Brevet FR2817049A1 — publié le 20020524

MATERIAU PHOTORETICULABLE CONTENANT UN CHROMOPHORE, MATERIAU RETICULE, CIRCUIT INTEGRE OPTIQUE COMPRENANT CE MATERIAU, ET SON PROCEDE DE PREPARATION DESCRIPTION L'invention concerne un matériau photoréticulable contenant un chromophore, et un matériau réticulé susceptible d'être obtenu par photoréticulation de ce matériau photoréticulable. L'invention concerne, en outre, un circuit intégré optique comprenant ce matériau réticulé. L'invention a enfin trait à un procédé de préparation d'un circuit intégré optique. La présente invention se situe dans le domaine de la fabrication des circuits intégrés optiques ( CIO ). Les circuits intégrés optiques dz CIO ) sont une association d'éléments optiques, tels que des guides d'onde, des optiques diffractives, des réseaux de BRAGG etc., sur un même composant ou matrice. Tous ces éléments sont constitués par des structures présentant un contraste d'indice de réfraction par rapport à la matrice qui les supporte. Il est, en outre, possible, en fonction de la nature du matériau, de modifier la valeur de l'indice de réfraction par application d'un champ électrique (c'est ce que l'on appelle l'effet électro-optique). On a ainsi des composants dynamiques pouvant être contrôlés électriquement. Un exemple d'un tel dispositif est donné sur la figure 1. Il s'agit d'un gyroscope optique utilisant un modulateur de phase intégré (1), mettant en oeuvre comme matrice (2), un cristal de niobate de lithium (LiNbO3). Le contraste d'indice nécessaire à la constitution des guides d'onde (3) est obtenu par bombardement ionique des régions voulues. Le niobate de lithium possède des propriétés électro-optiques importantes, le contrôle de l'indice de réfraction est donc obtenu par application d'un champ électrique sur le guide d'onde. Le champ est appliqué par l'intermédiaire des électrodes (4) déposées sur le circuit. Le dispositif, décrit ci-dessus sur la figure 1, n'est qu'un exemple d'application d'un type de matériau à un dispositif donné. Il existe d'autres matériaux, tels que les verres dopés et les semi-conducteurs, etc., utilisés pour la réalisation de CIO. De plus, le circuit peut ne pas être implanté dans le volume du matériau, mais être constitué de pistes déposées sur un substrat. Il apparaît alors en relief sur le support. Les matériaux utilisés pour la réalisation des matrices des circuits intégrés optiques sont actuellement des matériaux inorganiques, qui ont notamment pour inconvénient la lourdeur de leur préparation, et leur constante diélectrique élevée limitant la fréquence de commutation (effet capacitif). On cherche, toutefois, à mettre au moins des matériaux organiques susceptibles de remplacer les matériaux inorganiques. Il est alors nécessaire de créer dans ces matériaux organiques une modulation localisée et permanente de l'indice de réfraction, accompagnée de l'induction de propriétés électro-optiques. On connaît ainsi des composants préparés essentiellement par masquage et attaque chimique d'une matrice. Une telle façon de procéder, semblable à celles utilisées en microélectronique, est longue et difficile à mettre en oeuvre, en particulier lors de l'étape finale de développement, et nécessite l'utilisation de nombreux solvants, acides et autres produits de traitement. On sait, par ailleurs, que c'est précisément le rôle des chromophores que d'induire dans un matériau, une variation de l'indice et de l'effet électro-optique. Les chromophores sont des molécules qui possèdent plusieurs propriétés spécifiques. Elles ont un moment dipolaire qui permet leur orientation dans un champ électrique. Elles possèdent aussi une anisotropie de polarisabilité linéaire importante ; cette propriété peut être assimilée à une biréfringence à l'échelle moléculaire. Les chromophores possèdent, en outre, une hyperpolarisabilité quadratique qui est à la base de l'effet électro-optique. La famille des chromophores regroupe des molécules très différentes. Cependant, il s'agit, la plupart du temps, de molécules possédant un groupement accepteur d'électrons et un groupement donneur d'électrons liés par un chemin de conjugaison (orbitales n) permettant la délocalisation des électrons sur l'ensemble de la molécule. Ces molécules sont appelées molécules push-pull . Une des difficultés de la mise en oeuvre de ces molécules est liée à leur tendance à la cristallisation. Dans la phase cristalline, les chromophores ont tendance à