Brevet FR2720825A1 — publié le 19951208

La présente invention est relative à un procédé et à un dispositif pour la mesure des vibrations d'une structure en mouvement, en particulier d'une machine tournante, mais s'applique plus généralement à tout ensemble soumis à des oscillations périodiques ou non, à fréquences ou amplitudes constantes ou variables dans le temps. En milieu industriel, la mesure précise des vibrations d'une structure est souvent indispensable mais se révèle parfois difficile à réaliser, notamment dans une ambiance hostile, en particulier dans un environnement ou une atmosphère explosive ou plus encore sous forte influence électromagnétique. On connaît déjà des systèmes de mesure de telles vibrations, utilisant un ou plusieurs capteurs à quartz piézoélectriques ; mais ces systèmes sont généralement lourds et encombrants, ce qui les rend inutilisables lorsque la place disponible est réduite, et surtout lorsque l'environnement risque de perturber la mesure, notamment dans le cas de machines tournantes qui sont le siège de forces électromagnétiques, qui sont susceptibles de fausser gravement les mesures. Pour pallier ces inconvénients, on a déjà prévu d'utiliser des fibres optiques véhiculant un signal lumineux, réfléchi par un miroir fixé sur la pièce vibrante, dont on mesure l'amplitude et la fréquence du déplacement ainsi créé. Notamment, on peut utiliser un processus de triangulation optique tel que notamment décrit dans un article publié par la revue Applied Optics, Vol. 28, NO 23 du ler Décembre 1989, intitulé "Fiber optic vibration sensor for remote monitoring in high power electric machines". Ce système met en oeuvre un dispositif nécessitant l'usage de deux fibres optiques, la première pour l'acheminement du faisceau lumineux, la seconde pour le retour de ce faisceau, convenablement modulé par les déplacements de la structure qui porte le miroir. A l'extrémité de chaque fibre, on dispose une lentille qui permet, pour la première de rendre le faisceau lumineux parallèle à la sortie de cette fibre, pour la seconde, de faire converger le faisceau réfléchi vers l'entrée de l'autre fibre, la mesure faisant appel à l'effet Doppler résultant de la différence des chemins optiques entre le faisceau incident et le faisceau réfléchi, fonction de l'amplitude et de la fréquence des vibrations du miroir, donc de la structure vibrante portant celui-ci. Un tel système est complexe à réaliser et surtout ne fournit que des mesures relativement imprécises, en l'absence de toute grandeur de référence, de telle sorte que les perturbations éventuellement créées dans les chemins optiques de l'une ou l'autre des deux fibres, peuvent considérablement perturber le résultat obtenu. Une autre solution a été proposée dans le brevet européen EP-A-0 151 958, qui décrit un dispositif comprenant une seule fibre optique, réalisant à la fois l'émission et la réception du faisceau lumineux dirigé vers le miroir porté par la pièce vibrante, ce qui permet d'éliminer, par différence, les perturbations éventuelles dans le trajet optique à l'aller et au retour du faisceau. Mais ce dispositif présente un autre inconvénient, à savoir que le signal de mesure est identique pour deux positions de la poutre flexible portant le miroir de part et d'autre d'une position de repos intermédiaire, ce qui ne permet pas de définir avec précision la position exacte et instantanée de cette poutre à tout moment et d'en déduire les variations d'amplitude et de fréquence du mouvement vibratoire créé, la mesure étant relative et ne pouvant en outre s'affranchir des perturbations extérieures. La présente invention a pour objet un procédé et un dispositif pour la mesure des vibrations d'une structure en mouvement à l'aide d'une poutre flexible qui vibre en synchronisme avec la structure à contrôler, qui utilise l'émission et la réflexion d'un faisceau lumineux issu d'une fibre optique unique, modulée par les mouvements de la poutre elle-même, mais dans des conditions qui permettent d'éliminer les inconvénients des solutions déjà connues dans la technique. A cet effet, le procédé considéré, pour la mesure des vibrations d'une structure en mouvement, notamment d'une machine tournante ou autre, consistant à utiliser une fibre optique unique