Brevet FR2819635A1 — publié le 20020719

Procédé de fabrication de réseaux d'interconnexions La présente invention concerne un procédé de fabrication de réseaux d'interconnexions, et concerne plus particulièrement les interconnexions en cuivre obtenues par le procédé dit Damascène. Les structures d'interconnexions pour les circuits intégrés sont conventionnellement réalisées en Aluminium dopé entre 2 et 4% en cuivre. Le procédé employé consiste dans ce cas à déposer le métal, puis à le graver pour former le réseau d'interconnexions et enfin à déposer par-dessus le diélectrique qui servira à isoler aussi bien latéralement les lignes que verticalement les niveaux de métal. Pour améliorer les performances des circuits, notamment en matière de vitesse et de consommation, on utilise des interconnexions en cuivre. En effet, grâce à la résistivité faible du cuivre, qui est presque deux fois moindre que celle de l'aluminium dopé en cuivre, ces interconnexions permettent de réduire les résistances Rint- Un inconvénient de cette solution est que le cuivre se grave très difficilement. On a donc développé un procédé, dit Damascène, permettant de se passer entièrement de la gravure du métal. Selon le procédé Damascène, comme décrit dans la demande de brevet FR 2794286, on grave d'abord des tranchées dans un diélectrique généralement poreux de faible constante diélectrique, puis on dépose une barrière de diffusion en métal ou en nitrure métallique (par exemple Ta, Ti, TiN, TaN) en une couche tapissant les parois de ces tranchées, puis on dépose le métal d'interconnexion dans les tranchées. Enfin on"rabote"le cuivre de la surface du diélectrique par un polissage mécanochimique (CMP), de manière à ne laisser du métal que dans les tranchées. Cependant, lors du dépôt des barrières métalliques puis du métal dans les tranchées gravées dans le matériau diélectrique, le métal peut diffuser plus ou moins profondément dans les porosités ouvertes de celui-ci. On dénature ainsi rapidement le matériau qui perd alors son rôle d'isolant. En outre, du fait de la miniaturisation des composants électroniques, les lignes métalliques sont de plus en plus rapprochées avec une distance moyenne entre elles de l'ordre de O, l um. Ces dimensions réduites et la dégradation du matériau diélectrique conduisent à un risque de formation de courts-circuits et à une dégradation de la capacité latérale entre deux lignes métalliques. Ces manifestations nuisent aux bonnes performances des composants électroniques réalisés. On a ainsi envisagé, tel que décrit dans le document Texas Instruments"MRS Proc. Vol 511 p. 213", de boucher les porosités ouvertes du matériau diélectrique à l'aide d'une couche d'oxyde de silicium. Mais avec un oxyde de silicium conventionnel déposé par PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition en anglais), le dépôt du métal ne peut s'effectuer proprement, du fait de l'inhomogénéité de la couche de silice. Un autre inconvénient lié au dépôt d'une couche d'oxyde est la dégradation de la capacité latérale entre deux lignes métalliques, entraînant une capacité parasite, du fait de la constante diélectrique élevée, environ 4, de l'oxyde. La présente invention propose un procédé de fabrication d'un réseau d'interconnexions remédiant à ces inconvénients. En particulier, la présente invention propose un procédé de fabrication d'un réseau d'interconnexions qui réduit la diffusion de métal dans les porosités ouvertes du matériau diélectrique, permettant ainsi de diminuer la formation de courts-circuits et des effets induits d'une ligne du réseau sur l'autre. L'invention propose un procédé de fabrication d'un réseau d'interconnections comprenant le dépôt d'un métal d'interconnexion, caractérisé en ce que, préalablement au dépôt du métal d'interconnexion, on dépose dans des tranchées formées dans au moins une couche d'un matériau diélectrique, un matériau de remplissage, de manière à remplir des porosités ouvertes dudit matériau diélectrique, ledit matériau de remplissage étant destiné à empêcher la diffusion ultérieure du métal d'interconnexion et/ou d'un métal d'une barrière de diffusion, ledit matériau de remplissage étant en outre non poreux et de faible constante diélectrique. Selon le procédé de l'invention, le procédé comprend les étapes successives suivantes : a) le dépôt du matériau de remplissage b) le dépôt d'une barrière de diffusion dans les tranchées c) le dépôt du métal d'interconnexion. Les tranchées peuvent être formées dans au moins une couche d'un matériau diélectrique. Selon le procédé de l'invention, le matériau de remplissage est retiré, excepté dans les porosités ouvertes du matériau diélectrique. Le matériau de remplissage peut être un polymère. Selon une mise en oeuvre préférentielle du procédé de l'invention, le polymère est un polymère aromatique, par exemple de type polyaryléther, ou encore un polymère aromatique thermostable. Selon le procédé de l'invention, le métal