Brevet FR2753253A1 — publié le 19980313

L'invention concerne des valves, et plus par- ticulièrement des valves à membranes. Des valves à membranes utilisent une membrane élastique et un épaulement de valve destiné à porter contre un siège de valve et à empêcher l'écoulement d'un fluide au- delà de ce siège. Les valves à membranes présentent d'excel- lentes caractéristiques d'étanchéité et d'isolement leur permettant de contenir un fluide commandé et d'empêcher une migration du fluide commandé dans les mécanismes de la valve ou à l'extérieur de la valve. Dans de nombreuses applications, en particulier dans l'industrie des semiconducteurs, la fuite d'un fluide doit être strictement limitée du fait de nature corrosive du fluide commandé. Une valve à membrane doit être formée d'une matière capable de supporter de tels fluides corrosifs tout en permettant un grand nombre de manoeuvres sans réparation ou remplacement. Des actionneurs utilisés pour la manoeuvre des valves à membranes constituent un point potentiel de fuite de fluide à partir de la valve. L'actionneur doit être monté de façon étanche pour empêcher toute fuite et permettre à une force mécanique exercée depuis l'extérieur de la valve d'agir sur l'actionneur. Dans de nombreuses applications dans l'industrie des semiconducteurs, il est nécessaire de modifier instan- tanément un écoulement de fluide pour un processus par- ticulier. De plus, il est apparu la nécessité d'alterner entre des processus ou des équipements particuliers. Ce type de commutation de fluide peut être réalisé avec deux valves à membranes à deux voies et un raccord extérieur en T. Cependant, lorsqu'on utilise deux valves à deux voies, l'espace demandé pour le montage de ces valves et des commandes supplémentaires pour commander séparément chaque valve augmentent le coût d'installation. Les fluides de traitement utilisés dans des applications au traitement de semiconducteurs peuvent être très caustiques et doivent être ultrapurs. Une contamination de ces fluides ultrapurs peut provoquer une détérioration catastrophique des tranches traitées pour formation de circuits intégrés. Une source potentielle de contamination est un contact entre le fluide et pratiquement tout type de métal. Les valves de commande de traitement, en particulier les valves à membranes, peuvent généralement être fabriquées pratiquement entièrement en matière plastique, y compris les matières plastiques du type fluoropolymères. Ces matières plastiques utilisées ne contaminent pas les fluides de traitement vis-à-vis desquels elles sont inertes. Une partie des valves en matière plastique qu'il est très difficile de remplacer est le ressort métallique utilisé pour établir la position normalement ouverte et/ou la position normalement fermée de la valve. Ces ressorts sont habituellement isolés des quatre trajets de fluide par l'un des éléments de valve et des membranes associées. Cependant, une défaillance de la membrane unique séparant les trajets d'écoulement de fluide du ressort métallique peut provoquer une entrée en contact du fluide avec le ressort métallique et entraîner ainsi une contamination du fluide. Une protection supplémentaire de sécurité pour empêcher cette contamination est justifiée. L'invention concerne une valve à membranes à trois voies. La valve comporte un bâti ayant trois canaux d'écoulement débouchant chacun dans une chambre intérieure ouverte. Celle-ci est divisée en une chambre centrale, une chambre supérieure et une chambre inférieure. Un premier siège de valve est placé entre la chambre centrale et la chambre supérieure. Un second siège de valve est placé entre la chambre centrale et la chambre inférieure. Un ensemble central à tige de valve est mQnté de façon coulissante dans la valve et comporte un premier élément d'obturation et un second élément d'obturation disposés de façon à s'appliquer de façon alternée contre le premier siège de valve et le second siège de valve, respectivement, pour diriger un écoulement d'un passage à un autre. Un ressort porte contre l'ensemble à tige d'obturation pour tendre à rétablir la position relative des éléments d'obturation et des sièges de valve dans une première position prédéterminée. Un actionneur comportant un piston est monté de façon coulissante dans une chambre de piston et est relié à l'ensemble à tige de valve pour vaincre la force du ressort et déplacer l'ensemble à tige de valve jusque dans une seconde position actionnée. Le piston peut être déplacé par de l'air comprimé ou un fluide hydraulique pour actionner automatiquement la valve afin de l'amener dans la seconde position actionnée. Des membranes sont formées de façon intégrée sur chaque élément d'obtura- tion et reliées au corps d'obturation pour former une barrière ou des parois extérieures de la chambre intérieure ouverte afin d'empêcher un fluide de fuir de la valve. Une ouverture de détection de fuite pénètre dans le corps de la valve et est en communication de fluide avec l'actionneur et la chambre du ressort pour détecter une fuite de fluide sortant de la chambre intérieure ouverte. Un objet de l'invention est de procurer une valve à membranes configurée sous la forme d'une valve à trois voies et présentant l'avantage d'un actionneur entraîné par un piston. Un avantage de l'invention est que l'espace