Brevet FR2725068A1 — publié le 19960329

Cette invention se rapporte à un support d'enregistrement magnétique, et plus particulièrement à un support d' enregistrement magnétique du type à métal vaporisé. Une forte demande d' enregistrement à haute densité afin d'obtenir une grande qualité d'image a progressé récemment dans le domaine des magnétoscopes, etc. Dans ce but, il a été proposé un support d'enregistrement magnétique du type à film métallique magnétique mince dans lequel une matière métallique magnétique ou un alliage magnétique tel que Co-Ni est directement déposée sur un substrat non magnétique par une technique de dépôt ou de formation de film mince sous vide, tel que le dépôt sous vide, la pulvérisation ou le dépôt ionique. Le support d'enregistrement magnétique du type à film métallique magnétique mince présente plusieurs avantages, de sorte qu'il est supérieur sur le plan de la coercitivité, du rapport rectangulaire et des caractéristiques de conversion électromagnétiques dans une plage de longueur d'onde courte et se prête à une réduction d'épaisseur de la couche magnétique et à une densité d'emballage accrue de la matière magnétique du fait qu'il n'est pas nécessaire de mélanger la matière non magnétique, telle qu'un liant, dans une couche magnétique, comme dans le cas d'un support d'enregistrement magnétique enduit. En particulier, la bande magnétique du type à métal vaporisé, ou la bande à métal vaporisé, qui a sa couche magnétique formée par le procéde de dépôt sous vide, est commercialisée comme bande 8 m à bande passante élevée ou microbande numérique, par exemple une bande sans suivi de piste, du fait qu'elle présente des caractéristiques de stabilité et de rendement de production élevées. Dans la bande à métal vaporisé décrite ci- dessus, la couche magnétique est formée par dépôt sous vide qui est réalisé d'une manière telle qu'une matière magnétique servant de source de vaporisation est irradiée sous vide par des rayons électroniques afin d'être convertie en une vapeur métallique qui est alors déposée sur le substrat non magnétique. Dans ce cas, la pratique générale consiste à introduire de l'oxygène gazeux dans 1' atmosphère de dépôt en phase vapeur afin d'oxyder une partie de la vapeur métallique de façon à commander les caractéristiques magnétiques, par exemple la coercitivité ou la densité de flux magnétique de saturation de la couche magnétique. La figure 1 montre la constitution d'un appareil de dépôt en phase vapeur dans lequel le dépôt en phase vapeur est réalisé tout en introduisant de 1' oxygène dans 1' atmosphère de dépôt en phase vapeur. L'appareil de dépôt en phase vapeur comprend une chambre sous vide 30 maintenue sous un vide poussé et recevant un rouleau d'alimentation 31 et un rouleau de réception 32. Un substrat non magnétique en forme de bande 33 est prévu pour se déplacer du rouleau d'alimentation 31 jusqu'au rouleau de réception 32. Un tambour de refroidissement 34 d' un diamètre supérieur aux rouleaux 31, 32 est monté au niveau d'une partie médiane d'une trajectoire de défilement du substrat non magnétique 33 du rouleau d'alimentation 31 vers le rouleau de réception 32. Le tambour de refroidissement 34 est positionné afin de tirer le substrat non magnétique 33 vers le bas sur la figure 1. Le substrat non magnétique 33 est ainsi déroulé de manière séquentielle du rouleau d'alimentation 31 afin d'être guidé autour de la surface périphérique du tambour de refroidissement 34 avant d'être reçu par le rouleau de réception 32. Dans la chambre sous vide 30, un creuset 35 rempli avec une matière métallique magnétique 38 servant de source de vaporisation est monté sous le tambour de refroidissement 34. Sous la paroi latérale interne de la chambre sous vide 30 est monte un canon à électrons destiné à chauffer et vaporiser la matière métallique magnétique 38 versée dans le creuset 35. Le canon à électrons est orienté de façon à rayonner des rayons électroniques vers la matiere métallique magnétique 38 contenue dans le creuset 35. La matière métallique magnétique 38, vaporisée par le canon à électrons, est déposée sous forme d'une couche magnétique sur le substrat non magnétique 33 prévu pour défiler à vitesse constante autour de la surface périphérique du tambour de refroidissement 34. Un volet est monté entre le tambour de refroidissement 34 et le creuset 35 au voisinage du tambour de refroidissement 34. Le volet 36 est formé afin de recouvrir une surface prédéterminée du substrat non magnétique 33 prévu pour se déplacer sur la surface périphérique du tambour de refroidissement 34. La matière métallique magnétique vaporisée 38 est déposée en oblique sur une étendue angulaire prédéterminée sur le substrat non magnétique 33. Avec le présent appareil de dépôt sous vide, une entree d'oxygène gazeux 37 est prévue à travers la section de paroi latérale de la chambhre sous vide 30. L'entrée d'oxygène gazeux 37 est prévue à proximité du tambour de refroidissement 34 entre le volet 36 et le tambour de refroidissement 34, c'est-à-dire dans une position espacée de la matière métallique magnétique 38 servant de source de vaporisation. Une partie de la vapeur métallique provenant de la source de vaporisation et se déplaçant au-delà du volet est oxydée par 1' oxygène gazeux délivré par 1' intermédiaire de 1' entrée d'oxygène gazeux 37 de façon à