fixe et une poutre oscillante disposée en regard d'un faisceau lumineux délivré par la fibre, cette poutre vibrant en synchronisme avec la structure, se caractérise en ce qu'on dispose à l'extrémité libre de la fibre un filtre optique, apte à réfléchir un premier signal optique de référence du faisceau introduit dans cette fibre et dont la longueur d'onde est comprise dans une zone spectrale déterminée, et à laisser le passage pour un second signal optique, introduit dans la fibre simultanément avec le premier mais dont la longueur d'onde est comprise dans une zone spectrale différente de la précédente, ce second signal, à la sortie de la fibre au-delà du filtre, étant renvoyé par un miroir sphérique dont l'axe optique coïncide avec celui de la fibre et dont le centre est situé à l'extrémité de celle-ci sensiblement au droit du filtre de manière à permettre le retour dans la fibre de ce second signal après réflexion sur le miroir, et en ce qu'on aménage la poutre oscillante de telle sorte qu'elle présente une face disposée sur la direction de l'axe de la fibre, afin que la partie du second signal reçue par cette face soit déviée hors de la fibre et du miroir ou absorbée, la vibration de la poutre modulant la fraction variable du second signal non déviée ou absorbée par sa face inclinée et réfléchie par le miroir, avant d'être reprise par la fibre. Le procédé selon l'invention permet donc de fournir en permanence à un appareil de mesure approprié une référence déterminée à partir d'un signal optique de longueur d'onde donnée renvoyé par le filtre optique prévu à l'extrémité de la fibre et qui en permanence tient compte des pertes ou contraintes en ligne créées dans la fibre sur ce premier signal. Le second signal optique, de longueur d'onde différente, qui traverse librement le filtre et qui est réfléchi par le miroir sphérique, est modulé par la poutre oscillante placée sur son trajet et aménagée de telle sorte que, selon sa position à travers ce signal, cette poutre occulte ou au contraire laisse librement passer tout ou partie du signal qui, après réflexion sur le miroir, revient dans la fibre avec la même longueur d'onde mais une modulation en intensité qui dépend directement de la vibration de la poutre, donc de la structure. Les signaux optiques constituant les premier et second signaux, de longueurs d'ondes respectives différentes, sont alors comparés et traités dans un circuit de mesure, qui finalement délivre un signal électrique exactement représentatif de l'amplitude et de la fréquence des vibrations de la poutre, donc de la structure, notamment en s'affranchissant de toute perturbation extérieure, en particulier au cours des trajets successifs à l'intérieur de la fibre optique, à l'aller comme au retour. Selon une caractéristique préférée de l'invention, on réalise la poutre oscillante de telle sorte que, en position de repos de celle-ci, la moitié du second signal optique délivré par la fibre atteigne le miroir sphérique et soit renvoyée vers le filtre, tandis que l'autre moitié est déviée hors du miroir et de la fibre. De préférence également, l'angle de la face inclinée de la poutre sur l'axe de la fibre est déterminé de telle sorte que la fraction du second signal optique réfléchie par le miroir sphérique, varie entre 0 et 100 %, selon l'amplitude et la phase des déplacements en vibration de cette poutre. L'invention concerne également un dispositif pour la mise en oeuvre du procédé, comportant une fibre optique unique pour l'émission, par son extrémité libre, d'un faisceau lumineux réfléchi par un miroir sphérique dont l'axe coïncide avec celui de la fibre, le centre du miroir étant disposé sur cette extrémité, caractérisé en ce que la fibre comporte à cette même extrémité un filtre, apte à réfléchir dans la fibre un premier signal de référence de longueur d'onde donnée et à laisser passer un second signal de mesure de longueur d'onde différente, la fibre et le miroir sphérique étant portés par un boîtier de support solidaire de la structure, lequel supporte également une poutre vibrante, entraînée en synchronisme avec cette structure selon une direction perpendiculaire à l'axe commun de la fibre et du miroir, la poutre présentant une face disposée en regard du faisceau, propre à