Brevet FR2838868A1 — publié le 20031024

point de fusion inferieur au premier materiau de brasure. STRUCTURE CAPACITIVE REALISEE AU DESSUS D'UN NIVEAU DE METALLISATION D'UN COMPOSANT ELEC:TRONIQUE' COMPOSANTS ELECTRONIQUES INCLUANT UNE TELLE STRUCTURE CAPACITIVE' ET PROCEDE DE REALISATION D'UNE TELLE STRUCTURE CAPACITIVE. Domaine technique L'invention se rattache au domaine de la microelectronique. Wile vise plus precisement des micro-composants incorporant une ou plusieurs structures capacitives. Ces structures capacitives peuvent etre realisees a l'interieur meme du micro-composant, au-dessus de niveaux de metallisation directement relies aux bornes des kansistors ou autre structure conductrice. Dans ce cas, ces structures peuvent etre utilisees en tent que cellule de memoire dynamique embarquee (embedded DRAM). Ces structures capacitives peuvent egalement etre realisees au-dessus du dernier niveau de metallisation apparent du micro-composant, et etre utilisees en tent que condensateur, par exemple pour servir de capacite de decouplage. L'invention vise plus precisement la forme et l'agencement des differentes parties de la structure capacitive qui vent determinees pour augmenter tres fortement sa "capacitance", c'est-a-dire sa capacite par unite de surface, et ce sans augmenter trop fortement ni les couts de fabrication, ni la surface utilisee sur le micro-composant. Techniques anterieures La realisation de structures cap acitives sur ou a l' interieur de ce sub strat semi- conducteur a deja fait ltobjet de certains developpements. Differentes technologies ont deja ete proposees, notamment celles qui permettent de realiser des structures capacitives constituees de deux electrodes 2 2838868 metalliques, separees par une couche de materiau dielectrique. Ce type de capacites est generalement qualife de structure "MIM", pour "Metal Isolant Metal". L'invention se rattache plus particulierement a ce type de structure capacitive. s Parmi les solutions existantes, on peut citer celle decrite dans le document FR 2 801 424 correspondent a une structure capacit*e dont les electrodes forment des couches metalliques planes. Dans ce cas, la valeur de la capacite du condensateur est essentiellement fonction du type de materiau dielectrique utilise, ainsi que de la surface en regard des deux electrodes metalliques. Autrement dit, la "capacitance", ou la capacite par unite de surface, est fxce de facon preponderante par l'epaisseur de la couche isolante et sa permittivite relative. Ainsi, pour augmenter la valeur de capacitance, il est necessaire soit de choisir des materiaux de tres forte permittivite relative, soit de reduire les distances entre les electrodes, avec le risque d'apparition de phenomenes de claquage, notamment lorsque les capacites vent destinees a etre utilisees sous des tensions relativement elevees, superieures en valeur a la dizaine de volts. Le Deposant a decrit dans les differentes demandes de brevets francais portent les Nos. 02.03442, 02.03444, 02.03445, 02.02461, non encore publics a la date de depot de la presente demande, differentes structures permettant d'augmenter la capacitance d'une structure capacitive, qu'elle soit destinee a former un condensateur ou une cellule de memoire embarquee. En effet, les cellules de memo ire emb arque e dynami que v ent gen eral ement, et c orn me de crit dans le document US 5 155 657, realisees a partir d'empilements de couches de silicium alternees avec des couches de silicium dope, par exemple au germanium. Les selectivites de gravures differentes pour ces deux types de materiaux permettent d'obtenir des structures arborescentes formant des electrodes dont la surface est relativement importante. Neanmoins, les conductivites de telles electrodes vent limitees, et ne permettent pas de faire fonctionner ces cellules de 3 2838868 memoire a des frequences importantes, typiquement superieures a la centaine de Megahertz environ. Un objectif de ['invention est done de permettre la realisation de structures capacitives susceptibles de fonctionner a des frequences de l'ordre des frequences des microproc es seurs, avec le squelles les c ellules de memo ire vent destine es a eke assoclees. De facon plus generale, un autre objectif de ['invention est de fournir des structures capacitives qui puissent 8tre realisees soit sur des niveaux de metallisation interieurs aux micro-composants, soit encore a des niveaux quasi exterieurs, en offrant des valeurs de capacitance nettement superieures aux valeurs habituellement observees. Expose de ['invention L 'invention concerne