Brevet FR2815769A1 — publié le 20020426

Canon à électrons à faisceau recombiné avec fenêtre de sortie à refroidissement central L'invention se rapporte au domaine des canons à électrons, encore appelés accélérateurs d'électrons. Il existe de nombreuses applications des canons à électrons, mais l'invention se rapporte plus particulièrement aux domaines des canons à électrons qui sont utilisés à des fins de stérilisation ou de traitements de surface tels que la réticulation. Dans ces applications, on utilise directement l'énergie des électrons en les projetant sur l'objet à traiter pour qu'ils agissent sur celui-ci. Les électrons sont donc dans ce cas émis en direction d'un environnement qui est sensiblement à la pression atmosphérique, au travers d'une fenêtre de sortie qui isole la partie interne du canon, dans laquelle se trouve la source d'électrons, de l'environnement externe. En effet, les électrons ne peuvent être accélérés que dans une atmosphère de vide poussé, mais pour ne pas avoir à traiter les objets dans une enceinte sous vide, on est obligé de faire traverser aux électrons cette fenêtre qui forme une frontière entre l'extérieur et l'intérieur du canon. Dans tous les cas, le traitement que l'on vise à effectuer avec le faisceau d'électrons produit par un tel canon est un traitement qui suppose qu'une certaine quantité d'énergie ou de puissance soit apportée à l'objet que l'on veut traiter. Dans la plupart des applications industrielles faisant appel à des faisceaux d'électrons, on utilise des faisceaux d'électrons de grande énergie. Ces faisceaux sont en principe des faisceaux dans lesquels les électrons ont une énergie de l'ordre du MeV (Méga électron-Volt). De tels faisceaux sont utilisés avec un balayage, c'est-à-dire que le faisceau est produit sous la forme d'un"spot"de dimension relativement faible qui est dévié par une système de balayage intégré au canon afin que le faisceau parcoure l'ensemble de la surface à traiter. Avec un tel type de faisceau, un élément de surface de l'objet à traiter n'est donc exposé au faisceau que pendant un très court instant, mais sous une forte énergie. La quantité d'énergie reçue par cet élément de surface est bien entendu proportionnelle au temps d'exposition et à la puissance du faisceau. Il s'avère toutefois que, pour certaines applications, le traitement par balayage du faisceau se révèle peu satisfaisant. Cela est notamment le cas lorsque l'on traite des objets de formes complexes ou qui présentent des éléments de surface qui ne sont pas perpendiculaires à l'axe du faisceau, surtout si les objets à traiter sont en mouvement. Par ailleurs l'utilisation de faisceaux hautement énergétiques présente certes l'avantage de pouvoir traiter des matériaux en profondeur, mais, en contrepartie, ils nécessitent des dispositifs d'isolement et de sécurité complexes et encombrant pour protéger l'environnement notamment des rayons X que le faisceau est susceptible de produire au contact de certains matériaux. L'invention a donc pour but de proposer une canon à électrons qui puisse fonctionner sans balayage et à des énergies moindres. Cependant, si le faisceau secondaire ne subit pas de balayage, il est nécessaire qu'il s'étende sur une surface de projection relativement grande pour que l'objet à traiter le soit entièrement. Il faut par ailleurs que, à l'intérieur de cette surface de projection, la répartition de puissance du faisceau soit relativement homogène. Le fait de ne plus effectuer de balayage du faisceau entraîne une autre conséquence. En effet, le faisceau traverse alors toujours la même portion de surface de la fenêtre lorsqu'il passe de l'intérieur vers l'extérieur de la fenêtre. Or, même en utilisant un matériau qui absorbe peu d'électrons, une proportion non négligeable de l'énergie du faisceau se dissipe dans la fenêtre sous forme de chaleur, ceci d'autant plus que le faisceau est faiblement énergétique. Aussi, pour diminuer la quantité d'énergie ainsi perdue, on diminue le plus possible l'épaisseur de la fenêtre, au moins sur la zone de celle-ci qui est effectivement traversée par le faisceau. Cependant, la fenêtre doit conserver une résistance mécanique suffisamment importante pour ne pas se déformer ni se rompre sous l'effet de la différence de pression entre l'intérieur et l'extérieur du canon. Entre ces deux contraintes contradictoires, il devient complexe de trouver une