Brevet FR2823859A1 — publié le 20021025

- détection d' objets et aide à leur classification. SUPPORT DE POSITIONNEMENT ET DE MAINTIEN DE FIBRES OPTIQUES ET SON PROCEDE DE REALISATION DESCRIPTION Domaine techniave La présente invention concerne un support de positionnement et de maintien de fibres optiques en vue de les relier optiquement à un composant optique ainsi que son procédé de réalisation. Elle stapplique notamment dans le domaine des télécommunications optiques, dans le domaine de ltoptoélectronique pour le fibrage en particulier de matrice de diodes lasers et de façon plus générale dans tous les cas o il est nécessaire de positionner et maintenir une fibre ou un ensemble de fibres avec des contraintes de pas et d'alignement optique, en vue de la connexion optique des fibres à un composant optique. On entend par composant optique, aussi bien un composant tout optique qu'un composant optoélectronique ou de facon générale tout composant comportant au moins une entrse et/ou une sortie optique. Etat de la techniaue Une fibre optique est formée en général dun ou de plusieurs c_urs disposés dans une gaine optique. Pour rigidifier mécaniquement la fibre, la gaine optique peut-être entourée d'une gaine mécanique, ellemême noyée dans un soupliceau appelé encore surgaine. SP 19610 JL A titre d'exemple, une fibre monocoeur peut comporter une gaine optique de 125,um de diamètre, une gaine mécanique de 250,um de diamètre et un soupliceau de 900,um de diamètre. Pour positionner des fibres en regard dentrées ou de sorties optiques d'un composant, actuellement, on dispose lesdites fibres dans un support, après avoir enlevé le soupliceau et la gaine mécanique au moins à la partie des fibres disposoe dans le support. Ce dernier comporte des rainures parallèles, aptes à contenir partiellement lesdites fibres sans le soupliceau et la gaine mécanique. Le support comporte en général une contre-lame qui permet de maintenir les fibres contre le reste du support. Les rainures du support sont le plus souvent réalisé par des "V" (appelé en terminologie anglo-saxonne: V- groove). Les figures la et lb représentent schématiquement en coupe des exemples de réalisation de supports classiques de fibres. Sur la figure la est représentée une fibre optique 1. Cette fibre est démunie successivement de son soupliccau 5, puis de sa gaine mécanique. La gaine optique 3 est alors apparente sur le reste de la figure, et est apte à être maintenue par un support de fibre 7. Ce dernier se compose de 2 parties 11 et 13 qui maintiennent en sandwich la gaine optique 3 de la fibre 1. Pour un meilleur maintien de la fibre, une rainure (non représentée) apte à recevoir la fibre est généralement réalisoe sur au moins une des parties 11 et 13. Dans cet exemple, le soupliceau n'est pas solidaire du support. En outre, le soupliceau et la gaine mécanique peuvent ne pas être fixées entre eux. SP 19610 JL Pour permettre un meilleur maintien de la fibre 1, on peut raj outer à la structure représentée figure la, deux éléments 15, 17 qui prennent en sandwich cette structure de façon qu'une partie du soupliceau et de la gaine mécanique soit également prise dans ce sandwich. L'ensemble alors obtenu est représenté figure lb. La figure lc donne une représentation schématique en vue de dessus de la structure de la figure la dans le cas d'un support 7 maintenant 8 fibres. En dehors du support 7, les fibres s'épanouissent sur une distance d, compte tenu du changement de diamètre entre les fibres sans soupliccau et ces mêmes fibres avec le soupliceau. Ainsi, bien que l'utilisation d'un soupliceau et d'une gaine mécanique protège les fibres, elle induit la création d'une zone intermédiaire entre la fibre avec soupliceau et la fibre sans soupliceau; cette zone intermédiaire est fragile. Les structures connues telles que celles représentées figures la et lc sont donc particulièrement fragiles, puisque les zones intermédiaires ne comportant pas de soupliceau. Par ailleurs, l'utilisation d'éléments 15 et 17 situés de part et d'autre du support et prenant appui sur le soupliceau des fibres, tels que ceux représentés figure lb, permettent de maintenir partiellement le soupliceau et la gaine mécanique mais ils ne l'empêchent pas touj ours de se déplacer entre lesdits éléments ce qui ne permet pas de supprimer la fragilité de la structure. De plus, l'extrémité du soupliceau n'étant pas à une distance précise du support, les éléments 15 et 17 doivent être suffisamment long pour être sûr que les soupliceaux des différentes fibres soient bien positionnés entre lesdits éléments. SP 19610 JL La fragilité des structures connues, induit des problèmes notamment de manipulation en particulier lorsque