Brevet FR2833768A1 — publié le 20030620

LASER A RESONATEUR EXTERNE ACCORDABLE EN LONGUEUR D'ONDE UTILISANT UN DEFLECTEUR OPTIQUE La présente invention concerne un laser à résonateur externe accordable en longueur d'onde utilisant un déflecteur optique. 11 est déjà connu de l'art antérieur un résonateur externe pour accorder une lumière monomode provenant d'une diode laser ou d'autres sources de lumière ayant une plage prédéterminée de bande passante afin de sélectionner une longueur d'onde spécifique. Un tel résonateur comprend typiquement un résonateur externe d'un mode Littman-Metcalf et un résonateur externe d'un mode Littrow. Un procédé par lequel une longueur d'onde spécifique est sélectionnée en utiilsant ces types de résonateurs a été appliqué à une technologie de laser à colorant qui fait l'objet de recherches importantes dans le domaine de la spectroscopie. La figure 1 montre une structure d'un résonateur externe classique d'un mode Littman-Metcalf. En faisant référence maintenant à la figure 1, le résonateur externe d'un mode Littman-Metcalf comprend une diode laser 101 ayant une large bande de longueurs d'onde, une première lentille 102a pour rendre parallèle le faisceau provenant dela diode laser 101, un réseau de diffraction 104 pour diffracter le faisceau parallèle et un miroir de réflexion 105 pour réfléchir le faisceau diffracté. Le faisceau généré par le laser à résonateur externe est réfléchi par un réseau de diffraction 104 et focalisé sur une fibre optique 103 par l'intermédiaire d'ure lentille 102b. Si un faisceau est généré par la diode laser 101, la première lentille 102a fait converger le faisceau parallèlement. Ensuite, le faisceau parallèle est diffracté vers le miroir de réflexion 105 au moyen du réseau de diffraction 104. Dans ce cas, I'angle du miroir de réflexion 105 vers le réseau de diffraction 104 est commandé par un équipement mécanique (non montré). De ce fait, le miroir de réflexon 105 réfléchit des longueurs d'onde spécifiques, parmi les longueurs donde incidentes qui frappent verticalement le miroir de réflexion 105, vers le réseau de diffraction 104. Le faisceau réfléchi par le miroir de réflexion 105 est diffracté par le réseau de diffraction 104, de sorte qu'il retourne vers la diode laser 101 par l'intermédiaire de la première lentille 1 02a. Comme montré sur la figure 1, si le miroir de réflexion 105 est positionné selon un premier angle 109, un premier faisceau 107 à une =. longueur d'onde donnée frappe verticalement le miroir de réflexion 105 et est ensuite réfléchi vers le réseau de diffraction 104. En outre, si le miroir de réflexion 105 est positionné selon un deuxième angle 110, un deuxième faisceau 108 ayant une longueur d'onde différente frappe verticaiement le miroir de réflexion 105 et est ensuite réfléchi vers le réseau de diffraction 104. Par conséquent, la longueur d'onde du faisceau retournant vers la diode laser 101 est différente en fonction de l'angle selon lequel le miroir de réflexion 105 est positionné. La longueur d'onde est également accordée en fonction de l'angle du miroir de réflexion. Le résonateur externe du mode Littman-Metcalf commande l'angle du miroir de réflexion afin d'accorder la longueur d'onde. Cependant, le résonateur externe du mode Littrow commande l'angle du réseau de diffraction afin d'accorder la longueur d'onde. La figure 2 montre une structure d'un résonateur externe classique d'un mode Littrow. En faisant référence maintenant à la figure 2, le résonateur externe du mode Littrow est de structure similaire au résonateur externe du mode Littman-Metcalf. La seule différence est que le résonateur externe du mode Littrow ne commande pas l'angle du miroir de réflexion, mais commande l'angle du réseau de diffraction 104 afin d'accorder la longueur d'onde. Si un faisceau est généré par la diode laser 101, la lentille 102 fait converger le faisceau parallèlement. Un faisceau ayant une longueur d'onde spécifique parmi des faisceaux parallèles est diffracté en fonction de I'angle du réscau de diffraction 104 et est ensuite réfléchi vers la lentille 102. Le faisceau réfléchi par le réscau de diffraction 104 retourne vers la diode laser 101 par l'intermédiaire de la lentille 102. Par conséquent, la longueur d'onde du faisceau retournant vers la diode laser 101 est différente en fonction de l'angle selon lequel le réseau de diffraction 104 est positionné. La longueur d'onde du faisceau est également accordée en fonction de la longueur d'onde du faisceau. Com me p récédem ment, le laser accord able à résonate u r externe du mode Littman-Metcalf ou du mode Littrow tourne mécaniquement le miroir de réflexion ou le réseau de diffraction et commande ensuite les angles de ceux-ci afin de sélectionner un faisceau d'une longueur d'onde spécifique. Par conséquent, étant donné que le miroir de réflexion ou le réseau de diffraction doit être tourné mécaniquement avec beaucoup de précision, il existe des problèmes en ce que la stabilité d'un iaser est faible, la taille du dispositif est grande, la vitesse d'accord est faible et le coût de fabrication est élevé. Autrement dit, le résonateur classique nécessite un dispositif