dévier en dehors de la fibre et du miroir ou à absorber une partie de ce faisceau, de telle sorte que la fraction du faisceau réfléchie par ce miroir soit modulée en permanence en fonction de la position relative de la poutre en travers de ce faisceau. Selon une caractéristique particulière, le filtre prévu à l'extrémité de la fibre optique est un filtre multicouche, dont la bande passante est déterminée de telle sorte qu'il réfléchisse totalement le premier signal et soit traversé sans atténuation par le second signal. Dans un premier mode de réalisation de l'invention, la face de la poutre est inclinée de manière à dévier par réflexion une partie du faisceau. Avantageusement et selon une autre caractéristique de ce premier mode de réalisation, la poutre oscillante présente dans un plan contenant l'axe commun de la fibre et du miroir un profil en forme de trapèze, dont un côté est confondu avec cet axe lorsque la poutre est au repos, de telle sorte que, dans cette position, sa face inclinée dévie en dehors de la fibre et du miroir la moitié du second signal. De préférence, la face inclinée de la poutre est polie ou munie d'une substance réfléchissante. La poutre peut également être constituée au moyen d'un matériau propre à absorber la partie du faisceau lumineux qui n'atteint pas le miroir. Dans un autre mode de réalisation, la face de la poutre présente une inclinaison quelconque, cette poutre étant réalisée en un matériau absorbant le faisceau. De préférence et quelle que soit la variante envisagée, la poutre oscillante est constituée par une languette allongée, comprenant un premier bord solidaire du boîtier de support et un second bord libre, opposé, disposé sur le trajet du second signal issu de l'extrémité de la fibre. Avantageusement, la languette comprend, entre ses bords opposés, une zone intermédiaire plus massive, propre à accroître son inertie et à faciliter sa mise en vibration, en synchronisme avec la structure portant le boîtier de support. Selon encore une autre caractéristique, le boîtier de support comprend une platine d'appui comportant une encoche en forme de V ou équivalent, pour le logement et l'immobilisation de la fibre vis-à-vis de ce boîtier, avec son axe en coïncidence avec celui du miroir sphérique, de part et d'autre de la poutre oscillante. Selon le cas, la fibre est fixée dans l'encoche par collage, par soudage ou par autre moyen d'immobilisation. De préférence, le boîtier comporte un berceau interne à profil hémicylindrique pour le montage du miroir sphérique, ce berceau étant réuni sur un de ses côtés latéraux au premier bord de la languette allongée constituant la poutre vibrante. De façon également avantageuse, le boîtier est constitué en un matériau diélectrique et présente en outre un faible coefficient de dilatation. Enfin et selon encore une autre caractéristique de l'invention, le dispositif comporte un circuit de mesure comprenant deux diodes émettrices électroluminescentes, délivrant deux faisceaux lumineux dont les spectres sont respectivement décalés et modulés électriquement par deux fréquences distinctes, un polychromateur délivrant, à partir de ces faisceaux, deux signaux optiques de longueurs d'ondes différentes, dont l'un est réfléchi par le filtre prévu à l'extrémité de la fibre optique et l'autre est renvoyé dans cette fibre par le miroir sphérique après modulation par la poutre oscillante, et un coupleur qui dirige une partie des signaux issus du polychromateur ainsi que les signaux revenant dans la fibre, respectivement vers deux diodes réceptrices transformant ces signaux optiques en signaux électriques ayant deux composantes de fréquences différentes, chacune des composantes de ces signaux électriques étant traitée séparément à travers des filtres accordés sur les fréquences de ces signaux, de manière à fournir une réponse caractérisant la vibration mesurée par comparaison avec une valeur de référence constamment ajustée. D'autres caractéristiques d'un dispositif de mesure de vibrations selon l'invention, apparaîtront encore à travers la description qui suit d'un exemple de réalisation, donné à titre indicatif et non limitatif, en référence aux dessins annexés sur lesquels - La Figure 1 est une vue en perspective, illustrant le dispositif selon