Brevet FR2715480A1 — publié le 19950728

La présente invention concerne un procedé et un dispositif de répartition spatiale de l'énergie d'un faisceau de rayonnement cohérent. Elle concerne aussi un procédé de réalisation d'un masque utilisé dans un tel dispositif ainsi qu'un tel masque. Bien que la présente invention s'applique à tout rayonnement cohérent comme, par exemple un rayonnement engendré par un maser, on se réfère principalement par la suite à un faisceau lumineux engendré par une source laser. Le procédé et le dispositif de répartition spatiale de l'énergie conformes à l'invention sont particulièrement appropriés, quoique non exclusivement, à la réalisation d'appareils chirurgicaux à faisceau laser, et en particulier d'appareils chirurgicaux ophtalmologiques. On sait qu'en ophtalmologie les ametropies, telles la myopie, l'hypermétropie et l'astigmatisme peuvent être corrigées par modification de la courbure de la cornée, en particulier en utilisant un laser à excimère. Dans l'article "Excimer laser surgery of the cornea" daté du 21 septembre 1983 et paru dans la revue "AMERICAN JOURNAL OF OPHTALMOLO & Y", vol.96 n"6, pages 710 à 715 de décembre 1983, Stephen L.TROCKEL, R.STRINIVASAN et BODIL BRAREN décrivent l'utilisation d'un laser à excimère pour détruire de la matière cornéenne par photo-décomposition. Il y est recommandé d'utiliser un rayonnement ultra-violet dont la longueur d'onde est égale à 0,193 micromètre et il est précisé que, pour modifier la courbure de la cornée, on peut former sur ladite cornée avec ledit rayonnement, une tache circulaire dont "l'intensité varie du centre vers la périphérie, de sorte que l'on enlève plus de matière soit au centre, soit à la périphérie, en fonction de la distribution de lumière". Cela permet de modifier la courbure de la cornée en diminuant sélectivement l'épaisseur de celle-ci afin d'en corriger les défauts. Cette méthode est particulièrement intéressante mais difficile à mettre en oeuvre car elle nécessite des moyens faisant varier l'intensité de l'énergie lumineuse en correspondance avec l'épaisseur de cornée à ablater. En effet, les différentes affections pouvant être traitées par cette méthode exigent toutes une variation bien déterminée de l'énergie du faisceau laser à excimère : en ce qui concerne la myopie, corrigible par une réduction de la courbure de la cornée, le traitement nécessitant l'ablation d'une lamelle de cornee plus épaisse en son centre (voisinage de l'axe optique) quota sa périphérie exige que l'intensité lumineuse reçue par la cornée soit croissante de la périphérie vers le centre. En ce qui concerne l'hypermétropie corrigible par une augmentation de la courbure de la cornée, le traitement nécessitant l'ablation d'une lamelle plus épaisse à la périphérie qu'au centre exige que l'intensité lumineuse reçue par la cornée soit croissante du centre vers la périphérie. Et en ce qui concerne l'astigmatisme qui se corrige par une modification différente des rayons de courbure de la cornée dans plusieurs plans, le traitement nécessitant l'ablation d'une lamelle de forme complexe exige une répartition bien particulière de l'intensité lumineuse. Il n'existe pas de methode ni de moyen susceptible de former une répartition spatiale déterminée d'un faisceau laser qui puisse envoyer directement le faisceau laser avec la répartition d'énergie souhaitee sur la cornée à ablater. On remarque qu'il existe certains dispositifs qui permettent de remédier à cette incapacité de répartition énergétique afin de pouvoir quand même utiliser les avantages du laser à excimère mais leur mise en oeuvre est souvent complexe et leur résultat est généralement peu satisfaisant. Par exemple, les documents US-A-4538608 et EP-A-0151869 décrivent des dispositifs mettant en oeuvre un faisceau laser ablatif ponctuel animé d'un mouvement de balayage. De tels dispositifs présentent l'inconvénient d'une surface de cornée corrigée non uniforme car obtenue par une succession d'enlèvements ponctuels. L'objet de la présente invention est d'engendrer une répartition spatiale telle que souhaitée de l'énergie d'un faisceau de rayonnement cohérent. En particulier, dans le cas de l'utilisation d'un faisceau laser pour l'ablation de la cornée, l'objet de l'invention est d'obtenir directement l'intensité lumineuse nécessaire afin de pouvoir se passer de dispositifs mobiles tels que ceux décrits précédemment. A cette fin, selon l'invention, le procédé de répartition spatiale de l'énergie d'un faisceau de rayonnement cohérent est remarquable en ce que a) on dispose sur le trajet du faisceau un masque qui comporte des zones transmettant et des zones ne transmettant pas le rayonnement, par transparence, par réflexion ou par réflexion partielle, qui diffracte et qui renvoie