Brevet FR2769857A1 — publié le 19990423

La présente invention concerne un procédé de réaction chimique catalytique à haute température, qui utilise un catalyseur solide comprenant une phase métallique active, et un support catalytique réfractaire non oxydé sur lequel la phase active est déposée. Plus particulièrement, le support catalytique est à base de nitrure de silicium (Si3N4). Le nitrure de silicium existe sous deux formes cristallines, la forme a (a-Si3N4) dite forme basse température ( 15000C). Entre 12000C et 15000C, les deux formes coexistent. Les structures de chacune de ces formes se distinguent essentiellement par un arrangement différent des tétraèdres SiN4. V.I. Simagina et al [1] ont décrit l'utilisation d'un catalyseur comprenant, à titre de support catalytique, du ss-Si3N4 poreux sur lequel est dispersé de l'oxyde de nickel, pour la réaction d'oxydation du méthane. Pour obtenir un rendement de conversion satisfaisant, la température de réaction doit atteindre 8500C. En effet la stabilité de la molécule de méthane nécessite des températures d'amorçage de la réaction élevées. Mais l'utilisation de hautes températures entraine la production indésirable de polluants comme le monoxyde de carbone provenant de la décomposition du dioxyde de carbone et/ou de l'oxydation partielle du méthane, et les oxydes d'azote provenant de l'oxydation de l'azote de l'air. Les auteurs de la présente invention ont recherché un catalyseur suffisamment actif pour catalyser des réactions du type précité, mais permettant d'en abaisser la température pour supprimer les inconvénients mentionnés ci-dessus, tout en possédant une grande stabilité et une forte réactivité dans des conditions particulièrement sévères, à savoir atmosphère oxydante et forte exothermicité. Ainsi, ils ont découvert, pour des réactions chimiques catalytiques se déroulant normalement à haute température, qu'un catalyseur solide comprenant une phase métallique active, et un support catalytique réfractaire comprenant principalement du nitrure de silicium dans sa forme a, permet d'abaisser et contrôler la température de réaction à une valeur comprise entre 2000C et 800QC, et de préférence entre 200"C et 6000C. Avantageusement, le nitrure de silicium est à l'état substantiellement non poreux. Avant de décrire plus en détail la présente invention, certains termes employés sont ci-après définis. Par "réaction se déroulant normalement à haute température", on comprend les réactions qui n'ont lieu, ou dont le rendement n'est amélioré, que dans des conditions de température (dite "température de fonctionnement") élevée, mais aussi les réactions fortement exothermiques, dont la température de fonctionnement n'est pas nécessairement très élevée, mais qui libèrent une énergie thermique, qui élève la température de fonctionnement locale avec la création possible de points chauds. Par "substantiellement non poreux", on entend un matériau qui ne présente pas de cycle d'hystérésis dans les isothermes d'adsorption/désorption d'azote à la température de l'azote liquide. Selon l'invention, le support comprend principalement du nitrure de silicium dans sa forme a ; ceci signifie qu'il est constitué au moins de 90 % de ladite forme, le reste pouvant notamment être la forme ss du nitrure de silicium. Les variantes préférentielles du procédé de l'invention sont ci-après présentées - le support est avantageusement sous forme discrète, avec une taille des particules comprise entre 0,1 et 1 pm - la phase métallique active, c'est-à-dire catalytique, est notamment choisie parmi les métaux de transition, et consiste de préférence en du palladium, - le procédé de l'invention est particulièrement adapté à la catalyse de réactions chimiques qui se déroulent en atmosphère oxydante comme les oxydations ainsi la réaction de combustion du méthane, en atmosphère oxydante, qui est illustrée dans les exemples qui suivront est avantageusement réalisée selon le procédé décrit cidessus, - le support présente une aire spécifique de préférence comprise entre 5 et 20 m2/g, - le rapport de la proportion pondérale du métal de la phase active métallique, et notamment du palladium, à celle du silicium du support est avantageusement comprise entre 0,5 et 2 % en poids - le catalyseur est de préférence obtenu par imprégnation du support par les sels acétylacétonate métalliques, puis activation, selon un protocole qui sera décrit plus loin. Un autre objet de l'invention est un catalyseur comprenant une phase métallique active et un support catalytique réfractaire, comprenant principalement du nitrure de silicium dans sa forme a. De préférence, le support est substantiellement non poreux. Les détails et avantages de la présente invention sont maintenant illustrés dans les exemples 1 à 4 suivants, associés aux figures 1 à 8. La figure 1 représente une cellule de décomposition dans laquelle le support imprégné des précurseurs de la phase métallique active subit un traitement thermique d'activation. La figure 2 représente les schémas des différents programmes de température utilisés pour l'étape d'activation du catalyseur ; la figure 2A correspond à un traitement calcination-réduction et la figure 2B correspond à une décomposition sous argon. La figure 3 représente les spectres obtenus par spectroscopie de photoémission X du nitrure de silicium testé ; la figure 3A correspond au niveau Si2p du Si3N4 et la figure 3B correspond au niveau Nls du Si3N4. La figure 4 est un schéma du dispositif expérimental utilisé pour effectuer la combustion catalytique du méthane au cours de laquelle le catalyseur de l'invention est testé. La figure 5 présente les courbes de conversion du méthane en fonction de la température en état 1 (+) ou état 2 (-) du catalyseur Pd/Si3N4, selon que le catalyseur ait été activé sous argon (figure 5A) ou par calcinationréduction (figure 5B) ; les états 1 et 2 sont définis dans l'exemple 4. La figure 6 présente les courbes de la conversion du méthane en fonction de la température pour les catalyseurs Pd (1,05 %)/a-A12O3 (figure 6A) et Pd (0,75 %)/Si3N4 (Figure 6B) en état 1 (+) ou en état 2 (M) définis à l'exemple 4. La figure 7 présente les courbes de la conversion du méthane en fonction de la température pour les catalyseurs Pd (1,05 %)/a-A12O3 (figure 7A) et Pd (0,75 %)/Si3N4 (Figure 7B) en état 1 (.) ou en état 3 (a) définis à l'exemple 4. La figure 8 présente les spectres en énergie des électrons 2p du silicium pour le catalyseur Pd (0,75%)/Si3N4 ayant subi différents traitements définis à l'exemple 4. EXEMPLE 1 : TECHNIQUES EXPERIMENTALES 1) Mesure de la surface spécifique des