Brevet FR2776772A1 — publié le 19991001

Procédé et dispositif de mesure de la pression d'un fluide et utilisation du dispositif. L'invention concerne un procédé de mesure de la pression d'un fluide, ainsi qu'un dispositif de mesure de la pression d'un fluide. Une mesure de pression pose problème dans de nombreux domaines car l'introduction d'un détecteur de pression externe dans un objet soumis a une mesure entraîne des difficultés. Lors de la mesure de pression usuelle, un détecteur de pression externe est introduit, par exemple vissé ou emmanché, de manière étanche à I l'intérieur d'un objet faisant l'objet d'une mesure et soumis a une pression par un fluide, c'est-à-dire par un liquide ou par un gaz, par exemple dans une conduite d'écoulement rempli d'un liquide. Le détecteur de pression consiste par exemple en un capteur de mesure mécanique, par exemple une membrane et en un transducteur ou détecteur électrique, par exemple un i détecteur d'écartement, nécessaire a la détection d'une valeur de mesure, par exemple d'une déviation ou d'une force, du capteur de mesure mécanique. Le capteur de mesure mécanique et le détecteur d'écartement sont intégrés a un boîtier externe commun. Le détecteur de pression est ainsi en contact direct avec le fluide. Pour monter un dispositif de mesure externe de ce genre, on doit donc produire une liaison entre l'espace soumis à une pression et l'extérieur, par exemple en perçant un trou entre la paroi intérieure et la paroi extérieure de l'objet soumis à une mesure (on entend dans ce qui suit par "paroi intérieure" une surface de l'objet soumis à une mesure en contact avec le fluide soumis à une pression et par "paroi extérieure" une surface de l'objet soumis à une mesure qui n'est pas en contact avec le fluide soumis à une pression). Le détecteur de pression constitué par exemple d'un capteur de mesure mécanique et d'un détecteur d'écartement est donc monté de manière invasive dans l'objet soumis à une mesure. Dans le mode d'installation invasif, il peut se produire que les conditions d'écoulement soient modifiées par l'introduction d'un détecteur externe. Il peut aussi se produire que des volumes hydrauliques soient modifiés de manière inadmissible par le montage d'un détecteur de ce genre. De plus, I'installation d'un détecteur externe pose un problème si l'on doit satisfaire a une grande exigence en matière d'étanchéité d'une circulation de pression, par exemple dans une installation de la technique nucléaire ou dans le domaine de la technique des procédés chimiques. Dans ce cas, on doit absolument empêcher qu'une substance contaminée ou o agressive du point de vue chimique ne sorte vers l'extérieur de la zone soumise à une pression, par exemple par une fente entre l'objet soumis à une mesure et le détecteur. Le danger d'une sortie de fluide peut apparaître par exemple aussi lors du contact d'un détecteur avec un fluide corrosif. Pour une haute pression du fluide, il peut se produire des défauts d'étanchéité dans la s5 zone du détecteur qui peuvent conduire également à de graves incidents dans le déroulement du fonctionnement. D'une manière générale, la mesure de pression de fluide agressif, irradiant ou soumis à une haute pression pose problème. Un exemple de cette problématique est la mesure de pression sur des systèmes d'injection pour des injections directes à haute pression de carburants dans des moteurs, par exemple pour de l'essence ou du carburant diesel (ce que l'on appelle "Common-Rail"). Pour la détection des pressions agissant à l'intérieur de l'injecteur (de manière caractéristique 150 à 2000 bars), on n'a jusqu'à maintenant pas de mesure de pression appropriée: une augmentation des volumes hydrauliques par adjonction d'un détecteur de pression usuel doit être empêchée par exemple en raison de l'adaptation exacte des systèmes d'injection et de leur tolérance de fabrication. De plus, une étanchéité d'un détecteur de pression est très difficile à obtenir pour des pressions allant jusqu'à 2000 bars, et le montage d'un détecteur de pression est pratiquement impossible en raison des conditions de construction très étroites à l'intérieur du système d'injection. De plus, on ne dispose pas de détecteurs de pression suffisamment petits pour la détection des conditions de pression analysées suivant le lieu. La présente invention vise à réduire une influence dommageable d'un fluide lors d'une mesure de pression. Pour le procédé on y parvient, suivant l'invention, par un procédé caractérisé en ce que - un objet faisant l'objet d'une mesure est soumis à une pression par un fluide, un capteur mécanique de mesure est dévié par la pression du fluide, le capteur de mesure mécanique