Brevet FR2713300A1 — publié le 19950609

La présente invention se rapporte d'une manière générale au domaine de l'écoulement de fluide et à un appareil de commande et de régulation de cet écoulement. Plus précisément cependant, l'invention traite, dans une forme de réalisation spécifique, de la technologie de commande et de régulation d'écoulement de liquides corrosifs, tels que différents acides, bases et solvants, et d'eau désionisée. Une forme de réalisation préférée selon l'invention utilise une soupape de dosage renfermant un tube ayant un orifice en forme de fente afin d'obtenir une résolution et une reproductibilité de réponse d'écoulement linéaire améliorées. La régulation et le dosage d'un écoulement de fluide constituent une étape essentielle réalisée dans l'industrie. Par exemple, différents produits caustiques et acides corrosifs sont utilisés lors de la fabrication de différents circuits intégrés. Il peut être particulièrement important de connaître les quantités des différents réactifs transférés, et par conséquent la mesure et la commande avec précision du débit peuvent être critiques pour la qualité d'un produit fini. Afin de commander correctement le dosage d'un fluide particulier, un débitmètre doit être sensible aux réglages manuels de débit. Les réglages de débit sont généralement réalisés en modifiant le pourcentage d'ouverture ou l'ouverture incrémentielle d'un élément de soupape. Il est préférable que le débit réponde d'une manière linéaire prévisible et reproductible lorsque la soupape de réglage manuel de l'écoulement est actionnée sur toute la plage d'écoulement devant être mesurée par le débitmètre. Il est souhaitable d'avoir une commande sur des changements d'écoulement extrêmement faibles pour la commande de processus et le rendement. Il est préférable que, pour chaque ouverture incrémentielle de la soupape manuelle commandant l'écoulement de fluide, il y ait une réponse linéaire proportionnelle au débit sur toute la plage du débitmètre. Ainsi, une rotation complète du volant de soupape doit donner approximativement le même changement de débit, qu'un tel tour complet se produise aux faibles débits ou aux débits élevés sur la plage de conception du débitmètre. De manière additionnelle, du fait de la nature des produits chimiques qui sont utilisés dans l'industrie, l'appareil de commande et de mesure de l'écoulement de ces produits chimiques doit être insensible à la déformation et à la détérioration qui peuvent se produire lorsque les produits chimiques sous pression viennent en contact avec les composants de ces systèmes. Les risques inhérents à un système qui n'est pas insensible à la détérioration sont évidents. Par conséquent, la nécessité d'un dispositif de commande et de mesure d'écoulement qui donne des performances d'écoulement linéaire prévisibles et reproductibles existe. Le débitmètre doit être conçu afin de donner une réponse proportionnelle égale de l'écoulement à un changement égal de la position de la soupape de commande manuelle de l'écoulement. Cette réponse ou ce changement linéaire égal du débit doit être maintenu sur toute la plage de débits du débitmètre. Le débitmètre doit en outre être conçu de façon à supporter des environnements corrosifs et caustiques. La présente invention concerne ces besoins ainsi que d'autres problèmes associés aux dispositifs de commande et de mesure d'écoulement existants. La présente invention offre d'autres avantages par rapport à l'état de- la technique et résout des problèmes qui y sont associés. La présente invention est un dispositif de commande et de mesure d'écoulement qui comprend un tube de dosage ayant un passage formé axialement à travers le corps de celui-ci. Une extrémité du passage peut fonctionner en tant qu'ouverture d'évacuation du dispositif de mesure, le fluide qui est passé à travers le dispositif de mesure sortant par cette ouverture. Le tube de dosage est pourvu d'un orifice en forme de fente coupant le passage entre ses extrémités axiales. L'invention comporte en outre un tube de mesure ou un conduit qui a un alésage formé axialement à travers celui-ci. L'alésage de tube de mesure ou l'alésage de conduit est en communication de fluide avec le passage dans le tube de dosage par l'intermédiaire de l'orifice, lorsque l'orifice n'est pas obstrué. Le conduit comprend des moyens destinés à mesurer un écoulement volumétrique de fluide à travers le dispositif de commande et de mesure d'écoulement. L'alésage dans le tube de mesure renferme un élément sensible à l'écoulement qui est disposé pour un mouvement axial le long de celui-ci. L'élément sensible à l'écoulement est rappelé vers une position à l'écart de l'intersection du tube de mesure et du tube de dosage. La taille et la relation spatiale de l'élément sont telles, par rapport à l'alésage, que, lorsque l'élément s'approche d'une extrémité de l'alésage à proximité de l'orifice, un volume croissant de fluide peut passer à travers un espace annulaire entre l'élément sensible à l'écoulement et la paroi définissant l'alésage. Un élément de