Brevet FR2781880A1 — publié le 20000204

La présente invention concerne un dispositif de détection capacitive de la pression permettant de détecter le déplacement d'une membrane, lequel déplacement est provoqué par une pression appliquée à la membrane, ou une différence de pression, sous la forme d'une valeur de capacité du condensateur qui est formé par la membrane et une électrode se trouvant en regard de celle-ci, et permettant de calculer une pression à partir de la valeur détectée, ainsi qu'un procédé associé. La figure 1 montre à titre d'exemple un capteur de pression destiné à être utilisé dans un dispositif classique de détection capacitive de la pression. Un capteur de pression 100 comprend une membrane 80 faite de silicium, des premières plaques conductrices 81a et 81b, des plaques isolantes 82a et 82b, des supports 83a et 83b, des jonctions de verre 84a et 84b. et des deuxièmes plaques conductrices 85a et 85b. Les premières plaques conductrices 81a et 81b sont disposées à une distance prédéterminée l'une de l'autre de façon à se trouver mutuellement en regard. Les plaques isolantes 82a et 82b isolent respectivement les premières plaques conductrices 81a et 81b et les supports 83a et 83b vis-à-vis des deuxièmes plaques conductrices 85a et 85b, et les soutiennent. La membrane 80 est disposée de manière fixe sur les supports 83a et 83b par l'intermédiaire des jonctions de verre 84a et 84b. Au centre du capteur de pression 100, des trous 86a et 86b de guidage de pression, qui pénètrent dans les premières plaques conductrices 81a et 81 b, les plaques isolantes 82a et 82b et les deuxièmes plaques conductrices 85a et 85b sont formés comme représenté sur la figure 1. Ces trous de guidage de pression 86a et 86b sont destinés à guider des pressions Pl et P2 jusqu'à la membrane 80. Des pellicules conductrices 87a et 87b sont formées sur les surfaces internes des trous de guidage de pression 86a et 86b. Les deuxièmes plaques conductrices 85a et 85b sont connectées électriquement aux premières plaques conductrices 81a et 81 b via les pellicules conductrices 87a et 87b. Dans le capteur de pression ayant la configuration ci-dessus décrite, les parties droite et gauche de la membrane 80 font fonction de condensateurs ayant des capacités respectives Cl1 et C2. La figure 2 montre à titre d'exemple la configuration d'une unité de détection de pression comportant le capteur de pression 100 ci-dessus décrit et son support. Des espaces vides 90 et 91, se trouvant à l'intérieur d'une unité 101 de détection de pression, sont remplis par un milieu de transmission de pression (fluide incompressible), comme par exemple une huile de silicone, ou analogue, et le capteur de pression 100 est placé de manière fixe sur le support du côté du trou de guidage de pression 86a dans le milieu de transmission de pression. A l'intérieur de l'unité 101 de détection de pression. des pression P1 et P2 sont transmises à la membrane 80 par l'intermédiaire des trous de guidage de pression 86a et 86b, via le milieu de transmission de pression, et le déplacement de la membrane 80. qui est provoqué par la différence entre les pressions Pl et P2, est détecté sous la forme d'une valeur de capacité. Lorsqu'on mesure une pression au moyen du capteur de pression 100 cidessus décrit, la valeur de capacité du condensateur, qui est due à la différence entre les pressions appliquées à la membrane 80, est une petite valeur d'environ à 100 pF. Ainsi, cette valeur est très influencée par la capacité parasite du condensateur ou par la capacité de la fuite du dispositif pendant la mesure de la pression, ce qui entraîne la non-linéarité de la caractéristique de sortie ou bien l'apparition d'une erreur de mesure. Comme technique classique permettant de surmonter ces problèmes, on peut citer par exemple la technique décrite par le brevet japonais mis à la disposition du public qui a été publié sous le numéro 64-71211. Cette publication propose un procédé permettant d'annuler l'influence d'une capacité parasite au moyen du résultat de la combinaison de deux condensateurs (C 1 et C2). La figure 3 représente de manière simplifiée le circuit destiné à mettre en oeuvre le procédé proposé par le brevet japonais mis à la disposition du public sous le numéro de publication 64-71211. La figure 4 montre une table représentant les relations qui existent entre les combinaisons de deux condensateurs et les résultats qu'elles procurent dans le circuit de la figure 3. Toutefois, dans le procédé décrit par le brevet japonais mis à la disposition du public sous le numéro de publication 64-71211, les valeurs des capacités parasites associées doivent être toujours égales pour quatre fréquences d'oscillations (fl à f4) obtenues par utilisation des deux condensateurs CI et C2. pour pouvoir annuler l'influence de la capacité parasite. Ainsi, la capacité parasite existant entre les électrodes des condensateurs C1 et C2 doit toujours valoir "0". Ici, il est impossible, en principe, d'éliminer la capacité parasite apparaissant entre les électrodes des condensateurs C1 et C2. Même si on peut ajuster la capacité parasite afin de l'éliminer à une température prédéterminée, une erreur de sortie peut apparaître du fait de la différence entre les caractéristiques de température des capacités parasites des condensateurs C 1 et C2. On peut également considérer un procédé d'annulation d'une capacité parasite qui utilise un condensateur fixe dont la capacité est équivalente à la capacité parasite. Toutefois, puisqu'un semblable condensateur fixe est normalement disposé à part du capteur de pression, par exemple sur une carte de circuit imprimé, ou analogue, il peut se produire une erreur de correction qui est due à la différence des gradients thermiques entre le condensateur fixe et le capteur de pression. De plus, la demanderesse a précédemment élaboré un procédé permettant de former une capacité de référence d'un condensateur qui est rempli du même liquide de confinement que la capacité d'un condensateur de détection de pression, et dont l'intervalle ne varie pas avec la pression, et permettant de corriger une capacité parasite en fonction de la capacité de référence. Dans le cas de l'huile de silicone, qui est normalement utilisée comme liquide de confinement, la constante diélectrique relative présente une certaine dépendance avec la température et la pression statique. Par conséquent, il est besoin d'un capteur qui est en mesure de ne détecter que la pression statique, ce qui conduit à une augmentation du coût. De plus, le procédé décrit par le brevet japonais mis à la disposition du public sous le numéro de publication 64-71211 est un procédé permettant de limiter les courants électriques devant être fournis aux deux condensateurs Cl et C2 au moyen d'une résistance, et de faire commuter les courants à l'aide de commutateurs à transistors. Toutefois, les courants électriques devant être fournis aux condensateurs Cl et C2 peuvent varier