Brevet FR2748849A1 — publié le 19971121

SYSTEME DE COMPOSANTS A HYBRIDER ET PROCEDE D'HYBRIDATION AUTORISANT DES DILATATIONS THERMIQUES DESCRIPTION Domaine technique La présente invention concerne un système de composants à hybrider adapté à une technique d'hybridation par fusion de billes de soudure, du type connu sous la désignation "flip-chip". L'invention concerne également un procédé de préparation de ces composants et un procédé d'hybridation utilisant ces composants. L'invention trouve des applications notamment dans les domaines de l'électronique et de l'optique pour l'interconnexion de composants en matériaux différents. A titre d'exemple, l'invention peut notamment être utilisée pour l'interconnexion de composants de silicium avec des composants d'AsGa ou d'InSb. Au sens de la présente invention, on entend par composant, aussi bien un composant électronique tel qu'une puce électronique, un support de circuit électronique ou optoélectronique, qu'un composant mécanique tel qu'un capot ou un capteur de grandeurs physiques. L'invention peut en particulier être utilisée pour la fabrication de détecteurs infrarouges, la fabrication de lasers à cavité verticale, ou pour reporter une matrice de photodiodes de lecture en AsGa sur un circuit de lecture en Si. Etat de la technique antérieure On distingue principalement deux techniques d'hybridation de composants par billes de soudure. Une première technique désignée par "technique d'hybridation par fusion" (ou "flip-chip") fait appel à des billes de matériau fusible tel qu'un alliage d'étain et de plomb- (SnPb) ou d'étain et d'indium (SnIn), par exemple. Cette technique est illustrée par le dessin des figures 1 et 2 annexées. Sur ces figures, les références 10 et 12 désignent respectivement un premier et un deuxième composants à interconnecter. Le premier composant 10 comporte des premiers plots 14a de réception de billes, en un matériau mouillable par le matériau des billes de soudure. Les plots 14a sont entourés respectivement par une plage 16a de matériau non mouillable par le matériau des billes. De la même façon, le deuxième composant 12 comporte des deuxièmes plots 14b également en un matériau mouillable par le matériau des billes et entourés par une plage 16b de matériau non mouillable. Les premiers et deuxièmes plots 14a, 14b sont respectivement associés pour former des paires de plots et disposés en des emplacements complémentaires des premier et deuxième composants. Ainsi, les premier et deuxième plots de chaque paire de plots sont situés sensiblement face à face lorsque les composants à hybrider 10, 12 sont reportés l'un sur l'autre comme le montre la figure 1. On considère que la figure i représente la structure formée par les deux composants à la température ambiante notée Ta. On désigne par L la distance qui sépare respectivement les deux plots de réception de billes représentés sur chaque composant. Les plots 14a de l'un des composants, en l'occurrence du composant 10, sont équipés de billes 18 de matériau fusible. Ces billes 18 sont destinées à créer un 274884g lien mécanique et/ou électrique entre les plots de chaque paire de plots. Pour effectuer une hybridation, le composant 12 est reporté sur le composant 10 de manière à mettre en contact les plots 14b sur les billes 18 correspondantes. L'ensemble de la structure est -ensuite porté à une température supérieure ou égale à la température de fusion des billes pour provoquer le soudage des billes 18 sur les plots 14b. L'ensemble des billes sont ainsi soudées simultanément sur les plots 14b du composant 12, qui leurs correspondent. Après refroidissement, on obtient la structure de la figure 2. Sur cette figure, chaque plot 14a du composant 10 est relié mécaniquement et électriquement à un plot 14b correspondant du composant 12, par une bille 18 de soudure. La précision du positionnement mutuel des composants lors du report du composant 10 sur le composant 12 n'est pas très critique. En effet, lors de la fusion du matériau des billes les composants 10 et 12 s'alignent automatiquement sous l'effet de la tension superficielle du matériau des billes fondu. Grâce au procédé d'hybridation décrit, toutes les soudures entre les billes et les plots de réception sont réalisées simultanément. Le procédé d'hybridation par fusion