l'extrémité des fibres situées dans le support doit être polie. Enfin, la distance entre l'extrémité de la fibre susceptible d'être relice optiquement à un composant et la zone dite fragile est d'autant plus importante que le nombre de fibres disposoes dans le support est grand. Aussi, le boîtier utilisé pour intégrer le support et la zone fragile des fibres est d'autant plus important que le nombre de fibres est important. Exosé de 1' invention La présente invention a pour but un support de positionnement et de maintien de fibres optiques ne présentant pas les limitations des structures décrites précédemment. En particulier, un but de l' invention est de proposer un support de positionnement et de maintien rigide permettant notamment une manipulation plus aisée que celle de l'art antérieur. Un autre but est encore de proposer un support plus compact que ceux de l'art antérieur pour un nombre de fibres donné. L' invention a également pour objet un procédé de réalisation du support de positionnement et de maintien. De façon plus précise, le support de positionnement et de maintien de l' invention est apte à recevoir une extrémité d'au moins une fibre optique à relier optiquement à un composant optique, cette fibre étant dénudée sur une partie de ladite extrémité, ce support comprenant: SP 19610 JL - une première partie apte à recevoir et à maintenir l'extrémité de la fibre non dénudée, et - une deuxième partie solidaire de la première partie et apte à recevoir et à maintenir la partie dénudée de la fibre, une première extrémité de la deuxième partie étant en regard de la première partie et une deuxième extrémité de la dite deuxième partie étant apte à être mise en regard du c-omposant optique. Selon l' invention, on entend par fibre dénudée, la fibre sans gainage mécanique et/ou sans surgainage mécanique et fibre non dénudée, la fibre avec un gainage macanique voire même un surgainage . mecanlque. Ainsi, généralement, la fibre dénudée comporte au moins le ou les curs optiques et la gaine optique. Dans certains cas particuliers tels que par exemple celui des fibres multimodes, on peut envisager de positionner la fibre avec sa gaine mécanique. La fibre dénudée correspond alors à la fibre sans soupliceau et la fibre non dénudée à la fibre avec le soupliccau. Dans les autres cas, le positionnement de la fibre est réalisé à partir de la gaine optique dont le diamètre est connu de façon précise, la fibre dénudée correspond alors à la fibre sans gaine mécanique et sans soupliccau et la fibre non dénudée à la fibre avec la gaine mécanique et le plus souvent avec le soupliccau. Le support de l' invention permet de positionner et maintenir l'extrémité de la fibre non dénudée et dénudée dans un même support ce qui permet de rigidifier cette extrémité de la fibre qui est notamment fragile du fait de la présence de la zone SP 19610 JL intermédiaire située entre la partie dénudée et la partie non dénudée de la fibre. Selon un premier mode de réalisation la première partie comporte un logement apte à recevoir la fibre non dénudée, une des parois dudit logement formant une butée pour la fibre non dénudée. L'utilisation d'une butée permet d'avoir obligatoirement le positionnement du soupliceau et de la gaine mécanique de la fibre dans le support et ce sur une longueur correspondant à celle du logement, ce qui permet d'éviter les incertitudes de positionnement de l'art antérieur, et permet donc de contribuer à une diminution des dimensions de l'ensemble de la structure de maintien et de positionnement. De facon avantageuse la profondeur du logement est au moins égale au rayon de la fibre non dénudée. Selon un autre mode de réalisation, le support étant apte à recevoir plusieurs fibres, la première partie comporte au moins un logement pour lesdites fibres et de facon avantageuse un logement par fibre pour une meilleure rigidité et un fibrage plus simple du support. Selon un premier mode de réalisation, la deuxième partie comporte une rainure pour le positionnement et le maintien de la partie de la fibre dénudée. Selon un deuxième mode de réalisation, le support étant apte à recevoir plusieurs fibres, la deuxième partie comporte une rainure par fibre, les différentes rainures présentant un pas à la première extrémité correspondant au moins au pas des fibres dans la première partie et un pas à la deuxième extrémité correspondant au pas des entrées et/ou des sorties SP 19610 JL optiques du composant auquel les fibres doivent être reliées optiquement. La deuxième partie du support de ltinvention permet donc un épanouissement des fibres, dans le support et non pas à l'extérieur du support comme dans l'art antérieur; ceci permet également de