peut être formé d'un matériau métallique. Dans une forme d'exécution donnée à titre d'exemple, le logement d'actionneur est en acier inoxydable. Le presse-étoupe de piston 64 est utilisé dans les applications pour lesquelles on souhaite avoir un ensemble à clapet actionné pneumatiquement pour créer une chambre de pressurisation étanche à l'air au sein de la chambre de piston. Le presse-étoupe de piston 64 a une construction annulaire en forme de beignet ayant une ouverture centrale traversante 66 s'étendant axialement pour recevoir l'ensemble de piston d'actionneur 36. Le presse-étoupe 34 inclut une surface de paroi extérieure ayant un diamètre qui est dimensionné pour pouvoir être placé au sein de la section de premier diamètre 60 de la chambre de piston. Le déplacement axial du presseétoupe du piston 64 dans la chambre de piston en direction de l'extrémité partiellement fermée 58 est empêché par l'interaction du presse-étoupe contre la section de second diamètre 62. Le presse-étoupe 64 est dimensionné axialement de telle sorte que, lorsqu'il est chargé dans la chambre de piston, il entre en contact avec une surface adjacente de l'ensemble diaphragme/clapet pour contraindre ce dernier contre le FTH 16. Le presseétoupe de piston 64, peut être formé à partir des mêmes types de matériaux que ceux indiqués plus haut à propos du FTH et, dans une forme d'exécution préférée, il est en polypropylène moulé. Le presse-étoupe de piston 64 inclut un ou plusieurs joints annulaires autour de sa surface de diamètre extérieur pour former un joint étanche aux fuites avec la surface de paroi adjacente de la chambre de piston. Dans une forme d'exécution préférée, le presse-étoupe inclut un unique joint annulaire 68 qui s'étend circonférentiellement autour du diamètre extérieur et qui est disposé dans une rainure. Le presse-étoupe de piston inclut également un joint annulaire 70 qui s'étend circonférentiellement autour de la surface de l'ouverture centrale 66 au sein d'une rainure. Le joint annulaire 70 forme un joint étanche à l'air contre l'ensemble de piston d'actionneur 36 pour faciliter le mouvement du piston actionné pneumatiquement. Les joints annulaires utilisés avec le presse-étoupe de piston sont de préférence des joints toriques formés à partir d'un matériau ayant des propriétés voulues d'élasticité. Lorsque l'on désire également une résistance aux produits chimiques, les joints toriques peuvent être faits de VitonsD ou d'autres types de matériaux fluoropolymères disponibles dans le commerce. Comme mentionné brièvement ci-dessus, l'ensemble de piston d'actionneur 36 est disposé axialement au sein de la chambre de piston 54. L'ensemble de piston d'actionneur 36 comprend un bouton 72 au niveau de son extrémité axiale qui s'étend longitudinalement au travers d'une ouverture 74 dans l'extrémité partiellement fermée 48. Le bouton comprend une tête 76 qui se projette vers l'extérieur depuis une surface supérieure du logement d'actionneur 18, et qui a un diamètre dimensionné pour être plus grand que l'ouverture 74. Le bouton 72 inclut également un arbre 78 qui s'étend axialement vers l'intérieur jusque dans le logement d'actionneur depuis la tête. L'arbre 78 est configuré pour avoir un nombre de rainures axiales 80 disposées le long de sa longueur et qui sont chacune positionnées à l'opposé de l'ouverture 74. Une rainure radiale est positionnée autour de l'arbre, adjacente axialement aux rainures 80, et elle est conçue pour recevoir un joint torique 82 aux fins de réaliser une étanchéité aux fuites entre le bouton et le logement d'actionneur. L'ensemble de piston d'actionneur peut être formé des mêmes matériaux que ceux indiqués à propos du FTH. Cependant, du fait que l'ensemble de piston d'actionneur n'est pas mouillé par le liquide de traitement distribué par la vanne, il peut être formé en un matériau métallique. Dans une forme d'exécution donnée à titre d'exemple, l'ensemble de piston d'actionneur est en acier inoxydable. Les rainures axiales 80 sont positionnées le long de l'arbre pour coopérer avec un ensemble à détente 84 qui est disposé au sein d'une ouverture pratiquée au travers d'une portion de paroi latérale du logement d'actionneur 18 perpendiculairement à l'ouverture 74. L'ensemble à détente 84 inclut une bille 86 qui est positionnée pour parcourir l'une des rainures axiales 80 de l'arbre, et elle est contrainte à une telle coopération par l'utilisation d'une vis 88 et d'un ressort 90. Les rainures axiales 80 peuvent chacune être configurées pour avoir une longueur différente de rainure aux fins de fournir une longueur de course d'arbre différente au sein du logement d'actionneur. Ainsi configuré, l'ensemble à détente 84 est utilisé pour guider et limiter le mouvement de l'arbre et de l'ensemble de piston d'actionneur au sein du logement d'actionneur. La longueur de la course de l'arbre et du piston d'actionneur est limitée par la venue en concordance de la bille de détente 86 avec les extrémités axiales opposées de la rainure. Dans le cas o une lkongueur de course différente, par exemple plus longue ou plus courte, est souhaitée, l'utilisateur peut faire tourner l'arbre de telle sorte que le mécanisme à détente coopère avec une rainure dépendante axialement différente sur l'arbre, qui est soit plus longue soit plus courte et de direction axiale. Un piston 91 est fixé à la portion de l'arbre 78 de l'ensemble de piston d'actionneur qui s'étend jusque dans la chambre de piston 54. Le piston 91 remplit généralement deux rôles. Un premier rôle du piston est de réaliser une étanchéité aux fuites avec la chambre de piston pour permettre le mouvement du piston dans la chambre par actionnement pneumatique. Un second rôle du piston est d'être en contact avec l'ensemble à diaphragme et clapet 30 pour faire que le clapet