Brevet FR2751409A1 — publié le 19980123

Parmi les capteurs de température, certains font appel à la modification de propriétés optiques. Ainsi, certains capteurs utilisent la variation en fonction de la température de l'émission d'un corps placé en bout d'une fibre optique (R.R. Dils, Journal of Applied Physics, vol.54, mars 1983, p.1198-1201), ou encore la variation de la luminescence de certains éléments, la variation de rotativité d'un milieu... Ces diverses techniques permettent un grand choix de plages de température, mais la résolution peut aller de 30C, à au mieux 0,1 C dans le cas d'un micro-corps noir en bout de fibre (Techniques de l'ingénieur R 2 800). On peut aussi utiliser les variations des caractéristiques de transmission d'une fibre optique, comme la modification du spectre de transmission de la fibre, ou la modification du couplage cceur- gaine. Ces types de capteurs permettent dTobtenir une relativement bonne précision, avec une résolution de 0,1 C (Techniques de l'ingénieur R 2 800) D'autres capteurs sont basés sur la forte variation de l'indice de réfraction (donc de la biréfringence) avec la température de certains matériaux. De nombreux matériaux, qualifiés de thermo-optiques, présentent cette propriété, par exemple: le rutile Tio2, le phosphate dihydrogéné d'ammonium NH4H2PO4 (ADP), le phosphate dihydrogéné de potassium KH2P04 (KDP), les perovskites... L'effet thermo-optigue a été mis en oeuvre dans un capteur de température utilisant simultanément l'effet Faraday pour des mesures de champ électrique ou magnétique (European Patent Application, publication number 0 390 581 A2). Les performances obtenues dans la mesure de température peuvent être satisfaisantes, bien que leur précision absolue soit médiocre (au mieux +1,4 C). On peut également utiliser l'effet thermo-optique dans des thermomètres appelés polarimétriques par variation de biréfringence. Un tel thermomètre a été développé par A.J. Rodgers (optical temperature sensor for high voltage applications, Applied Optics vol.21 n"5 mars 1982 p.882-885). Ce capteur permet une mesure de température dans la plage 20-1800C, avec une résolution de t20C. La détermination de la température s'effectue par mesure de différence de puissance entre la lumière sortant du laser et celle issue de la tête du capteur (le cristal thermo-optique est placé avec une lame quart d'onde entre deux polariseurs). Ce thermomètre peut être utilisé en milieu hostile (présence de forts champs électriques ou magnétiques), mais ne donne pas des mesures précises et justes de la température absolue ou relative. L'invention proposée ici consiste en un capteur de température combinant les effets thermo-optique et électro-optique linéaire (effet Pockels: variation linéaire de biréfringence en fonction de la tension appliquée à un cristal présentant cette propriété) que présentent certains cristaux et son système d'asservissement associé qui repère un point de fonctionnement appelé point de doublement de fréquence. L'asservissement consiste à suivre ce point en compensant par exemple toute variation de biréfringence d'origine thermo-optique par une variation de biréfringence par effet électro-optique. Le fait de compenser le premier effet par le second permet d'envisager des résolutions dans la mesure de variations de température inférieures à 10-3 K. De plus, ce nouveau capteur est particulièrement adapté à des mesures en milieux hostiles. Résumé de l'invention La présente invention permet de mesurer des variations de température avec une excellente précision, sur une plage de température que l'on peut adapter selon le montage employé et le cristal (ou les cristaux) utilisé(s). Un cristal à la fois électro-optique et thermo-optique (ou deux cristaux l'un thermo-optique et l'autre électro-optique) est (sont) placé(s) entre deux lames quart d'onde, elles-mêmes placées entre deux polariseurs. Le faisceau laser traversant cet ensemble est ainsi modulé en intensité par application d'un champ électrique au dit cristal électro-optique. Le but de cette invention est de mesurer des variations de température en asservissant un point de fonctionnement donné, soit en modifiant la partie continue de la tension de modulation appliquée au cristal électro-optique, soit par rotation d'un polariseur, soit par régulation directe de température. La connaissance de la compensation nécessaire pour conserver ce point de fonctionnement permet de déterminer la variation de température qu'a subie le cristal thermo-optique. Description détaillée de l'invention L'invention est schématisée sur la figure 1. Le montage comprend une source laser 1 (U.V., visible ou