Brevet FR2764102A1 — publié le 19981204

Description: La présente invention concerne un résonateur à ondes de surface selon lequel sur un support piézo- électrique, on a deux structures de résonateurs à une porte comprenant chaque fois deux réflecteurs à bandes qui englo- bent chaque fois une cavité plane et dont les bandes de ré- flecteur sont court-circuitées par des bandes de court- circuit, et chaque fois un convertisseur interdigité est pré- vu dans chaque cavité et dans chaque structure de résonateurs à une porte, les domaines des bandes des réflecteurs à bandes ou les domaines des dents des convertisseurs interdigités avec les bandes de court-circuit ou avec les électrodes col- lectrices forment des guides d'ondes pour des ondes de sur- face acoustiques, et les deux structures de résonateurs à une porte sont disposées dans la direction des dents de conver- tisseur et des bandes de réflecteur à une distance tellement faible que les structures de résonateurs à une porte, du fait du couplage des guides d'ondes, sont couplées entre elles. L'invention concerne le domaine de l'électro- technique ou de l'électronique et notamment un résonateur à ondes de surface reposant sur le couplage de guides d'ondes. L'invention s'applique par exemple à des filtres à bande pas- sante étroite ou à des oscillateurs. On connaît des résonateurs à ondes de surface avec, sur un substrat piézo-électrique, deux surfaces de ré- sonateurs à une porte, composées de réflecteurs à ruban qui enferment une cavité creuse plane et dont les bandes de ré- flecteur sont court-circuitées par des bandes de court- circuit, et d'un convertisseur interdigité, prévu dans la ca- vité plane et, dans chaque structure de résonateurs à une porte, les zones de bande des réflecteurs à bande ou les zo- nes de dents des convertisseurs interdigités forment, avec les bandes de court-circuit ou les électrodes collectrices, des guides d'ondes pour des ondes de surface acoustiques, et les deux structures de résonateurs à une porte sont dispo- sées, en direction des dents de convertisseur et des bandes de réflecteur, à une distance tellement faible que les deux structures de résonateurs à une porte sont couplées l'une à l'autre par le couplage des guides d'ondes. Selon un document [1] (M. Tanaka, T. Morita, K, Ono, Y. Nakazawa, " Narrow bandpass filter using double-mode SAW resonators on quartz ", 38th Annual Frequency Control Symposium 1984, p. 286-293), comme dans les autres résona- teurs de ce type, les deux structures de résonateurs à une porte sont construites de manière totalement identique. C'est pourquoi, lorsqu'il n'y a pas de couplage entre elles, elles ont la même fréquence de résonance. Le fonctionnement d'une structure de résonateurs à une porte comme guide d'ondes est assuré en ce que la vi- tesse de développement d'ondes de surface acoustique dans les zones de bandes et de dents des réflecteurs ou convertisseurs est inférieure à celle obtenue dans des bandes de court- circuit métallisées homogènes et des électrodes collectrices. Des formes d'onde du guide d'ondes, appelées modes de guides d'ondes, s'étendent, non seulement, dans la direction des dents sur la largeur des zones de bandes/dents, mais pénè- trent également dans les bandes de court-circuit des électro- des collectrices, pour s'atténuer vers l'extérieur de manière exponentielle. Lorsque deux structures de résonateurs à une porte sont juxtaposées dans la direction des dents, à faible distance (de l'ordre de grandeur d'une longueur d'onde), les modes des guides d'ondes des deux structures de résonateurs à une porte peuvent se chevaucher, ce qui aboutit à leur cou- plage. Ce couplage aboutit au développement de deux modes de guides d'ondes dans le résonateur, avec des vitesses de déve- loppement différentes, à la place du mode de guide d'ondes présent initialement dans le cas de structures de résonateurs à une porte, sans couplage. Ainsi, ce n'est qu'après un cou- plage entre deux structures de résonateurs à une porte qu'un tel résonateur présente deux fréquences de résonance diffé- rentes. Selon une solution déjà proposée [2] (DE- 196 50 583.6), les structures de résonateurs à une porte se distinguent par les points suivants: a) la longueur de la cavité creuse plane et/ou, b) au moins une distance des dents de convertisseur voisines, qui est définie comme distance des lignes médianes diri- gées dans la direction des dents de ce convertisseur, et/ou c) les intervalles des bandes de réflecteur qui sont