Brevet FR2837937A1 — publié le 20031003

L'invention concerne un système de traitement optique de surfaces et notamment des systèmes permettant de réaliser de l'affichage, de l'impression sur des surfaces, ainsi que de la gravure ou du traitement photochimique ou traitement analogue. Plus particulièrement, un tel système qu'on peut appeler photoinscripteur peut trouver de nombreuses applications dans le domaine de la reprographie, de la micro-électronique, de la visualisation et des microtechnologies en général (Imprimerie, Stéréolithographie, Circuits imprimés (PCB), Semiconducteurs hybrides, MEMS, Micro-optiques... ) L'invention est particulièrement intéressante dans les domaines d'applications nécessitant une résolution très élevée de l'ordre du micromètre ou moins par exemple. Actuellement, la photolithographie peut être considérée comme l'un de ces domaines d'applications privilégiés. La photolithographie est à la base de nombreux procédés industriels notamment dans le domaine de la micro-électronique (circuits intégrés et hybrides), des composants de visualisation, des circuits imprimés... L'usage courant consiste à utiliser des masques rigides ou souples placés au contact des surfaces à photo-sensibiliser avec une source lumineuse fonctionnant dans l'Ultraviolet (UV) ou à utiliser des photorépéteurs qui projettent l'image d'un masque, éventuellement réduite, sur cette surface à traiter. La technique de photolithographie par contact, généralement utilisée pour des motifs supérieurs à 2 m, présente les inconvénients suivants : usure rapide du masque (limitant le nombre de copies à 100 environ), mauvaise répétitivité nécessitant un changement fréquent du masque. Pour des motifs inférieurs à 2 m, le photorépéteur le plus souvent utilisé permet de projeter l'image du masque réduite en général d'un facteur 1 à 5 sur la surface photosensible et à répéter l'opération éventuellement plusieurs fois (cas des circuits intégrés dupliqués un grand nombre de fois par plaque de semi-conducteur). La photolithographie par la méthode des masques présente donc de sérieux inconvénients surtout pour les- activités de prototypage et de recherche et de développement : ces masques sont chers car ils nécessitent, pour les élaborer, des machines coûteuses, complexes et lentes. De plus, ils sont fragiles. Ainsi, les industriels de la photolithographie sous-traitent le plus souvent la réalisation de leurs masques d'où des coûts et des délais importants qui réduisent la productivité. Dans l'état de l'art actuel, il est certain que l'étape du masque est un facteur limitant la vitesse du cycle de photolithographie pour les activités de recherche et de développement. Les domaines qui nous intéressent plus particulièrement dans le cadre de l'invention sont ceux qui ont au moins l'une des caractéristiques suivantes Procédés utilisant des masques par contact ou situés à proximité de la surface à traiter Activité de recherche et de développement à moyenne résolution 0,5-100 micromètres Masques de grande dimension (225mm et plus). L'objet de l'invention est de réaliser une machine de traitement de surface permettant la photoinscription directe sur une surface avec les avantages suivants : - Résolution élevée et flexible : 0,5-100 m, - Possibilité de traiter de grandes surfaces (cas en général des écrans à cristal liquide, écrans plasma et cartes de circuits imprimés), - Grande rapidité de traitement, notamment avec des vitesses de traitement supérieures à 1dm2/mn environ, - Stabilité du système par rapport à l'objet dont on veut traiter la surface. L'invention est plus particulièrement applicable au traitement de surfaces photosensibles et notamment à la réalisation de machines de microphotographie. De plus, un autre avantage non négligeable de l'invention est de garantir la confidentialité des activités de recherches et de développement au sein d'une unité moyenne de photolithographie qui pourrait ainsi réaliser en interne et à volonté la totalité de ses opérations de photolithographie. L'invention concerne donc un système de traitement optique de surfaces dans lequel une source lumineuse émet, par une face émissive, un faisceau lumineux modulé spatialement, la plus grande dimension de la face émissive est dans un rapport supérieur à 10 avec la distance séparant un plan, selon lequel doit être disposée une surface à traiter d'un objet (4), et ladite face émissive de la source . Un tel système peut comporter un arrangement périodique d'éléments de concentration de la lumière disposé entre la face émissive de la source et un plan selon lequel doit être disposée une surface d'un objet à traiter. Cet arrangement périodique d'éléments de concentration de la lumière (3) peut permettre la formation sur la surface à traiter d'un arrangement périodique de spots lumineux de dimensions petites devant le pas de l'arrangement périodique dans un rapport supérieur à 4. Selon un mode de réalisation de l'invention, la source comporte une matrice d'éléments émissifs. La matrice d'éléments émissifs est sensiblement de mêmes dimensions et possède le même nombre d'éléments que l'arrangement périodique d'éléments de concentration et répartis selon un pas déterminé. Les éléments de la matrice d'éléments émissifs sont chacun en coïncidence avec un élément de l'arrangement périodique d'éléments de concentration avec une tolérance d'écart maximale de 1/100 dudit pas de l'arrangement périodique. Selon une autre forme de réalisation, la source émettant un faisceau lumineux modulé spatialement comprend une source lumineuse émettant un faisceau d'éclairement. Un modulateur spatial de lumière de forme générale plane dont une face d'entrée est éclairée par ledit faisceau d'éclairement, émet par une face de sortie un faisceau modulé destiné à insoler une surface d'un objet à traiter optiquement. La face de sortie du modulateur spatial est couplée à l'arrangement périodique d'éléments de concentration de façon que le modulateur spatial et la matrice d'éléments de concentration forment un ensemble compact. Une forme de réalisation avantageuse de l'invention est de prévoir l'arrangement périodique d'éléments de concentration de la lumière sous la forme d'une matrice de lentilles (microlentilles ou minilentilles). Egalement on peut prévoir que le modulateur spatial de lumière est un écran à cristal liquide et que l'arrangement périodique d'éléments de concentration de la lumière permette de projeter l'image des pixels de l'écran à cristal liquide sur la surface à traiter selon un rapport de réduction déterminé (r). Le modulateur spatial fonctionne alors en lumière polarisée et la source émet un faisceau de lumière polarisée, ou bien le système comporte au moins un polariseur entre la source et le modulateur spatial. Par ailleurs, le système comporte une platine support destinée à recevoir ledit objet dont on veut traiter une face de manière que ladite face à traiter soit parallèle à la face émissive de la source ou au plan de l'arrangement périodique d'éléments de concentration. La platine support permettant de déplacer ledit objet selon deux premières directions perpendiculaires entre elles et contenues dans le plan de la surface à traiter ainsi que selon une troisième direction orthogonale aux deux premières directions. Le pas de déplacement selon les deux premières directions est sensiblement égal au pas de répartition de l'arrangement périodique d'éléments de concentration (A) multiplié par le rapport de réduction (r) des éléments de concentration. Il est intéressant de prévoir que la matrice de lentilles est réalisée sur la face de sortie du modulateur spatial. L'invention prévoit différentes architectures optiques non limitatives , permettant de mettre en #uvre l'invention. Par exemple, on prévoit qu'au moins deux modulateurs spatiaux de lumière et leurs arrangements périodiques d'éléments de concentration de lumière sont situées dans un même plan et qu'un premier séparateur réfléchit la moitié du flux lumineux reçu de la source vers un premier modulateur spatial et transmet l'autre moitié du flux lumineux vers un miroir de renvoi qui réfléchit la lumière qu'il reçoit vers le deuxième modulateur spatial. Le premier séparateur est un séparateur de polarisations si la lumière qu'il reçoit de la source n'est pas polarisée ou est un séparateur de faisceaux si la lumière qu'il reçoit est polarisée. Dans ces conditions, on prévoit un répartiteur de flux lumineux