ledit faisceau en engendrant une répartition spatiale déterminée de son énergie b) on focalise le faisceau diffracte et renvoyé par ledit masque dans un plan particulier dit plan de Fourier c) à proximité dudit plan de Fourier on sélectionne la tache centrale dudit faisceau diffracté et renvoyé laquelle contient, au moins, l'ordre continu d) on forme dans l'espace image la reproduction du masque transmise par la tache centrale sélectionnée. De façon avantageuse, les zones qui transmettent le rayonnement sont transparentes : le masque renvoie le faisceau par transmission. D'une autre façon avantageuse les zones qui transmettent le rayonnement peuvent le transmettre par réflexion : le masque renvoie alors le faisceau par réflexion. Dans une autre disposition, les zones qui transmettent le rayonnement peuvent avantageusement le faire partiellement par réflexion et partiellement par transmission. Grâce à l'invention, pour chacun des modes de transmission susdits, on obtient dans le plan de reproduction du masque une répartition spatiale de l'énergie que l'on est capable de former telle qu'on le souhaite, en adaptant les caractéristiques du masque disposé sur le faisceau. Une répartition spatiale lissée de l'énergie projetée sur le plan de reproduction du masque est rendue possible en sélectionnant la tache centrale de la figure de diffraction qui représente un fond continu et en éliminant les taches périphériques qui comportent les informations nécessaires a la restitution des détails du dessin du masque. Ainsi dans le plan de reproduction du masque l'image du masque n'est plus restituée. Seul un fond continu apparaît, dont l'intensité varie spatialement en fonction des caractéristiques du masque, comme mentionné ci-dessus. L'utilisation du procédé conforme à 1 invention ne se limite pas a la seule répartition d'un laser à excimère utilisé pour l'ablation de la cornée. Plus généralement, le procédé selon l'invention est particulièrement adapte dans toutes les situations où il est nécessaire en partant d'un champ énergétique quelconque de donner une forme spécifique à la répartition spatiale de l'énergie. Ainsi, la présente invention permet, à partir d'un faisceau rayonnant de répartition énergétique quelconque, d'obtenir une répartition d'énergie uniforme à condition que la répartition énergétique initiale soit mesurable et répétable. Elle permet aussi, à partir d'une répartition uniforme, d'obtenir la répartition energétique nécessaire à l'utilisation. Elle permet encore, à partir d'une répartition quelconque, mesurable et répétable, d'aboutir directement à la répartition nécessaire à l'utilisation sans passer par l'étape d'une répartition uniforme. Ainsi, la présente invention peut trouver de nombreuses applications pratiques dans des domaines techniques très variés. Par exemple, en interférométrie, pour que les énergies en périphérie du champ soient les mêmes qu'au centre bien que la source laser ait une répartition énergétique gaussienne. Une autre application possible concerne la fabrication de diverses pièces qui nécessitent un usinage selon une forme déterminée, en particulier des pièces réalisées dans des matériaux très durs, comme le diamant ou les céramiques, ou des matériaux très peu rigides, tels le caoutchouc ou certains thermoplastes pour lesquels les moyens d'usinage conventionnels sont généralement peu adaptés. Pour la mise en oeuvre du procédé conforme à l'invention on prévoit un dispositif qui comporte - un masque disposé sur le trajet du faisceau, comportant des zones transmettant et des zones ne transmettent pas le rayonnement, par transparence, par réflexion ou par réflexion partielle, qui diffracte et renvoie ledit faisceau - un système focalisateur, disposé en amont, en aval ou confondu avec ledit masque, qui focalise ledit faisceau dans un plan de Fourier - un filtre, disposé au voisinage dudit plan de Fourier, qui isole au moins la tache centrale dudit faisceau focalisé - un système de transport d'image qui forme la reproduction du masque sur une ou plusieurs surfaces déterminées. De préférence, le filtre est constitué d'un fond piégeant le rayonnement et d'une surface tranmettant le rayonnement. Le piège à lumière peut agir par absorption, par diffusion, par réflexion ou par une combinaison des trois principes. L'important est qu'il ne permette pas que les parties indésirables du rayonnement soient transmises d'une façon significative sur la surface d'utilisation. La partie du filtre chargée du renvoi de la tache centrale de la figure de diffraction vers la surface d'utilisation peut agir par transmission ou par réflexion. L'important est qu'elle n'envoie vers la surface d'utilisation que la partie sélectionnée du rayonnement diffracté. L'élément essentiel du dispositif