Brevet FR2843481A1 — publié le 20040213

i MEMOIRE SUR SUBSTRAT DU TYPE SILICIUM SUR ISOLANT La présente invention concerne les mémoires comprenant un réseau de rangées et de colonnes de cellules mémoire réalisées sur un substrat du type silicium sur isolant (SOI). La figure 1 représente de façon schématique une 5 cellule d'une mémoire statique du type à accès aléatoire (SRAM) de structure classique à six transistors, dite cellule 6T. La cellule mémoire comprend des inverseurs 1, 2, connectés en antiparallèle. Les entrées respectives des inverseurs 1, 2, sont reliées à des lignes de bits respectives BL, BL, par l'inter10 médiaire d'interrupteurs 3, commandés par un signal de sélection de rangées transporté par une ligne de mots WL. Chaque inverseur 1, 2, est alimenté par une tension haute VDD et une tension basse GND, couramment la masse. Pour écrire une information dans la cellule mémoire, 15 on applique sur l'une des lignes de bits BL ou BL une tension VDD et sur l'autre une tension GND. Ensuite, les interrupteurs 3 sont fermés pour fixer l'état des entrées et des sorties des inverseurs 1 et 2. Les interrupteurs 3 sont ensuite ouverts et l'état des signaux aux bornes des inverseurs 1 et 2 se 20 maintient. Pour lire une information dans la cellule mémoire, chacune des lignes de bits BL et BL est préchargée à une tension comprise entre les tensions VDD et GND, puis les interrupteurs 3 sont fermés de manière que les tensions sur les lignes de bits varient en fonction de l'état des signaux aux bornes des inverseurs 1 et 2. Un amplificateur de lecture (non 5 représenté) connecté aux lignes de bits fournit une information binaire en rapport avec l'information conservée dans la cellule mémoire. L'inverseur 1 comprend un transistor MOS à canal P, PI1, en série avec un transistor MOS à canal N, NIl. La source 10 du transistor PI1 est reliée à la tension VDD et la source du transistor NIl est reliée à la tension GND. Les drains des transistors PI1 et NIl sont connectés en un point 02. Les grilles des transistors PI1 et NIl sont connectées en un point 01. De façon similaire, l'inverseur 2 comprend des transistors 15 PI2 et NI2 reliés comme les transistors PI1 et NIl, les grilles des transistors PI2 et NI2 étant connectées à la borne 02 et les drains communs des transistors PI2 et NI2 étant reliés à la borne 01. Les interrupteurs 3 sont constitués de transistors MOS M1 et M2, de façon générale à canal N. La figure 2 représente une rangée d'une mémoire SRAM classique. On a représenté six cellules mémoire 6T MCO à MC5. De façon classique, à une rangée de cellule mémoire correspond une unique ligne de mots WL0 et à une colonne de cellule mémoire correspondent deux lignes de bits (BLj et BLj, j variant de 0 à 25 5). Dans une telle mémoire, lors de l'écriture ou de la lecture de données dans une cellule mémoire, il est nécessaire de sélectionner, par la ligne de mots WL0, toutes les cellules mémoire de la rangée o se trouve la cellule mémoire recherchée. Il en résulte une consommation électrique élevée. Pour diminuer la consommation, on cherche à réduire le nombre de cellules mémoire activées lors d'un accès à la mémoire. Une possibilité consiste à utiliser plusieurs lignes de mots par rangée de cellules mémoire sachant que chaque ligne de mots active un sous ensemble de cellules mémoire de la rangée. 35 Ce type d'architecture appelé "multi-lignes" nécessite donc de faire passer sur les cellules mémoire des pistes métalliques correspondant aux différentes lignes de mots. En réduisant le nombre de cellules mémoire sélectionnées à chaque opération d'écriture et/ou de lecture, on diminue la consommation de la mémoire. La figure 3 représente une rangée d'un exemple de réalisation d'une mémoire SRAM "multi-lignes" pour laquelle deux lignes de mots WL0, WL1 sont associées à chaque rangée. On a représentée six cellules mémoire 6T MC0' à MC5'. Chaque ligne de 10 mots WL0, WL1 est connectée à une cellule mémoire sur deux. A chaque opération de lecture/d'écriture, seule la moitié des cellules mémoire de la rangée est donc sélectionnée. On