Brevet FR2727516A1 — publié le 19960531

La présente invention est relative à un dispositif destiné à la mesure d'une grandeur physique dont l'évolution dans le temps est oscillatoire et qui présente une dérive significative et de nature aléatoire et/ou une variation importante de sa valeur. Plus précisément, l'invention concerne un tel dispositif permettant de compenser une dérive du signal à mesurer dépassant parfois très nettement l'évolution significative de ce signal. Dans une application plus spécifique de l'invention, le dispositif de mesure comporte de préférence des troyens de mesure de type capacitif qui sont particulièrenent adaptes à être associés à des circuits intégrés du type C OS dont le fonctionnement est basé sur l'utilisation de capacités commutées. Toutefois, l'invention n'est pas limitée à l'utilisation de ce type de moyens de mesure. Les dispositifs de mesure comportant des troyens de mesure capacitifs d'une grandeur physique à allure oscillatoire sont déjà largement répandus. Ils conportent, en général, un capteur capacitif délivrant un signal qui est échantillonné pour former une série de valeurs de charge qui sont fonction de la grandeur physique. Ces valeurs sont traitées dans un amplificateur de charges faisant partie d'une interface connectée entre le capteur et le circuit d'utilisation destiné à exploiter le signal de mesure. L'interface comporte également des moyens pour convertir la sortie de l'amplificateur de charges en un signal de fréquence qui est le signal de mesure utilisable par le circuit d'exploitation. Lorsque la grandeur physique à mesureur présente une dérive aléatoire importante ou varie dans une large plage de valeurs, il convient de prévoir dans l'interface des troyens de compensation des perturbations qui peuvent en résulter. Pour cela, plusieurs méthodes sont actuellement utilisées, parmi lesquelles on peut citer par exemple l'emploi d'un filtre passe-haut connecté à la sortie de l'amplificateur de charges. Cependant, un tel filtre passe-haut n'est pas approprié pour les cas auxquels s'applique l'invention, car le gain de l'amplificateur de charges doit avoir une valeur minimale imposée par le signal minimal à détecter. nais si la dérive de la grandeur à mesurer est grande, le gain minimal fera en sorte que l'amplificateur se sature lorsqu'une dérive importante apparaît, ce qui bloque alors toute possibilité de Mesure. Une autre méthode consiste à utiliser une boucle de compensation dont le trajet de réaction présente un filtre analogique. Cette méthode présente également des inconvénients surtout si le signal de mesure présente une fréquence de coupure basse, voire très basse. La présente invention a pour but de fournir un dispositif de Mesure du genre décrit brièvement ci-dessus et permettant d'accepter des grandeurs de mesure à dérive et à variation d'amplitude importantes sans qu'il en résulte les inconvénients signalés des solutions antérieures Mentionnées ci-dessus. L'invention a donc pour objet un dispositif de assure d'une grandeur physique susceptible de subir une dérive importante et/ou de varier dans une large plage de valeurs, et dont l'évolution dans le temps présente une allure oscillatoire, ce dispositif comprenant un capteur de Mesure destiné à délivrer une tension alternative représentative de cette allure oscillatoire, un comparateur destiné à comparer ladite tension alternative à au moins un seuil pour engendrer un signal numérique dont la fréquence est représentative de ladite grandeur physique, et une boucle de réglage pour compenser l'effet de la dérive sur le résultat de la Mesure, ce dispositif étant caractérisé en ce que ladite boucle de réglage comprend un filtre numérique passebas relié à la sortie dudit comparateur pour engendrer un signal de commande, lorsque ledit signal numérique présente une caractéristique temporelle prédéterminée représentative d'une variation de dérive, et en ce que ladite boucle de réglage comporte en outre un générateur de tension de compensation raccordé entre ledit filtre passe-bas et ledit capteur de nesure pour appliquer une tension de compensation à celui-ci s'opposant à la dérive et pour, à chaque apparition dudit signal de commande, nidifier d'une quantité prédéterminée la tension de compensation délivrée audit capteur en fonction de l'évolution de la dérive. Grâce à ces caractéristiques de l'invention, il est possible non seulement de compenser la dérive et d'accepter des variations importantes de la grandeur Mesurée, nais également de compenser des effets perturbateurs dus à des défauts intrinsèques des éléments de circuit utilisés tels que ceux dûs aux courants de fuite ou aux variations de teMpérature des composants