Brevet FR2786790A1 — publié le 20000609

PROCÉDÉ DE TRAITEMENT PAR LASER D'UN OBJET EN MATERIAU À MÉMOIRE DE FORME DESCRIPTION DOMAINE TECHNIQUE La présente invention concerne un procédé de traitement d'un objet en un matériau à mémoire de forme. L'invention s'applique à la fabrication de structures monolithiques (c'est-à-dire monoblocs), actives ou passives, en matériaux à mémoire de forme, et en particulier à la fabrication d'actionneurs (" actuators "), de connecteurs, de composants actifs pour fixation et de préhenseurs (" grippers "), monolithiques, de très petites dimensions, en matériaux à mémoire de forme. ÉTAT DE LA TECHNIQUE ANTERIEURE Au sujet des matériaux à mémoire de forme on consultera les deux documents suivants: [1] Engineering Aspects of Shape Memory Alloys, T.W. Duerig et al., Ed. Butterworth-Heinemann, 1990 [2] Shape memory materials, Edited by K. Otsuka et C.M. Wayman, Cambride University Press, 1998, chapitre , pages 221 à 237. im-iA On consultera également le document suivant qui divulgue des applications particulières de ces matériaux: [3] Demande de brevet français n 9615013 du 6 décembre 1996, " Dispositif de préhension en matériau à mémoire de forme et procédé de réalisation ", invention de Y. Bellouard, J.E. Bidaux et T. Sidler - voir aussi demande internationale n PCT/EP97/06966, n de publication internationale WO 98/24594. On rappelle que les matériaux à mémoire de forme possèdent plusieurs phases solides en équilibre métastable. Le changement de phase d'une phase solide à une autre peut être induit sous contrainte (" superélasticité ") et/ou par changement de température (effet de mémoire de forme). Lorsque le changement de phase est induit thermiquement, il peut s'accompagner d'un changement de forme macroscopique. Ainsi un matériau à mémoire de forme apparemment déformé plastiquement dans sa phase de basse température, appelée " phase martensite ", peut retrouver sa forme initiale par chauffage jusqu'à sa phase de haute température, appelée " phase austénite ". Les températures caractéristiques de début et de fin de la transformation austénite-martensite sont respectivement désignées par M2 et Mf. Les températures caractéristiques de début et de fin de la transformation martensite-austénite sont respectivement désignées par As et Af. Une attention particulière doit être portée au fait qu'il n'existe qu'une seule forme " mémorisée " dans un matériau à mémoire de forme, à savoir la forme austénitique: le phénomène n'est donc pas intrinsèquement réversible. L'obtention d'un effet réversible intrinsèque pour un tel matériau nécessite soit l'emploi d'une méthode de fabrication très particulière du matériau (par exemple la méthode connue sous le nom de " Melt Spinning ") soit l'usage d'un traitement thermo-mécanique appelé communément " procédé d'éducation " qui va en quelque sorte " mémoriser " une forme préférentielle en martensite. Une autre technique connue consiste à exploiter le fait que la caractéristique mécanique du matériau évolue avec le changement de phase. Ainsi, un assemblage mécanique comprenant d'une part un élément en un tel matériau et d'autre part un autre élément dont la caractéristique reste constante aura deux points de fonctionnement stables correspondant aux zones de températures et de contraintes définissant les phases solides de ce matériau à mémoire de forme. Cependant, lorsque l'on veut réaliser un actionneur de très petites dimensions, il est très difficile de réaliser un tel assemblage. C'est pourquoi, une technique connue consiste à créer une structure monobloc qui est également appelée structure monolithique: l'actionneur est alors fabriqué dans un seul et même élément en matériau à mémoire de forme. A ce sujet, on consultera le document suivant: [4] Y. Bellouard et al., " A concept for monolithic SMA microdevices ", Journal de Physique IV, nOll, p.603-608 (1997). La difficulté est alors de pouvoir obtenir un effet réversible et pour cela d'obtenir différentes propriétés mécaniques dans ce même élément. Pour ce faire, il est nécessaire de chauffer localement ce dernier pour que seule une partie de celui-ci puisse présenter un effet de mémoire de forme tandis que l'autre partie reste passive. Cependant, pour qu'il se produise un déplacement, il est impératif de réaliser mécaniquement une pré-déformation initiale de l'élément (sauf s'il y a un effet de mémoire de forme à double sens). EXPOSE DE L'INVENTION La présente invention a pour but de résoudre le problème du changement local (c'est-à-dire en au moins une zone prédéfinie) de la microstructure d'un objet en matériau à mémoire de forme. Par " changement local de la