Brevet FR2765729A1 — publié le 19990108

1'i 2765729 Disposd'idntificaio d'objt Dj,..s..R.R.s i...... e..t...o.,d...,...,, '..d. eoo,.J.,.,a,_.._.d..bJ. di scor des et de casiers.dans.unrepet ................................................................DTD: L'invention concerne l'identification d'objets discoïdes et de casiers dans un récipient, dans lequel les casiers disposes sensiblement parallèlement les uns aux autres servent à recevoir les objets et dans lequel un rayonnement venant d'une source de rayonnement et réfl6chi sur les faces frontales des objets et les casiers est dirigé au moyen d'un dispositif optique de formation d'images sur des éléments capteurs optoélectroniques conçus pour enregistrer au moins une image. L'identification de plaquettes ou pastilles ou wafer à semi-conducteur dans les casiers des récipients de conservation, qui sont utilisés pour le transport et le stockage ainsi que pour la préparation des plaquettes de semi-conducteur pendant le processus de fabrication jouent un rôle toujours plus important du fait de l'augmentation du degré d'automatisation de la fabrication. Il peut alors surtout se produire qu'il faille atteindre un maximum de fiabilité pour éviter des endommagements des plaquettes semi-conducteurs lors de leur manipulation automatisée. En règle générale, les récipients utilisés présentent deux ouvertures opposées. Avec l'utilisation de nouvelles technologies, telles que le stockage et le transport des plaquettes à semi-conducteur dans des locaux à pureté élevée, ou salles blanches, et la fusion des récipients de conservation avec leur gainage, il y a réduction de l'ouverture de ces récipients souvent d'un côté qui sert simultanément au prélèvement des plaquettes à semi- conducteur au moyen de dispositifs de manipulation. Selon le brevet US-4 895 486, il est connu de déterminer à l'aide d'un appareil de contrôle la présence d'objets du genre de plaquette à 2 2765729 semiconducteur dans un support (magasin) et de déterminer leur position relative par rapport à un plan de référence dans le support, en combinant un premier signal, concernant la présence d'un tel objet, et un S signal de localisation, concernant l'objet. Le premier signal est obtenu au moyen d'un capteur de nature optoélectronique, qui surveille l'espace dans lequel les objets peuvent se trouver. Le deuxième signal est produit par un codeur de position qui est couplé à un entraînement pour faire monter et abaisser le support. Pour déterminer le plan de réference et l'éventuel espace de séjour des objets, l'espace dans le support est subdivisé verticalement en des segments. Outre un segment servant de plan de référence et des segments n'ayant pas d'objet du genre de plaquettes à semi conducteurs, on définit des segments à fenêtres dans lesquels des objets peuvent être présents. Il s'ensuit une indexation du support par le fait que, après détermination selon une technique de mesure du plan de référence dans le support les emplacements des segments à fenêtres sont repérés et mémorisés par le calcul au moyen des données de construction de chaque support utilisé. La solution décrite dans le brevet DE 4306957 C1 montre un faisceau à rayon de mesure, sortant d'un émetteur avec son rayon central situé dans le plan de référence, et qui est guidé entre des parois opposées, contenant les casiers du magasin et qui est dirigé suit des saillies formant des casiers, qui sont tournés vers l'intérieur du magasin, de l'une des parois, et occultant le faisceau à rayon de mesure saillies qui servent de reposoir pour les objets discoides. Par un réglage en hauteur opéré selon la direction des casiers du magasin les uns au-dessus des autres et qui prennent en se suivant de ce fait les uns les autres une position commune avec le plan de 3 2765729 référence, on effectue la génération d'une image, tant des casiers du magasin, qu'également des objets discordes se trouvant dans les casiers du magasin, ceci par une modulation du faisceau à rayon de mesure. Dans le DE 42 38 834 A1 est décrit un dispositif qui, outre une construction déterminée d'un robot conçu pour le déplacement de plaquettes à semi- conducteur, contient entre autres, un dispositif capteur destiné à l'identification de la présence de ces plaquettes à semi-conducteur dans leurs récipients à conservation. Un certain nombre de photo-récepteurs sont disposés par rapport aux récipients de conservation de manière que les photo-récepteurs soient situés en liaison locale par rapport aux casier du récipient de conservation. Un dispositif d'illumination, fixé sur le robot, peut être déplacé, au moyen de ce robot, par rapport au récipient de conservation, en suivant des coordonnées. Le signal généré lors de ce déplacement dans les photos- récepteurs permet d'obtenir des indications concernant la présence d'une plaquette à semi-conducteur dans un casier associé au photo-récepteur. Toutes les solutions techniques citées présentent l'inconvénient que, en cas d'utilisation sur les récipients ouverts d'un côté, déjà cités, elles échouent, du fait que la possibilité de traverser le récipient de conservation n'est pas donnée. Il est en outre désavantageux que, entre le capteur et le substrat, il soit nécessaire d'effectuer un déplacement relatif d'exploration. Ceci mène, tant à augmenter le temps nécessaire pour identification, qu'également à dégrader les conditions de la salle blanche. Ce dernier point en particulier