Brevet FR2791056A1 — publié le 20000922

ARRIERE PLAN DE L'INVENTION Domaine de l'invention La présente invention se rapporte à une matière de revêtement organique antiréfléchissante qui permet la formation stable de motifs ultra-fines convenant pour des dispositifs de semi-conducteurs 64M, 256M, IG, 4G et 16G DRAM. Plus particulièrement, la présente invention se rapporte à une matière de revêtement organique anti-réfléchissante qui contient un chromophore présentant une forte absorption aux longueurs d'ondes utiles en sub-microlithographie. Une couche de ladite matière anti-réfléchissante peut empêcher la rétro-réflexion de la lumière provenant des couches inférieures ou de la surface du chip (ou puce) semi-conducteur et également éliminer les ondes stationnaires dans la couche photorésistante, au cours d'un procédé de sub-microlithographie utilisant des sources laser KrF 248 nm, ArF 193 nm ou F, 157 nm. En outre, la présente invention se rapporte à une composition de revêtement anti-réfléchissante comprenant une telle substance, une couche antiréfléchissante obtenue à partir d'une telle composition et leurs méthodes de préparation. Description de l'art antérieur Au cours d'un procédé de sub-microlithographie, l'un des procédés les plus importants de fabrication de dispositifs semi-conducteurs hautement intégrés, se produisent inévitablement des ondes stationnaires et des stries réfléchissant les ondes du fait des propriétés optiques des couches inférieures appliquées sur la gaufre et des variations d'épaisseurs de la couche photosensible appliquée dessus. En outre, le procédé sub-microlithographique souffre généralement du problème résultant de l'altération de la CD (dimension critique) par la lumière diffractée et réfléchie provenant des couches inférieures. Pour résoudre ces problèmes, on a déjà proposé de disposer un film, appelé revêtement anti-réfléchissant (qu'on désignera ci-après parfois par l'abréviation "ARC") entre le substrat et la couche photosensible. Généralement, les ARCs sont soit organiques soit inorganiques, selon la substance utilisée, ou soit "absorbants" soit "interférants", selon leur mécanisme d'action. Dans les procédés microlithographiques utilisant la radiation de la raie-1 (longueur d'onde 365 nm), les ARCs inorganiques, par exemple des couches de TiN ou de carbone amorphe, sont employés lorsqu'on veut tirer avantage d'un mécanisme d'absorption, et on emploie des couches de SiON lorsqu'on utilise un mécanisme d'interférence. Les ARCs SiON peuvent également convenir pour les procédés sub-microlithographiques qui font appel à une source lumineuse de KrF. Récemment, des études extensives et intensives ont été faites et se poursuivent en vue de l'application des ARCs organiques pour cette sub-microlithographie. En considération de l'état actuel du développement, les ARCs organiques doivent satisfaire aux exigences fondamentales suivantes pour être utilisables: Primo, le pelage de la couche photorésistante du fait de la dissolution dans les solvants des ARCs organiques ne doit pas se produire lorsqu'on effectue un procédé lithographique. A cet égard, les substances ARCs organiques doivent être conçues de manière à ce que leurs films durcis présentent une motif réticulée sans donner lieu à la formation de sous-produits. Secundo, il ne doit pas se produire de migration de substances chimiques, comme des aminés ou des acides, ni dans ni à partir des ARCs. Si des acides migrent à partir de l'ARC, les motifs photosensibles forment une zone en surplomb tandis que l'exsudation de bases, tels les aminés, provoquent un phénomène d'élargissement au pied. Tertio, on devra réaliser des vitesses de gravure plus rapides dans l'ARC que dans le film photosensible supérieur, ce qui permet de mettre en oeuvre un procédé de gravure en douceur, le film photosensible servant de masque. Enfin, les ARCs organiques doivent être aussi minces que possible tout en jouant un rôle excellent dans la prévention de la réflexion lumineuse. Malgré la diversité des matières constitutives des ARCs, celles qui sont susceptibles d'être appliquées de manière satisfaisante aux procédés submicrolithographiques utilisant la lumière ArF n'ont pas été encore découvertes jusqu'à présent. En ce qui concerne les ARCs inorganiques, on n'a encore signalé aucune substance qui permette la maîtrise des interférences à la longueur d'onde de l'ArF, c'est-à-dire pour 193 nm. Il en résulte qu'on a entrepris des recherches intensives pour développer des substances organiques qui se comportent comme d'excellents ARCs. En fait, dans la plupart des cas de la sub-microlithographie, les couches photosensibles ne sont pas nécessairement associées à des ARCs organiques qui empêchent l'occurrence d'ondes stationnaires et des stries réfléchissant lors d'une exposition à la lumière et éliminent l'influence de la rétro-diffraction et de la réflexion de la lumière par les couches inférieures. Par conséquent, le développement de ces substances d'ARCs présentant de fortes propriétés absorbantes vis-à-vis de longueurs d'ondes particulières est l'un des défis les plus brûlants et les plus urgents de domaine technique. Dans le brevet U.S. N 4 910 122, on décrit un ARC qui