Brevet FR2773395A1 — publié le 19990709

CAPTEUR ANGULAIRE LINEAIRE A MAGNETORESISTANCES DESCRIPTION Domaine technique La présente invention a pour objet un capteur de position angulaire linéaire à magnétorésistances. Elle trouve une application générale dans la mesure de l'orientation d'un champ magnétique et, plus particulièrement, dans la détection de la position angulaire d'un objet équipé d'une source de champ magnétique. Le capteur de l'invention possède un plan de mesure et il délivre un signal qui est lié sans équivoque à l'angle que la composante du champ dans ce plan fait avec une direction de référence située également dans ce plan. Tout objet peut être repéré dans sa position angulaire par un capteur conforme à l'invention : pièce, moteur, rotor, antenne, bouton de commande, etc... Etat de la technique antérieure On connaît des dispositifs de détection de l'orientation d'un champ magnétique utilisant des matériaux magnétorésistifs à base de métaux de transition ferromagnétiques comme le nickel, le fer, le cobalt ou leurs alliages. Ces matériaux, mis sous forme de barreaux, permettent de construire des dispositifs délivrant des signaux sensiblement sinusoïdaux en fonction de l'orientation du champ appliqué. Ces dispositifs présentent l'inconvénient de nécessiter des moyens de traitement électroniques pour obtenir un signal de mesure fonction linéaire de l'angle. On connaît également des capteurs utilisant, comme matériau magnétorésistif, des empilements de couches conduisant à un effet dit "géant" (en anglais "Giant Magnetoresistance Effect") ou GMR en abrégé. Ces empilements sont en général constitués de deux couches minces magnétiques séparées par une couche mince non magnétique et électriquement conductrice. De telles structures, dites aussi à vanne de spin (en anglais "spin valves"), sont décrites dans le document US-A4,949,039. Un dispositif pour détecter la position angulaire d'un objet utilisant de telles magnétorésistances à effet géant est décrit dans le document US-A-5,650,721 et dans l'article de W. CLEMENS et al. intitulé "Contactless potentiometer based on giant magnetoresistance seniors", publié dans Jour. Appl. Phys. 81, (8), 15 April 1997, pp. 4310-4312. Dans cette technique, on utilise une magnétorésistance à vanne de spin ou éventuellement deux disposées à angle droit. Le signal délivré par chaque magnétorésistance est sensiblement sinusoïdal en fonction de l'angle du champ par rapport à une direction de référence. Mais il ne l'est pas rigoureusement en raison d'effets liés aux champs démagnétisants. De plus, il existe une hystérésis rotationnelle de 2" qui limite la résolution de l'appareil. On ne peut, par ailleurs, traiter des champs qui ne seraient pas compris entre 4,4 kA/m et 27,2 kA/m. La présente invention a justement pour but de remédier à ces inconvénients. Exposé de l'invention La présente invention reprend l'utilisation de deux magnétorésistances à effet géant disposées à angle droit, mais prévoit un montage particulier, à savoir en pont avec prélèvement du signal de lecture au point milieu du pont. De manière surprenante le signal alors obtenu est linéaire sur une très grande plage angulaire (à mieux que 5% sur 90 ). Il n'est plus besoin alors d'utiliser une électronique de traitement du signal pour linéariser le signal de lecture. Par ailleurs, l'hystérésis a disparu. Enfin, dans un montage selon l'invention, il n'est plus besoin d'utiliser de polarisation des magnétorésistances. De façon précise, la présente invention a pour objet un capteur angulaire comprenant au moins deux magnétorésistances du type à effet géant et disposées à angle droit, caractérisé par le fait que les deux magnétorésistances sont connectées en série et forment un pont avec deux extrémités et un point milieu, et par le fait qu'il comprend des moyens d'alimentation connectés aux extrémités du pont et des moyens de mesure du déséquilibre du pont connectés au point milieu du pont. De préférence l'invention utilise des magnétorésistances présentant une anisotropie de forme, à partir d'un empilement des couches ayant, avant gravure ou découpe ou tout autre mise en forme des magnétorésistances, une réponse