Brevet FR2785983A1 — publié le 20000519

La présente invention se rapporte à un appareil et à un procédé de mesure holographique, notamment pour la TV- holographie. La TV-holographie permet traditionnellement de réaliser I'interférence d'un faisceau objet (onde de Speckle) issue d'un objet et d'un faisceau de référence (sans onde de Speckle), directement sur le plan de la matrice d'une caméra CCD. La caméra CCD enregistre ainsi une image ayant une intensité lumineuse variable spatialement. L'onde de Speckle issue de I'objet a un déphasage optique p qu'on peut extraire de l'intensité lumineuse et qui est représentatif de la position de l'objet. Selon des techniques connues de décalage de phase, on enregistre 3, 4 ou 5 images pour un premier et un second états de l'objet au repos. On en déduit pour chacun de ces deux états une carte de phase, et la différence des deux cartes de phase (modulo 2ir) fournit un changement de phase produit par une déformation de l'objet. Cette technique est bien adaptée pour des enregistrements au laser continu de déformations quasi-statiques d'objets, mais ne convient pas à des enregistrements au laser pulsé d'événements dynamiques. Dans l'article de PEDRINI et al. intitulé " Digital Double Pulse-TVHolography ", Optics and Lasers in Engineering, Vol. 26, pp. 199-219, 1997, il est décrit un système holographique numérique à double pulsation. Ce système utilise une référence fixe, un.peu inclinée par rapport à l'axe optique du système. Cette technique requiert cependant des lasers de forte puissance, qui ont l'inconvénient d'être volumineux et lourds et donc difficiles à déplacer. En effet, elle nécessite de gros grains de Speckle et oblige à employer une ouverture numérique très faible pour I'objectif, de telle sorte que le système capte peu de lumière venant de l'objet. L'article de DAVILA et al. intitulé " Fast electro-optical system for pulsed ESPI carrier fringe generation ", Optics Communications, vol. 123, pp; 457-464, 1996, décrit une technique électro-optique fondée sur l'utilisation d'une cellule de Pockels. 2 2785983 Un faisceau laser émis est séparé en un faisceau de mesure dirigé vers un objet et en un faisceau initial de référence dirigé vers la cellule de Pockels. Le faisceau initial de référence, polarisé alternativement selon des directions horizontale et verticale, est ensuite envoyé vers un séparateur de faisceau polarisant, qui le dirige vers un premier ou un second miroir selon la polarisation du faisceau. Le faisceau de référence obtenu après un nouveau passage par le séparateur, est dirigé vers une caméra, o il interfère avec le faisceau objet. Les deux miroirs, disposés comme dans un interféromètre de Michelson, permettent de former un angle de référence entre les faisceaux de référence renvoyés respectivement par les deux miroirs, grâce à une inclinaison de l'un d'entre eux. Un inconvénient de cette technique est qu'elle requiert une bonne polarisation de la source laser employée et n'est pas compatible avec des fibres ne conservant pas la polarisation. La présente invention concerne un appareil de mesure holographique ne nécessitant pas une source laser polarisée et pouvant mettre en jeu des fibres ne conservant pas la polarisation, tout en pouvant être économique. De plus, I'appareil selon l'invention ne requiert pas de laser de forte puissance et permet de travailler avec une grande ouverture numérique pour l'objectif, ayant ainsi pour avantages de pouvoir être facilement déplaçable et d'autoriser des mesures sur site industriel. L'invention rend possible, à titre d'exemple, une puissance laser comprise entre 10 et 50 mJ pour 1 m2 de surface. L'appareil de mesure holographique de l'invention peut permettre d'enregistrer non seulement des événements statiques, mais aussi dynamiques, et peut autoriser notamment des enregistrements multiples à cadence de répétition élevée. En particulier, il peut permettre de réaliser des enregistrements par la technique de TV-holographie au laser pulsé répétitif sur site industriel sans utilisation de marbre anti-vibratoire. L'invention concerne également un procédé de mesure holographique ayant les avantages précités. 