Brevet FR2798993A1 — publié le 20010330

GYROMETRE DE TYPE DIAPASON L'invention concerne les micro-mécanismes usinés comportant des éléments de rappel sous forme de poutres soumis à des déformations simultanées en flexion et en torsion. Plus précisément l'invention concerne les gyrometres de type diapason utilisant .une structure micro-mécanique de poutres vibrantes. Dans certains micro-mécanismes usinés, il est parfois nécessaire d'avoir simultanément des modes de résonance en translation et d'autres modes rotation. Parmi ces micro-mécanismes on trouve l'élément sensible d'un gyromètre à diapason. La figure 1 montre un dessin simplifié d'un l'élément sensible 10 micro-usiné d'un gyromètre de type diapason ayant une structure symétrique en double poutre. L'élément sensible présente deux degrés de libertés selon deux axes Ox et Oz perpendiculaires d'un trièdre de référence Oxyz. La finalité du gyromètre est la mesure de la vitesse angulaire fZ de la référence Oxz tournant autour de l'axe Oy perpendiculaire à cette référence. L'élément sensible du gyromètre comporte une première paire de deux poutres d'excitation 12 et 14 et une seconde paire de deux autres poutres d'excitation 16 et 18. Les poutres d'excitation de la première de la seconde paire sont situées dans un même plan Oxy du trièdre de référence et parallèles à un axe sensible YY' confondu avec l'axe Oy. Ces première et seconde paires sont situées de part et d'autre et sensiblement à égale distance de l'axe YY'. Chaque paire de poutres d'excitation comporte une masse centrale reliant en leur milieu les deux poutres de la paire, une masse m1 au milieu de la première paire et une masse m2 au milieu de la seconde paire. Les extrémités des poutres 12, 14, 16, 18 situées d'un même côté sont reliées respectivement à un premier 20 et à un second élément transversal 22 situés dans le même plan Oxy des poutres d'excitation et sensiblement perpendiculaires à ces poutres. Les premier 20 et second 22 éléments transversaux comportent respectivement une première 24 et une seconde poutre de rappel 26 (ou élément de rappel) dont les axes de torsion sont colinéaires à l'axe sensible YY' du gyromètre. Les extrémités des première et seconde poutres de rappel sont reliées respectivement à un premier 28 et à un second bâti 30 solidaires du gyromètre. Afin d'effectuer la mesure de vitesse angulaire lors d'une rotation du gyrometre, un dispositif électrostatique 32 crée des excitations volontaires E1 et E2 respectivement sur les masses m1 et m2 la fréquence de résonance naturelle des poutres d'excitation et des poutres de rappel. Ces forces d'excitation E1 et E2 de même amplitude et de directions opposées sont appliquées sur les masses m1 et m2 parallèlement à un axe XX' confondu avec l'axe Ox du trièdre de référence. Les excitations E1 et E2 produisent des déplacements des masses m1 et m2 dans deux directions opposées aux respectives vitesses instantanées v1 et v2. Une rotation du gyromètre comportant l'élément sensible 10 soumis aux excitations E1 et E2 produit un couple de forces de Coriolis F1 et F2 autour de l'axe sensible YY', respectivement sur l'une et l'autre masse m1 et m2 provoquant une rotation des éléments transversaux 20, 22 et la torsion des poutres de rappel 24 et 26 autour de ce même axe. La vitesse angulaire S2 de rotation de l'élément sensible 10 est déterminée par la mesure de la position des masses m1 et m2. Le moment de Coriolis apparaissant sur les masses m1 et m2 est calculé de la façon suivante Avec J e Jo + Jisin wt Mcorly : moment de Coriolis appliqué sur les masses m1 et m2 ; SI : vitesse angulaire de l'élément sensible 10 autour de l'axe sensible ; w : pulsation naturelle de résonance des masses m1 et m2 ; J : moment d'inertie des masses m1 et m2 par rapport à l'axe YY' . Jo : partie constante du moment d'inertie J ; J, : partie oscillante du moment d'inertie généré par le mouvement des masses suivant l'axe XX à la pulsation naturelle w. On mesure la position des masses m1 et m2 par effet capacitif, et connaissant les masses m1 et m2 et les constantes de torsion et de flexion des poutres l'élément sensible on détermine, d'une façon connue, vitesse angulaire SI du gyromètre. forces de Coriolis s'exerçant sur l'élément lors d'une rotation du gyromètre produisent une torsion des poutres de rappel à la fréquence d'oscillation l'excitation, alors que l'excitation volontaire des masses m1 m2 produisent une flexion des