Brevet FR2730827A1 — publié le 19960823

La présente invention est relative aux composants acousto-optiques. De façon générale, les techniques acousto-optiques mettent en oeuvre des ultrasons pour influencer des faisceaux optiques. Les phénomènes acousto-optiques sont désormais classiquement connus. Pour une approche générale de l'acousto- optique, on pourra avantageusement se référer aux deux ouvrages suivants: 10. J. SAPRIEL - "L'acousto-optique" - Masson - 1976, et C.S. TSAI - "Guided-Wave Acousto-Optics" - Springer- Verlag - 1990. En particulier, les ultrasons peuvent être utilisés pour modifier l'intensité d'un faisceau lumineux, voir couper celui-ci (fonctionnement en modulateur ou interrupteur), modifier sa direction (déflecteur, commutateur), sélectionner une de ses longueurs d'onde (filtres ou analyseur), changer sa fréquence (translateur), etc,. Deux techniques distinctes sont principalement utilisées en acoustooptique: l'acousto-optique de volume et l'acousto-optique guidée. L'acousto-optique de volume met en oeuvre des matériaux massifs, tels que LiNbO3, TeO2, PbMoO4, GaP, dans lesquels les faisceaux acoustiques et optiques se propagent de façon libre. Dans l'acousto-optique guidée, les ondes optiques se propagent dans des guides d'onde. Ces guides d'onde optiques sont généralement réalisés en LiNbO3 ou GaAs et servent de milieu d'interaction acousto-optique. Toutefois, les composants acousto-optiques à ondes guidées connus à ce jour ne sont pas pleinement satisfaisants. En particulier, ils ne sont pas susceptibles d'intégration monolithique avec d'autres composants actifs et passifs (lasers, détecteurs, modulateurs, etc.). C'est notamment le cas pour les composants à base de LiNbO3. C'est également le cas pour les modules à base de GaAs comme milieu d'interaction, l'émission ou la détection laser (à partir de GaAlAs comme couche active par exemple) ne pouvant être obtenue aux longueurs d'onde o GaAs fonctionne en temps que guide d'onde. En outre, dans le cas des modules acousto-optiques à onde optique guidée, l'interaction acousto-optique est faible. Notamment, les guides d'onde en LiNbO3 présentent un faible facteur de mérite acousto-optique dans le proche infrarouge. L'invention propose quant à elle une structure de composant qui se prête à l'intégration sur un même substrat de la fonction acousto-optique en onde guidée et d'autres fonctions classiques telles que l'émission et la détection. Egalement, le composant proposé par l'invention présente une zone d'interaction acousto-optique fonctionnant dans des conditions de résonance, qui confère à ce composant des performances exceptionnelles. L'acousto-optique de résonance a fait l'objet de nombreuses études en acousto-optique de volume. On pourra à cet égard avantageusement se référer aux différentes publications suivantes: - demande de brevet français publiée sous le numéro 2 684 194 au nom de J. SAPRIEL; - P.RENOSI - J. SAPRIEL - "Nearresonance acousto-optical interactions in GaAs and InP" - Applied Physics Letters - 64, 2794 - 1994, et - P. RENOSI - J. SAPRIEL - "Acousto-optics of semiconductor crystals and superlattices in resonance conditions" - Ultrasonics - 31, 327 - 1993. Les phénomènes de résonance acousto-optique sont notamment observés dans le cas des matériaux massifs du type à bande interdite directe, pour des longueurs d'onde de faisceau optique correspondant à des énergies de photons proches du saut d'énergie de la bande interdite. Dans ces conditions, l'indice de réfraction n du matériau et surtout ses coefficients photoélastiques p sont augmentés. Les facteurs de mérite acousto-optique d'un matériau variant en na (a étant compris entre 6 et 8) et p2, l'interaction acousto-optique se trouve alors considérablement amplifiée. Toutefois, il convient de noter que la résonance acousto-optique n'a jamais été mise en oeuvre à ce jour dans le cas des composants acoustooptiques à onde optique guidée. Les milieux permettant d'obtenir une résonance acousto-optique sont en effet généralement opaques à la transmission et ne peuvent donc être utilisés comme guides d'onde. L'invention propose un composant acousto-optique à onde guidée, caractérisé en ce qu'il comporte sur un même substrat: - une couche définissant sur ledit substrat une zone d'interaction acousto-optique, la composition de ladite couche étant telle que la longueur d'onde de fonctionnement du composant est proche par valeur supérieure du seuil d'absorption optique de ladite couche, - au moins une couche de guide d'onde transparente à la longueur d'onde de fonctionnement du composant, disposée