Brevet FR2747452A1 — publié le 19971017

La présente invention concerne un procédé de réchauf- fement des surfaces d'un robinet d'évacuation, une pompe cryogénique et un robinet d'évacuation destine à etre couplé à une pompe cryogénique. Les pompes à vide cryogéniques actuellement disponibles ont en général un principe commun de réalisation. Un arrangement à basse température, travaillant habituellement entre 4 et 25 K constitue la surface principale de pompage. Cette surface est entourée d'un blindage contre le rayonnement à température plus élevée, travaillant habituellement entre 60 et 130 K et formant un blindage empêchant le rayonnement vers l'arrangement à plus basse température. Le blindage est en général un boîtier fermé sauf au niveau d'un arrangement frontal placé entre la surface principale de pompage et une chambre de travail qui doit être évacuée. Au cours du fonctionnement, des gaz à température élevée d'ébullition, par exemple de la vapeur d'eau, se condensent sur l'arrangement frontal. Les gaz à plus faible température d'ébullition traversent l'arrangement et pénètrent dans le volume formé dans le blindage et se condensent sur l'arrangement à plus basse température. Une surface revêtue d'un adsorbant, par exemple du charbon actif ou un tamis moléculaire, travaillant à la temperature de l'arrangement relativement froid ou au-dessous, peut aussi être incorporée à ce volume pour l'extraction des gaz à très basse température d'ébullition, tels que l'hydrogène. Un vide est créé dans la chambre de travail par la condensation et/ou l'adsorption de ces gaz sur les surfaces de pompage. Dans les systèmes refroidis par des appareils de refroidissement à cycle fermé, l'appareil de refroidissement est en général un réfrigérateur à deux étages ayant un "doigt froid" qui traverse l'arrière ou le côté du blindage. Un fluide réfrigérant formé d'hélium à pression élevée est en général transmis à ilappareil de refroidissement cryogénique par des conduites à haute pression à partir d'un ensemble compresseur. De l'énergie électrique transmise à un moteur d'entraînement à piston libre placé dans l'appareil de refroidissement est aussi habituellement transmise par l'intermédiaire du compresseur ou d'un ensemble à organe de commande. L'extrémité froide du second étage le plus froid de l'organe de refroidissement cryogénique est l'extrémité du doigt froid. La surface principale de pompage, ou panneau cryogénique, est raccordée à un radiateur placé à l'extrémité la plus froide du second étage du doigt froid. Ce panneau cryogénique peut être formé dune simple plaque métallique ou d'une cuvette ou d'un arrangement de déflecteur métallique placé autour du radiateur du second étage et raccordé à celui-ci. Ce panneau cryogénique du second étage supporte aussi l'adsorbant à basse température. Le blindage est raccordé à un radiateur ou station thermique, placé à l'extrémité la plus froide du premier étage du réfrigérateur. Le blindage entoure le panneau cryogénique du second étage de manière qu'il le protège du rayonnement thermique. L'arrangement frontal est refroidi par le radiateur du premier étage par fixation au blindage ou, comme décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique nO 4 356 810, par des supports thermiques. Après quelques jours ou quelques semaines d'utilisé sation, les gaz qui se sont condensés sur les panneaux cryogéniques et, en particulier, les gaz qui sont adsorbés, commencent à saturer la pompe cryogénique. Une procédure de régénération doit être suivie avec réchauffement de la pompe cryogénique et ainsi dégagement des gaz et extraction des gaz du système. Lorsque les gaz s'évaporent, la pression dans la pompe cryogénique s'élève, et les gaz sont évacués par un robinet de décharge ou d'évacuation. Pendant la régénération, la pompe cryogénique est souvent purgée par de l'azote gazeux tiède. L'azote gazeux accélère le réchauffement des panneaux cryogéniques et est aussi utilisé pour l'entraînement de l'eau et des autres vapeurs de la pompe cryogénique. L'azote est le gaz de purge habituel car il est relativement inerte et il est disponible sous une forme dépourvue de vapeur d'eau. Il est habituellement fourni à partir d'une bouteille d'azote par l'intermédiaire d'une conduite de transport et d'un robinet de purge couplé à la pompe cryogénique. Lorsque la pompe cryogénique a été purgée, elle doit subir un pompage primaire pour la création de vide autour des surfaces de pompage cryogénique et du doigt froid qui réduit le transfert