définis comme intervalles des bandes de réflecteur voisines des lignes médianes passant dans la direction des bandes. Les combinaisons possibles, selon ces prescrip- tions, des différences de paramètres, produisent déjà, sans couplage réciproque, des fréquences de résonance différentes pour les structures de résonateurs à une porte, de sorte que, même pour un couplage très faible, on a déjà une largeur de bande de dimensions données. A mesure que le couplage aug- mente, c'est-à-dire que la distance diminue dans la direction des dents pour les structures de résonateurs à une porte, juxtaposées, la distance des fréquences de résonance aug- mente, ce qui augmente la largeur de bande. Dans les solutions selon les documents [1] et [2], les deux modes de guides d'ondes les plus lents du réso- nateur servent à développer la bande passante. C'est pourquoi il s'agit, dans les documents [1] et [2], de filtres à double circuit. La largeur de bande est définie par la différence de vitesses entre ces modes, et celle-ci dépend essentiellement de la largeur des zones des bandes/dents. Dans une autre solution connue selon le document [3] (DE 195 16 903): a) le convertisseur interdigité de chaque structure de réso- nateurs à une porte se compose chaque fois de deux parties de convertisseur disposées perpendiculairement aux dents de convertisseurs et, entre les dents extérieures à droite de la partie de convertisseur à gauche et des dents exté- rieures à gauche de la partie de convertisseur à droite, on a un intervalle ZTw, et b) les convertisseurs interdigités de chaque structure de ré- sonateurs à une porte, avec leur ligne d'axe parallèle aux dents, se trouvent à une certaine distance de la ligne mé- diane dirigée parallèlement aux bandes de réflecteur des réflecteurs à bandes de la cavité et/ou, pour la longueur des dents et la polarité des dents, on a une asymétrie par rapport à la ligne médiane de la cavité. Dans la cavité incluse dans les deux réflecteurs, pour certaines fréquences, on a des résonances de corps creux. Chacune des résistances est caractérisée par une rela- tion caractéristique de l'amplitude de l'onde et de l'emplacement, dans la direction perpendiculaire aux dents du convertisseur. Cette relation est appelée profil du mode de qualité. Du fait de la dispositif asymétrique des structures de résonateurs à une porte, les résonances de cavité voisines peuvent être excitées et reçues lorsqu'elles possèdent un profil de mode de cavité situé de manière symétrique ou anti- symétrique par rapport à la ligne médiane de la cavité, elle- même parallèle aux dents de convertisseur.15 Dans la solution connue [3], en plus des résonan- ces engendrées par les deux modes de guides d'ondes les plus lents, on utilise également deux résonances de cavités voisi- nes pour former la bande passante. De préférence, on choisit la largeur bandes/dents, la largeur de la bande métallique horizontale qui traverse la structure, et l'épaisseur de la couche métallique, pour avoir exactement deux modes de guides d'ondes. Ainsi, chacune des deux résonances de cavité repré- sente un groupe résonnant formé de deux résonances distinc- tes. La résonance de fréquence la plus basse du groupe résonnant de fréquence élevée se situe à une fréquence plus élevée que la résonance de fréquence la plus élevée du groupe résonnant de fréquence basse. Cette solution [3] constitue ainsi un filtre à quatre circuits. Pour que les signaux transmis par les filtres à bande passante présentent une distorsion minimale, il faut une ondulation minimale de la fonction de fréquence entre l'amortissement d'entrée et le temps de parcours de groupe. Pour qu'à l'adaptation des filtres à la résistance de source et de charge, on conserve l'ondulation la plus petite possi- ble dans l'amortissement d'entrée et dans le temps de par- cours de groupe, il faut que les différences de fréquences de résonance du groupe résonnant le plus élevé et du groupe ré- sonnant à fréquences basses, soient différentes. La présente invention a ainsi pour but de déve- lopper des résonateurs à ondes de surface conçus pour que des différences de fréquences de résonance du groupe résonnant haute fréquence et du groupe résonnant basse fréquence, puis- sent s'établir. Ce problème est résolu par un résonateur à ondes de surface caractérisé en ce qu'un premier groupe de caractéristiques (I) et un second groupe de caractéristiques (II) sont combi- nés, selon le groupe de caractéristiques (I), les structures de résonateurs