Brevet FR2814547A1 — publié le 20020329

La présente invention concerne le test optique de circuits intégrés et plus particulièrement a trait au test, par interférométrie optique, de l'activité électrique de circuits intégrés. L'activité électrique dans des circuits intégrés peut être contrôlée optiquement au moyen de la'détection de variations de l'indice de réfraction et du coefficient d'absorption, qui sont provoquées par modification de tensions de polarisation et de densités de porteurs au niveau des jonctions de diodes à semiconducteurs. Par exemple, des variations de l'indice de réfraction et du coefficient d'absorption du matériau semiconducteur peuvent se manifester par des variations de l'intensité d'un faisceau optique réfléchi par la jonction de la diode. Paniccia et al., dans le brevet US 5 872 360, décrit la détection d'un champ électrique dans les régions actives d'un circuit intégré. Dans une forme de réalisation, un faisceau laser est produit avec une longueur d'onde proche de la largeur de bande interdite d'un semiconducteur tel que du silicium. Le faisceau laser est focalisé sur une jonction P-N (diode) comme par exemple la région de drain d'un transistor MOS, par l'intermédiaire de la face arrière du substrat semiconducteur. Le faisceau traverse la jonction, est réfléchi au niveau de l'interface d'oxyde et le métal en arrière de la jonction, revient à travers la jonction et sort de la surface de silicium. Une modulation du champ électrique dans la jonction provoque une modulation d'amplitude dans ce faisceau réfléchi, en raison des effets combinés d'une électro-absorption et d'une électro-réfraction. Wilsher et al. décrit, dans le brevet US 5 905 577, le test de circuits intégrés à l'aide de faisceaux lasers. Un faisceau de sondage est utilisé pour échantillonner la forme d'onde dans un dispositif à circuits intégrés testé (également désigné ci-après par dispositif DUT) au cours de chaque cycle d'un signal de profil de test appliqué au dispositif DUT. Un faisceau laser de référence est également utilisé pour échantillonner le dispositif DUT au même emplacement physique que celui échantillonné par le faisceau de sonde. Chaque mesure de référence est faite à un instant fixe par rapport au profil de test, tandis que les mesures de sondage sont explorées par balayage au moyen du profil de test, d'une manière normale équivalente à un échantillonnage temporel, pour reconstituer la forme d'onde. Pour chaque cycle de test, le rapport de la mesure de sondage et de la mesure de référence est formé de manière à réduire des fluctuations dans la mesure de sondage, dues au bruit. Des variations de l'indice de réfraction et du coefficient d'absorption dues à une activité électrique dans un dispositif DUT peuvent également se manifester sous la forme d'une modulation de phase d'un faisceau optique transmis ou réfléchi par le dispositif DUT. Des sondes pour détecter une modulation de phase peuvent être plus sensibles à une activité électrique dans un dispositif DUT, que ne le sont des sondes pour détecter une réflectivité. Heinrich et al. décrit dans le brevet US 4 758 092, un procédé de mesure interférométrique d'une modulation de phase d'un faisceau optique au moyen d'un dispositif à semiconducteurs actif. Un faisceau optique est divisé en deux faisceaux qui sont focalisés sur le dispositif DUT. Un faisceau est focalisé dans une région active, dans laquelle il est modulé en phase par un indice de réfraction modulé, et l'autre faisceau est focalisé sur une région inactive de manière à fournir une référence. Les faisceaux réfléchis sont recombinés et interfèrent entre eux. Une modulation de l'intensité des faisceaux, qui interfèrent, est imputable à une modulation de la phase du faisceau de sondage en raison d'une activité électrique dans la région sondée. De façon typique, des procédés interférométriques sont extrêmement sensibles à des vibrations et à des variations de température. Dans le procédé de Heinrich et al. la phase relative des deux faisceaux, qui interfèrent, est nominalement insensible à des déplacements en ligne avec l'axe du faisceau, qui sont provoqués par des vibrations du dispositif DUT dues par la température du dispositif DUT en ligne avec l'axe du faisceau. Cependant, dans un circuit à haute densité d'intégration, il est très difficile de trouver des points appropriés pour placer le faisceau de référence. De même il existe encore une sensibilité à un déplacement transversalement par rapport à l'axe du faisceau laser. Ce dont on a besoin, c'est d'un procédé interférométrique pour sonder des circuits intégrés au moyen de formes d'ondes, qui soit insensible à des vibrations et à des déplacements et qui soit insensible à des déplacements du dispositif DUT, provoqués par des vibrations et par la température, et qui ne nécessite pas de trouver un point de référence approprié sur le dispositif DUT à proximité de la région active à laquelle on s'intéresse. Un procédé pour détecter une activité électrique dans un dispositif à semiconducteurs lorsqu'un profil de test électrique est appliqué au dispositif consiste à produire une première impulsion de lumière de sondage à un instant sélectionné pendant chaque répétition du profil de test électrique et à produire une première impulsion de lumière de référence à un instant pendant chaque répétition du profil de test électrique, décalé par rapport à l'instant sélectionné auquel la première impulsion de lumière de sondage est produite. La première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence sont divisées chacune pour former au moins une seconde impulsion de lumière de sondage et une seconde impulsion de lumière de référence. La première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence sont dirigées sur une région du dispositif à semiconducteurs. Une fois que la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence ont coopéré avec le dispositif à semiconducteur, la première impulsion de lumière de sondage est combinée à la seconde impulsion de lumière de sondage afin qu'elles se chevauchent dans l'espace et dans le temps, et la première impulsion de lumière de référence est combinée à la seconde impulsion de lumière de référence de manière qu'elles se chevauchent dans l'espace et dans le temps. Les impulsions de lumière de sondage en chevauchement sont détectées pour la délivrance d'un signal d'interférence de sondage, et les impulsions de lumière de référence en chevauchement sont détectées par la délivrance d'un signal d'interférence de référence. L'instant sélectionné est modifié avec la répétition du profil de test électrique. Le rapport du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence est déterminé en une pluralité des instants sélectionnés dans le profil de test électrique. Un dispositif associé inclut une source produisant une première impulsion de lumière de sondage, une source produisant une première impulsion de lumière de référence, un diviseur, un support pour le dispositif à semiconducteurs, un dispositif de combinaison de faisceaux, un système formant détecteur et un processeur pour déterminer un rapport du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence. De façon plus précise en ce qui concerne un procédé pour détecter une activité dans un dispositif à semiconducteurs lorsqu'un profil de test électrique répétitif est appliqué au dispositif, caractérisé en ce qu'il consiste à : produire une première impulsion de lumière de sondage à un instant sélectionné pendant chaque répétition du profil de test et diviser l'impulsion de lumière de sondage pour produire au moins une seconde impulsion de lumière de sondage ; produire une première impulsion de'lumière de référence pendant chaque répétition du profil de test à un instant qui est décalé par rapport à l'instant sélectionné auquel la première impulsion de lumière de sondage est délivrée, et diviser la première impulsion de lumière de référence pour délivrer au moins une seconde impulsion de lumière de référence ; diriger la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de référence sur le dispositif à semiconducteurs ; combiner la première impulsion de lumière de sondage à la seconde impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence à la seconde impulsion de lumière de référence après que la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence ont coopéré avec le dispositif à semiconducteurs, de sorte que la première impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de sondage se chevauchent dans l'espace et dans le temps et que la première impulsion de lumière de référence et la seconde impulsion de lumière de référence se chevauchent dans l'espace et dans le temps ; détecter les impulsions de lumière de sondage en chevauchement pour obtenir ainsi un signal d'interférence de sondage ; détecter les impulsions de lumière de référence en chevauchement pour obtenir ainsi un signal d'interférence de référence ; déterminer une fonction du signal d'interférence de sonde et du signal d'interférence de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre le fait de modifier l'instant sélectionné avec la répétition du profil de test de sorte que la fonction du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence est déterminée en une pluralité d'instants sélectionnés à l'intérieur du profil de test. Selon une autre caractéristique de l'invention, la première impulsion de lumière de sondage est une impulsion de lumière laser. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend la sélection de l'impulsion de lumière laser à partir d'un train d'impulsions de lumière laser à mode verrouillé. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre l'exécution d'un verrouillage de phase du train d'impulsions de lumière laser à mode verrouillé et du profil de test répétitif. Selon une autre caractéristique de l'invention, la première impulsion de lumière de référence est une impulsion de lumière laser. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre l'exécution d'une modulation du faisceau laser pour l'obtention de l'impulsion de lumière laser. Selon une autre caractéristique de l'invention, les impulsions de lumière de sondage et les impulsions de lumière de référence possèdent approximativement la même longueur d'onde. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre le fait de fixer l'instant, pendant chaque répétition du profil de test électrique, auquel la première impulsion de lumière de référence est produite par rapport au profil de test. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre le fait de diriger la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence le long d'un même trajet, en direction du dispositif à semiconducteurs. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre le fait de diriger la seconde impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de référence le long d'un trajet de retardement avant que la seconde impulsion de lumière de sondage soit combinée à la première impulsion de lumière de sondage et que la seconde impulsion de lumière de référence soit combinée à la première impulsion de lumière de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre le fait de commander selon une boucle de réaction une longueur dudit trajet de retardement pour compenser un déplacement du dispositif à semiconducteurs. Selon une autre caractéristique de l'invention, la commande selon une boucle de réaction stabilise le signal d'interférence de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre le fait d'amplifier le signal d'interférence de sondage, intégrer le signal d'interfé- rence de sondage et numériser le signal d'interférence de sondage. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre le fait d'amplifier le signal d'interférence de référence, d'intégrer le signal d'interférence de référence et de numériser le signal d'interférence de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, la détection des impulsions de lumière de sondage en chevauchement et la détection des impulsions de lumière de référence en chevauchement incluent la détection des impulsions de lumière de sondage en chevauchement et des impulsions de lumière de référence en chevauchement pour l'obtention d'un signal de détection, l'intégration et la numérisation d'une partie du signal de détection pour l'obtention d'un signal d'interférence de sondage et l'intégration et la numérisation d'une partie du signal de détection pour produire un signal d'interférence de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé comprend en outre le fait d'annuler un bruit d'amplitude dans le signal d'interférence de sondage et dans le signal d'interférence de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, l'action d'annulation d'un bruit d'amplitude comprend la détection d'une partie d'une énergie d'impulsion de lumière de sondage, la détection d'une partie d'une énergie d'impulsion de lumière de référence, la normalisation du signal d'interférence de sondage pour la partie de l'énergie d'impulsion de lumière de sondage, et la normalisation du signal d'interférence de référence par la partie de l'énergie d'impulsion de lumière de référence. L'invention concerne également, de façon plus précise, un dispositif pour détecter une activité dans un dispositif à semiconducteurs lorsqu'un profil de test électrique répétitif est appliqué au dispositif, caractérisé en ce qu'il comprend : une source d'une première impulsion de lumière de sondage, qui délivre une première impulsion de lumière de sondage à un instant sélectionné pendant chaque répétition du profil de test électrique ; une source d'une première impulsion de lumière de référence qui délivre une première impulsion de lumière de référence à un instant décalé par rapport à l'instant sélectionné auquel la première impulsion de lumière de sondage est délivrée ; un diviseur, que rencontrent la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence, ce qui conduit ainsi à la délivrance d'au moins une seconde impulsion de lumière de sondage et une seconde impulsion de lumière de référence ; un support pour le dispositif à semiconducteurs, que rencontrent la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence ; un dispositif de combinaison de faisceaux, disposé de manière à combiner la première impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de sondage, et à combiner la première impulsion de lumière de référence et la seconde impulsion de lumière de référence, après que la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence ont coopéré avec le dispositif à semiconducteurs ; un détecteur disposé de manière à détecter la première impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de sondage de manière à délivrer un signal d'interférence de sondage, et à détecter la première impulsion de lumière de référence et la seconde impulsion de lumière de référence de manière à délivrer un signal d'interférence de référence ; et un processeur couplé au détecteur de manière à déterminer une fonction du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, l'instant sélectionné est modifié avec la répétition du profil de test électrique de sorte que la fonction du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence est déterminée pour une pluralité des instants sélectionnés à l'intérieur du profil de test. Selon une autre caractéristique de l'invention, la source de la première impulsion de lumière de sondage comprend un premier laser, et la source de la première impulsion de lumière de référence comprend un second laser. Selon une autre caractéristique de l'invention, la source de la première impulsion de lumière de sondage et la source de la première impulsion de lumière de référence comprennent un même laser. Selon une autre caractéristique de l'invention, la source de la première impulsion de lumière de sondage est un laser. Selon une autre caractéristique de l'invention, le laser est un laser à mode verrouillé, et le dispositif comporte en outre un modulateur optique positionné de manière à sélectionner la première impulsion de lumière de sondage à partir d'un train d'impulsions de lumière laser à mode verrouillé. Selon une autre caractéristique de l'invention, le train d'impulsions de lumière laser à mode verrouillé et le profil de test répétitif sont verrouillés en phase. Selon une autre caractéristique de l'invention, la source de la première impulsion de lumière de référence est un laser. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif comporte en outre un modulateur optique, et un faisceau de sortie du laser est modulé par le modulateur optique pour délivrer la première impulsion de lumière de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, les impulsions de lumière de sondage et les impulsions de lumière de référence possèdent approximativement la même longueur d'onde. Selon une autre caractéristique de l'invention, l'instant au cours de chaque répétition du profil de test, auquel la première impulsion de lumière de référence est délivrée, est fixe par rapport au profil de test. Selon une autre caractéristique de l'invention, la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence sont dirigées le long du même trajet en direction du dispositif à semiconducteurs. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif comporte en outre un trajet de retardement, le long duquel la seconde impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de référence sont dirigées. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif comporte en outre une boucle de réaction couplée au trajet de retardement, ce qui a pour effet qu'une longueur du trajet de retard est commandée de manière à compenser le déplacement du dispositif à semiconducteurs. Selon une autre caractéristique de l'invention, la boucle de réaction stabilise le signal d'interférence de référence. Selon une autre caractéristique de l'invention, le détecteur comprend un photodétecteur positionné de manière à détecter la première impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de sondage et à délivrer un signal d'interférence de sondage, un amplificateur couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de sondage, un intégrateur couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de sondage amplifié et un numériseur couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de sondage intégré. Selon une autre caractéristique de l'invention, le détecteur comprend un photodétecteur positionné de manière à détecter la première impulsion de lumière de référence et la seconde impulsion de lumière de référence et à délivrer un signal d'interférence de référence, un amplificateur couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de référence, un intégrateur couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de référence amplifié et un numériseur couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de référence intégré. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif comporte en outre un diviseur disposé de manière à dévier une partie d'une impulsion de lumière de sondage, un photodétecteur positionné de manière à détecter la partie de l'impulsion de lumière de sondage et à délivrer un signal de photodétecteur, un amplificateur couplé de manière à recevoir le signal du photodétecteur, un intégrateur couplé de manière à recevoir le signal amplifié de photodétecteur, et un numériseur couplé de manière à recevoir le signal intégré du photodétecteur. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif comporte en outre un diviseur positionné de manière à dévier une partie d'une impulsion de lumière de référence, un photodétecteur positionné de manière à détecter la partie de l'impulsion de lumière de référence et à délivrer un signal de photodétecteur et un amplificateur couplé de manière à recevoir le signal du photodétecteur, un intégrateur couplé de manière à recevoir le signal amplifié du photodétecteur, et un numériseur couplé de manière à recevoir le signal intégré du photodétecteur. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description donnée ci-après prise en référence aux dessins annexés, sur lesquels : - la figure 1 est une illustration schématique du dispositif selon une forme de réalisation de la présente invention ; la figure 2 représente d'une manière plus détaillée une partie du dispositif de la figure 1 ; et -la figure 3 représente des signaux d'interférence servant à expliquer le fonctionnement du dispositif de la figure 1. Les circuits intégrés sont testés en utilisant l'interférométrie optique. Pendant chaque cycle de répétition d'un signal de profil de test électrique appliqué d'une manière répétitive à un dispositif à circuits intégrés en cours de test (dispositif DUT), une impulsion de lumière de sondage et une impulsion de lumière de référence sont délivrées et se déplacent sur le même trajet optique pour échantillonner la forme d'onde électrique sur le dispositif DUT. Les impulsions de sondage ont une durée brève par rapport à la durée du signal à fréquence maximale auquel on s'intéresse dans le profil de test, de manière à fournir une mesure à largeur de bande élevée de la forme d'onde du profil de test. Les impulsions de référence possèdent de façon typique une durée supérieure à celle des impulsions de sondage. Les impulsions de référence sont délivrées à un instant fixe par rapport au profil de test. Les impulsions de sondage sont balayées à travers le profil de test pendant une série de cycles du profil de test, d'une manière normale équivalente à un échantillonnage temporel, pour reconstituer la forme d'onde du dispositif DUT. Une partie de chaque impulsion de sondage et de chaque impulsion de référence est divisée et est détectée pour caractériser l'énergie des impulsions qui atteignent le dispositif DUT. En outre, l'impulsion de sondage est divisée dans un interféromètre de manière à former au moins une première impulsion de sondage et une seconde impulsion de sondage, et l'impulsion de référence est divisée dans l'interféromètre pour l'obtention d'au moins une première impulsion de tension et d'une seconde impulsion de référence. La première impulsion de sondage et la première impulsion de référence échantillonnent la forme d'onde sur le dispositif DUT, au même emplacement physique, mais d'une manière décalée dans le temps d'un retard variable lorsque l'impulsion de sondage est balayée à travers le profil de test. La seconde impulsion de sondage et la seconde impulsion de référence se déplace sur des trajets identiques dans un bras de retardement de l'interféromètre. Après avoir coopéré avec le dispositif DUT, la première impulsion de sondage est recombinée à la seconde impulsion de sondage de manière à fournir un signal d'interférence de sondage au niveau d'un détecteur. De façon similaire, après avoir coopéré avec le dispositif DUT, la première impulsion de référence est recombinée avec la seconde impulsion de référence pour fournir un signal d'interférence de référence au niveau d'un détecteur. Le signal d'interférence de sondage varie dans le temps lorsque l'impulsion de sondage balaye dans le temps le profil de test, en raison de l'activité électrique variable dans le temps à l'intérieur du dispositif DUT, qui module la phase optique de la première impulsion de sondage lorsque la première impulsion de sondage coopère avec le dispositif DUT. Le signal d'interférence de sondage varie également dans le temps en raison du bruit provoqué par un glissement mécanique, des variations de température, un déplacement vibratoire du dispositif DUT et un bruit d'amplitude dans les impulsions de sondage incidentes provoqués par des fluctuations du signal de sortie de la source de lumière d'impulsions de sondage. Le signal d'interférence de référence varie dans le temps en raison du bruit provoqué par un glissement mécanique, des variations de température, un déplacement du dispositif DUT et un bruit d'amplitude dans les impulsions de référence incidentes. Etant donné que les impulsions de référence sont prévues à un instant fixe par rapport au profil de test, le signal l'interférence de référence ne varie pas dans le temps sous l'effet de l'activité électrique dans le dispositif DUT. Le signal d'interférence de référence est stabilisé (est rendu presque constant) grâce à un ajustement rapide de la longueur du trajet du bras de retardement de l'interféromètre de manière à compenser un déplacement du DUT le long de l'axe optique, sous l'effet d'une vibration ou d'un glissement. Avantageusement, étant donné que la seconde impulsion de sondage et la seconde impulsion de référence se déplacent sur le même trajet optique le long du bras de retardement de l'interféromètre, les ajustements effectués rapportés à la longueur du trajet du bras de retardement de l'interféromètre pour stabiliser le signal d'interférence de référence suppriment également le bruit dans le signal d'interférence de sondage dû au déplacement du dispositif DUT le long de l'axe optique. Le bruit dans le signal d'interférence de sondage, qui est dû au bruit d'amplitude dans les impulsions de sondage incidentes, est annulé par normalisation du signal d'interférence de sondage par l'énergie mesurée d'impulsion de sondage incidente, par exemple par calcul du taux de réflexion. Des variations de température et le déplacement du dispositif DUT en travers de l'axe optique affecte de façon similaire le taux de réflexion de sondage et le taux de réflexion de référence. Le bruit produit par ces sources est annulé grâce au calcul du rapport du taux de réflexion de sondage et du taux de réflexion de référence. La modulation restante du rapport entre le taux de réflexion de sonde et le taux de réflexion de référence représente la forme d'onde de l'activité électrique dans le dispositif DUT. La figure 1 est une illustration schématique d'un système d'interféromètre optique 600 à deux impulsions. Un laser à mode verrouillé 612 situé sur une plateforme laser classique 604 délivre un train d'impulsions laser 606. Dans une forme de réalisation, le laser en mode bloqué est un laser Nd : YAG à mode verrouillé modèle 131-200 de la société dite Lightwave Electronics, qui délivre des impulsions d'une durée de-35 picosecondes (ps) à une cadence de répétition de 100 MHz et avec une longueur d'onde de 1064 nm. Le train d'impulsions 606 traverse le modulateur classique 608, qui sélectionne une impulsion de sondage 609 à partir du train d'impulsions 606, comme indiqué en 610, pour chaque cycle d'un profil de test appliqué de façon répétitive à un dispositif DUT. Le modulateur optique 608 est par exemple un modulateur électro-optique 360-80 de la société dite Conoptics avec un étage d'attaque 25D de Conoptics, mais on peut également utiliser d'autres modulateurs optiques, comme par exemple des modulateurs acousto-optiques. Dans une forme de réalisation, le modulateur optique 608 comprend deux modulateurs optiques en série servant à supprimer complètement les impulsions indésirables dans le train d'impulsions 606. Le laser en onde continue 612, qui est également disposé sur la plateforme laser 604, délivre un faisceau laser à amplitude continue 614 au modulateur optique 616. Dans une forme de réalisation, le laser à onde continue 612 est un laser Nd : YAG à onde continue de la société dite Coherent, Inc., Compassez modèle 1064-500, qui fonctionne également à une longueur d'onde de 1064 nm. Le modulateur optique 16 est également par exemple un modulateur électrooptique 360-80 de la société Conoptics, mais on peut utiliser d'autres régulateurs optiques. Dans une forme de réalisation, le modulateur optique 616 inclut deux modulateurs optiques en série. Le modulateur optique 616 module le faisceau 614 de manière à produire une impulsion de référence 618 d'une durée aussi brève que 10 ns pour chaque cycle d'un profil de test appliqué à un dispositif DUT. Dans une forme de réalisation, l'impulsion de référence possède une durée de 150 nanosecondes (ns), et l'impulsion de référence et l'impulsion de sondage sont séparées dans le temps par un retard d'environ 1,5 microsecondes (us) à environ 1 milliseconde (ms), en fonction du profil de test électrique du dispositif DUT. Les impulsions de sondage et de référence sont dirigées sur un dispositif 620 de combinaison de faisceaux, tel que le diviseur de faisceau de haute énergie modèle BS1-1064-10-1025-45P de la société dite CVI Laser Corporation, qui utilise un dispositif optique de déviation de faisceau tel qu'un miroir 622 comme cela est nécessaire. Le dispositif 620 de combinaisons de faisceaux dirige l'impulsion de sondage et l'impulsion de référence le long de trajets colinéaires à travers un polariseur 23 en direction du coupleur 624 de fibre optique, qui injecte les impulsions de sondage et de référence dans une fibre optique monomode 626 qui conserve la polarisation. Le rapport de division du dispositif 620 de combinaison de faisceaux est choisi de telle sorte que, une fois que les trajets d'une impulsion de sondage et d'une impulsion de référence ont été rendus colinéaires par le dispositif 620 de combinaison de faisceaux, l'énergie dans l'impulsion de référence est approximativement égale à l'énergie dans à l'impulsion de sondage. Le polariseur 623 règle les impulsions de sondage et de référence dans le même état de polarisation. Sinon, les impulsions de sondage et de référence sont délivrées par la même source de lumière, comme par exemple un laser monomode à mode verrouillé. Dans une forme de réalisation, une seule impulsion de courant est divisée par un diviseur de faisceau en des impulsions de sondage et de référence. Une ligne de retard optique de longueur variable produit un retard entre l'impulsion de sondage et l'impulsion de référence. Dans une autre forme de réalisation, les impulsions de sondage et de référence sont dérivées d'impulsions de lumière séparées délivrées par le même laser. Des lasers autres que des lasers à mode verrouillé et des sources incohérentes telles que des diodes photoémissives, sont utilisés en tant que source de lumière dans d'autres formes de réalisation pour produire des impulsions de sondage et de référence. Une fibre optique 626 guide les impulsions de sondage et