Brevet FR2827720A1 — publié le 20030124

DISPOSITIF A ONDES ACOUSTIQUES DE SURFACE A FAIBLES PERTES AVEC COUCHE DIÉLECTRIQUE DE FORTE PERMITTIVITÉ L'invention concerne un dispositif à ondes acoustiques de surfaces (ou dispositif SAW selon l'abréviation de l'expression anglo-saxonne Surface Acoustic Wave ) et s'applique plus particulièrement aux dispositifs SAW fonctionnant dans les bandes de fréquences supérieures au gigahertz. Durant ces vingt dernières années, la demande croissante de l'industrie des télécommunications mobiles a conduit à l'introduction d'un nouveau type de filtre SAW, dont les caractéristiques sont essentiellement de faibles pertes, une très petite taille, et qui peuvent fonctionner à des fréquences allant jusqu'à 2 ou 3 GHz, voire au-delà. Les dispositifs SAW sont généralement formés sur un substrat piézoélectrique mono ou polycristallin. Parmi les plus utilisés, on peut citer les substrats monocristallins de LiNbOg (Niobate de Lithium) et LiTa03 (Tantalate de Lithium). Les coupes les plus utilisées pour réaliser des filtres SAW avec de faibles pertes de propagation sont habituellement désignés respectivement par 64 Y-X LiNbOg et et 36 Y-X LiTaOg", où X, Y, Z sont les axes cristallographiques du cristal, s'agissant en effet de substrats monocristallins dont le plan de coupe subit une rotation autour de l'axe X respectivement de 640 pour LiNbOg et 360 pour LiTa03 (par rapport à une orientation du plan de coupe normale à l'axe Y) et dans lequel la direction de propagation de l'onde acoustique de surface se fait selon l'axe X. Le type des ondes SAW qui peuvent se propager dans ces coupes est connu sous le nom de leaky SAW et est caractérisé par un très fort couplage piézoélectrique, une très grande vitesse des ondes, ce que est positif, mais aussi par une faible radiation des ondes de volume, conduisant à des pertes. Les coupes 36 Y-X LiTa03 et 64 Y-X LiNbOg étaient choisies dans les réalisations de l'art antérieur pour minimiser les pertes de propagation. Cependant, ces angles de coupe donnent un résultat optimal (en terme de pertes de propagation) pour des ondes se propageant sur un substrat homogène et en négligeant l'effet mécanique d'une métallisation. Dans le cas des filtres modernes, avec pertes minimales, les ondes ne se propagent plus sur un substrat homogène puisque l'on dépose un réseau métallique à la surface. L'épaisseur de la couche d'Aluminium formant les électrodes peut être de 8% à 10% de la longueur d'onde de l'onde acoustique. D'autre part, pour réduire les pertes d'insertion ; on est en général conduit à utiliser la réflexion des ondes de surface par des électrodes métalliques. La présence des électrodes sur le substrat change la propagation des ondes et les coupes optimales ne le sont plus. Par ailleurs, dans le cas de LiNb03, contrairement à LiTa03, l'angle de coupe qui permet de rendre minimales les pertes de propagation n'est pas le même dans l'hypothèse d'une surface libre et dans celle d'une surface entièrement métallisée avec couche du métal mince. En pratique, du fait de la présence d'électrodes séparées par des espaces libres, il n'y a donc pas de coupe optimale pour le Niobate de Lithium. Il est connu que l'augmentation de l'épaisseur des électrodes par rapport à la longueur d'onde SAW dans les coupes dont il est fait référence ci-dessus est à l'origine notamment de l'émission d'ondes de volume par les électrodes et de la diffraction d'une partie des ondes de surface en ondes de volume, résultant dans des pertes de propagation accrues des ondes de surface. On appelle LSAW les ondes de surfaces qui sont accompagnées par une radiation d'ondes du volume (abréviation de l'expression anglosaxonne Leaky Surface Acoustic Wave))). En ce qui concerne la théorie des pertes de propagation des LSAW dans un filtre SAW utilisant une électrode épaisse sur un substrat de type 64 Y-X LiNb03 ou 36 Y-X LiTa03' on pourra se référer à Plessky et ai. (V. S. Plessky and C. S. Hartmann, Proc. 1993 IEEE Ultrasonics Symp., pp. 1239-1242) et