à une porte se distinguent par les points sui- vants: Ia) la longueur de la cavité plane et/ou Ib) pour des dents de convertisseurs voisins d'au moins une distance est définie comme distance de ces dents de con- vertisseurs par rapport aux lignes d'axe dans la direc- tion des dents, et/ou Ic) dans les intervalles des bandes de réflecteur, les lignes d'axe des bandes de réflecteur voisin sont définies comme les distances dans la direction des bandes, et, selon le groupe de caractéristiques (II), IIa) les convertisseurs interdigités de chaque structure de résonateurs d'entrée se composent chaque fois de deux convertisseurs partiels placés l'un derrière l'autre perpendiculairement aux dents des convertisseurs et, en- tre la dent extérieure à droite du convertisseur partiel à gauche et la dent extérieure à gauche du convertisseur partiel à droite, il y a un intervalle, et IIb) les convertisseurs interdigités de chaque structure de résonateurs à une porte avec leur ligne d'axe parallèle aux dents, se trouvent à distance de la ligne d'axe de la cavité dirigée parallèlement aux bandes de réflecteur des réflecteurs à bandes et/ou pour la longueur des dents et la polarité des dents, de manière asymétrique, par rapport à la ligne d'axe de la cavité, et les intervalles des convertisseurs interdigités des structu- res de résonateurs à une porte ne se distinguent pas ou sont différentes à cause de la caractéristique (Ib). Les caractéristiques du groupe de caractéristi- ques I assurent que les modes de guides d'ondes n'existent pas indépendamment l'un de l'autre comme pour les solutions [1] et [3] mais sont couplés. C'est pourquoi l'intervalle de fréquence des résonances provoquées par ces modes de guides d'ondes, est défini non seulement par la différence des vi- tesses des modes de guides d'onde, mais également par l'intensité du couplage réciproque des modes de guides d'ondes: plus l'intensité de couplage est importante et plus important sera l'intervalle de fréquence entre les résonan- ces. Cette intensité de couplage dépend de manière surpre- nante de la fréquence. Cette propriété ne s'applique pas de manière utile dans la solution [3]. Cette situation varie de manière fondamentale si les caractéristiques du groupe I sont combinées à celles du groupe II, car les caractéristiques du groupe II correspondent à la réalisation d'un groupe réson- nant basse fréquence et haute fréquence. Cette combinaison se répercute également de la manière suivante: Usuellement, la fonction de fréquence de l'intensité de couplage est conçue pour que, dans la plage de fréquences du groupe résonnant basse fréquence, elle soit in- férieure à la plage de fréquences du groupe résonnant haute fréquence. Il en résulte que l'intervalle des fréquences de résonance du groupe résonnant basse fréquence est inférieur à l'intervalle des fréquences de résonance du groupe résonnant haute fréquence. Cela constitue la condition pour laquelle tous les intervalles de fréquence des fréquences voisines se règlent de manière différente. Un premier groupe de développements avantageux de l'invention comprend les réalisations suivantes A), B) et C): A) Les longueurs de chevauchement des convertisseurs interdi- gités sont choisies par des coefficients de pondération pour que par rapport aux lignes d'axes parallèles aux dents des convertisseurs, la distribution des longueurs de chevauchement soit asymétrique; des coefficients de pon- dération négatifs forment, par changement de polarité des dents, les longueurs de chevauchement respectives, par rapport aux longueurs de chevauchement avec des coeffi- cients de pondération positifs et des coefficients de pon- dération égaux à zéro par des doigts fictifs, prévus sur une seule et même électrode collectrice reliée au conver- tisseur respectif, B) De plus dans chaque structure de résonateurs à une porte, les intervalles, entre le convertisseur respectif et les réflecteurs à bandes à gauche et à droite, peuvent être de même largeur, C) Les deux parties de convertisseur de chaque convertisseur interdigité peuvent avoir le même nombre de dents. Un second groupe de développements avantageux de l'invention comprend les réalisations suivantes D), E) et F): D) La ligne d'axe des convertisseurs interdigités, parallèle aux dents de convertisseur pour chaque structure de réso- nateurs à une porte, est le prolongement de cette ligne d'axe de chaque autre structure de résonateurs à une porte, E) Les deux structures de résonateurs à une porte peuvent