I.R.), dont le faisceau émis traverse successivement une éventuelle fibre optique 2, un polariseur 3, une lame quart d'onde 4 dont les axes sont à 45" par rapport à l'axe du polariseur 3, un cristal électrooptique et thermo-optique 5 placé de telle façon que ses axes soient parallèles aux axes de la lame quart d'onde 4. Le cristal 5 présente une biréfringence naturelle. On choisit un cristal dans lequel la biréfringence varie proportionnellement au champ électrique appliqué entre deux faces du cristal (effet électrooptique linéaire), et proportionnellement à la température du cristal (effet thermo-optique linéaire). Ces effets linéaires peuvent être accompagnés d'effets d'ordre supérieur. Le faisceau laser généré par la source laser, qui après avoir traversé le polariseur 3, la lame quart d'onde 4, le cristal électro-optique et thermo-optique 5, traverse une deuxième lame quart d'onde 6 dont les axes sont parallèles à ceux de la première lame quart d'onde 4, puis un analyseur 7. Le faisceau de sortie de cet ensemble traverse éventuellement une fibre optique 8, puis est prélevé par un dispositif de détection de lumière 9 (photodiode par exemple), dont le signal électrique de sortie est directement proportionnel à l'intensité lumineuse détectée. Le cristal électro-optique et thermo-optique 5 est muni d'électrodes afin de lui appliquer une tension électrique. La figure 1 présente le dit cristal 5 dans une configuration transverse dans laquelle la tension appliquée est perpendiculaire à l'axe de transmission du faisceau laser à travers ce cristal. Mais le cristal 5 peut également être placé dans une configuration longitudinale, c'est-à-dire une géométrie dans laquelle la tension appliquée au cristal est parallèle à l'axe de transmission du faisceau laser, les électrodes étant alors transparentes à la longueur d'onde émise par la source laser 1. Les variations de température du cristal provoquent des variations de la biréfringence du cristal, linéairement avec la température, sur une plage de température donnée (effet thermooptique linéaire). Cette variation module le faisceau laser traversant le dit cristal 5, changeant son état de polarisation en fonction de la tension à chaque instant. La tension appliquée au cristal électro-optique 5 est la superposition au niveau de l'amplificateur 11 d'une tension continue commandée par le système de commande de tension continue 13, et d'une tension sinusoïdale à la fréquence o0 générée par l'oscillateur 12. Cette tension influe sur le cristal d'une façon similaire à la température, c'est-à-dire que la biréfringence du cristal varie linéairement avec la tension par effet électrooptique. Le passage à travers le polariseur 7 (nommé analyseur) produit un signal lumineux modulé en intensité. Cette intensité en sortie de l'analyseur 7 suit une variation de type cosinus carré en fonction du déphasage induit dans le montage par la variation de température perçue par le cristal ou de la tension qui lui est appliquée. L'expression de cette intensité est I=Io Cos2(P+r/2) (1) où ss est l'angle de l'analyseur 7 par rapport aux axes du cristal électro-optique 5, r est le déphasage introduit dans le cristal électro-optique et thermo-optique 5, dû à la fois à la biréfringence naturelle de ce cristal et aux variations de biréfringence d'origines thermooptique et électro-optique dans le dit cristal 5. Ce déphasage r peut être décomposé en trois contributions: Le déphasage F1 lié à la biréfringence naturelle du cristal 5: 2iLn vi = (2) avec L longueur du cristal électro-optique et thermo-optique 5 traversé par le faisceau laser, An biréfringence naturelle du cristal électro-optique et thermo-optique 5. X longueur d'onde dans le vide de la source laser 1 (ex: pour le laser HeNe, h=632,8.10-9m). Le déphasage r2 lié à la variation de biréfringence induite par effet thermo-optique dans le cristal 5. Dans une plage de quelques degrés autour d'un point de fonctionnement donné, on peut considérer cet effet comme linéaire en fonction de la température, le coefficient de proportionnalité entre la variation de biréfringence dans le cristal et la variation de température qui a induit cette variation de biréfringence étant le coefficient thermo-optique défini par: #=(#(#n)/#T) (3) où T est la température, et 6T sa variation An est la biréfringence naturelle du cristal, 6(An) sa variation. Ce déphasage vaut: 2tL F2= X T (4) La troisième contribution est celle du déphasage r3 lié à la variation de biréfringence induite par effet électro-optique linéaire, dans le cristal électro-optique 5: F3 = Vm (5) #3 = #Vm/V# où Vm est la tension de modulation en sortie de l'amplificateur 