Brevet FR2805904A1 — publié le 20010907

- P La présente invention concerne des dispositifs de réglage de débit massique. Dans la technique on connaît des dispositifs de réglage de débit massique pour régler la quantité spécifique d'écoulement d'un fluide, nécessaire pour un processus particulier, par exemple dans des procédés de fabrication de semiconducteurs, comme par exemple lors du dépôt chimique en phase vapeur ou analogue. On sait que les dispositifs de réglage de débit massique sont à même de détecter le débit qui traverse le dispositif de réglage et modifier ou régler ce débit comme cela s'avère nécessaire pour obtenir la commande requise de la masse du fluide amené au processus particulier. La détection du débit est fonction du type de fluide utilisé et de l'effet physique utilisé pour détecter la valeur du débit. Un type spécifique d'effet physique pour détecter le débit massique est de mesurer la différence de température entre des bobines du dispositif de chauffage/du capteur installées en amont et en aval et exposées à l'écoulement de fluide. Comme autre i15 système on peut utiliser des variations d'une pression absolue et/ou d'une pres- sion différentielle, une absorption de lumière ou une variation de la quantité de mouvement (par exemple une roue à palettes pour mesurer l'écoulement). La modification ou le réglage du débit est réalisé de façon typique en réponse au débit détecté étant donné qu'il est associé au débit désiré par modification d'une surface d'ouverture en coupe transversale disponible pour l'écoulement du fluide. Plus la surface disponible pour l'écoulement est petite, plus le débit massique est faible et vice versa. Par le passé, ceci a été réalisé au moyen d'un système typique à plongeur/diaphragme/orifice. Un orifice fournit une surface d'ouverture en coupe transversale variable pour l'écoulement, le réglage du débit étant fixé par le positionnement et le déplacement d'un piston/diaphragme ou d'une tige d'aiguille dans l'orifice en réponse à un signal de commande de débit. Le signal de commande de débit est produit en réponse à la mesure effectuée par le capteur de débit. Une section de servocommande produit un signal de commande qui commande le positionnement du piston/diaphragme ou de la tige d'aiguille, de façon typique moyennant l'utilisation d'un étage de commande du type à électro- aimant. L'étage de commande à électroaimant comporte un noyau ferro- magnétique entouré par une bobine. Le piston/diaphragme, qui est formé de façon typique d'un matériau ferromagnétique, est maintenu proche de l'ori- fice, au moyen d'un ressort. L'excitation de la bobine produit un champ magnétique qui écarte le piston/le diaphragme de l'orifice alors que le ressort l'attire vers l'orifice. La distance entre l'orifice et le piston/diaphragme dépend des intensités relatives du champ magnétique et du ressort. La soupape à commande proportionnelle n'est, de par sa nature, pas une soupape d'ouverture et de fermeture. Plus la tige de l'aiguille ou le piston/diaphragme est proche de l'orifice, plus le débit est limité, jusqu'à ce que l'écoulement soit interrompu, et plus la tige d'aiguille ou le piston/diaphragme est écarté, plus le débit augmente, jusqu'à ce qu'il n'affecte plus la quantité d'écoulement. Pour une commande de précision, il est nécessaire d'utiliser un circuit de commande complexe et coûteux pour commander le positionnement et le déplacement de la tige d'aiguille ou du piston/diaphragme lorsque le débit est réglé. Les parties elles-mêmes de la soupape doivent être fabriquées avec une grande précision et par conséquent sont coûteuses. En outre, les dispositifs de réglage de débit massique à soupapes électromagnétiques à commande proportionnelle de l'art antérieur requièrent que la tige d'aiguille ou le piston/ le diaphragme soit monté perpendiculairement à la direction de circulation du fluide. Par conséquent l'orifice est également monté perpendiculairement au trajet de circulation du fluide, et le fluide doit changer de position pour traverser l'orifice, ce qui produit une turbulence dans le fluide. Fréquemment, en particulier lorsqu'il est utilisé dans des procédés de fabrication de semiconducteurs de haute précision et analogues, le dispositif de réglage de débit massique fait partie d'un outil qui possède un espace limité disponible pour les dispositifs de réglage de débit, en particulier si l'on prévoit de multiples dispositifs de réglage de débit massique, qui sont disposés dans la zone immédiate de l'évacuation réelle du fluide dans la chambre de traitement de l'outil. C'est pourquoi il existe dans la technique un besoin de disposer d'un dispositif de réglage de débit massique qui soit plus simple, moins coûteux, plus petit et plus facile à fabriquer et à régler. Selon une forme de réalisation, la présente invention utilise un trajet de flux magnétique en boucle fermée, qui traverse le corps du dispositif de réglage dans la direction d'écoulement de son entrée à sa sortie pour actionner magnétiquement un dispositif à soupape-bouton à plongeur souple, qui est normalement sollicité dans sa position fermée, par un ressort. Un courant produit par une section de servocommande d'un dispositif de réglage de débit massique produit un flux magnétique pour écarter le dispositif de soupape à plongeur d'un orifice et permettre sa traversée par une plus grande quantité de fluide. En commandant la quantité de flux produite et de ce fait le positionne- ment du dispositif à soupape-bouton par rapport à l'orifice, on peut régler l'écoulement ou le débit traversant l'orifice. C'est pourquoi, une section de soupape de réglage proportionnelle séparée et de grande taille n'est plus nécessaire, ce qui conduit à un dispositif de réglage de débit massique plus compact, moins coûteux et plus fiable, dont la fabrication est moins coûteuse et qui possède un moins grand nombre de composants que les dispositifs de réglage de débit massique classiques décrits précédemment. Selon un aspect de l'invention il est prévu un dispositif de réglage de débit massique, caractérisé en ce qu'il comporte - une entrée pour l'écoulement, - un dispositif de by-pass possédant des première et seconde extrémités, la première extrémité étant couplée à l'entrée pour l'écoulement, - un dispositif à orifices couplé à la seconde extrémité du dispositif de by- pass, l'ensemble d'orifices comportant au moins une ouverture d'orifice, une sortie pour l'écoulement couplée au dispositif à orifices, et un générateur de champ magnétique branché entre l'entrée pour l'écoule- ment et la sortie pour l'écoulement et approximativement parallèle au dispositif de by-pass, le générateur de champ magnétique produisant un flux magnétique dans une direction s'étendant depuis la première extré- mité du dispositif de by-pass jusqu'à la seconde extrémité du dispositif de by-pass pour permettre un écoulement par la ou les ouvertures d'orifices. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comprend en outre une unité formant capteur en liaison fluidique avec le dispositif de by-pass, la direction d'écoulement dans l'unité formant capteur étant approximativement perpendiculaire à la direction d'écoulement dans ledit dispositif de by-pass. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre un mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort et branché entre le dispositif de by-pass et le dispositif à orifices et déplaçable dans la direction d'écoulement. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif à orifices comprend une plaque à orifices et que le mécanisme d'étanchéité est disposé entre le dispositif de by-pass et la plaque à orifices. Selon une autre caractéristique de l'invention, le mécanisme d'étanchéité comporte des orifices permettant un écoulement en direction de la plaque à orifices. Selon une autre caractéristique de l'invention, la ou les ouvertures d'orifices sont formées par un trou central. Selon une autre caractéristique de l'invention, la ou les ouvertures d'orifices sont formées par un ensemble annulaire de trous. i15 Selon une autre caractéristique de l'invention, la ou les ouvertures d'orifices sont formées par un ensemble annulaire de fentes. Selon une autre caractéristique de l'invention, le mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort ferme d'une manière étanche la ou les ouvertures d'orifices lorsqu'aucun flux magnétique n'est produit. Selon une autre caractéristique de l'invention, le mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort comprend un matériau magnétique. Selon une autre caractéristique de l'invention, la plaque à orifices com- prend un matériau amagnétique. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de by-pass comprend un matériau ferromagnétique. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de by-pass comprend un matériau magnétorésistif. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de by-pass comprend un matériau magnétorésistif poreux. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de by-pass comprend un noyau et une pluralité de trajets d'écoulement situés à l'extérieur du noyau. Selon une autre caractéristique de l'invention, la pluralité de trajets d'écoulement est formée par des tubes concentriques séparés par des nervures. Selon une autre caractéristique de l'invention, la pluralité de trajets d'écoulement est formée par des tubes longitudinaux. Selon une autre caractéristique de l'invention, la pluralité de trajets d'écoulement est formée par des canaux de section approximativement carrée. Selon une autre caractéristique de l'invention, la pluralité de trajets d'écoulement est formée par un matériau poreux. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre un aimant permanent fixé au mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort. Selon une autre caractéristique de l'invention, le flux magnétique traverse le dispositif de by-pass. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre: - un boîtier ferromagnétique qui entoure le dispositif de by-pass et qui est traversé par le flux magnétique, et - une rondelle amagnétique disposée entre le boîtier ferromagnétique et la sortie pour l'écoulement. Selon une autre caractéristique de l'invention, le générateur de champ magnétique entoure le dispositif de by-pass. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre: - un boîtier ferromagnétique qui entoure le générateur de champ magnétique et qui est traversé par le flux magnétique, et - une rondelle amagnétique disposée entre le boîtier ferromagnétique et la sortie pour l'écoulement. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre: - une première plaque montée entre l'entrée pour l'écoulement et une première extrémité du générateur de champ magnétique, et - une seconde plaque montée entre la sortie pour l'écoulement et une seconde extrémité du générateur de champ magnétique, le flux magnétique se propageant depuis la première extrémité du générateur de champ magnétique jusqu'à la première extrémité du dispositif de by-pass, jusqu'à la seconde extrémité du dispositif de by- pass et jusqu'à la seconde extrémité du générateur de champ magnétique. Selon une autre caractéristique de l'invention, la première plaque et la seconde plaque sont ferromagnétiques. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de by-pass comprend un noyau ferromagnétique et un manchon amagnétique. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de by-pass comprend un noyau amagnétique et un manchon ferromagnétique. Selon un autre aspect, l'invention a trait à un dispositif de réglage de débit massique, caractérisé en ce qu'il comporte - une entrée pour l'écoulement, - un dispositif de by-pass possédant des première et seconde extrémités, la première extrémité étant couplée à l'entrée pour l'écoulement, - un dispositif à orifices couplé à la seconde extrémité du dispositif de by- pass, l'ensemble d'orifices comportant au moins une ouverture d'orifice, - une sortie pour l'écoulement couplée au dispositif à orifices, et un géné- rateur de champ magnétique branché entre l'entrée pour l'écoulement et la sortie pour l'écoulement et approximativement parallèle au dispositif de by-pass, le générateur de champ magnétique produisant un flux magnétique dans une direction s'étendant depuis la seconde extrémité jusqu'à la première extrémité du dispositif de by-pass pour permettre un écoulement par la ou les ouvertures d'orifices. Selon un autre aspect l'invention a trait à un procédé de commande de débit au moyen d'un dispositif de réglage de débit massique comportant une entrée pour l'écoulement et une sortie pour l'écoulement, un dispositif de by- pass monté entre l'entrée et la sortie et un générateur de champ magnétique, le procédé consistant à: - produire un signal électrique en fonction d'un débit désiré et d'un débit mesuré et l'envoyer à un générateur de champ magnétique, - produire, en fonction du signal électrique, un flux magnétique, se dépla- çant dans une direction approximativement parallèle au dispositif de by- pass; et - en réponse au flux magnétique, régler la position d'un mécanisme d'étan- chéité par rapport à un orifice pour régler le débit passant par l'orifice. Selon une autre caractéristique de l'invention, le procédé consiste en outre à diriger un écoulement à travers l'unité formant capteur approximati- vement perpendiculairement à la direction d'écoulement traversant le dispositif de by-pass. Selon une autre caractéristique de l'invention, le réglage du mécanisme d'étanchéité s'effectue dans une direction approximativement parallèle à la direction d'écoulement. Selon une autre caractéristique de l'invention, en l'absence du flux magnétique, le mécanisme d'étanchéité ferme d'une manière étanche l'orifice. Selon une autre caractéristique de l'invention, le flux magnétique traverse le dispositif de by-pass pour écarter de l'orifice le mécanisme d'étanchéité. Selon une autre caractéristique de l'invention, le mécanisme d'étanchéité fait partie du dispositif de by-pass. Selon une autre caractéristique de l'invention, le flux magnétique traverse le dispositif de by-pass. Selon une autre caractéristique de l'invention, le flux magnétique se déplace à l'extérieur du by-pass. Selon un autre aspect l'invention concerne un dispositif de réglage de débit massique, caractérisé en ce qu'il comporte: - un orifice d'entrée pour l'écoulement, situé sur une extrémité inférieure du dispositif de réglage, - un orifice de sortie pour l'écoulement situé au niveau de l'extrémité inférieure du débitmètre, - une unité formant capteur reliée selon une liaison fluidique à l'orifice d'entrée et à l'orifice de sortie; - un premier canal pour véhiculer une première quantité de fluide depuis l'orifice d'entrée jusqu'à l'orifice de sortie; - un second canal pour véhiculer une seconde quantité de fluide à travers I'unité formant capteur, la seconde quantité étant inférieure à la première quantité, - un dispositif à orifices couplé à l'orifice de sortie, le dispositif à orifices possédant au moins une ouverture d'orifice, et - un générateur de champ magnétique monté entre le dispositif à orifices et le capteur, le générateur de champ magnétique produisant, en réponse à l'unité formant capteur, un flux magnétique dans une direction allant de l'unité formant capteur au dispositif à orifices pour permettre l'écoulement dans la ou les ouvertures d'orifices. Selon une autre caractéristique de l'invention, la direction d'écoulement à travers l'unité formant capteur est approximativement perpendiculaire à la direction de circulation du flux magnétique. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre un dispositif de by-pass monté entre l'unité formant capteur et le dispositif à orifices, le dispositif de bypass comprenant des rainures permettant la circulation d'un fluide. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre un mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort, monté entre le dispositif de by-pass et le dispositif à orifices et déplacçable dans la direction d'écoulement. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif à orifices comprend une plaque à orifices, et que le mécanisme d'étanchéité est situé entre le dispositif de by-pass et la plaque à orifices. Selon une autre caractéristique de l'invention, le mécanisme d'étanchéité possède des ouvertures permettant un écoulement jusqu'à la plaque à orifices. Selon une autre caractéristique de l'invention, au moins une ouverture d'orifices est formée par un trou central. Selon une autre caractéristique de l'invention, le mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort ferme d'une manière étanche la ou les ouvertures d'orifices lorsqu'aucun flux magnétique n'est produit. Selon une autre caractéristique de l'invention, le générateur de champ magnétique comprend: - un noyau d'électroaimant, et - une bobine d'électroaimant entourant le noyau de l'électroaimant, la bobine d'électroaimant comprenant un matériau ferromagnétique. Selon une autre caractéristique de l'invention, le flux magnétique traverse l'ensemble de by-pass. i 5 Selon un autre aspect l'invention concerne un dispositif de réglage de débit massique, caractérisé en ce qu'il comporte - un orifice d'entrée, un premier canal d'entrée en liaison fluidique avec l'orifice d'entrée, un second canal d'entrée en liaison fluidique avec le premier canal d'entrée, le second canal d'entrée étant plus petit que le premier canal d'entrée, - une unité formant capteur en liaison fluidique avec le second canal d'entrée, - un générateur de champ magnétique situé entre l'unité formant capteur et l'orifice d'entrée, - un canal de sortie en liaison fluidique avec l'unité formant capteur, - un orifice de sortie en liaison fluidique avec le canal de sortie, et - un dispositif à orifices situé entre le générateur de champ magnétique et l'orifice de sortie, le dispositif à orifices possédant au moins une ouver- ture et, en réponse au flux magnétique produit par le générateur et trans- mis de l'unité formant capteur à l'orifice de sortie, la ou les ouvertures s'ouvrent pour permettre l'écoulement du fluide en direction de l'orifice de sortie. Selon une autre caractéristique de l'invention, le générateur de champ magnétique est disposé approximativement parallèlement au premier canal et chevauche au moins partiellement le premier canal. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre un dispositif de by-pass disposé entre l'unité formant capteur et l'orifice de sortie. Selon une autre caractéristique de l'invention, la ou les ouvertures sont fermées de facçon étanche lorsqu'aucun flux magnétique n'est produit par le générateur de champ magnétique. Selon une autre caractéristique de l'invention, I'écoulement de fluide dans l'unité formant capteur est approximativement perpendiculaire à la direction de circulation du flux magnétique. i15 Selon une autre caractéristique de l'invention, l'orifice d'entrée et l'orifice de sortie sont situés sur la même extrémité du dispositif de réglage de débit massique. Selon une autre caractéristique de l'invention, le dispositif de réglage de débit massique comporte en outre un mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort, qui est disposé entre le dispositif de by-pass et le dispositif à orifices. Selon une autre caractéristique de l'invention, le mécanisme d'étanchéité comprend un matériau ferromagnétique. Selon un autre aspect l'invention concerne un procédé pour régler le débit au moyen d'un dispositif de réglage de débit massique possédant une entrée pour l'écoulement, une sortie pour l'écoulement, une unité formant capteur et un dispositif de by-pass, et un générateur de champ magnétique montés entre l'unité formant capteur et l'entrée et la sortie pour l'écoulement, le procédé consistant à introduire un fluide dans l'entrée pour l'écoulement, produire un signal électrique en fonction d'un débit désiré et d'un débit mesuré, pour l'envoyer au générateur de champ magnétique, produire, en fonction du signal électrique, un champ magnétique se déplacçant dans une direction approximativement parallèle au dispositif de by-pass, et, en réponse au flux magnétique, régler la position d'un mécanisme d'étanchéité par rapport à un orifice pour régler le débit passant par l'orifice, et - délivrer le fluide au niveau de la sortie pour l'écoulement dans une direction opposée à l'introduction du fluide. Selon un autre aspect, le procédé consiste en outre à diriger un écoulement à travers l'unité formant capteur approximativement perpendi- culairement à la direction d'écoulement à travers le dispositif de bypass. Selon un autre aspect, I'ajustement du mécanisme d'étanchéité s'effectue dans une direction approximativement parallèle à la direction d'écoulement. Selon un autre aspect, en l'absence du flux magnétique, le mécanisme d'étanchéité ferme d'une manière étanche l'orifice. Selon un autre aspect, le flux magnétique traverse le dispositif de bypass pour écarter de l'orifice le mécanisme d'étanchéité. Selon un autre aspect, le flux magnétique traverse le dispositif de bypass. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description donnée ci-après prise en référence aux dessins annexés, sur lesquels: - la Figure 1A représente un dispositif de réglage de débit massique de l'art antérieur; - la Figure l B représente un trajet du flux magnétique à travers un dispositif de réglage de débit massique de la Figure 1 A; - la Figure 2 représente une vue éclatée du dispositif de réglage de débit massique de la Figure 1 A; - la Figure 3A représente un dispositif de réglage de débit massique selon une forme de réalisation de la présente invention; - la Figure 3B représente un dispositif de by-pass de la Figure 3A selon une forme de réalisation; - les Figures 3C-3G représentent différentes formes de réalisation d'un dispositif de by-pass; - la Figure 3H représente le trajet du flux magnétique dans un dispositif de réglage de débit massique de la Figure 3A; - la Figure 4 représente une vue éclatée du dispositif de réglage de débit massique sur la Figure 3A; la Figure 5 montre une vue en coupe du dispositif de réglage de débit massique de la Figure 3A, selon la ligne de coupe A-A'; - la Figure 6A représente une vue en élévation latérale du dispositif à bouton et de la plaque à orifice, représentés sur les Figures 3A et 4; - la Figure 6B représente une vue en élévation latérale du dispositif à bouton et de la plaque à orifice selon une autre forme de réalisation; - les Figures 7A et 7B représentent des configurations différentes d'une plaque à orifice; et - la Figure 7C représente une vue en élévation latérale du dispositif à plaque à orifices à plongeur à bouton; - la Figure 8 représente une vue éclatée d'un dispositif de réglage de débit massique selon une autre forme de réalisation de la présente invention; - la Figure 9 représente un trajet du flux magnétique à travers un dispositif de réglage de débit massique selon une autre forme de réalisation de la présente invention; - la Figure 10 représente un trajet du flux magnétique traversant un dispo- sitif de réglage du débit massique selon une autre forme de réalisation de la présente invention; - la Figure 1 représente un dispositif de réglage de débit massique selon une autre forme de réalisation de la présente invention; - la Figure 12 représente le dispositif de réglage de débit massique de la Figure 1 1, pivoté de 90 autour de l'axe vertical; - la Figure 1 3 représente le dispositif de réglage de débit massique de la Figure 11 utilisant des vis de fixation; - la Figure 14 représente une vue éclatée d'une partie du dispositif de réglage de débit massique de la Figure 1 1, pivoté de 90 autour de l'axe perpendiculaire à l'axe vertical; - les Figures 15 et 16 représentent une partie du dispositif de by-pass selon deux formes de réalisation de la présente invention; - la Figure 17 représente un dispositif plongeur à bouton conformément à une forme de réalisation; - la Figure 18 représente une plaque à orifices selon une forme de réalisation; et - la Figure 19 représente le trajet du flux magnétique à travers le dispositif de réglage de débit massique des Figures 1l 1 et 12. Les mêmes symboles de référence sur différentes Figures désignent des éléments similaires ou identiques. Les Figures 1 A et 2 représentent un dispositif classique 10 de réglage de débit massique. La Figure 1 A représente le dispositif de réglage assemblé 10, tandis que la Figure 2 représente une vue éclatée de parties du dispositif de réglage 10. Le dispositif 10 de réglage de débit massique comporte trois sec- 1 5 tions principales: une section formant capteur 20, une section de soupape 30 et une section 40 formant bloc du dispositif de réglage de débit massique. Un raccord 11 d'entrée pour le fluide et un raccord 12 de sortie pour le fluide sont raccordés d'une manière étanche à des extrémités respectives d'entrée et de sortie de la section de bloc 40 par des joints toriques métalliques 13. On notera que d'autres joints d'étanchéité sont également appropriés, comme par exemple une arête de coupe, un joint torique, un joint en C et une garniture d'étanchéité plate, formés de matériaux tels qu'un métal, un polymère et un élastomère. Un capot 14, qui renferme la section formant capteur 20 et la section de soupape 30, est fixé aux raccords d'entrée et de sortie l 1 et 12 à I'aide de vis 15. Un gaz ou un fluide pénètre dans le raccord d'entrée 11 par une ouver- ture 16 formée dans ce raccord d'entrée. L'écoulement du fluide à travers le dispositif 10 de réglage du débit massique est représenté par les lignes noires sur la Figure 1A. L'ouverture 16 débouche dans un dispositif de by-pass 1 7, qui comporte un collecteur d'entrée 18 et un collecteur de sortie 19 et qui est situé dans la section de bloc 40. La section formant capteur 20 est fixée à la section de bloc 40 par l'intermédiaire de joints d'étanchéité appropriés 22. Bien qu'une majorité du fluide circule dans le dispositif de by-pass 17, une partie du fluide traverse la section formant capteur 20 le long d'un tube de capteur 23. Le dispositif de by-pass 17 limite l'écoulement du fluide le long de l'un d'une pluralité de canaux ou de rainures formés dans la surface extérieure de forme générale cylindrique du dispositif de by-pass 17 et pénètre dans le collecteur de sortie 19. Comme cela est connu dans la technique, ceci sert à produire un écoulement laminaire tel qu'une partie du fluide sortant du collecteur d'entrée 18 pour pénétrer dans la canalisation de dérivation 21 du capteur et dans la partie formant capteur 20 est linéairement proportionnel au fluide sortant du collecteur d'entrée 18 en direction du collecteur de sortie 19 en traversant la pluralité de canaux ou de rainures situés dans le dispositif de by-pass 17. La section formant capteur 20 comprend de façon typique de multiples bobines 24 enroulées autour du tube 23 du capteur. Lorsqu'un fluide circule à l'intérieur du tube 23 du capteur depuis une bobine amont chauffée jusqu'à 1 5 une bobine aval chauffée, qui sont équilibrés électriquement, une énergie thermique est transférée des bobines au fluide circulant. La quantité d'énergie thermique transférée des bobines au fluide est inversement proportionnelle à la température du fluide. Le transfert d'énergie thermique depuis la bobine amont et la bobine aval au fluide est disproportionné étant donné que la température du fluide est différente dans la bobine amont de ce qu'elle est dans la bobine aval. Cette différence de transfert de chaleur à partir de la bobine amont et de la bobine aval conduit à une différence de température entre les bobines, ce qui se manifeste par une variation de la résistance relative des deux bobines. Cette variation de résistance est directement proportionnelle à la quantité de l'écoulement de fluide à travers le tube 23 du capteur. De façon typique, un circuit à résistances (non représenté) , qui est couplé aux bobines amont et aval, est configuré de manière à former un réseau en pont équilibré, lorsqu'il n'existe aucun écoulement de fluide. Lorsque le fluide circule, la valeur résistive dans les bobines varie. Le réseau en pont mesure la variation de la valeur résistive dans les bobines et produit un signal correspon- dant à l'écoulement du fluide à travers le tube 23 du capteur. Un fluide provenant du dispositif de by-pass 17 et du tube 23 du capteur converge et pénètre dans un trajet de circulation du fluide 25. Le fluide circule dans le trajet de circulation du fluide 25 en traversant la section de soupape 30 et en sortant par une ouverture 26 située dans le raccord de sortie 12. La section de soupape 30 comprend un boîtier supérieur 31 qui entoure un dispositif de bobine enroulée 32 d'une soupape électromagnétique, qui est constituée par un ensemble polaire ou bouchon 33. L'ensemble polaire 33 possède un boîtier inférieur 34, qui est fixé, conjointement avec le boîtier supérieur 31, à la section de bloc 40 et est étanchéifié au moyen d'un joint torique 35 ou d'un autre joint d'étanchéité approprié. L'ensemble à bouton de plongeur 37, qui possède une surface d'étanchéité plane 46, est retenu dans une cavité située dans le boîtier inférieur 34 de l'ensemble polaire 33 par un anneau 36 de retenue du bouton de plongeur. L'anneau 36 de retenue du bouton de plongeur, le dispositif à bouton plongeur 37 et la bague 38 de précontrainte du dispositif de bouton de plongeur sont placés en aboutement contre une plaque à orifices 39, qui est reliée d'une manière étanche à la 1 5 partie de bloc 40 par une bague d'étanchéité torique 41 ou un autre joint d'étanchéité approprié. La plaque à orifices 39 comporte une ouverture 42, dans laquelle un fluide pénètre en provenance du trajet 25 de circulation du fluide, l'écoule- ment