Brevet FR2789005A1 — publié le 20000804

La présente invention concerne d'une façon générale un tampon de polissage d'un dispositif de polissage chimique- mécanique et plus particulièrement un tampon de polissage avec une fonction d'auto-indication de la durée de service. Dans le processus de fabrication de semi-conducteurs, l'aplanissement est une technique importante pour la photo- lithographie à densité élevée pour obtenir un transfert de motif précis sans diffusion pendant l'exposition. Deux techniques d'aplanissement couramment utilisées comprennent la rotation sur verre et le polissage chimique-mécanique. Comme la technique de fabrication se rapporte à un ordre de grandeur inférieur au demi-micron, la technique de rotation sur verre ne peut pas satisfaire aux exigences de planéité. Habituellement, le polissage chimique-mécanique est la seule technique qui peut obtenir une planéité globale pour une intégration à très grande échelle ou même une intégration à échelle ultra-grande. Le tampon de polissage d'un dispositif de polissage chimique-mécanique est un élément qui se consomme. Dans le polissage chimique-mécanique classique, le tampon de polissage est changé après la mise en oeuvre de centaines de procédés de polissage. La durée de service du tampon de polissage est difficile à détecter car la condition de polissage et le matériau de polissage peuvent être différents pour chaque processus de polissage. Il n'existe pas de procédé ou de dispositif pour détecter si un tampon de polissage est usé ou non. Ainsi donc, la durée de polissage est souvent un paramètre pour déterminer la durée de service courante. Un autre paramètre pour déterminer la durée de service est le nombre de couches de polissage empilées. Il est évident que, pour déterminer la durée de service et le niveau de consommation du tampon de polissage, les deux paramètres ci- dessus ne sont pas suffisamment précis. Le fait d'être incapable de détecter avec précision la durée de service d'un tampon de polissage est désavantageux pour contrôler la qualité des produits ou des structures, notamment desTstructures qui sont encore à l'état de phase de recherche. En outre, pour les fabrications d'originaux d'appareillages de tranches, les paramètres ou les conditions de fabrication varient souvent. Ainsi donc, il est même plus difficile de détecter la durée de service d'un tampon de polissage. La présente invention fournit un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service. Tout en réalisant le polissage chimique-mécanique, le tampon de polissage indique le niveau de consommation et la durée de service de celui- ci. Ainsi, la qualité des produits devant être polis est bien améliorée. En outre, le coût de fabrication est réduit car on empêche le risque de polissage de tranches par un tampon usé. Pour obtenir les buts et avantages précités, on prévoit un tampon de polissage qui comprend un corps princi- pal et une structure indicatrice colorée insérée sous une surface supérieure du corps principal. La structure indica- trice colorée peut comprendre, en outre, des couches indi- catrices multicolorées. Ces couches indicatrices peuvent être sous la forme de disque, sous une forme annulaire ou sous la forme de bande. Alternativement, la structure indicatrice colorée peut comprendre plus d'une bande indicatrice colorée et chacune des bandes indicatrices colorées peut, en outre, comprendre plus d'une couche indicatrice colorée. Au cours du polissage chimique-mécanique, le tampon de polissage est usé avec la bouillie en tant que partie de consommation. Lorsque la consommation du tampon de polissage atteint une durée de service du tampon de polissage, c'est- à-dire lorsque le tampon de polissage est sensiblement usé, un nouveau tampon de polissage est mis en place et remplace le tampon de polissage usé. Par conséquent, la qualité de la tranche à polir n'est pas détériorée. Divers avantages et caractéristiques de la présente invention ressortiront de la description détaillée ci-après faite en liaison avec les dessins annexés sur lesquels: la Figure 1A illustre une vue de dessus d'un dispositif de polissage chimiquemécanique classique; la Figure lB illustre une vue de côté d'un dispositif de polissage chimique-mécanique; la Figure 2A illustre une vue de côté d'un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service dans un dispositif de polissage chimique-mécanique selon un premier mode de réalisation de l'invention; la