Brevet FR2824911A1 — publié le 20021122

de l'élément élastique d'un côté du second arbre. 282491 1 L'invention concerne un élément de capteur à microstruc- ture, intégré, pour détecter les grandeurs de mesure thermodynamiques d'un fluide, notamment pour déterminer ou surveiller la conductivité thermique et/ou la capacité thermique d'un fluide, par exemple de l'huile s d'un véhicule. Etat de la technique Pour déterminer les grandeurs thermodynamiques d'un fluide comme la conductivité thermique et la capacité calorifique d'un li- quide super refroidi, à proximité de la transition vitreuse, selon le procédé o appelé 3c, est un procédé connu selon le document N.O. Birge et al., " Specific Heat Spectroscopy: Origins, Status and Applications of the 3 - Method ", Thermochimica Acta, 304/305, (1997), pages 51 à 66. Ce do- cument donne les bases théoriques du procédé 3co et la procédure pour déterminer la conductivité thermique et la capacité calorifique d'un fluide s à l'aide de ce procédé, de manière détaillée. Ce document décrit également un élément de capteur dont les éléments chauffants planaires sont prévus sur un substrat de verre de borosilicate, avec une couche de nickel conducteur électrique. Ce substrat se plonge dans un liquide. Cet élément de capteur est relié à des compo o sants électriques externes pour recevoir un courant de chauffage périodi- que; on exploite la troisième harmonique de la tension électrique appliquée à cet élément chauffant. Cet élément chauffant est une construction de laboratoire qui ne convient pas pour déterminer de manière routinière les grandeurs s thermodynamiques d'un fluide. En particulier, ce capteur n'est pas suffi- samment compact pour être utilisé par exemple pour surveiller l'état de l'huile dans un véhicule, c'est-à-dire pour équiper en permanence le véhi- cule et l'intégrer dans celui-ci. En principe, dans le pro cédé 3 co, par chauffage transitoire on génère une onde de diffusion thermique; l'amplitude et la profondeur de pénétration de cette onde sont faibles ce qui permet de déterminer la conductivité et la capacité calorifque cp, sans perturbations, c'est-àdire sans produire d'échauffement significatif. Le problème de l'invention a été de fournir un élément de 3s capteur compact, fabriqué en série, pour déterminer ou surveiller en con- tinu la capacité calorifique et/ou la conductivité thermique d'un liquide tel que l'huile d'un véhicule. 282491 1 Ce problème est résolu en ce qu'un corps de support, no- tamment une platine ou une plaquette, comporte au moins un élément chauffant à microstructure, en contact avec le fluide pendant le fonction- nement, avec sur ou dans l'environnement du corps de support des pre s miers moyens pour appliquer au moins de temps à autre à l'élément chauffant un courant alternatif électrique de fréquence déterminée ou cor- respondant à une bande de fréquence définie, ainsi que d'autres moyens pour détecter l'amplitude de la troisième harmonique de la tension électri- que appliquée à l'élément chauffant. o Avantages de l'invention L'élément à microstructure intégré selon l'invention offre l' avantage de permettre à la fois la détermination de la cap acité calorifique spécifique et la conductivité thermique d'un fluide comme par exemple de l'huile. Un autre avantage par rapport à l'état de la technique ré side dans la construction simplifiée et surtout considérablement miniatu risée et intégrée de l'élément de capteur à microstructure selon l'invention. C'est ainsi que selon l'invention on crée en technique habituelle des cou ches minces, sur un substrat aussi mauvais conducteur thermique que o possible, un élément chauffant et on l'utilise pour appliquer le procédé 3c; cet élément est d'une fabrication économique et compacte. Un autre avantage de l'élément de capteur à microstructure intégré selon l'invention réside dans la façon simple avec laquelle il peut également étre combiné en technique de microsystème ou d'éléments de :5 capteur fabriqués en technique des couches minces, de sorte que suivant la demande on peut regrouper plusieurs