Brevet FR2831987A1 — publié le 20030509

est utilisé dans une installation de transport, en particulier dans un ascenseur. 1 2831987 FILTRE DE WIEN DESTINÉ À ÉTRE UTILISÉ DANS UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE OU SIMILAIRE s La présente invention concerne un filtre de Wien utilisé, par exemple, dans un microscope électronique à balayage ( ) et, en particulier, une conception améliorée permettant de réduire au minimum les aberrations qui affectent le faisccau primaire d'électrons pour améliorer ainsi la résolution d'un instrument. On conna^t différents instruments qui reposent sur l'émission de particules chargées provenant d'un échantillon pour obtenir les caractéristiques de l'échantillon. Des exemples de tels instruments sont les microscopes électroniques (par exemple, les microscopes électroniques à balayage), les microscopes à faisceau d' ions focalisés et les spectromètres de masse qui utilisent différents moyens bien connus pour analyser les particules chargées émises par l'échantillon. Pour en faciliter la description, la présente invention sera expliquée en se référant à un MEB. Toutefois, on comprendra que l'invention n'est pas limitée à un MEB et peut être appliquce par l'homme de l' art ordinaire à d' autres instruments tels que ceux mentionnés ci-dessus. Un MEB fonctionne en générant un faisccau primaire d'électrons de balayage qui percute un échantillon dont une surface est reproduite sous forme d'image. En conséquence, des électrons secondaires et rétrodiffusés sont émis par la surface de l'échantillon et leurs trajectoires respectives suivent en sens inverse la direction originale du faisceau, qui est perpendiculaire à la surface de l'échantillon (connue sous le nom de direction axiale) et avec des angles divergeant par rapport à celle-ci. Les électrons émis sont collectés par un détecteur, placé au-dessus de l'échantillon. Le détecteur génère un signal à partir de l'émission d'électrons collectés sur la surface de l'échantillon lorsqu'elle est exposce au faisccau d'électrons. Le signal provenant du détecteur est typiquement traité pour créer une image de la surface, qui est alors affichée sur un écran vidéo. Avec des structures telles que des espacements ou tranchées et des trous de contact de rapport hauteur-largeur élevé, les seuls électrons capables de s'échapper sont émis de manière axiale. Toutefois, les MEB standard ne détectent pas facilement les électrons émis de manière axiale. Ceci est du au fait que le détecteur doit étre éloigné de l'axe pour ne pas géner le faisceau primaire ou incident. Dans cette position, les électrons axiaux n'affectent pas le détecteur. En outre, la haute tension présente sur la surface avant du détecteur, qui est généralement utilisée pour attirer les électrons secondaires, peut affecter défavorablement le faisceau primaire. \\RSCH6\BREVETS\Brevets\20300\20336 doc - 29 octobre 2002 - 1115 2 2831987 Le terme " filtre ", tel qu'il est utilisé ici, se rapporte à des dispositifs utilisés pour, à certains égards, séparer ou disperser les particules d'un faisceau de particules chargées en fonction de leurs di fférences inhérentes de vites se (bi en que souvent, en fait habituellement, cette quantité soit classifiée en tant qu' " énergie "), de charge ou de masse. Ceci peut être effectué en appliquant un champ électrique, un champ magnétique ou une combinaison des deux. Les filtres de Wien sont connus depuis longtemps (voir W. Wien, Ann. Phys. (1898), page 444). Dans un tel filtre, les électrodes et les pôles magnétiques sont utilisés simultanément pour crcer à la fois un champ électrique et un champ o magnétique. Les deux champs sont réglés ou ajustés, pour appliquer des forces égales et opposées aux électrons dans le faisccau incident, de sorte qu'il ne soit pas dévié. Toutefois, un électron se déplaçant dans le sens opposé au sens du faisceau incident subira cette méme force du champ magnétique de manière inverse, agissant sur un tel électron dans le même sens que la force du champ électrique. Ainsi, cet électron sera dévié de l'axe du faisceau. De cette façon, même les particules axiales peuvent étre détectées lorsqu'elles sont déviées vers un détecteur placé de manière appropnee. Le brevet US n 4 658 136 du 14 avril 1987, intitulé " Secondary Electronic Detecting Apparatus " (Appareil de détection électronique secondaire) suggère l'utilisation d'un filtre de Wien dans un microscope électronique à balayage, mais en pratique les filtres de Wien n'ont pas été utilisés dans cette application parce qu'ils perturtaient légèrement mais de manière significative les champs électrostatiques