du fluide étant réglé par la position du dispositif à bouton de plongeur 37, par rapport à l'ouverture 42 de l'orifice. La position relative du dispositif de bouton de plongeur 37 est commandée par un flux magnétique produit dans le noyau 33 en réponse au signal produit par le bloc de capteur 20. La bobine 32 est retenue en place par un capuchon supérieur 33 et un écrou polaire 44. Le capuchon supérieur 43 est fermé de façon étanche par un joint torique 45. La Figure 1 b représente le trajet du flux magnétique du dispositif de réglage 10. Comme on le voit sur la Figure 1 B, le flux magnétique traverse la section de soupape 30 pour commander la position d'un dispositif de bouton de plongeur 37, et ne traverse aucun des éléments constitués par la section de capteur 20, le dispositif de by-pass 12 ou le bloc 40. Les Figures 3A et 4 représentent un dispositif de réglage de débit massi- que 300 selon une forme de réalisation de la présente invention. La Figure 3A représente un dispositif de réglage 300 à l'état assemblé, tandis que la Figure 4 représente une vue éclatée de parties du dispositif de réglage 300. Le dispositif 300 de réglage du débit massique inclut un raccord d'entrée 311 fixé à une plaque de flux magnétique d'entrée 312 de façon typique formé d'un matériau ferromagnétique, dans lequel le raccord d'entrée 311 et la plaque de flux magnétique d'entrée 312 possèdent tous deux une ouverture 313 dans laquelle le fluide pénètre, et un raccord de sortie 314 fixé à une plaque de flux magnétique de sortie 315, de façon typique formée d'un maté- riau ferromagnétique, le raccord de sortie 314 et la plaque de flux magnétique de sortie 31 5 possédant tous deux une ouverture 316 par laquelle le fluide sort. Un bloc 320 du dispositif de réglage de débit massique, réalisé de façon typique en un matériau non ferromagnétique, est étanchéifié entre la plaque de flux magnétique d'entrée 312 et la plaque de flux magnétique de sortie 31 5 par des bagues toriques 321 ou d'autres joints d'étanchéité appropriés, qui peuvent être réalisés en un métal, un métal plaqué, un matériau polymère ou un matériau élastomère. Le fluide traverse l'ouverture 31 3 pour pénétrer dans un dispositif de by- pass 317, réalisé de façon typique en un matériau ferromagnétique, par l'intermédiaire d'un trou de distribution 318. Le dispositif de by-pass 317 peut être une pièce monobloc comportant des rainures ou canaux longitudi- naux 350 formés dans ce dispositif ou bien dans d'autres formes de réalisation, le dispositif de by-pass peut être formé de plus d'une partie, comme représenté sur la Figure 3B. Par exemple, le dispositif de by-pass 317 peut être formé d'un noyau intérieur 355 et d'un manchon de sortie 360 comportant des rainures 350 formées le long de la périphérie extérieure. Le noyau intérieur 355 peut être formé d'un matériau ferromagnétique, tandis que le manchon extérieur 360 peut être un matériau amagnétique. Dans une autre forme de réalisation, le noyau intérieur 355 est réalisé en un matériau amagnétique, et le manchon extérieur 360 est formé d'un matériau ferro- magnétique. D'autres formes de réalisation d'un dispositif de by-pass 317 sont représentées sur les Figures 3C-3G. Dans chacune de ces formes de réalisation, un dispositif de by-pass 317 inclut un noyau ferromagnétique et des trajets qui sont disposés dans la direction longitudinale du dispositif de by-pass et qui permettent la circulation d'un fluide depuis une extrémité du dispositif jusqu'à l'autre. Sur la Figure 3C, le noyau ferromagnétique 355 est entouré par des tubes concentriques 361 maintenus en place par des nervures 362. Le fluide circule le long de canaux créés par des tubes concentriques 361 et des nervures 363. Sur la Figure 3D, le noyau ferromagnétique 355 est entouré par des tubes longitudinaux 363 disposés suivant une ou plusieurs couches et renfermés par un corps magnétique 364. Le fluide circule dans des tubes 363. Sur la Figure 3E, un noyau ferromagnétique 355 est entouré par une ou plusieurs feuilles stratifiées 365 comportant des canaux 366, qui peuvent être formés par stratification d'une feuille 367 pourvue de canaux sur une feuille plane 368. La feuille stratifiée 365 est alors enroulée autour du noyau ferro- magnétique 355. Des feuilles additionnels peuvent être enroulées autour d'une feuille intérieure de manière à former de multiples canaux, dans lesquels le fluide peut circuler. Sur la Figure 3F, le noyau ferromagnétique 355 est entouré par un matériau poreux 369, qui permet la circulation du fluide. Sur la Figure 3G, le noyau 365 est formé d'un matériau ferromagnétique poreux (fritté). Par conséquent le noyau 355 agit en tant que trajet à la fin pour le flux magnétique et pour l'écoulement de fluide traversant le dispositif de by- pass 317. En se référant à nouveau à la forme de réalisation de la Figure 3B, le fluide circule le long de rainures longitudinales d'écoulement le long de la périphérie extérieure de l'ensemble du dispositif de by-pass 31 7. Un fluide circule également dans les trous de distribution 318 en direction d'une canalisation d'entrée 319 du capteur de débit, formée à l'intérieur du bloc 320. La canalisation d'entrée 319 dirige l'écoulement en direction de l'unité formant capteur 322, qui est fixée au bloc 320 par des vis 323 et deux bagues toriques 324 ou d'autres joints d'étanchéité appropriés. Une bague torique 324 ferme d'une manière étanche l'interface entre l'unité formant capteur 322 et la canalisation d'entrée 319 du bloc 320, et la seconde bague torique 324 ferme d'une manière étanche l'interface entre l'unité formant capteur 322 et une ligne de sortie 325 formée dans le bloc 320. Un fluide provenant de la canalisation de sortie 325 et du dispositif de by-pass 317 traverse une entretoise de captage 326 du dispositif à bouton de plongeur, réalisée de façon typique en un matériau ferromagnétique, un dispositif de bouton de plongeur 327 (qui inclut un plongeur formé d'un matériau ferro- magnétique, un ressort et une surface d'étanchéité), une entretoise 328 de précontrainte du bouton de plongeur, une plaque à orifices 329 réalisée de façon typique en un matériau amagnétique et une bague torique métallique 330 ou un autre joint d'étanchéité pour l'orifice, et sort de l'orifice 316 pour pénétrer dans le raccord de sortie 314. Le dispositif de bouton de plongeur 327 et la plaque à orifices 329 sont représentés de façon plus détaillée sur la Figure 6A. L'entretoise de captage 326 du dispositif de bouton de plongeur fixe le dispositif de bouton de plongeur 327, une entretoise 328, une plaque à orifices 329 et un joint torique 330 dans une cavité formée dans la plaque de flux magnétique 31 5 de sortie. En outre, le dispositif 300 de réglage de débit massique selon l'invention comprend une unité de production de champ magnétique 340. L'unité de production de champ magnétique 340 inclut une bobine 341 et un noyau 342 inséré dans une ouverture cylindrique dans la bobine 341. Le noyau 342 1 5 est un bouchon cylindrique réalisé de façon typique en un matériau ferro- magnétique, qui est inséré dans des ouvertures formées dans la partie supé- rieure de la plaque de guidage du flux magnétique d'entrée 312 et de la plaque de guidage du flux magnétique de sortie 315. Le flux magnétique produit par l'unité 340 est dirigé par la plaque 312 de guidage du flux magnétique d'entrée, en direction du dispositif de by-pass 31 7 et du dispositif de bouton de plongeur 327 et retour par la plaque 315 de guidage du flux magnétique de sortie. La Figure 3H représente le trajet du flux magnétique dans le dispositif de réglage 300. Comme cela est visible sur la Figure 3H, le flux magnétique traverse essentiellement l'écoulement de fluide à l'intérieur du corps du dispositif de réglage 300, c'est-à-dire depuis la plaque 312 de gui- dage du flux magnétique d'entrée en direction de la plaque 31 5 de guidage du flux magnétique de sortie, en passant par le dispositif de by- pass 31 7. Ceci va à l'encontre et est à l'opposé du trajet de flux magnétique dans des dispositifs de réglage classiques, comme représenté sur la Figure 1 B. La Figure 5 est une vue en coupe du dispositif 300 de réglage du débit massique, considéré suivant la ligne de coupe A-A' sur la Figure 3A. La Figure montre que l'unité formant capteur 322 tourne approximativement de 90 par rapport à l'orientation du dispositif classique 30 de réglage du débit massique représenté sur les Figures 1A et 2. En d'autres termes, le fluide traversant l'unité formant capteur 322 est perpendiculaire à la direction de circulation du fluide dans le dispositif de by-pass 31 7 conforme à la présente invention, tandis que les directions d'écoulement sont parallèles au dispositif de réglage représenté sur les Figures 1A et 2. L'unité formant capteur 322 est connue d'une manière classique et est utilisée en tant que capteur thermique de débit massique. La majorité du fluide traverse le dispositif de by-pass 317 le long de rainures de circulation 350 formées longitudinalement sur la surface extérieure du dispositif de by-pass 317. Certains écoulements du fluide, depuis les trous de distribution 31 8 jusqu'à la canalisation d'entrée du capteur de débit pénètrent dans le tube 344 du capteur de débit. Une première bobine 345 de dispositif de chauffage/capteur et une seconde bobine 346 de dispositif de chauffage/capteur, qui sont connectées à des bornes 347, sont enroulées autour du tube 344 du capteur. Un courant circulant dans la première bobine 345 chauffe le fluide lorsqu'il traverse le tube 344 du capteur, au voisinage de la première bobine 345. Un courant traverse également la seconde bobine 346 enroulée autour du tube 344 du capteur dans la direction de circulation aval du fluide, c'est-à- dire en direction de la canalisation de sortie 325. Lorsque le fluide passe à l'intérieur de la seconde bobine 346, il s'échauffe. Cependant la