Brevet FR2719127A1 — publié le 19951027

DETECTEUR DE RAYONNEMENT ET PROCEDE POUR LE FAIRE FONCTIONNER DESCRIPTION Domaine technique L'invention concerne un dispositif pour détecter des rayonnements électromagnétiques, notamment des rayonnements X ou y, ainsi qu'un procédé pour faire fonctionner un tel dispositif. De nombreux types de détecteurs ont été imaginés pour la détection de rayonnements X ou y. Si la nature du milieu détecteur est très variée, solide, liquide ou gazeuse, les principes de détection, pour leur part, sont en général fondés sur les mêmes processus d'ionisation ou d'excitation du milieu détecteur par le passage de particules chargées. L'emploi de détecteurs solides à base de semi- conducteurs a été le principal apport de ces trente dernières années aux techniques de détection du rayonnement X ou y qui utilisent majoritairement les détecteurs à gaz ou à scintillation. Les détecteurs à base de semi-conducteurs réalisent directement la conversion en énergie du rayonnement X ou y dans la matière sans passer par des étapes intermédiaires telle que l'émission de photons visibles dans le cas des scintillateurs. On s'affranchit ainsi des problèmes de couplage synonymes de perte de rendement. L'énergie nécessaire pour créer une paire électron-trou dans un semi- conducteur est beaucoup plus faible que dans un gaz ou dans un scintillateur (environ 4 eV dans les semi-conducteurs contre 30 eV dans les gaz et 300 eV dans le système scintillateur-photomultiiplicateur). En conséquence, le nombre de charges libres créées par photon détecté est plus important, ce qui permet d'obtenir des gains élevés avec un faible bruit. De plus, leur forte densité permet d'utiliser des volumes de détection nettement inférieurs à ceux des gaz ou des scintillateurs tout en conservant la même efficacité quantique. L'ensemble de ces avantages ont permis d'utiliser les détecteurs à base de semi-conducteurs dans les trois domaines d'application suivants: - l'instrumentation scientifique, dès lors qu'il faut détecter des impulsions de rayonnement X/y brèves et en mesurer l'intensité, - la détection nucléaire dont l'objectif est de mesurer l'énergie déposée par un photon issu d'une source de rayonnement nucléaire y, - la détection de rayonnements X dont l'objectif est de réaliser l'image radiologique d'un objet irradié par un générateur à rayons X. Parmi les matériaux semi-conducteurs, le tellurure de cadmium (CdTe) constitue le meilleur choix en égard à ses propriétés électroniques. Cependant, l'invention peut concerner d'autres détecteurs, notamment à base de semi-conducteurs de type IV (Si, Ge,...), II-VI (ZnS,...), III-V (GaAs, InP,...) ou II-VII (HgI2,...), ces détecteurs pouvant être utilisés aussi bien dans le domaine X que dans le domaine des rayons y. Etat de l'art antérieur L'utilisation de ces matériaux semi-conducteurs comme détecteurs de rayonnements X ou y implique le dépôt de deux contacts à la surface du matériau aux bornes desquels une tension de polarisation est appliquée. Le choix de la nature du contact (métal, hétérojonction, MIS) est d'abord dicté par la nécessité de limiter le courant d'obscurité tout en assurant une zone utile de détection suffisante. C'est ainsi qu'une structure diode permet d'optimiser les performances du détecteur sous rayonnement. Mais, de plus, la sensibilité du système contact/semi-conducteur/contact, c'est-à-dire l'effica- cité de la collection des charges déposées dans le volume de détection, doit être stable dans le temps et uniforme sur toute la surface du contact électrique. Or, aujourd'hui, certains semi-conducteurs soumis à un champ électrique continu et établi, présentent une sensibilité qui diminue dans le temps. Cette diminution peut être attribuée à deux effets: - un effet dit de polarisation, bien identifié, et qui consiste en une évolution dans le temps de la répartition spatiale du champ électrique appliqué entre les deux électrodes, - un effet dit de vieillissement sous flux. Il s'agit là d'un effet de volume lié aux propriétés intrinsèques des