poutres d'excitation. force de flexion et l'amplitude de la flexion qui en résulte sur une poutre sont liés par le module de Young du matériau utilisé, alors que le forces de torsion et l'angle de torsion qui en résulte, pour ce même matériau, sont liés au module de Poisson de comportement mécanique diffèrent selon la géométrie de la poutre soumise à la torsion. Dans les gyromètres de l'état de l'art on cherche à réaliser deux systèmes de poutres, poutres d'excitation et poutres de rappel ayant des fréquences résonance naturelles aussi proches que possible pour amplifier les deux mouvements, le mouvement vibratoire d'excitation et celui produit par force de Coriolis sur l'élément sensible 10. Néanmoins les gyromètres actuels comportent des inconvénients les limitant en performances et en stabilité. En effet il se produit un décalage entre fréquences résonance naturelles des poutres d'excitation et des poutres de rappel. Ce décalage est dû, d'une part aux incertitudes de fabrications ces poutres, d'autre part aux variations de température. Ces variations des fréquences de résonance entre les poutres fonctionnant sur des modes différents (flexion et torsion), limitent la sensibilité de mesure angulaire et fidélité du gyromètre. Afin de palier les inconvénients des systèmes de mesure vitesse angulaire de l'art antérieur, l'invention propose un gyromètre comportant élément sensible micro-usiné ayant au moins deux poutres d'excitation positionnées de part et d'autre d'un axe sensible Oy du gyromètre, les poutres d'excitation étant fixées à leurs extrémités par moins un élément transversal relié à un bâti, au niveau d'une partie centrale par un élément de rappel s'opposant élastiquement à la rotation de l'élément transversal autour de l'axe Oy, caractérisé en ce que l'élément de rappel d'un élément transversal comporte au moins une poutre allongée dans direction perpendiculaire à l'axe Oy de manière que la force de rappel élastique de l'élément transversal soit due essentiellement à la résistance à la flexion de cette poutre allongée. Dans une première réalisation du gyromètre selon l'invention, l'élément de rappel comporte deux poutres allongées sensiblement parallèles attachées l'une à l'autre par leurs extrémités situées d'un même côte, une des poutres étant attachée au niveau de sa partie centrale à l'élément transversal et l'autre poutre étant attachée niveau de sa partie centrale au bâti. Dans une autre réalisation gyromètre selon l'invention, l'élément de rappel comporte trois poutres allongées sensiblement parallèles, une première poutre attachée par une de ses extrémités à l'élément transversal, une deuxième poutre attachée une de ses extrémités au bâti et une troisième poutre attachée par une de ses extrémités à l'autre extrémité de la première poutre et par son autre extrémité à l'autre extrémité de la deuxième poutre. Dans ces réalisations selon l'invention, les différents éléments de rappel sont soumis à des forces produisant essentiellement des déformations en flexion et très peu de déformations torsion, contrairement aux dispositifs micro-mécaniques usinés de l'art antérieur (élément sensible 10 de la figure 1) comportant des poutres d'excitation soumises à des forces les déformant par flexion et des poutres de rappel soumises à des forces les déformant par torsion (couple de rotation tour de l'axe sensible YY'). Lors des excitations vibratoires poutres d'excitation de l'élément sensible 10 de la figure 1, fréquences de résonance des poutres déformées en flexion et des poutres déformées en torsion s'expriment différemment et si l'on veut alors faire vibrer ces poutres à la même fréquence de résonance, les dimensions des poutres d'excitation et de rappel seront très différentes. En effet poutre de rappel soumise à des efforts de torsion sera de dimension plus courte que la poutre d'excitation soumise à des efforts de flexion. Les incertitudes géométriques de fabrication affectent très différemment ces deux modes de résonance (en flexion et en torsion) et il est difficile d'obtenir deux fréquences de résonance superposées. D'autre part dans l'élément sensible 10 de la figure 1, poutre de rappel n'a pas une section ronde mais rectangulaire, le mode de torsion n'est donc pas pur et en conséquence difficile à prévoir précisément. Enfin, les fréquences des modes de torsion et de flexion n'ont pas mêmes variations en température et cela peut créer des instabilités thermiques de la