mécanique de rotation ayant une grande précision afin de sélectionner une longueur d'onde spécifique et a une faible vitesse d'accord. Divers types de résonateurs ont été proposés pour accorder les longueurs d'onde. La structure de laser à résonateur externe comprend deux miroirs de réflexion fixés des deux cotés du résonateur centré sur un milieu laser capable d'osciller à une pluralité de longueurs d'onde de sorte qu'ils puissent avoir une grande vitesse de variation d'environ 1 ms et un miroir de réflexion agencés linéairement et de multiple fois, pour modifier la longueur du résonateur au moyen du PZT. Étant donné que le miroir de réflexion et le réseau de diffraction sont tournés simultanément, centrés sur un axe de rotation donné situé à proximité du laser, les rotations pour commander l'angle de diffraction et la longueur du résonateur peuvent être commandées simultanément. Ainsi, une source de lumière à résonateur externe peut sélectionner de manière consécutive une longueur d'onde sans sauter un mode. Il existe aussi un système laser accordable en longueur d'onde à grande vitesse et large bande. Le système laser comprend divers composants accordables commandés par l'intermédiaire d'un microprocesseur. Les composants accordables, qui sont un corps cristallin biréfringent présentant un effet électro-optique lorsqu'un champ électrique est appliqué, comprennent plus de deux composants accordables. Dans ce cas, les deux composants accordables effectuent respectivement une commande grossière et une commande fine. Il existe également un résonateur de laser comprenant plus de deux composants de réflexion, positionnés des deux cotés du résonateur, des miroirs à chevauchement de courbe et des miroirs à réflexion du type couple positionnés au niveau de sa sortie. Un corps de cristal de laser est installé dans un trajet de réflexion dans le résonateur de laser. Un composant pour répartir la longueur d'onde, tel qu'un prisme, est positionné dans le trajet de réflexion dans le résonateur, entre 1'un des miroirs à chevauchement et les composants de réflexion, à ses deux extrémités, afin d'accorder et d'osciller à au moins une longueur d'onde, dans une plage déterminée de la longueur d'onde. L'accord de la longueur d'onde d'oscillation est effectué par une fine rotation du composant de réflexion. Il existe une structure de résonateur externe pour accorder la longueur d'onde en utilisant un signal électrique sans déplacement mécanique. Le résonateur externe comprend deux miroirs à ses deux extrémités, un corps de cristal en tant que milieu de laser positionné au centre du miroir, et un corps de cristal pour sélectionner la longueur d'onde dans une unité piézoélectrique commandée par une source radiofréquence en tant qu'entrée d'onde sonore. Dans cette structure, le réseau de diffraction n'est pas déplacé dans le résonateur externe étant donné que le corps de cristal est installé au niveau de l'unité piézoélectrique commandée par la source radiofréquence. Par ailleurs, il existe une diode laser accordable en longueur d'onde dans laquelle le réseau de diffraction est tourné en utilisant un moteur pas à pas qui est commandé par un microprocesseur. En outre, il existe une diode laser accordabie en longueur d'onde dans laquelle le miroir de réflexion et le réseau de diffraction sont déplacés au moyen d'un actionneur en utilisant une technologie MEMS (MicroElectroMechanical Systems). Les technologies classiques de l' art antérieur mentionnées ci dessus présentent des avantages au niveau dé la structure et des performances, mais présentent certains inconvénients. Elles nocessitent un déplacement mécanique et ont une plage de iongueur d'onde accordable étroite, et leur tail le de mod ule ne peut pas être m iniatu risée. Autrement dit, il existe un besoin pour une nouvelle technologie ayant une spectroscopie dont la longueur d'onde doit être accordée, une large plage d'accord de la longueur d'onde dans une communication optique à multiplexage en longueur d'onde, et une source de lumière stable, miniaturisée et à vitesse d'accord rapide. La présente invention a pour objet de résoudre les problèmes ci-dessus. A cet effet, I'invention a pour objet un résonateur externe accordable en longueur d'onde capable d'effectuer un accord à une longueur d'onde en utilisant un signal électrique comprenant: - une source de lumière pour émettre des faisceaux de la pluralité de longueurs d'onde; s - une lentille pour rendre les faisceaux parallèles; - un réseau de diffraction pour diffracter les faisceaux parallèles; - un miroir de réflexion pour réfléchir un faisceau incident; et - un déflecteur optique positionné entre ledit réseau de diffraction et ledit miroir de réflexion, pour modifier la direction du faisceau sortant du réseau de diffraction et pour commander l'indice de réfraction en fonction d'un signal électrique et pour qu'un faisceau d'une longueur d'onde spécifique frappe verticalement ledit miroir de réflexion; - résonateur dans lequel le faisceau réfléchi verticalement par ledit miroir de réflexion est focalisé sur ladite source de lumière. Selon un deuxième mode de réalisation préféré, I' invention se