Brevet FR2836071A1 — publié le 20030822

COMPOSANT POUR MICROSYSTEME D'ANALYSE BIOLOGIQUE OU BIOCHIMIQUE DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un composant pour microsystème d'analyse biologique ou biochimique. Elle concerne également un procédé de réalisation d'un tel composant. ETAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE Un microsystème pour l'analyse biologique ou biochimique est réalisé à partir d'un support ou substrat choisi pour qu'une surface (qui peut être constituée de plusieurs zones) de ce support ou substrat apporte une ou plusieurs fonctions. Il peut s'agir d'une fonctionnalité chimique ou d'une fonctionnalité électrique. La fonctionnalité chimique intervient lorsque des éléments biologiques ou biochimiques doivent être accrochés au support. Généralement, les supports sont en verre ou en silicium, ce qui permet l'accrochage des éléments biologiques ou biochimiques par une chimie de couplage bien maîtrisée, par exemple par silanisation. La fonctionnalité électrique intervient pour la circulation de fluides dans des micro-canaux ou des micro-réservoirs. Les microsystèmes à circulation de fluides utilisent généralement des pompages électrocinétiques, tels que l'électro-osmose, pour faire circuler des fluides dans des micro-canaux et micro-réservoirs réalisés dans les supports. Ces modes de pompage imposent l'existence de surfaces électriquement actives. C'est l'utilisation de champs électriques élevés, combinés à la présence de surfaces électriquement actives, qui permet un écoulement fluidique. Les supports connus, en verre, en silice ou en silicium revêtu de silice, conviennent bien à ces modes de pompage. Les supports en verre, en silice ou en silicium revêtu de silice conviennent donc bien à l'obtention des fonctionnalités chimique et électrique. Il est de plus en plus fait référence à l'utilisation de matériaux inertes tels que les polymères, les plastiques, les colles, dans la réalisation de ces microsystèmes. Cependant, la chimie d'accrochage des éléments biologiques ou biochimiques sur ces matériaux inertes dépend de leur formulation chimique et reste délicate à mettre en oeuvre. Des matériaux tels que les plastiques moulés pour réaliser des micro-canaux, des polymères ou des résines photosensibles pour réaliser des microstructures seraient très largement utilisées dès lors qu'il serait possible d'y accrocher facilement des éléments biologiques ou biochimiques. En effet, ces matériaux sont de faible coût et sont utilisables en grande série. Par ailleurs, les écoulements électrocinétiques sont problématiques dans des matériaux tels que les polymères classiques et nécessitent l'emploi de techniques lourdes telles que l'activation par plasma afin de générer des surfaces électriquement chargées. Cependant, il a été montré que ceci ne permet pas d'activer définitivement la surface traitée. Le système évolue donc dans le temps. EXPOSE DE L'INVENTION La présente invention apporte une solution aux problèmes exposés ci-dessus. Elle permet l'utilisation de matériaux chimiquement inertes (les polymères, les résines, les plastiques, les colles, etc. ) pour réaliser des supports de composants pour microsystèmes d'analyse biologique ou biochimique, les surfaces de ces matériaux étant traitées pour les rendre fonctionnalisables afin de permettre l'accrochage d'éléments biologiques ou biochimiques. Le traitement consiste à déposer sur les surfaces concernées une couche d'un matériau fonctionnalisable. Les éléments biologiques ou biochimiques peuvent ensuite être greffés par des techniques classiques, par exemple par une technique de silanisation. Le matériau fonctionnalisable peut être déposé sur une surface plane du support ou sur une surface structurée du support qui peut être en plastique moulé, en polymère photosensible ou non ou une colle sérigraphiée. La couche de matériau fonctionnnalisable peut être déposée postérieurement à la réalisation d'un composant structuré. Elle peut également être gravée par les techniques utilisées en microtechnologie (gravure plasma ou chimique) afin de ne couvrir qu'une partie de la surface du composant. Le matériau déposé peut aussi être un matériau procurant une fonctionnalité électrique au composant, ce qui autorise la circulation de fluides par pompage électrocinétique. L'invention a donc pour objet un composant pour microsystème d'analyse biologique ou biochimique formé à partir d'un support et possédant au moins une zone de surface fonctionnalisée chimiquement, pour y permettre la formation d'une chimie d'accrochage d'éléments biologiques ou biochimiques, et/ou électriquement, pour y permettre la formation de charges électriques, caractérisé en ce que le support comprend au moins une partie constituée d'un matériau inerte et recouverte d'une couche d'un matériau fonctionnalisable chimiquement et/ou électriquement pour fournir ladite zone de surface fonctionnalisée. De préférence, ladite partie est constituée d'un matériau choisi parmi un polymère, un plastique, une résine et une colle. Le polymère peut être un polyimide. Ladite partie peut former le support dans sa totalité. Le support peut comprendre un substrat supportant ladite partie. Le substrat peut être en un matériau choisi parmi le verre, le silicium, un polymère et un métal. Ladite partie peut être structurée. Avantageusement, le matériau fonctionnalisable est choisi parmi la silice, la silice synthétisée et le nitrure de silicium. L'invention a aussi pour objet un procédé de réalisation d'un composant pour microsystème d'analyse biologique ou biochimique à partir d'un support, le support devant présenter ; au moins une zone de surface fonctionnalisée chimiquement