Brevet FR2789488A1 — publié le 20000811

Arrière-plan de l'invention Domaine de l'invention La présente invention concerne un capteur de pression capacitif permettant d'obtenir un niveau de pression sur la base d'une variation de capacité générée par une pression appliquée. Description de l'art antérieur Un capteur de pression capacitif qui détecte une pression ou une pression différentielle en tant que variation de diaphragme et qui émet en sortie directement un déplacement en tant que valeur de courant électrique obtient une pression en détectant un déplacement de diaphragme généré au moyen d'une pression appliquée sur un diaphragme ou d'une différence entre des pressions appliquées en tant que variation de capacité d'un condensateur formé par le diaphragme et une électrode opposée. Dans le capteur de pression capacitif (ci-après appelé capteur de pression) qui détecte le déplacement de la distance entre le diaphragme et l'électrode opposée en tant que valeur de capacité, une variation de valeur de capacité générée par une pression ou par une pression différentielle à mesurer est aussi faible que 10 pF à 100 pF. Par conséquent, une capacité parasite exerce une influence importante, ce qui conduit à une non linéarité d'une caractéristique de sortie ou à la survenue d'une erreur de mesure. Afin de surmonter ces problèmes, par exemple le procédé tel que mis en exergue dans la publication de brevet du japon (Tokkaisho) 64- 71211 peut être cité. Moyennant le procédé décrit par cette publication, deux condensateurs sont combinés et mesurés et une influence de capacité parasite est annulée sur la base des résultats de mesure respectifs. La figure 1 représente le circuit mis en oeuvre par ce procédé. La figure 1 est un circuit oscillant CR (capacité/résistance). Des symboles de référence C1 et C2 sur cette figure correspondent aux condensateurs décrits ci-avant dans un capteur de pression. Une pression ou une pression différentielle est obtenue en acquérant les valeurs de capacité de C1 et C2. Le cycle de la sortie en provenance du circuit oscillant représenté sur cette figure est déterminé conformément à une valeur d'une résistance R505 (fixe) et à une capacité C. Chacun des condensateurs C1 et C2 représentés sur la figure 1 peut être relié à la masse/coupé de la masse par des commutateurs 503 et 504 qui sont mis en oeuvre au moyen de transistors. Par conséquent, le circuit oscillant représenté sur la figure 1 peut réaliser la commutation entre les états actifs et inactifs des condensateurs C1 et C2. Pour le circuit représenté sur la figure 1, des mesures sont réalisées en activant/désactivant les commutateurs 503 et 504 afin de sélectionner les connexions/les déconnexions des deux condensateurs C1 et C2 et en mesurant les cycles de leurs sorties respectives. Les relations entre les cycles et les valeurs de capacité des condensateurs C1 et C2 sont représentées par les équations qui suivent. Si seulement C1 est sélectionné: T1 = 1/fl = (C1 + Cp). k. R505. Si seulement C2 est sélectionné: T2 = 1/f2 = (C2+Cp). k. R505. Si aucun d'entre eux n'est sélectionné: T3 = 1/f3 =Cp. k. R505. Si les deux sont sélectionnés: T4 = 1/f4 = (C1+C2+Cp). k R505. o "Cp" représente une capacité parasite et "k" représente un coefficient spécifique à chaque circuit. Les cycles T1 à T4 des sorties mesurées sont utilisés pour ces quatre équations et la capacité parasite Cp et le coefficient "k" sont ANNULés de telle sorte que le rapport des valeurs de capacité de C1 sur C2 est obtenu. Moyennant le procédé décrit ci-avant, toutes les valeurs de la capacité parasite "Cp" dans les quatre équations, lesquelles valeurs sont obtenues en sélectionnant les deux condensateurs C1 et C2, doivent cependant être les mêmes. En d'autres termes, la différence entre les capacités parasites existant entre les électrodes et C1 et C2 doit être égale à "0'". Cependant, il est impossible dans le principe d'éliminer la différence entre les capacités parasites, laquelle différence est observée entres les électrodes et Cl et C2. Même si un réglage peut être réalisé afin d'éliminer la capacité parasite à une température particulière, les caractéristiques de température des capacités parasites de C1 et C2 sont différentes. Par conséquent, une erreur de sortie peut éventuellement se produire du fait d'une variation de température. Additionnellement, la caractéristique capacitive d'une capacité parasite peut différer en fonction de la dépendance capacitive d'un liquide de confinement. Tout particulièrement, pour de l'huile silicone qui est normalement utilisée en tant que liquide de confinement, une constante diélectrique relative présente des dépendances vis-à-vis de la température et de la capacité. Par conséquent, un capteur qui peut détecter seulement une pression statique est requis. Cependant, un capteur à jauge inclinée qui est normalement utilisé en tant que capteur de pression statique de coût faible ne peut pas être appliqué dans ce cas, ce qui conduit à une configuration de coût élevé. En outre, moyennant le procédé représenté sur la figure 1, des courants électriques destinés à être appliqués sur les deux condensateurs sont réglés par la résistance et les états actifs et inactifs des condensateurs sont commutés par les commutations des transistors. Cependant, les courants électriques destinés à être appliqués sur les condensateurs Cl et C2 peuvent différer du fait des différences entre les valeurs de résistance d'état passant des commutations des transistors et entre leurs dépendances vis-à-vis de la température, ce qui génère une erreur de sortie. Par ailleurs, le procédé permettant d'annuler une capacité parasite en utilisant un condensateur fixe équivalant à la capacité parasite est largement connu. Cependant, puisque le condensateur fixe est normalement agencé en un emplacement à distance d'un capteur de pression tel que sur une carte Pt, sa température peut différer de celle du capteur de pression. En tant que résultat, une erreur de correction peut être observée du fait de la différence entre les gradients thermiques du condensateur fixe et du capteur de pression. Résumé de l'invention La présente invention a été développée moyennant l'arrière-plan décrit ci-avant et elle vise à proposer un capteur de pression capacitif de coût faible et à usage général qui permette d'ôter moyennant une précision élevée une influence de capacité parasite générée par une température ou une pression statique. Un capteur de pression capacitif selon un premier mode de réalisation préféré de la présente invention suppose la formation d'un ou de plusieurs condensateurs de capacité variable avec une électrode et un diaphragme et la détection de soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation des capacités des condensateurs de capacité variable. Ce capteur de pression capacitif comprend une unité de courant constant, un condensateur fixe, une unité de commutation, une unité de commutation de charge/décharge et une unité de comparaison de tension. Un capteur de pression capacitif selon un second mode de réalisation préféré de la présente invention suppose la formation d'au moins une paire de condensateurs de capacité variable dont les valeurs de capacité varient de façon relative en fonction d'un déplacement d'un diaphragme, avec une électrode et le diaphragme, et la détection de soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de capacité. L'unité de courant constant selon le premier ou le seconde mode de réalisation préféré émet en sortie un courant constant. Le condensateur fixe est un condensateur dont la valeur de capacité est fixe. L'unité de commutation sélectionne au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et le condensateur fixe. L'unité de commutation de charge/décharge réalise une commutation entre une décharge du condensateur sélectionné par l'unité de commutation et une charge réalisée par le courant constant. L'unité de comparaison de tension demande en instruction à l'unité de commutation la charge jusqu'à ce que le potentiel électrique du condensateur sélectionné par l'unité atteigne une tension préétablie et la décharge lorsque le potentiel électrique atteint la tension préétablie. Un capteur de pression capacitif selon un troisième mode de réalisation préféré de la présente invention suppose la formation d'un ou de plusieurs condensateurs de capacité variable avec une électrode et un diaphragme et la détection de soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de capacité des condensateurs de capacité variable. Ce capteur de pression capacitif comprend une unité de courant constant, une ou plusieurs unités de génération de tension d'entrée, une borne d'entrée externe, une unité de sélection de tension d'entrée, un condensateur fixe dont la valeur de capacité est fixe, une unité de commutation, une unité de commutation de charge/décharge et une unité de comparaison de tension. Un capteur de pression capacitif selon un quatrième mode de réalisation préféré de la présente invention suppose la formation d'au moins une paire de condensateurs de capacité variable dont les valeurs de capacité varient de façon relative conformément à un déplacement d'un diaphragme, avec une électrode et le diaphragme, et la détection de soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de valeur de capacité. L'unité de courant constant selon le troisième ou quatrième mode de réalisation préféré émet en sortie un courant constant dont la dimension est prédéterminée sur la base d'une tension d'entrée établie. Les unités de génération de tension d'entrée émettent en sortie la tension d'entrée établie dans l'unité de courant constant. L'unité de sélection de tension d'entrée sélectionne une entité parmi les tensions d'entrée générées par les unités de génération de tension d'entrée et une tension d'entrée externe sur la base de l'entrée en provenance de la borne d'entrée externe et établit la tension sélectionnée dans l'unité de courant constant. L'unité de commutation selon le troisième ou quatrième mode de réalisation préféré sélectionne