quantité de chaleur transférée depuis les bobines 345 et 346 au fluide est différente étant donné que la température du fluide est différente dans les bobines 345 et 346. À son tour, ceci modifie la valeur résistive relative des bobines 345 et 346, qui est mesurée en tant que différence de tension dans un pont électrique (c'est-à-dire un pont de Wheatstone). Cette différence de tension correspond à la quantité de débit massique du fluide circulant dans le tube 344 du capteur et proportionnellement dans le dispositif de by-pass 317. L'unité 300 du dispositif de réglage inclut un circuit électronique, non représenté, servant à calculer le débit massique sur la base de la variation détectée de tension. Une section de servocommande du dispositif de réglage 300 produit alors un signal de courant pour l'unité 340 de production du champ magnétique, qui à son tour produit un flux magnétique proportionnel au signal de manière à déplacer le dispositif de bouton de plongeur 327 pour régler le débit. Le système de servocommande produit un courant dans la bobine pour produire un flux magnétique suffisant jusqu'à ce que le signal d'erreur soit réduit ou approximativement nul. De tels systèmes sont classiques et connus des spécialistes de la technique. La Figure 6A représente de facçon plus détaillée un dispositif de bouton de plongeur 327 et une plaque à orifices 329 conformément à une forme de réalisation. La plaque à orifices 329 est d'une manière générale plane sur ses deux faces, la face tournée vers le dispositif de bouton 327 possédant une partie tronconique 600. La partie tronconique 600 possède une ouverture 610 qui traverse une plaque à orifices 329 de telle sorte qu'un fluide peut traverser la plaque à orifices 329 en direction de l'ouverture 316 située dans le raccord de sortie 314. Le dispositif de bouton de plongeur 327 possède une surface d'étanchéité lisse et plane 620 qui est en appui sur la partie tronconique 600. Le dispositif de bouton de plongeur 327 possède également des ouvertures 331 situées à l'extérieur de la surface d'étanchéité 620 pour i 5 permettre le passage du fluide. L'entretoise 328 (représentée sur la Figure 4) est positionnée entre le dispositif de bouton de plongeur 327 et la plaque à orifices 329. L'entretoise 328 est destinée à créer une compression d'une valeur appropriée entre le dispositif de bouton de plongeur 327 et la partie tronconique 600 en permettant à l'entretoise de captage 326 du dispositif de bouton de plongeur 327 de provoquer une flexion à un degré désiré du ressort 625 dans ce dispositif de bouton de plongeur. Plus l'entretoise 328 est mince, plus la flexion du ressort 625 dans le dispositif de bouton de plongeur 327 est élevée et par conséquent plus une pression élevée est créée entre le dispositif de bouton de plongeur 327 et la partie tronconique 600. Le fluide circule dans les ouvertures 331 autour des bords extérieurs de la surface 620 ainsi qu'autour des bords extérieurs du dispositif de bouton de plongeur 327 ainsi qu'autour des bords extérieurs du dispositif de bouton de plongeur 327 de sorte que du fluide peut circuler depuis le dispositif de by- pass 317 en direction de l'ouverture 610 de la plaque à orifice 329. La quantité de fluide pénétrant dans l'ouverture 610 dépend de la position du dispositif de bouton de plongeur 327 en rapport avec la plaque à orifices 329. Lorsque la force d'attraction appliquée au dispositif de bouton de plongeur 327, qui est créée par le flux magnétique, augmente, le dispositif de bouton de plongeur 327 est écarté de la plaque à orifices 329, ce qui augmente la quantité du fluide pénétrant dans l'ouverture 610. Cependant, lorsque la force diminue, le ressort repousse le dispositif de bouton 327 en direction de la plaque à orifices 329, ce qui réduit l'écoulement de fluide pénétrant dans I'ouverture 610. La force élastique du ressort doit être aussi faible que possi- ble, en étant encore suffisante pour fermer de façon étanche l'ouverture 610 de manière à produire un écoulement nul à travers l'ouverture 610. L'ex- pression "écoulement nul" désigne un écoulement correspondant à moins de 0,5 % de la gamme du dispositif de réglage de débit massique. La Figure 6B représente une autre forme de réalisation du dispositif de bouton de plongeur 327, dans lequel un aimant 626 est fixé au côté du dispositif de bouton de plongeur situé à l'opposé de la surface d'étanchéité 620. En modifiant la direction et l'amplitude du flux traversant le dispositif de by-pass 317, le dispositif de bouton de plongeur 327 peut être écarté ou rapproché de la plaque à orifices 329, ce qui commande le débit du fluide traversant la plaque à orifices 329. Par exemple, si le flux magnétique crée un pôle sur l'extrémité du dispositif de by-pass 31 7, qui a une polarité opposée à celle de l'élément 626, la force de traction entre le dispositif de by-pass 31 7 et le dispositif de bouton de plongeur 327 (par l'intermédiaire de l'aimant 626) écarte le dispositif de bouton de plongeur de la plaque à orifices 329, ce qui permet un écoulement du fluide. Si le flux magnétique crée un pôle qui possède la même polarité que l'élément 626, le dispositif de by-pass 31 7 repousse à force le dispositif de bouton de plongeur 327 dans la plaque à orifices 329, ce qui interrompt l'écoulement du fluide. Par conséquent, en fonction de l'intensité de la direction du flux et de la force de l'élément 626, * on peut obtenir un écoulement ou débit de fluide désiré. Dans les formes de réalisation décrites précédemment, I'ouverture 610 formée dans la plaque à orifices 329 est un trou traversant central. Cepen- dant, dans d'autres formes de réalisation, l'ouverture 610 peut être un ensem- ble annulaire de fentes 700 (représenté sur la Figure 7A) ou de trous 710 (représenté sur la Figure 7B) ou une combinaison des deux. Dans ces formes de réalisation, l'ensemble annulaire de trous ou de fentes s'étend à travers des parties saillantes 720 de la plaque à orifices 329, représentée sur la Figure 7C. Le dispositif de bouton de plongeur 327 possède un trou central 730 ou des fentes (non représentées) et une surface d'étanchéité 740, qui vient en butée contre les parties saillantes 720 de la plaque à orifices 329. En l'absence de flux magnétique, les parties saillantes 720 sont rendues étanches contre la surface d'étanchéité 740, empêchant ainsi le fluide de s'écouler à travers les trous ou les fentes de la plaque à orifices 329. Quand un flux magnétique est généré, le dispositif de bouton de plongeur 327 est écarté de la plaque à orifice 329 pour permettre l'écoulement du fluide à travers la plaque à orifices 329. Du fluide s'écoule à travers les trous 730 du dispositif de bouton de plongeur 327 et des trous ou des fentes 750 sur le bord externe de la surface d'étanchéité 740 aussi bien que depuis le périmètre externe du dispositif de bouton de plongeur 327 sur les ouvertures de la plaque à orifices 329. La taille et le nombre de fentes 700 ou de trous 710 peuvent être choisis de manière à régler le dispositif de réglage de débit massique sur un 1 5 débit désiré. Pour un débit désiré, la surface des fentes (Figure 7A) ou des trous (Figure 7B) doit être réduite pour réduire la contre-pression, ce qui conduit à ce qu'une force moins élevée est nécessaire (flux magnétique réduit et par conséquent courant réduit) pour déplacer le dispositif de bouton de plongeur 327. Cependant cette zone ne doit pas être réduite au point qu'il se produise un blocage lorsqu'un fluide essaie de traverser la plaque à orifices 329. Un blocage peut également se produire dans la zone périphérique des fentes ou des trous. C'est pourquoi la zone périphérique des fentes ou des trous doit être supérieure ou égale à la surface en coupe transversale des fentes ou des trous. En se référant aux Figures 7A-7C, la zone périphérique peut être définie comme étant le périmètre des fentes ou des trous multiplié par une distance de déplacement d. La distance d est la distance maximale entre le dispositif de boutons de plongeur 327 et l'extrémité de parties saillants 720 pour un débit donné, comme représenté sur la Figure 7C. C'est pourquoi, pour un débit donné et une surface en coupe transversale donnée des fentes 700, la surface périphérique des fentes peut être rendue égale ou supérieure à la surface en coupe transversale des fentes soit par augmentation du périmètre des fentes, soit par augmentation de la distance d. Une distance d accrue requiert une force magnétique plus intense pour obtenir le débit désiré. D'autre part l'augmentation du périmètre des fentes, qui peut être exécutée par accroissement de la longueur des fentes et réduction de la largeur des fentes permet un accroissement de la zone péri- phérique des fentes sans modification de la surface en coupe transversale des fentes. Par conséquent la contre-pression n'est pas accrue ou réduite de façon nuisible. Cependant, on ne peut pas produire le même effet en utilisant des trous à la place de fentes étant donné qu'un accroissement du périmètre ou de la circonférence des trous augmente également la surface en coupe transversale des trous. La Figure 8 représente une autre forme de réalisation de la présente invention, dans laquelle le dispositif de by-pass 31 7 est réalisé en un matériau magnétorestrictif, à la place d'un matériau ferromagnétique indiqué précé- demment. L'extrémité du dispositif de by-pass 317 tournée vers la plaque 315 de guidage du flux magnétique de sortie, est fixée à un dispositif d'étanchéité 800 comportant des trous 805 permettant le passage d'un fluide, et une zone d'étanchéité 810 qui est en aboutement contre la plaque à orifice 329 pour empêcher qu'un fluide passe dans l'ouverture 610 formée dans la plaque à orifices 329. Dans la position sollicitée normalement, le dispositif d'étanchéité 800 est en butée contre la plaque à orifices 329 lorsqu'un flux magnétique suffisant est produit pour fermer