Brevet FR2768135A1 — publié le 19990312

SUPPORT POUR LE TRANSPORT DE TRANCHES DE SEMI-CONDUCTEUR. CONTEXTE DE L'INVENTION La présente invention concerne des supports pour tranches de semiconducteur et concerne plus particulièrement un conteneur pouvant être fermé pour stocker et transporter des tranches. Des enceintes pouvant être rendues étanches, appelées généralement modules de transport, ont été utilisées dans l'industrie du traitement des semi-conducteurs depuis un certain nombre d'années pour stocker et transporter des tranches entre les étapes de traitement et/ou entre des installations. Il est connu que les tranches de semi- conducteur sont vulnérables aux dégâts provenant de contaminants tels que des particules. Des mesures particulières sont prises pour éliminer les contaminants dans les salles blanches et autres environnements o les tranches de semi-conducteur sont stockées ou traitées en circuits. Pour les tranches dans la gamme de 200 mm et inférieure, des conteneurs appelés paniers SMIF (interface de mécanisme normalisé) ont été utilisés pour fournir un mini- environnement étanche propre. Des exemples de ces paniers sont présentés dans les brevets U.S. Nos. 4 532 970 et 4 534 389. Ces paniers SMIF utilisent typiquement une coque transparente en forme de boite avec un cadre ou bride de porte inférieure définissant un fond ouvrant et une porte pouvant être verrouillée. Le cadre de porte se fixe sur l'équipement de traitement et une porte située sur l'équipement de traitement et la porte inférieure du panier SMIF fermant le fond ouvrant sont simultanément abaissés vers le bas depuis la coque dans un environnement de traitement étanche situé dans ledit équipement de traitement. Un support séparé en forme de barre en H positionné sur la surface supérieure à l'intérieur de la porte du panier SMIF et chargé de tranches est abaissé avec la porte du panier pour accéder auxdites tranches et pour les traiter. Dans ces paniers, le poids des tranches s'exerce directement sur la porte pendant le stockage et le transport. L'industrie du traitement des semi-conducteurs s'achemine vers l'utilisation de tranches plus grandes et plus lourdes, de façon spécifique, des tranches de 300 mm. Les modules de transport pour ces modules, en développant les normes industrielles, utilisent une porte d'ouverture frontale pour l'insertion et le retrait des tranches par opposition à une porte de fond qui tombe vers le bas depuis le module. La porte ne supporte pas la charge des tranches, en remplacement une portion formant conteneur comportant une coque en matière plastique transparente (telle que du polycarbonate) et d'autres organes pour supporter les tranches moulées à partir d'une matière plastique générant peu de particules (telle que du polyétherétherkétone) portent la charge des tranches. Ces portions formant conteneur sont obligatoirement fabriquées à partir de plusieurs composants assemblés. Lors de la manipulation et du traitement des tranches de semi- conducteur, l'électricité statique est un problème permanent. Les décharges électrostatiques peuvent endommager ou détériorer les tranches de semi-conducteurs. En conséquence, des mesures doivent être prises pour minimiser une telle génération de potentiels pouvant provoquer des décharges électriques statiques. Des supports en forme de barre en H ont été fabriqués avec des matériaux statiques dissipatifs classiques, tels que du polyétherétherkétone (PEEK) chargé de carbone et du polycarbonate (PC). Les normes industrielles se développant pour ces modules de 300 mm nécessitent une interface de machine, telle qu'un couplage cinématique, sur le fond du module pour aligner de manière répétée et avec précision le module par rapport à l'équipement de traitement. Ceci permet à des moyens de manipulation robotiques de venir en prise avec la porte sur le côté avant du module, d'ouvrir la porte et avec la quantité de précision nécessaire, de saisir et de retirer les tranches spécifiques agencées horizontalement. Il est fortement critique que les tranches soient positionnées à une hauteur et selon une orientation particulières en référence à l'interface de machine d'équipement, de façon que les tranches ne soient pas localisées et endommagées pendant le retrait et l'insertion par robot desdites tranches. En raison d'incohérences dans les pièces en matière plastique moulée, l'assemblage de ces pièces en matière plastique conduit à des incohérences, telles que des craquelures d'ouverture entre pièces et l'accumulation des tolérances de chaque pièce individuelle conduit à des variations indésirables des dimensions critiques. Des modules de transport connus de 300 mm à ouverture frontale utilisent plusieurs pièces constitutives, comportant des composants multiples entre l'interface d'équipement et les supports de tranches. Ceci peut conduire à des difficultés de production de modules avec des tolérances acceptables entre les plans des tranches et l'interface d'équipement. De plus, ces modules possèdent un chemin vers la masse depuis les étagères de tranches vers l'interface d'équipement par plusieurs