Brevet FR2823903A1 — publié le 20021025

les inserts métalliques (60, 62) associés. ,, ÀN 0I INDUCT1P INTGRE DANTE FREOuENCE Ma prAsente invention concerne, de flagon Glendale, la ralisation d'enroulements ioductifs (i ^ chances) sur une puce de ctrcuiL inLAgr6. Plus particulirement, la prsente invention concerne la ralisation d'iductances destines recevoir des couranCs haute frequency, belles que, par example, des antennas hauLe frAquence de L6liphones mobiles ou des filLres. Les tigures 1A 1D illustrent, en vue en coupe schma- Lique et partielle, la fonmaLion dune inductance selon une squence d'6Lapes classiquemenL ises en oeuvre. Plus parLiculiA 1Q remenL, les figures 1A 1D scot des vues en coupe selon la largeur d'une spire de l' inductance. Comme 1'illustre la tigure 1A, on commence par ouvrir une tancbe dans une couche isolante 10 selon le metif de 1'in- ducLance. On dipose ensuite une couche d'un atAriau conducteur 11 de fagon remplir complt _ nt la tranche prAcdemment ouverte. Aux Atapes suivanLes, illusLres en figure 1E, on grave la couche 11 de fagon 16liminer de la surface suprieure de la couche isolante 1Q. Pour ce faire, on procde un polissage 2Q mcano-chtmique (CMP). On a ainsi formA un premier niveau conduc- Leur horizontal 12. Comme cela a LA exposA prAcAdemment, la figure 1 esL uDe vue en coupe selon la largeur d'une spire de linductance. Le premier niveau 12 s'étend sur tout le motif de ltinductance, et est commun à toutes ses spires. Ensuite, on dépose une couche isolante 13. La couche 13 est déposée de facon que sa surface supérieure est sensiblement plane. Comme l'illustre la figure 1C, on forme dans la couche 13 des ouvertures distinctes de facon à découvrir partiellement différentes portions de la surface supérieure du premier niveau 12. Ensuite, ces ouvertures sont remplies par un matériau conduc teur 14, de préférence identique au matériau conducteur 11 constituant le premier niveau 12. Après dépôt sur l' ensemble de la structure du matériau 14, on procède à un polissage macano-chimique afin d'éliminer le matériau 14 de la surface supérieure de la couche isolante 13. On individualise ainsi, comme l'illustre la figure 1D, des vias conducteurs parallèles 16 en contact avec le premier niveau 12. Ensuite, on dépose une couche isolante 17 de facon que sa surface supérieure soit sensiblement plane. On forme ensuite un deuxième niveau conducteur horizontal 18 à la verticale du premier niveau 12 et interconnectant tous les vias 16. Le deuxTème niveau 18 est formé en ouvrant une tranchée selon un motif approprié dans la couche isolante 17, puis en déposant un matériau conducteur de préférence identique au matériau conduc- teur 11 et enfin en procédant à un polissage mécano-chimique (CMP) de facon à ne maintenir en place le cuivre que dans la tranchée précédemment formée. On forme ainsi, dans une puce de cTrcuits intégrés, une inductance dont les spires comportent des premier et deuxième niveaux conducteurs horizontaux 12 et 18 interconnectés par des vias 16. Des lignes ou vias d'interconnexions peuvent être réalisés dans les couches isolantes 10, 13 et/ou 17 simultanément au premier niveau 12, aux vias 16 et/ou au deuxième niveau 18. Dans des applications de type télécommunication, des inductances sont par contre disposces au-dessus de circuits intogrés, aucun autre élément conducteur ntétant formé dans les couches isolantes 10, 13 et 17. De telles inductances, destinces à servir d'antenne dans des dispositifs haute fréquence, doivent présenter un facteur de qualité Q maximal et pouvoir travailler à une fréquence de résonance optimale et/ou dans une bande de fréquence la plus large possible. Augmenter le facteur Q conduit à réduire la résistance de ltinductance. Pour ce faire, on a déjà proposé dutiliser comme matériau conducteur constituant les niveaux 12 et 18 et les vias 16 des matériaux faiblement résistifs tels que du cuivre ou des alliages à base de cuivre. Pour réduire encore la résisti vité, on a ensuite proposé d'accroître la surface des niveaux 12 et 18 et des vias 16. Cette augmentation étant impossible dans l'épaisseur des couches successives 10, 13, 17 fixée par d'autres contraintes standard des procédés de la micro-électronique, on a formé dans les couches 10 et 17 des niveaux 12 et 18 les plus larges possible, en augmentant de façon correspondante le nombre de vias 16 dans la couche 13. Toutefois, un tel accroissement de largeur des niveaux 12 et 18 est limité du fait du polissage mécano-chimique mis en oeuvre pour individualiser