Brevet FR2744536A1 — publié le 19970808

DISPOSITIF D'IRRADIATION ULTRAVIOLETTE DESTINE A UN PROCEDE DE PHOTO-ALIGNEMENT, ET METHODE D'IRRADIATION UTILISANT CE DISPOSITIF L'invention concerne un dispositif d'irradiation ultraviolette, et tout particulièrement un appareil pour un traitement de photo-alignement dans lequel la lumière ultraviolette est irradiée uniformément et sur une zone large vers une couche d'alignement, de sorte à obtenir un dispositif d'affichage à cristal liquide (ou cristaux liquides) de grande taille. Les dispositifs d'affichage à cristal liquide utilisés habituellement sont. pour la plupart, un dispositif d'affichage à cristal liquide nématique en hélice (TNLCD), qui présente une transmittance variable pour chaque niveau de gris, en fonction de l'angle de vision. Plus particulièrement, alors que la transmittance ou paire est symétrique dans la direction horizontale, en fonction de l'angle, la transmittance est asymétrique dans la direction verticale. Ainsi, dans la direction verticale, se produit dans une certaine plage un phénomène d'inversion d'image, de sorte que l'angle de vision en lecture verticale est très limité. Afin de surmonter ce problème, une cellule à cristaux liquides à multi- domaines a été proposée, dans laquelle un pixel est divisé en plus de deux pré-inclinaisons, la préinclinaison définissant un angle de préinclinaison et la direction de préinclinaison. Toutefois, la fabrication d'une telle cellule à cristal liquide multi- domaines par le procédé classique de frottement inverse, est trop compliquée, du fait qu'elle comprend les étapes suivantes: l'ensemble de la couche d'alignement est frotté dans une première direction de frottement: un agent photosensible (photoresist) formant un masque est appliqué pour bloquer un domaine; ensuite un autre domaine est frotté dans la direction opposée à la première direction de frottement; enfin, l'agent photosensible (photoresist) est enlevé. Lorsqu'on utilise un traitement de frottement inverse, on produit de la poussière et/ou une charge électrostatique, de sorte que la productivité est abaissée et/ou que le transistor en couche mince qui pilote chaque pixel peut être endommagé. En outre, pour éliminer complètement le phénomène d'inversion d'image, chaque pixel est divisé en plus de 4 domaines. Mais il est trop difficile de fabriquer des cellules à cristal liquide à 4 domaines par cette technique de frottement inverse. Un autre procédé d'alignement, consiste à utiliser le procédé de photo- alignement. Selon ce procédé, comme la préinclinaison définissant l'angle de préinclinaison est imposée à la couche d'alignement par irradiation à la lumière ultra-violette, au lieu d'un traitement de frottement, le processus de fabrication est plus simple, et on peut éviter d'endommager le substrat. En irradiant une lumière sur la couche d'alignement comprenant un photopolymère, on photopolymérise le photopolymère par réticulation des polymères. De la sorte, on détermine une préinclinaison sur la couche d'alignement, en fonction de la direction et du degré de réticulation des photopolymères, la réticulation dépendant de la direction de polarisation, de la direction d'incidence de la lumière, ainsi que de l'énergie lumineuse de la lumière absorbée par la couche d'alignement. En d'autres termes, la direction et la valeur de la pré-inclinaison sont déterminées en fonction de la direction de polarisation de la lumière ultra-violette et de l'énergie absorbée par la couche d'alignement. En fait, pour fabriquer une cellule à cristal liquide multi- domaines, chaque domaine est respectivement exposé par la lumière ultra- violette présentant une direction de polarisation différente, et une énergie lumineuse différente. Pour cela, il est donc important de contrôler l'uniformité de l'énergie lumineuse absorbée dans la couche d'alignement, ainsi que la taille de la tâche lumineuse pour pouvoir réaliser un dispositif d'affichage à cristal liquide de grande taille. La figure 1 est une vue représentant un appareil classique d'irradiation de la lumière ultra-violette. Dans la figure 1, la lumière ultra- violette est générée par une lampe ultra-violette 1 et focalisée par une lentille 2, et ensuite linéairement polarisée par un polariseur 3, qui sont alignés avec un substrat. Le substrat 4 est revêtu