s'orienter tête-bêche. Les microcristaux, ainsi formés, ne présentent ni moment dipolaire, ni hyperpolarisabilité quadratique et il est donc impossible de retrouver ces propriétés à l'échelle macroscopique. La solution utilisée pour éviter ce problème est de disperser les chromophores dans une matrice polymère. La matrice doit être transparente dans la partie du spectre utilisée et doit permettre l'orientation des molécules. Là encore, il existe un grand nombre de matrices possibles allant des polymères aux sol-gels. L'orientation collective des molécules va induire plusieurs effets dont l'apparition à l'échelle macroscopique d'une biréfringence liée à l'organisation des chromophores, le matériau passant d'une phase isotrope à une phase non centrosymétrique, il y a apparition d'une hyperpolarisabilité quadratique à l'échelle macroscopique et le matériau est alors électro-optique. Un nouveau problème apparaît alors, celui de la pérennité de l'orientation collective. En orientant les molécules, le matériau a été placé dans un état thermodynamique instable et on a une tendance forte à la désorientation des molécules une fois le champ électrique supprimé. Or, si l'on veut conserver les propriétés optiques recherchées, il est important de pouvoir figer l'orientation moléculaire dans le matériau. Il existe plusieurs solutions pour conserver l'orientation des chromophores dans la matrice qui les contient, mais elles ont toutes en commun une augmentation de la viscosité, après la phase de polarisation. On utilise principalement deux méthodes, la première est d'utiliser une matrice rigide à température ambiante et de la chauffer au-dessus de sa température de transition vitreuse, avant d'appliquer le champ électrique. La viscosité ayant diminué avec l'augmentation de la température, les molécules sont libres de s'orienter. En revenant à la température ambiante, la rigidité du matériau interdit la relaxation rapide de l'orientation des chromophores, on a donc une relaxation lente sur quelques jours. Une autre méthode consiste à modifier la rigidité de la matrice en modifiant sa nature chimique, après la polarisation. On utilise alors soit une polymérisation, soit une réticulation, c'est-à-dire la formation d'un réseau moléculaire tridimensionnel, soit une gélification. La réaction chimique peut être spontanée ou induite. Dans ce dernier cas, la réaction est principalement provoquée par une élévation de la température, on a alors affaire à une thermoréticulation, ou encore par une irradiation, par exemple X, voire gamma. L'immobilisation des chromophores peut être renforcée en les faisant intervenir dans la réaction de réticulation. Le chromophore fait alors partie intégrante de la matrice et sa mobilité est fortement réduite. Le problème essentiel qui se pose alors est la dégradation du chromophore. En effet, les molécules aux propriétés optiques non linéaires sont fragiles et ne supportent pas les hautes températures ou les rayonnements durs. La réalisation de circuits intégrés optiques demande, en outre, la possibilité d'induire des variations locales de propriétés correspondant aux dessins du circuit optique désiré. La thermoréticulation est ici mal adaptée. L'échauffement, pour être exercé de façon locale, doit être induit par illumination laser importante, susceptible de dégrader le chromophore. De plus, la diffusion de la chaleur interdit une résolution fine. On aurait pu penser appliquer à la réticulation des matrices organiques, contenant des chromophores, la réticulation par excitation optique ou photoréticulation dans le domaine des UV, telle qu'elle est mise en oeuvre dans les domaines des revêtements, vernis et peintures. En effet, la photoréticulation permettrait, elle, d'obtenir la résolution spatiale fine. Or, du fait que la photoréticulation se fait dans le domaine UV, elle aurait deux inconvénients : une dégradation des chromophores induite par le rayonnement et une faible épaisseur de pénétration des UV empêchant la réticulation sur des épaisseurs de plus de quelques microns. Il existe donc un besoin pour un matériau organique réticulable contenant des chromophores, convenant en particulier pour la fabrication de circuits intégrés optiques, qui ne présente pas les inconvénients des matériaux de l'art antérieur, décrits ci-dessus. Il existe, en d'autres termes, un besoin pour un matériau organique réticulable, dans lequel les chromophores ne soient ni détériorés, ni, a