Brevet FR2843830A1 — publié le 20040227

SUPPORT DE GARNITURE ET PROCEDE DE TEST DU SUPPORT DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un support de garniture présentant des plages conductrices à garnir et adapté à la fois à la garniture collective de différentes plages et au test électrique des propriétés du support avant ou après l'opération de garniture. On 10 entend par garniture toute couche réalisée sur une surface permettant de conférer à cette surface de nouvelles propriétés. On entend par support de garniture tout système, fabriqué par ailleurs selon des techniques connues, dont au moins une partie de la 15 surface est appelée à recevoir une garniture. Le support peut posséder des propriétés intrinsèques, conférées par sa méthode de fabrication supposée connue, indépendantes ou non de la présence de la garniture. L'invention trouve par exemple des applications pour la réalisation de plaquettes de composants tels que des puces électroniques, des biopuces, des supports d'analyse divers, des capteurs ou actionneurs intégrés et, de façon plus générale, tout support comportant des 25 dispositifs miniaturisés présentant des parties conductrices susceptibles d'être fonctionnalisées. Dans le cadre de l'invention, la garniture des plages conductrices est une garniture par voie électrochimique. ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE Un premier exemple particulier de support de garniture est donné par une plaquette de silicium sur laquelle ont été préalablement réalisées, par micro5 usinage selon les techniques connues, des structures électromécaniques. Ces structures appelées MEMS sont destinées à être utilisées comme éléments sensibles de capteurs. A titre d'exemple, pour un capteur de pression, chaque structure comporte une membrane de 10 silicium se déformant sous l'effet de la force appliquée et des contacts permettant de caractériser la déformation à partir d'une mesure électrique. Pour que ces membranes puissent être en contact direct avec le milieu sous pression à caractériser, il peut être 15 nécessaire de leur appliquer une garniture permettant de les fonctionnaliser. Pour conserver le caractère collectif du procédé, la garniture doit être de préférence réalisée simultanément sur l'ensemble des membranes de la 20 plaquette sans recouvrir les autres plages conductrices, dans ce cas les contacts électriques. Pour des raisons technologiques, les contacts électriques et les membranes sont en général sur la même face de la plaquette. Il n'est donc pas possible 25 d'appliquer directement les procédés connus de dépôt non sélectifs, par exemple par plasma, qui traitent globalement un support, sans possibilité de différencier les différentes plages. Il est possible de fonctionnaliser sélectivement les membranes des différentes structures, ou de manière générale les plages conductrices choisies de tout support, en utilisant par exemple les techniques connues pour les supports d'analyse biologique ou chimique, encore appelés "biopuces" dans le domaine de la biologie. Les biopuces sont un autre exemple particulier de supports présentant une pluralité de plages conductrices. Ces plages sont fonctionnalisées avec des réactifs ou des "molécules-sondes". Elles sont utilisées pour détecter la présence dans un milieu 10 donné, de molécules cibles ou de molécules auxquelles sont sensibles les réactifs. Pour effectuer une analyse simultanée de différents constituants du milieu, différentes plages doivent être préalablement garnies de réactifs différents ou de molécules-sondes 15 différentes. La garniture a généralement lieu en immergeant le support dans un milieu contenant le matériau de garniture ou un précurseur de celui-ci. Pour obtenir la garniture sélective de certaines plages, tout en laissant d'autres plages vierges pour 20 le dépôt ultérieur d'un autre matériau de garniture, différentes techniques sont connues. Une première technique consiste à former sur le support un masque présentant des ouvertures correspondant respectivement aux plages devant être garnies. Cette technique peut 25 être appliquée de manière équivalente à tous les types de support, et en particulier à la plaquette de silicium constituée de microstructures en utilisant les ouvertures pour les membranes et en recouvrant les autres plages de la plaquette. Cette technique peut s'avérer longue et coteuse car elle impose la mise en place et le retrait d'un masque pour chaque type de matériau de garniture à déposer. Elle demande en particulier l'application alternative de deux types d'opérations: des opérations de lithographie et des opérations de garniture. De plus, même quand la multiplication des opérations est acceptable, la garniture doit pouvoir résister à la gravure chimique nécessaire pour retirer le masque. Une autre technique connue en particulier pour 10 les biopuces, est utilisée quand le matériau de garniture est déposé par voie électrochimique. Dans ce cas, la sélection des plages devant être garnies a lieu en appliquant sélectivement aux plages des tensions de polarisation. Ces tensions provoquent, ou au contraire 15 interdisent, le dépôt du matériau de garniture considéré. Cette technique peut être utilisée de manière équivalente pour