Brevet FR2718568A1 — publié le 19951013

Procédé d'implantation haute énergie à partir d'un implanteur de type faible ou moyen courant et dispositifs correspondants. L'invention concerne l'implantation ionique faible ou moyen courant, notamment en microélectronique. Les premières utilisations de l'implantation ionique haute énergie en microélectronique concernaient la fabrication de senseurs CCD (Charge Coupled Device en langue anglaise) et la programmation de mémoires mortes, par exemple pour les jeux électroniques. L'implantation ionique haute énergie (de l'ordre de 600 à 700 keV d'ions phosphore dans le silicium) a depuis connu d'autres applications, par exemple pour améliorer l'isolement latéral dans les circuits CMOS à haute densité d'intégration. L'implantation ionique haute énergie trouve également de nombreux avantages dans la fabrication de composants semiconducteurs. Elle permet ainsi d'effectuer un isolement de champ ("channel stopper") qui offre, outre un meilleur isolement latéral, une réduction de la distance n+/p+ entre transistors NMOS et PMOS et de la diffusion des dopants dans les zones actives du composant semiconducteur pendant l'oxydation. Un autre avantage réside dans la réalisation de collecteurs enterrés minces et localisés dans les technologies bipolaires. Une telle implantation ionique nécessite des doses de quelques 1014 ions de phosphore par cm2 à une énergie de 1,5 MeV ou bien de bore à 800 keV. On peut encore citer la réalisation de couches enterrées pour diminuer les courants de fuite par le substrat. Actuellement ces réalisations sont généralement effectuées par épitaxie, qui est une technique délicate et onéreuse en milieu industriel. Aussi est-il alors préférable d'effectuer des implantations ioniques à des doses 1015 ions par cm2 de phosphore à 1,5 MeV ou bien de bore à 800 keV. Or les énergies de l'ordre du MeV (mégaélectron-volt) nécessitent actuellement le recours à la solution coûteuse des accélérateurs classiques de type linéaire. De telles machines existent mais elles sont d'un prix très élevé et demeurent des machines de laboratoire, car les industriels leur reprochent leur manque de fiabilité et de souplesse et hésitent surtout à investir dans une machine ne permettant de satisfaire qu'un petit nombre d'étapes technologiques (une voire deux). Afin que l'implantation haute énergie devienne une technique relativement abordable pour des industriels, une solution consiste à utiliser des ions multichargés. Cependant, les sources d'ions utilisées sont généralement des sources à filament chaud qui ont une durée de vie de fonctionnement d'une vingtaine d'heures environ et ne permettent en outre d'obtenir que de faibles courants disponibles conduisant à l'obtention de doses d'ions multichargés ne dépassant guère 1013/cm2 (voir notamment l'article de A. GROUILLET et autres, "Device performances and parametric studies of high energy implantations with multiple charged ion beams"" ION IMPLANTATION TECHNOLOGY- 92, p. 417-420). Il existe par ailleurs un autre type de source d'ions multichargés combinant à la fois deux forts champs magnétiques (l'un axial et l'autre radial) ainsi qu'une injection d'un champ électromagnétique hyperfréquence dans une chambre d'ionisation, dont les dimensions sont calculées pour que la source travaille en condition de résonance cyclotronique électronique, permettant l'obtention, à partir d'un gaz admis dans la chambre de ionisation, d'un plasma gazeux ionisé contenant des ions fortement chargés. Ce type de source d'ions a été initialement mis au point pour être appliqué à la fusion nucléaire. On a pu ainsi obtenir des ions multichargés tels Art3+, Kir20+ ou Xe20+. Cependant, de telles sources sont extrêmement lourdes et volumineuses, sans compter le volume du bloc d'alimentation qui leur est nécessaire, et, ces contraintes rendent leur adaptation à des implanteurs industriels classiques rigoureusement impossible. On connaît certes par la demande de brevet européen n" 0 527 082 une source à résonance cyclotronique électronique (source ECR) de taille réduite. Néanmoins la source décrite dans ce document antérieur, associée à une alimentation hyperfréquence produisant l'énergie hyperfréquence nécessaire à la génération du plasma ionisé, ne peut pas être disposée dans un implanteur classique en raison notamment des contraintes de dimensionnement de l'ensemble source-alimentation hyperfréquence. En outre, le faisceau ionisé de sortie de la source décrite dans ce document antérieur présente des caractéristiques géométriques incompatibles avec la plupart des implanteurs industriels standard. Par ailleurs le diamètre usuel du faisceau de sortie d'une telle source ECR, typiquement de quelques millimètres, ainsi que l'utilisation de gaz simples tels que