Brevet FR2749402A1 — publié le 19971205

Dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution. L'invention concerne un dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution. D'une manière générale, les dispositifs d'imagerie radiographique actuels sont soumis à deux contraintes essentielles, l'accroissement de la résolution des images obtenues, et la réduction des doses de rayonnement appli- quées au sujet à observer, notamment par la réduction du temps d'exposition au rayonnement ionisant de ce dernier. En ce qui concerne l'accroissement de la résolution des images, un tel objectif apparaît, avant tout, lié à la finesse de détection du rayonnement ionisant illuminant le sujet observé, à la finesse spatiale des motifs physiques engendrés par ce processus de détection, et finalement à la finesse géométrique des éléments détecteurs permettant la mise en évidence de ces motifs physiques. En outre, la mise en oeuvre d'éléments détecteurs de très haute résolution, et donc de dimensions très faibles, et à grand gain d'amplification, est susceptible de permet- tre une distribution appropriée d'une pluralité de ce type d'éléments détecteurs sur un domaine d'observation spécifi- que et de réduire en conséquence le temps d'illumination nécessaire à l'observation de ce domaine à celui nécessaire à l'observation d'un domaine élémentaire correspondant à celui d'un élément détecteur, ce qui permet, en conséquence, de réduire de manière significative les doses de rayonnement appliquées au sujet à observer. La présente invention a pour objet la mise en oeuvre d'un dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution permettant de satisfaire aux contraintes précitées. Un autre objet de la présente invention est la mise en oeuvre d'un dispositif d'imagerie radiographique dans lequel la résolution d'image est meilleure que 100 pm. Un autre objet de la présente invention est la mise en oeuvre d'un dispositif d'imagerie radiographique dans lequel le temps d'exposition d'un sujet peut être réduit par un facteur 10 par rapport aux dispositifs de l'art anté- rieur. Le dispositif d'imagerie radiographique en rayonne- ment ionisant à haute résolution, objet de la présente invention, comporte une source de rayonnement ionisant selon un faisceau divergent, une fente longitudinale formant diaphragme permettant de délivrer un faisceau d'illumination en nappe, distribué sensiblement dans un plan contenant la fente longitudinale, et un module de détection d'un faisceau transmis par un sujet à observer, illuminé par le faisceau d'illumination en nappe. Il est remarquable en ce que le module de détection comporte au moins un détecteur de particules ionisantes comprenant au moins une enceinte à gaz munie d'une fenêtre d'admission du faisceau d'illumination. L'enceinte à gaz comprend une première, une deuxième, une troisième électrode plane, chaque électrode plane étant placée parallèlement chacune à chacune pour former un espace de conversion du faisceau d'illumination en électrons et un espace d'amplification de ces électrons. La fenêtre d'admission est placée au niveau de l'espace de conversion pour assurer l'admission du faisceau d'illumination dans l'espace de conversion et l'espace d'amplification présente une longueur de multipli- cation, distance séparant la deuxième et la troisième électrode, inférieure à 200 pm. Le détecteur comporte en outre un circuit de polarisation permettant de porter la première électrode à un premier potentiel électrique, la deuxième électrode à un deuxième potentiel électrique supérieur au premier potentiel électrique, et la troisième électrode à un troisième potentiel électrique supérieur au deuxième potentiel électrique. La deuxième électrode percée de trous forme une cathode permettant la transmission des électrons engendrés dans l'espace de conversion vers l'espace d'amplification, et la troisième électrode forme une anode constituée par une pluralité d'anodes élémentaires isolées électriquement. Les potentiels électriques appliqués à la première, à la deuxième et à la troisième électrode permettent d'engendrer un premier et un deuxième champ électrique sensiblement parallèle dans l'espace de conver- sion et dans l'espace d'amplification, chacun de ces champs étant sensiblement orthogonal aux électrodes dans un rapport d'amplitude supérieur à 10 pour assurer la multiplication de ces électrons dans l'espace d'amplification par phénomène d'avalanche, confiné à la longueur d'amplification, et engendrer, au voisinage de la troisième électrode formant anode, des électrons multipliés. Des circuits de détection et de comptage des électrons multipliés sont couplés aux anodes élémentaires formant l'anode. Le dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution trouve application, tant relativement à l'image- rie radiographique industrielle, notamment à la cristallo- graphie et la résistance des matériaux, qu'à l'imagerie radiographique médicale. Il sera mieux compris à la lecture de la description ci-après et à l'observation des dessins dans lesquels: - les figures la et lb représentent une vue en coupe longitudinale d'un dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution, objet de la présente invention; - les figures lc et ld représentent une vue en coupe selon le plan de coupe AA transversal de la figure la, relativement à une première et une deuxième variante de réalisation du dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution, objet de la présente invention; - la figure 2a représente un détail de réalisation de circuits de détection spécifiques mis en oeuvre par le dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution selon l'invention; - la figure 2b représente un détail de réalisation avantageux de la grille formant cathode d'un élément de détection conforme à l'objet de la présente invention; - les figures 3a et 3b représentent un mode de réalisation avantageux d'un dispositif d'imagerie radiogra- -- phique à haute résolution selon l'invention, dans lequel une structure multicanaux est placée dans l'espace de conversion du rayonnement ionisant d'un élément détecteur mis en oeuvre par ce dispositif, et un détail de réalisation de cette structure multicanaux; - les figures 4a à 4d représentent une variante de réalisation du dispositif d'imagerie radiographique haute résolution, objet de l'invention, dans lequel un circuit à couplage capacitif est utilisé pour assurer la détection des électrons engendrés par le rayonnement ionisant; - les figures 5a et 5b représentent une autre variante de réalisation du dispositif d'imagerie radiogra- phique haute résolution, objet de l'invention, dans lequel la détection des électrons engendrés par le rayonnement ionisant est réalisée grâce à la création de phénomènes d'avalanches lumineuses; - la figure 5c représente un dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution conforme à l'objet de la présente invention en imagerie P; - les figures 6a et 6b représentent un dispositif d'imagerie radiographique à haute résolution conforme à l'objet de la présente invention, dans lequel une pluralité d'éléments détecteurs élémentaires sont agencés par superpo- sition, de façon à permettre une analyse tridimensionnelle d'un sujet donné pour un faisceau d'illumination d'angle solide déterminé. Une description plus détaillée d'un dispositif d'imagerie radiographique en rayonnement ionisant à haute résolution, conforme à l'objet de la présente invention, sera maintenant donnée en liaison avec les figures la et lb. La figure la précitée est une vue en coupe selon un plan de symétrie longitudinal de ce dispositif, ce plan de symétrie longitudinal étant, par définition, le plan de la feuille dans laquelle la figure la est représentée. Ainsi qu'on