et magnétiques traversés par les particules du faisccau primaire et les particules émises, perturbant ainsi les trajectoires de ces particules. Ces perturbations étaient suffisantes 2s pour dégrader de manière indésirable le faisceau primaire et par conséquent la résolution du MEB. Plus précisément, l'utilisation d'un filtre de Wien dans un MEB exige que les champs magnétiques et électrostatiques se correspondent avec précision et qu'ils soient uniformes afin d'assurer que le faisccau primaire d'électrons ne sera pas perturbé et que les aberrations seront minimales. Un objet de la présente invention est de fournir un filtre qui génère des champs électriques et magnétiques, construit de telle sorte qu'il réduise au minimum et de manière significative les aberrations dues à la discordance entre les champs électriques et magnétiques, de sorte que lorsque le filtre est utilisé en association avec un MEB ou similaires, la dégradation de la résolution de l' instrument n'atteindra pas un niveau élevé. Un autre objet consiste à fournir un dispositif externe d'alignement des champs magnétiques et électriques, situé adjacent (au-dessus et endessous) aux parties des poles pour améliorer encore les formes des champs. \\HIRSCI{6\BREVETS\Brevets\20300\20336.doc - 29 octobre 2002 - 2/15 Un objet supplémentaire de la présente invention est de construire un filtre dont les parties peuvent être assemblées aisément pour donner une structure de précision stable physiquement et électriquement dans les conditions de fonctionnement. Un autre objet de la présente invention est de fournir un filtre dont les champs électriques et magnétiques sont uniformes et se correspondent avec précision, fonctionnant ainsi de manière efficace et précise dans un MEB ou similaires. Un autre objet est de placer les connecteurs sur les pôles et les bobines à l'extérieur du vide pour faciliter la fabrication et pour éliminer les fuites de gaz au niveau des bobines. o Ces objets et autres objets sont atteints par un aspect de la présente invention visant à améliorer un filtre électromagnétique comportant une structure générant un champ entourant au moins en partie un passage. L'amélioration comprend une structure de support autour du passage présentant une pluralité d'ouvertures s'étendant vers l'intérieur à travers celle-ci. Chacune de la pluralité de structures générant un champ et magnétiquement perméables s'étend de manière continue à travers une des ouvertures, se terminant à une extrémité en une face d'un pôle située radialement vers l'intérieur par rapport à la structure de support et constituée à son autre extrémité d'une partie s'étendant radialement vers l'extérieur par rapport à la structure de support. Chacune des structures générant un champ engage la structure de support. Des éléments générant un champ électromagnétique sont connectés de manière opérationnelle aux parties s'étendant radialement vers l'extérieur des structures générant un champ et agissant de manière efficace sur les structures générant un champ pour générer des champs magnétiques et/ou électriques émanant de celles-ci et s'étendant dans le passage. Le filtre est adapté pour fonctionner en association avec un moyen de circuit magnétique situé à l'extérieur de la structure de support pour engager et coupler de manière opérationnelle les parties s'étendant radialement vers l'extérieur des structures générant un champ avec un espace entre les structures générant un champ et le moyen de circuit magnétique, l'espace étant situé radialement à l'extérieur de la structure de support. L'invention se rapporte aussi à un filtre électromagnétique destiné à être utilisé avec un instrument électrique émettant un faisceau de particules chargées depuis une surface devant être mesurée et ayant un passage que traversent les particules chargées, le filtre comprenant: une structure de support entourant au moins partiellement le passage et offrant une pluralité d'ouvertures s'étendant vers l'intérieur à travers celle-ci; une pluralité de structures générant un champ, magnétiquement perméables, chacune s'étendant de manière continue à travers une desdites ouvertures, se terminant à une extrémité en une face d'un pôle située radialement vers l'intérieur \\HIRSCH6\EtREVETS\Brevets\20300\20336.doc - 29 octobre 2002 3/15 4 2831987 par rapport à ladite structure de support et constituée à son autre extrémité d'une partie s'étendant radialement vers l'extérieur par rapport à ladite structure de support, chacune desdites structures générant un champ engageant ladite structure de support; des moyens générant un champ électromagnétique, connoctés