Brevet FR2716970A1 — publié le 19950908

La présente invention concerne un capteur de pression à semi-conducteur fermé hermétiquement par un liquide et son procédé de fabrication. Elle est basée sur la demande de brevet japonais n Hei 6-34359 déposée le 4 mars 1994, dont on incorpore ici le contenu à titre de référence. La présente invention concerne un capteur de pression à semi-conducteur du type fermé hermétiquement par un liquide et un procédé de fabrication de ce capteur dans lequel un milieu de transmission de la pression tel qu'une huile isolante remplit une chambre de détection de la pression fermée hermétiquement par un diaphragme de fermeture étanche. Bien que n'étant pas un document de priorité pour la présente invention, la demande de brevet japonais n Hei 6-6269 décrit un capteur de pression à semi-conducteur du type hermétiquement fermé par un liquide, illustré en figure 7, dans lequel un élément 1 de détection de la pression à semi-conducteur est disposé dans l'évidement d'un logement 3 de connecteur, un logement principal 4 ayant un diaphragme de fermeture étanche 5 fixé au préalable et placé sur le logement 3; ensuite, une chambre de détection de la pression est remplie d'une huile 7 agissant en milieu de transmission de la pression par l'intermédiaire d'un orifice 3b. L'orifice 3b est alors fermé hermétiquement par un matériau de fermeture étanche tel qu'un élément sphérique en caoutchouc (par exemple une bille en caoutchouc), un élément annulaire de garniture en caoutchouc 16 ayant des saillies annulaires sur sa surface périphérique, etc. Ainsi, l'orifice de remplis- sage 3b est fermé d'une manière étanche à l'air. Cependant, l'orifice de remplissage représente une structure relativement compliquée pour sa fabrication et son installation et augmente les dimensions du capteur de pression. L'augmentation du nombre des parties de fermeture étanche peut être aussi à l'origine de la réduction de la fiabilité. En outre, de telles caractéristiques nécessitent des éléments et 2 2716970 des travaux supplémentaires pour la fermeture étanche, ce qui se traduit par une augmentation du coût de fabrication du dispositif. On discutera maintenant, en liaison avec la figure 6, les caractéristiques en matière de température du capteur de pression fermé hermétiquement par liquide. Lorsqu'aucune pression interne excessive n'existe dans la chambre de détection de la pression, la courbe caractéristique de la pression interne en fonction de la température est représentée par la cour- be D dans laquelle la pression dans la chambre à la température ambiante (25 C) est indiquée par le point A (la pression dans la chambre de détection de la pression est 0), et la courbe a un coefficient de température qui correspond à la dilatation thermique de l'huile de remplissage 7 et autres éléments. La courbe est presque linéaire dans la gamme de température d'utilisation pratique (-30 à 125 C), et peut être compensée pour épouser la forme d'une courbe D' par un circuit de commande qui convertit le changement de la résistance de l'élément sensible à la pression en tension et compense la variation du signal du capteur de pression due à la variation de la température (compensation ') par un changement correspondant de la tension. Il en résulte qu'on peut fournir un capteur de pression qui fonctionne suivant la courbe D' ou qui est exempt des variations de la température. Cependant, si le volume de l'huile de remplissage 7 contenue dans la chambre de détection de la pression est trop élevé pour le diaphragme de fermeture étanche 5 et provoque la flexion du diaphragme 5 et sa séparation de l'élément sensible à la pression 1, la pression dans la chambre de détection change suivant la courbe C et vient à un point B (la pression P dans la chambre de détection de la pression est une valeur positive) à la température ambiante (25 C). La courbe C s'élève brusquement dans une partie de la gamme des hautes températures; en d'autres termes, la pression P dans la chambre de détection croit brutalement. Plus précisément, la 3 2716970 pression dans la chambre P de détection de la pression varie linéairement avec le changement de la température dans la gamme des basses températures; cependant, la pression régnant dans la chambre de détection augmente plus brutalement que la température, et la relation proportionnelle entre elles chute à la gamme des hautes températures. Il en résulte que la compensation de température mentionnée ci-dessus par le circuit de commande (compensation pour la courbe