Brevet FR2775540A1 — publié le 19990903

MECANISME ET PROCEDE POUR TRANSFERER AUTOMATIQUEMENT DES PILIERS DE SUPPORT La présente invention concerne un mécanisme automatique de transfert de piliers de support qui agence des piliers de support résistant à une pression dans une enveloppe utilisée pour un dispositif d'affichage, qui contient des cathodes d'émission de champ agissant en tant que sources d'électrons, et un procédé de transfert de piliers de support. Dans des dispositifs d'affichage plat, tels que des affichages à émission de champ (FED) où des cathodes à émission de champ sont utilisées en tant que sources d'électrons, une enveloppe constituée de minces plaques de verre est maintenue dans un état sous vide poussé. Afin de résister suffisamment à la pression extérieure, des supports appelés des piliers de support sont nécessaires entre un substrat anodique sur lequel des parties d'affichage sont formées ayant de petits pas et un substrat cathodique sur lequel des électrodes cathodiques sont formées. Afin de supporter les substrats sans perturber l'affichage, des fibres de verre, par exemple de courtes fibres ayant un diamètre extérieur de plusieurs dizaines de um sont utilisées en tant que pilier de support. Des fibres de verre ayant une coupe transversale lisse et une longueur uniforme doivent être utilisées en tant que piliers de support à dresser dans une enveloppe d'affichage à émission de champ. Un procédé habituel de fabrication de piliers de support satisfaisant aux impératifs mentionnés ci-dessus va être expliqué ci-dessous en référence aux figures 3(a) à 3(g). Plusieurs fibres de verre 51 sont agencées sur le substrat de verre plat 52. Concrètement, une fibre de verre continue est coupée en morceaux de fibre de verre ayant une longueur prédéterminée. Les multiples fibres de verre coupées 51 sont agencées de manière serrée parallèlement sur le substrat de verre 52 (voir la figure 3(a)). Dans ce cas, les fibres de verre 51 sont humectées à l'aide d'un solvant organique pour empêcher l'électricité statique. Un agent de liaison est appliqué sur les fibres de verre 51. Ainsi, les fibres de verre 51 sont temporairement fixées sur le substrat de verre 52. L'agent de liaison étant solidifié sur les fibres de verre 51, les fibres de verre 51 sont coupées à des intervalles constants en utilisant, par exemple, un dispositif de coupe ayant une lame en diamant (figure 3(b)). Après ceci, l'agent de liaison recouvert sur les fibres de verre 51 est dissous pour retirer les fibres de verre coupées 51 du substrat de verre 52. Ainsi, on fabrique une pluralité de piliers de support 15 ayant une longueur prédéterminée (figure 3(c)). Les piliers de support 15 ainsi fabriqués sont agencés en utilisant le gabarit spécial 53 représenté sur la figure 3(d). Le gabarit 53 est constitué d'une plaque de positionnement 54, d'un matériau d'amortissement 55, d'un matériau poreux 56 et d'un dispositif d'aspiration 57. La plaque de positionnement 54 a des trous traversants 54a correspondant aux positions d'agencement des piliers de support 15 à insérer dans le substrat. Le matériau d'amortissement 55 est placé de manière serrée sur la partie inférieure de la plaque de positionnement 54 et est constitué d'une feuille en Téflon résiliente. Le matériau poreux 56 est placé de manière serrée contre la surface inférieure du matériau d'amortissement 55 et est constitué d'un métal tel qu'une plaque d'acier inoxydable ayant d'énormes porosités (par exemple d'un diamètre de 100 à 300 ut) . Le dispositif d'aspiration 57 aspire et maintient les piliers de support 15 insérés dans les trous traversants 54a de la plaque de positionnement 54, via le matériau d'amortissement 55 et le matériau poreux 56. Afin d'agencer les piliers de support dans une enveloppe, des premières surfaces d'extrémité des piliers de support 15 sont aspirées en utilisant le dispositif d'aspiration 57 pour les insérer dans les trous traversants 54a. Ainsi, les premières surfaces d'extrémité des piliers de support 15 sont maintenues de manière serrée sur la surface du matériau d'amortissement 55, par aspiration, alors que plusieurs piliers de support 15 sont insérés dans les trous traversants 54a dans un état agencé (figure 3(d)). Ensuite, le substrat revêtu d'agent de liaison 59, sur lequel un agent de liaison est revêtu, est placé de manière forcée sur les premières surfaces d'extrémité des piliers de support 15 parallèlement à la plaque de positionnement 54, de sorte que l'agent de liaison est revêtu sur les premières surfaces d'extrémité des piliers de support 15 (figure 3(e)). Le substrat anodique 60 utilisé pour construire une enveloppe est placé sous pression et fixé de manière sûre sur les extrémités des piliers de support 15 ainsi agencés sur lesquels l'agent de liaison 58 est revêtu (figure 3(f) et (g)). Après ceci, le substrat anodique 60, sur lequel les piliers de