Brevet FR2725713A1 — publié le 19960419

SUBSTRAT EN VERRE RENFORCE L'invention conceme des substrats en verre notamment utilisés comme support dans la réalisation d'unités de stockage de données. Plus particulièrement, I'invention conceme des substrats en verre sous forme de disques utilisés notamment comme mémoires périphériques dans le domaine de l'informatique. Bien que l'invention ne se limite pas à cette application, elle sera décrite en référence à la réalisation de disques durs magnétiques. Un disque dur magnétique se compose généralement d'un élément support façonné pour qu'il possède la forme d'un disque percé en son centre. Sur ce disque, peuvent notamment être déposée une série de couches minces magnétiques qui servent au stockage des données. Les données sont enregistrées et lues à l'aide d-une ou plusieurs têtes de lecture qui sont placées au-dessus du disque alors que celui est animé d'un mouvement de rotation. Pour obtenir une lecture performante des données, la tête de lecture doit approcher le disque au plus près ; on parle alors de contact recording . En effet, le signal détecté par la tête décroît exponentiellement quand son altitude augmente. De plus, les exigences actuelles nécessitent une densité de stockage de plus en plus importante. Cela se traduit par le stockage d'une information donnée sur une surface de plus en plus réduite. Pour assurer la lecture de données enregistrées de cette façon, la distance séparant le disque de la tête de lecture doit être de plus en plus réduite ; cette distance doit être inférieure à 300 Angströms. Des substrats pour la réalisation de disques durs magnétiques sont notamment décrits dans le brevet US 5,316,844 ; il s'agit de substrats en aluminium. Ce document décrit également un aspect important de ces substrats : ceux-ci ne doivent présenter qu'une très faible rugosité. Ce document indique des valeurs de rugosité dont le Ra, ou rugosité moyennée, est compris entre 100 et 300 Angströms. Les exigences actuelles, liées au besoin croissant de stockage et donc à une distance disque-tête de lecture de plus en plus faible, correspondent à un Ra inférieur à 30 Angströms. D'autre part, si les exigences concernant la capacité de mémoire des disques durs magnétiques sont de plus en plus importantes, une autre exigence qui peut sembler paradoxale concerne les dimensions de ces disques durs. En effet, ces unités de stockage de données doivent être d un encombrement le plus réduit possible et présenter une masse également réduite. Ces exigences sont liées d'une part au besoin croissant d'unités de stockage portables donc peu encombrantes et légères le développement d'outils informatiques portables et de logiciels nécessitant de grandes capacités de mémoire sont à la base de ce besoin. D'autre part, toujours pour augmenter les capacités de stockage de données. il est intéressant de pouvoir associer plusieurs disques durs magnétiques dans un espace donné et donc d'avoir des substrats présentant une épaisseur réduite. Un substrat réalisé en aluminium ne peut avoir une épaisseur inférieure à 0,6 millimétre et à la fois présenter les qualités requises pour constituer un disque dur, notamment lorsqu'il est animé d'un mouvement de rotation sous une tête de lecture il doit résister à l'écrasement en cas de choc. Pour remédier à ces inconvénients et pouvoir alléger et éventuellement réduire l'épaisseur d'un tel substrat, il a été proposé notamment dans la demande de brevet EP 579 399 de le réaliser en verre. II a notamment été utilisé des compositions verrières usuelles permettant d'obtenir un verre float du type bâtiment ou automobile. Le verre type float est obtenu sous forme de ruban puis transformé en feuille et enfin découpé et façonné en disques aux dimensions requises. Ceux-ci sont ensuite polis pour obtenir l'épaisseur et la rugosité désirées. II est apparu au cours d'essais que ces substrats en verre sont sujets à différents inconvénients et ne peuvent ainsi pas satisfaire à la réalisation de disques durs magnétiques. En particulier, la surface de ces substrats en verre type float subit une déperdition importante d'alcalins et notamment de sodium. Or ces alcalins ont des effets néfastes sur les couches magnétiques déposées sur les substrats. En effet, il apparaît que le relargage des alcalins dans ces couches entraînent la destruction des données enregistrées