Brevet FR2819593A1 — publié le 20020719

La présente invention concerne un support d'échantillon pour microscope, du type comportant : - une embase adaptée pour être solidarisée à un bâti du microscope ; et - une platine de fixation dudit échantillon, laquelle platine est mobile par rapport à ladite embase. Pour l'observation microscopique d'un échantillon à surface d'observation plane, la surface d'observation de l'échantillon est disposée sensiblement transversalement à l'axe d'observation du microscope. La platine retenant l'échantillon est mobile par rapport à l'embase dans un plan généralement transversal à l'axe d'observation afin de permettre une observation de toute la surface de l'échantillon. Dans le cas de l'observation d'un circuit intégré, le circuit est collé dans un boîtier adapté pour refroidir le circuit intégré en fonctionnement. Le boîtier est disposé sur la platine du microscope transversalement à l'axe d'observation du microscope. Toutefois, le report du circuit intégré dans son boîtier ne permet pas d'assurer que la surface d'observation du circuit intégré soit correctement positionnée angulairement par rapport au boîtier. Ainsi, la surface d'observation du circuit intégré peut être légèrement décalée angulairement par rapport à l'axe d'observation du microscope. Dans ces conditions, lors du balayage de la surface d'observation du circuit intégré par les moyens d'observation du microscope, la distance entre les moyens d'observation du microscope et le point d'observation de l'échantillon varie. Dans le cas d'un microscope à forte résolution, une faible variation de la distance entre les moyens d'observation et le point d'observation entraîne non seulement une variation des dimensions apparentes de l'échantillon observé mais aussi une défocalisation de l'image. Ainsi, l'incli- naison du circuit intégré nuit à la qualité de l'observation de l'échantillon. L'invention a pour but de proposer un support d'échantillon permettant d'améliorer la qualité d'observation d'un échantillon même si celui-ci est initialement disposé avec une légère inclinaison par rapport à l'axe d'observation du microscope. A cet effet, l'invention a pour objet un support d'échantillon pour microscope, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens réglables de bascu- lement de ladite platine autour d'au moins deux axes d'articulation par rapport à ladite embase. Suivant des modes particuliers de réalisation, le support d'échantillon comporte l'une ou plusieurs des caractéristiques suivantes : - il présente deux axes d'articulation entre la platine et l'embase, lesquels axes d'articulation s'étendent généralement perpendiculairement l'un à l'autre. lesdits moyens réglables de basculement comportent : . un premier plateau articulé par rapport à l'embase autour d'un premier axe d'articulation sensiblement parallèle à l'embase ; . un second plateau articulé par rapport au premier plateau autour d'un second axe d'articulation sensiblement parallèle au premier plateau, la platine de fixation de l'échantillon étant solidaire du second plateau, les deux axes d'articulation se croisent en un point situé au droit de l'échantillon, en considérant le sens d'observation de l'échantillon, et les moyens réglables de basculement comportent : . des premiers moyens de déplacement du premier plateau par rapport à l'embase, lesquels premiers moyens de déplacement sont interposés entre le premier plateau et l'embase, et . des seconds moyens de déplacement du second plateau par rapport à l'embase, lesquels seconds moyens de déplacement sont interposés entre le second plateau et l'embase ; - les premiers et seconds moyens de déplacement comportent chacun une butée mobile sur laquelle reposent, respectivement, le premier plateau et le second plateau ; - il comporte des moyens élastiques de rappel des premier et second plateaux en appui sur les butées mobiles des premiers et seconds moyens de déplacement ; - lesdits premiers et seconds moyens de déplacement comportent chacun une vis micrométrique dont une extrémité est mobile par rapport à ladite embase et forme ladite butée mobile ; et - le premier plateau comporte une lumière de passage d'une vis micrométrique. L'invention a en outre pour objet un microscope comportant un bâti et des moyens d'observation microscopique suivant un axe d'observation, caractérisé en ce qu'il comporte un support d'échantillon selon l'une quelconque des revendications précédentes, l'embase du support d'échantillon étant solidarisée au bâti du microscope. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins, sur lesquels : - la figure 1 est une vue en perspective d'un support d'échantillon se- lon l'invention intégré dans un microscope représenté seulement schématiquement ; - la figure 2 est une vue de côté du support d'échantillon. Sur la figure 1 est représenté, schématiquement, un microscope selon l'invention. Les moyens d'observation du microscope sont connus en soi et ne sont représentés que schématiquement. De tels moyens d'observations, désignés par la référence générale 12, sont par exemple ceux d'un microscope électronique à balayage. Ils s'étendent généralement suivant un axe Z-Z, par exemple vertical. Les moyens d'observation 12 sont supportés par un bâti 13 du microscope représenté schématiquement. Le microscope comporte en outre un support d'échantillon 14 selon l'invention. Le support d'échantillon 14 s'étend généralement transversalement à l'axe Z-Z d'observation du microscope. Il est solidarisé au bâti 13. Le support d'échantillon 14 est adapté pour recevoir un échantillon 16 constitué d'un circuit intégré présentant une surface d'observation supérieure essentiellement plane. Selon l'invention, le support d'échantillon 14 comporte des moyens de positionnement angulaire de la surface d'observation de l'échantillon 16 suivant un plan perpendiculaire-à l'axe Z-Z d'observation du microscope. Plus précisément, le support d'échantillon 14 comporte une embase 18 adaptée pour être solidarisée au bâti 13 du microscope, laquelle platine s'étend perpendiculairement à l'axe d'observation Z-Z du microscope. L'embase 18 est solidarisée par tout moyen adapté à au bâti du microscope. Elle peut également être venue de matière avec celui-ci. Le support d'échantillon 14 comporte un premier plateau 20 articulé par rapport à l'embase 18 autour d'un axe X-X s'étendant parallèlement au plan de l'embase 18. Le plateau 20 est de forme générale carrée. Il est articulé grâce à deux charnières 22 disposées au centre de deux bords opposés. Ainsi, l'axe X-X passe sensiblement par le centre du premier plateau et s'étend suivant un plan vertical médian. Un second plateau 24 est disposé au-dessus du premier plateau 20 et est articulé autour d'un axe Y-Y par rapport au premier plateau 20. Les directions des axes X-X et Y-Y s'étendent perpendiculairement l'une à l'autre. Le second plateau 24 présente également une forme carrée. Il a par exemple un contour identique à celui du premier plateau 20. Le second plateau 24 est articulé grâce à deux charnières 26. Ces dernières sont solidarisées au premier plateau 20 dans la partie médiane des bords du plateau 20 s'étendant perpendiculairement aux bords opposés comportant les charnières 22. Les charnières 26 sont agencées dans la partie médiane de bords opposés du second plateau 24. Ainsi, l'axe Y-Y passe sensiblement par le centre du second plateau 24 et s'étend suivant un plan vertical médian de celui-ci. Les axes d'articulation X-X et Y-Y sont chacun sensiblement concourant à l'axe Z-Z, au droit de l'échantillon 16. En particulier, les deux axes d'articulation se croisent en un point situé au droit de l'échantillon en considérant la direction d'observation de l'échantillon. Le second plateau articulé 24 présente, en son centre, un boîtier 30 de réception de l'échantillon 16. Ce boîtier est adapté pour assurer un refroidissement de l'échantillon 16 en fonctionnement. Le boîtier 30 est solidaire du second plateau 24 et constitue une platine de fixation de l'échantillon. Cette fixation est assurée par exemple par collage. Pour le déplacement angulaire du premier plateau 20 par rapport à l'embase 18 autour de l'axe X-X et du second plateau 24 par rapport au premier plateau 20 autour de l'axe Y-Y, deux vis micrométriques 32,34 sont solidarisées à l'embase 18. Ces vis 32,34 ont leur axe s'étendant généralement parallèlement à l'axe Z-Z, c'est-à-dire sensiblement perpendiculairement aux axes d'articulation X-X et Y-Y. Les deux vis micrométriques 32,34 présentent chacune une poignée de commande 36,38 disposée au-dessous de l'embase 18, c'est-à-dire du côté de l'embase 18 opposé au côté où s'étendent les premier et second plateaux. La première vis 32 est disposée dans un coin du premier plateau 20. Son extrémité mobile notée 40 est en contact de la surface inférieure du plateau 20, et constitue un point d'appui pour ce plateau. L'extrémité mobile 40 de la vis micrométrique 32 constitue une butée mobile définissant la position angulaire du plateau 20 par rapport à l'embase 18. Un ressort de traction 42, par exemple un ressort à spirale, est disposé entre l'embase 18 et le premier plateau 20 dans la région d'application de la vis micrométrique 32. Ce ressort 42 assure le maintien du plateau 20 en appui sur l'extrémité 40 formant butée de la vis micrométrique 32. La seconde vis micrométrique 34 est disposée dans un autre coin des premier et second plateaux 20,22. La