support 15 sont fixés de manière sûre, est retiré du gabarit 53. Alors un agent de liaison est appliqué aux autres surfaces d'extrémité des piliers de support 15 et à la partie du bord extérieur du substrat anodique 60. Une enveloppe est formée en fixant de manière sûre les autres surfaces d'extrémité des piliers de support 15 sur le substrat anodique et en fermant de manière étanche les espaces situés entre le bord extérieur du substrat cathodique et le bord extérieur du substrat anodique. Puisque les piliers de support 15 sont transférés de manière régulière sur toute la surface du substrat formant une enveloppe pour un affichage à émission de champ (le substrat anodique 60 sur la figure 3), il est nécessaire de commander la hauteur de contact (hauteur de transfert) entre les extrémités des piliers de support et le substrat à une valeur adaptée de i 10 pm. Habituellement, comme représenté sur la figure 3, les piliers de support 15 sont transférés sur le substrat alors que l'état où le substrat est en contact avec le pilier de support 15 au niveau de la position la plus proche à partir de la surface latérale du substrat est observé sous le microscope 61. A cet instant, la plage de tolérance des hauteurs des piliers de support 15 à transférer est fonction du matériau d'amortissement 55 inséré entre la plaque de positionnement 54 et le matériau poreux 56. Concrètement, une feuille poreuse en Téflon ayant un diamètre d'ouverture moyen de 3 um est utilisée pour supporter les piliers de support ayant un diamètre de 50 pm. La plage de déformation élastique de 20 um de la feuille en Téflon fournit une plage de transfert permise. Cependant, la technique mentionnée ci-dessus a les inconvénients suivants. Puisque la hauteur de transfert du pilier de support 15 est commandée visuellement sous le microscope 61, il est difficile de réaliser une opération de transfert de support automatique. Dans certains cas, certains piliers de support 15 peuvent être transférés sur le substrat de sorte qu'un défaut de production peut avoir lieu. Il est difficile pour la gestion de reconnaissance d'image en utilisant un dispositif à couplage de charge (CCD) ou un ordinateur, émanant du procédé mentionné ci-dessus, de fournir une précision suffisante et d'entraîner des coûts de production réduits. De plus, plusieurs gabarits 53 sont nécessaires pour une production à grande échelle de panneaux d'affichage. Cependant, du fait qu'il est difficile d'orienter de manière uniforme les surfaces supérieures respectives des gabarits 53, une variation d'environ 40 um est supposée lorsqu'on considère la précision d'usinage. Le gradient de l'orientation plane du substrat est dans une tolérance d'environ 20 um. La hauteur de transfert est à l'extérieur de la plage permise en considérant une autre précision mécanique de sorte qu'un défaut de transfert peut avoir lieu. Même lorsqu'un gabarit unique est utilisé, les facteurs d'erreur mentionnés ci-dessus limitent la plage de transfert du pilier de support 15 à au plus environ 12 cm dans la diagonale d'un écran. La présente invention est réalisée pour résoudre les problèmes mentionnés ci-dessus. Le but de la présente invention consiste à fournir un mécanisme automatique de transfert de piliers de support qui aboutit à une production à grande échelle, des plages de transfert agrandies et un défaut de produit réduit. Un autre but de la présente invention consiste à fournir un procédé automatique de transfert de piliers de support qui aboutit à une production à grande échelle, des plages de transfert agrandies et un défaut de produit réduit. Le but de la présente invention est obtenu par un mécanisme automatique de transfert de piliers de support comportant un gabarit pour aspirer et maintenir plusieurs piliers de support à des intervalles prédéterminés ; des moyens de mesure pour mesurer une variation d'orientation plane d'une surface du gabarit et une variation d'orientation plane d'une surface d'un substrat sur lequel le pilier de support est transféré ; une partie d'ajustement de gabarit pour positionner et maintenir le gabarit et pour ajuster le parallélisme de l'orientation plane de la surface de gabarit sur la base des résultats de mesure provenant des moyens de mesure ; une partie mobile pour déplacer verticalement un substrat sur lequel un agent de liaison est appliqué ou un substrat sur lequel les piliers de support sont transférés, dans lequel le substrat peut être fixé à la partie mobile, ou séparé de celle-ci ; et des moyens de commande pour commander le mouvement des moyens mobiles de manière à appliquer l'agent de liaison sur les piliers de support ou à transférer les piliers de support sur lesquels l'agent de liaison est appliqué, sur le substrat, sur la base des résultats de mesure provenant des moyens de mesure. Dans le mécanisme automatique de transfert de piliers de support selon la présente