Brevet FR2773611A1 — publié le 19990716

La présente invention concerne un appareil pour mesurer la pression différentielle entre au moins deux fluides, en particulier un manomètre à équilibrage de forces permettant de mesurer des pressions différentielles5 sur un large éventail de pressions. Il y a un fort besoin de pouvoir effectuer des mesures précises de pressions et de différences de pression de gaz purs ainsi que des mélanges de gaz, par exemple dans des systèmes sous vide utilisés dans la fabrication de10 puces informatiques et des dispositifs de haute technologie semblables. Les manomètres dits capacitifs du fait de leur propreté et de leur sensibilité sont largement utilisés pour cela à l'exclusion de presque tous les autres types de dispositifs. Dans un manomètre capacitif, une membrane relative- ment fine sépare le gaz contenu dans la chambre de pression 1 du gaz contenu dans la chambre 2. Une différence de pression sur l'ensemble de la membrane fait en sorte qu'elle est déplacée jusqu'à ce que la force induite par la20 déformation soit égale à la force induite par la pression. Une sonde capacitive est utilisée pour déterminer le taux de déviation qui peut être lié à la différence de pression rencontrée sur toute la membrane. Les manomètres capacitifs présentent un certain nombre d'inconvénients, rappelés ci-après. 1. Pour mesurer de faibles différences de pression, la membrane doit être mince et plate de sorte que la constante de rappel soit très faible. Toutefois, une membrane mince et plate peut être facilement endommagée par des contraintes excessives provoquées par des conditions de surpression. Plusieurs moyens de support de membranes sont connus mais des accidents de surpression coûteux continuent de se produire. Puisque la membrane plate se déforme et prend une forme complexe, des butées efficaces sont également relativement coûteuses à usiner. 2. Du fait de l'utilisation d'une membrane mince et plate, les manomètres capacitifs présentent un éventail de pressions limité, qui porte en général sur quatre dizaines. Par conséquent, de multiples têtes de manomètres doivent être installées de façon à fournir une mesure de pression sur l'éventail de pressions portant sur les 7 ou 8 dizaines généralement requises. 3. Puisque la membrane est déformée pendant le procédé de mesure, les manomètres capacitifs sont extrême- ment sensibles à des changements de propriétés du matériau en fonction de la température ou du vieillissement. 4. Les manomètres capacitifs comportent des circuits électriques sensibles qui sont exposés sur un côté de la membrane et qui peuvent être facilement endommagés par des gaz produits dans l'usine. 5. Les manomètres capacitifs nécessitent des traver- sées électriques compatibles avec le vide et coûteuses pour acheminer des signaux électriques à travers la paroi sous vide. 6. Les manomètres capacitifs souffrent des effets de l'hystérésis. L'indication de pression à une pression donnée dépend du fait que la pression donnée est ou non approchée si on augmente ou si on réduit la pression. 7. Les manomètres capacitifs doivent être fabriqués avec un grand soin pour garantir que la membrane mince est plate et que sa répartition de contraintes est uniforme, et ils sont par conséquent très coûteux à fabriquer. En clair, on a besoin d'un manomètre qui présente un éventail de pressions large et qui ne réagit pas aux surpressions, à l'hystérésis et aux changements de proprié- tés du matériau. Les problèmes mentionnés ci-dessus des manomètres capacitifs sont en grande partie provoqués par l'utilisa- tion de la membrane qui permet de fournir une force de déformation mécanique pour s'opposer à la force induite par la pression. Le même type de problème est inhérent au dispositif décrit dans le brevet soviétique n RU2010201, dans lequel la force qui s'oppose est fournie par deux soufflets souples. Bien que le fait d'utiliser un élément souple déformé pour fournir une force d'opposition soit simple en principe, il pose de sérieux problèmes dans la pratique. Des problèmes similaires sont inhérents au dispositif décrit dans le brevet américain n 5 457 999, dans lequel la force d'opposition est fournie par la déformation d'un élément vibrant élastique sous tension. On connaît des manomètres qui ne dépendent pas de la déformation mécanique d'un élément souple pour générer une force d'équilibrage qui s'oppose à la force induite par la pression. Les manomètres dits à équilibrage de forces peuvent être divisés en deux catégories: ceux qui mesurent une différence de pression unique et ceux qui mesurent de multiples différences de pression. Un exemple de la première catégorie est décrit dans le brevet américain n 3 657 630, dans lequel on propose l'utilisation d'un courant continu relativement important dans une membrane plate qui est immergée dans un champ magnétique parallèle à la membrane pour fournir une force qui s'oppose et qui est perpendiculaire à la membrane. Cette configuration dépend surtout de la fourniture et de la conservation d'une densité de courant uniforme dans la membrane. Une telle exigence est très difficile à respecter dans la pratique et, à la connaissance des présents inven- teurs, l'invention n'en a pas trouvé d'utilisation signifi- cative. Un exemple de la deuxième catégorie est décrit dans le brevet américain n 3 832 618 dans lequel deux différen- ces de pression ayant une pression commune sont mesurées et leur différence déterminée. Ainsi, une troisième différence de pression est déterminée et affichée. La pression commune est produite par un fluide hydraulique qui est étranglé et utilisé à des fins d'amortissement. Ce document permet de mesurer des différences de pression très élevées, mais n'enseigne pas la façon de mesurer avec précision les pressions très faibles utilisées couramment lors d'un traitement sous vide et d'obtenir toutefois un large éventail de pressions. Dans le brevet américain n 5 457 999, deux différences de pression ayant une pression très faible commune sont mesurées et leur différence est déterminée, tel que mentionné ci-dessus. Toutefois, cette conception n'emploie pas l'équilibrage de forces et subit donc les effets néfastes des changements de propriétés du matériau, tel que mentionné ci-dessus pour les