Brevet FR2782835A1 — publié le 20000303

Structure d'électrode dans une enveloppe à vide plate La présente invention concerne une enveloppe à vide efficace pour divers dispositifs o des éléments à émission de champ, émettant chacun des électrons dans un champ électrique, sont agencés dans l'enveloppe à vide. En particulier, la présente invention concerne une structure avant d'électrode dans une enveloppe à vide destinée à des éléments de conversion photoélectrique ou des affichages utilisant des dispositifs à émission de champ (connus sous la dénomination FED) qui sont des tubes o0 à rayons cathodiques froids du type à émission uniforme, fabriqués par la technologie du micro-traitement de semi-conducteurs. Les cathodes à émission de champ du type Spindt (connues sous la dénomination FEC) sont maintenant au stade pratique en tant qu'éléments à émission de champ fabriqués en utilisant entièrement la technologie des is semi-conducteurs et sont utilisées de manière adaptée pour des affichages. La figure 7 représente schématiquement la configuration d'une cathode à émission de champ du type Spindt. Cette vue en perspective montre une cathode à émission de champ fabriquée en utilisant la technologie du micro-traitement de semi-conducteurs. En se reportant à la figure 7, une cathode K est déposée en phase vapeur sur le substrat S. Des émetteurs coniques E sont formés sur la surface de la cathode K. Une grille GT est formée sur la cathode K via la couche isolante constituée de dioxyde de silicium (SiO2). Les émetteurs coniques E sont formés respectivement dans des trous ouverts dans la grille GT. Les pointes des émetteurs coniques E sont respectivement observées depuis les ouvertures de la grille GT. 2 2782835 La technologie de micro-traitement est utilisée pour fabriquer les émetteurs coniques E agencés à des intervalles de moins de 10 microns. Entre plusieurs dizaines de milliers et plusieurs centaines de milliers de cathodes à émission de champ peuvent être formées sur un substrat unique S. Puisque l'espace existant entre la grille GT et un émetteur conique E peut être de l'ordre des sous-multiples du micron, l'émetteur E émet par effet de champ des électrons à l'aide de plusieurs dizaines de volts Vgk appliqués entre la grille GT et la cathode K. L'anode A est espacée de la grille GT d'une distance prédéterminée. L'anode A peut attirer des électrons émis par l'émetteur E à l'aide de la tension anodique Va appliquée. Une substance fluorescente (non- représentée) revêtue sur l'anode A est excitée par les électrons accélérés de sorte que l'affichage passe à un état luminescent. 1 5 Avec le film de conversion photoélectrique plaqué sur l'anode A, le courant anodique dépend de la quantité de lumière appliquée de manière externe. Une prise de vue peut détecter le courant anodique. Dans l'affichage à émission de champ classique représenté sur la figure 7, l'espace entre la grille GT et l'anode A est de l'ordre de plusieurs centaines de microns. Un tel dispositif à émission de champ permet de fabriquer une enveloppe à vide très mince. La figure 8 est une vue en coupe transversale représentant partiellement la partie principale de l'enveloppe à vide plate. En se reportant à la figure 8, un premier substrat de verre 11 a une partie d'émission de champ 1 la constituée d'émetteurs E et de la grille GT. Un second substrat de verre 12 a une anode 12a qui a une couche stratifiée constituée d'une substance d'affichage fluorescente et une électrode 3 2782835 transparente agissant en tant que couche arrière métallique conductrice. Une partie de paroi latérale 13 entoure l'espace existant entre le premier substrat de verre et le second substrat 12 pour maintenir un état de vide. Normalement, la partie de paroi latérale 13 est conçue légèrement plus grande pour définir une chambre de dégazage. Les parties d'extrémité de la partie de paroi latérale sont réunies au premier substrat de verre et au second substrat de verre en utilisant du verre