Brevet FR2738919A1 — publié le 19970321

PROCEDE ET DISPOSITIF POUR LA CORRECTION DE MESURE SPECTROMETRIQUE DANS LE DOMAINE DE LA DETECTION DE PHOTONS y DESCRIPTION Domaine technique et art antérieur L'invention relève du domaine de la détection de rayonnement y, le détecteur utilisé étant un semi- conducteur. Elle concerne en outre le domaine des mesures spectrométriques en imagerie y. De nombreux types de détecteurs ont été imaginés pour la détection de rayonnement y. L'emploi de détecteur solide à base de semi- conducteurs a été le principal apport de ces 30 dernières années aux techniques de détection du rayonnement y. Les détecteurs à base de semi-conducteurs réalisent directement la conversion en énergie du rayonnement y dans la matière, sans passer par des étapes intermédiaires, comme l'émission de photons visibles dans le cas des scintillateurs. On s'affranchit ainsi des problèmes de couplage synonymes de perte de rendement. L'énergie nécessaire pour créer une paire électron-trou dans un semi- conducteur est beaucoup plus faible que dans un gaz ou dans un scintillateur (environ 4eV dans les semi-conducteurs, contre 30eV dans les gaz, et 300eV dans les systèmes scintillateur photomultiplicateur). En conséquence, le nombre de charges libres créées par photon détecté est plus important, ce qui permet d'obtenir de meilleures résolutions en énergie, avec un faible bruit. De plus, le numéro atomique et la densité élevés des matériaux semi-conducteurs permettent d'utiliser des volumes de détection nettement inférieurs à ceux des détecteurs à gaz ou des scintillateurs, tout en conservant la même efficacité quantique de détection. B 12283.3/PM L'utilisation de ces matériaux semi-conducteurs comme détecteurs de rayonnement X ou y implique le dépôt de deux contacts électriques à la surface du matériau, aux bornes desquels une tension de polarisation est appliquée. Les porteurs de charges, c'est-à-dire les paires électron-trou créées par l'interaction du photon y avec le matériau, vont se séparer sous l'action du champ électrique, les électrons migrant vers l'électrode positive et les trous vers l'électrode négative. L'aptitude de ces porteurs de charge a migrer vers les électrodes sans se faire piéger par des défauts présents dans le matériau semi-conducteur conditionnera la résolution en énergie du spectre mesuré. Cette aptitude, appelée aussi propriété de transport des porteurs de charge, est mesurée par la mobilité et la durée de vie des électrons et des trous. Aujourd'hui, les performances des détecteurs Y sont limités par la présence de défauts natifs dans les semi-conducteurs qui, en piégeant les porteurs de charge durant leur migration vers les électrodes, diminuent leur durée de vie et ainsi détériorent la résolution en énergie du détecteur. Ces défauts natifs apparaissent systématiquement durant la cristallogénèse du matériau semi-conducteur. La bibliographie portant sur l'étude de ces défauts est abondante et elle montre que la cristallogénèse de tous les semi-conducteurs de haute résistivité pouvant fonctionner à température ambiante n'est pas maîtrisée au point de supprimer ces défauts. Pour le CdTe, une étude des défauts est donnée dans l'article de M. Samimi et al. "Structural defects in high resistivity Cadmium Telluride", paru dans Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A283, 1989, pages 243 à 248. Dans le cas du CdTe, c'est B 12283.3/PM la mauvaise efficacité de collection des trous qui est principalement responsable de la mauvaise efficacité de détection du détecteur y. Afin d'illustrer plus en détail ce problème, on a représenté sur la figure 1A un détecteur de rayonnement y, comportant un matériau semi- conducteur 2 utilisé comme détecteur de rayonnement, compris entre deux électrodes 6 et 4 utilisées respectivement comme anode et comme cathode. Un rayonnement y 8 incident traverse la cathode. Les photons peuvent interagir avec le matériau semi-conducteur en différents points 10, 12, 14, 16 à l'intérieur de ce matériau. Considérons d'abord le cas idéal, o les porteurs de charge (électrons et trous) créés dans le semi-conducteur après absorption d'un photon y ne sont pas piégés lors de leur migration vers les électrodes aux bornes desquelles un champ électrique est appliqué. Dans ce cas, dès leur création, la migration des porteurs va induire une charge qu'il est possible de mesurer aux bornes d'une capacité. La charge totale mesurée est constituée de deux parties: l'une rapide, associée aux électrons, et l'autre plus lente qui est associée aux trous. Ces différences sont liées aux différences de mobilité, celles des électrons étant de l'ordre de 1000 cm2/volt/seconde et celles des trous de l'ordre de 100 cm2/volt/seconde. Selon le point d'interaction du photon dans le matériau semi- conducteur 2, l'une des deux parties est plus ou moins prédominante, comme on peut le voir sur la figure lB, o la numérotation des courbes correspond au point d'interaction du photon avec le matériau semi- conducteur 2 sur la figure 1A. Néanmoins, quel que soit le point d'interaction, la charge totale mesurée Q est toujours la même (Qo), et elle est proportionnelle à l'énergie du photon y ayant été absorbé. La seule B 12283.3/PM différence entre ces différentes courbes est le temps au bout duquel il est possible de mesurer la charge Qo0. Considérons maintenant le cas réel, o les propriétés de transport des trous sont médiocres alors que celles des électrons restent bonnes. La mauvaise efficacité de collection des trous rend difficile, pour toute interaction pour laquelle le signal trou sera prédominant, d'atteindre la charge Q0 théorique à mesurer. Comme illustré sur la figure 1C, o les courbes 10', 12', 14', 16' correspondent respectivement aux points d'interaction 10, 12, 14, 16, il s'ensuit une atténuation du signal qui fera diminuer le nombre de coups