Brevet FR2750963A1 — publié le 19980116

L'invention concerne un équipement de traitement de semiconducteurs. Elle a trait plus particulièrement à des supports pour le transport et le stockage de tranches de semiconducteur. Avec l'accroissement de l'échelle d'intégration des semiconducteurs, c'est-à- dire l'accroissement du nombre de circuits par unité de surface, le problème des particules a pris de l'importance. La dimension des particules pouvant détruire un circuit a diminué et approche du niveau molécu- laire. La limitation des particules est nécessaire pendant toutes les phases de fabrication, de traitement, de transport et d'emmagasinage des tranches de semiconducteurs. La généra- tion de particules pendant l'introduction et l'enlèvement des tranches dans des supports et par suite du mouvement des tranches dans les supports au cours du transport doit être minimisée ou évitée. L'accumulation et la décharge de charges stati- ques au voisinage des tranches de semiconducteurs peuvent être catastrophiques. L'aptitude à dissiper l'électricité statique est une caractéristique hautement souhaitable pour les supports de tranches. Des charges statiques peuvent être dissipées par un circuit menant à la masse en passant par le support. Toutes parties avec lesquelles le matériel entre en contact ou pouvant entrer en contact avec les tranches ou pouvant être touchées par le personnel d'intervention doit faire l'objet d'un circuit menant à la masse. De telles parties des supports comprennent les pièces de support de tranches, les poignées de robot et les interfaces avec le matériel. La visibilité des tranches à l'intérieur de conteneurs fermés est très souhaitable et peut être exigée par des utilisateurs. Des matières plastiques transparentes convenant à de tels conteneurs, telles que des poly- carbonates, sont souhaitables par le fait qu'une telle matière plastique est peu coûteuse, mais ces matières plastiques ne présentent pas des caractéristiques appropriées de dissipation de l'électricité statique ni une résistance souhaitable à l'abrasion. Il est également nécessaire que les matières pour les supports de tranches soient rigides afin d'éviter la détérioration des tranches pendant le transport, et il faut aussi qu'elles soient dimensionnellement stables sous des conditions variables. Des matières classiques idéales pour supports ayant pour caractéristiques une faible génération de parti- cules, une stabilité dimensionnelle et d'autres caractéristi- ques physiques souhaitables, telles qu'une polyétheréther- cétone (PEEK), ne sont pas transparentes, sont relativement coûteuses et sont difficiles à mouler en des formes monoblocs complexes et de grandes dimensions telles que des supports et des conteneurs. En général, des conteneurs et des supports pour l'emmagasinage et le transport de tranches étaient conçus pour transporter et maintenir les tranches dans des plans verticaux. De tels supports sont habituellement configurés pour permettre aussi de placer le support, avec les tranches, dans une position horizontale pendant un traitement et/ou l'introduction et l'enlèvement des tranches. Dans la position horizontale, les tranches sont supportées classiquement par des nervures qui forment les fentes pour tranches et s'éten- dent sur la longueur des côtés intérieurs du support. Le côté du support est partiellement courbé pour suivre le contour du bord des tranches. De tels supports entrent en contact avec les tranches et les supportent suivant deux arcs situés sur le bord de la tranche ou adjacents à ce bord. Ce type de support n'est pas propice à un positionnement uniforme, homogène et ferme des tranches par rapport aux supports de tranches et par rapport au matériel associé. De plus, le passage des supports classiques de la position verticale de transport à la position horizontale d'introduction-enlèvement- traitement peut provoquer un cliquetis, un déplacement et une instabilité des tranches, la génération de particules et une détérioration des tranches. Les progrès de l'industrie conduisent à traiter des tranches de plus en plus grandes, à savoir de 300 mm de diamètre et, par conséquent, on a besoin de supports et de conteneurs de plus en plus grands pour maintenir les tranches. De plus, l'industrie se dirige vers des agencements de tranches horizontaux dans les supports et les conteneurs. L'augmentation des dimensions des supports a accentué des difficultés dues au retrait et au gauchissement pendant le moulage. La dépendance de plus en plus grande vis-à-vis de systèmes robotiques, en particulier pour enlever et intro- duire des tranches dans des supports et des conteneurs, n'a rendu que plus critiques les tolérances. On a besoin d'un support d'un coût bas et optimal, générant peu de particules et dissipant l'électricité statique, dans lequel les tranches sont positionnées de façon stable, homogène et ferme et sont visibles lorsqu'elles sont enfermées. Un conteneur de tranches pour transporter ou maintenir les tranches dans un agencement horizontal, aligné axialement, comporte au minimum quatre zones ponctuelles de support de tranches à la partie du bord des tranches. Une forme avantageuse de réalisation comporte une première partie de conteneur