manomètres à déformation mécanique. Les manomètres à équilibrage de forces existants tels que ceux qui ont été mentionnés ci-dessus sont rarement, voire jamais, utilisés lors de traitements sous vide à pression faible et propre. Ceci est dû à un manque de stabilité, à une sensibilité inadéquate et à la complexité et au coût élevé de la fourniture d'un moyen d'équilibrage de forces dans le vide. La technique antérieure qui permet de mesurer de multiples différences de pression n'enseigne pas la façon d'éviter les problèmes de surpression tout en obtenant une sensibilité élevée. La technique antérieure n'enseigne pas la façon d'éviter les sérieux problèmes provoqués par l'influence des changements de propriétés du matériau sur la précision. Les objectifs de la présente invention sont de fournir un manomètre à équilibrage de forces qui: - présente un très large éventail de pressions différentielles approprié à un traitement sous vide propre; - réagit relativement peu à la surpression; - présente une hystérésis négligeable; - est relativement peu sensible aux effets des changements de propriétés du matériau en fonction de la température et du vieillissement;5 présente un moyen de force de restauration et de détection de position situé à l'extérieur du vide; et - ne présente aucun circuit électrique à l'intérieur du vide et par conséquent ne nécessite pas de traversées sous vide. La présente invention a ainsi pour objet un manomètre à équilibrage de forces pour mesurer une différence de pression de fluide. Le fluide à mesurer peut être un gaz ou un liquide, et le moyen de pression de référence peut être un fluide semblable ou différent. La pression différentielle est appliquée à un ensemble de détection de forces déplaçable et les dévia- tions de l'ensemble de détection de forces par rapport à une position zéro sont détectées. Un servomécanisme commande un moyen d'équilibrage de forces qui agit sur l'ensemble de détection des forces, de façon à ramener l'ensemble de détection des forces à une position zéro. La force nécessaire pour replacer l'ensemble de détection de pression dans la position zéro est étalonnée de façon à correspondre à la pression différentielle agissant sur l'ensemble de détection des forces. Dans l'appareil selon l'invention, il est prévu une première plaque circulaire suspendue de façon souple pour isoler de l'atmosphère une première chambre à la pression Pi, et une deuxième plaque circulaire suspendue de façon souple pour isoler de l'atmosphère une deuxième chambre à la pression P2. Une liaison rigide relie les deux plaques, et place les plaques sur le même axe. Les plaques suspen- dues de façon souple sont munies de butées mécaniques pour limiter le déplacement axial AX des plaques à un très petit éventail de déplacements. Les première et deuxième plaques circulaires sont de préférence plates et relativement épaisses et rigides. Les premier et deuxième éléments de suspension souples sont de préférence des enveloppes de révolution très minces5 obtenues par la rotation d'un segment de cercle. Une enveloppe de révolution mince présente une constante de rappel relativement élevée lorsqu'elle est fixée à ses deux bords interne et externe. Toutefois, selon la présente invention, on a découvert qu'en fixant le bord externe d'une enveloppe de révolution mince et en reliant le bord interne de l'enveloppe au bord externe d'une plaque circulaire rigide, l'ensemble obtenu présentait de façon surprenante une constante de rappel très faible mais pouvait toujours supporter des différences de pression relativement élevées sans que soient provoqués des domma- ges. Une plaque souple présentant une constante de rappel très faible se verrait confrontée aux mêmes problèmes de surpression qu'une membrane mince dans un manomètre capacitif si on comptait sur la déformation mécanique pour fournir la force d'opposition. L'appareil selon la présente invention utilise un moyen d'équilibrage de forces bien connu dans la technique pour fournir la force d'opposition. En fonctionnement, le mouvement des plaques suspendues de façon souple est restreint à un éventail de déplacements axiaux AX dans lequel le manomètre est extrêmement sensi- ble. Lorsque le manomètre ne fonctionne pas, l'ensemble d'équilibrage de forces repose sur une butée mécanique. Lorsque l'ensemble d'équilibrage de forces repose sur une butée, la constante de rappel des enveloppes minces augmente considérablement par rapport à la constante de rappel relevée lorsque l'ensemble ne repose pas sur une butée. Ce changement important de la constante de rappel est obtenu sans qu'il soit nécessaire d'élaborer des butées ayant été formées avec précision pour les enveloppes minces telles qu'elles sont requises dans les manomètres capaci- tifs traditionnels. Seules des butées mécaniques simples sont requises. Lorsque l'ensemble d'équilibrage de forces repose sur une butée mécanique, les enveloppes souples minces peuvent résister assez bien aux différences de pression élevées sans provoquer de dommage si la pression plus importante est appliquée sur le côté concave. Lorsque le moyen d'équilibrage de forces fonctionne, les enveloppes souples minces sont en effet fixées au niveau de leur périphérie et peuvent bien résister à des différences de pression élevées. Toutefois, en fonctionnement, l'ensemble d'équilibrage de forces de la présente invention présente une constante de rappel très faible et permet par consé- quent de mesurer des différences de pression très faibles ainsi que des différences de pression relativement élevées, et ce avec le même manomètre. La combinaison de la fixation totale en période de non-fonctionnement et d'une pseudo- fixation par le moyen d'équilibrage de forces en période de fonctionnement, procure une protection efficace contre les surpressions ainsi qu'une sensibilité élevée. Ces avantages n'ont jamais été obtenus dans la technique antérieure. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront plus clairement à la lumière de la description qui va suivre, concernant un mode de réalisation particu- lier, en référence aux figures du dessin annexé, o: - la figure 1 est une vue en coupe schématique d'un manomètre à équilibrage de forces servant d'illustration pour mesurer une pression de fluide différentielle selon la présente invention; - la figure 2 est une vue en coupe schématique d'un élément souple selon l'invention qui constitue une enve- loppe mince de révolution, la corde diamètrale du demi- cercle utilisé pour générer l'enveloppe étant perpendicu- laire à l'axe de révolution; - la figure 3 est une vue en coupe schématique d'un autre mode de réalisation de l'invention, dans lequel de multiples enveloppes sont reliées au niveau de leur périphérie interne à des pièces d'écartement cylindriques afin de mesurer les différences de pression plus faibles;5 - la figure 4 est une illustration schématique d'un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel deux électro-aimants sont employés pour faciliter la disposition des plaques capacitives de façon optimale sur l'axe et à mi-chemin à l'intérieur du manomètre.10 En référence aux dessins, des éléments semblables seront désignés par des numéros de référence semblables. Sur la figure 1, un manomètre à équilibrage de forces pour mesurer une pression de fluide différentielle est représenté sous forme schématique. Le fluide à mesurer peut être un gaz ou un liquide et il est généralement présent dans une chambre 20. Le moyen de pression de référence peut être un fluide semblable ou différent, et il se trouve en général à l'intérieur d'une chambre 20', bien que le fluide à mesurer puisse se trouver dans la chambre 20' alors que le fluide de référence se trouve dans la chambre 20, le terme chambre signifiant un conteneur de type quelconque. La force nette produite par la pression différentielle est appliquée sur un ensemble de détection de forces déplaçable noté l. L'ensemble de détection de forces déplaçable 11 est composé d'une première plaque 12 fixée de façon étanche à la périphérie interne du premier élément souple 14, d'une deuxième plaque 12' fixée de façon étanche à la périphérie interne du deuxième élément souple 14', d'un aimant permanent 40 et de liaisons rigides 30 et 30'. La liaison rigide 30 est fixée de façon rigide à la première plaque 12 par une extrémité, et par l'autre extrémité à un aimant permanent 40. La liaison rigide 30' est fixée de façon rigide à la deuxième plaque 12' par une extrémité, et par l'autre extrémité à l'aimant permanent 40. Les plaques 12 et 12' sont des plaques métalliques circulaires non déformables rigides, montées de façon coaxiale, l'épaisseur des plaques étant telle qu'elle permet d'assurer une rigidité significative de celles-ci. Les éléments souples 14 et 14' sont des enveloppes de révolution d'un segment de cercle, le segment et l'axe de révolution 13 se trouvant sensiblement dans le même plan que celui illustré sur la figure 2. La plaque 12 et l'élément souple 14 comprennent un premier élément déforma- ble sous pression et la plaque 12' et l'élément souple 14' comprennent un deuxième élément déformable sous pression. L'épaisseur des enveloppes 14 et 14' est de préférence comprise entre environ 0,01 mm et 0,05 mm et peut être comprise entre 0,0076 mm et 0,25 mm. La périphérie externe de l'élément souple 14 est fixée de façon étanche à une première enceinte de pression 16, le diamètre de l'enceinte 16 étant en général d'environ 38 mm, étant entendu que toutes les valeurs dimensionnelles mentionnées dans la présente demande ne sont données qu'à titre d'illustration et ne limitent en aucun cas les revendications de la présente demande. La périphérie externe de l'élément souple 14' est fixée de façon étanche à une deuxième enceinte de pression 16' Les enceintes 16 et 16' sont reliées de façon rigide à un moyen de position- nement ou châssis 32 de telle sorte que la distance entre les enceintes 16 et 16' puisse être de l'ordre de 51 mm. La face 18' de la deuxième plaque 12' est exposée au fluide dans la deuxième chambre 20' par l'intermédiaire de la deuxième connexion de fluide 22'. Une butée mécanique 24 est fixée à l'enceinte de pression 16 de façon à limiter le déplacement axial de l'ensemble de détection de forces 11. Le déplacement de l'ensemble de détection de forces 11 est détecté par un transducteur adéquat qui est ici un condensateur 50 composé d'une première plaque de condensa- teur 52 et d'une deuxième plaque de condensateur 54. L'unité de détection de position (ou détecteur de position) est connectée à la plaque de condensateur 54 par une connexion 62 qui est isolée du châssis 32, tandis que la plaque de condensateur 52 est connectée à l'unité de détection de position 60 par l'intermédiaire d'un aimant permanent électroconducteur 40, de la liaison rigide électroconductrice 30, de la plaque électroconductrice 12, du premier élément souple électroconducteur 14, de l'enceinte de pression électroconductrice 16 et par conséquent à l'unité de détection de position 60 par l'intermédiaire des mises à la masse 64 et 66. La deuxième plaque de condensateur 54 présente une forme annulaire et est fixée de façon rigide à un anneau isolant 56. L'anneau isolant 56 est fixé de façon rigide au châssis 32. La première plaque de condensateur 52 est fixée de façon rigide à l'aimant permanent 40 et subit par conséquent le même déplacement que l'ensemble de détection de forces 11. L'unité d'équilibrage de forces (ou équilibreur de forces) 70 fournit du courant à une bobine 76 par l'intermédiaire des connexions électriques 74 qui sont isolées du châssis 32. La bobine 76 est enroulée autour d'une âme 78. L'âme 78 est fixée de façon rigide au support d'âme 80. Le support d'âme 80 est fixé de façon rigide au châssis 32. Au cours du montage du manomètre à équilibrage de forces 10, et avant d'établir la liaison rigide entre les plaques 12 et 12' sur un même axe, l'axe commun des plaques 12 et 12' est fixé en position horizontale et les pressions Pl et P2 (pressions respectives dans les chambres 20 et 20') sont fixées égales à la pression atmosphérique qui prévaut, de telle sorte que la différence de pression exercée sur chacune des plaques 12 et 12' soit égale à zéro. L'écartement axial noté Sn, entre les plaques 12 et 12' et la position de la première plaque 12 par rapport au châssis 32 sont alors mesurés et enregistrés, ladite diffé- rence de pression étant égale à zéro. La position de la l1 première plaque 12 par rapport au châssis 32, une force axiale nulle étant relevée sur la