Brevet FR2737777A1 — publié le 19970214

DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention concerne un module de capteur comprenant un capteur à semiconducteur tel qu'un capteur de pression piézorésistif. ARRIERE-PLAN DE L'INVENTION On trouve de nos jours des capteurs à semiconducteur dans un nombre important d'applications médicales et industrielles. Par exemple, des capteurs de pression piézorésistifs sont utilisés pour une commande de pression d'eau de pompe et pour une détection de pression sanguine. Dans un certain nombre d'applications nouvellement émergentes, les capteurs à semiconducteur doivent satisfaire des spécifications de plus en plus contraignantes. Pour des i15 applications de détection de niveau d'eau pour des machines à laver le linge et des machines à laver la vaisselle, par exemple, les capteurs de pression doivent présenter une précision élevée (une précision pleine échelle de 1% ou 2%) sur une plage de températures importante (0-70 C), une plage basse pression (de 0 à 300 mm d'eau), un coût faible et ils doivent être aisés à manipuler pour une fabrication en grande série. Pour l'application de détection de niveau d'eau mentionnée ci-avant ainsi que pour d'autres applications nécessitant une plage basse pression, un décalage de capteur de pression piézorésistif peut constituer un problème significatif puisque le décalage peut être d'une valeur importante (50 mV) du signal de sortie de capteur (excursion = 20 à 30 mV). Par conséquent, le décalage doit être compensé dans de telles applications. Un autre problème se pose du fait des variations importantes de la performance des capteurs ou du fait des paramètres de base du capteur de pression piézorésistif tels que le décalage, I'excursion (ou la sensibilité) et les coefficients de température qui peuvent être observés entre différents capteurs et également en fonction de la température. Chaque module de capteur nécessite par conséquent un étalonnage avant utilisation et une compensation quant à des variations de décalage et de sensibilité dues à une dérive de la température. Un exemple d'un cas o un module de capteur nécessite un étalonnage est observé lorsqu'un capteur de pression contenu dans une machine à laver le linge doit être remplacé par un nouveau capteur. Le technicien doit réaliser un étalonnage pour le nouveau capteur de pression dans la machine à laver le linge. Ceci peut nécessiter la reprogrammation du microprocesseur de commande contenu dans la machine à laver le linge, ce qui est un processus complexe et consommateur de temps. Par conséquent, les utilisateurs finals, tels que les fabricants de machine à laver le linge, sont de façon générale extrêmement réticents à réaliser un quelconque étalonnage et une quelconque compensation de température. Pour cette raison, l'industrie de l'électroménager utilise généralement des capteurs de pression électromécaniques qui ne souffrent pas des inconvénients mentionnés ci-avant. Cependant, les capteurs de pression électromécaniques ne permettent pas d'obtenir une précision pleine échelle de 1% ou 2%. Par conséquent, plusieurs tentatives ont été réalisées pour essayer de résoudre ces problèmes des capteurs à semiconducteur, sur la base soit de schémas d'étalonnage câblés en dur soit de schémas d'étalonnage par logiciel. Une solution consiste à utiliser des potentiomètres ajustables pour étalonner le module de capteur. Cependant, le réglage n'est ni précis ni aisé à manipuler et il nécessite en outre que l'utilisateur se réfère à un manuel pour les données d'étalonnage. Un autre problème rencontré avec cette solution est constitué par le fait qu'elle n'assure pas une compensation satisfaisante de la dérive de température. Il s'agit fondamentalement d'une solution non efficace du point de vue du coût. Une autre solution incorpore un réseau de résistances intégré sur puce qui est réglé au moyen d'un processus d'ajustage par laser. Cependant, cette solution ne peut pas être utilisée dans des applications présentant des spécifications aussi élevées que la spécification mentionnée ci-avant puisqu'elle n'est pas suffisamment précise pour satisfaire une précision pleine échelle de 1% ou 2%. Un autre inconvénient de cette solution est qu'elle ne peut pas être aisément utilisée en conjonction avec un réglage par logiciel du fait que les dérives de température de décalage et d'excursion ne sont plus linéaires. D'autres solutions connues telles que celle décrite dans la demande de brevet du Royaume-Uni de Grande-Bretagne GB-A-2197957 utilisent un capteur de pression de base, des amplificateurs opérationnels, des capteurs de température et i15 une mémoire d'unité de microcontrôleur (MCU) telle qu'une mémoire morte programmable et effaçable (EPROM). Les valeurs d'étalonnage sont stockées dans la MCU EPROM. Ces solutions présentent également un certain nombre de problèmes qui leur sont associés. Le capteur de température est de façon générale agencé de telle sorte qu'il mesure la température externe et non pas la température du capteur de pression. Des variations entre ces deux températures peuvent affecter la précision du module de capteur. Lorsqu'un capteur par exemple dans une machine à laver le linge doit être remplacé, la MCU doit être remplacée également ou l'EPROM doit être reprogrammée. Quel que soit le cas, il est coûteux de remplacer un tel capteur. En outre, la solution par EPROM permet typiquement un étalonnage du module de capteur à température ambiante seulement. Des agencements qui utilisent un logiciel seulement pour réaliser l'étalonnage et la compensation de température souffrent également d'un certain nombre de problèmes. Par exemple, à des pressions basses, le décalage peut être une valeur importante du signal de sortie (plus de la moitié du signal de sortie dans le pire cas), ce qui signifie que la précision d'une telle solution est de fait médiocre. La précision peut être améliorée en utilisant un convertisseur numérique-analogique (CNA) haute résolution au niveau de la sortie mais ces CNA sont coûteux. Un autre inconvénient rencontré avec ces solutions par logiciel connues est que l'utilisateur final doit mettre en oeuvre les données d'étalonnage pour chaque