Brevet FR2711035A1 — publié le 19950414

La présente invention concerne un dispositif et un procédé pour former un plasma par application de micro-ondes. Pour créer un plasma, il est connu de soumettre un volume de gaz à une excitation à haute fréquence par un champ électrique alternatif, en combinaison éventuelle avec un champ magnétique statique. Cette superposition d'un champ électrique alternatif et d'un champ magnétique statique provoque un effet de résonance électronique cyclotron, assurant les conditions optimales d'ionisation du gaz. Dans la pratique, on crée un plasma à partir d'un volume de gaz en plaçant ledit volume de gaz dans un champ électrique alternatif à haute fréquence généré par une antenne métallique, et auquel on superpose éventuellement un champ magnétique statique. La présente invention vise à proposer un nouveau dispositif pour former un plasma qui soit de grande dimension et de forme quelconque, notamment en présentant une section rectangulaire ou circulaire. La présente invention a pour objet un dispositif pour former un plasma à partir de micro-ondes, comportant une chambre d'ionisation dans laquelle un gaz peut être introduit pour subir une excitation due à la présence d'un champ électrique alternatif à haute fréquence émis par une pluralité d'antennes métalliques, caractérisé par le fait qu'il comporte un volume exempt de gaz dans lequel lesdites antennes métalliques sont disposées parallèles les unes aux autres en étant réparties aux noeuds d'un réseau plan régulier, une extrémité de chaque antenne dépassant dudit volume exempt de gaz dans la chambre d'ionisation, une boucle d'induction émettant des micro-ondes dans le volume exempt de gaz. Selon l'invention, seules les extrémités des antennes sont plongées dans le plasma micro-ondes duquel le faisceau d'ions est extrait. L'avantage de ce dispositif tient au fait que le plasma, qui occupe un faible volume comparé au volume total, modifie peu les conditions d'excitation de celui-ci. En outre, l'énergie micro-ondes est apportée à la structure périodique en un unique point dans le volume contenant les antennes par l'intermédiaire d'une boucle d'induction. Selon l'invention, on entend par boucle d'induction tout moyen permettant d'apporter l'énergie micro-ondes à la structure périodique. I1 s'agit notamment d'une antenne annexe. Ce principe permet de construire des dispositifs très variés selon la position des antennes réparties sur deux dimensions, mais dont la longueur est, selon l'invention, voisine d'un multiple impair du quart de la longueur d'onde de la micro-onde dans le vide. La surface émissive du plasma, et par conséquent la forme de la section du faisceau d'ions extraits, pourront être choisies pour s'appliquer à de nombreuses applications industrielles, notamment aux traitements de surfaces par faisceaux d'ions. Dans un mode de réalisation particulier de l'invention, le dispositif comporte en outre des moyens pour générer dans le volume exempt de gaz un champ électrique de polarisation apte à concentrer les ions formés au voisinage de l'ensemble d'antennes métalliques. Avantageusement, les moyens pour générer le champ électrique de polarisation comprennent l'ensemble d'antennes métalliques qui sert à l'application des micro-ondes dans le plasma. La présente invention a également pour objet un procédé pour former un plasma à partir de micro-ondes dans un dispositif tel que décrit ci-dessus, caractérisé par le fait que l'on ajoute au champ électrique d'excitation un autre champ électrique de polarisation, quasi statique, tendant à concentrer les ions autour de chacune des antennes émettant les micro-ondes. Dans la theorie des plasmas, cette concentration des ions est désignée sous le terme de gaine d'ions. En d'autres termes, le procédé selon l'invention consiste à ajouter aux champs électrique et magnétique d'excitation un autre champ électrique de polarisation, quasi statique, qui forme une gaine d'ions autour de l'ensemble d'antennes émettant les micro-ondes. Cette gaine d'ions se comporte comme une capacité électrique qui vient compenser la composante auto-inductive de l'antenne, laquelle composante auto-inductive apparaît naturellement lorsque le plasma est soumis au micro-ondes, et principalement dans les conditions de résonance électronique cyclotron. Dans un mode de mise en oeuvre de l'invention, le champ de polarisation est émis par l'ensemble des antennes métalliques, une tension de polarisation étant appliquée directement sur ledit ensemble d'antennes. Dans une variante préférée, on crée une autopolarisation des antennes par interposition d'une résistance électrique entre les parois de la chambre d'ionisation et une base électriquement conductrice commune à l'ensemble des antennes. Dans le but de mieux faire comprendre l'invention on va en décrire maintenant un mode de réalisation pris comme exemple non limitatif en référence au dessin annexé dans lequel - la figure 1 représente schématiquement et en coupe une chambre d'ionisation selon l'invention, - la figure 2 est une vue en coupe selon II-II sur la figure 1 de la chambre d'ionisation, et - la figure 3 est une vue analogue à la figure 2 qui représente une variante de l'ensemble d'antennes de la figure 1. La figure 1 illustre schématiquement une chambre d'ionisation 1, qui présente, selon l'invention, une forme parallélépipédique de grande dimension, à l'intérieur de laquelle un gaz peut être introduit par un conduit 2, comme indique par la flèche 3. A l'intérieur de la chambre 4, un ensemble d'antennes métalliques 5, qui présentent ici la forme de barreaux cylindriques, émet des ondes alternatives à très haute