l'observera sur la figure précitée, le dispositif selon l'invention comprend une source de rayonne- - ment ionisant, notée S, délivrant un rayonnement ionisant selon un faisceau divergent, et une fente longitudinale, notée F, formant un diaphragme, permettant de délivrer un faisceau d'illumination. De manière classique, ce faisceau d'illumination est un faisceau en nappe de rayons X ou y (gamma) distribué sensiblement dans le plan contenant la fente longitudinale F, c'est-à-dire dans un plan perpendicu- laire au plan de la feuille sur laquelle est représentée la figure la. Le faisceau d'illumination précité permet d'illuminer un sujet SU à observer, ce faisceau d'illumina- tion, après absorption sélective en fonction des zones de densité du sujet à observer SU, étant reçu par un module de détection, noté 1 sur la figure la précitée. Selon un aspect particulièrement avantageux du dispositif objet de la présente invention, on indique que le module de détection 1 comporte au moins un détecteur de particules ionisantes comprenant une enceinte à gaz 10, munie d'une fenêtre d'admission du faisceau d'illumination. L'enceinte à gaz 10 est une enceinte de type classique présentant une fenêtre d'admission du faisceau d'illumination en nappe, fenêtre notée Fe, et d'éléments d'admission d'un gaz de remplissage, ces éléments d'admis- sion n'étant pas représentés aux dessins afin de ne pas surcharger ces derniers. Le gaz admis dans l'enceinte à gaz peut, de manière classique, être admis en légère surpression par rapport à la pression atmosphérique, ou, au contraire, soit à une pression relativement élevée, soit à très basse pression, voisine de quelques Torr, en fonction des condi- tions d'utilisation du dispositif d'imagerie radiographique, objet de l'invention. Ainsi qu'il apparait en outre en figures la et lb, l'enceinte à gaz 10 comporte une première électrode, notée 11, une deuxième électrode, notée 13, et une troisième électrode, notée 14, ces électrodes étant planes et placées parallèlement chacune à chacune pour former un espace de conversion, noté- -12,- du faisceau d'illumination en élec- trons, et un espace d'amplification par multiplication de ces électrons, cet espace d'amplification étant noté 15. La fenêtre d'admission Fe est placée au niveau de l'espace de conversion 12 et permet d'assurer l'admission du faisceau d'illumination dans l'espace de conversion 12 parallèlement à la première, 11, et à la deuxième électrode, 13, dans le cas du mode de réalisation de la figure la. Dans le mode de réalisation de la figure la, la fenêtre d'admission Fe est ainsi placée latéralement sur l'enceinte à gaz 10, de façon à permettre l'admission du faisceau d'illumination parallèlement aux électrodes de cathode 13 et d'anode 14. Au contraire, dans le mode de réalisation de la figure lb, la fenêtre d'admission Fe est placée sur la face de l'enceinte à gaz située en visà-vis de la deuxième électrode de cathode 13 de façon à permettre une admission frontale du faisceau d'illumination vis-à-vis des électro- des. On comprend bien sûr que l'ensemble constitué par la source S, la fente F matérialisée par un diaphragme en plomb par exemple, et le module détecteur 1 peut être rendu solidaire par l'intermédiaire d'un bâti B, cet ensemble pouvant être manoeuvré en translation, et, le cas échéant, en rotation, pour assurer une analyse du sujet SU appro- priée. La réalisation mécanique de l'ensemble ne sera pas décrite en détail car les éléments nécessaires à cette réalisation sont connus de l'homme de l'art. En outre la source S et le module détecteur 1 peuvent être fixes, le sujet SU étant mis en mouvement selon un déplacement approprié. Selon une caractéristique particulièrement avanta- geuse du dispositif, objet de la présente invention, on indique que l'espace d'amplification 15 présente une longueur de multiplication, c'est-à-dire une distance D séparant la deuxième, 13, et la troisième électrode 14, inférieure à 200 pm. Selon une autre caractéristique particulièrement remarquable du dispositif, objet de la présente invention, on indique que celui-ci comprend un circuit de polarisation, noté 2, permettant de porter la première électrode 11 à un premier potentiel électrique, la deuxième électrode 13 à un deuxième potentiel électrique supérieur au premier, et la troisième électrode 14 à un troisième potentiel électrique supérieur au deuxième potentiel électrique. Ainsi que représenté sur la figure la, le circuit de polarisation précité peut comprendre une source d'alimenta- tion continue, notée V13, dont l'électrode positive est reliée à la tension de référence VREF, ainsi qu'à la troi- sième électrode 14, et donc l'électrode négative est reliée à la deuxième électrode 13. En outre, ce circuit de polari- sation comprend une autre source de tension, notée Vil, dont l'électrode positive est reliée à l'électrode négative de la source V13 et dont l'électrode négative est reliée à la première électrode 11. On comprend ainsi que la deuxième électrode 13 forme une électrode de cathode, alors que la troisième électrode 14 forme une électrode d'anode. La distance X séparant la première, 12, et la deuxième électrode 13 est très supérieure à la distance D séparant la deuxième électrode 13 et la troisième électrode 14. A titre d'exemple non limitatif, pour des particules chargées en hautes énergies et pour une admission frontale du faisceau d'illumination, on indique que pour une distance D = 100 pm, la distance X peut être prise égale à 3 mm. Toutefois, le faible volume de l'espace d'amplification 15 permet de choisir une distance X, distance entre la première 11 et la deuxième électrode 13, égale à une valeur très voisine de la dimension, dans cette même direction, de la fente Fe dans le cas de la figure la. Ainsi la distance X peut être prise égale à 1 mm en particulier dans le cas o le gaz remplissant l'enceinte à gaz est le xénon. Dans un tel cas, lorsque le faisceau d'illumination est un faisceau de rayons X, d'énergie 50 keV par exemple, pour un photon X il apparait dans l'espace de conversion 12 un photoélectron d'énergie 15 keV et un électron secondaire issu d'un rayonnement de fluorescence X dans le gaz d'énergie voisine de 30 keV, le photoélectron et l'électron secondaire ne pouvant être séparés dans les détecteurs classiques. L'apparition de deux signaux dans ces détecteurs, conduit à rejeter l'événement. La réduction de la distance X à une valeur de l'ordre du millimètre a pour effet de réduire très fortement la probabilité de capture du photon de fluores- cence X, ce qui permet donc de supprimer l'apparition d'un signal double. En outre, et selon un aspect particulièrement remarquable du dispositif, objet de la présente invention, les sources de tension V13 et V1l peuvent être choisies de façon que les potentiels électriques appliqués à la premiè- re, 11, à la deuxième, 12, et à la troisième électrode, permettent d'engendrer un premier, E1, et un deuxième, E2, champ électrique, ces champs électriques étant constitués par des vecteurs champs électriques parallèles dans l'espace de conversion 12 ainsi que dans l'espace d'amplification 13. Ces champs électriques étant orthogonaux aux électrodes précitées et dans un rapport d'amplitude p = E2 / E1 > 10. Dans un mode de réalisation non limitatif, on indique que le rapport p est pris égal à 50. En outre, on indique que la deuxième électrode est formée par une grille percée de trous et permet la transmis- sion des électrons engendrés dans l'espace de conversion 12 vers l'espace d'amplification 15, ce qui, compte tenu des valeurs d'amplitude de champ et de la distance d'amplifica- tion D, permet d'assurer la multiplication de ces électrons dans l'espace d'amplification 15 par un phénomène d'avalan- che confiné