Brevet FR2759120A1 — publié le 19980807

La présente invention concerne une pompe cryogénique ayant un blindage perfectionné. Les pompes à vide cryogéniques retirent les gaz d'une atmosphère par congélation de molécules de gaz sur des panneaux cryogéniques à basse température. Les pompes cryo- géniques actuellement disponibles correspondent en général à un principe commun de réalisation. Un arrangement à basse température, travaillant habituellement entre 4 et 25 K, constitue la surface primaire de pompage. Cette surface est entourée d'un blindage de protection contre le rayonnement, travaillant habituellement dans la plage de températures comprise entre 60 et 130 K. Ce blindage de protection contre le rayonnement comprend en général un boîtier qui est fermé, sauf à l'endroit o un arrangement frontal est placé à une extrémité ouverte ou ouverture avant du boîtier. Lors du fonctionnement, la pompe cryogénique provoque la condensation des gaz à température élevée d'ébullition, telle que la vapeur d'eau, sur l'arrangement frontal. Les gaz à plus faible température d'ébullition traversent cet arrangement et pénètrent dans le volume délimité dans le blindage de protection contre le rayonnement dans lequel ils se condensent sur l'arrangement à basse température. Une surface revêtue d'un adsorbant, tel que du charbon actif ou un tamis moléculaire travaillant à la température de l'arrangement relativement froid ou au-dessous de cette température, peut aussi être incorporée à ce volume pour l'extraction des gaz à température d'ébullition particuliè- rement faible, tels que l'hydrogène. Lorsque les gaz sont ainsi condensés et/ou adsorbés sur les surfaces de pompage, un vide est créé dans la chambre de travail. Lorsque la pompe cryogénique est refroidie par un appareil de refroidissement cryogénique travaillant en cycle fermé, l'organe de refroidissement est habituellement un réfrigérateur cryogénique ayant un doigt froid qui traverse à l'arrière du blindage de protection contre le rayonnement ou sur le côté de celui-ci. Pour assurer le refroidissement, le réfrigérateur cryogénique travaille avec une circulation cyclique d'un gaz comprimé, tel que l'hélium, dans un cylindre de réfrigération à l'intérieur du réfrigérateur. Une source de gaz comprimé, par exemple un compresseur, est habituellement raccordée à une première extrémité du cylindre par une soupape d'entrée. Une soupape d'échappement placée dans une canalisation d'échappement conduit de la première extrémité du cylindre au côté à basse pression du compresseur. Initialement, un organe de déplacement qui comporte un matériau d'échange de chaleur à récupération (régénérateur) se trouve à une seconde extrémité du cylindre. La soupape d'échappement est fermée, et la soupape d'entrée est ouverte si bien que le cylindre se remplit d'un gaz comprimé. Lorsque la soupape d'entrée est encore ouverte, l'organe de déplacement se déplace vers la première extrémité pour chasser le gaz comprimé dans le régénérateur vers la seconde extrémité, le gaz étant refroidi lorsqu'il passe dans le régénérateur. Lorsque la soupape d'entrée est fermée et la soupape d'échappement est ouverte, le gaz se détend dans la canalisation d'échappement à basse pression et se refroidit encore plus. Le gradient résultant de température, dans la paroi du cylindre à la seconde extré- mité, provoque la circulation de chaleur de la charge au gaz contenu dans le cylindre. Ensuite, lorsque la soupape d'échappement est ouverte et la soupape d'entrée est fermée, l'organe de déplacement revient vers la seconde extrémité. Le gaz est ainsi ramené dans le régénérateur qui renvoie de la chaleur au gaz froid, et le cycle est terminé. Pour la production des basses températures nécessaires aux utilisations des pompes cryogéniques, le gaz introduit doit être refroidi avant sa détente. Le régénérateur extrait de la chaleur du gaz introduit, l'accumule puis la libère vers le courant d'échappement. Un régénérateur est un échan- geur de chaleur à circulation inversée dans lequel l'hélium circule en alternance dans un sens et dans l'autre. Il est constitué d'un matériau ayant une grande surface spécifique, une grande chaleur spécifique et une faible conductibilité thermique. Ainsi, il accepte la chaleur de l'hélium lorsque la température de l'hélium est relativement élevée et transmet cette chaleur