microstructure " d'un tel objet, on entend: la cristallisation locale de l'objet lorsque le matériau est amorphe - ou la recristallisation locale de l'objet lorsque le matériau est écroui - ou la cristallisation secondaire locale de l'objet lorsque le matériau est déjà cristallisé (par exemple pour induire localement un changement de température de transformation) - ou la formation contrôlée de précipités ou encore l'annihilation de défauts cristallins, localement, dans l'objet (en vue de changer localement les propriétés mécaniques de celui-ci). De façon précise, la présente invention concerne un procédé de traitement d'un objet en un matériau à mémoire de forme, ce procédé étant caractérisé en ce qu'on irradie au moins une zone prédéfinie de cet objet par un faisceau laser apte à chauffer suffisamment cette zone pour provoquer, dans ladite zone, un changement de microstructure choisi parmi une cristallisation, une recristallisation, une cristallisation secondaire, une formation contrôlée de précipités et une annihilation de défauts cristallins. Ce faisceau laser sert donc à recuire localement cet objet monolithique en portant ce dernier à une température T très supérieure à la température Af du matériau à mémoire de forme dont est fait l'objet. Il convient de noter que le matériau pourrait même avoir été recuit dans un four avant de mettre en oeuvre le procédé objet de l'invention. Le procédé de la présente invention a de nombreux avantages: Ce procédé peut être mis en oeuvre avec un dispositif peu coûteux et permet de réaliser des recuits de structures en matériaux à mémoire de forme de façon simple, sans avoir recours à un four (la durée du traitement selon l'invention étant beaucoup plus courte que celle d'un recuit effectué au moyen d'un four). De plus, un tel procédé est facilement implantable dans une chaîne de production. * Ce procédé permet de recuire de petites zones prédéfinies dans des structures complexes, de façon très précise. * Ce procédé est compatible avec une grande liberté de conception des structures avec lesquelles on veut le mettre en oeuvre (alors qu'un recuit local au moyen d'un courant électrique nécessiterait un chemin de courant bien défini et dimensionné). * Avec ce procédé, l'élévation de température se fait très rapidement et le refroidissement ne dépend que de la taille de l'objet à recuire. Ceci permet d'obtenir des qualités de recuit qui sont difficiles à obtenir avec un four. A titre d'exemple, une trempe en fin de recuit n'est plus nécessaire avec l'invention. * Ce procédé est très bien adapté à la production de systèmes micro-électro-mécaniques (" micro-electro- mechanical systems ") ou MEMS, peut être intégré dans un procédé de fabrication de micro-systèmes et permet une production rapide de ces derniers. * Ce procédé est le seul qui permette de réaliser des actionneurs réversibles, de très petites dimensions, sans avoir recours à une mise sous contrainte par une pré-déformation mécanique effectuée par un opérateur. L'invention permet d'introduire cette pré-déformation lors du recuit. * Les applications de l'invention sont nombreuses et se situent notamment dans les microtechniques (MEMS): elle permet par exemple de fabriquer des imaUTr micro-commutateurs pour fibres optiques, des modulateurs, des préhenseurs, des fixations actives, des axes de translation et des axes de rotations, monolithiques. Selon un premier mode de mise en oeuvre particulier du procédé objet de l'invention, on utilise en outre ladite irradiation de la zone pour provoquer une déformation permanente de cette zone permettant une mise sous contrainte de l'objet. Dans ce cas, le laser sert donc à pré-déformer l'objet par recuit. Selon un deuxième mode de mise en oeuvre particulier, avant et pendant, ou après, l'irradiation de la zone, l'objet est mis sous contrainte par déformation dudit objet. On fait donc, dans ce cas, une pré- déformation mécanique initiale de l'objet, contrairement au cas précédent. La partie non irradiée de l'objet peut être d'un seul tenant ou, au contraire, cette partie non irradiée peut comprendre au moins deux zones qui sont séparées par la zone irradiée. Selon un mode de réalisation particulier de l'invention, l'objet est un élément mince et l'on irradie, au moyen dudit faisceau laser, des zones de cet élément qui sont réparties sur ledit élément en vue de rigidifier ce dernier. Dans la présente invention, on peut faire varier l'énergie transmise au matériau par le laser en fonction de la position du faisceau laser sur l'objet. Pour ce faire, on peut par exemple faire varier, en fonction de cette position, la puissance du laser, la durée du tir