Brevet FR2819921A1 — publié le 20020726

Dispositif de transmission de données pour la transmission séparée galvaniquement de signaux et utilisation du dispositif L'invention se rapporte à un dispositif de transmission de données pour la transmission séparée galvaniquement de signaux à un grand débit de transmission de données. Le dispositif comporte à cet effet une bobine primaire, produisant un champ magnétique de signal ainsi que, séparée galvaniquement de cette bobine primaire, une bobine secondaire couplée inductivement à la bobine primaire, ces bobines étant constituées de conducteurs électriques en couche mince. Un dispositif de transmission de données de ce genre est décrit au moins à la date de la demande à l'adresse Internet "http://www.analog.com/industry/unic/isolationtechn. html". L'invention concerne en outre une utilisation particulière de ce dispositif. Dans de nombreux domaines de la technique, comme notamment la transmission numérique d'informations ou la technique de mesure, on exige une transmission sans potentiel de signaux électriques. On utilise, pour la transmission séparée galvaniquement de signaux dans la technique des communications et d'automatisation, principalement ce que l'on appelle des octocoupleurs. On envoie à cet effet sur une entrée un signal électrique (primaire) de données, que l'on transforme au moyen d'une diode électroluminescente (LED) en un signal optique de rayonnement. Ce signal de rayonnement est transmis à travers un milieu isolant et transparent du point de vue optique à un élément optique formant détecteur o il est retransformé en un signal électrique (secondaire). Le débit de transmission d'une transmission numérique d'information de ce genre au moyen d'octocoupleurs est limité par la largeur de bande limitée des éléments optiques (à peu près de 50 à 100 MBd correspondant à 25 à 50 MHz) et leur forme est limité par la possibilité restreinte d'intégration des éléments optiques dans la technologie du silicium. En outre, les éléments optiques ne peuvent fonctionner que dans un intervalle de températures atteignant au maximum à peu près 85 C et de plus en général seulement à des tensions d'alimentation d'au moins 5 V. Il est en outre connu, dans le domaine de la magnétoélectronique, de constituer des éléments capteurs magnétorésistifs que l'on appelle des magnétocoupleurs qui permettent également une transmission séparée galvaniquement de données (voir par exemple WO98/07165). Dans ce cas, les limites indiquées des octocoupleurs sont nettement dépassées en ayant par exemple un débit de transmission de données nettement plus grand et la possibilité d'alimenter des composants correspondants à des tensions plus petites que 5 V. En outre, des magnétocoupleurs de ce genre à composants électroniques de la technologie Si peuvent être intégrés. Un magnétocoupleur correspondant qui ressort du WO98/07165 a, pour détecter le courant, quatre éléments capteurs par lesquels on peut détecter un champ magnétique de signal, lequel est produit au moyen d'un flux de courant dans une bobine plate. Les pistes conductrices de cette bobine plate s'étendent orthogonalement sur les éléments capteurs, et sont séparées galvaniquement de ceux-ci. Les éléments capteurs sont constitués sous la forme de systèmes stratifiés et peuvent présenter notamment ce que l'on appelle l'effet GMR. Le coût de fabrication de magnétocoupleurs correspondants est toutefois relativement grand, car il faut une structure stratifiée. La présente invention vise un dispositif de transmission de données ayant les caractéristiques mentionnées ci-dessus, qui permet d'avoir une structure relativement simple. On y parvient suivant l'invention par le fait qu'il est prévu un noyau magnétique en couche mince, en un matériau magnétiquement doux comme agent de couplage entre la au moins une bobine primaire et la au moins une bobine secondaire. Les avantages procurés par ce dispositif de transmission de données résident notamment dans le fait que l'on peut effectuer d'une manière relativement simple et avec relativement moins de stades de procédés en technique en couche mince, la structure constituée tant du noyau magnétique que l'enroulement de parties de celui-ci par les bobines. Les épaisseurs de couche de toutes ces parties en couche mince sont en l'occurrence inférieures à 50 pm et de préférence inférieures à 10 pm. Une structure correspondante