Brevet FR2789171A1 — publié le 20000804

La présente invention concerne, de manière générale, un gyromètre vibrant pouvant être utilisé, par exemple, pour la stabilisation ou le guidage de véhicules, ou pour la navigation d'automobiles. Plus particulièrement, l'invention a trait à une structure monolithique de gyromètre vibrant comprenant une partie fixe, un résonateur et un dispositif mécanique reliant le résonateur à la partie fixe et permettant d'éviter des fuites d'énergie mécanique vibratoire du résonateur vers la partie fixe. Le résonateur est destiné à travailler selon deux modes de vibration distincts, les directions de vibration de ces deux modes étant perpendiculaires entre elles. Ainsi, lorsque le gyromètre subit une rotation de vitesse angulaire n autour d'un axe perpendiculaire à ces deux directions de vibration, cette rotation étant référencée par rapport à un repère inertiel dit galiléen, il apparaît un couplage entre les deux modes de vibration du résonateur. Ce couplage est dû aux accélérations de Coriolis r c qui s'appliquent à tous les points matériels du résonateur et dont l'expression analytique s'écrit sous la forme du produit vectoriel T c = 2QAVv, étant la vitesse du point matériel considéré, exprimée dans le repère lié au résonateur. Il existe plusieurs façons d'exploiter ce couplage afin de mesurer la vitesse angulaire Q. Par exemple, on peut choisir de maintenir en vibration l'un des deux modes de vibration du résonateur. La rotation de vitesse fait alors apparaître une vibration suivant l'autre mode, d'amplitude proportionnelle à Q. La mesure de cette amplitude, convertie généralement sous forme de signaux électriques, permet ainsi de déterminer Q. Une deuxième façon d'exploiter le couplage entre les deux modes de vibration du résonateur nécessite que les fréquences de résonance de ces deux modes soient identiques, et consiste à les maintenir en vibration simultanément de telle sorte que l'un des35 modes soit en quadrature de phase par rapport à l'autre. Ainsi, si les amplitudes de vibration sont égales pour les deux modes, chaque point matériel du résonateur décrit un cercle à chaque période de la vibration. La pulsation o0 de cette vibration, observée dans un repère inertiel, n'est pas affectée par la rotation de vitesse angulaire Q. Par contre, la pulsation co de cette même vibration, observée avec des moyens de mesure liés au résonateur, dépend de Q suivant la relation X = o0 Q. Ainsi, on peut réaliser un oscillateur dont les variations de fréquence sont représentatives de celles de la vitesse de rotation. Une troisième façon d'exploiter le couplage entre les deux modes de vibration du résonateur nécessite comme la précédente que les fréquences de résonance de ces deux modes soient identiques, et consiste à les maintenir en vibration simultanément de telle sorte que les deux modes soient en phase l'un par rapport à l'autre. Ainsi, les vibrations de chaque point matériel du résonateur sont contenues dans un plan. Si le système d'entretien des vibrations est conçu pour ne privilégier aucune orientation particulière de ce plan par rapport au résonateur, alors l'orientation initiale, observée dans un repère inertiel, n'est pas affectée par la rotation de vitesse angulaire Q. Par contre, ce même plan de vibration, observé avec des moyens liés au résonateur, subit la rotation opposée à celle imposée au résonateur. Contrairement aux deux premières façons de procéder, cette troisième façon ne permet pas de mesurer directement la vitesse de rotation Q, car c'est l'orientation p du plan de vibration qui est délivrée par le capteur. Ce fonctionnement en mode gyroscope est intéressant pour certaines applications, et permet également de connaître la vitesse au moyen d'un circuit dérivateur (n = dq/dt). Pour ces trois façons d'exploiter le couplage entre les deux modes de vibration du résonateur, la précision de la mesure fournie par le gyromètre dépend de la qualité des vibrations de ces modes. Plus précisément, pour chacun des modes, il est35 préférable que le coefficient de surtension soit élevé, ce qui permet d'amplifier les phénomènes mécaniques mis en jeu par les accélérations de Coriolis. Pour un résonateur, le coefficient de surtension, appelé aussi coefficient de qualité, est défini comme le quotient de l'énergie emmagasinée dans le résonateur par l'énergie perdue pendant une période de la vibration. Le coefficient de qualité dépend de plusieurs paramètres. En premier lieu la nature du matériau utilisé pour la fabrication du résonateur conditionne les pertes d'énergie mécanique par frottement interne. C'est pourquoi le matériau est avantageusement du quartz ou du silicium, pour lesquels ces pertes sont réduites, et qui présentent de plus l'intérêt d'un coût modéré d'approvisionnement. Un deuxième paramètre d'influence sur le coefficient de qualité est la nature de la vibration du résonateur. À titre d'exemple, si le résonateur est une poutre vibrant en flexion, la valeur du coefficient de qualité est tributaire des échanges de chaleur entre les fibres alternativement tendues et comprimées, et ainsi cette valeur est proportionnelle au carré de l'épaisseur de la poutre. Ces deux premiers paramètres déterminent ce que l'on peut appeler le coefficient de qualité "intrinsèque" du résonateur. Dans la pratique, le coefficient de qualité réel du résonateur est au plus égal à ce coefficient intrinsèque, car il est généralement affecté par d'autres paramètres d'influence, en particulier le moyen de fixation du résonateur sur un support. Il est souhaitable que ce moyen de fixation permette