de chaleur par conduction par le gaz et permet ainsi à l'appareil de refroidissement cryogénique de se refroidir aux températures normales de fonctionnement. La pompe primaire est en général une pompe mécanique couplée par une conduite de fluide à un robinet de vide primaire monté sur la pompe cryogénique. La commande du processus de régénération est facilitée par des capteurs de température couplés aux postes thermiques du doigt froid. Des jauges de pression à thermocouple ont aussi été utilisées avec des pompes cryogéniques. Bien que la régénération puisse être réglée par commande manuelle de l'appareil de refroidissement cryogénique et commande manuelle des robinets de purge et de vide primaire, un organe séparé de commande de régénération est utilisé dans les systèmes plus élaborés. es fils partant de l'organe de commande sont couplés à chacun des capteurs, au moteur de l'appareil de refroidissement cryogénique et aux robinets qui doivent être commandés. Les pompes cryogéniques ayant un organe électronique intégré de commande sont représentées dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique nO 4 918 930. Dans une opération de régénération rapide, le second étage de la pompe cryogénique est chauffé lorsque du gaz de purge est appliqué à la pompe cryogénique. Lorsque le second étage de la pompe cryogénique se réchauffe, les gaz piégés dans le second étage sont dégagés et évacués par un robinet de décharge. Un problème qui se pose parfois dans l'opération de régénération rapide est qu'une partie des gaz évacués par le robinet d'évacuation (tels que l'azote) se solidifie aux surfaces du robinet d'évacuation. Les surfaces gelées peuvent empecher une fermeture étanche convenable du robinet d'évacuation et affecter ainsi les performances de la pompe cryogénique. La présente invention concerne un procédé de chauffage des surfaces du robinet d'évacuation qui portent un dépôt congelé, le robinet d'évacuation étant couplé à une chambre d'une pompe cryogénique. Du gaz tiède est transmis aux surfaces du robinet d'évacuation par un conduit de distribution. Celui-ci a une extrémité de distribution proche des surfaces du robinet d'évacuation. Le gaz tiède échauffe les surfaces du robinet d'évacuation et permet ainsi au robinet d'évacuation de se refermer de manière étanche. La présente invention concerne aussi une pompe cryogénique ayant une chambre de pompe cryogénique et un robinet de purge couplé à la chambre. Lorsqu'il est ouvert, le robinet de purge transmet une première quantité de gaz tiède à la chambre de la pompe cryogénique pour la purge de cette chambre pendant la régénération. Un robinet de pompage primaire couple la chambre de la pompe cryogénique à une pompe à vide primaire, et, lorsqu'il est ouvert, il permet le pompage primaire de la chambre de la pompe cryogénique. Un robinet d'évacuation est couplé à cette chambre pour l'évacuation des gaz de la chambre lorsque celle-ci est purgée. Un robinet de distribution est couplé au robinet d'évacuation afin qu'il transmette une seconde quantité de gaz tiède aux surfaces du robinet d'évacuation et échauffe ce robinet et chasse les dépôts gelés formés par les gaz piégés aux surfaces du robinet d'évacuation. Dans des modes de réalisation préférés, la pompe cryogénique comporte en outre un réfrigérateur destiné à refroidir les surfaces de condensation et d'adsorption à l'intérieur de la chambre de pompage cryogénique. Un boîtier entoure pratiquement le robinet d'évacuation afin qu'il dirige l'effluent de la pompe vers une conduite distante d'évacuation. Le boîtier est aussi utilisé pour le support d'un conduit de distribution et d'un robinet de distribution. Le conduit de distribution couple le robinet de distribution au boîtier du robinet d'évacuation et a une extrémité de distribution proche des surfaces du robinet d'évacuation. La pompe à vide primaire est de préférence commandée par un gaz avec un robinet de pilotage qui transmet de manière réglée du gaz sous pression au robinet de vide primaire pour la commande de celui-ci. Un organe de commande assure la commande du robinet de vide primaire à l'aide du robinet de pilotage et commande aussi le robinet de purge et le robinet de distribution. L'organe de commande provoque l'ouverture des robinets de pompage primaire et de distribution à peu près en même temps par utilisation du même signal pour l'ouverture des robinets de vide primaire et de distribution. De cette manière, la chambre de la pompe cryogénique peut être mise sous vide primaire en même temps que la seconde quantité de gaz tiède est transmise aux surfaces du robinet d'évacuation. Une source de gaz de purge transmet de l'azote gazeux tiède à la chambre de la pompe cryogénique, au robinet de purge, au robinet de distribution et au robinet de pilotage. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de ia description qui va suivre d'exemples de réalisation, faite en réference aux dessins annexés sur lesquels la figure 1 est un schéma d'une pompe cryogénique selon l'invention ; la figure 2 est une vue en perspective de la pompe cryogénique selon l'invention ; et la figure 3 est une coupe partielle en élévation latérale du robinet d'évacuation et du conduit de distribution destinés au chauffage du robinet d'évacuation. On se réfère aux figures 1 et 2 ; une pompe cryogénique 10 comporte une chambre 12 de pompage qui peut être montée sur la paroi d'une chambre de travail le long d'une bride 14. La chambre 12 a une ouverture frontale 16 qui communique avec une ouverture circulaire de la chambre de travail. Un doigt froid à deux étages d'un réfrigérateur est logé dans une partie 18a de la chambre 12 et dépasse dans une partie 18b de la chambre 12. Un piston mobile à deux étages placé dans le doigt froid est entraîné par un moteur logé dans le boîtier 20. La chambre 12 de la pompe cryogénique est analogue à celle qui est décrite dans le brevet des Etats Unis d'Amérique nO 4 555 907. Un robinet d'évacuation 48 est couplé à la partie 18a de la chambre 12 par un conduit 50 et un conduit 28. Le robinet 48 d'évacuation assure la ventilation ou l'échappement des gaz dégagés de la chambre 12 de pompage cryogénique lorsque cette pompe 10 est purgée au cours de la régénération. Une source 30 de gaz de purge est couplée à la partie 18b de la chambre 12 par un conduit 32, un raccord 34, un conduit 36, un robinet de purge 38 et un conduit 40. La source 30 de gaz de purge transmet de l'azote gazeux tiède à environ 4 bar et 20 OC. Le robinet de purge 38 est de préférence une électrovanne qui s'ouvre pour transmettre l'azote gazeux tiède de la source 30 à la chambre 12 et pour purger et régénérer la pompe cryogénique 10. La source 30 de gaz de purge est aussi couplée au robinet 48 d'évacuation par le conduit 32, le raccord 34, le conduit 42, le robinet 44 de distribution et le conduit 46 de distribution. Le robinet 44 de distribution est de préférence une électrovanne qui s'ouvre pour transmettre l'azote gazeux chaud de la source 30 aux surfaces du robinet 48 d'évacuation afin que les surfaces refroidies soient échauffées pendant la purge. Bien que de l'azote gazeux tiède soit transmis de préférence au robinet 44 de distribution à partir de la source 30, le gaz tiède d'une source séparée peut aussi être utilisé pour la transmission au robinet 44. Une pompe à vide primaire 22 est couplée à la partie 18a de la chambre 12 par le conduit 24, le robinet 26 de vide primaire et le conduit 28. Lorsqu'il est ouvert, le robinet 26 de vide primaire permet le pompage primaire de la chambre 12 par la pompe 22 de vide primaire. Le robinet 26 est de préférence un robinet commandé par un gaz par l'intermédiaire du robinet de pilotage 23. Ce robinet de pilotage 23 est de préférence une électrovanne couplée au robinet 26 de vide primaire par un raccord 21. Lorsqu'il est ouvert, le robinet 23 de pilotage transmet du gaz sous pression au robinet 27 de vide primaire qui est ainsi ouvert. En conséquence, le robinet 23 de pilotage et le robinet 26 de vide primaire s'ouvrent à peu près en même temps. Le gaz sous pression est de préférence de l'azote gazeux transmis au robinet 23 de pilotage par la source 30 de gaz de purge par l'intermédiaire d'un conduit 25. Dans une variante, l'azote gazeux sous pression peut être remplacé par de l'air comprimé. L'organe 20a de commande assure la commande du fonctionnement de la pompe cryogénique 10, y compris du moteur du réfrigérateur, de la pompe 22 ae vide primaire, du robinet de pilotage 23, du robinet de purge 38 et du robinet de distribution 44. L'organe 20a de commande peut être programmé afin qu'il déclenche automatiquement l'opération de régénération à intervalles préréglés ou lorsque la chambre 12 de la pompe cryogénique est saturée. En outre, l'organe 20a de commande peut aussi déclencher d'autres étapes du procédé de régénération, par exemple une nouvelle purge lorsque le processus classique de régénération ne permet pas l'évacuation a'une quantité suffisante de gaz piégé de la chambre 12 de la pompe cryogénique. En