Brevet FR2808331A1 — publié le 20011102

L'invention concerne un détecteur de gaz et un procédé pour fabriquer un détecteur de gaz comportant un électrolyte solide conducteur pour les ions oxygène, qui comporte un côté pour le gaz de mesure et un côté pour le gaz de référence et sépare une chambre du gaz de mesure vis-à-vis d'une chambre du gaz de référence, et comportant au moins une électrode de mesure disposée sur le côté, sur lequel se situe le gaz de mesure, de l'électrolyte solide et au moins une électrode de référence, disposée sur le côté, sur lequel se situe le gaz de référence, de l'électrolyte solide et au moins un support perméable au gaz au moins dans la zone des électrodes. Un détecteur de gaz du type indiqué est connu d'après le brevet US 5 186 809. Ce document décrit un tube céramique fermé à une extrémité et qui comporte des perçages dans la zone des électrodes. On imprime des électrodes de mesure et de référence sur un électrolyte solide agencé en tant que feuille à vert et conducteur pour les ions oxygène, et on comprime la feuille à vert imprimée sur la périphérie extérieure du tube céramique déjà fritté. On dispose les électrodes de référence au-dessus des perçages dans le tube céramique. Ensuite, on fritte sans pression la feuille à vert imprimée et le tube céramique, auquel cas on fritte la feuille à vert sur le tube céramique et on obtient un produit céramique solide. Les perçages présents dans le tube céramique permettent l'alimentation des électrodes de référence avec un gaz de référence. Le détecteur est d'une fabrication très compliquée étant donné qu'en dehors de la fabrication et de l'impression de la feuille à vert, il faut presser le produit composite de la feuille à vert et des électrodes sur le tube céramique déjà fritté et une seconde étape de frittage est nécessaire. La dépense du point de vue appareillage, l'énergie et les coûts de fabrication sont par conséquent élevés. DE 37 09 196 Ai décrit une sonde de mesure d'oxygène pour des températures élevées comportant un tube poreux d'alimentation en air dans un petit tube d'électrolyte solide étanche au gaz, un premier conducteur métallique étant enroulé sur le tube d'alimentation en air dans la zone des électrodes. Dans la zone du premier conducteur métallique, un conducteur d'électrons sous forme de poudre, constitué par un oxyde est fixé entre le tube poreux d'alimentation en air et le petit tube formé d'un électrolyte solide. Un second conducteur métallique est enroulé radialement par rapport au conducteur précédent, sur le petit tube d'électrolyte solide. On insère ce dispositif en position centrale dans une tête de sonde. Dans la zone du second conducteur métallique, on introduit et on fixe alors un autre conducteur d'électrons sous forme d'une poudre, constituée d'un oxyde. La fixation des entassements de poudre s'effectue au moyen de composés durcissables réfractaires, de préférence des ciments. De même cet agencement de sonde est d'une fabrication compliquée et coûteuse, étant donné que de très nombreuses étapes opératoires sont nécessaires pour la fabrication. Il se pose le problème de fournir un détecteur de gaz bon marché, dans lequel l'alimentation des électrodes avec le gaz s'effectue par l'intermédiaire d'un support perméable au gaz, ainsi qu'un procédé pour fabriquer le détecteur de gaz. Le problème est résolu en ce qui concerne le détecteur de gaz par le fait que l'électrolyte solide conducteur pour les ions oxygène et les électrodes sont agencés sous la forme de couches minces et sont disposés sur le support perméable au gaz. Sous l'expression couche mince, il faut comprend qu'il s'agit d'une structure plate, qui ne requiert aucun support, la formation des couches s'effectuant uniquement sur le support. Le support perméable au gaz doit par conséquent posséder au moins en partie une surface pouvant être recouverte de couches et sur laquelle les couches minces peuvent être déposées. Un support est désigné ici comme étant perméable au gaz lorsque le gaz peut atteindre l'électrode ou circuler jusqu'à cette dernière sans processus de diffusion. Au contraire on s'attend à ce qu'il soit possible, rapidement et à bon marché, de disposer les électrodes et l'électrolyte solide étanche au gaz sous la forme de couches minces sur la surface, tournées vers les ouvertures pour le passage du gaz, du support perméable au gaz. Le support perméable au gaz assume alors la fonction de permettre la pénétration du gaz de mesure de référence en direction des électrodes de mesure ou de référence et de garantir simultanément, par son agencement en tant que support, la réception du matériau sous