d'éviter des fuites d'énergie mécanique du résonateur vers le support. Plus précisément, il est souhaitable de limiter ces fuites d'énergie à un niveau en relation avec le coefficient de qualité intrinsèque du résonateur. A titre d'exemple, si l'on désire tirer le meilleur profit d'un résonateur dont le coefficient de qualité intrinsèque vaut 3 x 105, il est nécessaire que le moyen de fixation permette de limiter les fuites d'énergie par période à une valeur nettement plus faible que (3 x 105)-l fois l'énergie emmagasinée dans le résonateur. A cette fin, le moyen de fixation peut se composer d'une partie fixe et d'un dispositif mécanique reliant le résonateur à la partie fixe et permettant de réduire suffisamment les fuites d'énergie mécanique du résonateur vers la partie fixe. Ce dispositif réalise ainsi une fonction de filtrage mécanique des vibrations du résonateur. Ainsi, la partie fixe est très peu sollicitée par les vibrations du résonateur. Ainsi, lorsque la partie fixe est fixée sur un support, par exemple par collage, les fuites d'énergie mécanique vers le support peuvent être suffisamment réduites. Le résonateur, la partie fixe et le dispositif de filtrage mécanique constituent une structure de gyromètre. De préférence, la structure de gyromètre est monolithique, ce qui permet d'éviter les inconvénients dus à des assemblages, tels que des comportements instables dans le temps ou lors de variations de température. De préférence, la structure monolithique de gyromètre est usinée dans une plaque de matériau d'épaisseur uniforme, ce qui rend peu coûteuse sa fabrication par usinage chimique. De préférence, le résonateur est un diapason formé de deux branches identiques et parallèles, disposées en regard l'une de l'autre et solidaires, chacune à une extrémité, d'une partie commune. L'un des modes de vibration est un mode de flexion, pour lequel les deux branches vibrent en flexion en opposition de phase entre elles, les déplacements vibratoires des deux branches s'effectuant parallèlement au plan de la plaque de matériau. Ce mode de vibration s'apparente ainsi à celui d'un diapason de musique. L'autre mode de vibration est un mode de torsion, pour lequel les deux branches vibrent en flexion en opposition de phase entre elles, les déplacements vibratoires des deux branches s'effectuant perpendiculairement au plan de la plaque de matériau. Ainsi, les directions de vibration de ces deux modes sont perpendiculaires entre elles et il apparait un couplage entre ces deux modes lorsque le diapason est soumis à une rotation autour d'un axe parallèle aux deux branches. Cet axe est désigné sous le nom d'axe de sensibilité du gyromètre. L'intérêt de choisir un diapason pour constituer le résonateur réside dans le fait que l'énergie mécanique reste spontanément localisée dans le résonateur pour le mode de flexion, les efforts mécaniques vibratoires exercés par les deux branches à leurs "encastrements" sur la partie commune s'équilibrant dans la zone de cette partie commune voisine de ces encastrements. Pour ce mode de flexion, les fuites d'énergie mécanique peuvent donc être suffisamment réduites en fixant le diapason sur un support au niveau d'une zone de la partie commune suffisamment éloignée des encastrements des branches. Par contre, ce type de fixation ne pourrait convenir pour le mode de torsion, car le support serait sollicité par un couple alternatif à la fréquence des vibrations de torsion et il en résulterait d'importantes fuites d'énergie mécanique vers le support. Afin de résoudre ce problème des fuites d'énergie mécanique du mode de torsion du diapason, on a proposé (brevet U.S. n ,166,571) une structure de gyromètre en "H" qu'on peut considérer comme étant l'association de deux diapasons ayant la o10 même partie commune. Les figures 1A et lB montrent les déformées vibratoires fortement agrandies de cette structure pour les modes de flexion et de torsion respectivement. Au plan du principe ce concept est intéressant puisqu'il vise à faire en sorte que les vibrations des quatre branches s'équilibrent pour chacun des deux modes. Dans la pratique cette solution présente un inconvénient concernant la fixation de cette structure, car la partie commune a subit des déformations vibratoires en flexion et en torsion qui ne permettent pas de la fixer directement sur un support sans provoquer d'importantes fuites d'énergie mécanique. L'utilisation de cette structure en H nécessite donc un moyen complémentaire de tenue mécanique tel que la patte de fixation 78 montrée à la figure 1C, ce qui présente l'inconvénient de ne plus pouvoir bénéficier de la qualité et du faible coût de réalisation d'un dispositif plan et monolithique. Toujours afin de résoudre le problème des fuites d'énergie mécanique du mode de torsion du résonateur, il pourrait paraître intéressant de s'inspirer de la structure de transducteur monolithique d'accélération en quartz proposée dans le brevet n FR 2 739 190 au nom du demandeur et montrée à la figure 2A. Contrairement au gyromètre connu décrit précédemment, ce transducteur est conçu pour mesurer des accélérations et doit donc être peu sensible aux rotations. Du point de vue structurel, le transducteur représenté à la figure 2A comprend une partie fixe 1, un résonateur 3 solidaire à ses deux extrémités d'une masse d'épreuve 2 et d'une seconde partie massive 4 respectivement, un cadre flexible 5 entourant les parties massives 2 et 4, un premier élément de liaison 6 reliant le cadre à la seconde partie massive 4, et un second élément de liaison 7 reliant le cadre 5 à la partie fixe 1. La partie fixe