Brevet FR2766294A1 — publié le 19990122

l Procédé de fabrication d'une capacité métal-métal au sein d'un circuit intégré, et circuit intégré correspondant. L'invention concerne les capacités métal-métal réalisées au sein d'un circuit intégré, et leur procédé de fabrication. Parmi les différents types de capacités pouvant figurer au sein d'un circuit intégré réalisé sur une pastille semi-conductrice, par exemple du silicium, on peut citer les capacités dites "polysilicium- silicium", ou "polysilicium-polysilicium", ou encore "métal-métal", en fonction de la composition de leurs électrodes. Les capacités dites "métal-métal", c'est-à-dire dont les deux électrodes sont métalliques, offrent l'avantage de présenter une très faible variation de la valeur de capacité en fonction de la tension qui leur est appliquée, et de posséder en outre un élément résistif parasite très faible. Pour toutes ces raisons, les capacités métal-métal sont avantageusement utilisées dans les applications radiofréquence. Un circuit intégré comporte généralement des composants élec- troniques, par exemple des transistors, réalisés au sein d'un substrat semi- conducteur, ainsi que différents niveaux de métallisation permettant de réaliser notamment des pistes d'interconnexion entre les différents com- posants du circuit intégré. Chaque niveau de métallisation comporte alors généralement, après gravure d'une couche métallique, plusieurs pistes d'interconnexion situées à ce même niveau et toutes prises en sandwich entre deux couches isolantes. Le niveau de métallisation immédiatement supérieur est alors réalisé sur la couche isolante supérieure recouvrant le niveau de métallisation inférieur. L'interconnexion entre des pistes situées à deux niveaux de métallisation adjacents est réalisée par des trous d'interconnexion remplis d'un métal de remplissage, par exemple du tungstène, et communément appelé par l'homme du métier des vias. Par ailleurs, on réalise à l'interface aluminium-tungstène une barrière de dif- fusion intermétal par dépôt d'une couche de protection généralement en nitrure de titane ou en titane. L'épaisseur classique d'une couche isolante séparant deux niveaux de métallisation adjacents, est généralement de l'ordre de 1 micron. Il n'est donc pas possible de réaliser directement une capacité métal-métal entre deux portions de piste situées à deux niveaux de métal- lisation différents séparés par une telle épaisseur. En effet, la couche diélectrique d'une capacité métal-métal doit être de l'ordre de 200A typiquement. Aussi, un procédé connu de fabrication d'une capacité métal- métal au sein d'un circuit intégré consiste à déposer sur la couche isolante inférieure de support d'un niveau de métallisation, recouverte d'une cou- che de protection, par exemple en nitrure de titane, une couche d'alumi- nium formant un niveau de métallisation (cette couche de protection résultant de la présence en un autre endroit du circuit intégré d'un via connectant ce niveau de métallisation à un niveau de métallisation infé- rieur ou bien à un composant réalisé dans le substrat). On grave ensuite cette couche d'aluminium de façon à définir notamment la première élec- trode de la capacité, puis on dépose sur cette première électrode et sur l'ensemble des pistes d'interconnexion du niveau de métallisation, la cou- che isolante supérieure recouvrant ce niveau de métallisation et destinée à supporter le niveau de métallisation immédiatement supérieur. On grave alors dans cette couche isolante supérieure un orifice débouchant au-des- sus de la première électrode de la capacité, puis on effectue un dépôt d'une fine couche d'un matériau diélectrique, par exemple généralement du dioxyde de silicium ou éventuellement du nitrure de silicium, d'une épais- seur de 50 à 300 i environ. On dépose alors sur cette couche diélectrique une autre couche de protection permettant le contact de ce niveau de métallisation avec un autre via en un autre endroit du circuit intégré. Puis on remplit, par dépôt puis aplanissement, ledit orifice avec du métal de remplissage, typiquement du tungstène. Après avoir déposé une couche de barrière de diffusion intermnétal sur le tungstène, on dépose la couche métallique (aluminium) du niveau de métallisation immédiatement supé- rieur que l'on grave de façon à réaliser les pistes d'interconnexion de ce niveau de métallisation, ainsi que la deuxième électrode