supports par la méthode BET Brunauer, Emmet et Teller [2] ont mis au point une méthode permettant de déterminer la surface spécifique d'un solide par adsorption physique. L'adsorption est régie par la loi P 1 P(C-1) ------- = ----- + ------ V(p0P) CVrn CPOVm avec V : Volume adsorbé à la pression P, Vm : Volume de gaz correspondant à la monocouche, C : Constante (fonction de la chaleur d'adsorption), P0 : Pression de vapeur saturante du gaz dans les conditions de l'adsorption. En portant P/P0 en fonction de P/V(P0-P), on observe une droite (pour P/P0 compris entre 0,05 et 0,35) dont la pente est 1/Vm lorsque C est grand devant 1 (cas de l'azote). Pour calculer la surface correspondant à la monocouche, on admet que la surface occupée par la molécule adsorbée est celle de la molécule à l'état liquide, soit 0,162 nm2 pour l'azote à 77K. La relation qui donne la surface BET est alors, en utilisant l'azote comme adsorbat, SBET(matg) = 4,35Vm (cm3/g). La mesure BET a été utilisée pour mesurer la surface spécifique des nitrures de silicium en se servant de l'azote comme adsorbat à 77K à l'aide d'une technique volumétrique utilisant un appareil automatisé et informatisé, mis au point à L'Institut de Recherche sur la Catalyse (Villeurbanne, France). Avant chaque mesure, les échantillons sont traités sous vide secondaire (environ 10-5 Torr) à 300 C afin de les dégazer. 2) Analyse structurale 2.1) Diffraction des rayons X La diffraction des RX permet en premier lieu d'identifier les phases cristallines. Les diffractogrammes de poudre sont effectués sur un goniomètre PHILIPS PW 1050/81 piloté par un microordinateur. On utilise un générateur SIEMENS K710 avec un tube au cuivre et un monochromateur de graphite plan situé sur le faisceau. Ce dernier permet de sélectionner la longueur d'onde BCuKa= 0,154184 nm. Les données sont ensuite traitées au moyen d'un logiciel associé à la base de données ICCD-JCPDS. L'élargissement des raies de diffraction permet de mesurer la taille moyenne des cristallites à partir de la formule de SCHERRER k# # = ------- B cos# avec k : constante de Scherrer, k : longueur d'onde, 0 : angle de Bragg, B : largeur intégrale du pic en radians. 2.2) Microscopie électronique en transmission à haute résolution L'appareillage utilisé est un microscope de type JEOL 2010 avec une résolution ponctuelle de 0,19 nm. Les poudres à analyser sont mises en suspension dans l'éthanol et dispersées aux ultra-sons. Une goutte de cette suspension est déposée sur une grille porte-objet constituée par un tamis de cuivre recouvert d'un film mince de carbone ( L'observation haute résolution consiste à créer des interférences entre les électrons transmis et diffractés par l'échantillon. Ces interférences se traduisent sur les clichés par l'apparition de franges parallèles correspondant aux familles de plans réticulaires en position de diffraction (plans quasiment parallèles au faisceau dans le cas de la diffraction électronique). En pratique, un diaphragme permet de sélectionner les ondes qui serviront à la formation de l'image haute résolution. En général, il suffit de prendre l'onde transmise et deux ondes diffractées. Par une mesure sur les clichés des distances entre franges et des angles entre familles de franges, il est possible d'identifier très localement les phases cristallines. Cette technique permettra dans certain cas de déterminer la nature de l'interaction entre le support et la phase active, et la localisation des phases détectées par diffraction des RX. 3) Détermination de la dispersion La dispersion d'un catalyseur métallique est le rapport du nombre d'atomes métalliques en surface au nombre total d'atomes métalliques présents sur le catalyseur. Elle permet donc de rapporter l'activité du catalyseur à celle des atomes de surface et donc accessibles au gaz. 3.1) Thermodésorption d'hydrogène Basée sur l'utilisation de la spectrométrie de masse, cette technique permet de déterminer la quantité d'hydrogène chimisorbée par unité de masse de catalyseur. Elle permet de mesurer la dispersion par référence à un catalyseur de dispersion connue. Après réduction à 4000C, les solides sont soigneusement dégazés à cette température puis ramenés à la température d'adsorption de l'hydrogène qui est de 250C. Après adsorption d'hydrogène à saturation, les solides sont évacués à température ambiante jusqu'à l'obtention d'un vide de l'ordre de 10-8 Torr afin d'éliminer la phase simplement physisorbée et la phase hydrure de palladium. Le catalyseur est ensuite chauffé en programmation linéaire de température (40 C.min-1) et l'hydrogène thermodésorbé, qui correspond à l'hydrogène chimisorbé, est analysé en continu par spectrométrie de masse. L'intégration des pics de thermodésorption (m/e = 2) permet de calculer la quantité d'hydrogène adsorbé à partir de calibrations effectuées sur un catalyseur standard (Pd(0,41%)/SiO2 dispersion = 0,75) et en supposant une stoechiométrie d'adsorption Hads/Pds = 1. Les résultats de thermodésorption d'hydrogène sont exprimés par le rapport NH/Npd correspondant au rapport du nombre d'atomes d'hydrogène désorbé du catalyseur sur le nombre total d'atomes de palladium présents sur le catalyseur. 3.2) Microscopie électronique en transmission conventionnelle L'appareillage utilisé est le même que celui de la haute résolution décrit en 2.2). La microscopie électronique nous a permis une détermination statistique de la taille des particules métalliques. La quantification de la population des particules de palladium a été faite par catégorie de taille (histogramme de taille). On en déduit les diamètres du des particules métalliques pondérés en surface suivant la relation ni représentant le nombre de particules de diamètre di. Calcul de la dispersion à partir de ds: A partir de ds, on peut déterminer la surface métallique qui s'exprime dans l'hypothèse de particules sphériques par: 6 S (m2 /g) = --------- s représentant la masse volumique du palladium. Si on suppose que les plans les plus denses (plans (100), (110) et (111) de la maille cfc du palladium) sont exposés et en admettant une répartition homogène de ces plans, on peut déterminer le nombre d'atomes superficiels de métal occupant une unité de surface. Dans le cas du palladium, on a en moyenne 1,29.1019 atomes/m2. La dispersion est alors donnée par: S x 1,29.1019 x M Dispersion = ------------------ NA avec M = masse molaire du Pd (106,4 g) NA = 6,02.1023 atomes ou encore 6 x 1,29.1019 x M Dispersion = ------------------ ss x d5 x NA avec pour le palladium u = 12,02 g/cm3 soit 1,13 Dispersion = ---------- d5 (nm) 4) Caractérisation de la surface des