être déposée sur la surface du substrat non magnétique 33. Le film métallique magnétique mince formé par le procédé d'oxydation décrit ci-dessus tend à être d'une coercitivité plus élevée et d'une magnétisation de saturation plus faible que le film métallique magnétique mince qui n'est pas passé par le processus d'oxydation. Les propriétés magnétiques peuvent ainsi être ajustées en commandant la quantité d'oxygène introduit par l'entrée d'oxygène gazeux. L'entrée d'oxygène est prévue entre le volet et le tambour de refroidissement afin d' empêcher grâce au volet l'entrée de l'oxygène gazeux d'être directement exposée à la vapeur métallique provenant de la source de vaporisation. Si l'entrée d'oxygène gazeux est directement exposée à la vapeur métallique, cette dernière tend à se fixer sur l'entrée d'oxygène gazeux, obstruant ainsi l'introduction normale de l'oxgn gazeux. En vu d'uniformiser la quantité d'oygène gazeux introduit sur la largeur du substrat non magnétique, plusieurs tubes d'entrée de faibles diamètres sont placés parallèlement sur la largeur du substrat non magnétique, ou bien un tube d'entrée ayant une forme en coupe uniforme sur la largeur du substrat non magnétique est utilisé. Si le film magnétique mince formé par l'appareil de dépôt sous vide décrit ci-dessus est analysé en ce qui concerne sa concentration en oxygène, par exemple grâce au procedé spectroscopique électronique Auger, on constante que le degré d' oxydation dans le film mince n'est pas uniforme mais est de manière significative partiel vers sa couche de surface. Dans le cas d'un film métallique magnétique mince ayant une épaisseur de 200 nanomètres, sa couche de surface avec une épaisseur allant de 16 à 28 nanomètres représente une couche d'oxyde de surface présentant un degré d'oxydation extrêmement élevé. Jusqu'à présent, la présence de la couche d' oxyde de surface était ressentie comme augmentant les caractéristiques magnétiques, telles que la coercitivité de la couche magnétique, et améliorant sa tenue dans le temps. Toutefois, les résultats de nos investigations ont révélé que la couche d'oxyde de surface ne contribue pas nécessairement à améliorer les propriétés magnétiques, telles que la coercitivité, mais peut affecter les caractéristiques de conversion électromagnétique, du fait que les propriétés magnétiques ont été détériorées dans cette couche de surface. C'est par conséquent un but de la présente invention que de procurer un support d'enregistrmnt magnétique ayant des propriétés magnétiques supérieures, telles que la coercitivité, et capable de présenter de bonnes caractéristiques de conversion électromagnétique. Selon la présente invention, il est prévu un support d' enregistrement magnétique ayant un film métallique magnétique mince déposé sur un substrat non magnétique par dépôt en phase vapeur sous une atmosphère d'oxygène gazeux introduit, la film magnétique métallique mince ayant une couche d' oxyde de surface ayant un degré d'oxydation de 50% ou plus, avec la couche d'oxyde de surface qui a une épaisseur qui ne représente pas plus de 5% de l'épaisseur totale du film métallique magnétique mince. Si la couche magnétique est composée de plusieurs films métalliques magnétiques minces, chaque couche d'oxyde de surface sur chaque film magnétique mince, ayant un degré d'oxydation de 50% ou plus, a une épaisseur qui représente 5% ou moins de l'épaisseur totale du film métallique magnétique mince. Une couche de protection composée d' une substance minérale peut être formée sur la couche magnétique. La force coercitive peut être de 1000 Oe ou plus, alors que le rapport rectangulaire peut être do % ou plus. Le support d'enregistrement magnétique de la présente invention est une bande magnétique à métal vaporisé ou à dépôt en phase vapeur, qui est une bande magnétique dans laquelle un film métallique magnétique mince sous forme d'une couche magnétique est déposé par un procede de dépôt en phase vapeur. Avec le support d'enregistrement magnétique à dépôt en phase vapeur, le dépôt en phase vapeur destiné à former le film métallique magnétique mince est réalisé d'une manière telle qu'une entrée d'oxygène gazeux est disposée entre une matière magnétique servant de source de vaporisation et un substrat non magnétique sur lequel est déposée la matière magnétique. Une partie de la matière magnétique qui s'est transformée en vapeur métallique est oxydée par un courant d'oxygène gazeux provenant de l'entrée d'oxygène gazeux. Bien que le film métallique magnétique mince ainsi formé contienne de l'oxygène gazeux, sa distribution en oxygène gazeux n'est pas uniforme, de sorte que le degré d'oxydation dans la partie de couche de surface est élevé et est de 50% ou plus au contraire du degré d'oxydation de la zone intérieure du film qui est de 30% ou moins. Avec le film métallique magnétique mince, le degré d'oxydation de l'ordre de 30% est favorable pour 1' amélioration des propriétés magnétiques, telles que la coercitivité. Toutefois, l'oxydation de 50% ou plus détériore les propriétés magnétiques et affecte les performances de conversion électromagnétique du support d'enregistrement. Selon la présente invention, l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface, ayant le degré d'oxydation de 50% ou plus, est commandée afin de représenter 5% ou moins de l'épaisseur totale du film