Brevet FR2782754A3 — publié le 20000303

FR 2782754 A3 20000303 FR 9810936 A 19980828 I Pompe à vide du type à filets hélicoïidaux. La présente invention concerne une pompe à vide à filets hélicoïdaux, qui exerce une fonction de pompe à vide du type volumétrique et de pompe à vide du type à transmission d'une force d'impulsion et qui est capable de refouler dans des conditions optimales dans une fourchette de pressions allant de la pression atmosphérique au vide poussé. Comme pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (ou pompe à vis), on connaît celle présentée dans la publication du brevet japonais non examiné No. Showa 60-216089, par exemple. Ce genre de pompe à vide du type à filets hélicoïdaux est utilisée dans une fourchette comprise entre une zone de simple dépression appelée régime d'écoulement glissant et une zone de vide poussé appelée régime d'écoulement moléculaire libre et elle est principalement caractérisée par des caractéristiques de refoulement supérieures dans la zone de simple dépression. Par contre, une pompe turbo-moléculaire présentée dans la publication du brevet japonais examiné No. Showa 50-27204 et ainsi de suite, par exemple, présente des caractéristiques de refoulement supérieures dans la zone de vide poussé. Ici, la pompe à vide utilisée en tant que dispositif de ventilation d'un dispositif de dépôt en phase vapeur (CVD) pour la fabrication de semi-conducteurs doit présenter des caractéristiques de refoulement supérieures dans une fourchette comprise entre la pression atmosphérique et un régime de vide poussé. En conséquence, il a été proposé une pompe à vide composite, dans laquelle la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux et la pompe turbo-moléculaire sont combinées. Par exemple, de telles pompes à vide du type composite ont été proposées dans la publication du brevet japonais non examiné No. Showa 62-279281, la publication du brevet japonais non examiné No. Heisei 1-237384, la publication du brevet japonais non examiné No. Heisei 4-175491. Par ailleurs, une pompe à vide du type composite similaire a été présentée dans le brevet japonais No. 2589865. Ici, la pompe à vide du type composite présentée dans les publications indiquées ci-dessus a une configuration compliquée comparativement à la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux simple comme la pompe à vide du type volumétrique. En conséquence, lorsqu'une telle pompe à vide du type composite est utilisée comme dispositif de ventilation d'un dispositif de dépôt en phase vapeur, après la ventilation d'une grande quantité de gaz réactif à l'état non réactif, il existe un grand nombre de portions déposant ou accumulant facilement un sous-produit de la réaction. Par exemple, un sous-produit réactif se dépose ou s'accumule facilement sur une palette statique de la pompe turbo- moléculaire constituant la pompe à vide du type à transmission de force d'impulsion. Par conséquent, une dégradation dans la durée de la résistance de la pompe à vide est possible. Un objectif de la présente invention est de fournir une pompe à vide du type à filets hélicoïdaux présentant une grande vitesse de refoulement dans une fourchette comprise entre un régime de simple dépression et un régime de vide poussé et une résistance dans le temps supérieure. Pour atteindre l'objectif précité, les inventeurs, à l'aide de différentes analyses des fluides et expériences et de l'exploitation des résultats obtenus de celles-ci, ont constaté que la vitesse de refoulement dans un régime de vide poussé pouvait être améliorée dans une proportion importante en employant un élément formant palette dynamique conçu sur la base de la théorie d'une pompe turbo-moléculaire dans une portion du côté aspiration de l'élément formant vis (filets hélicoïdaux) de la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux, et en agrandissant la surface d'ouverture sur le côté aspiration. Sur la base de cette nouvelle découverte, la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux selon la présente invention a été mise au point. Présentée en détail, la présente invention, dans une pompe à vide du type à filets hélicoïdaux comprenant un carter de pompe de section cylindrique, un rotor cylindrique unique disposé de manière coaxiale à l'intérieur du carter de la pompe, une portion formant filet définie par une pluralité de filets hélicoïdaux (éléments de vis) formés sur la surface périphérique extérieure du rotor et une ouverture d'aspiration et une ouverture de refoulement mises en communication avec le carter de la pompe, est caractérisée en ce que la pluralité de