Brevet FR2726641A1 — publié le 19960510

DOMAINE DE L'INVENTION La présente invention concerne de façon générale une instrumentation de métrologie optique de précision permettant de former des images de surfaces et de les analyser et plus particulièrement, des interféromètres pour effectuer une représentation du profil (ou profilage) d'une surface. ART ANTERIEUR Parmi les instruments largement utilisés pour mesurer des profils de surface, on connait les interféromètres qui utilisent la nature ondulatoire de la lumière pour cartographier des variations de la hauteur de surface avec une précision élevée. Des exemples d'interféromètres classiques sont présentés par exemple dans les chapitres 1, 2 et 3 du livre Optical Shop Testing, seconde édition, édité par Daniel Malacara (Wiley, New York, 1992). La plupart de ces moyens interférométriques classiques ne permettent pas de traiter des caractéristiques de surface constituées par des variations de hauteurs discontinues ou par des rugosités de surface qui excèdent un quart de la longueur d'onde de la lumière de source. Ces caractéristiques de surface conduisent à des ambiguïtés de phases interférométriques qui sont difficiles ou impossibles à interpréter. Une autre difficulté se pose lorsque la pente de la surface est si importante qu'il devient difficile de résoudre les franges d'interférence. En tant que conséquence de la plage limitée des applications des interféromètres classiques, l'art antérieur propose certains autres procédés et moyens qui cherchent à réduire la sensibilité de la mesure. Un procédé évident met en jeu l'augmentation de la longueur d'onde de la lumière par l'intermédiaire de l'utilisation de sources inhabituelles. Un procédé et un appareil typiques sont décrits dans le document "Rough surface interferometry using a CO2 laser source", de C. R. Munnerlyn et M. Latta (Appl. Opt. 7(9) 1858-1859(1968)). Cependant, ces procédés sont de façon générale très coûteux et très peu commodes puisqu'ils mettent en jeu des sources, des optiques et des détecteurs spécialisés. Une autre approche de l'art antérieur pour surmonter la plage limitée des interféromètres classiques met en jeu l'utilisation de multiples longueurs d'onde tel que décrit originellement par R. René Benoit dans le document "Application des phénomènes d'interférence à des déterminations métrologiques", J. de Phys. 3(7), 57-68 (1898). Une séquence de mesures à deux longueurs d'onde ou plus permet d'obtenir une longueur d'onde équivalente beaucoup plus importante qui permet de surmonter certains des problèmes d'ambiguïté des interféromètres à une seule longueur d'onde classiques. Un procédé pour appliquer cette technique à une métrologie de surface est décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 355 899 délivré à T. A. Nussmeier. Cependant, ces techniques à multiples longueurs d'onde ne fonctionnent pas encore correctement lorsque la pente de surface est si importante qu'il devient difficile de résoudre les franges d'interférence. Dans le procédé holographique à deux longueurs d'onde de l'art antérieur décrit par K. Haines et B. P. Hildebrand dans l'article intitulé "Contour generation by wavefront reconstruction", Physics Letters, 19(1), 10-16(1965), le résultat net de la reconstruction à deux longueurs d'onde de l'image holographique a l'apparence des intervalles de contour d'une interférence constructive. Cependant, ce procédé est difficile à utiliser dans la pratique. Un procédé de l'art antérieur de profilage de surfaces qui utilise une interférométrie à lumière blanche par balayage est décrit dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 340 306 délivré à N. Balasubramanian. Ce brevet décrit un interféromètre à lumière blanche qui comprend un miroir de référence balayé mécaniquement, un réseau de détecteurs bidimensionnel et une commande par ordinateur. Le procédé de l'art antérieur décrit met en jeu le balayage de soit le miroir de référence soit l'objet selon des pas discrets, la mesure du contraste de frange pour chaque point dans l'image pour chaque position de balayage et de cette façon, la détermination pour chaque point de surface de la position du contraste de frange maximum. La position de balayage pour laquelle le contraste est maximum est une mesure de la hauteur relative d'un point de surface particulier. Cependant, cette technique de l'art antérieur est très lente et elle ne fonctionne pas bien avec des surfaces de grande dimension et rugueuses du fait d'une difficulté à résoudre les franges d'interférence. L'art antérieur propose également certaines autres géométries de mesure qui tentent de réduire la sensibilité de la mesure à la rugosité de surface, à la pente de la surface et à des réflexions multiples. Une technique de l'art antérieur représentative à cet égard est décrite dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 325 637 délivré à R. C. Moore ainsi que dans l'article "Oblique incidence and observation electronic speckle-pattern interferometry" de C. Joenathan, B. Franze et H. J. Tiziani (Applied Optics 33 (31), 7307-7311, (1994). Dans ces interféromètres appelés interféromètres à incidence rasante, des angles obliques d'éclairement et d'observation réduisent la densité des franges sur la surface de l'objet par comparaison avec les formes d'interféromètre les plus communes. Cette densité de franges réduite correspond à une longueur d'onde équivalente A qui peut être aussi longue que la longueur d'onde réelle x de la lumière. Plus la longueur d'onde équivalente A est importante, plus le degré de rugosité de surface que peut traiter l'instrument est important. Cependant, une réduction significative de la sensibilité qui est observée dans ces approches de l'art antérieur nécessite un angle d'éclairement important par rapport à une incidence normale. Ces angles importants créent des problèmes en relation avec un éclairement approprié et une formation d'image appropriée de l'objet. On peut observer également un ombrage non souhaitable de certaines caractéristiques de la surface telles que des marches et des canaux. Des complications supplémentaires sont observées dans ces systèmes de l'art antérieur du fait de la nécessité d'équilibrer de façon appropriée les faisceaux de référence et d'objet de l'interféromètre pour compenser des variations de la réflectivité de la surface. Une autre approche géométrique pour générer des motifs d'interférence à l'aide d'une longueur d'onde équivalente longue est enseignée dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 3 958 884 de F. H. Smith. L'appareil comprend un assemblage optique qui dirige simultanément deux pinceaux lumineux mutuellement cohérents selon des angles d'incidence respectifs différents en direction d'un point sur une surface. Lorsque ces pinceaux sont recombinés, les motifs d'interférence résultants présentent une sensibilité qui est de beaucoup réduite vis-à-vis de variations de la topographie de la surface. Cette densité de franges réduite peut également être caractérisée par une longueur d'onde équivalente A > X; cependant, ce procédé ne met pas en jeu nécessairement des angles extrêmes d'éclairement. Smith enseigne plusieurs procédés de division et de recombinaison de la lumière de source en utilisant des combinaisons de composantes de réfraction et de polarisation. Ces procédés incluent l'utilisation d'un interféromètre de Jamin, d'un doublet biréfringent, d'un prisme doublet biréfringent ou d'une plaque doublet de Savart. Cependant, aucun de ces procédés de l'art antérieur ne convient pour des aires de surface importantes du fait des composants optiques et des géométries encombrants et coûteux et du fait des divers obturateurs à ouverture utilisés pour définir et