Brevet FR2797710A1 — publié le 20010223

TETE DE LECTURE ANTI-ABRASION La présente invention se rapporte à une tête de lecture magnéto- optique. Pour la lecture de support magnétique, un type connu de têtes magneto-optiques met en #uvre un effet Faraday et/ou un effet Kerr. Ces effets consistent à magnétiser un matériau magnéto-optique, tel que du grenat, par le flux magnétique produit par le support magnétique, et à détecter cette magnétisation grâce au pouvoir rotatoire qu'elle sur une lumière polarisée. Le principe physique exploité est l'effet. magnéto-optique, connu sous nom de rotation Kerr ou de rotation Faraday. Dans cet effet, une onde électromagnétique se réfléchissant sur un milieu magnéto-optique ou le traversant, subit une modification de son état de polarisation. Cet état dépend de la direction de l'aimantation du milieu. Le pôle de lecture étant constitué d'un tel matériau, un faisceau laser s'y réfléchissant voit sa polarisation modulée par les variations d'aimantations induitent par support magnetique. Cette modulation est ensuite transformée en variations d'intensité lumineuse qui sont alors mesurées à l'aide d'un photodétecteur permettant ainsi de remonter à l'information inscrite sur support magnetique. L'information magnétique n'est donc plus véhiculée par un courant électrique mais par une onde électromagnétique. Une telle tête de lecture a été décrite dans le brevet français n' 2 723. La figure 1 représente le schéma simplifié d'un mode de réalisation de cette tête. Elle comporte une couche 9 de matériau magnétique à bonne permeabilité magnétique, d'une épaisseur pouvant atteindre plusieurs microns par exemple. Sur la couche 9 sont formées une couche 10 de matériau non magnetique, d'une épaisseur comprise, par exemple entre 50 et 3 000 nm, et typiquement de 300 nm environ, et une couche mince 11 de matériau magnétique formant la couche à effet magnéto-optique (effet Kerr par exemple). L'épaisseur de la couche 11 est par exemple comprise entre 10 et 200 nm environ. Un faisceau optique incident oblique 12 arrive sur la couche 11, qui réfléchit un faisceau 13. Les couches 9 à 11 sont polies sur un de leurs chants, par exemple perpendiculairement à leur surface principale, et bande magnétique à lire 14 est appliquée sur la surface ainsi polie. La tête de la figure 1 peut être facilement réalisée en une seule opération de dépôt de couches, et il n'est pas absolument nécessaire graver les couches déposées, pour réaliser des têtes de lecture multipistes, On a représenté en figure 2 un système 20 de lecture magnéto- optique multipiste comportant une tête de lecture conforme à l'invention. L'ifiterêt principal, pour la lecture d'un enregistrement multipiste, de l'utilisation d'une tête à effet Kerr est dû au principe de la lecture active dont les performances ne sont pas handicapées par une faible vitesse de défilement de la bande à lire. Le système 20 comporte en amont de la tête 21 à effet Kerr une source ponctuelle de lumière 22, de préférence une diode laser un objectif de collimation 23, un dispositif 24 comprenant un polariseur servant à rendre la polarisation du faisceau lumineux la traversant perpendiculaire à la direction de défilement de la bande 25 à lire, et une lentille cylindrique 26 orientée de façon à focaliser le faisceau collimaté par l'objectif 23 selon une ligne perpendiculaire à la direction de défilement de la bande 25. La tête 21 comprend, comme exposé dans la présente description, un capteur à effet Kerr et, le cas échéant, un réflecteur optique. En aval de la tête 21, le système 20 comporte un dispositif optique 27 d'imagerie ; un dispositif 28 comprenant un analyseur et le cas échéant un compensateur de phase ; et un capteur optique linéaire 29 dont la zone active est la conjuguée optique par le système optique, de la ligne éclairée sur la tête à effet Kerr. Ce capteur optique comporte par exemple une barrette CCD. Le grandissement de la partie aval du système 20 étant typiquement de l'ordre de l'unité, on peut avantageusement le réaliser en optique intégrée. La figure 3 représente un mode de réalisation d'une tête de lecture magnéto-optique selon l'invention dans lequel les différentes couches de la figure 1 sont réalisées sur un prisme 35 