Brevet FR2760889A1 — publié le 19980918

La présente invention concerne un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle et un procédé de modulation temporelle d'un faisceau de rayons X, ainsi qu'un interrupteur d'une source de rayons X et un filtre temporel d'une source d'impulsions de rayons X. Les applications des faisceaux de rayons X sont nombreuses. On les retrouve par exemple autour des rayonnements synchrotrons, dans des dispositifs de microscopie pour la réalisation de circuits intégrés par lithogravure, pour l'utilisation d'effet stroboscopique, etc. Ces différentes utilisations requièrent la mise en oeuvre d'éléments optiques permettant de contrôler les faisceaux de rayons X, c'est-à-dire par exemple d'assurer les fonctions de focalisation, de balayage, de modulations spatiale et temporelle. L'utilisation de faisceaux de rayons X d'une longueur d'onde de 0,1A à 650 A est très prometteuse. En particulier, ils permettent la réalisation par lithogravure de circuits intégrés très denses et performants. Ils constituent aussi un outil précieux pour étudier la matière. Des difficultés sont posées par le contrôle et le traitement des faisceaux, notamment pour la modification de leur trajectoire ou leur modulation temporelle. On connaît des méthodes de déviations fixes de faisceaux de rayons X mettant en oeuvre la diffraction de Bragg. Lorsque des déviations variables sont nécessaires, on utilise couramment des miroirs mobiles. II a déjà été proposé une méthode de modulation d'un faisceau de rayon X de longueur d'onde 1,54 A dans laquelle on envoie un faisceau incident sur une surface d'un cristal piézo-électrique modulée périodiquement. En plus d'un faisceau réfléchi, on obtient alors des faisceaux satellites diffractés, dont l'écart avec le faisceau réfléchi et dont l'intensité dépendent de la modulation de surface. On peut ainsi effectuer un balayage spatial par variation de fréquence acoustique ou produire un faisceau X diffracté pulsé par émission pulsée d'une onde acoustique. Un premier but de l'invention est un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle d'un faisceau de rayons X permettant de produire des modulations temporelles avec des impulsions de durées trés courtes, préférentiellement inférieures à 0,5 Ps et pouvant avantageusement atteindre 200 ns. Un deuxième but de l'invention est un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle d'un faisceau de rayons X ayant un bon rendement (intensité du faisceau incident/intensité du faisceau modulé), préférentiellement supérieur à 20% et avantageusement supérieur ou égal à 30%. Un but supplémentaire de l'invention est un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle permettant d'obtenir un balayage spatial pouvant atteindre 1 mm, à une distance de 1 m d'un cristal sur la surface duquel un faisceau incident est refléchi, avec une sensibilité pouvant être de l'ordre du nanomètre. L'invention a aussi pour objectif de tels dispositifs de modulation spatiale et/ou temporelle utilisables à toute longueur d'onde comprise entre 0,1 A et 650 A. L'invention vise également un filtre temporel capable de trier des impulsions de rayons X émis par un synchrotron à cause de la structure en paquets d'électrons tournant dans l'anneau du synchrotron, ou émis par toute autre source pulsée. L'invention a aussi pour objectif un interrupteur d'une source de rayons X permettant d'effectuer des interruptions rapides de faisceaux, en s'affranchissant de systèmes mécaniques lents, qui rende possible des expériences très courtes résolues en temps, de durées préférentiellement inférieures à 0,5 Ps et atteignant avantageusement 200 ns. L'invention a aussi pour but un procédé de modulation temporelle d'un faisceau de rayons X permettant d'obtenir des durées d'impulsions de rayons X très courtes. A cet effet, I'invention a pour objet un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle d'un faisceau de rayons X, comprenant: - une source d'un faisceau de rayons X incident, - un cristal piézo-électrique ayant une surface qui reçoit le faisceau incident, - un émetteur d'ondes acoustiques