à l'hélium lorsque la température de l'hélium est plus basse. Pour que des températures suffisamment basses pour la condensation des gaz à faible température d'ébullition, tels que l'azote, l'oxygène et l'argon, soient obtenues, un second état de réfrigération est habituellement ajouté, comme indiqué sur la figure 1. Dans l'appareil de la figure 1, l'hélium pénètre dans le réfrigérateur par la soupape A et sort par la soupape B. L'organe 207 de déplacement du premier étage comprend un premier régénérateur 211, et l'organe de déplacement 209 du second étage comprend un second régénérateur 213. De la chaleur est extraite de la charge thermique 203 du premier étage et de la charge ther- mique 205 du second étage. Dans une pompe cryogénique courante, la charge du premier étage comprend un blindage de protection contre le rayonnement et un arrangement frontal, et la charge du second étage comprend un arrangement à basse température qui est utilisé comme surface primaire de pompage, comme décrit dans la suite. Les figures 2A et 2B représentent des exemples du blindage de protection contre le rayonnement et de la sur- face primaire de pompage, ainsi que d'autres éléments de la pompe cryogénique. La figure 2A représente une réalisation classique de pompe cryogénique dans laquelle le réfrigé- rateur et les panneaux cryogéniques sont coaxiaux. Dans cette pompe, un premier étage 29 du réfrigérateur est disposé dans le réservoir sous vide 11 vers la base du blindage 36 de protection contre le rayonnement. Ce blindage 36, utilisé comme charge du premier étage, est raccordé à l'extrémité la plus froide du premier étage 29. Le blindage 36 de protection contre le rayonnement entoure une surface primaire de pompage 34 sous forme d'un arrangement de déflecteurs afin qu'elle soit protégée contre le rayonnement thermique. Un arrangement frontal 38 est disposé sur une ouverture avant 16 du blindage 36 et est refroidi par le premier étage 29 par conduction par le blindage 36 ou, comme décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique nO 4 356 701, par l'intermédiaire de supports thermiques. Le second étage 32, qui est le plus froid des deux étages, dépasse de la surface interne du blindage 36 dans le volume primaire de pompage vers l'endroit o il est monté thermiquement sur la surface primaire de pompage 34. Dans cette réalisation, on peut noter que l'âme de l'arrangement de déflecteurs 34 est évidée pour le logement du second étage 32, et du volume de pompage est ainsi perdu. L'extré- mité la plus froide du second étage 32 se trouve au bout du doigt froid. La surface primaire de pompage 34 est raccordée à un radiateur 30 du second étage (voir figure 2B) à son extrémité la plus froide. Le panneau cryogénique utilisé comme surface primaire de pompage 34 peut être un arran- gement de déflecteurs métalliques comme indiqué sur les figures 2A et 2B, ou peut être une simple cuvette ou plaque métallique raccordée au radiateur 30 du second étage. En outre, le panneau cryogénique du second étage supporte aussi l'adsorbant à basse température. Le cylindre du second étage 32 a habituellement un gradient de température qui diminue progressivement d'envi- ron 77 à 15 K depuis l'extrémité à laquelle il forme l'interface avec le premier étage vers son extrémité externe la plus froide, à l'endroit de son couplage thermique à la surface primaire 34 de pompage. Les pressions de vapeur de tous les gaz s'élèvent avec la température et, lorsque les pressions de vapeur augmentent avec la température, la vitesse de condensation des gaz et la durée pendant laquelle ils restent condensés diminuent. En conséquence, les gaz se condensent plus facilement et avec une plus grande sécurité sur le cylindre du second étage 32 à son extrémité relativement froide. Pendant le fonctionnement, la pompe cryogénique peut être exposée à une pression élevée pendant une certaine période, puis est utilisée pour la réduction de la pression de façon notable. A une pression élevée, un gaz tel que l'argon peut se condenser sur le second étage en un point quelconque qui a été suffisamment refroidi. Lorsqu'une charge thermique est appliquée au premier étage, par exemple par ouverture d'une soupape dans le système, la température du premier étage s'élève, si bien que la distribution de température est modifiée le long du second étage. Lorsque la