l'hydrogène, le néon, le xénon, l'argon, l'oxygène, le tungstène ou le titane, autorisent aisément l'emploi d'une telle source dans des applications de séparation isotropique mais rendent cette source inadaptable telle quelle pour des applications d'implantation d'ions multichargés dans le domaine de la microélectronique et en outre inutilisable telle quelle dans les implanteurs industriels standard. L'invention a pour but d'augmenter l'énergie d'implantation d'un implanteur industriel classique du type faible ou moyen courant, dont l'énergie maximale d'implantation ne dépasse pas quelques centaines de keV, typiquement 200 à 250keV, pour obtenir des énergies de l'ordre du MeV, tout en permettant d'atteindre des doses d'ions pouvant aller jusqu'à 1014/cm2 voire plus, et ce de façon simple à un coût industriellement acceptable. Au sens de la présente invention, un implanteur de type faible ou moyen courant est un implanteur dont l'intensité du courant de faisceau total mesurée en aval de l'accélérateur est inférieur à environ 5 mA. L'invention a aussi pour but de faire fonctionner un tel implanteur ionique classique avec une source d'ions à résonance cyclotronique électronique, alors qu'aucun de tels implanteurs n'est équipé initialement d'un tel type de source. En effet les sources d'ions classiquement utilisées dans ce type d'implanteurs sont généralement des sources à filament chaud ou à cathode froide. L'invention a encore pour but de permettre le remplacement des sources classiques par exemple à filament chaud, existant dans de tels implanteurs par une source d'ions à résonance cyclotronique électronique équipée de son alimentation hyperfréquence tout en respectant les contraintes d'encombrement de ces implanteurs existants. Un autre but de l'invention consiste à permettre l'adaptation d'une telle source à résonance cyclotronique électronique à la plupart des implanteurs industriels de type faible ou moyen courant. L'invention a encore pour but d'obtenir des faisceaux d'ions multichargés particulièrement stables avec des courants de balayage de quelques dizaines de micro-ampères, notamment avec des ions phosphore P4+, P5+ et P6+. L'invention propose donc un procédé d'implantation haute énergie à partir d'un implanteur ionique du type faible ou moyen courant, dans lequel: - on dispose à l'intérieur de l'implanteur un générateur hyperfréquence à tube à ondes progressives générant un champ électromagnétique ayant une fréquence supérieure ou égale à 6 GHz, - on dispose dans l'implanteur une source d'ions multichargés à résonance cyclotronique électronique comportant une cavité de plasma formant guide d'onde dont la dimension caractéristique dans le plan transversal de la cavité est du même ordre de grandeur que la longueur d'onde du champ électromagnétique, - on couple électromagnétiquement le générateur hyperfréquence et la cavité de plasma de la source d'ions multichargés, - on admet dans la cavité de plasma un milieu gazeux complexe compatible avec le faisceau d'ions souhaités, on règle le débit d'admission du milieu gazeux de façon à maintenir dans la cavité de plasma un vide résiduel inférieur à un seuil de pression compatible avec l'obtention d'ions multichargés, et, - on règle la focalisation du faisceau ionique extrait de la cavité de plasma, au point focal objet de l'aimant d'analyse de l'implanteur. D'une façon générale, le générateur hyperfréquence est choisi de façon à avoir un encombrement réduit, typiquement inférieur à 50 dm3, pour pouvoir être logé à l'intérieur de l'implanteur et avantageusement à l'intérieur de la carcasse du bloc d'alimentation de la source d'ions initiale de l'implanteur. La fonction du générateur hyperfréquence à tube à ondes progressives utilisé ici est donc double. En effet, ce type de générateur, connu pour ses applications dans le domaine des radars, permet d'une part de générer le champ électromagnétique de fréquence souhaitée et d'autre part une insertion aisée dans l'implanteur, et notamment dans la carcasse du bloc d'alimentation de la source initiale, en raison de son encombrement réduit. Selon un mode de mise en oeuvre du procédé, le milieu gazeux complexe est avantageusement choisi dans le groupe formé par les gaz de formulation chimique PH3, B2H6, ASH3, PF5, ASFs7 BF3, PCl5, ASCl3, BCl3 et plus généralement les hydrures, les fluorures, les chlorures des dopants compatibles avec la nature d'un matériau semiconducteur à implanter. On règle avantageusement le débit d'admission du milieu gazeux complexe dans la cavité de plasma de façon à maintenir dans ladite cavité une pression inférieure à 10.6 Torr et de préférence de quelques 10-7 Torr ce qui permet d'obtenir un faisceau stable d'ions fortement chargés, notamment des ions phosphores P4+, P5+, p6+. L'invention