semi-conducteurs, et qui consiste exactement en une diminution dans le temps du signal détecteur soumis à un rayonnement X ou y. Il a été possible, jusqu'à maintenant, de lutter contre le premier de ces deux effets par un traitement chimique approprié de la surface du semi- conducteur associé à un dépôt métallique particulier. Une structure ainsi traitée est appelée "structure ohmique". Mais ce traitement ne permet pas un fonctionnement optimal du détecteur car il ne correspond pas à la structure diode. Par contre, l'effet de vieillissement sous flux existe malgré toutes les précautions prises pour supprimer l'effet de polarisation. Il est d'ailleurs d'autant plus important que la dose incidente sur le détecteur est élevée. Pour certains semi-conducteurs pour lesquels la cristallogénèse des cristaux n'est pas totalement maîtrisée, cet effet provoque des réponses inhomogènes entre les différents détecteurs issus d'un même lingot. Cet effet est, comme il a été dit plus haut, un effet de volume et ne peut pas être résolu par le traitement de surface utilisé pour lutter contre l'effet de polarisation. L'effet de vieillissement peut être très important et extrêmement nuisible au fonctionnement d'un détecteur à semi- conducteur car, pour un signal à mesurer présentant une amplitude constante, on peut atteindre une diminution de 30% de l'amplitude mesurée après 10 minutes de fonctionnement du détecteur sous tension de polarisation constante, comme illustré par la courbe C1 de la figure 7. En outre, ce type de détecteur, utilisé conformément aux méthodes de l'art antérieur, c'est-à- dire avec une tension de polarisation continue souffre d'un manque de linéarité. Ce problème est décrit dans l'article de E.N. Arkad'eva et al. , paru dans Soviet Physics of Semiconductors (publié par American Institute of Physics), vol. 14, n 4, pp. 424-426 (1980), intitulé "Distribution of local states in the band gap of semi- insulating CdTe:Cl crystals". On pourra aussi se reporter à l'article de N.K. Zelinia et al., publié dans Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, vol. A283, pp. 274-278, 1989, intitulé "A study of CdTe MSM structures". Cependant, aucun de ces deux articles ne propose de remède à ce problème de non-linéarité. Une matrice de détection pour l'imagerie X ou y comportant une pluralité de détecteur individuels similaires à ceux décrits ci- dessus a été décrite dans la demande de brevet français publiée sous le n 2 693 033 et intitulée "Dispositif d'imagerie de rayonnements ionisants". L'effet de vieillissement et les problèmes de non-linéarité exposés dans le cas d'un détecteur unique se manifeste aussi dans le cas de détecteurs en matrice. L'effet de polarisation se manifeste lorsque le détecteur est utilisé dans sa structure idéale, c'est- à-dire la structure diode. De plus, l'homogénéité spatiale des images obtenues avec ce type de détecteur est assez mauvaise, ainsi que le rapport signal sur bruit qui dépend fortement du flux de photons incidents. Les résultats obtenus avec un détecteur pour imagerie X ou y, fonctionnant selon l'art antérieur, sont illustrés sur les figures 9 et 10b. La figure 10b représente une image obtenue en visionnant un fil d'or disposé horizontalement sur un fond uni dans le champ de vision du détecteur. On voit, sur cette figure, une trace du fil (zone désignée par A), l'ensemble de l'image présentant une très mauvaise homogénéité spatiale. Cette image est obtenue après avoir appliqué au détecteur une tension de polarisation continue pendant 65 heures. Quant à la figure 9, la courbe (B/S)1 représente la variation du rapport bruit/signal d'un pixel du même détecteur en fonction du nombre de photons incidents: on voit que ce rapport présente un minimum pour une certaine valeur, mais qu'il évolue considérablement dès qu'on s'éloigne de cet optimum. Les unités portées en abscisse et en ordonnée sur ce graphique sont des unités arbitraires. ! Exposé de l'invention La présente invention a pour objet de remédier à ces problèmes et s'applique en particulier aux A; structures