première plaque, est définie comme étant une position zéro. La butée mécanique 24 est réglée de façon à se trouver à une distance AY de la première plaque 12, la première plaque 12 se trouvant en position zéro. La distance AY est de préférence comprise entre 0, 054 et 0,13 mm, et peut être comprise entre 0,013 et 0,13 mm. Les liaisons rigides 30 et 30' sont alors agencées de façon à conserver l'écartement axial Sn.10 Par ailleurs, au cours du montage du manomètre à équilibrage de forces 10, la position de la plaque de condensateur 52 est réglée de façon à fournir un écartement Dn entre les plaques de condensateurs 52 et 54 lorsque la première plaque 12 se trouve dans une position zéro. L'écartement Dn est de préférence fixé entre environ 0,013 et 0,038 mm, et peut être compris entre 0,0038 et 0,038 mm. La capacité du condensateur 50, lorsque la première plaque 12 se trouve dans la position zéro, est définie comme étant la capacité nulle. Après le montage, le manomètre à équilibrage de forces 10 est actionné de préférence avec l'axe de l'ensem- ble d'équilibrage de forces 11 dans une orientation verticale. Dans cette orientation, si Pi = P2, le poids de l'ensemble 11 fera en sorte que l'ensemble repose sur la butée mécanique 24, ce qui entraînera une capacité du condensateur 50 inférieure à la capacité nulle. La capacité du condensateur 50 est mesurée avec l'unité de détection de position 60, par des moyens bien connus dans la technique. En fonctionnement, la capacité est comparée en continu à la capacité nulle, et un signal de différence est produit. Le signal de différence est envoyé à l'unité d'équilibrage de forces 70 par l'intermé- diaire de connexions 72. L'unité d'équilibrage de forces 70 fournit un courant correspondant dans une bobine 76. Le champ magnétique de l'aimant permanent 40 interagit avec le courant de la bobine 76 de façon à produire une force d'équilibrage sur l'aimant permanent 40. La force d'équili- brage tend à diminuer le déplacement et donc déplacer la plaque 12 vers la position zéro. Lorsque la capacité du condensateur 50 s'approche de la capacité nulle, le signal de différence tend vers zéro. Le courant obtenu dans la bobine 76 peut être mis en relation de façon précise avec la différence de pression en présence Pl- P2, en étalonnant le manomètre à équilibrage de forces 10. D'abord, le courant requis dans la bobine 76 pour rétablir la capacité du condensateur 50, pour qu'elle présente une capacité nulle avec Pl = P2, est mesuré et de préférence stocké, de façon électronique dans une unité de détection de position 60. Ensuite, une ou plusieurs différences de pression connues Pl - P2 sont créées, et le courant requis dans la bobine 76 pour ramener la capacité du condensateur 50 à la capacité nulle est mesuré et de préférence stocké de façon électronique dans l'unité de détection de position 60 pour chaque différence de pression Pl - P2 connue. Les courants requis et les différences de pression connues correspon- dantes Pl - P2 sont convertis en une courbe représentant la différence de pression par rapport à l'étalonnage du courant requis, tel que cela est bien connu dans la technique. Une différence de pression inconnue peut ensuite être déterminée en mesurant le courant requis dans la bobine 76 pour ramener la capacité du condensateur 50 au niveau de la capacité nulle, et en utilisant la courbe d'étalonnage pour identifier la différence de pression correspondante, le moyen de mesure de courant (non représenté) pouvant être disposé dans l'unité d'équilibrage de forces 70. En fonctionnement, la pression différentielle est appliquée sur l'ensemble de détection de forces déplacable 11 et les déviations de l'ensemble de détection de forces par rapport à la position zéro sont détectées par l'unité de détection 60. Un servomécanisme commande l'unité d'équilibrage de forces 70 qui agit sur l'ensemble de détection de forces 11 de façon à ramener l'ensemble de détection de forces à sa position zéro. La force requise pour replacer l'ensemble de détection de forces à la position nulle est étalonnée de façon à correspondre à la pression différentielle agissant sur l'ensemble de détec- tion de forces. Dans l'appareil de l'invention, il est prévu une première plaque circulaire suspendue de façon souple 12 pour isoler de l'atmosphère la première chambre 20 à la pression Pl, et une deuxième plaque circulaire suspendue de façon souple 12' pour isoler de l'atmosphère une deuxième chambre 20' à la pression P2. Une liaison rigide raccorde les deux plaques, et positionne les plaques sur un même axe. Les plaques suspendues de façon souple sont munies d'une butée mécanique 24 et des plaques de condensateurs 52 et 54 pour limiter le déplacement axial des plaques à un éventail AX très petit. AX est de préférence compris entre 0,076 et 0,15 mm mais peut être compris entre 0,051 et 0,76 mm. Les première et deuxième plaques circulaires 12 et 12' sont de préférence plates et relativement épaisses et rigides. Les premier et deuxième éléments de suspension souples 14 et 14' sont de préférence des enveloppes de révolution très minces d'un segment de cercle. Une enve- loppe de révolution mince présente une constante de rappel relativement élevée lorsqu'elle est fixée à la fois par ses bords interne et externe. Toutefois, dans le cadre de la présente invention, on a découvert qu'en fixant le bord externe d'une enveloppe de révolution mince telle que l'enceinte de pression 16 ou 16' et en reliant le bord interne de l'enveloppe au bord externe d'une plaque circulaire rigide comme la plaque 12 ou 12', l'ensemble obtenu présentait de façon surprenante une constante de rappel très faible, tout en pouvant supporter des différen- ces de pression relativement élevées, sans que soient provoqués de dommages. Une plaque souple présentant une constante de rappel très faible se verrait confrontée aux mêmes problèmes de surpression qu'une membrane mince dans un manomètre capacitif si on comptait sur la déformation mécanique pour fournir la force d'opposition. L'appareil de la présente invention utilise un moyen d'équilibrage de forces comme10 l'unité 70 bien connu dans la technique pour fournir la force d'opposition. En fonctionnement, le mouvement des plaques suspendues de façon souple est