interagisse avec le joint 40 de vanne. Le piston 91 comprend une ouverture 92 disposée axialement à travers lui pour recevoir en son sein de l'arbre 78 de l'ensemble de piston d'actionneur. Le piston 91 inclut une section d'un premier diamètre 94 ayant un diamètre extérieur d'une dimension légèrement plus petite que la section 62 de la chambre de piston d'un second diamètre. La section de premier diamètre inclut un joint torique disposé circonférentiellement au sein d'une rainure qui réalise une étanchéité aux fuites entre la chambre de piston et le piston. Le piston peut être formé à partir des mêmes types de matériaux que ceux discutés ci-dessus pour le FTH. Dans une forme d'exécution donnée à titre d'exemple, le piston est en poly(difluorure de vinyle) (PVDF) moulé. Le piston 91 inclut une section 96 d'un second diamètre qui s'étend axialement sur une distance à l'écart de la section 94 de premier diamètre, et qui a une plus petite taille que la section de premier diamètre. Le piston 91 inclut, en outre, une section d'un troisième diamètre 98 qui s'étend axialement sur une distance à l'écart de la section de second diamètre 96 et qui est dimensionné plus petit que la section de second diamètre. La section de troisième diamètre 98 est disposée au sein de l'ouverture 66 du presse-étoupe. Un ressort 100 est disposé au sein de la chambre de piston 54 et il est placé autour de la section de second diamètre 96 du piston. Le ressort est interposé axialement entre la section de premier diamètre 94 du piston à une extrémité du ressort, et le presse-étoupe 64 à l'extrémité opposée du ressort. Configuré de cette manière, le ressort fonctionne pour solliciter le piston 91 à l'écart du presse-étoupe du piston. L'ensemble de piston d'actionneur 36 est fixé à l'ensemble diaphragme/clapet 30 via le piston 91. Spécifiquement, dans une forme d'exécution préférée, le piston 91 est fixé à l'ensemble diaphragme/clapet 30 via un goujon fileté 102 qui est disposé au sein de l'ouverture 92 ménagée au travers du piston 91 et au sein d'une ouverture communiquante 104 au sein de l'ensemble diaphragme/clapet 30. Construit de cette manière, l'ensemble diaphragme/clapet reste fixé à l'ensemble de piston d'actionneur pendant tous les mouvements alternatifs au sein de la chambre de piston. Bien qu'il ait été décrit et illustré une connexion filetée entre l'ensemble diaphragme/clapet et l'ensemble de piston d'actionneur, on doit comprendre que d'autres procédés de fixation des deux ensembles peuvent être utilisés en restant dans la portée de l'invention. Si l'on se réfère aux figures 2 et 3, l'ensemble diaphragme/clapet 30 est disposé axialement au sein de la chambre de transport de fluide 38. L'ensemble diaphragme/clapet 30 est un ensemble en une pièce comprenant un diaphragme mobile 32 qui est interposé entre un élément de montage 108 d'un seul tenant, en forme de disque, qui s'étend radialement vers l'extérieur à partir du diaphragme, et un arbre d'un seul tenant 110, qui est situé radialement vers l'intérieur du diaphragme et qui se projette axialement sur une distance à l'écart du diaphragme. L'élément de montage en forme de disque 108 inclut une languette 112 positionnée le long de son bord périphérique qui se projette axialement vers l'extérieur à partir de celui-ci. La languette 112 est dimensionnée de telle sorte qu'elle ait une épaisseur légèrement supérieure à une largeur de la rainure 50 le long de l'extrémité ouverte 44 du FTH 16, pour produire une adaptation à interférence étanche aux fuites. L'ensemble diaphragme/clapet inclut un clapet 34 positionné à l'extrémité terminale de l'arbre 110, et disposé au sein de la chambre de transport de fluide en aval du siège de vanne de FTH 40. Le clapet est configuré pour avoir une portion de tête de diamètre agrandi, lorsqu'il est comparé à l'arbre, et qui inclut une surface extérieure oblique ou effilée qui est configurée pour interagir avec le siège de vanne 40. Dans une forme d'exécution donnée à titre d'exemple, la tête de clapet a une surface 111 d'interface avec un siège de vanne qui est effilée vers l'extérieur, en allant de l'arbre à la portion de tête de clapet, selon un angle d'approximativement 450. L'arbre 110 inclut une cavité intérieure 114 qui s'étend depuis une ouverture pratiquée au travers de l'extrémité côté diaphragme de l'ensemble jusqu'à une extrémité fermée avant d'atteindre le clapet 34. La cavité 114 est dimensionnée et configurée pour permettre la mise en place du goujon 102 en son sein pour la fixation de l'ensemble diaphragme/clapet à l'ensemble de piston d'actionneur 36. La cavité 114 ne s'étend pas complètement au travers de l'arbre, donnant ainsi un clapet non-perforé aux fins de réduire le nombre de passages de fuite possibles au travers de la vanne. L'ensemble diaphragme/clapet peut être formé des mêmes types de matériaux que ceux discutés plus haut à propos du FTH. Dans une forme d'exécution donnée à titre d'exemple, pour une utilisation dans un procédé de fabrication de semi-conducteurs avec des produits chimiques agressifs et de haute pureté, il est souhaitable que l'ensemble diaphragme/clapet soit moulé à partir d'un matériau polymère fluoré, tel que le PTFE Teflon qui est fourni, par exemple, par DuPont Company de Wilmington, Delaware, USA. En se référant toujours à la figure 2, le fonctionnement de la vanne de distribution selon la première forme d'exécution est le suivant. La vanne de distribution 10 peut être utilisée avec un système de transport de fluide par fixation des orifices d'entrée de fluide et de sortie de fluide 22 et 24 aux éléments d'accouplement respectifs 118 et 120 du système de transport de fluide. Les éléments d'accouplement peuvent être utilisés pour connecter la vanne à des conduits, tubes et analogues de transport de fluide