Brevet FR2831646A1 — publié le 20030502

Procédé de nettoyage d'un système de conditionnement et de remplissage de volumes de gaz Domaine technique et art antérieur L'invention concerne le domaine du conditionnement et du remplissage de volumes de gaz, en particulier de petits volumes de gaz, de l'ordre de quelques millilitres. Elle concerne aussi les techniques de nettoyage de dispositifs de remplissage de volumes ou de petits volumes de gaz, de tels dispositifs devant en effet pouvoir assurer un conditionnement du gaz dans de très bonnes conditions de propreté et de pureté. On connaît un dispositif, représenté schématiquement sur la figure 1, qui permet de remplir de petites cellules 18 de gaz, d'un volume de quelques millilitres chacune, à partir d'une bouteille 2 étalon, tout en conservant une certaine qualité au point d'utilisation, c'est-à-dire avec une teneur en impureté maximale de l'ordre du ppm. Cette machine de remplissage connue comporte, outre la bouteille 2, une vanne 4 et un détendeur 6 qui permettent d'amener le gaz à une ligne 12 de distribution. Une vanne 14 et un volume tampon 16 permettent ensuite de distribuer avec précision du gaz dans chacune des cellules 18. Le système comporte en outre une ligne 8 de purge pour purger le système à l'aide d'un gaz inerte, en général de l'azote, et une ligne de pompage 20. Préalablement aux opérations de remplissage des cellules 18, on procède à une phase de nettoyage de la ligne 12 de distribution. A cette fin, l'alimentation en gaz de la bouteille 2 est coupée et le volume de la ligne de distribution 12 est pompé. Puis, la vanne 10 est ouverte, le gaz de purge est injecté dans la ligne de distribution, dans le volume 16 et dans les cellules 18. Après fermeture de la vanne 10, on procède de nouveau à un pompage, cette fois pour éliminer le gaz inerte présent dans le système de distribution. On procède ainsi à une succession de cycles de mise en pression, avec le gaz inerte, et de pompage, du système de distribution. Pratiquement, on réalise environ 10 cycles de mise en pression et de pompage, ce qui permet d'obtenir un certain taux de décontamination ou de pureté. Ce système ne permet cependant pas d'atteindre des taux de décontamination, ou de pureté, satisfaisants. Il se pose donc le problème de trouver un autre procédé et un nouveau dispositif de remplissage, plus efficace que le procédé connu. Exposé de l'invention L'invention a tout d'abord pour objet un élément de raccordement d'une bouteille de gaz à une ligne de distribution de ce gaz, destiné à être monté sur un robinet d'une bouteille de gaz, comportant des moyens pour faire circuler un gaz de purge, d'abord au contact de la sortie du robinet, puis pour diriger le gaz de purge en direction d'une ligne de distribution de gaz. L'invention a également pour objet un élément de raccordement d'un robinet d'une bouteille de gaz à une ligne de distribution de ce gaz, destiné à être monté sur ledit robinet, comportant deux entrées, l'une pour une ligne d'alimentation en gaz de purge, et l'autre pour ladite ligne de distribution de ce gaz. Un tel élément de raccordement permet de faire à passer le gaz de purge, d'abord au contact de la sortie du robinet de la bouteille d'alimentation en gaz, puis dans la ligne la distribution de gaz. Il est ainsi possible de purger la sortie du robinet ainsi qu'une partie au moins du système de distribution, située en amont, à proximité du robinet de la bouteille. Un dispositif pour l'alimentation en gaz d'une ligne de distribution de gaz, selon l'invention, comporte un élément de raccordement tel que ci-dessus, une ligne d'alimentation en gaz de purge, et une ligne de distribution de gaz. Des moyens peuvent être prévus, pour faire passer directement le gaz de purge de la ligne d'alimentation en gaz de purge à la ligne de distribution de gaz. Ainsi, on peut maintenir la ligne de distribution de gaz sous pression de gaz de purge même lorsque la bouteille ou le robinet n'est pas connecté ou n'est pas relié à l'élément de raccordement ou à la ligne de distribution. Selon un autre aspect, des