Brevet FR2771666A1 — publié le 19990604

SYSTEME ET PROCEDE DE METROLOGIE IN SITU L'invention concerne des machines de finition de surface et concerne, plus particulièrement, un procédé et un appareil pour mesurer in situ une caractéristique dimensionnelle d'une pièce à usiner, alors qu'elle est placée sur une machine de finition de surface et même alors qu'elle est polie ou usinée d'une autre manière par la machine de finition de surface. Dans un mode de réalisation particulièrement préféré, des variations de l'épaisseur optique de la pièce à usiner sont mesurées par un interféromètre, et ces mesures sont utilisées pour contrôler le procédé de finition afin d'obtenir une caractéristique dimensionnelle souhaitée de la pièce à usiner. Les machines de finition de surface sont utilisées dans de nombreuses applications pour polir, meuler, ou usiner d'une autre manière une ou plusieurs surfaces de pièces à usiner faites de verre, de silicium, de métaux, de matières céramiques, etc. Une machine de finition de surface peut être adaptée à la finition d'une pièce à usiner pour obtenir une épaisseur souhaitée, une qualité de front d'onde transmis, une uniformité souhaitée et/ou un profil souhaité. Un type de machine de finition de surface auquel s'applique particulièrement l'invention (mais pas uniquement) est un polissoir à disque. Un polissoir à disque, connu parfois sous le nom de polissoir de Crane, machine à roder, machine de polissage planétaire ou machine de polissage continu, est caractérisé par un qrand plateau tournant présentant une surface de travail supérieure ou un outil de rodage formé par un anneau de guidage. Placés soit directement sur l'outil de rodage, soit légèrement au-dessus de l'outil de 2 2771666 rodage, se trouvent plusieurs anneaux de travail qui sont mis en rotation par des cylindres. Au moins un poste de travail est placé à l'intérieur de chaque anneau de travail pour recevoir une pièce à usiner. Un grand outil plat de conditionnement est placé sur la surface de l'outil de rodage et peut être mis en rotation et translaté radialement pour ajuster la planéité de l'outil de rodage. Durant le fonctionnement, une pièce à usiner est placée dans un poste de travail correspondant (à savoir à l'intérieur d'un anneau de travail correspondant), l'outil de rodage est noyé par une suspension qui contient un abrasif de polissage ou un abrasif de finition, et le plateau tournant est mis en rotation, entraînant de ce fait la rotation des anneaux de travail. La pièce à usiner se déplace avec l'anneau de travail sur l'outil de rodage à une vitesse angulaire qui est synchronisée avec la vitesse de l'outil de travail de sorte que la vitesse relative en moyenne entre l'outil de rodage et chaque endroit de la surface de travail de la pièce à usiner reste constante. Le mouvement relatif entre la pièce à usiner et l'outil de rodage polit les surfaces avant de la pièce à usiner par l'intermédiaire d'une abrasion chimio-mécanique par l'abrasif dans la suspension. Le procédé de polissage doit être suivi et contrôlé avec précaution pour atteindre les résultats souhaités. Par exemple, si la pièce à usiner est un élément en verre destiné à une utilisation comme élément de qualité optique, la topographie de la surface avant ou de travail doit être maintenue à une uniformité et un profil prescrits avec des tolérances inférieures au micron. Afin d'atteindre ce degré de précision de polissage, les effets de l'opération de polissage sur la surface de travail doivent être suivis 3 2771666 avec précaution, et le fonctionnement du polissoir à disque ou d'une autre machine de finition de surface doit être ajusté si le profil de la surface de travail dévie du profil souhaité. Les opérations de suivi et d'ajustement sont laborieuses, itératives et prennent du temps. D'abord, au moins une pièce à usiner (appelée "pièce à usiner échantillon" dans la suite) doit être retirée du polissoir à disque pour être testée. Ensuite, afin d'obtenir une mesure précise du profil permanent de la pièce à usiner échantillon, l'utilisateur de la machine doit attendre un certain temps après avoir retiré la pièce à usiner échantillon du polissoir à disque pour permettre à la pièce à usiner d'atteindre un équilibre dimensionnel. Cette période d'équilibration dépend du matériau et des dimensions de l'élément mais peut typiquement varier de 5 minutes à une heure ou plus. Cette attente provient du fait qu'une pièce à usiner échantillon est initialement déformée par rapport à sa forme isotherme lorsqu'elle est retirée du polissoir à disque à cause 1) de la dilatation thermique due à la chaleur dégagée par frottement pendant le procédé de polissage et 2) de la déformation thermique due à l'évaporation du liquide de la pièce à usiner échantillon. Ensuite, si la surface de travail de la pièce à usiner est plus concave ou plus convexe que voulue (indiquant par conséquent que l'outil de rodage est plus convexe ou plus concave que voulu), l'utilisateur doit ajuster la position radiale de l'outil de conditionnement par rapport à l'outil de rodage d'une quantité estimée pour compenser ce défaut, il doit replacer la pièce à usiner échantillon dans le poste de travail, et il doit attendre que la pièce à usiner soit polie pendant une durée suffisante pour permettre aux effets de l'ajustement du procéde de 4 2771666 finition de se traduire sur la surface de travail de la pièce à usiner. Cette durée varie encore, mais peut être typiquement longue, jusqu'à deux heures. La pièce à usiner échantillon doit ensuite être encore une fois retirée du polissoir à disque, laissée au repos pour atteindre l'équilibre dimensionnel, et mesurée pour confirmer les effets de l'ajustement précédent du procédé de finition. La durée entre le moment o la pièce à usiner est initialement retirée du polissoir à disque pour mesurer la topographie et le moment o l'utilisateur est informé des effets des ajustements provenant de cette mesure de l'opération de polissage peut être de trois heures ou plus. Même l'homme du métier le plus qualifié ne peut pas prédire avec certitude les effets des nombreux ajustements typiques du fonctionnement de la machine de finition. Les ajustements sont typiquement au-delà ou en deçà de l'effet souhaité de sorte que, par exemple, une pièce à usiner qui était initialement trop convexe lors de l'essai initial est trop concave après l'ajustement et l'essai suivant. La mesure et l'ajustement doivent donc être réalisés de façon itérative. Dix à vingt itérations peuvent typiquement être nécessaires pour le polissage d'une pièce à usiner en verre poli avec précision destinée à être utilisée comme élément de qualité optique. Etant donné que chaque itération prend trois heures ou plus, la durée globale du procédé de polissage peut être de trente à soixante heures, voire même plus. Comme la plupart des opérations de finition préalable, telles que le meulage, sont capables de produire des erreurs de planéité de surface de l'ordre de quelques microns, et comme les vitesses d'élimination de la finition sont de l'ordre de 1 micron à l'heure, seul un faible pourcentage de la durée de finition - typiquement 2771666 d'environ deux à trois heures - est nécessaire pour obtenir l'uniformité souhaitée. Par conséquent, un procédé de polissage pourrait être réalisé en une durée aussi courte que deux à trois heures, s'il ne nécessitait aucun ajustement ou si un ajustement en retour pouvait être obtenu instantanément au lieu de prendre dix à vingt fois cette durée ou plus. Le procédé de polissage itératif décrit ci-dessus peut dans certains cas être accéléré à l'aide d'un élément appelé "pastille de contrôle" ou "échantillon témoin" pour les essais. Une pastille de contrôle est typiquement une pièce à usiner qui est très stable et qui n'est pas aussi sensible aux variations de température que les autres "vraies" pièces à usiner polies simultanément dans d'autres postes de travail. Si la pastille de contrôle est maintenue au profil souhaité compte tenu de certaines spécifications, l'utilisateur peut obtenir une certaine garantie que les "vraies" pièces à usiner dans les autres postes de travail possèdent essentiellement le même profil par mesure périodique du profil de la pastille de contrôle. Il n'est donc pas nécessaire de mesurer à chaque fois chaque pièce à usiner. Toutefois, un procédé de mesure et d'ajustement itératif est encore nécessaire, et même la pastille de contrôle doit atteindre un équilibre dimensionnel lors de chaque cycle de mesures avant que son profil ne puisse être mesuré. Le procédé de polissage itératif décrit ci-dessus pourrait être accéléré notablement si les mesures de profil pouvaient être obtenues in situ (c'est-à-dire lorsque la pièce à usiner est usinée sur un polissoir à disque ou dans une autre machine de finition de surface), parce qu'il ne serait plus utile de retirer la pièce à usiner de la machine de finition de surface 6 2771666 et de lui permettre d'atteindre un équilibre dimensionnel avant la mesure. Une technique de métrologie in situ est décrite dans "Extending the Accuracy and Precision of In-Situ Ultrasonic Thickness Measurements", Dunn et Cerino, American Society for Precision Engineering, 1995 Proceedings, volume 12 (l'article de Dunn et Cerino). L'article de Dunn et Cerino propose de mesurer une épaisseur à l'aide d'ultrasons afin d'atteindre une exploitation de précision du retrait de matériau. Plusieurs sondes ultrasoniques sont montées sur la surface arrière ou sur la surface non finie d'une pièce à usiner à polir. Ces sondes émettent chacune une impulsion sonore qui traverse l'épaisseur de la pièce à usiner et retourne à la sonde. La durée des mesures de trajet est ensuite utilisée pour déterminer l'épaisseur de la pièce à usiner au niveau des sondes. Les sondes d'épaisseur ultrasoniques décrites dans l'article de Dunn et Cerino présentent des inconvénients qui limitent leur résolution et qui les rendent impropres à des applications de lentilles optiques et à de nombreuses autres applications dans lesquelles une finition de surface d'extrêmement grande précision est nécessaire. Par exemple, les mesures d'épaisseur ne peuvent être obtenues qu'au niveau des sondes, et il n'est pas pratique ni même possible de couvrir de sondes toute la surface d'une pièce à usiner. Par conséquent, l'épaisseur optique ne peut être mesurée qu'au niveau des sondes et doit être estimée ailleurs. De plus, la vitesse du son dépend larqement des