done une structure capacitive reali see au des sus d'un niveau de metallisation d'un composant electronique. Cette structure comporte de facon classique deux electrodes separes par une couche de materiau dielectrique, la premiere electrode etant electriquement reliee au niveau de metallisation. Conformement a ['invention, cette structure capacitive se caracterise en ce que: - la premiere electrode presente une structure en creneaux, recouvrant la forme d'une pluralite de plots de materiau de faible permittivite relative presents au dessus du niveau de metallisation; - la couche de materiau dielectrique recouvre la premiere electrode; - la seconde electrode recouvre la couche en materiau dielectrique, en comblant les creux de la structure en creneaux, et en presentant sur sa face superieure un plot de connexion. Autrement dit, la structure capacitive conforme a ['invention presente une premiere electrode qui se situe a differents niveaux de hauteur par rapport au niveau de metallisation. Dans les parties basses des creneaux, la premiere electrode est a proximite du niveau de metallisation, tandis que dans les parties hautes du creneau, la premiere electrode est separee du niveau de metallisation par un materiau de faible permittivite relative, c'est-a-dire typiquement inferieure a 2,4. La premiere electrode possedant done une forme ondulee, elle definit done des zones en creux qui vent epousees par la couche dielectrique la recouvrant. La seconde electrode presente quant a elle une forme caracteristique puisqu'elle possede une face superieure sensiblement plane et une face inferieure qui epouse la forme en creneau de la premiere electrode. Ainsi, sur une surface unitaire occupee sur le substrat du composant, la surface en regard des electrodes correspond a la surface developpee de la structure en creneau qui est nettement superieure a la surface equivalente de ['electrode qui sera plane. Cette surface en regard est d'autant plus importante que les creneaux ont une hauteur elevee. Dans une forme preferee de realisation, les differents plots en materiau de permittivite relative sur lesquels repose la premiere electrode, vent constitues d'une pluralite de troncons superposes dans lesquels chaque troncon presente une largeur inferieure a celle du troncon sur lequel il repose. Autrement dit, chaque plot formant la structure en creneau presente plusieurs echelons de hauteur definissant a chaque echelon une portion verticale et une portion horizontale pour ['electrode. Le nombre de troncons superposes peut etre determine en fonction de contraintes technologiques. Ainsi, les plots peuvent etre constitues d'un unique troncon formant des creneaux constitues d'un seul echelon. Ces plots peuvent egalement comporter deux troncons superposes, dont celui se trouvant au niveau superieur est de moindre largeur. L'invention couvre egalement d'autres variantes dans lesquelles le nombre de troncons est plus eleve, avec la progression de largeur deja evoquee. Avantageusement, en pratique, la seconde electrode est realisee en cuivre, et obtenue par des procedes electrolytiques, ce qui permet d'obtenir une resistivite inferieure a 5Q.cm. Les avantages d'une tres faible resistivite se traduisent notamment par un faible echauffement de la structure capacitive en mode dynamique, ainsi qu'un bon fonctionnement a haute frequence, d'une conductivite thermique appreciable. Ces proprietes vent a la fois avantageuses pour les deux electrodes. Avantageusement, les deux electrodes vent separees par une couche de materiau dielectrique, qui peut 8tre deposee soit en couche homogene d'un meme materiau, ou un alliage de plusieurs de ces materiaux. Parmi ces materiaux, on preferera les oxydes ferroelectriques et/ou pyroelectriques. Parmi ces oxydes metalliques ou ferroelectriques, on connat le dioxyde d'Hafnium, le pentoxyde de Tantale, le dioxyde de Zirconium, les oxydes de Lanthane, le trioxyde de all-Yttrium, l'alumine, le dioxyde de Titane, ainsi que les titanates et tantalates de Strontium (STO), les titanates de Strontium et Baryum (BST), les Tantalates de Strontium et Bismuth (SBT), ainsi que les titanates de Plomb et de zirconate de Plomb (PZT), les titanates et zirconates de Plomb dopees avec des Lanthanides (PLZT), les nobiates de Strontium et Bismuth (SBN), les tantalates et niobates de Strontium et Bismuth (SBTN), les cuprates de Baryum et Yttrium, les Alcalinoxydes de Manganese Me2MnO3. Dans une forme preferee, la couche dielectrique est realisee par la superposition de couches elementaires de materiaux differents, formant