module, ce qui signifie que chaque module ne peut pas être interchangé et est par conséquent coûteux à remplacer. La demande du Royaume-Uni de Grande-Bretagne GB-B-1429716 décrit un circuit de capteur pour conditionner un capteur à fréquence variable dans lequel des caractéristiques du capteur sont stockées dans une mémoire dans le circuit de capteur. La compensation est réalisée par logiciel au moyen d'un ordinateur connecté au circuit de capteur. Un tel circuit de capteur assure une interchangeabilité mais puisque la i15 compensation est réalisée par logiciel, le circuit souffre des problèmes de décalage à basse pression dont il a été discuté ci-avant. Il existe par conséquent un besoin pour un module de capteur interchangeable qui ne souffre pas des inconvénients et problèmes mentionnés ci-avant. RESUME DE L'INVENTION Selon un premier aspect de la présente invention, on propose un module de capteur destiné à être couplé à une unité de traitement, comprenant un capteur piézorésistif à semiconducteur comportant une sortie pour produire un signal de sortie représentatif de la pression détectée par le capteur; un moyen de stockage pour stocker des données d'étalonnage pour le capteur piézorésistif et pour les coupler à I'unité de traitement; un moyen de détection de température connecté au capteur piézorésistif pour générer un signal de température représentatif de la température détectée du capteur piézorésistif et pour le coupler à l'unité de traitement, dans lequel, en fonctionnement, les données d'étalonnage et le signal de température sont appliqués sur l'unité de traitement qui traite les données d'étalonnage et le signal de température pour générer des signaux de commande; et un moyen de compensation de décalage couplé à la sortie du capteur piézorésistif et permettant un couplage à l'unité de traitement pour recevoir les signaux de commande, au moyen de compensation de décalage pour régler le signal de sortie de capteur en réponse aux signaux de commande de manière à appliquer un signal de sortie compensé en décalage qui est indépendant des variations de la performance du capteur. Puisque les données d'étalonnage sont stockées dans le module de capteur, le module de capteur selon la présente invention est totalement interchangeable. Par conséquent, en utilisation, le module de capteur peut être remplacé sans un quelconque étalonnage supplémentaire du module. En outre, le module de capteur peut être considéré en tant que "boîte noire" qui peut être interfacée avec une quelconque unité de traitement sans la nécessité de reprogrammer l'unité de traitement. Les données d'étalonnage incluent des données qui caractérisent le capteur à semiconducteur et peuvent inclure des coefficients de température de décalage et d'excursion, au moins une valeur de compensation de décalage prédéterminée, le signal de sortie de capteur à une température prédéterminée et le signal de sortie de capteur à une température prédéterminée différente. Le moyen de compensation de décalage dans le module de capteur réalise une compensation de décalage dans le module lui-même. Ceci signifie que le module de capteur selon l'invention ne souffre pas des problèmes de décalage aux basses pressions comme en souffrent les solutions par logiciel dont il a été discuté ci-avant. Puisque le moyen de détection de température est connecté au capteur piézorésistif, la température du capteur peut être déterminée avec précision, ce qui assure une compensation de température davantage précise. De préférence, le capteur piézorésistif à semiconducteur comporte un élément résistif à jauge de contrainte présentant une impédance d'entrée qui varie en fonction de la température et le moyen de détection de température comprend: un moyen résistif couplé en série à l'impédance d'entrée entre des première et seconde lignes d'alimentation; et un moyen d'amplificateur comportant une entrée couplée pour recevoir un signal de tension généré au niveau d'un noeud entre le moyen résistif et l'impédance de sortie et une sortie pour le couplage à l'unité de traitement, I'amplificateur amplifiant le signal de tension de manière à appliquer le signal de température au niveau de la sortie. Un tel moyen de détection de température assure que la température réelle de la puce et du capteur est détectée, ce qui signifie qu'une compensation de température précise peut être réalisée. Ceci constitue des avantages distincts par rapport aux capteurs connus qui utilisent des capteurs de température externes ou des capteurs de température non connectés au capteur lui-même et qui par conséquent ne peuvent pas détecter la température réelle de la puce. De préférence, le moyen de compensation de décalage comprend un moyen de réglage de décalage pour générer un signal de tension présentant un niveau prédéterminé en fonction des signaux de commande et pour combiner le signal de tension au signal de sortie de manière à produire le signal de sortie compensé en décalage. De préférence, les signaux de commande comprennent au moins un signal modulé en largeur d'impulsion (PWM), la largeur du signal modulé en largeur d'impulsion représentant une valeur de compensation de décalage prédéterminée par rapport aux données d'étalonnage ou par rapport à la valeur de compensation de décalage calculée, I'unité de traitement utilisant les données d'étalonnage et la température détectée du capteur piézorésistif pour générer la valeur de compensation en décalage calculée. Selon un second aspect de l'invention, on propose un module de capteur destiné à être couplé à une unité de traitement, comprenant un capteur à semiconducteur comportant une sortie pour appliquer un signal de sortie représentatif du paramètre détecté par le capteur; un moyen de stockage pour stocker des données d'étalonnage pour le capteur et pour réaliser un couplage à l'unité de traitement; un moyen de détection de température couplé au capteur pour générer un signal de température représentatif de la température détectée du capteur et pour réaliser un couplage à l'unité de traitement, dans lequel, en fonctionnement, les données d'étalonnage et le signal de température sont appliqués sur l'unité de traitement qui traite les données