Brevet FR2768814A1 — publié le 19990326

Le procédé et le dispositif selon l'invention concernent l'analyse de surface d'onde optique, c'est-à-dire la mesure de paramètres de forme de la surface d'un front d'onde, ou surface d'onde, pour des ondes de longueur d'onde ultraviolette, visible ou infrarouge. La surface d'onde est la cartographie de la phase du front d'onde. Les paramètres de forme peuvent être, par exemple, la courbure, le tilt ou des aberrations géométriques classiques: aberration sphérique, astigmatisme, coma, etc.... Plus généralement, la phase o du front d'onde incident dans un système optique peut se décomposer sur une base de polynômes orthogonaux Pi sur le support que constitue la pupille du système optique: ai a, Pi La mesure des paramètres de forme consiste alors en la détermination des coefficients ai. Dans le suite, on désignera le support que constitue la pupille du système optique par le support du front d'onde". Différents types de dispositifs sont connus pour faire de l'analyse de surface d'onde. Les dispositifs interférométriques par exemple déterminent la surface d'onde à partir de la figure d'interférence entre un front d'onde de référence et le front d'onde à étudier. La détection de la figure d'interférence se fait directement grâce à une mosaïque de détecteurs à deux dimensions (typiquement 512 x 512 détecteurs élémentaires ou "pixels") ce qui permet une résolution spatiale importante et une analyse très fine de la surface d'onde. Cependant, cette méthode met en oeuvre un traitement du signal lourd du fait de la quantité d'informations à gérer et présente de ce fait un temps de mesure long difficilement compatible avec des mesures en temps réel. Les dispositifs interférométriques sont d'autre part complexes à mettre en oeuvre et présentent des contraintes d'utilisation dues au mécanisme physique sur lequel ils sont basés: faible dynamique de mesure, fonctionnement en lumière monochromatique, difficulté d'analyse de front d'onde issus de systèmes dioptriques, impossibilité d'analyser un front d'onde issu directement d'une source telle qu'une diode laser par exemple. Les analyseurs de front d'onde de type Shack-Hartmann ne présentent pas ces contraintes. Leur utilisation est classique par exemple en optique adaptative pour corriger en temps réel les perturbations de phase introduites par la turbulence sur la propagation des faisceaux optiques (brevet français ONERA 85 17171). Le principe de l'analyseur Shack-Hartmann consiste à échantillonner le front d'onde optique grâce à une matrice à deux dimensions de systèmes optiques, classiquement des microlentilles sphériques, la matrice étant conjuguée de la pupille d'entrée du système optique. Chaque microlentille définit une sous-pupille et donne de l'objet une image. Les pentes locales de l'onde sont déterminées par le déplacement relatif de la tache focale par rapport à une position de référence correspondant à une onde plane, issue d'un objet à l'infini. La surface d'onde est reconstruite par intégration des mesures de pentes locales. Afin de mesurer ces déplacements, une mosaïque de détecteurs de type CCD est placée au foyer des microlentilles. La réalisation de ce type d'analyseur conduit à un instrument optique simple, compact, totalement achromatique. Cependant, un inconvénient majeur des dispositifs de type Shack-Hartmann est dû à leur faible résolution spatiale. En effet, pour minimiser l'erreur de mesure sur la pente moyenne du front d'onde sur une sous-pupille, proportionnelle au déplacement de la tache image au foyer de la microlentille correspondante, il est nécessaire que la mesure de ce déplacement se fasse grâce à un nombre suffisant de pixels de la mosaïque de détecteurs. Classiquement, on associe environ 15x15 pixels à une sous-pupille. Ainsi, le nombre de sous-pupilles est limité par la taille de la mosaïque de détecteurs. Or l'erreur sur la reconstruction du front d'onde due à l'échantillonnage spatial de ce dernier est d'autant plus grande que le nombre de sous-pupilles est faible; d'une