est disposé sous les couches photosensibles pour éliminer les défauts provoqués par la lumière réfléchie. Le revêtement décrit dans ce document peut mince, lisse et uniforme et il comprend un colorant absorbant la lumière qui élimine la plupart des défauts provoqués par la lumière réfléchissante, ce qui conduit à une meilleure définition des images des substances photosensibles. Ces types d'ARCs, cependant, souffrent de l'inconvénient de présenter des formulations compliquées, d'être extrêmement limités quant au choix des matières et d'être difficiles à appliquer à la photolithographie faisant emploi du rayonnement ultraviolet lointain (DUV). Par exemple, l'ARC de la référence ci-dessus comprend quatre composés colorés, incluant l'acide polyamique. le curcumin, la Bixine et l'orange Soudan G et deux solvants, dont la cyclohexanone et la N-méthyl-2-pyrrolidone. Ce système multicomposant n'est pas facile à formuler et peut interférer avec la composition de la couche photorésistante appliquée pardessus, conduisant alors à des résultats indésirables. RESUME DE L'INVENTION La présente invention a donc pour objet de pallier les problèmes rencontrés dans l'art antérieur et d'obtenir un nouveau composé organique qu'on peut utiliser comme ARC pour la sub-microlithographie en utilisant les lasers ArF 193 nm, KrF 248 nm et F, 157 nm. La présente invention se rapporte en outre à un procédé de préparation d'un composé organique qui empêche la diffusion et la réflexion provoquées par l'exposition lumineuse en sub-microlithographie. La présente invention a en outre pour objet une composition d'ARC, contenant un tel composé, qui empêche la diffusiouréflexion et a également pour objet sa méthode de préparation. La présente invention a encore pour objet un ARC obtenu à partir d'une telle composition et a également pour objet sa méthode de préparation. La présente invention se rapporte à des résines de polymères acryliques qu'on peut utiliser comme ARC. Les résines polymères préférées contiennent un chromophore qui présente une forte absorption aux longueurs d'onde de 193 nm et 248 nm. On introduit un mécanisme de réticulation entre les groupes alcools et d'autres groupes fonctionnels dans les résines de polymères de manière à ce que la réaction de réticulation ait lieu lorsque les revêtements de résines de polymère sont ''durcis par cuisson" ce qui améliore fortement la formulation, la solidité et les propriétés de dissolution des ARCs. En particulier, on obtient une efficacité de réaction de réticulation et de stabilité au stockage optimales grâce à la présente invention. Les résines d'ARCs de la présente invention présentent une stabilité supérieure dans tous les solvants hydrocarbonés, mais sont d'une résistance aux solvants tellement élevées après durcissement par cuisson qu'ils ne se dissolvent plus du tout dans aucun solvant. Ces avantages permettent d'appliquer les résines sans aucun problème et les revêtements empêchent les problèmes de formation de zone en surplomb et d'élargissement au pied, qui peuvent avoir lieu lorsqu'on forme des images sur des matières photosensibles. En outre, les revêtements fabriqués à partir des polymères acryliques de la présente invention ont une vitesse de gravure plus rapide que les films photosensibles, ce qui améliore le rapport de sélection des gravures entre eux. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION Les résines d'ARC de la présente invention sont choisies dans le groupe consistant en polymères acryliques représentés par les formules générales suivantes I et II: dans lesquelles, R, R', R" et R111 sont, indépendamment l'un de l'autre, un atome d'hydrogène ou un radical méthyle; R, à R9, qui sont identiques ou différents, représentent chacun un atome d'hydrogène, un groupe hydroxy, méthoxycarbonyle, carboxyle, hydroxyméthyle ou un radical alcane, alcoxyalkyle, alcoxyalcane ou alkyle en C,-C5, linéaire ou ramifié, substitué ou non substitué; x, y et z représentent chacun une fraction molaire dans la fourchette de 0,01 à 0,99; et m et n sont, indépendamment l'un de l'autre, un entier de 1à 4. Dans un composé préféré de formule I, m est 1 ou 2 et n est un entier de 1 à 4. Dans un composé préféré de formule II, m est de 1 ou 2 et n est un entier de 2 à 4. Les polymères de la présente invention sont conçus pour conférer une forte absorption aux longueurs d'ondes photolithographiques désirées, par exemple, des longueurs d'ondes de 193 nm et 248 nm. Pour atteindre ce résultat, on greffe des substituants chromophores capables d'absorber la lumière aux longueurs d'ondes désirées sur le squelette du polymère. On peut préparer des polymères de formule générale I par polymérisation de monomères de type 9-anthacéneméthylacrylate, hydroxyalkylacrylate ou glycidylacrylate à l'aide d'un initiateur dans un solvant. Chacun des monomères a une fraction molaire comprise entre 0,01 et 0,99. On peut préparer les polymères de formule générale II d'une manière analogue aux polymères de formule générale I, en utilisant des monomères de type 9anthracèneméthylacrylate, des monomères de type hydroxyalkylacrylate, des monomères de type gycidylacrylate et des monomères de type méthylméthacrylate en une fraction