Brevet FR2745886A1 — publié le 19970912

Jeu d'éléments pour dispositif de distribution de fluide, notamment de gaz de grande pureté, permettant un assemblage sans soudure L'invention concerne les panneaux ou platines de fluide réalisés par assemblage d'éléments modulaires choisis parmi des tubulures, des raccords de dérivation de type Té, coude, croix (que l'on appellera par la suite raccords), et des composants traversants, et destinés à distribuer du fluide, et plus particulièrement du gaz de grande pureté. Cette invention concerne plus précisément les éléments qui comportent des conduits munis de parties terminales terminées par des faces libres positionnées les unes par rapport aux autres de façon opposée et/ou perpendiculaire. Ce type de platine est utilisé dans de nombreux secteurs d'activité et notamment, mais de façon non limitative, pour la fabrication de composants micro-électroniques. Les éléments connus présentent généralement, avant assemblage, des dimensions différentes. Il est donc nécessaire de les adapter en vue de l'assemblage d'une platine. De telles adaptations consistent en général à rallonger ou raccourcir des conduits. Etant donné les exigences requises en matière d'étanchéité, dans ces installations, le conduit modifié doit être soudé ou brasé au conduit de l'élément en vis à vis. Ces modifications dimensionnelles nécessitent beaucoup de temps et risquent de laisser à l'intérieur des conduits des particules de matière qui peuvent compromettre la mise en oeuvre de certains procédés, notamment dans le domaine de la micro-électroniques, du point de vue de la qualité. Par ailleurs, étant donné qu'une partie seulement d'un ensemble d'éléments modulaires peut être assemblée avant installation dans une salle à atmosphère contrôlée, comme une salle blanche, le reste de l'assemblage doit être effectué à l'intérieur de cette salle. On ne peut donc pas, actuellement, s'affranchir des opérations de soudures ou brasures à l'intérieur de la salle blanche. Il en va de même des interventions de maintenance ayant pour but de remplacer un élément défectueux. Dans un cas comme dans l'autre l'atmosphère contrôlée et l'intérieur des conduits vont être pollués. D'un autre côté, l'assemblage d'un dispositif de distribution hors environnement contrôlé introduit de l'humidité à l'intérieur des différents éléments qui la constitue, laquelle ne peut être efficacement supprimée que par des techniques de pompage sophistiquées et longues. De plus, les soudures et brasures ne garantissent pas une étanchéité parfaite, ce qui peut autoriser la pénétration, dans les conduits, d'éléments chimiques impropres au procédé de fabrication d'un composant. Enfin, le remplacement d'un ou plusieurs éléments d'une platine défectueuse, peut être rendu difficile par la présence de soudure, ou simplement par le fait que l'un des éléments de remplacement ne présente pas exactement les mêmes dimensions que celui qu'il doit remplacer. En conséquence, l'invention a pour but d'apporter une solution à ces problèmes d'assemblage et de pollution. L'invention propose à cet effet un jeu d'éléments pour platine de fluide du type décrit en introduction, dans lequel: - d'une première part, les éléments sont à un pas prédéterminé ou à un multiple de celui-ci, - d'une seconde part, les parties terminales de chaque élément comportent chacune un embout conformé, formant demiconnecteur, terminé par une section annulaire radiale, formant partie, au moins, de la face libre, et - d'une troisième part on prévoit des moyens d'assemblage présentant des caractéristiques géométriques choisies pour assurer, par enserrage d'embouts mis en vis à vis, un contact surfacique direct ou indirect entre leurs faces libres. Ceci permet le raccordement à étanchéité des éléments du jeu, sans soudage ou brasage. Quand un élément comprend des faces libres perpendiculaires, comme par exemple dans un raccord coudé, on dit qu'il est à un pas donné, lorsque la distance qui sépare le centre de la première face libre, "terminant" son premier conduit, et la projection du centre de la seconde face libre, "terminant" son second conduit (perpendiculaire au premier), sur une droite passant par ledit premier centre et perpendiculaire à ladite première face, est égale au pas donné. L'invention propose ainsi des éléments qui présentent tous une dimension donnée, ou un multiple de celle-ci, et des embouts compatibles, ce qui permet de simplifier très notablement leur assemblage, tout comme leur remplacement. Par ailleurs, on peut désormais modéliser une platine, avant sa réalisation, à l'aide d'une feuille quadrillée au pas des éléments, ce qui rend très facile son optimisation dimensionnelle comme fonctionnelle. Préférentiellement, les embouts d'éléments destinés à être assemblés en regard l'un de l'autre sont de type mécaniquement symétrique. Cela permet de simplifier encore plus l'assemblage du jeu d'éléments et la réalisation de ces derniers. Selon une autre caractéristique de l'invention, les raccords comprennent, au moins, des coudes, des croix et des Tés, et les composants traversants comprennent, au moins, des vannes, des détendeurs, des filtres, des dispositifs "antiretour", des manomètres, et des dispositifs à débit massique. Ces listes ne sont pas exhaustives. Tous les éléments nécessaires à l'élaboration d'une platine de fluide sont ainsi disponibles au pas donné ou à un multiple de celui-ci. Compte tenu des habitudes actuelles, le pas prédéterminé est préférentiellement de 25,4 mm. Mais, bien entendu, d'autres types de pas peuvent être envisagés selon les dimensions des éléments traversants. Selon une autre caractéristique de l'invention, l'embout offre extérieurement une portée conique s'évasant vers une portée cylindrique supérieure, suivie d'au moins un épaulement annulaire radial plan en retrait vers une partie cylindrique d'extrémité terminée par la section annulaire radiale. De tels embouts sont particulièrement pratiques dans la mesure où ils sont tous identiques (pas de différenciation mâle/femelle). Cela permet de faciliter le montage et de diminuer les coûts de production. Dans un premier mode de réalisation, l'embout est réalisé par usinage de la face externe de la paroi de la partie terminale du conduit. Dans un second mode de réalisation, l'embout est réalisé à l'aide, d'une part, de l'extrémité de la partie terminale du conduit, formant