Brevet FR2754357A1 — publié le 19980410

PROCEDE DE FABRICATION D'UNE CELLULE A CRISTAL LIQUIDE La présente invention concerne un procédé de fabrication d'une cellule à cristal liquide et plus particulièrement un procédé de contrôle de la préinclinaison d'une cellule à cristal liquide. Afin de fabriquer des afficheurs à cristal liquide présentant une luminosité uni- forme et un taux de contraste élevé, il est nécessaire d'aligner les molécules de cristal liquide dans la couche de cristal liquide selon une certaine direction. Le procédé d'alignement le plus utilisé est le procédé de frottement. Dans le procédé de frotte- ment, la couche d'alignement, qui est une couche de polyimide revêtu de polyamide, est mécaniquement brossée avec un tissu ou autre de sorte à générer des micro- rainures sur la surface de la couche d'alignement. La topologie périodique du substrat d'afficheur à cristal liquide présentant des rainures formées mécaniquement minimise l'énergie de déformation élastique des cristaux liquides en forçant le directeur à s'aligner parallèlement aux microrainures. Dans ce procédé de frottement, toutefois, les défauts des microrainures provoquent des distorsion de phase aléatoire et de la diffusion lumineuse, ce qui détériore la qualité de l'image. En outre, le frottement en utilisant un tissu de frottement dans ce traitement de frottement génère de la poussière et des charges électrostatiques sur la couche d'alignement, ce qui endommage le substrat et provoque une détérioration du rende- ment. Pour résoudre ce problème d'endommagement du substrat et de détérioration du rendement, un procédé de photoalignement utilisant la lumière ultraviolette a été proposé (voir T. Hashimoto et autres, Digest SID 95, pages 877-880). Dans la méthode de Hashimoto, la couche d'alignement, qui est un polymère à base de polyvinylcinnamate est exposée à la lumière ultraviolette dans des directions verti- cales obliques par rapport à la surface de la couche d'alignement, de sorte à imposer une direction de préinclinaison à la couche d'alignement. C'est dire, comme repré- senté sur la figure 1A, que seules les chaînes sur l'axe y du polymère sont dimérisées, et que les autres chaînes latérales dans le plan x-z restent lorsque la couche d'alignement 10 est exposée verticalement par la lumière ultraviolette présentant une direction de polarisation parallèle à l'axe des Y. Dans les figures lA et lB, les flèches en pointillés indiquent la direction de dimérisation du polymère et les flèches en trait plein indiquent la direction des chaînes latérales restantes dans le plan x-z. Grâce à l'exposition verticale à la lumière ultraviolette, les constantes optiques dans le plan y-z sont dirigées parallèlement à l'axe z, tandis que les constantes optiques dans le plan x-z continuent à être anisotropes. Lorsque la couche d'alignement est appliquée et exposée sous incidence oblique avec la lumière ultraviolette présentant une direction de polarisation parallèle au plan x-z, comme représenté dans la figure 1 C, les chaînes latérales parallèles à la direction de polarisation sont dimérisées, de sorte que seules restent les chaînes latérales parallèles à la direction d'irradiation. Les chaînes latérales qui restent interagissent avec les molécules de cristal liquide de sorte à imposer la direction de préinclinaison des molécules de cristal liquide. De ce fait, l'angle de préinclinaison qui détermine l'angle d'inclinaison entre la surface de la couche d'alignement 10 et les molécules de cristal liquide dépend de l'angle d'irradiation de la lumière ultraviolette par rapport à la surface de la couche d'alignement. Lorsque l'angle d'irradiation est de 30 , 45 ou 60 , par exemple, l'angle de préinclinaison est d'environ 0, 15 , 0,26 ou 0,30 . Toutefois, dans le procédé Hashimoto, du fait que la couche d'alignement 10 est exposée à la lumière ultraviolette deux fois, le traitement est compliqué. En outre, du fait que l'angle de préinclinaison généré est très faible, il n'est pas possible d'obtenir un angle de préinclinaison présentant une valeur importante. Dans cette description et dans les revendications annexées, le mot angle de préinclinaison signifie à la fois la direction d'alignement, c'est-àdire la direction azimutale des molécules de cristal liquide destinées à être alignées sur la surface de la