Brevet FR2785090A1 — publié le 20000428

COMPOSANT DE PUISSANCE PORTANT DES INTERCONNEXIONS La présente invention concerne les composants de puissance verticaux et plus particulièrement une optimisation de la tenue en tension de composants de puissance dont la face supérieure porte des connexions. La figure 1 représente de façon très schématique une vue en coupe partielle d'une portion d'un composant de puissance haute tension dans une région frontalière de celui-ci. Le composant, dont une partie seulement est illustrée, est formé dans un substrat de silicium faiblement dopé 1. Dans toute la suite de la présente description, on considérera que ce substrat est de type N mais bien entendu tous les types de conductivité pourraient tre inversés. Le composant est délimité à sa périphérie par un mur d'isolement 2 qui s'étend de la face supérieure à la face inférieure du substrat. Le mur d'isolement peut correspondre à la limite de la puce semiconductrice dans laquelle est formé le composant 1. Il peut aussi correspondre, à l'intérieur d'une puce semiconductrice, à une séparation entre deux composants voisins. Bien entendu, la présente invention s'applique aussi à des composants de type silicium sur isolant (SOI). Dans une configuration courante de composants semiconducteurs verticaux haute tension, une couche 3 de type P est formée de façon continue ou non sur la face inférieure du subs trat et s'étend jusqu'au mur d'isolement. Du côté de la face supérieure du substrat, on trouve une couche 4 également de type P. La couche 4 de type P, le substrat 1 de type N et la couche 3 de type P sont des couches constitutives d'un composant vertical haute tension, la haute tension pouvant tre supportée notamment du fait de la forte épaisseur et du faible niveau de dopage du substrat 1. L'ensemble des couches PNP 4-1-3 pourra par exemple constituer un transistor. Une métallisation de face arrière M1 est en contact avec l'ensemble de la face arrière du composant et une métallisation M2 est liée, directement ou indirectement, à la couche 4. Cette liaison est directe dans le cas où l'on cherche à faire un transistor PNP. Dans le cas représenté, où l'on cherche à faire un thyristor avec ou sans gâchette, une couche supplémentaire 5 fortement dopée de type N est réalisée pour constituer la cathode du thyristor en contact avec la métallisation M2. La périphérie de la couche 4 est espacée du mur d'isolement 2 par une portion du substrat 1 et en outre comporte de préférence une zone 6 de type P faiblement dopée (P-) plus profonde que la région 4. Lorsqu'une tension positive est appliquée entre les métallisations M1 et M2, la jonction bloquante est la jonction entre le substrat 1 et la région P 4-6. Autour de cette jonction, la tenue en tension est assurée par une zone dite de charge d'espace délimitée par des équipotentielles E1L et E1H, représen- tées en pointillés dans la figure. L'équipotentielle E1L indique la zone au potentiel bas de l'électrode M2, par exemple 0 volt. L'équipotentielle E1H désigne la zone au potentiel haut de l'électrode M1, par exemple 600 volts. Quand le dispositif est polarisé en inverse, c'est-à- dire que la métallisation M2 est polarisée positivement par rapport à la métallisation M1, la tenue en tension est essentiellement assurée par la jonction entre le substrat 1 et d'une part la couche P 3, d'autre part le mur d'isolement 2. On a désigné par E2L et E2H les limites de la zone de charge d'espace, c'està-dire les équipotentielles au potentiel bas et au potentiel haut, respectivement. Pour qu'un dispositif ait une tenue en tension élevée, il convient que les équipotentielles extrmes soient aussi écartées, que possible pour ne pas atteindre le potentiel de claquage dans le semiconducteur (de l'ordre de 20 V/ym). Ainsi, il convient que l'une des couches au voisinage de la jonction qui assure la tenue en tension soit relativement peu dopée pour que la zone de charge d'espace puisse s'y étendre assez largement. Indépendamment, de la nécessité d'assurer une tenue en tension suffisante du composant quand des potentiels élevés sont appliqués à ses bornes, il se pose également des problèmes de courant de fuite. Pour diverses raisons, par exemple en raison d'une pollution des oxydes, il est possible que le substrat N 1 soit fortement déplété en surface sous une couche d'isolant supérieur 8. On peut mme arriver à une inversion de population dans cette région. Il apparaît alors une région de canal assurant une continuité électrique entre la périphérie externe de la région P 6 et