Brevet FR2798395A1 — publié le 20010316

Procédé de fabrication de cibles de pulvérisation inter- métalliques haute-densité La présente invention concerne un procédé pour fabriquer des cibles de pulvérisation intermétalliques, à partir d'un mélange de deux ou de plus de deux poudres élémentaires, à utiliser lors du dépôt physique en phase vapeur de films intermétalliques au cours de la fabrica- tion de dispositifs à semi-conducteurs. Les films intermétalliques composés de deux ou de plus de deux éléments sont utilisés comme résistances ou barrières de diffusion au sein des dispositifs à se- mi-conducteurs. Les films intermetalliques sont normale- ment déposés sur les pastilles semi-conductrices, via le processus de dépôt physique en phase vapeur. Dans le pro- cessus de dépôt physique en phase vapeur, un matériau d'une cible de pulvérisation est bombardé par un plasma ou par un faisceau d'ions, qui déloge les particules du matériau de la cible de pulvérisation de la surface de pulvérisation. Ces particules délogées sont alors dépo- sées sur la pastille semi-conductrice sous la forme d'un film mince. Les cibles de pulvérisation intermétalliques composées de deux ou de plus de deux éléments peuvent être produites soit par la technique de la métallurgie des poudres, soit par la technique de la coulée. Le pro- cédé dit de la métallurgie des poudres permet d'obtenir une microstructure plus uniforme que le procédé dit de la coulée s'agissant de la distribution de la taille des grains, qui constitue un paramètre important pour contrô- ler les propriétés des films minces. En outre, du fait de l'existence de grandes différences entre les points de fusion des éléments individuels qui constituent bon nom- bre des matériaux des cibles intermétalliques, le procédé dit de la coulée s'avère moins favorable. La technique dite de la métallurgie des poudres permet d'obtenir des structures de cibles métalliques multi-phases ou des structures de cibles intermétalliques mono-phases, suivant le processus de formation et les propriétés des éléments individuels. Un inconvénient des structures métalliques multi-phases est que, du fait de la différence de vitesse de pulvérisation entre éléments individuels, l'uniformité de la composition du film peut être inférieure à celle obtenue à partir de composés in- termétalliques mono-phases. Par exemple, dans une cible de pulvérisation Ti-Al multi-phase, l'aluminium sera pul- vérisé plus rapidement que le titane. Pour un composé Ti-A13 mono-phase, le composé intermétallique est pulvé- risé à une vitesse homogène et, de ce fait, peut contri- buer à une composition plus uniforme du film déposé. La technique antérieure dite de la métallurgie des poudres, utilisée pour obtenir des cibles de pulvéri- sation intermétalliques, impliquait la synthèse des pou- dres métalliques dans un four de chauffage sans pression, de manière que les métaux individuels réagissent pour former des agrégats du matériau intermétallique. Un pro- cessus de broyage ou de concassage est ensuite nécessaire pour donner aux agrégats frittés la consistance d'une poudre. La poudre peut alors être compressée de manière à former une cible de pulvérisation intermétallique haute-densité. Ce procédé antérieur utilise deux étapes séparées, avec un broyage intermédiaire, pour obtenir la cible de pulvérisation compressée. Le processus de broyage tend à contribuer à la contamination du matériau de la cible de pulvérisation, ce qui peut entraîner une non-uniformité du mince film déposé. Il serait par conséquent utile de développer un procédé qui permette de produire des cibles de pulvérisa- tion intermétalliques haute-densité et qui minimise toute contamination due au procédé de traitement. La présente invention fournit un procédé pour réaliser des cibles de pulvérisation intermétalliques composées de deux ou de plus de deux éléments par la syn- thèse d'un mélange de deux ou de plus de deux poudres élémentaires, suivi directement du frittage et de la com- pression de la structure intermétallique synthétisée afin de produire une cible compressée haute-densité. A cet ef- fet, et conformément aux principes de la présente inven- tion, un mélange de poudres métalliques est synthétisé dans un caisson de confinement, tel que dans un