Brevet FR2729232A1 — publié le 19960712

DISPOSITIF OPTIQUE POUR APPLICATION OPTOMECANIQUE DESCRIPTION Domaine technique auquel se rapporte l'invention La présente invention concerne le domaine de l'optomécanique, c'est-à-dire l'ensemble des composants d'optique intégrée associés à une structure mécanique gravée dans le même matériau. Même si les domaines de l'optique intégrée et de la micromécanique, pris séparément, sont bien développés, l'union des deux, c'est-à-dire l'optomécanique, est une démarche récente. La présente invention s'applique à l'optomécanique dans divers domaines, tels que les télécommunications optiques ou encore les capteurs optomécaniques (par exemple: accélérométrie optomécanique). Etat de la technique Toute fonction optomécanique passe nécessairement par le déplacement relatif de l'extrémité d'un guide optique par rapport à l'extrémité d'un autre guide optique. Dans le cas de la commutation optomécanique, ce déplacement est commandable extérieurement. Dans le cas des capteurs optomécaniques, c'est le phénomène physique à mesurer (accélération, vibration, etc.) qui va provoquer ce déplacement de l'extrémité du guide. Par ailleurs, un système d'optomécanique utilisant de l'optique intégrée nécessite le dépôt de couches minces sur un substrat. De par les techniques et les matériaux utilisés, les couches ainsi réalisées présentent des contraintes dans leur épaisseur, liées par exemple à la différence de coefficient de dilatation en fonction de la température, contraintes qui peuvent être en outre inhomogènes. Il s'ensuit une B 12101.3/PM 2 2729232 déformation parasite du système, qui est gênante pour la réalisation de dispositifs optomécaniques. En général, l'optique intégrée ne peut se permettre de telles déformations, qui peuvent conduire à désaxer ou à décaler des structures de guide optique l'une par rapport à l'autre. En effet, dans de telles structures, des décalages de l'ordre du micron entrainent des pertes optiques importantes. L'art antérieur propose, dans le domaine de l'optomécanique, des structures mécaniques avec une poutre contenant un guide optique, fixée à une extrémité à la structure fixe du dispositif et libre à l'autre extrémité. Un tel dispositif est décrit dans le brevet français FR-A-2 660 444 (US-A-5 078 514). La structure du commutateur décrit dans ce brevet va être brièvement rappelée, en liaison avec la figure 1. Le commutateur comprend une couche plane, ou structure guide 8 (qui peut être composée d'une ou plusieurs couches), qui est réalisée sur un substrat 10 par exemple en silicium monocristallin, et qui présente une face d'entrée E et une face de sortie S, obtenues par exemple par clivage. La structure guide 8 comporte par exemple une couche tampon 12 en oxyde de silicium (8 à 12 pm d'épaisseur), et une couche supérieure 16 en silice (2 à 10 pn d'épaisseur), cette dernière pouvant, pour certaines applications être remplacée par de l'air. La structure guide comprend également un microguide d'entrée 18 et deux microguides de sortie 20 et 22, en oxyde de silicium dopé par exemple par du phosphore, de 2 à 6 Non de hauteur et de 2 à 8 pm de large. Les microguides 18 et 20 sont parallèles à une direction x elle- même parallèle à la plus grande surface 8a de la couche plane ou structure guide 8, et ils sont disposés dans le prolongement l'un de l'autre B 12101.3/PM 3 2729232 et de part et d'autre d'un évidement 24 traversant la structure guide 8. Un autre microguide de sortie 22 est situé du même côté de l'évidement 24 que le microguide et est adjacent à ce dernier. Ce microguide 22 comporte, du côté de la sortie S du commutateur, une partie 21, strictement parallèle au microguide 20 et, du côté de l'évidement 24, une partie 23 formant un angle rentrant A avec la partie 21, d'une valeur comprise entre 0,06 et 6 environ, cette valeur étant liée à la longueur de la poutre. D'autres structures peuvent être utilisées, par exemple celles obtenues par échange d'ions dans des substrats de type verre, niobate de lithium ou par dépôts ou gravures de couches du type silice, Si3N4, SiOxNy, AsGa, InP, etc..., le confinement latéral dans le microguide n'étant pas forcément obtenu par gravure de la couche formant le microguide. L'évidement 24 définit, dans la structure 8 fixe, une poutre flexible 26 orientée au repos parallèlement à la direction x, cette poutre pouvant se déformer dans l'évidement 24 selon une direction y, parallèle à la surface 8a de la structure guide (qui, elle, définit une partie fixe) et perpendiculaire à la direction x. Cette poutre 26 comprend une extrémité fixe 28, solidaire de la structure guide 8, et une extrémité libre 30 apte à se déplacer dans l'évidement 24. Dans le prolongement du microguide 18 d'entrée, un microguide central 32 s'étend sur toute la longueur de la poutre 26, son extrémité 33 débouchant à l'extrémité 30 de celle-ci. La commutation du faisceau incident véhiculé par le microguide d'entrée vers le microguide de sortie est assurée en amenant l'extrémité libre 33 du microguide central de la poutre en face et en coincidence avec l'extrémité d'entrée 20a du microguide B 12101.3/PM 4 2729232 de sortie 20. La commutation vers le microguide de sortie 22 se fait en amenant l'extrémité libre 33 du microguide central en face et en coiïncidence avec l'extrémité d'entrée 22a du microguide de sortie 22. La paroi interne de l'évidement 24, en