en matériau transparent à la longueur d'onde du faisceau de lecture. Ce matériau est par exemple en SGGG (Grenat de Galidonium et Gallium). Les différentes faces 30 à 33 de ce prisme sont orientées de façon que le faisceau de lecture 12 pénètre sans réflexion dans le prisme et soit réfléchi sur la face 32 portant la couche magnéto-optique 11 de la tête, à proximité de la zone de lecture de la bande magnétique 14 à lire. La face de sortie 33 est orientée de façon que le faisceau 1 sorte sans réflexion du prisme. Il est à noter que les faces 30 et 33 peuvent être revêtues d'une couche de matériau antireflet en Si02 par exemple. couches 9, 10, Il correspondent aux couches portant les mêmes références sur la figure 1 sont réalisées sur la face 32 du prisme. Dans ce type de têtes magnétiques connues, la couche magnéto- optique 11 est en Sendust (FexSiyAlz), la couche d'entrefer 10 est en Si3N4 ou A1203 et la couche magnétique 9 est en Sendust. A titre d'exemple, une tête de lecture magnéto-optique peut être actuellement constituée de l'empilement des matériaux suivants : une couche 11 de Sendust, d'une épaisseur de 30 nm et qui sert de pâle de lecture, une couche de Nitrure de Silicium de 180 nm d'epaisseur, une couche de Cuivre de 50 nm d'épaisseur - ces deux couches servant de couche d'entrefer magnétique optique 10. # une couche 9 de Sendust de 1 pm d'épaisseur permettant de fermer le flux et jouant un rôle de blindage magnetique, # une couche d'alumine ou de Si3N4 ou de tout autre matériau dur non magnétique de 2 pm d'épaisseur peut être prévue pour servir de protection de l'ensemble. Le tout est déposé sur un substrat de Grenat. matériaux de nature très différente ont tous des propriétés mécaniques différentes. Ainsi, nous avons une association de matériaux durs (Grenat, Si3N4, A1203) et de matériaux tendre (Sendust, Cuivre). Cette constitution matériaux de duretés très différentes est extrêmement pénalisante en terme de durée de vie du composant. En effet, au contact de la bande, nous observons un phénomène d'usure différentielle entre les matériaux durs et doux avec l'apparition d'une récession de l'ordre de 100 nm des matériaux les moins durs, celle-ci étant essentiellement localisée sur la couche 9 (voir figure 4a). Cette usure est représentée sur les figures 4a et 4b. Dans le cas où la couche 9 est recouverte d'une couche 1 Ob de dureté supérieure à celle de la couche 9, on peut avoir une usure telle que représentée en figure 4b. Cette usure peut être sensible au bout quelques centaines d'heures d'utilisation seulement, alors que l'on désire avoir de 5 000 à 30 000 heures de fonctionnement selon l'application visée. Cette récession se traduit par une perte de signal d'environ 6 dB a 1 pm de longueur d'onde magnétique suite à Vespacement créé et à perte de résolution, la tête passant progressivement d'un fonctionnement dipolaire où la résolution est déterminée par la largeur du gap à un fonctionnement monopolaire où la résolution est alors déterminée par l'extension la zone active du pôle de lecture. Il est alors impossible de récupérer le signal, la partie en contact étant irrémédiablement détériorée et seul un refaçonnage du méplat permettrait de récupérer ce signal. Dans les têtes de lecture/écriture magnétorésistives, les solutions actuelles proposent de déposer une couche d'un matériau dur le devant de la tete. Cependant, cette solution est contraignante et coûteuse en terme de réalisation technologique (les matériaux durs difficiles à realiser), et génère des pertes d'espacement de l'ordre de 3 à 4 dB à 1 pm (pour 60 nm déposes). L'invention vise à résoudre ce problème d'usure. L'invention concerne donc une tête de lecture magnéto-optique, caracterisée par le fait qu'elle comporte un transducteur magnéto-optique à structure multicouches à au moins une couche magnétique mince à effet magnéto-optique, au moins une couche en matériau non magnétique et présentant un coefficient d'usure déterminé et une couche à bonne perméabilité magnétique de fermeture de circuit magnétique, caractérisée en ce que la couche à bonne perméabilité magnétique comprend une alternance de premières sous-couches en matériau magnétique à bonne perméabilité magnétique et de deuxièmes sous-couches en matériau présentant un coefficient d'usure sensiblement équivalent audit coefficient d'usure de la couche en matériau non -magnétique. Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaitront plus clairement dans la description qui va suivre fournie à titre d'exemple et dans les figures annexées qui représentent : les figures 1 à 4, des têtes de lecture magnéto-optiques selon l'art connu et décrites précédemment ; la figure 5, un exemple simplifié de tête de lecture magnéto- optique selon l'invention ; la figure 6, un exemple de réalisation des différentes couches de la tête de lecture de la figure 5 ; les figures 7a et 7b, un exemple plus complet d'une tête de lecture selon l'invention ; les figures 8 à 11, un mode de réalisation de la tête de lecture permettant de symétriser la structure de la tête. En se reportant à la figure 5, on va donc tout d'abord décrire exemple simplifié d'une tête de lecture magnéto-optique selon l'invention. Cette tête de lecture comporte, comme décrit précédemment, couche 11 en matériau présentant des propriétés magnéto-optique (effet Kerr et/ou effet Faraday), une couche d'entrefer 10 en matériau magnétique, une couche 90 en matériau magnétique ayant bonne perméabilite magnétique pour permettre au flux magnétique induit par le support magnétique 14 de circuler et de se refermer par les couches 11 et 9. Selon l'invention, la couche 9 est constituée par un empilement de sous-couches (telles que 91, 93) en matériau à bonne perméabilité magnétique alternées avec des sous-couches (telles que 92, 94) ayant un .coefficient d'usure sensiblement équivalent à celui de la couche d'entrefer 10. De préference, ce coefficient d'usure est faible. De préférence, les sous-couches en matériau à bonne perméabilite magnétique sont en un matériau similaire à celui de la couche 11. Les sous-couches en matériau à coefficient d'usure équivalent à celui lacouchel sont en matériau similaire à celui de la couche d'entrefer 10. De cette façon, les couches 9 et 10 suseront de façon uniforme le phénomène d'usure de la figure 4 ne se produira pas. La figure 6 représente un exemple de réalisation d'une telle tête de lecture. Selon cet exemple, la couche 11 est en Sendust (Fe,,SiyAl,) d'épaisseur environ 25 nm, la couche d'entrefer 10 es L en nitrure de Silicium (SixNy) d'épaisseur environ 200 nm et couche 9 est une alternance de couches de Sendust de 30 nm d'épaisseur et de couches de Nitrure de Silicium d'épaisseur 20 nm. Par exemple, la couche 9 peut être constituée d'une trentaine de couches de Sendust d'une trentaine de couches de Nitrure de Silicium. On voit donc, que selon l'invention, pour réduire les problèmes de rétreint du deuxième pâle (couche 9), nous partons de la constatation que la valeur de celui-ci dépend de l'épaisseur matériau magnétique, le rétreint diminuant lorsque l'épaisseur diminue. Ainsi plus l'épaisseur du matériau en contact avec la bande sera faible, plus l'usure de ce matériau sera réduite. Cela explique pourquoi la couche 11 beaucoup moins affectée par ce phénomène, son épaisseur 20 nm (devant 1.5 pm) étant inférieure à la taille moyenne des particules abrasives et joue le rôle de filtre par rapport aux particules abrasives transportées par bande. Nous proposons donc de réaliser le second pâle en alternant un matériau de dureté comparable avec le substrat (tel que le Si3N4 par exemple), avec des couches magnétiques d'épaisseur x suffisamment faibles pour réduire suffisamment cette usure différentielle à un niveau acceptable. Nous réalisons ainsi, à l'échelle des phénomènes abrasifs, un matériau magnétique, mécaniquement dur. Le nombre de périodes n étant définit de telle manière que le produit n x soit égal à l'épaisseur de matériaux magnétiques nécessaires pour que le deuxième pôle puisse continuer de remplir son rôle de fermeture du flux et de blindage magnétique. Le choix des matériaux n'est pas limitatif (au lieu de FexSiyAlz notamment, cela pourrait être du FexTayNz ou tout autre matériau magnétique). Dans ces conditions, l'invention prévoit que préférentiellement l'épaisseur du matériau le plus mou (Sendust) est inférieure à la taille moyenne des particules abrasives due aux aspérités de la bande et aux poussières générées par celle-ci. La