est particulièrement adapté à l'hybridation d'une pluralité de composants, tels que des puces, sur un composant de réception formant un substrat. Un rendement d'hybridation élevé peut être obtenu pour ces structures. Les figures 1 et 2 illustrent une mise en oeuvre du procédé d'hybridation par fusion pour des composants qui sont de petite taille ou qui présentent des coefficients de dilatation très voisins. Lorsque les composants à hybrider présentent des coefficients de dilatation différents, et surtout lorsqu'une distance non négligeable sépare les différents plots, un désalignement entre les plots des deux composants se produit lorsque la structure est portée à une température supérieure ou égale à la température de fusion du matériau des billes. Cette situation est illustrée par la figure 3 qui montre les composants à la température d'hybridation Th. On considère que le matériau du composant 12 présente un coefficient de dilatation c2 supérieur au coefficient de dilatation cl du matériau du composant 10. Lorsque la structure est portée à la température d'hybridation Th, les plots 14a du composant 10, et par conséquent les billes 18, sont distants d'une distance L' telle que: L'=L(l+aL.AT) o L est la distance séparant les mêmes plots 14a à la température ambiante Ta (figure 1), et AT est défini par AT=Th-Ta. De la même façon, à la température d'hybridation Th, les plots 14b sur le composant 12 sont distants d'une distance L" telle que: L"=L(l+C2.AT) Dans le cas particulier de la figure 3 o chaque composant ne comporte que deux plots de réception des billes, le désalignement AL entre chaque plot 14b et chaque bille 18 correspondante est alors tel que: AL=L/2.Ac.AT, OU AO=c2-Xl. Le désalignement entre les plots de réception de billes des substrats à hybrider peut dans certains cas être suffisamment important pour compromettre l'opération d'hybridation. A titre d'exemple, lorsque le substrat 10 est en silicium (ol (Si)=2.10-6) et le substrat 12 en arséniure de gallium ({2(AsGa)=8.10-6), lorsque la distance entre les billes 18 à une température ambiante de 20 C est de 2 cm et lorsque la température d'hybridation des billes 18 en alliage étain-plomb (60/40) est de l'ordre de 220 C, le décalage latéral entre chaque plot 14b et chaque bille 18 correspondante est AL=12 pm. De telles valeurs sont atteintes par exemple pour des composants sous forme de barrettes ayant 1000 plots de connexion en ligne avec un pas de 20 pm. Dans un tel cas, si la surface mouillable des plots de connexion a un diamètre de 12 pm par exemple, seules les billes pour lesquelles le décalage AL est inférieur ou égal à 6pm peuvent être connectées selon le procédé d'hybridation par fusion. En effet, seules ces billes sont en contact avec les plots de réception du deuxième composant. Pour répondre à ces difficultés il existe une deuxième technique d'hybridation par billes de soudure. Cette deuxième technique est désignée par technique d'hybridation par pression. Selon cette technique on part d'une structure comparable à la structure représentée à la figure 1. Le composant 12 est reporté sur le composant 10 en faisant coïncider très précisément les plots 14b avec les billes 18. Puis, en exerçant des forces adaptées sur les composants 10 et 12, les billes 18 sont pressées fermement contre les plots 14b pour réaliser- une liaison par thermocompression. Cette opération peut avoir lieu à une température inférieure à la température de fusion du matériau des billes, et en particulier à une température voisine de la température ambiante. Ainsi, en limitant les excursions en température AT le problème d'un désalignement entre les plots 14b et les billes 18, ou les plots 14a, ne se pose pas, même lorsque les composants sont en des matériaux avec des coefficients de dilatation différents. o10 Toutefois, la technique d'hybridation par pression présente, par rapport à la technique d'hybridation par fusion, un certain nombre de désavantages. Par exemple, pour l'hybridation par pression, l'alignement des composants à hybrider doit être effectué avec une très grande précision. En effet, le phénomène d'auto-alignement décrit ci- dessus ne se produit pas à des températures inférieures à la température de fusion du matériau des billes. De plus, contrairement à l'hybridation par