tous les types de support comportant des plages conductrices devant être fonctionnalisées. On distingue deux types de garnitures électrochimiques qui sont la garniture électro-initiée et la garniture électro-suivie. Le type de garniture est dicté par la nature des électrolytes ou des précurseurs mis en euvre. La garniture électro-initiée, telle que le greffage de molécules sondes, est une garniture déclenchée par un potentiel électrique. Ce potentiel doit dépasser une valeur de seuil caractéristique du milieu de garniture utilisé. En revanche, la garniture 30 se poursuit spontanément, même après l'élimination du potentiel, par simple contact des sites initiés avec le milieu de garniture. La garniture électro-suivie est un procédé de garniture entretenu par un courant électrochimique. Si 5 le déclenchement de la garniture électrosuivie n'est pas affecté d'un seuil de tension, elle s'interrompt dès la disparition du courant électrochimique imposé. A titre d'exemple, l'utilisation d'une garniture électrochimique, par exemple comme celle 10 réalisée à partir d'une réaction électro-initiée telle que décrite dans la référence 5, permet d'apporter différentes fonctions à la surface de la membrane des microstructure: biocompatibilité, lubrification de surface, protection chimique,... (voir par exemple les 15 références 6 et 7). L'application d'une tension de polarisation et/ou d'un courant électrochimique à un ensemble de plages conductrices fait appel généralement à des moyens d'adressage collectifs. A titre d'exemple, un 20 ensemble de plages à garnir peut être relié à un plot d'adressage commun à l'aide d'une électrode commune. Le ou les plots d'adressage communs peuvent être ménagés sur une partie accessible du substrat pour faciliter leur mise en contact avec des moyens de 25 connexion extérieurs. Par ailleurs, pour les supports de garniture présentant une pluralité de plages conductrices à garnir il est peut être utile de procéder à un certain nombre de tests électriques. Ces tests peuvent être 30 pratiqués avant ou après la garniture. Par exemple, dans le cas o le support est un support comportant des fonctions électriques ou une multitude de circuits électroniques, il peut être nécessaire d'effectuer un test collectif des fonctions 5 ou des composants avant ou après l'opération de garniture pour vérifier la fonctionnalité de chaque fonction ou de chaque composant. Ces tests s'effectuent en utilisant des pointes de test ou un sabot de test équipé de pointes ou de bossages conducteurs permettant 10 de relier électriquement grâce à un contact mécanique temporaire, les contacts de chaque composant ou de chaque fonction aux appareils de test externes. Ces tests ne peuvent être réalisés que si certaines conditions d'isolation sont réunies entre les 15 différentes plages conductrices. A titre d'exemple, pour une plaquette composée de microstructures pour la mesure de pression utilisant une technique capacitive, chaque microstructure est munie de deux contacts. Un premier contact est relié à la membrane et le second 20 est relié au substrat de silicium, la membrane étant électriquement isolée du substrat. La caractérisation de la déformation de la membrane se fait par mesure de la capacité entre la membrane et le substrat via les contacts. Avant découpe des composants, tous les 25 contacts vers le substrat sont reliés électriquement. La réponse individuelle de chaque microstructure ne peut donc être obtenue que si les différentes membranes sont électriquement isolées. Le problème est identique pour un grand nombre 30 de composants électriques ou électroniques. On citera par exemple un substrat pour lequel les plages conductrices correspondent aux différents contacts de composants. Le test des composants ne peut être effectué que si les contacts ne sont pas mis en courtcircuit par l'électrode commune. Or, comme évoqué précédemment, lorsque un ou plusieurs plots communs sont prévus pour l'adressage d'une pluralité de plages conductrices en vue de leur garniture, la connexion de plusieurs plages conductrices à une même borne commune a pour effet de 10 relier électriquement entre elles les plages conductrices. Ceci interdit les tests tels que décrits ci-dessus. Il est possible d'éviter que les plages ne soient en permanence reliées au plot d'adressage commun 15 en équipant chaque plage d'un commutateur permettant de couper temporairement le lien électrique vers un plot d'adressage commun. Les commutateurs nécessitent toutefois une commande électrique de leur état de commutation et augmentent fortement le cot du support 20 de garniture, en particulier en diminuant la surface disponible sur le support. Il existe d'autres méthodes connues permettant de relier les plages conductrices de manière temporaire. On citera par exemple la technique 25 consistant à évaporer une couche conductrice à la surface du support pour réaliser une électrode commune temporaire supprimée après l'opération de garniture par gravure locale. Cette méthode, outre qu'elle suppose l'utilisation de différents masques, crée une couche 30 supplémentaire entre la plage conductrice et la garniture. Par extension, on appellera également test toute opération nécessitant de mettre en