Brevet FR2799403A1 — publié le 20010413

Tissu de polissage mécanique et mécano-chimique. Domaine technique de l'invention L'invention est relative à un tissu de polissage mécanique mécano- chimique, comprenant un complexe textile plat composé d'une sous-couche imperméable servant d'élément de support, et d'un revêtement superficiel en matériau spongieux actif venant en contact avec la pièce à polir. tel tissu de polissage est généralement appliqué sur une polisseuse, et peut avoir des applications diverses, notamment dans la métallographie, la géologie, la microélectronique pour la préparation de substrats semi-conducteurs, la mécanique. L'effet mécanique de friction du complexe textile sur l'objet à polir peut être combiné avec l'action chimique d'une solution de polissage liquide pâteuse, laquelle est projetée sur l'objet en imbibant le complexe textile lors du fonctionnement en rotation de la polisseuse. L'enlèvement superficiel de la matière necessite en plus une certaine pression d'application du complexe textile sur l'objet. Etat de la technique brevet français 7322367 décrit un complexe textile pour le polissage de semi conducteurs, et comprenant un corps spongieux en feutre surmonté d'une couche active perméable destinée à frotter contre la surface à polir en laissant passer le liquide provenant du feutre. La couche active perméable est formée par des fibres polyester, de polyamide ou de polypropylène. Le feutre est fixe sur une sous- couche imperméable réalisée en matière plastique, par exemple du chlorure de polyvinyle. Les performances de polissage d'un tel complexe textile restent néanmoins limitées, et nécessitent des remplacements fréquents. Objet de l'invention L'objet de l'invention consiste à réaliser un tissu à complexe textile plat permettant d'obtenir un polissage mécanique et/ou mécano-chimique optimum. tissu selon l'invention est caractérisé en ce que la sous-couche est à base de coton calibré et traité par apprêtage, - le revêtement superficiel est formé par un flock de coton broye et collé sur la sous-couche au moyen d'une couche intermédiaire adhésive, la longueur moyenne fibres de coton du flock étant comprise entre 0,1 mm et 0,4mm. Selon mode de réalisation préférentiel de l'invention, le coton de la sous-couche est apprêté au moyen d'une émulsion acrylique pouvant être pigmentée ou non pigmentée. Le poids du coton de la sous-couche est de l'ordre 155g/m2, et la couche intermédiaire adhésive est à base d'esters de polyuréthane réticulé avec un polyisocianate. Le flock de coton possède un poids de l'ordre de 30g/m2. fixation du complexe textile sur un support d'une polisseuse s'effectue au moyen d'un revêtement adhésif autocollant, ou par attraction magnétique. Description sommaire des dessins D'autres avantages et caractéristiques ressortiront plus clairement de description va suivre d'un mode de réalisation de l'invention donné à titre d'exemple non limitatif, et représenté à la figure unique illustrant une vue schématique en coupe complexe textile pouvant être appliqué à différents supports. Description d'un mode de réalisation préférentiel référence à la figure 1, un tissu de polissage 10 mécanique et mécano-chimique comprend un complexe textile plat, composé d'une sous-couche 1 à base de coton calibré imperméable, d'une couche intermédiaire 14 de colle, et d'un revêtement superficiel 16 en matériau spongieux actif. coton de la sous-couche 12 fait l'objet d'un traitement d'apprêtage au moyen d'une émulsion acrylique pouvant être pigmentée. Le poids du coton de l'ordre 155g/m2. couche intermédiaire 14 adhésive est formée par revêtement continu d'esters de polyuréthane, déposée sur la sous-couche 12 avec un grammage voisin de gog/m2. L'ester de polyuréthane est réticulé avantageusement avec un polyisocianate, de manière à obtenir un effet de collage optimum, une bonne resistance au lavage et au nettoyage à sec. zone spongieuse active du revêtement superficiel 16 vient en contact avec la pièce à polir, et est formée par un flock de coton broyé et calibré. La longueur moyenne des fibres de coton est comprise entre O,imm et 0,4mm, et est de préférence égale à 0,2mm. Le flock de coton est collé sur le coton imperméabilisé de la sous-couche 12 par la couche intermédiaire 14 adhésive de polyuréthane. Le grammage du flock de coton est de l'ordre de 30g/m2. Le tissu de polissage 10 peut être conformé selon un disque, ou tout autre configuration , et est destiné à être fixé sur un support mobile rigide ou semi-rigide, par exemple le plateau d'une polisseuse. La fixation du tissu de polissage 10 sur le support intervient de différentes manières en fonction des utilisations: soit directement par collage par un revêtement adhésif 18 réparti sur la face inférieure du coton imperméabilisé de la sous-couchel2; soit par attraction magnétique au moyen d'un revêtement magnétique 20 assemblé à la face inférieure de la sous-couche 12 par un adhésif 22; soit par une feuille souple 24 en chlorure de polyvinyle ou matériau similaire, pris en sandwich entre deux revêtements adhésifs 26, 28, l'ensemble présentant une certaine rigidité. La matière spongieuse active du revêtement superficiel 16 est apte à retenir toutes sortes de produits pâteux ou liquides pour assurer le polissage différents matériaux. L'utilisation d'un tel tissu de polissage 10 mécanique et mécano-chimique peut avoir des applications diverses, notamment dans la métallographie pour préparation d'échantillons à observer au microscope, la géologie, la microélectronique pour la préparation de substrats semi-conducteurs, la mécanique. Revendications 1. Tissu de polissage mécanique et mécano-chimique, comprenant un complexe textile plat composé d'une sous-couche (12) imperméable servant d'élément de support, et d'un revêtement (16) superficiel en matériau spongieux actif venant en contact avec la pièce à polir, caractérisé en ce que - la sous-couche (12) est à base de coton calibré et traité par apprêtage, le revêtement (16) superficiel est formé par un flock de coton broyé collé sur sous-couche (12) au moyen d'une couche intermédiaire (14) adhésive, la longueur moyenne des fibres de coton du flock étant comprise entre 1 mm et 4mm. Tissu de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que le coton de la sous-couche (12) est apprêté au moyen d'une émulsion acrylique pouvant être pigmentée ou non pigmentée, Tissu de polissage selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le poids coton de la sous-couche (12) est de l'ordre de 155g/m2. Tissu de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que couche intermédiaire (14) adhésive est à base d'esters de polyuréthane. 5. Tissu de polissage selon la revendication 4, caractérisé en ce que l'ester de polyuréthane est réticulé avec un polyisocianate. 6. Tissu de polissage selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que le flock de coton possede un poids de l'ordre de 30g/m2. 7. Tissu de polissage selon l'une des revendications 1 à 6, caractérise en ce que la fixation du complexe textile sur un support d'une polisseuse s'effectue par collage au moyen revêtement adhésif (18). 8. Tissu de polissage selon l'une des revendications 1 à 6, caractérise en ce que la fixation du complexe textile sur un support d'une polisseuse s'effectue par l'intermédiaire revêtement magnétique (20) assemblé à la face inferieure de la sous-couche (12) par un adhésif (22). 9. Tissu de polissage selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que la fixation du complexe textile sur un support d'une polisseuse s'effectue par l'intermédiaire d'une feuille souple (24) en chlorure de polyvinyle pris en sandwich entre deux revêtements adhésifs (26, 28).