part à cause de l'effet de filtrage des fréquences spatiales élevées de la phase du front d'onde, d'autre part à cause du mauvais recouvrement géométrique du front d'onde optique avec la matrice de sous-pupilles. D'autres types d'analyseurs de surface d'onde sont connus; par exemple, les analyseurs de courbure ou les analyseurs à décalage bilatéral ou trilatéral. Les principes physiques des moyens de détection utilisés dans tous ces dispositifs différent mais tous mettent en oeuvre un procédé d'analyse de surface d'onde basé sur un traitement global de celle-ci: les moyens de détection comportent des mosaïques de détecteurs à deux dimensions permettant de détecter l'ensemble de la surface d'onde à analyser. Ce procédé présente deux inconvénients majeurs: - Même si une application spécifique ne requiert que la mesure de certains paramètres de forme, le traitement des informations n'en sera pas moins important ni le temps de mesure plus faible. - Ce procédé est lié à l'utilisation de mosaïques de détecteurs et à la technologie qui lui est propre, entraînant en particulier des limites dans la taille de la zone utile d'analyse. Cela explique que la plupart des analyseurs de surfaces d'onde connus nécessitent l'utilisation d'une optique de mise en forme pour adapter le diamètre du front d'onde au champ du dispositif d'analyse. D'autre part, cela entraîne une limitation de la résolution spatiale et de la précision de mesure en particulier dans les dispositifs de type Shack Hartmann. La présente invention rompt avec le procédé classique de l'analyse de la surface d'onde basée sur l'acquisition de l'ensemble du front d'onde et propose un procédé basé sur une acquisition ligne par ligne du front d'onde et une méthode de mesure des paramètres de forme qui lui est adaptée. Plus précisément, l'invention a pour objet un procédé de mesure de paramètres de forme de la surface d'un front d'onde optique, caractérisé en ce qu'il comporte - au moins une étape d'acquisition d'une ligne du front d'onde comprenant une première étape de détection optique de ladite ligne délivrant un signal électrique la caractérisant et une deuxième étape de traitement du signal électrique permettant de déterminer un ensemble de paramètres caractéristiques de la phase de ladite ligne, - une étape de reconstruction de la surface d'onde permettant, à partir d'au moins un ensemble desdits paramètres, de déterminer les paramètres de forme de la surface d'onde. L'invention a également pour objet un dispositif de mesure de paramètres de forme de la surface d'un front d'onde qui met en oeuvre le procédé selon l'invention. Il est caractérisé en ce qu'il comporte - des moyens d'acquisition d'une ligne ou de plusieurs lignes du front d'onde comprenant des moyens de détection optique délivrant pour chacune desdites lignes un signal électrique la caractérisant, et des moyens de traitement du signal permettant de déterminer un ensemble de paramètres caractéristiques de la phase de chacune desdites lignes, - des moyens de reconstruction de la surface d'onde permettant de calculer, à partir d'au moins un ensemble desdits paramètres, les paramètres de forme de la surface d'onde. Les moyens de détection du dispositif selon l'invention comprendront avantageusement au moins un module de détection d'une ligne d'onde comprenant un ensemble de systèmes optiques disposés linéairement et un détecteur, chaque système optique collectant une portion de la ligne d'onde et la focalisant en une tache lumineuse sur le détecteur, la position de ladite tâche permettant de déterminer la pente locale de la phase de ladite ligne au niveau du système optique considéré. L'ensemble des systèmes optiques est par exemple une ligne de microlentilles, le détecteur est par exemple une barrette de détecteurs. Un tel dispositif présente les avantages de l'analyseur Shack-Hartmann par rapport aux systèmes interférométriques tout en bénéficiant dune plus grande résolution spatiale et donc d'une meilleure précision de mesure. En effet, les barrettes de détecteurs sont