d'interconnexion comprend du cuivre. Selon le procédé de l'invention, le matériau de remplissage non poreux a une température de décomposition ou de fusion supérieure à 450 oC. Sa constante diélectrique est inférieure à quatre, et de préférence comprise entre 2,5 et 3,5. Plus particulièrement, on choisira un polymère dont la constante diélectrique est comprise entre 2,6 et 2,8. En outre, le matériau de remplissage selon l'invention présente une bonne capacité de remplissage. Il est notamment capable de remplir des porosités de taille inférieure à 100 nm, de préférence inférieure à 20 nm, et encore de préférence inférieure à 10 nm. Le matériau de remplissage peut être déposé de différentes façons classiques. On peut envisager un dépôt par CVD (Chemical Vapour Deposition en anglais) ou par centrifugation. Toutefois, selon une variante particulièrement avantageuse du procédé de l'invention, le matériau de remplissage est sous forme dispersée et est déposé par centrifugation. Dans un mode de réalisation préféré, le dépôt obtenu est ensuite réticulé. Selon le procédé de l'invention, le matériau de remplissage est ensuite retiré des tranchées. On peut envisager un retrait à l'aide d'un plasma oxydant anisotrope directionnel, laissant ainsi les pores du matériau poreux de faible constante diélectrique obstrués. Selon une mise en oeuvre préférentielle du procédé de l'invention, la structure obtenue à ce stade du procédé est soumise à une étape de nettoyage, par exemple par spray ou par trempage. Le procédé selon l'invention est alors poursuivi de manière classique par le dépôt d'une barrière de diffusion et d'un métal d'interconnexion. De préférence, le métal d'interconnexion comprend du cuivre. L'invention concerne également un dispositif semiconducteur comprenant un réseau d'interconnexions comprenant au moins une couche d'un matériau diélectrique, et au moins une ligne d'interconnexion ou au moins un via d'interconnexion, caractérisé en ce que, le matériau diélectrique présentant des porosités ouvertes, le dispositif comprend un matériau de remplissage desdites porosités ouvertes, ledit matériau de remplissage étant disposé entre le matériau diélectrique et les vias ou les lignes d'interconnexion. Préférentiellement, le réseau d'interconnexions est réalisé à base de cuivre. L'invention concerne également un dispositif semiconducteur, caractérisé en ce que le matériau de remplissage est disposé sur les parois des tranchées. Le procédé selon l'invention est bien approprié pour la réalisation d'interconnexions en structure simple Damascène ou double Damascène à plusieurs niveaux de métal. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée d'un mode de mise en oeuvre nullement limitatif du procédé de l'invention. La suite de la description se réfère aux figures 1 à 4 et aux étapes principales du procédé de fabrication d'un réseau d'interconnexions en structure double Damascène à un niveau de métal selon ce mode de mise en oeuvre du procédé de l'invention. Les figures 1 à 4 sont des coupes transversales du dispositif d'interconnexion illustrant les différentes étapes du procédé de fabrication de l'invention. La figure 1 montre un plot métallique 1 sur une plaquette non référencée. Le métal utilisé est un métal usuel d'interconnexion, tel que le cuivre, l'aluminium, le tungstène. Toutefois, le procédé de l'invention est particulièrement adapté pour la réalisation d'interconnexions comprenant du cuivre. On dépose successivement sur ce plot métallique 1 une couche barrière 2 et une couche 3 d'un matériau diélectrique appelée ILD (Inter-Layer Dielectric en anglais). La couche barrière 2 peut être par exemple un diélectrique minéral. On dépose ensuite sur la couche 3 une couche d'arrêt 4, puis on grave cette couche d'arrêt 4 pour réaliser des tranchées 6. Les tranchées 6 présentent des parois 6a et 6b, généralement perpendiculaires à la surface supérieure de la couche d'arrêt 4. Puis on procède au dépôt d'une couche 5 d'un matériau diélectrique appelée IMD (Inter-Metal Dielectric en anglais). Ce dépôt est suivi d'une gravure des couches 3 et 5, par exemple par une gravure sèche au fluor. Dans le procédé double Damascène, on utilise généralement le même matériau diélectrique de faible constante diélectrique pour réaliser les couches 3 et 5. On entend par matériau diélectrique de faible constante diélectrique un matériau dont la constante diélectrique est inférieure à 4 et de préférence inférieure ou égale à 3. Le matériau peut être poreux, voire mésoporeux avec une taille moyenne des pores inférieure à 10 nm, voire comprise entre 3 et 6 nm avec une distribution prise entre 1 et 20 nm. Ce matériau diélectrique peut être minéral, organique ou hybride. A titre d'exemple, on peut citer le méthyl sisesquioxane poreux, le xérogel, ou autres matériaux minéraux à structure poreuse. On préférera le xérogel dont la constante diélectrique est de l'ordre de 2. On dépose ensuite sur la couche 5 ainsi que sur