Brevet FR2784746A1 — publié le 20000421

Capteur de pression absolue à capacité électrique. La présente invention se rapporte à un capteur de pression absolue à capacité électrique qui utilise une membrane, se déplaçant en réponse à la pression à mesurer, en tant qu'une électrode mobile. La figure 3 est une vue en coupe transversale d'un premier capteur de pression absolue à capacité électrique classique. La figure 4 est une vue en coupe transversale d'un second capteur de pression absolue à capacité électrique classique. En se référant maintenant à la figure 3, le premier capteur de pression absolue classique comporte un bloc 2 en céramique, une première plaque 11 de recouvrement métallique, un recouvrement 12 latéral métallique, une membrane 3 métallique et une seconde plaque 13 de recouvrement métallique. Un trou 23 de liaison est percé dans la partie centrale du bloc 2 en céramique. Une première électrode 21 et une seconde électrode 22 sont déposées sur la face supérieure et la face inférieure du bloc 2 en céramique respectivement. Un premier fil 41 conducteur s'étend à l'extérieur de la première électrode 21 et un second fil 42 conducteur de la seconde électrode 22. Le recouvrement 12 latéral métallique, qui est plus haut que le bloc 2 céramique, recouvre la périphérie du bloc 2 céramique laissant des interstices pour former des capacités électrostatiques au-dessus et en dessous du bloc 2 en céramique. Des trous sont percés dans le recouvrement 12 latéral métallique pour permettre l'extension des premier et second fils 41 et 42 conducteurs de l'intérieur vers l'extérieur. La première plaque 11 de recouvrement métallique est soudée à la face supérieure du recouvrement 12 latéral métallique. La première plaque 11 de recouvrement métallique comporte un trou 111 de liaison percé dans sa partie centrale. La première plaque 11 de recouvrement métallique et la première électrode 21 constituent un condensateur de compensation destiné à la compensation. La membrane 3 métallique est soudée à la face inférieure du recouvrement 12 latérale métallique. La membrane 3 métallique, qui se déforme en réponse à la pression à mesurer, et la seconde électrode 22 constitue un condensateur de détection destiné à mesurer une pression absolue. La seconde plaque 13 de recouvrement métallique est soudée à la périphérie inférieure de la membrane 3 métallique. La seconde plaque 13 de recouvrement métallique comporte un évidement sur sa face supérieure pour former une cavité 5 de vide de référence au-delà de la membrane 3 métallique. Bien que l'agent d'emplissage pour transmettre la pression ne soit pas décrit à la figure 3, l'agent d'emplissage est empli dans les condensateurs par les trous 111 et 23 de liaison. II est maintenant représenté l'aire de la première électrode 21 et l'aire de la seconde électrode 22 par S en supposant que ces aires ou surfaces soient identiques l'une à l'autre et que la distance entre la première électrode 21 et la première plaque 11 de recouvrement métallique et la distance entre la seconde électrode 22 et la membrane 3 métallique soit représentée par d, en supposant que les deux distances soient identiques l'une à l'autre lorsque la pression P à mesurer ne s'exerce pas sur la membrane 3 métallique. La distance entre la première électrode 21 et la première plaque 11 de recouvrement métallique correspond à l'interstice dans le condensateur de compensation. La distance entre la seconde électrode 22 et la membrane 3 métallique correspond à l'interstice dans le condensateur de détection. Ensuite, le déplacement de la membrane 3 métallique créé par la pression P à mesurer, la capacité Cr électrostatique du condensateur de compensation et la capacité Cx électrostatique du condensateur de détection sont liées les unes aux autres par les équations suivantes. Cr = S/d Cx = o rS/(d +ss) A =k (P-P,) Ici, s o est le coefficient de perméabilité diélectrique du vide, E r est le coefficient de perméabilité diélectrique relatif de l'agent d'emplissage pour connecter la pression empli dans les interstices des condensateurs mentionnés précédemment, k est une constante proportionnelle et Pv la pression dans la cavité de vide de référence. On définit maintenant la valeur suivante en utilisant Cr et Cx. ensuite, on obtient l'équation suivante. f = A/d = k (P-P,)/d En obtenant la constante k proportionnelle à l'avance, (P-Pv) est calculé à partir de la valeur f. Comme Pv est beaucoup plus petit que P généralement, Pv peut tre ignoré. Par