de répartition énergétique conforme à l'invention est le masque qui engendre une répartition spatiale déterminée de l'énergie. L'objet de la présente invention concerne également un procédé pour la réalisation d'un tel masque. Comme ce masque comporte des zones transmettant et des zones ne transmettant pas, totalement ou partiellement, le rayonnement, on peut le réaliser a) soit en partant d'un masque transparent sur lequel on dispose des zones opaques b) soit en partant d'un masque opaque dans lequel on ménage des zones transparentes c) soit en partant d'un masque réfléchissant sur lequel on dispose des zones non-réfléchissantes d) soit en partant d'un masque non réfléchissant sur lequel on dispose des zones réfléchissantes e) soit en partant d'un masque partiellement transparent ou partiellement réfléchissant sur lequel on ménage des zones partiellement transparentes ou partiellement réfléchissantes, le rapport entre transmission et réflexion pouvant varier entre 0% et 100% de telle façon que, dans les cas extrêmes, on retrouve les configurations de masques précédemment sitées en a, b, c et d. Les figures de dessin annexées font facilement comprendre comment l'invention peut être realisée. Sur ces figures, des références identiques désignent des éléments semblables. La figure 1 illustre schématiquement un dispositif pour la répartition spatiale de l'énergie d'un faisceau cohérent, conforme à l'invention. La figure 2 montre schématiquement un masque utilisé dans le dispositif de la figure 1. La figure 3 est un diagramme qui illustre la distribution de l'intensité lumineuse dans une figure de diffraction provoquée par une zone unitaire de discontinuité de transmission. La figure 4 montre la somme de plusieurs figures de diffraction focalisées sur un même point. Les figures 5a et 5b illustrent la décomposition en série de Fourier d'une fréquence périodique rectangulaire. Les figures 6a et 6b montrent le niveau d'énergie contenue dans une période La figure 7 présente un mode de réalisation d'un masque La figure 8 présente un masque en réseau à pas constant et à largeur de créneau variable. La figure 9 présente un masque en réseau circulaire, a pas constant et à largeur de créneaux variable. La figure 10 présente un masque en réseau circulaire, a pas variable et à largeur de créneaux constante. La figure ll présente le schéma optique d'un mode de réalisation d'un dispositif d'opération de la cornée. La figure 12 présente un schéma optique à miroir sphérique. La figure 13 présente un schéma optique à miroir elliptique. La figure 14 présente un schéma optique à masque partiellement réfléchissant avec capteur de mesure de l'énergie renvoyée par le masque. Le dispositif conforme a l'invention et représenté schématiquement sur la figure 1, pour repartir spatialement selon une configuration déterminée l'énergie d'un faisceau cohérent 1 d'axe X.X comporte un masque 2, un système focalisateur 3, un filtre 4 et un système de transport d'image 5, disposés sur l'axe X.X Le faisceau cohérent 1, qui arrive sur le dispositif avec une répartition spatiale transversale quelconque de son énergie, est transmis par ledit dispositif avec une répartition spatiale transversale déterminée précisément en fonction de la disposition et des caractéristiques des éléments constitutifs du dispositif. Le faisceau cohérent transmis 6 est disponible, pour son utilisation ultérieure, dans un plan 7. Le masque 2 comporte des zones transmettant 8 et des zones ne transmettant pas 9. La répartition relative des surfaces des zones de transmission et de celles de non transmission détermine une transmission totale déterminée de l'énergie du faisceau incident. Ci-après, on explicite le mode de réalisation d'un tel masque. Dans une zone 10 du masque 2, tel que représenté schématiquement sur la figure 2, le faisceau rencontre une discontinuité spatiale 1l constituée d'une zone transmettant 8 entourée d'un fond ne transmettant pas 9. La discontinuité spatiale de transmission peut également être constituée d'une zone ne transmettant pas entourée d'un fond transmettant (non représenté sur la figure 2). Cette discontinuité spatiale diffracte le rayonnement et provoque une distribution angulaire déterminée de l'énergie par rapport à la direction Y.Y qui, parallèle à la direction X.X du rayonnement cohérent 1, passe- par la zone transmettant 8. Dans un plan 12 parallèle au masque 2 on obtient, en raison de la diffraction engendrée par la discontinuité spatiale 8, une distribution de l'intensité rayonnante connue sous le nom de "figure de diffraction de Fresnel". Par exemple, si la discontinuité spatiale est un cercle, la figure de diffraction est une tache brillante entourée d'anneaux successifs de plus en plus faibles en énergie ; si la