molaire de 0,01 à 0,99 pour chaque monomère. Pour amorcer la réaction de polymérisation des polymères de formules générales I et II, on peut utiliser des initiateurs courants en donnant une préférence aux 2,2-azobisisobutyronitrile (AIBN), acétylperoxyde, laurylperoxyde et tbutylperoxyde. De même, on peut utiliser des solvants courants pour la polymérisation. De préférence, on choisit le solvant dans le groupe consistant en tétrahydrofurane, toluène, benzène, méthyléthyl cétone et dioxane. De préférence, on effectue la polymérisation des polymères de formule générale I et II à 50-90 C. La présente invention se rapporte de plus à une composition de revêtement anti-réfléchissante qui comprend le polymère de formules générales I et II en combinaison avec au moins un additif choisi dans le groupe consistant en dérivés d'anthracène représentés dans le tableau I, ci-après. TABLEAU 1 ÇH2OH j \ \ \ FN CCO;::; ; ; 03 CCO \ ; anthracènc 9-anlhracènelllélhanol 9-anlhraccnecarbonitrile Formule chimique Formule chimique 2 Formule chimique 3 on OH c=o i 1i fTYrY'011 cCo \ / 1...9 ...9 OH acides 9-antlinicènecarbo\yliques Dilhrano! 1.2.10-anthracènctriol Formule chimique 4 Formule chimique 5 Formule chimique 6 2 OH fH=NOH o nN (il ' J acides anthraccnc flaviqucs 9-anthraldchy dc oxime 9-anlhraldchj'dc Formule chimique 7 Formule chimique 8 Formule chimique 9 #3 # \ n. > O CN c6)NH2 0 O 1,-::;; ON I,Ó I,Ó 0 2-alllino-7-méthyl-5-0"\0-511- , rllh [2.3.b-hyridinc-3- l-aminoanthraquinonc anlhraqul11one-aclde 2-carho-xyltque carbonitrilc Formule chimique Formule chimique 1 Formule chimique 12 n ?" ~~ 9 f'T) rSi CCu OH I,5-dihydrox)anthraquinonc Anthronc 9-anthr>'I-lrifIuoromcthyl cétone Formule chimique 13 Formule chimique 14 Formule chimique 15 11 ~-~.~~.~. ÎI4 ill 1.-9.-9; 1.-9.-9.-9 dériv és de 9-aIk\l 1 anthraccnc dérivés de 9-carhnxyi anthracène dérivés de l-carboxyl anthracène Formule chimique 16 Formule chimique 17 Formule chimique 18 Dans le tableau 1, R11,R12, R13, R14 et R15 représentent, indépendamment l'un de l'autre, un atome d'hydrogène, un groupe hydroxy, hydroxyméthyle ou un radical alcane, alcoxyalkyle, alcoxyalcane ou alkyl en C, à C5, substitués ou non substitués, linéaires ou ramifiés. On peut préparer des compositions de revêtement anti-réfléchissantes selon la présente invention par (i) addition du composé choisi dans le tableau 1, à raison de 0,1 à 30% en poids, à une solution du polymère de formule générale 1 ou II dans un solvant et (ii) (ii) filtration de la solution. Cette composition de revêtement peut être appliquée sur une gaufre d'une manière classique puis ensuite durcie par cuisson (chauffée à une température de 100 à 300 C pendant 10-1000 secondes) pour former une couche anti-réfléchissante réticulée. On peut fabriquer des dispositifs semi-conducteurs de haute qualité en utilisant les revêtements anti-réfléchissants de la présente invention. On peut utiliser les solvants organiques courants pour préparer la composition, de préférence on utilise le 3-éthoxyprionate d'éthyle, le 3-méthoxy propionate de méthyle, la cyclohexanone et le propylène méthyléthéracétate. De préférence, le solvant est utilisé à raison de 200 à 5000% en poids par rapport au poids total des polymères de résine de revêtement anti-réfléchissant utilisés. On a constaté que les revêtements anti-réfléchissants de la présente invention présentent une haute performance dans les procédés de sub-microlithographie utilisant les lasers KrF 248 nm, ArF 193 11111 et F2 157 nm comme sources lumineuses. Il en va de même lorsqu'on utilise comme sources lumineuses des faisceaux-E, des UVE (ultraviolets extrêmes) et des faisceaux ioniques. Les exemples suivants sont donnés à titre illustratif des principes et pratiques de la présente invention. Ainsi, on ne doit en aucune manière les considérer comme limitatifs de l'invention mais comme des illustrations de certains modes de réalisation préférés. Exemple 1 SYNTIIESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENEMETHYL- ACRYLATE-(2-HYDROXYETHYLACRYLATE)-GLYCIDYL-METHACRYLATE] Synthèse du 9-anthracèneméthylacrylate On dissout 0,5 mole de 9-anthracène-méthanol et 0,5 mole de pyridine dans du tétrahydrofurane puis on ajoute 0,5 mole de chlorure d'acryloyle. Au terme de la réaction, on filtre le produit et on extrait à l'acétate d'éthyle. On lave l'extrait à plusieurs reprises à l'eau distillée et on sèche par distillation sous pression réduite pour obtenir le 9-anthracénylméthylacrylate, représenté par la formule chimique 19 suivante (rendement 84%). Synthèse du copolymère [9-anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxy-éthylacryIate)- glycidylméthacrylate] Dans un ballon à fond rond de 500 ml, on introduit 0,5 mole du 9-anthracèneméthylacrylate synthétisé ci-dessus, 0,3 mole de 2-hydroxyéthylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane préparé séparément (THF) sous agitation. Ensuite en présence de 0,1-3 g de 2,2azobisisobutyronitile (AIBN), on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, on filtre le précipité et on le sèche pour obtenir le copolymère poly- [9- anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylméthacrylate], un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 