filets hélicoïdaux formés sur la surface périphérique extérieure du rotor comprend une portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques basée sur le principe de la conception d'une pompe turbo-moléculaire formée sur la portion de surface périphérique extérieure sur le côté aspiration sur une longueur prédéterminée le long de la direction axiale du rotor depuis une extrémité sur le côté de l'ouverture d'aspiration dans la surface périphérique extérieure du rotor, et une portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux formée sur la portion de surface périphérique extérieure sur le côté refoulement sur une longueur prédéterminée le long de la direction axiale du rotor depuis une extrémité sur le côté de l'ouverture de refoulement dans la surface périphérique extérieure du rotor, dans chacun des filets hélicoïdaux, la portion formant élément de pompe du type à palettes et la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux se suivent en douceur. Dans la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux configurée comme il est indiqué ci-dessus, la surface d'ouverture de l'ouverture d'aspiration peut être rendue notablement plus grande que la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux classique. Ainsi, il a été vérifié que non seulement dans la région correspondant au régime de simple dépression mais encore dans la région correspondant au régime de vide poussé, la vitesse de refoulement peut être accrue dans une proportion notable. En conséquence, par la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux selon la présente invention, une vitesse de refoulement élevée peut être obtenue depuis la région correspondant au régime de simple dépression d'environ 1000 à 1,0 E-6 Pa jusqu'à la région correspondant au régime de vide poussé. D'autre part, étant donné que la configuration peut être simplifiée comparativement à la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux composites classique, la résistance dans le temps peut être améliorée dans une proportion importante. Dans le cas présent, une pluralité de deuxièmes filets hélicoïdaux définissant une deuxième portion d'élément formant pompe du type à palettes dynamiques peuvent être formés sur la portion de surface périphérique extérieure sur le côté aspiration du rotor. Dans ce cas, le nombre total de portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques et de deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques peut être un multiple entier du nombre de portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux. Par ailleurs, il est préférable que l'angle des palettes de la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques et de la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques soit plus grand que ou égal à l'angle de basculement sur le côté aspiration dans la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux. En outre, il est souhaitable que l'angle des palettes de la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques soit plus grand que l'angle des palettes de la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques. D'autre part, il est préférable que l'épaisseur de la portion formant élément de pompe du type à palettes et de la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes soit supérieure à l'épaisseur de la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux. Egalement, il est préférable que l'épaisseur de la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques soit inférieure à l'épaisseur de la portion formant élément de pompe à palettes dynamiques. Ensuite, il est souhaitable que, entre la portion de surface périphérique extérieure, sur le côté aspiration, et la portion de surface périphérique extérieure, sur le côté refoulement, une portion de surface périphérique extérieure de transition soit formée, que sur la portion de surface périphérique extérieure de transition, une portion de filets hélicoïdaux de transition, assurant une liaison en douceur entre la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques et la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux, soit formée dans chaque filet hélicoïdal. Ainsi, même si une perturbation du flux de gaz, due à une variation abrupte de forme entre la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques et la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux, se produit, le problème d'une diminution du débit de refoulement peut être évité. D'un autre côté, en partant d'un point de vue similaire, il est souhaitable que, lorsque le diamètre extérieur de la portion de surface périphérique extérieure