Brevet FR2754917A1 — publié le 19980424

AFFICHEUR A CRISTAL LIQUIDE ET SON PROCEDE DE FABRICATION La présente invention concerne un afficheur à cristal liquide (LCD) et un procédé de fabrication d'un tel afficheur, et plus particulièrement un afficheur à cristal liquide et un procédé de fabrication de cet afficheur qui soit susceptible d'empêcher les courts-circuits électriques entre des électrodes de pixel voisines. Un afficheur à cristal liquide classique est piloté par un procédé de matrice active, utilisant des transistors en couche mince (TFT), des lignes de signaux, des lignes de données et autres, pour piloter les pixels. Un tel procédé classique est largement utilisé comme dispositif d'affichage pour les systèmes audio et vidéo et pour les systèmes officiels d'automatisation. L'afficheur à cristal liquide classique présente une épaisseur faible, une petite taille, un poids faible et une consommation de puissance faible, par rapport aux autres dispositifs d'affichage tels que les tubes à rayon cathodique (CRT). En outre, l'afficheur à cristal liquide classique présente une bonne vitesse de réponse et une bonne qualité d'affichage pour afficher des données de vidéo animé. La figure 1 montre la structure d'un afficheur à cristal liquide à matrice active classique. Comme représenté sur la figure 1, sur un substrat isolant transparent (tel qu'un verre non alcalin), on forme une pluralité de lignes de balayage 10 s'étendant dans une direction horizontale et une pluralité de données 20 s'étendant dans une direction verticale. On forme une électrode de pixel 30 dans une surface définie par deux lignes de balayage adjacentes 10 et deux lignes de balayage de données adjacentes 20. Un transistor en couche mince 40 est électriquement relié avec une électrode de pixel 30, la ligne de balayage 10 et la ligne de données 20. L'électrode de pixel 30 recouvre une portion de la ligne de balayage 10. Une couche isolante est formée entre l'électrode de pixel 30 et la ligne de balayage 10. La portion en recouvrement de l'électrode de pixel 30 et la portion recouverte de la ligne de balayage 10 servent comme électrodes d'un condensateur de stockage 70. La figure 2 montre une partie d'un condensateur de stockage et des électrodes de pixel d'un afficheur à cristal liquide classique. Comme représenté sur la figure 2, un segment métallique 50 est formé sur la couche d'isolation de grille (non représentée), de sorte à recouvrir la ligne de balayage 10. Le segment métallique 50 recouvre une portion de la ligne de balayage 10, et une couche de protection (non représentée) recouvre le segment métallique 50. Le segment métallique 50 est électriquement relié à l'électrode de pixel 30, par un trou de contact de stockage 60 qui découvre ou expose une surface du segment métallique 50. La portion en recouvrement de l'électrode de pixel 30, le segment 1-175 1)C - 13 octobic 1997 - 1/13 métallique 50, et la portion recouverte de la ligne de balayage 10 servent comme électrode du condensateur de stockage 70. La figure 3 montre une vue en coupe transversale de la figure 2 le long des lignes III-III. Comme représenté sur la figure 3, une ligne de balayage 10 métallique, réali- sée en aluminium ou en chrome, est formée sur un substrat isolant transparent 1. Une couche d'isolation de grille 10 comprenant de l'oxyde de silicium ou du nitrure de silicium recouvre toute la surface du substrat 1. Sur la couche d'isolation de grille 11, on forme un segment métallique 50 en aluminium ou en chrome. On recouvre le segment métallique 50 d'une couche isolante de protection (couche de passivation) 17, présentant du nitrure de silicium. Un trou de contact de stockage 60 est formé à travers la couche de passivation 17, de sorte à exposer une surface du segment métallique 50. Sur la couche de passivation 17, on forme une électrode- de pixel 30 avec de l'ITO (oxyde d'étain et d'indium). L'électrode de pixel 30 est électriquement reliée au segment métallique 50 à travers le trou de contact de stockage 60. Dans un afficheur à cristal liquide classique, toutefois, les électrodes de pixel voisines sont disposées trop proches les unes des autres, du fait que chaque électrode de pixel recouvre une portion substantielle de la ligne de balayage. La portion en recouvrement de l'électrode de pixel est disposée trop proche de