Brevet FR2798511A1 — publié le 20010316

La présente invention concerne les systèmes à particules chargées et plus particulièrement, un étage pouvant être adapté à une utilisation dans un système à particules chargées. Tandis que les dimensions critiques des circuits de micro-électronique continuent à se réduire, la précision des systèmes existants à base d'optique pour effectuer des tâches comme l'identification de défauts dans des supports à motif (par exemple, des pastilles de semi-conducteur ou des masques optiques) et la mesure de dimensions critiques (par exemple, la largeur de ligne de métal, la dimension des trous de contact) diminue. Pour cette raison, les systèmes de microscope à particules chargées comme les systèmes de faisceau à particules chargées (par exemple, des électrons ou des ions) avec une haute résolution d'imagerie ont présenté un intérêt croissant. Un système de microscope à particules chargées comprend de façon usuelle un étage se déplaçant dans deux dimensions (un plan X-Y) qui tend à remplir les conditions suivantes: 1) un grand temps moyen avant une panne (MTBF), 2) une couverture de surface à grande vitesse, 3) de faibles vibrations mécaniques lors du déplacement, 4) une grande compatibilité sous vide (1E-6 Torr ou moins), 5) des interfaces minimales (à partir de sources actives ou passives, statiques ou alternées) avec le microscope à particules chargées (la lentille optique ou le faisceau), 6) une faible génération de particules, et 7) une structure compacte. Un grand MTBF (MTBF est une mesure de la durée de fonction- nement) de l'étage est important en ce qui concerne le grand volume de pastilles traversant une installation de fabrication, le nombre des étapes du processus lors desquelles une inspection de la pastille et des mesures CD sont requises, et le champ optique relativement petit de la colonne optique du microscope. Ces considérations rendent de même une couverture de surface à grande vitesse essentielle pour l'obtention d'une cadence de sortie raisonnable. De faibles vibrations mécaniques sont une condition préalable à une mesure précise par le microscope à particules chargées lorsque, par exemple, une inspection de la pastille est effectuée tandis que l'étage se déplace (c'est-à-dire que l'amplitude des vibrations de l'étage doit être inférieure à la dimension caractéristique pouvant être séparée par le micro- scope à particules chargées). Une grande compatibilité sous vide est requise car, dans un système à faisceau à particules chargées, le faisceau ne peut pas traverser l'air, nécessitant ainsi un environnement sous vide. Les interférences avec le microscope à particules chargées à partir de sources passives ou actives, statiques ou alternées ont besoin d'être minimisées pour assurer une imagerie à haute résolution et un positionnement précis du faisceau. Une pollution des pastilles due à des particules générées par l'étage doit être maintenue à un minimum pour permettre l'utilisation du système en ligne dans l'installation de fabrication. Enfin, un étage présentant une structure compacte réduit l'empreinte du système. Cela est important en particulier si le système doit être utilisé dans une salle blanche car le coût d'entretien d'une salle blanche est, de façon usuelle, proportionnel à ses dimensions. De même, un plus petit étage peut être logé dans une plus petite chambre sous vide qui est plus rapide à placer sous le vide requis. Les plates-formes X et Y d'un étage sont, de façon usuelle, entraînées soit par des moteurs magnétiques (par exemple, des servomoteurs linéaires sans balai), soit des moteurs non magnétiques (par exemple, des moteurs piézo-électriques). Comme les composants fixes et mobiles d'un moteur magnétique sans balai n'entrent pas en contact l'un avec l'autre en fonctionnement, à la fois les vibrations et la génération de particules par ce type de moteur sont minimales et sa durée de vie est augmentée (aucune usure ni contrainte). Ces caractéristiques en conjonction avec une grande vitesse et un fort couple du moteur magnétique en font un candidat adapté pour l'entraînement des plates-formes X et Y. Cependant, les moteurs magnétiques contiennent des aimants importants et possèdent un carter à haute perméabilité pouvant interférer, de façon importante, avec le posi- tionnement du système optique et du faisceau du microscope à particules chargées. Les moteurs non magnétiques ne contiennent pas de matériau magnétique et sont utilisés, de façon usuelle, pour un positionnement d'étage de précision. Cependant, comme les composants fixes et mobiles des moteurs non magnétiques entrent en contact en fonctionnement, ils présentent une plus petite durée de vie, des vibrations plus importantes et une génération plus forte de particules que les moteurs magnétiques. De même, les moteurs non magnétiques sont, en général, plus lents et présentent un couple plus faible que les moteurs magnétiques. Les Figures la et lb illustrent une vue de dessus (en plan) d'un étage simplifié 80 utilisant des moteurs magnétiques pour entraîner, à la fois, une plate-forme X 30 et une plate-forme Y 20 (qui sont empilées). Les moteurs magnétiques sont positionnés le long des bords des plates-formes et sont indiqués par les zones hachurées 50a, 50b, 60a et 60b. Sur la Figure la, le centre d'une pastille 40 est positionné sous une colonne optique de microscope à particules chargées 10. Comme indiqué par les distances désignées par A et B, la colonne 10 est bien séparée des moteurs magnétiques 50a/b et 60a/b. Par conséquent, les interférences des moteurs magnétiques 50a/b et 60a/b avec la colonne 10 sont minimales. Cependant, lorsque les bords gauche ou droit de la pastille 40 sont positionnés sous la colonne 10, comme sur la Figure lb, la distance entre la colonne 10 et un des moteurs 50a/b devient plus réduite (comme indiqué par la distance désignée par A). Par la proximité du moteur 50b par rapport à la colonne 10, le matériau magnétique (par exemple, les ensembles d'aimants et le blindage magnétique du moteur) et le champ électromagnétique (par exemple, les bobinages de moteur) du moteur 50b interfèrent avec la colonne 10. Les interférences avec les moteurs magnétiques 50a/b peuvent être réduites par l'utilisation d'une plate-forme plus large 20, la distance A étant ainsi augmentée. Cependant, cela entraîne une plate-forme 20 plus grande et plus lourde, ce qui nécessite de plus grands moteurs pour l'entraînement, à la fois, de la plate-forme 20 et de la plate-forme 30. Cela affecte l'obtention de la précision mécanique et des sept conditions précédentes pour un étage. L'utilisation de moteurs non magnétiques pour l'entraînement des platesformes X et Y élimine les problèmes d'interférence mais entraîne d'autres problèmes inhibiteurs comme des vibrations mécaniques, une génération de particules, une faible couverture de surface et une faible durée de fonctionnement. Étant donné les inconvénients de chacun des moteurs magnétiques et non magnétiques, un étage pour une utilisation dans un système