Brevet FR2825718A1 — publié le 20021213

o 20. Polynucléotide comportant la séquence SEQ ID n 5. Couches barrière anti-diffusion, pièces comportant de telles couches et procédés o l'on emploie de telles couches La présente invention concerne, de manière générale, des systè mes de revêtement protecteurs pour substrats métalliques, et plus précisé ment, une couche anti-diffusion placce entre un substrat en super-alliage et un revêtement protogeant ce substrat. s Dans l'industrie, on emploie des pièces ou composants métalli ques dans des applications très varices, dans diverses conditions opératoi res. Par exemple, les diverses pièces en superalliages employées dans les moteurs à turbine sont exposces à des températures élevoes, par exemple supérieures à environ 750 C. En outre, ces pièces peuvent subir des cycles thermiques répétés, c'est-à-dire être exposces à des températures élevoes, puis refroidies jusqu'à la température ambiante et rapidement chauffées à nouveau. Ces pièces ont donc besoin de revêtements qui les protogent contre l'oxydation et la corrosion. Pour protoger les superalliages et d'autres types de métaux à hautes performances, on emploie des revêtements de divers types. L'un de ces types est celui des matériaux représentés par la formule MCrAl(X), o M représente le nickel, le cobalt ou le fer et X représente un élément qui est indiqué plus loin. On peut appliquer les revêtements en MCrAl(X) selon des techniques varices, comme la projection HVOF (projection oxygène combustible à haute vitesse), la projection plasma, ou le dépôt EBPVD (dépôt physique à partir d'une phase vapeur, assisté par faisccau électro nique). Un autre type de revêtements protecteurs est celui des aluminures, comme l'aluminure de nickal et l'aluminure de nickal-platine. On dispose de nombreuses techniques permettant d'appliquer ces revêtements. Par exemple, on peut déposer du platine sur le substrat par électrolyse, puis ef fectuer une étape de diffusion, et ensuite, une étape d'aluminisation, par exemple en caisson. Les revêtements de ce type contiennent d'habitude de l'aluminium en une proportion relativement élevoe, en comparaison des substrats en superalliages. Ces revêtements jouent souvent le rôle de cou ches protectrices primaires, par exemple contre l'environnement, mais ils peuvent également servir de couches de liaison avec des suroouches appli quces ultérieurement, par exemple des couches de revêtement servant de barrière thermique. Quand un substrat et son revêtement protecteur sont exposés à un environnement très chaud, oxydant et corrosif, comrne c'est le cas dans un moteur à turtine à gaz, divers processus métallurgiques se déroulent. Par exemple, il se forme d'habitude, par-dessus le revêtement protecteur, une couche fortement adhérente d'alumine A12O3 (appelée "calamine"), habi tuellement très apprécice en raison de la protection qu'elle offre aux revê tement et substrat sousjacents. A haute température, il se produit souvent, entre le revêtement et le substrat, une interdiffusion importante des éléments qui les composent. Cette interdiffusion peut provoquer des modifications des caractéristi ques chimiques de chacun de ces domaines, ainsi que de celles de la cou che de calamine. En général, l'aluminium a tendance à migrer vers l'inté rieur, depuis la couche protectrice, riche en aluminium, jusque dans le sub strat. Dans le même temps, les éléments alliés traditionnels du substrat, d'un superalliage par exemple, tels que cobalt, tungstène, chrome, rhénium, tantale, molybdène et titane, ont aussi tendance à migrer, mais depuis le substrat jusque dans le revêtement. C'est aux divers gradients de composi tion qui existent entre le substrat et son revêtement que sont dus ces phé nomènes. La diffusion de l' aluminium dans le sub strat entrâîne, dans les régions externes du revêtement protecteur, une baisse de la concentration d'aluminium qui fait que ces régions externes deviennent moins capables de régénérer la couche d'alurnine hautement protectrice. En outre, cette diffusion de l'aluminium peut avoir pour résultat la formation d'une zone de diffusion dans une paroi d'élément profilé, zone qui occupe une portion de cette paroi, ce qui n'est pas souhaitable. Simultanément, la migration des éléments alliés traditionnels, comme le molybJène et le tungstène, depuis le substrat jusque dans le revêtement, peut aussi empêcher la for mation d'une couche d'alumine protectrice adéquate. Au moyen d'une couche faisant barrière à la diffusion, disposce entre le substrat et son revêtement, on peut prolonger la durce de service du revêtement en empêchant totalement ou dans une grande mesure que se déroule le phénomène décrit ci-dessus, à savoir l'interdiffusion des élé ments constitutifs du substrat et du revêtement. On a déjà utilisé dans ce but des couches faisant barrière à la diffusion, également appelées ici "couches anti-diffusion" ou "couches barrières", comme le divulgue par exemple Leverant, dans son brevet US n 5 556 713, o est décrite une couche anti-diffusion qui est une couche inframicronique de rhénium. Dans certains cas, une telle couche peut effectivement être de quelque uti lité, mais elle présente par ailleurs d'énormes inconvénients. Par exemple, à mesure que la température augmente, comme la température de combus tion dans une turbine, l'interdiffusion entre substrat et revêtement devient plus importante, et cette très mince couche de rhénium peut se révéler in suffisante pour la limiter. On pourrait employer une couche de rhénium plus épaisse, mais il y aurait alors un trop grand écart entre les coefficients de dilatation therrnique d'une telle couche et du