Brevet FR2718289A1 — publié le 19951006

&1 CELLULE MÉMOIRE ÉLECORIQUEMENT PROGRAMMABLE La présente invention concerne le domanaine des mémoires en circuit intégré et plus particulièrement une cellule de mémoire morte électriquement programmable (couramment désigrnée par le sigle EPROM - Electrically programable Read-Only Memory) 5 et électriquement effaçable (EEPROM). Les figures 1A à 1D sont des vues en coupe schématique de divers types de oellules mémoire connues. La figure 1A représente une cellule EPROM ayant l'al- lure générale d'un transistor MOS dans lequel une grille flot- tante est intercalée entre la grille de commande et le subs- trat. Cette cellule comprend dans un substrat 1 de type P des régions de source et de drain 2 et 3 de type N ayant par exemple l'allure représentée dite LDD, c'est-à-dire que l'on trouve de part et d'autre de la région de canal située sous la grille une15 région de type N plus faiblement dopée. La région de canal est surmontée d'une première grille isolée dite grille flottante GF elle-même surmontée d'une seconde grille isolée dite grille de cammande GC. Classiquement, la souroe et le substrat sont au potentiel de la masse. Pour la programmation d'une telle cellule, la grille de commandle et le drain sont portés à des potentiels positifs, par exemple respectivement 12 volts et 6 volts. Il en résulte la formation d'une zone de canal inversée sous la grille et une5 circulation d'électrons de la source au drain. Une barrière de potentiel apparait au voisinage de la région de drain et le courant d'électrons dans cette région crée oe qu'il est convenu d'appeler des électrons chauds qui sont injectés dans la grille flottante qui se trouve alors être chargée rnégativement.10 Ensuite, quand on cherche à faire passer du courant dans le transistor MDS ayant pour grille la grille de cammande GC, selon que la grille flottante GF a été chargée négativement ou non, il faudra appliquer une tension de grille plus ou moins élevée pour rendre le transistor passant. L'état d'une cellule peut être déterminé au cours d'une opération de lecture en appliquant une tension de grille telle que les cellules non- programmées soient passantes et les cellules programmées restent bloquées. En d'autres termes, par l'opération de programmation susmentionnée, on a modifié la "tension de seuil" du transistor. La cellule décrite ci-dessus en relation avec la figure 1A est normalement effacée par irradiation par des rayons ultraviolets. Alors, les électrons acquièrent une énergie suffisante pour surmonter la barrière de l'oxyde et ainsi les électrons stockés dans cette grille flottante sont éliminés. Diverses variantes de cette cellule EPRCM ont été imaginées. Certaines de ces variantes sont illustrées en figures lB à 1D. La figure lB diffère de la figure 1A par le dopage de la région de source. Ce dopage est progressif de façon que la j onction souroe-substrat puisse supporter une tension relative- ment élevée. Cette oellule est effaçable électriquement en appliquant une tension élevée à la source tandis que la grille de commande est à la masse et que le drain est flottant. Un inconvénient de ce mode d'effacement est que, si la durée d'effacement est trop longue, on peut arriver à créer un déficit d'électrons dans la grille flottante qui se trouve alors chargée positivement au lieu de revenir à un état neutre. Le canal peut alors être perpétuellement passant et, lors d'une lecture, on ne sait plus identifier la cellule qui conduit. Divers circuits ont été imagirnés pour pallier cet inconvénient. La figure 1C illustre un moyen structurel pour éviter 1 'inconvénient susmentionné. La grille flottante GF couvre alors seulement une partie de la longueur de canal ce qui fait que, même si elle demeure légèrement chargée positivement, il restera une région de canal bloquée, mais cette structure entraîne une augmentation de surface de cellule. La figure 1D représente une autre variante décrite dans un article de Mizutani et Makita paru dans IEEE Transac- tions on Electron Devices, vol. ED-34, N 6, juin 1987, pp 1297- 1303. Dans cette structure, la grille flottante recouvre une partie seulement de la zone de canal et n'est pas surmontée par la grille de commande. L'article susmentionné décrit une réali- sation de cette grille flottante à partir d'un espaceur en sili- cium polycristallin formé sur un c6té de la grille de commande. Les figures 1A à 1D ci-dessus sont extrnêmement schéma- tiques et les dispositifs existants présentent de ncnbreuses variantes par rapport à ce qui a été décrit, notamment en ce qui concerne l'allure des régions de source et de drain, de type LDD ou non, de type à gradient de dopage (caomne cela est représenté en figure lB) ou