11, appliquée au cristal électro-optique 5, Vs est la tension demi-onde du cristal électro-optique 5. La tension demi-onde d'un cristal électro-optique est définie comme la tension nécessaire à appliquer à un cristal pour que le déphasage entre deux composantes du champ électrique de la polarisation du faisceau laser soit égal à it. Cette tension vaut V# = #d n3rL avec d: dimension du cristal selon laquelle on applique la tension (épaisseur d dans le cas de la configuration transverse, longueur L dans le cas de la configuration longitudinale). L: longueur du cristal traversé par le faisceau, r coefficient électro-optique du cristal, Afin de comparer les performances des cristaux, on considère généralement leur tension demi-onde réduite, qui est la tension demi-onde dans le cas où L=d. Vit=X/ (n3*r) . (7) A titre d'exemple, ~ t.. > ;3i. n demi-onde est de l'ordre de 104 Volts pour ADP, et peut être inférieure à 50 Volts pour certains matériaux comme le sélénate de rubidium hydrogéné RbH2SeO4 (RHSe) [J.P. Salvestrini, M.D. Fontana, Brevet d'invention n094 02015]. La tension effectivement nécessaire pour commander le cristal et provoquer un déphasage donné est proportionnelle à Vit, mais on peut aussi faire varier le rapport d/L pour réduire cette valeur. Le déphasage lié à la biréfringence induite par effet électrooptique dans le cristal 5 est donc proportionnel à l'amplitude du champ électrique appliqué au dit cristal électro-optique et thermo-optique, et est donc proportionnel à la tension appliquée au cristal par l'amplificateur 11. Le déphasage produit dans un cristal thermo-optique par une variation de température donnée sera d'autant plus facilement détectable que le coefficient thermo-optique du cristal 4 est élevé. Pour obtenir de grandes variations de biréfringence par effet thermo-optique lors de faibles variations de température, on peut utiliser un cristal d'ADP, qui a un coefficient thermooptique d'une valeur de 48,9.10-1 OC-? [N.P.BARNES, P.J.GETTEMY et R.S.ADHAV, Journal of the Optical Society of America, 72,895 (1982)], ou BaTiO3, dont le coefficient thermo-optique vaut 1,42.10-4 OC-l. [F.ABDI, M.AILLERIE et M.D.FONTANA, Nonlinear Optics, 1996, vol. 16, pp. 65-78]. Si l'on veut compenser le déphasage induit par effet thermooptique par un déphasage créé par effet électro-optique, il faut utiliser un cristal électro-optique dont la tension demi-onde réduite soit aussi faible que possible. En effet plus la tension demi-onde réduite est faible, moins la tension à appliquer au cristal pour obtenir un déphasage donné est importante. On peut dans ce cas privilégier des cristaux comme RHSe. Le faisceau lumineux modulé en intensité perçu après l'analyseur 7, après passage dans la fibre optique 8, est capté par le système de détection de lumière 9, qui transforme ce signal en signal électrique. Ce signal est directement proportionnel à l'intensité lumineuse en sortie de l'ensemble optique. On peut l'écrire sous la forme: E=Eo cos 2 (ss+r/2 ) (8) La figure 2 illustre la courbe de réponse du système. Si l'on suppose l'analyseur fixe, l'abscisse correspond au demi-déphasage perçu entre les deux composantes de la polarisation du faisceau laser sur les axes du cristal 5, lors de la traversée par le faisceau du dit cristal. Une variation du point de fonctionnement peut être dû: - soit à une variation de la température du cristal 5 par effet thermo-optique. - soit à une variation de la tension continue appliquée au cristal 5 par l'intermédiaire de effet électro-optique, - soit à l'association de ces deux phénomènes. Le point de fonctionnement peut aussi être modifié par rotation de l'analyseur 7. L'abscisse de la figure 2 est directement proportionnelle à la position angulaire du dit analyseur 7, car la grandeur dont dépend le cosinus carré dans l'équation (1) est la somme du demi-déphasage induit dans le cristal et de la position angulaire de cet analyseur--7. Lorsque l'on applique au cristal électro-optique 5 une tension continue et une tension alternative à la fréquence o0, le faisceau lumineux en sortie de l'analyseur 7 (ainsi que le signal électrique issu du système de détection de la lumière) est, quel que soit le point de fonctionnement, composé spectralement de trois fréquences [M.AILLERIE, M.D.FONTANA, F.ABDI, C.CARABATOS NEDELEC et N.THEOFANOUS, SPIE Vol.1018 Electro-optic and Magneto Optic Materials (1988)]: - une composante continue (fréquence nulle) correspondant à l'intensité moyenne transmise par le montage, - une composante à la fréquence de modulation oo appliquée au cristal électro-optique et thermo-optique 5, - une composante à la fréquence 2 *oo, double de celle