Edmonson et al. (P. J. Edmonson and C. K. Campbell, Proc. 1994 IEEE Ultrasonics Symp., pp. 75-79). Ainsi, pour des applications pratiques, l'émission des ondes du volume doit être minimisée afin de diminuer les pertes de propagation. Dans le brevet US 6,037, 847 (Fujitsu Limited), le problème est résolu en proposant un angle de coupe supérieur à celui habituellement utilisé, à savoir un angle de coupe compris entre 390 et 460 pour LiTa03 et un angle de coupe compris entre 66 et 74 pour LiNb03. Il apparaît dans ce document qu'avec ces angles de coupe, il est possible d'optimiser l'épaisseur d'électrode pour rendre minimales les pertes de propagation des ondes de surface LSAW. Par ailleurs, le brevet DE 197 58 195 A 1 propose un dispositif SAW avec un substrat de type LiNb03 ou LiTa03 dont les électrodes en aluminium pur ou composite sont recouvertes d'une couche dure d'un oxyde d'aluminium permettant une optimisation des pertes de propagation pour un angle de coupe donné du substrat piézoélectrique. Cette solution n'est cependant pas complètement satisfaisante car elle nécessite de procéder au dépôt d'une couche sur le dispositif SAW finalisé, en maîtrisant l'épaisseur de la couche sur les électrodes et entre les électrodes, rendant le procédé de fabrication nettement plus compliqué. L'invention propose un dispositif SAW pouvant fonctionner dans des bandes de fréquence allant jusqu'à 2 ou 3 GHz avec des pertes de propagation des ondes de surface minimales, dans lequel il est possible d'utiliser des substrats piézoélectriques de type LiNb03 ou LiTa03 avec des angles de coupe usuels. L'invention propose également un moyen de régler le coefficient de couplage piézoélectrique obtenu pour l'adapter à la bande du filtre que l'on veut réaliser. Pour cela, l'invention propose de déposer sur le substrat, avant la mise en place des électrodes, une couche mince uniforme d'un matériau présentant une grande constante diélectrique et de forte dureté, par exemple de type Ti02 (dioxyde de Titane). La déposante a montré qu'un tel dispositif peut être optimisé pour rendre les pertes de propagation minimales avec des angles de coupe donnés, y compris des angles de coupe usuels, et se montre particulièrement prometteur avec le Niobate de Lithium, dont les potentialités se voient élargies grâce au dispositif selon l'invention. Plus précisément, l'invention concerne un dispositif à ondes acoustiques de surface à faibles pertes comprenant un substrat piézoélectrique, un ensemble d'électrodes conductrices, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une couche mince d'un matériau diélectrique de dureté et de permittivité diélectrique supérieures à celle du substrat, déposée de façon sensiblement uniforme sur la surface dudit substrat, les électrodes étant disposées sur ladite couche. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à la lecture de la description qu suit, illustrée par les figures qui représentent : - les figure 1A et 1B, des schémas rappelant la définition de l'angle de coupe d'un cristal ; - la figure 2, le schéma d'un exemple de réalisation du dispositif selon l'invention ; - la figure 3, une coupe partielle du schéma de la figure 2 ; ta figure 4, un diagramme montrant des courbes représentant en fonction de l'angle de coupe, l'épaisseur optimale des électrodes en fonction de l'épaisseur de la couche de Tir 2 avec un substrat de LiTa03 ; La figure 5, un diagramme montrant des courbes représentant en fonction de l'angle de coupe, l'épaisseur optimale des électrodes en fonction de l'épaisseur de la couche de Tir 2 avec un substrat de LiNbOg. Les figures 1A et 1B illustrent par des schémas la définition des angles de coupes utilisée dans la suite. Les axes X, Y, Z sont les axes cristallographiques du cristal. La figure 1A montre une plaque de coupe Y-X, c'est-à-dire que la normale au plan de coupe est l'axe Y et que la direction de propagation est l'axe X. On définit sur cette figure les directions w (suivant la largeur de la plaque),/ (suivant sa