Brevet FR2736464A1 — publié le 19970110

DISPOSITIF DE VISUALISATION A EMISSION DE CHAMP La présente invention concerne des dispositifs de visualisation à panneau plat du type à cathode à émission de champ et, plus particulièrement, la formation d'un espace auxiliaire, constitué par une enceinte auxiliaire fixée à une platine, et la structure ainsi obtenue pour mise en boîtier sous vide. On utilise largement les tubes cathodiques (CRT) pour des dispositifs de visualisation destinés à des postes de télévision, des ordinateurs et autres dispositifs de présentation visuelle d'informations. Les tubes cathodiques offrent, en effet, une bonne qualité des couleurs, de la luminosité, du contraste et de la définition. Toutefois, les tubes cathodiques classiques ont pour inconvénient de nécessiter beaucoup de place derrière l'écran de présentation proprement dit, ce qui entraîne de grandes dimensions et ce qui les rend volumineux. Les dispositifs de visualisation à panneau plat suscitent un grand intérêt dans de nombreux cas, lorsque le volume associé aux dispositifs de visualisation cathodiques classiques (CRT) constitue un inconvénient majeur, comme c'est le cas pour des ordinateurs et des téléviseurs portables et les dispositifs de visualisation frontaux. Les dispositifs de visualisation à panneau plat présentent l'avantage d'être basés sur une conception bien au point de tube cathodique faisant appel au phosphore cathodoluminescent, tout en assurant un dispositif de visualisation particulièrement mince, simple et à haute définition, formé en grande partie par des procédés utilisés pour les circuits intégrés. Le concept des dispositifs de visualisation à émission de champ (FED), qui font partie des dispositifs de visualisation à panneau plat, est apparu à la fin des années 1960. Des électrons sont émis par des cathodes, par un principe d'effet tunnel selon la mécanique quantique, lors de l'application d'un champ électrique, à la place de l'émission du fait de la chaleur, comme dans les tubes cathodiques. Le dispositif de visualisation à émission de champ comprend des électrodes formant cathodes, sous la forme de matrices, des électrodes de grille, qui commandent les courants d'émission, et des électrodes formant anodes, revêtues de phosphore cathodoluminescent sur le côté situé en face de la cathode, ainsi que des pièces d'écartement qui maintiennent constante la distance entre les électrodes formant cathodes et les électrodes formant anodes. Le dispositif de visualisation à émission de champ offre plusieurs avantages sur les autres dispositifs de visualisation. En premier lieu, du fait que les électrodes formant cathodes et les électrodes de grille peuvent être formées sur le même substrat, la structure en est simple. En deuxième lieu, sa consommation d'énergie électrique est faible par rapport à d'autres dispositifs de visualisation, du fait qu'il utilise des cathodes froides. Et enfin, étant donné qu'il est à auto- émission, il remplit les conditions quant aux dispositifs de visualisation panneau plat de la génération suivante, à savoir une luminosité et un contraste élevés. Il est important que la surface émettrice d'électrons et la face opposée du dispositif de visualisation soient maintenues isolées l'une de l'autre sur toute l'étendue de la face du dispositif de visualisation. L'écartement entre la cathode et l'anode devrait aussi être aussi petit que possible afin de réduire la tension requise pour le fonctionnement du dispositif de visualisation à émission de champ, et cette distance doit être régulière pour obtenir une définition et une luminosité régulières afin d'éviter des distorsions de la présentation, etc. En outre, pour que les électrons émis puissent se déplacer librement dans l'espace du dispositif de visualisation à émission de champ, et arriver sur une dalle, afin d'éviter le claquage électrique et d'empêcher toute attaque par les molécules de gaz ionisées, du fait du potentiel élevé à proximité de la cathode, il est indispensable de maintenir un vide poussé, de manière type au-dessous de 1 x 10-5 torr, dans le dispositif de visualisation à émission de champ. Toutefois, eu égard au fait que la technique classique de mise en boîtier sous vide comporte des limites pour faire le vide dans des volumes aussi petits que des dispositifs de visualisation à émission de champ, il faut inventer de