mesurés à la bonne énergie (Qo) et il en résulte une mauvaise efficacité de détection. Pour une interaction se produisant près de la cathode (point 10 sur la figure lA et courbe 10'), seuls les électrons contribuent au signal. Leur propriété de transport étant excellente, il n'y a aucune atténuation de signal mesuré: ce dernier atteint la charge théorique Q0. Pour une interaction se produisant près de l'anode, seuls les trous contribuent au signal. Leur mauvaise propriété de transport atténue le signal mesuré, qui est loin d'atteindre la charge théorique Q0. Ceci constitue une perte pour un détecteur nucléaire dont l'objectif est de détecter le maximum de photons à la bonne énergie, et avec la meilleure résolution. Il existe plusieurs moyens de compenser le piégeage des porteurs de charge durant leur migration. Il est possible, par exemple, de choisir le signe de l'électrode irradiée afin d'optimiser l'efficacité de détection. Ainsi, un détecteur sera irradié à travers son électrode négative afin de limiter au maximum le parcours des trous dans le volume du détecteur, et ainsi de limiter leur piégeage. B 12283.3/PM Une autre possibilité consiste à choisir une géométrie spécifique du détecteur, par exemple une structure hémisphérique, limitant le parcours des trous. Mais cette méthode est lourde à mettre en oeuvre, avec des étapes technologiques difficiles et coûteuses et elle ne permet pas la réalisation d'un dispositif pour l'imagerie bi-dimensionnelle. Selon une autre technique, on sélectionne les interactions des photons avec la matière, pour lesquelles le piégeage des porteurs est limité. Cela revient à sélectionner les interactions proches de l'électrode irradiée, pour lesquelles le signal électronique est prédominant. Les propriétés de transport des électrons étant nettement supérieures à celles des trous, on obtient une très bonne résolution en énergie. Malheureusement, cela est au détriment de l'efficacité quantique de détection puisque cette sélection élimine les interactions se produisant loin de l'électrode irradiée. Il est également possible de compenser les mauvaises propriétés de transport des trous par la mesure de la relation qui existe entre l'amplitude du signal intégré de chaque interaction et leur temps de montée. Cette méthode montre que cette relation est linéaire pour certains détecteurs CdTe, ce qui permet de corriger les "coups" mal collectés qui correspondent à des amplitudes faibles et des temps de montée longs. On peut, pour cette méthode, se reporter à l'article de M. Richter et al. "Pulse processing for planar Cadmium Telluride detectors", paru dans Mat. Res. Soc. Symp. Proc., vol. 302, 1993, p. 195-203. A notre connaissance, c'est aujourd'hui la seule méthode permettant d'obtenir des détecteurs y à base de CdTe avec une bonne résolution en énergie et une bonne efficacité quantique de détection. Malheureusement, B 12283.3/PM elle ne fonctionne pas quel que soit le type de matériau CdTe (certaines méthodes de tirage de cristaux ne présentant aucune corrélation amplitude-temps montée) et quel que soit le détecteur CdTe, certaines propriétés physiques du détecteur étant nécessaires. Une dernière technique consiste à compenser les mauvaises propriétés de transport des trous en réalisant une structure de détection s'inspirant des grilles de Frisch utilisées pour les détecteurs à gaz. Elle consiste à déposer des contacts classiques (électroless, Or ou Platine), pleine face pour la cathode (électrode irradiée) et sous forme de bandes pour l'anode. La moitié des bandes sont reliées entre elles avec un potentiel plus faible que celui des bandes de l'autre moitié, également reliées entre elles. Chacun de ces deux potentiels est relié à un préamplificateur de charge o est intégrée la charge issue de la migration des électrons vers l'anode. Celle-ci sera identique sur les deux préamplificateurs tant que les électrons n'atteignent pas l'anode. Par contre, du fait de la différence entre les deux potentiels de l'anode, la charge intégrée sur chaque préamplificateur sera différente lorsque les électrons seront très près de l'anode. cette astuce géométrique permet, par différence des deux signaux intégrés sur les deux préamplificateurs de rendre cette différence (=signal utile) indépendant du lieu d'interaction des photons puisque cette différence n'apparaît que lorsque les électrons sont très près de l'anode. Les résultats obtenus sont assez remarquables. Néanmoins, cette méthode présente l'inconvénient d'imposer deux préamplificateurs par pixel ce qui, pour la réalisation d'un imageur y composé de milliers de pixels, apparaît très lourd dans la conception de l'électronique. B 12283.3/PM Toutes les méthodes qui ont été décrites ci- dessus, ont pour objectif de limiter le piégeage des trous, soit par un effet de champ électrique, soit par un effet géométrique, ou bien encore par une mesure de corrélation amplitude-temps de montée, le signal détecté étant alors la somme de la charge du trou et de celle de l'électron. Dans ce dernier cas, cette corrélation est dépendante du taux de piégeage des trous, donc de la qualité du matériau de détection et il est nécessaire d'utiliser des cristaux semi- conducteurs ayant une répartition de défaut parfaitement homogène. Exposé de l'invention L'invention propose un procédé d'exploitation d'un signal fourni par un détecteur à semi-conducteur, dans le domaine de la spectrométrie y, qui permet de s'affranchir des mauvaises propriétés de transport des trous. Plus précisément, l'invention a pour objet un procédé d'exploitation d'un signal, ou d'un ensemble de données représentatives de l'évolution temporelle d'un signal, fourni par un détecteur à semi-conducteur, en réponse à l'interaction d'un photon y avec le matériau semi-conducteur, dans lequel est produit un signal représentatif, ou une donnée représentative, du