fritté 14 de sorte que l'intérieur de celles-ci soit maintenu dans un état de vide. La référence 13a représente un trou d'évacuation fixé pour évacuer 1o l'enveloppe à vide jusqu'à un état de vide. Le tube d'évacuation 1 3b fixé de manière externe au trou d'évacuation 13a est utilisé pour évacuer l'intérieur de l'enveloppe à vide. L'enveloppe à vide est fabriquée en scellant le tube d'évacuation 13a. La partie de paroi latérale 13 a un trou 13c à travers lequel passe un conducteur 15 pour venir en contact avec l'anode 12a. Lorsque le conducteur 15 pénètre dans le trou 13c, la partie de paroi latérale 13 est fixée de manière sûre à l'aide de verre cristallisé 13d alors qu'un élément formant ressort 15a formé au niveau de l'extrémité avant du conducteur 15 est mis en contact de manière élastique avec l'anode 12a. Ainsi, une tension relativement élevée peut être appliquée à l'anode 12a. Une tension d'excitation relativement basse appliquée à la partie d'émission de champ 1 la sur laquelle sont formés les émetteurs E et la grille GT peut être appliquée de l'extérieur via un grand nombre de films conducteurs transparents imprimés sur le premier substrat de verre 1 1 (non- représentés). Conformément à l'enveloppe à vide plate mentionnée ci-dessus, le conducteur 15 est en contact direct avec l'anode 12a et est étiré vers l'extérieur de celle-ci, de sorte que le contact entre l'anode 12a et le 4 2782835 conducteur 15 devient instable. Ceci entraîne l'apparition fréquente de défauts de contact ou d'une auto-décharge lorsqu'une tension élevée par exemple de plusieurs kilovolts est appliquée à l'anode. En particulier, la conductivité entre l'extrémité avant du conducteur 15 et l'anode 12a est obtenue à l'aide de la pression de contact de l'élément formant ressort 1 Sa de l'extrémité avant, après avoir scellé la partie de paroi latérale 13. Cependant, la conductivité peut être défectueuse du fait d'un impact pendant la fabrication ou d'un choc mécanique après la fabrication. Ceci a pour résultats de faibles rendements de fabrication et une faible io fiabilité du produit. La présente invention est conçue pour résoudre les problèmes mentionnés ci-dessus. De plus, le but de la présente invention consiste à fournir une enveloppe à vide plate o une anode peut être connectée à l'électrode d'alimentation de haute tension avec une grande fiabilité. Le but de la présente invention est obtenu par une structure d'électrode dans une enveloppe à vide plate comportant un premier substrat de verre sur lequel des cathodes à émission de champ sont agencées sur sa surface, un second substrat de verre sur lequel une anode est destinée à attirer des électrons émis par les cathodes à émission de champ, le second substrat de verre étant en vis-à-vis du premier substrat de verre, un espace existant entre le premier substrat de verre et le second substrat de verre étant maintenu dans un état de vide, une plaque d'électrode de connexion placée sur l'anode et agissant en tant que plaque métallique conductrice, et un conducteur connecté à la plaque d'électrode de connexion et qui s'étend depuis l'extérieur à travers le premier substrat de verre ou l'enveloppe à vide. 2782835 Ces buts, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, de la présente invention vont mieux apparaître à la lecture de la description détaillée qui va suivre faite en référence aux dessins annexés, sur lesquels: - les figures 1l(a), 1(b) et 1(c) sont des vues en coupe s transversale représentant chacune, partiellement, une structure de connexion d'anode dans une enveloppe à vide plate selon la présente invention, - la figure 2 est une vue en coupe transversale représentant une enveloppe à vide plate ayant une structure d'électrode encore améliorée 0o selon la présente invention, - les figures 3(a), 3(b), 3(c) et 3(d) sont des schémas représentant chacun un élément formant ressort utilisé pour la structure d'électrode d'une enveloppe à vide plate selon la présente invention, - la