Brevet FR2803237A1 — publié le 20010706

L'invention rapporte à un procédé de création de pores dans un matériau polymère feuilles ou une couche polymère telle qu'un film mince d'épaisseur égale à centaine de nanomètres, préalablement déposée sur un support métallique. L'invention se rapporte plus particulièrement à un procédé de création de pores de taille nanométrique à micrométrique dans un matériau polymère tel que du polycarbonate en feuilles ou tout autre matériau équivalent ainsi qu'à l'utilisation de telles feuilles microporeuses, notamment pour la réalisation de membranes de filtration ou pour la connexion de filaments à circuit électronique préalablement écrit sur un support. L'invention se rapporte également aux membranes microporeuses obtenues par ledit procédé, les membranes pouvant présenter des zones de porosité de l'ordre de 10Nm de diamètre. On connaît déjà, dans l'art antérieur, différents procédés de création de pores de faible section dans des feuilles de matériau polymère, par exemple en vue de l'élaboration membranes microporeuses pour l'épuration ou le filtrage de fluides industriels ou biologiques, ou pour le traitement des eaux. Ces procédés peuvent être regroupés selon trois grands types - un premier type de procédé, mécanique, comprenant au moins une étape d'estampage, tel que décrit par exemple dans le document US-A- 4 652 412 ; - un deuxième type de procédé, comprenant au moins une irradiation au laser infra rouge C02 ou NdYAG, ou au laser pulsé, tels que décrit par exemple dans les documents US-A- 4 923 608, US-A- 3 742 182, WO-A- 98 30317 ; - un troisième type de procédé, comprenant au moins une irradiation ionique suivie d'une attaque chimique. Le procédé selon l'invention de création de pores dans un matériau tel que polycarbonate en feuille appartient au troisième type général présenté ci-dessus. Pour ce type de procédé de création de pores, en vue de la réalisation de membranes de filtration, on peut se reporter par exemple documents suivants : DE-A- 4 319 610, US-A- 5 234 538, US-A- 3 713 921. Le document US-A- 4 956 219, issu de la demanderesse, décrit un procédé de création de pores dans un matériau choisi parmi le groupe comprenant. les polyesters saturés tels que polytéréphtalate d'éthylène, les polyesters d'acide carbonique tels que polycarbonate élaboré à partir de bis-phénol A (Bis (hydroxy-4 phénol)-2,2 propane), les polyéthers aromatiques, les polysulfones, les polyoléfines, les acétates de cellulose et nitrates de cellulose. Le matériau est bombardé par un faisceau d'ions issus de préférence de gaz rares tel que l'argon, d'énergie voisine de 2MeV par nucléon, la densité d'ions traversant le film polymère étant comprise entre 104 et 1013 ions par centimètre carre. De tels faisceaux peuvent être obtenus par des accélérateurs de particules tels. que cyclotrons à secteurs séparés. Le matériau se présente sous forme d'une bande défilant sensiblement perpendiculairement au faisceau d'ions, l'épaisseur de la bande étant de l'ordre de quelques microns à 100 microns, la largeur de la bande étant comprise entre 5 et centimètres. Par déflexion magnétique, le faisceau d'ions effectue un balayage sinusoïdal, chaque portion de la bande étant bombardée à plusieurs reprises de sorte qu'une densité homogène de pores est obtenue sur toute la bande de matériau traitée. Après bombardement, la bande de matériau est soumise éventuellement à un rayonnement ultra violet (UV). Après ce traitement UV ou directement après bombardement ionique, un traitement chimique est effectué dans une solution corrosive en présence d'un solvant organique. Ainsi, exemple, la bande de matériau est plongee dans une solution de soude caustique en présence de méthanol, d'éthanol d'isopropanol. Le bombardement ionique et/ou le traitement chimique peuvent être réalisés en continu, eventuellement l'un directement à la suite l'autre, la bande de matériau ayant défilé en regard du faisceau étant entraînée en continu dans la solution corrosive. Après neutralisation, rinçage et séchage, une bande continue de matériau polymère microporeux est obtenue. Le document US-A- 3 852 134 décrit un procédé de bombardement ionique de film polycarbonate de moins de vingt microns d'épaisseur, suivi d'une exposition à un rayonnement de longueur d'onde inférieure à 4000 Angstrôms,. sous oxygène, avant première attaque chimique, recuit