Brevet FR2758630A1 — publié le 19980724

PROCEDE DE SCELLEMENT ETANCHE D'UN DETECTEUR DE RAYONNEMENT A L'ETAT SOLIDE ET DETECTEUR OBTENU PAR CE PROCEDE La présente invention concerne un procédé de scellement étanche d'un détecteur de rayonnement à l'état solide. Elle concerne également un détecteur de rayonnement à l'état solide scellé selon le procédé. L'invention s'applique aux détecteurs de rayonnement de longueurs d'onde très courtes, plus particulièrement aux rayonnements X utilisés en radiologie. Selon la technologie actuelle, les détecteurs de rayonnement sont réalisés à base d'une matrice d'éléments photosensibles à l'état solide. Les éléments photosensibles à l'état solide connus ne sont pas sensibles directement aux rayons de longueurs d'onde très courtes, par exemple des rayons X. I1 est nécessaire de les associer à un organe scintillateur. Celui-ci est réalisé en une substance qui a la propriété, lorsqu'elle est excitée par ces rayons X, d'émettre une lumière dans une gamme de longueurs d'onde plus grandes : dans le visible (ou le proche visible). La longueur d'onde précise dépend de la substance utilisée. Le scintillateur agit donc comme un convertisseur de longueurs d'onde. La lumière visible ainsi générée est transmise aux éléments photosensibles qui effectuent une conversion photoélectrique de l'énergie lumineuse reçue en signaux électriques exploitables par des circuits électroniques appropriés. Un scintillateur selon l'art connu est décrit, à titre d'exemple non limitatif, dans la demande de brevet français FR-A-2 636 800 (THOMSON-CSF). Les figures la à le, annexées à la présente description, illustrent le fonctionnement d'un détecteur de rayonnement à l'état solide selon l'art connu. Plus particulièrement, la figure le montre un exemple de structure pratique d'un tel détecteur. Les figures la et lb représentent deux coupes latérales, orthogonales l'une à l'autre, d'une matrice d'éléments photosensibles associée classiquement à une feuille de substance scintillatrice. Chaque élément photosensible comporte une photodiode ou un phototransistor, sensible aux photons, dans le visible ou le proche visible. A titre d'exemple, comme illustré sur les figures la à ld, chaque élément photosensible est constitué, par exemple, de deux diodes, Dmn1 et Dmn2, disposées tête-bêche et le réseau matriciel RM comporte des conducteurs de colonnes, Ccl à Ccx, et des conducteurs de lignes, Cl1 à Cly. Chacune des diodes, Qni et Dmn2, constitue de manière connue, une capacité quand elle est polarisée en inverse. La première diode, Dmn1, a une capacité typiquement dix fois moins importante que la capacité de le seconde diode, Dmn2 Elle joue principalement le rôle de commutateur, alors que la seconde diode est préférentiellement photodétectrice. A chaque croisement d'une ligne et d'une colonne, par exemple de la ligne Cl et de la colonne Ccrn (voir Figure ld), on dispose un tel ensemble de deux diodes têtebêche, Dmnl et Dmn2. Les diodes peuvent être remplacées par des transistors réalisés en technologie "TFT", de l'anglosaxon "Thin Film Transistor" ou "transistor en couches minces". Les conducteurs 12 (figures la et lb) sont constitués par un dépôt de métal sur un substrat isolant 10, de préférence du verre. Le dépôt est suivi d'une opération de photogravure, pour obtenir des pistes conductrices parallèles de largeur appropriée. Les diodes (par exemple, Dmn1 et Dmn2) sont formées par dépôt, sur les pistes conductrices de colonnes 12, puis gravure, des couches de silicium amorphe (Sia), intrinsèque ou dopé à l'aide de matériaux semi-conducteurs de type P ou N. Une couche très fine de matériau conducteur, de préférence transparent, est déposée sur la couche isolante 20, de manière à former, après gravure, les pistes conductrices de lignes 22 du réseau matriciel RM. L'ensemble précédemment décrit forme ce qui est généralement appelé une "dalle de silicium amorphe". Les conducteurs de lignes, Cl1Clx, et les conducteurs de colonnes, Cc1-Ccy, constituent les électrodes de polarisation des condensateurs de diodes. Ces derniers stockent des charges électriques lorsqu'ils sont soumis à un rayonnement lumineux et délivrent un signal électrique, proportionnel à la charge stockée, lorsqu'elles sont polarisées électriquement. L'adressage des conducteurs de lignes, Cl1-Clx, et des conducteurs de colonnes, Cc1-Ccy, s'effectue selon une chronologie appropriée, de manière à ce que tous les pixels Pmn soient polarisés séquentiellement dans un ordre prédéterminé. Le signal délivré par chaque pixel p,, est ainsi récupéré et traité par des