de référence en direction du coupleur 628 de fibre optique, qui injecte les impulsions dans un système de balayage 630, où elles rencontrent le diviseur de faisceau de polarisation 632. La fibre optique 626 filtre également en soi spatialement les impulsions de sondage et de référence, ce qui conduit à une adaptation approximative de leurs structures dans le mode spatial. Une partie polarisé linéairement de chaque impulsion de sondage et de chaque impulsion de référence est transmise par le diviseur de faisceau de polarisation 632 au système optique 634 de pilotage des faisceaux, qui pilote les impulsions en les envoyant à l'interféromètre 699. Le trajet des impulsions pénétrant dans l'interféromètre 699 est représenté par le faisceau de lumière 635. Dans une forme de réalisation, le système de balayage 630 est un microscope confocal à balayage laser également utilisé pour former l'image d'un dispositif en cours de test. La figure 2 représente de façon détaillée l'interféromètre 699 et le système de commande électronique, qui lui est associé. L'interféromètre 699 comprend un bras de retardement formé par un miroir 705, une plaque quart-d'onde 710, une ouverture 712, une lentille 715 et un miroir 720, et un bras contenant le dispositif DUT et incluant une plaque quart-d'onde 639, une lentille d'objectif 636 et le dispositif DUT 640. Dans une forme de réalisation, le dispositif DUT 640 est supporté par une table x-y classique. Dans une autre forme de réalisation un interféromètre 699 et le système de balayage 630 sont supportés par une table x-y-z et sont déplacés par rapport à un dispositif DUT fixe 640. L'impulsion de sondage 609 et l'impulsion de référence 618 dans le faisceau de lumière 635 rencontrent un diviseur de faisceau non polarisant 701, qui divise chaque impulsion de lumière incidente en deux impulsions. A titre de commodité, la partie de chaque impulsion de sondage 609 transmise dans le bras contenant le dispositif DUT par le diviseur de faisceau 701 sera désignée ici comme étant la première impulsion de sondage 609a, et la partie de chaque impulsion de sondage déviée en direction du bras de retardement de l'interféromètre 699 sera désignée ici comme étant la seconde impulsion de sondage 609b. De façon similaire, la partie de chaque impulsion de référence 618 transmise dans le bras contenant le dispositif DUT par le diviseur de faisceau 701 sera désignée ici comme étant la première impulsion de référence 618a, et la partie de chaque impulsion de référence déviée en direction du bras de retardement de l'interféromètre 699, sera désignée ici comme étant ici la seconde impulsion de référence 618b. La première impulsion de sondage 609a et la première impulsion de référence 618a traversent la plaque quart-d'onde 639 qui de façon typique est orientée de manière à transformer la polarisation des impulsions depuis une polarisation linéaire en une polarisation circulaire. La première impulsion de sondage polarisée circulairement 609a et la première impulsion de référence 618a sont focalisées par l'objectif 636 sur le même spot dans la région active 638 du dispositif DUT 640. Une partie de chaque impulsion est renvoyée par réflexion depuis le dispositif DUT à travers la lentille d'objectif 636, qui réalise une nouvelle collimation du faisceau, à la plaque quart-d'onde 639. La plaque quart-d'onde 639 transforme la polarisation des impulsions en la faisant passer d'une polarisation circulaire à la polarisation linéaire orthogonale à leur polarisation linéaire d'origine. Après avoir traversé la plaque quart-d'onde 639, une partie de chacune de la première impulsion de sondage, de la première impulsion de référence réfléchies, traverse le diviseur de faisceau 701 et revient sur le trajet 635 du faisceau pour rencontrer le système de balayage 630. La seconde impulsion de sondage 609b et la seconde impulsion de référence 618b sont déviées par un diviseur de faisceau 701, par l'intermédiaire d'un obturateur 703, le long d'un trajet du faisceau 704 du bras de retardement de l'interféromètre. L'obturateur 703 est ouvert lorsque le système est utilisé pour des mesures interférométriques. A titre de commodité, le trajet 704 du faisceau est replié au moyen d'un miroir 705. La seconde impulsion de sondage 609b et la seconde impulsion de référence 618b traversent la plaque quart-d'onde 710 et une ouverture 712 en direction de la lentille 715, qui focalise les impulsions sur le miroir 720. La position du miroir 720, qui est montée sur un actionneur piézoélectrique 725, est ajustée de manière que les impulsions soient renvoyées par réflexion le long de leur trajet d'incidence. Les impulsions réfléchies traversent en sens inverse la lentille 715, l'ouverture 712 et la plaque quart-d'onde 710 en direction du miroir 705, qui dirige des impulsions par l'intermédiaire de l'obturateur 703 en direction du diviseur de faisceau 701. La plaque quart-d'onde 710 est orientée de telle sorte qu'après avoir traversé deux fois la plaque quart-d'onde les impulsions réfléchies sont polarisées linéairement avec une polarisation qui est orthogonale à leur polarisation d'origine et qui concorde avec celle de la première impulsion de sondage et de la première impulsion de référence. L'ouverture 712 règle les diamètres du faisceau de sonde et du faisceau de référence réfléchis, dans le bras de retardement de manière à adapter les diamètres du faisceau de sonde réfléchi et du faisceau de référence réfléchi dans le bras du dispositif DUT. Une partie de chacune des impulsions constituées par la seconde impulsion de sondage réfléchie et la seconde impulsion de référence réfléchie, est déviée par le diviseur de faisceau 701 en étant renvoyée le long du trajet 635 du faisceau de manière à être renvoyée avec les parties de la première impulsion de sondage réfléchie et de la première impulsion de référence réfléchie au système de balayage 630. Par conséquent le diviseur de faisceau 701 agit en tant que dispositif de combinaison de faisceaux. Dans une forme de réalisation, le rapport de division du diviseur de faisceau 701 est choisi de telle sorte que pour un signal réfléchi typique provenant du dispositif DUT 640, le rapport de l'énergie contenue dans la première impulsion de référence réfléchie (réfléchie par le dispositif DUT 640) à l'énergie contenue dans la seconde impulsion de référence réfléchie (réfléchie par le miroir 720) est égal à environ 1 : 3 lorsque ces impulsions sortent de l'interféromètre. Dans une autre forme de réalisation, le rapport de division est choisi de telle sorte que le rapport des énergies des impulsions de référence réfléchies est égal à environ 1 : 1. Dans une autre forme de réalisation, le rapport des énergies des impulsions de référence réfléchies est réglé par insertion d'un atténuateur de puissance, comme par exemple un filtre de densité neutre, dans le trajet du bras de retardement. La position du miroir 720 est réglée de telle sorte que les première et seconde impulsions de sondage réfléchies sont en chevauchement dans l'espace et dans le temps lorsqu'elles reviennent le long du trajet 635 du faisceau au système de balayage 630. Les première et seconde impulsions de référence réfléchies sont par conséquent également en chevauchement dans l'espace et dans le temps lorsqu'elles reviennent, le long du trajet 635 du faisceau, au système de balayage 630. Lorsque les impulsions de sondage sont très brèves 35 ps), la longueur du bras de retardement de l'interféromètre (la longueur du trajet de retardement) doit être réglée égale ou presque égale à la longueur du bras de l'interféromètre contenant le dispositif DUT, pour obtenir un chevauchement des impulsions. Dans une forme de réalisation, le miroir 720, l'actionneur piézoélectrique 725 et la lentille 715 sont montés sur un coulisseau qui permet un réglage approximatif de la longueur du trajet de retardement. En se référant à nouveau à la figure 1, les impulsions réfléchies reviennent le long du trajet 635 du faisceau en direction du système optique 634 de pilotage du faisceau, qui dirige des impulsions réfléchies en direction du diviseur de faisceau de polarisation 632. Les impulsions réfléchies, qui possèdent une polarisation linéaire perpendiculaire à leur polarisation linéaire initiale, sont déviées par le diviseur de faisceau de polarisation 632 en direction du miroir 642, qui réfléchit les impulsions réfléchies en direction du coupleur 644 de fibre optique. Le coupleur 644 de fibre optique injecte les impulsions réfléchies dans une fibre optique multimode 646 qui guide les impulsions réfléchies en direction du coupleur 648 de fibre optique. Le coupleur 648 de fibre optique injecte les impulsions réfléchies dans le photodétecteur 650 du faisceau réfléchi, à l'intérieur du sous-système 652 de traitement des signaux. Les première et seconde impulsions réfléchies, qui se chevauchent dans l'espace et dans le temps, produisent dans le photodétecteur 650, un signal électrique d'interférence, ayant des amplitudes déterminées par la différence de phase optique entre les deux impulsions de sondage réfléchies. De façon similaire, les première et seconde impulsions de référence réfléchies produisent également, dans le photodétecteur 650, un signal électrique d'interférence ayant une amplitude déterminée par la différence de phase optique entre les deux impulsions de référence réfléchies en chevauchement. Le photodétecteur 650 produit une impulsion de courant électrique à la borne d'entrée d'un amplificateur à transimpédance 654 pour chaque paire d'impulsions de sondage réfléchies et pour chaque paire d'impulsions de référence réfléchies. L'amplificateur à transimpédance 654 convertit les impulsions de courant délivrées par le photodétecteur 650 en des impulsions de tension de sortie, qui sont transmises au moyen d'un commutateur 656 à fonctionnement rapide, à un analyseur d'énergie 658 servant à analyser les signaux d'interférence d'impulsions de sondage et alternativement à l'analyseur d'énergie 660 pour les signaux d'interférence d'impulsions de référence. Les