Brevet FR2840105A1 — publié le 20031128

SR 23367 JP/PR La presente invention concerne un procede et une installation d'ionisation d'atmosphere gazeuse par decharge electrique a barriere dielectrique et leur application a la production de substrats traites en surface. De telles installations, communement appelees >, vent utilisees par exemple, pour le traitement de surface de substrats en defilement tels que des films plastiques ou des feuilles metalliques. Dans le cadre de ces applications, ces installations permettent de mo- difier les caracteristiques d'energie de surface et d'adherence des substrats trai- tes lors de leur passage dans une zone d'ionisation. De maniere generale, ces installations comportent une enceinte de traitement dans laquelle vent situees deux electrodes disposees parallelement et espacees d'un intervalle compris, typiquement entre 0,5 et 2 mm, cet intervalle entre les deux electrodes constituent la zone d'ionisation. L'une des electrodes, designee >, est reliee a un potentiel de reference tel que la terre, et l'autre, designee tension >>, est reliee a un generateur de haute tension alternative. De maniere classique, au moins l'une des deux electrodes est cou verte d'un materiau dielectrique. En fonctionnement, de maniere classique, le generateur haute tension delivre une tension sinusodale dont la valeur crete a crete varie de 10 a 20 kV et dont la frequence varie de 20 a 50 kHz. II apparat done entre les deux electrodes, un champ electrique de grande intensite qui permet dtioniser ['atmosphere gazeuse (ci-apres designee par En effet, I'atmosphere de la zone d'ionisation definie par la zone entre les electrodes, est composee d'une pluralite de corps plus ou moins reactifs au champ electrique. Ainsi lorsque l'on applique une difference de potentiel entre ces deux electrodes, les electrons generes a ['electrode haute tension, appeles electrons germes, derivent vers ['electrode chargee positivement sous l'effet de la diffe rence de potentiel et entrent en collision avec des molecules de ['atmosphere de la zone d' ion isation. Ce phenomene est commu nement appele avalanche elec tronique. Si l'energie transmise par ['electron est superieure a l'energie d'ionisation d'une molecule gazeuse presente dans ['atmosphere, la collision va entrarner la creation de nouveaux electrons qui vont generer a leur tour de nou- velles avalanches. Ce processus va ainsi se repeter pour former un filament continu et lumineux qui se propage entre les deux electrodes. On definit ainsi le temps de propagation de ['avalanche electronique par le temps que met le filament a se propager entre les deux electrodes. Ce temps est mesurable a ['aide, par exemple, d'un photomultiplica- teur capable de traduire l'intensite du filament en une expression de courant rapportee a une base temporelle. Le temps de propagation varie en fonction de la nature et de la geo- metrie des electrodes ainsi qu'en fonction de leur ecartement et de la nature de ['atmosphere de l'intervalle les separant. Typiquement, le temps de propagation de ['avalanche electronique est de l'ordre de 10 a 100 ns. Le filament s'eteint lorsque les charges accumulees sur la couche du dielectrique qui recouvre au moins une electrode, annulent le champ electrique. Des nouveaux filaments se creent de fa,con aleatoire dans ['atmosphere d'ionisation et sur la surface des electrodes, conduisant a la forma tion d'une multitude de filaments, a l'interieur desquels vont se former les radi- caux et les especes excitees. Ce phenomene est couramment designe sous le terme de . Un element critique de la performance de ces installations reside dans la densite et l'uniformite de la distribution spatiale de cette decharge electri que. En effet, une decharge presentant des filaments trop eloignes les uns des autres aboutit a une ionisation non-uniforme du gaz presentant des zones de gaz non ionisees et des filaments possedant une energie tres importante. La temperature a l'interieur du filament est tres largement superieure a la tempera ture moyenne, ce qui peut conduire a endommager la surface du substrat traite, deteriorant ainsi son integrite et notamment ses qualites d'impermeabilite. De meme, dans le cas des traitements de