fenêtre qui puisse en plus résister à la chaleur générée sur la zone d'impact du faisceau ou se trouve concentré tout l'apport d'énergie. L'invention a donc pour but de proposer une nouvelle conception d'un canon à électron qui permette de passer outre toutes les contraintes développées ci-dessus. Dans ce but, l'invention propose un canon électrons, du type comportant un espace interne sous vide à l'intérieur duquel un faisceau primaire d'électrons est généré à partir d'au moins une source d'électrons, et du type dans lequel le faisceau primaire est dirigé vers une fenêtre de sortie comportant un film frontière au travers duquel il émerge, à l'extérieur du canon, sous la forme d'un faisceau secondaire, caractérisé en ce que les faisceaux primaires et secondaires sont fixes par rapport à un axe général du faisceau, en ce que la surface effective d'impact du faisceau primaire sur le film frontière est entièrement comprise à l'intérieur d'un disque enveloppe centré sur l'axe du faisceau, en ce que l'aire de la surface effective d'impact est inférieure à l'aire du disque enveloppe de manière que la fenêtre de sortie présente, à l'intérieur du disque enveloppe, des zones de dissipation qui ne sont pas traversées par le faisceau d'électrons, et en ce que la géométrie du faisceau secondaire, qui résulte de la diffusion du faisceau primaire au travers de la fenêtre, est telle que dans une section de travail centrée sur l'axe du faisceau, la répartition de puissance du faisceau secondaire est sensiblement constante Selon d'autres caractéristiques de l'invention : - le canon est prévu des moyens de refroidissement du film frontière ; - les moyens de refroidissement comprennent des moyens d'adduction d'un liquide de refroidissement au contact des zones de dissipation du film frontière ; - la source d'électrons est partiellement recouverte d'un inhibiteur qui empêche l'émission d'électrons et dont la géométrie correspond sensiblement aux zones de dissipation du film frontière ; - le canon comporte plusieurs source d'électrons qui forment le faisceau primaire ; - le canon comporte un cache qui intercepte une partie des électrons émis ; - une portion centrale du disque enveloppe constitue une zone de dissipation ; - le faisceau primaire est un faisceau sensiblement tubulaire ; - la fenêtre comporte une armature sur laquelle s'appuie le film frontière, et l'armature comporte des canaux de circulation de fluide de refroidissement ; - l'armature comporte au moins un canal périphérique qui s'étend sensiblement autour du disque enveloppe ; - l'armature comporte au moins un canal central qui s'étend au contact de la portion centrale de dissipation. - l'armature comporte une ouverture qui correspond sensiblement à la surface effective d'impact des électrons sur le film frontière ; - l'armature (36) est agencée du côté interne du film frontière ; - la fenêtre comporte une bride externe qui est pourvue d'une ouverture correspondant sensiblement à la surface effective d'impact des électrons, le film frontière étant serré entre l'armature interne et la bride externe ; et - l'énergie du faisceau est de l'ordre de la centaine de kilo-électronvolts. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit ainsi que dans les dessins annexés dans lesquels : - la figure 1 est une vue schématique en coupe axiale d'un canon à électrons conforme aux enseignements de l'invention ; - la figure 2 est une vue schématique en perspective d'un mode de réalisation possible de la surface émissive de la cathode du canon de la figure 1 ; - la figure 3 est une vue en perspective éclatée de la fenêtre du canon ; - la figure 4 est une vue en coupe axiale agrandie de la fenêtre du canon ; et - les figures 5 et 6 sont des vues axiales schématiques de la surface émissive de deux variantes de réalisation d'un cathode pour un canon selon l'invention. On a représenté sur la figure 1 un canon à électrons 10 qui est composé de trois parties principales disposées d'amont en aval selon le sens de déplacement des électrons, à savoir un boîtier arrière 12 qui porte une cathode 14, une anode 16, un corps intermédiaire 18 et une fenêtre de sortie 20. Le boîtier arrière 12, le corps intermédiaire 18 et la fenêtre 14 délimitent un espace interne fermé 22 qui est destiné à être relié à des moyens de pompage (non représentés) par l'intermédiaire d'une tubulure 23 qui débouche dans le corps intermédiaire 