au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et le condensateur fixe. L'unité de commutation de charge/décharge selon le troisième ou le quatrième mode de réalisation préféré réalise une commutation entre une décharge du condensateur sélectionné par l'unité de commutation et une charge réalisée par le courant constant. L'unité de comparaison de tension selon le troisième ou le quatrième mode de réalisation préféré demande en instruction à l'unité de commutation la charge jusqu'à ce que le potentiel électrique du condensateur sélectionné par l'unité de commutation atteigne une tension préétablie et la décharge lorsque le potentiel électrique atteint la tension préétablie. Additionnellement, la présente invention inclut également un dispositif de détection de valeur de capacité qui émet en sortie une variation de valeur de capacité d'un capteur de pression en tant que variation de cycle. Selon la présente invention, un résultat de mesure d'un condensateur fixe avec une capacité fixe peut être obtenu en plus de celui de la capacité d'un condensateur pour détecter une pression ou une pression différentielle. Par conséquent, une capacité parasite peut être corrigée sur la base de ce résultat. Selon la présente invention, un capteur de pression capacitif qui peut corriger une capacité parasite selon une précision élevée et qui peut réaliser une mesure de pression hautement précise peut par conséquent être réalisé. En outre, le capteur de pression capacitif selon la présente invention corrige une capacité parasite en considération d'une variation de capacité ou d'une variation de pression statique générée par une variation de température, d'o ainsi la réalisation d'une détection de pression précise sur une plage de température large et sur une plage de pression statique large moyennant une configuration simplifiée. En outre, selon la présente invention, une valeur de mesure peut être corrigée en considération d'un résultat de détection en provenance d'un capteur de pression statique etc...en utilisant une tension d'entrée externe en provenance d'une borne d'entrée externe. Par conséquent, une correction hautement précise peut être réalisée également pour une variation de capacité parasite due à une pression statique. En outre, si une pluralité de condensateurs fixes sont agencés, une correction hautement précise qui couvre également une erreur d'approximation peut être réalisée. Brève description des dessins La figure 1 est un schéma de circuit qui représente la configuration fondamentale d'un capteur de pression capacitif classique; la figure 2 est un schéma fonctionnel qui représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon la présente invention; la figure 3 est une vue en coupe qui représente la structure d'un capteur de pression lorsque deux condensateurs sont agencés; la figure 4 représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon un premier mode de réalisation préféré; la figure 5 représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon un second mode de réalisation préféré; la figure 6 représente une table qui représente la relation entre le coefficient de température d'une tension d'entrée et celui d'une tension préétablie pour un condensateur sélectionné; la figure 7 représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon un troisième mode de réalisation préféré; les figures 8A, 8B et 8C représentent à titre d'exemple les combinaisons du coefficient de température d'une tension d'entrée et de celui d'une tension préétablie pour un condensateur sélectionné; la figure 9 représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon un quatrième mode de réalisation préféré; la figure 10 représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon un cinquième mode de réalisation préféré; la figure 11 représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon un sixième mode de réalisation préféré; et la figure 12 représente une table qui représente la relation qui lie le coefficient de température d'une tension d'entrée et celui d'une tension préétablie pour un condensateur sélectionné selon le sixième mode de réalisation préféré. Description des modes de réalisation préférés La figure 2 est un schéma fonctionnel qui représente le principe de fonctionnement d'un capteur de pression capacitif selon la présente invention. Le capteur de pression capacitif représenté sur cette figure comprend une unité de capteur de pression 1, une unité de détection 2, une unité de comptage 3 et une unité de commande de fonctionnement 4. L'unité de capteur de pression 1 présente une configuration selon laquelle deux condensateurs, trois condensateurs ou plus C1 à Cn sont agencés. L'unité de capteur de pression 1 utilise le déplacement d'un diaphragme moyennant l'application d'une pression sur un fluide de confinement et obtient la pression à partir de la variation de capacité d'un condensateur sur la base de la valeur du déplacement. L'unité de détection 2 est destinée à convertir une variation de valeur de capacité d'un condensateur dans l'unité de capteur de pression i selon une impulsion de sortie cyclique. Cette unité comprend une unité de commutation 21 pour réaliser une commutation entre les condensateurs C1 à Cn dans l'unité de capteur de pression 1, une unité de conversion capacité-fréquence 22 pour convertir la capacité d'un condensateur sélectionné dans l'unité de capteur de pression 1 selon un signal de fréquence, un condensateur fixe Cc présentant une valeur de capacité fixe etc...Le condensateur fixe Cc est un condensateur dont la valeur de capacité devient une référence et n'est pas modifiée par une pression. Le condensateur fixe Cc est utilisé pour corriger une influence de capacité parasite. Additionnellement, le condensateur de référence correspondant au condensateur fixe Cc peut être configuré dans l'unité de capteur de pression 1 en tant que condensateur qui est rempli du même liquide de confinement que celui des condensateurs C1 à Cn et dont la valeur de capacité n'est pas modifiée par une pression. Cependant, si de l'huile silicone qui est de façon générale utilisée en tant que liquide de confinement d'un capteur de pression est utilisée dans cette configuration, la constante diélectrique relative présente des dépendances vis-à-vis de la température et de la valeur de capacité. Par conséquent, un capteur qui détecte seulement une pression statique est requis, lequel conduit à une augmentation du coût. L'unité de comptage 3 compte la sortie impulsionnelle en provenance de l'unité de détection 2 à l'aide d'un circuit de compteur etc...et convertit la valeur de comptage selon une valeur numérique. L'unité de commande de fonctionnement 4 réalise une correction d'opération de sortie sur la base du résultat de l'opération de comptage réalisée par l'unité de comptage 3 et commande l'unité de commutation 21. Dans le capteur de pression capacitif représenté sur la figure 2, l'unité de commutation 21 à l'intérieur de l'unité de détection 2 pour la pression appliquée sur l'unité de capteur de pression 1 commute et sélectionne les condensateurs Cl à Cn dans l'unité de capteur de pression 1 et le condensateur fixe Cc, convertit la valeur de capacité d'un condensateur sélectionné selon un cycle en onde rectangulaire et émet en sortie le cycle en onde rectangulaire. L'unité de comptage 3 compte les sorties pour les condensateurs respectifs. L'unité de commande de fonctionnement 4 réalise une correction d'opération de sortie sur la base de ce résultat et commande l'unité de commutation 21. La figure 3 est une vue en coupe qui représente la structure de l'unité de capteur de pression 1 lorsque deux condensateurs sont configurés. Dans le capteur de pression capacitif selon la présente invention, le nombre de condensateurs pour détecter une pression peut être de 1, 3 ou plus. La configuration selon laquelle deux condensateurs dont les valeurs de capacité varient de façon relative via un diaphragme est expliquée ci-après, configuration qui est normalement utilisée dans un capteur de pression capacitif. Sur la figure 3, une carte en silicium 10 est utilisée en tant que carte conductrice et il s'agit d'une plaquette en silicium de type P présentant un degré approprié de conduction d'électricité tel qu'approximativement 0,1 Q cm et une surface [100] en tant qu'orientation de surface cristalline, carte sur laquelle des évidements circulaires correspondant à des espaces vacants 103a et 103b et un drain en anneau pour former une partie amincie en forme d'anneau 102 à l'extérieur des espaces vacants sont formés au moyen d'une gravure plasma sur les deux côtés de la plaquette en silicium deux fois ou plus. A l'intérieur de la partie amincie en forme d'anneau 102, une partie aplanie 101 qui est plus épaisse que la partie amincie 102 est formée. Un diaphragme qui réalise un déplacement conformément à une pression différentielle est configuré au moyen de la partie aplanie 101 et de la partie amincie 102. Ce diaphragme devient une électrode mobile de l'unité de capteur de pression 1. Les épaisseurs de la carte en silicium et de la partie amincie 102 sont déterminées de façon appropriée conformément au niveau d'une pression destinée à être mesurée ou au niveau d'une pression différentielle destinée à être mesurée. Additionnellement, des plaques isolantes 11a et 1 1b réalisées en une céramique telle que de la mullite ou qu'une céramique cordiérite sont jointes sur les deux côtés de la carte en silicium 10 moyennant une composition capacitive. Sur les plaques isolantes 11la et 11 b, des électrodes fixes 12a et 12b et des électrodes 13a et 13b sont respectivement formées au moyen d'une pulvérisation par masque de trois couches constituées par du chrome, du platine et de l'or. Les électrodes fixes 12a et 12b et les électrodes 13a et 13b sont connectées par l'intermédiaire des intérieurs de trous de guidage de pression 14a et 14b le long desquels des pressions sont guidées. Deux condensateurs Cl1 et C2 dont les valeurs de capacité varient de façon relative sont configurés au moyen des électrodes fixes 12a et 12b et de la partie aplanie 