sur le côté aspiration du rotor est différent du diamètre extérieur de la portion de surface périphérique extérieure sur le côté refoulement, par la portion de surface périphérique extérieure de transition, la portion de surface périphérique extérieure sur le côté aspiration et la portion de surface périphérique extérieure sur le côté refoulement soient raccordées en douceur. La figure 1 est une vue en coupe de la partie principale d'une pompe à vide du type à filets hélicoïdaux à laquelle la présente invention est appliquée; les figures 2A-2C montrent une pluralité de filets hélicoïdaux formés sur la surface périphérique extérieure du rotor de la pompe représentée sur la figure 1, dans lesquelles la figure 2A est une vue en plan du dessus du rotor 3 vu depuis le côté correspondant à l'extrémité formant bout, la figure 2B est une vue de côté en élévation représentée partiellement en coupe du carter, vu depuis le côté, et la figure 2C est une vue en élévation développée de la surface périphérique extérieure; les figures 3A-3C illustrent un autre mode de réalisation d'une pluralité de filets hélicoïdaux formés sur la surface périphérique extérieure du rotor de la pompe représentée sur la figure 1, dans lesquelles la figure 3A est une vue en plan du dessus du rotor vu depuis le côté correspondant à l'extrémité formant bout, la figure 3B est une vue de côté en élévation représentée partiellement en coupe du carter, vu depuis le côté, et la figure 3C est une vue en élévation développée de la surface périphérique extérieure; la figure 4 est un graphique comparant les caractéristiques de vitesse de refoulement de la pompe à vide du type à filet classique et de la pompe à vide selon la présente invention représentée sur la figure 1. Une pompe à vide du type à filets hélicoïdaux à laquelle la présente invention est appliquée va être décrite ci-après en faisant référence aux dessins. Les références utilisées dans ces figures désignent les éléments suivants Figure 2 * 1 côté aspiration *2 portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 41 *3 portion formant un filet hélicoïdal de transition 42 *4 portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 43 *5 côté refoulement Figure 3 * 1 côté aspiration *2 portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 41 *3 portion formant un filet hélicoïdal de transition 42 *4 portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 43 *5 côté refoulement Figure 4 * 1 vitesse de refoulement *2 élément de pompe selon la présente invention *3 élément de pompe classique *4 pression au niveau de l'ouverture d'aspiration Sur la figure 1, la configuration globale vue en coupe du mode de réalisation d'une pompe à vide du type à filets hélicoïdaux représentée est illustrée. Comme il est indiqué sur le dessin, la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux 1 a un carter de pompe cylindrique 2. Une ouverture sur le côté correspondant à l'extrémité de bout du carter 2 de la pompe est l'ouverture d'aspiration 21 et le côté opposé est l'ouverture côté refoulement 22. A l'intérieur du carter 2 de la pompe, un rotor cylindrique unique 3 est disposé de manière coaxiale. Sur la surface périphérique extérieure du rotor 3, une pluralité de filets hélicoïdaux 4(n), dont une description détaillée sera donnée plus loin, sont formés. Entre les sommets des filets et la surface périphérique intérieure du carter, un intervalle de séparation d'environ 0,2 à 0,5 mm est formé dans les conditions de fonctionnement. Dans le rotor 3, une portion creuse est formée. Dans la portion creuse, un arbre de rotor tournant 5 est disposé de manière coaxiale. Sur l'extrémité de bout de l'arbre de rotor tournant 5, le rotor 3 est supporté par l'intermédiaire d'une plaque de retenue de rotor 8 et d'un boulon de fixation de rotor 7. L'arbre de rotor tournant 5 est réalisé selon une configuration monobloc solidaire du rotor d'un moteur 8 et il est mu en rotation par le moteur 8. D'un autre côté, l'arbre du rotor tournant 5 est supporté de manière tournante par des roulements pour charges radiales magnétiques supérieurs et inférieurs 11 et 12 et la portion inférieure de l'arbre de rotor tournant est supportée de manière tournante par un palier de butée magnétique 13. Le moteur 8 et les roulements respectifs 11 à 14 sont montés dans un boîtier de roulements. Le boîtier de roulements 15 est inséré depuis le côté de l'ouverture côté refoulement 22 du carter 2 de la pompe, et assure l'étanchéité de l'ouverture côté refoulement 12. Dans le boîtier de roulements 15, un passage de refoulement 15a, mis en communication avec