restreint à un éventail de déplacements axiaux AX dans lequel le manomètre est extrêmement sensible. Lorsque le manomètre ne fonc- tionne pas, l'ensemble d'équilibrage de forces repose sur la butée mécanique 24. Lorsque l'ensemble d'équilibrage de forces repose sur la butée 24, la constante de rappel des enveloppes minces 14, 14' augmente considérablement par rapport à la constan- te de rappel relevée lorsque l'ensemble ne repose pas sur une butée. Ce changement important de la constante de rappel est obtenu sans qu'il soit nécessaire d'élaborer des butées ayant été formées avec précision pour les enveloppes minces telles qu'elles sont requises dans les manomètres capacitifs. Seules des butées mécaniques simples sont requises. Lorsque l'ensemble d'équilibrage de forces repose sur une butée mécanique, les enveloppes souples minces peuvent résister relativement aux différences de pression élevées sans provoquer de dommage si la pression plus élevée est appliquée sur le côté concave. Lorsque le moyen d'équilibrage de forces fonctionne, les enveloppes souples minces sont en effet fixées au niveau de leur périphérie et peuvent bien résister à des différences de pression élevées. Toutefois, en fonctionnement, l'ensemble d'équili- brage de forces de la présente invention présente une constante de rappel très faible et permet par conséquent mesurer des différences de pression très faibles ainsi que des différences de pression relativement élevées etce avec le même manomètre. La combinaison de la fixation totale en période de non-fonctionnement et d'une pseudo-fixation par le moyen d'équilibrage de forces en période de fonctionne- ment fournit une protection contre les surpressions ainsi qu'une sensibilité élevée. Ces avantages n'ont jamais été atteints dans la technique antérieure. Les deux plaques circulaires 12, 12' sont agencées de telle sorte que leurs faces plates soient sensiblement parallèles. Les surfaces utiles des plaques suspendues de façon souple sont de préférence sensiblement égales. Les plaques sont reliées par une liaison rigide comprenant les liaisons rigides 30, 30' et l'aimant permanent 40 relié à la face de chaque plaque qui est exposée à la pression atmosphérique Patm bien qu'il faille comprendre qu'une pression autre que la pression atmosphérique peut être utilisée dans le manomètre. En l'espèce, la pression atmosphérique est la pression préférée car elle peut être introduite simplement dans le manomètre par des ouvertures à travers lesquelles passent les connexions 62 et 74. Les chambres 20,20' sont en général agencées dans un emplace- ment fixe par rapport au châssis rigide 32. Le déplacement axial des plaques est, de préférence, mesuré avec un condensateur variable, comme cela est bien connu dans la technique. Tel que mentionné ci-dessus, pendant le montage avant de relier de façon rigide les deux plaques sur un même axe, l'axe commun des deux plaques 12, 12' est rendu horizontal et les pressions Pl et P2 régnant dans les chambres 20 et 20' sont fixées égales à la pression atmosphérique en présence, de sorte que la force axiale appliquée sur chaque plaque est nulle. L'écartement axial Sn entre les plaques et la position de la première plaque 12 par rapport au châssis 32 sont alors mesurés et enregistrés avec une force axiale nulle. La position de la première plaque par rapport au châssis avec une force axiale nulle appliquée sur la première plaque est définie comme étant la position zéro. La butée mécanique dans la5 première chambre est espacée d'une distance AY de la première plaque, ladite première plaque se trouvant dans la position zéro. La liaison rigide est alors mise en place de façon à conserver l'écartement axial Sn. Tel que mentionné ci-dessus, le condensateur 50 est composé de deux plaques de condensateurs annulaires 52 et 54. La première plaque de condensateur 52 est fixée de façon rigide à l'ensemble suspendu de façon souple. La deuxième plaque de condensateur 54 est fixée de façon rigide au châssis. Pendant le montage, la position de la deuxième plaque de condensateur 54 est réglée de façon à fournir une distance Dn entre les plaques de condensateurs lorsque la première plaque 52 se trouve dans la position zéro. La capacité du condensateur de détection de position lorsque la première plaque 52 se trouve en position zéro est définie comme étant la capacité nulle. En fonctionnement, le manomètre est activé de préférence avec l'axe de l'ensemble disposé verticalement. Dans cette orientation, si Pl = P2, le poids de l'ensemble fera en sorte que l'ensemble repose sur la butée inférieure 24 ce qui entraîne une capacité plus faible que celle correspondant à la position zéro. En période de non fonctionnement, les plaques de condensateurs 52 et 54 peuvent fonctionner comme une butée mécanique pour assurer un déplacement dans un sens. La différence obtenue entre la capacité correspondant à la position nulle et la capacité dans toute autre position de l'ensemble d'équilibrage de forces est utilisée pour commander de façon électronique l'unité d'équilibrage de forces 70 qui exerce une force sur les plaques 12, 12' permettant de faire revenir les plaques dans leur position zéro. Un moyen d'équilibrage de forces bien connu dans la technique peut être utilisé, dans lequel un courant électrique contenu dans une bobine plongée dans un champ magnétique génère une force d'équilibrage. En fonctionnement, il y a une différence de pression (Patm - Pl) sur toute la première plaque produisant une force F1 dirigée vers la première chambre, et on peut écrire: F1 = (Patm - Pi) ael o ae, est la surface utile de la première plaque suspendue de façon souple. En fonctionnement, il y a une différence de pression (Patm - P2) sur toute la deuxième plaque, ce qui produit une force F2 dirigée vers la deuxième chambre, ce qui permet d'écrire: F2 = (Patm - P2) ae2 Si ael ae2, la force de pression nette appliquée sur l'ensemble à deux plaques et donnée par: F1 - F2 = - (Pi - P2) ae2. Celle-ci est dirigée vers la chambre présentant la pression la plus basse. Lorsque Pl > P2, il y aura une force liée à la pression résultante perpendiculaire à la surface des plaques 12, 12' dirigée vers la région présentant une pression inférieure, ladite force résultante provoquant le déplacement