plus faciles à réaliser que les mosaïques de détecteurs à deux dimensions équivalentes et, à coût égal, ont donc une dimension plus importante. Par conséquent, grâce à l'emploi d'un plus grand nombre de sous-pupilles, la résolution spatiale peut être améliorée. Le dispositif selon l'invention permet en outre de s'affranchir, dans la plupart des cas, d'une optique de mise en forme généralement nécessaire dans les dispositifs d'analyse de front d'onde de l'art antérieur pour adapter le diamètre du front d'onde au champ du système d'analyse. Le dispositif selon l'invention présente également l'avantage d'être modulaire et adaptable. En effet, le nombre de lignes du front d'onde à acquérir dépend du nombre et de la nature des paramètres de forme que l'on cherche à mesurer. Ainsi la puissance de calcul et le temps de mesure sont adaptés à chaque application. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront plus clairement à la lecture de la description suivante, illustrée par les dessins annexés, qui représentent - la figure 1, les principales étapes du procédé selon l'invention, - la figure 2, un exemple d'acquisition de 4 lignes d'onde, - la figure 3a, un exemple de réalisation d'un dispositif selon l'invention, - la figure 3b, un élément du dispositif décrit dans la figure 3a, - la figure 4, un autre exemple de dispositif selon l'invention, - les figures 5a et 5b, l'échantillonnage matriciel à deux dimensions et ligne par ligne d'un front d'onde circulaire, - la figure 6, un schéma de principe de détection d'une ligne d'onde. Dans la description qui suit, les mêmes références se rapportent aux mêmes éléments. La figure 1 illustre le procédé selon l'invention. Les n étapes d'acquisition ACE,, n > i > 1, permettent l'acquisition de n lignes d'ondes. On appelle ligne d'onde ou ligne du front d'onde, une partie longiligne du front d'onde. Chaque étape d'acquisition ACQi consiste en une première étape de détection DETi de la ligne d'onde par des moyens optiques appropriés, ces moyens délivrant un signal électrique caractérisant la ligne d'onde, puis en une seconde étape TSi de traitement du signal électrique permettant de déterminer un ensemble Ki de paramètres kij caractéristiques de la phase de la ligne d'onde; la phase de la ligne d'onde est un ensemble de valeurs de la phase du front d'onde mesurées sur ladite ligne. Les paramètres kij sont par exemple des valeurs proportionnelles à celles de la phase du front d'onde ou d'une dérivée de la phase, mesurées sur la ligne. Les n étapes de détection et de traitement du signal peuvent être menées soit en série, soit en parallèle, ce qui permet d'optimiser la mise en oeuvre du procédé en vitesse. Pour augmenter la précision de mesure, on peut procéder à plusieurs étapes d'acquisition sur une même ligne d'onde et faire une moyenne soit au niveau de l'étape de détection, soit au niveau de l'étape de traitement du signal. L'étape de reconstruction REC permet de reconstruire la surface d'onde, c'est-à-dire calculer les paramètres de forme de celle-ci, à partir des ensembles Ki de paramètres kij correspondant aux lignes d'onde Li acquises. La reconstruction de la surface d'onde peut se faire suivant différentes méthodes en fonction de la forme de la pupille, de la précision recherchée ou encore du temps de calcul. Deux méthodes de reconstruction peuvent être utilisées: la reconstruction modale ou la reconstruction zonale. Une mise en oeuvre de base de ces méthodes est décrit dans l'article Wave-front estimation from wave-front slope measurements (W.H.Southwell, JOSA Vol.70 n08 pp 988-1006) et des exemples de reconstruction adaptés au procédé selon l'invention sont décrits plus loin. Le nombre et la nature des paramètres de forme que l'on peut obtenir dépendent du nombre d'acquisitions de lignes d'onde distinctes. Considérons par exemple le cas d'un front d'onde à support circulaire. La phase de ce front d'onde est classiquement décomposée sur la base des polynômes de Zernike, ensemble de fonctions orthogonales sur un support circulaire de rayon 