Brevet FR2720827A1 — publié le 19951208

La présente invention concerne un capteur de pression différentielle comprenant un boîtier formé de deux parties assemblées hermétiquement l'une & l'autre et définissant entre elles une cavité intérieure fermée, une membrane déformable dont la région périphérique est fixée au boîtier et qui divise ladite cavité intérieure en deux chambres non communicantes, deux orifices étant formés respectivement dans lesdites parties du bottier pour mettre lesdites chambres en communication avec des sources respectives de fluide sous pression, et des moyens sensibles a une déformation de la membrane due à une différence entre les pressions régnant dans les deux chambres pour produire un signal électrique représentatif de ladite différence de pression. Les capteurs de pression connus capables de mesurer des différences de pression très faibles (inférieures A 1 Pa) sont les capteurs capacitifs, les capteurs inductifs et les capteurs a jauge, en particulier les capteurs à Jauge a résistance. Dans les capteurs capacitifs, la membrane déformable est réalisée de manière a constituer une armature d'un condensateur variable, et elle est associée à au moins une autre armature, de preférence deux autres armatures montées fixes dans le boîtier du capteur de part et d'autre de l'armature centrale mobile formée par la membrane. Le ou les condensateurs à capacité variable ainsi formés sont connectés à d'autres condensateurs fixes de valeur connue en un pont de mesure de capacités, par exemple un pont de Sauty. La mesure de la capacité du condensateur a capacité variable donne une indication de la valeur de la différence des pressions régnant dans les deux chambres du capteur. Toutefois, les capteurs de pression du type capacitif posent un certain nombre de problèmes. L'un des problèmes posés par ce type de capteurs est le câblage, qui induit des capacités parasites non négligeables par rapport aux capacités qui varient en fonction de la pression. Les câblages qui relient le capteur aux circuits 1 électroniques de mesure doivent donc être très courts. De plus, on observe des effets de bord qu'il faut éliminer à l'aide d'une couronne spéciale. En outre, l'isolement de la membrane doit être garantie dans le temps et les poussières, la corrosion, l'humidité, etc. créent des défauts évolutifs qui faussent les mesures. Enfin, le fluide dont on mesure la pression peut présenter des variations de permittivité sont difficiles à réaliser et que leur pris est élevé. D'autre part, les capteurs inductifs font appel à une ou plusieurs bobines excitées en courant alternatif. Les bobines sont agencees de telle sorte qu'une pression ou une différence de pression a mesurer provoque une variation d'inductance ou d'inductance mutuelle, qui provoque a son tour une variation mesurable d'un signal électrique. Uin inconvenient majeur des capteurs inductifs est Leur sensibilité aux champs magnétiques externes qui font cue 'a mesure est perturbée par les ondes ou les champs electromagnetlques produits par des appareils electriques, tels que des électrovannes, des moteurs, etc. fonctionnant à proximité du capteur. Il est donc nécessaire de prvoir un blindage qui complique est donc nécessaire de prévoir un blindage qui complique la fabrication du capteur et en augmente le coût. En outre, co-m les capteurs inductifs fonctionnent en courant alternatif, la mesure est également perturbée par les capacités parasites des bobines, des câblage et du blindage. De plus, la résistance du ou des bobines varie en fonction de la température, ce qui perturbe également la mesure. En outre, celle-ci est en général très sensible aux variations de la fréquence et de l'amplitude de la tension alternative d'excitation. Enfin, il faut aussi tenir compte d'une variation de la perméabilité magnétique dans le temps. Pour toute ces raisons, les circuits électroniques associés à un capteur inductif de pression sont complexes. Un autre inconvénient des capteurs inductifs de pression est leur médiocre linéarité. En outre, afin de limiter 1es pertes magnétiques et les pertes par courant de Foucault, on est obligé de limiter la valeur de la fréquence d'excitation des bobines. De ce fait, on ne peut pas réduire l'encombrement des bobines, de sorte que le capteur de pression présente lui-même un encombrement relativement important. Par ailleurs, les capteurs de pression à Jauge résistive, comme par exemple ceux fabriqués par la Société Sensym, comprennent usuellement une membrane en silicium sur laquelle sont diffusées ou implantées des résistances. Sous l'effet de la pression, la membrane se déforme et la valeur ohmique des résistances varie. On mesure alors la variation de résistance à l'aide d'un pont de Wheatstone et d'un amplificateur différentiel. Les capteurs de pression à jauge résistive sont simples à fabriquer et