couche d'alignement, et l'angle de préinclinaison entre les molécules de cristal liquide destinées à être inclinées et la surface de la couche d'alignement. Dans cette invention, on utilise de préférence comme couche d'alignement un matériau à base de polysiloxane ou du polyvinylfluorocinnamate (PVCN-F). Les formules structurelles du polysiloxanecinnamate et du PVCN-F sont indiquées ci-dessous. Dans ces formules, les polysiloxanecinnamates I et II sont des exemples de matériaux à base de polysiloxanne. PVCN-F: (CH2 - CH2)n O CH = CH -- F "!! n = 300-6000 Polysiloxanecinnlmamrnate I: O I Il. Z - Si - (CH21^ - O + CE -Qul C- ()Y Polysiloxanecimnnamate II: o0 Z-Si -'(CH)o - O - -CH= O Il -"'Jm x - x,-L.- x-K Z = OH, CH3, ou un mélange de OH et CH3, m= 10-100 1= 1-11 L= 0oul 1 K= Ooul X,X1,X2, Y = H,F, CI. CN, CF3, CnH2n+l ou OCnH2n+l (n 1-10) Commne représenté sur la figure 2, l'angle de préinclinaison de la couche d'alignement au polysiloxane ou au PVCN-F dépend de la durée d'irradiation ou de la densité de la lumière ultraviolette, c'est-à-dire que la quantité d'énergie ultra- violette absorbée. Plus l'énergie ultraviolette absorbée est importante, plus l'angle de préinclinaison est faible. En conséquence, l'axe d'alignement est déterminé par la direction de polarisation de la lumière ultraviolette, et l'amplitude de l'angle de préinclinaison dépend de la quantité d'énergie ultraviolette absorbée. La valeur de l'angle de préinclinaison est très importante en ce qui concerne les performances du dispositif de l'afficheur à cristal liquide. Pour un angle de préinclinaison important, les molécules de cristal liquide alignées le long de la direction de préinclinaison présentent un temps de réponse rapide, de sorte qu'on peut arriver à afficher une image présentant une dynamique élevée. Pour un angle de préinclinaison faible, l'image dynamique est modifiée lentement, et la qualité de l'image est détériorée. En outre, du fait que les molécules de cristal liquide répondent avec une grande sensibilité à une tension de pilotage faible pour un angle de préinclinaison faible, la consommation d'énergie décroît. Comme représenté sur la figure 2, l'angle de préinclinaison d'une couche d'alignement en polysiloxane, ou au PVCN-F, peut être contrôlée dans une plage de 0 à 90 . Toutefois, du fait de l'importance de la valeur du gradient de la courbe caractéristique de l'absorption d'énergie, c'est-à-dire le temps d'irradiation de la lumière ultraviolette par rapport à l'angle de préinclinaison dans la région AX, l'amplitude de l'angle de préinclinaison varie de façon abrupte en fonction du temps d'irradiation dans cette région AX. Il est donc très difficile de contrôler avec préci- sion l'angle de préinclinaison dans cette région. De façon pratique, l'angle de pré- inclinaison entre 3 et 5 peut être contrôlé, sauf dans la région AX. Comme décrit ci-dessus, du fait que l'angle de préinclinaison des matériaux à base de polysiloxane ou de PVCN-F est limité dans une plage de 3 à 5 au-dessus de ce qui est possible dans la méthode de Hashimoto, il est impossible d'obtenir un angle de préinclinaison présentant une valeur importante désirée. En outre, du fait que l'angle de préinclinaison varie de façon abrupte en fonction de l'énergie absor- bée, l'angle de préinclinaison ne peut pas être contrôlé avec précision. Un objet de la présente invention est de fournir un procédé de contrôle de l'angle de préinclinaison d'une couche d'alignement, qui permette un contrôle correct de l'énergie thermique absorbée dans la couche d'alignement. Afin d'atteindre cet objet, l'invention propose un procédé de contrôle de la direction de préinclinaison d'une couche d'alignement destinée à être utilisée dans une cellule à cristal liquide, comprenant: - l'application d'énergie thermique à la couche d'alignement; - l'exposition de la couche d'alignement à la lumière de sorte à contrôler la direction de préinclinaison de la couche d'alignement. L'angle de préinclinaison d'une couche d'alignement comprenant des matériaux à base de polysiloxane ou de PVCN-F, par exemple, varie en fonction de l'énergie thermique absorbée dans la couche d'alignement. Pour une énergie ultraviolette absorbée constante, et une température de recuit, plus le temps de recuit est long, plus l'angle de préinclinaison est faible. Pour des