l'invention pour la mesure des vibrations d'une structure quelconque au moyen du dispositif considéré. - La Figure 2 est une vue en perspective à plus grande échelle de la poutre vibrante mise en oeuvre dans le dispositif selon la Figure 1. - La Figure 3 est une vue en coupe transversale à encore plus grande échelle, schématisant la manière dont est réalisé le montage de la fibre optique sur la platine d'appui du boîtier. - Les Figures 4a, 4b, 4c, sont des schémas permettant d'expliciter la manière dont la poutre vibrante réalise la modulation du faisceau lumineux issu de la fibre en direction du miroir sphérique. - La Figure 5 est un diagramme portant la puissance en ordonnées et la longueur d'onde en abscisses des signaux lumineux véhiculés dans la fibre optique du dispositif selon l'invention. - La Figure 6 est un schéma du circuit permettant d'effectuer la mesure des vibrations à l'aide du dispositif de l'invention. Sur la Figure 1, la référence 1 désigne dans son ensemble un capteur destiné à être fixé sur une structure quelconque (non représentée), soumise à des vibrations et dont on désire mesurer ces dernières, en amplitude et en fréquence, du genre par exemple de l'arbre d'une machine tournante ou autre, le cas échéant placée dans un environnement peu accessible ou dangereux. Le capteur 1 dont l'encombrement est relativement très réduit (de quelques centimètres dans sa plus grande dimension) comporte un boîtier de support 2, de préférence réalisé en un matériau diélectrique et présentant un faible coefficient de dilatation, ce boîtier étant muni d'un alésage 3 pour une fibre optique 4. Cette dernière débouche au-delà de l'extrémité de l'alésage 3 dans une région 5 du boîtier 2 délimité par le fond 6 de celui-ci, de forme sensiblement hémisphérique, et repose sur une platine d'appui 7, disposée dans un plan diamétral du boîtier dans cette région. La platine 7 comporte, comme plus particulièrement représenté sur la Figure 3, une encoche ouverte 8, en forme de V ou autre, dans le fond de laquelle s' appuie la partie dépassante de la fibre 4, celle-ci étant immobilisée dans cette encoche par collage, soudage ou autre moyen approprié. La platine d'appui 7, dont la Figure 2 illustre avec plus de détails la forme particulière, se prolonge à l'extrémité opposée à celle qui comporte l'encoche en V contenant la fibre 4, par un talon 9 de liaison avec une poutre vibrante 10. Cette poutre 10 se présente notamment sous la forme d'une lamelle étroite et mince 11, solidarisée par un de ses bords 12 au talon 9 et libre à son bord opposé 13, lequel se situe en travers de l'encoche 8 mais légèrement en avant de celle-ci, audelà de l'extrémité 14 de la fibre 4 (Figure 4). Avantageusement, la lamelle 11 comporte entre ses bords 12 et 13 une partie ou zone intermédiaire 15, sensiblement plus massive et permettant d'augmenter l'inertie de la poutre 10, laquelle peut se débattre avec une amplitude convenable en regard de la fibre 4 à l'intérieur de la région 5, notamment vers le bas sur la Figure 1 dans la partie interne 16 du berceau 6, ou vers le haut au-dessus du plan de référence formé par la platine d'appui 7 supportant la fibre optique. Le berceau 6 comporte par ailleurs un miroir sphérique 17 dont la surface réfléchissante 18 (Figure 4) est dirigée vers l'extrémité 14 de la fibre 4, ce miroir sphérique ayant son axe 19 exactement confondu avec l'axe 20 de la fibre 4 et étant ajusté en position à l'intérieur du berceau, de telle sorte que son centre optique coïncide avec cette extrémité 14 où la fibre comporte un filtre multicouche 21, dont le rôle sera défini plus loin. La poutre 10 solidarisée du boîtier de support 2 est conçue pour vibrer en synchronisme avec la structure sur laquelle est monté le capteur 1, et est par ailleurs aménagée de manière à présenter en section droite, comme le montre plus particulièrement la Figure 4, une section trapézoïdale, avec une face plane supérieure 22, correspondant en coupe à la petite base du trapèze et qui, lorsque la poutre est au repos, forme un plan contenant l'axe commun 19, 20 du miroir 17 et de la fibre optique 4. Enfin, la poutre 10 est conçue de telle sorte que sa face latérale inclinée 23 qui forme en coupe un des côtés du trapèze, et qui est disposée