propriétés du matériau à travers lequel le son se propage. Des impuretés, des vides, etc., peuvent être présents dans les pièces à usiner qui les rendent non homogènes. Ces manques d'homogénéité affectent de façon préjudiciable les mesures de 7 2771666 profondeur obtenues à partir de la durée des mesures de trajet. Ces inconvénients et d'autres des mesures d'épaisseur ultrasoniques décrites dans l'article de Dunn et Cerino limitent la résolution de cette technique à environ un à deux microns. Cette résolution est beaucoup trop faible pour de nombreuses applications. Une autre insuffisance des polissoirs à disque classiques et d'autres machines de finition de surface est leur incapacité à empêcher une déformation thermique de la pièce à usiner. Comme indiqué ci- dessus, la pièce à usiner peut subir une dilatation thermique lors de la finition en raison du frottement avec l'abrasif ou avec d'autres éléments ou milieux d'usinage. Une dilatation thermique excessive est indésirable parce que, lorsque la surface avant de la pièce à usiner se déforme en raison de la dilatation thermique, le poids de la pièce à usiner ne sera pas réparti uniformément sur la surface avant. Cette distribution de poids non uniforme conduit à une usure non uniforme lors de l'opération de finition. Afin de limiter les effets préjudiciables de la dilatation thermique sur le procédé de polissage ou sur d'autres procédés de finition, il serait souhaitable d'inclure des mesures pour maintenir les différentiels de température à travers la pièce à usiner à des niveaux acceptables. Par exemple, un polissoir à disque pourrait comprendre un dispositif de contrôle de la température dans son système d'alimentation en suspension qui soit capable d'ajuster la température de la suspension s'écoulant sur l'outil de rodage en réponse à des signaux provenant de capteurs thermiques placées sur l'outil de rodage. Toutefois, les capteurs thermiques actuellement disponibles sont incapables de fournir une indication suffisanmment précise du 8 2771666 différentiel de température à travers la pièce à usiner pour permettre un contrôle précis de la température de la suspension. Un but principal de l'invention est par conséquent de réaliser une métrologie in situ d'une pièce à usiner usinée sur une machine de finition de surface. Un autre but de l'invention est de proposer un procédé qui satisfait au premier but principal, qui détecte des variations d'épaisseur optique d'une pièce à usiner et qui utilise ces changements détectés pour déterminer la topographie de la surface de travail de la pièce à usiner. Selon un premier aspect de l'invention, on atteint ces buts en proposant un procédé de finition d'une pièce à usiner qui comprend 1) le fait de soumettre au moins une surface de la pièce à usiner à un procédé de finition dans une machine de finition et 2) le fait de mesurer une caractéristique dimensionnelle de la pièce à usiner pendant le procédé de finition. L'étape de mesure fait appel à un interféromètre et est réalisée alors que la pièce à usiner est dans la machine de finition et de préférence (mais pas nécessairement) alors que la pièce à usiner est usinée. Un autre but de l'invention est de proposer un procédé qui satisfait au moins au premier but principal de l'invention et qui utilise des résultats de métrologie comme entrées d'un système de contrôle qui ajuste automatiquement ou qui maintient les paramètres opératoires de la machine de finition de surface de façon à obtenir une caractéristique dimensionnelle d'une pièce à usiner de surface souhaitée. Cet ajustement pourrait comprendre l'achèvement de l'opération de finition lorsqu'on détermine que la piece à usiner présente la caractéristique dimensionnelle souhaitée. 9 2771666 Si, par exemple, la machine de finition est un polissoir à disque comprenant un plateau rotatif, un outil de rodage qui est placé sur le plateau et un outil de conditionnement rotatif qui est supporté par l'outil de rodage et qui peut se déplacer radialement par rapport au plateau pour modifier un profil de l'outil de rodage, l'étape d'ajustement peut comprendre la modification de la position de l'outil de conditionnement radialement par rapport au plateau pour modifier le profil de l'outil de rodage. Un autre but encore de l'invention est de proposer un procédé qui satisfait au moins au premier but principal et qui utilise les résultats de métrologie pour calculer une différence de température à travers la pièce à usiner. Selon un autre aspect de l'invention, ce but est atteint 1) par mesure de la déformation thermique de la pièce à usiner à l'aide des résultats de l'étape de mesure et 2) par détermination d'une différence de température à travers la pièce à usiner à partir de la déformation thermique mesurée. Le différentiel de température peut ensuite être réduit ou supprimé, par exemple par modification de la température d'une suspension circulant à travers la machine de finition. Un deuxième but principal de l'invention est de proposer un système qui comprend une machine de finition de surface et un interféromètre spécialisé capable de réaliser une métrologie in situ de pièces à usiner usinées par la machine de finition de surface. Selon un autre aspect encore de l'invention, ce but est atteint par l'obtention d'un système comprenant 1) une machine de finition comprenant un poste de travail recevant une pièce à usiner à soumettre à une opération de finition et 2) un interféromètre qui est 3D placé par rapport au poste de travail de façon à 2771666 réaliser une métrologie in situ de la pièce à usiner placée dans le poste de travail. On se munit de préférence d'un dispositif de contrôle qui est couplé à l'interféromètre et qui produit un signal de sortie en réponse au fonctionnement de l'interféromètre. Le signal de sortie peut être un signal discernable par l'homme indiquant une caractéristique dimensionnelle, telle que le profil de la surface de travail de la pièce à usiner. En variante, le signal de sortie peut être un signal de contrôle qui contrôle au moins un paramètre opérationnel de la machine de finition. Si la machine de finition est un polissoir à disque, le dispositif de contrôle peut être couplé électroniquement à l'outil de conditionnement du polissoir à disque et peut fonctionner de façon à modifier automatiquement la position radiale de l'outil de conditionnement par rapport au plateau à partir de signaux reçus depuis l'interféromètre. Le dispositif de contrôle peut aussi fonctionner à l'aide de signaux provenant de l'interféromètre afin de déterminer une différence de température à travers la pièce à usiner, et afin que le système d'alimentation en suspension du polissoir à disque modifie automatiquement la température de la suspension mise en circulation par le système d'alimentation afin de réduire ou de supprimer la différence de température à travers la pièce à usiner. Ces buts, caractéristiques et avantages, et d'autres, de l'invention apparaîtront à l'homme du métier à la lecture de la description détaillée suivante et des dessins annexés. On comprendra, toutefois, que la description détaillée et les exemples spécifiques, bien que représentant des modes de réalisation préférés de la présente invention, sont donnés à titre d'illustration et non de limitation. De nombreux changements et de nombreuses modifications peuvent être réalisés dans le cadre de la présente invention sans sortir de l'esprit de celle-ci, et l'invention comprend toutes ces modifications. Un exemple de mode de réalisation préféré de l'invention est illustré dans les dessins annexes dans lesquels des numéros de référence identiques représentent des pièces identiques dans tous les dessins et dans lesquels: la figure 1 est une vue latérale verticale schématique d'une machine de finition de surface et d'un système de métrologie in situ associé construit selon un mode de réalisation préféré de l'invention; la figure 2 est une vue plane schématique de dessus de la machine de finition de surface et d'une partie du système de métrologie in situ de la figure 1; la figure 3 représente schématiquement un système de contrôle de la machine de finition de surface et du système de métrologie in situ des figures 1 et 2; la figure 4 illustre schématiquement les premières et deuxièmes réflexions de surface d'une pièce à usiner soumise à une métrologie in situ à l'aide de la machine de finition de surface et du système de métrologie in situ des figures 1 et 2; les figures 5A à 5H sont des représentations schématiques d'interférogrammes de Fizeau obtenus in situ pendant l'opération de polissage de surface réalisée selon un mode de réalisation préféré de la présente invention; la figure 6 est un schéma de principe d'un procédé d'ajustement automatique en boucle fermée d'une opération de finition utilisant des résultats de 12 2771666 métrologie in situ en tant que signaux de contrôle du procédé de finition; la figure 7 illustre schématiquement une déformation thermique d'une pièce à usiner circulaire plate; les figures 8A, 8B; 9A, 9B; et 10A, lOB illustrent l'évolution d'une déformation d'une pièce à usiner lorsqu'elle est usinée sous l'influence d'un différentiel de température radial; et la figure 11 est un schéma de principe d'un procédé de contrôle automatique de la température de la suspension d'une machine de finition utilisant des résultats de métrologie in situ en tant que signaux de contrôle du procédé de contrôle de la température. Selon l'invention, au moins une caractéristique dimensionnelle d'une pièce à usiner est mesurée, in situ, alors qu'au moins une surface de la pièce à usiner est soumise à une opération de finition. Les mesures sont obtenues à l'aide d'un interféromètre qui produit des fronts d'onde d'interférence réfléchis par les surfaces avant et arrière de la pièce à usiner. Des variations de l'épaisseur optique de la pièce à usiner peuvent être déterminées à partir de l'interférogramme résultant. Les données d'épaisseur optique résultantes peuvent être utilisées directement et/ou combinées avec d'autres données acquises précédemment sur la pièce à usiner afin d'obtenir une information concernant une caractéristique dimensionnelle souhaitée de la pièce à usiner. Cette caractéristique dimensionnelle peut être l'uniformité de l'épaisseur optique, l'égalité de la surface de travail et/ou le profil de la surface de travail. Ces mesures peuvent être ensuite utilisées pour arrêter le procédé de finition a un moment optimum