substrat en superalliage, écart qui pourrait entraîner l'écaillage du revêtement susjacent au cours d'un cycle thermique que subirait la pièce. De plus, le rhénium peut s'oxyder rapidement, ce qui peut aussi causer un écaillage prématuré du revêtement. I1 apparâît donc que, pour des substrats métalliques mis en _uvre à haute température, de nouvelles couches faisant barrière à la diffusion qui permettraient de surmonter les inconvénients de la technique antérieure seraient les bienvenues. Tout d'abord, ces couches barrières doivent pré senter une capacité relativement faible d'interdiffusion avec l'aluminium et les éléments du substrat. Elles doivent aussi être compatibles, du point de vue chimique avec l'alliage du substrat et avec tout revêtement protec teur appliqué sur le substrat. Il faut encore qu'elles soient stables, tant chi miquement parlant que pour ce qui est de leur composition, et en particu lier, pendant tout le temps qu'on prévoit qu'elles passeront en service à des températures supérieures à 750 C, comme dans le cas d'éléments profilés de turbine. En outre, ces couches barrières doivent adhérer assez fortement aussi bien au substrat qu'au revêtement protecteur, et les écarts entre leur coefficient de dilatation thermique et ceux du substrat et du revêtement doivent être réduits au minimum. De plus, il faut que l'on puisse déposer ces couches antidiffusion selon des techniques classiques comme la pro jection plasma, le dépôt physique à partir d'une phase vapeur, la pulvéri sation cathodique, etc. Les problèmes exposés ci-dessus sont maintenant résolus, selon la présente invention, grâce à la découverte d'un matériau de couche bar l0 rière anti-diffusion qui comporte a) d'environ lS à environ 95 % en atomes de chrome, et b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments. lS Ce matériau de couche barrière peut également contenir d'autres constituants. Il peut par exemple comporter d'environ l à environ 35 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le fer, le nickel et le cobalt, ou d'une combinaison de ces éléments, ou encore d'environ l à environ 35 % en atomes d'aluminium. On indique ci-dessous un grand nombre des facteurs qui interviennent dans le choix de la composition du matériau de couche barrière. Selon un autre de ses aspects, cette invention concerne des pièces destinces à étre mises en service en atmosphère oxydante à haute tempéra ture. Ces pièces comportent un substrat en métal, par exemple en superal liage, qui contient de l'aluminium et d'autres éléments alliés, et un revête ment résistant à l'oxydation. On décrit plus loin des exemples de revête ments résistants à l'oxydation, comme les revêtements en aluminures, en matériaux de type MCrAl(X) ou en nickel-chrome. Dans les pièces de l'in vention, une couche barrière faite du matériau décrit cidessus est dispo sce entre le substrat et le revêtement résistant à l'oxydation, o elle assure plusieurs fonctions importantes. En effet, dans le cas o le revêtement susjacent, résistant à l'oxydation, est riche en aluminium, la couche bar rière empéche l'aluminium de migrer en quantité importante depuis ce revé tement jusque dans le substrat. L'expression "revêtement riche en alumi nium", au sens o on l'emploie dans le présent mémoire, désigne un revê s tement o la concentration de l'aluminium est supérieure à ce qu'elle est dans le sub strat. Quand on compare des sections transvers ales du sub strat et du revêtement, on trouve fréquemment que, avant tout traitement ther mique, la concentration de l'aluminium est à peu près deux à cinq fois plus grande dans le revêtement que dans le substrat. Lacouchebarrière empêche aussi les divers éléments alliés constitutifs du substrat de migrer en quan tités imp ortantes j us que dans le revêtement, grâce à quoi la tenue et la durce de service du revêtement et du substrat sousjacent, qui peut être par exemple un élément profilé constituant une pièce de moteur à turbine à gaz, sont significativement améliorces. Dans le présent document, l'ex pression "empêcher l'aluminium de migrer en quantité importante" depuis le revêtement, riche en aluminium, jusque dans le substrat fait référence à la quantité d'aluminium qui peut migrer pendant la durce prévue de ser vice de la pièce à des températures supérieures à environ 750 C, durce qui, pour des pièces de moteurs à turbine, peut valoir à peu près de 1 OOO à 30 OOO heures. Dans le cadre de la présente invention, la présence d'une couche barrière lirnite à moins d'environ 10 %, et très souvent àmoins de 5 %, la proportion de l'aluminium qui migre depuis le revêtement jusque dans le substrat. Comme on le décrira plus loin, c'est en général en des proportions elles aussi réduites à de telles valeurs que les divers éléments alliés, en présence d'une couche barrière, migrent depuis le substrat jusque dans le revêtement riche en aluminium. Selon un autre de ses aspects, la présente invention concerne un procédé qui permet d'empêcher l'aluminium de migrer en quantité impor tante depuis un revêtement, riche en aluminium et résistant à l'oxydation, jusque dans un substrat métallique sousjacent, dans une atmosphère oxy dante à haute température. Ce procédé comporte une opération consistant à incorporer, entre le substrat et son revêtement, une couche barrière anti diffusion dont la composition, déjà indiquce plus haut, sera décrite ci après de façon plus détaillée. La présente invention concerne également un procédé qui permet de doter des substrats en superalliages de systèmes de revêtement efficaces, et qui comporte les opérations de dépôt d'une couche barrière anti-diffusion, dépôt d'une couche susjacente