Brevet FR2726135A1 — publié le 19960426

D E S C R I PT ION Dispositif de commutation Domaine technique La présente invention concerne un dispositif de commutation comprenant un élément pendulaire pouvant se déplacer en va- et-vient entre deux positions d'extrémité, des électrodes d'actionnement stationnaires situées dans ces positions d'extrémité, et un circuit de commande pour agir sur l'élé- ment pendulaire avec des forces électrostatiques. L'inven- tion concerne en plus un procédé pour commander un tel dis- positif, une installation de commutation comprenant une plu- - 2 - ralité de tels dispositifs de commutation, et une installa- tion optique comprenant au moins un tel dispositif de commutation. État de la technique On connaît des structures micromécaniques les plus diverses influençant ou commutant, respectivement, le trajet des ray- ons optiques. Le but de telles structures est la commande, le traitement et la mémorisation d'informations d'images à base de pixels. l0 Le document US-4'229'732 (Hartstein et al) ou le US- '142'405 (Hornbeck) décrivent des dispositifs dits DMD (= deformable mirror device), qui peuvent servir au traite- ment ou à la mémorisation d'images. Un tel DMD comprend es- sentiellement une pluralité de plaquettes réfléchissantes disposees en plan qui peuvent basculer entre des positions prédéterminées sous l'influence ou l'absence, respective- ment, de forces électrostatiques. Par une conception appro- priée de l'optique géométrique, des points d'imagesclaires et sombres peuvent être produits de cette façon. Les plaquettes réfléchissantes sont suspendues de manière élastique audessus de cavités appropriées du substrat, de sorte qu'elles peuvent tourner autour d'un axe situé dans le plan de la plaquette réfléchissante bidimensionnelle. Au- dessous de chaque plaquette réfléchissante, une électrode est placée apte à attirer électrostatiquement la plaquette - 3 - et à la retenir dans une position de basculement. Lors de la commutation, la tension entre les plaquettes réfléchis- santes et les électrodes doit avoir une telle grandeur que le champ électrostatique est suffisant pour dévier la pla- quette réfléchissante. Les structures micromécaniques dé- crites dans les documents mentionnés se bornent à des dévia- tions angulaires relativement faibles. En conséquence, les distances à surmonter par les forces électrostatiques sont faibles. On connaît du document CH-633'902 (Grandjean et al) et du document US-4'564'836 (Vuilleumier et al) des obturateurs micromécaniques pour des applications optiques. Des volets sont prévus pour pouvoir pivoter de 90 autour d'axes situés dans la surface du substrat. Un évidement servant d'espace libre pour le mouvement pivotant se trouve au- dessous des volets. Des électrodes sont disposées dans l'évidement pour engendrer les champs électrostatiques (dirigés essentielle- ment perpendiculairement à la surface du substrat) pour l'ouverture de l'obturateur. Ces structures aussi présen- tent le désavantage que l'étendue du mouvement pivotant est limitée par les tensions pouvant être générées. Un résumé des microstructures superficielles et de leur fa- brication peut être tiré par exemple de l'article "Surface micromachining", C. Linder et al, J. Micromech. Microeng. 2 (1992), 122-132. - 4 - Présentation de l'invention L'un des buts de la présente invention est de créer un dis- positif de commutation du genre mentionne au début permet- tant d'obtenir des vitesses élevées de commutation et des longueurs de course de commutation plus grandes même avec des tensions relativement faibles. La solution consiste, selon l'invention, en ce que l'élément pendulaire est retenu de manière élastique de telle sorte que la valeur d'une force élastique de rappel agissant vers une position zero est plus grande, dans une gamme essen- tielle d'amplitudes, que la force d'attraction électrosta- tique engendrée par le circuit de commande et une des élec- trodes d'actionnement et agissant en sens opposé, de sorte que l'élément pendulaire présente un temps de commutation essentiellement déterminé par sa fréquence propre d'oscil- lation mécanique. Alors que, dans l'état de la technique, la suspension de l'élément pendulaire est dimensionnée premièrement comme support "passif" et qu'il s'agit de surmonter la force de rappel par des forces électrostatiques, l'invention incor- pore la fixation à titre d'élément de construction "actif", déterminant ou dominant le temps de commutation. La rigidi- té du ressort de la fixation est choisie, selon