l'ouverture côté refoulement 22 du carter 2 de la pompe est formé. Une extrémité ouverture du passage de refoulement 15a sur le côté du carter 2 de la pompe fait office d'ouverture de refoulement de la pompe et l'autre extrémité ouverture de celui-ci est mise en communication avec l'atmosphère. D'un autre côté, sur la figure 1, les numéros repères 16 à 18 désignent un détecteur de déplacement radial supérieur, un détecteur de déplacement radial inférieur et un détecteur de déplacement en butée. Ces signaux de sortie sont extraits par l'intermédiaire d'un connecteur électrique 19 monté de manière extérieure sur le boîtier de roulements 15. Par ailleurs, par l'intermédiaire d'un connecteur électrique 19, l'alimentation électrique et l'excitation sont effectuées vis à vis du moteur 8 et des roulements magnétiques respectifs. Les figures 2A-2C montrent différents filets hélicoïdaux 4 formés sur la surface périphérique extérieure du rotor, dans lesquelles la figure 2A est une vue en plan du dessus du rotor 3 vu depuis le côté correspondant à l'extrémité formant bout, la figure 2B est une vue de côté en élévation représentée partiellement en coupe du carter, vu depuis le côté, et la figure 2C est une vue en élévation en développante de la surface périphérique extérieure. En faisant référence dans la description aux figures 1 et 2, la surface périphérique extérieure 30 du rotor 3 comprend une portion périphérique extérieure côté aspiration 31 d'une étendue prédéterminée suivant la direction du même axe 3a du rotor, depuis le bord de l'extrémité de bout 31 a sur le côté de l'ouverture d'aspiration 21 du rotor 3, et une surface périphérique extérieure 33 côté refoulement d'une étendue prédéterminée suivant la direction du même axe 3a depuis le bord de l'extrémité de bout 33a sur le côté de l'ouverture de refoulement 9. Ces portions sont respectivement mises en communication par une portion de surface périphérique extérieure de transition 32. Dans le mode de réalisation représenté, cinq filets hélicoïdaux 4(n) (n = 1 à ) sont formés sur la surface périphérique extérieure 30 du rotor 3. Dans chaque filet hélicoïdal 4(n), une portion formée dans la surface périphérique extérieure côté aspiration 31 est une portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 41, basée sur la théorie de la conception de la pompe turbo-moléculaire. La portion o la portion de surface périphérique extérieure côté refoulement 33 est une portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 43. Ces portions formant des éléments de pompe 41 et 43 sont prolongées en douceur par une portion formant élément de vis de transition 42 formée dans la portion de surface périphérique extérieure de transition 32. Chaque filet hélicoïdal 4(n) du mode de réalisation représenté est conçu comme suit. Pour commencer, la forme et les dimensions de la portion formant un élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 43 sont dérivées par une technique de conception présentée dans le document "screw type viscous vacuum pump", Japan Society of Mechanical Enginners (colonne B), Vol. 51, No. 470 (Octobre 1985). Dans cette technique de conception, un rapport d'aspect au niveau d'une extrémité du côté aspiration de la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 43 (une position limite entre la portion de surface périphérique extérieure côté refoulement 31 et la portion de surface périphérique extérieure de transition 32) est supérieur ou égal à trois, le rapport de largeur de vis est d'environ 0,8, l'angle de basculement a2 se situe dans une fourchette comprise entre 30 et 40 et le rapport de largeur de vis vers l'ouverture de refoulement est d'environ 0,5 à 0,8 pour déterminer la forme de la vis, réduisant de manière progressive l'angle d'attaque de la vis. Ensuite, la forme et les dimensions de la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 41 sont déterminées. Dans le mode de réalisation représenté, la forme est dérivée selon la théorie de conception de la pompe turbo-moléculaire présentée dans la publication du brevet japonais examiné No. Showa SOI 27204. Ici, en ce qui concerne le nombre de sommets de vis de la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 43 déterminée comme il est indiqué ci-dessus, le nombre de portions formant élément de pompe 41 est le même ou un multiple entier de celui-ci. En outre, l'angle de palette al est réglé plus grand que ou égal à l'angle de basculement a2 de la vis. En prenant ceux-ci en tant que condition de base, la théorie de conception présentée dans la publication examinée indiquée ci-dessus est appliquée pour