Brevet FR2826169A1 — publié le 20021220

(3, 6, 7, 7a) et acoustique (5, 8), Solon la revendication 12. MEMOIRE MOS À LECTURE SEULEMENT La présente invention concerne la réalisation sous forme intagrée de mémoires. Plus particulièrement, la présente invention concerne l'intégration de mémoires à lecture seulement (mémoires mortes ou ROM). De telles mémoires sont destinées au stockage de données ou fonctions destinées à être touj ours disponibles et non modifiables. Lors de la conception d'un circuit intégré comportant une telle mémoire morte, on réalise au moins un circuit mémoire prototype destiné notamment à tester que les données que l'on prévoit de stocker dans la mémoire permettent de remplir des fonctions souhaitées. Afin de réduire le nombre de protoUypes réalisés, on a proposé de réaliser la mémoire prototype sous forme d'un réseau programmable. I1 est ainsi possible de modifier le nombre et l'agencement de cellules programmées ou non du réscau mémoire lors de vérifications successives. Pour constituer la mémoire prototype programmable, on peut utiliser des cellules programmables électriquement et effa cables par exposition à des rayons ultraviolets. La figure 1A illustre le schéma électrique équivalent d'un mode de réalisation d'une telle cellule 1. La cellule 1 comprend, entre une ligne de sélection SL et une ligne de bits BL, la connexion série d'un élément mémoire et d'un élément de sélection. L'élément mémoire est un transistor MOS à canal P 2 dont la grille 3 est non connectée. L'élément de sélection est un transistor MOS 4. A titre d'exemple non limitatif, on considérera dans la description ci-après que le transistor de sélection 4 est à canal N. Toutefois, il pourrait également être à canal P. La grille 5 du transistor 4 est connoctée à une ligne de lecture RL. La figure 1B illustre un mode de réalisation sous forme intégrce de la cellule de la figure 1A. Le transistor mémoire 2 est réalisé dans une première zone active 6 d'un substrat de silicium. Une zone de canal du transistor 2, définie par la grille isolée 3 non connactée, sépare, dans la zone active 6, la source 7 et le drain du transistor 2. La ligne de sélection SL est en contact avec la source 7. Le drain 8 est solidaire d'une extrémité d'une liaison conductrice 9. L'autre extrémité de la liaison conductrice 9 est en contact avec la source 10 du transistor de sélection 4. Le transistor de sélection 4 est formé dans une deuxième zone active 11 du même substrat que la première zone active 6. La source 10 du transistor 4 est séparée du drain 12 par une zone de canal définie par la grille isolée 5, formée sur la zone 11. Le drain 12 du transistor de sélection 4 est en contact avec la ligne de bit BL. Dans la réalisation d'un réseau complet, les lignes de sélection SL et de lecture RL sont communes aux cellules d'une même rangée, alors que la ligne de bit BL est commune aux cellules d'une même colonne. Le fonctionnement dun résaau programmable constitué de cellules identiques à la cellule 1 de la figure 1 est le suivant. Lorsque l'on souhaite programmer une donnée dans une cellule, on sélectionne cette cellule par le biais de signaux appropriés sur la ligne de lecture RL de facon à mettre en conduction le tran sistor de sélection 4. Dans le cas considéré d'un transistor de sélection 4 à canal N. la ligne de lecture RL, c'est-à-dire la grille 5 du transistor 4, est amenée à un niveau de polarisation haut VDD. La ligne BL est mise à la masse. La ligne de sélection SL (source 7 du transistor 2) est amenée à un niveau de program- mation VPP surélevé par rapport au niveau haut VDD. L'isolant de la grille 3 du transistor mémoire 2 est choisi de façon à permet- tre dans ces conditions le passage d'électrons sur la grille 3 (programmation par électrons chauds). La lecture d'une donnée mémorisce dans une cellule programmable 1 s'effectue de la façon suivante. La ligne de sélection SL est amence au niveau haut VDD. La grille 5 du transistor 1 est polarisée au niveau VDD de façon à mettre en conduction le transistor de sélection 4. Alors, si le transistor mémoire 2 a été préalablement programmé, celui-ci est au moins partiellement conducteur du fait des charges accumulées sur sa grille 3 non connectée. Le niveau de tension recopié par le transistor