a plus ou moins court terme. L'invention a pour but de pallier ces inconvénients et plus particulièrement de fournir des substrats utilisés comme supports dans la réalisation d'unités de stockage de données telles que des disques durs magnétiques, qui permettent des stockages d'un grand nombre d'informations et présentent un encombrement et un poids limités. L'invention a également pour but de tels substrats qui présentent des résistances mécanique et chimique suffisantes et ne présentent pas les inconvénients observés pour des substrats en verre du type float, cités précédemment. Ce but est atteint selon l'invention par un substrat en verre, destiné a être utilisé comme support dans des unités de stockage de données, renforcé par échange d'ions superficiel et dont la matrice comprend les constituants ci-après dans les proportions pondérales suivantes: SiO2 45 - 65 % Al203 5- 20 % B203 0- 5% Na2O 4-12% K2O 4-12% MgO 0- 8% CaO 0- 8% ZrO2 0 -6% la somme des oxydes SiO2, Al203 et ZrO2 demeurant égale ou inférieure à 70 %, ladite composition comprenant éventuellement les oxydes BaO, et/ou SrO dans des proportions telles que 11 % Un substrat réalisé à partir d'une des compositions énumérées précédemment et ayant subi un échange ionique, notamment par un traitement de trempe chimique, peut être utilisé comme support pour la réalisation d'une unité de stockage de données et plus particulièrement d'un disque dur magnétique. En effet, la résistance mécanique et la résistance chimique ou hydrolytique obtenues conviennent à ce type d'utilisation. Par ailleurs, comme il I'a déjà été dit précédemment il existe des contraintes de rugosité également liées à ces vitesses de rotation très élevées et à la position relativement proche de la tête de lecture ; les exigences sont un Ra inférieur à 30 Angströms. Or il est notamment possible à partir de techniques connues dans l'industrie verrière de transformer une feuille de verre obtenue par le procédé float en un tel substrat satisfaisant aux différentes tolérances. Ces techniques consistent essentiellement en des étapes de découpe, perçage et façonnage des bords (ou débordage ). Suivent alors des étapes de polissage classique par moyens mécaniques qui permettent d'une part d'obtenir l'épaisseur voulue et d'autre part une rugosité dont le Ra est inférieur à 30 Angströms. II est encore possible de réaliser un polissage de finition qui permet d'atteindre une rugosité dont le Ra est inférieur à 10 Angströms. Un tel polissage peut éventuellement combiner plusieurs étapes de polissage par voies mécaniques etlou chimiques. Dans une variante de l'invention, il est prévu de réaliser ces substrats par une technique de pressage; une paraison est amenée dans un moule. Selon un mode préféré de l'invention, L'oxyde Al203, favorable pour la résistance chimique, a une teneur globale supérieure à 10 %. II permet également d'augmenter la température inférieure de recuisson (température de strain point). La teneur en ZrO2, éiément difficile à fondre, est avantageusement inférieure à 5%, L'oxyde CaO est un élément qui confère un renforcement mécanique au substrat, par contre c'est un élément nuisible pour la trempe. La teneur en CaO sera ainsi avantageusement choisie inférieure à 3 %. L'oxyde B203 n'intervient que faiblement dans les propriétés mécaniques et chimiques de la matrice verriére. II présente par ailleurs l'avantage de diminuer la viscosité aux températures élevées. La teneur en B203 sera avantageusement comprise entre 0 et 3 %. On utilisera donc de préférence une composition de verre choisie parmi les suivantes: SiO2 45 - 60 % Al203 10-20% B203 0- 3% Na2O 4-12% K2O 4-12% MgO 0- 8% CaO 0- 3% ZrO2 0- 5% la somme des oxydes SiO2, Al203 et ZrO2 demeurant égale ou inférieure à 70 %, ladite composition comprenant éventuellement les oxydes BaO et/ou SrO dans des proportions telles que 14 % Si la teneur en CaO est relativement faible, la teneur globale en éléments alcalinoterreux est maintenue suffisamment élevée pour permettre d'obtenir une faible viscosité à haute température. Ceci est notamment intéressant lorsque le verre est obtenu selon le procédé float. La présence de ces éléments favorisent également la fusion de ces compositions de verre. BaO contribue à la diminution de la viscosité aux températures élevées. II permet également de réduire les risques de dévitrification. MgO