Brevet FR2828763A1 — publié le 20030221

Circuit intégré, notamment cellule mémoire DRAM avec contact à faible facteur de forme et procédé de fabrication. La présente invention concerne, de façon générale, les circuits intégrés, notamment les cellules mémoire. Plus particulièrement, la présente invention concerne des cellules mémoire du type dynamique à accès aléatoire (DRAM) compatibles avec un procédé de fabrication d'un dispositif incorporant une telle mémoire et des composants CMOS. De façon classique, une mémoire DRAM se présente sous la forme d'une matrice de colonnes et de rangées aux intersections desquelles se trouvent des cellules mémoire constituées d'un élément mémoire, typiquement un condensateur, et d'un commutateur de commande de cet élément mémoire, en général un transistor MOS. Une cellule mémoire de type DRAM (figure 1), est constituée d'un transistor MOS de contrôle T et d'un condensateur C de stockage connectés en série entre une masse électrique M et une ligne de bits BL. La grille du transistor de contrôle T est reliée à une ligne de mots WL. Le transistor T contrôle le passage de charges électriques entre le condensateur C et la ligne de bits BL. La charge électrique du condensateur C détermine le niveau logique 1 ou 0 de la cellule mémoire. Pendant la lecture du point mémoire, on décharge le condensateur C dans la ligne de bits BL. Pour obtenir une lecture rapide et sûre de la valeur de la charge électrique du condensateur C de stockage, la capacité de ce condensateur doit être importante vis à vis de la capacité présentée par la ligne de bits BL pendant la phase de lecture. Un grand nombre de cellules DRAM ainsi constituées sont assemblées sous la forme d'une matrice de façon à générer un plan mémoire pouvant comporter des millions de cellules élémentaires. Le plan mémoire est, pour certaines applications, situé au sein d'un circuit intégré complexe. On parle alors de mémoire embarquée. Les éléments mémoire sont des structures de condensateurs comportant une première électrode de forme quelconque, par exemple en forme de U. Les condensateurs mémoire comportent également un diélectrique très mince, et une deuxième électrode commune à plusieurs condensateurs et constituée d'une couche conductrice continue, par exemple en silicium polycristallin, disposée au-dessus de ladite couche isolante. Il est nécessaire de prévoir un ou plusieurs vias de connexion entre une ou plusieurs zones actives formés dans le substrat et un niveau conducteur formé au-dessus de la couche diélectrique qui recouvre le condensateur. Par via, on entend, dans le cadre de la présente description, un trou empli d'un matériau électriquement conducteur apte à réaliser une connexion électrique entre deux ou plusieurs niveaux d'un circuit intégré. Un tel via peut être formé en gravant un trou à travers l'ensemble des couches diélectriques dans lesquelles est formé le condensateur, et ce jusqu'à atteindre le substrat, et en comblant ce trou avec un matériau conducteur, par exemple du tungstène. Un tel trou présente un rapport hauteur/largeur très élevé et est donc difficile à remplir convenablement avec le métal destiné à former le via. On risque donc d'obtenir un via dont la valeur de résistance électrique sera élevée et présentera des variations importantes d'un via à l'autre. L'invention propose de remédier aux inconvénients évoqués cidessus. L'invention propose un circuit intégré pourvu d'un contact de haute qualité entre une zone active d'un substrat et un niveau conducteur disposé au-dessus d'un condensateur. Le circuit intégré, selon un aspect de l'invention, comprend un substrat, au moins un condensateur disposé au-dessus du substrat et pourvu d'une première électrode, d'une deuxième électrode et d'une couche isolante disposée entre les électrodes, au moins un via de connexion entre le substrat et un niveau conducteur situé au-dessus du condensateur, et un matériau diélectrique recouvrant le substrat et entourant le condensateur et le via. Le via comprend une première portion disposée entre le substrat et le niveau inférieur de la première électrode, une deuxième portion disposée entre le niveau inférieur de la première électrode et le niveau supérieur de la première électrode, et une troisième portion en contact avec la première portion et affleurant ledit niveau conducteur, la deuxième portion étant réalisée avec le même matériau que la première électrode du condensateur. La succession des étapes technologiques dans la réalisation du condensateur, peut être mise à profit dans l'élaboration du via. On distinguera une première portion du via entre le substrat et le bas de