l'électrode de pixel voisine. En réalité, la distance entre les électrodes de pixel voisines est dans ce cas de 6 micromètres; lorsque le condensateur de stockage n'est pas formé, ou est formé par une autre méthode (en un autre endroit), la distance entre les électrodes de pixel voisines est supérieure à la largeur de la ligne de balayage, à savoir supérieure à [lm. Du fait que les électrodes de pixel voisines sont disposées trop proches l'une de l'autre, lorsque le signal de données piloté par le transistor en couche mince est appliqué à l'une des électrodes de pixel, l'électrode de pixel. voisine peut être pilotée par inadvertance, ce qui provoque un court- circuit des électrodes de pixel. Lorsqu'il y a un court-circuit des électrodes de pixel. l'afficheur présente des défauts ponctuels, et une qualité de couleur faible. En conséquence, la présente invention concerne un afficheur à cristal liquide et un procédé de fabrication d'un tel afficheur qui pallie sensiblement un ou plusieurs des problèmes mentionnés ci-dessus ainsi que d'autres problèmes dus aux limitations et aux inconvénients de l'art antérieur. Un objectif de la présente invention est de pallier les problèmes de court- circuit entre les électrodes de pixel dans les afficheurs à cristal liquide classiques. R:\14800\14875,DOC - 13 octobre 1997 - 2/13 Un autre objet de la présente invention est de fournir un afficheur à cristal liquide présentant une qualité d'affichage élevée ainsi qu'un procédé de fabrication d'un tel afficheur à cristal liquide. Selon les modes de réalisation de la présente invention, un afficheur à cristal liquide comprend un substrat isolant transparent, une pluralité de lignes de balayage et de lignes de données formées sur le substrat et se coupant à angle droit, une couche d'isolation recouvrant les lignes de balayage, unl segment métallique formé sur la couche d'isolation recouvrant une partie de l'une des lignes de balayage, une électrode de pixel reliée électriquement au segment métallique qui est formé dans une surface entourée par deux lignes de balayage voisines et deux lignes de données voisines, et un transistor en couche mince électriquement relié à l'électrode de pixel, à la ligne de balayage et à la ligne de données. Un procédé de fabrication d'un afficheur à cristal liquide selon le mode de réalisation de la présente invention comprend les étapes de formation d'une ligne de balayage sur unl substrat isolant transparent, la formation d'une couche isolante sur la ligne de balayage, la formation d'un pigment métallique recouvrant une partie de la ligne de balayage, la formation d'une couche de passivation, la formation d'un trou de contact dans la couche de passivation pour exposer la surface du segment métal- lique, et la formation d'une électrode de pixel pour entrer en contact avec le segment métallique à travers le trou de contact. Dans un mode de réalisation, chaque élec- trode de pixel comprend au moins unle partie élargie en saillie vers le segment métallique correspondant, de sorte à permettre à l'électrode de pixel d'entrer en contact avec le segment métallique correspondant à travers un trou de contact. Dans un autre mode de réalisation, le segment métallique comprend au moins une portion élargie en saillie vers l'électrode de pixel correspondante de sorte à permettre à l'électrode de pixel d'entrer en contact avec le segment métallique à travers un trou de contact. Plus précisément, l'invention propose un procédé de fabrication d'un afficheur à cristal liquide comprenant les étapes de: formation d'une couche de segment métallique sur un substrat; formation d'au moins un trou de contact au-dessus de la couche de segment métallique; et formation d'une électrode de pixel, la couche de segment métallique ou l'électrode de pixel comprenant au moins une partie élargie qui entre en contact avec l'électrode de pixel ou la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon un mode de réalisation de l'invention, le procédé comprend en outre les étapes de: formation d'une électrode de grille et d'une ligne conductrice, sur le substrat; formation d'une couche d'isolation audessus de l'électrode de grille et de la ligne conductrice; formation d'une couche semi-conductrice sur la couche DO'IX \I 75 I)O(' - 13 oclobre 19977-313 d'isolation; formation d'une couche semi-conductrice