leur cot est faible. Toutefois, le problème principal qui se pose avec ces capteurs est l'effet de la température. En effet, la valeur ohuique des résistances dépend aussi de la température. Bn outre, la membrane en silicium se déforme avec la température et le silicium lui-même voit ses caractéristiques varier avec la température. Il en résulte des variations importantes du "zéro pression", ainsi que des variations de gain. Par exemple, un capteur de pression modèle "SCX01DN" fabriqué par la Société Sensym à une sensibilité d'environ 2,6 "V/Pa. Dans le meilleur des cas, sur une gamme de température de O'C à 70'C, on observe une déviation de + 100 HV de la tension de décalage, soit environ + 40 Pa de déviation en fonction de la température. On conçoit donc qu'une telle déviation en fonction de la température soit particulièrement gènante lorsqu'il s'agit de mesurer des pressions relatives ou des différences de pression de l'ordre de 1 Pa ou même d'une dizaine de Pa. La présente invention a donc pour but de fournir un capteur de pression qui soit simple à fabriquer, peu coûteux et capable de mesurer des pressions différentielles très faibles, par exemple de l'ordre de lPa ou moins. Subsidiairement, la présente invention a pour but de fournir un capteur de pression qui soit relativement insensible aux champs magnétiques extérieurs et aux capacités parasites de ses composants. La présente invention a également pour but de fournir un capteur de pression dont le "zéro pression" peut être facilement réglé. Enfin, la présente invention a également pour but de fournir un capteur de pression qui soit beaucoup moins sensible aux variations de la température de l'ambiance dans laquelle il fonctionne. A cet effet, le capteur de pression selon l'invention est caractérisé en ce que lesdits moyens sensibles à la déformation de la membrane comprennent une source lumineuse montée dans une des deux parties du boîtier et orientée dans une première direction oblique vers une face de la membrane, et deux photodétecteurs montés dans une des deux parties du boîtier pour recevoir la lumière provenant de la source lumineuse et déviée par la membrane dans une seconde direction oblique, les deux photodétecteurs étant situés dans un plan défini par les deux directions obliques et étant symétriques l'un de l'autre par rapport à la seconde direction oblique de façon & recevoir des quantités égales de lumière lorsque la différence de pression est nulle. Dans une forme d'execution de la présente invention, la membrane peut comporter une surface réfléchissante propre à réfléchir la lumière émise par ladite source lumineuse vers les deux photodétecteurs. Dans ce cas, les photodétecteurs et la source lumineuse sont supportés par la même partie du boîtier. Toutefois, dans une autre forme de réalisation de l'invention, utilisable plus particulièrement dans le cas o les deux chambres du capteur situées de part et d'autre de la membrane déformable contiennent des fluides ayant des indices de réfraction différents, la membrane déformble peut être alors réalisée de telle sorte qu'elle soit transparente, afin de former à la frontière entre les deux fluides, un dioptre qui dévie par réfraction la lumière émise par la source lumineuse. Dans ce dernier cas, la source lumineuse, d'une part, et les deux photodétecteurs, d'autre part, sont supportés par des parties différentes du boîtier, la source lumineuse étant située d'un côte de la membrane et les photodétecteurs de l'autre côté de ladite membrane. Dans une forme preférée de réalisation de l'invention, pour permettre un réglage aisé du zéro pression" du capteur, la partie du boîtier qui, dans le cas o la membrane deformable possède une surface réfléchissante, supporte a source lumineuse et les photodétecteurs comporte une ouverture circulaire qui fait face à la surface réfléchissante de la membrane, la source lumineuse et les photodétecteurs sont montés dans un support qui peut coulisser axialement dans ladite ouverture circulaire dans une direction perpendiculaire à la surface réfléchissante de la membrane, un Joint d'étanchéité étant dispose entre ledit support et la paroi cylindrique de l'ouverture circulaire, et des moyens de réglage sont prévus pour ajuster la position axiale du support dans ladite ouverture circulaire. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront mieux au cours de la description suivante d'une forme préférée de réalisation de l'invention, donnée en référence aux dessins annexés sur lesquels: - les figures 1 et 2 sont des vues respectivement de dessus et de dessous du boîtier du capteur de pression selon l'invention; - la figure 3 est une vue en coupe suivant la ligne III-III de la figure 1, montrant le capteur de pression à plus grande échelle; - la figure 4 est une vue en coupe suivant la ligne IV-IV de la figure 1, a la méme échelle que la figure 3; - la figure 5 est une vue schématique en coupe, & une échelle encore plus grande que celle des figures 3 et 4, montrant les éléments principaux du capteur de pression et illustrant le fonctionnement de celui-ci en présence d'une différence de pression à mesurer; - les figures 6 a 8 sont des demi-coupes schématiques du capteur de pression illustrant la déformation du boîtier et de la membrane du capteur par suite d'une variation de la temperature, pour différentes réalisations du boîtier et pour une différence de pression nulle entre les deux chambres du capteur, les déformations ayant été fortement exagérées pour la clarté des dessins; - la figure 9 est une demi-coupe schématique illustrant, par comparaison avec les figures 6 & 8, la déformation de la membrane du capteur pour une température et une différence de pression prédéterminées. Le capteur de pression représenté dans les figures 1 à 4 comprend un boîtier 1 composé de deux parties 2 et 3 assemblées l'une à l'autre par des vis 4 et définissant entre elles une cavité intérieure fermée 5 ayant de préférence une forme cylindrique. Bien que le boîtier 1 ait, vu en plan, une forme carrée comme cela apparaît dans les figures 1 et 2, il pourrait avoir d'autres formes, par exemple une forme circulaire. Un Joint d'étanchéité 6 en matière élastomère ou en une matière pour joint compatible avec le ou les fluides dont on désire mesurer la pression, est interposé entre les deux parties 2 et 3 du boîtier 1. De préférence, la partie 2 du boîtier a, vue en coupe, la forme d'une coupelle ayant une paroi de fond plane 2a, d'une épaisseur E prédéterminée, et une paroi périphérique 2b qui s'étend sensiblement perpendiculairement à la paroi de fond 2a et qui a une hauteur h prédéterminée, tandis que la partie 3 du boîtier est constituée par une plaque plane ayant une épaisseur e prédéterminée. On indiquera plus loin comment les cotes E, h et e sont choisies. La cavité intérieure 5 du boîtier 1 est divlsée par une membrane ou diaphragme déformable 7 en deux chambres non communicantes 5a et 5b. La membrane 7 a une forme générale circulaire et comporte successivement, de son centre vers sa péripherie, une partie centrale circulaire plane 7a, une partie annulaire intermédiaire 7b ayant, vue en coupe, un profil ondulé et une partie annulaire périphérique plane 7c, qui est encastrée entre les parties 2 et 3 du boîtier 1. Plus précisément, la partie périphérique plane 7c de la membrane 7 est pincée entre une partie plus épaisse 6a du Joint d'étanchéité 6 et un épaulement annulaire 2c formé dans la face frontale de la paroi périphérique 2b de la partie 2 du boîtier. De préférence, la partie périphérique plane 7c de la membrane 7 se raccorde à la partie intermédiaire 7b de la membrane par une partie en gradin 7d. De cette manière, la partie active ou partie sensible à La pression de la membrane 7, c'est-à-dire sa partie 7a, est isolée mécaniquement de sa partie 7c encastrée entre les deux parties 2 et 3 du boîtier 1. On empéche ainsi les contraintes et les déformations, dues A l'encastrement de la partie 7c de la membrane 7, de venir perturber le fonctionnement de la partie centrale active 7a en provoquant notamment des sauts de déplacement dits "cloquages". La partie 2 du boîtier comporte un raccord 8 percé d'un orifice 8a permettant de mettre la chambre 5a en communication avec une première source de fluide (non montrée) à une pression Pi par l'intermédiaire d'une conduite (également non montrée). De même, la partie 3 du boîtier comporte un raccord 9 percé d'orifice 9a permettant de mettre en communication la chambre 5b avec une seconde source de fluide sous pression (non montrée) à une pression P2 par i'intermédiaire d'une conduite (non montree). Bien que les raccords 8 et 9 soient représentés comme étant formés d'une seule pièce respectivement avec les parties 2 et 3 du boîtier 1, ces raccords 8 et 9 pourraient être constitués par des pièces distinctes fixees par tout moyen approprié, par exemple par vissage, aux parties 2 et 3 du boîtier. Lorsque les pressions Pl et P2 régnant respectivement dans les chambres 5a et 5b sont différentes, la membrane 7 se déforme. L'importance de cette déformation et son sens donnent une indication quant à la valeur et au signe de la différence de pression Pi - P2. Le capteur de pression comporte dionc, com les capteurs de pression connus, des moyens sensibles à la déformtion de la membrane 7 et produisant un signal électrique représentatif de la différence de pression P1 - P2. Dans la forme de réalisation du capteur de pression selon l'invention décrit plus haut, en présence d'une différence de presssion Pl - P2 la membrane 7 se déforme de telle sorte que sa partie centrale plane ?a se déplace dans une direction perpendiculaire & son plan et lesdits moyens sensibles sont agencés de manière à