temps de montée de la composante électronique du signal fourni par le détecteur, c'est-à-dire de la composante du signal total qui correspond à la collection des électrons provenant de l'interaction de chaque photon y avec le matériau semi-conducteur. Ce procédé permet d'obtenir une information qui est indépendante des propriétés de transport des trous. La donnée représentative, ou le signal représentatif, du temps de montée de la composante électronique ne B 12283.3/PM dépend que de la mobilité des électrons, de l'épaisseur du détecteur et de la tension appliquée aux bornes des électrodes du détecteur. Pour un semi-conducteur donné (par exemple en CdTe) ces paramètres varient très peu lorsqu'on passe d'une méthode de tirage du cristal semi-conducteur à une autre méthode de tirage. De cette manière, on profite du fait que la mobilité des électrons est bien meilleure que celle des trous. Selon un mode particulier de réalisation, on produit en outre une donnée représentative, ou un signal représentatif, soit de la charge totale détectée, soit de la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons. On peut ainsi obtenir une donnée ou un signal représentatif, ou bien de l'amplitude du signal fourni par le détecteur, ou bien de l'amplitude de la composante électronique du signal fournie par le détecteur. De la même manière, l'invention a pour objet un procédé d'exploitation d'une pluralité de signaux ou d'une pluralité d'ensembles de données, dont chacun est représentatif de l'évolution temporelle de signaux fournis par un détecteur à semi-conducteur, chaque ensemble de données ou chaque signal étant exploité selon un procédé tel que décrit ci-dessus, et une relation étant établie entre, d'une part, un premier ensemble de données représentant le temps de montée, et, d'autre part, un second ensemble de données représentant les charges totales détectées ou bien les parties des charges totales résultant de la collection des électrons. Ainsi, on établit une corrélation entre les temps de montée des composantes électroniques des signaux totaux et les charges détectées, que ce soit B 12283.3/PM les charges totales, ou les charges associées aux composantes électroniques. A partir de cette relation, ou de cette corrélation, on peut déterminer au moins un signal représentatif, ou une donnée représentative, de la charge électronique maximale ou de la charge maximale correspondant à au moins une partie des premier et second ensembles de données. Ainsi, pour au moins une partie des premier et second ensembles de données, on identifie une charge maximale, totale ou électronique, qui peut être associée à cette partie des premier et second ensembles de données. Comme le système détecte la, ou les, charge(s) sous forme de tension, la charge maximum ou la charge électronique maximum sont associées à des tensions en sortie du système, qui correspondent elles- mêmes à des énergies dans le domaine des rayons y. Par conséquent, tous les couples de données (temps de montée, charges) d'une partie des premier et second ensembles de données se retrouvent associés à une charge maximale, qui est la charge qui aurait due être détectée si l'interaction de chaque photon avec le semi-conducteur était produite sans perte, c'est-à-dire essentiellement sans perte de trous. Du fait de la perte des trous, des charges moindres que la charge maximale sont détectées, et ceci avec une certaine dispersion, et il en résulte une dispersion correspondante dans le spectre d'énergie, du côté basse énergie du pic correspondant à la charge électrique maximale. L'invention concerne également un procédé d'exploitation de signaux, en spectrométrie y, dans lequel: B 12283.3/PM - à partir d'un signal, ou d'un ensemble de données représentatives de l'évolution temporelle d'un signal de mesure, obtenu par un détecteur à semi-conducteur, en réponse à l'interaction d'un photon y à mesurer avec le matériau semi-conducteur, - on produit une donnée représentative, ou un signal représentatif, du temps de montée de la composante électronique du signal fourni par le détecteur, c'est-à-dire de la composante du signal qui correspond à la collection des électrons provenant de l'interaction du photon y avec le matériau semi- conducteur, - on produit un signal représentatif, soit de la charge totale détectée, soit de la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons, - on détermine une charge électrique maximale, à partir des données sur le temps de montée de la composante électronique de signal, sur la charge totale détectée ou sur la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons et à partir d'une relation, ou corrélation, établie conformément à ce qui a été décrit ci-dessus. La méthode permet donc, pour chaque signal détecté, en réponse à l'interaction d'un photon y avec le semi-conducteur, d'associer audit signal une charge maximale qui est la charge qui devrait être détectée si le système avait fonctionné sans perte. Du point de vue mesure, il peut y avoir d'abord établissement de la, ou des, corrélation(s) entre temps de montée de la composante électronique des signaux et charges effectivement mesurées, puis enregistrement d'un signal en réponse à l'interaction du semi- conducteur avec un photon y, et enfin traitement de ce signal en mesurant le temps de montée de la composante électronique, la charge correspondante et en déduisant, B 12283.3/PM à partir de ces deux paramètres et à l'aide des corrélations précédemment établies, une charge maximale. Cette charge maximale correspond, ainsi qu'il a déjà été expliqué ci-dessus, à l'énergie qui doit être effectivement détectée si le système fonctionne sans perte. Il est également possible d'introduire une étape au cours de laquelle on corrige la charge mesurée à partir de la charge maximale, du temps de montée correspondant à cette charge maximale, et