invention, les moyens de mesure comportent des moyens de détection de surface de gabarit agencés au niveau d'au moins trois points sur la surface de ladite partie mobile et non-positionnés le long d'une même ligne droite, pour détecter la présence ou l'absence d'un contact avec une surface dudit gabarit, l'un quelconque des au moins trois points étant établi en tant que point de référence, des moyens de détection de substrat agencés au niveau d'au moins trois points de la surface qui fait face à une surface de la partie mobile et non-positionnés le long d'une même ligne droite, pour détecter la présence ou l'absence d'un contact avec une surface de la partie mobile, l'un quelconque des au moins trois points étant établi en tant que point de référence, et des moyens de mesure de longueur pour mesurer une quantité de déplacement depuis le point de référence lorsque les moyens de détection de surface de gabarit viennent en contact avec une surface du gabarit ou lorsque les moyens de détection de surface de substrat viennent en contact avec une surface du substrat ; et dans lequel les moyens de commande commandent l'opération d'entraînement de la partie d'ajustement de gabarit sur la base de la différence entre une valeur de mesure provenant des moyens de mesure lorsque les moyens de détection de surface de gabarit agissant en tant que point de référence viennent en contact avec une surface du gabarit et une valeur de mesure provenant des moyens de mesure lorsque les moyens de détection de surface de gabarit restants viennent en contact avec une surface du gabarit, et ajustent alors la surface du gabarit en parallèle ; et dans lequel les moyens de commande commandent l'opération d'entraînement de la partie d'ajustement de gabarit sur la base de la différence entre une valeur de mesure provenant des moyens de mesure lorsque les moyens de détection de surface de substrat agissant en tant que point de référence viennent en contact avec une surface du substrat et une valeur de mesure provenant des moyens de mesure lorsque les moyens de détection de surface de substrat restants viennent en contact avec une surface du substrat, et ajustent alors la surface du gabarit pour qu'elle soit parallèle à la surface du substrat. Dans le mécanisme automatique de transfert de piliers de support selon la présente invention, le gabarit comporte une plaque de positionnement ayant des trous traversants à travers lesquels les piliers de support sont insérés, les trous traversants étant formés à des intervalles prédéterminés ; un matériau d'amortissement constitué d'un matériau poreux mince ayant une résilience prédéterminée ; un matériau poreux agencé de manière serrée sur la partie inférieure du matériau d'amortissement, le matériau poreux ayant plusieurs porosités ayant un diamètre prédéterminé ; un dispositif d'aspiration pour aspirer les piliers de support insérés dans les trous traversants via le matériau d'amortissement le matériau poreux. De plus, selon la présente invention, un procédé de transfert de piliers de support comporte les étapes consistant à mesurer l'orientation plane d'une surface d'un gabarit qui aspire et maintient plusieurs piliers de support à des intervalles prédéterminés ; à ajuster parallèlement la surface du gabarit conformément à des résultats de mesure de l'orientation plane de la surface dudit gabarit ; à maintenir les plusieurs piliers de support dans le gabarit ajustés parallèlement par aspiration de manière à ce qu'ils soient agencés à des intervalles prédéterminés et à recouvrir alors un agent de liaison sur une première extrémité des plusieurs piliers de support ; à mesurer une variation d'orientation plane d'une surface du substrat sur laquelle plusieurs piliers de support sont transférés; et à agencer la surface du gabarit parallèlement à la surface du substrat conformément aux résultats de mesure de la variation d'orientation plane de la surface du substrat et à transférer alors les plusieurs piliers de support sur la surface du substrat. Ces buts, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres, de la présente invention, apparaîtront plus clairement à la lecture de la description détaillée qui va suivre et à la vue des dessins, sur lesquels - la figure 1(a) est une vue de dessus représentant schématiquement et partiellement un mécanisme automatique de transfert de piliers de support selon un mode de réalisation de la présente invention, - la figure 1(b) est une vue schématique représentant un mécanisme automatique de transfert de piliers de support selon un mode de réalisation de la présente invention, - les figures 2(a) à 2 - les figures 3(a) à 3(g) sont des schémas représentant chacun un procédé habituel de transfert de piliers de support. Par la suite, un mode de réalisation de la présente invention va être décrit en détail en référence aux dessins annexés. La figure leva) est une vue de dessus