moule de compression ou dans un réservoir métallique, en chauffant le mélange des poudres à une température comprise entre C environ et 400 C environ au-dessous du point de fu- sion le plus bas des poudres métalliques, sans pression externe. Le mélange des poudres est maintenu à cette tem- pérature pendant au moins environ une heure, ou jusqu'à ce que la poudre métallique ait été complètement trans- formée en une structure intermétallique. La poudre inter- métallique synthétisée est ensuite chauffée à l'intérieur du caisson de confinement à une seconde température com- prise entre 50 C environ et 300 C environ au-dessous du point de fusion du composé intermétallique, tout en ap- pliquant simultanément une pression externe sur le compo- sé afin de former une cible de pulvérisation intermétal- lique haute-densité. La poudre intermétallique est main- tenue, d'une manière préférée, à la seconde température, et ce sous pression, pendant au moins 1 heure. La pres- sion peut être appliquée uniaxialement sur la poudre in- termétallique par une matrice de moulage sous pression, avec une pression d'au moins 0,5 ksi 3,45Pa environ, ou peut être appliquée d'une manière isostatique sur la pou- dre intermétallique contenue à l'intérieur d'une capsule scellée et dans laquelle le vide a été fait jusqu'à une pression d'au moins 10 ksi 68,9 Mpa environ. Dans un mode de réalisation proposé en variante de la présente invention, une purge à l'hydrogène durant la synthèse de la structure intermétallique réduit le ni- veau d'oxygène dans la cible de pulvérisation finale. Après formation de la structure intermétallique, il est alors préférable de comprimer la poudre jusqu'à faire le vide de manière à supprimer tout hydrogène résiduel. Dans encore un autre mode de réalisation, proposé en variante, de la présente invention, pour des tailles de particules supérieures, en particulier supérieures à 100 pm, un pro- cessus de chauffage multi-étape peut être utilisé, dans lequel la poudre est chauffée à partir de la température de synthèse par incréments de l'ordre de 200 à 300 C, et est maintenue à chaque incrément pendant environ 1 à 3 heures, jusqu'à ce que la température de frittage finale soit atteinte. Grâce aux modes de réalisation de la présente invention, un procédé à faible-contamination est obtenu pour réaliser des cibles de pulvérisation intermétalli- ques possédant une densité finale d'au moins 90 % de la densité théorique et possédant une structure intermétal- lique mono-phase. La présente invention fournit un procédé pour fabriquer des cibles de pulvérisation intermétalliques composées de deux ou de plus de deux éléments en utili- sant un mélange de deux ou de plus de deux poudres élé- mentaires, en particulier lorsque la différence des tem- pératures de fusion entre les métaux individuels est im- portante. Le procédé de la présente invention utilise un processus thermique en deux phases à l'intérieur d'un unique dispositif de manière à ce qu'il soit inutile de recourir à un broyage intermédiaire des agrégats intermé- talliques. La cible de pulvérisation intermétallique ré- sultante possède une densité finale supérieure à 90 % en- viron de la densité théorique, et une contamination mini- male est induite par la technique dite de la métallurgie des poudres. Au cours de la première phase du processus thermique de la présente invention, deux ou plus de deux poudres métalliques sont uniformément mélangées et intro- duites dans un caisson de confinement ou dispositif de compression. Les poudres métalliques, à titre d'exemple, peuvent être deux ou plus de deux composants parmi les Ti, A1, Ni, Cr, Cu, Co, Fe, W, Si, Mo et Ta. A titre d'exemple supplémentaire, des structures intermétalliques peuvent être formées à partir des mélanges de poudres suivants: Ti-Al, Ni-Al, Cr-Al, Cu-Al, Co-Al, Fe-Al, W-Si, Mo-Si, Ta-Si, Ti-Si, Co-Si, Cr-Si, Al-Si-Ti et Al-Ni-Ti. Bien que cette liste, fournie à titre d'exem- ple, ne contienne que des mélanges bi-métalliques et tri-métalliques, il faut comprendre que les principes de la présente invention s'appliquent aussi à des mélanges intermétalliques de quatre ou de plus de quatre éléments. La quantité de chaque poudre métallique utilisée dépend de la structure intermétallique finale