Brevet FR2798462A1 — publié le 20010316

À PROCEDE POUR TESTER UNE INTERFACE DE LIAISON La présente invention concerne un procédé pour tester la résistance d'une interface de liaison et, d'une manière plus spécifique, un procédé pour préparer et tes- ter un échantillon d'évaluation d'un ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" de manière à déterminer la résistance de la liaison entre la cible de pulvérisa- tion et la plaque de support. La pulvérisation cathodique est largement uti- lisée lors du dépôt de couches minces de matériaux sur des substrats désirés. Fondamentalement, ce processus né- cessite le bombardement ionique en phase gazeuse d'une cible de pulvérisation dont une face est formée d'un ma- tériau désiré à déposer sous la forme d'un film ou d'une couche mince sur un substrat. Le bombardement ionique de la cible provoque non seulement la pulvérisation des ato- mes ou des molécules des matériaux de la cible, mais im- partit une énergie thermique considérable à la cible. Cette chaleur est dissipée au-dessous ou autour d'une plaque de support qui est positionnée suivant une rela- tion d'échange thermique avec la cible. La cible de pul- vérisation forme une partie d'un ensemble "cathode" qui, en association avec une anode, est placé dans une chambre sous vide remplie d'un gaz inerte, d'une manière préférée de l'argon. Un champ électrique est appliqué entre la ca- thode et l'anode. Le gaz inerte est ionisé par collision avec les électrons éjectés de la cathode. Des ions de gaz, chargés positivement, sont attirés par la cathode et, lorsque ceux-ci heurtent la surface de la cible, ces ions délogent le matériau de la cible. Le matériau de la cible délogé traverse l'enceinte sous vide et se dépose sous la forme d'un film mince sur le substrat désiré, qui est normalement positionné à proximité de l'anode. Dans un ensemble "cathode cible" classique, la cible de pulvérisation est fixée, au niveau d'une unique surface de liaison, sur une plaque de support non-magnétique de manière à former une interface paral- lèle dans l'ensemble. La plaque de support constitue des moyens pour maintenir l'ensemble cible dans la chambre de pulvérisation et assure la stabilité structurelle de l'ensemble cible. Par ailleurs, la plaque de support est normalement refroidie à l'eau afin de dissiper la chaleur générée par le bombardement ionique de la cible. Pour obtenir un bon contact thermique et élec- trique entre la cible de pulvérisation et la plaque de support, ces éléments sont communément fixés l'un contre l'autre en utilisant la soudure, le brasage, la liaison par diffusion, la liaison à l'état solide, la liaison par explosion, la fixation mécanique ou la liaison à l'époxy. La liaison entre la cible de pulvérisation et la plaque de support doit résister aux contraintes exercées sur l'ensemble "cible/plaque de support" qui surviennent lors du refroidissement. Si la liaison n'est pas suffisamment forte, la cible de pulvérisation et la plaque de support se sépareront durant l'utilisation. Un test d'assurance qualité est effectué par les fabricants et les utilisateurs des ensembles "cible de pulvérisation/plaque de support", de manière à évaluer la résistance de l'interface de liaison dans le but de minimiser tout risque de séparation durant la pulvérisa- tion. Le procédé actuellement utilisé pour tester les interfaces de liaison fait intervenir l'usinage d'un échantillon d'évaluation suivant des dimensions très pré- cises, échantillon dans lequel l'épaisseur de la couche formant la cible est égale à l'épaisseur de la couche formant la plaque de support, puis en bloquant dans des mâchoires les côtés de chacune des couches constitutives et en soumettant l'échantillon à un test de traction. Par ce procédé, les échantillons d'évaluation sont difficiles à préparer du fait de l'usinage précis qui est néces- saire, et les résultats des tests s'avèrent imprévisibles et peu fiables. Souvent, les matériaux constitutifs, qui sont comprimés par les mâchoires, cèdent avant que l'in- terface de liaison ne soit évaluée. Il existe une cer- taine incertitude quant à savoir si les résultats du test s'appliquent à la résistance de l'interface de liaison ou à la résistance des matériaux qui constituent la cible de pulvérisation et la plaque de support. Il serait par conséquent utile de disposer d'un procédé qui permette de tester la résistance d'une inter- face de liaison et dans lequel l'échantillon d'évaluation soit simple à préparer et les résultats soient reproduc- tibles et fiables. La présente invention fournit un procédé pour tester la