pour y permettre la formation d'une chimie d'accrochage d'éléments biologiques ou biochimiques, et/ou électriquement, pour y permettre la formation de charges électriques, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : - préparation d'un support comprenant au moins une partie constituée d'un matériau inerte, - dépôt sur ladite partie d'une couche d'un matériau fonctionnalisable chimiquement et/ou électriquement pour fournir ladite zone de surface fonctionnalisée. L'étape de préparation peut comprendre la formation de ladite partie en matériau inerte sur un substrat. La partie en matériau inerte peut être formée par dépôt. Eventuellement, avant l'étape de dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable, ladite partie est soumise à une étape de structuration. L'étape de préparation peut comprendre le moulage de ladite partie constituée d'un matériau inerte. Le procédé peut comprendre en outre les étapes suivantes : - avant l'étape de dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable, le dépôt d'une couche de protection sur ladite partie à l'exclusion de la zone de surface devant être fonctionnalisée, - après l'étape de dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable sur la totalité de ladite partie, le lift-off de la couche de matériau fonctionnalisable recouvrant la couche de protection par élimination de la couche de protection. Le dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable peut être un dépôt de silice synthétisée obtenu par un procédé sol-gel. Le dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable peut être un dépôt de silice ou de nitrure de silicium obtenu par une technique d'évaporation ou de pulvérisation. Le procédé peut comprendre en outre une étape de gravure de la couche de matériau fonctionnalisable. Cette gravure peut être une gravure plasma ou une gravure chimique. BRÈVE DESCRIPTION DES DESSINS L'invention sera mieux comprise et d'autres avantages et particularités apparaîtront à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre d'exemple non limitatif, accompagnée des dessins annexés parmi lesquels : - les figures 1A à IC sont des vues en coupe illustrant la réalisation d'un premier composant pour microsystème d'analyse biologique ou biochimique selon l'invention, - les figures 2A à 2C sont des vues en coupe illustrant la réalisation d'un deuxième composant pour microsystème d'analyse biologique ou biochimique selon l'invention. DESCRIPTION DÉTAILLÉE DE MODES DE RÉALISATION DE L'INVENTION Les figures 1A à 1C illustrent la réalisation d'un composant pour microsystème d'analyse biologique ou biochimique à partir d'un substrat en verre. La réalisation de microsystèmes biologiques ou biochimiques dans un substrat en verre est délicate. Au-delà de quelques micromètres de gravure, les impuretés contenues dans le verre bloquent la gravure. Le verre est donc gravé par voie chimique avec des solutions contenant de l'acide fluorhydrique. La gravure chimique du verre est une gravure isotrope, ce qui limite la forme et les dimensions des motifs réalisables. L'invention permet de s'affranchir de la gravure du verre en réalisant le composant dans un matériau structurable tel qu'un polymère photosensible ou non, une résine photosensible ou une colle. Ce matériau structurable est ensuite recouvert d'un matériau fonctionnalisable tel qu'une silice synthétique, une silice ou un nitrure de silicium obtenus par évaporation ou par pulvérisation, ou tout autre matériau fonctionnalisable que l'on peut déposer sur le matériau structurable. La fonctionnalisation n'est plus réalisée directement sur le substrat en verre mais par l'intermédiaire de la couche de matériau fonctionnalisable déposée sur le matériau structurable. Le substrat supportant le matériau structurable peut alors être de nature diverse. Il peut être en verre, en silicium, en polymère, en métal ou en tout matériau sur lequel on peut déposer une couche de matériau structurable. La figure 1A montre un substrat 10 constitué par une plaque de silicium de 100 mm de diamètre. Sur le substrat 10, une couche de matériau structurable 11 est déposée. Il s'agit d'un polymère polyimide photosensible commercialisé sous l'appellation"Probimide 7510". La couche 11 est déposée à la tournette, à une vitesse de 3000 tours/minute, puis recuite à 1100C sur une plaque chauffante. Le substrat 10 et la couche 11 forment un support. La couche 11 est insolée par des rayons ultra-violets à travers un masque, puis développée afin d'obtenir le composant souhaité. C'est ce que montre la figure 1B. La couche 11 est structurée par la présence d'ouvertures 12 exposant le substrat 10. Le polyimide est ensuite recuit à 1500C sur une plaque chauffante puis à 300 C dans un four de traitement thermique. La figure 1C montre le composant obtenu après le dépôt d'une couche de matériau fonctionnalisable 13 sur la couche 11. Le matériau fonctionnalisable est par exemple de la silice synthétique commercialisée sous l'appellation "SOG 512" part la société Honeywell. La silice synthétique est déposée à la tournette à 1000 tours/minute puis recuite sur une plaque chauffante d'abord à 1100C puis à 2500C. Les figures 2A à 2C illustrent la réalisation d'un composant à partir d'un plastique moulé présentant un micro-canal fonctionnalisable. L'utilisation du plastique moulé pour la réalisation de composants biologiques ou biochimiques est une technique très prometteuse dès lors que le composant peut être fonctionnalisé. L'invention permet la fonctionnalisation, par une silice synthétique, d'une partie de la structure moulée, par exemple un micro-canal. La figure 2A montre un support 20 en plastique moulé, pourvu d'un canal 