température s'élève, la pression de vapeur augmente et tout gaz qui s'est condensé sur le second étage peut être libéré à nouveau sous forme de vapeur, en particulier le gaz qui s'est condensé antérieurement à la variation actuelle de la zone à faible température qui recule. L'opération rapide de sublimation peut provoquer une augmentation nette de la pression dans la chambre de travail. En outre, l'existence de ce gradient progressif de température le long du second étage peut provoquer un "accrochage" prolongé de pression dans lequel les molécules de gaz subissent un cycle répété de condensation et de sublimation tout en ne migrant que progressivement vers la surface primaire plus froide de pompage 34. En outre, même lorsque la charge thermique appliquée au second étage 32 est constante, l'organe de déplacement placé dans le cylindre du réfrigérateur présente un déplacement alternatif. Ce déplacement alternatif produit une fluctuation continue de température le long de son trajet et, lorsque la température fluctue, la pression de vapeur varie aussi et produit en conséquence une fluctuation à haute fréquence de la pression dans la chambre de travail. Pour que les effets de la condensation sur le cylindre du second étage soient réduits, un blindage 5 (représenté sur la figure 2B) a été ajouté autour du second étage 32. Le mode de réalisation représenté sur la figure 2B est divulgué dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 5 156 007. Cette réalisation est connue comme étant une pompe cryogénique "plate" de réalisation classique, et elle comprend un alignement à angle droit de l'organe de refroi- dissement cryogénique et de la cuve sous vide, donnant ainsi une structure de moindre encombrement vertical. Dans ce cas, la réalisation du panneau cryogénique doit être modifiée pour permettre l'entrée du second étage dans le volume de la pompe à un emplacement auquel il est couplé thermiquement au panneau cryogénique. Comme l'indique la figure 2B, le second étage 32 dépasse dans la chambre de condensation délimitée par le blindage 36 de protection contre le rayonnement. Dans ce cas, le second étage 32 pénètre par le côté de l'arran- gement 34 de déflecteurs à une position centrale dans laquelle le second étage 32 est couplé thermiquement à l'arrangement de déflecteurs 34 et refroidit ainsi celui-ci. En outre, le blindage 5 du second étage, qui entoure le second étage 32 et empêche une condensation indésirable sur lui, crée une pénétration et une perturbation encore plus grandes de la réalisation de l'arrangement de déflecteurs. A l'endroit o le second étage pénètre dans le volume primaire de pompage comme indiqué sur les figures 2A et 2B, il perturbe la continuité de réalisation de la surface primaire de pompage et réduit la surface disponible de la pompe cryogénique. En outre, on a déterminé que la confi- guration non symétrique de la surface primaire de pompage représentée sur la figure 2B donnait des dépôts par conden- sation non uniformes et non équilibrés lors du fonction- nement de la pompe. Ces dépôts limitent la capacité de la pompe cryogénique. La présente invention concerne une pompe cryogénique ayant une configuration perfectionnée des éléments de réfri- gération et de blindage. La pompe cryogénique perfectionnée comprend un réfrigérateur ayant un premier étage et un second étage plus froid. Le premier étage est en contact thermique avec un blindage de protection contre le rayon- nement, de manière que la température des deux éléments puisse être équilibrée. Le second étage est en contact thermique direct avec une surface primaire de pompage sur laquelle se condensent les gaz à faible température d'ébul- lition. Il est important de noter que le premier et le second étage sont extérieurs au volume entouré par le blin- dage de protection contre le rayonnement. Dans un mode de réalisation préféré, un blindage d'un second étage qui est placé à l'extérieur du blindage de protection contre le rayonnement entoure le second étage et est refroidi par l'un des deux étages du réfrigérateur. La surface primaire de pompage peut être un arrangement de déflecteurs supporté par au moins un support et couplé thermiquement à celui-ci. Le support constitue le mode essentiel de transfert de chaleur, par conduction thermique, entre la surface primaire de pompage et le second étage. Le support