disposé entre la source et plusieurs modulateurs spatiaux, recevant le flux lumineux de la source et le répartissant de façon uniforme vers les différents modulateurs spaciaux. Ce répartiteur peut être réalisé en fibres optiques. Le système de l'invention peut comporter plus de deux modulateurs spatiaux de lumière, leurs arrangements périodiques d'éléments de concentration étant disposés dans un même plan en lignes et colonnes, tels que 2 fois 2 modulateurs, ou 3 fois 3, ou 4 fois 4, etc. Un premier séparateur d'entrée qui transmet (ou réfléchit), à destination d'une première ligne de modulateurs, un flux de ligne correspondant à une première partie du flux du faisceau lumineux reçu de la source et qui réfléchit (ou transmet) une deuxième partie du flux du faisceau lumineux à destination de la ligne suivante de modulateurs spatiaux. Un deuxième séparateur par ligne suivante est placé en série selon la direction du faisceau véhiculant la deuxième partie du flux lumineux. Chacun de ces deuxièmes séparateurs réfléchit également un flux de ligne, correspondant à une partie du flux reçu par le séparateur, vers une ligne de modulateurs spatiaux, le dernier séparateur étant un miroir de renvoi réfléchissant un flux de ligne vers la dernière ligne de modulateurs. Une ligne de troisièmes séparateurs est disposée le long de la direction de chaque faisceau véhiculant un flux de ligne, chaque troisième séparateur réfléchissant une partie du flux qu'il reçoit vers un modulateur spatial de la ligne correspondante et transmettant une autre partie du flux vers le séparateur suivant de la ligne, le dernier séparateur de la ligne étant un miroir de renvoi qui réfléchit la lumière vers le dernier modulateur spatial. Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement dans la description qui va suivre faite à titre d'exemple non limitatif et dans les figures annexées qui représentent : les figures 1 a et 1 b, des exemples généraux de réalisation du système de traitement optique de surfaces selon l'invention ; la figure 1 c, un exemple de réalisation plus détaillé du système de l'invention ; la figure 1 d, un chronogramme de fonctionnement de l'exemple de réalisation de la figure 1 c ; la figure 2, une vue en coupe agrandie d'un ensemble élémentaire comprenant un modulateur à cristal liquide, une microlentille et l'objet à traiter ; la figure 3, une vue en plan de dessus d'une surface traitée par le système de l'invention ; la figure 4, un système d'éclairage d'un modulateur spatial de lumière ; les figures 5a à 5c, des exemples de réalisation d'architectures du système de l'invention comportant plusieurs modulateurs spatiaux de lumière et permettant d'éclairer ces différents modulateurs tout en utilisant les deux polarisations de la lumière de la source d'éclairement ; les figures 6a à 6d, des vues expliquant le processus d'exploration d'une surface à traiter avec le système des figures 5a et 5b; les figures 7a, 7b, 7c et 7d des architectures du système de l'invention pouvant utiliser plus de quatre modulateurs spatiaux de lumière avec une répartition équilibrée du flux lumineux à l'aide de cubes séparateurs ou de fibres optiques ; la figure 8, un système dans lequel l'ensemble modulateur et matrice de microlentilles est incliné par rapport à la direction de déplacement de la surface à traiter ; les figures 9a et 9b, une architecture du système l'invention utilisant plusieurs modulateurs en forme de barrettes ; les figures 10 et 11, des vues en coupe d'un modulateur à cristal liquide permettant de fonctionner aux longueurs d'ondes optiques de l'ultraviolet, la figure 12, un diagramme de liaisons d'un exemple de système permettant de mettre en oeuvre de l'invention ; les figures 13 et 14, un système fonctionnant avec une source lumineuse continue et son chronogramme de fonctionnement ; les figures 15 et 16, un système utilisant deux modulateurs spatiaux de lumière fonctionnant en alternance ; les figures 17a et 17b, un système permettant de fonctionner en mode inscription et en mode lecture ; la figure 18, un système permettant de corriger la position de la platine support de l'objet à traiter ; la figure 19, un tableau fournissant différentes caractéristiques en fonction de différents types d'applications. En se reportant à la figure 1a, on va donc décrire un exemple général du système de traitement optique de surface selon l'invention. Ce système comporte une source lumineuse 1 qui émet un faisceau lumineux modulé spatialement. La lumière émise par cette source est représentée sur la figure 1a par une pluralité de faisceaux qui convergent chacun sur une face à traiter d'un objet 4 qui est supporté par une platine support 5. La distance de la face émissive de la source 1 à la face à traiter de l'objet 4 est d2. La plus grande dimension de la face émissive de la source 1 est D. La distance d2 est telle que la surface à traiter de l'objet 4 est située à proximité de la face émissive de la source 1. Cette distance d2 est petite devant la plus grande dimension latérale D de la face émissive de la source 1 avec un rapport situé entre 10 et 10000 voire même plus grand. Une valeur intéressante pourrait être de l'ordre de 100 à 10000, par exemple 1000. En se reportant à la figure 1 b, on va décrire un autre exemple général du système de traitement optique de surface selon l'invention. Ce système comporte un modulateur spatial de lumière 2 (ou source de lumière émettant un faisceau de lumière modulée spatialement) auquel est associée une matrice d'éléments de concentration de la lumière 3. Dans la suite de la description, on considérera, à titre d'exemple de réalisation, que le modulateur spatial de lumière est un modulateur à cristal liquide et que la matrice d'éléments de concentration de la lumière est une matrice de microlentilles bien que l'invention soit applicable même dans les cas où les lentilles ne sont pas de dimensions microscopiques. Préférentiellement, la matrice de microlentilles est accolée à une face 21 du modulateur à cristal liquide, voire est réalisée à même sur cette face 21 du modulateur à cristal liquide. Le système de l'invention comporte également une source lumineuse 1 éclairant la face 20 du modulateur à cristal liquide 2 opposée à la matrice de microlentilles 3. Enfin, une platine 5 ou table porte échantillon située du côté de la matrice de microlentilles est destinée à recevoir l'objet 4 dont on doit traiter une surface. Cette platine 5 permet de disposer l'objet 4 avec sa face à traiter parallèle au plan de la matrice de microlentilles 3. Cette platine est donc mobile dans plusieurs directions. De plus, comme on le verra dans la suite de la description, les déplacements de cette platine permettront une exploration de la totalité de la surface à traiter par les faisceaux optiques transmis par la matrice de microlentilles. Les positions relatives de la platine 5 et de la matrice de microlentilles 3 sont telles que la surface à traiter de l'objet 4 est située à proximité du plan de focalisation de la matrice de microlentilles 3. Comme indiqué précédemment, la distance frontale de la matrice de microlentilles est petite devant la plus grande dimension latérale du modulateur avec un rapport situé entre 10 et 10000 voire plus grand. De préférence, dans le cas de microlentilles ce rapport se situe entre 100 et 10000 et une valeur préférentielle pourrait être de 1000. Par exemple, pour une dimension latérale de la matrice de microlentilles de 100 millimètres, la distance frontale pourrait être de 100 micromètres et pour une dimension latérale de la matrice de microlentilles de 1 mètre, la distance frontale pourrait être de 1 millimètre. La matrice de microlentilles fonctionne donc en champ proche. Lié à cela, le fait que le modulateur à cristal liquide et la matrice de microlentilles soient solidaires et forment un ensemble compact rend le système de l'invention pratiquement insensible aux vibrations, ce qui est très important lorsque le système travaille à l'échelle microscopique. Chaque microlentille permet d'éclairer une zone limitée de la surface à traiter et de former sur la surface à traiter un spot lumineux dont la dimension est petite devant le pas de l'arrangement périodique d'éléments de concentration de la lumière (matrice de microlentilles) dans un rapport égal ou supérieur à 4. Le modulateur spatial de lumière 2 permet de rendre transmissif ou non les différents pixels qu'il