Brevet FR2841371A1 — publié le 20031226

d'un melange de metaux alcaiins comprenant du sodium metallique. La presente invention concerne de maniere generale les ensembles optiques reflectifs multicouches a gradient lateral destines a reflechir des rayons X sous faible angle d'incidence. On precise que par > on entend des angles d'incidence inferieurs a une valeur de l'ordre de 10 (I'angle d'incidence etant defini par rapport a la surface reflechissante). Plus precisement, I'invention concerne un ensemble optique reflectif multicouche a gradient lateral dont la surface reflechissante est destinee a reflechir des rayons X incidents sous faible angle d'incidence en produisant un effet optique bidimensionnel. L' invention concerne egalement u n procede de realisation d'un tel ensemble optique. Par > on entend un effet optique utilisant deux directions differentes de l'espace. 11 peut par exemple s'agir d'une focalisation sur un point (a partir d'une source ponctuelle), ou d'une collimation, d'un faisceau dont les rayons ne vent paralleles dans aucune direction de l'espace (faisceau conique divergent par exemple). Et pour produire un tel effet bidimensionnel, on peut combiner deux effets optiques monodimensionnels. On peut par exemple focaliser un faisceau divergent issu d'une source ponctuelle selon une premiere direction (ctest a dire focaliser un tel faisceau divergent sur une ligne de focalisation, et non sur un point unique), puis focaliser ensuite le faisceau resultant selon une deuxieme direction, 2 5 perpendiculaire a la premiere direction, pour reellement focaliser le faisceau resultant sur un point image unique. Des applications (non limitatives) de ['invention concernent la generation de rayons X, des applications analytiques des rayons X telles que la diffraction, la diffraction de cristaux, la cristallographie de proteines, 3 0 I'analyse de textures, la diffraction de films minces, la mesure de contraintes, la reflectometrie, la fluorescence rayons X. On precise qu'on donnera par ailleurs dans ce texte une definition du >. On conna^'t deja des ensembles optiques du type mentionne ci dessus. On conna^'t ainsi par le document US 6 041 099 des ensembles optiques multicouches du type miroirs de Montel, qui peuvent etre utilises pour alterer les caracteristiques optiques de rayons X incidents en creant un effet optique bidimensionnel. Ce type d'optique est une variante du schema optique dit Kirkpatrick Baez traditionnel qui consiste a aligner deux miroirs non solidaires, courbes suivant deux directions perpendiculaires, pour creer un effet optique bidimensionnel. Suivant une evolution de cette configuration, les optiques decrits dans le document US 6 041 099 vent accolees suivant une configuration en regard ("dispositif Kirkpatrick-Baez side by side") et presentent un revetement multicouche. Une limitation de ces ensembles optiques decoule precisement du fait qu'ils vent constitues de deux elements distincts accoles (deux miroirs elementaires ayant chacun une surface propre a produire un effet optique monodimensionnel, ces deux effets optiques se superposant pour produire l'effet optique bidimensionnel desire). II est en effet necessaire d'assembler ces miroirs elementaires avec une grande precision, ce qui correspond a une operation delicate. De plus, dans ces ensembles optiques les rayons incidents 2 5 subissent deux reflexions pour produire les deux effets optiques monodimensionnels une reflexion sur chaque miroir elementaire - ce qui entrane des pertes d'intensite. Le but de ['invention est de permettre de realiser des ensembles optiques tels que mentionnes en introduction de ce texte, et qui ne solent pas affectes par les inconvenients mentionnes ci-dessus. Afin d'atteindre ce but, I'invention propose selon un premier aspect un ensemble optique reflectif multicouche a gradient lateral dont la surface reflechissante est destinee a reflechir des rayons X incidents sous faible a ngle d 'i ncidence en prod uisa nt un effet optique bid imensionnel, caracterise par le fait que ladite surface reflechissante est constituee d'une surface unique, ladite surface reflechissante etant conformee selon deux courbures correspondent a deux directions differentes Des aspects preferes, mais non limitatifs d'un tel ensemble optique vent les suivants: À Ie gradient lateral stetend selon la direction meridionale des rayons X incidents, À Ia surface reflechissante est reguliere, À I'effet optique bidimensionnel est obtenu par une reflexion unique des rayons incidents sur ['ensemble optique, Iesdites directions differentes correspondent respectivement a la direction sagittale et a la direction meridionale des rayons X incidents, À Ie multicouche