peut être un organe séparé sur lequel est montée la surface primaire de pompage, ou peut être simplement un prolongement du matériau qui forme la surface primaire de pompage, dépassant vers le bas et monté sur le second étage. La pompe cryogénique peut aussi comprendre un module électronique extérieur placé dans le creux de la forme en L formée par le blindage de protection contre le rayonnement et le réfrigérateur. Un appareil de condensation à pompe cryogénique com- prend un blindage de protection contre le rayonnement qui délimite une chambre de condensation, un blindage de second étage qui est en contact thermique avec le blindage de protection contre le rayonnement déjà placé à l'extérieur de la chambre de condensation, et une surface primaire de pompage placée dans la chambre de condensation. Un blindage de pompe cryogénique comprend le blindage de protection contre le rayonnement et le blindage du second étage décrit précédemment. Le blindage du second étage comprend de préfé- rence un premier flasque de montage sur le premier étage de réfrigérateur. Le blindage comporte en outre un second flasque orienté dans le plan perpendiculaire à celui du premier flasque pour le montage du blindage du second étage sur le blindage de protection contre le rayonnement. Dans un aspect de l'invention, un couplage thermique est aussi assuré entre le blindage du second étage et le blindage de protection contre le rayonnement et le premier étage. La disposition du second étage à l'extérieur du blindage de protection contre le rayonnement permet l'utilisation d'un arrangement symétrique et sans inter- ruption des déflecteurs, produisant une distribution plus uniforme du givre et donnant une meilleure capacité de pompage. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, faite en référence aux dessins annexes sur lesquels: la figure 1 est une représentation schématique d'un réfrigérateur cryogénique à cycle fermé classique d'une pompe cryogénique; la figure 2A est une vue en perspective, en coupe partielle, d'un exemple de réalisation de la technique antérieure; la figure 2B est une coupe en élévation latérale d'un autre exemple de la technique antérieure; la figure 3 est une vue en perspective d'une pompe cryogénique selon l'invention; la figure 4 est une coupe en élévation latérale d'une pompe cryogénique selon l'invention; la figure 5 est une coupe d'une pompe cryogénique selon l'invention, la pompe ayant tourné autour d'un plan hori- zontal de 90 dans le sens des aiguilles d'une montre par rapport à la position de la figure 4; et la figure 6 est une vue en perspective du blindage du second étage qui entoure le second étage. L'extérieur d'une pompe cryogénique, ayant une configuration avantageuse, est représenté sur la figure 3. Une cuve sous vide 11 comprenant un cylindre externe 12, une base 13 et une enveloppe 20 d'un premier étage formant ou blindage, entoure une chambre sous vide dans laquelle la plupart des gaz, sauf l'eau, subissent essentiellement une condensation ou une adsorption. La cuve sous vide 11 peut être montée sur une chambre de travail, non représentée, par un flasque externe 14. A l'extrémité de la cuve 11 opposée à la base 13, une plaque 15 à orifice est fixée au blindage 36 de protection contre le rayonnement et est refroidie par ce blindage. La plaque 15 dépasse du flasque 14 de la cuve il dans la chambre de travail. Une enveloppe 20 du premier étage dépasse du cylindre externe 12 suivant un axe perpendiculaire à l'axe d'orien- tation du cylindre externe. Le réfrigérateur lui-même est introduit dans cette enveloppe 20 afin qu'il dépasse dans le cylindre externe 12 dans lequel il refroidit les surfaces de pompage placées à l'intérieur. L'enveloppe du premier étage est montée sur le boîtier 22 dans lequel se trouve le moteur qui entraîne le réfrigérateur. Un boîtier électro- nique 24, dans lequel se trouve les commandes programmées de la pompe cryogénique, est adjacent au cylindre externe 12 et à l'enveloppe 20 du premier étage. Des commandes atmosphériques mécaniques sont aussi représentées. Un conduit 70 de dégagement de vapeur (voir figure 4), bien qu'il soit caché sur la figure 3, est monté sur l'enveloppe 20 et assure la communication avec la chambre sous vide pour le fluide. Le conduit 70, lorsqu'il s'écarte de l'enveloppe 20, se divise en deux sorties rejoi- gnant