d'un côté de la couche définissant la zone d'interaction acousto-optique, au moins l'une de ces couches étant déposée sur ce substrat par épitaxie sélective (également connue sous la terminologie "épitaxie localisée"). On notera que cette structure s'écarte de celle des composants acoustooptiques à onde guidée de l'art antérieur connu, dans lesquels les guides d'onde étaient utilisés comme milieux d'interaction acousto- optique. Par ailleurs, dans la structure qui vient d'être définie, l'indice de réfraction de la zone d'interaction pour les photons utilisés est nécessairement tel que la lumière y est confinée. La structure selon l'invention confère au composant selon l'invention une grande efficacité d'interaction acousto-optique, de sorte que ce composant permet, par rapport aux composants de l'art antérieur, une plus grande intensité lumineuse diffractée pour une même puissance électrique de fonctionnement, ainsi qu'un plus grand nombre de directions de commutation. D'autres caractéristiques et avantages ressortiront encore de la description qui suit. Cette description est purement illustrative et non limitative. Elle doit être lue en regard de la figure unique annexée sur laquelle on a représenté en vue en perspective un composant conforme à un mode de réalisation possible pour l'invention. Le composant représenté sur la figure 1 est plus particulièrement adapté à la commutation optique. Il comporte un substrat 1 sur lequel sont déposées des couches minces épitaxiées dont l'épaisseur et la composition sont choisies de façon à définir sur ledit substrat pluseurs zones, référencées de 2 à 6, correspondant à des fonctions différentes. La zone 4 est la zone d'interaction acousto- optique. Les zones 2 et 3 de part et d'autre de la zone 4 sont des guides d'onde planaires. Les zones 5 et 6 définissent des barrettes de canaux d'entrée et de sortie respectivement en amont de la zone 2 et aval et de la zone 3. Ces différentes zones sont avantageusement réalisées par croissance épitaxiale sélective sur le substrat 1. Les matériaux des différentes couches épitaxiées sont avantageusement des matériaux de la famille GaInAsP, le substrat 1 étant par exemple un substrat d'InP. Les composés de la famille GaInAsP sont de même paramètre de maille qu'InP. Ils présentent des longueurs d'onde de bande interdite comprises entre 0,92 et 1,7 pm (cet intervalle pouvant être encore étendu dans le cas de structures contraintes). Ils se prêtent à une croissance par épitaxie sélective et localisée sur InP, ainsi qu'à l'intégration sur un même substrat d'une grande variété de fonctions. Leur indice de réfraction est supérieur à celui d'InP, ce qui leur confère leurs propriétés de couches guidantes de la lumière. Bien entendu, d'autres matériaux que ceux de la famille GaInAsP peuvent convenir (InGaAlAs, sur substrat InP par exemple). On pourra également avantageusement utiliser des matériaux II-VI (HgCdTe, sur substrat CdZnTe ou Si par exemple). Les technologies de croissance épitaxiale sélective sont classiquement connues de l'Homme du Métier. On pourra à cet égard avantageusement se référer à la publication suivante: "Selective growth of InP/GaInAs in LP-MOVPE and MOMBE/CBE"- O. Kayser-Journal of Crystal Growth 107 (1991) - p.989-998 - North Holland. Les valeurs des indices x et y des composés Gal-x InxAsyPly, ainsi que les épaisseurs de ces composés, sont variées localement de façon à réaliser les différentes fonctions souhaitées. En particulier, la composition de la zone d'interaction acousto- optique 4 est choisie de façon que le saut d'énergie de bande interdites du matériau de ladite zone 4 soit légèrement supérieur à l'énergie des photons de la source lumineuse. La zone d'interaction acousto-optique fonctionne ainsi dans des conditions dites de proche résonance. Avec une telle structure, les facteurs de mérite de la zone acoustooptique 4 sont environ multipliés par par rapport à ceux des zones 2 et 3 formant guide d'onde. La dimension e de la zone 4 d'interaction acousto- optique dans la direction de propagation de la lumière est choisie courte, de façon à éliminer l'absorption optique résiduelle de la queue d'Urbach (absorption résiduelle qui se trouve dans une région dont l'étendue en énergie est d'environ 100 mev en dessous du gap de la zone 4). Cette dimension e est par exemple avantageusement choisie entre 20 et 500 pm selon que l'énergie des photons est plus ou moins rapprochée du gap de la zone 4. La zone 4 porte d'un côté du composant un plot 7 en un matériau piézoélectrique, tel que ZnO, excité par un transducteur