représentant partiellement un mécanisme automatique de transfert de piliers de support selon un mode de réalisation de la présente invention. La figure 1(b) est une vue latérale représentant un mécanisme automatique de transfert de piliers de support selon un mode de réalisation de la présente invention. Les figures 2(a) à 2(f) sont des schémas représentant chacun un procédé d'exploitation séquentielle pour transférer des piliers de support en utilisant un mécanisme automatique de transfert de piliers de support. En se reportant à la figure 1(a), dans le mécanisme automatique de transfert de piliers de support selon la présente invention, une table mobile 2 ayant une surface lisse 2a est placée sur la base 1. La table mobile 2 peut être déplacée dans des directions axiales (ou les directions de flèche représentées sur la figure 1(b)) par des signaux d'entraînement provenant des moyens d'entraînement 22 sous commande des moyens de commande 21 (qui seront décrits plus tard). Une partie de mesure de surface de substrat 3 qui mesure le parallélisme de surface d'un substrat 16 sur lequel les piliers de support 15 agissant en tant que pièces d'usinage doivent être transférés, est transférée sur la table mobile 2. La partie de mesure de surface de substrat 3 est constituée d'un bloc rectangulaire 4 fixé de manière sûre à la table mobile 2 et ayant une surface lisse 4a et des moyens de détection de surface de substrat 5 qui détectent par toucher la présence ou l'absence de contact avec le substrat 16. Comme représenté sur la figure leva) les moyens de détection de surface de substrat 5 constitués d'un détecteur de toucher de surface de substrat 5A agencé au centre supérieur de la surface lisse 4a du bloc 4 mais non-agencé le long de la même ligne droite, un détecteur de toucher de surface de substrat 5B monté sur la partie inférieure gauche, et un détecteur de toucher de surface de substrat 5C monté sur la partie inférieure droite. Dans ce mode de réalisation, le détecteur de toucher de surface de référence 5A positionné au niveau du centre agit en tant que point de référence. Les détecteurs de toucher de surface de référence SA à 5C émettent des signaux de détection vers les moyens de commande 21 (qui seront décrits plus tard). Les détecteurs de toucher de surface de référence sont agencés respectivement au niveau d'au moins trois positions sur la surface lisse 4a du bloc 4. La partie d'ajustement de gabarit 6 qui ajuste le parallélisme de l'orientation plane de la surface du gabarit 7 (qui sera décrit plus tard) est placée sur la table mobile 2 le long de la direction de déplacement de la table mobile 2 et parallèlement à la partie de mesure de surface de substrat 3. La partie d'ajustement du gabarit 6 comporte une partie de fixation du type colonne 6a qui fait face à la table mobile 2 et est fixée de manière sûre sur la partie supérieure centrale de la table mobile 2, une partie d'élévation du type colonne 6b montée dans des états pouvant monter et descendre sur la position droite de la table mobile 2 positionnée au niveau d'une direction égale depuis la partie de fixation 6a, et une partie d'élévation du type colonne 6b montée dans des états pouvant monter et descendre sur la partie gauche de la table mobile 2 positionnée à une direction égale par rapport à la partie de fixation 6a. La partie d'élévation 6b est entrainée vers le haut et vers le bas, selon de petits pas, par des signaux d'entraînement provenant des moyens d'entraînement 23 tels qu'un élément piézoélectrique ou un moteur pas-à-pas commandé par les moyens de commande 21 (qui seront décrits plus tard) et conformément au parallélisme du substrat. Comme représenté sur la figure 1(b), le gabarit 7, qui aspire et maintient des piliers de support pour qu'ils soient agencés dans une enveloppe d'affichage à émission de champ, est supporté sur la partie d'ajustement de gabarit 6. Le gabarit dans ce mode de réalisation est différent du gabarit habituel représenté sur la figure 3 en ce qui concerne la qualité du matériau d'amortissement. C'est-à-dire que le gabarit 7, comme représenté sur la figure 3(d), est constitué d'une plaque de positionnement 54, d'un matériau d'amortissement 55, d'un matériau poreux 56, et d'un dispositif d'aspiration 57. Le gabarit 7 est fixé de manière sûre à la table mobile 2 de manière à ne pas s'écarter de sa position par rapport à la partie d'ajustement de gabarit 6. Les moyens de support formant ressort hélicoïdal 8 rappellent la surface de base du gabarit 7 contre la partie de fixation 6a et les surfaces supérieures des parties d'élévation 6b et 6b au niveau de plusieurs points de la surface supérieure de la partie de fixation 6. Le matériau d'amortissement 55 est constitué d'un matériau ayant une plage de déformation élastique ayant une étendue telle qu'une pâte de liaison n'adhère pas à la surface de la plaque de positionnement 54 du gabarit 