et SrO permettent d'augmenter la résistance hydrolytique des verres. En ce qui concerne les teneurs en oxydes alcalins Na2O et K2O, celles-ci sont avantageusement choisies voisines d'un point de vue molaire. En effet, on observe alors un phénomène alkali-mixte qui va, en combinaison avec l'échange ionique, limiter la migration des alcalins en surface , il apparaît que la migration des ions est fortement diminuée lorsque Na2O et K2O sont en quantités molaires à peu près équivalentes. L'état surfacique obtenu après échange ionique, c'est-à-dire, par exemple, une absence d'ions sodium sur une faible épaisseur, peut perdurer en raison de l'effet alkali-mixte qui limite la migration des ions. Selon un mode préféré de l'invention les échanges d'ions superficiels sont obtenus dans un bain de KNO3 qui permet un échange d'ions sodium en ions potassium. Dans une variante, on utilise un bain mixte, c'est-à-dire un bain contenant plusieurs types d'ions alcalins, qui permet un échange ionique multiple. Dans d'autres variantes, la trempe chimique peut être activée par des facteurs externes tels que la création d'un champ électrique ou bien la présence d'ultrasons. La trempe chimique peut également être combinée avec un prétraitement thermique. D'un point de vue économique, il est nécessaire d'effectuer cette trempe chimique le plus rapidement possible. Ce temps de trempe est de préférence inférieur à 24 heures et de préférence encore inférieur à 15 heures. La température de trempe est avantageusement comprise entre 400 et 520 C. Une trempe effectuée dans de telles conditions conduit à des modules de rupture, en flexion annulaire, supérieurs à 500 MPa et une profondeur de trempe d'au moins 14 microns. La trempe ainsi réalisée a une double fonction. D'une part, elle renforce la résistance chimique du substrat ; en effet, il apparaît que 'attaquabilité hydrolytique du substrat trempé diminue. D'autre part, la trempe permet un renforcement mécanique de la surface. Elle renforce en surface les propriétés intrinsèques du substrat liées à sa composition. Ceci est très intéressant et permet d'obtenir une résistance à l'écrasement, tout à fait satisfaisante, notamment vis-à-vis de la tête de lecture. Notons que cette résistance à l'écrasement est déjà supérieure, avant d'avoir effectué la trempe chimique, à celle d'un substrat en aluminium. De plus, les auteurs de la présente invention ont su mettre en évidence les raisons de casses des disques durs magnétiques animés d'un mouvement de rotation à grande vitesse ; lors du perçage et du façonnage, notamment du trou intérieur, beaucoup de défauts apparaissent dans les zones qui sont difficilement façonnables. La trempe chimique permet donc de renforcer les bords façonnés du substrat. Un substrat selon l'invention tel qu'il vient d'être décrit satisfait aux cntères requis pour être utilisé comme support dans la réalisation d'un disque dur magnétique. Celui-ci procure, du fait de la combinaison de la composition et de la trempe chimique éventuellement associée à un autre traitement préalable, une résistance mécanique suffisante, d'une part en surface pour supporter l'écrasement de la tête de lecture, et d'autre part sur les bords, notamment intérieur, qui peuvent résister aux vitesses de rotation élevées. II présente également une résistance chimique suffisante et notamment une résistance hydrolytique assurant une pérennité d'un disque dur magnétique. D'autres détails et caractéristiques de l'invention ressortiront ci-après de la description d'un exemple de réalisation d'un substrat selon l'invention et des essais réalisés. Le substrat réalisé est un disque qui présente les dimensions suivantes - diamètre extérieur : 65 mm - diamètre intérieur : 20 mm - épaisseur : 0,635 mm La composition choisie pour la réalisation de ce substrat est la suivante : elle est exprimée en pourcentages pondéraux SiO2 53,6 % Au203 10,0 % B203 2,2 % Na2O 5,2 % K20 6,2% MgO 4,2 % CaO 6,8 % SrO 7,0 % BaO 2, 8 % ZrO2 2,0 % Cette composition est fondue et transformée en ruban de verre selon le procédé float, puis en feuilles de verre. Le substrat est donc obtenu par découpe, façonnage puis polIssage. Le polissage est réalisé par des moyens classiques de nature mécanique et permet d'atteindre une rugosité dont le Ra est inféneur à 10 Angströms. Une trempe chimique est ensuite réalisée dans un bain de