Brevet FR2750207A1 — publié le 19971226

SENSEUR OPTIQUE DE POSITION, DISPOSITIF OPTIQUE INCORPORANT PLUSIEURS SENSEURS, ET PROCEDE D'ALIGNEMENT DESCRIPTION Domaine technique et art antérieur L'invention se rapporte au domaine des senseurs de position et aux techniques d'alignement. Les senseurs de position sont utilisés en métrologie pour mesurer avec précision des déplacements linéaires ou angulaires de pièces ou de structures. I1 s'agit de dispositifs qui peuvent, soit être fixés sur la structure à étudier, soit être maintenus en contact avec celle-ci pendant les déplacements à analyser. Un exemple bien connu de tels senseurs est le comparateur muni d'un palpeur, qu'un ressort maintient en contact avec la pièce étudiée. Ses déplacements sous l'effet des mouvements sont mesurés avec précision (et éventuellement enregistrés) par des moyens purement mécaniques (engrenages), ou bien électriques (variations de capacité ou d'inductance). Ce type de senseur présente des limitations dans l'étendue de mesure et la rapidité de réponse. En outre, il ne peut fonctionner que sur des pièces assez rigides pour ne pas se déformer sous l'action du palpeur. Enfin, le système de référence d'un comparateur est mécanique, et est donc éventuellement soumis à des contraintes parasites externes au phénomène à analyser, telles que dilatations ou vibrations. Un nouveau type de senseur, illustré sur la figure 1, est apparu plus récemment. Ce senseur 2 utilise les propriétés photoélectriques du silicium. I1 fonctionne sur le principe de la génération, au sein du silicium 2, de charges électriques sous l'effet de l'impact 10 d'un faisceau laser 4 de longueur d'onde appropriée. Lorsque le faisceau 4 frappe le senseur 2, l'énergie lumineuse est intégralement absorbée et produit au sein du silicium des charges électriques localisées à l'endroit de l'impact 10. Celles-ci s'écoulent vers les bords du senseur sous l'effet d'un champ électrique. Cet écoulement de charges est représenté par les flèches 6 et 8 sur la figure 1. Le senseur étant résistif, la mesure de la charge collectée sur les bords est directement proportionnelle à la distance parcourue pour les atteindre, et donc à la position de l'impact lumineux. Un autre type de senseur est dit "quatre quadrants" et est illustré sur la figure 2. I1 s'agit d'une plaque de silicium circulaire 12 divisée en 4 quadrants 14, 16, 18, 20 jointifs et électriquement indépendants. Chacun d'eux fournit un signal proportionnel à l'intensité reçue. Lorsque les 4 signaux sont de même valeur, on a l'assurance que le faisceau 22 frappe exactement le centre 24 du senseur. On dispose ainsi d'un moyen de centrage sur le faisceau laser. Cette nouvelle génération de senseurs au silicium apporte un progrès très sensible en matière de rapidité de réponse. Le document DE-3 441 498 décrit quant à lui un dispositif permettant de situer approximativement la position de rayons lumineux. Ce dispositif est représenté schématiquement sur la figure 3 et comporte une pluralité d'éléments 21 constitués d'un matériau transparent dopé avec un colorant fluorescent. La concentration de ce colorant est choisie de telle manière que l'intensité totale d'un faisceau 25 soit seulement partiellement absorbée. Une partie importante du faisceau traverse donc chaque élément 21 à l'extrémité duquel se trouve une photodiode 23 qui délivre un signal lors de la traversée du faisceau 25. Ainsi, une des coordonnées repérant la position du faisceau 25 est identifiée. Une deuxième coordonnée peut être identifiée à l'aide d'un dispositif comportant un premier ensemble A tel que celui de la figure 3, et un deuxième ensemble B, similaire à A, mais tourné de 90" par rapport à celui-ci. Le faisceau lumineux traverse successivement les deux couches A et B, et l'information obtenue par les deux rangées de photodiodes fournissent les coordonnées du faisceau en deux dimensions. Ce dispositif ne permet qu'un repérage grossier de la position du faisceau : la précision est médiocre car limitée à la largeur des éléments 21. De plus, des problèmes de diffusion se posent lorsque le faisceau 25 atteint l'interface entre deux éléments adjacents 21. Le faisceau transmis est dégradé et défléchi, d'une façon qui peut varier beaucoup avec la position le long de l'élément 21, le rendant ainsi impropre à la répétition du processus d'analyse par un autre capteur. Cette situation se produit, soit lorsque le faisceau, de petite taille, est dirigé directement sur ladite interface, soit lorsque le faisceau présente une section supérieure à la largeur