dureté du matériau ainsi réalisée sera celle du matériau le plus dur. Seuls les grains de taille inférieure à cette épaisseur pourront arracher de la matière au matériau mou. Au plus, la profondeur qui sera creusée sera de l'ordre de cette épaisseur. Les différentes épaisseurs s et n à donner aux deux matériaux de la couche 9 (Sendust et Si3N4) sera le compromis qui permettra de réduire suffisamment le rétreint sur la couche 9 sans altérer les prophètes magnétiques requises pour la couche 9 et qui permettra un fonctionnement correct du système. Celle-ci possédera alors simultanément de bonnes prophètes magnétiques (forte aimantation à saturation, faible champ coercitif, anisotropie bien contrôlée ...) et une dureté ou résistance à l'abrasion supérieure, à celle du matériau magnétique de base. Nous combinons cette #manière les propriétés mécanique de dureté du Si3N4 et celle magnétique Sendust et réalisons un matériau dont la résistance phénomènes d'abrasion peut être calée en jouant sur les épaisseurs relatives des deux matériaux en présence (jusqu'à 5 nm possibles pour matériau magnetique). De plus, comme cela est représenté sur la figure 6, la tête de lecture peut présenter des caractéristiques supplémentaires. Notamment, la couche magnéto-optique 11 peut être réalisée sur un substrat 60 en SGGG avec une couche adhésive intermédiaire 61. De plus une couche réflectrice 63 peut être prévue entre la couche d'entrefer 10 et l'ensemble de l'alternance de couches, toute la lumière du faisceau de lecture n'étant pas réfléchie par la couche 11. Cette couche réflectrice a pour objet d'augmenter la réflexion de la fraction du faisceau ayant traversé ce pôle de lecture. L'indice de la couche d'entrefer est choisi de manière à que les faisceaux réfléchis se superposent en étant en phase. Enfin, une couche de protection de quelques micromètres d'épaisseur 64 en Nitrure de Silicium est prévue sur l'empilement de couche 9. A titre d'exemple, un mode de réalisation détaillé correspondant a la figure 7 permet d'obtenir une tête de lecture dont les différentes couches présentent caractéristiques suivantes Substrat 60 : en GGG Couche adhésive 61 : en A1203, épaisseur 2,5 nm Couche magnéto-optique 11 : en Sendust, épaisseur 25 nm Couche d'entrefer 10 : en SixNY] d'indice n compris entre 2 et 3,5 et d'épaisseur 200 nm Couche adhésive 62: en Sendust, d'épaisseur 2,5 nm Couche réflectrice 63: en Cuivre ou en Or, d'épaisseur 50 nm # Couche magnétique 9: empilement de quelques dizaines par exemple) de couches de Sendust (épaisseur comprise entre 10 et 50 nm, par exemple 30 nm) alternées avec quelques dizaines (30 par exemple) de couches de SixNy quelques dizaines de nm, 20 nm par exemple # Couche de protection 64 en SixNY d'épaisseur quelques pm (1 à 5). Nous allons maintenant décrire un exemple de procédé fabrication d'une telle tête de lecture. Ce procédé comprend les trois phases principales suivantes : le dépôt des différentes couches magnétiques, diélectriques réflectrices, qui permettent la réalisation de la tête magnétique et de la structure optique résonnante Fabry-Pérot le dépôt de la couche de protection Si3N4 de quelques d'épaisseur (1 à 5) qui est suivi du recuit sous champs magnétique des couches; la découpe, le polissage et les traitements antireflet protecteurs des différentes faces du prisme constituant composant. Dans la technologie actuelle toutes les couches sont déposées par pulvérisation cathodique dans un bâti dont la pression du vide est l'ordre de quelques dizaines de nanoTorr. Ce bâti permet de réaliser des dépôts en DC et en RF, en magnétron et en diode, ces dépôts pouvant être réalisés sous champ magnétique. Les cibles ont un diamètre de 100 mm et la distance de dépôt est de 15 cm ce qui permet de déposer des couches dont l'épaisseur a une homogénéité de l'ordre de 2 à 3 % sur des wafers de 2 pouces de diamètres. Le choix du substrat sur lequel sont réalisés les dépôts est important. Sa position d'interface optique (couplage de lumière dans le pâle de lecture) et mécanique (contact avec la bande) ainsi que le rôle de radiateur qu'il doit assurer (évacuation de la chaleur déposée par la source laser) imposent un certain nombre de contraintes sur ses propriétés physiques. Ces