fortiori, détruits lors du processus de réticulation, dans lequel la réticulation se produise sur une profondeur importante et dans l'ensemble du matériau, qui permette une révolution spatiale fine, et, enfin, qui puisse être préparé par un procédé simple et fiable. Le but de la présente invention est de fournir un matériau organique réticulable contenant des chromophores, qui réponde, entre autres, à ces besoins. Le but de la présente invention est encore de fournir un matériau organique réticulable, qui ne présente pas les inconvénients, défauts, limitations et désavantages des procédés de l'art antérieur et qui résolve les problèmes de l'art antérieur. Ce but et d'autres encore sont atteints, conformément à l'invention, par un matériau photoréticulable par la lumière visible comprenant essentiellement une matrice d'un monomère possédant au moins trois fonctions réticulables, ladite matrice contenant un chromophore et un photosensibilisateur présentant un pic d'absorption dans le domaine visible distinct, séparé, de celui du chromophore. Le matériau, selon l'invention, répond, entre autres, à l'ensemble des besoins indiqués ci-dessus, et ne présente pas les inconvénients des matériaux décrits plus haut. Le matériau, selon l'invention, est une matrice photoréticulable dans le visible dopée par des chromophores aux propriétés optiques non linéaires. Le matériau selon l'invention étant un matériau photoréticulable dans le domaine du visible, il n'y aura pas de destruction, ni de dégradation des chromophores sous irradiation. Le matériau selon l'invention assure une réticulation sur une épaisseur importante, dans la totalité du matériau. Du fait que la réticulation est réalisée par un procédé optique et non thermique, le matériau selon l'invention offre la possibilité d'une résolution spatiale fine. Avantageusement, les fonctions réticulables sont choisies parmi les fonctions acrylate, et les fonctions époxy. Le monomère est choisi avantageusement parmi le tétraacrylate de pentaérythritol, le triacrylate de pentaérythritol (PETIA), et le tris (2-hydroxyéthyl) isocyanurate triacrylate (et d'autres encore...). Le chromophore est choisi avantageusement parmi le 5 OCB, le MMONS, le MOCC, et autres, tels que les chromophores à hyperpolarisabilité quadratique non nulle. Le photosensibilisateur est choisi avantageusement parmi l'éosine Y et le bleu de méthylène et d'autres. Le matériau, selon l'invention, peut, en outre, comprendre, dans certains cas, un co-amorceur, tel que la méthyl-diéthanolamine. Avantageusement, dans le matériau selon l'invention, tous les chromophores ou une partie de ceux-ci est (sont) aligné (e) (s), par exemple, par application d'un champ électrique. L'invention concerne, en outre, un matériau réticulé, en totalité ou en partie, susceptible d'être obtenu par photoréticulation, par la lumière visible, en totalité ou en partie du matériau photoréticulable, défini plus haut. L'utilisation, selon l'invention, d'un photosensibilisateur adapté pour réaliser la réticulation et bloquer ainsi l'orientation des chromophores confère définitivement au matériau les propriétés voulues. En outre, ce matériau peut présenter de fort dopages en chromophores. Ceux-ci étant, de préférence, orientés en totalité ou en partie (dans l'ensemble du matériau ou seulement dans certaines zones choisies de celui-ci). L'invention a encore trait à un circuit intégré optique comprenant ce matériau réticulé ; ce circuit intégré optique étant choisi parmi les modulateurs d'amplitude, de phase, ou d'autres dispositifs. L'invention concerne aussi un procédé de préparation d'un circuit intégré optique, comprenant les étapes successives suivantes : - mettre le matériau photoréticulable, tel que décrit ci-dessus, dans lequel les chromophores ne sont pas alignés, sous la forme d'une couche ; - réaliser l'alignement des chromophores par application d'un champ électrique ; - maintenir le champ électrique et éclairer la couche par la lumière visible, au travers d'un masque ne permettant l'éclairement sur la couche que des zones correspondant au motif du circuit optique désiré ; - supprimer le champ électrique ; éclairer l'ensemble de la couche, moyennant quoi les chromophores ne sont alignés que dans les zones correspondant au motif du circuit intégré optique ; - déposer l'électrode aux endroits voulus. Grâce au procédé de l'invention, on remarque que la gravure du circuit peut être menée à bien en laissant l'échantillon