discontinuité spatiale est un trait, la figure de diffraction est une succession de taches rectilignes d'énergie de plus en plus faible au fur et à mesure qu'elles s'éloignent de la tache centrale. La figure 3 représente la distribution d'énergie dans la diffraction. Cette distribution d'énergie 13 comporte une tache centrale 14 et des taches périphériques 15, 16, 17, 18, etc... séparées par des zones 19, 20, 21, 22, etc... d'intensité nulle. Le pic 23 d'intensité maximale de la tache centrale 14 se trouve dans la direction Y.Y (par exemple, sur la figure 2, au niveau d'un point 24 dans le plan 12) et les taches périphériques sont ecartées de la direction Y.Y (par exemple, la tache périphérique 15 peut faire avec cette direction Y.Y un angle a et peut intercepter le plan 12 au point 25). Une telle diffraction se produit dans toutes les régions du masque où apparaît une discontinuité spatiale telle 11 représentée sur la figure 2. En termes mathématiques, la diffraction est proportionnelle à la transformée de Fourier des discontinuités spatiales de transmission qui constituent le dessin du masque. Le théorème de la décomposition en série de Fourier énonce que : " Toute fonction périodique, non sinusoïdale et continue dans un intervalle de O à 2T, peut être décomposée en une somme infinie de fonctions périodiques sinusoïdales dont les fréquences sont des multiples exacts de la frequence fondamentale qui est la plus basse. n Il s'écrit y(x) = Ao t Al.sin x + A2.sin 2x + A3.sin 3x + ...+ An.sin nx + Bi.cos x - B2.cos 3x - B3.cos 3x - ...+ Bn.cos nx Le terme Ao est une constante qui représente la valeur moyenne de la fonction y(x) dans un intervalle de 0 à 2tir. Les termes Ai, A2, A3, ...An et B1, B2, B3,...Bn sont les coefficients de grandeur des périodes de fréquence égale ou supérieure à 1, dites harmoniques. Sur les figures 5, on a représente la décomposition en série de Fourier d'une fonction périodique rectangulaire, limitée aux harmoniques sinusoïdales de rang 1 et 2, ceci dans le but de ne pas surcharger le dessin. La courbe 26 représente la succession de valeurs maximales et de valeurs nulles que laisserait passer un masque en forme de réseau de période 2tir, alternativement transmettant puis non transmettant le rayonnement cohérent. La courbe sl représente l'harmonique sinusoïdale de rang 1, la courbe s2 représente l'harmonique de rang 2. Les autres harmoniques, bien qu'existant, ne sont pas représentées. Sur la figure Sa, l'origine des ordonnées est en Ao. Sur la figure 5b, cette origine est sur les pieds des courbes qui représentent les fonctions périodiques. Les figures 6a et 6b montrent la différence du continu pour deux périodes de même fréquence mais avec une répartition différente des transmissions. Le trait 27 représente le niveau d'energie nulle, Le trait 28 le niveau d'énergie maximale. Sur la figure 6a la courbe 29 indique que pour une période spatiale de O à 2Tr la surface de pleine énergie occupe 1/4 de la période. Le trait 30 représente l'énergie contenue dans la période, dont la valeur dans ce cas égale le 1/4 de l'énergie possible d'une période totalement éclairée. Sur la figure 6b, la courbe 31 indique une répartition énergétique des 3/4 ce qui fournit une énergie représenté par le trait 32 dont le niveau par rapport au niveau nul 27 est des 3/4 de l'énergie totale possible. Le système focalisateur 3 focalise, sur une surface 33 et sur un point P, les taches centrales de toutes les distributions énergétiques engendrées par les diffractions provoquées par les différentes discontinuités spatiales du masque. En ce point P de la surface 33, se forme aussi l'image de la source du rayonnement cohérent 1. Si la divergence de la source est faible, la distance entre le système optique focalisateur 3 et le point P correspond à la distance focale dudit système 3. La dimension de la source est égale au produit de la divergence de la source par la susdite distance focale. La position axiale du système focalisateur 3 est indifférente : il peut être placé en amont ou en aval du masque 2, être confondu avec ledit masque ou constitué de deux ou plusieurs parties placees de part et d'autre dudit masque. La surface 33, qui est souvent assimilable à un plan, est nommée "plan de Fourier" car c' est sur ce plan que se forme la transformée de Fourier de l'ensemble que les discontinuités spatiales telles que 11 dessinent sur le masque 2. Sur la figure 4, sont représentées différentes distributions 34, 35, 36, issues de differentes discontinuités spatiales du masque et focalisées sur le même point P. Le fait que les zones d'énergie nulle 19, 20, 21, 22, etc... sont communes à toutes les figures de diffraction indique que les discontinuités spatiales sont identiques en forme et dimension. Les différences