utilisés. D'autres caractéristiques de l'invention apparaîtront au cours de la description qui va suivre, donnée uniqueMent à titre d'exemple et faite en se référant aux dessins annexés sur lesquels: - la figure 1 est un schéma de principe d'un dispositif de Mesure suivant l'invention, ce dispositif étant du type capacitif et destiné plus particulièresent à Mesurer le débit d'un fluide dans une canalisation; - la figure 2 montre graphiquement le principe de fonctionnement du dispositif de mesure représenté schématiquement sur la figure 1; - la figure 3 est un schéma de principe d'un capteur différentiel capacitif avec son interface qui est conçue selon la technique antérieure; - la figure 4 est un schéma de principe du dispositif de mesure de débit utilisant le concept de l'invention;; - la figure 5 montre le schéma plus détaillé d'un premier mode de réalisation du dispositif selon l'invention; - la figure 6 Montre graphiquenent le principe de fonctionnement du dispositif représenté sur la figure 5; - les figures 7 et 8 sont des chronogranes illustrant le fonctionnement du dispositif de la figure 5; - la figure 9 est un schéma partiel d'un second Mode de réalisation du dispositif de mesure selon l'invention; - la figure 10 montre graphiquement le fonctionnement du second Mode de réalisation de l'invention; - la figure 11 est un schéma partiel d'un troisième mode de réalisation du dispositif selon l'invention; - la figure 12 illustre graphiquement le Mode de réalisation de la figure 11; - la figure 13 est un schéma partiel d'un quatrièMe mode de réalisation du dispositif selon l'invention;; - la figure 14 illustre graphiquement le Mode de réalisation de la figure 13; - la figure 15 est un schéma partiel d'un cinquième Mode de réalisation du dispositif selon l'invention; - la figure 16 illustre graphiquement le Mode de réalisation de la figure 15; - les figures 17 et 18 sont des schémas partiels du dispositif selon l'invention, conforméMent à deux variantes de réalisation de celle-ci. Dans la description qui va suivre, l'invention sera illustrée en se référant à une application particulière de Mesure d'un débit d'un fluide dans une canalisation. Cependant, il est entendu que le concept de l'invention peut s'appliquer dans un très grand nonbre de cas, chaque fois qu'une grandeur physique à allure oscillatoire est mesurée à l'aide d'un capteur délivrant une tension alternative qui est confrontée à un seuil (ou, conte on le verra par la suite, à plusieurs seuils), afin d'engendrer un signal inpulsionnel dont la fréquence est représentative de la grandeur nesurée. Le concept de base de l'invention s'applique quelle que soit la nature du capteur utilisé. Cependant, dans ce qui va suivre, il deviendra clair que les avantages que permet de procurer l'invention se font particulièreMent sentir, si ce capteur est du type capacitif et encore plus spécifique ent, si ce capteur est du type capacitif différentiel. Dans le cas d'un capteur capacitif, le signal représentatif de la grandeur mesurée est obtenu par échantillonnage en transformant une série d'accunulations de charges électriques en une tension électrique alternative. Cette tension alternative est confrontée à un seuil dans un comparateur qui fournit à sa sortie un signal numérique dont la fréquence traduit la valeur de la grandeur physique à Mesurer. Ceci étant, on sait que la mesure de l'écoulement d'un fluide, gazeux ou liquide, peut être réalisée au troyen d'un oscillateur fluidique qui engendre des variations de pression alternatives dont la fréquence est directenent proportionnelle au débit du fluide. Un tel appareil de mesure est décrit par exemple dans le brevet US 4 694 702. Le fonctionnement d'un oscillateur fluidique est basé sur la dynamique des vortex qui sont formés dans deux petites cavités prévues des deux côtés d'un corps de mesure placé dans l'écouleMent du fluide. Cette configuration crée des instabilités engendrant une oscillation continue dans l'écouleMent entre les deux côtés du corps de Mesure. La figure 1 montre très schématiquement la méthode basée sur ce principe de mesure et employée dans cette exemple d'application de l'invention. La figure 1 montre une canalisation CA dans laquelle est placé un corps de mesure CM dont les surfaces latérales définissent les cavités V dans lesquelles se forMent les vortex. Chacune de ces cavités est reliée à une petite tubulure T connectant le point de mesure à un capteur de pression différentielle CPD disposé dans le corps de usure CM et relié à une interface I. Celle-ci est conçue pour élaborer une signal utile numérique SU destiné à être utilisé dans un circuit d'exploitation CE, par exemple un dispositif capable de réguler le débit dans