contribuer à une diminution des dimensions de lensemble de la structure de maintien et de positionnement. De façon avantageuse, chaque rainure de la deuxTème partie comprend au moins une zone dite zone de référence présentant une géométrie déterminée, situce à la deuxTème extrémité et apte à permettre un alignement optique de la fibre avec le composant. Cette zone de référence permet en outre l'obtention d'une surface de référence. Cette zone peut-être sur toute la rainure ou sur une partie seulement. Dans ce dernier cas, chaque rainure peut comporter plusieurs zones de référence et de préférence au moins 2 zones, avantageusement situées à chaque extrémité de ladite rainure de sorte que lorsqu'une fibre repose dans lesdites zones, un élément de recouvrement disposé au- dessus des fibres sera positionné parallèlement à ces zones et formera de ce fait une surface de référence parallèle à l'élément dans lequel sont réalisoes ces zones. De préférence, les zones de référence sont formées par un "V'' permettant d'offrir respectivement deux points d'appui à la fibre suivant une section de celle-ci et donc un positionnement précis de la fibre. En dehors de cette ou ces zones, la rainure peut avoir une forme quelconque et par exemple être réalisée par une forme en "U". SP 19610 JL Selon un mode de réalisation de l' invention, le support est formé par 2 éléments, un des éléments étant appelé élément support et l'autre élément étant appelé élément de recouvrement, lextrémité ou les extrémités des fibres à maintenir étant disposées entre ces éléments, la première partie du support correspondant alors à une partie de lensemble formé par ces 2 éléments et la deuxième partie du support au reste de cet ensemble. De préférence des cales de positionnement sont situéss entre les 2 éléments, ces cales sont réalisoes par exemple par des sillons formés au moins dans un des éléments et des fibres par exemple du même type que celles de la deuxième partie. Ces cales permettent également l'obtention d'une surface de référence via l'élément de recouvrement; aussi lorsque des cales sont réalisées dans le support, une seule zone de référence par rainure est nécessaire pour assurer l'alignement optique, la surface de référence étant obtenue alors grâce aux cales et éventuellement aux zones de référence. Selon un premier mode de réalisation, le ou les logements de la première partie et la ou les rainures de la deuxième partie sont réalisés dans l'élément support, l'élément de recouvrement se superposant à l'élément support en prenant appui sur la ou les fibres disposées dans les rainure(s) de lélément support. Dans ce mode de réalisation, de préférence, l' axe optique de la fibre se situe entre les 2 éléments et la profondeur des rainures et logements est adaptée en conséquence. Selon un deuxième mode de réalisation, les logements de la première partie et les rainures de la deuxième partie sont réalisés en partie dans l'élément SP 19610 JL support et en partie dans l'élément de recouvrement. Dans ce mode de réalisation, la profondeur des logements est adaptée pour contenir la fibre non dénudée. En outre, dans ce mode de réalisation, lorsque la fibre dénudée correspond à la fibre sans gaine mécanique et sans soupliccau, cette dernière peut être que partiellement dénudée dans la rainure en dehors de la zone de référence, c'est-à-dire ne comporter que la gaine mécanique, la dimension de la rainure en dehors de cette zone est alors adaptée pour contenir en partie la gaine mécanique. L' invention concerne également un exemple de procédé de réalisation du support de l' invention, ce procédé comporte la mise en _uvre au moins sur l'un des éléments, des étapes suivantes dans cet ordre ou dans un ordre différent: a) formation de tout ou partie du ou des logements dans la première partie, b) formation de tout ou partie de la ou des rainures dans la deuxTème partie. Le support comportant des cales de positionnement, le procédé de l' invention comprend au cours de l'étape b), la réalisation de tout ou partie des sillons des cales. Ainsi, les étapes a) et b) du procédé de l' invention peuvent être réalisées soit sur l'élément support soit sur l'élément support et l'élément de recouvrement. Selon un premier mode de réalisation, l'étape a) consiste à graver l'élément à travers un masque approprié et à éliminer ledit masque. SP 19610 JL Selon un deuxième mode de réalisation, l'étape a) consiste à réaliser un usinage laser de l'élément. Selon un mode de réalisation, l'étape b) consiste à graver l'élément à travers au moins un masque approprié et à éliminer ledit masque. Selon un mode particulier, l'étape b) comporte la réalisation d'une première gravure à travers un premier