du type comportant deux électrodes 8, formant un peigne interdigité large bande, réalisées par dépôt métallique. Pour la réalisation de telles électrodes, on pourra avantageusement se référer à: "Acoustic Waves - Devices, Imaging and analog signal processing" - Gordon S. KINO - Prentice Hall - Signal Processing Series - Alan V. Opppenheim - Series Editor - 1987. Ces électrodes 8 sont reliées à un générateur haute fréquence (non représenté) qui excite les électrodes 12 pour la génération des ultrasons (fo = 750 MHz; Af = 500 MHz). Le signal électrique RF (radiofréquence) appliqué aux électrodes 8 module le signal lumineux de la façon suivante: - la fréquence de ce signal RF modifie la direction du faisceau lumineux monochromatique; - la puissance RF change l'intensité du faisceau optique déviée de 0 à 100 %; - la fréquence optique est translatée d'une valeur égale à la fréquence RF. La vitesse des ondes acoustiques est de 3000 m/s environ. En variante, le transducteur peut être réalisé entre le plot 7 de ZnO et la couche d'interaction acoustooptique de la zone 4. Egalement, plusieurs modules de génération d'ultrasons peuvent être prévus sur une même zone 4. Des lentilles convergentes 9 et 10 sont avantageusement disposées respectivement dans les zones formant guide optique 2 et 3. Ces lentilles sont par exemple réalisées par les techniques d'usinage ionique classiquement connues de l'Homme du Métier. On pourra à cet égard se référer par exemple aux publications: - T.Q. Vu, J.A. Norris, and C.S. Tsai Planar waveguide lenses in GaAs by using ion milling Appl. Phys. Lett. 54 (12), 1989 p. 1098; - T.Q. Vu, C.S. Tsai, and Y.C. Kao Integration of a curved hybrid waveguide lens and photodetector array in a GaAs waveguide Applied Optics, 31 (25) - 1992 p. 5246. La ou les lentilles 9 de collimation ont leur foyer situé à la sortie des canaux de la zone d'entrée 5. Elles permettent d'agrandir les faisceaux lumineux et de les rendre parallèles avant qu'ils n'atteignent la zone d'interaction 4. Les lentilles 10 focalisent les faisceaux en sortie de la zone d'interaction 4 sur les canaux de la zone de sortie 6. On notera que les canaux de la zone 6 de sortie sont éventuellement plus espacés que les canaux de la zone d'entrée, de façon à éviter tout couplage entre les différentes sorties possibles. Avantageusement, notamment, ils sont espacés d'une distance égale à deux fois leur largeur. La structure selon l'invention peut être intégrée monolithiquement avec un (ou plusieurs) laser(s) (non représenté(s)), relié(s) par exemple au canal (ou aux canaux) de la zone d'entrée 5. Un tel laser est par exemple un laser enterré émettant à une longueur d'onde de 1,3 im ou 1,5 pm. La structure selon l'invention peut notamment intégrer plusieurs lasers de longueurs d'onde différentes. Ces longueurs d'onde sont alors choisies relativement proches (AX/k de l'ordre de 2 à 3 %). La composition de la zone active 4 est alors choisie de façon que l'absorption optique soit comprise entre 10 et 300 cm-' (énergies de photons incidents proches du saut d'énergie de la bande interdite de la zone 4, typiquement dans une gamme de 50 meV au-dessous). Pour l'intégration monolithique de lasers, on pourra avantageusement se référer aux mublications suivantes: - Semiconductor Lasers for Coherent Optical Fiber Communications T.L. KOCH and U. KOREN J. of Lightwave Technology, U8U 53), 1990, p. 274; - Extremely low threshold Operation of 1.5 pm GaInAsP/InP buried ridge stripe lasers J. Charil, S. Slempkes, D. Robein, C. Kazmierski and J.C. Bouley Electron. Lett. 25 (22), 1989 p. 1479. Le composant selon l'invention peut bien entendu intégrer encore d'autres fonctions, et en particulier intégrer des photodétecteurs. Des amplificateurs optiques peuvent également être intégrés par exemple dans les canaux des zones 5 et 6. Pour l'intégration de photodétecteur InGaAs, on se référera avantageusement à: - InGaAs photodétectors; T.P. Pearsall. "Properties of lattice matched and strained InGaAs" - Inspec, London 1993 p. 267. De façon plus générale, pour l'intégration sur des substrats InP, on pourra se référer aux publications: - Semiconductor Photonic Integrated Circuits T.L. KOCH and U. KOREN IEEE, J. of Quantum E 27 (3), 1991, p. 641.; - InP in Integrated Opto-Electronics par S.W. BLAND dans "Properties of InP" Inspec, London - 1991, p. 467. Un exemple de réalisation va maintenant être détaillé pour une longueur d'onde de fonctionnement de 1,55 Mm. La zone active 4 acousto-optique est en: In0,63 Ga0,36 As0,78 P0,22 tandis que les couches transparentes des zones 2 et 3 