forme de couches et la formation des couches minces. Pour l'utilisation du détecteur de gaz à des températures élevées, telles qu'elles règnent dans le conduit à gaz d'échappement d'un véhicule automobile, on peut utiliser des supports perméables au gaz formés d'une céramique, d'un verre ou d'un métal ou d'un produit composite formé à partir de ces matériaux. Pour des applications à faibles températures, on peut cependant également utiliser d'autres matériaux comme par exemple des matières plastiques. Les couches minces peuvent être déposées particulièrement aisément sur le support perméable au gaz, lorsque ce dernier possède une porosité sur la base de la présence de pores ouverts. Un matériau de support poreux sur la base de la présence de pores ouverts et y possède des pores ayant un diamètre compris dans la gamme entre 0,1 gm et 10 gm, s'est avéré particulièrement bien approprié étant donné qu'une perméabilité suffisante au gaz est garantie de façon sûre et que simultanément la dépense de temps pour le dépôt des couches minces reste faible. Cependant, on peut utiliser un support perméable au gaz, qui est formé par un matériau étanche au gaz, ce matériau étanche au gaz étant pourvu, au moins dans la zone des électrodes, d'ouvertures de passage pour le gaz. Les ouvertures de passage pour le gaz dans le matériau étanche au gaz peuvent être réalisées de préférence sous la forme de perçages ou bien à l'aide d'un laser. Avantageusement des ouvertures de passage pour le gaz ayant un diamètre situé dans la gamme située entre 10 Hm et 1000 bm sont formées dans le matériau étanche au gaz. Dans cette gamme de valeurs, la fabrication des ouvertures de passage pour le gaz est relativement simple et le besoin du point de vue temps pour le dépôt de couches minces étanches au gaz est encore relativement faible. Dans le domaine de la détection des gaz d'échappement, il est avantageux que le support perméable au gaz soit formé d'oxyde d'aluminium non électriquement conducteur. Cependant le support perméable au gaz peut être également électriquement conducteur et peut agencé simultanément en tant qu'électrode de mesure ou de référence du détecteur de gaz. Ainsi, on fait l'économie d'au moins du processus de dépôt d'au moins une électrode. Il est particulièrement approprié que les couches minces soient formées sur le support perméable au gaz, selon une technique à couches minces et/ou une technique de couches épaisses. Il faut comprendre par là qu'il s'agit de procédés de dépôt en général physique ou chimique en phase vapeur, ainsi que de différents types de dépôt mécanique de couches. Ainsi les couches minces peuvent être fabriquées au moins en partie par sérigraphie et/ou dépôt par évaporation et/ou dépôt par pulvérisation et/ou projection de plasma. Cependant on peut également utiliser d'autres possibilités comme par exemple la brève immersion du matériau perméable au gaz dans une solution ou dans une suspension. Ce qui est déterminant dans tous les procédés appropriés, c'est que les couches sont formées uniquement sur le support et ne sont pas présentes déjà en tant que couche sans le support, comme dans la technique des feuilles. Pour réaliser la couche mince constituée d'un électrolyte solide conducteur pour les ions oxygène de manière qu'elle soit étanche au gaz, il s'est avéré approprié de prévoir une épaisseur moyenne des couches dans la gamme comprise entre 10 um et 100 úm. Comme électrolyte solide conducteur pour les ions oxygène, il est avantageux d'utiliser notamment du ZrO2 ou du CeO2, dopé. On insiste sur le fait que sur le détecteur de gaz selon l'invention peut disposer en outre des éléments de chauffage, des couches isolantes, des éléments de détection de température ou analogues, sur lesquels on ne reviendra pas cependant ici d'une manière particulière. Le problème est résolu, en ce qui concerne le procédé, par le fait que l'électrolyte solide conducteur pour les ions oxygène et les électrodes, sont disposés sous la forme de couches minces sur le support perméable au gaz. Grâce au procédé selon l'invention, on obtient, par rapport au procédé usuel de fabrication, des économies importantes de temps et de coût en raison du petit nombre d'étapes opératoires nécessaires et des cycles pouvant être automatisés de façon simple. Un dépôt des couches minces au moyen d'une technique à couches minces et/ou à couches épaisses est particulièrement bon marché. Comme cela a déjà été indiqué plus haut pour le détecteur de gaz, il faut comprendre par là qu'il s'agit de procédés de dépôt en général physique ou chimique en phase vapeur ainsi que de différents types de dépôts mécaniques de