demandé est notablement réduit en comparaison avec deux valves à membranes à deux voies combinées pour obtenir le même effet de distribution. De plus, un raccord extérieur en T, nécessaire pour le montage à deux valves à deux voies, est éliminé. Un autre avantage de l'invention est qu'un système d'étanchéité isole lachambre intérieure ouverte de l'atmosphère ou des autres constituants de la valve par un élément d'obturation venu de moulage sur la tige de la valve et un second élément d'obturation fixé de façon permanente sur la tige de la valve, chaque élément d'obturation compor- tant une membrane venue de moulage reliée au corps de valve et fermant de façon étanche la chambre intérieure ouverte. Un autre objet et un autre avantage de l'inven- tion telle que configurée sont que les trois canaux d'écoule- ment, à leur sortie du corps de la valve, sont tous coplanai- res, ce qui facilite l'installation. Une autre particularité de l'invention est que le premier canal d'écoulement peut être utilisé en tant qu'en- trée commune ou sortie commune. Un autre avantage de l'invention est que la configuration de la valve permet au dispositif d'être aisément fabriqué par moulage par injection avec un usinage minimal après le moulage. Un autre objet et un autre avantage de l'inven- tion en ce qui concerne la forme de réalisation utilisant la membrane d'isolement à ressort supplémentaire sont qu'une barrière de protection supplémentaire est formée pour empêcher une contamination des fluides de traitement comman- dés par la valve. L'invention sera décrite plus en détail en regard des dessins annexés à titre d'exemples nullement limitatifs et sur lesquels: la figure 1 est une vue en perspective de la valve à membranes à trois voies; la figure 2 est une vue en plan de dessus de la valve à membrane à trois voies; la figure 3 est une vue en coupe détaillée suivant approximativement la ligne 3-3 de la figure 2; la figure 4 est une vue en coupe détaillée suivant approximativement la ligne 4-4 de la figure 2; la figure 5 est.une vue en coupe axiale de l'ensemble à tige de la valve; la figure 6 est une vue en coupe détaillée analogue à celle de la figure 2 montrant une autre con- figuration de la valve; et la figure 7 est une vue en coupe détaillée analogue à celle de la figure 2, montrant une autre forme de réalisation similaire à celle de la figure 6. En référence aux figures 1 et 2, la valve 10 à membranes à trois voies comporte un bâti 11 présentant un premier canal d'écoulement 12, un deuxième canal d'écoulement 13 et un troisième canal d'écoulement 14. Le premier canal d'écoulement 11 peut être configuré en entrée et le deuxième canal d'écoulement 13 et le troisième canal d'écoulement 14 peuvent être configurés en sorties. Le bâti 11 comprend une embase 16 ayant une bride de montage 17 fixée par un chapeau inférieur 80 à un corps 28 et un actionneur 18 fixé par un chapeau supérieur 20 au corps 28. L'actionneur 18 présente un orifice d'entrée 22 et une ouverture 25 pour un indicateur, dans laquelle un indicateur visuel 24 est monté de façon coulissante. Comme illustré sur la figure 2, une ouverture 26 de détection de fuite est formée dans le bâti 11. En référence aux figures 3 et 4, la valve à membranes à trois voies est illustrée comme ayant un corps 28 fixé à l'actionneur 18 par le chapeau supérieur 20, et une chambre 29 de piston est formée dans l'actionneur 18. La surface extérieure de cet actionneur 18 présente une rainure d'étanchéité destinée à maintenir une bague torique 32 d'actionneur comprimée entre le corps 28 et l'actionneur 18 pour assurer l'étanchéité de la jonction entre l'actionneur 18 et le corps 28 et isoler la chambre 29 de piston de l'atmosphère. Le corps 28 définit une chambre intérieure ouverte 34 communiquant avec le premier canal d'écoulement 12. Le corps 28 comporte un premier siège 36 de valve et un second siège 38 de valve formés coaxialement autour de l'axe A de la valve. En référence toujours aux figures 3 et 4, un ensemble à tige centrale 40 de la valve est positionné en alignement sur l'axe vertical A dans la chambre intérieure ouverte 34. L'ensemble à tige de valve 40 comporte un premier élément d'obturation 42 et un second élément d'obturation 44. Le premier élément d'obturation 42 porte une première membrane 46 avec laquelle il est réalisé d'une seule pièce et qui s'étend circonférentiellement autour de ce premier élément d'obturation 42. De la même manière, le second élément d'obturation 44 porte une seconde membrane 48 avec laquelle il est réalisé d'une seule pièce et qui s'étend circonférentiellement autour de ce second élément d'obtura- tion 44. Le premier élément d'obturation 42 comporte un premier épaulement 50 d'obturation formé sur cet élément, comme montré sur la figure 3, destiné à s'appliquer de façon étanche contre le premier siège de valve 36 dans une position de fermeture. Le second élément d'obturation 44 porte un second épaulement d'obturation 52 destiné à s'appliquer de façon étanche contre le second siège 38. Le premier élément d'obturation 42 et le second élément d'obturation 44 sont reliés par une tige creuse 54 de valve. En référence toujours aux figures 3 et 4, l'actionneur 18 comporte un piston 60 monté de façon coulis- sante dans l'actionneur 18 et portant de façon étanche contre une