regard de l'extrémité libre 30 de la poutre, est constituée de deux parties 34a et 34b formant un angle rentrant de valeur proche ou identique à l'angle A. Les déformations de la poutre pour amener celle-ci en coïncidence avec l'un ou l'autre des microguides de sortie, sont assurées, dans le mode de réalisation représenté sur la figure 1, à l'aide de condensateurs de capacité variable. A cet effet, les surfaces latérales de l'évidement 24, au niveau de la structure guide 8, orientées selon la direction x, sont équipées de métallisations respectivement 36 et 46. Par ailleurs, les faces latérales de la poutre 26 en regard, orientées sensiblement selon la direction x lorsque celle-ci est au repos, sont équipées de métallisations respectivement notées 38 et 44. Les métallisations 36 et 38 sont reliées à une source d'alimentation électrique 40, les métallisations 44 et 46 sont reliées à une source d'alimentation électrique 48. L'application d'une tension convenable aux bornes de la paire de condensateurs ainsi formée crée une force capacitive orthogonale aux plans formés par les métallisations qui est sensiblement parallèle à la direction y et qui entraîne une déformation de la poutre 26 selon cette direction y. Cette force Fc permet un déplacement latéral Yc de l'extrémité libre de la poutre 26, selon y, qui est donné par l'équation: Yc = 312Fc. h-1.()3.E-1 o E est le module d'Young, 1 la largeur de la poutre selon la direction y, L la longueur de la poutre selon B 12101.3/PM 2729232 la direction x et h l'épaisseur de la poutre selon la direction z. Le procédé de fabrication de cette structure est détaillé dans le brevet mentionné ci-dessus en référence. Ce procédé fait intervenir: - une étape de formation de la couche 12, par exemple par oxydation thermique du substrat 10, - le dépôt d'une couche de silice par LPCVD ou par PECVD, - une étape de gravure réalisée à travers un masque défini par photolithographie pour obtenir les microguides, - une étape de dépôt de la couche 16 par technique de dépôt chimique en phase vapeur basse pression (LPCVD), ou assisté plasma (PECVD), - des étapes de gravure anisotrope et isotrope du type gravure ionique réactive avec, soit du CHF3, soit du SF6; ces dernières étapes de gravure permettent de dégager la poutre 26 de son substrat. Un premier problème rencontré avec ce type de dispositif est la nécessité, lorsque l'on désire réaliser une commutation de n guides optiques vers m guides optiques, d'utiliser au moins deux poutres telles que celles décrites ci-dessus, montées en cascade. Par ailleurs, l'étape de réalisation de la poutre en particulier en silice, par dépôt PECVD, avec différents dopages en phosphore, conduit à un gradient de contraintes selon la direction verticale z, qui est à l'origine d'une déformation du système. Ceci est illustré sur la figure 2a, o les références numériques identiques à celles de la figure 1 y désignent les mêmes éléments. Cette figure représente la structure obtenue avant l'étape de dégagement de la poutre. Sur cette figure 2a, o2 désigne la contrainte à l'interface B 12101.3/PM 6 2729232 substrat 10-couche mince (12, 32, 16) et a1 désigne la contrainte à la surface de la couche mince. Du fait des différences de nature entre les sous-couches 12, 32 et 16, ainsi que des différences de dopage en phosphore dans la couche, il apparaît un gradient de contraintes dans la couche mince: la contrainte a2 est inférieure à la contrainte a1- Ceci conduit, lorsque l'on dégage la poutre 26, c'est-à-dire lorsque l'on creuse la cavité 24 sous la poutre 26, à une déviation verticale de cette poutre qui désaxe complètement les guides optiques d'entrée et de sortie, ce qui rend le commutateur optique parfaitement inopérant, comme illustré sur la figure 2b. D'autre part, la commutation nécessite la déformation de la poutre (dans le plan xy, voir figure 1), dont une extrémité est rattachée à la partie fixe, ce qui, combiné au fait que la poutre contient un microguide et doit donc avoir des dimensions minimale, entraîne que la partie mobile nécessite une énergie de commande élevée lors de son mouvement. Les problèmes qui se posent dans le domaine des capteurs, par exemple des capteurs de vibration, sont les mêmes que ceux qui se posent pour les commutateurs en ce qui concerne les déformations (voir figures 2a et 2b). Le fait que, là encore, un signal soit obtenu par déplacement d'une poutre rattachée à une partie fixe, poutre qui, pour les mêmes raisons que ci-dessus, doit avoir des dimensions minimales, entraîne une limitation dans la sensibilité de ces capteurs. En outre, dans le domaine des capteurs, l'art antérieur propose une structure mobile comportant un seul guide optique. La structure mobile se déplace sous l'action d'une force extérieure. Ce dispositif module l'intensité lumineuse le traversant mais cette B 12101.3/PM 7 2729232 modulation ne permet pas de remonter au sens du déplacement. Exposé de l'invention Afin de résoudre ces problèmes, la présente invention a pour objet un dispositif optomécanique comportant, dans une structure guidante réalisée en optique intégrée, une partie fixe et une partie mobile reliée à la partie fixe, cette partie mobile étant située entre i microguides de sortie formés dans la partie fixe et j microguides d'entrée formés également dans la partie fixe, caractérisé en ce que la partie mobile comporte une masse qui n'est