moyens de purge peuvent être prévus sur la ligne de distribution, en particulier à proximité de l'élément de raccordement de la bouteille de gaz, permettant ainsi de purger l'élément de raccordement lui-même ainsi que la sortie du robinet, et la partie de la ligne de distribution située à proximité du robinet de la bouteille, indépendamment de toute purge de toute la ligne de distribution. Selon encore un autre aspect, un dispositif d'alimentation en gaz selon l'invention peut en outre comporter des moyens déverseurs de la ligne de distribution, situés en un point aval de cette ligne. Ainsi, il est possible, lors d'un cycle de nettoyage mettant en oeuvre une mise sous pression de la ligne de distribution avec un gaz inerte, de laisser s'échapper une partie du gaz inerte par les moyens déverseurs, ce qui renforce l'efficacité du nettoyage par un balayage de gaz inerte. Afin de pouvoir remplir au moins une cellule de gaz, des moyens de distribution de gaz peuvent en outre être prévus, ainsi que des moyens déverseurs de ces moyens de distribution. On peut ainsi réaliser, lors de la mise en pression de gaz inerte de la ligne de distribution et des moyens de distribution, un échappement d'une partie de ce gaz inerte. L'effet dynamique provoqué par le balayage du système par le gaz inerte jusqu'à son point d'échappement améliore alors la qualité du nettoyage du système. Selon un exemple, les moyens de distribution comportent un volume tampon, et des moyens déverseurs sont prévus en sortie de ce volume tampon. Selon encore un autre aspect, des moyens d'évacuation peuvent être prévus pour laisser s'échapper un trop-plein de gaz distribué dans la, ou les, cellule (s) à remplir. Des moyens déverseurs peuvent alors être prévus en sortie de ces moyens d'évacuation. On peut donc procéder à la mise sous pression, par du gaz inerte, de tout le système de distribution. Les moyens déverseurs permettent de laisser s'échapper une partie du gaz inerte ou du gaz de purge, créant ainsi un balayage de toute la partie du système de distribution située en amont des moyens déverseurs, y compris dans les cellules, ce qui renforce l'efficacité de l'opération de nettoyage avec du gaz inerte. Lorsque les moyens déverseurs sont situés en sortie des moyens d'évacuation c'est tout le système de distribution, ainsi que les cellules, qui est parcouru par un courant de gaz inerte ou de purge (effet de balayage des impuretés), ce qui permet d'améliorer nettement les conditions de propreté et de pureté en vue de toute opération de conditionnement ou de remplissage ultérieure. Afin de faciliter les opérations de pompage, mises en oeuvre lors de la phase de nettoyage, une, ou des, vanne (s) peut ou peuvent être prévues sur les moyens d'évacuation de gaz des cellules. Ces vannes sont fermées lors des opérations de pompage. Ainsi, le pompage n'a pas à être réalisé sur l'ensemble de système de prélèvement de gaz, ce qui est particulièrement avantageux lorsque ce système comprend un ou plusieurs tubes de diamètre plus étroit que le diamètre des tubes du système de distribution. Ceci permet également d'éviter une rétrocontamination du système. L'invention a également pour objet un dispositif pour l'alimentation en gaz d'une ligne de distribution de gaz, comportant une ligne d'alimentation en gaz de purge, une ligne de distribution de gaz, et des moyens de distribution pour distribuer le gaz depuis la ligne de distribution vers au moins une cellule, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens déverseurs de la ligne de distribution ou des moyens de distribution. Ainsi, il est possible, lors d'un cycle de nettoyage mettant en oeuvre une mise sous pression de la ligne de distribution avec un gaz inerte, de laisser s'échapper une partie du gaz inerte par les moyens déverseurs, ce qui favorise un nettoyage efficace, par un effet de balayage dynamique des impuretés, notamment de toute la partie du système de distribution située en amont des moyens déverseurs. Les moyens déverseurs peuvent être situés en sortie ou en aval de la ligne de distribution, entre cette ligne