non, et en ce qui concerne les onnexions. En particulier, dans les figures, on a représenté au-dessus de chaque région de source et de drain une métallisation de source et une métallisation de drain. De façon classique, dans un réseau de mémoire, les diverses cellules mémoire ont une source commune. Il n'y aura donc pas de métallisation de source sur chaque cellule. Si on considère de façon générale le fonctionnement des cellules mémoire décrites précédemment, un point commun entre toutes oes cellules est qu'elles comportent une grille flottante qui recouvre totalement ou partiellement la région de 5 canal et dont 1 'état de charge résultant d'une étape de program- mation influe sur la tension de seuil du transistor MOS dans lequel cette grille flottante est incorporée. Ces cellules présentent toutes les inconvénients suivants. 1. A chaque opération de lecture, il se produit irnévi- tablement une création de porteurs chauds dans le canal, au voisinage du drain, et une injection parasite de porteurs (élec- trons) dans la grille. Il en résulte une accumulation de charge dans les grilles flottantes et les cellules non-programmées se mettent, après un certain nombre d'opérations de lecture, à15 ressembler à des cellules programmées. En d'autres termes, les tensions de seuil des cellules programmées et non-programmées se rapprochent et deviennent plus difficiles à différencier. 2. L'opération de programmation nécessite le passage d'un courant relativement important entre source et drain sous, par exemple, une tension de 12 volts. Dans les circuits intégrés classiques, on connait des moyens pour fournir à partir d'une tension d'alimentation basse, par exemple 3 ou 5 volts, une tension plus élevée, de l'ordre de 12 volts. Ces systèmes sont des systèmes dits à pompe de charge. Toutefois, ils présentent l'inconvénient d'avoir des impédances de sortie élevées et donc de ne pas se prêter à la circulation de courants importants. Il est donc généralement nécessaire de prévoir, pour la program- mation, une source de tension haute externe au circuit intégré. 3. Les operations de programmation et d'effacement sont des opérations par tout ou rien. Ces cellules ne se prêtent donc pas à la mémorisation de valeurs analogiques. D'autres inconvénients sont plus particulièrement liés aux cellules mémoire effaçables électriquement, c'est-à-dire présentant une région de source à profil de diffusion spécifique telle qu'illustrée en figure lB. Ces inconvénients sont les suivants. 4. Etant donné le type de formation des régions de source, et éventuellement de drain, la profondeur de diffusion des atomes dopants de la source sous la grille est mal ontrôlée et donc la longueur efficace de la région de canal est variable, ce qui réagit sur la tension de seuil. 5. L'injection de porteurs chauds dans la grille pendant l'opération d'effacement sous des tensions élevées risque de détériorer l'oxyde de grille. Ces cellules sont donc fragiles. 6. Commne on l'a indiqué précédemment, on a un risque d'inversion de la polarité de grille flottante ce qui oblige à prendre des précautions particulières si l'on ne veut pas que la cellule soit en permanence conductrice. Un objet de la présente invention est de prévoir une cellule mémoire évitant tous les inconvénients susmentionrnés des cellules classiques, y compris des cellules effaçables électri- quement. Un autre objet de la présente invention est de prévoir une telle cellule dont la surface ne soit pas plus grande que celle d'une cellule mémoire classique. Un autre objet de la présente invention est de prévoir une telle cellule qui ne soit pas plus complexe à fabriquer qu'une cellule mémoire classique. Pour atteindre ces objets, la présente invention pré- voit un nouveau type de cellule mémoire à grille flottante, dans laquelle le phénomène de mémorisation ne repose plus sur une modulation de la tension de seuil d'un transistor MOS mais sur une modulation de la résistance de drain de ce transistor MOS. Plus particulièrement, la présente invention prévoit une cellule mémoire électriquement programmable comprenant au- dessus d'une région de canal d'un premier type de conductivité une grille de commande isolée et, de part et d'autre, des régions de source et de drain du deuxième type de conductivité, au moins la région de drain comprenant, au voisinage du canal, une zone à faible niveau de dopage. Cette zone à faible niveau de dopage est au moins en partie surmontée d'une grille flot- 5 tante isolée. Cette grille flottante isolée peut aussi surmonter une extension de la région de source ou encore entourer complètement la grille de commande. Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'isolant sous la grille flottante est de l'oxyde de silicium d'une épaisseur comprise entre 8 et 12 nm, par exemple voisine de 10 nm. Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'isolant de la grille de caommande est de l'oxyde de silicium d'une épaisseur voisine de 20 nm. Un procédé de programmation d'une cellule mémoire selon l 'invention consiste à connecter drain, source et substrat à la masse et à appliquer une impulsion de tension à la grille de commande, positive quand le substrat est de type P. Un procédé d'effacement d'une cellule mémoire selon 1 'invention consiste à connecter drain, source et substrat à la masse et à appliquer une impulsion de tension à la grille de comnmande, négative quand le substrat est de type P. Un variante de procédé d'effacement d'une cellule mémoire selon 1 'invention consiste à connecter la grille de com- mande et le substrat à la masse et à appliquer une impulsion de tension au drain et à la source, positive quand le substrat est de type P. Un procédé de fabrication d'une cellule mémoire élec- triquement programmable selon l'invention comprend les étapes consistant à délimiter sur un substrat conducteur une région active, recouvrir cette région active d'un oxyde de grille et délimiter une région de grille sensiblement au centre de ladite région active, éliminer l'oxyde de grille partout sauf sous la région de grille, former un oxyde mince sur le substrat et sur et autour de la grille, implanter un dopant du deuxième type de conductivité à faible niveau de dopage, former des espaceurs en matériau conducteur de part et d'autre de la grille, et implan-5 ter un dopant de souroe et de drain du deuxinème type de oenduc- tivité à fort niveau de dopage. Selon un mode de réalisation de la présente invention, ce procédé comprend en outre l'étape consistant à éliminer un espaceur d'un côté de la grille.10 Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'étape d'implantation d'un dopant à faible niveau de dopage précède ou suit l'étape d'enlèvement de l'oxyde de grille et l 'étape de formation de l'oxyde mince. Selon un mode de réalisation de la présente invention, la grille de commande et les espaceurs sont en silicium poly- cristallin dopé. Selon un mode de réalisation de la présente invention, l'oxyde mince est formé par oxydation thermique jusqu'à une épaisseur comprise entre 8 et 12 nm. Ces objets, caractéristiques et avantages ainsi que d'autres de la présente invention seront exposes en détail dans la description suivante de modes de réalisation particuliers faite, à titre non-limitatif, en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures 1A à 1D illustrent très schématiquement divers types de cellules mémoire électriquement programmables et éventuellement électriquement effaçables selon l'art antérieur; la figure 2 représente très schématiquement une cel- lule mémoire selon la présente invention; les figures 3A à 3D illustrent à titre d'exemple un mode de réalisation de procédé de fabrication d'une cellule mémoire selon la présente invention; et la figure 4 représente à titre d'exemple une vue de dessus d'un mode de réalisation d'un réseau de cellules mémoire selon la présente invention. Canome le représente la figure 2, une cellule mémoire selon la présente invention a une structure similaire à celle d'un transistor MOS de type LDD, c'est-à-dire un transistor MOS constitué à partir d'un substrat semiconducteur 11 d'un premier type de conductivité, par exemple le type P. muni de régions de source et de drain 12 et 13 et d'une grille de caommande isolée GC. Au moins la région de drain comprend une portion 14, proche du canal du transistor MDS, à plus faible niveau de dopage. Au moins une partie de cette région de drain 14 à plus faible niveau de dopage est revêtue d'une grille flottante GF. Dans la représentation de la figure 2, la région de source 12 comprend aussi une portion à plus faible niveau de dopage proche de la région de canal mais, comme on le verra ci-après, ceci n'est pas nécessaire au fonctionnement du dispo- sitif selon la présente invention et résulte simplement d'un procédé de fabrication particulier. De même, en figure 2, on a représenté des métallisations de source et de drain mais, comne on l'a indiqué précédemment, il n'existe généralement pas de métallisation de source pour chaque cellule d'un réseau de mémoire. On notera une différence fondamentale entre la struc- ture selon l'invention de la figure 2 et la structure selon l'art antérieur de la figure 1D, à savoir que, selon la présente invention, la grille flottante est formée au-dessus d'une partie de la région de drain tandis que, dans la structure de l'art antérieur, la grille flottante est formée au-dessus d'une partie de la région de canal. Il en résulte