Brevet FR2776782A1 — publié le 19991001

Dispositif de détection d'objets en forme de disques contenus dans une cassette. L'invention concerne un dispositif de détection d'objets en forme de disques contenus dans une cassette, de préférence destiné à déceler la présence et la position de pastilles de semi-conducteurs contenues dans une cassette, présentant un grand nombre de cases de même grandeur. Il trouve une application en particulier dans l'industrie des semi-conducteurs afin de détecter l'état de garnissage de cassettes entre différentes étapes technologiques lors de la fabrication des puces, de préférence avant, pendant ou après l'intervention d'un système de manipulation. Lors de l'usinage d'objets en forme de disques, de substrats tels que des pastilles de semi-conducteurs pour la fabrication de circuits intégrés, les substrats sont généralement regroupés dans ce qu'il est convenu d'appeler des cassettes afin qu'ils puissent être manipulés au moyen d'équipements automatiques. En raison du grand nombre d'étapes technologiques, qui rendent coûteuses ces pastilles de semi-conducteurs, on doit exclure ou minimiser les dommages qui rendent inutilisables les substrats, par des erreurs de manipulation de ceux-ci telles que par exemple la double occupation d'une case de cassette (étape d'usinage sautée), cases vides (double exécution d'une seule et même étape de procédé pour la case précédente ou la case suivante) et positions obliques de substrats sur deux cases ou plus (endommagement mécanique). En outre le système de manipulation peut travailler plus efficacement et éviter des routines à vide par une connaissance précise des positions effectives des pastilles de semi- conducteurs. Un dispositif se proposant un tel but est connu par le document US 5 418 382. Ce dispositif dispose d'un éclairage étendu en fente, qui est disposé le long de la pile de pastilles, à proximité des chants de celles-ci, d'un capteur de lumière linéaire disposé dans la même direction et d'éléments optiques de transmission, qui, sous la forme d'un grand nombre de guides de lumière, transmettent la lumière réfléchie par les chants des pastilles à la rangée de capteurs en retrait par rapport à l'éclairage. Cette construction simple a d'une part pour inconvénient qu'une irrégularité, conditionnée par la technologie, d'un bord de la pastille, à savoir l'encoche permettant de détecter l'orientation de la pastille, constitue un problème grave dans la détection de la présence d'une pastille, car cette encoche " avale " presque toute la lumière de l'éclairage en forme de fente, ce qui fait que le capteur indique qu'une pastille est absente, et que la suppression d'une étape d'usinage peut conduire à une pastille inutilisable. En outre, en raison de son bord généralement arrondi de manière standardisée, une pastille donne une faible proportion de lumière d'éclairage réfléchie de manière spéculaire, et dans le cas de substrats ayant des chants de qualité quelconque ou inconnue (chants polis, rugueux ou arrondis de manière non définie), on peut même s'attendre à un comportement changeant à la réflexion. Il en résulte d'autre part, avec la solution indiquée ci-dessus, l'inconvénient d'avoir à placer les éléments de transmission optiques très près des chants des pastilles. Or il est souhaitable que cet emplacement reste libre, afin que le système de manipulation puisse intervenir, sans qu'il soit nécessaire de procéder séparément dans le temps et dans l'espace à une détection optique. L'invention a pour but de trouver une possibilité de type nouveau de détecter des objets en forme de disques contenus dans des cassettes présentant un grand nombre de cases, qui permette d'obtenir une détection fiable des objets d'une cassette, indépendamment de leur orientation et des irrégularités dans la zone de leur bordure. En outre, en plus d'une détection fiable on doit laisser en même temps devant les ouvertures des cases des cassettes un espace libre suffisant pour l'intervention d'un système de manipulation, sans qu'il soit nécessaire d'éloigner mécaniquement ou de faire pivoter le dispositif optique. Suivant l'invention, ce but est atteint avec un dispositif de détection d'objets en forme de disques contenus dans une cassette constituée d'un grand nombre de cases, comprenant une unité d'éclairage dont la lumière est orientée vers des zones réfléchissantes des chants des objets, qui sont visibles dans les ouvertures des cases de la cassette, au moins un système optique pour la transmission de la lumière, qui, provenant de l'unité d'éclairage, a été réfléchie sur au moins une zone de chant, un bloc détecteur, qui comporte au moins un réseau linéaire d'éléments capteurs sensibles à la lumière, lequel est orienté perpendiculairement à la direction des cases et des objets en forme de disques, et qui convertit la lumière réfléchie par les zones de chant des objets en signaux électriques, ainsi qu'une unité d'évaluation destinée à déterminer la présence et la position des objets dans les cases de la cassette, en ce que l'unité d'éclairage contient au moins deux rangées de sources lumineuses étendues linéairement, qui sont disposées parallèlement à un ensemble de plans défini par les cases et les objets et qui se situent dans une surface, parallèlement aux zones de chant à détecter, en ce que le système optique est un objectif, qui est placé entre