du temps de montée effectivement mesuré. L'invention concerne également un dispositif pour l'exploitation de signaux, ou d'un ensemble de données représentatives de l'évolution temporelle d'un signal, fourni par un détecteur à semi-conducteur en réponse à l'interaction d'un photon y avec le matériau semi-conducteur, ce dispositif comportant des moyens pour produire une donnée représentative, ou un signal représentatif, du temps de montée de la composante électronique du signal total fourni par le détecteur, c'est-à- dire de la composante du signal qui correspond à la collection des électrons provenant de l'interaction de chaque photon y avec le matériau semi- conducteur. Ce dispositif permet de mettre en oeuvre le procédé d'exploitation qui a été décrit ci-dessus, avec tous les avantages qui lui sont associés. Ce dispositif peut en outre comporter des moyens pour produire une donnée représentative, ou un signal représentatif, soit de la charge totale détectée, soit de la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons. Ainsi, des moyens peuvent être prévus pour produire une donnée représentative, ou un signal B 12283.3/PM représentatif, d'une amplitude de la composante électronique du signal ou bien d'une amplitude du signal total. L'invention a également pour objet un dispositif d'exploitation d'une pluralité d'ensemble de données, en spectrométrie y, chaque ensemble étant représentatif de l'évolution temporelle d'un signal fourni par un détecteur à semi-conducteur, en réponse à l'interaction d'un photon y avec le matériau semi- conducteur. Ce dispositif comportant des moyens tels que ceux déjà décrits ci-dessus pour exploiter chaque ensemble de données, et des moyens pour établir une relation entre d'une part, un premier ensemble de données représentant les temps de montée et d'autre part un second ensemble de données représentant les charges totales détectées ou les charges résultant de la collection des électrons. On peut également prévoir des moyens pour produire un signal représentatif, ou une donnée représentative de la charge électrique maximale ou de la charge maximale correspondant à au moins une partie des premier et second ensembles de données. Des moyens peuvent être prévus pour corriger une charge mesurée à partir d'une charge maximale ainsi obtenue, du temps de montée correspondant à cette charge maximale et du temps de montée mesuré. Brève description des figures De toute façon, les caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur les exemples de réalisation, donnés à titre explicatif et non limitatif, en se référant à des dessins annexés sur lesquels: B 12283.3/PM - la figure lA représente un dispositif de détection et divers points d'interaction d'un photon y avec le matériau semi-conducteur, - la figure lB représente des signaux correspondant à l'évolution temporelle de charges mesurées, pour un cas idéal, - la figure 1C représente l'évolution temporelle de charges mesurées, pour un cas réel, - les figures 2A et 2B représentent respectivement l'évolution temporelle de la composante électronique du signal total et la corrélation entre les temps de montée mesurés et les charges mesurées, - la figure 3 représente un système de traitement des impulsions issues d'un détecteur de photons y, - la figure 4 représente, de manière plus précise, un système de traitement pour mettre en oeuvre l'invention, - les figures 5A à 5D représentent des courbes d'étalonnage temps de montée-amplitude mesurée. Description détaillée de modes de réalisation de l'invention Le principe de l'invention va être rappelé en liaison avec les figures 2A et 2B. Considérons tout d'abord le cas o seul le signal électronique est présent dans la charge mesurée: le signal total correspond alors à sa composante électronique, c'est-à-dire au signal résultant de la collection des électrons provenant de l'interaction de chaque photon y avec le matériau semi- conducteur. Dans la mesure o cette interaction se fait en différents points 10, 12, 14, 16 du matériau semi- conducteur 2 (voir figure 1A), la charge maximale mesurée, c'est-à- dire l'amplitude maximale de la B 12283.3/PM composante électronique, ne dépend que du point d'interaction 10, 12, 14, 16 dans le volume du détecteur 2. En effet, on peut considérer que les propriétés de transport des électrons dans le matériau semi-conducteur sont suffisantes pour n'influer en aucun cas sur leur nombre détecté. Pour chaque point d'interaction 10, 12, 14, 16 dans le matériau semi- conducteur, est mesuré ou produit entre les électrodes 4 et 6 un signal qui représente l'évolution, dans le temps, de la charge captée par les électrodes du fait de l'interaction d'un photon y avec le matériau semi- conducteur. Plus le point d'interaction est proche de l'anode, plus faible est l'amplitude, ou la charge maximale, du signal produit, ainsi que le temps de montée de ce signal, que l'on peut par exemple définir comme étant le temps nécessaire pour atteindre l'amplitude maximale. Des moyens sont prévus pour traiter et analyser ce signal. On peut également prévoir d'enregistrer des données représentatives de ce signal, et de les traiter ensuite. On peut reporter, sur une courbe tm, Qm les paires (tm i, Qm i) (i=10, 12, 14 16) de données ainsi obtenues. On obtient ainsi un spectre dit biparamétrique donnant l'amplitude de la charge mesurée en fonction du temps de montée. On établit ainsi une relation, ou corrélation, entre ces deux paramètres. En général, pour des photons de même énergie, on observe une corrélation à peu près linéaire entre ces paramètres. L'énergie est directement reliée à la charge maximale Q0 mesurée, appelée encore charge maximale. Donc, pour chaque courbe de corrélation, on peut attribuer une charge maximale ou énergie maximale, correspondant à la charge ou à l'énergie mesurée pour un dispositif fonctionnant sans