Brevet FR2802706A1 — publié le 20010622

L'invention se rapporte à un procédé d'interconnexion en trois dimensions de boîtiers ou circuits contenant au moins un composant électronique. La réalisation des systèmes électroniques actuels doit tenir compte d'exigences de plus en plus grandes en termes de compacité, du fait du nombre de plus en plus élevé de circuits mis en oeuvre, et de rapidité de fonctionnement. Dans un but de compacité, il a déjà été proposé de réaliser des empilements de puces de circuits intégrés, comme décrit dans le brevet français FR 2 670 323, ou de boîtiers encapsulant des pastilles semi- conductrices, comme décrit dans le brevet français FR 2 688 630, I'interconnexion des puces ou boîtiers s'effectuant en trois dimensions en utilisant les faces de l'empilement comme surfaces d'interconnexion. Cependant, comme ces blocs de boîtiers ou circuits empilés sont ensuite généralement enrobés d'un matériau électriquement isolant puis blindés par dépôt d'une couche de métallisation, il existe des capacités parasites non négligeables entre les connexions tracées sur les surfaces de l'empilement et le blindage. Ceci constitue un inconvénient important, notamment dans la recherche de la rapidité de fonctionnement des composants. La présente invention a pour objet de remédier à cet inconvénient en interconnectant les conducteurs des boîtiers ou circuits non plus par des connexions tracées sur les surfaces du bloc mais par des connexions empruntant des rainures perpendiculaires à la face du bloc. Selon l'invention, il est donc prévu un procédé d'interconnexion en trois dimensions de boîtiers ou circuits contenant au moins un composant électronique et munis de conducteurs de connexion, dans lequel lesdits boîtiers ou circuits sont empilés et solidarisés par enrobage à l'aide d'un matériau électriquement isolant pour former un bloc, ledit procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: a) découpe du bloc en laissant les extrémités des conducteurs en retrait par rapport aux faces correspondantes du bloc; b) découpe dans lesdites faces et perpendiculairement à celles-ci de rainures venant entamer respectivement l'extrémité desdits conducteurs; c) métallisation du bloc et de ses rainures; d) polissage desdites faces du bloc pour éliminer la métallisation de ces faces; e) enrobage de l'ensemble du bloc par un matériau électriquement isolant. L'invention prévoit également un dispositif électronique à interconnexion en trois dimensions comportant des boîtiers ou circuits contenant au moins un composant électronique et munis de conducteurs de connexion, dans lequel lesdits boîtiers ou circuits sont empilés et enrobés par un matériau électriquement isolant pour former un bloc, caractérisé en ce que les extrémités desdits conducteurs sont en retrait par rapport aux faces correspondantes du bloc, en ce que lesdites faces comportent des rainures entamant les extrémités respectives desdits conducteurs et dont les faces portent une métallisation et en ce que ledit bloc comporte un matériau électriquement isolant enrobant l'ensemble du bloc et des rainures. Grâce à ces dispositions, seules les sections des métallisations des rainures affleurent à la surface du bloc vis-à-vis de la métallisation de blindage, d'o une diminution considérable des capacités parasites. En outre, le fait que l'ensemble des surfaces latérales internes des rainures soient métallisées et participent à la conduction accroît notablement la section des connexions et donc les possibilités d'acheminement de courants importants sans pour autant augmenter l'écartement des connexions. Un autre aspect de l'invention consiste à profiter des rainures ainsi obtenues pour réaliser des barres omnibus d'alimentation ("Bus bar" dans la littérature anglo-saxonne) à condensateur réparti en formant, par découpe du fond d'une rainure, deux électrodes se faisant face pour le réseau Masse- Alimentation. Selon cet autre aspect de l'invention, il est donc prévu un procédé du type ci-dessus, caractérisé en ce que, lors de l'étape b), au moins l'une prédéterminée desdites rainures vient entamer l'extrémité de deux conducteurs adjacents d'alimentation desdits boîtiers ou circuits et en ce que ledit procédé comprend en outre, entre les étapes c) et e), I'insertion d'une étape de: g) découpe, dans le fond desdites rainures prédéterminées et sur toute leur longueur, de secondes rainures. L'invention prévoit également un dispositif du type ci-dessus, caractérisé en ce que des rainures prédéterminées entament les extrémités de deux conducteurs adjacents et en ce que la métallisation du fond desdites rainures prédéterminées est interrompue sur toute la longueur desdites rainures. On peut ainsi obtenir des modules avec barre omnibus intégrée ou reportée d'encombrement réduit et à faible coût. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avantages apparaîtront à l'aide de la description ci-après et des dessins joints o: - les figures 1 à 3 représentent un dispositif à interconnexion en trois dimensions de type connu; - la figure 4 montre l'organigramme d'un mode de réalisation du procédé selon l'invention; - la figure 5 représente une étape de fabrication du dispositif selon l'invention; - la figure 6 est une vue partielle d'un mode de réalisation du dispositif selon l'invention; - les figures 7A et 7B montrent un détail de variantes du dispositif selon l'invention; - la figure 9 illustre une étape de la fabrication d'un dispositif selon le procédé de la figure 8; - la figure 10 est une vue partielle du dispositif selon l'invention obtenu selon cette variante de procédé. - la figure 11 représente le dispositif selon l'invention obtenu selon cette variante de procédé dans une autre application; et - la figure 12 est une vue d'une variante du dispositif de la figure 10. La figure 1 représente une vue partielle d'un dispositif à interconnexions en trois dimensions connu selon le brevet FR 2 688 630, la figure 2 un détail A de la figure 1 et la figure 3 une coupe selon B-B de la figure 2. Ce dispositif connu est formé par empilement de boîtiers ou circuits 2 munis de conducteurs de connexion 21 et solidarisation par enrobage à l'aide d'un matériau électriquement isolant de manière à former un bloc 3. Ce matériau est choisi de préférence pour qu'il soit thermo- mécaniquement adapté au matériau formant le boîtier ou le circuit de façon à faciliter la dissipation thermique et à éviter les contraintes ou ruptures éventuelles dues à des différences trop grandes dans les valeurs des coefficients de dilatation des matériaux. On peut utiliser par exemple une résine polymérisable telle qu'une résine époxy. Le bloc est découpé et poli pour former des faces 31, 33, 34, de manière telle que les conducteurs de connexion des boîtiers affleurent les faces correspondantes du bloc (face 31 sur la figure 1). Une métallisation est ensuite réalisée sur l'ensemble des faces du bloc puis les connexions C sont découpées par exemple par gravure laser. Sur la figure 2 est montré le détail A de la figure 1. On y voit une connexion 38 entre les conducteurs adéquats 21 des différents boîtiers, cette connexion aboutissant à un plot 35 pour la liaison électrique à des circuits extérieurs. La connexion 38 et le plot 35 sont obtenus par gravure 36, 37, par exemple par laser, détruisant localement la couche de métallisation conductrice M. La coupe selon B-B de la figure 3 illustre le dispositif terminé. Le bloc 3 avec la métallisation M, les gravures 36 et 37 et la connexion 38 de largeur _ est enrobé dans un matériau électriquement isolant 300 sur une épaisseur d et une métallisation de blindage 301 est déposée sur l'ensemble. On peut constater que, du fait que l'épaisseur d est faible, une capacité parasite non négligeable apparaît entre la connexion 38 et la métallisation 301. Cette capacité est de la forme: A C=EV úo d d o A est l'aire des surfaces en regard, úo = 8,86.10-12 F/m et úEv est la permittivité du matériau 300 enrobant le bloc (par exemple de l'ordre de 4). Par exemple, si l'on suppose une largeur e de connexion égale à 350 pm et une épaisseur d égale à 100 pm, pour une longueur de connexion unité, 1 mm, on obtient: C = 12,4.10-14 F soit environ 0,125 pF par mm. Pour une longueur de connexion 38 de 10 mm, on obtient déjà une capacité parasite de 1,25 pF, ce qui peut constituer un inconvénient important pour des circuits fonctionnant de plus en plus rapidement avec des tensions d'alimentation réduites. La solution selon l'invention