la partie cylindrique d'extrémité, terminée par la section annulaire radiale, et d'une seconde part, de premier et second corps, propres à coopération mutuelle par vissage, les deux corps étant conformés pour s'engager sur le conduit, près de ladite section annulaire radiale, tandis que l'un des deux corps au moins comprend un moyen d'immobilisation axiale relativement à un lieu prédéterminé de la partie terminale. On entend par "comprendre un moyen d'immobilisation", aussi bien le fait de loger un tel moyen que, le fait d'en être solidaire totalement ou partiellement. Avantageusement, on prévoit dans ce second mode de réalisation, en le lieu prédéterminé, au moins un premier logement sur la partie terminale du conduit. Ce (ou ces) premier(s) logement(s) est (sont) réalisé(s) par usinage de la face externe de la paroi latérale du conduit. Il est alors particulièrement avantageux que - d'une première part, la partie terminale du conduit comprenne, au niveau du lieu prédéterminé, un seul premier logement annulaire, - d'une seconde part, le premier corps comprenne une partie centrale annulaire, de forme générale cylindrique, munie d'un filetage externe, et destinée à venir s'emmancher sur la partie terminale du conduit et terminée par une extrémité comportant un second logement annulaire réalisé par alésage, de forme homologue à celle du premier logement annulaire et destiné à être placé en regard de celui-ci, - d'une troisième part on prévoit un anneau ouvert en au moins un endroit et de dimensions adaptées pour autoriser son logement dans les premier et second logements, et - d'une quatrième part, le second corps comprenne au moins une première partie annulaire cylindrique munie d'un filetage interne propre à être vissée sur la partie centrale annulaire filetée du premier corps et suivie d'une seconde partie annulaire, de forme interne cylindrique, propre à venir s'emmancher sur l'extrémité du premier corps et ellemême suivie par une troisième partie annulaire, de forme interne cylindrique, propre à venir s'emmancher sur la partie terminale du conduit en laissant libre sa partie cylindrique d'extrémité et comprenant extérieurement la portée conique, la portée cylindrique supérieure, et au moins un épaulement annulaire radial plan en retrait. Dans ce mode de réalisation particulier, c'est donc le premier corps qui comprend (ou loge) le moyen d'immobilisation réalisé sous forme d'anneau. Un tel embout ne nécessite plus un usinage important de la partie terminale d'un conduit, soit sur le lieu d'implanta tion, soit au préalable. Il suffit désormais de réaliser une échancrure annulaire de quelques dixièmes de millimètres dans la partie terminale du conduit, et de prévoir deux corps, de préférence métalliques fabriqués au préalable en grande série. Préférentiellement, pour des raisons de facilité de montage, l'anneau est réalisé en deux parties symétriques. Bien entendu, dans ce second mode de réalisation, des variantes peuvent être envisagées. Selon encore une autre caractéristique de l'invention, les moyens d'assemblage comprennent - deux rondelles identiques, de forme externe cylindrique, en matière synthétique déformable, propres chacune à être emmanchée sur la partie cylindrique d'extrémité du conduit en butée contre ledit épaulement annulaire plan, et comportant une paroi annulaire radiale plane destinée à former la face libre de contact avec ladite section de l'embout, - une bague métallique de forme cylindrique allongée, propre à loger intérieurement en contact surfacique deux rondelles et les portées cylindriques d'embouts mis face à face, de sorte que les deux faces libres de contact viennent en regard l'une de l'autre, et - deux demi-coquilles possédant deux demi-portées coniques homologues des deux portées coniques respectives des deux embouts mis face à face, l'enserrage de ces deux demicoquilles assurant le raccordement des conduits comportant lesdits embouts. Selon encore une autre caractéristique de l'invention, avant raccordement, le plan contenant la section annulaire radiale de chaque embout est situé légèrement en retrait du plan contenant la paroi annulaire radiale plane de la rondelle correspondante, et les caractéristiques géométriques des embouts sont choisies pour assurer, lors de l'enserrage des deux demi-coquilles, une compression des deux rondelles en matière synthétique déformable suivie d'un contact surfacique entre les deux sections annulaires. De la sorte, grâce aux portées coniques, le vissage radial des deux demi-coquilles exerce une force axiale sur les rondelles, ce qui tend à les comprimer jusqu'à ce qu'elles réalisent des faces libres planes avec les sections annulaires, autorisant ainsi leur contact surfacique. L'invention propose également un procédé pour monter un embout (formant demi-connecteur) sur un conduit d'élément de distribution de fluide, comme du gaz, choisi parmi des tubulures, des raccords de dérivation, et des composants traversants, le conduit de l'élément pouvant être d'une longueur quelconque. Le procédé selon l'invention comprend les étapes suivantes: a) préparer une section annulaire radiale à une extrémité du conduit, après éventuelle découpe de celui-ci, b) prévoir de premier et second corps, propres à coopération mutuelle par vissage, les deux corps étant conformés pour s'engager sur le conduit, près de la section annulaire radiale, tandis que l'un des deux corps au moins comprend un moyen d'immobilisation axiale relativement à un lieu prédéterminé du conduit situé à une distance prédéterminée de la section annulaire radiale, c) engager les deux corps sur le conduit, sensiblement de part et d'autre du lieu prédéterminé, d) faire coopérer le moyen d'immobilisation avec la partie du conduit située en le lieu prédéterminé de façon à positionner précisément le corps qui comprend le moyen d'immobilisation par rapport à la section annulaire radiale du conduit, et e) visser ensemble les premier et second corps, de façon à immobiliser l'ensemble par rapport à la section annulaire radiale du conduit. Préférentiellement, d'une part, l'étape a) du procédé comprend une sous-étape dans laquelle on usine extérieure ment, en le lieu prédéterminé, au moins un premier logement dans la paroi latérale du conduit, et d'autre part, à l'étape b), le moyen d'immobilisation axiale est agencé pour coopérer avec le premier logement. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à l'examen de la description détaillée ci-après et des dessins annexés, sur lesquels - la figure 1 est une vue du dessus d'un exemple d'assemblage d'éléments selon l'invention, formant platine de gaz; - les figures 2A à 2K illustrent des éléments de platine de gaz, réalisés selon l'invention et équipés d'embouts d'un premier type; - la figure 3 est une coupe longitudinale de l'embout équipant les éléments de la figure 2; - la figure 4 est une coupe longitudinale d'un second type d'embout, après assemblage; - les figures 5A à 5D sont des coupes longitudinales des différentes parties constituant l'embout de la figure 4; - la figure 6 est une vue en perspective, avant assemblage, de deux embouts du type de celui qui est illustré sur la figure 3 et des moyens d'assemblage nécessaires à leur raccordement; et - la figure 7 est une coupe longitudinale illustrant les embouts de la figure 6 après raccordement à l'aide des moyens d'assemblage. Les dessins annexés comportent, pour l'essentiel, des éléments géométriques de caractère certain. A ce titre, ils font partie intégrante de la description et pourront non seulement servir à mieux faire comprendre la description détaillée ci-après mais aussi contribuer, le cas échéant, à la définition de l'invention. On se réfère tout d'abord aux figures 1 et 2 pour décrire une platine selon l'invention, et les principaux éléments qui la constituent. Dans toute la description qui suit, on décrira une platine de distribution dans laquelle les fluides qui circulent sont des gaz destinés à alimenter une ou plusieurs chambres de croissance, ou plus généralement de réaction, dans lesquelles sont élaborées au moins partiellement des structures (ou composants) micro-électroniques. Bien entendu, l'invention s'applique tout aussi bien à de nombreux autres domaines, comme par exemple aux cosmétiques, à la pharmacie, à la chimie fine, etc, dans lesquels certains produits sont élaborés à partir de matières premières réactives. Par ailleurs, le fluide peut être dans un état physique différent de l'état gazeux. La production, par voie de réaction chimique de gaz ultra purs, de certains composants micro-électroniques modernes nécessite un contrôle quasi-parfait de chaque gaz injecté dans la chambre de réaction. C'est notamment le cas dans les chambres d'épitaxie où les structures sont élaborées par épitaxie par jet moléculaire (Molecular Beam Epitaxy en anglais). Mais ceci est également le cas des équipements qui assurent des dépôts de type déposition chimique en phase vapeur (Chemical Vapor Deposition en anglais), ou bien des gravures sèches (Dry Etching en anglais), ou plus généralement qui permettent la mise en oeuvre des procédés d'élaboration des composants semi-conducteurs actuels. Pour ce faire, la distribution du gaz est contrôlée par une platine de distribution réalisée spécifiquement pour l'application choisie. Une telle platine est illustrée sur la figure 1. Elle comprend, dans l'exemple illustré, deux voies d'entrée de gaz V1 et V2 dans lesquelles pénètrent respectivement des gaz ultra purs, comme par exemple de l'azote et de l'hydrogène. Chaque voie Vi comprend une pluralité d'éléments raccordés les uns aux autres afin de contrôler le gaz qui y circule. Sur l'exemple illustré, la voie V2 comprend d'abord une vanne d'entrée 1 qui gère son accès. Cette vanne d'entrée 1 est suivie d'un filtre sélectif 2-1, puis d'un dispositif anti-retour 3 suivi d'une vanne de commande mono-entrée 4-1, laquelle est raccordée à un raccord de type Té 5-1. L'une des sorties de ce Té 5-1 alimente une voie de dérivation VD1, tandis que l'autre sortie est raccordée à un détendeur 6 suivi d'un nouveau Té 5-2. La première sortie du Té 5-2 est raccordée à un manomètre 7, tandis que sa seconde sortie est raccordée à un autre Té 5-3 dont les deux sorties sont raccordées respectivement à des dispositifs à régulation de débit massique 8-1 et 8-2 (plus connus sous le nom anglais de massflow) dont les réglages sont différents. Le second massflow 8-2 est raccordé au troisième Té 5-3 par l'intermédiaire d'un raccord de type coude 9-1 permettant la mise en parallèle des deux massflow 8-1 et 8-2. Chaque massflow 8-i est suivi d'une vanne de commande 4-2 ou 4-3 qui permet ainsi de sélectionner un débit massique particulier. La voie de dérivation VD1 comprend un coude 5-2 raccordé en entrée au Té 5-1 et en sortie à un élément tubulaire 10, ce qui permet de la positionner parallèlement à la voie V2. Ce tube 10 est suivi d'une vanne de commande 4-4 raccordée à un Té 5-4 qui est relié, d'une part, à la voie V1, par l'intermédiaire d'un dispositif anti-retour 3 permettant exclusivement le transfert de l'azote de la voie V1 vers la voie V2, et d'autre part, à un troisième massflow 8-3 destiné à réguler le débit massique de l'azote lorsque celui-ci est admis dans la voie V2. La sortie du massflow 8-3 est raccordée à une vanne de commande 4-5 suivie d'un coude 9-3 raccordé à l'une des deux entrées d'un Té 5-5 dont la seconde entrée est raccordée à la vanne de commande 4-2. La sortie de ce Té 5-5 est raccordée à l'une des deux entrées d'un Té 5-6 dont la seconde entrée est raccordée à la vanne de commande 4-3 et la sortie est raccordée à un autre filtre 2-2 qui peut être raccordé à la chambre de croissance (non représentée). La voie V1 dans laquelle circule l'azote comprend des éléments du même type que ceux formant la voie V2. Par conséquent, il est inutile de la décrire dans le détail. Selon l'invention, tous les éléments utilisés pour réaliser la platine sont à un pas prédéterminé P, ou à un multiple de celui-ci nP (n entier positif). Ce pas P est de préférence au standard américain, soit P = 25,4 mm, mais bien entendu, de nombreux autres pas peuvent être envisagés selon les besoins. Dans le cas d'un élément présentant des entrée et sortie dont les faces libres 11 sont parallèles et opposées (voir figure 2A), le pas P est défini comme la distance séparant ces deux faces. Dans le cas d'un élément présentant des entrée et sortie dont les faces libres 11 sont perpendiculaires (voir figure 2B), le pas P est défini comme la distance séparant le centre C1 d'une première face 11-1 et la projection PC2 du centre C2 d'une seconde face 11-2 sur une droite D passant par ledit premier centre C1 et perpendiculaire à ladite première face 11-1. Grâce à l'invention, il est