3 2785983 A cet effet, I'invention a pour objet un appareil de mesure holographique comprenant: - au moins une source d'un faisceau laser émis, - des moyens de séparation de ce faisceau en un faisceau de mesure, dirigé vers un objet, et en un faisceau initial de référence, I'objet renvoyant un faisceau objet sous l'effet du faisceau de mesure, - des moyens de production d'au moins deux faisceaux de référence à partir du faisceau émis, les faisceaux de référence formant entre eux au moins un angle de référence déterminé, - un système de commutation d'un des faisceaux de référence à un autre, permettant de sélectionner alternativement chacun des faisceaux de référence, et - au moins un dispositif d'interférométrie réalisant l'interférence du faisceau objet et du faisceau de référence sélectionné. Les interférences entre le faisceau objet et les faisceaux de référence sont comparées de manière à obtenir des informations sur l'objet. Selon l'invention, les moyens de production des faisceaux de référence et le système de commutation comprennent: - un interféromètre de Mach-Zehnder incluant un premier dispositif séparateur séparant un faisceau issu du faisceau émis en deux des faisceaux de référence, deux miroirs réfléchissant respectivement ces deux faisceaux de référence, et un second dispositif séparateur recevant ces faisceaux de référence et les orientant vers le dispositif d'interférométrie, et - au moins un découpeur (chopper) interposé entre les dispositifs séparateurs et bloquant alternativement chacun de ces faisceaux de référence. Ainsi, I'appareil de mesure holographique fonctionne avec une source laser non polarisée et des fibres ne conservant pas la polarisation. Il améliore sensiblement les mesures effectuées grâce à l'emploi, pour chaque faisceau de mesure, d'au moins deux faisceaux de référence au lieu d'un seul. Dans les applications statiques ou quasi-statiques, I'appareil de mesure holographique 4 2785983 permet de s'affranchir de défauts du laser. De plus, un unique faisceau de mesure suffit à obtenir directement des résultats exploitables, alors que l'emploi cumulatif de plusieurs faisceaux de mesure, associés chacun respectivement à un faisceau de référence, nécessite un traitement ultérieur. Dans l'interféromètre de Mach-Zehnder, un décalage angulaire est introduit entre les faisceaux passant dans chacun des deux bras de l'interféromètre. Préférentiellement, ce décalage est obtenu par une légère inclinaison de l'un des deux miroirs ou des deux. Dans une variante de réalisation, le décalage est produit par une inclinaison du premier ou du second dispositif séparateur, éventuellement combinée à une inclinaison d'un des miroirs. Dans une autre variante de réalisation, le décalage angulaire est obtenu au moyen d'un élément optique amovible disposé sur le trajet de l'un des deux faisceaux de référence. Avantageusement, les dispositifs séparateurs sont des cubes séparateurs. Préférentiellement, un unique découpeur est disposé entre les trajets de deux faisceaux de référence et obstrue alternativement chacun de ces trajets. Dans une variante de réalisation, le système de commutation comprend deux découpeurs en opposition de phase, disposés chacun sur le trajet de l'un des deux faisceaux de référence. L'appareil de mesure comprend utilement des moyens de compensation ou d'accumulation de l'effet de certaines composantes de déplacements ou de déformations parasites de l'objet. Ces moyens de compensation comportent par exemple, entre deux bras de référence d'un interféromètre de Mach-Zehnder participant à la formation de plusieurs faisceaux de référence, une distribution de phase quadratique (notamment cylindrique, sphérique ou parabolique) ou de degré supérieur. L'appareil de mesure holographique selon l'invention est particulièrement intéressant pour les applications dynamiques, notamment avec laser pulsé. En effet, outre la réduction sensible 2785983 d'imprécisions dues à des défauts du laser, une unique mesure d'interférence suffit à quantifier des déformations de l'objet à chaque étape, après une phase d'initialisation. Au contraire, en présence d'une unique référence, il n'est pas possible d'obtenir un tel