métallique magnétique mince. Si la partie de couche d'oxyde de surface avec des performances magnétiques détériorées est limitée à cette plage, il devient possible de supprimer la perte d'espacement provoquée par ailleurs par la couche d'oxyde de surface et d'améliorer de manière significative les performances de conversion électromagnétique. Avec le support d'enregistrement magnétique selon la présente invention, dans lequel un film métallique magnétique mince est déposé par dépôt en phase vapeur sous une atmosphère d'oxygène gazeux introduit, l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface ayant le degré d'oxydation de 50% ou plus est maintenue à 5% ou moins de l'épaisseur totale du film métallique magnétique mince, de sorte que le support d'enregistrement magnétique est affecté dans une moindre mesure par la couche d'oxyde de surface de telle sorte que la couche d'enregistrement magnétique est excellente sur le plan des propriétés magnétiques telles que la coercitivité et les caractéristiques de conversion électromagnétique. La figure i est une vue schématique montrant un appareil de dépôt en phase vapeur utilisé dans la préparation d'un support d'enregistrement magnétique conventionnel. La figure 2 est une vue schématique montrant un appareil de dépôt en phase vapeur utilisé pour préparer un support d'enregistrement magnétique selon la présente invention. La figure 3 est un graphique montrant la répartition du degré d'oxydation sur la profondeur du film métallique magnétique mince. La figure 4 est un graphique montrant la relation entre le rapport de la couche d'oxyde de surface et la sortie de lecture. La figure 5 est un graphique montrant la relation entre la sortie de lecture et le rapport de la couche d'oxyde de surface dans des bandes magnétiques de coercitivités différentes. La figure 6 est un graphique montrant la relation entre le rapport rectangulaire et la sortie de lecture. La figure 7 est une vue schématique montrant un dispositif de pulvérisation destiné à former un film de protection. Des formes de réalisation préférées de la présente invention vont être expliquées en détail en se référant aux dessins. Sur la figure 2 est représenté un appareil de dépôt en phase vapeur en continu destiné à former un film métallique magnétique mince. Selon la présente invention, l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface du film métallique magnétique mince peut être coand par la position de l'entrée d'oxygène gazeux au moment du dépôt en phase vapeur. L'appareil de dépôt en phase vapeur comprend une chambre sous vide 1 maintenue sous vide poussée et recevant un rouleau d'alimentation 3 entrainé en rotation à vitesse constante dans le sens inverse des aiguilles d'une montre et un rouleau de réception 4 entraîné en rotation à vitesse constante dans le sens des aiguilles d'une montre. Un substrat non magnétique en forme de bande 5 est prévu pour se déplacer du rouleau d'alimentation 3 vers le rouleau de réception 4. Un tambour de refroidissement 6 d'un diamètre supérieur aux rouleaux 3, 4 est monté niveau de la partie médiane d'une trajectoire de déplacement du substrat non magnétique 5 du rouleau d'alimentation 3 vers le rouleau de réception 4. Le tambour de refroidissement 6 est monté afin de tirer le substrat non magnétique 5 vers le bas sur le dessin et est prévu pour être entrainé en rotation à vitesse constante dans le sens des aiguilles d'une montre. Le rouleau d'alimentation 3, le rouleau de réception 4 et le tambour de refroidissement 6 sont chacun sous la forme d' un cylindre d' une largeur et d' une longueur sensiblement égales au substrat non magnétique 5. Un dispositif de refroidissement, non représenté, est monté dans le tambour de refroidissement 6 afin de supprimer une déformation du substrat non magnétique 5 provoquée par ailleurs par l'augmentation de température. Le substrat non magnétique 5 est ainsi avancé de manière séquentielle depuis le rouleau d' alimentation 3 de façon à se déplacer sur la surface périphérique du tambour de refroidissement 6 afin d'être enroulé sur le rouleau de réception 4. Un creuset 7 est monté dans la chambre sous vide 1 sous le tambour de refroidissement 6. Le creuset 7, dans lequel est chargée une matière métallique magnétique 8, est d' une largeur sensiblement égale au tambour de refroidissement 6. Sur la surface latérale de la chambre sous vide 1 est monté un canon à électrons, non représenté, destiné à chauffer et vaporiser la matière métallique magnétique chargée dans le creuset 7. Le canon à électrons est monté afin de rayonner un faisceau d'électron vers la matière métallique magnétique 8 dans le creuset 7. La matière métallique magnétique 8, vaporisée par le canon à électrons, est déposée sous forme d'une couche magnétique sur le substrat non magnétique 5 qui se déplace a vitesse constante sur la surface périphérique du tambour de refroidissement 6. Un volet 9 est monté entre le tambour de refroidissement 6 et le creuset 7 au voisinage du creuset 7. Le volet 9 est formé afin de recouvrir une surface prédéterminée du substrat non magnétique 5 prévu pour se déplacer sur la surface périphérique du tambour de refroidissement 6. La matière métallique magnétique vaporisée 8 est déposée en oblique sur une étendue angulaire prédéterminée sur le substrat non magnétique 5. Avec le présent appareil de