sous champ magnétique isotrope. Dans un mode de réalisation avantageux, l'invention combine deux ponts de ce type pour former un pont de Wheatstone à quatre magnétorésistances. La linéarité du capteur peut encore être améliorée par l'ajout d'une résistance en matériau magnétorésistif disposée soit en série avec l'entrée du pont soit en parallèle sur la sortie de celui-ci. De façon avantageuse les magnétorésistances sont réalisées à partir d'un empilement de couches à base de FeNi/Ag. Bien entendu d'autres empilements peuvent être utilisés et en particulier les empilements à base de Fe/Cr ou Fe/Cu ou NiFe/Cu. Brève description des dessins - la figure 1 montre schématiquement un dispositif selon l'invention à deux magnétorésistances en pont - la figure 2 montre la réponse d'un tel dispositif - la figure 3 montre schématiquement un capteur à deux ponts, c'est-à-dire à quatre magnétorésistances - la figure 4 montre la réponse de ce capteur - la figure 5 montre la même réponse mais agrandie entre -45" et 450 - la figure 6 illustre un mode de réalisation d'un dispositif selon l'invention dans une configuration en pont de Wheatstone à quatre magnétorésistances - la figure 7 montre une variante avantageuse à résistance stabilisatrice en série - la figure 8 montre une autre variante à résistance stabilisatrice en parallèle. Exposé détaillé de modes de réalisation On voit, sur la figure 1, deux magnétorésistances MR1, MR2 à effet géant (ou encore du type à vanne de spin) disposées à angle droit. Ces deux magnétorésistances sont reliées en série et forment un pont résistif avec deux extrémités ExtI, Ext2 et un point milieu PM, qui est le point de connexion des magnétorésistances. Un moyen d'alimentation en tension 10 est relié aux extrémités du pont Extî, Ext2 et un moyen de mesure 12 est prévu entre le point milieu PM et l'une des extrémités (Extl dans la variante illustrée). La figure 1 montre les magnétorésistances en perspective. Elles définissent à elles deux un plan 14. Dans ce plan, on peut définir un axe de référence x passant par le point milieu PM. Cet axe fait un angle ss avec la magnétorésistance MR1. Par ailleurs, on suppose qu'un aimant permanent 16 est placé au-dessus du plan 14 et produit un champ magnétique dont la composante dans le plan 14 est notée H. Ce champ H fait un angle 0 avec la direction de référence x. L'aimant 16 peut tourner autour de son axe 18. Cet aimant peut être fixé sur un objet 19 dont on veut suivre la position angulaire. La figure 2 est une courbe expérimentale obtenue avec le capteur de la figure 1, dans le cas où les magnétorésistances sont constituées de deux couches minces magnétiques en FeNi séparées par une couche mince en argent. Cette courbe montre la tension de sortie Vs, prélevée au point milieu PM du pont, en fonction de l'angle O que la composante H du champ fait avec la direction de référence. La courbe de la figure 2 n'est pas centrée sur l'origine, car, dans le cas illustré, l'angle ss que fait l'axe de référence avec MR1 n'est pas égal à 45". Lorsque c est le cas, la plage de réponse s'étend de -90" à +90 et la plage linéaire va de -45" à 45". La figure 3 montre un capteur dans lequel on a combiné deux ponts du genre de celui de la figure 1. Ces ponts ont des extrémités respectivement Extî, Ext2 et Ext3, Ext4 et deux points milieu respectivement PM1, PM2. Les extrémités Ext2, Ext3 sont reliées ensemble ainsi que les extrémités Extî, Ext4. On obtient ainsi un pont de Wheatstone à quatre magnétorésistances. Le signal de lecture est toujours pris entre les points milieu et l'une des extrémités du pont, ce qui revient à prendre le signal entre les points milieu PM1 et PM2. La figure 4 montre le signal de sortie Vs en fonction de l'angle 0. On voit que le signal est remarquablement linéaire de -450 à +45 . Ce montage présente l'avantage d'éliminer la composante continue en sortie du pont. La figure 5 montre le même signal, mais de manière agrandie entre -45" et 450, pour que la linéarité soit mieux appréciée. Si l'aimant est fixé sur un bouton de commande, le capteur en pont de Wheatstone des figures 3 et 4 délivrera un signal dont l'amplitude suivra linéairement la rotation