les spires dans chaque couche. En effet, lors d'un polissage CMP d'une surface relativement étendue de cuivre, on observe une consommation de cette surface, c'est-à-dire la formation d'un creux dont la profondeur et l'étendue sont mal définies. a résistance rcelle de la ligne parcourue par un courant donné est alors accrue et le facteur de qualité Q diminué. Cette diminution du facteur de qualité Q est incontrôlée. En outre, si la surface est trop importante, cette déformation peut aller jusqu'à un arrachage de la ligne conductrice. l en résulte une rupture de la spire. Un autre inconvénient d'un élargissement des niveaux 12 et 18 réside dans l' impact négatif sur les performances électri ques résultantes. En effet, lorsque l' inductance ainsi réalisce est parcourue par un courant donné, celui-ci génère un champ magnétique qui donne lui-même naissance à un courant inverse, dit courant de Foucault. Ce courant inverse correspond à un accrois- sement de la résistance réclle. Or, ce courant de Foucault est proportionnel à la largeur de la spire, et non à son épaisseur ou à sa longueur. Augmenter la largeur de la spire conduit donc à un accroissement de la résistance rcelle et à une diminution correspondante du facteur de qualité Q. En outre, lorsque l'on tente de faire passer dans un conducteur un courant électrique de fréquence élevoe, le courant tend à ne cTrculer qu'à la périphérie du volume conducteur (effet de peau) . En d'autres termes, pour des courants de fréquence élevée, au lieu de profiter de toute la surface conductrice, le courant se limite à une faible surface périphérique. Le courant étant de fréquence relativement élevée, tout se passe comme si le courant circulait dans un conducteur de résistance réelle élevée. Le facteur de qualité est encore abaissé. Par conséquent, la plage de fréquence, c'est-à-dire la fréquence maximale qui peut être atteinte par un courant circulant dans une telle inductance, est limitée. A l'heure actuelle, compte tenu des divers problèmes exposés précédemment, les inductances supportent des courants d'une fréquence d'au plus 50 Hz. Parallèlement, la volonté de transmettre un nombre d'informations de plus en plus élevé et l'encombrement des plages de fréquence conduit à rechercher des systèmes de communication propres à fonctionner à des fréquences les plus élevoes possibles avec des facteurs de qualité optimisés. La présente invention vise par conséquent à proposer une inductance formoe dans une puce de circuits intégrés dont le facteur de qualité soit parfaitement contrôlé. La présente invention vise à proposer une telle induc- tance dont la bande de fréquence soit relativement élevoe. La présente invention vise également à proposer une telle inductance dont la fabrication s'inscrive dans la séquence d'étapes couramment mises en oeuvre dans la fabrication des métallisations d'un circuit intégré. Pour atteindre ces objets, la présente invention pré- voit une inductance réalisce dans une puce de circuit intogré, constituée d'une pluralité de lignes conductrices parallèles entre elles, de largeur optimisée, chaque ligne conductrice étant formée dans l'épaisseur d'au moins une couche isolante, ces lignes étant interconnectées par au moins un segment conducteur perpendiculaire. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la largeur optimisoe est égale au double de l'épaisseur de peau correspondant à la fréquence maximale d'un courant haute fréquence passant dans ladite inductance. Selon un mode de réalisation de la présente invention, lo les lignes conductrices sont formées dans trois couches isolantes et les segments conducteurs sont formés dans au moins une des trois couches isolantes. La présente invention vise aussi un procédé de forma- tion dune inductance sous forme monolithique, comportant l'étape consistant à former dans au moins une couche isolante, le long du motif de l' inductance, une pluralité de lignes conductrices parallèles et des segments perpendiculaires auxdites lignes et les interceptant toutes. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les lignes conductrices ont une largeur égale au double de l'épaisseur de peau correspondant à la fréquence maximale dun courant haute fréquence destiné à passer dans l' inductance. Selon un mode de réalisation de la présente invention, une quelcouque étape de formation et/ou dextension de lignes conductrices dans une couche isolante comporte les étapes consis- tant à creuser dans la couche isolante considérée des tranchées selon le motif souhaité; déposer une couche d'un matériau conducteur de façon à remplir les tranchées; et procéder à un polissage mécano-chimique, de façon à éliminer ledit matériau conducteur de la surface supérieure de ladite couche isolante considérée, d'o il résulte que le matériau conducteur ne demeure en place que dans les tranchées précédemment formoes. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le matériau conducteur est métallique, par exemple du cuivre ou un alliage à base de cuivre. Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que dautres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures 1A à 1D illustrent, en vue en coupe partielle et schématique, différentes étapes de fabrication dune inductance selon des procédés classiques; les figures 2A à 2C illustrent, en vue en coupe partielle et schématique, des étapes de la formation d'une inductance selon la présente invention; et la figure 3 illustre, en w e de dessus agrandie, une partie dune inductance selon la présente invention. Par souci de clarté, les mêmes références désignent aux différentes figures les mêmes éléments. En outre, comme cela est habituel dans le domaine de la représentation de circuits intégrés, les différentes figures ne sont pas à l'échelle. Les figures 2A, 2B et 2C illustrent, en vue en coupe schématique et partielle, la section dune spire dune inductance selon l' invention en cours de fabrication. La formation d'une inductance selon l' invention commence, comme 1'illustre la figure 2A, par 1'ouverture, dans une couche isolante 20, de plusieurs tranchées parallèles, par exemple six, selon le motif de l' inductance. La couche isolante 20 est superposée à un substrat semiconducteur (non représenté) dans et sur lequel sont intégrés divers éléments. La somme des largeurs individuelles de ces tranchées est égale à la largeur voulue pour une spire de l' inductance. La largeur individuelle de chaque tranchée est optimisée de la facon détaillée ci-après. Les tranchées ainsi formoes sont ensuite remplies en déposant sur l' ensemble de la structure un matériau conducteur 21, de préférence métallique, par exemple du cuivre. Par rapport à un procédé classique, l'épaisseur de la couche 21 est nettement inférieure à l'épaisseur de la couche homologue (11, figure 1A). En effet, le remplissage dune série de tranchées parallèles de largeur optimisoe est plus rapide que le remplissage d'une unique grande ouverture, pour une même surface de base totale. Le remplissage des tranchées parallèles survient donc alors qu'une épaisseur moindre de cuivre 21 a été déposée sur la couche 20. Le matériau 21 est ensuite éliminé de la surface supérieure de 1'isolant 20 par polissage macano-chimique. Cette élimination s'effectue plus facilement que celle de la couche homologue de l'art antérieur. En effet, dune part l'épaisseur de la couche 21 est moindre et, d'autre part, les risques de creusement ou darrachage du matériau 21 dans les tranchées sont limités par leur faible surface et l'alternance de ce matériau 21 et des parties de l'isolant 20 séparant deux tranchéss consécutives. On forme ainsi, comme l'illustre la figure 2B, six lignes conductrices parallèles distinctes L1, L2, L3, L4, L5 et L6. Aux étapes suivantes, on dépose une couche isolante 23 de façon que sa surface supérieure soit plane. La couche isolante 23 est ensuite creusoe selon le motif de tranchée décrit ci-après en relation avec la figure 3. Une première série de tranchées 24 permet de découvrir la surface supérieure de chacune des six lignes conductrices L1 à L6 précédemment formées. Ces tranchées 24, comme l'illustrent les figures 2B et 3, sont disjointes et parallèles entre elles. Perpendiculairement à ces premières tran- chées 24, on forme des deuxièmes tranchées 25 qui interceptent toutes les premières tranchées 24. Les tranchées 25 s'étendent donc sur toute la largeur de la spire. La largeur des tranchées est minimisce. La figure 2B correspond à une coupe selon l'axe A-A de la figure 3, parallèle et distinct des tranchéss 25. On dépose ensuite, comme l'illustre la figure 2C, un matériau conducteur 26, de facon à remplir les premières tranchées 24 et les deuxièmes tranchées perpendiculaires 25. Ceci est effectué en déposant sur l' ensemble de la structure le matériau 26 puis en mettant en oeuvre un polissage CMP afin déliminer le matériau 26 en dehors des tranchées 24 et 25. On a ainsi prolongé, dans la couche 23, les six lignes L1 à L6. En outre, on a réalisé, en remplissant les deuxièmes tranchées 25, une interconnexion