en regard de l'extrémité 14 de la fibre 4, soit polie ou munie d'une substance réfléchissante de telle sorte qu'un rayon lumineux issu de la fibre et qui vient frapper cette face 23, soit dévié par celle-ci, afin d'être renvoyé dans une direction où il ne rencontre ni la fibre, ni la face réfléchissante 18 du miroir 17. La poutre 10 peut également être réalisée dans un matériau qui absorbe la partie du rayon lumineux issu de la fibre qui vient frapper la face inclinée 23, de façon à ce que cette partie du rayon lumineux ne soit pas renvoyée dans la fibre. Dans ce cas, la face 23 peut présenter un angle quelconque par rapport à l'axe de la fibre optique. Dans ces conditions, on comprend que lors des oscillations de la poutre 10 en regard de la fibre optique 4 à l'intérieur du boîtier de support 2, dues aux vibrations de la structure portant le boîtier, la lamelle 11 va, selon le cas, obturer ou au contraire libérer le faisceau délivré par la fibre, l'agencement relatif des diverses parties du dispositif étant tel que, en position de repos (Figure 4a), la moitié du faisceau lumineux soit occultée par la poutre qui dévie le rayonnement lumineux par sa face 23 en dehors de la fibre et du miroir 17, tandis que l'autre moitié atteint en revanche la face réfléchissante 18 de celui-ci qui renvoie ce rayonnement vers son centre et donc vers l'extrémité 14 de la fibre qui le récupère. En revanche, dans son déplacement maximal vers le haut sur les Figures (Figure 4b), la poutre 10 occulte totalement le rayonnement issu de la fibre, dont la totalité est déviée ; en revanche, dans son déplacement maximal vers le bas (Figure 4c), tout le rayonnement lumineux atteint le miroir 17 et est intégralement renvoyé vers la fibre 4. La poutre 10 réalise donc une modulation du faisceau lumineux fourni par la fibre optique, la partie de ce faisceau seule réfléchie par le miroir se recouplant dans la fibre, de manière à permettre de fournir une mesure caractéristique de la vibration créée et ainsi détectée. En fonctionnement, la fibre optique 4 reçoit, dans des conditions qui seront précisées plus loin, un premier faisceau lumineux émis par une des diodes 25 ou 26 d'un circuit de mesure 24 dont le détail sera explicité plus loin, les longueurs d'ondes de ce premier faisceau étant comprises dans une zone spectrale déterminée, en particulier comme illustré sur la Figure 5. Celle-ci donne, en relation avec ce premier faisceau dont l'enveloppe est représentée par la courbe A sur la Figure, les puissances en ordonnées et les longueurs d'ondes S en abscisses, ces dernières se situant entre les valeurs X a etrb sur le graphique. Simultanément, la fibre 4 reçoit un second faisceau lumineux dont les longueurs d'ondes sont cette fois comprises dans une zone spectrale distincte, les longueurs d'ondes étant comprises entre etd. Le filtre 21 prévu à l'extrémité de la fibre 4 est choisi de telle sorte qu'il soit transparent pour les longueurs d'ondes Xc à À d, du second faisceau et qu'en revanche, il réfléchisse totalement le rayonnement dont les longueurs d'ondes sont comprises entre Àa etX b, ce rayonnement ne pouvant donc sortir de la fibre et étant renvoyé en sens inverse dans celle-ci. Bien entendu, le filtre pourrait être agencé différemment et inversement laisser passer les longueurs d'ondes entre a etÊb et arrêter les longueurs d'ondes entre Xc et Xd, le rayonnement issu de la fibre étant réfléchi par le miroir sphérique et modulé en intensité par les battements de la poutre oscillante de la façon déjà précisée. La Figure 6 illustre de façon plus détaillée le schéma synoptique du circuit associé au capteur de mesure 1 et à la fibre optique 4 montée dans le boîtier de support 2, ce circuit de mesure étant notamment raccordé à l'extrémité de la fibre par un connecteur optique classique. En position de fonctionnement, le plan dans lequel est situé l'axe commun 19, 20 de la fibre et du miroir sphérique et qui contient la face 22 de la poutre 10 est supposé horizontal, cette poutre étant animée de mouvements vibratoires dans la direction verticale, donc perpendiculairement à ce plan. Sur la Figure 6, on suppose que le capteur et la fibre sont disposés dans une première zone (I), dans laquelle sont regroupés tous les composants de