de facçon étanche l'ouverture 610. Le flux magnétique se déplace depuis la plaque 312 de guidage du flux magnétique d'entrée en direction de la plaque 315 de guidage du flux magnétique de sortie, en passant par le dispositif de by-pass 31 7 et le dispositif d'étanchéité 800. Lorsque le flux magnétique est réduit, le matériau magnéto- restrictif se contracte, ce qui permet au fluide de passer dans l'ouverture 610 formée dans la plaque à orifice 329. Ensuite, lorsque le flux magnétique augmente, le dispositif de by-pass 31 7 se dilate jusqu'à ce que le dispositif d'étanchéité 800 ferme d'une manière étanche l'ouverture 610. Cela permet d'éliminer le dispositif de bouton de plongeur 327 et l'entretoise de pré- contrainte 328 du dispositif de bouton de plongeur de la Figure 4. Dans les formes de réalisation décrite précédemment, le flux magnétique traverse le dispositif de by-pass 317. Dans d'autres formes de réalisation, représentées sur les Figures 9 et 1 0, le trajet du flux magnétique traverse le corps du dispositif de réglage de débit massique. Sur la Figure 9, le trajet du flux magnétique (représenté sous la forme d'une ligne noire en trait plein) traverse le noyau 342, circule le long de la plaque 312 de guidage du flux magnétique d'entrée, traverse le bloc 320 du dispositif de réglage de débit massique, qui dans cette forme de réalisation est réalisée de façon typique en un matériau ferromagnétique, traverse le dispositif à bouton de plongeur 327 et revient par la plaque 304 de guidage du flux magnétique de sortie. Une plaque ou rondelle 910 de séparation du flux magnétique, formée de façon typique d'un matériau amagnétique, est située entre le bloc 320 des dispositifs de réglage de débit massique et la plaque 315 de guidage du flux magnétique de sortie de sorte que le flux magnétique se déplace à travers le dispositif de bouton de plongeur 327 pour commander le débit du fluide traversant la plaque à orifice 329. Sur la Figure 10, la bobine 341 est enroulée autour du bloc 320 du dispositif de réglage de débit massique. Le bloc 320 du dispositif de réglage de débit massique, qui est formé de facçon typique d'un matériau ferromagnétique, ferme le dispositif de by-pass 31 7. Un capot extérieur 100, qui est réalisé de façon typique en un matériau ferromagnétique, entoure la bobine 341 et le bloc 320. De la même manière que sur la Figure 9, la plaque ou la rondelle 910 de séparation du flux magnétique sépare le bloc 320 du dispositif de réglage du débit massique de la plaque 315 de guidage du flux magnétique de sortie. Par conséquent, comme représenté sur la Figure 10, le flux magnétique produit (représenté sous la forme d'une ligne noire en trait plein) traverse le bloc 320 pour atteindre le dispositif de bouton de plongeur 327, en montant à travers la plaque 315 de guidage du flux magnétique de sortie en circulant le long du capot extérieur 100 et en descendant à travers la plaque 312 de guidage du flux magnétique d'entrée. On notera que dans les formes de réalisation représentées sur les Figures 9 et 10, un fluide traverse la section formant capteur 20 (Figures 1 A et 1 B) parallèlement à l'écoulement de fluide traversant le dispositif de by-pass 317. Cependant, les formes de réalisation représentées sur les Figures 9 et 10 sont également appropriées avec une unité formant capteur 322 (Figures 3A et 5) quipermet au fluide de circuler perpendiculairement à un écoulement du fluide traversant le dispositif de by-pass 31 7. Les Figures 11-19 représentent un dispositif 920 de réglage du débit massique à l'état assemblé, conformément à une autre forme de réalisation de la présente invention, la Figure 14 représentant une vue éclatée de parties du dispositif 920 de réglage du débit massique, pivoté de 90 par rapport à la Figure 11. En référence aux Figures 11 et 14, le dispositif 920 de réglage du débit massique comporte trois sections principales: une section formant bloc 921 du dispositif de réglage, une section de bypass/de soupape 922 et une section à capteur 923. La section de bypass/de soupape 922 comportant un noyau d'électroaimant 924 et une bobine d'électroaimant 925 sont logées dans la section de bloc 921. Un capot 926 recouvre une plaquette à circuits imprimés de commande électronique (PCB) 927 et une section formant capteur 923. Le dispositif 920 de réglage de débit massique est fixé à et étanchéifié par rapport à un bloc de montage en surface, comme par exemple desvis 928 (Figure 13) et des joints d'étanchéité d'entrée/sortie de fluide 929. i 5 En référence à la Figure l 1, un fluide pénètre par l'orifice d'entrée 930 et circule dans un canal 931 pour pénétrer dans un collecteur d'entrée 932 situé dans le bloc 921, qui est réalisé de facçon typique en un matériau non ferromagnétique. En cet endroit, le fluide est divisé, une majorité du fluide circulant dans les rainures/canaux longitudinaux 933 (Figures 14-16) formés dans la surface extérieure de forme générale cylindrique du corps de by- pass/soupape 934, formée de facçon typique d'un matériau ferromagnétique. Dans différentes formes de réalisation, des rainures/canaux 933 peuvent être formés directement sur le corps de by-pass/soupape 934 (Figure 14), sur un manchon 935 (Figure 15), lorsque le manchon est formé d'un matériau poreux qui agit en tant que rainures/canaux 933, ou sur la surface intérieure du bloc 921 (Figure 16). Le dispositif de by- pass/soupape 922, qui inclut un corps de by-pass/soupape 934, est fixé au bloc 921 comme par exemple par des vis 936 (Figure 13) et des joints d'étanchéité 937 et 967 (Figures 11 et 14). Par conséquent dans le dispositif de by-pass/soupape 922 à l'intérieur du bloc 921, le fluide pénètre depuis l'orifice 930 d'entrée du fluide dans le collecteur d'entrée de fluide 932 pour atteindre un collecteur de sortie 938. En référence aux Figures i 1 à 14 et 19, une section formant capteur 923 est fixée au dispositif de by-pass/soupape 922, comme par exemple par des vis 939 et des joints d'étanchéité 940, et peut être montée avec n'importe quelle orientation sur 360 , essentiellement perpendiculairement au trajet du flux, comme représenté sur la Figure 19. La section formant capteur 923 inclut des capteurs thermiques de débit massique connus et utilisés de façon classique. En référence à la Figure 12, la partie plus petite du fluide divisé circule dans un canal 941 situé dans le corps de by-pass/soupape 934 pour pénétrer dans un tube 942 du capteur et sort du tube 942 du capteur pour pénétrer dans un canal 943 situé dans le corps de by-pass/soupape 934 et circule dans un canal 944 situé à l'intérieur du bloc 921, en rencontrant finalement la partie principale du fluide divisé, au niveau de l'extrémité de sortie du dispositif de by-pass/soupape 922 au niveau d'un collecteur de sortie 938. Une première bobine de dispositif de chauffage/capteur 945 est enroulée autour du tube 942 du capteur, qui est connecté à des bornes 946. Le courant circulant dans la première bobine 945 chauffe un fluide lorsqu'il passe dans le tube 942 du capteur au voisinage de la première bobine 945. Un courant circule également dans une seconde bobine 947 enroulée autour du tube 942 du capteur dans la direction de circulation aval du fluide, c'est-à-dire en direction du canal 943. Lorsque le fluide circule le long de la seconde bobine 947, il s'échauffe. Cependant la quantité de chaleur transférée des bobines 945 et 947 au fluide est différente étant donné que la température du fluide est différente au niveau des bobines 945 et 947. À son tour ceci modifie la valeur résistive relative des bobines 945 et 947, qui est mesurée en tant que différence de tension dans un pont élec- trique (par exemple un point de Wheatstone). Cette différence de tension correspond au débit du fluide circulant dans le tube 942 du capteur, et proportionnellement à travers le dispositif de by-pass/soupape 922. Le dispo- sitif 920 de réglage de débit inclut une plaquette PCB de commande électro- nique 927 pour calculer le débit sur la base de la variation de tension détectée. Le dispositif de by-pass/soupape 922 contient un noyau 924, réalisé de façon typique en un matériau ferromagnétique, entouré par une bobine d'électroaimant 925. Une extrémité du noyau 924 est en contact intime avec un pôle de soupape 948, réalisé de façon typique en un matériau ferro- magnétique. L'autre extrémité du noyau 924 est en contact intime avec un capuchon d'électroaimant 942, réalisé de façon typique en un matériau ferromagnétique. À son tour le capuchon 949 est en contact intime avec le corps de by-pass/soupape 934. Le pôle de soupape 948 est séparé du corps de by-pass/soupape 934 par un anneau d'isolation de flux 950, réalisé de façon typique en un matériau non ferromagnétique. Une section de servocommande électronique sur la plaquette PCB 927 produit un signal de courant (en fonction du débit actuel et du débit désiré) pour la bobine d'électroaimant 925, qui à son tour produit un flux magné- tique proportionnel au signal pour déplacer un dispositif de bouton de plon- geur 951 (représenté de façon plus détaillée sur la Figure 17) pour commander le débit comme cela sera décrit plus loin de façon plus détaillée. Le système de servocommande produit un courant circulant dans la bobine 925 pour produire un flux magnétique suffisant jusqu'à ce que le signal d'erreur (différence entre le débit désiré et le débit actuel) soit réduit ou soit égal approximativement à zéro. Une plaque à orifices 952, telle que représentée sur la Figure 18, réali- sée de façon typique en un matériau non ferromagnétique, est d'une manière générale plane au niveau de ses deux faces, la face tournée vers le dispositif de bouton de plongeur 951 possédant une partie tronconique 953. La partie tronconique 953 possède une ouverture 954 qui traverse la plaque à orifices 952, de sorte qu'un fluide peut traverser la plaque à orifice 952 pour atteindre un canal de