résistante à l'oxydation, et dépôt d'une surcouche de céramique, comme par exemple une couche servant de barrière thermique. On trouvera dans la suite de cette description d'autres détails concernant les divers traits caractéristiques de cette invention. La figure 1 est la reproduction d'une microphotographie, prise en coupe transversale, d'un système de revêtement protecteur appliqué sur un sub strat en sup eralliage. Comme on l'a indiqué plus haut, la présente invention, dans l'un de ses aspects, concerne un matériau de couche anti-diffusion pour des pièces métalliques comme une aube ou ailette de turDine. Au sens o on l'emploie dans le présent mémoire, le terme "couche barrière" ou "couche antidiffusion" désigne une couche de matériau qui empêche l'aluminium de migrer en quantité importante depuis un revêtement susjacent jusque dans un substrat sousjacent. Dans des modes préférés de réalisation de l'invention, cette couche barrière empêche aussi les éléments alliés du substrat de migrer en quantité importante jusque dans le revêtement. On peut mentionner, comme exemples d'éléments qui peuvent être alliés dans le substrat: nickel, cobalt, fer, aluminium, chrome, métaux réfractaires, hafnium, carbone, bore, yttrium, titane, et leurs combinaisons, mais cette liste n'est pas limitative. Parmi les éléments de cette liste, ce sont le cobalt, le molybdène, le titane, le tantale, le carbone et le bore qui ont le plus tendance à migrer jusque dans le revêtement susjacent, quand la surface du matériau est portée à haute température. Les couches barrières de l' invention s ont en outre relativement stables, du point de vu e thermo dynamique comme du point de vue cinétique, aux températures auxquelles est portée la pièce métallique quand elle est en service. Comme on l'a indiqué plus haut, le matériau de la couche barrière contient à peu près de 15 à 95 % en atomes de chrome. La quantité particu lière de chrome présente varie en fonction de divers paramètres, parmi les quels la composition particulière du substrat et celle du revêtement appli qué par-dessus la couche barrière, l'utilisation finale envisagée pour la pièce, par exemple une pièce de turbine, les températures et variations de température auxquelles on s'attend que la pièce sera soumise, et la durce pendant laquelle on souhaite que la couche barrière puisse bien jouer son rôle. Pour certains modes de réalisation, il est préférable que la proportion de chrome soit relativement élevoe, par exemple d'environ SO à environ % en atomes (pourcentages rapportés au nombre total d'atomes du ma tériau de la couche barrière). Dans ce cas, on préfère tout particulièrement que la couche barrière contienne du chrome en une proportion d'à peu près S 65 à 95 % en atomes. Dans d'autres modes de réalisation de cette invention, la proportion de chrome est plus faible, mais encore assez importante; elle peut par exemple valoir à peu près de 25 à 60 % en atomes, ou mieux, à peu près de 35 à SS % en atomes. Le matériau d'une couche barrière de l'invention contient aussi d'environ S à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinai son de ces éléments. Le choix, dans cet ensemble, d'un élément particulier ou d'éléments particuliers dépend lui aussi de certains des paramètres évoqués ci-dessus. 1S Pour certains modes de réalisation, il est d'habitude préférable que la proportion de rhénium vaille à peu près de 15 à 35 % en atomes, et surtout, à peu près de 20 à 30 % en atomes. Pour d'autres modes de réalisa tion, il est préférable que la proportion de rhénium vaille à peu près de 40 à 60 % en atomes. I1 est habituellement préférable que la proportion de tungstène vaille à peu près de S à 20 % en atomes, et surtout, à peu près de 10 à 15 % en atomes. Il est habituellement préférable que la proportion de ruthénium vaille à peu près de 10 à 60 % en atomes, et surtout, à peu près de 20 à 40 % en atomes. Très souvent, mais non pas toujours, le matériau d'une couche barrière de l'invention contient en outre, en une proportion d'à peu près 1 à 35 % en atomes, un élément choisi dans l'ensemble que constituent le nickel, le cobalt et le fer, ou une combinaison de ces éléments. La présence de ceuxci est souvent avantageuse quand la couche barrière est appliquce sur un substrat en superalliage contenant l'un ou plusieurs de ces éléments. Les proportions préférces pour ces éléments sont les suivantes: pour le nickel, à peu près de 5 à 30 % en atomes; pour le cobalt, à peu près de 2 à % en atomes; et pour le fer, à peu près de 2 à 15 % en atomes. Pour de nombreux modes de réalisation, on préfère choisir dans ce groupe, comme constituant de la couche barrière, du nickal, ou encore une combinaison de nickel et de cobalt, par exemple en un rapport en atomes Ni/Co valant à peu près de 99/1 à 50/50. Qu'il y ait ou non du nickel, du cobalt ou du fer, le matériau d'une couche barrière de l'invention peut aussi contenir de l'aluminium, élément dont la présence est avantageuse dans les modes de réalisation o de l'alu minium se trouve déjà, en proportions relativement élevoes, dans le sub strat et/ou dans une couche de revêtement appliquce par-dessus la couche barrière. Pour le propos du présent mémoire, des "proportions relativement élevoes" d'aluminium sont des proportions supérieures à environ 10 % en atomes dans le substrat, et supérieures à environ 40 o en atomes dans une couche de revêtement appliquée par-dessus la couche barrière. La propor tion d'aluminium, lorsqu'il y en a, dans le matériau d'une couche barrière vaut d'habitude à peu près de 1 à 35 % en atomes. Dans les modes préférés de réalisation de la présente invention, il y a, dans