101 qui est l'électrode mobile de la carte en silicium 10. Sur les surfaces de composition capacitive des plaques isolantes 1 la et 11 b, des films de pulvérisation (non représentés) réalisés en verre Pyrex présentant une épaisseur de 1,6 pm sont formés. Les films en verre Pyrex permettent la composition capacitive. La raison pour laquelle de la mullite ou de la céramique cordiérite est utilisée en tant que plaques isolantes 11a et 11b réside dans le fait que la mullite ou la céramique cordiérite présente un coefficient de dilatation thermique qui est très proche de celui du silicium et présente une rigidité élevée. Sur le fond ou partie inférieure de la plaque isolante 11a, un support isolant 17 qui est réalisé en mullite ou en céramique cordiérite et qui comporte un trou de pénétration 171 au niveau de son centre et dont la position est déterminée de telle sorte que le trou de pénétration 171 soit aligné avec le trou de guidage de pression 14a est joint à l'aide d'une soudure eutectique or étain. Sur les deux côtés du support isolant 17, des films de pulvérisation constitués par trois couches qui sont en chrome, en platine et en or pour le soudage sont formés. Sur le fond ou partie inférieure du support isolant 17, une base 18 qui est réalisée en acier inoxydable et qui comporte un trou de pénétration 181 au niveau de son centre et dont la position est déterminée de telle sorte que le trou de pénétration 181 soit aligné avec le trou de guidage de pression 14a est jointe avec une soudure eutectique or étain. Par ailleurs, sur la partie au niveau de laquelle la base 18 et le support isolant 17 sont joints, un film de pulvérisation constitué par trois couches en chrome, en platine et en or est formé. Un fluide de transfert de pression de confinement 19 transfère une première pression P1 jusque sur le fond ou partie inférieure du diaphragme au travers des trous de pénétration 171 et 181 et du trou de guidage de pression 14a. Sur la plaque isolante 11b, un trou de pénétration est formé au niveau de l'angle de la partie qui est jointe à la carte en silicium 20 et une électrode 16 est formée dans le trou de pénétration en réalisant une pulvérisation par masque d'aluminium après que la plaque isolante 11b et la plaque en silicium 10 sont toutes deux jointes. Cette électrode 16 devient une électrode élaborée à partir de la carte en silicium 10. Additionnellement, une unité de détection 2 mise en oeuvre au moyen d'une puce nue est configurée dans une zone correspondant à celle sur la surface qui est jointe à la carte en silicium 10 sur la surface supérieure de la plaque isolante 11b, qui est l'inverse de la surface qui est jointe à la carte en silicium 10. La zone dans laquelle l'unité de détection 2 est agencée est une zone présentant la rigidité la plus élevée dans l'unité de capteur de pression 1. En outre, puisque cette zone est proche des condensateurs Cl et C2, les fils de connexion peuvent être raccourcis, ce qui réduit les capacités parasites. L'unité de détection 2 est connectée aux électrodes fixes 12a et 12b ainsi qu'à l'électrode 16 au moyen de fils en aluminium. Il est à noter qu'un condensateur Cc peut être noyé dans la puce nue de l'unité de détection 2 ou peut être agencé à proximité de la puce nue pour être sous le même environnement de température que celui des condensateurs Cl et C2. La périphérie de l'unité de capteur de pression 1 et la partie dirigée vers le haut du diaphragme sont remplies à l'aide du fluide de transfert de pression qui n'est pas représenté et qui est destiné à transférer une pression P2 à l'opposé de la pression P1 guidée au travers des trous de pénétration percés dans la base 18 etc...jusqu'au fond ou partie inférieure du diaphragme. La forme de la partie amincie 102 varie du fait de la différence entre les pressions P1 et P2 qui sont appliquées sur les deux côtés du diaphragme et la partie aplanie 101 réalise un déplacement verticalement jusqu'aux électrodes fixes 12a et 12b. Lorsque les distances entre la partie aplanie 101 qui est l'électrode mobile et les électrodes fixes 12a et 12b varient, les valeurs de capacité Cl et C2 varient de façon relative. La différence entre les pressions P1 et P2 est détectée en mesurant ces valeurs de capacité. Si l'une ou l'autre des pressions P1 et P2 est établie en tant que pression atmosphérique dans l'unité de capteur de pression 1, cette unité devient un capteur de pression de jauge. Si l'une de ces deux pressions est rendue égale au vide, I'unité devient un capteur de pression absolue. La relation d'importance entre les pressions guidées P1 et P2 est arbitraire dans la configuration représentée sur la figure 3. Par souci de commodité, I'explication est présentée ci-après en supposant que P1 déplacement du diaphragme est obtenu. [C1-C2-(Csl-Cs2)] / [C1I+C2-(Cs1+Cs2)] = Ad1/d1 (1) o "dl" représente une distance entre le diaphragme et l'électrode fixe 12a ou 12b, "Cs1" représente une capacité parasite du condensateur C1, "Cs2" représente une capacité parasite du condensateur C2 et A1 représente une valeur de déplacement du diaphragme, lequel déplacement est généré par une pression appliquée. Ici, un signal de détection "Tref" et des coefficients "A" et "B" lors de la sélection du condensateur fixe Cc dans une plage de température d'utilisation sont déterminés de telle sorte que les équations qui suivent (2) à (4) soient satisfaites. En substituant les équations (2) à (4) à l'équation (1), I'équation (5) est obtenue (Cs1 -Cs2) = A/C. f(Tref) (2) (Cs1 +Cs2) = B/C. f(Tref) (3) T1 = C. Cs1, T2=C. Cs2 (4) (Tl -T2-A. f(Tref)) / (TI+T2-B. f(Tref))=Ad1/d1 (5) Tl: cycle d'un signal de sortie conformément à la valeur de capacité du condensateur C1; T2: cycle d'un signal de sortie conformément à la valeur de capacité du condensateur C2; f(Tref): fonction d'un signal de sortie conformément à la valeur de capacité du condensateur fixe Cc; A, B, C: coefficients. En appliquant a l'équation (5) le résultat de mesure lorsque l'unité de commutation 210 sélectionne le condensateur fixe Cc, la valeur de déplacement du diaphragme peut être obtenue. La figure 4 représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon un premier mode de réalisation préféré. Sur cette figure, une unité de capteur de pression 1 est simplifiée pour être illustrée d'une autre façon que les condensateurs Cl et C2. Une unité de détection 2 représentée sur cette figure est constituée par une unité de commutation 21, par un condensateur fixe Cc présentant une valeur de capacité prédéterminée, par une unité de circuit de courant constant 23, par un circuit miroir de courant 24, par une unité de comparateur 25 et par une unité mono-multi 26 qui correspondent à l'unité de conversion capacité-fréquence 22. L'unité de commutation 21 réalise une commutation entre les condensateurs Cl, C2 et le condensateur fixe Cc conformément à l'instruction délivrée depuis une unité de commande de fonctionnement 4. L'unité de commutation 21 est configurée par exemple au moyen de commutateurs à transistor MOS 211 à 213 et d'un circuit de sélection de commutateur 214. L'unité de circuit de courant constant 23 est constituée par un circuit de génération de tension d'entrée 231, par un amplificateur opérationnel 232, par un transistor à effet de champ 233 et par une résistance R234. Dans l'unité de circuit de courant constant 23, l'amplificateur opérationnel 232 commande le transistor à effet de champ 233 de telle sorte qu'une tension d'entrée Vref en provenance du circuit de génération de tension d'entrée 231 devienne égale à la tension (la tension en un point "a" sur la figure 4) qui est générée par un courant électrique IL qui circule au travers de la résistance R234. Par conséquent, le courant électrique IL présente une valeur constante Vref/R234. Le circuit miroir de courant 24 est destiné à émettre en sortie de façon stable un courant électrique Ic égal au courant électrique I, qui est généré par l'unité de circuit de courant constant 23. Ce circuit est configuré au moyen d'un transistor MOS. L'unité de comparateur 25 est constituée par un circuit de génération de tension préétablie 251 et par un comparateur 252. Lorsqu'une tension d'entrée atteint la tension préétablie Vth que le circuit de génération de tension préétablie 251 établit dans le comparateur 252, la sortie du comparateur 25 réalise une transition depuis un niveau "L" ou bas jusqu'à un niveau "H" ou haut. L'unité mono-multi 26 est destinée à réaliser une commutation entre un état d'activation et un état de désactivation d'un commutateur à transistor 29 conformément à la sortie de l'unité de comparateur 25. Lorsque la sortie de l'unité de comparateur 25 est pilotée au niveau "H", l'unité mono-multi 26 active le commutateur à transistor 29. Lorsque la sortie de l'unité de comparateur 25 est pilotée au niveau "L", I'unité mono-multi 26 désactive le commutateur à transistor 29. Dans le capteur de pression capacitif représenté sur la figure 4, un circuit de sélection de commutateur 214 sélectionne séquentiellement les condensateurs Cl et C2 dans l'unité de capteur de pression 1 et le condensateur fixe Cc en activant/désactivant les commutateurs 211 à 213 conformément à l'instruction qui est délivrée depuis l'unité de commande de fonctionnement 4. On suppose que le condensateur Cl est sélectionné en premier. Tandis que le condensateur sélectionné par l'unité de commutation 21 est en train d'être chargé par le courant Ic qui est émis en sortie depuis le circuit miroir de courant 24, le potentiel électrique (le potentiel électrique en un point "b" de la figure 4) croît du fait du condensateur sélectionné Cl. Lorsque la tension au point "b" atteint la tension préétablie Vth de l'unité de comparateur 25, la sortie du comparateur 252 réalise une transition depuis le niveau "L" jusqu'au niveau "H". On suppose que la durée entre l'instant auquel le condensateur CI est chargé et l'instant auquel le potentiel électrique atteint la tension préétablie Vth, lorsque le condensateur Cl est sélectionné, est "tcl". Dans ce cas, "tcl" est représenté par l'équation qui