C') n'est pas effectivement applicable, et le décalage de la tension de sortie du circuit de commande (compensation indiquée par une flèche O) ne l'est pas non plus. Lorsqu'il existe des bulles dans la chambre de détection de la pression, la pression positive ou négative appliquée au diaphragme de fermeture étanche 5 n'est pas transmise avec précision à l'élément sensible à la pression à cause des bulles qui se contractent ou se dilatent sous l'effet de la pression qui leur est appliquée, d'o une perte de pression. Ainsi, de manière à transmettre avec précision à l'élément sensible à la pression 1 la pression qui est appliquée au diaphragme , un volume approprié de l'huile de remplissage 7 sans bulle d'air est nécessaire pour que le milieu de transmission de la pression fonctionne correctement. La présente invention a été réalisée compte- tenu des problèmes ci-dessus, et a pour objet principal de fournir un capteur perfectionné de pression à semi- conducteur fermé hermétiquement par liquide, qui contient une quantité de liquide de remplissage ou d'huile enfermée de manière étanche sans fournir un orifice de remplissage tel que décrit ci-dessus et un procédé de fabrication d'un tel capteur de pression. Un autre objet de la présente invention est de fournir un procédé perfectionné pour la fabrication d'un capteur de pression dans lequel une chambre de détection de la pression est formée entre un premier logement comportant un évidement et un second logement ayant un élément de fermeture étanche. Le procédé comprend une première étape de remplissage d'une 4 2716970 quantité prescrite d'huile de remplissage comme milieu de transmission de la pression dans l'évidement du premier logement, une seconde étape d'ajustage serré du second logement comportant l'élément de fermeture étanche afin de former la chambre de détection de la pression et une troisième étape d'application à la chambre de détection de la pression d'une pression prescrite afin de dissoudre l'air emprisonné dans le milieu de transmission de la chambre de détection de la pression pendant l'étape d'ajustage serré du second logement. Selon la présente invention, la chambre de détection de la pression peut contenir le milieu de transmission d'une manière étanche aux liquides sans utilisation d'un orifice de remplissage. Comme la fermeture hermétique de l'orifice après le remplissage de l'huile n'est pas nécessaire, un élément de fermeture étanche tel qu'un élément sphérique en caoutchouc et son élément de fixation ne sont pas indispensables, et une structure simple de capteur de pression fermé hermétiquement par liquide peut être réalisée en même temps qu'une façon simple de rendre étanche le liquide à des coûts de fabrication beaucoup plus faibles. En outre, le volume de l'huile de remplissage est contrôlé de manière à ne pas produire une pression interne excessive de sorte qu'on peut empêcher tout changement de la pression provoqué par étapes du processus de fabrication. Ainsi, on fournit un capteur de pression exempt d'orifice de remplissage, qui est précis et bon marché et qui fonctionne bien dans une vaste gamme de températures, et aussi qui assure une efficacité et une productivité élevées de la fabrication. La présente invention sera bien comprise lors de la description suivante faite en liaison avec les dessins ci-joints dans lesquels: La figure 1 est une vue de côté en coupe illustrant un capteur de pression à semi-conducteur 2716970 selon un premier mode de réalisation de la présente invention; Les figures 2A et 2B sont des vues de côté en coupe de la partie principale d'un capteur de pression à semi-conducteur selon un second mode de réalisation de la présente invention; Les figures 3A et 3B sont des vues de côté en coupe, illustrant la partie principale d'un capteur de pression à semi-conducteur selon un troisième mode de réalisation de la présente invention; La figure 4 est une vue de côté en coupe, illustrant la partie principale d'un capteur de pression à semi- conducteur selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention; Les figures 5A et 5B sont des vues de côté en coupe, illustrant la partie principale d'un capteur de pression à semi-conducteur selon un cinquième mode de réalisation de la présente invention; La figure 6 est un graphique de la relation entre la pression dans la chambre de détection de la pression du capteur de pression à semi-conducteur fermé hermétiquement par liquide et la température en marche; et La figure 7 est une vue de côté en coupe, illustrant