contraintes sont: # transmettre un maximum de lumière vers le pâle de lecture et vers le photodétecteur donc être transparent à la longueur d'onde du laser utilisé ; # ne pas modifier l'état de polarisation de l'onde électromagnétique lors de la traversée du substrat donc être faiblement biréfringent ; # évacuer efficacement la chaleur résultant de l'absorption par le milieu magnéto-optique de l'onde électromagnétique incidente et qui dégradent les propriétés magnétiques de la couche de lecture donc être un bon conducteur de la chaleur ; # éviter une usure trop rapide du méplat donc être suffisamment dur; être facilement usinable et présenter une résistance mécano- chimique compatible avec les conditions d'utilisation du système. L'ensemble de ces contraintes peut conduire à choisir un substrat réalisé dans un monocristal de la famille des grenats, exemple un grenat de formule générique Gd3Ga,5012. Les dépôts sont réalisés sur des substrats dont les deux faces sont déjà polies. Ces faces ont une rugosité de l'ordre 5 A. Les substrats font 2 pouces de diamètre et ont une épaisseur de 3 Il existe également des substrats de 3 pouces de diamètre qui possèdent les mêmes caractéristiques physiques, surtout en ce qui concerne l'homogénéité des propriétés optiques. Avant de réaliser la séquence de dépôt, il convient de nettoyer le substrat. Les différentes étapes de nettoyage sont suivantes : Le substrat est plongé dans trois bains success ifs de trichloréthylène, d'acétone et de propanol. Chacun de ces bains dure 3 minutes, Les bains sont à une température de et sont agités par ultrasons. Après ce nettoyage mécano-chimique, le substrat est introduit dans le bâti de dépôt. A l'intérieur du bâti, avant de débuter le dépôt des couches, nous réalisons un ultime nettoyage par etching plasma. Nous pouvons alors lancer la séquence de dépôt des différentes couches constituant l'empilement. Le procédé de dépôt commence par le dépôt d'une couche d'alumine de 2,5 nm d'épaisseur. Le rôle de cette couche est d'assurer l'adhérence sur le substrat de la couche suivante. On dépose alors le premier pôle magnétique (couche 11) appelé pôle de lecture et sur lequel se réfléchit le faisceau laser. Le matériau utilisé pour réaliser cette couche est le Sendust, son épaisseur est 25 nm. La fonction de cette couche est double, elle doit d'une part, capter efficacement le champ magnétique généré par la bande, d'autre part, convertir le plus efficacement possible les variations d'aimantations en variations de polarisations. Cette couche doit donc posséder des propriétés magnétiques correctes et avoir un coefficient magnéto-optique le plus élevé possible. Les conditions de dépôt ainsi que la composition chimique du matériau ont donc été adaptées pour répondre à ces exigences. On réalise ensuite le dépôt d'une couche diélectrique et d'une couche réflectrice de Cuivre ou d'Or. La fonction de cet ensemble de couches est egalement double. Il doit non seulement servir de gap magnétique mais aussi de structure otique résonnante Fabry-Perot, le rôle de cette structure étant d'améliorer le couplage de l'onde incidente avec la couche magnéto-optique et de récupérer la rotation Faraday genérée lors de la traversée cette couche par l'onde électromagnétique. Ainsi, les caractéristiques physiques et géométriques de ces deux couches définissent la densité de lecture et la qualité de la résonance. Un choix judicieux des indices et des épaisseurs des différentes couches permet de regler ces deux paramètres de manière optimale. Dans le cas d'une tête devant relire des bits de 0.4 micron, pour une onde laser de 780 manomètres et à 45 1 900 A et un indice de réfraction proche de 2, le réflecteur pouvant être couche de Cuivre ou d'Or de 500 A d'épaisseur. La couche diélectrique est réalisée à partir d'une cible de Silicium, le dépôt étant fait en présence d'un mélange d'Azote et d'Argon. Nous obtenons ainsi un composé proche du Nitrure de Silicium, dont les proportions de Silicium et dAzote dépendent essentiellement de la concentration en Azote. Vient ensuite le dépôt du deuxième pâle (couche 9) permettant de fermer le flux et faisant également office de blindage magnétique. Le materiau utilisé est le même que celui du pôle de lecture et