films polymeres, ces hautes energies conduisent a une chimie non optimale par une diminution des especes actives telles que les radicaux d'oxygene et d'azote. La densite et l'uniformite de la distribution spatiale de cette decharge peuvent se constater visuellement, grace notamment a des photos de la zone d'ionisation. De meme, la non-uniformite de traitement du substrat se constate sur des mesures de l'energie de surface par une diminution de cette energie ou par de zones d'energies de surface inegales. La densite et l'uniformite de la distribution spatiale de la decharge de- pend principalement de la forme du signal electrique applique a ['electrode haute tension et secondairement des parametres relatifs a ['atmosphere de la zone d'ionisation (composition, debit, pression, temperature). Certains generateurs de haute tension delivrent des signaux presen tant une forme generale de sinusodes interrompues alternant des signaux sinu sodaux de meme nature que ceux decrits precedemment et des signaux conti nus. Cependant, les decharges electriques obtenues avec les installations existantes restent insuffisamment denses et spatialement uniformes et generent d'importantes limitations dans les conditions d'utilisation. Le but de la presente invention est de permettre la creation d'une de charge plus dense et de distribution spatiale plus uniforme que celles obtenues grace aux installations existantes. La presente invention a pour objet un procede d'ionisation par de charge electrique a barriere dielectrique d'une zone d'ionisation dont ['atmosphere comporte des elements actifs ion isables, la zone d' ionisation etant delimitee par deux electrodes, a savoir une electrode de reference reliee a un potentiel de reference et une electrode haute tension reliee a un generateur electrique, I'une au moins desdites electrodes etant couverte d'un materiau die lectrique, le procede comprenant une etape dtionisation au cours de laquelle ['electrode haute freque nce est chargee electriq u eme nt par led it gene rateu r elec trique afin d'ioniser des elements actifs de la zone d'ionisation, et se caracterisant en ce que ladite etape d'ionisation comprend ['excitation de ['electrode haute tension par un signal d'excitation presentant des impulsions entre un potentiel de reference et un potentiel dtionisation, dont le front de montee est de ltordre du temps de propagation de ['avalanche electronique dans la zone d'ionisation. Suivant d'autres caracteristiques de ['invention: - ledit front de montee du signal d'excitation est compris entre 10 et 250 ns, preferentiellement entre 10 et 70 ns; - lesdites impulsions du signal d'excitation ont une duree comprise en tre 50 et 500 ns; - ladite duree des impulsions est comprise entre 150 et 250 ns; - lesdites impulsions du signal d'excitation ont une frequence regu liere; - ladite frequence desdites impulsions est comprise entre 15 et 55 kHz; et - lesdites impulsions atteignent un potentiel d'ionisation superieur en valeur absolue audit potentiel de reference de 2 a 15 kV. L'invention a egalement pour objet un procede de production d'un substrat traite en surface par decharge electrique a barriere dielectrique dans une zone d' ion isation do nt ['atmosphere compo rte des elements actifs ion isables, la zone d'ionisation etant delimitee par une electrode de reference et une electrode haute tension, caracterise en ce qu'il comprend les etapes suivantes: - une etape d'entranement en defilement d'un substrat dans la zone d'ionisation entre lesdites electrodes; et - une etape d' ionisation de ladite zone d'ionisation au moyen d' un pro cede tel que decrit precedemment. La presente invention a egalement pour objet une installation dtionisation par decharge electrique a barriere dielectrique dans une zone d' ionisation dont [' atmosphere comporte des elements actifs ion isables, ladite installation comportant un generateur electrique haute tension et une enceinte de traitement, I'enceinte comportant au moins deux electrodes, a savoir une elec trode de reference reliee a un potentiel de reference et une electrode haute ten sion reliee a un generateur electrique, ces deux electrodes definissant entre elles la zone d' ion isation, et au moins l' u ne