soupape est disposé dans le passage pour un positionnement axial sélectif le long de celui-ci et en travers de l'orifice. L'écoulement de fluide à travers le dispositif de mesure est ainsi régulé en ajustant le positionnement de l'élément de soupape qui fonctionne ainsi en tant que dispositif de commande d'écoulement. Lorsque l'élément de soupape est ajusté afin d'agrandir ou diminuer la taille de la partie de l'orifice à travers lequel l'écoulement est possible, l'emplacement de l'élément sensible à l'écoulement le long de l'alésage varie. Lorsque l'élément de soupape est positionné afin de permettre un écoulement de fluide accru à travers l'orifice, l'élément sensible à l'écoulement est poussé par l'écoulement de fluide vers une extrémité de l'alésage proche de l'orifice en donnant une mesure relative de l'écoulement. Des moyens sont en outre prévus pour vérifier le niveau d'écoulement volumétrique du fluide à travers le débitmètre en fonction de l'emplacement axial de l'élément sensible à l'écoulement dans lequel il se stabilise une fois que l'écoulement a été ajusté. Dans la forme de réalisation préférée, l'orifice est en forme de fente. Un orifice en forme de fente est un orifice qui est globalement rectangulaire avec une longueur sensiblement plus grande que la largeur. L'orifice en forme de fente est disposé avec sa longueur axiale ou globalement parallèle au passage de tube de dosage. Un bord avant de l'élément de soupape est globalement linéaire et définit un rectangle par rapport à l'orifice en forme de fente lorsque ce bord avant se déplace en travers de l'orifice. Il est envisagé que le bord avant soit globalement perpendiculaire à l'axe par rapport auquel est déplacé l'élément de soupape. Comme cela peut se voir, lorsque l'orifice est initialement découvert afin de permettre un écoulement de fluide, seule une très petite surface rectangulaire est exposée. Lorsque l'élément de soupape est rétracté sur des distances linéaires accrues de la même dimension, l'augmentation de volume d'écoulement est toutefois approximativement égale aux rétractions précédentes de la même distance du fait de la forme rectangulaire de l'orifice exposé. Des changements de débit relativement égaux peuvent par conséquent être faits avec un ajustement égal de la position de l'élément de soupape. En outre, la largeur et la longueur de l'orifice en forme de fente peuvent être modifiées pour chaque dispositif de mesure afin de donner une plage de débits et une sensibilité souhaitées pour différentes applications. Le tube de mesure peut être pourvu d'un alésage évasé, le diamètre plus grand étant plus proche de l'intersection du tube de mesure et du tube de dosage. Comme cela peut se voir dans cette discussion, lorsque la dimension diamétrale déterminant l'écoulement de l'élément sensible à l'écoulement est maintenue constante, lorsque l'écoulement est augmenté à travers le dispositif de mesure en réponse à une rétraction de l'élément de soupape afin d'exposer une plus grande partie de l'orifice, l'élément sensible à l'écoulement est poussé en direction de l'orifice, et une zone annulaire plus grande autour de l'élément sensible à l'écoulement dans le tube de mesure permet un écoulement volumétrique de fluide plus important à travers le tube. Le fait pour l'élément sensible à l'écoulement d'atteindre une position axiale dans un emplacement plus proche de l'orifice est par conséquent représentatif d'un plus grand débit que lorsqu'il se trouve à une distance plus grande de l'orifice. Le tube de mesure peut être pourvu d'une série de repères gradués. L'écoulement peut être vérifié en notant la position de l'élément sensible à l'écoulement par rapport aux différents repères lorsque l'écoulement est ajusté en déplaçant axialement l'élément de soupape dans le tube de dosage. Le dispositif de mesure peut être étalonné de telle sorte que, pour une combinaison particulière quelconque d'un tube d'écoulement et d'un élément sensible à l'écoulement, la position de l'élément au niveau d'un repère particulier est connue pour représenter une valeur d'écoulement volumétrique particulière. Comme cela peut être noté dans cette divulgation, l'élément sensible à l'écoulement, nécessairement, n'est pas maintenu à proximité de la paroi définissant l'alésage. Il en résulte qu'il peut être libre de s'écarter d'une relation coaxiale par rapport à l'alésage, à moins que des mesures soient prises pour le maintenir dans une telle relation. Une mesure imprécise peut par conséquent en résulter. L'invention prévoit cependant l'utilisation d'une tige coaxiale à l'alésage qui passe à travers une ouverture centrale dans l'élément sensible à l'écoulement. De cette manière, l'élément peut être maintenu dans une relation coaxiale par rapport à l'alésage. Les différents composants peuvent être réalisés dans des matières qui rendent le dispositif de mesure insensible à la détérioration par des produits caustiques ou des acides. Par exemple, le tube de dosage dans une forme de réalisation de l'élément sensible à l'écoulement peut être réalisé en