pose problème lorsque le déplacement relatif ne peut être généré qu'au moyen d'un réglage du capteur. US 5 418 382 utilise des éléments d'irradiation disposés en une rangée, au voisinage des faces 4 2765729 frontales de la plaquette à semi-conducteur. Des conducteurs d'ondes lumineuses en forme de barres, dont les ouvertures d'entrée sont voisines des faces frontales des plaquettes à semi-conducteur et de leurs ouvertures de sortie de lumière, transmettent la lumière réfléchie. Le dispositif décrit se limite à l'identification de substrats dans des zones prédéfinies et offre ainsi, certes, la possibilité d'identifier plusieurs objets dans une telle zone, cependant l'identification de substrats qui se trouvent dans des casiers différents et, ainsi, sont basculés par rapport au plan de manipulation est impossible. Du fait de l'exigence de devoir disposer le dispositif à proximité immédiate des substrats identifiés, l'application telle que rencontrée dans les solutions usuelles de l'état de la technique est limité à des récipients qui sont ouverts sur deux côtés. En cas d'utilisation de récipients qui ne sont ouverts que sur un côté, il faut que l'ensemble du dispositif soit éloigné de la zone de manipulation des substrats, ce qui faisant entraine une contamination accrue par des particules. L'utilisation du dispositif à proximité immédiate des substrats empêche, de plus, l'application de la technologie SMIF et apporte des limitations au niveau de l'automatisation. L'étendue matérielle grande du capteur, sur toute la hauteur du récipient, empêche, en liaison avec l'agencement direct par rapport aux substrats, la manipulation des cassettes et limite le degré de liberté des mouvements possibles. L'objet du DE 195 35 871 A1 permet également l'utilisation de magasins, ou de récipients analogues à des magasins, qui sont fermés de tous côtés à l'exception de la direction de garnissage, ceci supposant également un déplacement relatif. 2765729 De la lumière dispersée diffuse, qui est produite après impact d'un faisceau de rayonnement de mesure sur la bordure d'un objet ou sur un déposoir à objet est captée par un photorécepteur sensible à la position, qui est groupé usuellement avec l'émetteur en donnant un ensemble de construction mécanique, et, à l'aide d'un amplificateur électronique, est convertie en un signal analogique, dont l'intensité dépend de l'éloignement qu'il y a entre l'émetteur et le point d'impact. Par un réglage en hauteur opéré selon la direction des casiers superposés du magasin, on génère une image tant des casiers du magasin qu'également des objets discoides se trouvant dans les casiers du magasin, par une modulation en amplitude des signaux de sortie, provoquée par la variation de la distance qu'il y a entre l'émetteur et l'objet réfléchissant, dans le plan situé perpendiculairement à la direction de déplacement. Le but de l'invention est d'augmenter la sécurité d'identification, tant dans le cas de récipients ouverts d'un côté, qu'également de récipients ouverts sur deux côtés. Outre un garnissage multiple, il faut pouvoir identifier également une position oblique des objets sur plusieurs casiers et les casiers eux-mêmes avec leur position indépendamment des tolérences dimensionnelles, une manipulation aussi bien des objets discoïdes qu'également des récipients ne doit pas être entravée et les conditions de pureté du local ne doivent pas être dégradées par l'identification. Le problème est résolu par un dispositif d'identification d'objets discoïdes et de casiers dans un récipient, dans lequel les casiers disposés sensiblement parallèlement les uns aux autres servent à recevoir les objets, et le rayonnement, réfléchi sur les casiers et venant d'une source de rayonnement, 6 2765729 étant dirigé, au moyen d'un dispositif optique de formation d'images, sur des éléments capteurs de nature optoélectronique, en vue d'enregistrer au moins une image, par le fait que l'enregistrement de chaque image est adapté aux conditions de réflexion, contribuant à la formation de l'image, rencontrées sur les faces frontales. Les 61ééments capteurs et le dispositif optique formant l'image sont disposés de façon fixe les uns par rapport aux autres en vue de sélectionner des zones, différentes les unes les autres, des faces frontales et sont réglables conjointement dans un plan, parallèlement aux casiers et aux faces frontales. Si, pour sélectionner différentes zones des faces frontales, il ne faut avoir qu'une variation locale faible des éléments d'enregistrement il suffit de ne régler que le dispositif optique formant une image dans un plan parallèle au casier aux faces frontales. Autrement il est avantageux que les éléments capteurs et le dispositif optique de formation d'image soient fixées sur un support commun qui présente un axe de rotation orienté perpendiculairement par rapport au plan du réglage, dans la direction duquel les éléments capteurs sont disposés au voisinage les uns les autres. Il est également avantageux que le dispositif optique de formation d'image contienne, pour former l'image des objets et des casiers, des objectifs interchangeables portés par une plaque de support, afin d'opérer une modification de la distance focale. Par un réglage de la plaque support, on effectue un déplacement des objectifs interchangeable avec leurs axes optiques, dans la zone des éléments capteurs. En cas d'utilisation de récipients qui ne sont ouverts que sur