principes de mesure ou plusieurs éléments de capteur d'une façon très compacte dans un boîtier ou sur une puce ou une platine. Cette combinaison permet de saisir à côté des gran- deurs thermodynamiques fournies par l'élément de capteur à microstruc ture selon l'invention également d'autres grandeurs de mesure telles que la conductivité électrique, la viscosité ou l'impédance, par des mesures plus avantageuses. Il est particulièrement avantageux du point de vue de la compacité et de la construction aussi robuste que possible pour une fabri 3s cation en série, que les composants électroniques alimentent l'élément chauffant avec un courant alternatif électrique d'une fréquence détermi- née ou dans une bande de fréquence déterminée ou encore avec des cou- rants alternatifs ayant plusieurs fréquences définies ou bande de 282491 1 fréquences, mais décalées, ainsi que des composants électroniques pour saisir le signal de capteur ou encore dans l'environnement immédiat du support sur lequel se trouve l'élément chauffant proprement dit. Cette proximité locale s'obtient en ce que les composants électroniques sont installés sur une première platine ou correspondent à un premier ctrcuit intégré d'exploitation de signal et l'élément chauffant est installé sur une seconde platine, voisine, ou une puce ou plaquette; les composants élec- troniques et l'élément chauffant sont installés sur une puce ou ctrcuit in- tégré commun. Dans chaque cas on a l'avantage que l'élément de capteur o à microstructure intégré selon l'invention est réalisable en une seule pièce ou en deux parties, comme module de capteur complet et peut se monter de manière simple dans des véhicules automobiles. Il est particulièrement avantageux que l'élément chauffant comporte un chemin conducteur de platine et/ou une couche conductrice sur platine qui est relié par des surfaces de contact de branchement aux premiers moyens et à d'autres moyens électriques, par une liaison électri- que. Le platine a des propriétés électriques particulièrement avantageuses et stables vis-à-vis de la corrosion. Comme particulièrement avantageux on a en outre constaté que le chemin conducteur de platine ou la couche o conductrice de platine était réalisé avec un tracé en méandres. Du reste, le cablage de l'élément chauffant avec les compo- sants électroniques qui coopèrent doit se faire de manière connue par des chemins conducteurs métalliques pour ne pas avoir de résistances de contact, supplémentaires, susceptibles de perturber le signal du capteur. :5 Dans la mesure o on veut couvrir un spectre large de fré quences pour le courant alternatif électrique appliqué à l'élément chauf fant, il est avantageux de prévoir plusieurs éléments chauffants d'épaisseurs différentes et surtout de largeurs différentes pour les che mins conducteurs ou la couche conductrice, en platine. o Pour avoir une isolation thermique aussi bonne que possi ble des chemins conducteurs ou de la couche conductrice proprement dits de l'élément chauffant du corps de support, il est avantageux que l'élément chauffant soit installé sur un matériau aussi mauvais conduc teur de chaleur que possible, notamment dans une zone très mauvaise s5 conductrice thermique du corps de support. Pour cela, le corps de sup- port, au moins au niveau de l'élément chauffant, est de prétérence en une matière mauvaise conductrice de chaleur comme du verre et en particulier du verre de borosilicate ou d'une matière amorphe. 282491 1 Comme avantages particuliers, lorsque le corps de support, au moins au niveau de l'élément chauffant est en silicium, on a comme zone de corps de support mauvais conducteur de chaleur, entre l'élément chauffant et le siliclum, une couche de dioxyde de siliclum ou, d'une ma- s nière particulièrement avantageuse, une couche ou une zone de siliclum poreux. Un autre développement avantageux de l'élément de cap teur à microstructure intégré prévoit, pour une isolation thermique aussi bonne que possible de l'élément chauffant par rapport au corps de sup- o port, que l'élément chauffant se trouve sur un