Brevet FR2807539A1 — publié le 20011012

PROCEDE ET INSTALLATION DE LOCALISATION OPTIMALE AUTOMATIQUE D'UNE OPERATION SUR UN CIRCUIT INTEGRE L'invention concerne un procédé de localisation optimale automatique d'une opération d'intervention prédéterminée sur un circuit intégré comprenant au moins une étape -notamment une mesure, un test, une gravure, une coupure un dépôt- devant être appliquée en une zone localisée accessible du côté d'une face dite face d'intervention du circuit intégré à au moins un 'lément fonctionnel électrique circuit intégré -notamment choisi parmi une équipotentielle, un noeud, une jonction...-. L'invention s'étend à une installation dans laquelle ce procédé est mis en oeuvre. Les circuits intégrés modernes tels que circuits VLSI comprennent plusieurs couches physiques, â partir d'un substrat de silicium, définissant schéma électrique comprenant de nombreux éléments fonctionnels électriques. Pour le test et/ou l'analyse et/ou la réparation des circuits intégrés, on utilise des installations comprenant des moyens de réception d'un circuit intégré, et des moyens d'intervention sur une face d'intervention du circuit intégré. Ces moyens d'intervention comprennent au moins un outil d'intervention adapté pour permettre l'exécution de chaque étape, et des moyens de positionnement précis de cet outil par rapport à face d'intervention. Parmi les outils d'intervention classiquement utilisés, on peut citer notamment les faisceaux de particules focalisés (faisceau d'ions focalisé ou FIB, faisceau d'électrons...) avec lesquels la face d'intervention est en général la face supérieure du circuit (opposée au substrat) ; et les faisceaux laser pour lesquels la face d'intervention peut être la face inférieure du substrat. Lorsqu'une opération d'intervention est envisagée, le problème qui se pose est celui du choix de la zone du circuit où chaque étape doit être exécutée. En effet, chaque étape, il existe en général de très nombreuses possibilités, toutes équivalentes au regard du schéma électrique théorique. Par exemple, il est possible de couper une branche d'équipotentielle en un point quelconque, d'effectuer une mesure électrique en un point quelconque d'une branche, ou d'effectuer un dépôt pour réaliser une connexion entre deux branches entre deux points quelconques de ces deux branches. Néanmoins, toutes ces possibilités ne sont pas équivalentes du point de vue pratique. En effet, tout d'abord, la zone d'intervention doit être accessible à l'outil d'intervention considéré, depuis la face d'intervention. En deuxième lieu la difficulté de réalisation n'est pas toujours la même ; elle dépend en particulier de densité des éléments du schéma dans la zone d'intervention considérée. En troisième lieu, la durée d'intervention peut varier considérablement. En particulier, cette durée dépend de la profondeur de la couche sur laquelle on intervient (distance par rapport à la face d'intervention) et de la difficulté d'accès de l'outil dans la zone d'intervention considérée. Pour dépôt, la durée dépend aussi de la longueur de la piste déposée. Or, on cherche à automatiser les opérations d'intervention (test et/ou analyse et/ou réparation) sur circuits intégrés, et à en réduire le risque d'échec, la difficulté et la durée qui sont des paramètres critiques essentiels dans le développement industriel des circuits intégrés. Dans les installations d'intervention traditionnelles, on dispose de données de description topographique identifiant, dans chaque couche du circuit, des polygones formés chacun d'un matériau caractéristique (métal, polysilicium...) du circuit. Ces données sont dites données d'implantation ou "layout". On dispose aussi de données représentatives du schéma électrique du circuit. Ces différentes données sont associées à des logiciels de visualisation permettant l'affichage de toute zone particulière du circuit. US-5 392 222 décrit un procédé permettant de faciliter le positionnement la fenêtre de visualisation de façon que les différentes pistes de matériau conducteur sur lesquelles on doit intervenir soient toutes situées dans la même fenêtre. procédé permet de déterminer la fenêtre de visualisation optimale qui offre le maximum possible d'informations pour le diagnostic ou la réparation. La fenêtre de visualisation optimale permet ensuite à l'utilisateur humain de choisir aisément un endroit approprié pour effectuer l'opération d'intervention. Mais ce document ne permet pas d'optimiser automatiquement le lieu où chaque étape doit être effectuée. En particulier, il ne permet pas d'optimiser automatiquement le choix du polygone, dans toute la longueur d'une équipotentielle du schéma électrique, le choix du polygone lequel une étape doit être effectuée. L'intervention vise donc à pallier ces inconvénients en proposant un procédé et une installation permettant localisation optimale automatique d'une opération d'intervention prédéterminée sur un circuit intégré. L'invention vise aussi en particulier à optimiser la localisation de chaque étape de l'opération d'intervention vue de permettre de faciliter l'exécution de l'opération d'intervention et/ou d'en optimiser la qualité de réalisation -notamment en évitant les erreurs- et/ou d'en minimiser difficulté et la durée totale. Il est à noter que pour une opération d'intervention ayant plusieurs étapes, le fait de minimiser la durée totale de l'opération ne consiste nécessairement à minimiser la durée individuelle de chaque étape. L'invention vise plus particulièrement à proposer un procédé et une installation déterminant automatiquement chaque polygone de départ à utiliser pour effectuer chaque étape de l'opération d'intervention en vue de permettre et de faciliter l'exécution de l'opération d'intervention, d'en optimiser la qualité de réalisation et/ou d'en minimiser la durée totale. L'invention vise aussi à proposer un procédé pouvant être aisément implémenté sur une installation traditionnelle de test et/ou analyse et/ou réparation de circuits intégrés, de façon à obtenir une installation selon l'invention. Pour ce faire, l'invention concerne un procédé de localisation optimale automatique d'une opération d'intervention sur un circuit intégré comportant plusieurs couches physiques définissant schéma électrique à plusieurs éléments fonctionnels électriques -notamment choisis parmi des équipotentielles, des n#uds ou des jonctions-, cette opération d'intervention comprenant au moins une étape notamment choisie parmi une mesure, un test, une gravure, une coupure ou un dépôt- appliquée à au moins un élément du schéma électrique en une zone localisée accessible du côté d'une face, dite face d'intervention du circuit, ce procédé comprenant une étape, dite étape d'extraction de polygones accessibles, dans laquelle à partir, d'une part, de données de description topographique identifiant, dans chaque couche du circuit, des polygones formés chacun d'un matériau caractéristique du circuit et, d'autre part, de données représentatives du schéma électrique, on calcule et on génère des données identifiant, pour au moins chaque élément du schéma électrique auquel au moins une étape de l'opération d'intervention doit être appliquée, les différents polygones, dits polygones accessibles, définissant cet élément dans chaque couche du circuit, et sur lesquels des moyens d'intervention peuvent être positionnés et peuvent effectuer moins une étape de l'opération d'intervention depuis la face d'intervention, caractérisé en ce - on détermine, pour chaque étape de l'opération d'intervention, différentes options d'exécution de cette étape correspondant respectivement à chacun des différents polygones accessibles, dits polygones de départ possibles, sur lesquels cette étape peut être exécutée, les différentes options d'exécution produisant toutes des résultats qui sont équivalents au regard du schéma électrique, et on calcule et on affecte une note à chaque option d'exécution en fonction . de la profondeur de chaque polygone de départ possible de cette option d'exécution, représentée par la distance séparant la couche comprenant ce polygone de la face d'intervention, et . de paramètres d'accessibilité de chaque polygone de départ possible de cette option d'exécution, - on