étant une partie de l'objet soumis à une mesure, - la déviation du capteur mécanique de mesure étant mesurée du côté du capteur éloigné du fluide, à l'aide d'au moins un détecteur. Le principe de base de la présente invention est d'utiliser l'objet soumis à une mesure lui-même ou des pièces appropriées de cet objet (par exemple une zone structurée à cet effet) comme capteur de mesure mécanique, donc d'effectuer la mesure de pression de manière non invasive. En l'occurrence, la paroi de l'objet soumis à une mesure en contact avec le fluide ("paroi intérieure") n'est pas modifiée. Il s'ensuit que le fluide ne trouve à l'arrivée pas de surfaces d'attaque sensiblement modifiées par rapport à une conduite de mesure équipée sans mesure de pression (notamment pas d'adaptations, de filetages, de matériaux assez sensibles etc.). On peut obtenir une structuration par exemple par un usinage approprié de l'objet soumis à une mesure, par exemple en produisant des évidements au moyen d'un enlèvement mécanique. En variante, on peut prévoir déjà lors de la fabrication de l'objet soumis à une mesure, comme capteur mécanique de mesure, une zone adaptée aux fins de la mesure de pression. La détection d'une grandeur de mesure mécanique (par exemple une déviation ou une force) du capteur mécanique de mesure s'effectue à l'aide d'un détecteur externe, par exemple un détecteur d'écartement. Le fait que le capteur mécanique de mesure fait partie intégrante de l'objet soumis à une mesure fait que l'influence de la mesure de pression sur les propriétés hydrauliques de l'objet soumis à une mesure, par exemple des conditions d'écoulement ou des volumes hydrauliques, n'a plus d'influence. De plus l'influence du fluide sur le détecteur se minimise. De plus, on se dispense de l'intervalle entre le détecteur et l'objet soumis à une mesure qui apparaît lors de l'installation usuelle d'un détecteur de mesure et par lequel le fluide pourrait sortir de la zone soumise à une pression. Il est avantageux pour une manipulation simple que le capteur mécanique de mesure soit produit par un évidement de forme cylindrique, par exemple un trou borgne, d'une paroi extérieure de l'objet soumis à une mesure. s Il est avantageux pour exploiter plus simplement le signal de mesure que le capteur mécanique de mesure ait une forme symétrique de révolution, par exemple que le perçage soit produit perpendiculairement à la paroi éloignée du fluide. De plus, il est avantageux que le capteur mécanique de mesure o0 soit semblable à une membrane, c'est-à-dire que la déviation du capteur mécanique de mesure se comporte de manière similaire à la déviation d'une membrane. Des écarts possibles par rapport au comportement d'une membrane idéale peuvent être pris en compte par exemple par un calibrage du capteur mécanique de mesure. En variante, les propriétés du capteur mécanique de mesure peuvent être approchées par celles d'un disque mince ou d'un disque épais. Il est particulièrement avantageux que l'épaisseur de paroi restante du capteur mécanique de mesure soit constante. L'exploitation des déviations mécaniques pour déterminer la pression en est facilitée. Le détecteur pour mesurer la déviation du capteur mécanique de mesure peut être déposé par exemple du côté de l'objet soumis à une mesure éloigné du fluide. En présence d'une structuration, il est avantageux que le détecteur soit ménagé dans la structuration. Il est en l'occurrence avantageux que la structuration soit symétrique, par exemple un trou borgne cylindrique arrivant sur le capteur mécanique de mesure. Le perçage a en l'occurrence avantageusement divers diamètres pour s'adapter de manière optimale à un détecteur et à un moyen de fixation. Il est de plus avantageux que le détecteur soit ménagé dans la structuration et maintenu dans la structuration au moyen d'une vis creuse d'immobilisation car le au moins un câble de données de transmission du détecteur relié au détecteur peut être amené à l'extérieur par l'ouverture ménagée dans la vis creuse d'immobilisation. Il est avantageux que le détecteur mesure la déviation du capteur de mesure mécanique a l'aide d'un élément piézo-électrique. Il est également avantageux que le détecteur travaille au moyen d'un procédé de mesure capacitif car cela apporte une grande précision de mesure. En l'occurrence il est particulièrement avantageux, pour des objets de mesure conducteurs de l'électricité, que le capteur mécanique de mesure agisse en même temps comme une plaquette de condensateur du détecteur capacitif. Pour des objets de mesure qui ne sont pas conducteurs de Io l'électricité, le capteur mécanique de mesure peut, en variante, être revêtu d'un matériau conducteur