Brevet FR2834045A1 — publié le 20030627

L'invention concerne un procédé et système de production d'une solution de produit chimique à partir de la phase gazeuse d'un produit chimique. Elle concerne également un système pour la production d'une solution chimique ultra pure à partir d'un produit chimique liquide stocké sous pression dans un ou plusieurs récipients de stockage. Dans de nombreux domaines de l'industrie, on utilise des solutions ultra pures d'un produit chimique pour nettoyer des produits en cours ou en fin de procédé de fabrication. Par exemple, dans l'industrie des semi-conducteurs, il est nécessaire d'ôter les traces de métal qui sont déposées sur les tranches de silicium, après certaines phases du procédé de fabrication de ces tranches de silicium. Ces étapes de nettoyage utilisent des produits chimiques en solution plus ou moins diluée mais toujours de grande pureté. Dans ce but, on peut utiliser des solutions ultra pures du produit chimique déjà préparées et conditionnées mais, ces solutions peuvent se modifier ou se polluer lors de leur stockage ou transport. On peut également fabriquer, directement sur le site d'utilisation, de telles solutions en faisant réagir un gaz du produit chimique concerné avec de l'eau désionisée. A cet effet, il a déjà été proposé d'utiliser un applicateur de gaz réagissant avec de l'eau désionisée, directement sur le site d'utilisation, sans utiliser de système de purification. Cependant, ce système présente l'inconvénient majeur de produire des solutions de pureté insuffisante ou alors de nécessiter l'utilisation de gaz ultra purs, ce qui génère des coûts de fonctionnement prohibitifs. Il a également été proposé d'utiliser un système comprenant un purificateur ionique. Bien que ce système amène une pureté satisfaisante, il ne convient que pour des consommations importantes car il est complexe et nécessite un investissement initial important. La présente invention a pour but de pallier les inconvénients des procédés et systèmes de l'art antérieur en proposant un procédé et un système de production de solutions ultra pures d'un produit chimique, à partir de ce produit chimique sous forme de gaz, qui permettent la production de ces solutions ultra pures directement sur le site d'utilisation sans nécessiter d'étapes de purification du gaz et sans nécessiter l'utilisation de gaz ultra purs. Ces buts sont atteints par l'invention qui propose un procédé de production d'une solution ultra pure à partir d'un produit chimique liquide stocké sous pression dans un ou plusieurs récipients de stockage, caractérisé en ce que le produit chimique liquide est un produit chimique de qualité industrielle et en ce que : a) on soutire le produit chimique dans la phase gazeuse située au-dessus du niveau du produit chimique liquide dans l'un au moins des récipients, en maintenant en permanence dans ce récipient de stockage une phase liquide et une phase gazeuse et en évitant la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique dans la phase gazeuse ; b) on transporte la phase gazeuse, par une ligne de transport, dans laquelle est disposé un détendeur permettant de contrôler la pression du gaz au-dessus de la phase liquide, jusqu'à au moins une cuve pour la dissolution de la phase gazeuse dans de l'eau désionisée, et c) on dissout la phase gazeuse dans l'eau désionisée jusqu'à la concentration voulue en produit chimique. Avantageusement on maintient en permanence une phase liquide et une phase gazeuse dans le récipient de stockage duquel la phase gazeuse est soutirée en maintenant en permanence une quantité minimale fixée de produit chimique dans ce récipient de stockage. Dans un mode de réalisation préféré, on utilise plusieurs récipients de stockage et on soutire le produit chimique dans la phase gazeuse dans un premier récipient de stockage en contrôlant en permanence la présence d'une quantité minimale fixée de produit chimique dans ce premier récipient et, lorsque ladite quantité minimale fixée est atteinte, on procède automatiquement à l'arrêt du soutirage dans le premier récipient et au soutirage dans un second récipient et ainsi de suite. De préférence ladite quantité minimale fixée est comprise entre 3 et 20 % en poids par rapport au poids initial de produit chimique dans le récipient de stockage duquel la phase gazeuse est soutirée. Le plus préférablement ladite quantité minimale fixée est de 10 % en poids par rapport au poids initial du produit chimique dans le récipient de stockage duquel la phase gazeuse est soutirée. Selon une première variante du procédé de l'invention, on évite la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique en limitant le débit de soutirage du produit chimique dans la phase gazeuse à la valeur maximale à laquelle de telles gouttelettes se forment. Selon une seconde variante du procédé de l'invention, on évite la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique en plaçant un déverseur en sortie du récipient de stockage duquel la phase gazeuse est soutirée. Dans ce cas, il est avantageux de placer une capacité tampon après le déverseur. Selon une troisième variante préférée du procédé de