fllm aussi largement auto porteur que possible, une bande ou une membrane qui est structurée de manière connue à partir du corps de support ou est réalisée dans celui-ci. Grâce à un tel film, une entretoise ou une telle membrane, on obtient des constructions particulièrement compactes, intégrées et compatibles avec les procédés de fabrication habituels de la micromécanique de surfaces de silicium. Selon d'autres caractéristiques: - l'élément chauffant et le corps de support ou la zone de corps de sup- port mauvaise conductrice de chaleur sont reliés par une couche in o termédiaire améliorant l'accrochage. - les premiers moyens comprennent un générateur de signal installé sur le corps de support, notamment un générateur sinusoïdal pour générer un courant alternatif électrique de fréquence définie ou de bande de fréquence définie. :5 - le générateur de signal génère un courant alternatif électrique d'amplitude prédéterminée ou déflnie et/ou les premiers moyens com prennent une installation pour déterminer ou fixer l'amplitude du cou rant électrique, notamment d'un élément de mesure de courant. - les autres moyens comportent un élément amplificateur à verrouillage so installé sur le corps de support pour saisir l'amplitude et la phase de la troisième harmonique. - les autres moyens comportent un élément de pont et une résistance de référence branchés à la manière d'un pont de Wheatetone sur le corps de support. - l'élément de pont est relié par les surfaces de branchement de contact à l'élément chauffant pour recevoir la tension électrique à détecter et reçoit la tension électrique aux bornes de la résistance de référence, et l'élément de montage en pont est relié à l'amplificateur de verrouillage 282491 1 qui reçoit comme signal de référence en même temps le signal de sortie de fréquence triple du générateur de signal. - une unité d'exploitation reliée à la sortie de l'élément amplificateur à verrouillage surveille le signal de sortie de l'élément amplificateur à s verrouillage et détermine ou surveille la conductivité thermique et/ou la capacité thermique du fluide comme fonction de temps. - le générateur de signal génère un courant alternatif sinusoïdal de fré quence comprise entre 0,1 Hz et 20 kHz, notamment 100 Hz jusqu'à kHz et une amplitude de 1 mA jusqu'à 1 A, notamment 1 mA jus o qu'à 200 mA. - le chemin conducteur ou la couche conductrice de l'élément chauffant a une largeur de 2 m à 500 m, notamment 2 m jusqu'à 100 m, et une épaisseur de 20 nm jusqu'à 5 m, notamment de 20 nm jusqu'à 500 nm. S Dessins La présente invention sera décrite ci-après de manière plus détaillée à l'aide des dessins annexés dans lesquels: - la figure 1 est une vue de dessus d'un élément de capteur à micro structure intégré sur un substrat avec un élément chauffant en forme de ruban et des ensembles électroniques, - la figure 2 est une variante de réalisation de l'élément chauffant de la figure 1, - la figure 3 montre une coupe de l'élément chauffant de la figure 1, - la figure 4 est une vue de côté de l'élément de microstructure selon la s figure 1 vue en coupe. Description des exemples de réalisation L'invention a pour point de départ le procédé 3m, connu pour déterminer la conductivité thermique et la capacité thermique d'un fluide selon le document N. O. Birge, Thermochimica Acta, 304/305, (1997), pages 51 à 66, qui décrit ce procédé de manière explicite. Ce pro cédé est réalisé dans l'exemple décrit pour surveiller l'huile d'un véhicule automobile lors de son fonctionnement et il est réalisé avec l'élément de capteur à microstructure 5 décrit par ailleurs de manière détaillée. Cet élément de capteur à microstructure 5 constitue un module de capteur fournissant globalement un signal de sortie appliqué à une unité de traitement non représentée, intégrée dans le véhicule. Cette unité en déduit, comme décrit dans le document rappelé ci-dessus, les grandeurs thermodynamiques souhaitées et transmet les résultats à la 282491 1 commande du moteur du véhicule et/ou par un système d'informations destinées au conducteur. En principe, selon