cherche également à obtenir une mémoire pour laquelle les opérations de lecture et d'écriture peuvent être 15 réalisées à une fréquence élevée. Pour ce faire, on cherche à réduire la capacité des lignes de bits en diminuant la hauteur des cellules mémoire. En outre, on cherche de façon générale à diminuer la surface totale des cellules mémoire. Toutefois, dans le cas o l'on souhaite réaliser une mémoire "multilignes", il est souvent difficile de réaliser une cellule mémoire à faible surface, et en particulier à faible hauteur. Pour illustrer une telle difficulté, on a représenté 25 en figure 4 un exemple classique de topologie de la cellule mémoire 6T MC0 de la mémoire de la figure 2, et en figure 5 un exemple classique de topologie de la cellule mémoire 6T MC0' de la mémoire de la figure 3. La figure 4 représente, de façon schématique, la 30 cellule mémoire MC0 de la figure 2 dans laquelle le circuit électrique de la figure 1 est réalisé par une technologie à un niveau de silicium polycristallin et trois niveaux de métallisation réalisés sur substrat SOI. D'autres niveaux de silicium polycristallin et de métallisation peuvent être 35 présents et utilisés. Les surfaces délimitées par un trait fin correspondent à des zones actives du substrat semiconducteur ou à des bandes de silicium polycristallin déposées sur le substrat et correspondant aux grilles de transistors MOS. Bien que la vue ne 5 soit pas représentée à l'échelle, les dimensions et positions relatives de chaque région sont conservées de façon à représenter l'encombrement réel du circuit intégré. Les traits doubles correspondent à des bandes de métal de niveau un. Les traits noirs épais horizontaux correspondent à des bandes de 10 métal de niveau deux et enfin les traits noirs épais verticaux correspondent à des bandes de métal de niveau trois. Les croix représentent des contacts reliant, à travers les couches isolantes situées entre les niveaux de métallisation et le niveau de silicium polycristallin, des bandes métalliques à des 15 zones actives ou à des bandes de silicium polycristallin ou des vias reliant, à travers les couches isolantes situées entre les niveaux de métallisation, des bandes métalliques à d'autres bandes métalliques. Par souci de clarté, les bandes métalliques ne sont pas représentées avec des surfaces proportionnelles aux 20 surfaces des zones actives. Toutefois, la position de chaque trait est en accord avec la position réelle de la bande métallique correspondante dans le circuit intégré. Une zone active 11 correspond au transistor MOS A1, au transistor MOS Ni et à la liaison entre ces transistors. Une 25 zone active 12 correspond au transistor MOS A2, au transistor MOS N2, et à la liaison entre ces transistors. Des zones actives 13, 14 correspondent respectivement aux transistors MOS Pi, P2. Les grilles GN1, GP1 des transistors MOS respectifs Ni, P1 correspondent à des portions d'une bande de silicium polycris30 tallin 16. Les grilles GP2, GN2 des transistors MOS respectifs P2, N2 correspondent à des portions d'une bande de silicium polycristallin 18. Les grilles GA1, GA2 des transistors MOS A1, A2 correspondent à des portions respectives de bandes de silicium polycristallin 19, 20. Les différentes pistes métalliques de niveau un, deux et trois sont utilisées pour relier les zones actives 11, 12, 13, 14 et les bandes de silicium polycristallin 16, 18, 19, 20 de façon à obtenir un schéma électrique équivalent au schéma 5 représenté sur la figure 1. En particulier, la ligne de mots WL0 connectée aux grilles GA1, GA2 des transistors Ai, A2 correspond dans le présent exemple à une bande métallique horizontale de niveau deux et les lignes d'alimentation GND, VDD et les lignes de bits BL0, BL0 à des bandes métalliques verticales de niveau 10 trois. De façon à réduire la surface de la cellule mémoire, les contacts, vias et portions métalliques assurant la connexion entre les grilles GA1, GA2 des transistors A1, A2 et la ligne de mots WL0 sont disposés au niveau des bords verticaux de la 15 cellule pour être mis en commun avec