18, de manière à abaisser la pression à l'intérieur de l'espace interne 22 à une valeur très faible, par exemple de l'ordre de 10-9 bar. La cathode 14, qui est fixée à l'extrémité amont du boîtier 12, est par exemple réalisée, de manière connue en soi, sous la forme d'un cylindre 24 à base de tungstène destiné à être porté à haute température par un filament hélicoïdal 26 relié à une source de courant à haute tension (non représentée). Le canon 10 est un dispositif qui est pour l'essentiel cylindrique de révolution autour de l'axe A1, et la cathode cylindrique 14 se trouve disposée coaxialement selon cet axe A1. La cathode 14 présente ainsi une face émissive qui est perpendiculaire à l'axe A1 et qui est tournée vers l'aval du canon. Cette face émissive, qui est représentée plus en détails à la figure 2, est constituée d'une pastille circulaire 28. De manière connue, la pastille 28 est réalisée en un matériau qui, sous l'effet de la température et du champ électromagnétique induit par le filament 26, possède la propriété d'émettre des électrons. Ce matériau est par exemple à base d'oxyde de baryum. En son centre, la face émissive de la pastille 28 est recouverte d'un matériau inhibiteur 29 qui, au contraire, empêche toute émission d'électron par la partie de la cathode ainsi recouverte. La surface réellement émissive 30 de la cathode 14 présente donc la forme d'un anneau circulaire d'axe A1, tourné vers l'aval du canon. A l'extrémité aval du boîtier 12, l'anode 16 est réalisée sous la forme d'un bloc de métal conducteur qui s'étend en travers de l'espace interne 22 de manière à présenter une face amont concave 31 tournée vers la cathode 14, et une face aval 32 qui, dans l'exemple illustré, est sensiblement plane et transversale à l'axe Al. L'anode 16 est bien entendu percée en son centre d'un puits 34 qui la traverse de part en part selon l'axe A1 pour permettre le passage des électrons. Dans l'exemple de réalisation illustré, il a été choisi de relier électriquement l'anode 16 à la masse électrique, la cathode 14 étant elle alimentée par une tension continue négative, par exemple de l'ordre de 220 000 Volts. La forme et la disposition relative de la cathode 14 et de l'anode 16 permettent de créer un faisceau d'électrons sensiblement tubulaire selon l'axe A1. Au niveau de la cathode 14, la forme et les dimensions du faisceau sont bien entendu celles de la surface émissive, et le canon est de préférence réglé pour que le faisceau ainsi créé soit légèrement divergent. Entre la cathode 14 et l'anode 16, les électrons sont donc accélérés pour acquérir une énergie proportionnelle à la différence de potentiel établie. Ils pénètrent alors dans le puits pour en ressortir et déboucher à l'intérieur de la partie aval de l'espace interne, partie qui est délimitée par le corps intermédiaire 18. Cette partie aval est de préférence cylindrique autour de l'axe A1. A l'extrémité aval du canon 10, on trouve la fenêtre 20 que les électrons doivent franchir pour sortir du canon. Comme on peut le voir de manière plus précise sur les figures 3 et 4, la fenêtre 20 comporte pour l'essentiel un armature interne 36, elle-même composée d'un corps principal 37 et d'un insert 38, un film frontière 40 et une bride externe 42 L'armature 36 présente sensiblement la forme d'une plaque circulaire d'axe Al qui comporte, en son centre, deux lumières 44 en arc de cercle d'axe A1. Les deux lumières 44 sont symétriques et s'étendent chacune environ sur 160 degrés de manière à ne laisser subsister entre elles que deux pontets. Les deux lumières 44 s'étendent axialement selon l'axe A1 de part en part au travers de l'armature 36, à la fois au travers du corps principal 37 et de l'insert 38. L'insert 38 présente lui aussi la forme d'un disque d'axe A1 et il est prévu pour être reçu dans un logement aménagé dans la face aval du corps principal 37. Autour des deux lumières 44, l'insert 38 est creusé dans sa face amont pour former des canaux périphériques 46 et un canal central 48. Comme on le voit sur les figures 3 et 4, les canaux 46,48, qui débouchent dans la face amont de l'insert 38, se trouvent refermés lorsque l'insert 38 est en place dans le logement du corps principal 37. Ils entourent alors des cheminées 50 qui forment alors la partie aval des lumières 44 de l'armature 36. Le corps principal 37 et l'insert 38 comportent des perçages radiaux correspondants 52,54 qui