est relativement insensible au champ extérieur parasite et peut notamment être entièrement intégrée avec des composants de la technique des semiconducteurs, notamment de la technique Si. En outre, on peut obtenir ainsi facilement des débits de transmission de données sensiblement plus grands que pour un octocoupleur, de préférence de plus de MBd, tout en ayant une séparation galvanique des signaux. Le dispositif est caractérisé de préférence par une constitution en coupleur à bobine plate ayant un noyau magnétique en couche mince, qui a deux parties de noyau plat disposées dans des plans parallèles et reliés entre eux au moyen d'une partie centrale de noyau et sur leur bord par au moins une partie marginale de noyau, les bobines constituées sous forme de bobines plates étant disposées entre les parties de noyau plates. Une structure correspondante peut être obtenue par des procédés connus de dépôt en couche mince et par des procédés connus de structuration, sans aucune difficulté. En raison des parties de noyau magnétique recouvrant en surface les bobines, on assure un bon blindage. Dans un dispositif de ce genre, la partie marginale de noyau est fermée en direction périphérique à la façon d'un noyau de type en pot. Le blindage latéral des bobines est ainsi particulièrement bon. Dans un coupleur à bobine plate de ce genre, chaque bobine comprend avantageusement deux sous-bobines disposées dans des plans parallèles. Respectivement deux sous bobines appartenant à des bobines différentes se trouvent dans un plan commun et sont entrelacées. Le couplage inductif des bobines est ainsi particulièrement bon. Mais il est en outre possible que les bobines, avec leurs sous-bobines, soient séparées dans l'espace les unes des autres. Au lieu de constituer les bobines sous la forme de bobines plates, cellesci peuvent être aussi formées de parties conductrices se trouvant dans deux plans, reliées entre elles respectivement sur leur bord et avec interposition entre elles d'au moins une partie du noyau magnétique. L'obtention de bobines correspondantes est particulièrement simple. Des bobines adéquates, que l'on peut envisager notamment pour des dispositifs de transmission de données, sont sous forme de coupleur à noyau annulaire, qui ont un noyau magnétique en couche mince sous la forme d'un anneau fermé. Le noyau magnétique à couche mince peut avoir avantageusement une forme de rondelle ou une autre forme fermée. Mais il est aussi possible de prévoir des bobines correspondantes pour un dispositif de transmission de données sous la forme d'un coupleur de brin, dont le noyau magnétique est constitué en forme de bande. Cela signifie que son noyau magnétique a, contrairement à une forme annulaire fermée, une forme ouverte du côté de l'extrémité. Le dispositif de transmission de données suivant l'invention peut, d'une manière avantageuse en raison du bon couplage entre la bobine primaire et la bobine secondaire, être utilisé pour transmettre des signaux à un débit de transmission des données supérieur à 100 MBd et de préférence supérieur à 200 MBd. De préférence, les bobines sont recouvertes au moins d'un côté d'un blindage plat en matériau magnétique. Le matériau magnétique peut être en ferrite ou en une autre céramique, liée le cas échéant par de la matière plastique. Pour expliciter davantage l'invention, on se reportera dans ce qui suit aux dessins, dont les figures illustrent respectivement les modes de réalisation préférés de manière schématique de dispositifs de transmission de données suivant l'invention. Aux dessins: Les figures 1 à 3 sont des vues en plan de stades de fabrication d'un coupleur à bobine plate ayant des bobines entrelacées entre elles, la figure 4 est une vue en coupe transversale d'un coupleur de bobine plate suivant la figure 3, les figures 5 et 6 sont des vues en plan et en coupe transversale d'un coupleur de bobine plate ayant des bobines distinctes, les figures 7 à 9 sont des vues en plan illustrant divers stades de fabrication d'un coupleur à noyau annulaire ayant des bobines entrelacées entre elles, la figure 10 est une vue en coupe transversale du coupleur à noyau annulaire suivant la figure 9, les figures 11 et 12 sont des vues en plan et en coupe transversale d'un coupleur à noyau annulaire ayant des bobines séparées, tandis que, les figures 13 et 14 sont des vues en plan et en coupe transversale d'un coupleur