et les moyens de distribution, ou en sortie des moyens de distribution, par exemple en sortie d'un volume tampon qui alimente au moins un tube de distribution de gaz. Selon encore un autre aspect, l'invention a également pour objet un dispositif pour l'alimentation en gaz d'une ligne de distribution de gaz, comportant une ligne d'alimentation en gaz de purge, une ligne de distribution de gaz, des moyens de distribution pour distribuer le gaz depuis la ligne de distribution vers au moins une cellule, des moyens d'évacuation d'une partie au moins (le trop-plein) d'un gaz situé dans ladite ou lesdites cellule (s) de gaz, et des moyens déverseurs des moyens d'évacuation situés en sortie ou en aval de ces moyens d'évacuation. C'est alors l'ensemble de la ligne de distribution, des moyens de distribution, et des tubes d'échantillons qui est balayé par un faible courant de gaz de nettoyage. L'invention concerne également un procédé de nettoyage d'un système de distribution de gaz mettant en oeuvre un dispositif selon l'invention, tel que décrit ci-dessus, dans l'un ou l'autre des modes de réalisation. Elle concerne notamment un procédé de nettoyage d'un système de distribution de gaz, comportant une bouteille de gaz munie d'un robinet et une ligne de distribution de gaz, dans lequel on introduit un gaz de nettoyage ou de purge au contact de la sortie du robinet de la bouteille, puis dans au moins une partie de la ligne de distribution de gaz située à proximité de la bouteille et de son robinet. Elle concerne également un procédé de conditionnement de gaz dans des cellules, mettant préalablement en oeuvre un procédé de nettoyage selon l'invention ou mettant en oeuvre un dispositif selon l'invention, tel que décrit ci-dessus, dans l'un ou l'autre des modes de réalisation. Brève description des figures - La figure 1 représente un dispositif connu de distribution de gaz dans des cellules, - Les figures 2A à 4 représentent divers modes de réalisation de l'invention pour l'injection de gaz inerte dans un système de distribution de gaz, - Les figures 5 à 7 représentent divers modes de réalisation d'un système de distribution de gaz selon l'invention, avec des moyens déverseurs, - La figure 8 représente une variante d'un système de distribution de gaz selon l'invention, - La figure 9 représente un autre mode de réalisation de l'invention, avec plusieurs lignes de distribution de gaz. Description détaillée de mode de réalisation de l'invention Sur les différentes figures détaxées ci-dessous, les références 2 - 8, 12-20 désignent des éléments identiques ou similaires à ceux déjà décrits ci-dessus en liaison avec la figure 1. La figure 2A représente un premier mode de réalisation, conforme à l'invention, d'un système d'injection de gaz inerte dans un système de distribution de gaz. A la différence de la figure 1, la ligne 8 d'injection de gaz inerte se raccorde au robinet 23 de la bouteille 2, et ceci par l'intermédiaire d'un raccord double-entrée 22 permettant de raccorder sur le robinet à la fois la ligne 8 d'injection de gaz inerte et la ligne de distribution 12 de gaz. L'injection de gaz inerte est commandée par l'ouverture d'une vanne à débit variable 24. Ainsi, un gaz de purge, par exemple de l'azote, effectue un trajet indiqué par la flèche 7 et circule donc d'abord au voisinage de, ou contre, la sortie du robinet 23 (ou encore : contre le clapet ou l'obturateur de sortie du robinet), puis est dirigé (flèche 9) en direction de la ligne de distribution 12. On obtient ainsi un nettoyage efficace d'une part de la partie du robinet 23 qui est en contact avec le gaz de purge, et d'autre part de la partie de la ligne de distribution située entre le détendeur 6 et le robinet 23. Le nettoyage peut être mis en oeuvre à l'aide de moyens de pompage 21, qui permettent d'effectuer un pompage de la ligne de distribution après que celle-ci ait été mise sous pression de gaz inerte. On peut ainsi effectuer une succession de cycles comportant chacun une phase de mise en pression sous gaz inerte, puis une phase de pompage. La référence 25 désigne des moyens