et seconde attaque chimique en vue d'obtenir des pores de diamètres compris entre 1000 et 100 000 Angstrôms. Les procédés d'attaque préférentielle selon des directions définies par des défauts de structure moléculaire issus d'un bombardement ionique permettent d'élaborer des membranes filtrantes de qualité supérieure à celles des membranes issues d'autres procédés tels qu'estampage ou traitement laser. Toutefois, le contrôle de la densité, de la forme et de la taille des pores obtenus reste delicat. Ainsi par exemple, il existe une probabilité qu'un ou plusieurs pores traversent complètement la membrane ce qui, dans certaines applications, peut être préjudiciable. Pour diminuer ce risque, un procédé de bombardement sur les deux faces la membrane est proposé dans le document US-A- 4 855 049. Ce procédé conduit toutefois à un comportement hydromécanique défavorable dans certains cas, fait la grande tortuosité obtenue pour les passages de fluide. Il a eté constaté par ailleurs que les pores sont de diamètre variable de la surface vers le coeur de la membrane, présentant ainsi une forme de cigares (pour les membranes en polycarbonate, voir Schênenberger et. AI, J.Phys.Chem. B101, p. 5497-5505, 1997). Ceci gêne notamment une bonne prédiction des propriétés de ces membranes au seul vu de leur surface, par exemple au microscope électronique à balayage. L'origine de cette forme des pores reste discutée. Le document US-A- 3 713 921 présente l'emploi d'un surfactant ajouté au réactif d'attaque pour atténuer ces variations de forme et de dimension transversale. des pores. Certains auteurs invoquent une influence de l'épaisseur de la membrane et un controle imparfait des conditions d'attaque pour expliquer la forme en cigares des pores. L'invention se rapporte à un procédé de création de pores dans un matériau polymère en feuille, tel que polycarbonate ou tout autre matériau équivalent, ledit procédé permettant l'obtention de zones poreuses de tailles et formes contrôlables, ces zones étant réparties selon des densités et des localisations également contrôlables. Selon un mode de réalisation, le procédé permet en outre, au sein desdités zones, la formation de pores de forme générale cylindrique, sans variation notable de diamètre moyen de ces pores dans l'épaisseur des feuilles de matériau polymère traitées. L'invention concerne également membranes microporeuses élaborées à partir desdites feuilles de matériau polymère traitées. L'invention se rapporte, selon un premier aspect à un procédé permettant la création de pores de taille nanometrique à micrométrique dans un matériau polymère en feuille mince pouvant être supportée, comprenant un bombardement ionique suivi d'une attaque chimique, ledit procédé comprenant une étape de traitement thermique global assurant une désactivation partielle des traces formées dans le matériau polymère par le bombardement ionique, et une étape d'irradiation sélective film polymère, étapes qui ont lieu après le bombardement ionique et avant l'attaque chimique. Dans un autre mode de réalisation traitement thermique global et l'irradiation sélective du matériau polymère bombardé sont effectués simultanément. Dans un mode de réalisation, l'irradiation sélective est effectuée après le. traitement thermique du matériau polymère bombardé. Dans un autre mode de réalisation, l'irradiation sélective est effectuée à l'aide d'une source UV et au travers d'un masque. Dans un autre mode de réalisation, l'irradiation sélective est effectuée à l'aide d'un faisceau laser UV. Selon une réalisation particulière, une étape de pré-attaque du matériau polymère est effectuée préalablement au bombardement ionique, cette pré- attaque réduisant l'épaisseur de la feuille de matériau polymère. Le matériau polymère est choisi parmi le groupe comprenant les polyesters saturés tels que polytéréphtalate d'éthylène, les polyesters d'acide carbonique tels polycarbonate élaboré à partir de bis-phénol A (Bis (hydroxy-4 phénol)- 2,2 propane), les polyéthers aromatiques, les polysulfones, les polyoléfines, les acétates de cellulose et nitrates de cellulose. La feuille de matière polymère présente initialement, et notamment avant attaque éventuelle, une épaisseur comprise entre quelques microns et centaine de microns. La -attaque, est conduite, jusqu'à l'ablation d'une épaisseur comprise entre 0,5 microns et 3 microns environ sur