Brevet FR2814234A1 — publié le 20020322

CAPTEUR A CIRCUIT D'INTERCONNEXION TRIDIMENSIONNEL La présente invention concerne de façon générale les capteurs munis de moyens de liaison électrique prévus pour raccorder une ou des électrodes ou plus généralement les éléments conducteurs délivrant le signal utile à un circuit d'interconnexion électrique extérieur fournissant, à partir du signal, une grandeur homogène à l'information physique recherchée. Les capteurs peuvent être de tout type, notamment inertiels (gyroscopiques, accélérométriques), de pression, de température, etc..., pour lesquels est recherché par exemple un angle de rotation, une vitesse angulaire, une température, une pression, etc. L'invention trouve notamment une application chaque fois que les moyens de liaison relient une ou des électrodes ou plages de contact électrique placées sur un élément vibrant à un ou des éléments fixes. Elle trouve une application particulièrement importante, mais non exclusive, dans le domaine des capteurs gyroscopiques à résonateur vibrant, dont il existe de nombreuses réalisations, dont le circuit d'interconnexion permet la constitution d'un gyroscope ou d'un gyromètre. A titre d'exemple de technologie existante de moyens de liaison de gyroscopes vibrants, on peut se reporter au document FR-A-2 692 349. Ce document décrit un capteur ayant un résonateur mécanique comportant au moins quatre poutres parallèles identiques solidaires d'un socle commun muni d'un pied encastré dans une embase de support, chaque poutre portant, sur ses faces tournées vers l'extérieur, des éléments piézo-électriques d'excitation et de détection de la vibration de la poutre. Des moyens de liaison électrique par fils conducteurs raccordent chaque élément piézoélectrique à un circuit d'interconnexion électrique extérieur à travers une traversée isolée étanche de l'embase. Une représentation schématique du capteur, en vue de côté et en coupe partielle, est donnée à la figure 1A. Le capteur gyrométrique comporte un résonateur mécanique 2 comprenant au moins quatre poutres vibrantes, dont seules deux 3a et 3b sont visibles sur la figure 1A, solidaires d'un socle massif commun 4, en forme générale de plaque à partir des angles de laquelle s'élèvent les quatre poutres. Les poutres sont mutuellement parallèles, identiques (et notamment ont la même longueur et la même section droite, rectangulaire et notamment carrée) et ont la même fréquence propre. Le socle 4 est muni d'un pied central 5 qui s'étend, à partir du socle, à l'opposé des poutres et parallèlement à celles-ci. L'ensemble des poutres, du socle et du pied est monobloc et peut être usiné dans un bloc de métal à faible coefficient thermo-élastique, tel celui appelé " Elinvar ". En général, on utilise un métal à faible amortissement interne, comme par exemple certains aciers inoxydables, certains alliages d'aluminium ou certains alliages de cuivre (bronze, laiton...). La mise en vibration et la détection des vibrations provoquées par les forces de Coriolis sont obtenues à l'aide d'éléments 6,7 piézoélectriques, en forme de plaquettes et fixés (par exemple par collage) aux poutres. Ces éléments sont disposés sur les seules faces externes des poutres, les faces en vis-à-vis de ces poutres étant, dans le mode de réalisation illustré, trop rapprochées les unes des autres pour recevoir de tels éléments. Le pied 5 du résonateur mécanique 2 est encastré dans une embase de support 8, et un boîtier ou capot 9, fixé de façon étanche à l'embase, entoure le résonateur 2. Le résonateur est ainsi enfermé dans une chambre close étanche, pouvant être mise sous vide pour augmenter le facteur de surtension mécanique du résonateur. Des liaisons électriques relient les éléments piézo-électriques de mise en vibration 6 et de détection 7 et des moyens électroniques d'excitation et de traitement des signaux détectés qui sont situés à l'extérieur de la chambre. A cette fin, à chaque élément piézo-électrique 6, 7 est connecté un fil électrique émaillé 10 qui s'étend, de façon lâche, jusqu'à un conducteur 11. Le conducteur traverse l'embase 8 et en est isolé électriquement en 12. Dans le cas illustré I'isolement est assuré par une traversée électrique étanche, du type à perle de verre. La partie terminale extérieure du conducteur 11 traverse une plaque ou carte à circuit imprimé 13, fixée sous l'embase 8, et est soudée à une plage de circuit imprimé 