d'entre el les etant couverte d ' u n materiau dielectrique, ledit generateur delivrant un signal d'excitation pour charger I'electrode haute tension afin d' ioniser lesdits elements actifs ion isables de la zone d'ionisation, caracterisee en ce que le generateur electrique comporte des moyens de com mande adaptes pou r q ue led it s ignal d' excitation presente des impulsions entre un potentiel de reference et un potentiel d'ionisation, dont le front de montee est de l'ordre du temps de propagation de ['avalanche electroni- que dans la zone d'ionisation. Suivant d'autres caracteristiques: - lesdits moyens de commande comprennent un module de correction de facteur de puissance adapte pour transformer un signal sinusodal en un si- gnal continu de haute tension, le signal continu etant delivre a un module de conversion delivrant en sortie un signal creneau a un module de transformation et d'adaptation, lequel est relic en sortie a une charge afin de delivrer ledit signal de commande a des moyens de generation de courant afin de generer ledit si gnal d'excitation; - lesdits moyens de commande vent adaptes pour que ledit front de montee soit compris entre 10 et 250 ns, preferentiellement entre 10 et 70 ns; - lesdites impulsions ont une duree comprise entre 50 et 500 ns; - ladite duree des impulsions est comprise entre 150 et 250 ns; - lesdits moyens de commande vent adaptes pour que lesdites impul sions audit signal d'excitation aient une frequence reguliere; - lesdits moyens de commande vent adaptes pour que ladite fre- quence desdites impulsions soit comprise entre 15 et 55kHz; - lesdits moyens de commande vent adaptes pour que lesdites impul signs atteignent un potentiel d'ionisation superieur en valeur absolue audit poten- tiel de reference de 2 a 15kV; - lesdits moyens de commande comportent un module de pilotage adapte pour en controler le fonctionnement; - ledit module de pilotage est accessible par un utilisateur pour son pa rametrage au travers de moyens d'interface; - I'installation comporte en outre des moyens de commande de ['atmosphere de la zone d'ionisation; - lesdits moyens de commande de ['atmosphere comportent des moyens d'alimentation et de regulation en gaz exterieurs a ladite enceinte et des moyens d'amenee de gaz, interieurs a ladite enceinte et permettant le transfert du gaz entre lesdits moyens d'alimentation et de regulation en gaz et ladite zone d'ionisation; et -. 28401 05 - lesdits moyens de commande de ['atmosphere permettent de com- mander au moins l'un des parametres de ['atmosphere de la zone d'ionisation parmi le groupe de parametres constitue de: - la nature de ['atmosphere; - la pression de ['atmosphere; - les debits des gaz; et - la temperature des gaz. L'invention sera mieux comprise a la lecture de la description qui va suivre, donnee uniquement a titre d'exemple et faite en se referent aux dessins annexes, sur lesquels: - la Fig. 1 est un schema general d'une installation selon ['invention destinee au traitement d'un substrat; - la Fig. 2 est un schema de principe du generateur electrique de ['installation selon ['invention; et - la Fig. 3 represente en coupe longitudinale deux exemples de reali sation physique de la zone dtionisation. Sur la figure 1, on a represente une installation selon ['invention desti- nee au traitement d'un substrat continu. Cette installation comporte une enceinte de traitement 2 reliee a un generateur electrique 4 adapte pour la generation de signaux de haute tension. L'installation comporte egalement des moyens 6 d'alimentation et de regulation en gaz relies a l'enceinte de traitement 2 pour le transport de gaz. Wile comporte en outre des rouleaux 8 d'entranement en defilement d'un substrat continu 10, adaptes pour entraner en defilement le substrat 10, constitue par exemple par un film continu polymere synthetique ou nature!, au travers de l'enceinte de traitement 2. L'enceinte de traitement 2 comporte une electrode de reference 21 de forme cylindrique, rotative autour de son axe longitudinal, recouverte d'un mate- riau dielectrique 22 et reliee electriquement a un potentiel de reference tel que la terre et, une electrode haute tension 23 connectee electriquement au generateur 4 et en forme de