Brevet FR2722050A1 — publié le 19960105

l 2722050 La présente invention concerne une caméra optoélectronique du type spectro-imageur ou spectro-photomètre minimisant les images fantômes, ainsi qu'un ensemble d'éléments photosensi- bles et une fenêtre de protection pour une telle caméra et un procédé pour réaliser un tel ensemble d'éléments photo- sensibles et une telle fenêtre de protection. On connaît déjà des caméras optoélectroniques comportant un système optique, un ensemble d'éléments photosensibles de type CCD disposé au foyer dudit système optique et une o10 fenêtre transparente de protection disposée devant ledit ensemble d'éléments photosensibles. De telles caméras sont de plus en plus utilisées et elles présentent l'avantage de fournir une image numérisée. Par ailleurs, de telles caméras CCD du type spectro-imageur ou spectrophotomètre permettent l'analyse spectrale de la scène qu'elles observent. Dans ce cas, elles comportent un disperseur (réseau de diffraction, prisme, etc...), par exemple introduit dans le système optique. Ainsi, le spectre de la scène imagée est focalisé sur l'ensemble d'éléments20 photosensibles, par exemple formés par une matrice ou une barrette. Cependant, de telles caméras optoélectroniques présentent l'inconvénient d'engendrer ce que l'on appelle dans la technique des images fantômes, qui s'ajoutent à l'image de25 la scène. Il en résulte une erreur non négligeable de l'image principale, ce qui fausse l'exploitation de celle- ci, plus particulièrement en présence d'objets de luminence élevée. 2 2722050 Ces images fantômes sont engendrées par la réflexion de la lumière multispectrale incidente sur la face sensible de l'ensemble CCD, sur les deux faces de la fenêtre de protec- tion, et sur la dernière face optique du système optique, dirigée vers ladite fenêtre de protection et vers ledit ensemble d'éléments photosensibles. Ces images fantômes sont spatialement délocalisées par rapport à l'image observée et sont recentrées en d'autres points de l'ensemble des éléments photosensibles. Pour tenter d'éliminer ces images fantômes, on a déjà pensé à déposer des revêtements antireflet sur les faces généra- trices desdites images fantômes, à savoir la face photosen- sible de l'ensemble desdits éléments, les deux faces de la fenêtre de protection et la dernière face dudit système optique, dirigée vers ladite fenêtre de protection et ledit ensemble d'éléments photosensibles. De tels revêtements antireflet sont par exemple constitués, de façon connue, par des produits à base d'oxyde de tungstène ou de fluorure de magnésium. Si le spectre analysé par l'ensemble des éléments photosen- sibles est étendu (par exemple entre 400 et 1000 nm), la réalisation des revêtements antireflet à larges bandes n'est pas aisée. Par ailleurs, il-est très difficilement possible d'obtenir des revêtements multicouches antireflet satis-25 faisants sur la face sensible dudit ensemble d'éléments photosensibles, notamment du fait que cette face sensible est constituée de silicium. La présente invention a pour objet de remédier à ces in- convénients, en profitant de l'étalement spatial du spectre30 au niveau du détecteur. 3 2722050 A cette fin, selon l'invention, la caméra optoélectronique comportant un système optique, un ensemble d'éléments photosensibles de type CCD disposé au foyer dudit système optique, une fenêtre transparente de protection, par exemple en verre, disposée devant la face sensible dudit ensemble d'éléments photosensibles et un disperseur spectral permet- tant l'analyse spectrale de la scène observée par ladite caméra, est remarquable en ce que ladite face sensible dudit ensemble d'éléments photosensibles, dirigée vers ladite fenêtre de protection, est revêtue d'un revêtement monocou- che ou multicouche de matière antireflet, dont l'épaisseur varie de façon continue en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue par ladite face sensible, parallèlement à l'axe de dispersion dudit disperseur. On remarquera que la présente invention est particulièrement avantageuse. En effet, comme on ne sait optimiser ladite monocouche qu'à une seule longueur d'onde, on peut atteindre jusqu'à 40% de réflexion en dehors de la longueur d'onde de centrage. De plus, en ce qui concerne les revêtements20 multicouches, il est aujourd'hui impossible d'obtenir à la fois un faible facteur de réflexion et un large domaine spectral, ce que pallie l'invention. Au contraire, selon l'invention, puisque l'épaisseur du revêtement antireflet déposé sur la face sensible dudit25 ensemble d'éléments photosensibles est continûment variable, on obtient, pour chaque point de ladite face sensible, une adaptation du revêtement antireflet à la longueur d'onde de la lumière arrivant audit point, cette adaptation étant continue sur ladite face. On obtient ainsi un facteur de réflexion au plus égal à 1% dans un large domaine spectral, par exemple compris entre 400 et 1050 nm, avec un tel revêtement monocouche ou multi- couche. 