appliquée au cristal électro-optique et thermo-optique 5. L'invention consiste à asservir le système décrit sur la figure 1 afin de conserver un point de fonctionnement donné sur la courbe de la figure 2. Ce point peut être quelconque sur la courbe. Mais afin d'obtenir le point de fonctionnement le plus sensible possible, le système est asservi sur le point où l'intensité transmise est à la fréquence double de celle de modulation, c'est-à-dire lorsque la valeur moyenne du signal électrique modulant le cristal électro-optique et thermo-optique 5 se trouve en regard d'un minimum de transmission sur la dite courbe (point O). En ce point de fonctionnement, le signal de sortie ne comprend que deux composantes spectrales: une composante continue (valeur moyenne) et une composante à la fréquence double de celle de modulation. Pour des déplacements du point de fonctionnement légèrement à droite ou légèrement à gauche de ce point de doublement sur la courbe de réponse du système, les signaux en sortie du système de détection de lumière sont de forme similaire. Il existe seulement un déphasage par rapport au signal électrique de modulation différent dans les deux cas. Afin de préciser le sens du déplacement, on utilise une détection synchrone, qui permet généralement de déterminer l'amplitude et la phase d'une composante spectrale précise dans un signal complexe ou noyé dans un bruit important. On va analyser ici la composante du signal du système de détection de lumière 9 à la fréquence o0: Si on se trouve exactement au point de doublement, la composante spectrale à la fréquence a sortie de la détection synchrone 10 est également nulle. Si le système se trouve dans des conditions telles que, sur la courbe de réponse du système, le point de fonctionnement se trouve à droite du point de doublement, le système se rapproche progressivement dtun fonctionnement en phase (point A), c'est-àdire un fonctionnement où le signal de sortie est à la fréquence de modulation et tel que les maxima de la tension de modulation correspondent à des maxima d'intensité transmise. Dans le cas d'un tel décalage, la composante du signal de sortie à la fréquence de modulation 0 est donc en r ! .-. :ec le signal de modulation, et d'amplitude d'autant plus importante que l'on s'éloigne du point de doublement. La sortie de la détection 10 est positive et d'autant plus importante que l'on s'éloigne du point de doublement. Inversement, si le système se trouve dans des conditions telles que, sur la courbe de réponse du système, le point de fonctionnement se trouve à gauche du point de doublement, le système se rapproche progressivement d'un fonctionnement en opposition de phase (point B), c'est-à-dire un fonctionnement où le signal de sortie est à la fréquence de modulation et tel que les maxima de la tension de modulation correspondent d des minima d'intensité transmise. Dans le cas d'un tel décalage, la composante du signal optique de sortie à la fréquence de modulation wo est donc en opposition de phase avec le signal de modulation, et d'intensité d'autant plus importante que l'on s'éloigne du point de doublement. En conséquence, la sortie de la détection 10 devient négative et augmente avec le déplacement. En analysant la composante à Le suivi d'un point de fonctionnement par modification discrète de la tension continue appliquée par l'amplificateur 11 au cristal électro-optique et thermo-optique 5 s'effectue selon l'algorithme décrit ci-dessous et schématisé sur la figure 3. Comme nous l'airons signal auparavant, le signal en sortie du détecteur d'amplitude et de phase 10 (détection synchrone), e:" positif ou négatif, selon que l'on se trouve à gauche ou à droite du point de doublement de fréquence que l'on cherche à asservir. On effectue donc d'abord un premier test T1, afin de savoir si le signal en sortie de la détection 10 est positif ou négatif. Si il est positif on effectue le test T2, si il est négatif, on effectue le test T3. Les tests T2 et T3 ont la meme fonction. Ils déterminent si on se trouve près ou loin du point de doublement que l'on cherche à poursuivre afin de permettre une compensation variable. Cette disrimination se fait en comparant l'amplitude de sortie du détecteur à un seuil prédéterminé. - Si l'amplitude de sortie est inférieure au seuil de comparaison, on considère le système de régulation relativement proche du point de fonctionnement recherché. On effectue alors un rattrapage relativement faible en appliquant une tension de biais 2 à la partie continue de la tension de modulation appliquée au cristal par ltamplificateur. - Si l'amplitude de sortie est supérieure au seuil de comparaison, on