polytétrafluoroéthylène. D'autres formes de réalisation de l'invention peuvent utiliser des éléments sensibles à l'écoulement réalisés totalement en acier inoxydable ou bien dans une combinaison d'acier inoxydable et de perfluoroalkoxyde-polytétrafluoroéthylène, et le tube de mesure peut être réalisé en perfluoroalkoxyde. La présente invention est ainsi un dispositif de commande et de mesure d'écoulement amélioré destiné à être utilisé avec des fluides, et en particulier des liquides qui réagissent facilement chimiquement avec des matières dans lesquelles sont réalisés habituellement les débitmètres. Du fait de la structure du dispositif de mesure, il procure des lectures très précises de l'écoulement de fluide à travers celui-ci et une réponse linéaire du débit par rapport à la position d'élément de soupape. Des caractéristiques et avantages spécifiques apparaîtront à la lecture de la description détaillée suivante, faite en liaison avec les dessins annexés. Sur les dessins, des références identiques indiquent sur l'ensemble des différentes vues des parties ou des éléments correspondants des formes de réalisation préférées de la présente invention. La figure 1 est une vue en coupe partielle d'un débitmètre selon la présente invention monté sur une plaque de montage; La figure la est une vue en coupe partielle agrandie de l'élément de soupape dans une position totalement fermée illustrant la surface d'obturation étanche d'une forme de réalisation préférée; La figure lb est une vue en coupe le long de la ligne lb-lb de la figure 1 montrant une orientation préférée de l'orifice en forme de fente par rapport à l'élément de soupape; La figure 2 est une vue de côté en coupe du tube de mesure du débitmètre de la figure 1; La figure 3 est une vue de côté en coupe agrandie de l'élément sensible à l'écoulement du débitmètre de la figure 1; La figure 4 est un graphique illustrant plusieurs courbes indiquant la réponse linéaire du changement -de débit en fonction de la position de l'élément de soupape de la présente invention; et La figure 5 est une vue de côté en coupe agrandie illustrant une variante de construction du tube de mesure. Des formes de réalisation détaillées de la présente invention sont divulguées ici. Il est toutefois évident que les formes de réalisation divulguées le sont simplement à titre d'exemples de la présente invention qui peut être mise en oeuvre dans différents systèmes. Si l'on se réfère maintenant aux dessins, la figure 1 illustre un débitmètre 10 selon la présente invention monté sur une plaque ou paroi 12. Le débitmètre 10 comprend des éléments de fixation supérieur et inférieur, l'élément de fixation supérieur s'étendant depuis un tube de dosage 18 qui sera exposé plus tard. L'élément de fixation inférieur comporte une partie d'un coude 20 sur lequel est monté un tube de mesure 22. Chaque élément de fixation possède un bossage 14, 16 qui s'étend à travers une ouverture correspondante 24, 26 dans la plaque 12 afin d'effectuer le montage. La figure 1 montre des ouvertures taraudées 28, 30 dans les bossages 14, 16 destinées à recevoir des raccords filetés de manière correspondante de tubes d'entrée et de sortie (non représentés). Des écrous de blocage 32, 34 sont prévus sur les bossages 14, 16. Les raccords de tube peuvent être vissés dans les bossages 14, 16 et les écrous 32, 34 serrés. Lorsque le serrage augmente progressivement, une pression accrue de manière proportionnelle est exercée sur les extrémités des tubes afin de les maintenir de façon sûre dans les bossages de montage 14, 16. Les parties actives du débitmètre 10 comprennent un tube de dosage 18 qui, comme cela a été indiqué précédemment, dans la forme de réalisation préférée, est formé d'un seul tenant avec l'élément de fixation supérieur grâce auquel le débitmètre 10 est fixé sur la plaque de montage 12. Le tube de dosage 18 a un passage formé dedans qui s'étend globalement coaxialement à un axe d'allongement du tube 18. Le passage comprend une première partie étroite 36 et une deuxième partie radialement élargie 38. Un élément de soupape 40 est reçu dans la partie de passage élargie 38 pour un mouvement sélectif le long de l'axe de la partie de passage 38. Le mouvement est obtenu en faisant tourner un bouton 42 fixé à une extrémité de l'élément de soupape 40 qui s'étend depuis le tube de dosage 18 au niveau d'une extrémité éloignée de la plaque de montage 12. La fixation du bouton moleté 42 sur l'élément de soupape peut être effectuée en utilisant une vis 44 dont la tête est logée dans un renfoncement 46 dans le bouton 42 lorsque la vis 44 est serrée. Un presse-garniture 48 ayant un passage taraudé 50 ferme l'extrémité du tube de dosage 18 éloignée de la plaque 12. Le passage 50 est d'une dimension similaire à, et est taraudé d'une manière compatible avec une partie filetée 52 de l'élément de soupape 40 qui s'étend à travers. Le presse-garniture 48 est serré et est maintenu en position afin de fermer l'extrémité du tube de dosage 18 éloignée de la plaque de montage 12. Le mouvement axial de l'élément