1. Ces fonctions présentent l'avantage d'être bien connues des opticiens dans la mesure où elles représentent les premières aberrations géométriques connues. L'acquisition de deux lignes d'onde perpendiculaires, sécantes en leur centre, donnent 21 des 36 premiers polynômes de Zernike (les plus classiquement utilisés), l'acquisition de quatre lignes d'onde concourantes en leur centre et faisant un angle de 450 entre elles donnent 32 des 36 premiers polynômes et l'acquisition de huit lignes d'onde concourantes en leur centre et faisant un angle de 22,50 entre elles donnent les 66 premiers polynômes de Zernike. A titre d'exemple, la figure 2 représente un front d'onde circulaire FOC, analysé par le procédé selon l'invention dans lequel est faite l'acquisition de 4 lignes d'ondes L1, L2, L3, L4 distinctes, concourantes en leur centre, et faisant un angle a de 450 entre elles. Ces exemples montrent comment le procédé selon l'invention est modulable; il est adapté aux paramètres de forme que l'on recherche; ainsi, la puissance de calcul et le temps de mesure sont adaptés à chaque application. Le procédé décrit peut être mis en oeuvre avec le dispositif selon l'invention. Les figures 3a et 3b illustrent un exemple de réalisation de ce dispositif. On considère un front d'onde FO incident dans le dispositif. Le front d'onde est issu d'une source cohérente ou incohérente, émettant à une longueur d'onde choisie par l'opérateur; elle peut même être polychromatique: dans ce cas, le dispositif analyse un front d'onde moyen. Le dispositif illustré figure 3a comprend des moyens d'acquisition MACQ d'une ligne ou de plusieurs lignes du front d'onde permettant de déterminer pour chaque ligne d'onde Li acquise un ensemble Ki de paramètres k.. caractéristiques de la dérivée de la phase de la ligne ou de la phase elle-même de la ligne et des moyens de reconstruction MREC de la surface d'onde. Les moyens d'acquisition MACQ comprennent des moyens de détection MDET centrés sur un axe 00'. Dans l'exemple illustré par la figure 3a, les moyens de détection comportent une fente F et un module de détection HEIN. La fente F permet une présélection de la zone dans laquelle se situe la ligne d'onde Lj que l'on veut détecter. Elle permet de limiter les éclairages parasites en limitant l'ouverture du système. Le module de détection HLIN est composé d'une ligne de systèmes optiques et d'un détecteur positionné dans un plan proche du plan focal des systèmes optiques. Chaque système optique constitue une souspupille. Les systèmes optiques peuvent être des lentilles ou des microlentilles. La forme de ces lentilles ou microlentilles peut être par exemple sphérique, asphérique ou cylindrique. Le détecteur peut être par exemple une barrette de détecteurs, c'est-à-dire un détecteur comportant un ensemble de détecteurs élémentaires (ou pixels) agencés selon une ligne ou selon plusieurs lignes, présentant ainsi une longueur au moins 10 fois supérieure à la largeur; il s'agit par exemple d'une barrette CCD ou d'une barrette de photodiodes. La fente et le module de détection sont orientés selon un axe y perpendiculaire à l'axe 00'. La figure 3b décrit plus précisément des moyens de détection MD comprenant une fente F et un module HLIN constitué d'une ligne LML de microlentilles cylindriques dont les génératrices sont parallèles à l'axe x, l'axe x étant perpendiculaire aux axes 00' et y, ainsi qu'une barrette de détecteurs BD de type barrette CCD. La ligne LML peut être composée typiquement de 100 microlentilles jointives, de 10 mm de focale, de longueur environ 10 mm selon la génératrice (axe x) et d'environ 300 microns dans l'autre direction (axe y). La barrette de détecteurs est constituée par exemple de 2048 pixels, carrés, de côté 14 microns, alignés selon l'axe y sur une longueur de 28,7 mm. Dans cet exemple, les dimensions et l'orientation de la ligne d'onde détectée sont limitées par celles de la barrette de détecteurs: la plus grande dimension de la ligne d'onde détectée est la longueur de la barrette de détecteurs (selon