nouveaux procédés permettant de surmonter les insuffisances des techniques antérieures. La technique de mise en boîtier sous vide peut être divisée en trois groupes: la technique de fabrication avec pièces d'écartement, la technique à scellement et à vidage, et la technique à activation par getter. Certains brevets ont été délivrés, concernant de façon prédominante la technique de fabrication avec pièces d'écartement et la technique à activation par getter. Ainsi, le brevet japonais publié sous le numéro 5-121015 (demandeur: Sony Corporation), le brevet japonais publié sous le numéro 5-151916 (demandeur: Futaba Corporation) et le brevet japonais publié sous le numéro 5-182608 (demandeur: Sharp Corporation) décrivent le procédé d'entretien d'un vide poussé au moyen de getters ayant des structures diverses. Les brevets des Etats-Unis n 4923421, délivré à Innovative Display et 5232549, délivré à M.D.T., montrent le procédé de fabrication avec pièces d'écartement. Le brevet des Etats-Unis n 5117304, décrit quant à lui, le procédé de scellement pour le dispositif de visualisation à émission de champ. La présente invention a pour but d'éliminer le problème inhérent au procédé classique de mise en boîtier sous vide, c'est-à-dire lorsque l'écartement entre cathode et anode dans un dispositif de visualisation à émission de champ est si petit (inférieur à plusieurs centaines de microns) qu'il est difficile de sceller un dispositif de visualisation à émission de champ, dans un espace à niveau de vide très poussé, et de maintenir un vide poussé après scellement, à cause de l'émission de gaz provenant du corps du dispositif de visualisation à émission de champ. La présente invention propose une nouvelle structure de dispositif de visualisation à émission de champ, telle qu'il y ait un espace auxiliaire augmentant la conductance du système pour le vidage, et aidant à faire plus efficacement le vide dans une cavité à l'intérieur du dispositif de visualisation à émission de champ. Les molécules de gaz peuvent se déplacer aisément vers l'espace auxiliaire en passant par des trous pratiqués dans la platine de l'espace principal et les molécules de gaz peuvent être extraites par pompage par l'intermédiaire du queusot situé au niveau de l'embase de l'enceinte auxiliaire. Dans cette structure, l'espace auxiliaire facilite l'installation de divers getters dans le dispositif de visualisation à émission de champ et l'entretien d'un vide poussé, pour une durée de vie notable du dispositif de visualisation à émission de champ. La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui va suivre de modes de réalisation à titre d'exemples non limitatifs, en liaison avec les dessins annexés, sur lesquels: la figure 1 est une vue en coupe transversale d'un dispositif de visualisation à émission de champ selon des techniques antérieures; la figure 2 est une vue en coupe transversale d'un dispositif de visualisation à émission de champ selon le premier mode de réalisation de la présente invention; la figure 3 est une vue en coupe transversale d'un dispositif de visualisation à émission de champ selon le deuxième mode de réalisation de la présente invention; la figure 4A est une vue en coupe transversale d'un dispositif de visualisation à émission de champ selon le troisième mode de réalisation de la présente invention; et la figure 4B est une vue de dessus d'un dispositif de visualisation à émission de champ selon le troisième mode de réalisation de la présente invention. En se référant à la figure 1, celle-ci montre un dispositif de visualisation à émission de champ selon la technique antérieure. Le dispositif de visualisation à émission de champ comporte une platine 11 et une dalle 21, située en face de la platine 11. Un certain nombre d'électrodes formant cathodes 13 est constitué, en forme de bandes, sur la platine 11. Un certain nombre d'électrodes formant anodes 23, placées de façon croisée par rapport aux électrodes formant cathodes 13, est formé en bande sur la dalle 21. Les électrodes formant anodes 23 sont formées sur la dalle 21 du côté opposé par rapport à un spectateur et elles sont faites d'oxyde d'étain dopé à l'indium (ITO), qui est un matériau conducteur transparent. Une couche de matériau fluorescent 25 est déposée sur les électrodes formant anodes 23. Les électrons éjectés par des émetteurs 15, sur la platine 11, viennent