impulsions de lumière de sondage et les impulsions de lumière de référence sont suffisamment séparées dans le temps pour les impulsions de tension de sortie qui de façon typique ont une durée de 600 ns en raison de la largeur de bande limitée de l'amplificateur à transimpédance 654, de manière à pouvoir être distinguées les unes des autres. L'intégrale dans le temps d'une impulsion de tension de sortie est une mesure de l'énergie dans le système d'interférence correspondant. Les analyseurs d'énergie 658 et 660 contiennent chacun habituellement un intégrateur et un convertisseur analogique/numérique et de ce fait délivrent des représentations numériques à 14 bits de l'énergie respectivement dans le signal d'interférence de sondage et dans le signal d'interférence de référence. Une partie de chaque impulsion de sondage incidente et de chaque impulsion de référence incidente rencontrant le système de balayage 630 en provenance de la fibre optique 626 et du coupleur 628 de fibre optique, est déviée par le diviseur de faisceau de polarisation 632 en direction du miroir 632, qui dirige les impulsions en direction du coupleur 664 de fibre optique. Le coupleur 664 de fibre optique injecte les impulsions dans la fibre optique multimode 666, qui guide les impulsions en direction du coupleur 668 de fibre optique. Le coupleur 668 de fibre optique envoie les impulsions incidentes à un photodétecteur 670 du faisceau incident, à l'intérieur du sous-système 652 de traitement des signaux. Le photodétecteur 670 délivre une impulsion de courant au niveau de la borne d'entrée de l'amplificateur à transimpédance 672 pour chaque impulsion de lumière incidente qu'il détecte. L'amplificateur à transimpédance 672 convertit les impulsions de courant délivré par le photodétecteur 670 en des impulsions de tension de sortie, qui sont transmises par le commutateur à fonctionnement rapide 674 à un analyseur d'énergie 676 pour les signaux d'impulsions de sondage incidents, et à un analyseur d'énergie 678 pour des signaux d'impulsions de référence incidents. Les analyseurs d'énergie 676 et 678 contiennent chacun habituellement un intégrateur et un convertisseur analogique/numérique, et délivre des représentations numériques à 14 bits de l'énergie contenue respectivement dans l'impulsion de sondage incidente détectée et dans l'impulsion de référence détectée. Dans une forme de réalisation, les photodétecteurs 668 et 670 sont des photodiodes PIN en arseniure d'indium et de gallium (TnGaAs modèle FD300 de la société dite Fermionics Corporation, et les amplificateurs à transimpédance 664 et 672, les commutateurs rapides 656 et 674 et les analyseurs d'énergie d'impulsions 658,676 et 678 sont tels que décrits dans Wilsher et al., brevet US 5 905 577. Un générateur de cadencement 680 commande le cadencement du fonctionnement du système d'interféromètre optique 600 à impulsions doublées. Le générateur de cadencement 680 est couplé à une source de vecteurs de test 682, à un laser à mode verrouillé 602, à un modulateur optique 608, à un modulateur optique 616, à un sous-système 650 de traitement des signaux, à un interféromètre 699 et à un dispositif 697 de traitement et de commande des données. Dans une forme de réalisation, le générateur de cadencement 680 est un générateur de cadencement décrit par Wilsher et al., brevet US 5 905 577 pour la commande d'un générateur de cadencement d'un système de sonde laser double. Le dispositif 697 de traitement et de contrôle des données est de façon typique un processeur d'ordinateur numérique programmable à usage général comportant un terminal d'affichage vidéo et des panneaux classiques d'acquisition de données à grande vitesse et de traitement de signaux numériques. Dans une forme de réalisation, la source de vecteurs de test 682 est un système de test logique ITS9000 de la société dite Schlumberger. On peut également utiliser d'autres sources de vecteurs de test, comme par exemple de simples générateurs de données si leurs horloges sont suffisamment précises et stables. La source de vecteur de test 682 délivre de façon répétée une séquence de vecteurs de test (un profil de test) au dispositif DUT 640 dans des lignes multiples 684. Le profil de test se répète continûment suivant des cycles. C'est-à-dire que, lorsque la source 682 de vecteurs de test envoi le dernier vecteur dans le profil de test, elle revient en boucle au vecteur de départ et commence à nouveau à envoyer le profil de test. Le profil de test possède une durée comprise de façon typique entre environ quelques microsecondes et quelques millisecondes. Dans une forme de réalisation, le train d'impulsions 606 du laser à mode verrouillé et la boucle du profil de test fournie par la source 682 de vecteurs de test sont verrouillés en phase. Naturellement ceci ne concerne pas la phase optique des impulsions laser individuelles mais concerne, au lieu de cela, la phase du train d'impulsions périodiques en rapport avec la phase de la boucle périodique de profil de test. Le verrouillage de phase du train d'impulsions et de la boucle de profil de test requiert qu'il existe un nombre entier de périodes d'impulsions laser à mode verrouillé dans une période de la boucle du profil de test. Par conséquent dans le cas d'une fréquence de répétition des impulsions laser à mode verrouillé égale à 100 MHz, ceci requiert que la boucle de profil de test ait une longueur égale à un nombre entier de période de 10 ns. Dans une forme de réalisation, le générateur de cadencement 680 reçoit un signal d'horloge 688 provenant de la source 682 de vecteur de test et, au moyen de techniques bien connues à boucle à phase verrouillée, dérive un signal d'horloge 689 ayant la fréquence correcte pour commander le laser à mode verrouillé 602 qui est verrouillé en phase sur la boucle de profil de test. Un autre procédé consiste en ce que le générateur de cadencement 680 produit et délivre à la fois le signal d'horloge 689 au laser à mode verrouillé 602 et le signal d'horloge 688 à la source 682 de vecteurs de test. La source 682 de vecteurs de test délivre un signal de départ dans la ligne 686 au début de chaque cycle de la boucle de profil de test. Le signal de démarrage dans la ligne 686 est utilisé pour faire démarrer une séquence de cadencement dans le générateur de cadencement 680. A un instant prédéterminé après la réception du signal de démarrage dans la ligne 686, le générateur de cadencement 680 envoie un signal de commande, par l'intermédiaire de la ligne 693, au modulateur optique 616. Lors de la réception du signal de commande de la ligne 693, le modulateur optique 616 définit une impulsion de lumière de référence 618 en permettant le passage du faisceau à amplitude continue 614 délivré par le laser à onde continue 612 pendant 150 ns. De façon similaire, à un instant prédéterminé après la réception du signal de départ dans la ligne 686, le générateur de cadencement 680 envoie un signal de commande, par l'intermédiaire de la ligne 695, au modulateur optique 608. Lors de la réception du signal de commande circulant dans la ligne 695, le modulateur optique 608 définit une impulsion de lumière de sondage 610 en permettant la transmission d'une impulsion dans le train d'impulsions 606. De même, à des instants prédéterminés après la réception du signal de départ présent dans la ligne 686, le générateur de cadencement 681 envoie des signaux de commande par l'intermédiaire de la ligne 691 au sous-système 682 de traitement de signaux de sorte qu'en réponse, des commutateurs rapides 656 et 674 commutent de façon appropriée de manière à diriger des impulsions de tension depuis les bornes de sortie des amplificateurs à transimpédance 654 et 674 à des analyseurs 658,676 et 678 des énergies d'impulsions, comme décrit précédemment. Le cadencement des signaux de commande présents dans les lignes 689,691, 693 et 695 est réglé par le dispositif 697 de traitement de données de commande, qui de façon typique est programmé par un utilisateur, et est transmis au générateur de cadencement 680 avec des signaux de commande présents dans la ligne 690. Les quatre signaux de sortie numériques à 14 bits, qui sont délivrés par le sous-système 652 de traitement de signaux, sont appliqués au dispositif 697 de traitement de données de commande. Ainsi pour chaque cycle du profil de test, le dispositif 697 de traitement de données et de commande reçoit quatre signaux d'entrée de données représentant les énergies de l'impulsion de sondage incidente et de l'impulsion de référence incidente, et les énergies du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence. Le dispositif 697 de traitement de données et de commande acquiert le signal électrique dans le dispositif DUT 640 en collectant des données provenant des quatre analyseurs d'énergie d'impulsions en tant qu'impulsions de référence lorsque les impulsions de référence sont maintenues dans une position temporelle constante par rapport au signal de départ présent dans la ligne 686, et les impulsions de sondage sont déplacées dans une série de positions temporelles fixes par rapport au signal de départ présent dans la ligne 686, d'une manière équivalente à un échantillonnage temporel. De façon typique, on utilise 500 positions temporelles différentes. Le rapport du taux de réflexion de sondage et du taux de réflexion de référence est calculé pour chacune des positions temporelles de sondage, et est interprété comme représentant les variations de tension dans le dispositif DUT 640, correspondant à la forme d'onde de profil de test. Dans une forme de réalisation, une seule itération des impulsions de sondage dans une série de positions temporelles est réalisée. Pendant cette itération, les impulsions de sondage restent dans chaque position de cadencement pendant de nombreux milliers de cycles du profil de test afin de permettre une réduction du bruit de forme d'onde, par formation de la moyenne ou par un autre traitement appliqué aux données connectées. Dans une autre forme de réalisation, environ 10 à environ 1000 itérations passant par la série de positions temporelles sont effectuées. Pendant ces itérations, les impulsions de sondage restent dans chaque position de cadencement pendant environ 10 à environ 100 cycles de profil de test. Le modulateur optique 608 ne bloque pas complètement des impulsions indésirables dans un train d'impulsions à mode verrouillé 606. Des impulsions résiduelles à mode verrouillé fuient par le modulateur optique 608 et produisent des signaux de décalage dans des photodétecteurs 658 et 670. Dans une forme de réalisation, on utilise un procédé décrit par Wilsher et al., brevet US ? 