de hauteur entre taches centrales et entre taches périphériques proviennent des différences de contenu énergétique des portions de faisceau incidentes. Ainsi si, en se référant aux figures 2 et 4, on admet que la figure de diffraction 34 correspond à la portion de faisceau 37, que la figure de diffraction 35 correspond à la portion de faisceau 38 et que la figure de diffraction 36 correspond à la portion de faisceau 39, cela indique que la dose énergétique (ou fluence) de la portion de faisceau 37 est plus élevée que celle de la portion 38 qui est elle même plus que celle de la portion 39. Dans ce cas particulier, les figures de diffraction 34, 35 et 36 s'additionnent, en tenant compte de leurs phases respectives, pour donner la transformée de Fourier 40. La tache centrale, proportionnelle a Ao, est le terme qui correspond à la fréquence spatiale nulle dans le plan de Fourier et les taches périphériques représentent les harmoniques qui correspondent aux termes de fréquence non nulle. L'énergie totale contenue dans la totalité de la figure de diffraction est la somme de l'énergie contenue dans la tache centrale 41 de la transformée de Fourier 40 et de celle contenue dans les harmoniques 42, 43, 44, 45,..et suite. Un filtre 4 constitué d'un fond de non transmission 46 comportant une zone de transmission 47 est disposé à proximité du plan de Fourier 33. Ce filtre est destiné a isoler la tache centrale 41 des taches périphériques 42, 43, 44, 45,.. et suite. En conservant la tache centrale et en supprimant les taches périphériques on conserve le continu Ao, proportionnel à la racine carrée de la quantité d'énergie renvoyée par le masque et on supprime les harmoniques significatives des détails du dessin. Le système de transport d'image 5 forme sur la surface 7 une image 48 conjuguée du masque 2 sur laquelle on retrouve en chaque endroit la quantité d'énergie nécessaire à l'utilisation. On trouve ainsi dans l'espace-image du dispositif une surface présentant un fond continu modulé et non pas l'image initiale du masque. Par ailleurs ce fond continu peut être formé de manière à présenter une variation spatiale déterminée. En effet, le masque 2 permet une transmission particulière de l'énergie que l'on peut fixer telle qu'on le souhaite, en fonction de la répartition des zones transmettant 8 et des zones ne transmettant pas 9 le rayonnement. Et c'est en choisissant un masque présentant une transmission adéquate qu'on obtient, dans le voisinage du plan d'utilisation 7, l'énergie souhaitée. La réalisation du masque, en vue d'obtenir une répartition spécifique de l'énergie dans l'espace d'utilisation, est possible grâce à la méthode exposée ciaprès et illustrée par la figure 7. Cette figure représente la surface d'un masque 2 que l'on a divisé, par imagination, en plusieurs petites régions telles que R1. Sur cette région Ri arrive une quantité d'énergie El que l'on peut connaltre, soit en la mesurant, soit parce que c'est une caractéristique définie de la source qui émet le rayonnement. Si E2 est la quantité d'énergie que cette région du masque doit restituer, le rapport E2/El est égal au rapport entre la surface des zones de transmission que R1 comporte et la surface de R1, ce qu'on peut écrire énergie restituee E2 surface de transmission énergie incidente El = surface de R1 Nous savons que l'énergie E(Ao) contenue dans la tache centrale est égale à la racine carrée de l'énergie contenue dans la totalité de la tache de diffraction et nous pouvons écrire E(Ao) = zE2,El. La surface de transmission est la somme des discontinuités spatiales Z1, Z2, Zm, etc... transmettantes dont la forme engendre la figure de diffraction nécessaire au filtrage de la transformée de Fourier. Si l'on connaît cette forme, on connaît le nombre de discontinuités spatiales de transmission que doit contenir R1. On reproduit alors ce calcul sur toutes les petites régions R2, R3, R4, Rm, etc... jusqutà couvrir la totalité de la surface du masque. Avantageusement, les discontinuites diffractantes telles que Z1 sont identiques entre elles et suffisamment distantes les unes des autres de façon à ménager, autour de la tache centrale 41 de la figure de diffraction 40, une surface d'énergie nulle, ou assez faible, pour que le filtre 4 puisse séparer avec une précision satisfaisante la dite tache centrale des harmoniques telles que 42, 43, 44, 45,.. et suite. Il faut aussi que les susdites discontinuités soient assez petites pour générer une tache centrale assez grande pour contenir l'image de la source. En effet, la dimension de la tache centrale de la figure de diffraction est inversement proportionnelle a la dimension des zones diffractantes telles que 8. Si ces zones diffractantes sont grandes, il s'ensuit un écart entre les zones