Brevet FR2760563A1 — publié le 19980911

PSEUDOFUSIBLE ET APPLICATION A UN CIRCUIT D'ÉTABLISSEMENT D'UNE BASCULE A LA MISE SOUS TENSION La présente invention vise à la réalisation d'un pseu- dofusible, c'est-à-dire d'un élément présentant un premier état de faible résistance et un deuxième état de plus forte résistance et pouvant passer du premier au deuxième état par suite du passage d'un courant. La présente invention vise aussi une application d'un tel pseudofusible à la réalisation d'une bascule bistable qui est automatiquement programmée dans son premier ou son deuxième état par suite de sa mise sous tension, en fonction de l'état du pseudofusible. Pour atteindre ces objets, la présente invention pré- voit un pseudofusible comprenant entre deux contacts une région de silicium revêtue d'une région de siliciure comprenant une portion de section réduite revêtue d'une couche de diélectrique. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le diélectrique est de l'oxyde de silicium. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le siliciure est un siliciure de titane. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la région de silicium est du silicium polycristallin dopé. La présente invention prévoit aussi l'application de tels pseudofusibles à la réalisation d'un circuit pour la mise dans un état déterminé à la mise sous tension d'une bascule bistable, dans lequel le pseudofusible est disposé dans une branche de la bascule bistable, une résistance de valeur déter- minée, intermédiaire entre les valeurs haute et basse du pseudo- fusible, étant disposée dans l'autre branche. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la bascule bistable comprend dans chacune des branches un transistor à canal P en série avec un transistor à canal N, les grilles des transistors de la première branche étant reliées au point de connexion des transistors de la deuxième branche et les grilles des transistors de la deuxième branche étant reliées au point de connexion des transistors de la première branche. Selon un mode de réalisation de la présente invention, le circuit comprend des moyens de reprogrammation de la bascule bistable. Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non-limitatif en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures lA et 1B représentent respectivement une vue de dessus et une vue en coupe d'un mode de réalisation d'un pseudofusible selon la présente invention; et les figures 2 et 3 représentent des exemples d'applica- tion d'un pseudofusible selon la présente invention. Dans le mode de réalisation des figures 1A et lB, le pseudofusible selon la présente invention est formé au-dessus d'une couche isolante 1 et comprend une région de silicium poly- cristallin 2 dont la surface supérieure 3 est siliciurée. L'ensemble est revêtu d'une couche d'un diélectrique 4 dans laquelle sont formées des ouvertures pour établir des contacts avec des métallisations 5 et 6. Ces ouvertures sont formées en des emplacements distants de la surface supérieure de la couche de siliciure 3. Dans la vue de dessus de la figure lA, on voit que l'ensemble des régions 2 et 3 comporte deux portions externes 10 et 11 propres à servir de plots de contact avec les métallisa- tions 5 et 6, et une partie centrale de section réduite 12. Dans le mode de réalisation représenté, la section réduite correspond à une portion de largeur réduite des deux régions 2 et 3. On pourrait aussi prévoir une zone de siliciure d'épaisseur réduite ou un rétrécissement de la seule région de siliciure. La région 2 a été définie comime étant une couche de silicium polycristallin. I1 pourra aussi s'agir de la surface supérieure d'un substrat de silicium. Cette région 2 est dopée selon un type de conductivité souhaité pour présenter une résis- tivité choisie et une résistance déterminée entre les contacts 5 et 6. Le siliciure 3 est un siliciure de métal réfractaire tel qu'un siliciure de titane. Sa caractéristique essentielle dans la présente invention est de présenter un point de fusion inférieur à celui du silicium. La couche de diélectrique 4 est par exemple une couche d'oxyde de silicium. Ainsi, quand la structure est dans l'état illustré en figure lB, elle présente une première résistance faible essen- tiellement due à la forte conductivité de la région de siliciure. Cet état sera appelé ci-après état vierge. Si l'on fait passer un courant élevé entre les bornes 5 et 6, le siliciure s'échauffe, notamment dans la région 12 et réagit avec le diélectrique 4 qui le recouvre pour former un composé non-conducteur. Alors, la résistance entre les régions 5 et 6 est liée au niveau de dopage de la région de silicium 2 et atteint une valeur nettement plus élevée. Cet état sera appelé ci-après état programmé. On dispose ainsi d'un fusible. Toutefois, contrairement à un fusible normal qui présente dans un premier état une résis- tance faible et dans un deuxième état une résistance pratiquement infinie, le fusible ou pseudofusible selon la présente invention présente dans un premier état une première valeur de résistance faible et dans un deuxième état une deuxième valeur de résistance plus élevée et déterminée, notamment par le niveau de dopage de la région de silicium 2. Un tel pseudofusible dont la résistance peut varier entre deux valeurs déterminées, peut trouver diverses applica- tions qui apparaîtront à l'homme de l'art. On indiquera ci-après, uniquement à titre d'exemple, une