Brevet FR2756665A1 — publié le 19980605

AFFICHEUR A CRISTAL LIQUIDE ET SON PROCEDE DE FABRICATION La présente invention concerne un afficheur à cristal liquide (LCD) et un procédé de fabrication de cet afficheur, et plus particulièrement un afficheur à cristal liquide présentant des défauts réduits ainsi qu'un procédé de fabrication d'un affi- cheur à cristal liquide ayant comme élément de commutation des transistors en couche mince (TFT). Un afficheur à cristal liquide classique est décrit en référence à la figure 1. Une ligne de bus de grille 17 est formée horizontalement, et une électrode de grille est en saillie par rapport à cette ligne de bus de grille 17. Une ligne de bus de données 15 est formée verticalement, et une électrode de source 15 Sa est en saillie par rapport à cette ligne de bus de source 15. Un transistor en couche mince 8 est formé au voisinage de l'intersection de la ligne de bus de grille 17 et de la ligne de bus de source 15. Une électrode de drain 15b est formée de sorte à être électriquement reliée à une électrode de pixel 4. La structure de l'afficheur à cristal liquide classique est décrite plus en détail en référence aux figures 2 et 3, qui montrent des vues en coupe transversale le long des lignes II-II et III-III de la figure 1, respectivement. En référence à la figure 2, une électrode de grille 17a, qui est en saillie par rapport à une ligne de bus de grille, est formée sur un substrat transparent 11. Une couche anodiquement oxydée 35 est formée sur l'électrode de grille 17a, de sorte à améliorer les propriétés d'isolation de l'électrode de grille 17a et d'empêcher la formation de monticules. Une couche d'isolation de grille 23, qui est réalisée en un matériau inorganique tel que SiNx ou SiOx, est formée sur toute la surface du substrat transparent 11, y compris sur l'électrode de grille 17a. Une couche semi- conductrice 22 en silicium amorphe (a-Si) est formée sur la couche d'isolation de grille 23 au-dessus de l'électrode de grille 17a. Une couche de contact ohmique 25 est formée sur la couche semi-conductrice 22. Une électrode de source 1 5a en saillie par rapport à la ligne de bus de grille 15 et une électrode de drain 15b sont formées à une certaine distance l'une de l'autre, chacune des électrodes étant formée sur la couche de contact ohmique 25. Une couche de protection 26, réalisée en un matériau organique tel que du benzocyclobutène (BCB), est formée de sorte à recouvrir toute la surface du substrat 1 1, y compris l'électrode de source 15a et l'électrode de drain b. L'électrode de pixel 4 est formée d'un matériau conducteur transparent tel que de l'oxyde d'étain et d'indium (ITO) et est formée sur la couche de protection 26 et est reliée à l'électrode de drain 15b par l'intermédiaire d'un trou de contact 31 formé dans la couche de protection 26. Les lettres de référence A et B sur les figures 1 à 3 montrent des parties de l'électrode de pixel 4 qui ont été trop attaquées. En référence à la figure 3, la couche d'isolation 23, qui est réalisée en un mate- riau isolant inorganique tel que SiNx ou SiOx, est formée sur le substrat transparent 1 1, et la ligne de bus de données 15 est formée au- dessus de cette couche. La couche de protection 26, qui est réalisée en BCB, recouvre toute la surface du substrat. v compris la ligne de bus de données 15, sur laquelle l'électrode de pixel 4 va être formée. Les lettres de référence A et B indiquent les portions de l'électrode de pixel qui ont été trop attaquées. Du fait de ces portions trop attaquées, il se produit des fuites de lumière dans les surfaces indiquées par (1) et (2). Dans les afficheurs à cristal liquide classiques, la couche de protection est formée d'un matériau isolant organique tel que du BCB, qui présente une bonne propriété d'aplanissement, et une constante diélectrique plus faible que celle d'un matériau isolant inorganique. En conséquence, l'électrode de pixel 4 peut être formée en recouvrement des lignes de bus de données 15. Le résultat est que l'on peut améliorer le taux d'ouverture de l'afficheur à cristal liquide. L'électrode de pixel, toutefois, ne peut pas dans la pratique être formée selon une structure ou un motif désigné (illustré par les lignes en