l'invention, pour être relativement élevée afin d'obtenir une fréquence propre élevée et, par conséquent, un temps de commutation court. Les électrodes d'actionnement sont alimentées par des tensions juste assez élevées pour pouvoir maintenir l'élément pendulaire dans les positions d'extrémité contre -5- la force mécanique de rappel. En règle générale, l'inven- tion peut se passer de structures d'électrodes compliquées sous forme de peigne. La force de rappel élastique est typiquement plus grande, au moins dans la moitié de la région des amplitudes, que la force d'attraction électrostatique entre l'électrode d'ac- tionnement et l'élément pendulaire. Au cours du fonction- nement normal du dispositif de commutation, les rapports des forces mécaniques/électriques sont tels que les électrodes d'actionnement peuvent capter l'élément pendulaire quand il arrive à leur proximité. Les forces électrostatiques ne sont pas suffisantes, selon l'invention, pour attirer l'élé- ment pendulaire à partir de sa position zéro. Sur la base de la conception proposée, des déviations relativement im- portantes peuvent être réalisées au moyen de tensions d'en- tretien modestes. Le temps de commutation n'en souffre pas. L'invention se prête en particulier aux structures micromé- caniques gravées dans, ou réalisées en surface de, du sub- strat ou déposées sur sa surface. Les dimensions de telles microstructures se situent typique- ment dans la gamme des dimensions submillimétriques (par exemple quelques centaines de mm). Cependant, l'invention n'est pas limitée à de telles petites dimensions. Le prin- cipe de l'entretien électrostatique d'un élément élastique dans ses positions d'extrémité et de la commutation détermi- née par l'oscillation mécanique propre peut s'appliquer plu- tôt de façon générale. Des structures micromécaniques sont réalisées, de préfé- rence, en un matériau cristallin ou polycristallin, par ex- emple en polysilicium ou métal. Les procédés pour travail- - 6 - ler de tel matériaux avec le but de fabriquer des structures selon l'invention sont connus en soi. L'avantage des maté- riaux mentionnes réside dans leurs bonnes propriétés élas- tiques, d'une part, et la facilité de leur usinage d'autre part. L'élément pendulaire est, de préférence, une plaquette sup- portée par une mince fixation élastique, la plaquette étant déplaçable latéralement dans le plan de la plaquette. Dans les microstructures selon l'invention, les éléments pendu- laires sont alors latéralement déplaçables dans un plan pré- déterminé par la surface du substrat. La fixation comprend un ou plusieurs éléments de tige flexibles. La plaquette déplaçable peut par exemple obturer ou libérer une ouver- ture. Un trou dans le substrat pour le passage d'un rayon se trouve dans un plan derrière l'élément pendulaire entre la position zéro et l'une des positions d'extrémité. Selon la position de l'élément pendulaire, le trou est ouvert ou ob- turé. A la place d'un trou, on peut prévoir un miroir qui est couvert ou découvert par l'élément pendulaire. Une autre variante consiste en ce que l'élément pendulaire est lui-même réfléchissant et son arrière-plan est absorbant ou transparent. L'élément pendulaire est alors déplacé dans ou à l'extérieur, respectivement, du trajet d'un rayon lumineux focalisé et peut donc produire des réflexions orientées. Afin d'amener l'élément pendulaire depuis sa position zéro (o il est hors service) vers une des électrodes d'actionne- ment, des moyens spéciaux sont nécessaires qui comprennent par exemple des électrodes d'excitation afin de ramener l'élément pendulaire depuis sa position zero dans l'une des positions d'extrémité à l'aide d'oscillations propres. Les - 7 - électrodes d'excitation sont situées entre les positions d'extrémité et la position zéro, et l'élément pendulaire peut s'introduire entre les électrodes d'excitation. Les forces électrostatiques périodiques qu'exercent ces électro- des agissent sur la position zéro avec une valeur suffisante pour exercer une déviation notable. Leur action est signi- ficative dans la position zéro, contrairement à celle des électrodes d'actionnement ou d'entretien, respectivement. Il est également concevable que l'excitation de l'oscilla- tion propre puisse être effectuée par les électrodes d'entretien elles-mêmes. Selon la nature de la fixation de l'élément d'obturation, il se déplace le long de trajectoires courbes ou linéaires. S'il est fixé à un élément de tige par exemple, il se dé- place essentiellement le long d'un arc de cercle. Par contre, s'il