paroi cylindrique intérieure 62 sur l'actionneur 18. Le piston 60 est relié à l'indicateur visuel 24 et est en outre relié à l'ensemble 40 à tige de valve pour déplacer la tige 54 de la valve axialement le long de l'axe A de la valve afin de solliciter en alternance le premier siège 36 de valve pour qu'il porte contre le premier élément d'obturation 42 ou le second siège 38 de valve pour qu'il porte contre le second élément d'obturation 44 en position de fermeture. L'action- neur 18 comporte une bague 64 d'étanchéité de l'indicateur montée dans une gorge annulaire autour de l'indicateur visuel 24 pour porter de façon étanche contre l'indicateur 24 et isoler de l'atmosphère la chambre supérieure 66 du piston. Une gorge annulaire 68 est formée dans le piston 60 et une bague torique 70 pour le piston est montée dans cette gorge afin de porter contre la paroi cylindrique intérieure 62 pour isoler de façon étanche une chambre inférieure 72 de piston de la chambre supérieure 66 du piston. Un écrou 74 est en prise avec le piston 60. Une vis 76 s'étend dans un alésage 122 de la tige 54 de valve (figure 5) pour être vissée dans l'écrou 74. En référence toujours aux figures 3 et 4, l'embase 16 peut comprendre un logement 78 de ressort relié au corps 28 par le chapeau inférieur 80. Le logement 78 de ressort comporte un fond 81 et des parois latérales 84 définissant une chambre 82 de ressort. Une gorge annulaire 86 est formée dans la surface extérieure des parois latérales 84 et une bague torique 88 à ressort est montée dans cette gorge annulaire pour porter de façon étanche contre le corps 28 afin d'isoler de façon étanche la chambre de ressort 82 de l'atmosphère extérieure. Le chapeau inférieur 80 peut être vissé sur le corps 28 pour retenir en place le logement 78 de ressort. Un ressort 90 est placé dans la chambre 82 de ressort afin de porter contre le fond 81 et l'ensemble 40 à tige de valve pour rappeler l'ensemble central à tige 40 de valve dans une première position prédéterminée non actionnée, comme montré sur les figures 3 et 4. En référence toujours aux figures 3 et 4, la première membrane 46 et la seconde membrane 48 sont appli- quées de façon étanche sur le corps 28 pour définir et contenir un fluide dans la chambre intérieure ouverte 34. Une bague inférieure 94 d'étanchéité peut être placée entre le logement 78 de ressort et le corps 28 afin de maintenir la partie de bord 116 (figure 5) de la première membrane 46 entre cette bague inférieure 94 d'étanchéité et le corps 28. La bague inférieure 94 d'étanchéité peut présenter une encoche 96 formée le long de la périphérie extérieure de cette bague inférieure 94 pour positionner une première bague torique 98 de maintien. La première bague torique 98 de maintien assure l'étanchéité entre la bague inférieure 94 d'étanchéité et le corps 28 et peut s'appliquer contre la partie de bord 116 de la première membrane 46 pour que cette première membrane 46 soit fixée entre la première bague torique 98 de maintien et le corps 28. La force exercée par le chapeau inférieur 80 sur le logement 78 de ressort comprime la première bague torique 98 de maintien afin de retenir la première membrane 46 séparant de façon étanche la chambre intérieure ouverte 34 de la chambre 82 de ressort. La première membrane 46 forme une paroi extérieure inférieure de la chambre inférieure 112. En référence toujours aux figures 3 et 4, une bague supérieure 100 d'étanchéité peut être placée entre l'actionneur 18 et le corps 28, d'une manière sensiblement similaire à celle de la bague inférieure 94 d'étanchéité. La bague supérieure 100 d'étanchéité peut présenter une encoche 102 formée le long de la périphérie extérieure de cette bague pour positionner une seconde bague torique 104 de maintien. La seconde bague torique 104 de maintien assure un assemblage étanche entre le corps 28 et la bague supérieure d'étanchéité. La partie de bord 118 (figure 5) de la seconde membrane 48 peut être retenue entre la bague supé- rieure 100 d'étanchéité et le corps 28 pour séparer de façon étanche la chambre intérieure ouverte 34 et l'actionneur 18. La partie de bord 118 de la seconde membrane 48 peut être maintenue entre la seconde bague 104 de maintien et le corps 28. La seconde membrane 48 forme la paroi extérieure supé- rieure de la chambre supérieure 114. En référence à la figure 3, un canal 106 de détection de fuite est formé dans le corps en communication de fluide avec la chambre de ressort 82 et la chambre inférieure 72 du piston. Le canal 106 de détection de fuite s'étend jusqu'à l'ouverture 26 de détection de fuite formée dans le côté extérieur du corps 28. Comme illustré sur la figure 3, le canal 106 de détection de fuite peut s'étendre à travers la bague inférieure 94 d'étanchéité pour permettre à l'ouverture 26 de détection de fuite d'être en com- munication de fluide avec la chambre 82 de ressort. En outre, comme illustré sur la figure 3, le canal 106 de détection de fuite peut s'étendre à travers la bague supérieure 100 d'étanchéité pour permettre une communication de fluide entre l'ouverture 26 de détection de fuite et la chambre inférieure 72 du piston. En référence aux figures 3 et 4, la chambre intérieure ouverte 34 est en outre divisée en une chambre centrale 110, une chambre inférieure 112 et une chambre