conséquent, la pression absolue peut tre calculée en utilisant l'équation mentionnée précédemment. En se référant maintenant à la figure 4, le second capteur de pression absolue classique comporte une plaque 6 en silicium conductrice électriquement, une première plaque 7 isolante électriquement et une seconde plaque 8 isolante électriquement. Les plaques 7 et 8 isolantes sont liées à la plaque 6 en silicium. Bien que le support ou agent d'emplissage pour connecter la pression ne soit pas décrit à la figure 4, le support ou agent d'emplissage est empli dans le capteur par le trou 81 de connexion. La plaque 6 en silicium est un conducteur électrique et un excellent matériau élastique. Une membrane 61 pour mesurer la pression absolue est formée dans la plaque 6 en silicium par gravure au plasma à partir des côtés supérieur et inférieur de la plaque 6 de silicium. La membrane 61 fonctionne en tant qu'une électrode mobile du condensateur de détection pour mesurer la pression ~ Une électrode 73 stationnaire-destinée à mesurer la pression absolue est formée sur la surface inférieure de ta première plaque 7 isolante faisant face en y étant opposée à la membrane 61 en tant qu'électrode mobile. Une borne 74 de l'électrode 73 stationnaire et une borne 75 de la plaque 6 en silicium sont disposées sur la surface supérieure de la première plaque 7 isolante pour connecter l'électrode 73 stationnaire et la plaque 6 en silicium au circuit périphérique. Un trou 71 de traversée pour connecter la borne 74 à l'électrode 73 stationnaire et pour évacuer l'intérieur du condensateur pour former une cavité 5 de vide de référence et un trou 72 de traversée pour connecter la borne 75 et la plaque 6 de silicium sont percés par la première plaque 7 isolante. Un trou 81 de connexion destiné à relier la pression à mesurer avec l'intérieur du capteur est percé dans la seconde plaque 8 isolante. Les première et seconde plaques 7 et 8 isolantes sont réalisées en verre Pyrex et sont en un matériau isolant tel qu'il a un coefficient de dilatation thermique qui est presque le mme que celui de la plaque 6 en silicium. La plaque 6 en silicium est liée aux première et seconde plaques 7 et 8 isolantes par liaison électrostatique et des procédés de liaison de ce genre qui facilitent la réalisation de liaisons étanches à l'air des éléments constituants. L'électrode 73 stationnaire, la borne 74 et la borne 75 sont des couches métallisées ayant une structure laminée binaire Cr/Au formée par pulvérisation cathodique et procédé de dépôt de ce genre. L'électrode 73 stationnaire est reliée à la borne 74 par le trou 71 de traversée. La plaque 6 de silicium est reliée à la borne 75 par le trou 72 de traversée. La cavité 5 de vide de référence est formée en chargeant l'assemblage liéconstitué de la plaque 6 de silicium, de la première plaque 7 isolante et de la seconde plaque 8 isolante dans une chambre de vide et en fermant le trou 71 de traversée de la première plaque 7 isolante par un capot 9 de manière étanche à l'air par liaison électrostatique et procédé de liaison de ce genre. Le capteur de pression absolue de la figure 4 détecte la pression absolue avec un condensateur formé par la membrane 61 et l'électrode 73 stationnaire. La membrane 61 subit un déplacement par l'effet de la pression P qui est connectée par l'intermédiaire du trou 81 de connexion. Le capteur de pression absolue détecte la pression P en mesurant la modification de capacité électrostatique créée correspondant au déplacement de la membrane 61. La pression dans la cavité 5 de vide de référence qui est réglée bien plus faible que la pression P à mesurer facilite sensiblement la détection de la pression absolue. Comme la membrane 61 et l'électrode 73 stationnaire du condensateur sont à distance l'une de l'autre pour créer le vide de la cavité 5, le coefficient de perméabilité diélectrique du condensateur ester, et n'est pas affecté par la température. Les capteurs de pression absolue à capacité électrique conformes à l'art antérieur présentent les inconvénients suivants. Comme la membrane de la structure de détection représentée à la figure 3 est un composant métallique mobile soudé aux autres composants métalliques, 1) les caractéristiques de détection présentent une grande hystérésis ; et 2) le capteur est grand en ce qui concerne sa dimension. Comme l'interstice dans le condensateur de la structure de détection représentée à la figure 4 est mis sous vide ou empli d'azote décompressé, 1) son coefficient de