80%. Exemple II SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENYL-METHYL- ACRYLATE-(3-HYDROXYPROPYLACRYLATE)-GLYC1DYL METHACRYLATE] Dans un ballon à fond rond de 500 ml, on introduit 0,5 mole du 9anthracénylméthylacrylate synthétisé dans l'exemple I, 0,3 mole de 3hydroxypropylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de THF préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal et on isole le précipité par filtration et le sèche pour obtenir le copolymère poly [9-anthracényhnéthylacrylate- (3-hydroxypropylacrylate)-glycidylméthacrylate], un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 79%. Exemple III SYNTHESE DE COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENEMETHYL- ACRYLATE-(2-HYDROXYETHYLACRYLATE)-GLYCIDYLACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,5 mole de 9- anthracèneméthylacr) late, 0,3 mole de 2-hydroxyéthylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de THF préparé à part sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly- [9- anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylacrylate], un polymère selon la présente invention (rendement 81 %). Exemple IV SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTIIRACENEMETIYL- ACRYLATE-(3-HYDROXYPROPYLACRYLATE)-GLYCIDYLACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,5 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 3-hydroxypropylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de THF préparé à part sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal et on isole le précipité par filtration et sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-anthracèneméthylacrylate-(3-hydroxypropylacrylate)-glycidylacrylate], un polymère selon la présente invention selon un rendement 78%. Exemple V SYNTIIESE DE COPOLYMERE POLY-[9-ANTIIRACENEMETHYLACRYLATE-(4-HYDROXYBUTYLACRYLATE)-GLYCIDYLACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,5 mole de 9- anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 4-hydroxybutylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de TIIF préparé à part sous agitation, puis, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans t'hexane normal, on isole le précipité par filtration et sèche pour obtenir un copolymère poly- [9-anthracèneméthylacrylate-(4-hydroxybutylacrylate)-gl}cidylacrylate], un polymère selon la présente invention (rendement 80%). Exemple VI SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENEMETHYL- ACRYLATE-(2-HYDROXYETHYLACRYLATE)-GLYCIDYL-METHACRYLATE] Synthèse du 9-anthracèneméthylméthacrylate On dissout 0,5 mole de 9-anthracène et 0,5 mole de pyridine dans le THF puis on ajoute 0,6 mole de chlorure de méthylacrylolyle. Au terme de cette réaction, on isole le produit par filtration, effectue l'extraction à l'acétate d'éthyle. On lave l'extrait à de nombreuses reprises à l'eau distillée, puis on sèche par distillation sous vide pour obtenir le 9-anthracèneméthylméthacrylate, représenté par la formule chimique 20 ci-dessous. (rendement 83%) Synthèse du copolymère poly-[9-anthracèneméthylméthacrylate)-(2- hydroxyéthylacrylate)-glycidylméthacrylate] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,5 mole de 9anthracèneméthylacrylate synthétisé ci-dessus, 0,3 mole de 2-hydroxyéthylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et sèche pour obtenir un copolymère consistant en poly-[9-anthracèneméthylacrylate- (2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylméthacrylate], un polymère selon la présente invention selon un rendement de 77%. Exemple VII SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE-METHYL- ACRYLATE-(3-HYDROXYPROPYLACRYLATE)-GLYCIDYL-METHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,5 mole de 9anthracèneméthylacrylate synthétisé dans l'exemple 6, 0,3 mole de 3hydroxypropylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation, puis, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans )'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(3-hydroxypropyacrylate)-glycidylméthacrylate], un polymère selon la présente invention selon un rendement de 80%. Exemple VIII SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE-METHYL- ACRYLATE-(4-HYDROXYBUTYLACRYLATE)-GLYCIDYL-METHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,5 mole du 9anthracèneméthylacrylate synthétisé dans l'exemple 6, 0,3 mole de 2hydroxybutylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9- anthracèneméthylacryIate-(4-hydroxybutyIacrylate)-glycidylméthacryIate], un polymère selon la présente invention (Rendement 80%). Exemple IX SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTI-IRACENE- METHYLACRYLATE-(4-HYDROXYBUTYLACRYLATE)-GLYCIDYL-ACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,5 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 4-hydroxybutylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-anthracèneméthylacrylate-( 4-hydroxybutylacrylate)- glycidylacrylate], un polymère selon la présente invention (Rendement 79%). Exemple X SYNTIIESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRI'LATE-(3-HYDROXYPROPYI~ACRYI~ATE)-GLYC(DYL-ACRYLATE] Dans un ballon de 500 Illl à fond rond, on introduit 0,5 mole de 9a11t11raCCI1C171t;t11}'laCl'}'laie, 