des éléments. Actuellement, certaines applications nécessitent des capteurs de position extrêmement précis. Ainsi, dans le cas d'expériences de physique des hautes énergies, on cherche à reconstituer les trajectoires de particules à l'aide de détecteurs disposés "en série", l'un derrière l'autre. On peut ainsi avoir jusqu'à une dizaine, ou plus, de détecteurs. Sur la figure 4, seuls deux détecteurs 30, 32 sont représentés, ainsi qu'une trajectoire 34 de particule. Ces détecteurs doivent être positionnés de manière extremement précise, pour permettre ensuite une reconstruction, avec la même précision, des trajectoires des particules. Jusqu'à présent la technique utilisée pour le positionnement des détecteurs est la suivante. On réalise d'abord un positionnement grossier, avec une précision de l'ordre de quelques dixièmes de mm à 1 mm par des moyens géodésiques traditionnels (triangulation). Puis, pour atteindre une précision de l'ordre de quelques micromètres, on produit des particules, dont les trajectoires sont rectilignes et parallèles, et qui traversent les détecteurs. Les conditions de rectitude et de parallélisme des trajectoires permettent de reconstruire avec précision la position des détecteurs. Par conséquent, un positionnement précis n'est atteint qu'au prix d'un procédé qui est difficile à mettre en oeuvre puisqu'il exige, entre autres, la production d'un faisceau de particules. I1 est donc nécessaire, au moins pour l'application concernant les détecteurs de particules, de trouver un dispositif permettant un positionnement très précis (de l'ordre de +5 um pour une étendue de mesure de 20x20mm2) tout en étant d'utilisation plus souple. En outre, le procédé de positionnement décrit ci-dessus est évidemment inutilisable dans toutes les applications pour lesquelles on ne peut pas produire un faisceau de particules. Là encore, il se pose le problème de trouver un dispositif permettant un positionnement très précis (de l'ordre de +5 ,um). Les dispositifs décrits ci-dessus, d'une part ceux fonctionnant sur le principe d'une interaction électrique (figures 1, 2), et d'autre part celui décrit dans le document DE-3 441 498 (figure 3), ne permettent pas d'atteindre une telle précision, ou bien ne sont pas compatibles avec une utilisation du type de celle décrite ci-dessus, dans laquelle des détecteurs, ou des objets, à positionner ou à aligner, sont disposés en cascade. En particulier, dans certains cas, il est nécessaire de positionner, ou d'aligner, des objets séparés d'une distance de 15 à 20 m, avec une précision inférieure à 20 um. Exposé de l'invention Le senseur de position selon la présente invention résout le problème qui vient d'être exposé. De façon plus précise, l'invention concerne un senseur optique destiné à être placé sur le trajet d'un faisceau laser, pour repérer une position transversale par rapport à une ligne optique concrétisée par ce faisceau laser, comportant - une plaque de matériau transparent, dopée avec un colorant fluorescent, dont l'indice de réfraction présente des fluctuations inférieures à 10-4, cette plaque ayant deux faces principales planes et parallèles, à mieux qu'une frange, polie optiquement, c'est-à-dire présentant une rugosité inférieure à 0,05 um, - des détecteurs photosensibles disposés sur les bords latéraux de la plaque. Un tel senseur permet d'atteindre une très bonne précision de localisation, par exemple une précision de l'ordre de +5um sur une étendue de mesure de 20x20 mm2. En outre, ce senseur évite toute réfraction, ou diffusion, d'un faisceau laser qui le traverse. Un faisceau laser peut donc être utilisé, en combinaison avec le senseur optique selon l'invention, pour réaliser une ligne de référence qui n'est ainsi pas perturbée. En outre, le dispositif selon l'invention ne présente aucun problème d'interface, comme dans le document DE-3 441 498. I1 est possible de placer successivement plusieurs senseurs sur le trajet d'un même faisceau laser : chaque senseur présente des qualités optiques suffisantes pour que le faisceau qui le traverse soit à nouveau utilisable pour le senseur suivant, et ainsi de suite. Le senseur selon l'invention peut être placé dans des endroits peu accessibles et éloignés. En particulier, il est possible de travailler avec un émetteur laser se trouvant à grande distance (par exemple à plusieurs dizaines de mètres). Selon un mode particulier de réalisation de l'invention, la plaque est en verre de qualité optique. Un traitement antireflet peut être déposé sur au moins une des faces principales de la plaque de