dopée aux impuretés au- dessus de la couche semi-conductrice; formation de la couche de segment métallique comprenant l'étape de formation d'une ligne de domnnées présentant une électrode de source en saillie par rapport à la ligne de domnées et une électrode de drain sur la couche semi-conductrice dopée aux impuretés; formation d'une couche de passivation sur la ligne de données et sur la couche d'isolation; et formation d'un trou de contact de drain dans la couche de passivation pour exposer une surface de l'électrode de drain; dans lequel l'étape de formation de l'électrode de pixel comprend l'étape de formation de l'électrode de pixel dans le trou de contact de drain. Selon un autre mode de réalisation de l'invention, l'électrode de pixel comprend une portion élargie en saillie vers une électrode de pixel voisine, ladite portion élargie entrant en contact avec la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon un autre mode de réalisation de l'invention, l'électrode de pixel comprend deux portions élargies en saillie vers une électrode de pixel voisine, chacune des portions élargies entrant en contact avec la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon encore un autre mode de réalisation de l'invention, la couche de segment métallique comprend une portion élargie en saillie vers l'électrode de pixel, l'électrode de pixel entrant en contact avec ladite portion élargie de la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon encore un autre mode de réalisation de l'invention, la couche de segment métallique comprend deux portions élargies en saillie vers l'électrode de pixel, l'électrode de pixel entrant en contact avec les portions élargies de la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon encore un mode de réalisation de l'invention, ledit au moins un trou de contact est formé au-dessus d'une portion médiane de la couche de segment métallique. L'invention propose également un afficheur à cristal liquide comprenant: une couche de segment métallique formée sur un substrat; au moins un trou de contact formé au-dessus de la couche de segment métallique; et une électrode de pixel formée au- dessus de la couche de segment métallique, la couche de segment métallique ou l'électrode de pixel comprenant au moins une portion élargie qui entre en contact avec l'électrode de pixel ou la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'afficheur comprend en outre. une électrode de grille et une ligne conductrice formées sur le substrat; une couche :\14800\1I4575.DOC - 13 octobre 1997 -4/13 d'isolation formée au-dessus de l'électrode de grille et de la ligne conductrice; une couche semi-conductrice formée au-dessus de la couche d'isolation; une couche semi-conductrice dopée aux impuretés formée au-dessus de la couche semi- conductrice; une ligne de données présentant une électrode de source en saillie par rapport à la ligne de données et une électrode de drain formées sur la couche semi- conductrice dopée aux impuretés; une couche de passivation formée au-dessus de la ligne de donnmlées et sur la couche d'isolation; un trou de contact de drain formé dans la couche de passivation de sorte à exposer une surface de l'électrode de drain; et dans lequel ledit au moins un trou de contact est formé dans la couche de passivation de sorte à exposer la couche de segment métallique, l'électrode de pixel étant formée dans le trou de contact de drain. Selon un. autre mode de réalisation de l'afficheur, l'électrode de pixel comprend une portion élargie en saillie vers une électrode de pixel voisine, ladite portion élargie entrant en contact avec la couche de segment métallique à travers ledit trou de contact. Selon un autre mode de réalisation de l'afficheur, l'électrode de pixel comprend deux portions élargies en saillie vers une électrode de pixel voisine, chacune des portions élargies entrant en contact avec la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon un autre mode de réalisation de l'afficheur, la couche de segment métallique comprend une portion élargie en saillie vers l'électrode de pixel, l'électrode de pixel entrant en contact avec ladite portion élargie de la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon encore unl autre mode de réalisation de l'afficheur, la couche de segment métallique comprend deux portions élargies en saillie