est retenu aux deux côtés opposés, il peut être forcé sur unetrajectoire linéaire. Par exemple, le circuit de commande est relié électriquement à une électrode formée sur l'élément pendulaire ainsi qu'aux électrodes d'actionnement ou d'entretien afin de pouvoir commander une commutation par un abaissement de la tension entre l'électrode d'actionnement et l'élément pendulaire. L'élément pendulaire peut naturellement être maintenu égale- ment à un potentiel constant. Un procédé pour commander un dispositif de commutation du genre décrit est caractérisé par le fait que l'élément pen- dulaire est retenu par une tension d'entretien dans une po- sition d'extrémité et relâché par une réduction temporaire de la tension d'entretien entre l'élément pendulaire et l'électrode pour qu'il puisse osciller, sur la base de son -8- oscillation propre, dans la position d'extrémité opposée o il est attiré par l'autre électrode d'actionnement (ou par sa tension d'entretien, respectivement). Il suffit d'abaisser la tension jusqu'a ce que l'élément pendulaire s'échappe de la zone d'influence (relati vement petite) de l'électrode concernée. Il ne sera généralement pas nécessaire d'abaisser la tension pendant plus longtemps qu'un quart par exemple de la période d'oscillation propre (à savoir moins de p/2Wo, Wo = fréquence de résonance). Dans la plupart des cas, même un huitième de la durée de commutation ou demi-période d'oscillation sera largement suffisant. Comme on l'a déjà mentionné, l'élément pendulaire est de préférence mis en service par le biais de ses électrodes d'excitation en y appliquant un signal électrique périodique correspondant à la fréquence propre, jusqu'à ce qu'il arrive dans la zone d'influence d'une électrode d'entretien et at- tiré par celle-ci. Afin de réaliser une installation de commutation, plusieurs dispositifs de commutation selon l'invention sont reliés au circuit de commande par leurs électrodes pendulaires et/ou leurs électrodes d'actionnement à travers des conducteurs communs. Un dispositif de commutation sélectionné peut alors être mis en action par l'abaissement de la tension (réduction de la différence du potentiel) sur les conduc- teurs qui se croisent au dispositif de commutation sélec- tionné. Les dispositifs de commutation sont de préférence arrangés de manière à former un reseau bidimensionnel régu- lier, les électrodes pendulaires ou leurs électrodes d'ac- tionnement correspondantes des dispositifs de commutation individuels étant reliées par rangs et colonnes. De telles - 9 - installations de commutations sont particulièrement utiles pour la génération ou le traitement d'images sur la base de trames à bits mémorisées. Une installation optique selon l'invention comprend au moins un dispositif de commutation du type décrit qui est disposé comme écran commandé dans le foyer d'un système de lentilles optique. Un autre système de lentilles peut être disposé derrière le dispositif de commutation qui produit une image du trou de l'écran obturateur dans un plan image ou, par exemple, sur un film sensible à la lumière. D'autres modes d'exécution et des combinaisons de caracté- ristiques avantageux ressortiront des exemples de réalisa- tion suivants et de la totalité des revendications. Description sommaire des dessins Les dessins utilisés pour l'explication des exemples de réa- lisation montrent: La fig. 1 une représentation schématique d'un disposi- tif de commutation selon l'invention; la fig. 2a un diagramme des forces en fonction du dé- placement selon l'état de la technique; la fig. 2b un diagramme des forces en fonction du de- placement selon l'invention; - 10 - la fig. 3 une représentation schématique en perspec- tive d'une structure micromécanique selon l'invention; la fig. 4 une représentation schématique d'une section transversale de la structure selon la fig. 3; les fig. 5a, b une représentation de principe d'une struc- ture micromécanique présentant un obturateur linéairement mobile; la fig. 6 un schéma des connexions pour commander un réseau bidimensionnel de dispositifs de com- mutation selon l'invention; la fig. 7 une représentation schématique des signaux de commutation pour actionner un obturateur sélectionné de l'installation de commutation selon la fig. 6; la fig. 8 une représentation schématique d'un dispo- sitif pour la génération ou le traitement d'images, respectivement. Moyens pour la réalisation de l'invention La fig. 1 montre, de manière schématique, les éléments les plus importants d'un dispositif selon l'invention. Un écran