supérieure 114. La chambre centrale 110 est proche de l'ensemble à tige centrale 40 de valve et est en com- munication avec le premier canal d'écoulement 12. La chambre inférieure 112 est séparée de la chambre centrale 110 par le premier siège 36 de base. La chambre supérieure 114 est séparée de la chambre centrale 110 par le second siège 38 de valve. L'ensemble à tige de valve 40 se déplace axialement dans le corps 28 le long de l'axe A pour amener le premier élément d'obturation 42 à entrer en contact de fermeture avec le premier siège de valve 36 ou bien, en variante, amener le second élément d'obturation 44 à entrer en contact de fermeture avec le second siège de valve 38. En référence à la figure 4, la chambre supérieure 114 est en communication de fluide avec le deuxième canal d'écoulement 13. La chambre inférieure 112 est en com- munication de fluide avec le troisième canal d'écoulement 14. Lorsque l'ensemble à tige de valve 40 est dans une première position prédéterminée non actionnée, le premier élément d'obturation 42 porte contre le premier siège de valve 36 pour isoler de façon étanche la chambre centrale 110 de la chambre inférieure 112, empêchant un fluide de s'écouler entre le premier canal d'écoulement 12 et le troisième canal d'écoulement 14. Le second élément d'obturation 44 est espacé du second siège de valve 38, permettant une communication de fluide entre la chambre centrale 110 et la chambre supérieure 114, ce qui permet à un fluide de s'écouler entre le premier canal d'écoulement 12 et le deuxième d'écoulement 13. Une force d'entraînement telle que de l'air comprimé, de l'eau sous pression ou un fluide hydraulique, peut être appliquée à l'orifice médian 22, mettant sous pression la chambre supérieure 66 de l'actionneur du piston, ce qui sollicite le piston 60 pour vaincre la force du ressort 90 et faire descendre l'ensemble à tige de valve centrale 40 le long de l'axe A vers la chambre de ressort 82, amenant le premier élément d'obturation 42 à se séparer du premier siège de valve 36 et permettant ainsi une communication de fluide entre le premier canal d'écoulement 12 et le troisième canal d'écoulement 14. De la même manière, le mouvement axial du piston 60 dans l'actionneur 18 le long de l'axe vertical A sollicite le second élément d'obturation 44 vers une position de fermeture contre le second siège de valve 38, fermant toute communication de fluide entre le premier canal d'écou- lement 12 et le deuxième canal d'écoulement 13. En référence à la figure 5, l'ensemble à tige de valve centrale 40 est illustré enlevé de la valve 10. L'ensemble à tige centrale 40 de valve comporte un premier élément d'obturation 42 venu de moulage avec une tige creuse 54. Un premier épaulement 50 d'obturation et une première membrane 46 viennent de moulage avec le premier élément d'obturation 42. La première membrane 46 comporte une partie de bord 116. Le second élément d'obturation 44 peut être moulé séparément du premier élément d'obturation 42 et de la tige creuse 54. Le second élément d'obturation 44 comporte une seconde membrane 48 et un second épaulement d'obturation 52. La seconde membrane 48 comporte une partie de bord 118. Le second élément d'obturation 44 présente un alésage central qui est dimensionné pour sajuster sur la tige creuse 54. L'alésage central 120 peut être concentrique à la partie de bord 118 de la seconde membrane 48. Le second élément d'obturation 44 peut être relié de façon non amovible à la tige creuse 54 par soudage ou par un adhésif à une surface 121, formant un ensemble 40 à tige de valve d'un seul bloc. La tige creuse 54 est introduite dans l'alésage central 120 pour que le premier élément d'obturation 42 soit positionné coaxialement avec le second élément d'obturation 44 autour de la tige creuse 54. Cellec-ci présente un alésage 122 destiné à recevoir la vis 76 qui peut être utilisée pour relier l'ensemble à tige centrale 40 de valve au piston 60. En fonctionnement, en référence aux figures 3 et 4, le corps 28 de la valve peut être formé d'une matière du type "Teflon ", par exemple de la désignation DuPont PFA 445. L'ensemble 40 à tige de valve peut être formé d'une matière du type "Teflon ", par exemple de la désignation DuPont PFA 450. La vis 76 peut être formée par pultrusion de fibres de carbone enrobées d'une matière du type polyéther-éther-cétone (PEEK). Les bagues toriques, telles que la première bague torique 98 de maintien, la bague torique 70 du piston et les bagues 32, 88 d'étanchéité du corps, peuvent être formées d'un perfluoroalkoxy (PFA) enrobant du "Viton ". Le ressort est formé d'un acier inoxydable à revêtement de fluoro- polymère. L'actionneur 18, le chapeau supérieur 20, le logement 78 du ressort et le chapeau inférieur 80 portant l'embase 16 peuvent être formés d'un polyfluorure de vinyli- dène (PVDF), tel que celui disponible sous la désignation "KYNAR". Chacune de ces matières est conçue spécialement pour résister à la corrosion et à la réaction avec des substances chimiques utilisées dans l'industrie telle que l'industrie des semiconducteurs. La possibilité d'utiliser d'autres matières est laissée au choix de l'utilisateur. En référence toujours aux figures 3 et 4, la valve 10 est assemblée par mise en place de la tige creuse 54, sur laquelle le premier élément d'obturation 