Brevet FR2806189A1 — publié le 20010914

La présente invention concerne un circuit intégré renforcé et un procédé de renforcement circuits intégrés L'invention est notamment utilisable dans le domaine objets portatifs tels que des cartes à contact ou sans contact comme des cartes bancaires ou téléphoniques, des cartes d'accès, ou bien encore dans le domaine étiquettes à circuit intégré. circuit intégré est couramment réalisé à partir d'une plaquette de silicium qui présente une face active sur laquelle débouchent des bornes et une face inactive qui est opposée à la face active. Le silicium est matériau relativement fragile qui est peu résistant aux contraintes de flexion et de chocs. Dans le cas d'une implantation du circuit intégré dans une carte, le circuit intégré est en général préalablement collé sur un support et relié à des plages conductrices solidaires de ce dernier pour former un module. Le circuit intégré est ensuite encapsulé dans un bloc de résine associé à un renfort, ce qui améliore la résistance mécanique du module et protège les connexions du circuit intégré aux plages conductrices. La réalisation d'un tel module est cependant relativement coûteuse. En outre, l'agencement en module n'est pas adapte à tous les types cartes (notamment de faible épaisseur) et aux étiquettes, ni à certains modes de fabrication de celles- ci. problème de la résistance des circuits intégrés à la flexion est encore amplifié par le fait que les circuits intégrés utilisés actuellement dans les cartes ont une surface qui tend à s'accroître alors que l'épaisseur de ceux-ci diminue. Un but de l'invention est de proposer moyen pour augmenter la résistance mécanique des circuits intégrés. En vue de la réalisation de ce but, on prévoit, selon l'invention, un circuit intégré comprenant une face active sur laquelle débouchent des bornes et une face inactive opposée à la face active, une feuille de renfort recouvrant chacune des faces du circuit intégré. Les feuilles de renfort confèrent au circuit intégré une bonne résistance à la flexion et protège les faces du circuit intégré qu'elles recouvrent contre les chocs. Les circuits intégrés ainsi renforcés peuvent être facilement implantés dans des cartes de faible épaisseur ou des étiquettes. En outre, le circuit intégré peut alors être disposé dans l'épaisseur du corps de carte dans une position voisine de la fibre neutre. Ceci limite les contraintes de flexion auxquelles le circuit intégré risque d'être soumis. Avantageusement, la feuille de renfort est fixée à la face correspondante du circuit intégré au moyen d'une couche adhésive, la couche adhésive ayant préférentiellement une épaisseur suffisante pour compenser des variations de dilatation entre la feuille de renfort et le circuit intégré. Une feuille de renfort ayant un coefficient de dilatation différent de celui du matériau conz,tituant le circuit intégré proprement dit peut ainsi être utilisé. L'invention a également pour objet un procédé de renforcement de circuits intégrés ayant une face active sur laquelle débouchent des bornes et une face inactive opposée à face active, comprenant les étapes de - déposer une feuille de renfort sur chacune des faces des circuits intégrés alors que ceux-ci sont associ' sous forme d'une galette, - individualiser les circuits intégrés par découpe de la galette. Ainsi, en une seule opération, plusieurs centaines de circuits intégrés sont recouverts de la feuille renfort. En outre, la feuille de renfort étant découpée même temps que la galette lors de l'individualisation des circuits intégrés, la feuille de renfort est parfaitement positionnée sur le circuit intégré. Enfin, la feuille de renfort améliore la résistance de la galette avant la découpe de celle-ci et empêche la propagation de fissures qui seraient éventuellement amorcées lors de la découpe de la galette. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront à la lecture de la description qui suit de modes de réalisation particuliers non limitatifs de l'invention Il sera fait référence aux dessins annexés parmi lesquels - figure 1 est une vue en coupe transversale d'un circuit intégré conforme à un premier mode de réalisation de l'invention, - la figure 2 est une vue de dessus d'une galette de circuits intégrés conformes au premier mode de réalisation, - la figure 3 est une vue en coupe transversale d'une galette de circuits intégrés conformes à un deuxième mode de réalisation de l'invention. En référence aux figures, un circuit intégré 1 comporte de manière connue une plaquette de silicium qui présente une face active 2 sur laquelle débouchent des bornes 3 et une face inactive 4 opposée à la face active 2. En référence plus particulièrement aux figures 1 et 2 et conformément à l'invention, des feuilles de renfort 5, 6 sont fixées respectivement sur la face active et la face inactive 4 du circuit intégré 1 au moyen d' couche adhésive 7, 8. Les feuilles de renfort 5, 6 sont ici réalisées en un métal tel que du nickel ou du cuivre et ont une épaisseur l'ordre de 100 pm. couches adhésives 7, 8 ont une épaisseur suffisante pour compenser les variations de dilatation existant entre le