sous forme de plaquette 1 est fixé à une extrémité d'une - 11 - tige élastique 2. L'autre extrémité de la tige 2 est serrée dans un ancrage 3. L'écran 1 et la tige 2 représentent un système mécanique os- cillant dont la fréquence propre est déterminée par la con- struction géométrique et matérielle de la tige 2 et de l'éc- ran 1 (rapport entre la force élastique et la masse oscil- lante). L'écran 1 peut se déplacer alternativement entre deux positions d'extrémité A, B. Des électrodes d'entretien 4, 5 se trouvent dans les positions d'extrémité A, B et peuvent retenir l'écran 1 contre la force de rappel élas- tique. Entre la ligne zéro O et l'électrode d'entretien 5 se trouve une ouverture 6 qui est libérée par l'écran 1 dans la posi- tion d'extrémité A et qui est obturée dans la position d'ex- trémité B. De cette façon, un trajet de rayons optiques peut être ouvert ou interrompu, respectivement. Les électrodes d'entretien 4, 5 et l'écran 1, également re- vêtu d'une électrode, sont reliés électriquement à un cir- cuit de commande 8 qui peut commuter le dispositif de commu- tation. En outre, des électrodes d'excitation 7.1, 7.2 sont prévues qui s'étendent à partir de l'électrode d'entretien 5 vers la position zéro O. Elles sont connectées à un circuit d'excitation 9. Comme il sera expliqué plus loin, le cir- cuit d'excitation 9 a pour fonction de ramener, en coopéra- tion avec les électrodes d'excitation 7.1, 7.2, l'écran 1 depuis la position zero passive O vers une position opéra- tionnelle près d'une des deux électrodes 4, 5. La fig. 2a illustre les rapports des forces dans des élé- ments pendulaires micromécaniques connus. F1 et F2 repre- sentent les forces électrostatiques, en fonction de la posi- - 12 - tion, entre l'élément pendulaire et l'une ou l'autre, res- pectivement, des électrodes. -F3 désigne la force de rappel engendrée dans l'élément pendulaire (la tige) par la dévia- tion mécanique. Dans l'état de la technique, les rapports des forces sont ajustés de telle sorte que les forces élec- trostatiques F1, F2 soient suffisamment élevées pour surmon- ter dans tous les cas la force de rappel F3 et ramener l'élément pendulaire depuis la position zéro A la position d'extrémité concernée. La vitesse de commutation est alors déterminée par la valeur de la force d'attraction électro- statique. Dans l'état de la technique, on n'obtient des vi- tesses de commutation élevées qu'à l'aide de champs puis- sants ou de tensions importantes. La fig. 2b illustre les rapports des forces selon l'inven- tion. Contrairement, à l'état de la technique, la force de rappel, dans une gamme principale d'amplitudes (par exemple Cl ou C2, respectivement), présente une valeur plus élevee que les forces d'attraction électrostatiques F1 et F2, res- pectivement, mais de sens opposé. Les forces électrostati- ques F1, F2 qui croissent très vite lorsque les distances diminuent, ne sont utilisées que pour retenir l'élément pen- dulaire. La force motrice pour transporter l'élément pendu- laire sur des distances de déviation importantes est la ten- sion mécanique causée par la déformation dans l'élément pen- dulaire ou dans sa fixation, respectivement. Dans la région de la position zéro O, l'élasticité F3 pré- sente un passage par zéro mais pas les forces électrostati- ques F1, F2 (regardées séparément). Contrairement à l'état de la technique, les forces électrostatiques dans l'inven- tion ne suffisent cependant pas pour ramener l'élément pen- dulaire à partir de la position zéro directement dans la po- sition d'extrémité A, B désirée. Pour ce faire, on a prévu - 13 - dans la fig. 1 des électrodes d'excitation spéciales 7.1, 7.2 qui sont situées devant l'électrode d'entretien 5 et peuvent alors agir avec des forces substantielles sur l'élé- ment pendulaire se trouvant dans la position zéro. Afin de déplacer l'élément pendulaire dans une des deux positions d'extrémité A, B en utilisant les tensions les plus faibles possible, le circuit d'excitation 9 produit des signaux de tension de préférence périodiques qui commandent l'oscilla- tion de l'élément pendulaire. L'excitation est maintenue jusqu'au moment o l'élément pendulaire peut être pris en charge par une des deux électrodes d'entretien 4, 5. La fig. 3 montre un exemple de structure micromécanique se- lon l'invention. La structure décrite dans ce qui suit est réalisée dans un substrat 10, (par exemple, en silicium ou en une matière transparente) selon des méthodes connues en soi (voir par exemple l'état de la technique cité au début). La structure