le matériau de la couche barrière, à peu près de 1 à 15 % en atomes d'aluminium, et dans certaines réalisations particulièrement préférces, il y en a à peu près de 1 à 10 % en atomes. On donne ci-dessous, dans le tableau 1, une liste de composi tions particulières qui tombent dans le cadre de la présente invention et que l' on préfere pour certains modes de réalis ation de celle-ci. Tous les pourcentages indiqués dans ce tableau sont des pourcentages en atomes, rapportés au nombre total d'atomes présents dans la composition entière (100 % en atomes). Tableau 1 I II m IV Aluminium 1-5 % 1-5 % 1-S % 1-5 % RelRu/W 5-20 % W 15-35 % Re 10-60 % Ru 40-60 % Re Métal de base * 25-35 % 5-15 % 20-35 % 1-20 % Chrome ** complément complément complément complément * "métal de base" désigne un ou plusieurs des métaux alliés dans un superalliage, à savoir nickel, cobalt et fer. On préfère souvent, comme métal de base, le nickel ou une combinaison de nickel et de cobalt. ** Le chrome se trouve toujours en une proportion d'au moins environ 15 % en atomes. Dans certains autres modes de réalisation de la présente inven tion, ces compositions d'alliage peuvent encore contenir, en quantités re lativement faibles, d'autres éléments, comme par exemple l'un au moins des éléments de la liste suivante: zirconium, titane, hafnium, silicium, bore, carbone, tantale, molybdène et yttrium. La quantité totale de ces autres éléments représente d'habitude à peu près de 0,1 à 5 % en atomes, et de préférence, à peu près de 0j4 à 2,5 % en atomes. Dans la technique, on conna^t bien les procédés permettant de combiner divers composants d'alliage pour en faire le matériau de couche barrière voulu. Par exemple, on peut combiner les composants d'alliage par fusion, en les chauffant dans un four à induction, opération suivie d'une projection par pulvérisation. On connaît des techniques de fusion dont on peut se servir pour ce faire, comme par exemple celle qui est divul guce dans le brevet US n 4 200 459. Dans un autre de ses aspects, la présente invention concerne une pièce que l'on peut mettre en _uvre avec succès en milieu oxydant, à tem pérature élevoe. Une telle pièce comporte un substrat qui peut 8tre consti tué de divers métaux ou alliages de métaux, mais qui est d'habitude en un alliage résistant à la chaleur, par exemple en l'un de ces superalliages qui peuvent être mis en _uvre à des températures allant iusqu'à près de 1000 à 1150 C. D'habitude, le terme "superalliage" englobe des alliages com plexes à base de nicLel, de cobalt ou de fer, qui contiennent un ou plusieurs autres éléments tels que chrome, rhénium, aluminium, tungstène, molyb dène ou titane. On trouve des descriptions de superalliages dans plusieurs documents, notamment dans les brevets US n 5 399 313 et 4 116 723. Les alliages pour hautes températures sont également décrits de manière géné rale dans l'ouvrage de Kirk-Othmer "Encyclopeda of Chemical Techno logy" (troisième édition), volume 12, pages 417-479 (1980) et volume 1S, pages 787-800 (1981). La forme rcelle du substrat est très variable, puis que celui-ci peut se présenter par exemple sous l'aspect de diverses pièces de moteurs à turbine, telles que chemises et dômes de chambre à combus tion, anneaux de renfort, tuyères, palettes, aubes ou ailettes. Une couche barrière anti-diffusion est disposce sur le substrat. En général, cette couche barrière est constituce d'un alliage composé a) d'environ 15 à environ 95 % en atomes de chrome, et b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments. Comme on l'a décrit plus haut de manière détaillée, l'alliage dont est faite la couche barrière contient souvent d'autres éléments, par exem ple l'un ou plusieurs des métaux de base de superalliages (nickal, cobalt, fer). I1 peut contenir aussi de l'aluminium, ainsi que divers autres élé ments en petites proportions, comme c'est indiqué plus haut. Dans la technique, on connaît des procédés qui permettent d'ap pliquer le matériau de la couche barrière sur le substrat. Parmi ces procé dés, il y a par exemple le dépôt EBPVD (dépôt physique à partir d'une phase lS vapeur, assisté par faisccau électronique), le plaquage électrolytique, le dé pôt IPD (dépôt ionique assisté par plasma), le dépôt CVD (dépôt chimique à partir de phase vapeur), la technique LPPS (projection plasma basse pres sion), la technique APS (projection plasma à l'air), la projection HVOF (projection oxygène-combustible à haute vitesse), la pulvérisation catho dique, etc. On peut très souvent déposer tous les éléments chimiques de la couche en un procédé ne comportant qu'une seule étape. Les spécialistes de ces techniques pourront aisément adapter à la présente invention les divers types d'appareillage. Par exemple, dans le cas d'un dépôt IPD, on peut incorporer dans la cible les éléments de l'alliage dont sera formoe la couche barrière. L'épaisseur de la couche barrière dépend de divers facteurs, par exemple de la composition particulière du substrat et de celles de la cou che ou des couches appliquces par-dessus la couche barrière, de l'utilisa tion finale envisagée pour la pièce, de la température de service et des va riations de température que la pièce subira, de la durce de service envisa gée et des interruptions de service prévues pour l'entretien du revêtement. Quand on met une couche barrière sur une pièce de moteur à turbine, par exemple sur un élément profilé, l'épaisseur de cette couche barrière vaut en général à peu près de 1 à 50,um, et le plus fréquemment, à peu près de 5 à 20,um, mais en fonction de l'application finale envisagée, on peut au besoin donner à cette couche une épaisseur qui s'écarte notablement