perte. Des courbes de corrélation peuvent être tracées, pour des rayonnements B 12283.3/PM y d'énergies différentes, par exemple déjà connues:à chaque courbe, on attribue l'énergie correspondante. La corrélation ne dépend pas des propriétés de transport des trous, et elle ne dépend donc pas de la qualité du matériau semi-conducteur utilisé. La pente de cette corrélation linéaire ne dépend que de la mobilité des électrons, de l'épaisseur du détecteur et de la tension appliquée aux bornes des électrodes du détecteur. Pour un matériau semi- conducteur donné, par exemple le CdTe, ces trois paramètres (mobilité, épaisseur, tension) varient très peu lorsqu'on passe d'une méthode de tirage du cristal semi-conducteur à une autre méthode de tirage. Cette observation systématique d'une corrélation amplitude-temps de montée n'est pas vérifiée par la méthode de calcul utilisée par Richter dans le document déjà cité ci-dessus. En effet, cette méthode utilise le signal trou qui n'existe pas dans le cas de cristaux obtenus par certaines méthodes de tirage. De plus, même si ce signal existe, il dépend d'un paramètre, à savoir la durée de vie des trous, qui est très variable et qui est donc peu reproductible, la durée de vie des trous pouvant varier considérablement le long de l'axe de tirage d'un lingot. Ce manque de reproductibilité nécessite une présélection des détecteurs qui est lourde et coûteuse, à la fois en matière et en moyen. La connaissance d'une corrélation entre l'amplitude du signal électronique et son temps de montée permet de corriger toute interaction se produisant ensuite dans le détecteur. A la suite d'une telle interaction, un signal ou un ensemble de données reproduisant l'évolution d'une charge aux bornes du semi-conducteur, en fonction du temps, est, ou sont, obtenu(s). Le temps de montée du signal, ou un signal B 12283.3/PM représentatif ou une donnée représentative, de ce temps de montée, est produit. On produit également un signal représentatif, ou une donnée représentative, de la charge détectée Qm, c'est-à-dire de l'amplitude du signal. A l'aide d'un réseau de courbes tracées dans le plan Q,T on peut en déduire la charge maximale Q0 de la composante électronique correspondante, qui est directement liée à l'énergie du photon y qui a donné lieu à l'interaction. Même si la charge maximale effectivement mesurée Qm n'est pas égale à la charge maximale Q0 qui aurait pu être mesurée si l'interaction s'était produite au voisinage de la cathode, on peut en déduire cette charge maximale Q0 à l'aide des courbes de corrélation Q,t. Au lieu d'un réseau de courbes, on peut mémoriser toutes les données relatives aux corrélations (courbes, énergies) dans des moyens de mémorisation, par exemple dans un ordinateur conventionnel. L'attribution d'une mesure (Qm, tm) à une courbe et à une énergie donnée peut ensuite être réalisée par des moyens informatiques, par exemple à l'aide du même ordinateur spécialement programmé à cet effet. Des moyens d'affichage des données, sous forme graphique par exemple, peuvent également être prévus. Il est ensuite possible d'effectuer une correction, soit par une électronique dédiée, soit par l'informatique. Quel que soit le cas de figure, le principe consiste donc à mesurer le temps de montée du signal, son amplitude, et à obtenir l'amplitude maximale qui aurait dû être mesurée grâce à la connaissance de la relation, ou de la corrélation, entre les charges mesurées et les temps de montée. Ainsi, si la corrélation établie est linéaire, la charge Qc obtenue par correction est donnée par la relation: B 12283.3/PM Qc=Qm T0/Tm, o Qm représente la charge mesurée, tm le temps de montée mesuré de la composant électronique et T0 le temps de monté associé à la charge Qo maximale obtenue après comparaison du couple (tm, Qm) de mesure avec les relations ou corrélations préalablement établies. Dans ce qui vient d'être décrit, le cas d'un matériau semi-conducteur o seul le signal électronique subsistait était considéré. Cependant, le procédé décrit ci-dessus s'applique aussi à des matériaux semi- conducteurs pour lesquels le signal trou existe, si petit fut-il. Dans un tel cas, le signal comporte d'une part une composante électronique qui correspond à la collection des électrons, et d'autre part une composante trou qui correspond à la collection des trous. La composante électronique peut être isolée ou identifiée par différenciation temporelle ou filtrage. On peut ainsi se retrouver dans le cas précédent, o seul le signal électronique existait: on identifie l'amplitude du signal mesuré Qm et le temps de montée mesuré Tm, de la composante électronique, et on compare ces résultats avec les corrélations. On peut également, afin de disposer d'un rapport signal sur bruit plus important, mesurer l'amplitude du signal total (composante électronique + composante trou), le temps de montée de la composante électronique, et comparer ces données avec une corrélation préalablement établie, entre l'amplitude totale de signaux et les temps de montée des composantes électroniques de ces signaux. Dans ce cas, les corrélations peuvent ne plus être linéaires, mais, comme on l'a dit, le rapport signal/bruit est plus important. On obtient ainsi la charge totale maximale qui aurait dû être mesurée si l'interaction s'était produite au voisinage de la cathode. B 12283.3/PM La figure 3 représente schématiquement un système d'exploitation des signaux obtenu en spectrométrie y, permettant une mise en oeuvre de l'invention. Sur cette figure, la référence 30 désigne globalement un banc expérimental d'irradiation, c'est- à-dire un cristal semi-conducteur et des électrodes (cathode et anode) disposées de manière à détecter un signal en réponse à une interaction d'un photon y avec ce matériau semi-conducteur. La référence 32 désigne globalement un ensemble permettant de réaliser la