laser, la séquence de tirs Imm- successifs, ou faire varier la vitesse de balayage de la zone par le faisceau laser. De plus, ladite zone peut être chauffée à une température inférieure à la température de fusion du matériau à mémoire de forme dont est fait l'objet ou, au contraire, à une température supérieure ou égale à cette température de fusion. Selon un premier mode de réalisation particulier de l'invention, l'objet constitue un dispositif monolithique plan dont au moins une partie est apte à subir un mouvement réversible dans le plan du dispositif, en fonction de la température de la zone qui a été cristallisée ou recristallisée par l'irradiation. Selon un premier exemple, ce dispositif constitue un préhenseur comprenant une partie fixe et un bras mobile formant un ressort de rappel dont une extrémité est reliée à cette partie fixe par ladite zone, le bras mobile étant déformé par un utilisateur après la cristallisation ou la recristallisation de cette zone par l'irradiation, pour mettre le préhenseur sous contrainte. Selon un deuxième exemple, ce dispositif constitue un actionneur comprenant au moins une partie fixe et au moins une partie mobile, cette partie mobile étant reliée à la partie fixe par un premier élément, qui constitue ladite zone et forme l'élément-moteur de l'actionneur, et par un deuxième élément qui est apte à exercer une force de rappel sur la partie mobile. Selon un troisième exemple, ce dispositif constitue un actionneur comprenant une première zone cristallisée ou recristallisée par l'irradiation par le faisceau laser, cette première zone servant à mettre l'actionneur sous contrainte, et une deuxième zone cristallisée ou recristallisée par l'irradiation par le faisceau laser, cette deuxième zone formant l'élément- moteur de l'actionneur et étant distincte de la première zone. Selon un deuxième mode de réalisation particulier de l'invention, l'objet constitue un dispositif monolithique comprenant une première partie plane et une deuxième partie apte à subir un mouvement réversible hors du plan de la première partie, en fonction de la température de la zone qui a été cristallisée ou recristallisée par l'irradiation. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'exemples de réalisation donnés ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif, en faisant référence aux dessins annexés sur lesquels: * la figure 1 est une vue schématique d'un dispositif permettant de mettre en oeuvre le procédé objet de l'invention, * la figure 2 est une vue schématique d'un objet dont la partie non recuite n'est pas d'un seul tenant, * la figure 3 est une vue schématique d'un objet dont la partie non recuite est d'un seul tenant, * la figure 4 est une vue schématique d'une lame rigidifiée par un procédé conforme à l'invention, * la figure 5 est une vue schématique d'un étage de translation suivant un axe dont la fabrication utilise l'invention, * la figure 6 est une vue schématique d'un préhenseur dont la fabrication utilise l'invention, * la figure 7 est une vue schématique d'un commutateur optique dont la fabrication utilise l'invention, * la figure 8 est une vue schématique d'un actionneur dont la fabrication utilise l'invention, * la figure 9A est une vue de dessus schématique d'un autre actionneur dont la fabrication utilise un recuit conformément à l'invention tandis que la figure 9B est une vue de profil de cet autre actionneur après ce recuit, et * la figure 10 est une vue schématique d'une table de translation qui est munie d'éléments de guidage, avec des articulations, et dont la fabrication utilise l'invention. EXPOSE DETAILLE DE MODES DE REALISATION PARTICULIERS La figure 1 est une vue schématique d'un dispositif permettant la mise en oeuvre d'un procédé conforme à l'invention. Conformément à ce procédé, on irradie une ou plusieurs zones telles que la zone A d'un objet 2 en un matériau à mémoire de forme, par un faisceau laser 4. Ce faisceau 4 est apte à porter la zone A à une température T suffisante pour la cristallisation, la recristallisation, ou la cristallisation secondaire de moi- cette zone, ou la formation contrôlée de précipités ou l'annihilation de défauts cristallins dans cette zone. A titre purement indicatif et nullement limitatif, le matériau à mémoire de forme constitutif de l'objet 2 est un alliage NiTi pour lequel une température T de l'ordre de 500 C convient. Cependant d'autres matériaux à mémoire de forme tels que CuZnAl ou NiTiCu sont utilisables dans l'invention. On peut également utiliser, dans cette dernière, les matériaux décrits dans le document [1], chapitre 1, pages 3 à 20, rédigé par C.M. Wayman et intitulé: " Introduction