résultat en raison en particulier d'indétermination sur les signes des déplacements. L'angle (ou les angles) de référence est choisi de manière à générer des franges d'interférence permettant une bonne analyse tout en prenant en compte les capacités de résolution de l'appareil de mesure. Les franges créées sur les images interférométriques doivent donc être suffisamment écartées pour être analysables et suffisamment serrées pour donner des résultats précis. A titre d'exemple, I'angle de référence est choisi de manière à obtenir une quarantaine de franges sur l'image interférométrique. Préférentiellement, I'appareil de mesure comporte: - des moyens d'enregistrement d'images interférométriques représentant les interférences entre le faisceau objet et les faisceaux de référence, et une unité de traitement soustrayant, lors de chaque interférence correspondant à un des faisceaux de référence, l'image interférométrique représentant cette interférence et l'image interférométrique obtenue précédemment pour un autre des faisceaux de référence. Cette réalisation est particulièrement avantageuse pour des mesures dynamiques. En effet, lorsque l'on réalise la différence de deux images d'intensité formées respectivement au cours de deux prises de vue, la soustraction des deux images fait apparaître des franges parallèles dues à la porteuse spatiale. Ces franges sont déformées par les mouvements de l'objet entre les prises de vues, traduisant ainsi le mouvement de l'objet entre les deux prises. Les images résultant de ces soustractions (images résultantes) peuvent être analysées de façon automatique par des algorithmes du type transformée de Fourier. Les cadences de prises de vue peuvent être supérieures à 1 kHz. De manière préférée, les faisceaux de référence sont au nombre de deux. Ainsi, dans la forme de réalisation avec les moyens d'enregistrement d'images interférométriques et la soustraction de ces images, chacune des images résultantes met en jeu les deux mêmes références, ce qui facilite et accélère le traitement. Dans une variante de réalisation, le nombre de faisceaux de référence est supérieur à deux, ce qui peut permettre d'obtenir une précision accrue mais au prix d'une complexité plus grande. Les faisceaux de mesure et de référence sont préférentiellement synchronisés Cette réalisation est adaptée aux mesures d'événements dynamiques. De préférence, le système de commutation effectue une commutation d'un faisceau de référence à l'autre entre deux mesures consécutives. Un système électronique de pilotage permet avantageusement de synchroniser les commutations. Dans une forme de réalisation avantageuse d'un tel appareil de mesure, la source est une source de laser pulsé. Dans ce cas, le faisceau de mesure et les faisceaux de référence sont automatiquement pulsés de façon synchronisée, chaque mesure étant avantageusement associée à une impulsion laser. Dans une autre forme de réalisation avantageuse avec synchronisation, la source est une source laser continue et l'appareil de mesure comporte au moins un système d'obturation des faisceaux de mesure et de référence, ces systèmes d'obturation étant synchronisés avec le système de commutation. Ainsi, les moyens d'enregistrement d'images reçoivent successivement des images séparées dans le temps et le faisceau de mesure interfère successivement avec chaque faisceau de référence. Dans une réalisation particulière, le système de commutation, constitué par exemple par un découpeur (chopper), permet de pulser à la fois le faisceau de mesure et les faisceaux de référence. 