en collision avec la couche de matériau fluorescent 25 et il en résulte l'émission de lumière. La platine 11 est placée au niveau d'une face arrière à distance d'un spectateur et elle est faite en semi-conducteur ou en verre. Les électrodes formant cathodes 13, situées sur la platine 11, sont faites d'un semi-conducteur fortement dopé ou d'un métal conducteur. Les émetteurs 15 sont fabriqués sur les électrodes formant cathodes 13 et ils consistent en un métal, tel que le silicium, le molybdène (Mo), etc. La forme des émetteurs 15 est globalement conique et des électrons sont émis à partir des émetteurs 15. Les émetteurs sont séparés les uns des autres par des corps diélectriques 17, et des électrodes de grille 19 sont déposées sur le corps diélectrique 17. Les électrodes de grille 19 commandent le courant d'émission à partir des émetteurs 15. Il est également prévu une ouverture pour vidage 29, dans une partie souhaitée de la platine 11, o les électrodes formant cathodes 13 ne sont pas déposées. Un queusot 31 est inséré dans l'ouverture pour vidage 29. Le gaz présent dans l'espace principal 26 est extrait par pompage, par l'intermédiaire de l'ouverture pour vidage 29. Lorsqu'une dépression adéquate est obtenue, le queusot est scellé. La dalle 21 est fixée en face de la platine 11, la distance souhaitée entre elles étant approximativement comprise entre 100 et 200 gm et maintenue par des pièces d'écartement 27, de telle manière que la couche de matériau fluorescent 25 et les émetteurs 15 soit situés face à face dans l'espace principal 26. L'espace principal 26 est hermétiquement fermé par cuisson de l'ensemble après revêtement de la dalle 21 et de la platine 11 par de la fritte d'étanchéité, déposée sur les deux côtés. Un procédé de formation de l'espace principal 26 entre la dalle 21 et la platine 11 est le suivant: la première étape consiste à séparer la dalle 21 et la platine 11 d'une distance régulière, au moyen des pièces d'écartement 27 et de sceller hermétiquement les deux côtés entre la dalle 21 et la platine 11. La deuxième étape consiste à relier la première ouverture pour vidage 29, formée dans la platine 11, à une pompe à vide (non montrée) et ensuite à évacuer le gaz présent dans l'espace principal 26, afin d'obtenir un vide poussé. La troisième étape consiste à couper le queusot 31, après chauffage et allongement, afin de séparer l'espace principal 26 et une pompe à vide (non montrée), l'espace principal 26 étant maintenu à l'état de dépression. Les pièces d'écartement 27, situées entre la dalle 21 et la platine 11, ont la forme d'une paroi à chacun des deux bords de la dalle 21 et de la platine 11, et elles ont une forme cylindrique dans la zone définie entre les deux bords de la dalle 21 et de la platine 11. Les pièces d'écartement 27 sont faites en des matières diélectriques, telles que verre ou polyimide, etc. Les pièces d'écartement 27 devraient pouvoir résister à la sollicitation provoquée par la grande différence de pression qui existe entre la pression atmosphérique externe et la dépression à l'intérieur de la cavité, et elles devraient être en mesure d'assurer un espacement régulier dans le dispositif de visualisation, afin de garantir une luminosité et une définition uniformes des images. Les électrodes formant cathodes 13 et les électrodes formant anodes 23 sont également prolongées pour être reliées à un circuit externe (non montré), placé à l'extérieur de l'espace principal 26. Dans un mode de réalisation de dispositif de visualisation à émission de champ, tel que montré en détail à la figure 1, si les électrodes formant cathodes 13 et les électrodes formant anodes 23 reçoivent respectivement d'un circuit externe, une tension négative et une tension positive, un champ électrique est créé entre les électrodes face à face. Des électrons sont émis à partir de chacun des émetteurs 15, là o un champ électrique est formé. Des tensions positives sont appliquées aux électrodes de grille 19, sur la platine 11, afin de faciliter l'émission d'électrons à partir des émetteurs 15. Les électrons émis par les émetteurs 15 sont accélérés par les électrodes formant anodes 23 et viennent heurter la couche de matériau fluorescent 25. La couche de matériau fluorescent 25 émet alors de la lumière pour la formation d'une image. La structure de dispositif de visualisation à émission de champ, telle