et/ou pour contrôler le fonctionnement de la machine de finition de surface. La différence de température entre 13 2771666 une surface de travail d'une pièce à usiner et la surface opposée à celle-ci peut aussi être déduite des résultats de métrologie lorsqu'elle est mesurée en conjonction avec un échantillon témoin ou à une pastille de contrôle qui présente une caractéristique de déformation thermique différente en raison d'une épaisseur différente ou d'un coefficient de dilatation thermique différent. De préférence, l'échantillon témoin ou la pastille de contrôle doit être fabriqué à partir d'un matériau qui est relativement insensible aux variations de température par rapport à la pièce à usiner. Ce différentiel de température peut ensuite être utilisé pour contrôler la température d'un paramètre du procédé de finition telle que la température de la suspension. Le centre de l'invention est l'incorporation d'un interféromètre dans un système de finition de surface de façon à ce que l'interféromètre puisse obtenir in situ des mesures d'une ou de plusieurs caractéristiques dimensionnelles d'une pièce à usiner, dans la mesure o au moins une surface de la pièce à usiner est polie ou usinée d'une autre manière par la machine de finition de surface. L'invention peut s'appliquer à toute machine de finition de surface qui possède un poste de travail dans lequel au moins une surface d'une pièce à usiner est rodée, meulée, polie ou usinée d'une autre manière, et qui peut recevoir au moins périodiquement un faisceau incident de lumière cohérente provenant d'une source lumineuse de l'interféromètre. Les machines de finition de surface auxquelles l'invention peut s'appliquer englobent, par exemple, les machines de polissage à disque, les machines de polissage à ions, les machines de meulage à ions, les Chemo- Mecanical Polishing (CMP) Machines, les machines de polissage CNC ayant des outils de polissage sur une 14 2771666 broche assistée par un ordinateur, des machines à une seule pointe de diamant rotative et des machine de polissage à une seule broche. La position de la pièce à usiner par rapport au ou aux composants opératoires d'une machine de finition associée varie significativement d'une application à l'autre. Dans certaines applications, la pièce à usiner est supportée sur un outil de rodage ou sur une structure similaire. Dans d'autres applications, la pièce à usiner est maintenue par une broche ou par un bras. Dans un souci de commodité, les pièces à usiner seront considérées comme étant "sur" une machine de finition, étant entendu que ce "sur" est censé comprendre toute relation de position entre une pièce à usiner et un composant de fonctionnement d'une machine de finition dans laquelle le composant de fonctionnement est capable de réaliser une opération de finition sur la pièece à usiner. Les pièces à usiner usinées par les machines de finition englobent, par exemple, les pastilles de silicium, les éléments optiques métalliques, et les pièces à usiner en céramique ou en verre telles que les miroirs optiques, les plats, les prismes ou les fenêtres. Ces types de pièces à usiner peuvent être considérés comme de "vraies" pièces à usiner. Une pièce à usiner pourrait aussi comprendre un élément appelé "pastille de contrôle" ou "pastille témoin" qui est usinée avec la ou les vraies pièces à usiner et qui est suivie pour déterminer des changements correspondants au niveau de la ou des vraies pièces à usiner. La métrologie in situ de pastilles de contrôle à la place de ou en plus des "vraies" pièces à usiner peut être préferée dans certains cas. Par exemple, si une connaissance precise de la caractéristique mesurée de chaque "vraie" pièce n'est pas essentielle, Je suivi 2771666 peut être simplifié par simple suivi d'une seule pastille de contrôle contrairement au suivi de multiples pièces à usiner. En outre, lorsqu'on contrôle une déformation thermique due à un différentiel de température à travers la pièce à usiner, on préfère évaluer une pastille de contrôle qui est relativement thermiquement insensible par rapport aux "vraies" pièces à usiner, de sorte que l'on peut différentier les déformations dues à des différentiels de température des déformations dues à un manque de planéité de l'outil de rodage comme évoqué en détail ci-dessous. Une pastille de contrôle peut aussi être utilisée pour une métrologie in situ dans des applications dans lesquelles les "vraies" pièces à usiner sont opaques à un rayonnement. Par conséquent, le terme "pièce à usiner", tel qu'on l'entend ici, est censé globalement inclure les "vraies" pièces à usiner, une pièce à usiner choisie parmi plusieurs, et/ou une pastille de contrôle ou une pastille témoin. A titre d'exemple pratique, l'invention va être principalement décrite en conjonction avec un système de polissage 20 illustré schématiquement sur les figures 1 à 4. Ce système de polissage comprend 1) un polissoir à disque 22 et 2) un système de métrologie in situ 24. Le système de métrologie in situ 24 comprend un interféromètre 26 et un système de suivi/contrôle 28. Chacun de ces composants va maintenant être décrit en détail. Le polissoir à disque 22 (appelé parfois machine de polissage à disque, polissoir de Crane, machine à roder, machine de polissage planétaire ou machine de polissage continu) est classique et bien connu de l'homme du métier. Il comprend en tant que composants principaux un plateau tournant 30, un assemblage de disques 32, un outil de conditionnement 34 et un 16 2771666 système d'alimentation en suspension 36. Le plateau tournant 30 est une structure circulaire qui est relativement grande - ayant typiquement un diamètre d'un à plusieurs pieds. Le plateau tournant 30 est fabriqué à partir d'un matériau extrêmement rigide tel qu'une seule dalle de granite ou une plaque métallique. Un outil de rodage 38 est placé sur la surface supérieure du plateau tournant 30 et sert de surface de finition du polissoir à disque 22.L'outil de rodage 38 est fabriqué à partir d'une couche d'un matériau viscoélastique placée sur la dalle du plateau tournant. Le matériau typique de l'outil de rodage est suffisamment liquide pour permettre de lui donner une forme souhaitée mais suffisamment visqueux pour conserver sa forme pendant des durées substantielles pendant l'opération de polissage. Il est aussi suffisamment poreux pour permettre à l'abrasif de la suspension alimentée par le système d'alimentation en suspension 36 d'être noyé dans sa surface supérieure ou de polissage. Un pas de polissage optique est souvent utilisé ainsi qu'une mousse de polyuréthane. En se référant aux figures 1 et 2, l'assemblage de disques 32 est monté sur le plateau tournant 30 et transporte les pièces à usiner W sur la surface de l'outil de rodage 38. L'assemblage de disques 32 comprend une pluralité de disques de travail 40 qui sont montés sur l'outil de rodage 38 et qui sont entraînés par des cylindres (non représentés) pour tourner par rapport à l'outil de rodage 38. Une pluralité (trois dans le mode de réalisation illustré) de ces disques de travail 40 sont espacés en circonférence autour de l'outil de travail 38 avec un espace substantiel circonférenciel formé entre deux des disques de travail pour recevoir l'outil de conditionnement 34. 17 2771666 L'intérieur des disques de travail 40 définit des postes de travail pour recevoir les pièces à usiner W. Chaque poste de travail peut comprendre un espace intérieur ouvert d'un disque de travail 40 correspondant comme illustré, ou peut comprendre, en variante, un bouchon en métal, en plastique ou en résine phénolique (non représenté) qui est placé à l'intérieur du disque de travail 40 correspondant et qui maintient une pièce à usiner correspondante. Les cylindres d'entraînement des disques de travail 40 sont contrôlés de telle sorte que, lorsque le plateau tournant 30 tourne et que les disques de travail 40 tournent sur l'outil de rodage 38, les pièces à usiner W tournent à une vitesse angulaire synchronisée par rapport à l'outil de rodage 38. Cette rotation synchronisée est importante parce que, lorsqu'elle est synchronisée, il est possible d'obtenir une usure égale sur toute la surface de travail de chaque pièce à usiner W alors que, même avec une petite différence de vitesse angulaire, un gradient d'usure radial existera sur la surface de travail. Les considérations de conception pour obtenir une rotation synchronisée ne font pas partie en soi de la présente invention. Les personnes intéressées par l'obtention d'une rotation synchronisée peuvent se référer, par exemple, à Annular Lapping of Precision Optical Flatware, Cooke et al., Optical Engineering, volume 15, N 5, septembre-octobre 1976 (l'article de Cooke et al.). Le but de l'outil de conditionnement 34 (parfois connu dans la technique sous le nom de coercitif, de sphère ou d'outil à dégauchir) est de contrôler la planéité de l'outil de rodage 38 de façon à usiner la surface de l'outil de rodage pour obtenir un profil souhaité. Ce profil sera typiquement, mais pas nécessairement, plat. L'outil de conditionnement 34 18 2771666 illustré est typique de ceux trouvés dans la technique. Il comprend un grand élément circulaire, dur, aux dimensions stables, qui repose sur l'outil de rodage 38. L'outil de conditionnement 34 a 1) un diamètre qui est globalement équivalent au rayon du plateau tournant et 2) est placé de façon excentrique par rapport au plateau tournant 30 de façon à déborder du bord du plateau tournant 30, comme le montre la figure 2. L'outil de conditionnement 34 est mis en rotation par un mécanisme d'entraînement convenable (non représenté) et peut aussi être translaté radialement par rapport au plateau tournant 30 de manière connue, comme l'illustrent les flèches sur la figure 2. Le mouvement radial de l'outil de conditionnement 34 par rapport à l'outil de rodage 38 modifie le caractère concave ou convexe de la surface de l'outil de rodage. Le caractère concave de la surface de l'outil de rodage augmente lorsque l'outil de conditionnement 34 se déplace radialement vers l'intérieur et diminue lorsque l'outil de conditionnement 34 se déplace radialement vers l'extérieur. Le système d'alimentation en suspension 36 envoie une suspension sur l'outil de rodage 38 en boucle fermée. La suspension comprend de l'eau ou un autre liquide convenable qui contient un abrasif ou une autre substance abrasive. Une partie de l'abrasif est noyée dans les pores de la surface supérieure de