Brevet FR2809887A1 — publié le 20011207

Dispositif et procédé de contrôle de condensateurs intégrés. L'invention concerne les circuits intégrés, et plus particulièrement le contrôle de condensateurs intégrés, tel que le contrôle de l'appariement ("matching" en langue anglaise) et de la linéarité de ces condensateurs intégrés. L'invention s'applique avantageusement mais non exclusivement au contrôle de la qualité de condensateurs de circuits intégrés réalisés en production. Elle trouve également une application dans le domaine des convertisseurs analogiques-numériques fonctionnant sur le principe des capacités commutées. Un circuit intégré, comportant par exemple un convertisseur analogique numérique à capacités commutées, peut comporter en théorie un certain nombre de condensateurs identiques en terme de valeurs capacitives. Néanmoins, une fois que le circuit intégré a été réalisé sur silicium, ces condensateurs, théoriquement identiques, présentent en pratique des caractéristiques réelles légèrement différentes. Ces caractéristiques réelles se traduisent notamment par des défauts d'appariement, c'est-àdire qu'il existe des différences entre leurs valeurs capacitives réelles respectives. Ces défauts d'appariement sont dus par exemple à des surfaces d'armatures légèrement différentes d'un condensateur à l'autre ou bien à des différences de permittivité des diélectriques d'un condensateur à l'autre. Les causes de ces différences sont généralement liées aux aléas inévitables du procédé de fabrication (qualité d'oxyde déposé non-uniforme, utilisation de plasma, emplacement des condensateurs sur la plaquette,...). Ces mêmes aléas peuvent conduire à des condensateurs présentant des défauts de linéarité, généralement dus à la qualité du diélectrique. On rappelle ici qu'une non-linéarité d'un condensateur se traduit par une valeur capacitive dépendante de la tension appliquée à ses bornes, alors qu'en théorie un condensateur est "linéaire", c'est-à-dire que sa valeur capacitive est indépendante de la tension appliquée à ses bornes. Actuellement, il existe des lois statistiques permettant de déterminer notamment les défauts d'appariement pour des paires de condensateurs adjacents. Cependant, on ne connait pas actuellement une façon simple de contrôler les caractéristiques de condensateurs réalisés, et notamment de déterminer simultanément les défauts d'appariement et de linéarité de condensateurs intégrés en théorie identiques. L'invention vise à remédier à cette lacune. L'invention a pour but de proposer un contrôle simple de contrôle de condensateurs réalisés. Un autre but de l'invention est de proposer un système permettant de déterminer à la fois le défaut d'appariement et la non- linéarité de condensateurs intégrés théoriquement identiques, à l'aide d'un unique paramètre décisionnel qui s'apparente à une résolution en nombre de bits. L'invention a également pour but d'utiliser ce système pour contrôler très rapidement et très efficacement le défaut d'appariement et la nonlinéarité de condensateurs théoriquement identiques appartenant à des circuits intégrés réalisés en production sur une plaquette semi- conductrice. L'invention a encore pour but de déterminer très simplement la résolution maximale réelle de convertisseurs analogiques-numériques réalisés sur circuits intégrés. L'invention a également pour but de proposer un générateur de tensions de référence pour convertisseurs analogiques-numériques qui soit particulièrement robuste et précis. L'invention propose donc un dispositif de contrôle de condensateurs intégrés théoriquement identiques, ce dispositif comprenant une structure capacitive possédant un noeud d'entrée et n noeuds de sortie, n étant un entier supérieur ou égal à 2. La structure capacitive possède également r condensateurs intégrés connectés en série entre deux noeuds voisins, r étant un entier supérieur ou égal à 1. Cette structure capacitive possède encore 1 condensateur intégré connecté entre le noeud d'entrée et la masse et 1 condensateur intégré connecté entre le nème noeud de sortie et la masse. Cette structure capacitive possède en outre r branches capacitives connectées en parallèle entre la masse et chaque noeud de la structure capacitive incluant le premier noeud de sortie et le n-lème noeud de sortie. Chaque branche comporte r+l condensateurs intégrés connectés en série. Tous les condensateurs de la structure capacitive sont théoriquement identiques. Le dispositif de contrôle comporte, outre cette structure capacitive: des moyens de charge aptes