formant guide d'onde sont en: In0,73 Ga0,27 As0,6 Po,4- La largeur e de la zone 4 est de 500 pm. Les zones 2 et 3 sont chacune de 1 mm. Les canaux d'entrée et de sortie ont une largeur de 5 im. Les lentilles convergentes 9 et 10 sont à une distance de 10 mm des zones d'entrée ou de sortie 5 et 6. Leur distance focale est de 10 mm et leur ouverture de 3 mm. Le substrat 1 est de 500 Rm d'épaisseur. L'épaisseur des couches constituant les différentes zones 2 à 6 est de 0, 8 jm de manière à ce qu'un seul mode puisse se propager (mode fondamental d'indice 0). Le plot 7 de ZnO a une épaisseur de 3 im. Avec le composant qui vient d'être décrit, le nombre de positions de commutation possibles pourrait être, selon les critères de Rayleigh, d'environ 500 avec un temps de commutation de l'ordre de la is. Une dizaine de mW acoustiques seulement sont nécessaires pour défléchir 100% de la lumière. Toutefois, ce nombre de 500 est théorique. Il est réduit en réalité à 250 positions nettement séparées lorsque l'on tient compte de l'espacement des 250 canaux de sortie et des aberration des deux lentilles. Dans le montage qui est illustré sur la figure, la transition optique est de 1 vers N (1 source, N accès). Si on considère le montage de la figure 1 en sens inverse, on peut constituer la fonction N vers 1. Les canaux de sortie deviennent alors des sources de même longueur d'onde ou de longueurs d'onde voisines qui toutes font focaliser sur le même canal de sortie. Pour une perte de conversion électromécanique maximum de 20 dB, la puissance de fonctionnement de ce dispositif acousto-optique est au maximum à 1 W électrique. Comme on l'aura compris, le composant acousto- optique proposé est un composant de hautes performances particulièrement adapté aux télécommunications optiques (1,3 à 1,7 tm). Il présente l'avantage de pouvoir être intégré monolithiquement avec d'autres fonctions. REVENDICATIONS 1. Composant acousto-optique à onde optique guidée, caractérisé en ce qu'il comporte sur un même substrat (1): - une couche (4) définissant sur ledit substrat (1) une zone d'interaction acousto-optique, la composition de ladite couche étant telle que la longueur d'onde de fonctionnement du composant est proche par valeurs supérieures du seuil d'absorption optique de ladite couche, - au moins une couche (2, 3) de guide d'onde transparente à la longueur d'onde de fonctionnement du composant, d'un côté de la couche définissant la zone d'interaction acousto-optique, au moins l'une de ces couches (2, 3) étant déposée sur ce substrat par épitaxie sélective. 2. Composant acousto-optique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte deux telles couches de guide d'onde transparentes (2, 3, 4) à la longueur d'onde de fonctionnement, réparties de part et d'autre de la couche (4) définissant la zone d'interaction acousto-optique. 3. Composant selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que le substrat est un substrat d'InP et en ce que les différentes couches (2-6) sont des composés Ga1xInxAsyPl-y., dont les valeurs de x et y et/ou les épaisseurs sont choisies de façon à conférer à ces différentes zones les propriétés correspondantes à leur fonction respective. 4. Composant selon la revendication 3, caractérisé en ce que la couche définissant la zone d'interaction acousto-optique est en In0,63 Ga0,36 As0,78 P0,22, la longueur d'onde de fonctionnement étant de 1,55 nm. 5. Composant selon l'une des revendications 3 ou 4, caractérisé en ce que la ou les couches transparentes (2, 3) de guides d'onde optique sont en InO0,73 Gao,27 As0,6 PO,4 - 6. Composant selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la dimension de la couche d'interaction (4) dans la direction de propagation de la lumière est choisie entre 20 et 500 pm. 7. Composant selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il intègre en outre monolithiquement d'autres fonctions. 8. Composant selon la revendication 7, caractérisé en ce qu'il intègre monolithiquement au moins un laser, et éventuellement plusieurs lasers de longueurs d'onde différentes. 9. Composant selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les guides d'onde (2, 3) de part et d'autre de la zone d'interaction acousto- optique (4) sont de type planaire. 10. Composant selon la revendication 9 prise en combinaison avec la revendication 7, caractérisé en ce qu'il intègre des barrettes de canaux d'entrée (5) et de canaux de sortie (6) et en ce que les guides d'onde planaires (2, 3) de part et d'autre de la zone d'interaction acousto-optique (4) intègrent des lentilles convergentes (9, 10).