composants différents comportant des vis métalliques. Les tranches de 300 mm sont sensiblement de taille et de poids supérieurs aux modules de 200 mm; en conséquence, un module structurellement plus résistant pour transporter des lots de tranches est requis. Avec les paniers SMIF de 200 mm, le module était typiquement simplement transporté manuellement en saisissant les bords inférieurs à la jonction de la bride de porte de coque et de la porte. Des poignées ont été prévues sur le haut de la portion en coque pour les paniers à ouverture inférieure. Pour transporter les modules les plus grands, les plus lourds et les plus encombrants pour des tranches de 300 mm, des poignées latérales sont appropriées. Pour certaines applications, le mouvement du module de 300 mm peut se faire exclusivement à l'aide de moyens robotiques ne nécessitant ainsi pas de poignée ou d'autres moyens pour transporter manuellement le conteneur. Ainsi, une poignée de soulèvement robotique doit être prévue et des poignées de soulèvement manuel quelconques doivent être facilement amovibles. De plus, en raison de la forte susceptibilité des tranches à une contamination par des particules, l'humidité ou d'autres contaminants, il est idéal d'avoir un nombre minimum de chemins d'entrée de potentiel vers l'intérieur du module. Les chemins ou ruptures dans la matière plastique entre l'intérieur et l'extérieur du panier tels que pour des attaches ou à la jonction de pièces composantes séparées du module doivent être évités. Un tel chemin quelconque requis doit être obturé de manière adéquate. De plus, l'utilisation dans le panier d'attaches métalliques à un emplacement quelconque ou d'autres pièces métalliques est fortement indésirable dans les supports ou conteneurs de tranches de semiconducteurs. Les pièces métalliques génèrent des particules fortement néfastes lorsqu'elles sont frottées ou coupées. L'assemblage d'un module avec des attaches provoque de tels frottements et coupures. Ainsi, l'utilisation de modules de transport nécessitant des attaches métalliques ou d'autres pièces métalliques doit être évitée. RESUME DE L'INVENTION Un module de transport de tranches à ouverture frontale comporte une portion formant conteneur avec une coque transparente et une structure support centrale comportant une interface de machine apparente au fond du module et des colonnes supports de tranches intégrées s'étendant vers le haut dans la portion formant conteneur pour supporter les tranches. De plus, les parois latérales de la coque comportent des portions en creux avec des organes d'engagement qui coopèrent avec des organes d'engagement situés sur des poignées amovibles. Les poignées utilisent des crans pour se verrouiller en place dans les cavités des parois latérales du support. La fixation des poignées aux parois latérales est effectuée sans rupture entre l'intérieur et l'extérieur du module. Une caractéristique et un avantage de l'invention est qu'il n'existe pas d'accumulation des tolérances entre les pièces par rapport au niveau d'interface de la machine et au niveau des tranches sur les étagères de tranches. Lorsque plusieurs composants définissent le niveau d'interface de machine et les niveaux des tranches, chaque pièce a une tolérance de fabrication séparée et lorsque ces composants sont assemblés dans le module, les tolérances s'accumulent. Ceci se traduit par un plus grand rejet de pièces individuelles et/ou un niveau de rejet supérieur des modules assemblés. La présente invention utilise un composant intégré unique pour l'interface de machine et les organes supports de tranches. Un autre avantage et une caractéristique de l'invention est qu'un chemin ininterrompu vers la masse s'étend depuis chaque étagère support de tranches vers l'interface de machine. Un autre but et avantage de l'invention est que la structure support centrale qui maintient les tranches est assemblée dans la coque par une ouverture inférieure et est fixée en place par une rotation de la structure support centrale par rapport à la coque. Aucune attache métallique n'est utilisée. De plus, la structure support centrale s'engage et se verrouille au sommet de l'étagère au moyen d'une portion de sommet avec un collier qui s'étend dans une ouverture située dans le haut de la coque et une bride de soulèvement robotique qui s'engage de manière coulissante avec la portion supérieure de la structure support centrale et ainsi également de manière non-rotative verrouille la structure support à la coque. De nouveau, aucune attache ou composant métallique n'est utilisée. Un autre but et avantage de l'invention est que des ruptures ou des ouvertures dans le module entre l'intérieur et l'extérieur sont obturées par exemple par des joints en élastomère. Les ruptures ou ouvertures autres qu'à la porte avant sont de forme circulaire et sont obturées par exemple par des joints toriques. Un autre but et avantage de l'invention est que des poignées peuvent être facilement ajoutées et retirées du module sans utiliser d'attaches métalliques ou d'autres attaches séparées et sans rupture ou ouverture dans les parois latérales pleines. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS La figure 1 est une vue en perspective d'un module de transport selon l'invention. La figure 2 est une vue en perspective de la portion formant conteneur d'un module de transport selon l'invention. La figure 3 est une vue en perspective du couvercle tourné vers l'intérieur de la porte pour le module de transport selon l'invention. La figure 4 est une vue éclatée montrant les diverses pièces composantes d'un module de transport. La figure 5 est une vue en perspective d'une portion formant conteneur du module de transport. La figure 6 est une vue en perspective d'une structure de guidage vers l'intérieur. La figure 7 et une vue de dessous de la coque de la portion formant conteneur. La figure 8 est une vue de dessus de la structure support centrale. La figure 9 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 9-9 de la figure 8. La figure 10 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 10-10 de la figure 7. La figure 11 est une vue de face en élévation de la portion supérieure de la structure support centrale. La figure 12 est une vue de face en élévation du deuxième organe de connexion comportant la bride robotique. La figure 13 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 13-13 de la figure 8. La figure 14 est une vue de face en élévation de la poignée. La figure 15 est une vue de côté en élévation de la poignée. La figure 16 est une vue de côté en élévation d'une portion de la coque montrant la cavité pour la poignée. La figure 17 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 17-17 de la figure 16. La figure 18 est une vue en élévation d'un autre mode de réalisation de l'invention, axée sur la poignée et la cavité destinée à recevoir la poignée. La figure 19 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 19-19 de la figure 18. La figure 20 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 20-20 de la figure 18. La figure 21 est une vue de côté en élévation d'une portion du module montrant un autre mode de réalisation de la poignée. La figure 22 est une vue de côté en élévation de la poignée. La figure 23 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 23-23 de la figure 21. La figure 24 est une vue en coupe transversale suivant la ligne 24-24 de la figure 21. SPECIFICATION DETAILLEE En se référant aux figures 1, 2 et 3, un module de transport composite pour tranches désigné de façon générale par le numéro 20 est constitué principalement d'une portion formant conteneur 22 et d'une porte 24. La portion formant conteneur comporte une bride de soulèvement robotique 26 et des poignées de soulèvement manuel 28. La porte 24 comporte des poignées d'ouverture manuelle 30 et une fente pour clé 32 donnant la possibilité de l'ouvrir à l'aide de moyens robotiques. La figure 2 montre la portion formant conteneur et son intérieur ouvert 36 avec une pluralité de tranches 38 montrées soutenues et agencées de manière axiale dans ledit intérieur ouvert. La figure 3 montre la surface intérieure de la porte. La porte comporte une paire de dispositifs de retenue de tranche 42 qui viennent en prise et retiennent les tranches lorsque la porte est en place. Les dispositifs de retenue de tranche sont formés de dents souples 44 qui sont faites de matière plastique moulée élastique. La porte 24 s'ajuste à l'intérieur d'une bride de porte 46 située sur la portion formant conteneur 22 et utilise des verrous 48 qui s'étendent et se rétractent dans l'enceinte de porte 50 pour coopérer avec des cavités 54 situées dans la bride de porte. La porte comporte une paire de mécanismes de verrouillage internes, non-représentés sur cette vue, qui fonctionnent indépendamment l'un de l'autre et au moyen de la poignée de porte manuelle 30 ou de la fente pour clé 32. La figure 2 montre également un élément d'équipement de traitement 55 avec une portion d'interface de module 56 sur laquelle est engagé le module de transport 20. En se référant à la figure 4, une vue en perspective éclatée du module de transport montre les détails de la construction et des diverses pièces composantes. La portion formant conteneur 22 est constituée principalement d'une coque 58 et d'une structure support centrale 60. La coque 58 possède un sommet 64 avec une ouverture 66, un fond 68 avec une ouverture inférieure 70, un côté avant ouvert 72, une paroi latérale gauche 74 et une paroi latérale droite 76, toutes deux avec des portions de réception de poignée configurées sous la forme de cavités 78 s'étendant vers l'intérieur. On notera que les cavités font saillie à l'intérieur mais n'ont pas de craquelure, rupture, ouverture ou fenêtre entre l'intérieur 74 et l'extérieur du conteneur. Les parois latérales sont continues et pleines. Les portions de réception de poignée comportent une portion plane en creux 80 qui fait partie des parois latérales. La structure support centrale 60 est constituée d'une portion de fond avec une interface d'équipement 86 configurée sous la forme d'une plaque avec trois structures d'interface 88 qui comprennent un couplage cinématique. Intégrées à la