à charger chaque noeud de la structure capacitive, - des moyens de mesure aptes à mesurer la charge dans chacun des noeuds de la structure, et - des moyens de comparaison aptes à comparer chaque valeur nodale de charge mesurée avec une valeur nodale de charge théorique, compte tenu d'une tolérance nodale prédéterminée. Bien que r puisse en théorie prendre une valeur entière supérieure ou égale à 1, il est particulièrement intéressant de choisir r=l, ce qui permet d'obtenir un rapport 2 entre les tensions présentes à deux noeuds adjacents de la structure capacitive. Ceci est particulièrement bien adapté en particulier à la conversion analogique-numérique. Selon un mode de réalisation, les moyens de charge comportent une source de tension de référence et un interrupteur commandable connecté entre la source de tension et le noeud d'entrée. Selon un mode de réalisation, les moyens de mesure comportent pour chaque noeud de la structure capacitive, un interrupteur commandable de mesure connecté audit noeud, et un ampèremètre apte à être connecté entre l'interrupteur de mesure et la masse. L'utilisation d'un ampèremètre pour mesurer une charge dans chacun des noeuds de la structure capacitive, est particulièrement avantageuse par rapport à une solution consistant à mesurer des tensions aux bornes de condensateurs car un voltmètre présente des capacités parasites, ce qui peut fausser la mesure. Le dispositif comprend également avantageusement, pour chaque noeud de la structure capacitive, un interrupteur commandable de décharge connecté entre ledit noeud et la masse. Ceci permet de décharger tous les condensateurs avant la mesure. Le dispositif selon l'invention est avantageusement utilisé pour le contrôle de condensateurs intégrés appartenant à un circuit intégré situé sur une pastille d'une plaquette semi-conductrice et délimitée par des chemins de découpe ménagés dans ladite plaquette. La structure capacitive est alors avantageusement insérée dans l'un des chemins de découpe délimitant ladite pastille et la surface d'armature des condensateurs de la structure capacitive est alors choisie au plus égale à la surface d'armature minimale des condensateurs du circuit intégré. En d'autres termes, si par exemple le circuit intégré comporte des condensateurs de même surface d'armature, on choisira alors une structure capacitive constituée de condensateurs de surface d'armature identique. Cependant, si le circuit intégré comporte des condensateurs ayant des surfaces d'armatures différentes, par exemple un groupe de condensateurs ayant une première surface d'armature prédéterminée, et un autre groupe de condensateurs ayant une deuxième surface d'armature égale à la moitié de la première surface d'armature, on choisira alors une structure capacitive dont les condensateurs présentent une surface d'armature égale à la deuxième surface d'armature. En effet, plus la surface d'armature des condensateurs est grande, meilleur est l'appariement entre ces condensateurs. Aussi, si le dispositif de contrôle de l'invention conduit à un appariement jugé acceptable pour des condensateurs ayant la surface minimale, il en sera à forciori de même pour les condensateurs ayant une surface plus grande. La structure capacitive du dispositif selon l'invention peut également être utilisée en tant que générateur de tensions ou de charges de référence pour un convertisseur analogique-numérique à capacités commutées. Dans ce cas, une source de tension est connectée au noeud d'entrée. Les différentes tensions ou charges de référence sont alors respectivement disponibles au niveau des différents noeuds (qui sont des noeuds de sortie) de la structure capacitive. L'utilisation d'une telle structure capacitive pour des convertisseurs analogiques-numériques à capacités commutées est particulièrement avantageuse en raison de son caractère moins sensible aux défauts d'appariement des condensateurs ainsi qu'à leurs défauts de linéarité. L'invention a également pour objet un procédé de contrôle de condensateurs intégrés théoriquement identiques, procédé dans lequel: - on réalise une structure capacitive possédant un noeud d'entrée et n noeuds de sortie, n est un entier supérieur ou égal à 2, r condensateurs intégrés connectés en série entre deux noeuds voisins, r étant un entier supérieur ou égal à 1, un condensateur intégré connecté entre le noeud d'entrée et la masse, un condensateur intégré connecté entre le nème noeud de sortie et la masse, r branches capacitives connectées en parallèle entre la masse et chaque noeud