la périphérie interne du mur d'isolement 2. Pour éviter ces courants de fuite, il est connu d'utiliser une région dite d'arrt de canal (stop-channel) constituée d'une zone 10 fortement dopée de type N (N+) à la surface du substrat 1 entre la périphérie externe de la région 6 et la périphérie interne du mur 2. Bien que cela n'apparaisse pas dans la vue en coupe, la zone 10 forme en fait un anneau qui s'étend sur toute la périphérie du composant concerné. Etant donné son fort niveau de dopage, l'anneau N+ 10 n'est pas susceptible d'tre inversé et interrompt donc tout canal d'inversion susceptible de se former à la surface du composant. Pour favoriser l'équipotentialité de l'anneau d'arrt de canal 10 et éviter qu'il se produise une déplétion localisée, il est classique de revtir cet anneau diffusé 10 d'une métallisation (non représentée). La figure 2A illustre quel peut tre l'effet sur la répartition des équipotentielles d'une piste conductrice courant sur la surface supérieure du composant. Dans l'exemple représenté, la métallisation M2 est prolongée par une piste métallique L destinée par exemple à assurer une connexion entre la métalli- sation M2 et une métallisation d'un autre composant disposé dans le mme substrat 1 à droite du mur d'isolement 2. Il convient de souligner, étant donné que cela n'est pas apparent dans la vue en coupe de la figure 2A, que la métallisation L correspond à une piste métallique relativement étroite devant la surface occupée par une métallisation de contact telle que la métallisation M2. Dans des composants de puissance, la piste métallique peut avoir une largeur de l'ordre de 10 à 100 ym. On a montré en figure 2A comment se déforment les équipotentielles E1L et E1H d'une part, et les équipotentielles E2L et E2H d'autre part, quand le composant se trouve polarisé respectivement en direct et en inverse. Dans le cas où le composant se trouve polarisé en direct, l'équipotentielle E1L n'est pratiquement pas déformée tandis que l'équipotentielle E1H longe la piste mécanique en direction du mur d'isolement 2. Quand elle atteint ce mur d'isolement, il se produit un perçage (en anglais punch through). Ceci signifie que le composant devient passant alors que l'on souhaiterait qu'il puisse supporter la tension en restant bloqué. Ce perçage n'est pas destructeur mais entraine un déclenchement prématuré d'un composant que l'on souhaiterait maintenir bloqué. Lors d'une polarisation en inverse, c'est essentiellement l'équipotentielle E2L qui se déforme au niveau de la partie supérieure du composant. Alors, la zone de charge d'espace se réduit et le champ au niveau de la partie supérieure de la jonction entre le substrat 1 et le mur 2 augmente fortement. Il peut se produire un claquage (breakdown) de la jonction qui peut provoquer une destruction de celle-ci. La figure 2B représente une variante de la figure 2A, dans le cas où il y a une région d'arrt du canal 10. Lors d'une polarisation en direct, les équipotentielles E1 tendent à se déformer comme cela a été indiqué en relation avec la figure 2A. Toutefois, les équipotentielles hautes (EIH) et les équipoten- tielles intermédiaires viendront se resserrer dans la zone d'arrt de canal 10 et il existe un risque élevé pour qu'il se produise un claquage dans cette zone. On voit donc que la présence d'une région d'arrt de canal, qui évite les courants de fuite, dégrade la tenue en tension dans le cas considéré. Le problème exposé ci-dessus qui se pose quand une piste de connexion court sur un composant haute tension est connu dans la technique et diverses solutions ont été proposées pour le résoudre. Une solution évidente consiste à augmenter l'épaisseur de la couche isolante 8 au-dessus de laquelle circule la piste conductrice L de façon à réduire l'influence sur le semiconducteur du champ créé par cette piste. Toutefois, cette solution se heurte rapidement à des limites pratiques. En effet, il est difficile de déposer un isolant de qualité d'épaisseur supérieure à 6 Hm, ce qui, pour de 1'oxyde, conduit dans le meilleur des cas à une tenue en tension de l'ordre de 600 V. D'autres solutions utilisées pour des tensions supérieures à 600 V sont illustrées en figure 3. La figure 3 illustre plusieurs solutions qui sont habituellement utilisées alternativement. Une première solution consiste à ajouter une région 11 faiblement dopée de type P, s'étendant le long de la périphérie interne du mur d'isolement 2 et en contact avec ce mur d'isolement. Ceci permet d'améliorer la tenue en tension en inverse (jonction entre le