sortie de fluide 955 et pénétrer dans un orifice de sortie 956. Le dispositif de bouton de plongeur 951 tel que représenté sur la Figure 17 possède une surface d'étanchéité lisse et plane 957 qui est en appui sur la partie tronconique 953. Une entretoise 958 de précontrainte d'un ressort est positionnée entre le dispositif de bouton de plongeur 951 et la plaque à orifice 952 comme cela est représenté sur les Figures i 1 et 1 4. L'entretoise 958 est destinée à créer une compression d'une valeur appropriée entre le dispositif de bouton de plongeur 951 et la partie tronco- nique 953 en permettant à une entretoise de capteur 960 du bouton de plongeur de faire fléchir à un degré désiré un ressort 959 situé dans le dispositif de bouton de plongeur 951. Plus l'entretoise 958 est mince, plus la flexion du ressort 959 dans le dispositif de bouton de plongeur 951 est élevée et par conséquent on obtient une compression plus élevée entre le dispositif de bouton de plongeur 951 et la partie tronconique 953. À partir du collecteur de sortie 938, le fluide traverse les rayons/canaux 961 (Figure 18) formés dans la plaque à orifices 952 et pénètre dans l'ouverture 954. La quantité de fluide pénétrant dans l'ouverture 954 dépend du positionnement du dispositif de bouton de plongeur 951 par rapport à la plaque à orifices 952. Lorsque la force d'attraction appliquée au dispositif de bouton de plongeur 951, qui est créée par le flux magnétique, augmente, le dispositif de bouton de plongeur 951 est écarté de la plaque à orifices 952, ce qui augmente le volume de fuite pénétrant dans l'ouverture 954. Cependant, lorsque la force augmente, le ressort 959 repousse le dispositif de bouton de plongeur 951 vers la plaque à orifices 952 ce qui entraîne une réduction de l'écoulement de fluide dans l'ouverture 954. Le fluide réglé provenant de l'ouverture 954 circule ensuite dans un canal de sortie de fluide 955 et sort 1 5 par l'orifice de sortie 956. Bien que l'invention ait été décrite en référence à des formes de réalisa- tion particulière, la description n'est qu'un exemple de l'application de l'invention et ne doit pas être considérée comme étant limitative. Par exemple la description donnée ci-dessus décrit le flux magnétique se déplaçant de l'entrée jusqu'à la sortie. Cependant le flux magnétique peut également se déplacer depuis la sortie jusqu'à l'entrée dans la direction du dispositif de by- pass pour le réglage du débit. Les concepts décrits précédemment peuvent être modifiés pour l'ouverture ou la fermeture du trajet du fluide en réponse à la présence du flux magnétique. Par conséquent, différentes adaptations et combinaisons caractéristiques des formes de réalisation décrites entrent dans le cadre de la présente invention. LÉGENDES DES FIGURES FIGURES 1A À 3G: Pas de légendes FIGURE 1 B: a. trajet du flux Figure 3H: a. Trajet du flux b. Interstice d'air FIGURES 4 À 6B: Pas de légendes FIGURE 7C: a. Fluide FIGURES 7A À 8: Pas de légendes FIGURES 9 ET 10: a. Trajet du flux magnétique FIGURES 1 1 À 18: Pas de légendes FIGURE 19: a. Trajet du flux REVENDICATIONS 1. Dispositif de réglage de débit massique, caractérisé en ce qu'il comporte: - une entrée (313) pour l'écoulement, - un dispositif de bypass (31 7) possédant des première et seconde extré- mités, la première extrémité étant couplée à l'entrée pour l'écoulement, - un dispositif à orifices (329) couplé à la seconde extrémité du dispositif de by-pass, le dispositif à orifices comportant au moins une ouverture d'orifice (610, 700, 710, 730), - une sortie (316) pour l'écoulement couplée au dispositif à orifices, et un générateur de champ magnétique (340) branché entre l'entrée pour l'écoulement et la sortie pour l'écoulement et approximativement paral- lèle au dispositif de by-pass (317), le générateur de champ magnétique (340) produisant un flux magnétique dans une direction s'étendant depuis la première extrémité du dispositif de by-pass (31 7) jusqu'à la seconde extrémité du by-pass pour permettre un écoulement par la ou les ouvertures d'orifices. 2. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, com- prenant en outre une unité formant capteur (322) en liaison fluidique avec le dispositif de by-pass (317), la direction d'écoulement dans l'unité formant capteur étant approximativement perpendiculaire à la direction d'écoulement dans ledit dispositif de by-pass. 3. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un mécanisme d'étanchéité (800) sollicité par un ressort et branché entre le dispositif de by-pass (317) et le dispositif à orifices (329) et déplaçable dans la direction d'écoulement. 4. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 3, caractérisé en ce que le dispositif à orifices (329) comprend une plaque à ori- fices et que le mécanisme d'étanchéité est disposé entre le dispositif de by-pass (317) et la plaque à orifices. 5. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 3, caractérisé en ce que le mécanisme d'étanchéité (800) comporte des orifices (805) permettant un écoulement en direction de la plaque à orifices (329). 6. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la ou les ouvertures d'orifices sont formées par un trou central (730). 7. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la ou les ouvertures d'orifices sont formées par un ensemble annulaire de trous (710). 8. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la ou les ouvertures d'orifices sont formées par un ensemble annulaire de fentes (700). 9. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 3, caractérisé en ce que le mécanisme d'étanchéité (800) sollicité par un ressort ferme d'une manière étanche la ou les ouvertures d'orifices lorsqu'aucun flux magnétique n'est produit. 10. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 3, caractérisé en ce que le mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort com- prend un matériau magnétique. 1 1. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 4, caractérisé en ce que la plaque à orifices (329) comprend un matériau ama- gnétique. 12. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de by-pass (31 7) comprend un matériau ferromagnétique. 13. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de by-pass (31 7) comprend un matériau magnétorésistif. 14. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de by-pass (317) comprend un matériau magnétorésistif poreux. 15. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif de by-pass (31 7) comprend un noyau (355) et une pluralité de trajets d'écoulement (361) situés à l'extérieur du noyau. 16. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 15, caractérisé en ce que la pluralité de trajets d'écoulement est formée par des tubes concentriques (361) séparés par des nervures (362). 17. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 15, caractérisé en ce que la pluralité de trajets d'écoulement est formée par des tubes longitudinaux (363). 1 0 1 8. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 15, caractérisé en ce que la pluralité de trajets d'écoulement est formée par des canaux de section approximativement carrée. 19. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 15, caractérisé en ce que la pluralité de trajets d'écoulement est formée par un matériau poreux. 20. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un aimant permanent fixé au méca- nisme d'étanchéité (800) sollicité par un ressort. 21. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le flux magnétique traverse le dispositif de bypass (317). 22. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre: - un boîtier ferromagnétique qui entoure le dispositif de by-pass (317) et qui est traversé par le flux magnétique, et - une rondelle amagnétique disposée entre le boîtier ferromagnétique et la sortie pour l'écoulement. 23. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le générateur de champ magnétique (340) entoure le dispositif de by-pass (31 7). 24. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 23, caractérisé en ce qu'il comporte en outre: - un boîtier ferromagnétique qui entoure le générateur de champ magné- tique (340) et qui est traversé par le flux magnétique, et - une rondelle amagnétique disposée entre le boîtier ferromagnétique et la sortie pour l'écoulement. 25. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre: - une première plaque (312) montée entre l'entrée pour l'écoulement et une première extrémité du générateur de champ magnétique (340), et - une seconde plaque (315) montée entre la sortie pour l'écoulement et une seconde extrémité du générateur de champ magnétique, le flux magnétique se propageant depuis la première extrémité du générateur de champ magnétique (340) jusqu'à la première extrémité du dispositif de by-pass (317), jusqu'à la seconde extrémité du dispositif de by-pass et jusqu'à la seconde extrémité du générateur de champ magnétique. 26. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 25, caractérisé en ce que la première plaque (312) et la seconde plaque (315) sont ferromagnétiques. 27. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 12, caractérisé en ce que le dispositif de by-pass (317) comprend un noyau ferromagnétique (355) et un manchon amagnétique. 28. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 12, caractérisé en ce que le dispositif de by-pass (17) comprend un noyau ama- gnétique (355) et un manchon ferromagnétique (160). 29. Dispositif de réglage de débit massique, caractérisé en ce qu'il comporte: - une entrée pour l'écoulement, - un dispositif de by-pass (317) possédant des première et seconde extré- mités, la première extrémité étant couplée à l'entrée pour l'écoulement, un dispositif à orifices (329) couplé à la seconde extrémité du dispositif de by-pass, I'ensemble d'orifices comportant au moins une ouverture d'orifice, - une sortie pour l'écoulement couplée au dispositif à orifices, et un géné- rateur de champ magnétique (340) branché entre l'entrée pour l'écoulement et la sortie pour l'écoulement et approximativement parallèle au dispositif de by-pass (31 7), le générateur de champ magné- tique produisant un flux magnétique dans une direction s'étendant depuis la seconde extrémité iusqu'à la première extrémité du dispositif de by- pass pour permettre un écoulement par la ou les ouvertures d'orifices. 