temps pour une énergie ultra- violette absorbée et un temps de recuit constant, plus la température de recuit est élevée, plus l'angle de préinclinaison est faible. Dans la courbe d'angle de préincli- naison, en fonction de l'énergie ultraviolette absorbée, le gradient de la courbe dépend de l'énergie thermique absorbée. Pour une énergie UV absorbée constante, et un temps de recuit constant, plus la couche d'alignement est épaisse, plus l'angle de préinclinaison est élevé. Selon un mode de réalisation de la présente invention, pour déterminer la direction de préinclinaison, la couche d'alignement recuite est exposée à la lumière ultraviolette pour imposer deux directions d'alignement perpendiculaires à la direc- tion de polarisation, et elle est ensuite exposée à nouveau à la lumière ultraviolette polarisée ou non polarisée pour sélectionner l'une des deux directions d'alignement. En outre, la direction de préinclinaison peut être déterminée par une exposition unique de la couche d'alignement à la lumière ultraviolette, et par l'injection du cris- tal liquide, qui provoque un effet d'écoulement sur la surface de la couche d'alignement. En outre, une exposition sous incidence oblique de la couche d'alignement à la lumière ultraviolette polarisée crée une direction de préinclinaison dans la couche d'alignement. Selon un mode de réalisation de l'invention, la lumière comprend de la lumière ultraviolette. Selon un mode de réalisation de l'invention, la couche d'alignement comprend des matériaux photosensibles. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de la quantité d'énergie thermique appliquée à la couche d'alignement. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de la quantité d'énergie lumineuse absorbée par la couche d'alignement lorsque la couche d'alignement est exposée à la lumière. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de l'épaisseur de la couche d'alignement. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'étape d'application de l'énergie thermique comprend un recuit de la couche d'alignement pendant une durée prédéterminée à une température prédéterminée. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'étape d'exposition de la couche d'alignement comprend l'exposition de la couche d'alignement à de la lumière polari- sée sous incidence verticale par rapport à la couche d'alignement, et ensuite l'exposition de la couche d'alignement à la lumière non polarisée sous incidence oblique. Selon encore un mode de réalisation de l'invention, ladite étape d'exposition de la couche d'alignement comprend l'exposition de la couche d'alignement sous incidence verticale à de la lumière non polarisée, et ensuite l'exposition de la couche d'alignement à la lumière polarisée sous incidence oblique. Selon encore un mode de réalisation de l'invention, ladite étape d'exposition de la couche d'alignement comprend une exposition de la couche d'alignement à de la lumière polarisée, sous incidence oblique, et ensuite l'exposition de la couche d'alignement à de la lumière non polarisée sous incidence verticale. Selon encore un mode de réalisation de l'invention, ladite étape d'exposition de la couche d'alignement comprend l'exposition de la couche d'alignement à une lumière non polarisée sous incidence oblique, et ensuite l'exposition de la couche d'alignement à une lumière polarisée sous incidence verticale. Selon utm mode de réalisation de l'invention, ladite étape d'exposition de la couche d'alignement comprend l'exposition de la couche d'alignement de la lumière polarisée sous incidence oblique. Selon un mode de réalisation de l'invention, le matériau photosensible comprend un matériau choisi dans le groupe constitué des matériaux à base de polyvinylfluorocinnamate et de polysiloxane. L'invention propose également un procédé de contrôle d'une direction de préinclinaison d'une couche d'alignement destiné à être utilisé dans une cellule à cristal liquide, comprenant: - l'application d'énergie thermique à la couche d'alignement; - l'exposition de la couche d'alignement à la lumière pour imposer deux direc- tions de préinclinaison; et - l'introduction du cristal liquide sur une surface de la couche d'alignement pour assurer un effet d'écoulement sur la surface de la couche d'alignement, ledit effet d'écoulement sélectionnant une des deux directions de préinclinaison. Selon un mode de réalisation de l'invention, la lumière comprend de la lumière ultraviolette. Selon un mode de réalisation de l'invention, la couche d'alignement comprend des matériaux photosensibles. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de la quantité d'énergie thermique appliquée à la couche d'alignement. Selon encore un mode de réalisation de l'invention, l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de la quantité d'énergie lumineuse absorbée par la couche d'alignement lorsque la couche d'alignement est exposée à la lumière. Selon encore unl mode de réalisation de l'invention, l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de l'épaisseur de la couche d'alignement. Dans le procédé selon la présente invention, ladite étape d'application d'énergie thermique peut comprendre un recuit de la couche d'alignement pendant une durée prédéterminée, à une température prédéterminée. Selon un mode de réalisation de l'invention, ladite étape d'exposition de la couche d'alignement à la lumière comprend l'exposition de la couche d'alignement à une lumière polarisée sous incidence verticale. Selon un mode de réalisation de l'invention, les matériaux photosensibles comprennent un matériau choisi parmi le groupe formé des matériaux à base de polyvinylfluorocinnamate et de polysiloxane. L'invention propose également un procédé de contrôle de l'angle de préincli- naison d'une couche d'alignement destinée à être utilisée dans une cellule à cristal liquide, comprenant: - la fourniture d'une couche d'alignement sur un substrat; - l'application d'une énergie thermique à la couche d'alignement de sorte à déterminer l'amplitude de l'angle de préinclinaison. Selon un mode de réalisation de l'invention, la couche d'alignement comprend des matériaux photosensibles. Selon un mode de réalisation de l'invention, ladite étape d'application de l'énergie thermique comprend un recuit de la couche d'alignement pendant une durée prédéterminée et à une température prédéterminée. Selon encore un mode de réalisation de l'invention, les matériaux photosensibles comprennent les matériaux choisis parmi le groupe constitué par les matériaux à base de polyvinylfluorocinnamate et de polysiloxane. D'autres objets et avantages de l'invention apparaîtront de la description qui suit, ou de la mise en oeuvre de l'invention. Ces objets et avantages de l'invention apparaîtront notamment dans la descrip- tion d'un mode de réalisation donné en référence aux dessins qui montrent: - les figures 1A, IB et 1C représentent un procédé de photoalignement classique; - la figure 2 est une représentation graphique de l'angle de préinclinaison en fonction de l'énergie ultraviolette absorbée dans une cellule à cristal liquide classique; - la figure 3 est une représentation graphique de l'angle de préinclinaison en fonction de l'énergie ultraviolette absorbée dans une cellule à cristal liquide selon un mode de réalisation de la présente invention; - la figure 4 est une représentation graphique montrant l'angle de préinclinaison en fonction du temps de recuit dans une cellule à cristal liquide selon un mode de réalisation de la présente invention; - la figure 5 est une représentation graphique de l'angle de préinclinaison en fonction de l'énergie ultraviolette absorbée, et de l'épaisseur de la couche d'alignement de la cellule à cristal liquide selon le mode de réalisation de la présente invention; - la figure 6 est une représentation graphique du procédé de photoalignement selon un mode de réalisation de la présente invention. Il est maintenant fait référence en détail aux modes de réalisation préférés de l'invention, dont un exemple est illustré dans les dessins joints. Dans la mesure du possible, les mêmes numéros sont utilisés dans l'ensemble des dessins pour identifier des éléments similaires ou identiques. Afin de déterminer la direction de préinclinaison d'une couche d'alignement, les matériaux à base de polysiloxane ou de PVCN-F de la couche d'alignement disposée sur le substrat doivent être recuits pendant une certaine période avant que la couche d'alignement ne soit exposée à la lumière ultraviolette. La relation entre l'énergie ultraviolette absorbée Euv et l'angle de préinclinaison 0p pour chaque temps de recuit est représenté sur la figure 3. Sur cette figure, les