perméabilité diélectrique relatif est égal à 1 et la valeur de capacité électrostatique en tant qu'un signal de détection est plus petit que celui des autres structures de détection incluant un liquide de remplissage qui est chargé dans celles-ci, entraînant un rapport signal/bruit S/B faible ; 2) il est très difficile de compenser pour les erreurs créées par la déformation de la structure de détection dans son ensemble due à des variations de pression ou à des variations de température, et 3) de la poussière et des substances étrangères de ce genre, aspirées de l'extérieur vers l'intérieur en raison de la déformation de la membrane par la pression appliquée qui rétrécie l'interstice dans le condensateur, gnent les déplacements de la membrane, diminuent la fiabilité du capteur, et entraînent un débit de fabrication plus faible. Compte tenu de ce qui précède, la présente invention vise à obtenir un capteur de pression absolue à capacité électrique qui surmonte les inconvénients décrits précédemment. Un autre objectif de l'invention consiste à obtenir un petit capteur de pression absolue à capacité électrique, dont l'hystérésis est petite. La présente invention vise également un capteur de pression absolue à capacité électrique qui détecte la pression absolue avec grande précision et grande fiabilité. La présente invention vise également à obtenir un capteur de pression absolue à capacité électrique qui est facilement assemblé avec un débit de fabrication élevé. Conformément à un aspect de l'invention, il est proposé un capteur de pression absolue à capacité électrique incluant une section de détection incluant un condensateur de détection destiné à mesurer la pression absolue sur la base de sa capacité électrostatique et une section de compensation incluant un condensateur de compensation destiné à compenser pour l'écart des caractéristiques du capteur créé par la modification de pression et/ou de température, la section de détection et la section de compensation ayant de manière réunie une première plaque isolante, une seconde plaque isolante et une plaque de conduction, la première plaque isolante et la seconde plaque isolante se faisant face l'une à l'autre et étant liées à la plaque conductrice, les coefficients de dilatation thermique de la première plaque isolante de la seconde plaque isolante et de la plaque conductrice étant presque identiques, le condensateur de détection incluant une membrane formée dans la plaque conductrice et travaillant en tant qu'une électrode mobile qui se déplace en réponse la pression qui est exercée sur elle, une première électrode stationnaire faisant face à la membrane avec un interstice interposé entre elles, et du premier liquide d'emplissage destiné à transmettre la pression dans l'interstice entre la membrane et la première électrode stationnaire ; le condensateur de compensation incluant une seconde électrode stationnaire faisant face à la partie de la plaque conductrice où la membrane n'est pas formée, avec un interstice interposé entre elles et du second liquide d'emplissage dans l'interstice entre sa seconde électrode stationnaire et la plaque conductrice ; le premier liquide d'emplissage et le second liquide d'emplissage étant du mme genre. Comme le condensateur qui n'a aucune partie constituante mobile est utilisé pour la compensation et comme le mme genre de liquide d'emplissage est empli dans les condensateurs de compensation et de détection, des erreurs dues à la déformation du capteur et à la modification de la perméabilité diélectrique créée par la modification de la pression et de la température sont bien compensées. Comme la pression à mesurer est transmise à l'intérieur des condensateurs, l'interstice entre la membrane et l'électrode stationnaire du condensateur de détection est étendu par la pression à mesurer. De manière avantageuse, toutes les bornes destinées à mesurer les valeurs de capacité électrostatique des compensateurs de détection et de compensation sont formées sur l'une des plaques isolantes. En raison de l'agencement de bornes décrit précédemment, la connexion au circuit périphérique est simplifiée et la structure du circuit périphérique est également simplifiée. De manière avantageuse, la plaque conductrice est en silicium, et la première plaque isolante et la seconde plaque isolante sont en verre Pyrex. Le silicium est un matériau conducteur électrique idéal pour la membrane, puisque le domaine de sa déformation élastique est grand, puisque les répartitions