Brevet FR2837623A1 — publié le 20030926

. MICRO-COMPOSANT ELECTRONIQUE INTEGRANT UNE STRUCTURE CAPACITIVE, ET PROCEDE DE FABRICATION Domaine technique L'invention se rattache au domaine technique de la micro-électronique. Elle vise plus précisément des micro-composants électroniques ineorporant une ou plusieurs structures capacitives. Ces struetures eapaeitives sont principalement destinées à étre réalisées à l'intérieur même du micro-composant, au-dessus de niveaux de métallisation direetement reliés aux bornes des transistors et autre strueture semi-conduetrice. Ces structures eapaeitives peuvent 8ke notamment utilisces en tant que eellule de mémoire dynamique embarquée (embedded DRAM). L'invention vise plus précisément la strueture d'une telle capacité en vue d'en augmenter très fortement sa ', capaeitance", e' est-à- dire sa eapacité par unité de surface, et ee sans augmenter trop fortement ni les eoûts de fabrication, ni la surface utilis ée sur le micro- eomp os ant. Techniques antérieures La réalisation de miero-condensateurs ou de struetures eapacitives sur des substrats semi-eonducteurs a déjà fait l'objet de eertains développements. Différentes technologies ont déjà été proposées, notamment eelles qui permettent de réaliser des struetures capacitives eonstituées de deux éleetrodes formées par des couches métalliques, séparces par une couche de matériau isolant ou diélectrique. Ce type de capacités est généralement qualifié de strueture "MIM", pour "Métal Isolant Métal". L'invention se rattaehe plus particulièrement à ce type de structure capacitive. Parmi les solutions existantes, eelle décrite dans le document FR 2 801 425 concerne un miero-condensateur dont les deux éleetrodes sont formées par des 2 2837623 couches métalliques planes. Dans ce cas, la valeur de la capacité du condensateur est essentiellement fonction du type de matériau diélectrique utilisé, ainsi que de la surface en regard des deux électrodes métalliques. Autrement dit, la "capacitance", ou la capacité par unité de surface, est fixée de façon prépondérante par l'épaisseur de la couche isolante et sa permittivité relative. Ainsi, pour augmenter la valeur de capacitance, il est nécessaire soit de choisir des matériaux de très forte permittivité relative, soit de réduire les distances entre les électrodes, avec le risque d'apparition de phénomènes de claquage, voire d'effets tunnel. Autrement dit, les condensateurs réalisés selon la sucture décrite dans ce document sont limités en terme de capacitance. Le Déposant a décrit dans la demande de brevet francais No. 02.01618, une nouvelle structure de capacité réalisée sur un niveau de métallisation d'un composant électronique. Chaque élechode de cette structure capacitive comporte une pluralité de lamelles qui sont perpendiculaires au plan principal du substrat. Le Déposant a également décrit dans la demande de brevet français No. 02. 02461, une autre structure de capacité comportant un empilement de lamelles métalliques superposées, et décalées les unes par rapport aux autres, les parties en contact formant un tronc commun. Un des objectifs de l'invention est de proposer une structure capacitive qui puisse être réalisée sur un niveau de métallisation d'un microcomposant électronique, et qui possède une valeur de capacitance supérieure aux valeurs habituellement observées. Par ailleurs, pour obtenir des structures capacitives pouvant être utilisées en tant que cellules de mémoire dynamique, on réalise généralement, et comme décrit dans le document US 5155657, des empilement de couches de silicium alternées avec des couches de silicium dopé, par exemple au germanium. Les sélectivités de gravure différentes pour ces deux types de matériaux permettent d'obtenir des structures arborescentes formant des électrodes dont la surface est relativement 3 2837623 importante. Néanmoins, les conductivités de telles électrodes sont limitées, et ne permettent pas de faire fonctionner ces cellules de mémoire à des fréquences importantes, typiquement supérieures à la centaine de MégaHertz environ. Un autre objectif de l'invention est de permettre la réalisation de structures capacitives susceptibles de fonctionner à des fréquences de l'ordre des fréquences des microprocesseurs avec lesquelles les cellules de mémoires sont destinées à être associées. Exposé de l'invention L'invention concerne donc un micro-composant électronique réalisé à base d'un substrat, et intégrant une structure capacitive réalisée au-dessus d'un niveau de métallisation présent sur le substrat. Une