Brevet FR2788349A1 — publié le 20000713

i PROCEDE DE REALISATION D'UNE CELLULE A CRISTAL LIQUIDE, CELLULE A CRISTAL LIQUIDE ET CARTE A PUCE INTEGRANT UNE TELLE CELLULE L'invention est applicable à la réalisation de cellules à cristal liquide à lames minces et son application à la visualisation, le traitement de faisceaux lasers, la photolithographie UV et l'affichage d'information sur cartes à puces. Les matrices à cristal liquide (LCD) sont généralement constituées de deux lames de verre dont l'épaisseur est de l'ordre de 1 mm et séparées de quelques micromètres à l'aide de cales d'épaisseur permettant de limiter l'espace occupé par le cristal liquide. Certaines de ces matrices de type " Actif " sont de plus en plus utilisées pour leurs bonnes performances électrooptiques. Dans ces matrices, un transistor MOS est placé à chaque intersection entre lignes et colonnes, ces dernières étant métallisées. Il en résulte que le rapport entre la surface utile pour la modulation électrooptique et la surface totale de chaque pixel est considérablement réduit, environ 25 % ou moins pour des pas de 50 pm par exemple. Dans le schéma des figures 1 et 2, on a donc les valeurs typiques suivantes: p = 50 pm, a = 25 pm et d = 1 mm. Dans des domaines comme la visualisation o l'efficacité lumineuse est déterminante pour le système, la mise en oeuvre d'une microlentille devant chaque pixel permet a priori un gain important en transmission. Nous calculons ci-après les limitations physiques dues respectivement à la diffraction et à la géométrie. Pour une source monochromatique à la longueur d'onde X, l'élargissement dû à la diffraction au niveau du plan focal est k.d/n.p. Pour transmettre le lobe de diffraction principal, il faut donc respecter la condition X.d/n.p d l0 assemblage et découpe. De plus, cette solution n'optimise pas parfaitement la transmission du flux de la source dont l'étendue géométrique augmente lorsque celle-ci accumule un grand nombre d'heures de fonctionnement. Pour d'autres applications o il est souhaitable d'avoir une très grande concentration de la lumière, pour effectuer de la sur-résolution par exemple, le seul moyen consiste à masquer davantage le plan d'électrode au prix d'une perte importante de flux. Par exemple, avec une source de 10 mm2sr avec une épaisseur d = 500 pm, le diamètre minimum de la tache focale est de 15 pm soit le tiers du pas environ. A notre connaissance, il n'existe pas à ce jour de composants électrooptiques mettant en oeuvre des empilements de plusieurs couches de cristal liquide bien que cette perspective soit très intéressante. La raison est sans doute liée à la complexité technologique couramment admise pour ce genre de composants. Par ailleurs, la réalisation d'un écran à cristal liquide comportant un empilement de plusieurs cellules (pour la visualisation en couleurs par exemple) est difficile à réaliser en raison des épaisseurs importantes des lames de verre des cellules. L'invention permet de résoudre ces différents problèmes. L'invention concerne donc un procédé de réalisation d'un écran à cristal liquide comprenant des étapes de réalisation d'une cellule comportant deux plaques enserrant un cristal liquide, les faces des plaques en contact avec le cristal liquide étant munies d'électrodes, caractérisé en ce qu'il comporte ensuite une étape d'amincissement d'une au moins desdites plaques. L'invention concerne également une cellule à cristal liquide comportant deux lames enserrant un cristal liquide, les faces des lames en contact avec le cristal liquide portant des électrodes, caractérisée en ce que l'épaisseur de l'une au moins des deux lames est de l'ordre ou inférieure à 300 pm. La rigidité mécanique des écrans LCD de l'état de l'art empêche de les intégrer sur une carte à puce. L'invention concerne donc également une carte à puce comprenant un circuit électronique, caractérisé en ce qu'il comporte une cellule collée à une des faces de la carte ou moulée dans la carte, des l0 connexions électriques connectant la cellule aux circuits électroniques. Les