Brevet FR2787240A1 — publié le 20000616

Procédé de réalisation d'une résistance dans un circuit intégré et dispositif intégré correspondant de mémoire vive statique à quatre transistors et deux résistances. L'invention concerne la réalisation d'un circuit intégré comprenant une résistance disposée entre deux niveaux de métallisation de ce circuit intégré, et trouve une application particulièrement avantageuse mais non limitative aux mémoires vives statiques dont chaque cellule ou point mémoire est réalisé par quatre transistors et deux résistances. Un but de l'invention est d'utiliser la place disponible entre les connexions verticales existant déjà entre deux niveaux de métallisation pour y insérer la résistance. L'invention a également pour but de réaliser de façon particulièrement simple, des résistances de valeur élevée. L'invention a encore pour but, notamment dans le cas d'une application aux mémoires vives statiques, de réaliser un point mémoire particulièrement dense. L'invention propose donc tout d'abord un procédé de réalisation d'un circuit intégré comprenant une résistance disposée entre deux niveaux de métallisation du circuit intégré. Selon ce procédé, on réalise sur le niveau de métallisation inférieur un niveau de métallisation dit intermédiaire, comportant une couche électriquement conductrice, dont la face inférieure d'une première partie repose au-dessus d'une portion d'une piste métallique du niveau de métallisation inférieur par l'intermédiaire d'une fine couche d'un matériau diélectrique de façon à former au moins une première partie de ladite résistance, cette couche conductrice étant entourée latéralement d'une couche isolante dite intermédiaire. On dépose sur le niveau de métallisation intermédiaire une -- Ti I1w couche isolante supérieure supportant le niveau de métallisation supérieur, et on réalise une connexion métallique (ou "via") reliant la deuxième partie de la couche conductrice à une piste du niveau de métallisation supérieur. La portion de couche diélectrique prise en sandwich entre la face inférieure de la première partie de la couche électriquement conductrice et la portion de la piste métallique du niveau de métallisation inférieur, forme le diélectrique d'une capacité dont les deux électrodes sont respectivement formées de la première partie de la couche conductrice et de ladite portion de piste métallique. Or, la faible épaisseur de cette couche diélectrique, comparée à l'épaisseur de la couche conductrice et à celle de la portion métallique, conduit à l'obtention d'une capacité de faible valeur qui fuit lors de l'application d'une différence de potentiel à ses bornes, et qui se comporte donc comme une résistance de valeur élevée. Dans une première variante de l'invention, les première et deuxième parties de la couche électriquement conductrice sont identiques et on réalise la connexion métallique en gravant la couche isolante supérieure avec arrêt sur la face supérieure de la deuxième partie de la couche conductrice. En d'autres termes, cette variante permet la réalisation de résistances verticales particulièrement compactes. Une autre variante consiste à déporter la deuxième partie de la couche conductrice par rapport à la première partie. A partir de là, une première possibilité prévoit la réalisation de la connexion métallique en gravant la couche isolante supérieure avec arrêt sur la face supérieure de la deuxième partie de la couche conductrice. Une telle variante permet donc de connecter le niveau de métal supérieur quand la réalisation d'une résistance verticale n'est pas possible. Une autre possibilité prévoit le contact de la face inférieure de la deuxième partie de la couche conductrice sur la couche diélectrique au- dessus d'une portion d'une autre piste métallique du niveau inférieur, de façon à former une deuxième partie de la résistance électriquement reliée à la première partie par le reste de la couche conductrice. Ainsi, on forme deux résistances en série. Si besoin, la connexion avec le niveau de métallisation supérieur se fait par une connexion métallique en contact avec une autre portion de