16. Les circuits imprimés 16 de la plaque 13 aboutissent à un connecteur 14 duquel des fils 15 de raccordement partent vers des moyens électroniques externes (non montrés). Dans un autre mode de réalisation (figure lB), le résonateur 2 est en forme de cylindre creux vibrant portant également des éléments piézo- électriques 6, 7 d'excitation et de détection de la vibration. Des moyens de liaison électrique par fils conducteurs 10 raccordent chaque élément piézo- électrique à un circuit d'interconnexion électrique extérieur non représenté. De tels dispositifs présentent des inconvénients. Tout d'abord, le câblage du résonateur 2, c'est-à-dire la mise en place des fils lâches 10, est très délicat. En effet, chacun de ces fils étant lié à un élément conducteur fixé sur la partie sensible ou très proche de la partie sensible du capteur, les perturbations introduites par les fils doivent être réduites au maximum, et de préférence doivent être négligeables. De ce fait, on utilise fréquemment des fils conducteurs de petite dimension, par exemple du fil de cuivre de diamètre 0,05 mm (50 microns). Ces fils véhiculant le signal utile sont de préférence émaillés pour obtenir un isolement électrique entre les différentes parties conductrices du capteur. Leur diamètre effectif est alors augmenté de celui de la couche d'émail, ce qui conduit à des diamètres plus importants, de l'ordre de 0,1 mm pour un fil dont le cuivre a un diamètre voisin de 0.05 mm. La manipulation de tels fils conducteurs est difficile. Ces fils doivent être coupés à la longueur appropriée. Les parties conductrices à relier sont généralement distantes de plusieurs millimètres, ce qui définit des longueurs de fil également de plusieurs millimètres. Leur extrémité doit ensuite être dénudée pour que la partie conductrice du fil soit mise en contact avec un autre élément conducteur et fixée par brasure ou collage à l'aide de colle conductrice. Compte tenu des très faibles dimensions des fils et des faibles dimensions des électrodes auxquels ils sont reliés (Figure 1A), ce travail de manipulation de fils, mise à longueur, dénudage et assemblage sur les éléments conducteurs de la partie sensible du capteur est effectué sous binoculaire et représente un travail manuel très long et délicat. Par ailleurs, pour obtenir le niveau de performance requis par l'application à laquelle le capteur est destiné, les perturbations introduites par les fils et leur assemblage doivent être réduites. Les fils choisis sont fins mais ne peuvent être infiniment fins. De ce fait, ces fils ont une certaine rigidité et globalement un comportement mécanique qui, d'une part sous l'effet des variations de température et d'autre part sous l'effet des sollicitations mécaniques externes ou internes au capteur, peut dégrader le niveau de performance qui serait naturellement obtenu par la partie sensible du capteur. A titre d'exemple, dans le domaine des gyroscopes vibrants selon la figure 1A, les poutres en vibration constituant l'élément sensible du capteur entraînent nécessairement dans leur mouvement chaque fil conducteur reliant les céramiques piézo-électriques 6, 7 fixées sur les poutres vibrantes aux traversées étanches, immobiles, de l'embase support. Un premier inconvénient est l'amortissement de la vibration par la présence des fils, mobiles à l'une de leurs extrémités et fixes à l'autre. Cet inconvénient est majeur car la vibration des poutres constitue la mémoire inertielle du capteur et tout amortissement de la vibration détruit cette mémoire. D'autre part, cet amortissement varie selon les conditions de température du dispositif du fait des variations des caractéristiques physiques des fils avec la température. Pour réduire le risque de rupture, et comme illustré à la figure 1A, chaque fil 10 est solidarisé en plusieurs points à la surface de la poutre jusqu'à l'emplacement de celle-ci le plus proche du conducteur de traversée 11 correspondant: ainsi on réduit au minimum la portion de fil lâche et, au surplus, le point de fixation du fil 10 situé le plus bas sur la poutre est très voisin de la face inférieure du socle 4 qui est une zone à vibration minimale (théoriquement nulle). Le risque d'une mise en vibration des fils et le risque d'une rupture se trouvent ainsi réduits. En contrepartie, cet agencement nécessite plusieurs points de fixation du fil 10 (soudure ou collage), ce qui allonge le temps de câblage. Par