longueur, dans la direction de propagation), et t, perpendiculaire à la plaque. Une coupe et un angle de propagation sont définis en partant de la coupe Y-X et en appliquant trois rotations successives. Dans le cas qui nous intéresse ici, représenté sur la figure 1B, une seule rotation est appliquée autour de/, d'un angle 0. La propagation se fait suivant la direction 1 de la plaque tournée. Le repère initial (XYZ) devient après rotation (XY'Z'). On appelle coupe 0 Y-X une coupe d'un cristal telle qu'elle est définie sur la figure 1 B. Les pertes dans les structures à ondes acoustiques de surface LSAW s'expliquent notamment par des pertes de propagation dues à l'excitation et à la diffusion d'ondes de volumes lentes ( slow shear waves", en anglais), et à d'autres effets de type pertes ohmiques, c'est à dire due à résistance des électrodes. Ainsi, comme cela a été expliqué précédemment, dans le cas de dispositifs LSAW avec substrat de Tantalate de Lithium (LiTa03) par exemple, la coupe 36 Y-X était couramment utilisée car elle était réputée rendre minimales les pertes de propagation sur surface libre. Mais il apparaît que cette coupe n'est pas optimale lorsque la masse des électrodes n'est plus négligeable comparée à la longueur d'onde de l'onde acoustique qui se propage (typiquement, épaisseur de 8% à 12 % de la longueur d'onde). L'invention propose un dispositif à ondes acoustiques de surface à faibles pertes de propagation, y compris dans les applications de filtrage dans les bandes gigaherz, dont un exemple de réalisation est illustré sur la figure. 2. Une coupe partielle agrandie du schéma de la figure 2 est représentée sur la figure 3. Sur ces figures, le dispositif SAW 1 comprend un substrat piézoélectrique 2 ainsi qu'un ensemble d'électrodes conductrices 3. Il s'agit par exemple d'électrodes réalisées en Aluminium pur (AI), en alliage Aluminium/Cuivre (AI/Cu), en Cuivre pur (Cu) ou en Or (Au). Selon l'invention, une couche diélectrique mince 4, de forte dureté, est déposée sensiblement uniformément sur la surface 21 du substrat, les électrodes étant disposées sur la surface 41 de ladite couche diélectrique 4. La déposante a montré qu'il est possible avec un tel dispositif de rendre minimales les pertes de propagation, comme cela sera explicité par la suite, en choisissant pour la couche 4 un matériau dure de forte permittivité diélectrique, c'est-à-dire dont la dureté et la permittivité diélectrique sont au moins supérieures à celle du substrat. La dureté est définie ici par rapport à la vitesse de propagation des ondes acoustiques dans le matériau. Par matériau dur, on veut signifier ici que la vitesse des ondes acoustiques se propageant dans le matériau formant la couche 4 est plus grande que la vitesse des ondes acoustiques se propageant dans le substrat. La déposante a montré qu'un matériau particulièrement intéressant pour le dispositif selon l'invention est l'oxyde de Titane (TiO,) qui réunit à la fois les conditions requises de dureté et de permittivité diélectrique (la permittivité diélectrique de Ti02 est sensiblement supérieure à celle du Tantalate de Lithium par exemple). D'autres matériaux sont envisageables, comme par exemple l'oxyde de Niobum (Nb2Os)'Ces deux matériaux sont par ailleurs utilisés dans les technologies électroniques, par exemple pour la production de condensateurs, et leur technologie est donc bien maîtrisée. On montre maintenant des exemples de résultats de simulation obtenus avec un dispositif SAW avec substrat de Tantalate de Lithium (LiTa03) et avec substrat de Niobate de Lithium (LiNb03) sur lesquels est déposée une couche mince d'oxyde de Titane, les électrodes agencées sur la couche d'oxyde de Titane étant en Aluminium. La structure choisie ici à titre d'exemple pour procéder aux simulations est un résonateur synchrone avec un transducteur long et des réflecteurs relativement courts placés de chaque coté. La méthode de calcul utilisée (méthode FEM/BEM ) est décrite notamment dans Advances in Surface Acoustic Wave