portion d'interface de machine 86 se trouvent deux colonnes supports de tranches 92 qui comprennent chacune une pluralité d'étagères 94 et définissent une région de réception de tranches 95. Chaque étagère comporte des portions d'engagement de tranche 96. Les colonnes supports de tranches 92 sont en une seule pièce avec une portion supérieure 100 qui comporte un élément de pontage 101 qui s'étend entre les sommets 98 des colonnes supports 92 et comporte également un premier organe de connexion 104. La structure support centrale 60 s'assemble, en l'introduisant vers le haut dans l'ouverture inférieure 70 de la coque 58, avec le premier organe de connexion qui s'étend vers le haut à travers l'ouverture 66 du sommet 64 de la coque 58. Un deuxième organe de connexion 106 vient en prise par coulissement avec le premier organe de connexion 104 afin de retenir la structure support centrale dans la coque. Le deuxième organe de connexion 106 fait partie intégrante d'une poignée de soulèvement robotique 108 configurée sous la forme d'une bride. La coque comporte également des premiers organes d'engagement 112 faisant partie d'une portion d'engagement de structure support 113 qui coopèrent avec des deuxièmes organes d'engagement 114 en tant que parties d'une portion d'engagement de coque 115 sur la structure support centrale. Ces organes d'engagement qui coopèrent entre eux fixent également la structure support centrale à l'intérieur de la coque. Un premier joint torique 118 s'engage entre la portion supérieure 100 de la structure support centrale et le sommet 64 de la coque de manière à assurer l'étanchéité autour de celle-ci. De façon similaire, un deuxième joint torique 120 assure l'étanchéité entre la portion d'interface de machine 86 et le fond 68 de la coque. En se référant à la figure 5, le module de transport 20 avec la porte 24 enlevée montre l'intérieur ouvert 36 et les diverses structures intérieures. Ce mode de réalisation particulier utilise une structure de guidage 122 qui vient en prise avec des rails 124, 126 sur la surface intérieure des parois latérales 74, 76, et faisant partie intégrante de celle-ci. Comme le montre la figure 6, chaque structure de guidage utilise des organes d'engagement allongés 136 s'adaptant à l'intérieur des rails 124, 126. La structure de guidage vers l'intérieur 122 comporte des dents 138 qui définissent des fentes 140 sensiblement parallèles aux fentes 142 et corrélées avec elles, comme défini par les étagères 94 desdites colonnes supports de tranches 92. Les organes de guidage vers l'intérieur sont typiquement destinés à être utilisés lorsqu'il y a une insertion manuelle des tranches par opposition à une insertion robotique. Les structures de guidage vers l'intérieur 122 peuvent également se prolonger pour supporter chaque tranche pendant un temps supérieur au parcours de chaque tranche dans et hors du module de transport. Comme on le voit mieux sur les figures 4, 5 et 8, la portion inférieure de la structure support centrale comporte une plaque d'interface de machine 86 qui a une surface supérieure plane 170 et un épaulement 174 vers le bas vers une surface plane inférieure 176. On notera que la surface plane inférieure est située en face de la portion s'étendant vers l'intérieur 180 du fond 68 de la coque 58 et que cette portion s'étendant vers l'intérieur 180 ne s'étend pas de manière uniforme comme une corde d'un bout à l'autre de l'ouverture inférieure généralement circulaire 70, mais qu'une autre portion intérieure 184 permet à la structure support centrale 60 d'être mise en place dans une position légèrement tournée par rapport à la position entièrement alignée, pour permettre l'insertion des deuxièmes organes d'engagement dans une position intermédiaire du premier organe d'engagement 112 sur l'étagère. La structure support centrale 60 peut alors être partiellement tournée vers la position assemblée, comme représenté sur la figure 5. En se référant aux figures 4, 8, 11 et 12, des détails des éléments et composants constituant la connexion entre la portion supérieure 100 de la structure support centrale 60 et la coque 58 sont représentés en détail. La portion supérieure 100 comporte une paire de premiers organes de connexion 104 ayant une section transversale en forme générale de T, comme on le voit mieux sur la figure 11. Les premiers organes de connexion 104 s'engagent avec et s'ajustent dans des fentes 186 ayant également une section transversale en forme de T dans le deuxième organe de connexion 106 faisant partie de la bride de soulèvement robotique 108. Après que la structure support centrale 60 a été insérée en place dans la coque 58 et tournée vers la position d'alignement convenable, le collier ou col 188 de la portion supérieure 100 s'étend à travers l'ouverture 66 et se trouve en face du bord interne 190 définissant ladite ouverture. Le joint torique plus petit 118 s'ajuste dans la gorge de joint torique 194 située sur ledit col 188 et assure l'étanchéité avec la coque au niveau du bord interne 190. La ligne en tirets de la figure 11 montre la relation du sommet 64 de la coque 