5 905 577, ce qui permet de déterminer les signaux de décalage et de les soustraire du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence. Les amplitudes du signal d'interférence de sortie et du signal d'interférence de référence sont très sensibles à la différence des longueurs des trajets optiques entre le bras du dispositif DUT et le bras de retardement contenus dans l'interféromètre 699. Par conséquent, les signaux d'interférence sont très sensibles à la position du dispositif DUT 640 le long de l'axe optique établi par l'impulsion de sondage incidente et l'impulsion de référence incidente. La position du dispositif DUT 640 présent le long de l'axe optique est désignée ici comme étant la position Z du dispositif DUT 640. La sensibilité des signaux d'interférence à la position Z du dispositif DUT 640 est démontrée par l'exemple suivant. On considère un faisceau d'impulsions de référence réfléchie par le dispositif DUT 640, c'est-à-dire des premières impulsions d'interférence réfléchies, et on le désigne comme étant le faisceau A. On considère également un faisceau d'impulsions de référence réfléchies par le miroir 701 du bras de retardement de l'interféromètre, c'est-à-dire des secondes impulsions de référence réfléchies, et on les désigne comme étant le faisceau B. On suppose que la position du miroir 720 est réglée de manière à maximiser le chevauchement de paires de première et seconde impulsions de référence réfléchies, dans le temps et dans l'espace, au niveau du photodétecteur 650. En supposant que la puissance du faisceau A ne varie pas avec la position Z du dispositif DUT 640 et également que la puissance du faisceau B ne varie pas avec la position du miroir 720, alors lorsque la position Z du dispositif DUT 640 se déplace sur une distance d'un quart de longueur d'onde de la lumière, la puissance totale détectée dans le signal d'interférence par le photodétecteur 650 varie autour de la somme des puissances de A et B. Du point de vue de la théorie optique de base, les puissances maximale et minimale que l'on trouve dans cette gamme de positions Z, qui correspondent à des conditions d'interférence additive et d'interférence soustractive, sont égales respectivement à (A + Buzz 2 et /2 1/2 2 A'-B). La puissance moyenne est A + B. Par exemple, si la puissance dans le faisceau A est de 1 microwatt (usw) et la puissance dans le faisceau B est 30 uW, alors la puissance maximale détectée est égale à 7, 46 pW, la puissance minimale détectée est égale à 0, 636 pW et la puissance moyenne détectée est égale à 4 pW. En supposant que la longueur d'onde des impulsions de lumière est égale à 1464 nm, la variation du signal de sortie du photodétecteur avec la position Z est représentée par la course sinusoïdale 630 sur la figure 3. On peut voir qu'une variation de 0,1 micromètre de la position Z, qui correspond par exemple à une vibration de faible amplitude du dispositif DUT 640, entraîne une très grande variation de la puissance détectée. Dans la forme de réalisation présentée sur la figure 2, on améliore la sensibilité extrême des signaux d'interférence à la position Z du dispositif DUT 640 en prévoyant une commande en boucle fermée de la position du miroir 720. La position du miroir 720 est commandée de manière à maintenir le signal d'interférence de référence au niveau du photodétecteur 650 approximativement constant lorsque le dispositif DUT 640 se déplace. Dans une autre forme de réalisation, un actionneur rapide est prévu de façon similaire dans le dispositif DUT 640, en tant que partie de table de support 641 par exemple, et est commandé de manière à s'opposer au déplacement du dispositif DUT 640, à sa source. La description donnée ci-après des dispositifs et procédés de commande fait intervenir ces deux formes de réalisation. En référence aux figures 1 et 2, une image du dispositif DUT 640 est formée, avec l'obturateur 703 fermé pour empêcher tout diagramme d'interférence sur l'image, par balayage de trame du dispositif DUT 640 au moyen du faisceau de sondage ou de référence, à l'aide du système optique 634 de pilotage du faisceau. Le faisceau incident des impulsions de sondage et de référence est alors aligné avec une région, à laquelle on s'intéresse, dans le dispositif DUT 640 au moyen du système optique 634 de pilotage du faisceau et on ouvre l'obturateur 703 et l'interrupteur 740. Le dispositif 697 de traitement de données de commande envoie des signaux de commande par l'intermédiaire de la ligne 685 au convertisseur numérique/analogique 745, ce qui amène ce convertisseur 745 à produire une tension au niveau de sa borne de sortie une tension qui produit un courant dans la résistance 785. Un amplificateur 735 produit au niveau de sa borne de sortie, une tension proportionnelle à la somme des courants circulant dans sa borne d'entrée, et provenant des résistances 585 et 590. La tension de sortie provenant de l'amplificateur 735 est couplée à l'actionneur piézoélectrique 125, qui est fixé au miroir 720. L'actionneur 725 déplace le miroir 720 sur une distance d'environ 6 micromètres pour une variation de la tension de sortie d'amplificateur 735 égale à environ 100 V. Lorsque l'interrupteur 740 est ouvert, le courant traversant la résistance 790 est nulle et le signal de sortie de l'amplificateur 785 est commandé par le signal de sortie du convertisseur numérique/analogique 745. Le dispositif 697 de traitement de données et de commande positionne une série de tension sur la borne de sortie du convertisseur numérique/analogique 745, ce qui a pour effet que l'actionneur 725 déplace le miroir 720 et par conséquent modifie la longueur du trajet du bras de retardement et enregistre les signaux d'interférence de référence représentés par les signaux de sortie numériques d'un analyseur 660 d'énergie d'impulsions. Pour une quelconque position Z du dispositif DUT 640, une position du miroir 720 est trouvée dans une gamme d'une demi-longueur d'onde, ce qui fournit un signal d'interférence de référence détecté, au niveau du photodétecteur 650 au centre de la gamme de puissance du signal d'interférence de référence. Dans l'exemple décrit précédemment, ce niveau de puissance est égal à 4 uW. Une tension représentant cette puissance à mi-valeur est réglée sur la sortie d'un convertisseur numérique/analogique 775 par le dispositif 697 de traitement de données et de commande, et est utilisé en tant qu'entrée de référence dans un amplificateur différentiel 770. Un signal analogique 661 produit par l'analyseur d'énergie d'impulsion 660 et représentant l'amplitude du signal d'interférence de référence, est utilisé en tant qu'autre signal d'entrée envoyé à l'amplificateur différentiel 770. Le dispositif 697 de traitement de données et de commande positionne le signal de sortie du convertisseur numérique/analogique 745 au milieu de l'échelle ce qui règle la sortie de l'amplificateur 735 sur environ 50 volts. Le dispositif 197 de traitement de données et de commande ferme alors l'interrupteur 740 pour transmettre un courant depuis la borne d'entrée de l'amplificateur d'intégration 750, par l'intermédiaire de la résistance 790 à la borne d'entrée de l'amplificateur 735. La différence entre le signal de sortie du convertisseur numérique/ analogique de référence 775 et le signal de sortie analogique 661 délivré par l'analyseur d'énergie d'impulsion 660 apparaît sur la borne de sortie de l'amplificateur différentiel 770. Le générateur de cadencement 680 envoie des signaux de commande par l'intermédiaire de la ligne 693 à un circuit monostable 780 ainsi qu'au modulateur optique 616, comme décrit précédemment. Le circuit monostable 780 commande l'interrupteur 765 pendant environ 5 ps à des intervalles supérieurs à environ 100 us. Si le signal de sortie de l'amplificateur différentiel 770 n'est pas égal à zéro volt lorsque l'interrupteur 765 est fermé, un courant traverse la résistance 760 en direction de l'amplificateur d'intégration 750, ce qui modifie la tension au niveau de la borne de sortie de l'amplificateur 750 et le courant traversant la résistance 790 et modifie, par l'intermédiaire de l'amplificateur 735 et de l'actionneur piézoélectrique 725, la position du miroir 720. Les amplificateurs 770,750 et 735 forment une boucle de réaction négative commandant la position du miroir 720. Lorsque la position Z du dispositif DUT 640 varie, la boucle de réaction négative change la position du miroir 720 pour maintenir le signal d'interférence de référence détecté au centre de sa gamme de puissance (4 pW dans l'exemple précédent). Le miroir 720 possède une faible masse de sorte que la boucle de réaction peut suivre les vibrations du dispositif DUT 640 dans la gamme de fréquences allant de la composante continue jusqu'à environ 240 Hz ou plus. La position du miroir 720 peut être commandée par un dispositif piézoélectrique 725 ou par un dispositif électromagnétique de bobine mobile. Comme indiqué précédemment, la réaction pourrait être appliquée à un actionneur similaire dans le dispositif DUT 640 pour s'opposer à des vibrations à leur source, bien qu'avec plus de difficulté tant donné que le dispositif DUT 640 et de façon typique plus massif que le miroir 720. La puissance du signal d'interférence de référence détecté en fonction de la désadaptation des longueurs de trajet optique du bras de l'interféromètre contenant le dispositif DUT du bras de retardement de l'interféromètre est également représenté par la courbe 830 sur le graphique de la figure 3. Le