le procédé 3m, on applique à un élément chauffant 15 de l'élément de capteur à microstructure intégré 5 tout s d'abord un courant de chauffage périodique ayant une fréquence définie ou une succession de fréquences définies; avec un amplificateur à ver- rouillage 23 on détecte la troisième harmonique de la tension électrique appliquée à l'élément chauffant 15. A partir de l'amplitude de cette troi- sième harmonique on peut déterminer alors la capacité calorifique cp et la o conductivité thermique du liquide que l'on surveille et qui est en contact avec l'élément chauffant 15. En général, l'élément chauffant 15 est mis successivement à des courants alternatifs différents, de fréquence fixe, prédéterminée, pour obtenir plusieurs points de mesure par exemple les fréquences 100 Hz, 500 Hz, 2 kHz, 4 kHz et 10 kHz. Dans ce contexte on remarque qu'une couche conductrice qui conduit le courant alternatif électrique de l'élément chauffant 15 a un coefficient de température aussi élevé que possible et est isolée aussi bien que possible par rapport à un corps de support 16 qui se trouve en dessous pour que le courant électrique alternatif appliqué à l'élément o chauffant 15 produise essentiellement le chauffage du fluide à surveiller et non pas celui du corps de support 16, ce qui fausserait le résultat de la mesure. De manière détaillée, la figure 1 montre un élément de capteur à microstructure intégré 5 construit sur un corps de support 16. s Ce corps de support 16 est mauvais conducteur au moins dans la zone de l'élément chauffant 15 proprement dit et il y est réalisé par exemple sous forme de substrat de verre de borosilicate. L'élément chauffant 15 a la structure d'une bande dont les d eux extrémité s ont ch aque fois une première surface de branch em ent de contact 11 et une seconde surface de branchement de contact 12. Comme cela apparaît à la figure 3, qui montre en coupe l'élément chauffant 15 selon la figure 1, il est réalisé d'une couche conductrice 10 écartée du corps de support 16 par une couche intermédiaire 13. La couche intermédiaire 13 sert à l'amélioration de 3s l'accrochage de la couche conductrice 10 sur le corps de support 16 et pour l'isolation thermique de la couche conductrice 10 par rapport au corps de support. Cette couche est par exemple réalisée sous la forme d'une couche de chrome d'une épaisseur de quelques nanomètres. 282491 1 La couche conductrice 10 proprement dite de l'exemple de réalisation est une couche de platine en forme de chemin conducteur en ruban de structure connue. Elle comporte une largeur de 2 m jusqu'à 500 n, notamment 2 m jusqu'à 100 m; son épaisseur va de 20 nm s jusqu'à 5 pun, en particulier elle va de 20 nm jusqu'à 500 nm. Dans le cas de l'élément de capteur à microstructure 5, pendant le fonctionnement de celui-ci, cette structure est en contact avec le fluide à surveiller ou à ana- lyser. La figure 1 montre en outre comment le corps de support o 16 porte dans l'environnement de l'élément chauffant 15, d'autres compo- sants électroniques. De manière détaillée, il est prévu un générateur de signal 21 qui crée un courant alternatif électrique ayant par exemple une am- plitude et une fréquence prédéterminées définies par un microprocesseur d'une unité d'exploitation non représentée. Le courant alternatif électrique est de préférence un courant alternatif sinusoïdal, c'est-à-dire que le géné- rateur de signal 21 est un générateur de courant sinusoïdal qui génère un courant alternatif d'une fréquence comprise entre 0,1 Hz et 20 kHz, no- tamment entre 100 Hz et 10 kHz et une amplitude entre 1 mA et 1 A, no tamment entre 1 mA et 200 mA. En outre, selon la figure 1, il est prévu que le courant alter- natif électrique généré par le générateur de signal 21 soit appliqué à la première surface de contact de branchement 11 pour que l'élément chauffant 15 reçoive un courant électrique alternatif périodique de fré s quence déterminée, qui chauffe le fluide à surveiller ou à analyser. En variante d'un courant alternatif sinusoïdal on peut éga- lement utiliser un courant