telle structure capacitive comporte deux électrodes et se caractérise en ce que: - la première électrode comporte deux ensembles de lamelles métalliques empilées les unes au-dessus des autres, les lamelles de chaque ensemble étant reliées à une paroi métallique réalisée à partir du même métal, chacune des parois métalliques étant reliée aux lamelles situées le plus proche du niveau de métallisation sousjacent, les deux parois verticales définissant une tranchée dans l'espace les séparant; - la seconde électrode recouvre la première électrode en comportant une pluralité de lamelles intercalées entre les lamelles de la première électrode ainsi qu'une portion pénétrant la tranchée définie dans la première électrode. Autrement dit, la première électrode forme une structure arborescente comportant un tronc cenha1 évidé, comportant deux parois à partir desquelles s'étendent des lamelles situées de chaque côté. La seconde électrode recouvre la première en formant une pluralité de lamelles qui sont intercalées entre les lamelles et entre les parois verticales de la première électrode. La surface en regard de chacune des électrodes est donc particulièrement élevée. Pour une même surface occupée sur le substrat, cette surface en regard peut être accrue en augmentant le nombre de lamelles de chaque électrode, ce qui permet donc d'augmenter la capacitance à souhait. En pratique, les capacités conformes à l'invention présentes d'excellentes propriétés électriques et notamment lorsque l' on utilise un des métaux de très forte conductivité, présentant une résistivité inférieure à 5 Q.cm. Les avantages d'une très faible résistivité se traduisent notamment par un faible échauffement de la structure capacitive en mode dynamique, ainsi qu'un bon fonctionnement à haute fréquence. Divers métaux peuvent être utilisés parmi lesquels on compte le Tungstène, le Molybdène, le Nobium et l'Aluminium, le Cuivre, le Ruthénium, l'Iridium, le dioxyde d'Iridium, le Platine, le Palladium, les siliciures de Molybdène, les siliciures de Tungstène, les siliciures de Niobium, les siliciures de Cobalt, les siliclures de Titanej les siliciures de Platine, les siliciures de Nickel. En pratique, les électrodes sont séparées par une couche diélectrique réalisée à partir de matériaux qui sont avantageusement choisis dans le groupe des oxydes ferroélectriques et/ou pyroélectriques. Parmi ces oxydes ferroélectriques, on conna^t le dioxyde d'Hafnium, le pentoxyde de Tantale, le dioxyde de Zirconium, les oxydes de Lanthane, le trioxyde de di-Yttrium, l'alumine, le dioxyde de Titane, ainsi que les titanates et tantalates de Strontium (STO), les titanates de Strontium et Baryum (BST), les Tantalates de Strontium et Bismuth (SBT), ainsi que les titanates de Plomb et de zirconate de Plomb (PZT), les titanates et zirconates de Plomb dopées avec des Lanthanides (PLZT), les noblates de Strontium et Bismuth (SBN), les tantalates et niobates de Strontium et Bismuth (SBTN), les cuprates de Baryum et Yttrium, les Alcalinoxydes de Manganèse Me2MnO3 Ce matériau diélectrique peut étre déposé soit en couche homogène d'un méme matériau, ou d'un alliage de plusieurs de ces matériaux. Néanmoins, dans une forme préférée, la couche diélectrique peut également être constituée de la superposition de couches élémentaires de matériaux différents formant une structure nanolaminée. Dans ce cas, chacune des couches est de très 2837623 faible épaisseur, de l'ordre de quelques Angstroms à quelques centaines d' Angstroms. Dans une forme préférée, la st_chiométrie des matériaux varie d'une couche élémentaire à 1'autre dans la structure nanolaminée. Ainsi, en faisant varier la - st_chiométrie de chaque couche, on crée des gradients de concentration d'oxygène (et des autres matériaux utilisés) à travers quelques couches atomiques. La variation de structure de bandes de chaque couche élémentaire de la structure nanolaminée a pour conséquence de modifier la structure de bande globale des alliages et des composés d'oxydes ferro et pyroélectriques à travers seulement quelques couches atomiques. On obtient de la sorte des valeurs de permittivité relative particulièrement importantes, ce qui agit en faveur de l'augmentation de la capacitance. En pratique, on préférera que la surface de chaque électrode soit recouverte d'une couche de matériau barrière à la diffusion de l'oxygène, typiquement à base de nitrure de titane, de nitrure de tungstène, de nitrure de tantale, ou bien encore l'un des matériaux suivants: TaAlN, TiAlN, MoN, CoW ou TaSiN, des alliages des métaux de transitions avec du Bore du type TiB2, des alliages de métaux de transitions avec du Carbone du type TiC. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'une telle structure capacitive. Cette structure capacitive est fabriquée sur un micro- composant électronique, au-dessus d'un niveau de métallisation réalisé dans le substrat. Conformément à l'invention, un tel procédé comporte les étapes suivantes consistant à: - déposer au-desss du niveau de métallisation une première couche métallique destinée à former la partie basse d'une des deux électrodes de la structure capacitive, - déposer audessus de la couche métallique une couche de matériau polymère dont la face supérieure est apte à servir de support à un dépôt métallique ultérieur, - répéter les deux étapes de dépôt précédentes de manière à obtenir un empilement de couches métalliques séparées par une couche de matériau polymère, - réaliser au centre de l'empilement une tranchée creusée jusqu'à faire apparatre la première couche métallique, - déposer de façon enrobante dans ladite tranchée un métal identique à celui des couches empilées, de manière à former deux parois verticales sur chacune desquelles sont reliées un ensemble de lamelles résultant de portions des couches métalliques précédemment déposées, et ainsi obtenir une structure arborescente formant la première électrode; - éliminer l'ensemble des couches de matériau polymère, - déposer sur toute la surface apparente de la première électrode un matériau diélectrique sous forme d'une structure nanolaminée, - déposer par-dessus la première électrode un matériau conducteur venant s'insérer entre les couches métalliques de la première électrode, et entre les parois verticales de la première électrode, de manière à former la seconde électrode. DescriPtion sommaire des fiures La manière de réaliser l'invention ainsi que les avantages qui en découlent ressortiront bien de la description du mode de réalisation qui suit, à l'appui des figures 1 à 17 annexées, qui sont des représentations schématiques en coupe de la zone supérieure d'un micro-composant électronique, et de la structure capacitive conforme à l'invention, au fur et à mesure des étapes du procédé de réalisation. - 7 2837623 Pour faciliter la description du procédé de réalisation de l'invention, l'exemple donné par la suite illustre la fabrication d'une structure capacitive au dessus d'un niveau de métallisation, sans représentation des zones avoisinantes. Bien entendu, ces schémas ne sont donnés qu'à titre illustratif, et les dimensions des différentes couches et éléments réels intervenant dans l'invention peuvent différer de celles qui sont représentées aux figures, uniquement dans le but de faire comprendre l'invention. Manière de réaliser l'invention On décrit par la suite un procédé particulier de réalisation qui permet d'obtenir une structure de microcapacité conforme à l'invention. Certaines étapes du procédé décrit peuvent néanmoins être considérées comme accessoires ou simpl ement utile s et avantageus es p our améliorer c ertaines performances, sans être absolument obligatoires pour rester dans le cadre de l'invention. Ainsi, une micro-capacité conformément à l'invention peut être réalisée sur un micro-composant (1) tel qu'illustré à la figure 1. Le substrat (2) de ce micro- composant comprend différents niveaux de métallisation (3) qui peuvent étre reliés 2 0 à des zones active s à l'intérieur du micro- c omp o sant ou bien encore à des plots d'interconnexion détouchant sur la face supérieure du substrat. Dans la forme illustrce, il s'agit d'un niveau de métallisation situé au niveau de la face supérieure du sub strat. Plus préci s ément, la face supérieure du sub strat est recouverte d'une c ouche de passivati on ( 8), typiquement en SiO2 ou Si ON. Ainsi, dans la première étape illustrée à la figure 1, on procède au dépôt d'une couche de résine (5) dans laquelle une ouverture (6) est défnie par lithographie. Cette ouverture permet de procéder à la gravure localisée de la couche de passivation (8), de manière à laisser appara^tre le niveau de métallisation (3) sous jacent. La gravure de la couche de passivation (8) peut, lorsque cette dernière est réalisée en SiON, être effectuée par un procédé classique de gravure chimique 8 2837623 utilisant un mélange CF4:O2 ou CF4:H ou bien encore une technique de type "Reactive Ion Etching" (RIE), voire encore en utilisant un plasma radiofréquence. On procède par la suite à une étape de nettoyage permettant d'éliminer toute trace restante de SiON ou des