est fixée sur une embase de boîtier BA. Le résonateur 3 est une lame parallélépipédique travaillant de préférence en vibration de flexion ou de torsion car les fréquences de ces vibrations sont très sensibles à la force d'extension ou de compression qui s'exerce longitudinalement au résonateur lorsque la masse d'épreuve 2 est soumise à une accélération. La mesure de la fréquence du résonateur 3 au moyen d'un dispositif approprié (non représenté) permet ainsi de connaître l'accélération appliquée au transducteur. Cette sensibilité de la fréquence du résonateur aux forces longitudinales est augmentée lorsqu'on diminue la dimension d'épaisseur de la lame parallélépipédique constituant le résonateur. Par contre, cette diminution d'épaisseur de la lame a pour conséquence une diminution de son coefficient de qualité intrinsèque. la recherche d'un compromis satisfaisant conduit à un coefficient de qualité intrinsèque de l'ordre de 104, valeur relativement modeste pour un résonateur en quartz. La figure 2B montre la déformée vibratoire fortement agrandie de la structure de ce transducteur lorsque le résonateur vibre en torsion autour de son axe longitudinal. Ainsi qu'expliqué dans le brevet no FR 2 739 190 déjà cité (page 22, ligne 6 page 23, ligne 13), l'inertie en rotation des parties massives 2 et 4, et la souplesse en torsion du cadre flexible 5 caractérisent un filtre mécanique entre le résonateur 3 et la partie fixe 1 du transducteur, ladite partie fixe étant très peu sollicitée par les vibrations du résonateur. Les efforts alternatifs reçus par la partie fixe sont principalement un couple t dont l'intensité est très inférieure à celle du couple T appliqué par le résonateur sur chacune des parties massives 2 et 4. Cela permet de limiter les fuites d'énergie par période de la vibration à une valeur nettement plus faible que 10-4 fois l'énergie emmagasinée dans le résonateur. Ainsi, comme expliqué antérieurement, l'efficacité du filtrage mécanique réalisé par ce dispositif est bien adaptée au coefficient de qualité intrinsèque relativement modeste du résonateur, ce qui permet d'obtenir un bon fonctionnement du transducteur d'accélération. Toutefois, ce dispositif de filtrage mécanique ne pourrait convenir de façon satisfaisante à une structure de gyromètre pour laquelle, comme expliqué antérieurement, il est souhaitable que le coefficient de qualité intrinsèque du résonateur soit élevé, par exemple 3 x 105. Dans ce cas, il est donc souhaitable que le dispositif de filtrage mécanique permette de limiter les fuites d'énergie par période de la vibration à une valeur nettement plus faible que (3 x 105)-1 fois l'énergie emmagasinée dans le résonateur. Si les masses et les raideurs du dispositif montré aux figures 2A et 2B étaient adaptées à obtenir cette efficacité nettement accrue, il en résulterait des inconvénients concernant la difficulté de définition et de réalisation de la structure de gyromètre, ainsi qu'il est expliqué dans ce qui suit. Dans le brevet n FR 2 739 déjà cité, il est indiqué (page 23, lignes 29 à 36) que le dispositif de filtrage mécanique est efficace à la fréquence du résonateur (quelques dizaines de kHz) et que la tenue mécanique du transducteur n'est pas dégradée dans la bande passante d'utilisation (du continu à quelques centaines de Hz). Cela signifie que le cadre 5 montré aux figures 2A et 2B est suffisamment souple à quelques dizaines de kHz et suffisamment rigide à quelques centaines de Hz, et aussi que le dispositif de filtrage mécanique peut être considéré de façon simplifiée comme étant une suspension filtrante dont la fréquence de résonance Fs se situe vers quelques kHz, valeur environ dix fois inférieure à celle de la fréquence F du résonateur. Cette fréquence de suspension Fs est la plus basse des fréquences de résonance de la structure de transducteur. En raison de sa relative complexité, la structure présente un certain nombre de fréquences de résonance entre Fs et F, et la densité du spectre de ces fréquences de résonance augmente avec les valeurs de fréquence. Or le bon fonctionnement du résonateur nécessite d'éviter la proximité de sa fréquence de résonance F et d'une fréquence de résonance de structure. Cet impératif est donc d'autant plus facile à respecter que la fréquence F est basse. A l'inverse, l'efficacité de la suspension filtrante est d'autant plus grande que la fréquence F est élevée, comme l'indique la relation approchée suivante entre le couple alternatif total 2T appliqué par le résonateur sur l'équipage mobile constitué par les parties massives 2 et 4, et le couple alternatif t reçu par la partie fixe 1: t / 2T t Fs2 / F2 Dans la pratique, il est souhaitable que la fréquence F du résonateur ne dépasse pas une valeur égale à environ dix fois la fréquence la plus basse Fs de la structure, car cela permet que la géométrie de cette structure puisse être définie avec des tolérances de réalisation suffisamment larges pour être compatibles avec un faible coût de fabrication. Cette condition est satisfaite pour le transducteur d'accélération montré aux figures 2A et 2B, pour lequel le couple t reçu par la partie fixe est ainsi environ cent fois plus petit que le couple total 2T appliqué par le résonateur à ses "encastrements". Par contre, en ce qui concerne l'utilisation de ce type de suspension filtrante dans une structure de gyromètre, le lecteur aura compris que le besoin d'une efficacité nettement accrue conduirait à faire travailler le résonateur à une fréquence F notablement supérieure à dix fois la fréquence la plus basse Fs de la structure, ce qui aurait pour