un boîtier 72 de purge à soupape de décharge de sécurité et une soupape 74 de vide primaire respectivement. Le boîtier 72 entoure une soupape de décharge de sécurité destinée à évacuer les pressions élevées de la chambre. Un électro-aimant 73 de purge destiné à commander la purge vers la soupape de décharge dépasse du boîtier 72 et est couplé à la soupape de décharge de sécurité. Une soupape 74 de vide primaire placée dans le boîtier est montée à l'extrémité de la dérivation opposée du conduit 70 et assure la commu- nication avec une pompe de vide primaire destinée à évacuer mécaniquement le gaz de la chambre. La soupape 74 est com- mandée par un électro-aimant 76 de manoeuvre et est reliée à la pompe primaire par un raccord 78 de vide primaire. Un électro-aimant 80 de purge de régénération, qui est caché sur la figure 3 mais est représenté sur la figure 5, est monté sur le cylindre externe 12. L'électro-aimant 80 applique une purge d'azote pendant la régénération par des ouvertures formées à la fois dans le cylindre externe 12 et le blindage 36 de protection contre le rayonnement. Lorsqu'une régénération est exécutée, une quantité suffi- sante d'énergie thermique est transmise à l'arrangement de déflecteurs 34 pour que les gaz qui se sont condensés sur lui se subliment et que les surfaces de pompage soient ainsi nettoyées. Une traversée électronique 82 destinée à un capteur de température destiné à mesurer la température dans la chambre est cachée du côté opposé du blindage 20 du premier étage mais est représentée sur la figure 5. Enfin, un embout 84 d'alimentation en hélium du premier et du second étage et un retour 86 d'hélium destiné à renvoyer l'hélium détendu provenant de l'organe de refroidissement cryogénique vers le compresseur sont représentés du même côté du blindage 20 du premier étage. Les figures 4 et 5 sont en outre des représentations en coupe de la pompe cryogénique de la figure 3. Un blindage 36 de protection contre le rayonnement est placé à l'inté- rieur de la cuve sous vide et concentriquement à celle-ci. Le blindage 36 et la plaque 15 à orifice fixée à son ouverture frontale délimitent une chambre de condensation dans laquelle est montée une surface primaire 34 de pompage (sous forme d'un arrangement de déflecteurs dans cette réalisation). L'arrangement de déflecteurs 34 est formé par des disques 37 en demi-cercle ayant un rebord tronconique. Lors du fonctionnement de la pompe cryogénique, les gaz à faible température d'ébullition se condensent sur ces disques et créent un vide dans l'atmosphère environnante. La plaque 15 à orifice est non seulement montée sur le blindage 36 mais est aussi en contact thermique avec ce blindage 36. Ainsi, les gaz ayant des températures relati- vement élevées de condensation, tels que la vapeur d'eau, et qui proviennent de la chambre de travail se condensent sur la plaque 15 lorsque le réfrigérateur fonctionne. Par ailleurs, le courant des gaz à faible température de conden- sation provenant de la chambre de travail et dirigé vers la chambre de condensation est limité par la plaque 15 qui joue le rôle d'une barrière partielle s'opposant à la circulation du gaz. La circulation des gaz est limitée afin qu'une pression modérée du gaz à faible température de condensation soit maintenue dans la chambre de travail par réduction du débit d'entrée des gaz à faible température de condensation dans la chambre de condensation. L'utilisation de la plaque à orifice 15 est avantageuse dans les systèmes classiques dans lesquels les pompes cryo- géniques sont utilisées pour la création d'une atmosphère convenant à une pulvérisation cathodique. Dans ces systèmes, des gaz inertes tels que l'argon sont injectés dans la chambre de travail pendant la pulvérisation afin que la pression dans la chambre de travail soit élevée et qu'une atmosphère de gaz inerte soit délimitée. Cependant, le fonctionnement de la pompe cryogénique est nécessaire pour l'extraction des autres gaz. La différence de pression nécessaire, créée par la fonction de modération de la plaque à orifice 15, permet la conservation d'un tel environnement sans surcharge rapide de l'arrangement de déflecteurs 34 par le gaz inerte. Dans d'autres applications, la plaque à orifice peut être remplacée par d'autres arrangements frontaux, tels qu'un arrangement en chevrons. L'arrangement de déflecteurs 