dépôt sous vide, une entrée d'oxygène gazeux 10 est prévue à travers la section de paroi latérale de la chambre sous vide 1. L'entrée d'oxygène gazeux 10 est prévue à proximité du tambour de refroidissement 6 entre le volet 9 et le tambour de refroidissement 6, c' est-à-dire dans une position proche de la matière métallique magnétique 8 qui sert de source de vaporisation. Une partie de la matière métallique magnétique vaporisée par la source de vaporisation est oxydée par l'oxygène gazeux délivré par l'entrée d'oxygène gazeux 10 afin d'être déposé sur la surface du substrat non magnétique 5. Si l'entrée d'oxygène gazeux 10 est montée dans une position espacée de la source de vaporisation, comme dans 1' appareil de dépôt en phase vapeur conventionnel, et que suffisamment d'oxygène destiné à conférer la force coercitive dépassant 10000 Oe au film magnétique métallique mince doit être introduit, une couche d'oxyde de surface ayant le degré d'oxydation supérieur d'au moins 50% à celui de l'intérieur du film mince est produite sur une épaisseur qui dépasse 5% de 1' épaisseur totale du film métallique magnétique mince. Avec l'appareil de dépôt en phase vapeur de la présente forme de réalisation, dans lequel l'entrée Il d'oxygène gazeux 10 est montée à proximité de la source de vaporisation, il devient possible d'avoir l'oxygène contenu à l'intérieur du film mince en quantité suffisante pour augmenter la force coercitive, tout en ramenant l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface à une valeur plus faible, de sorte qu'il devient possible de prévoir un film métallique magnétique mince qui est supérieur sur le plan des caractéristiques de conversion électromagnétique et qui est affecté dans une moindre mesure par la couche d'oxyde de surface. L'épaisseur de la couche d'oxyde de surface, générée dans la surface du film métallique magnétique mince, peut être ramenée à une valeur plus faible en prévoyant l'entrée d'oxygène gazeux 10 dans une position plus proche de la source de vaporisation. En effet, la position de l'entrée d'oxygène gazeux 10, pour laquelle l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface peut être ramenée à moins de 5%, diffère également avec la quantité d'oxygène introduit par l'entrée d'oxygène gazeux 10, de sorte que la position est choisie de manière appropriée par un compromis optimum. Toutefois, lors de la sélection de la position de l'entrée d'oxygène gazeux 10 et de la quantité d'oxygène introduit par l'entrée d'oxygène gazeux 10, il est nécessaire de prendre en compte l'objectif de base d'introduction d'oxygène dans 1' atmosphère de dépôt en phase vapeur, c'est-à-dire de commander les caractéristiques magnétiques du film métallique magnétique mince. Même si la couche d'oxyde de surface est d'une épaisseur réduite, une coercitivité suffisante ne peut être obtenue si la concentration en oxygène contenu dans le film mince est trop faible. C'est par la force coercitive de 10000 Oe au minimum et pour le rapport rectangulaire dépassant de préférence 60% qu'une sortie de lecture élevée est produite. Il est ainsi préférable d'ajuster la position de l'entrée d'oxygène gazeux 10 et la quantité d'oxygène introduit par l'entrée d'oxygène gazeux 10 afin d'obtenir ces caractéristiques magnétiques. Afin d'empêcher l'entrée d'oxygène gazeux 10 d'être exposée directement à la vapeur métallique provenant de la source de vaporisation, l'entrée d'oxygène gazeux 10 est de préférence disposée entre le tambour de refroidissement 6 et le volet 9 de telle sorte que le volet 9 est interposé entre l'entrée d'oxygène gazeux 10 et la source de vaporisation. Comme film métallique magnétique mince mentionné ci-dessus formé par dépôt en phase vapeur, n'importe lequel de ceux utilisés couramment dans le support d'enregistrement magnétique à dépôt en phase vapeur peut être utilisé. Par exemple, des films métalliques magnétiques minces du type à enregistrement magnétique dans un plan, tels que les filme minces de métaux tels que Co, Fe ou Ni, ou les films minces d'alliage tels que l'alliage à base de Co-Ni, l'alliage à base de Co-Ni-Pt, l'alliage à base de Fe-Co-Ni, l'alliage à base de Fe-Ni-B, l'alliage à base de Fe-Co- B ou l'alliage à base de Fe-Co-Ni-B, peuvent être utilisés. De plus, des films métalliques magnétiques minces du type à enregistrement magnétique perpendiculaire, tels que les films minces à base de Co-O ou d'alliage à base de Co-Cr peuvent égalemient être utilisés. La couche magnétique peut être une structure à une seule couche ayant un unique film métallique magnétique mince ou une structure multicouches ayant plusieurs couches de films métalliques magnétiques. Une couche de protection destinée à améliorer la durée de vie pendant le défilement peut être formée sur la couche magnétique composée du ou des films métalliques magnétiques minces. La couche de protection peut être un film mince de carbone ou d'une matière minérale telle que A1203, Ti-N, Mo-C, Cr-C, SiO ou SiO2 formée par une technique de formation de film mince sous vide telle que la pulvérisation. La couche de protection fait de préférence 20 nanomètres ou moins et de préférence 10 nanomètres ou moins d'épaisseur afin d'obtenir des effets de protection suffisants et afin d'empêcher la sortie de lecture d'être abaissée du fait qu'une perte d'espacement provoquée par ailleurs par la