outre, l'organe 20a de commande peut provoquer une nouvelle distribution de gaz tiède aux surfaces du robinet d'évacuation 48 afin que les surfaces refroidies soient en outre échauffées. La figure 3 représente le robinet d'évacuation 48 plus en détail. Ce robinet 48 comprend un ensemble 62 ayant un organe obturateur 60 rappelé par un ressort qui assure une fermeture contre un joint torique 58 d'étanchéité. Les pressions dans la chambre 12 de la pompe cryogénique, supérieures d'environ 0,07 à 0,14 bar à la pression ambiante, provoquent une ouverture de l'obturateur 60 si bien que les gaz peuvent s'échapper de la chambre 12 entre l'obturateur 60 et le joint torique 58. Un boîtier 52 entoure l'ensemble 62 à robinet et forme une chambre 56 autour de cet ensemble. Un orifice de sortie 54 du boîtier 52 permet l'évacuation à l'atmosphère des gaz transmis par l'ensemble 62 par l'intermédiaire du conduit 48a. Le conduit 46 de distribution est couplé au boîtier 52 à un emplacement proche d'un joint torique 58 et de l'obturateur 60 afin que le gaz tiède soit transmis de la source 30 de gaz de purge aux surfaces du joint torique 58 ec de l'organe obturateur 60. Le boîtier 52 provoque une direction plus uniforme du gaz tiède sur ces surfaces. L'ensemble 62 est de préférence analogue au robinet décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique nO 5 137 050 mais d'autres robinets convenables d'évacuation ou de décharge de pression peuvent aussi être utilisés. En cours de fonctionnement et afin qu'une régénération rapide de la pompe cryogénique soit assurée, le réfrigérateur cryogénique de la pompe 10 est d'abord arrêté. Le robinet de purge 38 est alors ouvert pendant 30 s environ afin que de l'azote gazeux tiède soit transmis par la source 30 à la chambre 12 et provoque l'échauffement et la purge de la chambre 12. En outre, des organes électriques de chauffage fixés aux surfaces de condensation et d'adsorption de la pompe cryogénique sont utilisés pour le chauffage de ces surfaces. Le robinet 23 de pilotage et le robinet 26 de vide primaire et le robinet 44 de distribution restent fermés. Lorsque les surfaces de pompage cryogénique à l'intérieur de la chambre 12 s'échauffent, les gaz qui sont piégés sur ces surfaces sont dégagés et provoquent une augmentation de la pression dans la chambre 12. Cette augmentation provoque l'ouverture du robinet d'évacuation 48 et les liquides cryogéniques et gaz dégagés avec le gaz de purge sont évacués à l'atmosphère par ie conduit 28, le conduit 50, le robinet d'évacuation 48 et le conduit 48a. Le robinet de purge 38 se ferme alors et termine la purge de la chambre 12 de la pompe cryogénique. Le robinet 23 de pilotage s'ouvre et transmet de l'azote gazeux sous pression de la source 30 au robinet 26 de pompage primaire. L'azote gazeux sous pression ouvre le robinet 26 de pompage primaire et la chambre 12 est mise sous vide primaire par la pompe 22 pendant 15 min environ, à une pression préréglée de base de 75 ou 100 ssm. Une partie des iiquides cryogéniques et des gaz évacués par le robinet 48 à partir de la chambre 12 pendant la purge peut se solidifier sur l'obturateur 60 et/ou le joint torique 58. Lorsque ce phénomène se produit, il est difficile d'obtenir une bonne étanchéité entre l'obturateur 60 et le joint torique 58 parce que celui-ci est rigide lorsqu'il est refroidi. Le robinet 48 d'évacuation forme habituellement le joint le plus étanche lorsque le joint torique 58 est souple et tendre. Pour que le joint torique 58 soit réchauffé et ramolli, le robinet de distribution 44 s'ouvre et transmet de l'azote gazeux tiède de la source 30 aux surfaces de l'ensemble 62. Le même signal de commande de faible puissance provenant de l'organe 20a de commande qui ouvre déjà le robinet 23 de pilotage est aussi utilisé pour l'ouverture du robinet 44 de distribution. En conséquence, le robinet 44 de distribution s'ouvre et se ferme à peu près en même temps que le robinet 23 ae pilotage et le robinet de vide primaire 26 s'ouvrent et se ferment. Le boîtier 52 provoque la mise du gaz de purge tiède tout autour de l'ensemble 62 et facilite la direction du gaz de purge tiède uniformément sur les surfaces de l'ensemble 62. L'azote gazeux tiède réchauffé ramollit les surfaces de l'ensemble 62, notamment l'obturateur 60 et/ou le joint torique 58, si bien qu'un joint bien étanche peut être formé entre eux. Lorsqu'un joint étanche est obtenu, la pompe à vide primaire 22 peut réduire la pression dans la chambre 12 à la pression préréglée