catalyseurs par spectroscopie de photoémission X (XPS) La spectroscopie de photoémission X ou XPS permet d'accéder directement à l'énergie de liaison des niveaux électroniques de coeur, cette énergie étant spécifique de l'atome considéré. Principe: L'échantillon à analyser est bombardé par un flux de photons X d'énergie hv. Les électrons arrachés du matériau sont émis avec une énergie cinétique Ec, ce qui permet de remonter à l'énergie de liaison El de l'élément considéré, d'après le principe de conservation de l'énergie: hv= Ec + El + avec Sp : travail d'extraction du spectromètre déterminé par calibration sur la raie 3d5/2 de l'argent qui a une énergie de liaison de 368,2 eV. La modification de l'environnement chimique d'un élément se traduit par une modification de l'énergie de liaison des niveaux de coeur. Cette technique renseigne donc sur le degré d'oxydation des atomes à la surface du matériau. L'XPS permet également une détermination des concentrations relatives des différents éléments dans les couches superficielles. Appareillage: Les expériences ont été effectuées sur l'appareil ESCALAB 200R (Fisons-Instrument). La source d'excitation est le rayonnement Ka1,2 du magnésium (1253,6 eV). Grâce à une valise de transfert, les catalyseurs peuvent être analysés après réduction dans un réacteur spécifique sans remise à l'air. 5) Test catalytique : Combustion catalytique du méthane 5.1) Introduction De tous les hydrocarbures, le méthane est le plus difficile à oxyder [4]. En effet, l'énergie de liaison de la liaison C-H dans le méthane vaut 435 kJ/mole, alors que celle d'une liaison C-C dans les autres hydrocarbures est plus faible et vaut de 300 à 350 kJ/mole [5]. Cette stabilité de la molécule de méthane se traduit par des températures d'amorçage de la combustion supérieures pour le méthane à celles des autres alcanes. La combustion conventionnelle réalisée à l'air en présence d'une flamme est un processus difficilement contrôlable qui conduit, outre la formation d'eau et de dioxyde de carbone, à des polluants comme le monoxyde de carbone et les oxydes d'azote. De plus, cette réaction ne peut se produire que pour un rapport hydrocarbure/air bien déterminé. CH4 + 202 i C02 + 2H20 DH0298 = -802 kJ/Mole L'utilisation d'un catalyseur hétérogène permet d'abaisser la température de réaction, ce qui a pour conséquence de limiter la formation des gaz indésirables monoxyde de carbone et oxydes d'azote. En effet, le monoxyde de carbone provient essentiellement de processus s'effectuant à haute température tels que la décomposition du dioxyde de carbone ou l'oxydation partielle du méthane. De même, l'oxydation de l'azote de l'air par l'oxygène est une réaction fortement endothermique qui ne se produit pas dans l'hypothèse où la réaction catalytique s'effectue à suffisamment basse température. 5.2) Dispositif expérimental Les réactions se déroulent à pression atmosphérique dans un réacteur à lit fixe traversé en régime permanent par le mélange gazeux réactionnel. L'activité catalytique est mesurée pour de petites masses de catalyseur (300 mg), en présence d'un milieu réactionnel constitué de 1 % de méthane, 4 % d'oxygène et 95 % d'azote. L'utilisation de faibles masses de catalyseur et d'une forte dilution des réactifs dans un gaz inerte permet de minimiser les phénomènes d'emballement thermique liés à la forte exothermicité de la réaction de combustion du méthane. Le test catalytique est schématisé sur la figure 4. Selon cette figure, la centrale de distribution des gaz comprend : azote, oxygène, méthane et hydrogène. L'hydrogène sert à la fois comme gaz de prétraitement des catalyseurs et comme gaz vecteur de la colonne du chromatographe. L'azote, l'oxygène et le méthane constituent le mélange réactionnel. Les débits de gaz sont contrôlés par des débimètres massiques BROOKS qui travaillent à pression constante. La pression du système est maintenue par un manomètre situé à la sortie des chromatographes. Le système de réaction est constitué par le mélangeur de gaz, la vanne 4 voies, le réacteur à lit fixe, le four avec programmateur et contrôle de température. Le réacteur en U à lit fixe en quartz de 2 cm de diamètre, comporte un fritté sur lequel est déposé le catalyseur. Les mesures de température dans le four et au niveau du lit catalytique sont effectuées au moyen de thermocouples. A la sortie du réacteur, un piège maintenu à -780C par un mélange acétone-carboglace permet de retenir l'eau formée pendant la réaction qui peut endommager la colonne du chromatographe. Le mélange réactionnel est injecté à intervalles de temps réguliers dans la colonne d'un chromatographe à ionisation de flamme (FID). Les injections sont effectuées automatiquement. Le chromatographe FID possède une colonne Carbosieve S permettant une bonne séparation et résolution du méthane. Les oxydes de carbone, CO et CO2, sont détectés en les transformant préalablement en méthane dans un four à méthaniser par passage sur un catalyseur Ni/MgO. Cette opération effectuée après séparation des différents gaz dans la colonne permet d'obtenir une bonne sensibilité pour la détection des produits de réaction CO et CO2. Le chromatogramme est obtenu sur un enregistreur. La surface des pics des différents produits est déterminée grâce à un programme d'intégration contenu dans l'unité centrale SP4000. L'analyse quantitative des différents produits est effectuée après un étalonnage sur un mélange de composition connue. 5.3) Conditions opératoires Le réacteur est chargé avec une masse de 0,3 g de catalyseur. Une analyse des gaz en début de réaction est toujours réalisée en court-circuitant le réacteur. Après stabilisation du mélange, les gaz sont envoyés sur le catalyseur préchauffé et l'analyse des produits est effectuée par injection automatique vers le chromatographe à des intervalles de 15 à 30 min. Les conditions de test catalytique sont les suivantes Domaine de température : 200"C-8000C Pression partielle CH4 : 7,64 Torr soit 10-2 atm pression partielle 2 : 30,6 Torr soit 4.10-2 atm Pression partielle N2 : complément à 1 atm soit 0,95 atm Débit total : 6,5 l/h Masse de catalyseur : 300 mg 5.4) Expression des résultats a) Taux de transformation globale ou conversion (TTG) Soient Po(CH4) la pression partielle initiale de méthane, P(CO2) et P(CO) les pressions partielles en CO2 et en CO produits. Le taux de transformation globale s'exprime par P(C02) + P(CO) TTG = ----------------- x 100 Po(CH4) TTC étant exprimé en % de méthane converti, Cependant, cette expression de la conversion ne prend pas en compte les éventuelles modifications de la fluctuation du