surveillance et de commande d'un processus industriel donné, cette zone pouvant notamment correspondre à une salle contenant la structure vibrante à contrôler. Le circuit de mesure désigné dans son ensemble sous la référence 24, est pour sa part situé dans une zone (II), distincte et séparée de la zone (I). Le circuit 24 comporte une première diode électroluminescente 25, apte à délivrer un rayonnement lumineux dont le spectre correspond à l'enveloppe du premier faisceau envisagé sur la Figure 5, avec des longueurs d'ondes comprises \a etu b. I1 comporte également une seconde diode électroluminescente 26 qui délivre de la même manière un faisceau lumineux dans une zone spectrale distincte, les longueurs d'ondes étant comprises entre lc et ld. Les deux diodes sont connectées à un polychromateur 27 qui, à l'intérieur de chacun des deux spectres A et B sur la Figure 5, sélectionne une longueur d'onde 11 dans le premier spectre et 12 dans le second, selon la position des faisceaux issus des diodes à l'entrée dans le polychromateur. La diode 25 qui émet ainsi le signal lumineux de longueur d'onde 11, est modulée électriquement à une première fréquence fl, tandis que la diode 26 qui émet l'autre signal de longueur d'onde 12 est modulée électriquement à une seconde fréquence f2, différente de la première. La fibre optique 4 dans la zone (I), 4a dans la zone (II), est alors connectée à une sortie du polychromateur 27 et transmet en direction de son extrémité 14 et du filtre 21 monté à celle-ci, un signal qui comporte deux composantes de longueurs d'ondes 11 et 12, modulées à deux fréquences différentes fl et f2. Un coupleur diviseur 28 sépare ce signal en deux parties, une première étant dirigée vers une diode réceptrice 29 qui transforme les signaux lumineux précédents en deux signaux électriques également de fréquences différentes. La seconde partie du signal issu du coupleur est envoyée dans la fibre optique 4 et atteint le filtre 21 à l'extrémité de celle-ci. La première composante de longueur d'onde 11 et de fréquence fl est réfléchie par ce filtre 21 et est ainsi renvoyée dans la fibre en sens inverse, tandis que la seconde composante de longueur d'onde 12 et de fréquence f2 est, en tout ou en partie, réfléchie par le miroir sphérique 17 et couplée à nouveau dans la fibre, après avoir été modulée par la vibration de la poutre oscillante 10 de la manière déjà précisée. Les deux composantes du signal optique ainsi restitué dans la fibre correspondent chacune aux longueurs d'ondes 1 et 2, de fréquences fl et F2, qui sont alors reprises par le coupleur 28. Une partie du signal de retour est ainsi renvoyée, à la sortie du coupleur 28, vers une seconde photodiode 30 qui transforme les deux signaux lumineux en un signal électrique, avec deux composantes de fréquences différentes fl et f2. Le premier signal électrique, à deux composantes de fréquences fl et f2, délivré par la photodiode 29, est acheminé à l'entrée de deux filtres 31 et 32 montés en parallèle, le premier filtre étant accordé sur la fréquence fl et le second sur la fréquence f2. A la sortie du filtre 31, le signal obtenu est représentatif de la puissance P1 de la diode émettrice 25, alors qu'à la sortie du filtre 32, le signal est représentatif de la puissance P2 de la diode 26. Un module de calcul 33 établit alors le rapport des puissances P1 et P2, qui varie suivant l'affaiblissement dans le temps de la puissance d'émission des diodes 25 et 26 et fournit donc à tout instant une valeur de référence. Le signal électrique délivré par la photodiode 30 est de même réuni à l'entrée de deux filtres, respectivement 34 et 35, qui à leur tour sont accordés sur les fréquences fl et f2. Dans ces conditions, à la sortie du filtre 34, on obtient un signal M1 représentatif du signal réfléchi par le filtre 21, qui tient compte de l'affaiblissement éventuel et des pertes dans tous les composants du circuit lumineux et notamment des pertes dans la fibre. A la sortie du filtre 35, on obtient de même un signal M2 qui contient l'information représentative des vibrations de la poutre oscillante et par suite des vibrations de la structure. Un module de calcul 36 établit le rapport des signaux M1 et M2, qui varie en fonction de la modulation due à la poutre 10. Les signaux