Brevet FR2722915A1 — publié le 19960126

il BO TIER BGA À MOULAGE PAR INJECTION La présente invention concerne un boîtier pour puce de circuit intégré. Elle s'applique plus particulièrement à la réalisation d'un boîtier, constitué à partir d'une plaquette isolante sur une surface supérieure de laquelle est montée une puce de circuit intégré qui est ensuite encapsulée. Des bornes sur une surface supérieure de la puce sont reliées à des plots de connexion sur la face supérieure de la plaquette. Une face inférieure de la plaquette comprend un réseau, de préférence régulier, de bossages ou billes conductrices de raccordement. Chaque bille est reliée à l'un des plots de connexion sur la face opposée de la plaquette par l'intermédiaire d'un trou métallisé. Ce type de boîtier est communément appelé un boîtier BGA (Ball Grid Array). La plaquette isolante est par exemple du type utilisé pour former des cartes de circuit imprimé. Un problème dans ce type de boîtier réside dans la réalisation de l'encapsulation. Un premier mode d'encapsulation consiste à déposer une goutte de résine époxy, qui se répand sur la puce et la plaquette, en étant limitée par une barrière constituée d'un cordon de résine époxy plus visqueuse. Un inconvénient que pré- sente ce procédé réside dans l'absence de planéité de la sur- face du boîtier obtenu. Un second mode d'encapsulation consiste à injecter de la résine époxy à partir d'un moule embrassant en face supé- rieure la plaquette portant la puce. Le boîtier obtenu présente un bon état de surface de résine époxy qui autorise son mar- quage. Dans les deux cas, la résine époxy est chauffée pour provoquer sa solidification. Un inconvénient que l'on retrouve dans les deux types de boîtier est que la contraction de la résine époxy lors de son durcissement, provoque une déformation de la plaquette qui tend à la rendre concave vers la puce. Cette déformation peut provoquer une cassure de la puce de cir- cuit intégré rendant le circuit inutilisable. Une solution actuelle à ce genre de problème consiste à augmenter l'épais- seur de la plaquette pour accroître sa résistance à la déforma- tion. Cela conduit de plus à utiliser des plaquettes qui sont d'autant plus épaisses que la surface de la puce augmente. L'invention vise à pallier ces inconvénients en pro- posant un boîtier BGA qui offre une bonne résistance à la déformation sans recourir à une augmentation de l'épaisseur de la plaquette. Pour atteindre cet objet, la présente invention pré- voit un boîtier de montage d'une puce de circuit intégré com- portant une plaquette isolante, sur la face supérieure de laquelle est posée la puce, cette surface supérieure étant revêtue de résine époxy, la résine époxy s'étendant en outre depuis la face supérieure de la plaquette jusqu'au moins la périphérie d'une surface inférieure de la plaquette. Selon un mode de réalisation de l'invention, le bol- tier comporte en face inférieure de la plaquette, un réseau de billes de raccordement, chaque bille étant reliée à un premier plot de connexion à une borne de la puce disposée en face supé- rieure, par l'intermédiaire d'un trou métallisé, de pistes con- ductrices et d'un second plot de connexion. Selon un mode de réalisation de l'invention, la résine époxy est présente sur toute la face inférieure de la plaquette, entre les billes de raccordement. Selon un mode de réalisation de l'invention, les trous métallisés sont remplis de résine époxy. Selon un mode de réalisation de l'invention, les billes de raccordement se trouvent, une fois que le boîtier est dans sa position finale, encastrées dans la résine époxy pré- sente en face inférieure de la plaquette. Selon un mode de réalisation de l'invention, le boî- tier comporte des trous métallisés à l'aplomb de la puce. L'invention concerne également un procédé de réalisa- tion d'un boîtier de circuit intégré comprenant les étapes sui- vantes: - prévoir une plaquette isolante; - poser une puce de circuit intégré sur la face supérieure de la plaquette; - disposer la structure dans un moule d'injection de produit d'encapsulation; - injecter du produit dans le moule de façon à encapsuler la puce sur la face supérieure de la plaquette; le moule étant formé de façon à ce que le produit d'encapsulation s'étende en outre depuis la face supérieure de la plaquette jusqu'au moins la périphérie d'une surface infé- rieure de la plaquette. Selon un mode de réalisation de l'invention, le pro- cédé comprend les étapes suivantes: - perçage de la plaquette aux emplacements futurs des trous métallisés; - dépôt d'une couche conductrice sur les deux faces de la plaquette, selon un motif de pistes et de plots de con- nexion reliés aux trous; - collage de la puce de circuit intégré en face supérieure de la plaquette, au moyen d'une couche de colle; - réalisation des connexions de la puce aux premiers plots de la face supérieure de la plaquette, au moyen de fils conducteurs; - encapsulation sous une résine époxy par moulage avec définition de zones de dépôt des billes de raccordement au niveau des seconds plots, au moyen d'inserts dans le moule; et - dépôt de billes de raccordement en face inférieure de la plaquette, dans les ouvertures pratiquées dans la couche de résine époxy par les inserts au niveau des seconds plots. Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite à titre non limitatif en relation avec les figures join- tes parmi lesquelles: la figure 1 représente en coupe, un mode de réalisa- tion d'un boîtier de montage d'une puce de circuit intégré selon l'invention; et les figures 2A à 2F illustrent différentes étapes d'un mode de mise en oeuvre d'un procédé de montage d'un cir- cuit intégré selon l'invention. Les représentations des figures ne sont pas à l'échelle pour des raisons de clarté. Comme le montre la figure 1, un boîtier selon l'in- vention se caractérise par un moulage de résine époxy 1 qui se prolonge, depuis la face supérieure d'une plaquette 2 recevant une puce 3 de circuit intégré, jusqu'au moins la périphérie de la face inférieure de cette plaquette 2. La puce 3 de circuit intégré est disposée sur la face supérieure de la plaquette 2 avec interposition d'une couche de collage 4. Préférentiellement, les intervalles entre les billes , en face inférieure de la plaquette 2, sont également recou- verts de résine époxy 1. L'épaisseur de la résine époxy 1, en face inférieure, est inférieure au diamètre des billes 5. La liaison des billes de raccordement 5 à des bornes de la puce 3 s'effectue par l'intermédiaire de pistes conduc- trices et de plots de connexion 6 et 7 respectivement en face inférieure et supérieure de la plaquette 2, de trous métallisés 8 et de fils conducteurs 9. Ces liaisons seront mieux comprises en relation avec la description des figures 2A à 2F. La présence de résine époxy 1 sur les deux faces de la plaquette 2 permet d'équilibrer les contraintes dues à la contraction de la résine époxy 1 lors de son durcissement. On réduit ainsi considérablement les risques de déformation du boîtier et de cassure de la puce 3. On peut de ce fait utiliser une plaquette 2 de faible épaisseur sans risquer de provoquer des cassures dans la puce 3 de circuit intégré. De plus, les tranches de la plaquette 2 étant recou- vertes par la résine époxy 1, on supprime une voie de pénétra- tion d'humidité dans le boîtier, ce qui améliore la fiabilité de ce dernier. En outre, si la résine époxy 1 recouvre les interval- les entre les billes de raccordement 5, en face inférieure de la plaquette 2, on évite le recours à une couche de résine pho- tosensible isolante sur cette face inférieure. Ceci constitue un effet secondaire particulièrement avantageux de l'invention qui améliore considérablement le montage en boîtier de puces de circuit intégré. Classiquement, chacune des faces de la plaquette 2 est recouverte d'une couche de résine photosensible isolante et ouverte aux emplacements des plots, respectivement 6 et 7. Cette couche de résine photosensible qui est déposée sur les faces de la plaquette 2 ne comble pas les trous métallisés 8 qui traversent la plaquette 2. Cela entraîne la formation de bulles d'air qui sont prisonnières entre les deux couches de résine photosensible. La présence de ces bulles est néfaste. En effet, ces bulles se dilatent, sous l'effet de la chaleur à laquelle le boîtier est soumis dans la suite du processus d'en- capsulation ou lors de l'utilisation du circuit intégré. Elles risquent alors de provoquer des cassures de la couche de résine photosensible. Ces risques de cassures entraînent que l'on ne peut, dans les boîtiers classiques, placer de trous métallisés 8 à l'aplomb de la puce 3. En effet, l'apparition de cassures pourrait endommager la puce elle-même. De telles cassures sont également préjudiciables à l'isolement de la face inférieure de la plaquette 2. L'invention permet d'éviter le recours à la couche de résine photosensible en face inférieure en faisant remplir sa fonction d'isolement par la résine époxy 1. La résine époxy 1 étant plus fluide que les résines photosensibles usuelles et étant moulée par injection sous haute pression, elle pénètre complètement dans les trous 8. On supprime ainsi l'emprisonne- ment de bulles d'air dans les trous métallisés 8, et on auto- rise l'apposition de billes de raccordement 5, en face infé- rieure de la plaquette 2, à l'aplomb de la puce 3. On décrira ci-après un exemple de mode de mise en oeuvre d'un procédé de montage de circuit intégré selon l'in- vention. Cet exemple est décrit en relation avec les figures 2A à 2F. Ces figures représentent, partiellement et en coupe, la structure du boîtier selon l'invention à différentes étapes du procédé. Dans une première