Brevet FR2724480A1 — publié le 19960315

TETE MAGNETIQUE A PIECES POLAIRES HORIZONTALES Domaine technique La présente invention a pour objet une tête magnétique à pièces polaires horizontales. Elle trouve une application dans l'enregistrement magnétique. Etat de la technique antérieure Une tête magnétique connue est représentée sur la i0 figure 1, en coupe, et sur la figure 2, en vue de dessus. Cette tête comprend, sur un substrat 8, un premier sous- ensemble 10 constitué par une couche magnétique inférieure 12, deux piliers magnétiques 141, -42 reposant sur la couche magnétique 12 et un enroulement conducteur 18 entourant les piliers 141, 142. Sur ce sous-ensemble 10, on trouve un relief ou pion central isolant 19 présentant deux flancs inclinés et un sommet olat. Sur le sous-ensemble 10 et chevauchant le relief central isolant 19, on trouve un second sous-ensemble 20 composé de deux parties, une première partie constituée par deux concentrateurs de flux magnétique 221, 222 avec une extrémité extérieure large en appui sur les piliers 141, 142 et une extrémité intérieure plus étroite, et une seconde partie constituée par deux pièces polaires 241, 242 séparées par un entrefer 26 et en contact avec les concentrateurs 221, 222. Ces pièces polaires présentent une forme de S allongé avec une partie médiane oblique recouvrant les flancs inclinés du pion 19. La figure 3 montre, de façon détaillée, la moitié droite du second sousensemble 20. Cette figure permet de définir quelques dimensions et quelques zones particulières: les pièces polaires ont une épaisseur Ee au niveau de l'entrefer 26 et Ep loin de l'entrefer; le relief ou pion 19 présente une demi- longueur L"; les concentrateurs 222 ont une épaisseur Ec; le plan de vol de la tête est situé à une distance i de la surface supérieure des concentrateurs; l'angle sue fait avec l'horizontale la pièce polaire dans sa partie inclinée est notée 0. Par ailleurs, le point G désigne le centre de l'entrefer, le point A marque la limite de la zone droite d'un pôle; le point P correspond à la zone o la pièce polaire quitte le plan de vol et devient inclinée. Si ces têtes donnent satisfaction à certains égards, elles présentent néanmoins des inconvénients lorsque la largeur de la piste d'enregistrement devient faible et la fréquence de fonctionnement grande. On peut analyser ces divers inconvénients de la manière suivante. Le mode de réalisation des pièces polaires impose une structure monocouche pour celles-ci. A forte épaisseur des pièces polaires, des courants de FOUCAULT apparaissent et créent un échauffement ainsi qu'une diminution de l'efficacité. En réduisant les épaisseurs Ep ainsi que Ec, on réduit cet effet mais au détriment de l'efficacité globale ainsi que du champ maximum obtenu dans l'entrefer en régime de saturation. Il y a donc une limitation minimum et maximum pour l'épaisseur Ep. Comme représenté sur la figure 4, le signal de lecture présente, mis à part le pic principal Pp, deux petits pics secondaires Psi, Ps2 situés à une distance d'environ L correspondant au point P de la figure 3 o les pôles ne sont plus dans le plan de vol. La hauteur de ces pics parasites dépend en outre de l'angle 0 obtenu lors de la fabrication du relief ou pion. Afin d'obtenir un champ maximal dans l'entrefer à l'écriture, il y a lieu de rapprocher le point A (point d'apparition de la saturation) de l'entrefer. Il faut alors réduire la demi-longueur Lp du relief sans modifier l'angle optimal 3 qui doit rester faible pour assurer la qualité du dépôt magnétique. Cette réduction est délicate pour des longueurs inférieures à 5 pm. De plus, la réalisation de l'entrefer sur un relief de faible longueur devient, elle aussi, très délicate. On voit donc que la réduction de largeur de piste et l'obtention d'un champ dans l'entrefer plus important nécessitent la diminution de la taille du relief et la conservation