déterminer la longueur dans la direction circonférentielle et la longueur dans la direction axiale de la portion formant élément 41. D'autre part, l'épaisseur ti de la portion formant élément de pompe 41 est choisie pour supporter les sollicitations et la hauteur d'élévation générées en fonction de l'étendue de la surface d'ouverture de l'ouverture d'aspiration et de la charge du gaz évacué et elle est déterminée en prenant en considération une marge de résistance mécanique au niveau de la matière utilisée. Normalement, l'épaisseur est d'environ 1 à 3 mm. En outre, le rapport du code d'espacement SO de la portion formant élément de pompe 41 se situe en règle générale dans une fourchette comprise entre 0,9 et 1,2 environ. Par aileurs, en ce qui concerne la longueur de la palette dynamique (longueur mesurée le long de l'axe de rotation 3a), la longueur nécessaire est déterminée sur la base d'une vitesse de refoulement recherchée et la vitesse relative est dérivée de la vitesse dynamique par la rotation de la palette dynamique et la vitesse dynamique par la rotation de la palette dynamique. Lorsque la forme géométrique de la portion formant élément de pompe 41 sur le côté aspiration dans le filet hélicoïdal 4(n) est déterminée dans les conditions indiquées ci-dessus, comparativement au cas o seulement l'élément de pompe du type à filets hélicoïdaux est formé dans la pompe du type à filets hélicoïdaux classique, la surface de l'ouverture d'aspiration peut être élargie dans une proportion importante. Il s'ensuit que la vitesse de refoulement au niveau de la région correspondant au régime d'écoulement moléculaire libre, o il est certain que des sauts se produisent dans le régime moléculaire gazeux par la configuration géométrique de la palette, peut être augmentée dans une proportion notable. Egalement le rendement de compression peut être conservé. Ensuite, l'extrémité sur le côté refoulement de la portion formant élément de pompe 41 est raccordé à la portion formant élément de pompe 43 se caractérisant par une vitesse de refoulement élevée en régime d'écoulement glissant. Lorsque l'épaisseur t3 de la portion formant élément de pompe 43 est plus importante que l'épaisseur tl de la portion formant élément de pompe 41, ainsi qu'il est indiqué sur la figure 2C, la portion formant élément de vis 42 augmente progressivement en épaisseur à partir du côté de la portion formant élément de pompe 41 pour être continue avec la portion formant élément de pompe 43 de manière à ne pas détériorer le débit de refoulement en provoquant des perturbations d'écoulement des gaz par une variation abrupte de forme entre ces portions formant éléments. De manière similaire, lorsque l'angle de palette al de la portion formant élément de pompe 41 et l'angle de basculement a2 de la portion formant élément de pompe 43 sont différents, les deux portions formant élément 41 et 43 sont raccordées avec une variation angulaire modérée. En outre, comme dans le cas du mode de réalisation représenté, en ce qui concerne le diamètre de trajectoire r 1 de la portion formant élément de pompe 41, si le diamètre en fond de vis r2 au niveau de l'extrémité sur le côté aspiration de la portion formant élément de pompe 43 est plus grand, les portions 31 et 33 peuvent être raccordées avec une variation modérée du diamètre en augmentant l1 progressivement le diamètre extérieur de la portion de surface périphérique extérieure de transition 32, augmentant progressivement depuis la portion de surface périphérique extérieure côté aspiration 31 jusqu'à la portion de surface périphérique extérieure côté refoulement 33. En d'autres termes, la forme évolue en douceur de la portion formant élément de pompe du type à palettes 41 jusqu'à la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 43. Dans le mode de réalisation représenté d'une pompe à vide 1 construite dans les conditions indiquées ci-dessus, le gaz en régime moléculaire est aspiré par la portion formant élément de pompe 43 placé sur le côté aspiration et comprimé jusqu'à une pression donnée. Etant donné que le volume du gaz comprimé se réduit, le volume de gaz à aspirer dans la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 41 suivante peut être plus réduit que celui dans la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 43. Dans la portion formant élément de pompe 41, la compression du gaz s'effectue de manière permanente. En conséquence, le volume au niveau de la portion formant gorge est réduit de manière séquentielle. Dans le mode de réalisation représenté, ainsi qu'il est indiqué ci-dessus, l'élément de vis est conçu