une différence radicale de fonctionne- ment entre la cellule mémoire selon 1 'invention et les cellules selon l'art antérieur. D'abord, on comprendra que la charge ou la non-charge de la grille flottante aura oette fois-ci une action sur la résistance de drain et non plus sur la tension de seuil du transistor MOS associé à la grille de commande. D'autre part, les phénomènes physiques liés au processus d'écriture (programmation) selon l'invention sont radicalement différents de ceux des cellules de 1 'art antérieur. Dans 1' art antérieur, caome on 1' a vu précédenmnent, la programmation, c'est-à-dire l'injection d'électrons dans la grille flottante, résulte de la création de porteurs chauds dans la partie du canal voisine du drain. Ici, l'injection d'élec- trons dans la grille flottante résulte d'un effet tunnel (FowlerNordheim). Plus particulièrement, pour la programmation d'une cellule selon la présente invention, on met à la masse le drain, la source et le substrat, et une impulsion de tension est appliquée à la grille de commande GC, par exemple sous un poten- tiel de l'ordre de 10 à 12 volts. L'excès d'électrons généré dans le substrat sous la grille de commandle passera par la zone d'extension de drain 14 et à travers la couche d'oxyde tunnel vers la grille flottante. On notera que oe processus n'implique pas de circulation de courant. Il convient bien entendu que l'épaisseur de l'isolant, généralement de l'oxyde de silicium, sous la grille flottante soit suffisamment faible pour que le transfert d'électrons du substrat à la grille par effet tunnel puisse se produire. En pratique, ceci conduit à des épaisseurs d'oxyde situées dans la plage de 8 à 12 nm, typiquement 10 nm. Ces épaisseurs très faibles sont utilisables sans inconvénient dans la cellule selon la présente invention puisque cet oxyde tunnel n'est en aucun cas soumis à un bomanbardement de porteurs chauds. Symétriquement, l'opération d'effacement s'effectuera en maintenant le drain, la source et le substrat à la masse et en appliquant à la grille de commande une impulsion négative, par exemple sous un potentiel de l'ordre à -8 à -12 volts. A titre de variante, on pourra mettre le substrat et la grille de canommande à la masse et appliquer une impulsion positive à la source et au drain. La lecture se fera en appliquant un potentiel sur le drain et un potentiel sur la grille de commande pour rendre le canal passant et l'on pourra ainsi observer, pour des tensions données, des valeurs de courant liées au potentiel de la grille flottante qui détermine la valeur de la résistance de drain ou au moins de la partie 14 de la région de drain située sous la grille flottante. Dans oe qui précède, on a proposé une cellule mémoire à grille flottante située au-dessus d'une extension de la région de drain. L'homme de métier notera que cette grille flottante peut aussi s'étendre au-dessus d'une extension de la région de source ou plus généralement entourer complètement la grille de commande. La cellule mémoire à grille flottante selon l'inven- tion a une surface qui n'est pas supérieure à celle d'un tran- sistor MOS ou d'une cellule EPROM classique et pallie tous les inconvénients susmentionnés de 1' art antérieur. 1. Au cours de la lecture, si une génération d'élec- trons chauds se produit dans la région du canal voisine de la région de drain, ces électrons seront transférés vers la grille de commande et non pas vers la grille flottante et ne modifie- ront donc pas l'état de charge ou de décharge de oette grille flottante. 2. Les processus de programmation et d'effacement de la grille flottante impliquent conmme dans l'art antérieur l'uti- lisation de tensions plus élevées que les tensions habituelles de fonctionnement, c'est-à-dire les tensions de 10 à 12 volts pour des tensions de fonctionnement (lecture) qui sont par exemple de 1,8 ou 3,3 volts, mais pratiquement pas de circula- tion de courant. Il est donc possible d'utiliser un circuit intégré comprenant une seule source d'alimentation associée, à 1 'intérieur du circuit intégré, à des systèmes à pompe de charge qui n'auront pas à fournir de courant important. 3. Les phénomènes mis en oeuvre pour la programmation et l'effacement de la grille flottante sont des phénomeènes essentiellement proportionnels à l'amplitude et à la durée de l'impulsion de tension appliquée sur la grille de commalnde. Il est donc possible de procéder à une programmation sélective qui entraînera une variation de résistance sélectionnére à l'inté- rieur d'une plage déterminée. La présente invention se prête donc à une mémorisation de valeurs analogiques. 5 4. La définition de la longueur électrique sous le canal est aussi bonne que pour tout transistor MOS classique. 