la canalisation CA en fonction des variations de débit mesurées. Le capteur de pression différentielle CPD est de préférence du type micro-usiné réalisé par des techniques de photolithographie sur du silicium selon une technologie développée par la Demanderesse pour les microaccélérorètres capacitifs. Une description de ceux-ci peut être trouvée dans un article de Y. de Coulon et al. dans wUransducersw de 1993, Yokohama, intitulé "Design and Test of a Precision Servoaccelerometer with Digital Output". Il suffit de signaler ici qu'un tel capteur comprend une Masse Mobile suspendue entre deux électrodes fixes, l'ensemble formant deux capacités. La masse mobile est soumise respectivement sur ces deux faces aux pressions régnant dans les tubulures T représentées sur la figure 1 de Manière que la pression différentielle appliquée sur la masse mobile puisse faire varier les deux capacités qu'elle forme avec les électrodes fixes. La figure 2 montre en fonction du temps, en a) un exemple de l'allure du débit du fluide s'écoulant dans la canalisation CA, en b) l'allure de la pression différentielle aP qui en résulte dans le capteur CDP, et en c) le signal de sortie SU qui doit apparaître sur la sortie de l'interface I. Selon la technique antérieure, le signal de sortie SU est obtenu par échantillonnage des valeurs de charge accumulées sur les capacités du capteur, à l'aide de l'interface I représentée sur la figure 3 et utilisée communément pour transformer le signal d'un capteur différentiel capacitif en un signal du genre représenté sur la figure 2c. On voit que le capteur CPD forme deux capacités variables C1 et C2 qui partagent une armature cor une 1 souMise à la pression différentielle AP résultant des pressions P1 et P2 régnant dans les tubulures T respectives. L'armature communie est ainsi soumise à des déviations qui provoquent des variations correspondantes des capacités C1 et C2 et par conséquent des variations de tension AVX et -AVX sur leurs armatures respectives. L'armature cor une 1 est raccordée à l'entrée d'un amplificateur de charges 2 composé d'un amplificateur A et d'un condensateur C monté entre l'entrée et la sortie de ce dernier. Le signal apparaissant sur cette sortie sera de la forme: CV = AV (C1 - C2), dans laquelle C, C1 et C2 sont les valeurs des capacités correspondantes.La tension V apparaissant sur la sortie de l'amplificateur 2 est ainsi une tension alternative dont la fréquence est représentative de la grandeur physique à mesurer, en l'occurrence le débit dans la canalisation CA de la figure 1. Cette tension V est appliquée à un coiparateur 3, à la sortie duquel est engendré le signal SU de la forme représentée sur la figure 2c. Dans le cas d'une mesure effectuée à l'aide du dispositif que l'on vient de décrire, le problème que l'invention se propose de résoudre se fait particulièrerent sentir. En effet, le domaine de fréquences utile est de 0,1 à 45 Hz et à la fréquence inférieure de ce dondaine, la variation de capacité AC est seulement de 10 fF (festofarads). Or, la dérive du capteur CPD, due par exemple à des variations de température (courants de fuite du capteur, par exeMple) ou à des variations de pression absolue, peut atteindre jusqu'à 1 pF, ce qui est 100 fois supérieur à la variation minimale que le dispositif doit encore pouvoir Mesurer. La figure 4 est un schéma de principe d'un dispositif de mesure dans lequel sont incorporées les caractéristiques de base de l'invention. On voit que ce dispositif comporte un capteur différentiel capacitif CPD et un amplificateur de charges 2 identiques à ceux déjà décrits à propos de la figure 3. La sortie de l'amplificateur de charges 2 est raccordée à un comparateur 3 qui dans le iode de réalisation préféré décrit ici, est à double seuil. Selon l'invention, les sorties 3a et 3b du comparateur 3 sont raccordées aux entrées respectives 4a et 4b d'un filtre numérique 4 du type passe-bas. Les sorties 4c et 4d de ce filtre 4 sont connectées ensemble à un générateur 5 de tension de compensation, engendrant d'une part des fractions de tension +vX et -AVs et comportant d'autre part un intégrateur 6 composé d'un amplificateur 6a et d'un condensateur 6b reliant l'une à l'autre l'entrée et la sortie de celui-ci. La sortie de l'intégrateur 6 est connectée à l'entrée de l'amplificateur de charges 2 par l'internédiaire d'un condensateur C. On voit donc que le Montage du filtre 4 et du générateur 5 constitue une boucle de réglage permettant de compenser les effets de la dérive et d'autres perturbations sur le signal délivré à la sortie du comparateur 3. Le filtre numérique 4 est destiné à ne transmettre à l'intégrateur 6 des fractions de tension de compensation que s'il détecte