masque puis l'élimination dudit masque et la réalisation d'une deuxième gravure à travers un deuxième masque et l'élimination dudit deuxième masque, la deuxtème gravure permet de former la ou les zones de référence et la première gravure permet de former le reste de la ou des rainures. En effet, l'épanouissement des rainures dans la deuxTème partie ne permet pas d'avoir une gravure de géométrie précise sur l'ensemble de la rainure, aussi l'étape b) comporte une gravure des zones de référence selon des plans précis et une gravure plus grossière pour réaliser le reste des rainures, la gravure plus grossière étant en général réulisée à une profondeur supérieure à celle de la gravure précise. Selon un mode de réalisation, l'élément étant en s il. ic ium, une couche intermédiaire de s i l ice est formée sur l'élément et la gravure de l'étape a) est une gravure anisotrope réalisoe successivement dans la couche de silice et dans l'élément en silicium à travers un masque de résine, la première gravure de l'étape b) est une gravure anisatrope réalisée successivement dans la couche de silice et dans l'élément en siliclum à travers un masque de résine, et la deuxième gravure de l'étape b) est une gravure anisotrope dans la couche de silice et selon des plans cristallins déterminés par exemple (1,1,1) et (1,-1,1) SP 19610 JL dans l'élément en silicium, ladite deuxième gravure étant réalisée à travers un masque de résine, la couche de silice étant ensuite éliminée. D'autres caractéristiques et avantages de l' invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, en référence aux figures des dessins annexés. Cette description est donnée à titre purement illustratif et non limitatif. srève description des fioures - les figures la, lb et lc, déjà décrites, illustrent schématiquement des supports connus de fibres, - les figures 2a, 2b et 2c représentent schématiquement un premier exemple de réalisation d'un support selon l' invention, et un exemple d'extrémité d'une fibre à positionner dans le support - les figures 3a, 3b et 3c représentent schématiquement un deuxième exemple de réalisation d'un support selon l' invention, - les figures 4a, 4b et 4c représentent schématiquement le deuxTème exemple de réalisation du support selon l' invention avec des fibres positionnées dans celui-ci, - les figures 5a à 5e illustrent des exemples de réalisation des première et deuxième parties du support de l' invention et, - les figures 6a, 6b et 6c illustrent respectivement des masques utilisables pour la réalisation des première et deuxième parties. SP 19610 JL Descrintion détaillée de modes de mise en _uvre de l'invention La figure 2a représente schématiquement et en perspective un premier exemple de réalisation d'un support selon l' invention et la figure 2b une coupe de lextrémité d'une fibre à positionner dans le support, selon un plan parallèle au plan XY. La figure 2c est une représentation en coupe du support de la figure 2a dans un plan parallèle au plan XZ. Sur la figure 2a, le support de positionnement de l' invention comporte un élément de support 20 apte à recevoir l'extrémité de quatre fibres optiques. Chaque extrémité de fibre comporte (voir figure 2b) une partie non dénudée 23 (par exemple comprenant une gaine mécanique et un soupliceau) et une partie dénudée 25, correspondant à la partie de la fibre qui doit être reliée cptiquement à un composant. La partie dénudée 25 ne comporte plus par exemple de gaine mécanique et de soupliceau; seule la gaine optique est alors visible. A titre d'exemple, dans les fibres actuelles, le soupliceau peut avoir un diamètre de 900,um, la gaine mécanique un diamètre de 250,um et la gaine optique un diamètre de 125 um. L'élément 20 comporte une première partie P et une deuxième partie P2. La première partie P1 est apte à recevoir et à maintenir l'extrémité de la fibre non dénudée 23 et la deuxième partie P2 est solidaire de la première partie et apte à recevoir et à maintenir la partie 25 dénudée de l'extrémité de la fibre; la deuxième partie étant d'une part en contact avec la première partie et dautre part, apte à être mise en regard du composant SP 19610 JL optique auquel les fibres doivent être reliées optiquement. Dans cet exemple de réalisation, la première partie P1 comporte un logement par fibre à maintenir, référencé L1, L2, L3 et L4. Chaque logement comprend deux parois sensiblement parallèles 28, 29 au plan XZ, une paroi 27 sensiblement parallèle au plan YZ et un fond sensiblement parallèle au plan XY. La fibre non dénudée vient en butée de la paroi 27, lorsque la fibre est introduite dans le support. Le dimensionnement de chaque logement est prévu pour que les deux parois 28 et 29 soient