l'électrode inférieure, une deuxième portion entre le bas et le haut de l'électrode inférieure et une troisième portion entre le haut de l'électrode inférieure et affleurant le niveau conducteur. Le condensateur peut être de type évidé à section en U. Dans un mode de réalisation de l'invention, le matériau composant la première électrode du condensateur et la deuxième portion du via comprend du polysilicium. Dans un autre mode de réalisation de l'invention, le matériau composant la première électrode du condensateur et la deuxième portion du via comprend du métal, notamment un métal ou un alliage à base de métal comprenant du cuivre, de l'aluminium, du tungstène, de l'or, et/ou du titane. Dans un mode de réalisation de l'invention, ledit condensateur fait partie d'une cellule mémoire. La première électrode peut être reliée à une zone active du substrat, par exemple au drain ou à la source d'un transistor MOS. L'autre électrode peut être reliée à des électrodes d'autres condensateurs. Le procédé de fabrication, selon un aspect de l'invention, est destiné à un circuit intégré. A partir d'un substrat recouvert d'au moins une couche diélectrique, on forme une première électrode de condensateur disposée au-dessus du substrat, un diélectrique de condensateur, une deuxième électrode de condensateur, le diélectrique étant disposé entre les deux électrodes, et au moins un via de connexion entre le substrat et un niveau conducteur situé au-dessus du condensateur, un matériau diélectrique recouvrant le substrat et entourant le condensateur et le via, le via comprenant une première portion disposée entre le substrat et le niveau inférieur de la première électrode, une deuxième portion entre le niveau inférieur et le niveau supérieur de la première électrode, et une troisième portion en contact avec la deuxième portion et affleurant ledit niveau conducteur, la deuxième portion et la première électrode étant formées simultanément et avec le même matériau. Plus particulièrement, à partir d'un substrat recouvert d'au moins une couche diélectrique, on creuse simultanément un premier trou et un deuxième trou que l'on rempli d'un premier matériau électriquement conducteur, on dépose une couche diélectrique, et on creuse la couche diélectrique pour réaliser au moins une cavité en vue de former un condensateur et au moins un troisième trou en vue de former un via. On dépose une couche d'un deuxième matériau conducteur sur la surface supérieure de la couche diélectrique, ledit deuxième matériau venant remplir ledit troisième trou et recouvrir les parois de fond et de côté de ladite cavité. On retire ledit deuxième matériau conducteur de la surface supérieure de la couche diélectrique, tout en le conservant dans le trou et dans la cavité. On dépose au moins une fine couche de matériau diélectrique au moins sur la surface de la couche conductrice dans la cavité. On forme la deuxième électrode par dépôt d'une deuxième couche du deuxième matériau conducteur dans la cavité et au moins sur une zone adjacente à ladite cavité. On dépose une couche épaisse de matériau diélectrique. On creuse un quatrième trou dans la couche épaisse de matériau diélectrique dans l'alignement du trou rempli du deuxième matériau conducteur, jusqu'à atteindre ledit matériau conducteur. On remplit le quatrième trou d'un troisième matériau conducteur pour former un via comprenant les deuxième, troisième et quatrième trous alignés remplis des premier, deuxième et troisième matériaux conducteurs. Les deuxième et troisième matériaux sont de préférence différents. Selon l'invention, il est également proposé un procédé de fabrication d'un circuit intégré comprenant au moins un condensateur disposé au-dessus d'un substrat et au moins un via de connexion entre le substrat et un niveau conducteur situé au dessus du condensateur, dans lequel à partir d'un substrat recouvert d'au moins une couche diélectrique, on creuse simultanément un premier trou et un deuxième trou que l'on repli d'un premier matériau électriquement conducteur, on dépose un couche diélectrique, on creuse la couche diélectrique pour réaliser au moins une cavité au-dessus du premier trou en vue de former un condensateur et au moins un troisième trou au-dessus du deuxième trou en vue de former un via, on dépose une couche d'un deuxième matériau conducteur sur la surface supérieure de la couche diélectrique, ledit deuxième matériau venant remplir ledit troisième trou et revêtir les parois de ladite cavité, on retire ledit deuxième matériau conducteur de la surface supérieure de la couche diélectrique, on dépose au moins une fine couche de matériau diélectrique, au moins