reliée que par des bras de fixation à la partie fixe, de façon à permettre le déplacement de la masse dans une première direction, cette masse comprenant k microguides pour permettre la commutation d'un faisceau lumineux d'un des j microguides d'entrée vers un des i microguides de sortie. Avec une telle structure, il est possible de choisir les microguides d'entrée et de sortie en nombre i et j quelconques: il n'est plus nécessaire de réaliser des cascades de dispositif de commutation. Par ailleurs, la partie mobile étant complètement découplée de la partie fixe, il est possible de la déplacer avec une énergie beaucoup moins importante que dans le cas d'une poutre telle que celle décrite dans le brevet FR-A-2 660 444. Enfin, dans le cas o ce dispositif est utilisé dans un capteur, la sensibilité de ce dernier se trouve accrue du fait, également, du découplage des deux parties mobile et fixe. En outre, les bras de fixation de la partie mobile et la partie fixe ne sont pas traversés par des guides d'onde, il est donc possible de les dimensionner sans être tributaire de la présence de ces microguides. B 12101.3/PM 8 2729232 Il est possible de réaliser des structures en cascade, avec des parties mobiles reliées à la partie fixe uniquement par des bras de fixation, ces différentes parties mobiles ne nécessitant alors que peu d'énergie pour être déplacées ou offrant, dans le cas du capteur, une plus grande sensibilité. Ainsi, l'invention a également pour objet un dispositif optomécanique comportant, dans une structure guidante réalisée en optique intégrée, une partie fixe et N parties mobiles M1, M2,..., MN reliées à la partie fixe, ces parties mobiles étant situées entre j microguides d'entrée formés dans la partie fixe et i microguides de sortie formés également dans la partie fixe, caractérisé en ce que les parties mobiles comportent chacune une masse qui n'est reliée que par des bras de fixation à la partie fixe, de façon à permettre le déplacement de chaque masse dans une première direction, la masse M1 comportant k1 microguides de façon à pouvoir commuter un faisceau lumineux d'un des j microguides d'entrée vers un des k2 microguides de la masse M2, chaque masse Mn (N>n>2) comportant kn microguides de façon à pouvoir commuter un faisceau lumineux d'un des kn_1 microguides de la masse Mn_1 vers un des kn+l microguides de la masse Mn+1, la masse MN comportant kN microguides de façon à pouvoir commuter un faisceau lumineux d'un des kN_1 microguides de la masse MN_1 vers un des i microguides de sortie situé dans la partie fixe. Selon ce deuxième dispositif, les bras ne sont pas traversés par des guides d'onde et on peut les dimensionner indépendamment de la présence de microguides. Dans le cadre de la présente invention, afin de diminuer encore d'éventuels gradients de contrainte résiduelle dans une structure mobile, il est possible B 12101.3/PM 9 2729232 de relier cette structure par au moins deux points aux bras de fixation. Un bras de fixation présente une configuration optimale, lorsqu'il contribue à la fois à résoudre le problème de la rigidité de manière à limiter les déformations d'une partie mobile suivant une deuxième direction et le problème de l'énergie minimale (ou la sensibilité maximum pour les capteurs) lorsque ce bras présente une souplesse suffisante suivant la première direction. Ainsi, la souplesse suivant la première direction permet un déplacement de la masse à laquelle est rattaché le bras, sans entraver le déplacement de cette partie mobile selon cette première direction; une rigidité suffisante suivant la deuxième direction, suivant laquelle des déformations peuvent apparaître, permet de limiter les déformations de la partie mobile suivant cette deuxième direction. Les première et deuxième direction peuvent être perpendiculaires entre elles. D'autre part, un bras peut avoir diverses formes: - une forme d'équerre avec deux segments perpendiculaires l'un par rapport à l'autre, - une forme en "U" avec une branche rajoutée de manière sensiblement perpendiculaire à l'extrémité libre de chaque branche latérale du "U", - une forme droite. Par ailleurs, selon un autre mode particulier de réalisation, au moins deux bras peuvent relier une même partie mobile à la partie fixe par l'intermédiaire d'un cadre déformable. Afin de résoudre, dans le cadre de la présente invention, le problème du poids d'une partie mobile, cette dernière peut comporter, en dehors des B 12101.3/PM 2729232 microguides quelle contient, au moins un évidement permettant de l'alléger. L'invention a également pour objet un commutateur optomécanique comportant un dispositif tel que décrit ci-dessus, et des moyens pour commander le déplacement de la ou d'au moins une des parties mobiles. Ces moyens peuvent être des moyens électrostatiques, par exemple des électrodes de commande appliquées sur les bras de la partie mobile ou d'au moins une partie mobile. Selon une variante, les moyens de commande de déplacement d'une partie mobile peuvent être constitués par un peigne électrostatique relié à cette partie mobile. L'invention a également pour objet un capteur optomécanique comportant un dispositif tel que décrit ci-dessus, avec selon un mode avantageux i=2, j=l et k=2. Brève description des figures De toute façon, les caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur les exemples de réalisation, donnés à titre explicatif et non