couches. Il est avantageux d'utiliser des procédés pouvant être automatisés tels que la sérigraphie et/ou le dépôt par évaporation et/ou le dépôt par pulvérisation et/ou la projection de plasma. D'une manière générale lors du dépôt d'une couche de sérigraphie, il est nécessaire de mettre ensuite en oeuvre un processus de cuisson des couches minces sur le support perméable au gaz pour fixer les couches de sérigraphie, alors que cet traitement thermique aval peut être supprimé par exemple dans le cas de la projection de plasma. Le support perméable au gaz peut être formé d'une céramique et/ou de verre et/ou d'un métal. Un support perméable au gaz peut être réalisé avec une porosité en raison de la présence de pores ouverts, notamment des pores ayant un diamètre compris dans la gamme située entre 0,1 um et 10 Mm. Mais il s'est également avéré approprié d'utiliser un support perméable au gaz, qui est formé par un matériau étanche au gaz, le matériau étanche au gaz étant pourvu d'ouvertures de passage pour le gaz, au moins dans la zone des électrodes. Les ouvertures de passage pour le gaz, qui sont réalisées de préférence avec un diamètre dans la gamme de 10 um à 1000 gm, peuvent être fabriquées par perçage ou à l'aide d'un laser. L'utilisation d'oxyde d'aluminium pour le support perméable au gaz est aussi avantageux qu'un support, qui est agencé de manière à être électriquement conducteur et est agencé sous la forme d'une électrode du détecteur de gaz. Des couches minces étanches au gaz et formées par un électrolyte solide conducteur pour les ions oxygène, constitué par exemple par du ZrO2 ou du CeO2, dopé, sont réalisées de préférence avec une épaisseur moyenne dans la gamme de 10 Mm à 100 Mm. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description donnée ci-après prise en référence aux dessins annexés, sur lesquels est représenté à titre d'exemple un détecteur de gaz selon l'invention, des lignes invisibles ou masquées sont représentées par des lignes formées de tirets et sur lesquels: - la figure 1 représente une surface enveloppe d'un détecteur de gaz en forme de petit tube, comportant un support non électriquement conducteur et perméable au gaz, et qui est formé au moyen d'une ouverture de passage pour le gaz par un matériau étanche; - la figure 2 représente une coupe transversale du détecteur de gaz de la figure 1; - la figure 3 représente la surface enveloppe d'un détecteur de gaz sous la forme d'un petit tube comportant un support électriquement conducteur et perméable au gaz, qui possède une porosité basée sur la présence de pores ouvertes; - la figure 4 représente une coupe transversale du détecteur de gaz de la figure 3; - la figure 5 représente la surface enveloppe d'un détecteur de gaz sous la forme d'un petit tube comportant un support électriquement non conducteur et perméable au gaz, qui possède une porosité basée sur la présence de pores ouvertes; - la figure 6 représente une coupe transversale du détecteur de gaz de la figure 5; - la figure 7 représente une surface enveloppe d'un détecteur de gaz en forme de petit tube, comportant un support électriquement non conducteur et perméable au gaz, et qui est formé au moyen d'une ouverture de passage pour le gaz par un matériau étanche; - la figure 8 représente une coupe transversale du détecteur de gaz de la figure 7; - la figure 9 représente un détecteur de gaz comportant un support non électriquement conducteur, perméable au gaz et qui possède une porosité liée à la présence de pores ouverts; et - la figure 10 représente une coupe transversale du détecteur de gaz de la figure 9. La figure 1 représente une surface enveloppe développée à plat d'un détecteur de gaz, dans lequel le support 1 perméable au gaz possède la forme d'un petit tube fermé d'un côté. Le support 1 perméable au gaz est constitué par du CeO3 étanche gaz et non conducteur électriquement, une ouverture unique 2 de passage pour le gaz étant disposé au voisinage des électrodes. L'ouverture 2 de passage pour le gaz est un perçage et permet l'introduction du gaz de référence en direction de l'électrode de référence poreuse 3 représentée par des lignes formées de tirets et qui a été formée par sérigraphie sous la forme d'une couche mince sur le support 1 perméable au gaz. L'électrode de référence 3 est complètement recouverte par une couche mince formée par sérigraphie, étanche au gaz et constituée par un électrolyte solide 4 conducteur pour les ions oxygène. Une électrodes de masse poreuse formée par sérigraphie est située sur la couche 4 d'électrolyte solide. L'électrode de référence 3 et l'électrode de mesure 5 sont placées en contact avec