Brevet FR2845026A1 — publié le 20040402

MICROMANIPULATEUR PIEZOELECTRIQUE, NOTAMMENT POUR MICROROBOTIQUE. L'invention concerne, de façon générale, le domaine des instruments miniaturisés et des composants de microrobotique. Plus précisément, l'invention concerne un micromanipulateur utilisable en tant que composant de microrobotique, comprenant au moins un premier doigt allongé réalisé au moins partiellement en un matériau piézoélectrique, et des électrodes intégrées à ce 10 premier doigt, ce premier doigt présentant une extrémité liée et une extrémité libre distantes l'une de l'autre suivant un premier axe, et s'étendant latéralement suivant des deuxième et troisième axes mutuellement orthogonaux et perpendiculaires au 15 premier, et les électrodes comprenant au moins deux paires d'électrodes de polarisation et une surface de potentiel électrique de référence, séparée de chaque électrode de polarisation par une couche de matériau piézoélectrique appartenant au premier doigt, les 20 paires d'électrodes de polarisation étant symétriques l'une de l'autre par rapport à un premier plan médian du premier doigt, parallèle aux premier et second axes, et chaque paire d'électrodes étant formée d'électrodes symétriques l'une de l'autre par rapport à un second 25 plan médian du premier doigt, parallèle aux premier et troisième axes. Des micromanipulateurs de ce type sont par exemple commercialisés par la société allemande Physik Instrumente, dont le site Internet "physikinstrumente.com" décrit les produits. Le micromanipulateur connu se présente sous la forme 5 d'un tube creux dont le puits central est revêtu d'une électrode formant la surface de potentiel électrique de référence, et dont quatre génératrices régulièrement espacées à la surface externe du tube sont revêtues d'électrodes de polarisation respectives. Bien que le micromanipulateur connu présente un comportement fonctionnel satisfaisant, il souffre de deux inconvénients notables. Le premier est que la réalisation pratique d'un tel micromanipulateur, qui constitue une véritable prouesse technique, n'est accessible qu'à un petit nombre de fabricants disposant d'un vaste savoir-faire, et conduit donc à des cots de revient importants. 20 Le second est que ce micromanipulateur, bien que commandé par des tensions de polarisation relativement élevées, ne produit que des déflexions relativement faibles. L'invention, qui se situe dans ce contexte, a pour but de proposer un micromanipulateur dont la structure puisse être reproduite avec les techniques immédiatement accessibles à l'homme de métier, et ouvre 30 la perspective de pouvoir être commandé par des tensions de polarisation relativement basses. A cette fin, le micromanipulateur de l'invention, par ailleurs conforme à la définition générique qu'en donne le préambule ci-dessus, est essentiellement caractérisé en ce que la surface de potentiel électrique de référence s'étend dans le premier plan médian du premier doigt, en ce que ce premier doigt comprend un 5 empilement formé par superposition alternée, suivant le troisième axe et de part et d'autre de la surface de potentiel de référence, de lames piézoélectriques et desdites électrodes en liaison mécanique et électrique mutuelle, les lames piézoélectriques étant empilées en 10 nombre pair suivant leur épaisseur et présentant des polarisations respectives au moins sensiblement alignées sur le troisième axe, et en ce que chaque lame piézoélectrique appartient à au moins une paire de lames adjacentes de l'empilement, formée de première et 15 seconde lames respectivement dotées de première et seconde faces mutuellement distantes sur lesquelles sont respectivement déposées des première et seconde paires d'électrodes de polarisation, les électrodes de polarisation et la surface de potentiel de référence 20 étant sélectivement raccordées à une première configuration ou à une seconde configuration combinables de potentiels électriques induisant respectivement dans les lames des première et seconde configurations combinables de champs électriques 25 auxquelles correspondent respectivement des première et seconde configurations combinables de variations dimensionnelles des lames, les variations dimensionnelles de la première configuration de variations dimensionnelles étant antisymétriques par 30 rapport au second plan médian, et les variations dimensionnelles de la seconde configuration de variations dimensionnelles étant antisymétriques