vers l'électrode de pixel, l'électrode de pixel entrant en contact avec les portions élargies de la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. Selon encore un autre mode de réalisation de l'afficheur, ledit au moins un trou de contact est formé au-dessus d'une portion médiane de la couche de segment métallique. D'autres domaines d'application de la présente invention apparaîtront de la description détaillée qui suit. Il doit être clair que la description détaillée et les exemples spécifiques, bien qu'ils indiquent des modes de réalisation préférés de l'invention. ne sont donnés qu'à titre d'illustration du fait que diverses modifications et variations apparaîtront à l'homme du métier à la lecture de la description détaillée. La présente invention sera mieux comprise de la description détaillée qui suit, et des dessins qui sont donnés à titre d'illustration et dans lesquels: - la figure 1 est une vue de dessus d'un afficheur à cristal liquide classique; W,\11X00\14X75 DOC - 13 octobre 1997 - 5/13 - la figure 2 est une vue de dessus plus détaillée du condensateur de stockage de l'afficheur à cristal liquide classique; - la figure 3 est une vue en coupe transversale d'un afficheur à cristal liquide le long de la ligne III-III de la figure 2; les figures 4a et 4b sont des vues de dessus d'un afficheur à cristal liquide selon un premier mode de réalisation de la présente invention; les figures 5a à 5f montrent des vues en coupe transversale le long des lignes V-V de la figure 4 pour expliquer le procédé de fabrication permettant de former un afficheur à cristal liquide selon le premier mode de réalisation de la présente invention; - les figures 6a et 6b sont des vues de dessus d'un afficheur à cristal liquide selon un second mode de réalisation de la présente invention; et - la figure 7 est une vue en coupe transversale d'un afficheur à cristal liquide le long de la ligne VII-VII de la figure 4b, selon un mode de réalisation de la pré- sente invention. Il est maintenant fait référence en détails aux modes de réalisation préférés de la présente invention dont des exemple sont illustrés dans les dessins joints. Les figures 4a et 4b montrent des exemples d'un afficheur à cristal liquide selon un premier mode de réalisation de la présente invention. En référence aux figures 4a et 4b, l'afficheur à cristal liquide selon la présente invention comprend une pluralité de lignes de balayage 110, une pluralité de lignes de données 120 croisant les lignes de balayage 110 à angle droit, une pluralité de transistors en couche mince disposés au voisinage des portions d'intersection, une pluralité d'électrodes de pixel a, 130b formées de chaque côté de la ligne de balayage 110. Sur la ligne de balayage 110, on forme un segment métallique 150. L'électrode de pixel 130a est formée de sorte à couvrir partiellement la ligne de balayage 110 et le segment métallique 150. L'électrode de pixel 130a est électriquement reliée au segment métallique 150 à travers un trou de contact de stockage 160. Le segment métallique 150 est formée sur la surface médiane de la ligne de balayage 110 et est formée de façon préférable pour maintenir le taux d'ouverture de l'afficheur à cristal liquide. Comme représenté sur la figure 4a, l'électrode de pixel 130a comprend une portion élargie qui est en saillie vers l'électrode de pixel voisine 130b. La partie élargie de l'électrode de pixel 130a recouvre complètement la surface du segment métallique 150 présentant le trou de contact de stockage. La partie élargie de l'électrode de pixel 130a entre en contact avec le segment métallique 150 à travers le trou de contact de stockage 160. R:\14800\14875.DOC - 13 octobre 1997 - 6,'13 La distance d2 entre l'électrode de pixel 130 Ob et la partie élargie de l'électrode de pixel 130 Oa est de 12 utm, tandis que la distance dl entre l'électrode de pixel 130b et la partie de l'électrode de pixel 130a qui n'est pas élargie ni en saillie est de 20 p1m. Seule une portion de l'électrode de pixel 130a est disposée au voisinage de l'électrode de pixel 130b. En conséquence, cette structure limite les courts-circuits entre les électrodes de pixel voisines 130a et 130b. Dans unl autre exemple, comme représenté sur la figure 4b, l'électrode de pixel a comprend deux parties élargies, qui sont en saillie toutes les deux vers l'électrode