mélange réactionnel au cours du temps. Afin de s'affranchir de ce phénomène, la pression initiale de CH4 sera calculée en fonction des pressions partielles de CH4, CO et CO2 dans les produits de réaction avec Po(CH4) = P(CH4) + P(CO2) + P(CO) Le taux de transformation globale s'écrit alors P(C02) + P(CO) TTG (en %) = ------------------------- x 100 P(CH4) + P(CO2) + P(CO) b) Expression de la vitesse La vitesse exprimée en moles de CH4 transformées par heure et par gramme de catalyseur est donnée par Po(CH4) DT 273 1 v1 = TTG x ------- x ----- x ----- x 760 22,4 298 m avec Po(CH4) : pression initiale de CH4 en Torr, DT : débit total en l/h, m : masse de catalyseur en gramme. Cette relation est valable dans le cas d'un réacteur à lit fixe travaillant en régime différentiel c'est à dire à faible conversion ou en présence d'une faible quantité de catalyseur. La vitesse en moles de CH4 transformées par heure et par mole de métal est donnée par Po(CH4) DT 273 M 1 V2 = TTG x ------- x ----- x ----- x --- x 760 22,4 298 m W avec M : masse du molaire du palladium (106,4 g), W : teneur massique en palladium. c) Activité par site superficiel L'activité par site superficiel ou Turn Over Frequency (TOF) est définie comme le nombre de molécules de méthane qui a réagi par unité de temps et par atome de métal de surface. La définition originale (6] se réfère au nombre de sites superficiels. Cependant le site actif dans la réaction d'oxydation du méthane n'est pas encore bien connu : c'est pourquoi on choisit de calculer le TOF par rapport au nombre d'atomes métalliques superficiels. V2 TOF (en h-1) = D D représentant la dispersion du catalyseur déterminée par microscopie ou thermodésorption d'hydrogène EXEMPLE 2 : CARACTERISATION DU NITRURE DE SILICIUM TESTE Le nitrure de silicium utilisé (Si3N4, GOODFELLOW) est sous forme pulvérulente, non poreuse, et présente une surface spécifique déterminée par la méthode BET décrite à l'exemple 1, 1), de 8,8 m2/g. Son spectre de diffraction X (technique décrite à l'exemple 1, 2.1)) met en évidence la présence de la phase a-Si3N4 qui présente une structure hexagonale de paramètres de maille a = b = 0,7752 nm, c = 0,562 nm. L'autre phase (ss) du nitrure de silicium est également observée, mais en très faible quantité. La caractérisation de surface par XPS a été effectuée selon la technique décrite à l'exemple 1, 4). Le nitrure de silicium utilisé étant un mauvais conducteur électrique, un décalage de quelques eV vers les hautes énergies a été observé sur toutes les raies de chaque spectre. Cet effet de charge global est du à la mauvaise conduction des électrons dans l'échantillon analysé. Les charges alors créées pendant le processus de photoémission ne sont pas neutralisées et il y a accumulation de charges à la surface du matériau. Les corrections d'effet de charge sont effectuées en prenant, comme référence, l'énergie de liaison du niveau Nls à 397,6 eV pour le Si3N4 (énergie caractéristique de l'azote dans Si3N4 (7]). Les niveaux Si2p et Nls du Si3N4 sont représentés respectivement sur les figures 2A et 2B. Le pic Si2p très étroit indique un seul état du silicium correspondant au silicium du nitrure à 101,9 eV. Une faible quantité d'oxygène est observée dont le niveau ls sort à 532,4 eV. Le rapport [Os]/[Sis] est de 0,2. Le rapport [Ns]/[SiS] est proche de 1. La stoechiométrie globale ([Os]+ [Ns])/[Sis] est de 1,2, donc très proche de la stoechiométrie théorique de 1,33. Dans le cas du nitrure de silicium, la stoechiométrie de la surface est généralement considérée identique à celle du volume (8]. L'oxygène détecté en XPS appartient donc à la structure de la phase a du nitrure de silicium et il n'y pas de Si02. EXEMPLE 3 : PREPARATION ET CARACTERISATION D'UN CATALYSEUR DE L'INVENTION 1) Préparation des catalyseurs Les catalyseurs ont été préparés selon la technique qui utilise comme précurseur l'acétylacétonate de palladium Pd(C5H7 2)2 Le support de nitrure de silicium est dans un premier temps imprégné des sels métalliques. A la suite de l'étape d'imprégnation, un traitement thermique est nécessaire, d'une part pour éliminer le ligand et d'autre part pour obtenir le métal réduit. A cet effet, trois traitements thermiques ont été retenus et dont les conditions ont été fixées par la littérature et par une étude effectuée au laboratoire sur la décomposition de l'acétylacétonate de palladium t9]- Ces traitements sont - une calcination à 3500C sous un flux d'oxygène suivie d'une étape de réduction, - un chauffage à 4000C sous un flux d'argon, - une réduction directe à 400"C sous hydrogène. 1.1) Imprégnation Pour l'imprégnation du nitrure de silicium, on procède aux étapes suivantes - le complexe acétylacétonate de palladium est dissous à chaud dans du toluène à environ 80"C ; cette étape prend environ 1 heure - le nitrure de silicium est ensuite mis au contact de cette solution et l'ensemble est maintenu sous agitation à température ambiante ; lors de cette étape s'effectuant sous hotte, le toluène s'évapore très lentement et le complexe acétylacétonate recristallise à la surface du nitrure de silicium ; l'évaporation totale sous hotte de 100 ml de toluène nécessaire à la solubilisation de 1 g d'acétylacétonate dure environ 20 heures. - le solide est par la suite séché à 800C sous vide primaire pendant 15 heures Deux préparations mettant en jeu des quantités différentes de palladium ont été effectuées. Le pourcentage de palladium pour ces imprégnations est présenté dans le tableau 1 suivant. TABLEAU 1 Masse de % massique de Pd % massique de Pd Pd(CsH702)2 théorique pour 5 effectivement utilisée pour la g de Si3N4 fixé (analyse préparation chimique) Préparation 1 0,2 g 1.5 % 1.43 % sur Si3N4 Préparation 2 0,15 g 1 % 0,75 % sur Si3N4 1.2) Traitement thermique d'activation Le support imprégné des précurseurs doit subir un traitement thermique d'activation nécessaire à l'élimination du ligand et à l'obtention du métal réduit. Cette étape est la plus importante car elle conditionne la croissance des particules de palladium à la surface du support et par conséquent définit les caractéristiques finales du catalyseur. Le traitement thermique le plus couramment préconisé pour l'élimination du ligand consiste en une calcination sous oxygène. De précédentes études menées au laboratoire par analyse thermogravimétrique [9] ont montré que la totalité des ligands était décomposée sous oxygène à 3500C. Suite à ce traitement, il est nécessaire d'effectuer une réduction pour que le palladium soit actif. Le palladium est réductible déjà à température ambiante. On a cependant choisi une température de 3000C pour éviter toute ambigüité sur l'état final du palladium (cf figure 2A). L'argon permet également d'effectuer simultanément l'étape de décomposition et de réduction. La réduction du métal dans cette condition s'explique par la présence de nombreux atomes d'hydrogène dans la molécule de Pd(C5H702)2, qu de vide et la référence (3) indique la branche d'introduction de l'échantillon. Le débit gazeux est de 2 cm3/s créant de bas en haut un lit fluidisé. Les différents gaz utilisés sont préalablement séchés sur zéolithe. La cellule sous balayage est positionnée dans un four thermostaté avec une montée en température programmable. Les différents programmes de température utilisés sont schématisés sur la figure 2 sur laquelle la figure 2A correspond au traitement calcination-réduction et la figure 2B à la décomposition sous argon. 