lecture, l'amplification et la mise en forme du signal électrique. Cette mise en forme peut consister à filtrer le signal global obtenu en sortie des détecteurs, pour en isoler la composante électronique. Les moyens 34 sont des moyens pour détecter l'amplitude maximale, ou la crête, du signal fourni en entrée. Si c'est la partie électronique du signal qui est fournie en entrée dans ces moyens 34, ils produiront un signal de sortie au moment o la charge maximale Qm de la composante électronique sera détectée. Un signal représentatif de cette charge maximale, et/ou une donnée correspondante, peut (ou peuvent) être produit(s) en sortie 36. Par ailleurs, il est également prévu un dispositif 38 de mesure du temps de montée du signal retenu, c'est-à-dire en l'espèce de la composante électronique. Ce dispositif de mesure est commandé d'une part par des moyens 40 de détection d'un seuil de début de montée et par les moyens 34 de détection de crête. Les impulsions fournies par ces deux moyens 34, 40 délimitent un intervalle de temps. Des moyens 38 produisent un signal de sortie représentatif, ou les données représentatives, de cet intervalle de temps. Les moyens 40 transmettent également une impulsion, ou un signal, au moyen 42, qui B 12283.3/PM permet d'initialiser une séquence de mesure et de remettre le détecteur de crête 34 à zéro en fin de séquence en attente d'une nouvelle séquence. Selon une variante de ce dispositif, des moyens 44 peuvent être prévus pour réaliser une détection crête du signal total (composante électronique + composante trou). Dans ce cas, ces moyens de détection crête produisent, sur une sortie 46, un signal, par exemple une tension, représentatif de l'amplitude maximum du signal total. Le schéma de la figure 4 représente de manière plus détaillée un système de traitement des données pour mettre en oeuvre un procédé selon l'invention. Sur cette figure, la référence 50 désigne une source de rayonnement qui émet des photons y en direction d'un détecteur 52, à semi-conducteur, par exemple un détecteur CdTe. D'autres détecteurs peuvent être mis en oeuvre dans le cadre de l'invention, notamment à base de semi-conducteur de type IV (Si, Ge,...), de type II-IV (ZnS,...), III-V (GaAs, InP,...) ou II-VII (HgI2,. ). Des moyens 54 sont par ailleurs prévus qui..DTD: permettent de choisir la polarisation du détecteur. En réponse à l'interaction d'un photon y avec le matériau semi- conducteur du détecteur 52 des charges sont collectées. Le signal correspondant aux charges collectées est disponible en sortie d'un préamplificateur de charges 56, par exemple un préamplificateur eV 5093. Le signal de sortie du préamplificateur de charges 56 est transmis à un préamplificateur de lecture 58, dont le gain peut par exemple être réglé entre 1 et 3. Des moyens peuvent en outre être prévus pour ajuster la polarité du signal. Les moyens 60 combinent un amplificateur et un filtre passe-bas. Le B 12283.3/PM filtre passe-bas permet de rejeter toute composante continue. Le signal amplifié et filtré attaque ensuite un filtre passe-haut 62. Ce filtre permet de rejeter le signal lent, c'est-à-dire la composante lente du signal qui est due aux trous. En sortie, est donc obtenu un signal qui correspond à la composante électronique du signal total. La constante de temps du filtre passe-haut 62 est choisie très petite devant le temps collection des trous et supérieure ou égale ou comparable au temps de collection des électrons. Un signal représentatif de l'évolution temporelle de la seule composante électronique est donc transmis à un détecteur de crête 64 à la sortie duquel est relié un discriminateur 66 de montée vers la crête du signal. Pour ce dernier élément, un transistor, par exemple un transistor 2N 2894, charge un condensateur jusqu'au niveau crête du signal. Aux bornes d'une résistance collecteur, une tension est observée, indiquant que le transistor charge le condensateur. Dès le passage de la crête du signal, la charge est arrêtée et la tension collecteur s'annule. Le signal obtenu en sortie du discriminateur 66 est transmis à des moyens 68 qui permettent de déterminer l'instant de fin de montée t1 de la composante électronique du signal total. La tension collecteur du transistor du discriminateur 66 est appliquée à un comparateur. Par conséquent, pendant la charge, c'est-à-dire pendant la montée de la composante électronique, un courant d'environ 2 milliampères est fourni en entrée d'un intégrateur 70, dont la capacité d'intégration est sélectionnée en même temps que la constante du filtre passe-haut 62. Des signaux logiques contrôlent la phase d'intégration. Un amplificateur- B 12283.3/PM adaptateur 72 suit l'intégrateur et fournit un signal, ou une tension, proportionnel au temps de migration rapide qui est une bonne approximation du temps de collection des électrons, c'est-à-dire du temps de montée de la composante électronique. Le signal de sortie du discriminateur 66 ou le signal préamplifié et filtré, prélevé en sortie des moyens 60 ou 62, sert également à déclencher des moyens 74 de détection du seuil du début de montée du signal. Pour cela, le signal préamplifié et filtré est comparé à un seuil bas. Le franchissement de ce seuil bas provoque la transmission d'un signal en sortie des moyens 74 vers des moyens 76 de déclenchement d'une séquence d'intégration dans le temps et de remise à zéro de l'intégrateur 70 en fin de séquence. De même, ces moyens 76 transmettent au détecteur crête 64 un signal de remise à zéro en fin de séquence. Un adaptateur 78 en sortie des moyens 76 permet de générer un signal Sy de synchronisation. Le détecteur crête 80 prélève un signal en sortie de l'ensemble amplificateur-filtre passe-bas 60. Ce détecteur de crête 80 peut être constitué de manière similaire au détecteur 64. En sortie de chacun de ces détecteurs 64, 80 un adaptateur 65, 