figure 4(a) est une vue en perspective et les figures 4(b) et s 54(c) sont une vue de dessus et une vue en coupe, représentant chacune une plaque d'électrode de connexion et un conducteur utilisé pour la structure d'électrode d'une enveloppe à vide plate selon la présente invention, - la figure 5(a) est une vue partielle en coupe transversale et la figure 5(b) est une vue en perspective, représentant chacune une structure o un élément formant ressort est inséré entre un conducteur et une plaque d'électrode de connexion, - la figure 6 est une vue en coupe transversale schématique représentant une structure o un élément formant ressort est utilisé dans la plaque d'électrode de connexion connectée au conducteur extrait de la surface latérale, - la figure 7 est une vue en perspective représentant la structure d'une cathode à émission de champ du type Spindt, et 6 2782835 - la figure 8 est un schéma représentant la structure d'évacuation d'une enveloppe à vide contenant un dispositif à émission de champ et la structure d'électrode dans l'enveloppe à vide. La configuration d'une enveloppe à vide pour enfermer un dispositif à émission de champ selon un premier mode de réalisation de la présente invention va être décrite ci-dessous en référence à la figure 1 (a). En se reportant à la figure l(a), la référence numérique 1 désigne un premier substrat de verre sur lequel une zone d'émission de champ la constituée d'émetteurs et une couche de grille sont stratifiées. La référence 0o numérique 2 désigne un second substrat de verre sur lequel une substance d'affichage fluorescente et une anode 2a constituée d'une électrode transparente sont stratifiées. La référence numérique 3 désigne une partie de paroi latérale pour définir l'espace de vide existant entre le premier substrat de verre et le second substrat de verre. La partie de paroi latérale 3 s 5est généralement scellée à l'aide de verre fritté pour maintenir l'espace intérieur dans un état de vide. La référence numérique 4 est un tube d'évacuation fixé au premier substrat de verre 1 pour évacuer l'espace intérieur jusqu'à un état de vide, à travers le trou d'évacuation 4a. un conducteur 5 est étiré à partir de l'anode à travers le tube d'évacuation 4. Le conducteur 5 a une extrémité qui est électriquement soudée par points à une plaque métallique d'électrode de connexion 6. La plaque métallique d'électrode 6 est en contact avec l'électrode de conducteur de l'anode 2a. Dans ce mode de réalisation, le conducteur 5 est recouvert au préalable de verre calcique 5a ayant pratiquement le même coefficient de dilatation thermique que celui du tube d'évacuation 4. L'intérieur de l'enveloppe à vide est évacué à travers le tube d'évacuation 4 jusqu'à un état 7 2782835 de vide. Encore, le premier substrat de verre et le second substrat de verre sont fixés de manière sûre alors que le tube d'évacuation 4 est scellé. La plaque d'électrode de connexion 6 est de préférence constituée d'acier inoxydable ou d'alliage 426 et a un diamètre d'environ 5 mm. Cependant, la forme et la dimension de la plaque d'électrode de connexion dépendent de celles de l'enveloppe à vide. En se reportant à la figure l(a), l'intérieur de l'enveloppe à vide est évacué jusqu'à un état de vide. Ensuite, la surface latérale du verre calcique a est soudée à la surface intérieure du tube d'échappement 4. Afin de io configurer l'anode, la partie inutile (représentée par des traits interrompus) du tube d'échappement est dessoudée tout en étant tirée dans la direction B. L'intérieur de l'enveloppe à vide entière est maintenu dans un état de vide. Sur la figure l(a), le dégazeur utilisé pour maintenir le degré de vide n'est pas représenté. Pour empêcher la séparation de la plaque d'électrode de connexion 6 de l'anode 2a, le verre calcique 7 est soudé avec le second substrat de verre 2 au niveau d'une extrémité de la plaque d'électrode de connexion 6. Ainsi, même lorsqu'il est tiré, le conducteur 5 n'est pas séparé de la