les rangées de sources lumineuses montées parallèlement et au moyen duquel un grand nombre de cases de la cassette ont leur image formée simultanément sur le bloc détecteur, et en ce qu'à partir du réseau d'éléments capteurs peuvent être sélectionnées au moins des fractions d'une zone de chant des objets, suffisamment étendue transversalement pour qu'une irrégularité de la zone de chant de l'objet, dont l'image est formée dans le plan des capteurs, soit toujours plus petite que les fractions sélectionnées de la zone de chant étendue. Les sources lumineuses linéaires, disposées parallèlement aux plans des cases, sont avantageusement montées deux par deux symétriquement par rapport à l'objectif. Dans une variante préférée, on utilise comme sources lumineuses des rangées de diodes électroluminescentes. La surface dans laquelle sont disposées les rangées parallèles de sources lumineuses est avantageusement définie par des droites parallèles, qui sont parallèles aux génératrices d'un cylindre à section circulaire, qui est produit par une pile régulière d'objets se trouvant dans la cassette. On choisit avantageusement comme surface, pour le montage des rangées de sources lumineuses, un plan parallèle au plan tangent au cylindre à section circulaire produit par une pile régulière d'objets dans la cassette. Mais une surface d'enveloppe cylindrique disposée parallèlement au cylindre à section circulaire mentionné ci-dessus convient aussi comme surface pour disposer les rangées parallèles de sources lumineuses. Il est intéressant que les rangées parallèles de sources lumineuses et le plan principal de l'objectif soient disposés dans la même surface. Ceci est important en particulier car, sur le plan de la construction, on regroupe volontiers l'éclairage, l'objectif et le réseau de capteurs dans un bloc détecteur compact. A la surface, dans laquelle sont disposées les rangées parallèles de sources lumineuses, est avantageusement associée une normale centrale à cette surface, qui coïncide avec l'axe optique de l'objectif et qui constitue en même temps un axe de symétrie pour l'ensemble des rangées de sources lumineuses, et cette normale centrale à la surface forme avantageusement un angle différent de zéro avec la normale à la surface d'un plan qui est défini par les ouvertures des cases de la cassette, cet angle étant suffisamment grand pour qu'il subsiste un espace libre devant les ouvertures des cases pour mettre en place les objets et les enlever. Pour pouvoir sélectionner à partir du réseau de capteurs une fraction appropriée de la zone de chant des objets, étendue transversalement, plusieurs variantes conviennent. D'une part il est intéressant qu'à partir du réseau d'éléments capteurs puissent être sélectionnées au moins deux rangées parallèles entre elles de pixels, au moins deux des rangées sélectionnées de pixels présentant un écartement spatial suffisamment grand pour qu'une irrégularité à prendre en compte dans la zone de chant de l'objet, après formation de son image dans le plan des capteurs, soit toujours plus petite que cet écartement spatial. Ceci peut être avantageusement réalisé en ce que les différentes rangées sélectionnées de pixels sont produites l'une après l'autre dans le temps au moyen d'un seul réseau linéaire d'éléments capteurs, le réseau de capteurs étant déplacé perpendiculairement à son extension longitudinale entre les sélections des différentes rangées de pixels. A cet effet le réseau de capteurs est monté de préférence sur un élément piézo-électrique de translation. Dans une autre forme de réalisation possible destinée à produire différentes rangées sélectionnées de pixels, on prévoit avantageusement deux rangées séparées de capteurs ou un réseau bidimensionnel de capteurs, dont toutes les rangées sélectionnées de pixels ne doivent pas nécessairement être concernées par l'évaluation. D'autre part des fractions suffisantes de la zone de chant étendue transversalement peuvent être sélectionnées à partir d'un réseau de capteurs, lorsque le réseau de capteurs est un réseau linéaire de capteurs ayant une grande ouverture transversale, c'est-à- dire un grand rapport d'aspect des éléments capteurs, par exemple une rangée CCD de la série SC de EG&G Reticon avec des surfaces d'éléments capteurs de 2,5 mm * 25 pm (rapport d'aspect 100:1). Dans l'unité d'évaluation sont avantageusement prévus des moyens destinés à éliminer des pertes de signaux par suite d'irrégularités connues des chants des objets, qui corrèlent les signaux d'objets d'au moins deux rangées sélectionnées de pixels, suffisamment éloignées l'une de l'autre dans l'image de la zone de chant, et qui contiennent une fonction OU pour la définition de la présence d'un objet, tant qu'il n'y a pas de différence de position, supérieure aux tolérances, de signaux d'objet associés par rapport à une position normale apprise des objets. On peut judicieusement prévoir encore, dans l'unité d'évaluation, des moyens destinés à détecter des positions obliques des objets sur au moins deux cases de la cassette, moyens qui contiennent un aspect, mémorisé par apprentissage, d'une cassette convenablement garnie, de sorte que, par calcul de zones définies de cases de la cassette dans lesquelles peut se trouver effectivement un objet, on dispose d'un modèle, au moyen duquel, par comparaison de ces zones définies avec les signaux d'objet des zones