4 2722050 De préférence, afin d'éliminer encore plus les images fantômes, au moins l'une des faces, et de préférence les deux faces, de ladite fenêtre de protection sont également revêtues d'un revêtement monocouche ou multicouche de matière antireflet, dont l'épaisseur varie de façon continue en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue par ladite face, parallèlement à l'axe de dispersion dudit disperseur. De préférence, l'épaisseur du revêtement déposé sur la face sensible dudit ensemble d'éléments photosensibles, ainsi que l'épaisseur du revêtement déposé sur les faces de la fenêtre de protection, sont telles que, en chaque point, le produit de ladite épaisseur par l'indice de réfraction de la matière antireflet est égal à un multiple impair du quart de la longueur d'onde de la lumière arrivant en ce point. Par ailleurs, la présente invention concerne également un ensemble d'éléments photosensibles permettant l'élimination des images fantômes dans une caméra optoélectronique du type spectro-imageur ou spectrophotomètre comportant un système optique, ledit ensemble d'éléments photosensibles de type CCD disposé au foyer dudit système optique, une fenêtre transparente de protection disposée devant ledit ensemble d'éléments photosensibles et un disperseur spectral permet- tant l'analyse spectrale de la scène donnée par ladite25 caméra. Cet ensemble d'éléments photosensibles est remarqua- ble en ce que sa face, destinée à être dirigée vers ladite fenêtre de protection, est revêtue d'un revêtement monocou- che ou multicouche de matière antireflet dont l'épaisseur varie en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue30 par ladite face, parallèlement à l'axe de dispersion du disperseur. L'invention concerne également une fenêtre de protection telle que définie, dont l'une des faces, et de préférence les deux faces, sont revêtues d'un tel revête- ment. 2722050 Ainsi, en tout point de ladite face sensible, l'épaisseur du revêtement antireflet est adaptée de façon précise à la longueur d'onde de la lumière frappant ce point. Il peut en être de même pour les deux faces de la fenêtre de protec- tion. De préférence, la réalisation dudit revêtement antireflet monocouche ou multicouche est obtenue par évaporation- condensation ou pulvérisation cathodique sous vide d'une matière antireflet déposée sur ladite face photosensible dudit ensemble d'éléments photosensibles à travers un masque constitué par un disque rotatif pourvu d'une échancrure en forme de secteur de profil adapté ou un masque constitué par une plaque pourvue d'une échancrure en forme de trapèze, animée d'un mouvement de translation. Cette technique est également applicable aux revêtements sur la fenêtre. Ainsi, lors de la rotation ou de la translation du masque, la surface photosensible de l'ensemble d'éléments photosen- sibles, notamment, est exposée de façon que le temps d'expo- sition augmente progressivement du centre vers la périphérie dudit masque. Il en résulte que l'épaisseur de la couche du revêtement antireflet croît continûment du centre vers la périphérie du masque. Les figures du dessin annexé feront bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Sur ces figures, des réfé- rences identiques désignent des éléments semblables. La figure 1 est une vue schématique illustrant la formation des images fantômes dans une caméra optoélectronique connue du type spectro-imageur ou spectro-photomètre. 