nitrate de potassium (KNO3). II est intéressant de noter que la composition présente une température de strain point, c'est-à-dire une température inférieure de recuisson, élevée (environ 580" C) qui permet d'effectuer la trempe à une température relativement élevée , une trempe chimique est d'autant plus efficace lorsque l'on se trouve à une température proche de celle du strain point. Or une température plus élevée lors de la trempe permet de réaliser celle-ci plus rapidement en gardant une contrainte de surface élevée et/ou une profondeur d'échange ionique importante. D'autres valeurs remarquables de cette composition sont également intéressantes. En effet, cette composition est choisie pour un formage selon le procédé float et doit en conséquence satisfaire aux exigences liées à ce procédé. II s'agit notamment des températures correspondant aux viscosités requises lors de la fusion log n = 1,6 et lors de l'entrée sur le bain d'étain log T1 = 3,5. Les températures correspondantes de la composition choisie sont les suivantes - T (log n = 1,6) = 1584" C -T(log rl = 3,5) = 11560 C Ces températures sont tout à fait compatibles avec le procédé float. De plus, la température de liquidus de la composition est TLiq = 1120 C. Cette température étant inférieure à T(log T1 = 3,5), le verre peut être obtenu selon le procédé float sans risque de dévitrification. Différents essais, permettant de caractériser d'une part la résistance mécanique et d'autre part la résistance chimique, ont été réalisés sur des substrats tels qu'ils viennent d'être décrits. Le premier essai réalisé concerne la résistance aux chocs thermiques. Ce test a notamment permis de montrer que les substrats réalisés selon l'invention sont adaptés aux traitements qu'ils doivent subir ultérieurement, par exemple, lors du dépôt de couches magnétiques. Lors de l'essai, les substrats ont résisté sans dommage à des variations de températures allant de 350" C à 20 C. Par ailleurs, le coefficient de dilatation est de 84.10 K1 Un autre essai dont il a déjà été fait mention précédemment consiste à mettre en rotation un substrat à grande vitesse (7000 à 25000 tours/mn). Les substrats selon l'in vention ont satisfait à ce test. Le renforcement notamment des bords obtenu après la trempe chimique est donc satisfaisant. Le dernier essai mécanique réalisé consiste en une flexion annulaire. Le dispositif d'essai se compose d'une part, d'un cylindre creux de diamètre 55 mm sur lequel on dé pose le substrat de façon concentrique et d'autre part d'un cylindre creux de diamètre 30 mm qui vient appuyer en flexion sur le substrat ; le dernier cylindre étant également concentrique à l'égard des autres éléments. Cet essai a été réalisé sur des substrats selon l'invention ayant subi des trempes chimiques de durées différentes. II a également été réalisé sur un substrat non trempé. Les résultats de ces essais sont comparés à celui obtenu sur un substrat ayant subi une trempe chimique et dont la composition est du type silico-sodo-calcique usuellement utilisé pour le procédé float . Ce substrat présente un taux de relargage d'alcalins trop important pour satisfaire aux exigences requises pour une utilisation comme support dans un disque dur magnétique. Par contre, son module de rupture, en flexion annulaire, ou sa contrainte de surface sont jugés satisfaisants et le module de rupture peut donc servir de référence. Les résultats obtenus sont les suivants Durée et température Module de Profondeur d'échange Nature du substrat ' de trempe chimique rupture Microns MPa Composition du 4 h 00 mn type flat 450 C 512 15 Composition selon I pas de trempe 117 I'invention Composition selon 1 h 15 mn I'invention 5000 C 293 13 Composition selon 4 h 00 mn 396 23 I'invention 5000 Ç Composition selon 1 8 h 40 mn I'invention 500"C 574 35 Composition selon 13 h 15 mn 585 43 I'invention 5000 Ç Si l'on considère qu'un module de rupture de l'ordre de 500 MPa est satisfaisant, il apparaît que le traitement de trempe chimique peut être limité à une durée de 8 h 40 mn pour une température de 500 C. Le module de rupture obtenu étant de 574 MPa et donc très nettement supérieure à celui jugé satisfaisant, on peut considérer qu'un temps de traitement légèrement inférieur, c'est-à-dire d'environ huit heures est suffisant. Par ailleurs, la profondeur des défauts d'un substrat selon l'invention n'ayant pas