plaque d'électrode de connexion 6. Le verre calcique 7 et la plaque d'électrode de connexion 6 peuvent libérer des gaz dans l'enveloppe à vide. Par conséquent, il est préférable d'aspirer au préalable des résidus gazeux situés dans l'enveloppe à vide lors d'un étuvage suffisant. Ensuite, l'intérieur de l'enveloppe à vide est mis sous vide jusqu'à un état de vide. La figure l(a) représente l'exemple o le conducteur 5 est tiré vers l'extérieur à travers le tube d'évacuation 4. Cependant, comme représenté sur la figure l(b), le conducteur 5b, qui s'étend à travers le trou 5a formé à 8 2782835 une position prédéterminée du premier substrat de verre 1, peut être fixé au niveau du trou 5a pratiquement de même coefficient de dilatation thermique que celui du verre d'étanchéité à l'aide de verre cristallisé 5b. Ainsi, le conducteur 5 peut être scellé en un seul bloc au substrat de verre I et être tiré depuis une position différente du trou d'évacuation 4a. De plus, comme représenté sur la figure l(c), l'espace d'extrémité existant entre le premier substrat de verre I et le second substrat de verre 2 peut être entouré d'une chambre de paroi latérale légèrement épaisse 8. Le conducteur 5 peut être amené à l'extérieur à travers la chambre de paroi io latérale 8. Même dans ce mode de réalisation, l'anode 2a est stratifiée avec la plaque d'électrode de connexion 6 pour garantir une conductivité suffisante. Le conducteur 5 est amené à l'extérieur à travers la plaque d'électrode de connexion 6. Dans ce mode de réalisation, une quantité suffisante de dégazeur peut être placée dans l'espace intérieur de la chambre à parois latérales 8. La figure 2 représente une enveloppe à vide selon un autre mode de réalisation de la présente invention. Des références numériques analogues représentent les mêmes constituants que ceux représentés sur la figure 1. Dans ce mode de réalisation, un élément formant ressort 20 est inséré entre la plaque d'électrode de connexion 6 et le premier substrat de verre I pour empêcher la séparation entre la plaque d'électrode de connexion 6 et l'anode 2a. L'élément formant ressort 20 est utilisé pour connecter la plaque d'électrode de connexion 6 à l'anode 2a dans un état empilé et peut éliminer le verre calcique 7 fixant la plaque d'électrode de connexion 6, comme représenté sur la figure 1. Cette structure peut éviter le risque qu'apparaisse une auto-décharge au niveau du verre calcique 7 lorsqu'une tension élevée 9 2782835 est appliquée à l'anode. De plus, cette structure a pour avantage de diminuer le nombre d'étapes de fabrication. La figure 3(a) représente un exemple de l'élément formant ressort 20. C'est-à-dire que le conducteur 5 revêtu de verre calcique 5a passe à travers le trou médian 20a de l'élément formant ressort 20. Une partie de disque en forme d'anneau de l'élément formant ressort 20 est en contact avec la plaque d'électrode de connexion 6. Des pattes élastiques 20b sont comprimées contre le premier substrat de verre 1 pour connecter la plaque d'électrode de connexion 6 à l'anode 2a. L'élément formant ressort 20 est constitué d'un matériau de la famille des aciers inoxydables qui implique une propriété de résistance à la chaleur dans l'étape de scellement sous vide et la propriété de libérer moins de résidus gazeux dans l'espace de vide pendant le fonctionnement. L'élément formant ressort 20 est formé en comprimant une plaque métallique mince telle que de l'acier inoxydable. La plaque métallique mince est poinçonnée pour réaliser un disque ayant un trou 20a au milieu de celui-ci et plusieurs pattes 20b s'étendant radialement depuis le disque a. Le trou 20a est formé pour laisser passer le verre calcique Sa. Les différentes pattes 20b sont inclinées au niveau des pieds par un processus d'incurvation. Ensuite, d'autres aspects de l'élément formant ressort 20 sont indiqués ci-dessous. L'élément formant ressort 21 représenté sur la figure 3(b) a deux pattes simplifiant la configuration de la figure 