de surface placé sur la surface du cristal piézo-électrique, et - des moyens électroniques d'excitation de l'émetteur d'ondes acoustiques, L'émetteur excité par les moyens électroniques engendrant une onde de surface et le faisceau incident de rayons X produisant un faisceau réfléchi par le cristal et deux faisceaux satellites diffractés, les faisceaux satellites étant modulables spatialement et temporellement en fonction de l'excitation de l'émetteur d'ondes acoustiques. Selon l'invention, la surface du cristal piézo-électrique est recouverte d'un empilement de couches. Les rayons X émis ont une longueur d'onde quelconque comprise entre 0,1 A et 650 A. La présence d'une structure multicouche sur le cristal piézoélectrique a pour effet surprenant de permettre une augmentation sensible de l'intensité des faisceaux satellites diffractés. Elle a également pour effet de rendre possible des durées d'impulsions de rayons X très courtes par rapport à celles obtenues sans empilement de couches. Ces phénomènes s'expliquent de la manière suivante. Grâce à un recouvrement multicouche du cristal, L'angle de réflexion du faisceau (ou angle de Bragg) est sensiblement augmenté par rapport à l'angle limite de réflexion totale du faisceau. Comme l'angle d'incidence du faisceau incident sur le cristal est de préférence voisin de l'angle de Bragg, ceci a pour première conséquence de permettre une augmentation considérable de l'intensité d'un des faisceaux satellites diffractés. Une seconde conséquence est que la portion de surface éclairée par le faisceau incident est considérablement réduite. La durée minimale des impulsions de rayons X étant fixée par le temps mis par une onde ultra-sonore pour parcourir la portion de surface éclairée par le faisceau incident, cette durée est donc considérablement réduite par rapport à la réflexion totale. Préférentiellement, I'empilement comprenant une alternance de deux types de couches, chaque groupement de deux couches successives de types distincts a une épaisseur comprise entre 2 nm et 10 nm. Avantageusement, les couches sont constituées alternativement de tungstène et de silicium. Le dispositif est alors performant pour des longueurs d'onde des rayons X voisines de 1 A. Pour des longueurs d'onde plus grandes jusqu'à 100 A, les couches sont avantageusement constituées alternativement de deux matériaux de densités différentes. L'angle d'incidence du faisceau incident sur le cristal se situe avantageusement dans un domaine centré sur l'angle de Bragg du cristal et limité à -5% et +5% de l'angle de Bragg. Avantageusement, le dispositif de modulation comprend des moyens d'absorption du faisceau réfléchi. Selon un mode de réalisation avantageux de l'émetteur, celuici a une large bande de fréquences. Par large bande , on entend une bande couvrant au moins 150 MHz, et préférentiellement au moins 190 MHz. La bande est avantageusement centrée sur 125 MHz, de telle sorte qu'elle s'étend de manière préférée entre 30 MHz et 220 MHz. II est également intéressant que le dispositif selon l'invention comprenne plusieurs émetteurs d'ondes acoustiques de surface, ces émetteurs ayant des bandes de fréquences qui se recouvrent. On peut ainsi obtenir un balayage fréquentiel important, soit avec un seul, soit avec plusieurs émetteurs. Le dispositif est alors particulièrement adapté à une modulation spatiale. Dans une forme préférée de réalisation, L'émetteur d'ondes acoustiques de surface comprenant deux électrodes métalliques déposées sur le cristal, les moyens électroniques d'excitation produisent une tension électrique d'excitation sinusoïdale appliquée entre les électrodes. La tension produite est avantageusement composée d'impulsions. Le dispositif est alors adapté à une modulation temporelle. Dans une autre forme de réalisation, la tension produite a une fréquence modulée. Le dispositif est alors adapté à une modulation spatiale. L'invention a aussi pour objet un interrupteur d'une source de rayons X. Selon l'invention, I'interrupteur est constitué par un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle selon l'invention, avec les deux