Brevet FR2748469A1 — publié le 19971114

I UTILISATION D'UNE BARRIERE EN NITRURE POUR EVITER LA DIFFUSION D'ARGENT DANS DU VERRE La présente invention se rapporte au domaine de la métallisation de substrats de verre notamment pour la fabrication d'écrans plats de visualisation. Cette métallisation sert à former des réseaux d'électrodes. Ces électrodes sont opaques, elles sont généralement réalisées en argent. Jusqu'à présent, la métallisation des substrats de verre destinés aux réseaux d'électrodes denses, de pas inférieur à 500 micromètres était réalisée sous vide par pulvérisation cathodique ou vaporisation. La couche déposée est relativement épaisse, de un à quelques micromètres et la durée du dépôt en chambre à vide est relativement longue. Le coût de tels substrats métallisés est élevé et ce coût augmente très rapidement avec la surface des substrats. De nouvelles méthodes de métallisation, moins onéreuses ont été explorées; il s'agit notamment de photogravure de couches de pâte d'argent photosensible ou non. Cette méthode n'est pas compatible avec une is utilisation sur la face avant d'un panneau de visualisation car il se produit une coloration jaune dans le substrat de verre. En effet, une zone située sous l'électrode, et s'étendant de part et d'autre de l'électrode d'environ 30 à 50 micromètres est teintée en jaune à cause de la diffusion de l'argent dans le verre. La lumière que reçoit un observateur provient d'une part de la lumière produite par les décharges électriques à l'intérieur du panneau qui est transmise par le substrat de verre et d'autre part, de la lumière réfléchie par les électrodes. C'est au niveau des zones de diffusion que sort la plus grande partie de la lumière perçue par l'observateur. Cette coloration, à la manière d'un filtre jaune, dégrade fortement la colorimétrie du panneau de visualisation en couleurs. Il n'est donc pas souhaitable que la lumière perçue soit filtrée en jaune. La présente invention vise à supprimer cette coloration jaune en évitant la diffusion de l'argent dans le verre sans pour autant dégrader I'adhérence et la stabilité chimique de l'argenture. Pour cela la présente invention concerne l'utilisation d'une barrière à base de nitrure pour éviter la diffusion d'argent dans un substrat de verre. Le nitrure peut être par exemple un nitrure de titane, un nitrure de bore, un nitrure de silicium. Le nitrure de titane donne des résultats très satisfaisants au point de vue transparence. La barrière à base de nitrure peut être déposée par pulvérisation cathodique, évaporation sous vide ou PECVD (pour la dénomination anglaise de Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) par exemple. Une épaisseur de barrière supérieure à environ 50 nanomètres est efficace pour stopper la diffusion de l'argent. La présente invention sera mieux comprise à l'aide de la description qui suit illustrée par la figure unique qui représente en coupe transversale le substrat de verre, la barrière et le dépôt à base d'argent. La méthode connue de dépôt par photogravure d'électrodes d'argent engendrant une coloration jaune comporte les étapes suivantes. On dépose sur un substrat de verre par sérigraphie puis séchage une pâte à base d'argent photosensible ou non. Lorsque la pâte à base d'argent n'est pas photosensible on la recouvre d'une couche d'une résine photosensible. On expose ensuite le dépôt à base d'argent, éventuellement recouvert de résine, à de la lumière ultraviolette à travers un masque puis I'on développe l'ensemble. On procède ensuite à une cuisson du substrat argenté à une température comprise entre environ 540 C et 600 C. Cette opération de cuisson entraîne la diffusion de l'argent dans le verre du substrat et l'apparition d'une coloration jaune très gênante si le substrat de verre est la face avant d'un panneau de visualisation. Cette coloration apparaît même pour de faibles concentrations en argent. Un substrat en verre coloré en jaune par de l'argent transmet 54 % de la lumière rouge émise, 59 % pour cents de la lumière verte émise et 12 % de la lumière bleue émise. La présente invention consiste à utiliser une barrière 2 à base de nitrure interposée entre le substrat 1 de verre et le dépôt 3 à base d'argent pour éviter la coloration en jaune du verre provoquée par la diffusion de l'argent dans le verre. La figure unique montre en coupe l'agencement des couches sur le substrat de verre 1. Cette barrière 2 à base de nitrure est efficace même après une cuisson du dépôt 3 à base d'argent à des températures supérieures à 580 C. La barrière 2 à base de nitrure peut être déposée sur le substrat 1 de verre, par exemple par pulvérisation cathodique ou évaporation sous vide. Un dépôt par un procédé chimique, stimulé par un plasma, et connu sous le vocable anglais de PECVD (pour Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) est également possible. La technique PECVD permet l'obtention d'un dépôt homogène. Le nitrure de titane donne de très bons résultats. En effet, en présence d'argent, le nitrure de titane qui est de teinte grise devient beaucoup plus clair, ce qui permet d'obtenir dans l'application en tant que face avant d'un panneau de visualisation, des zones bien transparentes. Tout autre métal est bien sûr utilisable en particulier le silicium ou le bore. Un mélange de nitrures peut aussi être utilisé. Une barrière 2 d'épaisseur supérieure à environ 50 nanomètres est suffisante pour éviter la coloration jaune. Le substrat 1 de verre pourra, par exemple, être de type sodo- calcique (connu dans la littérature sous la dénomination anglo-saxonne de float glass). Ce substrat 1 pourra être éventuellement recuit, poli ou façonné. D'autres types de verres plats peuvent bien sûr être utilisé, par exemple de type borosilicate ou aluminosilicate. Le dépôt 3 à base d'argent peut être réalisé de manière classique par sérigraphie et photogravure puis être soumis à une cuisson à une température supérieure à 400 comme on l'a décrit précédemment. L'épaisseur du dépôt 3 à base d'argent peut être d'environ 7 micromètres. Habituellement l'épaisseur du dépôt à base d'argent est comprise entre 3 et 12 micromètres environ. REVENDICATIONS 1. Utilisation sur un substrat (1) de verre revêtu d'un dépôt (3) à base d'argent, d'une barrière (2) à base de nitrure intercalée entre le substrat de verre et le dépôt à base d'argent pour éviter une coloration jaune du verre provoquée par la diffusion de l'argent dans le verre. 2. Utilisation selon la revendication 1, caractérisée en ce que le nitrure est choisi parmi le nitrure de titane, de silicium, de bore ou leur mélange. 3. Utilisation selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisée en ce que la barrière (2) est déposée par pulvérisation cathodique, évaporation sous vide ou PECVD. 4. Utilisation selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que la barrière (2) à une épaisseur supérieure ou égale à environ 50 nanomètres. 5. Utilisation selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisée en ce que le dépôt (3) à base d'argent est réalisé par photogravure. 6. Utilisation selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que l'argent a subi une cuisson à une température supérieure à 400 C après le dépôt. 7. Utilisation selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisée en ce que le dépôt (3) à base d'argent a une épaisseur comprise entre environ 3 et 12 micromètres. 8. Utilisation selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisée en ce que le verre de substrat (1) est du verre sodo-calcique. 9. Utilisation selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que le substrat (1) de verre est destiné à la réalisation de panneau de visualisation.