3(a). L'élément formant ressort 21 est formé en incurvant une plaque en ellipse qui comporte au niveau de son centre le trou 21a. En se reportant à la figure 3(c), un élément formant ressort 22 est formé en mettant en spirale un fil métallique fin, la 0lo 2782835 partie centrale étant levée et à des intervalles plus grands que le diamètre de la ligne métallique. Cet élément formant ressort 22 peut être comprimé jusqu'à une hauteur correspondant pratiquement au diamètre du fil métallique. Ainsi, l'élément formant ressort 22 est commode dans le cas o l'espace contenant le ressort est aussi petit que celui représenté dans cet exemple. L'élément formant ressort 23 de la plaque rectangulaire mince est ondulé comme représenté sur la figure 3(d). Puisque les parties convexes 23a, 23a ondulées sont en contact avec la plaque d'électrode de connexion 6 1o et puisque les parties convexes 23b, 23b sont en contact avec la première plaque de verre 1, la pression de contact est allégée de manière efficace. Afin d'empêcher que le point de connexion entre le conducteur 5 et la plaque d'électrode de connexion 6 ne soit séparé pendant la fabrication, une pièce formant languette 6a est découpée à une position prédéterminée de la plaque de connexion 6 et ensuite incurvée en forme d'arc. La pièce formant languette 6a autour de laquelle la surface périphérique est découpée en forme de U peut être fixée de manière efficace au conducteur 5. Dans ce cas, la première extrémité du conducteur 5 est pliée à angle droit et est insérée entre la surface de plaque d'électrode de connexion 6 et la surface inférieure de la pièce formant languette 6a. Alors, la pièce formant languette 6a est poussée vers le bas contre la surface de la plaque d'électrode de connexion 6 pour être fixée mécaniquement avec le conducteur 5. Pour une connexion ferme, le conducteur 5 peut de préférence être soudé ou brasé. La figure 5 est un schéma représentant la configuration d'un dispositif à émission de champ comportant une enveloppe à vide selon un autre mode de réalisation de la présente invention. En se reportant à la ln 1 2782835 figure 5, des références numériques analogues désignent les mêmes constituants que ceux représentés sur la figure 1. La référence numérique 1 désigne un premier substrat de verre sur lequel est stratifiée une zone d'émission de champ 1 a constituée d'émetteurs et d'une couche de grille. La référence numérique 2 est un second substrat de verre sur lequel est stratifiée une anode 2a constituée d'une substance d'affichage fluorescente et d'une électrode transparente. Comme représenté par la vue en perspective de la figure 5(b), la plaque conductrice de connexion de conducteur 9 est placée au milieu de 0o l'enveloppe à vide. Une pièce formant languette 9a ayant la même forme que la pièce formant languette 6a de la figure 4 est formée dans la partie médiane de la plaque de connexion de conducteur 9. Le conducteur 5 est fixé mécaniquement à la plaque de connexion de conducteur 9 par l'intermédiaire de la pièce formant languette 9a et ensuite l5 est soudé ou brasé dans le but d'obtenir des résistances suffisantes. L'élément formant ressort conducteur 24 représenté sur la figure 3(a) est fixé de manière ferme sur la plaque de connexion de conducteur 9. Cette structure est insérée entre le premier substrat de verre 1 et la plaque d'électrode de connexion 6 pour appuyer la plaque d'électrode de connexion 6 contre l'anode 2a. Lorsque le tube d'évacuation 4 est soudé et découpé dans un état de vide tout en étant tiré dans la direction B, la tension exercée sur le conducteur 5 est bien absorbée par la plaque de connexion de conducteur 9 et l'élément formant ressort 24. Pendant ce temps-là, puisque la plaque d'électrode de connexion 6 est poussée contre le côté du substrat de verre, il n'y a aucun risque de pelage de la plaque d'électrode de connexion 6. 