application possible d'un tel pseudofusible à l'établissement dans un état déterminé d'une bascule bistable à la suite d'une mise sous tension de cette bascule. La figure 2 représente un premier exemple d'une telle application. Le bloc 20 désigne une bascule bistable dont une première branche est connectée entre une alimentation haute VCC et la masse G avec interposition d'un fusible selon la présente invention 21. La deuxième branche est également connectée entre les bornes VCC et G avec interposition d'une résistance 22 de valeur R. Cette valeur R est choisie pour être supérieure à la valeur RF1 de la résistance du fusible quand celui-ci est à l'état vierge et pour être inférieure à la valeur RF2 de la résistance du fusible quand celui-ci a été programmé. Un commnuta- teur T1, par exemple un transistor MOS à canal N est disposé en série avec le fusible 21 entre les bornes VCC et G. Ainsi, quand une tension est appliquée entre les bornes VCC et G, la mise en conduction du commutateur T1 entraîne le passage du fusible 21 dans 1 'état programmé. La bascule 20 est déséquilibrée du fait des valeurs inégales des résistances 21 et 22. Au moment o l'on applique la tension sur la borne VCC, la capacité associée à la branche de la bascule dont la résistance est la plus faible se charge plus rapidement que celle de l'autre branche. Ainsi, quand le fusible 21 a une résistance plus faible que la résistance R1, c'est la branche associée à cette résistance qui se charge la première et la bascule prend un premier état. Dans le cas contraire, la bascule prend un deuxième état. Dans 1 'exemple particulier représenté, la bascule bistable 20 est du type SRAM. La première branche comprend un transistor MOS à canal P Pl en série avec un transistor MOS à canal N N1. La deuxième branche comprend un transistor MOS à canal P P2 en série avec un transistor MOS à canal N N2. Les grilles des transistors P2 et N2 sont connectées au point de raccordement A des transistors Pl et N1. Les grilles des transis- tors Pl et N1 sont connectées au point de raccordement B des transistors P2 et N2. A un état initial o la tension VCC n'est pas appliquée, le potentiel des noeuds A et B est nul. Quand la tension VCC croît progressivement, les transistors Pl et P2 sont passants puisqu'il s'agit de transistors à canal P dont la grille est à niveau nul et les capacités équivalentes des transistors N1 et N2 se chargent. C'est le noeud A ou B de la branche à laquelle la résistance la plus faible est associée qui se chargera le plus rapidement et dès que la tension au point A ou B atteint un seuil de transistor, le transistor P1 ou P2 se bloquera et le transis- tor N1 ou N2 deviendra passant, ce qui confère à la cellule un état déterminé fonction de la valeur de la résistance du pseudo- fusible 21 par rapport à la valeur de la résistanoe R2. Ceci permet de fournir des cellules mémoire SRAM qui atteignent un état déterminé après une mise sous tension. Cet état pourra être utilisé pour déclencher diverses opérations, par exemple pour inhiber des lignes d'une mémoire auxquelles sont associées ces cellules. La figure 3 représente une variante de oe circuit dans lequel l'état de la cellule préprogrammée est modifiable. En plus des éléments déjà décrits en relation avec la figure 2, le circuit de la figure 3 comprend dans la première branche un transistor MOS à canal P P3, et un transistor MOS à canal N N3 est connecté entre le noeud A et la masse G. Les grilles des transistors P3 et N3 sont connectées à une borne de remise à zéro R. Ainsi, quand un signal est appliqué sur la borne R, le transistor N3 devient passant et le transistor P3 se bloque, d'o il résulte que le noeud A est remis à la masse. Bien entendu, diverses variantes de reprogrammation du circuit peuvent être prévues et d'autres types de bascules bistables que celles représentées en figures 2 et 3 peuvent être utilisés. PJDICATIOM 1. Pseudofusible caractérisé en oe qu'il comprend entre deux contacts (5, 6) une région de silicium (2) revêtue d'une région de siliciure (3) comprenant une portion (12) de section réduite revêtue d'une couche de diélectrique (4). 2. Pseudofusible selon la revendication 1, caractérisé en ce que le diélectrique (4) est de l'oxyde de silicium. 3. Pseudofusible selon la revendication 1, caractérisé en ce que le siliciure (3) est un siliciure de titane. 4. Pseudofusible selon la revendication 1, caractérisé en ce que la région de silicium (2) est du silicium poly- cristallin dopé. 5. Circuit utilisant le pseudofusible selon la reven- dication 1 pour la mise dans un état déterminé à la mise sous tension d'une bascule bistable (20), caractérisé en oe que le pseudofusible (21) est disposé dans une branche de la bascule bistable, une résistance (22) de valeur déterminée, intermédiaire entre les valeurs haute et basse du pseudofusible, étant disposée dans 1 'autre branche. 6. Circuit selon la revendication 5, caractérisé en ce que la bascule bistable comprend dans chacune des branches un transistor à canal P en série avec un transistor à canal N, les grilles des transistors (P1, N1) de la première branche étant reliées au point de connexion (B) des transistors de la deuxième branche et les grilles des transistors (P2, N2) de la deuxième branche étant reliées au point de connexion (A) des transistors de la première branche. 7. Circuit selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (P3, N3) de reprogrammation de la bascule bistable.