a également pour objet un dispositif de génération d'un faisceau gazeux ionisé pour implanteur ionique du type moyen courant. Selon une caractéristique générale de l'invention, ce dispositif comprend une source d'ions multichargés à résonance cyclotronique électronique comportant une cavité de plasma formant guide d'ondes capable de recevoir un milieu gazeux complexe compatible avec le faisceau ionisé généré, et couplée à un générateur hyperfréquence à tube à ondes progressives générant un champ électromagnétique de fréquence supérieure ou égale à 6 GHz, par exemple 10 GHz; la cavité de plasma présente une dimension caractéristique, dans le plan transversal de la cavité, du même ordre de grandeur que la longueur d'onde du champ électromagnétique; la source est par ailleurs munie au niveau de son extrémité de sortie d'une optique ionique de réglage des caractéristiques géométriques du faisceau de plasma ionisé extrait de la cavité, ladite optique ionique étant commandable et coopérant avec l'électrode d'extraction du faisceau de la source d'ions; en outre, la source est munie au niveau de son extrémité d'entrée, de moyens d'admission du milieu gazeux, par exemple une vanne d'admission du type ultra-vide, compatibles avec un maintien d'une pression résiduelle de vide en fonctionnement inférieure à 10.6 Torr. Selon un mode de réalisation de l'invention, l'électrode d'extraction de faisceau de la source comporte un cône d'extraction s'évasant vers la sortie de la source tandis que l'optique ionique de réglage comporte une première électrode plane perforée obturant la face évasée du cône d'extraction, une deuxième électrode plane perforée espacée de la première, et portée au même potentiel, typiquement à la masse, que celui du cône d'extraction et de la première électrode, et une électrode centrale, plane et perforée, disposée entre les première et deuxième électrodes et polarisée par rapport à ces deux électrodes par une tension de polarisation réglable. Selon un mode de réalisation du dispositif selon l'invention, l'optique ionique est fixée à la source par un premier isolateur électrique tandis que la source est solidaire d'une bride de fixation équipée d'un deuxième isolateur électrique, la bride de fixation étant destinée à être fixée par l'intermédiaire de ce deuxième isolateur électrique sur l'implanteur ionique. Le générateur hyperfréquence forme avantageusement un module d'alimentation hyperfréquence, séparé de la source équipée de sa bride de fixation et de l'optique ionique de réglage; ce module d'alimentation hyperfréquence a un volume utile inférieur à 50 dm3 et comporte le tube à ondes progressives relié à un oscillateur par l'intermédiaire d'un atténuateur variable, ainsi que les blocs d'alimentation de ces éléments. Le module d'alimentation hyperfréquence est alors couplé à la cavité de plasma de la source par un guide d'ondes. L'invention a également pour objet une source d'ions multichargés pour implanteur ionique du type moyen courant. Cette source comporte une cavité de plasma formant guide d'ondes dont la dimension caractéristique dans son plan transversal est du même ordre de grandeur que la longueur d'onde du champ électromagnétique auquel elle est destinée à être couplée, une optique ionique de sortie de réglage du faisceau ionique extrait de la cavité, commandable et coopérant avec un cône d'extraction de faisceau de la source, et une vanne d'admission d'un milieu gazeux complexe dans la cavité, du type ultra-vide. D'autres avantages et caractéristiques de l'invention apparaîtront à l'examen d'un mode de réalisation nullement limitatif, et des dessins annexés sur lesquels - la figure 1 illustre schématiquement la structure d'un implanteur ionique de l'art antérieur, - la figure 2 illustre un mode de réalisation d'une source d'ions multichargés à résonance cyclotronique électronique selon l'invention, et - la figure 3 illustre schématiquement les constituants principaux du module d'alimentation hyperfréquence de la source de la figure 2. Les implanteurs industriels classiques, permettant des implantations ioniques à 200 voire 250 keV, ont une structure analogue à celle représentée schématiquement sur la figure 1. Plus précisément, un tel implanteur 1 comporte, à l'intérieur d'une enceinte haute tension 2, une source d'ions 3 généralement à filament chaud ou à cathode froide, reliée à un bloc d'alimentation électrique 4 ainsi qu'à un réservoir 5 de gaz susceptible d'être ionisé par les électrons émis, depuis la cathode alimentée électriquement, vers une anode polarisée. La source d'ions 3 produit un faisceau ionisé 6 en direction d'un aimant d'analyse 7 dont la fonction est d'effectuer un tri des ions en fonction de leur rapport masse/charge de façon à obtenir en sortie les