7. Concrètement, lorsque le pilier de support 15 agit en tant que pièce à travailler ayant une longueur de 200 tum, on utilise un matériau poreux élastique tel qu'un filtre à membrane d'ester éthyle de cellulose ayant une plage de déformation élastique d'environ 40 um Comme représenté sur la figure lob), un cadre principal 11 est érigé sur la base 1 et pratiquement perpendiculairement à la table mobile de manière à ne pas perturber le mouvement de la partie de mesure de surface de substrat 3 et la partie d'ajustement de gabarit 6. Une partie mobile rectangulaire 12 est montée sur le cadre principal 11. La partie mobile 12 peut se déplacer verticalement (dans les directions de la flèche représentée sur la figure 1(b)) le long du cadre principal 11 par l'intermédiaire de signaux d'entraînement provenant des moyens d'entraînement 24 sous la commande des moyens de commande (à décrire plus tard). Les trois points du détecteur de toucher de surface de référence 5 situés sur la partie de mesure de surface de référence 3 ou les trois points des détecteurs de toucher de surface de gabarit 17 sont étalonnés par rapport à la surface de la partie de mesure de surface 3 et la surface de la partie d'ajustement de gabarit 6 qui fait face à la partie mobile 12. Comme représenté sur la figure 2, un substrat revêtu d'un agent de liaison 14 qui a une surface qui fait face au gabarit 7, sur laquelle une pâte de liaison 13 est revêtue et un substrat 16 (un substrat formant une enveloppe pour un affichage à émission de champ, par exemple, un substrat anodique) qui transfert des piliers de support 15 aspirés et maintenus par le gabarit 7, est fixé de manière amovible sur la surface lisse 12a de la partie mobile 12. Les moyens de détection de gabarit du type à toucher 17 qui détectent la présence ou l'absence d'un contact avec le gabarit 7 sont montés sur la surface lisse 12a de la partie mobile 12 au niveau de la position ou le substrat 16 peut être monté de manière arbitraire. Comme représenté par les traits interrompus sur la figure leva), les moyens de détection de surface de gabarit 17 sont constitués d'un détecteur de toucher de surface de gabarit 17A fixé sur le centre supérieur de la surface lisse 12a de la partie mobile 12, d'un détecteur de toucher de surface de gabarit gauche 17B fixé sur la partie inférieure gauche de celle-ci, et d'un détecteur de toucher de surface de gabarit droit 17C fixé sur la partie inférieure droite de celle-ci, de manière à ne pas être agencé le long d'une même ligne droite sur la surface lisse 12a de la partie mobile 12. Dans le mode de réalisation, le détecteur de toucher de surface de gabarit 17A positionné sur le centre de la surface lisse 12a agit en tant que point de référence. Les signaux de détection provenant des détecteurs de toucher de surface de gabarit 17A et 17C sont entrés dans les moyens de commande 21 (qui seront décrits plus tard). Les détecteurs de toucher de surface de gabarit peuvent être montés de manière séparée au niveau d'au moins trois positions sur la surface lisse 12a. Comme représenté sur la figure 1(b), un dispositif de mesure 18 qui mesure le déplacement de la partie mobile 12 depuis une position de référence prédéterminée P (ou depuis le point mort supérieur qui est la position de repos de la partie mobile 12) est monté sur le cadre principal. On peut utiliser un dispositif de mesure de longueur 18 qui comporte le cadre principal 11 et la partie mobile 12 ayant chacun une échelle munie d'une grille optique, lit de manière électro-optique des franges de Moiré produites par un mouvement relatif des échelles, et mesure la quantité de mouvement relative entre les deux échelles. Les moyens de mesure de longueur sont configurés par le dispositif de mesure 18, les moyens de détection de surface de substrat 5 et les moyens de détection de surface de gabarit 17. Le dispositif de mesure optique 18 émet des signaux de mesure vers les moyens de commande 21 (qui seront décrits plus tard). Les moyens de réglage 20, représentés sur la figure 1(b) établissent une quantité de déplacement de la partie mobile 12 (ou du substrat revêtu d'agent de liaison 14) depuis une position de référence P nécessaire pour transférer l'agent de liaison sur les piliers de support 15, en tant que valeur standard Hp de hauteur de transfert d'agent de liaison. Les moyens de réglage 20 établissent également une quantité de déplacement de la partie mobile 12 (substrat 16) depuis une position de référence P nécessaire pour transférer les piliers de support 15 sur le substrat 16, en tant que valeur standard Hs de hauteur de transfert de pilier de support. Les moyens de réglage 20 introduisent dans les moyens de commande 21 une instruction de début d'opération de transfert de l'agent de liaison 13 sur les piliers de support 15 et ensuite de transfert des piliers de support 15 ayant l'agent de liaison transféré 13 