en place et qu'il n'y a pas de traitement à posteriori. Le procédé est très simple et demande une manutention très réduite. La technique permet, en outre, de faciliter la connexion optique du circuit. Avantageusement, on peut, au cours de la première étape, noyer une fibre optique dans le matériau et commencer le circuit à partir de la fibre. Le procédé, selon l'invention, permet de limiter les pertes d'insertions, problème important dans le cadre des circuits intégrés optiques. D'autres détails et avantages de la présente invention apparaîtront mieux à la lecture de la description qui va suivre, donnée à titre illustratif et non limitatif, et faite en référence aux dessins joints, dans lesquels : - la figure 1 est un schéma de principe d'un exemple de CIO, qui est un gyroscope optique utilisant un double modulateur de phase intégré ; - la figure 2 est un graphique qui montre l'absorption de chacun des constituants du matériau photoréticulable selon l'invention ; en ordonnée, est portée l'absorption A (unités arbitraires) et en 0 abscisse la longueur d'onde k (en A) - les figures 3A, 3B, 3C, 3D constituent un schéma de principe qui illustre les différentes étapes de réalisation d'un modulateur d'amplitude selon l'invention. De manière détaillée, le matériau photoréticulable par la lumière visible, selon l'invention, comprend essentiellement une matrice d'un monomère possédant au moins trois fonctions réticulables. Par comprend essentiellement, on entend que ladite matrice représente généralement plus de 50 % en poids et de préférence de 30 à 90 % en poids du matériau selon l'invention. Par matrice d'un monomère, on entend que le monomère est sous la forme d'une structure homogène, dans laquelle les autres éléments, à savoir le chromophore et le photosensibilisateur sont répartis, de préférence uniformément, de manière homogène. La matrice photoréticulable est composée de monomères, encore appelés (précurseurs)), présentant au moins trois fonctions réticulables. Lors de la réaction de réticulation que subit le matériau selon l'invention, les fonctions réticulables sont brisées au profit d'une liaison entre deux molécules. On forme ainsi un réseau tridimensionnel réticulé dont la viscosité est considérablement plus importante que celle du précurseur : à titre d'exemple, cette viscosité peut passer de 500 cps à 1013 ps. L'utilisation de précurseurs n'ayant que deux fonctions réticulables conduit non pas à un réseau tridimensionnel, conformément à l'invention, mais à un polymère, ce qui est nettement moins intéressant. Les fonctions réticulables peuvent être choisies parmi toutes les fonctions réticulables connues. Des exemples de telles fonctions réticulables sont la fonction acrylate, la fonction époxy. Des exemples de précurseurs, monomères, réticulables, photopolymérisables sont donc le triacrylate de pentaérythritol (II) et le tétraacrylate de pentaérythritol (I) dont les formules sont données ci-après : ou encore le tris (2-hydroxyéthyl) isocyanurate triacrylate (et d'autres encore). Selon l'invention, l'amorce de la réaction par la lumière ne se fait pas directement par action sur la fonction réticulable avec création de radicaux libres sous UV-avec tous les effets néfastes que cela peut avoir sur les chromophores, mais aussi sur la matrice-mais par l'intermédiaire d'un composé photosensibilisateur ajouté à la matrice, permettant, de manière avantageuse, conformément à l'invention, une réticulation avec la lumière visible. De préférence, selon l'invention, on éclaire seulement dans la plage du pic d'absorption du photosensibilisateur, c'est-à-dire seulement sur le pic du photosensibilisateur, de manière très précise, par exemple avec un laser. Le choix du photosensiblisateur est conditionné par le fait que, selon l'invention, on souhaite induire la réticulation, la photopolymérisation, dans une fenêtre du spectre bien défini correspondant à la plage de longueurs d'ondes de la lumière visible. La concentration en photosensibilisateur est faible, généralement de un à quelques centièmes en poids, jusqu'à 1 à quelques millièmes en poids. La concentration en photosensibilisateur permet de contrôler la transparence du précurseur-monomère. On peut ainsi travailler-au contraire de l'art antérieur-sur des épaisseurs importantes, pouvant aller jusqu'à quelques centaines de microns, par exemple 400 pm, pour des dosages modérés. Selon l'invention, le composé photosensibilisateur présente