étape (figure 2A), on perce la pla- quette isolante 2 aux emplacements futurs des trous métallisés. Dans une deuxième étape (figure 2B), on réalise un dépôt chimique conducteur, par exemple de cuivre, sur les deux faces de la plaquette 2 de façon à créer des trous métallisés 8 ainsi que des pistes conductrices et des premiers 6 et seconds 7 plots de connexion, respectivement en face supérieure et inférieure de la plaquette 2. Dans une troisième étape (figure 2C), la puce 3 est collée au moyen d'une couche de colle 4. La colle pénètre dans les trous métallisés 8 qui sont en dessous de la puce 3, sous l'effet de la pression exercée sur la puce 3. On favorise ainsi l'accrochage de la couche de colle 4 tout en évitant la forma- tion de bulles d'air dans les trous 8. Dans une quatrième étape (figure 2D), on réalise les connexions entre les premiers plots 6 de la face supérieure et les bornes de la puce 1 au moyen de fils conducteurs 9, par exemple de fils d'or. Compte tenu du plan de coupe des figures, un seul fil 9 est représenté. En pratique, des fils 9 seront présents sur tous les côtés de la puce 1. Puis on encapsule l'ensemble dans une résine époxy 1 au cours d'une cinquième étape (figure 2E). Cette encapsulation est réalisée par injection de résine époxy 1 dans un moule. Ce moule (non représenté) présente des inserts métalliques défi- nissant, en face inférieure, les emplacements futurs des billes de raccordement 5. La résine époxy 1 qui est injectée sous pression pénètre complètement dans les trous 8, ce qui outre la suppression de bulles d'air, améliore l'ancrage de la résine époxy 1 sur la plaquette 2 et ainsi la fiabilité du boîtier. Enfin, dans une sixième et dernière étape, on dépose des billes 5 sur les seconds plots 7 de la face inférieure de la plaquette 2, aux emplacements o les inserts du moule ont empêché le dépôt de résine époxy 1. On obtient ainsi un boîtier tel que celui représenté à la figure 1. La présence de résine époxy 1 dans les intervalles entre les billes de raccordement 5, en face inférieure de la plaquette 2 facilite le placement des billes de raccordement 5. En effet, la résine époxy 1 sert alors de guide pour le posi- tionnement des billes 5 aux emplacements o les inserts du moule ont empêché le dépôt de résine époxy 1. De plus, cela évite tout risque de décollement ulté- rieur des billes de raccordement 5. En effet, dans un boîtier classique, les billes risquent de se décoller des plots de con- nexion 7 sous l'effet de contraintes thermomécaniques auxquel- les est soumis le boîtier lors de son montage final sur une carte de circuit imprimé. L'invention permet de tirer profit de la fusion à laquelle sont soumises les billes 5 lors du montage final du boîtier, pour les encastrer dans la résine époxy 1 ce qui améliore considérablement leur tenue mécanique. Afin d'améliorer les contacts entre, respectivement, les fils 9 ou les billes 5, et leurs plots de connexion respec- tifs 6 ou 7, on peut effectuer un dépôt électrolytique conduc- teur (non représenté) sur les deux faces de la plaquette 2, au cours d'une étape intermédiaire aux deuxième et troisième éta- pes. Ce dépôt est, par exemple, constitué de nickel et d'or. Il est présent, en face inférieure sur les seconds plots 7 et, en face supérieure sur les premiers plots 6 et les trous métalli- sés 8. Comme on vient de le voir, l'invention permet de sup- primer complètement le recours à une couche de résine photosen- sible isolante, même en face supérieure de la plaquette 2. Ce résultat est atteint en prévoyant un recouvrement complet de la face supérieure de la plaquette 2 par la résine époxy 1 d'en- capsulation. Ainsi, non seulement on améliore considérablement la fiabilité du boîtier obtenu, en évitant tout risque de cas- sure de la puce 3 tout en autorisant le recours à une plaquette 2 de faible épaisseur. Mais on permet également de réduire la surface de plaquette 2 nécessaire en autorisant l'apposition de billes de raccordement 5 à l'aplomb de la puce 3. On simplifie en outre le processus d'encapsulation en évitant une étape de dépôt et de gravure d'une couche de résine photosensible. Bien entendu, la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications qui apparaîtront à l'homme de l'art. En particulier, chacun des constituants décrits pour les couches pourra être remplacé par un ou plu- sieurs constituants présentant les mêmes caractéristiques et/ou remplissant la même fonction. On pourra par exemple, maintenir l'emploi d'une couche de résine photosensible d'isolement en face inférieure, la résine époxy recouvrant tout ou partie de la face inférieure de la plaquette 2. Dans ce cas la couche de résine photosensible sera gravée aux emplacements futurs des billes de raccordement 5. De même, la succession des étapes donnée à titre d'exemple peut être modifiée selon les matériaux