mesurer la valeur du déplacement de la partie centrale plane 7a de la membrane 7 et à donner une indication du sens de ce déplacement vers le haut (P2 > Pl) ou vers le bas (P2 Selon l'invention, lesdits moyens sensibles comprennent une source lumineuse 11 orientée dans une première direction oblique 12 vers une face de la membrane 7, par exemple vers le milieu de la face supérieure de la partie centrale 7a de la membrane, et deux photodétecteurs 13 et 14 disposés de manière à recevoir la lumière provenant de la source lumineuse 11 et déviée par la membrane 7 dans une seconde direction oblique 15. Les deux photodétecteurs 13 et 14 sont situés dans le plan défini par les deux directions obliques 12 et 15 et sont symétriques l'un de l'autre par rapport à la direction oblique 15 de façon à recevoir des quantités égales de lumière lorsque la différence de pression P1 - P2 est nulle, comme cela est montré dans la figure 3. La source lumineuse 11 peut être par exemple constitué par une DEL infrarouge (diode électroluminescente émettant un faisceau de lumière infrarouge) et les deux photodétecteurs 13 et 14 peuvent être constitués par des phototransistors sensibles à la lumière infrarouge. De préférence, les phototransistors 13 et 14 sont appariés de façon à avoir des réponses identiques, c'est-à-dire de telle façon que les signaux électriques qu'ils se reproduisent aient la mme valeur quand ils reçoivent la même quantité de lumière. Dans ces conditions, en effectuant la différence des signaux électriques fournis par les deux photodétecteurs, par exemple au moyen d'un amplificateur différentiel, la valeur de cette différence donne une mesure du déplacement de la partie centrale 7a de la membrane 7, donc une mesure de la valeur de la différence de pression P1 - P2, et le signe de la différence des signaux électriques donne une indication du sens du déplacement de la partie centrale 7a de la membrane 7, donc une indication du signe de la différence de pression P1 - P2. Dans la figure 5, on a représenté à titre d'exemple le cas o la pression Pi est plus grande que la pression P2. Dans ce cas, la partie centrale la de la membrane 7 se déplace vers le bas d'une quantité L., qui est proportionnelle & la différence de pression P1 - P2, et le faisceau lumineux produit par la source 11 et dévié par la partie centrale 7a de la membrane 7 éclaire le phototransistor 14 plus fortement que le phototransistor 13 comme cela est visible dans la figure 5. Comme l'énergie lumineuse reçue par le phototransistor 14 est plus grande que celle reçue par le phototransistor 13, le courant traversant le phototransistor 14 est plus grand que celui traversant le phototransistor 13. Inversement, si la pression P2 est plus grande que la pression Pl, la partie centrale 7a de la membrane 7 se déplace vers le haut, c'est- a-dire se rapproche de la source il, et le phototransistor 13 reçoit une plus grande quantité d'énergie lumineuse que le phototransistor 14, de sorte que le courant traversant le phototransistor 13 est plus grand que celui traversant le phototransistor 14. Comme on le voit, en effectuant la différence des signaux électriques fournis par les deux phototransistors 13 et 14 au moyen d'un amplificateur différentiel, la valeur et le signe du signal de sortie de l'amplificateur différentiel donnent la valeur et le signe de la différence de pression P1 - P2. Dans le mode de réalisation représenté à titre d'exemple dans la figure 3, la membrane 7 est agencée pour dévier le faisceau lumineux produit par la source 11 vers les photodétecteurs 13 et 14 par réflexion. Dans ce cas, la face supérieure de la partie centrale 7a de la membrane 7 peut être rendue réfléchissante par polissage ou par un traitement de surface appropriée, par exemple par métallisation sous vide. On notera que le traitement de surface susmentionné pourrait être également appliqué à la face inférieure de la partie centrale 7a de la membrane si cette dernière est en une matière transparente. Au lieu d'une membrane réfléchissante, on pourrait également utiliser un miroir ou autre élément réfléchissant convenablement fixé A la partie centrale 7a de la membrane. L'angle d'incidence a du faisceau lumineux produit par la source 11 n'est pas critique. Il peut avoir par exemple une valeur de 30' comme montré dans la figure 3. Dans le cas o le faisceau lumineux produit par la source 11 est dévié par reflexion par la membrane 7 comme dans le mode de réalisation représenté, la source 11 et les deux photodétecteurs 13 et 14 sont montés dans la même partie du boiîtier 1, par exemple la partie 2 du boîtier comme montre. Bien que la source 11 et les photodétecteurs 13 et 14 pourraient être montés et fixés rigidement dans la partie 2 du boîtier, il est cependant préférable qu'ils soient montés de telle façon que leur position puisse être réglée dans une