substrat 1 et le mur d'isolement 2). Les autres solutions consistent à prévoir des plaques de champ. Selon une deuxième solution, des plaques de champ flottantes 13 sont disposées au-dessus de la couche isolante 8, orthogonalement à la piste dont elles sont séparées par une couche isolante 14. Alors, si les plaques flottantes 13 débordent nettement transversalement par rapport à la piste, elles ne sont pas susceptibles d'tre chargées capacitivement par celle-ci et sont couplées capacitivement au silicium. Elles prennent alors en charge les équipotentielles en les entraînant dans la zone d'oxyde. Toutefois, cette solution, basée sur le principe des capacités, dépend fortement de la qualité des oxydes et de leurs éventuelles contaminations. En outre, elle peut nécessiter l'emploi d'équipements de lithographie submicroniques dont on ne dispose pas nécessairement dans les technologies de fabrication des composants de puissance. Selon une troisième solution, on utilise une plaque de champ 15 en contact avec le mur d'isolement 2 et s'étendant vers l'intérieur par rapport à ce mur d'isolement. Ce type de structure résout le problème de tenue en tension de la cathode car les équipotentielles sont prises en charge entre la plaque de champ et la piste avant d'atteindre la jonction d'anode. Toutefois, ceci implique un débordement de la plaque de champ par rapport au caisson, ce qui dégrade la tenue en tension de ce dernier. D'autre part, si l'anode est à la masse, le substrat à la haute tension et la piste proche de 0 volt (cas d'un substrat polarisé par la jonction en direct, cette dernière étant reliée à la cathode via une résistance diffusée) la cathode et l'anode sont alors simultanément bloquées et cette solution ne fonctionne pas. Ainsi, les solutions de l'art antérieur présentent l'inconvénient ou bien d'exiger des technologies de mise en oeuvre complexes, ou bien d'tre efficaces seulement pour une polarité particulière de la piste par rapport aux autres éléments, ou bien de nécessiter un accroissement de la surface de siliciumutilisé. La présente invention vise à résoudre le problème posé par la tenue en tension d'un composant de puissance en présence d'une piste d'interconnexion en évitant un ou plusieurs des inconvénients des structures de l'art antérieur. Pour atteindre ces objets, la présente invention prévoit un composant haute tension. formé dans une région d'un substrat de silicium d'un premier type de conductivité délimitée par un mur du deuxième type de conductivité, ayant une face inférieure comprenant une première région du deuxième type de conductivité reliée au mur, et une face supérieure comprenant au moins une deuxième région du deuxième type de conductivité, une tension élevée étant susceptible d'exister entre les première et deuxième régions et devant tre supportée du côté de la face supérieure par la jonction entre la deuxième région et le substrat ou par la jonction entre le mur et le substrat, une piste conductrice pouvant tre à un potentiel élevé s'étendant au-dessus du substrat entre la deuxième région et le mur. Le composant comprend une succession de tranchées s'étendant dans le substrat sous la piste et perpendiculairement à cette piste, chacune des tranchées étant remplie d'un isolant. Selon un mode de réalisation de la présente invention, chacune des tranchées a une profondeur de l'ordre de 3 à 5 pm et une largeur de l'ordre de 1,5 à 3 ym. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les tranchées sont espacées de 10 à 30 ym. Selon un mode de réalisation de la présente invention, les tranchées s'étendent dans le substrat sur toute la périphérie du composant. Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles : les figures 1,2A, 2B et 3 sont des vues en coupe schématiques d'une zone limite d'un composant haute tension selon 1'art antérieur ; et la figure 4 est une vue en coupe schématique d'une zone limite d'un composant haute tension selon la présente invention. Dans les diverses figures, conformément à l'usage dans le domaine de la représentation des composants semiconducteurs, les diverses dimensions ne sont pas tracées à l'échelle et ont été arbitrairement tracées pour faciliter la lisibilité des figures et en améliorer l'intelligibilité. L'homme de l'art saura adapter les diverses épaisseurs et niveaux de dopage en fonction des règles habituelles de fabrication des composants semiconducteurs de puissance. La figure 4 représente la mme région frontalière d'un composant haute tension que celle représentée en figure 1. Toutefois, en