circuits électroniques (non représentés), de façon à reconstituer (point par point) l'image stockée sous forme de charges électriques. Les signaux sont récupérés dans des zones de connectique respectives, 3 et 4, pour les lignes, Cl1-Clx, et les colonnes, Cc1-Cc. Les connexions avec les circuits électroniques peuvent être réalisées à l'aide de câbles souples multiconducteurs, 30 et 40, respectivement. Plus précisément, on les réalise habituellement par un procédé de flexage, c'est-à-dire en pressant à chaud un film conducteur anisotrope, appelé ci-après "ACF", entre des plots de contact situés sur la dalle de verre (substrat 10) et des plots correspondants situés sur un câble souple externe 30. Les plots conducteurs peuvent être réalisés sur la dalle par dépôt sous vide. L'ACF a pour particularité de présenter une conduction électrique après pressage à chaud, ce uniquement dans l'axe de la pression exercée. Suivant les autres axes, l'isolement électrique est préservé. Après flexage, 1'ACF nécessite d'être protégé du milieu extérieur afin de conserver ses propriétés d'adhérence et de conductivité électrique, notamment dans des conditions d'environnement difficiles : chaleur humide, par exemple. Comme il a été indiqué, les éléments photosensibles doivent être illuminés par de la lumière visible (ou dans une gamme proche de la lumière visible). I1 est nécessaire de disposer d'un scintillateur qui convertit les rayons X en énergie lumineuse dans le spectre visible. Pour ce faire, il suffit de recouvrir la dalle silicium amorphe, précédemment décrite, d'une couche de substance scintillatrice 24. A titre d'exemple, pour un détecteur sensible aux rayons X de l'ordre de 60 keV, on utilise comme substance scintillatrice de l'iodure de césium (CsI) dopé à l'iodure de sodium (NaI) ou de thallium (TiI), selon que l'on souhaite obtenir un signal lumineux de longueur d'onde 390 nm ou 550 nm, respectivement. La couche de substance scintillatrice 24 est généralement réalisée par évaporation sous vide. Cette dernière opération est généralement suivie d'un recuit de la couche, ce qui permet une diffusion homogène du dopant au sein de la structure en iodure de césium. La diffusion ainsi obtenue permet d'optimiser la conversion des rayons X en lumière visible. La méthode de réalisation d'un scintillateur la plus simple consiste à déposer une couche d'iodure de césium sur un substrat quelconque, de la recuire afin d'obtenir des propriétés de luminescence et de rapporter cet ensemble scintillateur contre la dalle décrite précédemment. Plus précisément, ce scintillateur rapporté peut être, soit plaqué contre la dalle, soit couplé optiquement par collage. Le scintillateur, qui est par nature hygroscopique, doit être impérativement protégé du milieu extérieur, afin de préserver les propriétés de luminescence. Cette protection peut être réalisée en isolant le scintillateur de l'atmosphère extérieure par un scellement étanche en périphérie du substrat du scintillateur. On peut fixer le substrat sur la dalle par un cordon de colle imperméable à l'humidité. Le substrat, par son imperméabilité, participe également à la protection du scintillateur. Les performances obtenues avec un scintillateur ainsi réalisé sont toutefois moyennes, notamment en terme de résolution. On observe en effet une réfraction de la lumière visible issue du scintillateur, soit dans l'épaisseur de la colle dans le cas du couplage sur la dalle, soit dans l'épaisseur de la lame d'air difficile à maîtriser dans le cas du plaquage sur la dalle. Une méthode plus performante de réalisation du scintillateur, toujours en terme de résolution, consiste à réaliser celui-ci par évaporation directe de matériau sur la dalle. Cette solution présente l'avantage d'obtenir un scintillateur en contact intime avec la dalle. La diffusion de lumière à l'interface scintillateur/dalle et la perte de résolution qui en résultent sont réduites au minimum. La protection du scintillateur peut alors être réalisée de la manière suivante : on plaque, sur la couche de substance scintillatrice 24, une fenêtre 26 d'entrée aux rayons X. Cette fenêtre est constituée à base d'un matériau tel que l'aluminium, un matériau plastique ou tout autre matériau approprié transparent aux rayons X. On réalise un scellement étanche comme précédemment. La fenêtre d'entrée et le cordon de scellement participent également à cette protection. La figure le illustre, en coupe, la structure partielle d'un détecteur selon l'art connu, du type qui vient d'être rappelé. La chronologie habituelle des opérations est la suivante a/ on