Brevet FR2751664A1 — publié le 19980130

La présente invention concerne un dispositif de commande du fonctionnement d'un système de traitement de surface d'un substrat solide en défilement, par décharge électrique à barrière diélectrique dans une atmosphère gazeuse contrôlée. A titre illustratif, on peut citer les exemples d'application suivants: le traitement de films polymères d'emballage alimentaire, ou encore la fabrication de condensateurs. On connaît déjà dans l'état de la technique, par exemple du document au nom de E. Prinz paru dans " en Juin 1983, pages 50 et suivantes, des systèmes de traitement de surface de ce type, qui compor- tent un dispositif de traitement dans lequel défile le substrat à traiter, ce dispositif étant raccordé à des moyens d'alimentation de celui-ci en gaz, à des moyens d'alimentation de celui-ci en énergie électrique pour engendrer la décharge électrique et à des moyens d'aspiration de gaz. De tels systèmes permettent de traiter des substrats pour améliorer leurs caractéristiques notamment d'adhésion, de mouillabilité et d'imperméabilité au gaz ou aux liquides, ce qui permet d'étendre leurs domaines d'applications. C'est ainsi que l'on a déjà proposé dans le document EP-516 804 au nom de la Demanderesse, de réaliser un dépôt d'une couche mince d'oxyde de silicium liée à un substrat en un matériau polymère, qui comprend la soumission d'une surface du substrat à une décharge électrique à barrière diélectrique et l'exposition de cette surface à une atmosphère contenant un silane, grâce à quoi, il se forme un dépôt d'oxyde de silicium lié à la surface du substrat. Les dispositifs de traitement pour la mise en oeuvre de ce type de procédés sont en général intégrés dans une ligne de production ou transformation en continu de tels substrats (visant par exemple à les imprimer, les laminer, ou encore les métalliser), et le réglage de ces dispositifs est réalisé à partir d'une recette préétablie en fonction notamment des caractéristiques de la ligne de transformation/production qui les intègre. On conçoit cependant que ceci présente un certain nombre d'inconvénients, notamment au niveau de la reproductibilité de la qualité du substrat résultant du traitement, car il est extrêmement difficile d'adapter en permanence les paramètres de fonctionnement de ces dispositifs de traitement aux conditions de fonctionnement d'une telle ligne de transformation ou production. Le but de l'invention est donc de résoudre ces problèmes. A cet effet, l'invention a pour objet un dispositif de commande du fonctionnement d'un système de traitement de surface d'un substrat solide en défilement, par décharge électrique à barrière diélectrique dans une atmosphère gazeuse contrôlée, système du type comportant un dispositif de traitement dans lequel défile un substrat à traiter, ce dispositif étant raccordé à des moyens d'alimentation de celui-ci en gaz, à des moyens d'alimentation de celui-ci en énergie électrique pour engendrer la décharge électrique, et à des moyens d'aspiration de gaz, se caractérisant en ce qu'il comporte une unité de traitement d'informations recevant en entrée, une information de vitesse de défilement du substrat dans le dispositif de traitement et raccordée en sortie, à des moyens de commande des moyens d'alimentation en gaz et à des moyens de commande des moyens d'alimentation en énergie électrique, pour réguler le débit de gaz délivré par les ou chacun des moyens d'alimentation en gaz et/ou la puissance électrique délivrée par les moyens d'alimentation en énergie électrique, au dispositif, en fonction de la vitesse de défilement du substrat dans le dispositif de traitement, afin d'obtenir un traitement de surface de qualité équivalente du substrat, quelle que soit la vitesse de défilement de celui-ci dans le dispositif de traitement. Comme il apparaîtra clairement à l'homme du métier, la notion de " qualité " du traitement obtenu selon l'invention varie d'un produit à l'autre, d'un cite 3 2751664 industriel à l'autre, par exemple en fonction des applications (encrage, métallisation, etc...) ou encore en fonction des spécifications requises par chaque site. A titre illustratif, mais nullement limitatif, on citera ici les exemples suivants de mesures, pratiquées par tel ou tel site industriel pour évaluer la qualité et l'acceptabilité des pièces traitées: - des mesures de tension de surface de films polymère traités; - des mesures d'étalement (angle de mouillage) d'une goutte d'eau sur la surface traitée; l'évaluation en tension de surface d'encres précédemment calibrées par l'industriel; - des tests d'adhésion d'encre par la méthode du scotch dont on mesure la force de traction avant décollement (test bien connu des métallurgistes); - des tests de corrosion tel que celui pratiqué en appliquant une tension électrique sur la métallisation et en observant l'évolution de cette métallisation avec le temps (vieillissement). On comprendra dès lors que la notion de qualité " équivalente " selon l'invention doit s'entendre selon les cas par exemple comme liée au résultat du ou des tests couramment pratiqués par chaque site utilisateur, donc au résultat du test pratiqué défini comme acceptable par le site utilisateur considéré. A titre illustratif, on peut donc citer une force de traction à la rupture du test du scotch, ou encore à titre de second exemple un angle de mouillage d'une goutte d'eau sur le support traité. Avantageusement, l'unité de traitement d'informations est reliée en sortie à des moyens de commande du débit d'aspiration des moyens d'aspiration. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre, donnée uniquement à titre d'exemple et faite en se référant au dessin annexé qui représente un schéma synoptique illustrant la structure et le fonctionnement d'un dispositif de commande selon l'invention. 4 2751664 On reconnaît en effet sur cette figure un dispositif de commande du fonctionnement d'un système de traitement de surface d'un substrat solide en défilement, par décharge électrique à barrière diélectrique dans une atmosphère gazeuse contrôlée. Sur cette figure, le système est désigné par la référence générale 1 et comporte de façon générale, un dispositif de traitement de type approprié désigné par la référence générale 2, dans lequel défile le substrat à traiter, ce substrat étant désigné par la référence générale 3 sur cette figure. Ce substrat se présente par exemple sous la forme d'une bande de film à traiter défilant entre une partie fixe 4 du dispositif de traitement 2 et une partie mobile en rotation 5 de celui-ci, ce dispositif comportant également des moyens de support désignés par la référence générale 6 (on comprend que la partie 4 est fixe durant la phase de traitement, le système étant le plus souvent monté sur vérins permettant de le lever et l'abaisser durant d'autres phases). Ce dispositif de traitement et plus particulièrement la partie fixe 4 de celui-ci, est raccordé à des moyens d'alimentation de celui-ci en gaz, désignés par la référence générale 7 sur cette figure, à des moyens d'alimentation de celui-ci en énergie électrique, désignés par la référence générale 8 sur cette figure, pour engendrer la décharge électrique dans le dispositif et à des moyens d'aspiration de gaz désignés de façon générale par la référence 9 sur cette figure. Les différents moyens qui viennent d'être décrits peuvent présenter n'importe quelle structure appropriée, par exemple connue dans l'état de la technique, de sorte que l'on ne les décrira pas plus en détail par la suite. Selon l'invention, le dispositif de commande comporte également une unité de traitement d'informations désignée par la référence générale 10 sur cette figure, comportant par exemple tout calculateur 11 approprié associé à des moyens de mémorisation 12, cette unité de traitement 2751664 d'informations 10 recevant en entrée, une information de vitesse de défilement du substrat 3 dans le dispositif de traitement 2, cette information étant délivrée par exemple par un capteur de vitesse de rotation 13 associé à la partie mobile en rotation 5 du dispositif de traitement. En sortie, cette unité de traitement d'informations est reliée à des moyens 14 de commande des moyens d'alimentation en gaz 7 et à des moyens 15 de commande des moyens d'alimentation en énergie électrique 8, pour réguler le débit de gaz délivré par les ou chacun des moyens d'alimentation en gaz par exemple si ceux-ci comportent plusieurs sources de gaz, et/ou la puissance électrique délivrée par les moyens d'alimentation en énergie électri- que, au dispositif, en fonction de la vitesse de défilement du substrat dans le dispositif de traitement, afin d'obtenir un traitement de surface de qualité équivalente du substrat quelle que soit la vitesse de défilement de celui-ci dans le dispositif de traitement. Par ailleurs, et comme cela est représenté, les moyens d'aspiration de gaz désignés par la référence générale 9, peuvent comporter au moins des premiers moyens d'aspiration 16 disposés en entrée du dispositif de traitement et des seconds moyens d'aspiration 17 disposés en sortie du dispositif de traitement(entrée et sortie du dispositif de traitement devant être compris comme définis par rapport au sens de défilement des objets à traiter dans le dispositif), l'unité de traitement d'informations 10 étant alors reliée à des moyens de commande 18 et 19 respectivement, des débits d'aspiration des premiers et seconds moyens d'aspiration 16,17 respectivement, en fonction du débit d'alimentation en gaz du dispositif par les moyens d'alimentation 7 correspondants. On notera également que l'atmosphère gazeuse contrôlée dans le dispositif de traitement peut contenir tout gaz qu'il soit de nature neutre, oxydante, ou encore réductrice, comme cela est décrit dans le document antérieur précité (EP-516 804). 