classiques. Une source de liquide de traitement, fourni à une pression d'alimentation voulue, est acheminée vers la vanne et jusque dans la chambre de transport de fluide 38 via l'orifice d'entrée de fluide 22 et le passage d'entrée de fluide 42. Comme illustré à la figure 2, la vanne de distribution est configurée pour avoir une position de fermeture de sécurité de sorte que, à moins qu'une pression d'actionnement pneumatique suffisante soit dirigée dans la chambre de piston 54 entre le piston 91 et l'extrémité partiellement fermée du logement d'actionneur 18, le ressort 100 agit pour contraindre le clapet 34 à l'encontre du siège de vanne 40 pour empêcher le passage du liquide de traitement dans le passage de sortie de fluide 48. Une pression d'actionnement pneumatique suffisante pour surmonter la force du ressort est dirigée dans la chambre de piston, faisant que l'ensemble de piston d'actionneur 36 se déplace axialement au sein de la chambre. La distance du mouvement, ou longueur de course, est commandée par le mécanisme de détente 84 dans l'une des rainures 80 axiales de l'arbre. L'ensemble diaphragme/clapet 30 est également déplacé axialement par l'ensemble de piston d'actionneur 36, faisant que le clapet 34 ne repose plus sur le siège de vanne 40, et amorçant le passage du liquide depuis la chambre de transport de fluide 38 jusque dans le passage de sortie de fluide 40 et hors de la vanne. Le volume de liquide à distribuer peut être commandé par la longueur de la course de l'actionneur et/ou la durée de la pression d'actionnement fournie à la vanne. Une fois qu'un volume voulu a été distribué par la vanne, il est mis fin à la pression d'actionnement, faisant que la force du ressort déplace le clapet à l'encontre du siège de vanne, mettant ainsi fin au flux de liquide depuis la chambre de transport de fluide. Configurée de cette manière, la première forme d'exécution contribue à éliminer ou à réduire les suintements ou fuites indésirables du liquide de traitement après que la vanne est été mise en position fermée de la manière suivante. Lorsqu'elle est mise en position ouverte, la tête de clapet positionnée en aval se projette d'une certaine quantité dans le passage de sortie de fluide, déplaçant ainsi un volume équivalent de liquide au sein du passage. Lorsque le clapet est mis en position fermée, la quantité de clapet placée dans le passage de sortie de fluide est réduite, créant ainsi une augmentation équivalente du volume de liquide dans le passage. Du fait que l'augmentation de volume de liquide dans le passage de sortie de fluide se produit après que le clapet forme une interface avec le joint et que la vanne est fermée, cette augmentation du volume de liquide crée un effet de succion sur le passage qui opère pour conserver tout liquide non-distribué dans le passage de sortie de fluide et dans la vanne. Les figures 4 et 5 illustrent une seconde forme d'exécution de vanne de distribution 200 construite selon les principes de l'invention, et comprenant généralement un corps de vanne 202 composé, en allant de bas en haut à la figure 4, d'une base 204, d'un logement de transport de fluide (FTH) 206 disposé sur le dessus de la base 204, et d'un logement d'actionneur 208 disposé sur le dessus du FTH 206. Des vis 210, ou autre moyen de fixation convenable, s'étendent au travers du logement d'actionneur 208 et du FTH 206, et elles sont vissées dans la base 204 pour y fixer le logement d'actionneur 208 et le FTH 206. Le FTH 206 comprend un orifice d'entrée de fluide 212 au travers de l'une de ses parois latérales, et un orifice de sortie de fluide 214 au travers d'une paroi latérale opposée. Dans une forme d'exécution de la vanne de distribution 200 à actionnement pneumatique, le logement d'actionneur 208 comprend un orifice d'entrée d'air 216 et un orifice de sortie d'air ou évent (non représenté) s'étendant au travers de sa paroi latérale. Le FTH peut également être configuré pour avoir un orifice de détection de fuite (non représenté) s'étendant au travers de l'une de ses parois latérales pour contrôler la survenue de toute fuite de fluide au sein de la vanne de distribution. D'une manière générale, la vanne de distribution 200 de la seconde forme d'exécution diffère de la première forme d'exécution en ce sens que le FTH et le logement d'actionneur sont tous deux configurés pour contenir un second système de transport de fluide 220 qui est positionné en aval d'un premier système de transport de fluide 218. Le premier système de transport de fluide 218 est configuré pour être identique à celui de la vanne de distribution de la première forme d'exécution décrite ci-dessus et illustrée aux figures 1 et 2. En allant vers l'aval depuis l'orifice d'entrée de fluide 212, le FTH 206 comprend un passage d'entrée de fluide 222 qui est en communication de fluide avec l'orifice d'entrée de fluide et qui se vide dans une première chambre de transport de fluide 224. La première chambre de transport de fluide est configurée de la même manière que celle décrite ci-dessus pour la vanne de distribution selon la première forme d'exécution, comprenant un ensemble à diaphragme et clapet 226 disposé en son sein et qui a un clapet 228 positionné pour interagir avec un siège de vanne 230. Le siège de vanne 230 est interposé entre le passage d'entrée de fluide 222 et un passage de fluide intermédiaire 232. Le FTH inclut un second système de transport de fluide 220 en aval du passage de fluide intermédiaire 232 comprenant un second système de transport de fluide 234 qui est en communication de fluide avec le passage de fluide intermédiaire 232. Le FTH inclut un passage de sortie de fluide 236 qui est en aval de la seconde chambre d'écoulement de fluide 234 et qui est en communication de fluide avec l'orifice de sortie de fluide 214. La