de brin à bobines séparées. Des parties qui se correspondent sont munies des mêmes signes de référence dans les diverses structures. Pour produire un dispositif de transmission de données suivant l'invention sous la forme d'un coupleur à bobines plates, ayant un noyau magnétique en couche mince (épaisseur de couche inférieure à 50 pm de s préférence inférieure à 10 pm) et le cas échéant des bobines primaires et secondaires couplées par induction, à obtenir également suivant la technique en couches minces (épaisseur de couche inférieure à 50 pm et de préférence inférieure à 10 pm), on procède comme indiqué ci-dessous en se reportant aux figures 1 à 4. On a choisi, dans ces figures, des lignes en trait plein pour o10 les bobines primaires et des lignes en tirets pour les bobines secondaires. En outre, on a prévu, pour des conducteurs se trouvant dans une première couche ou plan, une épaisseur de traits plus mince que pour les conducteurs se trouvant dans une deuxième couche (plan) , bien que les épaisseurs des conducteurs, notamment la largeur des conducteurs des deux bobines, soient identiques d'une manière générale. Suivant la figure 1, on structure d'abord dans un premier plan sur un substrat qui n'est pas représenté à la figure, une partie 2a inférieure du noyau magnétique en un matériau magnétique doux. A l'exception des zones marginales et du centre, on dépose alors sur cette partie de noyau une couche isolante qui n'est pas représentée à la figure. Cette couche isolante sert de support pour deux sous-bobines 3a et 4a plates entrelacées l'une dans l'autre, qui sont obtenues également par une technique en couche mince et qui entourent le centre de la partie 2a du noyau. La première sous-bobine 3a est supposée appartenir à une bobine primaire, tandis que la deuxième sous- bobine serait une bobine secondaire. Les surfaces de contact de ces deux sous-bobines sont désignées par k31 et k32 ou k41 et k42. Après avoir déposé sur ces deux sous-bobines une autre couche isolante non représentée, en épargnant le centre et les zones marginales de la partie 2a inférieure du noyau, ainsi que les surfaces k32 et k42 de contact proche du centre, on forme sur celles-ci les deux sous-bobines 3b et 4b entrelacées entre elles que l'on peut voir à la figure 2 des bobines primaires et secondaires, comme les sous-bobines 3a et 4a sous-jacentes. Ces deux sous-bobines sont recouvertes, comme les sous bobines inférieures, d'une couche isolante qui n'est pas représentée et sont mises en contact sur la figure 3 dans la région de leur surface k32 et k42 centrale de contact. La structure ainsi obtenue est ensuite revêtue d'une couche en le matériau du noyau magnétique, de manière à obtenir une partie 2b supérieure de noyau se trouvant dans un deuxième plan. Cette partie de noyau est reliée au centre à la partie 2a inférieure de noyau par une partie 2c centrale de noyau et dans les zones marginales entourant les sous-bobines par au moins une partie 2b marginale de noyau. Cette partie marginale de noyau peut être fermée dans la direction périphérique à la façon de noyau du type en pot, les traversées représentées à la figure 3 pouvant être prévues pour les sous-bobines individuelles. La figure 4 est une vue en coupe transversale du coupleur 5 à bobine plate ainsi obtenu ayant le noyau 2 magnétique du type en pot avec sa partie 2a de noyau inférieur, dont la surface se trouve dans un premier plan El, et sa partie 2b de noyau supérieur, dont la surface se trouve dans un deuxième plan E2. Entre les deux parties 2a et 2b de noyau à distance l'une de l'autre, se trouvent d'une manière isolée d'une point de vue électrique dans deux plans E3 et E4 parallèles, les sous-bobines 3a, 4a et 3b, 4b respectivement entrelacées entre elles. Les sous-bobines 3a et 3b mises en contact entre elles suivant la figure 3, forment dans les plans E3 et E4 par exemple les bobines primaires, tandis que les sous- bobines 4a et 4b forment les bobines secondaires. Les intervalles entre les bobines et les parties du noyau 2 sont emplis d'un matériau électriquement isolant constituant une isolation 7. Suivant un exemple de réalisation concret pour réaliser le coupleur 5 à bobine plate que l'on voit aux figures 1 à 4, on prévoit la succession suivante de couches. 1. Matériau magnétique de 2 à 4 pm environ pour la partie 2a inférieure du noyau (2), 2. Matériau (7) isolant de 2 pm, 3.1 pm de cuivre structuré pour les sous-bobines (3a et 4a) inférieures, 4. 