81 permet d'obtenir un signal représentatif de l'amplitude, c'està-dire de la charge, de la composante électronique du signal total, ou du signal total lui-même (composante électronique + composante trou). Les figures 5A à 5D présentent des relations amplitude-temps de montée de la composante électronique pour des signaux obtenus dans le cas d'un détecteur CdTe. Une amplitude maximale est attribuée à chaque droite ou courbe de corrélation. Comme, par ailleurs, l'amplitude du signal est proportionnelle à l'énergie B 12283.3/PM du photon y, il est possible de paramétrer chacune des courbes par l'énergie d'un photon y. Le résultats de la figure 5A sont obtenus avec une constante de filtrage (filtre 62) de 0,5 ps. Pour les figures 5B, 5C et 5D, cette constante de temps vaut respectivement 0,2 ps, 0,1 ps et 0,05 ps. Pour les constantes de filtrage inférieures ou égales à 0,1 ps, certaines courbes obtenues ne sont pas droites du fait de l'incapacité du circuit à mesurer des temps longs (supérieurs à 0,4 ps). Dans tous les cas l'estimation de l'énergie obtenue est approximative ( 5%). Cependant, il apparaît clairement qu'après avoir établi ces droites de corrélation il est possible de traiter un signal obtenu en sortie d'un détecteur à semi- conducteur: ce signal est filtré pour en isoler la composante électronique, et l'amplitude maximum et le temps de montée de cette composante électronique sont mesurés. Ces deux paramètres sont reportés sur le graphique amplitude-temps correspondant, et on en déduit l'énergie du photon y dont l'interaction avec le matériau semi-conducteur a provoqué le signal total. Il est donc possible de corriger le spectre obtenu: un photon y dont l'interaction avec le matériau semi-conducteur a lieu en un point quelconque à l'intérieur de ce matériau se voit ainsi attribuer une énergie unique, indépendante de son trajet à l'intérieur du semiconducteur. Si ce traitement n'était pas réalisé, la charge totale mesurée, c'est-à- dire l'amplitude totale maximale effectivement mesurée pour le signal donnerait lieu à une mesure de l'énergie inférieure à celle obtenue par la méthode de corrélation exposée ci-dessus: il y aurait ainsi l'élargissement du pic correspondant, dans le spectre, du côté des basses énergies. B 12283.3/PM On peut comparer les méthodes de correction de Richter décrites dans le document cité ci-dessus et celles selon la présente invention. Ces méthodes ont été appliquées sur du matériau CdTe tirées selon deux méthodes de tirage différent: méthode THM (Travelling Heater Method) et HPBM (High Pressure Bridgmnan method). Dans le cas de la méthode de Richter, le temps de montée du signal total est porté en ordonnée d'un graphique, et l'amplitude du signal total (charge totale) est portée en abscisse du même graphique. Dans le cas de la méthode selon l'invention, le temps de montée de la composante électronique du signal total est porté en ordonnée et l'amplitude de cette même composante électronique est portée en abscisse. Dans tous les cas, un nuage de points est obtenu: ceux obtenus avec la méthode selon l'invention mettent en évidence une corrélation linéaire des deux paramètres temps de montée-charge, alors que cette corrélation est beaucoup moins nette dans le cas de la méthode de Richter avec un matériau obtenu par THM et absente dans le cas de la méthode de Richter avec un matériau obtenu par HPBM. La possibilité de compenser la mauvaise efficacité de détection, à l'aide de la composante électronique du signal, ouvre la voie à de nombreuses applications, notamment en médecine nucléaire. Les critères physiques de réalisation d'une y-caméra (100% d'efficacité de détection, très haute résolution en énergie) à base de semi- conducteur sont encore très sévères et les méthodes de correction connues jusqu'alors ne permettent pas de satisfaire à ces critères. En effet, le haut taux d'efficacité de détection requis impose l'utilisation de détecteurs épais (5 à 6 mm autour du CdTe) pour lesquels aucune B 12283.3/PM méthode de correction ne peut efficacement être appliquée. Ce n'est pas le cas pour la présente invention, dans la mesure o la corrélation linéaire ne dépend pas de phénomène probabilistes (de type piégeage des trous) mais seulement de paramètres connus et constants (mobilité des électrons, épaisseur du détecteur, tension de polarisation). Dans ce cas, l'utilisation de détecteurs épais ne gêne absolument pas: au contraire elle permet de mesurer des temps de montée plus longs ce qui, électriquement parlant, est plus facile à mesurer. B 12283.3/PM REVENDICATIONS 1. Procédé d'exploitation d'un signal, ou d'un ensemble de données représentatives de l'évolution temporelle d'un signal, fourni par un détecteur (52) à semi-conducteur (2), en réponse à l'interaction d'un photon y (8) avec le matériau semi-conducteur, dans lequel est produit un signal représentatif, ou une donnée représentative, du temps de montée de la composante électronique du signal fourni par le détecteur, c'est-à-dire de la composante du signal total qui correspond à la collection des électrons provenant de l'interaction de chaque photon y avec le matériau semi-conducteur. 2. Procédé selon la revendication 1, dans lequel est produit(e) en outre une donnée représentative, ou un signal représentatif, soit de la charge totale détectée, soit de la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons. 3. Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, dans lequel est produit(e) une donnée représentative ou un signal représentatif, ou bien de l'amplitude du signal fourni par le détecteur, ou bien de l'amplitude de la composante électronique du signal fourni par le détecteur. 