l'outil de rodage 38, alors qu'une autre partie de l'abrasif roule ou se déplace entre la surface supérieure de l'outil de rodage 38 et les pièces à usiner W, de sorte que les pièces à usiner W soient polies à la fois par l'interaction chimique du fluide et/ou par l'abrasion avec l'abrasif qui roule et par abrasion avec l'abrasif statique. Le système d'alimentation en suspension 36 comprend un réservoir de suspension 42 et un assemblage 19 2771666 d'un dispositif de chauffage/refroidissement de la suspension 44. Le réservoir de suspension 42 a une entrée reliée à l'outil de rodage 38 et une sortie reliée à l'assemblage d'un dispositif de chauffage/refroidissement 44. L'assemblage d'un dispositif de chauffage/refroidissement 44 a une entrée reliée à la sortie du réservoir de suspension 42 et une sortie reliée à l'outil de rodage 38. Placés entre et/ou à l'intérieur du réservoir de suspension et l'assemblage d'un dispositif de chauffage/refroidissement 44 se trouvent 1) une pompe qui envoie la suspension à travers le système d'alimentation en suspension 36, et 2) un dispositif de contrôle de la température de la suspension qui peut comprendre un dispositif de chauffage et de refroidissement séparé ou un seul dispositif capable de réaliser les deux fonctions. L'interféromètre 26 peut comprendre n'importe quel système capable de 1) projeter un faisceau lumineux concentré sur un poste de travail (c'est-à-dire à l'intérieur d'un disque de travail 40), 2) recombiner des fronts d'onde provenant de la pièce à usiner W et 3) analyser le faisceau lumineux recombiné. L'interféromètre 26 du mode de réalisation illustré comprend, en tant que composants principaux, un cadre principal 50 et un miroir dépliable 52. Toutefois, comme indiqué ci-dessous, la pièce à usiner W peut être considérée comme une partie de l'interféromètre 26 parce qu'elle produit des fronts d'onde d'interférence. Le cadre principal 50 est monté sur une plate-forme de cadre principal 54 qui est placée au-dessus du plateau tournant 30 mais qui est espacée radialement de celui- ci. La plate-forme 54 illustrée est montée sur un chariot mobile 56 qui loge aussi le système de suivi/contrôle 28. 2771666 Le cadre principal 50 peut aussi comprendre tout interféromètre disponible dans le commerce convenable tel qu'un interféromètre GPI fabriqué et vendu par Zygo Corp. Ce cadre principal typique comprend une source lumineuse telle qu'un laser, un dispositif de divergence spatial filtre-faisceau qui détourne le faisceau laser produit par le laser sur un front d'onde sphérique divergent, un dispositif de décomposition de faisceau qui détourne une partie du front d'onde divergent provenant du filtre-faisceau, et une lentille de collimateur qui concentre le front d'onde provenant du dispositif de divergence afin de produire un front d'onde concentré d'une lumière cohérente qui est transmise au miroir dépliable 52. Aussi inclus dans le cadre principal 50 se trouve un dispositif de formation d'images tel qu'une caméra fixe qui reçoit les fronts d'onde envoyés par la pièce à usiner W et réfléchis par le dispositif de décomposition de faisceau et qui produit des images du motif d'interférence résultant. Le fonctionnement du dispositif de formation d'images et de la source lumineuse est contrôlé par un processeur électronique interne qui est couplé électroniquement à la fois au dispositif de formation d'images et à la source lumineuse. Un interféromètre ayant tous les composants décrits ci-dessus du cadre principal 50 de ce type est décrit dans le brevet américain N 4 594 003 de Sommargren (le brevet de Sommargren), dont les parties pertinentes sont expressément citées ici à titre de référence. On doit toutefois reconnaître que l'élément décrit comme étant un "interféromètre de type Fizeau" et désigné par le numéro 25 dans le brevet de Sommargren est remplacé dans la présente invention par la piece à usiner W dans la mesure o, comme l'interféromètre de type Fizeau 25 décrit dans le brevet de Sommargren, la pièce à usiner 21 2771666 W définit une cavité d'interférence de façon à recevoir un front d'onde plan et à réfléchir des fronts d'onde d'interférence vers la lentille de collimateur puis au dispositif de décomposition de faisceau. Le miroir dépliable 52 est monté sur un support convenable au-dessus du plateau tournant 30 et est placé selon un angle tel que le faisceau concentré provenant de la lentille de collimateur soit dévié d'un angle de 90 et soit dirigé de haut en bas comme le représentent les lignes fantômes sur la figure 1 et sur une partie de l'outil de rodage 38 qui est traversée par les postes de travail pendant le fonctionnement du polissoir à disque 22. Le miroir dépliable 52 reçoit aussi les faisceaux ou les fronts d'onde réfléchis par les surfaces avant et arrière opposées S1 et S2 de la pièce à usiner W et dévie ces faisceaux de façon à les renvoyer vers le cadre principal GPI 50. Le miroir dépliable 52 pourrait être, de façon concevable, éliminé en plaçant le cadre principal GPI 50 directement au-dessus du plateau tournant 30. L'arrangement illustré et décrit est toutefois préféré parce qu'un miroir dépliable 52 peut être monté au- dessus du plateau tournant 30 sensiblement plus facilement que ne peut être monté un cadre principal GPI au-dessus d'un plateau tournant. Le système de suivi/contrôle 28, illustré schématiquement sur la figure 3, est conçu pour utiliser des résultats de métrologie in situ (obtenus lors du fonctionnement de l'interféromètre 26) pour donner une indication sur l'état de l'opération de polissage et/ou pour contrôler le fonctionnement du polissoir à disque 22. Le système de suivi/contrôle 28 comprend en tant que composants principaux de celui-ci, un dispositif de traitement de données de métrologie 60, un dispositif de traitement des commandes de 22 2771666 contrôle 62, un dispositif de contrôle de la machine de finition 64, un dispositif de suivi ou d'affichage 66, et des premier et deuxième dispositifs d'entrée 68 et 70. Le dispositif de traitement des données de métrologie 60 est un microprocesseur numérique tout usage qui a des première et deuxième entrées et au moins une sortie. Les première et deuxième entrées reçoivent des premier et deuxième signaux provenant respectivement du cadre principal GPI 50 et du premier dispositif d'entrée 68. Le premier signal d'entrée est représentatif d'une variation captée de l'épaisseur optique de la pièce à usiner W mesurée par l'interféromètre 26. Le deuxième signal d'entrée, entrant dans le premier dispositif d'entrée 68 manuellement ou autre, porte une information concernant les paramètres dimensionnels de départ ou permanents de la pièce à usiner W. Cette donnée peut fournir une information sur 1) le profil de départ des surfaces avant et/ou arrière S1 et S2 de la pièce à usiner W, 2) le coefficient de dilatation thermique de la pièce à usiner et/ou de la pastille de contrôle, 3) l'homogénéité de l'indice de réflexion de la pièce à usiner W, etc. Le dispositif de traitement des données de métrologie 60 combine les premier et deuxième signaux afin de produire des signaux portant une information sur une ou plusieurs caractéristiques dimensionnelles de la pièce à usiner W telles que la topographie de surface, l'uniformité d'épaisseur, la déformation thermique et des variations de celles-ci. Le dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 peut comprendre n'importe quel dispositif de traitement programmable convenable capable de recevoir des signaux provenant du dispositif de traitement des données de métrologie 60 et du deuxième 23 2771666 dispositif d'entrée 70 et de combiner ces signaux pour produire des signaux de commande pour contrôler le fonctionnement du polissoir à disque 22. Les signaux provenant du deuxième dispositif d'entrée 70 sont indicatifs d'une ou de plusieurs caractéristiques dimensionnelles souhaitées de la pièce à usiner telles que l'uniformité souhaitée de l'épaisseur optique de la pièce à usiner, l'égalité souhaitée de la surface de travail ou avant Si de la pièce à usiner W, et/ou le profil souhaité de la surface finie ou avant S2. Le dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 combine ces signaux pour produire un signal de commande de la machine de finition et transmet ce signal au dispositif de contrôle de la machine de finition 64. Les signaux peuvent aussi, le cas échéant, être stockés dans le dispositif de suivi 66 pour un affichage. Le dispositif de contrôle de la machine de finition 64 peut comprendre tout dispositif de contrôle convenable capable de recevoir des signaux provenant du dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 et d'utiliser ces signaux pour contrôler le fonctionnement d'un ou de plusieurs composants du polissoir à disque 22 pour produire la ou les caractéristiques dimensionnelles souhaitées de la pièce à usiner 22. Les signaux de sortie provenant du dispositif de contrôle de la machine de finition 64 sont utilisés pour ajuster la position radiale de l'outil de conditionnement 34 par rapport à l'outil de rodage 38 et/ou pour ajuster le fonctionnement du système d'alimentation en suspension 36 pour ajuster la température ou le débit de la suspension. Par conséquent, le système de suivi/contrôle 28 utilise les mesures provenant du système de métrologie in situ 24 pour mesurer une ou plusieurs caractéristiques dimensionnelles de la piece à usiner W 24 2771666 et utilise ensuite cette mesure pour contrôler le fonctionnement du polissoir à disque 22 pour obtenir une ou plusieurs caractéristiques dimensionnelles souhaitées de la pièce à usiner W. La manière permettant d'obtenir ces mesures et des exemples du contrôle résultant vont maintenant être détaillés. En se référant maintenant à la figure 4, lors de la métrologie in situ, un faisceau de lumière cohérente est dirigé depuis le miroir dépliable 52 vers l'outil de rodage 38 du polissoir à disque 22 sous forme d'une pluralité de rayons, dont deux sont illustrés schématiquement respectivement par R1 et R2. Lorsque le poste de travail tourne vers une position dans laquelle une pièce à usiner W est placée sur le trajet du faisceau, comme l'illustre la figure 4, chacun des rayons est réfléchi par la surface avant ou de travail S1 et par la surface arrière S2 de la pièce à usiner associée W respectivement sous forme de premier et second fronts d'onde. Le cadre principal GPI 50 combine les premier et second fronts d'onde pour former des franges d'interférence