de ses caractéristiques sont petites et puisque les techniques de traitement des membranes en silicium sont bien établies. Comme le coefficient de dilatation thermique du verre en Pyrex est très proche du coefficient de dilatation thermique du silicium, la plaque de verre de Pyrex peut tre liée à la plaque de silicium par liaison électrostatique sans utiliser aucun adhésif. Par conséquent, le verre Pyrex est un matériau isolant électriquement idéal pour les première et seconde plaques isolantes électriquement. On va maintenant décrire la présente invention ci-après en référence aux figures du dessin annexé qui illustrent les modes de réalisation préférés de l'invention. Dans toutes les figures du dessin annexé, des éléments constituants identiques sont désignés par des références numériques identiques. La figure 1 est une vue en coupe transversale d'un capteur de pression absolue à capacité électrique conforme à un premier mode de réalisation de l'invention. La figure 2 est une vue en coupe transversale d'un capteur de pression absolue à capacité électrique conforme à un second mode de réalisation de l'invention. La figure 3 est une vue en coupe transversale d'un premier capteur de pression absolue à capacité électrique classique. La figure 4 est une vue en coupe transversale d'un capteur de pression absolue à capacité électrique classique conforme à l'art antérieur. La figure 1 est une vue en coupe transversale d'un capteur de pression absolue à capacité électrique conforme à un premier mode de réalisation de l'invention. En se référant maintenant à la figure 1, le capteur de pression absolue à capacité électrique inclut, de manière similaire au second capteur classique représenté à la figure 4, une plaque 6a en silicium conductrice électriquement liée à une première plaque 7a isolante et à une seconde plaque 8a isolante. Le capteur de pression absolue à capacité électrique de la figure 1 peut tre divisé en une section 100 de détection de pression absolue et une section 200 de compensation. La section 100 de détection de pression absolue inclut un condensateur de détection destiné à mesurer la pression absolue. Le condensateur de détection inclut une membrane 61 en tant que son électrode mobile. La section 200 de compensation inclut un condensateur de compensation, dont l'interstice est fixé. Bien que le support pour transmettre la pression ne soit pas décrit à la figure 1, le support est empli dans les condensateurs par les trous 71a à 76 de connexion. La plaque 6a de silicium est un conducteur électrique et un excellent matériau élastique. Une membrane 61 destinée à mesurer la pression absolue est formée dans la plaque 6a de silicium par gravure au plasma à partir des côtés supérieurs ou inférieurs de la plaque 6a en silicium. La membrane 61 fonctionne en tant qu'une électrode mobile du condensateur de détection. Un évidement 62 destiné à former le condensateur de compensation est formé dans la plaque 6a de silicium par gravure au plasma à partir du côté supérieur de la plaque 6a de silicium. Une électrode 73 stationnaire de mesure destinée à mesurer la pression absolue est formée sur la surface inférieure de la première plaque 7a isolante faisant face en y étant opposée à la membrane 61 en tant qu'une électrode mobile. Une électrode 77 stationnaire de compensation destinée à compenser est formée également sur la partie de surface inférieure de la première plaque 7a isolante faisant face à l'évidement 62. Une borne 74a de l'électrode 73 stationnaire de mesure, une borne 75 de la plaque 6a de silicium et une borne 78 de l'électrode 77 stationnaire de compensation sont disposées sur la surface supérieure de la première plaque 7a isolante. Un trou 71a de connexion destiné à connecter la borne 74a à l'électrode 73 stationnaire de mesure et destiné à transmettre la pression P à la membrane 61 et un trou 72 de traversée destiné à connecter la borne 75 et la plaque 6a de silicium sont percés dans la première 7a isolante. Un trou 76 de connexion destiné à connecter la borne 78 et l'électrode 77 stationnaire de compensation et destiné à transmettre la pression P à la capacité de compensation est percé dans la première plaque 7a isolante. La seconde plaque 8a isolante est plate. Les première et seconde plaques 7a et 8a isolantes sont en verre Pyrex et en un matériau isolant tel qu'il a un coefficient de dilatation thermique presque identique à celui de la plaque 6a en silicium. La plaque 6a en silicium est liée aux première et seconde