58 lorsqu'il se trouve en face du col 188 de la portion supérieure de la structure support centrale 60. Ainsi, lorsque le deuxième organe de connexion 106 est en prise avec les premiers organes de connexion 104, le sommet 64 de la coque 58 est intercalé entre ledit premier organe d'engagement 106 et la portion supérieure 100 de la structure support centrale. Le deuxième organe de connexion 106 peut être verrouillé en place sur les premiers organes de connexion 104 au moyen d'un cran ou d'une bosse 202 positionné de manière appropriée comme représenté sur la figure 4, sur la surface supérieure 203 du sommet de la coque 58. Comme alternative ou de plus, on peut utiliser des vis 206 s'étendant à travers la bride de saisie robotique 108 à travers le deuxième organe de connexion 106 et dans les trous taraudés 208 situés dans les premiers organes de connexion 106. Les vis sont de façon appropriée en Nylon par opposition à un matériau métallique. L'interface d'équipement 86, comme on le voit mieux sur les figures 4, 5 et 8, comporte un couplage cinématique 90 formé au moyen de la portion d'engagement d'équipement 88. En référence à la figure 13, qui est une section transversale à travers l'une de ces structures, la surface inférieure 220 comporte une paire de faces inclinées 222, 224, définissant une gorge 225 qui s'engage avec des surfaces sphériques partielles situées sur l'équipement, non représentées. Comme alternative, la portion d'interface de la structure support centrale 60 peut comporter lesdites trois sphères partielles et l'équipement coopérant comporte les gorges formées par les faces inclinées. Comme alternative, l'interface d'équipement 86 peut comporter d'autres configurations et caractéristiques pour s'interfacer avec l'équipement associé. En se référant aux figures 2, 14, 15, 16 et 17, des détails de la construction et du montage des poignées de soulèvement manuel amovibles 28 sont représentés. La poignée comprend une portion de saisie 240 et une portion d'engagement de coque 242. La portion d'engagement de coque utilise des portions élastiques 244 avec des crans 246 et des butées 248. Les crans 246 ont une portion en coin 250 qui facilite l'installation de la poignée dans les cavités 78 et la rotation sous les deuxièmes structures d'engagement 254 situées sur la coque 58. Lesdites deuxièmes structures d'engagement comprennent une paire d'organes s'étendant vers l'intérieur 255 configurés sous la forme de bandes de guidage qui correspondent à la portion saillante 258 située sur la portion d'engagement de poignée 242 lorsque ladite poignée est dans une position verrouillée dans ladite cavité 78. Dans cette position verrouillée, les crans 246 et les butées 248 sont aux extrémités opposées des bandes de guidage 255. La cavité 78 est définie au moyen d'une portion plane 262 intégrée à une cavité circonférentielle configurée sous la forme d'une portion en forme d'anneau 264 faisant partie intégrante de la coque. Les organes de guidage 255 font partie intégrante de ladite portion en anneau 264 et font saillie à partir de celle-ci. Ladite configuration permet un montage facile en plaçant les poignées 28 dans les cavités 78 représentées sur la figure 16 avec les portions s'étendant vers l'extérieur positionnées entre les organes de guidage 255, puis la rotation dans le sens des aiguilles d'une montre de ladite poignée avec la première structure d'engagement de façon que les portions saillantes 258 comportant le cran 246 tournent au- dessous des organes de guidage 255 jusqu'à ce que les crans 246 s'encliquètent en place dans leur position de repos 269, auquel moment les butées 248 sont dans leur position de repos respectif 270. Cette configuration particulière permet un montage et un retrait faciles de la poignée par exemple pour le nettoyage ou le stockage ou lorsqu'une application robotique ne nécessite pas l'utilisation de la poignée. De plus, l'intégrité de la séparation entre l'intérieur du module de transport et l'extérieur n'est pas modifiée. En d'autres termes, il n'y a pas de rupture, d'ouverture ou d'attache à travers les parois latérales pour effectuer la connexion de la poignée à ladite coque. La figure 18 représente la structure d'engagement 275 selon un autre mode de réalisation de la poignée amovible 28. Ce mode de réalisation utilise à nouveau une cavité 78 s'étendant vers l'intérieur dans la paroi latérale 74 avec une portion plane 262 au fond de ladite cavité. Une paroi de cavité ou portion limite 274 s'étend autour et définit ladite cavité et fait partie intégrante de la portion plane 262 et de la paroi latérale 74. Un premier organe d'engagement 276 est configuré sous la forme de quatre pattes s'étendant vers l'intérieur depuis la paroi en cavité 274. La poignée de soulèvement manuel 28 comprend une portion de préhension 240 et une portion d'engagement 254 qui comporte une portion plane 277 avec des portions souples élastiques avec des crans 284. La poignée manuelle 28 est insérée dans la cavité 78 de façon que les portions élastiques 280 soient placées entre les pattes 276 et la poignée est ensuite amenée