est un multicouche a gradient en profondeur, À Iadite surface reflechissante est adaptee pour reflechir des rayons des rates Cu-K oc, À Ia surface reflechissante a une geometric de forme sensiblement torodale, 2 0 À Ia surface reflechissante a une geometric de forme sensiblement parabolodale, Ia surface reflechissante a une geometric de forme sensiblement ellipsodale, À Ia surface reflechissante a une geometric de forme sensiblement circulaire selon une premiere direction, et elliptique ou parabolique selon une deuxieme direction, Ia surface reflechissante a un rayon de courbure sagittale inferieur a 20 mm, À une fenetre opaque aux rayons X et comportant une ouverture est associee en entree et/ou en sortie d'ensemble optique, pour controler le flux d'entree etlou de sortie de ['ensemble optique, Ies fenetres vent amovibles, À Ies ouvertures des fenetres vent dimensionnees pour realiser un compromis fluxidivergence du rayonnement. Selon un deuxieme aspect, I'invention propose dgalement un procede de fabrication d'un ensemble optique selon un des aspects ci- dessus, caracterise en ce que le procede comprend le revetement d'un substrat presentant deja une courbure, et la courbure de ce substrat selon une deuxieme direction differente. Des aspects preferes, mais non limitatifs de ce procede de fabrication vent les suivants: À Ie substrat presente deja une courbure correspond a la direction sagittale de ['ensemble optique, À Ia direction selon laquelle on courbe le substrat correspond a la direction meridionale de ['ensemble optique, À on constitue le substrat lui-meme, en partant d'un element en forme de tube, de cone, ou de pseudo-cone presentant deja une courbure selon une direction perpendiculaire a l'axe du tube, du cone ou du pseudo- cone, I'element est un tube de verre a section transversale circulaire, 20. Procede selon la revendication precedente, caracterise en ce que le verre est de type Duran (marque deposee), Ia constitution du substrat comprend le decoupage du tube selon la direction longitudinale du tube, de maniere a obtenir un substrat en forme de cylindre ouvert, À Ie decoupage selon la direction longitudinale du tube est suivi d'un decoupage pour dimensionner ['ensemble optique en longueur, À on effectue le revetement pour constituer un multicouche avant de courtier le substrat, À on courbe le substrat pour le conformer a la geometric desiree avant de le revetir pour constituer un multicouche, on couple ['ensemble optique a un filtre, pour assurer ['attenuation des bandes spectrales non desirees tout en garantissant une transmission suffisante d'une bande de longueur d'onde predeterminee pour laquelle on desire reflechir les rayons X incidents, À Ie filtre est un filtre de Nickel de 10 1lm, À Ie filtre est realise par une des techniques suivantes: realisation de deux filtres dont les epaisseurs ajoutees correspondent a l'epaisseur de filtre souhaitee, positionnes respectivement sur les fenetres d'entree et de sortie du rayonnement d'un bo^'tier de protection contenant ['ensemble optique, À depot d'une couche de materiau de filtrage sur le revetement multicouche, avec une epaisseur de depot approximativement donnee par la relation suivante: d = (e sin O) /2 (ou e est l'epaisseur "optique" de filtre necessaire et I'angle d'incidence sur l'optique). D'autres aspects, buts et avantages de ['invention appara^'tront mieux a la lecture de la description suivante de formes preferees de realisation de ['invention, faite en reference aux dessins annexes sur lesquels: À La figure 1 est une representation schematique d'une premiere forme de realisation d'un ensemble optique selon ['invention, permettant d'effectuer une focalisation bidimensionnelle d'un faisceau incident de rayons X, À La figure 2 est une vue analogue montrant une deuxieme forme de realisation d'un ensemble optique selon ['invention, permettant d'effectuer une collimation d'un faisceau incident de rayons X, À La figure 3 est une vue analogue montrant une troisieme forme de realisation d'un ensemble optique selon ['invention, dans laquelle on recherche une faible divergence du flux reflechi. On precise en preambule a cette description que les figures vent destinees a illustrer le principe de ['invention, et ne representent pas necessairement les dimensions et echelles de maniere realistes. Ceci est vrai en pa rticulier pour les ang les d' incidence (voire de reflexion) des rayons X. Ces rayons X arrivent en realite sur les surfaces reflechissantes selon ['invention avec une incidence inferieure a 100. On definit egalement les directions meridionales et sagittales par rapport a la direction generale de propagation du faisceau de rayons X: À La direction meridionale