de sélection 4 sur la ligne de bit BL est alors rela- tivement proche du niveau haut VDD. Par contre, si le transistor mémoire 2 n'a subi aucune programmation, celui-ci est totalement non-conducteur (bloqué) et la ligne BL est amence à un niveau relativement bas par rapport au niveau haut VDD. Pour mettre au point les données devant être contenues dans le réseau programmable, on répète la succession des étapes consistant à: programmer un tel réseau mémoire; - tester le fonctionnement du circuit; et - effacer par rayon ultraviolet les donnces du réscau. Ces étapes sont répétées jusqu'à ce que le test fonc tionnel soit satisfaisant. Une fois déterminés le nombre de cellules programmées et non programmoes (vierges) et leur confi guration propres au fonctionnement recherché, on fabrique un circuit intégré définitif comprenant une mémoire à lecture seulement. Ainsi, le processus industriel classique de réalisation d'un circuit intogré contenant des donnces mémorisées de façon inamovible comprend les étapes de fabrication d'un circuit proto type contenant une mémoire programmable puis d'un circuit défini- tif contenant une mémoire morte définitive, cette mémoire morte définitive contenant par exemple un simple transistor au niveau de chaque point mémoire et étant nettement distincte de la mémoire programmable. Ceci nacessite, pour chaque circuit, la fabrication de deux ieux de masques très différents l'un de l'autre. La présente invention vise à simplifier ce processus de fabrication. La demanderesse a noté que le coût de fabrication globale (mémoire protoUype plus mémoire définitive) peut être plus élevé que le gain résultant de l' insertion d'une mémoire morte optimisce dans le circuit définitif. Ainsi, la présente invention vise à proposer une mémoire à lecture seulement peu différente dune mémoire program- mable. Un autre objet de la présente invention est de proposer une telle mémoire à lecture seulement qui puisse être facilement embarquée dans un réscau mémoire comportant également un secteur programmable. Un autre objet de la présente invention est de proposer un procédé de conversion d'une mémoire programmable en une mémoire à lecture seulement qui soit compatible avec les objectifs précédents. Pour atteindre ces objets, la présente invention pré voit une mémoire à lecture seulement constituée de cellules dont chacune comprend, entre une ligne de sélection et une ligne de bit, la connexion en série d'un élément mémoire et d'un transis tor MOS de sélection à grille connactée à une ligne de commande de lecture. Les éléments mémoire de cellules vierges sont des transistors MOS à canal P et les éléments mémoire de cellules programmoes sont des régions semiconductrices uniformément dapées de type N. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les grilles des transistors mémoire des cellules vierges sont non connactéss. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le transistor de sélection d'au moins une cellule vierge est à canal N et les grilles des transistors mémoire et de sélection de ladite au moins une cellule vierge sont interconnectées par une liaison conductrice. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la mémoire à lecture seulement est réalisoe dans la méme puce de circuits intagrés qu'une mémoire programmble constituce de cellules comprenant, entre une ligne de sélection et une ligne de bit, la connexion en série d'un transistor MOS à canal P dont la grille est non connectée et un transistor MOS dont la grille est connectée à une ligne de commande de lecture, les lignes de s élect ion de s mémoire s à lecture seulement et programmables étant connectables à une alimentation de sélection et les lignes de sélection de la seule mémoire programmable étant sélectivement connactables à une alimentation d'écriture distincte de ladite alimentation de sélection. La présente invention prévoit aussi un procédé de formation, dans un substrat semiconducteur monocristallin, d'une mémoire à lecture seulement, comprenant les étapes consistant à définir des premières et deuxièmes zones actives de même dimen sion; former des lignes isolées au-dessus des deuxièmes zones et de certaines des premières zones; implanter les parties décou- vertes desdites premières et deuxièmes zones