courbes a, b, c sont des courbes caractéristiques d'une couche d'alignement recuite à une température d'environ 180 C à 220 C pour des durées respectives de 5, 4 et 3 heures. En outre, des régions Aax, Abx et Acx montrent la quantité d'énergie ultraviolette nécessaire pour faire varier l'amplitude de l'angle de préinclinaison Op, pour les courbes respec- tives a, b et c. Comme représenté, plus le temps de recuit de la couche d'alignement est faible, plus la quantité d'énergie ultraviolette nécessaire pour faire varier l'amplitude de l'angle de préinclinaison est faible 0p(ax d'exposition, on peut obtenir un angle de préinclinaison Op (dans les régions ci- dessus) qui est beaucoup plus important que celui de l'art antérieur, et on peut assurer un contrôle correct de l'angle de préinclinaison Op. La figure 4 est une représentation graphique de l'angle de préinclinaison en fonction du temps de recuit, pour une énergie ultraviolette absorbée constante. Les courbes respectives représentent des courbes caractéristiques pour des températures d'environ 150 C, 200 C et 250 C. Ces courbes sont tracées en fonction des mesures après recuit et exposition de la couche d'alignement. Pour une énergie ultraviolette absorbée constante Euv, et une température de recuit constante, comme représenté sur la figure 4, plus le temps de recuit H est important plus l'angle de préinclinaison p est faible. Pour une énergie ultraviolette absorbée Euv constante, et un temps de recuit H constant, plus la température de recuit est élevée, plus l'angle de préinclinai- son 0p est faible. Ainsi, plus l'énergie thermique absorbée par la couche d'alignement est importante, plus l'angle de préinclinaison Op est faible. En référence à la figure 5, l'angle de préinclinaison Op dépend de l'épaisseur des matériaux à base de polysiloxane ou PVCN-F de la couche d'alignement. Plus précisément, plus la couche d'alignement est épaisse, plus l'angle de préinclinaison Op est important. Sur la figure 5, les axes horizontaux et verticaux indiquent respec- tivement l'énergie ultraviolette absorbée Euv et l'angle de préinclinaison Op. Les courbes a et b sont des courbes caractéristiques pour une couche d'alignement présentant respectivement une épaisseur de 40 angstrôms et de 800 angstroems, et pour un temps de recuit constant. Comme on le voit sur la figure en fonction de l'augmentation de l'épaisseur de la couche d'alignement, l'amplitude de l'angle de préinclinaison Op augmente, ainsi que la taille de la région de lumière ultraviolette Aax Abx permettant de faire varier l'amplitude de l'angle de préinclinaison 0p et, de ce fait, on peut commander correc- tement l'amplitude de l'angle de préinclinaison 0p en faisant augmenter l'épaisseur de la couche d'alignement. La couche d'alignement recuite est exposée sous incidence verticale avec la lumière ultraviolette polarisée pour déterminer deux directions de préinclinaison opposées, la direction d'alignement et l'angle de préinclinaison, par rapport à la ligne normale à la surface de la couche d'alignement. La couche d'alignement recuite est ensuite exposée sous incidence oblique à la lumière ultraviolette non polarisée pour sélectionner l'une des deux directions opposées. A ce moment, la direction choisie est parallèle à la direction d'irradiation de la seconde lumière ultraviolette. La couche d'alignement recuite peut être exposée sous incidence oblique à une lumière ultraviolette non polarisée, puis ensuite sous incidence verticale avec cde la lumière ultraviolette polarisée pour déterminer la direction de préinclinaison. En outre, la direction de préinclinaison peut être déterminée par la première exposition sous incidence oblique de la couche d'alignement recuite par la lumière ultraviolette non polarisée, et par une seconde exposition sous incidence oblique à la lunière ultraviolette polarisée. Dans ce cas, il est possible d'exposer sous incidence oblique la couche d'alignement à la lumière ultraviolette non polarisée, puis ensuite d'exposer sous incidence oblique la couche d'alignement à la lumière ultraviolette polarisée. Un autre procédé de formation de la direction de préinclinaison consiste à utili- ser l'effet d'écoulement du cristal liquide. Lorsque la couche d'alignement recuite est exposée sous incidence verticale à la lumière ultraviolette polarisée, on