de la stucture capacitive incluant le premier noeud de sortie et le n-1ème noeud de sortie, chaque branche comportant r+l condensateurs intégrés connectés en série, tous les condensateurs de la structure capacitive étant théoriquement identiques, - on charge chaque noeud de la structure capacitive par le noeud d'entrée, - on mesure la charge en chacun des noeuds de la structure, et - on compare chaque valeur nodale de charge mesurée avec une valeur nodale de charge théorique compte tenu d'une tolérance nodale prédéterminée. Selon un mode de mise en oeuvre de l'invention, la charge d'un noeud et la mesure de la charge en ce noeud comportent la succession des étapes suivantes, effectuées à une fréquence prédéterminée pendant une durée prédéterminée: - décharge de tous les noeuds, - charge de tous les noeuds, - connexion d'un ampèremètre entre le noeud à mesurer et la masse, - déconnexion de l'ampèremètre. En d'autres termes, on mesure plusieurs fois par seconde la charge au noeud considéré, ce qui permet d'obtenir une moyenne des mesures conduisant à une lecture plus précise et à une élimination du bruit capacitif de nature aléatoire. La fréquence doit être suffisamment élevée pour permettre à l'ampèremètre d'effectuer une moyenne et de délivrer un courant suffisamment grand, donc pouvant être mesuré avec une bonne précision. Par contre, cette fréquence ne doit pas être trop élevée pour éviter l'injection de charges dans les interrupteurs, provoquant des phénomènes parasites. L'homme du métier saura ajuster la valeur de cette fréquence en fonction des caractéristiques de la structure capacitive et de l'application considérée. A titre indicatif, pour une structure capacitive dont les condensateurs présentent une valeur capacitive de 1 pF, on pourra choisir une fréquence comprise entre 100 KHz et 10 MHz, par exemple de l'ordre de 1 MHz et l'on effectuera la mesure sur une durée de l'ordre de la seconde, par exemple de l'ordre de 3 secondes. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée de modes de mise en oeuvre et de réalisation, nullement limitatifs, et des dessins annexés sur lesquels: - la figure 1 illustre de façon très schématique un mode de réalisation d'un dispositif selon l'invention; - la figure 2 illustre également très schématiquement un organigramme de fonctionnement du dispositif de la figure 1, permettant une mise en oeuvre du procédé selon l'invention; - la figure 3 illustre toujours très schématiquement l'application du dispositif et du procédé selon l'invention au contrôle du défaut d'appariement et de non linéarité de condensateurs de circuits intégrés réalisés sur une plaquette semi-conductrice; et - la figure 4 illustre toujours très schématiquement l'utilisation de la structure capacitive selon l'invention dans un convertisseur analogique-numérique à capacités commutées. Sur la figure 1, la référence DCA désigne un dispositif de contrôle selon l'invention. Ce dispositif de contrôle comporte une structure capacitive SCA possédant un noeud d'entrée ND0 et n noeuds de sortie ND1-NDn. n est un entier supérieur ou égal à 2. La structure capacitive comporte par ailleurs un condensateur intégré C connecté en série entre deux noeuds voisins NDi et NDi+1. Il est également prévu un condensateur intégré C connecté en série entre le nème noeud de sortie, c'est-à-dire ici le noeud NDn, et la masse, ainsi qu'un condensateur intégré C connecté en série entre le noeud d'entrée, c'est-à-dire ici le noeud ND0, et la masse. La structure capacitive comporte par ailleurs une branche capacitive BRi connectée entre la masse et chaque noeud NDi de la structure capacitive, incluant le premier noeud de sortie ND1 et le n-lème noeud de sortie NDn_1. En d'autres termes, la structure capacitive CA comporte n-1 branches capacitives BR1-BRn.1 respectivement connectées aux noeuds ND1-NDn-1. Chaque branche capacitive BRi comporte deux condensateurs intégrés C connectés en série. Tous les condensateurs C de la structure capacitive sont théoriquement identiques. En pratique, ils sont réalisés de façon intégrée au sein d'un substrat semi-conducteur. On verra plus en détail ci-après que, lorsque le dispositif de contrôle DCA est utilisé pour contrôler des condensateurs de circuits intégrés réalisés sur une plaquette semi-conductrice, les condensateurs de la structure capacitive et les condensateurs des circuits intégrés sont réalisés simultanément selon le même procédé de fabrication. Le dispositif de contrôle DCA comporte, outre la structure capacitive SCA, des moyens de charge