un côté, les éléments capteurs et le dispositif optique de formation d'image, conjointement avec une source de rayonnement sont placés au voisinage 7 2765729 du récipient sur un côté fermé. Un dispositif de déviation, assure un passage des rayons de l'intérieur du récipient fermé vers les éléments capteurs et vers la source de rayonnement. Dans le cas usuel général du couplage de tels récipients à une installation de traitement de semi- conducteur dans le but du transport de plaquettes à semi- conducteur, les éléments capteurs, le dispositif optique de formation d'image et la source de rayonnement sont fixes sur un support fixe. Sur le support est guidée une plate- forme déplaçable horizontalement, conçue pour recevoir et pour accoupler le récipient à une ouverture de garnissage dans un élément de paroi d'une installation de travail des semi-conducteurs. Le dispositif de déviation est monté décalé latéralement par rapport à l'ouverture de garnissage, sur l'élément de paroi, en regard d'une zone perméable au rayonnement. Dans la mesure o il y a suffisamment d'espace libre devant l'ouverture du récipient, les éléments capteurs et le dispositif optique formant l'image peuvent être placés au voisinage du récipient sur un côté ouvert, si bien que le dispostif déviateur peut être suprimé. Un tel agencement est également applicable lorsque le récipient présente une face avant ouverte et une face arrière ouverte, comme ceci est le cas pour les magasins à tranches de silicium fréquemment utilisés. L'objet de l'invention est en outre un procédé d'identification d'objets disco des sur leurs faces frontales et d'identification de casiers d'un récipient par enregistrement d'au moins une image, qui est constituée de signaux venant d'éléments capteurs individuels, et procédé dans lequel chaque signal a une référence fixe à une base de référence, 8 2765729 l'enregistrement de chaque image étant lié à la sélection des zones à enregistrer des faces frontales. Pour augmenter la sécurité d'identification au moins une paire d'images de zones différentes des faces frontales est enregistrée. Il est avantageux que les signaux de chaque image soient comparés à une valeur de seuil supérieure. En cas de dépassement de la valeur de seuil pour au moins un signal, est effectué un nouvel enregistrement d'images destiné à l'adaptation de l'intensité du signal avec une illumination modifiée, de la même zone des faces frontales que pour l'image comparative. Un nombre modifié d'objets dans les casiers est caractérisé soit par des écarts au niveau des largeurs de signal mesuré pour les objets par rapport à la largeur de consigne soit par des écarts d'espacement des maxima du signal pour les objets par rapport aux espacements de consigne. Ce dernier point vaut en particulier pour une allure du signal entre deux maxima du signal, allure située au-dessus d'une valeur de seuil inférieure. Des écarts entre les positions mesurées des objets par rapport à la position de consigne, qui changent en fonction de la zone enregistrée de la face frontale, caractérisent un objet situé dans des casiers différents. L'écart peut être déterminé par rapport à 1 'espacement de consigne des objets ou par rapport à l'espacement de consigne vis-à-vis de la base de référence. L'invention va être explicitée ci-après plus en détail à l'aide du dessin schématique dans lequel: La figure 1 est une représentation de principe de l'identification d'objets discordes avec une illumination directe et une première position du dispositif capteur. 9 2765729 La figure 2 est une représentation de principe visant à l'identification des objets discordes avec une illumination directe et une deuxième position de l'agencement des capteurs. La figure 3 est une vue de dessus d'un récipient s'ouvrant sur un côté conjointement avec un dispositif récepteur. La figure 4 est une vue avant d'un dispositif récepteur pivotant avec des objectifs remplaçables. La figure 5 est une vue de dessus d'un dispositif récepteur pivotant avec des objectifs remplaçables. La figure 6 représente l'agencement d'un dispositif récepteur sur un poste de chargement et de déchargement pour des installations de traitement de semi-conducteur avec un récipient s'ouvrant sur un côté, à l'état accouplé et ouvert. La figure 7 est un schéma à blocs du dispositif. La figure 8 représente une image qui a été enregistrée avec un premier temps d'exposition. La figure 9 est une deuxième image pour laquelle le temps d'exposition a été diminué par rapport à la figure 8. La figure 10 est l'image de flux du déroulement de la mesure pour la détermination de la présence des objets dans des casiers du récipient. La figure 11 est une représentation schématique d'un agencement pour des récipients ouverts sur deux côtés, en vue de dessus. Sur les figures 1 et 2 est représenté un dispositif récepteur 1 qui est constitué d'un dispositif optique de formation d'image, se présentant sous la forme d'un objectif 2, d'un capteur de ligne CCD 3 ayant des éléments capteurs adressables individuellement, et d'une unité électronique 4 go 2765729 destinée à la commande et à la compression de données, par rapport à un objet discoide se présentant sous la forme d'une plaquette ou wafer à semi-conducteur 5, faisant qu'un rayonnement 7 réfléchi par sa face frontale 6 et venant d'une source de rayonnement non représentée peut être capté. Les parties de rayonnement reçus par le capteur de ligne CCD 3 