par rapport au premier plan médian. En augmentant le nombre de lames piézoélectriques, et notamment en prévoyant que les lames piézoélectriques soient en nombre pair supérieur à deux, ce micromanipulateur peut être commandé par des tensions de polarisation plus faibles. La surface de potentiel électrique de référence peut comprendre une unique électrode de référence portée à un potentiel de référence déterminé, notamment à un 10 potentiel de référence nul, ou peut encore comprendre deux électrodes de référence symétriques l'une de l'autre par rapport au second plan médian et respectivement portées à des potentiels électriques de référence sélectivement différents. 15 Pour pouvoir aisément augmenter le nombre de lames piézoélectriques, il peut être utile de prévoir que les lames d'au moins une paire de lames adjacentes de l'empilement présentent des polarisations alignées sur 20 le troisième axe et de sens inverses. Le micromanipulateur de l'invention est particulièrement avantageux dans le cas o il comprend au moins un second doigt de même constitution que le 25 premier doigt et coopérant au moins avec ce premier doigt pour former une pince. Dans ce cas, il est préférable de faire en sorte que le premier plan médian du second doigt soit confondu avec 30 le premier plan médian du premier doigt, que les premier et second doigts soient réalisés dans un même substrat conformé en fourche dont une base s'étend à partir des extrémités liées de ces premier et second doigts, et que chaque lame constitutive du premier doigt soit également constitutive de la base du substrat et du second doigt. Bien que les extrémités libres respectives des premier 5 et second doigts puissent être symétriques l'une de l'autre, elles peuvent aussi avoir des formes différentes. La finesse de manipulation ou de préhension offerte par 10 le micromanipulateur peut être optimisée en prévoyant que ce dernier comprenne en outre au moins un premier organe de manipulation rapporté sur l'extrémité libre du premier doigt. Par ailleurs, ce premier organe de manipulation peut être monté de façon amovible, par exemple dans une mâchoire formée à l'extrémité libre du premier doigt, un même micromanipulateur pouvant ainsi être équipé de divers organes de manipulation spécifiquement adaptés à 20 différentes applications. De façon similaire, le micromanipulateur de l'invention peut comprendre un second organe de manipulation rapporté sur l'extrémité libre du second doigt et 25 coopérant avec le premier organe de manipulation pour former ladite pince. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront clairement de la description qui en est 30 faite ci-après, à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels: - la figure 1 est une vue en perspective d'un micromanipulateur à deux doigts conforme à l'invention; - les figures 2a à 2c sont des vues schématiques en coupe du premier doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ce premier doigt étant représenté en traits pleins dans sa position de repos et en pointillés dans une position défléchie par application 10 sur ses électrodes de diverses configurations de potentiels électriques et étant observé en coupe depuis son extrémité liée et en direction de son extrémité libre; - la figure 3 est une vue schématique en coupe du deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ce deuxième doigt étant représenté dans une première variante de réalisation possible, et étant observé en coupe depuis son extrémité libre et en 20 direction de son extrémité liée; - la figure 4 est une vue schématique en coupe du deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ce deuxième doigt étant représenté dans 25 une deuxième variante de réalisation possible, et étant observé en coupe depuis son extrémité libre et en direction de son extrémité liée; - la figure 5 est une vue schématique en coupe du 30 deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ce deuxième doigt étant représenté dans une troisième variante de réalisation possible, et étant observé en coupe depuis son extrémité libre et en direction de son extrémité liée; - la figure 6 est une vue schématique en perspective d'un deuxième doigt tel qu'illustré aux figures 3 à 5; - la figure 7 est une vue schématique en coupe du 5 deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ce deuxième doigt étant représenté dans une quatrième variante de réalisation possible, et étant observé en coupe depuis son extrémité