produits utilisés pour sa gravure. Ce nettoyage peut par exemple être réalisé en utilisant une solution commercialisée sous la référence ACT 970 par la Société ASHLAND. Ce nettoyage peut être suivi d'un pré-rin$age avec dissolution de dioxyde de carbone ou d'ozone par bullage, avec un acide hydroxyle carboxylique tel que de l'acide citrique ou encore de l'acide oxalique. Par la suite, on procède au dépôt d'une couche (10) barrière à la diffusion de l'oxygène tel qu'illustré à la figure 2. Cette couche peut être déposée par une technique de dépôt de couches atomiques de type ALD (Atomic Layer Deposition). Une telle technique confère une bonne uniformité d'épaisseur et une excellente intégrité à cette couche barrière à la diffusion (10). Les matériaux susceptibles d'être utilisés pour réaliser cette couche barrière à la diffusion peuvent étre choisis parmi les matériaux suivants: TiN, Ta, TaN, W. WN, Mo, MoN, TiW, TiVVN, Os, Re, Rh, Ru. Par la suite, et comme illustré à la figure 3, on procède au dépôt d'une seconde couche de résine (11) qui est ensuite insolée puis élimince en partie pour définir un logement (12) dont le fond (13) laisse appara^tre la couche barrière à la diffusion (10). Par la suite, et comme illustré à la figure 4, on procède à un dépôt métallique de Tungstène, Molybdène, Nobium ou d'Aluminium, par CVD (Chemical Vapour Deposition) permettant de former la première lamelle large (14) de la première électrode. Le premier dépôt métallique s'effectue également jusqu'au contact du niveau de métallisation (3), de manière à lier électriquement la première électrode au niveau de métallisation par le plot (15) Par la suite, et comme illustré à la figure 5, on procède à 1'élimination des zones de résine définissant le logement qui a permis d'obtenir la première lamelle (14). Par la suite, et comme illustré à la fgure 6, on procède au dépôt d'une couche nonmétallique(19). Cette couche peut être réalisée à base de divers matériaux tels que notamment le polyimide, le benzocycloDutène, mais également du silicium, du polysilicium, ou bien encore du dioxyde de silicium ou du nitrure de silicium. On peut également utiliser de l'oxynitrure de silicium (SiON). Ce matériau polymère est déposé par une technique de dépôt par rotation, également appelée "spin-on deposition". Ce dépôt est effectué sur une épaisseur correspondant sensiblement à l'espace que l'on souhaite former enkre les lamelles successives de la première éleckode. 1S Par la suite, et comme illuské à la figure 7, on effectue le dépôt d'une couche de résine (21). Cette couche de résine est ensuite éliminée dans une zone permettant de définir un logement pour le dépôt d'une seconde lamelle de cuivre (24), qui est obtenue par dépôt CVD. On procède par la suite comme illustré à la figure 8, au dépôt d'une nouvelle couche non métallique (29). Les opérations de dépôt d'une couche métallique, et de dépôt d'une couche non métallique peuvent êke répétées successivement autant de fois que souhaité. Bien entendu, le nombre de lamelles illuskées à la figure 8 est indicatif, et il est possible de réaliser des structures comportant un nombre de lamelles plus important. Par la suite, on procède comrne illustré à la figure 9, au dépôt d'une couche de masque dur (18). Cette couche de masque dur est ensuite éliminée dans une zone centrale (16) située à l'aplomb du futur konc central de la première électrode. Comme illustré à la figure 10, les couches non métalliques (19, 29) et la lamelle métallique (24) sont ensuite gravées par itérations successives pour former une ouverture (17) telle qu'illustrée à la figure 10. Cette ouverture (17) laisse appara^tre la face supérieure de la première lamelle métallique (14). Par la suite, on procède au dépôt d'une couche de résine (25) sur la couche non métallique (29), de manière à définir le logement de la future lamelle supérieure de la première électrode. Par la suite, et comme illustré à la figure 11, on procède au dépôt par CVD d'un métal identique à celui des lamelles, de manière à recouvrir les flancs du logement (17) et former les parois verticales (22,23) de la première électrode, ainsi que les deux fractions (33,34) de la lamelle supérieure. On procède ensuite à l'élimination des couches de résine (25) ayant permis de défnir la lamelle supérieure (33, 34) de la première électrode. Par la suite, et comme illustré à la fgure 12, on procède à l'élimination des différentes couches non métalliques (19, 29), de manière à libérer la première électrode (4). Cette élimination s'effectue par