les parois 6a et 6b des tranchées 6, préalablement au dépôt d'une barrière de diffusion 9, un matériau de remplissage 8 (voir figure 2). En effet, il s'avère que les parois 6a et 6b des tranchées 6 présentent un certain nombre de porosités ouvertes 7 que le matériau de remplissage 8 est apte à combler. Selon une variante de l'invention, le matériau de remplissage 8 est thermostable. Sa température de décomposition ou de fusion est de préférence supérieure à 450oC, afin notamment de supporter les éventuels recuits lors de la fabrication des composants électroniques. Le matériau de remplissage 8 doit être non poreux, bien qu'il puisse, en vue de l'obtention d'une faible constante diélectrique, présenter un certain volume libre. Par non poreux, on entend que sa porosité empêche la diffusion du métal d'interconnexion et/ou du métal de la barrière métallique dans les porosités ouvertes du diélectrique. Le matériau de remplissage 8 doit présenter une faible constante diélectrique afin d'éviter de trop grandes interactions entre les lignes métalliques du réseau souvent espacées de seulement environ 0, 1 hum. On utilise par exemple des matériaux de remplissage 8 ayant une constante diélectrique inférieure à 4, et de préférence comprise entre 2,5 et 3,5. Plus particulièrement, on choisira un matériau de remplissage 8 de constante diélectrique comprise entre 2,6 et 2,8. Outre ces caractéristiques, le matériau de remplissage 8 doit également posséder une bonne capacité de remplissage, afin de pouvoir combler les porosités ouvertes 7 des couches 3 et 5 du matériau diélectrique, de taille très inférieure à 100 nm. En effet, la taille des pores des diélectriques utilisés peut atteindre 20 nm, voire 10 nm. Par ailleurs, il est souhaitable que le matériau de remplissage 8 soit compatible avec le dépôt ultérieur d'une barrière de diffusion 9, c'est-à-dire qu'il n'y ait pas de dégradation induite par le dépôt PVD (Physical Vapour Deposition en anglais) ou CVD (Chemical Vapour Deposition en anglais) de la barrière de diffusion 9. En outre, du fait d'un dépôt possible de la barrière de diffusion 9 par CVD, il est souhaitable que le matériau de remplissage 8 soit chimiquement stable. Le matériau de remplissage 8 peut être organique, minéral ou hybride. A titre de matériaux de remplissage particulièrement préférés, on peut citer les polymères aromatiques, éventuellemnt eféres, on peut eres aroma e thermostables. Ainsi, on peut utiliser le polymère dénommé SILK commercialisé par la société DOW CHEMICAL, le polymère dénommé FLARE commercialisé par la société HONEYWELL, qui sont des polymères non poreux aromatiques de constante diélectrique de l'ordre de 2,7. Le matériau de remplissage 8 peut être déposé de différentes manières. A titre d'exemple, on peut envisager un dépôt par CVD ou par centrifugation. On préfère toutefois, lorsque cela est possible, le dépôt par centrifugation, notamment lorsque le matériau de remplissage 8 est un polymère. En effet, le dépôt par CVD s'effectue par croissance du matériau de remplissage 8 sur les parois des tranchées 6. Etant données les dimensions des tranchées 6, il y a un risque de formation d'un bouchon avant que le matériau de remplissage 8 n'ait pu remplir les porosités ouvertes 7 des couches 3 et 5 du matériau diélectrique. Ce risque est supprimé avec un dépôt par centrifugation. Si on dépose le matériau de remplissage 8 par centrifugation, celui-ci se présente sous forme d'une dispersion en phase. On dépose alors sur le dispositif une goutte du matériau de remplissage 8. Par centrifugation, cette goutte va s'étaler et couler dans les tranchées 6, puis combler les porosités ouvertes 7 des couches 3 et 5 du matériau diélectrique. Cette étape est réalisée en un temps suffisant pour combler la totalité de la structure poreuse ouverte des couches 3 et 5 du matériau diélectrique. Le matériau de remplissage 8, une fois déposé par centrifugation, est ensuite réticulé afin de le rendre stable. La réticulation peut s'effectuer par diverses méthodes. On peut envisager un traitement thermique à une température de l'ordre de 400 C, ou a une température inférieure. On veille alors à ne pas dépasser la température de décomposition ou de fusion du matériau de remplissage 8. On peut également envisager une réticulation par traitement aux rayons UV ou encore sous faisceau d'électrons. Le matériau de remplissage 8 est ensuite retiré de la surface de la structure Damascène, excepté dans les porosités ouvertes 7 des couches 3 et 5 du matériau diélectrique. Ce retrait peut s'effectuer par gravure anisotrope à l'aide d'un plasma oxydant. La figure 3 montre la structure Damascène à cette étape du procédé, les porosités ouvertes 7 des couches 3 et 5 du matériau diélectrique étant remplies par le matériau de remplissage 8 réticulé. L'étape de gravure du matériau de remplissage 8 peut entraîner une pulvérisation du métal 1 sur les parois des tranchées 6. Afin d'éliminer ces salissures, on