un capteur de pression à semi-conducteur dans une application apparentée. Dans un capteur de pression à semi- conducteur fermé hermétiquement par liquide qu'on représente en figure 1, un élément sensible à la pression 1 lié à une base en verre 2 est maintenu dans un évidement pratiqué à l'intérieur d'un logement 3 pour connecteur par un agent adhésif 10. Le logement 3 est constitué d'un composé d'un haut polymère ayant une perméabilité élevée vis-à-vis des molécules gazeuses tel que le sulfure de polyphénylène, le polybutylène téréphtalate et une résine acrylique. Cependant, de tels matériaux n'ont pas une perméabilité élevée vis-à-vis des liquides. Un diaphragme 5 en métal fin de fermeture étanche et un organe métallique 6 de retenue sont soudés 6 2716970 ensemble le long de la périphérie intérieure du logement 3 et liés de manière étanche à l'air à une surface d'extrémité d'un conduit d'admission de pres- sion 4b d'un logement principal 4 en métal. Une chambre étanche de détection de la pression est formée entre le logement 3 et le diaphragme de fermeture étanche 5 et contient une huile de fluoro silicone comme huile de remplissage 7 destinée à être utilisée comme milieu de transmission de la pression. L'organe de retenue 6 protège le diaphragme métallique 5 contre une déformation excessive lorsqu'une pression excessive est appliquée au diaphragme. L'huile de remplissage 7 peut être remplacée par une huile de diméthyl silicone ou une huile fluorée ou par tout autre liquide ayant des propriétés appropriées. Les broches 8 du connecteur pour la sortie des signaux sont moulées en inserts et maintenues dans le logement 3. L'interface entre les broches 8 et le matériau de moulage du logement 3 est fermée de manière étanche par un agent adhésif 10. L'agent 10 peut comporter une certaine charge ou un anneau métallique ayant un coefficient de dilatation thermique inférieur à celui de l'agent 10 de manière à assurer l'intégrité du joint. Un joint torique 9 est disposé entre l'extrémité ouverte de l'évidement du logement 3 et l'organe de retenue 6 de manière à former une structure étanche aux liquides. Dans ce mode de réalisation, l'élément 1 sensible à la pression est formé en une pièce avec un circuit de commande pour la compensation de la température comme décrit ci-dessus. En variante, le circuit de commande peut être disposé dans la chambre de détection de la pression ou à l'extérieur du capteur de pression. On expliquera maintenant un procédé de remplissage de l'huile 7 dans le capteur de pression à semi-conducteur. Tout d'abord, le logement 3 du connecteur est inversé par rapport à l'orientation de la figure 1 de sorte que l'évidement du connecteur 3 débouche vers 7 2716970 le haut. Une base en verre 2 à laquelle est lié l'élément 1 sensible à la pression, est placée dans l'évidement du logement 3 et est connectée électrique- ment aux broches 8 par des fils de liaison 11. Un joint torique 9 est alors placé sur l'extrémité ouverte de l'évidement du logement 3 comme représenté en figure 1. Ensuite, une quantité fixe d'huile 7 est remplie dans l'évidement du logement 3 à partir de son côté supérieur par un distributeur (non représenté) ou analogue. L'huile 7 peut être déversée en plaçant le logement 3 sur une échelle (non représentée) et l'huile 7 être versée jusqu'à un poids fixe de sorte que le diaphragme de fermeture étanche 5 prend une configuration idéale pour le capteur de pression, comme représenté en figure 1, o il n'existe aucune bulle. La quantité d'huile 7 est la quantité qui ne provoque aucune pression interne excessive et aucune déformation du diaphragme 5 après l'exécution d'une troisième étape, qu'on décrira ultérieurement. Le niveau de l'huile 7 au volume fixe est légèrement inférieur à la surface de l'extrémité supérieure du joint torique 9. En second lieu, le logement principal 4 comportant le diaphragme de fermeture 5 et l'organe de retenue 6 qui sont liés à l'ensemble de leur périphérie est placé à l'avance sur le logement 3 et monté sur celui-ci, alors qu'il y a maintien du niveau horizontal du logement 3. Alors, le logement 4 est appuyé vers le bas sur le logement 3 afin d'établir un contact suffisant avec l'organe de retenue 6. Ensuite, l'ensemble de la surface périphérique de l'extrémité 4a du logement principal 4 est cambré contre un épaulement ou une partie à gradin du logement 3 de manière à maintenir le logement du connecteur comme cela est représenté en figure 1. Ainsi, l'organe de retenue 6 bute contre la surface de l'extrémité