alternatif de bande de fréquence définie; cette brande de fréquence est de préférence aussi étroite que possible. Pour le contrôle ou le réglage de l'amplitude du courant al ternatif électrique généré par le générateur de signal 21, il est prévu un élément de mesure de courant 20 prévu en option selon la figure 1 et dont la fonction peut aussi être intégrée dans le générateur de signal 21. A côté, la figure 1 montre qu'entre le générateur de signal 21 et l'une des premiè- res surfaces de contact de branchement 11 on a une résistance intermé 3s diaire de référence 22 donnant une tension définie. Des composants électroniques intégrés, appropriés, pour réaliser un élément de mesure d'intensité 20, une résistance intermédiaire de référence 22 ou des géné- rateurs de signaux 21 sont connus depuis longtemps de l'état de la tech nique ou sont connus comme ctrcuits intégrés pour étre montés sur une platine. La figure 1 montre également un élément amplificateur à verrouillage 23 dont le signal d'entrée est relié à une seconde sortie du gé s nérateur de signal 21 de sorte que dans cet élément d'amplification à ver rouillage 23, on dispose comme référence, le signal de sortie du générateur de signal 21 qui est appliqué à l'élément chauffant 13 et présente toutefois une fréquence triple. A côté de la fourniture directe décrite ci-dessus de ce signal de sortie de fréquence triple par le générateur de signal 21, en va o riante on peut également prévoir un composant électronique supplémen taire installé entre le générateur de signal 21 et l'élément d'amplification à verrouillage 23 et assurant un tel triplement de fréquence. La s econd e entré e de l' élém ent amplific ateur à verro uill age 23 est reliée par un élément de montage en pont 24 aux secondes surfaces s de branchement de contact 11. L'élément de pont 24 est un montage en pont de Wheatetone comme cela est par exemple décrit dans le document N. O. Birge, Thermochimica Acta, 304/305, (1997), pages 51 à 66. De manière détaillée, l'élément de pont 24 est relié par ses deux secondes surfaces de branchement de contact 12 de sorte que la o tension électrique appliquée entre les secondes surfaces de branchement électrique 12 soit fournie à l'élément de circuit de pont 24. De plus, cet élément 24 reçoit comme tension de référence, la tension électrique sur les bornes de la résistance de référence 22. Le signal de sortie de l'élément de pont 24 est finalement disponible comme signal d'entrée appliqué à s l'élément amplificateur à verrouillage 23. L'élément amplificateur à verrouillage 23 est concu pour permettre la saisie de la troisième harmonique de la tension électrique ap pliquée à l'élément chauffant 15 entre les secondes surfaces de contact de branchement 12. L'amplitude de la troisième harmonique est finalement fournie à la sortie 25 de l'élément amplificateur de verrouillage 23 sous forme amplifiée comme signal de sortie pour étre appliquée à une unité d'exploitation non représentée; celle-ci poursuit le traitement pour déter miner la conductivité thermique et/ou la capacité thermique du fluide en contact avec l'élément chauffant 15. La figure 2 montre en vue de dessus une variante de réali sation de l'élément chauffant 15; à la différence de l'élément chauffant 15 en forme de ruban de la figure 1, ce dernier est en forme de méandres et 282491 1 couvre une surface rectangulaire. Pour le reste l'élément chauffant 15 se- lon la figure 2 correspond par sa structure à l'élément chauffant 15 de la figure 1. La figure 3 montre l'élément chauffant 15 par rapport à la s figure 1 en vue en coupe; dans ce cas le corps de support 16 sous l'élément chauffant 15 a la forme d'une zone de support 14 en silicium poreux. Pour cela, on a utilisé comme corps de support 16 dans cette zone tout d'abord une plaquette de siliclum que l'on rend poreuse de manière connue dans la zone de corps de support 14. Le siliclum poreux présente, o par rapport au silicium non poreux, une conductivité thermique considé- rablement réduite de sorte que l'on dispose d'une bonne isolation thermi- que de