une structure nanolaminee. Dans ce cas, chacune des couches est de tres faible epaisseur, de l'ordre de quelques Angstroms a quelques centaines d'Angstroms. Avantageusement, la stchiometrie des materiaux varie d'une couche elementaire a l'autre dans la structure nanolaminee. Ainsi, en faisant varier la stcechiometrie de chaque couche, on cree des gradients de concentration d'oxygene (et des autres materiaux utilises), a travers quelques couches atomiques. La variation de structure de bandes de chaque couche elementaire de la structure nanolaminee a pour consequence de modifier la structure de bande globale des alliages et des composes d'oxydes ferro-electriques a travers seulement quelques couches atomiques. Ce type de structure nanolaminee comporte done des alliages ayant des structures de bandes ayant un bande gap superieur a 5 eV avec une permittivite relative la plus elevee possible. Les electrodes en contact avec l'oxyde doivent etre laminees de facon a reduire les migrations d'oxygene a travers les couches metalliques. La structure damascene offre un avantage d'integration pour les alliages d'oxyde metalliques utilises afin d'obtenir des densites plus elevees.On obtient de la sorte des valeurs de permittivite relative particulierement importantes, ce qui agit en faveur de ['augmentation de la capacitance. L'invention concerne egalement un procede de realisation d'une telle structure capacitive. Ce procede comporte les etapes suivantes, consistent au dessus du 1 S niveau de metallisation, a: - deposer une couche de materiau de falble permittivite relative; - graver cette couche jusqutau niveau inferieur pour definir une pluralite de plots; - deposer une premiere couche metallique destinee a former la premiere electrode, une premiere couche recouvrant les plots pour adopter une structure en creneaux; - deposer une couche de materiau dielectrique au dessus de la premiere couche metallique; - deposer par vole electrolytique une couche de cuivre au dessus de la couche de materiau dielectrique en comblant les creux de la structure en creneau, de maniere a former la seconde electrode. Dans une variante de realisation preferee, la realisation des plots de materiau de faible permittivite relative peut s'effectuer en plusieurs etapes. Ainsi, apres le depot de la premiere couche de materiau a faible permittivite relative, on procede aux etapes suivantes consistent a: 7 2838868 - deposer une premiere couche de resine, et a la graver pour la conserver sur des zones situees a ['aplomb des koncons inferieurs des future plots; - deposer une seconde couche de materiau a faible permittivite relative; deposer une seconde couche de resine, et a la graver pour la conserver a ['aplomb des zones restantes de la premiere couche de resine, sur des zones de moindre largeur, en dessous desquelles seront definis les koncons superieurs des future plots; - graver cet ensemble de couches de materiau de faible permittivite relative pour definir des plots comportant un koncon inferieur et un troncon superieur de moindre largeur; - puis, a encha^ner le depot de la premiere eleckode. Autrement dit, les plots vent realises en effectuant des depots successifs de couches de materiaux de faible permittivite relative, entre lesquelles est realise le depot de couches de resine permettant de proteger le materiau de faible permittivite relative pour ['unique etape de gravure Description sommaire des faures La maniere de realiser ['invention ainsi que les avantages qui en decoulent ressortiront bien de la description et du mode particulier de realisation qui suit, donne a tike d'exemple non limitatif, a l'appui des figures 1 a 16 annexees, qui vent des representations schematiques en coupe de la zone superieure d'un micro composant electronique, et de la structure capacitive conforme a ['invention, au fur et a mesure des etapes du procede de realisation. Pour faciliter la description du procede, l'exemple donne par la suite illustre la fabrication d'une structure capacitive au dessus d'un niveau de metallisation, sans representation des zones avoisinantes. Il peut done stagir d'un niveau de metallisation situe a l'interieur du micro- composant, ou bien encore, le dernier niveau de metallisation apparent sous la couche de passivation. Bien entendu, ces schemes ne vent donnes qu'a titre illustratif, et les dimensions des differentes couches et elements reels intervenant dans ['invention peuvent differer dans la pratique de celles qui vent representees aux figures, et qui sont, on le repete, uniquement donnees dans le but de faire comprendre ['invention. Manibre de realiser ['invention On decrit par la suite un procede particulier de realisation qui permet d'obtenir une structure de microcapacite conforme a ['invention. Certaines etapes du procede decrit peuvent neanmoins etre considerees cornme accessoires ou simplement utiles et avantageuses, sans etre absolument obligatoires pour rester dans le cadre de 1'invention. Ainsi, une structure capacitive conformement a ['invention peut etre realisee sur un micro-composant tel qutillustre a la figure 1. Le substrat (2) de ce micro composant comprend au moins un niveau de metallisation (3) qui peut etre relic a des zones actives a l'interieur du micro-composant, ou bien encore a des plots d'interconnexion debouchant sur la face superieure du substrat. Dans la forme illustree, il s'agit d'un niveau de metallisation situe au niveau de la face superieure du substrat, et qui est recouvert d'une couche de passivation (4), typiquement en SiO2 ou SiON. Dans une premiere etape illustree a la figure 1, on procede au depOt d'un materiau de faible permittivite relative. Ce materiau peut typiquement etre celui commercialise par la Societe ASM sous la reference AURORA. Ce depot effectue par PECVD (Plasma Chemical Vapor Deposition). Ce dep8t presente une epaisseur de ltordre de quelques microns. Par la suite, comrne illustre a la figure 3, on procede au depot d'une couche barriere (6) servant aussi de couche d'arret et d'action mecanique sur l'etat des contraintes dans les couches (5) et (12). Cette couche (6) peut etre typiquement realisee en carbure ou nitrure de silicium. Cette couche (6) est deposee par PECVD, et presente une epaisseur inferieure au micron, et typiquement de l'ordre de 350 A. Par la suite, on procede au depot d'une couche de resine photopositive, qui peut par exemple etre composee d'une couche anti-reflective type SJR AR14 et d'une resine DW de l'anglais Deep Ultra Violet, pour W profond, du type SJR 210. Par la suite, et comme illustre a la figure 4, cette resine (7) est lithographiee pour etre ensuite eliminee dans les zones (8), donnant acces a certaines portions de la couche barriere (6) qui est ensuite elle-meme eliminee par gravure chimique en utilisant par exemple un melange de PFC:O2: N2: Ar avec un PEC (Perfluoro carbone) tel que C4Fs, C3Fs, C2H2F2 utilisant un plasma radio-frequence. Par la suite, on procede comme illustre a la fgure 5, a une etape de nettoyage permettant d'eliminer les restes de la resine (7), et de nettoyer la surface apparente de la couche de faible pertnittivite relative (5) dans les zones (9) situees entre les portions restantes de resine (10) dont notamment un procede a base de plasma de O2: NH3. Par la suite, et comme illustre a la fgure 6, on procede au depot d'une seconde couche (12) de materiau de falble permittivite qui peut etre mais pas obligatoirement identique a la premiere couche (5) deposee au dessus du niveau de metallisation. Dans le cas ou cette seconde couche est egalement du materiau AURORA, celle-ci est disposee par PECVD et presente une epaisseur typiquement de l'ordre de deux microns. Par la suite, on procede au depot d'une couche de masque dur (13). Cette couche de masque dur comporte plusieurs couches superposee, mais qui ne vent illustree dans les fgures que par une couche unique. La premiere couche est typiquement realisee en carbure de silicium. Ce masque dur est utilise comme barriere de diffusion du materiau de faible permittivite. Ce masque dur peut egalement comporter une couche de nitrure de silicium (SiN), utilisee pour masquiner les couches situees en dessous. Il peut egalement comporter une couche d'oxynitrure de silicium (SiON) servant de BARC (Barrier anti reflective coating). L'ensemble des couches du masque dur (13) est depose par PECVD, sur une epaisseur de l'ordre de 2000 A. Par la suite, et comme illustre a la figure 8, on procede au depot d'une nouvelle couche de resine (14), composee d'une couche anti-reflective type SJR AR14 et d'une resine DW du type SJR 210. Comme illustre a la figure 9, cette resine (14) est ensuite lithographiee pour etre ensuite eliminee en utilisant un motif derive de celui qui a servi a defnir les motifs de la premiere couche de resine (6) tel qu'illustre a la figure 4 par une lithographic cite d 'auto alignement par rapport a la couche (6)Cette operation permet de definir des zones (15) de la seconde couche de resine (14) qui vent situees a ['aplomb des zones restantes (10) de la premiere couche de resine (6). Ces zones (15) definissent des espaces (16) a travers lesquels peut, comme illustre