pointillés sur la figure 1). Ceci résulte du fait que lors de l'enlèvement de l'oxyde d'étain et d'indium (ITO) par attaque, l'agent d'attaque s'infiltre à l'interface entre la couche d'ITO 4 et la couche de protection isolante organique 26, ce qui provoque une attaque excessive de la couche d'ITO. Les portions qui sont trop attaquées sont référencées A et B sur les figures I à 3. Il est difficile de contrôler ces portions trop attaquées. En outre. l'électrode de pixel provoque des fuites de lumière dans les portions (1) et (2) de la figure 3. En conséquence, les qualités de contraste et d'affichage des LCD classiques se détériorent. Plus en détail, la couche d'ITO est trop attaquée par l'agent d'attaque qui s'infiltre dans les fissures de la couche d'ITO ou à l'interface entre la couche d'ITO et la couche de protection organique. Les fissures sont formées lors du dépôt et de la structuration de la couche d'ITO sur la couche de protection du fait des différences dans les coefficients de dilatation thermique entre ces deux couches. L'interface entre ces deux couches présente de mauvaises propriétés d'adhésion. En référence à la figure 4, lorsque la couche d'ITO sur la couche de protection 26 réalisée en un matériau organique tel que BCB, est structurée pour former l'électrode de pixel 4 en utilisant un agent photorésistant 300, la couche d'ITO est trop attaquée, sur une zone A par l'agent d'attaque (indiqué par la ligne fléchée qui s'infiltre dans l'interface 200 entre la couche 26 et l'ITO 4. En conséquence, la présente invention concerne un afficheur à cristal liquide et un procédé de fabrication de cet afficheur qui pallie sensiblement les problèmes dus aux limitations et aux inconvénients de l'art antérieur. 4:. I *, 1 1t91 l I (997 2/I *. Un objet de l'invention est de fournir un afficheur à cristal liquide présentant une électrode de pixel structurée précisément, sur une couche de protection réalisée en un matériau isolant organique. Un autre objet de l'invention est de fournir un afficheur à cristal liquide présentant un taux d'ouverture élevé avec un rendement de fabrication amélioré, en structurant précisément la couche d'électrode de pixel qui est disposée sur la couche de protection de sorte à ce qu'elle présente une forme désirée. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront dans la description qui suit ou pourront être enseignées par la mise en oeuvre de l'invention. Ces objectifs et d'autres avantages de l'invention peuvent être réalisés et obtenus par la structure qui est décrite spécifiquement dans la description et les revendications qui suivent, ainsi que dans les dessins joints. Pour atteindre ces avantages ainsi que d'autres et selon les buts de la présente invention, il est proposé un procédé de fabrication d'un afficheur à cristal liquide présentant une ligne de bus de grille et une ligne de bus de données, et un élément de commutation avec une électrode de drain sur un substrat, le procédé incluant les étapes de formation d'une couche de protection au-dessus du substrat pour recouvrir la ligne de bus de grille, la ligne de bus de données et l'élément de commutation; le traitement de la surface de la couche de protection pour la rendre rugueuse; l'enlèvement d'une portion de la couche de protection pour définir un trou de contact dans la couche de protection au-dessus de l'électrode de drain de l'élément de commutation; et la formation d'une électrode de pixel sur la surface rugueuse de la couche de protection, l'électrode de pixel étant reliée à l'électrode de drain à travers le trou de contact. Selon un mode de réalisation, l'étape de formation de la couche de protection comprend une étape de dépôt d'un matériau isolant organique sur le substrat. Selon un autre mode de réalisation, l'étape de dépôt du matériau isolant organique comprend l'étape de dépôt d'au moins un matériau choisi parmi une résine de polyimide, une résine acrylique, une résine thermodurcissable et une résine thermoplastique. Selon un autre mode de réalisation, l'étape de dépôt du matériau isolant organique comprend l'étape de dépôt d'au moins un matériau choisi parmi le benzocyclobutène, le polyimide fluoré, le perfluorocyclobutane et le fluo- ropolyaryléther. Selon encore un mode de réalisation, l'étape de traitement comprend une étape de traitement par au moins un traitement choisi parmi l'attaque par pulvérisation, l'attaque sèche et le traitement aux ultraviolets. 