se distinguer par les intervalles ZTW et la longueur de la cavité plane, F) A l'intérieur de chaque structure de résonateurs à une porte, toutes les dents de convertisseur et toutes les bandes de réflecteur ont chaque fois entre elles les mêmes distances; il est particulièrement avantageux que les in- tervalles des dents de convertisseur, les intervalles des bandes de réflecteur et les longueurs des cavités creuses planes se distinguent par des structures de résonateurs à une porte différentes, selon des coefficients égaux. Selon un autre développement avantageux de l'invention, au moins une caractéristique intéressante du premier groupe est combinée à au moins une caractéristique avantageuse du second groupe. Il est en outre avantageux que les convertisseurs appartenant, chaque fois, à des structures de résonateurs à une porte différentes ou à des réflecteurs à bandes diffé- rents se composent d'un même nombre de dents de convertisseur5 ou de bandes de réflecteur, de sorte que les deux structures de résonateurs à une porte ont des longueurs différentes. Les bandes de court-circuit des réflecteurs à bandes ou des électrodes collectrices des convertisseurs in- terdigités des différentes structures de résonateurs à une10 porte, peuvent former une bande de court-circuit commune ou une électrode collectrice commune et former ensemble une bande métallique qui traverse l'ensemble de la structure perpendiculairement aux bandes de réflecteur et aux dents de convertisseur, de sorte que les bandes de court-circuit com-15 munes et les électrodes collectrices communes se prolongent. Il est particulièrement avantageux que la largeur des zones de bandes de réflecteur/dents de convertisseur de chaque structure de résonateurs à une porte, la largeur de la bande métallique et l'épaisseur de la couche métallique for- mant le convertisseur interdigité et les réflecteurs à bandes soient choisies pour que, dans le réflecteur d'ondes de sur- face, existent au moins deux modes de guides d'ondes. L'invention prévoit en outre la réunion, selon un montage en cascade, de résonateurs à ondes de surface selon l'invention, le convertisseur de réception de l'un des réso- nateurs étant relié électriquement au convertisseur d'émission du résonateur suivant. Dans ce cas, la cascade peut se limiter à deux résonateurs. Il est avantageux que la cascade des résonateurs soit formée par des résonateurs à ondes de surface ayant cha- que fois deux structures de résonateurs à une porte de lon- gueurs différentes et, pour former la cascade, les structures de résonateurs à une porte courtes et longues des résonateurs à ondes de surface successifs sont reliées électriquement. Selon l'invention, pour former la cascade, on peut également relier la structure de résonateurs à une porte la plus longue d'un résonateur à ondes de surface, à la structure de résonateurs à une porte la plus courte du réso- nateur à ondes de surface voisin, par une liaison électrique. Enfin, il peut être avantageux de monter une in- ductance dans la cascade de résonateurs entre les liaisons électriques de deux résonateurs à ondes de surface succes- sifs. La présente invention sera décrite ci-après à l'aide d'un exemple de réalisation représenté schématiquement dans l'unique dessin annexé. L'exemple concerne un résonateur à ondes de sur- face composé de deux structures de résonateurs à une porte 2, 3 montées sur un substrat piézo-électrique 1; ces structures se composent des réflecteurs en ruban 22, 24 ou 32, 34 et des convertisseurs interdigités 23, 33 se trouvant dans la cavité plane 21, 31. Les structures de résonateurs à une porte 2, 3 sont juxtaposées pour que les lignes d'axe 5, 6 des conver- tisseurs 23, 33 soient alignées. Les lignes d'axe 5, 6 coïn- cident avec les lignes d'axe des cavités 21, 31. Les réflecteurs en ruban 22, 24, 32, 34 compor- tent, dans le même ordre, les bandes de réflecteur 221, 241, 321, 341 court-circuitées par les bandes de court-circuit ex- térieures 222, 242, 322, 342. Les convertisseurs 23, 33 sont composés des convertisseurs partiels 231, 232 ou 331, 332 et comportent les groupes de dents actifs 233, 235 et 333, 335, les groupes de dents aveugles 234, 236 et 334, 336 ainsi que les électrodes collectrices 230, 330. Les secondes bandes de court-circuit tournées l'une vers l'autre des réflecteurs à bandes 22, 32 et 24, 34, ou les secondes électrodes collec- trices tournées l'une vers l'autre des convertisseurs 23, 33, forment ensemble des bandes de court-circuit