en fonction de la pression et du volume des gaz refoulés depuis la portion formant élément de pompe 43. En conséquence, le débit de refoulement (rendement de compression, vitesse de refoulement) au niveau de l'ensemble de la pompe à vide du type à filet peut être amélioré. Ici, si la conception de la portion formant élément de pompe 43 et de la portion formant élément de pompe 41 n'est pas appropriée, les problèmes suivants se poseront. Par exemple, si la quantité de gaz à l'aspiration au niveau de la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 41 est réduite, l'écoulement gazeux dans cette portion aura tendance à diminuer, augmentant ainsi la quantité de gaz à renvoyer vers la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 43. Dans le même temps, la pression est élevée même dans cette portion, réduisant ainsi la fonction de pompage dans la portion formant élément de pompe 43. Il s'ensuit qu'en présence d'une pression relativement élevée, le rendement de compression et la vitesse de refoulement diminuent tous deux. D'un autre côté, contrairement à ce qui précède, lorsque la quantité de gaz à l'aspiration est importante de manière excessive, le gaz comprimé dans la portion formant élément de pompe 43 provoque une expansion de volume, provoquant ainsi une déperdition au niveau du travail de compression dans la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 43. D'autre part, ainsi qu'il est bien connu, dans la région correspondant au régime de vide poussé, appelé écoulement moléculaire, le mouvement du gaz en régime moléculaire provoque une collision des molécules de gaz à basse fréquence, et plus volontiers, la fréquence des collisions avec la paroi entourant le flux de gaz en régime moléculaire peut déterminer le mouvement du gaz en régime moléculaire. Pour cette raison, il devient important, dans le cadre de l'amélioration du débit de refoulement de la pompe, de déterminer comment acheminer de manière efficace le gaz en régime moléculaire introduit par l'ouverture d'aspiration de la pompe vers le côté ouverture de refoulement. Etant donné que la quantité de gaz en régime moléculaire introduite est proportionnelle à la surface d'ouverture de l'ouverture d'aspiration, il est utile d'agrandir la surface d'ouverture de l'ouverture d'aspiration pour augmenter la vitesse de refoulement. Cependant, lorsque l'ouverture grandit dans une proportion excessive, s'accompagnant d'une augmentation du volume de gaz en régime moléculaire introduit, le volume de gaz en régime moléculaire à renvoyer est également augmenté. Il s'ensuit que la vitesse de refoulement n'est pas accrue et que le rendement de compression peut diminuer. En conséquence, pour agrandir la surface d'ouverture, tout en conservant le débit de refoulement et le rendement de compression donnés, en vue d'obtenir la vitesse de refoulement recherchée, une mesure efficace consiste à employer la technique de conception de la pompe turbo-moléculaire, établie théoriquement par rapport au débit de refoulement et au rendement de compression. Dans le mode de réalisation de la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux représenté, ainsi qu'il est indiqué ci-dessus, dans le filet hélicoïdal formé sur la surface périphérique extérieure du rotor, la portion sur le côté de l'ouverture d'aspiration, la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques a une configuration géométrique déterminée selon le principe de la conception de la pompe turbo-moléculaire. En conséquence, l'ouverture d'aspiration est élargie dans une proportion importante sans entraîner de baisse du rendement de compression, augmentant ainsi dans une proportion notable la vitesse de refoulement dans la région correspondant au régime moléculaire libre. En conséquence, on peut réaliser une pompe à vide du type à filets hélicoïdaux capable de fournir une vitesse de refoulementélevée sur une fourchette de pression étendue allant de la région correspondant au régime de simple dépression jusqu'à la région correspondant au régime de vide poussé. Il faut noter que la longueur nécessaire de la portion formant élément de pompe 43 dans la direction axiale est déterminée en fonction du rapport de code d'espacement et du nombre de palettes. D'un autre côté, en ce qui concerne la longueur dans la direction axiale de la portion formant élément de pompe 41, la longueur nécessaire est déterminée en fonction du rendement de compression recherché. En conséquence, la longueur de la portion formant élément de pompe 43 dans la direction axiale est déterminée en fonction du débit de refoulement respectivement requis