d'une couche d'alignement 5 qui peut réagir à la lumière, et est exposé par la tâche ou spot circulaire de lumière ultra-violette, de sorte à imposer une pré-inclinaison sur la couche d'alignement 5 formée sur le substrat 4. Lorsque l'on irradie de la lumière ultra-violette vers la couche d'alignement à l'aide d'un appareil d'irradiation ultra-violette classique, toutefois, la taille de la lampe ultra-violette I est limitée, de telle sorte que la surface circulaire 6 exposée sur la couche d'alignement 5 est aussi petite comme représenté sur la figure 2a. En outre, pour obtenir une pré-inclinaison uniforme sur la couche d'alignement, la taille de la couche d'alignement disponible est plus faible que la surface correspondant au plateau du graphique de la figure 2b correspondant à une photo-énergie uniforme, mais cette surface est restreinte par la taille de la lampe. Sur la figure 2b. la référence S désigne la plage dans laquelle une énergie lumineuse uniforme est irradiée par la lampe. La référence A désigne la taille utile de la couche d'alignement. En conséquence. il est difficile d'utiliser cet appareil d'irradiation ultraviolette pour un dispositif d'affichage à cristal liquide de grande taille. En outre, ce dispositif présente un problème, en ce que la lumière ultra-violette ne peut pas être uniformément irradiée sur l'ensemble de la couche d'alignement, de telle sorte que l'énergie absorbée n'est pas uniforme sur l'ensemble de la couche d'alignement. Un des objets de la présente invention est de fournir un appareil d'irradiation de lumière ultra-violette pour un traitement de photoalignement, qui puisse être adopté pour les dispositifs d'affichage à cristal liquide de grande taille. Un autre objet de la présente invention est de fournir un procédé d'irradiation de lumière ultra-violette sur la couche d'alignement. permettant d'assurer qu'une énergie lumineuse uniforme est absorbée sur toute la couche d'alignement, même pour des dispositifs d'affichage à cristal liquide de grande taille. Pour atteindre ce but, l'appareil d'irradiation ultra-violette comprend une lampe ultra-violette générant de la lumière ultra-violette, une lentille. un polariseur dans lequel la lumière ultra-violette est polarisée linéairement. et un substrat revêtu d'une couche d'alignement, comprenant un polymère photo- réactif, tels que des matériaux à base de polysiloxane. La lampe ultraviolette, la lentille et le polariseur sont alignés au-dessus du substrat. La lumière ultra- violette est irradiée sur le substrat avec un certain angle par rapport au substrat. En conséquence. la couche d'alignement est exposée par un spot ou tache de lumière ultra-violette elliptique, et ainsi, est d'une taille plus importante que la surface d'exposition classique. En outre. la lampe ultra-violette, la lentille, et le polariseur peuvent être montés dans un boîtier. et déplacés au-dessus du substrat par un moteur de balayage, de sorte à balayer uniformément toute la surface de la couche d'alignement. Pendant ce temps, la tache lumineuse d'irradiation est déplacée depuis l'extérieur de la couche d'alignement vers l'extérieur de la couche d'alignement. de sorte à assurer l'uniformité même sur la périphérie de la couche d'alignement. Après avoir irradié l'extrémité d'une ligne, la tache lumineuse est déplacée vers la ligne suivante, la distance entre des lignes adjacentes étant inférieure à 5 mm, de sorte à garantir une uniformité du faisceau. Ainsi, l'énergie lumineuse absorbée dans toute la couche d'alignement est uniforme. D'autres buts, caractéristiques et avantages apparaîtront à la lecture de la description d'un mode de réalisation de l'invention, tfaite à titre d'exemple et en référence au dessin qui montre: - figure 1, une vue représentant un appareil classique d'irradiation de lumière ultra-violette pour un traitement de photo-alignement; - figure 2a, est une vue de dessus montrant la tache de lumière ultra-violette irradiée sur la couche d'alignement lorsqu'on utilise l'appareil d'irradiation classique de lumière ultra-violette de la figure 1: - figure 2b, un graphique montrant l'énergie lumineuse en fonction de la surface de la couche d'alignement de la figure 2a: - figure 3, une vue montrant un premier mode de réalisation d'un appareil d'irradiation de lumière ultra- violette selon