détermine deux directions de préinclinaison symétriques par rapport à la direction normale à la surface de la couche d'alignement. Ensuite, une de ces deux directions de préinclinai- son symétrique est choisie, dans la direction d'écoulement, grâce à l'effet d'écoulement lors de l'injection du cristal liquide entre les deux couches d'alignement. Dans ce cas aussi, l'amplitude de l'angle de préinclinaison Op dépend de l'énergie thermique absorbée et de l'énergie ultraviolette absorbée. En outre, la direction de préinclinaison peutit être déterminée par une exposition unique à la lumière ultraviolette polarisée. La couche d'alignement recuite 10 est exposée sous incidence oblique à la lumière ultraviolette polarisée comme représenté sur la figure 6. Lorsque l'on expose la couche d'alignement à la lumière ultraviolette. les chaînes latérales du polymère, qui sont parallèles à la direction de polarisation de la lumière ultraviolette sont dimérisées, comme représenté par le signe dp sur la figure 6; de la sorte, seules restent les chaînes latérales (indiquées par le signe sur la figure 6) qui sont sensiblement parallèles à la direction d'irradiation de ia lumière ultraviolette. Ainsi, les molécules de cristal liquide interagissent avec les chaînes latérales du polymère de sorte à aligner les molécules de cristal liquide dans une direction parallèle à la direction d'irradiation. Dans ce cas, 0 est l'angle que forment les chaînes latérales du polymère par rapport à la surface de la couche d'alignement 10. Cet angle devient l'angle d'inclinaison entre les molécules de cristal liquide et la couche d'alignement 10, après l'interaction entre les molécules et la couche d'alignement 10. Dans l'invention décrite ci-dessus, du fait que l'amplitude de l'angle de pré- inclinaison dépend de l'énergie thermique absorbée par la couche d'alignement, on peut obtenir et contrôler un angle de préinclinaison d'une amplitude désirée, pour le traitement de photoalignement. Ainsi, on améliore la qualité de l'image. Du fait qu'un angle de préinclinaison d'une valeur importante est obtenu en contrôlant l'énergie d'absorption thermique et l'épaisseur de l'alignement, le temps de réponse des molécules de cristal liquide augmente, ce qui provoque une décroissance de la consommation d'énergie. D'autres modes de réalisation de la présente invention apparaîtront à l'homme de l'art à la lecture de cette description et de la mise en oeuvre de l'invention qui est décrite. De ce point de vue, la description et les modes de réalisation ne doivent être considérés qu'à titre d'exemple. REVENDICATIONS 1.- Procédé de contrôle de la direction de préinclinaison d'une couche d'alignement destinée à être utilisée dans une cellule à cristal liquide, comprenant - l'application d'énergie thermique à la couche d'alignement; l'exposition de la couche d'alignement à la lumière de sorte à contrôler la direction de préinclinaison de la couche d'alignement. 2.- Le procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la lumière comprend de la lumière ultraviolette. 3.- Le procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la couche d'alignement comprend des matériaux photosensibles. 4.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de la quantité d'énergie thermique appliquée à la couche d'alignement. 5.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de la quantité d'énergie lumineuse absorbée par la couche d'alignement lorsque la couche d'alignement est exposée à la lumière. 6.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de l'épaisseur de la couche d'alignement. 7.- Le procédé selon l'mune des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que l'étape d'application de l'énergie thermique comprend mun recuit de la couche d'alignement pendant une durée prédéterminée à une température prédéterminée. 8.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'étape d'exposition de la couche d'alignement comprend l'exposition de la couche d'alignement à de la lumière polarisée sous incidence verticale par rapport à la couche d'alignement, et ensuite l'exposition de la couche d'alignement à la lumière non polarisée sous incidence oblique. 9.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que ladite étape d'exposition de la couche d'alignement comprend l'exposition de la couche d'alignement sous incidence verticale à de la lumière non polarisée, et ensuite l'exposition de la couche d'alignement à la lumière polarisée sous incidence oblique. 