dans la sortie du comparateur 3 des éléMents représentatifs de la dérive et/ou d'autres perturbations introduites par les composants du circuit lui-uêne. Corre en particulier la dérive est un phénomène essentiellenent plus lent que les variations de débit que l'on désire Mesurer, le filtre numérique est un filtre passe-bas qui ne réagit qu'aux variations lentes et persistantes du signal utile afin d'en tirer le signal permettant de compenser cette dérive. En se référant maintenant à la figure 5, on va décrire un Mode de réalisation préféré de l'invention. Ce Mode de réalisation est mis en oeuvre à l'aide de la technologie des capacités connotées, bien connue des spécialistes. Les armatures fixes des capacités C1 et C2 sont raccordées respectivement à la tension d'alimentation V et à la tension d'alimentation V par l'intermédiaire d'interrupteurs la et lb. Elles sont également raccordées au potentiel de la nasse V, par l'intermédiaire d'interrupteurs respectifs 2a et 2b. La capacité C branchée en parallèle sur l'amplificateur A est également mise en parallèle à un interrupteur lc. Le condensateur C est connecté à la nasse par l'intermédiaire d'un interrupteur 2c et à la sortie de l'amplificateur 6a à travers un interrupteur ld. Dans le mode de réalisation décrit ici, le coMparateur 3 présente deux sorties 3a et 3b sur lesquelles apparaissent respectivement les signaux V et Vo dont les niveaux changent lorsque le signal présent à son entrée dépasse respectivement vers le haut un seuil sl ou vers le bas un seuil s2. Les sorties 3a et 3b du comparateur 3 sont raccordées respectivement aux entrées S et R d'une bascule RS 7 dont la sortie Q délivre le signal de sortie SU du dispositif de mesure sur un conducteur 8. Sur la figure 5, on a entouré de traits sixtes les éléments qui composent le filtre passe-bas 4 et le générateur de tension de compensation 5. L'entrée D d'une première bascule 9 de type D est connectée à la sortie 3a du comparateur 3. Son entrée Ck est connectée à un circuit d'horloge 10 qui délivre plusieurs signaux d'horloge secondaires dérivés du signal d'horloge général H du dispositif de mesure (Voir courbe e de la figure 7). En l'occurrence, l'entrée Ck de la bascule 9 est raccordée à la sortie p4 de l'horloge 10 et le signal de cette sortie est représentée par la courbe c de la figure 7. La sortie Q de la bascule 9 est reliée à l'une des entrées d'une porte ET 11, dont l'autre entrée est connectée à la sortie 3a du conparateur 3. Un seconde bascule 12 de type D a son entrée connectée à la sortie 3b du comparateur 3, tandis que son entrée Ck est raccordée à la sortie p4 de l'horloge 10. Sa sortie Q est reliée à l'une des entrées d'une porte ET 13 dont l'autre entrée est reliée à la sortie 3b du conparateur 3. Les sorties des portes ET 11 et 13 sont reliées respectiveMent aux entrées d'une porte NI 14. La sortie de la porte NI 14 est reliée à l'une des entrées d'une porte OU 15 dont la sortie est connectée à une entrée RAZ de remise à zéro d'un compteur 16 dont l'entrée de comptage Ck est connectée à la sortie p4 de l'horloge 10. Les sorties de coMptage 16a à 16f du compteur 16 sont reliées en parallèle à autant d'entrées 17a à 17f d'un comparateur 17 dans lequel est einagasiné un nombre prédéterminé (choisi égal à 5 dans l'exemple décrit ici). Lorsque le nombre coMpté par le compteur 16 est égal à celui enregistré dans le comparateur 17, ce dernier délivre un signal de sortie à l'entrée D d'une bascule 18 de type D dont 1 l'entrée d'horloge est reliée à la sortie p4 de l'horloge 10. La sortie Q de la bascule 18 est reliée à l'autre entrée de la porte OU 15. Le filtre 5 comprend encore deux portes ET 19 et 20 à trois entrées. Une première entrée de ces portes est reliée à la sortie p5 de l'horloge 10, une deuxièMe entrée est reliée à la sortie du comparateur 17, tandis qu'une troisième entrée des portes ET est reliée à la sortie 8 du circuit, étant précisé que la troisième entrée de la porte ET 20 est à inversion. Ces portes ET fournissent à leurs sorties des signaux de coMMande respectifs p5d et p5s. L'amplificateur 6a est du type opérationnel et colporte une entrée non inverseuse connectée à la nasse et une entrée inverseuse qui est reliée à un générateur 21 de fractions Avs ou -Avs de la tension de compensation V . Ce générateur comporte deux capacités C3a et C3b qui peuvent être branchées sélectivement, d'une part à l'entrée inverseuse de l'amplificateur 6a et, d'autre part aux tensions d'alimentation VX et V,. A cet effet, des interrupteurs 4a à 4d sont branchés en série avec les capacités respectives C3a et C3b et entre les tensions respectives VX et VM et la masse.Par ailleurs, elles sont branchées en série avec des