de Fizeau qui fournissent une indication sur la différence de trajet optique à partir de laquelle t peut être déduit. L'intensité combinée des deux fronts d'onde d'interférence est décrite mathématiquemipent par l'équation (1): il + / + 2>A1 I 'a, a2cos(çb -) Equation 1 dans laquelle: Il et 12 sont les intensités des fronts d'onde réfléchis par les surfaces S1 et S2; ai et a2 sont des vecteurs unitaires décrivant la direction de Polarisation; et ib et à2 sont respectivement les phases des fronts d'onde. 2771666 On peut observer d'après l'équation (1) que l'intensité des fronts d'onde combinés varie en fonction de la différence de phases (6=I2) des fronts d'onde individuels. Lorsque la différence de phases est égale à 2mt (o m est un nombre entier), l'intensité est maximale. D'autre part, lorsque la différence de phases est égale à 2(m+ 1/2)n, l'intensité est minimale. La différence de phases 5 peut par conséquent être exprimée en termes 1) d'angle formé entre la direction de propagation des deux fronts d'onde réfléchis par les surfaces Si et S2, 2) de la différence de trajet optique (DTO) subie par les deux fronts d'onde, et 3) le changement de phase subi par chaque front d'onde lors de la réflexion. Cette relation est exprimée par l'équation (2): 4, zn =(01 -02)= I COS0 x Equation 2 dans laquelle: n est l'indice de réfraction de la pièce à usiner; ?. est la longueur d'onde des fronts d'onde d'interférence; t est l'épaisseur géométrique de la pièce à usiner; O est l'angle formé entre les fronts d'onde réfléchis; et I est le changement de phase lors de la réflexion. Par conséquent, une différence de phase 6 des fronts d'onde combinés est observée lorsque l'épaisseur optique de la pièce à usiner W varie autour de sa zone de surface ou, en variante, lorsque l'anqgle entre les surfaces avant et arrière Si et S2 de la pièce à usiner varie. 26 2771666 On peut donc déterminer les critères des franges d'interférence en fonction de l'angle de déviation entre les surfaces Sl et S2 de la pièce à usiner et en fonction des variations de l'épaisseur optique de la pièce à usiner sur sa zone de surface en fixant les conditions d'intensité maximale et minimale en utilisant les équations (3) et (4) suivantes: tO XI (m+1/Equation 3 2na) dans laquelle: a est l'angle de déviation de la pièce à usiner; et X est la distance entre des maxima successifs à partir de l'ordre zéro. a= /2AX Equation 4 dans laquelle: AX est la distance séparant des maxima successifs (franges sombres). De même, en écrivant l'équation 2 en termes de différence de trajet optique (DTO), et en fixant les conditions d'intensité pour que les maxima et les minima soient égaux, on obtient l'équation (5) suivante: I =(re+I/2)- Equation 5 n dans laquelle: tm est la différence d'épaisseur de la pièce à usiner pour divers maxima. Par conséquent, une frange se produira à chaque fois que l'épaisseur optique (eo) de la pièce à usiner varie d'un multiple de k/2 Il existe trois sources de contribution principales du DTO, à savoir 1) les différences de hauteur (At1) de la surface avant ou de travail Si; 2) les differences de hauteur (All) de la surface arrière ou non finie S2; et 3) le: différences d'homogénéité 2 7 2771666 de d'indice de réfraction du produit (An). Les variations de l'épaisseur At de la pièce a usiner W peuvent être considérées comme des variations combinées de l'épaisseur Ati de la surface avant Sl et des variations de l'épaisseur At2 de la surface arrière S2. Les variations de l'indice de réfraction peuvent être décrites par An. La différence de trajet optique d'un double passage (DTO) de deux rayons R1 et R2 de la figure 4 peut par conséquent être caractérisée par l'interférence de franges de Fizeau de la manière suivante: DTO de Fizeau = 2(nA1inA 1A2 +An) Equation 6 La DTO de Fizeau peut être calculée manuellement ou automatiquement à partir de la mesure de l'interféromètre et est, par conséquent, un facteur connu. Par conséquent, si l'on connaît deux quelconques des trois constituants de la partie de sommation de l'équation 6, on peut réécrire l'équation 6 de façon à trouver le troisième, permettant ainsi la mesure d'une caractéristique dimensionnelle de la pièce à usiner (en supposant qu'une mesure autre qu'une variation d'épaisseur optique est souhaitée) et il est donc nécessaire d'utiliser l'équation (6). Par exemple, dans le cas d'une opération de polissage typique dans laquelle la surface avant Sl de la pièce à usiner W est polie ou usinée par un autre moyen pour atteindre une planéité inconnue, l'indice de réfraction n, la variation d'indice de réfraction An et la variation de planéité de la surface arrière S2 de la pièce à usiner W peuvent être déterminés au préalable à l'aide d'un autre interféromètre et stockés dans le premier dispositif d'entrée 68 du système de contrôle/suivi 28 en tant que conditions de départ de la pièce à usiner W. 28 2771666 La planéité inconnue de la surface avant S1 peut être déterminée selon l'équation 7: Ai, =2[(nAl, +nAi2 +An) -(nAl2 + Ant)]/2n Equation 7 L'équation 7 indique que l'erreur de DTO de Fizeau moins les contributions au DTO pré-déterminée de l'erreur de planéité de la surface arrière et du manque d'homogénéité de l'indice de réfraction est supérieure à l'erreur de planéité de la surface avant d'un facteur n. Etant donné que n est substantiel pour la plupart des matériaux, l'augmentation de l'erreur résultante permet une résolution relativement élevée. Par exemple, pour un matériau de pièce à usiner constitué de silice fondue, 1/10 d'onde de l'erreur de DTO de Fizeau est égal à 1/14,6 d'onde de l'erreur de planéité. Comme le décrit l'équation 5, des franges clairement définies n'apparaissent que lorsqu'il existe une variation d'épaisseur d'au moins k/2. Lorsque cette variation d'épaisseur est due uniquement à un angle de déviation global existant entre les deux surfaces de la pièce à usiner, une frange droite apparaît pour chaque multiple de changement d'épaisseur de J2. Lorsque la variation d'épaisseur est due à la fois à l'irrégularité de déviation et de surface ou d'indice de réfraction, les franges apparaissent courbes ou présentent une autre irrégularité. La rectitude des franges d'interférence observées peut donc être interprétée pour déterminer l'irrégularité des variations d'épaisseur et le nombre de franges apparaissant dans une certaine zone peut être interprété pour déterminer l'amplitude de la déviation. L'irrégularité des variations d'épaisseur peut donc être transformée en une mesure de la "planéité" par placement des centres de frange et par étalement des points de données sur les franges. Les points de données peuvent ensuite être réunis pour donner une 29 2771666 courbe pour construire une carte de surface indiquant l'erreur de planéité. Toutefois, si les surfaces avant et arrière sont complètement parallèles, il n'existe pas d'angle de déviation, et aucune "frange" clairement définie n'apparaît. En fait, une distribution irrégulière d'intensité est visible dans les zones o il existe des variations d'épaisseur. Cette distribution irrégulière d'intensité peut être difficile à interpréter. En outre, même lorsqu'il existe un angle de déviation, le nombre de points de données qui peuvent être tracés et, par conséquent, la précision de la correspondance de surface dépend du nombre de franges et, par conséquent, de l'amplitude de l'angle de déviation. Si l'angle de déviation est trop grand, l'espace entre les franges sera trop faible et les franges ne pourront pas être résolues. L'exigence d'un angle de déviation d'une certaine amplitude entre les surfaces avant et arrière S1 et S2 de la pièce à usiner W pourrait grandement limiter le procédé. Par conséquent, et selon un mode de réalisation particulièrement préféré de l'invention, un autre procédé de calcul de la DTO de Fizeau consiste à utiliser une interférométrie à modulation de phase (IMP), parfois connue sous le nom d'interférométrie de déplacement de phase (IDP). Dans l'IMP, la différence de phase entre la lumière reçue en deux pixels d'un dispositif de formation d'images est utilisée pour déterminer la différence de hauteur entre deux endroits d'une surface étudiée correspondant aux deux pixels. La modulation de phase ou déplacement de phase est habituellement atteinte par variation du trajet optique de l'écartement du faisceau lumineux étudié entre les deux surfaces formant les frontières de la cavité d'interférence pendant l'acquisition des données. Toutefois, il est impossible de faire varier les 2771666 distances entre les surfaces de frontière de cavité d'interférence dans le cas présent parce que la cavité d'interférence est définie par les surfaces avant et arrière opposées Si et S2 de la pièce à usiner W et parce que les surfaces S1 et S2 ne peuvent pas être déplacées dynamiquement l'une par rapport à l'autre. Toutefois, il est aussi possible de moduler la phase en modulant la longueur d'onde de la source lumineuse afin de produire un effet équivalent. La modulation de phase par modulation de la longueur d'onde de la source lumineuse est décrite dans le brevet de Sommargren qui, comme déjà indiqué ci-dessus, est cité ici à titre de référence. En supposant 1) que l'erreur de planéité de la surface avant ou non finie S2 de la pièce à usiner W est inexistante ou connue et peut être par conséquent éliminée d'un motif d'interférence analysé et 2) que les différences d'indice de réfraction d'une pièce à usiner sont inexistantes ou sont connues et peuvent par conséquent être éliminées du motif d'interférence analysé, des mesures par interférométrie peuvent produire une image in situ de la surface de travail, c'est-à-dire lorsqu'elle est soumise à un polissage ou à une autre opération de finition. Il est par conséquent possible d'observer des changements de DTO de Fizeau et de calculer et d'observer les changements correspondants du profil de la surface avant Si de la pièce à usiner lorsqu'elle est usinée. De façon spécifique, les franges d'interférence observées sur une pièce à usiner légèrement déviées seront plus parallèles lorsque la surface avant ou de travail Si sera polie et deviendront plus droites lorsque qu'une surface de travail convexe ou concave S1 deviendra plus plane. Dans une pièce à usiner parfaitement parallèle avec une variation d'épaisseur maximale de k/2, le 3 1 2771666 motif d'interférence aura simplement une intensité plus uniforme. Les interférogrammes obtenus à l'aide de cette technique