subi de traitement de trempe chimique a été mesurée; cette mesure a mis en évidence une profondeur maximum de 15 microns. La profondeur d'échange lors de la trempe doit donc être supérieure à cette valeur. II apparaît qu'à partir de 4 h de traitement, cette valeur est déjà dépassée ; un traitement d'une durée comprise entre 7 et 8 heures conduit donc assurément à une profondeur d'échange suffisante qui sera proche de 30 microns. D'autres essais, concemant la résistance hydrolytique de substrats selon l'invention, ont été réalisés. La première mesure de résistance hydrolytique est effectuée sur des substrats selon l'invention n'ayant pas subi de trempe chimique. Cette mesure est comparée à celle effectuée sur un substrat dont la composition de verre est du type float . Ces mesures sont effectuées par la méthode D.G.G. Cette méthode consiste à plonger 10 grammes de verre broyé, dont la taille des grains est comprise entre 360 et 400 micromètres, dans 100 millilitres d'eau portés à ébullition pendant 5 heures. Après refroidissement rapide, on filtre la solution et on évapore à sec un volume déterminé du filtrat. Le poids de la matière sèche obtenue permet de calculer la quantité de verre dissoute dans l'eau, cette quantité est exprimée en milligrammes par gramme de verre testé. Résultats Substrat selon l'invention : 7 mg/g substrat type float 30 mg/g Ces résultats montrent qu'un substrat selon l'invention présente une résistance hydrolytique nettement supérieure à celle d'un substrat réalisé à partir d'une composition classique pour une utilisation selon le procédé float. En fait, la valeur mesurée, selon cette méthode, sur un substrat selon l'invention correspond quasiment à celle qui serait mesurée pour une composition de verre sans alcaiin. La composition de verre selon l'invention est donc très intéressante d'un point de vue résistance chimique. Une autre méthode permettant d'évaluer la résistance hydrolytique d'un substrat selon l'invention, ayant éventuellement subi cette fois-ci un traitement de trempe chimique, consiste en un vieillissement du substrat dans une enceinte close pendant une durée d'une semaine maintenue à une température de 803 C et dans une atmosphère dont le taux d'humidité relative est 95 %. Les résultats de cet essai apparaissent sous forme d'analyses SIUMS, présentées sur les figures 1 et 2. L'analyse SIMS consiste en un bombardement de la surface en vue de lui arracher des ions. On assiste ainsi à une abrasion ionique qui permet une analyse en profon deur. Les ions sont analysés par un spectromètre de masse. Le résultat est un comptage des ions triés par masse, qui est exprimé en nombre de coups par seconde. Pour chaque élément, le taux de comptage est porté en fonction de la profondeur. II est rappelé que ces profils peuvent présenter quelques effets parasites et seules les différences nettes peuvent être interprétées avec certitude. Sur chacune des figures, apparaissent les profils SIMS pour les éléments alcalins : sodium (Na) et potassium (K). Sur la figure 1, on observe les résultats obtenus sur substrat réalisé à partir d'une composition du type silico-sodo-calcique habituellement utilisée pour le procédé float . Les courbes 1 et 2 représentent respectivement les quantités de sodium et potassium, avant le traitement de vieillissement. Les courbes 3 et 4 représentent respectivement les quantités de ces mêmes éléments après le vieillissement précédemment décrit. II apparaît que les quantités d'éléments alcalins ont diminué en surface lors de ce vieillissement, comme l'indiquent les décrochements des courbes 3 et 4 ; il y a donc un relargage de ces éléments. Cela risquerait de conduire dans le cas d'une utilisation comme support de disque dur magnétique à une destruction des informations stockées. La figure 2 représente les profils SIMS du sodium et du potassium obtenus sur un substrat réalisé à partir d'une composition selon l'invention. Les courbes 5 et 6 représentent respectivement les quantités de sodium et potassium d'un substrat avant le traitement de trempe chimique. Les courbes 7 et 8 représentent les quantités de ces mêmes éléments d'un substrat identique après le traitement de vieillissement décrit. Il apparaît que les courbes 7 et 8 sont quasiment identiques respectivement aux courbes 5 et 6. Les faibles différences apparaissant sont sans doute dues à des effets