que décrite en détail ci-dessus, et que l'on dit être du type triode, a des émetteurs de forme conique faits de silicium ou de métal, et des électrodes de grille. Selon une autre solution, il existe une structure de dispositif de visualisation à émission de champ du type diode à couches minces, dans laquelle les émetteurs sont faits en couches minces au diamant, et ne nécessitant pas d'électrodes de grille séparées. Toutefois, dans un dispositif de visualisation à émission de champ selon la technique antérieure, le mouvement des molécules gazeuses est limité du fait de la courte distance entre la dalle et la platine. Donc, au fur et à mesure que l'espacement entre les plaques décroît, il faut davantage de temps de pompage pour obtenir la même dépression. Il est également difficile d'installer un getter, qui sert à éviter une remontée de pression, entre les plaques, au cours du vidage avant scellement. En se référant à présent à la figure 2, celle-ci montre un dispositif de visualisation à émission de champ selon un mode de réalisation de la présente invention. Ainsi que le montre la figure 2, le dispositif de visualisation à émission de champ selon le premier mode de réalisation de la présente invention, comprend un espace principal 26, défini par une dalle 21, par une platine 11, située en face de la dalle 21, et par des pièces d'écartement 27, placées entre elles, et un espace auxiliaire 206, défini par la platine 11, par une enceinte auxiliaire 203, en face de la platine 11, et par des pièces d'écartement auxiliaires 208 entre celles-ci. La dalle 21 est faite en verre transparent et elle se trouve devant un spectateur. Les électrodes formant anodes 23 sont formées sur la dalle 21, du côté opposé au spectateur, et elles sont faites d'oxyde d'étain dopé à l'indium (ITO), qui est un matériau conducteur transparent. Une couche de matériau fluorescent est déposée sur la surface de l'électrode formant anode, et de la lumière en est émise lorsque le phosphore est bombardé par les électrons. La platine 11 est placée à l'arrière, à distance d'un spectateur et elle est faite en semi-conducteur ou en verre ou etc. Des électrodes formant cathodes 13, formées sur la platine 11, sont faites d'un métal conducteur. Des émetteurs 15, en forme de cône et faits en molybdène (Mo) ou en tungstène (W), etc., sont fabriqués sur les surfaces des électrodes formant cathodes 13, et ils servent à émettre des électrons lors de l'application d'un champ électrique. Les émetteurs sont séparés les uns des autres par des corps diélectriques. Des électrodes de grille 19 sont déposées sur les corps diélectriques 17. Les électrodes de grille 19 servent à faciliter l'émission d'électrons par les émetteurs 15. Il est prévu un certain nombre de premières ouvertures pour vidage 202, en des emplacements souhaités de la platine 11, là o les électrodes formant cathodes 13 ne sont pas déposées, et leur fonction consiste à faciliter le passage des molécules gazeuses de l'espace principal 26 vers l'espace auxiliaire 206. La dalle 21 est fixée en face de la platine 11, la distance souhaitée entre elles étant approximativement comprise entre 100 et 200 gm, par les pièces d'écartement 27 de telle manière que la couche de matériau fluorescent 25 et les électrodes formant cathodes 13 soient situées face à face, pour ainsi définir l'espace principal 26. Le gaz présent dans l'espace principal 26 peut être évacué vers l'espace auxiliaire 206, par l'intermédiaire des premières ouvertures pour vidage 202. Les pièces d'écartement 27 sont formées entre la dalle 21 et la platine 11. Les pièces d'écartement 27 ont la forme d'une paroi à chacun des deux bords de la dalle 21 de la platine 11, et elles ont une forme cylindrique dans la zone définie entre les deux bords de la dalle 21 et de la platine 11. Les pièces d'écartement 27 sont faites en des matières diélectriques, telles que verre ou polyimide, etc. La fonction des pièces d'écartement a déjà été décrite ci-dessus. Les électrodes formant cathodes 13 et les électrodes formant anodes 23 sont prolongées pour être reliées à un circuit (non montré), placé à l'extérieur de l'espace principal 26. L'enceinte auxiliaire 203, faite en verre, est formée dans un emplacement en face de l'autre surface de la platine 11, afin d'obtenir un dispositif de visualisation à émission de champ du type panneau et d'améliorer le