Brevet FR2834076A1 — publié le 20030627

COMPOSANT D'OPTIQUE INTEGREE COMPORTANT AU Mu : : NS UN RELIEF OPTIQUE A EFFICACITE GRADUELLE, ET PROCEDE DE REALISATION D'UN TEL COMPOSANT. Domaine technique La présente invention concerne un composant d'optique intégrée comprenant un ou plusieurs guides optiques associés à un ou plusieurs reliefs optiques. Elle s'applique également à un procédé de fabrication d'un tel composant. On entend par relief optique une partie d'un substrat ou d'un élément rapporté au substrat qui présente une inhomogénéité optique susceptible d'affecter une onde optique guidée en son voisinage. L'inhomogénéité optique peut être une inhomogénéité de forme, telle qu'une succession de rainures ou de parties saillantes, par exemple. Elle peut aussi être une inhomogénéité d'indice formée, par exemple, par des variations locales d'indice optique. L'invention trouve des applications dans le domaine de l'optique intégrée et des télécommunications optiques, par exemple, pour la formation de filtres ou de dispositifs d'insertion-extraction. Etat de la technique antérieure. Les composants de filtrage les plus communément utilisés dans le domaine de l'optique intégrée, sont les réseaux de diffraction. Les réseaux de diffraction sont généralement associés à des guides optiques et sont susceptibles d'en modifier les propriétés de guidage. Les ondes guidées subissent, par exemple, un filtrage spectral sous l'effet du réseau. Dans le cas particulier d'un réseau dit de Bragg, un couplage a lieu entre un mode de propagation et un mode de contre-propagation d'une onde. Le filtrage a lieu autour d'une longueur d'onde appelée longueur d'onde de Bragg, et notée À. a. De façon plus précise, une résonance du réseau de Bragg a lieu pour des longueurs d'onde xi, p telles que : IB, p= 2neff-A/p. Dans cette expression p est un nombre entier indiquant l'ordre de la résonance, neff l'indice optique effectif vu par l'onde, et A, le pas du réseau. La figure 1 annexée indique, en échelle libre, la distribution spectrale de la réponse d'un réseau de Bragg autour de la longueur d'onde de Bragg kB. La forme de la réponse spectrale évoque celle d'une figure de diffraction avec un lobe principal 1 centré sur la longueur d'onde et plusieurs lobes secondaires 2 de plus faible amplitude. Dans le domaine des télécommunications optiques, la mise en place de systèmes de transmission par multiplexage dense en longueur d'onde, et le rapprochement des canaux de transmission qui en résulte, sont incompatibles avec la présence des lobes secondaires de la réponse spectrale des réseaux. L'étalement spectral de ces lobes est en effet trop large. Pour obtenir une réponse plus centrée sur la bande de fréquence souhaitée, on tente d'éliminer les lobes secondaires de la réponse spectrale. Cette opération est désignée par apodisation . Elle permet d'obtenir une réponse spectrale 3 indiquée sur la figure 1 en trait discontinu. Une apodisation du spectre peut être obtenue en veillant à ménager une variation douce entre une région de propagation de 1 l'onde en mode guidé et une région où s'exerce l'influence du réseau. La figure 2 annexée est une coupe schématique d'un composant avec un réseau adapté en vue d'une apodisation du spectre. Le composant comprend un substrat 20 parcouru par un guide optique 22 et pourvu, sur l'une de ses faces, d'un réseau périodique 24. Le réseau est formé par une succession périodique d'indentations 26. Il s'étend au voisinage du guide 22 et est ainsi optiquement couplé à ce dernier. Une transition douce est prévue entre des régions non couplées au réseau, en l'occurrence les parties du guide en regard des extrémités du réseau, et la région centrale fortement couplée. Celle-ci est obtenue par variation de l'enveloppe de profondeur des indentations 26. Une apodisation du spectre de réponse peut aussi être obtenue en faisant varier le rapport de remplissage de la région formant le réseau. Le rapport de remplissage (duty cycle) est compris comme la largeur relative des dents du réseau par rapport à la largeur de l'espacement séparant deux dents consécutives. Ce rapport peut être modifié, par exemple de 0 à A/2, sans pour autant modifier la période spatiale A du réseau. La réalisation de réseaux avec une modulation de la profondeur ou du rapport de remplissage de