comporte. Selon l'état du modulateur spatial, les différentes microlentilles transmettent plus ou moins de flux lumineux sur la surface à traiter. Chaque faisceau transmis par chaque microlentille réalise sur la surface photosensible une tâche de surface nettement plus réduite que la surface d'une microlentille. Dans ces conditions pour traiter la totalité de la surface photosensible, le système prévoit qu'après éclairement d'une zone de la surface, la platine 5 déplace l'objet 4 d'un pas p1=rA, A étant le pas de répartition des microlentilles de la matrice de microlentilles et r étant le taux de réduction induit par chaque microlentille sur chaque faisceau transmis par chaque pixel du modulateur spatial 2. La figure 3 représente une surface élémentaire de la surface photosensible et correspondant à la surface occupée par une lentille dans la matrice de microlentilles. On voit donc que pour traiter chaque surface élémentaire, après chaque éclairement, la platine 5 doit déplacer l'échantillon 4 d'une valeur p1=rA selon une direction x ou y jusqu'à avoir exploré la totalité de la surface. Un faisceau d'une microlentille éclairera successivement les différentes zones de la première ligne située entre les positions 1 et 10, puis les zones des lignes suivantes, pour finir par les zones de la ligne délimitée par les positions 91 et 100 En se reportant à la figure 1c, on va maintenant décrire un exemple de réalisation plus détaillé du système de l'invention. Sur la figure 1c, ce système comporte : - une source référencée 10 - un condenseur 11 permettant de collimater le faisceau lumineux sortant de la source. - un polariseur 12 dans le cas ou le modulateur spatial de lumière est un modulateur à cristal liquide et si la source émet un faisceau de lumière non polarisée de façon à autoriser la modulation spatiale du faisceau lumineux par le modulateur à cristal liquide 2. - le modulateur à cristal liquide 2 permettant la modulation spatiale de l'état de polarisation du faisceau. - un analyseur 22 pour traduire la modulation spatiale de polarisation en modulation spatiale d'intensité lumineuse. - la matrice de microlentilles 3 plaquée au plus près du modulateur à cristal liquide 2 ou tout système optique de couplage (réseau de fibres, réseau de guides de lumière...). - la table porte échantillon ou platine 5 représentée sur la figure 1 b sous la forme de deux tables superposées : ' une table 51 avec un micro-positionnement en x, y et z, -et une table 50 pour les ajustements angulaires en#, # et p pour le positionnement angulaire d'autre part. Les mouvements de translation de la table sont repérés par interférométrie et les mouvements angulaires par autocollimation à l'aide d'une cellule quatre quadrants par exemple. - l'objet 4 avec sa surface à traiter placée sur le dessus de la table 5. La particularité du système réside dans le modulateur à cristal liquide associé à une matrice de microlentilles de préférence de même pas que celui des pixels du modulateur à cristal liquide et qui fonctionne en champ proche par rapport à l'objet 4. Par exemple, la distance entre la matrice de microlentilles et la surface à traiter sera typiquement de quelques micromètres à quelques millimètres. Chaque microlentille ne résout que peu de points soit 1000 environ mais avec 1 million de microlentilles, par exemple, le nombre total de points adressés atteindra 1 milliard. Pour obtenir une telle définition avec un système optique classique, il est aisé de comprendre qu'il faut mettre en oeuvre un objectif extrêmement élaboré et coûteux. Le système proposé fonctionnant en champ proche peut avoir des définitions supérieures à celles d'un photo-répéteur classique et à un coût inférieur. Le système de l'invention permet d'envisager une inscription parallèle à grande vitesse tirant au mieux profit de la technologie des cristaux liquides qui offre une très grande fiabilité, une compacité maximale et une extensibilité en surface importante. Un autre avantage de cette technique est de limiter les déplacements de l'objet, pendant l'inscription (ou le traitement), à des micro déplacements de quelques fractions de micromètres ou de quelques micromètres. Les vitesses correspondantes de l'objet sont ainsi réduites à quelques millimètres par secondes ou quelques dizaines de millimètres par secondes. Certaines machines de l'état de l'art utilisant des modulateurs réflectifs de types DMO ou LICOS fonctionnant à 1-10 kHz avec une résolution de un micromètre nécessiteraient des déplacements de 1 à 10 mètres par seconde. De telles vitesses sont très difficiles à obtenir avec la précision requise. De préférence, chaque microlentille sera en coincidence ou en quasi coincidence avec un pixel du modulateur à cristal liquide et notamment le pas de la matrice de microlentilles et celui du modulateur à cristal liquide seront quasiment égaux de façon à ne tolérer un défaut de coincidence maximal de 1/100 du pas de la matrice de microlentilles (ou du modulateur) entre un pixel du modulateur et un pixel de la matrice de microlentilles. En effet, un faible défaut de coincidence à une extrémité de la matrice pourrait se traduire par un défaut préjudiciable à une autre extrémité de la matrice. Une matrice de microlentilles ou minilentilles ayant un pas supérieur au pas des pixels de la matrice à LCD peut aussi être envisagée avec un avantage identique à savoir multiplier le nombre de lentilles pour augmenter le nombre de points adressés sur la surface photosensible. Comme on l'a vu précédemment, chaque microlentille forme, sur la surface à traiter, une image réduite d'un pixel correspondant du modulateur à cristal et cela, avec un facteur de réduction r=d2/ndi comme cela est expliqué par la figure 2. La figure 2 représente une microlentille faisant l'image réduite du pixel à cristal liquide sur l'échantillon. Le rapport de réduction vaut r=d2/(ndi) soit par exemple r=10% pour n=1.5, di=1,1mm et d2=165pm. Avec une zone utile de 25 m de côté, le spot d'inscription a un diamètre de 2.5pm environ. Il suffit d'ajuster les paramètres de distance focale de la lentille et de la distance entre la surface à traiter et la lentille pour obtenir le facteur de réduction souhaité en fonction des caractéristiques du modulateur à cristal liquide et de celles à obtenir en photoinscription. Pour paver la totalité de la surface, il est nécessaire de faire un micro-déplacement en x et en y d'une quantité rA si A est le pas de la matrice de microlentilles qui peut être également le pas du modulateur à cristal liquide (figure 3). Avec un rapport de réduction r de 10%, le système nécessitera 10 positions en x et 10 positions en y de rA (r=10%) soit 100 photo-inscriptions pour chaque pixel de la matrice. Le système de l'invention utilise ce moyen pour traiter la totalité de la surface uniquement avec des micro-déplacements en x, y de 100 à 200 microns typiquement mais surtout l'invention associe cette technique de proximité du modulateur avec la surface à traiter et à l'utilisation de modulateurs spatiaux de lumière par exemple à cristaux liquides (matrices ou barrettes actives ou passives) à haut débit, de grande surface. En se reportant à la figure 4, on va maintenant décrire les différents composants d'un exemple de réalisation pratique de l'invention. La source lumineuse 10 peut être de façon générale de tout type pourvu qu'elle soit adaptée au traitement à effectuer sur la surface à traiter. Le condenseur 11 placé juste devant la source est en général constitué d'une lentille très ouverte permettant de former un faisceau parallèle avec la section requise pour illuminer le modulateur à cristal liquide de façon homogène. Différents dispositifs d'homogénéisation de faisceau peuvent être associés au condenseur pour améliorer l'uniformité de l'éclairement. En ce qui concerne le polariseur 12, pour permettre le bon fonctionnement du modulateur à cristal liquide, cet écran doit être illuminé en lumière polarisée. Le polariseur 12 doit être adapté à la lumière émise par la source 10. Un dispositif d'absorption 13, également appelé piège à lumière, permet d'absorber la lumière réfléchie par le polariseur 12. Un modulateur à cristal liquide est constitué de deux lames de verre ou Quartz enserrant une lame de cristal liquide (nématique parallèle, pi, TN, DSTN, ferroélectrique...), sur l'une au moins des deux lames de verre est réalisée une matrice d'électrodes permettant l'adressage des