rapporte à résonateur externe accordable en longueur d'onde capable d'effectuer un accord à une longueur d'onde en utilisant un signal électrique, comprenant: - une source de lumière pour émettre des faisceaux de la pluralité des longueurs d'onde; - une lentille pour rendre les faisceaux parallèles; - un réseau de diffraction pour diffracter les faisceaux parallèles; - un miroir de réflexion pour réfléchir un faisceau incident; et - un déflecteur optique positionné entre ladite ientille et ledit réseau de diffraction, pour modifier la direction du faisceau incident provenant du réseau de diffraction et pour commander l'indice de réfraction en fonction d'un signal électrique et pour qu'un faisceau d'une longueur d'onde spécifique soit directement réfléchi par ledit réseau de diffraction, - résonateur dans lequel le faisceau directement réfléchi est focalisé sur ladite source de lumière. Selon un troisième mode de réalisation préféré, I' invention se rapporte à un résonateur externe accordabie en longueur d'onde capable d'effectuer un accord à une longueur d'onde en utilisant un signal électrique, comprenant: - une source de lumière pour émettre des faisceaux de diverses longueurs d'onde; - un réseau de diffraction d'une forme concave pour diffracter la lumière émise en une lumière parallèle; - un miroir de réflexion pour réfléchir le faisceau incident; - une lentille pour focaliser le faisceau réfléchi parallèlement dans le réseau de diffraction de la forme concave sur une fibre optique; et - un déflecteur optique positionné entre ledit réseau de diffraction de la forme concave et ledit miroir de réflexion, pour modifier la direction du faisceau provenant du réseau de diffraction et pour commander l'indice de réfraction en fonction d'un signal électrique et pour amener ensuite verticalement un faisceau d'une longueur d'onde spécifique vers ledit miroir de réflexion, lO résonateur dans lequel le faisceau réfléchi verticalement par ledit miroir de réflexion est focalisé sur ladite source de lumière. Avantageusement, le déflecteur optique comprend une jonction p/n formée au niveau d'une partie de forme triangulaire sur un substrat d'un guide d'onde plan à couches diélectriques, de sorte que, si un faisceau se propageant à travers le guide d'onde plan à couches diélectriques passe à travers la partie de forme triangulaire de la jonction p/n, un angle de réfraction du faisceau est commandé par des variations de la densité d'un porteur dans la couche de guide d'onde plan à couches diélectriques ou par des variations de l'indice de réfraction, en fonction d'une injection de courant ou d'une application de tension dans/à ladite jonction p/n. De préférence, le guide d'onde plan à couches diélectriques est formé en utiilsant des matériaux tels que du InP (Phosphure d'lndium) ou du AsGa (Arséniure de Gallium). De manière préférentielle, la source de lumière est un laser à semi-conducteurs du type Fabry-Perot. Selon un mode préféré de réalisation de l' invention, le déflecteur optique est positionné en de multiples étages entre ledit réseau de diffraction et ledit miroir de réflexion, de sorte qutun faisceau ayant une longueur d'onde spécifique soit réfracté plus d'une fois afin d'augmenter la plage d'accord. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparatront plus clairement à la lecture de la description qui suit, en référence aux dessins schématiques joints, sur lesquels: - la figure 1, une illustration d'un résonateur externe classique de mode LittmanMetcalf; - la ngure 2, une Diustrabon d'un rAsonteur externe classlque de mode Lltirow - la fure 3, un schAma de concephon dn dADecteur opdque don1 un lndlce de rAPachon est commandA par un gnal Alechique, aysnt une structure 1riangulaire - la gure 4, un rdsonateur externe accordable en iongueur d'onde utillsan1 un dADecteur optique selon un premler mode de alisation de la prAsente invendon; - gure 5, un sonaieur externe accordable en longueur d'onde utilisan1 un dAgecieur optique selon un deuxiAme mode de rdallsation de l prAsente lnventon - la [gure 6, un rdsonateur externe accordable en longueur d'onde u111isan1 un d6Decteur op11que selon un trolsiAme mode de allsation de la prdsente invendon - la [gure 7, un rAsonateur externe accordble en longueur dnde lan1 un deur oque lon un qu-Ame mode de -#sadon de la prAsente lnvendon - la gu 8, un graphique caractArlstlque lQustrant la relatlon ent llndl de lon longueur dnde dn 8U dans sonateur externe mont sur la gum 8; - gure 9, un schAma de concepton un dABeeur opdque don1 rlndl de n e mmandA par un gnal erue, an1 une structure trlangulaire - gum 1Q, un rAsonateur externe accordable en longueur 2j dnde uNH= un d-ur que lon un nqu_ me ^11- de la psente lnvenDon et - la flgure 11, un rAsonateur externe accoable en longueur d'onde utillsan1 un d6Necteur optique selon un slxlAme mode de rdallsa110n de la prdsente lnvendon. n de rend la comprdbens[on de l'lnvention plus cile,10us les numAros de rArence iden11ques son1 u111[ss pour identiDer des pales iden11ques ou simaires. La [gu 3 e un schAma de conn dn q6#eeur optique don1 un indlce de rAfraction es1 commandA par un slgnal 61ectrique, ayan1 une