les cellules mémoire de la même rangée de part et d'autre de la cellule représentée. La figure 5 représente un exemple de réalisation de la cellule mémoire MC0' de la mémoire "multi-lignes" de la figure 3 qui conserve une topologie semblable à celle de la figure 4 en 20 ce qui concerne la disposition des transistors. Pour deux cellules adjacentes d'une même rangée, les grilles GA1, GA2 des transistors Ai, A2 sont reliées à des lignes de mots différentes WL0, WL1. Les contacts, vias et portions métalliques assurant la connexion des grilles GA1, GA2 aux lignes de mots WL0, WL1 ne 25 peuvent donc pas être partagés entre deux cellules mémoire adjacentes et doivent donc être placés à l'intérieur de la cellule. Afin de pouvoir connecter les deux grilles GA1, GA2 des transistors Ai et A2 à l'une ou l'autre des lignes de mots 30 WL0, WLl, il est nécessaire de prévoir deux pistes métalliques verticales 23, 24 connectées respectivement aux grilles GA1, GA2 des transistors Ai, A2 et à l'une des lignes de mots WL0, WL1. Etant donné l'encombrement du premier niveau de métallisation, les pistes métalliques 23, 24 sont réalisées dans le deuxième 35 niveau de métallisation. Les lignes de mots WL0, WL1 correspon- dent donc à des bandes métalliques de niveau trois, et les lignes d'alimentation GND, VDD et les lignes de bits BL0, BL0 à des bandes métalliques de niveau deux. Le déplacement des contacts, vias, et portions métal5 liques assurant le contact des grilles GA1, GA2 des transistors A1, A2 à l'intérieur de la cellule mémoire nécessite d'augmenter la hauteur de la cellule mémoire à cause de l'encombrement du premier niveau de métallisation. En outre, la présence des pistes 23, 24 au même niveau de métallisation que les lignes de 10 bits BL0, BL0 et les lignes d'alimentation GND, VDD nécessite d'augmenter la largeur de la cellule mémoire. Dans une technologie de fabrication dans laquelle le plus petit motif a une longueur de 0,13 tm, on peut obtenir pour la cellule mémoire de la figure 4 une largeur AX de 2,80 um, une 15 hauteur AY de 1,10 Mm et une surface de 3,08 gm2. A titre de comparaison, la cellule mémoire de la figure 5 a une largeur AX de 2,56 pm, une hauteur AY de 1,54 pm et une surface de 3,9424 um2. On obtient donc une augmentation de 40% de la hauteur et une augmentation de 22% de la surface. Les capacités 20 des lignes de bits BL0, BL0 de la cellule mémoire "multilignes" de la figure 5 sont donc augmentées par rapport à celles de la mémoire de la figure 4. Les performances en terme de fréquence de lecture/d'écriture sont donc dégradées. La présente invention vise à proposer une topologie de 25 cellule mémoire réalisée sur un substrat SOI ayant une surface inférieure à celle d'une cellule mémoire classique. La présente invention vise également à proposer une topologie de cellule mémoire réalisée sur un substrat SOI permettant d'obtenir une mémoire "multi-lignes" pour laquelle la 30 surface et en particulier la hauteur de chaque cellule augmente peu par rapport à une cellule mémoire d'une mémoire à une seule ligne de mots par rangée. Pour atteindre ces objets, la présente invention prévoit une mémoire SRAM comprenant un réseau de rangées et de 35 colonnes de cellules mémoire 6T à deux inverseurs et deux tran- sistors interrupteurs formées dans un substrat du type silicium sur isolant, les entrées des deux inverseurs de chaque cellule mémoire étant reliées à deux lignes de bits par l'intermédiaire des deux transistors interrupteurs commandés par un signal 5 fourni par une ligne de mots, chaque cellule mémoire comportant six transistors dont les grilles correspondent à un même niveau d'un premier matériau conducteur et dont les interconnexions sont réalisées par des pistes conductrices d'au moins un deuxième matériau conducteur réparties sur trois niveaux, chaque 10 inverseur comprenant un premier transistor d'un premier type de conductivité et un deuxième transistor d'un second type de conductivité, chaque interrupteur comprenant un troisième transistor du premier type de conductivité, dans laquelle chaque cellule