matériau fluorescent. Ceci permet d'accroître la transparence du senseur optique. Les détecteurs peuvent être au moins au nombre de 4, dont au moins un sur chaque bord de la plaque. De même, plusieurs détecteurs peuvent être déposés sur un même bord, définissant chacun un pixel. Les détecteurs, par exemple des détecteurs au silicium, peuvent être reliés à des moyens de traitement et/ou de mesure des signaux qu'ils délivrent, en réponse à la fluorescence produite lors de l'interaction du faisceau laser avec le colorant fluorescent. Afin de garantir, au cours du temps, une stabilité de la précision obtenue avec le senseur optique selon l'invention, le matériau fluorescent utilisé est de préférence un matériau inorganique. En outre, un cadre absorbant peut être disposé sur la périphérie d'au moins une des faces principales de la plaque de matériau transparent, en contact optique avec celle-ci. Ce cadre permet d'absorber (et donc de faire disparaître) la partie de la lumière de fluorescence qui atteindrait les détecteurs photosensibles en circulant à l'intérieur du senseur par réflexion totale sur ses faces. En effet, cette circulation par réflexion est fortement perturbée par les poussières déposées sur les faces, dont la présence, toujours possible sur une longue période d'utilisation malgré certaines précautions d'emploi, peut provoquer des erreurs de mesure. L'invention a également pour objet un procédé pour aligner un objet, ou en mesurer les déplacements, comportant - l'envoi d'un faisceau laser, dit faisceau laser de référence, en direction d'un senseur optique tel que décrit ci-dessus, ou d'un dispositif optique tel que décrit ci-dessus, la longueur d'onde du faisceau laser étant apte à exciter la fluorescence du colorant qui dope la plaque du, ou des, senseur(s) - et la production d'un signal, ou de plusieurs signaux, délivré(s) par les détecteurs photosensibles, en réponse à la lumière de fluorescence. I1 est possible, ensuite, de réaliser une étape de correction de la position de l'objet, ou d'au moins un des objets, en réponse au signal ou aux signaux délivré(s) par les détecteurs. Ce procédé peut par exemple s'appliquer à un ou plusieurs détecteurs de particules disposés en série, l'un derrière l'autre. Brève description des figures De toute façon, les caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur les exemples de réalisation, donnés à titre explicatif et non limitatif, en se référant à des dessins annexés sur lesquels - Les figures 1 à 3 représentent des dispositifs selon l'art antérieur, - la figure 4 représente deux détecteurs de particules, disposés en série, - la figure 5 représente un senseur optique selon la présente invention, - la figure 6 représente une variante d'un senseur selon la présente invention, - les figures 7A et 7B représentent un senseur optique selon l'invention, avec cadre absorbant latéral, - la figure 8 représente une pluralité de senseurs optiques selon la présente invention, disposés en cascade. Exposé détaillé de modes de réalisation de l'invention Un senseur optique conforme à l'invention est représenté sur la figure 5. Le senseur est constitué par une plaque 36, par exemple carrée, en un matériau transparent, dopé avec un colorant fluorescent. Cette plaque présente un indice de réfraction parfaitement homogène (les fluctuations de la valeur de l'indice sont inférieures à 10-4, notamment dans la zone utile de la plaque). Par ailleurs, la plaque 36 présente deux faces principales 37, 39, par lesquelles un faisceau laser 38, ou faisceau de référence, pénètre dans la plaque et sort de cette plaque. Ces faces sont parfaitement planes et parallèles : ceci conduit sur ces paramètres à une tolérance cumulée inférieure à 1 frange, soit 0,5 um sur l'étendue de mesure, qui est typiquement de l'ordre de 20x20 mm2. L'état de surface des faces 37, 39 est le poli optique, c'est-à-dire qu'elles présentent une rugosité inférieure à 0,05 um. Sous l'action d'un faisceau laser 38, de longueur d'onde adaptée, le colorant qui dope la plaque émet une lumière de fluorescence. Cette lumière est émise de façon isotrope au sein de la plaque et s'en échappe, à l'exception d'une fraction, qui parvient jusqu'aux bords 40, 42, 44, 46 avec une efficacité qui dépend directement des distances entre ces bords et la position de l'impact lumineux. Si les bords sont munis de détecteurs photosensibles, ces derniers délivreront donc un signal, corrélé à la position du faisceau en X et en Y par rapport aux bords du senseur. Le senseur selon l'invention est un senseur de type optique, et