34 est supporté par des supports thermiques 56 qui dépassent d'un radiateur du second étage 30. Les supports 56 forment ainsi non seulement un support physique mais aussi un couplage thermique entre le radiateur 30 du second étage et l'arrangement de déflecteurs 34. Lorsque le réfrigérateur exécute l'opération de réfrigération, le second étage 32 extrait la chaleur par son radiateur 30 du second étage à partir de l'arrangement de déflecteurs 34 afin que celui-ci soit refroidi. Pendant le fonctionnement, l'arrangement de déflecteurs est de préférence refroidi par le second étage 32, à une tempe- rature inférieure à 20 K afin que les gaz à faible température de condensation se condensent. Le cylindre du second étage 32 est entouré d'un blin- dage 5 du second étage qui protège le second étage 32 contre les gaz ambiants qui se condenseraient autrement sur ce second étage 32. Un organe 62 de chauffage qui traverse le blindage 5 du second étage transmet de la chaleur au second étage 32 pour réguler la température du second étage et, à intervalles programmés, pour piloter la pompe cryogénique dans l'opération de régénération. L'organe de chauffage 62 est placé le long du premier étage 29 et pénètre dans le volume enfermé par le blindage 5 du second étage par le boîtier en saillie 64. Après logement dans le blindage 5 du second étage, l'organe 62 de chauffage est en appui vers l'extrémité externe du second étage et pénètre à l'empla- cement représenté sur la figure 4 et, à partir de cet emplacement, l'organe 62 de chauffage suit un trajet formé le long du second étage 32. L'organe 62 de chauffage est en contact thermique intime avec le radiateur 30, mais n'est pas en contact du cylindre du second étage 32. Le blindage 5 du second étage, représenté uniquement en détail sur la figure 6, comporte deux flasques 53 et 66 orientés perpendiculairement l'un à l'autre et permettant le montage du blindage 5 sur le radiateur 54 du premier étage et le blindage 36 de protection contre le rayonnement respectivement. Le premier flasque 53 peut être monté sur le radiateur 54 par des boulons 55 tout en étant couplé thermi- quement à celui-ci, et un joint d'indium peut être placé entre le premier flasque 53 et le radiateur 54. Le second flasque 66 peut être monté de manière analogue sur le blindage 36 par des boulons et un joint d'indium, tout en étant ainsi couplé thermiquement à ce blindage. Lorsque ces éléments sont montés en coopération comme décrit précédemment, de la chaleur peut être conduite du blindage 36 de protection contre le rayonnement par l'inter- médiaire du blindage 5 du second étage vers le radiateur 54 du premier étage. La chaleur s'écoule alors du radiateur 54 par l'extrémité froide du premier étage 29 vers le gaz de travail refroidi du réfrigérateur. Ainsi, le blindage 36 de protection contre le rayonnement peut être refroidi à une température proche de celle de l'extrémité froide du premier étage 29. De préférence, le blindage de protection contre le rayonnement est maintenu à une température inférieure à K environ lors du fonctionnement. Comme l'indiquent les figures 4 et 5, le second étage 32 et le blindage 5 du second étage sont placés à l'extérieur du volume enfermé par le blindage 36. Comme représenté en détail sur la figure 6, le premier flasque 53, à travers lequel est monté le blindage du second étage vers le radiateur du premier étage, a essentiellement une forme annulaire. Cependant, il existe un espace dans l'anneau pour le passage de l'organe de chauffage dans le boîtier 64 du blindage 5 du second étage. Le boîtier en saillie sort du blindage 5 pour loger l'organe de chauffage qui atteint une position à laquelle l'organe de chauffage peut appliquer de la chaleur au second étage 32 du réfrigé- rateur. Lors du montage du système, le second étage 32 est introduit dans le blindage 5 par l'orifice délimité par le premier flasque 53, et l'ensemble est alors introduit dans l'enveloppe 20 du premier étage. Le boîtier 22 du moteur est boulonné sur l'enveloppe 20. Le blindage de protection contre le rayonnement est alors boulonné depuis l'intérieur sur le second flasque 66. L'arrangement de déflecteurs monté sur les supports peut alors être chargé dans la chambre de condensation par l'ouverture avant, et l'arrangement frontal est ensuite monté. Les supports introduits par une ouverture