l'invention on évite la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique en plaçant le récipient de stockage dans un enceinte et on procède à une étape d'augmentation du taux de transfert de chaleur entre l'atmosphère ambiante et le récipient de stockage, sans augmenter la température du récipient de stockage et de son contenu au-dessus de la température de l'atmosphère ambiante. Avantageusement, l'étape d'augmentation du taux de transfert de chaleur comprend l'introduction forcée d'un gaz de transfert de chaleur à travers une ou plusieurs ouvertures prévues dans l'enceinte. De préférence, le gaz de transfert de chaleur est de l'air ou un gaz inerte. Dans un mode de réalisation préféré de la troisième variante du procédé de l'invention on dirige le flux de gaz de transfert sur le récipient de stockage, duquel la phase gazeuse est soutirée, à une position correspondant sensiblement à l'interface phase liquide-phase gazeuse. L'étape d'augmentation du taux de transfert de chaleur peut également comprendre le chauffage du récipient de stockage avec un ou plusieurs appareils de chauffage. Le procédé de l'invention dans ses différentes variantes de mise en oeuvre peut comprendre aussi le chauffage de la ou des lignes de distribution. De la même façon, il peut comprendre le chauffage du ou des moyens de décompression. Il peut encore comprendre le chauffage de la ligne de transport. Dans ces cas, ledit chauffage est effectué au moyen d'une bande chauffante électrique qui est mise en contact avec le ou les éléments concernés ou en envoyant un flux d'air ou de gaz inerte chauffé sur le ou les éléments concernés. Le procédé de l'invention peut de plus comprendre une étape d'évacuation du gaz vers un système de retraitement, de préférence pendant une durée d'environ 30 secondes à 2 minutes, avant tout envoi de gaz vers la cuve de dissolution. Le procédé de l'invention est plus particulièrement applicable pour la production de solutions ultra pures d'ammoniaque, d'acide fluorhydrique et d'acide chlorhydrique. L'invention propose également un système pour la production d'une solution chimique ultra pure à partir d'un produit chimique liquide stocké sous pression dans un ou plusieurs récipients de stockage, caractérisé en ce que le produit chimique liquide est un produit chimique de qualité industrielle et en ce qu'il comprend : - un ou plusieurs récipients de stockage du liquide chimique au-dessus duquel est présent une phase gazeuse dans l'un ou moins desdits récipients, - un ou plusieurs moyens de décompression du gaz connectés au récipient de stockage de gaz, dans la zone de ladite phase gazeuse, par une ou plusieurs lignes de distribution, - une ligne de transport de ce gaz issu de la phase gazeuse, connectée au moyen de décompression du gaz et reliant ce moyen à au moins une cuve de dissolution du gaz dans de l'eau désionisée, - des moyens pour maintenir en permanence une phase liquide et une phase gazeuse dans le récipient de stockage, et - des moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique. Avantageusement, les moyens pour maintenir en permanence une phase liquide et une phase gazeuse dans chaque récipient de stockage sont des moyens pour maintenir en permanence une quantité minimale fixée de produit chimique dans chaque récipient de stockage. De préférence, les moyens pour maintenir une phase liquide et une phase gazeuse dans chaque récipient de stockage sont des moyens de pesée de la quantité restante de produit chimique dans chaque récipient de stockage, optionnellement combinés à des moyens pour stopper le soutirage du gaz dans chaque récipient de stockage concerné lorsque la quantité restante de produit chimique atteint une quantité minimale comprise entre 3 et 20 % en poids, de préférence de 10 % en poids, par rapport au poids initial de produit chimique dans le récipient de stockage concerné. Lorsque le système comporte plusieurs récipients de stockage, le système de l'invention comprend de préférence des moyens pour basculer le soutirage du gaz dans un récipient de stockage contenant plus de cette quantité minimale de produit chimique, lorsque cette quantité minimale est atteinte dans le récipient de stockage duquel la phase gazeuse est soutirée. Selon une première variante du système de l'invention, les moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique comprennent un régulateur du débit de soutirage du gaz. Selon une seconde variante du système de l'invention, les moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique comprennent un déverseur placé en sortie du récipient de stockage. Dans ce cas, avantageusement le système de l'invention comprend de plus une capacité tampon placée après le déverseur. Selon une troisième variante du système de l'invention, les moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique comprennent une enceinte dans laquelle le (s) récipient (s) de stockage est (sont) placé (s), et des moyens pour augmenter le taux de transfert de chaleur entre l'atmosphère ambiante et le (s) récipient (s) de stockage, sans augmenter la température du (des) récipient (s) de stockage et de son (leur) contenu (s) au-dessus