consiste à réduire dans de larges proportions les surfaces en regard des connexions et du blindage, ce qui réduit notablement les capacités parasites. La figure 4 illustre donc un mode de réalisation du procédé selon l'invention. La première étape du procédé, 100, ne change pas par rapport à l'art antérieur. On empile les boîtiers ou circuits et on les solidarise par enrobage de l'ensemble par un matériau électriquement isolant, tel qu'une résine qu'on polymérise. L'étape suivante 101 consiste à découper l'empilement solidarisé de sorte que les conducteurs de connexion 21 des boîtiers ou circuits soient en retrait par rapport à la face correspondante du bloc. Ceci est représenté sur la figure 5. On y voit le bloc 3' obtenu après l'étape 101 avec les extrémités des conducteurs 21 du boîtier supérieur. Le plan de découpe, par exemple par sciage, est matérialisé par la face 302 du bloc 3'. Le retrait des conducteurs 21 par rapport à la face 302 peut être de quelques micromètres à quelques centaines de micromètres. L'étape suivante 102 consiste à réaliser des rainures perpendiculaires à la face 302 et au plan des boîtiers sur une profondeur suffisante pour entamer l'extrémité des conducteurs 21 en retrait. On obtient ainsi une section qui pourra être métallisée. L'étape suivante 103 consiste à déposer une (ou plusieurs) couche(s) conductrice(s), métallique(s) par exemple, sur l'ensemble des faces du bloc 3' et des rainures précédemment réalisées. L'étape suivante 104 consiste en un polissage des faces du bloc comportant des rainures pour dé-courtcircuiter les connexions réalisées dans les rainures. L'étape suivante 105 consiste à enrober l'ensemble dans un matériau électriquement isolant tel qu'une résine polymérisable. Enfin, l'étape 106 comporte la métallisation de l'ensemble enrobé pour réaliser un blindage. La figure 6 représente partiellement le dispositif selon l'invention terminé. On y retrouve les conducteurs 21 et la face 302 du bloc 3' de la figure 5. Des rainures 40, 41 entaillent la face 302 jusqu'aux conducteurs 21. La métallisation des rainures 42 est celle qui subsiste après l'étape 104 de polissage de la face 302 qui enlève la métallisation sur cette face. La métallisation restante 42 assure la connexion entre les conducteurs correspondants des divers boîtiers. Le bloc 3' est enrobé par une résine 303 après l'étape 105, laquelle est recouverte d'une métallisation de blindage 304. Les rainures peuvent être réalisées dans l'étape 102 par sciage, fraisage, par gravure laser ou tout autre technique connue. Comme on peut le constater sur la figure 6, les capacités parasites sont maintenant pratiquement exclusivement celles existant entre les sections de métallisation 42 affleurant la face 302 et le blindage 304. Elles sont de la forme: A' C = 2E, Eo d 0d L'aire A' est égale à e par millimètre de connexion. Si on suppose une épaisseur e de 7 pm, on obtient alors une capacité de l'ordre de 0,005pF/mm, c'est-à-dire 0,05pF pour une longueur de connexion de 10 mm. On peut ainsi constater qu'on a divisé par 25 la capacité parasite. Les figures 7A et 7B montrent d'autres formes de rainures obtenues selon la technique de découpe utilisée. Sur la figure 7A, la section des rainures 43 est trapézoïdale et, sur la figure 7B, la section des rainures 44 est partiellement circulaire. Selon un autre aspect de l'invention, on peut penser à perfectionner ce procédé pour réaliser des barres omnibus d'alimentation avec condensateur réparti intégré ou reporté. La figure 8 illustre cette variante de procédé selon l'invention. Par rapport au procédé de la figure 4, on a tout d'abord prévu que l'étape 102 de découpe de rainures devait, pour des rainures prédéterminées devant former lesdites barres, permettre d'entamer deux conducteurs adjacents d'alimentation desdits boîtiers. D'autre part, on a prévu d'insérer, entre l'étape 103 et l'étape 105, une étape 107 de découpe, dans le fond de ces rainures prédéterminées et sur toute leur longueur, de secondes rainures pour séparer ainsi deux électrodes Masse et Alimentation. La figure 9 est une vue partielle du dispositif après l'étape 104. La rainure 45 entame deux conducteurs adjacents 21' du bloc 3' et ses faces ont une métallisation 42 affleurant