figure 4, on a utilisé une plus grande échelle dans le sens de la largeur pour mieux illustrer l'invention. Selon la présente invention, il est prévu de former dans la surface supérieure du substrat 1, sensiblement à michemin entre la limite externe de la région P 6 et la limite interne du mur d'isolement P 2, une succession de tranchées 31. Ces tranchées sont complètement remplies d'un isolant 32. De préférence, les tranchées 31 sont formées avant le dépôt de la couche isolante 8 et ont une largeur de l'ordre de l'épaisseur de la couche isolante 8 de sorte que, lors du dépôt de la couche isolante 8, ces tranchées sont automatiquement remplies. Les tranchées s'étendent transversalement à la direction de la piste L, leur longueur étant de préférence légèrement supérieure à la largeur de la piste L. Par exemple, la longueur des tranchées sera sensiblement deux fois la largeur de la piste L et elles déborderont de part et d'autre de cette piste d'environ la moitié de la largeur de cette piste. A titre d'exemple, les tranchées 31 ont une largeur de l'ordre, 1,5 à 3 pm et une profondeur de l'ordre de 3 à 5 Um. La distance entre tranchées sera par exemple de l'ordre de 10 à 30 ssm. L'effet des tranchées remplies d'isolant sur la répartition des équipotentielles peut s'expliquer de la façon suivante. Sous la piste L, on peut considérer que l'épaisseur d'oxyde est plus grande au niveau de chacune des tranchées. Ainsi, l'effet de répulsion des charges exercées par la piste à potentiel élevé est plus faible au niveau des tranchées qui correspondent à des sur-épaisseurs d'oxyde. On considère sur la figure 4 l'équipotentielle extrme E1H correspondant par rapport à une tension de 600 V, et une équipotentielle intermédiaire E1M correspondant par exemple à une tension de 500 V. L'équipotentielle intermédiaire E1M s'arrte dans l'exemple représenté au niveau d'une première tranchée et l'équipotentielle extrme E1H s'arrte au niveau de la deuxième tranchée. Bien entendu, ceci n'est qu'un exemple destiné à bien faire comprendre l'invention. Le nombre de tranchées pourra tre choisi en fonction des paramètres que l'on cherche à obtenir, notamment en fonction de l'épaisseur normalement prévue pour l'isolant 8, et de la tension maximum que l'on souhaite que le composant puisse supporter. On notera que la présente invention est efficace que l'on considère une extension de l'équipotentielle maximum associée à la jonction entre le substrat 1 et la région 6 ou l'équipotentielle entre la région 1 et le mur d'isolement 2. En d'autres termes, la présente invention est efficace tant en polarisation directe qu'en polarisation inverse. Bien que l'on ait indiqué précédemment que les tranchées selon la présente invention sont prévues seulement sensiblement sous chacune des pistes de métallisation, on pourra prévoir de façon systématique des tranchées telles que décrites précédemment s'étendant périphériquement entre la partie externe de la région P 6 et la partie interne du mur d'isolement P 2. Ainsi, mme si l'on modifie le dessin du composant, et en particulier la disposition des pistes, le dispositif selon la présente invention restera efficace. REVENDICATIONS 1. Composant de puissance formé dans une région (1) d'un substrat de silicium d'un premier type de conductivité délimitée par un mur (2) du deuxième type de conductivité, ayant une face inférieure comprenant une première région (3) du deuxième type de conductivité reliée au mur (2), et une face supérieure comprenant au moins une deuxième région (46) du deuxième type de conductivité, une tension élevée étant susceptible d'exister entre les première et deuxième régions et devant tre supportée du côté de la face supérieure par la jonction entre la deuxième région et le substrat ou par la jonction entre le mur et le substrat, une piste conductrice (L) pouvant tre à un potentiel élevé s'étendant au-dessus du substrat entre la deuxième région (4) et le mur (2), caractérisé en ce qu'il comprend une succession de tranchées (31) s'étendant dans le substrat sous la piste et perpendiculairement à cette piste, chacune des tranchées étant remplie d'un isolant. 2. Composant selon la revendication 1, dans lequel chacune des tranchées a une profondeur de l'ordre de 3 à 5 Hm et une largeur de l'ordre de 1,5 à 3 Um. 3. Composant selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que les tranchées sont espacées de 10 à 30 Um. 4. Composant selon la revendication 1, caractérisé en ce que les tranchées s'étendent dans le substrat sur toute la périphérie du composant.