d'energie nulle 19 et 20 de petite dimension qui entraine une zone de transmission 47 du filtre 4 pareillement de petite dimension. Par ailleurs, le système focalisateur 3 formant sur la surface 33 l'image de la source, si cette image est plus grande que la zone de transmission 47, le fond de non transmission 46 du masque 4 interdit sans nécessité le passage d'une partie du rayonnement d'où une détérioration du rendement du dispositif. Dans un masque réalisé de cette façon, généralement, le fond du masque transmet et les zones diffractantes ne transmettent pas le rayonnement. Elles parsèment le masque sans autre ordre que celui nécessaire au respect du rapport entre surfaces de transmission et surfaces de non transmission. D'une autre façon avantageuse, les discontinuités diffractantes sont disposées pour tracer sur le masque des dessins dont la structure favorise la création, autour de la tache centrale de la figure de focalisation, d'une zone relativement étendue d'énergie nulle, dans le but de faciliter la mise en place du filtre 4. Le calcul de l'optique de Fourier s'appuyant sur la théorie des fonctions périodiques, les dessins que l'on trouve sur les masques ressemblent plus ou moins aux réseaux utilisés en spectrométrie ou en optique digitale. La figure 8 représente une portion 49 du masque 2 dont le dessin est généré a partir d'un balayage en coordonnées rectangulaires dans les directions perpendiculaires x et y, qui détermine les lignes L1, L2, L3, etc... et les colonnes Cl,C2,C3, etc... A chaque intersection entre lignes et colonnes telle que le point Q (1,1) de coordonnées Ll et C1, correspond le centre d'une région élémentaire telle que R1 sur la figure 7 pour laquelle on est capable de définir un rapport entre énergie emergeant du masque E2 et énergie incidente El. Il en est de même pour tous les points Q (1,2), Q (1,3) etc... de la ligne L1. Si on pose que chaque intervalle entre colonnes C1C2, C2bC3, C3+C4, etc... correspond à la période 2Tr d'une fonction périodique rectangulaire telle que 26, on peut aussi poser que, pour chaque période, le rapport entre la largeur de la zone de transmission et 27 est égal à celui, E2/El, entre énergie restituée par le masque et énergie reçue par ledit masque. Le même raisonnement est valable pour toutes les lignes L1, L2, L3, etc... Sur chacune de ces lignes on construit un réseau à pas constant et à largeur de créneaux variable, tous ces réseaux étant raccordés les uns aux autres dans le sens des colonnes pour éviter de créer, le long des colonnes, des discontinuités perturbatrices et l'on obtient un dessin semblable à celui représenté sur la figure 8. La figure 9 représente l'allure que peut avoir la zone centrale 50 d'un masque 2 structuré en reseau à pas constant et à largeur de créneaux variables et construit sur une base en coordonnées polaires. Dans cette configuration, les périodes de largeur 24 sont placées sur des rayons et les creneaux 51 de largeur variable, qui transmettent ou obturent le rayonnement, dessinent des anneaux concentriques. Si la loi de décroissance de la transmission est issue de la relation y=k.a2/2, avec une périodicité de 25= tg.a, la répartition de l'énergie renvoyée par le masque à la forme d'une calotte sphérique. Si la loi de décroissance de la transmission est issue de la relation c'est la répartition de l'énergie après filtrage qui a la forme d'une calotte sphérique, ce qui est tout à fait intéressant pour corriger la myopie ou, inversement, 1 'hypermétropie. Il y a d'autres façon de concevoir des réseaux. La figure 10, par exemple, représente l'allure que peut avoir la zone centrale 52 d'un masque 2 structuré en réseau circulaire a largeur de créneaux 53 constante et à pas 54 variable. A partir d'une structure circulaire, pour aboutir à une répartition d'énergie qui ne soit pas de r spatiale spécifique à un besoin. En particulier, il n'y a aucune raison pour qu'une figure de diffraction exploitable ne puisse pas provenir d'un dessin autre que celui d'un réseau, La figure 1l représente un dispositif qui peut être utilisé pour l'ablation de la cornée lorsqu'il est nécessaire d'ablater une épaisseur de tissus déterminée par le type d'amétropie et la puissance de correction. Pour cela, il suffit de placer sur le trajet du rayonnement d'un laser émettant un faisceau 1 de longueur d'onde adéquate et a proximité d'une lentille focalisatrice 55, un masque tel que 2 réalisé spécifiquement pour ce type de correction d'après le procédé décrit précédemment. La lumière cohérente de faible divergence est focalisée par la lentille 55 et forme dans le trou 47 du filtre 4 l'image de la source. En traversant le masque elle est diffractée, ce qui génère au niveau du filtre 4 la transformée de Fourier du dessin du masque 2. Si