résistance d'une liaison entre deux composants métalliques, d'une manière spécifique entre une cible de pulvérisation et une plaque de support. A cet effet, et ce conformément aux principes de la présente invention, un échantillon d'évaluation est préparé en formant par usinage un échantillon à partir d'un ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" et en enlevant une par- tie de l'interface de liaison, tel que par découpe à la scie, à une extrémité de l'échantillon de manière à for- mer une fente qui sépare la cible de pulvérisation de la plaque de support. Par ce procédé selon la présente in- vention, un échantillon d'évaluation est préparé, ce- lui-ci comportant une zone non-collée dans laquelle le matériau de la cible de pulvérisation est séparé du maté- riau de la plaque de support et une zone collée dans laquelle l'interface de liaison est préservée pour le test. Le composant formant la cible de pulvérisation et le composant formant la plaque de support sont ensuite agrippés dans la zone non-collée et sont soumis à une traction dans des directions opposées jusqu'à rupture de la liaison dans la zone collée. Dans un mode préféré de réalisation de la pré- sente invention, un trou traversant est percé dans une extrémité de l'échantillon, et la fente est formée au ni- veau de cette même extrémité de manière à ce que le trou soit séparé en deux trous, l'un dans le matériau de la cible de pulvérisation et l'autre dans le matériau de la plaque de support à l'intérieur de la zone noncollée, lesquels trous peuvent alors être agrippés et une force régulière appliquée afin de séparer, en tirant dessus, les composants de la cible de pulvérisation et de la pla- que de support. Dans un autre procédé selon la présente inven- tion, la partie en question de l'interface de liaison peut être enlevée en premier, étape suivie par le perçage d'un trou à travers le composant formant la cible de pul- vérisation, trou allant jusqu'à déboucher dans la fente ou formé juste partiellement dans le composant, et par le perçage d'un second trou à travers le composant formant la plaque de support, trou allant jusqu'à déboucher dans la fente ou formé juste partiellement dans le composant. Conformément aux principes de la présente in- vention, les trous peuvent être taraudés avec des filets de manière à ce que des tiges filetées puissent être in- sérées afin d'agripper les trous, rendant ainsi plus aisé le test de traction. Dans les modes de réalisation dans lesquels les trous sont des trous traversants, si les fi- lets formés dans l'un de ces trous, ou dans les deux, se voient arrachés de par la force régulière appliquée, l'une des tiges, ou les deux, peut ou peuvent être blo- quées par un écrou et/ou boulon à l'intérieur de la fente séparant les deux composants métalliques de manière à ce que le test de traction puisse être poursuivi jusqu'à la rupture. En plus des principes de la présente invention, l'échantillon d'évaluation possède, d'une manière préfé- rée, une longueur supérieure à la largeur, et la zone collée est, d'une manière préférée, plus longue que la zone non-collée. En outre, les trous sont préférentielle- ment à peu près centrés dans la zone non-collée. On fournit, par conséquent, un procédé pour préparer et tester un échantillon d'un ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" ou autre composite mé- tallique qui isole l'interface de liaison afin d'évaluer d'une manière aisée et fiable la résistance de la liaison entre les deux composants métalliques. Ces buts et avantages de la présente invention, ainsi que d'autres, apparaîtront plus clairement à la lecture de la description faite en référence aux dessins annexés. Les dessins annexés, qui sont incorporés dans la présente description et en font partie intégrante, il- lustrent des modes de réalisation de la présente inven- tion et, en association avec la description générale de l'invention faite ci-dessus et la description détaillée faite ci-après, servent à expliquer les principes de l'invention. Sur les dessins: - la figure 1 est une vue en perspective d'un échantillon d'évaluation de l'interface de liaison selon la présente invention, - la figure 2 est un échantillon d'évaluation de l'ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" testé par un procédé selon la présente invention, - la figure 3 est un échantillon d'évaluation de l'ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" testé par un procédé proposé en variante selon la pré- sente invention, - la figure 4 est un échantillon d'évaluation de l'ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" testé