6 2751664 Différents renseignements concernant cette composition et le procédé de dépôt pourront être trouvés dans ce document. On conçoit alors que l'unité de traitement d'informations intégrée dans le dispositif de commande selon l'invention permet de réguler d'une part, le débit de gaz d'alimentation du dispositif, d'autre part, l'énergie électrique appliquée à celui-ci et enfin, le débit d'aspiration de gaz, pour adapter ces paramètres de fonctionnement du dispositif, et les réguler en fonction de la vitesse de défilement du substrat dans le dispositif, ce qui permet de maintenir une qualité équivalente de traitement du substrat lors de son passage dans ce dispositif. Ceci permet alors d'adapter les conditions de fonctionnement du dispositif de traitement aux conditions de fonctionnement de la ligne de transformation ou production dans laquelle est intégré un tel dispositif pour maintenir la productibilité du traitement. La régulation de ces différents paramètres de contrôle du fonctionnement du dispositif de traitement se fait de manière classique par exemple à partir de programmes et de données stockés dans l'unité de traitement 10. Les différentes informations nécessaires sont tout d'abord établies par analyse du fonctionnement du dispositif par exemple dans différentes conditions, ce qui permet ensuite d'établir les différentes relations liant les différents paramètres de contrôle du fonctionnement de ce dispositif, ces relations étant ensuite utilisées pour la régulation du fonctionnement de celui-ci. On notera également que l'unité de traitement d'informations 10 peut être raccordée à un centre de contrôle/commande à distance du système de traitement, par l'intermédiaire de moyens de transmission d'informations, désignés par la référence générale 20 sur cette figure. Ces moyens de transmission d'informations peuvent également présenter n'importe quelle structure appropriée 7 2751664 permettant d'assurer un échange d'informations entre cette unité et le centre de contrôle/commande à distance. Enfin, l'unité de traitement d'informations peut également être associée à une interface homme/machine comportant des moyens d'entrée de données 21 par exemple par un opérateur et des moyens d'affichage d'informations 22. Cette unité de traitement d'informations 10 peut alors également comporter des moyens de simulation et/ou de modélisation du fonctionnement du dispositif de traitement 2, permettant à partir de paramètres (établis) d'entrée du dispositif, de déterminer un traitement estimé du substrat 3, en sortie du dispositif, ou encore à partir d'un traitement souhaité du substrat 3 en sortie du dispositif 2, de déterminer des paramètres d'entrée estimés de celui- ci. Ces différents moyens peuvent par exemple être constitués par des programmes intégrés dans l'unité de traitement et établis par exemple expérimentalement pour assurer la simulation et/ou la modélisation voulues. Les paramètres d'entrée de tels moyens de simulation et/ou de modélisation peuvent alors comporter un certain nombre d'éléments, parmi lesquels on peut citer: - le type de substrat à traiter, - la vitesse de défilement de celui-ci dans le dispositif de traitement, - la puissance électrique délivrée par les moyens d'alimentation en énergie au dispositif de traitement, - la composition d'atmosphère gazeuse, - le débit d'alimentation en gaz, - le débit d'aspiration de gaz, - la nature ou la géométrie des électrodes générant la décharge électrique, ou - les caractéristiques du signal électrique générant la décharge (fréquence, amplitude, forme du signal...). Bien entendu, différents modes de réalisation des différents moyens qui viennent d'être décrits peuvent être envisagés. 8 2751664 De façon générale, la structure de ces moyens peut être classique en elle-même, la régulation du fonc- tionnement de ceux- ci par l'unité de traitement d'informa- tions 10 se faisant par commande de ceux-ci par exemple en5 tension, en courant ou autre. 9 2751664 REVENDICATIONS 1. Dispositif de commande du fonctionnement d'un système de traitement de surface d'un substrat solide en défilement, par décharge électrique à barrière diélectrique dans une atmosphère gazeuse contrôlée, système du type comportant un dispositif de traitement (2) dans lequel défile le substrat à traiter (3), ce dispositif de traitement étant raccordé à des moyens (7) d'alimentation de celui-ci en gaz, à des moyens (8) d'alimentation de celui-ci en énergie électrique pour engendrer la décharge électrique, et à des moyens (9) d'aspiration de gaz, caractérisé en ce qu'il comporte une unité de traitement d'informations (10) apte à recevoir en entrée une information de vitesse de défilement du substrat dans le dispositif de traitement, et raccordée en sortie a des moyens de commande (14) des moyens d'alimentation en gaz (7) et à des moyens de commande (15) des moyens d'alimentation en énergie électrique (8), pour réguler le débit de gaz délivré par les ou chacun des moyens d'alimentation en gaz et/ou la puissance électrique délivrée par les moyens d'alimentation en énergie électrique, au dispositif, en fonction de la vitesse de défilement du substrat (3) dans le dispositif de traitement (2), afin d'obtenir un traitement de surface de qualité équivalente du substrat (3) quelle que soit la vitesse de défilement de celui-ci dans le dispositif de traitement. 2. Dispositif de commande selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'unité de traitement d'informations (10) est reliée en sortie à des moyens de commande (18,19) du débit d'aspiration des moyens d'aspiration de gaz (9). 