de base. Sien que le robinet de distribution 44 reste habituellement ouvert pendant la même durée que le robinet 26 de vide primaire, une minuterie peut être utilisée sur le robinet 44 de distribution afin que le gaz tiède puisse être transmis aux surfaces de l'ensemble 62 pendant un temps plus long ou plus court. Lorsque la pression dans la chambre 12 atteint le niveau préréglé, les robinets 23 de pilotage, 26 de vide primaire et 44 de distribution sont fermés. Le réfrigérateur de la pompe cryogénique 10 peut alors refroidir à la température de fonctionnement et le pompage cryogénique commence. Lorsque les panneaux cryogéniques de la pompe 10 sont à nouveau saturés de gaz condensés, une autre opération de régénération est réalisée. Lorsque la pression dans la chambre 12 de la pompe cryogénique pendant le pompage primaire n'atteint pas le niveau préréglé en un certain temps spécifié, l'organe 20a de commande peut être programmé afin qu'il déclenche un autre cycle de purge. En outre, l'organe 20a de commande peut aussi déclencher une nouvelle distribution du gaz tiède aux surfaces de l'ensemble 62 afin que les surfaces refroidies soient réchauffées. L'utilisation d'un même signal de commande de faible puissance provenant de l'organe 20a de commande et destiné à ouvrir et fermer le robinet 26 de vide primaire (par l'intermédiaire du robinet de pilotage 23) et le robinet de distribution 44 permet une modification facile des pompes cryogéniques existantes afin qu'elles forment une pompe cryogénique 10 selon l'invention. En outre, cette disposition permet le réchauffement de l'ensemble 62 à robinet par transmission d'un gaz tiède sur cet ensemble sans qu'il faille ajouter un organe de chauffage électrique de puissance élevée sur le robinet d'évacuation. Un organe électrique de chauffage nécessite pour son fonctionnement une puissance d'environ 50 à 100 W. L'organe 20a de réglage peut fournir quelques watts d'énergie électrique nécessaire à la commande du robinet de distribution 44 et du gaz tiède provenant de la source 30 est facilement disponible. Equivalents Bien qu'on ait décrit et représenté plus précisément l'invention en référence à des modes de réalisation particuliers, les hommes du métier peuvent modifier des formes et détails sans sortir de son cadre. Par exemple, l'invention n'est pas limitée à une pompe cryogénique du type représenté sur les dessins. L'invention est destinée à s'appliquer à toutes les pompes cryogéniques qui dirigent un gaz tiède sur le robinet d'évacuation pour le réchauffer. Bien que les robinets 23, 38 et 44 soient de préférence des électrovannes, ils peuvent être aussi commandés par un gaz ou même manuellement. En outre, le robinet de vide primaire 26 peut être un robinet commandé par un électro-aimant ou manuellement. Dans ce cas, le robinet de pilotage 23 est omis. En outre, la source 30 de gaz de purge peut transmettre des gaz de purge convenables autres que l'azote. De plus, l'organe 20a de commande peut provoquer d'autres opérations de régénération. Il est bien entendu que l'invention n'a été décrite et représentée qu'à titre d'exemple préférentiel et qu'on pourra apporter toute équivalence technique dans ses éléments constitutifs sans pour autant sortir de son cadre. REVENDICATIONS 1. Procédé de réchauffement des surfaces d'un robinet d'évacuation (48) qui est couplé à une chambre (12) d'une pompe cryogénique pour l'évacuation de gaz de cette chambre (12) pendant la régénération, le procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend a distribution d'un gaz tiède sur les surfaces du robinet d'évacuation (48) par un conduit de distribution qui a une extrémité de distribution placée à proximité des surfaces du robinet d'évacuation (48), le gaz tiède réchauffant les surfaces du robinet d'évacuation (48). 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la régénération comprend les étapes suivantes l'ouverture d'un robinet de purge (38) destiné à transmettre une première quantité de gaz tiède à une chambre (12) de pompe cryogénique pour l'application d'un gaz de purge à la chambre (12), la première quantité de gaz réchauffant les surfaces de pompage cryogénique de la chambre (12) à des températures suffisamment élevées pour que les gaz piégés par les surfaces de pompage cryogénique soient dégagés, l'évacuation des gaz piégés dégagés de la chambre (12) par le robinet d'évacuation (48), et l'ouverture d'un robinet de distribution (44) couplé au conduit de distribution pour la distribution d'une seconde quantité de gaz tiède aux surfaces du robinet d'évacuation (48), la seconde quantité de gaz tiède étant un gaz tiède qui réchauffe les surfaces du robinet d'évacuation (48). 