12 2782835 Puisque le premier substrat de verre I peut supporter la tension du conducteur, la plaque de connexion de conducteur 9 peut être une plaque en disque ou une plaque rectangulaire. Dans les modes de réalisation mentionnés ci-dessus. l'élément formant ressort est monté au préalable dans l'enveloppe à vide. Cependant, un tube d'évacuation elliptique 4a peut être préparé au préalable. Après qu'une enveloppe ait été formée. un mince élément formant ressort dans un état plat est inséré à l'intérieur de l'enveloppe à vide à partir de la direction du diamètre longitudinal du tube d'évacuation elliptique. L'élément formant ressort 20 (comme représenté sur la figure) peut être placé sur la surface de la plaque d'électrode de connexion 6. La figure 6 représente le dispositif à émission de champ comportant une enveloppe à vide selon encore un autre mode de réalisation de la présente invention. En se reportant à la figure 6, des références numériques analogues désignent les mêmes constituants que ceux de la figure 1. C'est-à-dire que la référence numérique 1 désigne un premier substrat de verre sur lequel est stratifiée la zone d'émission de champ constituée d'émetteurs et d'une couche de grille. La référence numérique 2 désigne un second substrat de verre sur lequel sont stratifiées une substance d'affichage fluorescente et une anode 2a constituée d'une électrode transparente. La o20 référence numérique 25 désigne un dégazeur fixé sur la plaque d'électrode de connexion 6. Le conducteur anodique 5 revêtu de verre calcique Sa, de même coefficient de dilatation thermique que le premier substrat de verre 1, est amené vers l'extérieur de l'espace (surface latérale) entre le premier substrat de verre I et le second substrat de verre 2. Le verre de scellement 8 scelle hermétiquement les espaces de la partie de paroi latérale de l'enveloppe à vide définie par le verre calcique Sa supportant le conducteur 5, le premier substrat de verre 1 et le second substrat de verre 2 pour maintenir un état de vide. j13 2782835 Une partie du conducteur 5 est connectée électriquement à la plaque d'électrode de connexion 6 en contact avec l'anode 2a. L'élément formant ressort 20 appuie la plaque d'électrode de connexion 6 contre l'anode 2a. Dans ce cas, l'enveloppe à vide est évacuée sous vide jusqu'à un état de vide en utilisant le trou d'évacuation et le tube d'évacuation (nonreprésentés). Lorsque le conducteur 5 est scellé au préalable au niveau des côtés de l'enveloppe à vide à l'aide du verre de scellement 8, l'élément formant ressort 20 connecte électriquement l'anode 2a à la plaque d'électrode de connexion 6, le résultat étant une connexion électrique i0 stable. Même dans les premier et second modes de réalisation, un autre élément, par exemple le dégazeur 25, contenu dans l'enveloppe à vide peut être fixé au préalable et en un seul bloc avec la plaque d'électrode de connexion 6, de sorte que la maniabilité de l'ensemble est améliorée. L'élément formant ressort 20 peut être fixé au préalable sur la plaque d'électrode de connexion 6. La configuration d'électrode de la présente invention a été décrite concernant des enveloppes à vide destinées à des éléments de conversion photoélectrique et des affichages utilisant les dispositifs à émission de champ qui sont des tubes à rayons cathodiques froids du type à émission en surface. Cependant, la présente invention peut être largement appliquée à des enveloppes à vide impliquant l'étape de mise sous vide et de scellement. Comme décrit ci-dessus, la configuration d'électrode de l'enveloppe à vide plate selon la présente invention est utilisée pour une enveloppe à vide plate incluant des éléments à émission de champ. Par conséquent, une tension élevée peut être appliquée de manière efficace à la connexion d'électrode avec une fiabilité élevée, sans l'apparition d'une autodécharge. 