Brevet FR2806798A1 — publié le 20010928

" Dispositif et procédé de mesure optique de rugosité d'une surface d'un objet, notamment d'une pièce mécanique" DESCRIPTION La présente invention concerne un dispositif mesure optique de rugosité d'une surface d'un obj notamment une pièce mécanique. Elle vise également procédé de mesure optique de rugosité mis en oeuvre dans ce dispositif. La 'orité des dispositifs actuels de mesure de rugosité d'une surface, en usage dans les industries mécaniques, utilisent un palpeur mécanique à contact. I1 existe également de nombreux dispositifs de mesure de rugosité mettant en oeuvre des capteurs optiques sans contact. Ces dispositifs sont décrits dans l'article de synthèse L'optique accélère le contrôle des états surface , Mesure 719, nov. 99. La configuration point par point , fournit la meilleure amplitude de mesure Z (perpendiculaire à la surface), aspect indispensable à la rugosimétrie des pièces mécaniques qui présentent en général des défauts de forme macro-géométriques. Dans cette configuration point par point , les capteurs optiques sont généralement couplés à des tables motorisées XY et sont utilisés pour fournir un profil tridimensionnel de la pièce mesurée. il s'agit ainsi de coupler un capteur optique de champ limité avec un dispositif mécanique asservi en position, comme le décrit l'article Adaptive Optics : description of available components at Laserdot de J.P. GAFFARD et al., SPIE Proceedings, Vo1.2201, pages 688-702, 1994. Les dispositifs actuels de mesure optique de rugosité ne représentent pas cependant un bon compromis entre précision et durée d'acquisition et sont par ailleurs relativement coûteux. Les diverses méthodes qui utilisent prédiction linéaire ont des applications dans domaines industriels tels que les télécommunications (reconstruction après réception d'un signal échantillonné et compressé), la géostatistique appliquée à la prospection minière (estimation d'une zone de plus forte teneur en minerai à partir d'un nombre limité de forages), ou l'expérimentation informatique (ajustement de modèles multiparamètres par simulations). Dans 'état actuel de la technique, la rugosimétrie à balayage mécanique est la seule à satisfaire les besoins industriels par sa précision, son amplitude de mesure et sa fiabilité. L'inconvénient majeur de cette technique est la lenteur du mesurage qui varie entre plusieurs dizaines de minutes et plusieurs heures. Cette lenteur représente un obstacle à l'utilisation d'un rugosimètre tridimensionnel en contrôle de qualité, et ne permet d'envisager une mesure sur chaque pièce produite série. Le but de l'invention est de proposer un nouveau concept de dispositif de mesure optique de rugosité qui permette de réduire significativement les temps d'acquisition de mesure tout en conservant ou augmentant les niveaux de précision obtenus jusqu'à présent. On atteint les objectifs précités avec dispositif de mesure optique de la rugosité d'une surface d'un objet, notamment d'une pièce mécanique, comprenant un capteur optique placé à proximité de la surface, des moyens pour déplacer ce capteur optique sensiblement parallèlement à ladite surface, des moyens pour positionner ce capteur optique en altitude rapport à ladite surface, et des moyens pour mesurer 1a position du capteur optique. Suivant l'invention, ce dispositif de mesure optique comprend en outre un système d'asservissement du positionnement, agencés pour suivre les composantes à basse et moyenne fréquence d'un profil bidimensionnel de ladite surface, et des moyens pour traiter les informations de mesure fournis par ledit capteur optique pour délivrer une mesure de composantes à haute fréquence du profil bidimensionnel de la surface. Avec un tel decouplage fréquentiel, il devient possible de réaliser dispositifs de mesure optique de rugosité présentant des temps d'acquisition significativement réduits par rapport à ceux constatés dans les équipements actuels tout en conservant la précision et la résolution des mesures. Les moyens de positionnement comprennent par exemple un actionneur entraînant un équipage mobile portant le capteur optique. Les moyens de mesure de position comprennent de préférence un capteur position, par exemple de type inductif, du capteur optique par rapport à une référence d'altitude de la surface à mesurer. Les moyens de traitement peuvent avantageusement comprendre des moyens de prédiction linéaire de l'altitude Z en tout point d'une surface à mesurer à partir de mesures