plaques 7a et 8a isolantes par liaisons électrostatiques et par des procédés de liaisons qui facilitent la réalisation d'une liaison étanche à l'air des éléments constituants. L'électrode 73 stationnaire de mesure, l'électrode 77 stationnaire de compensation, la borne 74a, la borne 75 et la borne 78 sont des couches métallisées ayant une structure laminée binaire Cr/Au formée par pulvérisation cathodique et par un procédé de dépôt de ce genre. L'électrode 73 stationnaire de mesure est connectée à la borne 74a par l'intermédiaire d'une couche métallisée dans le trou 71 a de connexion. La plaque 6a en silicium est connectée à la borne 75 par l'intermédiaire d'une couche métallisée dans le trou 72 de traversée. L'électrode 77 stationnaire de compensation est connectée à la borne 78 par l'intermédiaire d'une couche métallisée dans le trou 76 de traversée. Une cavité 5a de vide de référence est formée sous vide par liaison d'un assemblage constitué de la plaque 6a de silicium, de la première plaque 7a isolante et de la seconde plaque 8a isolante par liaison électrostatique et un procédé de liaison de ce genre. Le capteur de pression conforme à un premier mode de réalisation de l'invention détecte la pression absolue de la manière suivante de manière similaire au premier capteur de pression classique de la figure 3. II est maintenant représenté-la surface de l'électrode 73 stationnaire de mesure et la surface de l'électrode 77 stationnaire de compensation par Sa en supposant que ces deux surfaces sont mutuellement identiques et que la distance entre l'électrode 73 stationnaire de mesure et la membrane 6 et la distance entre l'électrode 77 stationnaire de compensation et la surface de fond de l'évidement 62 de la plaque 6a en silicium soit égale à da en supposant que ces deux distances soient identiques mutuellement lorsque la pression P à mesurer ne s'exerce pas sur la membrane 61. La distance entre l'électrode 77 stationnaire de compensation et la surface de fond de l'évidement 62 correspond à l'interstice dans le condensateur de compensation. Ensuite, le déplacement A a de ! a membrane 61 créé par) a pression P à mesurer, la capacité Cra électrostatique du condensateur de compensation et la capacité Cxa électrostatique du condensateur de détection sont liées les unes aux autres par les équations suivantes : Cra o E raSa/da Cxa o raSa/ (da +A a) Aa =ka (P-Pva) Ici, E o est le coefficient de perméabilité diélectrique du vide, ra est le coefficient de perméabilité diélectrique relatif du milieu ou support ou agent d'emplissage pour transmettre la pression empli dans les interstices des condensateurs mentionnés précédemment, ka la constante proportionnelle et Pua la pression dans la cavité 5a de vide de référence. On définit maintenant la valeur fa suivante en utilisant Cra et Cxa. fa ~(CxaOCxa, ensuite, l'équation suivante est obtenue. fa= ha/da = ka (P-Pva)/da En obtenant la constante ka proportionnelle à l'avance, (P-PVa) est calculé à partir de la valeur fa. Comme Pvaest beaucoup plus petit que P généralement, Pa peut tre ignoré. Par conséquent, la pression absolue peut tre calculée en utilisant l'équation mentionnée précédemment. En calculant la valeur fa, le capteur de pression conforme à un premier mode de réalisation évite les effets défavorables de la variation de la perméabilité diélectrique créée par des modifications de température et de pression sur la mesure de pression absolue, de sorte que la pression absolue peut tre mesurée de manière précise. En réalisant et en agençant le condensateur de détection et le condensateur de compensation suivant un agencement similaire et en calculant la pression absolue en utilisant la valeur fa, l'influence de distorsion de la structure de capteur complète créée par des modifications de température et de pression est bien compensée. Il en résulte que la capteur de pression conforme au premier mode de réalisation facilite la mesure de la pression absolue de manière très précise. Comme toutes les bornes, à l'inclusion de la borne 74 pour la connexion extérieure, sont formées sur la surface supérieure de la première plaque 7a isolante, le capteur de pression conforme au premier mode de réalisation est relié facilement aux bornes extérieures et la structure des bornes extérieures peut tre simplifiée. Comme le capteur de pression conforme au premier mode de réalisation est construit par la combinaison d'une plaque de silicium et de verre de Pyrex, diverses techniques de traitement de