de microscope à particules chargées est requis comme remplissant au moins les sept conditions mentionnées ci-dessus. Selon l'invention, un étage adapté à une utilisation dans un système de microscope à particules chargées (sans y être limité) intègre un moteur magnétique et un moteur non magnétique de telle façon que 1) un grand temps moyen avant une panne (MTBF) soit obtenu, 2) une couverture de surface à grande vitesse soit obtenue, 3) les vibrations mécaniques lors du déplacement soient minimisées, 4) I'étage soit fortement compatible sous vide, 5) les interférences avec le microscope à particules chargées soient minimisées, 6) la génération de particules soit minimisée, et 7) une structure compacte soit obtenue. Le moteur magnétique entraîne l'étage le long d'un premier axe et le moteur non magnétique entraîne l'étage le long d'un second axe. Dans un mode de réalisation, un cycle opératoire du moteur magnétique est sensiblement plus grand que le cycle opératoire du moteur non magnétique. Dans un autre mode de réalisation, le moteur magnétique est un servomoteur linéaire sans balai et le moteur non magnétique est un moteur linéaire piézo-électrique. Dans un autre mode de réalisation, une distance constante est maintenue entre le moteur magnétique et un microscope positionné pour observer une pièce de traitement sur l'étage. Dans un autre mode de réalisation, un moteur rotatif non magnétique assure le déplacement en rotation, un cycle opératoire du moteur magnétique étant sensiblement plus grand que le cycle opératoire du moteur rotatif non magnétique. Dans un autre mode de réalisation, le moteur magnétique, le moteur non magnétique, le moteur rotatif non magnétique et l'étage sont compa- tibles sous vide. Dans un autre mode de réalisation, I'étage comprend une première plateforme qui est couplée au moteur magnétique et peut se déplacer sur une base le long du premier axe, une seconde plate-forme qui est couplée s au moteur non magnétique et peut se déplacer sur la première plate-forme le long du second axe. Dans un autre mode de réalisation, une table rotative est couplée au moteur rotatif non magnétique et peut tourner sur la seconde plate-forme. Un microscope est fixé sur la base et est positionné pour observer une pièce de traitement sur l'étage. Dans un autre mode de réalisation, le moteur non magnétique est fixé sur la première plate-forme et est enfermé par les première et seconde platesformes. Le moteur magnétique comprend un ensemble de piste à aimants qui est fixé sur la base et qui définit une ouverture pour recevoir un ensemble de bobinage, I'ouverture étant tournée à l'écart du microscope. Dans un autre mode de réalisation, I'étage comprend un premier rail linéaire de support pour permettre à la première plate-forme de se déplacer sur la base, un second rail linéaire de support pour permettre à la seconde plate-forme de se déplacer sur la première plate-forme, et un palier rotatif pour permettre à la table rotative de tourner sur la seconde plate-forme. Une distance constante est maintenue entre le premier rail linéaire de support et le microscope. Dans un autre mode de réalisation, le premier rail linéaire de support est réalisé en acier durci et les seconds supports linéaire et rotatif sont réalisés en un cuivre durci au béryllium. La première plate- forme, la seconde plate-forme et la table rotative sont réalisées en aluminium. Dans un autre mode de réalisation, l'étage comprend un autre moteur non magnétique couplé à l'étage afin de régler la distance entre la pièce de traitement et le microscope. Selon l'invention, un procédé de fonctionnement d'un étage comprend les étapes suivantes: I'entraînement de l'étage le long d'un premier axe par un moteur magnétique et l'entraînement d'un étage selon un second axe par un moteur non magnétique. Dans un mode de réalisation, un cycle opératoire du moteur magnétique est sensiblement plus grand que le cycle opératoire du moteur non magnétique. Un autre mode de réalisation comprend les étapes suivantes: le positionnement d'une pièce de traitement sur l'étage sous un microscope, le déplacement d'une surface de la pièce de traitement à inspecter dans le champ optique du microscope lors du cycle opératoire du moteur non magnétique, et l'inspection de la surface de la pièce de traitement lors du cycle opératoire du moteur magnétique. Dans un autre mode de réalisation, la surface comprend une bande de la pièce de traitement, une largeur de la bande étant définie par le champ optique du microscope. Un autre mode de mise en oeuvre comprend les étapes suivantes: le positionnement d'une pièce de traitement sur l'étage sous un microscope, la mise en rotation de la pièce de traitement de telle façon que deux surfaces de la pièce de traitement deviennent parallèles au premier axe, et la comparaison de surfaces secondaires correspondantes dans les deux surfaces l'une avec l'autre. Selon un autre mode de mise en oeuvre, I'étape de comparaison comprend: I'acquisition d'une première donnée à partir d'une surface secondaire de la première surface, le déplacement vers une surface secondaire correspondante de la seconde surface lors du cycle opératoire du moteur magnétique, I'acquisition d'une seconde donnée à partir de la surface secondaire de la seconde surface, et la comparaison des première et seconde données. Selon un autre mode de mise en oeuvre, les étapes d'acquisition comprennent: le déplacement d'une bande d'une zone secondaire dans le champ optique du microscope lors du cycle opératoire du moteur non magnétique et l'acquisition de données à partir de la bande lors du cycle opératoire du moteur magnétique, une largeur de la bande étant alors définie par le champ optique du microscope. Selon un autre mode de mise en oeuvre, I'étape de mise en rotation est effectuée par un moteur rotatif non magnétique, le cycle opératoire de fonctionnement du moteur magnétique étant sensiblement plus grand que le cycle opératoire de fonctionnement du moteur rotatif non magnétique. Les caractéristiques et avantages mentionnés ci-dessus ainsi que d'autres de l'invention deviendront plus évidents à partir de la description suivante et des dessins annexes. La présente invention peut être mieux comprise et ses nombreux buts, caractéristiques et avantages deviendront évidents à l'homme du métier en référence aux dessins annexés sur lesquels: - les Figures la et lb illustrent une vue de dessus (en plan) d'un étage simplifié de l'art antérieur avec des moteurs magnétiques entraînant les plates-formes X et Y, le centre et le bord gauche d'une pastille étant respectivement positionnés sous une colonne optique sur les Figures la et lb; la Figure 2 illustre un étage pour une utilisation dans un système de microscope à particules chargées selon un mode de réalisation de la présente invention; - la Figure 3 est une vue de section transversale A-A de l'étage de la Figure 2; - la Figure 4 illustre la partie de table rotative de la Figure 3 adaptée pour permettre un déplacement en Z; - les Figures 5a, 