correspond a la direction moyenne de propagation de ce faisceau (et plus precisement a la direction moyenne entre les directions moyennes de propagation du faisceau avant et apres sa reflexion sur les ensembles optiques dont il va etre question), À La direction sagittale correspond a une direction transversale horizontale de cette direction meridionale (la verticale etant ici definie par la normale moyenne a la partie de la surface reflechissante des ensembles optiques qui vont etre decrits et qui est effectivement utilisee pour reflechir le faisceau de rayons X incident). En reference maintenant a la figure 1, on a represente un ensemble optique 10 destine a reflechir des rayons X incidents issus d'une source S de rayons X. La source S peut etre en particulier du type tube a rayons X, anode tournante, ou encore source de rayons X a microfoyer. L'ensemble optique 10 comprend une structure multicouche formee sur un substrat (par exemple en verre), qui definit une surface reflechissante pour les rayons X incidents. La surface reflechissante de cet ensemble optique a une geometric 2 5 particuliere. Plus precisement, cette surface reflechissante est conformee selon deux courbures correspondent a deux directions differentes. Et cette surface reflechissante presente ainsi des differences importantes par rapport a des surfaces reflechissantes du type de celles mises en couvre dans des ensembles optiques tels que coux enseignes par le document US 6 041 099: À La surface reflechissante est une surface reflechissante unique, au contraire de ce qui est le cas pour des ensembles optiques dans lesquels on a assemble deux miroirs elementaires differents, Cette surface reflechissante est reguliere (ce terme signifiant dans le present texte que la surface reflechissante ne presente pas de discontinuite de deuxieme ordre (points anguleux ou aretes - saillantes ou creuses - etc..), À Par ailleurs, une difference qui est egalement importante est que dans le cas de ['invention, les rayons incidents ne subissent qutune reflexion unique pour produire l'effet optique bidimensionnel desire, alors que deux reflexions vent necessaires dans le cas de ['ensemble optique du document US 6 041 099. Pius precisement encore, la surface reflechissante de ['ensemble optique selon ['invention presente une courbure Rx dans la direction X meridionale, et une courbure Ry dans la direction Y sagittale. La figure 1 permet de visualiser ces rayons de courbure, deux courbes Cx et Cy ayant ete representees pour montrer ['allure des courbes definies par les rayons de courbure respectifs Rx et Ry. Chacun des deux rayons de courbure peut etre constant, ou varier le 2 0 long de sa courbe associee. Chacune des courbes Cx, Cy peut ainsi etre un cercle, mais egalement une ellipse, une parabole, ou une autre courbe (ouverte ou fermee). En tout etat de cause, la surface reflechissante de ltensemble optique 10 n'a pas une forme simple spherique (c'est a dire que les rayons Rx et Ry ne vent pas a la fois egaux et constants). Chacune des courbes Cx, Cy est ainsi associee a une direction differente de l'espace (deux directions perpendiculaires sur l'exemple commente ici). Et chacune de ces courbes produit sur les rayons X qui viennent etre reflechis sur la surface reflechissante un effet optique monodimensionnel: La courbe Cx produit un effet optique monodimensionnel selon la direction X, La courbe Cy produit un effet optique monodimensionnel selon la direction Y. Et chacun de ces effets dimensionnels depend de la courbure associee a la courbe, et de sa loi d'evolution le long de cette courbe. On pourra ainsi parametrer les courbes Cx et Cy pour obtenir selectivement des effets monodimensionnels associes tels qu'une focalisation ou une collimation monodimensionnelle. La figure 1 represente le cas dans lequel cheque courbe CX7 Cy produit une focalisation monodimensionnelle. A ces fins, Rx et Ry vent differents, mais chacun est constant (les courbes Cx et Cy vent des cercles). Dans ce premier mode de realisation prefere, la surface reflechissante de ['ensemble optique a ainsi une geometric torodale. II en resulte une focalisation bidimensionnelle, qui concentre les rayons divergents issus de la source S vers un point image unique 1. Et le rayon de courbure Ry (rayon de courbure sagitalle) peut avoir (dans ce mode de realisation comme dans les autres) une valeur inferieure a 20 mm necessaire pour des focalisations sur de courses distances, inferieures a 90 cm (distance source-point de focalisation) selon une application privilegiee de ['invention. On reviendra sur cet aspect. On remarquera que ['ensemble optique selon ['invention permet de s'affranchir des inconvenients mentionnes en