à coulisser vers la gauche de façon que les crans s'engagent sous lesdites pattes et coulissent jusqu'à ce qu'ils atteignent leur position de verrouillage comme représenté sur la figure 18. Cette configuration également n'affecte pas l'intégrité de la paroi latérale séparant l'intérieur du module de transport de l'extérieur. D'autres configurations sont également disponibles pour l'utilisation de la poignée avec des organes d'engagement coopérants utilisant des crans. L'utilisation des crans assure un haut niveau de souplesse dans la mise en place et le retrait des poignées et permet l'échange de différentes tailles de poignées, par exemple pour des opérateurs différents. La portion en coque du matériau est de préférence moulée par injection à partir de polycarbonate ou de polyétherimide ou analogue. La structure support centrale est également de façon idéale intégralement moulée par injection et peut être formée à partir de PEEK chargé de fibres de carbone ou de matériaux similaires, réalisant idéalement une caractéristique dissipative statique. Les poignées peuvent être moulées par injection à partir de polycarbonate ou de polyétherimide. Le deuxième organe de connexion supérieur comportant la poignée de soulèvement robotique peut également être formé de PEEK chargé de fibres de carbone ou d'un autre matériau moulé par injection statique dissipative. Les mécanismes utilisés pour verrouiller les portes peuvent varier et peuvent être tel que présenté dans le brevet U.S. No. 4 995 430, de Anthony C. Bonora, ou des mécanismes similaires. En se référant aux figures 19 et 20, des vues en coupe transversale sontprises à travers la coque et l'organe formant poignée comme représenté sur la figure 18. On remarquera que le cran 284 comporte une portion en forme de coin 250 destinée à faciliter l'insertion sous l'organe d'engagement 276. Les figures 21, 22, 23 et 24 montrent diverses vues d'un autre mode de réalisation de l'organe formant poignée et de la structure d'engagement coopérante de la coque. Dans ce mode de réalisation particulier, les organes formant cran 300 s'étendent normalement depuis la portion plane en creux 304 et ainsi normalement depuis la paroi latérale de la coque. Les organes formant cran comprennent généralement une paire de portions inclinées ou en forme de coin 308 ajustées de manière à s'adapter dans un deuxième organe d'engagement coopérant 312 utilisant une ouverture circulaire 314. Il va de soi que la présente invention peut être réalisée sous d'autres formes de réalisation sans s'écarter de l'esprit des caractéristiques essentielles de l'invention. REVENDICATIONS 1. Module de transport pour tranches (20) comportant un sommet, un fond et un intérieur ouvert (36) et une ouverture avant pour l'insertion et le retrait de tranches (38), le module étant caractérisé en ce qu'il comporte: a) une coque (58) comportant une paroi latérale gauche, une paroi latérale droite, une ouverture avant et un fond avec au moins une ouverture inférieure; b) une structure support centrale (60) comprenant au moins deux colonnes d'étagères support de tranches destinées à supporter des tranches (38) empilées et alignées de manière axiale et une portion d'engagement d'équipement intégral inférieure apparente à travers ladite ouverture inférieure, lesdits organes support de tranches étant positionnés dans l'espace intérieur ouvert (36) de la coque (58) et définissant une région de réception; et c) une porte (24) pour fermer l'ouverture avant du module. 2. Module de transport (20) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la coque (58) a un sommet (64) et un fond (68), l'un parmi ledit sommet (64) et ledit fond (68) comportant une ouverture dimensionnée pour recevoir la structure support centrale (60) et en ce que la structure support centrale (60) est assemblée dans le module de transport (20) à travers ladite ouverture. 3. Module de transport (20) selon la revendication 2, caractérisé en ce que: ladite ouverture se trouve dans la face inférieure de la coque (58), la coque (58) comporte un premier organe d'engagement, la structure support centrale (60) comporte une interface d'équipement intégrée comportant la portion d'engagement d'équipement, et les portions d'engagement d'équipement ont un deuxième organe d'engagement intégré coopérant avec ledit premier organe d'engagement de façon que la structure support centrale (60) soit fixée dans ladite coque (58). 4. Module de transport (20) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure support centrale (60) comporte une portion d'engagement de coque et en ce que la coque (58) comporte une portion d'engagement de structure support, ladite coque (58) et lesdites portions d'engagement de structure support venant en prise et se verrouillant mutuellement entre elles par rotation l'une par rapport à l'autre de façon à fixer ladite structure support centrale sur ladite coque (58). 5. Module de transport (20) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend une bride de préhension robotique (26) s'étendant vers le haut depuis le module (20) et coopérant directement avec la structure support centrale (60). 