pixels (matrice active lorsque des transistors de commande sont placés aux intersections des lignes et des colonnes ou matrice passive en l'absence de transistors de commande). Selon les technologies utilisées, la matrice d'adressage peut avoir une vitesse plus ou moins élevée. Une matrice active associée à du cristal liquide nématique parallèle peut atteindre des débits supérieurs à 100Mpixels/s (1000x1000 pixels à 100Hz). Une plaque de 150mm de diamètre (6 pouces) avec une résolution spatiale de 2,5um (1um) représente 2,8 GPixels (17 GPixels) d'informations binaires et peut donc théoriquement être traitée en 28 secondes (170s). Une matrice passive en technologie TN ou DSTN autorise des débits plus faibles de quelques MPixels/s. Dans ce cas, le temps de traitement cidessus pourra passer alors à plus de 15minutes. Il est bien évident qu'une matrice passive en mode nématique est plus facile à réaliser qu'une matrice active nématique ou qu'une matrice passive en mode ferroélectrique. Aussi, l'invention prévoit des architectures modulaires mettant en #uvre plusieurs matrices passives adaptées à un photoinscripteur à cristaux liquides et arrangées sous forme d'un damier comme cela sera décrit dans la suite de la description. Avec un damier de 3x3, des matrices passives de 256x256, le temps de traitement pour traiter 3.6 Gpixels se situe à moins de 4mn. Dans un contexte de production, il est possible de réduire encore ce temps de traitement avec une machine fonctionnant sur 2 ou 4 voies simultanément et descendre en dessous de 1 mn de temps de traitement par plaque. On va maintenant décrire différentes architectures optiques du système de l'invention permettant notamment d'utiliser les deux polarisations de la lumière lorsque la source émet un faisceau de lumière non polarisée. Le dispositif des figures 5a et 5b représente une architecture mettant en #uvre deux fois deux modulateurs à cristaux liquides. Dans ce système on suppose que la source 10 émet un faisceau de lumière non polarisée. Un cube polarisant 12 laisse passer une première polarisation et réfléchît la deuxième polarisation. La première polarisation est transmise à un séparateur de faisceau ou cube séparateur 14 qui réfléchit la moitié de la lumière vers un modulateur à cristal liquide 2.1 auquel est associée une matrice de microlentilles et qui transmet l'autre moitié de la lumière à un miroir 15 de renvoi à 90 qui réfléchit la lumière vers un deuxième modulateur à cristal liquide 2.2 auquel est associée une matrice de microlentilles 3.2.. La deuxième polarisation est réfléchie vers un miroir 17 de renvoi à 90 qui réfléchit la lumière vers un rotateur de polarisation 13 puis un ensemble cube séparateur 14'- miroir de renvoi 15', identique à l'ensemble 14 - 15 précédemment décrit. La lumière présentant cette deuxième polarisation éclaire alors deux modulateurs à cristaux liquides, non visibles sur la figure, similaires aux écrans 2.1et 2. 2. Dans la description qui précède, on a considéré que les quatre écrans, tels que 2. 1 et 2. 2, étaient indépendants. On peut également concevoir qu'ils sont matériellement liés. Par exemple, ils peuvent être réalisés sur la même plaque de verre. Cependant, dans une telle architecture, comme on le voit sur la figure 5a, les modulateurs 2. 1 et 2.2 ne sont pas accolées. Le système prévoit donc de traiter des zones de surfaces de l'objet 4 correspondant chacune à la surface d'un modulateur à cristal liquide comme cela à été décrit précédemment en relation avec la figure 3. Ensuite, pour traiter l'espace compris entre deux modulateurs à cristaux liquides le système prévoit d'effectuer un grand déplacement correspondant à la distance séparant deux modulateurs et de recommencer le traitement. Une telle architecture peut être utilisée pour réaliser un traitement comme celui représenté en figure 6a . Quatre modulateurs à cristaux liquides disposés comme dans l'architecture de la figure 5b permettent dans une première étape de traiter les zones A d'une surface. Puis dans une deuxième étape, ce sont les zones B qui sont traitées. Enfin, dans une troisième puis une quatrième étape, ce sont les zones C puis D. Dans une telle architecture, il faut que le mouvement mécanique permette des déplacements relativement importants de plusieurs centimètres typiquement. De plus, il est préférable que le pas de la mosaïque de modulateurs spaciaux soit légèrement inférieur à la dimension correspondante de chaque modulateur de façon à permettre un recouvrement au sous-pixel près de l'action des différents modulateurs. Bien entendu, cette configuration reste compatible avec le principe de surrésolution décrit ci-dessus en relation avec la figure 3. Avec un nombre raisonnable de lignes et de colonnes (256x256) permettant un débit individuel de 2 Mpixels/s. Le débit global peut ainsi atteindre 18 Mpixels/s. Bien entendu, les modulateurs constituant la mosaïque peuvent être juxtaposés et réglés individuellement dans un même plan ou bien être réalisées sur la même dalle de verre. La figure 6b indique comment les connexions lignes et colonnes sont agencées. La structure en mosaïque permet d'utiliser des matrices ou des barrettes à cristaux liquides en logeant la connectique de commande et éventuellement des circuits électroniques de multiplexage dans les interstices entre matrices ou barrettes. Une telle architecture peut aussi être utilisée pour traiter deux échantillons distincts simultanément afin d'optimiser la cadence de production.Dans ce système, il est également possible de mettre en #uvre des polariseurs à film dichroïque au lieu de cubes polarisants, néanmoins ces films sont actuellement utilisés pour constituer l'analyseur intégré à chaque modulateur à cristal liquide et placé entre le modulateur et la matrice de microlentilles. La figure 6c représente en A les zones de photo-inscription après une série de micro-balayage de la surface A à l'aide d'un modulateur de type mosaïque monodimensionnel . Après inscription des zones A, les zones B sont photoinscrites pour un déplacement égal à la moitié du pas des bandes. Ce pas est légèrement plus petit que la largeur des bandes pour permettre le recouvrement entre les zones A et B. La figure 6d montre la disposition de la connectique dans une mosaïque mono-dimensionnel . Les zones électrooptiques sont représentées en grisé, leurs lignes et colonnes associées sont soit connectées à l'extérieur ou sur des circuits électroniques de commande intégrés dans les zones blanches. Cette disposition permet de réduire le nombre de lignes à balayer successivement et donc d'accélérer la vitesse d'adressage d'un facteur égal au nombre de bandes. Les figures 7a et 7b représentent une architecture mettant en #uvre 3 fois 3 modulateurs à cristaux liquides disposés sous forme d'une matrice. Le cube 12 d'entrée de la matrice est un séparateur de faisceaux qui transmet le tiers de lumière à destination d'une première ligne de modulateurs à cristaux liquides et qui réfléchit les deux tiers de la lumière vers un deuxième cube séparateur 12'. Celui-ci réfléchit la moitié de la lumière qu'il reçoit à destination d'une deuxième ligne de modulateurs à cristaux liquides et transmet l'autre moitié de la lumière vers un miroir de renvoi 12" qui la réfléchit vers une troisième ligne de modulateurs à cristaux liquides. La transmission de la lumière aux trois lignes de modulateurs à cristaux liquides se fait de la même façon. Par exemple, comme on peut le voir sur la figure 7a, le tiers de la lumière transmise par le cube séparateur 12 est réfléchie vers le modulateur à cristal liquide 2. 1. Les deux tiers de la lumière sont transmis vers le cube séparateur 15 qui en réfléchit la moitié vers le modulateur à cristal liquide 2. 2 et transmet l'autre moitié vers un miroir de renvoi 16 qui la réfléchit vers le modulateur à cristal liquide 2.3. Dans le cas où la source 10 émet de la lumière polarisée, les cubes séparateurs sont tous des séparateurs de faisceaux indépendants de la polarisation. Les figures 7c et 7d représentent une variante de réalisation dans laquelle la transmission de la lumière de la source 1 vers les modulateurs se fait à l'aide de fibres optiques. Une optique de couplage 731 permet de couplée la lumière émise par la source 1 dans un faisceau de fibres optiques 730. Sur les figures 7c et 7d, on a représenté neuf modulateurs spatiaux de lumière 2. 1 à 2. 