7 2785983 Préférentiellement, les faisceaux de mesure et de référence ont des variations périodiques. L'appareil de mesure comporte avantageusement une caméra CCD enregistrant les images interférométriques. Il est intéressant d'orienter successivement la porteuse spatiale dans plusieurs directions du plan image, pour mieux mesurer les défauts de l'objet observé ou certaines déformations. L'invention a également pour objet un procédé de mesure holographique dans lequel: - on émet au moins un faisceau laser, - on sépare le faisceau émis en un faisceau de mesure et en un faisceau initial de référence, - on dirige le faisceau de mesure vers un objet, cet objet renvoyant un faisceau objet sous l'effet du faisceau de mesure, - on produit au moins deux faisceaux de référence à partir du faisceau émis, les faisceaux de référence formant entre eux au moins un angle de référence déterminé, et on effectue sélectivement et alternativement l'interférence de chacun des faisceaux de référence avec le faisceau objet, les interférences entre le faisceau objet et les faisceaux de référence étant comparées de manière à obtenir des informations sur l'objet. Selon l'invention, on produit les faisceaux de référence et on sélectionne le faisceau de référence interférant avec le faisceau objet au moins au moyen d'un interféromètre de Mach-Zehnder associé à un découpeur qui bloque alternativement chacun des faisceaux de référence passant par un des bras de l'interféromètre. L'invention sera encore illustrée par la description qui suit d'exemples de mise en oeuvre et de réalisation, donnés à titre indicatif et nullement limitatif, en référence aux dessins annexés sur lesquels: La Figure 1 est un schéma de principe d'un appareil de mesure holographique selon l'invention. La Figure 2 représente un montage particulier d'une partie de I'appareil de mesure holographique de la Figure 1, dans une 8 2785983 position avec un angle de référence nul entre les faisceaux de référence. La Figure 3 illustre le déroulement temporel des impulsions laser et des mesures d'images avec l'appareil de mesure des Figures 1 et 2. La Figure 4 montre un spectre de Fourier provenant d'une image d'interférence obtenue avec l'appareil de mesure des Figures 1 et 2 et avec les impulsions de la Figure 3, et La Figure 5 montre un spectre de Fourier déduit par filtrage du spectre de la Figure 4, utilisé pour la détermination du déphasage optique dans les images interférométriques résultantes. Un montage de TV-holographie 1 comprend (Figure 1) une source 2 d'un faisceau laser 20, une lame séparatrice 3 partageant le faisceau 20 en un faisceau de mesure 21 et un faisceau initial de référence 22, une lentille 8 destinée à diriger le faisceau de mesure 21 vers un objet 11 et une caméra CCD 9 recevant le faisceau de référence et un faisceau objet 26 envoyé par l'objet 11 sous l'effet de la réception du faisceau de mesure 21. La caméra CCD 9 comprend une matrice sur le plan de laquelle I'interférence entre le faisceau objet 26 et le faisceau de référence est réalisée. Les éléments suivants sont disposés entre la lame séparatrice 3 et la caméra CCD 9, de manière à sélectionner et diriger le faisceau de référence: - un miroir piézo-électrique 4 ou tout autre dispositif d'alignement fin assurant un bon couplage de la source 2 avec un dispositif de transmission 7 à fibre optique, - le dispositif de transmission 7, des moyens de production 5 de deux faisceaux de référence 23 et 24 à partir du faisceau initial 22, - un système de commutation 6 permettant de sélectionner alternativement chacun des deux faisceaux de référence 23 et 24, et 9 2785983 - des moyens de recombinaison 12 recombinant le faisceau de référence 25 choisi et le faisceau objet 2 et dirigeant le faisceau résultant vers la matrice de la caméra CCD 9. Le dispositif de transmission 7 permet, grâce à la présence d'une fibre optique, de positionner aisément la source 21 et la caméra 9 dans des positions optimales par rapport à l'objet 11. Les moyens de production 5 produisent des faisceaux de référence 23 et 24 qui forment entre eux un angle de référence O déterminé. Le montage de TV-holographie 1 comporte également une unité de traitement 10 analysant les images obtenues avec la caméra CCD 9. Dans une réalisation particulière d'une partie du montage 1 (Figure 2), celui-ci comprend plus précisément, à l'entrée des moyens de production 5 des faisceaux de référence 23 et 24, une sortie de fibre 31 suivie d'une lentille 32. Les éléments 5 et 6 du montage 1 sont matérialisés par un interféromètre 30 de Mach- Zehnder, au milieu duquel est disposé un découpeur (chopper) 39. L'interféromètre 30 comporte un premier cube séparateur 33 produisant les deux faisceaux de référence 23 et 24 dans respectivement deux bras de l'interféromètre 