cette autre piste métallique du niveau inférieur. Bien que la réalisation du niveau de métallisation intermédiaire puisse s'effectuer de différentes façons, il est particulièrement avantageux de réaliser ce niveau de métallisation par un procédé bien connu de l'homme du métier dit "procédé damascène". En d'autres termes, la réalisation du niveau de métallisation intermédiaire comprend le dépôt de la couche isolante intermédiaire, la gravure de cette couche isolante de façon à définir une cavité à l'emplacement de la couche conductrice, puis le dépôt de la couche diélectrique sur les parois et le fond de la cavité. On remplit alors ladite cavité avec un matériau électriquement conducteur de façon à former ladite couche conductrice. Lorsque le niveau de métallisation inférieur est un niveau de métal 0, encore appelé par l'homme du métier "couche locale d'interconnexion", l'invention s'applique particulièrement bien à la réalisation de points-mémoire à quatre transistors et deux résistances, formant une mémoire vive statique. Plus précisément, l'invention propose également un tel dispositif intégré de mémoire vive statique à quatre transistors et deux résistances, dans lequel les quatre transistors sont réalisés dans un substrat semi-conducteur et mutuellement interconnectés par une couche d'interconnexion locale située sous un premier niveau de métallisation (métal 1) et formant au-dessus du substrat un niveau de métallisation de base (métal 0). Les deux résistances s'étendent alors au contact d'une partie de la couche d'interconnexion locale entre le niveau de métallisation de base (métal 0) et le premier niveau de métallisation (métal 1). L'invention permet donc l'obtention de points-mémoire particulièrement denses, ce qui minimise considérablement la surface d'une mémoire vive statique incorporant un très grand nombre de ces points mémoire. Plusieurs possibilités sont offertes pour la formation de chacune des résistances de ce point mémoire. On peut former chaque résistance à partir d'une couche d'un matériau résistif reposant à ses deux extrémités sur deux portions de la couche d'interconnexion locale. Il est également possible, en variante, que chaque résistance soit !9 FI l formée d'une couche d'un matériau électriquement conducteur reposant à ses deux extrémités sur deux portions de la couche d'interconnexion locale, et de deux fines couches d'un matériau diélectrique respectivement disposées aux deux extrémités de la couche électriquement conductrice entre cette couche électriquement conductrice et la portion correspondante de la couche d'interconnexion locale. Quelle que soit la ou les variantes utilisées, éventuellement en combinaison, selon un mode de réalisation de l'invention, chaque résistance s'appuie sur une première portion de couche d'interconnexion locale réalisant l'interconnexion entre la grille d'un transistor de mémorisation et le drain de l'autre transistor de mémorisation, et sur une deuxième portion de couche d'interconnexion locale reliée au premier niveau de métallisation par un trou d'interconnexion métallique. La forme de chaque résistance épouse alors partiellement celle de la grille dudit transistor de mémorisation. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée de modes de mise en oeuvre et de réalisation nullement limitatifs, et des dessins annexés, sur lesquels: - les figures 1 à 3 illustrent trois variantes de réalisation d'une résistance intercalée entre deux niveaux de métallisation adjacents d'un circuit intégré; et - les figures 4 à 6 illustrent une application de l'invention plus particulièrement dirigée sur la réalisation d'une cellule de mémoire vive statique à quatre transistors et deux résistances. Sur la figure 1, la référence CIT désigne d'une façon générale un circuit intégré au sein duquel on a réalisé, de façon classique et connue en soi, un niveau de métallisation Mn (métal n) comportant des pistes métalliques Pl n et P3n mutuellement isolées par une couche d'isolant ISn, par exemple du dioxyde de silicium ayant typiquement une épaisseur de nm. On va ensuite réaliser un niveau de métallisation