direction perpendiculaire au plan de la partie centrale 7a de la membrane. A cet effet, la partie 2 du boîtier comporte une ouverture circulaire qui fait face A la partie centrale 7a de la membrane, et la source 11 et les photodétecteurs 13 et 14 sont montés dans un support 17 qui peut coulisser axialement dans l'ouverture 16. Un Joint d'étanchéité 18 est disposé entre le support 17 et la paroi cylindrique de l'ouverture 16. Des moyens de réglage 19 permettent d'effectuer un réglage de la position axiale du support 17 dans l'ouverture 16. Les moyens de réglage 19 comprennent un élément & ressort 21 disposé entre la partie 2 du boîtier 1 et le support 17 de manière à repousser celui-ci à l'écart de la membrane 7, et une vis de réglage 22 qui agit sur le support 17 dans un sens opposé à l'élément à ressort 21. Ce dernier peut être constitué par exemple par une rondelle à ressort disposée entre la face supérieure de la paroi de fond 2a de la partie 2 du boîtier 1 et une bride périphérique 23 qui fait latéralement saillie sur le support 17. Le pas du filetage de la vis 22 est de préférence faible de façon à permettre un réglage fin de la position axiale du support 17. Bien que la vis 22 pourrait être agencée de manière à agir directement sur le support 17, il est préférable qu'elle agisse sur celui-ci par l'intermédiaire d'un levier démultiplicateur de déplacement 24, de manière à permettre un réglage encore plus fin de la position axiale du support 17. Comme montré dans les figures 1, 3 et 4, le levier 24 est constitué par une plaque rectangulaire dont les bords sont recourbés vers le haut pour rigidifier la plaque-levier 24. En son milieu, la plaque-levier 24 comporte une ouverture rectangulaire allongee 25 a travers laquelle La partie supérieure du support i.7 passe librement. La plaque-levier 24 prend appui sur la face supérieure de la bride périphérique 23 du support 17 par l'intermédiaire de deux protubérances sphériques 26 formées sur la face inférieure de la plaque- levier 24. Deux trous circulaires 27 et 28 sont formés dans la plaque-levier 24, près des extrémités de l'ouverture 25, a égales distances du milieu de celle- ci. La vis 22 passe librement à travers le trou 27 et est vissée dans un trou borgne taraudé d'un bossage 29 de la partie 2 du boîtier. Comme montré, le bossage 29 peut être constitué par une pièce cylindrique munie d'un épaulement, qui est montée dans la paroi de fond 2a de la partie 2 du boîtier, mais le bossage 29 pourrait être également formé d'une seule pièce avec la partie 2 du boîtier. Si nécessaire, le montage de la pièce 29 dans la paroi de fond 2a peut être rendu étanche par scellement au moyen d'une colle ou d'un ciment, ou par un Joint d'étanchéité approprié non montré. La vis 22 a une tête en partie cylindrique et en partie sphérique et elle prend appui sur la face supérieure de la plaque- levier 24 par l'tntermédiaire d'une rondelle 31 à cuvette sphérique. Une autre vis 32 passe librement à travers le trou 28 et est vissée dans un trou taraudé 33 formé dans la paroi de fond 2a de la partie 2 du boîtier 1. En cas de besoin, l'étanchéité entre la vis 32 et la paroi de fond 2a peut être assurée par exemple par scellement au moyen d'une colle ou d'un ciment, ou par un Joint d'étanchéité approprié. En variante, si la paroi de fond 2a a une épaisseur suffisante, le trou taraudé 33 peut être un trou borgne. La vis 32 a une tête en partie cylindrique et en partie conique et elle prend appui par sa partie conique sur le bord superieur du trou 28. La tête de la vis 32 et le trou 28 forment une sorte d'articulation pour la plaque-levier 24. Les deux protubérances 26 de la plaque-levier 24 sont situées à mi- distance entre les axes des vis 22 et 32. Dans ces conditions, si le pas du filetage de la vis 22 est par exemple de 0,5 mm, un tour complet de la vis 22 provoquera un déplacement axial de 0,25 mm du support 17. Grâce a une telle construction, la position axiale du support 17 peut être finement réglée lors des essais du capteur de pression ou en cours de fonctionnement do telle façon que les deux photodétecteurs 13 et 14 reçoivent la même quantité de lumière et produisent des signaux de sortie de même valeur lorsque les pressions P1 et P2 sont toutes les deux égales à la pression atmosphérique ou lorsqu'elles ont toutes les deux la même valeur. Une telle construction permet donc de régler aisément le "zéro pression" du capteur de pression. En outre, avec une telle construction, la source lumineuse 11 et les photodétecteurs 13 et 14 n'ont pas besoin d'être montés dans la partie 2 du boîtier 1 avec une précision aussi grande que s'ils étaient montés rigidement en position fixe dans ladite partie 2 du boîtier. On notera également que si les deux photodétecteurs 13 et 14 ne sont pas parfaitement appariés ou s'ils ont des dérives différentes dues au