1.- I," "".",1 ", 1[, 7 U l?- t/16} Selon un autre mode de réalisation, l'étape de dépôt du matériau isolant organique comprend l'étape de dépôt d'un matériau photosensible. Selon encore un autre mode de réalisation, l'étape d'enlèvement comprend l'étape d'enlèvement de la portion de la couche de protection par attaque sèche pour définir le trou de contact. Selon un autre mode de réalisation, l'étape de formation de l'électrode de pixel comprend l'étape de formation d'une électrode de pixel pour recouvrir au moins l'une parmi la ligne de bus de grille et la ligne de bus de données. Selon encore un autre mode de réalisation, l'étape de formation de l'électrode de pixel comprend une étape de dépôt d'oxyde d'étain et d'indium sur le substrat. Selon un autre aspect, l'invention propose un afficheur à cristal liquide comprenant un substrat; une ligne de bus de grille sur le substrat; une ligne de bus de données sur le substrat; un élément de commutation au-dessus du substrat, une couche de protection recouvrant la ligne de bus de grille; la ligne de bus de données et l'élément de commutation, la couche de protection présentant un profil de surface sensiblement rugueux, et une électrode de pixel au-dessus de la surface rugueuse de la couche de protection. Selon un mode de réalisation, la couche de protection comprend un matériau organique isolant. Selon un autre mode de réalisation, le matériau isolant organique comprend au moins un matériau choisi parmi la résine de polyimide, la résine acrylique, la résine thermodurcissable et la résine thermoplastique. Selon un autre mode de réalisation, le matériau isolant organique comprend au moins un matériau choisi parmi le benzocyclobutène, le polyimide fluoré. le perfluorocyclobutane et le fluoropolyaryléther. Selon un autre mode de réalisation, le matériau isolant organique comprend un matériau organique photosensible. Selon un autre mode de réalisation, la surface sensiblement rugueuse de la couche de protection est formée par au moins un procédé choisi parmi un procédé d'attaque par pulvérisation. un procédé d'attaque sèche et un procédé de traitement aux ultra-violets. Selon un autre mode de réalisation, l'électrode de pixel comprend de l'oxvde d'étain et d'indium. Selon un autre mode de réalisation, l'électrode de pixel recouvre au moins l'une parmi la ligne de bus de grille et la ligne de bus de données. Selon encore un autre mode de réalisation, l'élément de commutation présente une électrode de drain, la couche de protection présente un trou de contact et l'électrode de pixel est reliée à l'électrode de drain à travers le trou de contact. 14952 DO(C - I1 nolvclIlc I') > 4 1I, Selon un autre aspect, la présente invention fournit un procédé de fabrication d'une structure stratifiée d'une couche organique et d'une couche conductrice transpa- rente au-dessus d'un substrat destiné à être utilisé dans l'afficheur à cristal liquide. le procédé comprenant les étapes de formation de la couche organique au-dessus du substrat; de la réalisation d'un traitement parmi au moins une attaque sèche, une attaque par pulvérisation et une irradiation aux ultra-violets sur la couche organique, de sorte à rendre rugueuse la surface exposée de la couche organique et à augmenter la surface de la couche exposée; et la formation d'une couche conductrice transpa- rente sur la surface rugueuse de la couche organique. Selon un mode de réalisation, l'étape de formation de la couche organique comprend l'étape de dépôt d'au moins un matériau choisi parmi le benzocyclobutène. le polyimide fluoré, le perfluorocyclobutane et le fluoropolyaryléther, et en ce que l'étape de formation de la couche conductrice transparente comprend l'étape de dépôt d'oxyde d'étain et d'indium. Selon un autre mode de réalisation, l'étape de formation de la couche organique comprend l'étape de dépôt d'au moins un matériau choisi parmi une résine polyimide, une résine acrylique, une résine thermodurcissable et une résine thermoplastique, et en ce que l'étape de