électrodes métalliques déposées sur le cristal et les moyens électroniques d'excitation produisant une tension électrique d'excitation sinusoïdale composée d'impulsions. La source de rayons X constitue la source du dispositif. Un autre objet de l'invention est un filtre temporel d'une source d'impulsions de rayons X. Selon l'invention, le filtre temporel est constitué par un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle selon l'invention, avec deux électrodes métalliques déposées sur le cristal et les moyens électroniques d'excitation produisant une tension électrique d'excitation sinusoïdale composée d'impulsions. La source d'impulsions constitue la source du dispositif et les impulsions produites par les moyens électroniques d'excitation sont synchronisées sur les impulsions de rayons X émises par la source d'impulsions. Un dispositif selon l'invention peut faire à la fois office d'interrupteur et de filtre temporel. La source de rayons X pour l'interrupteur et le filtre temporel est avantageusement un synchrotron. II peut cependant aussi s'agir de toute autre source, telle qu'un tube à rayons X. Dans le cas du synchrotron, pour le filtre temporel, les impulsions produites par les moyens électroniques d'excitation sont préférentiellement synchronisées sur la fréquence de paquets d'électrons tournant dans l'anneau. Cette réalisation permet de synchroniser les impulsions des faisceaux synchrotron et les impulsions produites par les moyens d'excitation, du fait que les faisceaux synchrotron et les électrons dans l'anneau ont une même évolution temporelle. L'invention a également pour objet un procédé de modulation temporelle d'un faisceau de rayons X. Dans ce procédé: - on émet un faisceau de rayons X incident, - on dirige le faisceau incident vers une surface d'un cristal piézo-électrique, et - on produit une tension électrique d'excitation sinusoïdale composée d'impulsions et on applique la tension à un émetteur d'ondes acoustiques de surface placé sur la surface du cristal, le faisceau incident de rayons X produisant un faisceau réfléchi et deux faisceaux satellites diffractés, les faisceaux satellites étant modulés temporellement en fonction de la tension électrique d'excitation. Selon l'invention, la surface du cristal piézo-électrique est recouverte d'un empilement de couches. Les rayons X ont une longueur d'onde quelconque comprise entre 0,1 A et 650,xi. L'invention sera mieux comprise par la description suivante de certains modes de réalisation et de mise en oeuvre, donnés à titre d'exemples au regard des dessins annexés. La Figure i représente une vue schématique de côté d'un premier mode de réalisation du dispositif de l'invention, permettant une modulation spatiale et/ou temporelle. La Figure 2 représente une vue schématique de dessus du cristal piézo-électrique, de l'émetteur et des moyens d'excitation du premier mode de réalisation de la Figure 1. La Figure 3 montre des courbes représentant l'intensité reçue pour une excitation donnée, en fonction de l'angle de balayage du récepteur et de l'angle d'incidence sur le cristal, avec le mode de réalisation des Figures 1 et 2. La Figure 4 représente une vue schématique d'un second mode de réalisation du dispositif selon l'invention; La Figure 5A montre l'intensité (en coups par seconde) en fonction du temps (en microsecondes), d'un faisceau satellite diffracté obtenu avec le mode de réalisation de la Figure 4 par réception d'un faisceau synchrotron. La Figure 5B montre la courbe obtenue à partir de celle de la Figure 5A en présence d'un filtrage temporel par impulsions. Dans un premier mode de réalisation du dispositif selon l'invention, représenté aux Figures 1 et 2, le dispositif comporte un cristal piézo-électrique i susceptible d'être excité de manière à être parcouru par des ondes acoustiques de surface symbolisées par des oscillations 2. On appelle onde de surface une déformation qui se propage en n'ébranlant qu'une faible épaisseur de matière par rapport à la longueur de l'onde produite. Le cristal piézo-électrique 1 est de préférence un cristal de niobate de lithium (LiNbO3). II