limitatif, en se référant à des dessins annexés sur lesquels: - la figure 1 représente un commutateur optomécanique selon l'art antérieur, - les figures 2a et 2b représentent des étapes de réalisation d'un commutateur optomécanique selon l'art antérieur, avant (figure 2a) et après (figure 2b) gravure du substrat, B 12101.3/PM il 2729232 - les figures 3a et 3b illustrent le principe d'un commutateur selon l'invention, pour un microguide d'entrée et deux microguides de sortie, - la figure 4 représente un dispositif dont la partie mobile comporte deux guides courbes avec système de commande électrostatique, la figure Sa représente un commutateur optomécanique avec peigne électrostatique, - les figures 5b et 5c illustrent le dimensionnement d'un peigne électrostatique, - la figure 6 représente une partie mobile d'un commutateur ou d'un capteur relié à la partie fixe par des bras en forme de cadre déformable, - la figure 7 représente une partie mobile d'un commutateur ou d'un capteur relié à la partie fixe par des bras en forme de "U", - la figure 8 représente une partie mobile d'un commutateur ou d'un capteur relié à la partie fixe par des bras de forme droite, - la figure 9 représente de façon plus détaillée un bras de compensation en forme de "U", - la figure 10 représente une partie mobile, avec ses bras de fixation, ayant une forme assurant un bon guidage et minimisant son poids, - la figure 11 représente un commutateur ou un capteur optique à trois voies, - la figure 12 représente un dispositif permettant la commutation parallèle de deux guides d'entrée sur quatre guides de sortie, - la figure 13 représente deux parties mobiles indépendantes, en cascade, - la figure 14 représente un commutateur 2x2 à une seule partie mobile, la figure 15 représente un accéléromètre ou capteur de vibration optique, B 12101.3/PM 12 2729232 - les figures 16a et 16b représentent, en fonction du déplacement de la partie mobile, les signaux optiques obtenus par les guides de sortie, et la différence entre ces deux signaux. Description détaillée de modes de réalisation de l'invention Le principe de l'invention va être exposé en liaison avec les figures 3a et 3b. Ces figures représentent, en vue de dessus, un dispositif comportant une partie fixe 50 et une partie mobile 52, la partie fixe comportant un microguide d'entrée 54 et deux microguides de sortie 56, 58. La structure fixe 50 est en fait similaire à celle décrite ci-dessus en liaison avec la figure 1. Seule la forme de la zone gravée est modifiée, de façon à dégager une structure mobile 52 qui ne soit plus reliée directement à la zone de la partie fixe qui contient le microguide d'entrée 54. Par contre, la partie mobile 52 est reliée à la partie fixe 50 par des bras de fixation 62, 64, 66, 68. Ces bras doivent permettre le déplacement de la partie mobile suivant une première direction. Dans le cas des figures 3a et 3b, cette première direction, repérée par XX', est contenue dans un plan horizontal et avantageusement perpendiculaire au microguide d'entrée 54. La partie mobile 52 contient deux microguides 70, 72. Le guide 70 a une extrémité en face du microguide d'entrée 54 et l'autre extrémité en face du microguide de sortie 56, lorsque la structure est dans une position I, illustrée par la figure 3a. Lors du déplacement de la structure, suivant XX', dans une position II, illustrée par la figure 3b, le premier microguide 70 quitte sa position en regard des microguides d'entrée et de sortie 54, 56, mais le second microguide 72 vient dans une position dans B 12101.3/PM 13 2729232 laquelle une de ses extrémités est en face du microguide d'entrée 54 et dans laquelle sa deuxième extrémité vient en face du microguide de sortie 58. Pour passer de la position I à la position II, des moyens de déplacement, non représentés sur les figures 3a et 3b, peuvent être prévus (c'est le cas du commutateur optique). Le déplacement de la partie mobile 52 peut également avoir lieu sou l'influence d'une perturbation extérieure qui est à identifier et à mesurer (c'est le cas du capteur). Dans tous les cas, les bras de liaison 62, 64, 66, 68 ne contiennent pas de guide optique, ils peuvent donc avoir une largeur assez faible. Par conséquent, dans le cas du commutateur optique, l'énergie nécessaire au déplacement de la partie mobile sera beaucoup plus faible que dans les dispositifs selon l'art antérieur. Par ailleurs, il est possible de relier la structure mobile par au moins deux points à la structure fixe, ce qui permet de minimiser les gradients de contrainte résiduelle qui peuvent être présents dans la partie mobile. Sur les figures 3a et 3b, on a quatre points de liaison repérés par les lettres A, B, C, D. Les microguides optiques de la partie mobile peuvent avoir des formes très variables. Sur les figures 3a et 3b, l'un des deux microguides est rectiligne, tandis que le second présente un coude. Il est également possible d'avoir des microguides courbes dans la partie mobile, ainsi qu'illustré sur la figure 4, o le déplacement a lieu toujours suivant la direction XX' contenue dans le plan de la figure et avantageusement perpendiculaire au microguide d'entrée. B 12101.3/PM 14 2729232 Dans le cas du commutateur optique, des moyens doivent être prévus pour déplacer la partie mobile par rapport à la partie fixe et réaliser la commutation entre diverses positions. A cette fin, il est possible, comme