et acquis lorsqu'une pièce à usiner W est polie sur le polissoir à disque 22 sont illustrés schématiquement sur la figure 5A à la figure 5H. La figure 5A illustre que, au début du procédé, les franges d'interférence observées FA présentent un motif extrêmement irrégulier dans lequel elles sont fortement courbes et fortement non parallèles. Ce motif traduit une surface irrégulièrement courbe. Les interférogrammes des figures 5B à 5F (obtenus respectivement 10 minutes, 30 minutes, 60 minutes, 90 minutes et 100 minutes après le début du procédé de polissage) illustrent que, lorsque la surface avant Sl devient plus lisse et plus plane à mesure qu'elle est polie, les franges d'interférence observées FB à FF deviennent plus parallèles et plus droites. La figure G, obtenue environ 105 minutes après le début du procédé de polissage, illustre un motif d'interférence o les franges d'interférence observées FG sont pratiquement parfaitement parallèles et parfaitement droites, indiquant de ce fait que la surface de travail de la pièce à usiner W est très lisse et très plate. Aucun polissage supplémentaire n'est nécessaire à ce stade. La figure 5H représente un interférogramme obtenu 110 minutes après le début du procédé de finition - seulement cinq minutes après l'obtention de l'interférogramme de la figure 5G. Les franges d'interférence courbes FH de ce dessin illustrent une situation dans laquelle le caractère concave ou convexe de l'outil de rodage 38 du polissoir à disque 22 fait que la surface avant ou de travail 82 de la pièce à usiner W dépasse son profil plan souhaité et prend un profil concave ou convexe. Un paramètreopérationnel du polissoir a disque 22 (tel que la position de l'outil 32 2771666 de conditionnement 34) doit maintenant être ajusté pour compenser cette erreur. Une comparaison de l'interférogramme de la figure G avec l'interférogramme de la figure 5H illustre que la durée pendant laquelle une pièce à usiner W présente un profil souhaité peut être très courte. Cette durée dépend de la stabilité de l'environnement de finition. C'est une raison pour laquelle un grand nombre de mesures et d'itérations d'ajustement sont nécessaires dans un procédé de polissage classique. De façon spécifique, dans un procédé classique, lorsqu'un utilisateur retire une pièce à usiner ayant un profil de surface légèrement concave pour des essais, il attend que la pièce à usiner atteigne un équilibre dimensionnel, et il obtient une mesure du profil, les profils de la surface de travail des pièces à usiner restantes peuvent être corrigées de façon trop importante, de sorte qu'elles sont maintenant convexes. L'utilisateur, ne connaissant pas ce changement de profil, ajustera la position de l'outil de conditionnement 34 de façon à augmenter le caractère convexe de la surface de travail S1 des pièces à usiner, exacerbant de ce fait le problème. Cette erreur n'apparaîtrait pas avant la mesure suivante, soit trois heures plus tard. Des itérations supplémentaires ou "recherche" seraient par conséquent nécessaires pour résoudre le problème. Cette recherche est évitée ou au moins substantiellement réduite par la présente invention parce que l'utilisateur peut obtenir une indication instantanée du profil réel de la pièce à usiner W lorsqu'elle est polie, de sorte qu'il peut retirer la pièce a usiner du polissoir à disque 22 au moment approprié. La métrologie in situ a été décrite jusqu'à présent en conjonction avec un essai de planéité. 33 2771666 Toutefois, il peut être souvent souhaitable d'obtenir d'autres mesures des données de DTO de Fizeau. Une telle mesure est l'erreur de front d'onde transmis ou EFOT. L'évaluation de l'EFOT est souhaitable dans certains cas parce que la relation entre la DTO de Fizeau et 1'EFOT fournit une plus grande sensibilité que la relation entre la DTO de Fizeau et l'erreur de planéité. Si les variations des indices de réfraction d'une pièce à usiner sont négligeables ou sont connues et peuvent être soustraites électroniquement des données de DTO, alors l'EFOT peut être mise en relation avec la DTO de Fizeau de la manière suivante: EFOT = DTO de Fizeau n Equation 8 n Le remplacement de la DTO par ses constituants comme indiqué ci-dessus en conjonction avec l'équation 6 et l'addition de l'effet du manque d'homogénéité de l'indice de réfraction donnent l'équation suivante: EFOT = 2((n-])Al,+An!+(n-1)Al2) Equation 9 Lorsque les données de planéité de la surface de travail (équation (7)) ou les données de EFOT (équation (9)) sont acquises par le dispositif de traitement de données de métrologie 60, ces données peuvent être stockées dans le moniteur 66 et/ou transmises au dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 pour que le dispositif de contrôle de la machine de finition 64 conserve ou ajuste le fonctionnement du polissoir à disque 22 en boucle fermée pour obtenir le fini souhaité de la surface avant 80 de la pièce à usiner W. Un procédé préféré pour cette technique va maintenant être décrit en conjonction avec le procédé du schéma de principe de la figure 6. Le procédé 100 passe de DEPART de l'étape 102 à l'étape 104 dans laquelle l'utilisateur entre les caractéristiques initiales de la pièce à usiner en 34 2771666 utilisant le premier dispositif d'entrée 68 de la figure 3. Ces caractéristiques peuvent, par exemple, comprendre une information concernant le profil de la surface arrière ou non finie S2 de la pièce à usiner W, et/ou l'indice de réfraction de la pièce à usiner W. Ensuite, dans l'étape 106, l'utilisateur entre une caractéristique dimensionnelle souhaitée de la pièce à usiner W en utilisant le deuxième dispositif d'entrée 70. Cette caractéristique peut être la DTO de Fizeau maximale tolérable ou, dans le cas d'une opération de polissage de surface, peut comprendre un profil de surface polie souhaité et/ou une égalité de surface polie. Des données de DTO de Fizeau sont ensuite obtenues dans l'étape 108 à l'aide de l'interféromètre 26, et l'amplitude de la caractéristique dimensionnelle intéressante est déterminée dans l'étape 110 par le dispositif de traitement des données de métrologie 60. Cette caractéristique dimensionnelle peut comprendre, par exemple, l'uniformité d'épaisseur de la pièce à usiner ou le profil de surface de la surface de travail Sl. Cette information et/ou une information déduite de celle-ci peut être, le cas échéant, stockée dans le moniteur 66 pour être affichée. Ensuite, dans l'étape 112, le dispositif de traitement de commande/contrôle 62 compare la valeur mesurée des caractéristiques de surface intéressantes à une valeur souhaitée ou optimale de la ou des caractéristiques et détermine si un ajustement est nécessaire ou pas. Les résultats de cette détermination peuvent être affichés par le moniteur 66 et/ou peuvent être transmis au dispositif de contrôle de la machine de finition 64 dans l'étape 114 en tant que signal de commande pour contrôler le fonctionnement du polissoir a disque. En l'absence de contrôle de la température de la suspension (détaillé 2771666 dans la section 4 ci-dessous), le contrôle de la machine sera habituellement limité au changement de la position radiale de l'outil de conditionnement 34 par rapport à l'outil de rodage 38 du polissoir à disque 22. Par conséquent, dans l'étape 114, le dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 contrôlera le dispositif de contrôle de la machine de finition 64 de façon à déplacer l'outil de conditionnement 34 vers l'intérieur ou vers l'extérieur pour augmenter ou réduire le caractère concave de l'outil de rodage 38. Le procédé peut ensuite retourner à l'étape 108, et les étapes 108, 110, 112 et 114 sont répétées en boucle fermée jusqu'à ce que le dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 détermine dans l'étape 112 que la ou les caractéristiques réelles (par exemple le profil de la surface de travail) sont égales à la ou aux caractéristiques souhaitées, moment o un signal sera envoyé au moniteur 66 dans l'étape 116 pour produire un signal audio ou vidéo convenable indiquant la fin du procédé de finition. Le procédé 100 passe à FIN dans l'étape 118. Les données de DTO obtenues in situ peuvent aussi être utilisées pour donner des indications sur d'autres caractéristiques de la pièce à usiner usinée. L'une de ces caractéristiques, le différentiel de température, va maintenant être décrite. La discussion sur le contrôle du polissoir à disque a porté jusqu'à présent sur le contrôle de l'outil de conditionnement 34. Toutefois, il est aussi souhaitable d'ajuster le fonctionnement du polissoir à disque 22 de façon à éliminer (ou au moins compenser) la déformation thermique de la pièce à usiner pendant le procédé de polissage. Le frottement produit en raison du contact abrasif avec l'abrasif chargé dans la suspension pendant le procédé de polissage chauffe la 36 2771666 pièce à usiner W de sorte qu'elle présente un différentiel de température entre sa surface avant ou de travail S1 et sa surface arrière S2. Le gradient de température résultant sur l'épaisseur de la pièce à usiner entraîne sa déformation de sorte que les deux surfaces S1 et S2 se déforment de façon sphérique comme l'illustre la figure 7. L'amplitude 61 ou 62 de cette déformation est égale pour les deux surfaces S1 et S2 (et par conséquent peut être considérée comme une seule valeur ET) et dépend directement de l'amplitude du gradient de température. Il serait intéressant de mesurer le différentiel de température AT entre les surfaces avant et arrière Si et S2 aussi précisément que possible (de préférence à quelques centièmes de degrés Fahrenheit près ou moins) afin de l'éliminer ou au moins le compenser pendant le procédé de polissage. * On a découvert que l'on pouvait déterminer ce différentiel de température avec un degré de précision élevé en utilisant les mesures de DTO décrites ci- dessus. Par exemple, en supposant que les surfaces S1 et S2 de la pièce à usiner W ont une forme circulaire plane, la déformation thermique de chaque surface est sphérique, de sorte que la surface avant Si "plus chaude" devient plus convexe lorsque la température augmente et la surface arrière S2 "plus froide" devient plus concave. En l'absence de forces externes qui limiteraient les déformations thermiques, le fléchissement de la déformation peut être décrit par l'équation suivantr: Equation 10 dans laquelle: 37 2771666 6T est l'amplitude maximale de la déformation de la pièce à usiner ou "fléchissement" sur un plan infini d'épaisseur t et sur un diamètre L; a est le coefficient de dilatation thermique de la pièce à usiner; et AT est le différentiel thermique axial entre les surfaces avant et arrière de la pièce à usiner. La pièce à usiner W se déformera uniformément sur son épaisseur t si le transfert de chaleur est uniforme sur sa zone de surface. Ainsi, comme le montre la figure 8A, un faisceau lumineux incident en un jeu quelconque de points de la pièce à usiner ne présentera pas une différence de longueur de trajet optique. La DTO de Fizeau observée restera par conséquent inchangée lorsque la pièce à usiner W se déforme en raison d'un différentiel de température sur son épaisseur t. Toutefois, lorsque la surface avant S1 de la pièce à usiner W devient convexe en raison de la déformation thermique, la surface convexe Si concentrera la force de sa masse en son apex A comme le montre la figure 8B. L'équation de Preston impose que la vitesse d'élimination d'un matériau d'un point quelconque de la surface de travail de la pièce à usiner est directement proportionnel à la force appliquée en ce point (Pression P) et à la vitesse V: dh ---=CPV Equation 11 di dans laquelle: dh/dp est la vitesse d'élimination d'un matériau en un point particulier par unité de temps; C est la constante de proportionnalité de la pièce à usiner; P est la pression locale; et V est la vitesse de déplacement de la pièce à usiner par rapport à l'outil de rodage. 