la direction y), soit 28,7 mm, et sa plus petite dimension est la largeur de la barrette de détecteurs (selon x), soit 14 microns. Notons que dans le cas d'une ligne de microlentilles sphériques, la plus petite dimension de la ligne d'onde serait donnée par la taille selon l'axe x des microlentilles sphériques, soit typiquement 300 microns. On mesure ainsi un des avantages de l'utilisation de microlentilles cylindriques dans le dispositif décrit dans cet exemple. Un autre avantage réside dans le fait que si le front d'onde incident présente un basculement suivant x, la détection ne sera pas perturbée puisque selon cet axe, les microlentilles cylindriques sont équivalentes à des lames à faces planes et parallèles. Par contre, si des microlentilles sphériques sont utilisées, la détection ne sera possible que si le basculement est inférieur à l'angle apparent sous lequel est vu le détecteur dans sa largeur. Les moyens de détection de la figure 3b comprennent aussi des moyens de rotation autour de l'axe oo' de l'ensemble constitué de la fente F et du module de détection CLIN, ou des moyens de translation de cet ensemble selon l'axe x, ou une combinaison des deux. Ces moyens, non représentés sur la figure 3b, sont symbolisés par des flèches indexées ROT et TRANS. Ils permettent d'acquérir plusieurs lignes d'onde pour une analyse plus fine de la surface d'onde. Il est nécessaire que chacune des lignes d'onde acquises soit sécante à au moins une autre ligne d'onde; cela permet en effet d'établir une origine de phase. Une autre façon d'acquérir plusieurs lignes d'onde est illustré grâce à un autre exemple de réalisation du dispositif selon l'invention schématisé sur la figure 4. Deux modules de détection HLIN, et HLIN2 sont disposés sur une même plate-forme et séparés par un élément séparateur de faisceau SEP comme par exemple une lame séparatrice. Ils permettent de détecter simultanément deux lignes d'ondes orthogonales Ll et L2 du front d'onde FO. Les moyens de traitement du signal MTS traitent les deux signaux électriques pour obtenir un échantillonnage des deux profils de la dérivée de la phase au FO. Cette mise en oeuvre particulière permet l'acquisition de lignes d'onde deux à deux plutôt qu'une par une dans les dispositifs exposés figures 3a et 3b. Des moyens de rotation et/ou de translation peuvent également être mis en place pour déplacer l'un ou l'autre des modules de détection ou les deux. Les figures 5a et 5b illustrent par un exemple comment le dispositif selon l'invention décrit par exemple dans les figures 3a, 3b et 4 permet d'augmenter la précision de mesure par rapport à un analyseur Shack-Hartmann matriciel de l'art antérieur. La figure 5a montre l'échantillonnage matriciel d'un front d'onde circulaire FOC. On considère par exemple une matrice M de 16 x 16 sous-pupilles à section carrée illuminée par le front d'onde FOC. Cette configuration est classique dans les dispositifs existants et correspond par exemple à l'utilisation d'un détecteur de 512 x 512 pixels avec un champ d'analyse carré d'environ 5 mm de côté. Le diamètre du front d'onde FOC, par exemple égal à 30 mm, a été adapté à la taille de la matrice par une optique de mise en forme. La figure 5a montre que plus d'un quart des sous-pupilles illuminées ne le sont que partiellement (les sous-pupilles complètement illuminées sont hachurées), introduisant une erreur lors de la reconstruction de la surface d'onde et donc une incertitude pouvant être importante sur la détermination des paramètres de forme. La figure 5b illustre l'analyse d'un front d'onde par un dispositif du type de celui décrit dans les figures 3a et 3b mettant en oeuvre le procédé selon l'invention. On considère à nouveau le front d'onde circulaire FOC de la figure 5a mais aucune optique de mise en forme n'est utilisée. La détection ligne par ligne du front d'onde se fait par exemple au moyen d'un module de détection comme il est décrit dans la figure 3b. La dimension du champ d'analyse est d'environ 29 mm. La figure 5b montre le très faible nombre