sont converties, par exploitation de l'effet photoélectrique, en un signal électrique et amenés à l'unité électronique 4. Le rayonnement réfléchi 7 est généré à partir d'un rayonnement dont la direction principale de rayonnement 8, ayant l'axe optique O0-0; de l'objectif 2 placé sensiblement dans un plan parallèle à la surface de la plaquette à semi-conducteur 5. La longueur d'ondes du rayonnement et la sensibilité spectrale du capteur de ligne CCD 3 sont adaptées mutuellement. Ainsi qu'on peut le voir sur les figures 1 et 2, la plaquette à semi-conducteur 5 comporte, pour l'identification de l'orientation du réseau, une entaille 9, dont la position dans le plan n'est, dans la plupart des cas, pas déterminée. Si l'entaille 9 est située dans le champ image du dispositif récepteur 1, alors aucune partie du rayonnement (ou seulement une partie insuffisante) n'est réfléchie dans cette direction (figure 1). Pour l'obtention du signal, il est nécessaire d'effectuer une sélection de la direction de réflexion pour laquelle le rayonnement réfléchi 7 peut être appréhendé par un objectif 2, dans une proportion suffisante. A cette fin le dispositif récepteur 1 est pivoté d'un angle î dans un plan parallèle à la surface de la plaquette à semi- conducteur 5 (figure 2), faisant qu'une autre zone de la face frontale 6 est représentée. Le rayonnement réfléchi tombe à présent sur l'objectif 2. Il. I2765729 L'angle ûf qui dépend de la distance entre la plaquette à semi-conducteur 5 et du dispositif récepteur 1, ainsi que de l'échelle de représentation résultant de la distense focale de l'objectif 2, doit avoir comme conséquence au moins le déplacement du site d'observation de la valeur de la largeur de l'entaille 9. L'angle d'ouverture de la source de rayonnement est également à adapter à l'angle a si bien que le pivotement du dispositif récepteur 2 au moins une partie du rayonnement 7 réfléchi peut être capté. Evidemment, au lieu du mouvement de pivotement, aussi un déplacement du dispositif récepteur 1 dans un plan parallèle à la surface de la plaquette à semi- conducteur 5 et perpendiculairement par apport à l'axe optique 01-0, peut aussi conduire au succès. Pour optimiser l'angle d'ouverture de la source de rayonnement, il est avantageux d'exécuter le déplacement nécessaire pour la sélection de différentes zones des faces frontales de façon symétrique par rapport à une position médiane de l'axe optique 0-0. Pour l'application de l'invention dans le cas d'un récipient 10 ouvert sur un côté, un dispositif récepteur 11, destiné à l'identification des plaquettes à semi-conducteur 12 selon la figure 3, est placé au voisinage du récipient 10 sur un côté 13 fermé qui délimite le côté ouvert 14. De ce fait, un espace 15 servant à la manipulation et au travail des plaquettes à semi-conducteur 12 et voisin du côté ouvert 14 du récipient 10 reste libre, et un prélèvement et un rappel des plaquettes à semi-conducteur 12 n'est pas entravé. Pour respecter cette condition, on dispose de façon décalée latéralement un dispositif déviateur 16 en vue d'assurer le chemin de rayon nécessaire vers le côté ouvert 14 du récipient 10. :. 2 2765729 Les plaquettes à semi-conducteur 12 reposent dans le récipient 10 sur des supports 18 formant des casiers 17. S'il ne se trouve dans les casiers 17 plaquette à semi-conducteur 12, ou si le récipient n'est que partiellement garni alors, pour effectuer un changement depuis la représentation de la plaquette à semi- conducteur 12 pour obtenir une représentation des casiers 17, on opère un déplacement de la gamme de profondeur de champ d'une première zone 19 à représenter à une deuxième gamme de profondeur de champ d'une deuxième zone 20. A cette fin le dispositif récepteur 11 contient une optique de représentation à focale variable S15 modifiable. La modification de la distance focale s'effectue soit automatiquement sur la base du résultat d'une première mesure, soit à la demande en vue de mesurer des casiers qui ne sont pas garnis. Dans des cas exceptionnels, dans lesquels on a suffisamment de place devant l'ouverture du récipient, le dispositif récepteur peut également être disposé, sans dispositif déviateur, devant l'ouverture. La forme de réalisation représentée sur les figures 4 et 5 du dispositif récepteur 21 est réalisée dans sa structure pour convenir à l'enregistrement d'une image en fonction des conditions de réflexion contribuant à la formation de l'image, sur les faces frontales, par une sélection de zones de faces frontales différentes les unes des autres. Parmi les différentes zones des faces frontales de la plaquette à semiconducteur on peut de ce fait enregistrer des images de manière, que l'ensemble du dispositif récepteur 21 soit décalé d'un faible angle dans le plan parallèlement à la surface de la plaquette à semi-conducteur. L'axe de rotation 22 est situé dans la zone arrière du dispositif récepteur 21 dans une 13 2765729 articulation à ressort à lame 23 qui est portée par un bâti 24 et qui est précontrainte dans la direction opposée en vue d'obtenir un débattement. Un déplacement linéaire, qui est généré au moyen d'une bobine à plongeur 26 fixée à une plaque de base 25, agit sur un point d'action 27 situé de façon excentrée et règle l'ensemble du dispositif récepteur 21. La force de rappel nécessaire lors de la commutation sans courant de la bobine à longueur 26 est générée par un ressort 28. Si, pour sélectionner différentes zones