à la longueur d'amplification D précitée, pour engendrer, au voisinage de la troisième électrode 14 formant une anode, des électrons multipliés. D'une manière avantageuse, on indique que la troisième électrode 14 formant anode est formée d'anodes élémentaires dans les conditions qui seront décrites ultérieurement dans la description. Enfin, un circuit de détection 3 est prévu, lequel permet d'assurer la détection et le comptage des électrons multipliés, ce circuit de détection et de comptage 3 étant couplé aux anodes élémentaires formant l'anode. Dans un mode de réalisation préférentiel, un indique que les sources de tension V13 et V1l sont choisies de façon à engendrer un champ E2 dans l'espace d'amplification 15, d'amplitude 100 kV/cm, pour un remplissage à la pression atmosphérique alors que le champ électrique E1 engendré dans l'espace de conversion 12 présente une amplitude égale à 1 kV/cm, ce qui permet d'obtenir un rapport p = 100. La configuration de l'élément détecteur 1 tel que représenté en figure la, c'est-à-dire les valeurs de dimension D et X précitées ainsi que la valeur de rapport de champ engendré entre l'espace d'amplification 15 et l'espace de conversion 12, permet un fonctionnement particulièrement remarquable en ce que les électrons créés dans l'espace de conversion 12, remplis de gaz, sont transmis par l'électrode de cathode 13 dans l'espace d'amplification 15, dans lequel, en raison de la très forte valeur du champ électrique E2, ces électrons sont soumis à un phénomène d'avalanche, lequel bien entendu est confiné sur la distance d'avalanche D, laquelle est très faible. Pour cette raison, le front d'avalanche, c'est-à-dire la dimension dans une direction perpendiculaire à la direction du champ électrique E2, est également très faible, au plus égale à la distance de multiplication D/10 pour un gain de 1000. En effet, un électron qui pénètre dans l'espace d'amplification 15 est multiplié par des chocs successifs. Pour un gain d'amplifi- cation de l'ordre de 1000, alors que 1000 # 2", soit n=10, et le libre parcours moyen de multiplication est X = D/10. La taille du front d'avalanche est donc de l'ordre de X, soit D/10. Ainsi, la dimension réelle des motifs d'avalanche engendrés par la multiplication de chaque électron dans l'espace d'amplification 15, atteint au plus, au voisinage de l'électrode 14, une valeur de l'ordre de celle du libre parcours X de l'ordre de D/10, ce qui permet d'atteindre une valeur de résolution correspondant à cette dimension grâce à la mise en oeuvre d'anodes élémentaires de dimension correspondante, ainsi qu'il sera décrit ci-après dans la description. En outre, on indique également que, en raison de la proximité due à la faible valeur de la distance de multipli- cation D entre la deuxième électrode 13 de cathode et la troisième électrode 14 d'anode, les ions positifs créés du fait des phénomènes d'avalanche, ions positifs susceptibles de créer une charge d'espace au niveau de l'anode 14, sont absorbés en un temps très court, de l'ordre de 100 ns, ce qui autorise un taux de comptage très élevé, supérieur à environ 106 coups/s/mm2. Les taux de comptage autorisés sont donc de 100 à 1000 fois plus importants que ceux qui sont susceptibles d'être atteints avec les chambres à fils classiques. On indique que, au contraire, dans les détecteurs de type classique, tels que les chambres à fils, le temps de collecte des ions positifs peut atteindre quelques dizaines de ps, en conséquence de quoi les taux de comptage sont limités à des valeurs 100 fois plus faibles. Pour une description plus détaillée de l'élément détecteur 1 précité, on pourra utilement se reporter à la demande de brevet français n 95 11928 au nom de Monsieur Georges CHARPAK et du COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE, incorporée à titre de référence. D'une manière particulièrement avantageuse, ainsi que représenté en figure lc, les anodes élémentaires constitutives de la troisième électrode formant l'anode 14 peuvent être formées par des éléments électriquement conducteurs, notés 140 sur la figure lc précitée, ces éléments conducteurs présentant un axe de symétrie longitu- dinale noté YY, sur cette figure. Ainsi qu'on l'observera sur la figure précitée, l'axe de symétrie longitudinale YY de chaque élément électriquement conducteur 140 est orienté de manière à converger vers la source de rayonnement ionisant S, point d'émission du faisceau d'illumination. Une telle disposition permet de supprimer sensiblement l'erreur de parallaxe due à la projection du plan du faisceau d'illumination sur le plan de la troisième électrode 14 constituant l'anode. Dans le mode de réalisation de la figure lc, les éléments électriquement conducteurs 140 sont formés par des bandes électriquement conductrices formées par des microban- des de cuivre d'une largeur pouvant être comprise entre 80 et 200 pm par exemple et d'une épaisseur de quelques pm. Ces bandes peuvent être réalisées par micro-photogravure et recouvertes d'un film conducteur d'or ou de cuivre. Elles sont réalisées sur un substrat isolant tel qu'un matériau en verre époxy ou une feuille de matière plastique telle que le KAPTON par exemple. En outre, chaque bande 140 est connectée au circuit de détection et de comptage 3 ainsi qu'il sera décrit de façon plus détaillée ultérieurement dans la description. Pour un angle d'ouverture AO du faisceau d'illumination dans le plan de l'électrode d'anode 14, chaque électrode élémen- taire 140 est alors espacée d'une électrode élémentaire adjacente d'un angle AO / N-1 lorsqu'un nombre N d'électro- des est prévu, les électrodes élémentaires 140 étant ainsi espacées de façon régulière dans l'angle d'ouverture du faisceau d'illumination. Selon une variante de réalisation représentée en figure ld, on indique en outre que les éléments électrique- ment conducteurs constituant les anodes élémentaires 140 peuvent également être constitués de pastilles réparties selon une pluralité d'axes longitudinaux YY, de même que dans le cas de la figure lc, ces pastilles d'éléments électriquement conducteurs constituant chacune une anode élémentaire et présentant une dimension dans une direction orthogonale à la direction d'axe de symétrie longitudinale YY sensiblement égale à la distance d'amplification. Ainsi, chaque anode élémentaire 140 peut présenter une forme sensiblement carrée dont le côté est égal ou inférieur à la distance de multiplication D, deux anodes élémentaires successives étant espacées par exemple, tant dans la direc- tion longitudinale YY que dans une direction orthogonale à cette direction longitudinale, d'une même distance D. Dans le cas de la figure ld, on indique que les éléments électri- quement conducteurs formant les anodes élémentaires 140 sont également espacés de façon régulière dans l'angle d'ouver- ture du faisceau d'illumination. Bien entendu, chaque anode élémentaire 140 est elle-même interconnectée au circuit de détection et de comptage 3. L'avantage de la configuration des anodes élémentai- res précitées consiste notamment dans le fait que les phénomènes d'avalanche se développant uniquement sur la distance de multiplication D, il est aisé de choisir la répartition de ces anodes élémentaires pour obtenir la précision la meilleure, alors que dans les chambres à fils une distance entre fils au minimum égale à 1 mm est néces- saire pour assurer un fonctionnement satisfaisant. Ainsi que représenté en outre sur la figure 2a, on indique que le circuit 3 de détection et de comptage peut comporter avantageusement une pluralité d'amplificateurs rapides 30, chaque amplificateur rapide 30 étant bien entendu interconnecté à une anode élémentaire 140 et délivrant un signal électrique de détection pour l'anode élémentaire