conséquences des difficultés de définition et de réalisation de la structure de gyromètre, et donc un accroissement de son coût de fabrication. La présente invention propose une forme géométrique de structure monolithique de gyromètre qui, tout en limitant suffisamment les fuites d'énergie mécanique vibratoire du résonateur vers la partie fixe, est mieux adaptée aux besoins industriels en gyromètres performants et bon marché. Selon l'invention, cette structure monolithique de gyromètre comprenant une partie fixe, un résonateur et un dispositif mécanique reliant le résonateur à la partie fixe est caractérisée en ce que ledit dispositif mécanique comprend une première partie massive mobile solidaire d'une extrémité du résonateur, une seconde partie massive mobile non solidaire du résonateur et située au voisinage de l'autre extrémité du résonateur, deux premiers bras souples situés de part et d'autre du résonateur et reliant chacun la première partie massive mobile à la seconde partie massive mobile, et deux autres bras souples situés de part et d'autre du résonateur et reliant chacun la seconde partie massive mobile à la partie fixe. Cette disposition de masses et de raideurs entre le résonateur et la partie fixe permet de procurer un filtrage mécanique suffisamment efficace tout en faisant travailler le résonateur à une fréquence F qui n'excède pas environ dix fois la fréquence la plus basse Fs de la structure. Cela permet que la définition et la réalisation de la structure soient facilitées et ainsi que son coût de fabrication soit réduit. Selon une réalisation préférée, les deux autres bras souples sont situés le long des bords des deux premiers bras souples opposés à ceux en regard du résonateur. En particulier, la partie fixe est constituée de deux parties situées le long des bords des deux autres bras souples, bords opposés à ceux en regard des deux premiers bras souples.10 De préférence, le résonateur est un diapason formé de deux branches identiques et parallèles, disposées en regard l'une de l'autre et solidaires, chacune à une extrémité, d'une partie commune, la première partie massive mobile étant solidaire du15 résonateur au voisinage de la zone de ladite partie commune la plus éloignée desdites branches. Afin d'obtenir l'efficacité maximale du filtrage mécanique, la structure de gyromètre a un axe de symétrie. De préférence, la fréquence la plus basse de vibration de résonance de la structure de gyromètre autour dudit axe de symétrie est sensiblement égale à la fréquence la plus basse de vibration de résonance de ladite structure, et la fréquence du résonateur est égale à environ dix fois ladite fréquence la plus basse de vibration de résonance. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description détaillée et des figures qui s'y rapportent dans lesquelles: - les figures lA, lB et 1C sont des vues en perspective de structures de gyromètre appartenant à l'art antérieur et déjà commentées; - les figures 2A et 2B sont des vues en perspective d'une structure de transducteur d'accélération appartenant à l'art antérieur et déjà commentée; - la figure 3 est une vue en perspective d'une structure de gyromètre selon une première réalisation de l'invention; - la figure 4 est une vue de face de la structure de gyromètre de la figure 3 montrant des efforts mécaniques et des mouvements provoqués par la vibration de torsion du résonateur; la figure 5 est une vue en perspective d'une variante d'une structure de gyromètre conforme à l'invention. En référence à la figure 3, une structure de gyromètre SG selon l'invention comprend une partie fixe 1 constituée de deux parties 11 et 12, un résonateur 2, une première partie massive mobile 3, une seconde partie massive mobile 4, deux premiers bras souples 51 et 52, et deux autres bras souples 61 et 62. Selon la réalisation illustrée à la figure 3, la structure de gyromètre SG constitue un corps monolithique usiné dans une même plaque de i5 matériau, tel que du quartz ou du silicium, d'épaisseur uniforme E, de largeur L et de hauteur H4 + H5 + H3 prise suivant un axe central Z'Z. Cet axe Z'Z est contenu d'une part dans un plan médian PM de la plaque parallèle aux faces de celle-ci, et d'autre part dans un plan PS perpendiculaire aux faces de la plaque. Les plans PM et PS sont des plans de symétrie de la plaque et sont des plans de symétrie de la structure de gyromètre. Ainsi, l'axe Z'Z est un axe de symétrie de la structure de gyromètre. Selon la réalisation illustrée à la figure 3, les parties 11 et 12, le résonateur 2, la première partie massive mobile 3, la seconde partie massive mobile 4, les deux premiers bras souples 51 et 52, et les deux autres bras souples 61 et 62 ont tous la même dimension d'épaisseur E égale à celle de la plaque du matériau. Cela permet que l'usinage chimique soit très simple pour fabriquer le corps monolithique de la structure de gyromètre SG. L'usinage chimique peut être effectué soit à partir de l'une seulement des deux faces de la plaque jusqu'à traverser la plaque, soit à partir des deux faces simultanément jusqu'à dépasser une profondeur de gravure valant E/2. Cette technique d'usinage chimique, à l'échelle des structures réalisées dans la présente invention, ne permet pas une maîtrise rigoureuse des dimensions des différents éléments constitutifs. L'homme de l'art comprendra que cette imprécision doit être prise en compte dans l'interprétation de certains termes descriptifs, comme par l1 exemple les largeurs et épaisseurs des éléments ou la symétrie de la structure. Les parties 11 et 12 constituant la partie fixe sont disposées