Technology, Systems and Applications (Vol. 2) , Eitors C. C. W. Ruppel & T. A. Fjedly, World Scientific (2001), pages 1-82. Les paramètres utilisés sont l'angle de coupe 0, l'épaisseur h des électrodes, l'épaisseur #TiO2 de la couche d'oxyde de Titane et le rapport de métalisation a/p, où a est la largeur d'un doigt d'électrodes et p est la période, comme cela est illustré sur la figure 3. Dans l'exemple décrit ci-dessous, le rapport a/p est fixé à 0, 5. Les calculs ont permis de déterminer en fonction des paramètres cités les fréquences de résonance f, et d'antirésonance fa, du résonateur, ainsi que leurs facteurs de qualité respectifs Qr et Qar. D'autres caractéristiques ont été déterminées telles que la vitesse de propagation de l'onde acoustique v, la réflectivité par électrode K, la transductance normalisée an (caractéristique du couplage électromécanique), la capacitance normalisée Cn et la distance résonance-antirésonance R-a-R définie par la relation suivante : qui présente un intérêt direct dans la définition des filtres à éléments d'impédance (IEFs, ou filtres SAW en échelle appelés ladder filters selon l'expression anglo-saxonne). On s'intéresse dans un premier temps aux simulations effectuées avec un substrat de Tantalate de Lithium (LiTaO3). La figure 4 montre en fonction de l'angle de coupe # du cristal de LiTa03, la valeur optimale ho, de l'épaisseur des électrodes normalisée par rapport à la longueur d'onde #0 d'une onde acoustique de surface excitée sur la surface du substrat piézoélectrique, pour différentes valeurs de l'épaisseur h-r, de la couche d'oxyde de titane, données également en fonction de la longueur d'onde #0. La valeur optimale montrée ici est la valeur qui rend les pertes de propagation minimales à la fréquence de résonance f, (et à la fréquence d'anti-resonance). Quatre courbes sont représentées, notées 41 à 44, correspondant respectivement à une épaisseur de la couche de Ti02 de hTo2=0 (pas de couche), hTi02=O, OO5Ào' hTi02=O, 01Bo et h=0, 015Â.. On retrouve sur la courbe 41 de la figure 4, qu'en l'absence de la couche de Tri02, aucune valeur d'épaisseur des électrodes ne permet de rendre minimales les pertes de propagation autour de 6 =36 , tandis que le choix d'électrodes très minces correspond à un optimum pour une coupe de 36, 7 environ. Par contre, les calculs effectués par la déposante montrent qu'avec l'insertion d'une couche de Tri02, la valeur optimale de l'épaisseur des électrodes est finie, même pour des angles situés autour de 36 . Par ailleurs, plus l'épaisseur de la couche de Ti02 est grande, plus l'épaisseur optimale des électrodes l'est aussi. Il apparaît ainsi au vu des résultats montrés sur la figure 4 que pour un angle de coupe 0 usuel autour de 36 , et une épaisseur de la couche de Ti02 comprise sensiblement entre 0, 1% et 2% de la longueur d'onde d'une onde acoustique de surface excitée sur la surface du substrat piézoélectrique, il est possible de trouver l'épaisseur d'électrode h optimale (entre 3% et 10% de la longueur d'onde À) de telle sorte à obtenir un dispositif dont les pertes de propagation sont minimales. La déposante montre ainsi que grâce au dispositif selon l'invention, il est possible de trouver la combinaison qui minimise les pertes par le choix de 3 paramètres (angle de coupe 6, épaisseur des électrodes ho, et épaisseur de la couche de Ti02 hT,). On peut choisir arbitrairement (dans les limites indiquées) deux de ces paramètres, le troisième est alors déterminé par les courbes de la figure 4. La figure 4 montre ainsi un éventail possible des angles de coupe de 34 à 380, pour illustrer que la coupe dite standard de 36 à 370 peut être optimisée. Mais il est entendu que l'éventail des angles permettant de limiter les pertes de propagation, grâce au dispositif selon l'invention, peut être plus large, typiquement entre 300 et 450. Les calculs effectués montrent qu'à la fréquence d'antirésonance, le comportement est similaire. Le tableau 1 présenté en annexe donne pour un substrat de Tantalate de