séparer les pinceaux. Les géométries décrites sont également très gaspilleuses de lumière. Une autre forme d'un interféromètre de l'art antérieur qui fonctionne à des angles d'incidence différents est décrite dans le brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 498 771 délivré à G. Makosh. L'appareil décrit utilise un cristal biréfringent tel qu'un prisme de Wollaston et un système de miroirs pour diriger le faisceau lumineux sur l'objet. Sur la figure 2a du brevet des Etats-Unis d'Amérique n 4 498 771 est représenté un mode de réalisation qui cherche à augmenter notablement l'espacement des franges efficace dans le motif d'interférence en éclairant l'objet à l'aide de deux faisceaux selon deux angles différents, ce mode de réalisation étant décrit au nvieau des colonnes 3 et 4 du brevet. Cependant, l'utilisation d'un tel cristal biréfringent limite la taille des objets qui peuvent être observés à seulement quelques centimètres au plus. En outre, l'appareil utilise des angles d'éclairement extrêmes ( > 45 degrés) et par conséquent, il souffre des mêmes inconvénients que les interféromètres à incidence rasante de l'art antérieur. L'appareil apparaît également comme étant compliqué et difficile à aligner. Encore une autre approche de l'art antérieur qui consiste à réduire la sensibilité des interféromètres optiques par l'intermédiaire d'autres géométries est décrite par W. Jaerisch et G. Makosch dans un document intitulé "Optical contour mapping of surfaces" (Applied Optics 12(7), 1552-1557 (1973)). Ce document décrit un procédé de l'art antérieur qui utilise un élément optique de diffraction, dans ce cas un réseau de diffraction, placé pratiquement en contact avec la surface de test. L'éclairement du réseau au moyen d'une onde plane monochromatique génère un motif d'interférence entre les composantes de faisceau de deux ordres de diffraction différents. Ce motif est réfléchi depuis la surface de l'objet et est superposé en retour sur le réseau, ce qui conduit à un motif de franges qui ressemble aux contours de surface de la surface de l'objet. Ces contours peuvent être beaucoup plus importants que la longueur d'onde de la lumière de source. Une approche de l'art antérieur similaire qui consiste à créer des franges désensibilisées est décrite dans un document intitulé "Common-path interferometer for flatness testing" de P. Jacquot, X. Colonna de Lega et P. M. Boone (SPIE 2248, Optics for productivity in manufacturing, paper 18 (1994)). L'instrument fonctionne également au moyen de l'interaction de deux ordres de diffraction d'un élément optique de diffraction mais cependant, dans ce cas, l'élément est un enregistrement holographique d'un front d'onde sphérique. Le procédé de l'art antérieur de Jaerisch et Makosch ainsi que le procédé de l'art antérieur de Jacquot et suivants nécessitent tous deux le placement d'un élément de diffraction pratiquement en contact avec la surface de l'objet. Ceci est dû au fait que dans ces deux procédés de l'art antérieur, un unique élément de diffraction divise la lumière de source en deux faisceaux qui se propagent selon différentes directions et qui ne chevauchent pas de façon parfaite la surface de l'objet. Les deux faisceaux ne sont par conséquent pas orientés de façon appropriée pour générer l'effet d'interférence souhaité, tout particulièrement sur des surfaces rugueuses. Une autre difficulté est que les deux faisceaux présentent une différence de chemin optique qui augmente de façon croissante lorsque l'objet est déplacé pour être davantage éloigné de l'élément de diffraction tandis que l'effet d'interférence souhaité est le plus aisément obtenu lorsque cette différence de chemin optique est faible. La seule façon d'éviter ces problèmes rencontrés dans ces dispositifs de profilage optique de l'art antérieur consiste à amener l'objet très près de la surface de l'élément de diffraction. Cependant, cette distance de travail très proche est non souhaitable et souvent peu pratique. Un contact réel avec l'élément peut endommager celui-ci de façon sérieuse et une distance de travail proche complique la manipulation et l'automatisation des parties, tout particulièrement dans des environnements industriels. Une autre difficulté avec la métrologie interférométrique de l'art antérieur se pose lorsque l'objet est partiellement transparent puisque le motif d'interférence résultant est souvent un mélange complexe de franges créées par des réflexions depuis à la fois la surface avant et la surface arrière de la plaque. Afin de réaliser une métrologie empreinte de sens sur un tel objet, la pratique commune consiste à soit revêtir la surface avant d'un matériau haute réflectivité selon un film mince soit à supprimer la réflexion de surface arrière en appliquant un certain type de revêtement à adaptation d'indice. Ces types de traitements de surface sont particulièrement non souhaitables pour une inspection et un test réguliers, plus particulièrement un contrôle de processus dans un environnement de production. Dans la demande de brevet des Etats-Unis d'Amérique intitulée "Method and apparatus for profiling surfaces of transparent objects" n 08/153,146 déposée le 15 Novembre 1993 est décrit un procédé grâce auquel les deux surfaces peuvent être isolées mathématiquement après deux mesures mais cette approche nécessite un appareil et des procédures compliqués. En tant que conséquence des difficultés importantes rencontrées lors de l'utilisation d'une interférométrie pour une certaine variété d'applications importantes, l'art antérieur propose plusieurs techniques optiques de profilage qui ne sont pas basées sur la nature ondulatoire de la lumière. Un exemple représentatif est une analyse par frange moirée. Cette technique de l'art antérieur est décrite en détail au niveau du chapitre 16 du livre Optical Shop Testing, seconde édition, édité par Daniel Malacara (Wiley, New York, 1992). Le procédé par moirage de l'art antérieur met en jeu la projection et la formation d'image d'une structure de génératrices ou périodique similaire et il est équivalent à une triangulation géométrique. Un produit commercial basé sur ce principe est constitué par le Chek-flat, fabriqué par Speedfam-Spitfire Products Group (Des Plaines, IL 60016). Bien que ce produit permette de profiler des surfaces rugueuses, il est de façon générale d'une précision très faible par comparaison avec une interférométrie optique et il ne fonctionne pas du tout pour des surfaces spéculaires. Par conséquent, les techniques de l'art antérieur ne permettent pas d'obtenir de façon satisfaisante un appareil et un procédé permettant de profiler de façon précise à la fois des surfaces rugueuses et lisses en utilisant des franges d'interférence désensibilisées à une distance de travail utile, ni un procédé et un moyen permettant de profiler des objets à plans parallèles partiellement transparents. Ces inconvénients de l'art antérieur sont surmontés par la présente invention. RESUME DE L'INVENTION Selon le procédé et l'appareil particuliers de la présente invention, un assemblage optique de diffraction est éclairé par une source de lumière, qui peut être par exemple une source de lumière spatialement cohérente ou incohérente large bande ou une source de lumière spatialement cohérente ou incohérente bande étroite. L'assemblage est constitué par deux optiques de diffraction ou plus telles que des réseaux de diffraction, des hologrammes ou similaires. L'assemblage optique de diffraction divise la lumière de source en deux faisceaux, lesquels se propagent selon deux directions différentes au travers de l'assemblage. Lorsque ces faisceaux sortent de l'assemblage, ils sont orientés de telle sorte qu'ils se chevauchent sur la surface de l'objet à une distance de travail appropriée. Après réflexion depuis la surface de l'objet, les faisceaux traversent en retour l'assemblage optique de diffraction selon des directions différentes, après quoi ils sont recombinés pour former un motif d'interférence représentatif du profil de la surface. Le motif d'interférence est ensuite évalué électroniquement ou au moyen d'une inspection visuelle. Une caractéristique fondamentale du motif d'interférence généré par la présente invention est qu'il présente une sensibilité réduite à une déformation de surface et à une rugosité de surface. Cette réduction de la sensibilité est obtenue tandis que l'objet est placé à une distance de travail importante comme il est commode. Un avantage supplémentaire de l'invention est qu'elle peut être utilisée avec pratiquement n'importe quelle source de lumière, y compris des ampoules à incandescence, des diodes émettrices de lumière, des lasers et des sources de lumière blanche en diffusion et qu'elle permet de réaliser un distinguo entre les surfaces d'objets à plans parallèles partiellement transparents. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS Parmi les dessins, sur lesquels des index de référence identiques permettent de repérer des éléments similaires rencontrés au niveau de plusieurs vues, on note: la figure 1 est un schéma qui représente un mode de réalisation particulier de l'invention, l'objet, la source de lumière, les éléments de diffraction, une caméra électronique et des éléments optiques supplémentaires tels que requis pour éclairer l'objet et pour manipuler le motif d'interférence étant représentés; la figure 2 est un schéma qui représente en détail les chemins de faisceau au travers du mode de réalisation de la figure 1 qui utilise l'assemblage optique de diffraction; la figure 3 est un schéma qui représente une partie de l'appareil particulier de la figure 1 agencé pour une mesure de profil de la surface avant d'un objet à plans parallèles transparent; la figure 4 est un schéma qui représente une partie de l'appareil particulier de la figure 1 agencé pour une mesure de profil de la surface arrière d'un objet à plans parallèles transparent; la figure 5 est un schéma qui représente un autre mode de réalisation de l'appareil de la figure 1 qui inclut un moyen supplémentaire pour réaliser une interférométrie par déphasage; la figure 6 est un schéma qui représente un procédé d'alignement d'objet basé sur la superposition de deux images de caméra; la figure 7 est un schéma qui représente un autre mode de réalisation de l'invention illustré sur la figure 1, selon lequel les faisceaux d'éclairement et réfléchi partagent une lentille de collimation commune; la figure 8 est un schéma qui représente en détail les chemins de faisceau au travers de l'autre mode de réalisation de la figure 7 qui utilise l'assemblage optique de diffraction; la figure 9 est un schéma qui représente un autre mode de réalisation de l'invention de la figure 1 selon lequel l'assemblage optique de diffraction est constitué par des éléments holographiques qui remplacent les lentilles de collimation; la figure 10 est un schéma qui représente en détail les chemins de faisceau au travers de l'autre mode de réalisation de la figure 9 qui utilise l'assemblage optique de diffraction utilisant des éléments optiques holographiques; et la figure 11 est un schéma qui représente encore un autre mode de réalisation de l'invention de la figure 1. DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION Par report maintenant aux dessins en détail et initialement par report à la figure 1, on peut voir que la figure 1 représente un mode de réalisation particulier du dispositif de profilage de surface optique de l'invention élaboré pour mesurer le profil de surface d'un objet 20. L'éclairement est assuré par une source 30 qui peut être par exemple une source de lumière spatialement cohérente ou incohérente large bande ou bande étroite. A titre d'exemple, des sources de lumière spatialement incohérentes large bande peuvent comprendre une source de lumière blanche, une lampe à incandescence, une diode émettrice de lumière ou plusieurs diodes émettrices de lumière, une source de lumière spatialement cohérente large bande peut comprendre une lumière blanche ou une diode émettrice de lumière émettant une lumière au travers d'un trou de petite dimension, une source de lumière spatialement incohérente bande étroite peut comprendre une diode émettrice de lumière ou un laser en conjonction avec un verre tournant et une source de lumière spatialement cohérente peut comprendre un laser. Une lentille 40 collecte la lumière provenant de la source 30 et la dirige au travers d'une ouverture 50, après quoi elle est collimatée par une lentille 60 afin de créer un faisceau lumineux sensiblement parallèle 61. Un assemblage optique de diffraction 70 représenté de manière davantage détaillée sur la figure 2 divise de préférence la lumière de source en deux faisceaux et oriente leur direction de propagation de telle sorte qu'ils arrivent en incidence sur la surface de l'objet au même endroit mais selon deux angles d'incidence différents. Après réflexion depuis la surface de l'objet 20, les faisceaux traversent en retour l'assemblage optique de diffraction 70 et sont recombinés selon un faisceau de sortie 76. Après traversée d'une lentille 80 et d'un diaphragme 90, le faisceau de sortie est collecté par une lentille 100. La lentille 100 est de préférence réglée de telle sorte que la surface 20 soit focalisée sur un photodétecteur ou un transducteur photosensible 110 qui peut être par exemple une caméra classique munie d'un réseau bidimensionnel à l'état solide, d'un réseau linéaire, d'un unique photocapteur ou d'un dispositif similaire pour produire des images électroniques. Un ordinateur 10 affiche alors classiquement l'image et calcule de préférence la hauteur pour chaque point de l'image, ce qui conduit à une image tridimensionnelle de la surface de l'objet. L'effet d'interférence est créé par le déphasage relatif entre les deux faisceaux, ce déphasage étant proportionnel au profil de la surface. La cause physique du déphasage apparaît de façon évidente par report à la figure 2 sur laquelle les chemins de faisceau traversant le mode de réalisation présentement particulier de l'assemblage optique de diffraction 70 sont davantage clairement représentés. Un faisceau d'éclairement 140 arrive en incidence tout d'abord sur un réseau 120, lequel divise le faisceau 140 en un faisceau 150 et en un faisceau 160 conformément à des principes optiques bien connus de l'art (comme enseigné par exemple dans le livre Fundamentals of Optics de F. A. Jenkins et H. E. White (McGraw-Hill, New York, 1976)). Lors d'une étape suivante, les faisceaux 150 et 160 sont diffractés par un second réseau de diffraction 130 et ils arrivent ensuite en incidence sur une surface 170 de l'objet 20. Après réflexion, les faisceaux se propagent en retour en direction du réseau 130, lequel les diffracte de telle sorte qu'ils se recombinent au niveau de la surface du réseau 120. Les faisceaux recombinés sont ensuite diffractés selon un faisceau de sortie commun 180. Il est bien connu de l'art que lorsqu'un faisceau lumineux est divisé en deux parties qui sont recombinées, on aboutit à un effet d'interférence qui module l'intensité g des faisceaux recombinés. La formule pour cette modulation est la suivante: g = go + Vgocos (p) o V est le contraste d'interférence et (p est la différence de phase interférométrique entre les deux faisceaux et go est une constante. La différence de phase réseaux de diffraction et des composants de montage associés. La sensibilité du dispositif de profilage de surface optique de