des faces frontales, il ne faut effectuer qu'une modification locale faible des éléments capteurs, il peut être suffisant de n'effectuer qu'un réglage seulement du dispositif optique de formation d'image. Des moyens convenant pour cela sont suffisamment connus de l'homme de l'art. Un dispositif optique 29 de formation d'image focale variable est constitué de deux objectifs 30, 31 qui sont portés par une plaque support 32. A l'aide d'un entraînement 33 à moteur électrique, les objectifs 30, 31 peuvent être déplacés, par l'intermédiaire d'une transmission 34, sur une trajectoire circulaire, de manière que leurs axes optiques soient déplacés dans les positions finales respectives dans la zone du capteur CCD 35. Les distances focales des objectifs 30, 31 et de leurs espacements par rapport au capteur CCD 35 sont déterminées de manière qu'on obtienne des échelles de représentation identiques. Un autre type de changement d'objectif peut être réalisé à l'aide d'un entraînement en translation non représenté, qui déplace les objectifs sur une piste de guidage, perpendiculairement à l'axe optique. Egalement, un changement des objectifs ou bien un objectif de type zoom avec une compensation obtenue par calcul de l'échelle de représentation sous la forme 141 2765729 d'une matrice de correction peut être effectué avec succès. Le dispositif d'illumination (non représenté) est disposé symétriquement au-dessus et au-dessous du dispositif récepteur 21 et est relié mécaniquement à lui ou bien est fixé séparément sur le bâti. Dans le cas du poste de chargement de déchargement qui est représenté sur la figure 6, qui à des installations de traitement de semi- conducteurs un récipient 36 déjà ouvert est déposé sur une plate- forme 38 portée par un support 37 fixe et déplaçable horizontalement dans la direction de la flèche et est accouplé à une ouverture de chargement 39 ménagée dans un élément de paroi 40. Un dispositif 41, prévu pour ouvrir et fermer l'ouverture de garnissage 39, est réalisé en vue de recevoir ensemble un obturateur 42, destiné à l'ouverture de chargement 39, et un couvercle de récipient 43 du récipient 36 et pour être abaissé dans l'installation de traitement des semi-conducteurs. L'obturateur 42 est fixé à un bras 44 réglable en hauteur et contre l'élément de paroi 40 et peut porter le couvercle de récipient 43 couplé à une force. Le réglage en hauteur et le réglage du bras 44 contre l'élément de paroi 40 s'effectuent par l'intermédiaire de vérins placés à l'intérieur du dispositif 41. Des éléments entraînement et de commande du poste de chargement et de déchargement sont loges dans un boîtier 45. Un dispositif récepteur 46 est placé, conjointement avec une source d'irradiation ou d'illumination 47, au voisinage du récipient 36 sur un côté ouvert, qui est limitrophe au côté à ouvrir, du fait que sa fixation s'effectue sur le support 37. De ce fait, la zone de l'ouverture de garnissage 39 reste libre pour la manipulation et un prélèvement et un I5 2765729 retour des tranches de si icium à semi-conducteur et n'est pas entravé. Un dispositif déviateur 48, destiné à assurer le chemin de rayon nécessaire, est monté décalé latéralement par rapport à l'ouverture de garnissage 39, sur l'élément de paroi 40, l'élément de paroi 40 étant dans cette zone pourvu d'une fenêtre 49 qui est perméable au rayonnement. Le dispositif capteur 46 est, du fait de l'agencement fixe par rapport au bâti, placé en une référence géométrique fixé par rapport à la même base de référence, tel qu'un dispositif de manipulation, dans l'installation de traitement des semi-conducteurs. Si la position de la plaquette à semi-conducteur est déterminée, alors un positionnement dispositif de manipulation par rapport aux plaquettes semi-conducteur peut s'effectuer par la transmission de l'information locale verticale. Dans le schéma à blocs représenté sur la figure 7, un convertisseur optoélectronique, se présentant sous la forme du capteur de ligne CCD 35, est relié, côté entrée et côté sortie, à une électronique d'évaluation 50 servant à la commande et à la fourniture de données. La tension analogique associable à chaque point image et proportionnelle à l'incidence du rayonnement que l'on a à la sortie du capteur CCD 35 est convertie en une valeur numérique par l'électronique d'évaluation 50. Une compression de données 51 reliée à l'électronique d'évaluation 50 assume la sélection des données, du fait que, parmi les valeurs de tension numérique reçues, seules celles qui dépassent une valeur de seuil inférieure sont transmises par l'intermédiaire d'une ligne de données, vers une unité de commande 52. 