la présente invention; - figure 4a, une vue de dessus montrant la tache lumineuse de lumière ultra- violette irradiée sur la couche d'alignement, lorsqu'on utilise l'appareil d'irradiation de la lumière ultra-violette de la figure 3. selon la présente invention; - figure 4b, un graphique représentant l'énergie lumineuse en fonction de la surface de la couche d'alignement de la figure 4a: - figure 5, une vue montrant un second mode de réalisation de l'appareil d'irradiation de lumière ultra-violette selon la présente invention, - figure 6, une vue de dessus montrant la surface exposée de la lumière ultra- violette irradiée sur la couche d'alignement lorsqu'on utilise l'appareil d'irradiation de lumière ultra-violette selon la présente invention, comme représenté sur la figure 5; - figure 6b, un graphique montrant l'image lumineuse de la surface de la couche d'alignement de la figure 6a. La figure 3 est une vue représentant un premier mode de réalisation de la présente invention. La lumière ultra-violette est générée par une lampe ultra-violette 11, par exemple une lampe à mercure. et est focalisée par une lentille 12. La lumière focalisée ultra-violette est polarisée par un polariseur 13 et est irradiée vers le substrat 14 qui est revêtu d'une couche d'alignement photo-réactive 15. La lampe ultra-violette I 1, la lentille 12, et le polariseur 13 sont alignés, la ligne correspondante forme un angle 0 par rapport au substrat 14. De la sorte, la couche d'alignement 15 dont est revêtu le substrat 14 est exposée par une tache elliptique 16 de lumière, comme représenté sur la figure 4a. De la sorte, la surface exposée 16 sur la couche d'alignement 15 est plus importante que la surface classique 6, en fonction de l'angle d'inclinaison 0. Pour obtenir une surface d'exposition 16 plus importante, on incline davantage la direction d'irradiation par rapport à la couche d'alignement 15. Sur la figure 4b, la référence S désigne la plage dans laquelle une énergie lumineuse uniforme est irradiée par la lampe. et la référence A désigne la plage de la couche d'alignement. La plage correspondant à la tache de la lumière S recouvre la plage de la couche d'alignement A. De la sorte, l'ensemble de la couche d'alignement A est exposé par la tache elliptique S représentant une photo-énergie uniforme, la tache S étant plus importante que la tache circulaire classique de lumière. La figure 5 est une vue montrant un deuxième mode de réalisation de la présente invention. Dans ce mode de réalisation, la lampe ultra-violette 21, la lentille 22, et le polariseur 23 sont montés dans un boîtier 20. Le boîtier 20 se déplace au-dessus du substrat 24 revêtu d'une couche d'alignement photo- réactive 25. le déplacement du boîtier 20 est symbolisé par la flèche sur la figure 5, grâce à un moteur de balayage (non représenté), de sorte à balayer toute la surface de la couche d'alignement 25. En conséquence, toute la surface du substrat est uniformément exposée par la lumière ultra-violette en mouvement. ce qui fournit une énergie lumineuse uniforme. de sorte à imposer une pré-inclinaison uniforme sur toute la couche d'alignement. Une méthode de balayage de la lumière ultra-violette sur la couche d'alignement 25 est représentée sur la figure 6a. Si la direction d'irradiation est perpendiculaire au substrat, la tache 26 de lumière est circulaire. La tache de départ Sxly1 pour l'irradiation de la lumière ultraviolette est tangente à une première ligne horizontale Sxl et à une première ligne verticale Sy1 de la couche d'alignement 25. En outre. la tache d'extrémité Sxnyn pour l'irradiation de la lumière ultra-violette est tangente à la dernière ligne horizontale Sxn et à la dernière ligne verticale Syn. Plus précisément, la tache de départ Sxly l se déplace le long de la première ligne horizontale Sxl. jusqu'à ce que la tache soit en contact avec l'extérieur de la dernière ligne verticale Syn, et ensuite la tache se déplace vers le bas le long de la dernière ligne verticale Syn, d'un intervalle permettant de maintenir l'uniformité du faisceau. tel que par exemple Smm. Sur la seconde ligne Sx2, la tache se déplace dans la direction opposée à la direction de mouvement de déplacement précédente. La tache 26 de lumière ultra-violette est déplace continûment, jusqu'à ce qu'elle atteigne la dernière