par un procédé proposé en variante selon la pré- sente invention et illustrant une interface de liaison faible, et - la figure 5 est un échantillon d'évaluation de l'ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" testé par le procédé de la figure 4 et illustrant une in- terface de liaison forte. On va maintenant décrire la présente invention. La présente invention permet l'évaluation de l'interface de liaison entre deux composants métalliques par un test de traction ou par des procédés similaires. La présente invention peut s'appliquer à n'importe quel matériau composite métallique dans lequel les couches du composite sont reliées par soudage, brasage, liaison par diffusion, liaison à l'état solide, liaison par explo- sion, fixation mécanique, liaison à l'époxy ou autre pro- cédé de liaison destiné à créer une interface résistante entre couches adjacentes. Un premier type d'ensemble com- posite, présentant un intérêt particulier pour les pré- sents inventeurs, est l'ensemble "cible de pulvérisa- tion/plaque de support", lequel sera en conséquence uti- lisé pour établir les principes de la présente invention. Les principes de la présente invention peuvent être appliqués à une cible de pulvérisation à n'importe quelle phase de l'utilisation, à partir d'une cible col- lée non-pulvérisée brute jusqu'à une cible pleinement utilisée. Les métaux ou alliages constituant les compo- sants du composite, c'est-à-dire la cible de pulvérisa- tion et la plaque de support, peuvent être un métal ou un alliage quelconque, et le matériau de la cible de pulvé- risation peut être similaire ou non au matériau de la plaque de support. Le procédé de la présente invention peut être utilisé sur n'importe quelle configuration, s'agissant de l'ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support", et ce quel que soit le procédé de liaison. La présente invention permet de ne tester que l'interface de liaison, tout en éliminant l'erreur liée au test invo- lontaire de la résistance des matériaux composites. La présente invention fournit un procédé pour préparer un échantillon de l'interface de liaison d'un ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" (ou autre composite métallique) et tester l'échantillon, tel que par un essai de traction, afin de déterminer la ré- sistance et la fiabilité de la liaison. A cet effet, et ce conformément aux principes de la présente invention, un échantillon de test 10, tel qu'illustré sur la vue en perspective de la figure 1, est usiné à partir d'un en- semble "cible de pulvérisation/plaque de support". Le composant métallique supérieur 12 comprend une partie de la cible de pulvérisation (non-représentée), et le compo- sant métallique inférieur 14 comprend une partie de la plaque de support (non-représentée). Les deux composants 12, 14 sont reliés au niveau d'une interface de liaison 16 dans une zone collée 18 de l'échantillon de test 10, et sont séparés par une fente 20 dans une zone non-collée 22 de l'échantillon de test 10. La fente s'étend sur toute la largeur W de l'échantillon mais, d'une manière préférée, possède une profondeur, à l'intérieur de l'échantillon de test, qui fait que la zone collée 18 de l'échantillon de test 10 est de longueur plus importante que la zone non-collée 22. L'épaisseur de la fente cor- respond sensiblement, d'une manière préférée, à l'épais- seur de l'interface de liaison ou lui est supérieure. L'épaisseur T de l'échantillon de test 10 et des composants supérieur et inférieur 12, 14 respectifs est déterminée par l'épaisseur de l'ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support" (non-représenté), ce qui fait qu'il est inutile de recourir à un usinage précis afin d'établir des dimensions serrées, avec des épais- seurs identiques pour les composants. La fiabilité du procédé de test de la présente invention est maximisée lorsque la zone collée 18 est de longueur plus importante que la zone non-collée 22, avec, par exemple, un rapport de longueurs de l'ordre de 3:1. Pour faciliter la prépa- ration de l'échantillon, et assurer la compatibilité avec la plupart des appareils de traction, l'échantillon de test est usiné, d'une manière préférée, de manière à ce que sa largeur soit de l'ordre de 1,25 à 3,75 cm et sa longueur soit de 7,5 à 12,5cm, la zone collée 18 ayant une longueur de 6,25 à 8,75 cm et la zone non-collée 22 ayant une longueur de 1,25 à 3,75 cm. La zone non-collée 22 de l'échantillon de test comporte un trou 24 formé dans le composant supérieur 12 et un trou 26 formé dans le composant inférieur 14. Bien que les trous puissent