est recouvert d'un empilement de couches. Dans une forme de réalisation avantageuse de ces couches, il s'agit d'un empilement régulier de deux types de couches minces de période de 2 à 10 nm. Dans un exemple, I'empilement est constitué d'un recouvrement W/C comprenant 60 paires de couches, chaque paire ayant une épaisseur égale à 5,3 nm. L'angle de Bragg mesuré expérimentalement vaut alors 0,832 et la fréquence de résonance IDT vaut 208 MHz. Préférentiellement, la surface du cristal 1 est soumise à un polissage dynamique chimique de façon à obtenir une rugosité n'excédant pas 10 A, ce qui permet d'éviter la diffusion de rayons X. Des électrodes métalliques 3, 4 en forme de peignes dont les doigts sont parallèles et s'interpénètrent, sont déposées sur la surface du cristal piézo-électrique 1. Ces dépôts d'électrodes interdigitées conjointement avec le cristal piézo-électrique 1 constituent un transducteur d'un type généralement désigné sous l'abréviation d'origine anglo-saxonne l.D.T. (Interdigital Transducer) et ont une fonction d'émetteur 18 d'ondes acoustiques 2. Lorsqu'une tension sinusoïdale est appliquée entre les électrodes, des ondes de Rayleigh sont émises perpendiculairement aux doigts des peignes et constituent une suite de sources ultrasonores. Les vibrations ainsi produites s'ajoutent de façon constructive seulement lorsque la distance séparant deux doigts adjacents (chacun appartenant à l'une des électrodes 3, 4) est égale à une demi-longueur d'onde acoustique. II est ainsi possible de générer les ondes de surface 2 dans une gamme de fréquences autour de cette fréquence de résonance. La tension d'excitation des électrodes destinée à être appliquée entre les électrodes 3 et 4 est produite par un générateur de fréquence 5, puis amplifiée par un amplificateur 6. Le faisceau de rayons X est produit par une source 7 (tube à rayons X, rayonnement synchrotron ou autre source). Sa longueur d'onde est variable entre 0,1 A et 650 A. Un faisceau émis 8 est rendu monochromatique par un monochromateur 9, et une fente 10 est utilisée pour limiter la divergence du faisceau. La fente 10 a une largeur valant par exemple 50 pm. Dans une variante du premier mode de réalisation du dispositif de modulation, le monochromateur 9 est absent. Dans une première forme de mise en oeuvre de cette variante, le faisceau émis 8 est monochromatique, ayant par exemple une longueur d'onde de 1 A. Dans une seconde forme de mise en oeuvre le faisceau 8 est polychromatique. L'angle d'incidence aO entre le faisceau 11 ainsi produit et la surface se situe préférentiellement dans un domaine centré sur l'angle de Bragg du cristal i et limité à -5% et +5% de l'angle de Bragg. En l'absence d'excitation des électrodes 3 et 4, le faisceau incident 11 est réfléchi en un faisceau 12. Lorsque le générateur de fréquence 5 émet de façon continue un signal à une fréquence sinusoïdale, excitant après amplification l'émetteur 18 d'ondes acoustiques 2 de surface, le faisceau incident 11 donne naissance, en plus du faisceau réfléchi 12, à deux faisceaux satellites diffractés 13 et 14. L'intensité contenue dans l'un au moins des faisceaux satellites 13 et 14 peut être importante, pouvant atteindre de l'ordre de 30%, voire de 50%, de l'intensité du faisceau incident monochromatique 11. Les faisceaux satellites 13 et 14 ont des directions différentes de celles du faisceau réfléchi 12, les directions des trois faisceaux 12, 13 et 14 étant données respectivement par les angles ai, a2 et a3 par rapport à la surface du cristal 1. La relation des réseaux permet de prévoir ai et a3 en fonction de a2, de la longueur d'onde i. des rayons X et de la longueur d'onde acoustique: costal = A A cosa = + cosy2 A Un récepteur ou détecteur 15 précédé et solidaire d'une fente 16 permet d'observer l'énergie du flux renvoyé pour un angle d'incidence aç et un angle de sortie a5 déterminés. On a représenté sur la Figure 3 pour l'exemple du cristal 1 (empilement W/C) un ensemble 20 de courbes paramétrées par l'angle d'incidence aO, montrant en fonction de l'angle de sortie aS, rapporté à un premier axe 21, la