Lithium, les valeurs de certains paramètres du filtre selon l'invention (définis ci-dessus), calculées dans les mêmes conditions que précédemment (en utilisant le modèle FEM/BEM) avec une couche diélectrique de TiO2, des électrodes en Aluminium, et un rapport a/p = 0,5. Ce tableau montre les résultats numériques précis obtenus pour quelques configurations particulières, notées A à F, correspondant chacune à une valeur d'angle de coupe et une valeur d'épaisseur d'électrodes, pour différentes valeurs de l'épaisseur de la couche de Tri02. Le tableau 1 apporte notamment les mêmes conclusions que celles tirées de la figure 4, à savoir que le choix des trois paramètres angle de coupe 0, épaisseur des électrodes hop et épaisseur de la couche de TiO2 h- permet, grâce au dispositif selon l'invention, de trouver la combinaison optimale permettant de limiter les pertes de propagation. Ainsi, la déposante a montré qu'il n'y a pas un seul angle optimale mais que pour chaque angle (entre 340 et 380, par exemple, comme le montre la figure 4) et pour une épaisseur raisonnable des électrodes (environ 8% de la longueur d'onde acoustique), on peut trouver l'épaisseur de la couche Tif,, qui minimise les pertes de propagation. Par ailleurs, le Tableau 1 ci-dessus montre également que l'écart entre la fréquence de résonance et d'antirésonance diminue lorsque l'on augmente l'épaisseur de Tir 2. Ceci peut être utilisé lorsque l'on cherche à réduire la bande passante relative du filtre. On considère maintenant les simulations effectuées avec un substrat de Niobate de Lithium (LiNbO3). Comme précédemment, la couche diélectrique est formée d'oxyde de Titane et les électrodes sont en Aluminium. La figure 5 montre en fonction de l'angle de coupe 6 du cristal de LiNbOg, la valeur optimale hop de l'épaisseur des électrodes normalisée par rapport à la longueur d'onde Xo d'une onde acoustique de surface excitée sur la surface du substrat piézoélectrique, pour différentes valeurs de l'épaisseur hT102 de ta couche d'oxyde de titane (données également en fonction de la longueur d'onde S0). Comme sur la figure 4, la valeur optimale montrée ici est la valeur qui rend les pertes de propagation minimales à la fréquence de résonance f,. Cinq courbes sont représentées, notées 51 à 55, correspondant respectivement à une épaisseur de la couche de Ti02 de h-, =0, 005, hTlo2=0, 010Ào' hW2=0, 015Ào et hW2=0, 020Ào. et hTlo2=0, 025Ào' On vérifie que sans couche de Ti02 la coupe de 41 est optimale pour une épaisseur d'Aluminium des électrodes très faible. Il apparaît sur ces courbes que grâce au dispositif selon l'invention, il est possible même en utilisant des coupes usuelles du Niobate de Lithium (8 = 410 et 8 = 64 ) de trouver des valeurs d'épaisseur d'électrodes qui minimisent les pertes de propagation. Il apparaît ainsi que pour un angle de coupe 8 usuel, autour de 410 et une épaisseur de la couche de Tir2 comprise sensiblement entre 0, 1% et 3% de la longueur d'onde d'une onde acoustique de surface excitée sur la surface du substrat piézoélectrique, il est possible de fixer l'épaisseur d'électrode h entre 2% et 10% de la longueur d'onde À de telle sorte à obtenir un dispositif dont les pertes de propagation sont minimales. Par ailleurs, pour un angle de coupe autour de 640 et une épaisseur de la couche de Ti02 comprise sensiblement entre 0, 1% et 3% de la longueur d'onde à, il est également possible de fixer l'épaisseur d'électrode h entre 2% et 10% de la longueur d'onde Ào de telle sorte à obtenir un dispositif dont les pertes de propagation sont minimales. Bien entendu, comme précédemment, la même optimisation peut être faite dans un éventail d'angles de coupe beaucoup plus large (typiquement entre 350 et 650). Les tableaux 2 et 3 présentés en annexe donnent les valeurs des paramètres obtenus par simulation, respectivement pour un angle de coupe 0 = 410 et pour un angle de coupe 0 = 64 , traditionnellement les plus utilisés en pratique. Les différentes configurations correspondant à des couples de