38 2771666 Par conséquent, la planéité de la surface polie S1 de la pièce à usiner W commencera à changer lorsqu'elle sera polie dans un état déformé. Ce changement est illustré par l'aplanissement de la partie centrale de la surface S1 de la pièce à usiner et peut être observé comme un changement de la DTO mesurée par le système de métrologie in situ (comparer la figure 9A et la figure 8A). Lorsque la surface de travail convexe Si de la pièce à usiner W continue d'être polie, le caractère convexe de la surface Si sera supprimé par usure jusqu'à ce que la surface SI soit de nouveau plate par rapport à l'outil de rodage, comme l'illustre la figure lOB, stade auquel la vitesse d'élimination du matériau sera uniforme sur toute la surface Si. Une DTO visible est maintenant présente comme le met en évidence la figure 10A. A ce stade, la mesure de la DTO de Fizeau, représentant une différence d'épaisseur entre la surface avant maintenant plate SI de la pièce à usiner et la surface arrière encore concave S2, constitue une mesure directe du fléchissement 6T Il sera habituellement nécessaire de déterminer si la différence d'épaisseur observée est uniquement induite par le différentiel de température entre les surfaces avant et arrière SI1 et S2, ou si un certain composant de sa variation d'épaisseur provient de l'outil de rodage qui n'est pas plat. On peut réaliser cette détermination en comparant la planéité mesurée avec la planéité d'une pastille de contrôle séparée qui est usinée de préférence avec la "vraie" pièce à usiner et qui présente par conséquent la même variation d'épaisseur provenant de l'outil de rodage qui n'est pas plat que la "vraie" pièce à usiner W. En supposant que la pastille de contrôle est fabriquée à partir d'un matériau thermiquement insensible et présente donc la 39 2771666 planéité de surface actuellement produite par l'outil de rodage, on peut attribuer toute différence 6T de planéité de surface de la "vraie" pièce à usiner et de la pastille de contrôle à une déformation thermique de la "vraie" pièce à usiner. Cette connaissance peut être ensuite utilisée soit pour calculer AT et pour ajuster la température de la suspension pour éliminer le AT ou au moins pour réduire le AT à une valeur acceptable, soit pour simplement ajuster la température de la suspension à une certaine valeur et pour poursuivre le polissage jusqu'à ce que la caractéristique dimensionnelle souhaitée de la "vraie" pièce à usiner soit obtenue. De façon spécifique, lorsqu'on connaît 6T, on peut déterminer le différentiel de température T en remplaçant l'équation (10) par l'équation (12) suivante: AT-8tr Equation 12 la Lorsque cette différence de température est connue, les mesures peuvent être prises pour ajuster l'opération de polissage de façon à éliminer la différence de température ou au moins la compenser. Dans l'exemple illustré dans lequel l'opération de polissage est réalisée par un polissoir à disque 22 ayant un système d'alimentation en suspension 36 avec un contrôle de la température de la suspension, les mesures de DTO peuvent être utilisées pour contrôler en boucle fermée le dispositif de chauffage/refroidissement 44 du système d'alimentation en suspension 36. Par exemple, en se référant au schéma de principe de la figure 11, un procédé préféré 150 pour atteindre ces résultats commence à DEBUT dans l'étape 152 à l'étape 154 dans laquelle les données de DTO sont 2771666 obtenues. La différence de température AT entre la surface avant ou de travail S1 et la surface arrière S2 est ensuite obtenue par le dispositif de traitement de données de métrologie 60 dans l'étape 156 utilisant la technique décrite ci-dessus. L'amplitude de AT peut être, le cas échéant, affichée sur le moniteur de données 66. Ensuite, dans l'étape 158, le dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 détermine si l'amplitude de AT est suffisamment importante ou non pour nécessiter un ajustement de la température de la suspension, soit vers le haut soit vers le bas. Dans ce cas, le procédé passe à l'étape 160 o le dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 impose au dispositif de contrôle de la machine de finition 64 de transmettre un signal de sortie au système d'alimentation en suspension 36 de façon à augmenter ou réduire la température de la suspension circulant sur l'outil de rodage 38. Le procédé 150 passe ensuite à l'étape 154 o une mesure de DTO supplémentaire est obtenue. Le procédé 150 passe ensuite par les étapes 154, 156 et 158 de façon itérative jusqu'à ce que AT soit éliminé ou au moins réduit à l'intérieur de paramètres acceptables, stade auquel le procédé passe à l'étape 162 dans laquelle le dispositif de traitement des commandes de contrôle 62 impose au dispositif de contrôle de la machine de finition 64 de maintenir la suspension à la température actuelle du système d'alimentation en suspension 36. Le procédé 150 retourne ensuite à DEBUT (étape 152) et est répété tant que l'opération de polissage se poursuit. De nombreux changements et de nombreuses modifications de l'invention peuvent être réalisés sans sortir de l'esprit de celle-ci. Par exemple, comme indiqué ci-dessus, l'invention peut s'appliquer a de 41 2771666 nombreuses opérations de finition de surface en plus de l'opération de polissage décrite ci-dessus. Divers schémas de suivi et de contrôle peuvent aussi être utilisés en plus, ou à la place, de ceux décrits ci- dessus. Par exemple, bien qu'une métrologie in situ soit décrite comme ayant lieu sans interruption du procédé de finition, la rotation du plateau tournant peut être interrompue pendant l'acquisition d'un interférogramme (mais il ne serait toujours pas nécessaire de retirer la pièce à usiner W de l'outil de rodage 38). Le cadre de ces changements apparaîtra à la lecture des revendications annexées. 42 2771666 REVENDICATIONS 1. Procédé de finition d'une pièce à usiner comprenant: (A) le fait de soumettre au moins une surface de travail de ladite pièce à usiner à un procédé de finition dans une machine de finition; et (B) pendant le procédé de finition, la mesure d'une caractéristique dimensionnelle de ladite pièce à usiner, o l'étape de mesure fait appel à un interféromètre et est réalisée alors que ladite pièce à usiner est sur ladite machine de finition. 2. Procédé selon la revendication 1, comprenant en outre l'ajustement d'au moins un paramètre du procédé de finition en réponse à l'étape de mesure. 3. Procédé selon la revendication 2, comprenant en outre, en réponse à l'étape de mesure, la détermination que ladite pièce à usiner présente une caractéristique dimensionnelle souhaitée, et dans lequel l'étape d'ajustement comprend l'achèvement de l'opération de finition lors de la détermination que ladite pièce à usiner présente la caractéristique souhaitée. 4. Procédé selon la revendication 3, dans lequel la caractéristique souhaitée est un profil de surface finie souhaité. 5. Procédé selon la revendication 3, dans lequel la caractéristique souhaitée est une uniformité d'épaisseur souhaitée. 6. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de mesure comprend la mesure des variations d'épaisseur optique de ladite pièce à usiner. 7. Procédé selon la revendication 6, comprenant en outre l'obtention, à partir de la mesure, d'une indication du profil de la surface de travail. 43 2771666 8. Procédé selon la revendication 2, dans lequel l'étape d'ajustement comprend l'ajustement du fonctionnement de ladite machine de finition pour que la caractéristique dimensionnelle réelle de ladite pièce à usiner s'approche d'une caractéristique dimensionnelle souhaitée. 9. Procédé selon la revendication 8, dans lequel la caractéristique dimensionnelle souhaitée est un profil de surface de travail souhaité. 10. Procédé selon la revendication 8, dans lequel ladite machine de finition est un polissoir à disque 22, ledit polissoir à disque 22 comprenant un plateau tournant 30, un outil de rodage 38 qui est placé sur ledit plateau, et un outil de conditionnement rotatif 34 qui est supporté par ledit outil de rodage 38 et qui peut être déplacé radialement par rapport audit plateau pour modifier le profil dudit outil de rodage 38, et dans lequel l'étape d'ajustement comprend la modification de la position dudit outil de conditionnement 34 radialement par rapport audit plateau 30 pour modifier le profil dudit outil de rodage 38. 11. Procédé selon la revendication 1, comprenant en outre (1) l'obtention d'une indication de déformation thermique de ladite pièce à usiner à l'aide des résultats de l'étape de mesure et (2) la détermination d'une différence de température à travers ladite pièce à usiner. 12. Procédé selon la revendication 11, dans lequel l'étape d'obtention d'une indication de déformation thermique de ladite pièce à usiner comprend l'obtention d'une indication d'une différence totale d'épaisseur de ladite pièce a usiner, l'obtention d'une indication d'une différence totale d'épaisseur d'une pastille de contrôle 44 2771666 thermiquement insensible usinée par ladite machine de finition, et l'attribution d'une différence détectée d'épaisseur entre ladite pièce à usiner et ladite pastille de contrôle à la déformation thermique de ladite pièce à usiner. 