distantes l'une de l'autre d'une distance au moins égale au diamètre de la fibre non dénudée et la hauteur des parois est prévue au moins égale au rayon de la fibre non dénudée. Par ailleurs, la largeur des parois 28, 29 ainsi que celle du fond selon la direction X est déterminée pour qu'une longueur suffisante de fibre non dénudée repose dans le logement pour assurer la rigidité du support muni des fibres. A titre d'exemple, pour une fibre non dénudée de 900,um de diamètre, une longueur de fibre non dénudée d' au moins 1 mm est nécessaire. Dans le cas o un logement est destiné à recevoir plusieurs fibres, la distance entre les deux parois 28 et 29 est égale au moins à la somme des diamètres de ces différentes fibres. La deuxième partie P2 de l'élément support comporte autant de rainures 30 que de fibres pour le positionnement de la partie des fibres dénudées. Dans cet exemple, les différentes rainures débouchent dans les logements de la première partie en SP 19610 JL présentant un pas correspondant au pas des logements dans la première partie. L'autre extrémité des rainures est libre; le pas des rainures à cette extrémité correspond au pas des entrées et/ou des sorties optiques du composant auquel les fibres doivent être reliées optiquement. Les rainures 30 de la partie P2 du support permettent de réaliser un changement de pas et assurent de ce fait un épanouissement des fibres dans le support et non pas à l'extérieur du support comme dans l'art antérieur. Pour simplifier, la représentation de la figure 2c, on a représenté en coupe l'ensemble d'une rainure 30 et le logement L3 correspondant, dans un même plan, parallèle à XZ ce qui ne peut-être le cas lorsqu'il y a plusieurs fibres à positionner, puisque la rainure n'est alors pas linéaire. Pour permettre l'alignement optique de chaque fibre avec l'entrée ou la sortie optique correspondante du composant, chaque rainure de la deuxième partie comprend au moins une zone 31 de référence présentant une géométrie déterminée, située à l'extrémité libre de la rainure. Cette zone 31 permet en outre l'obtention d'une surface de référence. Cette zone peut-être sur toute la rainure ou sur une partie seulement. Il peut y avoir également plusieurs zones de référence de géométrie déterminée dans la rainure. Dans l'exemple des figures 2a et 2c, chaque rainure comporte deux zones de référence 31 et 35 présentant ladite géométrie détermince, située à chaque extrémité de la rainure, de sorte que lorsque des fibres sont positionnées dans l'élément support et qu'un élément de recouvrement tel qu'une lame de verre est positionnée sur cet ensemble pour maintenir les SP 19610 JL fibres, ces deux zones de référence via les fibres permettent de positionner l'élément de recouvrement parallèlement à l'élément support par rapport au plan XY. L'élément de recouvrement forme alors une surface de référence utilisable notamment pour l'alignement optique du support avec le composant. De prétérence, les zones de géométrie déterminée sont formées par des "Vi' permettant d'offrir deux points d'appui à la fibre, considérce suivant une section perpendiculaire à l' axe ou aux axes optiques de la fibre; en dehors de cette ou ces zones 31, 35, la rainure peut avoir une forme quelcouque et par exemple être réalisée par une forme en "U" en général plus profonde que la forme en "V" pour avantageusement, éviter un appui de la fibre sur le fond du "U". Pour un meilleur maintien de l'ensemble, de la colle ou tout autre moyen de maintien est de préférence utilisoe entre l'élément support et les fibres et éventuellement l'élément de recouvrement. Les figures 3a, 3b et 3c représentent schématiquement un deuxième exemple de réalisation d'un support selon l' invention pour cinq fibres, ce support étant formé par un élément de recouvrement et un élément support. La figure 3a représente l'élément support vu de dessus dans un plan parallèle au plan YX, la figure 3b illustre l'élément de recouvrement vu de dessous dans un plan parallèle au plan YX et enfin, la figure 3c donne une coupe de l'élément support dans un plan parallèle au plan ZX. Dans cet exemple de réalisation, l'élément support et l'élément de recouvrement comportent respectivement des logements et des rainures pour les fibres non dénudées et dénudées. La répartition desdits logements et rainures sur deux éléments au lieu d'un SP 19610 JL seul comme dans l'exemple des figures 2a à 2c permet dobtenir une structure plus compacte. De façon plus précise, l'élément support 40 comporte 3 logements Ll, L2, L3 pour trois des fibres non dénudées. Les deux autres logements L4 et Ls sont réalisés dans l'élément de recouvrement 50. Les rainures 30 utilisées pour le positionnement