interrupteurs respectifs 5da, 5db et 5sa, 5sb entre la masse et l'entrée inverseuse de l'amplificateur opérationnel 6a. La figure 6 illustre le principe de fonctionnement du dispositif de mesure représenté sur la figure 5. On voit un exemple d'évolution du signal sN à mesureur soumis, dans cet exemple, à une dérive croissante D. La figure montre également cornent la dérive est coMpensée, le graphique représentant la somme V du signal à mesurer et de la tension de compensation qui est modifiée, chaque fois que la dérive se modifie. On voit que, selon le présent Mode de réalisation, une compensation a lieu lorsque le signal V reste plus longtemps au-dessus du seuil sl établi par le comparateur 3, que la longueur d'un tempos T prédéterminé, ce qui revient en réalité à une fonction de filtrage passe-bas. Bien entendu, si la dérive est de signe opposé, une compensation inverse sera apportée au signal V par la boucle de réaction. En se référant de nouveau à la figure 5, on notera que les interrupteurs la à ld, 2a, 2b et 2c, 4a à 4d, 5da, 5db, et 5sa,5sb sont commandés respectivement par les signaux d'horloge pl, p2, p4 et p5 selon les chronogranes qui seront maintenant décrit à propos des figures 7 et 8. On remarquera que ces chronogrammes ne sont pas tracés à la même échelle, la figure 7 montrant un peu plus d'une demi-période du signal p5, tandis que la figure 8 montre sur un certain noMbre de périodes de ce signal p5, convent s'effectue la compensation de la dérive. Par ailleurs, à titre d'exemple, les signaux de conarde sont supposes rendre les interrupteurs respectifs passants, lorsque le signal considéré est au niveau haut. La figure 7 illustre un cycle de mesure du dispositif suivant l'invention qui se déroule, dans cet exemple, sur 30 périodes du signal d'horloge H, périodes qui correspondent à un cycle du signal p5. I1 est à noter que pendant la quasi-totalité de cette période, les éléments du dispositif de mesure ne sont pas actifs, l'échantillonnage des valeurs de mesure et la compensation de la dérive ne se déroulant, chaque fois, que sur une partie de 1 'intervalle pendant lequel le signal p5 est au niveau bas, et sur une partie encore plus petite de l'intervalle de temps pendant lequel ce signal p5 est au niveau haut. I1 est clair que cette propriété du dispositif de nesure selon l'invention permet d'écononiser de l'énergie.Dans une réalisation pratique, la Demanderesse a pu réduire la période active du dispositif à 5% du total seulement de la période du signal p5. Ainsi, l'intervalle tl de la figure 7 correspond à un temps d'inactivité du dispositif qui cor encre à ne travailler que lorsque le signal pl passe au niveau haut pour rendre passants les interrupteurs la à îd (figure 5). Pendant l'intervalle t2, les capacités C1, C2 et CX sont chargées, tandis que le condensateur C est déchargé. La capacité Cs reçoit alors la quantité de charge nécessaire, le cas échéant, pour compenser la dérive. Pendant l'intervalle t3, les charges acculées sur les capacités C1, C2 et C sont transférées sur la capacité C de l'amplificateur de charges 2. L'intervalle t4 est utilisé pour effectuer la comparaison du signal V résultant de la quantité de charges accumulées, avec les seuils du comparateur 4. L'intervalle p5 permet de charger les capacités C3a et C3b du générateur 21 de fractions de la tension de compensation, tandis qu'une très faible portion de l'intervalle t6 est utilisé pour transférer les charges des capacités C3a ou C3b sur la capacité 6b de l'intégrateur 6, pour autant que le comparateur 3 et le filtre 4 ont constaté qu'une modification de la compensation de la dérive est nécessaire. Conformément à l'exemple de réalisation de la figure 5, le filtre numérique 4 est agencé pour que le coMpteur 16 compte le nombres de cycles d'échantillonnage successifs pendant lesquels le résultat de la comparaison effectuée dans le comparateur 3 montre que la tension V est soit audessus du seuil supérieur sl, soit en-dessous du seuil inférieur s2 fixés dans ce comparateur. Par contre, lorsque les sorties Va et Va du comparateur 3 changent, ou lorsque la tension V se trouve entre les deux seuils, le compteur 16 est remis à zéro. La figure 8 représente, à titre d'exemple, plusieurs cycles d'échantillonnage du dispositif de Mesure selon l'invention. Pendant les cycles 1, 2 et 3, la tension V évolue de telle manière que le compteur 16 n'est pas en mesure de se remplir complètement. Par contre, pendant les cycles 4 à 8 inclus, on voit que la tension V reste audessus du seuil supérieur sl établi par le comparateur, ce qui veut dire que le compteur 16 a pu se remplir et satisfaire la comparaison effectuée dans le comparateur 17 qui peut ainsi délivrer un