42 vient de moulage, dans le corps 28 de la valve. Le second élément d'obturation 44 est placé sous la tige creuse 54 et est fixé de façon définitive à cette tige 54 par soudage ou collage de celle-ci dans l'alésage central 120 du second élément d'obturation 44, ou par des moyens similaires connus dans la technique d'assemblage d'éléments de matière plastique. La seconde bague torique 104 de maintien est placée sur la bague supérieure 100 d'étanchéité. Cette bague supérieure 100 d'étanchéité est placée à proximité de la chambre supérieure 114, la seconde bague torique 104 de maintien portant contre la partie de bord 118 de la seconde membrane 48. Le piston 60 auquel l'écrou 74 est fixé est positionné pour permettre à la vitesse 76 de passer dans l'alésage 122 et d'être vissé dans l'écrou 74 pour relier l'ensemble à tige centrale de la valve au piston 60. L'actionneur est placé sur le corps 28 et est fixé de façon étanche par le chapeau supérieur 20 et la bague torique 32 portant contre le corps 28. Le chapeau supérieur comporte une lèvre 120 de prise s'étendant au-dessus de l'actionneur 18 et portant contre celui-ci pour bloquer fixement l'actionneur 18 sur le corps 28. En référence toujours aux figures 3 et 4, la première bague 98 de maintien est placée sur la bague inférieure 94 d'étanchéité. Cette bague inférieure 94 d'étanchéité est placée à proximité de la chambre inférieure 112, emprisonnant la partie de bord 116 de la première membrane 46 entre la première bague torique 98 de maintien et le corps 28. La bague torique 88 du ressort est placée dans la chambre annulaire 86 située dans les parois latérales 84 du logement 78 de ressort. Ce logement 78 renfermant le ressort 90 est introduit dans le corps 28. Le ressort 90 porte contre l'ensemble de tige de valve 40 et le fond 81. Les parois latérales 84 du logement 78 de ressort portent contre la bague inférieure 94 d'étanchéité, maintenant la partie de bord 116 de la première membrane 46 sur le corps 28. Le chapeau inférieur 80 est fixé au corps 28 pour retenir l'embase 16 ayant le logement 78 de ressort sur le corps 28. En référence aux figures 1 et 3, une source de fluide sous pression (non représentée) est raccordée à l'orifice 22 pour permettre une communication de fluide avec la chambre supérieure 66 de l'actionneur du piston. Une tuyauterie, telle que nécessaire pour le pompage du fluide, est raccordée aux premier, deuxième et troisième canaux d'écoulement 12, 13 et 14, respectivement. Un détecteur de fuite (non représenté) est relié à l'orifice 26 de détection de fuite pour détecter une fuite de fluide depuis la chambre intérieure ouverte 34 jusqu'à l'intérieur de l'actionneur 18 ou du logement 78 de ressort. Une force de mise sous pression appliquée à l'orifice 22 sollicite le piston 60 pour qu'il se déplace axialement dans l'actionneur 18, amenant l'ensemble à tige centrale 40 de valve à se déplacer axialement le long de l'axe A de la valve, ce qui amène le premier élément d'obtu- ration 42 en position de fermeture avec le siège de valve 36 et éloigne le second élément d'obturation 44 d'une position de fermeture avec le siège de valve 38. Le premier siège de valve 36 et le second siège de valve 38 peuvent entourer circonférentiellement l'axe A de la valve et être coaxiaux. En outre, le premier épaulement 50 d'obturation et le second épaulement 52 d'obturation entourent circonférentiellement la tige creuse 54 et sont positionnés de façon à s'appliquer contre le premier siège de valve 36 et le second siège de valve 38, respectivement. Lorsque la force de mise sous pression est relâchée à l'orifice 22, la force élastique du ressort 90, portant contre l'ensemble à tige centrale 40 de valve, peut vaincre la pression régnant dans la chambre supérieure 66 de l'actionneur à piston, amenant le piston 60 à s'élever le long de l'axe A de la valve. Ce mouvement de montée sollicité par le ressort 90 amène l'ensemble à tige centrale 40 de valve à se déplacer vers une première position prédéterminée comme décrit précédemment. L'indicateur peut être enfoncé manuellement par un opérateur pour tester le mouvement du piston 60 le long de l'axe A de la valve et tester le fonctionnement des éléments d'obturation 42, 44, respectivement, venant se placer respectivement en position de fermeture avec le siège de valve 36 et en position d'ouverture par rapport au siège de valve 38. En référence à la figure 6, il est montré une autre configuration comprenant une membrane de confinement double supplémentaire 130 qui est formée d'une seule pièce avec un élément 136 d'engagement d'un ressort et est appli- quée de façon étanche contre le corps de la valve. Comme montré dans cette forme de réalisation, le corps de la valve comporte une première chambre 142 avec laquelle communique un premier canal d'écoulement 144, et une seconde chambre 148 avec laquelle communique un second canal d'écoulement, non représenté sur cette vue. Le premier canal d'écoulement 142 et le second canal d'écoulement 148 sont séparés l'un de l'autre au moyen du premier siège 36 de valve et la commnication entre la première chambre et la seconde chambre est commandée par le premier élément d'obturation 42. Plus particulièrement par l'actionneur de l'ensemble à tige de valve par le piston 60. En référence toujours à la