ailleurs, ce rajout de points de colle dégrade les performances car les points de colle possèdent, eux aussi, une masse non négligeable et ils se comportent, lorsque les poutres sont en vibration, comme des organes élastiques avec amortisseur. Un deuxième inconvénient est la difficulté, dans une telle configuration de câblage, à conserver la symétrie rigoureuse de la structure vibrante en terme de raideur et de masse. En effet, les fils, de même que les éléments de colle permettant de tenir les fils sur les poutres, modifient l'isotropie naturelle de raideur et de masse de la structure et introduisent des déséquilibres dégradant I'isolement mécanique de la structure à sa fréquence de résonance ainsi que son isotropie fréquentielle. Il en résulte que la présence des fils et des points de colle sur les poutres vibrantes contribue à perturber le fonctionnement vibratoire de celles-ci et entraîne une importante perte de performances du dispositif (réduction de moitié du facteur de qualité). L'exemple ci-dessus est généralisable à d'autres types de capteur pour lesquels le câblage limite l'obtention de performances élevées et la réduction du coût. L'invention vise notamment à réduire le temps de câblage, à abaisser le coût de fabrication et/ou à améliorer les performances des capteurs de tout type par réduction de l'influence perturbatrice dudit câblage. Dans ce but, I'invention propose notamment un capteur ayant un élément sensible à une grandeur physique à mesurer et portant des éléments conducteurs et ayant une électronique de traitement de signaux utiles, reçus des éléments conducteurs ou envoyés aux éléments conducteurs, portée par une embase fixe, caractérisé en ce que le capteur comporte un circuit fixe à support en matériau isolant, solidaire de l'embase et entourant l'élément sensible du capteur sans être au contact de celui-ci, ledit circuit d'interconnexion ayant une forme adaptée à celle de l'élément sensible, pour rapprocher sensiblement au plus près, mais sans contact, les éléments conducteurs et des pistes conductrices placées sur la surface du circuit d'interconnexion et localement parallèles aux éléments conducteurs de l'élément sensible, en ce que des fils électriquement conducteurs souples sont disposés, lâches, entre au moins les éléments conducteurs de l'élément sensible et des premières extrémités respectives des pistes conductrices du circuit d'interconnexion, et en ce que des connexions électriquement conductrices sont établies entre des secondes extrémités opposées des pistes conductrices sur le circuit d'interconnexion et des traversées isolées étanches respectives de l'embase ou des pistes conductrices de cette embase. On voit qu'on ajoute un support rigide permettant de réaliser de manière optimale, du point de vue coût et performance, la liaison électrique entre, d'une part, les éléments conducteurs ou électrodes disposées sur l'élément sensible (résonateur notamment) du capteur et, d'autre part, l'électronique de traitement du signal utile. L'organe additionnel constitue un circuit d'interconnexion tridimension- nel; dans la suite, il sera appelé en abrégé circuit d'interconnexion. Avantageusement, le circuit d'interconnexion comporte une pièce rigide percée de trous ou fenêtres de passage des fils conducteurs raccordant les éléments conducteurs de la partie sensible aux extrémités des pistes. Dans un mode de réalisation intéressant, le circuit d'interconnexion comporte: - une partie en forme de manchon entourant l'élément sensible du capteur permettant de rapprocher au plus près, sans contact, les éléments conducteurs de la partie sensible du capteur des pistes conductrices, et une partie en forme de pied entourant ladite partie en forme de manchon et s'étendant transversalement à celle-ci, pour être propre à coopérer avec l'embase, les pistes conductrices imprimées s'étendant à la fois sur les faces mutuellement perpendiculaires de la partie en forme de manchon et de la partie en forme de pied. Le circuit d'interconnexion peut être constitué sous forme d'une pièce indépendante rapportée sur l'embase. De façon plus simple du point de vue fabrication et montage, son support peut être d'un seul tenant avec l'embase, et alors il peut être fait en sorte que ladite partie en forme de pied soit confondue dans l'embase. Dans un mode de réalisation avantageux, les secondes extrémités des pistes électriques imprimées sont