couche de protection. Le substrat non magnétique, sur lequel est formé le film métallique magnétique mince, peut être dans une matière couramment employée. Des e les de ces matières comprennent les polyesters, tels que le téréphtalate de polyéthylène, les polyoléfines tels que le polyéthylène ou le polypropylene, les dérivés de cellulose tels que le triacétate de cellulose, le diacetate de cellulose ou le butyrate de cellulose, les résines vinyliques telles que le chlorure de polyvinyle ou le chlorure de polyvinylidène, et des matières plastiques telles que le polycarbonate, le polyimide ou le polyamide imide. Selon la présente invention, la partie de surface d'un film métallique magnétique mince dans le support d'enregistrement magnétique, ce film métallique magnétique mince étant forme en tant que couche magnétique par dépôt en phase vapeur dans une atmosphère de l'oxygène gazeux introduit, a une couche d'oxyde de surface ayant le degré d' oxydation qui n'est pas inférieur à 50%, avec l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface qui représente 5% ou moins de l'épaisseur totale du film métallique magnétique mince. L'oxydation de l'ordre de 30% dans le film métallique magnétique mince est favorable pour la commande des propriétés magnétiques telles que la coercitivité. Toutefois, l'oxydation de 50% ou plus détériore les propriétés magnétiques. Si l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface ayant le degré d'oxydation de 50% ou plus est ramenée à 5% ou moins, un support d' enregistrement magnétique avec des caractéristiques de conversion électromagnétique supérieures peut être réalisé sans être affecté par les détériorations des propriétés magnétiques. La présente invention va être expliquée à partir de résultats d'expérimentation. Exemple expérimental 1 Dans le présente exemple expérimental, des analyses ont été faites sur l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface du film métallique magnétique mince. Un film métallique magnétique mince de cobalt, ayant une épaisseur de film de 200 nanomètres, est formé sur un film de base en téréphtalate de polyéthylène (PET) par un appareil de dépôt en phase vapeur du type en continu représenté sur la figure 2. La distance d entre le tambour de refroidissement 6 et l'entrée d'oxygène gazeux 10 et la quantité d'oxygène gazeux introduit par l'entrée d'oxygène gazeux 10 sont modifiées comme cela est représenté dans le tableau 1. La quantité d'oxygène gazeux introduit est trouvée par expérimentation préalable et est une quantité d' oxygène gazeux introduit qui correspond à la sortie de lecture maximum avec l'entrée d'oxygène gazeux 10 qui reste montée dans la même position. Les conditions d'introduction de 1' oxygène gazeux pour une bande d'échantillon 1-1 sont représentatives des conditions présentes. D'autres conditions pour le dépôt en phase vapeur comprennent le diamètre de tambour de refroidissement de 600 mm, le degré de vide dans la chambre sous vide de 101,3 10-6 Pa, une source de vaporisation qui est un bloc de cobalt, une distance D entre la source de vaporisation et le tambour de refroidissement qui est de 300 mm, un angle incident de dépôt en phase vapeur de 90 à 45 par rapport à la perpendiculaire au substrat non magnétique, la vitesse d'avance de film de base de 25 mètres par minute et les moyens de dépôt en phase vapeur qui sont constitués par un faisceau d'électrons. L'épaisseur de film du film métallique magnétique mince est commandée en ajustant l'intensité du courant du faisceau d'électrons. Une peinture de support, composée principalement de carbone, est déposée sur la surface du film de base à l'opposée de la surface ayant le film métallique magnétique mince, afin de former une couche de support. La structure résultante est alors traitée à chaud. Sur le film métallique magnétique mince est déposé un naphtalène-2,3 diol comme antiseptique ainsi qu'un diméthyle-stéarylamine comme lubrifiant et la structure résultante est découpée à des largeurs prédéterminées afin de préparer des bandes magnétiques (bandes d'échantillon 1-1 à 1-4) qui sont alors mises dans des cassettes. L'épaisseur des couches d'oxyde de surface des films métalliques magnétiques minces, c'est-à-dire les parties des couches de surface des films métalliques magnétiques minces ayant le degré d'oxydation de 50% ou plus, le degré d'oxydation moyen dans le film mince et la sortie de lecture sont mesurés dans ces bandes magnétiques ainsi préparées. Le degré d'oxydation moyen du film métallique magnétique mince signifie ici le taux de concentration du métal magnétique, ici du cobalt, par rapport à 1' oxygène, trouvé à 1 ' aide d' un spectromètre à électrons Auger. La sortie de lecture est mesurée en utilisant un magnétoscope 8 mm à bande passante élevée fabriquée par SONY CORPORATION sous la dénomination commerciale EV-S900. Les conditions de mesure pour la sortie de lecture sont déterminées de sorte que la vitesse relative entre la bande magnétique et la tête magnétique est de 3,8 m/s, la fréquence d'enregistrement est de 7 MHz et le courant d'enregistrement est un courant pour lequel la sortie lecture maximum peut être obtenue pour les bandes magnétiques respectives. La distribution du degré d'oxydation dans une direction le long de la profondeur des filme magnétiques minces respectifs est représentée sur la figure 