réalise tout d'abord le dépôt du scintillateur (couche 24) sur un substrat 26 b/ on réalise le scellement étanche 5 du substrat 26 sur la dalle 10 supportant les éléments photosensibles (définissant les pixels p,,) et les conducteurs de lignes 22 et de colonnes (non représentés) c/ on réalise l'opération de connexion électrique par flexage : zone 31 dl on réalise la protection de la zone de flexage, par exemple par un cordon de colle 32. Bien que ce procédé permette une protection effective du scintillateur et de la zone de connectique, elle présente cependant des inconvénients résiduels. En premier lieu, les contraintes dimensionnelles des détecteurs de technologie récente sont telles que l'on cherche, lors de leur conception, à minimiser autant que faire se peut leur poids et leur encombrement. I1 est donc nécessaire de minimiser les zones inutiles entre le réseau matriciel actif de pixels et la zone de connectique. En second lieu, le matériau de protection de la zone de connectique et matériau du cordon de scellement du scintillateur n'étant pas, a priori, de mêmes natures et compatibles entre eux, les deux opérations étant en outre indépendantes, le procédé selon l'art connu impose de définir sur la dalle de verre des zones séparées dédiées aux deux opérations. Ceci est donc préjudiciable en terme d'encombrement et augmente le temps de fabrication en multipliant le nombre d'opérations. L'invention se fixe pour but, d'une part, de pallier les inconvénients des procédés de l'art connu qui ont été rappelés, et, d'autre part, de répondre aux besoins qui se font sentir. Pour ce faire, le procédé selon l'invention permet de réaliser une protection simultanée de la zone de connectique et du scintillateur, protection obtenue par le dépôt d'un matériau imperméable à l'humidité atmosphérique. Dans une variante de réalisation préférée, le dépôt s'effectue par sérigraphie. L'invention a donc pour objet un procédé de scellement étanche d'un détecteur de rayonnement à l'état solide comprenant au moins, d'une part, une pluralité de détecteurs élémentaires formés sur une zone centrale d'un substrat isolant et, d'autre part, une couche de substance scintillatrice ; lesdits détecteurs élémentaires étant reliés à des zones périphériques de connectique par un réseau de conducteurs internes, caractérisé en ce qu'il comprend au moins une étape de dépôt d'une couche de matériau étanche à l'humidité atmosphérique et en ce que cette couche de matériau recouvre, à la fois, lesdites zones périphériques de connectique et, au moins, la périphérie de ladite couche de substance scintillatrice. L'invention a encore pour objet un détecteur de rayonnement à l'état solide et un détecteur obtenu par ce procédé de scellement. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avantages apparaîtront à la lecture de la description qui suit en référence aux figures annexées, parmi lesquelles - les figures la à le illustrent schématiquement le fonctionnement et la structure d'un détecteur à l'état solide selon l'art connu; - la figure 2 illustre un premier exemple de réalisation d'un détecteur à l'état solide conforme à l'invention - et la figure 3 illustre un second exemple de réalisation d'un détecteur à l'état solide conforme à l'invention. On va décrire le procédé selon l'invention par référence aux modes de réalisation du détecteur selon l'invention. La figure 2 illustre, en coupe, un premier exemple de réalisation d'un détecteur selon l'invention. Les éléments communs avec le détecteur de la figure le portent les mêmes références et ne seront redécrits qu'en tant que de besoin. La structure générale d'un détecteur à l'état solide telle qu'elle a été rappelée en regard des figures la à le est conservée. Plus particulièrement, la structure du détecteur selon la variante de la figure 2 s'apparente à celle décrite en relation avec le détecteur de l'art connu de la figure le. Le scintillateur 24 peut être réalisé par évaporation directe. L'organe 26 est alors une fenêtre dite "d'entrée", constituée par une feuille de matériau étanche à l'humidité atmosphérique (aluminium, matériau plastique ou verre, par exemple). Le scintillateur 24 peut également être rapporté sur la dalle, comme il a été décrit précédemment. L'organe 26 est alors un substrat sur lequel a été déposé la substance scintillatrice. Selon une caractéristique importante de l'invention, la protection de la zone de flexage 31 (dans la zone de connectique 3) et du scintillateur 24 et de sa fenêtre d'entrée 26 est réalisée en une seule opération. Pour ce faire, on procède au dépôt d'un matériau