situées à l'aplomb de traversées isolées étanches respectives de l'embase et les connexions électriquement conductrices sont constituées par les conducteurs respectifs des traversées. Les pistes électriques sont de préférence du type imprimé et peuvent avantageusement être réalisées par sérigraphie avec une encre conductrice, ou bien être formées par gravure, notamment par laser, d'une couche métallique ou métallisée revêtant le support du circuit d'interconnexion. Dans un mode particulier de réalisation, l'élément sensible est un résonateur mécanique comportant au moins quatre poutres parallèles identiques, solidaires d'un socle commun muni d'un pied encastré dans une embase de support et chaque poutre porte, sur ses faces tournées vers l'extérieur, des éléments piézo-électriques d'excitation et de détection de la vibration de la poutre, constituant les éléments conducteurs; ces éléments sont raccordés électriquement à des électrodes dites primaires placées sur la surface d'une pièce support du circuit d'interconnexion, appartenant aux pistes conductrices et localement parallèles aux éléments conducteurs de l'élément sensible. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit de certains modes de réalisation donnés uniquement à titre d'exemples non limitatifs. Cette description se réfère aux dessins annexés sur lesquels: - les figures 1A et lB, déjà mentionnées, montrent des capteurs gyrométriques de type connu; - la figure 2 est une vue schématique en coupe d'un gyroscope à résonateur mécanique analogue à celui de la figure lB, à cylindre vibrant, agencé conformément à l'invention; - la figure 3 est une vue en perspective simplifiée, capot enlevé, d'une variante du gyroscope de la figure 2 - les figures 4A et 4B sont des vues en perspective d'un autre mode de réalisation d'un circuit d'interconnexion électrique utilisable dans un gyroscope conforme à l'invention; - la figure 5 est une vue schématique en coupe d'un autre agencement de dispositif à résonateur mécanique équipé d'un circuit d'interconnexion; et - les figures 6 à 10 montrent des exemples de liaison électrique entre deux plages conductrices par un câblage de type dit " bonding " fréquemment utilisé dans l'industrie des composants électroniques. Avant de décrire des constitutions complètes, on indiquera en quoi consiste le câblage de type " bonding " qui convient parfaitement à une fabrication à bas coût de très grande série du genre souhaitable pour mettre en oeuvre l'invention. Dans son application à un capteur du genre concerné par l'invention, ce type de câblage comporte des plages métallisées 30, pouvant constituer des électrodes, situées dans des plans parallèles (figure 6) ou localement parallèles (figure 7) à des électrodes ou éléments conducteurs 32 disposés sur l'élément sensible 2. Les fils 33 employés couramment sur les machines de câblage à soudage sur des plages parallèles, dites de " bonding ", pouvant atteindre des diamètres égaux ou inférieurs à 25 microns, la surface des plages parallèles conductrices 30 sur le circuit d'interconnexion n'est pas nécessairement importante. En pratique, elle s'étendra sur une zone carrée dont les côtés ont une dimension équivalente à quelques diamètres de fil, de préférence 5 diamètres environ, soit, pour un fil de 25 microns, un côté de 0,125 mm. La distance des plages métallisées du circuit d'interconnexion aux électrodes disposées sur l'élément sensible conditionne la longueur des fils employés. Cette longueur sera avantageusement limitée à environ 15 mm pour deux raisons: - un fil long est plus fragile qu'un fil court, lors de l'opération de câblage et lors de la vie du capteur, lorsqu'il subit l'environnement opérationnel; - un fil est caractérisé par une masse, une raideur et un amortissement; plus ce fil est long et plus il perturbera la structure à laquelle il est lié; pour ces mêmes raisons on utilisera également des fils de faible diamètre, en pratique de l'ordre de 25 microns de diamètre, voire, si cela est possible, de diamètre inférieur à microns. Les figures 6 et 7 montrent des configurations de câblage pour lesquelles la zone de liaison située sur l'électrode de l'élément sensible est déportée par rapport à la zone de liaison située sur le circuit d'interconnexion. Mais un tel circuit d'interconnexion peut aussi bien comporter des trous ou fenêtres 34 (figure 8) placés face aux électrodes et au travers desquels le fil