30 et laissant passer dans chaque bras 50% de l'énergie reçue. L'interféromètre 30 comprend également deux miroirs 34 et 35 dirigeant respectivement chacun des faisceaux de référence 23 et 24 vers un second cube séparateur 36. Les miroirs 34 et 35 sont orientables par rapport à des axes perpendiculaires au plan de la figure, selon respectivement des angles a, et C(2. Leur orientation permet de définir l'angle de référence ca entre les deux faisceaux de référence 23 et 24 reçus par le cube séparateur 36, cet angle de référence a valant 2(al + a2). L'interféromètre 30, représenté sur la Figure 2 dans sa configuration de base (a = 0), est ainsi déréglé en fonctionnement de façon à ce qu'en sortie, les deux faisceaux de référence 23 et 24 fassent l'angle nécessaire pour créer des franges porteuses. L'angle a entre les deux références est obtenu en actionnant l'un des deux miroirs 34 et 35 ou les deux, de façon 2785983 à ce que le nombre de franges porteuses soit suffisant pour un traitement optimal de l'image. Des densités neutres 37 et 38 sont respectivement disposées sur le trajet du faisceau de référence 23 entre le cube séparateur 2 et le miroir 34 et sur le trajet du faisceau de référence 24 entre le miroir 35 et le cube séparateur 36. Elles permettent d'adapter la puissance des faisceaux de référence 23 et 24 à la puissance du faisceau objet 26, donc à la luminosité de la cible. Les deux densités neutres 37 et 38 sont avantageusement identiques. Le découpeur 39 réalise la commutation d'une référence à l'autre, en autorisant alternativement le passage de l'un des deux faisceaux de référence 23 et 24 et en interceptant l'autre. Il a une vitesse de rotation pilotée par la cadence de répétition du laser utilisé et comporte un disque pourvu de plusieurs fenêtres. Le nombre de fenêtres et la vitesse de rotation du découpeur 39 permettent d'ajuster la fréquence à laquelle les faisceaux de référence 23 et 24 doivent être commutés. Le faisceau de référence 25 sélectionné, constitué par l'un ou l'autre des faisceaux de référence 23 et 24 après modification éventuelle d'orientation par les miroirs 34 et 35, est dirigé par le cube séparateur 36 vers un autre miroir orientable 41, puis à travers une lentille 42 vers un cube séparateur 43 assurant la fonction des moyens de recombinaison 12. Le cube séparateur 43 dirige le faisceau de référence 25 vers la caméra CCD 9 à travers un objectif 47. La lentille 42 permet de faire converger le faisceau au niveau du diaphragme de l'objectif 47. Les moyens de réception du faisceau objet 26 comprennent quant à eux un objectif 44 collectant le faisceau objet 26 et le transmettant à une lentille relais 46, avantageusement au-travers d'un filtre interférentiel 45 qui permet de s'affranchir de la lumière ambiante non issue de la source laser 2. Le faisceau objet 26 parvient ainsi également au cube séparateur 43, qui le transmet à la caméra CCD 9. Dans un exemple de réalisation (illustré sur la figure 2), on adopte les valeurs numériques qui suivent pour la configuration du montage 1. on note respectivement dl à d6 les distances entre: - le centre du cube séparateur 33 et le centre de la surface de réflexion du miroir 35 (dl), - la matrice de la caméra 9 et la sortie de l'objectif 47 (d2), - la matrice de la caméra 9 et le centre du cube séparateur 43 (d3), - la matrice de la caméra 9 et l'entrée de le lentille 46 (d4), -la matrice de la caméra 9 et la sortie de l'objectif 44 (d5), et - I'axe de la caméra 9 et le centre du cube séparateur 36 (ou les centres des surfaces de réflexion des miroirs 34 et 41) (d6). On a alors (en mm): dl = 100,d2 = 44, d3 = 120, d4 = 185, d5= 248, d6 = 100. En fonctionnement, on cherche à quantifier des déplacements de l'objet 11 en émettant par exemple le faisceau 20 avec un laser pulsé répétifif de faible puissance et ayant une fréquence supérieure à 1 kHz (source 2). Les variations d'intensité du faisceau 20 sont données par une courbe 51, représentée sur la Figure 3 selon un axe temporel 50, comportant des pics 52a, 52b, 52f... d'impulsions laser espacés consécutivement d'une période T. Les faisceaux de référence 23 et 24 produits par les moyens de