de la température de l'atmosphère ambiante. Avantageusement, les moyens pour augmenter le taux de transfert de chaleur comprennent des moyens pour l'introduction forcée d'un gaz de transfert de chaleur à travers une ou plusieurs ouvertures prévues dans l'enceinte. De préférence, le gaz de transfert de chaleur est de l'air ou un gaz inerte. Selon un mode de réalisation préféré, le système de l'invention comprend des moyens pour diriger le flux de gaz de transfert sur le récipient de stockage duquel le gaz est soutiré à une position correspondant sensiblement à l'interface phase liquide-phase gazeuse du produit chimique. Avantageusement, les moyens pour augmenter le taux de transfert de chaleur comprennent des appareils de chauffage pour chauffer le (s) récipient (s) de stockage. De plus, le système de l'invention peut comprendre des moyens de chauffage de la ou des lignes de distribution. Il peut également comprendre des moyens de chauffage du (des) moyen (s) de décompression. Il peut encore comprendre des moyens de chauffage de la ligne de distribution. Ces moyens de chauffage sont avantageusement une bande électrique chauffante mise en contact avec le ou les éléments concernés ou des moyens pour envoyer un flux d'air ou de gaz inerte chauffé sur les éléments concernés. Le système de l'invention peut de plus comprendre, un évent placé sur la ligne de distribution de gaz et en amont de la cuve de dissolution, pour évacuer le gaz et les éventuelles gouttelettes qu'il contient, avant tout envoi de gaz vers la cuve de dissolution. Dans ce cas, l'évent est lui-même relié à un système de retraitement de gaz. Le système de l'invention est particulièrement utile pour la fabrication de solutions ultra pures de [NH40H, H20], HF et HCI. L'utilisation du procédé pour la fabrication in situ de solutions ultra pures pour le nettoyage de tranches de silicium destinées à l'industrie des semi-conducteurs est également un objet de l'invention. De la même façon, l'utilisation du système pour la fabrication in situ de solutions ultra pures pour le nettoyage de tranches de silicium destinées à l'industrie des semi-conducteurs est un autre objet de l'invention. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, caractéristiques, détails et avantages de celle-ci apparaîtront plus clairement au cours de la description explicative qui va suivre faite en référence au dessin unique annexé qui représente schématiquement un mode de réalisation du système de l'invention. L'invention repose sur le principe de la production d'une solution ultra pure d'un produit chimique directement sur le site d'utilisation de façon quasi instantanée. Grâce à l'invention, on peut de plus obtenir une solution ayant toute concentration désirée de manière quasi instantanée, sans avoir à procéder à des changements d'appareillages. Cette concentration peut donc être changée par l'utilisateur des solutions ultra pures selon les besoins immédiats. En contraste avec les procédés de l'art antérieur de production de solutions ultra pures à partir d'un gaz, le procédé et le système de l'invention n'utilisent ni système pour la purification du gaz ou de la solution obtenue, ni gaz de très grande pureté. Au contraire, l'invention utilise un gaz liquéfié comprimé anhydre du produit chimique concerné de qualité industrielle. En effet lorsqu'on utilise un gaz comprimé liquéfié anhydre stocké dans un récipient de stockage approprié, la phase liquide est en équilibre avec sa phase vapeur. Ce qui signifie qu'il coexiste dans le récipient de stockage une phase vapeur et une phase liquide du produit chimique. On a par ailleurs constaté que les impuretés sont présentes majoritairement dans la phase liquide et non dans la phase gazeuse lorsque la quantité de phase liquide est suffisante pour contenir ces impuretés. 1 De plus, on a également constaté que la forme liquide des produits chimiques corrosifs, qui sont généralement employés dans des buts de nettoyage, sont plus corrosifs sous leur forme liquide que sous leur forme vapeur respective. Dès lors, le procédé de l'invention consiste à produire une solution ultra pure d'un produit chimique à partir du produit chimique sous forme de gaz liquéfié comprimé anhydre de qualité industrielle tout d'abord en soutirant le produit chimique uniquement dans la phase gazeuse. En effet, les impuretés étant piégées dans la phase liquide, la phase gazeuse soutirée a la pureté nécessaire. Il faut cependant veiller à maintenir en permanence la présence d'une phase liquide et d'une phase gazeuse pour éviter d'entraîner des impuretés dans la phase gazeuse lorsque le récipient se vide. Autrement dit, il faut maintenir en permanence dans le récipient de stockage suffisamment de phase liquide pour piéger toutes les impuretés. Il faut également éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique lors de l'expansion ou décompression du gaz. Ensuite, la phase gazeuse pure du produit chimique est transportée jusqu'à une cuve de dissolution pour y être dissoute dans de l'eau désionisée jusqu'à obtention de la concentration voulue en produit chimique. Plus précisément et en référence à la figure annexée, le