ce en raison de ses propriétés magnétiques. Ce deuxième pôle est constitué d'un empilement de 30 périodes de nm de Sendust et de 20 nm de Nitrure de Silicium. Cette structure bien qu'augmentant le temps de dépôt permet de réduire le rétreint de ce pâle lors du passage de la bande. Ce deuxième pôle 9 est donc realisé en un materiau artificiel combinant les propriétés magnétiques du Sendust et celles de resistance à l'abrasion du Nitrure de Silicium. Ensuite, on dépose une couche de Si3N4 quelques micromètres d'épaisseur environ dont le rôle est de protéger l'ensemble des dépots. Le tout est ensuite introduit dans un four de recuit sous champ magnétique permettant d'améliorer les propriétés magnetiques du composant (diminution du champ coercitif et induction d'une anisotropie magnétique dan les pâles de lecture et de fermeture du flux. Viennent ensuite les différentes étapes de découpe et de polissage des prismes. Nous commençons par découper le substrat en barrettes de 5 mm de large puis nous procédons aux polissages des différentes faces B, D correspondant respectivement aux faces sortie et de réflexion totale du faisceau puis nous réalisons le méplat M par un polissage sur bandes abrasives. Les figures 7a, 7b représentent une variante de realisation de l'invention dans laquelle une contre-plaque 66 est prévue pour assurer un contact correct des couches de lecture (9, 10, 11) avec la bande. Cette contre-plaque peut être collée à la couche magnétique 11 ou à couche de protection 1 Ob. On obtient ainsi un empilement de couches tel que représenté en figure 7a qui permet de réaliser, par exemple, la tête de lecture la figure 7b. Le rôle de cette contre-plaque qui peut être considéré comme un deuxième substrat est d'une part d'augmenter la largeur du méplat en contact avec la bande, d'autre part de localiser les couches 9, 10, 11 de la tête au centre de la face active (méplat M), réduisant la vitesse d'usure du méplat M et simplifiant le positionnement et le maintien de la tête sur le média comme cela sera expliqué ci-après. Nous allons donc maintenant expliquer la fonction de la contre- plaque 66. Cette contre-plaque permet de réaliser une géométrie du meplat permettant d'améliorer le contact et le réglage de la tête sur la bande magnétique et de réduire considérablement les contraintes de fabrication pesant les tolérances de la partie de la tête de lecture en contact avec la bande. Dans les têtes actuelles, les éléments et paramètres principaux caractérisant le contact de la tête avec la bande magnétique sont les suivants (figures 8a à 8c) : Pour le système l'angle de wrap a, de l'ordre de 0.50, la distance 2D séparant les guides, de l'ordre de 10 mm, l'enfoncement h de la tête dans la bande, de l'ordre de 50 la tension T de la bande. Pour le méplat: la largeur C, de l'ordre. de 100 pm, le rayon de courbure R de l'ordre de 5 mm, sa composition, celui étant constitué de matériaux d'épaisseur et de dureté différentes, la position de la zone active de la tête sur le méplat, les pôles de blindage/fermeture du flux et de lecture se trouvant respectivement à des distances d2 et dl de 3 et à 5 pm du bord du méplat. Ses différents paramètres ne sont pas indépendants et sont reliés par les relations suivantes h D a C 2 R a Compte tenu des contraintes liées à l'encombrement du système (parametre D), à la réalisation du méplat (paramètres R et C) et à la qualité du contact (paramètres a et h), les valeurs données ci-dessus sont bon compromis (ID, a et h). Cependant cette géométrie présente les inconvénients majeurs suivants : - concernant le contact: Un des premiers problèmes est lié au fait que les couches magnétiques se trouvent à l'extrémité (figure lc) du méplat. Ce dispositif rend critique le positionnement de la tête sur la bande (paramètres h, et w) et impose de fortes tolérances sur la fabrication du méplat (paramètres R et Evaluons ces contraintes. Calculons dans un premier temps, l'intervalle de valeur dans lequel doit se situer l'enfoncement h de la tête dans la bande pour qu'il y ait contact. Sur les figures 9a-9b, nous voyons que l'enfoncement h est insuffisant, il n'y aura pas contact avec la zone active l'opposé si celui-ci est trop important la bande sera en porte-à-faux sur les