d'étalonnage et le signal de température pour générer des signaux de commande, dans lequel les signaux de commande incluent au moins un signal modulé en largeur d'impulsion, la largeur du signal modulé en largeur d'impulsion représentant une valeur de compensation de décalage prédéterminée par rapport aux données d'étalonnage ou une valeur de compensation de décalage calculée, I'unité de traitement utilisant les données d'étalonnage et la température détectée du capteur piézorésistif pour générer la valeur de compensation de décalage calculée; et un moyen de réglage de décalage couplé à la sortie du capteur et permettant de réaliser un couplage à l'unité de traitement pour recevoir l'au moins un signal modulé en largeur d'impulsion, le moyen de réglage de décalage comprenant: au moins un moyen de filtre pour filtrer l'au moins un signal modulé en largeur d'impulsion de manière à produire un signal de tension présentant un niveau prédéterminé, le niveau prédéterminé du signal de tension dépendant de la largeur du signal modulé en largeur d'impulsion; et un premier moyen de combinaison couplé à la sortie du capteur pour combiner le signal de tension au signal de sortie de manière à produire un signal de sortie compensé en décalage qui est indépendant des variations de la performance du capteur. En utilisant un signal de commande modulé en largeur d'impulsion, une compensation de décalage améliorée peut être obtenue sans utiliser un CNA haute résolution. Selon un troisième aspect de la présente invention, on propose un module de capteur destiné à être couplé à une unité de traitement, comprenant: un capteur à semiconducteur comportant une sortie pour produire un signal de sortie représentatif du paramètre détecté par le capteur; un moyen de stockage pour stocker des données d'étalonnage pour le capteur et pour les coupler à l'unité de traitement; un moyen de détection de température couplé au capteur pour générer un signal de température représentatif de la température détectée du capteur, le moyen de détection de température étant couplé à l'unité de traitement, dans lequel, en fonctionnement, les données d'étalonnage et le signal de température sont appliqués sur l'unité de traitement qui traite les données d'étalonnage et le signal de température pour générer des signaux de commande, dans lequel les signaux de commande incluent des premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion présentant différentes largeurs, les largeurs des premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion représentant chacune une valeur de compensation de décalage prédéterminée par rapport aux données d'étalonnage ou une valeur de compensation de décalage calculée, I'unité de traitement utilisant les données d'étalonnage et la température détectée du capteur piézorésistif pour générer la valeur de compensation de décalage calculée; et un moyen de réglage de décalage couplé à la sortie du capteur et pour réaliser un couplage à l'unité de traitement pour recevoir les premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion, le moyen de réglage de décalage comprenant: un premier moyen de filtre pour filtrer le premier signal modulé en largeur d'impulsion de manière à produire un premier signal de tension présentant un niveau prédéterminé, le niveau prédéterminé du premier signal de tension dépendant de la largeur du premier signal modulé en largeur d'impulsion; un premier moyen de combinaison couplé à la sortie du capteur pour combiner le premier signal de tension au signal de sortie de manière à produire un signal de sortie combiné au niveau d'une sortie; un second moyen de filtre pour filtrer le second signal modulé en largeur d'impulsion de manière à produire un second signal de tension présentant un niveau prédéterminé, le niveau prédéterminé du second signal de tension dépendant de la largeur du second signal modulé en largeur d'impulsion; et un second moyen de combinaison couplé à la sortie du premier moyen de combinaison pour combiner le second signal de tension au signal de sortie combiné pour produire un signal de sortie compensé en décalage qui est indépendant des variations de la performance du capteur. En utilisant deux signaux de commande modulés en largeur d'impulsion, une compensation de décalage haute résolution peut être obtenue. Les valeurs de compensation de décalage prédéterminées qui sont stockées dans le moyen de stockage sont telles que le décalage de sortie peut être fixe d'un module à un autre. Ceci signifie que le module de capteur selon la présente invention peut être interchangé aisément. Des systèmes de capteur qui incorporent des modules de capteur selon l'invention sont également décrits ci-après. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS Des modes de réalisation particuliers de la présente invention sont maintenant décrits à titre d'exemple seulement par report aux dessins annexés parmi lesquels: la figure 1 représente un schéma de circuit d'un système de capteur selon un premier mode de réalisation de la présente invention; la figure 2 représente un schéma de circuit d'un autre mode de réalisation du moyen de détection de température représenté sur la figure 1; et la figure 3 représente un schéma de circuit d'un système de capteur selon un second mode de réalisation de la présente invention. DESCRIPTION DETAILLEE DES DESSINS Par report tout d'abord à la figure 1, un système de capteur 2 selon la présente invention comprend un module de capteur 4 et une unité de traitement 6 telle qu'une MCU. Le module de capteur 4 comprend un capteur à semiconducteur 8, un moyen de détection de température 10 couplé au capteur 8 et à la MCU 6, un moyen de compensation de décalage 12 couplé à la MCU 6 et un moyen de mémoire ou stockage 14 couplé à la MCU 6 pour stocker des données d'étalonnage pour le module de capteur 4. De préférence, le capteur à semiconducteur 8 comprend un capteur de pression piézorésistif à semiconducteur différentiel tel que le capteur de pression MPX12 fabriqué par Motorola, Inc. Selon un premier mode de réalisation de l'invention, les sorties différentielles du capteur piézorésistif 8 sont couplées à des entrées d'un premier amplificateur 18. La sortie