et une porte pouvant être fermée. La première partie du conteneur possède une première portion moulée en matière dissipant l'électricité statique, ayant un bâti de porte droit (c'est-à- dire orienté à peu près verticalement) réalisé d'une seule pièce avec une partie supérieure plane. Une partie inférieure de base, intégrée, pourvue d'une interface de matériel, s'étend aussi depuis le bâti de porte. Une seconde partie moulée comporte une coque transparente qui est reliée au bâti de porte, à la partie supérieure plane et à la partie inférieure de base. Des colonnes de support de tranches, moulées séparément, sont reliées à la partie supérieure plane et à la partie inférieure de base et comprennent des étagères agencées verticalement, présentant une saillie tournée vers le haut qui établit un contact par un point minimal ou une zone ponctuelle minimale avec les tranches. Les étagères comprennent des butées de tranches destinées à s'opposer à un mouvement des tranches vers l'avant ou vers l'arrière lorsqu'elles sont supportées par les saillies et à empêcher l'introduction au-delà d'une position de logement. Une poignée latérale s'enclenchant à la fois avec la première partie moulée et la seconde partie moulée agit de façon à fixer entre elles les parties moulées. Une prise robotique est reliée à la partie plane supérieure. La prise robotique, les étagères pour tranches, les poignées latérales et le bâti de porte comportent un circuit conduc- teur pour une mise à la masse par l'intermédiaire de l'inter- face de machine. Une particularité et un avantage de l'invention sont que la pièce de support de tranches établit un contact minimal et sûr avec la tranche à l'aide du support. Un autre avantage et une autre particularité de l'invention sont que la conception composée permet une utilisation optimale des matières, telles que les matières résistant à l'abrasion et dissipant l'électricité statique, plus coûteuses, par exemple la polyétheréthercétone, pour les parties du conteneur qui sont en contact avec les tranches ou le matériel, et l'utilisation d'une matière plastique transparente, moins coûteuse, telle qu'un polycarbonate, pour la structure de support du conteneur et la visibilité des tranches dans le conteneur. Par conséquent, les paramètres de moulage et le choix des matières peuvent être établis séparément pour chaque pièce moulée afin d'optimiser les performances et de minimiser le coût. Un autre avantage et une autre particularité de l'invention sont que la construction composée minimise les effets négatifs associés au moulage de supports de grande dimension, tels que le gauchissement et le retrait. Un autre avantage et une autre particularité de l'invention sont que toutes les parties essentielles peuvent être connectées de façon conductrice à la masse par l'inter- médiaire de la partie d'interface du support avec le matériel. Un autre avantage et une autre particularité de l'invention sont que les tranches sont maintenues de façon passive dans une position spécifique de logement par des étagères configurées de façon appropriée. Un autre avantage et une autre particularité de l'invention sont que le conteneur composé peut être monté et finalement maintenu assemblé au moyen de tenons, de languettes et de pattes associés à la poignée latérale. Un autre avantage et une autre particularité de l'invention sont que des guides pour tranches sont prévus, lesquels sont séparés des étagères de support de tranches, grâce à quoi les guides permettent de s'assurer visuellement et aisément que le conteneur et/ou le matériel d'introduction sont convenablement positionnés avant une introduction presque complète et avant que la tranche arrive en contact avec les étagères du support de tranches et les bourrelets de support. Ceci peut faciliter l'alignement, car il n'est pas nécessaire à la tranche d'être complètement introduite pour que l'alignement approximatif soit vérifié. Une autre particularité et un autre avantage de l'invention sont que les bourrelets allongés facilitent un moulage aisé. Une protubérance exige un usinage supplémen- taire après le moulage ou exige des moules plus compliqués et coûteux. Une autre particularité et un autre avantage d'une forme avantageuse de réalisation de l'invention sont qu'un contact à quatre points minimise l'oscillation des tranches individuelles et permet de plus grandes variations lors du moulage tout en maintenant un positionnement homogène et ferme des tranches. Une autre particularité et un autre avantage de l'invention sont que le bâti de la porte, avec des parties supérieure et de base, s'étendant vers l'arrière, reliées à une coque transparente de forme en U, procure un support de structure robuste avec une visibilité d'environ 270 autour des tranches, et un trajet conducteur de mise à la masse. L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemples nullement limitatifs et sur lesquels: la figure 1 est une vue en perspective partiel- lement éclatée d'un conteneur de tranches, composé, compor- tant une porte verrouillable; la figure 2 est une vue en perspective avant d'un conteneur de tranches comportant trois colonnes de support de tranches reliées à une coque transparente de forme en U; la figure 