délivrés par les modules 33 et 36 sont finalement acheminés vers un module multiplicateur 37 qui calcule le signal de mesure réel, correspondant au rapport des deux valeurs fournies par ces modules. On réalise ainsi un dispositif de mesure des vibrations d'une structure en mouvement et notamment d'une machine tournante au moyen d'un ensemble simple et dont le fonctionnement élimine toutes les causes d'erreurs pouvant intervenir, le signal modulé en fonction de l'amplitude et de la fréquence des vibrations étant en permanence comparé à une valeur de référence qui elle-même s'affranchit des influences dues aux trajets optiques parcourus et aux pertes subies au cours de ces trajets. Bien entendu, il va de soi que l'invention ne se limite pas à l'exemple plus spécialement considéré et décrit ci-dessus en relation avec les dessins annexés ; elle en embrasse au contraire toutes les variantes. REVENDICATIONS 1 - Procédé de mesure des vibrations d'une structure en mouvement, notamment d'une machine tournante ou autre, consistant à utiliser une fibre optique unique fixe (4) et une poutre oscillante (10) disposée en regard d'un faisceau lumineux délivré par la fibre, cette poutre vibrant en synchronisme avec la structure, caractérisé en ce qu'on dispose à l'extrémité libre de la fibre un filtre optique (21), apte à réfléchir un premier signal optique de référence du faisceau introduit dans cette fibre et dont la longueur d'onde est comprise dans une zone spectrale déterminée, et à laisser le passage pour un second signal optique, introduit dans la fibre simultanément avec le premier mais dont la longueur d'onde est comprise dans une zone spectrale différente de la précédente, ce second signal, à la sortie de la fibre au-delà du filtre, étant renvoyé par un miroir sphérique (17) dont l'axe optique (19) coïncide celui (20) de la fibre et dont le centre est situé à l'extrémité de celle-ci sensiblement au droit du filtre de - manière à permettre le retour dans la fibre de ce second signal après réflexion sur le miroir, et en ce qu'on aménage la poutre oscillante de telle sorte qu'elle présente une face inclinée (23) sur la direction de l'axe de la fibre, afin que la partie du second signal reçue par cette face soit déviée hors de la fibre et du miroir ou absorbée, la vibration de la poutre modulant la fraction variable du second signal non déviée ou absorbée par sa face inclinée et réfléchie par le miroir, avant d'être reprise par la fibre. 2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on réalise la poutre vibrante (10) de telle sorte que, en position de repos de celle-ci, la moitié du second signal optique délivré par la fibre (4) atteigne le miroir sphérique (17) et soit renvoyée vers le filtre (21), tandis que l'autre moitié est déviée hors du miroir et de la fibre. 3 - Procédé selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'on détermine l'angle de la face inclinée (23) de la poutre (10) sur l'axe (20) de la fibre (4) de telle sorte que la fraction du second signal optique réfléchie par le miroir sphérique, varie entre 0 et 100 %, selon l'amplitude et la phase des déplacements en vibration de cette poutre. 4 - Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, comportant une fibre optique unique (4) pour l'émission, par son extrémité libre (14), d'un faisceau lumineux réfléchi par un miroir sphérique (17) dont l'axe (19) coïncide avec celui (20) de la fibre, le centre du miroir étant disposé sur cette extrémité, caractérisé en ce que la fibre comporte à cette même extrémité un filtre (21), apte à réfléchir dans la fibre un premier signal de référence de longueur d'onde donnée et à laisser passer un second signal de mesure de longueur d'onde différente, la fibre et le miroir sphérique étant portés par un boîtier de support (2) solidaire de la structure, lequel supporte également une poutre oscillante (10), vibrant en synchronisme avec cette structure selon une direction perpendiculaire à l'axe commun de la fibre et du miroir, la poutre présentant une face (23) en regard du faisceau, propre à dévier en dehors de la fibre et du miroir ou à absorber une partie de ce faisceau, de telle sorte que la fraction du faisceau réfléchie par le miroir et reprise par la fibre soit modulée en permanence, en fonction de la position relative de la poutre en travers de ce faisceau. 