Figure 2B est un dessin schématique illustrant une structure du tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service représenté sur la Figure 2A; la Figure 2C est une vue de dessus illustrant une autre structure du tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service; la Figure 3A illustre une vue de côté d'un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service dans un dispositif de polissage chimique-mécanique selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention; la Figure 3B est une vue en perspective du tampon de polissage auto- indicateur de la durée de service représenté sur la Figure 3A; la Figure 4 représente une vue de côté d'un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service dans un dispositif de polissage chimique- mécanique selon un troisième mode de réalisation de l'invention; la Figure 5 représente une vue de côté d'un tampon de polissage auto- indicateur de la durée de service dans un dispositif de polissage chimique-mécanique selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention; la Figure 6 représente une vue de côté d'un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service dans un dispositif de polissage chimique-mécanique selon un cinquième mode de réalisation de la présente invention; la Figure 7A et la Figure 7B sont des vues de dessus et de côté illustrant un dispositif de polissage chimique- mécanique; la Figure 8A représente une vue de côté d'un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service dans un dispositif de polissage chimique-mécanique selon un sixième mode de réalisation de la présente invention; la Figure 8B est une vue en perspective du tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service représenté sur la Figure 8A; la Figure 9A illustre une vue de côté d'un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service dans un dispositif de polissage chimique-mécanique selon un septième mode de réalisation de la présente invention; la Figure 9B est une vue en perspective du tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service représenté sur la Figure 9A, et les Figures 10A à 1OD sont des vues en coupe transversale illustrant le procédé de fabrication pour former une isolation à découpe peu profonde dans un mode de réalisation préféré selon l'invention. Comme représenté sur les Figures 1A et lB, un dispositif de polissage chimique-mécanique comprend une table de polissage 10, un support 11, un tampon de polissage 13 disposé sur la table de polissage 10, un tube 14 et une pompe 16. Une tranche 12 devant être polie est maintenue par le support 11 au-dessus du tampon de polissage 13. Au cours du polissage, une bouillie 15 est amenée sur le tampon de polissage 13 par le tube. La pompe 16 sert à pomper la bouillie 15 au tube 14. Pendant le processus de polissage, la table de polissage 10 et le support 11 tournent dans une certaine direction représentée par les flèches 17a et 17b, respectivement. Le support 11 maintient la tranche 12 avec sa surface devant être polie, c'est-à-dire sa surface avant 19, faisant face au tampon de polissage 13, tandis que l'autre surface appelée ici la surface arrière 18 se trouve sur l'autre côté. La bouillie 15 est alimentée en continu au tampon de polissage 13 par l'intermédiaire du tube 14 à partir de la pompe 16. Le mécanisme du polissage chimique- mécanique est d'utiliser la bouillie 15 comme un réactif chimique pour qu'elle réagisse avec la surface avant 19 de la tranche 12 si bien qu'une couche facilement polie est formée. Avec l'aide des particules abrasives contenues dans la bouillie 15, la partie élevée de la surface facilement polie est ainsi retirée par polissage. En répétant le mécanisme ci-dessus, la tranche est donc polie et est rendue plane comme requis. Le polissage chimique-mécanique adapte fondamentalement la technique du polissage mécanique avec l'aide de la réaction chimique entre le réactif chimique et les particules de polissage pour obtenir la planéité. Sur la Figure 2A, on a représenté une vue de côté d'un tampon de polissage. La Figure 2B illustre une vue de côté en perspective d'une partie 24 du tampon de polissage représenté sur la Figure 2A. Un tampon de polissage auto- indicateur de la durée de service 20 comprend un corps principal 21 et une couche indicatrice multicolorée 22. Le corps principal 21 est, de préférence, en forme de disque, bien que sa forme pratique dépende de l'application pratique. Le