de chant dont l'image est formée, il est possible de détecter une position oblique, lorsqu'au moins un signal d'objet est détecté à l'extérieur de cette zone définie. Il s'avère avantageux en particulier, mais non exclusivement dans le cas de l'utilisation d'une rangée de capteurs à grande ouverture transversale, de prévoir dans l'unité d'évaluation, des moyens de calcul des valeurs-seuils convenables pour des signaux d'objet, le calcul des valeurs-seuils se fondant sur une mesure de calibrage de la perte de lumière en cas d'irrégularité connue du chant de l'objet dans la zone de chant détectée, et pour l'évaluation de maxima et de minima de contraste, par application d'un critère de distance donné par le modèle de référence. Pour pouvoir utiliser l'invention également en vue de la détection d'objets en forme de disques dans des cassettes de dimensions quelconques avec des hauteurs différentes (la hauteur dépendant en règle générale de la distance des cases, qui peut atteindre par exemple 5 mm ou 10 mm pour des tailles de pastille différentes), il s'avère avantageux de prévoir le dispositif suivant l'invention en plusieurs exemplaires, les dispositifs individuels étant rangés le long d'une droite parallèle à la direction des objets empilés dans la cassette. L'invention repose sur l'idée essentielle de partir d'un éclairage en forme de fente dans la direction des cases de la cassette et de le remplacer par un éclairage qui présente une grande extension dans la direction des chants des objets à détecter, bien que ceci entraîne une certaine irrégularité de l'éclairage dans la direction de la pile des objets. Ce problème est surmonté en ce qu'on a recours à un système de formation d'image à grande surface et à une disposition symétrique de l'éclairage, et en ce qu'on dispose donc de l'image de zones de chant plus larges des objets focalisées dans le plan des capteurs. En raison de cette image géométrique élargie et en même temps précise des zones de chant, on permet avec le dispositif suivant l'invention, outre la détection fiable des objets, même dans le cas de zones de chant critiques avec encoche, une plus grande distance de l'ensemble du dispositif par rapport à l'ouverture de la cassette, ce qui procure l'espace libre voulu pour donner à un système de manipulation libre accès à la cassette. L'invention est décrite ci-après plus en détail à l'aide d'un exemple de réalisation. Les dessins montrent sur la fig. 1 la construction de base d'un dispositif suivant l'invention, sur la fig. 2 un schéma illustrant les taux d'éclairage et de reproduction sur les chants d'une pile d'objets (pastilles de semi- conducteurs), sur la fig. 3 une disposition multiple avantageuse du détecteur compact suivant l'invention pour l'inspection de cassettes présentant un grand nombre de cases, sur la fig. 4 une vue en coupe d'une pastille de semi-conducteur illustrant la réflexion sur un chant arrondi de pastille, sur la fig. 5 un schéma de l'éclairage et de la formation d'image suivant l'invention d'un chant de pastille dans le sens de son périmètre, sur la fig. 6 un schéma de l'éclairage et de la formation d'image d'un bord de pastille avec encoche, sur la fig. 7 une disposition spatiale avantageuse du détecteur compact suivant l'invention avec espace libre pour libre accès aux objets (pastilles de semi-conducteurs) sur la fig. 8 un extrait du profil d'intensité d'une rangée de pixels avec quatre images de pastille, dont une manque du fait de la présence d'une encoche dans la zone de chant reproduite (selon l'état de la technique) sur la fig. 9 l'extrait de la rangée de pixels de la fig. 8 (suivant l'invention) avec représentation d'une image contrastée. La fig. 1 montre un dispositif suivant l'invention comportant au moins deux champs lumineux 11, un réseau de capteurs 12, un objectif 13, les champs lumineux 11 étant disposés en rangées linéaires de sources lumineuses parallèles entre elles et symétriques par rapport à l'objectif 13, ainsi qu'une unité d'évaluation 14, tous réunis en un détecteur compact 1. Une cassette 2 sert à recevoir un nombre de pastilles de semi- conducteurs 3, qui sont transportées dans cette cassette 2 dans l'usine de semi-conducteurs pour passer d'une étape de processus industriel à l'autre. Les pastilles 3 sont dans ce cas automatiquement prélevées de la cassette 2 (au moyen de systèmes de manipulation), usinées et à nouveau replacées. Les pastilles 3 sont empilées en ordre dans la cassette 2. A cet effet, des nervures 21 sont ménagées sur les parois latérales de la cassette 2; elles se font exactement face à des distances constantes et forment ainsi des cases 22, dans lesquelles sont déposées les pastilles 3. Le nombre et la taille des cases 22 (écartement des nervures 21) peuvent être différents pour des cassettes 2 différentes, mais sont normalisés pour chaque type de cassette 2. Chaque pastille 3 présente un numéro d'identification, qui contient aussi le numéro de la case 22, dans laquelle se trouve la pastille 3. Le détecteur compact 1 a pour but d'indiquer au système de manipulation dans quelle case 22 se trouve une pastille 3. A cet effet, le réseau de capteurs 12 enregistre une partie de la lumière qui est envoyée par l'objectif 13 sur le réseau de capteurs 12, lumière qui provient des champs lumineux 11 et qui est réfléchie ou dispersée par les bords 31 des pastilles. Le réseau de