du premier amplificateur 18 est couplée à une entrée d'un second amplificateur 20 via un premier moyen de combinaison 22. La sortie du second amplificateur 20 est couplée à la MCU 6 via un second moyen de combinaison 24. Les premier 22 et second 24 moyens de combinaison forment une partie du moyen de compensation de décalage 12. Le moyen de compensation de décalage 12 comprend en outre un premier filtre 28 couplé entre la MCU 6 et le premier moyen de combinaison 22 et un second filtre 26 couplé entre la MCU 6 et le second moyen de combinaison 24. Les premier 28 et second 26 filtres comprennent tous deux des filtres R/C passe-bas. Les signaux de sortie provenant des premier 28 et second 26 filtres sont respectivement combinés aux signaux de sortie provenant de premier 18 et second 20 amplificateurs par les premier 22 et second 24 moyens de combinaison. La figure 1 représente les moyens de combinaison (22, 24) en tant qu'étage additif mais il peut s'agir d'un étage soustractif. Le moyen de détection de température 10 selon un mode de réalisation particulier de l'invention utilise le fait que l'impédance d'entrée d'un capteur piézorésistif à semiconducteur à jauge de contrainte varie en fonction de la température. Le moyen de détection de température 10 comprend une petite résistance 11 couplée en série à l'impédance d'entrée du capteur piézorésistif 8 entre une première ligne d'alimentation Vcc et une seconde ligne d'alimentation GND. Une entrée d'un amplificateur 16 est couplée à un noeud X entre l'impédance d'entrée et la résistance 11. Le signal de sortie VT obtenu au niveau d'une sortie de l'amplificateur 16 est couplé à la MCU 6. La température T du capteur piézorésistif 8 est donnée par l'équation suivante T-T1= (VT1 -VT) x (VT2+Vcc) X (T2-T1) (1) O: T1 est une première température de référence, VT1 est le signal de sortie à la première température de référence T1, T2 est une seconde température de référence, VT2 est le signal de sortie à la seconde température de référence T2, VT est le signal de sortie à une température T. Les valeurs de T1, VT1, T2 et VT2 varient pour chaque capteur piézorésistif et doivent donc être déterminées pour chaque capteur. Une fois déterminées, les valeurs sont stockées dans I'EPROM 14. En fonctionnement, la MCU reçoit le signal de sortie VT provenant de l'amplificateur 16 et utilise l'équation 1 présentée ci-avant pour déterminer la température T du capteur piézorésistif 8. La résistance 11 est petite par comparaison avec la valeur de l'impédance d'entrée. Sinon, elle pourrait induire certains glissements de température non linéaires de l'excursion et du décalage. La figure 2 représente un moyen de détection de température 110 autre que le moyen de détection de température représenté sur la figure 1. Les composants identiques à ceux de la figure 1 sont indiqués au moyen des mêmes index de référence plus 100. i15 Le noeud X entre l'impédance d'entrée du capteur piézorésistif 108 et la résistance 111 est couplé à une première entrée d'un premier amplificateur opérationnel 120. Une seconde entrée du premier amplificateur opérationnel 120 est couplée à la seconde ligne d'alimentation GND via une résistance et la sortie du premier amplificateur opérationnel 120 est appliquée en retour sur la seconde entrée via une résistance de retour. La sortie du premier amplificateur opérationnel est couplée à une première entrée d'un second amplificateur opérationnel 122. Une seconde entrée du second amplificateur opérationnel 122 est couplée à la première ligne d'alimentation Vcc via une résistance et la sortie du second amplificateur opérationnel 122 est appliquée en retour sur la seconde entrée via une résistance de retour. Le signal de sortie VT est obtenu au niveau de la sortie du second amplificateur opérationnel 122 qui est couplée à la MCU (non représentée). Le moyen de stockage 14 comprend une EPROM ou toute autre mémoire appropriée et il stocke les données d'étalonnage qui sont déterminées expérimentalement pour chaque module 4. Les données d'étalonnage stockées comprennent les valeurs de T1, VT1, T2 et VT2, les coefficients de température de décalage et d'excursion et au moins une valeur de compensation de décalage prédéterminée. Le fonctionnement du module de capteur 4 selon l'invention est maintenant décrit. Afin d'étalonner le module de capteur, la MCU entre dans un sousprogramme de logiciel spécifique. Au début du sous-programme, la MCU lit le contenu de I'EPROM 14 dans laquelle les données d'étalonnage sont stockées. Selon le mode de réalisation particulier, deux valeurs de compensation de décalage prédéterminées sont stockées dans I'EPROM 14: une valeur de compensation de décalage prédéterminée grossière et une valeur de compensation de décalage prédéterminée fine. La MCU 6 utilise les valeurs de compensation de décalage i 5 grossière et fine prédéterminées provenant de I'EPROM 14 pour générer des signaux de commande qui sont appliqués sur les premier 28 et second 26 filtres du moyen de compensation de décalage 12. Les signaux de commande sont ensuite filtrés et les signaux de commande filtrés sont combinés au signal de sortie provenant du capteur piézorésistif 8 pour produire un signal de sortie compensé ou étalonné. De préférence, les signaux de commande comprennent des signaux modulés en largeur d'impulsion. La MCU 6 utilise ces deux valeurs de compensation de décalage prédéterminées pour générer des premier PWM2 et second PWM1 signaux de commande modulés en largeur d'impulsion. Les largeurs des premier PWM2 et second PWM1 signaux de commande modulés en largeur d'impulsion dépendent respectivement de la valeur de compensation de décalage prédéterminée grossière et de la valeur de compensation de décalage prédéterminée fine. Le premier signal de commande modulé en largeur d'impulsion PWM2 est filtré par le premier filtre 28. La largeur de bande du premier filtre 28 est agencée de manière à être très faible par comparaison avec la fréquence du premier signal de commande modulé en largeur d'impulsion de telle sorte que le premier signal de tension au niveau de la sortie du premier filtre 28 soit un signal de tension continue analogique présentant un niveau de tension (Voffl1) qui est déterminé par la largeur du premier signal de commande modulé en largeur d'impulsion et par conséquent par la valeur de compensation de décalage grossière. Le premier moyen de combinaison 22 combine le premier signal de tension au signal de sortie de capteur au niveau de la sortie du premier amplificateur 18. Le second signal de commande modulé en largeur d'impulsion PWM1 est filtré par le second filtre 26. La largeur de bande du second filtre 26 est agencée pour être très faible par comparaison avec la fréquence du second signal de commande modulé en largeur d'impulsion de telle sorte que le second signal de tension au niveau de la sortie du second filtre 26 soit un signal de tension continue analogique présentant un niveau de tension (Voff2) qui est déterminé par la largeur du second signal de commande modulé en largeur d'impulsion et par conséquent par la valeur de compensation de décalage fine. Le second moyen de combinaison 24 combine le second signal de tension au signal de sortie de capteur au niveau de la sortie du second amplificateur 20. Le décalage de sortie Voff-out est donné par l'équation suivante Voffout=-G1 X G2 X Voff-sen + G2 X Voff1 - (G2-1) X Voff2 (2) O G1 est le gain du premier amplificateur 18, G2 est le gain du second amplificateur 20, Voffl est le niveau du premier signal de tension, Voff2 est le niveau du second signal de tension, Voff-sen est le décalage du capteur. Le premier filtre 28 et le moyen de combinaison 22 réalisent donc un réglage de décalage grossier sur le signal de sortie de capteur et le second filtre 26 et le moyen de combinaison 24 réalisent un réglage de décalage fin sur le signal de sortie de capteur de telle sorte que le décalage de capteur est soustrait du signal de sortie de capteur. Le décalage de pression de sortie peut donc être réglé à une tension fixe indépendamment des variations d'un dispositif à un autre. Par conséquent, le module de capteur selon l'invention permet un réglage fin du décalage de sortie (meilleur que le bit de poids le plus faible 1 si G2 capteur large. Cette solution diffère des agencements connus qui utilisent des CNA ou desréseaux résistifs en échelle puisqu'elle ne nécessite pas, ni comme dans le premier cas, un composant CNA coûteux supplémentaire ni comme dans le second cas de nombreux autres composants tels que dix-huit résistances pour une compensation de décalage sur 8 bits, une carte de circuit imprimé plus importante et huit sorties de la MCU. La solution qui a la préférence qui utilise deux signaux de commande PWM pour réaliser une compensation de décalage a seulement besoin de deux sorties de la MCU, de deux résistances et de deux capacités et par conséquent, elle constitue une solution à coût faible. Le décalage et l'excursion des capteurs piézorésistifs dérivent linéairement en fonction de la température de la puce. Afin de compenser la dérive de température dans le module de capteur 4, la MCU 6 entre dans un sous-programme de logiciel spécifique. Au début du sous-programme, la MCU 6 lit le contenu de I'EPROM 14 dans laquelle des données d'étalonnage sont stockées. En utilisant le signal de sortie VT appliqué sur la MCU 6 depuis l'amplificateur de détection de température 16, la MCU 6 calcule la température du capteur piézorésistif 8 en utilisant l'équation 1 mentionnée ci-avant et les valeurs de T1, VT1, T2 et VT2 lues dans l'EPROM 14. La MCU 6 utilise ensuite la température calculée et les coefficients de température de décalage et de sensibilité provenant de l'EPROM 14 pour calculer des valeurs de compensation de décalage et d'excursion. La MCU 6 utilise ensuite les valeurs de compensation de décalage et d'excursion calculées pour réaliser une compensation de température soit au moyen d'un câblage en dur soit au moyen d'un logiciel. Pour une compensation de décalage par composants câblés en dur selon le mode de réalisation particulier, la MCU 6 calcule une valeur de compensation de décalage grossière et une valeur de compensation de décalage fine et utilise respectivement ces valeurs pour régler les largeurs des premier et second signaux de commande modulés en largeur d'impulsion PWM2 et PWM1. Comme décrit ci-avant, au moyen des premier et second signaux de commande modulés en largeur d'impulsion PWM2 et PWM1 i15 résultants, le premier filtre 28 et le moyen de combinaison 22 peuvent donc réaliser un réglage de décalage grossier compensé en température sur le signal de sortie de capteur et le second filtre 26 et le moyen de combinaison 24 peuvent réaliser un réglage de décalage fin compensé en température sur le signal de sortie de capteur. La valeur de décalage peut donc être maintenue à une valeur fixe malgré les variations de la température du capteur piézorésistif. Un unique réglage de décalage pour l'étalonnage et la compensation de température peut être réalisé en utilisant un seul signal de commande PWM généré par la MCU 6 comme décrit ci-avant. La MCU 6 peut alors réaliser un réglage fin au moyen d'un logiciel. Une dérive de température au niveau de l'excursion du capteur peut être compensée par un logiciel dans la MCU 6 en utilisant la température calculée et le coefficient de température de sensibilité stocké dans I'EPROM 14. Une compensation de température par composants câblés en dur pour l'excursion peut être obtenue en utilisant le moyen de réglage de sensibilité 232 contenu dans le module 204 conformément à un second mode de réalisation de la présente invention représenté sur la figure 3. Les composants identiques à ceux de la figure 1 sont indiqués au moyen des mêmes index de référence plus 200. Dans le module de capteur 204, le premier amplificateur 218 est un amplificateur à gain variable dont le gain est amené à varier en fonction de signaux de commande générés depuis la MCU 206. La MCU 206 utilise la température T calculée à partir de la tension de sortie VT provenant du moyen de détection de température 210 et le coefficient de température de sensibilité stocké dans le moyen de stockage 214 pour calculer la valeur de compensation d'excursion à partir de laquelle des signaux de commande de gain sont générés. Selon ce mode de réalisation particulier, les signaux de commande