considérée. Enfin, la sortie de chaque amplifi- cateur rapide est interconnectée à un circuit de comptage et de mémorisation 31 par exemple. Afin d'assurer la transmission des électrons engendrés dans l'espace de conversion, la deuxième électrode 13 formant électrode de cathode est avantageusement formée par une plaque mince électriquement conductrice. Cette plaque est percée de trous représentés de manière non limitative par des trous circulaires sur la figure 2b, chaque trou 130f étant distant d'un autre trou d'un pas P et présentant une dimension T pour former en fait un réseau de trous tel que représenté sur la figure précitée. L'épaisseur e de la plaque est petite devant la dimension T des trous. Le champ électrique de l'espace de multiplication est alors choisi suffisant pour que les électrons passent à travers la grille. De manière avantageuse, le pas P du réseau est tel que D/10 En outre, la plus grande dimension T de chaque trou 130, cette dimension correspondant au diamètre des trous lorsque ceux-ci sont circulaires, est très supérieure à l'épaisseur e, dans un rapport supérieur à 5, et telle que: e " T 5 P. La grille constitutive de la deuxième électrode 13 formant cathode peut être réalisée par une grille électroformée dont l'épaisseur e peut être de l'ordre de 2 à 5 pm, le diamètre des trous étant par exemple égal à 20 pm et le pas à 25 pm. Dans un mode d'exécution particulier, la plaque formant la deuxième électrode 13 était formée par une grille d'épaisseur 3 pm, percée de trous carrés de 20 pm, T = 20 pm, espacés au pas P = 25 pm. Du point de vue du montage mécanique de la deuxième électrode formant cathode 13 et afin d'assurer la tenue mécanique de celle-ci, notamment en présence des forces électrostatiques exercées par les champs de polarisation électrique, des espaceurs électriquement isolants, référen- cés 150 sur la figure la, doivent pour de grandes surfaces être prévus dans l'espace d'amplification 15 afin de permettre le maintien de la cathode 13 et de l'anode 14. Les espaceurs électriquement isolants peuvent être réalisés par des fils de quartz par exemple dont le diamètre correspond à la distance de multiplication D. Le dispositif d'imagerie radiographique à haute. résolution, objet de l'invention, tel que décrit précédem- ment dans la description, permet de conduire des analyses de grande précision telles que celles requises pour des applications diagnostiques en mammographie. Une description plus détaillée d'une variante de réalisation du dispositif d'imagerie radiographique haute résolution, objet de la présente invention, sera maintenant donnée en liaison avec la figure 3a. Sur la figure précitée, on indique que le dispositif objet de la présente invention comprend, dans l'espace de conversion 12, une structure multicanaux, notée 121, laquelle permet la capture du faisceau d'illumination et la création d'électrons. On indique en particulier que la structure multicanaux 121 est munie d'une pluralité de canaux s'étendant dans la direction du premier champ électrique El. Le rayonnement ionisant absorbé par la structure multicanaux provoque ainsi la création d'élec- trons, qui ionisent le gaz qui est dans les canaux et libèrent ainsi des électrons qui sont accélérés dans les canaux correspondants et transmis ensuite par la deuxième électrode de cathode 13 dans l'espace d'amplification 15. Une particule neutre telle qu'un rayon gamma, pouvant présenter une probabilité très faible d'être absorbé dans l'espace de conversion 12 en l'absence de structure multicanaux, la présence d'une telle structure dans cet espace de conversion 12 permet d'absorber par effet Compton au photoélectrique ou par création de paires un nombre de rayons gamma beaucoup plus important. Les électrons éjectés des parois des canaux ont un parcours limité par l'épaisseur de ces canaux. Ils ionisent le gaz qui est dans le tube et libèrent des électrons qui pénètrent dans l'espace d'ampli- fication 15 ainsi qu'il sera décrit ci-après. Dans un mode de réalisation préférentiel, ainsi que représenté en figure 3b, la structure 121 est une structure microcanaux munie de canaux parallèles, référencés 121., présentant au moins une ouverture abouchant sur une surface plane de cette structure. Ainsi que représenté en outre sur la figure 3b précitée, l'ensemble de ces ouvertures forme sur la surface plane de la structure microcanaux un réseau de trous au même pas P et à la même dimension T que le réseau de trous 130f existant sur la grille formant la deuxième électrode 13. Dans un mode de réalisation préférentiel, la face plane de la structure microcanaux présentant l'ensemble des ouvertu- res de chaque canal est placée au voisinage de la deuxième électrode 13 formant cathode, et, bien entendu, en contact électrique avec celle-ci. Ainsi, une ouverture du réseau d'ouvertures de chaque canal 121 est placée en vis-à-vis d'un trou de la grille 130i formant la deuxième électrode 13. De manière plus spécifique, on indique que la structure 121 représentée en figure 3b peut être formée par des tubes de verre placés côte à côte. Ces tubes de verre peuvent avoir une épaisseur de l'ordre de 2 pm et la paroi de ces derniers porte la référence 1211i. La hauteur h de l'ensemble, soit la hauteur des tubes de verre, est de l'ordre de 1 à 2 mm. Un dépôt métallique d'or peut être réalisé sur les faces de la structure microcanaux, dépôt référencé 1210a sur la figure 3b. Le diamètre de chaque canal 121, compte tenu du dépôt d'or, peut être compris entre 10 et 30 pm. La structure microcanaux ainsi réalisée permet, pour des trous de diamètre 12 pm et des parois de tubes de verre de 2 pm par exemple, de constituer une structure dont 25 % du volume est occupé par le verre. Une telle structure présente une densité moyenne de 0,7 g/cm3 alors que, en l'absence de structure microcanaux, le gaz présent dans la chambre, tel que du xénon par exemple, sous pression de 5 bars, présente une densité de 0,03 g/cm3. L'introduction de la structure microcanaux 121 permet ainsi un gain d'un facteur 20 de la densité moyenne du matériau destiné à capter le rayonnement ionisant, et.. donc une probabilité de capture augmentée en conséquence. Avec des tubes d'une paroi d'épaisseur 2 pm, les photoélectrons ou électrons Compton engendrés du fait de la capture ont une importante probabilité de sortir des parois de verre et d'émerger dans les trous ou canaux 121, pourvu que ces électrons ou photoélectrons présentent une énergie supérieure à quelques keV. Conformément à un aspect particulièrement avantageux du dispositif de structure microcanaux représenté en figure 3b, un champ électrique E3 peut alors être créé au sein de chaque trou, ce champ électrique étant sensiblement longitu- dinal et parallèle à l'axe de chaque trou 121. Dans ce but, les parois de chaque canal 121 peuvent comporter un revêtement 1212f électriquement conducteur et présentant une résistivité élevée. Ce revêtement est électriquement connecté à des électrodes constituées par les revêtement d'or 1210a et 1210b placées chacune sur la face plane de la structure microcanaux et une tension de dérive des électrons dans les canaux 121i est appliquée aux électrodes 1210a et b. Chaque électron émergeant dans l'un des canaux 121l est alors soumis à un phénomène de dérive du fait de l'existence du champ électrique E3 représenté sur la figure 3b. Les revêtements 1212, de chaque canal 121, peuvent être formés par un film de plomb de quelques dizaines d'Angstrôms d'épaisseur. Le champ électrique E3 peut être créé par une source de tension appropriée V3. Les électrons d'ionisation libérés dans les canaux de la structure microcanaux peuvent en outre être multipliés, préalablement à leur transfert dans l'espace d'amplification 15, en utilisant