mémoire comprend deux premières régions du premier type de 15 conductivité, chaque première région comprenant les drains ou les sources d'un premier et d'un troisième transistors, et étant en contact avec une seconde région du second type de conductivité comprenant le drain ou la source d'un deuxième transistor, les première et seconde régions associées étant 20 court-circuitées par un troisième matériau conducteur recouvrant lesdites première et seconde régions, la ligne de mots et les lignes de bits correspondant à des bandes conductrices de niveaux supérieurs au premier niveau, les pistes conductrices de premier niveau participant aux interconnexions entre les inver25 seurs, et aux interconnexions entre les transistors interrupteurs et la ligne de mots étant parallèles aux lignes de bits. Selon un mode de réalisation de l'invention, une unique ligne de mots correspondant à une bande métallique de 30 niveau deux ou trois est associée à une rangée, chaque cellule mémoire de la rangée étant reliée à ladite ligne de mots, les lignes de bits correspondant à des bandes métalliques perpendiculaires à la ligne de mots et d'un niveau différent du niveau de la ligne de mots. Selon un mode de réalisation de l'invention, au moins deux lignes de mots, correspondant à des bandes métalliques de niveau deux ou trois, sont associées à une rangée, chaque cellule mémoire de la rangée étant reliée à l'une des lignes de 5 mots, les lignes de bits correspondant à des bandes métalliques perpendiculaires aux lignes de mots et d'un niveau différent du niveau des lignes de mots. Selon un mode de réalisation de l'invention, chaque cellule mémoire comporte au moins une piste conductrice de 10 niveau un perpendiculaire aux lignes de mots et connectée à l'une des lignes de mots et à l'un des troisièmes transistors. Selon un mode de réalisation de l'invention, chaque cellule mémoire, disposée entre deux autres cellules mémoire adjacentes de la même rangée, est reliée à deux lignes d'alimen15 tation à une première tension, chaque ligne d'alimentation étant partagée entre la cellule mémoire et l'une des cellules mémoire adjacentes et correspondant à une bande conductrice du même niveau que les lignes de bits, parallèle aux lignes de bits et disposée sur le bord commun entre deux cellules adjacentes. Selon un mode de réalisation de l'invention, les sources et les drains de premier et troisième transistors sont alignés parallèlement aux lignes de bits. Selon un mode de réalisation de l'invention, chaque cellule mémoire comporte deux zones actives, chaque zone active 25 comprenant l'une des premières régions et la seconde région associée, les zones actives étant sensiblement symétriques par rapport au centre de la cellule mémoire. Selon un mode de réalisation de l'invention, pour chaque cellule mémoire, disposée entre deux autres cellules 30 mémoire adjacentes de la même rangée, les sources et les drains de premier et troisième transistors sont alignés le long d'un bord commun entre la cellule mémoire et l'une des cellules mémoire adjacentes. Selon un mode de réalisation de l'invention, chaque 35 cellule mémoire est reliée à une ligne d'alimentation à une deuxième tension correspondant à une bande conductrice du même niveau que les lignes de bits, parallèle aux lignes de bits et disposée entre les lignes de bits. Selon un mode de réalisation de l'invention, pour 5 chaque cellule mémoire, disposée entre deux autres cellules mémoire adjacentes de la même colonne, la source ou le drain de premier et deuxième transistors et la source ou le drain d'un troisième transistor sont alignés le long d'un bord commun entre la cellule mémoire et l'une des cellules mémoire adjacentes. Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: la figure 1, décrite précédemment, représente de façon schématique une cellule d'une mémoire SRAM classique; la figure 2, décrite précédemment, représente de façon schématique une rangée d'une mémoire SRAM classique à une ligne de mots par rangée; la figure 3, décrite précédemment, représente de façon classique une rangée d'une mémoire SRAM classique à deux lignes de mots par rangée; la figure 4, précédemment décrite, représente de façon schématique un exemple de topologie classique d'une cellule 25 d'une mémoire SRAM à une ligne de mots par rangée; la figure 5, précédemment décrite, représente de façon schématique un exemple de topologie classique d'une cellule d'une mémoire SRAM à deux lignes de mots par rangée; la figure 6 représente un mode de réalisation d'une 30 cellule d'une mémoire SRAM à deux lignes de mots par rangée selon l'invention; et les figures 7, 8, 9 représentent respectivement des sections schématiques de la figure 6 selon les lignes VII-VII, VIII-VIII et IX-IX. On notera que dans les figures 7 à 9, comme cela est habituel dans le domaine de la représentation de circuit intégré, les épaisseurs et dimensions latérales des diverses couches, bandes, pistes, etc. ne sont pas tracées à l'échelle ni à 5 l'intérieur d'une même figure, ni d'une figure à l'autre pour améliorer la visibilité de cette figure. Par ailleurs, de mêmes références désigneront, sur les différentes figures, de mêmes éléments. La figure 6 représente un exemple de réalisation d'une 10 cellule 6T d'une mémoire SRAM à deux lignes de mots par rangée. La cellule mémoire est réalisée sur un substrat du type substrat sur isolant (SOI) et comprend deux zones actives 29, 30 de silicium monocristallin dopé isolées l'une de l'autre par un matériau isolant 31. Les zones actives 29, 30 sont sensiblement 15 symétriques par rapport au centre de la cellule mémoire. La zone active 29 comprend une première portion verticale 32 correspondant au transistor Nl, au transistor A1 et à la liaison entre ces transistors, une seconde portion verticale 33 correspondant au transistor P1, et une portion 20 horizontale 34 contenant une jonction PN et reliant les portions verticales 32, 33. De façon similaire, la zone active 30 comprend une première portion verticale 35 correspondant au transistor N2, au transistor A2 et à la liaison entre ces transistors, une seconde portion verticale 36 correspondant au 25 transistor P2 et une portion horizontale 37 contenant une jonction PN reliant les deux portions verticales 35, 36. Un matériau conducteur (non représenté), par exemple du siliciure, recouvre chaque zone active 29, 30 au niveau des drains DP1, DN1, DP2, DN2 des transistors P1, Nl, P2, N2, des sources SA1, 30 SA2 des transistors A1, A2 et des portions horizontales 34, 37. Les grilles GN1, GP1 des transistors Nl, P1 correspondent à des portions d'une bande de silicium 38 horizontale. Les grilles GN2, GP2 des transistors N2, P2 correspondent à des portions d'une bande de silicium 39 horizontale. Les grilles 35 GAi, GA2 des transistors A1, A2 correspondent à des portions respectives de deux bandes de silicium polycristallin 40, 41 horizontales. Le drain DP1 du transistor P1 est relié à la bande de silicium polycristallin 39 par l'intermédiaire d'une piste 5 métallique verticale 42 de niveau un. Le drain DP2 du transistor P2 est relié à la bande de silicium polycristallin 38 par l'intermédiaire d'une piste métallique verticale 43 de niveau un. Les lignes d'alimentation GND, VDD et les lignes de 10 bits BLO, BLO correspondent à des bandes métalliques verticales de niveau trois reliées aux zones actives 29, 30 par des contacts, des vias et des pistes ou portions métalliques de niveaux un et deux. Deux lignes de mots WLO, WL1 sont formées par deux 15 bandes métalliques horizontales de niveau deux. Deux pistes métalliques verticales 44, 45 de niveau un s'étendent sensiblement chacune sous les lignes de mots WLO, WL1 et permettent de connecter les grilles GA1, GA2 des transistors Ai, A2 à l'une des lignes de mots WLO, WL1. Dans le présent exemple, les 20 grilles GA1, GA2 des transistors Al, A2 sont connectées à la ligne de mots WLO. La figure 7 représente une section de la figure 6 selon la ligne VII-VII. Comme on peut le voir plus clairement sur cette figure, le matériau isolant 31 est formé sur un 25 substrat 47, par exemple en silicium. La portion horizontale 34 de la zone active 