to martensite and shape memory ". Le dispositif de la figure 1 comprend un laser 6, par exemple une diode laser du genre de celles qui sont commercialisées par la société Siemens sous la référence S/N 150001B et dont la longueur d'onde vaut 810,5 nm. L'objet 2 est monté sur un système de positionnement à trois degrés de liberté qui est symbolisé par les axes X, Y et Z perpendiculaires les uns aux autres et qui permet de placer l'objet 2 dans le faisceau laser 4 émis par la diode 6. Ce faisceau laser est envoyé sur la zone A par l'intermédiaire, successivement, d'une lentille de collimation 8, d'un miroir semitransparent 10, d'un diaphragme 12 et d'une lentille 14 de focalisation du faisceau sur l'objet. Comme on le voit sur la figure 1, une caméra 16, par exemple une caméra CCD, est prévue pour iMut! observer la zone irradiée A par l'intermédiaire, successivement, de la lentille 14, du diaphragme 12, du miroir semi-transparent 10 et d'une optique 18. Cette caméra permet de régler la position de l'objet dans le faisceau laser 4. L'alimentation en courant électrique de la diode laser comprend un générateur de signaux arbitraires (non représenté) permettant d'obtenir des impulsions-laser de puissance et de durée déterminées. L'intérêt d'avoir dans un même matériau à mémoire de forme une ou plusieurs zones dans l'état cristallin et une ou plusieurs zones dans l'état amorphe ou écroui est de pouvoir obtenir deux ou plusieurs comportements mécaniques différents (par exemple effet de mémoire de forme, superélasticité, différentes températures de transformation) dans ce même matériau. On peut ainsi fabriquer un actionneur dont la partie active est la zone recuite par laser, les zones non recuites jouant un autre rôle actif (mouvement à température différente) ou passif (par exemple un rôle de guide ou de ressort de rappel) dans cet actionneur. La figure 2 est une vue schématique d'une lame mince 20 en un matériau à mémoire de forme non recuit, par exemple amorphe. Une zone 22 de forme circulaire de cette lame mince a subi un recuit par faisceau laser conformément à l'invention. On voit sur la figure 2 des zones 24 et 26 qui n'ont pas subi ce recuit. La zone 24 est entourée par la zone 22 et la zone 26 entoure cette zone 22. lm -1 Grâce à la forme de la zone recuite 22, ces zones 24 et 26 sont mises sous contrainte, d'o un effet de mémoire de forme réversible et la possibilité d'obtenir un actionneur réversible. Dans l'exemple de la figure 2, la zone non recuite par laser n'est pas d'un seul tenant: elle est formée des zones 24 et 26 que sépare la zone 22. Au contraire, dans l'exemple de la figure 3, on voit encore une lame mince 20 en un matériau à mémoire de forme non recuit localement, par exemple amorphe, dont une zone sensiblement rectiligne 28 a subi un recuit par laser conformément à l'invention, cette zone 28 s'étendant à partir d'un bord de la lame vers le centre de celle-ci. De ce fait, la zone 30 non soumise au recuit par laser est d'un seul tenant. Il se produit encore une mise sous contrainte de cette zone 30 d'o un effet de mémoire de forme réversible. Lors de la mise en oeuvre de l'invention, il est possible de faire varier la température de recuit en faisant varier la puissance du faisceau laser ou, plus généralement, l'énergie transmise à l'objet par le laser (par variation de l'intensité du courant d'alimentation de la diode 6 dans l'exemple de la figure 1) au cours du recuit, en fonction de la position du spot laser sur l'objet à traiter. Il est connu que les températures de transformation évoluent avec les paramètres (temps, température) du recuit. On peut par exemple balayer la zone à recuire dans le but de faire varier localement les imP-- températures caractéristiques du matériau à mémoire de forme dont est fait l'objet, c'est-à- dire les paramètres Ms, Mf, A, et Af de ce matériau. Cela présente l'intérêt d'étendre la zone de transition martensiteausténite de ce matériau. Il convient de noter que le matériau à mémoire de forme recuit conformément à l'invention peut devenir super-élastique dans la zone recuite. Le procédé objet de l'invention est donc aussi utilisable lorsque l'on veut rendre localement super-élastique un matériau à mémoire de forme. La figure 4 illustre schématiquement une autre application de l'invention à la rigidification d'une lame mince 20 en matériau à mémoire de forme. On réalise le recuit par laser en des points 32 de la lame 20, ces points étant répartis de manière sensiblement uniforme à la surface de cette lame. Des contraintes sont ainsi localement créées dans la lame 20 autour des points d'impact 32 du laser. Cela permet de