d'un angle 0 faible. Il s'ensuit des difficultés technologiques de réalisation du relief et de l'entrefer pour les faibles largeurs de piste. Afin d'éviter les relectures parasites de pistes adjacentes, les pôles doivent présenter une largeur égale à la largeur de la piste à lire et l'introduction d'un concentrateur à section large vers les piliers et à section étroite vers l'entrefer permet de conserver une bonne efficacité. Cependant, une hauteur H relativement importante est nécessaire pour éviter toute relecture en présence de la section large du concentrateur. De olus, à fréquence élevée, l'épaisseur importante Ep+Ec des pièces polaires et du concentrateur est néfaste vis-à-vis des courants de FOUCAULT et il y a lieu de diminuer chaque épaisseur et de découpler magnéziquement les couches. La présente invention a justement pour but de remédier à ces inconvénients. Exposé de l'invention L'invention modifie La structure du second sous- ensemble référencé 20 sur les figures 1 à 3 de telle sorte que les deux pièces polaires soient horizontales et non plus en orme de S allongé avec une partie médiane oblique. En d'autres termes, les pièces polaires présentent la forme de barreaux droits. inversement, ce sont les concentrateurs qui présentent une partie inclinée, laquelle vient en appui sur l'un des flancs inclinés du relief ou pion. Ces dispositions permettent: - la diminution de la demi-longueur Lp du relief et le rapprochement du point A de l'entrefer et, ainsi, l'obtention d'un champ maximal dans l'entrefer, - la réalisation d'un entrefer sur une surface plane, - le rejet du point P à l'origine des pics parasites loin du circuit magnétique principal, - un meilleur contrôle des pièces polaires qui sont réalisées à plat, en particulier pour ce qui est de la composition et de l'orientation des domaines, - la réduction de l'épaisseur Ep des pôles (ce qui réduit les courants de FOUCAULT et facilite l'orientation des domaines) sans réduire l'efficacité globale de la tête. De façon précise, la présente invention a pour objet une tête magnétique du type de celles qui ont été décrites à propos des figures 1 et 3 et qui est caractérisée par le fait que, dans le second sous- ensemble situé à la partie supérieure de la tête: - les deux concentrateurs ont leur extrémité intérieure en appui sur les deux flancs inclinés du relief central isolant, lesdites extrémités affleurant au sommet du relief, - les deux pièces polaires sont constituées par deux barreaux droits en appui sur le sommet plat du relief et sur les extrémités intérieures des deux concentrateurs, ces barreaux se prolongeant au- delà desdites extrémités, et surplombant lesdits concentrateurs. Brève description des dessins - la figure 1, déjà décrite, montre en coupe une tête magnétique selon l'art antérieur, - la figure 2, déjà décrite, montre la même tête en vue de dessus, - la figure 3, déjà décrite, illustre un détail de la pièce magnétique supérieure dans une tête selon l'art antérieur, - la figure 4 déjà décrite montre la forme du signal de mesure obtenu avec les têtes de l'art antérieur, - la figure 5 montre, en coupe, une tête magnétique selon la présente invention, - la figure O montre en vue de dessus cette même tête, - la figure 7 montre un détail de la pièce magnétique supérieure d'une tête selon l'invention, - les figures 8A, 8B, 8C, 8D, 8E, 8F, 8G, 8H illustrent huit étapes d'un procédé de réalisation de la partie supérieure d'une tête selon l'invention. Description de modes particuliers de réalisation On voit, sur la figure 5, en coupe, et sur la figure 6, en vue de dessus, un mode de réalisation particulier d'une ête magnétique conforme à l'invention. Les éléments déjà représentés sur les figures 1 e: 2 portent, pour simplifier, les mêmes références, à savoir le substrat 8, le premier sous- ensemble!0 avec sa couche magnétique 12, ses deux piliers 141, 142 e: son