métal des feuilles de renfort 5, 6 et silicium et absorber les contraintes provoquées par variations de dilatation. Ainsi, le silicium a coefficient de dilatation de l'ordre de 10-7 et une feuille de renfort en cuivre a un coefficient de dilatation de l'ordre 10-6. Dans ce cas, il est possible de réaliser couche adhésive 7, 8 au moyen d'une colle ayant coefficient de dilatation de 10-3 ou 10-4 étalée en couche ayant une épaisseur de l'ordre de quelques dizaines de micrometres. feuille de renfort 5 et la couche adhésive 7 recouvrant la face active 2 présentent des ouvertures 9, 10 à l'aplomb des bornes 3. Le renforcement d'un circuit intégré 1 est réalisé alors que le circuit intégré 1 est associé à d'autres circuits intégrés sous la forme d'une galette généralement désignée en 11 (couramment dénommée wafer) comportant plusieurs milliers de circuits intégrés. Les feuilles de renfort 5, 6 sont découpées aux dimensions de la galettes 11 et les ouvertures 9 sont réalisées par photogravure dans la feuille de renfort 5. La face active 2 des circuits intégrés 1 est recouverte par une résine adhésive photosensible pour former couche adhésive 7 et la face inactive 4 circuits intégrés 1 est recouverte par une résine adhésive pour former la couche adhésive 8. Pour chaque couche adhésive 7, 8, la résine peut être déposée sur la face correspondante 2, 4 de la galette 11 selon une méthode dite "à la tournette" consistant à mettre la galette 11 en rotation à verser la résine sur cette face de manière que la résine s'étale sur la galette 11 sous l'effet de la force centrifuge. Un collage sous vide primaire des feuilles de renfort est alors effectué en appliquant les feuilles de renfort 5, 6 contre les couches adhésives 7, 8 respectivement. Le collage sous vide primaire permet d'éviter que des bulles ne se forment au niveau de la couche adhésive. Dans le même but, il est possible également de réaliser des perforations microscopiques dans les feuilles de renfort 5, 6 par exemple au moyen d'un laser pour permettre à l'air qui serait emprisonné entre la feuille de renfort et la couche adhésive de s'échapper. Lors du collage de la feuille de renfort 5, les ouvertures 9 la feuille de renfort 5 seront disposées en regard des bornes 3 de la galette 11. Si la résine utilisée est une résine réactivable chaud, il est procédé à un chauffage des couches adhésives simultanément à l'application des feuilles de renfort 5, 6. La résine formant la couche adhésive 7 à l'aplomb des bornes 3 est ensuite éliminée pour former les ouvertures 10. Cette élimination est par exemple réalisée de manière classique en insolant la couche adhésive 7 avec rayons ultraviolets au travers de la feuille de renfort 5 qui forme ainsi un masque puis en effectuant une attaque de la couche adhésive 7 par un solvant qui n'est actif que sur les zones de la couche adhésive 7 qui ont été insolées, c'est-à-dire les zones en regard des ouvertures 9. Selon une première variante, la couche de résine 7 peut également être déposée sur la galette 11 de circuits intégrés 1 par sérigraphie en utilisant un écran de telle manière que les bornes 3 ne soient pas recouvertes par la résine formant la couche adhésive 7. Selon une deuxième variante, la couche adhésive 7 peut être formée par une résine contenant des particules électroconductrices qui la rendent anisotropique électriquement de telle manière que les zones de la couche adhésive 7 situées à l'aplomb des bornes 3 puissent être rendues localement conductrices par compression à chaud de la résine selon une direction normale aux bornes 3. Selon une troisième variante, les couches adhésives 7, 8 peuvent être formées par des films adhésifs appliqués par pressage à chaud sur les faces active et inactive 2, 4 de galette 11 ou sur les feuilles de renfort 5, 6. Le collage est ensuite réalisé par pressage à chaud des feuilles de renfort 5, 6 respectivement sur la face active 2 sur la face inactive 4 de la galette 11. Une fois les feuilles de renfort 5, 6 fixées sur les faces 2, 4 de la galette 11, il est procédé de manière classique à la découpe de la galette pour individualiser les circuits intégrés. Afin de faciliter cette opération, on pourra prévoir que les feuilles de renfort 5, 6 comportent des zones d'épaisseur moindre agencées selon des chemins de sciage qui seront empruntés par l'outil de découpe. En variante, le procédé peut comprendre l'étape de diminuer l'épaisseur du circuit intégré à partir de la face inactive 4 de celui-ci préalablement à la fixation de la feuille de renfort 6. Cette étape est réalisée par exemple par polissage de la face inactive 4. Ainsi, est possible d'obtenir un circuit intégré qui, une fois renforcé, a une épaisseur similaire à celle d'un circuit intégré non renforcé. Les éléments identiques ou analogues à ceux précédemment décrits porteront une référence numérique identique dans la description qui suit d' deuxième mode de réalisation de l'invention. En référence à la figure 3, plots 12 sont réalisés sur les bornes 3 des circuits intégrés 1 associés sous forme d'une galette 11. Les plots 12 peuvent être réalisés par sérigraphie. Le produit utilisé pour la