détermine automatiquement l'option d'exécution optimale à utiliser pour exécuter chaque étape de l'opération d'intervention, par calcul d'optimisation numérique utilisant les notes affectées aux différentes options d'exécution de chaque étape de l'opération d'intervention. Ainsi, dans un procédé de localisation optimale automatique selon l'invention, le(les) polygone(s) de départ sur lequel(lesquels) chaque étape est effectuée, sont déterminés automatiquement par un calcul d'optimisation à partir de notes affectées à chacune des différentes options d'exécution possibles chaque étape. On réalise ainsi un gain de temps considérable pour la réalisation de l'opération, l'utilisateur n'ayant pratique qu'à identifier la nature des étapes à effectuer et le(les) élément(s) du circuit concernés. En outre, l'emploi d'un calcul d'optimisation objectif garantit que le choix final est bien le meilleur possible au regard des buts recherchés, ce qui se traduit ensuite par un risque d'échec moindre et une plus grande facilité de réalisation. Selon les applications, les buts poursuivis, ou selon la nature des différentes opérations d'intervention, on peut choisir divers calculs d'optimisation. Avantageusement et selon l'invention, le calcul d'optimisation est adapté pour faciliter l'exécution de l'opération d'exécution et/ou en optimiser la réalisation et/ou en minimiser la durée totale. En particulier, selon une caractéristique de l'invention, le calcul d'optimisation adapté pour retenir, pour chaque étape, une option d'exécution optimale telle qu'une fonction multi-polynomiale -notamment le produit- des notes des options d'exécution différentes étapes présente une valeur optimum, c'est-à-dire notamment une valeur minimum si les notes sont choisies décroissantes avec l'accessibilité, ou une valeur maximum si les notes sont choisies croissantes avec l'accessibilité. Par ailleurs, avantageusement et selon l'invention, lors de l'étape d'extraction, pour chaque élément, on calcule et on génère des données identifiant au moins une série de polygones accessibles qui satisfont aux conditions suivantes - ils présentent une surface, dite surface accessible réduite, correspondant à une surface non masquée du côté de la face d'intervention par couche supérieure de matériau de même nature, et dont la dimension dans chaque direction entre deux 'léments supérieurs, est diminuée d'une valeur ai qui dépend de profondeur de la couche du polygone et de la nature des moyens d'intervention destinés à être utilisés sur cet élément, - la dimension dans chaque direction de la surface accessible réduite est supérieure à une valeur seuil minimale j3, - ladite surface accessible réduite est distante de tous polygones de matériau de même nature appartenant à un autre élément, d'une distance supérieure à une valeur ;# prédéterminée. Le procédé selon l'invention est aussi avantageusement caractérisé en ce calcule et on génère, pour chaque élément, des données plusieurs séries de polygones accessibles avec, pour chaque série, un jeu de valeurs des paramètres ai, [3 et k, en ce qu'on calcule et on affecte un coefficient d'accessibilité à chaque série à partir des valeurs des paramètres ai, (3 et X, et en ce qu'on utilise coefficient d'accessibilité à titre de paramètre d'accessibilité lors du calcul de la note des options d'exécution de chaque étape effectuée sur cet élément. Par ailleurs, avantageusement et selon l'invention, le procédé est aussi caractérisé en ce qu'on affecte à chaque polygone de départ possible un coefficient de profondeur qui varie en fonction de sa profondeur, et en ce qu'on calcule la note de chaque option d'exécution selon une fonction bipolynomiale du coefficient de profondeur et du coefficient d'accessibilité de chaque polygone de départ possible. Avantageusement et selon l'invention, on utilise l'aire de la surface accessible réduite de chaque polygone de départ possible à titre de paramètre d'accessibilité. En outre, avantageusement et selon l'invention, on utilise des paramètres d'accessibilité choisis selon nature de l'étape à effectuer et/ou selon des caractéristiques d'au moins un outil d'intervention utilisé pour exécuter cette étape Avantageusement et selon l'invention, lesdites données identifiant les polygones accessibles obtenus par l'étape d'extraction sont des données numériques selon un format compatible avec un logiciel d'affichage simultané d'au moins une partie des données d'implantation et des données du schéma électrique correspondant les unes aux autres -notamment le format CIF compatible avec le logiciel DRACULA commercialisé la société CADENCE DESIGN SYSTEMS (Paris, France, http://www.cadence.com) . Avantageusement selon l'invention, lorsque l'opération d'intervention consiste en une coupure d'une piste de matériau conducteur formant une équipotentielle du schéma électrique - on extrait, lors de l'étape d'extraction, les polygones accessibles d'une branche de la piste, dite branche réduite amont, s'étendant entre un point d'entrée prédéterminé et le premier noeud de dérivation rencontré selon un sens prédéterminé à l'aval du point d'entrée, - on calcule et affecte une note d'accessibilité à chaque polygone accessible de la branche réduite amont, qui constitue une option d'exécution pour effectuer la coupure, - on détermine automatiquement l'option d'exécution optimale pour réaliser la coupure en choisissant parmi les polygones accessibles qui présentent une note d'accessibilité optimale, celui qui est le plus proche du point d'entrée. De la sorte, on réalise la coupure le plus près possible du point d'entrée ce qui permet de conserver une longueur d'équipotentielle aussi grande que possible à l'aval de la coupure. Le point d'entrée et ledit sens prédéterminé peuvent etre définis par un utilisateur (saisie) ou calculés par un système informatique de l'installation. Avantageusement et selon l'invention, lorsque l'opération d'intervention consiste à réaliser un dépôt de matériau conducteur entre une piste, dite piste mère, de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle mère du schéma électrique, et une piste, dite piste fille, de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle fille, du schéma électrique, chaque option d'exécution comprenant un polygone de départ possible, dit polygone mère (Pm), de la piste mère, et un polygone de départ possible, dit polygone fille (Pî}, la piste fille, on détermine automatiquement l'option d'exécution optimale à partir d'au moins un calcul de distance D(Pm, Pf) entre le polygone mère (Pm) et le polygone fille (Pf), visant à minimiser cette distance. Avantageusement et selon l'invention, on calcule la distance D(Pm, f) entre les polygones en considérant chaque polygone comme représenté par un segment de droite projeté dans un même plan parallèle à la face d'intervention. Avantageusement et selon l'invention, on calcule la distance D(Pm, Pf) entre les polygones comme la plus petite valeur des quatre distances calculées entre leurs extrémités respectives et des distances entre chaque extrémité d'un de ces polygones et la projection orthogonale de cette extrémité, si elle este, sur l'autre polygone. Avantageusement et selon l'invention, on détermine l'option d'exécution optimale en optimisant la valeur d'une note d'exécution NEX de formule NEX=f(D(Pm, Pf), NACC(Pm), NACC(Pf)) où D(Pm, Pf) est la distance calculée entre les polygones mère (Pm) et fille (Pf) NACC(Pm), et NACC(Pf) sont des notes d'accessibilité des polygones mère (Pm) et, respectivement, fille (Pt) calculées de façon à être minimales pour les polygones de moindre profondeur et les plus accessibles, et f est une fonction multipolynomiale. Avantageusement et selon l'invention, lorsque l'opération d'intervention consiste à réaliser une étape de coupure d'une piste, dite piste fille, de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle fille du schéma électrique, et une étape de dépôt d'une piste de matériau conducteur entre une piste, dite piste mère de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle mere, du schéma électrique, et une portion résiduelle de la piste fille entre la coupure et un premier noeud de dérivation rencontré selon un sens prédéterminé à l'aval de