l'indentation, engendre des difficultés liées essentiellement aux techniques de gravure des motifs. En effet la période spatiale des réseaux peut être très faible. Elle est, par exemple, de l'ordre de 500 nm. Une illustration de l'état de la technique antérieure peut être trouvée dans les documents (1) à (10) dont les références complètes sont précisées à la fin de la description. Exposé de l'invention. L'invention a pour but de proposer des composants optiques ne présentant pas les difficultés et limitations mentionnées ci-dessus. Un but est en particulier de proposer des composants avec une réponse spectrale apodisée dont la réalisation ne pose pas de problèmes de contrôle de gravure. Un but est aussi, de façon plus générale, de proposer des composants adaptés aux exigences spectrales des télécommunications optiques, et autorisant un fonctionnement sur des canaux de transmission rapprochés avec une diaphonie réduite. La diaphonie est comprise ici comme la perturbation d'un canal par un canal voisin. L'invention a également pour but de proposer un procédé de fabrication de tels composants. Pour atteindre ces buts, l'invention a plus précisément pour objet un composant optique présentant au moins un relief optique et au moins un guide optique associé au relief optique, et dans lequel le guide optique est un guide enfoui, à enfouissement variable, présentant au moins un tronçon d'interaction avec le relief optique, ledit tronçon comprenant au moins une partie de tronçon à enfouissement variable. Le guide optique est considéré comme enfoui lorsqu'au moins une partie du guide n'est pas affleurante. Comme indiqué dans la partie introductive du texte, on entend par relief optique toute structure susceptible de modifier les propriétés de guidage d'une onde optique à travers le guide optique. Il peut s'agir d'une structure modifiant le mode de propagation d'une onde. A titre d'exemple, le relief optique peut être un réseau, périodique ou non, à pas régulier ou variable, ou encore une structure plus complexe, décrite dans la suite du texte, comprenant une succession de réseaux élémentaires avantageusement accordés. Grâce à l'invention, on peut régler le couplage entre le relief optique et le guide optique en ajustant simplement l'enfouissement du guide sous le relief optique. Ceci permet d'affranchir la réalisation du relief optique des opérations de contrôle telles que, par exemple, le contrôle de la dimension ou de la profondeur d'un motif de gravure. Le tronçon d'interaction peut lui-même comporter une ou plusieurs parties à enfouissement variable, c'est-à-dire dont la profondeur d'enfouissement varie. Les parties à enfouissement variable relient, par exemple, une région du guide ne subissant pas l'influence du relief optique à une région qui en subit pleinement l'influence. L'enfouissement variable permet ainsi de graduer le couplage du guide au relief optique. Ceci favorise, le cas échéant, l'obtention d'un spectre de réponse du composant apodisé. Ainsi, l'apodisation peut être obtenue en dépit d'un relief optique dont la profondeur est constante, c'est-à-dire dont l'extension depuis la surface du substrat vers le guide optique, est constante. Un relief optique à profondeur constante peut être réalisé plus facilement qu'un relief tel qu'évoqué en relation avec la figure 2. Le relief peut se présenter sous la forme de rainures rentrantes ou saillantes à la surface du substrat. Il peut cependant aussi comprendre une succession alternée de zones présentant différents indices optiques. Le composant optique de l'invention peut comporter un seul guide optique ou une pluralité de guides optiques, à enfouissement variable, au moins dans des tronçons d'interaction, lesdits tronçons pouvant présenter respectivement des couplages différents avec le relief optique. Un ou plusieurs commutateurs optiques peuvent être associés aux différents guides de façon à distribuer un signal vers l'un des tronçons d'interaction, et/ou de façon à collecter un signal en provenance de l'un des tronçons. Dans des réalisations particulières du composant, le tronçon d'interaction du guide optique peut comporter une section variable dans une direction de propagation d'une onde. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un composant optique, et en particulier un composant tel que décrit ci-dessus, avec les étapes suivantes : a) la fabrication d'au moins un guide optique dans un substrat, b) l'enfouissement d'au moins une partie du guide, ledit enfouissement étant un enfouissement variable sur au moins une partie d'un tronçon d'interaction du guide, c) la fabrication d'un relief optique en une région de substrat recouvrant, au moins en partie, le tronçon d'interaction. Le procédé selon l'invention est réalisé selon l'ordre de ces étapes mais bien entendu, il peut être réalisé dans un ordre différent. Le guide optique peut être formé par exemple par l'introduction d'ions dans le substrat (échange d'ions, implantation ionique notamment). L'enfouissement du guide optique peut être réalisé par une migration des ions, assistée généralement par un champ électrique. Le tronçon d'interaction est situé au voisinage d'une face du substrat recevant le relief optique de façon à autoriser une interaction d'une onde guidée avec le relief. Afin d'obtenir un enfouissement variable, il est possible d'appliquer un champ électrique de migration non uniforme au substrat. En particulier selon une mise en oeuvre avantageuse du procédé, l'enfouissement variable peut être obtenu au moyen d'un masque formé sur une face du substrat opposée à la région de fabrication du relief optique. Un champ électrique uniforme est ainsi rendu non-uniforme par le masque. Le relief optique peut être formé par exemple, par gravure, par ablation laser, par échange d'ions et/ou par photo-inscription. Le relief optique peut aussi être rapporté au substrat ou formé dans un élément rapporté au substrat. L'élément rapporté est, par exemple une couche, un empilement de couches ou un autre substrat. L'invention concerne enfin un module d'insertion-extraction comprenant un interféromètre de type Mach-Zehnder à deux bras dans lequel chaque bras comprend un composant optique conforme l'invention. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui va suivre, en référence aux figures des dessins annexés. Cette description est donnée à titre purement illustratif et non limitatif. Brève description des figures. - La figure 1, déjà décrite, est un graphique indiquant, en échelle libre, une réponse spectrale en réflexion d'un réseau de Bragg, et une réponse spectrale d'un réseau apodisé . - La figure 2, déjà décrite, est une coupe schématique simplifiée d'un composant optique à réponse spectrale apodisée . - La figure 3 est une coupe schématique longitudinale d'un composant optique conforme à l'invention. - La figure 4 est une coupe schématique transversale IV-IV du composant de la figure 3. - La figure 5 est une coupe schématique longitudinale d'un autre composant conforme à l'invention. - La figure 6 est une coupe schématique longitudinale d'encore un autre composant conforme à l'invention. - La figure 7 est une représentation schématique d'un composant multivoie, conforme à l'invention. - Les figures 8,9 et 10 sont des représentations schématiques de substrats illustrant des étapes successives d'un procédé de fabrication d'un composant conforme à l'invention. - La figure 11 est une représentation schématique d'un composant illustrant une variante du procédé de fabrication. - La figure 12 est une représentation schématique d'un interféromètre de Mach Zehnder conforme à l'invention. Description détaillée de modes de mise en oeuvre de l'invention Le composant de la figure 3 comprend un substrat 120, par exemple un substrat en verre, dans lequel s'étend un guide optique 122. Le guide optique est formé, par exemple, par des ions modifiant localement l'indice optique du substrat. L'une des faces 123 du substrat présente un relief optique 124, sous la forme d'un réseau formé d'une succession d'indentations 126. Il s'agit d'une succession régulière d'indentations de pas A. Dans l'exemple illustré, le relief optique s'étend sur l'ensemble de la face 123. Il peut toutefois ne s'étendre que sur une partie de celle-ci. Contrairement à celle du composant représenté à la figure 2, l'indentation du relief optique 124 s'étend ici sur une profondeur sensiblement constante notée h. Le guide optique 122 présente des tronçons d'extrémité 122e qui sont enfouis dans le substrat 120 à une profondeur suffisante pour qu'une onde optique 0 transmise dans le guide n'interagisse pas avec le réseau 124. L'enfouissement des tronçons