électrique entre ces différentes lignes. Enfin, l' ensemble des étapes décrites précédemment est répété afin de prolonger encore les lignes conductrices L1 à L6 dans une couche isolante 27 en déposant un matériau conducteur 28. On a ainsi formé une spire d'une inductance constituée d'une pluralité de lignes parallèles, par exemple six L1, L2, L3, L4, L5 et L6. Ces lignes L1 à L6 sétendent sur toute la longueur de l' inductance. La largeur des lignes L1, L2, L3, L4, L5 et L6 est optimisée dans la technologie considérée pour une fréquence donnée en fonction des contraintes suivantes. D'une part, les lignes L1 à L6 doivent être aussi large que possible pour minimiser leur résistance statique. D'autre part, les lignes L1 à L6 doivent être aussi réduites que nocessaire pour réduire l' augmentation de la résistance aux fréquences élevoes. Pour une fréquence dutilisation maximale donnce, la largeur des tranchées doit alors être au plus égale au double de l'épaisseur de peau correspondante. La largeur est de préférence égale à cette valeur limite, pour minimiser la résistance statique. Toutefois, si la fréquence maximale possible est trop élevée, la largeur sera rendue aussi proche de cette limite que le permettent les procédés de formation de tranchées dans une couche isolante 20, 23, 22 et les procédés de dépôt dun matériau conducteur peu résistif 22, 26, 28. Les différentes lignes disjointes L1 à L6 sont inter connectées par des segments conducteurs orChogonaux à ces lignes, formés au moins dans la couche intermédiaire 23 par le remplis sage des tranchées 25. L'objet de ces segments orthogonaux est de former une spire unique à partir des lignes L1 à L6. Ces segments orthogonaux ou ponts permettent également d' assurer une homogénéité des potentiels dans les différentes lignes L1 à L6 pour éviter un couplage capacitif. En outre, pour réduire la densité du matériau 26 avant polissage par CMP, on prévoira aussi peu de segments orthogonaux ou pont s que néces saire pour as surer une équipart it ion des courants circulant dans les lignes L1 à L6. Selon une variante non représentée, les ponts sont formés non seulement dans la couche intermédiaire 23, mais également dans l'une et/ou l'autre des couches inférieure 20 et supérieure 27. Selon une variante non représentée, les ponts ne sont pas formés dans la couche intermédiaire 23, mais seulement dans l'une et/ou l'autre des couches inférieure 20 et supérieure 27. En outre, on a décrit à titre d'exemple non-limitatif des lignes conductrices L1 à L6 réalisoes dans trois niveaux conducteurs. Elles pourraient être réalisées dans plus ou moins de trois niveaux. Toutefois, dans au moins un de ces niveaux seront formés les ponts les interceptant toutes. Selon un mode de réalisation, les matériaux conducteurs peu résistifs constituant les couches 22, 26, 28 sont identiques. De préférence, on choisira un matériau métallique tel que du cuivre ou un alliage à base de cuivre. Les avantages d'un tel procédé sont multiples. Tout d'abord l'individualisation de diverses lignes L1 à L6 par polis- sage CMP est facilitée par rapport à un procédé standard. Chaque portion de cuivre présente une largeur réduite, qu'il s'agisse des lignes L1 à L6 et/ou des ponts, et est noyée dans un isolant. L'abaissement correspondant de la densité de cuivre élimine, sinon diminue fortement, les risques de creusement et/ou darrachage. Un autre avantage de ce procédé réside en ce quil est maintenant possible d'élargir autant que l'on souhaite la largeur de la spire. En effet, cet élargissement de la spire se traduit par une augmentation du nombre de lignes parallèles inter- connoctées par des ponts. Ceci peut seffectuer sans risquer d'endommager les lignes et/ou les ponts lors de leur individuali- sation par polissage CMP. Un autre avantage d'une telle structure réside en ce que les courants de Foucault proportionnels à la largeur des spires sont considérablement réduits par rapport aux courants de Foucault existant dans les structures existantes. En effet, on a supprimé les premier et deuxTème niveaux conducteurs horizontaux (12, 18, figure 1) de grande largeur. Ceci permet avantageusement d'accroître l'intensité des courants circulant dans la spire. En effet, l'accroissement correspondant du champ magnétique induit provoque des courants de Foucault plus faibles que ceux qui seraient induits dans une structure standard. De même, la structure selon linvention présente l'avantage de permettre un accroissement de la fréquence des courants circulant dans la