ohmique et diode. Ainsi, elle a pour but de proposer un dispositif de détection et une méthode de fonctionnement d'un tel dispositif détecteur, et permettant simultanément de minimiser l'effet de vieillissement du détecteur, de s'affranchir de l'effet de polarisation, d'améliorer la linéarité et le rapport bruit/signal. En outre, appliquée à un ensemble de détecteurs disposés en matrice pour l'imagerie, la méthode proposée doit permettre d'améliorer l'homogénéité spatiale des images obtenues. Pour cela, l'invention propose un dispositif de mesure d'impulsions de rayonnement électromagnétique comportant un détecteur de rayonnement, des moyens pour établir une tension de polarisation du détecteur de rayonnement, des moyens pour mesurer les signaux délivrés par le détecteur, caractérisé en ce que les moyens pour établir une tension de polarisation sont des moyens générateurs d'impulsions. Les moyens pour mesurer les signaux délivrés par le détecteur peuvent comprendre en outre des moyens pour envoyer des signaux de déclenchement aux moyens générateurs d'impulsions de polarisation. De plus, ce dispositif peut comprendre des moyens pour établir une fenêtre temporelle d'acquisition. En outre, des moyens peuvent être prévus pour synchroniser les moyens pour envoyer des signaux de déclenchement aux moyens générateurs d'impulsions de polarisation avec les moyens pour établir la fenêtre temporelle d'acquisition. De façon alternative, le dispositif peut comprendre des moyens pour synchroniser lés moyens générateurs d'impulsions de polarisation avec les impulsions de rayonnement électromagnétique. Le détecteur peut être un détecteur à semi- conducteur unique ou une matrice de tels détecteurs pour l'imagerie. L'invention concerne également un procédé de fonctionnement d'un tel dispositif, caractérisé en ce que les impulsions de tension de polarisation sont maintenues pendant au moins toute la durée d'au moins une impulsion de rayonnement électromagnétique par les moyens pour établir des impulsions de tension de polarisation. Après impulsion, la tension de polarisation peut être soit ramenée à la masse, soit suivie d'une impulsion de tension de signe opposé. Chaque impulsion de tension peut être maintenue pendant toute la durée d'une impulsion du rayonnement à détecter, le début de l'impulsion de polarisation coïncidant avec le début de l'impulsion de rayonnement. On peut aussi déclencher l'impulsion de polarisation avant le début de l'impulsion de rayonnement. De façon alternative, chaque impulsion de tension peut être maintenue pendant toute la durée d'une fenêtre d'acquisition, le début de chaque impulsion de polarisation coïncidant avec le début de la fenêtre correspondante. On peut aussi déclencher l'impulsion de polarisation avant le début de la fenêtre correspondante. Un tel dispositif et une telle méthode, de mise en oeuvre relativement aisée, permettent d'améliorer de façon sensible les qualités de détection du détecteur. Ainsi: - on obtient une courbe de vieillissement qui est bien meilleure, la linéarité du détecteur (intensité détectée en fonction du nombre de photons incidents) est améliorée, - le rapport signal/bruit est également amélioré et ce rapport est beaucoup moins dépendant du nombre de photons incidents, - si le détecteur est utilisé en matrice pour des applications à l'imagerie, par exemple à l'imagerie X, l'homogénéité spatiale des images obtenues est bien meilleure. Brève description des figures De toute façon, les caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront mieux à la lumière de la description qui va suivre. Cette description porte sur les exemples de réalisation, donnés à titre explicatif et non limitatif, en se référant à des dessins annexés sur lesquels: - la figure la représente un schéma de montage d'un système de détection fonctionnant selon l'invention, - la figure lb représente un générateur d'impulsions haute tension utilisable pour la mise en oeuvre de l'invention, - les figures 2a et 2b (parties A à C) représentent les évolutions temporelles respectives