d'extrémité peut aussi dans certains cas permettre une connexion facilitée des guides à d'autres composants optiques. Un tronçon central 122c, de longueur Leff, en revanche, présente un enfouissement moindre et est séparé du relief optique par une distance suffisamment faible pour qu'une interaction puisse s'établir entre le mode guidé d'une onde et le relief optique 124. Le tronçon central 122c est relié aux tronçons d'extrémité 122e de façon continue. En d'autres termes, le guide optique présente des parties de transition 122t présentant un enfouissement variable et reliant sans discontinuité le tronçon central aux tronçons d'extrémité. Cette caractéristique peut être mise à profit lorsqu'on souhaite obtenir un composant avec une réponse spectrale apodisée. Sur la figure 3, on a représenté de façon symbolique une onde 0 se propageant dans une direction indiquée par des flèches. Le sens de propagation indiqué par les flèches n'est toutefois pas impératif. Des propagations en sens inverse, de même que des réflexions, peuvent avoir lieu. Le coefficient de couplage g entre une onde guidée et le relief optique est lié en particulier au paramètre D. A titre d'exemple, lorsque le guide optique est plan, le coefficient de couplage g entre une onde guidée en mode TE et le relief optique est de la forme suivante : g (D) = r exp (-2K D) h. D exprime la distance séparant le guide 122 du réseau 124, K est une constante d'atténuation de l'onde hors du guide, h est la profondeur des indentations 126 et r est un facteur fonction de coefficients de propagation du guide optique. On peut se reporter, au sujet de cette formule, au document (10) dont les références sont indiquées à la fin de la description. L'expression du coefficient de couplage g montre que l'influence du réseau sur un guide enfoui est une fonction exponentielle, décroissante avec la profondeur d'enfouissement. Afin de parfaire l'apodisation du spectre de réponse du composant, l'enfouissement du guide D (z), en fonction d'une coordonnée z mesurée selon un axe z entre les deux extrémités du guide 122e, est ajustée de préférence de façon à conférer au coefficient de couplage une forme, répartie en z, qui s'approche d'une fonction gaussienne du type : g (z) = go-exp (- (z-Zo) /Lef) Dans cette expression, go est une constante de cote maximale correspondant à un enfouissement minimal du guide ; et zo une origine des positions prise au sommet de la gaussienne. La figure 4 montre une coupe transversale IV-IV du composant de la figure 3 selon un plan perpendiculaire à l'axe z. Elle montre que le guide optique 122 est un guide à confinement latéral. Il se présente donc sous la forme d'un ruban qui parcourt le substrat. L'invention s'applique toutefois de manière identique à des composants pourvus d'un guide optique planaire c'est-à-dire d'un guide optique dans lequel il n'y a pas de confinement latéral. Un motif en trait discontinu marque l'amplitude d'enfouissement du guide optique 122, entre ses parties les plus et les moins enfouies. On indique par I (z) une dimension du guide optique 122 en fonction de la côte z. Cette dimension peut être variable le long du guide et notamment dans la partie correspondant au tronçon central de manière à optimiser la réponse spectrale du composant. La figure 5 montre une autre possibilité de réalisation d'un composant conforme à l'invention. Le composant de la figure 5 est sensiblement identique à celui de la figure 3 à l'exception du fait que le relief optique n'est pas un réseau à pas régulier mais un réseau a pas variable. Le pas A (z) des indentations 126 dépend de la côte z mesurée le long du guide. La figure 6 montre encore une autre possibilité de réalisation dans laquelle le relief optique présente une succession de plages avec des indentations périodiques (succession de réseaux élémentaires) de période A constante ou non. Les plages, de largeur 8L, se succèdent selon un pas M et sont séparées par des plages sans indentations. Ces paramètres sont ajustés généralement pour accorder les plages en phase entreelles. La fonction de couplage du guide optique au relief optique est de la forme g (z) = (h (z) *p (z) ) xf (z). Dans cette expression h (z) représente la fonction d'enveloppe des réseaux élémentaires de longueur 8L, p (z) représente une fonction en peigne au pas M