libre et en direction de son extrémité liée; 10 - la figure 8 est une vue schématique en coupe du deuxième doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ce deuxième doigt étant représenté dans une cinquième variante de réalisation possible, et 15 étant observé en coupe depuis son extrémité libre et en direction de son extrémité liée; - la figure 9 est une vue schématique en perspective d'un deuxième doigt tel qu'illustré aux figures 7 et 8 20 les figures lOa à lOc sont des vues schématiques partielles en perspective du premier doigt d'un micromanipulateur conforme à l'invention et d'un organe 25 de manipulation, ces vues représentant différentes phases successives permettant d'équiper ce premier doigt de cet organe de manipulation; et - les figures lla à llc sont des vues schématiques 30 partielles en perspective d'un micromanipulateur conforme à l'invention, ces vues représentant différentes variantes de réalisation des extrémités libres des doigts. Comme indiqué précédemment, l'invention concerne un micromanipulateur utilisable en tant que composant de microrobotique, ce micromanipulateur étant doté d'une structure qui lui permet d'être réalisé par application 5 immédiate de techniques bien connues de l'homme de métier. Bien que ce micromanipulateur puisse se réduire à un simple doigt, il sera décrit ci-après dans une version 10 plus complète telle qu'illustrée à la figure 1. Un tel micromanipulateur est formé à partir substrat piézoélectrique 1 conformé en fourche et portant des électrodes 2, ce micromanipulateur comprenant une base 15 10, et deux doigts 11 et 12 sensiblement parallèles l'un à l'autre à la manière des bras d'une pince. Chaque doigt 11 et 12 présente une forme allongée et s'étend, suivant un premier axe X, entre une extrémité 20 liée, telle que 111 et 121, par laquelle ce doigt est relié à la base 10, et une extrémité libre, telle que et 120. Chaque doigt s'étend par ailleurs en largeur, c'est-à25 dire dans le plan contenant les deux doigts 11 et 12, suivant un second axe Y, et en hauteur suivant un troisième axe Z, les axes X, Y, et Z étant mutuellement orthogonaux. Les doigts 11 et 12 sont, dans l'invention, formés à partir de lames piézoélectriques 30 dont chacune participe à la constitution des doigts 11 et 12, et de la base 10, les électrodes 2 prenant naissance dans la base 10 et courant le long des doigts 11 et 12. Les électrodes 2 comprennent au moins une surface 20 de potentiel électrique de référence et des électrodes de polarisation telles que 211, 212, 221, et 222 organisées en paires telles que 21 et 22. La surface 20 de potentiel électrique de référence est séparée de chaque électrode de polarisation telle que 211, 212, 221, ou 222 par au moins une couche de substrat piézoélectrique 1. Pour chaque doigt, les paires 21 et 22 que forment les électrodes de polarisation sont symétriques l'une de l'autre par rapport à un premier plan médian Ml de ce doigt, ce plan Ml étant parallèle aux premier et second 15 axes X et Y. Par ailleurs, chaque paire d'électrodes, telle que la paire 21 ou la paire 22, est formée d'électrodes, telles que 211 et 212 ou 221 et 222, qui sont 20 symétriques l'une de l'autre par rapport à un second plan médian M2 de ce doigt, ce second plan médian M2 étant parallèle aux premier et troisième axes X et Z. Dans certaines variantes de réalisation, telles que 25 celle qu'illustre la figure 8, les électrodes de polarisation d'une même paire peuvent éventuellement être réunies en une seule, comme c'est le cas d'une paire 21 dont les électrodes 211 et 212 sont réunies en une électrode 210, et d'une paire 22 dont les 30 électrodes 221 et 222 sont réunies en une électrode 220. Dans la structure proposée par l'invention, la surface 20 de potentiel électrique de référence s'étend dans le premier plan médian Ml, qui est commun aux doigts 11 et 12. Chacun de ces doigts 11 et 12 comprend un empilement 5 formé par superposition alternée, suivant le troisième axe Z et de part et d'autre de la surface 20 de potentiel de référence, des lames piézoélectriques, telles que 30, 30a, 30b, et des électrodes 2, en liaison mécanique et électrique mutuelle. Les lames piézoélectriques 30a, 30b considérées dans un empilement sont plus précisément empilées en nombre pair suivant leur épaisseur, et présentent des polarisations respectives telles que Pa et Pb alignées 15 sur le troisième axe Z. Par ailleurs, les lames piézoélectriques forment des