résonance. Un autre inconvénient l'élément sensible 10 de la figure 1 est l'apparition d'un décalage entre les frequences naturelles de résonance des poutres d'excitation et des poutres de rappel par les dispersions de fabrication. En effet, une même variation géométrique des poutres d'excitation et des poutres de rappel modifie différemment la valeur des respectives fréquences propres de flexion et de torsion. Dans le dispositif micro-mécanique selon l'invention, usiné à partir d'un même matériau, habituellement silicium, les poutres allongées sont essentiellement soumises à des efforts de flexion et donc liés aux déformations par le module de Young. Les attaches des poutres allongées d'un élément de rappel seront constituées de poutres de courte longueur dans la direction de I 'axe sensible de manière à présenter une forte résistance à la torsion. D'autres caractéristiques l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée des réalisations suivantes et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels - la figure 1, déjà décrite, montre un dessin simplifié de l'élément sensible 10 d'un gyromètre à diapason l'art antérieur ; - la figure 2 montre une première réalisation de l'élément sensible d'un gyromètre à diapason selon l'invention; - la figure 3a montre une partielle de l'élément sensible du gyromètre de la figure 2. - la figure 3b montre une de dessus selon AN de la vue partielle de la figure 3a. - la figure 4 montre une deuxième réalisation de l'élément sensible d'un gyromètre à diapason selon l'invention; - la figure 5a montre une partielle de l'élément sensible du gyromètre de la figure 4 ; - la figure 5b montre une de dessous selon BB' de la vue partielle de la figure 5a. - les figures 6 et 7 montrent deux réalisations simplifiées du gyromètre à diapason selon l'invention dont l'élément sensible comporte un seul élément transversal. - la figure 8 représente une vue partielle d'un élément sensible d'un gyrometre selon l'invention comportant une cascade d'éléments de rappel. - figure 9 représente une vue partielle d'un élément sensible, au tour des attaches comportant des petites poutres. figure 2 représente une première réalisation d'un l'élément sensible 40 d'un gyromètre à diapason selon l'invention ayant un élément sensible comportant deux éléments transversaux, un premier élement transversal reliant des extrémités des poutres d'excitation situées d'un même coté et un second élément transversal reliant les autres extrémités ces mêmes poutres d'excitation. L'élément sensible 40 a une structure symétrique en double poutre comme celle de l'élément sensible 10 représenté à la figure1. L'élément sensible 40 du gyromètre comporte la première paire de deux poutres d'excitation 12 et 14 et la seconde paire des deux autres poutres d'excitation 16 et 18. Les poutres d'excitation de la première la seconde paire sont situées dans le même plan Oxy du trièdre de référence et parallèles à un axe sensible YY' confondu avec l'axe Oy. Ces premiere et seconde paires sont situés de part et d'autre et sensiblement à égale distance de l'axe YY'. Chaque paire de poutres d'excitation comporte une masse centrale reliant en leur milieu les deux poutres d'une paire, la masse au milieu de la première paire et la masse m2 au milieu de la seconde paire Les extrémités des poutres 12, 14, 16, 18 situées d'un meme côté sont reliées respectivement au premier 20 et au second élément transversal situés dans le même plan Oxy des poutres d'excitation et sensiblement perpendiculaires à ces poutres. premier 20 et second 22 éléments transversaux sont attachés respectivement à un premier 42 et à un second élément de rappel 44, chacun des eléments de rappel comportant une première 46 et une seconde poutre allongée 48 dans une direction perpendiculaire à l'axe sensible YY, une première poutre allongée 46 étant attachée à un élément transversal et une seconde poutre allongée 48 étant attachée un bâti, les première et seconde poutres allongées étant attachées l'une l'autre par ses extrémités d'un même côté. La figure 3a montre une vue partielle agrandie de l'élément sensible 40 du gyromètre selon l'invention, montrant le premier élément de rappel 42. Le premier élément transversal 20 est attaché à la première poutre allongée 46 du premier élément de rappel 42 par un premier élément rigide 50 situé dans l'axe sensible YY au niveau d'une partie centrale de cette première poutre allongée 46. La seconde