en fonction de la différence existant entre les valeurs de résistance lorsque les commutateurs à transistors ont été rendus conducteurs, et en fonction de la différence existant entre leurs dépendances vis-à-vis de la température. Par conséquent, une erreur de sortie peut apparaître. L'invention vise à surmonter les problèmes ci- dessus décrits et à fournir un dispositif de détection capacitive de la pression, dont le coût a été diminué et qui est d'un usage universel, le dispositif permettant d'annuler l'influence d'une capacité parasite due à la température, avec une grande précision. Le dispositif de détection capacitive de la pression selon l'invention comprend un condensateur fixe, une unité de fourniture de courant constant, une unité génératrice de signal, et une unité de calcul/commande. Selon un premier aspect de l'invention, l'unité de fourniture de courant constant fournit des courants constants à un condensateur de détection de pression et au condensateur fixe, via une résistance. L'unité génératrice de signal produit un signal de détection en fonction de la valeur de la résistance et de la capacité du condensateur de détection de pression sur la base de la fourniture du courant constant par l'unité de fourniture de courant constant au condensateur de détection de pression, et elle produit un signal de correction en fonction de la valeur de la résistance et de la capacité du condensateur fixe sur la base de la fourniture du courant constant par l'unité de fourniture de courant constant au condensateur fixe. L'unité de calcul/commande calcule la grandeur du déplacement de la membrane sur la base des signaux de détection et de correction. La description suivante, conçue à titre d'illustration de l'invention, vise à donner une meilleure compréhension de ses caractéristiques et avantages; elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels: la figure 1 montre la configuration d'un capteur de pression classique la figure 2 montre la configuration d'un dispositif classique de détection de pression; les figures 3 et 4 expliquent un procédé classique d'élimination de la capacité parasite d'un condensateur; la figure 5 montre un tracé général correspondant à la configuration d'un dispositif de détection capacitive de la pression selon un premier mode de réalisation préféré de l'invention; la figure 6 montre la configuration d'un capteur de pression destiné à être utilisé dans le dispositif de détection capacitive de la pression selon le premier mode de réalisation préféré; la figure 7 montre une configuration particulière du dispositif de détection capacitive de la pression selon le premier mode de réalisation préféré; la figure 8 montre les formes de signaux à utiliser dans le dispositif de détection capacitive de la pression selon le premier mode de réalisation préféré; et la figure 9 montre une configuration particulière d'un dispositif de détection capacitive de la pression selon un deuxième mode de réalisation préféré. Pour pouvoir surmonter les problèmes ci-dessus décrits, le dispositif de détection capacitive de la pression selon l'invention vise à obtenir la grandeur du déplacement d'une membrane sur la base de la valeur de la capacité d'un condensateur de détection de pression comportant la membrane qui effectue un déplacement en fonction d'une pression et une électrode fixe, et à déterminer la pression appliquée à la membrane au moyen de la grandeur obtenue pour le déplacement. Ce dispositif comprend: un condensateur fixe; une unité de fourniture de courant constant servant à fournir des courants constants au condensateur de détection de pression et au condensateur fixe, via une résistance; une unité génératrice de signal servant à produire un signal de détection en fonction de la valeur de la résistance et de la capacité du condensateur de détection de pression sur la base de la fourniture d'un courant constant par l'unité de fourniture de courant constant au condensateur de détection de pression et à produire un signal de correction en fonction de la valeur de la résistance et de la capacité du condensateur fixe sur la base de la fourniture d'un courant constant par l'unité de fourniture de courant constant au condensateur fixe; et une unité de calcul/commande servant à calculer la grandeur du déplacement de la membrane sur la base des signaux de détection et de correction. L'unité de calcul/commande corrige le signal de détection au moyen du signal de correction sur la base d'une expression fonctionnelle prédéterminée, de sorte qu'on peut obtenir une quantité extrêmement précise pour le déplacement de la membrane en annulant la capacité parasite qui influence le condensateur de détection de pression. Ensuite, la pression appliquée à la membrane peut être calculée avec précision à partir de la quantité obtenue pour le déplacement. Le dispositif de détection capacitive de la pression selon l'invention peut comprendre en outre une unité de commutation servant à faire commuter la connexion de l'unité de fourniture de courant constant entre le condensateur de détection de pression et le condensateur fixe. L'utilisation de cette unité de commutation réduit le nombre d'unités de fourniture de courant constant à seulement " 1", ce qui réduit la taille et le poids du dispositif. De plus, puisque les courants constants sont fournis par un même circuit au condensateur de détection de pression et au condensateur fixe, les grandeurs des courants électriques fournis aux condensateurs respectifs deviennent constantes, de sorte que la correction peut être effectuée avec une erreur extrêmement faible. Le condensateur de détection de pression ci-dessus décrit peut être configuré sous la forme d'un premier condensateur, constitué par une première surface de la membrane et une première électrode fixe placée en regard de la première surface, et d'un deuxième condensateur, constitué par une deuxième surface de la membrane et une deuxième électrode fixe placée en regard de la deuxième surface. Dans ce cas, l'unité de commutation fait commuter la connexion de l'unité de fourniture de courant constant entre le premier condensateur, le deuxième condensateur et le condensateur fixe. En utilisant ainsi deux condensateurs, on peut mesurer avec une plus grande précision la grandeur du déplacement de la membrane. De plus, puisque, dans ce cas, la fourniture de courant électrique à chacun des condensateurs peut commuter sous l'action de l'unité de commutation, on peut fabriquer le dispositif avec une taille et un poids réduits. L'unité de fourniture de courant constant comprend une unité génératrice de tension de référence. Les intensités des courants constants devant être fournis au condensateur de détection de pression et au condensateur fixe sont déterminées en fonction de la tension produite par l'unité génératrice de tension de référence et de la résistance. De plus, la résistance peut être configurée sous la forme d'une première résistance et d'une deuxième