structure 1dangulaire. ( La principale caractéristique de ce mode de réalisation est d'utiliser un phénomène dans lequel un faisceau 307 provenant d'une partie alentour 310 est réfracté conformément à la loi de Sneil alors qu'il passe à travers un déflecteur optique 309 d'une forme triangulaire et devient un faisceau sortant 307a ayant une direction verticale à partir de la base du triangle. Le déflecteur optique 309 comporte une jonction de type p/n ayant une forme triangulaire sur le substrat du guide d'onde plan à couches diélectriques formé en utilisant des matériaux, tels que du InP (Phosphure d'lndium), de l'AsGa (Arséniure de gaillum), etc., qui peuvent former un guide d'onde plan à couches diélectriques. L'indice de réfraction du déflecteur optique 309 est modifié par des variations de la densité de porteur de la couche de guide d'onde plan à couches diéiectriques, ou par effet photoélectrique en fonction d'une tension ou d'un courant appliqué à la jonction p/n. De ce fait, lorsqu'un faisceau qui se propage à travers le guide d'onde plan à couches diélectriques passe à travers le triangle de la jonction p/n, I'angle de réfraction du faisceau peut être commandé en utilisant une tension ou un courant appliqué à la jonction p/n. La figure 4 montre un résonateur externe accordable en longueur d'onde utilisant un déflecteur optique selon un premier mode de réalisation de la présente invention. En faisant référence à la figure 4, le résonateur externe accordable en longueur d'onde comprend une diode laser 301, qui est un laser à semiconducteurs Fabry-Perot, pour générer des faisceaux de diverses longueurs d'onde, qui est une source de lumière ayant une large bande de longueurs d'onde, une première lentille 302a pour rendre le faisceau provenant de la diode laser 301 parallèle, un réseau de diffraction 304 positionné de manière à avoir un angle donné 306 par rapport au faisccau parallèle, un miroir de réflexion 305 pour réfléchir le faisceau diffracté, et un déflecteur optique 309 positionné entre le miroir de réflexion 305 et le réseau de diffraction 304 et ayant une forme trianguiaire dont l'indice de réfraction peut être commandé par un signal électrique. Le faisccau généré par le laser à résonateur externe est réfléchi par le. réseau de diffraction 304 et est ensuite focalisé sur la fibre optique 303 par l'intermédiaire d'une deuxième lentille 302b. Dans ce qui précède, la base du déflecteur optique 309 ayant une forme triangulaire est installée parallèlement au miroir de réflexion 305. Si un faisceau est généré par la diode laser 301, la première lentille 302a fait converger le faisceau parallèlement. Ensuite, le faisceau parallèle est diffracté vers le miroir de réflexion 305 par le réseau de diffraction 304. Dans le cas o le déflecteur optique 309 présente le même indice de S réfraction que la partie alentour 310, étant donné qu'un signal électrique n'est pas appliqué au déflecteur optique 309 positionné entre le miroir de réflexion 305 et le réseau de diffraction 304, il existe un premier faisceau 307 d'une longueur d'onde spécifique réfléchi verticalement vers le miroir de réflexion 305 parmi les faisccaux diffractés par le réseau de diffraction 304. Le premier lO faisceau 307 est alors réfléchi par le miroir de réflexion 305 et retourne vers le réseau de diffraction 304 à travers le déflecteur optique 309. Par ailleurs, le premier faisceau 307 est diffracté par le réseau de diffraction 304 et retourne vers la diode laser 301 à travers la première lentille 302a. Comme montré sur la figure 4, si l'indice de réfraction du déflecteur optique 309 est identique à celui de la partie alentour 310, le premier faisceau 307 est réfléchi verticalement par le miroir de réflexion 305 et retourne ensuite vers la diode laser 301. Cependant, si un deuxième faisceau présente un angle de diffraction différent, le deuxième faisceau n'est pas réfléchi verticalement par le miroir de réflexion 305 et ne retourne donc pas vers la diode laser 301. Autrement dit, le deuxième faisceau ne provoque aucun phénomène résonnant à l'intérieur du laser. En commandant l'indice de réfraction du déflecteur optique 309, le deuxième faisceau 307 ayant une longueur d'onde différente parmi les faisceaux générés par la diode laser 301 frappe verticalement le miroir de réflexion 305 et le deuxième faisceau 307 2s retourne de manière sélective vers la diode laser 301, provoquant ainsi un fonctionnement résonnant. Un procédé de fabrication du résonateur externe montré sur la figure 4 comprend la formation du réseau de diffraction 304 et du miroir de réflexion 305 sur un substrat semi-conducteur tel que de la série inP, AsGa, etc., constituant le guide d'onde plan à couches diélectriques au moyen d'une opération de gravure, et la formation d'une jonction p/n d'une forme triangulaire à iaquelle une tension ou un courant peut être appliqué. Dans ce cas, en fonction de la tension ou du courant appliqué à la jonction p/n, un faisceau d'une longueur d'onde spécifique peut être réfracté verticalement vers le miroir de réflexion par des variations de la densité de porteurs dans la couche de guide d'onde plan à couches diélectriques