9. Chacun d'eux reçoit la lumière de la source par au moins une fibre du faisceau de fibres 730 et par une optique d'adaptation telle que 730. 1 ou 730.2. La figure 8 représente un système dans lequel l'ensemble modulateur à cristal liquide-matrice de microlentilles à été incliné ou désaxé (tilté) par rapport à la direction de déplacement de la surface de l'échantillon à traiter. Ainsi, les pixels d'une colonne, celle du bas par exemple, permettent de traiter une largeur m de la surface et l'ensemble de la matrice permet de traiter une largeur M. Dans les architectures précédemment décrites, la couverture complète d'une surface à traiter est obtenue à l'aide d'un micro-balayage en X et en Y parallèlement aux deux axes de la matrice de microlentilles. Avec le système de la figure 8, il est possible de supprimer ce micro-balayage en le remplaçant par un défilement et en utilisant un ou plusieurs modulateurs matriciels ou linéaires légèrement inclinés par rapport à l'axe de défilement. L'angle á de tilt est tel que sin# = #/# pour que les lignes photo-inscrites soient juste espacées du diamètre $ du spot dans le plan focal des microlentilles. Le pas A correspond au pas de la matrice de microlentilles (et à l'espacement des pixels du modulateur à cristal liquide). Par exemple, des pixels espacés de A=50um avec un spot #=1 m nécessitent un tilt de 1,14 . Cette configuration permet d'utiliser des modulateurs à cristaux liquides à matrice active, par exemple, dans une architecture linéaire fonctionnant en défilement. Il peut aussi être intéressant d'utiliser des modulateurs linéaires de cette manière pour augmenter le débit d'information et éviter ou limiter le micro-balayage. En se reportant aux figures 9a et 9b, on va donc maintenant décrire un système utilisant des éléments modulateurs à cristaux liquides et microlentilles en forme de barrettes. L'exemple de réalisation des figures 9a et 9b comporte deux fois deux barrettes à cristaux liquides 20. 1 à 20. 4 disposées en quinconce avec leurs microlentilles associées. Une source laser 10 émet un faisceau de lumière polarisée à travers un dispositif afocal 100 vers un séparateur de faisceaux 18. 1 qui transmet une première moitié du faisceau à destination des barrettes 20. 1 et 20. 3 et qui réfléchit une deuxième moitié du faisceau à destination des barrettes 20. 2 et 20. 4. La première moitié du faisceau est transmise aux barrettes 20. 1 et 20. 3 successivement par un séparateur de faisceau 19. 1 et un miroir de renvoi 19. 3. La deuxième moitié de faisceau est réfléchie vers les barrettes 20. 2 et 20. 4 par le miroir de renvoi 18. 2 et un rotateur de polarisation 102, puis successivement par un séparateur de faisceau 19. 2 et un miroir de renvoi 19. 4. Entre les séparateurs et miroirs 19. 1 à 19. 4 et les barrettes 20. 1 à 20. 4 sont prévues des lentilles cylindriques telles que 101permettant d'adapter les faisceaux d'éclairement aux surfaces d'entrée des barrettes. La surface à traiter d'un échantillon est déplacée pas à pas ou de façon continue selon une direction de déplacement perpendiculaire à la grande longueur des barrettes comme indiqué par la flèche qui figure en bas à gauche de la figure 9b. Il est évident que dans une telle configuration, la largeur des espaces situés entre les barrettes 20. 1 et 20. 3 et entre les barrettes 20. 2 et 20. 4 correspond à la longueur d'une barrette ( les barrettes étant supposées avoir toutes la même longueur) de façon que, lors du déplacement de l'échantillon, toute la largeur de la surface correspondant aux quatre barrettes soit traitée. Un tel système ainsi décrit présente l'avantage d'utiliser des barrettes qui sont plus faciles à réaliser que des matrices. Préférentiellement, les barrettes à cristaux liquides seront réalisées à l'aide de cristaux liquides ferroélectriques qui ont des temps de réponse particulièrement courts : entre 10 et 100ps. Avec une barrette de 2000 pixels au pas de 10 m par exemple, le débit d'informations se situe entre 20 et 200Mpixels/s et est tout à fait comparable aux solutions matricielles décrites précédemment. L'architecture linéaire à cristal liquide ferroélectrique est donc très pertinente. D'autant plus qu'il est aussi possible d'associer plusieurs barrettes ensemble en quinconce comme cela a été décrit en relation avec les figures 9a et 9b avec un déplacement continu ou pas à pas de l'échantillon. La ligne complète est ainsi inscrite toujours à l'aide du micro-balayage. Par exemple, une association de 7 barrettes de 2000 éléments de 10 m de pas couvrant une largeur totale de 140 mm donnerait un débit de 140Mpixels/s à 1.4 Gpixels/s à même de satisfaire tous les besoins d'inscription directe cités dans le tableau de la figure 12. Dans cette architecture, l'étendue géométrique est très réduite à cause de la surface totale d'une barrette qui est très inférieure à celle d'une matrice, il peut être ainsi préférable de recourir à une source Laser, par exemple un laser YAG triplé émettant une lumière polarisée à 355nm de longueur d'onde et fonctionnant en régime impulsionnel. Il existe de tels lasers fournissant au moins 10W de puissance moyenne. Le système d'éclairage peut être similaire à celui décrit pour les matrices (voir figure 10). Selon une variante de réalisation de l'architecture des figures 9a et 9b, on prévoit de remplacer chaque barrette par une matrice inclinée par rapport à la direction de défilement de la surface à traiter comme cela a été décrit en relation avec la figure 8. Pour compléter la description du système de l'invention, il convient de décrire le système de déplacement de l'objet dont on veut traiter optiquement une surface. Comme on l'a vu lors de la description des figures 1 a et 1 b, le système comporte au moins une table ou platine mobile. L'objet à photoinscrire est placé sur un support à aspiration assurant un maintien précis par rapport au plan de l'instrument. Un système de réglage angulaire (piézo ou électromécanique) selon les trois axes de rotation propre de l'échantillon décrits sur la figure 1 b (p, # et Les déplacements en x et y, à l'aide de dispositifs de commande piézoélectriques ou électromécaniques, peuvent être de grande amplitude (0-500mm à 10mm/s par exemple) ou de faible amplitude (0-200pm) pour la sur-résolution, ils sont obtenus avec des actuateurs piezo-électriques. Dans la description qui précède, on a considéré à titre d'exemple que la modulation spatiale de la lumière était réalisée à l'aide de modulateurs à cristaux liquides, mais tout autre moyen de modulation peut être utilisé. Dans le cas de modulateurs à cristaux liquides, le domaine de fontionnement s'étend du domaine de l'ultraviolet (350-400 nm) au domaine du visible (400- 700 nm) et celui de l'infrarouge (700 nm - 20 micromètres). Comme on l'a vu précédemment, l'invention est applicable en microlithographie. Dans cette technique la longueur d'onde de la lumière utilisée se situe dans le domaine des Ultra Violets. Les figures 10 et 11représentent des exemples de cellules à cristaux liquides. Une cellule à cristal liquide comporte ceux lames transparentes 100 et 100' enserrant un matériau cristal liquide 101. Chaque lame transparente est munie sur sa face en contact avec le cristal liquide, d'électrodes de commande 105 et 105' et est recouverte d'une couche d'un matériau d'alignement 104 et 104' du cristal liquide. Comme on peut le voir sur la figure 11, un masque 106 opaque au faisceau d'éclairement (métallique par exemple) est réalisé sur une face d'une lame et détermine les pixels de la cellule à cristal liquide. Une couche d'un matériau 107 faisant office d'analyseur de polarisation recouvre une face de la lame de sortie 100' de l'analyseur. Enfin, la figure 11 représente, à titre d'exemple, la matrice de microlentilles réalisées sur la face extérieure de la lame de sortie 100'. Cependant, la matrice de microlentilles pourrait également être réalisée sur la lame d'entrée 100. A titre d'exemple de réalisation, avec une efficacité de modulation pour l'ensemble polariseur et modulateur à cristal liquide de 10%, nous avons un flux optique de 1 W typiquement au niveau de l'échantillon. En supposant qu'une résine classique utilisée en électronique requiert une dose de 50mJ/cm2 pour se sensibiliser, il est possible de traiter 20cm2 de surface par seconde soit un temps de traitement d'environ 10 secondes pour une plaque de silicium de 150mm (6 pouces) de diamètre. En fait, c'est donc le débit d'informations