différents objets et caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement dans la description qui va suivre faite à titre d'exemple et dans les figures annexées qui représentent: - les figures 1 et 2, des écrans à cristaux liquides tels que ceux connus dans la technique; - la figure 3, un exemple du procédé de réalisation de l'invention; - les figures 4a, 4b et 5, des variantes du procédé de l'invention; - les figures 6a et 6b, une cellule à cristal liquide selon I'invention munie sur une face d'une matrice de micro- lentilles; - les figures 7a et 7b, un empilement de plusieurs cellules à cristal liquide selon l'invention; - la figure 8, un système trichrome utilisant trois cellules à cristal liquide; - la figure 9, une illustration du champ angulaire d'une matrice à cristal liquide; - les figures 10 et 11, des systèmes utilisant des lames possédant des structures guides d'ondes; - la figure 12, un système d'écran utilisant un dispositif à commande tactile; - la figure 13, I'application de l'invention à un modulateur de phase et d'amplitude; les figures 14a et 14b, des variantes de réalisation de l'invention; - les figures 15a et 15b, une matrice à cristal liquide utilisable dans des technologies de fabrication en micro-électronique; - les figures 16a et 16b, l'application de l'invention à une carte de type carte à puce. En se reportant à la figure 3, on va décrire un exemple du procédé de réalisation de l'invention. Ayant réalisé selon une technique connue, une cellule à cristal liquide telle que représentée en figure 3 et comportant deux lames 1 et 3, dont l'une au moins est transparente, qui enserrent un cristal liquide 2. Les lo deux lames sont scellées entre elles et la cellule forme donc un ensemble rigide. Selon l'invention, l'une au moins des lames 1 par exemple est ensuite rectifiée à la meule, puis polie de façon à amincir l'épaisseur de la lame. Selon la figure 3, la lame 3 de la cellule à cristal liquide est fixée, par collage par exemple, à une pièce support 4 permettant la manipulation de la cellule. L'ensemble est appliqué par la face extérieure de la lame 1 de la cellule à une surface 15 d'une pièce d'usinage 5. Cette surface 15 comporte un abrasif. La surface 15 est alors animée d'un mouvement de déplacement (de rotation par exemple) par rapport à la cellule tandis qu'une pression est exercée sur la pièce 4 de façon à appliquer la cellule contre la surface 15. La lame 1 est ainsi amincie jusqu'à atteindre la ligne en pointillés 11. Ensuite la pièce support 4 peut être enlevée. Par exemple, si la pièce support 4 avait été fixée à la lame 3 par thermo-collage; la pièce support 4 peut être enlevée par chauffage de l'ensemble ou par attaque chimique de la colle. La figure 4a représente une variante du procédé selon laquelle une pièce d'usure 7 est fixée à la lame 3. L'ensemble est placé entre deux surfaces d'usinage 15 et 18 de deux pièces d'usinage 5 et 8. Une pression est exercée sur la pièce 8 de façon à serrer la cellule entre les deux surfaces 15 et 18. Les deux pièces d'usinage sont animées d'un mouvement relatif parallèle l'une par rapport à l'autre de façon que les surfaces d'usinage 15 et 18 provoquent l'amincissement de la lame 1 et de la pièce d'usure 7. La lame 1 est amincie jusqu'à atteindre la ligne pointillée 11 et la pièce d'usure 7 est amincie jusqu'à atteindre la ligne pointillée 17. Selon la figure 4b, la cellule à cristal liquide est placée directement entre les surface d'usinage 15 et 18 des pièces 5 et 8 sans utilisation de pièce d'usure 7. Dans ces conditions, lors de l'usinage les deux lames 1 et 3 sont amincies jusqu'à atteindre les lignes pointillées 11 et 13. Des réalisations pratiques ont montré qu'une épaisseur très inférieure à 300 pm, par exemple 200 pm, a été obtenue sur une lame d'un écran de 2,2 pouces de diagonale 1024x1024 pixels sans détérioration puisqu'un fonctionnement électrooptique normal a été constaté après reconnexion électrique et test de l'écran. Un amincissement à 60 pm + 3 pm a également été obtenu par ce procédé. Cette