actives; déposer un isolant sur l' ensemble de la structure; ouvrir ledit isolant de façon à découvrir partiellement chacune des premières et deuxiè mes zones, au voisinage de chacune de ses extrémités; et former des lignes de sélection en contact avec les premières zones actives, des liaisons conductrices de façon à apparier chaque première zone active à une deuxième zone active et des lignes de bit en contact avec lesdites deuxièmes zones actives. Ces dbjets, caractristiqqes et avantages, ainsi gue diauEres de la prdsente 1nvention sercot exposs en d6Lail dans la descripLion suivanLe de medes de rdalisati m parLiculiers faiLe LiLre non-limitatif en relation avec les [igures joinLes s parmi lesquelles: la tigure 1A est un sch Alectrique d'une cellule {lmentaire dun rAsaau programmable classique; la figure 1B est une vue de dessus partielle et sc ^ - tique dun exemple de ralisation sous forme intgre de la cellule de la [igure 1A; les [igures 2A et 2B illustrent sc ^ tiquement une cellule programme d'un rAseau mmoire lecture seulement selon un mode de rdalisation de la prsente invention; et les figures 3A et 3B illustrent scbmatiqu _ nC une cellule viege (non programme) dun rAscau mmoire lecture seulement selon un mode de ralisation de la prsente invention. Par souci de clart6, les ^ s 61 nts sont dsignAs aux diffArentes figures par de mmes rAfArences. En outre, comme cela esL habiLuel dans la reprdsentation de ctrcuits intAgrAs, 2Q les vues de dessus des figures 1B, 2A et 3A ne sont pas reprAsen- L6es 1'6chelle. Une caractAristique de la prAsente invention consiste uLiliser comme cellules AlmenLaires d'une mmoire orte, en [oncLion de leur Atat prcgrammA ou non progr (vierge), des cellules identiques ou similaires une cellule programmable Lelle que la cellule 1 de la figure 1B. La figure 2A illustre schmatiquemenL, en ue de dessus partielle, la ralisation sous forme monoliLhique d'une cellule progr _ e 20 selon un mode de rdalisation de la prAsenLe inven tion. La figure 2B esL un sc ^ lectrique quivalenL de la cellule 20 de la figure 2A. Une cellule programme 20 comprend un Alment de slec- tion idenLique celui d'une cellule progammable dcriLe prAc6- demment (1, [igure 1). I1 s'agit, par exemple, dua transisLor OS 4, de prfArence a canal, formA dans une zone active 11 d'un substrat semiconducteur. La cellule programmoe 20 comporte également un élément mémoire 22 similaire à l'élément mémoire 2 de la cellule programmable 1 de la figure 1B. Toutefois, la grille du transistor constituant l'élément mémoire programmable 2 est supprimoe. Ainsi, l'élément mémoire 22 nest plus constitué dun transistor MOS, mais dune zone active 26 uniformément dopée qui se comporte comme une résistance. Comme l'illustre la figure 2B, la cellule programmée 20 comprend, entre la ligne de sélection SL et la ligne de bit BL, la connexion série de la résistance constituée par la zone mémoire 26 et du transistor de sélection 4. Lors d'une opération de lecture, la ligne de sélection SL est polarisée à un niveau haut VDD. La grille 5 du transistor de sélection 4 est polarisée par la ligne de lecture RL à un niveau de lecture mettant en conduction le transistor de sélec- tion 4. Dans le cas d'un transistor de sélection 4 à canal N. le niveau de lecture est égal au niveau haut VDD. Alors, la zone mémoire 26 se comporte ccmme une résistance. Le transistor de sélection 4 recopie donc sur la ligne de bit BL voisin du niveau de tension haut VDD de la ligne de sélection SL. Selon un mode de réalisation de la présente invention, une cellule vierge (non programmée) dune mémoire morte est iden- tique à une cellule programmable 1 de la figure 1B dans laquelle aucune donnée nta été mémorisoe. Le transistor mémoire 2 est touj ours non-conducteur. Lors dun accès de lecture, le transis- tor de sélection 4 recopie donc sur la ligne de bit BL un niveau relativement bas par rapport au niveau haut VDD. Le recours selon l' invention à une mémoire à lecture seulement dont les cellules programmées et vierges sont telles que décrites précédemment est particulièrement avantageux. En particulier, son obtent ion à part ir du réseau programmable proto- type est aisée. En effet, il suffit de modifier le seul masque de définition des grilles de transistors de facon à éliminer