0,3 mole de 2-11}'dCOX}'prOp}'laCl'}'late et 0,2 mole de glycidylacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (TIIF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-anthracèneméth}'lacrylate-(3-h}drox}'propylacrylate)- glycidylacrylate]. un polymère selon la présente invention (Rendement 81%). Exemple XI SYNTIIESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- '.IETHYLACRYLATE-(4-I IYDROXYET1IYLACRYI~ATE)-GI~YCIDYL-ACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,5 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 4-hydroxyéthylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (TIIF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-anthracèneméthylacrylate-(4-hydroxyéth}'acrylate)- glycidylacrylate]. un polymère selon la présente invention (Rendement 80%). Exemple XII SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLA TE-(2-HYDROXYETHYLACRYLA TE)-GL YCIDYL- METHACRYLATE-METHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9- anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 2-hydroxyéthylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxyéthyacrylate)-glycidylméthacrylate- méthylméthacrylate], un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 81%. Exemple XIII SYNTIIESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLATE-(3-HYDROXYPROPYLACRYLATE)-GLYCIDYL- METHACRYLATE-METHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9- anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 2-li3,droxyétii,lacr'late et 0,2 mole de glycidylméthacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9- anthraccneméthylacrylate-(3-hydroxypropyacrylate)-glycidylméthacrylate- méthylméthacrylate], un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 79%. Exemple XIV SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLA TE-(2-HYDROXYETHYLACRYLA TE)-GL YCIDYL-ACRYLA TE- METHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 2-hydroxyéthylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (TIIF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-aiitliracèiieniétliylacrylate- (2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylacrylate-méthylméthacrylate], un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 80%. Exemple XV SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLATE-(3-HYDROXYPROPYLACRYLATE)-GLYCIDYL-ACRYLATEMETHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9- anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 3-hydroxypropylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-anthracèneméthylacrylate- (3-hydroxypropyacrylate)-gIycidylacrylate-méthylméthacrylate]. un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 79%. Exemple XVI SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLATE-(4-HYDROXYBUTYLACRYLATE)-GLYCIDYL-ACRYLATE- METHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 4-hydroxybutylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (TI-IF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly -[9-anthracèneméthylacrylate- (4-hydroxybutylacryIate)-glycidylacrylate-méthylméthacrylatel, un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 81 %. Exemple XVII SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLATE-(2-I IYDROXYETHYLACRYI~ATE)-GLYCIDYL- METHACRYLATE-METHYLMETHACRYLATE1 Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 2-hydroxyéthylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation, puis, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylméthacrylate- méthylméthacrylate], un polymère selon la présente invention. (Rendement 79%). Exemple XVIII SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLATE-(3-HYDROXYPROPYLACRYI~ATE)-GLYCIDYLMETI I ACR YL ATE-METI IYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 3-hydroxypropylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(3-hydroxypropylacrylate)-glycidylméthacry late- méthylméthacrylate], un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 79%. Exemple XIX SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENEMETHYLACRYLATE-(4-HYDROXYBUTYLACRYLATE)-GLYCIDYL- METHACRYLATE-METHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 4-hydroxybutylacrylate et 0,2 mole de glycidylméthacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(4-hydroxybutylacrylate)-glycidylméthacrylate- méthylméthacrylate], un polymère selon la présente invention, selon un rendement de 80%. Exemple XX SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLATE-(2-HYDROXETHYLACRYLATE)-GLYCÏDYL-ACRYLATE- METHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 2-hydroxyéthylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (TIIF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-anthracèneméthylacrylate- (2-hydroxyéthyIactyIate)-glycidylacrylate-méthylméthacrylate], un polymère selon la présente invention. (Rendement 80%). Exemple XXI SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLATE-(3-HYDROXYPROPYLACRYLATE)-GLYCIDYL-ACRYLATE- METHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 4-hydroxypropylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-anthracèneméthylacrylate- (3-hydroxypropylacryIate)-glycidylacrylate-méthyIméthacrylate]. un polymère selon la présente invention. (Rendement 80%). Exemple XXII SYNTHESE DU