signal de sortie à la bascule 18. Simultanément, la porte ET 19 est ouverte pour délivrer un signal aux interrupteurs 5da et 5db qui relient la capacité C3a à l'entrée de l'intégrateur 6. I1 en résulte une augnentation d'une fraction déterminée 22 (figure 8) de la tension de compensation V à la sortie de cette intégrateur 6. Pendant les cycles suivants de mesure, cette quantité continue à être retranchée de la tension V, jusqu'à ce que de nouveau, pendant un nombre déterminé de cycles consécutifs, la tension V se situe au-dessus ou en-dessous des seuils sl,s2 fixés par le comparateur 3. La valeur de la charge appliquée sur la capacité C est alors de nouveau corrigée en conséquence.Bien entendu, lorsque la tension V se trouve en-dessous du seuil s2, c'est la porte 20 qui est ouverte et ce sont les interrupteurs 5sa et 5sb qui sont rendus passants pour opérer une correction inverse de la tension de coMpensation V . I1 est à noter qu'en réalité, le nombre prédéterminé de cycles fixé dans le comparateur 17 doit être nettement plus grand que cinq (conne dans l'exemple décrit ici), la DeManderesse ayant utilisé un nombre égal à 640 dans une réalisation pratique. I1 s'est avéré que ce noMbre prédéterminé (ou en d'autres termes le teMps T prédéterminé qui doit s'écouler avant qu'une compensation de dérive ne soit effectué) correspond à une demi-période du signal à mesureur ayant la plus faible fréquence. La figure 9 représente un second Mode de réalisation du dispositif suivant l'invention dans lequel on utilise un comparateur 3A n'opposant qu'un seul seuil s à la tension V. Par ailleurs, ce mode de réalisation utilise un autre filtre passe-bas 4A qui diffère du filtre 4 du premier Mode de réalisation de la figure 5 par l'omission de la bascule 12 de type D. En outre, la sortie Q de la bascule 9 est connectée à l'une des entrées d'une porte OU-EXCLUSIF 23 dont l'autre entrée est reliée à la sortie du comparateur 3A. La sortie de la porte 23 est reliée à l'une des entrées de la porte 15. La figure 10 nontre graphiquement que dans le cas de la figure 9, une Modification de la tension de coMpensation est effectuée, lorsque le signal V reste du même côté du seuil s pendant un teMps T prédéterminé. Les figures 11 et 12 illustrent un troisième Mode de réalisation de l'invention qui diffère des deux précédentes en ce qui concerne l'agencement du filtre passe-bas. Dans ce cas, le filtre passe-bas 4B est semblable à celui de la figure 9, cependant que la seconde entrée de la porte OU-EXCLUSIF 23 est raccordée à la sortie Q de la bascule RS 7 (qui n'existe pas dans le Mode de réalisation de la figure 9) par l'intermédiaire d'un conducteur 24. On notera que dans ce troisième Mode de réalisation, on utilise un conparateur 3 à deux seuils sl et s2, conte dans le preMier Mode de réalisation. Le dispositif de mesure selon les figures 11 et 12 élabore une modification de la tension de compensation Voe lorsque le signal de sortie SU n'a pas changé de niveau pendant un teMps prédéterminé T. En d'autres termes, on en exaMine le rapport cyclique. Cette solution présente l'avantage d'éliMiner le risque que la tension V ne franchisse jaMais l'un des seuils sl ou s2, ce qui aurait pour conséquence que le signal de sortie ne changerait jaMais de niveau. I1 est à noter par ailleurs que les preMier et troisième Modes de réalisation de l'invention permettent d'obtenir une certaine hystérèse du signal de sortie SU. Les figures 13 et 14 représentent un quatrièMe Mode de réalisation de l'invention dans lequel le dispositif de mesure selon l'invention comporte un filtre passe-bas 4C travaillant sur la sortie SU de la bascule RS 7, colle dans le Mode de réalisation précédent. Ce filtre passe-bas 4C colporte deux portes ET 25 et 26 dont des premières entrées sont reliées à la sortie p4 de l'horloge 10. La seconde entrée de la porte ET 25 est à inversion et elle est reliée, en conun avec la seconde entrée de la porte 26, à la sortie de la porte RS 7. Les sorties des portes ET 25 et 26 sont reliées respectivement aux entrées de commande de décowptage et de comptage 27a et 27b d'un coîpteur/décoipteur 27. Les sorties 27c à 27h du cospteur/décospteur 27 sont reliées respectivenent à autant d'entrées de deux coiparateurs 28 et 29 dans lesquels sont mémorisées la valeur positive et la valeur négative d'un nombre prédéterminé N destinées à être comparées au contenu du compteur/ décompter 27. Lorsqu'ils constatent l'égalité avec leurs valeurs ténorisées respectives, les comparateurs 28 et 29 délivrent un signal aux entrées respectives d'une porte OU 30 dont la sortie est connectée à son tour à l'entrée D d'une bascule de type D 31.Celle-ci reçoit le signal p4 de l'horloge 10 sur son