oeuvre des fonctions électriques présentes sur le support. Outre les aspects évoqués ci-dessus, un 5 arrière-plan technologique de l'invention est encore illustré par les documents (1) à (7) dont les références sont précisées à la fin de la présente description. EXPOSE DE L'INVENTION L'invention a pour but de proposer un support de garniture ne présentant pas les difficultés cidessus. Un but est en particulier de proposer un tel 15 support qui permette un adressage collectif pour la garniture des plages conductrices et qui soit compatible avec le test électrique des propriétés du support avant ou après l'opération de garniture. Un but est notamment de proposer un tel support 20 qui soit peu coteux et qui soit donc dépourvu de circuits de commutation et de multiplexage. Un autre but est de proposer une méthode de garniture pouvant être réalisée sans masques. Pour atteindre ces buts, l'invention a plus 25 précisément pour objet un support de garniture comprenant une pluralité de plages conductrices susceptibles d'être recouvertes d'une garniture par voie électrochimique et comprenant au moins un plot commun relié à la pluralité de plages conductrices e-t 30 utilisable comme plot d'adressage électrochimique et comme plot de test. Le test correspond au test électrique des propriétés du support. Conformément à l'invention, le plot d'adressage est relié via une électrode commune permanente aux plages conductrices par l'intermédiaire de moyens à diode. La garniture par voie électrochimique est de préférence de type électroinitiée permettant une garniture localisée précise et homogène même en présence d'inhomogénéités de potentiel. Grâce aux moyens à diode, il est possible de 10 réaliser deux types d'opérations en fonction de la polarisation appliquée au plot commun. Les diodes présentent de préférence la même orientation depuis un plot d'adressage commun et les différentes plages conductrices qui y sont reliées. Leur orientation est 15 dictée par la garniture à appliquer: la polarisation nécessaire pour initier la ou les réactions électrochimique correspond à une polarisation des diodes dans le sens passant permettant ainsi de relier le plot commun à toutes les plages conductrices qui y 20 sont reliées. Ceci permet d'appliquer simultanément aux plages le potentiel électrochimique nécessaire et de faire circuler un courant électrochimique lorsque le support est mis en contact avec un bain approprié. Une polarisation en inverse des diodes rend au 25 contraire toutes les plages indépendantes du plot commun et donc indépendantes les unes des autres. La polarisation en inverse est provoquée en portant le plot commun à un potentiel de blocage de signe opposé à celui utilisé pour la garniture, mesuré par rapport à 30 la référence de potentiel utilisé pour le test électrique. Dans ce cas, des tensions individuelles, inférieures au potentiel de blocage peuvent être appliquées aux plages conductrices, selon les besoins définis pour le test électrique du support, sans rompre l'isolation entre les plages. Une diode peut être associée à chaque plage conductrice. Toutefois si plusieurs plages conductrices équivalentes n'ont pas besoin d'être isolée pour permettre le test électrique, une diode peut aussi être connectée entre le plot commun et l'ensemble des plages 10 concernées. Pour garantir une garniture homogène même en présence de fluctuations importantes de potentiel, la garniture est de préférence réalisée à partir d'une réaction électro-initiée mise en oeuvre dans un mode 15 permettant la saturation de la densité d'accrochage. Dans une application particulière de l'invention à un support contenant des cartes à puce, les plages conductrices peuvent être les contacts d'une carte à puce. Elles sont alors reliées aux bornes d'une 20 puce électronique qui leur est associée. Les moyens à diode peuvent alors être avantageusement intégrés dans la puce. La garniture permet par exemple de protéger les contacts contre l'usure et l'oxydation en leur appliquant un revêtement protecteur et lubrifiant. Dans une autre application particulière, le support est une plaquette sur laquelle sont réalisés ou assemblés des composants électroniques. Ces composants comportent une ou plusieurs familles de plages conductrices (plots de contacts, plots d'assemblage, 30 surfaces d'interface pour les capteurs, etc.) pouvant être fonctionnalisées par une garniture électrochimique pour apporter différentes fonctions (assemblage mécanique, interconnexion électrique, protection, fonctionnalisation chimique pour assurer la biocompatibilité, etc.). L'invention concerne également un procédé de garniture et de test d'un support tel que décrit cidessus. Le procédé comprend au moins une phase de test électrique des propriétés du support lors de laquelle on applique au plot d'adressage commun un premier 10 potentiel, dit de test, et au moins une phase de garniture des plages conductrices lors de laquelle on applique au plot d'adressage commun au moins un deuxième potentiel dit de potentiel de garniture, le potentiel de garniture et le potentiel de test étant de 15 signe opposé, de façon à rendre passants les moyens à diode lors de la phase de garniture. L'ordre d'exécution des phases de test et de garniture peut être indifférent si l'application de la garniture ne gène pas la phase de test et si la phase de test ne 20 détériore pas la garniture. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, en référence aux figures des dessins annexés. Cette description est donnée à titre purement 25 illustratif et non limitatif. BREVE DESCRIPTION DES FIGURES La figure 1 est une représentation schématique et symbolique d'un support de garniture conforme à 30 l'invention, dans un circuit électrochimique. La figure 2 est un voltamogramme caractéristique de la garniture d'un support conforme à la figure 1, avec un matériau de garniture donné. La figure 3 est une modélisation du circuit 5 électrique décrivant le circuit électrochimique complet. La figure 4 est une représentation schématique et symbolique d'un support de garniture particulier utilisé pour la fabrication de capteurs de pression 10 micro-usinés sur silicium et compatible avec la fonctionnalisation collective des membranes et le test individuel des capteurs. DESCRIPTION DETAILLEE DE MODES DE MISE EN îUVRE DE 15 L'INVENTION Le support de garniture de la figure 1 comprend un substrat isolant 10 ou carte à puce, pourvu d'une puce électronique 12 et présentant sur une face principale une pluralité de plages conductrices 14a, 20 14b correspondant aux plots permettant par exemple de contacter la puce lorsque la carte est insérée dans un lecteur. Ces plots sont susceptibles d'être garnies pour leur conférer de nouvelles propriétés: résistance à l'usure, protection chimique ou lubrification. Une 25 plage conductrice supplémentaire est repérée avec la référence 16. Cette plage n'est pas destinée à être garnie mais sert ici de plot d'adressage commun. Les plages 14a, 14b et 16 sont par exemple en un métal tel que l'or ou le nickel. Des diodes 18a et 18b relient respectivement les plages conductrices 14a et 14b au plot d'adressage commun 16. L'ensemble constitue le circuit d'adressage. Les diodes sont toutes orientées de façon que leur cathode soit en contact avec le plot d'adressage commun. Une orientation opposée est également possible. 5 L'orientation est corrélée à la polarité des tensions appliquées pendant l'opération de garniture. On peut noter que la plus grande partie du circuit d'adressage est réalisée sur la puce: les diodes sont intégrées dans la puce 12 ainsi que les 10 connexions vers une borne d'adressage 24; les plages conductrices et le plot d'adressage commun sont respectivement reliés à des bornes 20, correspondant aux contacts de la puce, et à la borne d'adressage 24, par des liaisons filaires 22. La puce comporte, bien 15 sr, d'autres composants ou fonctions électroniques. Ceux-ci ne sont pas détaillés ici et ne sont pas représentés pour de raisons de clarté. La référence 30 indique un bain comprenant en solution des précurseurs des matériaux de garniture que 20 l'on souhaite former sur les plages conductrices. A titre indicatif, le bain peut contenir des monomères dont on provoque la polymérisation sur les plages conductrices adressées. Dans le cadre d'une garniture électro-initiée on peut utiliser par exemple un milieu 25 contenant des monomères vinyliques ou des molécules porteuses de ces groupements, des monomères cycliques clivables par attaque nucléophile ou électrophile ou des molécules porteuses de ces groupements, des sels de diazonium, de sulfonium, de phosphonium ou d'iodonium 30 ou des molécules porteuses de ces groupements. Les matériaux de garniture peuvent constituer des sondes chimiques, des sondes biologiques, des revêtements de protection ou des revêtements conducteurs. Une garniture électro-suivie peut être réalisée à partir d'un composé choisi parmi les sels métalliques, les 5 monomères précurseurs de polymères conducteurs (pyrole, thiophène, aniline, EDOT, phénol,...) ou les molécules portant - à titre de substituant - de tels précurseurs, les poly-électrolytes ioniques précurseurs de films électrodéposés, ainsi que les mélanges de ces 10 composés. On applique un potentiel au plot d'adressage commun 16 soit par un montage à 2 électrodes, soit par un montage à 3 électrodes de façon à ce que ce potentiel soit égal à une valeur V donnée par rapport à 15 une référence. La référence 32 indique un potentiostat pour la réalisation d'un montage de préférence à 3 électrodes. Le potentiostat est relié à une électrode de travail 35, connectée au plot d'adressage commun 16, à une électrode de référence 36 et à une contre20 électrode 34. Dans le montage à 3 électrodes utilisé, les potentiels sont mesurés par rapport à une électrode de référence 36. Le potentiostat est également susceptible de fournir un courant électrochimique pour entretenir une éventuelle garniture électro-suivie. Pour la formation d'une garniture, la polarité du potentiostat est déterminée par la nature des monomères en solution. C'est elle qui détermine le choix initial de l'orientation des diodes 18a et 18b de telle façon que celles-ci soient polarisées dans le 30 sens passant lorsque le potentiel électrochimique nécessaire est appliqué pour qu'un courant électrochimique circule. Lors d'une phase de test en revanche, on utilise une configuration permettant de maintenir entre 5 le