présente donc pour cette raison une différence fondamentale par rapport aux senseurs connus (au silicium) illustrés sur les figures 1 et 2, qui fonctionnent sur le principe d'une détection électrique. L'homogénéité de l'indice de réfraction, les conditions de planéité et de parallélisme des faces principales 37, 39, et la condition sur la rugosité permettent d'éviter toute réfraction ou déflexion du faisceau laser qui pourrait détruire son caractère de ligne de référence lors de la traversée du senseur optique. Le faisceau de référence 38 traverse la plaque 36 sans perturbation autre que la perte d'une faible fraction de son énergie déposée dans le senseur, ou bien réfléchie par les faces. La partie réfléchie peut d'ailleurs être fortement atténuée par un traitement antireflet. I1 en résulte une très grande précision sur les mesures de position réalisées à l'aide de ce senseur. Le faisceau reste également disponible avec 95% de son énergie pour répéter le processus dans un autre senseur disposé sur son trajet. Afin de pouvoir utiliser un nombre important de senseurs en cascade (par exemple une dizaine, ou plus), le matériau constituant la plaque 36 présente de préférence une transparence parfaite, sans absorption ni diffusion de la lumière : de ce point de vue, un verre de qualité optique est le plus approprié. Un verre optique SCHOTT de référence BKV, convient bien pour cette application, puisque la surface cumulée des impuretés incluses (poussières, microbulles, ...) est garantie inférieure à 0,029 mm2 pour 100 cm3 de verre, selon les normes MIL-G174B ou DIN3140. Un verre de qualité optique est préférable à des matériaux plastiques, pour lesquels l'absorption, la diffusion et la sensibilité aux agressions extérieures (rayures, corrosion,...) sont sensiblement plus importantes. Par ailleurs, ces derniers paramètres évoluent défavorablement au cours du vieillissement d'un matériau plastique, ce qui n'est pas le cas pour un verre de qualité optique. En ce qui concerne l'agent fluorescent de dopage, on sélectionne de préférence un agent inorganique, stable au cours du temps. Les composés organiques se détériorent, pour leur part, très rapidement et sont donc exclus pour une utilisation d'une durée supérieure à quelques semaines. De plus, le dopage du verre avec un matériau organique n'est pas compatible avec la température d'élaboration du verre. Pour réaliser un senseur de position optique ayant une certaine stabilité, le laser mis en oeuvre répond de préférence aux conditions suivantes - stabilité du faisceau en puissance (inférieure à quelques pour-cent), - stabilité du faisceau en orientation (inférieure à quelques milliradians), - faible divergence du faisceau (inférieure à 1 milliradian). Le profil transversal du faisceau est de préférence gaussien, pour permettre une détermination précise de la position de l'intensité maximale. Par ailleurs, en vue de l'utilisation du faisceau dans des senseurs disposés en cascade, l'un derrière l'autre, il est préférable que l'absorption du senseur à la longueur d'onde du laser soit aussi faible que possible, et de préférence nulle à l'exception de la fraction nécessaire à l'excitation de la fluorescence. On cherche donc à réaliser un compromis entre une intensité de fluorescence suffisamment élevée pour réaliser la mesure, mais cependant suffisamment faible pour ne pas trop perturber le faisceau laser, et permettre d'utiliser, éventuellement, des senseurs disposés en cascade, qui peuvent être nombreux. Comme illustré sur la figure 6, il est possible de remplacer un détecteur disposé sur un bord par plusieurs détecteurs 48, 50, 52, 54 déposés sur le même bord et définissant chacun un pixel. Dans le cas de détecteurs formés de bandes au silicium, on peut ainsi diviser des bandes de silicium déposées sur les bords en plusieurs éléments indépendants (pixels) lus individuellement. On peut alors déterminer la position de l'impact lumineux 46 en évaluant le barycentre (ou centroide) des pixels touchés. On peut également associer 4 à 4 (ou différemment) les réponses des pixels, et obtenir ainsi une série de valeurs dont la combinaison précise la position du faisceau 48. Les signaux délivrés par les photodétecteurs peuvent être traités à l'aide d'un modèle dans lequel la valeur de chaque signal est reliée à l'angle sous lequel le point d'impact du faisceau laser est vu par le détecteur correspondant. On peut ainsi établir expérimentalement, dans une phase de calibration, pour chaque pixel, la surface donnant l'intensité du signal fourni en fonction de