d'altitudes en un nombre limité de points sur ladite surface. L'enrichissement l'information apporté par la prédiction linéaire permet d'espacer les profils mesurés tout en conservant la précision des mesures, ce qui contribue à diminuer à nouveau le temps d'acquisition par rapport aux équipements de mesure de l'art antérieur. Par ailleurs, les moyens de déplacement sont de préférence agencés pour déplacer le capteur optique selon une coordonnée déterminée (Y) dans le plan de ladite surface d'un pas égal à N fois le pas normal déplacement des moyens de positionnement. Le dispositif de mesure selon l'invention peut outre comprendre des moyens de prédiction linéaire agencés pour reconstituer par prédiction la position la plus probable de la surface et sa densité de probabilite conditionnée par les mesures. Dans un mode particulier de réalisation d' dispositif de mesure selon l'invention, le capteur optique comprend deux tubes coudés respectivement d'éclairage et de réception comprenant à leur extrémite coudée respective un dispositif optique d'éclairage et dispositif optique de réception pourvus de lentilles de focalisation, ces deux dispositifs optiques étant disposés de façon à respectivement produire et recevoir faisceaux focalisés sur une même point de la surface. Le dispositif de réception comprend une première et seconde fibres optiques de réception disposées à proximité l'une de l'autre et agencés pour recevoir une première et une seconde images décalées d'un point éclairé de la surface. I1 peut en outre comprendre un cube séparateur disposé entre une lentille de focalisation et les première et seconde fibres optiques de réception. Par ailleurs, il est avantageux de prévoir une correction de la sensibilité du mesurage d'un profil bidimensionnel à la pente locale selon l'axe d'avance du capteur optique. Dans un mode de réalisation adapté à cet objectif de correction, les dispositifs d'éclairage et de réception sont agencés sorte que les faisceaux respectivement d'éclairage de réception sont situés dans un plan sensiblement parallèle au plan de mesurage du profil bidimensionnel. Les tubes coudés respectivement d'éclairage et de réception sont alors disposés sensiblement l' au dessus de l'autre. Suivant autre aspect de l'invention, il est proposé un procedé de mesure optique de la rugosité d'une surface d'un objet, notamment d'une pièce mécanique, comprenant une mesure optique de distance effectuée par un capteur optique positionné au dessus d'une succession de points de ladite surface, et une mesure de l'altitude dudit capteur optique, mis en oeuvre dans le dispositif de mesure selon l'invention. Ce procédé comprend en outre un asservissement du positionnement capteur optique au dessus de la surface de façon à suivre des .composantes à basse et moyenne fréquence d'un profil bidimensionnel de la surface, et un traitement des informations de mesure fournis par le capteur optique pour délivrer une mesure de composantes à haute fréquence du profil bidimensionnel de la surface. D'autres particularités et avantages de l'invention apparaîtront encore dans la description ci-après. Aux dessins annexés donnés à titre d'exemples non limitatifs: - la figure 1 est une vue de profil d'un exemple de réalisation d'un dispositif de mesure optique selon l'invention mettant en ceuvre un capteur optique utilisant la structure d'un capteur mécanique existant; - la figure 2A est une vue de face du dispositif de mesure optique de la figure 1; - la figure 2B représente plus particulièrement les dispositifs éclairage et de réception du capteur optique mis oeuvre dans le dispositif de mesure optique des figures 1 et 2A; - 1a figure 2C représente un exemple de réalisation d'un dispositif de réception mettant en #uvre cube séparateur; - la figure 3 illustre le principe de séparation de la lecture des hautes et basses fréquences du profil, mis en #uvre dans un dispositif de mesure optique selon l'invention; - la figure 4 est un schéma bloc illustrant les asservissements mis en #uvre dans un dispositif mesure optique selon l'invention ; - la figure 5 illustre une technique classique de mesurage tridimensionnel mise en #uvre dans un Dispositif de mesure selon l'invention ; - la figure 6 illustre la sensibilité à pente selon l'ordonnée Y de la technique représentée figure 5 ; et - la figure 7 illustre une configuration particulière du dispositif de mesure selon l'invention procurant une correction de la sensibilité à la pente. va maintenant décrire, en référence