5b et 5c illustrent une vue simplifiée de dessus (en plan) de l'étage de la Figure 2 o le centre, le bord gauche et le bord inférieur de la pastille sont respectivement positionnés sous la colonne optique des Figures 5a, 5b et 5c; - la Figure 6 est une vue de dessus d'une pastille et illustre un trajet spécifique de déplacement pour la couverture d'une pastille ainsi que la direction de déplacement de chacun des moteurs magnétiques et non magnétiques; - les Figures 7a et 7b sont des vues de dessus d'une pastille sur laquelle deux puces sont illustrées et la Figure 7b illustre la pastille de la Figure 7a après rotation de telle façon que les deux puces soient alignées selon la verticale; - la Figure 8 illustre le trajet de déplacement pour la couverture d'une des puces sur la Figure 7b ainsi que la direction de déplacement de chacun des moteurs magnétiques et non magnétiques; et - la Figure 9 illustre une application possible de l'étage des Figures 2 et 3. L'utilisation des mêmes symboles de référence sur différents dessins désigne des éléments similaires ou identiques. Selon la présente invention, un étage adapté à une utilisation dans un système de microscope à particules chargées (par exemple, pour des inspections de pastille et de masque optique et les mesures CD et de forme d'onde) intègre un moteur magnétique et un moteur non magnétique. La Figure 2 illustre un étage 100 selon un mode de réalisation de l'invention. L'étage 100 comprend une première plate-forme 107 (référen- cée ci-après comme la plate-forme rapide) montée au-dessus d'une base stationnaire 113, une seconde plate-forme 109 (référencée ci-après comme la plate-forme lente) montée au-dessus de la plate-forme rapide 107 (la plate-forme lente 109 est illustrée comme étant au-dessus mais sans contact avec la plate-forme rapide 107 afin d'exposer l'intérieur de l'étage ), une table rotative 110 montée au-dessus de la plate-forme lente 109, et un mandrin de pastille (non illustré) pour maintenir en place une pastille est monté au-dessus de la table rotative 110. Un microscope à faisceau d'électrons (non illustré), comme un microscope à balayage de faisceau d'électrons ou à projection de faisceau d'électrons, est positionné sur la table rotative 110 et est connecté, de façon rigide, à la base 113. La plate-forme rapide 107 se déplace sur la base 113 le long d'un axe indiqué sur la Figure 2 comme étant l'axe X. La plate-forme lente 109 se déplace sur la plate-forme rapide 107 le long d'un axe indiqué sur la Figure 2 comme étant l'axe Y, l'axe Y étant orthogonal à l'axe X. La table rotative peut tourner sur la plate-forme lente 109. Deux moteurs magnétiques compatibles sous vide 112a et 112b sont positionnés sur des cotés opposés de la base 113 et entraînent la plate- forme rapide 107. Des rails linéaires de support 117a et 117b sont adja- cents aux moteurs 112a/b et permettent à la plate-forme 107 de coulisser sur la base 113 le long de l'axe X. Chacun des moteurs 112a/b comprend, de façon usuelle, un bobinage mobile le long d'une piste d'aimants. Dans un mode de réalisation, des servomoteurs linéaires sans balai compatibles sous vide (comme le moteur LA-S-1-P de Anorad Corp. ou le moteur ATS3400 de Aerotech disponibles dans le commerce) sont utilisés comme moteurs 112a/b bien que d'autres types de moteurs magnétiques puissent être de même utilisés. Deux moteurs non magnétiques compatibles sous vide 103a et 103b sont positionnés sur des cotés opposés de la plate-forme 107 et entraînent la plate-forme lente 109. Des rails linéaires de support 118a et 118b sont adjacents aux moteurs 103a/b et permettent à la plate-forme 109 de coulisser sur la plate-forme 107 le long de l'axe Y. Dans un mode de réalisation, des moteurs linéaires piézo-électriques compatibles sous vide, comme le moteur SP-8V de Anorad Corp. disponible dans le commerce (dans lequel le déplacement est créé par une série d'éléments PZT (Titanate/Zirconate de Plomb) actionnant une "touche" en céramique contre une surface dure de travail), ou des moteurs "Inchworm" compatibles sous vide de Burleigh Instruments Inc. (dans lequel le déplacement est créé par activation séquentielle de trois éléments PZT couplés à un arbre de sortie), ou un moteur MPSL-104 compatible sous vide de Micro Plus Systems Inc., sont utilisés comme moteurs 103a/b. De même, d'autres moteurs piézo-électriques comme le moteur "Picometer" compa- tible sous vide disponible sur le marché par New Focus Inc., utilisant une action de rotation en conjonction avec une tige filetée pour obtenir un déplacement linéaire peuvent être, de même, utilisés. Deux moteurs rotatifs non magnétiques compatibles sous vide sont positionnés sur des cotés opposés de la table rotative 110 et entraînent la table rotative 110 (seul un moteur 102a parmi les deux moteurs non magnétiques est visible, le second étant situé derrière la table rotative 110 directement en opposition au moteur 102a). Un palier rotatif (non illustré) perpendiculaire à la surface de la table rotative 110 se trouve au centre de la table rotative 110, permettant à la table 110 de tourner sur la plate- forme 109. Tous les types mentionnés ci-dessus de moteurs piézo-électriques différents du moteur "Inchworm" peuvent être adaptés pour fournir un déplacement en rotation et peuvent être ainsi utilisés comme moteurs rotatifs entraînant la table 110. Deux miroirs d'interféromètre 101a et 101b sont utilisés, de façon usuelle, pour suivre la position des plates-formes respectives 109 et 107 lors d'un déplacement. Un codeur optique 108 suit la position de la table rotative 110 lors d'un déplacement. Ensemble, la plate-forme rapide 107 et la plate-forme lente 109 peuvent déplacer une quelconque partie d'une pièce de traitement (par exemple, une pastille) sur la table 110 dans le champ optique du micro- scope à particules chargées. La table rotative 110 est utilisée pour réorienter la pièce de traitement lors d'opérations comme une inspection de la pièce de traitement, et pour aligner la pièce de traitement avec l'axe X ou Y, par exemple par alignement du bord horizontal ou vertical des puces sur une pastille avec l'axe X ou Y. En général, la pastille doit être alignée sur l'axe le long duquel des inspections ou des mesures de pastille sont, le plus souvent, effectuées. Cela est important en particulier lorsque le déplacement des plates-formes 107 et 109 ne sont pas parfaitement perpendiculaires l'un à l'autre (par exemple, par le fait que les plates-formes 107 et 109 sortent de l'alignement mécanique). Dans un mode de réalisa- tion, l'inspection de pastille est, le plus souvent, effectuée selon l'axe X et ainsi, la pastille est alignée sur l'axe X. Des moteurs non magnétiques 103a/b sont placés à l'intérieur de I'étage 100 (c'est-à-dire sont enfermés par les plates-formes 107 et 109, comme illustré sur la Figure 2) au lieu d'être montés à l'extérieur de l'étage, comme de façon usuelle. Cela réduit fortement la pollution de la pastille car les platesformes 107 et 109 aident au blocage de particules