sur le modulateur à cristal liquide qui va limiter la vitesse d'inscription dans les techniques de micrioélectroniques. Par contre, c'est la valeur du flux lumineux qui est contraignant en imprimerie et en réalisation de plaques de circuits imprimés. En effet, la surface, la résolution et la dose requise d'illumination dépendent fortement du type d'application envisagée comme le montre le tableau de la figure 19 qui illustre différents cas d'utilisations dans différents domaines d'applications. On va maintenant décrire un exemple de réalisation d'un système de commande permettant de traiter une surface d'un objet également appelé échantillon. Tout d'abord, la figure 1d associée aux figures 1a ou 1b montre le chronogramme des différents signaux d'illumination et d'adressage du modulateur 2 ainsi que la vitesse et la position de l'échantillon 4 correspondantes. Dans cet exemple simplifié, l'échantillon est illuminé en 3 positions puis revient à sa position initiale. Ce cas de figure est celui d'une source 1 fonctionnant en régime impulsionnel, de type flash ou laser déclenché c'est-à-dire caractérisée par une durée d'illumination très inférieure à la période de répétition des impulsions. On voit donc que durant l'adressage, l'échantillon est déplacé, puis lorsque sa position est stabilisée (vitesse nulle), l'illumination du système est déclenchée traitant une zone d'impact de chaque faisceau lumineux tansmis par chaque microlentille 3. Sur la figure, ce processus se produit trois fois seulement, mais il est bien évident que dans la réalité il se produit autant de fois que nécessaire pour traiter la surface 4 comme cela a été décrit précédemment. En se reportant à la figure 12, on va maintenant décrire un synoptique général d'une machine de photo-inscription conforme à l'invention. La source de lumière 120 génère un faisceau lumineux entrant dans un répartiteur optique 121 qui assure la répartition spatiale et temporelle du flux lumineux sur la surface du modulateur spatial de lumière 122. Cette répartition peut être commandée par un interface électronique 123 pour masquer par exemple une partie du modulateur spatial pendant son adressage électrique ou le déplacement de l'échantillon 128 (voir figures 13 à 15). Le modulateur spatial est connecté au Micro-ordinateur de pilotage 124 par un interface électronique 125 qui gère son adressage électrique en fonction des données calculées. L'ensemble Modulateur spatial 122 et concentrateur 126 peut être micro-déplacé par un Moteur piezo 127 selon les axes x, y et z . Les axes x et y servent au micro-balayage pour la sur-résolution et l'axe z pour l'ajustement ou l'asservissement de la distance avec l'échantillon photosensible 128. Ce dernier est placé sur un support 129 constitué d'une table motorisée pour le contrôle d'assiette permettant d'ajuster le parallélisme entre l'échantillon et le plan d'illumination puis une table motorisée X, Y, Z pour les déplacements à grande distance. La mesure de l'assiette est réalisé par un dispositif comme celui qui sera décrit en relation avec la figure 18. La mesure 130 de distance Az (ou d2 sur la figure 1a) peut être réalisée par un dispositif analogue à celui utilisé pour l'asservissement vertical des têtes de lecture des disques optiques mettant en oeuvre une lentille sphérique, une lentille cylindrique et un détecteur à 4 quadrants. Il existe aussi d'autres dispositifs optiques de ce genre comme ceux utilisés pour l'asservissement de la pointe dans les microscopes à force atomique. La mesure 131 interférométrique X, Y est classique et permet de contrôler la position de l'échantillon à moins de 10nm près si nécessaire. La caméra de contrôle 132 sert au positionnement de l'échantillon 128 par rapport à la machine permettant notamment de superposer une photo-inscription rigoureusement avec la précédente à la manière d'un aligneur de masque classique tel que ceux utilisés en micro-électronique. Un programme informatique permet de convertir les formats de fichier d'entrée (GDS2, Gerber, Postscript...) en commandes Machine et assure l'interface avec l'opérateur qui dispose d'une console opérateur 133. Bien entendu, le système possède une alimentation électrique 134 et des interfaces d'alimentation telles que 135 et 136. La figure 13 représente un cas où la source de lumière 1 est continue et non aisément modulable, ce qui est un cas fréquent même avec un laser YAG triplé pompé par des diodes à cause des effets thermiques. La configuration présentée dans cette figure montre comment masquer électriquement l'illumination du modulateur spatial de lumière 2 pendant son adressage électrique ou pendant le déplacement de l'échantillon 4. Un commutateur de polarisation 137, à cristaux liquides ferroélectriques ayant un temps de commutation 10-100 s par exemple, permet de faire pivoter de 90 la polarisation en position parallèle p ou perpendiculaire s . A l'aide du cube ou lame séparatrice de polarisation 138 : en position s , le flux lumineux incident est dirigé à gauche vers un piège à lumière 139, alors qu'en position p , il est dirigé vers le bas et illumine le modulateur 2. La figure 14 montre le chronogramme des différents signaux d'illumination, d'adressage du modulateur avec la vitesse et la position de l'échantillon 4 correspondant à la figure 13. Dans cet exemple simplifié, l'échantillon est illuminé en 3 positions et revient à sa position initiale. La figure 15 représente une configuration qui correspond au cas de la figure 13 lorsque la durée d'adressage du modulateur 2 est du même ordre que celle d'illumination de l'échantillon 4 et qu'il est important d'optimiser l'utilisation du flux lumineux de la source. Avec le système proposé dans cette figure, les seuls temps morts sont ceux correspondant aux micro-déplacements de l'échantillon dont la durée peut être très courte. En utilisant deux modulateurs 2 et 2' fonctionnant en alternance Illumination / Adressage , la quasi totalité du flux lumineux est ainsi utilisée et la vitesse de photo-inscription est maximale. Les 3 états de polarisation utilisés successivement sont : 1) s et p' : Le flux lumineux est dirigé à 100% vers le piège à lumière 139, 2) p et p' : Le flux est dirigé à 100% vers le modulateur 2 par le séparateur de polarisations 138, 3) s et s' : Le flux est dirigé à 100% vers le modulateur 2' par le séparateur de polarisations 138'. Ce contrôle est assuré par 2 commutateurs de polarisation à cristaux liquides ferroélectriques 137 et 137' par exemple. La figure 16 correspondant au cas de la figure 15 et montre le chronogramme des différents signaux d'illumination et d'adressage des modulateurs 2 et 2' avec les états de polarisation associés. Une phase de déplacement de l'échantillon 4 sans illumination précède deux phases décalées d'adressage et d'illumination (voir les lignes Vitesse 4 et Position 4 de la figure16). Dans cet exemple simplifié, l'échantillon est illuminé en 2 positions et revient à sa position initiale. On va maintenant décrire un système permettant de traiter une surface et de lire l'état de la surface, c'est à dire de contrôler le résultat du traitement et cela en temps réel, point à point, au moment de chaque traitement ou aussitôt après chaque traitement. Les figures 17a et 17b décrivent donc une machine de photoinscription réversible pouvant fonctionner en photo-écriture et/ou en photolecture. Pour cela, la source est dotée d'une longueur d'onde pour l'inscription (par exemple en ultra-violet, à A=353nm par exemple) et d'une autre pour la lecture de longueur d'onde à peu près double (Rouge à À=680nm par exemple). Les polarisations peuvent être pilotées indépendamment pour ces deux longueurs d'onde. De plus, le système possède : un commutateur de polarisations 170 pour les polarisations s ou p , un séparateur de polarisations 173, un détecteur spatial de flux lumineux 171 pour le contrôle du flux UV, un détecteur de contrôle d'échantillon 172, une lame 174 fonctionnant en lame quart d'onde dans le visible et le rouge et en lame demi- onde dans l'UV. Quand le commutateur de polarisation 170 est en position s , le faisceau lumineux incident est dirigé sur la gauche vers un détecteur spatial de contrôle du flux 171. Dans ce cas, il est possible de contrôler l'homogénéité spatiale du faisceau incident ainsi que sa puissance totale. En position p , le flux incident est dirigé vers le modulateur 2 qui illumine l'échantillon 4. La figure 17a