de pixel adjacente 130b. Les deux parties en saillie de l'électrode de pixel 130a remplissent deux trous de. contact de stockage 160 correspondants. Le fait de présenter deux trous de stockage 160 assure un contact stable entre l'électrode de pixel 130a et le segment métallique 150. Les figures 5a à 5f montrent des vues en coupe transversale le long de la ligne V-V de la figure 4, afin d'expliquer lun procédé de fabrication d'un LCD selon les modes de réalisation de la présente invention. Comme représenté sur la figure 5a, un métal tel que de l'aluminium (Al) ou du chrome (Cr) est déposé sur un substrat isolant transparent. Une ligne de balayage et une électrode de grille 11 Oa sont formées en structurant le métal déposé. Comme représenté sur la figure 5b, sur le substrat 100 présentant la ligne de balayage 110 et l'électrode de grille 1 1 Oa, on forme une couche d'isolation de grille 111 en déposant du nitrure de silicium par PECVD (dépôt chimique en phase vapeur au plasma). Comme représenté sur la figure 5c, on dépose successivement en utilisant une technlmique de PECVD sur la couche d'isolation de grille 111, une couche semi- conductrice 113 présentant du silicium amorphe, et une couche semiconductrice 115 dopée aux impuretés, présentant du silicium amorphe dopé aux impuretés de type P. La couche semi-conductrice 113 et la couche semi-conductrice dopée aux impuretés sont ensuite structurées pour former un îlot, par photolithographie. Comme représenté sur la figure 5d, sur toute la surface du substrat 100, on dépose un métal tel que de l'aluminium ou du chrome, par une technique de pulvéri- sation. Une ligne de données 120 présentant une électrode de source 120a, une élec- trode de drain 120b distincte de l'électrode de source 120a, et un segment métallique , est formée. Une portion de la ligne de données 120 est sélectivement enlevée, et une portion de la couche semi-conductrice dopée aux impuretés 115 est sélective- ment enlevée par attaque sèche de sorte à exposer une surface de la couche semi- conductrice 113. Comme représenté sur la figure 5e, sur toute la surface du substrat 100, on dépose une couche de passivation 117 composée d'oxyde de silicium ou de nitrure de \14MM\I1S75 I)(' - 13 Ictobre 1997 - 7/113 silicium. Un trou de contact de drain 162 permettant d'exposer l'électrode de drain b et un trou de contact de stockage 160 permettant d'exposer le segment métal- lique 150 sont formés en structurant et en attaquant la couche de passivation 117. Comme représenté sur la figure 5f, on dépose par PECVD sur la couche de passivation 117, un matériau conducteur transparent contenant de 'ITO (oxyde d'étain et d'indium). Une électrode de pixel 130a est formée en attaquant sélective- ment le matériau conducteur transparent. Dans un mode de réalisation, l'électrode de pixel 130a comprend une portion élargie en saillie vers l'électrode de pixel voisine b, qui est destinée à entrer en contact avec le segment métallique à travers le trou de contact de stockage 160. La portion élargie de l'électrode de pixel 130a est élec- triquement reliée au segment métallique 150 à travers le trou de contact de stockage 160. Les figures 6a et 6b montrent des exemples d'afficheurs à cristal liquide selon le deuxième mode de réalisation de l'invention. Dans le second mode de réalisation, au lieu que l'électrode de pixel présente une partie élargie, le segment métallique de l'afficheur à cristal liquide présente au moins une portion élargie en saillie vers l'électrode de pixel correspondante. Comme représenté sur les figures 6a et 6b, le segment métallique 150 est formé sur une ligne de balayage 110, et l'électrode de pixel 130 Oa recouvre partielle- ment le segment métallique 150 et la ligne de balayage 110. Le segment métallique présente au moins une partie élargie en saillie vers l'électrode de pixel 130a de sorte à rentrer en contact avec l'électrode de pixel 130a. A travers le trou de contact de stockage 160, l'électrode de pixel 130a est reliée au segment métallique 150. La partie élargie du segment métallique 150 permet d'obtenir une distance d3 entre l'électrode de pixel 130a et l'électrode de pixel voisine 130b plus importante que dans un afficheur à cristal liquide classique. En conséquence, les courts-circuits électriques entre les électrodes de pixel 130a et 130b sont