lame stetendant parallelement a l'axe de ['electrode de refe- rence 21. Les electrodes 21 et 23 definissent entre elles une zone d'ionisation 24. Typiquement, la zone d'ionisation 24 est haute de 0,5 a 5 mm et prefe- rentiellement de 0,5 a 2 mm afin de permettre le passage du substrat 10 entre les electrodes 21 et 23. De par sa forme, ['electrode de reference 21 participe a l'entranement en defilement du substrat 10. Ainsi, apres avoir ete devie par un premier rouleau 8, le substrat 10 penetre dans l'enceinte 2 dans une ouverture 25 de celle-ci op- posee a ['electrode de haute tension 23. Le substrat 10 s'enroule ensuite autour de la partie superieure de ['electrode de reference 21 en traversant la zone d'ionisation 24 et ressort de l'ouverture 25 avant d'etre a nouveau devie par le second rouleau 8. L'enceinte 2 comporte egalement des moyens 26 d'amenee de gaz (visibles sur les fig. 3 et 4) connectes aux moyens 6 d'alimentation et de regula- tion en gaz et debouchant a proximite de ['electrode haute tension 23 dans la zone d'ionisation 24. En fonctionnement, les moyens 6 d'alimentation et de regulation en gaz permettent, grace aux moyens d'amenee 26, de commander les parametres de ['atmosphere de la zone d'ionisation 24. Notamment ces moyens 6 et 26 permettent de commander, par exemple, la nature, le debit, la temperature et/ou la pression des gaz amenes dans la zone d'ionisation 24. Afin de permettre le fonctionnement de ['installation, ['atmosphere de la zone d'ionisation 24 comporte au moins un element actif ionisable. Le temps de propagation de ['avalanche electronique, dans la zone d'ionisation 24 est typiquement compris entre 10 et 100 ns et est preferentielle ment de l'ordre de 50 ns. Preferentiellement, I'atmosphere de la zone d'ionisation 24 en fonc- tionnement est composee d'un melange azote/protoxyde d'azote a une pression legerement superieure a la pression atmospherique. Le generateur electrique 4 comporte de maniere classique des moyens de generation d'un courant sans contact tels qu'un transformateur 41 constitue d'un bobinage primaire 42 et d'un bobinage secondaire 43. Le bobinage primaire 42 est relic a des moyens de commande 44 qui seront decrits plus en detail en reference a la figure 2. Le bobinage secondaire 43 est relic a ['electrode haute tension 23 ain- si qu'a ['electrode de reference 21 et done au potentiel de reference. En fonctionnement, les moyens de commande 44 permettent de gene- rer un signal de commande (SC) du transformateur 41, presentant des impul- signs de forte intensite et de course duree. Les impulsions du signal SC interviennent avec une frequence F de l'ordre de 5 a 70 kHz et preferentiellement comprise entre 20 et 50 kHz. L'intensite maximale en valeur absolue V atteinte par les impulsions, est liee a la nature des elements actifs presents dans ['atmosphere de la zone d'ionisation 24 et est de l'ordre de 2 a 15 kV et, est preferentiellement comprise entre 5 et 10 kV. Par exemple, dans le cas d'une atmosphere d'azote, les impulsions atteignent des tensions + 7 kV environ (14kV environ de crete a crete). Les impulsions presentent des fronts de montee du meme ordre de grandeur que le temps de propagation de ['avalanche electronique dans la zone d'ionisation 24, a savoir des fronts de montee compris entre 10 et 250 ns. Ainsi, il appara^'t que la duree du front de montee est approximative ment comprise entre une et cinq fois le temps de propagation de ['avalanche electronique. Preferentiellement, la duree est comprise entre 10 et 70 ns. Les impulsions presentent une duree,u qui doit etre suffisante pour permettre le transfert d'une quantite d'energie suffisante afin de creer une densite suffisante d 'elements actives dans la zone d' ion isation 24. Typiquement, cette duree,u est de l'ordre d'une centaine de nanose condes et est preferentiellement comprise entre 50 et 500 ns et avantageuse ment entre 150 et 250 ns environ. La duree,u inclut done la duree 6. En fonction de la quantite d'energie a transmettre, de la duree et de la tension maximale a atteindre, les impulsions peuvent presenter a l'interieur de la duree,u, des plateaux de valeurs afin de permettre la transmission d'une quantite d'energie suffisante. Ainsi par exemple, la duree du front de montee est de 50 ns, suivie d'un plateau de 200 ns a la valeur de la tension maximale pour une duree,u d'impulsion de 250 ns environ. 