tache Sxnyn dans la dernière ligne horizontale Sxn. De la sorte, chaque surface de la couche d'alignement 16 est exposée par le même nombre de passages de la lumière ultra-violette 26. L'énergie lumineuse absorbée dans la plage A de la couche d'alignement est uniforme, comme représenté sur la figure 6b, du fait que chaque point est recouvert le même nombre de fois par le mouvement du moteur de balayage. On peut ainsi fabriquer un dispositif d'affichage à cristal liquide de grande taille. Bien que. dans lesdits modes de réalisation, la lumière polarisée soit utilisée pour fournir de l'énergie lumineuse à la couche d'alignement, on peut aussi utiliser de la lumière non polarisée, simplement en enlevant le polariseur de l'appareil d'irradiation. En outre, pour obtenir un dispositif d'affichage à cristal liquide à domaines multiples, dans lequel chaque domaine présente une préinclinaison différente, on fait tourner le polariseur en fonction de chaque domaine. De la sorte, un domaine de la couche d'alignement 15 présente une préinclinaison donnée, du fait qu'une lumière ultra- violette présentant une direction de polarisation différente est irradiée uniquement dans un domaine donné, en utilisant un masque, et que les autres domaines ne sont exposés que par de la lumière ultra- violette présentant une direction de polarisation différente de la lumière irradiée initialement, par simple rotation du polariseur. de sorte à pouvoir obtenir une cellule à cristal liquide multi-domaines. par exemple à 2 ou 4 domaines. Dans l'appaleil d'iliadiation ultia-violette mentioniné plus haut. du fait que la lunmière ultra-violette estirradiée obliquemient sur la couchle d'ali inemlent. une surface plus impoltante de la couche d'alignement est uniformément exposée pal la lumiere iIl ra -violette. L'inventin totirnit donc uin dispositif de photo-irradiatlion pour un traitement de phoo'-alionement comprenant: - uin uthtrat revêtu d'une couche d'ali2nement et - unc unité dc photo-irradiation irradiant unc lumièrc sur la couche d'aligncmcnt. dc sorte a imposer unc préinclinaison. Cette preinclinaison dépend avantageusement de l'énergie lumineuse absorbée par la couche d'alignement: la lumière peut être irradiée sous incidence oblique. On peut prévoir que l'unité de photo-irradiation conmprend une lampe générant une lumière. et une lentille focalisant cette lumière. La lampe peut comprendre une lampe à mercure générant une lumière ultra-violette. L'unité de photo-irradiation peut aussi comprendre un polariseur polarisant la lumière provenant de ladite lampe. Le polariseur est de préférence susceptible de tourner. Dan> un mode de réalisation. le dispositif de photo-irradiation comprend en outre un maque commandant l'énergie lumineuse irradiée sur un domaine de la cuuche d'alignement. de soute à fourinir une cellule à doniaines multiples. On peut prévoir un moteur de balayage monté sur l'unité de photoirradiation. de soile à déplacer régulièrement la lumière au-dessus de la couche d'alignemlient ou encorle unll moteur de bala-yage monté sur le substrat de sorte à exposer régulièrement le subsitrat par de la lumière Dan régulièrement. I'unité dc photo-irradiation étant fixc. Il est possible de prévoir un boitier. la lampe et la lentille étant montées dans le bot ier. L'in' ention propose aussi un procédé d'irradiation pour un traitement de photo- alic nement. comprenant les étapes de - géneration d'une lumière: 3 focalisation de la lumière: et - irradiation d'une couche d'alignement (15. 25) comprenant un photopolymère a' ec la lumière sous incidence oblique. de sorte à imposer une pré-inclinaison dépendant de la lumière. L'inelitioji piopose eu outre un procédé d'irr-adiation pour un tfaitenient de ihoto-aliolnemeîît. comprenant les étapes de - nelélationl d'une lumière. - tocalisation de la lumière: et - bala\aoe de la lumière sur une couche d'alignement (15. 25) comprenant nn photopol.vmère. de sorte à imposer une pré-inclinaison dépendant de la lumière. la couche d'alignement (15. 