des lignes 3a, 5a formées par sérigraphie. La figure 2 représente sous la forme d'une vue en coupe transversale, le support 1 en forme de petit tube perméable au gaz, et les couches minces. La coupe A-A" passe par les électrodes, l'ouverture 2 de passage pour le gaz étant visible dans la zone de l'électrode référence poreuse 3. L'électrode de référence 3 est complètement recouverte par l'électrolyte solide 4 conducteur pour les ions oxygène, la chambre pour le gaz de référence dans le petit tube étant séparée de la chambre pour le gaz de mesure à l'extérieur du petit tube. Une électrode mesure poreuse 5 formée par sérigraphie est disposée sur la couche d'électrolyte solide 4. La figure 3 représente la surface enveloppe développée à plat d'un générateur de gaz, dans lequel le support la perméable au gaz (figures 1 à 4) possède la forme d'un petit tube fermé à une extrémité et est recouvert complètement par une couche d'électrolyte solide 4 étanche au gaz et formée par projection plasmatique. Le support la perméable au gaz est formé par un matériau composite métal-céramique poreux en raison de la présence de pores ouverts et électriquement conducteur et qui permet un passage du gaz de tous côtés. En raison de la conductivité électrique du composé métal-céramique, le support la perméable au gaz peut être utilisé simultanément en tant qu'électrode de référence. Une électrode masse poreuse 5, formée par projection de plasma, est disposée sur la couche d'électrolyte solide 4 formée par projection de plasma. L'électrode de mesure une ligne 5a est placée en contact avec l'électrode de mesure 5. La figure 4 représente, sous la forme d'une vue une coupe transversale, le support la sous la forme d'un petit tube perméable au gaz et les couches minces. La couche B-B" traverse l'électrode de mesure 5. Le support la perméable au gaz est recouvert complètement par une couche mince, étanche au gaz, formée d'électrolyte solide 4, conducteur pour les ions oxygène, la chambre pour le gaz de référence dans le petit tube étant séparée de la chambre pour le gaz de mesure à l'extérieur du petit tube. L'électrode de masse poreuse 5 est disposée sur la couche d'électrolyte solide 4. La figure 5 représente la surface enveloppe, développée à plat, d'un détecteur de gaz, dans lequel le support perméable au gaz lb (voir figure 6) possède la forme d'un petit tube formé d'un côté. Le support perméable au gaz lb est fermé par du A1203 poreux en raison de la présence de pores ouverts et non électriquement conducteur et permet une amenée du gaz de référence jusqu'à une électrode de référence poreuse 3 non visible ici, qui a été déposée par pulvérisation sous la forme d'une couche mince sur le support lb perméable au gaz. L'électrode de référence 3 et le support lb perméable au gaz et sont recouverts complètement par une couche mince, étanche au gaz, d'un électrolyte solide 4 conducteur pour les ions oxygène. Une électrode de mesure poreuse 5, déposée par pulvérisation, est située sur la couche d'électrolyte solide 4. L'électrode de référence 3 et l'électrode de mesure 5 sont placées en contact avec des lignes 3a, 5a. La figure 6 représente, selon une vue en coupe transversale, le support formé d'un petit tube lb perméable au gaz et les couches minces. La couche C-C" passe par l'électrode de mesure 5. Le support lb perméable au gaz et l'électrode de référence 3 sont complètement recouverts par une couche mince étanche au gaz formée d'un électrolyte solide 4 conducteur pour les ions oxygène, la chambre pour le gaz de référence dans le petit tube étant séparée de la chambre pour le gaz de mesure à l'extérieur du petit tube. L'électrode de mesure poreuse 5 est située sur la couche d'électrolyte solide 4. La figure 7 représente la surface enveloppe, développée à plat, d'un générateur de gaz, dans lequel le support lc perméable au gaz (voir figure 8) possède la forme d'un petit tube fermé d'un côté. Le support lc perméable au gaz est formé par une céramique étanche au gaz électriquement conductrice, et l'ouverture individuelle de passage pour le gaz étant disposée dans la zone des électrodes. En raison de la conductivité électrique du support lc perméable au gaz, on peut l'utiliser simultanément en tant qu'électrode de référence. Le support lc est recouvert complètement par une couche mince étanche au gaz, formée par sérigraphie et constituée par un électrolyte solide 4 conducteur pour les ions oxygène. Une électrode de mesure poreuse 5 formée par sérigraphie est située sur la couche d'électrolyte solide 4. Un conducteur a est placé en contact avec l'électrode de mesure 5. La figure 8 représente, selon une vue en