rigidifier la lame, en particulier en flexion. Les figures 5, 6, 7, 8 et 9A, 9B illustrent schématiquement divers dispositifs qui sont susceptibles d'avoir de très petites dimensions et dont la fabrication utilise un procédé conforme à l'invention. A titre purement indicatif et nullement limitatif, ces dispositifs sont réalisables avec des dimensions inférieures à 500 pm et des épaisseurs de l'ordre de 1 /m à 200 Mm de sorte que l'on peut alors les considérer comme des micro-dispositifs. Dans le cas de chacune des figures 5 et 6, un opérateur doit déformer le dispositif de manière à mettre ce dernier sous contrainte après avoir recuit une partie de ce dispositif conformément à l'invention. Cependant, dans le cas de la figure 5, la déformation par un opérateur peut aussi avoir lieu avant (et pendant) le recuit. Dans ce cas, on fixe d'abord le dispositif sur un support par l'intermédiaire de ses plots; la partie centrale mobile est déplacée par l'opérateur puis maintenue sous contrainte et le recuit des ressorts comprimés du fait de cette contrainte est effectué. Ensuite le dispositif revient à une position d'équilibre. Dans le cas d'une déformation effectuée après le recuit (cas de l'exemple considéré plus loin), le dispositif est libre, une partie (les deux ressorts de gauche sur la figure 5) est recuite; ensuite le dispositif est mis sous contrainte et fixé. Au contraire, dans le cas de chacun des dispositifs des figures 7, 8 et 9A, 9B, on peut exploiter la déformation permanente, induite par le recuit, de la zone qui subit ce recuit: ce dernier permet alors la mise sous contrainte du dispositif. On précise qu'il se produit toujours une déformation de l'objet lors du recuit par laser. Cette déformation est petite par rapport à une déformation que peut induire un opérateur. un 1 On exploitera donc cette déformation a priori dans les dispositifs qui l'amplifient (cas des exemples des figures 7 et 9A, 9B) ou dans le cas de très faibles mouvements (exemple de la figure 8). Cette déformation peut être une contraction ou une dilatation permanente, en fonction des paramètres du tir laser. De plus, dans le cas de chacune des figures à 8, il s'agit d'un dispositif monolithique plan dont une partie est apte à subir un mouvement réversible dans le plan du dispositif. Au contraire, le dispositif des figures 9A et 9B est un dispositif monolithique comprenant une première partie qui est plane et une deuxième partie qui est apte à subir un mouvement réversible hors du plan de la première partie. En outre, dans le cas de chacun des dispositifs des figures 7 et 9A, 9B, l'élément servant à la précontrainte de ce dispositif est également l'élément actif du dispositif tandis que, dans le cas du dispositif de la figure 8, l'élément servant à précontraindre le dispositif est différent de l'élément actif de ce dispositif. Le dispositif de la figure 5 est un étage de translation suivant un axe X. Ce dispositif est découpé par laser à partir d'une lame mince en alliage à mémoire de forme. On voit que ce dispositif comprend une partie mobile centrale 34, deux ressorts 36 fixés, d'un côté, à celle-ci et, de l'autre côté, à deux plots 38, Ii-V- deux autres ressorts 40 fixés, d'un côté, à la partie mobile et, de l'autre côté, à deux autres plots 42. Les deux ressorts 36, situés à gauche de la figure, sont chauffés jusqu'à leur température de recuit par un faisceau laser conformément à l'invention. Les deux ressorts 40, situés à droite de la figure, restent sensiblement à la température ambiante (environ 20 C). Après refroidissement de la totalité du dispositif jusqu'à la température ambiante, les quatre ressorts sont précontraints suivant l'axe X (axe de translation) et le dispositif est fixé par l'intermédiaire des quatre plots sur un substrat plan 44. Le principe d'actionnement de ce dispositif est le suivant: les ressorts 36 sont chauffés au- dessus de la température de transformation A, qui est de l'ordre de 60 C pour un alliage de NiTi ou de NiTiCu. Le chauffage peut être réalisé par exemple par un courant électrique que l'on fait circuler dans ces deux ressorts. Ces derniers se transforment en austénite, retrouvent ainsi leur forme initiale et tirent la partie mobile vers la gauche. Lors du refroidissement, ces deux ressorts 36 retournent à leur état martensitique et la partie mobile est tirée vers la droite du fait de l'élasticité des ressorts 40 qui n'ont pas été recuits et qui constituent des ressorts de rappel pour le dispositif. 