25) présentant un premier côté vertical. un second côté vertical facc au premier côté vertical. un premier côté horizontal perpcndiculairc au premier côté vertical ct au second côté vertical. ct un second côté horizontal facc au premier côté horizontal. Dans un mode de réalisation. le photopolymère comprend des matériaux à base dc polx siloxane. Le procédé peut comprendre une étape de polarisation de la lumière av ant l'étape d'irradiation. et par exemple une étape de polarisation avec une étape consistant à fournir une lumière polarisée différente pour chaque domaine de la couche d'alignement. Dans un mode de réalisation. le procédé comprend en outre une étape de contrôle du coefflicient de transmission de la lumière avant l'étape d'irradiation. de sorte à fournir une photo-énergie différente à chaque domaine de la couche d'alignement afin dc fournir une cellulc à domaines multiples. n20 La lumièie peut ètie balax ée sui la couche d'aliguement. depuis l'extérieui de la couche d'aliginemieiit vers l'exténieur de la couche d'alinelienlit. L'étape de balayage comprend avantageusement l'étape de balayage continu et régulier de la lumlière sur la couche d'alinemrnent le long d'une li2ne en pailtanit d'une première position tangente au premier côté vertical et au premier côté horizontal lusqii'à nne dcrnièrc posilion tangente au second côtér verrtical et au second co-t' hori7ontal Iien entrendu la présente in cnltion n'est pas limitée au\ modes de réalióatin dicrits cl reprscntés à titrc d'cxcmplc. mais cst susceptible dc nonmbrcuscs variantcs acccssiblcs à l'hommc du méticr sans quc l'on s'écartc dc l'csprit dc l'invention. REVENDICATIONS 1.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignemlent. comnlprenant F - un substrat (14 24) revêtu d'une couche d'alionement (15 25>). et -unc unitr de photo-irradiation irradiant une lumière sur la couche d'alignement en incidence oblique. de sorte à imposer une préinclinaison. 2.- Un dispositif dc photo-irradiation pour un traitcmcnt dc photoaligncment. selon la revendication 1. dans lequel l'unité de photo-irradiation comprend une lampe I 1. 21) genérant une lumière. et une lentille (12. 22) focalisant cette lumière 3.- U'n dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photo-alignement sclon la re% endication 2. dans lequel la lampe (11. 21) comprend une lampe à mercure :énérant une lumière ultra-violettie. 4.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. selon la re' endication 2 ou 3. dans lequel l'unité de photo-irradiation comprend un polariseur (13. 23) polarisant la lumière pro' enant de ladite lampe (I 1. 21). 5.- 'Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoaligInelilelit sclon la iu\ cndication 4. dans lcqucl lc polariseui (13. 23) csl susceptible dle tournci 6.- IUn dispositif de photo-irradiation pour un trailement de photo)-aligncment schlon l'unc des revendications I à 5. comprenant en outre un masque commandanl l'cneroie lumineiuse irradiée sur un domaine de la couche d'ali2nement de sorte à fournir une cellule à domaines multiples. 7.- Un dispositif dc photo-irradiation pour un traitcmcnt dc photoaligncmcnt selon l'une des revendications I à 6. comprenant en outre un moteur de bala.age nmnte sur i'unité de photo-irradiaiion de srte à déplaccr rrulicremcnt la lumière au- dessus de la couche d'alignement (15.25). 8.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement selon l'une des revendications 1 à 6. comprenant en outre un moteur de balavage monté sur le substrat de sorte à exposer régulièrement le substrat par de la lumière. 1i) 9.- L'l dispositif de photo-iMtadiatioin poui un tiaitenlent de photoalignelilent. comprenant - un substrat (14. '4) re'êtu d'une couche d'alignement (15 I 25. et - une unité de photo-irradiation pour exposer une lumière sur la couche d'alignement. de sorte à imposer une préinclinaison dépendant de l'énergie lumineusc absorbée par la couche d'alignement. le,ubhtrat et l'unité de photo-irradiation étant mobiles l'un par rapport à l'autre. 10.- Un dispositif dc photo-irradiation pour un traitemcnt dc photoalincmncnt. selon la revendication 9. dans lequel l'unité de photo-irradiation est mobile de sorte à pouvoir se déplacer régulièrement. et dans lequel le substrat est fixe. Il.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. selon la revendication 9. dans lequel le substrat (-14. 24) revétu d'une couche d'alignement est mobile de sorte à pouvoir se déplacer régulièrement. et dans lequel l'unité de photo-irradiation est fixe. 12.