production 5, à partir du faisceau initial de référence 22 issus du faisceau 20 sont alors également des faisceaux impulsionnels, qui ont pour période 2T. Les courbes 53 et 55 d'évolution temporelle respective des faisceaux 23 et 24 (Figure 3) comprennent des pics 54a, 54c, 54e... et 56b, 56d, 56f.... correspondant respectivement à un pic sur deux de la courbe 51 du faisceau émis 20. Pour chaque impulsion laser, on enregistre avec la caméra CCD de simples images d'intensité représentant le champ d'interférence entre le faisceau de référence 25 sélectionné et le faisceau objet 26. On obtient ainsi une courbe 57 d'enregistrement temporel de la caméra 9, ayant des pics 58a, 58b, 58c... correspondant alternativement aux pics 54a, 54c, 54e... du 12 2785983 faisceau de référence 23 et aux pics 56b, 56d, 56f... du faisceau de référence 24. A chaque étape, on réalise alors la différence de deux images d'intensité successives, de manière à obtenir des images résultantes 60a, 60b, 60c... ayant une évolution temporelle 59 synchronisée avec les impulsions laser du faisceau émis 20 (Figure 3). Dans chacune des images résultantes 60a, 60b, 60c... des franges parallèles déterminées par l'angle entre les deux faisceaux de référence 23 et 24 sont déformées par les mouvements de I'objet 11 entre les deux prises de vue correspondant à l'image résultante. Chaque image résultante ayant une intensité lumineuse I dépendant de coordonnées x et y dans le plan de la matrice de la caméra 9, x et y étant respectivement perpendiculaire et parallèle aux franges, on peut extraire de l'intensité I le déphasage optique (p lié à la déformation de l'objet. Plus précisément, on peut écrire: I (x,y) = 10 (x,y) 1 + m (x,y). cos[(p(x,y) + 2 7fox], o f0 est la fréquence spatiale de la porteuse, m est le contraste des franges et 10 est une valeur moyenne autour de laquelle oscille l'intensité I. On analyse les images résultantes 60a, 60b, 60c... au moyen de l'unité de traitement 10 par un algorithme du type transformée de Fourier, de façon automatique. Un procédé avantageux de résolution, en relation avec celui décrit dans l'article de TAKEDA et al., J. Opt. Soc. Am., Vol. 72, N 1, pp. 156-160, 1982, est exposé ci-a p rès. a)- On calcule la transformée de Fourier rapide FFT (I) de I'intensité I en fonction de la coordonnée x, de telle sorte qu'on obtient une courbe 70 d'intensité de FFT (I) en fonction d'une coordonnée f qui représente la fréquence spatiale dans la direction x (Figure 4). La courbe 70, tracée selon des axes 71 et 72 donnant respectivement la fréquence f et l'intensité de FFT (I), comporte un pic central 73 et des pics latéraux 74 et 75 de part et d'autre du 13 2785983 pic 73, séparés du pic 73 par un écart f0. L'axe de la coordonnée y est perpendiculaire à la figure. b)- On sélectionne le pic latéral 74 disposé du côté des valeurs positive de la fréquence f et on le translate à l'origine. On obtient ainsi une courbe 76 (Figure 5), qui constitue un filtrage de FFT (1). c)- On calcule la transformée de Fourier inverse par rapport à f de la fonction obtenue après filtrage, de telle sorte qu'on obtien't une fonction complexe g (x,y). d) - Le déphasage optique (p est donné: tg (p (I) S = Im(g)/Re(g), Im et Re désignant respectivement les parties réelle et imaginaire. En résumé, en notant " filt " le filtrage décrit ci-dessus en d), on a: Im I FFT [ filt (FFT(I)] ' tg t (1) =------------ Re { IFFT [ filt (FFT (I)]} REVENDICATIONS 1. Appareil de mesure holographique (1) comprenant: - au moins une source (2) d'un faisceau laser émis (20), - des moyens de séparation (3) dudit faisceau (20) en un faisceau de mesure (21), dirigé vers un objet (11), et un faisceau initial de référence (22), ledit objet (11) renvoyant un faisceau objet (26) sous l'effet du faisceau de mesure, - des moyens de production (5) d'au moins deux faisceaux de référence (23, 24) à partir d'un faisceau initial de référence (22), lesdits faisceaux de référence (23, 24) formant entre eux au moins un angle de référence (cc) déterminé, - un système de commutation (6) d'un desdits faisceaux de référence (23, 24) à un autre desdits faisceaux de référence, permettant de sélectionner