sur la surface de ladite couche conductrice dans ladite cavité, on dépose une deuxième couche du deuxième matériau conducteur au moins dans la cavité et sur une zone adjacente à la cavité, on dépose une couche épaisse de matériau diélectrique, on creuse un quatrième trou dans ladite couche épaisse de matériau diélectrique dans l'alignement du trou rempli du deuxième matériau conducteur, jusqu'à atteindre ledit deuxième matériau conducteur, et l'on remplit le quatrième trou d'un troisième matériau conducteur différent du deuxième matériau conducteur pour former un via comprenant les deuxième, troisième et quatrième trous remplis des premier, deuxième et troisième matériaux conducteurs. Le retrait de la deuxième couche du matériau conducteur de la surface supérieure de la couche diélectrique peut être effectué par gravure et/ou par polissage mécano-chimique. La deuxième couche de matériau conducteur destinée à former la deuxième électrode, peut être déposée localement ou non, sur le circuit intégré en cours de fabrication, puis faire l'objet d'une étape de retrait partiel par gravure. Dans un mode de réalisation de l'invention, lors du creusement du troisième trou, on creuse également le matériau conducteur disposé dans le deuxième trou de façon à l'ôter, puis on remplit ces trous d'un matériau conducteur. On peut ainsi disposer d'un matériau conducteur dont les propriétés sont particulièrement bien adaptées à un via. Le fait de disposer d'une couche diélectrique locale traversée par un via métallique entre une zone active du substrat et la première électrode du condensateur, permet de diminuer la résistance électrique entre ces deux éléments. Le fait que le condensateur se trouve séparé du substrat par une couche diélectrique, permet d'augmenter la densité d'intégration dans le substrat, c'est-à-dire en pratique de rapprocher certaines parties des zones actives du substrat dudit via en les disposant au moins en partie sous au moins une partie des électrodes du condensateur. La réalisation en une pluralité d'étapes du via permettant une connexion à un niveau supérieur, par exemple pour une ligne de bits dans une matrice de cellule DRAM, facilite la fabrication en évitant la réalisation en une seule étape d'un via de très grande hauteur qui pose des difficultés importantes de remplissage du trou. Une partie des étapes de fabrication peuvent être utilisées pour la formation d'autres structures sur la même plaquette. Le condensateur peut être formé par dépôt d'une couche conductrice, par exemple en polysilicium, sur l'ensemble de la surface, locale ou non, du circuit en cours de fabrication, c'est-à-dire sur la surface supérieure de la couche diélectrique dans laquelle ont été formés la cavité et le trou, dans le fond des cavités et sur les parois de côté de la cavité. Le via est formé simultanément et avec le même matériau que la première électrode, ce qui évite d'ajouter des étapes de fabrication supplémentaires et permet donc une réduction significative de la durée de fabrication et du coût. Par une étape de gravure ou de polissage mécano-chimique, on enlève le polysilicium de la surface supérieure de la couche diélectrique. Ensuite, on vient déposer une ou plusieurs couches minces d'un matériau diélectrique, là encore sur l'ensemble de la surface, locale ou non, du circuit en cours de fabrication, c'est-à-dire sur la première électrode formée par le polysilicium restant dans la cavité et sur la surface supérieure de la couche diélectrique dans laquelle est formée la cavité et sur la surface supérieure du via. Ensuite, on dépose à nouveau une couche de polysilicium destinée à former une deuxième électrode, là encore sur l'ensemble de la surface du circuit intégré. Par une étape de gravure sélective, on ôte ladite couche de polysilicium d'une partie de la surface supérieure de la couche diélectrique épaisse dans laquelle est formée la cavité, elle-même étant déjà recouverte par là ou les couches minces diélectriques. On peut aussi laisser des connexions disposées sur ladite couche diélectrique épaisse. En variante, les électrodes peuvent être réalisées en métal. La présente invention sera mieux comprise à l'étude de la description détaillée d'un mode de réalisation pris à titre d'exemple nullement limitatif et illustré par les dessins annexés, sur lesquels : - la figure 1, dont il a été fait mention, est une vue schématique d'une cellule mémoire ; - la figure 2 est une vue en coupe schématique d'une portion de circuit intégré, selon un aspect de l'invention ; et - les figures 3 et 4 sont des vues en coupe schématique d'une portion de circuit intégré, selon un autre aspect