suit: tcl = Cl. Vth/1c = Cl. R234. Vth/Vref (6) Ici, si l'on suppose que Vth = 2.Vref, "tcl" devient une fonction seulement de la valeur de capacité C1 et de la valeur de résistance R234. tcl = 2. Cl. R234 (7) A l'instant auquel la sortie de l'unité de comparateur 25 est pilotée au niveau "H", l'unité mono-multi 26 active le commutateur à transistor 29. En tant que résultat, le point "b" est relié à la masse à Vss. Le condensateur Cl est par conséquent déchargé de telle sorte que le potentiel électrique au point "b" chute jusqu'à "0". Puisque la tension d'entrée devient inférieure à la tension préétablie Vth, la sortie de l'unité de comparateur 25 réalise une transition jusqu'au niveau "L", ce qui fait que l'unité mono-multi 6 désactive le commutateur à transistor 29. De cette façon, le condensateur Cl est à nouveau chargé par le courant électrique Ic. Lorsque la tension au point "b" atteint la tension préétablie Vth, le commutateur à transistor 29 est à nouveau activé et le condensateur C1 commence à être déchargé. Ensuite, ces opérations de charge/décharge sont répétées et un signal en onde rectangulaire présentant un cycle prédéterminé qui est proportionnel à la valeur de capacité Cl est émis en sortie depuis l'unité de détection 2. Le cycle "tl" de ce signal de sortie est représenté par l'équation qui suit: tl =tcl +tr=2. Cl. R234 + tr (8) o "tr" est le temps de remise à l'état initial compté à partir de l'instant o l'unité mono-multi 26 active le commutateur à transistor 29 pour démarrer la décharge du condensateur C1 jusqu'à l'instant o l'unité mono-multi 26 désactive le commutateur à transistor 29. Après que la détection du cycle du signal de sortie est terminée, le circuit de sélection de commutateur 21 active les commutateurs 211 à 213 afin de changer séquentiellement le condensateur à sélectionner conformément à l'instruction en provenance de l'unité de commande d'opération 4. Moyennant des opérations similaires à celles dans le condensateur Cl, les signaux de sortie présentant les cycles proportionnels au condensateur C2 et au condensateur fixe Cc peuvent être obtenus. Le cycle "t2" ou "tref" du signal de sortie lorsque le condensateur C2 ou le condensateur fixe Cc est sélectionné est représenté par l'équation qui suit (9) ou (10): t2 = tc2 + tr =2. C2. R234 + tr (9) tref = tcref + tr =2. Cc. R234 + tr (10) Puisque le temps de remise à l'état initial "tr" depuis l'instant o l'unité mono-multi 26 active le commutateur 29 jusqu'à l'instant o l'unité désactive le commutateur 29 dans les équations (8) à (10) est de l'ordre de quelques centaines de nanosecondes, il n'y a pratiquement pas d'influence au niveau de la linéarité et de la résolution du signal de sortie. Le signal en onde rectangulaire qui est émis en sortie depuis I'unité de détection 2 est entré sur l'unité de comptage 3, laquelle unité de comptage compte la fréquence de ce signal. Le résultat de comptage est représenté par les équations qui suivent (11) à (13): T1 = n. tl. fclk (11) T2 = n.t2.fclk (12) Tref = n. tref. fclk (13) o n = coefficient; et fclk = fréquence d'horloge comptée par l'unité de comptage 3. Des opérations arithmétiques sont réalisées par l'unité de commande de fonctionnement 4 en relation avec les équations décrites ci-avant (1) à (4) en se basant sur le résultat de comptage qui est obtenu par l'unité de comptage 3 et le déplacement du diaphragme dont la capacité parasite est corrigée. En tant que résultat, la sortie qui est proportionnelle au déplacement du diaphragme du capteur de pression capacitif et qui ne subit pas l'influence des capacités parasites peut être obtenue. Comme décrit ci-avant, les valeurs de résistance d'état passant du commutateur à transistor 29 et des commutateurs 211 à 213 ne sont pas pertinentes en tant que déterminant des cycles des signaux de sortie. Par conséquent, même si la valeur de résistance d'état passant de chacun des commutateurs varie du fait de la température, le signal de sortie n'en subit pas l'influence. Puis un second mode de réalisation préféré sera expliqué. Dans le capteur de pression capacitif selon le premier mode de réalisation préféré, si le coefficient de température de la résistance R234 est amené à chuter afin de réduire les dépendances de la température des cycles T1 et T2 des signaux de sortie proportionnels aux condensateurs Cl et C2, la sensibilité en température du signal Tref proportionnel au condensateur fixe Cc devient également faible. Ceci est dû au fait que le coefficient de température du condensateur fixe Cc est normalement faible par comparaison avec une valeur de résistance. Une mise en oeuvre en considération de ce point est un capteur selon le second mode de réalisation préféré. La figure 5 représente la configuration du capteur de pression capacitif selon le second mode de réalisation préféré. Sur cette figure, les mêmes éléments constitutifs que ceux selon le premier mode de réalisation préféré représenté sur la figure 4 sont indiqués au moyen des mêmes index de référence. Le capteur de pression capacitif représenté sur la figure 5 comprend au moins deux circuits de génération de tension d'entrée ou plus 271-1 à 271-m dans une unité de circuit de courant constant 27. Les circuits de génération de tension d'entrée 271-1 à 271-m présentent respectivement des valeurs de tension différentes. La valeur de tension qui est sélectionnée parmi ces valeurs et qui est connectée au moyen d'une activation du commutateur 275, laquelle activation est réalisée par un circuit de sélection de commutateur 214, est appliquée sur un amplificateur opérationnel 272 en tant que tension d'entrée Vref. Avec cette configuration, une unité de circuit de courant constant 27 peut sélectionner l'une de deux valeurs de courant différentes ou plus et peut émettre en sortie un courant moyennant la valeur sélectionnée en tant que courant électrique IL conformément à l'instruction en provenance d'une unité de commande de fonctionnement 4. Par ailleurs, une unité de comparateur 28 présente une configuration selon laquelle au moins deux circuits de génération de tension préétablie ou plus 281-1 à 281-n qui présentent des tensions de sortie différentes sont agencés. Le circuit de sélection de commutateur 214 sélectionne l'un des circuits de génération de tension préétablie 281- 1 à 281-n en activant/désactivant un commutateur 283 conformément à l'instruction en provenance de l'unité des commande de fonctionnement 4 de telle sorte que la valeur de sortie du circuit sélectionné puisse être utilisée en tant que tension préétablie Vth pour le comparateur 282. Moyennant cette configuration, une tension d'entrée Vref et une tension préétablie Vth qui conviennent pour chaque condensateur peuvent être établies. Les sélections du courant IL qui est émis en sortie depuis l'unité de circuit de courant constant 27 et de la tension préétablie Vth pour I'unité de comparateur 28 sont déterminées en fonction du condensateur sélectionné par le circuit de sélection de commutateur 214. Les tensions qui sont respectivement émises en sortie depuis les circuits de génération de tension d'entrée 271-1 à 271-m et les circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n varient en fonction d'une température même si elles sont émises en sortie depuis le même circuit. Par conséquent, si ces tensions sont reconnues comme étant des fonctions de la température, les sélections des circuits de génération de tension d'entrée 271-1 à 271-m et des circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n signifient pour être exact les sélections des coefficients de température de la tension d'entrée Vref et de la tension préétablie Vth. Les dépendances vis-à-vis de la température des tensions peuvent être aisément contrôlées à l'aide de la caractéristique de température d'une tension base-émetteur d'un transistor. La figure 6 représente une table qui représente la relation qui lie le coefficient de température de la tension d'entrée Vref dans l'unité de circuit de courant constant 27 et celui de la tension préétablie Vth dans l'unité de comparateur 28 pour chaque condensateur sélectionné. Comme représenté sur cette figure, I'unité de commande de fonctionnement 4 sélectionne respectivement l'un des circuits de génération de tension d'entrée 271-1 à 271-m et des circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n de telle sorte que la tension d'entrée Vref et la tension préétablie Vth qui annulent le coefficient de température du condensateur C1 ou C2 soient établies, lorsque le condensateur C1 ou C2 est sélectionné, et demande en instruction au circuit de sélection de commutateur 214 les circuits sélectionnés. Lorsque le condensateur Cc est sélectionné, les coefficients de température sont établis à des valeurs importantes en fonction de la résolution de la détection. De cette façon, une tension présentant un coefficient de température qui annule le coefficient de température de la capacité ou une tension présentant un coefficient de température de pratiquement "0" est sélectionnée et établie en tant que tension d'entrée Vref et en tant que tension préétablie Vth qui sont établies pour le condensateur C1 ou C2. Additionnellement, une tension présentant un coefficient de température important est sélectionnée et établie en tant que tensions Vref et Vth qui sont établies pour le condensateur fixe Cc pour détecter une température. Par conséquent, la dépendance vis-à-vis de la température peut être diminuée pratiquement jusqu'à "0" pour une variation des capacités des condensateurs C1 et C2 pour détecter une pression tandis que la dépendance vis-à-vis de la température peut être augmentée pour une variation de la capacité du condensateur fixe Cc. Par conséquent, une correction de température pour une capacité parasite peut être réalisée selon une précision élevée pour les cycles T1, T2 et Tref des signaux de sortie en provenance de l'unité de détection 2. Puis un troisième mode de réalisation préféré sera expliqué. Un capteur de pression capacitif selon le troisième mode de réalisation préféré est destiné à être non sensible