générées par le fonctionnement de ces moteurs pouvant atteindre la pastille. De plus, les plates-formes 107 et 109 servent de blindages électriques autour des moteurs, empêchant toute interférence de la tension A.C. alimentant les moteurs 103a/b. La Figure 3 est une vue de section transversale selon l'axe A-A de l'étage 100 de la Figure 2. Une lentille d'objectif 111 du microscope à faisceau d'électrons directement positionnée au-dessus de la table rotative est, de même, illustrée. Les moteurs magnétiques 112a/b sont intégrés dans l'étage 100 de telle façon que leur interférence avec la lentille d'objectif 111 (à la fois, la lentille et le faisceau) soit minimisée. Chacun des moteurs magnétiques 112a/b comprend un ensemble de piste d'aimants 106 enfermé par un logement 105 et un ensemble de bobinage de moteur couvert par un blindage de bobinage 104. À l'inverse des conceptions usuelles selon lesquelles l'ensemble de bobinage du moteur est fixe et l'ensemble de piste d'aimants se déplace, l'ensemble de piste d'aimants 106 en conjonction avec son logement 105 est vissé sur la base 113 et est ainsi stationnaire. Si l'ensemble de piste d'aimants 106 avec sa rangée d'aimants puissants pouvait se déplacer, l'intensité du champ magnétique sur la position de faisceau fluctuerait et induirait une dérive du faisceau. De même, un logement mobile 105 peut interférer avec les propriétés optiques d'une lentille d'objectif magnétique, il en particulier la lentille du type à immersion qui déverse un fort champ magnétique sur l'étage. Remarquons que l'ensemble de piste d'aimants 106 est vissé sur la base 113 de telle façon que son ouverture d'extrémité recevant l'ensemble de bobinage de moteur 115 pointe à l'écart de la lentille d'objectif 111, réduisant ainsi son interférence de champ magnétique avec le faisceau. La plate-forme rapide 107 est connectée à l'ensemble de bobinage de moteur 115 et ainsi, le déplacement de la plate-forme rapide 107 est restreint le long de l'axe orthogonal au plan de la Figure 3 (l'axe X sur la Figure 2). La plate-forme rapide 107 porte la plate-forme lente 109, la table rotative 110 et le mandrin de pastille (non illustré). Le déplacement de la plate-forme lente 109 s'effectue le long de l'axe parallèle au plan de la Figure 3 (l'axe Y sur la Figure 2). L'étage 100 des Figures 2 et 3 peut être adapté pour un déplacement selon l'axe Z, comme illustré sur la Figure 4. Le déplacement selon l'axe Z permet un réglage de la distance séparant une pièce de traitement (par exemple, une pastille) sur la table rotative 110 (voir la Figure 3) et du microscope 111 (voir la Figure 3). Sur la Figure 4, une plate-forme en Z 82 (d'inclinaison) est positionnée entre un mandrin de pastille 83 et la table rotative 110. Un moteur non magnétique (non illustré) est positionné entre la plate-forme 82 et la table rotative 110 et provoque un déplacement de la plate-forme 82 le long de l'axe Z par rapport à la table rotative 110. Des moteurs piézo-électriques compatibles sous vide, comme les P-740 et P-741 de Physik Instrumente (PI) Gmbh Co. disponibles dans le commerce, peuvent être utilisés (les moteurs P-740 et P-741 ont des dimensions compactes en Z et peuvent être ainsi facilement intégrés dans l'étage 100) . Lors d'un déplacement de l'étage, la plate-forme en Z 82 peut effectuer un réglage en continu afin de maintenir une distance de travail constante entre le microscope et la pièce de traitement de telle façon que l'imagerie de la pastille soit toujours correctement focalisée. Les Figures 5a, 5b et 5c illustrent une vue simplifiée de dessus (en plan) de l'étage 100 de la Figure 2 sur laquelle le centre, le bord gauche et le bord inférieur de la pastille 40 sont respectivement positionnés sous une colonne optique de microscope à particules chargées 10. La pastille 40 est déplacée selon la direction horizontale (l'axe X) par la plate- forme rapide 107 entraînée par moteur magnétique et selon la direction verticale (l'axe Y) par la plate-forme lente 109 entraînée par un moteur non magnétique. Les moteurs magnétiques 112a/b et les rails linéaires de support 117a/b sont positionnés le long des bords inférieur et supérieur de la plate-forme 107 et les moteurs non magnétiques 103a/b (non illustrés) et les rails linéaires de support 118a/b sont positionnés sur les bords droit et gauche de la plate- forme 109. Comme indiqué par la distance B sur les Figures 5a, 5b et 5c, les moteurs magnétiques 112a/b et les rails 117a/b sont bien séparés de la colonne 10 à tout instant (c'est-à-dire qu'une distance fixée B est maintenue entre la colonne 10 et les moteurs 112a/b et les rails 117a/b indépendam- ment de la surface de la pastille 40 positionnée sous la colonne 10). Par conséquent, une quelconque interférence à partir des moteurs magnétiques 112a/b et des rails 117a/b avec la colonne 10 est minimisée. Cela permet l'utilisation d'un tel matériau de haute perméabilité et de grande durée de vie comme l'acier durci pour les rails linéaires de support 117a/b. Cependant, les moteurs non magnétiques 103a/b et les rails 118a/b viennent à proximité de la colonne 10 lorsque la plate-forme 109 est déplacée vers une quelconque de ses positions extrêmes. Cela est illustré sur la Figure 5b sur laquelle, comme indiqué par la distance A, la colonne 10 est proche du moteur situé sur le bord gauche de la plate- forme 109 et du rail de support 118a. Cependant, cela ne crée aucun problème car les moteurs entraînant la plate-forme 109 n'ont pas de matériau magnétique ni ne génèrent de champ magnétique et ainsi, n'interfèrent pas avec la colonne 10. De même, les rails 118a/b sont réalisés en un matériau de faible perméabilité et non magnétique de façon à minimiser toute inter- férence par des rails 118a/b (remarquons que, comme la distance A n'a pas besoin d'être plus grande, on obtient une plus petite plate-forme 20, ce qui aide à l'obtention d'un étage compact). Les rails 118a/b ont une surface de finition au miroir afin de minimiser les vibrations, une surface durcie pour minimiser l'usure et les contraintes sur le point de contact et sont réalisés à partir d'un matériau relativement résistant à la déformation ou à la rupture. Dans un mode de réalisation préféré, les rails 118a/b sont en cuivre durci au béryllium (le cuivre au béryllium est traité à chaud pour obtenir la dureté requise). Un autre matériau comme une céramique, un bronze au phosphore et certains types d'alliages non magnétiques d'acier (par exemple, l'Inconel ou l'Elgiloy) peut être, de même, utilisé. De la même façon, on sélectionne des moteurs non magnétiques pour les moteurs rotatifs 102a/b (voir la Figure 2) et pour le moteur entraînant la plateforme en Z 82 (voir la Figure 4) à cause de leur proximité du faisceau 10. Le palier de la table rotative 110 peut être réalisé à partir du même matériau que les rails 118a/b. Remarquons qu'un matériau de faible perméabilité n'est pas, en général, un matériau de grande durée de vie et par conséquent, n'est pas idéal pour une utilisation dans des