corps principal 21 présente une surface de dessus désignée par la référence numérique 23. Le matériau du corps principal 21 et de la couche multicolorée 22 est le même. La couche multicolorée 22 est stratifiée et insérée à l'intérieur du corps principal 21. La distance entre la surface de dessus 23 du corps principal 21 et la couche multicolorée 22 est L. La distance L est typiquement constante et définie comme le niveau de consommation du tampon de polissage. La distance L se situe entre environ 20 et 500 gm. La couche multicolorée 22 comprend, en outre, des couches colorées comme 22a, 22b, 22c, 22d représentées sur la Figure 2B. Ces couches colorées 22a, 22b, 22c, 22d sont de couleurs différentes et de profondeurs différentes. Les formes des couches colorées 22a, 22b, 22c, 22d ne sont pas limitées à une forme de disque. Une ou plusieurs des couches colorées 22a, 22b, 22c, 22d peut ou peuvent être sous une forme annulaire comme représenté sur la Figure 2C. Les couches multicolorées 22 peuvent également être remplacées par une seule couche colorée montée sous la surface de dessus 23 avec une profondeur d'environ 20 à 500 tm. Sur la Figure 3A, on a représenté une vue de côté d'un tampon de polissage selon un autre mode de réalisation. La Figure 3B illustre une vue de côté en perspective d'une partie 34 du tampon de polissage représenté sur la Figure 3A. Un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service 30 comprend un corps principal 31 et une couche indicatrice multicolorée 32. Le corps principal 31 est de préférence en forme de disque bien que sa forme pratique dépende de l'application pratique. Le corps principal 31 présente une surface de dessus désignée par la référence numérique 33. Alors que la couche multicolorée 32 est bien plus petite que le rayon du tampon de polissage 30, la couche multicolorée 32 est selon une forme de bande comme représenté sur la Figure. La couche multicolorée 32 peut comprendre plus qu'une bande. La couche multicolorée 32 est insérée dans le corps principal 31. Comme représenté sur la Figure, la couche multicolorée 32 est stratifiée et insérée dans le corps principal 31 sous la surface de dessus 33. La couche multicolorée 32 est formée par un matériau identique ou similaire au matériau du corps principal 31. La couche multicolorée 32 présente une épaisseur supérieure à une certaine valeur d'épaisseur. Cette certaine valeur d'épaisseur est typiquement plus petite que l'épaisseur du tampon de polissage 30, par exemple comprise entre environ et 500 tm. La certaine valeur d'épaisseur est une indication pour la durée de service du tampon de polissage. La couche multicolorée 32 peut, en outre, comprendre plus d'une couche colorée comme 32a, 32b, 32c, 32d, comme représenté sur la Figure 3B. La couleur de chaque couche colorée 32a, 32b, 32c, 32d est différente de celle des autres. En observant à partir du dessus, chacune des couches colorées 32a, 32b, 32c, 32d est insérée dans une position différente du corps principal 31. Les dispositions de plus d'une des couches colorées sont prévues pour détecter le niveau de consommation de la durée de service dans une zone différente du tampon de polissage 30. Par conséquent, la durée de service du tampon de polissage peut être indiquée plus précisément que si on détecte à partir d'un seul point. La Figure 4 représente une vue de côté d'un autre tampon de polissage dans un dispositif de polissage chimique-mécanique. Le tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service 40 comprend un corps principal 41 et une bande colorée indicatrice 42. De préférence, le corps principal 41 est en forme de disque bien que la forme réelle soit déterminée par les exigences spécifiques tandis que le polissage est mis en oeuvre. La bande colorée indicatrice 42 est noyée à l'intérieur du corps principal 41 sous une profondeur L à partir d'une surface de dessus 44 du corps principal 41. La profondeur L indique typiquement le niveau de consommation après son utilisation pour sa durée de service. La profondeur L est typiquement comprise dans la gamme d'environ 20 à 500 tm, cependant, il convient de remarquer que la profondeur réelle L peut être différente selon l'épaisseur du tampon de polissage 40. La bande colorée indicatrice 42 peut être formée par un matériau comme un agent d'oxydation/réduction ou un agent de test acide/alcalin qui réagira avec la bouillie pour indiquer la consommation du tampon. La bande colorée