2.2) Caractérisation des catalyseurs Pd/Si3N4 Caractérisation qranulométrique L'observation en microscopie a été effectuée sur le matériau présentant le plus faible pourcentage de palladium (0,75 % de palladium). Le traitement de calcination-réduction conduit à une large distribution de taille des particules de palladium. Cependant une grande proportion des particules a un diamètre inférieur à 4 nm. La plus grande taille observée pour ce catalyseur atteint environ 20 nm. Après décomposition sous argon, le palladium est beaucoup plus homogène en taille. La gamme est comprise entre 1 et 7 nm et la taille moyenne reste voisine de celle obtenue après calcination-réduction. Caractérisation Par thermodésorption d'hydrogène Les résultats de thermodésorption d'hydrogène sont présentés dans le tableau 2 ci-après, pour les matériaux provenant des deux imprégnations et ayant subi les différents traitements thermiques d'activation. Le diamètre moyen des particules observées en microscopie et la dispersion théorique correspondante sont également reportés. TABLEAU 2 Traitement thermique % Pd NH/Npd Dispersion D calcination-réduction 0,75 % 0,32 (3.5nm) 0,24 ---------- ------------ ---------- 1.43% 0,17 (6.7nm) décomposition sous argon 0,75 % 0,09 0,28 ---------- ---------- ------------ 1.43% 0,17 (6.7nm) décomposition sous argon 0,75 % 0,09 0,28 ---------- ---------- ------------ 1.43% 0,09 (*) diamètre moyen déduit du résultat de thermodésorption d'hydrogène d8 = 1,13/(NH/Npd) Le traitement d'activation sous argon conduit vraisemblablement à une contamination du palladium par le carbone provenant du ligand acétylacétonate, ce qui pourrait expliquer les faibles valeurs mesurées du rapport NH/Npd. Après calcination-réduction, les catalyseurs présentent une plus grande aptitude à chimisorber l'hydrogène. Dans le cas du matériau à faible pourcentage de palladium, le rapport NH/Npd est supérieur à la dispersion théorique du catalyseur déterminée par microscopie. On peut néanmoins considérer que le rapport NH/NPd est représentatif de la dispersion du catalyseur. Dans l'hypothèse de particules sphériques, le catalyseur à 1,43 % de palladium calciné-réduit aurait d'après le résultat de thermodésorption, une taille moyenne des particules métalliques de 6,7 nm résultant de l'équation 1,13 ds = ------- NH/Npd Caractérisation structurale par diffraction des rayons X En raison de l'importante densité de raies de diffraction due à la structure du nitrure de silicium, il est impossible de caractériser la phase métallique par diffraction des rayons X. Caractérisation de la surface par XPS Les énergies de liaison présentées ont été corrigées de l'effet de charge, induit par le caractère isolant du nitrure de silicium, en se référant à l'énergie de liaison des électrons ls de l'azote dans Si3N4 à 397,6 eV [7]. a) Evolution de la surface du support (Niveau Si2p) après calcination-réduction L'énergie de liaison des électrons 2p du silicium à 101,9 eV après imprégnation et calcination-réduction est identique à celle du nitrure de silicium sans métal. On n'observe pas de deuxième état dû à l'oxyde de silicium. De même, la décomposition sous argon n'entraine pas de modifications de la surface du nitrure de silicium. b) Etat physico-chimique du palladium déposé sur nitrure de silicium On constate que le rapport des concentrations [Pd5]/[Si5] déduit des mesures de photoémission (XPS) est voisin de 0,05 pour les deux modes d'activation des catalyseurs, et d'autre part qu'il évolue peu lorsqu'on augmente le pourcentage massique de palladium de 0,75 à 1,43%. On peut considérer que le signal du silicium reste constant en sachant que le taux de couverture en palladium est faible dans tous les cas (on a l'équivalent de 0,4 monocouche dans le cas du catalyseur à 0,75% de palladium et 0,7 monocouche pour celui à 1,43%). Dans ces conditions, on peut conclure que la morphologie des particules de palladium a très probablement un aspect bidimensionnel pour la faible teneur en palladium, et que seule la hauteur des particules augmente avec le pourcentage de métal déposé. TABLEAU 3 Energies de liaison des électrons 3d5/2 du palladium déterminées par XPS Traitement thermique % Pd Energie de liaison (électrons 3d5/2) calcination-réduction 0,75 % 336.1 eV 1.438 335.7 eV décomposition sous argon 0,75 % 35.6 eV --------- ------------ 1.43% 335.2 eV Le tableau 3 présente les énergies de liaison du palladium des différents catalyseurs étudiés. A l'exception du catalyseur à fort pourcentage de palladium décomposé sous argon, les énergies de liaison des électrons 3d5/2 du palladium sont supérieures à celles habituellement reportées dans la littérature pour du palladium métallique, soit 335,2 eV ou 335,3 eV. Les catalyseurs étant stockés à l'air libre, on a vérifié dans un premier temps sur le catalyseur présentant la plus forte énergie de liaison (catalyseur calcinéréduit à 0,75 % de palladium), si le palladium est bien réduit. Pour cela une deuxième analyse après une réduction à 4000C et sans remise à l'air, a été effectuée. Cette opération s'effectue au moyen d'une valise de transfert permettant de relier le four de réduction à la chambre XPS. L'énergie de liaison des électrons 3d5/2 de 336 eV n'a pratiquement pas été modifiée par ce traitement, indiquant que le palladium n'était pas oxydé. Cet écart non négligeable pourrait alors être expliqué par un effet de taille. En effet, il a déjà été observé que des petites particules ont des énergies de liaison plus élevées que des grosses. Dans le cas des présents catalyseurs dont le diamètre moyen est supérieur à 3 nm, il semblerait que l'augmentation de l'énergie de liaison ne soit pas entièrement due à un effet de taille. Cet effet de charge peut alors être expliqué par des phénomènes électroniques