vieillissement, le "zéro pression" peut être & nouveau réglé aisément. Il en est de même lorsque, en service, le capteur de pression est amené à travailler dans des conditions de température différentes de celles dans lesquelles il travaillait auparavant, et que, du fait de ces conditions de température différentes, le boîtier 1 subit des déformations provoquées par une dilatation ou une contraction thermique. Toutefois, il est possible de reduire l'influence de la température sur le fonctionnement du capteur de pression en choisissant de manière appropriée certaines des dimensions et la matière des éléments constitutifs du capteur de pression. Cela va maintenant être expliqué en faisant référence aux figures 5 à 8. Comme montré dans la figure 5, la distance effectivement mesurée par le dispositif optique constitué par la source lumineuse 11 et les deux photodétecteurs 13 et 14 est représentée par la cote b, qui est égale à la différence des cotes c et a (b = c - a). La cote a représente la distance entre le plan de la partie centrale 7a de la membrane 7 et le plan 34 dans lequel se trouve la partie périphérique 7c de la membrane 7. La cote c représente la distance entre le centre O de la source lumineuse 11 et le plan 34. La cote c dépend en grande partie des cotes E et h de la figure 3 et elle est soumise a des variations lorsque la température du boîtier 1 évolue. Lorsque la cote c augmente sous l'effet de la température, la cote a augmente également, mais pas suffisamment pour compenser l'augmentation de la cote c et faire en sorte que la différence des cotes c et a, donc la cote b reste constante. Ce phénomène est particulièrement visible sur les figures 6 et 7 qui illustrent la déformation du boîtier du capteur de pression lorsque la température passe de O'C (tracé en trait plein) A 60'C (tracé en trait mixte) pour deux modes de réalisation différents du boitier 1 et pour une différence de pression P1 - P2 nulle. Dans les figures 6 et ? (ainsi que dans les figures 8 et 9) les déformations ou déplacements ont été fortement exagérés pour la clarté du dessin. Dans le mode de réalisation représenté schématiquement dans la figure 6, la membrane 7 a une épaisseur de 50 gm et est réalisée en un alliage de cuivre et de béryllium (Ube2) & 2% en poids de béryllium; la partie 3 du boîtier est constituée par une pièce coulée en aluminium et la partie 2 du boitier est constituée par une tôle emboutie en acier. Dans ce cas, bien que cela ne soit pas explicitement montré dans la figure 6, la source 11 et les photodétecteurs 13 et 14 sont supportés par la partie 3 du boîtier. Une telle forme de réalisation représente la solution la plus rationnelle du point de vue du coût de fabrication du boîtier. Toutefois, elle a pourinconvénient d'être particulièreuentsensible à la température. C'est ainsi que, dans les conditions indiquées plus haut, le déplacement d de la membrane 7 est de 100 Ma lorsque la température passe de O'C à 60'C. Dans ce cas, le déplacement d de la membrane 7 par suite de l'élévation de température est accentué par un effet de type "bilame" qui est dû à la différence des coefficients de dilatation de l'aluminium et de l'acier et qui provoque une déformation par flexion des parties 2 et 3 du boîtier 1. Dans le mode de réalisation de la figure 7, la membrane 7 est identique à celle du mode de réalisation de la figure 6. Les parties 2 et 3 du boîtier I et le support 17 sont en laiton, tandis que le levier 24 et les deux vis 22 et 32 sont en acier. L'épaisseur B de la paroi de fond 2a de la partie 2 du boîtier est d'environ ,7 mm, la hauteur h de la paroi périphérique 2b de la partie 2 du boîtier est d'environ 7,5 mm, l'épaisseur e de la plaque formant la partie 3 du bottier est d'environ 2,5 mm, la cote a est d'environ 4 m et le diamètre D de la cavité interne 5 du boîtier i est d'environ 71 mm. Dans ces conditions, lorsque la température passe de O'C a 60'C, le déplacement d de la membrane 7 est de 53 gm. Bien que cette valeur de d soit plus faible que celle obtenue avec le mode de réalisation de la figure 6 et que le capteur de pression de la figure 7 soit donc moins sensible a la température que le capteur de pression de la figure 6, cette valeur de d peut être encore gênante lorsqu'il s'agit de mesurer des différences de pressions très faibles. Dans le mode de réalisation représenté schématiquement dans la figure 8, afin de réduire encore le déplacement d de la membrane 7 dû à la diltation thermique du boîtier 1, on utilise l'effet de #bilam" mentionné à propos du mode de réalisation de la figure 6, mais en faisant en:Sorte que, cette fois, le sens de la flexion des parties 2 et 3 du boîtier 1 soit inversé par rapport au sens de la flexion obtenue dans le cas du mode de réalisation de la figure 6. Ceci est obtenu en réalisant le support 17 et la partie 2 du boîtier en une