imperméable à l'humidité atmosphérique. Ce matériau recouvre la zone de flexage et s'étend sur la périphérie du scintillateur 24 (et de la fenêtre d'entrée ou du substrat 26) : cordon d'étanchéité 6. Le dépôt s'effectue préférentiellement par sérigraphie. I1 peut également s'effectuer à l'aide d'une machine de dispense mécanique, par toute autre méthode de dépôt ou par une combinaison des méthodes précédentes. La figure 3 illustre schématiquement, en coupe, un second exemple de réalisation d'un détecteur selon l'invention. La structure représentée correspond au cas où le scintillateur 24 est réalisé par évaporation directe, comme il a été décrit précédemment. Le scellement est réalisé par le dépôt d'une couche 7 d'un matériau étanche à l'humidité atmosphérique sur l'intégralité de la surface du scintillateur 24. La couche 7 déborde sur la périphérie, vers l'extérieur, de manière à recouvrir aussi la zone de connectique 3 et, notamment la zone de flexage 31. I1 est en effet nécessaire de protéger l'intégralité de la surface du scintillateur 24, puisqu'il ne comporte pas d'autre moyen de protection. Le dépôt proprement dit peut s'effectuer de manière tout à fait similaire à ce qui a été réalisé précédemment sérigraphie, etc. A la lecture de ce qui précède, on constate aisément que l'invention atteint bien les buts qu'elle s'est fixés. Le procédé selon l'invention présente donc de nombreux avantages et parmi ceux-ci les suivants simplicité, coût moins élevé et réduction de l'encombrement. I1 doit être clair aussi que, bien que particulièrement adaptée à des détecteurs de rayons X du type rappelé, on ne saurait cantonner l'invention à ce seul type d'applications. Elle s'applique tout aussi bien à tous types de détecteur de rayonnement comportant une zone de connectique périphérique et un scintillateur. I1 peut s'agir d'un détecteur élémentaire ou d'un détecteur de grande dimension, constitué par l'assemblage de détecteurs élémentaires. Un détecteur de ce dernier type est décrit, à titre d'exemple non limitatif, dans la demande de brevet français FR-A-2 687 494 (THOMSON TUBES ELECTRONIQUES). REVENDICATIONS 1. Procédé de scellement étanche d'un détecteur de rayonnement à l'état solide comprenant au moins, d'une part, une pluralité (RM) de détecteurs élémentaires (Pmn) formés sur une zone centrale d'un substrat isolant (10) et, d'autre part, une couche de substance scintillatrice (24) ; lesdits détecteurs élémentaires (pin) étant reliés à des zones périphériques de connectique (3), caractérisé en ce qu'il comprend au moins une étape de dépôt d'une couche de matériau (5, 7) étanche à l'humidité atmosphérique et en ce que cette couche de matériau (6) recouvre, à la fois, lesdites zones périphériques de connectique (3) et, au moins la périphérie de ladite couche de substance scintillatrice (24). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que, ladite couche de substance scintillatrice (24) étant réalisée par évaporation directe sur ledit substrat (10) supportant la pluralité de détecteurs élémentaires (Pmn) v le dépôt de ladite couche de matériau (7) étanche à l'humidité atmosphérique est réalisé de telle sorte qu'il recouvre complètement la couche de substance scintillatrice (24). 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le dépôt de ladite couche de matériau (6, 7) étanche à l'humidité atmosphérique est effectué par sérigraphie. 4. Procédé suivant la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le dépôt de ladite couche de matériau (6, 7) étanche à l'humidité atmosphérique est effectué à l'aide d'une machine de dispense mécanique. 5. Détecteur de rayonnement à l'état solide comprenant au moins, d'une part, une pluralité (RM) de détecteurs élémentaires (pin) formés sur une zone centrale d'un substrat isolant (10) et, d'autre part, une couche de substance scintillatrice (24) ; lesdits détecteurs élémentaires (pin) étant reliés à des zones périphériques de connectique (3) par un réseau de conducteurs internes (12, 22), la zone de connectique (3) étant constituée par une zone de flexage (31) d'un film conducteur anisotrope sur lesdits conducteurs internes (12, 22) et des conducteurs externes (30, 40) audit détecteur, caractérisé en ce qu'il est scellé de façon étanche selon le procédé de l'une quelconque des revendications 1 à 4. 6. Détecteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que ledit rayonnement est dans la gamme des longueurs d'ondes des rayons X et en ce que ladite substance scintillatrice (24) convertit ce rayonnement en énergie lumineuse dans la gamme des longueurs d'onde visibles.