intermédiaire que l'on dénomme ici Mn+l/2 Ce niveau de métallisation intermédiaire comporte une couche électriquement conductrice CI, par exemple en tungstène, en aluminium ou en cuivre, entourée d'une couche isolante, dite "couche isolante intermédiaire ISI". Il est particulièrement avantageux de réaliser cette couche conductrice CI par un procédé bien connu de l'homme du métier dit "procédé damascène". Ce procédé consiste à déposer tout d'abord la couche isolante intermédiaire ISI, par exemple du dioxyde de silicium d'une épaisseur de 300 nm, puis à graver, en utilisant un masque spécifique de gravure, une cavité CAV dans cette couche ISI à l'emplacement de laquelle va être réalisée la couche conductrice CI. On dépose ensuite sur la couche ISI et dans la cavité CAV une fine couche diélectrique CD par un procédé connu en soi, puis le matériau électriquement conducteur. On effectue enfin un polissage mécanochimique pour planéifier la surface supérieure de cette couche CI. La couche CD est alors supprimée à l'extérieur de la cavité CAV par ce polissage. Cette couche diélectrique CD a par exemple une épaisseur de quelques nanomètres, voire une dizaine de nanomètres, et peut être par exemple constituée du même matériau que celui de la couche isolante ISn, à savoir du dioxyde de silicium. Ceci étant, on pourrait utiliser d'autres matériaux diélectriques, comme par exemple le nitrure de silicium, ou du Ta205. Il aurait été possible de réaliser cette couche CI par un autre procédé, à savoir le dépôt de la couche CD puis d'une couche métallique sur la totalité du métal n, puis la gravure de cette couche métallique de façon à former la couche CI, et enfin le dépôt de la couche isolante ISI. Cependant, le procédé damascène présente l'avantage de ne pas altérer la couche diélectrique CD lors de la réalisation du niveau de métallisation n+l 1/2. On dépose ensuite une autre couche isolante, dite "couche isolante supérieure ISS", ayant également une épaisseur typiquement de l'ordre de 300 nm. Puis on réalise, à l'aide d'un masque classique, la gravure des couches isolantes ISS, ISI et CD de façon à former des cavités respectives GR3 et GR2 qui seront remplies ultérieurement d'un métal de remplissage (par exemple du tungstène), afin de réaliser des connexions métalliques verticales, communément appelés par l'homme du métier "vias". i -Irn Ainsi, une fois le niveau de métallisation supérieur Mn+I effectué de façon connue en soi (métal n+l1), le via VA3n+l va réaliser l'interconnexion métallique entre la piste P3n du métal n et la piste P3n+1 du métal n+ 1. De même, le via VA2n+ 1 va réaliser l'interconnexion entre la couche conductrice CI et la piste P2n+1 du métal n+1. Bien entendu, l'ensemble des pistes du niveau de métal n+l sont isolées mutuellement par un isolant ISn+l L'homme du métier remarque que la première partie 1 1 de la couche conductrice CI, située à gauche de celle-ci sur la figure 1, forme avec la portion de la piste métallique Plnqui lui fait face, deux électrodes d'une capacité dont le diélectrique est la portion 10 de couche CD située entre ces deux électrodes. Or, compte tenu du rapport entre l'épaisseur de la couche diélectrique et l'épaisseur des niveaux de métallisation Mn et Mn+ l/2, cette capacité présente une faible valeur et a en outre la particularité de fuir sous l'application d'une différence de potentiel entre les pistes P2n+1 et Pln. Cette faible capacité fuyante se comporte alors comme une résistance R de valeur particulièrement élevée. Ainsi, avec les valeurs numériques indiquées ci-avant, on obtient des courants de fuite de l'ordre de 10-9 A sous 1 Volt, ce qui conduit à l'obtention d'une valeur résistive aussi élevée que 109 Ohm. Bien entendu, l'homme du métier saura aisément ajuster les valeurs du rapport entre l'épaisseur du diélectrique et l'épaisseur des électrodes de façon à ajuster la valeur de la résistance au niveau souhaité en fonction des matériaux utilisés. L'homme du métier remarque également que la réalisation de la résistance R a nécessité uniquement un seul masque supplémentaire, à savoir celui nécessaire pour la gravure