la coupure, - on extrait, lors de l'étape d'extraction, au moins tous les polygones accessibles de chaque piste mère et fille, - on calcule et on affecte une note d'exécution à chaque option d'exécution de l'étape de dépôt en considérant tous les polygones accessibles de la piste mère et de piste fille, - on calcule et on affecte une note d'exécution à chaque option d'exécution de l'étape de coupure, - on détermine automatiquement le meilleur compromis d'étape de coupure et d'étape de dépôt, en déterminant l'option d'exécution optimale de l'étape de dépôt correspondant à l'étape de coupure, en considérant, pour les options d'exécution de l'étape de dépôt, uniquement les polygones accessibles de la portion de la branche réduite amont de la piste fille s'étendant entre la coupure et le nceud topologique de dérivation. L'invention s'étend aussi à une installation dotée de moyens de mise en aeuvre dun procédé selon l'invention. L'invention concerne donc une installation comprenant - des moyens de réception d'un circuit inïL--xé comportant plusieurs couches physiques définissant un schéma électrique ' plusieurs éléments fonctionnels électriques -notamment choisis parmi des équipotentielles, des n#uds ou des jonctions-, et - des moyens d'intervention sur au moins une face, dite face d'intervention, d'un circuit intégré placé sur les moyens de réception, ces moyens d'intervention étant adaptés pour permettre d'effectuer une opération d'intervention prédéterminée comprenant au moins une étape -notamment choisie parmi une mesure, un test, une gravure, une coupure ou un dépôt- appliquée en une zone localisée accessible du côté de la face d'intervention, à au moins un élément du schéma 'lectrique. - des moyens, dits moyens d'extraction de polygones accessibles, calcul et de génération à partir, d'une part, de données de description topographique identifiant, dans chaque couche du circuit, des polygones formés chacun d'un matériau caractéristique du circuit et, d'autre part, de données représentatives du schéma électrique, de données identifiant, pour au moins chaque élément du schéma électrique auquel au moins une étape de l'opération d'intervention doit être appliquée, les différents polygones, dits polygones accessibles, définissant cet élément dans chaque couche du circuit, et sur lesquels les moyens d'intervention peuvent ^ positionnés et peuvent effectuer au moins une étape de l'opération d'intervention depuis la face d'intervention, caractérisée en ce qu'elle comprend - des moyens pour déterminer, pour chaque étape de l'opération d'intervention, différentes options d'exécution de cette étape correspondant respectivement à chacun des différents polygones accessibles, dits polygones de départ possibles, sur lesquels cette étape peut être exécutée, les différentes options d'exécution produisant toutes des résultats qui sont équivalents au regard du schéma électrique, et pour calculer et affecter une note à chaque option d'exécution en fonction . de la profondeur de chaque polygone départ possible de cette option d'exécution, représentée par la distance séparant la couche comprenant ce polygone de la face d'intervention, et . de paramètres d'accessibilité de chaque polygone de départ possible de cette option d'exécution, - des moyens pour déterminer automatiquement l'option d'exécution optimale à utiliser pour exécuter chaque étape de l'opération d'intervention, par un calcul d'optimisation numérique utilisant les notes affectées aux différentes options d'exécution de chaque étape de l'opération d'intervention. Une installation selon l'invention est adaptée la mise en #uvre d'un procédé selon l'invention, et comprend notamment des moyens informatiques de calcul numérique adaptés pour traiter les données, et réaliser le calcul d'optimisation. Un procédé selon l'invention est donc mis en #uvre dans et avec une installation selon l'invention. L'invention concerne aussi un procédé et une installation caractérisés en combinaison par tout ou partie des caractéristiques mentionnées ci- dessus ou ci-après. D'autres buts, caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description suivante qui se réfère figures annexées dans lesquelles - la figure 1 est un schéma d'un exemple d'installation FIB selon l'invention, - la figure 2 est une vue schématique plus détaillée des moyens d'intervention des moyens de réception d'un circuit intégré d'une installation FIB selon l'invention - la figure 3 est un exemple de fichier au format CIF dans lequel sont enregistrées les données représentatives de polygones accessibles d'un élément du schéma électrique d'un circuit intégré, pouvant être utilisé dans procédé selon l'invention, - la figure 4 est un schéma partiel montrant piste mère et une piste fille pouvant faire l'objet d'une opération de coupure/dépôt avec un procédé selon l'invention, - la figure 5 est un schéma partiel montrant deux polygones accessibles appartenant respectivement à une piste mère et une piste fille à relier par un dépôt, pour calcul de leur distance dans un procédé selon l'invention, - la figure 6 est un organiaxamme schématique d'un calcul d'optimisation d'un procédé selon l'invention dans le cas d'une opération de coupure/dépôt. Une installation de test et/ou d'analyse et/ou de réparation de circuits intégrés est bien connue en soi et n'a pas à être décrite en détail, la connaissance de ses caractéristiques générales étant implicite. peut s'agir en particulier d'une installation à faisceau d'ions focalisé (FIB) telle que représentée figures 1 et 2, et/ou à faisceau d'électrons et/ou à faisceau laser telle qu'un système IDS Schlumberger (IDS P3X, IDS10000, IDS2000...). Par exemple, US-5 392 222 décrit de telles installations et la façon de les utiliser pour extraire des polygones accessibles. US-4 706 019, US-4 721 909 et US-5 140 164 décrivent plus en détail des systemes IDS Schlumberger. Une telle installation comprend un support 2 d'un circuit intégré 3 à traiter, et au moins un outil 4 d'intervention tel qu'un faisceau d'ions focalisé et/ou un faisceau d'électrons adapté pour pouvoir réaliser une opération d'intervention sur face, dite face d'intervention 5 du circuit 3 placé sur le support 2. L'installation est aussi dotée de moyens 6 de positionnement précis de l'outil 4 sur la face d'intervention permettant de déplacer et de maintenir l'outil 4 en XY, c'est-a-dire perpendiculairement à l'axe du faisceau, en tout point prédéterminé de cette face d'intervention 5. Sur la figure 1, une installation FIB comprend une colonne FIB, un détecteur 26 de particules chargées, des moyens 37 d'injection de gaz appropriés et, cas échéant, un canon à électrons, le tout étant monté sur un étage de positionnement XY 6, dans une chambre de scintillation 27, sous une chambre à vide comprenant le support 2 du circuit 3. Elle comprend aussi un système informatique 7 comportant des moyens d'interface avec un utilisateur humain (écran 8, clavier, pointeur...), une unité centrale 25, des moyens 29 d'interface et de contrôle de la colonne FIB 4, des moyens 30 de contrôle de l'étage XY 6, des moyens 35 de pompage contrôlés par le système 7 pour faire le vide dans les chambres 27, 28, et une pompe à ions 36. Dans le système informatique 7 peuvent être mémorisées des données d'implantation d'un circuit intégré 3 à traiter (dites "layout"), c'est-à-dire des données de description topographique identifiant, dans chaque couche du circuit 3, des polygones formés chacun d'un matériau caractéristique du circuit 3 -notamment un matériau conducteur électrique (métal), du polysilicium...