Brevet FR2835817A1 — publié le 20030815

du film 21 séparant le volume du réservoir 23 du logement 22. - 1 L'invention se rapporte à un récipient de sécurité, en particulier pour le transport et pour le stockage et la distribution de substances organométalliques - Les substances organométalliques qui servent par exemple pour doter les semi-conducteurs, sont hautement réactives et souvent agressives et également toxiques. En plus, elles sont sensibles à une contamination et peuvent alors devenir rapidement inutilisables. Il est donc nécessaire pour le transport, le stockage et l'utilisation, de confiner de telles substances dans des récipients appropriés de façon à ce qu'elles ne puissent pas involontairement s'en échapper et inversement qu'elles ne subissent pas de contamination. Le matériau de tels récipients consiste usuellement en un alliage d'acier de haute qualité, et l'intérieur du récipient est usiné en surface de sorte qu'il n'y ait pas d'échange réactif avec le milieu stocké. Il est connu de traiter les surfaces venant en contact avec les substances par polissage électrique. Lors de l'utilisation, une teile substance est libérée du récipient soit par production d'une pression de gaz au moyen d'une conduite raccordée, la pression chassant la substance par une deuxième partie de conduite, soit par introduction d'un gaz réactif dans le récipient par une partie de conduite et un tube plongeur, le composé gazeux sortant alors par l'autre partie de conduite et pouvant être ensuite utilisé. Pour le fonctionnement décrit, des vannes correspondantes doivent étre actionnées. Il est connu de placer des vannes dans les parties de conduite. Les parties de conduite, à savoir les conduites de liaison entre le récipient et les vannes, constituent un risque car elles peuvent être déformées par des fausses manipulations ou les conditions de transport. S'il des fissures se forment, il n'y a plus de possibilité de fermeture, et le contenu toxique s'échappe dans l'atmosphère. Le but de l'invention est de mettre à disposition un récipient de sécurité, en particulier pour le transport, le stockage et la distribution de substances organométalliques, dans lequel le risque d'échappement involontaire de la substance contenue est considérablement diminué. Cet objectif est atteint par un récipient de sécurité, en particulier pour le transport et pour le stockage et la distribution de substances organométalliques, qui est fermé de manière étanche sur le côté supérieur par un couvercle, ce couvercle comprenant une ouverture de remplissage pouvant étre fermée et deux parties de conduite pouvant étre connectées au moyen d'un arrangement de vannes de façon sélective avec l'intérieur du récipient, remarquable en ce qu'un bloc de vannes peut être fixé au moyen d'une connexion à vis au couvercle de telle façon que deux ouvertures du bloc de vannes sont alignées sur des ouvertures du couvercle ces ouvertures étant en connexion étanche les unes avec les autres, et que le bloc de - 2 - vannes comporte deux éléments de vanne pouvant être actionnés depuis l'extérieur par un dispositif d'actionnement, chacun raccordant sélectivement avec une ouverture correspondante du couvercle une des parties de conduite montées de manière étanche sur le bloc de vannes. Ce récipient peut en outre comporter les caractéristiques avantageuses suivantes: - une ouverture du couvercle est raccordée à un tube plongeur à l'intérieur du récipient. - le bloc de vannes contient une vanne à trois voies et un troisième dispositif d'actionnement pour un raccordement direct sélectif des parties de conduite les unes avec les autres par un canal situé dans le bloc de vannes. - le couvercle et le bloc de vannes sont pressés par leur surface l'un contre l'autre dans la région des ouvertures du couvercle et du bloc de vannes et entre les surfaces sont disposés des joints annulaires d'un matériau dur, présentant des bords d'étanchéité et s'enfonçant dans les surfaces. - le couvercle comprend un épaulement formant un