introduction de ce texte a propos des miroirs de type > a revetement multicouches. En particulier, comme cela a deja ete mentionne ci-dessus, cet ensemble optique est monopiece (ne necessitant pas d'assemblage delicat). Et les rayons X incidents ne subissent qu'une reflexion unique sur sa surface reflechissante. En outre, la surface reflechissante est unique et reguliere. On a dit que la surface reflechissante de 17ensemble optique 10 etait definie par un multicouche. Ce multicouche (comme tous les multicouches dont il sera question dans ce texte) comporte au minimum un >. CeKe caracteristique permet de reflechir efficacement des rayons X presentant des incidences locales differentes par rapport a la surface reflechissante. On comprend en effet que les differents endroits de la surface reflechissante ne recoivent pas les rayons X incidents avec la meme incidence locale (du fait de la divergence du faisceau incident, et de la geometric de ceKe surface reflechissante). Par mniticouche a gradient lateral, on entend ici un multicouche dont la structure de couche est adaptee pour que la condition de Bragg soit respectee en tout point de la surface utile du miroir. On rappelle que la condition de Bragg est de la forme nX = 2d*sin0, avec: n: ordre de la reflexion, \: longueur d'onde de la radiation incidente, d: periode du multicouche, (3: angle d'incidence sur la surface du multicouche. Ainsi, pour un rayonnement de rayons X incidents selon une bande etroite de longueur d'onde contenant par exemple les rates Ka du cuivre (rates CuKa de longueurs d'onde voisines de 0.154 nary), le miroir multicouche a gradient lateral permet de maintenir les conditions de Bragg 2 5 sur ['ensemble de la surface utile du miroir. Ceci conduit a la reflexion de la bande de longueur d'onde predeterminee (dans l'exemple ci-dessus contenant les rates Cuivre Ka), par differentes regions du miroir sur lesquelles les rayons incidents presentent des angles d'incidence locaux variables. On peut ainsi augmenter la surface du miroir qui est effectivement utilisee. Le gradient est obtenu en faisant varier la periode du multicouche loca le ment, de ma niere ad a ptee. Ce type de structure multicouche a gradient lateral permet ainsi d'augmenter ['angle solide de collection de ['ensemble optique, ce qui conduit a un flux reflechi plus eleve par rapport a des miroirs monocouches fonctionnant en reflexion totale, pour une geometric d'optique identique. On precise que le multicouche des differents modes de realisation de ['invention peut egalement presenter un gradient en profondeur. Un tel gradient en profondeur permet de remplir les conditions de Bragg pour des angles d'incidences fixes et des longueurs d'ondes variables, ou vice-versa. II est ainsi possible par exemple d'augmenter la bande passante en longueur d'onde du multicouche de ['ensemble optique, et de focaliser ou collimater des rayons X de longueurs d'ondes differentes, au niveau d'un meme plan image donne (cas d'une geometric fixe - c'est a dire d'une configuration dans laquelle les positions relatives de la source de rayons incidents, de i'ensemble optique et du plan image vent fixes). On peut de la sorte utiliser des sources de rayons X de longueurs d'ondes differentes pour reflechir les rayons X issus des differentes sources avec le meme ensemble optique, sans que cela necessite un nouveau positionnement de la source par rapport eVou du ou des plan(s) image par rapport a ['ensemble optique. On utilise dans ce cas la tolerance en longueur d'onde de ['ensemble optique (tolerance en AX). De la meme fac,on, il est egalement possible de traduire cette tolerance en AX en une tolerance en A0. Une tolerance sur la longueur d'onde correspondent en effet- dans le cadre de la condition de Bragg - a une tolerance sur ['angle d'incidence, il est possible a longueur d'onde constante du faisceau incident de collecter et de reflechir un flux lumineux incident dont les rayons de meme longueur d'onde ont des incidences locales differentes. On peut en particulier de la sorte utiiiser des sources de rayons X de plus grande dimension (augmentation de ['acceptance angulaire). En reference maintenant a la figure 2, on a represente un autre mode de realisation prefere de ['invention, illustre par un ensemble optique 20. La surface reflechissante du multicouche de cet ensemble optique est conformee dans les directions respectives X et Y selon deux courbes Cx et Cy respectivement parabolique et circulaire, chacune de ces courbes produisant une collimation selon sa direction X ou Y associee. On genere ainsi a partir du faisceau incident divergent une collimation parallele selon toutes les directions de l'espace. Et il est ainsi possible