21 réalisé par le moulage. Sur la partie supérieure du support 20, une couche 22 de matériau de protection est déposée. Il peut s'agir d'une résine photosensible utilisée en microtechnologie. La résine est déposée à la tournette, à 2000 tours/minute puis recuite à 900C à l'étuve. Ensuite, comme le montre la figure 2B, une couche de silice, obtenue par évaporation d'une charge de silice dans un groupe d'évaporation, est déposée sur le support. La couche de silice forme un dépôt 23 sur la couche 22 de matériau de protection et un dépôt 24 sur le fond du canal 21. La couche de protection est ensuite enlevée dans un bain chimique, par exemple dans un bain d'acétone. Sa dissolution entraîne le décrochage de la silice déposée à sa surface. Le résultat obtenu est visible sur la figure 2C. Seule la couche de silice 24 contenue au fond du canal 21 subsiste. L'invention trouve une application dans tous les cas où l'on désire fonctionnaliser biologiquement ou biochimiquement une partie ou la totalité d'une surface d'un matériau inerte chimiquement à la fonctionnalisation. Elle trouve aussi une application lorsqu'il est nécessaire d'utiliser une couche de matériau électriquement actif. L'invention peut être avantageusement utilisée dans le domaine des systèmes d'analyse biologique et biochimique ainsi que dans les systèmes appelés "lab-on-chip". REVENDICATIONS 1. Composant pour microsystème d'analyse biologique ou biochimique formé à partir d'un support et possédant au moins une zone de surface fonctionnalisée chimiquement, pour y permettre la formation d'une chimie d'accrochage d'éléments biologiques ou biochimiques, et/ou électriquement, pour y permettre la formation de charges électriques, caractérisé en ce que le support comprend au moins une partie (11,20) constituée d'un matériau inerte et recouverte d'une couche (13,24) d'un matériau fonctionnalisable chimiquement et/ou électriquement pour fournir ladite zone de surface fonctionnalisée. 2. Composant selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite partie (11,20) est constituée d'un matériau choisi parmi un polymère, un plastique, une résine et une colle. 3. Composant selon la revendication 2, caractérisé en ce que le polymère est un polyimide. 4. Composant selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite partie (20) forme le support dans sa totalité. 5. Composant selon la revendication 1, caractérisé en ce que le support comprend un substrat (10) supportant ladite partie (11). 6. Composant selon la'revendication 5, caractérisé en ce que le substrat (10) est en un matériau choisi parmi le verre, le silicium, un polymère et un métal. 7. Composant selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que ladite partie (11,20) est structurée. 8. Composant selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le matériau fonctionnalisable est choisi parmi la silice, la silice synthétisée et le nitrure de silicium. 9. Procédé de réalisation d'un composant pour microsystème d'analyse biologique ou biochimique à partir d'un support, le support devant présenter au moins une zone de surface fonctionnalisée chimiquement pour y permettre la formation d'une chimie d'accrochage d'éléments biologiques ou biochimiques, et/ou électriquement, pour y permettre la formation de charges électriques, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes : - préparation d'un support comprenant au moins une partie (11, 20) constituée d'un matériau inerte, - dépôt sur ladite partie (11,20) d'une couche (13,24) d'un matériau fonctionnalisable chimiquement et/ou électriquement pour fournir ladite zone de surface fonctionnalisée. 10. Procédé selon la'revendication 9, caractérisé en ce que l'étape de préparation comprend la formation de ladite partie (11) en matériau inerte sur un substrat (10). 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que ladite partie (11) en matériau inerte est formée par dépôt. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, caractérisé en ce que, avant l'étape de dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable, ladite partie (11) est soumise à une étape de structuration. 13. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'étape de préparation comprend le moulage de ladite partie (20) constituée d'un matériau inerte. 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 13, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les étapes suivantes : - avant l'étape de dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable, le dépôt d'une couche de protection (22) sur ladite partie (20) à l'exclusion de la zone de surface devant être fonctionnalisée, - après l'étape de dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable (23,24) sur la totalité de ladite partie (20), le lift-off de la couche de matériau fonctionnalisable (23) recouvrant la couche de protection (22) par élimination de la couche de protection. 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 14, caractérisé en ce que le dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable (13) est un dépôt de silice synthétisée obtenu par un procédé solgel. 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 14, caractérisé en ce que le dépôt de la couche de matériau fonctionnalisable est un dépôt (23,24) de silice ou de nitrure de silicium obtenu par une technique d'évaporation ou de pulvérisation. 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 16, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une étape de gravure de la couche de matériau fonctionnalisable. 18. Procédé selon la revendication 17, caractérisé en ce que la gravure de la couche de matériau fonctionnalisable est une gravure plasma ou une gravure chimique.