matière ayant un coefficient de dilatation thermique plus grand que celui de la matière de la plaque formant la partie 3 du boîtier. Par exemple, la partie 2 du boîtier, le support 17 et les deux vis 22 et 33 sont en laiton, tandis que la plaque formant la partie 3 du boîtier et le levier 24 sont en acier. Dans le mode de réalisation de la figure 8, les dimensions ou cotes B, h. e, a et D ont les mêmes valeurs que celles indiquées à propos du mode de réalisation de la figure 7. Dans ces conditions, lorsque la température passe de O'C & 60'C, le déplacement d de la membrane 7 est égal & 2,8 inL A titre de comparaison, on a représenté schématiquement dans la figure 9 le capteur de pression de la figure 8 lorsque la différence de pression P1 - P2 est égale à Pa, à une température de 20'C. Dans ces conditions, le déplacement d de la membrane est de 100 Mm (pour une différence de pression de 1 Pa, le déplacement de la membrane serait de 1 gm). En général, la température ne varie pas ou très peu pendant la durée d'une mesure. En admettant que la température varie par exemple de 1'C pendant la durée de la mesure, on voit que, avec le mode de réalisation de la figure 8, le déplacement d de la membrane 7 dû a cette variation de température serait de 2,8/60 = 0,046 Hm. Cette valeur est négligeable par rapport a un déplacement de 1 im provoqué une différence de pression Pl - P2 de 1 Pa. On voit donc que, en choisissant de manière appropriée le rapport des dimensions E et e, les dimensions D, h et a et/ou les matières des éléments constitutifs du capteur de pression, il est possible de réduire considérablement les effets de la température sur le fonctionnement lu capteur de pression. Bien entendu, les valeurs des dimensions ou cotes E, h, e, a et D qui ont eété indiquées plus haut ont été données à titre d'exemple et pourront varier en fonction de la taille souhaitée pour le capteur de pression. Il y a également lieu de noter que, à la place ou en plus des mesures décrites plus haut pour réduire les effets de la température sur le fonctionne mnt du capteur de pression, il est également passible de s'affranchir de ces effets ainsi que de toutes les dérives dues au circuit électronique de mesure (effet de la température et effet du vieillissement) en adoptant l'une et/ou l'autre des mesures supplémentaires suivantes. Premièrement, on peut effectuer une mesure différentielle en utilisant deux capteurs identiques de pression soumis au même environnement. Deuxièmemsnt, on peut associer au capteur de pression une vanne trois voies qui, dans une première position, relie les deux chambres 5a et 5b du capteur de pression à une et " source de pression (P1 = P2) et, dans une seconde position, relie les deux chambres 5a et 5b & des sources de pression différentes (P1 t P2) dont on désire mesurer la différence de pression. Dans une première phase de mesure correspondant à la première position de la vanne trois voies, le signal fourni par l'amplificateur différentiel de mesure associé aux deux photodétecteurs 13 et 14 est mis en mémoire et, dans une deuxième phase de mesure correspondant à la seconde position de la vanne trois voies, le signal mémorisé est soustrait du signal fourni par l'amplificateur différentiel de mesure en présence de la différence de pression Pl - P2. Les circuits électroniques permettant d'effectuer une telle mesure différentielle sont bien connus de l'homm de l'art et il n'est donc pas jugé utile de les décrire en détail. Le capteur de pression selon l'invention peut être utilisé, d'une manière generale, toute les fois qu'il est nécessaire de mesurer une pression relative ou une pression différentielle entre deux fluides gazeux ou liquides. Il convient particulièrement bien pour mesurer la différence entre la pression d'un écoulement d'air comburant et la pression d'un écoulement de gaz combustible alimentant tous les deux un brûleur. Dans cette application, la pression d'alimentation en gaz, par exemple la pression P2, doit être asservie à la pression d'alimentation en air, par exemple la pression Pi, de telle sorte que ces deux pressions restent dans un rapport constant, par exemple dans un rapport 1:1. On utilise usuellement a cet effet dans le circuit d'alimentation en gaz un régulateur de pression, qui est asservi à la différence de pression P2 P1. Le capteur de pression selon l'invention peut donc être inséré dans la boucle d'asservissement du régulateur de pression. Il va de soi que la forme d'exécution du capteur de pression qui a été décrite ci-dessus a été donnée à titre d'exemple purement indicatif et nullement limitatif, et que de nombreuses modifications peuvent être facilement apportées par l'homme de l'art sans pour autant sortir du cadre de l'invention. C'est ainsi notamment que, au lieu que la source lumineuse 11 et les deux photodétecteurs 13 et 14 soient tous