chaque face de ladite feuille. Selon une réalisation particulière, le matériau polymère est un polycarbonate amorphe de 25 microns d'épaisseur environ avant pré-attaque. Selon une autre réalisation particulière, le matériau polymère est polycarbonate cristallin de 10 microns d'épaisseur environ. Le bombardement ionique est effectué par un faisceau d'ions issus préférence de gaz rares tel que l'argon, d'énergie voisine de 2MeV par nucléon, le faisceau ayant une intensité comprise entre 10s et 10'3 ions par seconde. Dans un mode de réalisation, l'attaque chimique est dite lente et est effectuée dans un bain contenant de la soude caustique à 0,5N en solution aqueuse, à une température d'environ 70 C, durant environ 260 mn. Dans un autre mode de réalisation, l'attaque chimique est dite rapide et est effectuée dans un bain contenant de la soude caustique à 2N, en solution aqueuse, à une température d'environ 70 C, durant environ 30 mn. Le bain d'attaque chimique comprend, dans une réalisation, un solvant organique choisi parmi le groupe comprenant le méthanol, l'éthanol, l'isopropanol. L'attaque chimique est effectuée en présence d'un surfactant. Les films microporeux obtenus après attaque chimique sont laves jusqu'à neutralisation pH, rincés et séchés. Le lavage films microporeux est réalisé dans une solution aqueuse d'acide acétique à environ, â une température d'environ 70 C durant environ 15 minutes ; puis dans de l'eau déminéralisée, à une température d'environ 70 C, durant environ 5 minutes et plus, jusqu'à obtention d'un pH neutre. . Le procédé permettant la création de pores décrit ci-dessus est effectué en continu. L'invention se rapporte, selon un deuxième aspect, à un film microporeux en matériau polymère élaboré par mise en ceuvre du procédé présenté ci dessus. Le film microporeux est utilisé comme matrice en vue de l'élaboration de filaments micrométriques en métal ou en polymère. D'autres objets et avantages de l'invention apparaîtront au cours de la. description suivante de modes de réalisation, description qui va être effectuée en se référant aux dessins annexés dans lesquels - la figure 1 est un diagramme schématique représentant étapes successives d'un procédé de création de pores dans un matériau polymère en feuille, selon un premier mode de réalisation de l'invention ; - la figure 2 est un diagramme schématique représentant les étapes successives d'un procédé de fabrication de filaments métalliques, procédé de fabrication utilisant le matériau polymère en feuille traité conformément au procédé de création de pores tel que schématisé en figure 1 ; - la figure 3 est un diagramme schématique représentant les étapes successives procédé de fabrication de filaments en polymère, procédé de fabrication utilisant le matériau polymère en feuille traité conformément au procédé de creation de pores tel que schématisé en figure 1. On se rapporte tout d'abord à la figure 1. Le procédé de création de pores dans un film polymère initial 1, tel que schématisé en figure 1, comprend quatre étapes successives - bombardement ionique 2 du film 1, produisant un film bombardé 3 ; - traitement thermique global 4 du film bombardé 3 ; - irradiation sélective 5 du film bombardé 3 produisant un film irradié 6 ; - attaque chimique 7 du film irradié 6. Le film polymère initial 1 peut être élaboré en un matériau choisi parmi le groupe comprenant les polyesters saturés tels que polytéréphtalate d'éthylène, les polyesters d'acide carbonique tels que polycarbonate élaboré à partir de bis-phénol A (Bis (hydroxy-4 phénol)-2,2 propane), les polyéthers aromatiques, les polysulfones, les polyoléfines, les acétates de cellulose et nitrates de cellulose. Dans la suite de la description, seuls seront décrits les résultats obtenus avec du polycarbonate. Deux grades de polycarbonate élaborés à partir bis-phénol A seront considérés : un polycarbonate cristallin (dit PCc la suite, à fins de simplification) et un polycarbonate amorphe (dit PCa par suite). Comme PCc, un film de 10 microns d'épaisseur, vendu sous la marque Makrofol Tm par la société BAYER est utilisé dans les exemples ci-dessous détaillés. Ce film Makrofol TM est élaboré par moulage, cristallisation et étirement longitudinal. Comme PCa, un film de 25 microns d'épaisseur, vendu sous la marque Lexan TM par la socité GENERAL ELECTRIC est utilisé dans les exemples ci- dessous détaillés. Ce