6 2722050 La figure 2 illustre la disposition de l'image principale et des images fantômes sur la face photosensible de la caméra connue de la figure 1. La figure 3 illustre schématiquement en vue de côté l'élé- ment photosensible conforme à la présente invention, pourvu de son revêtement antireflet sur sa face sensible. La figure 4 illustre schématiquement le procédé de formation dudit revêtement antireflet sur la face sensible de l'élé- ment conforme à la présente invention dans le cas d'un masque en rotation. La figure 5 montre plus particulièrement un masque mis en oeuvre dans le procédé illustré par la figure 4, ainsi que la disposition relative dudit ensemble d'éléments photosen- sibles. La figure 6 montre un autre exemple de réalisation d'un masque selon l'invention. Sur la figure 1, on a représenté schématiquement et partiel- lement une caméra optoélectronique connue, du type spectro- imageur ou spectro-photomètre. Cette caméra comporte un système optique 1 pourvu d'une face d'extrémité 2, ainsi qu'une matrice CCD 3, pourvue d'une face sensible 4, dirigée vers ladite face d'extrémité 2. Entre le système optique 1 et la matrice CCD 3, est disposée une fenêtre de protection 5, constituée d'une lame de verre25 à faces parallèles 6 et 7. Par ailleurs, dans le système optique 1, est incorporé un disperseur uniquement représenté par son axe de dispersion A. 7 2722050 Ainsi, lorsqu'un faisceau incident monospectral 8, sortant du système optique 1, atteint la face sensible 4, celle-ci réfléchit une partie dudit faisceau et ce faisceau réfléchi 8' est lui-même réfléchi partiellement en direction de la face sensible 4 par la face 2 du système optique 1 et par les faces 6 et 7 de la fenêtre de protection 5. Ces diffé- rents faisceaux réfléchis sont désignés par 8", 8''' et 8'''. Il en résulte, sur la face sensible 4 de la matrice CCD 3, en plus de l'image normale I, des images fantômes I", I''' et I'''' (voir la figure 2). Conformément à l'invention et comme cela est illustré schématiquement par la figure 3, pour éliminer les images fantômes I", I''' et I'''', on revêt la surface sensible 4 de la matrice CCD 3 d'un revêtement monocouche ou multicou- che de matière antireflet 9, dont l'épaisseur e varie de façon continue en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue par ladite face photosensible 4 et de l'indice de réfraction du matériau, parallèlement à l'axe de disper- sion A dudit disperseur. Comme indiqué ci-dessus, si l'indice de réfraction de la matière antireflet est égal à n, en chaque point du revête- ment 9, l'épaisseur e de celle-ci est telle que le produit n x e est égal à un multiple impair- du quart de la longueur25 d'onde de la lumière reçue en ce point. Pour obtenir le revêtement 9 représenté sur la figure 3, on peut mettre en oeuvre le dispositif illustré schématiquement sur les figures 4 et 5. Sur la figure 4, on a représenté une enceinte à vide 10 à l'intérieur de laquelle est disposé un creuset 11 contenant de la matière antireflet à déposer. 8 2722050 A la partie supérieure de l'enceinte 10, est prévu un support 12 sur lequel est fixée la matrice CCD 3, de façon que sa face sensible 4 soit dirigée vers le creuset 11. De plus, entre le creuset 11 et la matrice CCD 3, est prévu un disque rotatif 14 pourvu d'une échancrure en forme de secteur 15 et d'un arbre 16, monté à rotation grâce à des moyens non représentés. Ainsi, lorsque le creuset 11 est chauffé, de la matière antireflet est vaporisée et pulvérisée en direction de la face sensible 4 de la matrice CCD 3. La matrice CCD 3 étant disposée de façon qu'elle soit masquée par le masque 14 sauf en regard de l'échancrure 15, l'épaisseur de la matière antireflet pulvérisée se conden- sant en un point de la face sensible 4 (qui est fonction du temps d'exposition de ce point photosensible imposé par l'échancrure 15), peut avoir la valeur désirée. Il en résulte une distribution d'épaisseur, croissant de l'arbre 16 vers la périphérie 17 du masque 14, comme illustré sur la figure 3. Sur la figure 6, on a montré un autre exemple de réalisation d'un masque 14' pourvu d'une échancrure 15' en forme de trapeze, pratiquée dans une plaque 17', pouvant être animée d'un mouvement de translation suivant l'axe 16'. Comme mentionné ci-dessus, afin d'améliorer encore plus l'élimination des images fantômes I", I''' et I'''', il peut être avantageux de revêtir au moins l'une des faces 6 et 7 de la fenêtre 5, et de préférence les deux faces 6 et 7 de ladite fenêtre, d'un revêtement monocouche ou multicouche (non représenté) de matière antireflet, dont l'épaisseur varie de façon continue en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue par ladite face, parallèlement à l'axe de 9 2722050 dispersion (A) dudit disperseur. Un tel revêtement peut être obtenu de la façon décrite ci-dessus en ce qui concerne le revêtement 9 des éléments photosensibles 3. 