sur le substrat 16. Afin d'exécuter la séquence opérationnelle représentée sur la figure 2, lorsqu'ils reçoivent une instruction de début d'opération en provenance des moyens de réglage 20, les moyens de commande 21 commandent respectivement les moyens d'entraînement 22 pour entraîner la table mobile 2 sur la base de signaux de détection provenant des détecteurs de toucher 5A à 5C et 17A à 17C et de signaux de mesure provenant du dispositif de mesure de longueur 18, les moyens d'entraînement 23 pour entraîner les parties d'élévation 6b de la partie d'ajustement de gabarit 6, et les moyens d'entraînement 24 pour entraîner la partie mobile 12. Par la suite, une séquence opérationnelle de transfert de piliers de support sur un substrat en utilisant le mécanisme automatique de transfert de piliers de support ayant la structure mentionnée ci-dessus va être décrite ci-dessous en référence à la figure 2. On suppose maintenant que le substrat 16 sur lequel les piliers de support 15 sont transférés agit en tant que substrat anodique. Le gabarit 7 est placé sur la partie d'ajustement de gabarit 6 et est positionné et maintenu sur la base 1. En réponse à une instruction de début d'opération provenant des moyens de réglage 20, les moyens de commande 21 commandent aux moyens d'entraînement 24 de descendre la partie mobile 12 le long du cadre principal 11. Les moyens de commande 21 reconnaissent le parallélisme du gabarit 7 sur la base des valeurs de mesure provenant du dispositif de mesure de longueur 18 obtenues lorsque les moyens de détection de surface de gabarit 17 viennent en contact avec la surface de la plaque de positionnement 54 du gabarit 7. Concrètement, tout d'abord, lorsque le détecteur de toucher de surface de gabarit central 17A agissant en tant que point de référence vient en contact avec la surface de la plaque de positionnement 54 du gabarit 7 et ensuite est rendu actif, la valeur de mesure hxl est lue depuis le dispositif de mesure de longueur 18. Ensuite, lorsque le détecteur central de toucher de surface de gabarit 17A et le détecteur gauche de toucher de surface de gabarit 17B viennent toucher la surface de la plaque de positionnement 54 du gabarit 7 et sont rendus actifs, la différence AY1 entre les valeurs de mesure provenant des dispositifs de mesure de longueur respectifs 18 est lue. De plus, lorsque à la fois le détecteur central de toucher de surface de gabarit 17A et le détecteur droit de toucher de surface de gabarit 17C viennent toucher la surface de la plaque de positionnement 54 du gabarit 7 et sont rendus actifs, la différence AZ1 entre les valeurs de mesure provenant des dispositifs de mesure de longueur respectifs 18 est lue. Ensuite, afin de rendre nulles les différences bY1 et Azl provenant des moyens de mesure de longueur, les moyens de commande 21 commandent aux moyens d'entraînement 23 de déplacer verticalement les parties d'élévation 6b de la partie d'ajustement de gabarit 6. Ainsi, le gabarit 7 est ajusté pour établir la surface de la plaque de positionnement 54 parallèlement à la surface lisse de la partie mobile 12. Lorsque le gabarit 7 est ajusté dans un état parallèle, les moyens de commande 21 commandent aux moyens d'entraînement 22 de déplacer la table mobile 2 dans la direction vers la gauche représentée sur la figure 1(b), en préservant ainsi le gabarit 7 de la position abaissée de la partie mobile 12. Un nombre voulu de piliers de support 15 sont insérés et aspirés dans les trous traversants 54a dans la plaque de positionnement 54 du gabarit 7. Pendant l'opération mentionnée ci-dessus, les moyens de commande 21 commandent aux moyens d'entraînement 24 de faire monter la partie mobile 12 jusqu'à la position de référence P, de sorte que le substrat revêtu d'agent de liaison 14 revêtu d'un agent de liaison 13 est fixé à la partie mobile 12. Ensuite, les moyens de commande 21 commandent aux moyens d'entraînement 22 de déplacer la table mobile 2, de sorte que le gabarit 7 est rétabli dans la position a détection de surface de substrat 5 viennent en contact avec la surface du substrat anodique 16. Concrètement, la valeur de mesure hX2 provenant du dispositif de mesure de longueur 18 est lue lorsque le détecteur de toucher de surface de substrat central SA est en contact avec la surface du substrat anodique 16 et est rendu actif. Ensuite, lorsque à la fois le détecteur central de toucher de surface de substrat 5A et le détecteur gauche de toucher de surface de substrat 5B sont en contact avec la surface du substrat anodique 16 et sont rendus actifs, la différence bY2 entre des valeurs de mesure provenant des dispositifs de mesure de longueur respectifs 18 est lue. De plus, lorsque à la fois le détecteur central de toucher de surface de substrat 5A et le détecteur droit de toucher de surface de substrat 5C sont en contact avec la surface du substrat anodique 16 et sont rendus actifs, la