circuits imprimés classiques peuvent tre utilisées-et la structure de capteur est facilement minimisée. La figure 2 est une vue en coupe transversale d'un capteur de pression absolue à capacité électrique conforme à un second mode de réalisation de l'invention. En se référant maintenant à la figure 2, le capteur de pression conforme au second mode de réalisation inclut une cavité 5b de vide de référence constituée d'un premier évidement formé au-delà de la membrane 61 dans la plaque 6a de silicium et d'un second évidement 82 formé en dessous de la membrane 61 dans une seconde plaque 8b isolante. Bien que les deux évidements soient illustrés comme si leurs profondeurs étaient identiques, la profondeur du premier évidement est de plusieurs micromètres tandis que celle du second évidement 82 est de l'ordre de 100um. Par conséquent, la cavité 5b de vide de référence qui inclut le second évidement 82 est de plusieurs fois à plusieurs dizaines de fois plus grands que la cavité 5a de vide de référence qui n'inclut aucun évidement supplémentaire. En augmentant le volume de la cavité de vide de référence, la période de temps pendant laquelle la pression Pva dans la cavité de vide de référence est maintenue à l'intérieur d'un certain domaine, qui est la période de temps pendant laquelle la précision déterminée à l'avance de mesure est maintenue, est allongée et la fiabilité de la mesure de pression absolue est améliorée. La mesure de pression absolue par les capteurs conforme aux modes de réalisation mentionnés précédemment a été décrite en supposant jusqu'à maintenant que les surfaces de l'électrode 73 stationnaire de mesure et de l'électrode 77 stationnaire de compensation sont mutuellement identiques et que la distance entre l'électrode 73 stationnaire de mesure et la membrane 61 et l'interstice dans le condensateur de compensation sont mutuellement identiques. Lorsque ces surfaces et distances ne sont pas respectivement identiques, des valeurs de capacité électrostatique virtuelles, calculées en supposant que ces surfaces et distances sont identiques, sont utilisées pour calculer la valeur fa mentionnée précédemment. Le capteur de pression absolue à capacité électrique conforme à l'invention inclut une section de détection incluant un condensateur de détection pour mesurer la pression absolue sur la base de sa capacité électrostatique et une section de compensation incluant un condensateur de compensation destiné à compenser l'écart des caractéristiques du capteur créé par la modification de pression et/ou de température ; la section de détection et la section de compensation ayant en commun une première plaque isolante, une seconde plaque isolante et une plaque conductrice, la première plaque isolante et la seconde plaque isolante se faisant face mutuellement l'une à l'autre et étant liées à la plaque conductrice ; les coefficients de dilatation thermique de la première plaque isolante, de la seconde plaque isolante et de la plaque conductrice étant presque identiques, le condensateur de détection incluant une membrane formée dans la plaque conductrice et travaillant en tant qu'une électrode mobile qui se déplace en réponse à la pression exercée sur celle-ci, une première électrode stationnaire faisant face à la membrane avec un interstice interposé entre elles, et du premier liquide d'emplissage destiné à transmettre la pression dans l'interstice entre la membrane et la première électrode stationnaire ; le condensateur de compensation incluant une seconde électrode stationnaire faisant face à la partie de la plaque conductrice, où la membrane n'est pas formée, avec un interstice interposé entre elles et un second liquide d'emplissage dans l'interstice entre la seconde électrode stationnaire et la plaque conductrice, le premier liquide d'emplissage et le second liquide d'emplissage étant du mme genre. Comme le condensateur qui n'a aucune partie constituante mobile est utilisé pour la compensation et comme le mme genre de liquide d'emplissage est empli dans les condensateurs de détection et de compensation, des erreurs dues à ta-déformation du capteur et à des modifications de la perméabilité diélectrique créées par la modification de la pression et de la température sont bien compensées. Comme la pression à mesurer est transmise à l'intérieur des condensateurs, l'interstice entre la membrane et l'électrode stationnaire du condensateur de détection est étendu par la pression à mesurer. Par conséquent, un capteur de pression absolue à