de " bonding " 33 peut être acheminé. Cette nouvelle possibilité de câblage est accessible à l'aide de têtes de câblage " bonding " dites " à accès profond " (ou " deep access "). Les trous, pour les outils actuellement disponibles, doivent avoir de l'ordre de 5 mm de largeur, et la profondeur séparant les deux électrodes à relier peut atteindre quelques millimètres. Ces dimensions sont limitées par l'état de l'art des machines actuelles et évolueront certainement dans le sens de la réduction de la taille des trous et l'augmentation de la profondeur séparant les électrodes ou plages. De la même manière que pour réaliser les connexions aux électrodes disposées sur l'élément sensible, d'autres électrodes du circuit d'interconnexion 17 permettent de réaliser les connexions à l'électronique de traitement du signal utile. On appellera ces autres électrodes " électrodes secondaires " alors que les électrodes décrites plus haut et reliées aux électrodes disposées sur l'élément sensible seront appelées " électrodes primaires ". Plusieurs possibilités peuvent être envisagées pour la liaison des électrodes secondaires à l'électronique externe dans la mesure o les contraintes fortes sur la taille, le diamètre et de manière plus générale la forme des fils de liaison employés sur les électrodes primaires disparaissent. Diverses possibilités seront maintenant décrites. Une première possibilité (figure 9) utilise des broches métalliques 36 pour réaliser des traversées conductrices étanches à travers une pièce support 38, qui est par exemple métallique ou en matériau plastique. Ces broches peuvent être orientées de manière quelconque par rapport au plan défini par les électrodes primaires. Le circuit d'interconnexion présente alors des trous 40 pouvant être métallisés, dans lesquels les broches sont enfilées. Ces trous débouchent sur les électrodes secondaires 42. La liaison entre les électrodes secondaires 42 et les broches est alors réalisée par brasure ou collage à la colle conductrice. Une deuxième possibilité (figure 10) utilise une pièce support 38 ayant des pistes conductrices, comme ce peut être le cas lorsqu'on utilise des cartes électroniques de circuit d'interconnexion imprimé. Dans ce cas, les liaisons des électrodes secondaires peuvent à nouveau être réalisées à l'aide de fils de " bonding " 44, à condition que ces pistes conductrices soient contenues dans des plans parallèles au plan défini par l'électrode secondaire, ceci à l'échelle de quelques diamètres de fils, soit typiquement à l'échelle de 0,1 mm pour des fils de diamètre 25 microns. On décrira maintenant quelques constitutions de capteur. Pour ne pas compliquer les dessins, seules ont été représentées, sur les figures 2 à 5, une ou quelques unes des liaisons électriques entre les éléments piézo-électriques 6, 7 et les fils de connexion extérieurs 15. Sur ces figures, les mêmes références numériques désignent les organes analogues à ceux correspondant des figures 1A et lB. Les liaisons nécessaires à la mise en fonction du gyroscope sont constituées conformément aux indications qui suivent. Les figures 2 et 3 montrent un agencement de gyroscope analogue à celui à résonateur mécanique de la figure lB, dont le résonateur a un pied saillant 5 opposé au cylindre vibrant. Le circuit d'interconnexion 17 des figures 2 et 3 peut être utilisé avec des organes sensibles différents de ceux illustrés. Il Le circuit d'interconnexion électrique 17 comporte un support en matériau isolant sensiblement rigide qui est solidaire de l'embase (figure 8) ou d'une seule pièce avec elle (figure 3) et qui entoure le résonateur mécanique 2. Le support rigide du circuit d'interconnexion 17 reste en tout point écarté du résonateur 2 de manière à ne pas empêcher ou gêner le fonctionnement vibratoire de celui-ci. La hauteur du circuit d'interconnexion est inférieure ou égale à la hauteur des éléments piézo-électriques 6 et 7 disposés les plus bas. Le support rigide du circuit d'interconnexion 17 porte, sur sa surface externe, des pistes imprimées électriquement conductrices 18 qui peuvent être constituées de toute façon appropriée à cette fonction (par exemple couche métallique ou métallisée, par exemple en nickel, revêtant le support rigide et dans laquelle des saignées sont réalisées notamment par gravure, par exemple au moyen d'un laser, pour isoler des zones conductrices; pistes métallisées sérigraphiées, notamment