fusion, l'hybridation par pression est inadaptée pour la connexion simultanée de nombreux composants au cours d'une même opération. L'hybridation par pression autorise par ailleurs des rendements d'hybridation plus faibles. Finalement, un but de la présente invention est de proposer un système de composants à hybrider de même qu'un procédé de préparation et d'hybridation des composants, qui ne présentent pas les désavantages ni les limitations évoqués ci-dessus. Un but de l'invention est en particulier de proposer un système de composants à hybrider et un procédé d'hybridation ne présentant pas les problèmes de désalignement à la température d'hybridation. Un but est également de proposer un procédé d'hybridation permettant l'interconnexion simultanée d'un grand nombre de composants. - Un but de l'invention est encore de proposer un système de composants à hybrider et un procédé d'hybridation permettant-un auto-alignement des composants. Exposé de l'invention Pour atteindre les buts mentionnés, l'invention a plus précisément pour objet un système de composants à hybrider comprenant au moins un premier composant avec des premiers plots de réception de billes d'hybridation, et présentant un premier coefficient de dilatation thermique et au moins un deuxième composant avec des deuxièmes plots de réception de billes d'hybridation et présentant un deuxième coefficient de dilatation thermique, les premiers et deuxièmes plots étant respectivement associés deux à deux pour former des paires de plots, caractérisé en ce qu'à une température d'hybridation Th, les premiers et deuxièmes plots de chaque paire de plots sont sensiblement superposables et à une température ambiante Ta, les plots occupent une position telle que lors d'un report du deuxième composant sur le premier composant, les premier et second plots de chaque paire de plots sont mutuellement décalés, selon une direction reliant les plots de la paire de plots à un barycentre des premiers et deuxièmes plots, d'une distance de compensation d'une dilatation différentielle des premier et deuxième composants entre la température ambiante et la température d'hybridation. Le décalage mutuel des plots est compris comme un décalage parallèle aux faces d'hybridation des composants en regard. On considère par ailleurs que les premier et deuxième composants sont reportés l'un au-dessus de l'autre lorsqu'un barycentre des premiers et un barycentre des deuxièmes plots respectivement sur les premier et deuxième composants, sont superposés. Comme les premiers et deuxièmes plots sont associés en paires de plots superposables à la température d'hybridation et que le barycentre des plots est défini comme étant invariable lors d'une dilatation, un même point projeté respectivement sur chacun des composants est défini par le barycentre des premiers plots et le barycentre des deuxièmes plots lorsque le deuxième composant est reporté sur le premier composant. Ce point est désigné par barycentre des premiers et deuxièmes plots. Grâce aux caractéristiques de l'invention, un désalignement entre les plots de réception des billes existe à la température ambiante mais disparaît à la température d'hybridation Th. On entend par température d'hybridation Th une température supérieure ou égale à la température de fusion du matériau des billes de soudure, à laquelle est réalisée l'hybridation. La distance de décalage mutuel des plots formant des paires de plots est calculée de préférence de telle manière que ce décalage soit sensiblement nul lorsque la température Th est atteinte. Ainsi, selon un aspect de l'invention, la distance de compensation entre les premiers et seconds plots de chaque paire de plots peut être choisie proportionnelle à: - une distance séparant les premier et deuxième plots du barycentre des premiers et deuxièmes plots, - une différence de température entre la température ambiante Ta et la température d'hybridation Th et - à une différence entre les premier et deuxième coefficients de dilatation. Dans un cas o le deuxième coefficient de dilatation du matériau du deuxième composant est supérieur au premier coefficient de dilatation du matériau du premier composant, les deuxièmes plots sont disposés en une position décalée à la température ambiante, par rapport aux premiers plots correspondants, dans