l'espace de conversion comme une des chambres multi-étages telles que proposées par Monsieur Georges CHARPAK. D'une manière plus spécifique, on indique que la structure microcanaux précitée peut être utilisée soit en admission latérale du faisceau d'illumination, ainsi que représenté en figures 3a et 3b, soit en admission frontale du faisceau d'illumination, ainsi que représenté en figure 3b, afin de détecter des rayons X mous, en particulier en vue de conduire des travaux d'ana- lyse en cristallographie. Une description plus détaillée d'un mode de réalisa- tion particulier du circuit de détection et de comptage des électrons multipliés permettant une détection bidimension- nelle, réalisée en particulier par la mise en oeuvre d'un circuit à couplage par influence électrique avec les anodes élémentaires précédemment décrites dans la description, sera maintenant donnée en liaison avec les figures 4a à 4d. Ainsi que représenté sur la figure 4a, les anodes élémentaires peuvent être constituées par des premières bandes conductrices, parallèles, 1401, 140k à 14O0, portées au même potentiel électrique VREF, ainsi que décrit précédem- ment dans la description. En outre, un circuit à couplage par influence électrique est formé par des deuxièmes bandes conductrices 141, 142...143 et suivantes, ces deuxièmes bandes étant orthogonales aux premières, espacées régulièrement, et donnant lieu, par un phénomène d'influence électrique de charges en mouvement à un signal de signe opposé à celui apparaissant sur les premières bandes 140k Compte tenu du couplage par influence électrique précité, les électrons collectés sur une bande conductrice 140k par exemple rayonnent sur une ou plusieurs bandes 141, 142, 143..., celles situées proches de l'impact des électrons sur la bande 140k, la bande 142 par exemple, un champ électrostatique variable qui disparaît soudainement lorsque ces électrons sont collectés par la bande conductrice 140k, ce qui permet de produire sur les bandes 140k et 142 une impulsion de position de signe positif et un repérage bidimensionnel X,Y du point d'impact. Les ions positifs qui sont produits sur les bandes 140k, anodes élémentaires, et s'éloignent de celles-ci, induisent des signaux négatifs sur ces dernières mais les lignes de champ électrostatique rayonnées sur les deuxièmes bandes 141 à 143 et suivantes sont d'abord positives, - ce quipermet de distinguer les types d'impulsions X,Y et donc la détection bidimensionnel- le. A titre d'exemple non limitatif, les première et deuxième bandes conductrices peuvent être formées sur un substrat de matériau isolant d'épaisseur appropriée, le dimensionnement en épaisseur, largeur et espacement des bandes étant déterminé expérimentalement. Ainsi qu'on l'observera sur la figure 4b, on constate que la troisième électrode d'anode 14 peut être formée sur une plaquette de matériau électriquement isolant, genre circuit imprimé, sur la face supérieure de laquelle, en vis-à-vis de l'espace d'amplification 15, sont placées les électrodes élémentaires 140k précédemment décrites dans la description. Dans le mode de réalisation précité, on indique que le circuit de détection et de comptage 3 peut comporter en outre un circuit de détection électrostatique, placé dans le prolongement des bandes 140k constitutives des anodes élémentaires, variante de réalisation de celui représenté sur la figure 4a, chaque référence 1410, 1420, 1430 corres- pondant par exemple à une bande électriquement conductrice. Cette bande électriquement conductrice est subdivisée selon un motif périodique en deux bandes élémentaires dont le couplage électrostatique à chaque anode élémentaire 140k est une fonction croissante, respectivement décroissante, du rang k de l'anode élémentaire à laquelle chaque bande élémentaire 1410, 1420, 1430 est couplée. Ainsi qu'on l'a représenté de manière plus détaillée en figure 4c, la bande élémentaire 1410 par exemple est subdivisée en deux bandes élémentaires 1410., 1410b dont le couplage électrostatique à chaque anode élémentaire 140k est une fonction croissante, respectivement décroissante, du rang de la bande considérée. Un circuit, tel que représenté en figure 4d, permet de mesurer l'amplitude du signal d'extrémité engendré en extrémité de la première 1410a et de la deuxième 1410b bande. élémentaire, ainsi que du rapport des signaux d'extrémité. Ce rapport est représentatif du rang de l'anode élémentaire, rang k, au voisinage de laquelle les électrons d'ionisation ont induit l'impulsion électrique correspondante. Ainsi que représenté sur la figure 4c, on indique qu'une deuxième bande 1420 peut être prévue, cette bande étant également une bande électriquement conductrice et subdivisée en une première, 1420a, et deuxième, 1420b, bande élémentaire selon un même motif périodique de périodes multiples de la première bande électriquement conductrice *1410 dans un rapport donné. En outre, une troisième bande 1430 peut être prévue, elle-même subdivisée en bandes élémentaires 1430., 1430b. La période spatiale de la troisième bande 1430 est également un multiple de la première bande électriquement conductrice dans un autre rapport. Le circuit représenté en figure 4d permet d'effec- tuer la mesure de l'amplitude des signaux engendrés par le couplage capacitif en extrémité de la première, 1410, et de la deuxième, 1420, bande élémentaire et du rapport de l'amplitude de ces signaux d'extrémité. La première et la deuxième bande électriquement conductrices 1410, 1420, associées le cas échéant à la troisième bande électriquement conductrice 1430, elle-même subdivisée en deux bandes élémentaires 1430a, 1430b, forment ainsi un système de mesurage, de type vernier, du rang k de chaque anode élémen- taire 140k située sensiblement au droit des électrons d'ionisation premièrement émis. En figure 4c, le circuit 3 de détection de comptage est réputé comprendre un circuit logique de type interrupteur commandé, les circuits 3140 désignent des circuits amplificateurs, les circuits 3141 des convertisseurs analogiques numériques et le circuit 3142 une table de conversion permettant de délivrer le rang k de chaque anode élémentaire 140k sur laquelle l'impulsion a été détectée. Pour une description plus détaillée du fonctionne- ment du système de détection électrostatique représenté en figures 4c et 4d, on pourra se reporter à la demande de brevet français n 2 680 010 au nom de Monsieur Georges CHARPAK. Enfin on indique qu'un jeu d'électrodes 1410 à 1430 formant un circuit de détection capacitif, pour une détec- tion monodimensionnelle des anodes élémentaires 140k, peut être prévu pour réaliser de la même manière un circuit de détection capacitif pour une détection monodimensionnelle des deuxièmes bandes élémentaires 140, 141, 142... et suivantes, dans la deuxième direction. Ce jeu d'électrodes est alors placé sur un prolongement des bandes élémentaires 140, 141, 142 et suivantes, de même que dans le cas des anodes élémentaires 140 Pour la mise en oeuvre des dispositifs tels que représentés en figures la, lb à 4d précédemment décrits dans la description, on indique que le gaz contenu dans l'en- ceinte à gaz peut être le xénon mélangé à un agent de "quenching" tel que C02 ou l'éthane à une pression comprise entre 102 et 106 P ou, le cas échéant, un mélange d' argon et de méthane à raison de 90% d'argon et 10% de méthane en volume. Toutefois, le gaz contenu dans l'enceinte à gaz 10 peut être constitué par un mélange d'argon et de triethyla- mine, ceci afin de permettre d'engendrer dans l'espace d'amplification 15, une multiplication des électrons par phénomène d'avalanches lumineuses. Dans un tel cas, ainsi que représenté en figure 5a, les anodes élémentaires sont formées par des éléments électriquement conducteurs