2 pm de matériau (7) isolant ayant des passages, 5. 1 pm de cuivre structuré pour les sousbobine (3b et 4b) supérieures, 6. 2 pm de matériau (7) isolant ou de passivation, 7. Matériau magnétique d'une épaisseur de 2 à 4 pIm environ pour la partie (2b) supérieure du noyau (2) servant en même temps de blindage magnétique. Un autre mode de réalisation d'un coupleur à bobine plate ressort de la vue en plan et de la vue en coupe des figures 5 et 6, pour lesquelles on a choisi une représentation qui correspond à celle des figures 3 et 4. Ce coupleur à bobine plate est désigné d'une manière générale par 9 et se distingue du mode de réalisation du coupleur 5 à bobine plate suivant les figures I à 4, essentiellement seulement par le fait que ses sous-bobines 3a et 3b d'une bobine 3 primaire ne sont pas entrelacées avec les sousbobines 4a et 4b correspondantes d'une bobine 4 secondaire. Bien au contraire, dans le mode de réalisation du coupleur 9, les bobines 3 et 4 sont séparées dans l'espace, leurs sous-bobines 3a et 3b ou 4a et 4b respectives étant disposées dans des plans E3a et E3b ou E4a et E4b parallèles et à distance les uns des autres. Le contact des sous-bobines individuelles s'effectue dans ce cas, comme pour les sous-bobines des figures 1 à 3, sur des surfaces k32 et k42 centrales de contact. Suivant un exemple de réalisation concret du coupleur 9 à bobine plate que l'on peut voir aux figures 5 à 6, on prévoit la succession suivante de couches. 1. Matériau magnétique d'une épaisseur de 2 à 4 pm environ pour la partie (2a) inférieure du noyau (2), 2.2 pm de matériau (7) isolant, 3. 1 pm de cuivre structuré pour les sous-bobines (4a et 4b) inférieures, 4. 0,5 pm de matériau isolant ayant des traversées (7), 5. 1 pm de cuivre structuré pour la sortie des sous-bobines (4a, 4b) inférieures, 6. 2 pm de matériau (7) isolant, 7. 1 pm de cuivre structuré pour les sous-bobines (3a, 3b) supérieures, 8. 0,5 pm de matériau isolant ayant des traversées (7), 9. 1 pm de cuivre structuré pour la sortie des sous-bobines (3a, 3b) supérieures, 10. 2 pm de matériau isolant ou de passivation (7), 11. du matériau magnétique en une épaisseur de 2 à 4 pm environ pour la partie 2b supérieure du noyau 2, en même temps que pour servir de blindage magnétique. Dans les modes de réalisation du dispositif de transmission de données sous la forme de coupleurs 5 et 9 plats sur les figures 1 à 6, on est partis du fait que son noyau 2 magnétique a des parties 2a et 2b de noyau se trouvant dans des plans parallèles. En s'écartant de cela, les modes de réalisation représentés dans ce qui suit ont des noyaux magnétiques en couche mince dont les parties ne sont que dans un plan. Les noyaux magnétiques peuvent avoir aussi bien une structure annulaire fermée (voir les figures 7 à 12), qu'une structure ouverte, notamment en forme de bandes (voir les figures 13 et 14). Dans ces modes de réalisation, les bobines primaires et secondaires sont formées respectivement par deux parties conductrices se trouvant dans des plans parallèles, qui sont reliées par leur bord et entre lesquelles se trouvent respectivement au moins une partie du noyau magnétique associé. Aux figures 7 à 14, les conducteurs électriques des bobines primaires sont représentés par des lignes en trait plein et les conducteurs électriques des bobines secondaires sont représentés par des lignes en tirets. Pour fabriquer un dispositif de transmission de données suivant l'invention sous la forme d'un coupleur à noyau annulaire ayant un noyau magnétique en couche mince en forme de rondelle et également des bobines entrelacées, couplées inductivement et pouvant se fabriquer par la technique en couche mince, on forme d'abord suivant la figure 7 des parties 10 Oa et 11a conductrices se trouvant dans un premier plan E5 et s'étendant radialement, d'une bobine primaire ou secondaire ayant des surfaces k1 01 et kl111 de contact. Une zone 12 centrale d'ouverture est ménagée et munie ensuite d'un isolant qui n'est pas représenté. Ensuite, on dépose suivant la figure 8, le matériau magnétique doux d'un noyau 13 magnétique en forme de rondelle, les extrémités el centrales et les extrémités e2 marginales extérieures des parties 1 Oa et 1 la conductrices étant maintenues dégagées. Après dépôt d'un matériau isolant qui n'est pas représenté et qui recouvre