dogagement sur lequel le bloc de vannes est disposé, ies ouvertures du couvercle étant disposées dans la surface verticale de l'épaulement et le bloc de vannes étant serré contre la surface verticale à l'aide d'au moins une vis de serrage qui passe transversalement à l'axe du récipient par la section pleine du couvercle. - le couvercle est circulaire et la face verticale forme une corde de forme circulaire, le bloc de vannes étant partiellement en forme de cylindre avec un méplat parallèle à l'axe qui est serré contre la surface verticale du couvercle. - I'ouverture de remplissage est prévue au centre du couvercle, cette ouverture pouvant être fermée de manière étanche par une fermeture à vis. Le récipient de sécurité selon l'invention comporte un bloc de vannes pouvant être relié de manière rigide au couvercle par une connexion à vis. Le couvercle comporte deux ouvertures qui sont alignées sur des ouvertures du bloc de vannes et peuvent être raccordées l'une à l'autre de façon étanche. Deux éléments de vanne pouvant être actionnés par un dispositif d'actionnement correspondant depuis l'extérieur, sont disposés dans le bloc de vannes, et relient chacun sélectivement une partie de conduite, fixée de façon étanche sur le bloc de vannes, à une ouverture de couvercle associse. L'actionnement peut être fait à la main. Mais on peut également envisager un actionnement par un élément mécanique pouvant être commandé, comme par exemple un aimant, un moteur ou similaire, un tel actionnement pouvant être fait de façon automatique. - 3 Sur le récipient de sécurité selon l'invention, les vannes sont disposées de man ière protégée dans le bloc de van nes et ne peuvent donc pas être endommagées lors de la manutention ni pendant le transport. Il est donc possible à tout moment de fermer le récipient de façon étanche de sorte que la substance ne peut pas s'échapper involontairement. Il ne peut pas être exclu dans le récipient selon l'invention que des parties de conduite à l'extérieur soient déformées et fissurses, mais ceci peut être constaté lors de l'utilisation sans autre, de sorte que les vannes soit restent fermées soit puissent être fermées pour éviter un échappement subséquent de la substance. Le récipient de sécurité selon l'invention permet un nettoyage du corps de récipient d'une part et du bloc de vannes d'autre part séparément de façon approprice. Une réalisation de l'invention prévoit que le bloc de vannes peut également être rincé si une troisième vanne est prévue avec un troisième dispositif d'actionnement, permettant une liaison directe des parties de conduite par un canal pratiqué dans le bloc de vannes pour l'écoulement de liquide de rinçage. On peut prévoir des chemins extrêmement courts et par conséquent un volume mort faible résultant en une quantité faible de moyen de rinçage. Un assemblage étanche est nécessaire entre le bloc de vannes et ses ouvertures et le couvercle du récipient. A cette fin, une réalisation de l'invention prévoit que le couvercle et le bloc de vannes sont pressés l'un contre l'autre avec leurs surfaces dans la région des ouvertures du couvercle et du bloc de vannes, et qu'il y a entre les surfaces des joints annulaires d'un matériau dur présentant des bords d'étanchéité et s'enfonçant dans les surfaces. De tels joints annulaires en céramique ou en métal dur sont connus en soi et sont utilisés pour des exigences d'étanchéité extrêmes. On peut imaginer de placer le bloc de vannes sur le couvercle depuis d'en haut. Cependant, une réalisation avantageuse prévoit que le couvercle comprend un épaulement formant un dégagement et sur lequel le bloc de vannes est placé, les ouvertures du couvercle étant disposées dans la face verticale de l'épaulement, et le bloc de vannes étant tendu contre la face verticale au moyen d'au moins une vis de blocage qui passe transversalement à l'axe du récipient par la section pleine du couvercle. La vis de blocage permet d'obtenir une pression d'étanchéité désirée. En plus, la vis permet de dégager le