seconde chambre d'écoulement de fluide 234 est de forme générale cylindrique et elle s'étend axialement au sein du FTH depuis une base fermée 238 vers une extrémité ouverte 240 orientée à l'opposé. A la différence du premier système de transport de fluide 218, le second système de transport de fluide ne comporte pas d'élément conçu pour fermer ou interrompre l'écoulement de liquide au travers du FTH. Le FTH 206 peut être fait des mêmes matériaux que ceux discutés plus haut à propos de la vanne de distribution de la première forme d'exécution. Le logement d'actionneur 208 est fixé au FTH de la manière décrite ci-dessus et il est configuré pour recevoir les éléments d'actionneur tant pour le premier système de transport de fluide que pour le second. Le logement d'actionneur 208 comprend une première chambre d'actionneur ou de piston 242 qui contient le presse-étoupe 244 du piston, l'ensemble de piston d'actionneur 246, le ressort 248 et l'ensemble à détente 250, dont chacun est tel que décrit et illustré à la figure 2 de la vanne de distribution selon la première forme d'exécution. Le logement d'actionneur 208 comprend en outre une seconde chambre d'actionneur 252 qui est séparée et à l'écart de la première chambre d'actionneur 242. La seconde chambre d'actionneur 252 comprend une extrémité ouverte 254 positionnée adjacente au FTH et une extrémité partiellement fermée 256 axialement opposée. Le logement d'actionneur 208 est formé des mêmes types de matériaux que ceux discutés plus haut pour la vanne de distribution de la première forme d'exécution. Si l'on va de bas en haut dans la figure 4, en partant de la seconde chambre de transport de fluide 234, le second système de transport de fluide 220 comprend un diaphragme 258 disposé d'un côté à l'autre d'une extrémité ouverte de la seconde chambre de transport de fluide. Le diaphragme 258 se présente sous la forme d'une construction en une pièce comprenant une tête 260 non-perforée, positionnée centralement, et une section de paroi mince mobile 260 s'étendant radialement vers l'extérieur sur une distance depuis la tête. Le diaphragme est défini le long de son bord périphérique radialement le plus extérieur par une bride 262 qui inclut une languette 264 se projetant axialement et qui est placée au sein d'une rainure disposée circonférentiellement autour de l'extrémité ouverte de la seconde chambre de transport de fluide 234. La languette est configurée pour avoir une épaisseur qui est légèrement plus grande que la largeur de la rainure pour donner une adaptation à interférence étanche aux fuites avec le FTH. Le diaphragme 258 est formé à partir du même type de matériaux que ceux discutés plus haut pour l'ensemble diaphragme/clapet de la vanne de distribution de la première forme d'exécution. Un ensemble actionneur 266 est positionné au sein du logement d'actionneur 208 et est en contact avec le diaphragme 258. En allant vers le haut depuis le diaphragme 258, l'ensemble actionneur comprend une tige 268 qui est disposée axialement au sein de la chambre d'actionnement 252 et qui inclut une embase 270 au niveau d'une extrémité axiale, laquelle est configurée pour coopérer avec le diaphragme. Spécifiquement, l'embase est définie par une ouverture centrale 272 qui est dimensionnée pour recevoir une projection s'étendant axialement côté envers depuis la tête du diaphragme. La tige 268 comprend une section d'un premier diamètre qui définit une surface extérieure de l'embase 270, et une section d'un second diamètre, s'étendant axialement à l'écart de l'embase en direction de l'extrémité opposée de la tige, qui est plus grande que la section de premier diamètre. La tige peut être faite du même type de matériaux que ceux indiqués plus haut à propos de FTH, et dans une forme d'exécution donnée à titre d'exemple, elle est formée d'un matériau métallique tel que l'aluminium. Un support 274, sous la forme d'un élément annulaire, est disposé au sein de la chambre d'actionneur 252. Le support a une ouverture centrale qui reçoit l'embase de tige et s'étend radialement entre l'embase de tige et un bord du FTH adjacent à l'extrémité ouverte 240. Le support 274 est interposé axialement entre la bride 262 du diaphragme sur un côté et un écarteur 276 de l'autre côté. Le support peut être formé à partir du même type de matériaux que ceux indiqués plus haut à propos du presse-étoupe de piston 244 de la vanne de distribution selon la première forme d'exécution. L'écarteur 276 sera décrit en détail ci-dessous. Un ressort 278 est disposé autour de la section de second diamètre de la tige 268 et il est interposé axialement entre le support 274 au niveau de l'une de ses extrémités axiales, et une bague annulaire 280 au niveau de son autre extrémité axiale. La bague annulaire 280 est retenue au sein d'une rainure dans la section de second diamètre de la tige et se projette radialement vers l'extérieur depuis celle-ci sur une distance suffisante pour offrir une surface de montage au ressort. Le ressort est dimensionné et configuré pour imposer une force de sollicitation voulue entre la bague et le support. Configuré et assemblé de cette manière, le support 274 sert de guide à l'embase de tige, de surface de montage pour la bride de diaphragme et de surface de montage pour le ressort. Dans une forme d'exécution donnée à titre d'exemple, le ressort et la bague de retenue sont chacun formés à partir d'un matériau métallique tel qu'en acier inoxydable. L'écarteur 276 est un élément annulaire de forme généralement conique qui est disposé concentriquement au sein de la chambre d'actionneur 252, et qui est interposé axialement entre le FTH et le logement d'actionneur. L'écarteur 276 inclut un épaulement 282 qui se projette radialement vers l'extérieur sur une distance depuis une extrémité axiale d'écarteur