4. Procédé d'exploitation d'une pluralité de signaux, ou d'une pluralité d'ensembles de données, dont chacun est représentatif de l'évolution temporelle de signaux, fournis par un détecteur (52) à semi- conducteur (2), chaque ensemble de données ou chaque signal étant exploité selon un procédé conforme à l'une des revendications 1 à 3, comportant en outre l'établissement d'une relation, ou corrélation, entre, d'une part, un premier ensemble de données représentant les temps de montée des composantes électroniques, et, d'autre part, un second ensemble de données B 12283.3/PM représentant ou bien les charges totales détectées, ou bien les parties des charges totales résultant de la collection des électrons. 5. Procédé selon la revendication 4, dans lequel est déterminé(e), ou bien est produit(e) une donnée ou un signal représentatif de la charge électronique maximale ou de la charge maximale correspondant à au moins une partie des premier et second ensembles de données. 6. Procédé d'exploitation de signaux, en spectrométrie y, dans lequel: - à partir d'un signal, ou d'un ensemble de données représentatives de l'évolution temporelle d'un signal, obtenu par un détecteur (52) à semi- conducteur (2), en réponse à l'interaction d'un photon y (8) à mesurer avec le matériau semi- conducteur, - on produit une donnée représentative, ou un signal représentatif, du temps de montée de la composante électronique du signal fourni par le détecteur, c'est-à-dire de la composante du signal qui correspond à la collection des électrons provenant de l'interaction du photon y avec le matériau semi- conducteur, - on produit une donnée représentative ou un signal représentatif, soit de la charge totale détectée, soit de la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons, - on détermine une charge électrique maximale, à partir: * des signaux ou des données sur: * le temps de montée de la composante électronique de signal, B 12283.3/PM et sur la charge totale détectée ou sur la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons, * et à partir d'une relation, ou corrélation, établie conformément à la revendication 4 ou 5. 7. Procédé de mesure selon la revendication 6, dans lequel on corrige la charge mesurée à partir: - de la charge maximale, - du temps de montée correspondant à cette charge maximale, - et du temps de montée effectivement mesuré. 8. Dispositif pour l'exploitation d'un signal, ou d'un ensemble de données représentatives de l'évolution temporelle d'un signal, fourni par un détecteur (52) à semi-conducteur (2) en réponse à l'interaction d'un photon y (8) avec le matériau semi- conducteur, ce dispositif comportant des moyens (38, 68, 70, 72) pour produire une donnée représentative, ou un signal représentatif, du temps de montée de la composante électronique du signal total fourni par le détecteur, c'est-à-dire de la composante du signal qui correspond à la collection des électrons provenant de l'interaction de chaque photon y avec le matériau semi- conducteur. 9. Dispositif selon la revendication 8, comportant en outre des moyens (34, 36, 64, 65, 80, 81) pour produire une donnée représentative, ou un signal représentatif, soit de la charge totale détectée, soit de la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons. 10. Dispositif selon l'une des revendications 8 ou 9, comportant des moyens pour produire une donnée représentative, ou un signal représentatif, d'une amplitude de la composante électronique du signal ou bien d'une amplitude du signal total. B 12283.3/PM 11. Dispositif d'exploitation d'une pluralité de signaux ou d'une pluralité d'ensemble de données, chacun étant représentatif de l'évolution temporelle d'un signal fourni par un détecteur (52) à semi- conducteur (2), en réponse à l'interaction d'un photon y (8) avec le matériau semi-conducteur, ce dispositif comportant des moyens, selon l'une des revendications 8 à 10, pour l'exploitation de chaque signal ou ensemble de données et des moyens permettant d'établir une relation, ou corrélation, entre d'une part, un premier ensemble de données représentant les temps de montée des composantes électroniques et, d'autre part, un second ensemble de données représentant les charges totales détectées ou les charges résultant de la collection des électrons. 12. Dispositif selon la revendication 11, comportant en outre des moyens pour produire un signal représentatif, ou une donnée représentative de la charge électrique maximale ou de la charge maximale correspondant à au moins une partie des premier et second ensembles de données. 13. Dispositif pour l'exploitation d'un signal, ou d'un ensemble de données représentatives de l'évolution temporelle d'un signal, obtenu par un détecteur (52) à semi-conducteur (2), en réponse à l'interaction d'un photon y (8) à mesurer avec le matériau semi- conducteur, comportant: des moyens (38, 68, 70, 72) pour produire une donnée représentative, ou un signal représentatif, du temps de montée de la composante électronique du signal fourni par le détecteur, c'est-à-dire de la composante du signal qui correspond à la collection des électrons provenant de l'interaction du photon y avec le matériau semi-conducteur, B 12283.3/PM - des moyens (34, 36, 64, 65, 80, 81) pour produire une donnée représentative ou un signal représentatif, soit de la charge totale détectée, soit de la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons, - des moyens pour déterminer une charge électrique maximale, à partir: * des signaux ou des données sur: * le temps de montée de la composante électronique de signal, * la charge totale détectée ou sur la partie de la charge totale résultant de la collection des électrons * et à partir d'une relation, ou corrélation, obtenue à l'aide d'un dispositif selon l'une des revendications 11 ou 12. 14. Dispositif selon la revendication 13, comportant en outre des moyens pour corriger la charge mesurée à partir de la charge maximale, du temps de montée correspondant à cette charge maximale, et du temps de montée effectivement mesuré. B 12283.3/PM