formation de la couche conductrice transparente comprend l'étape de dépôt d'oxyde d'étain et d'indium. Selon encore un de ses aspects, la présente invention fournit un afficheur à cristal liquide comprenant: un substrat; une pluralité d'éléments de commutation au- dessus du substrat et une couche d'isolation organique présentant une surface inférieure et une surface supérieure au-dessus du substrat, la surface inférieure faisant face au substrat et recouvrant la surface du substrat, y compris la pluralité d'éléments de commutation, la surface supérieure présentant un profil sensiblement rugueux qui est sensiblement indépendant du profil de la surface inférieure, et une pluralité d'électrodes conductrices transparentes sur la surface supérieure de la couche d'isolation organique, chacune des électrodes conductrices transparentes étant reliée à l'un des éléments de commutation. Selon un mode de réalisation. la couche isolante organique comprend au moins un matériau choisi parmi le benzocyclobutène, le polyimide fluoré, le perfluorocyclobutane et le fluoropolyaryléther, et en ce que chacune des électrodes conductrices transparentes comprend de l'oxyde d'étain et d'indium. Selon un autre mode de réalisation, la couche isolante organique comprend au moins un matériau choisi parmi une résine polyimide, une résine acrylique, une résine thermodurcissable et une résine thermoplastique, et en ce que chaque électrode conductrice transparente comprend de l'oxyde d'étain et d'indium. Il doit être entendu que la description générale qui précède et la description détaillée qui suit ne sont données qu'à titre d'exemple et d'explication et sont desti- nées à permettre une meilleure compréhension de l'invention telle que revendiquée. Les dessins joints, qui permettent de mieux comprendre l'invention et consti- tuent une partie de cette description, illustrent des modes de réalisation de l'invention et servent à expliquer ses principes. Ces dessins montrent: - figure 1, une vue de dessus d'un afficheur à cristal liquide classique; - figures 2 et 3 des vues en coupe transversale de l'afficheur à cristal liquide classique de la figure 1; - figure 4, une vue en section transversale montrant une couche d'oxyde d'étain et d'indium trop attaquée dans un afficheur à cristal liquide classique; - figure 5, une vue de dessus montrant un afficheur à cristal liquide selon un mode de réalisation préféré de la présente invention; - figure 6, une vue en coupe transversale d'un afficheur à cristal liquide le long de la ligne VI-VI de la figure 5; et - figures 7A à 7H, des vues en coupe transversale selon les lignes VII-VII de la figure 5 montrant les étapes de fabrication d'un afficheur à cristal liquide selon un mode de réalisation préféré de la présente invention. Il est maintenant fait référence en détail aux modes de réalisation préférés de la présente invention dont des exemples sont illustrés dans les dessins joints. Un afficheur à cristal liquide selon un mode de réalisation préféré de la présente invention comprend une couche de protection organique, recouvrant une ligne de bus de grille, une ligne de bus de données et un élément de commutation. Un trou de contact est formé dans la couche de protection organique. Une électrode de pixel formée sur la couche de protection organique est reliée à l'élément de commutation à travers un trou de contact. La surface de la couche de protection organique est traitée par attaque par pulvérisation, par attaque sèche ou par un trai- tement aux radiations ultraviolettes de sorte à produire un profil de surface rugueux ou irrégulier. Les figures 5 et 6 montrent l'afficheur à cristal liquide présentant une structure décrite ci-dessus. selon un mode de réalisation préféré de la présente invention. l.a figure 5 est une vue de dessus montrant l'afficheur à cristal liquide, et la figure 6 est une vue en coupe transversale de l'afficheur à cristal liquide le long de la ligne VI--VI de la figure 5, les références 104, 111, 115, 117, 123 et 126 indiquent res- pectivement l'électrode de pixel, un substrat transparent, une ligne de bus de données, une ligne de bus de grille, une couche d'isolation de grille et une couche de protection organique. 