d'impulsions aléatoires de rayonnement à détecter, d'une fenêtre d'acquisition et des impulsions de tension de polarisation, - les figures 3a et 3b (parties A à C) représentent les évolutions temporelles respectives d'impulsions de rayonnement à détecter, d'une fenêtre d'acquisition et des impulsions de tension de polarisation, - la figure 4 (parties A à D) représente les évolutions temporelles respectives d'impulsions de rayonnement à détecter, d'une fenêtre d'acquisition et d'autres impulsions de tension de polarisation, - les figures 5a et 5b représentent un autre schéma de montage d'un système de détection fonctionnant selon l'invention, - les figures 6a et 6b représentent d'autres formes possibles pour l'impulsion de tension de polarisation, - la figure 7 illustre l'évolution dans le temps du signal détecté, à intensité constante du signal incident, - la figure 8 représente, en fonction du nombre de photons incidents, la courbe de réponse d'un détecteur fonctionnant selon un procédé selon l'invention, - la figure 9 représente l'évolution du rapport bruit/signal en fonction du nombre de photons incidents, - les figures 10a et 10b représentent respectivement une image obtenue avec une matrice de détecteurs fonctionnant selon l'invention (figure 10a) et selon l'art antérieur (figure 10b). Exposé détaillé de l'invention Un premier exemple d'un dispositif pour la mise en oeuvre de l'invention est illustré sur la figure la. Sur cette figure, la référence 2 représente une source de rayonnement, ce dernier étant émis de façon impulsionnelle. Ce peut être par exemple une source de rayons X. Le rayonnement X émis peut être pulsé par l'utilisation d'un "chopper" interceptant un faisceau X continu: on obtient ainsi des impulsions X de durée déterminée, (par exemple de l'ordre de la milliseconde) et répétitives (par exemple, à la fréquence 50 Hz). La source de rayonnement peut aussi être une source de rayons y, les impulsions étant émises de façon aléatoire. La référence 4 représente un détecteur du rayonnement émis par la source 2. Dans le cas d'un rayonnement X ou y, ce sera par exemple un capteur semi-conducteur de type IV (Si, Ge, etc...) ou II-VI (CdTe, ZnS, etc...) ou III-V (GaAs, InP, etc...) ou II-VII (HgI2, etc...). Le choix du capteur CdTe constitue cependant un choix privilégié, et notamment en spectrométrie y, du fait de ses caractéristiques: numéro atomique élevé, faible gap, forte résistivité et bonnes propriétés de transport de ses porteurs de charge. Pour utiliser un tel détecteur, il faut lui appliquer une tension de polarisation, par l'intermédiaire de deux contacts électriques 6 et 8. A cette fin, le détecteur est relié à un générateur d'impulsions 10 de haute tension qui peut être un générateur AVETECH (marque déposée) modèle AVR G3C. On peut ainsi engendrer des impulsions de tension jusqu'à 500 V, de largeur temporelle comprise entre 1 us et 20 ms, cette largeur étant fixée par l'utilisateur. Les avantages à utiliser ce type de générateur sont la possibilité d'un réglage fin du niveau d'amplitude de la haute tension, la facilité de mise en oeuvre du fait de la disponibilité de ce type d'appareil dans le commerce et la possibilité de générer des impulsions de tension négatives. Les inconvénients en sont la nécessité de connecter ce type d'appareil sur le secteur, d'o un bruit important, et l'impossibilité de moduler le temps de montée de l'impulsion de tension. De façon alternative, comme illustré sur la figure lb, le générateur d'impulsion haute tension 10 peut être composé d'un générateur 7 d'impulsions basse tension (tension crête de l'ordre de quelques volts), d'une batterie haute tension 9 et d'un translateur d'impulsions 11. Le translateur d'impulsions 11 permet d'amplifier une suite d'impulsions générées par le générateur d'impulsions basse tension pour disposer d'impulsions dont l'amplitude est imposée par la tension de polarisation de la batterie 9. Les connexions 13 et 15 sont reliées respectivement au système d'acquisition 12, et au détecteur 4 par l'intermédiaire