du bouton. La figure 6 illustre un mode de réalisation d'un capteur à quatre magnétorésistances FeNi/Ag disposées en carré, c'est-à-dire à 90" les unes des autres. Ces magnétorésistances portent encore les références MR1, MR2, MR3, MR4. Elles sont supposées être réalisées sous forme de ruban en méandres avec des bras repliés. Quatre plots extérieurs de prise de contact 21, 22, 23 et 24 sont reliés à quatre plots intérieurs 31, 32, 33 et 34. Le plot 32 constitue le point milieu pour le pont (MR1, MR2) et le plot 33 le point milieu pour le pont (MR3, Mu4). C'est donc entre les plots extérieurs 22, 23 qu'on prélèvera le signal de mesure. Les plots 31 et 34 constituent les extrémités des ponts (MR1, MR2) et (MR3, MR4) . C'est donc entre les plots extérieurs 21, 24 qu'on appliquera la tension d'alimentation. La linéarité du capteur de l'invention peut encore être améliorée par les perfectionnements illustrés sur les figures 7 et 8. Ces figures représentent un pont de Wheatstone à quatre magnétorésistances, avec les références déjà utilisées, et une résistance constituée en un matériau magnétorésistif de sensibilité au moins aussi grande que le matériau utilisé pour constituer les magnétorésistances du pont. Dans le cas de la figure 7, cette résistance 30 est placée en série dans l'entrée du pont, alors que, dans le cas de la figure 8, cette résistance 40 est placée en parallèle sur la sortie. REVENDICATIONS 1. Capteur angulaire comprenant au moins deux magnétorésistances (MR1, MR2) du type à effet géant disposées à angle droit, caractérisé par le fait que les deux magnétorésistances (MR1, MR2) sont connectées en série et forment un pont avec deux extrémités (Extl, Ext2) et un point milieu (PM), et par le fait qu'il comprend des moyens (10) d'alimentation connectés aux extrémités (Extl, Ext2) du pont et des moyens (12) de mesure du déséquilibre du pont connectés au point milieu (PM) du pont. 2. Capteur angulaire selon la revendication 1, dans lequel les deux magnétorésistances présentent une anisotropie de forme et sont réalisées à partir d'un empilement de couches ayant une réponse sous champ magnétique isotrope. 3. Capteur angulaire comprenant deux capteurs selon la revendication 1 avec chacun deux magnétorésistances (MR1, MR2) (MR3, MR4), les extrémités (Extl, Ext2) (Ext3, Ext4) des ponts de chaque capteur étant reliées entre elles deux à deux, les quatre magnétorésistances (MR1, MR2, MR3, MR4) formant ainsi un pont de Wheatstone, les moyens d'alimentation (12) alimentant ce pont de Wheatstone entre les extrémités reliées (Extl, Ext3) (Ext2, Ext4), et les moyens de mesure (14) étant reliés entre les deux points milieu (PM1, PM2) - 4. Capteur angulaire selon la revendication 3, dans lequel chaque magnétorésistance (MR1, MR2, MR3, MR4) présente une forme de ruban en méandre avec des bras repliés. 5. Capteur angulaire selon la revendication 3, dans lequel les quatre magnétorésistances (MR1, MR2, MR3, MR4) sont disposées en carré. 6. Capteur angulaire selon la revendication 5, comprenant quatre plots de connexions (31, 32, 33, 34) disposés aux quatre sommets du carré formé par les quatre magnétorésistances (MR1, MR2, MR3, MR4), chaque magnétorésistance étant connectée à ses extrémités à deux de ces plots. 7. Capteur angulaire selon la revendication 3, comprenant en outre au moins une résistance (30) en matériau magnétorésistif placée en série entre les moyens d'alimentation (10) et l'une des extrémités du pont (Extl, Ext2), ce matériau magnétorésistif ayant une sensibilité au champ magnétique au moins aussi grande que celle des magnétorésistances (MR1, MR2, MR3, MR4) du pont. 8. Capteur angulaire selon la revendication 3, comprenant en outre une résistance (40) en matériau magnétorésistif disposée en parallèle sur les moyens de mesure (12), entre les deux points milieu (PM1, PM2), ce matériau magnétorésistif ayant une sensibilité au champ magnétique au moins aussi grande que celle des magnétorésistances (MR1, MR2, MR3, MR4) du pont. 9. Capteur angulaire selon la revendication 1, dans lequel les magnétorésistances sont réalisées à partir d'un empilement de couches à base de FeNi/Ag ou de Fe/Cr ou de Fe/Cu ou de NiFe/Cu.