figure 6, une troi- sième chambre supplémentaire 152 est séparée de la première chambre 142 au moyen du second siège de valve 38. La com- munication entre la première chambre et la troisième chambre est commandéeau moyen du second élément d'obturation 44 portant contre le second siège de valve 38. La seconde membrane 48 est réalisée d'une seule pièce avec le second élément d'obturation et est appliquée de façon étanche contre le corps de la valve, empêchant ainsi tout fluide se trouvant dans la troisième chambre d'entrer dans le cylindre du piston. Cette forme particulière de réalisation procure l'avantage d'un confinement secondaire ou double des ressorts métalliques par rapport aux trajets d'écoulement des fluides. Par conséquent, si la première membrane se rompt ou si le joint étanche 158 entre la première membrane et le corps de la valve devient défaillant, la membrane de confinement double procure un facteur de sécurité supplémentaire pour empêcher toute entrée en contact du fluide commandé par la valve avec le ressort métallique, ce pourrait provoquer une contamination et une détérioration catastrophiques en ce qui concerne les semiconducteurs traités par le fluide. La figure 7 montre une autre forme de réalisation similaire à celle représentée sur la figure 6. Dans cette forme de réalisation, également, il y a une membrane de confinement double 130 destinée à constituer une barrière supplémentaire pour l'isolement du ressort 90. Le moyen d'actionnement 166, dans ce cas, est une membrane d'actionne- ment mobile 172 se déplaçant dans une chambre d'actionnement 174. La membrane d'actionnement -172 comporte une partie centrale 178 d'actionnement qui s'applique contre l'écrou 74 et l'ensemble à tige de valve 40. La membrane traverse la chambre d'actionnement de la valve afin de définir une chambre intérieure 182 d'actionnement et une chambre ex- térieure 184 d'actionnement. Une mise sous pression de la chambre extérieure 184 d'actionnement par l'intermédiaire du canal 186 d'actionnement sollicite donc la membrane 172 d'actionnement vers le bas et fait donc descendre l'ensemble à tige de valve, faisant cesser la communication entre la première chambre et la troisième chambre et établissant une communication entre la première chambre et la deuxième chambre. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées à la valve à membranes décrite et représentée sans sortir du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Valve à membranes, caractérisée en ce qu'elle comporte: a) un corps de valve (28) ayant un axe (A), une première chambre (110), une deuxième chambre (112) contiguë à la première chambre, et une chambre (82) de ressort adjacente à la deuxième chambre, le corps de valve ayant un premier siège (36) de valve entre la première chambre et la deuxième chambre, et ayant en outre un premier canal (12) d'écoulement en communication avec la première chambre, et un deuxième canal (14) d'écoulement en com- munication avec la deuxième chambre; b) un ensemble (40) à tige de valve mobile axialement dans le corps et comportant: i) un premier élément d'obturation (42) dimensionné conformément au premier siège de valve, une première membrane (46) s'étendant vers l'extérieur depuis le premier élément d'obturation et s'ap- pliquant de façon étanche contre le corps de la valve, l'élément d'obtura- tion pouvant être amené dans une posi- tion de fermeture avec le siège de valve et en être éloigné, la membrane établis- sant un isolement entre le siège de valve et la chambre de ressort; c) un ressort (90) placé dans la chambre de ressort et sollicitant axialement l'ensemble à tige de valve; d) une membrane de confinement double (130) s'appliquant de façon étanche contre le corps de valve et réalisant un isolement secondaire entre le ressort et le siège de valve. 2. Valve à membranes selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre un moyen actionneur (18) à l'intérieur du corps de valve pour déplacer axialement l'ensemble à tige de valve. 3. Valve à membranes selon la revendication 1, caractérisée en ce que le corps de valve comporte un cylindre intérieur (62) pour un piston, la valve comportant en outre un piston mobile (60) logé de façon étanche et mobile dans le cylindre de piston définissant une chambre intérieure (72) de piston et une chambre extérieure (66) de piston, le piston étant en prise avec l'ensemble à tige de valve et pouvant être actionné par une mise sous pression de l'une des chambres du piston afin de déplacer axialement l'ensemble à tige de valve. 4. Valve à membranes selon la revendication 1, caractérisée en ce que le corps de valve comporte une chambre (174) d'actionnement de la valve et la valve comporte en outre une membrane mobile (172) traversant la chambre d'actionnement et définissant une chambre intérieure (182) d'actionnement de la valve et une chambre extérieure (184) d'actionnement de la valve, la membrane ayant une partie centrale (178) d'actionnement qui est en prise avec l'ensem- ble à tige de valve et qui peut être déplacée par une mise sous pression de la chambre intérieure ou extérieure d'ac- tionnement de la valve, grâce à quoi l'élément d'obturation peut être amené en contact de fermeture étanche avec le siège et être éloigné de ce contact. 