14952 DO lt,"7 - 19 /Il, Comme représenté sur la figure 6, la couche de protection organique 126 présente un profil de surface rugueux. L'afficheur à cristal liquide présentant une telle structure augmente l'interface entre la couche de protection organique et la surface de la couche d'ITO (référencée 104 dans cet exemple). Ceci améliore l'adhésion entre la couche de protection organique et la couche d'ITO. En conséquence, on peut efficacement empêcher l'infiltration de l'agent d'attaque dans l'interface. Un procédé de fabrication d'un afficheur à cristal liquide selon la présente invention va maintenant être décrit en référence aux figures 7A à 7H. Les figures 7A l O à 7H sont des vues en coupe transversale le long de la ligne VII- VII de la figure 5 et montrent les étapes de fabrication de l'afficheur à cristal liquide. En référence à la figure 7A, un premier métal, tel que l'aluminium, un alliage d'aluminium, Cr ou Mo, est déposé sur un substrat transparent 111. Un agent photo- sensible est déposé sur la couche métallique et est développé de sorte à former un motif désiré. L'électrode de grille 117a en saillie par rapport à une ligne de bus de grille (non représentée sur la figure) est formée par attaque humide de la couche métallique en suivant le motif de l'agent photosensible. Dans cette étape, il est préfé- rable de former une électrode de grille 117a présentant des bords chanfreinés afin d'éviter des profils avec un épaulement marqué (figure 7A). Comme représenté sur la figure 7B, une couche oxydée anodiquement 135 et formée en recouvrant l'électrode de grille 117a de sorte à améliorer la capacité d'isolation de l'électrode de grille 117a et d'empêcher la formation de monticules. Si on utilise Cr ou Mo comme premier métal, l'anodisation n'est normalement pas nécessaire. Ensuite, un matériau inorganique tel que SiNx ou SiOx (à partir desquels la couche d'isolation de grille 123 est formée), a-Si (silicium amorphe) (à partir duquel la couche semi-conductrice 122 est formée) et n+ a-Si (à partir de laquelle une couche de contact ohmique 125 est formée) sont successivement déposées sur toute la surface du substrat comme représenté sur la figure 7C. I 0 1". Xt",1" l... -7/1 masque, comme représenté sur la figure 7E. En référence à la figure 7F, une couche de protection 126 est formée sur toute la surface, cette couche de protection 126 étant réalisé en un matériau organique isolant choisi parmi les résines thermodurcissables, telles que la résine de polyimidc. la résine acrylique, le phénol, le polyester, le silicone, l'acryle et l'uréthanne, et les résines thermoplastiques telles que le polycarbonate, le polyéthylène et le polysty- rêne, ainsi que les matériaux organiques représentés dans le tableau 1 ci-dessous, tels que le benzocyclobutène (BCB), le polyimide fluoré, le perfluorocyclobutane (PFCB) et le fluoropblyaryléther (FPAE), et le polymère de siloxane. Ensuite, un agent photosensible est déposé sur la couche de protection 126 et développé pour présenter la forme désirée. Un trou de contact 131 est formé en atta- quant la couche de protection 126 en suivant le motif d'agent photosensible, comme montré à la figure 7F. Le trou de contact 131 est formé au-dessus de l'électrode de drain 115b par une méthode d'attaque sèche. 14952 DO( - I C Imbl 197 X, Tableau 1-1 Constante diélectrique de matériaux organiques Matériau Constante Structure organique diélectrique Polyimide 2,7 CF CF, fluoré -t- / N I 'co/! 'co/ R CF1 CF. Téflon 2,1-1,9 CF2-CF2 -CFj / N CFi CF) J Cytop 2,1(CF2)x [ /(CF2)x CF2--CF CF--(CF2)2-- (CF2) y BCB 2,7 CH] CH, 1 CHOU CHy pCH - CH - S -- OS CH,_ CHC,0 ou Mc Fc xylè.ne CF2 CF2 Fluoro- 2,6 polyaryl- éther Para- 2,4 xylène ( F fluoré C F2 I _ IQ __ C2 I' -- Si la couche de protection 126 est sensible à la lumière, le trou de contact 1 3 1 peut être directement formé sans utilisation d'agent photosensible. Le matériau iso- lant organique formant la couche de protection 126 présente une constante diélec- trique relative inférieure à celle des matériaux isolants inorganiques. En coInsé- quence, la capacité parasitaire entre la ligne de bus de données et l'électrode de pixel qui doit être formée est faible, ce qui élimine le courant de fuite et la diaphonie. Si. au