illustré sur la figure 4, d'utiliser des électrodes de commande telles que les électrodes 78, , 82, 84. Certaines de ces électrodes sont déposées sur la partie fixe et d'autres sur la partie mobile. Elles sont commandées par des sources d'alimentation électrique 86, 88. Sur la figure 4 un seul ensemble d'électrodes de commande a été représenté, en relation avec un bras de liaison de la partie mobile à la partie fixe. D'autres électrodes peuvent être déposées sur les autres bras, et sur les autres zones de la partie fixe située en face de ces autres bras. Des sources d'alimentation électrique correspondantes y seront associées. Selon une variante, il est possible de diminuer la tension de commande en introduisant un peigne électrostatique, ainsi qu'illustré sur la figure 5a. Sur cette figure, les microguides d'entrée, de sortie et de commutation ainsi que les bras de liaison sont identiques à ceux représentés sur la figure 4. Par contre, la commutation est assurée par un peigne électrostatique désigné par la référence 90. Ce peigne est constitué d'une série de dents 92-1,..., 92-6 et 94-1,... 94-6 alternativement reliées à une partie centrale mobile 100 et à la partie fixe. Ces dents portent chacune des électrodes de commande 96-1, 96- 2,..., 96-12 et 98-1,... 98-12. Les dents et les électrodes sont réparties de part et d'autre de la poutre centrale 100, et les électrodes sont associées par paire à des sources d'alimentation électrique 102- 1,..., 102-6, et 104-1,..., 104-6. Il est ainsi possible de dimensionner séparément les bras de B 12101.3/PM 2729232 maintien de la structure mobile et le système électrostatique, ce qui permet de diminuer encore la tension de commande du déplacement. Ceci permet en outre de séparer les problèmes liés aux contraintes présentes dans les couches, des problèmes de tension de commande, ces derniers étant résolus en dimensionnant correctement le peigne électrostatique. Ce dimensionnement va être brièvement expliqué en liaison avec les figures 5b et 5c. Dans le cas de la figure 5b, deux électrodes sont en regard, à une distance e l'une de l'autre, S représentant la surface de chaque électrode (S=Lxh o L et h sont respectivement la longueur et la largeur de l'électrode). Soit V la tension appliquée en volts entre les deux électrodes et so la permittivité du vide (s0=8,85.10-12F/m). La force d'attraction électrostatique est donnée par F: F=l/260S (V/e) 2 Si on considère une poutre unique, comme dans le cas de l'art antérieur, alors une des deux électrodes est positionnée sur le flanc de la poutre et L et h représentent respectivement la longueur et la hauteur de la poutre. Dans le cas d'un peigne électrostatique à n dents (voir figure 5c) 95- 1, 95-2,..., 95-n, chaque dent 95-i porte deux électrodes 91-i et 93- i et chacune de ces électrodes est en regard d'une électrode 87-i et 89- i montée sur la partie fixe. Vi représente la tension entre l'électrode 87-i et l'électrode 91-i et V'i représente la tension entre l'électrode 93-i et l'électrode 89-i. La force F permettant de dévier la structure mobile vers la gauche de la figure 5c est n donnée par: F=1/2s0 ((Li.h(VIe/)2). i=1 B 12101.3/PM 16 2729232 Li et ei représentant la longueur des électrodes situées de part et d'autre de la dent 95-i et la distance entre l'électrode 87-i et l'électrode 91-i. La force F' permettant de dévier la structure vers la droite de la figure 5c est égale à: n F'= 11/2so É(Uj. h'. (Vi * lei)2) i=1 Si on prend par exemple n dents de peigne identiques, de même longueur L, de même hauteur h et de même tension V, la force est alors donnée par: F=n/2s0Lh (V/e) 2. La force est donc n fois plus grande. Ou alors, pour une force donnée, la tension nécessaire est n fois plus petite. Un peigne électrostatique permet donc de diminuer la tension de commande. Les bras de maintien peuvent avoir des formes diverses. Sur les figures 3a à 5a, les bras de maintien ont une forme d'équerre, avec deux segments sensiblement perpendiculaires l'un par rapport à l'autre. Les bras de maintien peuvent avoir aussi la forme illustrée sur la figure 6. Sur cette figure, deux bras 106, 108 fixés à la partie mobile, relient cette dernière à la partie fixe par l'intermédiaire d'un cadre déformable 110, lui-même relié à la partie fixe par un élément de liaison 112. La même structure est prévue de l'autre côté de la partie mobile. Ce dispositif à base de cadres déformables permet à la partie mobile, lorsqu'elle est libérée (par gravure) de son substrat, de se déformer sans engendrer de désalignement parasite des guides optiques, ni de déformation importante, par exemple de flambement mécanique, des bras de maintien. Une commande électrostatique peut être introduite sur les parois 113 de ce cadre déformable. B 12101.3/PM 17 2729232 Selon un mode de réalisation illustré sur la figure 7, les bras de liaison peuvent être en forme de "U" 114, 116, 118, 120, avec une branche 122, 124, 126, 128, 130, 132, 134, 136 rajoutée à chaque extrémité libre du "U" de manière sensiblement perpendiculaire à la branche latérale correspondante du "U". Selon un autre mode de réalisation illustré sur la figure 8, quatre bras droits 138, 140, 142, 144 prolongent la partie mobile 137 en direction de la partie fixe. Les bras sont de préférence rigides dans le sens vertical (directionperpendiculaire au plan des figures 3a à 8) et souples dans le sens de