particulièrement facile de concevoir une platine de gaz adaptée à une situation particulière. I1 suffit pour cela d'utiliser, soit un papier quadrillé au pas des éléments, soit un micro-ordinateur équipé, par exemple, d'un logiciel de conception ou dessin assisté par ordinateur (CAO, DAO). Les figures 2A à 2K illustrent de façon agrandie, et non limitative, les principaux éléments composant la platine de la figure 1, ainsi que quelques variantes de ceux-ci. Ainsi, la figure 2A illustre un élément tubulaire de dimension égale à P. Les figures 2B à 2D illustrent respectivement des éléments de raccordement de type coude 9 (au pas P), Té 5 (au pas P dans une première direction et 2P dans une seconde direction perpendiculaire à la première), et croix 12 (au pas 2P dans deux directions perpendiculaires l'une de l'autre). Les figures 2E à 2K illustrent respectivement des éléments dits traversants de type vanne de commande mono-entrée et mono-sortie 4 (au pas 2P), vanne de commande 13 double entrée et mono-sortie, ou double sortie et mono-entrée, (au pas P dans une première direction et 2P dans une seconde direction perpendiculaire à la première), détendeur 6 (au pas 3P), filtre 2 (au pas 3P), dispositif à débit massique ou massflow 8 (au pas 4P), dispositif anti-retour 3 (au pas 2P), et manomètre à passage direct 14 (au pas 2P). Les faces libres 11, de sortie ou d'entrée, de tous ces éléments sont logées à l'extrémité d'une partie terminale 15 d'un conduit 16 (voir par exemple figure 2C), lequel peut être constitué de sa seule partie terminale 15, comme illustré sur la figure 21. I1 ressort de la description qui précède que le pas P de l'assemblage est généralement fixé d'après la dimension du plus petit élément traversant constituant la platine. Dans l'exemple illustré, cet élément est le massflow 8 de la figure 21. Selon l'invention, chaque partie terminale 15 de conduit 16 comporte un embout 17. Tous les embouts d'un même jeu d'élément sont mécaniquement identiques (sans différenciation mâle/femelle) et compatibles entre eux. Pour décrire la forme générale d'un embout 17, on se réfère à la figure 3. L'embout 17 présente extérieurement une portée conique 18 qui s'évase vers une portée cylindrique supérieure 19, suivie d'au moins un épaulement annulaire radial plan 20, en retrait, vers une partie cylindrique d'extrémité 21, de longueur L, terminée par une section annulaire radiale 22 ne comportant pas de rayures au moins radiales. Comme illustré sur la figure 3, mais cela n'est pas obligatoire, l'épaulement annulaire radial plan 20 peut être suivi d'une portée cylindrique intermédiaire 23, elle même suivie d'un autre épaulement annulaire radial plan 24, en retrait, vers la partie cylindrique d'extrémité. De plus, on prévoit en amont de la portée conique 19, une autre portée cylindrique 50 d'épaisseur supérieure à celle de la paroi 16 au niveau de sa partie terminale en amont de l'embout 17. Les dimensions de ces différentes parties sont fonction du diamètre du conduit 16, lequel peut être quelconque. Dans un premier mode de réalisation, également illustré sur les figures 3, 6 et 7, l'embout 17 est réalisé par alésage de la face externe 25 de la paroi latérale 26 de la partie terminale 15 du conduit 16. La partie interne 27 du conduit 16, dans laquelle circule le gaz, n'est pas modifiée. En conséquence, l'embout est réalisé par modification de la partie terminale du conduit. Ce type d'embout, qui est destiné à être raccordé à un autre embout de même type, ou de type équivalent, grâce à des moyens d'assemblage sur lesquels on reviendra plus loin, est décrit plus en détail dans le Brevet Français NO 2 645 940. Dans un second mode de réalisation, illustré sur les figures 4 et 5A à 5D, la partie terminale du conduit 16 ne forme plus totalement l'embout 17. En fait, seule l'extrémité de la partie terminale 15 du conduit 16, laquelle forme la partie cylindrique d'extrémité 21 terminée par la section annulaire radiale 22, contribue à la réalisation de l'embout 17. Le reste de l'embout 17 est constitué de deux corps 28 et 29, et préférentiellement d'un anneau 30, dont les formes respectives sont adaptées pour coopérer ensemble en vue d'une immobilisation relativement à un premier logement 31, en un endroit choisi sur le conduit 16, en amont de la partie cylindrique d'extrémité 21 (de longueur L). Ce premier logement 31 (voir figure 5D), de préférence annulaire, est réalisé par alésage de la face externe 25 de la paroi latérale 26 du conduit 16 à une distance L0 de la section annulaire 22. Le premier corps 28 (voir figure 5A) est réalisé sous forme d'un manchon de diamètre interne sensiblement égal au diamètre externe du conduit 16, à l'exception d'une région terminale 32 dans laquelle est réalisé, par exemple par alésage, un second logement 33 d'extension axiale et de profondeur sensiblement égales à celles du premier logement 31. Dans l'exemple illustré, ce second logement est par conséquent annulaire. Ce premier corps 28 comprend une partie centrale annulaire 34, de forme générale cylindrique, et munie sur une longueur L2 inférieure à L2 d'un filetage externe 36 se terminant à une distance L6 de la fin de la partie centrale annulaire 34. Cette partie centrale 34 est suivie, en aval, de la région terminale 32, de forme générale cylindrique, de longueur L3. Préférentiellement, comme illustré, la partie centrale annulaire 34, est précédée (en amont) d'une autre partie terminale 35 également de forme générale cylindrique, mais pas nécessairement, de longueur L4 et d'épaisseur d4 supérieure à dl. Cette dernière partie est destinée à faciliter le positionnement du premier corps 28 par rapport à l'anneau 30 et au second corps 29. L'anneau 30 (voir figure 5C) est ouvert en au moins un endroit, pour faciliter son introduction dans le premier logement 31 du conduit 16, et de dimensions adaptées à son logement dans les premier 31 et second 33 logements. De préférence, il est réalisé en deux demi-anneaux 30a et 30b de préférence métalliques. Le second corps 29 (voir figure 5B) est également réalisé sous forme d'un manchon. Il comprend tout d'abord, une partie annulaire amont 37 de longueur L5 sensiblement égale à la distance L0 - L, de forme interne cylindrique, de diamètre interne sensiblement égal, par valeur supérieure, au diamètre externe du conduit 16, et réalisant extérieurement la portée conique 18, la