3 est une vue en perspective arrière d'un support similaire à celui de la figure 2, comportant des connexions volantes en matière plastique pour établir un trajet menant à la masse par l'intermédiaire de l'interface avec le matériel; la figure 4 est une vue en perspective avant d'un conteneur composé comportant des poignées latérales, une bride robotique et une porte verrouillée; la figure 5 est une vue en perspective avant d'un conteneur de tranches ouvert selon l'invention; la figure 6 est une vue en élévation avec coupe d'un support; la figure 7 est une vue en perspective avant d'une forme de réalisation de la première partie moulée d'un support de tranches; la figure 8 est une vue en perspective arrière d'une première partie moulée d'une forme de réalisation du support de tranches; la figure 9 est une vue en perspective avant de la coque ou seconde partie moulée d'une forme de réalisation du support de tranches; la figure 10 est une vue en perspective d'une poignée latérale pour un support composé; la figure 11 est une vue en coupe transversale d'un détail d'une liaison entre la première partie moulée et la seconde partie moulée; la figure 12 est une vue en perspective d'une colonne de support de tranches pour un conteneur de tranches; la figure 13 est une vue en perspective d'une colonne de support de tranches pour le support de la figure ; la figure 14 est une vue en perspective détaillée d'une partie d'une colonne de support de tranches; la figure 15 est une vue en plan avec coupe d'un support de tranches; la figure 16 est une vue en coupe suivant la ligne 16-16 de la figure 15; et la figure 17 est une vue en plan d'une partie du bord d'une tranche, illustrant le support et le contact d'une tranche par un point minimal. La figure 1 montre une vue en perspective d'une forme avantageuse de réalisation du support horizontal de tranches en place sur un équipement 22. Les figures 2, 3, 4 et 5 montrent des formes de réalisation additionnelles. Les supports de tranches sont constitués généralement d'une partie 26 formant conteneur, comprenant des colonnes 27 de support de tranches, et d'une porte complémentaire 28. La partie à conteneur 26 présente un côté avant ouvert 30, un côté gauche 32, un côté arrière 34, un côté de droite 36, un dessus 38 et un dessous 40. Les formes de rélaisation des figures 1, 2, 3 et 4 comportent des côtés arrière fermés et des côtés de gauche et de droite fermés. La forme de réalisa- tion de la figure 5 est un support globalement ouvert ayant un côté arrière ouvert et le dessus et le dessous reliés et supportés par les colonnes de support de tranches. En référence en particulier aux formes de réalisation représentées sur les figures 1, 4 et 6, la partie à conteneur 26 peut être formée par moulage d'une première portion moulée 50 et d'une seconde portion moulée 52, comme montré sur les figures 1 et 4, ou bien elle peut être réalisée par moulage d'une portion en un seul bloc comme montré sur les figures 2 et 3. La première portion moulée 50, qui est représentée isolée sur les figures 7 et 8, est constituée d'un bâti rectangulaire 56 de porte ayant une partie supérieure horizontale 58 de bâti, deux parties verticales montantes 60, 62 de bâti et une partie inférieure horizontale 64 de bâti. La partie supérieure 58 de bâti et la partie verticale 60, 62 de bâti présentent des surfaces obliques 66, 68, 70 pour recevoir et guider la porte pendant la fermeture. La partie inférieure 64 de bâti présente une surface sensi- blement horizontale 72 qui est le mieux représentée sur la figure 6. Le bâti 56 de porte reçoit, au moyen des surfaces obliques 66, 68, 70 et de la surface horizontale 72, la porte 28 pour fermer le côté avant ouvert 30. Les surfaces du bâti de porte peuvent présenter des ouvertures ou des évidements 73 pour recevoir des languettes 75 qui font saillie de façon rétractable de la porte 28. Une section supérieure sensi- blement horizontale 74 s'étend vers l'arrière depuis la partie supérieure 58 de bâti. Une partie inférieure de base 76, ayant une interface 82 de matériel qui est représentée configurée sous la forme d'un accouplement cinématique, s'étend vers l'arrière de la partie inférieure 64 de bâti. Une section horizontale supérieure 74 comporte une partie à bord horizontal 88 et les parties verticales 60, 62 de bâti comportent des parties à bords verticaux 92, 94. Similaire- ment, la partie inférieure de base 76 comporte une partie à bord inférieur horizontal 96. La section horizontale supé- rieure 74 peut comporter des rebords 98 d'enclenchement destinés au raccordement d'une poignée ou d'une bride robotique 100. Comme montré sur la figure 7, la section supérieure horizontale 74 comporte deux éléments rainurés 106, 108 qui correspondent aux éléments rainurés 110, 112 positionnés sur la partie inférieure de base 76. Ces éléments rainurés sont dimensionnés et configurés pour recevoir les colonnes 27 de support de tranches. Plusieurs guides allongés 120 de tranches font saillie des parties verticales 60, 62 du bâti. Comme cela est le mieux montré sur les figures 4 et 8, d'autres particularités peuvent être ajoutées à la première partie moulée 50 pour faciliter l'assemblage avec la seconde partie moulée 