d'interactions entre le métal et le nitrure de silicium. On peut en effet supposer que s'il y a déplacement d'électrons de l'interface palladiumnitrure de silicium vers le nitrure de silicium, il y aura création de charges positives sur la particule métallique. Dans l'hypothèse où ces charges sont délocalisées sur la surface de la particule, cela conduirait à une augmentation de l'énergie de liaison mesurée en XPS. Un autre phénomène pour expliquer le déplacement pourrait être un effet mécanique d'interaction entre le nitrure de silicium et le palladium qui conduirait à une modification structurale de ce dernier, qui pourrait entraîner des modifications de ses propriétés électroniques. c) Concentration relative de carbone à la surface Le tableau 4 ci-après présente les énergies de liaison des électrons Cls et les concentrations relatives en carbone à la surface des différents catalyseurs. TABLEAU 4 Energies de liaison des électrons ls du carbone et rapport des concentrations [Cs]/[Sis] détecté en XPS Energie de Traitement thermique % Pd liaison [Csl/[Sis] (électrons 1s) calcination-réduction 0,75 % 284.7 eV 0,083 ---------- ----------- -------- 1.43% 284.7 eV 0,087 décomposition sous argon 0,75 % 284.6 eV 0,14 ---------- ---------- --------- 1.43% 284.7 eV 0,37 Les deux matériaux décomposés sous argon ont un taux de carbone supérieur à ceux calciné-réduit. Ce résultat confirme le fait que l'activation des catalyseurs sous argon laisse un dépôt carboné à la surface. La quantité de carbone dépend de la quantité d'acétylacétonate de palladium mis en jeu dans la préparation. Ce dépôt carboné conduit à une diminution du nombre de sites actifs à la surface du catalyseur comme observé grâce à la thermodésorption d'hydrogène. EXEMPLE 4 : REACTIVITE DES CATALYSEURS Pd/Si3N4 ET COMPARAISON AVEC UN CATALYSEUR Pd/a-Al203 On a d'abord vérifié qu'il y a très peu de différence d'activité selon qu'on utilise les catalyseurs Pd/Si3N4 activé sous argon ou par calcination-réduction. Ensuite on a comparé l'activité du catalyseur Pd/Si3N4 à celle d'un catalyseur Pd/a-Al2O3, plus conventionnel, à l'issue de différentes conditions de réaction. Les différences de comportement seront ci-après discutées en liaison avec l'évolution des propriétés physico-chimiques des deux solides. 1) Conditions de prétraitement des catalyseurs. L'activité est mesurée pour trois états initiaux des catalyseurs Etat 1 : catalyseur initial, réduit à 5000C sous hydrogène, Etat 2 : catalyseur réduit à 5000C et traité à 6000C pendant 1 heure en présence du mélange réactionnel (1% de méthane et 4% d'oxygène dans l'azote), Etat 3 : catalyseur réduit et traité à 8000C pendant 3 heures en présence du mélange réactionnel précédemment défini. Toutes les montées en température sont effectuées linéairement au rythme de 1OC/min. Après chaque traitement, les solides sont purgés sous azote pendant 30 minutes à la température de traitement. L'ensemble des conditions du test catalytique (débits et pressions partielles) est défini dans l'exemple 1,5). 2) Activité des catalyseurs Pd/Si3N4 en état 1 et 2 : Influence du mode préparation L'activité catalytique est mesurée en fonction de la température en état 1 et 2 sur les solides présentant 0,75 % de palladium. La figure 5 présente la conversion en fonction de la température du catalyseur activé sous argon (figure 5A) et du catalyseur calciné-réduit (figure 5B). Dans les deux cas et pour les deux états des solides, aucune émission de monoxyde de carbone n'a été observée dans le domaine de mesure. La conversion de méthane est sensiblement supérieure en état 1 pour le catalyseur calciné-réduit. Il présente en effet une température de demi-conversion de 3140C tandis que le catalyseur activé sous argon atteint la demi-conversion à 329"C. En état 2, les deux catalyseurs sont plus actifs par rapport à l'état 1 et leur température de demiconversion, de l'ordre de 3000C, est identique. Il existe donc très peu de différence de comportement suivant qu'on utilise un catalyseur calcinéréduit ou activé sous argon. La plus faible activité en état 1 observée sur le solide dont l'acétylacétonate a été décomposé sous argon s'explique par la présence de résidus carbonés sur le palladium. Ces résidus sont éliminés en cours de réaction en atmosphère oxydante, pour retrouver en état 2 une activité identique à celle du catalyseur calciné-réduit. En raison des faibles différences observées, on utilisera indifféremment l'un ou l'autre des catalyseurs dans l'étude de comparaison avec le catalyseur au palladium déposé sur alumine. 3) Etude de la réactivité d'un catalyseur Pd/Si3N4 comparée à celle d'un Pd/a-Al203 On a choisi une alumine (support de catalyseur largement utilisé dans le domaine de la combustion) sous la forme allotropique a, qui est la forme la plus stable, pour s'affranchir des problèmes de transitions de phase pouvant avoir lieu à des températures de l'ordre des températures de réaction. De plus, ce matériau permet de se placer dans les mêmes conditions de surface spécifique que celles du nitrure de silicium. L'alumine utilisée est un produit Rhône Poulenc avec une surface spécifique de 10,5 m2/g. Préparation et caractéristiques du catalyseur Pd/a-Al203 Le catalyseur Pd/a-Al203 a été préparé dans les mêmes conditions que les catalyseurs testés, à savoir, par imprégnation par l'acétylacétonate de palladium et l'activation a été effectuée par un traitement classique de calcination-réduction, tel que décrit dans l'exemple 3. L'ensemble des caractéristiques du catalyseur est résumé dans le tableau 5 où, a titre de comparaison, sont également reportées les caractéristiques du catalyseur Pd(0,75)/Si3Nq calciné-réduit. TABLEAU 5 Caractéristiques des catalyseurs Pd/a-A1203 et Pd/Si3N4 pourcentage de Dispersion XPS : énergie de palladium (thermodésorption liaison des d'hydrogène) électrons Pd 3d5/2 catalyseur 1,05 z 0,41 z 335,1 eV Pd/a-A1203 + ds=2,8 nm - > Pd zérovalent catalyseur 0,75 % 0,32 336,1 eV Pd/Si3N4 b ds=3,5 nm Le catalyseur Pd/a-Al203 présente une dispersion sensiblement supérieure au Pd/Si3N4 L'énergie des électrons 3d5/2 du palladium mesurée en XPS est caractéristique du palladium à l'état zérovalent. Dans le cas du catalyseur Pd/Si3N4, les propriétés électroniques du palladium sont modifiées probablement par des effets d'interaction avec le support. Réactivité des catalyseurs en état 1 et 2 La figure 6 présente la conversion du méthane en fonction de la température pour les catalyseurs Pd/a-A12O3 et Pd/Si3N4 en état 1 et 2. Les deux catalyseurs se comportent différemment. En effet, le catalyseur supporté sur nitrure de