film LexanTm comprend des cristallites de taille si faible qu'il est d'une très haute transparence en lumière naturelle. Dans certains modes de réalisation particuliers, une -attaque du film est réalisée avant bombardement ionique. Le bombardement ionique 2 est effectué, dans un mode réalisation, par un faisceau d'ions issus de préférence de gaz rares tel l'argon, d'énergie voisine de 2MeV par nucléon, le faisceau ayant une intensité comprise entre 106 et ions par seconde. tels faisceaux peuvent être obtenus par des accélérateurs de particules tels cyclotrons à secteurs séparés. Le film à bombarder, pré-attaqué ou non , se présente, dans un mode de réalisation, sous forme d'une bande défilant sensiblement perpendiculairement au faisceau d'ions, l'épaisseur (e) de la bande étant de l'ordre de quelques centaines de nm à 100 microns, la largeur de la bande étant comprise entre 5 et 150 centimètres. Dans un autre mode de réalisation, le film polymère, d'une épaisseur (e) pouvant varier de quelques nanomètres à quelques centaines de nanomètres, est déposé sur un support (non représenté). déflexion magnétique ou tout autre procédé équivalent, le faisceau d'ions effectue un balayage sinusoïdal, chaque portion de la bande étant irradiée à plusieurs reprises de sorte qu'une densité homogène de pores est obtenue sur toute bande de film bombardé. Après refroidissement, le film bombardé 3 est soumis à traitement thermique global 4, de sorte que les défauts de structure ou traces formés dans le film polymère lors du bombardement ionique soient moins sensibles à l'attaque chimique ; - une irradiation sélective 5 du film bombardé 3 traité thermiquement réactive certaines traces et les rend plus sensibles à l'attaque chimique 7 ultérieure ; - une attaque chimique 7, effectuée dans une solution corrosive en presence d'un solvant organique. Le traitement thermique 4 est effectué à une température comprise entre la température ambiante et 200 C environ, pendant un temps inférieur à quelques dizaines de minutes. Lorsque le film polymère est en polycarbonate, le traitement thermique 4 est effectué à 150 C environ. L'irradiation 5 peut être effectuée pendant un temps très court, l'emploi d'un faisceau laser ou beaucoup plus long, de l'ordre de plusieurs heures pour une source d'énergie moins intense. Dans une réalisation, l'irradiation 5 est effectuée en employant longueur d'onde de l'ordre de 360nm, pour une puissance pouvant atteindre dizaine de millijoule par micromètre carré. Ainsi, par exemple, le film irradié sélectivement 6 est plongé dans une solution de soude caustique en présence de méthanol, d'éthanol ou d'isopropanol. étapes de bombardement ionique 2, de traitement thermique 4, d'irradiation selective 5 et d'attaque chimique 7, peuvent être réalisées en continu, éventuellement l'une directement à la suite de l'autre. Après neutralisation, rinçage et séchage, un film continu de matériau polymère microporeux 8 est obtenu. La membrane 9, non-poreuse, est issue de la membrane ayant subi le traitement thermique 4 puis l'attaque chimique 7, mais ayant pas subi d'irradiation 5. Dans une variante de réalisation de l'attaque chimique 7, un tensioactif est ajouté ' la solution de soude pour améliorer le mouillage du film irradié 6 durant l'attaque 7. Ainsi 'il a été dit plus haut, la mise en oeuvre conventionnelle des procédés d'attaque chimique 7 de films polymères ayant subit un bombardement ionique 2 conduit à la formation de pores de diamètre variable d'un bord à l'autre ces films. Les inventeurs ont mené des investigations poussées afin tant de proposer une explication à cette forme irrégulière des pores que de proposer un procede de fabrication de films polymères microporeux dont les pores présentent forme générale cylindrique. Les résultats expérimentaux obtenus vont être présentés ci-dessous en références à des modes de réalisation de l'invention. Un film initial de PCc, de marque MakrofoITM, de 10 microns d'épaisseur et un film initial de PCa de marque LexanTM ont été soumis chacun à une attaque légère Préal et une pré-attaque intense Préai, de sorte à enlever épaisseur de 0,5 microns et 2,0 microns sur chaque face des films, . respectivement. Les épaisseurs enlevées ont été mesurées par gravimétrie. Les films prétraités ont été ensuite soumis à un bombardement ionique 2, au Centre de Recherche du Cyclotron, à