l'invention à des déformations de surface peut être représentée par une longueur d'onde efficace A définie par: 2i dp / dh o dqp est une faible variation de la phase d'interférence correspondant à une faible variation dh de la distance h. Ce calcul est aisément réalisé pour le mode de réalisation préféré représenté sur la figure 2. En utilisant la relation: d cos(O) h dh c cos() cos(e) on peut démontrer que A= cos(e) - cos(,) Selon le mode de réalisation particulier représenté sur la figure 2, les angles O et 4 sont déterminés par l'angle d'incidence aC, la longueur d'onde X et les fréquences Ni et N2 des réseaux de diffraction et 130, tel que classiquement mesuré en nombre d'unités de gorges par millimètre. De préférence, le rapport de N2 sur N1 est égal à deux. Il peut alors être démontré que: 0 = sin1 [sin(a)- NiX] = sin [sin() + N] *= sin- 1 [sin(a)+ Ni.] En insérant ces valeurs de 0 et de 4 dans l'équation mentionnée ci- avant, la longueur d'onde équivalente peut être décrite comme étant approximativement indépendante de la longueur d'onde de la source: A 1 N1 sin(a) On peut voir que, dans le principe, une quelconque longueur d'onde efficace A > x peut être créée au moyen d'un choix approprié de l'angle d'incidence a. Ces considérations apparaîtront plus clairement au vu de l'exemple qui suit. On suppose que l'on sélectionne deux réseaux de diffraction pour le mode de réalisation particulier représenté sur la figure 2, le premier réseau 120 comportant 300 gorges par mm (gpm) et le second réseau 130 comportant 600 gpm. Pour cet exemple, le faisceau d'entrée 140 arrive en incidence sur le réseau 120 selon un angle a de 10,95 degrés. L'ordre diffracté +1 est par conséquent un faisceau 150 tandis que l'ordre diffracté -1 est un faisceau 160 sur la figure 2. Le réseau 130 se diffracte alors selon le faisceau 150 selon l'ordre -1 pour un angle 4 égal à 22,3 degrés. Le faisceau 160 est diffracté par le réseau 140 selon l'ordre +1, ce qui dans ce cas est sensiblement une incidence normale par rapport à la surface de l'objet et par consequent 0=0. Après réflexion depuis la surface 170, le faisceau 150 est diffracté par le réseau 130 selon l'ordre -1 puis par le réseau 120 selon l'ordre + 1 de telle sorte qu'il sort du réseau 122 selon un angle égal à a. Dans le même temps, le faisceau 160 est réfléchi depuis la surface 170 et il est diffracté par le réseau 130 selon l'ordre + 1. Le faisceau 160 est ensuite diffracté par le réseau 120 selon l'ordre -1 et il est de cette façon combiné avec le faisceau 150 selon un faisceau de sortie 180. La longueur d'onde équivalente A dans cet exemple est d'approximativement 8, 6 micromètres. La distance de travail W est égale à la distance h moins l'épaisseur du réseau 130. Par exemple, si les réseaux sont placés de manière à être espacés de 4 cm et s'ils présentent chacun une épaisseur de 1 cm, la distance detravail est de 3 cm. Puisque la longueur d'onde équivalente A est une fonction de l'angle d'incidence, il est possible d'obtenir deux longueurs d'onde équivalentes simultanées ou plus Al, A2... en disposant de façon symétrique une pluralité de sources et de détecteurs selon des angles d'incidence a 1, ae2... Une autre possibilité consiste à prévoir un réglage de l'appareil qui permette un angle d'incidence variable a, ce qui permet à l'utilisateur de choisir quelle longueur d'onde équivalente A convient le mieux pour une application particulière. La géométrie qui a la préférence et qui est représentée sur la figure 2 est totalement compatible avec un éclairement en lumière blanche de diffusion tel que généré par des sources à incandescence ordinaires et similaires. Ici, le terme "lumière blanche" se rapporte à un quelconque éclairement qui est caractérisé par une distribution spectrale importante par comparaison avec des lasers, des lampes à arc basse pression et des sources similaires d'un rayonnement sensiblement monochromatique, tel qu'un éclairement provenant d'une source de lumière spatialement incohérente large bande, et cette terminologie peut être satisfaite par exemple par une diode émettrice de lumière présentant une distribution spectrale importante par comparaison à des lasers. Sur la figure 2, il est clair que les faisceaux et 160 traversent tous deux une quantité égale de verre, parcourent sensiblement des longueurs de chemin optique égales, et se chevauchent sans cisaillement latéral sur la surface. Ceci constitue les conditions essentielles pour ce que l'on appelle une interférométrie à lumière blanche. En outre, puisque la longueur d'onde équivalente A est pratiquement indépendante de la longueur d'onde, les franges d'interférence dans la lumière blanche peuvent être distinguées sur une large plage de distances de mesure h pour une valeur fixe de h'. L'utilisation d'une source de lumière blanche simplifie significativement l'appareil de l'invention et réduit significativement son coût puisque des sources de lumière blanche sont largement disponibles, qu'elles sont moins coûteuses que des sources lasers et qu'elles ne produisent pas des effets d'interférence parasite non souhaitables. Du fait que la longueur d'onde équivalente est approximativement indépendante de la longueur d'onde de la source, le mode de réalisation représenté sur la figure 2 est dit être achromatique. Les franges d'interférence achromatiques sont définies au niveau des pages 181 et 182 du livre "Physical Optics", de Robert W. Wood, publié en premier en 1905 et récemment réimprimé par Optical Society of America (Washington, D.C. 1988). Plusieurs exemples d'interféromètres achromatiques classiques qui utilisent des réseaux de diffraction sont décrits dans l'article "Space-invariant achromatic grating interferometers: theory", de B. J. Chang, R. Alferness et E. N. Leith (Appl. Opt. 14(7), 1592-1600 (1975), bien qu'aucun de ces exemples n'utilise une longueur d'onde équivalente importante. La source 30 n'a pas par conséquent besoin d'être spatialement ou spectralement cohérente lorsqu'elle est utilisée en conjonction avec la présente invention et dans certains cas, il est avantageux d'utiliser des sources incohérentes. Cependant, ce fait ne préjuge pas de l'utilisation de sources spatialement ou spectralement cohérentes telles que des lasers. En outre, la source 30 n'a pas besoin d'être une unique source mais il peut s'agir d'une quelconque combinaison de sources, soit qu'elles fonctionnent en association soit qu'elles soient activées sélectivement, de manière à obtenir une flexibilité au niveau de l'utilisation de l'invention. Par conséquent, comme préalablement mentionné, la source 30 peut être large bande ou bande étroite ainsi que spatialement cohérente ou incohérente lorsqu'elle est utilisée en conjonction avec la présente invention. Un avantage supplémentaire de l'invention est qu'elle permet de mesurer de façon indépendante les surfaces avant et arrière d'un objet à plans parallèles partiellement transparent sans souffrir des problèmes de multiples réflexions qui sont caractéristiques des interféromètres de Fizeau de l'art antérieur. A cette fin, l'appareil de l'invention inclut de préférence une source de lumière spatialement étendue ou de diffusion telle qu'une ampoule à incandescence, une diode émettrice de lumière ou un laser muni d'un élément optique supplémentaire conçu pour réduire la cohérence spatiale du laser. Sur la figure 3 est représenté un objet à plans parallèles partiellement transparent 26 maintenu en position par un support 202 permettant de translater l'objet 26 de manière à modifier la distance h. Du fait que l'interférence peut seulement se produire avec une source spatialement incohérente pour des distances h sensiblement égales à la séparation de réseau de