cette structure, on forme suivant la figure 9 les parties 1 Ob et 1 b conductrices, se trouvant dans un deuxième plan E6 et s'étendant radialement, des bobines primaires et secondaires, un contact avec les parties 10 Oa et 11a conductrices se trouvant dans le plan E5 inférieur étant produit sur les extrémités el centrales et les extrémités e2 marginales extérieures. Il est illustré en outre à la figure des surfaces k1 02 et k1 12 de contact pour les parties 10 Ob et 11b conductrices supérieures. La figure 10 représente une vue en coupe transversale du coupleur 15 annulaire ainsi obtenu ayant un noyau 13 magnétique en forme de rondelles et une bobine 10 primaire et une bobine 11 secondaire entrelacées entre elles et enroulées sur ce noyau. Les parties isolantes sont à nouveau désignées d'une manière générale par 7. Le coupleur 15 en anneau peut être muni le cas échéant encore sur au moins une face plate d'une mince couche en le matériau magnétique servant de couche de blindage. Suivant un exemple de réalisation concret, on prévoit la succession de couches suivantes pour constituer un coupleur à noyau en anneau de ce genre: 1. Du matériau magnétique en une épaisseur de 1 à 2 pm environ comme couche de blindage, 2.2 pm de matériau (7) isolant, 3.1 pm de cuivre structuré pour les parties (10a, 11a) conductrices inférieures, 4. 2 pm de matériau (7) isolant ayant des traversées (trous métallisés), 5. du matériau magnétique à raison de 5 à 10 pm pour le noyau (13), 6. 2 pm de matériau (7) isolant ayant des traversées (trous métallisés) 7. 1 pm de cuivre structuré pour les parties (10b, 11b) conductrices supérieures des bobines, 8. 2 pm de matériau isolant ou de passivation, 9. du matériau magnétique en une épaisseur d'environ 1 à 2 pm comme couche de blindage. Sans le blindage, les couches suivant les premièrement, deuxièmement et neuvièmement sont omises. Mais la couche suivant le huitièmement reste en tant que passivation. Les figures 11 et 12 représentent un autre mode de réalisation d'un coupleur 17 à noyau en anneau, en vue en plan et en vue en coupe transversale. Dans ce coupleur à noyau en anneau, les spires de sa bobine 18 primaire et sa bobine 19 secondaire ne sont toutefois pas entrelacées entre elles, mais séparées l'une de l'autre dans l'espace. Elles entourent deux parties opposées parallèles de son noyau 20 magnétique de forme rectangulaire et fermée en un anneau. Pour ce coupleur 17 à noyau en anneau aussi, on peut prévoir une succession de couches comme pour le coupleur 15 à noyau en anneau des figures 7 à 10. Les surfaces de contact de ces bobines sont désignées à nouveau par k1l01 et k102 ou kl 1 1 et k1 12. Les figures 13 et 14 représentent un autre mode de réalisation d'un coupleur désigné par 22 dans une représentation qui correspond à celle des figures 11 et 12. Ce coupleur 22 est réalisé en coupleur de brin. Il se distingue du mode 17 de réalisation des figures 11 et 12 essentiellement seulement par le fait que son noyau 23 magnétique n'est plus fermé en un anneau, mais a une forme ouverte, notamment une forme en bande (= forme en brin). La section transversale de la figure 14 est prise dans la région de la bobine 18 primaire. Dans ce cas aussi, il peut être prévu, pour la fabrication du coupleur, une succession de couches comme pour le coupleur 17 à noyau en anneau. Dans les dispositifs de transmission de données suivant l'invention, qui peuvent être conformés suivant l'exemple de réalisation précédent en tant que coupleur inductif de types très divers, on utilise respectivement un noyau magnétique qui est produit par une technique en couche mince et sur lequel sont enroulées des spires de bobines fabriquées également en technique en couche mince pour transmettre d'une manière galvaniquement séparée des signaux à un grand débit de transmission notamment supérieur à 100 MBd. Le noyau respectif et les bobines correspondantes peuvent être produits sur divers substrats. On peut faire appel notamment à des substrats en silicium et en SOI (silicium sur isolant), puisque l'on peut fabriquer sur ces substrats en même temps aussi l'électronique nécessaire de commande et d'exploitation suivant une technique normalisée. On obtient ainsi également la bonne possibilité d'intégration du coupleur respectif. Pour le matériau du noyau, on peut utiliser les matériaux les plus divers. On obtient une grande sécurité avec des