aux figures 1, 2A 2B, un exemple de réalisation d'un dispositif de mesure optique de rugosité selon l'invention. Ce dispositif de mesure 1 comprend un capteur optique 2 monté sur un équipage mobile en altitude 3, et un capteur de position de type inductif. Un équipement de métrologie réalisé autour d'un dispositif de mesure selon l'invention intègre trois organes principaux: - un organe mécanique actionneur procurant un mouvement de rotation qui est converti en une translation verticale y(t) ; cet organe mécanique joue en outre 1e rôle du soustracteur de la boucle d'asservissement pour les basses fréquences, comme cela sera décrit dans la suite ; - le dispositif optique de mesure proprement , incluant une source lumineuse et une électronique réception ; ce dispositif délivre les mesures instantanées d'altitude M(t) ; - un calculateur numérique qui assure les fonctions de correction de la linéarité et un calcul des commandes de l'actionneur . Le capteur optique 1, basé sur le principe bien connu de l'écartomètre optique, comprend un dispositif d'éclairage 22 et un dispositif de réception 21 de forme sensiblement tubulaire comportant chacun une lentille respectivement d'éclairage 221 et de réception 211. Le dispositif d'éclairage 22 comprend une fibre optique d'eclairage 220 tandis que le dispositif de réception 21 comprend deux fibres optiques de réception 210, 212. Le capteur optique 2 est un dispositif endoscopique placé dans des tubes 71, 72 de 3 mm de diamètre interne; il comporte un tube 72 pour l'éclairage et un tube 71 pour la réception. On utilise un transport par fibres optiques 81 pour déporter source et récepteur. On allege ainsi au maximum l'équipage mobile. Les deux tubes d'eclairage et de réception 72, 71 comportent chacun extrémité coudée à 90 degrés comprenant un miroir disposé à 45 degrés et un dispositif respectif optique respectivement d'éclairage et de réception dirigé vers la surface à mesurer. Les deux dispositifs d'éclairage et de réception 22, 21 sont disposés sensiblement dans un même plan, inclinés l'un par rapport et positionnés par rapport à la surface S à mesurer de sorte que le dispositif d'éclairage 22 produit un faisceau focalisé sur ladite surface S tandis que la lentille 211 du dispositif de réception 21 a foyer confondu avec le foyer de la lentille d'éclairage 221. On projette ainsi, à l'aide de la lentille d'eclairage 221, l'image de la fibre optique d'éclairage sur la surface S à mesurer. La lentille de réception forme l'image de la zone éclairée sur les deux fibres de réception 210, 212. Dans la technique connu d' écartométrie mise en #uvre dans ce capteur optique, la position de la zone éclairee, par rapport aux fibres de réception 210, 212 constituent un premier et un second récepteurs, varie avec l'amplitude de la rugosité locale. L'éclairement des récepteurs est donc variable en fonction de cette rugosité. I1 est alors possible de déterminer une courbe d'écartométrie du capteur optique représentant l'évolution de la réponse M(z) du capteur optique en fonction de la rugosité z. Une telle courbe d'écartométrie présente par exemple une plage d'ecartométrie correcte entre -10 pm et +l0um. Pour la réalisation du dispositif optique de réception 21, on peut par exemple utiliser deux fibres de réception 210, 212 dont les extrémités sont abrasées pour constituer deux zones de réception semi-circulaires. Mais dans un mode de réalisation particulièrement avantageux illustré par la figure 2C, le dispositif réception 21' comprend dans une pièce tubulaire 213 ferme à 'une de ses extrémités par une lentille 211, un cube séparateur 214 et deux fibres de réception 210, 222 espacée d'environ 1 mm et traversant l'autre extrémité tube 213, chaque fibre de réception 210,212 ayant extrémité interne au dispositif de réception 21' qui affleure respectivement une première et une seconde des faces cube séparateur. Le faisceau d'entrée provenant de la zone éclairée de la zone mesurée est focalisé sur l'arête gauche (en référence à la figure 2C) du cube séparateur 214. La partie de ce faisceau qui se réfracte la face supérieure du cube 214 entre dans la fibre de réception inférieure 210, tandis que la partie de ce faisceau qui se réfracte sur 1a face inférieure du cube 214 entre dans la fibre de réception supérieure 212. Ce type de montage simplifie le remplacement des fibres optiques en cas de rupture. Par ailleurs, ce dispositif de réception peut être monté dans un tube de petit diamètre. Le capteur optique 2 a