10.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que ladite étape d'exposition de la couche d'alignement comprend une exposition de la couche d'alignement à de la lumière polarisée, sous incidence oblique, et ensuite l'exposition de la couche d'alignement à de la lumière non polarisée sous incidence verticale. 11.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que ladite étape d'exposition de la couche d'alignement comprend l'exposition de la couche d'alignement à une lumière non polarisée sous incidence oblique, et ensuite l'exposition de la couche d'alignement à une lumière polarisée sous incidence verti- cale. 12.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que ladite étape d'exposition de la couche d'alignement comprend l'exposition de la couche d'alignement de la lumière polarisée sous incidence oblique. 13.- Le procédé selon l'une des revendications 3 à 12, caractérisé en ce que le matériau photosensible comprend un matériau choisi dans le groupe constitué des matériaux à base de polyvinylfluorocinnamate et de polysiloxane. 14.- Un procédé de contrôle d'une direction de préinclinaison d'une couche d'alignement destiné à être utilisé dans une cellule à cristal liquide, comprenant: - l'application d'énergie thermique à la couche d'alignement; - l'exposition de la couche d'alignement à la lumière pour imposer deux direc- tions de préinclinaison; et - l'introduction du cristal liquide sur une surface de la couche d'alignement pour assurer un effet d'écoulement sur la surface de la couche d'alignement, ledit effet d'écoulement sélectionnant une des deux directions de préinclinaison. 15.- Le procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce que la lumière comprend de la lumière ultraviolette. 16.- Le procédé selon la revendication 14 ou 15, caractérisé en ce que la couche d'alignement comprend des matériaux photosensibles. 17.- Le procédé selon la revendication 14, 15 ou 16, caractérisé en ce que l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de la quantité d'énergie thermique appliquée à la couche d'alignement. 18.- Le procédé selon la revendication 14, 15 ou 16, caractérisé en ce que l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de la quantité d'énergie lumineuse absorbée par la couche d'alignement lorsque la couche d'alignement est exposée à la lumière. 19.- Le procédé selon l'une des revendications 14 à 18, caractérisé en ce que l'amplitude de l'inclinaison de la direction de préinclinaison de la couche d'alignement est fonction de l'épaisseur de la couche d'alignement. 20.- Le procédé selon l'une des revendications 14 à 19, dans lequel ladite étape d'application d'énergie thermique comprend un recuit de la couche d'alignement pendant une durée prédéterminée, à une température prédéterminée. 21.- Le procédé selon l'une des revendications 14 à 20, caractérisé en ce que ladite étape d'exposition de la couche d'alignement à la lumière comprend l'exposition de la couche d'alignement à une lumière polarisée sous incidence verti- cale. 22.- Le procédé selon l'une des revendications 16 à 21, caractérisé en ce que les matériaux photosensibles comprennent un matériau choisi parmi le groupe formé des matériaux à base de polyvinylfluorocinnamate et de polysiloxane. 23.- Un procédé de contrôle de l'angle de préinclinaison d'une couche d'alignement destinée à être utilisée dans une cellule à cristal liquide, comprenant: - la fourniture d'une couche d'alignement sur un substrat; l'application d'une énergie thermique à la couche d'alignement de sorte à déterminer l'amplitude de l'angle de préinclinaison. 24.- Un procédé selon la revendication 23, caractérisé en ce que la couche d'alignement comprend des matériaux photosensibles. 25.- Le procédé selon la revendication 23 ou 24, caractérisé en ce que ladite étape d'application de l'énergie thermique comprend un recuit de la couche d'alignement pendant une durée prédéterminée et à une température prédéterminée. 26.- Le procédé selon la revendication 24 ou 25, caractérisé en ce que les matériaux photosensibles comprennent les matériaux choisis parmi le groupe constitué par les matériaux à base de polyvinylfluorocinnamate et de polysiloxane.