valeurs épaisseur de TiO/épaisseur d'électrode sont notées de A'à F'. Toutes les combinaisons des paramètres choisis (A'à F') donnent d'excellents résultats pour les facteurs de qualité Q, à la fréquence de résonance et à la fréquence d'anti-résonance. Ce qui est remarquable notamment, c'est que le coupe 41 Y-XliNbO3 permet des pertes de propagation minimales avec une très forte constante de couplage piézoélectrique. Ainsi, dans l'art antérieur, cet angle de coupe était peu utilisé car était réputé présenter des pertes de propagation élevées. Grâce au dispositif selon l'invention, en choisissant des angles de coupe inférieurs à 410 on peut obtenir un couplage encore plus fort, sans pour autant subir des pertes de propagation fortes, en choisissant correctement l'épaisseur de la couche de Tri02, grâce par exemple aux résultats présentés sur la figure 5 ou dans les tableaux 2 et 3. La déposante a ainsi montré que dans le cas du Tantalate de Lithium (LiTa03), comme dans le cas du Niobate de Lithium (LiNb03), il est possible grâce au dispositif SAW selon l'invention de rendre minimales les pertes de propagation, même en utilisant des angles de coupe usuels, et avec des épaisseurs d'électrodes suffisantes (au-delà de 5% de la longueur d'onde de propagation de l'onde acoustique) pour réduire la résistance ohmique y compris dans les hautes fréquences, de l'ordre du gigaherz et au-delà. ANNEXE On e ( ) h/ Q, CL R-a-R v (m/s) k &alpha;0 C0 A 34 0, 05 1700 900 4,0% 4106 0,136 87. 10-5 45. 10-5 B 36 0, 05 4000 1400 3,9% 4109 0,134 86. 105 45. 10-5 C 38 0, 05 16800 2600 3,9% 4112 0,132 85. 10-5 45. 105 Je360, 06 2800 900 4, 1% 4097 0,156 87. 10-5 44.10-5 E 38 0, 06 8200 1500 4, 1% 4099 0,154 86. 105 44. 10-5 F 38 0, 07 4700 900 4, 1% 4085 0, 179 86. 10-5 43. 105 hTiO2 = 0,005 #0 6 h/#0 Qr Qar R-a-R v (m/s) k &alpha;0 Cr A 34 0, 05 4100 1600 3,4% 4126 0,114 84. 10-5 50.10-5 B 36 0, 05 17000 2900 3,4% 4129 0,113 83. 10-5 50. 10-5 C 38 0,05 #105 7100 3, 3% 4131 0,111 82. 105 50. 10-5 D 36 0, 06 8300 1600 3,6% 4118 0,133 84. 10-5 48. 105 E 38 0,06 #105 3300 3,5% 4120 0,131 83. 105 48. 10-5 F 38 0, 07 21900 1700 3,7% 4107 0,154 84. 10-5 47. 10-5 hTiO2 = 0,010 #0 e h/#0 Qr Qar R-a-R v (mis) K a, Cn A 34 0, 05 16200 3300 2,9% 4145 0,096 81.10-5 54. 10'' B 36 0,05 #105 8000 2,9% 4147 0,095 80. 10-5 54.10-5 C 380, 05 15800 38900 2, 8% 4149 0,096 79. 10-5 54. 10'' D 36 0, 06 85500 3600 3, 1% 4137 0,113 81. 10'' 52. 10-5 E 38 0, 06 45900 10300 3, 0% 4139 0, 111 81. 10-5 52.10-5 F 38 0, 07 63800 4060 3,2% 4127 0,132 81. 10-5 51. 10-5 hTiO2 = 0,015 #0 6 h/#0 Qr Qar R-a-R v(m/s) k &alpha;0 C0 A 34 0,05 #105 8750 2, 5% 4161 0, 081 77.10-5 59. 105 B 36 0,05 18900 39900 2,4% 4163 0, 079 77. 10-5 59. 10-5 C 38 0, 05 4540. 10s 2, 4% 4165 0, 078 76. 10-5 59. 10'5 0 36 0, 06 60800 11300 2, 6% 4154 0, 095 78. 10-5 56. 10-5 E 38 0,06 7300 93000 2,6% 4156 0, 094 78. 10-5 56. 10-5 FFJ380, 07 15500 14600 2,8% 4144 0, 112 79. 10-5 54. 10-5 Tableau 1 : Simulations avec LiTa03 hTiO2/#0 h/#0 Qr Qar v (mis) K an C A'0,010 0, 03 #105 #105 4497 0,176 141. 10-' 57. 10'' B'0, 015 0, 05 #105 10000 4488 0,211 138. 10's 57. 10-5 C' 0,020 0,06 12000 11000 4494 0, 222 135. 10-5 58. 10' Tableau 2 : Simulations avec une coupe 41 Y-X LiNbO3 hTiO2/#0 h/#0 Qr Qar v(m/s) K a C D'0,015 0,06 10000 53000 4495 0,183 100. 10-5 50.10-5 E'0,020 0,07 4800 90000 4497 0,197 98. 10'' 52. 10-5 F' 0,025 0,08 3687 #105 4497 0, 216 95. 10' 54. 10' Tableau 3 : Simulations avec une coupe 64 Y-X LiNbO3 REVENDICATIONS 1-Dispositif à ondes acoustiques de surface à faibles pertes (1) comprenant un substrat piézoélectrique (2), un ensemble d'électrodes conductrices (3), caractérisé en ce qu'il comprend en outre une couche mince (4) d'un matériau diélectrique de dureté et de permittivité diélectrique supérieures à celle du substrat, déposée de façon sensiblement uniforme sur la surface dudit substrat, les électrodes étant disposées sur ladite couche. 2-Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau diélectrique est constitué de dioxyde de Titane Tri02. 