de realiser selon ['invention des ensembles optiques composes d'un miroir multicouche (a gradient lateral, et eventuellement en outre a gradient en profondeur), dont la surface reflechissante peut avoir une parmi differentes formes complexes aspheriques quelconques. II est ainsi possible en particulier de donner a cette surface reflechissante une des geometries suivantes: À geometric de forme sensiblement torodale, 2 0. geometric de forme sensiblement parabolodale, À geometric de forme sensiblement ellipsodale, geometric de forme sensiblement circulaire selon une premiere direction (en particulier la direction sagittale), et elliptique ou parabolique selon une deuxieme direction (en particulier la direction meridionale). Le gradient lateral pourra en particulier s'etendre selon la direction meridionale des rayons X incidents. Et la periode du multicouche pourra etre adaptee pour reflechir en particulier des rayons des rates Cu-K oc. En reference maintenant a la figure 3, on a represente un ensemble optique 30 selon ['invention, muni de deux parois d'extremite 31 et 32, positionnees respectivement a la section d'entree et a la section de sortie du rayonnement devant etre reflechi par cet ensemble optique. Cheque paroi 31, 32 presente une ouverture (respectivement 310, 320) laissant passer le rayonnement X, les parois etant par ailleurs opaques aux rayons X. Les parois pourront etre par exemple en plomb. Et il est possible d'ajuster la forme et la taille de chaque ouverture (independamment de l'autre ouverture), pour controler le flux incident (par I'ouvertu re situee a la section d 'entree), et le rayon nement reflechi (par l'ouverture situee a la section de sortie). On peut ainsi dimensionner les ouvertures, pour rechercher un compromis entre l'intensite du flux (d'entree ou de sortie), et sa divergence. On precise que les parois 31 et 32 peuvent etre con,cues pour etre amovibles, par exemple en etant vissees sur les bords transverses horizontaux de ['ensemble optique comme cela est represente sur la figure. De la sorte, on peut adapter de maniere souple des ensembles optiques pour rechercher si besoin un compromis flux/divergence souhaite. II est egalement possible de ne prevoir qu'une paroi d'entree, ou une paroi de sortie. Et cheque paroi associee a son ouverture constitue ainsi une > laissant passer les rayons X. On va maintenant decrire un procede prefere permettant d'obtenir un ensemble optique du type decrit ci-dessus, en obtenant les avantages suivants: À garantir un tres bon etat de surface du substrat utilise pour realiser le revetement multicouche (les specifications de rugosite de surface pour 2 5 des substrats de miroirs multicouches a rayons X correspondent usuellement a des rugosites ne devant pas depasser une valeur maximale de l'ordre de 10 angstroms rms (root mean square)), et tout en permettant egalement de constituer des surfaces selon un rayon de courbu re sagital le Ry extremement red u it, d 'u ne valeu r par exemple inferieure a 20 mm (permettant par exemple de focaliser selon une distance source-point de focalisation inferieure a 90 cm). En effet, il serait difficile d'obtenir une surface de substrat pour le depot du multicouche presentant de telles valeurs de rayons de courbure et d'etat de surface: À en mettant en ceuvre le polissage d'un substrat qui presente deja une courbure sagittale aussi falble: dans ce cas le polissage du substrat preforme s'avererait delicat, À ou bien en courbant selon le rayon de courbure sagittale Ry un substrat plan deja poll - dans ce cas il serait difficile d'obtenir les faibles rayons de courbure desires (alors que de tels rayons de courbure permettent de produire les effets optiques desires sur de courses distances, et de reduire ainsi l'encombrement de ['ensemble optique). Dans le cas du procede de fabrication selon ['invention, I'etat de surface demande est obtenu sans traitement particulier, en utilisant pour former ['ensemble optique un substrat qui presente deja une courbure selon une direction de courbure. Et la direction selon laquelle le substrat presente deja une courbure correspond de preference a la direction sagittale de ['ensemble optique, une fois celui-ci fabrique et place par rapport a la source de rayons X (cette direction etant comme on l'a dit definie par rapport au rayonnement incident, mais pouvant aussi etre definie par rapport a ['ensemble optique lui-meme dans la mesure ou ['ensemble optique est destine a etre oriente d'une maniere spbcifique par rapport au rayonnement incident). Un tel substrat presente une face qui correspond a la face de ['ensemble optique qui portera la surface reflechissante. On appellera cette 2 5 face du substrat >. Ainsi, de