de manière s opérationnelle aux parties s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ et efficaces pour agir sur lesdites structures générant un champ pour générer des champs magnétiques et/ou électriques émanant de celles-ci et s'étendant dans ledit passage; ledit filtre étant adapté pour fonctionner en association avec un moyen de o circuit magnétique situé à l'extérieur de ladite structure de support engageant et couplant de manière opérationnelle les parties s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ avec un intervalle entre lesdites structures générant un champ et ledit moyen de circuit magnétique, ledit intervalle étant situé radialement à l'extérieur de ladite structure de support. Selon un mode de réalisation ledit intervalle est situé radialement à l'extérieur desdits éléments générant un champ. Selon un autre mode de réalisation, chacun desdits éléments générant un champ comporte une bobine magnétique entourant la partie s'étendant radialement vers l'extérieur de chacune desdites structures générant un champ pour générer un champ magnétique dans ledit passage. Selon encore un mode de réalisation, chacun desdits éléments générant un champ comporte une bobine magnétique entourant la partie s'étendant radialement vers l'extérieur de chacune desdites structures générant un champ pour générer un champ magnétique dans ledit passage et un moyen connocté à de telles structures 2s générant un champ afin qu'elles génèrent un champ électrostatique dans ledit passage. Selon un autre mode de réalisation, ladite structure de support comporte en outre des premières surfaces d'appui orientées radialement vers l'extérieur entourant lesdites ouvertures, et caractérisé en ce que lesdites structures générant un champ comportent en outre des deuxièmes surfaces d'appui se couplant respectivement auxdites deuxièmes surfaces d'appui, lesdites premières et deuxièmes surfaces d'appui couplées étant brasées les unes aux autres. Selon un autre mode de réalisation, ladite structure de support est de forme annulaire, les ouvertures de celle-ci sont essentiellement orientées radialement et les structures générant un champ comportent une partie radiale étroite s'étendant à travers et se projetant vers l'intérieur depuis l'ouverture qui lui est associce dans ladite structure de support et, faisant partie de celle-ci, une partie plus large s'étendant radialement vers l'extérieur, engageant physiquement ladite structure de \\HIRSCH6U3REVETS\Brevets\20300\20336 doc - 29 octobre 2002 - 4/15 support autour de l'ouverture dans celle-ci et possédant une bobine générant un champ magnétique, montée sur cette partie s'étendant radialement vers l'extérieur, ledit moyen de circuit magnétique avec lequel ledit filtre est adapté pour fonctionner, s'étendant entre les parties radiales extérieures desdites structures générant un champ s avec des espaces entre ledit moyen de circuit magnétique et lesdites parties s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ, respectivement. Selon encore un mode de réalisation, ladite structure de support est de forme annulaire, les ouvertures de celle-ci sont essentiellement orientées radialement et les o structures générant un champ comportent une partie radiale étroite s'étendant à travers et se projetant vers l'intérieur depuis l'ouverture qui lui est associce dans ladite structure de support et, faisant partie de celle-ci, une partie plus large s'étendant radialement vers l'extérieur, engageant physiquement ladite structure de support autour de l'ouverture dans celle- ci, et possédant une bobine générant un champ magnétique, montée sur cette partie s'étendant radialement vers l'extérieur, ledit moyen de circuit magnétique avec lequel ledit filtre est adapté pour fonctionner, s'étendant entre les parties radiales extérieures desdites structures générant un champ avec des espaces entre ledit moyen de circuit magnétique et lesdites parties extérieures radiales desdites structures générant un champ respectivement et radialement à l'extérieur desdites bobines. Selon un autre mode de réalisation, ledit moyen de circuit magnétique, caractérisé en ce que ledit moyen de circuit magnétique s'étend autour de tous les autres composants de ladite structure de filtre afin de produire un deuxième passage aligné et communiquant avec ledit passage à travers ladite structure de support, et un 2s moyen de joint hermétique entre ledit moyen de circuit magnétique et tous les autres composants dudit filke. Conformément à la présente invention, une nouvelle disposition des composants du filtre est fournie. En particulier, l'espace dans