une plage de mesure très petite par rapport à la plage de mesure capteur mécanique, par exemple 20 um contre 6 mm. solution pour assurer la plage de mesure nécessaire de monter le capteur optique 2 sur un équipage mobile altitude. IL existe de nombreux modes possibles de réalisation d'un équipage mobile en altitude apte à recevoir un capteur optique du type qui vient d'être décrit. Une technique possible pour réaliser cet équipage mobile met en #uvre un moteur rotatif 3 comportant un rotor mobile selon un axe de rotation 50 et pourvu d'un capteur inductif de position 3, ce rotor étant relié aux deux tubes 71, 72 du capteur optique 2. La commande du moteur galvanométrique 5 permet un réglage de la position du capteur optique 2 par rapport à la surface à mesurer. La motorisation est effectuée en plaçant par exemple un moteur couple dans le boitier du capteur mécanique. I1 est à noter que bien d'autres types d'actionneurs peuvent être envisagés pour le déplacement de l'équipage mobile. Le dispositif de mesure optique selon l'invention 1 intègre, en référence à figure 3, les fonctionnalités suivantes: - une acquisition composantes à haute fréquence du profil de la surface mesurée, - une commande à moyenne et basse fréquence des actionneurs de déplacement de la partie mécanique du dispositif de mesure optique, et - une acquisition des composantes à moyenne et basse fréquence de la surface mesurée. Un dispositif de mesure optique selon l'invention intègre, en référence à figure 4, une boucle 4 de mesure à haute fréquence une boucle d'asservissement en altitude 9 incluant mesure de position à basse et moyenne fréquence. La boucle de mesure à haute fréquence 4 comporte un module de mesure optique 42, et un module logiciel de traitement 43 du signal de mesure optique délivré par le module de mesure optique 42. Le module optique 42 traite un signal de distance instantanée h(t) correspondant à la différence 41 entre l'altitude du point de mesure au sein de la surface mesurée et l'altitude du capteur optique commandée par l'actionneur mécanique de positionnement, ce module optique 42 générant un signal de mesure optique M(t). Ce signal de mesure optique M(t) est traité par le module logiciel de traitement 43 qui comprend une correction de linéarité 431, un module de filtrage et de correction 432 qui délivre un signal d'estimation d'altitude. La boucle d'asservissement 9 comprend un module comparateur 91 pour délivrer un signal de commande d'asservissement de position égal à la différence entre signal d'estimation d'altitude et un signal de mesure altitude à basses fréquences, un module actionneur mécanique 92, et un module de mesure de position à basses fréquence générant le signal de mesure d'altitude z (t) . Les mesures de rugosité sont obtenues par combinaison de la position de l'unité de rotation z(t) et de la mesure instantanée linéarisée hm (t) fournie par le capteur optique. On va maintenant décrire le traitement des données mettant en ceuvre une technique de prédiction linéaire mis en #uvre dans un dispositif de mesure optique selon l'invention. La prédiction linéaire (dite aussi bayésienne) d'une fonction aléatoire est largement utilisée en ajustement de modèles théoriques à des données expérimentales. Le principe des méthodes statistiques basées sur 1a prédiction est d'enrichir l'information apportée mesures. Par exemple on mesure une altitude Z nombre limité de points (Xi ,Yi). On estime ensuite en tout point (X, Y) qui n'a pas fait l'objet d'une mesure, 'espérance mathématique E(Z(X,Y)), et la variance z(Z(X,Y)), conditionnées par les valeurs mesurées (Xi , Yi). E(Z(X,Y)) représente la position la plus probable de Z Y), Ez (X, Y)) représente l'incertitude entre Z(X,Y) et l'espérance. Prédire Z au point (X,Y) revient à estimer cette variance et cette espérance. Dans ce contexte, les méthodes de prédiction linéaire apportent à la rugosimétrie tridimensionnelle des atouts de rapidité et de précision. En espaçant les profils mesurés d'un pas égal à N fois le normal, il est possible de reconstituer par prédiction la position la plus probable de la surface et densité de probabilité conditionnée par les mesures. On obtient alors avec un temps de mesure égal au temps sans prédiction divisé par N: - une estimation des paramètres d'état de Surface (P,W et R d'indice a, q, t, sk ou ku) ; - une estimation d'intervalles de confiance des paramètres P,W et R d'indice a, q, t, ce n'est pas possible sans méthodes statistiques. (Ces intervalles de