maniere generale on utilise selon ['invention un substrat presentant deja une courbure (selon une direction que l'on fera correspondre de preference a la direction sagittale de ['ensemble optique) , et on courbe ce substrat selon une deuxieme direction differente (correspondent de preference a la direction meridionale de ['ensemble optique). On effectue egalement un revetement de la face optique du substrat par un multicouche. Ce revetement peut etre realise avant la courbure du substrat, ou apres. Dans tous les cas, on obtient de la sorte un ensemble optique. En choisissant un substrat presentant la courbure desiree (en forme et en valeur(s) de rayon(s) de courbure), et en le courbant de maniere desiree, on peut obtenir un ensemble optique ayant la geometric desiree. II est egalement possible de constituer le substrat lui-meme, en particulier en partant d'un element (en particulier en verre) tel qu'un tube, un cone, ou meme un pseudo-cone (qui est ici defini comme une surface de revolution generee par la revolution selon une courbe telle qu'une ellipse d'une droite generatrice oblique par rapport a son axe de revolution et coupant celui-ci dans l'espace). Dans le cas d'un element en tube, le tube peut avoir une section transversale circulaire, mais egalement elliptique, ou correspondre a toute courbe fermee. Et un tel element peut aussi etre un cylindre ouvert dont la directrice est une courbe ouverte telle qu'une parabole. Dans tous les cas, I'element de depart presente une courbure selon 2 0 une direction qui correspond de preference a la direction sagittale de ['ensemble optique que l'on souhaite fabriquer. Et cette direction est perpendiculaire a l'axe du tube, du cone ou du pseudo-cone. Dans un mode de realisation prefere, un tel substrat peut en particulier etre obtenu a partir d'un tube de verre dont la section transversale est ci rcu la ire. Dans ce mode de realisation prefere, le substrat a partir duquel on va fabriquer ['ensemble optique et qui presente une courbure selon une direction peut etre en particulier obtenu en: 30. decoupant un tube de verre presentant le rayon de courbure sagittale desire, tel qu'un tube de verre de type Duran (marque deposee) fabrique par la societe SCHOTT, puis en revetant le tube ainsi decoupe par des depots de matiere successifs pour constituer dessus le multicouche. Un tel substrat sera ensuite courbe selon une direction (de preference meridionale), avec la courbure desiree, pour obtenir ['ensemble optique. Et on precise qu'il est possible - dans ce mode de realisation comme dans les autres - de proceder d'abord a la courbure de ['element (ici le tube decoupe), et au revetement en-quite. On precise que dans tous les modes de mise en ceuvre du procede selon ['invention, le multicouche ainsi constitue est un multicouche a gradient lateral (et possiblement egalement a gradient en profondeur). Le decoupage du tube de verre est realise selon la direction longitudinale du tube en effectuant une section selon une direction parallele a l'axe de symetrie du tube (et pouvant meme comprendre cet axe pour constituer un demi-tube), de maniere a obtenir un substrat en forme de 1S cylindre ouvert. La directrice de ce cylindre ouvert a done dans ce mode de realisation prefere la forme d'une partie de cercle - par exemple un demi-cercle. Ce decoupage longitudinal est suivi d'un autre decoupage pour dimensionner l'optique en longueur. A ['issue de ces operations de decoupage, on a done constitue un substrat pour la fabrication d'un ensemble optique selon ['invention. Apres avoir revetu le substrat avec le multicouche, on courbe le substratrevetu selon la deuxieme direction souhaitee, qui correspond a la direction meridionale, pour conformer la surface du multicouche selon la geometric desiree. Ainsi, dans ce mode prefere de realisation du procede de fabrication de ['ensemble optique selon ['invention, on peut constituer un substrat cylindrique dont la directrice a sensiblement la forme d'une partie de cercle, puis on effectue le revetement d'un tel substrat, et la courbure de ce substrat selon une direction non comprise dans le plan de la directrice du cylindre audit substrat (en particulier selon la direction de la generatrice du cylindre). Le Demandeur a observe qu'il etait ainsi beaucoup plus facile de fabriquer des ensembles optiques selon ['invention, que par une des tech n iques mention nees plus haut (revetement d' un substrat deja completement conforme a la geometric souhaitee, ou courbure selon deux directions d'un multicouche plan). Et il est ainsi possible d'obtenir des substrats, utilises par la suite pour le revetement multicouche, presentant un tres bon etat de surface (rugosite n'excedant