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. >ck,1n 'unec de> rex endicatjions, 9 d 1 1. dan, lequel I'uniét de d heo-irrdidio, coimprend une lampe (I l. 21) géuélant une lumiièle. et une lentille ( 12. 22) focalisant cette lunuèle 13.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de ph)oto-alislnement sclon la revendication 12. dans lequel la lampe (11 21) comprend une lampe a mercure Cnt:rant unc lumière ultra-% iolctie 1.- t n dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. selon l'unc des rcvcndications 9 à 13. comprenant cn outrc un boîticr (20). la lampe (21) ct la lentille (22) étant montécs dans le boîticr (20). 15.- LUn dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. selon l'une des revendications 9 à 14. dans lequel l'unité de photoirradiation comprend un polariseur (13. 23) polarisant la lumière. le,.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. selon la re' endication 15. dans lequel le polariseur (13. 23. est susceptible de tourner. 1-.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. selon l'une des revendications 9 à 16. comprenant en outre un masque commandant l'énergie lumineuse irradiée sur un domaine de la couche d'alignement. de sorte à fournir une cellule à domaines multiples. 1S.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. selon l'une des revendications 9. 10 et 12 à 1-. comprenant en outre un moteur de balaya2e monté sur l'unité de photo-irradiation. de sorte à déplacer régulièrement la lumière au-dessus de la couche d'alignement (15.25). 19.- Un dispositif de photo-irradiation pour un traitement de photoalignement. selon l'une des revendications 9 et 11 à 1-. comprenant en outre un moteur de balayaoe monté sur le substrat de sorte à exposer régulièrement le substrat par de la lumière. 20.- Un procédé d'irradiation pour un traitement de photo-alignement. comprenant les étapes de - génération d'une lumière: - focalisation de la lumière: et - irradiation d'une couche d'alignement (15. 25) comprenant un photopolymère avec la lumière sous incidence oblique de sorte à imposer une pré-inclinaison dépendant de la lumière. 21.- Un procédé d'irradiation pour un traitement de photo-alignement. comprenant les étapes de - génération d'une lumière: - focalisation de la lumière: et - balayaoe de la lumière sur une couche d'alignement (15. 25) comprenant un photopolymère. de sorte à imposer une pré-inclinaison dépendant de la lumière. la couche d'ali2nement (15. 25) présentant un premier côté vertical. un second côté vertical face au premier côté vertical. un premier côté horizontal perpendiculaire au premier côté vertical et au second côté vertical. et un second côté horizontal face au premier côté horizontal. D 22.- Un procédé d'irradiation pour un traitement de photo- alionement selon la revendication 20 ou 21. dans lequel le photopolymère comprend des matériaux à base de polvysiloxane. 23.- Un procédé d'irradiation pour un traitement de photo-aligonement selon la revendication 20. 21. ou 22. comprenant en outre une étape de polarisation de la lumière avant l'étape d'irradiation R 24.- Un procédé d'irradiation pour un traitement de photo-alionement selon la revendication23. dans lequel l'étape de polarisation comprend une étape consistant à fournir une lumière polarisée différente pour chaque domaine de la couche d'alignement (15. 25). 25.- Un procédé d'irradiation pour un traitement de photo-aligonement selon l'une des revendications 20 à 24. comprenant en outre une étape de contrôle du coefficient de transmission de la lumière avant l'étape d'irradiation. de sorte à fournir une photo-énergie différente à chaque domaine de la couche d'alihnement (15. 25) afin de fournir une cellule à domaines multiples 26. - Un procédé d'irradiation pour un traitement de photo- alignement selon l'une des revendications 20 à 25. dans lequel la lumière est balayée sur la couche d'alignement. depuis l'extérieur de la couche d'alignement vers l'extérieur de la couche d'alignement 27- Un procédé d'irradiation pour un traitement de photo-alignement selon l'une des revendications 21 à 26. dans lequel l'étape de balayage comprend l'étape de balayage continu et régulier de la lumière sur la couche d'alignement le long d'une lione en partant d'une première tangente au premier côté vertical et au premier côté horizontal jusqu'à une dernière tangente au second côté vertical et au second côté horizontal.