un pic d'absorption dans le domaine de la lumière visible, ce pic d'absorption étant, en outre, distinct, séparé de celui du chromophore. La figure 2 illustre cette situation en montrant la contribution à l'absorption de chaque composant du matériau selon l'invention. Le chromophore (C) absorbe, en général, principalement dans le visible, et le couple chromophore photosensibilisateur (S) est, en outre, adapté afin qu'il n'y ait pas recouvrement des deux pièces d'absorption. Le pic d'absorption du photosensibilisateur (S) va donc se situer également dans le visible, mais, par exemple, à une longueur d'onde plus élevée que celui du chromophore. Sur la figure 2, on a également représenté le pic d'absorption du monomère (M) ou précurseur qui se situe plutôt dans l'UV. On note qu'il existe un recouvrement entre le pic d'absorption du monomère (M) et celui du chromophore (C) ; ce recouvrement serait gênant si on opérait une photoréticulation directe du monomère par irradiation aux UV, puisque l'on détériorerait alors le chromophore, extrêmement sensible aux UV. Du fait que, selon l'invention, la photoréticulation est réalisée avec de la lumière visible dans la plage étroite correspondant au pic d'absorption du photosensibilisateur (voir flèche), éloigné, distinct du pic du chromophore, celui-ci ne subit aucune détérioration. En outre, le chromophore (C) est présent à une forte concentration, qui peut aller généralement de 1 % à 50 % en poids. De ce fait, son absorption masquerait celle du photosensibilisateur, si, selon l'invention, les pics d'absorption respectifs du photosensibilisateur (S) et du chromophore (C) n'étaient pas distincts, séparés. Ces conditions étant remplies, l'homme du métier pourra déterminer quelles sont les associations chromophore/photosensibilisateur adéquates. Des exemples de chromophores ou molécules dopantes possédant des propriétés optiques non linéaires, sont le 5 OCB (III), le MMONS (IV) et le MOCC (V) dont les formules sont données ci-après : Des exemples de photosensibilisateurs, c'est-à-dire de colorants, servant à induire une photoréticulation dans le visible, sont l'éosine y (VI) et le bleu de méthylène (VII), dont le formules sont données ci-après : Un matériau, particulièrement préféré selon l'invention, comprend une matrice de monomère PETIA, un chromophore MOCC, à raison de 10 à 20 % en poids et un photosensibilisateur (éosine), à raison de 0,1 à 0,001 % en poids. Le matériau, dans ce cas, contient, en outre, un co-amorceur, tel que la méthyl-diéthanol amine, à raison généralement de 1 à 10 % en poids. Le matériau, selon l'invention, peut être préparé par simple mélange de monomère précurseur, du photosensibilisateur et du chromophore. La réalisation d'un circuit intégré optique ( CIO ), à l'aide du matériau photoréticulable selon l'invention, comprend plusieurs étapes. Ces étapes sont illustrées sur la figure 3, qui montre la réalisation à titre d'exemple d'un modulateur d'amplitude. Il est bien évident que d'autres circuits intégrés optiques ( CIO ) peuvent être préparés de manière analogue, avec éventuellement de légères adaptations. Tout d'abord (figure 3A), le mélange monomère-précurseur, photosensibilisateur et chromophore est mis sous la forme d'une couche (31) d'épaisseur voulue, par exemple de 100 à 200 Mm. Dans cette couche, les chromophores (32) dopant le précurseur sont orientés, de manière aléatoire, ils ne sont pas alignés. Dans une deuxième étape, on polarise la couche, c'est-à-dire que l'on applique un champ électrique (E) (polarisation coronna) de façon à réaliser l'alignement des chromophores, c'est-à-dire à tous les orienter dans la même direction (figure 3B). Le champ électrique est généralement perpendiculaire au plan principal de la couche (31). Le champ électrique étant maintenu, on réalise une première photoréticulation, en éclairant avec de la lumière visible (33) (longueur d'onde adaptée) la couche (31), au travers d'un masque (34) pourvu d'un motif (35) correspondant au motif, au tracé du circuit optique que l'on souhaite obtenir sur la couche, c'est-à-dire que le masque (34) ne permet l'éclairement sur la couche que des zones correspondant au motif, au tracé optique que l'on souhaite obtenir. Cette deuxième étape du procédé, qui est en fait une première opération de réticulation suivant le tracé du circuit optique désiré, a notamment trois conséquences : il y a une densification de la matrice, accompagnée d'une augmentation