supérieure du joint torique 9, et une chambre étanche à l'air est formée entre le logement 3 et le diaphragme 5 qui est rendue étanche par le joint torique 9. Le joint torique 9 est déformé pendant la compression du 8 2716970 logement 4 et l'organe de retenue 6 bute contre la surface supérieure 3a du logement 3. A ce stade, le volume du mélange huile-air- bulles se contracte et la pression interne de la chambre de détection de la pression augmente. En conséquence, le diaphragme 5 se cambre à l'opposé de l'élément sensible à la pression 1. Par conséquent, en troisième lieu, une pression de valeur prescrite est appliquée au diaphragme de fermeture étanche 5 par l'intermédiaire du conduit d'admission de pression 4b. Une telle pression est utilisée pour dissoudre les bulles d'air emprisonnées dans le mélange air-huile de la chambre de détection de pression formée pendant l'étape antérieure et en outre purge le reste de l'air par l'intermédiaire du composé en haut polymère employé dans le logement 3, l'agent adhésif 10 et le joint torique 9, d'o l'élimination des bulles. On remarquera que les molécules d'air ou les molécules de gaz peuvent pénétrer entre les molécules du haut polymère ci-dessus sous l'effet d'une certaine pression. En d'autres termes, le logement 3 et le joint torique qui utilisent le haut polymère fonctionnent comme filtres, ne permettant pas à l'huile de plus grande masse moléculaire de pénétrer mais autorisant le passage des bulles d'air. Il en résulte que le diaphragme 5 revient à la position normale et prend une configuration idéale (sans déformation). Dans un aspect de la présente invention, dans lequel on utilise une huile de fluoro silicone comme huile de remplissage 7, on emploie du caoutchouc de silicone pour le joint torique 9 et une résine acrylique pour le logement 3 du connecteur, les bulles disparaissent en 10 minutes à une pression de 30 bars. La solubilité de l'air vis-à-vis de l'huile de remplissage 7, par exemple, est comprise entre 16 % et 19 % en volume dans le cas d'une huile de diméthyl silicone et d'environ 60 % dans le cas d'une huile fluorée. 9 2716970 Bien qu'une résine acrylique soit utile pour observer la présence des bulles, d'autres matériaux tels que le sulfure de polyphénylène et le polybutylène téréphtalate sont davantage préférables pour emploi dans un environnement à haute pression. La fiabilité du capteur de pression peut être encore améliorée par l'addition de charges aux matériaux décrits ci-dessus afin de former des composites en fibre de verre. En outre, on peut aussi obtenir un capteur de pression fermé de manière étanche selon la présente invention en appliquant une pression prescrite par l'intermédiaire du conduit d'admission de pression 4b au diaphragme 5 jusqu'à ce qu'il se cambre vers l'élément sensible à la pression, remplissant une quantité excessive d'huile dans la chambre de détection de la pression, et ensuite noyant l'huile 7 alors que le logement principal 4 est fixé au logement 3 du connecteur. Ainsi, le diaphragme 5 revient à sa position normale et l'établissement d'une pression interne excessive dans la chambre de détection de la pression est évité. On souhaite que la pression régnant dans la chambre de détection soit nulle. Cependant, dans le cas o le capteur de pression est utilisé dans des conditions de température relativement élevées, par exemple à des températures allant de 25 C à 150 C, la température critique nécessaire au maintien de la relation proportionnelle entre la tension de sortie et la température doit être supérieure à 150 C. Dans ce cas, le volume de l'huile de remplissage 7 est inférieure à la valeur décrite ci-dessus de sorte que la pression régnant dans la chambre de détection à la température ambiante peut être négative après la troisième étape (étape d'application de la pression). En d'autres termes, la courbe D représentée en figure 6 est décalée vers la droite. Il y a un cas o le signal de sortie est abaissé par fuite du courant électrique provenant d'un circuit de commande à des conditions de haute 2716970 température. De tels changements peuvent être compensés par la caractéristique non linéaire de l'augmentation brutale de la pression à des températures élevées dans la chambre de détection de la pression, de sorte que la relation proportionnelle entre la tension de sortie et la température peut être obtenue. Dans ce cas, le volume de l'huile 7 est augmenté pour obtenir une pression positive dans la chambre de détection de la pression à la température ambiante après