de gain comprennent un signal de commande de gain modulé en largeur d'impulsion PWM3 dont la largeur dépend de la valeur de compensation d'excursion calculée. Le signal de commande de gain modulé en largeur d'impulsion PWM3 est filtré par un filtre 230, le signal de sortie filtré commandant le gain de l'amplificateur à gain variable 218. Un unique réglage de décalage est réalisé par le moyen de compensation de décalage 212 qui reçoit un signal de commande modulé en largeur d'impulsion provenant de la MCU 206 et qui règle le décalage au niveau de la sortie du second amplificateur 220 comme décrit ci-avant. Un second réglage de décalage peut être réalisé au moyen de composants câblés en dur dans la MCU 206 ou en ajoutant un amplificateur supplémentaire et un moyen de combinaison ainsi qu'un filtre au niveau de la sortie du second amplificateur 220 et une sortie de MCU supplémentaire pour produire un autre signal de commande modulé en largeur d'impulsion de décalage, tel que décrit ci-avant. Pour résumer, la présente invention propose une solution complète pour un interfaçage d'un capteur piézorésistif à semiconducteur de base avec une MCU. Elle prévoit également les entrées/sorties nécessaires pour réaliser l'étalonnage du capteur et la compensation de température d'une manière efficace du point de vue des coûts. Bien que l'invention ait été décrite en relation avec un capteur de pression à semiconducteur, elle peut être appliquée également à une distance, une température ou à tout autre paramètre physique. REVENDICATIONS 1. Module de capteur (4, 204) destiné à être couplé à une unité de traitement (6, 206), caractérisé en ce qu'il comprend: un capteur piézorésistif à semiconducteur (8, 108, 208) comportant une sortie pour produire un signal de sortie représentatif de la pression détectée par le capteur; un moyen de stockage (14, 214) pour stocker des données d'étalonnage pour le capteur piézorésistif et pour les coupler à l'unité de traitement; un moyen de détection de température (10, 110, 210) connecté au capteur piézorésistif pour générer un signal de température représentatif de la température détectée du capteur piézorésistif et pour le coupler à l'unité de traitement, dans lequel, en fonctionnement, les données d'étalonnage et le signal de température sont appliqués sur l'unité de traitement qui i15 traite les données d'étalonnage et le signal de température pour générer des signaux de commande; et un moyen de compensation de décalage (12, 212) couplé à la sortie du capteur piézorésistif et permettant un couplage à l'unité de traitement pour recevoir les signaux de commande, au moyen de compensation de décalage pour régler le signal de sortie de capteur en réponse aux signaux de commande de manière à appliquer un signal de sortie compensé en décalage qui est indépendant des variations de la performance du capteur. 2. Module de capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le capteur piézorésistif à semiconducteur (8, 108, 208) comporte un élément résistif à jauge de contrainte présentant une impédance d'entrée qui varie en fonction de la température et le moyen de détection de température (10, 110, 210) comprend: un moyen résistif (11, 111, 211) couplé en série à l'impédance d'entrée entre des première et seconde lignes d'alimentation (Vcc, GND); et un amplificateur (16, 120, 216) comportant une entrée couplée pour recevoir un signal de tension généré au niveau d'un noeud entre le moyen résistif et l'impédance de sortie et une sortie pour le couplage à l'unité de traitement, I'amplificateur amplifiant le signal de tension de manière à appliquer le signal de température au niveau de la sortie. 3. Module de capteur selon la revendication 1 ou 2, caractérisé en ce que le moyen de compensation de décalage (12, 212) comprend: un moyen de réglage de décalage pour générer un signal de tension présentant un niveau prédéterminé en fonction des signaux de commande et pour combiner le signal de tension au signal de sortie de manière à produire le signal de sortie compensé en décalage. 4. Module de capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que les signaux de commande générés par l'unité de traitement (6) et permettant de réaliser un couplage au moyen de réglage de décalage incluent au moins un signal modulé en largeur d'impulsion (PWM), la largeur du signal modulé en largeur d'impulsion représentant une valeur de compensation de décalage prédéterminée par rapport aux données d'étalonnage ou une valeur de compensation de décalage calculée, I'unité de traitement utilisant les données d'étalonnage et la température détectée du capteur piézorésistif pour générer la valeur de comnpensation de décalage calculée et en ce que le moyen de réglage de décalage comprend: au moins un moyen de filtre (28) pour filtrer l'au moins un signal modulé en largeur d'impulsion (PWM) de manière à produire le signal de tension, le niveau prédéterminé du signal de tension dépendant de la largeur du signal modulé en largeur d'impulsion; et un premier moyen de combinaison (22) couplé à la sortie du capteur piézorésistif (8) pour combiner le signal de tension avec le signal de sortie pour produire le signal de sortie compensé en décalage. 5. Module de capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que les signaux de commande générés par l'unité de traitement (6) et permettant de coupler le moyen de réglage de décalage incluent des premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion (PWM2, PWM1) présentant différentes largeurs, les largeurs des premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion représentant chacune une valeur de compensation de décalage prédéterminée par rapport aux données d'étalonnage ou une valeur de compensation de décalage calculée, I'unité de traitement utilisant les données d'étalonnage et la température détectée du capteur piézorésistif pour générer la valeur de compensation de décalage calculée, et en ce que le moyen de réglage de décalage comprend: un premier moyen de filtre (28) pour filtrer le premier signal modulé en largeur d'impulsion (PWM2) de manière à produire un premier signal de tension présentant un niveau prédéterminé, le niveau prédéterminé du premier signal de tension dépendant de la largeur du premier signal modulé en largeur d'impulsion; un premier moyen de combinaison (22) couplé à la sortie du capteur piézorésistif (8) pour combiner le premier signal de tension (PWM2) au signal de sortie pour produire un signal de sortie combiné au niveau d'une sortie; un second moyen de filtre (26) pour filtrer le second signal modulé en largeur d'impulsion (PWM1) de manière à produire un second signal de tension présentant un niveau prédéterminé, le niveau prédéterminé du second signal de tension dépendant de la largeur du second signal modulé en largeur d'impulsion; et un second moyen de combinaison (24) couplé à la sortie du premier moyen de combinaison pour combiner le second signal de tension au signal de sortie combiné pour produire le signal de sortie compensé en décalage. 