produit chimique voulu est stocké sous forme de gaz liquéfié comprimé anhydre dans au moins un récipient de stockage 1,1', chacun connectés à un moyen de décompression 2,2', par une ligne de distribution 3, 3'. Le moyen de décompression 2, 2' est lui-même relié à la cuve de dissolution du gaz dans le l'eau désionisée 7 par une ligne de transport 4 en un matériau adapté à la nature du produit chimique concerné, tel que de l'inox 316 électropoli. La cuve de dissolution 7 est également reliée à une ligne 6 d'arrivée d'eau désionisée pour permettre la dissolution du gaz. A cet effet, elle comprend par exemple, un contacteur gaz-liquide à membrane. Un capteur de concentration et un système de régulation 11 peuvent être ajoutés dans le but de réguler automatiquement l'apport d'eau désionisée et de gaz en fonction de la concentration désirée de la solution à obtenir. Ce système de régulation 11 de la concentration de la solution permet d'arrêter l'ajout de gaz si la concentration est au-dessus de la consigne en agissant par exemple sur la vanne 9 d'arrivée de gaz et de rajouter de l'eau désionisée en agissant sur la vanne 10 sur la ligne 6 d'eau désionisée ou, au contraire si la concentration est inférieure à la consigne d'injecter uniquement le gaz. Le système de régulation 11 peut également être relié directement à la vanne 2, 2' de décompression du gaz plutôt que d'agir sur la vanne 9 placée sur la ligne de distribution 4. La cuve 7 peut être le bac de nettoyage des produits ou un récipient situé à proximité de ce bac de nettoyage. Dans ce cas, la cuve 7 alimente le bac de nettoyage en fonction de la demande. Pour maintenir en permanence une phase liquide et une phase gazeuse dans le récipient de stockage 1, 1', de nombreux moyens apparaîtront à l'homme de l'art. L'invention propose de maintenir en permanence une quantité minimale fixée de produits chimiques dans le récipient de stockage. Comme on l'a déjà dit, cela permet de soutirer non seulement en permanence dans la phase gazeuse uniquement mais également de maintenir les impuretés piégées dans la phase liquide. Il faut donc maintenir le niveau de phase liquide à un niveau minimal. Lorsque la quantité minimale fixée de produits chimiques dans le récipient de stockage 1, 1' est atteinte, le procédé de l'invention consiste de préférence à arrêter automatiquement, par exemple par le dispositif 12 le soutirage du gaz dans le récipient de stockage 1, 1'. Cela permet de plus, lorsqu'on utilise plusieurs récipients de stockage, de commencer à soutirer la phase gazeuse dans un premier récipient de stockage en contrôlant en permanence la quantité restante de produit chimique dans ce premier récipient de stockage et, lorsque cette quantité minimale est atteinte, d'arrêter, grâce par exemple à un système de régulation 12, le soutirage dans le premier récipient et de basculer le soutirage du gaz dans un second récipient et ainsi de suite. Par exemple, le système de régulation agit sur les moyens de décompression 2 et 2'ou sur des vannes d'arrêt (non représentées) prévues à cet effet. On peut de plus prévoir que lorsque le niveau de produit chimique atteint la quantité minimale fixée dans un récipient de stockage, un signal est envoyé à un opérateur pour qu'il procède au changement du récipient de stockage "vide". La quantité minimale fixée à laquelle il est fait référence dans ce qui précède est généralement comprise entre 3 et 20 % en poids par rapport au poids initial de produits chimiques dans le récipient de stockage. De préférence, afin d'assurer une sécurité maximale, on fixera cette quantité minimale à 10 % en poids par rapport au poids initial de produits chimiques dans le récipient de stockage. Par ailleurs, on a constaté que des gouttelettes de liquide du produit chimique se formaient lors d'une chute de pression ou de température dans le système de l'invention. En particulier, il peut se former des gouttelettes de liquide du produit chimique lors de l'expansion du gaz dans le moyen de décompression 2, 2' ainsi que dans la ligne de distribution 3,3'. Ces gouttelettes peuvent ensuite être entraînées dans la ligne de distribution 4. Il peut également se former des gouttelettes de produit chimique lors d'une chute de température ou de température dans ces mêmes organes pris isolément. La formation et l'entraînement de gouttelettes se produisent en particulier en cas de débit de soutirage élevé du gaz, ce qui provoque une chute de pression et/ou de température. Selon un premier mode de réalisation, l'invention propose, pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique, de limiter le débit de soutirage du produit chimique dans la phase gazeuse à la valeur maximale à laquelle de telles gouttelettes se forment. Cette valeur maximale peut être soit connue en soi soit déterminée expérimentalement, par exemple en plaçant un détecteur de particules en sortie du récipient de stockage 1, 1' et en déterminant le débit maximum utilisable pour éviter la formation de telles gouttelettes de liquide. Le débit maximum déterminé de soutirage du gaz est alors contrôlé par un système de limitation de débit tel que par exemple une vanne de