a la figure 10, etre gravee la couche de masque dur (13). Cette gravure permet de laisser apparente la couche superieure (12) de materiaux de faible permittivite relative. Cette gravare peut avoir lieu en utilisant des melanges de C4Fs:O2:N2:H2:Ar. Par la suite, on peut proceder comme illustre a la figure 11 a une gravare des couches (12,5) de materiaux a faible permittivite relative. Cette gravure est anisotrope et s'effectue jusqu'a ce que les zones restantes (10) de la premiere couche de resine apparaissent pour former le troncon superieur (18) et le troncon inferieur (19) du plot (20). Cette gravure s'effectue en utilisant un melange de C4Fs:O2:Ar:N2:H2 On procede par la suite a un nettoyage par un melange d'oxygene et d'ammoniaque. Par la suite, on procede a ['elimination des zones (21) de masque cur, etant entendu que la couche de SiC du masque dur (13) peut 8tre conservee dans les zones superieures. On aboutit alors a une structure telle qu'illustree a la figure 12 comportant differents plots presentant chacun des echelons de hauteur. Par la suite, S comme illustre a la fgure 13, on procede au depot d'une couche conductrice metallique, destinee a former ['electrode inferieure. Cette couche (22) peut etre dep osee par differentes techniques class iques, parmi lesquelles on p eut citer la technique de PVD (Plasma Vapor Disposition), E-BEAM, CVD (Chemical Vapor Disposition), ALD (Atomic Layer Disposition), ainsi que les procedes de croissance electrolytiques. Les materiaux apses a 8tre employee pour former cette electrode inferieure (22) peuvent etre choisis dans le groupe comprenant le Tungstene, le Molybdene, le Ruthenium, l'Aluminium, le Titane, le Nickel, la Gallium, le Palladium, le Platine, l'Or, l'Argent, le Niobium, ['Iridium, le dioxyde d'Iridium, le dioxyde de Ruthenium, l' Yttrium, le dioxyde d'Yttrium, ainsi que le Cuivre. L'epaisseur ainsi deposee est typiquement superieure a loA. Par la suite, touj ours comme illustre a la figure -13, on procede au depot d'une structure nanolaminee (23), realisee a partir de differentes couches d'oxydes ferroelectriques. À La premiere couche, possedant une epaisseur de S a 10 est realisee a partir de AlXO3 x' avec x compris entre O.et 3 À La seconde couche presente une epaisseur de l'ordre de 10 a 15 A, et est realisee a partir de Taz-2os-zAl2ox,avec z compris entre Oet 2. À La troisieme couche d'une epaisseur de l'ordre de 1S a 20 realisee a partir de TiO2 AlX 03+y, avec y compris entre Oet3. À La quatrieme couche d'une epaisseur de ltordre de 40 a 100 A est realisee a partir de Tioy-xTaz-2o5+z. À La cinquieme couche, d'une epaisseur de 60 a 200 A est realisee a partir de TiOyTa3 zOz. À Les sixieme, septieme et huitieme couches vent identiques respectivement aux troisieme, deuxieme et premiere couches. La structure nanolaminee ainsi obtenue presente une epaisseur comprise superieure a 50 A, et presente une permittivite de l'ordre comprise entre 3 et 12. Bien entendu, la structure nanolaminee (23) decrite ci-avant est un exemple non limitatif et dans laquelle certains elements peuvent etre substitues sans sortir du cadre de ['invention. Par la suite et comme illustre a la figure 14, on procede au depOt d'une couche barriere a la diffusion de l'oxygene (24). Cette couche barriere a la diffusion peut faire egalement office de couche amorce pour le depOt des couches superieures. Cette couche sert egalement a ameliorer la resistance a l'electromigration et a la diffusion de ltoxygene. Cette couche peut etre deposee par une technique de depOt de couches atomiques (ALD). Une telle technique confere une tres bonne uniformite d'epaisseur et une excellente integrite a cette couche barriere a la diffusion (24). Les materiaux susceptibles d'etre utilises pour realiser cette couche barriere a la diffusion peuvent etre du nitrure de Titane ou du À 20 nitrure de Tungstene, du nitrure de Tantale ou bien encore un des materiaux suivants: TaAlN, TiAlN, MoN, CoW, TaSiN.. On depose par la suite une couche d'amorce pour deposer un metal par eleckolyse tel que du cuivre. Par la suite, comme illustre a la fgure 15, on procede a un depot electrolytique de cuivre. Ce depot presente des zones (26) comblant les espaces entre plots (20) et il est effectue sur une epaisseur permettant de recouvrir l'integralite de la couche amorce (25) et done ['ensemble des plots (20). Ce depot possede une face superieure plane (27) qui servira a definir le plot de connexion a la seconde electrode. Par la suite et comme illustre a la figure 16, on procede au depot de couches (29,30) typiquement