28401 05 Le signal SC applique au bobinage primaire 42 du transformateur 41, permet de generer, aux bornes du bobinage secondaire 43, un signal d'excitation (SE) de forme similaire au signal SC et presentant les memes impulsions de forte intensite et de course duree. Ce signal SE est done applique a ['electrode haute tension 23 de l'enceinte de traitement 2 et permet de generer, dans la zone d'ionisation 24, une decharge electrique d'une densite et d'une distribution spatiales accrues. Notamment, un tel signal de commande SC et done d'excitation SE genere au niveau de la zone dtionisation 24, une elevation de temperature plus falble que les equipements existants et permet de ce fait, I'apparition d'une de charge electrique contenant davantage de radicaux et d'especes excitees. Grace aux rouleaux 8 d'entranement en defilement du substrat 10, celui-ci est entrane en defilement dans la zone dtionisation 24, entre la cathode 23 et ['anode 21. Par ailleurs, les rouleaux 8 d'entranement en defilement permettent egalement de maintenir le substrat 10 en tension et au contact de la couche de dielectrique 22 peripherique de ['electrode de reference 21. Ainsi, la face du substrat 10 au contact de la couche de dielectrique 22 est isolee electriquement et n'est pas alteree lors du passage du substrat dans la zone d'ionisation 24. A ['inverse, la face exposee du substrat 10 est modifiee lors de son passage dans la zone d'ionisation 24 par les electrons, les radicaux, les ions et autres especes excitees generes dans les decharges electriques intervenant en tre les electrodes haute tension 23 et de reference 21, de sorte que son energie de surface augmente et que des proprietes telles que sa mouillabilite ou son ap titude a ['adhesion vent modifiees. Grace aux caracteristiques la densite et l'uniformite spatiale elevees de la decharge electrique dans la zone d'ionisation 24, le traitement effectue sur le substrat 10 est plus uniforme. De meme, il est alors possible d'accro^'tre la hauteur de la zone d'ionisation 24 afin de permettre le passage d'un substrat plus epais tout en maintenant une bonne qualite de traitement. En reference a la figure 2, on a represente le schema de principe des moyens de commande 44 du generateur haute tension 4. Les moyens de commande 44 vent relies par exemple au reseau electrique triphase, de sorte qu'ils re,coivent en entree un signal AC sinusodal de 220 volts a 50 Hz. Ce signal est introduit dans un module 50 de correction de facteur de puissance adaptee pour delivrer une tension continue stabilisee TS de par exem ple 360 volts. Cette tension TS est introduite dans un module de conversion 52, qui delivre a son tour un signal creneau SCR dont la frequence F correspond a la frequence souhaitee pour le signal de commande SC, et dont ['amplitude corres pond a ['amplitude du signal TS. Ce signal est adresse a un module de transformation et d'adaptation 54 permettant de delivrer en sortie, aux bornes d'une charge 56, le signal de commande SC, tel que defini en reference a la figure 1. L' ensemble du fonctionnement des moyens de commande 44 est pi lote grace a un module de pilotage 58 adapte pour gerer ['ensemble des moyens de commande 44. Avantageusement, le module 58 est adapte pour etre connecte a des moyens d' interface 59 afin de permettre a un utilisateu r de modifier des parame tres du signal de sortie SC. Notamment, un operateur peut ainsi regler un ou plusieurs des para metres 6,,u, V et F du signal SC en fonction, par exemple, des parametres de ['atmosphere de la zone d'ionisation 24 (pression, temperature, nature, debit). Sur la figure 3, on a represente un exemple de realisation de la zone d'ionisation. On reconnat sur ce schema, ['electrode de reference 21 dont la forme cylindrique est localement assimilable a un plan tel que represente sur cette fi gure, recouverte par la couche de dielectrique 22. A ['oppose de ['electrode de reference 21, par rapport a la zone d' ionisation 24, on recon na^'t ['electrode haute tension 23 con nectee electriq ue ment au generateur haute tension