3-Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le matériau diélectrique est constitué d'oxyde de Niobum NbOg. 4-Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche de matériau diélectrique est sensiblement comprise entre 0,1% et 5% de la longueur d'onde d'une onde acoustique de surface excitée sur ladite surface dudit substrat piézoélectrique. 5-Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les électrodes sont faites en Aluminium pur (AI), en alliage Aluminium/Cuivre (AI/Cu), en Cuivre pur (Cu) ou en Or (Au). 6-Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'épaisseur des électrodes est sensiblement comprise entre 1% et 15% de la longueur d'onde d'une onde acoustique de surface excitée sur ladite surface dudit substrat piézoélectrique. 7-Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le substrat piézoélectrique est formé à partir de cristal de Tantalate de Lithium LiTa03. 8-Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'angle de coupe (8) du cristal de LiTaOg est compris sensiblement entre 34 et 380, en ce que la couche mince diélectrique est formée de dioxyde de Titane et présente une épaisseur comprise sensiblement entre 0,1% et 3% de la longueur d'onde d'une onde acoustique de surface excitée sur la surface dudit substrat et en ce que l'épaisseur des électrodes est déterminée, pour un angle de coupe donné, en fonction de l'épaisseur de la couche de Ti02 de telle sorte à rendre minimales les pertes de propagation. 9-Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'angle de coupe (8) du cristal de LiTa03 se situe sensiblement entre 360 et 370, en ce que l'épaisseur de la couche de Ti02 est comprise sensiblement entre 0,1 % et 2% de ladite longueur d'onde et en ce que l'épaisseur des électrodes est comprise sensiblement entre 3% et 10% de ladite longueur d'onde. 10- Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche de Ti02 est comprise sensiblement entre 1. 0 % et 2% de ladite longueur d'onde et en ce que l'épaisseur des électrodes est comprise sensiblement entre 6% et 10% de ladite longueur d'onde. 11-Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le substrat piézoélectrique est formé à partir de cristal de Niobate de Lithium LiNbO,. 12-Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'angle de coupe (8) du cristal de LiNbOg est compris sensiblement entre 350 et 700, en ce que la couche mince diélectrique est formée de dioxyde de Titane et présente une épaisseur comprise sensiblement entre 0,1% et 3% de la longueur d'onde d'une onde acoustique de surface excitée sur la surface dudit substrat et en ce que l'épaisseur des électrodes est déterminée, pour un angle de coupe donné, en fonction de l'épaisseur de la couche de Ti02 de telle sorte à rendre minimales les pertes de propagation. 13-Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'angle de coupe (0) du cristal de LiNb03 se situe autour de 41 , en ce que l'épaisseur de la couche de Ti02 est comprise sensiblement entre 0,1 % et 3% de ladite longueur d'onde et en ce que l'épaisseur des électrodes est comprise sensiblement entre 2% et 10% de ladite longueur d'onde. 14- Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche de TiO2 est comprise sensiblement entre 2.0 % et 3% de ladite longueur d'onde et en ce que l'épaisseur des électrodes est comprise sensiblement entre 6% et 10% de ladite longueur d'onde. 15-Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que l'angle de coupe (8) du cristal de LiNbOg se situe autour de 640, en ce que l'épaisseur de la couche de Ti02 est comprise sensiblement entre 0,1 % et 3% de ladite longueur d'onde et en ce que l'épaisseur des électrodes est comprise sensiblement entre 2% et 10% de ladite longueur d'onde. . 16- Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que l'épaisseur de la couche de Ti02 est comprise sensiblement entre 2. 5 % et 3% de ladite longueur d'onde et en ce que l'épaisseur des électrodes est comprise sensiblement entre 8% et 10% de ladite longueur d'onde.