à deux extrémités de la structure de gyromètre de part et d'autre du plan PS respectivement, et sont destinées à être solidaires de la structure d'un engin (non représenté) par l'intermédiaire d'un support SU. Les parties 11 et 12 sont fixées sur le support SU par exemple par collage. Selon la réalisation illustrée, le résonateur 2 est un diapason formé de deux branches 21 et 22 identiques et parallèles, disposées en regard l'une de l'autre de part et d'autre du plan PS respectivement, et solidaires, chacune à une extrémité, d'une partie commune 23. L'axe Z'Z est un axe longitudinal de symétrie du résonateur 2. La première partie massive mobile 3 constitue un pavé parallélépipédique d'épaisseur E, de largeur L et de hauteur H3 disposé à une extrémité de la structure de gyromètre selon l'axe Z'Z et est solidaire du résonateur 2 au voisinage de la zone de la partie commune 23 la plus éloignée des branches 21 et 22. Ainsi, comme expliqué antérieurement, les fuites d'énergie mécanique vers la première partie massive mobile 3, et donc a fortiori vers la partie fixe, peuvent être suffisamment réduites pour le mode de flexion du diapason. Selon la réalisation illustrée, l'inertie en rotation de la première partie massive mobile 3 autour de l'axe Z'Z est beaucoup plus grande que celle du résonateur 2. La seconde partie massive mobile 4 constitue un pavé parallélépipédique d'épaisseur E, de largeur L et de hauteur H4 disposé à l'autre extrémité de la structure de gyromètre selon l'axe Z'Z. La seconde partie massive mobile 4 est ainsi située au voisinage des extrémités libres des branches 21 et 22 du résonateur 2. Selon la réalisation illustrée, la hauteur H4 de la seconde partie massive mobile 4 est supérieure à la hauteur H3 de la première partie massive mobile 3; H4 est généralement comprise entre une et trois fois la hauteur H3. L'inertie en rotation de la seconde partie massive mobile 4 autour de l'axe Z'Z est ainsi supérieure à celle de la première partie massive mobile 3. Toujours selon la réalisation illustrée à la figure 3, chacun des deux premiers bras souples 51 et 52 constitue une poutre parallélépipédique dont la hauteur H5 s'étend parallèlement à l'axe Z'Z et dont la section rectangulaire transversale est définie par une épaisseur E et une largeur L5 prises respectivement suivant l'épaisseur E et la largeur L de la structure de gyromètre SG. Selon la représentation illustrée, la largeur L5 de chacun des deux premiers bras souples est inférieure à son épaisseur E; L5 est généralement comprise entre le cinquième et les trois-quarts de l'épaisseur E. Par contre, la hauteur H5 de chacun des deux premiers bras souples est nettement supérieure à son épaisseur E; H5 est généralement comprise entre cinq et vingt-cinq fois l'épaisseur E. Les deux premiers bras souples 51 et 52 sont disposés de part et d'autre du résonateur 2 respectivement, de telle sorte que l'un des côtés de chacun des deux premiers bras souples parallèles au plan PS soit en regard de l'un des côtés extérieurs du résonateur parallèles au plan PS. Chacun des deux premiers bras souples est solidaire à ses deux extrémités de la première partie massive mobile 3 et de la seconde partie massive mobile 4 respectivement. Ainsi, les deux premiers bras souples 51 et 52 et les première et seconde parties massives mobile 3 et 4 forment les quatre branches d'un "If-" entourant le résonateur 2. Les deux premiers bras souples 51 et 52 peuvent avoir d'autres constitutions que celle de la poutre parallélépipédique selon la réalisation illustrée à la figure 3. Par exemple, la largeur L5 peut évoluer de façon continue ou discontinue le long de la hauteur H5 des deux premiers bras souples 51 et 52. Les deux premiers bras souples 51 et 52 peuvent aussi ne pas s'étendre parallèlement à l'axe Z'Z, l'important étant que leurs souplesses autorisent des rotations des première et seconde parties massives mobiles 3 et 4 autour de l'axe Z'Z. Toujours selon la réalisation illustrée à la figure 3, chacun des deux autres bras souples 61 et 62 constitue une poutre parallélépipédique dont la hauteur H6 s'étend parallèlement à l'axe Z'Z et dont la section rectangulaire transversale est définie par une épaisseur E et par une largeur L6 prises respectivement suivant l'épaisseur E et la largeur L de la structure de gyromètre SG. Selon la représentation illustrée, la largeur L6 de chacun des deux autres bras souples est du même ordre de grandeur que son épaisseur E; L6 est généralement comprise entre la moitié et le double de l'épaisseur E. Par contre, la hauteur H6 de chacun des deux autres bras souples est nettement supérieure à son épaisseur E; H6 est généralement comprise entre trois et dix fois l'épaisseur E. Selon la représentation illustrée, la largeur L6 de chacun des deux autres bras souples 61 et 62 est supérieure à la largeur L5 de chacun des deuxpremiers bras souples 51 et 52, et la hauteur H6 de chacun des deux autres bras souples 61 et 62 est inférieure à la hauteur H5 de chacun des deux premiers bras souples 51 et 52. Les deux premiers bras souples 51 et 52 sont ainsi plus souples en flexion que les deux autres bras souples 61 et 62. Les deux autres bras souples 61 et 62 sont disposés de part et d'autre du plan PS respectivement, de telle sorte que chacun d'eux soit situé entre l'un des deux premiers bras souples 51 et 52 et l'une des deux parties 11 et 12 constituant la partie fixe. Ainsi, chacun des deux autres bras souples longe l'un des deux premiers bras souples. Chacun des deux autres bras souples 61 et 62 est solidaire à l'une de ses extrémités de la seconde