52 et pour faciliter l'addition de poignées latérales 128. Des ergots 134 en forme de crochet font saillie de la section horizontale supérieure 74 et des évidements 136 pénètrent dans cette section supérieure 74. Des pattes 138 présentant un évidement 140 sont reliées à la partie inférieure de base 76. En référence à la figure 9, la seconde partie moulée 52 est réalisée sous la configuration d'une coque en matière plastique transparente ayant un panneau à courbure douce 150, de forme en U, une partie supérieure 152 de panneau de dessus, une partie de bord supérieure 154 confi- gurée en lèvre évasée, des panneaux latéraux verticaux 156, 158 ayant également des parties de lèvre évasée 160, une lèvre horizontale inférieure évasée 162 et deux saillies latérales 164, 166 s'étendant vers l'extérieur. En référence à la figure 11, une lèvre évasée 162 est représentée en détail, laquelle est reliée à une partie de bord 96 de la première partie moulée 50. Le joint est configuré sous la forme d'un assemblage 170 à tenon et mortaise. En référence à la figure 10, celle-ci montre une vue en perspective partielle d'une poignée de droite 128. La poignée de droite comporte une partie de prise 174 reliée au moyen de colonnes 176, 178 à une embase 180 de poignée réalisée sous la forme d'une bande. La bande comporte une partie divisée 182 de forme en Y qui comporte des portions recourbées 184, 186 destinées à s'enrouler autour d'une partie de bord supérieure arrondie de la coque en matière plastique transparente, et deux pattes 188, 190 s'étendant vers le bas qui s'ajustent dans les évidements 136 situés dans la section horizontale supérieure 74 de la première partie moulée 50. Les extrémités supérieures horizontales 189, 191 de la poignée latérale 128 comportent aussi des parties d'engagement de côté 194, 196 destinées à s'enclen- cher avec les ergots 134 également positionnés sur la section horizontale supérieure 74. L'extrémité inférieure 200 de la poignée latérale 128 présente une fente 202 de réception pour la patte 138 située sur la partie de base inférieure 176 de la première partie moulée 50. L'extrémité inférieure 200 présente aussi une fente 208 destinée à engager et fixer la saillie 176 sur le panneau latéral vertical 156 de la coque en matière plastique transparente. La poignée latérale 128 est formée d'une matière plastique élastiquement flexible, mais rigide, de façon que la poignée soit sollicitée fortement dans la forme montrée sur la figure 10. Ceci permet à la poignée d'être encliquetée en place et de rester fixée sur les côtés 32, 36 et le dessus 38 du support, de s'enclencher à la fois avec la première partie moulée 50 et la seconde partie moulée 52, et de maintenir fermement l'ensemble assemblé. En référence aux figures 12, 13, 14, 15 et 16, les colonnes 27 de support de tranches sont représentées dans deux configurations principales. La figure 13 montre une colonne de support de tranches convenant au support ouvert représenté sur la figure 5. Les figures 12 et 14 montrent une configuration de colonnes 27 de support de tranches convenant à une utilisation dans la forme de réalisation du support des l figures 1 et 4. Les deux colonnes 27 de support de tranches sont fixées dans leur support respectif au moyen de pattes 138 ou d'ergots 134. D'autres moyens de fixation mécanique peuvent également être utilisés. En référence en particulier aux figures 12, 13 et 14, la colonne 27 de support de tranches est constituée de plusieurs étagères 220 qui sont reliées à un élément vertical 222 de support et à un montant arrière 225 comportant des butées arrière 226. Des parties à languette ou oreilles supérieure et inférieure 228, 229 s'étendent depuis l'élément vertical de support 222 et sont fixées aux évidements ou éléments rainurés correspondants 106, 108, 110, 112. Une variante de configuration des colonnes 27 de support de tranches est montrée sur les figures 2 et 3. Ces colonnes 27 de support de tranches sont représentées comme étant reliées directement au panneau 150 de forme en U, par exemple par des vis 231. Les colonnes de support de tranches des figures 2 et 3 comportent chacune plusieurs supports ou étagères individuels 220 de tranches, chaque étagère comportant une saillie unique 230 d'engagement de tranche réalisée sous la configuration d'un bourrelet allongé. Il convient de noter que les colonnes de support de tranches peuvent, dans certaines formes de réalisation de l'invention, être réalisées d'une seule pièce avec la partie à conteneur tout en présentant un grand nombre des avantages et des caractéristiques indiqués précédemment. Les figures 6, 14, 15 et 16 montrent d'autres détails et le positionnement des colonnes 27 de support de tranches et des étagères. A chaque étagère 236 correspond une étagère opposée 238, située sur le côté opposé du support. Les colonnes opposées 27 de support sont positionnées, avec les étagères opposées, sur une ligne centrale traversant la tranche, parallèlement au côté avant ouvert 30 et au bâti 56 de porte et perpendiculaire à la direction 229 d'introduction et d'enlèvement des tranches W. Pour supporter les tranches, les étagères opposées sont espacées d'une distance inférieure à un diamètre D de