être formés partiellement dans chacun des composants supérieur et inférieur, il est préférable que les trous 24, 26 soient formés de manière à déboucher dans la fente 20. Dans un mode préféré de réalisation de la présente invention, les trous 24, 26 sont filetés de manière à recevoir une tige filetée, un boulon ou autre dispositif de fixation. Les trous 24, 26 sont à peu près centrés, d'une manière préférée, dans la zone non-collée 22 (aussi centrés par rapport à la fente ). A titre d'exemple, et ce d'une manière non-limitative, un échantillon de test selon la présente invention peut avoir les dimensions suivantes: 2,5 cm pour la largeur; 10 cm pour la longueur totale; 2,5 x 2, 5 pour la fente; trou traversant 7,5/20 cm-16 filets entre la partie supérieure de la cible de pulvéri- sation en titane et la partie inférieure de la plaque de support en aluminium, positionné d'une manière centrée à 1,25 cm de l'extrémité et des côtés de l'échantillon. La fente 20 qui sépare le composant supérieur 12 (cible de pulvérisation) du composant inférieur 14 (plaque de support) peut être formée conformément aux principes de la présente invention avant ou après la formation des trous 24, 26. Si souhaité, un unique trou peut être percé dans une extrémité d'un échantillon de test entièrement collé, étape suivie par la formation d'une fente, tel que par découpe à la scie, à l'extrémité qui contient le trou. L'action qui consiste à former la fente crée la zone non-collée 22 en enlevant l'interface de liaison 16 à une extrémité de l'échantillon et sert à sé- parer le trou unique en deux trous 24, 26. En variante, la fente 20 peut être tout d'abord formée, et les deux trous 24, 26 formés simultanément en effectuant un per- çage de la partie supérieure à la partie inférieure, ou vice versa, ou formés séparément en perçant dans la sur- face supérieure du composant supérieur en direction de la fente 20 et, d'une manière préférée, à travers cette der- nière, et en perçant dans la surface inférieure du compo- sant inférieur en direction de la fente 20 et, d'une ma- nière préférée, à travers cette dernière. Ces modes de réalisation permettent au matériau de la cible de pulvé- risation et au matériau de la plaque de support d'être séparés dans la région du trou, tout en préservant une grande partie de l'interface de liaison dans la zone ad- jacente de l'échantillon à des fins de test. En outre, ces procédés pour préparer les échantillons destinés aux tests de traction sont très simplifiés par rapport aux procédés d'usinage complexes de la technique antérieure. Une fois l'échantillon de test 10 de la pré- sente invention usiné, les trous sont agrippés et les composants supérieur et inférieur 12, 14 sont séparés par traction en appliquant une force à peu près régulière. A cet effet, et ce conformément aux principes de la pré- sente invention, des tiges, des boulons ou autres élé- ments de fixation sont fixés dans les trous 24, 26. Ceci s'effectue le plus facilement en taraudant les trous et en vissant dedans des tiges filetées ou des boulons. Une fois les tiges fixées, l'échantillon de test 10 est placé dans un appareil de traction, tel que dans une unité de traction standard ou dans tout appareil conçu pour simu- ler les charges appliquées par un appareil de traction standard. Les tiges sont alors agrippées par l'appareil et le composant formant la cible de pulvérisation est soumis à une traction dans une direction l'éloignant du composant formant la plaque de support, et la force à ap- pliquer pour rompre la liaison est mesurée. Le composant formant la plaque de support peut rester fixe ou peut être soumis à une traction d'une manière similaire dans une direction l'éloignant du composant formant la cible de pulvérisation. Par ce procédé, une contrainte est ap- pliquée sur l'interface de liaison 16 au niveau du point o l'interface de liaison 16, dans la zone collée 18, rencontre la fente 20 de la zone non-collée 22, évaluant ainsi la résistance de la liaison au lieu de la résis- tance des matériaux constituant les composants 12, 14. Bien que non-représenté, les composants 12, 14 peuvent être soumis à une traction visant à les séparer en recourant à un procédé autre qu'un procédé qui con- siste à former des trous dans chaque composant et à fixer des tiges ou autres éléments de fixation à l'intérieur des trous et à exercer une traction dans des directions opposées. Les composants 12, 14, par exemple, pourraient être saisis dans la zone non-collée 22 et les composants 12, 14 soumis à une traction. A titre d'exemple supplé- mentaire, un trou fileté pourrait