dans la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques et dans la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux. La figure 4 est un graphique montrant un exemple de mesure de l'évolution de la vitesse de refoulement en fonction de la pression au niveau de l'ouverture d'aspiration entre le mode de réalisation représenté de la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux et une pompe à vide du type à filet classique. Comme on peut le constater à l'examen du graphique, dans le mode de réalisation représenté de la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux, les caractéristiques de refoulement dans la région correspondant au régime de vide poussé sont améliorées. D'un autre côté, dans la région correspondant au régime de simple dépression, une vitesse de refoulement équivalant à celle d'une pompe à vide du type à filets hélicoïdaux classique peut être maintenue. Les figures 3A-3C illustrent un autre mode de réalisation d'une pluralité filets hélicoïdaux 4(n) formés sur la surface périphérique extérieure du rotor 3, dans lesquelles la figure 3A est une vue en plan du dessus du rotor 3 vu depuis le côté correspondant à l'extrémité formant bout, la figure 3B est une vue de côté en élévation représentée partiellement en coupe du carter, vu depuis le côté, et la figure 3C est une vue en élévation développée de la surface périphérique extérieure. Dans le mode de réalisation représenté sur ces dessins, sur la portion de surface périphérique extérieure 31, sur le côté aspiration du rotor 3, en plus de la portion formant élément de pompe 41, une pluralité de deuxièmes filets hélicoïdaux 4A(m) définissant la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 41A sont formées. Le nombre total des palettes de la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques 41 et de la portion formant élément de pompe 41A est un multiple entier du nombre de palettes de la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux 43. Dans le mode de réalisation représenté, le nombre total de palettes est fixé à 10 (m = 5). Dans ce cas, il est souhaitable que l'angle de palette ai de la portion formant élément de pompe 41A soit plus grand que l'angle de palette al de la portion formant élément de pompe 41. Par ailleurs, l'épaisseur t3 de la portion formant élément de pompe 41A est de manière souhaitable inférieure à l'épaisseur tl de la portion formant élément de pompe 41. En augmentant l'angle de palette et en réduisant l'épaisseur, ou en employant un de ces moyens, la surface d'ouverture de l'aspiration 21 peut être agrandie. En conséquence, la vitesse de refoulement peut être augmentée. Il faut noter que, tandis que les modes de réalisation qui précèdent utilisent un roulement magnétique comme roulement du rotor 3, des roulements d'autres types peuvent bien évidemment être utilisés. Ainsi qu'il a été indiqué ci-dessus, dans la pompe à vide du type à filets hélicoïdaux selon la présente invention, parmi le filet hélicoïdal formé sur le rotor, la portion se trouvant sur le côté de l'ouverture d'aspiration est réalisée sous la forme d'une portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques ayant une configuration géométrique déterminée sur la base de la théorie de la conception de la pompe turbo-moléculaire. En conséquence, tout en conservant les caractéristiques d'une vitesse de refoulement élevée dans la région correspondant au régime de simple dépression, en tant qu'avantage de la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux classique, la vitesse de refoulement dans la région correspondant au régime de vide poussé peut être augmentée dans une proportion importante. D'un autre côté, pour augmenter la vitesse de refoulement dans la région correspondant au régime de vide poussé, étant donné qu'il n'est pas nécessaire d'employer une configuration compliquée comportant une palette statique, comme dans la pompe turbo-moléculaire classique, même lorsque l'évacuation d'une quantité importante de gaz réactif doit être réalisée, une résistance supérieure dans le temps peut être maintenue. Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation ci-dessus décrits et représentés, à partir desquels on pourra prévoir d'autres modes et d'autres formes de réalisation, sans pour autant sortir de la portée de l'invention. REVENDICATIONS 1. pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) comprenant un carter de pompe (2) de section cylindrique, un rotor cylindrique unique (3) disposé de manière coaxiale à l'intérieur du carter de la pompe (2), une portion formant vis définie par une pluralité de filets hélicoïdaux (4(n)) formés sur la surface périphérique extérieure (30) du rotor (3), et une ouverture d'aspiration (21) et une ouverture de refoulement (9) mises en communication avec le carter (2) de la pompe, caractérisée en ce que la pluralité des filets hélicoïdaux (4(n)) formés sur la surface périphérique extérieure (30) du rotor (3) comprend une portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41) basée sur le principe de la conception d'une pompe turbo- moléculaire formée sur la portion de surface périphérique extérieure sur un côté d'aspiration sur une longueur prédéterminée le long de la direction axiale du rotor (3) depuis une extrémité sur le côté de l'ouverture d'aspiration (21) dans la surface périphérique extérieure (30) du rotor (3), et une portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux (43) formée sur la portion de surface périphérique extérieure (33) sur un côté de refoulement sur une longueur prédéterminée le long de la direction axiale du rotor (3) depuis une extrémité sur le côté de l'ouverture de refoulement (9) dans la surface périphérique extérieure (30) du rotor (3), o dans chacun des filets hélicoïdaux (4(n)), la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41) et la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux (43) se suivent en douceur. 2. Pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) selon la revendication 1, caractérisée en ce que sont en outre formés une pluralité de deuxièmes filets hélicoïdaux (4A(m)) définissant une deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41A) sur la portion de surface périphérique extérieure (31) sur le côté aspiration du rotor (3). 3. Pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) selon la revendication 2, caractérisée en ce que le nombre total de portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41) et de deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41A) est un multiple entier du nombre de portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux (43). 4. Pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) selon la revendication 2 ou 3, caractérisée en ce que l'angle de palette de la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41) et de la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41A) est supérieur ou égal à l'angle de basculement sur la côté aspiration de la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux (43). 5. Pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisée en ce que l'angle de palette de la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41A) est plus grand que l'angle de palette de la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41). 6. Pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) selon l'une quelconque des revendications 2 à 5, caractérisée en ce que l'épaisseur de la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41) et de la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41A) est supérieure à l'épaisseur de la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux (43). 7. Pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) selon l'une quelconque des revendications 2 à 6, caractérisée en ce que l'épaisseur de la deuxième portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41 A) est inférieure à l'épaisseur de la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41). 8. Pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisée en ce qu'entre la portion de surface périphérique extérieure (31) sur le côté aspiration et la portion de surface périphérique extérieure (33) sur le côté refoulement, une portion de surface périphérique extérieure de transition (32) est formée, et en ce que sur la portion de surface périphérique extérieure de transition (32) une portion formant élément de vis de transition (42), assurant une liaison en douceur entre la portion formant élément de pompe du type à palettes dynamiques (41) et la portion formant élément de pompe du type à filets hélicoïdaux (43) est formée dans chaque filet hélicoïdal (4(n)). 9. Pompe à vide du type à filets hélicoïdaux (1) selon la revendication 8, caractérisée en ce que, lorsque le diamètre extérieur de la portion de surface périphérique extérieure (31) sur le côté aspiration du rotor (3) est différent du diamètre extérieur de la portion de surface périphérique extérieure (33) sur le côté refoulement, par la portion de surface périphérique extérieure de transition (32), la portion de surface périphérique extérieure (31) sur le côté aspiration et la portion de surface périphérique extérieure (33) sur le côté refoulement sont raccordées en douceur.