la position en x et y de l'impact. Ces surfaces sont ensuite lissées ; la combinaison (notamment par intersection) des surfaces issues de tous les pixels permet de délimiter avec précision le domaine de l'impact laser en x et en y. Ceci permet d'obtenir une corrélation précise entre le signal issu de chaque pixel et la position de l'impact laser. La mesure et le traitement des signaux délivrés par les photodétecteurs peuvent être mis en oeuvre par l'homme du métier à l'aide, par exemple, d'un microprocesseur 55 convenablement programmé. Une variante d'un dispositif selon l'invention est représentée sur les figures 7A et 7B. La zone utile 62 du senseur optique est bordée d'un cadre absorbant 60, en contact optique avec la plaque 36 de matériau dopé. Lorsqu'un faisceau laser 66 traverse cette plaque, il y induit une fluorescence qui peut atteindre les photodétecteurs soit directement, soit indirectement en circulant à l'intérieur du senseur par réflexion totale (deux trajectoires indirectes sont désignées, sur la figure 7B, par les références 61, 63). Ces cheminements indirects peuvent être fortement perturbés par des poussières déposées sur les faces principales, d'entrée et de sortie du faisceau laser 66. Les perturbations ainsi induites provoquent des erreurs de mesure. Le cadre permet d'absorber la partie de la lumière de fluorescence qui se propage par réflexion totale à l'intérieur de la plaque 36 : par exemple, sur la figure 7B, les cadres 60, 64 absorbent respectivement en A et B le rayonnement se propageant suivant les trajectoires 61, 63. Deux prototypes de ce nouveau type de senseur de position ont été réalisés, dont les principales caractéristiques sont les suivantes 1) - Le matériau fluorescent employé pour les plaques est du verre de qualité optique dopé à 1% de néodyme, couramment utilisé pour la constitution de barreaux laser, et qui se prête particulièrement bien aux techniques de surfaçage et de polissage optique. Les dimensions des plaques sont de 40x40 mm, pour une épaisseur traversée par le faisceau de 3mm. Le verre de qualité optique, dopé au néodyme est un matériau dont l'homogénéité est bien maîtrisée en tant que matériau utilisé pour la fabrication de barreaux lasers, aucune imperfection n'est tolérée. Les propriétés de fluorescence de ce matériau sont en outre bien adaptées, avec une excitation dans le visible (et notamment dans le domaine d'émission des lasers HeNe ou à semi-conducteurs), et une émission centrée sur 1064nm qu'il est aisé de détecter avec du silicium. 2) - Pour cette dernière raison, le matériau photosensible déposé sur les tranches des senseurs est du silicium de qualité standard. Afin d'affiner la localisation, chaque tranche a été munie de 8 pixels en silicium indépendants. 3) - Le fonctionnement du senseur est d'une grande simplicité. Le faisceau laser est continu ou modulé. Même si le silicium n'est pas polarisé (mode photovoltaïque), le niveau des signaux fournis par chaque pixel est satisfaisant. I1 est de l'ordre de 100nA pour une puissance du laser de 2mW. 4) - Pour accroître encore la transparence, l'un des prototypes a reçu sur ses deux faces principales un traitement antireflet (par dépôt de couches minces interférentielles) spécialement adapté à la longueur d'onde du laser de référence utilisé. La fraction de lumière réfléchie de façon indésirable par chaque face passe ainsi de 4% à moins de 1%. Avec le verre nu, la transparence est déjà supérieure à 90%. Elle dépasse 95% avec le traitement. 5) - Plusieurs types de lasers émettant dans le visible ont été employés, comme des lasers HeNe émettant à 543 et 633nm. Bien que le traitement des signaux permette de tolérer d'éventuelles fluctuations d'intensité, la préférence ira cependant à des lasers à semi-conducteurs émettant par exemple à 670nm, pour leurs qualités de stabilité, de durabilité, de compacité et aussi leur faible coût. Par rapport aux critères relatifs au faisceau laser, déjà énoncés (stabilité en puissance et en orientation, faible divergence, faible absorption du senseur à Blaser), la longueur d'onde 685 nm réalise un compromis satisfaisant. Outre les qualités de rapidité et d'éloignement possibles par rapport à une source laser, les senseurs selon l'invention possèdent les avantages suivants - un fonctionnement possible avec un laser visible et de faible puissance ( à 95%), - une électronique de lecture simple, - une étendue de mesure qui ne dépend que du nombre de pixels disposés sur chaque bord du senseur ; cette étendue de mesure, typiquement de 40x40 mm, peut atteindre