portée cylindrique supérieure 19, les premier 20 et second 24 épaulements annulaires radiaux plans, et la partie cylindrique intermédiaire 23 de l'embout 17. En variante, le second corps 29 pourra ne comprendre dans sa partie amont, extérieurement, que la portée conique 18, la portée cylindrique supérieure 19, et le premier épaulement annulaire radial plan 20. Il comprend également, dans le prolongement de la partie amont 37, une partie centrale 38 de forme générale cylindrique annulaire, de diamètre interne sensiblement égal au diamètre externe du second corps au niveau de sa partie terminale 32, et de longueur L7 légèrement inférieure à L6 + L3 pour permettre les logements de la partie de plus faible épaisseur (d2) de la partie centrale annulaire 34 et la partie terminale 32 du premier corps 28. Cette partie centrale 38 comporte extérieurement une portée cylindrique 50 sur laquelle on reviendra plus loin. Il comprend enfin, dans le prolongement de la partie centrale 38, une partie aval 41, de forme générale annulaire, comprenant un filetage interne 39 de longueur L8 légèrement supérieure à L1 et propre à coopérer avec la partie filetée 36 de la partie centrale annulaire 34 du premier corps 28. En résumé, le second corps comprend intérieurement trois alésages annulaires. Un premier alésage propre à loger la partie terminale du conduit 16, un second alésage en retrait du premier et propre à loger la partie terminale 32 et une partie de la partie centrale 34 du premier corps, et un troisième alésage (fileté) en retrait du second alésage et propre à coopérer avec la partie filetée de la partie centrale annulaire 34 du premier corps 28. L'assemblage d'un embout selon le second mode de réalisation comprend les étapes suivantes. Tout d'abord, on emmanche le premier corps 28 sur la partie terminale 15 du conduit 16, suffisamment loin pour que le premier logement annulaire 31 soit dégagé sur le conduit 16. Puis, on positionne les deux demi-anneaux 30a et 30b dans le premier logement 31. On déplace ensuite le premier corps 28 vers l'extrémité du conduit jusqu'à ce que la partie supérieure de l'anneau soit logée dans le second logement 33 formé dans la partie terminale 32 du premier corps 28. Cela permet d'immobiliser axialement le premier corps relativement au conduit 16. Puis, on emmanche les parties amont 37 et centrale 38 du second corps 29 respectivement sur la partie terminale 15 du conduit 16 et sur la partie centrale annulaire 32 du premier corps 28 jusqu'à ce que les parties filetés 36 et 39 (de 34 et 41) puisse coopérer par vissage. Enfin, on visse la partie 41 sur la partie 34. Lorsque la partie amont 37 du second corps 29 se trouve en butée contre l'extrémité de la partie terminale 32 du premier corps 28, la partie cylindrique d'extrémité 21 du conduit 16 est alors dégagée sur la distance L, et l'embout 17 est formé sur le conduit. Le second corps 29 est alors immobilisé relativement au premier corps 28 et au conduit 16. Tous les éléments selon l'invention présentant des embouts (ni mâle, ni femelle) obtenus selon le premier et/ou le second mode de réalisation, cela facilite leur assemblage et donc la réalisation d'une platine de gaz (ou plus générale ment d'un dispositif de distribution de fluide), tout en permettant de diminuer les coûts de production. Le raccordement de deux éléments selon l'invention s'effectue par enserrage de leurs embouts respectifs, grâce à des moyens d'assemblage adaptés. Les deux modes de réalisation des embouts décrits ci-avant requièrent le même type de moyens d'assemblage étant donné qu'ils offrent des formes extérieures sensiblement identiques. En conséquence, il est envisageable de réaliser des platines dont les éléments possèdent des embouts réalisés selon les deux modes. Les moyens d'assemblage vont être décrits maintenant en référence aux figures 6 et 7, sur lesquelles les conduits 16-1 et 16-2 des deux éléments à raccorder sont équipés d'embouts 17-1 et 17-2 réalisés selon le premier mode de réalisation. Ces moyens d'assemblage comprennent tout d'abord deux rondelles 42-1 et 42-2 destinées à être emmanchées sur les parties cylindriques d'extrémité 21-1 et 21-2 des embouts 17-1 et 17-2. Elles sont réalisées, de préférence, en matière synthétique déformable telle que du polytétrafluoroéthylène (PTFE) commercialisé sous la marque "Téflon". Ces rondelles présentent une enveloppe externe cylindrique 43-i (i=1 ou 2) d'un diamètre externe sensiblement égal au diamètre de la portée cylindrique supérieure 19-i de l'embout 17-i. La rondelle 42-i possède, d'une part, une première face aval annulaire plane 44-i destinée à venir en butée contre l'épaulement annulaire radial plan 20-i, et d'autre part, une seconde face aval annulaire plane 45-i, d'un plus petit diamètre que celui de la première face aval 44-i et destinée à venir en butée contre le deuxième épaulement annulaire radial plan 24-i de l'embout 17-i. L'extension axiale de l'enveloppe 43-i de la rondelle 42-i est égale à la longueur L de la partie cylindrique d'extrémité 21-i augmentée d'environ 5/100ème de mm. Ainsi, lorsque la rondelle est au contact des épaulements annulaires radiaux plans 20-i et 24-i de l'embout 17-i, le plan de sa paroi annulaire radiale plane amont 46-i déborde d'environ 5/100sème de mm du plan de la section annulaire 22-i de l'embout 17-i. La paroi annulaire radiale plane amont 46-i et la section annulaire 22-i forment alors la face libre 11 de raccordement. Les moyens d'assemblage comprennent en outre une bague métallique 47 de forme cylindrique allongée, de diamètre interne sensiblement égal au diamètre externe des rondelles 17-i, pour loger intérieurement en contact surfacique les deux rondelles 42-1 et 42-2 et les portées cylindriques supérieures 19-1 et 19-2 des embouts 17-1 et 17-2 mis face à face. Cette bague 47 permet d'aligner précisément les deux embouts de façon à assurer un centrage aussi parfait que possible des conduits. Enfin, les moyens d'assemblage comprennent également deux demi-coquilles 48a et 48b possédant intérieurement chacune deux demi-portées coniques 49-1 et 49-2 homologues des deux portées coniques 18-1 et 18-2 respectives des deux embouts 17-1 et 17-2 mis face à face. Chaque demi-coquille 48 comporte deux passages de vis 51 réalisés symétriquement par rapport à l'axe XX des deux conduits alignés, et des bords semi-cylindriques 52 de forme