diffraction h', seulement la surface avant 176 de l'objet 26 contribue au motif d'interférence. La lumière réfléchie depuis la surface arrière 177 de l'objet 26 de la figure 3 ne contribue pas au motif de frange. Cependant, lorsque l'objet 26 est translaté par le support 202 de telle sorte que la surface arrière 177 de l'objet 26 soit à une distance h, comme représenté sur la figure 4, la surface avant 176 ne contribue plus à l'effet d'interférence. Ainsi, l'appareil et le procédé de la présente invention permettent de mesurer de façon indépendante les profils de surface avant et arrière d'un objet partiellement transparent. Un autre avantage de la présente invention est constitué par le fait que l'image d'interférence générée par la présente invention est sensiblement de la même nature, indépendamment de la sensibilité réduite de façon avantageuse, que des images générées par des interféromètres de l'art antérieur classiques bien qu'elle permette de surmonter les inconvénients des procédés de l'art antérieur pour mesurer des profils de surface. Par conséquent, plusieurs des procédés connus d'analyse de franges d'interférence sont toujours compatibles avec l'invention et peuvent être utilisés si on le souhaite. Bon nombre de ces procédés classiques sont enseignés dans le livre Optical Shop Testing. Par exemple, l'image d'interférence projetée sur le moniteur d'un ordinateur 10 peut être interprétée visuellement ou traitée au moyen de l'analyse du motif de franges d'interférence. L'image d'interférence est de préférence compatible avec plusieurs modules de logiciel d'ordinateur disponibles commercialement tels que le logiciel d'analyse de franges ZAPP distribué par Zygo Corporation (Middlefield, CT). Pour des mesures haute précision, il est préférable de prévoir un moyen mécanique permettant de déplacer avec précision l'assemblage optique de diffraction 70 ou l'un de ses composants ou l'objet lui- même de manière à générer des déphasages commandés dans le motif d'interférence, conformément à des procédés classiques auxquels il est fait appel dans l'art de l'interférométrie par déphasage (voir par exemple chapitre 12 du livre Optical Shop Testing). La figure 5 représente comment un tel moyen mécanique peut introduire des déphasages. Le réseau de diffraction 120 est représenté supporté par un support mécanique 201 permettant de modifier la séparation de réseau h'. Conformément à l'équation (3) mentionnée ci-avant, l'effet d'altération de la séparation de réseau h' consiste à modifier la différence de chemin optique OPD et par conséquent la phase interférométrique (p, comme on peut le voir par report à l'équation (2). Selon un procédé particulier de la présente invention, des motifs d'interférence sont enregistrés pour une séquence de déphasages espacés également produits en altérant la séparation de réseau h' au moyen du support mécanique 201. Ces motifs d'interférence sont traités pour générer une image de phase précise représentative du front d'onde réfléchi depuis l'objet transparent. L'appareil pour détecter, stocker et traiter les motifs est de préférence sensiblement le même que celui représenté sur la figure 1 et il est constitué par la caméra 110 et par l'ordinateur 10. Un autre avantage du dispositif de profilage de surface optique de la présente invention est qu'il est très aisé à aligner. Le motif de frange d'interférence est aisé à obtenir, du fait de la longueur d'onde équivalente importante A. En outre, il est possible de distinguer deux images sur le moniteur de l'ordinateur 10 (figure 1) lorsque l'objet n'est pas aligné de façon appropriée. Ainsi, une façon permettant d'obtenir un alignement par approximation consiste à régler l'objet jusqu'à ce que ces deux images soient superposées. La procédure est rendue plus claire si l'on se reporte à la figure 6(a) qui représente l'image avant alignement et à la figure 6(b) qui représente l'image après alignement. Plusieurs des techniques connues pour un alignement par interféromètre sont également compatibles avec l'invention. Bon nombre de ces techniques sont enseignées dans le livre mentionné ci-avant Optical Shop Testing. En plus de la forme présentement particulière de l'assemblage optique de diffraction représentée sur la figure 2, plusieurs autres modes de réalisation sont également possibles. Par exemple, une combinaison différente de réseaux de diffraction peut être choisie pour obtenir différents chemins pour les faisceaux 150 et 160 au travers de l'assemblage optique de diffraction 70 tout en orientant dans le même temps les faisceaux 150 et 160 de telle sorte qu'ils arrivent en incidence sur la surface de l'objet 170 au même endroit sur la surface mais selon deux angles d'incidence différents. Certains de ces autres modes de réalisation seront maintenant considérés par report aux figures 7 à 11. Sur la figure 7, on peut voir un autre mode de réalisation dans lequel un faisceau d'éclairement 62 et un faisceau réfléchi 77 partagent un collimateur commun 160. Le faisceau réfléchi est dirigé sur une caméra 110 par un séparateur de faisceau 69. La figure 8 représente un assemblage optique de diffraction approprié 72 pour cette configuration. L'assemblage optique de diffraction 72 est constitué par deux réseaux de diffraction 122 et 132 présentant sensiblement le même nombre de gorges par millimètre. On suppose par exemple que l'on sélectionne deux réseaux de diffraction 122 et 133 comportant 600 gpm. Pour cet exemple, un faisceau d'entrée 142 arrive en incidence sur le réseau 122 selon une incidence sensiblement normale. L'ordre diffracté zéro est par conséquent le faisceau 152 tandis que l'ordre diffracté -1 est le faisceau 162. Le réseau 132 diffracte ensuite le faisceau 152 selon l'ordre -1 pour un angle égal à 22,3 degrés. Le faisceau 162 est diffracté par le réseau 132 selon l'ordre +1 qui, dans ce cas, est sensiblement selon une incidence normale par rapport à la surface de l'objet et par conséquent 0=0. Après réflexion depuis la surface 170, le faisceau 152 est diffracté par le réseau 132 selon l'ordre -1 puis par le réseau 122 selon l'ordre + 1 de telle sorte qu'il sort du réseau 122 pratiquement perpendiculairement à sa surface. Dans le même temps, le faisceau 162 est réfléchi depuis la surface 170 et il diffracté par le réseau 132 selon l'ordre +1. Le faisceau 162 traverse ensuite le réseau 122 et il est combiné avec le faisceau 152 selon un faisceau de sortie 182. Une autre possibilité consiste à utiliser des hologrammes au lieu de réseaux de diffraction afin d'obtenir sensiblement le même résultat mais avec des avantages supplémentaires possibles constitués par la simplification de la conception optique et par la réduction des effets des diffractions parasites. La figure 9 représente une géométrie optique appropriée pour un mode de réalisation qui utilise un assemblage optique de diffraction 73 constitué par des éléments holographiques. Les éléments holographiques selon cet exemple diffèrent des réseaux de diffraction ordinaires en ce sens qu'ils divisent non seulement la lumière selon divers ordres de diffractions selon la forme des faisceaux 153 et 163 qui sont simultanément réfléchis en retour depuis la surface 170 mais qu'ils collimatent également et focalisent la lumière d'une manière analogue à des lentilles. Par conséquent, les lentilles de collimation 60 et 80 représentées sur la figure 1 ne sont pas nécessaires pour le mode de réalisation holographique représenté sur la figure 9. La figure 10 représente un agencement possible de deux éléments holographiques 123 et 133 dans l'assemblage optique de diffraction 73. Selon les deux modes de réalisation précédents représentés sur les figures 2 et 8, le nombre net de diffractions