et qui est interposée entre les extrémités ouvertes opposées du FTH et du logement d'actionneur. L'écarteur 276 inclut un col qui s'étend axialement à l'écart de l'épaulement 282, qui a un diamètre plus petit que celui de l'épaulement et qui s'adapte concentriquement au sein de la surface de paroi latérale définissant la chambre d'actionneur 252. Le col inclut une extrémité axiale qui est positionnée adjacente à l'extrémité partiellement fermée 256 du logement d'actionneur. Configuré de cette manière,l'écarteur, lorsqu'il est chargé dans la chambre d'actionneur 252, sert à imposer une force de chargement dirigée axialement sur le support 274 au niveau d'une extrémité axiale, et sur une portion de montage d'un second diaphragme, au niveau d'une extrémité axiale opposée, comme cela sera mieux décrit ci-dessous. L'écarteur peut être formé des mêmes types de matériaux que ceux utilisés pour former le FTH. Ni le support ni l'écarteur, bien que disposés au sein de la chambre d'actionneur, ne sont considérés comme étant des pièces de l'ensemble d'actionneur 266 du fait qu'il s'agit d'éléments statiques au sein du logement d'actionneur. L'ensemble d'actionneur 266 comprend en outre un second diaphragme 284 qui est positionné au sein de la chambre d'actionneur 252 contre une extrémité axiale de la tige 268 à l'opposé de l'embase 270. Le second diaphragme 284 inclut une tête 286 située centralement, une section à paroi mince 288 s'étendant radialement vers l'extérieur depuis la tête, et une bride 290 définissant un bord périphérique de la section à paroi mince. La bride inclut une languette qui se projette axialement vers l'extérieur depuis ladite bride et qui est disposée au sein d'une rainure disposée circonférentiellement autour d'un diamètre de l'extrémité partiellement fermée 256 du logement d'actionneur. La languette est dimensionnée pour avoir une épaisseur légèrement supérieure à la largeur de la rainure pour réaliser avec elle une adaptation à interférence étanche aux fuites. La bride 290 est interposée entre une extrémité axiale de l'écarteur 276 et l'extrémité partiellement fermée 256. Le second diaphragme sert à permettre le mouvement axial de la tige 268 au sein de la chambre d'actionneur tout en, simultanément, isolant le reste du logement d'actionneur de toutes fuites potentielles de fluide au sein de la chambre d'actionneur. Le second diaphragme peut être formé à partir du même type de matériaux que ceux utilisés pour former le diaphragme 258. L'ensemble d'actionneur 266 comprend, en outre un arbre 292 qui se projette axialement à l'écart d'une surface du second diaphragme 284 à l'opposé de la tige 268 au travers d'une ouverture 294 ménagée au travers du logement d'actionneur 208. L'arbre 292 inclut une première extrémité axiale qui est en contact avec le second diaphragme, et une seconde extrémité axiale qui se projette vers l'extérieur depuis le logement d'actionneur et qui inclut un bouton 296 fixé à elle. L'arbre 292 inclut une ou plusieurs rainures axiales 298 disposées le long de cet arbre et qui sont situées adjacentes à un mécanisme à détente 300 qui est disposé au sein d'une section de paroi latérale du logement annulaire. L'arbre peut être formé à partir des mêmes types de matériaux que ceux utilisés pour former le FTH, et il peut être formé à partir de matériaux métalliques si on le désire. L'ensemble à détente 300 est configuré de la même manière que celle qui a été décrite ci-dessus pour le premier système de transport de fluide aux fins de commander la course de l'arbre 292 et de l'ensemble d'actionneur 266 au sein du second système de transport de fluide. L'arbre inclut également un joint torique disposé circonférentiellement autour, aux fins de réaliser une étanchéité aux fuites entre l'arbre et le logement annulaire, et ainsi contenir la pression d'actionnement pneumatique au sein du logement annulaire. Le joint torique peut être formé des mêmes types de matériaux que ceux indiqués ci-dessus à propos des joints toriques de la vanne de distribution de la première forme d'exécution. Comme mentionné brièvement ci-dessus, le logement annulaire 208 inclut un orifice d'entrée d'air 216 aux fins de recevoir l'air comprimé d'actionnement. Des premier et second orifices d'air 302 et 304 sont disposés au sein du logement annulaire et sont en communication de fluide avec l'orifice d'entrée d'air 216. Le premier orifice d'entrée d'air 302 dirige l'air comprimé dans la chambre de piston 242 aux fins d'actionner l'ensemble à piston d'actionneur 246, et le second orifice d'air 304 dirige l'air comprimé dans l'ouverture 298 aux fins d'actionner l'ensemble d'actionneur 266. Avec une telle configuration, l'air dirigé dans le logement d'actionneur via l'orifice d'entrée d'air agit pour actionner chacun des premier et second systèmes de transport de fluide. Le second système de transport de fluide 266 agit pour aider le premier système de transport de fluide dans sa fonction de retenue et/ou de rappel de tout volume de liquide restant dans le FTH après que le premier système de transport de fluide a été mis en position fermée. D'une façon générale, le second système de transport de fluide fait ceci en rétractant le diaphragme 258 au sein de la seconde chambre de transport de fluide 234 un cours laps de temps après que le clapet 228 du premier système de transport de fluide est venu assurer l'étanchéité contre le siège de vanne 230. Ce retrait synchronisé du diaphragme sert à augmenter le volume de la seconde chambre de transport de fluide, après que le premier système de transport de fluide a été fermé, créant ainsi une légère succion qui agit pour retenir ou rappeler tout fluide restant dans le passage de sortie de fluide 236 et l'orifice de sortie de fluide 214 dans la seconde chambre de transport de fluide 