de l'invention. Comme on peut le voir sur la figure 2, un circuit intégré comprend un substrat 1 pourvu d'une surface supérieure la à partir de laquelle ont été formées par implantation ionique des structures actives qui n'ont pas été représentées, pour la clarté du dessin. Après la formation des structures actives, par exemple un ou plusieurs transistors MOS, on vient déposer sur la surface supérieure la du substrat 1 et sur la surface supérieure desdites structures actives, une couche diélectrique inférieure 14, d'épaisseur comprise entre 0,05 et 0, 5 hum. Dans la couche diélectrique inférieure 14, on forme par gravure deux trous 15 et 16 que l'on remplit ensuite d'un premier matériau conducteur, du métal ou du polysilicium par exemple, pour former des vias 17 et 18. On dépose ensuite sur la couche diélectrique 14 une couche diélectrique intermédiaire 2 qui peut être réalisée en oxyde de silicium, en nitrure de silicium, en alliage vitreux de bore, de phosphore et de silicium (BPSG) ou encore en alliage vitreux de phosphore et de silicium (PSG), ou en tout autre matériau présentant des caractéristiques diélectriques convenables. De façon optionnelle et qui n'a pas été représentée, une couche d'arrêt peut être disposée sur la couche diélectrique 14 inférieure avant le dépôt de la couche diélectrique intermédiaire 2, pour permettre une gravure sélective. On procède ensuite à une étape de gravure qui permet d'ouvrir dans la couche diélectrique intermédiaire 2 une cavité 3 de dimensions relativement importantes, par exemple 0, 4 um x 0,8 p, m, l'épaisseur de la couche diélectrique inférieure 2 étant comprise entre 0, 5 et 1 jum, par exemple de l'ordre de 0, 8 p, m, et un troisième trou 4 de dimensions plus réduites. Le trou 4 peut être de largeur de l'ordre de 0, 5 à 3 gm, par exemple de l'ordre de 2jim. La cavité 3 est creusée de façon qu'elle débouche sur la surface supérieure du via 17 et le trou 4 est formé de façon qu'il débouche sur la surface supérieure du via 18. On procède ensuite au dépôt d'un deuxième matériau conducteur, par exemple du métal ou plus généralement du polysilicium, sur l'ensemble de la surface du circuit, à savoir sur la surface supérieure 2a de la couche diélectrique intermédiaire 2, sur le fond et les parois de côté de la cavité 3 et dans le trou 4. L'épaisseur de la couche conductrice ainsi formée est suffisante pour qu'elle remplisse entièrement le troisième trou 4 mais pas la cavité 3, dont seuls les bords 3a et le fond 3b sont revêtus de ladite couche. On procède ensuite à une étape de retrait de la couche conductrice de la surface supérieure 2a de la couche diélectrique intermédiaire 2, par gravure ou encore par polissage mécano-chimique. A la fin de cette étape, la surface supérieure 2a est dégagée, tandis qu'une électrode 5 à section en U a été formée dans la cavité 3 et un via 6 remplissant entièrement le trou 4 a également été formé. La base du via est en contact électrique avec la partie supérieure du via 18. La surface supérieure du via 6 affleure la surface supérieure 2a de la couche diélectrique intermédiaire 2. La hauteur du via 6 est sensiblement égale à l'épaisseur de la couche diélectrique 2. On vient ensuite déposer une fine couche diélectrique sur l'ensemble de la surface du circuit en cours de fabrication. L'épaisseur de cette couche est telle qu'elle à été représentée sur la figure 2 par un trait épaissi. Ladite couche diélectrique recouvre la surface supérieure 2a, la surface supérieure du via 6 et les surfaces libres de l'électrode 5. On forme ainsi le diélectrique 7 du condensateur en cours de fabrication. On dépose ensuite une deuxième couche conductrice, par exemple en métal ou en polysilicium, sur l'ensemble de la surface du circuit en cours de fabrication, c'est-à-dire sur la fine couche diélectrique. On procède ensuite au retrait partiel par gravure de ladite deuxième couche conductrice au-dessus d'au moins une partie de la couche diélectrique intermédiaire 2 et du via 6. On laisse subsister la deuxième couche diélectrique dans la cavité 3 ainsi que sur des bords adjacents à ladite cavité 3, pour former ainsi une deuxième électrode 8. On dispose ainsi d'un condensateur référencé 9 dans sa globalité et comprenant une première électrode 5, un diélectrique 7 et une deuxième électrode 8. On dépose ensuite une couche diélectrique supérieure 10 sur l'ensemble du circuit en cours de fabrication. La couche diélectrique supérieure 10 remplit le reste de la cavité 3 et présente une surface supérieure 10a sensiblement plane. A partir de la surface supérieure 10a de la couche diélectrique supérieure 10, on vient creuser un quatrième