comprend une plaquette par exemple carree 13 (ayant une longueur de côté de 30 mm par exemple et une épaisseur de 2 mm par exemple) qui est fixée à l'extrémité d'une tige 14 (ayant une longueur de 200 mm par exemple et une dimension transversale d'environ 2 mm x 2 mm). La pla- quette 13 et la tige 14 peuvent, par exemple, être en poly- silicium. La tige 14 étant longue et mince est élastiquement déformable. Dans le présent exemple, on vise un mouvement pendulaire dans un plan défini par la face principale 10.1 du substrat 10. La fréquence propre d'une oscillation méca- nique dans le plan mentionné est déterminée essentiellement par les dimensions de la tige 14, la masse de la plaquette 13 et le coefficient d'élasticité du polysilicium. On sait que plus la tige est rigide, plus la fréquence propre est élevée. - 14 - La plaquette 13 et la tige 14 forment un élément pendulaire disposé audessus d'une dépression ou d'un évidement 11, en forme de T. Dans un des bras de l'évidement sous forme de T, le substrat 10 comprend une ouverture 12. Des électrodes d'entretien 16, 17 sont disposées aux extré- mités des bras transversaux de l'évidement sous forme de T. L'élément pendulaire comprend également une électrode 15. Des électrodes d'excitation 18, 19 sont en plus prévues à un bras de l'évidement 11 sous forme de T. Elles s'étendent aussi loin que possible vers la position zéro de l'élément pendulaire afin de le mettre en oscillation le plus facile- ment possible. On peut également prévoir des électrodes d'excitation de part et d'autre de la position zéro. La fig. 4 montre la structure de la fig. 3 selon une coupe transversale. On remarque nettement l'arrangement asymétri- que de l'ouverture 12 par rapport à la position zero de l'élément pendulaire. La plaquette 13 est maintenue à une distance de quelques micromètres au-dessus du fond de l'évi- dement. Les électrodes 15, 16 et 17 recouvrent, de préfé- rence, les flancs latériaux de l'évidement respectivement de la plaquette 13. La réalisation détaillée des électrodes à la surface du sub- * strat n'est pas décrite en détail car elle est familière à l'homme du métier. Il va de soi que la plaquette 13 ou son électrode 15, res- pectivement, ne doit pas entrer en contact direct avec les électrodes d'entretien 17, 18. Il est donc nécessaire de prévoir des couches isolantes, dedbutées ou autres moyens équivalents, par exemple, sur les parois intérieures de l'évidement 11 dans la région des électrodes d'entretien 17, 18. - 15 - Dans le mode d'exécution représenté à la fig. 3, la plaquet- te 13 de l'élément pendulaire se déplace selon une trajec- toire courbe. Si cela n'est pas désiré, on peut, par exemple, réaliser une structure selon les fig. 5a, b. De façon analogue au premier exemple d'exécution, un évidement 21 (dessiné en hachure) est prévu dans un substrat 20. Au- dessus de l'évidement, un écran sous forme de plaquette 22 est maintenu de manière à pouvoir être déplacé linéairement dans un plan par deux bras 24.1, 24.2. Une ouverture 23 est réalisée dans le fond de l'évidement 21 au-dessous de l'éc- ran 22. Cette ouverture est dimensionnée de telle sorte qu'elle est à demi obturée lorsque l'écran 22 se trouve dans la position de repos (selon la fig. 5a). Quand l'écran 22 est maintenu par l'électrode d'entretien 25, l'ouverture 23 se trouve totalement obturée. Quand l'écran 22 est maintenu par l'électrode d'entretien 26 d'en face, l'ouverture 23 est ouverte. La particularité de la présente réalisation est que l'écran carré ou rectangulaire 22 est retenu de façon symétrique par deux bras en forme de U 24.1, 24.2. On a montré dans la partie supérieure de la fig. 5b comment le bras 24.1 est dé- formé en une forme quasiment triangulaire lorsque l'écran 22 est retenu par l'électrode d'entretien 25. La moitié infé- rieure de la fig. 5b montre l'autre cas o les deux branches du bras 24.2 sont écartées en forme de trapèze. (Les bras 24.1, 24.2 se déforment naturellement toujours de façon sy- métrique l'un par rapport à l'autre.) Les bras 24.1, 24.2 en forme de U sont attachés, dans le présent exemple, aux coins adjacents de l'écran 22. Il va de soi que d'autres positions de l'écran (par exemple le centre d'un c6té) sont également utilisables comme lieux de raccordement. - 16 - En plus, on distingue dans les fig. 5a, b des électrodes d'excitation 27.1, 27.2. Elles s'étendent à côté de l'élec- trode d'entretien 26 vers l'écran 22. Ce dernier peut se glisser entre les électrodes d'excitation 27.1, 27.2. Le dispositif de commutation selon