spire. Cet effet sera optimisé en réalisant des lignes L1 à L6 dont la largeur est inférieure au double de l'épaisseur de peau. La fréquence maximale possible est alors limitée par les seules contraintes des procédés de formation de tranchées dans une couche isolante 20, 23, 22 et des procédés de dépôt dun matériau conducteur peu résistif 22, 26, 28. Ainsi, en supposant que les différentes couches isolantes 20, 23 et 27 ont une épaisseur comprise entre 1 et m, par exemple de l'ordre de m, il est possible de réduire la largeur des tranchées à lheure actuelle jusqu'à une dimension comprise entre 0,2 et 5 m, par exemple de lordre de 1 m. Alors, chaque ligne L1 à L6 est totalement parcourue par un courant tant que sa fréquence est inférieure à 20 GHz. L'effet de peau n'apparaît qutau-delà. Alors, la résistance est constante, indépendante de la fréquence sur une plage de fréquence beaucoup plus large que dans les dispos it i f s standards tel s que décrits précédemment en relation avec la figure 1. Cette plage pourra s'étendre jusqu'à environ 100 GHz sans affecter la qualité des informations transmises. Bien entendu, la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, quand des exemples numériques ont été donnés, ces exemples numériques n'ont pas pour objet de limiter la présente invention à de tels exemples. Notamment, la largeur des diverses tranchées sera réduite à l' optimum souhaitable en fonction des procédés de formation de tranchées dans une couche i solante et de rempl i s sage de tel le s tranchée s par un matériau peu résistif. De même, le nombre de lignes conductrices sera accru, le cas échéant, afin de permettre le passage de courants aussi élevés que possible. Par ailleurs, l'homme de l'art saura réaliser, le cas échéant, dans chacune des diverses couches isolantes 20, 23, 27, en dehors de la région de formation de linductance, tout autre élément nécessaire au fonctionnement du dispositif. I1 saura également prévoir des éléments propres à éviter tout couplage capacitif entre l' inductance et d'autres éléments formés dans la même puce de circuit intagré. REVENDICATIONS 1. Inductance réalisée dans une puce de cTrcuit intogré, caractérisée en ce qu'elle est constituée d'une pluralité de lignes conductrices (L1, L2, L3, L4, L5, L6) paral- lèles entre elles, de largeur optimisée, chaque ligne conductrice étant formoe dans l'épaisseur d'au moins une couche isolante (20, 23, 27), ces lignes étant interconnectées par au moins un segment conducteur perpendiculaire. 2. Inductance selon la revendication 1, caractérisce en ce que la largeur optimisce est égale au double de l'épaisseur de peau correspondant à la fréquence maximale d'un courant haute fréquence passant dans ladite inductance. 3. Inductance selon la revendication 1 ou 2, caracté- risée en ce que les lignes conductrices (L1, L2, L3, L4, L5, L6) sont formées dans trois couches isolantes (20, 23, 27) et en ce que les segments conducteurs sont formés dans au moins une des trois couches isolantes (23). 4. Procédé de formation d'une inductance sous forme monolithique, caractérisé en ce qu'il comporte l'étape consistant à former dans au moins une couche isolante (23), le long du motif de l' inductance, une pluralité de lignes conductrices parallèles (L1, L2, L3, L4, L5, L6) et des segments perpendiculaires auxdites lignes et les interceptant toutes. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que les lignes conductrices (L1, L2, L3, L4, L5, L6) ont une largeur égale au double de l'épaisseur de peau correspondant à la fréquence maximale dun courant haute fréquence destiné à passer dans l' inductance. 6. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'une quelconque étape de formation et/ou d' extension de lignes conductrices (L1, L2, L3, L4, L5, L6) dans une couche isolante (20, 23, 27) comporte les étapes suivantes: creuser dans la couche isolante considérce des tranchées (24, 25) selon le motif souhaité; déposer une couche dun matériau conducteur (22, 26, 28) de façon à remplir les tranchées précédemment formoes; et procéder à un polissage mécano-chimique, de façon à éliminer ladit matériau conducteur de la surface supérieure de ladite couche isolante considérce, d'o il résulte que le maté- riau conducteur ne demeure en place que dans les tranchées précédemment formées. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que le matériau conducteur (22, 26, 28) est métallique. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que le matériau conducteur (22, 26, 28) est du cuivre ou un