le circuit magnétique nécessaire à l'isolation électrique est correctement situé de sorte que les champs magnétiques des franges qui lui sont associés, qui autrement tendent à perturber les champs agissant sur les particules traversant le filtre, n'ont aucun effet négatif sur la résolution. Nous avons découvert que le fait de placer l'espace radial dans le circuit magnétique près de l'axe central de l'instrument produit des perturbations 3s indésirables dans le champ magnétique, ce qui à son tour affecte déLavorablement la résolution de l'instrument. Plus précisément, le champ magnétique est plus élevé, plus uniforme et plus stable lorsque l'espace radial est situé latéralement à l'extérieur de la structure qui supporte les parties des pôles aussi loin que possible de l'axe du \\HIRSCH6\}3REVETS\Etrevets\20300\20336 doc - 29 oaobre 2002 - 5/15 6 2831987 faisceau et, de préférence, à l'extérieur des enroulements montés sur les parties des pôles. Ces améliorations du fonctionnement sont atteintes grâce à une structure plus simple, plus solide et plus fiable que celles du filtre de Wien de l'art antérieur. Comme indiqué précédemrnent, bien qu'ici le filtre de la présente invention soit décrit spécifiquement pour être utilisé avec un microscope électronique à balayage, avec lequel l'amélioration du fonctionnement est extrêmement importante, on comprendra que l'utilité du filtre étudié ne se limite pas à cette application, mais il est également avantageux en liaison avec la plupart des instruments dans lesquels des particules chargées se déplacent dans des directions différentes dans un même espace lo et subissent un traitement différent en fonction de la direction particulière suivant laquelle elles se déplacent. Pour accomplir les objets précédents et autres objets tels qu'ils peuvent apparaître ci-après, la présente invention se rapporte à la construction d'un filtre comme définie dans les revendications annexces et comme décrite dans cette description, lorsque lue en liaison avec les dessins annexés, parmi lesquels: La figure 1 est une vue en perspective d'un filtre de Wien construit conformément à la présente invention. La figure 2 est une vue partielle de la figure 1 représentant de manière éclatée une des parties des pôles. La figure 3 est une vue en coupe du filtre prise selon un plan horizontal passant par le centre de la disposition représentée sur la figure 1; et La figure 4 est une vue en coupe du filtre prise selon un plan vertical passant par le centre de la disposition représentée sur la figure 1 représentant les parties des pôles du filtre monté sur une structure magnétique externe (non représentée sur la 2s figure 1) qui, en partie, définit le passage évacué traversé par les particules devant être détectées. Le filtre de la présente invention, que l'on représente généralement par la lettre A, est. lorsqu'il est utilisé avec un MEB, monté dans une structure externe d'alignement de champ, généralement représentée par B (voir figure 4) qui définit un passage généralement représenté par C traversé par les particules à détecter. Le filtre A comporte une pluralité de parties des pôles généralement représentées par D, représentées ici par la référence numérique 8, disposces autour du passage C. Pour placer et installer correctement les parties des pôles D, une structure de support généralement représentée par E est prévue sous la forme d'un 3s anneau solide qui entoure le passage C. Cet anneauE peut être constitué d'un matériau de structure non magnétique tel que de la céramique. Un matériau en alumine, 99 % A12-O3, s'est avéré efficace à cette fin puisqu'il peut être formé avec précision et possède la stabilité mécanique et la force désirées. Comme on peut le \\H/RSCH6\BREVETS\Brevets\20300\20336.doc - 29 oclobre 2002 - 6/15 7 2831987 voir sur la figure 3, l'anneau en céramique E comporte une pluralité d'ouvertures 4 équidistantes et orientées radialement avec, au niveau des extrémités radiales extérieures des ouvertures 4, des surfaces d' appui 6 orientées vers l' extérieur et de surface appréciable. s Comme cela est représenté sur les figures 2 et 3, chacune des parties des pôles D comporte une partie 8 s'étendant radialement vers l'intérieur qui traverse parfaitement une ouverture 4 dans l'anneau en céramique E et se termine sur la face d'un p81e 10. La partie 8 comprend une partie d'un seul tenant plus large 12 situce radialement vers l'extérieur et adaptée pour engager une surface d'appui 6 de la o structure de support en céramique E. La partie 12 comprend une partie d'un seul tenant plus étroite 14 s'étendant radialement vers l'extérieur