laminage, un orifice calibré ou un régulateur de débit massique. Dans un second mode de réalisation un déverseur est placé en sortie du récipient de stockage 1,1'. Ce déverseur garantit une pression minimale dans le récipient de stockage et ainsi prévient une chute de pression et de température dans le récipient de stockage. Il garantit un soutirage en phase gazeuse sans formation, et donc sans entraînement, de gouttelettes de liquide. Dans ce cas, une capacité tampon peut être installée après le déverseur pour pallier un manque de gaz en cas de demande importante de la cuve 7. Cependant, dans les modes de réalisation qui précèdent, le débit de soutirage est malgré tout limité. On ne peut ainsi obtenir des débits de soutirage importants de la phase gazeuse. Un moyen d'obtenir un tel débit de soutirage important en phase gazeuse consiste à augmenter le taux de transfert de chaleur entre l'atmosphère ambiante, c'est-à-dire l'atmosphère ambiante autour du récipient de stockage 1,1', et le récipient de stockage 1,1', lui-même, sans augmenter la température du récipient de stockage 1, 1' et de son contenu au-dessus de la température de l'atmosphère ambiante. Un moyen proposé par l'invention dans ce but est de placer le (les) récipient (s) de stockage 1, l'dans une enceinte 5 et, d'introduire de façon forcée un gaz de transfert de chaleur à travers une ou plusieurs ouvertures prévues dans cette enceinte 5. Le gaz de transfert de chaleur peut être de l'air ou un gaz inerte, éventuellement chauffé. De préférence, le flux de gaz de transfert sera dirigé sur le récipient de stockage 1, 1' à une position correspondant sensiblement à l'interface phase liquide-phase gazeuse. On peut de plus, pour améliorer le taux de transfert de chaleur entre l'atmosphère ambiante et le (les) récipient (s) de stockage 1,1' prévoir le chauffage de ce (ces) récipient (s) de stockage avec un ou plusieurs appareils de chauffage tels que des appareils de chauffage à panneaux radiants électriques placés autour et/ou sous le (les) récipient (s) de stockage. Pour éviter toute recondensation en aval du (des) récipient (s) de stockage 1, 1', c'est-à-dire dans la (les) ligne (s) de distribution 3, 3', le (les) moyen (s) de décompression 2, 2' et la ligne de distribution 4, on peut également prévoir le chauffage de ces différents éléments, par exemple en mettant en contact ces éléments avec une bande chauffante électrique, ou en envoyant de l'air ou un gaz inerte chauffé sur ces éléments. On peut également, en particulier en cas de débit de soutirage élevé, c'est-à-dire en particulier lorsque la demande en gaz de la cuve de dissolution 7 est importante, évacuer, avant tout envoi de gaz à purifier ou purifié à la cuve de dissolution 7, le gaz, par exemple par un évent (non représenté) vers un système de retraitement (non représenté) par exemple par usage d'un générateur de vide (non représenté). De cette façon, les gouttelettes de gaz éventuellement présentes sont évacuées. Cette étape d'évacuation du gaz et des éventuelles gouttelettes formées est effectuée de préférence pendant une durée d'environ 30 secondes à 2 minutes. L'invention propose également un système pour la production d'une solution chimique ultra pure d'un produit chimique sous forme de gaz liquéfié comprimé anhydre de qualité industrielle qui comme montré dans la figure, comprend un ou plusieurs récipients de stockage 1, 1' connectés à un ou plusieurs moyens de décompression 2, 2' par une ou plusieurs lignes de distribution 3,3'. Le gaz est alors transporté par la ligne de transport 4, qui est connectée aux moyens de décompression 2,2', vers au moins une cuve 7 de dissolution du gaz dans de l'eau désionisée. Le système de l'invention comprend de plus des moyens pour maintenir en permanence une phase liquide et une phase gazeuse dans le récipient de stockage 1, 1' tels que des moyens pour maintenir en permanence une quantité minimale fixée de produit chimique dans le récipient 1,1'. Des moyens particulièrement préférés dans ce but sont des moyens 8, 8' de pesée placés sous chacun des récipients de stockage 1, 1'. Plus précisément, chaque récipient de stockage étant taré, on connaît la quantité en poids initial de produit contenu dans le récipient de stockage concerné et dans lequel on va soutirer le gaz. Le moyen de pesée 8, 8' permettra de contrôler la quantité restante de produit chimique dans le récipient de stockage. Lorsque la quantité restante atteindra une quantité minimale de préférence comprise entre 3 et 20 %, plus préférablement de 10 % en poids, par rapport au poids initial de produit chimique contenu dans le récipient de stockage, le récipient de stockage, le soutirage du gaz sera stoppé dans le récipient concerné. De préférence, le système de l'invention comprend un dispositif de contrôle 12 qui agira automatiquement sur le (s) moyen (s) de décompression 2, 2' du récipient de stockage ou sur une vanne prévue à cet effet, et basculera le soutirage du gaz dans un récipient de stockage plein. Le système de l'invention peut comprendre autant de récipients de stockage que désiré, le principe restant que lorsque la quantité minimale de