enroulement 18. Le second sous-ensemble 30 recouvre le relief ou pion 29 et comprend deux concentrateurs 321, 322 et deux pièces polaires 341, 342 séparées par un entrefer 26. Les concentrateurs ont leur partie intérieure qui recouvre les flancs inclinés du relief ou pion 29. Ces concentrateurs ont donc une forme brisée. En revanche, les pièces polaires sont droites (ou horizontales). La figure 7 montre plus en détail la demi-partie droite du second sousensemble 30. Elle doit être comparée avec la figure 3 déjà décrite. La distance H a été conservée, ce qui éloigne la partie large des concentrateurs du plan de vol;le point P a été considérablement reculé; l'épaisseur Ep et la demi- longueur Lp ont été réduites. Les figures 8A à 8H représentent huit étapes d'un procédé de réalisation d'une tête conforme à l'invention. On commence par realiser un premier sous-ensemble présentant, à sa partie supérieure, deux piliers magnétiques 141, 142 entourés d'isolant 40 (silice, alumine) (Fig. 8A). Les opérations permettant de réaliser un tel sous-ensemble sont connues et décrites, par exemple, dans les documents FR-A-2 644 292 et EP-A-0 262 028. On dépose ensuite une couche d'isolant 42, par exemple en silice, et un masque en résine 44 (Fig. 8B). On grave la couche isolante 42, par exemple par gravure ionique reactive (RIE), ce qui grave également la résine et laisse subsister un relief à section triangulaire 46 (Fig. 8C). On effectue ensuite un dépôt d'une couche magnétique 48 sur l'ensemble (Fig. 8D). Il peut s'agir d'une couche feuilletée avec alternance de couches magnétiques (par exemple en FeNi) et de couches isolantes (par exemple en Si3N4 ou en SiO2). On effectue ensuite une photolithographie et une gravure par usinage ionique pour limiter la couche magnétique à l'aplomb des piliers 141, 142 (Fig. 8E) et pour lui donner sa forme avec des parties 501, 502 larges (cf la figure 6) et des parties amincies 511, 512, lesquelles s'appuient sur les flancs inclinés du relief 46. La forme des concentrateurs a été illustrée sur la figure 6 en vue de dessus. On dépose ensuite sur l'ensemble un isolant épais 52 (Fig. 8F). On arase l'ensemble obtenu pour former un plan 54 (Fig. 8G). Cette opération fait apparaitre le sommet plat du relief 46. On termine la tête par le dépôt d'une couche isolante 56 (Fig. 8SH) et la formation, dans un caisson réalisé dans cette couche, de deux pièces polaires 581, 582 en forme de barreau droit, séparées par un entrefer 60. REVENDICATION Tête magnétique comprenant: - un premier sous-ensemble (10) comprenant une couche magnétique inférieure (12), deux piliers magnétiques (!4! 142) reposant sur la couche magnétique (12), un enroulement conducteur (18) entourant les piliers (141, 142), - sur ce sous-ensemble (10), un relief central isolant (19) présentant deux flancs inclinés et un sommet plan, sur le sous- ensemble (10) et chevauchant le relief central isolant (19) un second sous-ensemble (20) composé de deux parties, une première partie constituée par deux concentrateurs de flux magnétique (22i, 222) avec une extrémité extérieure large en appui sur les piliers (141, 142) et une extrémité intérieure plus étroite, et une seconde partie constituée par deux pièces polaires (241, 242) séparées par ledit entrefer (26) et en contact avec les concentrateurs (221, 222), cette tète étant caractérisée par le fait que, dans le second sous-ensemble (20): -les deux concentrateurs (321, 322) ont leur extrémité intérieure en appui sur les deux flancs inclinés du relief central isolant (29), lesdites extrémités affleurant sur le sommet du relief (29), - les deux pièces polaires sont constituées par deux barreaux droits (341, 342) en appui sur le sommet plat du relief (30) et sur les extrémités intérieures des deux concentrateurs (321, 322), ces barreaux se prolongeant au-delà desdites extrémités e_ surplombant lesdits concentrateurs.