du contact 6. Ce type de générateur offre les avantages d'un faible bruit accompagnant la haute tension du fait de l'utilisation de la batterie 9, de la stabilité en amplitude de la H.T. et de la possibilité de moduler la forme de l'impulsion H.T. (front de montée raide ou progressif, etc.). Par contre, on ne peut pas appliquer d'impulsions de tension négatives, on ne peut pas réaliser un réglage fin de l'amplitude de la haute tension, et ce type de dispositif n'existe pas dans le commerce. Un système d'acquisition et d'analyse 12 assure les fonctions usuelles d'une chaîne de détection et comporte à cette fin les moyens connus de l'homme de l'art: amplificateurs, digitaliseur, mémoires, moyens d'affichage, etc. De tels moyens sont décrits par exemple dans l'article "Imagerie digitale en radiographie conventionnelle: situation actuelle et perspective" (H. Pfeiler, Electronica 52, p.2, 1984). Il comprend en outre des moyens programmables 40 pour envoyer vers le générateur 10 des impulsions de déclenchement S1. Ces moyens sont, par exemple, un pré- trigger généré par un calculateur. Lorsqu'une impulsion de déclenchement S1 (figure la) arrive au générateur 10, celui-ci émet une impulsion de tension de polarisation dont la largeur a été choisie et fixée au préalable. Un mode de fonctionnement usuel du système d'acquisition, illustré sur les figures 2a et 2b, est celui o seules sont comptabilisées et analysées par ce système les impulsions 14 de rayonnement issues de la source 2 et détectées pendant un certain intervalle de temps, c'est-à- dire à l'intérieur d'une fenêtre d'acquisition 16 (partie A de la figure 2b) dont la largeur et la ou les fréquences de répétition sont fixées par l'utilisateur. C'est le cas, notamment, lors de la détection de photons y émis de façon aléatoire par la source 2. Pour cela, le système d'acquisition 12 comporte des moyens programmables permettant de générer des signaux marquant le début et la fin de chaque fenêtre d'acquisition 16. Ces moyens sont par exemple un pré- trigger et un calculateur, l'utilisateur pouvant régler la position respective des signaux de début et de fin, leur fréquence, etc. Le système 12 comprend en outre des moyens permettant de ne prendre en compte que les impulsions de rayonnement 14 reçus entre le début et la fin de chaque fenêtre 16, par programmation du pré- trigger avec le calculateur. La fin de chaque impulsion de tension de polarisation peut être synchronisée avec, par exemple, la fin de la fenêtre d'acquisition 16, à l'instant tf, et le début de l'impulsion de polarisation avec, par exemple, le début d'une période d'acquisition 16 du signal, à l'instant td (voir figure 2b, partie A). Pour cela, il suffit de régler les moyens qui envoient les signaux de déclenchement S1 au générateur 10, et la largeur temporelle des impulsions de tension de polarisation que ce générateur émet, de telle façon que le début et la fin de l'impulsion de polarisation coincident respectivement avec le début et la fin d'une fenêtre d'acquisition 16. On peut aussi programmer les moyens du système d'acquisition 12 qui envoient des impulsions de déclenchement S1 au générateur 10, de telle façon que ces impulsions soient envoyées avec une certaine avance temporelle AT par rapport aux signaux marquant le début de chaque fenêtre d'acquisition 16. Ceci permet d'introduire un intervalle de prépolarisation 18, de largeur AT (voir figure 2b, parties B et C). La prépolarisation permet à la tension de polarisation d'atteindre le niveau Vo à appliquer en cours d'acquisition et d'éviter d'avoir à prendre en compte, en cours de la mesure, des parasites dus à des phénomènes transitoires rapides lors de la mise sous tension. De toute façon, dans l'un ou l'autre cas (avec ou sans prépolarisation), la fréquence des impulsions de polarisation est égale à la fréquence des fenêtres d'acquisition 16 et la tension de polarisation Vo est maintenue sensiblement constante à l'intérieur de chaque fenêtre d'acquisition 16. Ce mode de fonctionnement peut être utilisé même lorsque la