produit restante fixée est atteinte dans le récipient dans lequel le gaz est soutiré, il se produit un basculement automatique vers le récipient de stockage"plein"suivant. Pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes, le système de l'invention peut comprendre un déverseur placé en sortie du ou des récipients de stockage 1,1', éventuellement suivi par une capacité tampon. Les rôles du déverseur et de la capacité tampon ont déjà été expliqués précédemment. Le système de l'invention peut également comprendre un moyen de limitation du débit de soutirage du gaz dans chaque récipient de stockage 1, 1'tel qu'un débit-mètre massique, une vanne de laminage ou un orifice calibré. De préférence, le système de l'invention comprend une enceinte 5 dans laquelle le (les) récipient (s) de stockage 1, 1' est (sont) placé (s), et des moyens pour augmenter le taux de transfert de chaleur entre l'atmosphère ambiante et le (les) récipient (s) de stockage 1, 1', sans augmenter la température du (des) récipient (s) de stockage 1, 1' et son (leurs) contenu (s) au-dessus de l'atmosphère ambiante. De préférence, de tels moyens sont des moyens pour l'introduction forcée d'un gaz de transfert de chaleur à travers une ou plusieurs ouvertures prévues dans l'enceinte. De tels moyens peuvent être par exemple des ventilateurs fixés aux parois de l'enceinte 5. Le gaz de transfert de chaleur est de préférence de l'air ou un gaz inerte, éventuellement chauffé légèrement au-dessus de la température ambiante. Pour une meilleure efficacité, de préférence, le flux de gaz de transfert est dirigé sur le récipient de stockage 1, 1' à une position correspondant à l'interface phase liquide-phase gazeuse du produit chimique dans le récipient de stockage, là encore grâce à des ventilateurs et des buses, par exemple. Pour augmenter le taux de transfert de chaleur, le système de l'invention peut encore comprendre des appareils de chauffage pour chauffer le (les) récipient (s) de stockage 1, 1' tels que des appareils électriques à panneau radiant placés autour du (des) récipient (s) de stockage et également sous ce (ces) récipient (s) de stockage. Pour éviter la recondensation de gouttelettes de liquide lors de la décompression du gaz dans les moyens 2, 2' ou dans les lignes de distribution 3, 3' ou lors du transport du gaz dans la ligne de distribution 4, ces différents éléments peuvent également être munis de moyens de chauffage, tels qu'une bande électrique chauffante mise en contact avec ces éléments ou des moyens pour envoyer un flux d'air ou de gaz inerte chauffé sur ces éléments. Avantageusement, lorsque la demande en gaz de la cuve de dissolution 7 est importante, avant tout envoi du gaz à purifier ou purifié vers ce système de dissolution 7, on évacuera le gaz par un évent (non représenté) prévu à cet effet en amont du dispositif de dissolution 7, pendant une durée de préférence d'environ 30 secondes à 2 minutes, pour évacuer les gouttelettes éventuellement présentes. Le gaz et les gouttelettes ainsi évacués sont dirigés, à la sortie de l'évent vers un système de retraitement, par exemple au moyen d'un générateur de vide (non représentés). Quant à la cuve de dissolution 7, elle peut être tout système de dissolution connu de l'homme de l'art tel qu'un système de dissolution comprenant une colonne d'absorption, en tête de laquelle arrive la phase gazeuse purifiée, et une capacité tampon placée sous la colonne d'absorption et alimentée en eau désionisée. Bien entendu, le système de l'invention comprend également un tableau de distribution de gaz avec un système de vannes, incluant éventuellement des vannes pour purger le circuit de circulation de gaz. Le procédé et le système de l'invention trouvent plus particulièrement utilisation pour la fabrication in situ de solutions ultra pures pour le nettoyage de tranches de silicium destinées en particulier à l'industrie des semi-conducteurs. Dans ce cas, le produit chimique à obtenir en solution ultra pure est généralement de l'ammoniaque (NH40H), de l'acide fluorhydrique (HF) ou de l'acide chlorhydrique (HCI). Cependant, l'invention n'est nullement limitée à l'industrie des semiconducteurs ni aux moyens particuliers cités dans la présente description qui n'ont été donnés qu'à titre d'exemples. En effet, L'invention comprend tous les moyens qui apparaîtront clairement à l'homme de l'art comme appropriés, pour obtenir les résultats voulus tels que décrits ici. REVENDICATIONS 1. Procédé de production d'une solution ultra pure à partir d'un produit chimique liquide stocké sous pression dans un ou plusieurs récipients de stockage, caractérisé en ce que le produit chimique liquide est un produit chimique de qualité industrielle et en ce que : d) on soutire le produit chimique dans la phase gazeuse située au-dessus du niveau du produit chimique liquide dans l'un au moins des récipients, en maintenant en permanence dans ce récipient de stockage (1,1') une phase liquide et une phase gazeuse et en évitant la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique dans la phase gazeuse ; e) on transporte la phase gazeuse, par une ligne de transport (4), dans laquelle est disposé un détendeur permettant de contrôler la pression du gaz au-dessus de la phase liquide, jusqu'à au moins une cuve (7) pour la dissolution de la phase gazeuse dans de l'eau désionisée, et f) on dissout la phase gazeuse dans l'eau désionisée jusqu'à la concentration voulue en produit chimique. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on maintient en permanence une phase liquide et une phase gazeuse dans le récipient de stockage (1,1') en maintenant en permanence une quantité minimale fixée de produit chimique dans le récipient de stockage (1,1'). 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce qu'on utilise plusieurs récipients de stockage (1,1'), en ce qu'on soutire le produit chimique dans la phase gazeuse dans un premier récipient de stockage en contrôlant en permanence la présence d'une quantité minimale fixée de produit chimique dans ce premier récipient et en ce que lorsque ladite quantité minimale fixée est atteinte, on procède à l'arrêt du soutirage dans le premier récipient et au soutirage dans un second récipient et ainsi de suite. 4. Procédé selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que ladite quantité minimale fixée est comprise entre 3 et 20 % en poids par rapport au poids initial de produit chimique dans le récipient de stockage. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que ladite quantité minimale fixée est de 10 % en poids par rapport au poids initial du produit chimique dans le récipient de stockage. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'on évite la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique en limitant le débit de soutirage du produit chimique dans la phase gazeuse à la valeur maximale à laquelle de telles gouttelettes se forment. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'on évite la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique en plaçant un déverseur en sortie du récipient de stockage (1, 1'). 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'on place de plus une capacité tampon après le déverseur. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'on évite la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique en plaçant le récipient de stockage (1,1') dans un enceinte (5) et en ce qu'il comprend une étape d'augmentation du taux de transfert de chaleur entre l'atmosphère ambiante et le récipient de stockage (1,1') sans augmenter la température du récipient de stockage (1,1') et de son contenu au-dessus de la température de l'atmosphère ambiante. 10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'étape d'augmentation du taux de transfert de chaleur comprend l'introduction forcée d'un gaz de transfert de chaleur à travers une ou plusieurs ouvertures prévues dans l'enceinte (5). 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que le gaz de transfert de chaleur est de l'air ou un gaz inerte. 12. Procédé selon la revendication 10 ou 11, caractérisé en ce qu'on dirige le flux de gaz de transfert sur le récipient de stockage (1,1') à une position correspondant sensiblement à l'interface phase liquide-phase gazeuse. 13. Procédé selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, caractérisé en ce que l'étape d'augmentation du taux de transfert de chaleur comprend le chauffage du récipient de stockage (1,1') avec un ou plusieurs appareils de chauffage. 14. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend le chauffage de la ou des lignes de distribution (3,3'). 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend le chauffage du ou des moyens de décompression (2,2'). 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend le chauffage de la ligne de transport (4). 17. Procédé selon l'une quelconque des revendications 14 à 16, caractérisé en ce que ledit chauffage est effectué au moyen d'une bande chauffante électrique. 18. Procédé selon l'une quelconque des revendications 14 à 16, caractérisé en ce que ledit chauffage est effectué en envoyant un flux d'air ou de gaz inerte chauffé. 19. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en qu'il comprend de plus, avant tout envoi de gaz vers la cuve de dissolution (7), une étape consistant à évacuer le gaz vers un système de retraitement, de préférence pendant une durée d'environ 30 secondes à 2 minutes. 20. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit produit chimique est sélectionné dans le groupe consistant en NH40H, HF et HCI. 21. Système pour la production d'une solution chimique ultra pure à partir d'un produit chimique liquide stocké sous pression dans un ou plusieurs récipients de stockage, caractérisé en ce que le produit chimique liquide est un produit chimique de qualité industrielle et en ce qu'il comprend : - un ou plusieurs récipients de stockage du liquide chimique au-dessus duquel est présent une phase gazeuse dans l'un ou moins desdits récipients (1, 1'), - un ou plusieurs moyens (2,2') de décompression du gaz connectés au récipient de stockage de gaz (1, 1'), dans la zone de ladite phase gazeuse, par une ou plusieurs lignes de distribution (3,3'), - une ligne de transport (4) de ce gaz issu de la phase gazeuse, connectée au moyen (2) de décompression du gaz et reliant ce moyen (2) à au moins une cuve (7) de dissolution du gaz dans de l'eau désionisée, - des moyens pour maintenir en permanence une phase liquide et une phase gazeuse dans le récipient de stockage (1,1'), et - des moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique. 22. Système selon la revendication 21, caractérisé en ce que les moyens pour maintenir en permanence une phase liquide et une phase gazeuse dans le récipient de stockage (1,1') sont des moyens pour maintenir en permanence une quantité minimale fixée de produit chimique dans le récipient de stockage (1, 1'). 