de l'électricité du côté tourné vers le détecteur. Mais on peut utiliser aussi d'autres principes de détecteur approprié, par exemple au moyen d'une mesure piezo-résistive. Il est avantageux que le détecteur servant à exploiter des valeurs i caractéristiques du capteur mécanique de mesure soit relié directement à l'électronique d'exploitation. L'électronique d'exploitation peut être montée en l'occurrence avec le détecteur externe dans un boîtier. Les signaux de ce détecteur peuvent ainsi être convertis déjà totalement ou partiellement en données utilisables pour l'observateur avant d'être retransmises par lI'intermédiaire du câble de transmission de données du détecteur. Il en résulte l'avantage, en raison de la brève amenée de lignes ainsi obtenue, que l'on obtient en premier lieu une adaptation plus stable du système de mesure et en deuxième lieu une grande insensibilité aux parasites. En outre, une pre- exploitation de ce genre des valeurs de mesure est conviviale pour l'utilisateur. En l'occurrence il est particulièrement avantageux que le détecteur externe, par exemple le détecteur d'écartement, et l'électronique d'exploitation soient réalisés en une unité, par exemple au moyen d'un détecteur d'écartement capacitif et d'une électronique d'exploitation réalisée dans la technologie du silicium, avantageusement sur un composant. Un composant de ce genre en technologie du silicium peut être très bien maîtrisé en raison des connaissances en matière de fabrication de composants micro- électroniques et micro-mecaniques. Le détecteur externe lui-même, par exemple un détecteur d'écartement capacitif ou piézo-résistif, doit en l'occurrence être réalisé dans un mode de construction qui n'est pas micro-mécanique, par exemple pour des raisons de coût. De plus, pour gagner de la place, il est avantageux de réaliser le détecteur de manière micro-mécanique. Justement pour des objets de mesure ayant de petites dimensions de composants, intégrer à un détecteur relativement grand a l'objet soumis à une mesure pose souvent problème. Un détecteur en mode de réalisation micro-mécanique offre en revanche moins de problèmes en ce qui concerne la place dont on a besoin pour son montage. Lorsque l'on monte un détecteur en mode de réalisation micro-mécanique, on s'assure aussi que la stabilité de l'objet soumis à une mesure est suffisamment grande lorsque l'on utilise plusieurs détecteurs. Un avantage supplémentaire de la mesure de pression non invasive est que l'on peut mesurer sans difficulté sensible de construction des surpressions et des dépressions par le même détecteur de pression. Lorsque l'on réalise le capteur mécanique de mesure sous la forme d'une membrane, par exemple la déviation de la membrane est la même pour une surpression et pour une dépression. La mesure de pression non invasive peut être utilisée, outre pour la mesure de pression dans des systèmes d'injection, de manière particulièrement avantageuse aussi pour mesurer une pression d'une chambre de combustion, une pression d'un carburant dans un système de convoyage 2o de carburant (par exemple dans un circuit "Common-Rail"), pour des systèmes hydrauliques (par exemple pour des freins ou une direction assistée), pour des applications médicales ou dans des installations de la technique industrielle. Entre autres pour l'une de ces applications, on peut s'attendre à un effet avantageux d'une surveillance de la pression pour une commande de système, par exemple en l'utilisant dans une commande de moteur. Ainsi donc, suivant un mode de réalisation avantageux, les déplacements du au moins un capteur mécanique de mesure sont similaires à ceux d'une membrane. Suivant un mode de réalisation avantageux, on produit au moins un capteur mécanique de mesure par une structuration sur un côté de l'objet soumis à une mesure éloigné du fluide. Suivant un mode de réalisation avantageux, on produit le capteur mécanique de mesure par au moins un trou borgne perpendiculairement à un côté de l'objet soumis à une mesure éloigné du fluide. Suivant un mode de réalisation avantageux, au moins un détecteur est ménagé dans la structuration et y est maintenu. Suivant un mode de réalisation avantageux, la structuration a la forme d'un trou borgne cylindrique ayant au moins un diamètre. Suivant un perfectionnement avantageux, au moins un détecteur est un détecteur d'écartement piézo-électrique. Suivant un mode de réalisation avantageux, au moins un détecteur est un détecteur d'écartement capacitif. Suivant un mode de réalisation avantageux, il est présent entre o le détecteur et un câble de transmission de données une unité d'exploitation pour le traitement des données émises par le détecteur. Suivant