des fibres dénudées sont également réparties sur les deux éléments et 50, cependant les zones de références 31 des rainures sont disposées en double sur les deux éléments de sortes qu'il y a cinq zones de référence respectivement sur chaque élément, ces zones permettant de prendre en sandwich les cinq fibres. En deLors de ces zones de référence, les fibres sont soit dans un logement et une rainure de l'élément 40 soit dans un logement ou une rainure de l'élément 50. Dans cet exemple une seule zone de référence par fibre et par élément est réalisée. Aussi, pour permettre de disposer, l'élément de recouvrement parallèlement à l'élément support, des cales de positionnement sont également réalisées. A titre d'exemple, ces cales peuvent être réalisées par des sillons de géométrie détermince du même type que celle des zones de référence. Ces sillons sont réalisés sur un des éléments ou comme dans cet exemple sur les deux éléments de sorte qu'elles permettent de prendre une fibre en sandwich. Ainsi un sillon 43 et un sillon 41 sont disposés selon la direction X respectivement de part et d'autre des rainures 30 de l'élément support et un sillon 47 et un sillon 45 sont disposés selon la direction X de part et d'autre des rainures 30 de l'élément 50. Ces sillons peuvent être continus comme SP 19610 JL représenté sur ces figures ou discontinus. Ces sillons permettent de prendre une fibre en sandwich; ainsi, le sillon 41 s'apparie avec le sillon 47 et le sillon 43 s'apparie avec le sillon 45. Les figures 4a, 4b et 4c représentent schématiquement la superposition des éléments 40 et 50 des figures 3a et 3b avec des fibres positionnées entre ces éléments. La figure 4a est une coupe de cet ensemble dans un plan parallèle au plan XZ, la figure 4b est une coupe selon un plan parallèle au plan YZ et passant par la première partie et la figure 4c est une coupe selon un plan parallèle au plan YZ et passant par les zones de références de la deuxième partie. On voit bien sur ces figures les sillons 43 et 45 qui forment avec une fibre Fl, une cale C1 et les sillons 41 et 47 qui forment avec une fibre F2 une cale C2; ces cales Cl et C2 permettent d'avoir un espacement constant entre les deux éléments. Les fibres Fl, F2 intercalées entre ces sillons n'ont pas ici de rôle optique, elle joue simplement avec les sillons le rôle de cales, elles sont de préférence de même diamètre que les fibres dans les zones de références. Par ailleurs, on peut noter dans cet exemple que les fibres non dénudées sont disposéss dans un des éléments alors qu'au niveau des zones de référence les fibres dénudées sont intercalées entres les deux éléments. Les figures suivantes illustrent un exemple de réalisation d'un élément de l' invention qui peut être un élément support ou un élément de recouvrement. Pour simplifier la description, on va considérer la réalisation d'un élément support pour 2 fibres. Ainsi, les figures 5a à 5e illustrent en coupe SP l9610 JL dans des plans parallèles au plan YZ, la réalisation des premières et deuxTème parties d'un élémentsupport et, les figures 6a, 6b et 6c illustrent en vue de dessus respectivement des masques utilisables pour la réalisation de ces première et deuxTème parties. A partir d'un substrat 60 par exemple en silicium, on forme par toutes les techniques classiques y compris celle de l'oxydation thermique, une couche de silice 61 (figure 5a) puis une couche de résine 63 (figure 5b). On insole ensuite la couche de résine de facon à obtenir après développement de la résine, un masque A (voir figure 6a) présentant des motifs Ml, M2 correspondants aux logements à réaliser dans le substrat 60. Les ouvertures 65 de la couche de résine correspondants aux motifs du masque (figure 5c) sont alors trans férces dans la couche de s il. ice par une gravure ionique réactive ou une gravure chimique par exemple à partir d'une solution de CHF3 ou CF4. La résine est alors éliminée. L'étape suivante illustrée par la figure 5d consiste à graver le substrat 60 à travers la couche de silice 61 afin de réaliser les ouvertures 65, dans cette couche qui vont former les logements de l'élément support. La gravure du silicium est une gravure anisotrope et par exemple une gravure sèche de type ionique réactive ou SF6 ou de type humide avec une solution de KOH ou de pyrocathécol- diéthylamine. Après la réalisation des logements, on réalise de la même façon que décrit précédemment en référence aux figures 5b à 5d, les rainures de la deuxième partie à l' exception des zones de référence. Ainsi, sur la couche de silice, on dépose une nouvelle couche de résine que l'on va insoler et développer de facon à obtenir, sur la couche de silice 61, un masque SP 19610 