23. Système selon la revendication 21 ou 22, caractérisé en ce que les moyens pour maintenir une phase liquide et une phase gazeuse dans le récipient de stockage (1, 1') sont : - des moyens (8, 8') de pesée de la quantité restante de produit chimique dans le récipient de stockage (1, 1'), - des moyens pour stopper le soutirage du gaz dans le récipient de stockage (1,1') lorsque la quantité restante de produit chimique atteint une quantité minimale comprise entre 3 et 20 % en poids, de préférence de 10 % en poids, par rapport au poids initial de produit chimique dans le récipient de stockage (1,1') et - lorsque le système comporte plusieurs récipients de stockage, optionnellement des moyens pour permettre alors le soutirage du gaz dans le récipient de stockage (1,1') contenant plus de cette quantité minimale de produit chimique. 24. Système selon l'une quelconque des revendications 21 à 23, caractérisé en ce que les moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique comprennent un régulateur du débit de soutirage du gaz. 25. Système selon l'une quelconque des revendications 21 à 23, caractérisé en ce que les moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique comprennent un déverseur placé en sortie du récipient de stockage (1, 1'). 26. Système selon la revendication 25, caractérisé en ce que les moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique comprennent de plus une capacité tampon placée après le déverseur. 27. Système selon l'une quelconque des revendications 21 à 23, caractérisé en ce que les moyens pour éviter la formation et/ou l'entraînement de gouttelettes de liquide du produit chimique comprennent : - une enceinte (5) dans laquelle le récipient de stockage (1,1') est placé, et - des moyens pour augmenter le taux de transfert de chaleur entre l'atmosphère ambiante et le récipient de stockage (1,1'), sans augmenter la température du récipient de stockage (1,1') et de son contenu audessus de la température de l'atmosphère ambiante. 28. Système selon la revendication 27, caractérisé en ce que les moyens pour augmenter le taux de transfert de chaleur comprennent des moyens pour l'introduction forcée d'un gaz de transfert de chaleur à travers une ou plusieurs ouvertures prévues dans l'enceinte (5). 29. Système selon la revendication 28, caractérisé en ce que le gaz de transfert de chaleur est de l'air ou un gaz inerte. 30. Système selon la revendication 28 ou 29, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour diriger le flux de gaz de transfert sur le récipient de stockage (1,1') à une position correspondant sensiblement à l'interface phase liquide-phase gazeuse du produit chimique. 31. Système selon l'une quelconque des revendications 27 à 30, caractérisé en ce que les moyens pour augmenter le taux de transfert de chaleur comprennent des appareils de chauffage pour chauffer le récipient de stockage (1, 1'). 32. Système selon l'une quelconque des revendications 21 à 31, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de chauffage de la ou des lignes de distribution (3, 3'). 33. Système selon l'une quelconque des revendications 21 à 32, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de chauffage du ou des moyens de décompression (2, 2'). 34. Système selon l'une quelconque des revendications 21 à 33, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens de chauffage de la ligne de distribution (4). 35. Système selon l'une quelconque des revendications 32 à 34, caractérisé en ce que lesdits moyens de chauffage sont une bande électrique chauffante. 36. Système selon l'une quelconque des revendications 32 à 34, caractérisé en ce que lesdits moyens de chauffage sont des moyens pour envoyer un flux d'air ou de gaz inerte chauffé. 37. Système selon l'une quelconque des revendications 21 à 36, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un évent situé sur la ligne de dissolution (7), cet évent étant relié à un système de retraitement de gaz. 38. Système selon l'une quelconque des revendications 21 à 37, caractérisé en ce que ledit produit chimique est sélectionné dans le groupe constant en NH40H, HF et HCI. 39. Utilisation du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 20 pour la fabrication in situ de solutions ultra pures pour le nettoyage de tranches de silicium destinées à l'industrie des semiconducteurs. 40. Utilisation du système selon l'une quelconque des revendications 21 à 38, pour la fabrication in situ de solutions ultra pures pour le nettoyage de tranches de silicium destinées à l'industrie des semiconducteurs.