un mode de réalisation avantageux, le détecteur et l'unité d'exploitation sont intégrés à un composant. Suivant un mode de réalisation avantageux, au moins un détecteur est réalisé en mode de réalisation micro-mécanique. Suivant un mode de réalisation avantageux, au moins un détecteur est produit sur la base de la technologie des composants en silicium. Suivant un mode de réalisation avantageux, la pression du fluide peut se trouver aussi bien dans le domaine des surpressions que dans le domaine des dépressions. Suivant un mode de réalisation avantageux, la mesure de pression est calibrée. Une utilisation avantageuse du procédé consiste à l'utiliser dans des installations de la technique des procédés. Une utilisation avantageuse du procédé consiste à l'utiliser dans des systèmes servant à injecter du carburant ou sur des chambres de combustion. Le but de l'invention est atteint, pour le dispositif, par un dispositif qui est caractérisé par - un objet faisant l'objet d'une mesure qui est soumis à une pression par un fluide, - au moins un capteur mécanique de mesure qui fait partie de l'objet soumis à une mesure et qui peut être dévié par une pression du fluide, - un détecteur, la pression du fluide pouvant être mesurée par l'intermédiaire d'une déviation du capteur mécanique de mesure de son côté éloigné du fluide. Suivant un mode de réalisation avantageux du dispositif, le capteur mécanique de mesure est similaire à une membrane et peut être représenté par un trou borgne d'une face de l'objet soumis à une mesure éloigné du fluide. Suivant un mode de réalisation avantageux du dispositif, le détecteur se trouve au moins partiellement dans le trou borgne et peut y être immobilisé par un dispositif de fixation. Une utilisation avantageuse du dispositif consiste à l'utiliser dans des installations de la technique industrielle. Une autre utilisation avantageuse du dispositif consiste à l'utiliser dans des systèmes servant à l'injection de carburant ou sur des chambres de is combustion. En raison de la possibilité générale d'utilisation, la mesure de pression suivant l'invention peut être effectuée sur des pièces ou des objets de mesure de tous ordres de grandeur et de toutes formes. La présente invention est encore présentée schématiquement dans les exemples de réalisation qui suivent. La figure 1 illustre schématiquement une mesure de pression dans laquelle le détecteur est un détecteur d'écartement capacitif, la figure 2 est une vue en plan d'une géométrie de corps de mesure servant à la mesure de pression, la figure 3 représente schématiquement la structure d'une mesure de pression dans laquelle le détecteur est un détecteur d'écartement piézo-électrique, la figure 4 représente des résultats de mesure d'une mesure de pression. La figure 1 est une vue de côté en coupe illustrant schématiquement le principe de mesure d'une mesure de pression non invasive au moyen d'un détecteur 4 en forme de détecteur 41 d'écartement capacitif. L'objet soumis à une mesure est un tuyau 1 en matériau conducteur de l'électricité, par exemple en métal, par exemple en vue de l'utilisation comme corps injecteur, par exemple pour doser et pulvériser du fluide 2, par exemple pour une injection de carburant. Le perçage 11 du tuyau 1 est soumis à une pression par un fluide 2. Il est produit de la face de paroi du tube faisant face au perçage ("paroi extérieure") un trou 3 borgne, par exemple par électro- érosion, par perçage ou par fraisage. Le capteur 12 mécanique de mesure fait partie du tuyau 1 et correspond à la surface frontale du trou 3 borgne. Le capteur 12 mécanique de mesure se déforme sous l'action de la pression du fluide de manière similaire à une membrane. La déviation du détecteur 12 mécanique de mesure est détectée à l'aide d'un détecteur 41 d'écartement capacitif. Le détecteur 41 d'écartement capacitif est encastré dans le trou 3 o borgne, si bien que le capteur 12 mécanique de mesure agit en même temps comme une électrode du détecteur 41 d'écartement capacitif. L'électrode 81 du détecteur 41 d'écartement capacitif se trouvant face du capteur 12 mécanique de mesure. Il est mesuré la distance entre les deux électrodes 81, 12, qui est déterminée par la flexion du capteur 12 mécanique de mesure et qui est une mesure de la pression du fluide 2 agissant sur le capteur 12 mécanique de mesure. Le détecteur 41 d'écartement capacitif est maintenu dans le trou 3 borgne par une vis 5 creuse d'immobilisation. Les données de mesure du détecteur 4, 41 sont exploitées à l'aide d'une unité 9 d'exploitation, par exemple par conversion de valeur de tension en valeur de pression, par exemple en tenant compte d'un calibrage, et elles sont