Brevet FR2839331A1 — publié le 20031107

et vent raccordees entre elles par une surface courbe. :j - 2839331 INSTALLATION DE FABRICATION DE COMPOSANTS SEMI-CONDUCTEURS A FAUX-PLANCHER VENTILE La presente invention concerne les moyens permettant d'integrer au moins en partie une ligne de pompage a vice dans l'espace intermediaire situe entre une dalle de soutien et un faux- plancher de salle blanche dans une usine de fabrication de composants semi-conducteurs. Le sol de la salle blanche d'une usine de fabrication de composants semiconducteurs est generalement constitue d'un faux plancher surmontant une dalle de soutien en beton de 90 cm d' epaisseur percee a intervalles reguliers d' ouvertures de passage de 80 cm de long et de 40 cm de large. Les ouvertures de passage vent utilisees pour faire passer les canalisations et cables vers le soul-sol. Sur cette dalle de soutien vent fixes, avec un maillage de cm, des pieds verins de hauteur variable suivant les usines, et sur lesquels reposent des plaques de faux-plancher juxtaposees et perforees en aluminium de 60 x 60 cm. La hauteur des pieds verins peut varier entre environ 43 cm et environ 120 cm, suivant les usines. Sur les plaques de faux-plancher vent poses les equipements de fabrication des composants semi-conducteurs, notamment les chambres de procedes. Dans le volume sous les plaques de faux- plancher pas sent les diverges canalisations et cables necessaires au fonctionnement des equipements poses sur le faux-plancher constitue par les plaques de faux-plancher. On a recemment propose, par exemple dans le document WO 01/82019, d'integrer, dans l'espace intermediaire entre la dalle de soutien et le faux-plancher, une partie au moins de la ligne de vice, par exemple un systeme de pompage a vice constitue d'une pompe primaire avec eventuellement des dispositifs annexes de traitement de gaz pompes. L' invention vise a profiler des principaux avantages d'une te l le integration au moins partiel le du systeme de pompage a vice dans l'espace entre la dalle et le faux-plancher: - amelioration de la capacite de pompage utile, par rapprochement de la pompe et des chambres a vice situees dans la salle blanche, - economie de place dans les sous- sols ou vent traditionnellement implantees les pompes a vlde, - economie de ligne de pompage, longue et parfois chauffee depuis le soul-sol jusqu'a la machine. Mais le rapprochement des moyens de production de vice entraine des nuisances chimiques et physiques. Ces nuisances vent susceptibles de perturber le fonctionnement des chambres de procedes, dans lesquelles se deroulent des operations de micro usinage par plasma gazeux qui vent tres sensibles aux perturbations exterieures. Et ces nuisances vent susceptibles de polluer les salles blanches dans lesquelles vent manipules les produits avant et apres micro-usinage. L' invention vise a eviter les inconvenients des systemes de l'art anterieur, en permettant en particulier de reduire de facon tres sensible les risques de pollution des salles blanches et des chambres de procedes, tout en conservant la proximite des moyens de generation de vice. Pour cela, l'idee qui est a la base de l' invention est de real is er un i solement supplementaire entre les moyens de generation de vice et la salle blanche contenant les chambres de procedes, sas d' entree et de sortie et chambres de transfert, afin d'eviter a la fols les pollutions vibratoires, les pollutions sonores, les pollutions thermiques, et meme les pollutions chimiques et eventuellement electriques. Pour atteindre ces buts ainsi que d'autres, l' invention prevoit une installation de fabrication de composants a semi conducteur, dans un batiment ayant un etage superieur et un etage inferieur separes l'un de l'autre par une dalle de soutien ayant une face superieure et une face inferieure et supportant un faux plancher forme d'une juxtaposition de plaques de faux-plancher ayant une face superieure et une face inferieure, avec au moins une chambre de procedes placee dans l'etage superieur qui constitue en lui-meme une salle blanche, et avec des moyens de generation de vice pour generer et entretenir un vice controle dans la chambre de procedes, les moyens de generation de vice etant au moins en partie places dans un espace intermediaire situe entre la dalle de soutien et le faux-plancher, les plaques de faux-plancher comportant des passages traversants entre leur face superieure et leur face inferieure, la dalle de soutien comportant des ouvertures de passage entre sa face superieure et sa face inferieure; selon