souhaitée. Par exemple, 1 mole de titane pour 3 moles d'aluminium peu- vent être utilisées pour obtenir une structure TiAl3 in- termétallique finale. Le caisson de confinement utilisé pour recevoir la poudre mélangée dépend de la technique de compression à utiliser pour appliquer la pression sur le lit de pou- dre. La technique de compression à chaud peut être utili- sée, dans laquelle le caisson de confinement est une ma- trice de moulage, telle qu'une matrice de moulage en gra- phite. En variante, la technique de compression isostati- que à chaud peut être utilisée, dans laquelle le caisson de confinement est un réservoir métallique, tel qu'en ti- tane, en acier inoxydable, en béryllium, en cobalt, en cuivre, en fer, en molybdène ou en nickel, dans lequel le vide est fait et qui est scellé. Une fois introduit dans le caisson de confine- ment, le mélange de poudres est chauffé sous vide ou dans une atmosphère contenant un gaz inerte, tel que de l'ar- gon ou de l'azote, à une température comprise entre 100 C environ et 400 C environ au-dessous du point de fusion le plus bas de chacun des composants métalliques du mélange de poudres. Par exemple, pour un mélange de poudres Ti-Al, le point de fusion du Ti est de l'ordre de 1670 C et la température de fusion de l'Al est de l'ordre de 660 C, ce qui fait que le mélange de poudres est chauffé à une température de l'ordre de 100 à 400 C au-dessous du point de fusion de l'aluminium. En d'autres termes, le mélange Ti-Al est chauffé à une température de l'ordre de 260 C à 560 C environ. Le mélange de poudres est maintenu à cette température pendant au moins i heure environ, ou jusqu'à ce que la poudre métallique ait été complètement transformée en une structure intermétallique. Pour des poudres possédant une taille de particule moyenne infé- rieure à 100 Mm, la synthèse prend, d'une manière typi- que, environ 1 à 5 heures. Pour des tailles de poudre in- férieures à 40 pm, la synthèse ne prend que i à 2 heures environ. Si la taille de particule est supérieure à Mm, une synthèse complète intervient en 5 à 8 heures environ. Au niveau de la phase de synthèse, aucune pres- sion externe n'est appliquée, ce qui évite la fissuration du caisson de confinement, tel que de la matrice en gra- phite, du fait des contraintes explosives induites par la réaction exothermique se produisant entre les poudres mé- talliques. En outre, la présence du caisson de confine- ment durant la synthèse confine les composants de la pou- dre et leur empêche de former des agrégats qui nécessi- tent un concassage avant la compression. A la place, un lit de poudre plus compact est formé, lequel peut être compressé directement après synthèse à l'intérieur du caisson de confinement. Après achèvement de la synthèse, toujours dans le caisson de confinement, la seconde phase commence im- médiatement, phase au cours de laquelle la poudre inter- métallique est chauffée sous vide ou sous une atmosphère contenant un gaz inerte à une température comprise entre C environ et 300 C environ au-dessous du point de fu- sion du composé intermétallique. Le point de fusion du composé intermétallique se situe normalement entre les points de fusion des poudres élémentaires individuelles, et peut être déterminé en se reportant au diagramme de phase du système de l'alliage particulier. A nouveau, en utilisant le système Ti-Al à titre d'exemple, le TiAl3 possède un point de fusion de l'ordre de 1350 C. Par con- séquent, pour ce composé intermétallique mono-phase par- ticulier, la température de la seconde phase serait de l'ordre de 50 C à 300 C environ au-dessous de la tempéra- ture de fusion intermétallique de 1350 C. En d'autres termes, la poudre intermétallique est chauffée entre 1050 C environ et 1300 C environ. Pour des mélanges tri-métalliques, un composé intermétallique ternaire peut être formé, ou deux ou trois composés intermétalliques binaires peuvent être formés pour constituer la structure intermétallique finale. Ceci reste également valable pour les mélanges de quatre ou de plus de quatre poudres élé- mentaires. Pour de tels systèmes, chaque composé intermé- tallique possède un point de fusion. Par conséquent, la température de la seconde phase utilisée pour chauffer la poudre intermétallique serait