234. Le retrait étagé du diaphragme 258 après la fermeture du premier système de transport de fluide peut être obtenu par un certain nombre de méthodes différentes. Une méthode pourrait être de fournir des signaux d'actionnement programmés différemment dans le temps, par exemple des charges pneumatiques, aux première et seconde chambres d'actionneur. Dans une forme d'exécution préférée, les première et seconde chambres d'actionneur sont chargées par un orifice d'entrée d'air commun. Ainsi, dans une telle forme d'exécution, la réaction étagée est réalisée via l'utilisation de différentes longueurs de course pour le premier et le second ensembles d'actionneur. Dans une forme d'exécution préférée, le second ensemble actionneur est conçu pour avoir une course plus longue que celle du premier ensemble actionneur de telle sorte que, après que le premier ensemble actionneur est activé pour placer le clapet en position fermée contre le siège de vanne, le second ensemble actionneur n'a pas encore terminé sa course et se déplace encore au sein de la seconde chambre de transport de fluide pour causer l'augmentation voulue de volume. La capacité de commander, de cette manière, le positionnement du liquide au sein de la vanne selon l'invention, en aval du siège de vanne, élimine et/ou réduit grandement la possibilité qu'un excès de liquide non voulu quitte la vanne après qu'elle a été fermée, et ainsi, élimine ou réduit grandement la possibilité d'une contamination indésirable en résultant. Les éléments identifiés ci-dessus utilisés pour former la vanne de distribution selon la première et la seconde formes d'exécution selon l'invention, faits à partir de matériaux polymères, peuvent être fabriquée par des procédés de moulage ou d'usinage, en fonction du type spécifique de matériau choisi et du budget du projet. En conséquence, il doit être compris que, dans le cadre de la portée des revendications annexées, des vannes de distribution construites selon les principes de la présente invention peuvent être réalisées sous des formes autres que celles qui ont été spécifiquement décrites ici. REVENDI CATIONS 1. Vanne de distribution comprenant - un logement de transport de fluide (16) ayant un passage d'entrée de fluide (42) s'étendant jusque dans le logement, un passage de sortie de fluide (48) s'étendant hors du logement, et une chambre de transport de fluide (38) disposée au sein du logement et en communication de fluide avec les passages d'entrée et de sortie de fluide; - un siège de vanne (40) d'un seul tenant avec la chambre de transport de fluide (38) et interposé entre le passage d'entrée de fluide (42) et le passage de sortie de fluide (48); - un ensemble à diaphragme et clapet (30), en une seule pièce, disposé au sein de la chambre de transport de fluide (38), comprenant: une tête de clapet (34) nonperforée au niveau d'une extrémité axiale de l'ensemble et positionnée au sein de la chambre de transport de fluide (38) en aval du siège de vanne (40) pour venir se placer contre le siège (40) et interrompre l'écoulement de fluide au travers de la chambre de transport de fluide (38) et un diaphragme flexible (32) au niveau d'une extrémité axiale opposée et s'étendant radialement vers l'extérieur depuis l'ensemble; - un logement d'actionneur (18) fixé au logement de transport de fluide (16) et incluant un ensemble de piston d'actionneur (91) disposé en son sein et qui est en contact avec l'ensemble à diaphragme et clapet (30) pour déplacer l'ensemble à diaphragme et clapet (30) au sein de la chambre de transport de fluide (38); et - des moyens (80, 86) pour régler la longueur de la course de l'ensemble de piston d'actionneur disposés au sein du logement d'actionneur. 2. Vanne de distribution selon la revendication 1, dans lequel l'ensemble de piston d'actionneur comprend: - un piston disposé au niveau d'une extrémité axiale du logement d'actionneur, le piston étant mobile axialement au sein du logement d'actionneur; - un presse-étoupe annulaire disposé au niveau d'une extrémité axiale opposée du logement d'actionneur adjacente au logement de transport de fluide (16); et - un ressort interposé axialement entre le piston et le presse-étoupe. 3. Vanne de distribution selon la revendication 2, dans lequel l'ensemble de piston d'actionneur comprend, en outre, des moyens pour connecter le piston à l'ensemble à diaphragme et clapet (30). 4. Vanne de distribution selon la revendication 3, dans lequel le moyen de connexion est un arbre commun. 5. Vanne de distribution selon la revendication 1, dans lequel l'ensemble de piston d'actionneur comprend un arbre qui est disposé au travers du logement d'actionneur et dans lequel le moyen de réglage comprend un mécanisme à détente disposé au sein du logement d'actionneur et qui est configuré pour coopérer avec l'arbre. 6. Vanne de distribution selon la revendication 1, comprenant, en outre, une autre chambre de transport de fluide (38) disposée au sein du logement de transport de fluide (16), positionnée en aval du siège de vanne (40), la seconde chambre de transport de fluide comprenant, en son sein, un moyen pour augmenter le volume de la seconde chambre de transport de fluide en réponse au mouvement de l'ensemble à diaphragme et clapet (30). 7. Vanne de distribution selon la revendication 6, comprenant un autre ensemble actionneur disposé au sein du logement d'actionneur et placé en contact avec le moyen pour augmenter le volume, et dans lequel le moyen pour augmenter le volume comprend un diaphragme qui est positionné entre le siège de vanne (40) et le passage de sortie de fluide (48). 8. Vanne de distribution selon la revendication 7, dans laquelle l'autre ensemble actionneur est configuré pour fournir une longueur de course qui est différente de celle de l'ensemble à diaphragme et clapet (30), de telle sorte que le mouvement du diaphragme se poursuit après que le clapet est venu assurer l'étanchéité contre le siège de vanne (40). 