trou Il par gravure. Le trou Il est aligné avec le via 6. La gravure permet également de retirer la fine couche diélectrique disposée au-dessus du via 6 et d'atteindre ledit via 6. On dépose ensuite un matériau conducteur tel que du métal dans le trou Il pour former un via 12 qui affleure la surface supérieure 10a de la couche diélectrique supérieure 10. On peut ensuite former sur la surface supérieure 10a un niveau conducteur comprenant au moins une piste conductrice 13, en métal, formée par un procédé classique ou encore par un procédé damascène. La hauteur du via 12 est sensiblement égale à l'épaisseur de la couche diélectrique 10. On comprend qu'on assure une connexion électrique entre le substrat 1 et la piste conductrice 13 d'un niveau conducteur supérieur au moyen de trois portions de via 18,6 et 12, qui sont chacune de hauteur relativement faible, ce qui garantit une bonne géométrie des trous 16,4 et 11 ainsi qu'un bon remplissage desdits trous 16,4 et Il par le matériau conducteur formant les vias 18,6 et 12, d'où un excellent contact électrique. En outre, la formation du trou 4 et du via 6 est réalisée simultanément à celle de la cavité 3 et de la première électrode 5 du condensateur 9 et est donc réalisée en temps masqué et à coût constant. La formation du trou 11 et du via 12 est elle-même non seulement plus facile, mais également plus brève en raison de leur hauteur réduite par rapport à un cas où il aurait fallu réaliser les trous 4 et Il par une seule étape de gravure et les vias 6 et 12 par une seule étape de remplissage. Ce type de circuit permet d'augmenter l'isolation entre le condensateur 9 et les zones actives du substrat, ou encore d'augmenter la densité d'intégration en disposant une partie des zones actives du substrat au moins en partie sous une partie du condensateur 9. Le contact entre le substrat 1 et la piste conductrice 13 est assuré par un via réalisé en trois portions, chacune de hauteur relativement faible et présentant donc une haute précision de gravure des trous et un excellent remplissage par le matériau conducteur. Sur la figure 3, est illustré un mode de réalisation proche de celui de la figure 2, à ceci près que lors de la gravure du trou 11, on poursuit ladite gravure en retirant le via 6 du trou 4. En d'autres termes, on poursuit la gravure jusqu'à atteindre le via 18. Ceci permet de remplacer le matériau constituant le via 6 qui est le même que celui constituant la première électrode 5 du condensateur 9 par un autre matériau plus adapté et présentant de meilleures propriétés électriques. Sur la figure 4, on voit que la gravure s'est poursuivie jusqu'à atteindre le via 18 et que le trou 11 et le trou 4 ainsi dégagés ont ensuite été remplis d'un seul matériau conducteur pour former un via 19 dont la hauteur est sensiblement égale à la somme des épaisseurs des couches diélectriques 2 et 10. On peut ainsi utiliser un matériau conducteur présentant de hautes propriétés électriques tout en conservant une excellente géométrie des trous de gravure grâce à la gravure préalable du trou 4. En variante, on pourrait également prévoir de ne dégager qu'une partie du trou 4 et de ne remplacer qu'en partie le via 6. A cet égard, on peut, par exemple, remplacer le deuxième matériau, constitutif de la deuxième portion 12 du via, par un autre matériau, différent du premier matériau constitutif de la première portion 6 du via, plus adapté à l'utilisation envisagée. REVENDICATIONS 1. Circuit intégré comprenant un substrat (1), au moins un condensateur (9) disposé au-dessus du substrat et pourvu d'une première électrode (5), d'une deuxième électrode (8), et d'un diélectrique (7) disposé entre les deux électrodes, au moins un via (6, 12) de connexion entre le substrat et un niveau conducteur situé audessus du condensateur, et un matériau diélectrique recouvrant le substrat et entourant le condensateur et le via, caractérisé par le fait que le via comprend une première portion (18) disposée entre le substrat et le niveau inférieur de la première électrode, une deuxième portion (6) disposée entre le niveau inférieur de la première électrode et le niveau supérieur de la première électrode, et une troisième portion (12) en contact avec la première portion et affleurant ledit niveau conducteur, la deuxième portion étant réalisée avec le même matériau que la première électrode du condensateur. 2. Circuit selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le matériau composant la première électrode et la deuxième portion de via comprend du polysilicium. 3. Circuit selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le matériau composant la première électrode et la deuxième portion de via comprend du métal. 