correspondant à la période de répétition des réseaux élémentaires et f (z) représente l'enveloppe générale du coefficient de couplage dicté par l'enfouissement du guide optique 122. Les symboles * et x indiquent respectivement un produit de convolution et un produit simple. La réponse spectrale d'un tel relief optique en superstructure est un peigne spectral avec des pics de réflexion régulièrement espacés d'une valeur AI, où où À est une longueur d'onde. AÂ. est une valeur qui est inversement proportionnelle à M. Chaque pic a une enveloppe spectrale ayant la forme de la transformée de Fourier de f (z), c'est-à-dire d'une gaussienne dans le cas de l'apodisation. L'ensemble du spectre couvre une bande de fréquence inversement proportionnelle à la largeur 8L. La figure 7 est un composant conforme à l'invention comprenant dans un substrat 120 une pluralité de guides optiques 122 couplés à un réseau 124. Les différents guides présentent des réponses spectrales différentes, par exemple en raison de couplages différents avec le réseau 124, et/ou en raison de sections différentes. La référence 130 désigne un commutateur optique multivoie connecté en une première extrémité du composant. Le commutateur 130 permet de relier optiquement, par exemple une fibre optique 132, respectivement à l'un des guides optiques 122 du composant. En une deuxième extrémité, opposée à la première extrémité, une lame 134 anti-réfléchissante peut être prévue. Celle-ci permet d'éviter des réflexions parasites. Des réflexions parasites peuvent également être évitées en biseautant la face latérale opposée à la face recevant le commutateur optique. Dans cet exemple de réalisation, le composant fonctionne en mode de filtrage réflectif du réseau 124. Le signal en provenance de la fibre optique 132 est retourné vers la même fibre optique 132, par réflexion. Dans un autre exemple, indiqué en trait discontinu sur la même figure, un commutateur multivoie de sortie 130a peut également être prévu à l'extrémité du composant opposée à l'extrémité d'entrée, de façon à relier optiquement le composant à une fibre optique de sortie 132a. Dans ce cas, le composant fonctionne dans un mode de transmission. On décrit à présent, en référence aux figures 8 à 10, les principales étapes de fabrication d'un composant tel que décrit précédemment. La figure 8 montre la fabrication de guides d'ondes dans un substrat 120. Le substrat, par exemple en verre ou en matériau cristallin est conditionné pour l'introduction d'ions, par exemple un échange d'ions. Il est en particulier nettoyé et poli. Un masque 140 est ensuite déposé sur l'une de ses faces 123. Le masque, par exemple en résine photosensible, sert de masque de diffusion. Il présente un certain nombre de fentes longitudinales, rectilignes dans l'exemple illustré, qui fixent le tracé des guides optiques 122 que l'on souhaite réaliser dans le substrat. Le substrat est ensuite plongé dans un premier bain de sels fondus susceptible de provoquer un échange ionique avec des ions préalablement contenus dans le substrat. Il s'agit, par exemple d'un échange d'ions Na+/Ag+ (d'autres couples d'ions peuvent être utilisés tels que Na+/K+, Na+/Tl...). L'échange d'ions est poursuivi jusqu'à la formation dans le substrat de guides optiques 122 présentant les propriétés souhaitées et en particulier un indice optique souhaité. Le substrat est ensuite retiré du bain et le masque de diffusion est éliminé. Sur la figure 8 et sur les figures 9 et 11 décrites ci-après les bains de sels fondus sont simplement représentés par un ombrage pointillé. Une deuxième étape, représentée à la figure 9, consiste à provoquer un enfouissement des guides optiques 122 préalablement formés. Les deux faces du substrat sont immergées dans deux bains séparés de sels fondus contenant des ions identiques ou différents. Il s'agit, par exemple, d'ions Na+ pour les deux bains. Pendant l'immersion, une différence de potentiel Vo de migration est appliquée entre les deux bains à des électrodes 146,148 respectivement en regard avec la première face 123 du substrat présentant les guides optiques 122 et la face 125 qui y est opposée. Avant l'immersion du substrat, un masque 150 de perturbation du champ électrique est formé sur la face 125 du substrat opposée à la face 123 de formation des guides optiques. Le masque 