comprise entre 50 C et 300 C environ au-dessous de la température de fusion la plus basse des composés intermétalliques présents dans la structure intermétallique. En même temps qu'est effectué le chauffage de la deuxième phase, une pression est appliquée sur le com- posé intermétallique. Par exemple, une pression uniaxiale est appliquée sur la matrice de moulage sous pression ou une pression isostatique est appliquée sur la poudre con- finée à l'intérieur du réservoir métallique. La compres- sion uniaxiale s'effectue, d'une manière typique, sous une pression d'au moins 0,5 ksi (3,45 MPa), et la com- pression isostatique s'effectue, d'une manière typique, sous une pression d'au moins 10 ksi (68,9 MPa). La tempé- rature et la pression sont maintenues pendant au moins 1 heure afin de densifier complètement la poudre intermé- tallique. Une fois la poudre complètement densifiée, la pression cesse d'être appliquée et l'ébauche de cible est refroidie. L'ébauche de cible compressée peut ensuite être usinée de manière à lui conférer la forme et les di- mensions finales souhaitées en utilisant un tour mécani- que, une fraiseuse ou une meuleuse. Dans un mode de réalisation proposé en variante de la présente invention, pour des poudres possédant une taille de particule moyenne supérieure à 100 Mm, un pro- cessus de chauffage multi-étape peut être utilisé pour la première phase afin de diminuer le temps de synthèse né- cessaire à la formation de la structure métallique. Dans le présent mode de réalisation, la poudre mélangée est partiellement synthétisée par un chauffage à une tempéra- ture de 100 C environ à 400 C environ au-dessous du point de fusion le plus bas de chacun des composants métalli- ques du mélange de poudres et le maintien de cette pre- mière température pendant environ 1 à 3 heures, suivi d'un chauffage jusqu'à atteindre la température de la se- conde phase par incréments de 200 à 300 C. Chaque incré- ment de température est maintenu pendant environ 1 à 3 heures avant l'incrément suivant. Par conséquent, bien que la structure intermétallique ne puisse pas être com- plètement formée après le maintien à la première tempéra- ture, celle-ci est complètement formée durant le chauf- fage incrémentiel avant d'atteindre la température et la pression de frittage finales. Ainsi, pour les poudres possédant une taille de particule supérieure, ce proces- sus de chauffage à première phase multi-étape peut être recommandé pour réduire le temps de synthèse. Selon encore un autre mode de réalisation pro- posé en variante de la présente invention, des cibles de pulvérisation peuvent être produites pour les applica- tions à faible niveau d'oxygène. La purge à l'hydrogène durant la formation de la structure intermétallique se traduira par un niveau d'oxygène réduit. Par conséquent, durant la phase de synthèse, le caisson de confinement est purgé avec de l'hydrogène afin d'éviter la présence d'oxygène susceptible de réagir avec les composants de la poudre pour former des oxydes. Cette purge à l'hydrogène se traduira par la présence d'hydrogène résiduel dans le caisson après la formation de la structure intermétalli- que. Par conséquent, un vide est alors formé dans le caisson de confinement lors de la seconde phase, et la poudre intermétallique est chauffée en présence d'une pression, de manière à éliminer l'hydrogène résiduel tout en formant la cible de pulvérisation intermétallique hautedensité. Pour mieux illustrer les principes de la pré- sente invention, les exemples suivants sont proposés. Exemple 1 Six moles d'une poudre d'aluminium (162 gm) possédant une température de fusion de l'ordre de 660 C et deux moles de titane (96 gm) possédant une température de fusion de l'ordre de 1670 C ont été mélangées pendant 3 heures afin d'obtenir un mélange uniforme. La poudre mélangée a ensuite été introduite dans une matrice de moulage en graphite, chauffée dans le moule à 350 C (cette première température étant inférieure de 310 C au point de fusion du métal possédant le point de fusion le plus bas dans le mélange) dans une atmosphère d'argon et maintenue à 350 C pendant environ 2 heures. La tempéra- ture a ensuite été augmentée dans la matrice de moulage en graphite jusqu'à atteindre une température de 1200 C (cette