- ; des données, dites de technologie, représentant les possibilités de connexion des différents polygones, les différents recouvrements entre pistes du circuit, les fichiers binaires correspondant, la nature des différents noeuds, jonctions..., et des options d'affichage graphique ; des données représentatives du schéma électrique du circuit 3. Les données de description topographiques sont en général enregistrées dans au moins un fichier LAYOUT au format CIF ("Caltech Interchange Format"), qui est un format texte de compréhension et d'utilisation faciles pour un utilisateur humain, ou au format GDSII (format binaire) ou autre. Les données de technologie sont enregistrées dans fichier TECHNOLOGY au format dit "ECAD" compatible avec un logiciel de conception assistée par ordinateur, et de compréhension et d'utilisation faciles pour un utilisateur humain. Les données représentatives du schéma électrique sont enregistrées dans fichier NETLIST au(x) format(s) dit(s) SPICE et/ou EDIF décrivant l'organisation fonctionnelle des n#uds électriques du circuit 3. système informatique 7 permet l'affichage l'écran d'affichage 8 de fenêtres de visualisation des données d'implantation et des données du schéma électrique correspondant les unes aux autres. Pour ce faire, un logiciel d'affichage tel que le logiciel DF2 de la société CADENCE DESIGN SYSTEMS, compatible avec le logiciel DRACULA , est implémenté le système informatique 7. Ce logiciel permet d'afficher une fenêtre LAYOUT présentant des données d'implantation du circuit 3, à partir du fichier LAYOUT et selon différentes options qui sont définies dans fichier TECHNOLOGY, et, simultanément, une fenêtre NETLIST présentant des données du schéma électrique tout en établissant un lien entre les données de ces deux fenêtres LAYOUT et NETLIST. Ainsi, si l'opérateur sélectionne un nom de noeud dans la liste des noeuds dans la fenêtre NETLIST des données du schéma électrique, les polygones visibles d'une équipotentielle correspondant à ce n#ud apparaîtront en blanc sur la fenêtre LAYOUT des données d'implantation. Réciproquement, si l'opérateur sélectionne une équipotentielle dans la fenêtre LAYOUT, le nom noeud correspondant sera mis en lumière dans la fenêtre NETLIST. Dans un procédé selon l'invention, on extrait tout d'abord pour chaque élément -notamment pour chaque équipotentielle- du circuit 3 sur lequel au moins une étape doit être effectuée, au moins une série de polygones accessibles depuis la face d'intervention5 du circuit 3. Le logiciel DRACULA peut être utilisé pour extraire les polygones accessibles, et générer un nouveau fichier de données d'implantation correspondant à polygones accessibles, dans un format compatible avec ce logiciel et avec les données du schéma électrique, notamment un format CIF ou GDSIL Pour ce faire, on modifie les paramètres du fichier TECHNOLOGY notamment en fonction des possibilités offertes par l'outil utilisé et de la face d'intervention 5 de façon à définir des règles supprimant les portions de polygones masquées par des couches supérieures et à prendre en compte les imprécisions de l'outil 4 (conicité du faisceau (coefficients (xi), largeur minimum d'une piste sur laquelle peut intervenir (coefficient P), distance minimale entre pistes (coefficient Ainsi, le fichier TECHNOLOGY peut être adapté pour générer des données identifiant au moins une série de polygones accessibles qui satisfont aux conditions suivantes - ils présentent une surface, dite surface accessible réduite, correspondant à surface non masquée du côté de la face d'intervention par une couche supérieure matériau de même nature, et dont la dimension dans chaque direction entre deux éléments supérieurs, est diminuée d'une valeur ai qui dépend de la profondeur de la couche du polygone et de la nature des moyens 4 d'intervention destinés à être utilisés sur cet élément, - la dimension dans chaque direction de la surface accessible réduite est supérieure à une valeur seuil minimale (3, - ladite surface accessible réduite est distante de tous les polygones de matériau de même nature appartenant à un autre élément, d'une distance supérieure à une valeur a, prédéterminée. La commande "RESIZE CMi by a,i", où CMi sont les différentes couches du circuit 3, permet de prendre en compte la conicité du faisceau 4. L'instruction "FILTER" permet de prendre en compte le coefficient (3 de dimension minimale. Pour prendre en compte l'écartement minimal X entre deux pistes distinctes, on considère comme invisibles les polygones ne satisfaisant pas cette condition. En faisant varier les valeurs des coefficients (ci, P et on peut générer plusieurs séries de polygones accessibles, avec des critères d'accessibilité distincts d'une série à l'autre, par exemple une série de polygones très accessibles, une série de polygones moyennement accessibles, et une série de polygones peu accessibles. Plusieurs méthodes peuvent être utilisées pour obtenir séries de données au format CIF ou GDSII. Le problème qui se pose est simplement de pouvoir récupérer les données binaires créées par le logiciel DRACULA et de les convertir au format CIF ou GDSII, en assurant un lien entre les numéros donnés aux éléments du circuit 3 par les données d'implantation, le logiciel DRACULA et les données du schéma électrique. Dans une première variante, on peut utiliser la commande "GEN-XRF-RPT=YES" du logiciel DRACULA (version 4.7) génère directement des fichiers textes FMETi.DAT à partir des fichiers binaires METALi.DAT et POLY.DAT générés par le logiciel DRACULA . Cette même commande fournit aussi le fichier NETXREF.DAT au format texte dans lequel figurent les informations croisées faisant le lien entre le nom de chaque noeud du fichier NETLIST et le numéro de noeud dans ce fichier NETLIST, et un numéro affecté aux polygones de ce noeud par le logiciel DRACULA , et on peut alors obtenir, à partir d'un nom de noeud du fichier NETLIST, le numéro DRACULA correspondant aux polygones accessibles de ce noeud. Pour ce faire, on peut utiliser par exemple le programme CROSS-REF2 ci-joint. A partir de ces numéros DRACULA , on extrait les données correspondantes au format voulu et on les enregistre sur une mémoire système informatique 7, par exemple grâce au programme NOEUD2.C ci-joint. obtient pour chaque noeud, un fichier tel que le fichier au format CIF donné figure Dans ce fichier, le champ L définit la couche des polygones (CMi couche métal ; CP : couche polysilicium). Chaque champ P définit un polygone par les coordonnées de ses quatre sommets. Si nécessaire, on peut aussi transformer les polygones accessibles obtenus en quadrilatères si les polygones dans le fichier LAYOUT ne sont pas tous des quadrilatères. Cette première variante permet ainsi d'extraire automatiquement les polygones accessibles, couche par couche, correspondant à un noeud (équipotentielle) dont on a spécifié le nom tel qu'il apparait dans la fenêtre NETLIST. Dans une deuxième variante, l'utilisateur peut sélectionner dans la fenêtre LAYOUT avec un pointeur (souris) du système informatique 7, l'équipotentielle sur laquelle il veut opérer. Il peut alors noter le numéro DRACULA qui s'affiche dans la fenêtre LAYOUT. Si cela est souhaité, un programme peut aussi être utilisé pour extraire le numéro DRACULA à partir d'un fichier FMETi.DAT, et des coordonnées du point sélectionné par l'utilisateur. Ce même programme peut être utilisé si l'on ne dispose que des données d'implantation, et non celles du schéma électrique. A partir du numéro DRACULA , on lance le programme NOEUD2.C ci-joint qui fournit le fichier CIF correspondant. Cette deuxième variante est donc une variante graphique permettant d'obtenir le fichier CIF des polygones accessibles d'une équipotentielle. Le même procédé réitéré pour toutes les équipotentielles sur lesquelles l'opération d'intervention doit être effectuée. Ce procédé peut aussi être réitéré plusieurs fois, avec des fichiers TECHNOLOGY distincts, pour obtenir plusieurs séries de polygones accessibles, selon leur degré d'accessibilité -notamment avec des coefficients ' (3, X. différents-. Dans la première variante, chaque fichier TECHNOLOGY permet d'obtenir une série de fichiers binaires METALi.DAT et POLY.DAT à partir desquels on obtient les polygones accessibles sous forme de fichiers au format CIF. Dans la deuxième variante, le fichier TECHNOLOGY modifie l'image obtenue dans fenêtre LAYOUT pour n'y illustrer que les polygones accessibles. OPERATION DE MESURE OU DE TEST Les polygones accessibles étant extraits, si l'opération d'intervention consiste en une simple étape de mesure ou de test sur un élément du circuit tel qu'une équipotentielle, une jonction... chaque polygone accessible est un polygone de départ possible sur lequel on peut réaliser la mesure, et est donc une option d'exécution de cette étape. Afin d'optimiser cette mesure, on affecte à chaque polygone