6. Module de transport (20) selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure support centrale (60) vient en prise avec la coque (58) au sommet (64) et de façon adjacente à l'ouverture inférieure du fond. 7. Module de transport (20) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend une paire de poignées (28) pouvant venir en prise et se désengager par rotation avec la coque (58) et s'étendant sur la paroi droite et la paroi gauche de la coque (58). 8. Module de transport (20) selon la revendication 7, caractérisé en ce que la paire de poignées (28) coopère avec la coque (58) sans utiliser aucune ouverture à travers ladite paroi latérale. 9. Module de transport de tranches (20) comportant un espace intérieur ouvert (36) et une ouverture pour l'insertion et le retrait de tranches (38), caractérisé en ce qu'il comprend: a) une coque externe (58) comportant un sommet (64) avec une ouverture, un fond pourvu d'une ouverture de fond avec une périphérie et un espace intérieur ouvert (36), b) une structure support centrale intégrée (60) comportant une portion supérieure (100) et une portion inférieure (170) constituée par une interface de machine, le support central venant en prise avec la coque (58) au niveau de l'ouverture et au niveau de l'ouverture de fond, la structure support centrale comportant une interface de machine tournée vers le bas, et c) une porte (24) pour fermer l'ouverture avant. 10. Module de transport (20) selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'ouverture est sensiblement circulaire, un premier joint élastomère (118) étant disposé au niveau de l'ouverture pour assurer l'étanchéité entre la coque (58) et la portion supérieure de la structure support centrale. 11. Module de transport (20) selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'ouverture de fond est sensiblement circulaire, un deuxième joint élastomère (120) étant disposé au niveau de ladite ouverture de fond pour assurer l'étanchéité entre la coque (58) et la portion inférieure de la structure support centrale. 12. Module de transport (20) selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend une paire de colonnes supports de tranches (92) situées à l'intérieur du module (20) et faisant partie intégrante de la structure support centrale. 13. Module de transport (20) selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il comprend un premier joint torique qui assure l'étanchéité de la coque (58) et de la portion supérieure. 14. Module de transport (20) selon la revendication 9, caractérisé en ce que la portion inférieure de la structure support centrale et la coque (58) sont fixées ensemble de manière rotative. 15. Module de transport de tranches (20) caractérisé en ce qu'il comprend un sommet, un fond, une face avant avec une ouverture de porte, une paroi latérale gauche, une paroi latérale droite, une porte (24) dimensionnée pour fermer l'ouverture de porte et une paire de poignées (28), la paroi latérale gauche et la paroi latérale droite comportant chacune une première structure d'engagement, chaque poignée (28) comportant une deuxième structure d'engagement coopérante pouvant être engagée et désengagée par coulissement avec l'une desdites premières structures d'engagement, de façon que chacune desdites poignées (28) puisse être placée et retirée des parois droite et gauche dudit module (20) sans utiliser aucune ouverture dans lesdites parois droite et gauche. 16. Module de transport (20) selon la revendication 15, caractérisé en ce que chaque première structure d'engagement et chaque deuxième structure d'engagement respective coopérante comprend un cran de façon que ladite première structure d'engagement et ladite deuxième structure d'engagement puissent venir en prise par coulissement et verrouillées ensemble. 17. Module de transport (20) selon la revendication 16, caractérisé en ce que la deuxième structure d'engagement peut être engagée par coulissement dans une direction rotationnelle par rapport à la première structure d'engagement. 18. Module de transport (20) selon la revendication 16, caractérisé en ce que la deuxième structure d'engagement peut être engagée par coulissement dans une direction sensiblement linéaire par rapport à la première structure d'engagement. 19. Module de transport (20) selon la revendication 15, caractérisé en ce que chacune des premières structure d'engagement comprend une cavité (54) s'étendant vers l'intérieur dans chacune des parois latérales respectives gauche et droite. 20. Module de transport de tranches (20) caractérisé en ce qu'il comprend un sommet, un fond, un côté avant avec une ouverture de porte donnant accès à un espace intérieur ouvert (36), une coque (58) comportant une paroi latérale gauche fermée et une paroi latérale droite fermée, une porte (24) dimensionnée pour fermer l'ouverture de porte et une paire de poignées (28), la paroi latérale gauche et la paroi latérale droite comportant chacune une première structure d'engagement, chaque poignée (28) comportant une deuxième structure d'engagement coopérante comportant un cran, lesdites deuxièmes structures d'engagement pouvant venir en prise de manière amovible avec l'une desdites premières structures d'engagement, de façon que chacune desdites poignées (28) puisse être fixée sur les parois latérales respectives droite et gauche ou en être détachée, sans utiliser d'attaches séparées. 