indicatrice 42 peut comprendre plus qu'une bande colorée (voir la Figure 6) disposée dans une certaine profondeur L sous la surface de dessus 44 dans une position différente. La Figure 5 représente un autre exemple d'un tampon de polissage dans un dispositif de polissage chimique- mécanique. Le tampon de polissage 50 comprend un corps principal 55 et une structure de bande indicatrice multicouche 51 ou 52 ou à la fois 51 et 52. De préférence, le corps principal 55 est en forme de disque avec une surface de dessus 54. La structure de bande indicatrice multicouche 51 comprend plusieurs bandes indicatrices 51a, lb, 51c ou plus que trois bandes comme exigences spécifiques sous la surface de dessus 54, tandis que la structure multicouche 52 comprend plusieurs bandes indicatrices, par exemple 52a, 52b et 52c. Ces bandes indicatrices 51a, 51b, 51c ou 52a, 52b, 52c affichent des couleurs différentes tout en réagissant avec la bouillie, de plus ces bandes indicatrices ont une profondeur différente sous la surface de dessus 54. Par exemple, la bande indicatrice 51a est disposée sous la surface de dessus 54 avec une profondeur L1, la bande indicatrice 51b se trouve sous la surface de dessus 54 avec une profondeur L2 et la bande indicatrice 51c se trouve sous la surface de dessus 54 avec une profondeur L3. La plus grande profondeur est inférieure à l'épaisseur, par exemple 20 Mm à 50 tm du corps principal 55. Les bandes indicatrices 51a à 51c ou 52a à 52c peuvent être formées par un matériau comme un agent d'oxydation/réduction ou un agent de test acide/alcalin. Sur la Figure 6, on a représenté encore un autre tampon de polissage d'un dispositif de polissage chimique- mécanique. Le tampon de polissage 60 comprend un corps principal 61 et des bandes indicatrices 62a et 62b. De préférence, le corps principal 61 est en forme de disque avec une surface de dessus 64. Les bandes indicatrices 62a et 62b sont noyées sous la surface de dessus 64 avec une profondeur D1 et D2, respectivement. Soit la profondeur D1, soit la profondeur D2 est constante. La profondeur constante est inférieure à l'épaisseur du corps principal 61, par exemple 20 tm à 500 tm. Les bandes indicatrices 62a et 62b affichent des couleurs différentes tout en réagissant avec la bouillie. Les bandes indicatrices 62a et 62b peuvent être formées par un matériau comme un agent d'oxydation/réduction ou un agent de test acide/alcalin. Le tampon de polissage 60 peut comprendre plus de deux bandes indicatrices pour déterminer plus précisément la durée de service. Les Figures 7A et 7B sont une vue de dessus et une vue de côté d'un dispositif de polissage chimique-mécanique. Le dispositif de polissage chimique-mécanique comprend un plateau de polissage 70, un support 71 pour maintenir une tranche devant être polie au-dessus du plateau de polissage , un tampon de polissage de type courroie 73 sur le plateau de polissage 70, un tube 74 pour transporter une bouillie 75 sur le tampon de polissage 73 et une pompe 76 pour pomper la bouillie au tube 74. Tout en réalisant le polissage chimique-mécanique, le plateau de polissage 70 et le support 71 sont amenés à tourner dans une certaine direction comme représenté par les flèches 77a et 77b, respectivement. Le support 71 pousse la tranche en contact avec le tampon de polissage 73. Le tube 74 amène la bouillie 75 pompée à partir de la pompe 76 sur le tampon de polissage 73. Une réaction chimique se produit ainsi entre le réactif chimique, c'est-à-dire la bouillie 75, et la tranche. Avec l'aide du polissage mécanique, une surface non uniforme sur la tranche est ainsi rendue plane. La Figure 8A illustre un plateau de polissage réalisé conformément à la présente invention. La Figure 8B souligne une partie du plateau de polissage représenté sur la Figure 8A. Le tampon de polissage autoindicateur de la durée de service 80 comprend un corps principal 81 et une structure indicatrice colorée multicouche 82. Le corps principal 81 est, de préférence, du type courroie. La structure indica- trice colorée 82 est teinte et insérée dans le corps principal 81. Le matériau de la structure indicatrice colorée 82 est le même ou analogue au matériau du tampon de polissage 80. La structure indicatrice colorée 82 est disposée à une profondeur L sous une surface de dessus du corps principal 81. La profondeur L est typiquement plus petite que l'épaisseur du tampon de polissage 80, par exemple entre 20 tm et 500 tm. La structure