fréquence issues d'un générateur non représenté, et véhiculées jusqu'à l'ensemble d'antennes 5 par un câble coaxial 6, comme indiqué par la flèche 7. Les antennes de l'ensemble 5 sont disposées suivant une périodicité spatiale, c'est-à-dire aux noeuds d'un réseau plan régulier, et sont électriquement reliées entre elles par un couvercle 8 sur lequel le connecteur 6' d'alimentation micro-ondes est également monté. Le couvercle d'entrée 8 est isolé du reste de la paroi du dispositif par un isolant 9. La séparation entre ces deux parties est située à une cote où le courant micro-onde circulant sur les parois internes est pratiquement nul, ce qui rend négligeable la perturbation ainsi obtenue. Dans le cas d'une micro-onde de fréquence 2,45 GHz, le matériau isolant est ainsi situé à une distance de A /4;3 cm de la base des barreaux, dont la longueur est voisine de k/4(k impair), ici k=3, et ka/49 cm. Le couvercle 8 sur lequel sont fixées les antennes reçoit le connecteur coaxial d'entrée 6' destiné à transmettre l'énergie micro-onde à cette structure périodique d'antennes. Ce connecteur 6' se termine par une boucle d'induction 10 qui couple l'énergie micro-onde à la structure périodique d' antennes. Une plaque diélectrique 11 maintient l'extrémité libre des branches des antennes constituant l'ensemble 5, tout en ménageant un important volume exempt de plasma 4. Un champ électrique alternatif s'établit entre l'ensemble d'antennes 5 et une grille collectrice 12 située en regard des antennes 5. Des aimants permanents 13 génèrent dans la chambre d'ionisation 1 un champ magnétique statique B qui vient se superposer au champ électrique alternatif ? généré par l'ensemble d'antennes 5. La figure 2 montre la présence des barres d'aimants permanents 13 de forme parallélépipédique, situées de part et d'autre de la chambre d'ionisation, et produisant un champ magnétique statique B transversal dans la direction parallèle à la petite dimension de la chambre. Le gaz qui pénètre dans la chambre d'ionisation 1 est soumis à une excitation à haute fréquence combinée à un champ magnétique, ce qui provoque son ionisation dans les conditions souhaitées. Une tension dè polarisation est également appliquée à l'ensemble d'antennes 5 par un générateur Vs. Cette tension de polarisation s provoque la formation, autour de l'ensemble d'antennes 5, d'une gaine d'ions qui constitue l'équivalent d'une capacité électrique. Un dispositif simple à mettre en oeuvre est l'autopolarisation des antennes par une résistance électrique ajustable 14 placée entre l'ensemble d'antennes 5 et les parois de la chambre d'ionisation. Sur la figure 3, le volume contenant l'ensemble d'antennes 5' est de section circulaire. Dans cette configuration, le champ magnétique statique est créé par des aimants permanents 13' en forme de barreaux à aimantation axiale et logés à l'intérieur même des antennes métalliques 5' en forme de tubes creux. Il est bien entendu que les modes de réalisation qui viennent d'être decrits ne présentent aucun caractère limitatif, et qu'ils pourront recevoir toutes modifications désirables sans sortir pour cela du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Dispositif pour former un plasma à partir de micro-ondes, comportant une chambre d'ionisation dans laquelle un gaz peut être introduit pour subir une excitation due à la présence d'un champ électrique alternatif à haute fréquence émis par une pluralité d'antennes métalliques, caractérisé par le fait qu'il comporte un volume exempt de gaz (4) dans lequel lesdites antennes métalliques (5;5') sont disposées parallèles les unes aux autres en étant réparties aux noeuds d'un réseau plan régulier, une extrémité de chaque antenne dépassant dudit volume exempt de gaz (4) dans la chambre d'ionisation (1), une boucle d'induction (10) émettant des micro-ondes dans le volume exempt de gaz (4). 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé par le fait que la longueur des antennes (5,5') est voisine d'un multiple impair du quart de longueur d'ondes de la micro-onde dans le vide. 3. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 et 2, caractérisé par le fait qu'il comporte en outre des moyens pour générer dans le volume exempt de gaz (4) un champ électrique de polarisation apte à concentrer les ions formés au voisinage de l'ensemble d'antennes métalliques (5,5') sous la forme d'une gaine d'ions. 4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé par le fait que les moyens pour générer le champ électrique de polarisation comprennent l'ensemble d'antennes métalliques (5,5') qui sert à l'application des micro-ondes dans le plasma. 5. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé par le fait qu'il comporte une unique boucle d'induction (10) pour l'application des micro-ondes dans le volume exempt de gaz (4). 6. Dispositif selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisé par le fait qu'il comporte des aimants permanents (13,13) aptes à générer dans la chambre d'ionisation (1) un champ magnétique statique (t). 7. Dispositif selon la revendication 6, caractérisé par le fait que les aimants permanents (13') sont placés à l'intérieur des antennes métalliques (5') réalisées sous la forme de tubes creux, lesdits aimants permanents (13') se présentant sous forme de barreaux à aimantation axiale. 8. Procédé pour former un plasma à partir de micro-ondes dans un dispositif selon l'une quelconque des revendications 3 à 7, caractérisé par le fait que l'on ajoute au champ électrique d'excitation un autre champ électrique de polarisation quasi statique tendant à concentrer les ions autour de chacune des antennes (5) émettant les micro-ondes.