poutre allongée du même élément de rappel 42 est attachée au premier bâti 28 par un deuxième élément rigide 52 situé dans l'axe YY' au niveau d'une partie centrale de la seconde poutre allongée 48. Les deux extrémités situées d'un même coté des deux poutres allongées sont attachées respectivement, par un troisième élément rigide 54 et un quatrième élément rigide 56. La figure 3b montre une vue de dessus selon AN de l'élément de rappel 42 de la figure 3a lors d'une rotation R au tour de I 'axe YY' de l'élément transversal entraîné par un couple de forces Fg et Fd appliquées sur cet élément. La rotation de l'élément transversal 20 au tour de l'axe sensible YY provoque des déformations en S par flexion des première 46 et seconde 48 poutres allongées, la première poutre allongée 46 étant entraînée en rotation par le premier élément rigide 50 solidaire du premier l'élément transversal 20 et la seconde poutre allongée 48 étant entraînée en rotation par les troisième 54 et quatrième 56 éléments rigides solidaires des extrémités des ces deux poutres allongées 46 et 48. Les forces et les déformations par flexion des poutres allongées créées par le mouvement de rotation de l'élément transversal 20 sont liées par le module de Young. De la même façon (voir figure 2) le second élément transversal 22 est attaché à la première poutre allongée 46 par le premier élément rigide 50 situé dans l'axe sensible YY' au niveau d'une partie centrale de la première poutre allongée 46, la seconde poutre allongée 48 étant attachée au second bâti 30 par le deuxième élément rigide 52 situé dans l'axe sensible YY' au niveau d'une partie centrale de la seconde poutre allongée 48. Les deux extrémités situées d'un même coté des poutres allongées sont attachées respectivement, par le troisième élément rigide 54 et par quatrième élément rigide 56. Les éléments de rappel 42 et 44 doivent être dimensionnés correctement afin d'obtenir l'effet recherché, soit une rotation privilégiée suivant un axe donné (axe sensible YY') par rapport aux autres mouvements et provoquant principalement des mouvements de flexion. Pour cela les éléments rigides 50, 52, 54, 56, dont les axes de torsion sont parallèles à l'axe sensible YY,' doivent être très raides et par conséquent très courts selon l'axe et larges suivant les axes perpendiculaires et ZZ'. On peut alors dimensionner les poutres allongées 46 et 48 pour determiner une raideur de rotation. La longueur de ces poutres allongées dans une direction perpendiculaire à l'axe sensible YY' doit aussi être choisie manière à privilégier rotation autour de l'axe YY' par rapport à la flexion selon l'axe ZZ perpendiculaire aux poutres et à l'axe de rotation YY'. raideur de rotation Kt autour de l'axe YY, calculée dans le cas de la première réalisation de l'élément de rappel de la figure 3a et en supposant que les éléments rigides 50, 52, 54, 56 ont une grande rigidité par rapport aux poutres allongées, s'exprime par Kt1 = 2.E. [IL Avec I = b.13112 ; E :module de Young ; L : demi-longueur des poutres 42, 44 ; b : dimension des poutres parallèlement à l'axe YY; t : dimension des poutres parallèlement à l'axe ZZ'. Pour limiter le mouvement de flexion selon l'axe ZZ', il faut que la fréquence propre de ce mode f2, selon ZZ', soit supérieure à la fréquence propre de torsion ft. La demi-longueur des poutres détermine le rapport entre ces deux fréquences. Si l'on suppose que des masses ponctuelles M sont placées aux extrémités d'un élément transversal (voir figure 3a) de longueur Lm, que la masse de cet elément transversal est négligeable et que les éléments rigides 50, 52, 54, 56 ont une grande rigidité par rapport aux poutres allongées, la relation entre longueur de l'élément transversal supportant ces masses, la longueur des poutres de l'élément de rappel et les fréquences propres des modes de torsion et de flexion en ZT sont données par La figure 4 montre une autre réalisation d'un élément sensible 60 d'un gyromètre selon l'invention ayant la même structure symétrique en double poutre des éléments sensibles 10, 40 des figures 1 et 2. Dans cette autre réalisation, les premier 20 et second 22 éléments transversaux sont attachés respectivement à un premier 62 et à un second élément de rappel 64. Chacun des éléments de rappel comporte trois poutres allongées dans une direction perpendiculaire à l'axe sensible YY', une première poutre allongée 66 étant attachée par une de ses extrémités à un l'élément