est égal à zéro tandis que pour le mode de réalisation holographique représenté sur la figure 10, le faisceau de sortie 183 correspond à une diffraction + 1 non compensée de l'hologramme 123. Cet ordre de diffraction focalise la lumière de telle sorte que des optiques de collimation supplémentaires ne sont pas nécessaires. L'hologramme 123 peut être généré photographiquement en l'exposant à deux fronts d'onde divergents conformément à des principes holographiques connus de l'art (voir par exemple le livre Optical Holography, de R. J. Collier, C.B. Burckhardt et L. H. Lin (Academic Press. Inc. New York, 1971). Un avantage supplémentaire de ce mode de réalisation est constitué par le fait que des ordres de diffraction parasites ne sont pas focalisés de façon appropriée et sont par conséquent davantage aisément rejetés de l'image souhaitée. La figure 11 représente encore un autre mode de réalisation de la présente invention qui est sensiblement le même que le mode de réalisation présentement particulier de la figure 1 mais moyennant l'ajout de divers éléments optiques qui peuvent s'avérer avantageux pour la commercialisation de l'instrument. Par report à la figure 11, on peut voir une source de laser 34 qui émet un faisceau 39, lequel est focalisé par une lentille 44 de manière à créer un faisceau divergent 39. Le faisceau 39 traverse un filtre de densité neutre variable 54 qui est utilisé pour optimiser le niveau d'intensité lumineuse en fonction de la réflectivité de l'objet 20. Deux diaphragmes 94 et 81 qui commandent la taille du faisceau d'éclairement et qui bloquent des faisceaux parasites pour les empêcher d'atteindre la caméra 110 sont également représentés sur la figure 11. La figure 11 représente également un moniteur d'image 11 qui permet une visualisation continue du signal de caméra. Un moyen 250 permettant d'introduire des déphasages commandés dans le motif d'interférence, selon l'agencement représenté sur la figure 5, est également représenté sur la figure 11. L'homme de l'art appréciera que des substitutions, omissions et variations supplémentaires au niveau de la forme ou du détail des procédés et appareils décrits puissent être apportées sans que l'on s'écarte ni de l'esprit ni du cadre de la présente invention. L'assemblage optique de diffractions décrit ici peut également être utilisé pour modifier des moyens optiques et électroniques connus pour éclairer des objets et former des images de ceux-ci afin de générer un motif d'interférence à l'aide d'une longueur d'onde équivalente importante. Par exemple, l'assemblage optique de diffraction peut être utilisé en conjonction avec un système d'objectif de microscope et d'optique classique permettant de visualiser et de caractériser des objets microscopiques. En utilisant le procédé et l'appareil de la présente invention, un profil optique est obtenu, lequel a la capacité de mesurer des surfaces rugueuses, de mesurer des surfaces présentant des déformations importantes et des pentes importantes, de mesurer des surfaces en utilisant pratiquement n'importe quelle source de lumière, y compris une lumière blanche de diffusion, de mesurer des objets partiellement transparents comportant des surfaces planes parallèles, présente une compatibilité avec des procédés connus d'analyse de franges d'interférence, est aisé à aligner, présente un contraste de franges excellent puisque les deux faisceaux d'interférence sont réfléchis depuis la surface de l'objet, présente une efficacité lumineuse élevée, présente une sensibilité réduite aux vibrations et mesure à la fois des surfaces haute et basse réflectivités tout en assurant une distance de travail pratique pour la mesure, ceci sans faire appel à des composants ou des dispositifs coûteux ou encombrants. REVENDICATIONS 1. Procédé pour profiler une surface d'objet à une distance de travail utile en utilisant des franges d'interférence désensibilisées, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes de: éclairement d'un assemblage optique de diffraction à l'aide d'une source de lumière; division de la lumière de source éclairant ledit assemblage optique de diffraction en deux faisceaux qui se propagent suivant deux directions différentes au travers dudit assemblage optique de diffraction, lesdits faisceaux sortant dudit assemblage optique de diffraction sensiblement en chevauchement au niveau de ladite surface d'objet à une distance de travail appropriée, lesdits faisceaux arrivant en incidence sur ladite surface d'objet sensiblement au même endroit selon deux angles d'incidence différents; réflexion desdits faisceaux arrivant en incidence depuis ladite surface d'objet en retour sur ledit assemblage optique de diffraction, lesdits faisceaux réfléchis traversant en retour ledit assemblage optique de diffraction suivant différentes directions; et recombinaison desdits faisceaux réfléchis traversant en retour ledit assemblage optique de diffraction pour former un motif d'interférence représentatif du profil de surface de ladite surface d'objet, ledit motif d'interférence présentant une sensibilité réduite par rapport à une déformation de surface et à une rugosité de surface, ladite surface d'objet pouvant être placée à une distance de travail relativement importante. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite étape d'éclairement comprend l'étape d'éclairement dudit assemblage optique de diffraction à l'aide d'une source de lumière incohérente spatialement large bande. 3. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite source de lumière incohérente spatialement large bande comprend une source de lumière blanche. 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que ladite source de lumière blanche comprend une source de lumière blanche de diffusion. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite surface d'objet comprend une surface d'un objet à plans parallèles partiellement transparent. 6. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite source de lumière comprend une ampoule à incandescence. 7. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que ladite source de lumière comprend une diode émettrice de lumière. 8. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite étape d'éclairement comprend l'étape d'éclairement dudit assemblage optique de diffraction à l'aide d'une source de lumière cohérente spatialement large bande. 9. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite étape d'éclairement comprend l'étape d'éclairement dudit assemblage optique de diffraction à l'aide d'une source de lumière incohérente spatialement bande étroite. 10. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite étape d'éclairement comprend l'étape d'éclairement dudit assemblage optique de diffraction à l'aide d'une source de lumière cohérente spatialement bande étroite. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que ladite source de lumière cohérente spatialement bande étroite comprend un laser. 12. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite étape de recombinaison comprend en outre l'étape de transduction photosensible desdits faisceaux recombinés pour produire des images électroniques correspondant audit motif d'interférence. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape de traitement de données desdites images électroniques pour produire une image de ladite surface d'objet. 14. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape de détermination d'une hauteur de surface à partir de données associées audit motif d'interférence. 15. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite lumière de source présente une longueur d'onde d'éclairement associée et ledit motif d'interférence présente une longueur d'onde équivalente associée supérieure à ladite longueur d'onde d'éclairement, ladite longueur d'onde efficace dépendant desdits angles d'incidence sur ladite surface d'objet. 16. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape de modification desdits angles d'incidence afin d'obtenir une longueur d'onde efficace optimum souhaitée. 17. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que ladite longueur d'onde efficace est représentée par l'expression 2ir A-= do / dh o A est la longueur d'onde efficace, d(p est une faible variation de la phase d'interférence correspondant à une faible variation dh de la distance h depuis l'objet jusqu'audit assemblage optique de diffraction et qp est la différence de phase interférométrique entre lesdits deux faisceaux arrivant en incidence sur ladite surface d'objet qui est représentée par l'expression OPD (p = 2n x o x est la longueur d'onde d'éclairement moyenne et OPD est la différence des chemins optiques traversés par deux faisceaux. 18. Procédé selon la revendication 17, caractérisé en ce que ledit assemblage optique de diffraction comprend deux réseaux de diffraction, la différence des chemins optiques traversés par les deux faisceaux étant représentée par l'expression: OPD = 2(h - h') co() cos(4) o 0 est l'angle d'incidence du faisceau de sortie par rapport à la surface d'objet, 4 est l'angle d'incidence de l'un desdits faisceaux traversant ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet, h est la distance depuis la surface d'objet jusqu'au réseau de diffraction le plus proche de ladite surface d'objet et h' est la distance entre les réseaux de diffraction constituant ledit assemblage optique de diffraction, ladite distance de travail comprenant la distance h moins l'épaisseur du réseau de diffraction le plus proche de ladite surface d'objet. 19. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que ladite longueur d'onde efficace est représentée par l'expression A= cos(O) - cos(4) o O est l'angle d'incidence du faisceau de sortie par rapport à la surface d'objet et 4 est l'angle d'incidence de l'un desdits faisceaux traversant ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet, et ainsi une quelconque longueur d'onde efficace A > x peut être créée au moyen d'un choix approprié desdits angles 0, 4. 20. Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que ladite surface d'objet comprend une surface avant dudit objet à plans parallèles partiellement transparent, ledit objet comportant des surfaces avant et arrière, ledit procédé comprenant en outre l'étape de mesure de façon indépendante des surfaces avant et arrière dudit objet à plans parallèles partiellement transparent. 21. Procédé selon la revendication 20, caractérisé en ce que ledit assemblage optique de diffraction comprend deux réseaux de diffraction, la différence des chemins optiques traversés par les deux faisceaux étant représentée par l'expression: OPD = 2(h - h') ( cos(0) cos()) o 0 est l'angle d'incidence du faisceau de sortie par rapport à la surface d'objet, 4 est l'angle d'incidence de l'un desdits faisceaux traversant ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet, h est la distance depuis la surface d'objet jusqu'au réseau de diffraction le plus proche de ladite surface d'objet et h' est la distance entre les réseaux de diffraction constituant ledit assemblage optique de diffraction, ladite distance de travail comprenant la distance h moins l'épaisseur du réseau de diffraction le plus proche de ladite surface d'objet. 22. Procédé selon la revendication 21, caractérisé en qu'il comprend l'étape de positionnement de la surface d'objet de manière à ce qu'elle soit profilée à ladite distance h par rapport audit assemblage optique de diffraction. 23. Procédé selon la revendication 21, caractérisé en ce que ladite lumière de source présente une longueur d'onde d'éclairement associée et ledit motif d'interférence présente une longueur d'onde équivalente associée supérieure à ladite longueur d'onde d'éclairement, ladite longueur d'onde efficace dépendant desdits angles d'incidence sur ladite surface d'objet. 24. Procédé selon la revendication 23, caractérisé en ce que ladite longueur d'onde efficace est représentée par l'expression: A = cos(e) cos(4) o 0 est l'angle d'incidence du faisceau de sortie par rapport à la surface d'objet et * est l'angle d'incidence de l'un desdits faisceaux traversant ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet et ainsi, une quelconque longueur d'onde efficace A > X peut être créée au moyen d'un choix approprié desdits angles e,. 25. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape de génération de déphasages commandés dans ledit motif d'interférence. 26. Procédé selon la revendication 23, caractérisé en ce que l'étape de génération de déphasages commandés comprend l'étape de déplacement d'au moins une partie dudit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet. 27. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit assemblage optique de diffraction comprend des éléments holographiques. 28. Dispositif de profilage de surface optique pour profiler une surface d'objet en utilisant des franges d'interférence désensibilisées à une distance de travail utile, caractérisé en ce que lesdits profils comprennent une source d'éclairement (30); un assemblage optique de diffraction (70, 72, 73) aligné optiquement entre ladite source d'éclairement et ladite surface d'objet (20), ladite source d'éclairement éclairant ledit assemblage optique de diffraction, ledit assemblage optique de diffraction (70, 72, 73) comprenant un moyen pour diviser la lumière de source éclairant ledit assemblage optique de diffraction en deux faisceaux qui se propagent selon deux directions différentes (150, 160; 152, 162; 153, 163) au travers dudit assemblage optique de diffraction, lesdits faisceaux sortant dudit assemblage optique de diffraction et arrivant en incidence sur ladite surface d'objet sensiblement au même endroit selon deux angles d'incidence différents, ladite surface d'objet réfléchissant lesdits faisceaux arrivant en incidence depuis ladite surface d'objet en retour en direction dudit assemblage optique de diffraction, lesdits faisceaux réfléchis traversant en retour ledit assemblage optique de diffraction selon des directions différentes; un moyen pour recombiner lesdits faisceaux réfléchis pour former un motif d'interférence représentatif du profil de surface de ladite surface d'objet et ainsi, une distance de travail relativement importante entre ledit assemblage optique de diffraction et ladite surface d'objet peut être obtenue à l'aide d'un motif d'interférence présentant une sensibilité réduite à une déformation et une rugosité de surface. 29. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce que ladite source d'éclairement comprend une source de lumière incohérente spatialement large bande. 30. Dispositif de profilage optique selon la revendication 29, caractérisé en ce que ladite source de lumière incohérente spatialement comprend une source de lumière blanche. 31. Dispositif de profilage optique selon la revendication 30, caractérisé en ce que ladite source de lumière blanche comprend une source de lumière blanche de diffusion. 32. Dispositif de profilage optique selon la revendication 29, caractérisé en ce que ladite surface d'objet comprend une surface d'un objet à plans parallèles partiellement transparent. 