différentes techniques et notamment par des procédés couramment connus sous le terme de "ashing", en utilisant par exemple des plasma à oxygène, en combinaison avec des compositions chimiques approprices. I1 est possible, mais pas obligatoire de procéder par la suite à un traitement thermique de recuit. Ce traitement peut être effectué par lots, à une température voisine de 120 C pendant 30 minutes environ. I1 est également possible de procéder à une étape de recuit rapide (RTP), Par la suite, on procède, comme illustré à la figure 13, au dépôt d'une couche (28) barrière à la diffusion de l'oxygène. Comrne expliqué précédemment, cette couche (27) barrière à la diffusion de l'oxygène peut être obtenue par ALD, en utilisant un matériau choisi parmi TaAlN, TiAlN, MoN, CoW ou TaSiN, des alliages des métaux de transitions avec du Bore du type TiB2, des alliages de métaux de transitions avec du Carbone du type TiC Cette couche (28) barrière à la diffusion fait également offce de couche amorce pour le dépôt des couches supéneures. Par la suite, comme illuské à la fgure 14, on procède au dépét d'une couche diélectrique constituée d'une structure nanolaminée (26). Plus précisément, la structure nanolaminée déposée est réalisée à partir de différentes couches d'oxydes ferroélechiques ou pyroélectnques. Dans un exemple particulier de réalisation, la structure nanolamnée (26) peut comporter un empilement de cinq couches différentes. À La première couche, possédant une épaisseur de 5 à 10 À est réalisée à partir de AlXO3 X, avec x compris entre O et 3. À La seconde couche présente une épaisseur de l'ordre de 4 à 15 A, et est réalisée à partir de Zrz 2AlyOx,avec z compris entre O et 2, x compris entre 1 et 12, z compris enke 1 et 2. À La troisième couche présente une épaisseur de l'ordre de 4 à 20 A, et est réalisée à partir de Zry+2nAlz-no3-x,avec z compris entre O et 2, x compris enke l+n et 3+n, y compris enke l+n et 2+n, et n étant compris enke 1 et À La quatrième couche présente une épaisseur de l'ordre de 4 à 15 A, et est réalisoe à partir de Zry+nAlzo3-x,avec z compris enke O et 2, x compris enke l+n et 3+n, y compris enke l+n et 2+n, et n étant compris enke 1 et 8 À La cinquième couche, possédant une épaisseur de 5 à 10 À est réalisée à partir de ZryAlzO3 x' avec x compris enke O et 3 et y compris enke 0 et 2 et z compris entre 1 et 10. Dans un autre exemple de formulation d'alliages et de composés pour former une skucture nano-laminées de couches atomiques est le suivant: À La première couche, possédant une épaisseur de 5 à 10 A est réalisée à partir de AlXO3 x' avec x compris entre O et 3. À La seconde couche présente une épaisseur de l'ordre de 4 à 15 , et est réalisée à partir de TiZ-2AlyOx,avec z compris entre O et 2, x compris entre 1 et 12, z compris entre 1 et 2. À La troisieme couche présente une épaisseur de l'ordre de 4 à 20 A, et est réalisée à partir de TiZox,avec z compris entre 1 et 2, x compris entre l+n et 3+n, y compris entre l+n et 2+n et n étant compris entre 1 et2 À La quatrième couche présente une épaisseur de l'ordre de 4 à 15 L, et est réalisée à partir de Tiz2AlyOx,avec z compris entre O et 2, x coms entre 1 et 12, z compris entre 1 et 2. À La dernière couche, possédant une épaisseur de 5 à 10 est réalisée à partir de AlXO3 x, avec x compris entre O et 3. La structure nanolaminée ainsi obtenue présente une épaisseur comprise entre 20 et 250A. La permittivité relative de cette couche est de l'ordre de 23. B i en entendu, la structure nanolamince décrite ci- avant est un exemple non limitatif dans laquelle certains éléments peuvent être substitués sans sortir du cadre de l'invention. Par la suite, on procède au-dessus de la structure nanolaminée, au dépôt d'une couche (32) barrière à la diffusion de l'oxygène similaire à celle (28) évoquée précédemment. Par la suite, et comme illustré à la figure 16, on procède au dépôt d'une couche structurante (30), typiquement obtenue en benzocyclobutène (BCB), en polyimide, en Parylène ou en cyclotène. Cette couche structurante (30) est gravée pour définir un logement (31) autour de la première électrode (4). On procède par la suite à un dépôt damascène du métal formant la seconde électrode (7) tel qu'illustré à la figure 17. Cette seconde électrode comporte donc des lamelles (41,42,43,44) intercalées entre les lamelles (14,24a,34) de la première électrode (4). La seconde électrode comporte également une paroi supérieure (38) sous laquelle se prolonge une portion centrale (37) située entre les parois verticales (22,23) de la première électrode (4). D'éventuelles étapes supplémentaires de passivation ou de réalisation de surface de connexion sur la seconde électrode peuvent être mises en ceuvre. A titre d'exemple, la structure de capacité illustrée à la figure 17 peut présenter une capacitance de l'ordre de 300 nanoFarad/mm2. Dans ce cas, les lamelles présentent des dimensions de l'ordre ou inférieures au micron. 