150 de perturbation du champ conduit à un enfouissement variable des guides optiques 122. Le masque de perturbation est de préférence un masque ne se dégradant pas durant l'enfouissement, et, par exemple, un masque métallique ou diélectrique tel que, par exemple, un masque d'aluminium ou d'alumine. Il présente une largeur égale à la longueur Leff des tronçons d'interaction dont on veut doter les guides et qui coïncident avec l'emplacement du masque 150. Il convient de noter qu'un masque de perturbation du champ peut aussi être formé sur la première face 123 du substrat. Ceci conduit cependant à un enfouissement moins progressif des guides optiques et donc à une moins bonne apodisation du spectre de réponse du composant finalement obtenu, lorsque cette apodisation est recherchée. Au terme de la migration des guides optiques on peut distinguer les tronçons 122c des guides optiques qui n'ont que faiblement migré et qui restent au voisinage de la première face. Les tronçons d'extrémité 122e, en revanche, se trouvent enfouis. Après la migration, le masque 150 est généralement éliminé. La figure 10 montre une dernière étape qui est la formation dans le substrat d'un relief optique 124. Un relief optique est formé sur au moins l'une des faces, et en l'occurrence sur la première face 123, c'est-à-dire la face la plus proche des tronçons centraux 122c des guides optiques. Comme indiqué précédemment, le relief optique peut être réalisé de différentes manières connues en soi. Le relief optique peut en particulier être obtenu par gravure, par échange d'ions, par photo-inscription, par ablation ou encore par dépôt d'une structure. Dans ce dernier cas, le relief optique peut être formé avant ou après le dépôt de la structure. Au sujet des techniques de fabrication de reliefs optiques, on peut se référer aux documents (4), (5), (6) et (7), par exemple. La figure 11 illustre une variante de l'étape du procédé décrite en référence à la figure 9. Contrairement au masque de perturbation de champ de la figure 9, le masque de perturbation 150 du dispositif de la figure 11 se trouve sur la première face 123 du substrat 120, et non sur la deuxième face 125. Le guide optique et le masque sont sensiblement rectilignes. Ils forment entre eux, un angle 0, inscrit dans un plan parallèle aux faces principales 123,125. L'angle que forme le masque 150 avec la direction du guide optique 122 permet de ménager une transition douce entre le tronçon d'interaction et les autres parties du guide optique. Celle-ci favorise une éventuelle apodisation du spectre de réponse. L'enfouissement du guide a finalement lieu sous l'application d'un champ électrique de la façon déjà décrite en référence à la figure 9. On peut se reporter aussi, à ce sujet, au document (8) déjà mentionné. La figure 12 représente une application particulière de l'invention pour la fabrication d'un module d'insertion-extraction de longueur d'onde sous la forme d'un interféromètre de Mach-Zehnder. Le module comprend un substrat avec deux guides optiques 122a et 122b. Les guides optiques présentent chacun un tronçon d'interaction 122c local. Ce tronçon est situé au voisinage d'un relief optique 124 sous la forme d'un réseau de Bragg. On peut se reporter à ce sujet aux figures qui précèdent. De part et d'autre de ces tronçons, on trouve également des zones de couplage 162 et 164 entre les deux guides optiques. Une onde accordée à la longueur d'onde de Bragg et entrant par une extrémité El est réfléchie. La réflexion a lieu sur les deux tronçons d'interaction 122c. Les ondes réfléchies interfèrent de façon constructive et sortent du composant par l'extrémité E2. Des ondes accordées sur d'autres longueurs d'onde traversent le composant sans réflexion et sortent par l'extrémi té E4'Il convient de préciser que les extrémités Ei et E3 sont interchangeables, de même que les extrémités E2 et E4. DOCUMENTS CITES (1) Multiwavelength Grating Reflectors for Widely Tunable Laser de A. Talneau et al., IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, vol. 8, n 4, April 1996. (2) US-5 943,554 (3) Apodized Surface-corrugated Gratings with V arying duty cycles de D. Wiesmann et al., IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS, vol. 12, n 6, june 2000, p. 639. (4) Holographic lithography with thick photoresist de Hrik H. Anderson