Louvain-la-Neuve. Des ions Ar9+ ont été utilisés, sous une tension d'accélération de 5,5MeVlamu. Les films bombardés 3 ont ensuite été soumis à un traitement thermique 4 (150 C pendant 15 mn) et à une irradiation 5 aux ultraviolets au travers d'un masque (non représenté). films irradiés 6 ont ensuite été soumis à une attaque chimique selon deux modalités une attaque chimique 7a dite lente , dans un bain contenant de la soude caustique à 0,5N en solution aqueuse, à une temperature d'environ 70 C durant environ 260mn ; une attaque chimique 7b dite rapide , dans un bain contenant de la soude caustique à 2N, en solution aqueuse, à une température d'environ 70 C, durant environ 30 mn. Dans les deux cas d'attaque chimique 7a, 7b, un surfactant à été ajouté à la solution pour augmenter le mouillage du film irradié 6 durant l'attaque. Après l'attaque chimique 7a, 7b, les films microporeux 8 obtenus ont été lavés dans une solution aqueuse d'acide acétique â environ 15%, à une température d'environ 70 C, durant environ 15 minutes ; - puis dans de l'eau déminéralisée, à une température d'environ 70 C, durant environ 15 minutes et plus, jusqu'à obtention d'un neutre. Les films ont ensuite été revêtus de polyvinylpyrrolidone ou PVP pour accroître leur caractère hydrophile, puis séchés à l'air chaud. On se rapporte maintenant aux figures 2 et 3. Les films microporeux 8 ont ensuite été soumis à une électrolyse 10 effectuée dans une cellule électrochimique à trois électrodes, à température ambiante, telle qu'une cellule de galvanoplastie, à compartiment en TéflonTM avec une contre-électrode en platine et une électrode de référence au calomel. Une bi-couche métallique 13, servant d'électrodes, est appliquée sur l'une des faces du film microporeux 8. Cette bi-couche 13 comprend - une première couche 13b, d'adhésion, de chrome, de 10 à 20nm d'épaisseur, directement appliquée sur l'une des faces du film microporeux 8 ; - une seconde couche 13a, d'or, de 500nm à micron d'épaisseur, appliquée sur la première couche 13b et en contact direct avec l'atmosphère. L'électrolyse 10 est effectuée, par exemple - avec une solution comprenant 50g11 de COS04 et 30g11 H3B03, sous une différence de potentiel de -0,1V, pour la réalisation de filaments métalliques 12 ; - avec une solution comprenant 0,1M de pyrrole et 0,1M de LiCl04, sous une différence de potentiel de +0,8V, pour la réalisation de filaments en polymère 14. Au terme de la galvanoplastie, la matrice en polycarbonate des films microporeux a été dissoute lors de l'étape 11, dans du dichlorométhane. Les filaments 12 ou 14 obtenus peuvent être filtrés grâce par exemple à une membrane en argent. films polymères microporeux 8 et les filaments 12 ou 14 obtenus ont été observés au microscope éléctronique à effet de champ (DSM 982 Gemini de la société LEO). images de résolution satisfaisante ont été obtenues pour des . grandissements allant jusqu'à 200 000, sous tension d'accélération de 400V, sans dépôt métallique sur les échantillons à observer. paramètres suivants ont été mesurés - diamètre moyen des filaments, à mi-longueur (MWD) ; diamètre moyen des pores en surface de film microporeux 8 (MPS). étalonnage, grâce à des nanosphères (Calibrated nanosphèresTM de la société Duke Scientific Corp.) de diamètre moyen de 30nm a été effectué au préalable. diffraction des rayons X aux petits angles (SAXS), une mesure de la distribution des tailles de pores contenus dans les membranes microporeuses 8 a été effectuée (E.Ferain, R.Legras, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B131, 1997, p.97). Une valeur moyenne de taille des pores (APS) et un écart type dans la distribution des diamètres de pores ont été déduits de ces mesures d'intensité du faisceau diffracté en fonction de l'angle de diffraction. L'étude des variations des paramètres MWD, MPS et APS définis ci-dessus, en fonction du temps d'attaque chimique, pour les attaques lentes et rapides d'un film en PCc de type MakrofoITM a montré que les filaments obtenus ont des diamètres MWD supérieurs à la taille pores en surface des films microporeux 8, que l'attaque chimique soit lente rapide et quel que soit le temps d'attaque considéré, les filaments obtenus présentant une forme en cure dents ; la différence entre les valeurs de diamètre des filaments MWD et diamètres MPS des pores en surface de film microporeux 8 est plus faible pour l'attaque