indicatrice colorée 82 peut comprendre plus d'une des couches indicatrices colorées, comme les couches indicatrices colorées 82a, 82b et 82c. Ces couches indicatrices colorées ont chacune une profondeur différente sous la surface de dessus du corps principal 81, comme représenté sur la Figure 8B. Sur la Figure 9A, on a représenté un plateau de polissage d'un dispositif de polissage chimique-mécanique utilisant le tampon de polissage représenté sur la Figure 8A. La Figure 9B est une vue en perspective d'une partie de la Figure 9A. Un tampon de polissage 90 est placé sur le plateau de polissage. Le tampon de polissage 90 comprend un corps principal 91 et au moins une bande indicatrice colorée 92. Le corps principal 91 présente une surface de dessus 93 et les bandes indicatrices colorées 92 sont stratifiées sous la surface de dessus 93 selon une profondeur L. La profondeur L est plus petite qu'une certaine valeur d'épaisseur, c'est- à-dire l'épaisseur du tampon de polissage , par exemple 20 tm à 500 tm. Les bandes indicatrices colorées 92 peuvent comprendre plus qu'une couche colorée, par exemple 92a, 92b, 92c et 92d, disposées dans des emplacements différents du tampon de polissage 90 afin d'obtenir une détection plus précise de la durée de service. En appliquant le tampon de polissage comprenant une structure autoindicatrice de la durée de service à un dispositif de polissage chimiquemécanique, un procédé de fabrication d'une isolation à découpe peu profonde est représenté sur les Figures 10A à 0lD. Sur la Figure 10A, une couche d'oxyde de tampon 302 avec une épaisseur d'environ A à 150 A est formée sur un substrat 300, de préférence une tranche de silicium. Une couche de masque 304, par exemple une couche de nitrure de silicium avec une épaisseur d'environ 1 000 A à 3 000 A est formée pour recouvrir la couche d'oxyde de tampon 302. Par gravure au travers de la couche de masque 304, la couche d'oxyde de tampon 302 et le substrat 300, une découpe 306 est formée avec une profondeur entre 0,2 tm et 0,8 pm, de préférence de 0,5 tm. Sur la Figure 10B, le long des parois latérales de la découpe gravée 306, une couche d'oxyde de garniture 308 est formée avec une épaisseur comprise dans la gamme d'environ A à 500 A. Une couche isolante 310 est formée pour recouvrir la couche de masque 304 et remplir la découpe 306. De préférence, la couche isolante 310 est formée avec une épaisseur d'environ 6 000 A à 15 000 t. De façon typique, une densification suit usuellement pour obtenir une amélioration de la qualité structurelle. Sur la Figure 10C, en utilisant la couche de masque 304 comme une couche d'arrêt, la couche isolante 310 représentée sur la Figure 0lB est polie pour former une fiche d'isolation 310a par un procédé de polissage chimique- mécanique. Sur la Figure 10D, la couche de masque 304 est retirée si bien que l'isolation à découpe peu profonde est formée. En utilisant une machine de polissage chimique- mécanique classique, le niveau de consommation d'un tampon de polissage de la machine de polissage chimique-mécanique ne peut pas être détecté avec précision. Dans le cas classique o le processus de polissage est continué tandis que le tampon de polissage est usé, la surface devant être polie, c'est-à-dire l'isolation 310 est altérée. Dans l'invention, une structure indicatrice colorée est insérée dans le tampon de polissage. Alors que le tampon de polissage atteint sa durée de service, la structure indicatrice colorée est polie et la bouillie vire à une autre couleur, si bien que l'utilisateur est informé par l'indication de couleur si oui ou non le tampon de polissage est usé ou n'est pas usé. Comme conséquence, le bouchon d'isolation résultant 310a présente une bonne fiabilité. Le rendement du produit est amélioré en conséquence. L'invention n'est pas limitée aux modes de réalisation représentés et décrits en détails et diverses modifications peuvent y être apportées sans sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1. - Tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service (20, 30, 40, 50, 60, 80, 90), caractérisé en ce qu'il comprend un corps principal (21, 31, 41, 61, 81, 91) ayant une surface de dessus (23, 33, 44, 54, 64, 93) et une structure indicatrice colorée (22, 32, 42, 52, 62, 82, 92) insérée dans le corps principal (21, 31, 41, 61, 81, 91) sous la surface de dessus (23, 33, 44, 54, 64, 93). 2. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que le corps principal (21, 31, 41, 61, 81, 91) est en forme de disque. 3. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que le corps principal (81) est en forme de courroie. 4. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée (22, 32, 42, 52, 62, 82, 92) est constituée d'un agent d'oxy- dation/réduction. 5. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée (22, 32, 42, 52, 62, 82, 92) est constituée d'un agent acide/alcalin. 6. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée (22, 32, 42, 52, 62, 82, 92) est constituée d'un même matériau que le tampon. 7. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée (22, 32, 42, 52, 62, 82, 92) comprend, en outre, des couches empilées multicolorées disposées sous la surface de dessus du corps principal avec des profondeurs différentes de 20 tm à 500 "m. 8. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée (22, 32, 42, 52, 62, 82, 92) est sous la forme d'une bande. 9. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée (22, 32, 42, 52, 62, 82, 92) comprend, en outre, une pluralité de bandes indicatrices colorées situées à différents emplacements sous la surface de dessus. 10. - Tampon de polissage selon la revendication 8, caractérisé en ce que les bandes indicatrices colorées comportent chacune des couches multicolores. 11. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée est en forme de disque. 12. - Tampon de polissage selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée est de forme annulaire. 13. - Dispositif de polissage chimique-mécanique comprenant: une table de polissage (70); un tampon de polissage (73) comprenant une structure indicatrice colorée de durée de service stratifiée; un support (71) disposé au-dessus de la table de polissage (70) pour maintenir une tranche devant être polie; et un dispositif d'alimentation de bouillie (74) pour amener une bouillie sur le tampon de polissage (73) pour le polissage de la tranche. 14. - Dispositif de polissage chimique-mécanique selon la revendication 13, caractérisé en ce que le tampon de polissage comprend, en outre, un corps principal, et la structure indicatrice colorée de durée de service est noyée dans le corps principal d'environ 20 Nm à 500 tm. 15. - Dispositif de polissage selon la revendication 14, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée comprend, en outre, des couches empilées multicolorées disposées sous une surface de dessus du corps principal avec différentes profondeurs. 16. - Dispositif de polissage selon la revendication 14, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée est sous une forme de bande. 17. - Dispositif de polissage selon la revendication 14, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée comprend, en outre, une pluralité de bandes indicatrices colorées situées en différents emplacements sous la surface de dessus. 18. - Dispositif de polissage selon la revendication 17, caractérisé en ce que les bandes indicatrices colorées comportent chacune des couches multicolorées. 19. - Dispositif de polissage selon la revendication 13, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée est en forme de disque. 20. - Dispositif de polissage selon la revendication 13, caractérisé en ce que la structure indicatrice colorée est de forme annulaire. 21. - Dispositif de polissage chimique-mécanique comprenant: un plateau de polissage; un tampon de polissage (80, 90) comprenant une structure indicatrice colorée (82, 92) de la durée de service stratifiée; un support disposé au-dessus de la table de polissage pour maintenir une tranche devant être polie; et un dispositif d'alimentation de bouillie pour amener une bouillie au tampon de polissage pour polir la tranche. 22. - Procédé de formation d'une isolation à découpe peu profonde dans un substrat comprenant: la formation d'une couche de masque sur le substrat; la gravure au travers de la couche de masque et du substrat pour former une découpe; la formation d'une couche d'isolation sur la couche de masque pour remplir la découpe avec la couche d'isolation; le polissage de la couche d'isolation avec un dispositif de polissage chimique-mécanique avec un tampon de polissage auto-indicateur de la durée de service; le remplacement du tampon de polissage alors que le tampon de polissage vire dans une couleur différente avant l'exposition de la couche de masque dure; et le polissage continu de la couche d'isolation jusqu'à ce que la couche de masque dure soit exposée.