déplacement de la partie mobile. Sur la figure 9 est représenté un bras de maintien avec un corps central 146 en forme de "U" et une branche 148, 150 rajoutée à l'extrémité libre de chaque branche latérale du "U", de manière sensiblement perpendiculaire à cette branche. Il est alors possible de jouer sur la géométrie des bras en augmentant le facteur de forme hauteur/largeur, la hauteur h et la largeur 1 étant identifiées sur la figure 9 comme étant la hauteur de la section du bras de fixation dans une coupe verticale (suivant un plan parallèle à zx), la largeur 1 étant la largeur du bras de fixation dans la même coupe verticale. En jouant sur ce facteur de forme, on peut obtenir une souplesse suffisante, dans le plan xy (contenant la première direction), pour ne pas entraver les déplacements de la partie mobile dans ce même plan et une rigidité suffisante, suivant la direction z, pour limiter les déformations éventuelles de la partie mobile suivant cette dernière direction (appelée aussi deuxième direction). Ce procédé, qui consiste à modifier la hauteur et la largeur de la section d'un bras de fixation peut être appliqué à tout bras de forme droite (comme sur la figure 8) ou en forme de cadre (comme sur B 12101.3/PM 18 2729232 la figure 6), ou en forme d'équerre (comme sur la figure 4). La partie mobile peut avoir diverses formes. Elle a été représentée, sur les figures 3a à 8, comme ayant une forme sensiblement rectangulaire. Mais il est possible de lui donner toute autre forme, en particulier une forme optimisée pour minimiser son poids. Ainsi, comme représenté sur la figure 10 o les bras de fixation sont désignés par les références 154, 156, 158, 160, la partie mobile peut comporter deux microguides 162, 164 et présenter une forme assurant un bon guidage et minimisant son poids, notamment du fait d'un évidement 166 entre les deux microguides 162, 164. La minimisation du poids permet de diminuer l'inertie du système, et donc d'augmenter la vitesse de commutation tout en diminuant la sensibilité du commutateur à la gravité. Dans le cas des capteurs, il est par contre possible d'augmenter la masse mobile afin d'augmenter la sensibilité du capteur. Sur les figures 3a à 10 ont été représentés des systèmes de commutation avec deux guides de sortie. Il est possible de généraliser l'enseignement de l'invention à la commutation à i guides de sortie, comme illustré sur la figure 11. Dans ce cas, la partie mobile 162 contiendra par exemple i guides, chacun ayant une extrémité destinée à venir en face du microguide d'entrée 164, l'autre extrémité venant en face de l'un des microguides de sortie, pour une des i positions de la partie mobile. Dans le cas du commutateur à commande électrostatique, la modulation de la tension entre deux électrodes voisines permettra de moduler un déplacement correspondant de la partie mobile. Comme illustré sur la figure 12, une même structure mobile peut comporter plusieurs guides B 12101.3/PM 19 2729232 permettant la commutation de plusieurs microguides d'entrée en parallèle. La figure 12 est limitée au cas de deux microguides d'entrée 166, 168, mais il est possible d'utiliser un dispositif équivalent pour j microguides d'entrée, avec j>2. L'avantage de ce dispositif est qu'il n'y a aucune augmentation de la force de commande, les bras de maintien étant indépendant de la structure optique employée. Par ailleurs, comme illustré sur la figure 13, il est possible de monter en cascade des structures mobiles 170, 172 qui peuvent être soit reliées entre elles (une au moins étant reliée à la partie fixe), soit reliées indépendamment l'une de l'autre à la partie fixe du dispositif. C'est ce montage indépendant qui est illustré sur la figure 13. Le dispositif illustré sur la figure 13 peut être généralisé à un dispositif optomécanique comportant, dans une structure guidante réalisée en optique intégrée une partie fixe, semblable à celle de la figure 13, et N parties mobiles M1, M2,..., MN. Ces parties mobiles peuvent être soit reliées entre elles, soit reliées indépendamment à la partie fixe du dispositif. Toutes les parties mobiles sont situées en cascade entre i microguides de sortie et j microguides d'entrée, tous formés dans la partie fixe. Les bras de fixation de chaque partie mobile sont semblables à ceux qui ont déjà été décrits ci-dessus, notamment en liaison avec les figures 3a à 13. Chaque masse Mn comporte kn microguides. Ces microguides sont disposés de façon à pouvoir commuter un faisceau lumineux d'un des kn_1 microguides de la masse Mn_1, située d'un côté de la masse Mn, vers un des kn+l microguides de la masse Mn+l, située de l'autre côté de la masse Mn. Selon une autre variante, illustrée sur la figure 14, il est possible de réaliser la commande de j B 12101.3/PM 2729232 microguides d'entrée vers i microguides de sortie, l'unique partie mobile 174 comportant alors ixj microguides, chacun pouvant relier les extrémités de deux guides fixes (un guide d'entrée, un guide de sortie) pour une position particulière de la partie mobile. Par ailleurs, la structure utilisée pour le commutateur optique, lors de la commutation de microguides d'entrée vers des microguides de sortie peut être utilisée pour réaliser un capteur optomécanique d'accélération ou de vibration. Il peut être avantageux dans cette application de rapprocher les positions des microguides de sortie. Un capteur comportant