accessible l'élément une note d'accessibilité NACC. Pour calculer cette note d'accessibilité NACC, on affecte à chaque polygone départ possible un coefficient de profondeur COP qui est proportionnel à la profondeur de la couche dans laquelle il est situé par rapport à la face d'intervention 5. Ce coefficient COP peut être par exemple simplement formé du numéro de la couche dans laquelle il est situé, les couches étant numérotées dans l'ordre croissant, ou décroissant, dans l'ordre à partir de la face d'intervention 5. En outre, pour chaque série de polygones accessibles, selon la valeur des coefficients ai, (3 et 1, on affecte un même coefficient d'accessibilité CACC à chacun des polygones de la série. Ce coefficient d'accessibilité peut aussi être un simple nombre entier correspondant au numéro de la série, les séries étant numérotées dans l'ordre croissant, ou dans l'ordre décroissant, à partir de la série la plus facilement accessible par l'outil 4 du côté de la face d'intervention 5. La note d'accessibilité NACC peut être calculée comme une fonction bipolynomiale des coefficients de profondeur COP et d'accessibilité CACC notamment le produit de ces coefficients-. Dans le cas d'une mesure, on peut utiliser fonction plus complexe privilégiant le coefficient d'accessibilité CACC. En effet la mesure est d'autant plus sûre qu'elle est effectuée sur un polygone éloigné polygones des autres pistes de la même couche ou des couches supérieures. système informatique 7 est programmé pour calculer cette note d'accessibilité pour tous les polynômes de départ possibles et pour déterminer celui (ou ceux) qui presente(nt) la note d'accessibilité optimum, c' -à-dire minimum, respectivement maximum, si les coefficients COP et CACC sont croissants, respectivement décroissants, à partir de la face d'intervention 5 et a partir de la série la plus facilement accessible. Si plusieurs polygones de départ possibles présentent la note d'accessibilité optimum, on choisit par exemple celui dont l'aire est 1a plus grande ou celui qui correspond à un critère de forme préférentielle (angle...). Cette aire est calculée à partir des données des polygones accessibles précédemment extraits (figure 3), et correspond donc à l'aire de la surface accessible réduite de chaque polygone. Dans une autre variante, il est possible d'incorporer directement la valeur de cette aire dans la fonction de calcul de la note d'accessibilité qui peut être notamment une fonction tri-polynomiale des coefficients COP et CACC et de l'aire des polygones. On détermine ainsi automatiquement le polygone de départ optimal, correspondant à l'option d'exécution optimale de cette opération de mesure ou test, et on positionne l'outil 4 d'intervention au moins sensiblement au centre du polygone pour effectuer l'étape de mesure correspondante. Les coefficients ai, P, ;, permettant d'obtenir les séries de polygones auxquels les coefficients d'accessibilité CACC, sont déterminés selon la nature de l'outil 4 utilisé (sonde sans contact, sonde avec contact, laser...). Cette opération de mesure ou de test peut être effectuée depuis la face supérieure, opposée au substrat, du circuit 3, qui fait office de face d'intervention par exemple pour mesurer des courants ou potentiels d'une piste de matériau conducteur. Elle peut aussi à l'inverse être mise en oeuvre depuis la face inférieure du substrat du circuit 3, faisant office de face d'intervention 5, par exemple pour la mesure par laser sur des jonctions. OPERATION DE COUPURE Lors d'une opération de coupure d'une piste 10 formant une équipotentielle du schéma électrique de matériau conducteur, il important de réaliser cette coupure 17 à l'amont de tout norud 11 de dérivation topologique afin d'être certain de déconnecter de l'entrée IN de cette piste 10 toutes branches 12, 13, 15 et cellules situées en aval, c'est-à-dire jusqu'aux sorties OUTI OUT2, OUT3 de l'équipotentielle 10. En outre, la coupure 17 doit être effectuée aussi près que possible de l'entrée IN pour laisser le plus grand nombre de polygones de départ possibles à une opération ultérieure de dépôt ou autre. En conséquence, après extraction de tous les polygones accessibles de la piste 10, lors de l'étape d'extraction, on extrait, parmi ceux-ci, les polygones accessibles appartenant à une branche de la piste 10, dite branche réduite amont 16, s'étendant entre un point d'entrée IN prédéterminé et le premier noeud 11 de dérivation topologique rencontré à l'aval du point d'entrée IN, selon un sens prédéterminé correspondant au sens de parcours du signal électrique dans la piste (les termes amont et aval se référant à ce sens dans tout le texte). Pour extraire les polygones accessibles de la branche amont réduite 16, on peut par exemple utiliser le programme ci-joint N#UD TOPOLOGIQUE 2.C. Ce programme ordonne les polygones accessibles de la branche amont réduite 16 à partir du fichier CIF correspondant, et en partant du polygone contenant le point d'entrée IN sélectionné par l'utilisateur à l'aide du pointeur (souris). Les polygones sont tout d'abord triés couche par couche selon les coordonnées (xmin ymin) leur coin inférieur gauche. On utilise ensuite les fichiers nVIA.DAT et nCONTACT.DAT des données d'implantation définissant, pour chaque noeud n du schéma électrique, les connexions entre les couches du circuit 3 pour ordonner dans l'ordre de leur succession du point de vue du cheminement du signal, les polygones accessibles de la branche amont 'duite 16 depuis le point d'entrée IN jusqu'au premier norud 11 topologique de dérivation rencontré à l'aval du point d'entrée IN. Ceci étant fait, chaque polygone accessible de la branche amont réduite 16 correspond à une option d'exécution de l'étape de coupure à effectuer. Pour déterminer automatiquement l'option d'exécution optimale, on affecte à chaque polygone de départ possible, une note d'accessibilité NACC calculée comme indiqué précédemment pour l'opération de mesure, en fonction d'un coefficient de profondeur COP et d'un coefficient d'accessibilité CACC. On détermine alors le(les) polygone(s) ayant la note d'accessibilité optimale, et, parmi ceux-ci, on choisit, en tant qu'option d'exécution optimale, celui qui est le plus proche du point d'entrée IN, de façon à conserver portion 16b aussi grande que possible entre la coupure 17 et le nceud 11 topologique de dérivation situé à l'aval pour une opération ultérieure. Le programme ci-joint CUT.C est un exemple de programme permettant d'obtenir ce polygone de départ optimal dans le cas d'une seule série polygones accessibles. OPERATION DE DEPOT L'opération d'intervention peut consister en une étape dépôt de matériau conducteur entre une piste 20, dite piste mère, de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle mère, du schéma électrique, et une piste 10, dite piste fille, de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle fille 10, du schéma électrique. Dans ce cas, on extrait au moins une série de polygones accessibles de chacune de ces pistes mère 20, et fille 10. Chaque option d'exécution de cette étape est alors définie par un polygone de départ possible, dit polygone mere Pm, choisi parmi une série de polygones accessibles de la piste mère 20, et un polygone de départ possible, dit polygone fille Pf, choisi parmi une série de polygones accessibles de la piste fille 0. Pour optimiser une telle étape de dépôt, il convient tout d'abord, dans le cas faisceau FIB, de prendre en compte le fait que plus la distance entre les polygones mère et fille à relier est longue, plus l'étape est périlleuse et couteuse. Il convient donc retenir l'option d'exécution dans laquelle les polygones mère Pm et fille Pf sont les plus proches l'un de l'autre. Pour ce faire, on effectue au moins un calcul de distance entre chaque couple de polygone mère Pm et de polygone fille Pf, en visant à minimiser cette distance. Ce calcul de distance peut être exécuté comme représenté figure 5. On considère chaque polygone comme représenté par un segment de droite projeté dans un même plan parallèle à la face d'intervention 5, même si les polygones appartiennent à des couches différentes. Ce segment de droite est déterminé par la ligne médiane longitudinale du polygone, calculée