l'élément chauffant 15 par rapport au corps de support 16. La figure 6 montre finalement une vue de côté de l'élément de capteur à microstructure 5 intégré selon la figure 1; les ensembles électroniques 20, 21, 22, 23, 24 selon la figure 1 sont couverts par un ca pot 40 pour les protéger contre les influences par exemple contre le fluide. L'élément de capteur à microstructure 5 intégré, décrit ci- dessus, peut pour le reste comporter également plusieurs éléments chauffants 15 d'épaisseur et/ou de largeur différentes de la couche con ductrice 10; ces éléments chauffants 15, différents, couvrent ainsi des zones de fréquence différentes. De cette manière on détermine les gran- deurs de mesure thermodynamiques souhaitées du fluide dans une plage de fréquences particulièrement grandes. Pour l'isolation thermique de l'élément chauffant 15 par s rapport au corps de support 16, on peut installer le corps de support 16 comme décrit, au moins dans la zone dans laquelle se trouve l'élément chauffant, en verre, par exemple en verre de borosilicate ou d'une matière amorphe mauvaise conductrice. En variante, le corps de support 16 peut également être réalisé en siliclum par exemple sous la forme d'une puce ou d'une plaquette; entre l'élément chauffant 15 et le silicIum on prévoit une zone de corps de support 14 mauvaise conductrice de chaleur qui comme déjà indiqué peut être en siliclum poreux ou en oxyde de silicium. Un autre mode de réalisation de l'élément à microstructure intégré prévoit, pour l'isolation thermique de l'élément chauffant 15, ss d'installer celui-ci sur au moins un film très largement porteur, une en- tretoise ou une membrane. Pour les autres détails du procédé 3m et du procédé d'exploitation pour déterminer les grandeurs de mesure thermodynami 282491 1 ques du fluide à l'aide de l'élément de capteur à microstructure intégré 5 on se reporters au document déjà évoqué ci-dessus, à savoir: N. O. Dirge, Thermochimica Acta, 304/305, ( 1997), pages 51 à 66. s 282491 1 REVEND I CATI ONS 1 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, pour détecter les gran- deurs de mesure thermodynamiques d'un fluide, caractérisé en ce qu' s un corps de support (16), notamment une platine ou une plaquette, com- porte au moins un élément chauffant (15) à microstructure, en contact avec le fluide pendant le fonctionnement, avec sur ou dans l'environnement du corps de support (16) des premiers moyens (20, 21) pour appliquer au moins de temps à autre à l'élément chanffant (15) un o courant alternatif électrique de fréquence déterminée ou correspondant à une bande de fréquence définie, ainsi que d'autres moyens (22, 23, 24) pour détecter l'amplitude de la troisième harmonique de la tension électri- que appliquée à l'élément chauffant (15). lS 2 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément chauffant (15) présente un chemin conducteur en platine ou une couche conductrice en platine (10), notamment en forme de bande ou de méandres et relié électriquement par des surfaces de contact de branche o ment (11, 12) aux premiers moyens (20, 21) et aux seconds moyens (22, 23, 24). 3 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendication 2, caractérisé en ce que s plusieurs éléments chauffants (15) d'épaisseurs et/ou de largeurs diffé- rentes du chemin conducteur ou de la couche conductrice (10) sont pré vus. 4 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément chauffant (15) est prévu sur un matériau, en particulier une zone de corps de support (14) mauvais conducteur de chaleur, ou le corps de support (16) est réalisé en une matière mauvaise conductrice de cha- leur par rapport au fluide. 3s ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendication 4, caractérisé en ce que 282491 1 la zone de corps de support (14) mauvaise conductrice de chaleur ou le corps de support (16) sont en verre, notamment en verre de borosilicate, ou en une autre matière amorphe. 