de soupape 40 le long du passage 38 est effectué en vissant l'élément 40 dans et hors du passage 38 par rapport au presse-garniture 48. Un joint 54 est maintenu en place par le presse-garniture 48 afin d'empêcher toute fuite du fluide qui est dosé par le débitmètre 10. Le joint 54 comprend une partie radialement agrandie 56 qui définit un épaulement 58, l'épaulement 58 engageant avec butée un épaulement dirigé axialement 60 à l'intérieur du passage 38, lorsque le presse-garniture 48 est vissé dans le passage 38 afin de fermer l'extrémité de celui- ci. La partie radialement agrandie 56 du joint 54 a une dimension axiale telle que, lorsque le presse-garniture 48 est complètement serré, il est maintenu fermement en position avec l'épaulement 58 du joint 54 engageant l'épaulement 60 défini par la paroi intérieure formant le passage 38. Comme cela se voit sur la figure 1, une extrémité de l'élément de soupape 40 la plus proche de la plaque de montage 12 a un diamètre très proche de celui du passage 38 dans tous les emplacements de même étendue. Il en résulte que l'élément de soupape 40 ferme sensiblement le passage 38 et empêche un écoulement axial au-delà de l'élément de soupape 40. Le tube de dosage 18 a une ouverture taraudée 62 qui s'approche du passage 38 par le côté du tube 18. L'ouverture 62 communique à son tour avec le passage 38 par l'intermédiaire d'un orifice en forme de fente 64 qui coupe le passage 38 en un emplacement qui peut être de la même étendue qu'une partie d'obturation 66 de l'élément de soupape 40. A cause de cette relation, l'élément de soupape 40 peut empêcher la communication de fluide vers le passage 38 en passant par l'orifice 64 lorsque l'élément de soupape 40 est dans une position fermant totalement l'orifice 64. La figure la illustre la relation entre le passage étroit 36, le passage élargi 38 et l'élément de soupape 40 lorsque l'élément de soupape est dans une position totalement fermée obturant complètement l'orifice 64. Un épaulement 67 qui s'étend globalement perpendiculairement à la direction axiale du passage 36 est formé à l'intersection des passages respectivement étroit et radialement élargi 36, 38. L'épaulement 67 procure une surface d'étanchéité secondaire pour l'élément de soupape 40 lorsque l'on souhaite assurer un arrêt complet de l'écoulement. Au contraire de nombreux autres dispositifs de commande d'écoulement qui utilisent la même surface pour commander la taille de l'orifice et la fermeture, la soupape de la présente invention prévoit une surface d'étanchéité différente pour chaque fonction. Cette caractéristique empêche l'endommagement de la surface de commande d'écoulement lorsque l'écoulement est totalement arrêté. Ceci augmente la fiabilité et la reproductibilité de la commande d'écoulement avec la présente invention. Dans une forme de réalisation, un conduit 22 en communication de fluide avec l'ouverture 62 peut être utilisé à la place du tube de mesure. Le conduit 22 peut incorporer des moyens destinés à mesurer l'écoulement volumétrique du fluide à travers le dispositif de commande et de mesure d'écoulement. Ces moyens peuvent comprendre des dispositifs connus dans l'état de la technique tels que des dispositifs de mesure de pression différentielle, des dispositifs de mesure à venturi ou un agencement tube de mesure- élément sensible à l'écoulement comme cela est décrit ci-dessous pour une forme de réalisation préférée. Dans une forme de réalisation préférée, un tube de mesure 22 est vissé à son extrémité supérieure dans l'ouverture 62 qui communique avec le passage 68 par l'intermédiaire de l'orifice 64. Une extrémité inférieure du tube de mesure 22 est vissée dans le coude 20 constituant l'élément de fixation inférieur. Le tube de mesure 22 a un alésage 68 formé à l'intérieur et qui s'étend entre les extrémités opposées du tube 22. L'extrémité inférieure de l'alésage 68 communique avec un passage à 900 70 dans le coude 20, et l'extrémité supérieure de l'alésage 68 communique par l'intermédiaire de l'orifice 64 avec le passage 38 dans le tube de dosage 18. Un passage continu est ainsi formé. L'écoulement est possible à travers le passage lorsque l'élément de soupape 40 est rétracté en un point tel qu'au moins une partie de l'orifice en forme de fente 64 n'est pas obturée. L'alésage 68 illustré sur la figure 1 est conique, et il est illustré avec un diamètre plus grand à l'extrémité o le tube de mesure 22 est raccordé au tube de dosage 18. Un élément sensible à l'écoulement 72 est disposé dans l'alésage 68 pour un mouvement axial le long de celui-ci. De manière typique, le débitmètre 10 est orienté avec l'axe d'allongement du tube de dosage 18 qui est orienté globalement horizontalement et l'axe d'allongement du tube de mesure 22 qui est orienté globalement verticalement. Il est évident que lorsque le débitmètre 10 est ainsi orienté, l'élément sensible à l'écoulement 72 est rappelé vers le bas. Dans la forme de réalisation illustrée sur les figures, l'élément sensible à l'écoulement 72 est rappelé vers le bas par gravité. Il est