1 S Il ressort de ce qui précède que les capacités conformes à l'invention peuvent être obtenues avec des valeurs de capacitance très élevées, sans engendrer de coûts importants en ce qui concerne leur procédé de réalisation. Elles peuvent donc être utilisées en tant que cellules de mémoire dynamique, à des fréquences de fonctionnement compatibles avec les fréquences d'horloge des microprocesseurs. Il est également possible de réaliser ce type de structure capacitive à l'intérieur même des circuits intégrés, à proximité immédiate des transistors. REVENDICATIONS 1/ Micro-composant électronique réalisé à partir d'un substrat, et intégrant une structure capacitive pouvant notamment être utilisée comme cellule de mémoire, réalisée au-dessus d'un niveau de métallisation (3) présent dans le substrat (2), ladite structure capacitive comportant deux électrodes (4,7), caractérisé en ce que: - la première électrode (4) comporte deux ensembles de lamelles métalliques (14,24a,24b,33,34) empilées les unes au-dessus des autres, les lamelles de chaque ensemble étant reliées à une paroi verticale métallique (22,23) réalisée à partir du même métal, chacune des parois verticales métalliques étant relice aux lamelles (14) situées le plus proche du niveau de métallisation (3) sousjacent, les deux parois verticales (22,23) définissant une tranchée dans l'espace les séparant; - la seconde électrode (7) recouvre la première électrode (4) en comportant une pluralité de lamelles (41,42,43, 44) intercalées entre les lamelles (14,24a,24b,33,34) de la première électrode (4) ainsi qu'une portion (37) pénétrant la tranchée défnie dans la première électrode (4). 2/ Micro-composant selon la revendication 1, caractérisé en ce que le métal utilisé présente un résistivité inférieure à 5 Q.cm 3/ Microcomposant selon la revendication 1, caractérisé en ce que les électrodes (4,7) sont séparées par une couche (26) en un matériau diélectrique choisi dans le groupe des oxydes ferro et/ou pyro-électriques. 4/ Micro-composant selon la revendication 3, caractérisé en ce que la couche de matériau diélectrique (26), est réalisée par la superposition de couches élémentaires de compositions différentes, formant une structure nanolaminée. 5/ Micro-composant selon la revendication 4, caractérisé en ce que la stcechiométrie des matériaux varie d'une couche à l'autre de la structure nanolaminée (26). 6/ Procédé de réalisation d'une structure capacitive sur un microcomposant électronique, ladite structure capacitive étant réalisée audessus du dernier niveau de métallisation (3) apparent présent dans le substrat (2), caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes, consistant à: - déposer au-dessus du niveau de métallisation (3) une première couche métallique (14) destinée à forrner la partie basse d'une des deux électrodes de la structure capacitive, - déposer au-dessus de la couche métallique (14) une couche de matériau polymère (19) dont la face supérieure est apte à servir de support à un dépôt métallique ultérieur, répéter les deux étapes de dépôt précédentes de manière à obtenir un empilement de couches métalliques séparées par une couche de matériau non métallique, - réaliser au centre de l'empilement une tranchée (17) creusée jusqu'à faire appara^tre la première couche métallique (14), - déposer de façon enrobante dans ladite tranchée un métal identique à celui des couches empilées, de manière à former deux parois verticales (22,23) sur chacune desquelles sont relices un ensemble de lamelles (14, 24a,24b,33,34) résultant de portions des couches métalliques (14,24) précédemment déposées, et ainsi obtenir une structure arborescente formant la première électrode (4); - éliminer l'ensemble des couches de matériau non métallique (19, 29), - déposer sur toute la surface apparente de la première électrode un matériau diélectrique sous forme d'une structure nanolaminée (26), - déposer par-dessus la première électrode (4) un matériau conducteur venant s'insérer entre les couches métalliques de la première électrode, et entre les parois verticales de la première électrode, de manière à former la seconde électrode (7). Déposant: MEMSCAP