résistance. Dans ce cas, l'intensité du courant électrique devant être fournie au condensateur de détection de pression est déterminée en fonction de la tension produite par l'unité génératrice de tension de référence et de la première résistance, tandis que l'intensité du courant électrique devant être fourni au condensateur fixe est déterminée en fonction de la tension produite par l'unité génératrice de tension de référence et de la deuxième résistance. De plus, dans ce cas, l'unité de commutation sélectionne la première résistance lorsqu'un courant électrique est fourni par l'unité de fourniture de courant constant au condensateur de détection de pression, et sélectionne la deuxième résistance lorsqu'un courant électrique est fourni par l'unité de fourniture de courant constant au condensateur fixe. La première résistance peut avoir un coefficient de température qui annule le coefficient de température du condensateur de détection de pression. De ce fait, la dépendance, vis-à-vis de la température, du signal de détection peut être presque éliminée en ce qui concerne la capacité du condensateur de détection de pression, de sorte que les variations de la valeur de détection de la capacité, dues à la température, peuvent être réduites au minimum. En outre, la deuxième résistance peut avoir un coefficient de température plus grand que celui du condensateur fixe. De ce fait, la dépendance, vis-à-vis de la température, de la capacité du condensateur fixe devient supérieure à la dépendance, vis-à-vis de la température, de la valeur de la deuxième résistance, ce qui permet d'effectuer une correction de température plus précise au moyen de la capacité du condensateur fixe. L'unité de calcul/commande décrite ci-dessus fournit la grandeur de déplacement de la membrane au moyen de l'équation (1) suivante en utilisant le signal de sortie en fonction des capacités du premier condensateur, du deuxième condensateur et du condensateur fixe. (Tl-T2-A.f(Tref))/(TI+T2-B.f(Tref)) = Adl/dl --- (1) o IT1 est le signal de sortie en fonction de la capacité du premier condensateur, T2 est le signal de sortie en fonction de la capacité du deuxième condensateur, Tref est le signal de sortie en fonction de la capacité du condensateur fixe, f est une fonction prédéterminée de la variable "Tref"', A et B sont des coefficients, Adl est la grandeur du déplacement de la membrane, dl est la distance comprise entre la première surface de la membrane et la première électrode fixe, ou bien la distance entre la deuxième surface et la deuxième électrode fixe. Le condensateur fixe décrit ci-dessus est placé dans un même environnement de température que le condensateur de détection de pression. Par conséquent, puisque la capacité parasite apparaissant pour le condensateur de détection de pression peut être représentée par le signal venant du condensateur fixe, il est possible d'annuler la capacité parasite comprise dans le signal venant du condensateur de détection de pression en corrigeant le signal venant du condensateur de détection de pression au moyen du signal venant du condensateur fixe. Par conséquent, on peut réaliser une détection de pression extrêmement précise sans que celle-ci soit influencée par les variations de température du capteur de pression. De plus. le signal de détection peut être délivré sous la forme d'un signal d'impulsions présentant un cycle qui est proportionnel à la capacité du condensateur de détection de pression, tandis que le signal de correction peut être délivré sous la forme d'un signal d'impulsions présentant un cycle proportionnel à la capacité du condensateur fixe. De ce fait, il devient possible d'éliminer l'influence préjudiciable, sur le signal de détection ou le signal de correction, qui est due aux valeurs des résistances lorsque les transistors, ou des moyens analogues, passent dans l'état conducteur à l'intérieur de l'unité de fourniture de courant constant qui fournit des courants constants au condensateur de détection de pression et au condensateur fixe. Le procédé de détection de pression selon l'invention est un procédé de détection de pression permettant d'obtenir la grandeur du déplacement d'une membrane sur la base de la valeur de la capacité d'un condensateur de détection de pression qui comprend la membrane effectuant un déplacement en fonction d'une pression et une électrode fixe, et permettant de déterminer la pression appliquée à la membrane sur la base de la grandeur obtenue pour le déplacement. Ce procédé comprend les opérations suivantes: fournir des courants constants au condensateur de détection de pression et au condensateur fixe; produire un signal de détection en fonction d'une valeur de résistance prédétermninée et de la capacité du condensateur de détection de pression sur la base de la fourniture d'un courant constant au condensateur de détection de pression; et produire un signal de correction en fonction de la valeur de résistance prédéterminée et de la capacité du condensateur fixe sur la base de la fourniture d'un courant constant au condensateur fixe; et calculer la grandeur du déplacement de la membrane sur la base des signaux de détection et de correction. Ce procédé peut en outre comprendre une partie ou la totalité du processus effectué par le dispositif de détection capacitive de la pression ci-dessus décrit. On corrige le signal de détection en utilisant le signal de correction sur la base d'une expression fonctionnelle prédéterminée, de sorte qu'on peut obtenir une quantité extrêmement précise pour le déplacement de la membrane en annulant la capacité parasite qui influence le condensateur de détection de pression. Ensuite, on peut calculer avec précision la pression appliquée à la membrane à partir de la grandeur du déplacement. Le condensateur fixe est placé dans un environnement de température sensiblement identique à celui du condensateur de détection de pression. Par conséquent, la capacité parasite apparaissant pour le condensateur de détection de pression peut être représentée par le signal venant du condensateur fixe. De ce fait, on peut annuler les efforts de la capacité parasite compris dans le signal venant du condensateur de détection de pression en corrigeant le signal qui vient du condensateur de détection de pression au moyen du signal qui vient du condensateur fixe. La figure 5 est un schéma fonctionnel présentant, d'une manière générale, la configuration d'un dispositif de détection capacitive de pression (que l'on appellera plus simplement ci-après un dispositif de détection de pression) selon un mode de réalisation préféré de l'invention. Le dispositif de détection de pression selon le premier mode de réalisation préféré comprend un capteur de pression 1, une unité de détection 2, une unité de comptage 3, et une unité de calcul/commande 4. Le capteur de pression 1 comprend une pluralité d'unités de condensateurs CI à Cn (toute partie qui pourrait éventuellement présenter une certaine capacité