j=1 microguide d'entrée, i=2 microguides de sortie et k=2 microguides dans une masse mobile est illustré sur la figure 15. Une partie mobile 176 comportant deux microguides courbes 178, 180 peut subir des déplacements suivant une direction XX' contenue dans le plan de la figure et avantageusement perpendiculaire au microguide d'entrée, déplacements qui peuvent être induits par toute force extérieure dont on cherche à détecter la présence. Dans le cas d'un tel déplacement, la lumière véhiculée par le microguide d'entrée se couple plus vers l'un ou l'autre des microguides de sortie, en fonction du sens du déplacement. Là aussi, comme il n'y a aucun guide relié à la partie fixe, on peut utiliser des bras de maintien très fins, ce qui permet une sensibilité accrue du système. La figure 16a représente les signaux en sortie du microguide 182 (signal S1) et du microguide 184 (S2), en fonction du déplacement 6 de la partie mobile. La différence entre ces deux signaux est représentée sur la figure 16b, toujours en fonction du déplacement 6 de la partie mobile. On obtient ainsi un signal B 12101.3/PM 21 2729232 proportionnel au déplacement de la structure mobile, lui-même proportionnel à l'accélération appliquée au dispositif. On voit, d'après la figure 16b, qu'il est possible de détecter le sens de déplacement de la partie mobile, par rapport à une position par exemple au repos de cette dernière, dans laquelle les signaux de sortie sont identiques. Les microguides de sortie 182, 184 sont par ailleurs reliés à des moyens de détection d'un faisceau qui est transmis via les microguides 178, 180. Ces moyens de détection, connus par ailleurs de l'homme de l'art, ne sont pas représentés plus en détail sur la figure 15. En outre, il est possible de relier ces moyens de détection à des moyens de traitement des signaux et éventuellement des moyens d'affichage. Dans le cas du capteur optomécanique qui vient d'être décrit, l'invention apporte une sensibilité accrue du système mécanique, et permet de détecter le sens de déplacement de la structure. Le fait qu'il n'y ait aucune contrainte optique de dimensionnement des bras de maintien permet, en jouant sur la géométrie de ces bras, de réaliser par exemple des accéléromètres sensibles à l'accélération dans une direction, et insensible dans les deux autres directions perpendiculaires, ce qui n'est pas le cas d'un accéléromètre fonctionnant à l'aide d'un aiguillage optique. Tous les dispositifs qui ont été décrits ci- dessus (commutateurs, capteurs) peuvent être réalisés à l'aide de procédés connus, tels que celui mentionné ci- dessus en liaison avec la description de l'art antérieur, et mettant en oeuvre par exemple les techniques LPCVD, PECVD, gravure anisotrope et isotrope du type gravure ionique réactive. B 12101.3/PM 22 2729232 L'exemple suivant est proposé pour l'application numérique concernant le commutateur optomécanique. La structure optique peut être par exemple réalisée en trois couches déposées sur un substrat, par exemple en silicium. Les trois couches peuvent être par exemple en silice dopée au phosphore déposée en PECVD, la couche centrale ayant un indice supérieur aux deux couches qui l'entourent pour assurer le confinement de la lumière. Les différentes gravures des couches nécessaires à la définition des guides et de la structure mobile peuvent être réalisées en RIE. La hauteur verticale de la structure optique est typiquement de 25 gm. Dans le cas du commutateur proposé dans le brevet antérieur FR-A-2 660 444, la force répartie que l'on doit appliquer le long de la poutre pour obtenir un certain déplacement de l'extrémité libre est donnée par la relation: 2Ehl35 F= 3L3 o E est le module d'Young du matériau utilisé pour la poutre, h est la hauteur de la poutre, 1 la largeur de la poutre, 5 est le déplacement de l'extrémité libre de la poutre, L est la longueur totale de la poutre. Les dimensions de la poutre mobile sont typiquement de quelques millimètres de long par 25 pn de haut et environ 25 à 30 pm de large. Une largeur moins grande perturberait le guidage optique dans la poutre et entrainerait des pertes parasites. En supposant une poutre en silice de module d'Young E=7.107 Pa, de longueur L=2 mm, de hauteur h=25 pm, de largeur l=30pm, la force nécessaire pour déplacer l'extrémité libre de la poutre de 5=lOpm est de: F=4.10-5N. B 12101.3/PM 23 2729232 Dans le cas d'une force électrostatique créée par une tension appliquée sur des électrodes placées de part et d'autre de la poutre, la tension à appliquer est donnée par la formule: V=e 2F XoLh o V est la tension entre les électrodes, e la distance entre les électrodes, so la permittivité du vide et L la longueur de la poutre. En prenant g0=8,85.10-12F/m, une distance interélectrode de 30m et les autres paramètres tels que déjà définis ci-dessus, on obtient une tension de V=400 volts. En prenant maintenant un commutateur basé sur la même technologie et les mêmes dimensions de guide, et utilisant l'invention proposée, on relie la partie mobile à la partie fixe à l'aide de quatre bras d'une largeur 1 de 5 imun et de même longueur L=2 mm, et la force nécessaire à la déviation de quatre bras sera alors donnée par: F= - 8Eh-35 =2,2.10 N L3 La force à appliquer est donc 18 fois plus faible. De plus, cette force peut être répartie sur les quatre bras et la force à appliquer sur chaque bras est alors encore quatre