contraire, la couche de protection 126 était formée d'un matériau isolant inorganique qui présente une constante diélectrique relativement élevée, les capacités parasitaires entre les lignes de bus de données et l'électrode de pixel auraient été plus importantes. Ceci résulte du fait que le courant de fuite et à la diaphonie au niveau de l'électrode de pixel sont proportionnels à la capacité parasitaire. Dans la présente invention, le courant de fuite et à la diaphonie peuvent être empêchés du fait que la protection est réalisée en un matériau organique isolant qui présente une constante diélectrique relative assez faible. En outre, la surface de la couche de protection 126 en matériau organique isolant présente un niveau sensible- ment constant sur toute la région du substrat, de telle sorte à permettre d'obtenir tii espacement sensiblement uniforme dans les cellules et à réduire les défauts qui peuvent être générés pendant le traitement de frottement sur le film d'alignement pour le cristal liquide. En conséquence, en formant la couche de protection 126 en un matériau organique isolant, on peut obtenir un afficheur à cristal liquide présentant un taux d'ouverture élevé et un espacement uniforme dans la cellule. Ensuite, comme représenté sur la figure 7G, la surface de la couche de protec- tion 126 est rendue rugueuse par attaque par pulvérisation, par attaque sèche ou par un procédé de traitement aux radiations ultraviolettes. Dans ce mode de réalisation, l'attaque par pulvérisation utilise un gaz de plasma contenant Ar, 02 ou Ar et 02, par exemple, pour provoquer une réaction physique à la surface de la couche de protection 126. La réaction provoque la libéra- tion des radicaux C ou H à partir de la surface, ce qui provoque la destruction des structures à base de liaisons Si sur la surface. En conséquence, la surface de la couche de protection 126 devient rugueuse. Le procédé d'attaque sèche attaque la surface de la couche de protection cin utilisant un gaz présentant des radicaux fluor ou des radicaux chlore, chacun contc- nant aussi du 02, par exemple. Dans ce cas, les radicaux C ou H à la surface de la couche de protection isolante organique 126 réagissent avec le 02 dans la chambre d'attaque sèche, produisant CO, CO2 ou H20. En conséquence, la surface de la couche de protection 126 devient rugueuse. Le procédé de traitement aux U.V. rompt la structure à base de liaisons Si à la surface de la couche de protection isolante organique 126 en utilisant une radiation à 14952 DO(' - I 9 novel)bre 19 9'>? - I 1/ 16 Il haute énergie (faible longueur d'onde), ce qui arrache des radicaux C ou H de la surface. En conséquence, la surface devient rugueuse. Bien que l'étape consistant à rendre la surface de la couche de protection rugueuse soit réalisée après l'étape de formation du trou de contact dans le mode de réalisation décrit ci-dessus, l'ordre de ces deux étapes peut être interchangé. Ensuite, I'ITO est déposé sur la couche de protection 126 et il est structuré de sorte à former une électrode de pixel 104, par photolithographie, comme représenté sur la figure 7H. Dans ce cas, l'électrode de pixel 104 est reliée à l'électrode de drain I 115b a travers le trou de contact 131 et recouvre au moins une parmi la ligne de bus de grille et la ligne de bus de données. Dans le procédé de la présente invention, une couche de protection réalisée dans le matériau organique isolant recouvre la ligne de bus de grille, la ligne de bus de donnée et l'élément de commutation. La surface de la couche de protection est rendue rugueuse par attaque par pulvérisation, par attaque sèche ou par un traitement aux U.V. La surface rendue rugueuse de la couche de protection améliore l'adhésion de la couche d'ITO. En conséquence, l'agent d'attaque utilisé pour l'attaque de l'ITO ne peut pas s'infiltrer dans l'interface entre la couche d'ITO et la couche de protection, pendant l'étape de structuration de l'ITO. En conséquence, la couche d'ITO peut être structurée avec précision pour former la forme désirée d'électrode de pixel, conformément à la présente invention. L'électrode de pixel présentant cette forme désirée peut empêcher la fuite de la lumière qui se produirait autrement sur la périphérie de l'électrode de pixel, et peut ainsi améliorer le contraste. Il apparaîtra à l'homme du métier que diverses modifications et variationspeuvent être apportées à l'afficheur à cristal liquide et à son procédé de fabrication selon la présente invention sans s'écarter de l'esprit de l'invention. REVENDICATIONS 1.