paires 3 de lames 30a et 30b qui, dans l'empilement, sont mutuellement adjacentes, et dont chacune est dotée 20 sur sa face externe d'au moins une paire d'électrodes de polarisation. Une première paire 21 d'électrodes de polarisation est ainsi déposée sur la face externe 301 de la lame 30a de 25 la paire 3, tandis qu'une seconde paire 22 d'électrodes de polarisation est déposée sur la face externe 302 de la lame 30b de cette même paire 3, les électrodes déposées entre ces lames 30a et 30b pouvant en revanche être éventuellement réunies en une seule électrode de 30 polarisation telle que 210 ou 220 (figure 8), ou constituer la surface 20 de potentiel de référence. Pour faire fonctionner le micromanipulateur, l'ensemble des électrodes, c'est-à-dire les électrodes de polarisation telles que 211, 212, 221, 222, 210 et 220, ainsi que la surface 20 de potentiel de référence sont raccordées à une ou deux configurations de potentiels électriques qui peuvent être combinées l'une avec l'autre. La première configuration utilisable de potentiels électriques, illustrée à la figure 2a pour une structure à deux lames 30a et 30b dont les 10 polarisations Pa et Pb sont alignées sur l'axe Z et de même sens, est constituée par les potentiels Vy, -Vy, Vy, Vy, et 0 respectivement appliqués sur les électrodes 211, 212, 221, 222, et sur la surface de référence 20. Cette première configuration de potentiels électriques induit dans les lames 30a et 30b une configuration de champs électriques à laquelle correspond une configuration +3xl, -8xl de variations dimensionnelles 20 de ces lames. Plus précisément, les lames 30a et 30b subissent suivant l'axe X une variation de longueur d'amplitude moyenne égale à +6xl d'un premier côté du second plan 25 médian M2, et une variation de longueur d'amplitude moyenne égale à -6xl de l'autre côté de ce plan médian M2. Ces variations dimensionnelles, qui sont ainsi 30 antisymétriques par rapport au second plan médian M2, provoquent une déflexion de l'extrémité libre 110 du doigt 11 d'amplitude 6y suivant l'axe Y. La seconde configuration utilisable de potentiels électriques, illustrée à la figure 2b pour la structure à deux lames 30a et 30b, est constituée par les potentiels Vz, Vz, Vz, Vz, et 0 respectivement 5 appliqués sur les électrodes 211, 212, 221, 222, et sur la surface de référence 20. Cette seconde configuration de potentiels électriques induit dans les lames 30a et 30b une configuration de 10 champs électriques à laquelle correspond une configuration +6x2, -6x2 de variations dimensionnelles de ces lames. Plus précisément, les lames 30a et 30b subissent 15 suivant l'axe X une variation de longueur d'amplitude moyenne égale à +6x2 d'un premier côté du premier plan médian Ml, et une variation de longueur d'amplitude moyenne égale à -6x2 de l'autre côté de ce plan médian Ml. Ces variations dimensionnelles, qui sont ainsi antisymétriques par rapport au premier plan médian Ml, provoquent une déflexion de l'extrémité libre 110 du doigt 11 d'amplitude az suivant l'axe Z. 25 Dans la mesure o les première et seconde configurations de potentiels produisent des déflexions respectives de l'extrémité libre 110 du doigt 11 suivant deux axes mutuellement orthogonaux, ces 30 configurations sont totalement indépendantes l'une de l'autre. Comme le montre la figure 2c, les première et seconde configurations de potentiels électriques peuvent donc être combinées l'une avec l'autre pour combiner leurs effets, les potentiels Vz + Vy, Vz - Vy, Vz - Vy, Vz + Vy, et 0 étant alors respectivement appliqués sur les électrodes 211, 212, 221, 222, et sur la surface de référence 20. Cette combinaison de configurations de potentiels provoque ainsi une déflexion de l'extrémité libre 110 du doigt 11 d'amplitude Èy suivant l'axe Y et 10 d'amplitude Èz suivant l'axe Z. Le doigt 11 peut donc se rapprocher ou s'éloigner du doigt 12 suivant chacun des axes Y et Z. Dans la mesure o il est également possible d'imprimer à l'extrémité libre 120 du second doigt 12 des déflexions suivant les axes Y et Z, et notamment des déflexions simultanées à celles de l'extrémité libre 110 du premier doigt 11, symétriques ou non de celles20 ci, les doigts 11 et 12 peuvent non seulement agir à la manière des bras d'une pince, mais ils peuvent même effectuer des mouvements beaucoup plus complexes. La structure conférée au micromanipulateur de l'invention permet de le doter d'un nombre de lames piézoélectriques supérieur à