sur laquelle est monté un enroulement générant un champ magnétique 16. Cet enroulement est enfermé dans une bobine de blindage 18 et entouré par un blindage électrique20 et un capot 21, maintenu en place sur sa partie de pôle par le joint torique 22 qui engage une rainare 23 formée dans la circonférence en haut et en bas de la partie la plus extérieure de la partie de pôle. Une cale isolante 24 peut être placce entre l'ensemble de la bobine de blindage et la partie de pôle 12. La connexion électrique vers l'enroulement 16 est produite à l'aide des bornes 26 s'étendant à travers le capot 21. Chaque partie de pôle D est de préférence construite d'une seule pièce. Comme on peut le voir sur la figure 4, chaque partie de pôle comporte une borne 28 s'étendant latéralement par rapport à elle sous la forme d'une vis qui, lorsqu'elle est correctement mise sous tension, produit dans le passage C le champ électrostatique qui, lorsqu'il fonctionne conjointement avec le champ magnétique généré par l'enroulement 16, donne l'effet désiré du filtre de Wien. Des connexions électriques aux bornes 26 et 28 peuvent être établies via le dispositif d'alignement de champ B de n'importe quelle façon bien connue. La figure4 représente deux parties des pôlesD diamétralement opposces, incorporées dans un MEB et placces à l'intérieur d'une structure d'alignement de champ magnétique B qui assure la liaison magnétique des parties des pôles D et qui définit également au moins en partie le passage C des particules. L'espace 29 nécessaire dans le circuit magnétique pour l'isolation électrique est formé entre les extrémités extérieures 30 des parties des pôles et les surfaces 32 correspondantes orientées vers l'intérieur de la structure d'alignement du champ magnétique B. Un isolateur mince 33, mesurant 2/lOOOe de pouce d'épaisseur, est conçu pour être monté dans cet espace. L'espace 29 dans le circuit magnétique est nocessaire mais présente un problème du point de vue magnétique. L'espace déforme le champ magnétique là o l'espace se situe, et cet effet s'étend dans l'espace pour perturber le champ traversé \\HIRSCH6\EREVETS\Brevets\20300\20336 doc - 29 octobre 2002 - 7/15 8 2831987 par les électrons, ce qui affecte défavorablement la résolution de l'instrument. En situant l'espace 29 au niveau des extrémités extérieures 30 de la partie de pôle D, et par conséquent à un endroit éloigné du passage C traversé par les électrons, l'effet de perturbation du champ de l'espace 29 est considérablement réduit et ainsi la s résolution de l'instrument est nettement améliorce. Les surfaces 32 qui font face aux extrémités 30 orientées radialement vers l'extérieur des parties des pôles sont formées dans une section de structure magnétique 34 de la structure d'alignement de champ B qui, à son tour, est montée sur une section de structure d'alignement de champ 36 supportante et coopérative, lO ces sections 34 et 36 comme représentées sur la figure 4 étant des parties de la structure globale du microscope. La structure de support en céramique E du filtre de Wien reste sur la structure d'alignement de champ 36 et engage la structure d'alignement de champ 34 au niveau des extrémités des parties des pôles 30 situées radialement à l'extérieur. Des joints toriques 38 et 40 sont comprimés entre la is structure en céramique E et les structures d'alignement de champ 34 et 36 afin de conserver un vide dans le passage C. Les parties des pôles D sont constituces d'un matériau fortement perméable magnétiquement. La cale 24 est constituée de n'importe quel matériau isolant électrique convenable tel que du polyamide de DuPont de la marque Kapton. La bobine 18 peut être formoe de laiton, le blindage 20 peut être formé d'aluminium et le capot 21 peut être formé d'une plaque isolante cuivrée. Les parties des pôles D sont fixées à l'anneau de support en céramique E en brasant la surface 6 de l'anneau en céramique E, une fois qu'il a été convenablement métallisé, sur la face opposée des parties 12 des parties des pôles D alors que les parties des pôlesD sont uniformément enfoncées pour être mises en place. Un eutectique cuivre-argent est très efficace comme matériau de brasage. À cet égard, une cale de brasage de 1 millimètre d'épaisseur peut être utilisée. Il convient de noter que le brasage non seulement maintient en place les parties des pôles D de manière sûre sur l'anneau de support E, mais il crée également le joint hermétique nécessaire entre l'anneau E et les parties des pôles D. Les larges régions des surfaces brasoes sont importantes pour sceller et pour rendre stable la relation structurelle. Toutefois, comme