être formé dans le com- posant supérieur 12 et une tige filetée vissée d'une ma- nière continue à travers la fente 20 en direction du com- posant inférieur 14 jusqu'à ce que le composant inférieur l1 14 soit repoussé à l'écart du composant supérieur 12 et la liaison rompue. Dans chaque exemple, en vertu de la fente 20, la contrainte se concentrera sur l'interface de liaison 16 au niveau du point o l'interface de liaison 16 de la zone collée 18 rencontre la fente 20 de la zone non-collée 22, et non au sein des matériaux constituant les composants 12, 14. Les figures 2 à 5 illustrent d'autres procédés selon la présente invention pour tester l'interface de liaison 16 entre les deux composants métalliques 12, 14, une cible de pulvérisation et une plaque de support, res- pectivement, de la figure 1. Dans le procédé illustré sur la figure 2, des tiges filetées 28, 30 sont fixées dans des trous 24, 26, respectivement, et les tiges sont sai- sies (non-représenté) par un appareil de traction (non-représenté) et sont soumises à une traction dans des directions à peu près opposées, comme indiqué par les flèches. Au cours du test illustré sur la figure 2, l'in- terface se rompt proprement, ce qui indique une liaison très faible. Dans le procédé de la présente invention illus- tré sur la figure 3, une tige filetée 30 est insérée dans un trou 26 formé dans le composant inférieur 14, tandis qu'un boulon fileté 32 est inséré dans un trou 24 formé dans le composant supérieur 12. Les deux composants 12, 14 sont tirés loin l'un de l'autre, d'o un déchirement graduel de l'interface de liaison 16. L'application de la force régulière sur les trous filetés, qui induit une contrainte sur l'interface de liaison, peut aussi arra- cher les filets formés sur l'un des trous 24, 26, ou sur les deux, en particulier sur le trou supérieur 24. Par conséquent, au cours du test de traction, lorsque la fente a été suffisamment ouverte, un écrou 34 est fixé à l'intérieur de la fente ouverte sur le boulon fileté 32 afin d'éviter que le boulon ne sorte du trou 24 dans l'éventualité o les filets viendraient à être endomma- gés. Au cours du test illustré sur la figure 3, l'inter- face de liaison se déchire graduellement dans le sens de la longueur de l'échantillon, ce qui indique une liaison de résistance faible à moyenne. Dans le procédé de la présente invention illus- tré sur les figures 4 et 5, une tige filetée 30 est fixée dans un trou 26 formé dans le composant inférieur 14, tandis qu'un boulon fileté 32 est fixé dans un trou 24 formé dans le composant supérieur 12 de manière à ce que la tête 36 du boulon 32 se situe à l'intérieur de la fente. Une rondelle 38 peut aussi être utilisée pour pro- téger les matériaux des composants vis-à-vis de la tête 36 du boulon. Du fait de la petite épaisseur de la fente 20 avant le test, le boulon 32 peut être inséré de la ma- nière indiquée après avoir exercé une première traction destinée à ouvrir la fente en agrippant le premier trou par un autre procédé, tel qu'en utilisant une tige file- tée vissée à l'intérieur du trou. Ce mode de réalisation est utile dans le cas o les filets ont été endommagés et les filets ne sont pas présents afin de permettre à la tige d'agripper le trou. Au cours du test illustré sur la figure 4, l'interface de liaison s'est déchirée graduel- lement suivant la longueur de l'échantillon, ce qui indi- que une liaison de résistance faible à moyenne, juste comme sur la figure 3. Au cours du test illustré sur la figure 5, l'interface de liaison s'est avérée si résis- tante que les deux composants ne sont pas séparés dans la zone collée, et le matériau formant le composant supé- rieur 12 s'est déformé et déchiré dans la zone non-collée. En utilisation, le procédé de la présente in- vention peut être utilisé pour tester des matériaux com- posites avant ou après utilisation partielle ou complète afin de déterminer la fiabilité et la résistance de l'in- terface de liaison entre les deux couches collées. Le procédé de la présente invention offre une manière simple et homogène de préparer et de tester des échantillons d'évaluation d'interfaces de liaison, tels que des échan- tillons d'ensembles cible de pulvérisation/plaque de sup- port", avec des résultats fiables et reproductibles. Bien que la présente invention ait été illus- trée par la description de modes de réalisation associés, et bien que les modes de réalisation aient été décrits d'une manière considérablement détaillée, ceux-ci ne sont nullement destinés à restreindre ni d'aucune manière à limiter la portée des revendications annexées à de