partie mobile de la vis micrométrique 34 traverse le premier plateau 20 au travers d'une lumière oblongue 44. L'extrémité de la partie mobile de la vis micrométrique 34 constitue une butée mobile 46 sur laquelle s'appuie la surface inférieure du second plateau mobile 24. Au voisinage de la vis micrométrique 34, les premier et second plateaux sont reliés l'un à l'autre par un ressort de traction 50. On conçoit que, sous l'action des ressorts de traction 42 et 50, les premier et second plateaux sont-maintenus en appui, respectivement sur les extrémités 40 et 46 des première et seconde vis micrométriques. Le déplacement de l'extrémité des première et seconde vis micrométriques 32,34 permet de provoquer un basculement dans un sens ou dans l'autre, respectivement, du premier plateau et du second plateau, autour des axes X-X et Y-Y. Ainsi, l'action sur les vis micrométriques 32 et 34 permet de provoquer un basculement de l'échantillon 16 autour de deux axes s'étendant perpendiculairement l'un à l'autre, ces deux axes s'étendant au droit de l'échantillon par rapport à l'axe d'observation Z-Z du microscope. Ainsi, même si la surface de l'échantillon 16 n'est pas disposée parfaitement parallèlement à la surface du boîtier 30, les vis micrométriques permettent de provoquer le basculement des premier et second plateaux afin de corriger le positionnement angulaire de la surface d'observation de l'échantillon 16 afin d'amener celle-ci rigoureusement perpendiculairement à l'axe Z-Z d'observation du microscope. REVENDICATIONS 1. - Support d'échantillon (14) pour microscope, du type comportant : - une embase (18) adaptée pour être solidarisée à un bâti (13) du microscope ; et - une platine (30) de fixation dudit échantillon, laquelle platine (30) est mobile par rapport à ladite embase (18), caractérisé en ce qu'il comporte des moyens (20,24, 32,34) réglables de basculement de ladite platine (30) autour d'au moins deux axes d'articulation (X-X, Y-Y) par rapport à ladite embase (18). 2.-Support d'échantillon (14) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il présente deux axes d'articulation (X-X, Y-Y) entre la platine (30) et l'embase (18), lesquels axes d'articulation (X-X, Y-Y) s'étendent généralement perpendiculairement l'un à l'autre. 3.-Support d'échantillon (14) selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que lesdits moyens réglables de basculement comportent : - un premier plateau (20) articulé par rapport à l'embase (18) autour d'un premier axe d'articulation (X-X) sensiblement parallèle à l'embase (18) ; - un second plateau (24) articulé par rapport au premier plateau (20) autour d'un second axe d'articulation (Y-Y) sensiblement parallèle au premier plateau (20), la platine (30) de fixation de l'échantillon étant solidaire du second plateau (24), en ce que les deux axes d'articulation (X-X, Y-Y) se croisent en un point situé au droit de l'échantillon, en considérant le sens d'observation de l'échantillon, et en ce que les moyens réglables de basculement comportent : - des premiers moyens (32) de déplacement du premier plateau (20) par rapport à l'embase (18), lesquels premiers moyens de déplacement sont interposés entre le premier plateau (20) et l'embase (18), et - des seconds moyens (34) de déplacement du second plateau (24) par rapport à l'embase (18), lesquels seconds moyens de déplacement (34) sont interposés entre le second plateau (24) et l'embase (18). 4.-Support d'échantillon (14) selon la revendication 3, caractérisé en ce que les premiers et seconds moyens de déplacement (32,34) comportent chacun une butée mobile (40,46) sur laquelle reposent, respectivement, le premier plateau (20) et le second plateau (24). 5.-Support d'échantillon (14) selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens élastiques (42,50) de rappel des premier et second plateaux (20,24) en appui sur les butées mobiles (40,46) des premiers et seconds moyens de déplacement (32,34). 6.-Support d'échantillon (14) selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce que lesdits premiers et seconds moyens de déplacement (32,34) comportent chacun une vis micrométrique dont une extrémité est mobile par rapport à ladite embase (18) et forme ladite butée mobile (40,46). 7.-Support d'échantillon (14) selon la revendication 6, caractérisé en ce que le premier plateau (20) comporte une lumière (50) de passage d'une vis micrométrique (34). 8.-Microscope comportant un bâti (13) et des moyens d'observation microscopique (12) suivant un axe d'observation (Z-Z), caractérisé en ce qu'il comporte un support d'échantillon (14) selon l'une quelconque des revendications précédentes, l'embase (18) du support d'échantillon étant solidarisée au bâti du microscope.