permettent d'établir dans les canaux 46,48 une circulation d'un fluide de refroidissement. Pour une efficacité optimale du refroidissement, le fluide utilisé sera de préférence un liquide. Comme on peut le voir plus particulièrement sur la figure 4, les canaux 46,48 ne débouchent pas dans la face aval de l'insert 38, de sorte que celle-ci est pleine, à l'exception de l'ouverture débouchante des lumières 44 en arc de cercle. Pour fermer l'enceinte interne 22 du canon de manière étanche, la fenêtre comporte un film frontière 40 qui est plaqué contre la face aval de l'armature 36. Pour cela, il est prévu une bride 42 qui est vissée contre la face aval de l'armature 36, le film barrière 40 étant pris"en sandwich"entre la bride 42 et l'armature 36. Un joint circulaire 39, reçu dans une gorge de la face aval de l'armature 36, permet de parfaire l'étanchéité. Le film 40 est par exemple réalisé sous la forme d'une feuille d'aluminium de forme circulaire dont l'épaisseur est de l'ordre de 20 microns. La bride externe 42 comporte une partie annulaire externe 52 relativement épaisse pour recevoir les têtes des vis qui assurent sa fixation sur l'armature 36. Au contraire, la partie centrale est relativement peu épaisse de telle sorte que, la face amont de la bride étant plane pour assurer le placage du film 40 sur l'armature 36, la face aval de la bride 40 présente un décrochement conique 56 évasé vers l'aval. La partie centrale de la bride 40 comporte bien entendu deux découpes 58 qui correspondent aux lumières 44 de l'armature 36. Comme on peut le voir sur la figure 1, le canon est réglé pour que l'essentiel des électrons accélérés entre la cathode et l'anode se dirige axialement dans les lumières 44. Au fond de ces lumières, les électrons viennent donc impacter le film 40, lequel est suffisamment fin pour être traversé par la plupart des électrons. Après qu'ils ont traversé le film 50, les électrons se retrouvent directement à l'extérieur du canon puisque les lumières 44 sont en regard des découpes 58 de la bride 40. Ainsi, la surface effective d'impact des électrons sur le film frontière 40 de la fenêtre 20 correspond sensiblement à la surface projetée des lumières 44. Elle est donc formée de deux"haricots". Cette disposition constitue un avantage décisif pour le bon fonctionnement du canon selon l'invention. Ainsi, le flux d'électrons qui traverse le film n'est plus concentré sur une petite surface quasi ponctuelle, mais il est au contraire réparti sur une surface beaucoup plus grande. Ainsi, l'énergie qui se dissipe inévitablement dans le film se trouve répartie sur une plus grande surface, ce qui diminue l'augmentation locale de température. Conformément aux enseignements de l'invention, cette surface effective d'impact est entièrement comprise à l'intérieur d'un disque enveloppe centré sur l'axe A1. Ce disque enveloppe est le disque de plus petit diamètre contenant l'intégralité de la surface effective d'impact. Dans l'exemple illustré, le disque enveloppe est donc un disque dont le diamètre est égal au diamètre externe des lumière 44. On peut ainsi voir que l'aire de la surface effective d'impact est strictement inférieure à l'aire du disque enveloppe, ce qui signifie qu'il existe, à l'intérieur du disque enveloppe, des zones du film frontière 40 qui ne sont pas impactées par le faisceau primaire. Ces zones sont donc des zones dans lesquelles l'énergie cédée par les électrons au film peut se dissiper, ce qui permet de limiter l'échauffement du film, y compris l'échauffement de la surface effective d'impact. Dans l'exemple illustré, on remarquera que la zone de dissipation a été disposée de manière préférentielle au centre du disque enveloppe. De plus, avec la géométrie de faisceau proposée, il est possible de rapprocher les surfaces refroidies de l'armature 36 au plus près des zones d'échauffement du film, notamment grâce au caractère fragmenté de la surface effective d'impact des électrons sur le film 40. On voit en effet que le fluide de refroidissement qui circule dans les canaux 46,48 ne se trouve séparé du film 50 que par une paroi de faible épaisseur 60 de l'insert, et que les canaux sont, en projection, e correspondance avec les zones de dissipation du film 40, donc adjacents aux zones d'impact des électrons sur le film 40. Dans l'exemple de réalisation, aucun point de la surface effective d'impact du film ne se trouve à une distance