empêchés. Le procédé du fabrication de l'afficheur à cristal liquide selon le second mode de réalisation de la présente invention est sensiblement le même que le procédé décrit en relation avec les figures 5a à 5f, à l'exception du fait que dans le second mode de réalisation, c'est le segment métallique 150 et non pas l'électrode de pixel a qui présente une ou plusieurs portions élargies. Selon les modes de réalisation de la présente invention, l'électrode de pixel ouL le segment métallique présentent une partie en projection qui permet un contact entre l'électrode de pixel et les segments métalliques. De façon générale, la distance entre les électrodes de pixel augmente par rapport à celle des afficheurs à cristal liquide classiques. En même temps, les contacts électriques entre l'électrode de pixel et le segment métallique sont améliorés. R:\4800\14875DOC -13 octobre 1997 - 8/13 La figure 7 montre une vue en coupe transversale d'un afficheur à cristal liquide le long de la ligne VII-VII de la figure 4b, pour démontrer effectivement la distance plus importante entre deux électrodes de pixel voisines. Comme représenté sur la figure 7, l'électrode de pixel 130a et l'électrode de pixel 130b sont disposées plus loin l'une de l'autre que les électrodes de pixel 30 de l'afficheur à cristal liquide classique représenté sur la figure 3. En conséquence, grâce à la présente invention, il n'y a pas de court-circuit électrique entre des élec- trodes de pixel voisines. La présente invention offre les avantages suivants. Lorsque le condensateur de stockage est formé par recouvrement de l'électrode de pixel sur la ligne de balayage, un segment métallique est formé entre l'électrode de pixel et la ligne de balayage dans la zone de recouvrement. Le segment métallique ou l'électrode de pixel présentent une partie élargie pour entrer en contact avec l'électrode de pixel ou le segment métallique à travers un trou de contact de sorte qu'il n'est plus nécessaire que l'électrode de pixel recouvre sensiblement le segment métallique. En conséquence, la distance entre les électrodes de pixel voisines augmente par rapport à unl afficheur à cristal liquide classique. Ceci empêche les courts-circuits entre les électrodes de pixel voisines et permet d'obtenir une bonne qualité d'affichage sans défauts ponctuels. L'invention étant décrite, il est évident qu'elle peut être l'objet de nombreuses variations, ces variations ne doivent pas être considérées comme s'éloignant de l'esprit de l'invention. REVENDICATIONS 1.- Un procédé de fabrication d'un afficheur à cristal liquide comprenant les étapes de: - formation d'une couche de segment métallique (150) sur un substrat; - formation d'au moins un trou de contact au-dessus de la couche de segment métallique; et - formation d'une électrode de pixel (130a), la couche de segment métallique (150) ou l'électrode de pixel comprenant au moins une partie élargie qui entre en contact avec l'électrode de pixel ou la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact (160). 2.- Le procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre les étapes de: - formation d'une électrode de grille et d'une ligne conductrice (110, 110a) sur le substrat (100); - formation d'une couche d'isolation (111) au-dessus de l'électrode de grille (110a) et de la ligne conductrice (110); - formation d'une couche semi-conductrice (113) sur la couche d'isolation; - formation d'une couche semi-conductrice (115) dopée aux impuretés au- dessus de la couche semi-conductrice; - la formation de la couche de segment métallique comprenant l'étape de formation d'une ligne de données présentant une électrode de source en saillie par rapport à la ligne de données et une électrode de drain sur la couche semi- conductrice dopée aux impuretés; - formation d'une couche de passivation sur la ligne de données et sur la couche d'isolation (111); et - formation d'un trou de contact de drain (162) dans la couche de passivation pour exposer une surface de l'électrode de drain (120b); dans lequel l'étape de formation de l'électrode de pixel comprend l'étape de forma- tion de l'électrode de pixel (130) dans le trou de contact de drain (162). 3.- Le procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'électrode de pixel comprend une portion élargie en saillie vers une électrode de pixel voisine, ladite portion élargie entrant en contact avec la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. R:\14800\I4875.DOC -13 octobre 197 - 10/13 4.