confiance fournissent l'incertitude de mesure à un taux de confiance donné) ; - une visualisation de la surface par reconstitution de l'aspect plus probable des profils prédits On va maintenant décrire, en référence aux figures 5 à 7, configuration particulière du dispositif de mesure selon l'invention visant à corriger le sensibilité à la pente. I1 faut préalablement noter que la technique classique de mesurage tridimensionnel utilisée dans 1e Dispositif de mesure selon l'invention consiste à relever des profils bidimensionnels Z(X) tels que l'altitude Z en fonction de la coordonnée X, qui sont espaces d'un pas d'avance suivant la coordonnée Y, comme l'illustre la figure 5 qui représente schématiquement capteur optique 7 dans lequel les deux tubes respectivement d'émission et de réception 71, 72 sont disposés dans un plan sensiblement parallèle au plan moyen de la surface mesurée. Une avance pas à pas est effectuée suivant la coordonnée Y avec sous-échantillonnage, tandis que la lecture optique est réalisée suivant la coordonnée X avec sur-échantillonnage. Or un capteur optique à base d'écartométrie a potentiellement une sensibilité à la pente locale dans le plan des faisceaux d'éclairage et de lecture, qui contribuer à fausser la mesure. En effet, comme l'illustre la figure 6, lorsque le plan local au point de mesure de 1a surface étudiée n'est plus sensiblement parallele, le profil bidimensionnel effectivement relevé Z'(X) ne représente pas fidèlement le profil bidimensionnel réel Z(X). Une disposition en canons de fusil côte à côte fournit ainsi des profils mesurés orthogonaux au plan des faisceaux et il n' pas possible d'estimer la pente locale à laquelle le capteur est sensible, afin de la corriger. Dans la configuration particulière du Dispositif de mesure selon l'invention illustrée par la figure 7, le plan faisceaux d'éclairage et de lecture est tourné à 90 autour d'un axe orthogonal à la surface et le capteur optique Test déplacé dans ce plan. Les tubes d'émission et de réception 71', 72' sont alors superposés la correction est réalisée par une méthode numérique les mesures qui est rendue possible par un suréchantillonnage le long d'un profil mesuré. Bien sûr, l'invention n'est pas limitée aux exemples qui viennent d'être décrits et de nombreux aménagements peuvent être apportés à ces exemples sans sortir du'cadre de l'invention. Ainsi, d'autres actionneurs de positionnement peuvent être mis en #uvre dans le dispositif de mesure optique de rugosité selon l'invention. REVENDICATIONS 1 Dispositif (1) de mesure optique de la rugosité d'une surface (S) d'un objet, notamment d'une pièce mécanique, comprenant un capteur optique (2) placé à proximité de la surface (S), des moyens pour déplacer ce capteur optique sensiblement parallèlement à ladite surface (S), des moyens (5) pour positionner ce capteur optique (2) en altitude par rapport à ladite surface (S), et des moyens pour mesurer la position du capteur optique (2), caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens pour asservir les moyens de positionnement, agencés pour suivre les composantes à basse et moyenne fréquence d'un profil bidimensionnel de ladite surface ( ), et des moyens pour traiter les informations de mesure fournis ledit capteur optique (2) pour délivrer mesure de composantes à haute fréquence dudit profil bidimensionnel de ladite surface (S). 2. Dispositif de mesure (1) selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens de positionnement comprennent un actionneur (5) entraînant un équipage mobile portant le capteur optique (2). 3. Dispositif de mesure (1) selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les moyens de mesure de position comprennent un capteur d'altitude du capteur optique (2) par rapport à une référence d'altitude de la surface (S) à mesurer. 4. Dispositif de mesure (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de traitement comprennent des moyens prédiction linéaire l'altitude Z en tout point d' surface (S) à mesurer a partir de mesures d'altitudes un nombre limité de points sur ladite surface (S). 5. Dispositif de mesure (1) selon la revendication 4, caractérisé en ce que les moyens de prédiction linéaire comprennent des moyens pour estimer, en tout point (X, Y) qui n'a pas fait l'objet d'une mesure, l'espérance mathématique E(Z(X,Y)) et la variance EZ(Z(X,Y)) conditionnees par les valeurs mesurées (Xi ,Yi). 