ou par effet -J 2833768 photoélectrique tel que QCSE (Quant-Confined Stark Effect). Dans le cas du À guide d'onde plan à couches diélectriques réalisé en InP et en InAsGaP, on sait q ue l'ind ice de réfraction peut être mod ifié à 0, 05 si la concentration des porteurs est modifiée de manière à être d'environ 5x10'8 cm3. À ce moment, les principaux composants du résonateur externe, le miroir de réflexion, le réseau de diffraction, un déflecteur optique pour commander la direction de diffraction, etc., peuvent être intégrés sur un composant unique en utilisant ce procédé. La figure 5 montre un résonateur externe accordable en longueur d'onde utilisant un déflecteur optique selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention. Il conviendrait de noter que les composants identiques à ceux de la figure 4 ont reçu les mêmes numéros de référence. En faisant référence à la figure 5, le résonateur externe accordable en longueur d'onde selon un deuxième mode de réalisation de ia présente invention est identique au résonateur externe de mode Littrow montré sur la figure 2, excepté que le déflecteur optique 309 de la figure 5 est positionné entre la lentilie 302 et le réseau de diffraction 304. Par ailleurs, la base du déflecteur optique 309 ayant une forme triangulaire est agencée parallèlement à la lentille 302. Si un faisceau est généré par la diode laser 301, la lentille 302 fait converger le faisceau parallèlement. Comme un signal électrique n'est pas appliqué au déflecteur optique 309 positionné entre la lentille 302 et le réseau de diffraction 304, si le faisccau présente le même indice de réfraction que la partie alentour 310, il existe un premier faisceau 307 d'une longueur d'onde spécifique parmi les faisceaux générés par la diode laser 301, le premier faisceau 307 est diffracté dans la même direction qu'une direction incidente au moyen du réseau de diffraction et retourne ensuite vers la diode laser 301. Dans le cas d'un deuxième faisceau 308 ayant une longueur d'onde différente, il n'y a aucun phénomène de résonance étant donné que le deuxième faisccau ne retourne pas vers la diode laser parce que l'angle de diffraction est différent de l'angle d'incidence du deuxième faisceau. Dans ce cas, si l'indice de réfraction du déflecteur optique 309 est commandé, le deuxième faisceau 308 diffracté différemment de i'angie d'incidence par le réseau de diffraction 304 passe perpendiculairement à travers celui-ci vers la base du déflecteur optique 309. Par conséquent, le deuxième faisceau 308 passe à travers la lentille 302 et retourne vers la diode laser 301, provoquant ainsi un phénomène de résonance et des variations de la longueur d'onde. - Afin d'élargir la plage de variation de la longueur d'onde dans les résonateurs externes de mode Littman-Metcalf ou Littrow, il est nécessaire S que l'indice de réfraction soit suffisamment modifié. Cependant, du fait d'une caractéristique physique d'un milieu constituant le déflecteur optique, les variations de l'indice de réfraction sont théoriquement limitées à environ 0,1. Cette limite physique peut être surmontée en agençant le déflecteur optique d'une forme triangulaire en de multiples étages, comme montré sur la figure 6. Par conséquent, il est possible de réaliser le résonateur externe dans une large plage de longueur d'onde. Comme ci-dessus, le procédé d'agencement du déflecteur optique d'une forme triangulaire en de multiples étages peut être appliqué au modulateur externe de mode Littrow ainsi qu'au modulateur externe de mode Littman-Metcalf, comme montré sur la figure 7. La figure 8 est un graphique caractéristique de ia relation entre l'indice de réfraction et la longueur d'onde d'un faisceau dans le résonateur externe montré sur la figure 4. Plus particulièrement, la figure 8 montre un résultat de calcul de la variation de la quantité de l'indice de réfraction nécessaire pour effectuer l'accord d'un faisceau à une longueur d'onde dans la plage de 1520 à 1580 nm lorsqu'un guide d'onde plan à couches diélectriques InP/lnAsGaP/lnP est formé sur un substrat en InP afin de former un résonateur externe accordable en longueur d'onde montré sur la figure 4. En tant que principal paramètre de milieu utilisé dans le calcul de l'indice de réfraction, le degré du réseau de diffraction est fixé à 1, la distance entre les réseaux est fixée à 1 et l'angle d'incidence du faisceau parallèle sur le réseau de diffraction est fixé à 80 . L'indice de réfraction réel du guide d'onde plan à couches diélectriques utilisé est de 3,27. Par ailleurs, I'angle verticai du triangle (I'angle vertical du côté du miroir de réflexion) dans le déflecteur optique dont l'indice de réfraction est commandé par un signal électrique, est fixé à 30 . Comme montré sur la figure 8, les variations de l'indice de réfraction sont d'environ 0,18 afin d'avoir une plage de variation de 60 nm centrée autour de 1550 nm. Dans le cas d'une jonction réelle InP/lnAsGaP/lnP, on sait que la limite de variation de la quantité de l'indice de réfraction due à la commande de la concentration des porteurs est théoriquement d'environ 0,1 et que l'indice de réfraction d'environ 0,05 peut être