bords du méplat, la pression exercée alors par la bande sera beaucoup plus forte dans la zone de contact ce qui entraînera une usure accélérée de la portion du méplat en contact avec la bande. Ainsi, le dernier point de contact Cd, Cdl et Cd2 entre la bande et le méplat doit être compris entre les points Cl et C2, cela définit deux largeurs de contact de la bande avec le méplat soit C et C-2 d2. L'enfoncement h associé à cet intervalle se calcule aisément à l'aide des formules précédentes et nous obtenons h CD/2R (1-d2/C) Dd2/2R hmed hint hmed est la valeur nominale de l'enfoncement, hint est la marge de réglage sur cet enfoncement et doit être inférieure aux incertitudes de réglage et de fabrication. Evaluons ces différentes incertitudes. - incertitude de fabrication du méplat: hfab CD/2R (Ri/R+Ci/C) - incertitude de positionnement de la tête latéralement: hiat: CD/2R Di/D angulairement: hang wi enfoncement: hiz soit: hpos CD/2R Di/D + hiz + D wi Nous obtenons donc la relation suivante CD/2R Di/D + hiz + D wi + CD12R (Ri/R+Ci/C) Si nous supposons que nous sommes capables de garantir des côtes à 1 % pres pour le méplat (ce qui correspond à une tolérance de 50 pm sur le rayon de courbure et de 1 pm sur la largeur), nous obtenons une valeur pour hfab de 1 pm, cela entraîne qu'il faille garantir le positionnement de la tête à 0 pm, ce qui extrêmement difficile à obtenir. En pratique on tolère qu'il y ait un espacement z entre la tête et la bande. Cet espacement introduire une perte p du signal dont l'expression en dB est p zAm di'2/R/im soit d = V(p R lm/55) où d est la distance du dernier point de la bande en contact avec le méplat, lm longueur d'onde magnétique du signal à lire, les valeurs étant .données en micron. Si nous acceptons de perdre 1 dB sur le signal lu à 0.8 nous obtenons d = 5 pm. La marge de réglage hint est alors de 5 pm. Malgré cela, pour être dans la zone de fonctionnement voulue, il faut être capable de repositionner la tête avec une précision sur l'enfoncement de 1 pm et sur l'azimut de 2' et de maintenir la bande lors de son défilement devant la partie active de la tête dans le même domaine de variation (hband Nous voyons donc que dans cette géométrie réaliser un contact correct avec bande se traduira par des coûts de fabrication du composant élevé et par une mécanique perfectionnée et cela alors même que nous tolérons une perte de 1 dB sur le signal. Selon l'invention, on prévoit donc pour relâcher les contraintes de fabrication et de positionnement de la tête de symétriser la position des couches actives par rapport aux bords du méplat (figure 10). Nous réalisons cela en collant une contre-plaque 66 de même nature que le substrat 60 sur les couches. Nous voyons sur la figure 10 que la marge de réglage hint peut être choisie de manière à rendre les contraintes pesant sur la précision du réglage de la tête par rapport à la bande et sur les tolérances de réalisation du méplat aussi faible que nécessaire. Par exemple pour un méplat de 1 500 pm, dont la surface de contact avec la bande est comprise entre pm et 1 100 pm, nous obtenons une marge de réglage hint sur l'enfoncement de 150 pm, et cela sans perte de signal et sans que la bande ne vienne frotter sur le bord du méplat, ce qui permet également de relâcher la qualité du polissage dans cette zone (éclat non gênant). Selon une variante de réalisation de la tête de lecture selon l'invention, on prévoit d'intercaler entre le substrat 60 et la couche magnéto- optique 11, une couche Silicium permettant d'améliorer le couplage du faisceau de lecture dans la couche magnéto-optique 11. Expérimentalement, on constate doublement du facteur de mérite de la tête lecture permettant d'obtenir un gain d'un facteur quatre sur le débit de lecture. Cette amélioration peut être appliquée en soi à une tête de lecture magnéto- optique indépendamment du reste de l'invention. De la même façon, l'invention pourrait être appliquée à un support magnéto-optique dans lequel la couche magnéto-optique serait réalisée sur une couche de Silicium. Selon une autre variante, pour maximiser le facteur de mérite magnéto-optique en fonction de la dimension de l'entrefer de la tête de lecture on prévoit d'ajuster la valeur de l'indice de réfraction