plot d'adressage commun 16 et les plages conductrices 14a et 14b une tension inverse permettant de bloquer les diodes. Le blocage des diodes a alors pour effet d'isoler électriquement l'un de l'autre les plages conductrices. De manière pratique, le test des 10 différentes fonctions associées à la carte est réalisé à partir d'un circuit de mesure externe comportant différents points de mesure ou d'alimentation destinés à être reliés aux contacts 14a ou 14b. Les tensions sont mesurées par rapport à une référence choisie dans 15 le circuit externe. Une tension supplémentaire, dite de polarisation, choisie en valeur absolue supérieure ou égale à toutes les autres tensions utilisées, est appliquée sur le plot 16. Son signe est opposé à celui utilisé pour l'opération de garniture: elle permet 20 donc de bloquer les différentes diodes 18a et 18b. Dans cette configuration, aucun courant ne circule entre les plots par l'intermédiaire du circuit de polarisation: le composant est fonctionnel et peut être testé ou utilisé normalement. L'application des tensions de test peut avoir lieu comme indiqué précédemment par l'intermédiaire d'un sabot de test. Le support de garniture peut également comporter plusieurs puces associées chacune à des 30 contacts 14a et 14b. Cette mise en oeuvre est utilisée pour permettre la fabrication, le test et le traitement collectif des différentes cartes à puces qui seront obtenues après découpe du support. Dans cette configuration, toutes les bornes 24 des différentes puces sont reliées à un unique plot d'adressage 16 via 5 une piste conductrice appelée électrode commune parcourant l'ensemble du support. Le test individuel de chaque puce et donc de chaque carte peut être réalisé avant découpe du support. La figure 2 est un diagramme, et plus 10 précisément un voltamogramme, représentatif d'un exemple particulier de garniture correspondant à une réaction électro-initiée: il s'agit de l'électro-greffage couplé à une croissance chimique de polymère, tel qu'il peut être 15 obtenu par électro-réduction ou électro-oxydation de monomères vinyliques ou de monomères cycliques clivables par attaque nucléophile ou électrophile, ou encore par l'électro-réduction ou l'électro-oxydation de précurseurs électro-clivables, en particulier 20 lorsque leurs produits d'électroréduction ou d'électro-oxydation sont des radicaux réactifs, notamment par l'électro-réduction de sels de diazonium, de sulfonium, de phosphonium ou d'iodonium. L'électrogreffage de monomères permet de fixer de façon 25 covalente des polymères sur les plages conductrices ou semi- conductrices. Ces polymères "poussent" sur la surface à partir du premier monomère électro-réduit sur la surface, par croissance chimique. Seule la première étape d'accrochage du premier monomère sur la surface 30 est électrochimique, la croissance étant purement chimique. On a donc bien une réaction électro-initiée. L'électro-greffage de sels de diazonium et analogues conduit - en général - à des couches qui ne croissent pas. C'est donc un cas particulier d'une réaction électro-initiée, réduite à sa plus simple expression. Le voltammogramme indique, pour un matériau de garniture donné, l'intensité d'un courant électrochimique I, reporté en ordonnée, en fonction d'une tension de polarisation V appliquée à une plage conductrice par rapport à une électrode de référence. 10 La tension V est reportée en abscisse. Dans la suite, les tensions sont indiquées en valeur absolue, et sont implicitement celles de l'électrode de travail, mesurées par rapport à une électrode de référence. Elles ne correspondent à la 15 tension effectivement appliquée expérimentalement que dans le cas d'un montage à 3 électrodes (la chute ohmique dans le circuit électrochimique étant supposée compensée par le potentiostat). Dans le cas d'un montage à 2 électrodes, il aura fallu imposer un 20 tension V' différente de V, non mentionnée sur le graphique. Leur polarité, constante pour une garniture donnée, est appelée polarité de la garniture. Lorsque la tension de polarisation est comprise entre une valeur nulle et une valeur de démarrage Vs, un courant 25 électrique très faible, voire indétectable, traverse le circuit. En tout état de cause, ce courant est insuffisant pour produire un dépôt détectable a posteriori par des moyens d'analyse des surfaces. On considérera, de ce fait et étant donné les objectifs 30 recherchés, que la copolymérisation considérée ici est une réaction électro-initiée qui n'a lieu qu'à partir d'une tension de polarisation minimale. A partir de la tension de démarrage, et jusqu'à une tension de seuil de garniture Vg un courant faible 5 circule dans le circuit électrochimique. Ce courant ne traduit cependant pas nécessairement un phénomène de garniture. Il correspond à des réactions parasites concurrentes qui promeuvent essentiellement une chimie couplée se déroulant en solution, et ne délivrant donc 10 pas de dépôt organique significatif. En effet, le courant électrochimique traversant le circuit n'est pas exactement corrélé à la croissance d'un matériau de garniture sur les plages conductrices. Le courant électrochimique traduit au moins deux 15 phénomènes distincts et concurrents. Un premier phénomène