6. Module de capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que les premier et second moyens de filtre (28, 26) comprennent respectivement des premier et second filtres R/C passe-bas, les premier et second filtres R/C passe-bas présentant des largeurs de bande faibles par comparaison avec la fréquence des premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion. 7. Module de capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce que les signaux de commande générés par l'unité de traitement incluent des signaux de commande de gain et en ce que le module de capteur comprend en outre: un moyen de réglage de sensibilité (232) pour régler le gain du signal de sortie en fonction des signaux de commande de gain de manière à compenser des variations de l'excursion du signal de sortie de capteur. i15 8. Module de capteur selon l'une quelconque des revendications 4 à 7, caractérisé en ce que le moyen de réglage de sensibilité (232) comprend au moins un amplificateur à gain variable (218) couplé en série entre la sortie du capteur piézorésistif (208) et le premier moyen de combinaison, le gain de l'au moins un amplificateur à gain variable étant commandé par les signaux de commande de gain générés par l'unité de traitement. 9. Module de capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le module de capteur est intégré sur une unique puce. 10. Système de capteur caractérisé en ce qu'il comprend: un module de capteur (4, 204) selon l'une quelconque des revendications précédentes; et une unité de traitement (6, 206), I'unité de traitement étant couplée au module de capteur de manière à recevoir le signal de température et les données d'étalonnage provenant du moyen de stockage, le moyen de traitement utilisant les données d'étalonnage et le signal de température pour déterminer la température du capteur et pour générer les signaux de commande pour réaliser un couplage au moyen de compensation de décalage. 11. Module de capteur (4, 204) destiné à être couplé à une unité de traitement, caractérisé en ce qu'il comprend: un capteur à semiconducteur (8, 108, 208) comportant une sortie pour appliquer un signal de sortie représentatif du paramètre détecté par le capteur; un moyen de stockage (14, 214) pour stocker des données d'étalonnage pour le capteur et pour réaliser un couplage à I'unité de traitement; un moyen de détection de température (10, 110, 210) couplé au capteur pour générer un signal de température représentatif de la température détectée du capteur et pour réaliser un couplage à l'unité de traitement, dans lequel, en fonctionnement, les données d'étalonnage et le signal de température sont appliqués sur l'unité de traitement qui traite les données d'étalonnage et le signal de température pour générer des signaux de commande, dans lequel les signaux de commande incluent au moins un signal modulé en largeur d'impulsion (PWM), la largeur du signal modulé en largeur d'impulsion représentant une valeur de compensation de décalage prédéterminée par rapport aux données d'étalonnage ou une valeur de compensation de décalage calculée, I'unité de traitement utilisant les données d'étalonnage et la température détectée du capteur piézorésistif pour générer la valeur de compensation de décalage calculée; et un moyen de réglage de décalage (12, 212) couplé à la sortie du capteur et permettant de réaliser un couplage à l'unité de traitement (6, 206) pour recevoir l'au moins un signal modulé en largeur d'impulsion, le moyen de réglage de décalage comprenant: au moins un moyen de filtre (28) pour filtrer l'au moins un signal modulé en largeur d'impulsion (PWM) de manière à produire un signal de tension présentant un niveau prédéterminé, le niveau prédéterminé du signal de tension dépendant de la largeur du signal modulé en largeur d'impulsion; et un premier moyen de combinaison (22) couplé à la sortie du capteur pour combiner le signal de tension au signal de sortie de manière à produire un signal de sortie compensé en décalage qui est indépendant des variations de la performance du capteur. 12. Système de capteur caractérisé en ce qu'il comprend: un module de capteur (4, 204) selon la revendication 11; et une unité de traitement (6, 206), I'unité de traitement étant couplée au module de capteur de manière à recevoir le signal de température et les données d'étalonnage provenant du moyen de stockage et de manière à recevoir le signal de sortie compensé en décalage, le moyen de traitement utilisant les données d'étalonnage et le signal de température pour déterminer la température du capteur et pour générer l'au moins un premier signal modulé en largeur d'impulsion et pour combiner une valeur de compensation de décalage prédéterminée par rapport aux données d'étalonnage ou une valeur de compensation de décalage calculée au signal de sortie compensé en décalage pour produire un signal de sortie doublement compensé en décalage, I'unité de traitement utilisant les données d'étalonnage et la température détectée du capteur pour générer la valeur de compensation de décalage calculée. 13. Module de capteur selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'unité de traitement (6, 206) utilise les données d'étalonnage et la température déterminée du capteur pour générer un signal de commande de gain, I'unité de traitement réglant le gain du signal de sortie doublement compensé en décalage en fonction du signal de commande de gain de manière à compenser des variations de l'excursion du signal de sortie. 