deux, comme le montrent notamment les figures 7 et 8. L'augmentation du nombre de lames piézoélectriques est 30 particulièrement avantageux dans la mesure o l'augmentation de ce nombre permet, pour une même amplitude de déflexion de l'extrémité libre du doigt considéré, d'abaisser la tension de polarisation. Ainsi, les extrémités libres de deux doigts de mêmes dimensions, respectivement dotés des structures illustrées aux figures 4 et 8, subissent des déflexions de même amplitude dans le cas o Vyo = 2. Vy / 6, et o Vzo = 2. Vz / 6. Plus généralement, les extrémités libres de deux doigts de mêmes dimensions, respectivement dotés de la structure illustrée à la figure 4 et d'une structure à 10 n couche, subissent des déflexions de même amplitude dans le cas o Vyo = 2. Vy / n, et o Vzo = 2. Vz / n. Ainsi, l'augmentation du nombre n peut conduire à n'utiliser que des basses tensions en tant que tensions 15 de polarisation. Diverses combinaisons de configurations de potentiels sont illustrées aux figures 3 à 5, 7 et 8, ces configurations étant liées au sens de polarisation des 20 différentes lames et à la structure de la surface 20 de potentiel de référence. Comme le montre une comparaison des figures 3 et 4, les lames 30a et 30b qui forment ensemble une paire 3 de 25 lames adjacentes de l'empilement, et dont les polarisations Pa et Pb sont de préférence strictement alignées sur le troisième axe Z, peuvent en revanche être de même sens ou de sens inverses. Par ailleurs, une comparaison des figures 4 et 5 ou des figures 7 et 8 montre que la surface 20 de potentiel de référence peut constituer une seule et même électrode de référence, reliée à un potentiel électrique nul, ou qu'elle peut comprendre deux électrodes de référence 201 et 202, symétriques l'une de l'autre par rapport au second plan médian M2, et respectivement portées à des potentiels électriques de référence sélectivement différents tels que Vy et -Vy. D'autres configurations de potentiels, bien qu'éventuellement moins efficaces, peuvent être trouvées par l'homme de métier sur la base des indications ci-dessus et de ses connaissances générales 10 de la piézoélectricité. Comme le montrent les figures lOa à lOc, le micromanipulateur de l'invention peut être équipé d'un ou plusieurs organes de manipulation, tels que 41, dont 15 chacun est rapporté sur l'extrémité libre 110 ou 120 du doigt 11 ou du doigt 12. Dans le cas o les doigts 11 et 12 sont équipés d'organes respectifs de manipulation 41, ces organes 20 peuvent coopérer pour former une pince. Chaque organe de manipulation 41 peut être soit collé ou soudé à l'extrémité libre du doigt qu'il équipe, soit être monté de façon amovible sur ce doigt. 25 Par exemple, comme l'illustrent les figures iCa à 10c, l'extrémité libre 110 du doigt 11 à équiper peut présenter une mâchoire 112 qui peut être ouverte à l'encontre d'une force élastique de rappel, et dans 30 laquelle l'organe de manipulation 41 peut être rendu prisonnier. Néanmoins, il est également possible de laisser aux extrémités libres 110 et 120 des doigts 11 et 12 le soin d'assurer directement la fonction de préhension, ces extrémités 110 et 120 pouvant alors adopter des formes différentes comme le montrent les figures lia à llc. REVENDICATIONS. 1. Micromanipulateur utilisable en tant que composant de microrobotique, comprenant au moins un premier doigt (11) allongé réalisé au moins partiellement en un matériau piézoélectrique, et des électrodes (2) 5 intégrées à ce premier doigt, ce premier doigt (11) présentant une extrémité liée (111) et une extrémité libre (110) distantes l'une de l'autre suivant un premier axe (X), et s'étendant latéralement suivant des deuxième et troisième axes (Y, Z) mutuellement 10 orthogonaux et perpendiculaires au premier (X), et les électrodes (2) comprenant au moins deux paires (21, 22) d'électrodes de polarisation (211, 212, 221, 222) et une surface (20) de potentiel électrique de référence, séparée de chaque électrode de polarisation (211, 212, 15 221, 222) par une couche de matériau piézoélectrique appartenant au premier doigt, les paires (21, 22) d'électrodes de polarisation étant symétriques l'une de l'autre par rapport à un premier plan médian (Ml) du premier doigt, parallèle aux premier et second axes (X, 20 Y), et chaque paire (21; 22) d'électrodes étant formée d'électrodes (211, 212; 221, 222) symétriques l'une de l'autre par rapport à un second plan médian (M2) du premier doigt, parallèle