est le phénomène recherché et correspondant à la formation de la garniture sur les plages conductrices. Un autre phénomène correspond à la formation parasite de polymères dans le bain 20 électrochimique, indépendamment du support de garniture. Les polymères ainsi formés se fixent éventuellement sur les plages conductrices par sorption physique mais leur fixation n'est pas stable, ils sont éliminés par rinçage. La garniture proprement dite s'établit à partir d'une tension de seuil Vg. On désigne par Vsat un potentiel appelé "potentiel de saturation", qui est général supérieur au potentiel de pic Vp. Ce potentiel est un potentiel à partir duquel l'épaisseur de 30 matériau greffé ne change pas avec le temps d'application de la tension à la plage conductrice. Ladite épaisseur est la limite asymptotique de l'épaisseur maximale que l'on peut obtenir dans un bain électrolytique donné. Ce potentiel correspond aussi à une valeur minimale permettant, à partir de balayages 5 voltammétriques de potentiel effectués entre une valeur inférieure ou égale à Vg et une valeur d'arrêt supérieure ou égale à cette valeur minimale Vsat, d'obtenir des courbes -une courbe par valeur d'arrêtdonnant l'épaisseur du film en fonction du nombre de 10 cycles, par exemple en conditions voltammétriques ou en multicréneaux, les différentes courbes obtenues présentant toutes cette même asymptote, indépendante de la valeur exacte du potentiel d'arrêt utilisé. C'est aussi le potentiel minimal avec lequel, moyennant un 15 nombre de cycles voltammétriques suffisant, on parvient à saturer les sites métalliques en chaînes polymères électro-greffées. Dans l'intervalle de tension compris entre Vg et Vsat, le phénomène de garniture est prédominant. En augmentant encore la tension de polarisation, au-delà de Vsat, le phénomène de garniture des plages conductrices devient minoritaire par rapport à d'autres phénomènes concurrents tels que la formation de matériaux en solution dans le bain 25 électrochimique, mais le dépôt de polymères électrogreffés à la surface se stabilise. Ainsi, la polarisation des plages à garnir est idéalement maintenue au moins égal au potentiel de saturation Vsat. Une flèche U sur la figure 2 désigne des balayages de la tension de polarisation appliquée à une partie des plages conductrices 14a. La tension est balayée notamment entre les valeurs de seuil Vg et de saturation Vsat, de sorte que la garniture soit optimale. Pendant la phase de garniture, le potentiel V existant en tout point des plages conductrices à garnir n'est pas exactement le même que celui Vr mesuré au niveau de la source ou de l'électrode de référence. La différence entre les deux valeurs dépend du courant 10 circulant dans les différentes impédances constituant le circuit d'adressage. C'est pourquoi il est difficile d'envisager une résolution élevée avec des techniques d'électrochimie conduisant à des revêtements organiques dont 15 l'épaisseur est une fonction très rapide du temps de traitement et de la valeur V locale du potentiel alors que seul le potentiel Vr peut être stabilisé. La moindre inhomogénéité de potentiel, provoquée par les différentes chutes ohmiques par exemple, conduit à des 20 épaisseurs très différentes conduisant à des effets de bord importants. Le greffage électrochimique à partir de réactions électro-initiées utilisant des monomères tels que listés plus haut permet de réaliser un greffage 25 localisé car il est par nature moins sensible aux inhomogénéités de potentiel. Ce greffage localisé permet de traiter des supports avec une grande densité de plages, sans utilisation de masques. En effet, l'épaisseur du revêtement réalisé à 30 partir d'une réaction électro-initiée dépend de la longueur du polymère greffé et de la densité de greffage. La longueur de la chaîne est une donnée intrinsèque du monomère utilisé. Le procédé conduit donc à une saturation rapide locale de l'épaisseur du revêtement permettant de limiter les effets de bord. Seule la densité est une fonction dépendant de la cinétique électrochimique de la réaction de greffage. Un premier niveau d'homogénéité du revêtement est obtenu dès que le potentiel à la surface de chaque plage se trouve dans une fenêtre de potentiel 10 garantissant une cinétique de greffage minimum. Cette condition moins contraignante facilite la mise en oeuvre, pratique d'un adressage utilisant des moyens à impédance qui par nature peuvent augmenter les inhomogénéités du potentiel. La figure 3 modélise le circuit d'adressage vu par une plage conductrice 14a ou 14b. Pour comprendre l'importance des différents paramètres et leurs conséquences possibles sur la garniture, il est nécessaire d'analyser les effets des 20 différentes impédances présentes dans ce circuit. Pendant la phase de garniture, le potentiel V dépend du courant circulant dans l'électrode commune entre l'une des diodes 18a, 18b et le point de raccordement 24 de la puce 12 au plot d'adressage 25 commun 16. Le modèle le plus simple pouvant être utilisé comporte une résistance R 310 prenant en compte la chute de potentiel due à l'électrode commune. Par rapport à la figure 1, il s'agit, pour une plage donnée, de la résistance associée à la longueur de la 30 ligne joignant