MCH aptes à charger chaque noeud de la structure capacitive. Ces moyens MCH comportent ici une source de tension de référence STR délivrant une tension de référence V au noeud d'entrée ND0 par l'intermédiaire d'un interrupteur commandable Sv. Le dispositif DCA comporte en outre des moyens de mesure aptes à mesurer la charge en chacun des noeuds de la structure capacitive. Ces moyens de mesure comportent ici, pour chaque noeud de la structure capacitive, un interrupteur de mesure commandable Si connecté au noeud NDi, ainsi qu'un ampèremètre Amp connecté entre l'interrupteur de mesure Si et la masse. Il est également prévu, pour chaque noeud NDi de la structure capacitive, un interrupteur commandable de décharge Sres, connecté entre le noeud NDi et la masse. Sur la figure 1, la référence Cp désigne des condensateurs représentatifs des capacités parasites du système. La structure capacitive SCA selon l'invention présente des propriétés remarquables, à savoir une division de tension de noeud à noeud et une valeur capacitive constante en chaque noeud. Plus précisément, avec le mode de réalisation illustré sur la figure 1 (r=1), la tension à chaque noeud de la structure SCA se divise par deux par rapport à la tension au noeud amont. Si l'on se rapporte à la tension V de la source de tension de référence STR, la tension Vi en chaque noeud NDi de la structure SCA est égale à V/2i. De même, dans le mode de réalisation illustré sur la figure 1, la valeur capacitive en chaque noeud NDi est constante et est égale à 3C/2. Bien entendu, les valeurs de la capacité en chaque noeud ainsi que la valeur de la tension en chaque noeud, indiquées ci-dessus, sont des valeurs théoriques pour le cas o les condensateurs C seraient tous théoriquement identiques. En pratique, il en va différemment compte tenu notamment du défaut d'appariement des condensateurs ainsi que de leur non-linéarité. Une solution consisterait à mesurer précisément la tension réelle Vi en chaque noeud de la structure capacitive réalisée et de la comparer à la valeur théorique. Cependant, ceci nécessiterait l'utilisation d'un voltmètre qui, en raison de sa capacité parasite, pourrait fausser la mesure. Aussi, l'invention prévoit-elle avantageusement de mesurer la charge Qi en chaque noeud NDi de la structure capacitive de façon à obtenir un valeur représentative de la tension Vi sans capacité parasite dans la chaîne de mesure. Par ailleurs, la charge en chaque noeud se divise de la même manière que la tension en chaque noeud. Une façon particulièrement simple et efficace de mesurer cette charge consiste à mesurer le courant Ii en chaque noeud à l'aide de l'ampèremètre Amp. En effet, toutes les capacités parasites sont alors court- circuitées par l'ampèremètre. En outre, au lieu d'effectuer une seule mesure qui serait théoriquement possible, on effectue une mesure plusieurs fois par seconde, ce qui permet de moyenner la lecture de façon à obtenir une lecture plus précise et d'obtenir un courant Ii suffisamment grand. Par ailleurs, cette façon de procéder permet d'éliminer le bruit capacitif aléatoire. On se réfère maintenant plus particulièrement à la figure 2, pour décrire plus en détail un tel mode de mise en oeuvre. La charge Qi, ou encore le courant Ii, va successivement être calculé en chacun des noeuds NDi avec i variant de 0 à n. Au début du processus, tous les interrupteurs Si sont ouverts (étape 20). On initialise le compteur i et un compteur j (étapes 21 et 22) . Dans l'étape 23, on décharge tous les noeuds, et en conséquence le noeud considéré, en fermant et en ouvrant successivement l'interrupteur Sres. Dans l'étape 24, on ferme tout d'abord l'interrupteur Sv pendant une durée prédéterminée, de façon à charger les noeuds de la structure SCA. A titre indicatif, pour un condensateur C ayant une valeur capacitive de 1 pF, on peut laisser l'interrupteur Sv fermé pendant 100 ns. On ouvre ensuite l'interrupteur Sv de façon à permettre la lecture ultérieure. Pour effectuer cette lecture, on ferme dans l'étape 25 l'interrupteur Si puis, après une durée prédéterminée de mesure, on ouvre à nouveau cet interrupteur Si dans l'étape 26. Après avoir incrémenté le compteur j d'une unité (étape 27), on recommence le cycle des étapes 23 à 27 jusqu'à ce que le compteur j atteigne une valeur finale prédéterminée J correspondant à une durée prédéterminée de mesure. A titre indicatif, la durée d'un cycle de décharge de charge et de mesure (étapes 23 à 26) est de l'ordre de 1 ms correspondant à une fréquence f de 1 MHz. Le nombre J