33. Dispositif de profilage optique selon la revendication 32, caractérisé en ce que ladite surface d'objet comprend une surface avant dudit objet à plans parallèles partiellement transparent, ledit objet comportant des surfaces avant (176) et arrière (177), ledit dispositif de profilage comprenant en outre un moyen pour translater (202, 210) ledit objet de façon sélective afin de disposer soit ladite surface arrière soit ladite surface avant au niveau d'un plan commun au niveau duquel lesdits faisceaux arrivent en incidence sur ladite surface d'objet disposée sélectivement au même endroit selon deux angles d'incidence différents tandis que ladite autre surface d'objet est déplacée par rapport audit plan commun et ainsi, lesdites surfaces avant et arrière dudit objet à plans parallèles partiellement transparent peuvent être mesurées de façon indépendante. 34. Dispositif de profilage optique selon la revendication 33, caractérisé en ce que ledit assemblage optique de diffraction comprend une paire de réseaux de diffraction, la différence des chemins optiques traversés par les deux faisceaux étant représentée par l'expression: OPD = 2(h - h') cos(O) co1 s) o 0 est l'angle d'incidence du faisceau de sortie par rapport à la surface d'objet, 4 est l'angle d'incidence de l'un desdits faisceaux traversant ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet, h est la distance depuis la surface d'objet jusqu'au réseau de diffraction le plus proche de ladite surface d'objet et h' est la distance entre les réseaux de diffraction constituant ledit assemblage optique de diffraction, ladite distance de travail comprenant la distance h moins l'épaisseur du réseau de diffractions le plus proche de ladite surface d'objet. 35. Dispositif de profilage optique selon la revendication 34, caractérisé en ce que ledit moyen de translation comprend un moyen (202, 210) pour placer ladite surface d'objet à profiler à ladite distance h par rapport audit assemblage optique de diffraction, ladite distance h étant localisée dans ledit plan commun. 36. Dispositif de profilage optique selon la revendication 34, caractérisé en ce que ladite lumière de source présente une longueur d'onde d'éclairement associée et ledit motif d'interférence présente une longueur d'onde équivalente associée supérieure à ladite longueur d'onde d'éclairement, ladite longueur d'onde efficace dépendant desdits angles d'incidence sur ladite surface d'objet. 37. Dispositif de profilage optique selon la revendication 36, caractérisé en ce que ladite longueur d'onde efficace est représentée par l'expression: A= cos(O) - cos(4) o O est l'angle d'incidence du faisceau de sortie par rapport à la surface d'objet et * est l'angle d'incidence de l'un desdits faisceaux traversant ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet et ainsi, une quelconque longueur d'onde efficace A > x peut être créée au moyen d'un choix approprié desdits angles 0, Q. 38. Dispositif de profilage optique selon la revendication 29, caractérisé en ce que ladite source d'éclairement comprend une lampe à incandescence. 39. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce que ladite source d'éclairement comprend une source de lumière cohérente spatialement large bande. 40. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce que ladite source d'éclairement comprend une source de lumière incohérente spatialement bande étroite. 41. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce que ladite source d'éclairement comprend une source de lumière cohérente spatialement bande étroite. 42. Dispositif de profilage optique selon la revendication 41, caractérisé en ce que ladite source de lumière cohérente spatialement bande étroite comprend un laser. 43. Dispositif de profilage optique selon la revendication 29, caractérisé en ce que ladite source d'éclairement comprend une diode émettrice de lumière. 44. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce que ladite lumière de source présente une longueur d'onde d'éclairement associée et ledit motif d'interférence présente une longueur d'onde équivalente associée supérieure à ladite longueur d'onde d'éclairement, ladite longueur d'onde efficace dépendant desdits angles d'incidence sur ladite surface d'objet. 45. Dispositif de profilage optique selon la revendication 44, caractérisé en ce que ladite longueur d'onde efficace est représentée par l'expression: 2x A - dp / dh o A est la longueur d'onde efficace, dp est une faible variation de la phase d'interférence correspondant à une faible variation dh de la distance h depuis l'objet jusqu'audit assemblage optique de diffraction et (p est la différence de phase interférométrique entre lesdits deux faisceaux arrivant en incidence sur ladite surface d'objet qui est représentée par l'expression 2OPD (p = 27 OPD o A est la longueur d'onde d'éclairement moyenne et OPD est la différence des chemins optiques traversés par les deux faisceaux. 46. Dispositif de profilage optique selon la revendication 45, caractérisé en ce que ledit assemblage optique de diffraction comprend deux réseaux de diffraction, la différence des chemins optiques traversés par les deux faisceaux étant représentée par l'expression: OPD = 2(h - h') ( cos(O) cos() o 0 est l'angle d'incidence du faisceau de sortie par rapport à la surface d'objet, * est l'angle d'incidence de l'un desdits faisceaux traversant ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet, h est la distance depuis la surface d'objet jusqu'au réseau de diffractions le plus proche de ladite surface d'objet et h' est la distance entre les réseaux de diffraction constituant ledit assemblage optique de diffraction, ladite distance de travail comprenant la distance h moins l'épaisseur du réseau de diffraction le plus proche de ladite surface d'objet. 47. Dispositif de profilage optique selon la revendication 44, caractérisé en ce que ladite longueur d'onde efficace est représentée par l'expression: A= cos(O) - cos() o O est l'angle d'incidence du faisceau de sortie par rapport à la surface d'objet et * est l'angle d'incidence de l'un desdits faisceaux traversant ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet et ainsi, une quelconque longueur d'onde efficace A Ä X peut être créée au moyen d'un choix approprié desdits angles 0, Q. 48. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un moyen pour générer des déphasages commandés dans ledit motif d'interférence. 49. Dispositif de profilage optique selon la revendication 48, caractérisé en ce que ledit moyen de génération de déphasage comprend un moyen (202, 210) pour déplacer ledit assemblage optique de diffraction par rapport à ladite surface d'objet. 50. Dispositif de profilage optique selon la revendication 49, caractérisé en ce que ledit assemblage optique de diffraction comprend au moins deux réseaux de diffraction espacés, ledit moyen de déplacement (202, 210) comprend un moyen pour déplacer au moins l'un desdits réseaux de diffraction par rapport aux autres. 51. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce que ledit assemblage optique de diffraction comprend des éléments holographiques. 52. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce que ledit assemblage optique de diffraction comprend une pluralité de réseaux de diffraction. 53. Dispositif de profilage optique selon la revendication 28, caractérisé en ce que ledit moyen de recombinaison comprend en outre un moyen de transducteur photosensible pour produire des images électroniques correspondant audit motif d'interférence à partir desdits faisceaux recombinés. 54. Dispositif de profilage optique selon la revendication 53, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un moyen de traitement de données (10) pour traiter des données desdites images électroniques pour produire une image de ladite surface d'objet. 55. Dispositif de profilage optique selon la revendication 44, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un moyen pour modifier lesdits angles d'incidence afin d'obtenir une longueur d'onde efficace optimum souhaitée..