la diode 18a ou 18b associée à la plage 14a ou 14b au point de raccordement 24 de la puce 12 au plot d'adressage commun 16. Cette résistance est variable d'une plage à l'autre. Le courant I, traversant une résistance placée entre la source 312 ou 32 et la plage conductrice 314 5 ou 14a, 14b est la somme des courants électrochimiques. Il induit une chute de potentiel 3V = R. Ic Ce courant présente un maximum Im au niveau du potentiel de pic Vp pour le domaine utilisé. Si l'on 10 suppose que l'opérateur impose un potentiel V = Vsat + &Vsat, alors tant que la ddp *Vsat est grande devant la chute de potentiel maximum due à la résistance R, soit 8Vmax = R. Im, le voltammogramme, donc la zone de potentiel de greffage, est peu modifié par la présence 15 de la résistance. En d'autres termes, tant que âVmax électrochimique utilisé. Un premier ordre de grandeur de la résistance à ne pas dépasser pour la résistance d'accès R peut être 15 donné par l'approche suivante. La valeur typique mesurée pour le greffage de la densité de courant est de l'ordre de 1 mA/cm2. Pour des plages de 100 um de coté ceci correspond un courant de 100 nA. La largeur typique de Vp-Vg est de l'ordre de 300 mV. Ceci donne 20 une impédance différentielle de greffage Rg de l'ordre de 3 MQ. Pour des plages conductrices qui seraient individuellement alimentées par une électrode de résistance R, tant que cette résistance R est faible devant cette valeur, la chute ohmique due à l'électrode 25 commune n'a pas d'effet sur la garniture. La généralisation s'effectue en remplaçant la résistance R par la résistance d'électrode de la plage citée plus haut. Pour modéliser l'effet de la diode 320 ou 18a, 30 18b intercalée entre l'électrode commune et la plage conductrice 314 ou 14a, 14b, il faut examiner les effets transitoires correspondant à l'établissement du potentiel. Dans un modèle très simple, la réaction électrochimique telle que décrite par le voltamogramme, peut être modélisée par une diode 322 de seuil Vs 5 associée à une résistance 324 en série Rg permettant de rendre compte de la pente. La diode intercalée 320 ou 18a, 18b peut être modélisée par une diode parfaite 316 associée à une résistance en parallèle Rd 318 permettant de rendre compte des courants de fuite. Le 10 modèle suppose que le courant électrochimique avant le seuil Vs est inférieur au courant de fuite de la diode intercalée. A partir d'une situation initiale o tous les potentiels sont nuls, la croissance du potentiel Vr 15 appliqué au niveau de la source se traduit par l'apparition d'un faible courant de fuite à travers la résistance Rg permettant de charger la plage conductrice: le potentiel V au niveau de la plage conductrice est égal au potentiel Vr. Tant que ces 20 potentiels restent inférieurs au seuil Vs, il n'y a pas de réaction électrochimique. Lorsque les potentiels V et Vr atteignent simultanément la valeur Vs, il y a apparition d'un premier courant électrochimique provenant essentiellement de la chimie en solution. Ce 25 courant crée un décalage entre Vr et V provenant de la résistance Rd. Le potentiel V au niveau de la plage conductrice est donc inférieur au potentiel Vr appliqué par la source. Cette différence a pour valeur asymptotique Vd qui correspond au seuil de conduction 30 de la diode. Pour des résistances de fuite élevée, l'asymptote est atteinte avant que le courant ne soit suffisant pour déclencher la garniture: la diode intercalée a donc pour effet de décaler le potentiel vu par le plot d'une valeur Vd; elle retarde le déclenchement de la garniture d'une tension Vd. Cet 5 effet peut être utilisé pour différencier différentes plages à partir de la même tension appliquée par la source ou compensé en appliquant une tension supérieure au niveau de la source. Lorsque l'homogénéité en épaisseur est un 10 paramètre critique pour la qualité du revêtement obtenu, les variations de potentiel provoquées par la résistance interne de l'électrode commune ou par la dispersion sur les propriétés des diodes peuvent être compensées en utilisant le procédé dans un mode de 15 saturation: en répétant le balayage de la tension au delà du potentiel de saturation jusqu'à obtenir une saturation du nombre de sites greffés, l'épaisseur du revêtement est une valeur intrinsèque qui ne dépend plus de la valeur exacte du potentiel local mais juste 20 de sa présence dans une fenêtre de potentiel. La figure 4 est un second exemple de mise en ouvre de l'invention pour un autre type de support de garniture. Le support est une plaquette de silicium 400 sur laquelle sont micro-usinées des microstructures 25 électro-mécaniques 401 destinées à être utilisées dans des capteurs de pression. Le substrat utilisé est un substrat SOI (Silicon On Insulator) composé d'un substrat 412, recouvert d'une couche de silice 410 et d'une couche de 30 silicium monocristallin 414. La gravure locale de la couche de silice en 420 permet de réaliser des cellules sous vides dont la partie supérieure dite partie déformable fait office de membrane se déformant sous l'effet de la pression. Cette déformation se traduit par une modification de la capacité mesurée entre les 5 deux plans de silicium grâce aux contacts électriques 416 et 418 réalisés