ou une électrode collectrice commune qui se prolonge et forme en réunion les bandes métalliques 4. Les quatre convertisseurs partiels 231, 232, 331, 332 ont le même nombre de dents et toutes les dents des groupes de dents aveugles 234, 236, 334, 336 sont reliées aux bandes métalliques 4. Les espaces intermédiaires 237, 337 entre les convertisseurs partiels 231, 332 du convertisseur 23 ou des convertisseurs partiels 331, 332 du convertisseur 33 ont des largeurs différentes. Les convertisseurs 23, 33 comprennent le même nombre de dents et les réflecteurs à bandes 22, 24, 32, 34 comportent le même nombre de bandes de réflecteur. Etant donné la largeur différente des espaces in- termédiaires 237, 337, les cavités 21, 31 de même que les structures de résonateurs à une porte 2, 3 ont des longueurs différentes. Les convertisseurs 23, 33 ont une construction non symétrique par rapport à leur ligne d'axe 5, 6. Cela ap- paraît du fait que les groupes de dents actives 233, 235 et 333, 335 de même que les groupes de dents aveugles 234, 236 et 334, 336 sont asymétriques par rapport aux lignes d'axe 5, 6. Les dents des groupes de dents actives 235 sont inversées en polarité par rapport aux dents des groupes de dents actives 233. Cela apparaît en ce que chaque fois la première dent du groupe de dents actives 233, 235, comptées à partir de la limite du convertisseur 23, proche du réflecteur à bandes 22, est raccordée à l'électrode collectrice 230 ou à la bande métallique 4 bien qu'entre ces dents, il y ait un nombre pair d'intervalles de dents. Un intervalle de dents est défini comme distance de dents voisines, mesurée parallè- lement aux arêtes des dents. Les dents des groupes de dents actives 335 ont une polarité inversée par rapport aux dents du groupe de dents actives 333. Des explications concernant l'inversion de polarité des groupes de dents actives 235, 233, s'appliquent dans le même sens au groupe de dents acti- ves 335, 333. La structure globale du résonateur est formée d'une couche d'aluminium. Le substrat piézo-électrique 1 est une coupe ST de quartz. La direction perpendiculaire aux dents du convertisseur et aux bandes de réflecteur est paral- lèle à la direction de l'axe de rotation à deux chiffres du quartz. Les structures de résonateurs à une porte 2, 3 constituent des guides d'ondes pour des ondes de surface acoustiques, couplés par les bandes métalliques 4. La largeur des domaines des bandes 221, 241 et 321, 341 et des domaines des dents 233-236 et 333-336, la largeur des bandes métalli- ques 4 et l'épaisseur de la couche d'aluminium sont choisies pour qu'il n'existe que deux modes de guides d'ondes lents dans la structure de résonateurs.5 Les branchements 7 et 8 du convertisseur 23, 33 forment l'entrée et la sortie du résonateur, de sorte que le convertisseur 23, 33 fonctionne comme émetteur ou récepteur. La bande métallique 4 est reliée à la masse par la borne 9. La combinaison de la structure asymétrique du convertisseur 23, 33 par rapport aux lignes d'axes 5, 6 avec la différence des intervalles 237, 337 entraîne que les qua- tre résonances utilisées pour former la bande passante ont des distances différentes par rapport aux fréquences corres- pondantes. NOMENCLATURE 1 Substrat 33 Convertisseur 2 Structure de résonateurs à 330 Electrode collectrice une porte 331 Convertisseur partiel 21 Cavité 332 Convertisseur partiel 22 Réflecteur à bandes 333 Groupe de dents actives 221 Bandes de réflecteur 334 Groupe de dents aveugles 222 Bandes de court-circuit 335 Groupe de dents actives 336 Groupe de dents aveugles 23 Convertisseur 337 Intervalle ZTW 230 Electrode collectrice 231 Convertisseur partiel 4 Bandes métalliques 232 Convertisseur partiel 5 Ligne d'axe du convertis- 233 Groupe de dents actives seur 23 234 Groupe de dents aveugles 6 Ligne d'axe du convertis- 235 Groupe de dents actives seur 33 236 Groupe de dents aveugles 7 Branchements 237 Intervalle ZTW 8 Branchements 9 Branchements. 