on l'a montré ci-dessus, tandis que des parties plus larges 12 offrent une surface d' engagement importante entre chaque partie de pôle D et l'anneau en céramique E, elles offrent également un autre objectif avantageux. Plus 3s précisément, les parties qui s'étendent comme un rebord autour du corps principal de chaque partie de pôle fournissent un certain degré de blindage entre le faisceau primaire et le champ des franges au niveau de l'espace29 pour réduire encore davantage son effet de perturbation de la résolution de l'instrument. \\HIRSCH6\BREVETS\Brevets\20300\20336.doc - 29 octobre 2002- 3/15 Bien que la description détaillée fournie ci-dessus examine des modes de réalisation spécifiques de la présente invention, différentes modifications apportées à ceux-ci seront facilement apparentes pour l'homme de l' art. Toutes ces modifications sont prévues pour être comprises dans la portée de la présente invention telle que définie par les revendications suivantes. \\H]RSCHRBREVETS\13revets\20300\20336.doc - 29 octobre 2002 - 9/15 REVENDICATIONS 1. Un filtre électromagnétique comportant une structure générant un champ entourant au moins partiellement un passage (C), caractérisé en ce qu'il comprend: une structure de support (E) autour dadit passage (C) et offrant une pluralité d'ouvertures (4) s'étendant vers l'intérieur à travers celle-ci; une pluralité de structures générant un champ, magnétiquement perméables, chacune s'étendant de manière continue à travers une desdites ouvertures (4), se 0 terminant à une extrémité en une face d'un pôle située radialement vers l'intérieur par rapport à ladite structure de support (E) et constituée à son autre extrémité d'une partie (14) s'étendant radialement vers l'extérieur par rapport à ladite structure de support, chacune desdites structures générant un champ engageant ladite structure de support; des éléments (16) générant un champ électromagnétique, connectés de manière opérationnelle aux parties (14) s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ et effcaces pour agir sur lesdites structures générant un champ pour générer des champs magnétiques et/ou électriques émanant de celles- ci et s'étendant dans ledit passage; ledit filtre étant adapté pour fonctionner en association avec un moyen de circuit magnétique situé à l'extérieur de ladite structure de support (E) engageant et couplant de manière opérationnelle les parties (14) s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ avec un intervalle (29) entre lesdites structures générant un champ et ledit moyen de circuit magnétique, ledit intervalle (29) étant situé radialement à l'extérieur de ladite structure de support. 2. Le fltre selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit intervalle (29) est situé radialement à l'extérieur desdits éléments générant un champ. 3. Le filtre selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé en ce que chacun desdits éléments générant un champ comporte une bobine magnétique entourant la partie (14) s'étendant radialement vers l'extérieur de chacune desdites structures générant un champ pour générer un champ magnétique dans ledit passage. 4. Le fltre selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé en ce que chacun desdits éléments générant un champ comporte une bobine magnétique (16) entourant la partie (14) s'étendant radialement vers l'extérieur de chacune desdites structures générant un champ pour générer un champ magnétique dans ledit \WRSCH6\BREVETS\Brevetr\20300\20336.doc 29 octobre 2002 - 10/15 passage (C) et un moyen connecté à de telles structures générant un champ afin qu'elles génèrent un champ électrostatique dans ledit passage. 5. Le fltre selon l'une quelcouque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que ladite structure de support (E) comporte en outre des premières surfaces d'appui orientées radialement vers l'extérieur entourant lesdites ouvertures (4), et caractérisé en ce que lesdites structures générant un champ comportent en outre des deuxièmes surfaces d'appui se couplant respectivement auxdites deuxièmes surfaces d'appui, lesdites premières et deuxièmes surfaces d'appui couplées étant brasées les o unes aux autres. 