la troisième étape. En d'autres termes, la courbe D est décalée vers la gauche dans le graphique de la figure 6. Comme on l'a indiqué ci-dessus, la pression régnant dans la chambre de détection de la pression peut être choisie en fonction des diverses caractéristiques du capteur de pression lorsqu'on l'emploie dans des applications diverses. On expliquera maintenant, en liaison avec le second mode de réalisation représenté en figures 2A et 2B, une étape pour rendre étanche l'huile 7 à l'intérieur du capteur. Dans le second mode de réalisation, une paroi annulaire 3b et une rainure annulaire 3c sont formées sur la surface extrême du logement 3 du connecteur. La paroi annulaire 3b et la rainure annulaire 3c sont formées de façon que le joint torique 9 sous compression puisse être reçu par ajustage à frottement doux dans la rainure 3c. Au début, l'huile de remplissage 7 remplit l'évidement du logement 3 comme dans la première étape du premier mode de réalisation représenté en figure 1. A ce moment là, l'huile 7 ne doit pas être remplie dans la rainure 3c à l'extérieur de la paroi 3b. Le volume de l'huile 7 sans bulles d'air est mesuré de manière à correspondre à une quantité appropriée pour placer le diaphragme 5 à une position normale ou pour obtenir une configuration idéale comme on l'a mentionné ci-dessus. Ensuite, le logement principal 4 (non représenté) ayant le diaphragme 5 soudé à l'organe de retenue 6 à sa périphérie est maintenu de niveau et il 2716970 comprimé contre le logement 3 jusqu'à ce que la surface de l'extrémité supérieure 3a du logement 3 bute complètement contre l'organe de retenue 6. Ensuite, l'extrémité ouverte 4a (non représentée) du logement 4 est cambrée pour maintenir le logement 3 le long de sa périphérie, et l'étape consistant à rendre étanche l'huile 7 à l'intérieur du capteur est ainsi achevée. La section transversale du joint torique 9 avant compression est représentée par la ligne en tirets, et est indiquée dans sa forme comprimée par la ligne en trait plein en figure 2b. L'effet de la paroi 3b dans le capteur de pression à semi-conducteur sera maintenant expliqué. Comme expliqué en liaison avec la figure 6, le volume de l'huile 7 dans l'évidement est déterminant pour obtenir une forme idéale pour le diaphragme 5. Cependant, après remplissage avec un volume fixe de l'huile 7 lors des première et seconde étapes, l'huile peut fuire en passant par des interstices entre l'évidement du logement 3 et le joint torique 9 dans la direction de la paroi de l'évidement représenté en figure 1 si la mise à niveau du logement 4 pendant l'ajustage serré n'est pas effectué correctement. Il en résulte que le volume de l'huile 7 peut être inférieur au volume désiré. La paroi annulaire 3b représentée en figure 2 évite une telle fuite d'huile. Bien qu'un léger volume d'huile puisse déborder de la surface de l'extrémité supérieure de la paroi 3b elle est bloquée par le joint torique 9. Comme la fuite est très petite et est prise à l'avance en compte, elle est négligeable et ne doit pas avoir un effet important sur la pression régnant dans la chambre de détection de la pression. On expliquera maintenant, en liaison avec les figures 3A et 3B une étape de remplissage 7 dans le capteur de pression conformément à un troisième mode de réalisation de la présente invention. L'organe de retenue 6 avec le diaphragme 5 soudé à sa périphérie est caractérisé par un bord annulaire incliné ou chanfreiné 6a. 12 2716970 Comme dans les premiers modes de réalisation, l'étape de remplissage décrite en liaison avec la figure 1, l'huile 7 ayant une solubilité à l'air élevée remplit l'évidement du logement 3 avec un côté de l'élément sensible à la pression 1 dirigé vers le haut jusqu'à ce que le niveau de l'huile devienne aussi élevé que le joint torique, et l'huile 7 est purgée d'air sous pression réduite. Par conséquent, le logement principal 4 ayant l'ensemble soudé constitué du diaphragme de fermeture étanche 5 et de l'organe de retenue 6 qui lui est fixé est placé sur le logement 3 du connecteur. L'espace entre la tête du bord chanfreiné 6a de l'organe de retenue et le diaphragme de fermeture étanche 5 contient de l'air 12. Alors que le logement 4 se rapproche du logement 3 et que le bord 6a est imprégné d'huile, l'huile 7 passe par les interstices séparant le joint torique 9 et l'organe de retenue 6 comme représenté en figure 3A jusqu'à ce que les interstices soient fermés. Un capteur de pression à semi-conducteur selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention sera maintenant décrit en liaison avec la figure 4. Les mêmes numéros de références sont attribués à des parties de la figure 4 qui correspondent à celles illustrées en figure 1. Alors que l'évidement pour l'huile de remplissage 7 est formé dans le logement 3 du connecteur ou dans l'organe comportant l'élément 1 sensible à la pression dans le mode de réalisation de la figure 1, l'évidement représenté en figure 4 est formé dans le logement 4 comportant le diaphragme de fermeture étanche 5. On remarquera que le logement 4 décrit en figure 1 et dans les autres modes de réalisation est remplacé par une plaque 13 à tiges. Initialement, l'ensemble formé par le diaphragme 5 et l'organe de retenue 6 qui sont soudés ensemble à une partie 16 du soudage est fixé au logement principal 4, et l'huile 7 remplit l'évidement du logement 4. Ensuite, le joint torique 9 est placé sur la 13 2716970 surface périphérique, à extrémité ouverte, du logement 4 comme cela est représenté en figure 4. La plaque 13 comporte des trous traver- sants 15 pour recevoir les broches 18 scellées hermétiquement par du verre, la base de verre 2 qui leur est fixée par un agent adhésif et l'élément sensible à la pression 1 lié à la base 2. L'élément 1 est connecté aux broches 18 par des fils de liaison 11. La plaque 13 est placée sur le joint torique 9, est comprimée de manière que le logement 4 et la plaque 13 soit en contact étroit l'un avec l'autre et sont finalement fixés en place par une partie de fermeture étanche 4b formée sur la totalité de la périphérie du logement principal 4. Le volume de l'huile de remplissage 7 en l'absence de bulles d'air doit être un volume convenable pour maintenir le diaphragme de fermeture étanche dans sa forme initiale (aucune flexion). Les bulles d'air sont également emprisonnées dans l'huile 7 lors de cette étape après que la plaque 13 ait été fixée au logement principal. Les bulles d'air sont ensuite dissoutes dans l'huile comme on l'a indiqué précédemment. Un élément de connecteur peut être prévu sur la plaque 13 si nécessaire. Naturellement, le mode de réalisation représenté en figure 4 peut être utilisé en détecteur de pression. On expliquera un cinquième mode de réalisation en liaison avec les figures 5A et 5B. Alors qu'on a indiqué que le joint torique 9 en caoutchouc de silicone ou analogue était un élément de fermeture étanche, une rondelle métallique est utilisée à la place du joint torique 9 dans ce mode de réalisation. La plaque 13 est en métal constitué du même composé de haut polymère que celui décrit en liaison avec les modes de réalisation précédents et le logement principal 4 est en métal. Comme représenté en figure 5, la plaque 13 comporte des trous traversants 15 pour recevoir les broches 18 scellées hermétiquement avec du verre, la 14 2716970 base en verre 2 fixée par un agent adhésive et l'élément sensible à la pression 1 lié à la base en verre 2. L'élément sensible à la pression 1 est connecté électriquement aux broches 18 par des fils de liaison 11. La structure ci-dessus est identique à celle représentée en figure 4. Une rondelle 19 ayant des saillies annulaires 19a formées sur ses deux surfaces est placée sur la surface périphérique de l'évidement du logement principal 4. Ensuite, un volume fixe d'huile 7 remplit l'évidement et la plaque 13 est placée sur la rondelle 19. Ensuite, une pression est appliquée à la plaque 13 et à la rondelle 19 jusqu'à ce que la saillie 19a soit aplatie comme indiqué par la réfé- rence 19' en figure 5B. Ultérieurement, la partie de fermeture étanche 4b' du logement principal 4 est cambrée afin de maintenir la plaque 13 comme indiqué par la référence 4b en figures 5A et 5B. Lorsqu'une pression est appliquée au diaphragme 5 de la même manière que dans les modes de réalisation précédents, les bulles d'air sont dissoutes dans l'huile de remplissage 7 et le diaphragme 5 prend une forme idéale de sorte que la pression régnant dans la chambre de détection devient O (pression atmosphérique). La rondelle 19 en tant qu'élément d'étanchéité peut être remplacée par n'importe quelle sorte de rondelle ayant des saillies annulairesdéformables 19a qui assurent une fonction de fermeture étanche par déformation sous pression. La rondelle 19 a la fonction de fermeture équivalant à celle du joint torique qui peut aussi se déformer sous pression. Une bague annulaire en matériau de garniture en cuivre peut également être employé comme élément métallique 19 de fermeture étanche. Après la troisième étape des modes de