des plaques depuis la position zéro. Le courant supplémentaire nécessaire pour contrebalancer la force liée à la pression résultante peut être lié à la différence de pression Pl - P2 par étalonnage tel que cela a été décrit ci-dessus, et tel que cela est bien connu dans la techni- que. Tel que représenté sur la figure 2, un mode de réalisation de la présente invention propose une enveloppe de révolution mince pour suspendre chaque plaque, le diamètre du demi-cercle utilisé pour générer l'enveloppe étant perpendiculaire à l'axe de révolution 13. On a découvert selon la présente invention que des suspensions flexibles présentant cette géométrie peuvent facilement être réalisées à partir d'une feuille métallique extrême- ment mince et qui supportent malgré cela des différences de pression relativement élevées lorsque toutes les surfaces exposées à la pression plus élevée sont concaves. Par exemple, un élément souple en acier inoxydable présentant cette géométrie préférée et un diamètre extérieur de 38,1 mm et une épaisseur de seulement 0,025 mm supportera seulement une pression d'environ 2,5 x 107 Pa si elle est soumise à une différence de pression atmosphérique. Dans les mêmes conditions, une membrane plate de même épaisseur et de même diamètre extérieur dans un manomètre capacitif classique subirait une pression de plus de 6,9 x 109 Pa. Une telle pression importante provoquerait bien évidemment l'endommagement de la membrane. Cette membrane plate serait soumise à des couples de flexion importants tandis qu'une enveloppe de révolution mince d'un segment de cercle est soumise à des couples de flexion négligeables. Comme le montre la figure 3, lorsque des différences de pression très faibles doivent être mesurées (par exemple inférieures à 10-4 Torr), de multiples enveloppes de révolution 100 peuvent être employées pour fournir une constante de rappel très faible, auquel cas chaque enve- loppe peut présenter une coupe quasiment circulaire, deux enveloppes étant représentées à titre d'illustration, le nombre d'enveloppes pouvant varier. Les enveloppes multi- ples peuvent être reliées par leurs périphéries internes à des pièces d'écartement courtes et non souples 102a, 102b et 102c, ces pièces d'écartement pouvant présenter une configuration cylindrique. La pièce d'écartement 102a est reliée de façon étanche par sa surface supérieure à l'enceinte de pression 16' et par sa surface inférieure à l'enveloppe supérieure 100 représentée sur la figure 3. Une pièce d'écartement intermédiaire 102b est reliée par sa surface supérieure à la surface inférieure de l'enveloppe supérieure 100 et par sa surface inférieure à la surface supérieure de l'enveloppe inférieure 100. La pièce d'écar- 5 tement cylindrique 102c est reliée par sa surface supé- rieure à la surface inférieure de l'enveloppe inférieure et à la place 12' par sa surface inférieure. L'agencement représenté sur la figure 3 peut être dupliqué à l'extrémité inférieure du manomètre par rapport à la plaque 12 et à l'enceinte de pression 16. Les envelop- pes 100 utilisées à la fois au niveau des parties infé- rieure et supérieure du manomètre présentent les mêmes caractéristiques que les enveloppes 14 et 14' de la figure 1, la seule différence étant que les enveloppes 14 et 14' constituent des segments semi-circulaires d'un cercle complet tandis que les enveloppes 100 de la figure 3 correspondent à de plus grands segments de cercle, de sorte qu'elles sont quasiment circulaires, tel que décrit ci- dessus. Les pièces d'écartement 102a, 102b et 102c ne sont pas souples et par conséquent, la souplesse de l'agencement de la figure 3 provient de la souplesse des enveloppes 100. Puisque l'ensemble de plaques suspendues présente une constante de rappel très faible dans la position zéro, des différences de pression extrêmement faibles peuvent être facilement mesurées. Des différences de pression plus importantes peuvent également être facilement mesurées si on augmente tout simplement la force d'équilibrage. Du fait de la géométrie particulière des suspensions souples, une surpression raisonnable n'affecte pas la précision du dispositif comme cela arrive fréquemment avec les manomè- tres à membrane qui comptent sur la déformation métallique pour fournir la force d'opposition. Des butées mécaniques simples confinent le déplacement des plaques dans un éventail très petit lorsque le moyen formant force de restauration n'est pas actif et lorsque la surpression est présente. Ainsi, les objectifs 1 et 2 de la présente invention mentionnés dans le présent document sont atteints grâce à l'utilisation de minces enveloppes de révolution5 ayant un profil en coupe de segment circulaire concave du côté haute pression. Puisque la force de restauration est générée par un moyen indépendant des propriétés du matériau desdits plaques et éléments souples, le nouveau dispositif de la10 présente invention permet d'effectuer des mesures de pression qui ne sont pas influencées par des changements de propriétés du matériau. Ainsi, le nouveau dispositif est considérablement plus stable que les dispositifs de la technique antérieure qui dépendent du fait que les proprié-15 tés du matériau restent inchangées pour préserver la stabilité. Ainsi, les objectifs précités de la présente invention mentionnés précédemment sont remplis par la combinaison des caractéristiques mentionnées ci-dessus. Un mode de réalisation préféré de la présente invention permet de positionner le moyen de détection de position (condensateur 50) et le moyen d'équilibrage de forces (aimant permanent 40 et bobine 76) entre les plaques 12 et 12'. Ainsi, tous les circuits électriques nécessaires peuvent être placés à l'extérieur du vide à la pression atmosphérique. Par conséquent, il n'est pas nécessaire d'utiliser des traversées sous vide coûteuses et encombran- tes pour passer du côté du dispositif se trouvant à la pression atmosphérique, au côté se trouvant sous vide. Le fait de positionner tous les moyens d'équilibrage de forces et de détection de position à l'extérieur du vide évite également les créations de surfaces supplémentaires sous vide, qui, si elles sont présentes, empêchent l'évacuation par pompage. Ainsi, la présente invention remplit les autres objectifs précités mentionnés