l'invention sera utilisé de préférence non pas individuellement mais en association avec d'autres dispositifs identiques formant un reseau. Par exemple, une pluralité d'éléments de commutation selon l'in- vention sont arrangés de manière à former un reseau régulier bidimensionnel (par exemple rectangulaire ou à nid d'abeilles) et sont commandés comme il sera décrit dans ce qui suit. La fig. 6 montre quatre éléments de commutation S1,..., S4 qui sont arrangés en deux rangs et en deux colonnes. Chaque élément de commutation S1,..., S4 comprend deux électrodes d'entretien Hl1, H12; H21, H22; H31, H32 et H41, H42, res- pectivement. Entre les électrodes Hl1 et H12;...; H41 et H42, respectivement, d'un élément de commutation S1,..., S4 se trouve une électrode pendulaire P1,..., P4. En l'ab- sence de tension, les électrodes pendulaires P1,..., P4 se trouvent dans la position zéro. Dans l'état opérationnel, elles sont retenues par l'une des deux électrodes d'entre- tien correspondantes Hll ou H12,..., H41 ou H42. Les electrodes pendulaires P1, P2 des éléments de commuta- tion S1, S2 du même rang sont connectées à un conducteur commun L1. De façon analogue, les électrodes pendulaires P3 et P4 sont reliées par un conducteur L2. Les électrodes d'entretien sont connectées par colonnes: Hll et H31 au con- ducteur A1, H12 et H32 au conducteur B1, H21 et H41 au con- ducteur A2 et H22 et H42 au conducteur B2. - 17 - La fig. 7 montre schématiquement un exemple de signaux de commande. Sans limitation de la généralité, on supposera que la tension d'entretien est de 20.V. Dans l'intervalle I, le commutateur S1 est commandé de telle sorte qu'à la fin de l'intervalle I, l'électrode pendulaire P1 soit en contact avec l'électrode d'entretien H12 et que les positions des autres commutateurs restent inchangées. Au début de l'intervalle I, le conducteur L1 est temporaire- ment porté de 0 à +10 V par exemple, le conducteur A1 simul- tanément abaissé de 30 V par exemple à 20 V, et le conduc- teur B1 est porté de -30 V à -20 V. Si l'électrode pendu- laire avait été retenue auparavant par l'électrode d'entre- tien Hll, elle se dégagera de cette position car la tension entre Hll et P1 tombe au-dessous de la tension d'entretien. Après avoir effectué une demi-oscillation, l'électrode pen- dulaire P1 est attirée par la seconde électrode d'entretien H12 car la tension d'entretien nécessaire de 20 V est pré- sente entre les éléments mentionnés. Si l'électrode pendulaire P1 se trouvait déjà retenue par l'électrode d'entretien H12 avant la commutation, elle y resterait car la tension entre L1 et B1 ne descend pas au- dessous de la tension d'entretien. Les conducteurs L2, A2 et B2 restent à leur niveau de ten- sion normal de 0 V, +30 et -30 V, respectivement, au cours de la commutation mentionnée. Les éléments de commutation S2, S3, S4 ne peuvent donc pas commuter. L'ensemble des signaux permettant de commuter l'électrode pendulaire P1 sur l'électrode de maintien Hll, si elle ne s'y trouve pas déjà, est représenté dans l'intervalle II. Les conducteurs L1 et A1 sont abaissés de 10 V chacun, et le conducteur B1 est augmenté de 10 V. - 18 - Un grand réseau d'éléments de commutation peut être commandé de la manière décrite précédemment. Une application des structures bidimensionnelles de commuta- tion sera encore décrite à l'aide de fig. 8. Il va de soi qu'en pratique, non seulement trois mais beaucoup plus de voies optiques de traitement sont prévus en parallèle. Les trois faisceaux lumineux 28. 1,..., 28.3 venant de droite dans la fig. 8, sont incidents sur un système de focalisa- tion 29 comprenant une microlentille 29.1,..., 29.3 pour chaque faisceaux lumineux incident 28.1,..., 28.3. Les faisceaux lumineux sont concentrés dans un plan de focalisa- tion commun dans lequel une installation de commutation 30 selon l'invention est disposée. L'installation de commuta- tion 30 comprend une pluralité d'éléments de commutation identiques 30.1,..., 30.3 (par exemple correspondant à celui de la fig. 3). Les faisceaux lumineux 28.1,..., 28.3 sont donc focalisés aux ouvertures de passage des éléments de commutation. Un système d'image 31 se trouvant derrière l'installation de commutation en forme de disque 30 produit une image des ouvertures de passage sur un plan d'image 32. Le système d'image 31 peut également consister en une plura- lité de microlentilles 31.1,..., 31.3. Des images peuvent être générées en utilisant le dispositif optique représenté dans la fig. 8 en commandant ou position- nant, respectivement, par exemple les éléments de commuta- tion 30.1,..., 30.3 selon une trame d'image électronique- ment mémorisée. Il est également possible de modifier une image définie par l'intensité des rayons lumineux 28.1,... 