température étant inférieure de 150 C au point de fusion du composé intermétallique TiAl3), tout en augmen- tant la pression jusqu'à i ksi (6,89 MPa). La température de 1200 C et la pression de 1 ksi (6,89 Mpa) ont été maintenues pendant 3 heures. La pression a ensuite cessée d'être appliquée et la cible de pulvérisation compressée a été mise à refroidir à la température ambiante. La den- sité de la cible de pulvérisation compressée était égale à environ 96 % de la densité théorique, et la structure de la cible a été identifiée comme étant celle du TiAl3 mono-phase par diffraction aux rayons X. L'ébauche com- pressée a ensuite été meulée de manière à obtenir une épaisseur de 0,25 pouce (6,35 mm) en utilisant une meu- leuse munie d'une roue en diamant et usinée de manière à avoir un diamètre de 3 pouces (76,2 mmn) en utilisant un tour mécanique avec un outil pointu en WC. Le disque usi- né constituant la cible de pulvérisation a ensuite été collé sur une plaque de support en cuivre pour former un ensemble complet cible de pulvérisation/plaque de sup- port, puis monté dans une machine de pulvérisation dans laquelle un mince film de TiAl3 a été déposé sur une pas- tille semi-conductrice par dépôt physique en phase va- peur. Exemple^2 Pour produire une cible de pulvérisation tri-métallique en Al, Si et Ti, les trois poudres métal- liques possédant les températures de fusion de 660 C, 1414 C et 1668 C, respectivement, sont mélangées jusqu'à former un mélange uniforme, sont introduites dans un caisson de confinement, puis chauffées à une première température de l'ordre de 260 à 560 C. Le mélange est maintenu à cette première température pendant 1 à 8 heu- res jusqu'à ce que soit formée la structure intermétalli- que en Al2Si2Ti. La température est ensuite augmentée jusqu'à atteindre une seconde température comprise entre 927 C environ et 1177 C environ, température inférieure de 300 C à 50 C au point de fusion intermétallique de 1227 C tel que déterminé à partir du diagramme de phase ternaire. Pendant que le mélange se trouve à cette se- conde température, une pression uniaxiale ou isostatique est appliquée et est maintenue pendant au moins 1 heure afin de densifier complètement la poudre. Exemple3 Pour produire une cible de pulvérisation tri-métallique en Al, Ni et Ti, les trois poudres métal- liques possédant les températures de fusion de 660 C, 1455 C et 1668 C, respectivement, sont mélangées jusqu'à former un mélange uniforme, introduites dans un caisson de confinement, puis chauffées à une première température de l'ordre de 260 C à 560 C. Le mélange est maintenu à cette première température pendant 1 à 8 heures jusqu'à ce que soit formée la structure intermétallique. Pour ce système, la structure intermétallique comprendra les com- posés binaires AlNi3, AlTi et NiTi, possédant les points de fusion intermétalliques de 1385 C, 1350 C et 1310 C, respectivement. La température est alors augmentée jus- qu'à atteindre une seconde température comprise entre 1010 C environ et 1260 C environ, température inférieure de 300 C à 500 C au point de fusion intermétallique le plus bas qui est égal à 1310 C, tel que déterminé à par- tir des trois diagrammes de phase binaires. Tandis que le mélange est maintenu à cette seconde température, une pression uniaxiale ou isostatique est appliquée et est maintenue pendant au moins 1 heure afin de densifier com- plètement la poudre. On fournit ainsi un procédé qui permet de pro- duire des cibles de pulvérisation intermétalliques haute-densité et qui minimise toute contamination due au procédé de traitement. Bien que la présente invention ait été illus- trée par la description d'un mode de réalisation de celle-ci, et bien que le mode de réalisation ait été dé- crit avec de nombreux détails, la portée des revendica- tions annexées ne se veut ni restreinte ni limitée d'au- cune manière à de tels détails. D'autres avantages et mo- difications apparaîtront facilement à l'homme du métier. Par exemple, bien qu'un certain nombre de systèmes d'al- liages représentatifs aient été proposés, la présente in- vention fournit un procédé qui permet de former n'importe quelle cible de pulvérisation intermétallique. La pré- sente invention, dans ses aspects les plus larges, n'est par