partie massive mobile 4, et à l'autre extrémité de l'une des deux parties 11 et 12 au voisinage de la section terminale de ladite partie 11 ou 12 en regard de la première partie massive mobile 3. De même que pour les deux premiers bras souples 51 et 52, les deux autres bras souples 61 et 62 peuvent avoir d'autres constitutions que celle de la poutre parallélépipédique selon la réalisation illustrée à la figure 3. Les deux autres bras souples 61 et 62 peuvent aussi ne pas s'étendre parallèlement à l'axe Z'Z, l'important étant que leurs souplesses autorisent des rotations de la seconde partie massive mobile 4 autour de l'axe Z'Z. Le fonctionnement de la structure de gyromètre selon l'invention est maintenant présenté en référence à la figure 4 qui indique des efforts mécaniques et des mouvements provoqués par la vibration de torsion du résonateur. La figure 4 est une vue de face de la structure de gyromètre SG de la figure 3. Lorsque le résonateur 2 vibre en torsion autour de son axe longitudinal Z'Z, il applique un couple alternatif T sur la première partie massive mobile 3 qui subit de ce fait une rotation alternative 01 autour de l'axe Z'Z qui est un axe principal d'inertie de ladite partie massive 3, cette rotation el étant en opposition de phase avec le mouvement alternatif de torsion du résonateur 2. Le moment d'inertie J1 en rotation de la première partie massive mobile 3 autour de l'axe Z'Z étant beaucoup plus grand que celui du résonateur 2, l'amplitude de la rotation alternative 61 de ladite partie massive est beaucoup 1o plus petite que l'amplitude de vibration en torsion du résonateur 2. Cette petite rotation alternative 01 crée des vibrations forcées en flexion de faible amplitude des deux premiers bras souples 51 et 52, lesdites vibrations forcées étant en opposition de phase entre elles et produisant de ce fait globalement un couple alternatif tl sur la seconde partie massive mobile 4. Lesdits premiers bras souples 51 et 52 étant souples en flexion, l'intensité du couple t1 est très inférieure à celle du couple T appliqué par le résonateur sur la première partie massive mobile 3. Le couple alternatif t1 provoque une rotation alternative 0O de la seconde partie massive mobile 4 autour de l'axe Z'Z qui est un axe principal d'inertie de la ladite partie massive 4, cette rotation 02 étant en opposition de phase avec la rotation alternative 01 de la première partie massive mobile 3. L'intensité du couple t1 étant faible et le moment d'inertie J2 en rotation de la seconde partie massive mobile 4 autour de l'axe Z'Z étant important, l'amplitude de la rotation alternative 62 de la seconde partie massive mobile 4 est très inférieure à celle de la rotation alternative 01 de la première partie massive mobile 3. Cette très faible rotation alternative 02 crée des vibrations forcées en flexion de très faible amplitude des deux autres bras souples 61 et 62, lesdites vibrations forcées étant en opposition de phase entre elles, ce qui a pour conséquence de produire principalement des forces alternatives q de très faible intensité, perpendiculaires aux faces de la plaque de matériau et de sens contraires sur les parties 11 et 12 respectivement. Les parties 11 et 12 constituant la partie fixe, il en résulte que ladite partie fixe subit globalement un très faible couple alternatif t2 dont l'intensité vaut sensiblement q x d, d étant la distance séparant les deux autres bras souples 61 et 62. Ainsi, l'intensité du couple alternatif t2 subi globalement par la partie fixe est très inférieure à celle du couple alternatif tl subi globalement par la seconde partie massive5 mobile 4, l'intensité dudit couple t1 étant elle-même très inférieure à celle du couple alternatif T provoqué sur la première partie massive mobile 3 par les vibrations en torsion du résonateur 2. Le lecteur aura compris que le dispositif de filtrage mécanique de la structure de gyromètre SG selon l'invention peut-être vu comme étant l'association de deux dispositifs de suspension filtrante disposés "en série", et qu'ainsi il est possible d'obtenir un filtrage mécanique nettement plus efficace que celui procuré par la structure de transducteur d'accélération connu de la figure 2A. On aura également noté que la symétrie par rapport à l'axe Z'Z de la structure de gyromètre selon l'invention permet de faire coïncider des axes principaux d'inertie des première et seconde parties massives mobiles 3 et 4, ce qui permet de réduire l'amplitude des vibrations forcées en flexion des bras souples 51, 52, 61 et 62, ce qui est favorable à l'efficacité du filtrage mécanique. Cependant, cette association en série de deux suspensions filtrantes, que nous appellerons "double suspension filtrante", n'est pas suffisante en soi pour définir la structure de gyromètre selon l'invention qui, tout en procurant un filtrage mécanique accru, permet que la fréquence F du résonateur ne dépasse pas une valeur égale à environ dix fois la fréquence la plus basse Fs de la structure, afin que la définition et la réalisation de ladite structure soient facilitées et ainsi que son coût de fabrication soit réduit comme expliqué antérieurement. C'est l'aspect compact de la disposition des deux suspensions filtrantes de la structure selon l'invention qui permet d'obtenir ce résultat. Si cette disposition n'était pas compacte, par exemple si le résonateur 2, la première partie massive mobile 3, les deux premiers bras souples 51 et 52, la seconde partie massive mobile 4 et les deux autres bras souples 61 et 62 s'échelonnaient dans cet ordre le long de l'axe Z'Z, il en résulterait que la fréquence