4. Circuit selon la revendication 3, caractérisé par le fait que ledit matériau comprend un métal ou un alliage à base de métal, comprenant du cuivre, de l'aluminium, du tungstène, du titane et/ou de l'or. 5. Procédé de fabrication d'un circuit intégré, dans lequel, à partir d'un substrat recouvert d'au moins une couche diélectrique, on forme une première électrode de condensateur disposée au-dessus du substrat, un diélectrique de condensateur, une deuxième électrode de condensateur, le diélectrique étant disposé entre les deux électrodes, et au moins un via de connexion entre le substrat et un niveau conducteur situé au-dessus du condensateur, et un matériau diélectrique recouvrant le substrat et entourant le condensateur et le via, le via comprenant une première portion disposée entre le substrat et le niveau inférieur de la première électrode, une deuxième portion entre le niveau inférieur et le niveau supérieur de la première électrode, et une troisième portion en contact avec la deuxième portion et affleurant ledit niveau conducteur, la deuxième portion et la première électrode étant formées simultanément et avec le même matériau. 6. Procédé selon la revendication 5, dans lequel : * à partir d'un substrat recouvert d'au moins une couche diélectrique, on creuse simultanément un premier trou (15) et un deuxième trou (16) que l'on rempli d'un premier matériau électriquement conducteur, on dépose un couche diélectrique (2), on creuse la couche diélectrique pour réaliser au moins une cavité au dessus du premier trou rempli en vue de former un condensateur et au moins un troisième trou au dessus du deuxième trou rempli en vue de former un via, * on dépose une couche d'un deuxième matériau conducteur sur la surface supérieure de la couche diélectrique (2), ledit matériau venant remplir ledit troisième trou et revêtir les parois de ladite cavité, e on retire ledit deuxième matériau conducteur de la surface supérieure de la couche diélectrique, * on dépose au moins une fine couche de matériau diélectrique, au moins sur la surface de ladite couche conductrice dans ladite cavité, * on dépose une deuxième couche du deuxième matériau conducteur au moins dans la cavité et sur une zone adjacente à la cavité, on dépose une couche épaisse de matériau diélectrique, on creuse un quatrième trou dans ladite couche épaisse de matériau diélectrique dans l'alignement du trou rempli du deuxième matériau conducteur, jusqu'à atteindre ledit deuxième matériau conducteur, et 'on rempllt ledit quatrième trou a-un troisième materiau conducteur pour former un via comprenant les deuxième, troisième et quatrième trous remplis des premier deuxième et troisième matériaux conducteurs. 7. Procédé selon la revendication 6, dans lequel les deuxième et troisième matériaux sont différents. 8. Procédé de fabrication d'un circuit intégré comprenant au moins un condensateur disposé au-dessus d'un substrat et au moins un via (6,12, 18) de connexion entre le substrat et un niveau conducteur situé au dessus du condensateur, dans lequel : * à partir d'un substrat recouvert d'au moins une couche diélectrique, on creuse simultanément un premier trou (15) et un deuxième trou (16) que l'on rempli d'un premier matériau électriquement conducteur, on dépose un couche diélectrique (2), on creuse la couche diélectrique pour réaliser au moins une cavité au dessus du premier trou rempli en vue de former un condensateur et au moins un troisième trou au dessus du deuxième trou rempli en vue de former un via, * on dépose une couche d'un deuxième matériau conducteur sur la surface supérieure de la couche diélectrique, ledit deuxième matériau venant remplir ledit troisième trou et revêtir les parois de ladite cavité, e on retire ledit deuxième matériau conducteur de la surface supérieure de la couche diélectrique, * on dépose au moins une fine couche de matériau diélectrique, au moins sur la surface de ladite couche conductrice dans ladite cavité, 'on dépose une deuxième couche du deuxième matériau conducteur au moins dans la cavité et sur une zone adjacente à la cavité, on dépose une couche épaisse de matériau diélectrique, on creuse un quatrième trou dans ladite couche épaisse de matériau diélectrique dans l'alignement du trou rempli du deuxième matériau conducteur, jusqu'à atteindre ledit deuxième matériau conducteur, et - on remplit ledit quatrième trou d'un troisième matériau conducteur différent du deuxième matériau conducteur pour former un via comprenant les deuxième, troisième et quatrième trous remplis des premier, deuxième et troisième matériaux conducteurs.