de la capacité métal-métal. Un tel procédé présente des inconvénients. En effet, il ne permet pas de contrôler précisément l'épaisseur du diélectrique de la capacité ainsi réalisée, en particulier lorsque celuici est composé de dioxyde de silicium, car la couche de protection en TiN attaque le matériau diélectrique de la capacité. En outre, d'une façon géné- rale, ce procédé ne permet de réaliser que des capacités métal-métal pla- nes. Par ailleurs, la capacité ainsi réalisée s'étend sur deux niveaux de métallisation du circuit intégré. L'invention vise à apporter une solution à ces problèmes. Un but de l'invention est de pouvoir réaliser des capacités non nécessairement planes. Un autre but de l'invention est de proposer un procédé de fabrica- tion d'une capacité métal-métal, permettant de mieux contrôler l'épais- seur du diélectrique, notamment lorsque celui-ci est composé de SiO2. L'invention propose donc un procédé de fabrication d'une capa- cité métal-métal au sein d'un circuit intégré, cette capacité comportant deux électrodes métalliques au contact de part et d'autre d'une fine couche diélectrique. Selon l'invention, on réalise les deux électrodes métalliques et la couche diélectrique de ladite capacité au-dessus de la couche isolante inférieure supportant un niveau de métallisation du circuit intégré et avant de déposer la couche isolante supérieure recouvrant ledit niveau de métal- lisation. En d'autres termes, l'invention est remarquable en ce sens qu'elle permet de réaliser une capacité métal-métal sur quasiment un niveau de métallisation, alors que l'art antérieur en prévoit deux. Selon un mode avantageux de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, on réalise au-dessus de la couche isolante inférieure une pre- mière couche métallique formant ledit niveau de métallisation du circuit intégré, et on grave ladite première couche de façon à former une première électrode de la capacité. Lorsque l'on utilise pour les pistes d'intercon- nexion et les électrodes métalliques de la capacité, un matériau classique, tel que de l'aluminium, la première couche métallique est généralement déposée sur une couche de protection, typiquement en nitrure de titane, recouvrant la couche isolante inférieure, typiquement en SiO2. Cette couche de protection résulte généralement de la nécessité d'avoir disposé en un autre endroit du circuit intégré une barrière de diffusion entre un via en tungstène et cette première couche métallique. On dépose alors sur la première couche métallique ainsi gravée la fine couche d'un matériau diélectrique, généralement du dioxyde de silicium (SiO2), puis on dépose sur la couche diélectrique une deuxième couche métallique, par exemple de l'aluminium ou du tungstène, plus fine que la première. On grave cette deuxième couche métallique pour former la deuxième électrode de la capacité et on dépose sur la deuxième couche métallique ainsi gravée ladite couche isolante supérieure. Cette couche isolante supérieure sera avantageusement en pratique la couche isolante de support du niveau de métallisation immédiatement supérieur. Ainsi, selon cette mise en oeuvre, on n'utilise plus de couche de protection en nitrure de titane au contact du matériau diélectrique. Par ailleurs, selon un mode de mise en oeuvre préféré de l'inven- tion, on ménage, lors de la gravure de la première couche métallique, au moins un flanc latéral pour ladite première électrode et, après dépôt de la couche diélectrique sur le flanc, on grave la deuxième couche métallique déposée sur la couche diélectrique de façon à réaliser pour la deuxième électrode, une portion latérale au contact de la couche diélectrique et en face dudit flanc latéral. En d'autres termes, l'invention permet ici de réaliser des capaci- tés non planes, c'est-à-dire ayant en l'espèce un flanc vertical, ce qui per- met en particulier d'augmenter la surface de la capacité tout en contrôlant les contraintes mécaniques. Lorsque l'on souhaite relier la deuxième électrode de la capacité au niveau de métallisation supérieur, par exemple pour la connecter à un autre composant, on grave un orifice dans la couche isolante supérieure que l'on remplit d'un métal de remplissage de façon à former un trou d'interconnexion métallique ou via, et on réalise au-dessus de ladite couche isolante supérieure et en contact électrique avec le trou d'intercon- nexion métallique, une troisième