de ces intervalles. Dans certains cas, l'épaisseur de la couche barrière peut valoir jusqu'à près de l00 m. Après avoir appliqué la couche barrière sur le substrat, on effec tue p arfois un traitement thermique, dans le but d' améliorer l' adhésion de la couche barrière au substrat et de parfaire l'équilibre chimique entre eux. Pour effectuer ce traitement thermique, on porte en général le substrat et la couche barrière à une température d'environ 950 à 1200 C, pour une durce qui peut aller jusqu'à près de 10 heures. On peut appliquer par-dessus la couche barrière divers revête ments protecteurs, en fonction des exigences de service de la pièce. Dans la plupart des cas, on choisit un revêtement qui apporte à la pièce une résistance suffisamment forte à l'oxydation. I1 s'agit souvent d'une sur couche, ou bien d'un revêtement en aluminure, par exemple en aluminure de nickel, en alurninure de métal noble ou en aluminure de nickel et de métal noble. Pour appliquer un revêtement en aluminure, on peut mettre en _uvre diverses techniques. On peut par exemple déposer par-dessus la couche barrière, par plaquage électrolytique, un métal noble comme du platine, puis effectuer une étape de diffusion, que l'on peut faire suivre par le dépôt d'une couche de nickal, de cobalt ou de fer, ou d'une combinaison de ces métaux. On peut appliquer cette couche de Ni/Co/Fe sur la surface par plaquage, pulvérisation ou toute autre technique approprice. On peut ensuite entreprendre une étape d'aluminisation, réalisce par exemple en caisson. Autrement, on peut appliquer d'abord la couche de Ni/Co/Fe, puis la couche de métal noble, et opérer ensuite la diffusion, puis l'aluminisa tion. Les spécialistes de ces techniques savent bien choisir, dans une situa tion donnce, la technique de revêtement et l'ordre de réalisation des étapes qui conviennent le mieux. On peut en outre effectuer, aprè s les divers es étapes de dépôt de revêtement, y compris le dépôt de barrière thermique dont il sera question plus loin, des traitements therrniques classiques. Les revêtements de ce type, appelés fréquemment "revêtements appliqués par diffusion" contiennent d'habitude de l'aluminium en une proportion relativement élevoe, en comparaison des substrats en super alliages. Ces revêtements jouent souvent le rôle de couches protectrices primaires, par exemple contre l'environnement. Dans le cas d'une pièce de moteur à turbine, l'épaisseur d'une couche de revêtement en aluminure vaut généralement d'à peu près 20 à 200,um, et le plus souvent d'environ à 75,um. Les revêtements appelés "surcouches" ("overlay coatings" en anglais), bien connus dans ce domaine technique, présentent en général une composition correspondant à la formule MCrAl(X), o M représente le nickel, le cobalt ou le fer, ou une combinaison de ces métaux, et X repré sente un élément choisi parmi les suivants: yttrium, tantale, silicium, haf l0 nium, titane, zirconium, bore et carbone, ou l'une de leurs combinaisons. Contrairement aux revêtements appliqués par diffusion, les surcouches sont en général déposoes telles quelles, sans qu'il y ait réaction avec une couche déposce séparément. On a cité plus haut des techniques appro prices qui permettent de déposer de telles surcouches, comme la projec lS tion HVOF, la projection plasma, etc. Dans le cas d'une pièce de moteur à turbine, une surcouche de revêtement est en général épaisse d'environ à 400 m, et le plus souvent d'environ 35 à 300,um. On peut employer de s revêtements rési stants à l' oxydation d' un autre type, appelé "formateur d'oxyde de chrome". On trouve par exemple parmi eux des alliages nickel-chrome, notamment ceux qui contiennent du chrome en une proportion d'à peu près 20 à 50 % en atomes. On peut ap pliquer, selon des techniques classiques, ces revêtements qui contiennent souvent d'autres constituants comme du manganèse, du silicium et/ou des éléments des terres rares. Dans certains modes de réalisation de l'invention, on peut appli quer, par-dessus le revêtement résistant à l'oxydation, une couche de revê tement en céramique, comme une couche servant de barrière thermique, quiconfère à la pièce, lorsque celle-ci est exposce à de très hautes tempé ratures, une très forte résistance à la chaleur. On emploie souvent, en guise de surcouches appliquces sur des ailettes ou des palettes de moteur à tur bine, de telles couches servant de barrière thermique qui sont d'habitude, mais non pas toujours, à base de zircone, ce qui signifie, au sens o l'on emploie cette expression dans le présent mémoire, qu'elles sont faites d'un matériau céramique constitué de zircone pour au moins environ 70 % en poids. Il est préférable de stabiliser la zircone, chimiquement parlant, avec un matériau comme de l'oxyde d'yttrium, de l'oxyde de calcium, de l'oxyde de magnésium, de l'oxyde de scandium, ou des mélanges de ces matériaux. On a mentionné plus haut un grand nombre des facteurs qui déterminent l'épaisseur de la couche servant de barrière thermique, épais seur qui vaut d'habitude à peu près de 75 à 1300 um. Dans certains modes préférés de réalisation, par exemple pour des pièces destinces à servir finalement d'éléments profilés dans des moteurs à turbine, cette couche servant de barrière thermique présente fréquemment une épaisseur d'envi ron 75 à 300,um. Un mode particulier de réalisation de l'invention, sous cet aspect de pièce, est une pièce de moteur à turbine, destince à être mise en service en atmosphère oxydante à haute température, qui comporte A) un substrat en superalliage à base de nickel ou à base de nickel 1S et de cobalt; B) une couche barrière anti-diffusion, disposce sur le substrat