à l'influence d'une capacité parasite due non seulement à une température mais également à une pression statique. Ce capteur comprend une borne d'entrée externe qui peut recevoir en application une tension d'entrée en provenance de l'extérieur de l'unité de détection 2. Le capteur détecte une pression statique conformément à la tension d'entrée externe en provenance de cette borne et corrige une valeur de mesure sur la base du résultat de la détection. La figure 7 représente la configuration du capteur de pression capacitif selon le troisième mode de réalisation préféré. Sur cette figure, les mêmes éléments constitutifs que ceux selon le premier mode de réalisation préféré représenté sur la figure 4 sont repérés au moyen des mêmes index de référence. Le capteur de pression capacitif représenté sur la figure 7 comprend un circuit ou une pluralité de circuits de génération de tension d'entrée 311-1 à 311-m et une borne d'entrée externe 316 qui peut appliquer une tension d'entrée depuis l'extérieur d'une unité de détection 2 dans une unité'de circuit de courant constant 31. Sur la borne d'entrée externe 316, une tension qui est basée sur la pression statique ou la tension du capteur est entrée depuis l'extérieur de l'unité de détection 2. Une tension d'entrée qui est basée sur la valeur de mesure à partir d'une pression statique ou d'un capteur de température dans le capteur de pression capacitif est appliquée sur la borne d'entrée externe 316. Les circuits de génération de tension d'entrée 311-1 à 311-m présentent respectivement des valeurs de tension différentes d'une manière similaire au cas de la configuration selon le second mode de réalisation préféré. La valeur de tension qui est sélectionnée par les circuits de génération de tension d'entrée 311-1 à 311-n et la borne d'entrée externe 316 et qui est connectée au moyen d'une activation du commutateur 315, laquelle activation est réalisée par le circuit de sélection de commutateur 214, est appliquée sur un amplificateur opérationnel 312 en tant que tension d'entrée Vref. Moyennant cette configuration, l'unité de circuit de courant constant 31 peut sélectionner une valeur parmi deux valeurs de courant différentes ou plus en fonction de l'instruction en provenance de l'unité de commande de fonctionnement 4 et peut émettre en sortie un courant présentant la valeur sélectionnée en tant que courant électrique I.L Par ailleurs, une unité de comparateur 28 présente une configuration selon laquelle au moins deux circuits de génération de tension préétablie ou plus 281-1 à 281-n qui possèdent respectivement des tensions de sortie différentes sont agencés. Le circuit de sélection de commutateur 214 active/désactive un commutateur 283 conformément à l'instruction en provenance de l'unité de commande de fonctionnement 4 de telle sorte que l'un quelconque des circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n soit sélectionné. La valeur qui est émise en sortie depuis le circuit sélectionné peut être utilisée en tant que tension préétablie Vth pour l'unité de comparateur 28. Moyennant cette configuration, une tension d'entrée Vref et une tension préétablie Vth qui conviennent pour chaque condensateur peuvent être établies. Les sélections du courant IL qui est émis en sortie depuis le circuit de courant constant 31 et de la tension préétablie Vth pour le comparateur 28 sont déterminées conformément au condensateur qui est sélectionné par le circuit de sélection de commutateur 214. En outre, les tensions qui sont respectivement émises en sortie depuis les circuits de génération de tension d'entrée 331-1 à 311-m et les circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n varient en fonction de la température même si elles sont émises en sortie depuis le même circuit. Par conséquent, si ces tensions sont reconnues comme étant des fonctions de la température, les sélections des circuit de génération de tension d'entrée 311-1 à 311-m et des circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n signifient pour être exact les sélections des coefficients de température de la tension d'entrée Vref et de la tension préétablie Vth. Les dépendances vis-à-vis de la température des tensions peuvent être aisément commandées à l'aide de la caractéristique de température d'une tension base-émetteur d'un transistor. En sélectionnant de façon appropriée la tension d'entrée Vref et la tension préétablie Vth, une capacité parasite peut être corrigée en considération d'une température, d'une pression statique etc... La figure 8 représente une table qui présente à titre d'exemple les combinaisons du coefficient de température de la tension d'entrée Vref dans l'unité de circuit de courant constant 31 et de celui de la tension préétablie Vth dans l'unité de comparateur 28 pour des condensateurs respectivement sélectionnés. L'exemple représenté sur la figure 8 est basé sur l'hypothèse consistant en ce que la tension qui est basée sur la valeur de mesure en provenance d'un capteur de pression statique est entrée sur la borne d'entrée externe 316. Si les condensateurs Cl et C2 permettant de détecter une pression à l'intérieur de l'unité de capteur de pression 1 sont sélectionnés, une valeur présentant un coefficient de température de pratiquement "0" ou une valeur annulant le coefficient de température de C1 ou de C2 est établie en tant que tension d'entrée Vref et en tant que tension préétablie Vth. Si le condensateur fixe Cc est sélectionné afin de corriger une variation réalisée du fait d'une caractéristique de température, une valeur présentant un coefficient de température inférieur à celui du condensateur Cc, par exemple une valeur présentant un coefficient de température de pratiquement "0" ou une valeur présentant un coefficient de température important conformément à la résolution de la détection est établie en tant que tension d'entrée Vref tandis qu'une valeur présentant un coefficient de température important conformément à la résolution de la détection, par exemple une valeur présentant un coefficient de température supérieur à celui du condensateur fixe Cc, est établie en tant que tension préétablie Vth. Si le condensateur fixe Cc est sélectionné afin de détecter une pression statique, la tension d'entrée externe en provenance de la borne d'entrée externe 316 est établie en tant que tension Vref tandis qu'une valeur présentant un coefficient de température inférieur à celui du condensateur fixe Cc ou une valeur présentant un coefficient de température qui annule un coefficient de température de la tension d'entrée externe, par exemple une valeur présentant un coefficient de température de pratiquement "0" ou une valeur annulant le coefficient de température de la tension d'entrée Vref est établie en tant que tension préétablie Vth. Les figures 8A, 8B, 8C représentent à titre d'exemple ces combinaisons. A l'aide de ces combinaisons, les dépendances vis-à-vis de la température peuvent êtres réduites jusqu'à pratiquement "0" pour une variation des capacités des condensateurs C1 et C2 pour détecter une pression tandis que la dépendance vis-à-vis de la température peut être augmentée pour une variation de la capacité du condensateur fixe Cc. Par conséquent, une correction de température hautement précise peut être réalisée pour une capacité parasite pour le bénéfice du cycle T1, T2 et Tref des signaux de sortie. Par ailleurs, une correction pour une pression statique ou une température peut être réalisée moyennant la tension d'entrée externe en provenance de la borne d'entrée externe 316. Cependant, il est à noter que les combinaisons des condensateurs respectifs, de la tension d'entrée Vref et de la tension préétablie Vth ne sont pas limitées à celles représentées sur les figures 8A à 8C selon ce mode de réalisation préféré. La figure 9 représente la configuration d'un capteur de pression capacitif selon un quatrième mode de réalisation préféré. Sur la figure 9, un circuit de conversion résistance-tension 317 permettant de convertir une variation de valeur de résistance selon une variation de valeur de tension est inséré entre le commutateur 315 et la borne d'entrée externe 316, qui sont inclus dans la configuration conformément au troisième mode de réalisation préféré de la figure 7. Ce circuit de conversion résistance-tension 317 est destiné à convertir la valeur de résistance du capteur qui est connecté à la borne d'entrée externe 316 selon une valeur de tension. En additionnant le circuit de conversion résistance- tension 317, il devient possible de connecter directement à la borne d'entrée externe 316 un capteur qui émet en sortie une valeur d'une variation dans un capteur capacitif à jauge inclinée, etc...en tant que variation de valeur de résistance. En outre, cette description se réfère aux configurations o la borne d'entrée externe 316 et le circuit de conversion résistance- tension 317 sont agencés dans l'unité de courant constant 31 en tant que troisième et quatrième modes de réalisation préférés. En plus de ces configurations, une configuration dans laquelle une borne d'entrée externe est agencée pour l'unité de comparateur 28 ou pour à la fois l'unité de courant constant 31 et l'unité de comparateur 28 pour entrer de façon externe une entrée et une tension préétablie peut être mise en oeuvre. Puis un cinquième mode de réalisation préféré sera décrit ci- après. Les coefficients "A" et "B" pour corriger une capacité parasite dans les équations (3) et (4) sont normalement déterminés au moyen d'une pluralité de températures arbitraires. Les coefficients "A" et "B" sont obtenus au moyen d'une approximation entre des points de correction arbitraires, ce qui génère des erreurs d'approximation. Les erreurs d'approximation peuvent être réduites lorsque la différence de température entre des points de correction diminue. Par conséquent, si des tentatives sont réalisées afin d'améliorer la précision de la mesure, le nombre de points de correction doit être augmenté, ce qui augmente le coût. Une mise en oeuvre en considération de ce point est un capteur de pression capacitif selon