silicium est plus actif lorsqu'il est en état 2, tandis que le solide Pd/a-Al203 présente une désactivation après un traitement sous le mélange réactionnel jusqu'à 600 C. Les températures de demi-conversion pour le Pd/aA1203 sont de 310"C et 3250C respectivement en état 1 et 2. Celles du Pd/Si3N4 sont de 3140C et 3000C. Réactivité des catalyseurs en état 3 La figure 7 présente la conversion du méthane en fonction de la température pour les catalyseurs en état 1 et 3. L'examen de ces courbes indique que le solide Pd/a-Al203 devient beaucoup moins actif après un traitement thermique à 800"C sous le mélange réactionnel, tandis que le catalyseur Pd/Si3N4 est activé lorsqu'il est en état 3. Il garde à peu près la même activité que lorsque qu'il est en état 2. Les catalyseurs Pd/a-Al2O3 et Pd/Si3N4 ont des températures respectives de demi-conversion en état 3 de 3750C et 3070C. Activité nar atome métallique de surface dans les 3 états Pour calculer l'activité par atome métallique superficiel, on a utilisé la dispersion de la phase active déterminée par thermodésorpion d'hydrogène. Pour l'activité des catalyseurs en état 2 et 3, le calcul a été effectué à partir de la dispersion mesurée après les différents tests de réactivité. Les valeurs de dispersion pour les catalyseurs frais et vieillis sont présentées dans le tableau 6. L'examen de ce tableau indique que la perte de surface métallique est quasiment identique pour les deux solides. TABLEAU 6 Dispersions des catalyseurs dans les différents états catalyseur état 1 état 2 état 3 Pd/&alpha;-Al2O3 0,41 0,25 0,1 Pd/Si3N4 0,32 0,25 0,12 L'activité par site superficiel en fonction de la température déterminée en fonction de la température des deux solides pour les trois états montrent que les atomes métalliques de surface du catalyseur supporté sur nitrure de silicium sont plus actifs que ceux du solide Pdta-Al203 quel que soit l'état. Le tableau 7 reporte les activités à 250"C des deux solides pour chaque état. On constate que le catalyseur supporté sur alumine présente sensiblement la même activité en état 1, 2 et 3. La diminution de la quantité de méthane converti en état 2 et 3 par rapport au solide frais s'explique simplement par la perte de surface métallique par frittage. Les atomes de palladium de surface du catalyseur supporté sur nitrure de silicium deviennent de plus en plus actifs au fur et à mesure des tests de vieillissement et ce, malgré un frittage du palladium. L'effet est très marqué lorsque le solide passe de l'étant 1 à l'état 2. TABLEAU 7 Activités des catalyseurs à 250 C Pd(1.05%)/a-Al2o3 (TOF à 250 C) état 1 état 2 état 3 11 h-l 12 h-l 16.5 h-1 Pd(0,75%)/Si3N4 (TOF à 2500C) état 1 état 2 état 3 24 h-1 40 h-1 46 h-l Résumé des résultats de réactivité Dans le domaine de température où est mesurée l'activité, les deux catalyseurs ont 100 % de sélectivité en dioxyde de carbone, et ce, quelque soit le traitement initial qu'on leur applique. Le tableau 8 présente les températures de demiconversion du méthane pour chacun des catalyseurs dans tous les états. En état 1, la température de demi-conversion est presque la même suivant qu'on utilise l'un ou l'autre des solides. Après les traitements initiaux sous le mélange réactionnel, le solide Pd/a-Al2O3 présente moins d'aptitude que le Pd/Si3N4 à réaliser la réaction d'oxydation du méthane. La perte de surface métallique mesurée par thermodésorption d'hydrogène, sensiblement identique pour les deux solides, montre que les sites à la surface du Pd/Si3N4 sont les plus actifs. Il existe donc un effet de support assez important sur l'activité du palladium vis à vis de l'oxydation du méthane. TABLEAU 8 Températures de demi-conversion du méthane pour les catalyseurs dans les différents états Températures de demi-conversion ETAT 1 ETAT 2 ETAT 3 Pd(1,05%)/ 310 C 3250C 3750C a-A1203 Pd(0,75%)/ 314 C 3000C 3070C Si3N4 Caractérisation des catalyseurs après réaction Afin d'essayer de comprendre les différences d'activité observées, les deux catalyseurs Pd/a-Al203 et Pd/Si3N4 sont caractérisés après les tests de réactivité en état 2 et en état 3. On observe en particulier les différences de comportement au frittage, les évolutions de l'état électronique du palladium et le comportement à l'oxydation de la surface du nitrure de silicium. Comportement au frittage En microscopie, on fait les observations suivantes - en état 1, les distributions sont centrées sur la gamme 3-4 nm pour les catalyseurs frais - en état 2, les deux catalyseurs ont pratiquement le même histogramme de taille ; les deux solides frittent donc de la même façon jusqu'à 6000C sous le mélange réactionnel ; les distributions centrées sur la gamme 3-4 nm pour les catalyseurs en état 1 sont déplacées sur la gamme 4-5 nm - en raison de la forte hétérogénéité des tailles de particules observées en état 3, les distributions n'ont pu être effectuées avec la même précision qu'en état 1 et 2 ; le solide Pd/Si3N4 semble présenter un meilleur comportement au frittage ; les tailles sont en majorité inférieures à 10 nm ; aucune particule de diamètre supérieur à 30 nm n'a été observée. La distribution de taille du palladium supporté sur alumine s'étend au delà de 30 nm et le diamètre maximum observé est de l'ordre de 50 nm. Jusqu'à 600"C, le frittage est quasiment identique pour les deux catalyseurs. Après vieillissement jusqu'à 800 C, le palladium supporté sur nitrure de silicium présente une meilleure résistance au frittage. En effet, contrairement au solide Pd/a-Al203, on n'observe pas de particules ayant un diamètre supérieur à 30nm. Caractérisation par spectroscopie de photoélectrons - Comportement à l'oxydation du nitrure de silicium Les spectres en énergie des électrons 2p du silicium pour les catalyseurs ayant subi les différents traitements de vieillissement sont présentés sur la figure 8. L'effet de charge a été corrigé en prenant comme référence l'énergie des électrons ls de l'azote dans Si3N4 à 397.6 eV. Après les traitements de vieillissements (états 2 et 3) sous le mélange réactionnel, les spectres énergétiques des électrons 2p du silicium ne sont pas modifiés par rapport à celui de l'état 1 indiquant qu'il n'y a probablement pas d'oxydation de la surface du nitrure de silicium. Les concentrations relatives en azote et en oxygène sont regroupées dans le tableau 9. Une légère augmentation de la quantité d'oxygène en état 3, qui peut être imputable à l'apparition d'oxyde de palladium au cours du traitement, est observée. Cependant, cette augmentation qui s'effectue au détriment de la concentration en azote semble indiquer que la surface du nitrure de silicium