du matériau d'entrefer 10 faisant varier la concentration en Azote lors de la pulvérisation permettant de caler le pic de résonance magnéto-optique sur l'épaisseur déposée. Il est ainsi possible de faire varier continûment l'indice de la couche d'entrefer entre 3,7 et 2, le matériau passant progressivement de la composition Silicium seul- au Nitrure de Silicium. REVENDICATIONS 1. Tête de lecture magnéto-optique, caractérisée par le fait qu'elle comporte un transducteur magnéto-optique à structure multicouches (9 à 11) à au moins une couche magnétique mince à effet magnéto-optique (Il 1), au moins une couche en matériau non magnétique (10) et présentant un coefficient d'usure déterminé supérieur à celui de 9 et une couche à bonne perméabilité magnétique (9) de fermeture de circuit magnétique, caractérisée en ce que la couche à bonne perméabilité magnétique comprend une alternance de premières sous-couches (91, 93) en matériau magnétique à bonne perméabilité magnétique et de deuxièmes sous-couches (92, 94) en matériau présentant un coefficient d'usure sensiblement équivalent audit coefficient d'usure de la couche en matériau non magnétique (10). Tête de lecture selon la revendication 1, caracterisée en ce que les premières sous-couches (91, 93) sont en matériau similaire à celui de la couche magnétique mince à effet magnéto-optique (Il 1). Tête de lecture selon la revendication 1, caracterisée en ce que les deuxièmes sous-couches (92, 94) sont en matériau similaire à celui de la couche en matériau non magnétique (Il 0). Tête de lecture selon la revendication 2, caracterisée en ce que la couche à effet magnéto-optique (11) est en matériau à base de Fer, de Silicium et d'Aluminium (FexSiyAlz) ou à base de Fer, Tantale et Azote (FexTayNz). 5. Tête de lecture selon la revendication 3, caractérisée en ce que la couche matériau non magnétique (10) est en matériau à base de Silicium et d'Azote (SixNy). Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée en ce que l'épaisseur des premières sous-couches est inférieure au diamètre des grains provenant de l'usure des matériaux de la tête de lecture ou d'un support à lire. 7. Tête de lecture selon la revendication 6, caractérisée en ce que l'épaisseur des premières sous-couches est comprise entre 10 et 50 nm. 8. Tête de lecture selon la revendication 7, caractérisée en ce que l'épaisseur des deuxièmes sous-couches est de quelques dizaines de nanomètres. 9. Tête de lecture selon la revendication 8, caractérisée en ce qu'elle comporte quelques dizaines de premières sous-couches qui alternent avec quelques dizaines de deuxièmes sous-couches. 10. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comporte une couche réflectrice (63) située entre la couche non magnétique (Il 0) et la couche de bonne perméabilité magnétique (Il 1). 11. Tête de lecture selon la revendication 10, caractérisée en ce que la couche réflectrice est en Or ou en Cuivre. 12. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comporte une couche d'un matériau de couplage optique accolée la couche effet magnéto-optique (Il 1). 13. Tête de lecture selon la revendication 12, caractérisée en ce que la couche de couplage optique est en Silicium. 14. Tête de lecture selon la revendication 1, caractérisée en ce que la couche de bonne perméabilité magnétique (9) est recouverte d'une couche de protection (64) sur sa face opposée à la couche de matériau non magnétique (10). 15. Tête de lecture selon la revendication 14, caractérisée en ce que la couche de protection (64) est en SixNY, 16. Tête de lecture selon l'une des revendications 1 ou 14, caractérisée en ce qu'elle comporte une contre-plaque (66) collée à la couche de bonne perméabilité magnétique (9) ou à la couche de protection (64). 17. Tête de lecture selon la revendication 16, caractérisée en ce que la couche à effet magnéto-optique (11) est supportée par un substrat (60), le flanc de l'empilement de couches comprenant notamment: un substrat (60) ; une couche à effet magnétique (10) une couche à bonne perméabilité magnétique (9) une contre-plaque (66) constitue la face active de la tête magnétique et en ce que les épaisseurs de la contre-plaque (66) et du substrat (60) mesurées sur ledit flanc sont sensiblement égales.