de piégeage cryogénique des impuretés. La figure 2B représente un exemple de réalisation d'un raccord double-entrée 22. Ce raccord comporte un corps principal 5 longitudinal, traversé par deux conduits 11 et 13 débouchant sur des ouvertures 15 et 27. Le raccord vient s'appuyer, par l'intermédiaire d'un joint tonique 31, sur un robinet d'une bouteille de gaz, et est fixé sur ce robinet par vissage d'une pièce 29 munie d'un filetage intérieur 19. Un gaz inerte entre par l'ouverture 15, circule dans le conduit 11, passe au contact de la sortie du robinet, puis circule dans le conduit 13 et ressort, vers la ligne de distribution, par l'ouverture 27. Selon une variante, représentée en figure 3, des moyens 26 (ici une vanne) permettent de faire passer directement le gaz de purge de la ligne d'alimentation 8 en gaz de purge à la ligne de distribution 12 de gaz. Cette variante permet de laisser le système de distribution de gaz en purge, sous pression de gaz inerte, même lorsqu'aucune bouteille n'est connectée au raccord double-entrée 2 : on ferme alors les vannes 4 et 24 et on ouvre la vanne 26. La figure 4 représente encore une autre variante : des moyens 28 de purge permettent de procéder uniquement à un nettoyage de la sortie du robinet 23 et de la partie de la ligne de distribution située à proximité du robinet, entre celui-ci et la vanne 28 de purge. A cette fin, on ferme la vanne 4 et on ouvre les vannes 24 et 28. Il n'est ainsi pas nécessaire de purger l'ensemble du système pour pouvoir purger ou nettoyer la sortie du robinet et la partie de la ligne de distribution située à proximité du robinet. Cette variante peut être combinée avec la variante de la figure 3 précédente. Les figures 5A et 5B représentent un autre aspect de l'invention, dans lequel des moyens déverseurs sont prévus sur la ligne de distribution 12, ou en sortie ou en un point situé en aval de cette ligne, en amont des moyens de distribution 14,16. Ces moyens déverseurs comportent des moyens de régulation de pression, par exemple une vanne 32 à débit variable et une vanne 34. Lorsque le système de distribution de gaz est mis sous pression avec du gaz inerte ou de purge, il est possible d'ouvrir légèrement la vanne 32 et d'ouvrir la vanne 34, laissant s'échapper ainsi une partie du gaz inerte ou de purge. La ligne de distribution 12 est alors parcourue et balayée par un courant de gaz inerte, ce qui renforce l'efficacité du nettoyage, des impuretés étant entraînées par ce courant avant même toute phase de pompage. On peut procéder à une succession de mise sous pression, par le gaz inerte, puis de pompage, du système de distribution ; mais, lors de phase de mise sous pression, la ligne de distribution peut être ainsi nettoyée de manière dynamique Cet effet de nettoyage par un courant de gaz inerte ou de purge se produit, que l'injection de ce gaz ait lieu directement sur le robinet de la bouteille de gaz 2, comme illustré sur la figure 5A, ou sur la ligne de distribution 12, comme illustré sur la figure 5B. Le dispositif de la figure 5B ne met pas en oeuvre le raccord double entrée des figures 2A-5A, ni le nettoyage du robinet 23. Un nettoyage de toute la ligne de distribution, depuis le robinet 23, n'est cependant atteint qu'avec le mode de réalisation de la figure 5A, l'injection de gaz de purge sur le robinet de la bouteille 2 pouvant également avoir lieu selon l'un des modes de réalisation déjà indiqués cidessus en liaison avec les figures 3 et 4. La figure 6 représente une variante dans laquelle les moyens déverseurs sont connectés, non pas sur la ligne de distribution 12 mais plus en aval dans le système de distribution, sur le volume tampon 16 ou en aval de ce volume. Les moyens déverseurs comportent des moyens de régulation de pression, par exemple deux vannes 42,44, la vanne 42 étant à débit variable. Il est alors possible, comme dans le cas expliqué ci-dessus en liaison avec les figures 5A et 5B, de procéder à une mise sous pression dynamique de gaz inerte ou de purge, par balayage à l'aide de ce gaz. Ce balayage concerne non seulement la ligne de distribution 