entrée Ck, tandis que sa sortie Q est raccordée à l'entrée de remise à zéro RAZ du compteur/décompteur 27. Les sorties des comparateurs 28 et 29 sont également reliées aux entrées respectives des portes ET 19 et 20. La figure 14 représente graphiqueMent le fonctionnement du dispositif de mesure selon le Mode de réalisation de la figure 13. On voit que le compteur/décompteur 27 compte les impulsions du signal p4 vers le haut, lorsque le signal SU est au niveau haut, et vers le bas, lorsque ce signal est au niveau bas. Par conséquent, le générateur 6 de tension de compensation V reçoit un signal de coMMande si le coMpteur 27 s'est repli totalement, ou autrement dit si un certain temps T s'est écoulé entre deux transitions du signal de sortie SU. On comprend que ce fonctionnement s'applique également lorsque le comparateur ne comporte qu'un seul seuil. Dans le Mode de réalisation de la figure 15, on utilise une filtre passe-bas 4D qui diffère du Mode de réalisation de la figure 13 en ce que le compteur/décompteur 27 est commandé par les transitions des sorties Vsh et Vsb du comparateur 3 plutôt que de l'être par celles du signal de sortie SU. Dans ce cas, la porte ET 25 dont l'une des entrée est à inversion, est remplacée par une porte ET siMple 32. Le fonctionnement de ce montage apparaît sur la figure 16. On va Maintenant se référer à la figure 17 qui représente une variante du dispositif suivant l'invention concernant également spécifiquement le filtre numérique désigné par 4E. Dans ce cas, la conception du filtre est celle de la figure 5, cependant que la sortie de la porte NI 14 est connectée directement à l'entrée de remise à zéro du compteur 16 de telle sorte que sa remise à zéro ne s'effectue que lorsque le comparateur 3 change de sortie. Par ailleurs, le compteur 16 est connecté en parallèle à plusieurs comparateurs 17-1 à 17n qui contiennent chacun un noMbre fixe différent à comparer au contenu du compteur 16. Les noMbres fixes des comparateurs sont croissants, nais de plus en plus rapprochés les uns les autres. Par exemple l'on peut le choisir à 640 pour le comparateur 17-1, à 900 pour le comparateur 17-2, à 1000 pour le comparateur 17-3, à 1020 pour le comparateur 17-4, à 1025 pour le comparateur 17-n. Par ailleurs, les sorties des comparateurs sont reliées aux entrées respectives d'une porte OU 23 dont la sortie est reliée aux deuxièmes entrées des portes ET 19 et 20. Grâce à ce circuit, la compensation de la dérive peut être effectuée de plus en plus souvent, si les résultats des comparaisons effectuées par le comparateur 3 persistent dans le Mêle sens. Bien entendu, on a donné ici une version câblée du filtre numérique, mais il est possible d'obtenir le MêMe résultat, voire une analyse plus détaillée de l'évolution de la dérive ainsi qu'une compensation plus élaborée adaptée à cette évolution, en utilisant un Microprocesseur dirent prograMMé. Selon encore une autre variante de l'invention, la tension V pourrait être confrontée à plus de deux seuils, moyennant quoi un algorithme adéquat, exécuté par un microprocesseur par exemple, pourrait effectuer la modification de la compensation en fonction de critères extérieurs ou à des temps différents selon le résultat de la confrontation de la tension V à ces seuils. Enfin, selon encore une autre variante de l'invention représentée sur la figure 10, il est possible d'utiliser un générateur de fractions de tension de compensation (désigné par 21A sur la figure 18) comportant des paires de capacités de différentes valeurs. Ainsi, il est prévu pour chaque sens de la compensation plusieurs capacités C3a-1 à C3a-n, respectivement C3b-1 à C3b-n, raccordées chacune par des interrupteurs respectifs aux potentiels V , VM et de la masse. Ces interrupteurs sont commandés de la Mêle façon que ceux de la figure 5, étant entendu que pour une dérive spécifique, on choisira un couple de capacités adaptées au degré de compensation souhaitée de la dérive. De cette façon, on pourra adapter la compensation de la dérive à l'évolution de plusieurs paramètres en comandant les interrupteurs des capacités de manière à les insérer sélectivement dans le circuit du générateur. Ceci peut servir en particulier par exemple à la Mise en service du dispositif de mesure où la dérive peut être très importante au départ. Les échelons de compensation tel que 22 (figure 8) peuvent alors être importants au départ pour coMpenSer rapidement la dérive initiale puis progressiveMent décroissants, lorsque le système atteint un régime de fonctionnement stabilisé. REVENDICATIONS l.