source 2 émet des événements 24 de façon non aléatoire, mais au contraire régulière à une certaine fréquence (voir figures 3a et 3b, parties A à C); c'est le cas, par exemple, d'une source continue à rayons X utilisée en combinaison avec un "chopper". La durée, l'instant de départ et la fréquence des fenêtres d'acquisition 26 sont encore fixés par l'utilisateur, de même que la largeur des impulsions de tension de polarisation et les instants de déclenchement de ces impulsions. Là encore, la coupure de la tension de polarisation du détecteur peut être synchronisée avec la fin de la fenêtre d'acquisition 26 (figure 3b,parties B et C), à l'instant t'f, et le début de l'impulsion de polarisation avec le début de la fenêtre 26 (à t'd); on peut aussi prévoir un intervalle 28 de prépolarisation, comme illustré sur la figure 3b, parties B et C. Lorsque la source émet régulièrement des impulsions à une certaine fréquence, un second mode de fonctionnement est possible. Selon ce second mode, la fin de chaque impulsion de tension est synchronisée avec la fin de chaque impulsion de rayonnement émis par la source 2. Ce mode de fonctionnement est illustré sur la figure 4, partie A à D. Dans la mesure o les impulsions de rayonnement 34 sont en général brèves (de l'ordre de la milliseconde), il est préférable d'imposer un intervalle de prépolarisation 38 afin que la tension de polarisation soit stabilisée pendant la détection d'une impulsion de rayonnement 34. Pour cela, il est nécessaire d'introduire dans le système de mesure un signal de synchronisation S2 supplémentaire, ainsi qu'illustré sur les figures 5a et b, o les références 2 à 12, 40 et S1 désignent les mêmes éléments que sur la figure 1, et la référence S2 un signal de synchronisation envoyé par la source 2 au système d'acquisition 12. La référence 21 désigne le faisceau de rayon X, interrompu par un "chopper" 17 qui est en rotation à une vitesse constante de façon à engendrer des impulsions 34 (voir figure 3a). Sur le pourtour du "chopper" 17 est fixée une languette 23 qui passe donc périodiquement devant une photodiode 19 et perturbe le signal délivré par cette photodiode. Pour une vitesse de rotation donnée de 17, et donc une certaine fréquence des impulsions 34, on règle la position de la languette 23 de telle façon que le signal S2 soit émis à tout instant choisi par l'utilisateur entre deux impulsions successives. Ce signal S2 est ensuite transmis par le système 12 au générateur 10, par exemple par le pré- trigger 40 programmable, ce qui déclenche l'impulsion de tension de polarisation correspondante. Sous toutes les formes exposées ci-dessus, l'invention permet, du fait de la coupure régulière de la tension de polarisation, de résorber les zones de charge d'espace qui s'accumulent sous l'effet des impulsions de rayonnement. Si la tension de polarisation est maintenue de façon continue, comme selon l'art antérieur, ces charges d'espace, une fois créées, ne peuvent migrer ni être résorbées, mais ont au contraire tendance à s'accumuler. Ces charges d'espace créent ainsi des zones "mortes" dans le volume du détecteur, qui ne peuvent pas contribuer à la détection ultérieure d'autres signaux, ce qui entraîne la dégradation des propriétés du détecteur au cours du temps. Dans les différentes formes de l'invention, exposées ci-dessus, on peut imposer, après coupure de la tension de polarisation Vo une tension non pas égale à 0 V, mais une tension de signe opposé à VO, par exemple égale à -Vo. Ceci est illustré sur la figure 6a, qui représente deux impulsions successives de tension de polarisation. On peut aussi ramener la tension de polarisation à une valeur intermédiaire Vl, comprise entre Vo et O, ainsi qu'illustré sur la figure 6b, qui représente également deux autres impulsions successives de la tension de polarisation. Mais, dans ce dernier cas, l'effet décrit ci-dessus, par lequel les charges d'espace sont résorbées, sera moins efficace. La figure 7 illustre l'évolution dans le temps de la réponse I à un signal incident d'amplitude constante