la face polie 302. La figure 10 montre une vue partielle après l'étape 107. La seconde rainure 46 de largeur w inférieure à la largeur W de la rainure 45 a découpé la métallisation 42 pour former deux électrodes se faisant face. L'étape 105 (figure 8) consiste ensuite à enrober l'ensemble bloc 3' rainures 45,46 à l'aide d'un matériau électriquement isolant tel qu'une résine organique polymérisable. Ceci a pour but tout d'abord de refermer les rainures pour éviter que des poussières ou résidus de flux lors de brasage ne viennent polluer les conducteurs, connexions et électrodes. Cela permet ensuite de redéposer un dépôt métallique comme blindage de l'ensemble du module selon l'étape 106 facultative, si un blindage est nécessaire. Enfin, cela permet d'obtenir une capacité répartie le long des deux électrodes. Habituellement, on utilise une résine époxy très chargée en particules minérales afin de réduire son coefficient de dilatation. On obtient une permittivité de l'ordre de 4. Dans ces conditions, avec une profondeur p de rainure de 1 mm et une largeur W de 200 pm, on a une capacité de l'ordre de 0,177 pF/mm. Avec une rainure de longueur 10 mm, on obtient une capacité de l'ordre de 1,77 pF. Cependant, pour certaines applications, on peut utiliser une résine chargée en particules diélectriques, par exemple du titanate de baryum, pour atteindre des permittivités beaucoup plus élevées (typiquement quelques centaines). Ainsi avec une permittivité Ev = 400, on obtiendrait une capacité de l'ordre de 177 pF. L'obtention dans une rainure 45 de deux électrodes se faisant face, comme représenté sur la figure 10, outre l'application indiquée ci-dessus pour réaliser des électrodes Masse et Alimentation, peut conduire à d'autres applications et, en particulier, celle illustrée sur la figure 11. En effet, aux fréquences élevées, il peut exister entre deux connexions voisines de signal une diaphonie, c'est-à-dire l'induction d'un courant parasite d'une connexion sur la connexion adjacente. Avec des connexions réalisées sous forme coplanaire (sans rainures), on peut arriver à réduire la diaphonie en séparant les connexions par une connexion (également coplanaire) de masse. Mais ceci oblige à accroître notablement le pas des connexions de signal. Le dispositif selon l'invention permet de remédier avantageusement à cet inconvénient, comme on le voit sur la figure 11. On y voit que, dans chaque rainure 45, une des électrodes, Ms, peut être reliée à la masse, de telle sorte que les électrodes de signal S1, S2 sont séparées l'une de l'autre par un blindage ou plan masse Ms. Les électrodes Ms peuvent être reliées à des conducteurs 21', comme à droite sur la figure 11, ou bien servir seulement de blindage en étant reliée à la masse sans être connectée à des conducteurs 21', comme à gauche sur la figure 11. Une autre possibilité offerte par le dispositif de la figure 10 est la réalisation d'une barre omnibus d'alimentation avec condensateur reporté comme représenté sur la figure 12. Dans cette réalisation, on insère dans la rainure 45 un condensateur 50 comportant des métallisations formant électrodes 51, 52 sur deux faces opposées longitudinales. Ces faces sont disposées en regard des métallisations 42 formant les deux électrodes de la connexion et on relie entre elles les électrodes correspondantes, tout en fixant le condensateur, à l'aide d'un matériau électriquement conducteur, par exemple par collage avec une colle chargée en argent 53. Ceci permet de gagner en encombrement et d'avoir un dispositif protégé contre les courts- circuits et les pollutions grâce à l'enrobage de l'ensemble. En outre, cela permet de minimiser les self-inductances pour l'alimentation des différents étages empilés du bloc, car chaque étage est relié directement au condensateur 10, et d'équilibrer au mieux l'alimentation de tous les étages. L'insertion du condensateur est représentée par l'étape 108 sur la figure 8. On peut remarquer que l'ordre des étapes 104 et 107 est interchangeable dans le schéma du procédé de la figure 8. Cependant, l'ordre indiqué sur cette figure est préférentiel car cela évite que des poussières conductrices résultant de l'opération 104 viennent se loger dans les secondes rainures 46. Bien