aux premier et troisième axes (X, Z), caractérisé en ce que la surface (20) de 25 potentiel électrique de référence s'étend dans le premier plan médian (Ml) du premier doigt (11), en ce que ce premier doigt (11) comprend un empilement formé par superposition alternée, suivant le troisième axe (Z) et de part et d'autre de la surface (20) de 30 potentiel de référence, de lames piézoélectriques (30, a, 30b) et desdites électrodes (2) en liaison mécanique et électrique mutuelle, les lames piézoélectriques (30, 30a, 30b) étant empilées en nombre pair suivant leur épaisseur et présentant des polarisations respectives (Pa, Pb) au moins sensiblement alignées sur le troisième axe (Z), et en ce que chaque lame piézoélectrique (30, 30a, 30b) appartient à au moins une paire (3) de lames adjacentes de l'empilement, formée de première et seconde lames (30a, 30b) respectivement dotées de première et seconde 10 faces (301, 302) mutuellement distantes sur lesquelles sont respectivement déposées des première et seconde paires (21, 22) d'électrodes de polarisation, les électrodes de polarisation (211, 212, 221, 222, 210, 220) et la surface (20) de potentiel de référence étant 15 sélectivement raccordées à une première configuration (Vy, -Vy; -Vy, Vy; 0) ou à une seconde configuration (Vz, Vz; Vz, Vz; 0) combinables de potentiels électriques (Vy, Vz, 0) induisant respectivement dans les lames des première et seconde configurations 20 combinables de champs électriques auxquelles correspondent respectivement des première et seconde configurations (+Sxl, -8xl; +6x2, -8x2) combinables de variations dimensionnelles des lames, les variations dimensionnelles (+6xl, -Èxl) de la première configuration (+8xl, -6xl) de variations dimensionnelles étant antisymétriques par rapport au second plan médian (M2), et les variations dimensionnelles (+6x2, -8x2) de la seconde configuration (+8x2, -6x2) de variations dimensionnelles étant antisymétriques par rapport au 30 premier plan médian (M1). 2. Micromanipulateur suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les lames piézoélectriques (30) sont en nombre pair supérieur à deux. 3. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que la surface (20) de potentiel électrique de référence comprend deux électrodes de référence (201, 202) symétriques l'une de 5 l'autre par rapport au second plan médian (M2) et respectivement portées à des potentiels électriques de référence (Vy, -Vy) sélectivement différents. 4. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des 10 revendications précédentes, caractérisé en ce que les lames (30a, 30b) d'au moins une paire (3) de lames adjacentes de l'empilement présentent des polarisations (Pa, Pb) alignées sur le troisième axe (Z) et de sens inverses. 5. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend au moins un second doigt (12) de même constitution que le premier doigt (11) et coopérant au 20 moins avec ce premier doigt (11) pour former une pince. 6. Micromanipulateur suivant la revendication 5, caractérisé en ce que le premier plan médian (Ml) du second doigt (12) est confondu avec le premier plan 25 médian (Ml) du premier doigt (11), en ce que les premier et second doigts (11, 12) sont réalisés dans un même substrat (1) conformé en fourche dont une base (10) s'étend à partir des extrémités liées (111, 121) de ces premier et second doigts (11, 12), et en ce que 30 chaque lame (30) constitutive du premier doigt (11) est également constitutive de la base (10) du substrat et du second doigt (12). 7. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications 5 et 6, caractérisé en ce que les extrémités libres respectives (110, 120) des premier et second doigts (11, 12) ont des formes différentes. 8. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend en outre au moins un premier organe de manipulation (41) rapporté sur l'extrémité libre (110) 10 du premier doigt (11). 9. Micromanipulateur suivant la revendication 8, caractérisé en ce que le premier organe de manipulation (41) est monté de façon amovible dans une mâchoire 15 (112) formée à l'extrémité libre (110) du premier doigt (11). 10. Micromanipulateur suivant l'une quelconque des revendications 5 et 6 combinée à la revendication 8, 20 caractérisé en ce qu'il comprend en outre un second organe de manipulation rapporté sur l'extrémité libre (120) du second doigt (12) et coopérant avec le premier organe de manipulation (41) pour former ladite pince.