24 Réflecteur à bandes 241 Bandes de réflecteur 242 Bandes de courtcircuit 3 Structures de résonateurs d'entrée 31 Cavité 32 Réflecteur à bandes 321 Bandes de réflecteur 322 Bandes de court-circuit REVEND I C A T IONS ) Résonateur à ondes de surface selon lequel sur un support piézoélectrique (1), on a deux structures de résonateurs à une porte (2, 3) comprenant chaque fois deux réflecteurs à bandes (22, 24, 32, 34) qui englobent chaque fois une cavité plane (21, 31) et dont les bandes de réflecteur (221, 241, 321, 341) sont court-circuitées par des bandes de court- circuit (222, 242, 322, 342), et chaque fois un convertisseur interdigité (23, 33) est prévu dans chaque cavité (21, 31) et dans chaque structure de résonateurs à une porte (2, 3), les domaines des bandes des réflecteurs à bandes (221, 241, 321, 341) ou les domaines des dents des convertisseurs interdigi- tés (23, 33) avec les bandes de court-circuit (222, 242, 322, 342) ou avec les électrodes collectrices (230, 330) forment des guides d'ondes pour des ondes de surface acoustiques, et les deux structures de résonateurs à une porte (2, 3) sont disposées dans la direction des dents de convertisseur et des bandes de réflecteur (221, 241, 321, 341) à une distance tel- lement faible que les structures de résonateurs à une porte (2, 3), du fait du couplage des guides d'ondes, sont couplées entre elles, caractérisé en ce que un premier groupe de caractéristiques (I) et un second groupe de caractéristiques (II) sont combinés, selon le groupe de caractéristiques (I), les structures de résonateurs à une porte (2, 3) se distinguent par les points suivants: Ia) la longueur de la cavité plane (21, 31) et/ou Ib) pour des dents de convertisseurs voisins d'au moins une distance est définie comme distance de ces dents de con- vertisseurs par rapport aux lignes d'axe dans la direc- tion des dents, et/ou Ic) dans les intervalles des bandes de réflecteur (221, 241, 321, 341), les lignes d'axe des bandes de réflecteur voi- sin sont définies comme les distances dans la direction des bandes, et, selon le groupe de caractéristiques (II), IIa) les convertisseurs interdigités (23, 33) de chaque structure de résonateurs d'entrée (2, 3) se composent chaque fois de deux convertisseurs partiels (231, 232, 331, 332) placés l'un derrière l'autre perpendiculaire- ment aux dents des convertisseurs et, entre la dent ex- térieure à droite du convertisseur partiel à gauche (231, 331) et la dent extérieure à gauche du convertis- seur partiel à droite (232, 332), il y a un intervalle (ZTw) (237, 337), et IIb) les convertisseurs interdigités (23, 33) de chaque structure de résonateurs à une porte (2, 3) avec leur ligne d'axe parallèle aux dents, se trouvent à distance de la ligne d'axe de la cavité (21, 31) dirigée parallè- lement aux bandes de réflecteur (221, 241, 321, 341) des réflecteurs à bandes (22, 32) et/ou pour la longueur des dents et la polarité des dents, de manière asymétrique, par rapport à la ligne d'axe de la cavité (21, 31), et les intervalles (ZTW) (237, 337) des convertisseurs interdi- gités (23, 33) des structures de résonateurs à une porte (2, 3) ne se distinguent pas ou sont différentes à cause de la caractéristique (Ib). 2 ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que les longueurs de chevauchement des convertisseurs interdigi- tés (23, 33) sont choisies par des coefficients de pondéra- tion pour que par rapport aux lignes d'axe parallèles aux dents des convertisseurs, la répartition des longueurs de chevauchement soit asymétrique, et des coefficients de pondé- ration négatifs forment, par changement de polarité des dents, les longueurs de chevauchement respectives, par rap- port aux longueurs de chevauchement, avec des coefficients de pondération positifs et des coefficients de pondération égaux à zéro, par des doigts aveugles, prévus sur une seule et même électrode collectrice du convertisseur respectif. ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que dans chaque structure de résonateurs à une porte (2, 3), les espaces intermédiaires entre le convertisseur respectif (23,5 33) et les réflecteurs à bandes (22, 24, 32, 34) respective- ment à gauche et à droite sont de même largeur. ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que les deux convertisseurs partiels (231, 232, 331, 332) de cha- que convertisseur interdigité (23, 33) ont le même nombre de dents. ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que la ligne d'axe parallèle aux dents de convertisseur, pour les convertisseurs interdigités (23, 33) de chaque structure de résonateurs à une porte (2, 3), est le prolongement de la li- gne d'axe de l'autre structure de résonateurs à une porte. ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 4, caractérisé en ce que les deux structures de résonateurs à une porte se distinguent par les intervalles (ZTw) (237, 337) et la longueur de la ca- vité plane (21, 31). 