l' invention, des moyens d'aspiration vent prevus dans l'etage inferieur pour aspirer l 'atmosphere depuis la salle blanche vers ltetage inferieur, produisant un flux gazeux qui chemine dans les passages traversants des plaques de faux-plancher vers l'espace intermediaire, autour des moyens de generation de vice dans l'espace intermediaire, et dans les ouvertures de passage de la dalle de soutien vers l'etage inferieur. Ainsi, le flux gazeux dans les passages traversants des plaques du fauxplancher s'oppose a la migration retrograde des eventuelles fuites gazeuses vers la salle blanche, s 'oppose a la propagation de chaleur vers la salle blanche, et s' oppose a la propagation des sons vers la salle blanche. Le faux-plancher joue ainsi le role d'un anti-retour pour les pollutions sonores, thermiques ou chimiques emanant des moyens de generation de vice integres sous le faux-plancher. Il est important d'assurer une regularite du flux gazeux autour des moyens de generation de vice. Pour cela, selon un mode de realisation de l' invention, les moyens de generation de vice vent places au-dessus d'une ouverture de passage dans la dalle de soutien inferieure. En alternative, les moyens de generation de vice vent places au regard d'une zone pleine de la dalle de soutien inferieure, entre des ouvertures de passage. Dans tous les cas, il est avantageux de faire en sorte que les moyens de generation de vice soTent tenus a la fois a l'ecart de la face superieure de la dalle de soutien et a l'ecart de la face inferieure des plaques de faux-plancher, afin de laisser une libre circulation de flux gazeux audessus et au-dessous des moyens de generation de vice. Par exemple, les moyens de generation de vice peuvent etre supportes par un plateau reposant sur la face superieure de dalle de soutien par l'intermediaire de jambes de liaison. Les jambes de liaison peuvent avantageusement etre equipees d'une liaison elastique et amortie, s'opposant a la transmission de vibrations depuis les moyens de generation de vice vers la dalle de soutien et vers le faux-plancher. Pour s 'opposer aux eventuelles pollutions electriques provenant des moyens de generation de vice integres sous le faux plancher, on peut en outre utiliser des plaques de faux-plancher realisees en un metal conducteur de l'electricite et reliees electriquement a la terre. Dans ce cas, il est avantageux que les plaques de faux- plancher comprennent une face superieure recouverte d'une couche superficielle en matiere isolante ou semi-isolante. On evite ainsi la proliferation de particules electriquement chargees dans la salle blanche. D'autres objets, caracteristiques et avantages de la presente invention ressortiront de la description suivante de modes de realisation particuliers, faite en relation avec les figures jointes, parmi lesquelles: - la figure 1 illustre schematiquement, en perspective, une usine de fabrication de composants semi-conducteurs selon un mode de realisation de la presente invention i et - la figure 2 est une vue schematique en perspective illustrant un mode de realisation des moyens de maintien des moyens de generation de vice sous le faux-plancher. Dans le mode de realisation illustre sur la figure 1, l' installation de fabrication de composants semi-conducteurs est constituee d'un batiment ayant un etage superieur 1 et un etage inferieur 6 separes l'un de l'autre par une dalle de soutien 3 et un faux-plancher 2. L'etage superieur est lui-meme une salle blanche, dans laquelle evolue le personnel d'utilisation autour d'au moins une chambre de procedes la. Le faux-plancher 2 est maintenu a l'ecart et au-dessus de la dalle de soutien 3, pour constituer un espace intermediaire 2c. Une ligne de vice permet de generer et d'entretenir une atmosphere a basse pression a l'interieur de la chambre de procedes la. La ligne de vice comprend des moyens de generation de vice 4 qui vent au moins en partie places dans l'espace intermediaire 2c situe entre la dalle de soutien 3 et le faux-plancher 2. s La dalle de soutien 3 est par exemple une dalle de beton, ayant une face superieure 3a et une face inferieure 3b. La dalle de soutien 3 comporte des ouvertures de passage 8 entre sa face superieure 3a et sa face inferieure 3b. Le faux-plancher 2 est constitue d'une juxtaposition de plaques de fauxplancher, par exemple de forme rectangulaire, ayant elles-memes une face superieure 2a et une face inferieure 2b, avec des passages traversants 7 entre la face superieure 2a et la face inferieure 2b. Les passages traversants 7 peuvent par exemple etre