d'un détecteur à semi- conducteur CdTe suivant que lui est appliqué le procédé suivant l'invention (courbe C2) ou suivant l'art antérieur (courbe Cl). L'amplitude I de la réponse portée en ordonnée en unité normalisée est dégradée de 30% après qu'on ait appliqué au détecteur une tension de polarisation continue dans le temps pendant 10 minutes. Par contre, pour un détecteur fonctionnant avec une tension de polarisation en impulsions, appliquée suivant l'une quelconque des méthodes décrites ci- dessus, le signal décroît de 5% en 2 minutes puis est stable dans le temps. La figure 8 montre la linéarité de la réponse d'un détecteur à semi-conducteur CdTe auquel est appliquée une tension de polarisation en impulsions. Les échelles portées en abscisse et en ordonnée sont linéaires et représentent des grandeurs respectivement proportionnelles au nombre de photons incidents n et à l'intensité I du signal obtenue en sortie du détecteur. On voit que la réponse du détecteur est linéaire. Ce résultat est très surprenant car il était, selon des études publiées antérieurement par d'autres auteurs, impossible à obtenir (voir la publication de E.N. Arkad'eva et al., Sov. Phys. Semicond. 14(4), pp. 424/426 (1980), "Distribution of local states in the band gap of semi-insulating CdTe:Cl crystals"). La figure 9 représente l'évolution du rapport bruit/signal (porté en ordonnée en unités arbitraires) en fonction du nombre de photons incidents (en abscisse, unité arbitraire). Les courbes (B/S)1 et (B/S)2 correspondent respectivement à l'utilisation du détecteur selon l'art antérieur (tension de polarisation de 100 V continue) et selon l'invention (tension de polarisation de 100 V appliquée en impulsions suivant l'une quelconque des méthodes décrites ci-dessus). On voit que non seulement le rapport (B/S)2 est toujours inférieur au rapport (B/S)1, mais que de plus il est sensiblement constant sur toute la gamme explorée. Les résultats obtenus ci-dessus (vieillissement, linéarité, rapport B/S) relatifs à un détecteur unique s'appliquent immédiatement au cas d'un détecteur utilisé dans une matrice de détecteurs identiques pour l'imagerie X ou . Mais, de plus, le comportement d'ensemble d'une matrice de tels détecteurs est également amélioré, ainsi qu'illustré sur les figures lOa et 10b. Ces deux figures représentent chacune une image d'un fil d'or de pm de diamètre déposé sur un fond uni horizontalement et en travers du champ de vision du détecteur (imageur bidimensionnel à base de semi- conducteur CdTe). L'ensemble est éclairé par un rayonnement basse énergie (rayons X) en impulsions. L'image de la figure 10b est obtenue avec un détecteur auquel une tension de polarisation de 100 V était appliquée en continu depuis 65 heures. La réponse des pixels est manifestement très inhomogène et on voit à peine une trace (A) correspondant au fil d'or. L'image de la figure 10a est obtenue en appliquant au détecteur des impulsions de tension de polarisation (100 V), le début de chaque impulsion de tension étant synchronisé avec le début de l'acquisition de l'image. L'homogénéité spatiale de la réponse des pixels est bien meilleure, ainsi que le contraste entre le fil et le fond sur lequel il est déposé. Ainsi, un procédé et un dispositif selon l'invention peuvent être mis en oeuvre en combinaison avec un appareil d'imagerie à rayons X, tel que celui décrit dans la demande de brevet français publiée sous le n 2 626 432 et déposée au nom de la demanderesse. Cet appareil permet d'obtenir l'image d'une coupe plane d'un objet. Il comporte notamment une source de rayons X fournissant des impulsions de haute énergie traversant l'objet, un collimateur primaire, au moins une barrette de détecteurs de mesure recevant les impulsions d'énergie atténuée ayant traversé l'objet, un collimateur secondaire et des moyens de traitements et de visualisation reliés aux détecteurs et fournissant l'image de la coupe. Ces moyens de traitements comprennent des circuits amplificateurs- intégrateurs reliés aux détecteurs et à un calculateur commandant la durée