de l'indice de réfraction, et il y a une immobilisation du chromophore, et donc, de ce fait, une induction d'une biréfringence et de propriétés électro-optiques permanentes. Dans la troisième étape du procédé, on coupe le champ de polarisation, autrement dit, on supprime le champ électrique. L'orientation des chromophores dans les régions non réticulées, non éclairées (protégées par le masque) au cours de l'étape précédente, c'est-à-dire dans les régions (36) en dehors du motif, du tracé du circuit optique, que l'on souhaite obtenir, relaxe alors (37). On éclaire uniformément, avec de la lumière visible (33) (figure 3C), l'ensemble de la couche et on fige ainsi les orientations. Les chromophores ne sont alignés, n'ont une orientation privilégiée que dans la région (38) correspondant au dessin du motif du masque de la figure 3B, au travers de laquelle pouvait passer la lumière. On obtient ainsi un contraste de propriétés optiques entre les régions où l'orientation a été bloquée et celles où elle a été relaxée. Ce contraste constitue le circuit optique. Autrement dit, cela induit un saut d'indice assurant les conditions de guidage. L'orientation fixée, l'alignement des chromophores dans une direction qui est perpendiculaire au plan la couche confère au matériau des propriétés électro-optiques. Pour utiliser l'effet électro-optique, il faut encore déposer les électrodes (39,40) nécessaires à l'application d'un champ électrique aux endroits voulus (figure 3D). Le dépôt d'électrodes permet, en effet, d'appliquer un champ électrique qui module l'indice de réfraction du guide. Sur la figure 3D, on obtient ainsi un modulateur d'amplitude. REVENDICATIONS 1. Matériau photoréticulable par la lumière visible comprenant essentiellement une matrice d'un monomère possédant au moins trois fonctions réticulables, ladite matrice contenant un chromophore et un photosensibilisateur présentant un pic d'absorption dans le domaine visible distinct, séparé, de celui du chromophore. 2. Matériau selon la revendication 1, dans lequel lesdites fonctions réticulables sont choisies parmi les fonctions acrylate, et les fonctions époxy. 3. Matériau selon la revendication 2, dans lequel ledit monomère est choisi parmi le tétraacrylate de pentaérythritol, le triacrylate de pentaérythritol (PETIA) et le tris (2-hydroxyéthyl) isocyanurate triacrylate. 4. Matériau selon la revendication 1, dans lequel ledit chromophore est choisi parmi le 5 OCB, le MMONS, le MOCC et les chromophores à hyperpolarisibilité quadratique non nulle. 5. Matériau selon la revendication 1, dans lequel ledit photosensibilisateur est choisi parmi l'éosine Y et le bleu de méthylène. 6. Matériau selon la revendication 1, comprenant, en outre, un co-amorceur. 7. Matériau selon la revendication 1, dans lequel tous les chromophores ou une partie de ceux-ci (est) sont aligné (e) (s), par exemple, par application d'un champ électrique. 8. Matériau réticulé, en totalité ou en partie, susceptible d'être obtenu par photoréticulation, en totalité ou en partie, par la lumière visible du matériau photoréticulable selon l'une quelconque des revendications 1 à 7. 9. Matériau selon la revendication 8, dans lequel ladite photoréticulation est réalisée en éclairant seulement sur le pic d'absorption du photosensibilisateur. 10. Circuit intégré optique comprenant le matériau réticulé selon la revendication 8 ou la revendication 9. 11. Procédé de préparation d'un circuit intégré optique, comprenant les étapes successives suivantes : - mettre le matériau photoréticulable selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel les chromophores ne sont pas alignés, sous la forme d'une couche ; - réaliser l'alignement des chromophores par application d'un champ électrique ; - maintenir le champ électrique et éclairer la couche par la lumière visible, au travers d'un masque ne permettant l'éclairement sur la couche que des zones correspondant au motif du circuit optique désiré ; - supprimer le champ électrique ; - éclairer l'ensemble de la couche, moyennant quoi les chromophores ne sont alignés que dans les zones correspondant au motif du circuit intégré optique ; - déposer l'électrode aux endroits voulus. 12. Procédé selon la revendication 11, dans lequel au cours de la première étape, on noie une fibre optique dans le matériau. 13. Procédé selon la revendication 11, dans lequel le circuit intégré optique est un modulateur d'amplitude, ou un modulateur de phase.