des valeurs aussi importantes que 100x100 mm ou plus, - une très bonne précision de localisation, de l'ordre de t5um sur une étendue de mesure de 15x15 mm2. D'une façon générale, quel que soit le mode de réalisation envisagé, et comme illustré sur la figure 8, il est possible de positionner rapidement et facilement plusieurs senseurs 70, 72, 74, 76 selon l'invention (par exemple au moins une dizaine) sur le trajet d'un même faisceau laser visible 78 de référence et de faible puissance, donc dans de bonnes conditions pour les réglages et la sécurité. Sur la figure 8, les senseurs optiques sont utilisés pour la surveillance des déplacements de détecteurs 30, 32 de particules d'une expérience de physique. La connaissance de ces déplacements est essentielle pour la reconstitution des traces laissées par le passage des particules (le trajet de ces dernières est symbolisé par une flèche 34). En fonction de l'information obtenue relative aux déplacements des détecteurs 30, 32, il est possible de corriger les mesures qu'ils délivrent pour reconstruire la trajectoire des particules avec la précision requise (traitement des signaux issus du, ou des, détecteur(s)). REVENDICATIONS 1. Senseur optique destiné à être placé sur le trajet d'un faisceau laser (38, 58, 66, 78) pour repérer une position par rapport à une ligne optique concrétisée par ce faisceau laser, comportant - une plaque (36, 70, 72, 74, 76) de matériau transparent, dopée avec un colorant fluorescent, dont l'indice de réfraction présente des fluctuations inférieures à 10-4, cette plaque ayant deux faces principales (37, 39) planes et parallèles, à une frange, présentant une rugosité inférieure à 0,05 um, - des détecteurs photosensibles (48, 50, 52, 54) disposés sur des bords latéraux de la plaque. 2. Senseur optique selon la revendication 1, la plaque étant en verre de qualité optique. 3. Senseur optique selon l'une des revendications 1 ou 2, un traitement antireflet étant déposé sur au moins une des deux faces principales de la plaque de matériau fluorescent. 4. Senseur optique selon une des revendications 1 à 3, les détecteurs photosensibles étant au moins au nombre de quatre, dont au moins un sur chaque bord de la plaque. 5. Senseur optique selon la revendication 4, plusieurs détecteurs étant déposés sur un même bord et définissant chacun un pixel. 6. Senseur optique selon l'une des revendications 1 à 5, les détecteurs photosensibles étant des détecteurs au silicium. 7. Senseur optique selon l'une des revendications précédentes, les détecteurs photosensibles étant reliés à des moyens (55) de traitement des signaux délivrés par ces détecteurs. 8. Senseur optique selon l'une des revendications précédentes, le colorant fluorescent étant un colorant inorganique. 9. Senseur optique selon l'une des revendications précédentes, la plaque étant en verre dopé au néodyme. 10. Senseur optique selon l'une des revendications précédentes, comportant en outre un cadre absorbant la lumière de fluorescence (60, 64), disposé sur au moins une partie de la périphérie d'une des faces principales (37, 39) de la plaque de matériau transparent, en contact optique avec celle-ci. 11. Dispositif optique pour la mesure de déplacements comportant une pluralité de senseurs optiques (70, 72, 74, 76), selon l'une des revendications 1 à 10, destinés à être disposés sur le trajet d'un même faisceau laser (78). 12. Procédé pour aligner un objet, ou pour en mesurer les déplacements, comportant - l'envoi d'un faisceau laser (38, 58, 66, 78), dit faisceau laser de référence, en direction d'un senseur optique selon l'une des revendications 1 à 10, ou en direction d'un dispositif selon la revendication 11, la longueur d'onde du faisceau laser pouvant exciter la fluorescence du colorant qui dope la plaque du, ou des, senseur(s), - et la production d'un signal, ou de plusieurs signaux, délivré(s) par les détecteurs photosensibles, en réponse à une lumière de fluorescence induite dans chaque senseur par le faisceau de référence. 13. Procédé selon la revendication 12, comportant en outre une étape de correction de la position de l'objet ou du traitement des signaux issus de l'objet, ou d'au moins un des objets, en réponse au signal, ou aux signaux, délivré(s) par les détecteurs photosensibles. 14. Procédé selon l'une des revendications 12 ou 13, l'objet, ou les objets, étant un, ou plusieurs, détecteur(s) (30, 32) de particules. 15. Procédé selon l'une des revendications 12 à 14, le faisceau laser (78) étant stable en puissance, en orientation et présentant une faible divergence.