couche métallique correspondant à un niveau de métallisation supérieur. L'invention a également pour objet un circuit intégré compre- nant une capacité métal-métal comportant deux électrodes métalliques disposées de part et d'autre et au contact d'une fine couche diélectrique. Selon une caractéristique générale de l'invention, les deux élec- trodes métalliques et la couche diélectrique sont situées entre la couche isolante inférieure supportant un niveau de métallisation du circuit inté- gré et la couche isolante supérieure recouvrant ce niveau de métallisation. La première électrode est avantageusement une partie de la couche métallique formant ledit niveau de métallisation et la deuxième électrode est plus fine que la première électrode. Selon un mode de réalisation préférentiel de l'invention, la pre- mière électrode comporte un flanc latéral recouvert d'une partie de la cou- che diélectrique, elle-même recouverte d'une partie de la deuxième élec- trode. La capacité selon l'invention n'est donc pas nécessairement plane. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparal- tront à l'examen de la description détaillée de modes de mise en oeuvre et de réalisation, nullement limitatifs, et des dessins annexés, sur lesquels: les figures 1 à 10 illustrent très schématiquement les différentes étapes d'un mode de mise en oeuvre du procédé selon l'invention, permet- tant l'obtention d'une capacité métal-métal selon l'invention. Sur la figure 1, la référence 1 désigne un substrat semi-conduc- teur, par exemple du silicium. Ce substrat est surmonté d'une couche iso- lante inférieure 2 destinée, comme on le verra ci-après, à supporter le niveau de métallisation M1 du circuit intégré, que l'on suppose être dans l'exemple décrit le premier niveau de métallisation. Cette couche isolante, par exemple de dioxyde de silicium, peut faire l'objet d'un dépôt assisté thermiquement (dépôt TEOS) à basse température, typiquement infé- rieure à 400 C. L'épaisseur de cette couche isolante inférieure est classi- quement de l'ordre de 1 micron. Sur cette couche isolante inférieure 2, on dépose une couche de protection 3, d'une épaisseur de 500 à 1000 A, généralement à base de titane ou de nitrure de titane. Cette couche 3 résulte de la présence, en un autre endroit du circuit intégré, d'un via destiné par exemple à connecter un composant réalisé dans le substrat 1 au niveau de métallisation M1 sup- porté par la couche isolante 2. La fonction de cette couche 3 est de réaliser une barrière de diffusion intermétal entre le métal du via (tungstène) et celui du niveau de métallisation M1 (aluminium). La première couche métallique 4 déposée, est destinée, après gravure, par exemple une gravure sèche par plasma, à former notamment les différentes pistes d'interconnexion du circuit intégré situé au premier niveau de métallisation Ml. Outre la formation par gravure de ces pistes d'interconnexion, le masque de gravure utilisé permet de former dans la première couche métallique 4, la première électrode métallique 40 de la future capacité métal-métal. Cette première électrode 40 comporte une surface supérieure plane SF, et est séparée du reste 41 de la première cou- che métallique 4 par un orifice 5 s'étendant jusqu'au niveau de la couche isolante inférieure 2, et ménageant pour la première électrode métallique un flanc latéral sensiblement vertical FL. L'épaisseur de cette première couche métallique est typiquement de l'ordre de 0,6 micron. L'étape suivante consiste (figure 2) à déposer sur l'empilement de couches de la figure 1, une fine couche 6 formée d'un matériau ayant des propriétés diélectriques, généralement du dioxyde de silicium (SiO2) ou bien par exemple du nitrure de silicium (Si3N4) ou encore de l'oxyde de tantale (Ta2O5). Le matériau de cette couche sera comme on le verra plus en détail ci-après, destiné à former le matériau diélectrique de la capacité métal-métal. L'épaisseur de cette couche 6 est typiquement de l'ordre de 0,02 micron, en particulier au niveau de sa portion plane 61 située sur l'électrode métallique 40. Par contre, la portion verticale 60 de cette cou- che diélectrique, située sur le flanc vertical de la première électrode, peut présenter une épaisseur légèrement inférieure à celle de la portion plane 61. On procède ensuite (figure 3) au dépôt d'une deuxième couche métallique 7, ayant une épaisseur plus faible que celle de la