à l'intérieur du capteur de pression 1 sera ci-après appelée une unité de condensateur). L'unité de détection 2 comprend une unité de commutation 11 servant à assurer un aiguillage entre les signaux venant des unités de condensateurs C1 à Cn se trouvant à l'intérieur du capteur de pression 1, et une unité 12 de conversion capacité- fréquence (qu'on appellera plus simplement ci-après une unité de conversion) servant à convertir la capacité d'une unité de condensateur sélectionnée en un signal de fréquence. L'unité de comptage 3 convertit l'impulsion de sortie de l'unité de détection 2 en valeurs numériques au moyen d'un circuit de comptage et de moyens analogues. L'unité de calcul/commande 4 fournit la grandeur du déplacement de la membrane du capteur de pression 1 sur la base des résultats du comptage effectué par l'unité de comptage 3, et il produit un signal de sortie qui est fonction de la grandeur obtenue pour le déplacement ou bien délivre le signal représentant la pression qui correspond à la grandeur de déplacement obtenue. On note que l'unité de calcul/commande 4 corrige la valeur de pression obtenue ou commande l'unité de commutation 11 sur la base des résultats du comptage effectué par l'unité de comptage 3. La figure 6 est une vue en coupe montrant la structure du capteur de pression 1. Ce capteur de pression 1 est utilisé en remplacement du capteur de pression 100, par exemple, à l'intérieur du dispositif 101 de détection de pression qui est représenté sur la figure 2. Comme on peut le voir sur la figure 6, le capteur de pression 1 comprend une plaquette de silicium 20 et des plaques isolantes 21a et 21b qui assurent une disposition fixe à la plaquette de silicium 20 en la plaçant entre elles. Au centre de la plaquette de silicium 20, on a formé une membrane 22 en effectuant une gravure par plasma, ou analogue, sur la plaquette de silicium 20 depuis ses deux faces. La membrane 22 comporte une partie aplatie 23 qui a été formée de manière à être plane et légèrement plus mince que la périphérie de la plaquette de silicium 20, et une partie amincie 24 entourant la partie aplatie 23 suivant la forme d'un anneau et plus mince que cette partie 23. La plaquette de silicium 20 faisant fonction de plaquette conductrice est une plaquette de silicium de type "p" qui possède un degré approprié de conduction électrique (par exemple environ 0,1 Q.cm), et une surface d'orientation cristalline [100]. On forme des creux circulaires correspondant aux espaces vides a et 25b et un canal annulaire destiné à constituer la partie amincie 24 en forme d'anneau en effectuant une gravure par plasma sur les deux côtés de la plaquette de silicium 20, en deux fois ou plus. L'intérieur de la partie amincie 24 de forme annulaire est la partie aplatie 23. La membrane 22 qui effectue un déplacement sous l'effet d'une différence de pression est constituée par la partie aplatie 23 et la partie amincie 24. Dans ces conditions, la partie aplatie 23 de la membrane 22 devient une électrode mobile du capteur de pression 1. L'épaisseur de la plaquette de silicium 20 et celle de la partie amincie 23 sont déterminées en fonction de la pression à mesurer ou de la valeur de la différence de pression. Les plaques isolantes 21a et 21b sont faites d'une matière isolante comme une céramique du type mullite, une céramique du type cordiérite, etc., et mettent en étroit contact la périphérie de la plaquette de silicium 20 avec la composition capacitive. La raison pour laquelle les plaques isolantes 21a et 21b sont faites de céramique du type mullite ou du type cordiérite est que ces céramiques ont un coefficient de dilatation thermique qui est très proche de celui du silicium et qu'elles présentent une rigidité élevée. Sur les plaques isolantes 21a et 21b, des électrodes fixes 26a et 26b et des électrodes 27a et 27b sont respectivement formées par pulvérisation, à travers un masque, de trois couches de chrome, de platine et d'or. Les électrodes fixes sont connectées aux électrodes par l'intérieur de trous 28a et 28b de guidage de pression le long desquels des pressions sont guidées. Sur les surfaces de composition capacitive des plaques isolantes 21 a et 21 b, on forme par pulvérisation des pellicules faites de verre Pyrex d'une épaisseur de 1,6 gim. Les pellicules en verre Pyrex permettent la composition capacitive. Comme décrit ci-dessus, deux unités de condensateurs Cl et C2, dont les valeurs de capacité (également indiquées par Cl et C2) varient en fonction du déplacement, sont constituées par la partie aplatie 23, qui est l'électrode mobile de la plaquette de silicium 20, et les deux électrodes fixes 26a et 26b. Les espaces vides 25a et 25b et les trous de guidage de pression 28a et 28b formés à l'intérieur du capteur de pression I sont remplis par un milieu de transmission de pression (fluide incompressible) comme par exemple une huile de silicone, ou analogue, et les pressions P1 et P2 sont transmises par les trous de guidage de pression 28a et 28b à la membrane 22 par l'intermédiaire du milieu de transmission de pression. De ce fait, le déplacement de la membrane 22, qui est dû à la différence entre les pressions Pl et P2, est détecté sous la forme des valeurs de capacité des unités de condensateurs C 1 et C2. A la partie inférieure de la plaque isolante 21a, est relié, au moyen d'une soudure d'un composé eutectique or-étain, un support isolant 29, lequel est fait de céramique du type mullite ou cordiérite et comporte en son centre un trou de pénétration, la position du trou étant déterminée de façon qu'il soit aligné avec Il le trou de guidage de pression 28a. Des deux côtés du support isolant 29, sont formées par pulvérisation des pellicules de trois couches de chrome, de platine et d'or destinées au soudage. A la partie inférieure du support isolant 30, est relié au moyen d'une soudure formée d'un composé eutectique d'or- étain un châssis 30, qui est fait en acier inoxydable et comporte un trou de pénétration en son centre, la position du trou étant déterminée afin qu'il soit aligné avec le trou de guidage de pression 28a. De même, sur la partie soudée du châssis 30, sont formées par pulvérisation des pellicules de trois couches de chrome, de platine et d'or. De cette manière, le capteur de pression 1 est disposé de manière fixe dans un milieu de transfert de pression, parexemple, à l'intérieur du dispositif de détection de pression 101 représenté sur la figure 2, via le support isolant 29 et le châssis 30 se trouvant du côté du trou de guidage de pression 28a. Sur la plaque isolante 21 b, un trou de pénétration 31 est formé presque au coin de la partie de liaison avec la plaquette de silicium 20, et une électrode 32 est formée par pulvérisation, avec masquage, d'aluminium après que la plaque isolante 21b et la plaquette de silicium 20 ont été reliées. L'électrode 32 est une électrode qui part de la plaquette de silicium 20. De plus, un circuit de détection utilisant une puce