de sous-pupilles partiellement illuminées par rapport au nombre de sous-pupilles complètement illuminées (hachurées). L'erreur sur la reconstruction due au mauvais recouvrement géométrique est donc minimisée. Dans la pratique, on pourra s'affranchir de façon systématique des mesures données par les microlentilles placées aux extrémités de la ligne LML. On supprime ainsi l'erreur de recouvrement géométrique et la précision de mesure reste bonne car le nombre de sous-pupilles reste important. Nous décrivons ci-dessous l'étape d'acquisition d'une ligne d'onde Li. Les moyens de détection sont par exemple du type de ceux décrits dans la figure 3b. L'ensemble constitué de la fente et du module de détection est orienté selon l'axe y. Le principe physique permettant de déterminer l'ensemble Ki des paramètres k.. à partir des moyens de détection ci-dessus décrits est illustré sur la figure 6. Cette figure présente une coupe du module de détection fiLIN de la figure 3b dans un plan défini par les axes oe' et y. Seulement 3 microlentilles de la ligne LML de microlentilles sont représentées. La portion de flux collectée par chaque microlentille MLj est focalisée en une tache lumineuse 61j sur la barrette de détecteur BD. On obtient alors l'ensemble 61 des tâches lumineuses. Le signal électrique caractérisant la ligne Li, délivré par les moyens de détection décrits dans cet exemple, correspond au profil des taches lumineuses 61. L'étape de traitement du signal consiste ici à déterminer la pente locale de la phase au niveau de chaque microlentille. La tache 61j est caractérisée par exemple par son barycentre. On définit également l'ensemble 62 des points focaux sur l'axe" 62j, représentant les taches lumineuses obtenues lorsque le front d'onde étudié est parfaitement plan et parallèle à la ligne de microlentilles LML et caractérisées également par leur barycentre. La distance séparant la position du barycentre de la taches 61j de celle du barycentre du point focal sur l'axe 62j correspondant est proportionnelle à la pente locale tan(Hj) de la ligne d'onde au niveau de la microlentille MLj considérée. tan(0j) est la pente locale selon l'axe de la ligne LML de microlentilles car dans l'exemple considéré, les microlentilles sont cylindriques. Soit Aj cette distance et fj la distance entre la microlentille MLj et le détecteur BD, la pente locale tan tan(#j)= fj La pente locale tan(0j) correspond à la valeur moyenne ',, de la dérivée de la phase de la ligne d'onde Li au niveau de la sous-pupille définie par la micro lentille MLi. Dans ce cas, l'ensemble Kj est constitué des valeurs L'étape de reconstruction de la surface d'onde peut se décomposer en une étape de reconstruction de chaque ligne d'onde Li consistant par exemple à déterminer le profil #i de la phase de ladite ligne, puis une étape de reconstruction de la surface d'onde proprement dite à partir des lignes reconstruites. Considérons tout d'abord le cas particulier où une seule ligne d'onde L1 est acquise. À partir des valeurs #'ij il est possible de reconstruire le profil de la dérivée de la phase ou le profil de la phase elle-même de la ligne d'onde L1. Cette reconstruction peut être effectuée à l'aide d'un formalisme polynomial. Par exemple, il est possible d'utiliser la base connue des polynômes de Legendre {legi} qui sont orthogonaux suivant une ligne. Le profil de phase 1 de la ligne d'onde L1 est alors décrit par: #1 = # vii Legi I1 est possible de définir le vecteur V1 = (v11, ..., vli, ..., comme paramètre caractéristique de L,. La taille de ce vecteur (il contient p coordonnées) est égale au nombre p des premiers polynômes de Legendre choisis dans ce cas pour effectuer la reconstruction. Le nombre p peut être choisi en fonction du nombre de sous-pupilles du module de détection (la valeur de p ne peut excéder le nombre de sous-pupilles), en fonction des paramètres de forme recherchés, en fonction du temps de calcul disponible La détermination du profil de la phase d'une ligne d'onde permet de connaître les paramètres des formes à