composants qui sont soumis à une usure et des contraintes mécaniques importantes. L'impact des inconvénients des moteurs rotatifs non magnétiques 102a/b et 103/b (par exemple, la faible vitesse, les vibrations, la faible résistance à la fatigue et la génération de particules) et des rails de support de faible perméabilité 118a/b et du rail rotatif sur les performances de l'étage 100 est minimisé par un engagement des moteurs non magnétiques seulement pendant des périodes de temps relativement courtes (c'est-à-dire que le cycle opératoire des moteurs non magnétiques 102a/b et 103a/b est inférieur de plusieurs ordres d'amplitude à celui des moteurs magnétiques 112a/b) et de préférence, seulement pour le positionnement de la pastille pour un cycle suivant d'inspection. Cela est décrit, de façon plus détaillée, ci-dessous. L'étage 100 peut effectuer des tâches comme des inspections de pastille et de masque optique dans le mode bien connu de déplacement en continu ou pas-à-pas. Cependant, les avantages de l'étage 100 sont bien plus concrétisés lors d'une utilisation dans le mode de déplacement en continu. Lors d'un fonctionnement dans le mode de déplacement en continu, la pastille est inspectée tandis que la plate-forme rapide 107 se déplace. Dans le mode pas-à-pas, le système attend que l'étage 100 se déplace et s'installe sur la position désirée avant le début de l'inspection. La Figure 6 est une vue de dessus d'une pastille 40 et illustre un trajet spécifique de déplacement pour la couverture d'une pastille (par exemple, l'inspection d'une pastille) lors d'un fonctionnement dans le mode de déplacement en continu. Comme illustré, la pastille 40 est inspectée selon des bandes verticales (trois bandes 41, 42 et 43 sont illustrées), chaque bande possédant une largeur désignée par C définie par le champ optique du microscope à particules chargées. De courts déplacements horizontaux amènent chaque bande dans le champ optique du microscope. Comme indiqué sur la Figure 6, les déplacements verticaux sont effectués par la plate-forme rapide 107 entraînée par moteur magnétique et les courts déplacements horizontaux sont effectués par la plate-forme lente 109 entraînée par moteur non magnétique. Chacun des courts déplacements horizontaux par la plate-forme lente 109 est, de façon usuelle, compris entre 10 pm et 100 pm tandis que chacun des déplacements verticaux par la plate-forme rapide 107 est, de façon usuelle, compris entre 10 cm et 100 cm. Ainsi, le cycle opératoire des moteurs non magnétiques 103a/b est inférieur de trois à cinq ordres d'amplitude à celui des moteurs magnétiques 112a/b. La grande vitesse de la plate-forme rapide 107 permet une inspection rapide des motifs dans chaque bande. Une fois qu'une bande complète est inspectée, la plate-forme lente 109 déplace la bande suivante dans le champ optique du microscope. Cela entraîne un cycle opératoire des moteurs non magnétiques 103a/b nettement inférieur à celui des moteurs magnétiques 112a/b et minimise ainsi les effets néfastes des moteurs non magnétiques 103a/b et des rails 118a/b sur les performances de l'étage 100. De plus, les moteurs non magnétiques 103a/b ne sont en fonctionnement que pendant des périodes de non-inspection (c'est-à-dire seulement pour positionner la pastille pour le cycle suivant d'inspection) et ainsi, aucune vibration des moteurs 103a/b n'affecte de façon néfaste l'inspection. Remarquons que, par le fait du grand cycle opératoire des moteurs magnétiques 112a/b, les rails 117a/b ont, de préférence, les caractéris- tiques suivantes: 1) des surfaces finies au miroir pour minimiser les vibrations, 2) des surfaces durcies afin de minimiser l'usure et les contraintes sur le point de contact, et 3) sont réalisés à partir d'un matériau résistant à la déformation et à la rupture. De même, la grande distance séparant les rails 117a/b et la colonne optique 10 permet l'utilisation d'un matériau plus solide et plus durable pour les rails 117a/b même si un tel matériau peut présenter de faibles caractéristiques magnétiques. Dans un mode de réalisation, les rails 117a/b sont réalisés en acier durci. Un autre matériau comme une céramique ou des alliages d'acier peut être de même utilisé mais ils sont, en général, plus coûteux et peuvent nécessiter plus d'entretien. L'étage 100 peut être utilisé, de même, dans un système d'inspection de pastille ou de masque optique effectuant des inspections par comparaison de deux puces (par exemple, une puce cible et une puce de référence) sur un réticule ou une pastille. De façon usuelle, par la grande quantité des données générées lors de telles inspections et les contraintes du système (par exemple, un espace limité en mémoire), les deux puces sont divisées en plus petites sections et sont inspectées une section à la fois. Cela nécessite un déplacement fréquent entre les deux puces. Afin de minimiser le cycle opératoire des moteurs non magnétiques 102a/b et 103a/b et afin de maximiser le cycle opératoire des moteurs magnétiques 112a/b, une inspection des deux puces est effectuée comme illustré sur les Figures 7a, 7b et 8. Sur les Figures 7a et 7b, une pastille 40 comprend une puce 61 devant être inspectée et une puce 62. Les puces 61 et 62 sont divisées en sections identiques (non illustrées). Le système acquiert et stocke des données à partir d'une première section de la puce 61, se déplace vers la puce 62 et acquiert des données à partir de la section correspondante de la puce 62 puis compare les deux ensembles de données en ce qui concerne toute discordance. Après la comparaison, les données dans la mémoire du système sont écrasées par de nouvelles données acquises à partir de la section suivante de la puce 62; des données de la section correspondante de la puce 61 sont alors acquises et une autre comparaison des deux ensembles de données est alors effectuée. Les sections restantes des puces 61 et 62 sont inspectées et comparées de la même façon. Comme on peut le voir, ce procédé d'inspection nécessite un déplacement fréquent entre les puces 61 et 62. De façcon à utiliser les moteurs magnétiques 112a/b à grande vitesse pour les trajets entre les puces 61 et 62, la pastille 40 est tournée de telle façon que les puces 61 et 62 soient alignées selon la verticale et soient parallèles au déplacement de la plate-forme rapide 107 entraînée par moteur magnétique, comme illustré sur la Figure 7b. La rotation de la pastille, indiquée par la flèche 65, peut être effectuée par les moteurs rotatifs non magnétiques 102a/b. Le trajet de déplacement illustré sur la Figure 6 est utilisé pour une inspection de chaque section des puces 61 et 62. Cela est illustré sur la Figure 8 o seule la puce 61 de la Figure 7b est agrandie pour plus de clarté. Les flèches désignent le trajet de déplacement et les moteurs utilisés pour chaque déplacement. Ainsi, le schéma de rotation de la Figure 7b et le trajet de déplacement de la Figure 8 maximisent le cycle opératoire des moteurs magnétiques 112a/b rapides et plus durables et minimisent le cycle opératoire