tranches. Chaque guide 120 de tranches comporte un guide de tranches opposé sur le côté opposé du conteneur. En référence aux figures 6, 15 et 16, l'espace compris entre deux guides de tranches verticalement adjacents et la distance à travers l'intérieur du support définissent un niveau d'introduction et d'enlèvement de tranches et une fente 244 pour tranches. Similairement, le niveau d'introduc- tion est défini par la zone comprise entre des étagères 220 de support de tranches, verticalement adjacentes. La fente pour tranches est en outre définie comme étant la zone s'étendant à travers le support entre les éléments verticaux de support de la colonne de support de tranches. Chaque étagère comporte deux saillies 230 d'engagement de tranches tournées vers le haut, réalisées sous la forme de bourrelets. Un bourrelet peut être une protubérance ayant globalement la forme d'une partie de sphère, comme montré par l'élément référencé en 231 sur la figure 14, ou une tige partiellement cylindrique à extrémité arrondie comme indiqué par l'élément référencé 230. En référence à la figure 17, ce contact ponctuel minimal 246 ou ce contact minimal 248 suivant une ligne orientée sensiblement radialement et représentée en trait tireté au sommet 233 de la saillie, porte contre le côté inférieur ou la surface inférieure 235 de la tranche W, à la partie du bord 236. Comme représenté, les bourrelets allongés s'étendent sensiblement radialement vers l'inté- rieur. Chaque étagère 220 pour tranches comporte une butée 232 de tranches située vers l'avant, c'est-à-dire vers le côté avant, configurée sous la forme d'une surface verticale de contact qui suit la forme circonférentielle de la tranche W lorsque celle-ci est dans la position logée telle que représentée sur la figure 15. La butée avant 232 de tranches n'avance pas jusque dans le niveau d'introduction et d'enlè- vement de la tranche, mais elle fait obstacle à un mouvement vers l'extérieur des tranches logées dans leur position de logement. La distance D1 entre les butées avant correspon- dantes de tranches de chacune des étagères opposées de support de tranches est inférieure au diamètre D de la tranche W. Chaque étagère de support comporte une butée arrière 226 de tranches en tant que partie du montant arrière 225. La butée arrière de tranches s'étend vers le haut pour définir les limites arrière de la fente pour tranches. La distance D2 entre les butées arrière correspondantes 226 de tranches de chacune des étagères opposées de tranches est inférieure au diamètre D de la tranche. Les butées arrière 226 de tranches avancent dans le niveau vertical de la fente pour tranches. La butée arrière 226 pour tranches peut également servir à guider la tranche lors de l'introduction de celle-ci dans la position 237 de logement de tranches comme cela est le mieux montré sur les figures 15 et 16. Les constituants identifiés ci-dessus, qui sont représentés comme faisant partie de la première partie moulée , peuvent être moulés d'un seul bloc et sont donc intégrés les uns aux autres. Similairement, la seconde partie moulée 52 réalisée sous la forme de la coque en matière plastique transparente est moulée d'une seule pièce. Les colonnes 27 de support de tranches sont formées d'une matière à haute résistance à l'abrasion, dissipant l'électricité statique. Les poignées latérales et la bride robotique sont également moulées en matière dissipant l'électricité statique. La première partie moulée 50 étant également formée d'une matière dissipant l'électricité statique, un trajet conduc- teur menant à la masse est établi pour la bride robotique, les poignées latérales et les étagères 220 de tranches ainsi que les colonnes 27 de support de tranches en passant par l'interface d'équipement qui fait partie de la première partie moulée 50 et qui est en prise avec une interface à la masse située sur l'équipement. Il convient de noter que l'interface d'équipement peut être un accouplement cinémati- que à trois sphères-trois gorges comme illustré, ou bien une interface classique à barres en H ou d'autres interfaces appropriées. Au lieu de relier directement chacune des parties formées d'une matière dissipant l'énergie électro- statique comme montré sur les figures 1, 4 et 5, les parties peuvent être connectées de façon conductrice, par exemple par des connexions conductrices volantes 241 en matière plastique reliées convenablement aux pièces, comme montré sur la figure 3. En général, un support ou constituant est considéré comme dissipant l'électricité statique lorsqu'il présente une résistivité de surface comprise dans la plage de à 1012 ohms par carré. Des résistances inférieures à ces valeurs peuvent être appropriées pour qu'une matière établisse un trajet conducteur, par exemple menant à la masse. Les paramètres de moulage et le choix de la matière peuvent être notamment être réalisés pour chaque pièce moulée séparément afin d'optimiser les performances et de minimiser le coût. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées au conteneur pour tranches décrit et représenté sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Conteneur pour tranches, caractérisé en ce qu'il comporte une partie (26) formant conteneur comprenant: un bâti droit globalement rectangulaire (56), ayant un élément horizontal supérieur (58) de bâti, un élément inférieur (64) de bâti parallèle à l'élément supérieur, deux éléments latéraux droits et opposés (60, 62) de bâti s'éten- dant entre l'élément inférieur et l'élément supérieur de bâti et avec lesquels ils sont réalisés d'une seule pièce, les éléments de bâti définissant un côté avant ouvert (30) destiné à recevoir des tranches (W); une section supérieure sensiblement horizontale (74) réalisée d'une seule pièce avec l'élément supérieur de bâti et s'étendant vers l'arrière de celui-ci; une partie inférieure (76) de base, sensiblement horizontale, réalisée d'une seule pièce avec l'élément inférieur de bâti et s'étendant vers l'arrière de celui-ci; une partie moulée additionnelle (52) comportant une coque en matière plastique transparente qui est reliée à la section supérieure, à la partie inférieure de base et comporte une section (150) de forme en U s'étendant entre elles. 2. Conteneur pour tranches selon la revendication 1, caractérisé en outre en ce qu'il comporte plusieurs colonnes (27) de support de tranches s'étendant entre la partie supérieure et la partie inférieure de base et consti- tuée de plusieurs étagères (220) agencées verticalement, entrant en contact avec les tranches, les étagères de chaque colonne étant alignées et espacées de façon à définir plusieurs fentes (244) pour tranches, alignées verticalement, sensiblement horizontales et parallèles. 3. Conteneur pour tranches selon la revendication 2, caractérisé en ce que chaque colonne d'étagères de support de tranches est formée séparément et est moulée en une matière dissipant l'électricité statique. 4. Conteneur pour tranches selon la revendication 2, caractérisé en ce que le bâti rectangulaire, la partie supérieure, la partie de base et les colonnes de support de tranches sont tous formés d'une matière dissipant l'électri- cité statique et sont connectés de façon conductrice, et la matière transparente est constituée d'une matière ne dis- sipant pas l'électricité statique. 5. Conteneur pour tranches selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il est conçu pour être mis en interface avec un équipement associé (22) qui comporte une partie d'interface, et dans lequel la partie de base infé- rieure du conteneur pour tranches comporte en outre une interface (82) pour équipement configurée pour s'enclencher avec la partie d'interface de l'équipement associé. 6. Conteneur pour tranches selon la revendication 2, caractérisé en outre en ce qu'il comporte deux rangées verticales opposées, faisant saillie vers l'intérieur, de guides (120) de tranches, espacés verticalement et avancés de façon à correspondre à chacune des fentes pour tranches, chaque fente correspondant à une étagère pour tranche différente, les rangées de guides de tranches étant posi- tionnées, respectivement, sur chacun des éléments latéraux droits de bâti. 7. Conteneur pour tranches selon la revendication 6, caractérisé en ce que chaque étagère entrant en contact avec une tranche de chaque colonne de support de tranches comporte un bourrelet (230) faisant saillie vers le haut pour entrer en contact avec chaque tranche et la supporter. 8. Conteneur pour tranches selon la revendication , caractérisé en ce que les tranches devant être contenues dans le conteneur pour tranches ont un bord circonférentiel (236), chaque fente pour tranches comporte une position (237) de logement de tranche, et le conteneur pour tranches comporte plusieurs butées (226) de tranches, chaque butée étant positionnée en arrière des bourrelets faisant saillie vers le haut, et les butées étant configurées et positionnées pour entrer en contact avec les tranches lors de l'introduc- tion desdites tranches, au moment o les tranches sont poussées horizontalement au-delà de la position de logement de tranches. 9. Conteneur pour tranches selon la revendication 2, caractérisé en ce que chaque étagère entrant en contact avec une tranche sur chaque colonne de support comporte un bourrelet (230) tourné vers le haut, positionné vers l'avant, et un bourrelet (230) faisant saillie vers le haut, posi- tionné vers l'arrière, pour entrer en contact avec une tranche et la supporter. 10. Conteneur pour tranches selon la reven- dication 5, caractérisé en ce que chacun des bourrelets est allongé, est orienté sensiblement radialement vers l'inté- rieur et présente une longueur inférieure à 6 mm. 11. Conteneur pour tranches selon la reven- dication 3, caractérisé en ce que la partie de base présente une surface inférieure et comporte une interface (82) d'équipement, la première partie moulée est formée d'une matière dissipant l'électricité statique, le conteneur comporte en outre une bride robotique (100) formée d'une matière dissipant l'électricité statique, et la bride robotique, les colonnes de support de tranches et le bâti de la porte établissent un trajet conducteur menant à l'inter- face d'équipement. 12. Conteneur pour tranches selon la reven- dication 1, caractérisé en ce qu'il comporte en outre deux poignées (128) reliant et fixant entre elles ladite première partie moulée et la seconde partie moulée. 