13. Procédé selon la revendication 11, comprenant en outre la modification de la température d'une suspension circulant à travers ladite machine de finition si un différentiel de température est détecté dans l'étape de détermination. 14. Procédé selon la revendication 1, dans lequel l'étape de mesure est réalisée alors que la surface de travail de ladite pièce à usiner est usinée par ladite machine de finition. 15. Procédé de finition d'une pièce à usiner comprenant: (A) le fait de soumettre au moins une surface de ladite pièce à usiner à un procédé de finition dans une machine de finition; et (B) pendant le procédé de finition, (1) la mesure d'une épaisseur optique de ladite pièce à usiner à l'aide d'un interféromètre, l'étape de mesure étant réalisée alors que ladite pièce à usiner est sur la machine de finition (2) l'obtention, à partir de la mesure, d'une indication d'une caractéristique dimensionnelle désignée de ladite pièce à usiner, (3) la détermination permettant de savoir si la valeur réelle de la caractéristique désignée diffère d'une valeur souhaitée de la caractéristique désignée, 2771666 (4) l'ajustement d'au moins un paramètre du procédé de finition de façon à ce que la valeur réelle de la caractéristique désignée s'approche de la valeur souhaitée, et (5) la répétition des étapes (1) à (4) de façon itérative jusqu'à ce que la valeur réelle de la caractéristique désignée soit au moins essentiellement égale à la valeur souhaitée. 16. Procédé de finition d'une pièce à usiner comprenant: (A) le polissage d'une première surface de ladite pièce à usiner dans un polissoir à disque 22, ledit polissoir à disque 22 comprenant un plateau tournant 30, un outil de rodage 38 qui est placé sur ledit plateau, et un outil de conditionnement rotatif 34 qui est supporté par ledit outil de rodage 38 et qui peut être déplacé radialement par rapport audit plateau pour modifier le profil dudit outil de rodage 38; et (B) alors que ladite pièce à usiner est polie, (1) la transmission d'un faisceau de rayonnement cohérent à ladite pièce à usiner de façon à produire des premier et second faisceaux réfléchis par la première surface de ladite pièce à usiner et par une seconde surface de ladite pièce à usiner opposée à ladite première surface, (2) la combinaison des premier et second faisceaux réfléchis pour former un motif d'interférence servant de mesure d'une épaisseur optique de ladite pièce à usiner, (3) la détermination, d'après la mesure, d'une indication du profil réel de ladite première surface de ladite pièce à usiner, 46 2771666 (4) la détermination permettant de savoir si le profil réel diffère d'un profil souhaité, (5) l'ajustement de la position radiale dudit outil de conditionnement 34 par rapport audit plateau 30 afin d'ajuster le profil dudit outil de rodage pour que le profil réel de ladite première surface s'approche du profil souhaité, et (6) la répétition des étapes (1) à (5) de façon itérative jusqu'à ce que le profil réel de ladite première surface de ladite pièce à usiner soit essentiellement égal au profil souhaité. 17. Procédé selon la revendication 15, dans lequel l'étape d'ajustement est réalisée automatiquement. 18. Procédé selon la revendication 16, comprenant en outre 1) l'obtention d'une indication de déformation thermique de ladite pièce à usiner à partir des résultats de l'étape de combinaison et 2) la détermination d'une différence de température entre lesdites première et seconde surfaces de ladite pièce à usiner, et dans lequel l'étape d'ajustement comprend l'ajustement de la température d'une suspension circulant à travers ledit polissoir à disque. 19. Procédé selon la revendication 18, dans lequel l'étape d'obtention d'une indication de déformation thermique de ladite pièce à usiner comprend l'obtention d'une indication d'une différence totale d'épaisseur de ladite pièce à usiner, l'obtention d'une indication d'une différence totale d'épaisseur d'une pastille de contrôle thermiquement insensible usinée par ladite machine de finition, et l'attribution d'une différence détectée d'épaisseur entre ladite pièce à usiner et ladite 47 2771666 pastille de contrôle à la déformation thermique de ladite pièce à usiner. 20. Système comprenant: (A) une machine de finition comprenant un poste de travail pour recevoir une pièce à usiner à soumettre à une opération de finition; et (B) un interféromètre qui est placé par rapport audit poste de travail de façon à réaliser une métrologie in situ de la pièce à usiner placée dans ledit poste de travail. 21. Système selon la revendication 20, comprenant en outre un dispositif de contrôle qui est couplé de façon opérationnelle audit interféromètre et qui produit un signal de sortie en réponse au fonctionnement dudit interféromètre. 22. Système selon la revendication 21, dans lequel ledit signal de sortie est un signal visible par l'homme indicatif d'une caractéristique dimensionnelle de la pièce à usiner. 23. Système selon la revendication 21, dans lequel ledit signal de sortie est un signal de contrôle qui contrôle au moins un paramètre opérationnel de ladite machine de finition. 24. Système selon la revendication 23, dans lequel ladite machine de finition est un polissoir à disque 22, ledit polissoir à disque 22 comprenant un plateau tournant 30, un outil de rodage 38 qui est placé sur ledit plateau, et un outil de conditionnement rotatif 34 qui est supporté par ledit outil de rodage 38 et qui peut être déplacé radialement par rapport audit plateau pour modifier le profil dudit outil de rodage 38, et dans lequel ledit dispositif de contrôle est couplé électroniquement audit outil de conditionnement et modifie automatiquement la position radiale dudit outil 48 2771666 de conditionnement par rapport audit plateau à partir de signaux reçus dudit interféromètre. 25. Système selon la revendication 23, dans lequel ledit polissoir à disque 22 comprend en outre un système d'alimentation en suspension 36 qui fait circuler une suspension sur ledit outil de rodage 38 et qui contrôle la température de ladite suspension, dans lequel ledit dispositif de contrôle peut agir, à l'aide de signaux provenant dudit interféromètre 26, de façon à déterminer une différence de température à travers la pièce à usiner, et dans lequel ledit dispositif de contrôle est couplé audit système d'alimentation en suspension 36 et peut agir, à partir de la différence de température déterminée à travers la pièce à usiner, de façon à ce que le système d'alimentation en suspension 36 modifie automatiquement la température de ladite suspension. 26. Système selon la revendication 20, dans lequel ledit interféromètre est un interféromètre à déplacement de phase. 27. Système comprenant: (A) un polissoir à disque 22, ledit polissoir à disque 22 comprenant un plateau tournant 30, un outil de rodage 38 qui est placé sur ledit plateau, un assemblage de disques qui déplace une pièce à usiner à polir sur ledit outil de rodage 38, et un outil de conditionnement rotatif 34 qui est supporté par ledit outil de rodage 38 et qui peut être déplacé radialement par rapport audit plateau pour modifier le profil dudit outil de rodage 38; (B) un interféromètre qui est placé par rapport audit outil de rodage de façon à réaliser une métrologie in situ de la pièce à usiner polie sur ledit outil de rodage; et 49 2771666 (C) un dispositif de contrôle qui est couplé de façon opérationnelle audit interféromètre et qui produit un signal de sortie en réponse au fonctionnement dudit interféromètre. 28. Système selon la revendication 27, dans lequel ledit signal de sortie est un signal visible par l'homme indicatif d'une caractéristique dimensionnelle de la pièce à usiner. 29. Système selon la revendication 27, dans lequel ledit dispositif de contrôle est électroniquement couplé audit outil de conditionnement 34 et dans lequel ledit signal de sortie est un signal de contrôle qui replace automatiquement ledit outil de conditionnement 34 radialement par rapport audit plateau 30 de façon à modifier un profil dudit outil de rodage 38. 30. Système selon la revendication 27, dans lequel ledit polissoir à disque 22 comprend en outre un système d'alimentation en suspension 36 qui fait circuler une suspension sur ledit outil de rodage 38 et qui ajuste la température de ladite suspension, dans lequel ledit dispositif de contrôle peut agir, à l'aide de signaux provenant dudit interféromètre 26, de façon à déterminer une différence de température à travers la pièce à usiner, et dans lequel ledit dispositif de contrôle est couplé audit système d'alimentation en suspension 36 et peut agir, à partir de la différence de température déterminée à travers la pièce à usiner, de façon à ce que le système d'alimentation en suspension 36 modifie automatiquement la température de ladite suspension. 31. Système selon la revendication 27, dans lequel ledit interféromètre est un interféromètre à déplacement de phase. 32. Système comprenant: 2771666 (A) un polissoir à disque 22, ledit polissoir à disque 22 comprenant un plateau tournant 30, un outil de rodage 38 qui est placé sur ledit plateau 30, un assemblage de disques qui déplace une pièce à usiner à polir sur ledit outil de rodage 38, un outil de conditionnement rotatif 34 qui est supporté par ledit outil de rodage 38 et qui peut être déplacé radialement par rapport audit plateau pour modifier le profil dudit outil de rodage 38, et un système d'alimentation en suspension 36 qui fait circuler une suspension sur ledit outil de rodage 38 et qui ajuste la température de ladite suspension; (B) un interféromètre à déplacement de phase dont au moins une partie est placée sur ledit outil de rodage et qui est capable de réaliser une métrologie in situ de la pièce à usiner polie sur ledit outil de rodage; et (C) un dispositif de contrôle qui est couplé de façon opérationnelle audit interféromètre et audit polissoir à disque, dans lequel ledit dispositif de contrôle peut fonctionner automatiquement, à partir de signaux reçus dudit interféromètre, de façon (1) à modifier la position radiale dudit outil de conditionnement par rapport audit plateau de façon à modifier un profil dudit outil de rodage, et (2) à ce que ledit système d'alimentation en suspension 36 modifie la température de ladite suspension.