sensiblement homologue à celle de la portée cylindrique 50 de l'embout 17. Une fois les deux demi-coquilles 48a et 48b mises en place autour des deux embouts 17-i et de la bague 47, leur enserrage est assuré par deux vis (non représentées sur les figures) qui coopèrent avec les passages 51. De la sorte, les vis exercent des pressions radiales opposées et égales sur les deux demi-portées coniques 49-1 et 49-2 des deux demi-coquilles 48a et 48b, qui sont transformées en pressions axiales opposées et égales sur les faces libres de raccordement des embouts 17-1 et 17-2 du fait que les deux demi-portées coniques 49-1 et 49-2 de chaque demi-coquille 48a et 48b s'appuient respectivement sur les portées coniques homologues 18-1 et 18-2 des embouts 17-1 et 17-2, ce qui tend à les rapprocher tout en comprimant les deux rondelles en Téflon 42-1 et 42-2 jusqu'à ce que chaque paroi annulaire radiale plane amont 46-i (i=l et 2) et la section annulaire 22-i (i=1 et 2) correspondante forment une face libre plane 11. Le contact surfacique entre les deux faces libres 11 est alors établi. Il assure une étanchéité de très haute performance, sans joint d'étanchéité proprement dit, dans la mesure où les rondelles ne jouent qu'un rôle auxiliaire, notamment de protection des surfaces métalliques. Cet effet est rendu possible en raison de l'aptitude à la déformation que présentent les rondelles. Bien entendu, celles-ci peuvent être réalisées autrement qu'en Téflon. Ainsi, on pourra les fabriquer avec un dérivé du PTFE, comme par exemple avec un élastomère fluoré connu sous la dénomination KEL-F. Bien entendu, toute autre matière propre à assurer aux rondelles une même fonction élastique, peut être envisagée. On pourra ainsi utiliser des rondelles en bronze, ou des rondelles métalliques munies d'une fente annulaire externe. Les éléments selon l'invention, accompagnés des moyens d'assemblage décrits précédemment, sont donc particulièrement bien adaptés à la réalisation de dispositifs de distribution de fluide, et notamment de gaz de grande pureté tels que l'hydrogène, l'argon, l'oxygène, l'anhydride chlorhydrique et d'autres gaz utiles à la fabrication, par exemple, des semi-conducteurs comme le chlorure de phosphoryle (POCl3), le tribromure de bore (BBr3), le trichloréthylène, l'arsine (AsH3), le silane (SiH4). Ces éléments conviennent également pour la réalisation de dispositifs de distribution de fluide dans d'autres domaines que celui de la micro-électronique, comme par exemple dans le domaine pharmaceutique et plus généralement chimique. En fait, dans la mesure où le diamètre des conduits et le pas des éléments peuvent prendre des valeurs forts différentes selon les besoins, ces éléments peuvent être utilisés dans presque tous les domaines techniques qui utilisent des fluides de grande pureté à des pressions pouvant atteindre plusieurs centaines de bars. L'invention propose également un procédé permettant de monter un embout formant demi-connecteur sur un conduit d'élément de distribution de fluide, comme du gaz. L'embout formant demi-connecteur est de préférence du type décrit précédemment en référence aux figures 4 et 5. Bien entendu, ce procédé s'applique à tout élément muni d'un conduit permettant la distribution de fluide, quelle que soit la longueur dudit conduit, et notamment à des tubulures, des raccords de dérivation, et des composants traversants du type de ceux décrits précédemment en référence aux figures 1 et 2 qu'ils soient d'un pas donné ou non. Le procédé s'applique donc à un élément muni d'un conduit 16, et comprend les étapes décrites ci-après. Dans une première étape a), on prépare une section annulaire radiale 22 à l'extrémité du conduit 16, après avoir éventuellement découpé de celui-ci de sorte qu'il présente une longueur choisie. Selon le type d'embout à monter sur le conduit, cette première étape a), peut comprendre éventuellement une sousétape dans laquelle on usine extérieurement au moins un premier logement 31 dans la paroi latérale 26 du conduit, à une distance LO prédéterminée de la section annulaire radiale 22 réalisée à l'étape a). Dans une seconde étape b), on prévoit de premier et second corps présentant les caractéristiques suivantes - être propres à coopérer mutuellement par vissage, - être conformés pour s'engager sur la partie terminale 15 du conduit 16, près de la section annulaire radiale, et - comprendre (au sens large du terme) pour l'un au moins d'entre eux un moyen d'immobilisation axiale relativement à un lieu prédéterminé de la partie terminale du conduit 16, lequel lieu est situé à une distance prédéterminée LO de la section annulaire radiale 22. De tels corps sont, par exemple, du type de ceux 28 et 29 décrits précédemment en référence aux figures 4 et 5, mais pas nécessairement. Lorsque c'est le cas, d'une part, le procédé doit comprendre la sous-étape de l'étape a), et d'autre part, le moyen d'immobilisation compris par l'un au moins des corps doit être agencé pour coopérer avec le (les) logement(s) réalisé(s) en le lieu prédéterminé du conduit 16. Dans la suite, on considérera que le procédé s'applique à titre d'exemple aux corps 28 et 29, et par conséquent le moyen d'immobilisation sera référencé 30 puisque dans ce mode de réalisation particulier ce moyen est un anneau. Dans une troisième étape c), on engage les deux corps 28 et 29 sur la partie terminale 15 du conduit 16, sensiblement de part et d'autre du lieu prédéterminé (qui est le premier logement 31 dans cet exemple). Lorsque les corps sont réalisés chacun en une unique pièce, l'engagement consiste en un emmanchement, tandis qu'en cas de réalisation en plusieurs pièces, l'engagement à positionner les différentes pièces constituant chaque corps autour du conduit. Dans une quatrième étape d), on fait coopérer le moyen d'immobilisation que comprend l'un des corps 28 avec la partie du conduit qui se trouve située en le lieu prédéterminé (dans l'exemple décrit, la partie concernée est celle où se trouve(nt) le ou les premier(s) logement(s) 31) de façon à positionner précisément le corps concerné 28 par rapport à la section annulaire radiale 22 du conduit 16, en l'immobilisant axialement. Dans l'exemple choisi, le moyen d'immobilisation est logé dans le premier corps 28 et réalisé sous la forme des deux demi-anneaux 30a et 30b que l'on introduit dans un unique premier logement 31 de forme annulaire. Dans