répartition normée d'énergie, rapportée à un second axe 22. Chacune des courbes a un pic central 32, correspondant au faisceau réfléchi 12, et deux premiers pics latéraux 33 et 34 correspondant respectivement aux faisceaux satellites diffractés 13 et 14. Ces faisceaux 13 et 14 sont associés à des diffractions d'ordres respectifs -1 et 1. D'autres pics latéraux 35 et 36, plus éloignés du pic central 32, correspondent à des diffractions d'ordres respectifs -2 et 2. Ces pics ont des intensités sensiblement inférieures à celles des pics 33, 34 voisins. Parmi les courbes tracées, une première courbe 25 est obtenue pour un angle d'incidence ao égal à l'angle de Bragg du cristal 1, égal dans l'exemple à 0,832"C. Cette courbe 25 fait apparaître pour cet angle aO un pic central 32 très supérieur aux pics latéraux 33 et 34. Une deuxième courbe 26 est tracée pour un angle d'incidence a égal à 0,812 , donc légèrement inférieur à l'angle de Bragg. On observe que le pic 33 correspondant au premier faisceau satellite diffracté 13 (ordre -1) y est très supérieur aux autres pics, y compris au pic central 32. Une troisième courbe 27, tracée pour un angle d'incidence a égal à 0,852", donc légèrement supérieur à l'angle de Bragg, montre au contraire que le pic 34 associé au second faisceau satellite diffracté 14 (ordre 1) est très supérieur aux autres. Une légère variation d'incidence par rapport à l'angle de Bragg du cristal 1 suffit donc à concentrer l'intensité de sortie dans l'un des faisceaux satellites 13, 14. Il est notamment possible d'éliminer presque entièrement le faisceau réfléchi 12. Dans le dispositif de l'invention, les propriétés de l'ensemble cristal piézo-électrique 1 et émetteur d'ondes acoustiques de surface (électrodes 3 et 4) sont utilisées pour produire une modulation spatiale et/ou temporelle du faisceau il de rayons X. A cet effet, on utilise de préférence des moyens d'absorption 17 associés à une fente 16, permettant l'élimination du faisceau réfléchi 12 et de l'un des faisceaux satellites 13 ou 14, par exemple le faisceau 14. La fente 16 a une largeur valant par exemple 50 pm. Ainsi, seul le faisceau satellite 1 3 émerge du dispositif. Sa direction, éventuellement observée par déplacement du détecteur 15, est fonction de la fréquence d'excitation des électrodes 3 et 4 (relation des réseaux). Les moyens d'absorption 17 peuvent être constitués d'un puits, de préférence formés d'un tube en plomb ayant un fond fermé et une paroi latérale mince. Une autre méthode est d'élargir la fente 16 de façon à laisser passer le faisceau satellite 13 sélectionné, quelle qu'en soit la direction, tout en arrêtant les autres faisceaux. L'angle d'incidence a peut aussi être choisi de telle sorte que l'intensité du faisceau satellite 13 sélectionnée est très supérieure à celle des autres faisceaux (courbe 26), ce qui permet de s'affranchir éventuellement des moyens d'absorption 17. De préférence, pour obtenir la meilleure efficacité de modulation, I'impact du faisceau incident 11 sur le cristal 1 est placé à proximité de l'émetteur 18. On obtient par exemple de très bons résultats en situant cet impact à 1 cm de l'émetteur 18. Un dispositif, analogue à celui représenté sur la Figure 1 mais dépourvu du détecteur 15, permet ainsi la génération d'un faisceau de rayons X dont l'orientation peut être aisément contrôlée. On obtient une large plage de modulation spatiale (large balayage) du faisceau satellite 13 lorsque l'angle d'incidence ao du faisceau incident 1 1 sur le cristal 1 est faible, c'est-à-dire lorsque la réflexion a lieu en réflexion totale. Pour effectuer une modulation temporelle du faisceau satellite 13 émergeant. on applique une tension d'excitation des électrodes 3, 4 composée d'une succession de signaux sinusoïdaux à une fréquence donnée, séparés par une tension nulle. L'évolution temporelle de l'intensité recueillie dans le faisceau satellite 13 reproduit fidèlement l'évolution temporelle de la tension appliquée par le générateur de fréquence 5. La durée des impulsions de rayons X que l'on peut créer est limitée inférieurement par une durée minimale, qui