1MM T On a déjà expliqué plus haut un autre mode opératoire possible (déformation avant - et pendant - le recuit). Le dispositif dont la figure 6 est une vue de dessus schématique est un micro-préhenseur qui est découpé par laser à partir d'une lame mince en matériau à mémoire de forme. Ce dispositif comprend une partie fixe 46, comportant deux zones de fixation 48, et une partie d'actionnement 50 destinée à former un ressort de rappel. Une extrémité de cette partie d'actionnement est reliée à la partie fixe 46 par l'intermédiaire d'une partie semi-circulaire 52, destinée à être recuite par laser conformément à l'invention. L'autre extrémité 54 de la partie d'actionnement et une zone 56 de la partie fixe, qui est située en regard de cette autre extrémité 54, constituent les mâchoires du dispositif. Pour le recuit local de la zone 52 un faisceau laser est envoyé sur cette dernière. Après retour à la température ambiante, le bras du préhenseur (c'est-à-dire la partie 50 de celui- ci) est alors déformé en dehors de son domaine élastique afin de définir la position ouverte de ce préhenseur. Ce dispositif reste alors ouvert et a une certaine élasticité. Si l'on veut prendre un objet avec le préhenseur, on chauffe la totalité de celui-ci par exemple au moyen d'un élément Peltier. Le préhenseur se ferme du fait de la force engendrée par la transformation de phase dans la partie recuite. Lors du refroidissement, lorsque la partie d'actionnement est revenue à l'état martensitique, le ressort de rappel est capable de tirer le bras dans sa position ouverte. Le dispositif de la figure 7 est un commutateur optique qui est découpé, par exemple par laser, à partir d'une lame mince en matériau à mémoire de forme amorphe. Il comprend un bras 58 destiné à se déplacer pour que l'une de ses deux extrémités puisse interrompre ou, au contraire, laisser passer un faisceau lumineux issu d'une fibre optique 60. Dans l'autre extrémité de ce bras, se trouve un centre virtuel de rotation 62. On voit aussi une partie fixe 64 du dispositif, en forme de C, qui est reliée à un côté de l'extrémité du bras 58 o se trouve le centre virtuel de rotation par l'intermédiaire d'un élément 66 formant un ressort et à l'autre côté de cette extrémité par l'intermédiaire d'un autre élément 68 destiné à être recuit par laser conformément à l'invention. On voit aussi deux éléments de guidage 70 sensiblement rectilignes qui relient aussi la partie fixe 64 à cette extrémité du bras o se trouve le centre virtuel de rotation de telle façon que des prolongements virtuels de ces deux éléments 70 se coupent en ce centre virtuel de rotation. On précise que l'élément formant un ressort 66 et l'élément 68 destiné à être recuit par laser se trouvent de part et d'autre d'une ligne L qui passe par le centre virtuel de rotation et qui est sensiblement perpendiculaire au bras 58. Supposons que l'élément 68 se soit allongé au cours de son recuit. La forme austénite de cet élément 68 est ainsi une forme allongée. A température ambiante, l'élément 68 étant dans son état martensitique, le ressort 66 a tendance à comprimer l'élément 68. Le bras 58 retrouve (à peu près) sa position initiale. Lors du chauffage de l'élément 68, cet élément 68 passe en phase austénite, s'allonge et fait tourner le bras 58 dans le sens contraire desaiguilles d'une montre (vers le haut dans l'exemple de la figure 7). La forme des éléments 66 et 68 peut être adaptée selon les caractéristiques souhaitées. On précise que les deux éléments 70 sont des moyens de guidage facultatifs. Le dispositif de la figure 8 est formé à partir d'une lame mince en matériau à mémoire de forme amorphe. Il s'agit d'un actionneur comprenant une partie fixe 72 ayant sensiblement la forme d'un cadre rectangulaire dont deux côtés 74 ne sont pas recuits par laser tandis que les deux autres côtés 76 sont recuits par laser conformément à l'invention. I_ a-T De plus, ce dispositif comprend une partie mobile 78 comprise entre les deux côtés 76 et cette partie mobile est reliée aux deux côtés non recuits 74 respectivement par un élément 80 également recuit par laser conformément à l'invention et par un autre élément 82 non recuit formant un ressort de rappel. La partie mobile est destinée à se déplacer en translation de façon sensiblement parallèle aux deux côtés recuits 76. Lors du recuit de l'élément 80 celui-ci se dilate très faiblement. Lors du recuit des deux côtés 76 (par un faisceau laser pour recuire ces côtés dans les mêmes conditions) ces deux côtés se dilatent plus que l'élément 80 et mettent le dispositif sous contrainte en traction. Si l'on chauffe cet élément 80 (sans bien entendu recuire ce dernier à nouveau) il se contracte et tire la partie mobile 78. Lorsque le dispositif retourne à la température ambiante l'élément formant un ressort 82 tire la