de la base du blindage de protection contre le rayonnement et l'espace libre délimité par le second flasque 66 sont alors montés sur le second étage et couplés thermiquement à celui-ci. Enfin, la plaque supérieure de l'arrangement du second étage est montée sur les supports, et la plaque à orifice est montée sur le blindage de protection contre le rayonnement. Il est bien entendu que l'invention n'a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter toute équivalencetechnique dans ses éléments constitutifs sans pour autant sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1. Pompe cryogénique, caractérisée en ce qu'elle com- prend: un réfrigérateur qui comporte un premier étage (29) et un second étage (32), une surface primaire (34) de pompage qui est en contact thermique avec le second étage (32) du réfrigérateur par l'intermédiaire d'une liaison conductrice, un blindage (36) de protection contre le rayonnement entourant la surface primaire (34) de pompage et qui est en contact thermique avec le premier étage (29) du réfrigérateur, le premier et le second étage (32) du réfrigérateur étant placés à l'extérieur du blindage (36) de protection contre le rayonnement, et une cuve délimitant une chambre entourant à la fois le blindage (36) de protection contre le rayonnement et le second étage (32) du réfrigérateur. 2. Pompe cryogénique selon la revendication 1, caracté- risée en ce qu'elle comporte en outre un blindage du second étage (32) placé dans la cuve, entourant le second étage (32) et refroidi par l'un au moins des premier et second étages. 3. Pompe cryogénique selon la revendication 2, caracté- risée en ce que le contact thermique entre la surface primaire (34) de pompage et le second étage (32) est assuré par au moins un support qui supporte physiquement la surface primaire (34) de pompage. 4. Pompe cryogénique selon la revendication 3, caracté- risée en ce que la surface de pompage primaire (34) comporte un arrangement de tronçons déflecteurs. 5. Pompe cryogénique selon la revendication 4, caracté- risée en ce que chaque tronçon déflecteur est fixé à au moins un support. 6. Pompe cryogénique selon la revendication 5, caracté- risée en ce que les tronçons déflecteurs sont des disques en demi-cercle ayant des rebords tronconiques. 7. Pompe cryogénique selon la revendication 5, caracté- risée en ce que le blindage (36) de protection contre le rayonnement est monté sur le blindage du second étage (32). 8. Pompe cryogénique, caractérisée en ce qu'elle comprend: un blindage (36) de protection contre le rayonnement comprenant une paroi latérale ayant une extrémité ouverte et une extrémité fermée, l'extrémité fermée étant fermée par une plaque de base, une chambre de condensation étant délimitée par le volume compris à l'intérieur de la paroi latérale, un arrangement de déflecteurs placé dans la chambre de condensation, un réfrigérateur ayant un premier étage (29) qui est en contact thermique avec le blindage (36) de protection contre le rayonnement et un second étage (32), le premier et le second étage étant placés à l'extérieur de la chambre de condensation, au moins un support qui supporte physiquement l'arran- gement de déflecteurs, en contact thermique avec l'arrange- ment de déflecteurs et monté sur le second étage (32) du réfrigérateur, le mode prépondérant de transfert de chaleur entre l'arrangement de déflecteurs et le second étage (32) du réfrigérateur étant la conduction thermique par le support, et une cuve qui délimite une chambre entourant à la fois le blindage (36) de protection contre le rayonnement et le second étage (32) du réfrigérateur. 9. Pompe cryogénique, caractérisée en ce qu'elle comprend: un réfrigérateur disposé suivant un premier axe, un blindage (36) de protection contre le rayonnement ayant une extrémité fermée montée du côté du réfrigérateur, le blindage (36) de protection contre le rayonnement partant de l'extrémité fermée le long d'un second axe qui est perpendiculaire de façon générale au premier axe, et un module électronique qui est couplé électroniquement au réfrigérateur et qui est placé dans le creux du raccord du blindage (36) de protection contre le rayonnement et du réfrigérateur. 