-Dispositif de mesure d'une grandeur physique susceptible de subir une dérive importante et/ou de varier dans une large plage de valeurs, et dont l'évolution dans le tempos présente une allure oscillatoire, ce dispositif comprenant un capteur de mesure (CPD) destiné à délivrer une tension alternative (V) représentative de cette allure oscillatoire, un comparateur (3) destiné à comparer ladite tension alternative (V) à au moins un seuil (s, sl, s2) pour engendrer un signal numérique (SU) dont la fréquence est représentative de ladite grandeur physique, et une boucle de réglage pour compenser l'effet de la dérive sur le résultat de la Mesure, ce dispositif étant caractérisé en ce que ladite boucle de réglage comprend un filtre numérique passebas (5, 5A à 5E) relié à la sortie dudit conparateur (3) pour engendrer un signal de commande (p5d, p5s), lorsque ledit signal numérique (SU) présente une caractéristique temporelle prédéterminée représentative d'une variation de dérive, et en ce que ladite boucle de réglage coMporte en outre un générateur (5) de tension de compensation (Vo.q) raccordé entre ledit filtre passe-bas (4, 4A à 4E) et ledit capteur de mesure (CPD) pour appliquer une tension de compensation à celui-ci s'opposant à la dérive et pour, à chaque apparition dudit signal de conmande (p5d, p5s), modifier d'une quantité prédéterminée (22) la tension de compensation délivrée audit capteur en fonction de l'évolution de la dérive. 2.- Dispositif de Mesure suivant la revendication 1, caractérisé en ce que ledit capteur de mesure (CPD) est un capteur capacitif différentiel qui est connecté audit comparateur (3) par l'intermédiaire d'un amplificateur de charges (2), et en ce que ledit capteur (CPD) et ledit amplificateur (2) comportent des capacités contées (C1, C2, C). 3.- Dispositif de mesure suivant la revendication 2, caractérisé en ce que ledit générateur de tension de conpensation (5) comporte un intégrateur (6) couplé sélectivenent audit capteur capacitif différentiel (CPD) par l'intermédiaire d'une capacité de couplage contée (C) permettant de transmettre ladite tension de conpensation (V ) audit capteur, et en ce que ledit générateur (5) de tension de coMpensation coMporte égaleMent un circuit (21; 21A) à capacités contées (C3a, C3b;C3a-1 à C3a-n, C3b-1 à C3b-n) destiné à appliquer audit intégrateur (6) des fractions de tension de coMpensation (+#V@@, -bV,), à chaque apparition dudit signal de commande (p5d, p5s). 4.- Dispositif de Mesure suivant l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que ledit filtre numérique passe-bas (4; 4D) comporte des Moyens générateurs (9, 11 à 20; 19, 20, 26 à 32) pour engendrer ledit signal de commande (p5d, p5s), lorsque ladite tension de commande (V) présente une valeur ayant par rapport audit seuil (s) une relation prédéterminée pendant un intervalle de teMps prédéterminé (T). 5.- Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que ledit filtre nuMérique passe-bas (4B; 4C) comporte des Moyens générateurs (9, 15 à 20, 23; 9, 15 à 20, 23, 24) pour engendrer ledit signal de conarde (p5d, p5s), lorsque ledit signal numérique (SU) présente un rapport cyclique prédéterminé. 6.- Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 4 et 5, caractérisé en ce que lesdits Moyens générateurs du signal de conarde coMprennent des Moyens de comptage (16 à 20; 19, 20, 25 à 32) pour définir ledit intervalle de teMps prédéterminé (T), ces noyens de comptage étant déclenchés à chaque transition du signal de sortie (Va, Vab) dudit coMparateur (3) ou dudit signal de sortie (SU), et fournissant ledit signal de commande lorsque leur contenu atteint une position de comptage prédéterminée. 7.- Dispositif de mesure suivant la revendication 6, caractérisé en ce que lesdits noyens de comptage comportent un coMpteur de coMptage vers le haut (16). 8.- Dispositif de nesure suivant la revendication 6, caractérisé en ce que lesdits oyens de comptage comportent un compteur/décompteur (27). 9.- Dispositif de mesure suivant la revendication 6, caractérisé en ce que lesdits Moyens de comptage colportent des moyens (17-1 à 17n) pour permettre la production dudit signal de conarde (p5d, p5s) pour une pluralité de positions de comptage. 10.- Dispositif suivant l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que ledit générateur de tension de compensation (5) comporte des Moyens pour faire varier ladite quantité de tension prédéterminée (22). 11.- Dispositif de mesure suivant l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que ledit capteur de mesure (CPD) est un capteur de pression différentielle. 12.- Dispositif de mesure suivant la revendication 11 du débit d'un fluide s'écoulant dans une canalisation (CA), caractérisé en ce que ledit capteur de pression différentielle (CPD) est monté dans un oscillateur fluidique (V, T) placé dans l'écoulenent du fluide.