des moteurs non magnétiques 103a/b et 102a/b moins durables. Remarquons que toute partie statique ou mobile de l'étage se trouvant ou venant à proximité du faisceau d'électrons et de la lentille optique doit être réalisée en un matériau de faible perméabilité et non magnétisé. Par exemple, les plates-formes 107 et 109, la table rotative 110 sur la Figure 2 et la plate-forme en Z 82 sur la Figure 4 peuvent être réalisées en un matériau de faible perméabilité comme l'aluminium, une céramique, un bronze au phosphore ou certains types d'acier inoxydable. Dans un mode de réalisation, ces parties de l'étage 100 sont en aluminium à cause des plus faibles poids et coût de l'aluminium. L'étage 100 est rendu compatible sous vide par l'utilisation de moteurs compatibles sous vide, comme mentionné ci-dessus, et sans utiliser de support pneumatique pour la base 113 ou entre la plate-forme 107 et la base 113. La Figure 9 illustre un système de microscope à particules chargées 11 simplifié adapté à une inspection de pastilles à motifs de semiconducteur. La Figure 9 est prévue pour illustrer une application possible de l'étage 100 des Figures 2 et 3. Le système 11 comprend une colonne optique électronique 12, l'étage et une chambre sous vide 16. La colonne optique électronique 12 possède une source de faisceau d'électrons 18 comme un canon à électrons à Émission de Champ Thermique (TFE) du type utilisé dans la majorité des microscopes électroniques à balayage (SEMs) modernes, par exemple avec une cathode de tungstène/zirconium. Le canon à électrons est directement pompé par une pompe à ions 13. Le vide poussé dans le canon à électrons est séparé du reste de la colonne 12 et de la chambre 16 par une ouverture de pompage différentiel (non illustrée) comme dans les SEMs les plus modernes. L'énergie primaire incidente du faisceau est réglable, par exemple entre 500 eV et 1,5 keV. Le courant de faisceau sur une pastille 22 montée sur un mandrin de pastille 24 est réglable, comme à l'aide d'une lentille convergeante de faisceau d'électrons 26 et d'une ouverture de limitation de faisceau (non illustrée), par exemple, entre environ 500 pA et environ 10 nA ou même jusqu'à 25 à 50 nA pour une taille de point inférieure à 0, 1 pm. La colonne optique électronique 12 en conjonction avec le mandrin de pastille 24 possédant une source de polarisation 28 et une plaque de commande de charge 15 possédant une source de polarisation 32 constitue un Module de Commande de Charge Locale (LCCM). La colonne optique électronique 12 comprend une lentille d'objectif 34 de faisceau électronique à grand champ optique (FOV) comme la Lentille d'Immersion à Axe Variable (VAIL) connue. La lentille d'objectif 34 peut être une lentille VAIL similaire à celle utilisée dans les systèmes de sondage de faisceau d'électrons ATE IDS 5000 et IDS 10000-E de Schlumberger, disponibles dans le commerce. Par exemple, la lentille est du type à immersion magnétique, la pastille étant maintenue dans une "bouteille magnétique" et permet une collimation et un regroupement efficace des électrons secondaires sans devoir appliquer un fort champ électrostatique de récupération. Un fort champ électrostatique de récupération n'est pas désiré car il peut provoquer un chargement de surface instable et peut empêcher une optimisation indépendante de la polarisation de pastille, du potentiel d'extraction et du filtre d'énergie pour améliorer le contraste de tension. La lentille 34 peut être équipée de bobinages, à la fois, de prédéviation et de déviation (non illustrés) pour obtenir un grand FOV (comme de 0,25 mm à 1,5 mm) avec une haute résolution (comme de 30 à nm). Dans un mode de réalisation, un FOV de profondeur de 0,25 à 1,5 mm a été constaté avec une résolution inférieure à 50 nm. La lentille d'objectif 34 est équipée d'un canon de projection d'élec- trons "dans l'objectif" 36 et d'une électrode de déviation de faisceau de projection 38 permettant un multiplexage rapide entre un large faisceau de projection d'électrons à fort courant pour une précharge de la pastille 22 et ses conducteurs et un faisceau d'imagerie primaire à basse tension et à haute résolution pour une imagerie rapide afin d'interroger les états de charge des conducteurs de la pastille. On préfère un faisceau d'imagerie primaire à basse tension car il n'endommagera pas la pastille 22. De plus, une charge contrôlée peut être obtenue avec un faisceau sous basse tension. L'imagerie rapide est effectuée, par exemple, avec une fréquence d'acquisition de pixel comprise entre 1 MHz et 100 MHz. Un canon de projection adapté est décrit dans les Dépôts de Brevet U. S. N 08/782 740 déposé le 13 janvier 1997 et N 09/012 227 déposé le 23 janvier 1998. Le canon de projection 36 en combinaison avec le mandrin de pastille 24 et la plaque de commande de charge 15 ainsi que leurs sources de polarisation 28 et 32 respectives constituent un Module de Commande de Charge Globale (GCCM). En option, le faisceau primaire est utilisé, à la fois, pour précharger les conducteurs de la pastille et pour réaliser une imagerie de la pastille. Des électrons secondaires sont générés sur la surface de la pastille 22 par balayage de trame du faisceau primaire sur la surface. Ces électrons secondaires sont regroupés par le champ de la lentille, retraversent l'alésage de la lentille 26 et sont séparés du faisceau d'électrons primaires par un filtre de Wien 14 usuel possédant des champs magnétique et électrique croisés. Les électrons secondaires sont alors détectés par un détecteur d'électrons 17 comme une combinaison de scintillateur/PMT, connu, de même, comme un détecteur de EvahartThornley. On peut utiliser, de même, d'autres combinaisons de détecteurs. On prévoit, de façon avantageuse, de blinder le détecteur d'électrons 17 contre tout endommagement ou vieillissement rapide à partir du fort courant d'électrons secondaires généré lors de l'utilisation du faisceau de projection. Le détecteur 17 fournit un signal pouvant être utilisé pour former une image de la zone balayée de la pièce de traitement. Sur la Figure 9, on prévoit d'appliquer des tensions indépendantes de polarisation pour charger la plaque de commande de charge 15 à partir de la source de polarisation 32 et le mandrin de pastille 24 à partir de la source de polarisation 28. La tension de polarisation appliquée au mandrin de pastille 24 est appliquée, de façon efficace, au substrat de la pastille 22. Ces tensions de polarisation peuvent être réglées, de façon indépendante, par commande informatique si désiré afin d'optimiser le contraste de tension selon le type de pastille devant subir une imagerie et le type de défaut à détecter. L'alésage de la lentille 34 est équipé d'une électrode plane de filtre 44 appelée, de même, maille de filtre d'énergie, possédant une source de tension de polarisation 46. L'électrode 44 sert de spectromètre d'énergie d'électrons à champ retardé, comme les systèmes IDS 5000 et IDS 10000 de Schlumberger mentionnés cidessus. Le filtre d'énergie peut être utilisé pour