capteurs 12 est orienté dans la direction de l'empilage des pastilles 3 dans les cases 22 de la cassette et est partagé en un grand nombre d'éléments capteurs individuels. Les éléments capteurs individuels reçoivent ainsi la lumière d'une pastille 3 déterminée et de cette pastille 3, d'une zone déterminée du bord de la pastille. Chaque élément capteur individuel peut être évalué séparément. Si la cassette 2 contient le nombre maximal de pastilles 3 (toutes les cases 22 sont occupées) et si les cases 22 ne sont occupées chacune aussi que par une pastille 3, il peut être pris une image de référence dans laquelle tous les éléments capteurs actifs du réseau de capteurs 12, c'est-à-dire les éléments qui reçoivent la lumière réfléchie par une pastille 3, sont déterminés. Cette image de référence est mémorisée dans l'unité d'évaluation 14. Toutes les rangées de pixels prises plus tard sont comparées à cette image de référence. Si une pastille 3 manque dans une case 22, les éléments capteurs correspondant à cette case 22 ne sont pas actifs, c'est-à- dire qu'ils ne reçoivent pas de lumière. Si une pastille 3 n'occupe pas les mêmes nervures 21 sur les deux côtés de la cassette 2, c'est- à-dire si elle est placée obliquement dans deux cases 22, d'autres éléments capteurs du réseau de capteurs 12 deviennent actifs. Ceci s'applique aussi au cas dans lequel deux pastilles 3 sont disposées l'une au-dessus de l'autre dans la même case 22. La fig. 2 montre le trajet des rayons d'éclairage et le trajet des rayons de formation d'image du détecteur compact 1. L'ouverture des champs lumineux 11, qui dans ce cas sont au nombre de quatre, est telle qu'ils éclairent aussi uniformément que possible la pile de pastilles 3, représentée de manière stylisée, dans la cassette 2 non représentée, dans la direction x. A cet effet les champs lumineux 11 qui sont étendus linéairement perpendiculairement au plan du dessin, sont montés deux par deux symétriquement par rapport à l'objectif 13. La distance focale de l'objectif 13 est choisie de manière que la totalité de la pile de pastilles 3 dans une cassette 2 ait son image formée sur le réseau de capteurs 12. Par duplication simple ou multiple du dispositif ci-dessus selon la fig. 3, l'occupation de grands supports de substrats (cassette 2), peut être inspectée à un coût avantageux. L'avantage réside dans le fait qu'en utilisant un détecteur compact 1 de petite taille et en empilant plusieurs de ces détecteurs, sans intervalle et sans ajustage compliqué les uns par rapport aux autres, il est possible de contrôler l'occupation de cassettes de taille quelconque. La seule condition préalable est que le détecteur compact 1 ait des dimensions telles que les champs lumineux 11 disposés parallèlement soient également répartis sur la construction d'ensemble. Contrairement à la représentation de la fig. 3, on a aussi la possibilité, pour l'évaluation, de travailler avec plusieurs unités d'évaluation, afin de raccourcir le temps d'évaluation et d'accroître ainsi la productivité de l'inspection. Si l'on observe plus précisément une pastille 3, on peut voir que le bord 31 d'une pastille 3 est arrondi de manière standard. Un chant 34 ainsi arrondi avec le trajet des rayons d'éclairage, dessiné de manière schématique, sont montrés sur la fig. 4. Avec le chant 34 arrondi, pour chaque position de pastille dans la cassette 2, on n'a qu'une petite zone verticale 35 dans la direction de l'épaisseur de la pastille, de laquelle la lumière réfléchie directement (de manière spéculaire) peut être reçue à partir des deux champs lumineux 11. Cette zone 35 est d'autant plus grande que l'ouverture 15 de l'objectif 13 est grande. Ce comportement s'applique indépendamment de la forme concrète du chant 34 arrondi, tant que l'arrondi suit un parcours continu, c'est-à-dire que la forme du chant 34 arrondi peut aussi suivre une parcours différent de la forme circulaire; mais il ne doit pas y avoir d'" angles ". Si le bord 31 de la pastille n'est pas poli, ce qui est fréquemment le cas pour les pastilles 3, la lumière est dispersée de manière plus ou moins diffuse par le chant 34 de la pastille. Dans l'ouverture 15 de l'objectif 13 peuvent alors pénétrer des rayons lumineux provenant aussi du voisinage de la zone verticale 35. Ceci n'influence pas le principe de la détection des pastilles. La fig. 5 montre le trajet des rayons de production d'image dans une vue de dessus de la cassette 2. L'extension linéaire du champ lumineux 11 dans la direction y (parallèlement aux plans des pastilles 3) détermine la quantité de lumière réfléchie qui, provenant de la zone de chant 32 sur le périmètre de la pastille 3 (en tant que disque circulaire), passe à travers l'ouverture 15 de l'objectif 13 en direction du réseau de capteurs 12. Si la lumière du champ lumineux 11, provenant de cette zone de chant 32 reproduite, doit être reçue par réflexion directe, le champ lumineux 11 doit avoir une extension dans la direction y telle que pour chaque point de la zone de chant 32 on ait un point sur le champ lumineux 11 pour lequel la loi de réflexion est satisfaite, de manière qu'un rayon direct puisse parvenir d'un point du champ lumineux 11, par réflexion en un point de la zone du bord 31 de la pastille, dans l'ouverture 15 de l'objectif 13. Plus l'ouverture 15 de l'objectif 13 est grande, plus le nombre de points du champ lumineux 11 pour lesquels cette condition de réflexion directe s'applique, est grand. Plus cette zone de chant 32 reproduite est grande (conformément à la taille du champ lumineux 11), plus fort est le signal que l'ensemble de capteurs 12 peut recevoir d'un bord de pastille 31. Dans le cas de bords de pastille 31 dispersant principalement de manière diffuse, la lumière de toute la largeur du champ lumineux 11 peut en principe parvenir de chaque point de la zone de chant 32 reproduite dans l'ouverture 15 de l'objectif 13. Ceci ne dépend que de la grandeur de l'indicatrice de dispersion du bord de pastille 31, qui en principe peut prendre des valeurs comprises entre 0 et 180 . 