est choisi de façon à avoir une intégration de la mesure sur une durée de l'ordre de la seconde, par exemple de l'ordre de 3 secondes. Comme indiqué ci-avant, la fréquence f doit être suffisamment élevée pour permettre une lecture précise du courant avec une valeur de courant suffisamment importante, par exemple de l'ordre de 1 mA, mais pas trop élevée pour éviter l'apparition de phénomènes parasites dus notamment à l'injection de charges dans les interrupteurs. On choisira donc à titre indicatif pour un condensateur C ayant une valeur capacitive de 1 pF, une fréquence comprise entre 100 KHz et 10 MHz. Une fois la mesure Ii effectuée, on incrémente le compteur i d'une unité (étape 29), et on réexécute l'algorithme de décharge, de charge, et de mesure jusqu'à ce que tous les noeuds de la structure capacitive aient été considérés (étape 31). Si l'on revient maintenant à la mesure du courant Ii, la valeur de ce courant est définie par la formule (1) ci-dessous Ii = f Qi = f. (V/2i). (3C/2) (1) De même, la valeur théorique du courant Io, c'est-à-dire le courant au noeud d'entrée, est défini par la formule (2) ci-dessous = f. Q0=f. V. 3C/2 (2) Bien entendu, les valeurs exprimées dans les formules (1) et (2) sont des valeurs théoriques. En pratique, compte tenu notamment des défauts d'appariement et de linéarité, le rapport des courants réels Ii et Io est défini par la formule (3) et peut s'analyser comme la somme d'une valeur théorique THi + une tolérance TLix. Ii/lo = Qi/Q0= (1/2) + (1/2i+x) (3) THi TLix En d'autres termes, la comparaison, effectuée dans l'étape (30) de chaque valeur nodale de charge mesurée avec une valeur nodale de charge théorique, compte tenu d'une tolérance nodale prédéterminée, se traduit ici par la comparaison d'un rapport de courant par rapport à une valeur théorique THi, compte tenu d'une tolérance prédéterminée TLix. Il est ainsi possible d'affecter un coefficient de qualité CQx, vis- à-vis notamment du défaut de linéarité et d'appariement, à la structure Il capacitive SCA. Ce coefficient de qualité CQx est en fait l'indice i du dernier noeudNDi dont le courant Ii satisfait à la formule (3), c'est-à-dire dont le courant Ii se situe dans la fourchette de tolérance fixée. Ainsi, une structure capacitive ayant le coefficient de qualité 4 présentera un moins grand défaut de linéarité et un meilleur appariement qu'une structure capacitive ayant obtenue le coefficient de qualité 2. L'entier x dans la formule (3) peut prendre des valeurs supérieure ou égale à 1. Pour toute valeur de x, le critère de tolérance défini par la formule (3) est plus sensible aux défauts de linéarité qu'aux défauts d'appariement. Par contre, une sensibilité égale pour les défauts de linéarité et pour les défauts d'appariement est obtenue avec le critère accumulatif défini par la formule (4) ci-dessous (i = +,(1/2) (1/2+x)4) k=l 2.j THi TLix dans laquelle i désigne l'indice du noeud considéré. L'entier x dans la formule (4) (avec x 2 1) permet d'augmenter la sensibilité d'une structure capacitive SCA pour une valeur de "n" fixe et donnée. Typiquement, si pour une structure SCA pour laquelle n est égal à , le coefficient de qualité CQ1, obtenu pour x égal à 1, avait sa valeur limite égale à 20, le fait d'utiliser une valeur de x égale à 2 par exemple, permettrait d'élargir virtuellement la limite de caractérisation de la structure SCA, et d'obtenir un critère de qualité CQ2 inférieur à 20 correspondant à une contrainte plus importante. D'autres critères, autres que ceux définis par les formules (3) et (4), peuvent être également utilisés. Matériellement, on peut prévoir un microprocesseur mettant en oeuvre par logiciel l'organigramme de la figure 2, de façon à commander les différents interrupteurs et à effectuer les comparaisons prévues à l'étape 30. De même, l'ampèremètre peut être physiquement relié aux différents plots de contact de la structure capacitive SCA au moyen de pointes d'un testeur classique. La structure capacitive SCA peut être utilisée pour différentes applications. Elle peut permettre de tester par exemple des procédés différents de fabrication de condensateurs, de façon à utiliser le procédé qui conduira à minimiser les défauts de linéarité et d'appariement dans les condensateurs. La structure SCA permet également de caractériser très simplement la résolution maximale réelle d'un convertisseur analogique- numérique à capacités commutées. En effet, le coefficient de qualité que l'on a évoqué plus haut, c'est-à-dire le nombre correspondant à l'indice du dernier