niveau de vide du dispositif de visualisation. L'enceinte auxiliaire 203 a une épaisseur, de préférence comprise entre 1 mm et 200 mm. Les pièces d'é-artement auxiliaire 208, faites en verre, sont formées entre la platine 11 et l'enceinte auxiliaire 203. Les pièces d'écartement auxiliaires 208 ont la forme d'une paroi à chacun des deux bords de la platine 11 et de l'enceinte auxiliaire 203, et elles ont une forme cylindrique dans l'espace compris entre les deux bords de la platine 11 et de l'enceinte auxiliaire 203. Les pièces d'écartement auxiliaires 208 devraient remplir les mêmes conditions que les pièces d'écartement 27, dont la fonction a déjà été décrite. Toutefois, les limitations quant à la taille, et notamment quant à la superficie, ne sont pas aussi strictes car les pièces d'écartement 208 ne sont pas visibles par le spectateur. Une deuxième ouverture pour vidage 204 est pratiquée dans une paroi latérale de l'espace auxiliaire 206. Un queusot 205 est inséré dans la deuxième ouverture pour vidage 204. Lorsque le vide poussé est obtenu, le queusot est scellé. Du fait que le volume total du dispositif de visualisation à émission de champ, selon cette invention, est suffisamment grand, on peut installer un getter 207 dans un emplacement désiré de l'espace auxiliaire 206, et il sert à éliminer le gaz qui reste encore dans l'espace principal 26 et dans l'espace auxiliaire 206, pendant et après le scellement du queusot 205. On peut utiliser deux types de getter: un getter vaporisable, fait en titane (Ti) ou en barium (Ba), ou un getter non vaporisable, fait d'un alliage, tel qu'un alliage zirconium-aluminium (Zr-Al) ou d'un alliage zirconium-vanadium-fer (Zr-V-Fe). L'espace principal 26 et l'espace auxiliaire 206 sont constitués par fixation de la dalle 21, de la platine 11 et de l'enceinte auxiliaire 203 et ils sont scellés au moyen d'un premier joint d'étanchéité 201. Les gaz résiduels dans l'espace principal 26 sont évacués vers l'espace auxiliaire 206, par l'intermédiaire des premières ouvertures pour vidage 202 et ils sont extraits par pompage, par l'intermédiaire de la deuxième ouverture pour vidage 204. Les premières ouvertures pour vidage 202, qui sont au nombre de plusieurs, servent à augmenter la conductance de cette structure pour le vidage et à améliorer le niveau du vide dans l'espace principal 26 et dans l'espace auxiliaire 206. Le queusot 205 est coupé après avoir été chauffé, tourné et allongé, afin de séparer l'espace auxiliaire 206 et une pompe à vide (non montrée), tandis que l'espace principal 26 et l'espace auxiliaire 206 conservent leur état de dépression. Le gaz dégagé au cours de l'opération de scellement est ensuite éliminé par le getter 207. En se référant maintenant à la figure 3, celle-ci montre un dispositif de visualisation à émission de champ, selon un autre mode de réalisation de la présente invention. Dans le dispositif de visualisation à émission de champ représenté à la figure 3, une plaque de support envers 308 est fixée contre le dessous de la platine 11 du dispositif de visualisation à émission de champ de la technique antérieure, représenté à la figure 1. La platine 11 consiste en une plaquette de silicium. La taille de la plaque de support envers 308 est similaire à celle de la platine 11. La plaque de support envers 308 renforce la résistance mécanique de la platine 11 et protège ainsi la platine 11 contre tout endommagement dû à une pression externe, etc. Il y a également plusieurs premières ouvertures pour vidage 302, ce qui permet d'améliorer le niveau du vide dans l'espace principal 26. Une enceinte auxiliaire 303 est formée au-dessous de la plaque de support envers 308, elle a une forme spécifique, par exemple en "U" et elle est faite d'une matière diélectrique, telle que du verre, etc. La plaque de support envers 308 sert à la fabrication d'un dispositif de visualisation à émission de champ du type panneau et à l'amélioration du niveau du vide du dispositif de visualisation. Un espace auxiliaire 306 est formé en une épaisseur approximativement comprise entre 1 mm et 200 mm. La partie inférieure de l'enceinte auxiliaire 303 et la face de la plaque de support envers 308, situées l'une en face de l'autre, définissent l'espace auxiliaire 306. L'espace principal 26, formé entre la dalle 21 et la platine 11, et l'espace auxiliaire 306, formé entre la plaque de