2776782 Pour la détermination de l'orientation d'une pastille 3 en ce qui concerne une rotation autour de son centre, celle-ci est pourvue d'une entaille standardisée 33, dite encoche. Il a été constaté de manière expérimentale que de la zone de l'encoche 33 aucune lumière ne parvient dans l'ouverture 15 de l'objectif 13 (voir aussi position B de la fig. 8). Dans ce cas, un détecteur selon l'état de la technique parviendrait à une erreur d'interprétation, c'est-à-dire qu'il signalerait l'absence d'une pastille 3, bien qu'une pastille 3 soit présente. Une telle position de pastille est indiquée sur la fig. 6 (mais en relation avec l'invention). Sur la fig. 8 est représenté pour cela un extrait du champ de signaux d'un détecteur, tel qu'on l'obtient pour un détecteur suivant l'état de la technique avec des positions de pastille comme celles des fig. 5 et 6. L'extrait montre le signal de détection obtenu, indiquant la présence de trois pastilles 3 se trouvant dans des cases 22, dans les positions A, C et D. A la position B seulement, une pastille 3 avait été orientée de sorte que son encoche 33 soit dans le champ visuel du réseau de capteurs 12. Le signal de capteur pour cette pastille 3 diminue drastiquement et conduit pour cette mesure suivant l'état de la technique, l'erreur de conclusion selon laquelle aucune pastille 3 ne se trouve à la position B. Pour obtenir qu'en présence d'une encoche 33 on n'ait pas une erreur d'interprétation du signal du détecteur, suivant l'invention les taux d'éclairage et de reproduction sont conçus de manière appropriée, comme représenté sur la fig. 6. La fig. 6 est dans ce cas une vue de dessus de la pile de pastilles 3, de sorte que le plan du dessin se situe dans le plan d'une pastille, qui est désigné par plan y-z. Sur une partie du bord 31 de la pastille tombe la lumière des champs lumineux 11 dont un seul est représenté, car on ne doit considérer ici que la composante y de l'éclairage et de la production d'image. Afin que plus d'éclairage puisse être exploité aussi dans la direction y, le réseau de capteurs 12 et l'évaluation doivent satisfaire à des exigences déterminées. Ce problème est résolu d'une part par le fait que l'étendue du réseau de capteurs 12 dans la direction y est plus grande que l'image de l'encoche 33 sur le réseau de capteurs 12. Dans ce cas, il y a toujours des fractions de la zone de chant 32 d'o la lumière parvient sur le réseau de capteurs 12. Ceci peut s'effectuer en principe de manières différentes, mais équivalentes. Premièrement, le réseau de capteurs 12 peut être une rangée CCD classique, qui est déplaçable dans la direction y, grâce à quoi, au moyen d'une unité de translation piézo-électrique, elle est mise en mesure de sélectionner successivement dans le temps une rangée de pixels en au moins deux emplacements différents de l'image de la zone de chant 32. On obtient ce même résultat lorsque deux rangées de capteurs sont disposées de manière fixe dans les positions de fin de course du déplacement en translation précédemment décrit. Deuxièmement, le réseau de capteurs 12 peut être conformé en matrice bi-dimensionnelle, comme indiqué sur la fig. 1 et troisièmement il suffit aussi de recourir à une rangée CCD particulière avec grande ouverture transversale, c'est-à-dire à une rangée qui présente un grand rapport d'aspect, tel que par exemple des rangées CCD de la série SC de EG&G Reticon avec un rapport d'aspect de 100:1 (longueurs des côtés des éléments capteurs de 2,5 mm par 25 pm). Pour cette dernière variante, qui est représentée sur la fig. 5, le détecteur compact 1 est constitué, dans sa réalisation concrète, d'un objectif 13 (avec distance focale de 35 mm et ouverture de 5,6) et d'un réseau de capteurs 12 linéaire dans la direction x comportant 1024 pixels de grandeur dx * dy = 0,025 mm * 2,5 mm. L'échelle d'image est A' = -0,24, c'est-à-dire que la zone de chant 32 représentée est de 10 mm, soit plus de trois fois la largeur standardisée de l'encoche 33 d'environ 3 mm. Pour une résolution de 0,1 mm par élément de capteur, dans la direction x, une épaisseur de pastille correspond à environ 6 à 7 largeurs d'élément capteur. Dans la réalisation précédemment citée, le réseau de capteurs 12 peut être conçu de manière que soit disposées deux rangées de capteurs avec ouvertures approximativement carrée. C'est ainsi que par exemple deux rangées de capteurs ayant chacune 2048 pixels et des grandeurs de pixels dx * dy = 0,014 mm * 0,2 mm peuvent être disposées à distance latérale de 2,5 mm l'une de l'autre, dans la direction y. Leurs champs visuels, projetés sur le bord 31 de la pastille, sont égaux chacun à 0,8 mm et espacés d'une distance de 10 mm, de sorte que dans le cas d'une