en BCB, en Parylene, permettant de defnir un logement central a l'interieur duquel est realise un second depot electrolytique de cuivre (31) definissant le plot de connexion (32). Ce plot de connexion peut recevoir une couche de passivation, typiquement en chrome ou en nickel ou en un alliage de Nickel Vanadium ou de TiN ou bien de TaN ou de WN. A titre d'exemple, la capacite illustree a la figure 16 peut presenter une capacitance de l'ordre de 100 nanoFarad par millimetre carre. La structure conforme a ['invention presente de multiples avantages, notamment celui d'offrIr une capacitance elevee, ce qui la destine a de multiples app li c ations, notarnment a la real is ati on de c ellule s de memo ire dynami que integree dans un micro-composant tel qu'un microprocesseur ou bien encore en tent que condensateur, et typiquement de condensateur de decouplage utilise dans les montages de filtrage. REVENDICATIONS 1I Structure capacitive realisee au dessus d'un niveau de metallisation d'un composant electronique, comportant deux electrodes separees par une couche de materiau dielectrique, la premiere electrode etant electriquement reliee au niveau de metallisation, caracterisee en ce que: - la premiere electrode (22) presente une structure en creneau, recouvrant la forme d'une pluralite de plots (20) de materiau de faible permittivite relative presents au dessus du niveau de metallisation (3); - la couche de materiau dielectrique (23) recouvre la premiere electrode; - la seconde electrode (28) recouvre la couche de materiau dielectrique, en comblant les creux de la structure en creneaux, et en presentant sur sa face superieure un plot de connexion (33). 2/ Structure capacitive selon la revendication 1, caracterisee en ce que les plots (20) en materiau de faible permittivite relative comportent une pluralite de troncons (18,19) superposes, chaque troncon (19) presentant une largeur inferieure a celle du troncon (18) sur lequel il repose. 3/ Structure capacitive selon la revendication 1, caracterisee en ce que la seconde electrode (28) est realisee en cuivre. 4/ Sucture capacitive selon la revendication 1, caracterisee en ce que la couche de materiau dielectrique (23) est realisee par la superposition de couches elementaires d'oxydes ferro-electriques de composition differente, formant une structure nanolaminee. / Structure capacitive selon la revendication 4, caracterisee en ce que la stcechiometrie des materiaux varie d'une couche a l'autre de la structure nanolaminee. 6/ Composant electronique incluant une structure capacitive selon l'une des revendications 1 a S. utilisee en tent que condensateur. 7/ Composant electronique incluant une structure capacitive selon l'une des revendications 1 a S. utilisee en tent que cellule de memoire dynamique. 8/ Procede de realisation d'une structure capacitive au dessus d'un niveau de metallisation (3) d'un composant electronique, caracterise en ce qu'il comporte les etapes suivantes, consistent a: - deposer une couche de materiau de faible permittivite relative (5); - graver cette couche jusqu'au niveau inferieur, pour definir une pluralite de plots (20) ; deposer une premiere couche metallique (22) destinee a former la premiere electrode, ladite premiere couche recouvrant les plots (20) pour adopter une structure en creneaux; - deposer une couche de materiau dielectrique (23) par dessus la premiere couche metallique - deposer par vole electrolytique une couche de cuivre (28) au dessus de la couche de materiau dielectrique (23), en comblant les creux de la structure en creneau, de maniere a former la seconde electrode. 9/ Procede selon la revendication 8, caracterise en ce que apres le depot de la couche (S) d'un materiau de faible permittivite relative, il comporte les etapes suivantes consistent a: - deposer une premiere couche de resine (6), et a la graver pour la conserver sur des zones (10) situees a ['aplomb des troncons inferieurs (19) des future plots (20); - deposer une seconde couche (12) de materiau a faible permittivite relative; deposer une seconde couche de resine (13), et a la graver pour la conserver a ['aplomb des zones restantes (10) de la premiere couche de resine, sur des zones (15) de moindre largeur, en dessous desquelles seront definis les troncons superieurs (18) des future plots (20); graver cet ensemble de couches de materiau de faible permittivite relative, pour despair des plots (20) comportant un troncon inferieur (19) et un trongon superieur (18) de moindre largeur; - puts, a enchainer le depot de la premiere electrode (22). pEPOSANT: MEMSCAP