21. Module de transport (20) caractérisé en ce qu'il comprend: a) une coque (58) comportant un sommet (64) avec une ouverture, une face avant avec une ouverture avant pour la réception et le retrait des tranches (38), et un espace intérieur ouvert (36); b) une porte (24) destinée à fermer l'ouverture avant; c) une structure support centrale (60) comprenant une pluralité de colonnes de support de tranches positionnées de manière à supporter les tranches (38) dans l'espace intérieur ouvert (36) et une portion supérieure intégrée venant en prise avec la coque (58) au niveau de l'ouverture; et d) une poignée de préhension robotique fixée à ladite portion supérieure au niveau de ladite ouverture et s'étendant au-dessus de ladite coque (58). 22. Module de transport (20) selon la revendication 21, caractérisé en ce que la coque (58) comprend une ouverture inférieure et en ce que la structure support centrale comprend une portion d'engagement d'équipement apparente vers le bas au niveau de ladite ouverture inférieure. 23. Module de transport (20) selon la revendication 22, caractérisé en ce que la coque (58) est fixée à la structure support centrale au niveau de ladite ouverture inférieure. 24. Module de transport (20) selon la revendication 23, caractérisé en ce que la portion d'engagement d'équipement fait partie intégrante des colonnes de supports de tranches. 25. Module de transport composite (20) caractérisé en ce qu'il comprend une portion formant conteneur (22) avec un espace intérieur ouvert (36) et une ouverture avant destinés à l'insertion et au retrait de tranches (38), une paroi latérale gauche fermée et une paroi latérale droite fermée, la portion formant conteneur (22) comprenant en outre une interface d'équipement faisant partie intégrante d'au moins une colonne support de tranches, l'interface d'équipement et la colonne support de tranches étant moulées séparément de la paroi latérale gauche et la paroi latérale droite, le module de transport (20) comprenant en outre une porte (24) destinée à fermer l'ouverture avant. 26. Module de transport composite (20) selon la revendication 25, caractérisé en ce que la portion formant conteneur (22) comprend une coque (58) transparente comportant un fond avec une ouverture inférieure, l'interface d'équipement étant fixée à la coque (58) au niveau de l'ouverture inférieure. 27. Module de transport composite (20) selon la revendication 26, caractérisé en ce que le sommet (64) de la coque (58) comporte une ouverture dans laquelle s'étend une portion supérieure faisant partie intégrante de la colonne support de tranches. 28. Module de transport composite (20) selon la revendication 27, caractérisé en ce qu'il comprend un joint élastomère engagé entre la portion supérieure et la coque (58) au niveau de ladite ouverture. 29. Module de transport composite (20) selon la revendication 27, caractérisé en ce qu'il comprend une bride de soulèvement robotique (26) en relation de connexion avec la portion supérieure, la bride de soulèvement (26) s'étendant au-dessus de la coque (58). 30. Module de transport composite (20) selon la revendication 26, caractérisé en ce que la coque (58) comporte une première portion d'engagement située à la périphérie de l'ouverture inférieure, la structure support centrale comportant une deuxième portion d'engagement coopérante, la première portion d'engagement étant engagée de manière rotative avec la deuxième portion d'engagement, de façon que la structure support centrale soit fixée à la coque (58). 31. Module de transport de tranches (20) selon la revendication 30, caractérisé en ce qu'il comprend un joint élastomère circulaire situé autour de l'ouverture inférieure afin d'assurer l'étanchéité de la structure support centrale avec la coque (58). 32. Module de transport de tranches (20) selon la revendication 26, caractérisé en ce que la colonne support de tranches et l'interface d'équipement s'assemblent dans la coque (58) au niveau de l'ouverture inférieure. 33. Module de transport de tranches (20) caractérisé en ce qu'il comprend: a) une coque (58) comportant un sommet (64), un fond, une face avant avec une ouverture avant pour l'insertion et le retrait des tranches (38), et un espace intérieur ouvert (36); b) une porte (24) pour fermer l'avant ouvert; et c) une structure support centrale (60) comprenant une pluralité de colonnes de support de tranches positionnées de manière à supporter les tranches (38) dans l'espace intérieur ouvert (36) et une interface d'équipement inférieure intégrée tournée vers le bas destinée à s'engager avec un équipement externe, la structure support centrale étant moulée à partir de matériaux statiques dissipatifs, de façon que les supports de tranches aient un chemin de conduction directe vers l'interface d'équipement.