pas 10 angstroms rms), et de faibles rayons de courbure sagitalle (inferieurs a 20 mm). On peut ainsi obtenir les effets optiques sur des distances courses. Dans le cas de deux focalisations monodimensionnelles, on rappelle ainsi que les caracteristiques de focalisation tangentielle (meridionale) et sagittale vent donnees par les formules suivantes, pour un miroir torodal: À focalisation tangentielle: 1/p + 1/q = 2 / (Rx sin0), avec p: distance 1 5 source-miroir, q: distance miroir-plan de focalisation, (3: Angle d' incidence, À focalisation sagittale: 1/p + 1/q = 2 sinO / Ry (pour une focalisation en deux dimensions les distances p et q vent identiques pour les deux formulas). On precise qutil est egalement possible en variante de partir d'une meme partie de tube decoupee pour former un cylindre dont la directrice est ouverte, et d'inverser l'ordre du revetement et de la courbure dans la deuxieme direction par rapport a ce qui a ete decrit ci-dessus. Dans ce cas, on courbe d'abord le substrat cylindrique, puis on effectue le revetement pour constituer le multicouche sur la surface ainsi conformee. Dans tous les cas, le revetement peut etre effectue avec tous types de materieux permettant de realiser des multicouches reflectifs pour rayons X. Et ce revetement peut mettre en ceuvre tout type de procede connu a cet effet, par exemple une pulverisation (possiblement assistee par plasma) ou un autre type de depot sous vice. On precise egalement que pour des applications necessitant une importante purete spectrale, I'ensemble optique destine a reflechir les rayons X pourra etre couple a un filtre fabrique a partir d'une epaisseur et d'un materiau approprie, pour assurer ['attenuation des bandes spectrales non desirees tout en garantissant une transmission suffisante d'une bande de longueur d'onde predeterminee pour laquelle on desire reflechir les rayons X incidents. Ainsi pour des optiques realisees a partir de revetements multicouches W/Si pour reflechir les rates Cuivre Ka, un filtre de Nickel de 10!lm peut etre utilise pour attenuer avec un facteur 8 la raie cuivre Kp (0, 139 nm) en conservant une transmission suffisante pour les rates Ka (superieure a 60%). Cette fonction de filtrage s'ajoute a la "monochromatisation naturelle" obtenue a ['aide du multicouche et peut done permettre pour des applications ou la purete spectrale est une priorite d'augmenter les performances de l'optique multicouche decrite dans ['invention. Concernant cet aspect, deux modes de realisation alternatifs du filtre vent a considerer: À realisation de deux filtres dont les epaisseurs ajoutees correspondent a 2 0 I'epaisseur de filtre souhaitee (par exemple deux filtres de meme epaisseur egale a la moitie de l'epaisseur totale souhaitee), positionnes respectivement sur les fenetres d'entree et de sortie du rayonnement d'un bo^tier de protection contenant ['ensemble optique, depot d'une couche de materiau (utilisee pour le filtrage) sur le revetement multicouche. La surface de l'optique est alors constituee d'un revetement mu lticouche reflechissant (a grad ient lateral) et d' u ne couche surfacique assurant la fonction de filtre pour augmenter la purete spectrale du rayonnement reflechi. L'epaisseur deposee est alors approximativement donnee par la relation suivante: d = (e sin 0) / 2 (ou e est l'epaisseur "optique" de filtre necessaire et I'angle d'incidence sur l'optique). REVENDICATIONS 1. Ensemble optique reflectif multicouche (10, 20) a gradient lateral dont la surface reflechissante est destinee a reflechir des rayons X incidents sous falble angle d'incidence en produisant un effet optique bidimensionnel, caracterise par le fait que ladite surface reflechissante est constituee d'une surface unique, ladite surface reflechissante etant conformee selon deux courbures correspondent a deux directions differentes. 2. Ensemble optique selon la revendication precedente caracterise en ce que le gradient lateral s'etend selon la direction meridionale des rayons X incidents. 3. Ensemble optique selon l'une des revendications precedentes caracterise en ce que la surface reflechissante est reguliere. 4. Ensemble optique selon l'une des revendications precedentes caracterise en ce que l'effet optique bidimensionnel est obtenu par une reflexion unique des rayons incidents sur ['ensemble optique. 5. Ensembie optique selon l'une des revendications precedentes caracterise en ce que lesdites directions differentes correspondent respectivement a la direction sagittale et a la direction meridionale des rayons X incidents. 6. Ensemble optique selon l'une des revendications precedentes caracterise en ce que le multicouche est un multicouche a gradient en profondeur. 