la plus basse Fs de la structure correspondrait à un mode de flexion d'ensemble sans utilité pour le filtrage mécanique, la fréquence utile étant la fréquence la plus basse Fsls2 de vibration de la double suspension filtrante autour de l'axe Z'Z; cette fréquence utile Fs1s2 aurait donc une valeur comprise entre Fs et F, par exemple Fs1s2 = 2Fs = F/5; l'efficacité de la double suspension filtrante étant d'autant plus grande que l'écart entre Fs1s2 et F est important, on voit pour cet exemple, qui respecte la condition F = 10 Fs, que la disposition "échelonnée" de la structure le long de l'axe Z'Z ne pourrait permettre de bénéficier du filtrage mécanique maximal autorisé par le concept. Selon l'invention, la disposition compacte des deux suspensions filtrantes de la structure permet que la fréquence utile Fsls2 soit voisine de la fréquence la plus basse Fs de la structure de gyromètre, ce qui permet de bénéficier d'un filtrage mécanique accru, tout en faisant travailler le résonateur à une fréquence F qui n'excède pas environ dix fois la fréquence la plus basse Fs de la structure. Cette compacité de la disposition des deux suspensions filtrantes de la structure de gyromètre selon l'invention est caractérisée en ce que la seconde partie massive mobile 4 est située au voisinage de l'extrémité libre du résonateur 2, et que le résonateur 2 et les quatre bras souples 51, 52, 61 et 62 sont situés sensiblement au même niveau le long de l'axe Z'Z. De préférence, afin de tirer le meilleur parti de la structure de gyromètre selon l'invention, les inerties des parties massives mobiles 3 et 4, et les souplesses des bras souples 51, 52, 61 et 62 satisfont à certaines relations, ainsi qu'il est expliqué dans ce qui suit en référence à la figure 3. On a compris que la double suspension filtrante de la structure selon l'invention est constituée d'une première suspension filtrante comprenant la première partie massive mobile 3 et les deux premiers bras souples 51 et 52, et d'une seconde suspension filtrante comprenant la seconde partie massive mobile 4 et les deux autres bras souples 61 et 62. Pour chacune des deux suspensions filtrantes, on peut définir une fréquence propre de vibration autour de l'axe Z'Z en considérant le cas fictif o serait encastrée l'extrémité de chacun des deux bras souples opposée à l'extrémité solidaire de la partie massive mobile; on définit ainsi les fréquences propres Fs1 et Fs2 pour les première et seconde suspensions filtrantes respectivement. La valeur de chacune desdites fréquences propres, respectivement Fsl et Fs2, est déterminée en fonction du moment d'inertie en rotation autour de l'axe Z'Z de la partie massive mobile correspondante, respectivement J1 et J2 précédemment définis, et de la raideur angulaire que présentent globalement les deux bras souples correspondants vis-à-vis d'une rotation de la partie massive mobile correspondante autour de l'axe Z'Z, respectivement CI pour les deux premiers bras souples et C2 pour les deux autres bras souples. On a ainsi les relations: 2Fs1X et Fs2 2 1:z2, Ji 2, J2 Malgré leur caractère fictif, ces deux fréquences propres sont intéressantes par le fait qu'elles apparaissent dans le traitement des équations qui traduisent le comportement mécanique vibratoire de la structure de gyromètre selon l'invention; les fréquences propres Fsi et Fs2 peuvent ainsi être considérées comme étant des paramètres d'une optimisation des dimensions de ladite structure de gyromètre. La recherche de cette optimisation fait apparaître qu'il est avantageux, pour l'efficacité du filtrage mécanique, que la moyenne des fréquences propres Fs1 et Fs2 soit égale environ au cinquième de la fréquence F du résonateur, et que la fréquence propre Fs2 soit comprise entre une fois et trois fois la fréquence propre Fs1. De plus, il est avantageux également que le moment d'inertie J2 de la seconde partie massive mobile 4 soit compris entre une fois et trois fois le moment d'inertie J1 de la première partie massive mobile 3, et que la raideur angulaire globale C2 des deux autres bras souples 61 et 62 soit comprise entre deux fois et dix fois la raideur angulaire globale C1 des deux premiers bras souples 51 et 52. La figure 5 montre une autre réalisation de structure de gyromètre selon l'invention. La structure de gyromètre SGa diffère de la structure de gyromètre SG représentée sur la figure 3 principalement par sa forme générale discoïde de diamètre D et d'épaisseur Ea, par la forme non parallélépipédique des deux premiers bras souples 51a et 52a, et par des plus grandes dimensions de la partie commune 23a du diapason 2a prises parallèlement aux grandes faces de la structure de gyromètre. La forme générale discoïde est bien adaptée à l'utilisation d'un boîtier cylindrique de faible encombrement destiné à contenir la structure de gyromètre SGa. Concernant la forme non parallélépipédique des deux premiers bras souples 51a et 52a, on voit que chacun desdits bras souples est constitué de deux tronçons parallélépipédiques, ce qui permet de disposer de paramètres dimensionnels supplémentaires pour, par exemple, éviter plus facilement la proximité de la fréquence F du résonateur et d'une fréquence de résonance de structure. Concernant les plus grandes dimensions de la partie commune 23a, cela permet d'améliorer encore le filtrage mécanique des vibrations de flexion du diapason 2a. Par ailleurs, cette réalisation montrée à la figure 5 permet de bénéficier des mêmes avantages que ceux de la réalisation illustrée à la figure 3, concernant l'efficacité du filtrage mécanique des vibrations de torsion