6. Le fltre selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ladite structure de support (E) est de forme annulaire, les ouvertures (4) de celle-ci sont essentiellement orientées radialement et les structures générant un champ comportent une partie radiale étroite s'étendant à travers et se projetant vers l'intérieur depuis l'ouverture qui lui est associée dans ladite structure de support et, faisant partie de celle-ci, une partie plus large s'étendant radialement vers l'extérieur, engageant physiquement ladite structure de support autour de l'ouverture dans celle- ci et possédant une bobine (16) générant un champ magnétique, montée sur cette partie (14) s'étendant radialement vers l'extérieur, ledit moyen de circuit magnétique avec lequel ledit filtre est adapté pour fonctionner, s'étendant entre les parties radiales extérieures desdites structures générant un champ avéc des espaces (29) entre ledit moyen de circuit magnétique et lesdites parties (14) s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ, respectivement. 7. Le filtre selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ladite structure de support (E) est de forme annulaire, les ouvertures (4) de celle-ci sont essentiellement orientées radialement et les structures générant un champ comportent une partie radiale étroite s'étendant à travers et se projetant vers l'intérieur depuis l'ouverture qui lui est associce dans ladite structure de support et, faisant partie de celle-ci, une partie plus large s'étendant radialement vers l'extérieur, engageant physiquement ladite structure de support autour de l'ouverture dans celle- ci, et possédant une bobine (16) générant un champ magnétique, montée sur cette partie (14) s'étendant radialement vers l'extérieur, ledit moyen de circuit magnétique avec lequel ledit filtre est adapté pour fonctionner, s'étendant entre les parties radiales extérieures desdites structures générant un champ avec des espaces (29) entre ledit moyen de circuit magnétique et lesdites parties extérieures radiales \\RSCH6\BREVEIS\BreYets\20300\20336 doc - 29 octobre 2002 - 11/15 desdites structures générant un champ respectivement et radialement à l'extérieur desdites bobines. 8. Le filtre selon la revendication 7 en association avec ledit moyen de circuit magnétique, caractérisé en ce que ledit moyen de circuit magnétique s'étend autour de tous les autres composants de ladite structure de filtre afin de produire un deuxième passage aligné et communiquant avec ledit passage (C) à travers ladite structure de support, et un moyen de joint hermétique entre ledit moyen de circuit magnétique et tous les autres composants dudit filtre. 9. Le filtre selon la revendication 6 en association avec ledit moyen de circuit magnétique, caractérisé en ce que ledit moyen de circuit magnétique s'étend autour de tous les autres composants de ladite structure de filtre afin de produire un deuxième passage aligné et communiquant avec ledit passage (C) à travers ladite 1S structure de support, et un moyen de joint hermétique entre ledit moyen de circuit magnétique et tous les autres composants dudit filtre. 10. Le filtre selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite structure de support (E) comporte en outre des premières surfaces d'appui orientées vers l'extérieur radialement entourant lesdites ouvertures (4), et caractérisé en ce que lesdites structures générant un champ comportent en outre des deuxièmes surfaces d'appui correspondant respectivement auxdites deuxièmes surfaces d'appui, lesdites premières et deuxièmes surfaces d'appui correspondantes étant brasces les unes aux autres. 2s 11. Un filtre électromagnétique destiné à être utilisé avec un instrument électrique émettant un faisceau de particules chargées depuis une surface devant être mesurce et ayant un passage que traversent les particules chargées, le filtre comprenant: une structure de support (E) entourant au moins partiellement le passage (C) et offrant une pluralité d'ouvertures (4) s'étendant vers l'intérieur à travers celle-ci; une pluralité de structures générant un champ, magnétiquement perméables, chacune s'étendant de manière continue à travers une desdites ouvertures, se terminant à une extrémité en une face d'un pole située radialement vers l'intérieur 3s par rapport à ladite structure de support et constituée à son autre extrémité d'une partie s'étendant radialement vers l'extérieur par rapport à ladite structure de support, chacune desdites structures générant un champ engageant ladite structure de support; \\HIRSCH6\BREVETSM3reYets\20300\20336 doc - 29 octobre 2002 -12/15 des moyens générant un champ électromagnétique, connectés de manière opérationnelle aux parties (14) s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ et efficaces pour agir sur lesdites structures générant un champ pour générer des champs magnétiques et/ou électriques émanant de celles-ci et s'étendant dans ledit passage; ledit filtre étant adapté pour fonctionner en association avec un moyen de circuit magnétique situé à l'extérieur de ladite structure de support engageant et couplant de manière opérationnelle les parties s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ avec un intervalle (29) entre lesdites structures lo générant un champ et ledit moyen de circuit magnétique, ledit intervalle (29) étant situé radialement à l'extérieur de ladite structure de support. 