et al., Appl. Phys. Lett. 43 (9), 1 november 1983, p. 874. (5) US-5, 080, 503 (6) Gratings photowritten in ion-exchanged glass channel waveguides de D. F. Geraghty et al., ELECTRONICS LETTERS, l't april 1999, vol. 35, nO 7, p. 585-586. (7) Direct formation of a surface-relief grating on glass by ultraviolet-visible laser irradiation de Keiji Tsunetomo et al., OPTICS LETTERS, March 15, 1997, vol. 22, n 22, p. 411. (8) A new fabrication method for waveguides with controlled surface-interaction length de F. Rehouma et al., Sensors and Actuators B 29 (1995) 406-409. (9) A taper coupler for integrated optics formed by ion-exchange under a non-uniform electric field de A. A. LIPOVSKII, OPTICS COMMUNICATIONS, vol. 61, n 1, pp. 11-15. (10) E. Rosencher et al.,"Optoelectronique", ed. Masson ISBN 2-225-82935-7, p. 341. REVENDICATIONS 1. Composant optique présentant au moins un relief optique (124) et au moins un guide optique (122) associé au relief optique (124), caractérisé en ce que le guide optique est un guide enfoui, à enfouissement variable, présentant au moins un tronçon d'interaction (122c) avec le relief optique, et dans lequel le tronçon d'interaction comprend au moins une partie de tronçon (122t) à enfouissement variable. 2. Composant optique selon la revendication 1, dans lequel le relief optique (124) est un réseau optique. 3. Composant optique selon la revendication 2, dans lequel le réseau optique (124) est un réseau périodique. 4. Composant optique selon la revendication 3, dans lequel le réseau optique présente un pas variable. 5. Composant optique selon la revendication 2, dans lequel le réseau optique est un réseau pseudopériodique comprenant une succession de réseaux élémentaires. 6. Composant selon la revendication 1, dans lequel le relief optique (124) présente une profondeur (h) constante. 7. Composant optique selon la revendication 1, dans lequel le guide optique présente un tronçon d'interaction (122c) avec une section variable. 8. Composant selon la revendication 1, dans lequel le relief optique (124) comprend une succession de rainures pratiquées dans un substrat (120). 9. Composant selon la revendication 1, dans lequel le relief optique comprend une succession alternée de zones du substrat (120) présentant différents indices optiques. 10. Composant optique selon la revendication 1, comprenant une pluralité de guides optiques (122) à enfouissement variable, au moins dans des tronçons d'interaction. 11. Composant optique selon la revendication 10, dans lequel les tronçons d'interaction (122c) présentent respectivement des couplages différents avec le relief optique (124). 12. Composant selon la revendication 11, comprenant au moins un commutateur optique multivoie (130,130a) associé à la pluralité de guides optiques. 13. Procédé de fabrication d'un composant optique comprenant les étapes suivantes : a) la fabrication d'au moins un guide optique (122) dans un substrat, b) l'enfouissement d'au moins une partie du guide, ledit enfouissement étant un enfouissement variable sur au moins une partie d'un tronçon d'interaction du guide, c) la fabrication d'un relief optique (124) en une région du substrat recouvrant, au moins en partie, le tronçon d'interaction. 14. Procédé selon la revendication 13, dans lequel on forme le guide optique par introduction d'ions dans le substrat. 15. Procédé selon la revendication 13, dans lequel on réalise l'enfouissement par migration assistée sous champ électrique. 16. Procédé selon la revendication 13, comprenant, avant l'enfouissement, la formation d'un masque (150) sur une face (125) du substrat opposée à la région de fabrication du relief optique. 17. Procédé selon la revendication 13, dans lequel la fabrication du relief a lieu par gravure, par ablation laser, par échange d'ions et/ou par photoinscription. 18. Procédé selon la revendication 13, dans lequel le relief est formé dans un élément rapporté au substrat. 19. Procédé selon la revendication 13, comprenant avant l'enfouissement, la formation d'un masque sur une face (123) du substrat recevant le relief optique (124), dans lequel le masque forme un angle avec le guide optique. 20. Module d'insertion extraction comprenant un interféromètre de type Mach-Zehnder à deux bras dans lequel chaque bras comprend un composant optique conforme à la revendication 1.