niveau de référence produit par le convertisseur numérique/analogique 775 est indiqué par la ligne 805. On peut voir qu'avec la boucle de réaction validée, il existe plusieurs positions stables (réaction négative) et instables (réaction positive) du miroir lorsque la puissance 830 du signal d'interférence de référence est égale au niveau de référence 805. Ces positions apparaissent au niveau des points 810, 820, 840 et 850. En l'absence d'une vibration du dispositif DUT 640, la position du miroir 720 est écartée des points instables pour être rapprochée de l'un des points stables, en venant se placer quasiment exactement sur l'un des points stables. Le circuit peut être prévu pour inverser le gain électronique dans la boucle de réaction de sorte que la position des points stables et instables peut être inversée. Il est important que le système de réaction soit suffisamment efficace pour permettre le maintien du fonctionnement à proximité de son point stable en présence de vibrations normales du dispositif DUT, et sinon le système de réaction recherche en permanence un nouveau point de fonctionnement stable. Comme cela est bien connu dans la technique, l'efficacité du système de réaction est déterminé en partie par le gain de la largeur de bande des amplificateurs 735 750 et 770, par le temps de réponse de l'actionneur piézoélectrique 725, auquel est fixé le miroir 720, et par la fréquence, avec laquelle l'interrupteur 765 est fermé pour échantillonner le signal de sortie de l'amplificateur 770 et par conséquent le signal analogique 661. Dans une forme de réalisation, le générateur de cadencement 680 est modifié de manière à délivrer un signal de commande dans la ligne 693 plus d'une fois pour chaque cycle du profil de test délivré par la source 682 de vecteurs de tests. Par conséquent l'impulsion de référence 618 est définie et l'interrupteur 765 est fermé plus d'une fois lors de chaque cycle de profil de test, ce qui accroît la cadence avec laquelle le système de réaction échantillonne le signal analogique 661. Toute différence de longueur d'onde de la lumière entre le laser de sondage et le laser de référence a pour effet que le profil d'interférence de sondage et le profil d'interférence de référence diffèrent. Si le laser de sondage possédait une longueur d'onde optique inférieure à celle du laser de référence par exemple, alors le signal d'interférence de sondage détecté en fonction de la désadaptation entre les longueurs des trajets optiques du bras contenant le dispositif DUT et du bras de retardement serait représenté par une courbe sinusoïdale similaire à la courbe 830 sur la figure 3, mais avec une longueur d'onde plus courte. Par conséquent, dans le cas d'une désadaptation suffisamment grande concernant la longueur du trajet optique, des variations du signal d'interférence de sondage dus à des déplacements du dispositif DUT 640 ne sont pas compensées par les déplacement du miroir 720, qui stabilisent le signal d'interférence de référence. Si les lasers ayant une longueur d'onde nominale de 1064 nm diffèrent d'environ 0,5 mn par exemple, la désadaptation concernant la longueur de trajet optique entre le bras contenant le dispositif DUT et le bras de retardement doit être inférieure à environ 50 um. Si on utilise un microscope confocal pour transmettre des faisceaux de l'impulsion de sondage et de l'impulsion de référence au dispositif DUT 640, alors les vibrations du dispositif DUT 640 peuvent modifier l'amplitude des impulsions réfléchies ainsi que leur phase optique. Par conséquent, certains déplacements du miroir 720 sont réalisés de manière à compenser une modification d'amplitude dans la lumière réfléchie plutôt qu'une modification de phase dans la lumière réfléchie. Etant donné que le dispositif DUT 640 est placé au foyer de la lentille de l'objectif 635, on s'attend à ce que ces variations d'amplitude soient suffisamment faibles, de façon typique inférieures à +/-10 % dans la gamme focale à laquelle on s'intéresse, pour qu'elles puissent être compensées au moyen de déplacements suffisamment petits du miroir pour que cet effet soit négligeable. Des variations de l'amplitude des impulsions de référence incidentes conduisent de façon similaire à un mouvement de compensation erroné du miroir 720. Dans une forme de réalisation, ces erreurs sont évitées par la commande de la boucle de réaction avec le taux de réflexion des impulsions de référence plutôt qu'avec le signal d'interférence des impulsions de référence. Les variations d'amplitude des impulsions de référence sont cependant de façon typique inférieures à 5 % et par conséquent sont suffisamment faibles pour que les erreurs introduites par les déplacements erronés du miroir 720 puissent être négligées. La présente description est donnée à titre d'illustration et sans aucun caractère limitatif. D'autres modifications apparaîtront au spécialiste de la technique à la lumière de la présente description et sont censées être contenues dans le cadre de la présente invention. LEGENDES DES FIGURES Figure 1 : 602. Source laser à mode verrouillé 608. Modulateur optique 620. Dispositif de combinaison de faisceaux 624. Coupleur de fibre optique 612. Source laser à onde continue 616. Modulateur optique 622. Miroir 762. Miroir 634. Système optique de pilotage de faisceaux 642. Miroir 676. Sonde 658. Sonde 697. Interface de commande de l'opérateur de traitement des données et dispositif d'affichage 639. Plaque quart-d'onde 638. Région active 636. Système optique de formation de signal de sondage 680. Générateur de cadencement 686. Départ 682. Source de vecteur de test a. Train d'impulsions à 100 MHz b. Impulsion unique sélectionnée c. Amplitude continue d. Impulsion formée e. Unité d'interféromètre et unité de commande électronique f. Photodétecteur pour le faisceau incident g. Photodétecteur pour le faisceau réfléchi h. Signal d'horloge i. Schéma du système Figure 2 : 730. Amortissement du faisceau 701. Diviseur de faisceau 720. Miroir 715. Lentille 725. Elément piézoélectrique 704. Miroir 639. Plaque quart-d'onde 636. Lentille 735. Amplificateur 740 et 765 Interrupteur 750 et 770 Amplificateur 780. Bascule monostable 5 us 775. Convertisseur numérique/analogique de référence a. Positionnement du convertisseur numérique/analogique b. Réglage c. Echantillon d. Signal en onde continue réfléchie e. Interféromètre et système de commande électronique Figure 3 : a. Signal de sortie du détecteur (microwatts) b. Variation de la position Z (micromètres) REVENDICATIONS 1. Procédé pour détecter une activité dans un dispositif à semiconducteurs lorsqu'un profil de test électrique répétitif est appliqué au dispositif, caractérisé en ce qu'il consiste à : produire une première impulsion de lumière de sondage (609,609a) à un instant sélectionné pendant chaque répétition du profil de test et diviser l'impulsion de lumière de sondage pour produire au moins une seconde impulsion de lumière de sondage (609b) ; produire une première impulsion de lumière de référence (618,618a) pendant chaque répétition du profil de test à un instant qui est décalé par rapport à l'instant sélectionné auquel la première impulsion de lumière de sondage est délivrée, et diviser la première impulsion de lumière de référence pour délivrer au moins une seconde impulsion de lumière de référence (618b) ; diriger la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de référence sur le dispositif à semiconducteurs ; combiner la première impulsion de lumière de sondage à la seconde impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence à la seconde impulsion de lumière de référence après que la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence ont coopéré avec le dispositif à semiconducteurs, de sorte que la première impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de sondage se chevauchent dans l'espace et dans le temps et que la première impulsion de lumière de référence et la seconde impulsion de lumière de référence se chevauchent dans l'espace et dans le temps ; détecter les impulsions de lumière de sondage en chevauchement pour obtenir ainsi un signal d'interférence de sondage ; détecter les impulsions de lumière de référence en chevauchement pour obtenir ainsi un signal d'interférence de référence ; déterminer une fonction du signal d'interférence de sonde et du signal d'interférence de référence. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre le fait de modifier l'instant sélectionné avec la répétition du profil de test de sorte que la fonction du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence est déterminée en une pluralité d'instants sélectionnés à l'intérieur du profil de test. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première impulsion de lumière de sondage est une impulsion de lumière laser. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comprend la sélection de l'impulsion de lumière laser à partir d'un train d'impulsions de lumière laser à mode verrouillé. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'exécution d'un verrouillage de phase du train d'impulsions de lumière laser à mode verrouillé et du profil de test répétitif. 6. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la première impulsion de lumière de référence est une impulsion de lumière laser. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'exécution d'une modulation du faisceau laser pour l'obtention de l'impulsion de lumière laser. 8. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les impulsions de lumière de sondage et les impulsions de lumière de référence possèdent approximativement la même longueur d'onde. 9. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre le fait de fixer l'instant, pendant chaque répétition du profil de test électrique, auquel la première impulsion de lumière de référence est produite par rapport au profil de test. 10. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre le fait de diriger la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence le long d'un même trajet, en direction du dispositif à semiconducteurs. 11. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre le fait de diriger la seconde impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de référence le long d'un trajet de retardement avant que la seconde impulsion de lumière de sondage soit combinée à la première impulsion de lumière de sondage et que la seconde impulsion de lumière de référence soit combinée à la première impulsion de lumière de référence. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il comprend en outre le fait de commander selon une boucle de réaction une longueur dudit trajet de retardement pour compenser un déplacement du dispositif à semiconducteurs. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce que la commande selon une boucle de réaction stabilise le signal d'interférence de référence. 14. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre le fait d'amplifier le signal d'interférence de sondage, d'intégrer le signal d'interférence de sondage et de numériser le signal d'interférence de sondage. 15. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre le fait d'amplifier le signal d'interférence de référence, d'intégrer le signal d'interférence de référence et de numériser le signal d'interférence de référence. 16. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la détection des impulsions de lumière de sondage en chevauchement et la détection des impulsions de lumière de référence en chevauchement incluent la détection des impulsions de lumière de sondage en chevauchement et des impulsions de lumière de référence en chevauchement pour l'obtention d'un signal de détection, l'intégration et la numérisation d'une partie du signal de détection pour l'obtention d'un signal d'interférence de sondage et l'intégration et la numérisation d'une partie du signal de détection pour l'obtention d'un signal d'interférence de référence. 17. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre le fait d'annuler un bruit d'amplitude dans le signal d'interférence de sondage et dans le signal d'interférence de référence. 18. Procédé selon la revendication 17, caractérisé en ce que l'action d'annulation d'un bruit d'amplitude comprend la détection d'une partie d'une énergie d'impulsion de lumière de sondage, la détection d'une partie d'une énergie d'impulsion de lumière de référence, la normalisation du signal d'interférence de sondage pour la partie de l'énergie d'impulsion de lumière de sondage, et la normalisation du signal d'interférence de référence par la partie de l'énergie d'impulsion de lumière de référence. 19. Dispositif pour détecter une activité dans un dispositif à semiconducteurs lorsqu'un profil de test électrique répétitif est appliqué au dispositif, caractérisé en ce qu'il comprend : une source (602) d'une première impulsion de lumière de sondage, qui délivre une première impulsion de lumière de sondage (609a) à un instant sélectionné pendant chaque répétition du profil de test électrique ; une source (612) d'une première impulsion de lumière de référence qui délivre une première impulsion de lumière de référence (618a) à un instant décalé par rapport à l'instant sélectionné auquel la première impulsion de lumière de sondage est délivrée ; un diviseur (639), que rencontrent la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence, ce qui conduit ainsi à la délivrance d'au moins une seconde impulsion de lumière de sondage (609b) et une seconde impulsion de lumière de référence (618b) ; un support (641) pour le dispositif à semiconducteurs, que rencontrent la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence ; un dispositif (620 ; 701) de combinaison de faisceaux, disposé de manière à combiner la première impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de sondage, et à combiner la première impulsion de lumière de référence et la seconde impulsion de lumière de référence, après que la première impulsion de lumière de sondage et la première impulsion de lumière de référence ont coopéré avec le dispositif à semiconducteurs ; un détecteur (652,650, 670) disposé de manière à détecter la première impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de sondage de manière à délivrer un signal d'interférence de sondage, et à détecter la première impulsion de lumière de référence et la seconde impulsion de lumière de référence de manière à délivrer un signal d'interférence de référence ; et un processeur (607) couplé au détecteur de manière à déterminer une fonction du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence. 20. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que l'instant sélectionné est modifié avec la répétition du profil de test électrique de sorte que la fonction du signal d'interférence de sondage et du signal d'interférence de référence est déterminée pour une pluralité des instants sélectionnés à l'intérieur du profil de test. 21. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que la source de la première'impulsion de lumière de sondage (609a) comprend un premier laser (602), et que la source de la première impulsion de lumière de référence (618a) comprend un second laser. 22. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que la source de la première impulsion de lumière de sondage (609a) et la source de la première impulsion de lumière de référence (618a) comprennent un même laser. 23. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que la source de la première impulsion de lumière de sondage (609a) est un laser (602). 24. Dispositif selon la revendication 23, caractérisé en ce que le laser est un laser à mode verrouillé (602), et que le dispositif comporte en outre un modulateur optique (608) positionné de manière à sélectionner la première impulsion de lumière de sondage à partir d'un train d'impulsions de lumière laser à mode verrouillé (606). 25. Dispositif selon la revendication 24, caractérisé en ce que le train d'impulsions de lumière laser à mode verrouillé (606) et le profil de test répétitif (614) sont verrouillés en phase. 26. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que la source de la première impulsion de lumière de référence (618a) est un laser (612). 27. Dispositif selon la revendication 26, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un modulateur optique (693), et qu'un faisceau de sortie du laser est modulé par le modulateur optique pour délivrer la première impulsion de lumière de référence (618a). 28. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que les impulsions de lumière de sondage (609a) et les impulsions de lumière de référence (618a) possèdent approximativement la même longueur d'onde. 29. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que l'instant au cours de chaque répétition du profil de test, auquel la première impulsion de lumière de référence est délivrée, est fixe par rapport au profil de test. 30. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que la première impulsion de lumière de sondage (609a) et la première impulsion de lumière de référence (618a) sont dirigées le long du même trajet en direction du dispositif à semiconducteurs (640). 31. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un trajet de retardement, le long duquel la seconde impulsion de lumière de sondage et la seconde impulsion de lumière de référence sont dirigées. 32. Dispositif selon la revendication 31, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une boucle de réaction (735,750, 770) couplée au trajet de retardement, ce qui a pour effet qu'une longueur du trajet de retardement est commandée de manière à compenser le déplacement du dispositif à semiconducteurs. 33. Dispositif selon la revendication 32, caractérisé en ce que la boucle de réaction (735,750, 770) stabilise le signal d'interférence de référence. 34. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que le détecteur (652) comprend un photodétecteur (670) positionné de manière à détecter la première impulsion de lumière de sondage (609a) et la seconde impulsion de lumière de sondage (609b) et à délivrer un signal d'interférence de sondage, un amplificateur (672) couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de sondage, un intégrateur (676) couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de sondage amplifié et un numériseur couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de sondage intégré. 35. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce que le détecteur (652) comprend un photodétecteur (650) positionné de manière à détecter la première impulsion de lumière de référence (618a) et la seconde impulsion de lumière de référence (618b) et délivrer un signal d'interférence de référence, un amplificateur (654) couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de référence, un intégrateur (660) couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de référence amplifié et un numériseur couplé de manière à recevoir le signal d'interférence de référence intégré. 36. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un diviseur (632) disposé de manière à dévier une partie d'une impulsion de lumière de sondage, un photodétecteur (650,670) positionné de manière à détecter la partie de l'impulsion de lumière de sondage et délivrer un signal de photodétecteur, un amplificateur (654,673) couplé de manière à recevoir le signal du photodétecteur, un intégrateur (658,676) couplé de manière à recevoir le signal amplifié du photodétecteur, et un numériseur couplé de manière à recevoir le signal intégré du photodétecteur. 37. Dispositif selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un diviseur (632) positionné de manière à dévier une partie d'une impulsion de lumière de référence, un photodétecteur (650,670) positionné de manière à détecter la partie de l'impulsion de lumière de référence et à délivrer un signal de photodétecteur et un amplificateur couplé de manière à recevoir le signal du photodétecteur, un intégrateur (660, 678) couplé de manière à recevoir le signal amplifié du photodétecteur, et un numériseur couplé de manière à recevoir le signal intégré du photodétecteur.