réalisation des plots 12 est alors un polymère chargé à l'argent ou une pâte à braser. Les plots 12 peuvent également être réalisés par un procédé electrochimique de croissance. La résine utilisée pour former la couche adhésive 7 est électriquement isolante et est déposée à la tournette sur la face active 2 des circuits intégrés 1 de la galette 11. La hauteur de la couche adhésive 7 est inférieure à celle des plots 12. La feuille de renfort 5 dans laquelle des ouvertures 9 ont été préalablement ménagées pour recevoir les plots 12 est ensuite appliquée par pressage à chaud contre la couche adhésive 7. La feuille de renfort 5 est ici en matériau isolant comme un matériau thermoplastique. Les plots 12 dépassent legèrement de la feuille de renfort 5. La fixation de la feuille de renfort 6 et la découpe de la galette 1 pour individualiser les circuits intégrés 1 sont réalisées comme précédemment. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée au mode de réalisation décrit on peut y apporter des variantes de réalisation sans sortir du cadre de l'invention tel que défini par les revendications. En particulier, feuilles de renfort 5, 6 du circuit intégré de la figure 1 peuvent être en des métaux différents ou, d'une manière plus générale, en des matériaux différents. preférence, les matériaux utilisés pour former les feuilles de renfort 5, 6 ont des caractéristiques mécaniques équivalentes et ont par exemple un coefficient de dilatation proche, ce qui permet d'éviter que le circuit intégré ou la galette ne s'incurve à la manière d'un bilame sous l'effet d'une élévation de température. Les feuilles de renfort 5, 6 peuvent en outre avoir des épaisseurs différentes. La somme des épaisseurs des deux feuilles de renfort peut aussi être supérieure ou égale à celle d'un circuit intégré non renforcé. REVENDICATIONS 1. Circuit intégré pour objet portatif type carte à puce, le circuit intégré comprenant une face active (2) sur laquelle débouchent des bornes (3) et face inactive (4) opposée à la face active, caractérisé en ce qu'une feuille de renfort (5, 6) recouvre chacune des faces du circuit intégré. 2. Circuit intégré selon la revendication 1, caractérise en ce que la feuille de renfort (5, 6) est fixée à face correspondante (2, 4) du circuit intégré (1) au moyen d'une couche adhésive (7, 8). 3. Circuit intégré selon la revendication 2, caractérisé en ce que la couche adhésive (7, 8) a une épaisseur suffisante pour compenser des variations de dilatation entre la feuille de renfort (5, 6) et le circuit intégré (1 . 4. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que des bornes (3) de la face active (2) sont pourvues de plots (12) en saillie de la feuille de renfort (5). 5. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'au moins une des feuilles renfort (5, 6) est réalisée en métal. 6. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les feuilles de renfort (5, 6) ont des caractéristiques mécaniques voisines telles qu'un coefficient de dilatation voisin. 7. Circuit intégré selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les feuilles de renfort (5, 6) sont sensiblement de même épaisseur. 8. Procédé de renforcement de circuits intégrés (1) ayant une face active (2) sur laquelle débouchent des bornes (3) et une face inactive (4) opposée à la face active, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes de - déposer une feuille de renfort (5, 6) sur chacune des faces des circuits intégrés alors que ceux-ci sont associés sous forme d'une galette (11), - individualiser les circuits intégrés par découpe de la galette. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'au moins une des feuilles de renfort (5, 6) est fixée par collage sous vide primaire. 10. Procédé selon la revendication 8 ou la revendication 9, en relation avec la fixation de la feuille de renfort (5) sur la face active (2) des circuits intégrés, cette feuille de renfort présentant des ouvertures (9) destinées être disposées en regard des bornes (3), caractérisé en ce que la feuille de renfort est fixée sur la face active par collage au moyen d'une couche adhésive (7) photosensible, et en ce qu'après le collage une insolation de la couche adhésive est réalisée au travers de la feuille de renfort et une attaque de zones insolées de la couche adhésive est effectuée au moyen d'un solvant. 11. Procédé selon la revendication 8 ou la revendication 9, en relation avec la fixation de la feuille de renfort (5) sur la face active (2) des circuits intégrés, cette feuille de renfort présentant des ouvertures (9) destinées être disposées en regard des bornes (3), caractérisé en ce que la feuille de renfort est fixée sur la face active par collage au moyen d'une couche adhésive (7) étalée sur la face active après que des plots (12) ont été réalisés sur les bornes (3), la couche adhésive ayant une épaisseur inférieure à une hauteur des plots. 12. Procédé selon l'une quelconque des revendications 8 à 11, caractérisé en ce qu'il comprend l'étape de diminuer l'épaisseur circuit intégré à partir de la face inactive (4) de celui ' préalablement au dépôt de la feuille de renfort (6) sur la face inactive (4).