de la cavité CAV aux fins de formation de la couche CI. Les autres vias du circuit intégré ont été réalisés à l'aide des masques habituels de contact. Alors que sur la figure 1, la deuxième partie 12 de la couche conductrice CI sur la surface supérieure de laquelle vient contacter le via VA2n+1, est déportée par rapport à la première partie 11, ces deux parties 1 1 et 12 sont identiques sur la figure 2. Sur cette figure 2, on voit que la résistance R, formée par la capacité fuyante correspondante, présente un encombrement particulièrement réduit en raison de sa connexion verticale au niveau de 1i -i ilFts métallisation Mn+1 par l'intermédiaire du via VA2n+1. En outre, il convient de remarquer ici que lors de la gravure de la cavité GR2 du via VA2n+1, la couche conductrice CI sert de masque pour protéger la couche diélectrique CD. La couche conductrice CI possède donc ici plusieurs fonctions, à savoir une fonction électrique de formation de l'une des électrodes de la capacité, une fonction de connexion électrique avec le via VA2n+l et une fonction de masque pour la protection de la couche diélectrique CD lors de la gravure de la cavité GR2 avant remplissage par le tungstène pour former le via VA2n+1. La variante de réalisation illustrée sur la figure 3 correspond à un cas de figure o la connexion de la couche conductrice CI n'est pas directement possible, au-dessus de la couche CI, vers le niveau de métallisation Mn+l. Dans ce cas, la deuxième partie 12 de la couche conductrice CI, qui est déportée par rapport à la première partie 11, contacte également une autre portion d'une autre piste métallique P2n du niveau de métallisation Mn par l'intermédiaire d'une autre partie 20 de la couche diélectrique CD. L'homme du métier remarque donc que l'on a réalisé ici en fait deux résistances respectivement formées par une première capacité (partie 1 1 de la couche CI, portion 10 de la couche CD et portion de la piste métallique Pln) et par une deuxième capacité (partie 12 de la couche CI, portion 20 de la couche CD et portion de la piste métallique P2n). Ces deux résistances sont électriquement reliées par le reste 13 de la couche CI. Si R1 et R2 désignent les valeurs résistives des deux résistances ainsi formées, la structure décrite sur la figure 3 est donc équivalente à une résistance de valeur R1 + R2 connectée entre les deux pistes Pln et P2n. La connexion au niveau de métallisation Mn+1 si besoin, peut se faire en réalisant un via entre par exemple une autre portion de la piste métallique P2n (non représentée ici sur cette figure) et une piste métallique du niveau de métal n+l. La réalisation d'une telle résistance trouve une application particulièrement avantageuse dans la réalisation d'un point mémoire à quatre transistors et deux résistances tel que celui illustré sur la figure 4. Plus précisément, ce point mémoire ou cellule mémoire comporte deux transistors de mémorisation TM1 et TM2, la grille de l'un S[F - 1]lr des transistors de mémorisation étant reliée au drain de l'autre transistor de mémorisation. Les sources des deux transistors de mémorisation sont reliées à la masse (noeud N4). Les drains des transistors TM1 et TM2 (noeud Ni et noeud N2) sont respectivement reliés aux sources des transistors d'accès TA 1 et TA2, qui sont eux-mêmes reliés (noeud N6 et noeud N7) à une ligne de bit BL ("bit-line" en langue anglaise) et à la ligne de bit complémentaire BLN (bit-line). Les grilles des transistors d'accès TA1 et TA2 sont commandées par la ligne de mots WL (world line). Enfin, deux résistances RI et R2 sont respectivement reliées aux noeuds Ni et N2 ainsi qu'au niveau d'alimentation VDD (noeuds N3 et NS). Comme on peut le voir sur le schéma de placement simplifié de la figure 6 ainsi que sur la section selon la ligne V-V de cette figure 6 (figure 5), le niveau de métal zéro M0 permet de réaliser, au moyen de portions de couches d'interconnexion locale, les différentes interconnexions entre les grilles, drains et sources des différents transistors. La référence ZATM2 désigne la zone active du transistor de mémorisation TM2 tandis que GTA2 et GTA1 désignent