29 se divise en une partie dopée N 48 et une partie dopée P 49 qui sont recouvertes d'une couche de siliciure 50. De même, la portion horizontale 37 de la zone active 30 se divise en une partie dopée P 52 et une partie dopée N 54 qui 30 sont recouvertes d'une couche de siliciure 56. La piste 42 de niveau un est reliée à la portion horizontale 34 par un contact 58. La piste 43 de niveau un est reliée à la portion horizontale 37 par un contact 59. Les lignes de bits BLO, BLO et les lignes d'alimen35 tation GND, VDD correspondent à des bandes métalliques verti- cales équiréparties de niveau trois. En particulier, les lignes d'alimentation GND sont disposées au niveau des bords verticaux droit et gauche de la cellule mémoire et sont mises en commun avec les cellules mémoire adjacentes de la même rangée. La figure 8 représente une section de la figure 6 selon la ligne VIIIVIII. La bande de silicium polycristallin 40 est connectée à la piste métallique 44 de niveau un par un contact 60. La piste métallique 44 est elle-même connectée à la ligne de mots WL0 par un via 62. La ligne de bits BL0 est 10 connectée à une piste métallique 63 de niveau deux par un via 64. Le via 64 et la piste 63 sont disposés au niveau du bord horizontal inférieur de la cellule mémoire et sont mis en commun avec la cellule mémoire adjacente de la même colonne au-dessous de la cellule représentée. La figure 9 représente une coupe de la figure 6 selon la ligne IX-IX. La zone active 30 correspondant aux transistors A2, N2 est connectée, du côté de la source SN2 du transistor N2, à une piste métallique horizontale 66 de niveau un par un contact 67, la piste 66 étant destinée à être reliée à la ligne 20 d'alimentation GND située le long du bord vertical droit de la cellule mémoire. La piste 66 et le via 67 sont disposés au niveau du bord horizontal inférieur de la cellule mémoire et sont mis en commun avec la cellule adjacente de la même colonne au- dessous de la cellule représentée. La zone active 30 est 25 également connectée, du côté du drain DA2 du transistor A2 à une portion métallique 68 de niveau un par un contact 69, la portion métallique 68 étant elle- même reliée à une piste métallique horizontale 70 de niveau deux qui est reliée à la ligne de bits BL0. Les portion 68 et piste 70 métalliques, le contact 69 et 30 le via 70 sont disposés au niveau du bord horizontal supérieur de la cellule mémoire et sont mis en commun avec la cellule adjacente de la même colonne au-dessus de la cellule représentée. La présente invention permet de réduire la surface de la cellule par la mise en commun d'éléments avec les cellules adjacentes. Les drains DAI, DA2 des transistors A1, A2 sont 5 disposés du côté des bords horizontaux de la cellule mémoire afin de réaliser des contacts, vias et portions métalliques assurant la connexion entre les transistors A1, A2 et les lignes de bits BL0, BL0 communs pour des cellules mémoire adjacentes d'une même colonne. De façon analogue, les sources SP1, SP2 des 10 transistors P1, P2 sont disposées du côté des bords verticaux de la cellule mémoire afin de réaliser des contacts, vias et portions métalliques assurant la connexion entre les transistors P1, P2 et la ligne d'alimentation VDD communs entre deux cellules adjacentes d'une même colonne. De plus, les sources 15 SN1, SN2 des transistors Ni, N2 sont disposées à proximité des coins de la cellule mémoire, ce qui permet de placer les lignes d'alimentation GND au niveau des bords verticaux de la cellule. On peut donc mettre en commun une ligne d'alimentation GND entre deux cellules mémoire adjacentes de la même rangée, et réaliser 20 des contacts, vias et portions métalliques assurant la connexion entre l'un des transistors Ni, N2 et une ligne d'alimentation GND communs entre quatre cellules ayant un coin en commun. La cellule mémoire étant réalisée sur un substrat SOI, il est possible d'utiliser les portions horizontales 34, 37 25 court-circuitées par les couches de siliciure 50, 56 pour réaliser la connexion entre respectivement les drains DP1, DP2 des transistors