16 2765729 Des liaisons allant à une source d'irradiation ou d'illumination 53, à la commande de entrainement 26 pour le déplacement du dispositif capteur 21 et de 1 'entraînement 33 pour le remplacement de l'objectif, partent enoutre de l'unité de commande 52. Les résultats de l'évaluation du signal, les informations concernant l'occupation d'un casier, la position des plaquettes à semi- conducteur dans les casiers (plaquettes en croix), les éventuelles doubles occupations et l'espacement entre les différents objets, ou les différents casiers par rapport au plan repère, sont mis à disposition par l'intermédiaire d'une liaison de données série d'un dispositif de commande d'appareillage 54. Les informations concernant l'occupation des casiers peuvent être requises par une unité de commande 55 hiérarchiquement supérieure au bien être retransmis à celle-ci. En outre il est prévu que le dispositif de commande d'appareillage 54 amène, à un dispositif de commande 56 destiné à un dispositif de manipulation 57 pour en effectuer le positionnement, les indications concernant l'occupation des casiers et également concernant l'espacement entre les différentes plaquettes à semi-conducteur/les différents casiers. La figure 8 représente une allure typique d'un signal reçu du dispositif récepteur, sur toute la plage de travail qui est de 2048 pixels. Pour obtenir une réduction des données au moyen de la compression de données 51 on fixe, en fonction du temps d'intégration (temps d'illumination) du capteur CCD 35, au niveau d'un logiciel, une valeur de seuil inférieure réglable 58 qui se distingue suffisamment du signal de base (bruit) provoqué par les perturbations- parasites et les influences venant de l'environnement. Une valeur de seuil supérieure 59 également réglable par un logiciel permet l'identification d'une surrégulation 17 2765729 possible ou d'un état de surcommande possible et est choisie à proximité de la valeur maximale du signal de sortie. Le flan 60 à pente positive et le flan 61 à pente négative décrivent la présence d'une plaquette à semi-conducteur, la position de la plaquette par rapport à un plan de référence pouvant être calculé à partir de l'adresse des éléments capteurs appartenant au capteur CCD 35. De manière appropriée, on détermine, à partir de la différence des adresses entres flans 60 et 61, la valeur moyenne et on s'en sert de base pour la position médiane de la plaquette. La détermination des maxima 62 et 63 et l'évaluation de l'espacement entre les deux, permettent de tirer des conclusions pour savoir si un casier serait doublement occupé. L'espacement entre les deux maxima 62 et 63 n'est que de quelques points images et se distingue nettement de l'espacement standard entre les plaquettes à semi-conducteur et dans les casiers. I1 est typique, pour un casier objet d'un double garnissage, d'avoir la suite des deux maxima 62 et 63 sans qu'entre les deux maxima il y ait dépassement de la valeur de seuil inférieure 58. Une autre possibilité d'identification de casiers à occupation double consiste à évaluer la différence entre le flan positif 60 et le flan négatif 61. Si un maximum de la valeur de seuil supérieure 59 choisie est dépassé, alors il faut s'attendre à une surréyulation du récepteur. Dans le cas présent, ceci vaut pour les maxima 54 et 56. Pour permettre une évaluation sur des doubles maxima, il est nécessaire de réduire l'intensité. Ceci s'effectue soit par le biais de la diminution de l'intensité du signal d'illumination, soit par la réduction du temps d'intégration du capteur CCD 35. 18 2765729 Sur le figure 9 l'intensité du signal est limitée par le fait que le temps d'illumination de 30 ms dans une première image a été réduit à 1 ms. Du fait du bruit faible qui est lié à un faible temps d'illumination, on peut abaisser le seuil inférieur 58. Les maxima 64 et 66 sont disponibles à présent pour toutes les étapes d'évaluation nécessaires. L'espacement que l'on a entre les signaux 63 et 65 est en cas normal égal à l'espacement entre casiers ou, dans le cas de casiers non occupés, est un multiple de l'espacement entre casiers. En plus, en cas d'un agencement fixe du dispositif récepteur, la liaison fixe, déjà décrite, par rapport au plan repère est exploitable. Des écarts, entre la position mesurée par rapport à la position de consigne relativement au plan de référence, ou bien de l'espacement entre les plaquettes par rapport à l'espacement de consigne, permettent de tirer des conclusions sur des plaquettes placées dans deux casiers différents (plaquettes en croix). La valeur de l'écart de la position déterminée par rapport à l'espacement entre casiers, ou de la position attendue, dépend de la position du site de mesure entre les parois latérales du récipient, c'est- à-dire de la zone enregistrée de la face frontale, et présente son maximum à mi-distance, à la moitié de l'espacement entre casiers. Selon la figure 10, pendant une mesure A avec un premier temps d'intégration ou une première intensité d'illumination, on enregistre et on mémorise une première image. Si, pour au moins un point image qui est connu par son adresse, il y a dépassement de la valeur seuil supérieure 59, alors l'enregistrement et la mémorisation d'une deuxième image vont être effectués avec un temps d'intégration diminué ou une intensité d'illumination diminuée. Le facteur de cette modification d'illumination peut être choisi en 9 2765729 fonction de la fluctuation attendue du degré de réflexion des plaquettes à semi-conducteur et est normalement situé dans la plage allant de 1:30 à 1:50. La plage dynamique utilisable du capteur est fixée par le choix des valeurs de seuil inférieure et supérieure 58, 59 et est située à peu près à 1:10. Du fait que la plage dynamique globale résulte du produit entre la plage dynamique de capteur et la dynamique d'illumination, il en résulte une modification nécessaire du temps d'intégration ou du temps d'illumination, de la valeur d'un facteur 5. Avec deux images, on peut ainsi appréhender l'ensemble de la plage dynamique. L'évaluation des augmentations de la première image donne l'information concernant la 1i5 présence de plaquettes à semi-conducteur et, dans la mesure o le signal respectif n'a pas dépassé la