coupe transversale, le support lc formé d'un petit tube perméable au gaz et les couches minces. La courbe D-D" passe par l'électrode de mesure 5, et on reconnaît l'ouverture 2 pour le gaz. Le support lc perméable au gaz est entièrement recouvert par une couche mince, étanche aux gaz, formé d'un électrolyte solide 4 conducteur pour les ions oxygène, la chambre pour le gaz de référence dans le petit tube étant séparée de la chambre pour le gaz de mesure à l'extérieur du petit tube. Une électrode de mesure poreuse pour le gaz de référence dans le petit tube étant séparée de la chambre pour le gaz de mesure à l'extérieur du petit tube. Une électrode de mesure poreuse 5 formée par sérigraphie est située sur la couche d'électrolyte solide 4. La figure 9 représente, selon une vue en plan, schématiquement un capteur de gaz plat, qui est monté dans la paroi métallique 6 d'un conduit de gaz d'échappement d'un véhicule automobile. Un support perméable au gaz lb (voir figure 10) est constitué par du A1203 poreux en raison de la présence de pores et non électriquement conducteur, est recouvert par une électrode de référence poreuse 3. Une couche d'électrolyte solide 4 étanche au gaz recouvre le support étanche au gaz ld perméable au gaz et l'électrode de référence 3. Une électrode de mesure 5, avec laquelle un contact est établie par l'intermédiaire d'une ligne 5b (voir figure 10), qui est disposée dans une structure 7, non électriquement conductrice, est située sur la couche d'électrolyte solide 4. L'établissement du contact aec l'électrode de référence 3 peut s'effectuer par l'intermédiaire de la paroi 6. La figure 10 représente, selon une vue en coupe transversale, le support plat ld perméable au gaz et les couches minces. La coupe E-E' passe par l'électrode de mesure 5. Le support ld perméable au gaz et la couche de référence poreuse 3 sont entièrement recouverts par une couche mince étanche au gaz et formée par un électrolyte solide 4 conducteur pour les ions oxygène, la chambre pour le gaz de référence à l'extérieur du conduit des gaz d'échappement étant séparée de la chambre pour les gaz de mesure à l'intérieur du conduit des gaz d'échappement. Sur la couche d'électrolyte solide 4 est disposée une électrode poreuse de mesure 5, avec laquelle un contact est établi au moyen d'une ligne 5b, qui est disposée dans une structure 7 non électriquement conductrice. REVENDICATIONS 1. Détecteur de gaz comportant un électrolyte solide (4) conducteur pour les ions oxygène, qui comporte un côté pour le gaz de mesure et un côté pour le gaz de référence et sépare une chambre du gaz de mesure vis-à-vis d'une chambre du gaz de référence, et comportant au moins une électrode de mesure (5) disposée sur le côté, sur lequel se situe le gaz de mesure, de l'électrolyte solide et au moins une électrode de référence (3), disposée sur le côté, sur lequel se situe le gaz de référence, de l'électrolyte solide et un support (1; la, lb, lc) perméable au gaz au moins dans la zone des électrodes, caractérisé en ce que l'électrolyte solide (4) conducteur pour les ions oxygène et les électrodes (3, 5), sont agencés sous la forme de couches minces et sont disposés sur le support (1; la, lb, lc) perméable au gaz. 2. Détecteur de gaz selon la revendication 1, caractérisé en ce que le support perméable au gaz est formé par une céramique et/ou du verre et/ou un métal. 3. Détecteur de gaz selon l'une ou l'autre des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le support (1; la, lb, lc) perméable au gaz possède une porosité sur la base de la présence de pores ouverts. 4. Détecteur de gaz selon la revendication 3, caractérisé en ce que le matériau de support (1) poreux sur la base de la présence de pores ouverts comporte des pores ayant un diamètre dans la gamme comprise entre 0,1 gm et 10 um. 5. Détecteur de gaz selon l'une ou l'autre des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le support (1; la, lb, lc) perméable au gaz est formé d'un matériau étanche au gaz et que le matériau étanche au gaz comporte, au moins dans la zone des électrodes, des ouvertures de passage (2) pour le gaz. 6. Détecteur de gaz selon la revendication 5, caractérisé en ce que les ouvertures (2) de passage pour le gaz sont agencés sous la forme de perçages. 7. Détecteur de gaz selon la revendication 5, caractérisé en ce que les ouvertures (2) de passage pour le gaz sont formées à l'aide d'un laser. 8. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que les ouvertures (2) de passage pour le gaz possèdent un diamètre située dans la gamme comprise entre 10 im et 1000 lm. 9. Détecteur de gaz selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le support (1; la, lb, lc) perméable au gaz est formé d'oxyde d'aluminium. 