un sens qui les rapproche du barycentre des deuxièmes plots sur le deuxième composant. Lorsque la température des composants est augmentée jusqu'à la valeur Th, à la fois les premiers et deuxièmes plots s'éloignent respectivement du barycentre des premiers et seconds plots sous l'effet de la dilatation. Cependant, si le deuxième coefficient de dilatation est supérieur au premier coefficient de dilatation le déplacement des deuxièmes plots est plus important et compense le décalage initialement prévu. De façon plus précise, selon une réalisation particulière du système de composants de l'invention, les premiers et deuxièmes plots de chaque paire de plots (i) sont formés en un emplacement tel qu'à la température ambiante ils sont respectivement distants du barycentre des plots d'une distance dl(i) et d2(i) tels que dl(i) (l+ ulAT)=d2(i) (l+a2AT) o cc et "2 sont respectivement les premier et deuxième coefficients de dilatation et o AT est la différence entre la température d'hybridation et la température ambiante. Au moins l'un des plots de chaque paire de plots est équipé d'une bille de matériau fusible, par exemple une bille en alliage SnPb. Selon une réalisation particulière des premier et deuxième composants les premiers plots sont équipés de billes de matériau fusible tandis que les deuxièmes plots en sont dépourvus. L'invention a également pour objet un procédé de prépa-ration d'au moins -un premier et au moins un second composants pour leur hybridation par billes de soudure, le premier composant comportant des premiers plots de réception des billes, et présentant un premier coefficient de dilatation, le deuxième composant comportant des deuxièmes plots de réception des billes, et présentant un deuxième coefficient de dilatation, les premiers et deuxièmes plots étant respectivement associés deux à deux pour former des paires de plots, caractérisé en ce qu'on forme les premier et deuxième plots sur les premier et deuxième composants en des emplacements tels que: - à une température Th d'hybridation les premier et deuxième plots de chaque paire de plots sont sensiblement superposables et - à une température ambiante Ta les plots de chaque paire de plots sont mutuellement décalés d'une distance de compensation d'une dilatation différentielle des premier et deuxième composants entre les températures ambiante Ta et d'hybridation Th, puis on équipe les premiers plots et/ou les deuxièmes plots de billes de matériau fusible. L'invention concerne également un procédé d'hybridation selon lequel: - on équipe les premier et second composants de plots de réception de billes, et de billes de soudure, de la façon décrite ci- dessus, - on reporte l'un sur l'autre les premier et deuxième composants, - on porte l'ensemble des premier et deuxième composants et des billes, à la température d'hybridation pour 274884g ll interconnecter les premiers et deuxièmes plots de chaque paire de plots par soudage des billes sur les plots, et - on fait refroidir la structure ainsi obtenue. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, en référence aux figures des dessins annexés, donnée à titre purement illustratif et non limitatif. Brève description des figures - la figure 1, déjà décrite, est une coupe schématique d'un système de composants à hybrider, à température ambiante, illustrant des techniques connues d'hybridation, - la figure 2, déjà décrite, est une coupe schématique du système de composants de la figure 1 après hybridation, la figure 3, déjà décrite, est une coupe schématique du système de composants à hybrider de la figure 1 à une température supérieure à la température ambiante, dans lequel les composants sont en des matériaux présentant des coefficients de dilatation différents. - La figure 4 est une coupe schématique avant hybridation d'un système de composants à hybrider conforme à l'invention et à la température ambiante, - la figure 5 est une coupe schématique du système de composants de la figure 4 à une température d'hybridation des composants, et - la figure 6 est une coupe schématique du système de composants de la figure 4 à la température ambiante, après hybridation. Description détaillée de modes de miise en oeuvre de l'invention Des références identiques à celles utilisées sur les figures 1 à 3 auxquelles on ajouté 100, sont