commence à s'oxyder. TABLEAU 9 Concentrations relatives en oxygène et en azote pour le catalyseur Pd (0,75%)/Si3N4 dans les différents états ETAT [Os]/[Sis] [Ns]/[Sis] éTAT 1 0,19 0,99 état 2 0,24 0,98 état 3 0,41 0,82 Contrairement à d'autres composés du silicium, le nitrure de silicium résiste bien à l'oxydation. - Etat électronique du palladium Le tableau 10 présente les énergies de liaison des électrons 3d5/2 du palladium et les largeurs à mi-hauteur des pics Pd3d5/2 dans les différents états des deux catalyseurs. Les effets de charge sont corrigés en prenant comme référence énergie des électrons ls de l'azote à 397,6 eV pour le nitrure de silicium et 2p de l'aluminium à 74 eV pour l'alumine. Pour le solide Pd/a-Al203, l'énergie de liaison est quasiment identique quelque soit le traitement appliqué au catalyseur. Le palladium reste donc à 11 état zérovalent. Cependant un élargissement non négligeable est observé en état 3 qui traduit probablement la présence de palladium oxydé. Dans le cas du solide Pd/Si3N4, l'énergie de liaison de 336,1 eV sur le catalyseur frais diminue après les vieillissements sous le mélange réactionnel. Le retour de l'énergie de liaison du niveau Pd3d5/2 vers une valeur caractérisant du palladium zérovalent peut s'expliquer par le frittage des particules. En effet, le déplacement électronique sur le catalyseur frais, probablement induit par un effet de support, ne serait plus visible à la surface de particules plus grosses. Les largeurs de pic, presque constantes et de l'ordre de 2 eV, semblent indiquer qu'il existe un seul état du palladium après les traitements sous le mélange réactionnel. TABLEAU 10 Energies de liaison des électrons 3d5/2 du palladium et largeur à mi-hauteur des pics Pd3d5/2 des catalyseurs dans les différents états catalyseur état 1 état 2 état 3 Pd/(x- 335,1 eV 1,9 eV 335,2 eV 1,9 ev 335,2 eV 2,5 eV A12o3 Pd/Si3N4 336,1 eV 2 eV 335,6 eV 1,8 ev 335,4 eV 2,1 eV En conclusion, à caractéristiques initiales presque équivalentes, le catalyseur Pd/Si3N4 est plus actif que le catalyseur Pd/a-Al203 vis à vis de la réaction d'oxydation du méthane, et ce quels que soient les traitements de vieillissement appliqués aux deux solides. Il existe donc un effet de support très marque. Le nitrure de silicium a montré notamment par rapport à des essais réalisés sur le carbure de silicium d'excellentes propriétés de résistance à l'oxydation au cours de la réaction. En effet, même après un vieillissement jusqu'à 800 C sous le mélange réactionnel l'oxydation de la surface reste modérée, ce qui empêche une désactivation par un enrobage de la phase active par la silice. Les différences de réactivité entre palladium déposé sur alumine et sur nitrure de silicium sont, au vue des caractérisations effectuées après réaction, difficilement explicables. La perte de surface métallique par frittage est en effet globalement identique pour les deux matériaux. Les sites à la surface du palladium déposé sur nitrure de silicium sont par conséquent plus actifs que ceux qui sont en surface du Pd/a-Al2O3. Les mesures en photoémission montrent des différences entre les deux catalyseurs pour les propriétés électroniques et pour la morphologie des particules de palladium. A surface exposée identique, la quantité relative de palladium mesurée en photoémission est en effet differente et semble indiquer un frittage conduisant à des particules n'ayant pas la même forme sur l'un ou l'autre des supports. BIBLIOGRAPHIE [1] V.I. Simagina, T.F. Nokhrina, N.N. Kundo, G.D. Nalivka, Otkrytiya, Izobret. Prom. Obraztsy, Tovarnye Znak (1984) 22, 28-29 t2] S. Brunauer, P. H. Emmet er E. Teller, J. Am. Chem. Soc., 60 (1938) 309 (3] Y. Soma Noto et W. M. H. Sachtler, J. Catal., 32 (1974) 315 (4] F. G. Dwyer, Catal. Rev. Sci. Eng., 6 (1972) 261 [5] Handbook of Chemistry, C. R. C. Press, R. C. WEAST Ed., 56th Edition, 1975-1976, p. F224-226 [6] M. Boudart et G. Djeda-Mariadassou, Cinétique des réactions en catalyse hétérogène., Ed. Masson, (1982) 165 (7] J. A. Taylor, G. M. Lancaster et J. W. Rabelais., J. Electron.Spectrosc. Relat. Phenom., 13 (1972) 755 t8] L. Lozzi, L. Passacantando, P. Picozzi, S. Santucci, G. Tomassi, R. Alfonsetti et A. Borghesi, Surf. Interface. Anal., 22 (1994) 190 [9] K. Le Bas, Thèse de doctorat, Lyon (1980) REVENDICATIONS 1. Procédé de réaction chimique catalytique se déroulant normalement à haute température, selon lequel on dispose d'un catalyseur solide comprenant une phase métallique active, et un support catalytique réfractaire à base de nitrure de silicium sur lequel la phase active est déposée, caractérisé en ce que le support catalytique comprend principalement du nitrure de silicium dans sa forme a, et en ce que la température de réaction est contrôlée à une valeur comprise entre 200"C et 8000C. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le nitrure de silicium est substantiellement non poreux. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le support est sous forme discrète, dont la taille des particules est comprise entre 0,1 et 1 ssm. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la phase métallique active comprend au moins un métal de transition. 5. Procédé selon la revendication 4, caractérise en ce que la phase métallique active est du palladium. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que la réaction chimique se déroule en présence d'oxygène. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que la réaction chimique est une oxydation, notamment la combustion du méthane. 8. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit support catalytique présente une aire spécifique comprise entre 5 et 20 m2/g. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le rapport de la proportion pondérale du métal de la phase active à celle du silicium du support est comprise entre 0,5 et 2 % en poids. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le catalyseur est obtenu par imprégnation du support par des sels métalliques, puis activation. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que les sels métalliques sont des sels acétylacétonate. 12. Catalyseur comprenant une phase métallique active et un support catalytique réfractaire comprenant principalement du nitrure de silicium dans sa forme a. 13. Catalyseur selon la revendication 12, caractérisé en ce que le nitrure de silicium est à l'état substantiellement non poreux. 14. Utilisation du nitrure de silicium dans sa forme a, pour obtenir un support catalytique. 15. Utilisation selon la revendication 14, caractérisée en ce que le nitrure de silicium est à l'état substantiellement non poreux.