des trous de forme circulaire et de diametre d' environ 2 a 4 cm, regulierement repartis sur la surface de la plaque de faux-plancher et occupant environ entre le tiers et la moitie de la surface. Les moyens de generation de vice 4 vent relies a la chambre de procedes la par une canalisation d' aspiration 4a systematiquement illustree en pointilles sur la figure, et constituee de maniere connue. Selon l' invention, on prevoit dans l'etage inferieur 6 des moyens d'aspiration 9 permettant d'aspirer l' atmosphere depuis la salle blanche 1 vers l'etage inferieur 6, produisant ainsi un flux gazeux 5 qui chemine dans les passages traversants 7 des plaques de faux-plancher 2 vers l'espace intermediaire 2c, autour des moyens de generation de vice 4 dans l'espace intermediaire 2c, et dans les ouvertures de passage 8 de la dalle de soutien 3 vers l'etage inferieur 6. Grace a la presence des passages traversants 7 de petit diametre regulierement repartis sur toutes la surface des plaques de faux-plancher 2, le flux gazeux 5 est regulierement reparti dans l'espace intermediaire 2c tout autour des moyens de generation de vice 4, et est regulierement reparti dans la salle blanche 1 autour de la chambre de procedes la. Dans le mode de realisation illustre sur la figure 1, les moyens de generation de vice 4 vent places au-dessus d'une zone pleine de la dalle de soutien 3 inferieure, entre plusieurs ouvertures de passage telles que l'ouverture de passage 8. De la sorte, les moyens de generation de vice 4 perturbent le moins possible l'ecoulement du flux gazeux 5 par les ouvertures de passage 8, de sorte que le flux gazeux 5 leche de facon reguliere les parois laterales des moyens de generation de vice 4. On pourra toutefois preferer le mode de realisation de la figure 2, dans lequel les moyens de generation de vice 4 vent S places au-dessus d'une ouverture de passage 8 dans la dalle de soutien 3 inferieure. De la sorte, on evite la constitution d'une zone morte au-dessous des moyens de generation de vice 4, zone dans laquelle le flux gazeux est reduit et risque d'entrainer une accumulation de particules polluantes. l0 Dans ce mode de realisation de la figure 2, les moyens de generation de vice 4 vent en outre tenus a la fois a l'ecart de la face superieure 3a de la dalle de soutien 3, et a l'ecart de la face inferieure 2b des plaques de faux-plancher 2, pour laisser une libre circulation du flux gazeux 5 au-dessus et au-dessous des moyens de generation de vice 4. Dans ce cas, les moyens de generation de vice 4 vent supportes par un plateau 100 qui repose sur la face superieure 3a de la dalle de soutien 3 par l'intermediaire de jambes de liaison 17, 18, 19 et 20. Les jambes de liaison 17-20 comportent de preference des moyens de reglage en longueur, par exemple des verins a vis 17a, pour adapter la position verticale du plateau 100 par rapport a la dalle de soutien 3. Chaque jambe de liaison 17-20 comporte une extremite superieure ayant un axe vertical 17b engage dans l'un de plusieurs trous prevus dans des profiles en U 13 ou 14 du plateau 100. Chaque jambe de liaison 17-20 comporte a sa base une plaque de fixation telle que la plaque 17c, que l'on fixe par vissage ou tout autre moyen sur la dalle de soutien 3. Les jambes de liaison 17-20 peuvent etre disposees selon un carre de dimension plus petite que le plateau 100. La dalle de soutien 3, par exemple en beton de 90 cm d'epaisseur, peut etre percee a intervalles reguliers pour constituer les ouvertures de passage 8. Les ouvertures de passage 8 ont par exemple une dimension de 80 cm de long et 40 cm de large, et vent utilisees non senlement pour le passage du flux gazeux 5 mais egalement pour faire passer les canalisations et cables entre l'espace intermediaire 2c et l'etage inferieur 6. En se referent a nouveau aux modes de realisation de la figure 1, on distingue que les plaques de faux-plancher 2 vent reliees a la terre 2d par une connexion electrique 2e. Dans ce cas, les plaques de faux-plancher 2 vent en un metal conducteur de l'electricite, afin de constituer une barriere equipotentielle s'opposant a la propagation d'ondes electromagnetiques depuis les moyens de generation de vice 4 vers la salle blanche 1. Dans ce cas egalement, les plaques de faux-plancher 2 peuvent avantageusement comprendre une face superieure 2a recouverte d'une couche superficielle en une matiere electriquement isolante ou semi-isolante. On peut par exemple utiliser une couche de polymere, qui evite d'electriser les particules situees dans l 'atmosphere de la salle blanche 