on prend l'exemple d'un rayon 56 en limite de champ, il est diffracté par la discontinuité transparente 8 et participe avec un angle solide 57 à la formation de la transformée de Fourier etalée au niveau du masque. La tache centrale de la figure de diffraction, dont la dimension est déterminée par la dimension des discontinuités spatiales présentes dans le masque, est plus petite que le trou. Les taches périphériques, qui contiennent les harmoniques de fréquence non nulle, sont assez éloignées de la tache centrale pour être arrêtées par le fond 46 du filtre 4. En particulier, le cône de lumiere 58 qui contient l'information du fond continu énergétique correspondant à la période du créneau passe par le trou et atteint la lentille 59 alors que les informations sur le dessin du masque, qui existent dans le reste de l'angle solide 57, sont arrêtées. La lentille 59 fait converger vers un point 60 de la cornée 61 l'énergie correspondant a celle qui sort de la zone élémentaire du masque qui entoure la discontinuité 8 sans pour cela former l'image de cette discontinuité. Le rapport entre dose énergétique sortant du masque 2 et dose énergétique arrivant sur la surface d'insolation 7 est inversement proportionnel au carré du grossissement entre le masque 2 et son image 62 : il faut tenir compte de cette particularité du principe de conservation de l'énergie pour définir la répartition de l'énergie à la sortie du masque. Il découle aussi de ce phénomène que, en cas d'utilisation d'un système de transport d'imaye quelconque, la précision de la répartition d'énergie spatiale dans l'image est proportionnelle au carré de l'imprécision de mise au point Quand il s'agit de corriger des amétropies simples comme la myopie ou l'hypermétropie, qui demandent une distribution énergétique en forme de calotte sphérique, un seul masque par amétropie suffit, un pour la myopie de courbure positive, un pour l'hypermétropie de courbure négative car la puissance dioptrique de la correction est donnée par la plus ou moins grande énergie sortant du masque. Concrètement, il s'agit du nombre de tirs effectués par le laser puisque la puissance de chaque tir est limitée par la nécessité de ne pas créer de nécrose dans la cornée. Dans ce schéma (fig.1l) d'exemple de réalisation, la position de la lentille 59 est remarquable en ceci que son foyer objet F est situé dans le trou 47 correspondant à la pupille de sortie du dispositif, et l'ensemble lentille 59 - pupille 47 constituant un objectif télécentrique dans l'espace image projette parallèlement à l'axe X.X les rayons centraux 63 des faisceaux convergents tels que 64, ce qui a pour conséquences que la cornée 61 peut se déplacer axialement sur X.X sans que le manque de mise au point se manifeste par une modification du rapport de grandissement entre masque et image du masque sur l'oeil. En plus, du fait de la grandeur identique de la pupille 47 et de la zone d'énergie nulle qui entoure la tache centrale de la transformée de Fourier, le cône convergent 64 est très pointu et, même avec un défaut de mise au point important la surface de cornée insolée reste pratiquement constante. Dans ce cas particulier d'objectif télécentrique diaphragmé par la tache centrale de la figure de diffraction, on peut remplacer la notion de plan-image par celle d'espace d'utilisation a répartition d'énergie déterminée dans toutes ses sections transversales. I1 est évident que l'exemple de réalisation sus-cité ne limite pas l'invention au domaine de la chirurgie oculaire opérant avec une longueur d'onde de 0,193 pm ceci d'autant plus que la finesse de dessin des masques étant proportionnelle à la longueur d'onde du rayonnement, plus la longueur d'onde sera grande plus les masques seront faciles à réaliser. Les procédés et les dispositifs selon l'invention peuvent être utilisés dans d'autres domaines que celui de la chirurgie. Ils peuvent être utilisés avec des rayonnements de toute longueur d'onde sous réserve que ce rayonnement soit, avec une certaine tolérance, cohérent spatialement. La figure 12 illustre une autre possibilité de réalisation du dispositif dans laquelle : le système focalisateur 3 est constitué par un miroir sphérique 65, le masque 2 est formé d'un dessin 66 tracé sur le traitement réfléchissant dudit miroir sphérique 65, le filtre 4 est un petit miroir 67 placé au foyer du miroir sphérique et le transport d'image est assuré par une courbure de rayon 68 du petit miroir 67. La figure 13 illustre une autre possibilité de réalisation du dispositif dans laquelle : le masque 2 est au foyer d'un miroir elliptique 69, le système focalisateur est le miroir elliptique 69, le filtre est une petite surface partiellement réfléchissante et partiellement transparente 70 entourée d'un fond opaque et