- Un procédé de fabrication d'un afficheur à cristal liquide présentant une ligne de bus de grille (117), une ligne de bus de données (115) et un élément de commutation avec une électrode de drain ( 15b) au-dessus d'un substrat (1 11) caractérisé en ce qu'il comprend les étapes de: formation d'une couche de protection (126) au-dessus du substrat, de sorte à recouvrir la ligne de bus de grille (117), la ligne de bus de données (115) et l'élément de commutation; - traitement de la surface de la couche de protection pour la rendre rugueuse; - enlèvement d'une portion de la couche de protection pour définir un trou de contact (131) dans la couche de protection au-dessus de l'électrode de drain (1I 5b) de l'élément de commutation; et - formation d'une électrode de pixel (104) sur la surface rugueuse de la couche de protection, l'électrode de pixel étant reliée à l'électrode de drain à travers le trou de contact. 2.- Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de formation de la couche de protection comprend une étape de dépôt d'un matériau isolant organique sur le substrat (111). 3.- Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'étape de dépôt du matériau isolant organique comprend l'étape de dépôt d'au moins un matériau choisi parmi une résine de polyimide, une résine acrylique, une résine thermodurcissable et une résine thermoplastique. 4.- Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'étape de dépôt du matériau isolant organique comprend l'étape de dépôt d'au moins un matériau choisi parmi le benzocyclobutène, le polyimide fluoré, le perfluorocyclobutane et le fluoropolyaryléther. 5.- Procédé selon l'une des revendications I à 4, caractérisé en ce que l'étape de traitement comprend une étape de traitement par au moins un traitement choisi parmi l'attaque par pulvérisation, l'attaque sèche et le traitement aux ultraviolets. 6.- Procédé selon l'une des revendications 2 à 5, caractérisé en ce que l'étape de dépôt du matériau isolant organique comprend l'étape de dépôt d'un matériau organique photosensible. IIL'- l. h.,91)97 - 12/1(6 7.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que l'étape d'enlèvement comprend l'étape d'enlèvement de la portion de la couche de protection par attaque sèche pour définir le trou de contact (131). 8.- Procédé selon l'une des revendications I à 7, caractérisé en ce que l'étape de formation de l'électrode de pixel comprend l'étape de formation d'une électrode de pixel pour recouvrir au moins l'une parmi la ligne de bus de grille (117) et la ligne de bus de données (115). 9.- Procédé selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que l'étape de formation de l'électrode de pixel comprend une étape de dépôt d'oxyde d'étain et d'indium sur le substrat. 10.- Un afficheur à cristal liquide comprenant: - un substrat (111); - une ligne de bus de grille (117) sur le substrat; - une ligne de bus de données (115) sur le substrat; - un élément de commutation sur le substrat; - une couche de protection (126) recouvrant la ligne de bus de grille, la ligne de bus de données et l'élément de commutation, la couche de protection présen- tant un profil de surface sensiblement rugueux; et - une électrode de pixel au-dessus de la surface rugueuse de la couche dc protection. 11.- Un afficheur à cristal liquide selon la revendication 10, caractérisé en ce que la couche de protection comprend un matériau organique isolant. 12.- Un afficheur à cristal liquide selon la revendication 11, caractérisé en cc que le matériau isolant organique comprend au moins un matériau choisi parmi la résine de polyimide, la résine acrylique, la résine thermodurcissable et la résilie thermoplastique. 13.- Un afficheur à cristal liquide selon la revendication 11, caractérisé en ce que le matériau isolant organique comprend au moins un matériau choisi parmi le benzocyclobutène, le polyimide fluoré. le perfluorocyclobutane et le fluoropolyaryl- éther. 