affectées à des éléments identiques ou similaires des figures 4 à 6. La figure 4 montre un système de composants conforme à l'invention. Ce système comporte un premier composant 110 équipé de-- plots de réception de billes 114a et un deuxième composant 112 équipé de plots de réception de billes 114b. Le composant 110 correspond, par exemple, à un substrat et le composant 112 est, par exemple, une puce électronique à reporter sur le substrat. Pour des raisons de simplification, on considère que les composants doivent être reliés électriquement et/ou mécaniquement par seulement deux billes de matériau fusible. Les plots 114a et 114b sont en un matériau mouillable par les billes, par exemple du cuivre et sont entourés par un matériau non mouillable par les billes. Les plots 114a sont équipés de billes 118 de soudure, par exemple, en un alliage SnPb (40/60). La formation de billes sur des plots d'accrochage peut avoir lieu selon un procédé connu, par exemple, en faisant croître par électrolyse le matériau des billes au- dessus des plots puis en mettant en forme ce matériau par chauffage. Sur la figure 4, les composants 110 et 112 sont représentés dans leur état à la température ambiante, par exemple 20 C, juste avant l'opération d'hybridation. On désigne par L la distance séparant les billes 118 sur le composant 110. Chaque bille 118 est donc distante du barycentre des billes d'une distance L/2 en considérant que dans l'exemple illustré le composant n'est équipé que des deux billes visibles sur la figure. Le barycentre des billes o.u des plots 114a dans un plan parallèle à la surface du composant 110 est considéré comme superposé, à une erreur de positionnement des composants près, au barycentre des plots 114b sur le composant 112. Sur la figure 4, le barycentre est indiqué avec la lettre B à la surface des composants. Les plots 114b sont chacun décalés en direction du barycentre B sur lecomposant 112, d'une distance correspondant à la dilatation différentielle des deux composants. Dans le cas de l'exemple de la figure 4, chaque plot 114b est décalé vers le barycentre d'une distance d telle que: d=(L/2).Ax.Ay, o Au est la différence entre le coefficient de dilatation e2 du matériau du composant 112 et le coefficient de dilatation cl du matériau du composant 110. La figure 5 montre les composants 110 et 112 portés à la température d'hybridation Th. En passant de la température ambiante à la température d'hybridation le composant 112 s'est davantage dilaté que le composant 110 et ses plots 114b se trouvent désormais en face des plots 114a. Le composant 112 est abaissé et le matériau des billes en fusion vient se souder sur les plots 114b. Le centrage des composants 110 et 112 l'un sur l'autre a lieu à la température d'hybridation sous l'effet de forces de tension superficielle dans le matériau des billes. La figure 6 montre la structure obtenue après refroidissement. Les composants 110 et 112 se contractent lors du refroidissement et les plots 114a et 114b retrouvent sensiblement la position initiale telle que représentée à la figure 4. On constate également sur la figure 5 que le matériau des billes a subi une déformation de sorte que chaque bille relie toujours les plots 114a et 114b qui lui correspondent. Finalement, il apparaît que la réalisation d'une hybridation conformément à l'invention ne nécessite pas d'étape supplémentaire par rapport à l'hybridation connue par fusion. Cependant, lors de la conception des faces d'assemblage des composants, la position des plots de réception des billes est calculée de telle façon qu'il y ait un décalage à la température ambiante mais que ce décalage se compense par un jeu de dilatation différentielle des composants. Dans des applications particulières seule une partie d'un élément à hybrider peut être concernée par le procédé de préparation des composants de l'invention. Cette partie est alors considérée comme un composant à hybrider au sens de l'invention. REVENDICATIONS 1. Système de composants à hybrider comprenant au moins un premier composant (110) avec des premiers plots (114a) de réception de billes d'hybridation, et présentant un premier coefficient de dilatation thermique (xl) et au moins un deuxième composant (112) avec des deuxièmes plots (114b) de réception de billes d'hybridation