toutefois évident que d'autres orientations du débitmètre 10 sont prévues. Un rappel est toutefois toujours employé afin de rappeler l'élément sensible à l'écoulement 72 dans une direction à l'écart du tube de dosage 18, mais d'autres procédés de rappel sont utilisés lorsque ces orientations sont mises en oeuvre. Comme cela se voit sur la figure 1, le diamètre déterminant l'écoulement 74 de l'élément sensible à l'écoulement 72, ou flotteur, est inférieur au diamètre interne de l'alésage 68, même si ce diamètre peut varier d'une forme de réalisation à une autre, comme cela est illustré par un trait en pointillés 74' sur la figure 3. Ceci est vrai même lorsque le flotteur 72 est dans une position proche du fond de l'alésage 68 au niveau d'une section ayant le diamètre interne le plus faible. Une tige 76 peut être utilisée comme guide afin de maintenir le flotteur 72 coaxial à l'alésage 68. La tige 76 est alignée avec l'axe de l'alésage 68 et passe à travers une ouverture 78 au centre du flotteur 72. La tige 76 peut être montée dans une paroi 80 du passage dans le coude 20 constituant l'élément de fixation inférieur. La tige 76 est d'une longueur telle que le flotteur 72 peut être libre de se déplacer sur sensiblement toute la longueur du tube de mesure 22. La tige 76 peut être pourvue, à son extrémité supérieure, d'une boule 82 plus large que l'ouverture 78 afin d'empêcher l'élément sensible à l'écoulement 72 de sortir de la tige 76 et d'empêcher l'obturation de l'orifice de sortie et le freinage consécutif de l'écoulement de fluide. Lorsqu'un débitmètre 10 tel qu'illustré sur la figure 1 est fixé sur une plaque de montage 12 pour utilisation, l'élément de soupape 40 est de manière typique dans une position fermant totalement l'orifice 64. Les tubes d'entrée et de sortie sont montés sur leurs bossages 14, 16 respectifs une fois que le débitmètre 10 a été monté sur la plaque 12, et les écrous de montage 32, 34 sont serrés. Des soupapes (non représentées) dans le système de fluide sont ouvertes afin de permettre l'écoulement à une pression constante du fluide dans le débitmètre 10. Le dosage peut alors être réalisé en manipulant le bouton moleté 42 afin d'effectuer le retrait de l'élément de soupape 40 dans le passage 38 jusqu'à un point initial o au moins une partie de - l'orifice en forme de fente 64 est découverte. La figure 1 illustre un élément de soupape 40 ayant une face plane 84 à proximité de la plaque de montage 12. Par conséquent, le bord avant de l'élément de soupape 40 fonctionne par rapport à l'orifice en forme de fente 64 de façon à définir un rectangle de surface variable. Lorsque l'élément de soupape 40 est rétracté afin de dégager d'avantage l'orifice 64, le rectangle défini par le bord avant de l'élément de soupape 40 se déplace sur l'orifice 64 en l'exposant de plus en plus. L'orifice 64 est en forme de fente. Par en forme de fente, on entend que l'orifice est de forme globalement rectangulaire avec une longueur de l'orifice sensiblement plus grande que la largeur. Du fait que l'orifice 64 est de forme globalement rectangulaire, lorsque l'élément de soupape 40 est rétracté afin de dégager davantage l'orifice, la surface de l'orifice 64 exposée à l'écoulement de fluide varie proportionnellement au degré de rétraction de l'élément de soupape 40. Il en résulte comme effet bénéfique d'avoir un changement de débit linéaire amélioré pour chaque changement incrémentiel égal du positionnement de l'élément de soupape 40. La figure lb représente la relation entre l'élément de soupape 40 et l'orifice en forme de fente 64. Sur la figure lb, l'élément de soupape 40 est dans une position partiellement rétractée exposant une partie de l'orifice en forme de fente, d'une forme rectangulaire, à l'écoulement de fluide. La partie recouverte ou fermée de l'orifice 64 est représentée en pointillés lorsqu'elle est fermée par l'élément de soupape 40. L'orifice en forme de fente 64 s'étend coaxialement à l'élément de soupape 40 dans une forme de réalisation préférée. La figure 4 montre plusieurs graphiques représentant la réponse linéaire du dispositif de commande et de mesure d'écoulement de la présente invention en fonction du positionnement d'un élément de soupape 40. Le débit est donné en fonction du pourcentage d'ouverture de l'élément de soupape. Comme cela peut se voir sur les graphiques de la figure 4, les dimensions de l'orifice en forme de fente 64 peuvent être modifiées afin de procurer différentes caractéristiques d'écoulement sur toute la plage d'exposition de l'orifice 64. La largeur peut être modifiée afin de procurer une plage de débits plus large. Une fente plus étroite peut être utilisée afin d'obtenir une mesure d'écoulement plus précise sur une plage étroite de débits. Comme cela a été indiqué précédemment, l'alésage 68 dans le tube de mesure 22 s'évase radialement vers l'extérieur lorsque le flotteur 72 se déplace vers le haut dans l'alésage 68. Par conséquent, la section de l'espace annulaire 86 entourant le flotteur 72 à travers lequel a lieu l'écoulement devient plus grande