10. Appareil de condensation à pompe cryogénique destiné à être utilisé dans une pompe cryogénique, compre- nant un réfrigérateur ayant un premier étage (29) et un second étage (32), caractérisé en ce qu'il comprend: un blindage (36) de protection contre le rayonnement qui délimite une chambre de condensation, un blindage d'un second étage (32) destiné à être en contact thermique avec le premier étage (29) du réfrigéra- teur et à entourer le second étage (32) du réfrigérateur, dans lequel le blindage du second étage (32) comprend un premier flasque destiné au couplage au premier étage (29) du réfrigérateur et un second flasque couplé au blindage (36) de protection contre le rayonnement, le second flasque étant orienté suivant un axe approximativement perpendiculaire à celui du premier flasque, le blindage du second étage (32) se trouvant à l'extérieur de la chambre de condensation, et une surface primaire (34) de pompage destinée à être en contact thermique avec le second étage (32) du réfrigé- rateur, la surface primaire (34) de pompage se trouvant à l'intérieur de la chambre de condensation. 11. Blindage pour pompe cryogénique, destiné à être utilisé dans une pompe cryogénique ayant une surface primaire (34) de pompage et un réfrigérateur possédant un premier étage (29) et un second étage (32), le second étage (32) étant en contact thermique avec la surface primaire (34) de pompage, caractérisé en ce qu'il comprend: un blindage (36) de protection contre le rayonnement délimitant une chambre de condensation, et un blindage d'un second étage (32) destiné à être en contact thermique avec le premier étage (29) du réfrigéra- teur et à entourer le second étage (32) du réfrigérateur, le blindage du second étage (32) comprenant un premier flasque destiné au couplage au premier étage (29) du réfrigérateur cryogénique et un second flasque couplé au blindage (36) de protection contre le rayonnement, le second flasque étant orienté suivant un axe approximativement perpendiculaire à celui du premier flasque, le blindage du second étage (32) se trouvant à l'extérieur de la chambre de condensation. 12. Blindage destiné à un second étage (32) utilisé dans une pompe cryogénique qui comporte (a) un réfrigérateur possédant un premier et un second étage (32) s'étendant le long d'un premier axe, (b) une surface primaire (34) de pompage qui est en contact thermique avec le second étage (32), (c) un blindage (36) de protection contre le rayon- nement entourant la surface primaire (34) de pompage, s'étendant suivant un second axe perpendiculaire de façon générale au premier axe et en contact thermique avec le premier étage (29), et (d) un blindage d'un second étage (32) entourant le second étage (32) et couplé thermiquement au premier étage (29), le blindage du second étage (32) étant caractérisé en ce qu'il comprend: un premier flasque de couplage du blindage du second étage (32) au premier étage (29), et un second flasque orienté suivant un axe perpendicu- laire de façon générale à celui du premier flasque afin qu'il couple le blindage du second étage (32) au blindage (36) de protection contre le rayonnement. 13. Blindage selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend un premier accouplement thermique destiné à assurer le contact thermique entre le blindage du second étage (32) et le premier étage (29) et un second accouple- ment thermique destiné à assurer le contact thermique entre le blindage du second étage (32) et le blindage (36) de protection contre le rayonnement. 14. Pompe cryogénique selon la revendication 1, carac- térisée en ce qu'un support conducteur de la chaleur au moins est monté à la fois sur la surface primaire (34) de pompage et le second étage (32) du réfrigérateur. 15. Blindage de pompe cryogénique, destiné à être utilisé dans une pompe cryogénique qui comporte une surface primaire (34) de pompage et un réfrigérateur ayant un premier et un second étage (32), le second étage (32) étant en contact thermique avec la surface primaire (34) de pompage, caractérisé en ce qu'il comprend: un blindage (36) de protection contre le rayonnement délimitant une chambre de condensation, et un blindage de second étage (32) destiné à être en contact thermique avec le premier étage (29) du réfrigé- rateur et à entourer le second étage (32), le blindage du second étage (32) étant directement monté sur le blindage (36) de protection contre le rayonnement, et le blindage du second étage (32) se trouvant à l'extérieur de la chambre de condensation.