à partir des coordonnées chaque coin du polygone. On calcule alors la distance entre les polygones mère Pm et fille Pf comme la plus petite valeur des quatre distances del, de2, de3, de4 calculées entre leurs extrémités 31 à 34 respectives, et des distances dpl, dp4 entre chaque extrémité 31 à 34 d'un de ces polygones Pm, Pf et la projection orthogonale PPl à PP4 de cette extrémité 31, 34, si elle existe, sur l'autre polygone Pf, Pm. On calcule donc les quatre distances del, de2, de3, de4 qui séparent deux à deux les extrémités 31, 32, 33, 34 des segments de droite représentant les polygones mère et fille. On calcule ensuite les coordonnées du point, dit point projeté PP1, PP2, PP3, PP4, qui est la projection orthogonale d'une extrémité 31, 32, 33, 34 d'un segment de droite d'un polygone sur la droite contenant le segment de droite de l'autre polygone. Sur la figure 5, PP 1 est le point de projection de l'extrémité 31 du polygone mère Pm sur la droite contenant le polygone fille Pf ; PP2 est le point de projection de l'extrémité 32 du polygone fille Pf la droite contenant le polygone mère Pm ; PP3 est le point de projection de l'extrémité 33 du polygone mère Pm sur la droite contenant le polygone fille Pf ; PP4 le point de projection de l'extrémité 34 du polygone fille Pf la droite contenant polygone mère Pm. Dans l'exemple de la figure 5, PP2 et PP3 étant néanmoins situés hors du segment de droite du polygone fille, respectivement du polygone mère, sont 'liminés et ne servent pas pour le calcul de distance. On calcule donc les distances dpl et dp4 entre chaque extrémité 31, 34 du segment de droite d'un polygone et sa projection orthogonale PPl, PP4, si elle existe, sur le segment de droite de l'autre polygone. Dans le cas général, il existe quatre telles distances. On calcule ensuite la distance D(Pm, Pf) entre les polygones Pm et Pf comme la valeur minimum des distances précédemment calculées, soit, dans l'exemple de la figure 5 D(Pm, Pf) = MIN (de 1, de2, de3, de4, dp l ,dp4) D(Pm, Pf) = de2 Une fois cette distance calculée pour toutes les paires de polygones mère et fille, on examine s'il existe au moins une paire de polygones appartenant tous deux à la couche supérieure de la face d'intervention 5 et pour lesquels la distance D(Pm, Pf) est inférieure à une valeur seuil prédéterminée, par exemple 200p.. En effet, on sait qu'il est en général difficile d'effectuer des contacts avec des couches profondes. On privilégie donc un dépôt plus long si les polygones mère et fille appartiennent à la couche supérieure. S'il existe plusieurs paires de polygones satisfaisant cette condition, on calcule une note, dite note d'exécution NEX, selon une formule NEX=f(D(Pm, Pf), NACC(Pm), NACC (Pf)), où NACC(Pm) est la note d'accessibilité du polygone mère et NACC (Pf) est la note d'accessibilité du polygone fille, et f est une fonction multipolynomiale de ces trois paramètres. On choisit alors l'option pour laquelle la note NEX est la meilleure. Par exemple, dans le cas d'un faisceau FIB, on peut utiliser la formule NEX=D(Pm.Pf)xNACC(Pm)xNACC(Pf), et on choisit l'option en minimisant la note NEX. Dans le cas d'un faisceau laser, on affecte de préférence la distance D(Pm, Pf) d'un coefficient de pondération plus faible que les notes d'accessibilité NACC. effet, dans ce cas, l'accessibilité est un critère plus important que la distance. Les notes d'accessibilité sont calculées, comme décrit pour l'étape mesure, avec les coefficients de profondeur COP et d'accessibilité CACC de chaque polygone, mais de façon à être minimales pour les polygones de moindre profondeur et les plus accessibles. On choisit alors l'option d'exécution qui présente la note d'exécution NEX la plus faible. Le programme ci-joint DEPOTOPT.C est un exemple de mise en oruvre de ce calcul d'optimisation dans le cas d'une seule série de polygones accessibles pour chaque piste 10, 20, les notes d'accessibilité étant réduites coefficients de profondeur COP. OPERATION DE COUPUREIDEPOT Une opération d'intervention couramment réalisée sur un circuit à réparer peut aussi consister à réaliser une étape de coupure 17 d'une piste, dite piste fille 10, de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle fille du schéma électrique, et une étape de dépôt d'une piste de matériau conducteur entre piste, dite piste mère 20, de matériau conducteur formant équipotentielle, dite équipotentielle mère, du schéma électrique, et une portion résiduelle 16b de la piste fille 10 entre la coupure 17 et un premier noeud 11 dérivation rencontré selon un sens prédéterminé à l'aval de la coupure 17. Un exemple d'une telle opération d'intervention est représenté figure 4. Il convient alors de déterminer quel est le meilleur compromis sur les étapes successives de coupure et de dépôt, à savoir une étape de coupure peu risquée (sur une couche peu profonde et un polygone très accessible) et un dépôt 18 le plus court possible et entre des polygones aussi peu profonds et aussi accessibles que possible. Pour ce faire, on procède avantageusement selon l'organigramme représenté figure 6. Il est à noter que pour cette opération d'intervention soit correctement effectuée, deux conditions doivent être satisfaites la coupure 17 doit être effectuée à l'amont de tout noeud 11 topologique de dérivation de la piste fille 10, c'est-à-dire sur la branche réduite amont 16; le dépôt 18 doit être relié à la portion 16b de la branche réduite amont 16 entre la coupure 17 et le premier n#ud 11 topologique dérivation situé à l'aval, et non sur la portion 16a s'étendant entre l'entrée IN et la coupure 17, de telle sorte que toutes les branches 12, 13, 14, 15 et cellules à l'aval soient reliées à la piste 20 mère. Lors d'une étape initiale 40, on calcule et affecte une note d'exécution NEX à toutes les options d'exécution de l'étape de dépôt entre les deux pistes mère 20 et fille 10, sans considération des deux conditions mentionnées ci- dessus, et ce, comme décrit ci-dessus en relation avec une opération de dépôt seul. On détermine alors l'option optimale de note d'exécution NEXmax et on ordonne les options d'exécution l'étape de dépôt, par note d'exécution, en leur attribuant un numéro d'ordre NDEP. Lors d'une étape subséquente 41, on ordonne toutes les options d'exécution de l'étape coupure 17 sur la branche réduite amont 16 de la piste fille 10 selon leur note d'accessibilité, et pour les options de même note d'accessibilité, selon leur distance par rapport au point d'entrée IN, et on leur affecte numéro d'ordre entrée NCUT, par exemple qui décroît à partir de l'option d'exécution optimale (meilleure note d'accessibilité et la plus proche du point d'entrée jusqu'à celle qui est la moins bonne. numéro d'ordre NCUT croît donc avec qualité des options d'exécution. Il est à noter que ce numéro d'ordre NCUT peut être considéré comme une note d'exécution de l'étape de coupure. sélectionne lors de l'étape 42 subséquente, l'option d'exécution de l'étape de coupure, de numéro d'ordre NCUTmax ' est la meilleure, indépendamment de l'étape de dépôt. Avec cette option, on recalcule, lors de l'étape 43, le dépôt optimal DEPOPT correspondant, comme décrit ci-dessus en relation avec opération de dépôt seul, mais en prenant pour la piste fille 10 uniquement les polygones de la portion 16b de la branche réduite amont situés entre coupure 17 et noeud 11 topologique de dérivation. On examine ensuite lors de l'étape 44 si la note d'exécution NEX dépôt optimal DEPOPT est égale à NEXmax ou non, c'est-à dire si ce dépôt optimal correspond à une option d'exécution optimale indépendamment de l'étape de coupure. Si tel est le cas, on termine le calcul d'optimisation lors de l'étape 45 puisque les options d'exécution des étapes de coupure et de dépôt qui sont optimales indépendamment sont aussi optimales conjointement. Si tel n'est pas le cas, on enregistre les trois valeurs NDEP, NEX et NCUT de ces options d'exécution (coupure, et dépôt optimal DEPOPT correspondant), lors de l'étape 46. Lors de l'étape 47 suivante, on diminue d'une unité le numéro d'ordre NCUT de l'étape de coupure, de façon à sélectionner l'option d'exécution suivante de qualité immédiatement inférieure, et on réitère les étapes 43, 44, 46, et ce, jusqu'à