6. Dispositif de mesure (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les moyens de déplacement sont agencés pour déplacer le capteur optique selon une coordonnée déterminée (Y) dans le plan de ladite surface (S) d'un pas égal à N fois le pas normal de déplacement desdits moyens de positionnement, et en ce qu'il comprend en outre des moyens prédiction linéaire agencés pour reconstituer par prédiction la position la plus probable de 1a surface (S) et densité de probabilité conditionnée par les mesures. 7. Dispositif de mesure (1) selon la revendication 6, caractérise en ce qu'il comprend en outre des moyens pour procurer une visualisation de la surface par reconstitution de l'aspect le plus probable des profils prédits. 8. Dispositif de mesure (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que 1e capteur optique (2) est du type à écartométrie. 9. Dispositif de mesure (1) selon la revendication caracterisé en ce que le capteur optique (2) comprend deux tubes coudés (72, 71) respectivement d'éclairage de réception comprenant à leurs extrémités coudées respectives un dispositif optique d'éclairage (22) et dispositif optique de réception (21) pourvus de lentilles de focalisation (221, 211), ces deux dispositifs optiques étant disposés de façon à respectivement produire et recevoir des faisceaux focalisés sur un même point de la surface (S). 10. Dispositif de mesure (1) selon la revendication 9, caracterisé en ce que chaque tube coudé (72, 71) comprend un miroir de renvoi d'angle (31). 11. Dispositif de mesure (1) selon l'une des revendications 9 ou 10, caractérisé en ce chaque tube coudé inclut des moyens de transport de la lumière par fibres optiques. 12. Dispositif de mesure (1) selon l'une revendications 9 à 11, caractérisé en ce que dispositif de réception (21) comprend une première et seconde fibres optiques de réception (210, 212) disposées à proximité l'une de l'autre et agencés pour recevoir une première et une seconde images décalées d'un point éclairé de la surface (S). 13. Dispositif de mesure selon la revendication , caractérisé en ce que le dispositif de réception ( ) comprend en outre un cube séparateur (2l4) disposé entre une lentille de focalisation (211) et première et seconde fibres optiques de réception (210, ). 14. Dispositif de mesure selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en qu'il est agencé pour corriger la sensibilité du mesurage d'un profil bidimensionnel à la pente locale selon l'axe d'avance du capteur optique. 15. Dispositif de mesure selon la revendication 14, caractérisé en ce que les dispositifs d'éclairage et de réception sont agencés de sorte que faisceaux respectivement d'éclairage et de réception sont situés dans un plan sensiblement parallèle au plan de mesurage du profil bidimensionnel. 16. Dispositif de mesure selon la revendication 15, caractérisé en ce que les tubes coudés (72', 71') respectivement d'éclairage et de réception sont disposés sensiblement l'un au dessus de l'autre. 17. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 14 à 16, caractérisé en ce qu'il comprend outre des moyens pour réaliser un sur-échantillonnage le long du profil bidimensionnel mesuré. 18. Procédé de mesure optique de la rugosité d'une surface ( ) d'un objet, notamment d'une pièce mécanique, comprenant une mesure optique de distance effectuée par un capteur optique (2) positionné au dessus d'une succession de points de ladite surface (S), et une mesure de l'altitude dudit capteur optique (2) mis en oeuvre dans le dispositif de mesure (1) selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérise en ce qu'il comprend en outre un asservissement du positionnement dudit capteur optique (2) au dessus de la surface (S) de façon à suivre des composantes à basse et moyenne fréquence d'un profil bidimensionnel de ladite surface, et un traitement des informations de mesure fournis par ledit capteur optique (2) pour délivrer une mesure de composantes à haute fréquence dudit profil bidimensionnel de ladite surface (S). 19. Procédé de mesure selon la revendication 18, caractérise en ce qu'il met en #uvre une méthode prédiction linéaire de l'altitude Z en tout point d' surface (S) à mesurer à partir de mesures d'altitudes effectuées en un nombre limité de points sur ladite surface (S). 20. Procédé selon la revendication 19, mis en oeuvre dans un dispositif de mesure incluant un capteur optique a écartométrie, caractérisé en ce qu'il comprend outre un sur-échantillonnage le long du profil bidimensionnel mesuré, servant à corriger la sensibilité à la pente du capteur optique à écartométrie.