le cinquième mode de réalisation préféré. La figure 10 représente la configuration du capteur de pression capacitif selon le cinquième mode de réalisation préféré. La configuration représentée sur cette figure est basée sur la configuration selon le premier mode de réalisation préféré de la figure 4 et les mêmes éléments constitutifs que ceux représentés sur la figure 4 sont indiqués au moyen des mêmes index de référence. Bien que la configuration représentée sur la figure 10 soit mise en oeuvre sur la base du premier mode de réalisation préféré, le cinquième mode de réalisation préféré peut être configuré sur la base de la configuration selon le second, le troisième ou le quatrième mode de réalisation préféré bien entendu. Le capteur de pression capacitif représenté sur la figure 10 comprend deux condensateurs fixes Ccl et Cc2 dans une unité de commutation 30. Un circuit de sélection de commutateur 305 sélectionne séquentiellement une entité prise parmi les condensateurs C1 et C2 dans une unité de capteur de pression 1 et les condensateurs fixes Ccl et Cc2 et commute la connexion en activant/désactivant des commutateurs 301 à 304 conformément à l'instruction en provenance d'une unité de commande de fonctionnement 4. Dans ce capteur de pression capacitif, les cycles "tref 1" et "tref2" lorsque les condensateurs fixes Ccl et Cc2 sont sélectionnés et les résultats de comptage "Trefl" et "Tref2" obtenus par l'unité de comptage 3 qui correspondent aux équations proposées ci-avant (10) a (13) sont représentés au moyen des équations qui suivent (14) et (15) ainsi que (16) et (17): tref1 = tclref+ tr = 2. Ccl. R234 + tr (14) tref2 = tc2ref + tr = 2. Cc2. R234 + tr (15) Trefl = n. trefl. fclk (16) Tref2 = n. tref2. fclk (17) Additionnellement, les signaux qui sont proportionnels aux valeurs des capacités C1 et C2 et qui sont représentés par les équations (8) et (9) sont représentés par les équations qui suivent (18) et (19) de façon davantage précise si une erreur de mesure est considérée: t11 = tcl + terr =2. (cl + Cerr). R234 + tr (18) t12 = tcl + terr = 2. (c2 + Cerr). R234 + tr (19) o "terr" peut être représenté au moyen de l'équation qui suit (20): terr = ts + tr (20) o "ts" peut être représenté au moyen de l'équation qui suit (21): ts = 2. Cs. R234 (21) Selon le cinquième mode de réalisation préféré, les valeurs des mesures des signaux qui sont proportionnels aux condensateurs fixes Ccl et Cc2 sont utilisées pour corriger une erreur "Cerr". Si l'on considère l'erreur "Cerr" pour les signaux qui sont proportionnels aux condensateurs fixes Ccl et Cc2 et qui sont représentés au moyen deséquations (14) et (15), on obtient: trefl 1 = 2. (Ccl + Cerr). R234 (22) tref12 = 2. (Cc2 + Cerr). R234 (23) Puisque les valeurs des capacités des condensateurs fixes Ccl et Cc2 sont connues, Cc2 peut être représenté au moyen de l'équation qui suit (24): Cc2 = M. Ccl (24) Conformément aux équations (22) à (24), "Cerr" sera: Cerr = (M. trefl 1 - tref22)/2/R234/(M - 1) (25) En appliquant "Cerr" dans l'équation (25) aux équations (18) et (19), les signaux proportionnels aux valeurs deS capacités de Cl et C2 peuvent être obtenus de façon précise. Puis l'unité de commande de fonctionnement 4 réalise les opérations de sortie et de correction représentées par les équations (2) à (5) de telle sorte que la sortie qui est proportionnelle à un déplacement du diaphragme d'un capteur de pression capacitif et qui n'a pas d'influence parasite puisse être obtenue de façon davantage précise. Puis un sixième mode de réalisation préféré sera décrit. Moyennant le capteur de pression capacitif selon le cinquième mode de réalisation préféré, si le coefficient de température de la résistance R234 est diminué afin de réduire les dépendances vis-à-vis de la température des cycles de signal T1 et T2, la sensibilité vis-à-vis de la température des signaux Trefl et Tref2 qui sont proportionnels aux condensateurs fixes Ccl et Cc2 devient également faible d'une manière similaire au cas du premier mode de réalisation préféré. Une mise en oeuvre en considération de ce point est un capteur de pression capacitif selon le sixième mode de réalisation préféré. La figure 11 représente la configuration du capteur de pression capacitif selon le sixième mode de réalisation préféré. Sur cette figure, les mêmes éléments constitutifs que ceux selon les second et cinquième modes de réalisation préférés qui sont respectivement représentés sur les figures 5 et 10 sont repérés au moyen des mêmes index de référence. Sur la figure 11, I'unité de circuit de courant constant 27 qui comporte au moins deux circuits de génération de tension d'entrée ou plus 271-1 à 271-m et l'unité de comparateur 28 qui comporte au moins deux circuits de génération de tension préétablie ou plus 281-1 à 281-n possédant des tensions de sortie différentes, qui sont non représentés sur la figure 5, sont agencés en tant que remplacements du circuit de courant constant 23 et de l'unité de comparateur 25 sur la base de la configuration selon le cinquième mode de réalisation préféré qui est représenté sur la figure 10. L'unité de circuit de courant constant 27 modifie une valeur de tension Vref destinée à être appliquée sur un amplificateur opérationnel 272 en activant un commutateur 275 conformément à l'instruction en provenance d'une unité de commande de fonctionnement 4 et sélectionne l'une d'une pluralité de différentes valeurs de courant en tant que courant électrique IL qui circule au travers d'une résistance R274. Par ailleurs, l'unité de comparateur 28 sélectionne l'une d'une pluralité de valeurs de tension en tant que tension préétablie Vth pour un comparateur 282 conformément à l'instruction en provenance de l'unité de commande de fonctionnement 4 et établit la valeur optimum sélectionnée en tant que tension préétablie Vth. Moyennant cette configuration, le capteur de pression capacitif représenté sur la figure 11 peut sélectionner et établir la tension d'entrée Vref et la tension préétablie Vth qui conviennent pour un condensateur sélectionné. * Si les tensions qui sont respectivement émises en sortie depuis les circuits de génération de tension d'entrée 271-1 à 271-m et les circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n sont reconnues comme étant des fonctions de la température, les sélections des circuits de génération de tension d'entrée 271-1 à 271-m et des circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n signifient les sélections des coefficients de température de la tension d'entrée Vref et de la tension préétablie Vth. Les dépendances vis-à-vis de la température des tensions peuvent être aisément contrôlées/commandées à l'aide de la caractéristique de température d'une tension base-émetteur d'un transistor. La figure 12 représente une table qui représente la relation qui lie le coefficient de température de la tension d'entrée Vref dans l'unité de circuit de courant constant 27 et celui de la tension préétablie Vth dans l'unité de comparateur 28 pour un condensateur sélectionne. Comme représenté sur la figure 12, I'unité de commande de fonctionnement 4 sélectionne respectivement une entité prise parmi les circuits de génération de tension d'entrée 271-1 à 271-m et les circuits de génération de tension préétablie 281-1 à 281-n afin d'établir la tension d'entrée Vref et la tension préétablie Vth, lesquelles tensions annulent le coefficient de température du condensateur C1 ou C2, lorsque le condensateur C1 ou C2 est sélectionné, et demande en instruction au circuit de sélection de commutateur 214 les circuits sélectionnés. Lorsque les condensateurs Ccl et Cc2 sont sélectionnés, les coefficients de température sont établis à des valeurs importantes en fonction de la résolution de la détection. De cette façon, une tension présentant un coefficient de température qui annule le coefficient de température d'une capacité ou une tension présentant un coefficient de température de pratiquement "0" est sélectionnée et établie en tant que tension d'entrée Vref ou que tension préétablie Vth pour les condensateurs Cl1 et C2. Additionnellement, une tension présentant un coefficient de température important est sélectionnée et établie en tant que tension d'entrée Vref et que tension préétablie Vth, lesquelles tensions sont établies pour les condensateurs fixes Ccl et Cc2 pour détecter une température. Par conséquent, une tension présentant une dépendance vis-a-vis de la température de pratiquement "0" peut être sélectionnée pour une variation des capacités des condensateurs C1 et C2 ou une tension présentant une dépendance élevée vis-à-vis de la température peut être sélectionnée pour une variation de la capacité des condensateurs fixes Ccl et Cc2 de telle sorte qu'une correction de température hautement précise peut être réalisée pour une capacité parasite pour les cycles T1, T2, Trefl et Tref2 du signal de sortie en provenance de l'unité de détection 2. Par ailleurs, lorsqu'un signal de sortie est obtenu moyennant n'importe laquelle des combinaisons représentées sur la figure 12, une erreur de capacité "Cerr" devient un facteur d'erreur. Par conséquent, une correction précise peut être réalisée en appliquant l'équation (25) dans l'unité de commande de fonctionnement 4. Selon la présente invention, il devient possible de réaliser un capteur de pression capacitif qui peut corriger une capacité parasite et qui peut mesurer une pression selon une précision élevée. Additionnellement, le capteur de pression capacitif selon la présente invention peut corriger une capacité parasite en considération d'une capacité ou d'une variation de pression statique générée par une variation de température, d'o ainsi la réalisation d'une détection de pression précise sur une large plage de température et une large plage de pression statique selon une configuration simplifiée. En outre, selon la présente invention, la valeur de mesure d'une capacité n'est pas influencée par la résistance d'état passant d'un commutateur à transistor et un bruit thermique qui peut éventuellement se produire lorsqu'une résistance diffusée