transversal, une deuxième poutre allongée 68 étant attachée par une de ses extrémités à un bâti et une troisième poutre allongée 70 étant attachée respectivement par l'une et par l'autre de ses deux extrémités à l'autre extrémité de la première 66 et de la deuxième 68 poutre allongée. La figure 5a montre une vue partielle agrandie, de l'élément sensible 60 du gyromètre selon l'invention montrant le premier élément de rappel Le premier élément transversal 20 est attaché à une des extrémites de la première poutre allongée 66 par un premier élément rigide 72 situe dans l'axe sensible YY' de l'élément sensible 60. deuxième poutre allongée 68 est attachée par une de ses extrémités au premier bâti 28 par un deuxième élément rigide 74 situé dans l'axe sensible 1(Y'. La troisième poutre allongée 70 est attachée par ses deux extrémités, respectivement par l'intermédiaire d'un troisième élément rigide à l'autre extrémite de la première poutre allongée 72 et par l'intermédiaire d'un quatrième élément rigide 78 à l'autre extrémité de la deuxième poutre allongée 68. La figure 5b montre une vue de dessus selon BB' l'elément de rappel micro-mécanique usiné 62 de la figure 5a lors d'une rotation R, au tour de 'axe sensible YY,' de l'élément mobile 20 entraîné couple de forces et Fd appliquées sur cet élément. La rotation du premier élément transversal 20 au tour de l'axe YY' provoque une déformation en S par flexion des première 66, deuxième 68 et troisième 70 poutres allongées. La première poutre allongée 66 est entraînée en rotation et fléchie par le premier élément rigide 72 solidaire du premier élément transversal 20, le mouvement de cette première poutre allongée produisant ' son tour une rotation et une flexion des troisième 70 et deuxième 68 poutres allongées, respectivement l'intermédiaire du troisième 76 et quatrième 78 éléments rigides. D'une façon similaire, (voir figure 4) le second élément transversal 22 est attaché une des extrémités de 1a première poutre allongée 66 du second élément de rappel 64, par le premier élément rigide 72 situé dans l'axe YY' de l'élément de rappel, la deuxième poutre allongée 68 étant attachée par une de ses extrémités au second bâti 30 le deuxième élément rigide situé dans l'axe sensible YY'. La troisième poutre allongée 70 est attachée par ses deux extrémités, respectivement par l'intermédiaire du troisième élément rigide 76 à l'autre extrémité de la première poutre allongée 72 par l'intermédiaire du quatrième élément rigide 78 à l'autre extrémité de la deuxième poutre allongée 68. Comme dans le cas de la première réalisation de la figure 2, le mouvement de rotation au tour de l'axe sensible YY' des éléments transversaux 20, 22 se traduit par des déformations par flexion des trois poutres allongées de l'élément de rappel dont la raideur sera liée au module de Young. Dans cette deuxième réalisation de l'élément sensible de la figure 4, la raideur de rotation est donnée par Kt2 = E.Il3,L Dans les gyromètres selon l'invention, l'élément de rappel effectue une sorte de découplage en transmettant la rotation de l'élément transversal par des poutres rigides parallèles à l'axe sensible YY' à des poutres souples perpendiculaires à cet axe. La rotation provoque ainsi une flexion des poutres perpendiculaires à l'axe sensible alors que les poutres parallèles à l'axe sensible, plus rigides, ne subissent que peu de torsions. Cet élément de rappel permet ainsi de privilégier la rotation par rapport aux autres mouvements. Dans le cas de systèmes micro-mécanique usinés tel que l'élément sensible de la figure 1, les masses en rotation peuvent être portées par des bras de levier de forte raideur manière à limiter les mouvements de déflexion des masses par flexion de ces bras. L'élément de rappel lui- même peut être conçu de manière à être plus raide dans les mouvements de translation que pour la rotation souhaitée. Ainsi dans les réalisations décrites aux figures 3a, 3b, 4a et 4b, les poutres allongées sont attachées par des éléments rigides qui ne présentent que très peu de torsion. La rigidité de ces éléments rigides peut provenir de leurs dimensions. En effet ces éléments rigides sont des poutres plus larges et plus courtes que les poutres allongées. Dans des réalisations simplifiées du gyromètre à diapason selon l'invention, des éléments sensibles 80 et 90 représentés respectivement aux figures 6 et 7, comportent un seul élément transversal. La structure de l'élément