Pi, P2 et les drains DN1, DN2 des transistors Ni, N2. Ceci permet de supprimer les pistes métalliques de niveau un et les contacts associés qui sont habituellement 30 utilisées pour réaliser de telles connexions. Les pistes métalliques verticales 44, 45 participant à la connexion entre les grilles GA1, GA2 des transistors Ai, A2 et les lignes de mots WL0, WL1 peuvent être réalisées par des pistes de niveau un et les lignes WL0, WL1 de mots par des bandes métalliques de niveau 35 deux. A l'exception des pistes métalliques de niveau un participant à la connexion entre les lignes d'alimentation GND et les transistors Ni, N2, et entre la ligne d'alimentation VDD et les transistors Pl, P2, toutes les pistes métalliques de 5 niveau un sont disposées verticalement, ce qui permet de réduire la hauteur de la cellule mémoire selon l'invention. Pour une cellule mémoire à une seule ligne de mots par rangée conservant une topologie semblable à celle de la figure 6, on obtient une largeur AX de 2,56 um, une hauteur AY de 1,10 10 pm et une surface de 2,816 jum2. La surface obtenue est donc inférieure de 8,6% à la surface de la cellule de la figure 4. Pour la cellule mémoire à deux lignes de mots par rangée selon la figure 6, on obtient une largeur LX de 2,56 m, une hauteur AY de 1,12 gm, et une surface de 2,8672 gm2. La hauteur et la 15 surface de la cellule de la mémoire "multi-lignes" varient donc peu par rapport à la cellule de la mémoire à une ligne de mots par rangées. En outre, la hauteur AY obtenue est inférieure de 27% à la hauteur de la cellule de la figure 5, permettant de réduire les capacités des lignes de bits et donc d'obtenir une 20 cellule mémoire "multi-ligne" à faible temps de lecture et d'écriture. Selon une variante de l'invention, les lignes de mots peuvent correspondre à des bandes métalliques de niveau trois. Les lignes de bits et les lignes d'alimentation peuvent alors 25 correspondre à des bandes métalliques de niveau deux. Dans ce cas, les surfaces d'une cellule mémoire à une seule ligne de mots par rangée et d'une cellule mémoire à deux lignes de mots par rangée sont sensiblement identiques aux valeurs indiquées précédemment. Bien entendu, la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, la réalisation de la cellule mémoire a été décrite comme mettant en oeuvre un niveau de silicium polycristallin et trois niveaux de métallisation. Il est tout à35 fait possible de remplacer les bandes métalliques d'un ou plusieurs niveaux de métallisation par un autre matériau conducteur. Par exemple, le premier niveau de métallisation peut être remplacé par un niveau deux de silicium polycristallin dopé. En outre, les grilles des transistors peuvent être 5 réalisées dans un matériau conducteur autre que du silicium polycristallin. Il peut s'agir, par exemple, d'un métal. De plus, les interrupteurs des points mémoires peuvent être réalisés par des transistors MOS à canal P en faisant les adaptations nécessaires. REVENDICATIONS 1. Mémoire SRAM comprenant un réseau de rangées et de colonnes de cellules mémoire 6T à deux inverseurs et deux transistors interrupteurs formées dans un substrat du type silicium sur isolant, les entrées des deux inverseurs (1, 2) de 5 chaque cellule mémoire étant reliées à deux lignes de bits (BL0, BL0) par l'intermédiaire des deux transistors interrupteurs (3) commandés par un signal fourni par une ligne de mots (WL0, WL1), chaque cellule mémoire comportant six transistors (N1, P1, A1, N2, P2, A2) dont les grilles (GN1, GP1, 10 GA1, GN2, GP2, GA2) correspondent à un même niveau d'un premier matériau conducteur et dont les interconnexions sont réalisées par des pistes conductrices d'au moins un deuxième matériau conducteur réparties sur trois niveaux, chaque inverseur comprenant un premier transistor (N1, N2) d'un premier type de conduc15 tivité et un deuxième transistor (P1, P2) d'un second type de conductivité, chaque interrupteur comprenant un troisième transistor (A1, A2) du premier type de conductivité, caractérisée en ce que chaque cellule mémoire comprend deux premières régions (48, 54) du premier type de conductivité, chaque première région 20 comprenant les drains ou les sources d'un premier (N1, N2) et d'un troisième (A1, A2) transistors, et étant en contact avec une seconde région (49, 52) du second type de conductivité comprenant le drain ou la source d'un deuxième transistor (P1, P2), les première et seconde régions associées étant court25 circuitées par un troisième matériau conducteur recouvrant lesdites première et seconde régions, la ligne de mots et les lignes de bits correspondant à des bandes conductrices de niveaux supérieurs au premier niveau, les pistes conductrices (42, 43, 44, 45) de premier niveau participant aux inter30 connexions entre les inverseurs, et aux interconnexions entre les transistors interrupteurs et la ligne de mots étant parallèles aux lignes de bits. 2. Mémoire selon la revendication 1, dans laquelle une unique ligne de mots correspondant à une bande métallique de niveau deux ou trois est associée à une rangée, chaque cellule mémoire de la rangée étant reliée à ladite ligne de mots, les lignes de bits (BLO, BLO) correspondant à des bandes métalliques perpendiculaires à la ligne de mots et d'un niveau différent du niveau de la ligne de mots. 3. Mémoire selon la revendication 1, dans laquelle au moins deux lignes de mots (WLO, WL1), correspondant à des bandes métalliques de niveau deux ou trois, sont associées à une rangée, chaque cellule mémoire de la rangée étant reliée à l'une 10 des lignes de mots, les lignes de bits (BLO, BLO) correspondant à des bandes métalliques perpendiculaires aux lignes de mots et d'un niveau différent du niveau des lignes de mots. 4. Mémoire selon la revendication 3, dans laquelle chaque cellule mémoire comporte au moins une piste conductrice 15 (44, 45) de niveau un perpendiculaire aux lignes de mots (WLO, WL1) et connectée à l'une des lignes de mots et à l'un des troisièmes transistors (Ai, A2). 5. Mémoire selon la revendication 1, dans laquelle chaque cellule mémoire, disposée entre deux autres cellules 20 mémoire adjacentes de la même rangée, est reliée à deux lignes d'alimentation (GND) à une première tension, chaque ligne d'alimentation étant partagée entre la cellule mémoire et l'une des cellules mémoire adjacentes et correspondant à une bande conductrice du même niveau que les lignes de bits (BLO, BLO), 25 parallèle aux lignes de bits et disposée sur le bord commun entre deux cellules adjacentes. 6. Mémoire selon la revendication 1, dans laquelle les sources et les drains de premier (Nl, N2) et troisième (Ai, A2) transistors sont alignés parallèlement aux lignes de bits (BLO, 30 BLO). 7. Mémoire selon la revendication 1, dans laquelle chaque cellule mémoire comporte deux zones actives (29, 30), chaque zone active comprenant l'une des premières régions (48, 54) et la seconde région (49, 52) associée, les zones actives étant sensiblement symétriques par rapport au centre de la cellule mémoire. 8. Mémoire selon la revendication 1, dans laquelle, pour chaque cellule mémoire, disposée entre deux autres cellules 5 mémoire adjacentes de la même rangée, les sources (SN1, SA1, SN2, SA2) et les drains (DN1, DA1, DN2, DA2) de premier (Nl, N2) et troisième (A1, A2) transistors sont alignés le long d'un bord commun entre la cellule mémoire et l'une des cellules mémoire adjacentes. 9. Mémoire selon la revendication 5, dans laquelle chaque cellule mémoire est reliée à une ligne d'alimentation (VDD) à une deuxième tension correspondant à une bande conductrice du même niveau que les lignes de bits (BLO, BLO), parallèle aux lignes de bits et disposée entre les lignes de bits. 10. Mémoire selon la revendication 1, dans laquelle, pour chaque cellule mémoire, disposée entre deux autres cellules mémoire adjacentes de la même colonne, la source (SN1, SN2, SP1, SP2) ou le drain (DN1, DN2, DP1, DP2) de premier et deuxième transistors (N1, N2, P1, P2) et la source (SA1, SA2) ou le drain 20 (DA1, DA2) d'un troisième transistor (Al, A2) sont alignés le long d'un bord commun entre la cellule mémoire et l'une des cellules mémoire adjacentes.