support envers 308 et l'enceinte auxiliaire 303, sont revêtus d'un matériau d'étanchéité 301, composé de verre, etc., afin d'en améliorer le niveau du vide. Une deuxième ouverture pour vidage 304 est formée dans une paroi latérale de l'espace auxiliaire 306. Un queusot 305 est inséré dans la deuxième ouverture pour vidage 304. Après extraction du gaz par pompage, par l'intermédiaire de la deuxième ouverture pour vidage 304, le queusot 305 est scellé. Un getter 307 est placé dans une partie souhaitée de l'espace auxiliaire 306 et il sert à réduire la quantité de gaz dégagé au cours d'un processus de scellement du queusot 305, ainsi qu'à l'évacuation des gaz occlus dans les matériaux formant le dispositif de visualisation à émission de champ. On peut utiliser deux types de getter : un getter vaporisable, fait en titane (Ti) ou en barium (Ba) ou un getter non vaporisable, fait d'un alliage, tel qu'un alliage zirconium-aluminium (Zr-Al) ou un alliage zirconium-vanadium-fer (Zr-V-Fe). L'espace principal 26 et l'espace auxiliaire 306 sont constitués par fixation de la dalle 21, de la platine 11, de la plaque de support envers 308 et de l'enceinte auxiliaire 303, et ils sont scellés au moyen d'agents d'étanchéité 301. Le gaz présent dans l'espace principal 26 est évacué vers l'espace auxiliaire 306, par l'intermédiaire des premières ouvertures pour vidage 302. Le gaz, arrivé dans l'espace auxiliaire 306, est extrait par pompage afin de créer le vide dans l'espace auxiliaire 306, au moyen d'une pompe à vide (non montrée), reliée au queusot. La résistance mécanique de la platine 11 est améliorée grâce à la plaque de support envers 308. Le niveau du vide dans l'espace principal 26 est également amélioré du fait de l'augmentation de la conductance de l'écoulement de gaz grâce au nombre de premières ouvertures pour vidage 302. Le queusot 305 est coupé, après avoir été chauffé et allongé, afin de séparer l'espace auxiliaire 306 et la pompe à vide (non montrée), l'espace principal 26 et l'espace auxiliaire 306 étant maintenus à l'état de vide poussé. Les gaz dégagés au cours du processus de scellement après pompage et qui sont ensuite arrivés dans l'espace auxiliaire 306, sont éliminés par le getter 307, placé dans l'espace auxiliaire 306. Le dispositif de visualisation à émission de champ, représenté à la figure 3, est un dispositif de visualisation dit du type triode car cette sorte de dispositif de visualisation à émission de champ comporte des électrodes formant cathodes, des électrodes formant anodes et des électrodes de grille. En passant à présent à la figure 4A, celle-ci montre un dispositif de visualisation à émission de champ selon un autre mode de réalisation de la présente invention. Le dispositif de visualisation à émission de champ, représenté à la figure 4A, est un afficheur à couches minces au diamant, ne nécessitant pas d'électrode de grille. Une enceinte auxiliaire 410, comportant une rainure, est fixée à la platine 411, vers l'arrière. Il est prévu un certain nombre de premières ouvertures pour vidage 408, et une ou plusieurs ouvertures internes 408A, qui servent à faciliter l'écoulement libre de gaz entre l'espace principal 426 et un espace auxiliaire 416, sont pratiquées dans la platine 411. La profondeur de la rainure, formée dans l'enceinte auxiliaire 410, est nettement plus grande que la longueur des pièces d'écartement 406, formées dans l'espace principal 426. Il est prévu un ou plusieurs supports 406A dans une partie centrale de l'enceinte auxiliaire 410, ainsi qu'il ressort de la figure 4A, afin d'améliorer la résistance mécanique de cette structure lors du vidage par l'intermédiaire du tube 409. Le gaz présent dans l'espace principal 426 peut aisément passer dans l'espace auxiliaire 416, par l'intermédiaire des premières ouvertures pour vidage 408 et des ouvertures internes 408A, qui sont pratiquées dans le sens perpendiculaire par rapport à la platine 411. Il en résulte que l'on peut aisément atteindre l'état d'équilibre du niveau du vide entre l'espace principal 426 et l'espace auxiliaire 416. Par conséquent, le processus de mise en boîtier sous vide selon le procédé de la présente invention ci-dessus décrit, permet de réduire le temps nécessaire au pompage pour faire le vide, par rapport au temps requis dans un procédé selon la technique antérieure, pour la fabrication d'un dispositif