7 0) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce qu' à l'intérieur de chaque structure de résonateurs à une porte (2, 3), chaque fois toutes les dents de convertisseur et tou- tes les bandes de réflecteur (221, 241, 321, 341) ont entre elles les mêmes distances. 8 ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 7, caractérisé en ce que les distances des dents de convertisseur, les distances des bandes de réflecteur (221, 241, 321, 341) ainsi que la lon- gueur des cavités planes (21, 31) se distinguent par des structures de résonateurs à une porte (2, 3) différentes, se- lon les mêmes coefficients. 9 ) Résonateur à ondes de surface selon les revendications 2 à 8, caractérisé en ce qu' au moins une caractéristique des revendications 2 à 4 est combinée à au moins une caractéristique des revendications 5 à 8. ) Résonateur à ondes de surface selon l'une quelconque des revendications 6 ou 8, caractérisé en ce que les convertisseurs (23, 33) ou les réflecteurs à bandes (22, 32, 24, 34) appartenant chaque fois à des structures de réso- nateurs à une porte (2, 3) différentes, se composent du même nombre de dents de convertisseur ou de bandes de réflecteur (221, 241, 321, 341), de sorte que les deux structures de ré- sonateurs à une porte (2, 3) ont une longueur différente. 11 ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que les bandes de court-circuit tournées l'une vers l'autre des réflecteurs à bandes (22, 24, 32, 34) ou des électrodes col- lectrices des convertisseurs interdigités (23, 33) de struc- tures de résonateurs à une porte (2, 3) différentes, ont une bande de court-circuit commune ou une électrode collectrice commune et forment ensemble une bande métallique (4) qui tra- verse l'ensemble de la structure perpendiculairement aux ban- des de réflecteur (221, 241, 321, 341) et aux dents de convertisseurs, de sorte que les bandes de court-circuit com- munes et l'électrode collectrice commune se prolongent res- pectivement. 12 ) Résonateur à ondes de surface selon l'une quelconque des revendications 1 et 11, caractérisé en ce que la largeur des bandes de réflecteur/domaine des dents de con- vertisseur de chaque structure de résonateurs à une porte (2, 3), la largeur de la bande métallique (4) et l'épaisseur de la couche métallique, formant le convertisseur interdigité (23, 33) et les réflecteurs à bandes (22, 24, 32, 34), sont choisies pour que, dans le résonateur à ondes de surface, existent au moins deux modes de guides d'ondes. 13 ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que plusieurs résonateurs à ondes de surface sont reliés selon une cascade de résonateurs, et le convertisseur d'entrée de l'un des résonateurs à ondes de surface est relié au conver- tisseur émetteur du résonateur à ondes de surface suivant par une liaison électrique. 14 ) Résonateur à ondes de surface selon l'une quelconque des revendications 10 et 13, caractérisé en ce que la cascade de résonateurs se compose de deux résonateurs à ondes de surface. ) Résonateur à ondes de surface selon l'une quelconque des revendications 10 et 13, caractérisé en ce que la cascade de résonateurs est formée par des résonateurs à ondes de surface qui ont chaque fois deux structures de réso- nateurs à une porte de longueurs différentes et pour former la cascade, les structures de résonateurs à une porte courtes et longues sont reliées électriquement aux résonateurs à on- des de surface suivants. 16 ) Résonateur à ondes de surface selon l'une quelconque des revendications 10 et 13, caractérisé en ce que la cascade de résonateurs est formée par des résonateurs à ondes de surface ayant chaque fois deux structures de résona- teurs à une porte de longueurs différentes et, pour former la cascade, les structures de résonateurs à une porte plus lon- gues des résonateurs à ondes de surface successifs, sont re- liées électriquement. 17 ) Résonateur à ondes de surface selon l'une quelconque des revendications 10 à 13, caractérisé en ce que la cascade de résonateurs est formée par des résonateurs à ondes de surface qui ont chaque fois deux structures de réso- nateurs à une porte, de longueurs différentes et, pour former la cascade, la structure de résonateurs à une porte la plus longue d'un résonateur à ondes de surface, est reliée élec- triquement à la structure de résonateurs à une porte la plus courte du résonateur à ondes de surface voisin. 18 ) Résonateur à ondes de surface selon la revendication 13, caractérisé en ce que dans la cascade de résonateurs, entre les liaisons électri- ques de deux résonateurs à ondes de surface successifs, on branche une inductance.