entendu, les exemples de réalisation décrits ne sont nullement limitatifs de l'invention; notamment les connexions à réaliser sur les autres faces du bloc que celles o se trouvent les conducteurs de connexion 21, 21' peuvent aussi être réalisées sur le même principe de l0 découpe de rainures pour limiter les capacités parasites. REVENDICATIONS 1. Procédé d'interconnexion en trois dimensions de boîtiers ou circuits contenant au moins un composant électronique et munis de conducteurs de connexion, dans lequel lesdits boîtiers ou circuits sont empilés et solidarisés (100) par enrobage à l'aide d'un matériau électriquement isolant pour former un bloc (3, 3'), ledit procédé étant o0 caractérisé en ce qu'il comporte les étapes suivantes: a) découpe (101) du bloc en laissant les extrémités des conducteurs en retrait par rapport aux faces (302) correspondantes du bloc; b) découpe (102) dans lesdites faces et perpendiculairement à celles-ci de rainures (40, 41; 43; 44) venant entamer respectivement l'extrémité desdits conducteurs; c) métallisation (103) du bloc et de ses rainures; d) polissage (104) desdites faces du bloc pour éliminer la métallisation de ces faces; e) enrobage (105) de l'ensemble du bloc par un matériau électriquement isolant. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une étape finale de: f) métallisation (106) du bloc pour assurer son blindage. 3. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, incluant la réalisation, pour l'alimentation desdits boîtiers ou circuits, de barres omnibus d'alimentation, caractérisé en ce que, lors de l'étape b), au moins l'une prédéterminée desdites rainures (45) vient entamer l'extrémité de deux conducteurs adjacents d'alimentation desdits boîtiers ou circuits et en ce que ledit procédé comprend en outre, entre les étapes c) et e), I'insertion d'une étape de: g) découpe (107), dans le fond desdites rainures prédéterminées et sur toute leur longueur, de secondes rainures (46). 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que lesdites secondes rainures (46) ont une largeur inférieure à celle des rainures prédéterminées (45). 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdites découpes de rainures (40, 41 43; 44; 45, 46) sont réalisées par sciage. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que lesdites découpes de rainures (40, 41; 43; 44; 45, 46) sont réalisées à l'aide d'un laser. 7. Procédé selon l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que, juste avant l'étape e) d'enrobage, il est prévu une étape supplémentaire de: h) introduction, entre les faces latérales d'au moins une desdites rainures prédéterminées, d'un condensateur et collage sur chacune desdites faces latérales à l'aide d'une colle conductrice. 8. Dispositif électronique à interconnexion en trois dimensions comportant des boîtiers ou circuits contenant au moins un composant électronique et munis de conducteurs de connexion, dans lequel lesdits boîtiers ou circuits sont empilés, et enrobés par un matériau électriquement isolant pour former un bloc (3, 3'), caractérisé en ce que les extrémités desdits conducteurs (21; 21') sont en retrait par rapport aux faces correspondantes du bloc, en ce que lesdites faces (302) comportent des rainures (40, 41; 43; 44; 45) entamant les extrémités respectives desdits conducteurs (21 21') et dont les faces portent une métallisation (42) et en ce que ledit bloc comporte un matériau électriquement isolant (303) enrobant l'ensemble du bloc (3; 3') et des rainures. 9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que ledit bloc (3, 3') comporte en outre une couche métallique de blindage (304) recouvrant le matériau électriquement isolant (303) d'enrobage de l'ensemble. 10. Dispositif selon l'une des revendications 8 ou 9, caractérisé en ce que des rainures prédéterminées (45) entament les extrémités de deux conducteurs adjacents (21') et en ce que la métallisation (42) du fond desdites rainures prédéterminées est interrompue sur toute la longueur desdites rainures. 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que, entre les faces latérales d'au moins une desdites rainures prédéterminées (45), est disposé un condensateur fixé à ces faces latérales par un matériau conducteur électriquement.