14 2782835 De plus, la rupture entre le conducteur et la plaque d'électrode de connexion ou la séparation entre la plaque d'électrode de connexion et l'anode peuvent être évitées dans l'étape de mise sous vide et d'étanchéification. Ceci contribue à améliorer les rendements de fabrication. La connexion électrique fiable entre la plaque d'électrode de connexion et l'anode peut être assurée, en diminuant ainsi l'apparition de défauts après transport des produits. Le dégazeur fixé au préalable sur la plaque d'électrode de o0 connexion peut réduire le nombre d'étapes d'assemblage. 2782835 REVENDICATIONS 1. Structure d'électrode dans une enveloppe à vide plate, caractérisée en ce qu'elle comporte: s un premier substrat de verre (1) sur la surface duquel sont agencées des cathodes à émission de champ, un second substrat de verre (2) sur lequel est agencée une anode (2a) pour attirer des électrons émis par lesdites cathodes à émission de champ, ledit second substrat de verre (2) étant en vis-à-vis dudit premier surface de io verre (1), un espace existant entre ledit premier substrat de verre et ledit second substrat de verre étant maintenu dans un état de vide, une plaque métallique conductrice qui est fixée de manière sûre à ladite anode et agissant en tant que plaque d'électrode de connexion (6), et un conducteur (5) connecté à ladite plaque d'électrode de connexion (6) et amené vers l'extérieur à travers une surface de paroi de ladite enveloppe à vide. 2. Structure d'électrode selon la revendication 1, caractérisée en ce que ladite plaque d'électrode de connexion (6) est poussée contre ladite anode (2a) à l'aide d'un élément élastique (20; 21; 22; 23; 24) fixé de manière ferme sur le premier substrat de verre (1). 3. Structure d'électrode selon la revendication 1, caractérisée en ce que ledit conducteur (5) est amené vers l'extérieur à travers un trou d'évacuation (4a) ouvert à une position prédéterminée du premier substrat de verre (1) et un tube d'évacuation (4) qui rend étanche ledit trou d'évacuation. 16 2782835 4. Structure d'électrode selon la revendication 2, caractérisée en ce qu'elle comporte de plus un autre élément élastique inséré entre ledit élément élastique et ledit premier substrat de verre. 5. Structure d'électrode selon la revendication 2, 3 ou 4, caractérisée en ce que ledit conducteur (5) a une extrémité pliée fixée de manière ferme sur une pièce (6a) découpée de ladite plaque métallique de connexion (6). 6. Structure d'électrode selon la revendication 3, caractérisée en ce que ledit conducteur (5) s'étendant à travers ledit tube d'évacuation est recouvert d'un verre (5a) ayant le même coefficient de dilatation thermique que celui du premier substrat de verre. 7. Structure d'électrode dans une enveloppe à vide plate, caractérisée en ce qu'elle comporte: un premier substrat de verre (1) sur la surface duquel sont agencées des cathodes à émission de champ, un second substrat de verre (2) sur lequel est agencée une anode (2a) pour attirer des électrons émis par lesdites cathodes à émission de champ, ledit second substrat de verre étant en vis-à-vis dudit premier substrat de verre, un conducteur (5) pénétrant un espace entre une surface latérale dudit premier substrat de verre et une surface latérale dudit second substrat de verre qui sont en vis-à-vis l'un de l'autre, ledit espace étant rendu étanche à l'aide d'un verre d'étanchéité, et une plaque d'électrode de connexion (6) réunie de manière sûre à une extrémité dudit conducteur dans ladite enveloppe à vide et qui est en contact électrique avec ladite électrode, 17 2782835 de sorte que ladite plaque d'électrode de connexion est poussée contre ledit second substrat de verre à l'aide d'un élément élastique (20; 21; 22; 23; 24). 8. Structure d'électrode selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit conducteur (5) est scellé à l'aide d'un verre (5b) ayant pratiquement le même coefficient de dilatation thermique que celui du verre d'étanchéité. 9. Substrat d'électrode selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il comporte de plus un dégazeur (25) placé dans ladite enveloppe à vide et fixé de manière ferme sur ladite plaque d'électrode de connexion (6).