lorsque le flotteur 72 monte dans le tube 22. Lorsque davantage d'écoulement est admis en rétractant davantage l'élément de soupape 40 dans le passage 38, l'écoulement accru amène le flotteur 72 à monter de sorte que l'écoulement dans l'alésage 68 cherche à s'approcher de l'écoulement qui serait réellement admis du fait d'une exposition supplémentaire de l'orifice 64. Comme cela peut également se voir, la position que le flotteur 72 atteint en réponse à une rétraction de l'élément de soupape 40 par manipulation du bouton de commande 42 est corrélée à la quantité réelle d'écoulement voiumétrique dans le débitmètre 10. Un débitmètre particulier peut être étalonné de telle sorte que, pour une pente donnée quelconque de la paroi définissant l'alésage 68 du tube de mesure 22, l'écoulement réel peut être retrouvé dans une table pour une position quelconque du flotteur 72 dans le tube 22. Des graduations 88 peuvent être marquées, en gravant le tube de mesure 22, de façon à indiquer un niveau d'écoulement particulier. La forme de réalisation illustrée sur la figure 1 présente des graduations 88 qui sont espacées de manière égale le long du tube 22. Un revêtement en papier (non représenté) peut être appliqué sur une partie circonférentielle du tube de mesure 22 afin de faire ressortir la position du flotteur 72 par rapport aux graduations 88. Un autre facteur qui influe sur la position que le flotteur 72 atteint en réponse à la rétraction de l'élément de soupape 40 est le poids du flotteur 72. Le poids du flotteur 72 peut par conséquent être modifié. S'il est rendu plus lourd, un écoulement plus important peut être vérifié sans dépasser les limites du débitmètre 10. De nouveau, un débitmètre 10 ayant une pente particulière de paroi intérieure définissant l'alésage 68 dans le tube de mesure 22, en combinaison avec un flotteur 72 particulier, peut être étalonné de telle sorte que la quantité d'écoulement représentée par le flotteur 72 atteignant une position particulière quelconque est connue. Lorsqu'un débitmètre 10 selon la présente invention doit être utilisé, l'acquéreur d'une unité doit avoir une certaine idée des plages de mesure qu'il souhaite réaliser. Si des volumes relativement faibles doivent être mesurés, un débitmètre ayant un orifice en forme de fente étroit est probablement le choix optimal. LMutilisation de ce dispositif de mesure procure une capacité de discrimination plus grande. Si un écoulement doit être mesuré sur des plages plus grandes, des dispositifs de mesure ayant un orifice en forme de fente plus large sont probablement nécessaires. Une autre variante que la présente invention envisage est celle dans laquelle l'alésage formé dans le tube de mesure 22 n'est pas incliné mais a en fait un diamètre étagé. A l'extrémité inférieure du tube 22, le diamètre est uniformément étroit, comme en 96, alors que le diamètre augmente dans un segment uniformément agrandi immédiatement au-dessus, comme en 98. Les segments de diamètre sont coaxiaux l'un par rapport à l'autre. Un épaulement 100 dirigé axialement vers le haut est ainsi défini. Dans cette forme de réalisation, le flotteur 102 est pourvu d'une paroi conique 104, la paroi étant convergente lorsqu'elle s'étend vers le bas. Le diamètre le plus grand du flotteur 102 est à son extrémité supérieure de sorte que, lorsqu'un écoulement n'est pas admis dans le débitmètre 10, le bord supérieur 99 du flotteur 102 est proche de l'épaulement 100. Lorsque l'écoulement est admis dans le débitmètre 10, le flotteur 102 monte dans l'alésage du tube de mesure 22. Du fait de la conicité du flotteur 102, l'espace annulaire 106 entre le flotteur 102 et le bord de l'épaulement 100 défini dans le tube de mesure 22 par les différents diamètres de l'alésage augmente lorsque le flotteur 102 monte. La taille et la relation spatiale du flotteur 102 par rapport à l'alésage sont telles que, lorsque le flotteur 102 s'approche d'une extrémité de l'alésage proche de l'orifice 64, un volume croissant d'écoulement de fluide est possible dans l'alésage autour du flotteur 102. Cette forme de réalisation est particulièrement souhaitable lorsque l'on souhaite réguler de faibles débits. Une autre variante prévue est celle dans laquelle le tube de mesure est en aval du tube de dosage. Il est évident que, en ce qui concerne cet aspect de l'invention, le positionnement du tube de mesure en amont du tube de dosage n'est pas essentiel. Du fait que le débitmètre 10 est particulièrement adapté à une utilisation avec des produits chimiques caustiques et corrosifs, les différents composants peuvent être réalisés en matière plastique afin de les rendre insensibles à la réaction chimique qui peut résulter du contact avec les produits chimiques. Il est par exemple envisagé que, dans la forme de réalisation préférée, le tube de dosage 18, le coude 20 et le flotteur 72 soient au moins en partie fabriqués en polytétrafluoroéthylène. La tige 76 le long de laquelle monte le flotteur 72 peut être réalisée en tétrafluoroéthylène chloré. Le tube de mesure 22 lui même peut être réalisé