transparents permettant la transmission de la lumière engendrée par les avalanches lumineuses ainsi créées. Dans le mode de réalisation décrit en liaison avec la figure 5a, les circuits de détection et de comptage 3 sont par exemple constitués par un amplificateur de bril- lance 300b, équipé d'une optique appropriée 300., suivi d'un- système intégrateur 310, tel qu'un film photosensible ou un système de caméra CCD par exemple. L'ensemble 300., 300b, 310 amplificateur de brillance caméra CCD est alors placé sur la paroi de l'électrode permettant la transmission ou le changement de la longueur d'onde du phénomène d'avalanches lumineuses ainsi engendrées, 280 nm dans le cas du triethy- lamine en lumière visible. A titre d'exemple non limitatif, ainsi que repré- senté en figure 5b, on indique que les anodes élémentaires peuvent être formées par une grille électriquement conduc- trice associée à une paroi permettant, soit la transmission de la lumière à la longueur d'onde du phénomène d'avalanche lumineuse, soit le changement de la longueur d'onde du phénomène d'avalanche lumineuse en une longueur d'onde du spectre du domaine visible. A titre d'exemple non limitatif, la grille électriquement conductrice telle que représentée en figure 5b peut être formée par des fils conducteurs, des fils de tungstène doré de diamètre 15 pm au pas rectangu- laire de 50 pm x 50 pm. Chaque zone élémentaire transparente de 50 pm constitue en fait l'équivalent d'une anode élémen- taire au travers de laquelle l'énergie lumineuse de l'ava- lanche lumineuse créée est transmise. Cette grille peut également être constituée par une grille semblable à la deuxième électrode 13 représentée en figure 2b. La grille précitée est alors placée contre un convertisseur de lumière UV visible. Bien entendu, la grille telle que représentée en figure 5b est portée au potentiel de référence Vt, et constitue ainsi l'anode constituée d'un ensemble d'anodes élémentaires transparentes. L'enceinte à gaz est alors fermée par l'intermédiaire d'une fenêtre de quartz ou d'une fenêtre en matériau plastique par exemple. L'avantage du mode de réalisation de la figure 5a dans lequel une détection des phénomènes d'avalanches lumineuses est réalisée, vis- à-vis des dispositifs de l'art antérieur assurant de même une détection des avalanches lumineuses, réside dans le fait que les fronts d'avalanches étant beaucoup plus étroits, une plus grande précision est obtenue relativement à leur position ainsi qu'une meilleure brillance. Cette amélioration apparaît d'une très grande importance lorsque la détection est réalisée non au coup par coup, au moyen de circuits électroniques, mais grâce à une intégra- tion des photons lumineux. Un tel mode opératoire est en particulier important lorsque la source d'émission S délivre une salve très intense de rayons X ou y, source d'émission telle qu'un accélérateur linéaire utilisé en radiothérapie. Dans un tel cas, il peut être nécessaire de visualiser simultanément des centaines de milliers ou de millions d'avalanches, ce qui n'est pas réalisable avec des moyens électroniques classiques. Il est alors possible d'utiliser comme convertisseur particules ionisantes-électrons une structure microcanaux, telle que décrite précédemment dans la description, ou une matrice au plomb-bismuth telle que décrite dans l'article publié par A.P.JEAVONS, G.CHARPAK et R.J.STUBBS, Nuclear Instruments and Methods 124 (1975), 491- 503, North-Holland Publishing and Co. Une efficacité de 10 à 50% pour des rayons gamma de 6 MeV couramment utilisés en radiothérapie peut être obtenue avec une précision d'image de 0,5 mm à 1 mm. Il est ainsi possible de réaliser une radiographie du patient, lors du traitement de ce dernier, en le soumettant à une dose de rayonnement très inférieure à celle du traitement. Ainsi, la détection lumineuse constitue un moyen d'obtenir une grande précision, en particulier lorsqu'une optique appropriée 300., un amplifi- cateur de brillance 300b et une caméra CCD par exemple, 310, sont mis en oeuvre. Dans ce mode d'utilisation, le faisceau d'illumination peut être admis soit latéralement, conforméméent au mode de représentation de la figure la, soit frontalement, ainsi que représenté en figure lb. Dans le cas d'une admission latérale du faisceau d'illumina- tion, une mesure peut être effectuée toutes les-50-ms, soit- - une durée de trame de la caméra CDD utilisée, alors qu'un déplacement du module de détection est réalisé. Toutefois, une admission frontale apparaît particulièrement appropriée lorsque le module de détection comprend, dans l'espace de conversion 12, un convertisseur microcanaux et que l'on procède à la saisie de l'image de toutes les avalanches engendrées par une impulsion ou "flash" de rayons y, tel qu'utilisé en radiothérapie au moyen d'un accéléra- teur linéaire, émettant des rayons y pendant des temps très courts. Dans le cadre d'une telle application, les avalan- ches lumineuses étant très étroites, on obtient directement une bonne résolution d'image en l'absence de toute nécessité de procéder à un traitement d'image tel que le calcul du centroide, centre de gravité optique, de chaque avalanche, ainsi que proposé antérieurement par Monsieur Georges CHARPAK. Ce mode opératoire permet donc d'obtenir une économie importante en matériel et temps de calcul, vis-à- vis des dispositifs antérieurs. Outre les applications précitées en radiographie X ou gamma, le dispositif objet de la présente invention peut être utilisé avec un intérêt majeur en radiographie P, dans des conditions spécifiques qui seront décrites ci-après, en liaison avec la figure 5c. Ainsi que représenté sur la figure précitée, dans cette application, la source de rayonnement ionisant consiste alors en un gel d'électropho- rèse, une coupe ou une préparation, portant la référence G, le gel, la coupe ou la préparation étant marqué radioactive- ment de manière classique. Le gel d'électrophorèse G est alors le siège de points d'émission de rayons P distribués sur la section du gel, de la coupe, ou de la préparation, le faisceau d'illumination consistant alors en une pluralité de rayons P émis sporadiquement en ces différents points d'émission. Le gel G est placé au voisinage de la fenêtre Fe pour une admission frontale du faisceau d'illumination. Un support SUP, représenté en traits mixtes sur la figure 5c permet, si nécessaire, de placer le gel, la coupe ou la préparation pour observation. Selon une caractéristique, spécifique du détecteur objet de la présente invention, celui-ci est tel que la première électrode 11 et la deuxième électrode 13 sont distantes d'une distance X voisine ou inférieure à celle de la distance D séparant la deuxième électrode 13 de la troisième électrode 14. L'espace de conversion 12 et l'espace d'amplification 15 présentent ainsi une dimension sensiblement égale dans la direction perpendiculaire aux électrodes 11, 13 et 14. A titre d'exemple non limitatif, pour une distance D = 100 pm la distance X peut être prise égale à cette valeur X = 100 Pm. L'épaisseur totale du détecteur 1 est alors de 0,2 mm. Dans ces conditions, un rayon 3 émis à partir d'un point d'émission quelconque du gel G présente, ainsi que représenté en figure 5c, un parcours maximum de l'ordre de grandeur de la distance X séparant la première et la deuxième électrode 11, 13. Les électrons étant engendrés dans l'espace de conversion 12, sur le trajet du rayon À, la précision de localisation du point d'émission correspondant est meilleure que la valeur de cette distance X. Le disposi- tif détecteur objet de la présente invention permet de développer des appareils plus simples que les appareils actuels à chambres à faces parallèles dans lesquels la localisation du point d'émission du rayon