COPOLYMERE POLY-[9-ANTHRACENE- METHYLACRYLA TE-(4-HYDROXYBUTYLACRYLA TE)-GL YCIDYL-ACRYLA TE- METHYLMETHACRYLATE] Dans un ballon de 500 ml à fond rond, on introduit 0,3 mole de 9anthracèneméthylacrylate, 0,3 mole de 4-hydroxybutylacrylate et 0,2 mole de glycidylacrylate et 0,2 mole de méthylméthacrylate. On ajoute ce mélange à 300 g de tétrahydrofurane (THF) préparé séparément sous agitation. Ensuite, en présence de 0,1-3 g d'AIBN, on soumet le mélange réactionnel à une polymérisation à 60-75 C pendant 5-20 heures sous atmosphère d'azote. Au terme de la polymérisation, on précipite la solution dans l'éther éthylique ou dans l'hexane normal, et on filtre le précipité et le sèche pour obtenir un copolymère poly-[9-anthracèneméthylacrylate- (4-hydroxybutylacrylate)-glycidylacrylate-méthylméthacrylate], un polymère selon la présente invention. (Rendement 81 %). Exemple XXIII PREPARATION D'UN REVETEMENT ANTI-REFLECHISSANT Dans 200-5 000% en poids de propylèneglycol de méthyléther acétate (PGMEA), on dissout un polymère (résine) ayant la motif chimique de formule générale 1 ou II décrite ci-dessus, par exemple, obtenu dans les exemples 1 à XXI. Cette solution, seule ou en combinaison avec 0,1-30% en poids d'au moins un additif parmi les composés de formules chimiques 1à 18du tableau 1, est filtrée, appliquée sur une gaufre, et durcie par cuisson (c'est-à-dire chauffé à 100-300 C pendant 10- 1 000 secondes). Sur la couche anti-réfléchissante ainsi formée, on peut appliquée une substance photosensible et l'exposer selon une image pour obtenir des motifs ultrafins d'une manière classique. Comme on l'a décrit ci-dessus, la couche anti-réfléchissante de la présente invention, qui est obtenue à partir du polymère de la formule générale 1 ou II, seul ou en combinaison avec des additifs répondant à l'une des formules chimiques 1 à 18, contient des substituants chromophores en quantités suffisantes pour présenter une absorption aux longueurs d'ondes utiles pour la sub-microlithographie. Donc, le revêtement anti-réfléchissant de la présente invention peut jouer un rôle excellent dans la formation de motifs ultrafins. Par exemple, il permet d'éviter la rétroréflexion de la lumière de la surface de la gaufre et des couches inférieures ainsi qu'il élimine les ondes stationnaires dans la couche photorésistante elle-même au cours d'un procédé de sub-microlithographie lorsqu'on utilise un laser KrF 248 nm, ArF 193nm ou F, 157 nm. Ceci conduit à la formation de motifs stables convenables pour des dispositifs semi-conducteurs 64M, 256M, IG, 4G et 16G DRAM et une grande amélioration du rendement de la production. Bien qu'on ait décrit la présente invention en détail par référence à certains modes de réalisation préférés, il est bien entendu que diverses variantes peuvent être apportées sans s'écarter de l'esprit et de la portée de la présente invention. L'invention n'est pas limitée par celle-ci sinon par les revendications indiquées ciaprès. REVENDICATIONS 1.- 9-anthracénylméthylacrylate, représenté par la formule chimique 19 suivante: 2.- Un procédé de préparation du 9-anthracèneméthylacryUate comprenant la réaction du 9-anthracèneméthanol avec le chlorure d'acryloyle en présence de pyridine dans le tétrahydrofurane. 3.- Anthracèneméthylméthacrylate, représenté par la formule chimique 20 suivante : 4.- Un procédé de préparation du 9-anthracèneméthylméthacr;-late comprenant la réaction du 9-anthracèneméthanol avec le chlorure de méthacryloyle en présence de pyridine dans le tétrahydrofurane. 5. - Un polymère répondant à la formule générale 1 suivante: dans laquelle, R est un atome d'hydrogène ou un radical méthyle; R, à R9. identiques ou différents, représentent chacun un atome d'hydrogène, un groupe hydroxy, méthoxycarbonyle, carboxyle, hydroxyméthyle ou un radical alcane, alcoxyalkyle ou alcoxyalcane ou alkyle en C, à C5, linéaires ou ramifiés, substitués ou non substitués; w, x et y représentent chacun une fraction molaire dans la fourchette de 0,01 à 0.99; et n est un entier de 1 à 4. 6.- Un polymère selon la revendication 5, dans lequel R est un atome d'hydrogène ou un radical méthyle, R, à R9 sont chacun des atomes d'hydrogène, w, x et y représentent chacun une fraction molaire comprise entre 0,01 et 0,99 et n est un entier de 1 à 4. 7. - Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/2hydroxyéth;lacr;latc/lycidylméthacrylate est de 5/3/2. 8.- Un polymère selon la revendication 5, comprenant le po(y-[9anthracèneméthylaciylate-(3-hydroxypropylacrylate)-glycidylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/3- hydroxypropylacrylate/glycidylméthacrylate est de 5/3/2. 9. - Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/2-hydroxyéthylacrylate/glycidylacrylate est de 5/3/2. 10.- Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(3-hydroxypropylacryIate)-glycidylacryIate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/3hydroxypropylacrylate/glycidylacrylate est de 5/3/2. 11.- Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9- anthracèneméthylacylate-(4-hydroxybutylacrylate)-glycidylacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylatel4-hydroxybutylacrylate/glycidylacrylate est de 5/3/2. 12.- Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/2- hydroxyéthylacrylate/glycidylméthacrylate est de 5/3/2. 13.- Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9- anthracèneméthytacrytate-(3-hydroxypropytacry)ate)-gtycid)tméthacry)ate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/3hydroxypropylacrylate/glycidylméthacrylate est de 5/3/2. 14.- Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9anthracèneméthyIaciyIate-(4-hydroxybutylaciyIate)-glycidylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/4hydroxybutylacrylate/glycidylméthacrylate est de 5/3/2. 15.- Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9anthracèneméthylacrylate-(2-hydroxyéthylaciylate)-glycidylacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylatel2-hydroxyéthylacrylatelgl}cidylacrylate est de 5/3/2. 16.- Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9- anthracèneméthylacrylate-(3-hydroxypropylacryfate)-glycidylacry-Iate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/3- hydroxypropylacrylate/glycidylacrylate est de 5/3/2. 17. - Un polymère selon la revendication 5, comprenant le poly-[9- anthracèneméthylacylate-(4-hydroxybutylacrylate)-glycidylacry-late] dans lequel le rapport molaire 9-anthraceneméthylacry!atc/2-hydroxyéthy)acr))ate/g]ycidy)acry!ate est de 5/3/2. 18.- Un procédé de préparation d'un polymère selon l'une des revendications 5 à 17, comprenant la polymérisation de monomères de type 9anthracèneméthylacrylate, de monomères de type hydroxyalkylacrylate et de monomères de type glydicylacrylate dans un solvant en présence d'un initiateur. 19. - Un procédé selon la revendication 18, dans laquelle le rapport molaire monomère de type 9-anthracèneméthylacrylate/monomère de type hydroxyalkylacrylate/monomère de type glycidylacrylate est dans la fourchette de 0,01-0,99/0,01-0,99/0,01-0,99. 20. - Un procédé selon la revendication 18 ou 19, dans laquelle l'initiateur est choisi dans le groupe consistant en 2,2-azobisisobutyronitrile. peroxyde d'acétyle, peroxyde de lauryle et peroxyde de t-butyle. 21.- Un procédé selon la revendication 18, 19 ou 20, dans laquelle le solvant est choisi dans un groupe consistant en tétrahydrofurane. toluène, benzène, méthyléthyl-cétone et dioxane. 22. - Un procédé selon l'une des revendications 18 à 21, dans laquelle la polymérisation est effectuée à une température de 50-90 C. 23.- Un polymère représenté par la formule générale suivante II: dans laquelle, R est un atome d'hydrogène ou un radical méthyle; R, à R9, identiques ou différents, représentent chacun un atome d'hydrogène, un groupe hydroxy, méthoxycarbonyle, carboxyle, hydroxyméthyle ou un radical alcane, alcoxyalkyle, alcoxyalcane ou alkyle en C, à C5, linéaires ou ramifiés, substitués ou non substitués; w, x et y représentent chacun une fraction molaire dans la fourchette de 0,01 à 0,99; et n est un entier de 1à 4. 24. - Un polymère selon la revendication 23, dans lequel R est un atome d'hydrogène ou un radical méthyle, R, à R9 sont chacun un atome d'hydrogène, w, x, y et z ont chacun une fraction molaire comprise entre 0,01 et 0,99 et n est un entier de 1 à 4. 25.- Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9- anthracèneméthylacryate-(2-hydroxyéthylacrylate)-glycidylméthacrylate-méthyl- méthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/2- hydroxyéthylacrylate/glycidylméthacrylate/méthylméthacrylate est de 3/3/2/2. 26. - Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9- anthracèneméthyIacryIatc-(3-hydroxypropylacryIatc)-gIycidylméthacrylate-méthyIméthacrylate dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/3hydroxypropylacryfate/glycidylméthacrylate/méthylméthacrylate est de 3/3/2/2. 27.- Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9anthi"acèneméthylaci">late-(2-hydroxyéth)'lacrylate)-glycidylaci")'lale-méth)lméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/2li-droxx,étli'lacr3,lite/(,I,cid-laci-'late/métli@liiiétli,icr3,late est de 3/3/2/2. 28.- Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9anthracèneméthylacrylate-(3-hydroxypropylacrylate)-glycidylacry-late-méthylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate 3liydroxypropylacrylate/gl,c'Idylacr3,late/iiiétli3,lniétliacr,late est de 3/3/2/2. 29.- Un polymère selon la revendication 2 comprenant du poly-[9anthracèneméthylacn late-(4-hydroxybutyIacryIate)-glycidylacryIate-méthylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/4hydroxybutylacrylate/gly-cidylacrylate/méthylméthacrylate est de 3/3/2/2. 30.- Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9anthracènetnéthylactylate-(2-hydroxyéthylacrylate)-glycidy(métlvacrylate-méthylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/2hy-droxyéthylacrylateglycidylacry-latelméthylméthacrylate est de 3/3/2/2. 31.- Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9anthracènen éthylacry late-(3-hydroxypropylacrylate)-lycidylméthacrylate-méthylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/3hydroxypropylacrylate/glycidylméthacrylate/méthylméthacrylate est de 3/3/2/2. 32.- Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9anthracèneméthylacrylate-(4-hydroxybutylacrylate)-glycidylméthacrylate-méthylméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/4hydroxybutylacrylate/glycidylméthacrylate/méthylméthacrjiate est de 3/3/2/2. 