d'intégration des impulsions de détection fournies par les détecteurs. Le calculateur corrige la valeur de l'amplitude de chaque impulsion de détection en fonction de la valeur de l'amplitude de l'impulsion suivante, pour tenir compte de la traînée de chaque impulsion, et du courant de fuite de chaque détecteur. REVENDICATIONS 1. Dispositif de mesure d'impulsions de rayonnement électromagnétique comportant un détecteur de rayonnement (4), des moyens (10) pour établir une tension de polarisation du détecteur de rayonnement, des moyens (12) pour mesurer les signaux délivrés par le détecteur (4), caractérisé en ce que les moyens pour établir une tension de polarisation sont des moyens générateurs d'impulsions. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que les moyens (10) pour établir une tension de polarisation comprennent un générateur d'impulsions (7), un translateur d'impulsions (11) et une batterie (9) 3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que les moyens (12) pour mesurer les signaux délivrés par le détecteur (4) comprennent des moyens (40) pour envoyer des signaux de déclenchement (S1) aux moyens générateurs d'impulsions de polarisation. 4. Dispositif selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour établir des fenêtres temporelles d'acquisition (16, 26). 5. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend en outre des moyens pour synchroniser les moyens (40) pour envoyer aux moyens (10) générateurs d'impulsions de polarisation des signaux de déclenchement, avec les moyens pour établir des fenêtres d'acquisition (16, 26). 6. Dispositif selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend des moyens (19, 17, 23) pour synchroniser les moyens (10) générateurs d'impulsions de polarisation avec les impulsions de rayonnement électromagnétique. 7. Dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le détecteur comprend un détecteur à semi-conducteur. 8. Dispositif selon la revendication 7, caractérisé en ce que le détecteur est une matrice de détecteurs pour l'imagerie. 9. Procédé de fonctionnement d'un dispositif selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que les impulsions de tension de polarisation sont maintenues pendant au moins toute la durée d'au moins une impulsion de rayonnement électromagnétique (14, 24, 34) par les moyens (10) pour établir des impulsions de tension de polarisation. 10. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que la tension de polarisation est, après impulsion, ramenée à la masse. 11. Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'une impulsion de tension de polarisation est suivie d'une impulsion de tension de signe oppose. 12. Procédé de fonctionnement d'un dispositif selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que chaque impulsion de tension de polarisation est maintenue pendant toute la durée d'une impulsion de rayonnement électromagnétique (34), le début de chaque impulsion de polarisation coïncidant avec le début de l'impulsion de rayonnement (34) correspondante. 13. Procédé de fonctionnement d'un dispositif selon l'une des revendications 6 à 8, caractérisé en ce que chaque impulsion de tension de polarisation est maintenue pendant toute la durée d'une impulsion de rayonnement électromagnétique (34), chaque impulsion de polarisation étant déclenchée avant le début de l'impulsion de rayonnement (34) correspondante. 14. Procédé de fonctionnement d'un dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que chaque impulsion de tension de polarisation est maintenue pendant toute la durée d'une fenêtre d'acquisition (16, 26), le début de chaque impulsion de polarisation coincidant avec le début de la fenêtre d'acquisition (16, 26) correspondante. 15. Procédé de fonctionnement d'un dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que chaque impulsion de tension de polarisation est maintenue pendant toute la durée d'une fenêtre d'acquisition (16, 26), chaque impulsion de polarisation étant déclenchée avent le début de la fenêtre d'acquisition (16, 26) correspondante.