de visualisation de même taille. La figure 4B montre, en détail, un processus de fabrication du dispositif de visualisation à émission de champ selon la présente invention. En se référant à la figure 4B, des émetteurs à couche mince au diamant 403, destinés à l'émission d'électrons, sont formés sur les électrodes formant cathodes 404. Tout d'abord, on pratique des ouvertures pour vidage 408 et des ouvertures internes 408A, en des emplacements désirés d'une platine 411. Ainsi que le montre la figure 4B, les premières ouvertures pour vidage 408, formées près des bords de la platine 411, ont un diamètre relativement grand, tandis que les ouvertures internes 408A, formées entre les émetteurs 403, ont un petit diamètre, inférieur à plusieurs centaines de microns. La première étape de fabrication d'un dispositif de visualisation à émission de champ du type à couches minces, selon la présente invention, consiste àmettre en place la dalle 400, la platine 411 et l'enceinte auxiliaire 410 avec une rainure, au moyen des pièces d'écartement 406 afin de maintenir l'espace principal 426 entre les électrodes formant anodes 401 et les électrodes formant cathodes 404. Le getter 405 est ensuite installé sur une partie supérieure de l'espace auxiliaire 416 afin d'augmenter le niveau du vide dans l'espace interne du dispositif de visualisation à émission de champ. L'étape finale consiste à cuire l'ensemble en alignement, avec un agent d'étanchéité et après cuisson, à faire le vide dans une cavité, par l'intermédiaire du queusot 409, relié à l'enceinte auxiliaire 410, pour ensuite sceller, après pompage, le queusot 409. Au cours du processus de pompage pour créer une dépression, dans le cadre du dispositif de visualisation à émission de champ selon la présente invention, la conductance de l'écoulement de gaz dans une plage de flux moléculaire constitue un facteur très critique. En d'autres termes, du fait que la taille ou le nombre des premières ouvertures 408 et des ouvertures internes 408A, à pratiquer dans la platine 411, est très important pour l'amélioration de la conductance pour faire le vide, selon la présente invention, on arrive au même effet que celui obtenu par un montage en parallèle de plusieurs tubes pour vidage. Par conséquent, la conductance totale du dispositif de visualisation à émission de champ selon la présente invention équivaut à l'addition des conductances des tubes en série. La conductance du dispositif de visualisation à émission de champ selon la présente invention augmente au fur et à mesure qu'augmente la taille ou le nombre des premières ouvertures pour vidage 408 et des ouvertures internes 408A. La durée du pompage peut être fortement réduite si l'on prévoit, pour la position, la taille et le nombre des premières ouvertures pour vidage 408 et des ouvertures internes 408A, la valeur maximale possible tout en conservant la résistance mécanique. Les dispositifs de visualisation à émission de champ selon la présente invention comportent des avantages, tels qu'une durée de pompe nettement réduite et une résistance mécanique améliorée, par rapport à celles obtenues dans les dispositifs de visualisation à émission de champ de la technique antérieure. En outre, un autre avantage procuré par la présente invention réside dans le fait que la durée de vie des dispositifs de visualisation à émission de champ selon la présente invention peut être prolongée, car la vitesse de détérioration du vide, qui est due aux gaz dégagés au cours du fonctionnement des dispositifs de présentation d'informations, est diminuée grâce à l'augmentation sensible du volume, par rapport au volume, dans les dispositifs de visualisation à émission de champ de la technique antérieure, de l'espace à sceller après pompage. Bien que les dispositifs de visualisation à émission de champ, tels que particulièrement décrits et montrés en détail ici, soient pleinement capables d'atteindre leurs buts et d'offrir les avantages ci-dessus énoncés, il doit être bien compris que ceux-ci constituent uniquement des exemples des modes de réalisation, actuellement préférés, de la présente invention, et qu'ils ne constituent nullement des limitations quant aux détails de la structure, de la conception ou du procédé, autres que celles définies par les revendications annexées. REVENDICATIONS 1. Dispositif de visualisation à émission de champ, comprenant: une dalle (21), sur une face de laquelle des électrodes formant anodes (23) et une couche de matériau fluorescent (25) sont formées successivement; une platine (11), qui est placée en face de ladite dalle (21) et sur laquelle sont formées des électrodes formant cathodes (13) et des émetteurs (15); des pièces d'écartement (27), formées entre ladite dalle (21) et ladite platine (11) et définissant ainsi un espace principal (26) entre ladite dalle et ladite platine; un certain nombre de premières ouvertures pour vidage (202), formées en des emplacements souhaités de ladite platine (11), sur lesquels ne sont pas formées lesdites électrodes formant cathodes (13); une enceinte auxiliaire (203), prévue pour être reliée à ladite platine (11), afin de constituer un espace auxiliaire (206), relié de manière spatiale audit espace principal (26), par l'intermédiaire desdites premières ouvertures pour vidage (202); et une deuxième ouverture pour vidage (204), pratiquée dans une paroi latérale dudit espace auxiliaire (206). 2. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 1, dans lequel des pièces d'écartement auxiliaires (208) sont formées entre ladite platine (11) et ladite enceinte auxiliaire (203) afin d'améliorer la résistance mécanique dudit dispositif de visualisation. 3. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 1, dans lequel un getter (207) est placé dans ledit espace auxiliaire (206). 4. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 1, dans lequel ladite enceinte auxiliaire (203) est faite en verre. 5. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 1, dans lequel ladite distance verticale dudit espace auxiliaire (206) est comprise entre 1 mm et 200 mm. 6. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 3, dans lequel ledit getter (20) est fait d'un matériau vaporisable. 7. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 3, dans lequel ledit getter (207) est fait d'un matériau non vaporisable. 8. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 7, dans lequel ledit getter (207) est fait de titane (Ti), et d'un alliage zirconium- aluminium (Zr-Al) ou d'un alliage zirconium-vanadium-fer (Zr-V-Fe). 9. Dispositif de visualisation à émission de champ comprenant: une dalle (21), sur une face de laquelle des électrodes formant anodes (23) et une couche de matériau fluorescent (25) sont formées successivement; une platine (11), qui est placée en face de ladite dalle (21) et sur laquelle sont formés des électrodes formant cathodes (13) et des émetteurs (15); des pièces d'écartement (27), formées entre ladite dalle (21) et ladite platine (11) et définissant ainsi un espace principal (26) entre ladite dalle (21) et ladite platine (11); une plaque de support envers (308), formée contre le dessous de ladite platine (11); un certain nombre de premières ouvertures pour vidage (302), formées en des emplacements souhaités de ladite platine (1), sur lesquels ne sont pas formées lesdites électrodes formant cathodes (13); un enceinte auxiliaire (303), destinée à être reliée à ladite platine (11) pour constituer un espace auxiliaire (306), relié de manière spatiale audit espace principal (26), par l'intermédiaire desdites premières ouvertures pour vidage (302); et une deuxième ouverture pour vidage (304), pratiquée dans une paroi latérale dudit espace auxiliaire 306). 10. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 9, dans lequel des pièces d'écartement auxiliaires sont formées entre ladite platine (11) et ladite enceinte auxiliaire (303) afin d'améliorer la résistance mécanique dudit dispositif de visualisation. 11. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 9, dans lequel un getter (307) est formé dans ledit espace auxiliaire (306). 12. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 11, dans lequel ladite distance verticale dudit espace auxiliaire (306) est comprise entre 1 mm et 200 mm. 13. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 11, dans lequel ledit getter (307) est fait d'un matériau volatil. 14. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 11, dans lequel ledit getter (307) est fait d'un matériau non volatil. 15. Dispositif de visualisation à émission de champ selon la revendication 14, dans lequel ledit getter (307) est fait de titane (Ti), d'un alliage zirconium- aluminium (Zr-Al) ou d'un alliage zirconium-vanadium-fer (Zr-V-Fe).