première cou- che métallique 4, typiquement de l'ordre de 0,1 micron. Cette deuxième couche métallique, par exemple également en aluminium ou bien en tungstène, va permettre de former la deuxième électrode métallique de la capacité métal-métal. Après gravure de la deuxième couche de métal, par exemple par gravure sèche plasma, on délimite (figure 4) la deuxième électrode métal- lique de la capacité ayant une partie sensiblement plane 71 en vis-à-vis de la surface plane SF de la première électrode 40, ainsi que (dans le cas o l'on souhaite réaliser une capacité non plane) une partie verticale 70 recouvrant la portion verticale 60 de diélectrique et située en face du flanc vertical latéral FL de la première électrode métallique 40. On recouvre ensuite (figure 5) l'ensemble d'une couche isolante 8, par exemple du dioxyde de silicium, que l'on peut également déposer par un dépôt TEOS. Après polissage mécanochimique par exemple, on obtient la couche isolante supérieure 80 ayant une épaisseur typiquement de l'ordre de 0,7 micron (figure 6). L'invention se distingue de l'art antérieur notamment par le fait que les électrodes de la capacité sont délimitées, non pas, comme dans l'art antérieur, par une gravure d'une couche isolante puis dépôt d'un diélectri- que surmonté d'une couche de protection en nitrure de titane elle-même surmontée d'un métal de remplissage puis d'aluminium, mais par gravure directe de la couche métallique d'un niveau de métallisation. Un niveau spécifique fin de métallisation est déposé sur le diélectrique pour former la deuxième électrode. Ce niveau spécifique de métallisation n'est pas destiné à former par ailleurs des pistes susceptibles d'être connectées par des vias au niveau de métallisation immédiatement inférieur. Il en résulte donc qu'un dépôt d'une couche de protection en nitrure de titane sur le dié- lectrique n'est plus nécessaire, ce qui permet de parfaitement contrôler l'épaisseur du diélectrique, et ce uniquement par l'opération de dépôt, en particulier lorsque le diélectrique est du dioxyde de silicium. En effet, l'inconvénient apporté par le dépôt de nitrure de titane, qui est un réduc- teur de la silice, est ici supprimé. Par ailleurs, l'invention permet d'obtenir des capacités métal- métal non nécessairement planes mais pouvant présenter des flancs laté- raux, ce qui permet d'en augmenter la surface sans pour autant augmenter la surface générale du circuit intégré. Enfin, l'homme du métier remarque que selon l'invention, la capacité métal-métal obtenue est réalisée quasiment au sein d'un même niveau de métallisation M 1, entre les deux couches isolantes encadrant ce niveau de métallisation, alors que dans l'art antérieur, la capacité métal- métal s'étend sur deux niveaux de métallisation. Pour connecter la deuxième électrode métallique 71 de la capa- cité métal-métal à un niveau de métallisation supérieur du circuit intégré, on procède alors comme illustré plus particulièrement sur les figures 7 à 10. Plus précisément, on grave dans la couche isolante supérieure 80 un orifice 9 débouchant sur la deuxième électrode métallique 71 de la capacité. Si l'on souhaite également établir une connexion entre le reste 41 de la première couche métallique du niveau de métallisation MI avec le niveau de métallisation immédiatement supérieur M2, on grave également un orifice 10 débouchant sur cette partie 41. On dépose ensuite (figure 8) sur la couche isolante supérieure 80 gravée, une fine couche de protection 11, formée également de titane ou de nitrure de titane et ayant typiquement une épaisseur de l'ordre de 0,1 micron. Puis, on dépose un matériau 12 de remplissage, par exemple du tungstène, sur l'ensemble ainsi formé. Après polissage mécanochimique de l'ensemble, on obtient (figure 9) deux trous d'interconnexion métallique ou vias 120 et 121. La couche de protection 11 assure là encore une barrière de diffusion pour éviter l'interdiffusion entre l'aluminium et le tungstène. On dépose ensuite (figure 10) une autre couche 13 de titane ou de nitrure de titane sur l'ensemble, puis on dépose une troisième couche métallique en aluminium destinée à former le niveau de métallisation M2 que l'on grave de façon notamment à former un orifice 15 séparant la partie (en contact avec le via 120 et par conséquent avec la deuxième élec- trode métallique 71 de la capacité métal-métal) de l'autre partie 141 (en contact avec le