tels détails. D'autres avantages et modifications apparaîtront aisément à l'homme du métier. Par exemple, bien que des ensembles "cible de pulvérisation/plaque de support" col- lés aient été spécifiquement identifiés, la présente in- vention peut être utilisée pour tester la résistance de la liaison entre deux couches de n'importe quel composite métallique. En outre, bien que des procédés spécifiques aient été décrits pour former la fente et les trous dans l'échantillon de test, et pour agripper les trous, il faut noter que d'autres techniques et procédés connus de l'homme du métier peuvent être utilisés d'une manière si- milaire conformément aux principes de la présente inven- tion afin de permettre une évaluation fiable de l'inter- face de liaison. La présente invention, dans ses aspects les plus larges, n'est par conséquent pas limitée aux dé- tails spécifiques, à l'appareil et au procédé représenta- tif, ni aux exemples illustratifs présentés et décrits. En conséquence, il est possible de s'éloigner des détails mentionnés sans s'écarter de la portée ni de l'esprit du concept inventif général du demandeur. REVENDICATIONS 1. Procédé pour tester la résistance de la liaison entre les couches d'un composite se constituant d'un premier composant métallique (12) et d'un second composant métallique (14), une surface du premier compo- sant métallique (12) étant collée contre une surface du second composant métallique (14) de manière à former une interface de liaison (16), le procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte les étapes consistant à: enlever un volume de matière comprenant l'in- terface de liaison (16) à partir d'une extrémité du com- posite de manière à former une fente (20) qui sépare le premier composant métallique (12) du second composant mé- tallique (14) afin de définir une zone non-collée (22) au niveau de ladite extrémité, agripper le premier composant métallique (12) dans la zone non-collée (22), agripper le second composant métallique (14) dans la zone non-collée (22), et appliquer une force sur les premier et second composants métalliques (12, 14) agrippés, qui tire sur le premier composant métallique (12) dans une direction l'éloignant du second composant métallique (14) jusqu'à rupture de la liaison et mesurer la force à la rupture. 2. Procédé selon la revendication 1, caractéri- sé en outre en ce qu'il comporte la formation d'un pre- mier trou (24) dans le premier composant métallique (12) dans la zone noncollée (22) et d'un second trou (26) dans le second composant métallique (14) dans la zone non-collée (22), les étapes consistant à agripper les premier et second composants métalliques (12, 14) in- cluant l'insertion, dans chacun des premier et second trous (24, 26), d'un élément de fixation, et l'étape con- sistant à appliquer une force incluant l'étape consistant à appliquer une force sur les éléments de fixation. 3. Procédé pour tester la résistance de la liaison entre les couches d'un composite se constituant d'un premier composant métallique (12) et d'un second composant métallique (14), le composite comportant une zone collée (18) dans laquelle une surface du premier composant métallique (12) est collée contre une surface du second composant métallique (14) et une zone non-collée (22) dans laquelle la surface du premier com- posant métallique (12) est séparée, par une fente (20), de la surface du second composant métallique (14), le procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte les étapes consistant à: former un premier trou (24) au moins à travers une partie du premier composant métallique (12) dans la zone non-collée (22) et former un second trou (26) au moins à travers une partie du second composant métallique (14) dans la zone non-collée (22), agripper le premier trou (24), agripper le second trou (26), et appliquer une force sur les premier et second trous (24, 26) agrippés, qui tire sur le premier compo- sant métallique (12) dans une direction l'éloignant du second composant métallique (14) jusqu'à rupture de la liaison et mesurer la force à la rupture. 4. Procédé selon la revendication 3, caractéri- sé en outre en ce qu'il comporte le taraudage du premier trou (24) et le vissage d'une tige filetée dans le pre- mier trou (24) afin de l'agripper, et en ce que l'étape d'application d'une force inclut l'étape consistant à ap- pliquer une force sur la tige filetée dans une direction opposée au second trou (26). 