les trois montés mobiles perpendiculairement au plan de la membrane 7 pour permettre un réglage du "zéro pression" du capteur, seule la source lumineuse 11 pourrait être montée mobile et les photodétecteurs 13 et 14 pourraient être fixés rigidement à la partie 2 du boîtier. Inversement, les deux photodétecteurs 13 et 14 pourraient être montés mobiles et la source lumineuse 11 pourrait être montée rigidement sur la partie 2 du boitier. Dans les deux cas, on obtiendrait le même effet qu'avec le montage représente sur la figure 3 en ce qui concerne le réglage du "zéro pression" du capteur. Par ailleurs, lorsque le capteur de pression selon l'invention doit être utilisé pour mesurer une différence de pression entre deux liquides, deux vapeurs ou deux gaz et que le dispositif optique de mesure formé par la source lumineuse Il et les deux photodétecteurs 13 et 14 doit être isole par rapport à l'un des deux liquides, vapeurs ou gaz, cet isolement peut être facilement réalisé en disposant et en fixant dans la cavité intérieure du support 17, juste au dessous des AL eue qmem S vI ap a, elvziueo aT:;ad wi ap uvid ne saelluavd %uos sabov sel 4uop Osai lieJwd a seuIeld seaDw e açJen ep anbsTp un eldEaz mxe d v 'd uadsuw aPmIu aun ue eqouvu uoT4vudips ap uosTolo aun ' l 4 1 úT 'I s4uamqai OE zzg0ZZZ REVENDICATIONS 1.- Capteur de pression différentielle comprenant un boîtier (1) formé de deux parties montée dans une des deux parties (2,3) du boîtier la différence de pression est nulle. 2.- Capteur de pression selon la revendication 1, caractérisé en ce que la membrane (7) comporte une surface réfléchissante pour réfléchir la lumière émise par ladite source lumineuse (11) vers les photodétecteurs (13,14) et en ce que les photodétecteurs et la source lumineuse sont supportés par la même partie (2) du boîtier (1). 3.- Capteur de pression selon la revendication 2, caractérisé en ce que la partie (2) du boitier qui supporte la source lumineuse (11) et les photodétecteurs (13,14) comporte une ouverture circulaire (16) qui fait face a la membrane (7), en ce que la source lumineuse (11) et les photodétecteurs (13,14) sont montés dans un support (17) qui peut coulisser axialement dans ladite ouverture circulaire (16) dans une direction perpendiculaire à la surface réfléchissante de la membrane (7), un joint d'étanchéité (18) étant disposé entre ledit support (17) et la paroi cylindrique de l'ouverture circulaire (16), et en ce qu'il comporte en outre des moyens de réglage (19) pour ajuster la position axiale du support (17) dans ladite ouverture circulaire (16). 4.- Capteur de pression selon la revendication 3, caractérisé en ce que les moyens de réglage (19) comprennent un elément à ressort (21) disposé entre le boîtier (1) et ledit support (17) pour repousser celui- ci à l'écart de la membrane (7), et une vis de réglage (22) qui agit sur le support l'élément à ressort (21). 5.- Capteur de pression selon la revendication 4, caractérisé en ce que la vis de réglage (22) agit sur le support (17) par l'intermédiaire d'un levier démultiplicateur de déplacement (24). 6.- Capteur de pression selon l'une quelconque des revendications 3 à 5, caractérisé en ce que la membrane (7) comporte successivement, de son centre vers sa périphérie, une partie centrale circulaire plane (Ta) vers laquelle est dirigée la lumière issue de la source lumineuse (11), une partie annulaire intermédiaire (7b) ayant, vue en coupe, un profil ondulé et une partie annulaire périphérique plane (7c) qui est pincée entre les deux parties (2,3) du boîtier (1). 7.- Capteur de pression selon la revendication 6, caractérisé en ce que la partie périphérique (7c) de la membrane (7) se raccorde à la partie intermédiaire (7b) par une partie en gradin (7d) ayant une hauteur prédéterminée. 8.- Capteur de pression selon l'une quelconque des revendications 3 à 7, caractérisé en ce que la partie (2) du boîtier (1) qui supporte la source lumineuse (11) et les photodétecteurs une epaisseur predéterminee (e). 9.- Capteur de pression selon la revendication 8, caractérisé en ce que l'épaisseur (E) de ladite paroi de fond (2a) est d'environ 5,7 nmn, la hauteur (h) de ladite paroi périphérique d'environ 71 mm. 10.- Capteur de pression selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite partie (2) en forme de coupelle du boîtier ladite autre partie (3) du boîtier (1). 11.- Capteur de pression selon la revendication 10, caractérisé en ce que ladite partie (2) en forme de coupelle du boîtier (1), ledit support (17) et ladite vis de réglage (22) sont en laiton, tandis que ladite plaque formant l'autre partie (3) du boîtier (1) et ledit levier (24) sont en acier. 12.- Capteur de pression selon l'une quelconque des revendications 9 à 11, caractérisé en ce que la membrane (7) est en un alliage de cuivre et de béryllium (Ube2) et a une épaisseur de 50 gm.