p est effectuée grâce au gain variable en fonction de la profondeur de l'électron d'ionisation le long de la coordonnée z. Une description plus détaillée d'un dispositif d'imagerie radiographique en rayonnement ionisant X ou y à haute résolution, permettant la réalisation d'analyse d'images de type tridimensionnel en une seule exposition, sera maintenant donnée en liaison avec les figures 6a et 6b. Selon la figure 6a précitée, la source de rayonne- ment utilisée S est réputée engendrer un faisceau de rayonnement ionisant selon -un faisceau divergent d'angle solide donné An. Selon le mode de réalisation de la figure 6a, le dispositif d'imagerie radiographique selon l'invention comprend un collimateur CO comportant une pluralité de fentes longitudinales, notées F1,... Fi,.. . Fn, formant une pluralité de diaphragmes permettant de délivrer en fait une pluralité de faisceaux d'illumination en nappe ainsi que représenté sur la figure précitée. Chaque faisceau d'illumi- nation en nappe est distribué sensiblement dans un plan contenant l'une des fentes longitudinales de l'ensemble de ces fentes et la source S. Ainsi que représenté sur la figure 6a, l'ensemble des plans contenant l'un des faisceaux d'illumination en nappe forme un faisceau de plans conver- geant vers la source de rayonnement ionisant. Ainsi que représenté également sur la figure précitée, le dispositif selon l'invention comprend un module de détection de l'ensemble des faisceaux d'illumination en nappe, lesquels ont permis d'illuminer le sujet à observer SU, ce sujet étant placé en aval du collimateur CO. Ce module de détection comprend un détecteur de particules ionisantes tel que précédemment décrit dans la description en liaison avec les figures la à 5b, ce détecteur 1 étant placé en vis-à-vis d'un faisceau d'illumination en nappe correspondant. Ainsi, chaque détecteur, noté 11, 1l à 1., correspond à une fente F, Fi à Fn, et en particulier, la fenêtre Fe1, Fei à Fen de chacun de ces détecteurs, fenêtre d'admission du faisceau d'illumination en nappe, est placée dans le plan formé par la source de rayonnement ionisant S et la fente Fi délivrant ce faisceau d'illumination en nappe auquel ce détecteur est associé. Les fenêtres Fe, peuvent être creusées, ainsi que représenté en figure 6b, dans un collimateur commun CO'. Ainsi qu'on l'a représenté sur les figures 6a et 6b, on peut constater que l'ensemble des détecteurs 11 à 1, est incliné symétriquement par rapport à un détecteur central, le détecteur li sur les figures précitées.. .--.. Afin d'assurer l'indépendance de chaque détecteur ls, ceux-ci peuvent être munis de protections, notées Il, protections constituées par une feuille de plomb ou tungs- tène permettant d'assurer l'indépendance de chacun des détecteurs 11 vis-à-vis des rayonnements ionisants diffusés par chaque faisceau d'illumination en nappe voisin. On a ainsi décrit un dispositif d'imagerie radiogra- phique à haute résolution particulièrement performant dans la mesure o le détecteur 1 mis en oeuvre présente une très faible épaisseur. En effet, compte tenu de l'espace de de conversion 12 et de l'espace d'amplification 15, l'épaisseur totale est de l'ordre de 1,1 mm. En particulier, cette caractéristique spécifique du dispositif d'imagerie radio- graphique à haute résolution, objet de la présente inven- tion, permet la mise en oeuvre d'un appareil comportant des détecteurs multiples tels que représentés en figures 6a et 6b. Ces détecteurs fonctionnent en quelque sorte en paral- lèle et la multiplication des détecteurs, lorsqu'un nombre n de détecteurs est utilisé, permet de gagner dans le temps de balayage du sujet SU à observer, dans un rapport n correspondant. On comprend bien sûr que l'ensemble des n détecteurs peut être placé dans une enceinte à gaz unique sous pression avec des écrans de séparation en plomb, les écrans Il. précédemment mentionnés dans la description, ces derniers empêchant tout rayonnement secondaire produit dans un détecteur d'aller perturber la détection dans les détecteurs voisins. Enfin, dans le cas o le rayonnement ionisant est un rayonnement à haute énergie tel qu'un rayonnement y d'éner- gie supérieure à 1 MeV, susceptible d'être utilisé en radio- graphie industrielle, les détecteurs 1 mis en oeuvre peuvent comporter, en lieu et place de la structure microcanaux 12, précédemment mentionnée dans la description, une pluralité de feuilles minces inclinées, telles que des feuilles de tantale placées sous incidence rasante, de l'ordre de 1 degré, par rapport à la direction moyenne du flux d'illu- mination de particules ionisantes, selon une technique connue de l'art antérieur. Ces feuilles permettent d'assurer la conversion des particules. Ce mode de mise en oeuvre permet, d'une part, d'augmenter la probabilité de capture des particules ionisantes et d'éjec- tion des photo-électrons ainsi engendrés, conformément à la technique de l'art antérieur précitée, mais, d'autre part, grâce à la très grande capacité de taux de comptage des détecteurs 1 conformes à l'objet de la présente invention utilisés, de simplifier et de réduire considérablement les coûts de mise en oeuvre de l'accélérateur de particules générateur des particules ionisantes utilisées. REVENDICATIONS 1. Dispositif d'imagerie radiographique en rayonne-- ment ionisant à haute résolution, comportant une source de rayonnement ionisant selon un faisceau divergent, une fente longitudinale formant diaphragme permettant de délivrer un faisceau d'illumination en nappe distribué sensiblement dans un plan contenant la fente longitudinale et des moyens de détection d'un faisceau transmis par un sujet à observer, illuminé par le faisceau d'illumination en nappe, caracté- risé en ce que lesdits moyens de détection comportent au moins un détecteur de particules ionisantes comprenant au moins: - une enceinte à gaz munie d'une fenêtre d'admission dudit faisceau d'illumination, et dans cette enceinte à gaz, - une première, deuxième et troisième électrode plane, chaque électrode plane étant placée parallèlement chacune à chacune pour former un espace de conversion du faisceau d'illumination en électrons et un espace d'amplifi- cation par multiplication de ces électrons, ladite fenêtre d'admission étant placée au niveau de l'espace de conversion pour assurer l'admission dudit faisceau d'illumination dans l'espace de conversion, ledit espace d'amplification présentant une longueur de multiplication, distance séparant la deuxième et la troisième électrode, inférieure à 200 pm, ce détecteur comportant en outre: - des moyens de polarisation permettant de porter la première électrode à un premier potentiel électrique, la deuxième électrode à un deuxième potentiel électrique, supérieur au premier potentiel électrique, et la troisième électrode à un troisième potentiel électrique supérieur au deuxième potentiel électrique, la deuxième électrode étant percée de trous formant une cathode permettant la transmis- sion des électrons engendrés dans l'espace de conversion vers l'espace d'amplification, et la troisième électrode formant une anode constituée par une pluralité d'anodes élémentaires isolées électriquement, les potentiels électri- ques appliqués à la première, à la deuxième et à la troi- sième électrode permettant d'engendrer un premier et un deuxième champ électrique sensiblement parallèle dans l'espace de conversion et dans l'espace d'amplification, chacun de ces champs électriques étant sensiblement orthogo- nal auxdites électrodes et dans un rapport d'amplitude supérieur à 10, ce qui permet d'assurer la multiplication de ces électrons dans l'espace d'amplification par phénomène d'avalanche confiné à la longueur d'amplification pour engendrer, au voisinage de la troisième électrode formant anode, des électrons multipliés, - des moyens de détection et de comptage des électrons multipliés couplés auxdites anodes élémentaires formant l'anode. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite fenêtre d'admission est placée, soit latéralement sur l'enceinte à gaz de façon à permettre l'admission dudit faisceau d'illumination parallèlement aux électrodes, soit sur la face de l'enceinte à gaz située en vis-à-vis de la deuxième électrode formant électrode de cathode de façon à permettre une admission frontale dudit faisceau d'illumination vis-à-vis des électrodes. 3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que lesdites anodes élémentaires sont formées par des éléments électriquement conducteurs présen- tant un axe de symétrie longitudinale, l'axe de symétrie longitudinale de chaque élément électriquement conducteur étant orienté de manière à converger vers la source de rayonnement ionisant, point d'émission du faisceau d'illumi- nation, ce qui permet de supprimer sensiblement l'erreur de parallaxe due à la projection du plan du faisceau d'illumi- nation sur le plan de la troisième électrode constituant l'anode. 4. Dispositif selon la revendication 2 ou 3, caractérisé en ce que lesdits éléments électriquement conducteurs constituant ces anodes élémentaires présentent une dimension dans une direction orthogonale à ladite direction d'axe de symétrie longitudinale sensiblement égale à la distance d'amplification, deux éléments électriquement conducteurs consécutifs selon cette même direction orthogo- nale étant espacés de façon régulière dans l'angle d'ouver- ture du faisceau d'illumination. 5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que lesdits moyens de détection et de comptage comportent: - une pluralité d'amplificateurs rapides, un amplificateur rapide étant couplé à un élément électrique- ment conducteur formant une anode élémentaire, et délivrant un signal électrique de détection pour l'anode élémentaire considérée; - des moyens de comptage et de mémorisation inter- connectés en sortie des amplificateurs rapides. 6. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce que ladite deuxième électrode est formée par une grille électriquement conductrice, et en ce que la grille présente un réseau régulier de trous dont le pas P, dans le plan de la deuxième électrode est compris entre D/10 et D/3, la plus grande dimension des trous T étant supé- rieure à l'épaisseur e de cette grille mais inférieure à P. 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que celui-ci comprend en outre, dans l'espace de conversion, une structure multicanaux permettant la capture du faisceau d'illumination et la création d'électrons, chaque canal de la structure multicanaux s'étendant dans la direction du premier champ électrique. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que ladite structure multicanaux est une structure microcanaux formée par un bloc en matériau absorbant le rayonnement ionisant du faisceau d'illumination, cette structure étant munie de microcanaux parallèles présentant au moins une ouverture abouchant sur une surface plane de cette structure, l'ensemble de ces ouvertures formant sur cette surface plane un réseau de trous au même pas P et à la même dimension T que le réseau de trous dans la grille formant la deuxième électrode, ladite face plane et ce réseau d'ouvertures étant placés au voisinage de cette deuxième électrode formant cathode, une ouverture de ce réseau d'ouvertures étant placée en vis-à-vis d'un trou de la grille formant cette deuxième électrode, les ouvertures et les trous étant ainsi en vis-à-vis. 9. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que lesdits moyens de détection et de comptage comportent en outre un circuit de détection électrostatique consistant en un couplage capaci- tif avec chaque anode élémentaire, ce circuit de détection électrostatique comportant au moins une première bande électriquement conductrice, cette bande électriquement conductrice étant subdivisée selon un motif périodique en deux bandes élémentaires dont le couplage électrostatique à chaque anode élémentaire est une fonction croissante respectivement décroissante du rang k de l'anode élémentaire à laquelle chaque bande élémentaire est couplée. 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que le gaz contenu dans l'enceinte à gaz est le xénon mélangé à une vapeur de "quenching" à une pres- sion comprise entre 102 et 106 p. 11. Dispositif selon la revendications 1, caracté- risé en ce que le gaz contenu dans l'enceinte à gaz est constitué par un mélange d'argon et de triméthylamine permettant d'engendrer dans ledit espace d'amplification une multiplication des électrons par phénomène d'avalanches lumineuses, lesdites anodes élémentaires étant formées par des éléments électriquement conducteurs transparents, permettant la transmission de la lumière engendrée par les avalanches lumineuses ainsi créées. 12. Dispositif selon la revendication 11, caracté- risé en ce que lesdites anodes élémentaires sont formées par une grille électriquement conductrice associée à une paroi permettant soit la transmission de la lumière à la longueur d'onde du phénomène d'avalanche lumineuse, soit le change- ment de la longueur d'onde du phénomène d'avalanche lumi- neuse en une longueur d'onde du spectre du domaine visible. 13. Dispositif selon la revendication 12, caracté- risé en ce que les moyens de comptage sont constitués par des moyens intégrateurs, tels qu'un film sensible, associés à des moyens optiques et amplificateur de brillance, placés sur la paroi permettant la transmission ou le changement de la longueur d'onde du phénomène d'avalanche lumineuse. 14. Dispositif d'imagerie radiographique en rayonne- ment ionisant à haute résolution, comportant une source de rayonnement ionisant selon un faisceau divergent, caracté- risé en ce qu'il comprend: - un collimateur comportant une pluralité de fentes longitudinales formant une pluralité de diaphragmes permet- tant de délivrer une pluralité de faisceaux d'illumination en nappe, chacun distribué sensiblement dans un plan contenant une des fentes longitudinales de cette pluralité de fentes longitudinales, l'ensemble des plans contenant l'un des faisceaux d'illumination en nappe formant un faisceau de plans convergents vers ladite source de rayonne- ment ionisant, et - des moyens de détection de l'ensemble des fais- ceaux d'illumination en nappe, lesdits moyens de détection comprenant un détecteur de particules ionisantes selon l'une des revendications 1 à 13, placé en vis-à-vis de chaque faisceau d'illumination en nappe, chaque détecteur étant placé dans le plan formé par la source de rayonnement ionisant et la fente délivrant en nappe auquel ce détecteur est associé. 15. Dispositif selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que pour une imagerie en radiographie A, la source de rayonnement ionisant consistant en un gel d'électrophorèse ou une coupe radioactivement marqué siège de points d'émission de rayons P et placé au voisinage de la fenêtre pour une admission frontale du faisceau d'illumina- tion, lesdites première et deuxième électrode sont distantes-' d'une distance X voisine ou inférieure à celle de la distance séparant la deuxième et la troisième électrode, l'espace de conversion et l'espace d'amplification présen- tant une dimension sensiblement égale dans une direction perpendiculaire auxdites électrodes, ce qui permet de limiter la longueur du parcours de chaque rayon P émis par la source à une valeur sensiblement égale à celle de la distance X séparant la première et la deuxième électrode et d'amener la précision de localisation des points d'émission de rayons p à une valeur voisine de ou inférieure à cette distance X.