5. Valve à membranes selon la revendication 1, caractérisée en ce que la chambre extérieure d'actionnement de la valve, la chambre intérieure d'actionnement de la valve, la première chambre, la.deuxième chambre et la chambre de ressort sont positionnées les unes à la suite des autres et en alignement sensiblement axial entre elles. 6. Valve à membranes selon la revendication 1, caractérisée en ce que la première membrane et la membrane d'isolement du ressort sont appliquées de façon étanche contre le corps de la valve en des emplacements espacés axialement dans le corps de la valve. 7. Valve à membranes selon la revendication 1, caractérisée en ce que le corps de la valve comporte une troisième chambre (114) contiguë à la première chambre et positionnée de façon opposée par rapport à la deuxième chambre, un troisième canal (13) d'écoulement en com- munication avec la troisième chambre, et un second siège de valve (38) entre les première et troisième chambres, l'ensem- ble à tige de valve comportant en outre un second élément d'obturation (44) et une tige (54), le premier élément d'obturation et le second élément d'obturation étant fixés sur des extrémités opposées de la tige, le second élément d'obturation étant dimensionné de façon adaptée au second siège de valve, une seconde membrane (48) s'étendant depuis le second élément d'obturation et s'appliquant de façon étanche contre le corps de valve, le second élément d'obtu- ration pouvant être déplacé axialement jusque dans une position de fermeture avec le second siège de valve et éloigné de cette position. 8. Valve à membranes selon la revendication 7, caractérisée en ce que le premier élément d'obturation, la tige de valve et le second élément d'obturation sont soudés entre eux. 9. Valve à membranes selon la revendication 7, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre un moyen (18) d'actionnement de valve positionné dans le corps de la valve pour déplacer axialement l'ensemble à tige de valve. 10. Valve à membranes, caractérisée en ce qu'elle comporte: À a) un corps de valve (28) ayant un axe (A), un premier canal d'écoulement (12), un deuxième canal d'écoulement (13) et un troisième canal d'écoulement (14), une chambre intérieure ouverte (34) dans le corps en communication de fluide avec le premier canal d'écoulement, un premier siège (36) de valve situé dans le corps, dans la chambre intérieure ouverte entre le premier canal d'écoulement et le deuxième canal d'écoulement, un second siège (38) de valve situé dans le corps, dans la chambre intérieure ouverte, entre le premier canal d'écoulement et le troisième canal d'écoulement; b) un ensemble (40) à tige de valve monté de façon mobile dans la chambre intérieure ouverte et comportant: i) un premier élément d'obturation (42) ayant une première membrane (46) reliée de façon étanche au corps, le premier élément d'obturation étant positionné et configuré pour venir se placer dans une position de fermeture avec le premier siège de valve et s'éloigner de cette position; ii) un second élément d'obturation (44) ayant une seconde membrane (48) reliée de façon étanche au corps, le second élément d'obturation étant configuré et positionné pour venir se placer en posi- tion de fermeture avec le second siège de valve et s'éloigner de cette posi- tion; iii) une tige (54) reliée au premier élément d'obturation et au second élément d'obturation; et c) un actionneur (18) situé dans le corps de la valve et en prise avec l'ensemble à tige de valve pour déplacer axialement ledit ensemble dans la chambre intérieure ouverte, grâce à quoi les éléments d'obturation sont amenés dans leurs positions de fermeture et en sont éloignés; d) un ressort métallique (90) placé de façon à solliciter l'ensemble à tige de valve dans une direction axiale, le ressort étant posi- tionné dans une chambre (82) de ressort à l'intérieur du corps de la valve et la cham- bre de ressort étant placée de façon à être adjacente à la chambre intérieure ouverte; et e) une membrane (130) ayant une partie centrale (136) qui transfère la sollicitation du ressort à la tige de valve, la membrane étant reliée de façon étanche au corps de valve afin d'isoler le ressort de la chambre inté- rieure. 11. Valve à membranes selon la revendication 10, caractérisée en ce que le premier élément d'obturation et le second élément d'obturation forment un seul bloc avec la tige. 12. Valve à membranes selon la revendication 10, caractérisée en ce que le corps de la valve comporte un cylindre (62) de piston et l'actionneur situé dans le corps de la valve est configuré en un piston (60) engagé dans le cylindre, ledit cylindre pouvant être actionné par une mise sous pression. 13. Valve à membranes selon la revendication 10, caractérisée en ce que le premier élément d'obturation, le second élément d'obturation et la tige sont traversés chacun par un alésage axial, et l'ensemble à tige de valve comporte en outre un élément fileté (76) s'étendant à travers l'ensem- ble à tige de valve pour le solidariser. 