avoir mémorisé les valeurs NDEP, NEX et NCUT pour toutes les options d'exécution de l'étape de coupure. Une fois cette boucle terminée, on détermine lors de l'étape 48 toutes les combinaisons NDEP, NEX et NCUT, celle qui correspond au compromis optimum. Pour ce faire, plusieurs variantes sont possibles. Dans une première variante, on peut choisir la combinaison présentant une note d'exécution NEX de valeur optimale NEXOPT (la plus grande) pour l'étape de dépôt. Dans une deuxième variante, on peut choisir une combinaison présentant un produit NEX x NCUT de plus grande valeur, et, s'il y a lieu, celle pour laquelle la note d'exécution NEX du dépôt est optimale. Plus généralement, on peut choisir une combinaison pour laquelle une fonction -notamment bi-polynomiale- prédéterminée de la note d'exécution NEX de l'étape de dépôt et de la note d'exécution (numéro d'ordre) NCUT de l'étape de coupure, prend une valeur optimale. S'il y a plusieurs telles combinaisons, on peut choisir celle pour laquelle la note d'exécution NEX du dépôt ou celle pour laquelle la note d'exécution NCUT de la coupure la meilleure. Le choix de cette variante peut être fait notamment selon la nature du circuit intégré 3 et/ou selon les caractéristiques de l'outil (faisceau d'ions focalisé) utilisé. Les fonctions d'un procédé selon l'invention sont réalisées par le système informatique 7 programmé à cet effet, et dans lequel sont mémorisées les données nécessaires correspondantes. L'invention peut faire l'objet de nombreuses variantes par rapport aux modes de réalisation et variantes sus décrites. Par exemple, d'autres étapes peuvent être combinées et simultanément optimisées en tant qu'opération d'intervention ; d'autres calculs d'optimisation peuvent être retenus (par exemple à l'aide de fonctions multi-polynomiales de notes autres qu'un simple produit). L'invention applique aussi avec d'autres installations et d'autres logiciels que ceux décrits. Les programmes sources donnés ci-après sont écrits en langage C et présentent à titre d'exemple une version simplifiée du procédé selon l'invention. ANNEXE PROGRAMME CROSS-REF2 1999 CNES Tous droits réservés. La reproduction intégrale partielle, permanente ou provisoire, par tout moyen ou sous toute forme, la traduction, l'adaptation, l'arrangement, l'exploitation à titre onéreux ou gratuit de ce programme sont strictement interdits sans l'autorisation écrite préalable du CNES. PROGRAMME NOEUD2.C 1999 CNES Tous droits réservés. La reproduction intégrale ou partielle, permanente ou provisoire, par tout moyen ou sous toute forme, la traduction, l'adaptation, l'arrangement, l'exploitation à titre onéreux ou gratuit de ce programme sont strictement interdits sans l'autorisation écrite préalable du CNES. PROGRAMME N(EUD-TOPOLOGIQUE2.C 1999 CNES Tous droits réservés. La reproduction intégrale ou partielle, permanente ou provisoire, par tout moyen ou sous toute forme, la traduction, l'adaptation, l'arrangement, l'exploitation à titre onéreux ou gratuit de ce programme sont strictement interdits sans l'autorisation écrite préalable du CNES. PROGRAMME CUT-C 1999 CNES Tous droits réservés. La reproduction intégrale ou partielle, permanente ou provisoire, par tout moyen ou sous toute forme, la traduction, l'adaptation, l'arrangement, l'exploitation à titre onéreux ou gratuit de ce programme sont strictement interdits sans l'autorisation écrite préalable du CNES. PROGRAMME DEPOTOPT.C 1999 CNES Tous droits réservés. La reproduction intégrale ou partielle, permanente ou provisoire, par tout moyen ou sous toute forme, la traduction, l'adaptation, l'arrangement, l'exploitation titre onéreux ou gratuit de ce programme sont strictement interdits sans l'autorisation écrite préalable du CNES. REVENDICATIONS 1/ - Procédé de localisation optimale automatique d'une opération d'intervention sur un circuit intégré (3) comportant plusieurs couches physiques définissant un schéma électrique à plusieurs éléments fonctionnels électriques, cette opération d'intervention comprenant au moins une étape appliquée en une zone localisée accessible du côté d'une face, dite face d'intervention (5) du circuit (3), à au moins un élément du schéma électrique, ce procédé comprenant une étape, dite étape d'extraction de polygones accessibles, dans laquelle à partir, d'une part, de données de description topographique identifiant, dans chaque couche du circuit (3), des polygones formés chacun d'un matériau caractéristique du circuit (3) et, d'autre part, de données représentatives du schéma électrique, on calcule des données identifiant, pour au moins chaque élément du schéma électrique auquel au moins une étape de l'opération d'intervention doit être appliquée, les différents polygones, dits polygones accessibles définissant cet élément dans chaque couche circuit (3), et sur lesquels des moyens d'intervention peuvent être positionnés et peuvent effectuer au moins une étape de l'opération d'intervention depuis la face d'intervention (5), caractérisé en ce que on détermine, pour chaque étape de l'opération d'intervention, différentes options d'exécution de cette étape correspondant respectivement à chacun des différents polygones accessibles, dits polygones de départ possibles, sur lesquels cette étape peut être exécutée, les différentes options d'exécution produisant toutes des résultats qui sont équivalents au regard du schéma électrique, et on calcule et on affecte une note à chaque option d'exécution en fonction . de la profondeur de chaque polygone de départ possible de cette option d'exécution, représentée par la distance séparant la couche comprenant ce polygone de la face d'intervention (5), et . de paramètres d'accessibilité de chaque polygone de départ possible de cette option d'exécution, on détermine automatiquement l'option d'exécution optimale à utiliser pour exécuter chaque étape de l'opération d'intervention, par un calcul d'optimisation numérique utilisant les notes affectées aux différentes options d'exécution de chaque étape de l'opération d'intervention. 2/ - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le calcul d'optimisation est adapté pour faciliter l'exécution de l'opération d'exécution et/ou en optimiser la qualité de réalisation et/ou en minimiser la durée totale. 3/ - Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé à ce que le calcul d'optimisation est adapté pour retenir pour chaque étape, une option d'exécution optimale telle qu'une fonction multi-polynomiale -notamment le produit- des notes des options d'exécution des différentes étapes présente une valeur optimum. 4/ - Procédé selon l'une des revendications 1 ' 3, caractérisé en ce que lors de l'étape d'extraction, pour chaque élément on calcule et on génère des données identifiant au moins une série de polygones accessibles satisfont aux conditions suivantes - ils présentent une surface, dite surface accessible réduite, correspondant à une surface non masquée du côté de la face d'intervention par une couche supérieure de matériau de même nature, et dont la dimension dans chaque direction entre deux éléments supérieurs, est diminuée d'une valeur ' qui dépend de la profondeur de la couche du polygone et de la nature des moyens d'intervention destinés à être utilisés sur cet élément, - la dimension dans chaque direction de 1â surface accessible réduite est supérieure à une valeur seuil minimale (i, - ladite surface accessible réduite est distante de tous les polygones de matériau de même nature appartenant à un autre élément, d'une distance supérieure à une valeur @, prédéterminée. 5/ - Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'on calcule et on génère, pour chaque élément, des données de plusieurs séries de polygones accessibles avec, pour chaque série, un jeu de valeurs des paramètres ai, (3 et X, en ce qu'on calcule et on affecte un coefficient d'accessibilité ' chaque série et à partir des valeurs des paramètres ai, j3 et #,, et en ce qu'on utilise ce coefficient d'accessibilité à titre de paramètre d'accessibilité lors du calcul de note des options d'exécution de chaque étape effectuée sur cet élément. 