noeud de la structure ayant satisfait au critère défini par la formule (3) notamment ou par la formule (4) par exemple, correspond en fait à un nombre de bits représentatif de la résolution maximale du convertisseur analogique-numérique à capacités commutées. L'invention permet également de contrôler le défaut d'appariement et de linéarité de condensateurs de circuits intégrés ou bien la résolution maximale réelle de convertisseurs analogiques-numériques à capacités commutées, en réalisant cette structure capacitive dans des chemins de découpe d'une plaquette semi-conductrice PQS telle que celle illustrée sur la figure 3. En effet, de façon classique, la plaquette PQS comporte sur sa surface des chemins de découpe CHD qui délimitent des pastilles de silicium PST supportant en général un circuit intégré CI. Une fois les circuits intégrés réalisés, la plaquette PQS est découpée à la scie selon les chemins de découpe, de façon à obtenir les différentes pastilles supportant les circuits intégrés. On peut alors associer à chaque circuit intégré CI une structure capacitive SCA que l'on va réaliser dans un chemin de découpe CHD adjacent à ce circuit intégré CI, et simultanément à la réalisation des condensateurs du circuit intégré CI et en utilisant le même process de fabrication. Le microprocesseur de commande et de mesure ainsi que l'ampèremètre sont connectés aux plots de la structure SCA et sont disposés à l'extérieur de la plaquette. En déterminant ensuite le coefficient de qualité de la structure capacitive SCA associée à ce circuit intégré, de la façon qui vient d'être décrite, on peut en déduire le coefficient de qualité des condensateurs du circuit intégré ainsi qu'éventuellement la résolution maximale réelle de convertisseur analogique numérique faisant partie de ce circuit intégré. Ceci permet de comparer la qualité des lots de fabrication les uns par rapport aux autres. Bien entendu, lors de la découpe de la plaquette, les structures SCA seront détruites. L'invention permet également avantageusement d'utiliser une structure capacitive SCA selon l'invention comme générateur de tensions de référence (ou de charges de référence "Qi") pour un convertisseur analogique-numérique CAN à capacités commutées, tel que celui illustré très schématiquement sur la figure 4. A cet égard, le noeud d'entrée de la structure SCA est relié à la tension de référence V délivrée par la source de tension de référence STR. Les différents noeuds de la structure SCA fournissent différentes tensions de référence qui sont délivrées à une logique de codage LCN, de structure classique et connue en soi. Cette logique de commande reçoit par ailleurs la tension analogique Ve à convertir. Par un système classique de commutateurs associé à un amplificateur reboudé par une capacité, et une logique dichotomique associée à un comparateur, la sortie du convertisseur analogique- numérique fournit un mot numérique sur n bits correspondant à la tension analogique d'entrée Ve. Une telle structure SCA est particulièrement intéressante pour l'utilisation au sein d'un convertisseur analogique-numérique en raison de son caractère très peu sensible (robuste) aux défauts d'appariement. En effet, si un défaut d'appariement ou de non-linéarité existe entre des condensateurs de la structure SCA à un noeud donné, ce défaut d'appariement de nature aléatoire sera successivement divisé par deux et compensé en moyenne au fur et à mesure de la progression dans les noeuds suivants. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation et de mise en oeuvre qui viennent d'être décrits, mais en embrasse toutes les variantes. Ainsi, même si le mode de réalisation illustré ci-avant pour la structure SCA (deux condensateurs par branche; r=l) est particulièrementavantageux pour une application binaire, il serait possible d'utiliser des valeurs de r plus élevées, par exemple r=2. Ceci conduirait à avoir trois condensateurs par branche et deux condensateurs en série reliant deux noeuds adjacents. On obtiendrait alors des tensions successivement divisées par trois et une valeur capacitive constante en chaque noeud égale à 4C/3. REVENDICATIONS 1. Dispositif de contrôle de condensateurs intégrés théoriquement identiques, comprenant une structure capacitive (SCA) possédant un noeud d'entrée (ND0) et n noeuds de sortie (NDi), n étant un entier supérieur ou égal à 2, r condensateurs intégrés (C) connectés en série entre deux noeuds voisins, r étant un entier supérieur ou égal à 1, un condensateur intégré (C) connecté entre le noeud d'entrée (ND0) et la masse, un condensateur intégré connecté (C) entre le nème noeud de sortie (ND1) et la masse, r branches capacitives (BRi) connectées en parallèle entre la masse et chaque noeud de la structure capacitive incluant le premier noeud de sortie (ND1) et le n- elème noeud de sortie (NDn1), chaque branche (BRi) comportant r+1 condensateurs intégrés (C) connectés en série, tous les condensateurs (C) de la structure capacitive étant théoriquement identiques, des moyens de charge (MCH) aptes à charger chaque noeud de la structure capacitive, des moyens de mesure (Si, Amp) aptes à mesurer la charge en chacun des noeuds de la structure, et des moyens de comparaison aptes à comparer chaque valeur nodale de charge mesurée avec une valeur nodale de charge théorique compte tenu d'une tolérance nodale prédéterminée. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que r est égal à 1. 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé par le fait que les moyens de charge (MCH) comportent une source de tension de référence (STR), et un interrupteur commandable (Sv) connecté entre la source de tension et le noeud d'entrée. 4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les moyens de mesure comportent pour chaque noeud de la structure capacitive, un interrupteur commandable de mesure (Si) connecté audit noeud, et un ampèremètre (Amp) apte à être connecté entre l'interrupteur de mesure et la masse. 5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait qu'il comprend, pour chaque noeud de la structure capacitive, un interrupteur commandable de décharge (Sres) connecté entre ledit noeud et la masse. 6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, utilisé pour le contrôle de condensateurs intégrés appartenant à un circuit intégré (CI) situé sur une pastille (PSI) d'une plaquette semiconductrice (PQS) et délimitée par des chemins de découpe (CHD) ménagés dans ladite plaquette, caractérisé par le fait que la structure capacitive (SCA) est insérée dans l'un des chemins de découpe délimitant ladite pastille, la surface d'armature des condensateurs (C) de la structure capacitive étant au plus égale à la surface minimale d'armature des condensateurs du circuit intégré. 7. Convertisseur analogique-numérique, comportant un générateur de tensions ou de charges de référence aptes à être comparées à une tension ou charge analogique à convertir, caractérisé par le fait que le générateur de tensions ou de charges de référence comporte une structure capacitive (SCA) selon la revendication 1 ou 2, et une source de tension (STR) connectée au noeud d'entrée (ND0), le noeud de sortie (NDn) étant connecté à la masse, les différentes tensions ou charges de référence étant respectivement disponibles au niveau des différents noeuds (NDi) de la structure capacitive. 8. Procédé de contrôle de condensateurs intégrés théoriquement identiques, dans lequel on réalise une structure capacitive (SCA) possédant un noeud d'entrée et n noeuds de sortie, n étant un entier supérieur ou égal à 2, r condensateurs intégrés connectés en série entre deux noeuds voisins, r étant un entier supérieur ou égal à 1, un condensateur intégré connecté entre le noeud d'entrée et la masse, un condensateur intégré connecté entre le nème noeud de sortie et la masse, r branches capacitives connectées en parallèle entre la masse et chaque noeud de la structure capacitive incluant le premier noeud de sortie et le n-1ème noeud de sortie, chaque branche comportant r+1 condensateurs intégrés connectés en série, tous les condensateurs de la structure capacitive étant théoriquement identiques, on charge chaque noeud (NDj) de la structure capacitive, on mesure la charge en chacun des noeuds (NDi) de la structure, et on compare chaque valeur nodale de charge mesurée avec une valeur nodale de charge théorique compte tenu d'une tolérance nodale prédéterminée. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé par le fait que la charge d'un noeud (NDi) et la mesure de la charge en ce noeud (NDi) comporte la succession des étapes suivantes, effectuées à une fréquence prédéterminée pendant une durée prédéterminée: - décharge de tous les noeuds, - charge de tous les noeuds, - connexion d'un ampèremètre (Amp) entre le noeud à mesurer (NDi) et la masse, - déconnexion de l'ampèremètre (Amp). 10. Utilisation du procédé selon l'une des revendications 8 ou 9, pour le contrôle de condensateurs ou de la résolution maximale de convertisseurs analogiques-numériques à capacités commutées réalisés sur une plaquette semi-conductrice.