en tétrafluoroéthylène PFA. Des composants externes peuvent être réalisés en polychlorure de vinyle. Dans des formes de réalisation dans lesquelles on souhaite que le flotteur 72 soit plus lourd, un flotteur 72 en polytétrafluoroéthylène peut être entouré d'acier inoxydable ou être remplacé par un flotteur totalement en acier inoxydable. L'ensemble complet de débitmètre peut par conséquent être insoluble et insensible à l'action chimique d'un liquide. De nombreux avantages et caractéristiques de l'invention ont été exposés dans la description précédente. Il est bien sûr évident que cette divulgation sert en de nombreux points simplement d'illustration. Des changements peuvent être apportés à des détails, en particulier en ce qui concerne la forme, la taille et l'agencement des éléments, sans sortir de la portée de l'invention. REVENDICATIONS 1. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10), caractérisé en ce qu'il comporte: a) un tube de dosage (18) ayant un passage (38) formé axialement, et un orifice en forme de fente (64), ayant une longueur orientée axialement, qui coupe ledit passage (38) sur la longueur de celui-ci, une partie dudit passage (38) sur un côté dudit orifice (64) définissant un conduit d'écoulement, et une partie dudit passage (38) sur un deuxième côté dudit orifice (64) définissant un conduit de réception de soupape; b) un conduit (22) ayant un alésage (68) formé axialement, ledit alésage de conduit (68) étant en communication de fluide avec ledit conduit d'écoulement de passage de tube de dosage (38) par l'intermédiaire dudit orifice (64) lorsque ledit orifice (64) n'est pas obstrué, ledit conduit (22) comprenant des moyens destinés à mesurer un écoulement volumétrique d'un fluide à travers ledit dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10); et c) un élément de soupape (40) ayant une extrémité avant (84) globalement plane, sensiblement perpendiculaire à un axe dudit passage (38), disposé dans ledit passage (38) pour un positionnement axial sélectif et une rétraction sur ledit orifice (64) dans une direction à l'écart dudit conduit d'écoulement de façon à réguler l'écoulement de fluide dans ledit alésage (68), de sorte que, lorsque ledit élément de soupape (40) est rétracté, un écoulement de fluide accru est possible à travers ledit alésage de conduit (68) lorsqu'une plus grande proportion dudit orifice (64) est ouverte sur ledit conduit d'écoulement. 2. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits moyens destinés à mesurer un écoulement volumétrique d'un fluide dans ledit dispositif de mesure d'écoulement de fluide comportent: a) un tube de mesure (22) ayant un alésage de tube de mesure (68) formé axialement en communication de fluide avec ledit alésage de conduit; et b) un élément sensible à l'écoulement (72; 102) disposé pour un déplacement axial dans ledit alésage de tube de mesure (68) et rappelé à l'écart dudit tube de dosage (18), la taille et la relation spatiale dudit élément sensible à l'écoulement (72; 102) étant telles, par rapport audit alésage (68), que lorsque ledit élément (72; 102) s'approche d'une extrémité dudit alésage de tube de mesure (68) proche dudit orifice (64), un volume croissant d'écoulement de fluide est possible dans ledit alésage (68) autour dudit élément (72; 102); et c) des moyens (88) destinés à vérifier l'écoulement de fluide à travers le dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) en fonction de la position axiale de l'élément sensible à l'écoulement (72; 102). 3. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'un axe par rapport auquel est formé ledit passage (38) est orienté globalement horizontalement, et un axe par rapport auquel est formé ledit alésage (68) est orienté globalement verticalement. 4. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'une dimension diamétrale dudit alésage de tube de mesure (68) augmente radialement lorsque ledit alésage (68) s'approche dudit orifice (64), une dimension diamétrale déterminant l'écoulement dudit élément sensible à l'écoulement (72; 102) restant constante. 5. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) est rappelé par gravité à l'écart dudit tube de dosage (18). 6. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens (76) destinés à maintenir ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) coaxial audit alésage (68). 7. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'une ouverture (78) est formée au centre dudit élément sensible à l'écoulement (72; 102), et en ce que lesdits moyens de maintien coaxial comportent une tige (76), alignée avec l'axe dudit alésage (68), qui passe à travers ladite ouverture (78) formée au centre dudit élément sensible à l'écoulement (72; 102). 8. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que lesdits moyens de vérification comprennent une série de repères gradués (88) le long dudit tube de mesure (22); chaque repère (88) représentant une valeur d'écoulement de fluide particulière. 9. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit tube de dosage (18), ledit tube de mesure (22), ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) et ledit élément de soupape (40) sont réalisés dans une matière insoluble dans les acides corrosifs, les bases et les solvants et l'eau désionisée. 10. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 9, caractérisé en ce que ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) est réalisé en polytétrafluoroéthylène. 11. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10), caractérisé en ce qu'il comporte: a) un tube de dosage (18) ayant un passage (38) formé axialement, et un orifice en forme de fente (64), ayant une longueur orientée axialement, qui coupe ledit passage (38) sur la longueur de celui-ci, une partie dudit passage (38) sur un côté dudit orifice (64) définissant un conduit d'écoulement, et une partie dudit passage (38) sur un deuxième côté dudit orifice (64) définissant un conduit de réception de soupape; b) un tube de mesure (22) ayant un alésage (68) formé axialement dans celui-ci, ledit alésage (68) étant en communication de fluide avec ledit conduit d'écoulement de passage de tube de dosage par l'intermédiaire dudit orifice (64) lorsque ledit orifice (64) n'est pas obstrué, ledit tube de mesure (22) comprenant en outre un élément sensible à l'écoulement (72; 102) disposé pour un déplacement axial dans ledit alésage (68) et rappelé à l'écart dudit tube -de dosage (18), la taille et la relation spatiale dudit élément sensible à l'écoulement (72; 102) étant telles, par rapport audit alésage (68), que lorsque ledit élément s'approche d'une extrémité dudit alésage de tube de mesure (68) proche dudit orifice (64), un volume croissant d'écoulement de fluide est possible dans ledit alésage (68) autour dudit élément (72; 102); c) un élément de soupape (40) ayant une extrémité avant (84) globalement plane, sensiblement perpendiculaire à un axe dudit passage (38), disposé dans ledit passage (38) pour un positionnement axial sélectif et une rétraction sur ledit orifice (64) dans une direction à l'écart dudit conduit d'écoulement de façon à réguler l'écoulement de fluide dans ledit alésage (68), de sorte que, lorsque ledit élément de soupape (40) est positionné de façon à permettre un écoulement de fluide accru dans ledit alésage (68), ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) est poussé par l'écoulement de fluide vers ladite extrémité dudit alésage (68) proche dudit orifice (64); et d) des moyens (88) destinés à vérifier l'écoulement volumétrique de fluide à travers le dispositif de mesure d'écoulement en fonction de la position axiale de l'élément sensible à l'écoulement (72; 102) atteinte dans ledit alésage (68). 12. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'une dimension diamétrale dudit alésage (68) augmente radialement lorsque ledit alésage (68) s'approche dudit orifice (64), une dimension diamétrale déterminant l'écoulement dudit élément sensible à l'écoulement (72; 102) restant constante. 13. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 11, caractérisé en ce qu'un axe par rapport auquel est formé ledit passage (38) est orienté globalement horizontalement, et un axe par rapport auquel est formé ledit alésage (68) est orienté globalement verticalement. 14. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 13, caractérisé en ce que ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) est rappelé par gravité à l'écart dudit tube de dosage (22). 15. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 14, caractérisé en ce qu'il comporte en outre des moyens (76) destinés à maintenir ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) coaxial audit alésage (68). 16. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 15, caractérisé en ce qu'une ouverture (78) est formée au centre dudit élément sensible à l'écoulement (72; 102), et en ce que lesdits moyens de maintien coaxial comportent une tige (76), alignée avec l'axe dudit alésage (68), qui passe à travers ladite ouverture (78) formée au centre dudit élément sensible à l'écoulement (72; 102). 17. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 11, caractérisé en ce que lesdits moyens de vérification comprennent une série de repères gradués (88) le long dudit tube de mesure (22), chaque repère (88) représentant une valeur d'écoulement de fluide particulière. 18. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 11, caractérisé en ce que ledit tube de dosage (18), ledit tube de mesure (22), ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) et ledit élément de soupape (40) sont réalisés dans une matière insoluble dans les acides corrosifs, les bases et les solvants et l'eau désionisée. 19. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 18, caractérisé en ce que ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) est réalisé en polytétrafluoroéthylène. 20. Dispositif de commande et de mesure d'écoulement (10) selon la revendication 18, caractérisé en ce que ledit élément sensible à l'écoulement (72; 102) est réalisé dans une combinaison de polytétrafluoroéthylène et d'acier inoxydable.