celles des éléments mémoire de cellules programmées. Dans de nombreux cas, la réduction du coût de fabrication résultant de l'utilisation d'un jeu de masques similaire à celui utilisé pour la réalisation du prototype programmable compense 1' augmentation de surface d'intégration par rapport à une mémoire morte ., optlmlsee. La figure 3A illustre, en vue de dessus schématique et partielle, un autre mode de réalisation dune cellule vierge 30 selon la présente invention. La figure 3B illustre le schéma électrique équivalent de la cellule 30 de la figure 3A. L,élément de sélection est un transistor MOS à canal N 4 (il ne peut plus s'agir d'un transistor MOS à canal P). La grille 3 du transistor mémoire 2 est connectée, par une liaison conductrice 31, à la grille 5 du transistor de sélection 4. La présence de la liaison 31 permet avantageusement diéviter une autoprogrammation du transistor mémoire 2. En effet, si lors dun accès en lecture, des électrons passent sur la grille 3, en raison du niveau haut VDD de la ligne de sélec tion SL, ils sont dérivés par la ligne de lecture RL qui, pour mettre en conduction le transistor de sélection complémentaire 4, est également au niveau haut VDD. Le transistor mémoire 2 reste alors touj ours bloqué (non-conducteur). Comme cela a été indiqué précédemment, les cellules programmoss (20, figure 2) et vierges dune mémoire à lecture seulement selon l' invention sont formoss par un procédé similaire à celui de formation d'un réseau programmable: des zones actives sont définies dans un substrat de silicium; des grilles isolées sont formées au-dessus de toutes les zones actives sauf celles (26) destinces à constituer les éléments mémoire de cellules programmoes 20. des dopants appropriés sont implantés dans chacune des zones actives; et des contacts entre les régions semiconductrices appro priées et les liaisons ou lignes conductrices 9, SL, RL et BL sont formoes. Dans le cas de cellules à lecture seulement vierges du type de la cellule 30 de la figure 3, les liaisons 31 dinter- connexion des grilles 3 et 5 de transistors mémoire 2 et de sélection 4 sont réalisées, de préférence, en même temps que les grilles 3 et 5. Ainsi, de nouveau, seul le masque de définition des grilles est modifié par rapport au jeu de masques utilisé pour la fabrication du réseau prototype programmable. Une mémoire à lecture seulement selon la présente invention peut donc simplement être réalisce simultanément à une mémoire programmable telle que décrite en relation avec la figure 1. De préférence, le réseau mémoire global partagera les mêmes lignes de bit. Toutefois, les lignes de sélection sont affectées par secteur en fonction de la nature programmable ou à lecture seulement du secteur considéré. Ainsi, dans un secteur de mémoire morte, les lignes de sélection sont propres à être pola- risées au plus au niveau haut VDD. Par contre, dans un secteur de mémoire programmable, les lignes de sélection sont propres à être polarisées soit à un niveau haut VDD, soit à un niveau de programmation VPP surélevé par rapport au niveau haut VDD. Les avantages de la formation dun réseau mémoire comportant des secteurs programmable s et de s secteurs à lecture seulement sont nombreux. Ainsi, lors des étapes de conception décrites précé demment, il est possible de stocker dans le secteur à lecture seulement des informations, par exemple relatives au concepteur, à la finalité du circuit, ou encore un code daccès à la matrice afin d'en interdire le cas échéant l'accès à un utilisateur non autorisé. Il est également possible lors des étapes de test de disposer d'un secteur à lecture seulement mémorisant les données ou les fonctions à traiter et un secteur programmable dans lequel est réalisée la fonction à mettre en oeuvre. Lors des étapes successives de test et de modification, seul le secteur program mable est effacable et accessible au concepteur. Ceci réduit le temps de test des circuits du temps classiquement nacessaire pour reprogrammer les données ou fonctions certaines maintenant conte- nues dans la mémoire à lecture seulement. La conversion d'un secteur programmable en un secteur à lecture seulement est relativement simple et peut être effectuce entre deux protoUypes. Ainsi, à partir d'un réssau programmable, une