13. Support de tranches destiné à maintenir des tranches (W) en une rangée horizontale et alignée axialement, le support ayant un côté avant (30) pourvu d'une porte (28), un dessus fermé (36), un dessous fermé (40), un côté arrière fermé (34), un côté de gauche fermé (32) et un côté de droite fermé (36), et étant caractérisé en ce qu'il comporte: une partie supérieure (38) s'étendant sensiblement horizon- talement depuis le côté avant vers l'arrière au-dessus des tranches, une partie inférieure sensiblement horizontale (40) s'étendant depuis le côté avant vers l'arrière au-dessous des tranches, un élément latéral vertical de gauche (32) placé sur le côté avant et un élément latéral vertical de droite (36) placé sur le côté avant, la partie supérieure, la partie inférieure, l'élément latéral vertical de droite et l'élément latéral vertical de gauche étant tous moulés d'une seule pièce en matière plastique dissipant l'électricité statique; plusieurs supports (27) pour tranches alignés verticalement sur le côté de gauche du conteneur et plusieurs supports correspondants pour tranches, alignés verticalement sur le côté de droite du conteneur pour supporter des tranches sensiblement horizontalement en un agencement aligné axiale- ment; et une coque (150) en matière plastique transparente qui s'étend depuis l'élément latéral vertical de gauche autour du côté de gauche, autour du côté arrière et autour du côté de droite jusqu'à l'élément latéral vertical de droite, la coque en matière plastique étant reliée à la partie de dessus et à la partie de dessous. 14. Support de tranches selon la revendication 13, caractérisé en ce que les pièces de support de tranches comprennent deux colonnes opposées (27) de support, une sur chaque côté du support, chaque colonne de support s'étendant de la partie supérieure à la partie inférieure, les colonnes de support étant reliées de façon conductrice à la partie supérieure et à la partie inférieure et ayant chacune plusieurs saillies (230) s'étendant vers le haut, disposées verticalement, pour établir chacune un contact sensiblement ponctuel avec une face inférieure des tranches. 15. Support de tranches pour maintenir des tranches (W) dans un agencement sensiblement horizontal, les tranches ayant une surface inférieure et le support ayant un côté avant ouvert (30), un côté arrière (34), une partie supérieure (38), une partie inférieure (40), un côté de gauche (32) et un côté de droite (36), le support étant caractérisé en ce qu'il comporte en outre deux colonnes (27) de support de tranches s'étendant depuis la partie supérieure jusqu'à la partie inférieure, une colonne de support étant placée sur le côté de droite et l'autre étant placée sur le côté de gauche, chaque colonne de support de tranches étant constituée de plusieurs étagères (220) disposées verti- calement, chaque étagère comportant au moins deux bourrelets (230) faisant saillie vers le haut pour établir un contact minimal avec la surface inférieure d'une tranche au niveau de chaque bourrelet, chaque étagère ayant en outre un niveau d'introduction et un niveau de logement pour une tranche, grâce à quoi une tranche peut être introduite dans le support à travers le côté avant ouvert à un niveau d'introduction et abaissée pour s'appliquer sur les bourrelets faisant saillie vers le haut, au niveau de logement. 16. Support de tranches selon la revendication , caractérisé en ce que chaque étagère comporte en outre une butée avant (232) positionnée au niveau de logement, au moins partiellement vers l'avant et vers l'intérieur des bourrelets s'étendant vers le haut, faisant ainsi obstacle au mouvement vers l'avant d'une tranche logée dans ladite étagère, chaque étagère ayant en outre des butées arrière (226) positionnées en arrière et vers l'intérieur des bourrelets s'étendant vers le haut, faisant ainsi obstacle au mouvement vers l'arrière d'une tranche placée dans l'étagère, les butées avant ne s'étendant pas dans le niveau d'introduc- tion, grâce à quoi les tranches peuvent être introduites et enlevées au niveau d'introduction sans que les butées avant n'y fassent obstacle. 17. Support de tranches selon la revendication , caractérisé en ce qu'il comporte en outre une coque transparente extérieure (150) moulée d'une seule pièce, s'étendant autour du côté de gauche, du côté arrière et du côté de droite et les renfermant. 18. Support de tranches selon la revendication , caractérisé en ce que les parties supérieures, la partie inférieure et les colonnes de support de tranches sont moulées séparément en matière dissipant l'électricité statique et sont reliées mécaniquement. 19. Support de tranches selon la revendication 18, caractérisé en ce que les bourrelets entrant en contact avec les tranches sont allongés et orientés vers l'intérieur. 20. Support de tranches selon la revendication 19, caractérisé en ce que chaque colonne d'étagères de support de tranches est formée séparément de la coque extérieure et les colonnes sont reliées à la coque exté- rieure. 21. Support de tranches selon la revendication , caractérisé en ce qu'il comporte en outre une coque extérieure moulée d'une seule pièce constituée de la partie supérieure (152) et de la partie inférieure et s'étendant autour du côté de gauche, du côté arrière et du côté de droite qu'elle renferme. 