épaisseur n'est peut être pas encore la limite ultime. Il faut considérer d'une part que les cales d'épaisseur sont très rapprochées, au pas des pixels par exemple. D'autre part, on constate que l'opération d'amincissement se faisant en présence du cristal liquide, celui-ci contribue à la tenue mécanique des lames de verre. En utilisant le procédé de la figure 4a, on a obtenu sur des matrices 1, 4" à circuit de commande intégré des épaisseur de 150 pm à + pm. Un tel procédé est bien adapté pour la production de grandes séries, plusieurs matrices pouvant être traitées simultanément. L'amincissement d'autres matériaux que le verre comme contre-électrode ou matrice active peut être envisagé: Silice, Germanium, Silicium, BSO, plastique... afin de réaliser des modulateurs électrooptiques dans les bandes optiques autres que le visible: Ultraviolet (UV), Infrarouge (IR) Bandes 1, 2 ou 3 ou avec des propriétés mécaniques différentes (plastique). Dans ce qui précède, l'usinage de la ou des lames peut être complété par un polissage à l'aide d'une surface couverte d'un tissu d'alumine. La figure 5 représente une autre méthode pour amincir les deux plaques d'une cellule LCD. Pour cela, on amincit une première plaque 1, celle par exemple portant la contre-électrode de la cellule. Cet amincissement se fait par exemple comme cela est représenté en figure 3. Ensuite, on colle une cale 9 à la plaque 1 qui vient d'être amincie. Puis on place l'ensemble entre les pièces d'usinage 5 et 8 de façon à amincir la deuxième plaque 3 de la cellule LCD. Enfin, on enlève la cale 9. Une fois la matrice LCD amincie sur l'une ou ses deux faces, l'invention prévoit de réaliser une matrice de microlentilles alignée puis collée. Une technique plus élaborée consiste à répliquer directement le microrelief sur la lame amincie de la cellule à l'aide d'un polymère photo ou thermo réticulable. Matrice de microlentilles et cellule LCD sont alors parfaitement intégrées facilitant ainsi leur mise en oeuvre dans des empilements multicouches très compacts notamment. Les deux méthodes d'assemblage sont envisageables: Report d'une matrice de microlentilles 20 existante au contact de la matrice LCD du côté de la lame de contre-électrode 3 amincie, ajustement spatial et collage (figure 6a). Moulage des microlentilles 20 sur une couche de polymère photoréticulable déposée sur la face externe de la lame de contre-électrode 3 (figure 6b). Dans les deux cas, il est nécessaire d'aligner précisément les deux matrices, à une fraction de pixel de la cellule LCD près. Pour cela, une machine de positionnement analogue à celle employée pour superposer des masques sur une plaque de silicium lors de l'élaboration d'un circuit intégré peut être utilisée. Dans le cas de la réalisation de la figure 6a, une source d'éclairage collimatée permet de visualiser les foyers des différentes microlentilles qu'il faut ajuster au centre des pixels de la cellule LCD. Une fois ce positionnement obtenu, une pression est appliquée pour immobiliser les deux pièces ensemble pendant le collage stimulé thermiquement ou par ultraviolet. Dans le cas du moulage (figure 6b), le rayon de courbure R de la microlentille pour une distance focale f dans le milieu d'indice n est R = (n-1)*f/n soit environ R = f/3 avec du verre (n=1,5). Pour une pupille 4) de microlentille, I'épaisseur à graver est alors e = VI/8R soit e = 3 pm pour 4) = 40 pm et une focale f de 200 pm. La possibilité d'amincir la contre-électrode et/ou la matrice d'une matrice LCD permet aussi d'envisager des assemblages multicouches à cristal liquide offrant de nombreux avantages par rapport à l'état de l'art. Nous exposons ci-après les principes de tels assemblages de plusieurs cellules LCD. Le procédé suivant décrit comment réaliser un tel assemblage de deux cellules LCD pour obtenir un composant tel que représenté en figure 7a. Les plaques (3, 3') des deux cellules portant les contre-électrodes sont tout d'abord amincies. Ensuite, on réalise les connexions électriques des matrices actives situées sur les plaques 