différence AZ2 entre des valeurs de mesure provenant des dispositifs de mesure de longueur respectifs 18 est lue. Ensuite, les moyens de commande 21 commandent aux moyens d'entraînement 23, sur la base des différences AY2 et AZ2 entre les valeurs de mesure provenant des dispositifs de mesure 18, d'établir la surface du substrat anodique 16 parallèlement à la surface de la plaque de positionnement 54, de sorte que les parties d'élévation 6b et 6b de la partie d'ajustement de gabarit 6 soient déplacées vers le haut et vers le bas. Lorsque la surface de la plaque de positionnement 54 du gabarit 7 est ajustée parallèlement à la surface du substrat anodique 16, les moyens de commande 21 commandent aux moyens d'entraînement 24 de descendre la partie mobile 12 reliée au substrat anodique 16 de la valeur standard Hs de hauteur de transfert de piliers de support, établie par les moyens de réglage 20. Tous les piliers de support 15 revêtus d'agent de liaison 13 sont transférés sur le substrat anodique 16. Le présent mode de réalisation a les avantages suivants. Puisque les moyens de commande 21 peuvent transférer automatiquement les piliers de support 15 à agencer dans une enveloppe de dispositif à émission de champ sous une commande numérique, un dispositif de production à grande échelle peut être réalisé. La plage de transfert de piliers de support des piliers de support peut être agrandie, par comparaison à la plage de transfert habituelle. Concrètement, la dimension de l'écran en diagonale peut être agrandie d'environ 25 cm, au moins quatre fois la taille d'un écran habituel d'environ 12 cm. En utilisant les détecteurs de toucher 5A à 5C et 17A à 17C, on permet d'effectuer des fonctions nécessaires à des coûts de fabrication d'environ 1/10, par comparaison au dispositif de mesure de longueur par laser existant. De plus, cette caractéristique peut éliminer un accès à la zone de traitement par un ouvrier et peut réduire la probabilité pour que de la poussière diffusée sur la pièce d'usinage par un ouvrier provoque un défaut de production. Puisqu'un filtre à membrane ayant une plage de déformation élastique plus large est utilisé pour le matériau d'amortissement 55, il peut être préformé de manière certaine pour agrandir la plage de transfert permise des piliers de support 15 et pour transférer les piliers de support 15 sur une grande surface. Dans le mode de réalisation mentionné ci-dessus, les piliers de support 15 à agencer dans une enveloppe d'affichage à émission de champ ont été typiquement utilisés en tant que pièces à travailler. Cependant, des billes de soudure à perle d'un diamètre Q > de 50 um peuvent être utilisées en tant que pièces à travailler. Les billes de soudure à perle peuvent être utilisées pour la formation de bosses d'un circuit intégré (IC) du type à puce à protubérance en transférant des billes de soudure sur des motifs de câblage formés sur une carte imprimée dans un processus similaire au mode de réalisation mentionné ci-dessus. Comme clairement compris de la description ci-dessus, la présente invention peut automatiser l'étape de transfert des piliers de support pour un affichage à émission de champ, peut réaliser des dispositifs produits à grande échelle, et peut agrandir la plage de transfert de piliers de support. De plus, la présente invention peut éliminer un accès à la zone de traitement par un opérateur et peut réduire la probabilité pour que de la poussière diffusée sur la pièce d'usinage provenant d'un opérateur provoque un défaut de production. Puisqu'une feuille poreuse ayant une large plage de déformation élastique est utilisée en tant que matériau d'amortissement, la plage de transfert de piliers de support peut être agrandie de sorte qu'un transfert de piliers de support peut être effectué de manière sûre sur une grande zone. REVENDICATIONS 1. Mécanisme automatique de transfert de pilier de support, caractérisé en ce qu'il comporte un gabarit (7) pour aspirer et maintenir plusieurs pilier de support (15) à des intervalles prédéterminés, des moyens de mesure (17a à 17c) pour mesurer une variation d'orientation plane d'une surface dudit gabarit (7) et une variation d'orientation plane d'une surface d'un substrat (16) sur lequel ledit pilier de support est transféré, une partie d'ajustement de gabarit (6) pour positionner et maintenir ledit gabarit (7) et pour ajuster le parallélisme de l'orientation plane de ladite surface de gabarit (7) sur la base des résultats de mesure provenant desdits moyens de mesure (17a à 17c), une partie mobile (12) pour déplacer verticalement un substrat (16) sur lequel un agent de liaison (13) est appliqué ou un substrat (16) sur lequel lesdits piliers de support (15) sont transférés, ledit substrat (16) pouvant être fixé à ladite partie mobile (12), ou séparé de celle-ci, et des moyens de commande (21) pour commander le déplacement desdits moyens mobiles de manière à appliquer ledit agent de liaison (13) sur lesdits piliers de support (15) ou à transférer lesdits piliers de support (15) sur lesquels ledit agent de liaison (13) est appliqué, sur ledit substrat (16), sur la base desdits résultats de mesure provenant desdits moyens de mesure (17a à 17c). 