28.3. On placera par exemple dans le plan d'image un sup- port comprenant un film sensible à la lumière. - 19 - L'invention ne se limite naturellement pas aux exemples d'exécution décrits. La fixation et l'écran peuvent être sujets à des modifications multiples. Il est important que les dimensions géométriques et la distribution de masse de l'élément pendulaire soient adaptées à la vitesse de commu- tation voulue. On peut commander des chemins du pendule re- lativement longs par des tensions modestes car les forces d'attraction électrostatiques n'ont pas besoin d'agir sur la totalité du trajet du pendule. Au lieu d'écrans se déplaçant dans leur propre plan, on peut également utiliser des ailettes pivotantes. La géométrie du mouvement effectué correspond alors à celle connue de l'état de la technique mais leur cinématique se distingue en ce qu'il y a une dynamique dominée par la fixation élastique et non pas par les forces d'attraction électrostatique. De cette manière, l'invention peut s'appliquer, par exemple, aux structures pivotantes symétriques décrites par exemple dans le CH-633'902 (fig. 1) ou le US-5'142'405 (fig. 2 à 5). L'application des structures micromécaniques de l'invention à la modulation optique représente le domaine d'application préféré mais pas exclusif. On peut par exemple réaliser des commutateurs similaires aux relais, l'électrode pendulaire établissant des contacts avec des conducteurs de courant différents dans l'une ou l'autre des positions d'extrémité. (L'isolation électrique entre l'électrode d'entretien et l'élément pendulaire est naturellement nécessaire comme au- paravant.) - 20 - En règle générale, les électrodes d'entretien et l'élément pendulaire sont exécutés de façon symétrique par rapport à la position zéro. On n'exclut cependant pas de structures asymétriques (par exemple une variation de la longueur ef- fective du pendule par rapport à la direction de déviation). En résumé, il convient de retenir que l'invention a créé une nouvelle conception de commutation dans laquelle le temps de commutation n'est pas déterminé premièrement par la tension électrique appliquée mais par la fréquence oscillation méca- nique propre. - 21 - Liste des numéros de référence 1 écran 2 tige 3 ancrage 4, 5 électrode d'entretien 6 ouverture 7.1, 7.2 électrode d'excitation 8 circuit de commande 9 circuit d'excitation substrat 11 évidement 12 ouverture 13 plaque 14 tige électrode 16, 17 électrode d'entretien 18, 19 électrode d'excitation substrat 21 évidement 22 écran 23 ouverture 24.1, 24.2 bras , 26 électrode d'entretien 27.1, 27.2 électrode d'excitation 28.1,..., 28.3 rayon lumineux 29 système de focalisation 29.1,..., 29.3 microlentille installation de commutation 30.1,.. ., 30.3 élément de commutation 31 système d'image 31.1,..., 31.3 microlentille 32 plan d'image A, B position d'extrémité A1, A2, B1, B2 conducteur C1, C2 domaine F1, F2 force électrostatique F3 force de ressort L1, L2 conducteur S1,..., S4 élément de commutation H11l,..., H42 électrode d'entretien O position zéro P,..., P4 électrode pendulaire - 23 - Revendications 1. Dispositif de commutation, comprenant un élément pendu- laire (1) pouvant se déplacer en va-et-vient entre deux positions d'extrémité (A, B), des électrodes d'action- nement stationnaires (4, 5) situées dans ces positions d'extrémité (A, B), et un circuit de commande (8) pour agir sur l'élément pendulaire (1) avec des forces élec- trostatiques, caractérisé en ce que l'élément pendu- laire (1) est retenu (2) de manière élastique de telle sorte que la valeur d'une force élastique de rappel agissant vers une position zéro (O) est plus grande, dans une gamme essentielle d'amplitudes (Cl, C2), que la force d'attraction électrostatique, engendrée par le circuit de commande (8) et une des électrodes d'actionnement (4, 5) et agissant en sens opposé, de sorte que l'élément pendulaire (1) présente un temps de commutation essentiellement déterminé par sa fréquence propre d'oscillation mécanique. 2. Dispositif de commutation selon la revendication 1, ca- ractérisé en ce que la force de rappel a une valeur plus grande, au moins dans la moitié de la région de déplacement, que la force d'attraction électrostatique des électrodes d'actionnement (4, 5). - 24 - 3. Dispositif de commutation selon l'une des revendica- tions 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il est réalisé sous forme de structure micromécanique sur un substrat (10) ou dans ce substrat. 