par dépôt local d'or. Pour un grand nombre d'applications, en particulier dans le domaine biomédical, il est nécessaire de fonctionnaliser la surface de la membrane 10 414 pour lui donner par exemple des propriétés de biocompatibilité ou pour limiter l'adhérence cellulaire susceptible de polluer le capteur. Cette fonctionnalisation doit se faire à partir d'un dépôt d'épaisseur contrôlée permettant de ne pas changer 15 l'élasticité de la membrane 414. La garniture par voie électrochimique permet d'apporter ces fonctions sous réserve que celle-ci puisse se faire de manière collective et localisée sur l'ensemble des membranes 414. Ceci demande donc de pouvoir adresser 20 électriquement simultanément toutes les membranes à partir d'un plot de polarisation commun et d'une électrode commune. D'autre part, il est nécessaire de pouvoir tester les microstructures individuellement avant 25 découpe. Ceci ne peut se faire que si les parties supérieures des cellules sont électriquement isolées les unes des autres. La mise en euvre telle que proposée dans la présente invention permet de répondre à ces deux 30 besoins. Une diode est réalisée à la surface de chaque membrane par implantation locale 422 de type n dans la couche de silicium supérieure dopée de type opposé p. L'électrode commune est réalisée par évaporation d'une 5 piste d'or 424 reliant l'ensemble des implantations à un plot d'adressage commun 426 placé à la périphérie du substrat. Pendant l'opération de garniture des membranes 414, l'application d'un potentiel négatif sur le plot 10 d'adressage commun 426 permet de déclencher la réaction électroinitiée pour une valeur du potentiel Vg + Vd compensant le décalage introduit par la diode. Pour le test des microstructures, la mesure de capacité s'effectue entre les plots 416 et 418 en plaçant le 15 plot d'adressage commun 426 à un potentiel positif supérieur aux potentiels de test. Avec des bains contenant par exemple des monomères vinyliques ou des molécules cycliques clivables, on peut réaliser notamment des revêtements 20 des membranes 414 dont les propriétés peuvent être ajustées. Ainsi, l'électro-greffage de l'hydroxy-éthyl méthacrylate (HEMA), du méthyl méthacrylate (MMA), du butyl méthacrylate (BMA), du poly-éthylène glycol diméthacrylate (PEG-di-MA), de la N-vinyl pyrrolidone 25 (NVP) ou de l'-caprolactone (@-CL) permettent d'obtenir des films polymères présentant de bonnes propriétés de biocompatibilité, notamment au sens de la norme ISO 10993. DOCUMENTS CITES (1) (2) US-6,137,183 (3) EP-0 924 756 (4) US-6,140,144 (5) EP-0 038 244 (6) EP-0 500 415 15 (7) EP-0 499 528 REVENDICATIONS 1. Support de garniture comprenant une pluralité de plages conductrices (14a, 14b, 414) 5 susceptibles d'être recouvertes d'une garniture par voie électrochimique et comprenant au moins un plot d'adressage commun (16, 426) relié à la pluralité de plages conductrices et utilisable sélectivement comme plot d'adressage électrochimique et comme plot de test, 10 caractérisé en ce que le plot d'adressage commun (16, 426) est relié aux plages conductrices (14a, 14b, 414) par l'intermédiaire de moyens à diode (18a, 18b, 422). 2. Support selon la revendication 1, dans lequel les moyens à diode comportent une diode (18a, 15 18b, 422) associée à chaque plage conductrice (14a, 14b, 414). 3. Support selon la revendication 1, dans lequel les moyens à diode comportent des diodes (18a, 18b, 422) polarisées dans le sens bloquant du plot 20 d'adressage (16, 426) vers les plages conductrices (14a, 14b, 414). 4. Support selon la revendication 1, dans lequel les moyens à diode comportent des diodes (18a, 18b, 422) polarisées dans le sens passant du plot 25 d'adressage (16, 426) vers les plages conductrices (14a, 14b, 414). 5. Support selon la revendication 1, dans lequel les plages conductrices sont des contacts (14a, 14b) d'une carte à puce et sont respectivement reliées 30 à des bornes (20) d'une puce électronique (12). 6. Support selon la revendication 5, dans lequel les moyens à diode (18a, 18b) sont intégrés dans la puce (12). 7. Support selon la revendication 1, dans 5 lequel les plages conductrices sont des parties déformables (414) d'une microstructure électromécanique (401) et sont respectivement reliées à une électrode commune (424) d'une plaquette (400). 8. Support selon la revendication 7, dans 10 lequel les moyens à diode (422) sont intégrés dans la structure électromécaniques (401). 9. Procédé de garniture et de test d'un support selon l'une quelconque des revendications précédentes, comprenant au moins une phase de test des plages 15 conductrices lors de laquelle on applique au plot d'adressage commun (16, 426) un premier potentiel, dit de test, et au moins une phase de garniture des plages conductrices (14a, 14b, 414) lors de laquelle on applique au plot commun (16, 426) au moins un deuxième 20 potentiel dit de potentiel de garniture, le potentiel de garniture et le potentiel de test étant de signe opposé de façon à bloquer des moyens à diode (18a, 18b 422) lors de la phase de test et de les rendre passants lors de la phase de garniture. 10. Procédé selon la revendication 9, dans lequel le potentiel de garniture est un potentiel variable appliqué par balayage.