6/ - Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'on affecte à chaque polygone de départ possible un coefficient de profondeur qui varie en fonction de profondeur et en ce qu'on calcule la note de chaque option d'exécution selon une fonction bipolynomiale du coefficient de profondeur et du coefficient d'accessibilité de chaque polygone de départ possible. 7/ - Procédé selon l'une des revendications 4 à 6, caractérisé ce qu'on utilise l'aire de la surface accessible réduite de chaque polygone de départ possible à titre de paramètre d'accessibilité. 8/ Procédé selon l'une des revendications précédentes caractérisé ce qu'on utilise des paramètres d'accessibilité choisis selon la nature l'étape à effectuer et/ou selon des caractéristiques d'au moins un outil (4) d'intervention utilisé pour exécuter cette étape. 9/ - Procédé selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que lesdites données identifiant les polygones accessibles obtenus l'étape d'extraction sont des données numériques selon un format compatible avec un logiciel d'affichage simultané d'au moins une partie des données d'implantation et des données du schéma électrique correspondant les unes aux autres. 10/ - Procédé selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que l'opération d'intervention consistant en une coupure (17) d'une piste (10) de matériau conducteur formant une équipotentielle du schéma électrique - on extrait, lors de l'étape d'extraction, les polygones accessibles d'une branche de la piste (10), dite branche réduite amont (16), s'étendant entre point d'entrée (IN) prédéterminé et le premier nceud (11) de dérivation rencontré selon un sens prédéterminé à l'aval du point d'entrée (IN), - on calcule et on affecte une note d'accessibilité à chaque polygone accessible de la branche réduite amont (16), qui constitue une option d'exécution pour effectuer la coupure (17), - on détermine automatiquement l'option d'exécution optimale pour réaliser la coupure (17) en choisissant, parmi les polygones accessibles qui présentent une note d'accessibilité optimale, celui qui est le plus proche du point d'entrée (IN). 1 - Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'opération d'intervention consistant à réaliser un dépôt (18) de matériau conducteur entre une piste, dite piste mère (20), de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle mère, du schéma électrique, et une piste, dite piste fille (10), de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle fille, du schéma électrique, chaque option d'exécution comprenant un polygone de départ possible, dit polygone mère (Pin), de la piste mère (20), et un polygone de départ possible, dit polygone fille (Pf), de la piste fille (10), on détermine automatiquement l'option d'exécution optimale à partir d'au moins calcul de distance D(Pm, Pf) entre le polygone mère (Pm) et le polygone fille (Pf) en visant à minimiser cette distance. - Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'on calcule la distance D(Pm, Pf) entre les polygones en considérant chaque polygone comme représenté par segment de droite projeté dans un même plan parallèle à la face d'intervention (5). 1 - Procédé selon l'une des revendications 11 ou 12, caractérisé en ce qu'on calcule la distance D(Pm, Pf) entre les polygones comme la plus petite valeur des quatre distances (del, de2, de3, de4) calculées entre leurs extrémités (31 à 34) respectives, et des distances (dpl, dp4) entre chaque extrémité (31 à 34) d'un de ces polygones (Pm, la projection orthogonale (PP1 à PP4) de cette extrémité (31, 34), si elle existe, l'autre polygone (Pf, Pm). - Procédé selon l'une des revendications 11 à 13, caractérisé en ce qu'on détermine l'option d'exécution optimale en optimisant la valeur d'une note d'exécution NEX formule NEX=f(D(Pm, Pf), NACC(Pm), NACC(Pf)) où D(Pm,Pf) est la distance calculée entre les polygones mère (Pm) et fille (Pf) , et NACC(Pm) et NACC(Pf) sont des notes d'accessibilité des polygones mère (Pm) et, respectivement, fille (Pf) calculées de façon à être minimales pour les polygones de moindre profondeur et les plus accessibles, et f est une fonction multipolynomiale. - Procédé selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'opération d'intervention consistant à réaliser une étape de coupure (17) d'une piste, dite piste fille ( 0), de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle fille du schéma électrique, et une étape de dépôt d'une piste de matériau conducteur (18) entre une piste, dite piste mère (20), de matériau conducteur formant une équipotentielle, dite équipotentielle mère, du schéma électrique, une portion résiduelle (16a) de la piste fille (10) entre la coupure (17) et un premier noeud (1 de dérivation rencontré selon un sens prédéterminé à l'aval de la coupure (1 ), - on extrait, lors de l'étape d'extraction, au moins tous les polygones accessibles de chaque piste mère (20) et fille (10), - on calcule et on affecte une note d'exécution à chaque option d'exécution de l'étape de dépôt en considérant tous les polygones accessibles la piste mère (20) et de la piste fille (10), - on calcule et on affecte une note d'exécution à chaque option d'exécution de l'étape de coupure, - on détermine automatiquement le meilleur compromis d'étape coupure et d'étape de dépôt, en déterminant, pour chaque option d'exécution de l'étape de coupure, l'option d'exécution optimale (DEPOPT) de l'étape de dépôt correspondant à cette option d'exécution de l'étape de coupure, en considérant, les options d'exécution de l'étape de dépôt, uniquement les polygones accessibles de la portion (16b) de la branche réduite amont de la piste fille (10) s'étendant entre la coupure (17) et le noeud (11) topologique de dérivation. 16/ - Installation comprenant - des moyens (2) de réception d'un circuit intégré (3) comportant plusieurs couches physiques définissant un schéma électrique à plusieurs éléments fonctionnels électriques, et - des moyens (4) d'intervention sur au moins une face, dite face d'intervention (5), d'un circuit intégré (3) placé sur les moyens (2) de réception, ces moyens (4) d'intervention étant adaptés pour permettre d'effectuer une opération d'intervention prédéterminée comprenant au moins une étape appliquée en une zone localisée accessible du côté de la face d'intervention, à au moins un élément du schéma électrique, - des moyens, dits moyens d'extraction de polygones accessibles, de calcul à partir, d'une part, de données de description topographique identifiant, dans chaque couche du circuit (3), des polygones formés chacun d'un matériau caractéristique du circuit (3) et, d'autre part, de données représentatives du schéma électrique, de données identifiant, pour au moins chaque élément du schéma électrique auquel au moins une étape de l'opération d'intervention doit être appliquée, les différents polygones, dits polygones accessibles, définissant cet élément dans chaque couche du circuit (3), et lesquels les moyens (4) d'intervention peuvent être positionnés et peuvent effectuer au moins une étape de l'opération d'intervention depuis la face d'intervention caractérisée en ce qu'elle comprend - des moyens pour déterminer, pour chaque étape de l'opération d'intervention, différentes options d'exécution de cette étape correspondant respectivement à chacun différents polygones accessibles, dits polygones de départ possibles, sur lesquels cette étape peut être exécutée, les différentes options d'exécution produisant toutes des résultats qui sont équivalents au regard du schéma électrique, et pour calculer et affecter une note à chaque option d'exécution en fonction la profondeur de chaque polygone de départ possible de cette option d'exécution représentée par la distance séparant la couche comprenant ce polygone de la face d'intervention (5), et de paramètres d'accessibilité de chaque polygone de départ possible de cette option d'exécution, - des moyens pour déterminer automatiquement l'option d'exécution optimale à utiliser pour exécuter chaque étape de l'opération d'intervention, par un calcul d'optimisation numérique utilisant les notes affectées aux différentes options d'exécution de chaque étape de l'opération d'intervention. 17/ - Installation selon la revendication 16, caractérisée en ce qu'elle est adaptée pour mettre en #uvre un procédé selon l'une des revendications 1 à 15.