montre le parcours du flux de photo-inscription . La figure 17b montre le fonctionnement de la même machine que sur la figure 17-a mais avec le parcours du faisceau de lecture. En polarisation p au niveau de l'entrée du cube de polarisation 173 et en supposant que l'ensemble modulateur spatial-concentrateur 2 est rigoureusement parallèle et à la bonne distance de l'échantillon 4, le faisceau de lecture traversant la lame quart d'onde pour le rouge ressort à son retour sur la partie droite du cube 173. Un objectif permet de faire l'image du plan de l'échantillon 4 sur le plan de détection du détecteur 172 avec un grandissement tel que la surface du modulateur (2) d'une part correspond à la surface de détection d'autre part. Il est possible de faire cette opération de lecture simultanément à celle d'écriture et dans ce cas, les informations données par le détecteur spatial peuvent être utilisées pour l'asservissement d'assiette et l'asservissement vertical de l'échantillon (4). Il est aussi très intéressant de réaliser une pure opération de contrôle de l'échantillon 4 par exemple après avoir réalisé un traitement de développement, gravure ou dépôt dessus. Si le détecteur spatial 172 a le même débit que celui du modulateur spatial 2, la machine offre les mêmes performances spatio-temporelles en lecture qu'en écriture. Dans l'état de l'art, on trouve des détecteurs matriciels rapides de 512x512 pixels photodétecteurs Silicium avec une fréquence image de 5kHz soit un débit de 1.25Gpixels/s. Plus couramment, les caméras CCD classiques ont des performances de l'ordre de 20Mpixels/s. A l'issue d'une telle opération de contrôle, le programme de la machine est capable de sortir les écarts entre les caractéristiques de photo-inscription souhaitées et celles obtenues. La figure 18 représente un système de réglage de position de la platine support 4. La mesure d'assiette s'effectue par un dispositif optique analogue à celui décrit dans cette figure mettant en #uvre un faisceau lumineux parallèle issu d'une source traversant un élément séparateur 180, se réfléchissant sur la surface photosensible sans la sensibiliser (lumière rouge en général) puis sur l'élément séparateur 180 pour illuminer à travers une lentille 181 un détecteur à 4 quadrants 182. Lorsque la tâche ainsi formée sur le détecteur 182 est parfaitement centrée, le signal d'erreur obtenu par mesure différentielle entre deux photo-détecteurs opposés quantifie l'écart angulaire sur chaque axe considéré. La figure 18 montre 3 cas : faisceau centré, faisceau décalé en x et faisceau décalé en y avec les signaux d'erreur correspondants. Il est à noter comme cela a déjà été indiqué que le domaine spectral d'utilisation des cristaux liquides s'étend de 0.3um à 20 m environ avec seulement quelques pics d'absorption très étroits. De plus, le traitement d'une surface photosensible peut s'effectuer dans l'UV (300-400nm) et dans le bleu (400-450nm) lorsqu'il s'agit de polymériser une résine photosensible mais aussi à n'importe quelle autre longueur d'onde lorsqu'il s'agit d'effets thermiques (changement de phase, dilation ou ablation du matériau). Le domaine spectral d'utilisation du système de traitement de surfaces photosensibles décrit s'étend donc de 0.3um à 20 m. REVENDICATIONS 1. Système de traitement optique de surfaces comprenant une source lumineuse caractérisé en ce que : la source (1,2) émet, par une face émissive, un faisceau lumineux modulé spatialement ; la plus grande dimension (D) de la face émissive est dans un rapport supérieur à 10 avec la distance (d2) séparant un plan, selon lequel doit être disposée une surface à traiter d'un objet (4), et ladite face émissive de la source . 2. Système de traitement optique de surfaces comprenant une source lumineuse caractérisé en ce que : la source (1,2) émet, par une face émissive, un faisceau lumineux modulé spatialement ; il comporte un arrangement périodique d'éléments de concentration (3) de la lumière disposé entre la face émissive de la source et un plan selon lequel doit être disposée une surface d'un objet à traiter (4); la plus grande dimension de la face émissive et/ou de la matrice d'éléments de concentration est dans un rapport supérieur à 10 avec la distance (d2) séparant ledit plan d'une part de l'arrangement périodique d'éléments de concentration et /ou ladite face émissive d'autre part . 3. Système de traitement optique de surfaces selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte un arrangement périodique d'éléments de concentration de la lumière (3) permettant de former sur la surface à traiter un arrangement périodique de spots lumineux de dimensions petites devant le pas dans un rapport supérieur à 4. 4. Système de traitement optique de surfaces selon l'une des revendications 2 ou 3, caractérisé en ce que, la source modulée spatialement comporte une matrice d'éléments émissifs et en ce que : la matrice d'éléments émissifs est sensiblement de mêmes dimensions et possède le même nombre d'éléments que l'arrangement périodique d'éléments de concentration et répartis selon un pas déterminé ; les éléments de la matrice d'éléments émissifs sont chacun en coïncidence avec un élément de l'arrangement périodique d'éléments de concentration avec une tolérance d'écart maximale de 1/100 dudit pas des arrangements périodiques. 5. Système de traitement optique de surfaces selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en que la source émettant un faisceau lumineux modulé spatialement comprend : une source lumineuse (1) émettant un faisceau d'éclairement (10) ; - un modulateur spatial de lumière (2) de forme générale plane dont une face d'entrée est éclairée par ledit faisceau d'éclairement et émettant par une face de sortie (21) un faisceau modulé destiné à insoler une surface dudit objet à traiter optiquement. 6. Système de traitement optique de surfaces selon la revendication 5, caractérisé en ce que la face de sortie du modulateur spatial (2) est couplée à l'arrangement périodique d'éléments de concentration (3) de façon que le modulateur spatial et l'arrangement périodique d'éléments de concentration forment un ensemble compact. 7. Système selon l'une des revendications 3 à 6, caractérisé en ce que l'arrangement périodique d'éléments de concentration de la lumière (3) est une matrice de lentilles (microlentilles ou minilentilles). 8. Système selon l'une des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que le modulateur spatial de lumière est un écran à cristal liquide et en ce que l'arrangement périodique d'éléments de concentration de la lumière (3) permet de projeter l'image des pixels de l'écran à cristal liquide sur la surface à traiter selon un rapport de réduction déterminé (r) de façon à y former des spots lumineux de dimension rA, où r désigne le rapport de réduction des éléments de concentration et A désigne le pas de répartition des éléments de concentration.. 9. Système selon la revendication 5, caractérisé en ce que le modulateur spatial (2) fonctionne en lumière polarisée et en ce que la source émet un faisceau de lumière polarisée, ou bien le système comporte au moins un polariseur (12) entre la source (1) et le modulateur spatial (2). 10. Système selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte une platine support (5) destinée à recevoir ledit objet (4) dont on veut traiter une face de manière que ladite face à traiter soit parallèle à la face émissive de la source ou au plan du modulateur spatial, la platine support permettant de déplacer ledit objet selon deux premières directions perpendiculaires entre elles et contenues dans le plan de la surface à traiter ainsi que selon une troisième direction orthogonale aux deux premières directions ; le pas de déplacement selon les deux premières directions étant sensiblement égal au pas de répartition de l'arrangement périodique d'éléments de concentration (A) multiplié par le rapport de réduction (r) des éléments de concentration. 11. Système selon la revendication 7, caractérisé en ce que la matrice de lentilles (3) est réalisée sur la face de sortie (21) du modulateur spatial (2). 12. Système selon l'une quelconque des revendications 5 à 11, caractérisé en ce qu'au moins deux modulateurs spatiaux de lumière (2.1, 2.2) et leurs arrangements périodiques d'éléments de concentration de lumière (3. 1, 3. 