JL B représenté figure 6b. Ce masque comporte deux motifs R1 et R2 correspondants à une partie des rainures, à transférer dans le substrat 60. Les motifs R1 et R2 permettent comme décrit précédemment, de graver des ouvertures 65' dans la couche de silice puis dans le substrat 60. La largeur et la profondeur des ouvertures ' obtenues dans le substrat 60 selon le plan de la figure 5d sont bien entendu plus petits dans le cas de la réalisation des rainures que dans le cas de la réalisation des ouvertures 65 correspondants aux logements. On élimine ensuite la résine. Le masque B pourrait également présenter les motifs M1 et M2 du masque A. Dans ces conditions, la réalisation des logements s'obtiendrait à partir de la superposition de deux gravures: une gravure partielle du substrat selon le motif A, cette gravure étant complétée par la gravure du substrat selon le masque B. On pourrait également envisager de réaliser les logements et les rainures par un usinage direct du substrat par exemple par un laser. Enfin, on réalise les zones de référence. Pour cela, on dépose à nouveau une couche de résine que lon insole et que l'on développe de facon à obtenir un nouveau masque C représenté figure 6c. Les motifs z1' Z2' Z3 et Z4 du masque définissent la géométrie des zones de référence dans un plan parallèle au plan XY. Dans cet exemple, il y a quatre zones de références, une à chaque extrémité des deux rainures. Les motifs du masque C sont ensuite transférés dans la couche de silice 61, par une gravure du même type que celles réalisées à travers les masques A et B. on obtient alors des ouvertures 67. Ces dernières permettent de graver le substrat selon des plans cristallographiques particuliers par exemple (1,1,1) et (1,-1,1) et SP 19610 JL dobtenir une gravure en "V" dans le substrat, à chacune des ouvertures 67 (voir figure 5e). A titre d'exemple pour un substrat en silicium, une gravure humide anisotrope avec une solution de KOH peut être utilisée. Bien que non représentés sur ces figures, des sillons pour réaliser les cales peuvent être, lorsqu'elles existent, réaliser en même temps et de la même facon que les zones de référence. Lorsque les différents logements et rainures (dont les zones de référence) ont été réalisés dans le substrat, on enlève la dernière résine puis la couche de silice 61. Une gravure de lextrémité du substrat comportant les logements, par exemple par un trait de scie, permet ensuite d'éliminer une des parois latérales desdits logements, pour permettre l' introduction des fibres non dénudées. La profondeur des différentes gravures dépend bien entendu dês diamètres de la fibre. Ainsi, pour une fibre présentant lorsqu'elle est non dénudée 900,um de diamètre et lorsqu'elle est dénudée 125,um de diamètre, on réalisera des logements d' environ 502,um de profondeur, des rainures en deLors des zones de référence d' environ 115,um de profondeur et des zones de référence denviron 108,um de profondeur. Dans les exemples précédents, on a représenté des supports de fibres à un logement par fibre, mais bien entendu, les supports peuvent présenter un seul logement pour l'ensemble des fibres à maintenir ou plusieurs logements pour l 'ensemble de fibres, chaque logement permettant de recevoir plusieurs fibres. Par ailleurs, les supports de l' invention peuvent maintenir une seule fibre ou plusieurs fibres. SP 19610 JL Enfin, les composanLs auxuels do1vecL tre relies lea flares mainLenues par un support salon 1'1nvenL10n, peuvenL pare raporL4s ou mama realists directemeL sur an des lmenLs du suporL, en regard des flares, ou Atre disposes rox1m1Ld du supporL en regard des fibres. SP 19610 JL REVENDICATIONS 1. Support de positionnement et de maintien apte à recevoir une extrémité dau moins une fibre optique à relier optiquement à un composant optique, cette fibre étant non dénudée (23) sur une partie de ladite extrémité et dénudée (25) sur le reste de l'extrémité, ce support comprenant: - une première partie (P1) apte à recevoir et à maintenir l'extrémité de la fibre non dénudée, et - une deuxième partie (P2) solidaire de la première partie et apte à recevoir et à maintenir l'extrémité de la fibre dénudée, une première extrémité de la deuxTème partie étant en regard de la première partie et une deuxième extrémité de la dite deuxième partie étant apte à être mise en regard du composant optique. 2. Support selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première partie (Pl) comporte au moins un logement (Ll, L2, L3, L4) apte à recevoir la partie non dénudée de l' extrémité d' au moins une fibre, une des parois de chaque logement formant une butée. 3. Support selon la revendication 2, caractérisé en ce que la première partie comporte un logement par fibre. 