est fixée par la durée nécessaire à l'onde uitrasonore 2 pour parcourir la surface éclairée par le faisceau incident 11. Préférentiellement, on utilise un faisceau incident 11 de faible largeur, avantageusement comprise entre 10 pm et 100 ,um. A titre illustratif dans l'exemple ci-dessus du cristal 1 (empilement W/C), une largeur du faisceau incident égale à 10 pm permet d'obtenir une durée minimale pouvant atteindre 200 ns. Avec un empilement de période plus faible et un angle de Bragg de 1,8 , la durée minimale des impulsions X, avec une largeur de faisceau égale à 50 pm peut atteindre 0,4 ijs, les impulsions étant séparées d'un temps variable limité inférieurement à 0,1 Ps et non borné supérieurement. La modulation temporelle d'un faisceau de rayon X avec un dispositif selon l'invention sera mieux illustrée à l'aide d'un second mode de réalisation, représenté à la Figure 4. Sur cette Figure 4, les éléments similaires à ceux du premier mode de réalisation sont identifiés par les mêmes références. Le dispositif du second mode de réalisation diffère de celui du premier mode de réalisation par les aspects qui suivent. Le détecteur 15 a une sortie reliée à un analyseur multivoie 51 connecté à une unité de traitement 52 et le dispositif comprend un générateur d'impulsions 53 envoyant des signaux au générateur de fréquences 5 et à l'analyseur multivoie 51. De manière avantageuse, le dispositif de la Figure 4 est utilisé en sortie d'un synchrotron, de manière à recevoir un rayonnement synchrotron de rayons X. L'évolution temporelle d'un tel rayonnement reproduit exactement celui d'électrons tournant dans l'anneau du synchrotron Dans une première application du dispositif couplé à un synchrotron, ce dispositif a une fonction d'interrupteur rapide. Le générateur d'impulsions 53 produit alors des impulsions de rayons X très courtes, ce qui permet d'obtenir des expériences de durée très brève. Dans une seconde application du dispositif de la Figure 4 couplé à un synchrotron, ce dispositif permet de trier les impulsions de rayons X émis. Pour ce faire, on synchronise les impulsions émises par le générateur d'impulsions 53 sur la fréquence des paquets d'électrons qui tournent dans l'anneau du synchrotron. Le dispositif a ainsi une fonction de sélecteur haute fréquence d'impulsions synchrotron, c'est-à-dire de filtre temporel. II est possible d'éliminer de cette manière une grande partie des photons indésirables, pouvant aller jusqu'à 99% dans certains modes de fonctionnement de l'anneau synchrotron. En fonctionnement, des paquets d'électrons tournant dans l'anneau du synchrotron envoient un faisceau 8 de rayons X sous forme d'impulsions, qui est diffracté sur le cristal 1 et génère un faisceau satellite 13 reçu par le détecteur 15. On peut tracer en fonction du temps, selon un premier axe 41, I'intensité du faisceau 13, rapportée à un second axe 42, comme représenté sur les Figures 5A et 5B. Dans une première mise en oeuvre, on désactive le générateur d'impulsions 53 et on fait fonctionner seulement le générateur de fréquences 5. Ainsi, les ondes acoustiques sont excitées en permanence. On obtient alors une courbe 40, représentée sur la Figure 5A, ayant une évolution temporelle similaire à la structure temporelle d'émission du synchrotron. Cette courbe 40 a une périodicité égale à T, la période T valant environ 2,8 ps. Elle comporte dans chaque période un pic large 43, correspondant à des paquets d'électrons très rapprochés, et un pic étroit 44 isolé, correspondant aux électrons à sélectionner. Dans une seconde mise en oeuvre, on fait fonctionner le générateur d'impulsions 53 avec une période égale à celle des faisceaux synchrotron, c'est-à-dire T, avec une durée d'impulsion égale à 0,8 us pour chaque période, donc supérieure à la durée d correspondant à la largeur de chaque pic étroit 43. On module pour cela les ondes acoustiques en impulsions synchronisées sur les paquets d'électrons. On obtient alors une courbe 45, qui diffère de la courbe 40 par la disparition des pics larges 43. On est ainsi parvenu à éliminer les effets des paquets d'électrons indésirables. II