valeur de seuil supérieure choisie, à partir de l'évaluation de l'espacement entre les maxima, l'information concernant la double occupation de casiers peut être obtenue. L'évaluation des pentes des deux images fournit l'information concernant la double occupation de casiers pour les plaquettes, qui était l'objet d'une surrégulation dans la première image. La combinaison par une fonction logique OU des résultats A1 et A2 des deux images fournit l'information concernant l'occupation des casiers et les éventuelles doubles occupations existantes. Si la somme des plaquettes identifiées correspond au nombre des plaquettes attendues (nombre de casiers) W = théorique, alors la comparaison entre la position de plaquettes Wu déterminée avec les positions de consigne Sollp s'effectue, en désignant par n la position d'une plaquette ou bien d'un casier. Sur la figure 10 le déroulement a été représenté de façon simplifiée pour une position. Si la différence, entre la position de consigne et la position réelle, dépasse 2765729 une valeur dépendant du site de mesure entre les parois du récipient, alors, en résultat, on a une information d'erreur concernant l'identification de plaquettes à semi-conducteur placées dans deux casiers différents. Si toutes les plaquettes à semi-conducteur attendues n'ont pas été identifiées, ou si l'on s'attend à ce que les plaquettes aient été placée de façon non ordonnée avec leurs entailles 9 dans le récipient, pour augmenter la sécurité de leur identification on effectue une mesure B avec une troisième et, en cas de nécessité, une quatrième image et le résultat est mémorisé. Au préalable, on modifie le site de mesure par un déplacement du dispositif récepteur, de manière correspondante à la représentation des figures i et 2. Tandis que s'effectue l'enregistrement d'images par une autre zone des faces frontales que pour la mesure A, il y a égalité de l'algorithme d'évaluation pour les images. Les résultats WA et Wj des mesures A et B sont évalués par une combinaison faisant appel à une fonction logique OU et fournissent le résultat de l'ensemble. Les positions Watt déterminées sont comparées avec les positions de consigne Sollp,. Si la différence entre la position théorique et la position réelle dépasse une valeur dépendant du site de mesure alors, en résultat, on a une information d'erreur. En résultat on obtient pour chaque casier une information d'état contenant les informations: occupé, libre, occupation double ou tranche de silicium en croix. Pour utiliser le dispositif selon l'invention pour déterminer la position précise des plaquettes à semi-conducteur et des casiers par rapport au plan de repère, on transmet, outre l'information d'état, également les positions des plaquettes à semi- conducteur ou des casiers identifiés. La position est contenue dans l'adresse de l'élément capteur respectif et peut être recalculée en prenant en compte l'échelle 2,1 2765729 de la représentation et l'échelle de tramage de l'élément capteur dans un espacement géométrique par rapport au plan de référence. Pour augmenter la précision, il est pertinent de corriger les erreurs qui, par exemple, ont été provoquée par des distorsions d'images au niveau des objectifs. Pour déterminer les valeurs de correction la formation d'image d'une matérialisation connue dimensionnelle sur le capteur est effectuée et les écarts déterminés sont mémorisés dans une matrice de correction. L'étalonnage de l'ensemble du dispositif de mesure peut s'effectuer à l'aide de ces valeurs de correction. ]5 Dans le cas de l'agencement représenté sur la figure 11, un magasin 67 est posé sur une plate- forme 68 qui est entourée par un cadre 69. Dans le magasin 67 des plaquettes à semi-conducteur 70 sont placées dans des casiers, de manière analogue à ce que l'on a dans le récipient 10. Une différence essentielle réside cependant dans le fait que le magasin 67 est ouvert sur sa face avant 71 et sur sa face arrière 72. Tandis qu'en face avant 71 la manipulation des plaquettes à semi-conducteur 70 peut s'effectuer, en face arrière on peut disposer, séparément l'un de l'autre, un dispositif récepteur 73 et un dispositif d'illumination 74, faisant que le rayonnement réfléchi par le dispositif d'illumination 74 tombe dans le dispositif récepteur 73. Pour enregistrer des images des différentes zones de faces frontales des tranches de silicium à semi- conducteur 70, le dispositif récepteur 73 comporte, comme le dispositif représenté sur les figures 4 et 5, des moyens permettant de régler de façon commune l'objectif de ce capteur CCD. Le déroulement de la mesure de détermination de la présence des plaquettes à semi-conducteur 70 dans 22 2765729 les casiers du magasin 67 est le même que celui selon la figure 10. 2 3 2765729 REVENDICATIONS 1. Dispositif d'identification d'objets discoides et de casiers dans un récipient, dans lequel les casiers disposés sensiblement parallèlement les uns aux autres servent à recevoir les objets, et le rayonnement, réfléchi sur les casiers et venant d'une source de rayonnement, étant dirigé, au moyen d'un dispositif optique de formation d'images, sur des éléments capteurs de nature optoélectronique, en vue d'enregistrer au moins une image, caractérisé en ce que l'enregistrement de chaque image est adapté aux conditions de réflexion, contribuant à la formation de l'image, rencontrées sur les faces frontales (6). 