symétrie de révolution (courbure, aberration sphérique ...). Cela permet aussi de connaître la projection des aberrations sur l'axe de la ligne d'onde détectée (basculement selon cet axe, projection de la coma...). Considérons maintenant l'acquisition de n lignes d'onde Lj distinctes. Chaque ligne d'onde est reconstruite, par exemple selon la méthode décrite précédemment pour l'acquisition d'une seule ligne d'onde. on obtient n ensembles Vi. Chaque ensemble Vj correspond à l'acquisition d'une ligne d'onde Li. Les paramètres v. formant l'ensemble Vi peuvent par exemple définir la phase ou une dérivée n de la phase. La reconstruction de la surface d'onde peut alors être faite par une méthode zonale; cette méthode permet de reconstruire zone par zone la cartographie de la phase du front d'onde à partir des profils de la phase de chaque ligne d'onde. Elle peut s'appliquer à l'analyse de front d'onde de support quelconque et elle est particulièrement bien adaptée aux fronts d'onde présentant des points de singularité. L'inconvénient cependant d'une telle méthode est qu'elle nécessite l'acquisition de nombreuses lignes d'onde; les moyens d'acquisition et de calcul à mettre en oeuvre sont plus lourds et le temps nécessaire à l'analyse du front d'onde plus important. Une autre méthode peut être utilisée: la méthode de type modal, basée sur une décomposition de la phase Zernike Zi. On suppose effectuée l'acquisition de n lignes d'onde distinctes (n > r 2). Toutes ces lignes sont concourantes et font entre elles un angle de z/n. Les lignes d'onde sont reconstruites sur une base de polynômes de Legendre. On cherche à passer de l'information en ligne (vecteurs Vi) à la reconstruction de la surface d'onde, c'est-à-dire aux paramètres ai définis par ai Zi Pour ce faire, on peut définir une matrice MC dite matrice de commande représentant la projection des p premiers polynômes de Legendre sur les m polynômes de Zernike choisis pour reconstruire la surface d'onde. Cette projection doit respecter la propriété d'orthogonalité des polynômes Zi choisis. On peut définir un produit scalaire qui conserve cette propriété sur le support défini par la géométrie des lignes d'onde acquises. Ainsi, le nombre de lignes de la matrice MC correspond au nombre m, cSest-à-dire au nombre de paramètres ai à calculer (par exemple 36) et le nombre de colonnes correspond au nombre de lignes d'onde acquises (n) multiplié par la taille p du vecteur Vi caractérisant la ligne d'onde Li. Par exemple, pour calculer les 36 premiers polynômes de Zernike à l'aide d'un module de détection comprenant 100 m d'asservissement pour compenser la défocalisation thermique de laser de puissance. En outre, ce dispositif permet de tracer les profils de phase et d'intensité des faisceaux laser (et éventuellement une carte de phase et d'intensité en scannant le faisceau avec le dispositif. Plus généralement, le dispositif permet la caractérisation de composants ou de systèmes optiques à la longueur d'onde choisie par l'opérateur (ou éventuellement en lumière polychromatique: le dispositif analyse alors le front d'onde moyen). La configuration particulière avec deux dispositifs placés à 900 l'un de l'autre permet d'extraire la grande majorité des polynômes de Zernike d'ordre azimutal inférieur ou égal à deux (avec repliement des autres polynômes). Ces polynômes correspondent entre autre aux aberrations les plus classiques: tilt, défocalisation, aberration sphérique, coma, astigmatisme (00). Enfin, ce dispositif permet l'analyse d'éléments aussi divers que les lames de phase, les hologrammes (transmission ou réflexion), les écrans à cristaux liquides. REVENDICATIONS 1) Procédé de mesure de paramètres de forme de la surface d'un front d'onde optique, caractérisé en ce qu'il comporte: - au moins une étape (ACQi) d'acquisition d'une ligne (Li) du front d'onde comprenant une première étape (DET) de détection optique de ladite ligne délivrant un signal électrique la caractérisant et une étape (TS) de traitement du signal permettant de déterminer un ensemble Ri de paramètres ki caractéristiques de la phase de la ligne (Li). - une étape (REC) de reconstruction de la surface d'onde permettant, à partir d'au moins un ensemble Ki de déterminer les paramètres de forme de ladite surface. 2) Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que les paramètres k.. sont des valeurs proportionnelles aux valeurs de la phase du front d'onde ou d'une dérivé n de ladite phase, mesurées sur la ligne (Li). 3) Procédé selon les revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'une seule ligne du front d'onde est détectée. 4) Procédé selon les revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'au moins deux lignes distinctes du front d'onde sont détectées, chaque ligne d'onde étant sécante à au moins une autre ligne. 5) Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que n lignes d'onde distinctes sont détectées, n 2 2, lesdites lignes étant concourantes en leur centre et faisant entre elles un angle égal à n/n. 6) procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que n+1 lignes d'onde distinctes sont détectées, n > 2, n lignes étant strictement parallèles entre elles et la (n+l) étant sécante aux n premières. 7) Procédé selon lune quelconque des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que la reconstruction (REC) de la surface d'onde est faite par une méthode zonale. 8) Procédé selon l'une quelconque des revendications 3 à 6, caractérisé en ce que la reconstruction (REZ) est faite par une méthode de type modal. 9) dispositif de mesure de paramètres de forme de la surface d'un front d'onde optique, caractérisé en ce qu'il comporte - des moyens (MACQ) d'acquisition d'une ligne ou de plusieurs lignes du front d'onde comprenant des moyens (MET) de détection optique délivrant pour chacune desdites lignes un signal électrique la caractérisant, et des moyens (MOTS) de traitement du signal permettant de déterminer un ensemble Ki de paramètres Kjj caractéristiques de la phase de chacune desdites lignes, - des moyens (MREC) de reconstruction de la surface d'onde permettant de déterminer les paramètres de forme de la surface d'onde à partir d'au moins un ensemble Ki. 10) Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que les moyens de détections (MDET) comprennent au moins un module de détection (HLIN) d'une ligne d'onde comprenant un ensemble de systèmes optiques disposés linéairement et un détecteur, chaque système optique collectant une portion de la ligne d'onde et la focalisant en une tache lumineuse sur le détecteur, la position de ladite tache permettant de déterminer la pente locale de la phase de ladite ligne au niveau du système optique considéré. 11) Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'ensemble des systèmes optiques est une ligne (LML) de microlentilles. 12) Dispositif selon la revendication 11, caractérisé en ce que les microlentilles sont cylindriques. 13) Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que le détecteur est une barrette de détecteur (BD). 14) Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 13, caractérisé en ce que les moyens de détection (MDET) de la ligne d'onde comprennent en outre une fente (F) solidaire du module de détection (CLIN), permettant de présélectionner la zone du front d'onde (FO) contenant ladite ligne. 15) Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 14, caractérisé en ce que les moyens de détection (MDET) comprennent en outre des moyens de rotation du module (HLIN). 16) Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 15, caractérisé en ce que les moyens de détection (MDET) comprennent en outre des moyens de translation du module (HLIN). 17) Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 16, caractérisé en ce que les moyens de détection (MDET) comprennent 2 modules de détection (CLIN,, HLIN2), perpendiculaires l'un à l'autre, et une lame séparatrice (SEP) positionnée de telle sorte que l'un des modules (HLIN1) détecte une ligne d'onde (L1) et l'autre module (HEIN2) détecte une autre ligne d'onde (L2) perpendiculaire à la première.