matériaux de coeur magnétique doux qui ont une conductivité électrique aussi basse que possible, notamment inférieure à 0,1 [Qcm]-1. Les matériaux de coeur appropriés sont par exemple des ferrites ou divers autres matériaux en céramique. Comme matériaux de noyau, on peut faire en outre appel à des matériaux magnétiques doux liés par de la matière plastique et pouvant être déposés le cas échéant par une technique sérigraphique. Comme exemple de matériaux magnétiques doux, on peut citer notamment aussi des alliages de fer nanocristallins. Les conducteurs des bobines peuvent être en cuivre ou en aluminium ou également en alliages de ces métaux. On peut obtenir d'une manière en soi connue des rigidités diélectriques différentes et des sections de courant de fuite différentes suivant le mode de réalisation. 1 2819921 REVENDICATIONS 1. Dispositif de transmission de données pour la transmission séparée galvaniquement de signaux à grand débit de transmission de données, ce dispositif comprenant une bobine primaire produisant un champ magnétique de signal ainsi que, séparée galvaniquement de cette bobine primaire, une bobine secondaire couplée inductivement à la bobine primaire, ces bobines étant constituées de conducteurs électriques en couche mince, caractérisé en ce qu'il est prévu un noyau (2, 13, 20, 23) magnétique en couche mince, en un matériau magnétiquement doux comme agent de couplage entre la au moins une bobine (3, 10, 18) primaire et la au moins une bobine (4, 11, 19) secondaire. 2. Dispositif suivant la revendication 1, caractérisé par une constitution en coupleur (5, 9) à bobine plate ayant un noyau (2) magnétique en couche mince, qui a deux parties (2a, 2b) de noyau plat disposées dans i des plans parallèles et reliés entre eux au moyen d'une partie (2c) centrale de noyau et sur leur bord par au moins une partie (2d) marginale de noyau, les bobines (3, 4) constituées sous forme de bobines plates étant disposées entre les parties (2a, 2b) de noyau plates. 3. Dispositif suivant la revendication 2, caractérisé en que la partie (2d) marginale de noyau est fermée en direction périphérique à la façon d'un noyau de type en pot. 4. Dispositif suivant la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que chaque bobine (3, 4) a deux sous bobines (3a, 3b et 4a, 4b) se trouvant dans des plans (E3, E4 et E3a, E3b, E4a, E4b) parallèles. 5. Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce que respectivement deux sous bobines (3a, 4a et 3b, 4b) appartenant à des bobines (3, 4) différentes se trouvent dans un plan (E3 et E4) commun et sont entrelacées. 6. Dispositif suivant la revendication 4, caractérisé en ce que les bobines (3, 4) sont séparées dans l'espace (figures 5 et 6). 7. Dispositif suivant l'une des revendications I à 6, caractérisé par des bobines (10, 11, 18, 19) ayant des parties (10Oa, 11a et 10Ob, 11b) conductrices se trouvant dans deux plans, reliées entre elles respectivement sur leur bord et avec interposition entre elles d'au moins une partie du noyau (13, 20) magnétique. 8. Dispositif suivant la revendication 7, caractérisé par une constitution sous la forme d'un coupleur à noyau annulaire ayant un noyau (13, 20) magnétique en couche mince sous la forme d'un anneau fermé. 9. Dispositif suivant la revendication 8, caractérisé en ce que le noyau (13, 20) magnétique en couche mince a la forme d'une rondelle annulaire ou une autre forme fermée. 10. Dispositif suivant la revendication 7, caractérisé par une constitution sous la forme d'un coupleur de brin ayant un noyau (23) magnétique sous la forme d'une bande ouverte du côté d'extrémité. 11l. Dispositif suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les bobines sont recouvertes au moins d'un côté d'un blindage plat en matériau magnétique doux. 12. Dispositif suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé par un matériau magnétique doux en ferrite ou en une autre céramique qui est éventuellement liée par de la matière plastique. 13. Dispositif suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le noyau magnétique et les bobines sont constitués sur un substrat qui est en silicium ayant éventuellement une couche isolante se trouvant dessus. 14. Utilisation du dispositif suivant l'une des revendications précédentes pour la transmission de signaux à un débit de transmission de signaux supérieur à 100 MBd, et de préférence supérieur à 200 MBd.