via 121). La connexion de la deuxième électrode métalli- que 71 de la capacité métal-métal, peut donc être ainsi réalisée au moyen de la partie métallique 140 du niveau de métallisation immédiatement supérieur M2. REVENDICATIONS 1. Procédé de fabrication d'une capacité métal-métal au sein d'un circuit intégré, ladite capacité comportant deux électrodes métalliques au contact de part et d'autre d'une fine couche diélectrique, caractérisé par le fait qu'on réalise les deux électrodes métalliques (40, 71) et la couche dié- lectrique (61) de ladite capacité sur la couche isolante inférieure (2) sup- portant un niveau de métallisation (M1) du circuit intégré et avant de déposer la couche isolante superieure (80) recouvrant ledit niveau de métallisation (M1). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait qu'on dépose au-dessus de la couche isolante inférieure (2) une première couche métallique (4) formant ledit niveau de métallisation (M1) du circuit intégré, on grave ladite première couche (4) de façon à former une première électrode (40) de la capacité, on dépose sur la première couche ainsi gravée la fine couche (6) d'un matériau diélectrique, puis on dépose sur la couche diélectrique une deuxième couche métallique (7) plus fine que la première que l'on grave pour former la deuxième électrode (70, 71) de la capacité, et on dépose sur la deuxième couche métallique ainsi gravée ladite couche isolante supérieure (80). 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé par le fait que lors de la gravure de la première couche métallique (4), on ménage au moins un flanc latéral (FL) pour ladite première électrode (40), et après dépôt de la couche diélectrique (6) sur ledit flanc, on grave la deuxième couche métallique déposée sur la couche diélectrique de façon à réaliser pour la deuxième électrode, une portion latérale (70) au contact de la couche diélectrique (60) et en face dudit flanc latéral (FL). 4. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait qu'on grave un orifice (9) dans la couche isolante supérieure (80) que l'on remplit d'un métal de remplissage (12) de façon à former un trou d'interconnexion métallique (120) et on dépose au-dessus de ladite couche isolante (80) et au-dessus du trou d'interconnexion métallique (120) une troisième couche métallique (140) correspondant à un niveau de métallisation supérieur (M2). 5. Circuit intégré, comprenant une capacité métal-métal comportant deux électrodes métalliques disposées de part et d'autre et au contact d'une fine couche diélectrique, caractérisé par le fait que les deux électrodes métalliques (40, 71) et la couche diélectrique (61) sont situées entre la couche isolante inférieure (2) supportant un niveau de métallisation (M1) du circuit intégré et la couche isolante supérieure (80) recouvrant ce niveau de métallisation (M1). 6. Circuit intégré selon la revendication 5, caractérisé par le fait que la première électrode (40) est une.partie d'une première couche métallique (4) formant ledit niveau de métallisation et la deuxième électrode (70, 71) est plus fine que la première électrode. 7. Circuit intégré selon la revendication 6, caractérisé par le fait que le métal de la première électrode (40), formé dans la première couche métallique, est de l'aluminium, par le fait que le métal de la deuxième élec- trode directement en contact avec la couche diélectrique est de l'alurmi- nium ou du tungstène, et par le fait que le matériau diélectrique est choisi dans le groupe formé par SiO2, Si3N4 et Ta205. 8. Circuit intégré selon la revendication 7, caractérisé par le fait que l'épaisseur de la première électrode (40) est de l'ordre de 0,7 micron, tandis que l'épaisseur de la couche diélectrique (6) est de l'ordre de 0, 02 micron et que l'épaisseur de la deuxième électrode (70, 71) est comprise entre environ 0,05 et 0,1 micron. 9. Circuit intégré selon l'une des revendications 5 à 8, caractérisé par le fait que la première électrode comporte un flanc latéral (FL) recouvert d'une partie (60) de la couche diélectrique, elle-même recouverte d'une partie (70) de la deuxième électrode. 10. Circuit intégré selon l'une des revendications 5 à 9, caractérisé par le fait qu'il comporte un trou interconnexion métallique (120) ménagé dans ladite couche supérieure isolante (80) et reliant ladite deuxième électrode (71) à un niveau de métallisation supérieur (M2) du circuit intégré.