2. Mécanisme automatique de transfert de pilier de support selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits moyens de mesure (17a à 17c) comportent des moyens de détection de surface de gabarit (17) agencés au niveau d'au moins trois points sur la surface de ladite partie mobile (12) et non-positionnés le long d'une même ligne droite, pour détecter la présence ou l'absence de contact avec une surface dudit gabarit (7), l'un quelconque desdits au moins trois points étant établi en tant que point de référence, des moyens de détection de substrat (5) agencés au niveau d'au moins trois points de la surface faisant face à une surface de ladite partie mobile (12) et non-positionnés le long d'une même ligne droite, pour détecter la présence ou l'absence d'un contact avec une surface de la partie mobile (12), l'un quelconque des au moins trois points étant établi en tant que point de référence, et des moyens de mesure de longueur (5, 17, 18) pour mesurer une quantité de déplacement depuis ledit point de référence lorsque lesdits moyens de détection de surface de gabarit (17) viennent en contact avec une surface dudit gabarit (7) ou lorsque lesdits moyens de détection de surface de substrat (5) viennent en contact avec une surface dudit substrat (16), en ce que lesdits moyens de commande (21) commandent l'opération d'entraînement de ladite partie d'ajustement (6) de gabarit (7) sur la base de la différence entre une valeur de mesure provenant desdits moyens de mesure (17a à 17c) lorsque lesdits moyens de détection de surface de gabarit (17) agissant en tant que point de référence viennent en contact avec une surface dudit gabarit (7) et une valeur de mesure provenant desdits moyens de mesure (17a à 17c) lorsque lesdits moyens de détection de surface de gabarit (17) restants viennent en contact avec une surface dudit gabarit (7), et ajustent alors la surface dudit gabarit (7) en parallèle, et en ce que lesdits moyens de commande (21) commandent l'opération d'entraînement de ladite partie d'ajustement (6) de gabarit (7) sur la base de la différence entre une valeur de mesure provenant desdits moyens de mesure (ï7a à 17c) lorsque lesdits moyens de détection de surface de substrat (5) agissant en tant que point de référence viennent en contact avec une surface dudit substrat (16) et une valeur de mesure provenant desdits moyens de mesure (17a à 17c) lorsque lesdits moyens de détection de surface de substrat (5) restants viennent en contact avec une surface dudit substrat (16), et ajustent alors la surface du gabarit (7) pour qu'elle soit parallèle à la surface dudit substrat (16). 3. Mécanisme automatique de transfert de pilier de support selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que ledit gabarit (7) comporte : une plaque de positionnement (54) ayant des trous traversants (54a) à travers lesquels lesdits piliers de support (15) sont insérés, lesdits trous traversants (54a) étant formés à des intervalles prédéterminés, un matériau d'amortissement (55) constitué d'un matériau poreux (56) mince ayant une résilience prédéterminée, un matériau poreux (56) agencé de manière serrée sur la partie inférieure dudit matériau d'amortissement (55), ledit matériau poreux (56) ayant plusieurs porosités ayant un diamètre prédéterminé, un dispositif d'aspiration (57) pour aspirer lesdits piliers de support (15) insérés dans lesdits trous traversants (54a) via ledit matériau d'amortissement (55) et ledit matériau poreux (56). 4. Procédé de transfert de pilier de support, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes consistant à mesurer l'orientation plane d'une surface d'un gabarit (7) qui aspire et maintient plusieurs pilier de support (15) à des intervalles prédéterminés, ajuster parallèlement la surface dudit gabarit (7) conformément à des résultats de mesure de l'orientation plane de la surface dudit gabarit (7), maintenir lesdits plusieurs pilier de support (15) dans ledit gabarit (7), ajustés parallèlement, par aspiration de manière à ce qu'ils soient agencés à des intervalles prédéterminés et en revêtant alors un agent de liaison (13) sur une extrémité desdits plusieurs pilier de support (15), mesurer une variation d'orientation plane d'une surface dudit substrat (16) sur laquelle plusieurs pilier de support (15) sont transférés, et agencer la surface dudit gabarit (7) parallèlement à la surface dudit substrat (16) conformément aux résultats de mesure de la variation d'orientation plane de la surface dudit substrat (16) et transférer alors lesdits plusieurs pilier de support (15) sur la surface dudit substrat (16).