12. Le fltre selon la revendication 11, caractérisé en ce que ledit intervalle (29) est situé radialement à l'extérieur dudit moyen générant un champ. 13. Le filtre selon la revendication 11 ou la revendication 12, caractérisé en ce que ledit moyen générant un champ comporte une bobine magnétique (16) entourant la partie s'étendant radialement vers l'extérieur de chacune desdites structures générant un champ pour générer un champ magnétique dans ledit passage. 14. Le filtre selon la revendication 11 ou la revendication 12, caractérisé en ce que ledit moyen générant un champ comporte une bobine magnétique (16) entourant la partie (14) s'étendant radialement vers l'extérieur de chacune desdites structures générant un champ pour générer un champ magnétique dans ledit passage 2s (C) et un moyen connocté à de tels moyens générant un champ pour leur faire générer un champ électrostatique dans ledit passage. Le fltre selon l'une quelconque des revendications 11 à 14, caractérisé en ce que ladite structure de support (E) comporte en outre des premières surfaces d'appui orientées vers l'extérieur radialement entourant lesdites ouvertures, et caractérisé en ce que lesdites structures générant un champ comportent en outre des deuxièmes surfaces d'appui correspondant respectivement auxdites deuxièmes surfaces d'appui, lesdites premières et deuxièmes surfaces d'appui correspondantes étant brasées les unes aux autres. 16. Le filtre selon l'une quelconque des revendications 11 à 15, caractérisé en ce que ladite structure de support (E) est de forme annulaire, les ouvertures (4) de celle-ci sont essentiellement orientées radialement et les structures générant un \\H]RSCH6\BRBVETS\Brevets\20300\20336.doc - 29 oaobre 2002 - 13/15 14 2831987 champ comportent une partie radiale étroite s'étendant à travers et se projetant vers l'intérieur depuis l'ouverture qui lui est associée dans ladite structure de support et, faisant partie de celle-ci, une partie plus large s'étendant radialement vers l'extérieur, engageant physiquement ladite structure de support autour de l'ouverture dans celle ci, et caractérisé en ce que ledit moyen générant un champ est monté sur cette partie (14) s'étendant radialement vers l'extérieur et comprend une bobine (16) générant un champ magnétique, ledit moyen de circuit magnétique avec lequel ledit filtre est adapté pour fonctionner, s'étendant entre les parties radiales extérieures desdites structures générant un champ avec des espaces (29) entre ledit moyen de circuit o magnétique et lesdites parties s'étendant radialement vers l'extérieur desdites structures générant un champ, respectivement. 17. Le filtre selon l'une quelconque des revendications 11 à 15, caractérisé en ce que ladite structure de support (E) est de forme annulaire, les ouvertures (4) de 1S celle-ci sont essentiellement orientées radialement et les structures générant un champ comportent une partie radiale étroite s'étendant à travers et se projetant vers l'intérieur depuis l'ouverture qui lui est associée dans ladite structure de support et, faisant partie de celle-ci, une partie plus large s'étendant radialement vers l'extérieur, engageant physiquement ladite structure de support autour de l'ouverture dans celle ci, et caractérisé en ce que ledit moyen générant un champ est monté sur cette partie s'étendant radialement vers l'extérieur et comprend une bobine (16) générant un champ magnétique, ledit moyen de circuit magnétique avec lequel ledit filtre est adapté pour fonctionner, s'étendant entre les parties radiales extérieures desdites structures générant un champ avec des espaces (29) entre ledit moyen de circuit 2s magnétique et lesdites parties radiales extérieures desdites structures générant un champ respectivement et radialement à l'extérieur desdites bobines. 18. Le filtre selon la revendication 16 ou la revendication 17 en association avec ledit moyen de circuit magnétique, caractérisé en ce que ledit moyen de circuit magnétique s'étend autour de tous les autres composants de ladite structure de filtre afin de produire un deuxième passage aligné et communiquant avec ledit passage à travers ladite structure de support, et un moyen de joint hermétique entre ledit moyen de circuit magnétique et tous les autres composants dudit filtre.