parasites. Cette quasi-identité des courbes montre qu'il ne s'est pas produit de relargage alcaiin. Les courbes 9 et 10 représentent respectivement les quantités de sodium et potassium d'un substrat selon l'invention ayant subi une trempe chimique et le traitement de vieillissement. La quantité de potassium est plus importante (la courbe 10 est plus élevée que la courbe 6) puisque cet élément a remplacé le sodium, dont la courbe 9 est bien entendu inférieure à la courbe 5. Par contre, aucune chute brutale de ces courbes, comme il en est apparu sur la figure 1 (courbes 3 et 4) n'est notable. II ne se produit donc également pas de relargage d'alcalins après le vieillissement d'un substrat selon l'invention ayant subi un traitement de trempe chimique. Les résultats des différents essais présentés mettent en évidence la résistance mécanique et la résistance hydrolytique d'un substrat réalisé selon l'invention. Ils confir ment ainsi la possibilité d'utiliser un tel substrat comme support dans une unité de stockage de données telle qu'un disque dur magnétique. REVENDICATIONS 1 ) Substrat en verre, destiné à être utilisé comme support dans une unité de stockage de données, renforcé par échanges d'ions superficiels et dont la matrice comprend les constituants ci-après dans les proportions pondérales suivantes SiO2 45 - 65 % Al203 5 - 20 % B203 0- 5% Na2O 4-12% K20 4-12% MgO 0- 8% CaO 0 8% ZrO2 0-6% la somme des oxydes SiO2, Al203 et ZrO2 demeurant égale ou inférieure à 70 %. ladite composition comprenant éventuellement les oxydes BaO et/ou SrO dans des proportions telles que 11 % 2 ) Substrat selon la revendication 1 caractérisé en ce que la teneur pondérale en Al203 est supérieure ou égale à 10 %. 3 ) Substrat selon l'une des revendications 1 ou 2 caractérisé en ce que la teneur pondérale en ZrO2 est inférieure à 5 %. 4 ) Substrat selon l'une des revendications 1 à 3 caractérisé en ce que la teneur pondérale en CaO est inférieure à 3 %. 5 ) Substrat selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la teneur pondérale en B203 est inférieure à 3 %. 6 ) Substrat selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que la composition comprend les constituants ci-après dans les proportions pondérales suivantes: Si02 45 - 60 % Al203 10-20% B203 0- 3% Na2O 4-12% K20 4-12% MgO 0- 8% CaO 0- 3% ZrO2 0- 5% la somme des oxydes SiO2, Al203 et ZrO2 demeurant égale ou inférieure à 70 %, ladite composition comprenant éventuellement les oxydes BaO et/ou SrO dans des proportions telles que 14 % # CaO + MgO + BaO + SrO # 22 %, et les oxydes alcalins étant introduits selon des pourcentages pondéraux tels que: 0,22 % 7 ) Substrat selon la revendication 6 caractérisé en ce que la composition comprend les constituants ci-après dans les proportions pondérales suivantes Si02 53,6 % Al203 10,0% B203 2,2 % Na2O 5,2 % K20 6,2 % MgO 4,2 % CaO 6,8 % SrO 7,0% BaO 2,8 % ZrO2 2,0 % 8 ) Substrat selon l'une des revendications précédentes caractérisé en ce que l'échange ionique est réalisé par trempe chimique. 9 ) Substrat selon la revendication 8 caractérisé en ce que la trempe chimique est effectuée dans un bain de KNO3, à une température comprise entre 400 et 520 C et pendant une durée inférieure à 24 heures. 10 ) Substrat selon l'une des revendications 8 ou 9 caractérisé en ce que la trempe chimique peut être précédée d'un traitement thermique et/ou chimique tel qu'une attaque localisée d'acide fiuorhydrique. 11 ) Substrat selon i'une des revendications 8 à 10 caractérisé en ce que la trempe chimique peut être activée par des facteurs extérieurs tels qu'un champ électrique ou des ultrasons. 12") Substrat selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il est obtenu selon le procédé float puis par découpe, perçage et façonnage. 13 ) Substrat selon l'une quelconque des revendications 1 à 11 caractérisé en ce qu'il est obtenu par pressage d'une paraison, puis par perçage et façonnage. 14") Substrat selon l'une quelconque des revendications précédentes caractérisé en ce qu'il est poli de sorte que la rugosité corresponde à un Ra inférieur à 30 Angströms. 15 ) Substrat selon ia revendication 14 caractérisé en ce qu'il subit. un polissage de finition conduisant à une rugosité dont le Ra est inférieur à 10 Angströms 16 ) Utilisation d'un substrat selon l'une des revendications 1 à 15 comme support dans un disque dur magnétique.