7. Ensemble optique selon l'une des revendications precedentes caracterise en ce que ladite surface reflechissante est adaptee pour reflechir des rayons des rates Cu-K a. 8. Ensemble optique selon l'une des revendications precedentes caracterise en ce que la surface refidchissante a une geometric de forme sensiblement torodale. 9. Ensemble optique selon l'une des revendications 1 a 7 caracterise en ce que la surface reflechissante a une geometric de forme sensiblement parabolodale. 10. Ensemble optique selon l'une des revendications 1 a 7 caracterise en ce que la surface reflechissante a une geometric de forme sensiblement ellipsodale. 11. Ensemble optique selon l'une des revendications 1 a 7 caracterise en ce que la surface reflechissante a une geometric de forme sensiblement circulaire selon une premiere direction, et elliptique ou parabolique selon une deuxieme direction. 12. Ensemble optique selon l'une des revendications precedentes caracterise en ce que la surface reflechissante a un rayon de courbure sagittale inferieur a 20 mm. 13. Ensemble optique selon l'une des revendications precedentes caracterise en ce que une fenetre opaque aux rayons X et comportant une ouverture est associee en entree et/ou en sortie d'ensemble optique, pour controler le flux d'entree eVou de sortie de ['ensemble 3 o optique. 14.Ensemble optique selon la revendication precedente caracterise en ce que les fenetres vent amovibles. 15. Ensemble optique selon l'une des deux revendications precedentes caracterise en ce que les ouvertures des fenetres vent dimensionnees pour realiser un compromis flux/divergence du rayonnement. 16. Procede de fabrication d'un ensemble optique selon une des revendications precedentes, caracterise en ce que le procede comprend le revetement d'un substrat presentant deja une courbure, et la courbure de ce substrat selon une deuxieme direction differente. 17.Procede selon la revendication precedente caracterise en ce que la direction selon laquelle le substrat presente deja une courbure correspond a la direction sagittale de ['ensemble optique. 18.Procede selon l'une des deux revendications precedentes caracterise en ce que la direction selon laquelle on courbe le substrat correspond a la direction meridionale de ['ensemble optique. 19. Procede selon l'une des trots revendications precedentes caracterise en ce que on constitue le substrat lui-meme, en partant d'un element en forme de tube, de cone, ou de pseudo-cone presentant deja une courbure selon une direction perpendiculaire a l'axe du tube, du cone ou du pseudo-cone. 20. Procede selon la revendication precedente caracterise en ce que ['element est un tube de verre a section transversale circulaire. 21.Procede selon la revendication precedente, caracterise en ce que le verre est de type Duran (marque deposee). 22.Procede selon l'une des deux revendications precedentes, caracterise en ce que la constitution du substrat comprend le decoupage du tube selon la direction longitudinale du tube, de maniere a obtenir un substrat en forme de cylindre ouvert. 23.Procede selon la revendication precedente, caracterise en ce que le decoupage selon la direction longitudinale du tube est suivi d'un decoupage pour dimensionner ['ensemble optique en longueur. 24. Procede selon l'une des huit revendications precedentes, caracterise en ce que on effectue le revetement pour constituer un multicouche avant de courtier le substrat. 25.Procede selon l'une des revendications 16 a 24, caracterise en ce que on courbe le substrat pour le conformer a la geometric desiree avant de le revetir pour constituer un multicouche. 26. Procede selon l'une des dix revendications precedentes, caracterise en ce que on couple ['ensemble optique a un filtre, pour assurer I'attenuation des bandes spectrales non desirees tout en garantissant u ne transmission suffisante d' une ba nde de long ueu r d'onde predeterminee pour laquelle on desire reflechir les rayons X incidents. 27.Procede selon la revendication precedente, caracterise en ce que le filtre est un filtre de Nickel de 10,um. 28.Procede selon l'une des deux revendications precedentes, caracterise en ce que le filtre est realise par une des techniques suivantes: realisation de deux filtres dont les epaisseurs ajoutees correspondent a l'epaisseur de filtre souhaitee, positionnes respectivement sur les fenetres d'entree et de sortie du rayonnement d'un bo'^tier de protection contenant ['ensemble optique, À depot d'une couche de materieu de filtrage sur le revetement multicouche, avec une epaisseur de depot approximativement donnee par la relation suivante: d = (e sin 0)12 (ou e est l'epaisseur "optique" de filtre necessaire et I'angle d'incidence sur l'optique).