ions effectivement souhaités pour l'implantation ionique de la plaquette 10. Le faisceau issu de l'aimant d'analyse 7 est ensuite accéléré dans un tube d'accélération 8 qui confere l'énergie requise pour l'implantation (200 à 250 keV). Le reste de l'implanteur est schématisé par un tube 9 comportant notamment des pompes à vide, et des moyens destinés à diriger le faisceau d'ions vers la plaquette 10. On distingue parmi les types d'implanteurs industriels ceux à faible courant, à moyen courant et à fort courant. Par "courant" il faut entendre ici le courant du faisceau total mesuré juste en aval du tube accélérateur 8. Un implanteur est du type à moyen courant lorsque le courant de faisceau total est compris entre environ 100 ,uA et environ 5 mA. fl est à faible courant lorsque le courant de faisceau total est inférieur à 100 KtA. L'un des moyens de l'invention consiste en une source d'ions multichargés à résonance cyclotronique électronique (source ECR) qui pourra notamment être insérée dans un implanteur du type de celui illustré sur la figure 1 en lieu et place de la source classique dont est équipé l'implanteur. Un exemple de réalisation d'une telle source ECR selon l'invention est illustré sur la figure 2. La source d'ions multichargés selon l'invention permet, en combinaison avec un générateur hyperfréquence de taille réduite, d'être disposée à l'intérieur d'un implanteur industriel standard sans modifier profondément les autres éléments de l'enceinte haute tension de cet implanteur. La source 3 selon l'invention, comporte, à l'intérieur d'une carcasse 23 équipée solidairement d'une bride de fixation 22, une cavité de plasma 21 formant un guide d'onde ayant une dimension caractéristique D. Cette dimension caractéristique est une dimension comptée dans le plan transversal, c'est-à-dire perpendiculaire à l'axe longitudinal de symétrie 42 de la source, et est en fait dans le cas présent le diamètre D du guide d'onde 21. A son extrémité droite sur la figure, la source comporte une cavité de transition 18 entre la cavité de plasma 21 et l'ouverture 36 sur laquelle est fixé par l'intermédiaire de moyens d'accord hyperfréquence, un guide d'ondes (ces deux moyens ne sont pas représentés à des fins de simplification) reliant la cavité de plasma au générateur hyperfréquence. La dimension caractéristique D de la cavité de plasma est du même ordre de grandeur que la longueur d'onde du champ électromagnétique injecté dans ladite cavité. Par "même ordre de grandeur", on entendu ici un rapport D/X (où X désigne la longueur d'onde du champ électromagnétique) compris entre environ 0,5 et environ 1,5. Par ailleurs, le champ électromagnétique hyperfréquence est généré à une fréquence au moins égale à 6 GHz, typiquement 10 GHz. La combinaison de ces deux caractéristiques conduit à l'obtention d'une cavité de plasma de diamètre réduit, typiquement de l'ordre de 26 mm pour une fréquence de 10 GHz. Par conséquent, le faible diamètre de cette cavité de plasma permet d'obtenir un faible diamètre extérieur hors tout de la bride de fixation de la source, typiquement 40 cm, rendant aisément possible la disposition de cette source 3 en lieu et place de la source classique 3 d'un implanteur industriel standard. La cavité de plasma 21, dont la longueur est typiquement de l'ordre de 100 mm, est entourée d'aimants permanents juxtaposés, avantageusement fortement coercitifs en raison de la petite taille de la source d'ions. Ces aimants comportent tout d'abord un aimant d'injection 17, à aimantation radiale, situé au niveau de l'extrémité de sortie du tube coaxial 20 d'injection du milieu gazeux dans la cavité 21. La paroi de la cavité 21 est ensuite entourée d'un système d'aimants octopolaires à aimantation radiale 14 définissant dans la cavité de plasma 21 un champ magnétique radial de confinement. Autour de ce système d'aimants 14 est prévu un autre système d'aimants permanents 15 à aimantation axiale contribuant à la création d'un champ magnétique à symétrie axiale. Enfin, il est prévu de disposer, autour de la cavité 21, entre l'électrode de plasma 25 et l'électrode d'extraction 24 un aimant d'extraction à aimantation radiale 13 formant avec l'aimant d'injection 17 deux miroirs magnétiques. La résonance cyclotronique est obtenue par l'action conjuguée d'un champ électromagnétique hyperfréquence injecté dans la cavité et du champ magnétique à symétrie axiale dont la valeur de l'induction est minimum dans le plan médian transversal de la cavité. La bride de fixation 22 de la source d'ions est fixée sur un châssis 40 de l'implanteur par l'intermédiaire d'un isolant électrique 16 et de vis de fixation 41 et 42. L'isolant 16 est choisi de façon à supporter une très haute différence de potentiel, typiquement 20 kV, existant d'une