14.- Un afficheur à cristal liquide selon l'une des revendications 11 à 13. caractérisé en ce que le matériau isolant organique comprend un matériau organique photosensible. 15.- Un afficheur à cristal liquide selon l'une des revendications 10 à 14, caractérisé en ce que la surface sensiblement rugueuse de la couche de protection (126) est formée par au moins un procédé choisi parmi un procédé d'attaque par pulvérisation, un procédé d'attaque sèche et un procédé de traitement aux ultra- violets. 16.- Un afficheur à cristal liquide selon l'une des revendications 10 à 15, caractérisé en ce que l'électrode de pixel (104) comprend de l'oxyde d'étain et d'indium. 17.- Un afficheur à cristal liquide selon l'une des revendications 10 à 16, caractérisé en ce que l'électrode de pixel (104) recouvre au moins l'une parmi la ligne de bus de grille (117) et ligne de bus de données (115). 18.- Un afficheur à cristal liquide selon l'une des revendications 10 à 17, caractérisé en ce que l'élément de commutation présente une électrode de drain (115b), en ce que la couche de protection (126) présente un trou de contact (131) et en ce que l'électrode de pixel (104) est reliée à l'électrode de drain ( I 15b) à travers le trou de contact. 19.- Un procédé de fabrication d'une structure stratifiée d'une couche orga- nique et d'une couche conductrice transparente au-dessus d'un substrat destiné à être utilisé dans un afficheur à cristal liquide, le procédé comprenant les étapes de - formation de la couche organique au-dessus du substrat; - traitement par au moins un procédé d'attaque sèche, d'attaque par pulvé- risation ou d'irradiation aux ultra-violets de la couche organique (126) de sorte à rendre rugueuse la surface exposée de la couche organique pour augmenter la surface de cette couche exposée; et - formation de la couche conductrice transparente (104) sur la surface rugueuse de la couche organique (126). 20.- Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce que l'étape de formation de la couche organique comprend l'étape de dépôt d'au moins un matériau choisi parmi le benzocyclobutène, le polyimide fluoré, le perfluorocyclobutane et le fluoropolyaryléther, et en ce que l'étape de formation de la couche conductrice tranls- parente comprend l'étape de dépôt d'oxyde d'étain et d'indium. 21.- Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce que l'étape dc formation de la couche organique comprend l'étape de dépôt d'au moins un matériau choisi parmi une résine polyimide, une résine acrylique, une résine thermodurcissable et une résine thermoplastique, et en ce que l'étape de formation de la couche conductrice transparente comprend l'étape de dépôt d'oxyde d'étain et d'indium. 22.- Un afficheur à cristal liquide comprenant: - un substrat (111); - une pluralité d'éléments de commutation sur le substrat - une couche isolante organique (126) présentant une surface inférieure et Lice surface supérieure, sur le substrat, la surface inférieure faisant face au substrat pour recouvrir le substrat y compris la pluralité d'éléments de commutation. la surface supérieure présentant un profil sensiblement rugueux qui est sensible- ment indépendant du profil de la surface inférieure; et - une pluralité d'électrodes conductrices transparentes (104) sur la surface supé- rieure de la couche d'isolation organique (126), chacune des électrodes conductrices transparentes étant reliée à l'un des éléments de commutation. 23.- Un afficheur à cristal liquide selon la revendication 22, caractérisé en ce que la couche isolante organique comprend au moins un matériau choisi parmi le benzocyclobutène, le polyimide fluoré, le perfluorocyclobutane et le fluoropolyaryl- éther, et en ce que chacune des électrodes conductrices transparentes (104) comprend de l'oxyde d'étain et d'indium. 24.- Un afficheur à cristal liquide selon la revendication 22, caractérisé en cc que la couche isolante organique comprend au moins un matériau choisi parmi unllC résine polyimide, une résine acrylique, une résine thermodurcissable et une résine thermoplastique, et en ce que chaque électrode conductrice transparente comprend de l'oxyde d'étain et d'indium. 149)52DO - D C I9'elnihbr I199)7 /- Iq,