est utilisée est supprimé/atténué. En tant que résultat, une mesure de pression peut être réalisée selon une précision élevée. En outre, selon la présente invention, un condensateur fixe et un condensateur pour détecter une pression peuvent être agencés sous le même environnement et ainsi, une influence de capacité parasite peut être annulée en dépit d'une variation dans un environnement telle que la température etc...selon un degré élevé. En outre, selon la présente invention, une valeur de mesure peut être corrigée en considération d'un résultat de détection en provenance d'un capteur de pression statique etc... en utilisant une tension d'entrée externe. En outre, un circuit de conversion résistance-tension peut être inclus, d'o ainsi la connexion directe d'un capteur qui émet en sortie un résultat de détection d'un capteur de pression statique à jauge inclinée etc...en tant que variation de valeur de résistance. En outre, le capteur de pression capacitif selon la présente invention peut être mis en oeuvre moyennant une configuration simplifiée, ce qui permet la réalisation d'une mesure de pression selon une précision élevée à un coût faible.5 En outre, selon la présente invention, il devient possible de réaliser une correction hautement précise qui couvre également une erreur d'approximation si une pluralité de condensateurs fixes sont agencés. REVENDICATIONS 1. Capteur de pression capacitif dans lequel un ou plusieurs condensateurs de capacité variable (C1, C2) sont formés par une électrode et un diaphragme pour détecter soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de capacité des condensateurs de capacité variable, caractérisé en ce qu'il comprend: un moyen de courant constant (23) pour émettre en sortie un courant constant; un condensateur fixe (Cc) dont la capacité est fixe; un moyen de commutation (21) pour sélectionner au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et ledit condensateur fixe; un moyen de commutation de charge/décharge (26, 29) pour réaliser une commutation entre une décharge d'un condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation (21) et une charge réalisée par le courant constant; et un moyen de comparaison de tension (25) pour demander en instruction audit moyen de commutation la charge jusqu'à ce qu'un potentiel électrique du condensateur choisi par ledit moyen de commutation atteigne une tension préétablie et la décharge lorsque le potentiel électrique atteint la tension préétablie. 2. Capteur de pression capacitif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un moyen de commande de fonctionnement (4) pour demander en instruction audit moyen de commutation de sélectionner un condensateur et pour corriger une capacité parasite en utilisant un cycle d'une instruction délivrée depuis ledit moyen de comparaison de tension (25) sur ledit moyen de commutation de charge/décharge (26, 29) pour chaque condensateur sélectionné. 3. Capteur de pression capacitif selon la revendication 1, caractérisé en ce que: ledit moyen de courant constant (23) émet en sortie le courant constant dont la dimension est basée sur une tension d'entrée établie; et lorsque ledit moyen de commutation sélectionne l'un des condensateurs de capacité variable, la tension d'entrée et la tension préétablie qui présentent des coefficients de température annulant un coefficient de température d'un condensateur de capacité variable sélectionné sont appliquées sur ledit moyen de courant constant (23) et sur ledit moyen de comparaison de tension (25). 4. Capteur de pression capacitif selon la revendication 1, caractérisé en ce que: ledit moyen de courant constant (23) émet en sortie le courant constant dont la dimension est basée sur une tension d'entrée établie; et lorsque ledit moyen de commutation sélectionne l'un des condensateurs de capacité variable, la tension d'entrée et la tension préétablie qui présentent des coefficients de température inférieurs àa un coefficient de température dudit condensateur fixe sont appliquées sur ledit moyen de courant constant (27) et sur ledit moyen de comparaison de tension (25). 5. Capteur de pression capacitif selon la revendication 1, caractérisé en ce que: ledit moyen de courant constant (23) émet en sortie le courant constant dont la dimension est basée sur une tension d'entrée préétablie; et lorsque ledit moyen de commutation sélectionne ledit condensateur fixe, la tension d'entrée et la tension préétablie qui présentent des coefficients de température supérieurs à un coefficient de température dudit condensateur fixe sont appliquées sur ledit moyen de courant constant (27) et sur ledit moyen de comparaison de tension (25). 6. Capteur de pression capacitif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit condensateur fixe (Cc) est agencé sous un même environnement qu'un environnement des condensateurs de capacité variable (C1, C2). 7. Capteur de pression capacitif selon la revendication 1, caractérisé en ce que: une pluralité de condensateurs fixes (Ccl, Cc2) sont agencés; et ledit moyen de commutation (30) sélectionne au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et la pluralité de condensateurs fixes. 8. Capteur de pression capacitif selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un moyen de commande de fonctionnement (4) pour demander en instruction audit moyen de commutation de sélectionner un condensateur et pour corriger une capacité parasite en utilisant une pluralité de cycles d'une instruction délivrée depuis ledit moyen de comparaison de tension (25) sur ledit moyen de commutation lorsque ledit condensateur fixe est sélectionné. 9. Capteur de pression capacitif dans lequel au moins une paire de condensateurs de capacité variable (C1, C2) dont les capacités varient de façon relative conformément à un déplacement d'un diaphragme sont formés avec une électrode et le diaphragme pour détecter soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de capacité, caractérisé en ce qu'il comprend: un moyen de courant constant (23) pour émettre en sortie un courant constant; un condensateur fixe (Cc) dont la capacité est fixe; un moyen de commutation (21) pour sélectionner au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et ledit condensateur fixe; un moyen de commutation de charge/décharge (26, 29) pour réaliser une commutation entre une décharge d'un condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation et une charge réalisée par le courant constant; et un moyen de comparaison de tension (25) pour demander en instruction audit moyen de commutation la charge jusqu'à ce qu'un potentiel électrique du condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation atteigne une tension préétablie et la décharge lorsque le potentiel électrique atteint la tension préétablie. 10. Capteur de pression capacitif selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un moyen de commande de fonctionnement (4) pour demander en instruction audit moyen de commutation de sélectionner un condensateur et pour corriger une capacité parasite en utilisant un cycle d'une instruction délivrée depuis ledit moyen de comparaison de tension sur ledit moyen de commutation de charge/décharge pour chaque condensateur sélectionné. 11. Capteur de pression capacitif selon la revendication 9, caractérisé en ce que: une pluralité de condensateurs fixes (Ccl, Cc2) sont agencés; et ledit moyen de commutation (30) sélectionne au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et la pluralité de condensateurs fixes. 12. Capteur de pression capacitif dans lequel un ou plusieurs condensateurs de capacité variable (C1, C2) sont agencés avec une électrode et un diaphragme pour détecter soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de capacité des condensateurs de capacité variable, caractérisé en ce qu'il comprend: un moyen de courant constant (27) pour émettre en sortie un courant constant dont la dimension est constante sur la base d'une tension d'entrée établie; un ou plusieurs moyens de génération de tension d'entrée (271-1 à 271-m) pour émettre en sortie la tension d'entrée établie dans ledit moyen de courant constant; une borne d'entrée externe; un moyen de sélection de tension d'entrée (275) pour sélectionner une entité prise parmi des tensions d'entrée générées par ledit moyen de génération de tension d'entrée et une tension d'entrée externe sur la base d'une entrée en provenance de ladite borne d'entrée externe; un ou plusieurs condensateurs fixes (Cc) dont les capacités sont fixes; un moyen de commutation (21) pour sélectionner au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et lesdits condensateurs fixes; un moyen de commutation de charge/décharge (26, 29) pour réaliser une commutation entre une décharge d'un condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation et une charge réalisée par le courant constant; et un moyen de comparaison de tension (28) pour demander en instruction audit moyen de commutation la charge jusqu'à ce qu'un potentiel électrique du condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation atteigne une tension préétablie et la décharge lorsque le potentiel électrique atteint la tension préétablie. 13. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un moyen de commande de fonctionnement (4) pour demander en instruction audit moyen de commutation (21) de sélectionner un condensateur et pour corriger une capacité parasite en utilisant une pluralité de cycles d'une instruction délivrée depuis ledit moyen de comparaison de tension (28) sur ledit moyen de commutation de charge/décharge (26, 29) pour chaque condensateur sélectionné. 14. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce que: lorsque ledit moyen de commutation (21) sélectionne l'un des condensateurs de capacité variable (C1, C2), la tension d'entrée et la tension préétablie qui présentent des coefficients de température inférieurs à un coefficient de température dudit condensateur fixe sont appliquées sur ledit moyen de courant constant (27) et sur ledit moyen de comparaison de tension (28). 15. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce que: lorsque ledit moyen de commutation (21) sélectionne l'un des condensateurs de capacité variable (C1, C2), la tension d'entrée présentant un coefficient de température inférieur à un coefficient de température dudit condensateur fixe (Cc) et la tension préétablie présentant un coefficient de température qui annulg un coefficient de température d'un condensateur de capacité variable sélectionné sont appliquées sur ledit moyen de courant constant (27) et sur ledit moyen de comparaison de tension (28). 16. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce que: lorsque ledit moyen de commutation (21) sélectionne l'un des condensateurs de capacité variable (C1, C2), la tension d'entrée et la tension préétablie qui présentent des coefficients de température qui annulent un coefficient de température du condensateur de capacité variable sélectionné sont appliquées sur ledit moyen de courant constant (27) et sur ledit moyen de comparaison de tension (28). 17. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce que: lorsque ledit moyen de commutation (21) sélectionne ledit condensateur fixe (Cc), la tension d'entrée présentant un coefficient de température inférieur à un coefficient de température d'un condensateur fixe sélectionné et la tension préétablie présentant un coefficient de température supérieur au coefficient de température du condensateur fixe sélectionné sont appliquées sur ledit moyen de courant constant (27) et sur ledit moyen de comparaison de tension (28). 18. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce que: lorsque ledit moyen de commutation (21) sélectionne ledit condensateur fixe (Cc), la tension d'entrée externe est appliquée sur ledit moyen de courant constant (27) en tant que tension d'entrée et la tension préétablie présentant un coefficient de température inférieur à un coefficient de température d'un condensateur fixe sélectionné est appliquée sur ledit moyen de comparaison de tension (28). 19. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce que: lorsque ledit moyen de commutation (21) sélectionne ledit condensateur fixe, la tension d'entrée externe est appliquée sur ledit moyen de courant constant (27) en tant que tension d'entrée et la tension préétablie présentant un coefficient de température qui annule un coefficient de température de la tension d'entrée externe est appliquée sur ledit moyen de comparaison de tension (28). 20. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce que: lorsque ledit moyen de commutation (21) sélectionne ledit condensateur fixe, la tension d'entrée et la tension préétablie qui présentent des coefficients de température supérieurs à un coefficient de température d'un condensateur fixe (Cc) sélectionné sont appliquées sur ledit moyen de courant constant (27) et sur ledit moyen de comparaison de tension (28). 21. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce que: lesdits condensateurs fixes (Ccl, Cc2) sont agencés sous un même environnement qu'un environnement des condensateurs de capacité variable (C1, C2). 22. Capteur de pression capacitif selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un moyen de conversion résistance-tension (317) pour convertir une valeur d'une résistance connectée à ladite borne d'entrée externe selon une tension d'entrée externe, ledit moyen de sélection de tension d'entrée (315) sélectionne une tension prise parmi les tensions d'entrée générées par ledit moyen de génération de tension d'entrée (311-1 à 31 1-m) et la tension d'entrée externe convertie par le moyen de conversion résistance-tension et établit une tension sélectionnée dans ledit moyen de courant constant (31). 23. Capteur de pression capacitif dans lequel au moins une paire de condensateurs de capacité variable (CI, C2) dont les capacités varient de façon relative conformément au déplacement d'un diaphragme sont agencés avec une électrode et le diaphragme pour détecter soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de capacité, caractérisé en ce qu'il comprend: un moyen de courant constant (31) pour émettre en sortie un courant constant dont la dimension est constante sur la base d'une tension d'entrée établie; un ou plusieurs moyens de génération de tension d'entrée (311-1 à 311-m) pour émettre en sortie la tension d'entrée établie dans ledit moyen de courant constant; une borne d'entrée externe (316); un moyen de sélection de tension d'entrée (315) pour sélectionner une entité prise parmi des tensions d'entrée générées par ledit moyen de génération de tension d'entrée et une tension d'entrée externe sur la base d'une entrée en provenance de ladite borne d'entrée externe; un ou plusieurs condensateurs fixes (Ccl, Cc2) dont les capacités sont fixes; un moyen de commutation (21) pour sélectionner au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et lesdits condensateurs fixes; un moyen de commutation de charge/décharge (26, 29) pour réaliser une commutation entre une décharge d'un condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation et une charge réalisée par le courant constant; et un moyen de comparaison de tension (28) pour demander en instruction audit moyen de commutation la charge jusqu'à ce qu'un potentiel électrique du condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation atteigne une tension préétablie et la décharge lorsque le potentiel électrique atteint la tension préétablie. 24. Capteur de pression capacitif selon la revendication 23, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un moyen de conversion résistance-tension (317) pour convertir une valeur d'une résistance connectée à ladite borne d'entrée externe selon une tension d'entrée externe; ledit moyen de sélection de tension d'entrée (315) sélectionne une entité prise parmi les tensions d'entrée générées par ledit moyen de génération de tension d'entrée (311-1 à 311-m) et la tension d'entrée externe convertie par le moyen de conversion résistance-tension et établit une tension sélectionnée dans ledit moyen de courant constant (31). 25. Dispositif de détection de capacité pour émettre en sortie en tant que variation de cycle une variation de capacité d'un capteur de pression o un ou plusieurs condensateurs de capacité variable (C1, C2) sont formés avec une électrode et un diaphragme pour détecter soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de capacité, caractérisé en ce qu'il comprend: un moyen de courant constant (23) pour émettre en sortie un courant constant; un moyen de commutation (21) pour sélectionner au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et un ou plusieurs condensateurs fixes dont les capacités sont fixes; un moyen de commutation de charge/décharge (26, 29) pour réaliser une commutation entre une décharge d'un condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation et une charge réalisée par le courant constant; un moyen de comparaison de tension (25) pour demander en instruction audit moyen de commutation la charge jusqu'à ce qu'un potentiel électrique du condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation atteigne une tension préétablie et la décharge lorsque le potentiel électrique atteint la tension préétablie; et un moyen d'émission en sortie pour émettre en sortie en tant que signal de détection une instruction délivrée depuis ledit moyen de comparaison de tension (25) sur ledit moyen de commutation (21). 26. Dispositif de détection de capacité selon la revendication 25, caractérisé en ce que ledit moyen de courant constant (23), ledit moyen de commutation (21), ledit moyen de commutation de charge/décharge (26, 29), ledit moyen de comparaison de tension (25) et lesdits condensateurs fixes (Ccl, Cc2) sont configurés sur une même puce. 27. Dispositif de détection de capacité pour émettre en sortie en tant que variation de cycle une variation de capacité d'un capteur de pression, o un ou plusieurs condensateurs de capacité variable (Cl, C2) sont formés avec une électrode et un diaphragme pour détecter soit une pression, soit une pression différentielle en tant que variation de capacité, caractérisé en ce qu'il comprend: un moyen de courant constant (31) pour émettre en sortie un courant constant dont la dimension est constante sur la base d'une tension d'entrée établie; un ou plusieurs moyens de génération de tension d'entrée (311-1 à 311-m) pour émettre en sortie la tension d'entrée établie dans ledit moyen de courant constant; une borne d'entrée externe un moyen de sélection de tension d'entrée (315) pour sélectionner une entité prise parmi les tensions d'entrée générées par ledit moyen de génération de tension d'entrée et une tension d'entrée externe sur la base d'une entrée en provenance de ladite borne d'entrée externe; un moyen de commutation (21) pour sélectionner au moins une entité prise parmi les condensateurs de capacité variable et un ou plusieurs condensateurs fixes dont les capacités sont fixes; un moyen de commutation de charge/décharge (26, 29) pour réaliser une commutation entre une décharge d'un condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation et une charge réalisée par le courant constant; un moyen de comparaison de tension (28) pour demander en instruction audit moyen de commutation la charge jusqu'à ce qu'un potentiel électrique du condensateur sélectionné par ledit moyen de commutation atteigne une tension préétablie et la décharge lorsque le potentiel électrique atteint la tension préétablie; et un moyen de sortie pour émettre en sortie en tant que signal de détection une instruction délivrée depuis ledit moyen de comparaison de tension sur ledit moyen de commutation. 28. Dispositif de détection de capacité selon la revendication 27, caractérisé en ce que ledit moyen de courant constant (31), ledit moyen de génération de tension d'entrée (311-1 à 311-m), ledit moyen de sélection de tension d'entrée (315), ledit moyen de commutation (21), ledit moyen de commutation de charge/décharge (26, 29), ledit moyen de comparaison de tension (28) et lesdits condensateurs fixes (Cl, C2) sont configurés sur une même puce.