du diapason et le faible coût de fabrication. Ainsi, il est possible de réaliser une structure de gyromètre SGa en quartz selon l'invention, de diamètre D = 9 mm, d'épaisseur Ea = 0,5 mm, dont la fréquence la plus basse Fs soit égale à 3 kHz, et dont le résonateur vibre en torsion à 30 kHz et présente un coefficient de qualité intrinsèque valant 3 x 105; le couple alternatif reçu globalement par la partie fixe la de ladite structure est plus de mille fois inférieur au couple alternatif provoqué sur la première partie massive 3a par les vibrations en torsion du résonateur 2a, ce qui permet que le coefficient de qualité réel du résonateur soit pratiquement égal à son coefficient de qualité intrinsèque; de plus, les fréquences de résonance de structure sont situées à plus de 5 kHz de la fréquence du résonateur, ce qui est nettement suffisant pour permettre un bon fonctionnement du résonateur, tout en bénéficiant de tolérances de réalisation suffisamment larges pour être compatibles avec un faible coût de fabrication. REVENDICATIONS 1 - Structure monolithique de gyromètre, usinée dans une plaque de matériau d'épaisseur E, comprenant une partie fixe (1), un résonateur (2) et un dispositif mécanique reliant le résonateur (2) à la partie fixe (1), caractérisée en ce que ledit dispositif mécanique comprend une première partie massive mobile (3) solidaire d'une extrémité du résonateur (2), une seconde partie massive mobile (4) non solidaire du résonateur (2) et située au voisinage de l'autre extrémité du résonateur (2), deux premiers bras souples (51, 52) situés de part et d'autre du résonateur (2) et reliant chacun la première partie massive mobile (3) à la seconde partie massive mobile (4), et deux autres bras souples (61, 62) situés de part et d'autre du résonateur (2) et reliant chacun la seconde partie massive mobile (4) à la partie fixe (1). 2 - Structure monolithique de gyromètre selon la revendication 1, caractérisée en ce que les deux autres bras souples (61, 62) sont situés le long des bords des deux premiers bras souples (51, 52) opposés à ceux en regard du résonateur (2). 3 - Structure monolithique de gyromètre selon la revendication 2, caractérisée en ce que la partie fixe (1) est constituée de deux parties (11, 12) situées le long des bords des deux autres bras souples (61, 62) opposés à ceux en regard des deux premiers bras souples (51, 52). 4 - Structure monolithique de gyromètre selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que le résonateur (2) est un diapason formé de deux branches (21, 22) identiques et parallèles, disposées en regard l'une de l'autre et solidaires, chacune à une extrémité, d'une partie commune (23). - Structure monolithique de gyromètre selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que la première partie massive mobile (3) et la seconde partie massive mobile (4) sont chacune un pavé parallélépipédique dont l'épaisseur est égale à l'épaisseur E de la plaque de matériau usinée, et la hauteur (H4) de la second partie massive mobile (4) est comprise entre une et trois fois la hauteur (H3) de la première partie massive mobile (3). 6 - Structure monolithique de gyromètre selon l'une quelconque des revendications 2 à 5, caractérisée en ce que chacun des deux premiers bras souples (51, 52) est une poutre parallélépipédique dont l'épaisseur est égale à l'épaisseur E de la plaque de matériau usinée, la largeur (L5) est comprise entre le cinquième et les trois-quarts de l'épaisseur E, et la hauteur (H5) est comprise entre cinq et vingt-cinq fois l'épaisseur E. 7 - Structure monolithique de gyromètre selon l'une quelconque des revendications 2 à 6, caractérisée en ce que chacun des deux autres bras souples (61, 62) est une poutre parallélépipédique dont l'épaisseur est égale à l'épaisseur E de la plaque de matériau usinée, la largeur (L6) est comprise entre la moitié et le double de l'épaisseur E, et la hauteur (H6) est comprise entre trois et dix fois l'épaisseur E. 8 - Structure monolithique de gyromètre selon les revendications 6 et 7, caractérisée en ce que la largeur (L6) de chacun des deux autres bras souples (61, 62) est supérieure à la largeur (L5) de chacun des deux premiers bras souples (51, 52), et la hauteur (H6) de chacun des deux autres bras souples (61, 62) est inférieure à la hauteur (H5) de chacun des deux premiers bras souples (51, 52). 9 - Structure monolithique de gyromètre selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce qu'elle présente un axe de symétrie (Z'Z). - Structure monolithique de gyromètre selon la revendication 9, caractérisée en ce que le moment d'inertie de la seconde partie massive mobile (4) autour dudit axe de symétrie (Z'Z) est compris entre une et trois fois celui de la première partie massive mobile (3). 11 - Structure monolithique de gyromètre selon la revendication 10, caractérisée en ce que la fréquence la plus basse de vibration de résonance de ladite structure autour dudit axe de symétrie (Z'Z) est sensiblement égale à la fréquence la plus basse de vibration de résonance de ladite structure, et la fréquence de résonance du résonateur (2) est égale à environ dix5 fois ladite fréquence la plus basse de vibration de résonance de ladite structure. 12 - Structure monolithique de gyromètre selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisée en ce que la partie fixe (1), le résonateur (2), la première partie massive mobile (3), la seconde partie massive mobile (4), les deux premiers bras souples (51, 52), et les deux autres bras souples (61, 62) ont une épaisseur égale à l'épaisseur E de la plaque de matériau usinée.