absorbant 71 et placée au second foyer du miroir elliptique, deux objectifs 72 et 73 forment l'image du masque respectivement dans les zones images 74 et 75. Un des intérêts de ce modèle est d'être télécentrique dans l'espace objet et dans l'espace image. La figure 14 illustre encore une autre possibilité de réalisation du dispositif dans laquelle : les discontinuités de transmission du masque 76 sont partiellement transparentes et réfléchissantes sur un fond opaque, l'optique focalisatrice 77 est décentrée (elle focalise la partie transmise 78 du rayonnement sur un filtre 79 par simple passage, en direction de l'objectif 80 et de l'espace d'utilisation 81 et elle focalise la partie réfléchie 82 du rayonnement sur un filtre 83 par double passage), le trou 84 du filtre 83 fonctionne comme un sténopé et forme sur un capteur 85 la répartition d'énergie continue réfléchie par le masque. REVENDICATIONS 1- Procédé de répartition spatiale de l'énergie d'un faisceau de rayonnement cohérent caractérisé en ce que - on dispose sur le trajet du faisceau (1) un masque (2) qui comporte des zones transmettant (8) et des zones ne transmettant pas (9) le rayonnement, par transparence, par réflexion ou par réflexion partielle, qui diffracte ledit faisceau et qui renvoie ledit faisceau en engendrant une répartition spatiale déterminée de son énergie - on focalise le faisceau diffracté et renvoyé par ledit mascue dans un plan particulier (33) dit plan de Fourier - à proximité dudit plan de Fourier (33) on sélectionne la tache centrale (41) dudit faisceau diffracté et renvoyé laquelle contient, au moins, l'ordre continu - on forme dans l'espace image la reproduction (62) du masque (2) transmise par la tache centrale (41) sélectionnée. 2- Dispositif pour la mise en oeuvre du procédé spécifie sous la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte - un masque (2) disposé sur le trajet du faisceau (1), comportant des zones transmettant (8) et des zones ne transmettent pas (9) le rayonnement, par transparence, par réflexion ou par réflexion partielle, qui diffracte et renvoie ledit faisceau - un système focalisateur (3), disposé en amont, en aval ou confondu avec ledit masque (2), qui focalise ledit faisceau dans un plan de Fourier (33) - un filtre (4), disposé au voisinage dudit plan de Fourier (33) , qui isole au moins la tache centrale (41) dudit faisceau focalisé - un système de transport d'image (5) qui forme la reproduction (62) du masque (2) sur une ou plusieurs surfaces déterminées. 3- Procédé de réalisation d'un masque (2) engendrant une répartition spatiale déterminée de l'énergie d'un faisceau de rayonnement cohérent, caractérise en ce que - à l'endroit où se trouve le masque (2) on mesure la répartition spatiale d'énergie du faisceau de rayonnement incident - on dessine sur le masque (2) une structure diffractante tenant compte de ladite répartition spatiale d'énergie. 4- Procédé de réalisation d'un masque (2) engendrant une répartition spatiale déterminée de l'énergie d'un faisceau de rayonnement cohérent, caractérisé en ce que - à l'endroit où se trouve le masque (2) on connait la répartition spatiale d'énergie du faisceau de rayonnement incident - on dessine sur le masque (2) une structure diffractante tenant compte de cette connaissance. 5- Masque obtenu par la mise en oeuvre de l'un des procédes spécifies en 3 et 4, caractérisé en ce que la structure diffractante présente une transformée de Fourier que l'on puisse filtrer en isolant l'ordre continu. 6- Masque selon la revendication 5, caractérisé en ce que la structure diffractante ne dessine pas un réseau. 7- Masque selon la revendication 5, caractérise en ce que la structure diffractante est en forme de réseau. 8- Masque selon la revendication 7, caractérisé en ce que le réseau est construit sur une base rectiligne. 9- Masque selon la revendication 7, caractérisé en ce que le réseau est construit sur une base courbe. 10- Masque selon les revendications 8 et 9, caractérisé en ce que le réseau est à pas constant et à largeur de créneaux variable. 11- Masque selon les revendications 8 et 9, caractérise en ce que le réseau est à largeur de traits fixes et à pas variable. 12- Masque selon les revendications 8 et 9, caractérisé en ce que le réseau est à pas variable et a largeur de créneaux variables. 13- Dispositif selon la revendication 2, caractérisé en ce que l'ensemble constitué par le système de transport d'image (5) et son diaphragme forme un objectif télécentrique dans l'espace objet. 14- Dispositif selon la revendication 13, caractérisé en ce que le diaphragme du système de transport d'image est la zone de transmission du filtre (4). 15- Dispositif selon la revendication 2, caractérise en ce que le système de transport d'image est un sténopé.