5 - Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce que le filtre (21) prévu à l'extrémité de la fibre optique (4) est un filtre multicouche, dont la bande passante est déterminée de telle sorte qu'il réfléchisse totalement le premier signal et soit traversé sans atténuation par le second signal. 6 - Dispositif selon l'une des revendications 4 ou 5, caractérisé en ce que la face (23) de la poutre est inclinée de manière à dévier par réflexion une partie du faisceau. 7 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 4 à 6, caractérisé en ce que la poutre oscillante (10) présente dans un plan contenant l'axe commun (19, 20) de la fibre (4) et du miroir (17) un profil en forme de trapèze, dont un côté (22) est confondu avec cet axe lorsque la poutre est au repos, de telle sorte que, dans cette position, sa face inclinée (23) dévie en dehors de la fibre et du miroir la moitié du second signal. 8 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 4 à 7, caractérisé en ce que la face inclinée (23) de la poutre (10) est polie ou munie d'une substance réfléchissante. 9 - Dispositif selon l'une des revendications 4 ou 5, caractérisé en ce que la face (23) de la poutre présente une inclinaison quelconque, cette poutre étant réalisée en un matériau absorbant le faisceau. 10 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 4 à 9, caractérisé en ce que la poutre oscillante (10) est constituée par une languette allongée, comprenant un premier bord (12) solidaire d'une platine d'appui (7) du boîtier de support (2) et un second bord (13) libre, opposé, disposé sur le trajet du second signal issu de l'extrémité (14) de la fibre (4). 11 - Dispositif selon la revendication 10, caractérisé en ce que la languette comprend, entre ses bords opposés, une zone intermédiaire (15) plus massive, propre à accroître son inertie et à faciliter sa mise en vibration, en synchronisme avec la structure portant le boîtier de support (2). 12 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 ou 11, caractérisé en ce que la platine d'appui (7) du boîtier de support (2) comprend une encoche (8) en forme de V ou équivalent, pour le logement et l'immobilisation de la fibre (4) vis-à-vis de ce boîtier, avec son axe en coïncidence avec celui du miroir sphérique, de part et d'autre de la poutre oscillante. 13 - Dispositif selon la revendication 12, caractérisé en ce que la fibre (4) est fixée dans l'encoche (8) de la platine (7) du boîtier (2) par collage, par soudage ou par autre moyen d'immobilisation. 14 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 10 à 13, caractérisé en ce que le boîtier (2) comporte un berceau interne (6) à profil hémicylindrique pour le montage du miroir sphérique (17), ce berceau étant rendu solidaire de la platine d'appui (7). 15 - Dispositif selon la revendication 14, caractérisé en ce que le boîtier de support (2) est constitué en un matériau diélectrique et présente en outre un faible coefficient de dilatation. 16 - Dispositif selon l'une quelconque des revendications 4 à 15, caractérisé en ce qu'il comporte un circuit de mesure (24) comprenant deux diodes émettrices électroluminescentes (25, 26), délivrant deux faisceaux lumineux dont les spectres sont respectivement décalés et modulés électriquement par deux fréquences distinctes, un polychromateur (27) délivrant, à partir de ces faisceaux, deux signaux optiques de longueurs d'ondes différentes, dont l'un est réfléchi par le filtre (21) prévu à l'extrémité de la fibre optique (4) et l'autre est renvoyé dans cette fibre par le miroir sphérique après modulation par la poutre oscillante, et un coupleur (28) qui dirige une partie des signaux issus du polychromateur ainsi que les signaux revenant dans la fibre, respectivement vers deux diodes réceptrices (29, 30) transformant ces signaux optiques en signaux électriques ayant deux composantes de fréquences différentes, chacune des composantes de ces signaux électriques étant traitée séparément à travers des filtres (31, 32 - 34, 35) accordés sur les fréquences de ces signaux, de manière à fournir une réponse caractérisant la vibration mesurée par comparaison avec une valeur de référence constamment ajustée.