avec une encre conductrice, comme illustré sur les 1 5 figures). Ces pistes conductrices imprimées 18 s'étendent jusqu'au bord supérieur, ou au moins jusqu'au voisinage immédiat du bord supérieur de la pièce support, de sorte que des fils souples électriquement conducteurs 19 peuvent être disposés, de façon lâche, entre les éléments piézoélectriques 6, 7 et les premières extrémités (ou premières électrodes) des pistes imprimées 18, ces fils souples 19 ayant alors une très faible longueur. Par ailleurs, aux extrémités opposées ou secondes électrodes des pistes 18 imprimées sur le circuit d'interconnexion 17, des connexions électriquement conductrices (non représentées sur la figure 2) sont établies avec les conducteurs 11 respectifs des traversées isolées étanches 12 de l'embase 8, du genre montré en figure 1A. Dans le mode de réalisation du circuit d'interconnexion 17 illustré en figure 3, ce circuit d'interconnexion 17 se présente sous forme d'une pièce support monobloc, rapportée et fixée sur l'embase 8, et dont la surface externe est tridimensionnelle. Ce circuit d'interconnexion comporte - une partie 20 en forme de puits ou de manchon qui entoure le résonateur mécanique 1 dans les conditions précitées; la surface externe de ce manchon 20 est sensiblement parallèle au cylindre vibrant et, dans l'exemple illustré, ce manchon présente, en section s transversale, une forme générale cylindrique, localement plane au niveau des plages conductrices supportant les fils de liaison liés aux céramiques semiconductrices, pouvant également être quadrangulaire, et notamment carrée, qui épouse au plus près le contour externe du cylindre vibrant sans toutefois le toucher; et - une partie en forme de pied 21 entourant ladite partie en forme de manchon 20 et s'étendant sensiblement transversalement à celle-ci pour être propre à coopérer avec l'embase 8 sur laquelle elle repose et est fixée. Les pistes conductrices imprimées 19 s'étendent alors simultanément sur les faces externes mutuellement perpendiculaires des parties en forme de manchon 20 et en forme de pied 21, formant ainsi un circuit d'interconnexion imprimé tridimensionnel. Eventuellement, si cela est nécessaire, certaines pistes imprimées peuvent être interconnectées. Sur la figure 2, le support du circuit d'interconnexion 17 est une pièce indépendante qui est solidarisée de l'embase 8 par tout moyen approprié (collage, vissage,...). Pour diminuer le nombre des pièces composantes, on peut constituer l'embase 8 et le circuit d'interconnexion 17 sous forme d'une pièce unique, monobloc. Le circuit d'interconnexion 17 conserve la structure décrite plus haut, avec une partie en forme de pied 21 formant plateau surélevé par rapport à la face supérieure environnante. Ou bien la partie en forme de pied 21 est noyée dans l'embase 8 et sa face supérieure est alors confondue avec la face supérieure de l'embase 8. Toujours dans le but de simplifier au maximum la structure du gyroscope, et donc de réduire son coût de fabrication, on peut faire en sorte, comme illustré sur la figure 3, que les pistes conductrices 18 imprimées sur le support soient agencées et conformées pour s'étendre jusqu'au droit des traversées étanches respectives 12 de l'embase 8; la partie en forme de pied 21 du circuit d'interconnexion 17, lorsqu'elle existe, a elle aussi l'étendue nécessaire pour couvrir lesdites traversées isolantes étanches 12. Dans ces conditions, il suffit de donner aux conducteurs de traversée respectifs 11 la longueur appropriée pour que leurs extrémités saillent au-delà des secondes extrémités ou secondes électrodes des pistes imprimées 18; les extrémités saillantes des conducteurs 11 peuvent ainsi être soudées directement sur les pistes imprimées 18. Plus généralement, la liaison entre les électrodes primaires et secondaires sur le circuit peut être obtenue de deux manières, toute solution par câblage de fils étant exclue du fait de la recherche de solution industrielle performante et à bas coût. La première manière est utilisable lorsque les électrodes sont réalisées par report d'une encre conductrice ou par métallisation locale sur une pièce support électriquement isolante. Dans ce cas, le même procédé de report des électrodes peut être utilisé pour les lier entre elles. Le support pourra être obtenu par usinage ou moulage, selon le coût recherché, dans un matériau combinant de bonnes propriétés thermiques, mécaniques