précédemment. Le fait de positionner le moyen d'équilibrage de forces (aimant permanent 40 et bobine 76) à mi-chemin entre les plaques réduit au minimum plusieurs autres problèmes, tel que cela va être expliqué à présent. Afin de réduire au minimum la dissipation de courant dans le moyen d'équili- brage de forces et l'augmentation de la température obtenue dans la manomètre, il est souhaitable de conserver un très petit écartement entre l'aimant 40 et la bobine 76. Il est également souhaitable que l'ensemble suspendu de façon souple il puisse se déplacer librement et ne frotte pas contre la bobine fixe. Toutefois, pour mesurer des pres- sions très faibles, des suspensions très minces et souples sont nécessaires, et celles-ci tendent à générer facilement un moment de torsion faible sur l'ensemble produit par exemple par vibration. La présente invention utilise deux plaques suspendues de façon souple 12 et 12' espacées d'une distance relative- ment grande dans le sens axial, de façon à fournir une constante de ressort rotative importante au niveau du point intermédiaire de l'axe entre les plaques circulaires, l'écartement étant de préférence d'au moins environ 70 % du diamètre externe des premier et deuxième éléments déforma- bles sous pression. Ainsi, la présente invention résiste relativement à un moment de torsion faible appliqué sur la partie déplaçable du manomètre, ce qui n'était pas le cas du dispositif décrit dans le brevet soviétique n RU20102 01 précité. Par conséquent, l'écartement entre l'aimant 40 et la bobine 76 peut être rendu très petit afin d'obtenir un équilibrage de forces optimal avec un courant minimum. En plaçant le moyen d'équilibrage de forces (aimant 40 et bobine 76) à mi-chemin entre les plaques, des interstices bien plus petits entre l'aimant et la bobine peuvent être utilisés. Avec ce positionnement du moyen d'équilibrage de forces, un avantage significatif est obtenu sans que l'on doive augmenter la longueur axiale totale du manomètre. Dans le brevet américain n 3 832 618 mentionné précédemment, une liaison mécanique de longueur non spécifiée est décrite et celle-ci relie deux capsules de pression différentielle. Dans le brevet américain n 5 457 999, une liaison mécanique est décrite et celle-ci est plus longue qu'un élément vibrant élastique en tension employé pour déterminer la différence de pression. La présente invention permet de placer de préférence les plaques de condensateurs de détection 52 et 54 à mi- chemin entre les plaques circulaires pour la même raison que celle décrite ci-dessus pour le placement du moyen d'équilibrage de forces (aimant 40 et bobine 76) à mi- chemin entre les plaques circulaires 12 et 12'. L'écarte- ment entre les plaques de condensateurs 52 et 54 peut être rendu bien plus petit que si les plaques de condensateurs étaient placées quelque part le long de l'axe des plaques circulaires pour le même déplacement rotatif de l'axe. Un écartement plus petit entraîne une augmentation de la capacité et améliore donc la capacité d'assurer des déplacements axiaux plus petit et donc permet d'avoir des pressions plus faibles. En utilisant deux électro-aimants, les plaques de condensateurs peuvent être placées de façon optimale sur l'axe et à mi-chemin entre les plaques 12 et 12', tel que représenté sur la figure 4. En référence à la figure 4, deux électro-aimants 40 et 40' sont illustrés, les aimants étant séparés par une pluralité de montants 200, en général trois ou quatre montants étant disposés sur la périphérie des aimants 40, et 40'. Une plaque de condensateur mobile 52 est montée sur l'aimant permanent 40, en étant isolée électriquement de celle-ci par une pièce d'écartement isolante 202. La plaque de condensateur fixe 54 est montée de façon fixe par rapport au châssis 32 par une plaque électroconductrice 204, la plaque 204 étant munie d'une pluralité d'ouvertures 210 par lesquelles passent les montants 200 pour permettre le déplacement des aimants 40 et 40' par rapport au châssis 32 tandis que la plaque de condensateur 52 reste fixe par rapport à celle-ci. La connexion électrique 74 allant vers et venant de l'unité d'équilibrage de forces 70 s'étend à travers les bobines supérieures 76' et par conséquent par l'intermé- diaire de la ligne 206 jusqu'aux bobines 76 puis revient à l'unité d'équilibrage de forces lorsque la ligne 206 est isolée de façon appropriée. De plus, la connexion électrique allant de l'unité de détection de position 60 aux plaques de condensateurs 52 et 54 est telle qu'une connexion directe est établie par l'intermédiaire de la ligne isolée 208 avec la plaque mobile 52, tandis que la connexion à la plaque fixe 54 se fait par l'intermédiaire de la masse 66, de la masse 64, de l'enceinte de pression 16, du châssis 32, de la plaque de support électroconductrice 204 et par conséquent de la plaque de condensateur fixe 54. D'après ce qui précède, on peut voir que les plaques de condensateurs 52 et 54 sont situées de façon optimale sur l'axe du manomètre et à mi- chemin entre les plaques 12 et 12'. Chaque enveloppe utilisée pour la suspension répond de façon prévisible dans un sens parallèle à l'axe des plaques mais, puisque chaque enveloppe est très mince, chaque enveloppe a tendance à se déformer de façon non prévisible lorsqu'elle est exposée à des forces latérales ou radiales. Il a été constaté selon la présente invention que, si l'on espace les plaques d'une distance relativement importante et si on les fixe de façon rigide les unes aux autres, on réduit de façon considérable la tendance au gondolement. Ainsi, le fait de placer le moyen de rétablis- sement des forces (aimant 40 et bobine 76) entre les plaques 12 et 12', plutôt que de le placer au-delà d'une plaque, réduit l'action du bras de levier sur les plaques, et par conséquent aide à réduire le couple qui agit sur les suspensions et permet donc d'éviter le gondolement. Cet avantage considérable peut également être obtenu sans réduire la longueur globale du dispositif. Tel que mentionné précédemment, les surfaces utiles des plaques suspendues de façon souple 12, 12' sont de préférence rendues égales. Toutefois, si on fait en sorte que l'une des plaques est sensiblement plus grande que les autres, la pression absolue peut être mesurée, les