non represente sur cette figure. Dans ce mode de realisation, les moyens 26 d'amenee de gaz com portent un unique tube 62 de diffusion de gaz situe en amont de ['electrode haute tension 23 par rapport au sens de defilement du substrat 20 (20 n'est pas visible 28401 05 sur la figure) et permettant de repandre un gaz predetermine dans la zone d' ion isation 24. De maniere classique, les elements adjacents a la zone d'ionisation 24 vent separes entre eux par des elements isolants 64. Sur le tableau T1 ci-dessous, on a represente la comparaison des re sultats obtenus avec une installation selon ['invention par rapport a une installa tion classique, sur le traitement d'un film polypropylene. Les enceintes presentent des zones d'ionisation 24 telles que celle decrite en reference a la figure 3, d'une hauteur de 1 mm avec des electrodes de 15 cm de longueur mesurees transversalement au sens de defilement du subs trat, et une atmosphere d'azote seul ou additionnee de gaz dopants. Dans le cadre de la mise en osuvre de ['invention, le signal d'excitation SE presente des impulsions a une frequence de 20 kHz avec des temps de montee de 40 ns, des intensites maximales V de + 7 kV et d'une duree ap proximative,u de 150 ns. Le signal classique presente quant a lui un signal d'excitation sinuso7 dal d'une frequence de 23,6 kHz avec une amplitude crete a crete de 14 kV (+ 7 kV). L'energie transmise au substrat traite, ou dose, est calculee en fonc tion de la puissance de la decharge, de la longueur de ['electrode et de la vitesse de defilement du substrat au travers de la zone d'ionisation. Wile stexprime en watt minute par metre carre (W.mn/m2). L'energie de surface du substrat apres traitement est mesuree de ma niere classique et est exprimee en milk-Newton par metre (mN/m). TABLEAU T1 Dose Es (mN/m) Es (mN/m) Atmosphere Invention Classique 47 43 63 57 N2 71 67 45 42 47 45 2% O2 50 47 51 44 66 57 500 ppm() N2O 73 67 (*) parties par million 11 appara^'t done que quel que soit le melange gazeux de ['atmosphere de la zone d'ionisation 24, les energies de surfaces obtenues sur un meme substrat a ['aide de ['installation selon ['invention vent nettement superieures a celles obtenues pour une installation classique, a doses de traitement identiques. Dans d'autres modes de realisation, comme connu en soi, I'utilisation d'une electrode de pre-ionisation permet un espacement des electrodes dans la zone d'ionisation 24 plus important eVou une tension maximale du signal d'excitation moins forte, pour obtenir la decharge electrique au niveau de ['electrode haute tension 23. En effet, grace a une pre- ionisation des elements actifs de la zone d'ionisation 24, au niveau d'une electrode de pre-ionisation, I'energie des elements actifs est plus elevee, de sorte qu'ils vent plus facilement ionisables au niveau de ltelectrode haute tension 23. Dans encore d'autres modes de realisation, les moyens 25 d'amenee de gaz comportent des moyens 65 d'injection d'un gaz protecteur des electrodes a proximite de chacune des electrodes et des moyens d'injection d'un gaz actif dans la zone d'ionisation 24. Dans le cas d'un gaz (ou d'un liquide vaporise) polymerisable, un tel mode de realisation permet de reduire les problemes de depot et de formation de depots sur les electrodes et d'accro^'tre ainsi la duree de ['operation sans arret de ['installation pour nettoyage. Dans d'autres modes de realisation, les electrodes et les moyens d'entranement en defilement vent agences differemment. De meme, le substrat traite peut etre un substrat plein ou poreux, continu ou discontinu, et peut etre transporte par un convoyeur au travers de la zone d'ionisation. Dans ce dernier cas, I'electrode de reference a une forme plate. En ['absence de moyens d'alimentation et de regulation en gaz, I'atmosphere de la zone d'ionisation est composee d'air a la pression atmosphe- rique. Dans un autre mode de realisation, les moyens de commande vent re lies directement aux electrodes et le generateur ne comporte pas de transforma teur. REVENDICATIONS 1. Procede dtionisation par decharge electrique a barriere dielectrique d'une zone d'ionisation (24) dont ['atmosphere comporte des elements actifs ioni- sables, la zone d'ionisation (24) etant delimitee par deux electrodes (21, 23), a savoir une electrode de reference (21) reliee a un potentiel de reference et une electrode haute tension (23) reliee a un generateur electrique, I'une au moins desdites electrodes (21, 23) etant couverte d'un materiau dielectrique (22), le procede comprenant une etape d'ionisation au cours de laquelle ['electrode haute frequence (23) est chargee electriquement par ledit generateur electrique (4) afin d'ioniser des elements actifs de la zone d'ionisation (24), caracterise en ce que ladite etape d' ion isation comp rend [' excitation de ['electrode haute frequence (24) par un signal d'excitation (SE) presentant des impulsions entre un potentiel de reference et un potentiel d'ionisation (V), dont le front de montee () est de l'ordre du temps de propagation de ['avalanche electronique dans la zone d'ionisation (24) 2. Procede selon la revendication 1, caracterise en ce que ledit front de montee () du signal d'excitation (SE) est compris entre 10 et 250 ns, prefe- rentiellement entre 10 et 70 ns. 3. Procede selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caracte rise en ce que lesdites impulsions du signal d'excitation (SE) ont une duree () comprise entre 50 et 500 ns. 4. Procede selon la revendication 3, caractbrise en ce que ladite duree des impulsions O est comprise entre 150 et 250 ns. 5. Procede selon l'une quelconque des revendications 1 a 4, caracteri se en ce que lesdites impulsions du signal d'excitation (SE) ont une frequence (F) reguliere. 6. Procede selon la revendication 5, caracterise en ce que ladite fre- quence (F) desdites impulsions est comprise entre 15 et 55 kHz. 7. Procede selon l'une quelconque des revendications 1 a 6, caracteri se en ce que lesdites impulsions atteignent un potentiel d'ionisation (V) superieur en valeur absolue audit potentiel de reference de 2 a 15 kV. 8. Procede de production d'un substrat traite en surface par decharge electrique a barriere dielectrique dans une zone d'ionisation (24) dont [' atmosphere com po rte des elements actifs ion isables, la zone d' ion isation (24) etant delimitee par une electrode de reference (21) et une electrode haute ten sion (23), caracterise en ce qu'il comprend les etapes suivantes: - une etape d'entranement en defilement d'un substrat (10) dans la zone d'ionisation (24) entre lesdites electrodes (21, 23); et - une etape d'ionisation de ladite zone d'ionisation (24) au moyen d'un procede selon l'une quelconque des revendications 1 a 7. 9. Installation d'ionisation par decharge electrique a barriere dielectri que, dans une zone d' ion isation (24) dont ['atmosphere comporte des elements actifs ionisables, ladite installation comportant un generateur electrique (4) haute tension et une enceinte de traitement (2),1'enceinte comportant au moins deux electrodes (21, 23), a savoir une electrode de reference (21) reliee a un potentiel de reference et une electrode haute tension (23) reliee au generateur electrique, ces deux electrodes (21, 23) definissant entre elles la zone d'ionisation (24), et au moins l'une d'entre elles etant couverte d'un materiau dielectrique (22), ledit generateur (4) delivrant un signal d'excitation (SE) pour charger ['electrode haute tension (23) afi n d' ion iser lesd its elements actifs ion isables de la zone d' ion isation (24), caracterisee en ce que le generateur electrique (4) comporte des moyens de commande (44) adaptes pour que ledit signal d'excitation (SE) presente des impulsions entre un potentiel de reference et un potentiel d'ionisation (V), dont le front de montee () est de l'ordre du temps de propagation de ['avalanche elec tronique dans la zone d'ionisation (24). 10. Installation selon la revendication 9, caracterisee en ce que lesdits moyens de commande (44) comprennent un module (50) de correction de facteur de puissance adapte pour transformer un signal sinusodal (AC) en un signal continu (TS) de haute tension, le signal continu (TS) etant delivre a un module (52) de conversion delivrant en sortie un signal creneau (SCR) a un module de transformation et d'adaptation (54), lequel est relic en sortie a une charge (56) afin de delivrer un signal de commande (SC) a des moyens de generation de