14. Module de capteur selon la revendication 11 ou système de capteur selon la revendication 12, caractérisé en ce que les signaux de commande générés par l'unité de traitement (6, 206) incluent des signaux de commande de gain et en ce que le module de capteur comprend en outre: un moyen de réglage de sensibilité (232) pour régler le gain du signal de sortie en fonction des signaux de commande de gain de manière à compenser des variations de l'excursion du signal de sortie de capteur. 15. Module de capteur selon la revendication 11 ou 14 ou système de capteur selon la revendication 12 ou 14, caractérisé en ce que le moyen de réglage de sensibilité (232) comprend au moins un amplificateur à gain variable (218) couplé en série entre la sortie du capteur et le premier moyen de combinaison, le gain de l'au moins un amplificateur à gain variable étant commandé par les signaux de commande de gain générés par i 5 I'unité de traitement. 16. Module de capteur (4, 204) destiné à être couplé à une unité de traitement (6, 206), caractérisé en ce qu'il comprend: un capteur à semiconducteur (8, 108, 208) comportant une sortie pour produire un signal de sortie représentatif du paramètre détecté par le capteur; un moyen de stockage (14, 214) pour stocker des données d'étalonnage pour le capteur et pour les coupler à l'unité de traitement; un moyen de détection de température (10, 110, 210) couplé au capteur pour générer un signal de température représentatif de la température détectée du capteur, le moyen de détection de température étant couplé à l'unité de traitement, dans lequel, en fonctionnement, les données d'étalonnage et le signal de température sont appliqués sur l'unité de traitement (6, 206) qui traite les données d'étalonnage et le signal de température pour générer des signaux de commande, dans lequel les signaux de commande incluent des premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion (PWM2, PWM1) présentant différentes largeurs, les largeurs des premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion représentant chacune une valeur de compensation de décalage prédéterminée par rapport aux données d'étalonnage ou une valeur de compensation de décalage calculée, I'unité de traitement utilisant les données d'étalonnage et la température détectée du capteur piézorésistif pour générer la valeur de compensation de décalage calculée; et un moyen de réglage de décalage (12, 212) couplé à la sortie du capteur et pour réaliser un couplage à l'unité de traitement pour recevoir les premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion, le moyen de réglage de décalage comprenant: un premier moyen de filtre (28) pour filtrer le premier signal modulé en largeur d'impulsion (PWM2) de manière à produire un premier signal de tension présentant un niveau prédéterminé, le niveau prédéterminé du premier signal de tension dépendant de la largeur du premier signal modulé en largeur d'impulsion; un premier moyen de combinaison (22) couplé à la sortie du capteur pour combiner le premier signal de tension au signal de sortie de manière à produire un signal de sortie combiné au niveau d'une sortie; un second moyen de filtre (26) pour filtrer le second signal modulé en largeur d'impulsion (PWM1) de manière à produire un second signal de tension présentant un niveau prédéterminé, le niveau prédéterminé du second signal de tension dépendant de la largeur du second signal modulé en largeur d'impulsion; et un second moyen de combinaison (24) couplé à la sortie du premier moyen de combinaison pour combiner le second signal de tension au signal de sortie combiné pour produire un signal de sortie compensé en décalage qui est indépendant des variations de la performance du capteur. 17. Module de capteur selon la revendication 16, caractérisé en ce que les premier et second moyens de filtre (28, 26) comprennent respectivement des premier et second filtres R/C passe-bas, les premier et second filtres R/C passe-bas présentant des largeurs de bande faibles par comparaison avec la fréquence des premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion (PWM2, PWM1). 18. Système de capteur caractérisé en ce qu'il comprend: un module de capteur (4, 204) selon la revendication 16 ou 17; et une unité de traitement (6, 206), l'unité de traitement étant couplée au module de capteur de manière à recevoir le signal de température et les données d'étalonnage provenant du moyen de stockage (14, 214) et de manière à recevoir le signal de sortie compensé en décalage, le moyen de traitement utilisant les données d'étalonnage et le signal de température pour déterminer la température du capteur et pour générer les premier et second signaux modulés en largeur d'impulsion. 19. Système de capteur selon la revendication 18, caractérisé en ce que l'unité de traitement (6, 206) génère un signal de commande de gain en fonction des données d'étalonnage et de la température déterminée du capteur et en ce que l'unité de traitement règle le gain du signal de sortie compensé en décalage en fonction du signal de commande de gain de manière à compenser des variations de l'excursion du signal de sortie. 20. Module de capteur (4, 204) selon la revendication 16 ou 17 ou système de capteur selon la revendication 18, caractérisé en ce que les signaux de commande générés par l'unité de traitement incluent des signaux de commande de gain et en ce que le module de capteur comprend en outre: un moyen de réglage de sensibilité (232) pour régler le gain du signal de sortie en fonction des signaux de commande de gain de manière à compenser des variations de l'excursion du signal de sortie de capteur. 21. Module de capteur selon la revendication 20 ou système de capteur selon la revendication 20, caractérisé en ce que le moyen de réglage de sensibilité (232) comprend au moins un amplificateur à gain variable (218) couplé en série entre la sortie du capteur et le premier moyen de combinaison, le gain de l'au moins un amplificateur à gain variable étant commandé par les signaux de commande de gain générés par l'unité de traitement.