2) sont situés dans un même plan et qu'un premier séparateur (14) réfléchit la moitié du flux lumineux reçu de la source vers un premier modulateur spatial (2.1) et transmet l'autre moitié du flux lumineux vers un miroir de renvoi (15) qui réfléchit la lumière qu'il reçoit vers le deuxième modulateur spatial (2.2), le premier séparateur étant un séparateur de polarisations si la lumière qu'il reçoit de la source n'est pas polarisée ou étant un séparateur de faisceau si la lumière qu'il reçoit est polarisée. 13. Système selon l'une quelconque des revendications 5 à 11, caractérisé en ce qu'il comporte un répartiteur de flux lumineux disposé entre la source et plusieurs modulateurs spatiaux, recevant le flux lumineux de la source et le répartissant de façon uniforme vers les différents modulateurs spatiaux. 14. Système selon la revendication 13, caractérisé en ce que le répartiteur est constitué d'un répartiteur incluant des fibres optiques. 15. Système selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comporte : - plus de deux modulateurs spatiaux de lumière avec leur arrangement périodique d'éléments de concentration disposés dans un même plan en lignes et colonnes, tels que 2 fois 2 modulateurs, ou 3 fois 3, ou 4 fois 4, etc., - un premier séparateur d'entrée (12) qui transmet (ou réfléchit), à destination d'une première ligne de modulateurs (2. 1 à 2. 3), un flux de ligne correspondant à une première partie du flux du faisceau lumineux reçu de la source et qui réfléchit (ou transmet) une deuxième partie du flux du faisceau lumineux à destination de la ligne suivante de modulateurs spatiaux, un deuxième séparateur (12') par ligne suivante placés en série selon la direction du faisceau véhiculant la deuxième partie du flux lumineux, chacun de ces deuxièmes séparateurs réfléchissant également un flux de ligne, correspondant à une partie du flux reçu par le séparateur, vers une ligne de modulateurs spatiaux, le dernier séparateur (17,12") étant un miroir de renvoi réfléchissant un flux de ligne vers la dernière ligne de modulateurs, - une ligne de troisièmes séparateurs disposés le long de la direction de chaque faisceau véhiculant un flux de ligne, chaque troisième séparateur réfléchissant une partie du flux qu'il reçoit vers un modulateur spatial de la ligne correspondante et transmettant une autre partie du flux vers le séparateur suivant de la ligne, le dernier séparateur de la ligne étant un miroir de renvoi qui réfléchit la lumière vers le dernier modulateur spatial. 16. Système selon l'une des revendications 12 ou 15, caractérisé en ce que si la source émet un faisceau de lumière polarisée, les différents séparateurs sont des séparateurs de faisceau, le système comportant en outre des rotateurs de polarisation permettant de compenser les rotations de polarisation dues aux réflexions, de façon que les différents modulateurs spatiaux reçoivent des faisceaux de lumière polarisée de la même façon. 17. Système selon l'une des revendications 12 ou 15, caractérisé en ce que si la source émet un faisceau de lumière non polarisée, les premiers et deuxièmes séparateurs sont des séparateurs de polarisations, ou ce sont les troisièmes séparateurs qui sont des séparateurs de polarisations. 18. Système selon la revendication 10, caractérisé en ce que la platine support permet un déplacement de l'objet continu ou pas à pas après chaque illumination de la face à traiter par les faisceaux transmis par la matrice de lentilles, ce déplacement se faisant selon une direction de déplacement déterminée, le modulateur spatial et son arrangement périodique d'éléments de concentration associé étant incliné d'un angle déterminé par rapport à la direction de déplacement. 19. Système selon l'une des revendications 5,10 ou 18, caractérisé en ce que les modulateurs spatiaux se présentent sous forme de barrettes, le système comportant au moins deux lignes de barrettes, les barrettes des différentes lignes étant disposées en parallèle et en quinconce les unes par rapport aux autres, le système permettant un déplacement en défilement de la surface à traiter selon une direction orthogonale à la plus grande longueur des barrettes et en microbalayage dans la direction parallèle à la plus grande longueur des barrettes. 20. Système selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'il comporte deux lignes de barrettes, les barrettes ayant des longueurs équivalentes et les barrettes de chaque ligne étant espacées sensiblement de la longueur d'une barrette. 21. Système selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'il comporte un système de mise en forme de faisceau comportant une lentille cylindrique associé à chaque barrette et permettant d'adapter la section de chaque faisceau d'éclairement de chaque modulateur spatial à la surface de ces modulateurs spatiaux. 22. Système selon la revendication 10, caractérisé en ce que les modulateurs et leurs éléments de concentration associés forment un pavage discontinu selon leur plan avec un espace entre deux modulateurs voisins égal ou légèrement inférieur à la plus grande dimension d'un modulateur, lesdits modulateurs pouvant être discrets ou être réalisés sur un même substrat. 23. Système selon la revendication 10 caractérisé en ce que la platine support (5) permet des deuxièmes déplacements de l'objet (4) parallèles aux premiers déplacements, mais avec un pas de déplacement sensiblement égal à la plus grande dimension de la source modulée spatialement ou de l'arrangement périodique d'éléments de concentration. 24. Système selon l'une quelconque des revendications 5 à 11, caractérisé en ce que la source (1) émet un faisceau de lumière polarisée et en ce qu'il comporte au moins un séparateur de polarisation (138) et un rotateur de polarisation actif (137) disposé entre la source (1) et au moins un modulateur spatial, recevant le flux lumineux de la source et le commutant par l'intermédiaire d'un signal électrique de commande sur le rotateur de polarisation actif (137) vers l'un des modulateurs spatiaux ou vers un piège à lumière (139). 25. Système selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le système comporte au moins 2 phases de fonctionnement successives : adressage des modulateurs spatiaux avec positionnement de l'objet (4) sans illumination d'une part et illumination sans adressage ni déplacement de l'objet d'autre part. 26. Système selon la revendication 25 caractérisé en ce que la source lumineuse (1) est impulsionnelle et comporte une lampe flash ou un laser déclenché. 27. Système selon la revendication 25 caractérisé en ce que la source (1) émet un flux lumineux continu et en ce qu'il comporte au moins deux modulateurs spatiaux de lumière rendus actifs alternativement, aucun des modulateurs spatiaux n'étant illuminé pendant le positionnement de l'objet (4). 28. Système selon l'une quelconque des revendications 5 à 11 comprenant un élément séparateur (173), un premier détecteur spatial (172) avec un objectif (175) associé permettant d'effectuer une opération de lecture sur la surface à traiter (4), cette surface étant en conjugaison optique par l'objectif avec le plan du détecteur spatial (172). 29. Système selon l'une quelconque des revendications 5 à 11 comprenant un élément séparateur (173) et un deuxième détecteur spatial (171) permettant d'effectuer une opération de contrôle du faisceau lumineux . 30. Système selon l'une des revendications 28 ou 29, caractérisé en ce que la source lumineuse émet une lumière polarisée à une longueur d'onde d'écriture et/ou à une longueur d'onde de lecture sensiblement égale au double de la longueur d'onde d'écriture c'est à dire ne permettant pas de photo-sensibiliser la surface (4), et en ce qu'il comporte notamment la succession d'un élément séparateur de polarisation (173), d'une lame demionde (174) à la longueur d'onde d'écriture et du modulateur spatial (2), la lame demi-onde (174) permettant de transmettre sans dépolarisation la lumière à la longueur d'onde d'écriture vers le modulateur (2) mais de dépolariser la lumière à la longueur d'onde de lecture pour en transmettre au moins une partie après réflexion par la surface à traiter (4) vers le premier détecteur spatial pour effectuer une opération de lecture sur la surface à traiter. 31. Système selon la revendication 30 caractérisé en ce que les informations de lecture sont utilisées pour le contrôle de l'assiette et de l'altitude z de l'échantillon (4) permettant de se dispenser éventuellement d'un capteur d'assiette de d'altitude z spécifique.