faci le me nt m is en _uvre de manière expérimental e. Cette li mite physiq ue peut être surmontée en agençant le déflecteur optique sous la forme d'un triangle rectangle en de multiples étages afin de réfracter le faisceau de multiples fois, comme expliqué sur les figures 6 et 7. Par conséquent, le résonateur externe, capable d'effectuer facilement un accord à la longueur d'onde dans une plage plus large que celle ci-dessus, peut être mis en _uvre. Dans le cas de la figure 4, la base du triangle du déflecteur optique est positionnée parallèlement au miroir de réflexion. Par ailleurs, dans le cas de la figure 5, la base du triangle du déflecteur optique est positionnée parallèlement à la lentille. Ainsi, seul un faisceau ayant une longueur d'onde spécifique parmi les faisceaux qui passent à travers le déflecteur optique frappe verticalement le miroir de réflexion ou la le ntil le en fonction de l'i nd ice de réfraction commandé par un signal électrique. Dans ce cas, le faisceau ayant une longueur d'onde spécifique sort verticalement de la base du triangle du déflecteur optique. Cependant, I'indice de réfraction est commandé de sorte que le faisceau ayant une longueur d'onde spécifique parmi les faisceaux qui passent àtravers le déflecteur optique ait d'autres angles à l'exception d'une direction verticale par rapport à la base du triangle du déflecteur optique et il est possible de réaliser le résonateur de sorte que la base du déflecteur optique ne soit pas positionnée paralièlement au miroir de réflexion ou à la lentille. La figure 9 est un schéma de conception d'un déflecteur optique dont un indice de réfraction est commandé par un signal électrique, 2s ayant une structure triangulaire. En faisant référence à la figure 9, I'indice de réfraction du déflecteur optique 309 est commandé en appliquant un signal électrique. Ainsi, le faisceau 308 provenant de la partie alentour 310 ayant un indice de réfraction différent est réfracté en tant que faisceau sortant 308a ayant un angle de réfraction donné par rapport à la base du triangle, conformément à la loi de Snell. En comparant le déflecteur optique montré sur la figure 9 avec le déflecteur optique montré sur la figure 3, ils sont identiques du point de vue du principe de fonctionnement pour commander l'indice de réfraction du déflecteur optique 309 en utilisant un signal électrique, mais différents par leur indice de réfraction du faisceau sortant 308a ayant une longueur d'onde spécifique. Autrement dit, le faisceau 307 ayant une longueur d'onde spécifique ne sort pas verticalement de la base du rectangle du déflecteur optique, mais sort avec un angle donné. Ainsi, bien que non montré sur les dessins, la base du triangle rectangle du déflecteur optique 309 est positionnée de manière à avoir un angle donné par rapport au miroir de S réflexion (non montré) ou à la lentille (non montrée), de sorte que le faisceau sortant 307a réfracté selon un angle donné frappe verticalement le miroir de réflexion ou la lentille. La figure 10 montre un résonateur externe accordable en longueur d'onde utilisant un déflecteur optique selon un cinquième mode de réalisation de la présente invention. En faisant référence à la figure 10, une construction de base du résonateur externe accordable en longueur d'onde conformément à un cinquième mode de réalisation de la présente invention est identique à celle du résonateur externe accordable en longueur d'onde de la figure 4. Autrement dit, le résonateur externe accordabie en longueur d'onde comprend une diode laser 301 ayant une large bande de longueurs d'onde, une première lentille 302a pour rendre le faisceau provenant de la diode laser 301 parallèle, un réseau de diffraction 304 pour diffracter le faisceau parallèle, un miroir de réflexion 305 pour réfléchir le faisceau diffracté et un déflecteur optique 309 d'u ne forme triang u la ire positionné entre le m iroir de réflexion 305 et le réseau de diffraction 304, pour commander l'indice de réfraction du faisccau incident en fonction d'un signal électrique. Dans ce qui précède, la base du triangle du déflecteur optique 309 est positionnée obliquement par rapport au miroir de réflexion 305. Si un faisceau est généré par la diode laser 301, la première lentille 102a fait converger le faisceau parallèlement. Ensuite, le faisceau parallèle est diffracté vers le miroir de réflexion 305 au moyen du réseau de diffraction 304. Dans le cas o l'indice de réfraction du déflecteur optique 309 est identique à celui de la partie alentour 310, étant donné qu'un signal électrique n'est pas appliqué à celui-ci, le faisceau frappe verticalement le miroir de réflexion 305, comme dans le cas de la figure 4. Ensuite, le faisceau est réfléchi et passe à travers le réseau de diffraction 304 pour retourner vers la diode laser 301. Ainsi, il existe un phénomène de résonance provoqué par le premier faisceau 307 Dans ce cas, étant donné que la base du déflecteur optique 309 est positionnée obliquement par rapport au miroir de réflexion 305, le premier faisceau 307 sort dans d'autres directions à l'exception de la direction verticale de la base du déflecteur optique 309, mais frappe