bloc de vannes du couvercle du récipient de façon simple. Une mise en _uvre de l'invention est expliquée plus en détail à l'aide des dessins dans ce qui suit. - 4 Lafigure 1 montre en coupe partielle une vue de côté d'un récipient de sécurité selon l'invention sans représenter la commande et le montage des éléments de vanne. La figure 2 montre une vue de dessus du dispositif selon la fig.1. La figure 3 montre une vue de dessus similaire à la fig. 2 mais avec les dispositifs de commande et de fixation des éléments de vanne. Dans la figure 1 est désigné par la référence 10 un récipient de sécurité dans son ensemble. Il comprend un corps de récipient 12 comprenant une section de fond 14 sous forme de pot, une section centrale 16 sous forme de tube et un couvercle 18. Les parties décrites sont formées à partir d'un alliage d'acier résistant à la corrosion et de haute qualité et sont assemblées de manière étanche par un procédé de soudure approprié. La section de fond 14 comporte un anneau de stabilité 20 également soudé. Le couvercle 18 relativement épais comporte un épaulement 22 ayant une face horizontale 24 et une face droite ou verticale 26. Le corps de récipient 12 est cylindrique, respectivement de section circulaire, et le couvercle 18 est également cylindrique respectivement circulaire, de diamètre approximativement égal à celui du corps de récipient 12. La face droite ou verticale 26 constitue une corde de la forme circulaire représentée (voir les fig. 2 et 3). Une ouverture de remplissage, non représentée en détail, est pratiquée au centre de la partie pleine du couvercle 18 et peut être fermée hermétiquement à l'aide d'une fermeture à vis 28. Un bloc de vannes 30 partiellement en forme de cylindre est placé sur la surface 24 et est pressé à l'aide de deux vis de serrage 32, 34 qui passent par des ouvertures transversales dans la partie pleine du couvercle 18, contre la face verticale 26 et à l'aide d'un méplat 36. Les surfaces finement usinées du méplat 36 et de la face verticale 26 sont complètement en contact l'une contre l'autre sous une pression superficielle correspondante. Des ouvertures latérales du bloc de vannes 30 qui ne sont pas représentées ici sont alors alignces sur les ouvertures 38, 40 dans la face verticale 26 du couvercle 18. Les ouvertures du couvercle 38, 40 mènent dans I'intérieur du corps de récipient 12,1'ouverture 40 étant relise à un tube plongeur 42 qui est passé dans le corps du récipient 12 vers le bas dans un creux 44 du fond 14 bombé vers le bas. Les ouvertures 38, 40 du couvercle 18 et celles du bloc de vannes 30, alignées les unes sur les autres, sont entourées par des joints annulaires 48, 50 d'un matériau très dur qui s'enfonce dans les surfaces décrites pour obtenir une étanchéité particulièrement bonne qui est en plus insensible aux substances agressives. - 5 - On voit dans les figures 1 à 3 également deux parties de conduite à tube 52, 54 qui sont soudées à leur extrémité inférieure avec le coté supérieur du bloc de vannes 30 et comportent des raccords 56, 58 à l'extrémité supérieure pour un raccordement avec un dispositif, une installation ou similaire qui doivent être alimentés par le contenu du récipient 10. Des attaches en forme de douille 60, 62 et 64 (figure 3) sont insérées au dessus d'ouvertures latérales correspondantes, non représentées dans les figures, du bloc de vannes 30 dans lesquelles des éléments de vanne (non représentés) sont retenus et guidés et qui sont actionnés par des roues d'actionnement correspondantes 66, 68 et 70, respectivement. En actionnant les roues d'actionnement 66, 70, les parties de tube de conduite 52, 54 peuvent être raccordées sélectivement avec l'intérieur du récipient. Par l'actionnement de la roue d'actionnement 68, il est possible d'obtenir un raccordement direct entre les parties de tube de conduite 52, 54 par un canal interne dans le bloc de vannes 30. Les modes de fonctionnement suivants sont possibles avec le récipient de sécurité représenté: Lorsqu'un gaz sous