et moyens de dépôt et/ou gravure utilisés. De plus, bien que dans l'exemple décrit, le boîtier soit appliqué à une plaquette 2 pourvue de billes 5 de raccor- dement sur sa face inférieure, l'invention s'applique à tout type de boîtiers du type comportant une plaquette isolante revêtue d'un matériau d'encapsulation, et des plots de raccor- dement en face inférieure. Par exemple, la plaquette peut être multicouches et dépourvue de trous traversant, des plots de raccordement en face inférieure, étant reliés à des plots en face supérieure, par l'intermédiaire de pistes réalisées dans des couches conductrices entre lesquelles sont interposées des couches isolantes. En outre, l'invention s'applique à toute forme de boîtier, qu'elle soit carrée, rectangulaire, ronde, ovale, etc.. REVENDICATIONS 1. Boîtier de montage d'une puce (3) de circuit intégré comportant une plaquette isolante (2), sur la face supérieure de laquelle est posée la puce (3), cette surface supérieure étant revêtue de résine époxy (1), caractérisé en ce que la résine époxy (1) s'étend en outre depuis la face supé- rieure de la plaquette (2) jusqu'au moins la périphérie d'une surface inférieure de la plaquette (2). 2. Boîtier de montage d'une puce de circuit intégré selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte, en face inférieure de la plaquette (2), un réseau de billes (5) de raccordement, chaque bille (5) étant reliée à un premier plot (6) de connexion à une borne de la puce (3) disposée en face supérieure, par l'intermédiaire d'un trou métallisé (8), de pistes conductrices et d'un second plot de connexion (7). 3. Boîtier de montage d'une puce de circuit intégré selon la revendication 2, caractérisé en ce que la résine époxy (1) est présente sur toute la face inférieure de la plaquette (2), entre les billes de raccordement (5). 4. Boîtier de montage d'une puce de circuit intégré selon la revendication 3, caractérisé en ce que les trous métallisés (8) sont remplis de résine époxy (1). 5. Boîtier de montage d'une puce de circuit intégré selon la revendication 3 ou 4, caractérisé en ce que les billes de raccordement (5) se trouvent, une fois que le boîtier est dans sa position finale, encastrées dans la résine époxy (1) présente en face inférieure de la plaquette (2). 6. Boîtier de montage d'une puce de circuit intégré selon l'une quelconque des revendications 2 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte des trous métallisés (8) à l'aplomb de la puce (3). 7. Procédé de réalisation d'un boîtier de circuit intégré comprenant les étapes suivantes: - prévoir une plaquette isolante (2); - poser une puce (3) de circuit intégré sur la face supérieure de la plaquette (2); disposer la structure dans un moule d'injection de produit d'encapsulation (1); - injecter du produit dans le moule de façon à encapsuler la puce (3) sur la face supérieure de la plaquette (2); caractérisé en ce que le moule est formé de façon à ce que le produit d'encapsulation s'étende en outre depuis la face supérieure de la plaquette (2) jusqu'au moins la périphé- rie d'une surface inférieure de la plaquette (2). 8. Procédé de réalisation d'un boîtier de circuit intégré selon la revendication 7, caractérisé en ce que la pla- quette isolante (2) comporte sur sa face inférieure, un réseau de billes de raccordement (5), chaque bille (5) étant reliée à un premier plot (6) de connexion à une borne de la puce (3) disposée en face supérieure, par l'intermédiaire d'un trou tra- versant métallisé (8), de pistes conductrices et d'un second plot de connexion (7). 9. Procédé de réalisation d'un boîtier de circuit intégré selon la revendication 8, caractérisé en ce que toute la face inférieure de la plaquette (2) est revêtue de résine époxy (1) à l'exception de zones de réception des billes de raccordement (5). 10. Procédé de réalisation d'un boîtier de circuit intégré selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'il com- prend les étapes suivantes: - perçage de la plaquette (2) aux emplacements futurs des trous métallisés (8); - dépôt d'une couche conductrice sur les deux faces de la plaquette (2), selon un motif de pistes et de plots de connexion (6, 7) reliés aux trous (8); - collage de la puce (3) de circuit intégré en face supérieure de la plaquette (2), au moyen d'une couche de colle (4); - réalisation des connexions de la puce (3) aux premiers plots (6) de la face supérieure de la plaquette (2), au moyen de fils conducteurs (9); - encapsulation sous une résine époxy (1) par mou- lage avec définition de zones de dépôt des billes de raccorde- ment (5) au niveau des seconds plots (7), au moyen d'inserts dans le moule; et - dépôt de billes de raccordement (5) en face inférieure de la plaquette (2), dans les ouvertures pratiquées dans la couche de résine époxy (1) par les inserts au niveau des seconds plots (7).