verticalement le miroir de réflexion 305. Par conséquent, si on examine l'angle entre le déflecteur optique 309 et le miroir de réflexion 305, le premier faisceau 307 S sort selon un angle donné de la base du déflecteur optique 309 et frappe ensuite verticalement le miroir de réflexion 305. Pour un deuxième faisceau 308 ayant une longueur d'onde différente du premier faisceau 307 parmi les faisceaux qui frappent le miroir de réflexion 305 dans une direction autre que la direction verticale, un signal électrique appliqué au déflecteur optique 309 est commandé pour modifier l'indice de réfraction, de sorte que le faisceau sortant 308a puisse frapper verticalement le miroir de réflexion. Dans ce cas, le deuxième faisceau 308 est diffracté par le réseau de diffraction 304 et retourne ensuite vers la diode laser 301 par l'intermédiaire de la première lentille 302a. De ce fait, étant donné que le deuxième faisceau 308 retourne de manière sélective vers la diode laser 301, un fonctionnement résonnant peut être réalisé. Par conséquent, un faisceau ayant une longueur d'onde spécifique peut être refocalisé sur la diode laser 301 en appliquant un signal électrique au déflecteur optique 309 si on considère l'angle entre le déflecteur optique 309 et le miroir de réflexion 305 même si le déflecteur optique 309 n'est pas positionné parallèlement au miroir de réflexion 305. Par ailleurs, étant donné qu'un faisceau ayant une longueur d'onde différente est focalisé, consécutivement, en commandant le signal électrique, la longueur d'onde peut être modifiée. 2s 11 conviendrait de noter que le résonateur externe accordable en iongueur d'onde utilisant le déflecteur optique montré sur la figure 10 peut être appliqué au résonateur externe de mode Littrow ainsi qu'au résonateur externe de mode Littman-Metcalf. La figure 11 montre un résonateur externe accordable en longueur d'onde utiiisant un déflecteur optique selon un sixième mode de réalisation de la présente invention. En faisant référence maintenant à la figure 11, une construction de base du résonateur externe accordable en longueur d'onde selon un sixième mode de réalisation de la présente invention est identique à celle du résonateur externe accordabie en longueur d'onde montré sur la figure 10, excepté que le réseau de diffraction 304 en ligne droite est remplacé : par un réseau de diffraction 304a de forme concave et que la lentille 302a est retirée pour rendre une lumière parallèle. Autrement dit, le résonateur externe accordable en longueur d'onde comprend la diode laser 301 ayant une large bande de longueurs d'onde, le réseau de diffraction 304a d'une forme concave pour transformer un faisceau provenant de la diode laser 301 en un faisceau parallèle et pour focaliser les composantes réfléchies d'une diffraction de 0 , le miroir de réflexion 305 pour réfléchir le faisceau diffracté et un déflecteur optique 309 d'une forme triangulaire positionné entre le miroir de réflexion 305 et le réseau de diffraction 304, pour commander l'indice de réfraction du faisceau incident en fonction d'un signal électrique. Sur la figure 11, il est possible de voir que la lentille (302a sur la figure 10), positionnée entre le réseau de diffraction 304a de forme concave et la diode laser 301, est retirce du résonateur externe montré sur la figure 11. Ainsi, étant donné que le nombre de composants constituant le résonateur externe est réduit, il existe des avantages en ce que l'opération et le coût de fabrication peuvent être réduits. En outre, il existe un avantage en ce que le réseau de diffraction 304a de forme concave, le miroir de réflexion 305 et le déflecteur optique 309 peuvent être facilement intégrés sur un substrat semi- conducteur constituant la diode laser 301. Autrement dit, un laser à semi conducteurs du type Fabry-Perot réalisé en une série d'lnP ou de AsGa peut être intégré sur un substrat semi-conducteur de guide d'onde plan à couches diélectriques de la même série en utilisant une technologie de croissance cristalline, une technologie de gravure, une technologie de dépôt métallique, etc. Ensuite, le miroir de réflexion, le réscau de diffraction d'une forme 2s concave et le déflecteur optique peuvent être formés sur la partie de guide d'onde plan à couches diélectriques en utilisant une technologie de gravure et une technologie de dépôt métallique, de sorte qu'ils puissent être intégrés sur un composant unique. il conviendrait de noter que le résonateur externe accordable en longueur d'onde utilisant le déflecteur optique montré sur la figure 11 pourrait être appliqué au résonateur externe de mode Littrow ainsi qu'au résonateur externe de mode Littman-Metcalf. Comme mentionné ci-dessus, selon la présente invention, une longueur d'onde satisfaisant à la condition de résonance à une longueur d'onde spécifique utilisant un déflecteur optique dont l'indice de réfraction est modifié en fonction d'un signai électrique et par la commande du signal électrique avec un miroir de réflexion et un réseau de diffraction fixes, est modifiée. Par consequent, la présente invention présente un avantage en ce qu'elle peut réaliser une source de lumière capable de modifier