nue (non enrobée) est disposé, dans une zone correspondant à la zone de liaison avec la plaquette de silicium 20, du côté de la plaque isolante 21b qui n'est pas liée avec la plaquette de silicium 20. Des fils d'aluminium connectent les électrodes 27a, 27b et 32 avec le circuit de détection 40. La zone dans laquelle le circuit de détection 40 est placé est la zone qui présente la plus grande rigidité à l'intérieur du capteur de pression 100. De plus, cette zone est proche des unités de condensateurs C1 et C2, et c'est une zone dans laquelle la capacité parasite due aux fils est faible. La forme de la partie amincie 24 varie du fait de la différence existant entre les pressions PI et P2 qui s'appliquent de part et d'autre de la membrane 22, et la partie aplatie 23 effectue un déplacement perpendiculairement aux électrodes fixes 26a et 26b. Alors, il apparaît une variation relative de la valeur de la capacité Cl prise entre la partie aplatie 23, qui est l'électrode mobile, et l'électrode fixe 26a et la valeur de la capacité C2 prise entre la partie aplatie 23 et l'électrode fixe 26b, de sorte que, en mesurant ces valeurs, on détermine la différence entre les pressions PI et P2. Dans ce capteur de pression, si on augmente une seule des deux pressions, il devient un capteur de pression manométrique, tandis que, si l'autre pression est maintenue égale à celle du vide, il devient un capteur mesurant la pression absolue. On note que le circuit de détection 40 correspond à une partie ou à la totalité du circuit de détection 2 qui est représenté sur la figure 5 et comporte un condensateur fixe Cc. Le circuit de détection 40 est mis en oeuvre au moyen d'un unique circuit intégré et est placé sur le dessus du capteur de pression 1. Lors de la mesure d'une pression, on applique à la membrane 22 du capteur de pression 1 les pressions P1 et P2 de part et d'autre (depuis le dessus et depuis le dessous, comme représenté sur la figure 6). Les grandeurs des pressions P 1 et P2 sont arbitraires. On va présenter ci-après l'exemple du cas o P2>P 1. Lorsqu'on applique de part et d'autre de la membrane 22 les pressions Pi et P2 (P2>P1), la membrane 22 effectue un déplacement en fonction de leur différence dans le sens indiqué par une flèche (vers le bas sur la figure 6). Alors, la grandeur du déplacement est détectée comme suit: les capacités des unités de condensateurs C1 et C2 sont déterminées par l'unité de détection 2 et l'unité de comptage 3, et une opération mathématique analogue à l'équation (2) suivante est effectuée (ici les capacités des unités de condensateurs CI et C2 sont représentées également par C I et C2). [C 1-C2-(Cs 1 -Cs2)]/[C 1 +C2-(Cs 1 +Cs2)]=Ad 1/d 1 --- (2) o Adl est la grandeur du déplacement de la membrane 22, dl est l'intervalle entre la membrane 22 et l'électrode fixe 26a ou 26b (ces deux intervalles sont définis par "dl" dans le mode de réalisation préféré), Cs i est la capacité parasite associée à la capacité Cl, Cs2 est la capacité parasite associée à la capacité C2. Ici, des coefficients "A" et "B" ainsi qu'une fonction du signal de détection "Tref" sont préétablis de façon que le signal de détection "Tref" du condensateur fixe Cc satisfasse les équations (3) et (4) suivantes dans la gamme de température dans laquelle on utilise le capteur de pression 1. (Csl-Cs2)=A.f(Tref) --- (3) (Csl +Cs2)=B. f(Tref) --- (4) o f(Tref) est une fonction du signal de sortie qui dépend du condensateur fixe Cc, A et B sont des coefficients. On porte dans l'équation (2) les équations (3) et (4) ci-dessus mentionnées et on utilise des signaux de sortie TI et T2 qui sont fonction des capacités Cl et C2 de façon à obtenir l'équation (5) suivante. L'unité 4 de calcul/commande produit avec précision la grandeur du déplacement de la membrane 22 à l'aide de l'équation (5) eu égard à sa capacité parasite et à la variation de la température. (T 1 -T2-A.f(Tref))/(T 1 +T2-B. f(Tref))=Ad 1/d 1 --- (5) o T1 est le signal de sortie fonction de la capacité CI, T2 est le signal de sortie fonction de la capacité C2. La figure 7 montre une configuration particulière du dispositif de détection de pression selon le premier mode de réalisation préféré. Comme représenté sur la figure 7, un capteur de pression 1 comporte des unités de condensateurs C1 et C2, tandis qu'une unité de détection 2, qui effectue une conversion capacité-fréquence, comporte une unité 10 formant un circuit de courant constant, une unité de commutation 11, un circuit miroir de courant 13, une unité comparateur 14, une unité "mono-multi" 15, et un condensateur fixe Cc. On décrit ci-dessous les opérations effectuées par ces composants. L'unité de commutation 11 est constituée par exemple de commutateurs à transistors MOS 51, 52 et 53 et d'un circuit sélecteur de commutation 54 servant à assurer l'aiguillage entre l'unité de condensateur C1, l'unité de condensateur C2 et le condensateur fixe Cc. L'unité 10 circuit de courant constant est constituée d'un circuit 55 générateur de tension de référence, d'un amplificateur opérationnel 56, d'un transistor à effet de champ 57 et d'une résistance 58 (la valeur de cette résistance est définie par "R58"). L'amplificateur opérationnel 56 commande le transistor à effet de champ 57 de façon qu'une tension de positionnement "Vref' préfixée par le circuit 55 générateur de tension de référence devienne égale à une tension ("A") produite par le courant électrique "IL" qui passe dans la résistance 58. Par conséquent, le courant électrique "IL" est donné par Vref/R58. Le circuit miroir de courant 13 est destiné à délivrer un courant électrique Ic qui est égal au courant "IL" produit par le circuit de courant constant , et il est mis en oeuvre au moyen d'un transistor MOS. Lorsque l'unité de condensateur que l'unité de commutation 11 a sélectionné se charge au moyen du courant Ic délivré par le circuit miroir de courant 13, la tension de charge ("B") augmente. Lorsque la tension de charge ("B") atteint une tension de positionnement "Vth" préétablie par un circuit 59 générateur de tension de référence disposé à l'intérieur de l'unité comparateur 14, un comparateur 60 produit une transition d'un niveau bas "L" à un niveau haut "H". Par exemple, le temps de charge "tel" pendant lequel l'unité de condensateur C 1 se charge est calculé au moyen de l'équation (6) suivante. tc 1 -C 1.Vth/Ic=C1.R5 8.Vth/Vref --- (6) Ici, si l'on suppose que Vth est égal à 2.Vref, alors "tcl" devient une fonction de la capacité C1 et de la valeur de résistance R58 seulement. tcl=2.C l.R58 --- (7) Au moment o le signal de sortie de l'unité comparateur 14 est amené au niveau "H", l'unité mono-multi 15 délivre un signal qui amène le signal de sortie de l'unité comparateur 14 sur le niveau "L" après un temps de repositionnement "tr". Ce signal rend conducteur un commutateur à transistor 61. De ce fait, l'unité de condensateur C1 se décharge. La tension de charge ("B") atteint donc le niveau "L", et l'unité de