- Le procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que l'électrode de pixel comprend deux portions élargies en saillie vers une électrode de pixel voisine, chacune des portions élargies entrant en contact avec la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact (160). 5.- Le procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que la couche de segment métallique comprend une portion élargie en saillie vers l'électrode de pixel, l'électrode de pixel entrant en contact avec ladite portion élargie de la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact (160). 6.- Le procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche de segment métallique comprend deux portions élargies en saillie vers l'électrode de pixel, l'électrode de pixel entrant en contact avec les portions élargies de la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact (160). 7.- Le procédé selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que ledit au moins unl trou de contact est formé au-dessus d'une portion médiane de la couche de segment métallique. 8.- Un afficheur à cristal liquide comprenant: - une couche de segment métallique (150) formée sur un substrat; - au moins un trou de contact formé au-dessus de la couche de segment métal- lique; et - tune électrode de pixel (130a) formée au-dessus de la couche de segment métallique, la couche de segment métallique ou l'électrode de pixel comprenant au moins une portion élargie qui entre en contact avec l'électrode de pixel ou la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. 9.- Un afficheur selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: - une électrode de grille (11 Oa) et une ligne conductrice (110) formées sur le substrat (100); - une couche d'isolation (111) formée au-dessus de l'électrode de grille et de la ligne conductrice; - une couche semi-conductrice (113) formée au-dessus de la couche d'isolation; - une couche semi-conductrice (115) dopée aux impuretés formée au-dessus de la couche semi-conductrice; RAII:\17> 5I\I4S75 I)C - 13 octobre 1997 -11/13 - une ligne de données présentant une électrode de source (120a) en saillie par rapport à la ligne de données et une électrode de drain (120b) formées sur la couche semi-conductrice dopée aux impuretés (115); - une couche de passivation (117) formée au-dessus de la ligne de données et sur la couche d'isolation; et - un trou de contact de drain (162) formé dans la couche de passivation de sorte à exposer une surface de l'électrode de drain (120b); et dans lequel ledit au moins un trou de contact est formé dans la couche de passiva- tion de sorte à exposer la couche de segment métallique, l'électrode de pixel étant formée dans le trou de contact de drain (162). 10.- L'afficheur selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que l'électrode de pixel comprend une portion élargie en saillie vers une électrode de pixel voisine, ladite portion élargie entrant en contact avec la couche de segment métallique à travers ledit trou de contact. 11.- Un afficheur selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que l'électrode de pixel comprend deux portions élargies en saillie vers une électrode de pixel voisine, chacune des portions élargies entrant en contact avec la couche de segment métallique (150) à travers ledit au moins un trou de contact. 12.- L'afficheur selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que la couche de segment métallique comprend une portion élargie en saillie vers l'électrode de pixel, l'électrode de pixel (130a) entrant en contact avec ladite portion élargie de la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. 13.- L'afficheur selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que la couche de segment métallique comprend deux portions élargies en saillie vers l'électrode de pixel (130a), l'électrode de pixel entrant en contact avec les portions élargies de la couche de segment métallique à travers ledit au moins un trou de contact. 14.- L'afficheur selon l'une des revendications 8 à 13, caractérisé en ce que ledit au moins un trou de contact est formé au-dessus d'une portion médiane de la couche de segment métallique. \14800\14875.DOC - 13 octobre 1997 -12/1 3