sensible 80 de la figure 6 est la même que celle de la partie supérieure de l'élément sensible 40 de la figure 2 située du seul coté de l'axe XX' comportant le premier élément transversal 20. Une première paire de poutres d'excitation 82 et 84 et une seconde paire de poutres d'excitation 86 et 88 sont fixées à leurs extrémités situées d'un même coté par le seul premier élément transversal, les autres extrémités de la première et de la seconde paire de poutres étant reliées respectivement au masses m1 et m2. L'élément sensible 80 comporte le seul élément de rappel 42 reliant une partie centrale du premier élément transversal 20 au bâti 28. De la même façon, la structure de l'élément sensible 90 de la figure 7 est la même que celle de la partie supérieure de l'élément sensible 60 de la figure 4 située du seul coté de l'axe XX' comportant le premier élément transversal 20. La première paire de poutres d'excitation 82 et 84 et la seconde paire de poutres d'excitation 86 et 88 sont fixées à leurs extrémités situées d'un même coté par le seul premier élément transversal 20, les autres extrémités de la première et de la seconde paire de poutres étant réliées respectivement au masses m1 et m2. L'élément sensible 90 comporte le seul élément de rappel 62 reliant une partie centrale du premier élément transversal 20 au bâti 28. Dans d'autres variantes de réalisations du gyromètre diapason selon l'invention, l'élément sensible comporte deux poutres d'excitation situées de part et d'autre de l'axe sensible YY' reliées à leurs extrémités situées d'un même cote respectivement par les premier 20 et second 22 éléments transversaux. Les éléments de rappel représentés aux figures 3a et 5a peuvent etre cascadés ce qui permet une plus grande amplitude de rotation de l'élément de rappel résultant. La figure 8 représente une vue partielle d'un élément sensible 100 ayant la même structure en double poutre que celle de l'élément sensible 40 la figure 2. L'élément sensible 100 comporte une cascade 102 d'éléments de rappel, chacun des éléments de rappel étant tel que représenté à la figure 3a, comportant les deux poutres allongées 46, 48. Le premier élément transversal 20, et le premier bâti 28 sont reliés par une cascade 102 d'éléments de rappel, un premier élément de rappel 104 étant relié au premier l'élément transversal 20 de l'élément sensible 100 par le premier élément rigide 50, un suivant élément de rappel 106 étant relié au premier élément de rappel 104 par un élément rigide intermédiaire 108 et ainsi de suite jusqu'à un dernier élément de rappel 110 relié au bâti 28 par le second élément rigide 52. Dans une autre réalisation du gyromètre, la cascade d'éléments de rappel de l'élément sensible peut être réalisée à partir d'éléments de rappel 72 de la figure 5a comportant trois poutres allongées 66, 68, 70. Dans d'autres variantes de réalisation de l'élément sensible du gyromètre à diapason, l'élément de rappel (42, 44, 62, 64) est attaché d'une part à l'élément transversal (20, 22) par une première paire de petites poutres 120, 122 et d'autre part au bâti (28,30), par une seconde paire de petites poutres 124, 126 de dimensions très petites, selon l'axe sensible YY' et selon l'axe XX, par rapport à la longueur des poutres allongées, les deux petites poutres d'une paire étant situées de part et d'autre de l'axe sensible YY' et proches de cet axe. La figure 9 représente une vue partielle d'un élément sensible, autour des attaches d'un premier élément de rappel 118, de même structure que l'élément de rappel 42 représenté à la figure 3a, comportant la première paire de petites poutres 120 et 122 et la seconde paire de petites poutres 124 et 126. Ces petites poutres facilitent encore plus la flexion rapport à la torsion de l'élément sensible. Les gyromètres de l'état de l'art permettent d'obtenir des précisions mesure de la vitesse angulaire de l'ordre de degré par seconde. L'invention permet de superposer précisément les deux modes de résonance l'élément sensible d'un gyromètre à diapason lors de sa fabrication, puis en fonctionnement notamment lors des fluctuations thermiques. gyromètre selon l'invention présente donc un meilleur rapport signal à bruit ainsi qu'une meilleure stabilité thermique. II permet donc des précisions de mesure des vitesses angulaires de l'ordre de dix fois supérieures à celles des gyromètres de l'art antérieur. REVENDICATIONS 1. Gyromètre comportant un élément sensible (10, 