part, entre la bride de fixation 22 reliée à la tension d'alimentation de la source, typiquement 20 kV, par l'intermédiaire par exemple d'un câble électrique fixé au niveau de la vis 41, et d'autre part le châssis 40 de l'implanteur, mis à la masse. L'électrode de plasma 25 est donc également portée au potentiel de 20 kV tandis que l'électrode d'extraction 24 est portée à la masse ce qui permet d'accélérer les ions formés dans la cavité 21. I1 est donc prévu un autre isolateur électrique 12 disposé entre cette électrode d'extraction 24 et la face avant de la carcasse de la source. Cette électrode d'extraction 24 est formée d'un cône évasé vers la sortie de la source, c'est-à-dire vers le côté gauche de la figure 2. La face frontale 26 de plus petite dimension de ce cône est perforée par un orifice centré sur l'axe longitudinal 49 de la source et ayant un diamètre de 12 mm. Le demi-angle au sommet de ce cône est de l'ordre de 130. Sur la face évasée du cône d'extraction 24 est disposée une première électrode plane 28 perforée d'un orifice 29 disposée coaxialement avec l'orifice de perforation du cône d'extraction 24. Le diamètre de cet orifice 29 est typiquement de l'ordre de 26 mm. A distance (de l'ordre du centimètre) de la face évasée du cône d'extraction 24 est maintenue, solidairement de celle-ci, une autre électrode plane 32, parallèle à l'électrode 28, et également perforée d'un orifice 33 disposé coaxialement avec l'orifice 29. Le cône d'extraction, et les deux électrodes planes 28 et 32 sont portés au même potentiel à savoir la masse. Entre les deux électrodes 28 et 32 est disposée une électrode centrale plane 30 également perforée d'un orifice 31 coaxial avec les orifices 29 et 33. Alors que le diamètre de l'orifice 33 de l'électrode terminale 32 est typiquement de l'ordre de 26 mm, le diamètre de l'orifice 31 de l'électrode centrale 30 est typiquement de l'ordre de 36 mm. Cette électrode centrale est fixée par l'intermédiaire d'un isolant électrique 34 sur l'électrode terminale 32 et est portée, par l'intermédiaire d'un câble d'alimentation au contact d'un écrou 35 à une tension de polarisation choisie, typiquement 2 à 3 kV. Les trois électrodes 28, 30 et 32 forment ici une lentille de Einzel ou, plus généralement, une optique ionique de réglage des caractéristiques géométriques du faisceau ionique extrait de la cavité. Cette optique ionique coopère avec l'électrode d'extraction 24 de la source, et l'une des fonctions de cette optique ionique de réglage est de focaliser le faisceau ionique extrait de la cavité au point focal objet de l'aimant d'analyse 7, ce qui permet au faisceau ionique de passer entièrement dans l'élément d'analyse. Plus précisément, le cône d'extraction évasé, adapté à la forme générale du plasma dans la cavité 21 permet de canaliser celuici et de l'extraire sous la forme d'un faisceau dont le diamètre correspond sensiblement aux caractéristiques de l'aimant d'analyse de l'implanteur. Ainsi, alors que le diamètre usuel du faisceau ionisé extrait d'une source ECR telle que celle décrite dans EP-0527082, est de l'ordre de quelques millimètres ce qui convient aisément à des applications de séparation isotopique, le cône d'extraction de la source selon l'invention permet dans le cas présent d'obtenir un diamètre de quelques centimères ce qui est un ordre de grandeur compatible avec les caractéristiques des aimants d'analyse de la plupart des implanteurs classiques. En outre, en raison des différences de potentiel entre l'électrode centrale de la lentille de Einzel et les deux électrodes l'entourant, le faisceau sortant du cône est tout d'abord attiré vers l'électrode centrale en convergeant vers celle-ci à travers l'orifice 29 de l'électrode 28 puis repoussé de l'électrode centrale vers la sortie de la source à travers l'orifice 33. La configuration d'une telle optique ionique de réglage dans laquelle les deux électrodes entourant l'électrode centrale sont portées au même potentiel, évite toute perte d'énergie lors du passage du faisceau à travers cette optique ionique. En outre, cette caractéristique, ainsi que la combinaison des trajets du faisceau depuis l'orifice du cône d'extraction jusqu'à la sortie de la source, permet d'obtenir un faisceau ionique de très bonne symétrie radiale. L'optique ionique de réglage permet en outre de parfaire la mise en forme du faisceau ionique, notamment en ce qui concerne son diamètre et sa focalisation, pour l'adapter parfaitement à l'aimant d'analyse en particulier en ce qui concerne son point focal objet. La mise en forme de ce faisceau ionique, c'est-à-dire notamment le réglage de la focalisation de celui-ci au point focal objet de l'élément d'analyse de l'implanteur, s'effectue en combinant le réglage de la haute tension d'alimentation