12 mais également les moyens de distribution 14,16 qui sont eux-aussi parcourus par un courant d'azote ou de gaz inerte lorsque tout le système de distribution est mis sous pression. Là encore, l'injection de gaz inerte peut avoir lieu soit sur le robinet de la bouteille, comme représenté sur la figure 6, soit directement sur la ligne de distribution, comme dans le cas de la figure 5B. Il est cependant préférable, pour obtenir la meilleure propreté possible, de nettoyer l'ensemble de la ligne et la sortie du robinet de la bouteille, comme représenté sur la figure 6. Là encore, l'injection de gaz inerte peut avoir lieu selon l'un des modes de réalisation illustres ci-dessus en liaison avec les figures 2A, 2B, 3 ou 4, la figure 6 représentant le cas où toutes les options (vanne 26 et 28) sont incluses. La figure 7 représente encore un autre mode de réalisation, dans lequel des moyens d'évacuation (ici : des tubes) 56 permettent d'évacuer le trop-plein de gaz introduit dans les cellules 18. Des moyens déverseurs 50, situés en aval ou en sortie de ces moyens d'évacuation, et comportant des moyens de régulation de pression, par exemple deux vannes 52,54, permettent de laisser échapper le trop-plein de gaz provenant des cellules 18. Il est ainsi possible de procéder à un nettoyage dynamique, non seulement de la ligne de distribution 12 (comme dans la figure 5A ou 5B) ou des moyens de distribution 14,16, situés en amont des cellules à remplir (comme sur la figure 6), mais également des cellules 18 ellesmêmes. Le gaz inerte peut donc être introduit sous pression dans l'ensemble du système de distribution, y compris dans es cellules, un courant de gaz parcourant l'ensemble du système lorsque les vannes 52, 54 sont ouvertes. On peut alors procéder, comme dans les autres modes de réalisation, à une succession de cycles de mise sous pression, par un gaz inerte, dans l'ensemble du système de distribution, puis de pompage de l'ensemble du système. Selon un mode de réalisation particulier, des vannes ou électrovannes 58 peuvent être prévues sur les tubes 56. Ces vannes, ou électrovannes, permettent, lors de la phase de pompage d'un cycle de nettoyage, d'isoler la partie située en aval des cellules 18, ce qui permet d'éviter d'imposer une perte de charge trop importante au système de pompage, et d'éviter une rétrocontamination par la pollution pouvant se trouver en aval. Ceci peut-être en outre particulièrement avantageux lorsque les tubes 56 sont de diamètre plus faible que le diamètre des tubes utilisés pour le système de distribution, en amont des cellules 18 (on évite ainsi d'imposer une perte de charge supplémentaire). Là encore, on a représenté sur la figure 7 un système de distribution avec injection de gaz de purge au niveau du robinet 23 de la bouteille de gaz. Mais le gaz de purge peut également être injecté directement sur la ligne de distribution 12 (comme dans le cas de la figure 5B), le premier mode de réalisation étant cependant plus avantageux en vue d'un nettoyage complet de l'ensemble du système de distribution. Selon une variante, l'injection de gaz inerte au niveau du robinet de la bouteille peut êti e réalisée selon l'un ou l'autre des modes de réalisation décrit ci-dessus en liaison avec les figures 2A à 4. La figure 8 représente encore une autre variante, dans laquelle le volume tampon 16 est mis directement en relation avec ! e système de pompage 21 par l'intermédiaire de moyens 60, et notamment d'une vanne 62. On peut ainsi pomper au plus proche des cellules 18, et améliorer ainsi la qualité du vide, et donc du nettoyage, de ces cellules. Ce mode de réalisation peut être utilisé en combinaison avec l'un quelconque des modes de réalisation déjà décrits précedemment. La figure 9 représente l'utilisation d'un système de purge selon l'invention, mais en liaison avec une pluralité des lignes de distribution. Comme on voit sur cette figure, une arrivée commune 71 de gaz inerte peut être utilisée pour différentes bouteilles 72,82, 92,102, l'injection de gaz étant réalisée au niveau du robinet 73,83, 93,103 de chacune des