chimique lente 7a que pour l'attaque chimique rapide 7b (15nm environ contre 30 nm environ) ; les variations des valeurs MPS et MWD, en fonction du temps d'attaque, sont semblables, pour un type d'attaque 7a, 7b donné ; - les valeurs moyennes de diamètres des pores dans le film PCc, après. attaque lente 7a, mesurées par SAXS, sont comprises entre les valeurs de diamètres des filaments à mi-longueur MWD et les valeurs des diamètres des pores en surface de film MPS. L'étude des variations des paramètres MWD, MPS, en fonction du temps d'attaque, pour une attaque rapide 7b d'un film en PCa de type LexanTM, pour des films ayant subis une pré-attaque légère Préal et pour des films non préattaqués a montré que - une pré-attaque légère Préal réduit l'écart entre les valeurs des diamètres filaments MWD et les valeurs des diamètres MPS des pores en surface de films microporeux 8, par rapport à un film non pré-attaqué (30nm environ contre 10nm environ) ; - la -attaque ne modifie pas le taux de variation de MPS ou MWD en fonction du temps d'attaque. L'étude des variations des paramètres MWD, MPS et APS en fonction du temps d'attaque, pour une attaque lente 7a d'un film en PCa type LexanTM, pour des films ayant subis une pré-attaque intense Préai montré que les valeurs paramètres MWD, MPS et APS sont sensiblement confondues, pour gamme de temps d'attaque lente 7a donnée, de sorte que les pores formés dans le film peuvent être considérés comme cylindriques. Les filaments en polypyrrole 14 obtenus après dépôt électrolytique (étape 10) dans les pores d'un film en PCa ayant subit une pré-attaque intense Préai et dissolution (étape 11) de ce film en polycarbonate présentent d'ailleurs une forme cylindrique très régulière. Les filaments obtenus à partir de PCa présentent une rugosite plus faible que ceux obtenus à partir de PCc. Cette observation doit probablement être corrélée à la taille plus importante des cristallites dans les films PCc type MakrofoITM que dans les films PCa type LexanTM utilisés ici, conduisant à des irrégularités dans les chemins d'attaque . chimique formant les pores. Les pores obtenus pour des films en PCa ayant subit une "-attaque intense Préai présentent des distributions de diamètres moyens écarts types plus faibles que ceux obtenus pour les pores des films en PCc. Les pertes d'épaisseur mesurées par gravimétrie, pour temps d'attaque croissants de films en PCa, PCc et PCa fortement pré-attaqués, non soumis au bombardement ionique 2, sont sensiblement identiques pour les deux premiers microns d'épaisseur des films. Par conséquent, il ne semble pas exister de couche superficielle plus résistante ' l'attaque chimique 7, contrairement aux hypothèses parfois retenues dans la littérature. total, les résultats expérimentaux ci-dessus présentés ont permis d'établir forte influence positive d'une pré-attaque des films avant bombardement ionique 2, cette pré-attaque permettant l'obtention de pores sensiblement cylindriques et non en cure-dents ou en cigares comme dans procédés antérieurs. Cette influence de la pré-attaque reste d'origine précise indéterminée. géométrie des pores obtenus permet la réalisation de nanofilaments nanotubes en métal ou en polymère, ces filaments pouvant avoir une surface lisse et une forme cylindrique sur des longueurs variant entre quelques nanomètres et plusieurs dizaines de microns. De tels nanofilaments ou nanotubes sont de très grand intérêt pour des applications électroniques, optiques ou biomédicales par exemple. Par ailleurs, le contrôle précis de la porosité tridimensionnelle dans des films en . polymères permet la réalisation de filtres très utiles dans les domaines médicaux ou dans le traitement des eaux. Le procédé de l'invention peut également trouver une application dans le domaine de la connectique. La mise en place d'une feuille de polymère, par exemple de 100 nanométres d'épaisseur sur un circuit électronique lui-même placé sur un substrat, et l'application du procédé décrit auparavant audit polymère permet la connection des nanofilaments audit circuit électronique. REVENDICATIONS 1- Procédé de création de pores de taille nanométrique à micrométrique dans matériau polymère en feuille mince (1) pouvant être supportée, comprenant bombardement ionique (2) suivi d'une attaque chimique (7), caractérisé en qu'il comprend une étape de traitement thermique global (4) et une étape d'irradiation sélective (5) du film polymère qui ont lieu après le bombardement ionique (2) et avant l'attaque chimique (7). 2- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le traitement thermique global (4) et l'irradiation sélective (5) du matériau polymère bombarde (3) sont effectués simultanément. 3- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'irradiation sélective (5) est effectuée après le traitement thermique (4) du matériau polymère bombardé (3). 4- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'irradiation sélective (5) est effectuée à l'aide d'une source UV et au travers d'un masque. 5- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'irradiation sélective (5) est effectuée à l'aide d'un faisceau laser UV. 6- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérise en ce qu'il comprend une étape de pré-attaque du matériau polymère, préalablement au bombardement ionique (2) réduisant l'épaisseur (e) de feuille de matériau polymère (1). 7- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en que le matériau polymère est choisi parmi le groupe comprenant les polyesters saturés tels que polytéréphtalate d'éthylène, les polyesters d'acide carbonique tels que polycarbonate élaboré à partir de bis-phénol A (Bis (hydroxy-4 phénol)- 2,2 propane), les polyéthers aromatiques, les polysulfones, les polyoléfines, les acétates de cellulose et nitrates de cellulose. 8- Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que la feuille de matière polymere (1) présente initialement et notamment avant pré-attaque éventuelle, une épaisseur (e) comprise entre quelques microns et une centaine de microns. 9- Procédé selon l'une quelconque des revendications 6 à caractérisé en ce que la pré-attaque est conduite jusqu'à ablation d'une épaisseur comprise entre 0,5 microns et 3 microns environ sur chaque face de ladite feuille (1). 10- Procédé selon l'une quelconque des revendications à 9, caractérisé en ce le matériau polymère est un polycarbonate amorphe de 25 microns d'épaisseur (e) environ avant pré-attaque. 11- Procédé selon l'une quelconque des revendications à 9, caractérisé en ce le matériau polymère est un polycarbonate cristalllin de 10 microns d'épaisseur (e) environ avant pré-attaque. 12- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, . caracterisé en ce que le bombardement ionique (2) est effectué par un faisceau d'ions issus de préférence de gaz rares tel que l'argon, d'énergie voisine de 2MeV par nucléon, le faisceau ayant une intensité comprise entre 106 et 10'3 ions par seconde. 13- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que l'attaque chimique (7) est dite lente et est effectuée dans un bain contenant de la soude caustique à 0,5N en solution aqueuse, à une température d'environ 70 C, durant environ 260mn. 14- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 12, caractérisé en ce que l'attaque chimique (7) est dite rapide et est effectuée dans un bain contenant de la soude caustique à 2N, en solution aqueuse, à une température d'environ 70 C, durant environ 30 mn. 15- Procédé selon la revendication 13 ou 14, caractérisé en que le bain d'attaque chimique (7) comprend un solvant organique. 16- Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce le solvant organique est choisi parmi le groupe comprenant le méthanol, l'éthanol, l'isopropanol. 17- Procédé selon l'une quelconque des revendications 13 à caractérisé en ce que l'attaque chimique (7) est effectuée en présence d'un surfactant. 18- Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à caractérisé ce que les films microporeux (8) obtenus après attaque chimique (7) sont lavés jusqu'à neutralisation du pH, rincés et séchés. Procédé selon la revendication 18, caractérisé en ce que lavage des films microporeux (8) est réalisé dans une solution aqueuse d'acide acétique à environ, à une température d'environ 70 C durant environ 15 minutes ; puis dans de l'eau déminéralisée, à une température d'environ 70 C, durant environ 15 minutes et plus, jusqu'à obtention d'un pH neutre. 20- Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est effectué en continu. 21- Film microporeux en matériau polymère élaboré par mise en oeuvre du procédé selon l'une des revendications 1 à 20, caractérisé en ce qu'il est utilisé comme matrice en vue de l'élaboration de filaments micrométriques en métal (12) ou en polymère (14).