considère que le système de régulation n'est pas assez proche du point de fonctionnement recherché. On effectue alors un rattrapage relativement rapide en appliquant une tension de biais 1 (d'amplitude supérieure à celle de biais 2) à la partie continue de la tension de modulation appliquée au cristal par l'amplificateur. Cette tension de biais 1 est additionné à la partie continue de la tension de modulation appliquée au cristal électro-optique et thermo-optique pour le test T2. Il est retranché à la partie continue de la tension de modulation appliquée au cristal pour le test T3. Une fois la tension de biais appliquée, on effectue une nouvelle analyse du signal de sortie du système de détection de lumière 9. Simultanément, connaissant la tension de biais appliquée au cristal électro-optique et thermo-optique 5, on en déduit la variation de biréfringence induite par effet électro-optique dans le dit cristal électro-optique. Cela implique donc un déphasage entre les composantes de la lumière incidente à la traversée de ce cristal. Ce déphasage correspond à celui résultant de l'effet thermo-optique, c'est-à-dirh de lc variation de biréfringence due à une variation de tempéracure, su le cristal 5. La valeur de la variation de température 8T est alors liée à la variation 8V de tension continue appliquée au cristal par la relation: n3xr ;v (9) #T= n3 xr #V (9) 2xdx# Le suivi du point de doublement permet de suivre en temps réel les variations de température subies par le cristal 5. Variantes du montage de base Variante n01: Il est possible d'utiliser à la place du cristal 5 de la figure 1, deux cristaux présentant l'un (le cristal 5) la propriété thermo-optique l'autre (le cristal 5') la propriété électro-optique. Le montage correspondant est présenté sur la figure 4. Dans ce cas, il faut différencier dans les formules les longueurs des deux cristaux L5 et L5,. I1 faut également prendre en compte les biréfringences naturelles des deux cristaux qui donnent des déphasages qui s'ajoutent. Ce montage peut présenter un avantage dans le choix des deux cristaux selon les propriétés caractéristiques de chacun et selon les performances visées. Si l'on choisit de n'utiliser qu'un seul cristal, il convient de prendre en compte toutes les Caractéristiques concernées, à savoir la tension demi-onde réduite et le coefficient thermooptique du cristal. Or il peut exister une grande disparité dans les performances respectives des propriétés thermo-optique et électro-optique selon le cristal. Ainsi, la tension demi-onde de certains cristaux est assez élevée: z 104 Volts pour ADP ce qui ntest pas très favorable alors qu'il est un 'bon' matériau thermooptique. D'autres matériaux ayant un coefficient thermo-optique plus faible, peuvent avoir des tensions demi-ondes réduites beaucoup moins élevées. Ces cristaux peuvent donc être commandés plus facilement en tension, éventuellement sans amplificateur haute tension (caj tit . Variante n 2: Il est possible de placer à distance la source laser 1 par l'intermédiaire d'une fibre optique 2 (équipée d'un dispositif permettant de faire converger la lumière incidente dans la fibre, et d'un dispositif permettant de collimater le faisceau en sortie de fibre, à l'aide de micro-lentilles par exemple), ou par visée directe. Il est également possible de placer à distance le système de detection de lumière 9 en utilisant une fibre optique 8 (équipée d'un dispositif permettant de faire converger la lumière incidente dans la fibre, et d'un dispositif permettant de collimater le faisceau en sortie de fibre) pour transmettre les variations d'intensité. Ce déport peut lui aussi être effectué par visée directe. Variante n 3: Le fait d'utiliser deux cristaux permet de séparer la commande en tension (et donc l'asservissement ou mesure) de la partie proprement sensible à de température, à savoir le cristal thermooptique 5. Ceci présente un grand avantage pour des mesures de température dans des milieux sensibles aux champs électromagnétiques ou électriques. Ainsi, dans ce cas, il est possible d'isoler le seul cristal thermo-optique 5 dans l'enceinte à caractériser en température, en déportant les autres éléments de montage. Le respect de l'alignement des axes tels qu'ils sont décrits dans l'invention pour les différents éléments concernés doit être respecté, et la traversée de toutes les pièces optiques par visée directe ou en utilisant des fibres optiques reste possible. Le cristal thermo-optique 5 peut être ainsi placé dans des conditions telles qu'il soit insensible à d'éventuelles perturbations électriques ou électromagnétiques. Il est alors possible d'utiliser un tel