alternativement chacun desdits faisceaux de référence, et - au moins un dispositif d'interférométrie (12) réalisant l'interférence dudit faisceau objet (26) et du faisceau de référence (25) sélectionné, les interférences entre le faisceau objet (26) et les faisceaux de référence (23, 24) étant comparées de manière à obtenir des informations sur ledit objet (11), caractérisé en ce que lesdits moyens de production (5) desdits faisceaux de référence et ledit système de commutation (6) comprennent: - un interféromètre de Mach-Zehnder incluant un premier dispositif séparateur (33) séparant le faisceau initial de référence en deux desdits faisceaux de référence (23, 24), deux miroirs (34, 35) réfléchissant respectivement lesdits faisceaux de référence (23, 24) et un second dispositif séparateur (36) recevant lesdits faisceaux de référence (23, 24) et les orientant vers le dispositif d'interférométrie (12), et - au moins un découpeur (39) interposé entre les dispositifs séparateurs (33, 36) et bloquant alternativement chacun desdits faisceaux de référence (23, 24). ; 2785983 2. Appareil de mesure holographique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens de compensation ou d'accumulation de l'effet de certaines composantes de déplacements ou de déformations parasites de l'objet (11). 3. Appareil de mesure holographique selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte: - des moyens d'enregistrement (9) d'images interférométriques représentant lesdites interférences entre le faisceau objet (26) et les faisceaux de référence (23, 24) et - une unité de traitement (10) soustrayant, lors de chaque interférence correspondant à un desdits faisceaux de référence (23, 24), l'image interférométrique représentant ladite interférence et l'image interférométrique obtenue précédemment pour un autre desdits faisceaux de référence. 4. Appareil de mesure selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les faisceaux de référence (23, 24) sont au nombre de deux. 5. Appareil de mesure selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que les faisceaux de mesure (21) et de référence (23, 24) sont synchronisés. 6. Appareil de mesure selon la revendication 5, caractérisé en ce que ladite source (2) est une source de laser pulsé. 7. Appareil de mesure selon la revendication 5, caractérisé en ce que ladite source est une source laser continue et l'appareil de mesure comporte au moins un système d'obturation des faisceaux de mesure (21) et de référence (23, 24), lesdits systèmes d'obturation étant synchronisés avec ledit système de commutation (6). 8. Appareil de mesure selon l'une quelconque des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que les faisceaux de mesure (21) et de référence (23, 24) ont des variations périodiques. 9. Appareil de mesure selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte une caméra CCD (9) enregistrant lesdites images interférométriques. 16 2785983 10. Procédé de mesure holographique dans lequel: - on émet au moins un faisceau laser (20), - on sépare ledit faisceau émis (20) en un faisceau de mesure (21) et en un faisceau initial de référence (22), - on dirige le faisceau de mesure (21) vers un objet (11), ledit objet renvoyant un faisceau objet (26) sous l'effet du faisceau de mesure (21), - on produit au moins deux faisceaux de référence (23, 24) à partir du faisceau initial de référence (22), lesdits faisceaux de référence (23, 24) formant entre eux au moins un angle de référence (ct) déterminé, et - on effectue sélectivement et alternativement l'interférence de chacun des faisceaux de référence (23, 24) avec le faisceau objet (26), lesdites interférences entre le faisceau objet (26) et lesdits faisceaux de référence (23, 24) étant comparées de manière à obtenir des informations sur ledit objet (11), caractérisé en ce qu'on produit lesdits faisceaux de référence (23, 24) et on sélectionne le faisceau de référence (25) interférant avec le faisceau objet (26) au moins au moyen d'un interféromètre (30) de Mach-Zehnder associé à un découpeur (39) qui bloque alternativement chacun desdits faisceaux de référence (23, 24) passant par un des bras de l'interféromètre (30).