1,1'. On accole ensuite les deux plaques 3, 3' et on les positionne de façon à faire coïncider les pixels des deux cellules. Ensuite, on réalise l'assemblage par collage des deux plaques 3 et 3'. La figure 7b représente l'assemblage de trois cellules LCD1, LCD2, LCD3. Un tel assemblage se fera par exemple en suivant le procédé suivant Amincissement de la plaque 3 de la contre-électrode de la cellule LCD1. À Connexion électrique de la matrice active de cette cellule LCD1. * Amincissement de la plaque 3' de la contre-électrode de la cellule LCD2. À Amincissement de la plaque 1' de la matrice active de la cellule LCD2. * Positionnement et collage de la cellule LCD2 contre la cellule LCD1 avec la plaque 1' de la matrice active LCD2 collée à la plaque 3 de LCD1. 25. Connexion électrique de la matrice active de la cellule LCD2. À Amincissement de la plaque 3" de la contre-électrode de la cellule LCD3. Positionnement et collage de la cellule LCD3 contre la cellule LCD2. * Connexion électrique de la cellule LCD3. L'encapsulation de composants réfractifs (microlentilles) ou polarisants peut être faite entre les cellules LCD pour constituer des fonctions plus élaborées. Des matrices LCD à plaque de contre-électrode mince avec microlentilles telles que celles décrites sur les figures 6a, 6b sont utilisables dans un projecteur à trois plans RVB (figure 8). Le report ou le moulage des microlentilles à proximité des pixels (environ 100 pm) permet de centrer le faisceau collimaté issu de la source de la lumière avec un grand champ angulaire de l'ordre de 10 de part et d'autre de l'axe. Un gain en efficacité lumineuse de l'ordre de 1,5 peut ainsi être obtenu avec les sources et cellules LCD généralement utilisées (Es entre 100 et 100 mm2sr). Le champ angulaire des matrices LCD: 8a = + na/2h (figure 9). Une telle configuration a pour effet d'augmenter l'ouverture requise au niveau de l'objectif de la même quantité 8c d'o un surcoût pour ce composant qui représente une grande partie du coût de l'ensemble d'un projecteur. Aussi, pour augmenter encore le gain en efficacité lumineuse ou réduire le coût, I'invention prévoit d'utiliser une matrice de microguides 40 et 41 sur chaque face de la matrice de manière à canaliser le flux lumineux dans la zone utile du pixel comme cela est décrit dans la figure 10. L'ouverture d'un microguide délimité par les indices n1 et n2 est ao = + n2 arcos (nl/n2) soit 35 pour n. = 1,52 (polyacrylate) et n2 = 1,63 (polysulfone) par exemple. Pour faciliter la réalisation des systèmes de visualisation en projection ou en vision directe, la technique d'amincissement peut aussi être mise à profit pour empiler 3 cellules LCD. Il est alors nécessaire de prévoir un système d'imagerie pixel à pixel (au moins dans le cas de la projection) à microguides et d'insérer entre chaque matrice des polariseurs soustractifs (Magenta " M ", Cyan " C " et Jaune " J "). La figure 11 montre comment ces différents éléments pourraient être disposés. Les cellules LCD1, LCD2, LCD3 sont en mode " Twisté " ou " Parallèle X/2 " pour contrôler la rotation du plan de polarisation par rapport aux trois polariseurs soustractifs M, C et J avec la tension appliquée sur chaque pixel. Après la traversée de l'empilement, une image en couleurs est obtenue. Une variante de cette structure consiste à utiliser des cellules LCD successives pour augmenter les niveaux de gris au besoin. Le procédé de réalisation d'un tel ensemble peut être le suivant: Amincissement des plaques de contre-électrodes des cellules LCD1, LCD2, LCD3. À Positionnement et collage des matrices de microguides sur les faces amincies. À Amincissement des plaques des matrices actives des cellules LCD1 à LCD3. * Collage des polariseurs d'entrée (P), Magenta (M), Cyan (C) et Jaune (J) chacun à une cellule. À Positionnement et collage des trois éléments pour former le bloc RVB tel que représenté en figure 11. L'épaisseur d'un ensemble peut faire moins de 3 mm. l o L'invention est applicable dans les systèmes de visualisation directe dotés de fonctions tactiles de