conséquent nullement limitée aux détails spécifiques, aux dispositif et procédé représentatifs, ni aux exemples illustratifs représentés et décrits. En conséquence, des variantes peuvent être apportées à de tels détails sans s'écarter de la portée ni de l'esprit du concept inventif général du demandeur. REVENDICATIONS 1. Procédé pour former une cible de pulvérisa- tion intermétallique, comprenant les étapes consistant à: mélanger une première poudre métallique possé- dant un point de fusion avec au moins une seconde poudre métallique possédant un point de fusion de manière à for- mer un mélange d'au moins deux poudres métalliques, le point de fusion de la première poudre métallique étant inférieur au point de fusion de la seconde poudre métal- lique, chauffer le mélange dans un caisson de confine- ment à une première température comprise entre environ 400 C au-dessous du point de fusion de la première poudre métallique et environ 100 C audessous du point de fusion de la première poudre métallique pendant une période de temps suffisante pour former une structure intermétalli- que possédant au moins un point de fusion, chauffer la structure intermétallique contenue dans le caisson de confinement à une seconde température comprise entre environ 300 C au-dessous du point de fu- sion de la structure intermétallique et environ 50 C au-dessous du point de fusion de la structure intermétal- lique, et appliquer simultanément une pression sur la structure intermétallique afin de former ainsi une cible de pulvérisation intermétallique haute-densité. 2. Procédé selon la revendication 1, dans le- quel les première et seconde poudres métalliques sont des éléments sélectionnés parmi le groupe constitué de: Ti, Al, Ni, Cr, Cu, Co, Fe, W, Si, Mo et Ta. 3. Procédé selon la revendication 1, dans le- quel le mélange de poudres métalliques est un mélange bi-métallique sélectionné parmi le groupe constitué de: Ti-Al, Ni-Al, Cr-Al, Cu-Al, CoAl, Fe-Al, W-Si, Mo-Si, Ta-Si, Ti-Si, Co-Si et Cr-Si. 4. Procédé selon la revendication 1, dans le- quel le mélange de poudres métalliques possède une taille de particule moyenne supérieure à 100 pm environ, et dans lequel le mélange de poudres métalliques est chauffé à la première température pendant environ i à 3 heures pour former partiellement la structure intermétallique, suivi d'un chauffage à la seconde température par un processus de chauffage multiétape comportant l'élévation de la température à partir de la première température jusqu'à la seconde température par incréments de l'ordre de 200 à 300 C, et le maintien à chaque incrément de température pendant environ 1 à 3 heures afin de former complètement la structure intermétallique. 5. Procédé pour former une cible de pulvérisa- tion intermétallique, comprenant les étapes consistant à: mélanger une première poudre métallique possé- dant un point de fusion avec au moins une seconde poudre métallique possédant un point de fusion afin de former un mélange d'au moins deux poudres métalliques, le point de fusion de la première poudre métallique étant inférieur au point de fusion de la seconde poudre métallique, chauffer le mélange dans une matrice de moulage sous pression à une première température comprise entre environ 400 C au-dessous du point de fusion de la pre- mière poudre métallique et environ 100 C au-dessous du point de fusion de la première poudre métallique pendant une période de temps suffisante pour former une structure intermétallique possédant au moins un point de fusion, chauffer la structure intermétallique dans la matrice de moulage sous pression à une seconde tempéra- ture comprise entre environ 300 C au-dessous du point de fusion de la structure intermétallique et environ 50 C au-dessous du point de fusion de la structure intermétal- lique, et appliquer simultanément une pression uniaxiale d'au moins 0,5 ksi (3,45 Mpa) environ sur la structure intermétallique afin de former ainsi une cible de pulvé- risation intermétallique haute-densité. 