pres- sions dans les chambres 20 et 20' devant être mesurées étant sensiblement égales et la pression présente dans l'espace 85 se trouvant entre les plaques 12 et 12' étant différente de la pression rencontrée dans les chambres 20 et 20'. Par exemple, l'écartement entre les plaques 12 et 12' peut être supprimé plutôt que d'être mis à la pression atmosphérique. Tel que mentionné également précédemment, il faut comprendre que les différentes valeurs dimensionnelles données, par exemple AX, AY, Dn, l'épaisseur des enveloppes de révolution, les dimensions du manomètre, etc., ne sont données qu'à titre d'illustration et qu'elles ne limitent en aucun cas la présente invention. REVENDICATIONS 1. Appareil pour mesurer la pression différentielle entre au moins deux fluides, caractérisé en ce qu'il comprend: des premier et deuxième éléments (12,14; 12',14') déformables sous pression exposés aux fluides respectifs en formant pour chacun une fermeture étanche, lesdits éléments déformables sous pression étant reliés entre eux de façon rigide de façon à se déplacer comme une pièce unique; un détecteur de position (60) pour déterminer le déplacement desdits éléments déformables sous pression (12, 14; 12', 14'); un équilibreur de forces (70) qui exerce une force sur les éléments déformables reliés entre eux de façon rigide (12, 14; 12', 14') pour diminuer ledit déplacement; et en ce que ledit premier élément déformable sous pression comprend une première plaque circulaire (12) sensiblement non souple reliée de façon étanche à une première enveloppe de révolution (14) sensiblement souple, ladite première enveloppe étant seulement concave sur une surface de celle-ci, et ledit deuxième élément déformable sous pression comprend une deuxième plaque circulaire (12') sensiblement non souple reliée de façon étanche à une deuxième enveloppe de révolution (14') sensiblement souple, ladite deuxième enveloppe étant seulement concave sur une surface de celle-ci. 2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites première et deuxième plaques circulaires non souples (12,12') sont coaxiales. 3. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites première et deuxième enveloppes de révolu- tion (14,14') présentent chacune une épaisseur comprise entre environ 0,0076 mm et environ 0,25 mm. 4. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites première et deuxième enveloppes de révolu- tion (14,14') présentent chacune une forme qui est générée en faisant tourner un segment de cercle autour d'un axe de révolution. 5. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la pression régnant dans un premier espace défini par une première enceinte de pression (16; 20) et le premier élément déformable sous pression (12,14) est sensiblement égale à la pression régnant dans un deuxième espace défini par une deuxième enceinte de pression (16';10 20') et le deuxième élément déformable sous pression (12', 14'), et la pression rencontrée dans un troisième espace entre les première et deuxième plaques non souples (12,12') diffère de celle qui règne dans lesdits premier et deuxième espaces. 6. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la distance axiale entre lesdites première et deuxième plaques circulaires non souples (12,12') est supérieure à environ 0,7 fois le diamètre externe desdits premier et deuxième éléments déformables sous pression. 7. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit équilibreur de forces (70) est disposé entre lesdits premier et deuxième éléments déformables sous pression. 8. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdites enveloppes de révolution (14,14') sont chacune concaves sur la surface exposée à une pression plus élevée. 9. Appareil selon les revendication 1 et 2, caracté- risé en ce que ledit détecteur de position (60) est disposé sensiblement sur ledit axe et à mi-chemin entre lesdits premier et deuxième éléments déformables sous pression (12, 14; 12', 14'). 10. Appareil selon la revendication 1, caractérisé par des butées (24) servant à limiter le déplacement desdits premier et deuxième éléments déformables sous pression (12,14; 12',14'). 11. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit détecteur de position (60) comprend une première plaque de condensateur (52) et une deuxième plaque de condensateur (54), l'une (52) desdites plaques de condensateurs étant fixe par rapport auxdites première et deuxième plaques (12, 12') des éléments déformables et l'autre (54) desdites plaques de condensateur étant mobile par rapport auxdites première et deuxième plaques (12, 12') des éléments déformables. 12. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit équilibreur de forces (70) comprend au moins une bobine (76) transportant le courant agencée entre les première et deuxième plaques (12, 12') des éléments déformables. 13. Appareil pour mesurer la pression différentielle entre au moins deux fluides, caractérisé en ce qu'il comprend: des premier et deuxième éléments (12,14; 12',14') déformables sous pression exposés aux fluides respectifs et formant pour chacun une fermeture étanche, lesdits éléments déformables sous pression comprenant des plaques sensible- ment non souples (12, 12') reliées entre elles de façon rigide de façon à se déplacer comme une pièce unique; un détecteur de position (60) pour déterminer le déplacement desdits éléments déformables sous pression (12, 14; 12', 14'); un équilibreur de forces (70) comprenant une bobine (76) agencée entre les plaques (12, 12') des éléments déformables sous pression et coaxialement à celles-ci, ladite bobine exerçant une force sur les éléments déforma- bles reliés entre eux de façon rigide (12, 14; 12', 14') pour diminuer ledit déplacement. 14. Appareil selon la revendication 13, caractérisé par des butées (24) servant à limiter le déplacement desdits premier et deuxième éléments déformables sous pression (12, 14; 12', 14'). 15. Appareil selon la revendication 13 ou la revendi- cation 14, caractérisé en ce que chacun des premier et deuxième éléments déformables sous pression (12, 14; 12', 14') comprend une plaque circulaire (12; 12') sensiblement non souple reliée de façon étanche à une enveloppe souple de révolution (14; 14') qui est seulement concave sur une surface de celle-ci.