et constituce a) d'environ 15 à environ 95 % en atomes de chrome, b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments, c) d'environ 1 à environ 35 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le nickel, le cobalt et le fer, ou d'une combinaison de ces éléments, et d) d'environ 1 à environ 35 % en atomes d'aluminium; C) un revêtement résistant à l'oxydation, disposé par-dessus la couche barrière anti-diffusion et constitué d'un matériau choisi parmi les aluminures, les alliages nickel-chrome et les matériaux MCrAl(X) o M représente le nickel, le cobalt ou le fer, ou une combinaison de ces métaux, et X représente un élément choisi parmi les suivants: yttrium, tantale, silicium, hafnium, titane, zirconium, bore et car bone, ou l'une de leurs combinaisons, et D) un revêtement servant de barrière thermique, à base de zircone et disposé par-dessus le revêtement résistant à l'oxydation. La microphotographie reproduite en figure 1 est celle d'un systè me de revêtement 10 applicable sur un substrat métallique 12, qui est fré quemment en un superalliage. Sur le substrat 12 est appliquce une couche barrière anti-diffusion 14, par-dessus laquelle est appliquce une couche de liaison 16, pardessus laquelle est encore appliquce une couche servant de barrière thermique 18. Selon un autre de ses aspects, la présente invention concerne un procédé qui permet d'empêcher l'aluminium de migrer en quantité impor tante depuis un revêtement, riche en aluminium et résistant à l'oxydation, jusque dans un substrat métallique sousjacent, dans une atmosphère oxy dante à haute température. Comme on l'a indiqué plus haut, le fait que de l'aluminium diffuse dans un substrat comme une pièce de turbine peut poser un problème important, puisque par exemple ceci gêne la formation d'une couche protectrice d'alumine. Ce procédé de l'invention comporte une opération qui consiste à incorp orer, entre le sub strat et s on revêtement résistant à l' oxydation, une couche barrière anti-diffusion constituce: a) d'environ 15 à environ 95 % en atomes de chrome, et b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments. Pour réaliser cette opération, on peut appliquer la couche barriè re antidiffusion sur le substrat en opérant selon l'une des techniques sui vantes: dépôt EBPVD (dépôt physique à partir d'une phase vapeur, assisté par faisccau électronique), plaquage électrolytique, dépôt IPD (dépôt ionique assisté par plasma), dépôt CVD (dépôt chimique à partir de phase vapeur), technique LPPS (projection plasma basse pression), projection plasma, projection HVOF (projection oxygène-combustible à haute vites se), et pulvérisation cathodique. Dans ce procédé, il est avantageux que le substrat métallique soit en un superalliage, et il est également préférable que le revêtement résis tant à l'oxydation soit en un matériau choisi parmi les aluminures, les alliages nickel-chrome et les matériaux MCrAl(X) o M représente le nic kel, le cobalt ou le fer, ou une combinaison de ces métaux, et X représente un élément choisi parmi les suivants: yttrium, tantale, silicium, hafnium, titane, zirconium, bore et carbone, ou l'une de leurs combinaisons. Ces divers types de matériaux ont déjà été décrits plus haut. Selon encore un autre de ses aspects, cette invention concerne un procédé permettant de doter un substrat en superalliage d'un système de revêtement protecteur, procédé qui comporte les opérations suivantes: A) appliquer, sur le substrat, une couche barrière anti-diffusion comportant a) d'environ 15 à environ 95 % en atomes de chrome, et b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments, B) appliquer, par-dessus la couche barrière anti-diffusion, un revête ment résistant à l'oxydation, et C) appliquer, par-dessus le revêtement résistant à l'oxydation, un revêtement servant de barrière thermique, à base de zircone. Dans ce procédé, comme on l'a indiqué plus haut, le matériau constituant la couche barrière anti-diffusion peut contenir, et contient sou vent, d'autres éléments comme de l'aluminium, en une proportion d'envi ron 1 à environ 35 o en atomes, et l'un ou plusieurs des métaux constitu tifs du superalliage, à savoir nickel, cobalt et fer, en une proportion d'en viron 1 à environ 35 % en atomes. Comme on l'a également indiqué plus haut, on peut mettre en _uvre diverses techniques pour appliquer cette couche barrière anti-diffusion. Dans ce procédé, le substrat en super alliage est de préférence un élément profilé de moteur de turbine à gaz. Il est bien entendu que la description qui précède n'a été donnce qu'à titre purement illustratif et non limitatif et que l'on peut y apporter des variantes ou des modifications sans sortir du cadre de la présente in vention. REVENDICATIONS 1. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), caractérisé en ce qu'il comporte: a) d'environ 15 à environ 95 % en atomes de chrome, et b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments. 2. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre, en une propor tion d'à peu près 1 à 35 % en atomes, un élément choisi dans l'ensemble que constituent le nickel, le cobalt et le fer, ou une combinaison de ces éléments. 3. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre de l'aluminium, en une proportion d'à peu près 1 à 35 % en atomes. 4. Matériau de couche barrière anti-diffusion ( 14), conforme à la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte du chrome en une propor tion d'à peu près 25 à 60 % en atomes. 5. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte du tungstène en une pro portion d'à peu près 5 à 20 % en atomes. 