22. Support de tranches selon la revendication 21, caractérisé en ce que chaque colonne d'étagères est formée séparément de la coque extérieure et est réalisée en une matière dissipant l'électricité statique, le support comportant en outre une partie inférieure de base (76) ayant une interface (82) d'équipement, ladite partie inférieure de base étant formée séparément de la coque extérieure et étant réalisée en une matière dissipant l'électricité statique, chaque colonne d'étagères et la partie inférieure de base étant connectées de façon conductrice. 23. Support de tranches selon la revendication 22, caractérisé en ce que les tranches ont chacune une position de logement (237) sur les étagères respectives, la position de logement étant située au-dessous du niveau d'introduction. 24. Conteneur composé pour tranches destiné à s'enclencher avec une interface mise à la masse sur un équipment de traitement (22), le conteneur ayant une partie intérieure ouverte, un côté avant (30), un côté arrière (34), un côté de gauche (32), un côté de droite (36), un dessus (38) et un dessous (40) et étant caractérisé en ce qu'il comporte un bâti rectangulaire (56) de porte définissant une ouverture pour l'entrée et l'enlèvement de tranches (W) par rapport au conteneur; une coque (150) en matière plastique transparente, ne dissipant pas l'électricité statique et ayant une forme en U, la coque étant reliée au bâti de porte; au moins deux colonnes (27) de support de tranches tournées vers l'intérieur du conteneur, reliées aux côtés du conteneur et formées d'une matière dissipant l'électricité statique; une interface (82) d'équipement située sur le dessous du conteneur, configurée pour s'enclencher avec l'équipement de traitement (22) et formée d'une matière dissipant l'électricité statique; les colonnes de support de tranches étant connectées de façon conductrice à l'interface d'équipement. 25. Support selon la revendication 24, carac- térisé en ce qu'il comporte en outre une poignée (100) de prise robotique située sur l'équipement pour faciliter une prise robotique, la prise robotique formée d'une matière dissipant l'électricité statique et connectée de façon conductrice à l'interface d'équipement, le bâti de porte, les structures de support de tranches et l'interface d'équipement étant connectés de façon conductrice grâce à quoi un trajet menant à la masse est établi pour le bâti de porte, les structures de support de tranches et la poignée de prise robotique. 26. Support selon la revendication 24, carac- térisé en ce que le bâti de porte est formé d'une matière dissipant l'électricité statique et est connecté de façon conductrice à l'interface d'équipement. 27. Support selon la revendication 24, carac- térisé en ce qu'il comporte en outre deux poignées (128) reliées au côté de gauche et au côté de droite, respec- tivement, les poignées étant formées d'une matière dissipant l'électricité statique et étant connectées de façon conduc- trice à l'interface d'équipement. 28. Support selon la revendication 25, caracté- risé en ce que l'interface d'équipement, les structures de support de tranches et les poignées de prise sont connectées de façon conductrice en partie par des connexions volantes (241) en matière plastique conductrice. 29. Conteneur composé ayant un côté avant (30), un côté supérieur (38), un côté inférieur (40), un côté de gauche (32), un côté de droite (36) et un côté arrière (34), le conteneur étant caractérisé en ce qu'il comporte une coque extérieure (150) en matière plastique transparente s'étendant autour du côté de gauche, du côté arrière, du côté de droite et du côté supérieur, deux structures intérieures (27) de support de tranches tournées face à l'intérieur du conteneur et formées d'une matière dissipant l'électricité statique, une partie (82) d'interface d'équipement formée d'une matière dissipant l'électricité statique et positionnée au bas du conteneur pour réaliser une interface avec un équipement (22) de traitement, la partie d'interface d'équipement étant reliée à la coque en matière plastique transparente et étant formée d'une matière dissipant l'électricité statique, une poignée de prise (100) reliée à la coque en matière plastique transparente et formée d'une matière dissipant l'électricité statique, l'interface d'équipement, les structures de support de tranches et la poignée de prise étant connectées de façon conductrice entre elles. 30. Support de tranches, caractérisé en ce qu'il comporte une première partie moulée (50) ayant une première partie de bord, et une saillie adjacente à ladite partie de bord, une seconde partie moulée (52) ayant une seconde partie de bord et une saillie adjacente à ladite partie de bord, la première partie moulée et la seconde partie moulée étant configurées de façon à coopérer pour former une partie de conteneur (26), un élément flexible (128) s'étendant entre les saillies respectives des première et seconde parties moulées et s'enclenchant avec elles pour fixer ainsi l'une à l'autre lesdites parties moulées. 31. Support selon la revendication 30, carac- térisé en ce que l'élément flexible comprend une poignée permettant de porter le support.