optimiser le contraste de tension pour certains types de pastille par récupération des électrons secondaires avec un potentiel de retard ou un intervalle d'énergie spécifiques, par exemple une énergie comprise entre 0 et environ 15 eV sortant de la pastille. L'étage 100 est prévu pour manipuler, par exemple des pastilles jusqu'à 300 mm de diamètre, permettant une inspection de toute la surface supérieure de la pastille. La pastille 22 est supportée sur le mandrin de pastille 24 comme un mandrin usuel du type électrostatique. L'étage 100 peut fonctionner à grande vitesse en conjonction avec un fonctionnement précis de balayage et pas-à-pas afin de permettre une détection de l'intervalle le plus large possible de défauts. Par exemple, l'étage peut présenter un temps d'établissement inférieur à 0,3 s, une vitesse linéaire de mm/s et une rétroaction d'interféromètre laser pour une détection de précision en position de l'ordre d'environ 0,1 pm. La chambre sous vide 16 du système 11 est directement pompée sous vide par une pompe à turbine 48 et une pompe auxiliaire sans huile (non illustrée). La chambre sous vide 16 est montée sur une plate-forme d'isolation active des vibrations 19 annulant les vibrations ambiantes ainsi que le déplacement, par prédiction, dû à une accélération et une décélération rapides de l'étage 100. Un système secondaire à blocage de charge de pastille 52 usuel est inclus pour minimiser les variations de la pastille dans le temps et pour permettre à la chambre principale sous vide de rester sous vide poussé, comme 1E-6 Torr pendant de longues périodes. Le maintien du vide 16 minimise, de même, la pollution par hydrocarbure de la pastille. Le système secondaire à blocage de charge de pastille 52 comprend, de façon usuelle, des robots de manipulation de pastille pour un chargement et un déchargement automatiques des pastilles à partir d'une cassette de pastille 54. Un étage compact, durable et compatible sous vide selon la présente invention présente des vibrations mécaniques minimales, des interférences minimales avec le faisceau et la lentille optique, une génération minimale de particules et une couverture de surface à grande vitesse. Le présent étage peut être appliqué, de façon globale, à des systèmes d'un microscope à particules chargées et d'autres systèmes d'imagerie et de même, à des systèmes comme des systèmes d'inspection et de lithographie de pastille et de masque optique, des systèmes de mesure de dimensions critiques et des systèmes de mesure de formes d'onde. Cette description est, par conséquent, effectuée à titre illustratif et non limitatif et des modifications supplémentaires seront évidentes pour l'homme du métier et sont prévues comme entrant dans le cadre des revendications annexées. REVENDICATIONS 1. Ensemble d'étage, caractérisé en ce qu'il comprend un étage (100) pour le maintien d'une pièce de traitement un moteur magnétique (112a; 112b) couplé à l'étage pour entraîner I'étage le long d'un premier axe; et un moteur non magnétique (103a; 103b) couplé à l'étage pour entraîner l'étage le long d'un second axe. 2. Ensemble d'étage selon la revendication 1, caractérisé en ce que, lors d'un déplacement de l'étage, un cycle opératoire de fonctionnement du moteur magnétique est sensiblement plus grand que le cycle opératoire de fonctionnement du moteur non magnétique. 3. Ensemble d'étage selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'une distance constante est maintenue entre le moteur magnétique et un microscope positionné pour observer la pièce de traitement. 4. Ensemble d'étage selon la revendication 2, caractérisé en ce que le premier axe est perpendiculaire au second axe. 5. Ensemble d'étage selon la revendication 2, caractérisé en ce que le moteur magnétique est un servomoteur linéaire sans balai compatible sous vide et le moteur non magnétique est un moteur piézo-électrique linéaire compatible sous vide. 6. Ensemble d'étage selon la revendication 2, caractérisé en ce que, lors de son cycle opératoire de fonctionnement, le moteur non magnétique déplace l'étage pour des fonctions de non-inspection. 7. Ensemble d'étage selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus, un moteur rotatif non magnétique couplé à l'étage pour faire tourner l'étage dans un plan défini par les premier et second axes, un cycle opératoire de fonctionnement du moteur magnétique étant sensible- ment plus grand que le cycle opératoire de fonctionnement du moteur rotatif non magnétique. 8. Ensemble d'étage selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'étage, le moteur magnétique, le moteur non magnétique pour l'entraîne- ment de l'étage le long du second axe et le moteur rotatif non magnétique sont logés dans une enceinte sous vide. 2, 9. Ensemble d'étage selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'étage comprend: - une première plate-forme couplée au moteur magnétique, la première plate-forme étant mobile sur une base le long du premier axe; et - une seconde plate-forme couplée au moteur non magnétique, la seconde plate-forme étant mobile sur la première plate-forme le long du second axe. 10. Ensemble d'étage selon la revendication 9, caractérisé en ce que le moteur non magnétique est fixé sur la première plate-forme et est enfermé par les première et seconde plates-formes. 11. Ensemble d'étage selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend une table rotative pouvant tourner sur la seconde plate-forme. 12. Ensemble d'étage selon la revendication 11, caractérisé en ce que la table rotative est couplée et est entraînée en rotation par un moteur non magnétique. 13. Ensemble d'étage selon la revendication 12, caractérisé en ce que le moteur non magnétique couplé à la table rotative est un moteur piézo- électrique compatible sous vide. 14. Ensemble d'étage selon la revendication 11, caractérisé en ce que la table rotative est prévue pour porter la pièce de traitement qui est une pastille de semi-conducteur. 15. Ensemble d'étage selon la revendication 11, caractérisé en ce que la première plate-forme, la seconde plate-forme et la table rotative sont au moins partiellement en aluminium. 16. Ensemble d'étage selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus: - un premier rail linéaire de support sur lequel chevauche la première plate-forme pour se déplacer sur la base; - un second rail linéaire de support sur lequel chevauche la seconde plateforme pour se déplacer sur la première plate-forme; et - un palier rotatif sur lequel porte la table rotative pour tourner sur la seconde plate-forme. 17. Ensemble d'étage selon la revendication 16, caractérisé en ce que le second rail linéaire de support et le palier rotatif sont réalisés en un matériau non magnétique de faible perméabilité. 18. Ensemble d'étage selon la revendication 16, caractérisé en ce que chacun des second rail linéaire de support et palier rotatif sont en cuivre durci au béryllium ou en bronze au phosphore ou en céramique. 19. Ensemble d'étage selon la revendication 16, caractérisé en ce que le premier rail linéaire de support est en acier durci. 