5. Procédé selon la revendication 3, caractéri- sé en ce que les premier et second trous (24, 26) sont formés en formant tout d'abord un trou unique à travers les premier et second composants métalliques (12, 14), puis en formant la zone non-collée (22) en enlevant à partir du composite un volume de matière constituant une interface de liaison (16) entre les premier et second composants métalliques (12, 14) de manière à former une fente (20) entre eux, définissant la zone noncollée (22), en séparant ainsi le trou unique en premier et se- cond trous (24, 26). 6. Procédé pour évaluer la résistance de la liaison entre une cible de pulvérisation et une plaque de support, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes con- sistant à: préparer un échantillon d'évaluation d'inter- face de liaison en usinant un échantillon (10) à partir d'un ensemble "cible de pulvérisation/plaque de support", en perçant un trou dans une première extrémité de l'échantillon (10) suivant l'épaisseur (T) de l'échan- tillon (10), et en enlevant une partie de l'interface de liaison (16) sur toute la largeur (W) de l'échantillon (10) au niveau de la première extrémité de manière à for- mer une fente (20) séparant la cible de pulvérisation de la plaque de support et divisant ainsi le trou en un trou supérieur (24) et en un trou inférieur (26), fixer une première tige (28) dans le trou supé- rieur (24) et une seconde tige (30) dans le trou infé- rieur (26), et mettre en prise les première et seconde tiges (28, 30) et appliquer dessus une force qui écarte la ci- ble de pulvérisation et la plaque de support l'une de l'autre jusqu'à rupture de la liaison et mesurer la force à la rupture. 7. Procédé selon la revendication 6, caractéri- sé en ce que la longueur de l'échantillon (10) est de l'ordre de 7,5 à 12, 5 cm et la largeur (W) est de l'ordre de 1,25 à 3,75 cm, et en ce que la fente (20) est formée sur une longueur de l'ordre de 1,25 à 3,75 cm. 8. Procédé pour tester la résistance de la liaison entre les couches d'un composite se constituant d'un premier composant métallique (12) et d'un second composant métallique (14), le composite comportant une zone collée (18) au niveau de laquelle une surface du premier composant métallique (12) est collée contre une surface du second composant métallique (14) et une zone non-collée (22) au niveau de laquelle la surface du pre- mier composant métallique (12) est séparée, par une fente (20), de la surface du second composant métallique (14), le procédé étant caractérisé en ce qu'il comporte les étapes consistant à: former un premier trou (24) à travers le pre- mier composant métallique (12) dans la zone non-collée (22), appliquer une force à travers le premier trou (24) qui repousse le second composant métallique (14) dans une direction l'éloignant du premier composant mé- tallique (12) jusqu'à rupture de la liaison et mesurer la force à la rupture. 9. Echantillon d'évaluation d'interface de liaison pour tester la résistance de la liaison entre une cible de pulvérisation et une plaque de support, caracté- risé en ce qu'il comporte: un composant (12) formant une cible de pulvéri- sation et un composant (14) formant une plaque de sup- port, une zone collée (18) au niveau de laquelle une surface du composant (14) formant la cible de pulvérisa- tion est collée sur une surface du composant formant la plaque de support de manière à former une interface de liaison (16), une zone non-collée (22) au niveau de laquelle la surface du composant (12) formant la cible de pulvéri- sation est séparée, par une fente (20), de la surface du composant (14) formant la plaque de support, un premier trou (24), dans la zone noncollée (22), s'étendant à travers le composant (12) formant la cible de pulvérisation, et un second trou (26), dans la zone non-collée (22), s'étendant à travers le composant (14) formant la plaque de support, les premier et second trous (24, 26) étant adaptés chacun pour recevoir une tige, tiges qui, lors de l'application sur celles-ci de forces dirigées dans des directions opposées, sont capables de tirer sur le compo- sant (12) formant la cible de pulvérisation et le compo- sant (14) formant la plaque de support dans des direc- tions opposées de manière à séparer les composants (12, 14) formant la cible de pulvérisation et la plaque de support au niveau de l'interface de liaison (16). 10. Echantillon (10) selon la revendication 9, caractérisé en ce que la longueur de la zone collée (18) est de l'ordre de 6,25 à 8,75 cm, la longueur de la zone non-collée (22) est de l'ordre de 1,25 à 3,75 cm, la lar- geur (W) de l'échantillon (10) est de l'ordre de 1,25 à 3,75 cm, et les premier et second trous (24, 26) sont à peu près centrés dans la zone non-collée (22).