2722050 REVENDICATIONS 1. Caméra optoélectronique du type spectro-imageur ou spectro-photomètre comportant un système optique (1), un ensemble d'éléments photosensibles (3) de type CCD disposé au foyer dudit système optique, une fenêtre transparente de protection (5) disposée devant la face sensible (4) dudit ensemble d'éléments photosensibles (3) et un disperseur spectral (1) permettant l'analyse spectrale de la scène observée par ladite caméra, caractérisée en ce que ladite face sensible (4) dudit ensemble d'éléments photosensibles (3), dirigée vers ladite fenêtre de protection (5), est revêtue d'un revêtement monocouche ou multicouche (9) de matière antireflet, dont l'épaisseur (e) varie de façon continue en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue par ladite face sensi- ble, parallèlement à l'axe de dispersion dudit disperseur (A). 2. Caméra optoélectronique selon la revendication 1, caractérisée en ce qu'au moins l'une des faces (6, 7) de ladite fenêtre de protection (5) est également revêtue d'un revêtement monocouche ou multicouche de matière antireflet, dont l'épaisseur varie de façon continue en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue par ladite face, paral- lèlement à l'axe de dispersion dudit disperseur (A). 3. Caméra optoélectronique selon la revendication 2, caractérisée en ce que les deux faces (6, 7) de ladite fenêtre de protection (5) sont également revêtues d'un tel revêtement monocouche ou multicouche antireflet. 4. Ensemble d'éléments photosensibles (3) destiné à une caméra optoélectronique du type spectro-imageur ou spectro- photomètre comportant un système optique (1), ledit ensemble d'éléments photosensibles (3) de type CCD disposé au foyer il 2722050 dudit système optique, une fenêtre transparente de protec- tion (5) disposée devant ledit ensemble d'éléments photosen- sibles et un disperseur spectral (1) permettant l'analyse spectrale de la scène donnée par ladite caméra, caractérisé en ce que la face (4) dudit ensemble d'éléments photosensibles (3), destinée à être dirigée vers ladite fenêtre de protection (5), est revêtue d'un revêtement monocouche ou multicouche de matière antireflet (9) dont l'épaisseur (e) varie en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue par ladite face, parallèlement à l'axe de dispersion du disperseur (A). 5. Fenêtre transparente de protection (5) pour une caméra optoelectronique du type spectro-imageur ou spectro- photomètre, comportant un système optique (1), un ensemble d'éléments photosensibles (3) de type CCD disposé au foyer dudit système optique, un disperseur spectral (1) permettant l'analyse spectrale de la scène donnée par ladite caméra et ladite fenêtre de protection (5) disposée devant ledit ensemble d'éléments photosensibles, caractérisée en ce qu'au moins l'une des faces (6, 7) de ladite fenêtre de protection (5) est revêtue d'un revêtement monocouche ou multicouche de matière antireflet, dont l'épaisseur varie de façon continue en fonction de la longueur d'onde de la lumière reçue par ladite face, paral- lèlement à l'axe de dispersion dudit disperseur (A). 6. Fenêtre selon la revendication 5, caractérisée en ce que les deux faces (6, 7) de ladite fenêtre de protection (5) sont revêtues d'un tel revêtement monocouche ou multicouche antireflet. 7. Procédé pour la réalisation de l'ensemble d'éléments photosensibles spécifié sous la revendication 4 ou de la fenêtre de protection selon la revendication 5 ou 6, 12 2722050 caractérisé en ce que l'on évapore sous vide une matière antireflet et en ce qu'on la pulvérise sur ladite face photosensible (4) dudit ensemble d'éléments photosensibles (3) ou les faces (6, 7) de ladite fenêtre de protection (5), à travers un masque. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit masque est constitué par un disque rotatif (14) pourvu d'une échancrure (15) en forme de secteur. 9. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que ledit masque est constitué par une plaque (17') pourvue d'une échancrure (15') en forme de trapèze, animée d'un mouvement de translation (16').