partie mobile 78. Le dispositif représenté en vue de dessus sur la figure 9A est découpé à partir d'une lame mince en matériau à mémoire de forme amorphe. Ce dispositif comprend un bras 84 dont une extrémité est prolongée par deux barres 86 respectivement fixées à deux plots 88. Une barre 90 est comprise entre ces deux barres 86 et l'une de ses extrémités est également fixée à cette extrémité du bras 84. L'autre extrémité de la barre 80 est fixée à un plot 92. Le dispositif ainsi obtenu est fixé sur un support plan (non représenté) par l'intermédiaire des plots 88 et 92. La barre centrale 90 est alors recuite par laser conformément à l'invention. La déformation, qui peut être une contraction ou une dilatation suivant les paramètres du tir laser, comme on l'a vu plus haut, et qui est induite lors du recuit, provoque un déplacement du bras 84 hors du plan du support comme le montre la figure 9B qui est une vue schématique de profil du dispositif après le recuit laser. On voit sur cette figure 9B que le dispositif est fixé à son support 94 de façon que le bras 84 se trouve en dehors de ce support. Dans l'exemple de la figure 9B on a supposé que le bras recuit par laser s'est allongé. Les barres non recuites 86 forment des ressorts de rappel qui ont été mis sous contrainte lors du recuit. Si l'on chauffe l'ensemble du dispositif ou seulement la barre recuite (par exemple par un élément Peltier ou par effet Joule ou encore par un faisceau laser de très faible puissance) de façon à obtenir la transformation martensitique de la barre recuite 90, celle-ci se déforme, ce qui fait bouger l'ensemble du bras 84. Le dispositif des figures 9A et 9B peut être utilisé en tant que commutateur optique ou plus généralement comme un actionneur. En combinant deux ou trois dispositifs de ce genre on peut même former un préhenseur, les deux ou trois bras mobiles de ce dernier servant alors à saisir *un objet. La présente invention a d'autres applications: L'objet traité conformément à l'invention peut être une structure monolithique comprenant des zones particulières, par exemple des articulations, et l'on irradie alors les zones particulières par le faisceau laser pour rendre ces zones superélastiques. Dans un autre exemple, l'objet est un système monobloc que l'on rend multifonctionnel par l'irradiation, au moyen du faisceau laser, de diverses zones de ce système, en transmettant, à ces zones, au moyen du laser, des énergies différentes, les zones étant par exemple destinées à constituer divers actionneurs agissant à des températures différentes. Dans encore un autre exemple, l'objet est une structure monolithique comprenant des zones que l'on irradie par le faisceau laser à des énergies différentes pour obtenir un effet de mémoire de forme dans certaines des zones, par exemple en vue de constituer des actionneurs à partir de celles-ci, et pour rendre les autres zones superélastiques, par exemple en vue de constituer des articulations de guidage avec ces autres zones. IME-f-- Ceci est schématiquement illustré par la figure 10. Le système monobloc en matériau à mémoire de forme représenté sur cette figure 10 comprend un dispositif de translation 96 que l'on peut comparer au dispositif de la figure 5 et qui comprend une table mobile 98 reliée à deux plots de fixation 100 par l'intermédiaire de deux ressorts 102. Les plots sont destinés à être fixés à un support (non représenté). Le système comprend en outre un autre dispositif 104 destiné à être fixé au support par ses deux extrémités 106. Cet autre dispositif 104 comprend une barre stabilisatrice mobile 108 et des éléments 110 destinés à constituer des articulations. Comme on le voit sur la figure 10, la barre 108 est rendue solidaire des extrémités fixes 106 par l'intermédiaire de certains des éléments 110 et de la table mobile 98 par l'intermédiaire des autres éléments 110. On recuit par un faisceau laser, conformément à l'invention, les éléments 110 pour qu'ils constituent des éléments flexibles super- élastiques. On recuit aussi par un faisceau laser, conformément à l'invention, l'un des deux ressorts 102, par exemple celui de gauche, pour qu'il présente un effet de mémoire de forme. L'autre ressort, qui n'est pas recuit par le faisceau laser, constitue un ressort de rappel. REVENDICATIONS 1. Procédé de traitement d'un objet (2, 20) en un matériau à mémoire de forme, ce procédé étant caractérisé en ce qu'on irradie au moins une zone prédéfinie (A; 36; 52; 68; 76, 80; 90) de cet objet par un faisceau laser (4) apte à chauffer suffisamment cette zone pour provoquer dans ladite zone, un changement de la microstructure choisi parmi une cristallisation, une recristallisation, une cristallisation secondaire, une formation contrôlée de précipités et une annihilation de défauts cristallins. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel on utilise en outre ladite irradiation de la zone (68, 76, 90) pour provoquer une déformation permanente de cette zone permettant une mise sous contrainte de l'objet. 3. Procédé selon la revendication 1, dans lequel, avant et pendant, ou après, l'irradiation de la zone (36, 52), l'objet est mis sous contrainte par déformation dudit objet. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la partie non irradiée (30) de l'objet (20) est d'un seul tenant. 5. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, dans lequel la partie non irradiée de l'objet (20) comprend au moins deux zones (24, 26) qui sont séparées par la zone irradiée (22). 6. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'objet est un élément mince (20) et l'on irradie, au moyen dudit faisceau laser, des zones (32) I MM-- de cet élément qui sont réparties sur ledit élément en vue de rigidifier ce dernier. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, dans lequel on fait varier l'énergie transmise au matériau par le laser en fonction de la position du faisceau laser sur l'objet. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, dans lequel ladite zone est chauffée à une température inférieure à la température de fusion du matériau à mémoire de forme. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendication 1 à 7, dans lequel la zone est chauffée à une température supérieure ou égale à la température de fusion du matériau à mémoire de forme. 10. Procédé selon la revendication 1, l'objet constituant un dispositif monolithique plan dont au moins une partie (34, 50, 58, 78) est apte à subir un mouvement réversible dans le plan du dispositif, en fonction de la température de la zone qui a été cristallisée ou recristallisée par l'irradiation. 11. Procédé selon la revendication 10, le dispositif constituant un préhenseur comprenant une partie fixe (46) et un bras mobile (50) formant un ressort de rappel dont une extrémité est reliée à cette partie fixe par ladite zone (52), le bras mobile étant déformé par un utilisateur après la cristallisation ou la recristallisation de cette zone par l'irradiation, pour mettre le préhenseur sous contrainte. 12. Procédé selon la revendication 10, le dispositif constituant un actionneur comprenant au lua-V- moins une partie fixe (64) et au moins une partie mobile (58), cette partie mobile étant reliée à la partie fixe par un premier élément, qui constitue ladite zone (68) et forme l'élément-moteur de l'actionneur, et par un deuxième élément (66) qui est apte à exercer une force de rappel sur la partie mobile. 13. Procédé selon la revendication 10, le dispositif constituant un actionneur comprenant une première zone (76) cristallisée ou recristallisée par l'irradiation par le faisceau laser, cette première zone servant à mettre l'actionneur sous contrainte et une deuxième zone (80) cristallisée ou recristallisée par l'irradiation par le faisceau laser, cette deuxième zone formant l'élément-moteur de l'actionneur et étant distincte de la première zone. 14. Procédé selon la revendication 1, l'objet constituant un dispositif monolithique comprenant une première partie plane (88, 92) et une deuxième partie (84) apte à subir un mouvement réversible hors du plan de la première partie, en fonction de la température de la zone (90) qui a été cristallisée ou recristallisée par l'irradiation. 15. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'objet est une structure monolithique comprenant des zones particulières, par exemple des articulations, et l'on irradie ces zones particulières par le faisceau laser pour rendre ces zones superélastiques. 16. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'objet est un système monobloc que l'on rend rn-v - multifonctionnel par l'irradiation, au moyen du faisceau laser, de diverses zones de ce système, en transmettant, à ces zones, au moyen du laser, des énergies différentes, les zones étant par exemple destinées à constituer divers actionneurs agissant à des températures différentes. 17. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'objet est une structure monolithique comprenant des zones que l'on irradie par le faisceau laser à des énergies différentes pour obtenir un effet de mémoire de forme dans certaines des zones, par exemple en vue de constituer des actionneurs à partir de celles-ci, et pour rendre les autres zones superélastiques, par exemple en vue de constituer des articulations de guidage avec ces autres zones.