les grilles des transistors d'accès TA1 et TA2. STI désigne une zone d'isolement dans le substrat (par tranchée peu profonde). La portion de couche d'interconnexion locale LIL2 pemet de connecter la grille GTM2 du transistor de mémorisation TM2 avec le drain du transistor TM1. La couche locale LIL3 va contacter la zone active ZATA 1 (et plus particulièrement la source) du transistor d'accès TA 1 et va permettre en se prolongeant par un via V3 jusqu'au niveau M 1 de métal, de contacter la piste PM1 (noeud N6). De même, la couche locale LIL 1 prolongée, par un autre via (non représenté sur la figure 5) jusqu'à la piste PM3 du niveau de métallisation M1, permet de se connecter au niveau d'alimentation VDD (noeud N3). La piste PM2 est connectée à la masse (source du transistor TM2) et forme le noeud N4. La résistance Ri est formée ici d'une couche conductrice CI1 s'étendant au niveau de métallisation intermédiaire M1/2 et reposant sur deux portions des couches LIL1 et LIL2. Dans la variante illustrée sur ces figures, la couche CI1 repose sur les portions des couches d'interconnexion locale LIL1 et LIL2 par l'intermédiaire de deux portions de couches diélectriques 10 et 20. Les deux capacités ainsi formées, électriquement reliées par le reste de la couche conductrice CI1 forment donc la résistance Ri. On remarque par ailleurs que la forme de cette résistance R1 (plus précisément la forme d'une partie de la couche CI1) épouse partiellement la forme de la grille GTM2 du transistor de mémorisation TM2. Cette résistance a été réalisée de façon analogue à celle qui a été décrite en référence à la figure 3. Ceci étant, en variante, il serait possible de déposer directement une couche d'un matériau résistif sur les deux couches LIL1 et LIL2, par exemple un matériau à base de nitrure de titane ou de tantale. L'homme du métier remarque donc que les deux résistances R 1 et R2 sont au contact du niveau de métal 0 et s'étendent entre ce niveau de métal 0 et le niveau de métal 1. On obtient donc un point mémoire particulièrement compact qui évite la réalisation des résistances à l'extérieur des zones actives des transistors et qui permet ainsi une réduction de surface de l'ordre de 30% environ. ZIZV lir REVENDICATIONS 1. Dispositif intégré de mémoire vive statique à quatre transistors et deux résistances, dans lequel les quatre transistors sont réalisés dans un substrat semi-conducteur et mutuellement interconnectés par une couche d'interconnexion locale (M0) située sous un premier niveau de métallisation (M1) et formant au dessus du substrat un niveau de métallisation de base (M0), et les deux résistances s'étendent au contact d'une partie (LIL1, LIL2) de la couche d'interconnexion locale entre le niveau de métallisation de base (M0) et le premier niveau de métallisation (M1). 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que chaque résistance est formée d'une couche (CI) d'un matériau électriquement conducteur reposant à ses deux extrémités sur deux portions de la couche d'interconnexion locale, et de deux fines couches (10, 20) d'un matériau diélectrique respectivement disposées aux deux extrémités de la couche électriquement conductrice (CI) entre cette couche électriquement conductrice et la portion correspondante (LIL1, LIL2) de la couche d'interconnexion locale. 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que chaque résistance est formée d'une couche d'un matériau résistif reposant à ses deux extrémités sur deux portions (LILI1, LIL2) de la couche d'interconnexion locale. 4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait que chaque résistance s'appuie sur une première portion (LIL2) de couche d'interconnexion locale réalisant l'interconnexion entre la grille d'un transistor de mémorisation et le drain de l'autre transistor de mémorisation, et sur une deuxième portion (LIL1) de couche d'interconnexion locale reliée au premier niveau de métallisation (PM3) par un trou d'interconnexion métallique, et par le fait que la forme de chaque résistance épouse partiellement celle de ladite grille (GTM2) dudit transistor de mémorisation. il l: Ilra