de la source avec le réglage de la tension d'alimentation de l'électrode centrale de l'optique de réglage. Généralement, les implanteurs industriels standard sont équipés en amont de l'aimant d'analyse, d'un diaphragme polarisé adapté aux caractéristiques des faisceaux d'ions extraits des sources à filament chaud classiques, et destiné à focaliser le faisceau ionique extrait de la source au point focal objet de l'aimant d'analyse. Cependant, puisque les caractéristiques géométriques d'un faisceau ionique produit par une source à filament chaud sont totalement différentes des caractéristiques géométriques d'un faisceau ionique produit par une source d'ions multichargés à résonance cyclotronique électronique, notamment au niveau du diamètre du faisceau, la simple adaptation du diaphragme polarisé existant, sur une source ECR telle que décrite dans EP 0 527 082 ne permettrait pas un fonctionnement satisfaisant de l'implanteur. En outre les diaphragmes polarisés classiques ne permettent pas une mise en forme précise du faisceau. Aussi, il est avantageusement prévu de retirer le diaphragme polarisé présent dans l'implanteur standard et de remplacer la source à filament chaud par la source ECR selon l'invention équipée de son cône d'extraction et de son optique ionique de réglage. Il convient à cette effet de noter que l'alimentation de l'optique ionique de réglage utilise les mêmes moyens que l'alimentation du diaphragme polarisé de l'implanteur classique. Une telle source ECR selon l'invention équipée de son optique de réglage permet ainsi très simplement d'adapter de tels moyens à la plupart des implanteurs industriels standard quelles que soient les caractéristiques de l'aimant d'analyse et notamment la localisation de son point focal objet. Au niveau de l'extrémité d'entrée du tube coaxial d'injection 20 est disposée une bride 19 coopérant avec une vanne 50 d'admission du milieu gazeux dans la cavité de plasma 21. Cette vanne est du type ultra-vide selon une dénomination bien connue de l'homme du métier. En d'autres termes, elle comporte deux sièges en regard l'un de l'autre formés de matériaux métalliques différents. Une telle vanne, par exemple la vanne de fuite commercialisée par la société française RIBER sous la référence VMF-8 se distingue d'une vanne classique du type à aiguille par exemple, dans laquelle une aiguille se déplace sur un siège. En effet, alors que ce dernier type de vanne laisse entrer les gaz par bouffées rendant ainsi quasiment impossible le maintien en fonctionnement d'un vide dans la cavité de plasma inférieur à 10-6 Torr ce qui est nécessaire pour l'obtention d'ions multichargés, la vanne de type ultra-vide est un moyen permettant le maintien du vide à cette très basse valeur de pression, et notamment quelques 10~7Torr, ce qui permet l'obtention d'ions multichargés, et en particulier d'ions phosphore très fortement chargés par exemple des ions phosphores P4+ ou P5+ voire p6+ En outre, l'emploi d'une telle vanne de type ultravide permet de ne pas polluer l'intérieur de la cavité avec des agents polluants, par exemple de l'oxygène ou de la vapeur d'eau, lors de l'admission du milieu gazeux. Le milieu gazeux utilisé est un milieu gazeux complexe, à savoir composé de gaz de formulation chimique complexe c'est-à-dire comportant des atomes différents de ceux destinés à produire les ions souhaités. Ainsi, on choisira avantageusement pour produire des ions phosphore, de la phosphine (PH3) ou bien un fluorure (PF5) ou un chlorure (PCl5) si le pic phosphore multichargé recherché ne risque pas d'interférer du point de vue rapport masse/charge électrique avec le fluor ou le chlore présent dans la molécule. De même pour produire des ions bore, on choisira du diborane (B2H6), ou bien un gaz de formulation chimique BF3 ou BCl3 et pour produire de l'arsenic on choisira de l'arsine (ASH3) ou un gaz de formulation chimique ASF5 ou Ase13. D'une façon générale on pourra utiliser les hydrures, les fluorures ou les chlorures de dopants classiques utilisés en microélectronique, et adaptés à la nature du semi-conducteur utilisé (silicium, composés III-V, II-VI), etc.). Ces milieux gazeux complexes se distinguent donc des gaz simples, utilisables notamment dans des applications de séparation isotopique, tels que l'hydrogène, le néon, le xénon, l'argon, l'oxygène, le tungstène ou le titane. L'alimentation hyperfréquence de la source ECR 3 est illustrée schématiquement sur la figure 3. Après protection par des fusibles 67 et un filtre 66 une tension de 115 V est disponible aux bornes d'une carte d'alimentation 63 destinée à fournir une tension continue de 12 V, ainsi qu'aux bornes d'une alimentation stabilisée 64 destinée à fournir une tension de 25 V sous 5 A. Le bloc d'alimentation 63 alimente un