et électriques et ne présentant pas de phénomène de rejet vis à vis de la couche métallique rapportée. Un tel matériau pourra être choisi dans la gamme des thermoplastiques amorphes. Les caractéristiques mécaniques élevées de ce matériau permettent pour certaines réalisations d'envisager une seule pièce au lieu de deux pour réaliser le circuit d'interconnexion et la pièce support soutenant l'élément sensible. La figure 4A montre une réalisation de circuit d'interconnexion utilisable notamment dans le cas d'un capteur gyrométrique dont le contour du résonateur est montré. Le support isolant est creux au centre, symétrique autour d'un axe vertical passant par son centre. Des pistes conductrices indépendantes 18 relient les électrodes primaires, dans ce cas particulier disposées sur le haut du support, aux électrodes secondaires, dans ce cas disposées sur le bas du support. L'aspect tridimensionnel de ce circuit d'interconnexion est réalisé par le fait que les électrodes primaires et secondaires sont disposées dans des plans orthogonaux. Bien que cela ne soit pas représenté, les pistes conductrices peuvent être liées entre elles et suivre un cheminement complexe sur la pièce support. Cette technique exige que la métallisation et son cheminement sur le support soient accessibles pour pouvoir être réalisés. De ce fait, un tel circuit d'interconnexion aura des pistes situées sur les faces extérieures de la pièce support et le nombre de pistes traversantes ou placées à l'intérieur sera limité. Une deuxième manière offre une alternative. Dans ce cas, le support isolant est obtenu en plusieurs étapes par moulage, les pistes conductrices étant réalisées lors d'une étape, puis recouvertes de matériau isolant lors d'une étape suivante. Dans le mode de réalisation de la figure 4B, le support est d'une seule pièce avec l'embase. Dans tous les cas, la longueur des fils de liaison 19 entre les éléments piézo-électriques 6, 7 et les premières extrémités correspondantes (ou premières électrodes) des pistes imprimées 18 est considérablement réduite par rapport à ce qu'elle était dans l'agencement antérieur. De ce fait, ces fils peuvent être supportés uniquement par les soudures de leurs terminaisons, et il n'est plus besoin de les fixer en des emplacements intermédiaires: on économise ainsi un nombre important d'opérations. Au surplus, en raison de leur longueur réduite, les fils, qui ne sont plus nécessairement émaillés, peuvent avoir un diamètre plus faible: ainsi, de façon typique, on peut ramener ce diamètre à une valeur de l'ordre de 25 pm, ce qui non seulement en réduit le coût, mais également en diminue la masse et donc l'effet perturbateur sur la vibration du résonateur. Enfin, I'agencement conforme à l'invention autorise une automatisation complète de la mise en place et de la soudure des fils 19: il en résulte une accélération considérable de cette étape, qui de façon typique peut être ramenée à une durée de quelques minutes (en lieu et place d'une durée de l'ordre de 3 heures pour le processus manuel antérieur). Les dispositions conformes à l'invention viennent d'être exposées et représentées en relation avec un mode de réalisation du résonateur mécanique 2 à pied saillant 5, c'est-à-dire dans lequel le pied 5 s'étend, par rapport au socle 4, à l'opposé des poutres vibrantes. Les mêmes dispositions peuvent s'appliquer pareillement à un résonateur mécanique à poutres vibrantes relativement écartées les unes des autres et avec un pied tourné, par rapport au socle 4, du même côté que celles- ci et en position centrée entre celles-ci. Un tel agencement est représenté à la figure 5, en conservant les mêmes références numériques pour désigner les organes identiques. Dans ce cas, I'embase 8 comporte une excroissance centrale 22 dans laquelle est encastré le pied 5, de sorte que l'embase surmonte l'ensemble des poutres vibrantes 3a-3d. Dans l'exemple illustré à la figure 5, on a supposé un agencement du circuit d'interconnexion 17 analogue à celui illustré à la figure 4B, c'est-àdire intégré à l'embase 8, la partie en forme de manchon 20 s'étendant ici en direction du bas. L'invention est susceptible de nombreuses autres applications encore, notamment chaque fois qu'il est nécessaire de relier un élément conducteur porté par une partie vibrante d'un organe à un site situé à distance et proche d'un support fixe, portant par exemple le pied de