5. Pendant l'effacement, on ne produira pas de por- teurs chauds sous la grille flottante. Il n'y a dornc pas de risque de détérioration de l'oxyde tunnel (par ailleurs, l'oxyde sous la grille de commande sera généralement plus épais et ne risque pas non plus d'être endommagé). 6. L'existence d'une charge sur la grille flottante ne modifie pas la conductivité du canal et n'entraîne donc pas le risque d'avoir un transistor en permanerne à 1'état passant.15 On va en outre montrer qu'un autre avantage de la cel- lule mémoire selon la présente invention est qu'elle est parfai- tement compatible avec les procédés classiques de fabrication de transistors MOS et que sa fabrication n'est pas plus complexe, sinon plus simple, que celle d'une cellule mémoire à grilles superposées. Un exemple d'une séquence possible d'étapes de fabri- cation sera décrit rapidement car ces étapes, prises isolément, sont relativement classiques, ne constituent qu'un mode de réa- lisation possible d'une structure selon la présente invention, et ont été partiellement décrites dans 1' article susmentionné de Mizutani et Makita. La figure 3A représente une structure à une étape intermédiaire classique de fabrication de transistor MOS. Sur un substrat 21 de type P est délimitée une zone active par une région d'oxyde épais 22. Cette région active est revêtue d'une couche d'oxyde mince 23, généralement formée par oxydation ther- mique, qui servira d'oxyde de grille de commandle. Cet oxyde de grille est revêtu d'une région de grille 24 généralement formnée par dépôt et gravure d'une couche de silicium polycristallin dopé de type N+. Conmme le représente la figure 3B, on élimine ensuite l 'oxyde 23 par gravure et on réoxyde l'ensemble de la structure par oxydation thermique jusqu'à obtenir un oxyde 25 de l'épais- seur voulue pour la formation de l'oxyde tunnel situé sous la 5 grille flottante. Lors de 1 'une des étapes comprises entre celles illus- trées en figures 3A et 3B, on procède à une implantation d'un dopant de type N, couramment du phosphore, pour former des régions de source et de drain faiblement dopées 26 et 27.10 Ensuite, commne le représente la figure 3C, on forme par tout procédé connu des espaceurs en un matériau o"nducteur, couramment en silicium polycristallin dopé de type N+, pour for- mer des espaceurs 28 et 29 de part et d'autre de la grille de canommande 24. Ces espaceurs sont isolés de la grille de commarde15 et du substrat par la couche d'oxyde mince 25. Une fois les espaceurs formés, on procède à une deuxième implantation ionique à plus fort niveau de dopage pour former des régions de source et de drain 30 et 31, plus fortement dopées que les régions 26 et 27, comme cela est classique lors de la formation de transis- tors MOS de type LDD. Enfin, si on le souhaite, on élimine, cornmme le repré- sente la figure 3D, l'espaceur 29 situé du côté source par mas- quage et gravure sélective du matériau conducteur constituant cet espaceur (par exemple du silicium polycristallin) par rap- port à l'oxyde de silicium constituant la couche 25 et l'oxyde épais 22. On procédera ensuite aux étapes finales classiques d'ouverture de contacts au-dessus de la région de drain 31, de formation de métallisation ou de siliciure pour ces contacts, puis aux opérations finales d'interconnexion et d'isolement. La figure 3D représente donc bien une structure de cellule mémoire remplissant les fonctions de celle de la figure 2. Les régions 30 et 26 correspondent à la région 12 de source, la région 31 correspond à la région de drain 13, la région 27 correspond à la région 14 d'extension de drain sous la grille flottante, l'espaceur 28 correspond à la grille flottante GF, et la région 24 correspond à la grille de commande GC. Le procédé illustré en figures 3A à 3D ne constitue qu'un exemple de procédé utilisable pour la réalisation d'un dispositif selon la présente invention et de plus, oe procédé est susceptible de nombreuses variantes couramment mises en oeuvre pour la fabrication de transistors MOS. De préférenoe, dans le cas o le substrat a un niveau de dopage de l'ordre de 5.1016 à 5.1017 atomes/cm3, le niveau de dopage des régions faiblement dopées 26 et 27 est de l'ordre de 5.1017 à 1018 atomes/cm3, l'épaisseur de l'oxyde tunnel 25 est de l'ordre de 8 à 12 n, typiquement 10 nm, l'épaisseur de l'oxyde 23 sous la grille de commande est typiquement de 20 nm (environ deux fois l'épaisseur de l'isolant sous la grille flot- tante). Les inventeurs ont constaté par simulation qu'avec une cellule de ce type, pour une tension de grille de lecture donnée, par exemple 3 V, on obtient un rapport supérieur à 2 entre le courant dans les cellules programmées et le courant dans les cellules