première série de test peut montrer un fonctionnement correct dune partie du réseau. Alors, cette partie est transformée en mémoire à lecture seulement interdite d'accès au testeur, d'une part, en rendant impossible la polarisation de ces lignes de sélection à un niveau de polarisation de programmation VPP et, d'autre part, en réduisant une fenêtre d'éclairement U.v. prévue en regard de la seule partie programmable. On peut prévoir un seul circuit de lecture commun au réscau programmable et au réscau à lecture seulement, ce qui divise sensiblement par deux la surface occupée par les circuits de lecture par rapport au cas o les réseaux programmables et à lecture seulement sont des blocs mémoires de natures distinctes. Enfin, maintenir un réseau programmable permet à un éventuel utilisateur d'introduire de nouvelles données ou de modifier une fonction. La présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l' art. En particulier, la présente invention a été décrite précédemment à titre non-limitatif en relation avec les figures 2 et 3 dans le cas de l 'association d'un élément mémoire et d'un transistor de sélection de type à canal N. Toutefois, l' invention s'applique- rait également au cas d'un transistor de sélection à canal P. Dans ce dernier cas cependant, les grilles des transistors de sélection et mémoire des cellules vierges de la mémoire à lecture seulement ne seront pas interconnectées. Les grilles des transis- tors mémoire des cellules vierges seront non connectées alors que les grilles des transistors de sélection as sociés seront rel ices à une ligne de lecture respective RL. REVENDICATIONS 1. Mémoire à lecture seulement constituce de cellules dont chacune comprend, entre une ligne de sélection (SL) et une ligne de bit (BL), la connexion en série d'un élément mémoire et dun transistor MOS de sélection (4) à grille (5) connactée à une ligne de commande de lecture (RL), caractérisce en ce que les éléments mémoire de cellules vierges (30) sont des transistors MOS à canal P (2); et en ce que les éléments mémoire de cellules programmées (20) sont des régions semiconductrices uniformément dapées de type N (26). 2. Mémoire selon la revendication 1, caractérisé en ce que les grilles (35) des transistors mémoire (31) des cellules vierges (30) sont non connoctées. 3. Mémoire selon la revendication 1, caractérisé en ce que le transistor de sélection (4) d'au moins une cellule vierge est à canal N et en ce que les grilles (3, 5) des transistors mémoire (2) et de sélection (4) de ladite au moins une cellule vierge sont interoonnectées par une liaison conductrice (31). 4. Mémoire selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisoe en ce que la mémoire à lecture seulement est réalisoe dans la même puce de circuits intégrés qu'une mémoire programmable constituée de cellules (1) comprenant, entre une ligne de sélection (SL) et une ligne de bit (BL), la connexion en série d'un transistor MOS à canal P (2) dont la grille (3) est non connectée et un transistor MOS (4) dont la grille (5) est connoctée à une ligne de commande de lecture (RL), les lignes de sélection des mémoires à lecture seulement et programmable étant connoctables à une alimentation de sélection (VDD) et les lignes de sélection de la seule mémoire programmable étant sélectivement connoctables à une alimentation d'écriture (vPP) distincte de ladite alimentation de sélection. 5. Procédé de formation, dans un substrat semiconduc- teur monocristallin, d'une mémoire à lecture seulement, caracté- risoe en ce qu'il comprend les étapes suivantes: définir des premières (6; 26) et deuxièmes (11) zones actives de même dimension; former des lignes isolées (3, 5) au-dessus des deuxièmes zones et de certaines des premières zones (6); implanter les parties découvertes desdites premières et deuxièmes zones actives; déposer un isolant sur l 'ensemble de la structure; ouvrir ledit isolant de façon à découvrir partiellement chacune des premières et deuxièmes zones, au voisinage de chacune de ses extrémités; et former des lignes de sélection (S) en contact avec les premières zones actives, des liaisons conductrices (9) de facon à apparier chaque première zone active à une deuxième zone active et des lignes de bit (BL) en contact avec lesdites deuxTèmes