20. Ensemble d'étage selon la revendication 16, caractérisé en ce que les premier et second rails de support ainsi que le palier rotatif comprennent chacun une surface durcie de finition au miroir. 21. Ensemble d'étage selon la revendication 16, caractérisé en ce qu'une distance constante est maintenue entre le premier rail linéaire de support et un microscope positionné pour observer la pièce de traitement. 22. Ensemble d'étage selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus, un microscope fixé sur la base et positionné pour observer la pièce de traitement. 23. Ensemble d'étage selon la revendication 22, caractérisé en ce que le moteur magnétique comprend un ensemble de piste d'aimants qui est fixe par rapport au microscope. 24. Ensemble d'étage selon la revendication 22, caractérisé en ce qu'un ensemble de piste d'aimants est fixé sur la base. 25. Ensemble d'étage selon la revendication 24, caractérisé en ce que l'ensemble de piste d'aimants définit une ouverture pour recevoir un ensemble de bobinage, I'ouverture étant tournée à l'écart du microscope. 26. Ensemble d'étage selon la revendication 25, caractérisé en ce que l'ensemble de bobinage est fixé sur la première plate-forme. 27. Ensemble d'étage selon la revendication 22, caractérisé en ce que, lors de son cycle opératoire de fonctionnement, le moteur non magnétique déplace l'étage pour amener une surface de la pièce de traitement dans un champ optique du microscope. 28. Ensemble d'étage selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus, un moteur non magnétique couplé à l'étage pour entraîner l'étage le long d'un troisième axe, le troisième axe étant perpen- diculaire aux premier et second axes. 29. Ensemble d'étage selon la revendication 28, caractérisé en ce que le moteur non magnétique pour l'entraînement de l'étage le long du troisième axe est un moteur piézo-électrique. 30. Ensemble d'étage selon la revendication 28, caractérisé en ce que le moteur non magnétique pour l'entraînement de l'étage le long du troisième axe règle une distance séparant la pièce de traitement et un microscope pour observer la pièce de traitement. 31. Ensemble d'étage, caractérisé en ce qu'il comprend - un étage pour le maintien d'une pièce de traitement; - un microscope couplé à l'étage pour la visualisation de la pièce de traitement; - un moteur non magnétique couplé à l'étage pour positionner une surface de la pièce de traitement sous le microscope; et - un moteur magnétique couplé à l'étage pour déplacer l'étage lors d'une inspection de la surface de la pièce de traitement. 32. Ensemble d'étage selon la revendication 31, caractérisé en ce que, lors d'un déplacement de l'étage, un cycle opératoire de fonctionnement du moteur magnétique est sensiblement plus grand que le cycle opératoire de fonctionnement du moteur non magnétique. 33. Ensemble d'étage selon la revendication 32, caractérisé en ce que la pièce de traitement est inspectée le long d'une zone linéaire de sa surface, le moteur non magnétique déplaçant l'étage pour positionner une première partie de la zone linéaire sous le microscope et le moteur magnétique déplaçant l'étage lors d'une inspection de la zone linéaire. 34. Ensemble d'étage selon la revendication 33, caractérisé en ce qu'une largeur de la zone linéaire est définie par le champ optique du microscope. 35. Ensemble d'étage selon la revendication 32, caractérisé en ce que la pièce de traitement est entraînée en rotation de telle façon que deux zones de la pièce de traitement soient alignées le long d'une ligne parallèle à un axe selon lequel le moteur magnétique déplace l'étage et des zones secondaires correspondantes dans les deux zones sont alors mutuellement comparées. 36. Ensemble d'étage selon la revendication 35, caractérisé en ce que la pièce de traitement est entraînée en rotation par un moteur rotatif non magnétique couplé à l'étage, un cycle opératoire de fonctionnement du moteur magnétique étant sensiblement plus grand que le cycle opératoire de fonctionnement du moteur rotatif non magnétique. 37. Ensemble d'étage selon la revendication 31, caractérisé en ce que le moteur magnétique est un servomoteur linéaire sans balai et le moteur non magnétique est un moteur piézo-électrique linéaire. 38. Procédé pour le fonctionnement d'un étage pour le maintien d'une pièce de traitement, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: l'entraînement de l'étage le long d'un premier axe par un moteur magnétique; et - l'entraînement de l'étage le long d'un second axe par un moteur non magnétique. 39. Procédé selon la revendication 38, caractérisé en ce qu'un cycle opératoire de fonctionnement du moteur magnétique est sensiblement plus grand qu'un cycle opératoire de fonctionnement du moteur non magnétique. 40. Procédé selon la revendication 39, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus: - le positionnement de la pièce de traitement sur l'étage sous un microscope; - le déplacement d'une zone de la pièce de traitement à inspecter dans le champ optique du microscope lors du cycle opératoire du moteur non magnétique; et - lI'inspection de la zone de la pièce de traitement lors du cycle opératoire du moteur magnétique. 41. Procédé selon la revendication 40, caractérisé en ce que la zone est une zone linéaire, une largeur de la zone linéaire étant définie par le champ optique du microscope. 42. Procédé selon la revendication 39, caractérisé en ce qu'il comprend, de plus: le positionnement de la pièce de traitement sur l'étage sous un microscope; la mise en rotation de la pièce de traitement de telle façon que deux zones de la pièce de traitement soient alignées le long d'une ligne parallèle au premier axe; et la comparaison de zones secondaires correspondantes dans les deux zones l'une avec l'autre. 43. Procédé selon la revendication 42, caractérisé en ce que l'étape de comparaison comprend les étapes suivantes: - l'acquisition d'une première donnée à partir d'une zone secondaire de la première surface; - le déplacement vers une zone secondaire correspondante de la seconde zone lors du cycle opératoire du moteur magnétique; - l'acquisition d'une seconde donnée à partir de la zone secondaire de la seconde zone; et - la comparaison des première et seconde données. 44. Procédé selon la revendication 43, caractérisé en ce que l'étape d'acquisition comprend les étapes suivantes: - le déplacement d'une bande d'une zone secondaire dans le champ optique du microscope lors du cycle opératoire du moteur non magnétique; et - lI'acquisition de données à partir de la bande lors du cycle opératoire du moteur magnétique; - une largeur de la bande étant définie par le champ optique du microscope. 45. Procédé selon la revendication 42, caractérisé en ce que l'étape de mise en rotation est effectuée par un moteur rotatif non magnétique, un cycle opératoire de fonctionnement du moteur magnétique étant sensi- blement plus grand qu'un cycle opératoire de fonctionnement du moteur rotatif non magnétique.