capteur dans des milieux hostiles tels que ceux où sont présents de forts champs électriques et magnétiques. Le fait d'utiliser deux cristaux donne une relation différente entre la variation de température #T que l'on veut mesurer et la variation de tension SV nécessaire à la compensation électrooptique. Cette relation est: n3 x L5. x r #V (10) 2 xd5. x L5 x # On peut influencer sur la valeur de la tension nécessaire à la compensation de la température en modifiant le rapport Ls./(ds,*L=). Variante n 4: L'asservissement de la phase #, effectué par compensation des variations de température par modification de la partie continue de la tension électrique issue de llamplificat..ur 11 et appliquée au cristal électro-optique, sert à maintenir l'angle p+r/2 constant quelle que soit la perturbation thermique. I1 est également possible de faire cet asservissement par modification de l'angle , c'est-à-dire par une rotation directe de l'analyseur 7 d'un angle correspondant. Dans ce cas, il faut avoir une tension de modulation appliquée au cristal électro-optique par l'amplificateur 11, dont la partie sinusoïdale est toujours constante (générée par l'oscillateur 12), et dont la partie continue est fixe, voire nulle. L'asservissement ne s'effectue pas sur la partie continue de la dite tension appliquée au cristal électro-optique, mais par rotation de l'analyseur 7 selon l'algorithme de la figure 3 en remplacant les biais appliqués à la partie continue de la tension, par des pas de rotation plus ou moins importants, selon que le signal est plus ou moins éloigné du point de fonctionnement recherché. Applications La mise en oeuvre du capteur tel qu'il est décrit a été effectuée en utilisant un unique cristal d'ADP, de dimensions standards L=6.5mm, d=2.2mm. Ce cristal d'ADP a un facteur de mérite n3r=64pm/V. On obtient alors une relation entre la variation de tension nécessaire à la compensation d'une variation de température donnée: #T =6,5.1O-4.K/V (11) #V L'asservissement a été effectué pratiquement par rotation de l'analyseur 7. Nous avons pu mesurer des variations de température avec une résolution de 10 3 K. Ce résultat a pu être confirmé en utilisant deux cristaux: un cristal thermo-optique d'ADP et un cristal électro-optique de RHSe, et un asservissement par effet électro-optique dans ce cas. L'amélioration a porté sur l'amplitude de la tension utilisée, amplitude dans un rapport de 1/10 entre l température le cristal thermo-optique et un système de chauffage et refroidissement, et par contre réaction de faire travailler le dit système thermique de façon à réguler la température dans un sens opposé à la variation détectée par rapport à une consigne au niveau du cristal. On obtient ainsi un asservissement en température très stable, ce qui est nécessaire pour certaines applications biologiques, chimiques ou physique (étude de transition de phase par exemple, ou tout autre phénomène ayant lieu à une température fixe déterminée, ou dans une plage de température très faible). Revendications 1 - Capteur de variation de température caractérisé par la présence d'un cristal à la fois thermo-optique et électro-optique. 2 - Capteur de variation de température caractérisé par la présence d'un cristal thermo-optique et d'un cristal électrooptique. 3 - Procédé de mesure de température utilisant un capteur selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2 caractérisé par le contrôle et le suivi du signal optique modulé par une tension alternative appliquée au cristal électro-optique. 4 - Procédé de mesure de température selon la revendication 3 caractérisé en ce que le signal optique est modulé à la fréquence double de la fréquence de la tension électrique de modulation. 5 - Procédé de mesure de température selon l'une quelconque des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que la compensation de la variation de température du cristal thermo-optique s'effectue par variation de la tension appliquée au cristal électro-optique. 6 - Procédé de mesure de température selon l'une quelconque des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que la compensation de la variation de température du cristal thermo-optique s'effectue par rotation d'un polariseur. 7 - Système de régulation de température caractérisé par l'utilisation dans son système d'asservissement d'un capteur selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2. 8 - Utilisation d'un procédé de mesure selon l'une quelconque des revendications 3 à 6 dans un système de mesure de la puissance d'un laser. 9 - Utilisation d'un procédé de mesure selon l'une des revendications 3 à 6 dans un système de mesure de profil laser.