capacité électrique hautement fiable et précis pour mesurer la pression absolue est Comme toutes les bornes pour mesurer les valeurs de capacité électrostatique des condensateurs de détection et de compensation sont formées sur l'une des plaques isolantes, la connexion au circuit périphérique est simplifiée et la structure du circuit périphérique est également simplifiée. Par conséquent, un capteur de pression absolue à capacité électrique hautement fiable et précis peut tre facilement assemblé avec un débit de fabrication élevé. La plaque conductrice est réalisée en silicium, et la première plaque isolante et la seconde plaque isolante sont réalisées en verre Pyrex. Le silicium est un matériau conducteur électriquement idéal pour la membrane, puisque le domaine de sa déformation élastique est grand, puisque la répartition de ses caractéristiques sont petites et puisque les techniques de traitement pour traiter la membrane de silicium sont bien établies. Comme le coefficient de dilatation thermique du verre Pyrex est presque le mme que le coefficient de dilatation thermique du silicium, la plaque de verre Pyrex peut tre liée à la plaque de silicium par liaison électrostatique sans utiliser aucun adhésif. Par conséquent, le verre Pyrex est un matériau isolant électriquement idéal pour la LEGENDE DES FIGURES 11 Première plaque de recouvrement métallique 12 Recouvrement latéral métallique 2 Bloc céramique 22 Seconde électrode 3 Membrane métallique 41 Premier fil conducteur 42 Second fil conducteur 43 Fil conducteur commun 5,5a, 5b Cavité de vide de référence 6,6a Plaque de silicium 61 Membrane 62 Evidement 7,7a Première plaque isolante 71,72 Trou de traversée 73 Electrode stationnaire de mesure 74,74a, 75,78 Bornes 71a, 76 Trou de connexion 111 Trou de connexion 13 Seconde plaque de recouvrement métallique 21 Première électrode 23 Trou de connexion 77 Electrode stationnaire de compensation 8,8a, 8b Seconde plaque isolante 80 Trou de connexion 82 Evidement 9 Recouvrement 100, 100a Section de détection de pression absolue 200 Section de compensation REVENDICATIONS 1. Capteur de pression absolue à capacité électrique, caractérisé en ce qu'il comprend : une section (100,100a) de détection comportant un condensateur de détection destiné à mesurer la pression absolue sur la base de sa capacité électrostatique et une section (200) de compensation comportant un condensateur de compensation destiné à compenser l'écart des caractéristiques du capteur créé par la modification de la pression et/ou de la température ; la section (100,100a) de détection et la section (200) de compensation ayant en commun une première plaque (7a) isolante, une seconde plaque (8a) isolante et une plaque conductrice, la première plaque isolante et la seconde plaque isolante se faisant face mutuellement et étant liées à la plaque conductrice ; les coefficients de dilatation thermique de la première plaque isolante, de la seconde plaque isolante et de la place conductrice étant presque identiques ; le condensateur de détection comportant une membrane (61) formée dans la plaque conductrice et fonctionnant en tant qu'une électrode mobile qui se déplace en réponse à la pression qui est exercée sur elle, une première électrode (73) stationnaire faisant-face à la membrane (61) avec interposé entre elles un interstice, et du premier liquide d'emplissage pour transmettre la pression dans l'interstice entre la membrane (61) et la première électrode (21) stationnaire ; le condensateur de compensation comportant une seconde électrode (77) stationnaire faisant face à la partie de la plaque conductrice dans laquelle la membrane n'est pas formée, avec interposé entre elles un interstice et du second liquide d'emplissage dans l'interstice entre la seconde électrode stationnaire et la plaque conductrice ; le premier liquide d'emplissage et le second liquide d'emplissage étant du mme genre. 2. Capteur de pression absolue à capacité électrique suivant la revendication 1, caractérisé en ce que toutes les bornes (74a ; 75,78) destinées à mesurer les valeurs de capacité électrostatique des condensateurs de détection et de compensation sont formées sur l'une parmi la première plaque (7a) isolante et la seconde plaque (8a) isolante. 3. Capteur de pression absolue à capacité électrique suivant la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la plaque conductrice comprend du silicium, et la première plaque (7a) isolante et la seconde plaque (8a) isolante comportent du verre de Pyrex.