10. Détecteur de gaz selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que le support (1; la, lb, lc) perméable au gaz est électriquement conducteur et est agencé sous la forme d'une électrode de mesure ou de référence du détecteur de gaz. 11. Détecteur de gaz selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que les couches minces sont réalisées selon la technique des couches minces et/ou des couche épaisses. 12. Détecteur de gaz selon la revendication 11, caractérisé en ce que les couches minces sont formées au moins en partie par sérigraphie et/ou dépôt par évaporation et/ou dépôt par pulvérisation et/ou projection de plasma. 13. Détecteur de gaz selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que la couche mince constituée par un électrolyte solide conducteur pour les ions oxygène possède une épaisseur moyenne située dans la gamme comprise entre 10 im et 100 gm. 14. Détecteur de gaz selon l'une quelconque des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que l'électrolyte solide (4) conducteur pour les ions oxygène est formé par du ZrO2 ou du CeO2, dopé. 15. Procédé pour fabriquer un détecteur de gaz comportant un électrolyte solide (4) conducteur pour les ions oxygène, qui comporte un côté pour le gaz de mesure, un côté pour le gaz de référence et sépare une chambre du gaz de mesure vis-à-vis d'une chambre du gaz de référence, et comportant au moins une électrode de mesure (5) disposée sur le côté, sur lequel se situe le gaz de mesure, de l'électrolyte solide et au moins une électrode de référence (3), disposée sur le côté, sur lequel se trouve le gaz de référence, de l'électrolyte solide et un support (1; la, lb, lc) perméable au gaz au moins dans la zone des électrodes, caractérisé en ce que l'électrolyte solide (4) conducteur pour les ions oxygène et les électrodes (3, 5), sont disposés sous la forme de couches minces sur le support perméable au gaz. 16. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que les couches minces sont déposées sur le support perméable au gaz au moyen d'une technique à couches minces et/ou à couches épaisses. 17. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce que les couches minces sont déposées par sérigraphie et/ou dépôt par évaporation et/ou dépôt par pulvérisation et/ou projection de plasma. 18. Procédé selon l'une des revendications 15 à 17, caractérisé en ce que le support (1; la, lb, lc) perméable au gaz est formé par une céramique et/ou du verre et/ou un métal. 19. Détecteur de gaz selon l'une quelconque des revendications 15 à 18, caractérisé en ce que le support (la, lb, lc) perméable au gaz est réalisé avec une porosité sur la base de la présence de pores ouverts. 20. Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce que la porosité sur la base de la présence de pores ouverts est formée par des pores ayant un diamètre situé dans la gamme comprise entre environ 0,1 gm et 10 Im. 21. Procédé selon l'une quelconque des revendications 15 à 18, caractérisé en ce que le support (1; la, lb, lc)perméable au gaz est formé d'un matériau étanche au gaz et que le matériau étanche au gaz comporte, au moins dans la zone des électrodes, des ouvertures (2) de passage pour le gaz. 22. Procédé selon la revendication 21, caractérisé en ce que les ouvertures (2) de passage pour le gaz sont formées par perçage. 23. Procédé selon la revendication 21, caractérisé en ce que les ouvertures (2) de passage pour le gaz sont formées à l'aide d'un laser. 24. Procédé selon l'une quelconque des revendications 21 à 23, caractérisé en ce que les ouvertures (2) de passage pour le gaz sont réalisées avec un diamètre compris dans la gamme d'environ 10 gm et 1000 gm. 25. Procédé selon l'une quelconque des revendications 15 à 24, caractérisé en ce que le support (1; la, lb, lc) perméable pour le gaz est formé par de l'oxyde d'aluminium. 26. Procédé selon l'une quelconque des revendications 15 à 25, caractérisé en ce que le support (1; la, lb, lc) perméable au gaz est réalisé de manière à être électriquement conducteur et est utilisé en tant qu'électrode de mesure ou électrode de référence du détecteur de gaz. 27. Procédé selon l'une quelconque des revendications 15 à 26, caractérisé en ce que la couche mince est réalisée avec un électrolyte (4) solide conducteur pour des ions oxygène avec une épaisseur moyenne dans la gamme comprise entre 10 um et 100 gm. 28. Procédé selon l'une quelconque des revendications 15 à 27, caractérisé en ce qu'on utilise comme électrolyte solide conducteur pour les ions oxygènes, du ZrO2 ou du CeO2, dopé.