supérieure à environ 4 mm d'un point de ce même film qui est en contact direct avec un portion refroidie 60 de la paroi de l'armature 36. De la sorte, on assure un refroidissement particulièrement performant du film qui peut être maintenu à une température suffisamment basse pour qu'il ne cède pas sous l'effet de la différence de pression entre l'intérieur et l'extérieur du canon. Jusqu'à présent, on a donc décrit comment le canon selon l'invention pouvait peut assurer le passage d'une quantité d'énergie relativement importante au travers d'une fenêtre, sans que celle-ci ne subisse de dégradation en dépit du fait que le faisceau utilisé est un faisceau fixe, c'est-à-dire ne subissant pas de balayage. Il va maintenant être décrit comment, avec une telle disposition, on obtient, à l'extérieur du canon, un faisceau qui, sur une surface de traitement relativement grande présente une répartition de puissance relativement uniforme. Du fait de l'énergie des électrons produits par le canon, en l'occurrence quelques centaines de kilo-électron-volts, et compte tenu de l'épaisseur et de la composition du film que doit traverser ce faisceau pour sortie de l'espace interne du canon, le faisceau subit, lors de la traversée du film 40, un diffusion qui fait que l'on peut distinguer, en amont du film, un faisceau primaire qui se propage dans le vide, et, en aval du film, un faisceau secondaire qui se propage dans l'air. La géométrie du faisceau primaire a été décrite plus haut et elle détermine, avec la forme des lumières 44, la surface effective d'impact du faisceau primaire sur le film 40. Si l'on considère la partie du faisceau primaire qui impacte une portion élémentaire donnée de la surface d'impact des électrons, on s'aperçoit que cette partie du faisceau primaire se transforme en une partie de faisceau secondaire qui est contenue dans un volume conique présentant un angle de cône relativement important. Cet angle de cône dépend notamment des caractéristiques du matériau du film 40 ainsi que de l'énergie des électrons du faisceau. Si l'on intègre ce phénomène à l'échelle de la totalité de la surface d'impact, on comprend que les parties du faisceau secondaire qui sont émises par deux portions de surface diamétralement opposées par rapport à l'axe A1 tendent à se recouper et donc à s'additionner, au moins au-delà d'une certaine distance en aval de la fenêtre. Ainsi, autour de l'axe A1, le faisceau secondaire est constitué par le recoupement et la recombinaison d'une multitude de faisceaux élémentaires. En résultante, on s'aperçoit que, vu de manière globale, le faisceau secondaire donne, dans une section de travail donnée, une répartition de puissance qui suit sensiblement une courbe de Gauss présentant un intensité maximale sur l'axe A1. Avec un canon du type illustré sur les figures, on obtient ainsi, sur des sections de travail de quelques centimètres carrés, une répartition d'énergie qui est continue et qui ne varie pas de plus de 20% par rapport à une valeur moyenne sur la section considérée. Un tel canon possède donc un volume de travail utile à l'intérieur duquel un objet peut être placé pour subir un traitement relativement uniforme. L'invention vient d'être décrite dans le cadre d'un canon à électrons dont la cathode et l'anode créent un faisceau primaire de géométrie sensiblement tubulaire. Cependant, l'invention n'est pas limitée à ce cas particulier. En effet, on pourra aussi la réaliser avec des sources d'électrons créant un faisceau de géométrie différente. Ainsi, on peut par exemple prévoir d'utiliser une cathode dont la surface effective d'émission n'est pas un anneau. Un tel exemple de cathode est illustré de manière schématique aux figures 5 et 6 dans lesquelles les surfaces hachurées figurent la surface effective d'émission 30. On peut aussi éventuellement prévoir d'utiliser plusieurs cathodes pour générer le faisceau primaire. Dans tous les cas, la géométrie de la surface effective d'impact des électrons sur la fenêtre 20 pourra varier d'un mode de réalisation à l'autre, à condition toutefois que cette surface soit agencée de manière favoriser la dissipation de l'énergie thermique absorbée par la fenêtre au passage des électrons. Il est notamment important que l'on puisse amener au plus près de cette surface un fluide de refroidissement. Dans ce cadre, on cherchera à faire en sorte que le centre de la zone enveloppe dans