1. Les moyens de generation de vice 4 places dans ltespace intermediaire 2c peuvent comprendre une ou plusieurs pompes a vice 4c (figure 2) connectees en eerie, raccordees par la canalisation d' aspiration 4a a au moins une chambre de procedes la, et refoulant les gaz pompes par une canalisation de refoulement 4b vers l' atmosphere. Les moyens de generation de vice 4 peuvent comprendre des moyens d'analyse et/ou de traitement des gaz refoules 4d, places dans ltespace intermediaire 2c et/ou dans l'etage inferieur 6. La presente invention n'est pas limitee aux modes de realisation qui ont ete explicitement decrits, mais elle en inclut les diverges variantes et generalisations qui vent a la portee de l'homme du metier. REVENDICATIONS 1 - Installation de fabrication de composants a semi- conducteur, dans un batiment ayant un etage superieur (1) et un etage inferieur (6) separes l'un de l'autre par une dalle de soutien (3) ayant une face superieure (3a) et une face inferieure (3b) et supportant un faux-plancher forme d'une juxtaposition de plaques de faux-plancher (2) ayant une face superieure (2a) et une face inferieure (2b), avec au moins une chambre de procedes (la) placee dans l'etage superieur qui constitue en lui-meme une salle blanche (1), et avec des moyens de generation de vice (4) pour generer et entretenir un vice controle dans la chambre de procedes (la), les moyens de generation de vice (4) etant au moins en partie places dans un espace intermediaire (2c) situe entre la dalle de soutien (3) et le faux-plancher (2), les plaques de faux-plancher (2) comportant des passages traversants (7) entre leur face superieure (2a) et leur face inferieure (2b), la dalle de soutien (3) comportant des ouvertures de passage (8) entre sa face superieure (3a) et sa face inferieure (3b), caracterisee en ce que des moyens d'aspiration (9) vent prevus dans ltetage inferieur (6) pour aspirer l' atmosphere depuis la salle blanche (1) vers ltetage inferieur (6), produisant un flux gazeux (5) qui chemine dans les passages traversants (7) des plaques de fauxplancher (2) vers l'espace intermediaire (2c), autour des moyens de generation de vice (4) dans l'espace intermediaire (2c), et dans les ouvertures de passage (8) de la dalle de soutien (3) vers l'etage inferieur (6). 2 - Installation selon la revendication 1, dans laquelle les moyens de generation de vice (4) vent places au-dessus d'une ouverture de passage (8) dans la dalle de soutien (3) inferieure. 3 - Installation selon la revendication 1, dans laquelle les moyens de generation de vice (4) vent places au-dessus d'une zone pleine de la dalle de soutien (3) inferieure entre des ouvertures de passage (8). 4 - Installation selon l'une quelconque des revendications 1 a 3, caracterisee en ce que les plaques de faux-plancher (2) vent en un metal conducteur de l'electricite et vent reliees electriquement a la terre (2d). - Installation selon la revendication 4, caracterisee en ce que les plaques de faux-plancher (2) comprennent une face superieure (2a) recouverte d'une couche superficielle en une matiere electriquement isolante ou semi-isolante. 6 - Installation selon l'une quelconque des revendications 1 a 5, caracterisee en ce que les moyens de generation de vice (4) vent tenus a la fois a l'ecart de la face superieure (3a) de la dalle de soutien (3) et a l'ecart de la face inferieure (2b) des plaques de fauxplancher (2), pour laisser une libre circulation de flux gazeux au-dessus et au-dessous des moyens de generation de vice (4). 7 - Installation selon la revendication 6, caracterisee en ce que les moyens de generation de vice (4) vent supportes par un plateau (100) reposant sur la face superieure (3a) de la dalle de IS soutien (3) par l'intermediaire de jambes de liaison (17-20). 8 - Installation selon la revendication 7, caracterisee en ce que les jambes de liaison (17-20) vent equipees d'une liaison elastique et amortie s'opposant a la transmission de vibrations. 9 - Installation selon l'une quelconque des revendications 1 a 8, caracterisee en ce que les moyens de generation de vice (4) places dans l'espace intermediaire (2c) comprennent une ou plusieurs pompes a vice (4c) connectees en eerie, raccordees par une canalisation d' aspiration (4a) a au moins une chambre de procedes (la), et refoulant les gaz pompes par une canalisation de refoulement (4b) vers l 'atmosphere. - Installation selon la revendication 9, caracterisee en ce que les moyens de generation de vice (4) comprennent des moyens d'analyse et/ou de traitement des gaz refoules (4d), places