oscillateur 62 fonctionnant au moins à 6 GHz typiquement à 10 GHz avec une puissance de 15 mW. L'alimentation stabilisée 64 alimente une carte d'alimentation 65 d'un tube à ondes progressives hyperfréquence peu être aisément implantée dans l'implanteur NV3206 de la Société Américaine EATON. A l'aide d'un milieu gazeux composé de phosphine pure, il a été possible, avec une tension d'extraction de 18,6 kV (pour un maximum disponible de 20 kV) et un réglage adéquat de la lentille de Einzel (2,8 kV), d'obtenir au niveau de la plaquette à implanter, un courant de phosphore de 24,2 RA pour des ions P+, de 37,8 A pour des ions P2+, de 48,9 pLA pour des ions P3+, de 44,3 RA pour des ions P4+, de 34 RA pour des ions P5+ et de 6,1 A pour des ions P6+. Il convient de noter que l'utilisation de la vanne de type ultra-vide permet d'obtenir un vide en marche de 2,4 10-7 Torr alors que le vide de base dans la source (hors fonctionnement) est de 2,1 10~7Torr. Le profil des atomes d'oxygène (issus par exemple de la vapeur d'eau (vide non parfait)) et de fluor (dans le cas d'utilisation de fluorure) montre que les pics P4+, dont le rapport masse/charge est de l'ordre de 7,75, et P5+, dont le rapport masse/charge est de l'ordre 6,2, ne sont pas perturbés par les pics parasites respectifs des atomes d'oxygène 02+ et fluor F3+. Les différentes modifications internes du terminal haute tension de l'implanteur ont permis la transformation de cet implanteur ayant une énergie initiale d'implantation de 200 à 250 keV en une machine d'implantation à haute énergie (1 MeV pour les ions P4+ ou même 1,5 MeV pour les ions P6+). Il a été ainsi possible d'implanter des doses de 1014 ions par cm2 à 2, 3, 4, 5 ou 6 fois l'énergie maximale de l'implanteur et ceci en un temps compatible avec les exigences de production (une dose de 1014 obtenue en deux minutes pour une plaque d'une diamètre de 100 mm). Enfin ces conditions de fonctionnement qui ne nécessitent pas une utilisation de filament chaud, ni de pièces en mouvement, ni de basse pression dans la chambre du plasma augmentent considérablement la durée de vie de la source par rapport à celle des sources à filament chaud. REVENDICATIONS 1. Procédé d'implantation haute énergie à partir d'un implanteur ionique du type faible ou moyen courant, caractérisé par le fait que: - on dispose dans l'implanteur un générateur hyperfréquence à tube à ondes progressives générant un champ électromagnétique ayant une fréquence supérieure ou égale à 6 GHz, - on dispose dans l'implanteur une source d'ions multichargés à résonance cyclotronique électronique (3) comportant une cavité de plasma formant guide d'ondes (21) dont la dimension caractéristique (D), dans le plan transversal de la cavité, est du même ordre de grandeur que la longueur d'onde du champ électromagnétique, - on couple électromagnétiquement le générateur hyperfréquence (60) et la cavité de plasma (21) de la source d'ions multichargés, - on admet dans la cavité de plasma un milieu gazeux complexe compatible avec le faisceau d'ions souhaités, on règle le débit d'admission du milieu gazeux de façon à maintenir dans la cavité de plasma un vide résiduel inférieur à un seuil de pression compatible avec l'obtention d'ions multichargés, et - on règle la focalisation du faisceau ionique extrait de la cavité de plasma, au point focal de l'aimant d'analyse (7) de l'implanteur. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le seuil de pression est égal à environ 10.6 Torr. 3. Procédé selon la revendication 1 ou 2, caractérisé par le fait que l'on loge le générateur hyperfréquence dans la carcasse du bloc d'alimentation de la source d'ions initiale de l'implanteur. 4. Procédé selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé par le fait que l'on équipe l'extrémité de sortie de la source d'ions à résonance cyclotronique électronique d'une optique ionique de réglage des caractéristiques géométriques du faisceau d'ions extrait de la cavité de plasma, et on règle la focalisation du faisceau ionique extrait de la cavité de plasma au point focal objet de l'aimant d'analyse de l'implanteur en réglant la tension d'alimentation de l'optique ionique de réglage de la source. 5. Procédé selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé par le fait que le milieu gazeux complexe est choisi dans le groupe formé par les hydrures, les fluorures, les chlorures des dopants compatibles avec la nature d'un matériau semi-conducteur à implanter. 6. Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait que l'on règle le débit d'admission du milieu gazeux complexe dans la cavité de plasma de façon à maintenir dans ladite cavité une pression de quelques 10-7 Torr en fonctionnement. 