condensateur C1 se charge de nouveau avec le courant Ic. Un signal d'impulsions (signal de fréquence) possédant un cycle "tl", qui est proportionnel à la capacité de l'unité de condensateur C1 est délivré par l'unité de détection 2 suite à la répétition de telles opérations de charge et de décharge. Le cycle "tl" de ce signal d'impulsions est représenté par l'équation (8) suivante. t 1 =tc 1 +tr=2xC I.R5 8+tr --- (8) La relation entre le temps de charge "tcl", le temps de repositionnement "tr" et le cycle "tl" est illustrée sur la figure 8. On note que le temps de repositionnement "tr" est de l'ordre de plusieurs centaines de nanosecondes. Ainsi, ceci n'a pratiquement pas d'influence sur la linéarité ou la finesse de résolution de la conversion du signal. De la même façon, on obtient les signaux de fréquence qui sont proportionnels aux capacités de l'unité de condensateur C2 et du condensateur fixe Cc. Ces signaux sont représentés par les équations (9) et (10) suivantes. On rappelle que "t2" et "tref' représentent respectivement les cycles des signaux d'impulsions qui sont délivrés lorsque, respectivement, l'unité de condensateur C2 et le condensateur fixe Cc sont sélectionnés. t2=tc2+tr=2.C2.R58+tr --- (9) tref=--tcref+ tr=2.Cc.R58+tr --- (10) Les nombres respectifs d'impulsions des signaux de fréquence ainsi obtenus sont comptés par l'unité de comptage 3, et les résultats (un intervalle d'impulsion T, c'est-à-dire le signal proportionnel à "tc") sont représentés par les équations (11), (12) et (13) suivantes. T1=n.tcl.fclk ---(11) T2=n.tc2.fclk --- (12) Tref=n.tref. fclk --- (13) o n est un coefficient, fclk est la fréquence d'horloge comptée. L'unité de calcul/commande 4 effectue une opération de correction du signal de sortie sur la base des résultats du comptage, selon les équations (2) à (5) décrites ci-dessus et elle délivre un signal qui est proportionnel au déplacement de la membrane se trouvant à l'intérieur du capteur capacitif, duquel les influences de la capacité parasite de la température ont été éliminées. Selon le premier mode de réalisation préféré, la capacité parasite d'une unité de condensateur (un condensateur constitué d'une membrane et de l'électrode disposée en regard de celle-ci) se trouvant à l'intérieur du capteur de pression peut être éliminée au moyen du signal obtenu à partir d'un condensateur fixe (un condensateur de correction) en ce qui concerne les variations de la capacité parasite dues à la température, etc., si bien qu'on mesure avec précision la pression sur un large intervalle de température au moyen d'un dispositif qui présente une configuration simple. De plus, puisque le signal venant de chaque condensateur est remplacé par un signal d'impulsions ayant un cycle qui est fonction de la capacité de chaque condensateur, il devient possible d'éliminer toute influence sur le signal de détection, cette influence étant due aux valeurs de résistance correspondant au cas o les commutateurs à transistor sont rendus conducteurs à l'intérieur du circuit de courant constant. De ce fait, on peut effectuer une détection plus précise de la pression, qui permet d'obtenir une mesure de pression précise au moyen d'un appareil à coût réduit. De plus, un condensateur fixe est placé au voisinage d'un capteur de pression, si bien qu'ils fonctionnent dans le même environnement de température. Par conséquent, puisqu'il ne peut jamais se produire aucune erreur de correction du fait d'une différence entre les gradients thermiques du condensateur fixe et du capteur de pression (en particulier son unité de condensateur), il est possible d'annuler l'influence de la capacité parasite due à la température, et cela dans une configuration d'un coût réduit. De ce fait, on peut effectuer une mesure de pression précise. On note que l'unité de conversion capacité-fréquence, ou bien sa partie contenant le condensateur fixe, peut être mise en oeuvre au moyen d'un unique circuit intégré et être disposée dans le même environnement que le capteur, au moins l'une des résistances pouvant être mise en oeuvre au moyen d'une résistance diffusée. Avec cette configuration, on peut effectuer une correction plus précise de la température, de sorte qu'on peut réaliser une mesure de pression avec une grande précision. Toutefois, le coefficient de température du condensateur fixe Cc est normalement plus petit que celui de la résistance 58. Ainsi, si le coefficient de température de la résistance 58 diminue de façon à réduire la dépendance, avec la température, des signaux de sortie TI et T2, qui sont proportionnels aux capacités Cl et C2 dans le premier mode de réalisation préféré, la sensibilité vis-à-vis de la température du signal "Tref' qui est proportionnel à la capacité du condensateur fixe Cc se détériore. On va présenter ci-après, au titre d'un deuxième mode de réalisation préféré, un exemple qui surmonte ce problème. La figure 9 montre la configuration d'un dispositif de détection de pression selon un deuxième mode de réalisation préféré. On désignera par les mêmes numéros de référence les éléments constituants qui sont identiques à des éléments du premier mode de réalisation, et on omettra d'en faire une description particulière. Les figures 5 et 6, qui ont été respectivement décrites cidessus comme un schéma fonctionnel montrant de façon générale le dispositif de détection de pression selon le premier mode de réalisation de l'invention et une vue en coupe montrant la structure du capteur de pression, constituent également un schéma fonctionnel qui montre de façon générale le dispositif de détection de pression selon le deuxième mode de réalisation préféré de l'invention et une vue en coupe montrant la structure d'un capteur de pression. Le dispositif de détection de pression selon le deuxième mode de réalisation comporte deux résistances (ou plus) de sorte qu'une unité 10 formant un circuit de courant constant placée à l'intérieur d'une unité de détection 2 fixe un courant électrique IL, ces deux résistances étant mises en circuit fermé ou en circuit ouvert par des commutateurs. Les autres configurations et opérations sont identiques à celles du premier mode de réalisation. Ainsi. l'unité de détection 2 du dispositif de détection de pression comprend des résistances 70 et 71. Un circuit sélecteur de commutation 54' disposé à l'intérieur d'une unité de commutation 11 met en circuit fermé ou en circuit ouvert les résistances 70 et 71 au moyen de commutateurs 72 et 73. Ici, si le circuit sélecteur de commutation 54' sélectionne une unité de condensateur C1 ou C2 en fermant le commutateur 51 ou 52, le commutateur 72 se ferme et la résistance 70 est sélectionnée. D'autre part, si le circuit sélecteur de commutation 54' sélectionne un condensateur fixe Cc en fermant le commutateur 53, alors le commutateur 73 se ferme et la résistance 71 est sélectionnée. La résistance 70 est dotée d'un coefficient de température permettant d'annuler les coefficients de température