est également intéressant d'utiliser le dispositif de la Figure 4 pour étudier un enregistrement magnétique ou des modifications rapides d'un échantillon soumis à des essais extérieurs. REVENDICATIONS 1. Dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle d'un faisceau de rayons X, comprenant: - une source (7) d'un faisceau (8) de rayons X incident, - un cristal (1) piézo-électrique ayant une surface (19) qui reçoit le faisceau incident (11), - un émetteur (18) d'ondes acoustiques de surface (2) placé sur ladite surface (19) du cristal (1) piézo-électrique, et - des moyens électroniques (5, 6) d'excitation de l'émetteur (18) d'ondes acoustiques (2), ledit émetteur (18) excité par les moyens électroniques (5, 6) engendrant une onde de surface (2) et le faisceau incident (11) de rayons X produisant un faisceau réfléchi (12) par le cristal (1) et deux faisceaux satellites (13, 14) diffractés, lesdits faisceaux satellites (13, 14) étant modulables spatialement et temporellement en fonction de l'excitation dudit émetteur (18) d'ondes acoustiques (2), caractérisé en ce que ladite surface (19) du cristal (1) piézo-électrique est recouverte d'un empilement de couches. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'empilement comprenant une alternance de deux types de couches, chaque groupement de deux couches successives de types distincts a une épaisseur comprise entre 2 nm et 10 nm. 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les couches sont constituées alternativement de tungstène et de silicium. 4. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'angle d'incidence (aO) du faisceau incident (11) sur le cristal (1) se situe dans un domaine centré sur l'angle de Bragg du cristal (1) et limité à -5% et +5% dudit angle de Bragg. 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens d'absorption (17) du faisceau réfléchi (12). 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit émetteur(18) a une large bande de fréquences. 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comprend plusieurs émetteurs d'ondes acoustiques de surface (2), lesdits émetteurs ayant des bandes de fréquences qui se recouvrent. 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit émetteur (18) d'ondes acoustiques de surface (2) comprenant deux électrodes métalliques (3, 4) déposées sur le cristal (1), les moyens électroniques (5, 6) d'excitation produisent une tension électrique d'excitation sinusoïdale appliquée entre lesdites électrodes (3, 4). 9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que la tension produite est composée d'impulsions. 10. Dispositif selon la revendications 8, caractérisé en ce que la tension produite a une fréquence modulée. 11. Interrupteur d'une source de rayons X, caractérisé en ce qu'il est constitué par un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle selon la revendication 9, la source de rayons X constituant ladite source (7). 12. Filtre temporel d'une source d'impulsions de rayons X, caractérisé en ce qu'il est constitué par un dispositif de modulation spatiale et/ou temporelle selon la revendication 9, la source d'impulsion constituant ladite source (7) et les impulsions produites par les moyens électroniques (5, 6) d'excitation étant synchronisées sur les impulsions de rayons X émises par la source d'impulsions. 13. Procédé de modulation temporelle d'un faisceau de rayons X dans lequel: - on émet un faisceau (8) de rayons X incident, - on dirige le faisceau incident (8) vers une surface (19) d'un cristal (1) piézo-électrique, et - on produit une tension électrique d'excitation sinusoïdale composée d'impulsions et on applique ladite tension à un émetteur (18) d'ondes acoustiques de surface (2) placé sur ladite surface (19) du cristal (1), le faisceau incident (11) de rayons X produisant un faisceau réfléchi (12) et deux faisceaux satellites (13, 14) diffractés, lesdits faisceaux satellites (13, 14) étant modulés temporellement en fonction de la tension électrique d'excitation, caractérisé en ce que ladite surface (19) du cristal (1) piézo-électrique est recouverte d'un empilement de couches.