réalisation précédents dans lesquels les bulles d'air emprisonnées dans l'huile 7 sont éliminées, la pression régnant dans la chambre de détection de la pression est établie à O (pression atmosphérique). Dans le cas o la 2716970 gamme de températures employée est relativement élevée, la pression interne régnant dans la chambre de détection de la pression est établie à une valeur prescrite comme décrit en liaison avec le premier mode de réalisation. Dans un autre mode de réalisation de la présente invention, un volume de 152 mm3 d'huile fluorée remplit l'évidement du logement 3 du connecteur sous une pression de 0,05 bar et est laissé tel quel pendant environ 200 minutes. Il en résulte que le volume de l'air contenu dans l'huile de remplissage devient 27,5 mm3 (solubilité de 18,2 % de l'air). Ensuite, le logement principal 4 est fixé au logement 3 du connecteur de la même manière que dans les modes de réalisation précédents; cependant, sous une pression réduite de 0,05 bar. La troisième étape d'application d'une pression supérieure à la pression atmosphérique n'est pas nécessaire dans ce mode de réalisation. Cependant, si l'huile 7 est remplacée par quelque autre huile ayant une solubilité de l'air inférieure à l'huile fluorée, une pression peut être appliquée au dia- phragme 7 afin d'éliminer les bulles d'air dans la chambre de détection de la pression. La présente invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation qui viennent d'être décrits, elle est au contraire susceptible de modifications et de variantes qui apparaîtront à l'homme de l'art. 16 2716970 REVENDICATIONS 1 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur ayant un milieu de transmission de la pression (7) maintenu dans une chambre qui est formée dans un évidement dans un élément de connexion et qui est fermée de manière étanche par un élément de diaphragme en métal (5) fixé à un logement (3) ayant un conduit d'admission de la pression, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes consistant à - remplir un volume du milieu de transmission approximativement égal au volume de la chambre, dans l'évidement de l'élément de connexion; - ajuster de façon serrée et fixer le logement, avec l'élément de diaphragme interposé entre ce logement et l'élément de connexion, à l'élément de connexion afin de former la chambre; et - appliquer à l'élément de diaphragme une pression prescrite par l'intermédiaire du conduit d'admission de pression pendant une durée déterminée pour dissoudre l'air emprisonné de la chambre dans le milieu de transmission. 2 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi- conducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape consistant à: - appliquer une pression à l'élément de diaphragme par l'intermédiaire du conduit d'admission de pression pour purger l'air emprisonné dans la chambre par l'intermédiaire de l'élément de connexion de sorte que cet élément agit en filtre moléculaire. 3 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 1, dans lequel: - l'étape d'ajustage serré du logement est effectuée sous une pression inférieure à la pression atmosphérique. 17 2716970 4 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape consistant à: - exposer le milieu de transmission de la pression à une pression réduite pendant une période prescrite afin de purger l'air du milieu de transmission de la pression. - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi- conducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de remplissage comprend l'étape consistant à: - remplir un volume du milieu de transmission de la pression supérieur au volume de la chambre dans l'évidement; et - noyer le milieu de transmission de l'évidement pendant l'étape d'ajustage serré. 6 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étape de remplissage du milieu de transmission de la pression comprend l'étape consistant à: soumettre le milieu de transmission de la pression à une pression réduite pendant une période prescrite pour purger l'air du moyen de transmission de la pression. 7 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'étape de remplissage du milieu de transmission de la pression comprend l'étape consistant à: soumettre ledit milieu de transmission de la pression à la pression réduite pendant une durée pour purger l'air du milieu de transmission de la pression. 8 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 4, caractérisé en ce que le milieu de transmission de la pression est une huile fluorée (7), la pression réduite 18 2716970 est approximativement 0,05 bar et la période pour purger l'air est approximativement 200 minutes. 