bouteilles. En variante, cette injection peut en fait avoir lieu selon l'un ou l'autre des modes de réalisation de l'invention décrits ci-dessus en liaison avec les figures précédentes. Par ailleurs, des moyens déverseurs 70,80, 90,100 peuvent être prévus pour chaque ligne de distribution. Ces moyens déverseurs sont représentés, sur la figure 9, dans la variante expliquée ci-dessus en liaison avec la figure 5 A. On peut cependant également utiliser, pour l'une ou l'autre des lignes de distribution, l'un des modes de réalisation des figures 6 ou 7. De même, une communication directe entre chaque volume tampon et le système de pompage correspondant peut être établie pour un ou plusieurs des systèmes de distribution, conformément à ce qui a été décrit ci-dessus en liaison avec la figure 8. Quel que soit le mode de réalisation envisagé, on pourra procéder à une succession de cycles de remplissage du système de distribution avec du gaz inerte, puis de pompage. Un procédé de conditionnement ou de remplissage des cellules 18 avec du gaz inerte mettra d'abord en oeuvre un procédé de nettoyage selon l'un des modes de réalisation décrits ci-dessus. On procédera ensuite à la fermeture de l'arrivée de gaz inerte. à un pompage de l'ensemble du système de distribution, puis à l'ouverture du robinet 23. On réalise ainsi une étape de remplissage des cellules. REVENDICATIONS 1. Elément de raccordement (22) d'une bouteille de gaz (2) à une ligne (12) de distribution de ce gaz, destiné à être monté sur un robinet (23) d'une bouteille de gaz, comportant des moyens (11,13) pour faire circuler un gaz de purge, d'abord au contact de la sortie du robinet, puis pour diriger le gaz de purge en direction d'une ligne de distribution (12) de gaz. 2. Elément de raccordement (22) selon la revendication 1, comportant un corps (5,29), destiné à être monté sur ledit robinet (23) et deux entrées (15,27), l'une pour une ligne (8) d'alimentation en gaz de purge, et l'autre pour ladite ligne (12) de distribution de ce gaz. 3. Dispositif pour l'alimentation en gaz, à partir d'une bouteille (2) de gaz munie d'un robinet (23), d'une ligne de distribution de gaz, comportant un élément de raccordement (22) selon l'une des revendications 1 ou 2, une ligne (12) de distribution de gaz et une ligne d'alimentation (8) en gaz de purge. 4. Dispositif pour l'alimentation en gaz, à partir d'une bouteille de gaz (2,72, 82,92, 102) munie d'un robinet (23,73, 83,93, 103), d'une ligne (12) de distribution de gaz, comportant une ligne (8,71) d'alimentation en gaz de purge, et des moyens (22) pour faire circuler le gaz de purge d'abord au contact de la sortie du robinet, puis dans au moins une partie de la ligne de distribution de gaz 5. Dispositif selon la revendication 4, les moyens pour faire circuler le gaz de purge comportant un élément de raccordement (22) à ladite ligne (12) de distribution de ce gaz, destiné à être monté sur ledit robinet (23), cet élément de raccordement comportant deux entrées (15, 27), l'une pour la ligne (8) d'alimentation en gaz de purge, et l'autre pour ladite ligne (12) de distribution de ce gaz, et permettant de faire circuler le gaz de purge, d'abord au contact de la sortie du robinet, puis dans au moins une partie de la ligne de distribution de gaz. 6. Dispositif selon l'une des revendications 3 à 5, comportant en outre des moyens (26) pour faire passer directement le gaz de purge de la ligne d'alimentation (8) en gaz de purge à la ligne de distribution de gaz (12). 7. Dispositif selon l'une des revendications 3 à 6, comportant en outre des moyens (28) de purge de la ligne (12) de distribution, reliés à la partie de la ligne de distribution de gaz, dans laquelle peut circuler le gaz de purge. 