6. Procédé selon la revendication 5, dans le- quel les première et seconde poudres métalliques sont des éléments sélectionnés parmi le groupe constitué de: Ti, A1, Ni, Cr, Cu, Co, Fe, W, Si, Mo et Ta. 7. Procédé selon la revendication 5, dans le- quel le mélange de poudres métalliques est un mélange bi-métallique sélectionné parmi le groupe constitué de: Ti-Al, Ni-Al, Cr-Al, Cu-Al, CoAl, Fe-Al, W-Si, Mo-Si, Ta-Si, Ti-Si, Co-Si et Cr-Si. 8. Procédé selon la revendication 5, dans le- quel le mélange de poudres métalliques est chauffé à la première température pendant environ i à 3 heures afin de former partiellement la structure intermétallique, suivi d'un chauffage à la seconde température par un processus de chauffage multi-étape comportant l'élévation de la température à partir de la première température jusqu'à la seconde température par incréments de l'ordre de 200 à 300 C, et le maintien à chaque incrément de température pendant environ 1 à 3 heures afin de former complètement la structure intermétallique. 9. Procédé pour former une cible de pulvérisa- tion intermétallique, comprenant les étapes consistant à: mélanger une première poudre métallique possé- dant un point de fusion avec au moins une seconde poudre métallique possédant un point de fusion afin de former un mélange d'au moins deux poudres métalliques, le point de fusion de la première poudre métallique étant inférieur au point de fusion de la seconde poudre métallique, dans lequel les première et seconde poudres métalliques sont des éléments sélectionnés parmi le groupe constitué de: Ti, Al, Ni, Cr, Cu, Co, Fe, W, Si, Mo et Ta et dans le- quel le mélange de poudres métalliques est un mélange bi-métallique sélectionné parmi le groupe constitué de: Ti-Al, Ni-Al, Cr-Al, Cu-Al, CoAl, Fe-Al, W-Si, Mo-Si, Ta-Si, Ti-Si, Co-Si et Cr-Si, chauffer le mélange dans une capsule métallique dans laquelle le vide a été fait et qui est scellée à une première température comprise entre environ 400 C au-dessous du point de fusion de la première poudre mé- tallique et environ 100 C au-dessous du point de fusion de la première poudre métallique pendant une période de temps suffisante pour former une structure intermétalli- que possédant le au moins un point de fusion, chauffer la structure intermétallique contenue dans la capsule métallique à une seconde température com- prise entre environ 300 C au-dessous du au moins un point de fusion de la structure intermétallique et environ 50 C au-dessous du point de fusion de la structure intermétal- lique, et appliquer simultanément une pression isostati- que d'au moins 10 ksi (68,9 Mpa) environ sur la structure intermétallique pour former ainsi une cible de pulvérisa- tion intermétallique haute-densité. 10. Procédé pour former une cible de pulvérisa- tion intermétallique, comprend les étapes consistant à: mélanger une première poudre métallique, une deuxième poudre métallique et une troisième poudre métal- lique, possédant chacune un point de fusion, afin de for- mer un mélange tri-métallique, le point de fusion de la première poudre métallique étant inférieur aux points de fusion des deuxième et troisième poudres métalliques, le mélange tri-métallique étant du Al-Si-Ti ou du AlNi-Ti, chauffer le mélange dans une capsule métallique dans laquelle le vide a été fait et qui est scellée à une première température comprise entre environ 400 C au-dessous du point de fusion de la première poudre mé- tallique et environ 100 C au-dessous du point de fusion de la première poudre métallique pendant environ 1 à 3 heures de manière à former partiellement une structure intermétallique possédant le au moins un point de fusion, chauffer la structure intermétallique partiel- lement formée dans la capsule métallique à une seconde température comprise entre environ 300 C au-dessous du au moins un point de fusion de la structure intermétallique partiellement formée et environ 50 C audessous du au moins un point de fusion de la structure intermétallique partiellement formée par un processus de chauffage mul- ti-étape comportant l'élévation de la température à par- tir de la première température jusqu'à la seconde tempé- rature par incréments de l'ordre de 200 à 300 C, et le maintien à chaque incrément de température pendant envi- ron i à 3 heures pour former complètement la structure intermétallique, et appliquer simultanément une pression isostati- que d'au moins 10 ksi (68,9 MPa) environ sur la structure intermétallique pour former ainsi une cible de pulvérisa- tion intermétallique haute-densité.