30. Procédé de commande de débit au moyen d'un dispositif de réglage de débit massique comportant une entrée pour l'écoulement et une sortie pour l'écoulement, un dispositif de by-pass monté entre l'entrée et la sortie et un générateur de champ magnétique, le procédé consistant à: - produire un signal électrique en fonction d'un débit désiré et d'un débit mesuré et l'envoyer à un générateur de champ magnétique, - produire, en fonction du signal électrique, un flux magnétique, se dépla- çant dans une direction approximativement parallèle au dispositif de by- pass; et - en réponse au flux magnétique, régler la position d'un mécanisme d'étan- chéité par rapport à un orifice pour régler le débit passant par l'orifice. 31. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce qu'il consiste en outre à diriger un écoulement à travers l'unité formant capteur approximati- vement perpendiculairement à la direction d'écoulement traversant le dispositif de by-pass. 32. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce que le réglage du mécanisme d'étanchéité s'effectue dans une direction approximativement parallèle à la direction d'écoulement. 33. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce qu'en l'absence du flux magnétique, le mécanisme d'étanchéité ferme d'une manière étanche l'orifice. 34. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que le flux magnétique traverse le dispositif de by-pass pour écarter de l'orifice le mécanisme d'étanchéité. 35. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce que le mécanisme d'étanchéité fait partie du dispositif de by-pass. 36. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce que le flux magnétique traverse le dispositif de by-pass. 37. Procédé selon la revendication 30, caractérisé en ce que le flux magnétique se déplace à l'extérieur du by-pass. 38. Dispositif de réglage de débit massique, caractérisé en ce qu'il comporte: - un orifice d'entrée (311) pour l'écoulement, situé sur une extrémité inférieure du débitmètre, - un orifice de sortie 314 pour l'écoulement situé au niveau de l'extrémité inférieure du dispositif de réglage, - une unité formant capteur (322) reliée selon une liaison fluidique à l'orifice d'entrée et à l'orifice de sortie; - un premier canal pour véhiculer une première quantité de fluide depuis l'orifice d'entrée jusqu'à l'orifice de sortie; - un second canal pour véhiculer une seconde quantité de fluide à travers l'unité formant capteur, la seconde quantité étant inférieure à la première quantité, - un dispositif à orifices (329) couplé à l'orifice de sortie, le dispositif à orifices possédant au moins une ouverture d'orifice (610, 700, 710, 730), et - un générateur de champ magnétique monté entre le dispositif à orifices et le capteur, le générateur de champ magnétique produisant, en réponse à l'unité formant capteur, un flux magnétique dans une direction allant de l'unité formant capteur au dispositif à orifices (329) pour permettre l'écoulement dans la ou les ouvertures d'orifices. 39. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 38, caractérisé en ce que la direction d'écoulement à travers l'unité formant capteur (322) est approximativement perpendiculaire à la direction de circulation du flux magnétique. 40. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 38, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un dispositif de by-pass (317) monté entre l'unité formant capteur et le dispositif à orifices, le dispositif de by-pass (317) comprenant des rainures permettant la circulation d'un fluide. 41. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 40, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un mécanisme d'étanchéité (800) sollicité par un ressort, monté entre le dispositif de by-pass (317) et le dispositif à orifices (329) et déplaçable dans la direction d'écoulement. 42. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 41, caractérisé en ce que le dispositif à orifices (329) comprend une plaque à orifices, et que le mécanisme d'étanchéité (800) est situé entre le dispositif de by-pass (31 7) et la plaque à orifices. 43. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 41, caractérisé en ce que le mécanisme d'étanchéité possède des ouvertures permettant un écoulement jusqu'à la plaque à orifices (329). 44. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 38, caractérisé en ce que au moins une ouverture d'orifices est formée par un trou central. 45. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 41, caractérisé en ce que le mécanisme d'étanchéité (800) sollicité par un ressort ferme d'une manière étanche la ou les ouvertures d'orifices lorsqu'aucun flux magnétique n'est produit. 46. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 38, caractérisé en ce que le générateur de champ magnétique (340) comprend un noyau d'électroaimant (342), et - une bobine d'électroaimant (341) entourant le noyau de l'électroaimant, la bobine d'électroaimant comprenant un matériau ferromagnétique. 47. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 40, caractérisé en ce que le flux magnétique traverse l'ensemble de by-pass. 48. Dispositif de réglage de débit massique, caractérisé en ce qu'il comporte: un orifice d'entrée, - un premier canal d'entrée en liaison fluidique avec l'orifice d'entrée, - un second canal d'entrée en liaison fluidique avec le premier canal d'entrée, le second canal d'entrée étant plus petit que le premier canal d'entrée, - une unité formant capteur (322) en liaison fluidique avec le second canal d'entrée, - un générateur de champ magnétique (340) situé entre l'unité formant capteur et l'orifice d'entrée, - un canal de sortie en liaison fluidique avec l'unité formant capteur, - un orifice de sortie (329) en liaison fluidique avec le canal de sortie, et - un dispositif à orifices situé entre le générateur de champ magnétique et l'orifice de sortie, le dispositif à orifices (329) possédant au moins une ouverture et, en réponse au flux magnétique produit par le générateur et transmis de l'unité formant capteur à l'orifice de sortie, la ou les ouvertures s'ouvrent pour permettre l'écoulement du fluide en direction de l'orifice de sortie. 49. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 48, caractérisé en ce que le générateur de champ magnétique (340) est disposé approximativement parallèlement au premier canal et chevauche au moins partiellement le premier canal. 50. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 48, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un dispositif de by-pass (317) disposé entre l'unité formant capteur et l'orifice de sortie. 51. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 48, caractérisé en ce que la ou les ouvertures sont fermées de facçon étanche lorsqu'aucun flux magnétique n'est produit par le générateur de champ magnétique. 52. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 48, caractérisé en ce que l'écoulement de fluide dans l'unité formant capteur (340) est approximativement perpendiculaire à la direction de circulation du flux magnétique. 53. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 48, caractérisé en ce que l'orifice d'entrée et l'orifice de sortie sont situés sur la même extrémité du dispositif de réglage de débit massique. 54. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 50, caractérisé en ce qu'il comporte en outre un mécanisme d'étanchéité sollicité par un ressort, qui est disposé entre le dispositif de by-pass (317) et le dispositif à orifices (329). 55. Dispositif de réglage de débit massique selon la revendication 54, caractérisé en ce que le mécanisme d'étanchéité comprend un matériau ferromagnétique. 56. Procédé pour régler le débit au moyen d'un dispositif de réglage de débit massique possédant une entrée pour l'écoulement, une sortie pour I'écoulement, une unité formant capteur et un dispositif de by-pass et un générateur de champ magnétique montés entre l'unité formant capteur et l'entrée et la sortie pour l'écoulement, le procédé consistant à - introduire un fluide dans l'entrée pour l'écoulement; - produire un signal électrique en fonction d'un débit désiré et d'un débit mesuré, pour l'envoyer au générateur de champ magnétique, - produire, en fonction du signal électrique, un champ magnétique se déplaçant dans une direction approximativement parallèle au dispositif de by-pass, et, en réponse au flux magnétique, régler la position d'un méca- nisme d'étanchéité par rapport à un orifice pour régler le débit passant par l'orifice, et - délivrer le fluide au niveau de la sortie pour l'écoulement dans une direc- tion opposée à l'introduction du fluide. 57. Procédé selon la revendication 56, caractérisé en ce qu'il consiste en outre à diriger un écoulement à travers l'unité formant capteur approximative- ment perpendiculairement à la direction d'écoulement à travers le dispositif de by-pass. 58. Procédé selon la revendication 56, caractérisé en ce que l'ajustement du mécanisme d'étanchéité s'effectue dans une direction approximativement parallèle à la direction d'écoulement. 59. Procédé selon la revendication 56, caractérisé en ce qu'en l'absence du flux magnétique, le mécanisme d'étanchéité ferme d'une manière étanche l'orifice. 60. Procédé selon la revendication 56, caractérisé en ce que le flux magnétique traverse le dispositif de by-pass pour écarter de l'orifice le mécanisme d'étanchéité. 61. Procédé selon la revendication 56, caractérisé en ce que le flux magnétique traverse le dispositif de by-pass.