3, alors que les résultats de mesure du degré d'oxydation moyen àl'intérieur des film- minces et la sortie de lecture sont représentés dans le tableau 2. La relation entre le pourcentage de l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface sur l'épaisseur totale du film mince magnétique et la sortie de lecture sont représentées sur la figure 4. TABLEAU 1 Conditions Degré moyen d'introduction d'oxydation dans d'oxygène gazeux le film (%) Position d Quantité d'entree d'oxygène (mm) gazeux introduit _(cc/min) Bande 10 500 27 d'échantillon 1-1 Bande 50 400 28 d'échantillon 1-2 Bande 100 300 29 d'échantillon 1-3 Bande 200 150 28 d'échantillon 1-4 TABLEAU 2 Couche d'oxyde de Sortie de surface lecture (dB) Epaisseur Rapport de (nm) l'épaisseur totale (%) Bande 18 9 0 d'échantillon 1-1 Bande 10 5 +1,5 d'échantillon 1-2 Bande 4 2 +2,6 d'échantillon 1-3 Bande 0 0 +3 d'échantillon 1-4 La quantité d'oxygène gazeux introduit du tableau 1 est la quantité d'oxygène gazeux introduit correspondant la sortie de lecture maximum de la bande magnétique. Cette quantité d'oxygène gazeux introduit devient plus faible si la distance d entre l'entrée d'oxygène gazeux et le tambour de refroidissement augmente, c'est-à-dire si la position de l'entrée d'oxygène gazeux est plus proche de la source de vaporisation. Si 1' on se refère à la figure 3 qui montre la distribution du degré d'oxydation sur la profondeur du film métallique magnétique mince formé lorsque 1' oxygène gazeux est introduit dans la quantité représentée dans le tableau 1, on peut voir que, bien que le degré d'oxydation moyen à l'intérieur du film mince soit du même ordre de grandeur pour les bandes respectives, l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface diffère avec la position de l'entrée d'oxygène gazeux. L'épaisseur de la couche d'oxyde de surface ayant le degré d'oxydation de 50% ou plus devient plus mince lorsque la position de l'entrée d'oxygène gazeux se rapproche de la source de vaporisation. On peut voir également d'après la figure 4 que l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface est corrélée à la sortie de lecture de la bande magnétique de sorte que la sortie de lecture de la bande magnétique devient plus grande lorsque l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface devient plus faible. En particulier, si l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface est de 5% ou moins de l'épaisseur totale du film métallique magnétique mince, une sortie de lecture plus élevée est obtenue et est de 1,5 dB au-dessus de celle de la bande d'échantillon 1-1 ayant l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface de 18 na, ce qui représente 9% de l'épaisseur totale du film metallique magnétique mince. On peut voir d'après cela que l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface du film métallique magnétique mince de 5% ou moins est efficace afin d'améliorer la sortie de lecture dans un support d'enregistrement magnétique du type à dépôt en phase vapeur. On peut voir également que l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface du film métallique magnétique mince peut être ajustée en commandant la position de l'entrée d'oxygène gazeux configurée afin d'introduire l'oxygène gazeux dans l'atmosphère de dépôt en phase vapeur, de sorte que le film d'oxyde de surface peut être d'une épaisseur réduite en disposant 1' entrée d'oxygène gazeux à proximité de la source de vaporisation. Exemple expérimental 2 Dans le présent exemple expérimental, des analyses ont été faites concernant la coercitivité et le rapport rectangulaire du film métallique magnétique mince et la sortie de lecture. Plusieurs bandes magnétiques (bandes d'échantillon 2-1 à 2-18) sont preparées de la même manière que dans l'exemple expérimental 1, excepte que la distance d entre le tambour de refroidissement et l'entrée d'oxygène gazeux et la quantité d'oxygène gazeux introduite au moment du dépôt du film métallique magnétique mince sont modifiées comme cela est représenté dans le tableau 3. La quantité d'oxygène gazeux introduite est la quantité correspondant à la sortie de lecture maximum pour la même disposition de 1' entrée d'oxygène gazeux. Des mesures ont été faites concernant l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface du film métallique magnétique mince, le degré d'oxydation moyen a l'intérieur du film mince, le rapport rectangulaire et la sortie de lecture sur les bandes magnétiques d'échantillons ainsi préparés. La coercitivite et le rapport rectangulaire sont mesurés en utilisant un magnétomètre à vibration d'échantillon (VSM). Les conditions de mesure pour le degré moyen d'oxydation du film métallique magnétique mince et la sortie de lecture sont les mimes que pour l'exemple expérimental 1. Les résultats de mesure sont représentés dans le tableau 4. La relation entre l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface et la sortie de lecture et la relation entre le rapport rectangulaire et la sortie de lecture sont représentées sur les figures 5 et 6 respectivement. TABLEAU 3 Condition d' introduction d'oxygne gazeux Position d Quantité d'oxygène d'entrée (mm) gazeux introduit (cc/min) Bande d'échantillon 2-1 10 390 Bande d'échantillon 2-2 10 450 Bande d'échantillon 2-3 10 500 Bande d'échantillon 2-4 50 290 Bande d'échantillon 2-5 50 360 Bande d'échantillon 