associés aux capacités des unités de condensateurs (C1 et C2) servant à détecter la pression, tandis que la résistance 71 est dotée d'un coefficient de température dont la valeur est presque "0". Par conséquent, si les unités de condensateurs CI et C2 et la résistance 70 sont combinées par l'action du circuit sélecteur de commutation 54', l'influence d'une variation de température sur le signal de sortie sera faible. Si le condensateur fixe Cc et la résistance 71 sont combinées, l'influence d'une variation de température du condensateur fixe Cc sur le signal de sortie sera importante. En d'autres termes, la dépendance, vis-à-vis de la température, de la fréquence de sortie de l'unité de détection 2 est presque "0" lorsqu'une capacité varie du fait de la pression appliquée au capteur de pression 1, tandis que la dépendance vis-à-vis de la température s'élève lorsque la capacité (du condensateur fixe Cc) varie pendant la détection de la température. De ce fait, on peut améliorer la précision de la correction de température s'appliquant à une capacité parasite. Les relations existant entre la résistance 70 ou 71 se trouvant à l'intérieur de l'unité 10 formant le circuit de courant constant et l'unité de condensateur C I, C2 ou le condensateur fixe Cc sont les suivantes. Unité de condensateur C1 - résistance 70 (ayant un coefficient de température propre à annuler la dépendance de la capacité Cl vis-à-vis de la température), unité de condensateur C2 - résistance 70 (ayant un coefficient de température propre à annuler la dépendance de la capacité C2 vis-à-vis de la température), condensateur Cc - résistance 71 (ayant une plus grande dépendance, vis-à-vis de la température, que la capacité Cc). Deux unités de condensateurs ont été incluses dans l'explication fournie ci-dessus. Toutefois, le nombre d'unités de condensateurs de détection de pression peut être égal à 1 ou à 3, ou même plus. En outre, il est possible de combiner, avec les unités de condensateur C1 et C2, non pas une unique résistance comme décrit ci-dessus, mais plusieurs résistances respectives. Comme décrit ci-dessus, avec le deuxième mode de réalisation préféré, au moins deux résistances ayant des coefficients de température différents se correspondent et sont utilisées pour une unité de condensateur et un condensateur fixe se trouvant à l'intérieur d'un capteur, au moyen de commutateurs. Dans ce cas, une résistance qui possède une dépendance visà-vis de la température qui annule la variation de température de la capacité d'une unité de condensateur est en correspondance avec l'unité de condensateur, tandis qu'une résistance possédant une plus forte dépendance vis-à-vis de la température que la capacité du condensateur fixe est mise en correspondance avec le condensateur fixe. De ce fait, si le signal de détection délivré par l'unité de détection (fréquence de sortie) correspond à la capacité de l'unité de condensateur de détection de pression, la dépendance du signal de détection vis-à-vis de la température est presque éliminée. Par ailleurs, si le signal de détection correspond à la capacité du condensateur fixe de correction (dans le cas d'une détection de température) celui-ci est très influencé par la variation de température de la capacité du condensateur fixe. De ce fait, il devient possible d'améliorer la précision de la correction d'une capacité parasite sur un intervalle de température plus large, ce qui amène à obtenir une mesure de pression plus précise. Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer, à partir des dispositifs et des procédés dont la description vient d'être donnée à titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Dispositif de détection capacitive de la pression permettant d'obtenir la grandeur du déplacement d'une membrane (23) sur la base de la valeur de la capacité d'un condensateur de détection de pression (1; C1-Cn), lequel comporte la membrane effectuant un déplacement en fonction d'une pression ainsi qu'une électrode fixe (26a, 26b), et permettant de déterminer la pression appliquée à la membrane sur la base de la grandeur obtenue pour le déplacement, le dispositif étant caractérisé en ce qu'il comprend un condensateur fixe (Cc); un moyen (2; 10) de fourniture de courant constant servant à fournir des courants constants au condensateur de détection de pression et audit condensateur fixe via une résistance (58; 70; 71); un moyen générateur (2, 3; 40) de signaux servant à produire un signal de détection en fonction de la valeur de la résistance et de la capacité du condensateur de détection de pression sur la base de la fourniture d'un courant constant, par le moyen de fourniture de courant constant, au condensateur de détection de pression, et à produire un signal de correction en fonction de la valeur de la résistance et de la capacité dudit condensateur fixe sur la base de la fourniture d'un courant constant, par ledit moyen de fourniture de courant constant, audit condensateur fixe; et un moyen de calcul/commande (3, 4) servant à calculer la grandeur de déplacement de la membrane sur la base du signal de détection et du signal de correction. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend un moyen de commutation (11) qui effectue une commutation entre une connexion allant dudit moyen de fourniture de courant constant au condensateur de détection de pression (C1-Cn) et une connexion qui va dudit moyen de fourniture de courant constant audit condensateur fixe (Cc). 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que: ledit moyen de fourniture de courant constant (2; 10) comprend un moyen (55) générateur de tension de référence; et les valeurs des courants électriques devant être fournis audit condensateur de détection de pression et audit condensateur fixe sont déterminées en fonction de la tension produite par ledit moyen générateur de tension de référence et la valeur de la résistance (58; 70; 71). 4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que: ledit moyen de fourniture de courant constant comprend un moyen (55) générateur de tension de référence; la résistance comprend une première résistance (70) et une deuxième résistance (71); l'intensité du courant électrique devant être fourni au condensateur de détection de pression est déterminée en fonction de la tension produite par ledit moyen générateur de tension de référence et de la valeur de ladite première résistance (70); et l'intensité du courant électrique devant être fourni audit condensateur fixe est déterminée en fonction de la tension produite par ledit moyen générateur de tension de référence et de la valeur de ladite deuxième résistance (71). 5. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit condensateur fixe (Cc) est disposé sensiblement dans le même environnement de température que le condensateur de détection de pression (CI -Cn). 6. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que: le signal de détection est délivré sous la forme d'un signal d'impulsions possédant un cycle qui est proportionnel à la capacité du condensateur de détection de pression (C 1-Cn); et le signal de correction est délivré sous la forme d'un signal d'impulsions possédant un cycle proportionnel à la capacité dudit condensateur fixe (Cc). 7. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que: le condensateur de détection de pression comprend un premier condensateur (Cl) constitué par une première surface de la membrane (23) et une première électrode fixe (26a) située en regard de la première surface, et d'un deuxième condensateur (C2) constitué d'une deuxième surface de la membrane et d'une deuxième électrode fixe (26a) située en regard de la deuxième surface; et ledit moyen de commutation (11) fait commuter entre une connexion qui va dudit moyen de fourniture de courant constant audit premier condensateur, une connexion qui va dudit moyen de fourniture de courant constant audit deuxième condensateur, et une connexion qui va dudit moyen de fourniture de courant constant audit condensateur fixe. 8. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que: ledit moyen de fourniture de courant constant (2; 10) comprend un moyen (55) générateur de tension de référence; et les valeurs des courants électriques devant être fournis audit condensateur de détection de pression et audit condensateur fixe sont déterminées en fonction de la tension produite par ledit moyen générateur de tension de référence et la valeur de la résistance (58). 9. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que: ledit moyen de fourniture de courant constant comprend un moyen (55) générateur de tension de référence; la résistance comprend une première résistance (70) et une deuxième résistance (71); l'intensité du courant électrique devant être fourni au condensateur de détection de pression est déterminée en fonction de la tension produite par ledit moyen générateur de tension de référence et de la valeur de ladite première résistance (70); et l'intensité du courant électrique devant être fourni audit condensateur fixe est déterminée en fonction de la tension produite par ledit moyen générateur de tension de référence et de la valeur de ladite deuxième résistance (71). 10. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit condensateur fixe (Cc) est disposé sensiblement dans le même environnement de température que le condensateur de détection de pression (C 1-Cn). 11. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que: le signal de détection est délivré sous la forme d'un signal d'impulsions possédant un cycle qui est proportionnel à la capacité du condensateur de détection de pression (Cl -Cn); et le signal de correction est délivré sous la forme d'un signal d'impulsions possédant un cycle proportionnel à la capacité dudit condensateur fixe (Cc). 12. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que ledit moyen de commutation sélectionne ladite première résistance (70) lorsque le courant électrique est fourni par ledit moyen de fourniture de courant constant au condensateur de détection de pression et sélectionne ladite deuxième résistance (71) lorsque le courant électrique est fourni par ledit moyen de fourniture de courant constant audit condensateur fixe. 13. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite première résistance (70) possède un coefficient de température permettant d'annuler le coefficient de température du condensateur de détection de pression. 14. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que ladite deuxième résistance (71) possède un coefficient de température qui est plus grand que le coefficient de température dudit condensateur fixe. 15. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit moyen de calcul/commande (3; 4) obtient la grandeur du déplacement de la membrane en utilisant des signaux de sortie qui sont fonction des capacités dudit premier condensateur (C1), dudit deuxième condensateur (C2) et dudit condensateur fixe (Cc) selon une opération arithmétique obéissant à l'équation (T 1-T2-A.f(Tref))/(T 1 +T2-B.f(Tref))=Ad 1/d 1, o "T1" est le signal de sortie fonction de la capacité dudit premier condensateur, "T2" est le signal de sortie fonction de la capacité dudit deuxième condensateur, "Tref' est le signal de sortie fonction de la capacité dudit condensateur fixe, "f' est une fonction prédéterminée qui utilise "Tref" comme variable, "A" et "B" sont des coefficients, "Ad l" est la grandeur de déplacement de la membrane, et "dl" est la distance entre la première surface de la membrane et la première électrode fixe (26a) ou bien la distance entre la deuxième surface de la membrane et la deuxième électrode fixe (26b). 16. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit moyen de commutation sélectionne ladite première résistance (70) lorsque le courant électrique est fourni par ledit moyen de fourniture de courant constant au condensateur de détection de pression et sélectionne ladite deuxième résistance (71) lorsque le courant électrique est fourni par ledit moyen de fourniture de courant constant audit condensateur fixe. 17. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite première résistance (70) possède un coefficient de température permettant d'annuler le coefficient de température du condensateur de détection de pression. 18. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite deuxième résistance (71) possède un coefficient de température qui est plus grand que le coefficient de température dudit condensateur fixe. 19. Procédé de détection de pression permettant d'obtenir la grandeur du déplacement d'une membrane (23) sur la base de la valeur de la capacité d'un condensateur de détection de pression (C1-Cn), qui possède la membrane effectuant un déplacement en fonction d'une pression ainsi qu'une électrode fixe (26a, 26b) et de déterminer la pression appliquée à la membrane sur la base de la grandeur obtenue pour le déplacement, le procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend les opérations suivantes: fournir des courants constants au condensateur de détection de pression et à un condensateur fixe (Cc) via une résistance (58; 70, 71); produire un signal de détection en fonction de la valeur prédéterminée de la résistance et de la capacité du condensateur de détection de pression sur la base de la fourniture d'un courant constant au condensateur de détection de pression; produire un signal de correction en fonction de la valeur prédéterminée de la résistance et de la capacité du condensateur fixe et sur la base de la fourniture d'un courant constant au condensateur fixe; et calculer la grandeur du déplacement de la membrane sur la base du signal de détection et du signal de correction. 20. Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'opération consistant à effectuer une commutation entre la fourniture d'un courant constant au condensateur de détection de pression et la fourniture d'un courant constant au condensateur fixe.