l'organe. REVENDICATIONS 1. Capteur ayant un élément sensible à une grandeur physique à mesurer et portant des éléments conducteurs et ayant une électronique de traitement de signaux utiles, reçus des éléments conducteurs ou envoyés aux éléments conducteurs, portée par une embase, caractérisé en ce que le capteur comporte un circuit d'interconnexion (17) fixe à support en matériau isolant, solidaire de l'embase (8) de l'élément sensible et entourant l'élément sensible du capteur sans être au contact de celui-ci, ledit circuit d'interconnexion ayant une forme adaptée à celle de l'élément sensible pour rapprocher sensiblement au plus près, mais sans contact, les éléments conducteurs de pistes conductrices placées sur la surface du circuit d'interconnexion et localement parallèles aux éléments conducteurs de l'élément sensible, en ce que des fils électriquement conducteurs souples (19), sont disposés, lâches, entre au moins les éléments conducteurs de l'élément sensible et des premières extrémités respectives des pistes conductrices (18) imprimées du circuit d'interconnexion (17), et en ce que des connexions électriquement conductrices sont établies entre des secondes extrémités opposées des pistes (18) et des traversées isolées étanches respectives (11) de l'embase (8) ou des pistes conductrices de cette embase. 2. Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit d'interconnexion (17) comporte une pièce rigide percée de trous ou fenêtres de passage des fils conducteurs (10) raccordant les éléments conducteurs de la partie sensible aux extrémités des pistes. 3. Capteur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le circuit d'interconnexion comporte: - une partie en forme de manchon (20) entourant l'élément sensible du capteur permettant de rapprocher au plus près, sans contact, les éléments conducteurs de la partie sensible du capteur des pistes conductrices, et - une partie en forme de pied (21) entourant ladite partie en forme de manchon (20) et s'étendant transversalement à celle-ci, pour être propre à coopérer avec l'embase (8) , les pistes conductrices imprimées (18) s'étendant à la fois sur les faces mutuellement perpendiculaires de la partie en forme de manchon (20) et de la partie en forme de pied (21). 4. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le circuit d'interconnexion (17) est une pièce rapportée sur l'embase (8) et solidarisée à celle-ci. 5. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le circuit d'interconnexion (17) est constitué d'un seul tenant avec l'embase (8). 6. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les pistes conductrices se terminent près de l'élément sensible par des électrodes primaires localement parallèles aux éléments conducteurs. 7. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les secondes extrémités des pistes électriques imprimées (18) sont situées à l'aplomb de traversées isolées étanches respectives (12) de l'embase (8) et en ce que les connexions électriquement conductrices comprennent les conducteurs respectifs (11) desdites traversées. 8. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les pistes électriques (18) imprimées sur le circuit d'interconnexion (17) sont réalisées par sérigraphie avec une encre conductrice. 9. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que les pistes électriques (18) imprimées sur le circuit d'interconnexion (17) sont réalisées par gravure, notamment au moyen d'un laser, d'une couche métallique revêtant un support rigide dudit circuit d'interconnexion de façon que soient isolées dans celle-ci des zones conductrices. 10. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les fils souples électriquement conducteurs (19) disposés entre les éléments conducteurs de l'élément sensible et les premières extrémités des pistes conductrices (18) imprimées sur le circuit d'interconnexion (17) ne sont pas émaillés et ont un diamètre de l'ordre de 25 pm. 11. Capteur gyroscopique selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'élément sensible est un résonateur mécanique (2) comportant au moins quatre poutres parallèles identiques (3a- 3d) solidaires d'un socle commun (4) muni d'un pied (5) encastré dans une embase de support (8), chaque poutre (3a-3d) portant, sur ses faces tournées vers l'extérieur, des éléments piézo-électriques d'excitation (6) et de détection (7) de la vibration de la poutre, constituant les éléments conducteurs.