2-6 50 400 Bande d'échantillon 2-7 100 200 Bande d'échantillon 2-8 100 270 Bande d'échantillon 2-9 100 300 Bande d'échantillon 2-10 200 60 Bande d'échantillon 2-11 200 110 Bande d'échantillon 2-12 200 150 Bande d'échantillon 2-13 230 50 Bande d'échantillon 2-14 230 100 Bande d'échantillon 2-15 230 140 Bande d'échantillon 2-16 270 50 Bande d'échantillon 2-17 270 90 Bande d'échantillon 2-18 270 130 TABLEAU 4 Rapport de Force Rapport Sortie couche coer- rectan- de d'oxyde de citive gulaire lecture surface sur (Oe) (%) (dB) 1' épaisseur totale (%) Bande d'échantillon 2-1 1 800 66 -2,4 Bande d'échantillon 2-2 5 890 70 -2,3 Bande d'échantillon 2-3 9 1040 69 0 Bande d'échantillon 2-4 1 790 64 -2 Bande d'échantillon 2-5 3 900 66 -1 Bande d'échantillon 2-6 5 1050 66 +1,5 Bande d'échantillon 2-7 O 800 59 -1,6 Bande d'échantillon 2-8 1 910 64 -0,1 Bande d'échantillon 2-9 2 1040 65 +2,6 Bande d'échantillon 2-10 0 810 54 -1 Bande d'échantillon 2-11 0 910 58 +0,2 Bande d'échantillon 2-12 0 1000 60 +3 Bande d'échantillon 2-13 0 800 52 -1 Bande d'échantillon 2-14 0 900 54 0 Bande d'échantillon 2-15 0 990 55 +1,3 Bande d'échantillon 2-16 0 810 50 -1,4 Bande d'échantillon 2-17 0 920 52 -0,3 Bande d'éechantillon 2-18 O 990 53 +0,9 On peut voir d'après la figure 5 que, pour des valeurs quelconques de la force coercitive, l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface est corrélée à la sortie de lecture de la bande magnétique, de sorte que, si on excepte le cas o la quantité d'oxygène introduit au moment de la formation du film métallique magnétique mince est extrêmement faible et est de l'ordre de 100 cm3 par minute, la sortie de lecture devient plus élevée si l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface devient plus faible. Toutefois, si la force coercitive est de 1000 Oe ou moins, seule la sortie de lecture faible qui n'est pas supérieure à 0 dB est produite, même si l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface est modifiée. On voit également d'après la figure 6 que la sortie de lecture est également modifiée avec le rapport rectangulaire, de sorte que, si le rapport rectangulaire est faible et est inférieur à 60%, une sortie de lecture suffisante n'est pas produite, et la valeur plus importante de la sortie de lecture est obtenue pour le rapport rectangulaire de 60% ou plus. La sortie de lecture reduite pour le rapport rectangulaire de 65% ou plus sur la figure 6 peut être attribuée à la couche d'oxyde de surface épaisse. C'est-à-dire que si l'effet de la couche d'oxyde de surface est déduit, la sortie de lecture devient plus grande si le rapport rectangulaire est plus élevé. On peut voir d'après cela que, pour améliorer la sortie de lecture, il est souhaitable de réduire l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface à pas plus de 5% de l'épaisseur totale du film métallique magnétique mince, ainsi que de maintenir la coercitivité et le rapport rectangulaire afin de ne pas être inférieure à 1000 Oe et pas inférieur à 60% respectivement. Exemple expérimental 3 Dans le présent exemle expérimental, les analyses sont faites concernant l'effet de la formation d'une couche de protection sur une couche magnétique. Plusieurs bandes magnétiques (bandes d'échantillon 3-1 à 3-3) sont préparées de la mme manière que dans 1' exemple expérimental 1, excepté qu'un film protecteur de carbone est formé sur une couche magnétique sur un film de 2 nanomètres d'épaisseur. Le film protecteur de carbone est formé en utilisant un dispositif de pulvérisation représenté sur la figure 7. L'appareil de dépôt en phase vapeur comprend une chambre sous vide 21 maintenue sous un vide poussé et contenant un rouleau d'alimentation 22 entraîné en rotation a vitesse constante dans le sens inverse des aiguilles d'une montre et un rouleau de réception 23 entraîné en rotation à vitesse constante dans le sens des aiguilles d'une montre. Un substrat non magnétique en forme de bande 24 est prévu pour se déplacer du rouleau d'alimentation 22 vers le rouleau de réception 23. Un boîtier d'anode de pulvérisation 25 d'un diamètre supérieur aux rouleaux 22, 23 est monté au niveau d'une partie médiane d'une trajectoire de déplacement du substrat non magnétique 24 du rouleau d'alimentation 22 vers le rouleau de réception 23. Le boîtier d'anode de pulvérisation 25, qui fonctionne comme anode destinée à produire une décharge incandescente, est monté afin de tirer le substrat non magnétique 24 vers le bas et est prévu pour être entraîné en rotation à vitesse constante dans le sons des aiguilles d'une montre sur le dessin. Le rouleau d'alimentation 22, le rouleau de réception 23 et le boîtier d'anode de pulvérisation 25 sont chacun sous la forme d'un cylindre d'une largeur et d'une longueur sensiblement égales au substrat non magnétique 24. Dans le tambour de refroidisseoment est monté un dispositif de refroidissement, non représenté, destiné à supprimer la déformation du substrat non magnétique 24 provoquée par ailleurs par une augmentation de température. Dans la chambre sous vide 21 est montée une section de cathode de pulvérisation en forme de plaque 26 reliée à une source de courant continu. La section de cathode de pulvérisation 26 est montee sous et face au boîtier d'anode de pulvérisation 25. Une cible 27 est fixée sur la surface supérieure de la section de cathode de