9. Vanne de distribution comprenant - un logement de transport de fluide (16) ayant un passage d'entrée de fluide (42) s'étendant jusque dans le logement, un passage de sortie de fluide (48) s'étendant hors du logement, et une première et une seconde chambres de transport de fluide disposées au sein du logement, la seconde chambre de transport de fluide étant en aval de la première chambre de transport de fluide, la première chambre de transport de fluide incluant un siège de vanne (40) d'un seul tenant; - un logement d'actionneur fixé au logement de transport de fluide (16) et incluant une première et une seconde chambres d'actionneur en contact avec les première et seconde chambres de transport de fluide respectives; - un ensemble à diaphragme et clapet (30) disposé au sein de la première chambre de transport de fluide, et comprenant un clapet positionné en aval du siège de vanne (40) pour venir se placer contre le siège et interrompre l'écoulement de fluide au travers de la première chambre de transport de fluide; - un moyen disposé dans la seconde chambre de transport de fluide pour faire varier le volume de la seconde chambre de transport de fluide en réponse au mouvement du clapet; et - des moyens actionneurs disposés dans chacune des première et seconde chambres d'actionneur pour déplacer l'ensemble à diaphragme et clapet (30) respectif et les moyens de variation du volume. 10. Vanne de distribution selon la revendication 9, comprenant, en outre, des moyens de commande du mouvement relatif de chaque moyen actionneur au sein de sa première ou seconde chambre d'actionneur respective. 11. Vanne de distribution selon la revendication 10, dans laquelle les moyens de commande comprennent une paire de mécanismes à détente, dont chacun est disposé au sein du logement d'actionneur, et dont chacun est configuré pour réaliser un contact avec une portion de chacun des moyens actionneurs respectifs pour commander une longueur de course de chacun des moyens actionneurs. 12. Vanne de distribution selon la revendication 11, dans laquelle les moyens de commande agissent à la fois pour fournir un mouvement aux moyens actionneurs utilisés pour déplacer l'ensemble à diaphragme et clapet (30) pour faire que le clapet vienne assurer l'étanchéité contre le siège de vanne (40), et pour fournir le mouvement aux moyens actionneurs utilisés pour déplacer les moyens de variation de volume pour provoquer une augmentation de volume dans la seconde chambre de transport de fluide après que le clapet est venu assurer l'étanchéité contre le siège de vanne (40). 13. Vanne de distribution selon la revendication 9, dans laquelle les moyens actionneurs comprennent un premier ensemble actionneur et un second ensemble actionneur, chacun des premier et second ensembles actionneurs formant un joint étanche aux fuites au sein, respectivement, de la première et de la seconde chambres d'actionneur pour faciliter le mouvement d'actionnement par des moyens pneumatiques, chacun des premier et second ensembles actionneurs étant sollicité, à l'état non-activé, par des ressorts qui sont disposés dans chacune des première et seconde chambres d'actionneur. 14. Vanne de distribution selon la revendication 9, dans laquelle l'ensemble à diaphragme et clapet (30) comprend un diaphragme mobile disposé au niveau d'une extrémité axiale opposée au clapet, le diaphragme mobile incluant une bride positionnée le long d'un bord périphérique de diaphragme, laquelle bride assure l'étanchéité avec le logement de transport de fluide (16). 15. Vanne de distribution selon la revendication 14, dans laquelle l'ensemble à diaphragme et clapet (30) est une construction en une pièce et le clapet est non-perforé. 16. Vanne de distribution selon la revendication 9, dans laquelle l'ensemble à diaphragme et clapet (30) est monté fixe sur un moyen actionneur respectif. 17. Vanne de distribution selon la revendication 9, dans lequel les moyens de variation de volume comprennent un diaphragme mobile disposé au sein de la seconde chambre de transport de fluide et qui a une bride positionnée le long d'un bord périphérique, laquelle bride forme un joint étanche avec le logement de transport de fluide (16). 18. Vanne de distribution comprenant: - un logement de transport de fluide (16) ayant une première et une seconde chambres de transport de fluide interposées entre un passage d'entrée de fluide (42) dans le logement et un passage de sortie de fluide (48) hors du logement, la seconde chambre de transport de fluide étant en aval de la première chambre de transport de fluide et en communication de fluide avec elle, la première chambre de transport de fluide incluant un siège de vanne (40) interposé entre le passage d'entrée de fluide (42) et la seconde chambre de transport de fluide; - un logement d'actionneur connecté au logement de transport de fluide (16) et comprenant une première et une seconde chambres d'actionneur connectées aux première et seconde chambres de transport de fluide respectives; - un premier ensemble actionneur disposé au sein de la première chambre d'actionneur, et en contact avec un clapet disposé au sein de la première chambre de transport de fluide en aval du siège de vanne (40) et en état de communication interrompue hermétiquement avec le siège lorsque la vanne est mise en position fermée, - un second ensemble actionneur disposé au sein de la seconde chambre d'actionneur, et en contact avec un diaphragme mobile positionné au sein de la seconde chambre de transport de fluide, le diaphragme mobile comprenant une bride le long d'un bord périphérique, laquelle bride forme un joint étanche aux fuites avec le logement de transport de fluide (16), - des moyens pour commander le mouvement relatif des premier et second ensembles actionneurs au sein de leur chambres d'actionneur respectives de telle sorte qu'il en résulte une augmentation de volume de la seconde chambre de transport de fluide après que le clapet est venu assurer l'étanchéité contre le siège de vanne (40). 