3. Dispositif de commande selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'unité de traitement d'informations (10) est adaptée pour réguler le débit d'aspiration des moyens d'aspiration (9) en fonction du débit d'alimentation en gaz des moyens d'alimentation en gaz (7). 4. Dispositif de commande selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que les moyens d'aspiration comportent au moins des premiers moyens d'aspiration (16) disposés en 2751664 entrée du dispositif de traitement et des seconds moyens d'aspiration (17) disposés en sortie du dispositif de traitement, et en ce que l'unité de traitement d'informations (10) est reliée en sortie à des moyens de commande (18,19) des débits d'aspiration des premiers et seconds moyens d'aspiration. 5. Dispositif de commande selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'unité de traitement d'informations (10) comporte en outre des moyens de simulation et/ou de modélisation du fonctionnement du dispositif de traitement (2), permettant, à partir de paramètres établis d'entrée du dispositif de traitement, de déterminer un traitement estimé du substrat (3) en sortie du dispositif (2), ou à partir d'un traitement souhaité du substrat (3) en sortie du dispositif (2), de déterminer des paramètres d'entrée estimés de celui-ci. 6. Dispositif de commande selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'unité de traitement d'informations (10) est raccordée à un centre de contrôle/commande à distance du système de traitement par l'intermédiaire de moyens de transmission d'informations (20). 7. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'unité de traitement d'informations (10) est reliée à au moins une interface homme/machine (21,22). 8. Dispositif selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que l'information de vitesse de défilement du substrat (3) dans le dispositif de traitement (2) est délivrée à l'unité de traitement d'informations (10) par un capteur de vitesse (13) associé à celui-ci ou à une ligne de production ou transformation de substrats dans laquelle le dispositif est intégré. 9. Procédé de commande du fonctionnement d'un système de traitement de surface d'un substrat solide en défilement, par décharge électrique à barrière diélectrique 11 2751664 dans une atmosphère gazeuse, système du type comportant un dispositif de traitement (2) dans lequel défile le substrat à traiter (3), ce dispositif étant raccordé à des moyens (7) d'alimentation de celui-ci en gaz, à des moyens (8) d'alimentation de celui-ci en énergie électrique pour engendrer la décharge électrique, et à des moyens (9) d'aspiration de gaz, caractérisé en ce qu'il comporte la mise en oeuvre des étapes suivantes: on mesure la vitesse de défilement du substrat dans le dispositif de traitement; - on commande, les moyens d'alimentation en gaz (7) et les moyens d'alimentation en énergie électrique (8), pour réguler le débit de gaz délivré par les ou chacun des moyens d'alimentation en gaz et/ou la puissance électrique délivrée par les moyens d'alimentation en énergie électrique, au dispositif, en fonction de la vitesse de défilement du substrat (3) dans le dispositif de traitement (2), afin d'obtenir un traitement de surface de qualité équivalente du substrat (3) quelle que soit la vitesse de défilement de celui-ci dans le dispositif de traitement. 10. Procédé de commande selon la revendication 9, caractérisé en ce que l'on commande en outre le débit d'aspiration des moyens d'aspiration (9). 11. Procédé de commande selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'on régule le débit d'aspiration des moyens d'aspiration (9) en fonction du débit d'alimentation en gaz des moyens d'alimentation en gaz (7) du dispositif. 12. Procédé de commande selon la revendication 11, caractérisé en ce que les moyens d'aspiration comportent au moins des premiers moyens d'aspiration (16) disposés en entrée du dispositif de traitement et des seconds moyens d'aspiration (17) disposés en sortie du dispositif de traitement, et en ce que l'on régule les débits d'aspiration des premiers et seconds moyens d'aspiration. 13. Procédé de commande selon l'une des revendications 9 à 12, caractérisé en ce que l'on effectue des opérations de simulation et/ou de modélisation du fonctionnement du dispositif de traitement (2) permettant à 12 2751664 partir de paramètres établis d'entrée du dispositif, de déterminer un traitement estimé du substrat (3) en sortie du dispositif (2), ou à partir d'un traitement souhaité du substrat (3) en sortie du dispositif (2), de déterminer des paramètres d'entrée estimés de celui-ci. 14. Procédé de commande selon la revendication 13, caractérisé en ce que les paramètres d'entrée des opérations de simulation/modélisation comprennent un ou plusieurs des membres de la liste suivante: - le type de substrat à traiter, - la vitesse de défilement de celui- ci dans le dispositif de traitement, - la puissance délivrée par les moyens d'alimentation en énergie au dispositif de traitement, - la composition d'atmosphère gazeuse, et - le débit d'alimentation en gaz. 15. Procédé de commande selon l'une des revendications 9 à 14, caractérisé en ce que l'on contrôle à distance le système de traitement par l'intermédiaire de moyens de transmission d'informations (20).