14. Valve, caractérisée en ce qu'elle comporte: a) un corps de valve (28) ayant un axe (A), une première chambre (110), une deuxième chambre (112) contiguë à la première chambre et une chambre de ressort (82) adjacente à la deuxième chambre, le corps de valve ayant un premier siège (36) de valve entre la première chambre et la deuxième chambre, le corps de valve ayant en outre un premier canal d'écou- lement (12) en communication avec la première chambre et un deuxième canal d'écoulement (14) en communication avec la deuxième cham- bre; b) un ensemble à tige de valve (40) mobile axialement dans le corps et comportant: i) un premier élément d'obturation (42) dimensionné de façon adaptée au premier siège de valve, l'élément d'obturation pouvant être amené dans une position de fermeture avec le siège de valve et éloigné de cette position afin de fermer et d'ouvrir une communication entre la première chambre et la deuxième cham- bre; c) un ressort (90) placé dans la chambre de ressort et appliquant une sollicitation axiale à l'ensemble à tige de valve; d) une membrane (46) appliquée de façon étanche contre le corps de la valve et engageant le ressort, grâce à quoi la membrane se déplace pendant la compression et l'extension du ressort, la membrane assurant l'isolement du ressort. 15. Valve selon la revendication 14, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre un moyen actionneur (18) à l'intérieur du corps de valve pour déplacer axialement l'ensemble à tige de valve. 16. Valve selon la revendication 14, caractérisée en ce que le corps de valve comporte une chambre (174) d'actionnement de la valve et la valve comporte en outre une membrane mobile (172) traversant la chambre d'actionnement de la valve et définissant une chambre intérieure (182) d'ac- tionnement de la valve et une chambre extérieure (184) d'actionnement de la valve, la membrane ayant une partie centrale (178) d'actionnement qui est en prise avec l'en- semble à tige de valve et qui peut être déplacée par la mise sous pression de l'une des chambres intérieure et extérieure d'actionnement de la valve, grâce à quoi l'élément d'obtura- tion peut être amené en contact étanche avec le siège de valve et en être éloigné. 17. Valve selon la revendication 14, caractérisée en ce que la chambre extérieure d'actionnement de la valve, la chambre intérieure d'actionnement de la valve, la première chambre, la deuxième chambre et la chambre de ressort sont positionnées les unes à la suite des autres et en alignement sensiblement axial entre elles. 18. Valve selon la revendication 14, caractérisée en ce que le corps de valve comporte une troisième chambre (114) contiguë à la première chambre et positionnée de façon opposée par rapport à la deuxième chambre, un troisième canal d'écoulement (13) en communication avec la troisième chambre, et un second siège de valve (38) entre les première et troisième chambres, l'ensemble à tige de valve comportant en outre un second élément d'obturation (44) et une tige (54), le premier élément d'obturation et le second élément d'obtu- ration étant fixés sur des extrémités opposées de la tige, le second élément d'obturation étant dimensionné conformément au second siège de valve et ce second élément d'obturation pouvant être déplacé axialement jusque dans une position de fermeture avec le second siège de valve, et être éloigné de cette position. 19. Valve à membranes, caractérisée en ce qu'elle comporte: a) un corps (28) ayant des premier, deuxième et troisième canaux d'écoulement (12, 13, 14), une chambre centrale (110) dans le corps raccordée au premier canal d'écoulement, une chambre inférieure (112) dans le corps rac- cordée au deuxième canal d'écoulement, une chambre supérieure (114) raccordée au troi- sième canal d'écoulement, un premier siège de valve (36) sur le corps entre la chambre centrale et la chambre inférieure, et un second siège de valve (38) dans le corps entre la chambre centrale et la chambre supérieure; b) un ensemble mobile à tige de valve (40) dans le corps comportant: i) un premier élément d'obturation (42) dans la chambre inférieure, ayant une première membrane (46) reliée au corps définissant une paroi extérieure de la chambre inférieure, le premier élément d'obturation pouvant être amené en con- tact avec le premier siège de valve et en être éloigné; ii) un second élément d'obturation (44) dans la chambre supérieure, ayant une seconde membrane (48) reliée au corps définis- sant une paroi extérieure de la chambre supérieurs, le second élément d'obtura- tion pouvant être amené en contact avec le second siège de valve et en être éloigné; c) un moyen actionneur (18) destiné à déplacer axialement la tige de valve, ce moyen compre- nant un piston (60) dans une chambre de piston définie dans le corps; d) un ressort (90) portant contre l'ensemble à tige de valve pour tendre à amener cet en- semble à tige de valve dans une première position dans laquelle un fluide sous pres- sion introduit dans l'orifice à fluide sur l'actionneur met sous pression la chambre supérieure du piston, ce qui amène le piston à vaincre la force du ressort et à amener l'ensemble à tige de valve dans une seconde position. 20. Valve à membranes selon la revendication 19, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre un logement (78) de ressort sur le corps, ce logement ayant une chambre (82) de ressort dans laquelle se trouve le ressort. 21. Valve à membranes selon la revendication 20, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre une membrane supplémentaire (130) disposée de façon à réaliser un con- finement secondaire du ressort et de la chambre de ressort.