une cinquième étape e), on rapproche le corps libre 29 du corps immobilisé axialement 29 afin de les visser ensemble, jusqu'à ce que l'ensemble 28 et 29 (formant l'embout) soit complètement immobilisé par rapport à la section annulaire radiale 22 du conduit 16, aussi bien en translation qu'en rotation. Le conduit 16 est alors équipé d'un embout qui peut être raccordé à un autre embout du même type, ou d'un type similaire, équipant un autre conduit de même diamètre. Pour ce faire, on utilise des moyens d'assemblage adaptés à la forme spécifique des deux embouts, comme par exemple ceux qui ont été décrits précédemment en référence à la figure 6. Une telle invention permet de simplifier notablement la procédure de remplacement d'un élément défectueux dans la mesure où il n'est plus nécessaire, lors d'une telle opération, de dessouder l'élément défectueux. La platine est par conséquent beaucoup moins polluée, et notamment elle ne contient pas de particules provenant des résidus de la soudure et des gaz utilisés pour la supprimer, ce qui permet de gagner un temps précieux, d'une part lors de l'étape de remplacement proprement dite, et d'autre part, lors de l'étape de purification de la platine, laquelle a lieu après le remplacement. Par ailleurs, l'invention ne se limite pas au jeu d'éléments décrit précédemment. Tous les éléments qui peuvent être utilisés notamment dans une platine de distribution de fluide et présentant, d'une part, des dimensions égales à un pas choisi ou à un multiple de celui-ci, et d'autre part, équipés d'un embout, font également partie intégrante de l'invention. De plus, il est clair que le type d'embout, formant demiconnecteur, utilisé pour équiper les éléments selon l'invention n'est pas obligatoirement du même type que ceux qui ont été décrits précédemment. Ainsi, les pièces constituant l'embout pourront être différentes pourvu qu'elles ne soient pas sujettes à une translation axiale (ou longitudinale). Par exemple, on pourra utiliser des embouts assurant un contact surfacique indirect entre les faces libres de conduits en vis à vis, grâce à l'interposition d'un joint. De même, on peut s'affranchir de l'anneau en utilisant un second corps équipé de moyens d'accrochage propre à immobiliser axialement ledit second corps relativement à un ou plusieurs premiers évidements réalisés en le lieu prédéterminé de la partie terminale du conduit. Dans une autre variante, le premier corps peut être réalisé en deux parties sensiblement identiques et comprenant chacune, dans une zone inférieure, des moyens d'accrochage propres à immobiliser axialement respectivement lesdites parties du premier corps relativement à un ou plusieurs premiers évidements réalisés en le lieu prédéterminé de la partie terminale du conduit, et dans une zone supérieure un filetage externe pour permettre le vissage du second corps sur le premier corps. Il en va de même de la forme de l'embout, laquelle pourra être différente de celle décrite. De même, si d'autres types d'embouts que ceux décrits sont utilisés, il est clair que les moyens d'assemblage destinés à les assembler pourront également différer de ceux décrits. Revendications 1. Jeu d'éléments pour dispositif de distribution de fluide, et notamment de gaz, comprenant des tubulures monobloc (10), des raccords (5,9,12), et des composants traversants (1-4,6-8,13,14), chaque élément comportant des conduits (16) munis d'une partie terminale (15) terminée par une face libre, les faces libres d'un élément étant positionnées l'une par rapport à l'autre de façon opposée et/ou perpendiculaire, caractérisé en ce que les éléments sont à un pas (P) prédéterminé ou à un multiple (nP) de celui-ci, en ce que les parties terminales (15) de chaque élément comportent chacune un embout conformé (17) terminé par une section annulaire radiale (22), formant partie, au moins, de la face libre, et en ce qu'il comprend des moyens d'assemblage (42,47,48) présentant des caractéristiques géométriques choisies pour assurer, par enserrage d'embouts (17) mis en vis à vis, un contact surfacique direct ou indirect entre leurs faces libres, qui permet le raccordement à étanchéité des éléments du jeu, sans soudage ou brasage. 2. Jeu d'éléments selon la revendication 1, caractérisé en ce que des embouts (17) d'éléments destinés à être assemblés en regard l'un de l'autre sont de type mécaniquement symétrique. 3. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que les raccords (5,9,12) comprennent des coudes (9), des croix (12) et des Tés (5). 4. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les composants traversants (1-4,6-8, 13,14) comprennent des vannes (4,13), des détendeurs (6), des filtres (2), des dispositifs "anti-retour" (3), des manomètres (14), et des dispositifs à débit massique (8). 5. Jeu d'éléments selon la revendication 4, caractérisé en ce que les dispositifs anti-retour (3) et les manomètres (14) sont au double (2P) du pas (P) prédéterminé, en ce que les détendeurs (6) et les filtres (2) sont au triple (3P) du pas prédéterminé, et en ce que les dispositifs à débit massique (8) sont au quadruple (4P) du pas prédéterminé. 6. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que les vannes (4) présentant des faces libres opposées sont au double (2P) du pas prédéterminé, et en ce que les vannes (13) possédant deux faces libres perpendiculaires, sont au pas prédéterminé selon la direction qui est perpendiculaire à la fois à l'une des faces et à l'axe perpendiculaire passant par l'autre face. 7. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que le pas (P) prédéterminé est de 25,4 mm. 8. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'embout (17) offre extérieurement une portée conique (18) s'évasant vers une portée cylindrique supérieure (19), suivie d'au moins un épaulement annulaire radial plan (20,24) en retrait vers une partie cylindrique d'extrémité (21) terminée par la section annulaire radiale (22). 9. Jeu d'éléments selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'embout (17) est réalisé par usinage de la face externe (25) de la paroi (26) de la partie terminale (15) du conduit (16). 