peut soumettre la plaquette à une étape de nettoyage, par exemple liquide. Cette étape permet également de supprimer les traces de matériau de remplissage 8 ayant été éventuellement formées lors de l'étape de gravure. Pour compléter le procédé, on dépose une barrière de diffusion métallique 9 puis un métal d'interconnexion 10 dans les tranchées 6 du dispositif semi-conducteur (voir figure 4). Le procédé présente un avantage supplémentaire. Traditionnellement, lors de la recristallisation du métal, les grains du métal croissent latéralement et peuvent dégrader la structure. L'association entre le matériau de remplissage 8 et le matériau diélectrique a pour avantage de consolider latéralement cette structure en la rendant moins friable. On retire ensuite l'excès de métal d'interconnexion 10 de la surface de la couche 5 du matériau diélectrique par un polissage mécano-chimique. La figure 4 montre le dispositif semi-conducteur en fin du procédé Damascène. Au-dessus du plot métallique 1 se trouve la couche barrière 2, au-dessus de laquelle il y a la couche 3 du matériau diélectrique. Sur la couche 3, se trouve la couche d'arrêt 4, et sur la couche d'arrêt 4, la couche 5 du matériau diélectrique. Les porosités ouvertes 7 du matériau diélectrique sont comblées par le matériau de remplissage 8. Les tranchées 6 sont remplies par la barrière de diffusion 9 et le métal d'interconnexion 10. Le dispositif semi-conducteur ainsi réalisé avec des interconnexions Damascène peut avantageusement servir de dispositif de base à la réalisation de nouveaux circuits intégrés dont les performances seront améliorées puisque le risque de court-circuit, du fait de la diffusion métallique dans la structure poreuse du diélectrique des couches ILD et IMD, est réduit. En outre, en incorporant le matériau de remplissage 8 de faible constante diélectrique, on diminue la capacité latérale entre deux lignes métalliques du dispositif semi-conducteur. Ce faisant, on réduit les effets induits d'une ligne sur l'autre. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'un réseau d'interconnexions comprenant le dépôt d'un métal d'interconnexion (10), caractérisé en ce que, préalablement au dépôt du métal d'interconnexion (10), on dépose dans des tranchées (6) formées dans au moins une couche (3,5) d'un matériau diélectrique, un matériau de remplissage (8), de manière à remplir des porosités ouvertes (7) dudit matériau diélectrique, ledit matériau de remplissage (8) étant destiné à empêcher la diffusion ultérieure du métal d'interconnexion (10) et/ou d'un métal d'une barrière de diffusion (9), ledit matériau de remplissage (8) étant en outre non poreux et de faible constante diélectrique. 2. Procédé selon la revendication 1, comprenant les étapes successives suivantes : a) le dépôt du matériau de remplissage (8) b) le dépôt d'une barrière de diffusion (9) dans les tranchées (6) c) le dépôt du métal d'interconnexion (10). 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les tranchées sont formées dans au moins une couche (3,5) d'un matériau diélectrique. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (8) est retiré, excepté dans les porosités ouvertes (7) du matériau diélectrique. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (8) est un polymère, de préférence un polymère aromatique, éventuellement thermostable. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le métal d'interconnexion (10) comprend du cuivre. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (8) a une température de décompostion ou de fusion supérieure à 450 oc. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (8) a une constante diélectrique inférieure à quatre, de préférence comprise entre 2,5 et 3,5, mieux encore comprise entre 2,6 et 2,8. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (8) est capable de remplir des porosités ouvertes (7) de taille inférieure à 100 nm, de préférence inférieures à 20 nm, et encore de préférence inférieures à 10 nm. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (8) est déposé par centrifugation. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (8) est réticulé, une fois déposé. 12. Dispositif semi-conducteur comprenant un réseau d'interconnexions comprenant au moins une couche (3,5) d'un matériau diélectrique, et au moins une ligne d'interconnexion ou au moins un via d'interconnexion, caractérisé en ce que, le matériau diélectrique présentant des porosités ouvertes (7), le dispositif comprend un matériau de remplissage (8) desdites porosités ouvertes, ledit matériau de remplissage (8) étant disposé entre le matériau diélectrique et les vias ou les lignes d'interconnexion. 13. Dispositif semi-conducteur selon la revendication 12, caractérisé en ce que le réseau d'interconnections est réalisé à base de cuivre. 14. Dispositif semi-conducteur selon la revendication 12 ou 13, caractérisé en ce que le matériau de remplissage (8) est disposé sur les parois (6a) et (6b) des tranchées (6).