8. Dispositif selon l'une des revendications 3 à 7, comportant en outre des moyens (14,16, 17) de distribution de gaz, à au moins une cellule (18) de gaz. 9. Dispositif selon la revendication 8, les moyens (14,16, 17) de distribution de gaz comportant un volume tampon (16) qui alimente au moins un tube (17) de distribution de gaz. 10. Dispositif selon la revendication 8 ou 9, comportant en outre des moyens de pompage (21) et des moyens (60,62) pour mettre en relation directe ces moyens de pompage et lesdits moyens (14,16, 17) de distribution de gaz. 11. Dispositif selon l'une des revendications 8 à 10, comportant en outre des moyens (56,58) d'évacuation d'un gaz situé dans ladite ou tesdites ce"u ! e (s) (18) de gaz. 12. Dispositif selon la revendication 11, lesdits moyens d'évacuation comportant au moins un tube d'évacuation (56). 13. Dispositif selon la revendication 11 ou 12, lesdits moyens d'évacuation comportant en outre au moins une vanne ou une vanne électromagnétique (58). 14. Dispositif selon l'une des revendications 3 à 13, comportant en outre des moyens déverseurs (30,70, 80,90, 100) de la ligne (12) de distribution de gaz. 15. Dispositif selon l'une des revendications 8 à 13, comportant en outre des moyens déverseurs (40) des moyens (14,16, 17) de distribution de gaz. 16. Dispositif selon l'une des revendications 11 à 13, comportant en outre des moyens déverseurs (50) des moyens (56,58) d'évacuation. 17. Dispositif selon l'une des revendications 14 à 16, lesdits moyens déverseurs comportant des moyens (32,42, 52) de réglage du débit d'un gaz s'échappant par ces moyens déverseurs. 18. Dispositif selon l'une des revendications 14 à 17, lesdits moyens déverseurs comportant des moyens (34,44, 54) d'ouverture et de fermeture. 19. Dispositif d'alimentation en gaz, à partir d'une pluralité de bouteilles de gaz (72,82, 92,102), chaque bouteille étant associée à un dispositif d'alimentation en gaz selon l'une des revendications 3 à 18, les diverses lignes d'alimentation en gaz de purge étant reliées à une arrivée commune (71) de gaz de purge. 20. Procédé de nettoyage d'un système de distribution de gaz, comportant une bouteille (2) de gaz munie d'un robinet (23) et une ligne (12) de distribution de gaz, dans lequel on introduit un gaz de nettoyage ou de purge au contact de la sortie du robinet (23) de la bouteille, puis dans au moins une partie de la ligne de distribution de gaz. 21. Procédé selon la revendication 20, dans lequel on ferme l'arrivée de gaz de nettoyage en direction du robinet (23) et on introduit le gaz de nettoyage directement dans la ligne de distribution de gaz. 22. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel on laisse la ligne de distribution de gaz sous pression de gaz de nettoyage, après avoir démonté la bouteille de gaz. 23. Procédé selon l'une des revendications 20 à 22, dans lequel on purge le gaz de nettoyage à l'aide de moyens (28) de purge, reliés à un point de la partie de la ligne de distribution dans laquelle le gaz de nettoyage est introduit. 24. Procédé selon l'une des revendications précédentes 20 à 23 dans lequel, pendant le nettoyage, une partie du gaz de nettoyage contenu dans la ligne de distribution s'échappe d'un point situé en aval de la ligne de distribution. 25. Procédé selon l'une des revendications 20 à 23, dans lequel le gaz de nettoyage est introduit dans des moyens (14,16) de distribution de gaz situés en aval de la ligne de distribution de gaz, une partie du gaz de nettoyage contenu dans la ligne de distribution (12) et dans les moyens de distribution s'échappant, pendant le nettoyage, d'un point situé en aval des moyens de distribution. 26. Procédé selon l'une des revendication 20 à 23, dans lequel le gaz de nettoyage est introduit dans des cellules (18), un trop-plein de ce gaz de nettoyage contenu dans ces cellules est évacué par des moyens d'évacuation (56,58) puis s'échappe, pendant le nettoyage, d'un point situé en aval de ces moyens d'évacuation- 27. Procédé selon la revendication 23, dans lequel on ne nettoie, en purgeant avec le gaz de nettoyage, que ladite partie de la ligne de distribution à proximité de la bouteille (2) et de son robinet (23). 28. Procédé de remplissage d'au moins une cellule (18) avec un gaz provenant d'une bouteille (2) reliée à une ligne (12) de distribution de gaz, comportant : - une phase de nettoyage selon fune des revendications 20 à 27, - une phase de remplissage de la, ou des, cellule (s).