fois plus faible. Dans le cas de la commande électrostatique, en plaçant des électrodes sur chacun des quatre bras, la tension à appliquer sera donnée par: V=e F_ 2so Lh En prenant la même distance interélectrode, on obtient: V=47 volts, soit une tension plus de 8 fois plus faible que dans le cas précédent. B 12101.3/PM 24 2729232 Les applications industrielles de la présente invention se situent principalement dans le domaine des télécommunications optiques, o la commutation optomécanique permet de réaliser des réseaux dits "surs". Elles se situent également dans le domaine des capteurs optomécaniques et, en particulier, dans les domaines de l'accélérométrie, de la microphonie, de la détection de vibrations, de la mesure de pression, le tout par voie optique. D'une manière générale, l'invention peut s'appliquer à tout dispositif optomécanique intégré o il est nécessaire de déplacer mécaniquement l'extrémité d'un guide optique intégré. B 12101.3/PM 2729232 REVENDICATIONS 1. Dispositif optomécanique comportant, dans une structure guidante réalisée en optique intégrée, une partie fixe (50) et une partie mobile (52, 152, 162, 174, 176) reliée à la partie fixe, cette partie mobile étant située entre i microguides de sortie (56, 58, 182, 184) formés dans la partie fixe et j microguides d'entrée (54, 164, 166, 168) formés également dans la partie fixe, caractérisé en ce que la partie mobile comporte une masse qui n'est reliée que par des bras (62, 64, 66, 68) de fixation à la partie fixe, de façon à permettre le déplacement de la masse dans une première direction, cette masse comprenant k microguides (70, 72, 74, 76, 178, 180) pour permettre la commutation d'un faisceau lumineux d'un des j microguides d'entrée vers un des i microguides de sortie. 2. Dispositif optomécanique comportant, dans une structure guidante réalisée en optique intégrée, une partie fixe et N parties mobiles M1, M2,... Mn (170, 172) reliées à la partie fixe, ces parties mobiles étant situées entre i microguides de sortie formés dans la partie fixe et j microguides d'entrée formés également dans la partie fixe, ledit dispositif étant en outre caractérisé en ce que les parties mobiles comportent chacune une masse qui n'est reliée que par des bras de fixation à la partie fixe de façon à permettre le déplacement de la masse dans une première direction, la masse M1 comportant k1 microguides de façon à pouvoir commuter un faisceau lumineux d'un des j microguides d'entrée vers un des k2 microguides de la masse M2, chaque masse Mn (n supérieur ou égal à 2) comportant kn microguides de façon à pouvoir commuter un faisceau lumineux d'un des kn_1 microguides de la masse Mn_1 vers un des kn+1 B 12101.3/PM 26 2729232 microguides de la masse Mn+l, la masse MN comportant kN microguides de façon à pouvoir commuter un faisceau lumineux d'un des kN_1 microguides de la masse MN_1 vers un des i microguides de sortie. 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, une des masses étant reliée à des bras de fixation par au moins deux points (A, B, C, D). 4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, au moins un bras présentant une souplesse suffisante suivant la première direction, de manière à ne pas entraver le déplacement de la partie mobile selon cette direction, et une rigidité suffisante selon une deuxième direction, de manière à limiter les déformations de la partie mobile suivant cette deuxième direction. 5. Dispositif selon la revendication 4, les première et deuxième directions étant perpendiculaires entre elles. 6. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, un au moins des bras de fixation (62, 64, 66, 68) d'au moins une partie mobile ayant une forme d'équerre avec deux segments perpendiculaires l'un par rapport à l'autre. 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, un bras au moins d'une masse mobile au moins comportant un corps (114, 116, 118, 120, 146) en forme de "U" avec une branche (122, 124, 126, 128, 130, 132, 134, 136, 148, 150) rajoutée à l'extrémité libre de chaque branche latérale du "U" de manière sensiblement perpendiculaire à cette branche. 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, un des bras (138, 140, 142, 144) d'au moins une masse mobile étant de forme droite. 9. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 8, au moins deux bras (106, 108) d'une masse mobile B 12101.3/PM 27 2729232 reliant ladite masse mobile à la partie fixe par l'intermédiaire d'un cadre déformable (110). 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, au moins une partie mobile (152) comportant, en dehors des k microguides (162, 164), au moins un évidement (166) allégeant ladite partie mobile. 11. Commutateur optomécanique comportant un dispositif selon l'une des revendications 1 à 10 et des moyens (78, 80, 82, 84, 86, 88, 90) pour commander le déplacement de la ou d'au moins une des parties mobiles. 12. Commutateur selon la revendication 11, les moyens pour commander le déplacement étant des moyens électrostatiques. 13. Commutateur selon la revendication 12, des électrodes de commande (78, 80, 82, 84) étant appliquées sur les bras d'au moins une partie mobile. 14. Commutateur selon la revendication 12, au moins une partie mobile étant reliée à un peigne électrostatique (90) formant les moyens de commande. 15. Capteur optomécanique comportant un dispositif selon la revendication 1 ou 2. B 12101.3/PM