4. Support selon la revendication 2, caractérisé en ce que la profondeur du logement est au moins égale au rayon de la fibre non dénudée. 5. Support selon la revendication 1, caractérisé en ce que la deuxième partie (P2) comporte SP 19610 JL une rainure (30) par fibre, apte à recevoir la partie dénudée de l'extrémité de la fibre. 6. Support selon la revendication 5, caractérisé en ce que le support étant apte à recevoir plusieurs fibres, la deuxTème partie comporte autant de rainures que de fibres à positionner, les différentes rainures présentant un pas à la première extrémité correspondant au moins au pas des fibres dans la première partie et un pas à la deuxième extrémité correspondant au pas des entrées et/ou sorties optiques du composant auquel les fibres doivent être reliées optiquement. 7. Support selon la revendication 5, caractérisé en ce que chaque rainure de la deuxième partie, comprend au moins une zone dite zone de référence (31) présentant une géométrie déterminée, située à la deuxième extrémité et apte à permettre un alignement optique de la fibre avec le composant. 8. Support selon la revendication 7, caractérisé en ce que chaque rainure comporte au moins deux zones de référence (31, 35) situées à chaque extrémité de ladite rainure. 9. Support selon la revendication 7 ou 8, caractérisé en ce que ladite zone de référence est formée par un "V". 10. Support selon la revendication 1, caractérisé en ce que le support est formé par deux éléments, un des éléments étant appelé élément support (40) et l'autre élément étant appelé élément de SP 19610 JL recouvremeoL (SQ), l'extrdmit ou les exLrmit6s des fiLres bLanL disoss enLre ces {lmenLs, la premire parL1e du suporL correspondanL alors une partie de l'ensemble form par ces deux lmenLs eL la deuxime arLle du support, au resLe de ceL ensemble. 11. SupporE selon la revendicaLion 1D, caracL4ris en ce que le suorL comprend en ouLre des cales (C C de positionnement siLu enLre l'6lment suporL et l'@lment de positionnement. 12. Support selon la revendication 11, caract6ris en ce gue lesdites cales sont rali des lments et par des fibres (F F.). 13. Suport selon la revendication 10, caractris en ce que la rem13re partie comprend un ou des logements et la deux16me partie comprend une ou des rainures, les1ts logement(s) et rainure() {tant rdaliss dans l'4lment suport. 14. Suort selon la revendicat10n 10, caract4ris en ce que la remiAre arÉie comprend des logements et la deux1>me partie comprend des rainures, lesdits logements et rainures tant raliss en partie dans l'6lment support et en partie dans l'4lment de recouvrement. 15. Support selon les revendicat10ns 8 et , caractris en ce que l'6lment de recouvrement renant apu1 sur la ou les fibres disoses dans les zones de rf6rence de la deux16me partie, l'6lment de recouvrement forme une suface de rf6rence. SP 19610 JL 16. Procédé de réalisation du support selon l'une queleonque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte la mise en _uvre au moins sur l'un des éléments des étapes suivantes: a) formation de tout ou partie du ou des logements dans la première partie, b) formation de tout ou partie de la ou des rainures dans la deuxTème partie. 17. Procédé de réalisation du support selon la revendication 16, caractérisé en ce que le support comprenant en outre des cales de positionnement formés de sillons, le procédé comporte au cours de l'étape b), la réalisation de tout ou parties desdits sillons. 18. Procédé de réalisation du support selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'étape a) consiste à graver l'élément à travers un masque approprié (A) et à éliminer ledit masque. 19. Procédé de réalisation du support selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'étape b) consiste à graver l'élément à travers au moins un masque (B. C) approprié et à éliminer ledit masque. 20. Procédé de réalisation du support selon la revendication 19, caractérisé en ce que l'étape b) comporte une réalisation d'une première gravure à travers un premier masque (B) puis une élimination dudit masque et une réalisation d'une deuxième gravure à travers un deuxième masque (C) et une élimination dudit deuxième masque, la deuxième gravure permet de former la ou les zones de références et la première SP 19610 JL gravure permet de former le reste de la on des rainures. 21. Procédé de réalisation du support selon les revendications 18 et 20, caractérisé en ce que l'élément étant en siliclum, la gravure de ltétape a) est une gravure anisotrope, la première gravure de l'étape b) est une gravure anisotrope et la deuxTème gravure de l'étape b) est une gravure selon des plans cristallins déterminés.