type " Clavier " ou tablette à digitaliser. Dans ces systèmes, I'épaisseur généralement importante du verre introduit un défaut de parallaxe. L'amincissement, à une épaisseur h, de la plaque de contre-électrode 3 permet de supprimer ce défaut comme le montre la figure 12. Le défaut de parallaxe 6 dépend de l'angle d'incidence i du " stylo " et s'exprime par la relation suivante: 6 = h tgr avec sini = nsinr. Par exemple, pour une incidence i = 45 dans du verre (n = 1,5) on peut avoir les valeurs suivantes: hpm I 1 200 5001 00 1 100 6 m 53 107 265 583 L'invention est également applicable à la réalisation d'un modulateur de phase et d'amplitude par l'association de deux cellules LCD1 et LCD2. Elle est utilisable dans un corrélateur optique par exemple. Une configuration bi-couche telle que celle détaillée sur la figure 7a est parfaitement adaptée à cette fonction. La figure 13 indique les orientations du polariseur et de cristal liquide des cellules. La génération d'une image cohérente se fait à partir d'une onde plane incidente sur le modulateur spatial. L'épaisseur h des plaques de contre-électrodes peut ainsi être estimée en évaluant la diffraction d'un pixel sur la distance 2h. Soit " hmax " l'épaisseur maximale, " a " le côté de la zone utile du pixel, la condition sur l'épaisseur pour que le lobe principal de diffraction soit contenu dans le pixel suivant est: hmax,=na2/4X soit hma,=400 pm pour a=30pm et;=0,85 pm, ou hmax=100 pm pour a = 15 pm au même x Pour un meilleur couplage entre les deux cellules LCD, une matrice de microlentilles peut être placée à l'interface pour assurer l'imagerie de pixel à pixel. Ces microlentilles doivent alors être constituées d'un milieu d'indice n2 supérieur à l'indice n du verre et avoir une focale f telle que h = 2f pour faire l'image d'un pixel du LCD1 sur le LCD2. o10 Le cristal liquide de la cellule LCD1 servant de modulateur de phase, est aligné parallèlement à la direction de polarisation du polariseur P. Pour la cellule LCD2 servant de modulateur d'amplitude, le cristal liquide est parallèle (nématique twisté) ou à 45 (biréfringence électriquement contrôlée) de la direction de polarisation du polariseur P. Il s'agit principalement de l'apodisation en phase ou en amplitude des faisceaux, de leur déflexion 1 D ou 2D et de la correction de front d'onde bidimensionnelle. Pour l'apodisation, la configuration décrite par la figure 13 peut convenir telle quelle mais peut aussi être complétée avec une troisième cellule LCD modulant l'amplitude pour augmenter le nombre de niveaux de gris à 10 ou 12 bits par exemple sachant qu'une matrice LCD est limitée à 8 bits. Pour la fonction de déflexion, une structure de phase blasée, rampe 0-2it à N niveaux permet une efficacité lIlo=sin2(n/N)/(7c/N)2. Pour obtenir N niveaux, il faut seulement M couches de cristal liquide si les niveaux de phase de chaque couche sont en progression géométrique de raison 2, la relation entre N et M est N=2M. Le tableau ci-dessous indique comment évolue l'efficacité en fonction du nombre de couches: M 2 3 4 5 N 4 8 16 25 1/10o 81% 95% 98.7 % 99.5 % Ainsi, les variations de phase pour un empilement à 3 couches par exemple sont respectivement: 7, t/2 et n/4. Avec une longueur d'onde de fonctionnement à x = 1.06 pm et un cristal liquide de An = 0.1, il faut en pratique des épaisseurs respectivement de 5 pm, 3 pm et 2 pm. L'espacement entre les différentes couches de cristal liquide est comme précédemment régi par la loi de diffraction: hma,,=na2/4; soit par exemple hm,,ax=320 pm pour a = 30 pm et X = 1.06 pm. Une épaisseur de 150 pm est donc très bien adaptée. L'angle de déflexion d'un tel composant est cc = k X / A pour un faisceau laser à la longueur d'onde X et une période 0-2 kt sur la longueur A. Avec k = 2 (ordre 2), X = 1.06 pm, une période A de trois pixels au pas de lo 40 pm soit 120 pm, I'angle ax vaut 1 . Le nombre de points dépend du nombre de pixels adressés, soit une déviation bidirectionnelle 1000x1000 avec une matrice active typique. Le temps de réponse avec une structure