4. Dispositif de commutation selon l'une des revendica- tions 1 à 3, caractérisé en ce qu'il consiste essen- tiellement en un matériau cristallin ou polycristallin, en particulier en polysilicium, ou en métal. 5. Dispositif de commutation selon l'une des revendica- tions 1 à 4, caractérisé en ce que l'élément pendulaire (1) comprend un écran en forme de plaquette (1) mainte- nu par une fixation élastique de manière à pouvoir être déplacé latéralement dans un plan défini (2; 14; 24.1, 24.2). 6. Dispositif de commutation selon la revendication 5, caractérisé en ce que la fixation comprend au moins un élément de tige (2; 14) flexible dans le plan défini. - 25 - 7. Dispositif de commutation selon l'une des revendica- tions 3 à 6, caractérisé en ce qu'une ouverture (12) est prévue comme passage de rayons dans un plan situé derrière l'élément pendulaire (13) entre la position zéro et l'une des positions d'extrémité, l'ouverture étant ouverte ou obturée selon la position de l'élément pendulaire (13). 8. Dispositif de commutation selon l'une des revendica- tions 1 à 7, caractérisé en ce que des électrodes d'ex- citation (7.1, 7.2) sont prévues pour ramener l'élément pendulaire (1) depuis la position zéro (O) dans l'une des positions d'extrémité (A, B) à l'aide d'oscilla- tions propres. 9. Dispositif de commutation selon l'une des revendica- tions 1 à 9, caractérisé en ce que le circuit de com- mande (8) est relié électriquement à une électrode (15) agencée sur l'élément pendulaire (13) et aux électrodes d'actionnement (16, 17) pour commander une commutation par un abaissement de la tension entre l'électrode d'actionnement (16 ou 17, respectivement) et l'élément pendulaire (13). 26 _ 10. Procédé pour commander un dispositif de commutation se- lon l'une des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que l'élément pendulaire (1) est retenu par une tension d'entretien dans la position d'extrémité (A ou B, res- pectivement) concernée et relâché par une réduction temporaire de la tension entre l'élément pendulaire (1) et l'électrode (4) pour qu'il puisse osciller, à l'aide de son oscillation propre, dans la position d'extrémité opposée (B ou A, respectivement) sous l'influence de la force élastique de rappel en étant attiré dans la dite position par la tension d'entretien de l'électrode d'actionnement opposée (5). 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que la tension est abaissée pendant un laps de temps plus petit que p/2Wo, Wo étant la fréquence propre d'oscillation. 12. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que les électrodes d'excitation (7.1, 7.2) sont alimen- tées avec la fréquence propre Wo de l'élément pendu- laire (1) jusqu'à ce que l'élément pendulaire (1) puis- se être attiré par une électrode d'actionnement (4, 5). _ 27 _ 13. Installation de commutation, comprenant une pluralité de dispositifs de commutation selon la revendication 1, dans laquelle les électrodes pendulaires (P1,..., P4) et/ou leurs électrodes d'actionnement (Hll,... H42) de plusieurs dispositifs de commutation (S1,..., S4) sont reliées par des conducteurs communs (L1, L2 et A1, B1, A2, B2, respectivement) au circuit de commande, un dis- positif de commutation sélectionné (S1) pouvant être actionné par un abaissement de la tension sur les con- ducteurs (A1, L1 ou B1, L1, respectivement) se croisant à ce dispositif de commutation (S1). 14. Installation de commutation selon la revendication 13, caractérisée en ce que les dispositifs de commutation (S1,..., S4) sont arrangés pour former un reseau regu- lier bidimensionnel, et que les électrodes pendulaires (P1,..., P4) ou leurs électrodes d'actionnement (Hll, H42), respectivement, des dispositifs de commuta- tion (S1,..., S4) sont reliées par rangs ou colonnes, respectivement. 15. Installation optique comprenant au moins un dispositif de commutation selon la revendication 1, caractérisée un en ce qu'elle constitue/ecran commandé et en ce qu'elle est disposée dans ou au+ oisinage du plan focal d'un système de lentilles optiques(29). - 28 - 16. Installation selon la revendication 15, caractérisée en ce qu'un premier système de lentilles (29) focalise au moins un faisceau lumineux sur une ouverture de passage du dispositif de commutation (30.1,..., 30. 3), et en ce qu'un second système de lentilles (31), situé derrière les ouvertures de passage, transmet la lumière à un plan d'image (32).