40, 60, 80, 90, 100) micro-usiné ayant au moins deux poutres d'excitation (12, 14, 16, 18, 82, 84, 86, 88) positionnées de part et d'autre d'un axe sensible Oy du gyromètre, les poutres d'excitation étant fixées à leurs extrémités par au moins un élément transversal (20, 22) relié à un bâti (28, 30), au niveau d'une partie centrale, par un élément de rappel (24, 26, 42, 44, 62, 64, 110) s'opposant élastiquement à la rotation de l'élément transversal autour de l'axe Oy, caractérisé en ce que l'élément de rappel d'un élément transversal comporte au moins une poutre allongée (46, 48, 66, 68, 70) dans une direction perpendiculaire à l'axe Oy de manière que la force de rappel élastique de l'élément transversal soit due essentiellement la résistance à la flexion de cette poutre allongée. 2. Gyromètre selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de rappel comporte deux poutres allongées (46, 48) sensiblement parallèles attachées l'une à l'autre par leurs extrémités situées d'un môme côte, une des poutres étant attachée au niveau de sa partie centrale à l'élément transversal (20, 22) et l'autre poutre étant attachée au niveau de sa partie centrale au bâti (28, 30). 3. Gyromètre selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de rappel (62, 64) comporte trois poutres allongées (66, 68, 70) sensiblement parallèles, une première poutre (66) attachée par une de ses extrémités à l'élément transversal, une deuxième poutre (68) attachée par une de ses extrémités au bâti et une troisième poutre (70) attachée par une de ses extrémités à l'autre extrémité de la première poutre et par son autre extrémité l'autre extrémité de la deuxième poutre. 4. Gyromètre selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément sensible (40) du gyromètre comporte une première paire de deux poutres d'excitation (12, 14) et une seconde paire de deux autres poutres d'excitation (16, 18), les poutres d'excitation de la première et de la seconde paire étant situées dans le même plan Oxy d'un trièdre de référence et parallèles un axe sensible YY' confondu avec l'axe Oy, ces première et seconde paires étant situées de part et d'autre et sensiblement à égale distance de l'axe YY', chaque paire de poutres d'excitation comportant une masse centrale reliant en leur milieu les deux poutres d'une paire, une masse m1 milieu de la première paire et une masse m2 au milieu de la seconde paire, les extrémités des poutres d'excitation (12, 14, 16, 18) situées d'un même côté étant reliées respectivement au premier élément transversal (20) et au second élément transversal (22) situés dans le même plan Oxy des poutres d'excitation et sensiblement perpendiculaires à ces poutres, le premier élément transversal (20) et le second élément transversal (22) étant attachés respectivement à un premier élément de rappel (42, 62) et à un second élément de rappel (44, 64). Gyromètre selon la revendication 4, caractérisé en ce que chacun des éléments de rappel (42, 44) comportent une première poutre allongée (46) et une seconde poutre allongée (48) dans une direction perpendiculaire à l'axe sensible YY', la première poutre allongée (46) étant attachée à un élément transversal (20, 22) et la seconde poutre allongée (48) étant attachée à un bâti (28, 30), la première poutre allongée et la seconde poutre allongée étant attachées l'une à l'autre par ses extrémités d'un même côté. 6. Gyromètre selon la revendication 5, caracterisé en ce que le premier élément transversal (20) est attaché à la première poutre allongée (46) du premier élément de rappel (42) par un premier élément rigide (50) situé dans l'axe sensible YY' au niveau d'une partie centrale de cette première poutre allongée (46), la seconde poutre allongée même élément de rappel (48) étant attachée à un premier bâti (28) par un deuxième élément rigide (52) situé dans l'axe YY' au niveau d'une partie centrale de la seconde poutre allongée (48), les deux extrémités situées d'un même coté des deux poutres allongées étant attachées respectivement, par un troisième élément rigide (54) et un quatrième élément rigide (56) et en ce que le second l'élément transversal (22) est attaché à la première poutre allongée (46) par le premier élément rigide (50 ) situé dans l'axe sensible YY' au niveau d'une partie centrale de la première poutre allongée (46), la seconde poutre allongée (48) étant attachée à un second bâti (30) par le deuxième élément rigide (52) situé dans l'axe sensible au niveau d'une partie centrale de la seconde poutre allongée (48), les deux extrémités situées d'un même coté des poutres allongées étant attachées respectivement, par le troisième élément rigide (54) et par le quatrième élément rigide (56). 