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les éléments capteurs et le dispositif optique (29) formant l'image sont disposés de façon fixe les uns par rapport aux autres en vue de sélectionner des zones, différentes les unes les autres, des faces frontales et sont réglables conjointement dans un plan, parallèlement aux casiers et aux faces frontales. 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le dispositif optique (29) de formation de l'image est réglable dans un plan parallèle aux casiers et passant devant les faces frontales, pour effectuer la sélection de zones, différentes les unes des autres, des faces frontales. 4. Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que les éléments capteurs et le dispositif optique (29) de formation d'image sont fixées sur un support commun qui présente un axe de rotation (22) orienté perpendiculairement par rapport au plan du réglage, dans la direction duquel les éléments capteurs sont disposés au voisinage les uns les autres. 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le dispositif optique (29) de 2Ad 2765729 formation d'image contient, pour former l'image des objets et des casiers (17), des objectifs interchangeables (30, 31) portés par une plaque de support (32), afin d'opérer une modification de la distance focale, et en ce que, par un réglage de la plaque support (32), on effectue un déplacement des objectifs interchangeables (30, 31) avec leurs axes optiques, dans la zone des éléments capteurs. 6.Dispositif selon l'une des revendications 2 à 5, caractérisé en ce que les éléments capteurs et le dispositif optique (29) de formation d'image, conjointement avec une source de rayonnement (47), le récipient (10, 36), sont placés au voisinage d'un côté (13) fermé et d'un dispositif de déviation (16, 48), assurant un passage des rayons de l'intérieur du récipient fermé (10, 36) vers les éléments capteurs et vers la source de rayonnement (47) 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé en ce que les 61ééments capteurs, le dispositif optique (29) de formation d'image et la source de rayonnement (47) sont fixés sur un support (37) fixe qui porte une plate-forme (38) déplaçable horizontalement, conçue pour supporter et pour accoupler le récipient (36) à une ouverture de garnissage (39) dans un élément de paroi (40) d'une installation de travail des semi- conducteurs, et en ce que le dispositif de déviation (48) est monté décalé latéralement par rapport à l'ouverture de garnissage (39), sur l'élément de paroi (40), en regard d'une zone (49) perméable au rayonnement. 8. Dispositif selon l'une des revendications 2 à 5, caractérisé en ce que les éléments capteurs et le dispositif optique (29) formant l'image sont placés au voisinage du récipient (10, 36) sur un côté ouvert (14). 2765729 9. Dispositif selon l'une des revendications 2 à 4, caractérisé en ce que les éléments capteurs et le dispositif optique de formation d'image sont dirigés sur un côté ouvert d'un récipient, qui présente une face avant (71) ouverte et une face arrière (72) ouverte. 10. Procédé d'identification d'objets discoides sur leurs faces frontales et d'identification de casiers d'un récipient par enregistrement d'au moins une image, qui est constituée de signaux venant d'éléments capteurs individuels, et procédé dans lequel chaque signal a une référence fixe à une base de repère, caractérisé en ce que l'enregistrement de chaque image est liée A la sélection des zones à enregistrer des faces frontales (6). 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que, pour augmenter la sécurité d'identification, on enregistre au moins une paire d'images, venant de zones différentes des faces frontales (6). 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé en ce que les signaux de chaque image sont comparés à une valeur de seuil supérieure (59), et en ce que, en cas de dépassement de la valeur de seuil (59) pour au moins un signal destiné à l'adaptation de l'intensité du signal, est effectué un nouvel enregistrement d'images, avec une illumination modifiée, de la même zone des faces frontales (6) que pour l'image comparative. 13. Procédé selon la revendication 11 ou 12, caractérisé en ce que des écarts sur des largeurs de signaux mesurés, concernant les objets par rapport à la largeur de consigne, caractérisent une modification du nombre des objets dans les casiers (17). 14. Procédé selon les revendications 11 ou 12, caractérisé en ce que des écarts de l'espacement, entre le maximum (62, 63) du signal concernant les objets et 26 2765729 les espacements de consigne, caractérisent une modification du nombre des objets dans les casiers (17). 15. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que l'allure du signal entre deux maxima (62, 63) du signal, allure située au-dessus d'une valeur de seuil inférieure (58), caractérise une modification du nombre des objets dans les casiers (17). 16. Procédé selon la revendication 11 ou 12, caractérisé en ce que des écarts entre les positions mesurées des objets par rapport à la position de consigne, qui changent en fonction de la zone enregistrée de la face frontale, caractérisent un objet situé dans des casiers (17) différents. 17. Procédé selon les revendications 16, caractérisé en ce que l'écart par rapport à l'espacement de consigne des objets est déterminé. 18. Procédé selon la revendication 16, caractérisé en ce que l'écart par rapport à l'espacement de consigne vis-à- vis de la base de repère est déterminé.