10. Jeu d'éléments selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'embout (17) est réalisé à l'aide de l'extrémité de la partie terminale (15) du conduit (16), formant la partie cylindrique d'extrémité (21), terminée par la section annu laire radiale (22), et de premier (28) et second (29) corps, propres à coopération mutuelle par vissage, les deux corps (28,29) étant conformés pour s'engager sur le conduit (16), près de ladite section annulaire radiale (22), tandis que l'un des deux corps au moins comprend un moyen d'immobilisation axiale (30) relativement à un lieu prédéterminé (31) de la partie terminale (15). 11. Jeu d'éléments selon la revendication 10, caractérisé en ce que la partie terminale (15) du conduit (16) comprend, en le lieu prédéterminé, au moins un premier logement (31) réalisé par usinage de la face externe (25) de la paroi (26) dudit conduit (16). 12. Jeu d'éléments selon la revendication 11, caractérisé en ce que la partie terminale (15) du conduit (16) comprend, en le lieu prédéterminé, un premier logement annulaire (31), en ce que le premier corps (28) comprend une partie centrale annulaire (34), de forme générale cylindrique, munie d'un filetage externe (36), et destinée à venir s'emmancher sur la partie terminale (15) du conduit (16) et terminée par une extrémité (32) comportant un second logement annulaire (33) réalisé par alésage, de forme homologue à celle du premier logement annulaire (31) et destiné à être placé en regard de celui-ci, en ce que le moyen d'immobilisation est un anneau (30) ouvert en au moins un endroit et de dimensions adaptées pour autoriser son logement dans les premier (31) et second (33) logements, et en ce que le second corps (29) comprend au moins une première partie annulaire cylindrique (41) munie d'un filetage interne (39) propre à être vissée sur la partie centrale annulaire filetée (34) du premier corps (28) et suivie d'une seconde partie annulaire (38), de forme interne cylindrique, propre à venir s'emmancher sur l'extrémité (32) du premier corps et elle-même suivie par une troisième partie annulaire (37), de forme interne cylindrique, propre à venir s'emmancher sur la partie terminale (15) du conduit (16) en laissant libre sa partie cylindrique d'extrémité (21) et comprenant extérieurement la portée conique (18), la portée cylindrique supérieure (19), et au moins un épaulement annulaire radial plan (20,24) en retrait. 13. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 10 à 12, caractérisé en ce que les premier (28) et second (29) corps sont métalliques. 14. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 12 et 13, caractérisé en ce que l'anneau (30) est réalisé en deux demi-anneaux (30a et 30b) symétriques. 15. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que les moyens d'assemblage comprennent - deux rondelles (42) identiques, de forme externe cylindrique, en matière synthétique déformable, propres chacune à être emmanchée sur la partie cylindrique d'extrémité (21) en butée contre ledit épaulement annulaire radial plan (20,24), et comportant une paroi annulaire radiale plane amont (46) destinée à former la face libre de contact avec ladite section annulaire radiale (22) de l'embout (17), - une bague métallique (47) de forme cylindrique allongée, propre à loger intérieurement en contact surfacique deux rondelles (42) et les portées cylindriques supérieures (19) d'embouts (17) mis face à face, de sorte que les deux faces libres de contact viennent en regard l'une de l'autre, et - deux demi-coquilles (48a et 48b) possédant deux demiportées coniques (49) homologues des deux portées coniques (18) respectives des deux embouts (17) mis face à face, l'enserrage de ces deux demi-coquilles assurant le raccordement des conduits (16) comportant lesdits embouts (17). 16. Jeu d'éléments selon la revendication 15, caractérisé en ce que, avant raccordement, le plan contenant la section annulaire radiale (22) de chaque embout (17) est situé légèrement en retrait du plan contenant la paroi annulaire radiale plane amont (46) de la rondelle (42) correspondante, et en ce que les caractéristiques géométriques des embouts (17) sont choisies pour assurer, lors de l'enserrage des deux demi-coquilles (48), une compression des deux rondelles (42) en matière synthétique déformable suivie d'un contact surfacique entre les deux sections annulaires (22). 17. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 15 et 16, caractérisé en ce que le matériau synthétique de chaque rondelle (42) est choisi dans le groupe formé au moins par le polytétrafluoréthylène (PTFE) et ses dérivés. 18. Jeu d'éléments selon l'une des revendications 9 à 17, caractérisé en ce que la portée cylindrique supérieure (19) de l'embout (17) est suivie d'au moins deux épaulements annulaires radiaux plans (20,24) en retrait vers ladite partie cylindrique d'extrémité (21). 19. Procédé pour monter un embout formant demi-connecteur sur un conduit d'élément de distribution de fluide choisi parmi des tubulures (10), des raccords de dérivation (5,9, 12), et des composants traversants (1-4,6-8,13,14), caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes a) préparer une section annulaire radiale (22) à une extrémité du conduit (16), après éventuelle découpe de celui-ci, b) prévoir de premier (28) et second (29) corps, propres à coopération mutuelle par vissage, les deux corps (28,29) étant conformés pour s'engager sur le conduit (16), près de ladite section annulaire radiale, tandis que l'un des deux corps au moins comprend un moyen d'immobilisation axiale (30) relativement à un lieu prédéterminé (31) du conduit situé à une distance (LO) prédéterminée de la section annulaire radiale (22), c) engager les deux corps (28,29) sur le conduit (16), sensiblement de part et d'autre du lieu prédéterminé (31), d) faire coopérer ledit moyen d'immobilisation (30) avec la partie du conduit située en ledit lieu prédéterminé (31) de façon à positionner précisément le corps qui comprend ledit moyen d'immobilisation (30) par rapport à ladite section annulaire radiale (22) du conduit (16), et e) visser ensemble les premier (28) et second (29) corps, de façon à immobiliser l'ensemble (28,29) par rapport à ladite section annulaire radiale (22) du conduit (16). 20. Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce que l'étape a) comprend une sous-étape dans laquelle on usine extérieurement (25), en le lieu prédéterminé, au moins un premier logement (31) dans la paroi latérale (26) du conduit, et en ce qu'à l'étape b) le moyen d'immobilisation axiale (30) est agencé pour coopérer avec ledit au moins premier logement (31).