7. Gyromètre selon la revendication 4, caractérisé en ce que chacun des éléments de rappel (62, 64) comporte trois poutres allongées (66, 68, 70) dans une direction perpendiculaire à l'axe sensible YY,' une première poutre allongée (66) étant attachée par une de ses extrémités à un l'élément transversal (20, 22), une deuxième poutre allongée (68) étant attachée par une de ses extrémités à un bâti (28, 30) et une troisième poutre allongée (70) étant attachée respectivement par l'une et par l'autre de ses deux extrémités à l'autre extrémité de la première (66) et de la deuxième (68) poutre allongée. 8. Gyromètre selon la revendication 7, caractérisé en ce que le premier élément transversal (20) est attaché à une première extrémité de la première poutre allongée (66) par un premier élément rigide (72) situé dans l'axe sensible YY' de l'élément sensible (60), la seconde poutre allongée (68) étant attachée par une de ses extrémités au premier bâti (28) par un deuxième élément rigide (74) situé dans l'axe sensible YY', la troisième poutre allongée (70) étant attachée par ses deux extrémités, respectivement par l'intermédiaire d'un troisième élément rigide (76), à l'autre extrémité de la première poutre allongée (66), et par l'intermédiaire d'un quatrième élément rigide (78) à l'autre extrémité de la deuxième poutre allongée (68), et en ce que le second élément transversal (22) est attaché à une des extrémités de la première poutre allongée (66) du second élément de rappel (64), par le premier élément rigide (72) situé dans l'axe sensible YY', la deuxième poutre allongée (68) étant attachée par une de ses extrémités au second bâti (30) par le deuxième élément rigide (74) situé dans l'axe sensible YY', la troisième poutre allongée (70) étant attachée par ses deux extrémités, respectivement par l'intermédiaire du troisième élément rigide (76) à l'autre extrémité de la première poutre allongée (66) et par l'intermédiaire du quatrième élément rigide (78) à l'autre extrémité de la deuxième poutre allongée (68). 9. Gyromètre selon l'une des revendications 2 8, caractérisé en ce que les attaches sont constituées par des poutres de courte longueur dans la direction de I 'axe sensible Oy de manière à présenter une forte résistance la torsion. 10. Gyromètre selon l'une des revendications 6 8, caractérisé en ce que les éléments rigides (50, 52, 54, 56, 72, 74, 76, 78) sont des poutres plus larges et plus courtes que les poutres allongées. 11. Gyromètre selon l'une des revendications 1 3, caractérisé en ce que l'élément sensible (80, 90) comporte une première paire de poutres d'excitation (82, 84) et une seconde paire de poutres d'excitation (86, 88), ces poutres d'excitation étant fixées à leurs extrémités situées d'un même coté sur un seul premier élément transversal (20), les autres extrémités de la première et de la seconde paire de poutres étant reliées respectivement aux masses m1 et m2, l'élément sensible (80, 90) comportant le seul élément de rappel (42, 62, 102) reliant une partie centrale du premier élément transversal (20) à un premier bâti (28). 12. Gyromètre selon l'une des revendications 1 3, caractérisé en ce que l'élément transversal (20, 22) et le bâti (28, 30) sont reliés par une cascade (102) d'éléments de rappel (42, 62), un premier élément de rappel (104) étant relié au premier l'élément transversal (20) de l'élément sensible (100) par un premier élément rigide (50), un suivant élément de rappel (106) étant relié au premier élément de rappel (104) par un élément rigide intermédiaire (108) et ainsi de suite jusqu'à un dernier élément de rappel (110) relié au bâti (28, 30) par un second élément rigide (52). 13. Gyromètre selon l'une des revendications 1 4, caractérisé en ce que l'élément de rappel (42, 44, 62, 64) est attaché d'une part à l'élément transversal (20, 22) par une première paire de petites poutres (120, 122) et d'autre part au bâti (28,30), par une seconde paire de petites poutres (124, 126) de dimensions très petites, selon l'axe sensible YY' et selon l'axe XX', par rapport à la longueur des poutres allongées, les deux petites poutres d'une paire étant situées de part et d'autre de l'axe sensible YY' et proches de cet axe.