19. Vanne de distribution selon la revendication 18, dans laquelle les moyens de commande du mouvement relatif comprennent une paire d'ensembles à détente qui sont disposés au sein du logement d'actionneur, et qui viennent en concordance avec une portion d'un ensemble actionneur respectif. 20. Vanne de distribution selon la revendication 18, dans lequel le clapet est positionné au niveau d'une extrémité axiale d'un ensemble à diaphragme et clapet (30) comprenant un second diaphragme mobile disposé au niveau d'une extrémité axiale opposée, le second diaphragme incluant une bride le long d'un bord périphérique, bride qui forme un joint étanche aux fuites avec le logement de transport de fluide (16). 21. Vanne de distribution selon la revendication 20, dans laquelle l'ensemble à diaphragme et clapet (30) est une construction en une pièce et le clapet est non perforé. 22. Vanne de distribution selon la revendication 20, dans laquelle l'ensemble à diaphragme et clapet (30) comprend un canal creux qui s'étend partiellement et axialement au travers de l'ensemble et dans laquelle l'ensemble à diaphragme et clapet (30) est fixé au premier ensemble actionneur par l'utilisation d'un arbre commun qui s'étend entre le premier ensemble actionneur et jusque dans le canal. 23. Vanne de distribution selon la revendication 18, dans laquelle le premier ensemble actionneur comprend un arbre qui s'étend axialement jusque dans le premier logement d'actionneur, un piston annulaire et un presse-étoupe de piston qui sont chacun positionnés au sein de la première chambre annulaire et disposés autour différentes sections de l'arbre, et un ressort qui est disposé au sein du premier logement d'actionneur et qui est interposé axialement entre le piston annulaire et le presse-étoupe de piston pour solliciter le clapet contre le siège de vanne (40). 24. Vanne de distribution selon la revendication 18, dans laquelle le second ensemble actionneur comprend un arbre qui s'étend axialement jusque dans le second logement d'actionneur qui est en contact, au niveau d'une de ses extrémités axiales, avec un troisième diaphragme mobile disposé au sein de la seconde chambre d'actionneur, et une tige qui est interposée axialement entre le diaphragme mobile et le troisième diaphragme mobile, la tige étant sollicitée vers la position non-activée souhaitée par un ressort positionné autour de la tige et qui est disposé au sein de la seconde chambre d'actionneur. 25. Vanne de distribution selon la revendication 18, dans laquelle le logement d'actionneur inclut un orifice d'entrée d'air pour recevoir un courant d'air comprimé d'actionnement, et des orifices de distribution d'air dirigeant l'air d'actionnement, en parallèle, jusque dans les première et seconde chambres d'actionneur. 26. Vanne de distribution selon la revendication 18, dans laquelle les première et seconde chambres de transport de fluide sont connectées l'une à l'autre par un orifice de fluide intermédiaire qui s'étend au travers du logement de transport de fluide (16) en aval du siège vers la seconde chambre de transport de fluide. 27. Vanne de distribution selon la revendication 18, dans laquelle le clapet et le diaphragme sont chacun formés en un matériau polymère fluoré. 28. Procédé pour commander un liquide au sein d'une vanne de distribution comprenant les étapes suivantes: - la fourniture d'une alimentation en liquide dans la vanne et jusque dans une première chambre de transport de fluide de vanne: - l'actionnement d'un clapet au sein de la première chambre de transport de fluide pour initier la distribution du liquide d'un côté à l'autre d'un siège de vanne (40), ledit clapet étant positionné en aval par rapport au siège de vanne (40); - le fait de diriger le liquide vers une seconde chambre de transport de fluide disposée au sein de la vanne en aval de la première chambre de transport de fluide, et la distribution du liquide depuis la vanne, la seconde chambre de transport de fluide comprenant un diaphragme disposé en son sein; - l'actionnement du clapet pour assurer l'étanchéité contre le siège de vanne (40) pour mettre fin à la distribution du liquide depuis la première chambre de transport de fluide; et - l'actionnement du diaphragme pour augmenter le volume de la seconde chambre de transport de fluide, retenant ainsi tout liquide pas encore distribué depuis la vanne, après que la distribution depuis la première chambre de transport de fluide a cessé. 29. Procédé selon la revendication 28, comprenant en outre l'étape de commande de la vitesse relative à laquelle le clapet et le diaphragme sont actionnés pour produire un mouvement successif du diaphragme par rapport au clapet. 30. Procédé selon la revendication 28, dans lequel la vitesse du diaphragme est commandée de telle sorte qu'il soit actionné à une vitesse plus lente que celle du clapet. 31. Procédé selon la revendication 28, dans lequel les première et seconde chambres de transport de fluide sont disposées au sein d'un logement de transport de fluide (16) et dans lequel le clapet et le diaphragme comprennent chacun un élément formant bride qui forme un joint étanche aux fuites avec le logement de transport de fluide (16). 32. Procédé selon la revendication 28, dans lequel les étapes d'actionnement du clapet et du diaphragme sont mises en oeuvre par des ensembles actionneurs séparés qui sont chacun disposés au sein d'une chambre d'actionneur respective dans un logement d'actionneur commun.