6. Matériau de couche barrière anti-difffision (14), conforme à la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte du tungstène en une pro portion d'à peu près 10 à 15 % en atomes. 7. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte en outre, en une propor tion d'à peu près 1 à 35 % en atomes, un élément choisi dans l'ensemble que constituent le nickel, le cobalt et le fer, ou une combinaison de ces éléments. 8. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte en outre du nickel, en une proportion d'à peu près 5 à 30 % en atomes. 9. Matériau de couche barrière anti-diffusion ( 14), conforme à la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte en outre de l'aluminium, en une proportion d'à peu près 1 à 35 % en atomes. 10. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à S la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte du rhénium en une pro portion d'à peu près 1S à 35 % en atomes. 11. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comporte en outre, en une pro portion d'à peu près 1 à 35 % en atomes, un élément choisi dans l'ensemble que constituent le nickel, le cobalt et le fer, ou une combinaison de ces éléments. 12. Matériau de couche barrière anti- diffusion (14), conforme à la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comporte en outre de l'alumi nium, en une proportion d'à peu près 1 à 35 % en atomes. 13. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte du ruthénium en une proportion d'à peu près 10 à 60 % en atomes. 14. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comporte du ruthénium en une proportion d'à peu près 20 à 40 % en atomes. 1S. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comporte en outre, en une pro portion d'à peu près 1 à 35 % en atomes, un élément choisi dans l'ensemble que constituent le nickel, le cobalt et le fer, ou une combinaison de ces éléments. 16. Matériau de couche barrière anti- diffusion (14), conforme à la revendication 14, caractérisé en ce qu'il comporte en outre de l'alumi nium, en une proportion d'à peu près 1 à 35 % en atomes. 17. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 16, caractérisé en ce qu'il comporte de l'aluminium en une proportion d'à peu près 1 à 15 % en atomes. 18. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte du rhénium en une pro portion d'à peu près 40 à 60 % en atomes. 19. Matériau de couche barrière anti-diffusion (14), conforme à la revendication 18, caractérisé en ce qu'il comporte en outre, en une pro portion d'à peu près 1 à 35 % en atomes, un élément choisi dans l'ensemble que constituent le nickel, le cobalt et le fer, ou une combinaison de ces éléments. 20. Matériau de couche barrière anti- diffusion (14), conforme à la revendication 18, caractérisé en ce qu'il comporte en outre de l'alumi nium, en une proportion d'à peu près 1 à 35 % en atomes. 21. Pièce destince à être mise en service en atmosphère oxydante à haute température, comprenant: - un substrat (12) en métal, qui contient de l'aluminium et d'autres éléments alliés, - une couche barrière antidiffusion (14), disposce par-dessus le substrat (12), - et un revêtement résistant à l'oxydation (16), disposé par-dessus la couche barrière antidiffusion (14), caractérisce en ce que la couche barrière anti-diffusion (14) comporte: a) d'environ 15 à environ 95 % en atomes de chrome, et b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments. 22. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce que la couche barrière anti-diffusion comporte d'environ 50 à environ 95 % en atomes de chrome. 23. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce que la couche barrière anti-diffusion comporte d'environ 25 à environ 60 % en atomes de chrome. 24. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce que la couche barrière anti-diffusion comporte en outre, en une proportion d'à peu près 1 à 35 % en atomes, un élément choisi dans l'ensemble que constituent le nicLel, le cobalt et le fer, ou une combinaison de ces élé ments. 25. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce que la couche barrière anti-diffusion comporte en outre de l'aluminium, en une proportion d'à peu près 1 à 35 % en atomes. 26. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce que le substrat métallique est en un superalliage comportant au moins un métal de base choisi parmi le nickel, le cobalt et le fer. 27. Pièce conforme à la revendication 26, caractérisoe en ce que S le substrat comporte aussi au moins un élément allié choisi parmi les élé ments suivants: cobalt, molybdène, titane, tantale, carbone et bore. 28. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce que le revêtement résistant à l'oxydation (16) est riche en aluminium et en ce que la couche barrière anti-diffusion (14) empêche l'aluminium de migrer en quantité importante depuis ce revêtement (16) riche en aluminium jus que dans le substrat (12), et empêche aussi les divers éléments alliés cons titutifs du substrat (12) de migrer en quantités importantes jusque dans ce revêtement (16) riche en aluminium. 29. Pièce conforme à la revendication 28, caractérisce en ce que le revêtement riche en aluminium (16) disposé par-dessus la couche bar rière anti-diffusion (14) est un revêtement en aluminure ou une surcouche. 30. Pièce conforme à la revendication 29, caractérisce en ce que le revêtement riche en aluminium (16) est un revêtement en aluminure de nickel, en aluminure de métal noble ou en aluminure de nickel et de métal noble. 31. Pièce conforme à la revendication 30, caractérisce en ce que le métal noble est le platine. 32. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisée en ce que le revêtement résistant à l'oxydation (16) est une surcouche dont la com position correspond à la formule MCrAl(X), o M représente le nickel, le cob alt ou le fer, ou une combinai s on de ce s métaux, et X rep ré sente un élé ment choisi parmi les suivants: yttrium, tantale, silicium, hafnium, titane, zirconium, bore et carbone, ou l'une de leurs combinaisons. 33. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce que le revêtement résistant à l'oxydation (16) est une couche d'alliage nickel chrome. 34. Pièce conforme à la revendication 33, caractérisce en ce que l'alliage nickel-chrome contient du chrome en une proportion d'à peu près à 50 % en atomes, et comporte en outre au moins un élément choisi parmi le manganèse, le silicium et les terres rares. 35. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisoe en ce que l'épaisseur moyenne de la couche barrière anti-diffusion (14) vaut à peu près de 1 à 50,um. 36. Pièce conforme à la revendication 35, caractérisce en ce que l'épaisseur moyenne de la couche barrière anti-diffusion (14) vaut à peu près de 5 à 20 m. 37. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce qu'elle comporte en outre, par-dessus le revêtement résistant à l'oxydation (16), une couche de revêtement en céramique (18). 38. Pièce conforme à la revendication 37, caractérisce en ce que le revêtement en céramique (18) est un revêtement à base de zircone, qui sert de barrière thermique. 39. Pièce conforme à la revendication 21, caractérisce en ce que le substrat (12) est un élément profilé d'un moteur à turtine à gaz. 40. Pièce de moteur à turbine, destince à être mise en service en atmosphère oxydante à haute température, caractérisoe en ce qu'elle com porte: A) un substrat (12) en superalliage à base de nickel ou à base de nickal et de cabalt; B) une couche barrière anti-diffusion (14), disposce sur le substrat et constituce a) d'environ 15 à environ 95 % en atomes de chrome, b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments, c) d'environ 1 à environ 35 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le nickel, le cobalt et le fer, ou d'une combinaison de ces éléments, et d) d'environ 1 à environ 35 % en atomes d'aluminium; C) un revêtement résistant à l'oxydation (16), disposé par-dessus la couche barrière anti-diffusion (14) et constitué d'un matériau choisi parmi les aluminures, les alliages nickel-chrome et les maté riaux MCrAl(X) o M représente le nickel, le cobalt ou le fer, ou une combinaison de ces métaux, et X représente un élément choisi parmi les suivants: yttrium, tantale, silicium, hafnium, titane, zirconium, bore et carbone, ou l'une de leurs combinaisons, et D) un revêtement servant de barrière thermique (18), à base de zircone et disposé par-dessus le revêtement résistant à l'oxydation (16). 41. Procédé permettant d'empêcher l'aluminium de migrer en quantité importante depuis un revêtement résistant à l'oxydation (16), ri che en aluminium, jusque dans un substrat métallique sousjacent (12), dans une atmosphère oxydante à haute température, caractérisé en ce qu'il comporte une opération consistant à incorporer, entre le substrat et son revêtement, une couche barrière anti-diffusion (14) qui comporte: a) d'environ 15 à environ 95 % en atomes de chrome, et b) d'environ 5 à environ 60 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments. 42. Procédé conforme à la revendication 41, caractérisé en ce que l'on applique la couche barrière anti-diffusion (14) sur le substrat (12) en opérant selon une technique choisie parmi le dépôt EBPVD (dépôt physi que à partir d'une phase vapeur, assisté par faisccau électronique), le pla quage électrolytique, le dépôt IPD (dépôt ionique assisté par plasma), le dépôt CVD (dépôt chimique à partir de phase vapeur), la technique LPPS (projection plasma basse pression), la proection plasma, la projection HVOF (projection oxygène-combustible à haute vitesse), et la pulvérisa tion cathodique. 43. Procédé conforme à la revendication 41, caractérisé en ce que le substrat métallique (12) est en un superalliage. 44. Procédé conforme à la revendication 41, caractérisé en ce que le revêtement résistant à l'oxydation (16) est en un matériau choisi parmi les aluminures, les alliages nickel-chrome et les matériaux MCrAl(X) o M représente le nickel, le cobalt ou le fer, ou une combinaison de ces métaux, et X représente un élément choisi parmi les suivants: yttrium, tantale, silicium, hafnium, titane, zirconium, bore et carbone, ou l'une de leurs combinaisons. 45. Procédé permettant de doter un substrat (12) en superalliage d'un système de revêtement protecteur, caractérisé en ce qu'il comporte les opérations suivantes: A) appliquer, sur le substrat (12), une couche barrière anti-diffusion (14) comportant a) d'environ 1S à environ 95 % en atomes de chrome, et b) d'environ S à environ 60 % en atomes d'un élément choisi S dans l'ensemble constitué par le rhénium, le tungstène et le ruthénium, ou d'une combinaison de ces éléments, B) appliquer, par-dessus la couche barrière anti-diffusion (14), un revêtement résistant à l'oxydation (16), et C) appliquer, par-dessus le revêtement résistant à l'oxydation (16), un revêtement servant de barrière thermique (18), à base de zircone. 46. Procédé conforme à la revendication 45, caractérisé en ce que la couche barrière anti-diffusion (14) comporte en outre: c) d'environ 1 à environ 35 % en atomes d'un élément choisi dans l'ensemble constitué par le nickel, le cobalt et le fer, 1S ou d'une combinaison de ces éléments, et d) d'environ 1 à environ 35 % en atomes d'aluminium. 47. Procédé conforme à la revendication 45, caractérisé en ce que le substrat (12) en superalliage est un élément profilé de moteur de turUine