9 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'étape d'ajustage serrée est exécutée sous une pression réduite. - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'étape d'ajustage serré est exécutée sous une pression réduite. 11 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la pression prescrite de l'étape d'application de la pression est d'environ 30 bars et la période prescrite pour l'étape d'application de la pression est d'environ 10 minutes. 12 - Procédé de fabrication d'un capteur de pression à semi-conducteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que la pression prescrite de l'étape d'application de la pression est approximativement bars et la période prescrite de l'étape d'application de la pression est d'environ 10 minutes. 13 - Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide, caractérisé en ce qu'il comprend: - un élément de connecteur (3) réalisé en matériau résineux ayant une haute perméabilité à l'air, cet élément comportant un évidement formé à l'un de ses côtés; - une unité de détection de la pression (1) disposée dans l'évidement et fixée audit côté de l'élément de connecteur; - une broche de connexion (8) reçue hermétiquement par l'élément de connecteur et reliée électriquement à ladite unité de détection de la pression à une extrémité de l'élément de connecteur et s'étendant à partir de l'autre côté de l'élément de connecteur afin de former une borne; 19 2716970 - un élément de diaphragme (5) disposé de manière à recouvrir l'évidement, d'o la formation d'une chambre de détection de la pression; - un milieu de transmission de la pres- sion (7) ayant une haute solubilité à l'air, remplissant la chambre de détection de la pression à une pression prescrite afin de dissoudre l'air emprisonné dans la chambre de détection de la pression et purger la partie restante de l'air par l'intermédiaire de l'élément de connecteur de sorte que cet élément agit en filtre moléculaire; et - un logement (4) fixant l'élément de connecteur d'une manière étanche à l'air à sa partie périphérique, ce logement comportant un conduit d'admission de pression débouchant dans le diaphragme. 14 - Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide selon la revendication 13, caractérisé en ce que: - l'élément de diaphragme comprend un diaphragme transmettant la pression qui lui est appliquée par l'intermédiaire dudit milieu de transmis- sion de pression à ladite unité de détection de la pression et un organe de retenue empêchant une déformation excessive du diaphragme. 15 - Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: - un joint torique (9), disposé entre la surface périphérique de l'élément de connecteur et l'élément de diaphragme, afin de rendre étanches les interstices situés entre l'évidement et l'élément de diaphragme. 16 Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide selon la revendication 13, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: - une rondelle disposée entre la surface périphérique de l'élément de connecteur qui rend étanches les interstices séparant l'évidement et l'élément de diaphragme. 2716970 17 - Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide selon la revendication 14, caractérisé en ce que l'organe de retenue a un bord chanfreiné (6a) de manière à noyer le milieu de transmission de la pression lorsque le logement est fixé à l'élément de connecteur. 18 - Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide selon la revendication 15, caractérisé en ce que ladite surface périphérique comporte une rainure annulaire recevant le joint torique. 19 - Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide selon la revendication 13, caractérisé en ce que le milieu de transmission de la pression est un matériau choisi dans le groupe constitué d'une huile de diméthyl silicone, d'une huile fluorée et d'une huile de fluoro silicone. - Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide selon la revendication 13, dans lequel le matériau résineux de l'élément de connecteur est un matériau choisi dans le groupe constitué du sulfure de polyphénylène, du polybutylène téréphtalate et d'une résine acrylique. 21 - Capteur de pression à semi-conducteur rendu étanche par liquide selon la revendication 19, dans lequel le matériau résineux de l'élément de connecteur est un matériau choisi dans le groupe constitué du sulfure de polyphénylène, du polybutylène téréphtalate et d'une résine acrylique.