et présentant un deuxième coefficient de dilatation thermique (C2), les premiers et deuxièmes plots étant respectivement associés deux à deux pour former des paires de plots, caractérisé en ce qu'à une température d'hybridation Th les premiers et deuxièmes plots (114a, 114b) de chaque paire de plots sont sensiblement superposables et à une température ambiante Ta, les plots (114a, 114b) occupent une position telle que lors d'un report du deuxième composant (112) sur le premier composant (110), les premiers et seconds plots (114a, 114b) de chaque paire de plots sont mutuellement décalés, selon une direction reliant les plots de la paire de plots à un barycentre (B) des premiers et deuxièmes plots, d'une distance de compensation d'une dilatation différentielle des premier et deuxième composants (110, 112) entre la température ambiante (Ta) et la température d'hybridation (Th). 2. Système selon la revendication 1, caractérisé en ce que la distance de compensation entre les premier et second plots (114a, 114b) de chaque paire de plots est proportionnelle à: - une distance séparant respectivement les premier et deuxième plots (114a, 114b) du barycentre (B) des premiers et deuxièmes plots, - une différence de température entre la température ambiante Ta et la température d'hybridation Th et - à une différence entre les premier et deuxième coefficients de dilatation (l1, a2). 3. Système selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le deuxième coefficient de dilatation (c2) étant supérieur au premier coefficient de dilatation (ca), les deuxièmes plots (114b), à la température ambiante, sont disposés en une position décalée par rapport aux premiers plots correspondants, dans un sens qui les rapproche du barycentre (B) des plots sur le deuxième composant. 4. Système selon la revendication 1, caractérisé en ce que les premiers et deuxièmes plots (114a, 114b) de chaque paire de plots (i) sont formés en un emplacement tel qu'à la température ambiante ils sont respectivement distants du barycentre des plots (B) d'une distance dl(i) et d2(i) tels que dl(i) (l+alAT)=d2(i) (l+c2AT) o ai et a2 sont respectivement les premier et deuxième coefficients de dilatation et o AT est la différence entre la température d'hybridation et la température ambiante. 5. Système selon la revendication 1, caractérisé en ce que les premiers plots (114a) sont équipés de billes de soudure. 6. Procédé de préparation d'au moins un premier et au moins un second composants (110, -112) pour leur hybridation par billes de soudure (118), le premier composant (110) comportant des premiers plots de réception des billes (114a), et présentant un premier coefficient de dilatation (al), le deuxième composant (112) comportant des deuxièmes plots de réception des billes (114b), et présentant un deuxième 'coefficient de dilatation ("2), les premiers et deuxièmes plots étant respectlvement associés deux à deux pour former des paires de plots, caractérisé en ce qu'on forme les premiers et deuxièmes plots (114a, 114b) sur les premier et deuxième composants en des emplacements tels que: - à -une température Th d'hybridation les premiers et deuxièmes plots (114a, 114b) de chaque paire de plots sont sensiblement superposables et - à une température ambiante Ta les plots de chaque paire de plots sont mutuellement décalés d'une distance de compensation d'une dilatation différentielle des premier et deuxième composants entre les températures ambiante Ta et d'hybridation Th, puis on équipe les premiers plots et/ou les deuxièmes plots de billes de matériau fusible (118). 7. Procédé d'hybridation par billes de soudure d'au moins un premier composant (110) avec au moins un deuxième composant (112), caractérisé en ce que: - on équipe les premier et second composants de plots de réception des billes (114a, 114b) et de billes de soudure (118), conformément au procédé de préparation selon la revendication 6, - on reporte l'un sur l'autre les premier et deuxième composants (110, 112), - on porte l'ensemble des premiers et deuxièmes composants (110, 112), et les billes (118), à une température d'hybridation (Th) pour interconnecter les premiers et deuxièmes plots (114a, 114b) de chaque paire de plots, par soudage des billes (118) sur ces plots, - on fait refroidir la structure ainsi obtenue.