retransmises à un observateur externe par l'intermédiaire d'un câble 6 de transmission de données du détecteur. Le câble 6 de transmission de données du détecteur est mené à l'extérieur par la vis 5 creuse d'immobilisation. Le câble 6 de transmission de données du détecteur est par exemple un câble coaxial miniature souple. Le détecteur 41 d'écartement capacitif est fabriqué sans filetage et est poussé dans le trou 3 borgne, en variante, le détecteur 41 d'écartement capacitif peut être fabriqué par exemple en ayant un filetage et être ensuite vissé dans le trou 3 borgne. Pour augmenter la sensibilité de mesure du détecteur 12 mécanique de mesure, son épaisseur devrait, de manière correspondante à l'épaisseur de paroi restante de la surface frontale du trou 3 borgne, être aussi petite que possible. Mais on a d'autre part le danger qu'un capteur 12 mécanique de mesure soit déformé par une haute pression d'une manière irréversible qui est désavantageuse. C'est pourquoi l'épaisseur du capteur 12 mécanique de mesure doit être prévue de telle manière que celui-ci se déforme de manière réversible, c'est-à-dire de manière purement élastique. La conception du capteur 12 mécanique de mesure (par exemple l'épaisseur de paroi ou le diamètre) peut être effectuée par exemple par une méthode des éléments finis. Cette méthode est utile notamment pour des formes du capteur 12 mécanique de mesure dont la déviation ne peut pas être calculée de manière analytique, par exemple aussi pour une forme dissymétrique. Outre le détecteur représenté dans cet exemple de réalisation, il peut être introduit aussi plusieurs détecteurs dans l'objet soumis à une mesure, par exemple dans plusieurs trous borgnes. Cela est avantageux par l0 exemple si l'on cherche à effectuer une mesure analysée suivant le lieu des conditions de pression dans l'objet soumis à une mesure. Le détecteur de pression représenté à cette figure peut être réalisé avantageusement aussi entièrement dans la technologie des composants au silicium. Le détecteur 41 d'écartement capacitif comportant is son électrode 81 est alors réalisé sur la même pièce que l'unité 9 d'exploitation. Outre un détecteur 41 d'écartement capacitif, il peut être réalisé par exemple aussi un détecteur d'écartement piézo-résistif dans la technologie des composants au silicium. Le détecteur 41 d'écartement capacitif peut, en variante, être réalisé en mode de réalisation micro-mécanique. Cela est avantageux par exemple lorsqu'il y a plusieurs détecteurs de pression ou lorsque l'épaisseur de paroi de l'objet soumis à une mesure est petite. La figure 2 est une vue en plan en coupe de la forme d'un tuyau 1 comme objet soumis à une mesure, le tuyau 1 étant muni d'un perçage 11 centré, qui est rempli d'un fluide 2. La découpe est effectuée par un trou 3 borgne servant de structuration. On voit que le capteur 12 mécanique de déplacement a en vue en plan, en raison du perçage qui est rond dans la vue en coupe, une forme concave d'un seul côté, sur la paroi intérieure de l'objet soumis à une mesure, donc il ne correspond pas à une membrane planaire. La figure 3 est une vue de côté en coupe d'un mode de réalisation en vue de la mesure de pression à l'aide d'un détecteur 4 sous la forme d'un détecteur42 d'écartement piézo-électrique. Le détecteur 42 d'écartement piézo-électrique est constitué essentiellement d'un élément piézoélectrique et de deux électrodes 81, 82, ainsi que d'une unité 9 d'exploitation et d'un câble 6 de transmission de données du détecteur, la 1I déviation du capteur 12 de mesure mécanique étant mesurée à l'aide de l'élément piézo-électrique. Cet élément piézo-électrique est réalisé ici sous la forme d'un petit tuyau 7 piézo-électrique, qui est creux et qui repose par ses faces frontales sur le capteur 12 mécanique de mesure et sur une vis 5 creuse d'immobilisation. Le petit tuyau 7 piézo- électrique est comprimé par la déviation du capteur 12 mécanique de mesure, si bien qu'une tension est induite. Cette tension est prélevée par des électrodes 83, 82 qui sont en contact avec la paroi intérieure et la paroi extérieure du petit tuyau 7 piézo-électrique. Dans cet exemple de réalisation, I'électrode 82 extérieure est a0 à la masse, tandis que l'électrode 83 intérieure est reliée à un câble 6 de transmission de données de détecteur menée par la vis 5 creuse d'immobilisation, ce câble retransmettant des données de mesure à un observateur externe. Il est porté à la figure 4 la tension prélevée sur un détecteur s d'écartement capacitif, en unité quelconque, en fonction de la pression d'un fluide 3 en une unité quelconque. On voit nettement que le rapport entre la tension du détecteur et la pression (prédéterminée) du fluide 2 est linéaire, et cela sur tout le domaine de mesure. Il faut prendre garde que cette figure montre des points de mesure reliés et non pas un ajustement de courbes. L'adequation du genre de mesure de pression décrit ici a la détermination de la pression du fluide d'un objet faisant l'objet d'une mesure et soumis à une pression est donc mise en évidence de manière impressionnante à la figure 3. Le pouvoir séparateur de la mesure de pression est, avec reproduire très bien des fluctuations de pression rapides (sans représentation). REVENDICATIONS 1. Procédé de mesure de la pression d'un fluide (2), caractérisé encequ' un objet faisant l'objet d'une mesure est soumis à une pression par un fluide (2), - un capteur (12) mécanique de mesure est dévié par la pression du fluide (2), le capteur (12) mécanique de mesure faisant partie de l'objet soumis a une mesure, - la déviation du capteur (12) mécanique de mesure étant mesurée de son côté éloigné du fluide (2) à l'aide d'au moins un détecteur (4, 41, 42). 2. Procédé suivant la revendication 1, caractérisé en ce que les déplacements d'au moins un capteur (12) mécanique de mesure sont semblables à ceux d'une membrane. 3. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins un capteur (12) mécanique de mesure est produit par une structuration sur un côté de l'objet soumis à une mesure éloigné du fluide. 4. Procédé suivant la revendication 3, caractérisé en ce que le capteur (12) mécanique de mesure est produit par au moins un trou (3) borgne perpendiculairement à un côté de l'objet soumis à une mesure tourné vers le fluide (2). 5. Procédé suivant l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce qu'au moins un détecteur (4, 41, 42) est encastré dans la structuration et y est maintenu. 6. Procédé suivant la revendication 5, caractérisé en ce que la structuration a la forme d'un trou (3) borgne cylindrique ayant au moins un diamètre. 7. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins un détecteur (4) est un détecteur (42) d'écartement piézo-électrique. 8. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins un détecteur (4) est un détecteur (42) d'écartement capacitif. 9. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il est présent, entre le détecteur (4, 41, 42) et un câble (6) de transmission de données de détecteur, une unité (9) d'exploitation pour traiter les données émises par le détecteur (4, 41, 42). 10. Procédé suivant la revendication 9, caractérisé en ce que le détecteur (4, 41, 42) et l'unité (9) d'exploitation sont intégrés à une pièce. 1il. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'au moins un détecteur (4, 41, 42) est réalisé en mode de réalisation micro-mécanique. 12. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'on produit au moins un détecteur (41, 42) sur la base de la technologie des composants au silicium. 13. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la pression du fluide (2) peut se trouver aussi bien dans le domaine des surpressions que dans le domaine des dépressions. 14. Procédé suivant l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la mesure de pression est calibrée. 15. Procédé suivant l'une des revendications précédentes pour I'utilisation dans des installations de la technique industrielle. 16. Procédé suivant l'une des revendications précédentes pour l'utilisation dans des systèmes servant à l'injection de carburant ou sur des chambres de combustion. 17. Dispositif de mesure de la pression d'un fluide (2), caractérisé en ce qu'il consiste en - un objet faisant l'objet d'une mesure qui est soumis à la pression par un fluide (2), - au moins un capteur (12) mécanique de mesure, qui fait partie de l'objet soumis a une mesure et qui peut être dévié par une pression du fluide (2), - un détecteur (4, 41, 42), la pression du fluide (2) pouvant être mesurée par l'intermédiaire d'une déviation du capteur (12) de mesure mécanique de son côté éloigné du fluide (2). 18. Dispositif suivant la revendication 17, caractérisé en que le capteur (12) mécanique de mesure est similaire à une membrane et peut être représenté par un trou (3) borgne d'un côté de l'objet soumis à une mesure éloigné du fluide (2). 19. Dispositif suivant la revendication 18, caractérisé en ce que le détecteur (4, 41, 42) se trouve au moins partiellement dans le trou (3) o0 borgne et peut y être immobilisé par un dispositif de fixation. 20. Utilisation du dispositif suivant l'une des revendications 17 à 19 dans des installations de la technique industrielle. 21. Utilisation du dispositif suivant l'une des revendications 17 à dans des systèmes servant à injecter du carburant ou sur des chambres de combustion.