laquelle est comprise la surface effective d'impact puisse être refroidie efficacement. Bien entendu, la géométrie du faisceau doit avant tout être choisie pour que le faisceau secondaire, qui résulte de la diffusion du faisceau primaire au travers de la fenêtre, conserve de bonnes propriétés d'homogénéité pour qu'un objet placé devant ce canon soit traité de la manière la plus uniforme possible. Dans l'exemple illustré sur les figures, les lumières 44 ont par exemple un diamètre moyen d'environ 10 mm. REVENDICATIONS 1. Canon à électrons, du type comportant un espace interne (22) sous vide à l'intérieur duquel un faisceau primaire d'électrons est généré à partie d'au moins une source d'électrons (30,14), et du type dans lequel le faisceau primaire est dirigé vers une fenêtre de sortie (20) comportant un film frontière (40) au travers duquel il émerge, à l'extérieur du canon, sous la forme d'un faisceau secondaire, caractérisé en ce que les faisceaux primaires et secondaires sont fixes par rapport à un axe général (A1) du faisceau, en ce que la surface effective d'impact du faisceau primaire sur le film frontière est entièrement comprise à l'intérieur d'un disque enveloppe centré sur l'axe du faisceau, en ce que faire de la surface effective d'impact est inférieure à l'aire du disque enveloppe de manière que le film frontière (40) présente, à l'intérieur du disque enveloppe, des zones de dissipation qui ne sont pas traversées par le faisceau d'électrons, et en ce que la géométrie du faisceau secondaire, qui résulte de la diffusion du faisceau primaire au travers du film frontière, est telle que, dans une section de travail centrée sur l'axe du faisceau, la répartition de puissance du faisceau secondaire est sensiblement constante. 2. Canon à électrons selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il est prévu des moyens de refroidissement (46,48) du film frontière (40). 3. Canon à électrons selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de refroidissement comprennent des moyens d'adduction (46, 48) d'un liquide de refroidissement au contact des zones de dissipation du film frontière (40). 4. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la source d'électrons (14) est partiellement recouverte d'un inhibiteur (29) qui empêche l'émission d'électrons et dont la géométrie correspond sensiblement aux zones de dissipation du film frontière (40). 5. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte plusieurs source d'électrons qui forment le faisceau primaire. 6. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte un cache qui intercepte une partie des électrons émis. 7. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'une portion centrale (48) du disque enveloppe constitue une zone de dissipation. 8. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le faisceau primaire est un faisceau sensiblement tubulaire. 9. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications 2 à 8, caractérisé en ce que la fenêtre comporte une armature (36) sur laquelle s'appuie le film frontière (40), et en ce que l'armature comporte des canaux de circulation de fluide de refroidissement. 10. Canon à électrons selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'armature (36) comporte au moins un canal périphérique (46) qui s'étend sensiblement autour du disque enveloppe. 11. Canon à électrons selon l'une des revendications 9 ou 10, caractérisé en ce que l'armature (36) comporte au moins un canal central (48) qui s'étend au contact de la portion centrale de dissipation. 12. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, caractérisé en ce que l'armature (36) comporte une ouverture (44) qui correspond sensiblement à la surface effective d'impact des électrons sur le film frontière (40). 13. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications 9 à 12, caractérisé en ce que l'armature (36) est agencée du côté interne du film frontière (40). 14. Canon à électrons selon la revendication 13, caractérisé en ce que la fenêtre (20) comporte une bride externe (42) qui est pourvue d'une ouverture (58) correspondant sensiblement à la surface effective d'impact des électrons, le film frontière (40) étant serré entre l'armature interne (36) et la bride externe (42). 15. Canon à électrons selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'énergie du faisceau est de l'ordre de la centaine de kilo-électron-volts.