non-programmées. Ceci est meilleur que pour la plupart des cellules classiques pour lesquelles ce rapport dépasse rarement 1,5. La figure 4 représente un exemple de vue de dessus d'une partie d'un assemblage matriciel de cellules mémoire selon la présente invention. Dans cette figure, on a indiqué par de mêmes référenoes des régions correspondant à celles de la figure 3D. Ainsi, chaque cellule mémoire a un drain 31 muni d'un contact de drain 32, une grille flottante 28, une grille de commaande 24 et une source 26-30. Ces cellules se répètent dans le sens transversal de la figure et sont dupliquées par symétrie autour d'un axe horizontal 34. La grille de commande 24 est commune à toutes les cellules d'une même rangée et la source 30 est commune à toutes les cellules de deux rangées adjacentes situées de part et d'autre de l'axe de symétrie 34. A nouveau, de nombreuses variantes de conception d'un réseau de cellules mémoire selon 1' invention pourront être réalisées par l'homme de l'art. REVENDICATIONS 1. Cellule mémoire électriquement programmable compre- nant au-dessus d'une région de canal (11) d'un premier type de conductivité une grille de commande isolée (GC) et, de part et d'autre, des régions de source (12) et de drain (13) du deuxièmne 5 type de conductivité, au moins la région de drain comprenant, au voisinage du canal, une zone (14) à faible niveau de dopage, caractérisée en ce que ladite zone (14) à faible niveau de dopage est au moins en partie surmontée d'une grille flottante isolée (GF).10 2. Cellule mémoire selon la revendication 1, la région de source comprenant aussi, au voisinage du canal, une zone (26) à faible niveau de dopage, caractérisée en ce que ladite zone (26) à faible niveau de dopage est aussi au moins en partie surmontée d'une grille flottante isolée (GF). 3. Cellule nmmoire selon la revendication 2, caracté- risée en ce que ladite grille flottante isolée (GF) entoure complètement la grille de caommande. 4. Cellule mémoire selon l'une quelconque des revendi- cations 1 à 3, caractérisée en ce que l'isolant sous la grille flottante est de l'oxyde de silicium d'une épaisseur comprise entre 8 et 12 nm. 5. Cellule mémoire selon la revendication 4, caracté- risée en ce que ladite épaisseur est voisine de 10 nm. 6. Cellule mémoire selon l'une quelconque des revendi- cations 1 à 5, caractérisée en ce que l'isolant de la grille de commande est de l'oxyde de silicium d'une épaisseur voisine de nm. 7. Procédé de programmation d'une cellule mémoire selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il consiste à connecter drain, source et substrat à la masse et à appliquer une impulsion de tension à la grille de canmande, positive quand le substrat est de type P. 8. Procédé d'effaoement d'une oellule mémoire selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il consiste à connecter drain, source et substrat à la masse et à appliquer une impulsion de tension à la grille de commande, négative quand le substrat est de type P. 9. Procédé d'effacement d'une oellule mémoire selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, caractérisé en ce qu'il consiste à connecter la grille de commande et le substrat à la masse et à appliquer une impulsion de tension au drain et à la source, positive quand le substrat est de type P. 10. Procédé de fabrication d'une cellule memoire élec- triquement programmable, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: délimiter sur un substrat semiconducteur (21) une région active, recouvrir cette région active d'un oxyde de grille (23) et délimiter une région de grille (24) sensiblement au centre de ladite région active, éliminer l'oxyde de grille (23) partout sauf sous la région de grille (24), former un oxyde mince (25) sur le substrat et sur et autour de la grille (24), implanter un dopant du deuxième type de conductivité à faible niveau de dopage, former des espaceurs (28, 29) en matériau conducteur de part et d'autre de la grille, et implanter un dopant de source et de drain du deuxième type de conductivité à fort niveau de dopage. 11. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'il comprend en outre l'étape consistant à éliminer un espaceur d'un côté de la grille. 12. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'étape d'implantation d'un dopant à faible niveau de dopage précède ou suit l'étape d'enlèvement de l'oxyde de grille et 1' étape de formation de 1' oxyde mirnce. 13. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que la grille de caommande et les espaceurs sont en silicium polycristallin dopé. 14. Procédé selon la revendication 10, caractérisé en ce que l'oxyde minoe (25) est formé par oxydation thermique jusqu'à une épaisseur comprise entre 8 et 12 nm.