7. Dispositif de génération d'un faisceau gazeux ionisé pour implanteur ionique du type faible ou moyen courant, caractérisé par le fait qu'il comprend une source d'ions multichargés à résonance cyclotronique électronique (3) comportant une cavité de plasma (21) formant guide d'ondes capable de recevoir un milieu gazeux complexe compatible avec le faisceau ionisé généré, et couplée à un générateur hyperfréquence (60) à tube à ondes progressives (61) générant un champ électromagnétique de fréquence supérieure ou égale à 6 GHz, la cavité de plasma (21) ayant une dimension caractéristique (D), dans le plan transversal de la cavité, du même ordre de grandeur que la longueur d'onde du champ électromagnétique, par le fait que la source (3) est munie au niveau de son extrémité de sortie d'une optique ionique de réglage (28, 30, 32) des caractéristiques géométriques du faisceau de plasma ionisé extrait de la cavité, ladite optique ionique étant commandable et coopérant avec l'électrode d'extraction (24) de la source d'ions, et par le fait que la source est munie au niveau de son extrémité d'entrée de moyens d'admission du milieu gazeux compatibles avec un maintien d'une pression résiduelle de vide en fonctionnement inférieur à 10-6 Torr. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé par le fait que l'électrode d'extraction (24) comporte un cône d'extraction du faisceau de plasma ionisé, s'évasant vers la sortie de la source, et par le fait que l'optique ionique de réglage comporte une première électrode plane perforée (28) disposée sur la face évasée du cône d'extraction (24), une deuxième électrode plane perforée, espacée de la première, et portée au même potentiel que celui du cône d'extraction (24) et de la première électrode (28), et une électrode centrale (30) plane et perforée, disposée entre les première et deuxième électrodes (28, 32), et polarisée par rapport aux deux électrodes par une tension de polarisation réglable. 9. Dispositif selon la revendication 7 ou 8, caractérisé par le fait que l'optique ionique est fixée à la source par un premier isolateur électrique (12) tandis que la source est solidaire d'une bride de fixation (22) équipée d'un deuxième isolateur électrique (16), ladite bride de fixation étant destinée à être fixée par l'intermédiaire de ce deuxième isolateur électrique, sur l'implanteur ionique (40). 10. Dispositif selon l'une des revendications 7 à 9, caractérisé par le fait que le générateur hyperfréquence forme un module d'alimentation hyperfréquence (60) séparé de la source équipée de sa bride de fixation et de l'optique ionique de réglage, le module d'alimentation ayant un volume utile inférieur à 50 dm3, et comportant le tube à ondes progressives (61) relié à un oscillateur (62) par l'intermédiaire d'un atténuateur variable, ainsi que les blocs d'alimentation des éléments, et par le fait que le module d'alimentation hyperfréquence est couplé à la cavité de plasma de la source par un guide d'ondes. 11. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les moyens d'admission du milieu gazeux complexe comportent une vanne d'admission du type ultra-vide (50). 12. Dispositif selon l'une des revendications 7 à 11, caractérisé par le fait que la fréquence du champ électromagnétique générée par le générateur hyperfréquence est de l'ordre de 10 GHz, et par le fait que la puissance du tube à onde progressive est de l'ordre de 40W. 13. Source d'ions multichargés pour implanteur ionique du type faible ou moyen courant, caractérisé par le fait qu'elle est à résonance cyclotronique électronique et comporte une cavité de plasma (21) formant guide d'ondes dont la dimension caractéristique (D), dans le plan transversal de la cavité, est du même ordre de grandeur que la longueur d'onde du champ électromagnétique auquel elle est destinée à être couplée, une optique ionique de sortie (28, 30, 32) de réglage du faisceau ionique extrait de la cavité, commandable, et coopérant avec un cône d'extraction de faisceau (24) de la source, et une vanne d'admission (50) d'un milieu gazeux complexe dans la cavité, du type ultra-vide. 14. Source selon la revendication 13, caractérisée par le fait que la dimension caractéristique de la cavité est de l'ordre de 3 cm et par le fait que la source est équipée d'une bride de fixation sur l'implanteur dont le diamètre extérieur est de l'ordre de 40 cm. 15. Utilisation dans un implanteur ionique de type faible ou moyen courant, d'un générateur hyperfréquence à tube à ondes progressives générant un champ électromagnétique de fréquence supérieure ou égale à 6 GHZ, et d'une source d'ions multichargés à résonance cyclotronique électronique, couplée à ce générateur, et dont la dimension caractéristique de la cavité de plasma dans son plan transversal est du même ordre de grandeur que la longueur d'onde du champ électromagnétique.