de manière stable et consécutive la longueur d'onde. En outre, si le résonateur externe accordable en longueur d'onde est réalisé en utilisant un guide d'onde plan à couches diélectriques en InP/lnAsGaP/lnP, la vitesse de variation déterminée par la durée de vie d'un porteur est augmentée à une valeur inférieure à la nano-seconde et fiabilisée. En outre, le coût de fabrication peut être réduit de manière importante tout en miniaturisant la taille du dispositif et en simplifiant le processus de fabrication. L'invention n'est nullement limitée aux exemples de réalisation donnés uniquement à titre d'illustration de l'objet de l'lnvention. :.. REVENDICATIONS - 1. Résonateur externe accordable en longueur d'onde capable d'effectuer un accord à une longueur d'onde en utilisant un signal électrique, caractérisé en ce qu'il comprend: - une source de lumière pour émettre des faisceaux de la pluralité de longueurs d'onde; - une lentille pour rendre les faisceaux parallèles; - un réseau de diffraction (304) pour diffracter les faisceaux parallèles; - un miroir de réflexion (305) pour réfléchir un faisceau incident; et - un déflecteur optique (309) positionné entre ledit réseau de diffraction (304) et ledit miroir de réflexion (305), pour modifier la direction du faisceau sortant du réseau de diffraction et pour commander 1'indice de réfraction en fonction d'un signal électrique et pour qu'un faisceau d'une longueur d'onde spécifique frappe verticalement ledit miroir de réflexion (305); - dans lequel le faisceau réfléchi verticalement par ledit miroir de réflexion (305) est focalisé sur ladite source de lumière. 2. Résonateur externe accordable en longueur d'onde capable d'effectuer un accord à une longueur d'onde en utilisant un signal électrique, caractérisé en ce qu'il comprend: - une source de lumière pour émettre des faisceaux de la pluralité des longueurs d'onde; - une lentille pour rendre les faisceaux parallèles; - un réseau de diffraction (304) pour diffracter les faisceaux parallèles; - un miroir de réflexion (305) pour réfléchir un faisceau incident; et - un déflecteur optique (309) positionné entre ladite lentille et ledit réseau de diffraction (304), pour modifier la direction du faisceau incident provenant du réseau de diffraction et pour commander l'indice de réfraction en fonction d'un signal électrique et pour qu'un faisceau d'une longueur d'onde spécifiq ue soit directement réfléchi par led it réseau de diffraction (304), - dans lequel le faisceau directement réfléchi est focalisé sur ladite source de lumière. 3. Résonateur externe accordable en longueur d'onde capable d'effectuer un accord à une iongueur d'onde en utilisant un signal électrique, caractérisé en ce qu'il comprend: - une source de lumière pour émettre des faisceaux de diverses longueurs d'onde; - un réseau de diffraction (304) d'une forme concave pour diffracter la lumière émise en une lumière parallèle; - un miroir de réflexion (305) pour réfléchir le faisceau incident - une lentille pour focaliser le faisceau réfléchi parallèlement dans le réseau de diffraction (304) de la forme concave sur une fibre optique; et - un déflecteur optique (309) positionné entre ledit réseau de diffraction (304) de la forme concave et ledit miroir de réflexion (305), pour modifier la direction du faisceau provenant du réseau de diffraction et pour commander l'indice de réfraction en fonction d'un signal électrique et pour amener ensuite verticalement un faisceau d'une longueur d'onde spécifique vers ledit miroir de réflexion (305), - dans lequel le faisceau réfléchi verticalement par ledit miroir de réflexion (305) est focalisé sur ladite source de lumière. 4. Résonateur externe accordable en longueur d'onde selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit déflecteur optique (309) comprend une jonction p/n formée au niveau d'une partie de forme triangulaire sur un substrat d'un guide d'onde plan à couches diélectriques, de sorte que, si un faisceau se propageant à travers le guide d'onde plan à couches diélectriques passe à travers la partie de forme triangulaire de la jonction p/n, un angle de réfraction du faisceau est commandé par des variations de la densité d'un porteur dans la couche de guide d'onde plan à couches diélectriques ou par des variations de l'indice de réfraction, en fonction d'une injection de courant ou d'une application de tension dans/à ladite jonction p/n. 5. Résonateur externe accordable en longueur d'onde selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit guide d'onde plan à couches diélectriques est formé en utilisant des matériaux tels que du InP ou du AsGa. :. 6. Résonateur externe accordable en longueur d'onde selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ladite source de lumière est un laser à semi-conducteurs du type Fabry-Perot. 7. Résonateur externe accordable en longueur d'onde selon S l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit déflecteur optique (309) est positionné en de multiples étages entre ledit réseau de diffraction (304) et ledit miroir de réflexion (305), de sorte qu'un faisceau ayant une longueur d'onde spécifique soit réfracté plus d'une fois afin