position quelconque de l'encoche 33 on reçoit toujours un signal d'objet d'une ou des deux rangées de capteurs. Selon la fig. 6 un seul réseau de capteurs 12, sous la forme d'une rangée CCD classique ayant 2048 pixels et des grandeurs de pixels dx * dy = 0,014 mm * 0,2 mm, est ainsi disposé de manière équivalente, de façon qu'ilpuisse être déplacé d'une position yl à une position Y2 au moyen d'un mécanisme de positionnement. Les positions correspondent par exemple aux positions des deux rangées de capteurs de la réalisation mentionnée ci-dessus. A chacune des positions Yl et Y2, il est procédé séparément à une prise de vue des pastilles 3 dans la cassette 2. Une option consiste à procéder aussi à une prise de vue pendant le déplacement du réseau de capteurs, de la position Yl à la position Y2. Le temps de prise de vue est choisi de manière qu'il soit égal au temps de déplacement de yl à Y2, ou égal à un multiple de celui- ci. Dans ce dernier cas le réseau de capteurs se déplace plusieurs fois de Y1 à Y2 et dans le sens inverse. Des temps typiques pour un déplacement sont de l'ordre de 10 ms. Le temps de prise de vue peut atteindre jusqu'à 40 ms. Avec cette prise de vue sans discontinuité, on établit en même temps le pont vers l'utilisation d'une matrice de capteurs en tant que réseau de capteurs 12, comme indiqué sur la fig. 1, sans restreindre le caractère général. Les photons parvenant pendant le temps de prise de vue sur le réseau de capteurs 12 sont accumulés pixel après pixel et convertis en signaux électriques, qui correspondent dans chaque cas aux sommes des charges de pixels produites. Les pixels sont évalués ligne après ligne. Les signaux électriques sont convertis en valeurs numériques (ci-après en valeurs de gris) dans l'unité d'évaluation 14). L'algorithme décrit ci-après peut être totalement exécuté dans un processeur (par exemple pC ou DSP) ou en partie aussi dans un matériel travaillant en temps réel (par exemple FPGA). La succession des valeurs de gris d'une rangée de capteurs est d'abord examinée quant aux extrêmes locaux d'ordre 0 et d'ordre 1. Les extrêmes d'ordre 1 sont des pointes positives et négatives dans la succession des valeurs de différence (succession des valeurs de contraste selon la fig. 9). Les extrêmes d'ordre 1 définissent le début (contraste maximum) et la fin (contraste minimum) d'un signal de capteur pour des pixels qui " voient " un bord de pastille 31. Comme position mesurée d'une pastille 3 (position de pastille) on définit la position centrale entre les positions du contraste maximum et du contraste minimum. Le contraste maximum et le contraste minimum doivent encore satisfaire respectivement à deux autres conditions, afin de pouvoir être considérés comme des limites de signaux de pastille. Pour le contraste maximum s'applique la condition préalable selon laquelle la valeur de l'extrême doit se situer au-dessus d'un seuil de bruit et, devant cet extrême, à l'intérieur d'un intervalle défini, il ne doit pas y avoir d'autres extrêmes d'ordre 0 et d'ordre 1, qui se détachent du bruit du signal. La valeur du contraste minimum doit se situer au-dessous d'un seuil de bruit, et après ce contraste minimum, il ne doit pas y avoir d'autres extrêmes d'ordre 0 et d'autre 1, à l'intérieur d'un intervalle défini, qui se détachent du bruit du signal. Si une position de pastille mesurée se trouve à l'intérieur d'une case 22 de la cassette, définie par l'apprentissage, la case 22 correspondante est alors occupée réglementairement. S'il n'y a pas de signal exploitable à l'intérieur de la zone définie, deux cas doivent alors être considérés. Si la zone définie est vide et s'il n'y a pas de signal significatif, à distance des zones définies de deux cases 22 voisines, aucune pastille 3 ne se trouve dans la case. Si le signal ne se trouve pas à l'intérieur de la zone définie, mais à l'extérieur, entre les zones définies de cases 22 voisines, il s'agit d'une pastille 3 disposée obliquement sur deux cases 22 ou même plus. Si beaucoup plus d'extrêmes d'ordre 0 et d'ordre 1 se trouvent entre le début et la fin de la zone définie, déterminée lors de l'apprentissage avec une cassette de référence, zone dans laquelle peut se trouver réglementairement une pastille 3, on considère que cette case de pastille 22 est occupée plusieurs fois. L'apprentissage au moyen d'une cassette 2 remplie peut être exécuté de la façon suivante. Les positions limites (début et fin) des signaux de pastille sont d'abord déterminées. Les positions de pastille trouvées sont numérotées avec un numéro de case. A chaque case 22 numérotée est attribuée alors une zone définie, dans laquelle se situe normalement la pastille 3, celle-ci résultant de la position de pastille +/- une valeur de tolérance (grandeur du système). Des extrêmes d'ordre O et d'ordre 1, trouvés à l'intérieur du signal de pastille, sont marqués en supplément à la zone définie sous le numéro de case correspondant et peuvent alors être utilisés pour vérifier les occupations multiples. Pour le cas o l'on évalue deux rangées de pixels (ou plus) (extraites d'une rangée déplacée plusieurs fois, de rangées séparées ou d'une matrice) les résultats sont recoupés de la façon suivante. Si dans une case 22 on a trouvé au moins une pastille 3, mais si l'on n'a détecté aucune position multiple, cette case 22 est considérée comme occupée une fois. Si dans une