pression est introduit dans la partie de conduite 52, les vannes dans le bloc de vannes 30 étant ouverts, la substance dans le récipient 10, par exemple une substance organométallique, s'écoule par la partie de conduite 54 vers l'extérieur et peut être amenée à l'endroit correspondant. Une autre possibilité est d'introduire un gaz réactif, par exemple de l'hydrogène, par la conduite 54 et le tube plongeur 42 à l'intérieur du récipient. Le gaz formé peut être amené vers l'extérieur par la partie de conduite 52. Dans ce dernier mode de fonctionnement, le récipient de sécurité peut également qualifié de barboteur. Finalement, on peut amener un moyen de rinçage par les parties de conduite 52, 54 et les canaux à l'intérieur du bloc de vannes 30, les vannes étant ouvertes et la vanne de rinçage étant actionnse par la roue d'actionnement 68, afin de procéder à un nettoyage. Pour le nettoyage du récipient, le bloc de vannes 30 est enlevé ce qui se fait facilement par dégagement des vis de serrage 32, 34. - 6 - REVENDICATIONS 1. Récipient de sécurité, en particulier pour le transport et pour le stockage et la distribution de substances organométalliques, qui est fermé de manière étanche sur le côté supérieur par un couvercle, ce couvercle comprenant une ouverture de remplissage pouvant étre fermée et deux parties de conduite pouvant être connectées au moyen d'un arrangement de vannes de façon sélective avec l'intérieur du récipient, caractérisé en ce qu'un bloc de vannes (30) peut être fixé au moyen d'une connexion à vis (32, 34) au couvercle (18) de telle façon que deux ouvertures du bloc de vannes sont alignées sur des ouvertures du couvercle (38, 40), ces ouvertures étant en connexion étanche les unes avec les autres, et que le bloc de vannes (30) comporte deux éléments de vanne pouvant être actionnés depuis l'extérieur par un dispositif d'actionnement (66, 70), chacun raccordant sélectivement avec une ouverture correspondante (38, 40) du couvercle une des parties de conduite (52, 54) montées de manière étanche sur le bloc de vannes (30). 2. Récipient de sécurité selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une ouverture du couvercle (40) est raccordée à un tube plongeur (42) à l'intérieur du récipient (10). 3. Récipient de sécurité selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le bloc de vannes (30) contient une vanne à trois voies et un troisième dispositif d'actionnement (68) pour un raccordement direct sélectif des parties de conduite (52, 54) les unes avec les autres par un canal situé dans le bloc de vannes (30). 4. Récipient de sécurité selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le couvercle (18) et le bloc de vannes (30) sont pressés par leur surface l'un contre l'autre dans la région des ouvertures du couvercle et du bloc de vannes et que entre les surfaces sont disposés des joints annulaires (68, 50) d'un matériau dur, présentant des bords d'étanchéité et s'enfonçant dans les surfaces. 5. Récipient de sécurité selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le couvercle (18) comprend un épaulement (22) formant un dogagement sur lequel le bloc de vannes (30) est disposé, les ouvertures du couvercle (38, 40) étant disposées dans la surface verticale (26) de l'épaulement (22) et le bloc de vannes (30) étant serré contre la surface verticale (26) à l'aide d'au moins une vis de serrage (32, 34) qui passe transversalement à l'axe du récipient (10) par la section pleine du couvercle (18). 6. Récipient de sécurité selon la revendication 5, caractérisé en ce que le couvercle (18) est circulaire et que la face verticale (26) forme une corde de forme circulaire, le bloc de vannes (30) étant partiellement en forme de cylindre avec un - 7 mAplt parallels I'axe qul est serf contra la surface verticals (26) du couvercle (48) 7. RAclplen1 de sAcuMtd scion rune quelconque des revendicadons 1 6, cars en ce que l'ouveure de Usage est prAvue au cents du couverde Q8), cede ouveum pount Ate Arms de mange Atanche par une rmeture As