33.- Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9anthracèneméthylacryIate-(2-hydroxyéthylacr>late)-glycidylacrylate-méthyl- méthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/2- li ,drox,éthy laci-N, late/gl,ci d, lac r, late/méth,l iiiétliacr3, 1 aie est de 3/3/2/2. 34.- Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9anthracèneméthylacrylate-(3-hydroxypropylacrylate)-glycidylacylate-méthyl- méthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthracèneméthylacrylate/3hydroxypropylacrylate/glycidylacrylate/méthylméthacrylate est de 3/3/2/2. 35. - Un polymère selon la revendication 23 comprenant du poly-[9- anthracèneméthytacrytate-(4-hydroxybutytacrytate)-gtycidy)acrytatc-méthytméthacrylate] dans lequel le rapport molaire 9-anthraccneméthylacrylate/4h>droxybutylacrylate/glycidylacrylate/méthylméthacrylate est de 3/3/2/2. 36. - Un procédé de préparation d'un polymère selon l'une des revendications 23 à 35, comprenant la polymérisation de monomères de type anthracène méthylacrylate, de monomères de type hydroxyalkylacrylate, de monomères de type glycidylacrylate et de monomères de type méthylméthacrylate dans un solvant en présence d'un initiateur. 37.- Un procédé selon la revendication 36, dans laquelle le rapport molaire monomère de type 9-anthracèneméthylacrylate/monomère de type hydroxy alkyl- acrylate/monomère de type glycidylacrylatel monomère de type méthylméthacrylate est dans la fourchette de 0,01-0,99/0,01-0,99/0,01-0,99/0,01:0,99. 38.- Un procédé selon la revendication 36 ou 37, dans laquelle l'initiateur est choisi dans le groupe consistant en 2,2-azobisisobutyronitrile, acétylperoxyde, laurylperoxyde et t-butylperoxyde. 39.- Un procédé selon la revendication 36,37 ou 38, dans laquelle le solvant est choisi dans le groupe consistant en tétrahydrofurane, toluène, benzène, méthyl- éthyl cétone. 40. - Un procédé selon l'une des revendications 36 à 39, dans laquelle on effectue la polymérisation à une température de 50-90 C. 41.- Un revêtement anti-réfléchissant utile pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs comprenant un polymère selon l'une des revendications 5 à 17. 42. - Un revêtement anti-réfléchissant utilisé pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs comprenant un polymère selon l'une des revendications 23 à 35. 43.- Un revêtement anti-réfléchissant comprenant un polymère selon l'une des revendications 5 à 17 ou un polymère se)on l'une des revendications 23 à 35 et au moins un composé choisidans le groupe consistant en les composés suivants: dans laquelle R11, R12, R13, R14 et R15 représentent, indépendamment l'un de l'autre, un atome d'hydrogène, un groupe hydroxy ou hydroxyméthyle ou un radical alcane, alcoxyalkyle, alcoxyalcane ou alkyle en C, à C5, linéaires ou ramifiés, substitués ou non substitués. 44. - Un procédé de préparation d'un revêtement anti-réfléchissant utile pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs qui comprend la filtration d'une solution d'un polymère selon l'une des revendications 5 à 17 dans un solvant, l'application de ladite solution sur une gaufre, et la soumission de la gaufre revêtue à un durcissement par cuisson. 45. - Un procédé de préparation d'un revêtement anti-réfléchissant utile pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs qui comprend la filtration d'une solution d'un polymère selon l'une des revendications 23 à 35 dans un solvant, l'application de ladite solution sur une gaufre et la soumission de la gaufre ainsi revêtue à un durcissement par cuisson. 46. - Un procédé de préparation d'un revêtement anti-réfléchissant utile pour la fabrication des dispositifs semi-conducteurs qui comprend la dissolution d'un polymère selon l'une des revendications 5 à 17 ou l'une des revendications 23 à 35, dans un solvant pour obtenir une solution dudit polymère, l'addition à ladite solution de polymère d'au moins un additif choisi dans le groupe consistant en les composés suivants, pour former une composition de revêtement anti-réfléchissante, la filtration de ladite composition, l'application de ladite composition sur une gaufre et la soumission de ladite gaufre à un durcissement par cuisson: dans laquelle R11, R12, R13, R14 et R15 représentent, indépendamment l'un de l'autre, un atome d'hydrogène, un groupe hydroxy ou hydroxyméthyle ou des radicaux alcane, alcoxyalkyle, alcoxyalcane ou alkyle en CI à C;. linéaires ou ramifiés, substitués ou non substitués. 47. - Un procédé selon la revendication 44, 45 ou 46, dans lequel le solvant organique est utilisé à raison de 200-5 000% en poids par rapport au poids de polymère et dans lequel l'opération de durcissement par cuisson est effectuée à 100- 300 C. 48. - Un procédé selon l'une des revendications 44 à 47, dans lequel le solvant organique est choisi dans le groupe consistant en méthyl-3-méthoxy propionate et cyclohexanone, propylèneglycol méthylétheracétate. 49. - Un procédé selon l'une des revendications 46 à 48, dans lequel on utilise l'additif à raison de 0,1 à 30% en poids. 50. - Un dispositif à semi-conducteur fabriqué en utilisant une couche antiréfléchissante selon les revendications 41, 42 ou 43.