nématique se situe autour de 1 Oms (imposé par la couche la plus épaisse, 5 pm par exemple). Les figures 14a et 14b représentent de tels dispositifs dérivés des modes de réalisation décrits précédemment. Les variantes de cette structure sont les suivantes Utilisation de cristaux liquides ferroélectriques pour réduire le temps de réponse à moins de 100 ps mais il faut dans ce cas recourir à un adressage par peigne d'électrodes. Les deux axes de déviation peuvent être obtenus mais en multipliant le nombre de couches par 2. * Structure initiale doublée pour traiter les faisceaux non polarisés. * La structure de la figure 14a est plus simple à réaliser car elle n'utilise pas de matrices de microguides mais son procédé d'assemblage est plus complexe. L'efficacité est limitée par le taux d'ouverture de la matrice active. Cette structure est mieux adaptée à la commande par peigne d'électrodes transparentes. * Une commande par champ électrique transverse peut être employée avantageusement dans les bandes UV ou IR o il est difficile de réaliser des électrodes suffisamment transparentes. La structure de la figure 14b est préférable dans ce cas pour ne pas trop pénaliser l'ouverture par les électrodes métalliques. La bande UV entre 300 et 365 nm est encore très utilisée dans le domaine de la micro-électronique et de la photolithographie en général. Les définitions visées avec cette gamme spectrale sont de l'ordre de 0.5 pm. La possibilité d'amincir la lame de contre-électrode d'une matrice LCD ouvre des possibilités très intéressantes pour placer les microlentilles très près des pixels (voir figures 15a et 15b). Il en résulte des tâches focales extrêmement petites. Une microlentille de diamètre OD = 40 pm par exemple placée à la distance h = 100 pm correspond à une tâche de diffraction de + 2.5 X soit moins de 1 pm. Dans les mêmes conditions, un faisceau de divergence + 1 génère une tâche focale de seulement + 1,7 pm. Il est donc envisageable de placer devant chaque microlentille un diaphragme de l0 diamètre 4 pm sans perdre trop de flux lumineux. Un tel modulateur électrooptique utilisé a la place d'un masque dans un photorépéteur UV 10X offre alors un facteur de sur-résolution de 10x10 pour un pas de pixels sur la matrice LCD de 40 pm. Il est ainsi possible d'inscrire sur l'échantillon à insoler des spots de moins de 0,5 pm à raison de 100 millions par position mécanique si la matrice dispose d'un million de pixels et d'actionneurs piézoélectriques de course 40 pm. La figure 15 détaille la configuration d'un tel modulateur LCD commandé par deux actionneurs piézoélectriqus (Sx, 8y). L'invention est également applicable dans la technique des cartes à circuits intégrés dites également cartes à puces. La possibilité de réaliser des cellules à cristal liquide amincies permet de concevoir une carte à puce munie d'un afficheur à cristal liquide. Ainsi comme cela est représenté en figures 16a et 16b, une cellule à cristal liquide LCD dont les plaques portant les électrodes ont été amincies, est collée sur la carte CA ou moulée dans la carte. Des connexions électriques CO sont ensuite réalisées pour connecter la cellule LCD aux circuits électroniques de la puce PU eux-mêmes reliés à une source d'alimentation électrique (batterie à film polymère...) SE. Des informations contenues dans les circuits électroniques de la puce peuvent donc être lues selon l'utilisation que l'on désire en faire. Une batterie, telle qu'une batterie couche mince, peut être prévue et permet un fonctionnement autonome de l'affichage. REVENDICATIONS 1. Procédé de réalisation d'un écran à cristal liquide comprenant des étapes de réalisation d'une cellule comportant deux plaques (1, 3) enserrant un cristal liquide (2), les faces des plaques en contact avec le cristal liquide étant munies d'électrodes, caractérisé en ce qu'il comporte ensuite une étape d'amincissement d'une au moins desdites plaques (1 ou 3). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape d'amincissement se fait par mise en place de la cellule entre deux plateaux (4, 5) dont l'un au moins comporte une surface abrasive, puis mise en pression entre les deux plateaux et déplacement relatif des deux plateaux parallèlement l'un par rapport à l'autre. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que avant placement de la cellule entre les deux plateaux, I'une au moins des plaques de la cellule est l'objet d'une opération d'usinage par rectification. 4. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que les surfaces (15, 18) des deux plateaux en contact avec la cellule sont abrasives. 5. Procédé selon l'une des revendications 2 ou 4, caractérisé en ce que avant placement de la cellule entre les deux plateaux, une pièce d'usure (7) est collée à l'une'des deux plaques pour la protéger contre l'usure. 6. Procédé selon l'une des revendications 2 ou 4, caractérisé en ce qu'on prévoit l'amincissement d'une plaque d'une première cellule (LCD1), puis l'amincissement d'une plaque d'une deuxième cellule (LCD2) puis collage des deux cellules par leurs plaques amincies. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'on prévoit ensuite: - I'amincissement de la deuxième plaque de l'une des cellules; I'amincissement d'une plaque d'une troisième cellule (LCD3); - le collage de la troisième cellule, par sa plaque amincie, à la deuxième plaque amincie. 8. Procédé selon l'une des revendications 2 ou 4, caractérisé en ce qu'on prévoit l'amincissement d'une plaque d'au moins une première, une deuxième et une troisième cellules (LCD1 à LCD3) puis l'empilement et le collage desdites cellules. 9. Procédé selon l'une des revendications 2 ou 4, caractérisé en ce qu'il prévoit une étape de réalisation de lentilles (20) sur l'une au moins des plaques amincies d'une cellule (LCD). 10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'à chaque pixel de la cellule (LCD) correspond une lentille. 11. Procédé selon l'une des revendications 2 ou 4, caractérisé en ce qu'à l'une des plaques amincies d'une cellule (LCD) est accolée une 1o plaque de guidage (40, 41) comportant des zones d'indices différents et permettant de guider la lumière vers les pixels de la cellule. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que plusieurs ensembles de cellules (LCD1, LCD2, LCD3) et de plaques de guidage (40, 41) sont accolés les uns aux autres. 13. Procédé selon l'une des revendications 8 ou 12, caractérisé en ce qu'avant empilement desdites cellules (LCD1 à LCD3) un filtre de couleur particulier (M, C, J) est associé à chaque cellule. 14. Procédé selon l'une des revendications 2 ou 4, caractérisé en ce qu'il comporte une étape de collage ou de moulage de ladite cellule sur ou dans une carte comportant des circuits électroniques (PU) et connexion de la cellule aux circuits électroniques source d'énergie (SE). 15. Cellule à cristal liquide comportant deux lames (1, 3) enserrant un cristal liquide (2), les faces des lames en contact avec le cristal liquide portant des électrodes, caractérisée en ce que l'épaisseur de l'une au moins des deux lames est de l'ordre ou inférieure à 200 pm. 16. Cellule à cristal liquide selon la revendication 15, comportant plusieurs cellules à cristal liquide empilées dont une lame au moins de chaque cellule est amincie, un filtre de couleur étant associé à chaque cellule. 17. Cellule à cristal liquide selon la revendication 15, caractérisée en ce qu'elle comporte plusieurs cellules empilées ainsi que des moyens pour commander électriquement indépendamment les différentes cellules de façon à obtenir une amélioration des performances d'angle de déviation, et du nombre de niveaux gris. 18. Carte à puce comprenant un circuit électronique, caractérisé en ce qu'il comporte une cellule selon la revendication 15, collée à une des faces de la carte ou moulée dans la carte, des connexions électriques connectant la cellule aux circuits électroniques. 19. Cellule à cristal liquide selon la revendication 15, caractérisée en ce qu'elle comporte une plaque de masquage accolée à la lame d'épaisseur inférieure à 500 pm, I'ensemble étant destiné à la microlithographie.