6 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendication 1, caractérisé en ce que le corps de support (16) est en siliclum et dans la zone de corps de sup port (14) mauvaise conductrice de chaleur, entre l'élément chauffant (15) et le siliclum, on a une couche de dioxyde de siliclum ou une couche ou to une zone de siliclum poreux. 7 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que s le corps de support (16) comporte dans la zone de l'élément chauffant (15), au moins un film très largement autoporteur, une entretoise ou une membrane portant le ou les éléments chauffants (15). 8 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendication 1, caractérisé en ce que le corps de support (16) comporte une matière mauvaise conductrice de chaleur dans la zone de l'élément chauffant (15) séparant cet élément chauffant (15) du corps de support (16). 2s 9 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément chauffant (15) et le corps de support (16) ou la zone de corps de support (14) mauvaise conductrice de chaleur sont reliés par une couche intermédiaire (13) améliorant l'accrochage. ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendica tion 1, caractérisé en ce que les premiers moyens (20, 21) comprennent un générateur de signal (21) 3s installé sur le corps de support (16), notamment un générateur sinusoïdal pour générer un courant alternatif électrique de fréquence définie ou de bande de fréquence définie. 11 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendica tion 1, caractérisé en ce que le générateur de signal (21) génère un courant alternatif électrique s d'amplitude prédéterminée ou définie et/ou les premiers moyens (20, 21) comprennent une installation (20) pour déterminer ou fixer l'amplitude du courant électrique, notamment d'un élément de mesure de courant. 12 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendica o tion 1, caractérisé en ce que les autres moyens (22, 23, 24) comportent un élément amplificateur à ver- rouillage (23) installé sur le corps de support (16) pour saisir l'amplitude et la phase de la troisième harmonique. 13 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendica tion 1, caractérisé en ce que les autres moyens (22, 23, 24) comportent un élément de pont (24) et une résistance de référence (22) branchés à la manière d'un pont de Wheats- tone sur le corps de support (16). 14 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendica- tion 1, 2s caractérisé en ce que l'élément de pont (24) est relié par les surfaces de branchement de contact (12) à l'élément chauffant (15) pour recevoir la tension électrique à détec- ter et reçoit la tension électrique aux bornes de la résistance de référence (22), et l'élément de montage en pont (24) est relié à l'amplificateur de ver rouillage (23) qui reçoit comme signal de référence en même temps le si- gnal de sortie de fréquence triple du générateur de signal (21). ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendica- tion 1, 3s caractérisé en ce qu' une unité d'exploitation reliée à la sortie (25) de l'élément amplificateur à verrouillage (23) surveille le signal de sortie de l'élément amplificateur à 282491 1 verrouillage (23) et détermine ou surveille la conductivité thermique et/ou la capacité thermique du fluide comme fonction de temps. 16 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendica- s tion 1, caractérisé en ce que le générateur de signal (21) génère un courant alternatif sinusoïdal de fré- quence comprise entre 0,1 Hz et 20 kHz, notamment 100 Hz jusqu'à kHz et une amplitude de 1 mA jusqu'à 1 A, notamment 1 mA jusqu'à o 200 mA. 17 ) Elément de capteur à microstructure, intégré, selon la revendica tion 1, caractérisé en ce que s le chemin conducteur (10) ou la couche conductrice de l'élément chauffant (15) a une largeur de 2 m à 500 m, notamment 2 m jusqu'à 100 m, et une épaisseur de 20 nm jusqu'à 5 m, notamment de 20 nm jusqu'à 500 nm. 18 ) Application d'un élément de capteur à microstructure, intégré, selon l'une quelconque des revendications précédentes, pour déterminer ou sur- veiller la conductivité thermique et/ou la capacité thermique d'un liquide, notamment de l'huile dans un véhicule automobile.