case 22 on a mesuré au moins une fois une occupation multiple, cette case 22 est considérée comme occupée plusieurs fois. Si on a mesuré au moins deux positions de pastille différentes, dont une au moins se situe entre les zones définies de deux cases 22, on mémorise comme résultat une pastille reposant obliquement entre ces deux cases 22. Lors du contrôle d'une cassette 2 pour pastilles, on détermine les numéros des cases 22 dont les zones définies sont occupées une fois ou plusieurs fois et, en supplément, celles dont les zones définies se situent au-dessous et au-dessus de pastilles 3 reposant obliquement. Ces numéros sont transmis avec un codage correspondant en tant que résultat de la détection, à une unité d'ordre supérieur (par exemple à un ordinateur 4). L'espace situé directement devant la cassette 2 pour pastilles est réservé à la manipulation des pastilles. Un dispositif d'inspection dans cet espace est indésirable, suivant les standards actuels à une distance de 300 mm * 100 mmn. Le dispositif suivant l'invention permet, en raison de ses composants, d'inspecter les pastilles 3 latéralement par rapport aux ouvertures des cases 22, à l'extérieur de la zone prescrite pour cet usage. Cette variante de l'invention est représentée sur la fig. 7. Un champ lumineux 11 est constitué dans cet exemple d'une juxtaposition linéaire de huit diodes électroluminescentes (LED), qui forment un champ lumineux 11 de dx * dy = 5 mm * 40 mm. Deux champs lumineux 11 sont disposés de part et d'autre de l'objectif 13 (en considérant le plan du dessin, au-dessus et au-dessous de l'objectif 13) et sont à distance d'environ 40 mm par rapport à l'axe de l'objectif. Les LED ont une caractéristique d'émission de +/- 150. A la surface dans laquelle sont disposés les champs lumineux, peut être associée, pour les besoins de l'illustration, une normale centrale à cette surface, qui coïncide avec l'axe optique de l'objectif 13 et qui constitue en même temps l'axe de symétrie de l'ensemble des champs lumineux 11. Cette normale centrale à la surface forme un angle c différent de zéro avec la normale à la surface d'un plan qui est défini par les ouvertures de la cassette 2, cet angle étant suffisamment grand pour qu'un espace libre subsiste devant les ouvertures de la cassette 2 pour la mise en place des objets et leur enlèvement. L'éclairage de la cassette 2 peut encore être amélioré si au lieu d'un champ lumineux 11 on a recours à deux champs lumineux 11 des deux côtés de l'objectif 13, qui sont tous parallèles entre eux et disposés à distance régulière discrète, comme indiqué sur la fig. 2. L'angle a est déterminé à partir de la grandeur de l'ouverture des cases 22 de la cassette 2 dans la direction y et de la grandeur effective de l'espace libre 5 nécessaire (hachuré). La position du détecteur compact 1 le long de l'axe de son objectif 13 est déplaçable suivant les besoins, tant que l'échelle de l'image produite par l'objectif 13 peut encore être adaptée. Dans ce cas l'inspection s'effectue sans gêner le système de manipulation, sans perte de temps ni déplacement des composants du détecteur compact 1, lorsqu'il a été réglé une fois sur la grandeur correspondante de la cassette 2. Le dispositif suivant l'invention peut ici vérifier en supplément la mise en place de pastilles 3 par le système de manipulation et éventuellement transmettre des signaux pour la correction ou le renouvellement de la procédure de manipulation. REVENDICATIONS 1. Dispositif de détection d'objets en forme de disques contenus dans une cassette constituée d'un grand nombre de cases, comprenant une unité d'éclairage dont la lumière est orientée vers des zones réfléchissantes des chants des objets, qui sont visibles dans les ouvertures des cases de la cassette, au moins un système optique pour la transmission de la lumière, qui, provenant de l'unité d'éclairage, a été réfléchie sur au moins une zone de chant, un bloc détecteur, qui comporte au moins un réseau linéaire d'éléments capteurs sensibles à la lumière, lequel est orienté perpendiculairement à la direction des cases et des objets en forme de disques, et qui convertit la lumière réfléchie par les zones de chant des objets en signaux électriques, ainsi qu'une unité d'évaluation destinée à déterminer la présence et la position des objets dans les cases de la cassette, caractérisé en ce que - l'unité d'éclairage contient au moins deux rangées de sources lumineuses étendues linéairement, qui sont disposées parallèlement à un ensemble de plans défini par les cases (22) et les objets et qui se situent dans une surface, parallèlement aux zones de chant (32) à détecter, - le système optique est un objectif (13), qui est placé entre les rangées de sources lumineuses linéaires montées parallèlement et au moyen duquel un grand nombre de cases (22) ont leur image formée simultanément sur le bloc détecteur, et - à partir du réseau d'éléments capteurs peuvent être sélectionnées au moins des fractions d'une zone de chant (32) des objets, suffisamment étendue transversalement pour qu'une irrégularité de la zone de chant (32) de l'objet, dont l'image est formée dans le plan des capteurs, soit toujours plus petite que les fractions sélectionnées de la zone de chant (32) étendue. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les sources lumineuses linéaires, disposées parallèlement aux plans des cases (22), sont montées deux par deux symétriquement par rapport à l'objectif (13). 3. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les sources lumineuses linéaires disposées parallèlement aux plans des cases (2) sont des rangées de diodes électroluminescentes. 4. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la surface dans laquelle sont disposées les rangées parallèles de sources lumineuses est définie par des droites parallèles, qui sont parallèles aux génératrices d'un cylindre à section circulaire, qui est produit par une pile régulière d'objets se trouvant dans la cassette (2). 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que la surface dans laquelle sont disposées les rangées parallèles de sources lumineuses est une surface parallèle à un plan tangent audit cylindre à section circulaire. 6. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que la surface dans laquelle sont disposées les rangées parallèles de sources lumineuses est une surface parallèle à une surface d'enveloppe dudit cylindre à section circulaire. 7. Dispositif selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que le plan principal de l'objectif (13) est disposé dans la même surface parallèle que celle dans laquelle sont fixées les rangées de sources lumineuses. 8. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'à la surface, dans laquelle sont disposées les rangées parallèles de sources lumineuses, est associée une normale centrale à cette surface, qui coïncide avec l'axe optique de l'objectif (13) et qui constitue en même temps un axe de symétrie pour l'ensemble des rangées de sources lumineuses, et en ce que cette normale centrale à la surface forme avantageusement un angle différent de zéro avec la normale à la surface d'un plan qui est défini par les ouvertures des cases (22) de la cassette, cet angle étant suffisamment grand pour qu'il subsiste un espace libre (5) devant les ouvertures des cases (22) pour mettre en place les objets et les enlever. 9. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'à partir du réseau d'éléments capteurs peuvent être sélectionnées au moins deux rangées parallèles entre elles de pixels, au moins deux des rangées de pixels sélectionnées présentant un écartement spatial suffisamment grand pour qu'une irrégularité à prendre en compte dans la zone de chant (32) de l'objet, après formation de son image dans le plan des capteurs, soit toujours plus petite que cet écartement spatial. 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que les différentes rangées de pixels sélectionnées sont produites l'une après l'autre dans le temps au moyen d'un seul réseau linéaire d'éléments capteurs, le réseau de capteurs (12) étant déplacé perpendiculairement à son extension longitudinale entre les sélections des différentes rangées de pixels. 11. Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que le réseau de capteurs (12) est monté sur un élément piézo-électrique de translation. 12. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'un réseau bidimensionnel de capteurs (12) est prévu pour produire différentes rangées sélectionnées de pixels. 13. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que dans l'unité d'évaluation (14) sont prévus des moyens destinés à éliminer des pertes de signaux par suite d'irrégularités connues des chants des objets, qui corrèlent les signaux d'objet d'au moins deux rangées sélectionnées de pixels, suffisamment éloignées l'une de l'autre dans l'image de la zone de chant (32), et qui contiennent une fonction OU pour la définition de la présence d'un objet, tant qu'il n'y a pas de différence de position, supérieure aux tolérances, de signaux d'objet associés par rapport à une position normale apprise des objets. 14. Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que dans l'unité d'évaluation (14) sont prévus encore des moyens destinés à détecter des positions obliques des objets sur au moins deux cases (22) de la cassette (2), qui contiennent un aspect, mémorisé par apprentissage, d'une cassette (2) convenablement garnie, de sorte que, par calcul de zones définies de cases (22) de la cassette dans lesquelles peut se trouver effectivement un objet, on dispose d'un modèle au moyen duquel, par comparaison de ces zones définies avec les signaux d'objet des zones de chant (32) dont l'image est formée, il est possible de détecter une position oblique, lorsqu'au moins un signal d'objet est détecté à l'extérieur de cette zone définie. 15. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que pour détecter des zones de chant (32) reproduites suffisamment grandes des objets, il est prévu un réseau linéaire de capteurs (12) ayant un grand rapport d'aspect des éléments capteurs. 16. Dispositif selon la revendication 15, caractérisé en ce que dans l'unité d'évaluation (14) sont prévus des moyens destinés à calculer des valeurs-seuils convenables pour des signaux d'objet, le calcul des valeurs-seuils se fondant sur une mesure de calibrage de la perte de lumière en cas d'irrégularité connue du chant de l'objet dans la zone de chant (32) détectée. 17. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 16, caractérisé en ce que le dispositif de détection d'objets en forme de disques est prévu en plusieurs exemplaires, les dispositifs individuels étant rangés le long d'une droite parallèle à la direction des objets empilés dans la cassette (2).