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre ia transmission de la première quantité de gaz tiède au robinet de purge (38) et de la seconde quantité de gaz tiède au robinet de distribution (44) à partir d'une source de gaz de purge. 4. Procédé selon la revendicatIon 2, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les étapes suivantes l'ouverture d'un robinet de vide primaire (26) relié à une pompe à vide primaire afin que la chambre (12) de la pompe cryogénique soit couplée à la pompe de vide primaire, le pompage primaire de la chambre (12) de la pompe cryogénique à l'aide de la pompe de pompage primaire, et la fermeture du robinet de purge (38). 5. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte en outre le refroidissement de la chambre (12) de la pompe cryogénique avec un réfrigérateur. 6. Procédé selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une étape de fermeture pratiquement totale du robinet d'évacuation (48) dans un boîtier afin que le gaz tiède distribué soit dirigé très uniformément sur les surfaces du robinet d'évacuation (48). 7. Pompe cryogénique caractérisée en ce qu'elle comprend une chambre (12) de pompe cryogénique, un robinet de purge (38) couplé à la chambre (12) de la pompe cryogénique et destiné à distribuer une première quantité de gaz tiède à la chambre (12) de la pompe cryogénique afin que cette chambre (12) soit purgée, un robinet de vide primaire (26) destiné à coupler la chambre (12) de la pompe cryogénique à la pompe de vide primaire, un robinet d'évacuation (48) couplé à la chambre (12) de la pompe cryogénique pour l'évacuation des gaz provenant de cette chambre (12), et un robinet de distribution (44) couplé au robinet d'évacuation (48) et destiné à distribuer une seconde quantité de gaz tiède sur les surfaces du robinet d'évacuation (48) afin que celui-ci soit échauffé. 8. Pompe cryogénique selon la revendication 7, caractérisée en ce qu'elle comprend en outre un organe de commande du robinet de purge (38), du robinet de distribution (44) et du robinet de vide primaire (26) pendant une opération de régénération de la pompe cryogénique. 9. Pompe cryogénique selon la revendication 8, caractérisée en ce que l'organe de commande transmet un signal de commande de faible puissance destiné à provoquer l'ouverture du robinet de vide primaire (26) et du robinet de distribution (44) approximativement en même temps. 10. Pompe cryogénique selon la revendication 7, caractérisée en ce qu'elle comprend un boîtier qui entoure pratiquement le robinet d'évacuation (48) afin que la seconde quantité de gaz tiède soit dirigée de manière plus uniforme sur les surfaces du robinet d'évacuation (48). 11. Pompe cryogénique selon la revendication 10, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre un conduit de distribution reliant le robinet de distribution (44) au boîtier du robinet d'évacuation (48). 12. Pompe cryogénique selon la revendication 7, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre un réfrigérateur destiné à refroidir la chambre (12) de la pompe cryogénique. 13. Pompe cryogénique selon la revendication 7, caractérisée en ce que le robinet de vide primaire (26) est commandé par un gaz et la pompe cryogénique comporte en outre un robinet de pilotage (23) destiné à distribuer de manière réglée un gaz au robinet de vide primaire (26) pour la commande de ce robinet, et une source de gaz de purge destinée à transmettre du gaz à la chambre (12) de la pompe cryogénique, au robinet de distribution (44) et au robinet de pilotage (23). 14. Robinet d'évacuation (48) destiné à coupler une chambre (12) de pompe cryogénique afin que les gaz de la chambre (12) de la pompe cryogénique soient évacués pendant la régénération, le robinet d'évacuation (48) étant caractérisé en ce qu'il comprend un ensemble à robinet destiné à l'évacuation des gaz, un boîtier entourant pratiquement l'ensemble à robinet, et un conduit de distribution couplé au boîtier et destiné à transmettre un gaz tiède aux surfaces de l'ensemble à robinet pour l'échauffement de cet ensemble, le boîtier dirigeant les gaz tièdes très uniformément sur les surfaces de l'ensemble à robinet. 15. Robinet selon la revendication 14, caractérisé en ce que l'ensemble à robinet comprend un obturateur (60) qui est rappelé par un ressort contre un joint élastomère d'étanchéité.