pulvérisation 26. Une entrée de gaz de pulvérisation 28 est prévue à travers la paroi latérale afin de dépasser dans la chambre sous vide 21. Un gaz de pulvérisation est introduit dans la chambre sous vide 21 du dispositif de pulvérisation en passant par l'entrée de gaz de pulvérisation 28, en même temps qu'une tension électrique est appliquée sur la section de cathode de pulvérisation 26 et le boîtier d'anode de pulvérisation 25 afin de produire une décharge incandescente. Ceci ionise le gaz de pulvérisation introduit dans la chambre sous vide 21 afin de frapper sur la surface de la cible 27 fixée sur la section de cathode de pulvérisation 26 de façon à projeter des particules de pulvérisation. Les particules de pulvérisation, ainsi projetées, sont déposées sur la surface de film métallique magnétique mince afin de produire un film de pulvérisation. Les conditions de pulvérisation utilisées dans le présent exemple sont: système de pulvérisation, pulvérisation à magnétron à courant continu; degré de vide de pré- pulvérisation, 10-4 Pa; degré de vide pendant la pulvérisation, 0,8 Pa; gaz de pulvérisation, argon; température de tambour de refroidissement, -20 C; tension de pulvérisation, 600 V; courant de pulvérisation, 10 A; vitesse d'avance de bande, 6 mètres par minute. Plusieurs bandes magnétiques ayant des films de protection ainsi préparés (bandes d'échantillon 3-1 à 3-3) et les bandes magnétiques qui n'ont pas 1es bandes de protection préparées de la même manière coe dans l'exemple expérimental 1 (bandes d'échantillon 1-1 à 1-4) sont contrôlées en ce qui concerne la durée de vie lors de la reproduction en arrêt sur image (durée de vie en arrêt sur image). La durée de vie en arrêt sur image est évaluée par lecture en arrêt sur image des bandes d'échantillon en utilisant un magnétoscope 8 mm à bande passante élevée fabriqué par SONY CORPORATION sous la dénomination commerciale EV-S900 et en mesurant la durée au bout de laquelle la sortie de lecture est abaissée de 3 dB par rapport à la valeur initiale (temps de durée de vie en arrêt sur image). Les conditions de mesure sont déterminées de telle sorte que la vitesse relative est de 3, 8 m/s et la fréquence d'enregistrement est de 7 MHz. La mesure est terminée en 120 minutes. Les résultats sont représentés dans le tableau 5. TABLEAU 5 Rapport de Présence Durée de couche d'oxyde ou absence vie en de surface sur de couche arrêt l'épaisseur de sur totale (%) protection image en carbone (miLn) Bande d'échantillon 1-1 9 Absente 110 Bande d'échantillon 1-2 5 Absente 64 Bande d'échantillon 1-3 2 Absente 16 Bande d'échantillon 1-4 O Absente 7 Bande d'échantillon 3-1 5 Présente > 120 Bande d'échantillon 3-2 2 Présente > 120 Bande d'échantillon 3-3 0 Présente > 120 Si les bandes magnétiques n'ayant pas les films de protection en carbone (bandes d'échantillon 1- 1 à 1-4) dans le tableau 5 sont comparées l'une à 1' autre, on peut voir que la durée de vie en arrêt sur image devient plus courte si l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface est plus mince. On voit ainsi que la couche d'oxyde de surface remplie la fonction d'un film de protection. D'autre part, une comparaison des bandes magnétiques ayant les films de protection en carbone révèle que la durée de vie en arrêt sur image est longue et est de 120 minutes ou plus indépendamment de l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface. On peut ainsi voir que le film de protection en carbone compense de manière suffisante la perte de durée de vie en arrêt sur image provoquée en réduisant l'épaisseur de la couche d'oxyde de surface. Bien que la description ci-dessus de la présente invention ait été faite à partir d'un exemple d'un support d'enregistrement magnétique à une seule15 couche ayant un film métallique magnétique mince monocouche, des effets similaires peuvent être obtenus si la présente invention est appliquée à un support d'enregistrement magnétique ayant une couche magnétique à structure multicouches. REVENDICATIONS 1. Support d'enregistrement magnétique ayant un film métallique magnétique mince déposé sur un substrat non magnétique par dépôt en phase vapeur sous une atmosphère d'oxygène gazeux introduit, caractérisé en ce que ledit film magnétique métallique mince a une couche d'oxyde de surface ayant un degré d'oxydation de % ou plus, ladite couche d'oxyde de surface ayant une épaisseur qui ne représente pas plus de 5% de l'épaisseur totale du film métallique magnétique mince. 2. Support d' enregistrement magnétique selon la revendication 1, caractérise en ce que la couche magnétique est composée de plusieurs films métalliques magnétiques minces, chacun desdits films métalliques magnétiques minces ayant une couche d'oxyde de surface ayant le degré d'oxydation de 50% ou plus, chacune desdites couches d'oxyde de surface ayant une épaisseur qui ne représente pas plus de 5% de l' épaisseur totale de chaque film métallique magnétique mince. 3. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'une couche de protection composée d'une substance minérale peut être formée sur la couche magnétique. 4. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, caractérise en ce que la force coercitive est de 1000 Oe ou plus. 5. Support d'enregistrement magnétique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le rapport rectangulaire est de 60% ou plus.