Brevet FR2716726A1 — publié le 19950901

La présente invention concerne d'une manière générale un appareil optique et se rapporte plus particu- lièrement à un système pour produire un faisceau de sortie ayant une répartition spatiale d'énergie uniforme.5 Un dispositif à laser produit généralement un faisceau de lumière cohérente qui présente un front d'onde de section transversale relativement petite. Malgré la faible section transversale et la cohérence du faisceau, le front d'onde d'un laser présente d'une manière type une répartition10 spatiale d'énergie non uniforme, c'est-a-dire plus intense au centre que sur les bords extérieurs. La variation de puis- sance peut se situer entre cinq et dix pour cent. De plus pour exploiter le faisceau, il est souvent nécessaire d'élargir la section droite du faisceau, ce qui accentue la15 non-uniformité d'un bord à l'autre d'un front d'onde plus large. Lorsque des lentilles classiques sont utilisées pour élargir le faisceau, la répartition spatiale d'énergie non uniforme du front d'onde est transmise au faisceau élargi. De plus, la non-uniformité du faisceau est d'autant plus apparente que le front d'onde est maintenant élargi de façon à couvrir une plus grande section droite. Cette non- uniformité affecte souvent de façon défavorable les perfor- mances d'un système utilisant le faisceau, car le système doit être conçu compte tenu d'un certain niveau moyen de la puissance du faisceau, une autre approche pouvant consister à débarrasser d'une certaine manière le faisceau de ses parties extérieures de moindre puissance, le cas échéant par utilisation d'une ouverture. Aucune de ces variantes ne permet une utilisation optimale de la puissance du faisceau et il est très difficile d'obtenir une répartition de puissance uniforme, à savoir par exemple la variation de plus ou moins un pour cent qui est souvent souhaitable, au moyen de systèmes de lentilles classiques. Des éléments holographiques ont été créés pour jouer le rôle des éléments optiques classiques massifs. Dans ces cas, l'élément holographique présente des orientations et des périodes spatiales qui sont correctes à des fins de diffraction du front d'onde incident en un diagramme, une forme ou une image de sortie souhaités. Cependant, lorsqu'ils5 sont réalisés pour jouer le rôle d'une lentille normale, ces éléments holographiques transmettent également la répartition spatiale d'énergie non uniforme au diagramme, à la forme ou à l'image de sortie, utilisant ainsi de façon peu efficace la puissance de la source optique. Le problème de la compensation des fronts d'onde présentant une répartition de puissance non uniforme est traité par le brevet US-A-4 547 037. Ce brevet décrit un élément holographique à facettes multiples qui redistribue l'énergie lumineuse d'un faisceau incident sur un second plan. Cela est effectué par construction de chaque facette sous la forme d'un hologramme individuel ou d'un réseau de diffraction. Chaque facette a des dimensions choisies de façon qu'elles soient inversement proportionnelles à l'inten- sité de la partie du faisceau incident sur elle afin de faire en sorte que des quantités de puissance pratiquement identi- ques passent par chaque facette. La lumière transmise par chaque facette est diffractée de façon à atteindre des positions différentes d'un second plan par rapport à leurs positions dans l'élément holographique. Chacun des sous- hologrammes ou des réseaux de diffraction a pour effet soit de dilater, soit de contracter la partie du faisceau incident les traversant pour éclairer des superficies égales, mais différentes sur le second plan, en produisant ainsi un faisceau de sortie sur le second plan avec un front d'onde d'intensité pratiquement constante. L'un des problèmes posés par des dispositifs mettant en oeuvre les directives du brevet ne 4 547 037 est que si la répartition de puissance du faisceau incident sur la surface de l'hologramme s'écarte des paramètres nominaux, la répartition de puissance du faisceau de sortie sur le second plan est affectée de façon semblable et n'est donc plus uniforme. Dans les systèmes optiques, de nombreuses causes peuvent provoquer cet écart de la répartition de puissance du faisceau incident. On peut en citer comme exemple, des fluctuations de puissance dues au vieillissement5 des composants ou plus simplement, le remplacement de la source du fait d'une panne. De plus, les éventuelles erreurs d'alignement dans le système dues à des chocs ou au vieillis- sement peuvent produire un front d'onde de sortie présentant une répartition spatiale d'énergie non uniforme.10 Ce dont on a besoin est une façon relativement peu coûteuse de convertir un faisceau optique incident ayant un front d'onde présentant une répartition spatiale d'énergie non uniforme en un faisceau de sortie ayant une répartition spatiale d'énergie sensiblement uniforme, qui soit relative- ment insensible à des fluctuations de positionnement du faisceau incident et aux répartitions spatiales d'énergie dans le faisceau incident. L'invention concerne un homogénéisateur de faisceau destiné à convertir un faisceau incident présentant une répartition spatiale d'énergie non uniforme en un faisceau de sortie présentant une répartition spatiale d'énergie uniforme. Le faisceau est incident sur l'homogénéi- sateur de faisceau, réalisé sous la forme d'un groupement de facettes dans lequel chaque facette est conçue pour transmet- tre une partie quelconque du faisceau, qui lui est incident vers un plan de sortie espacé de l'homogénéisateur de faisceau de telle façon que les lumières transmises à travers chacune des facettes se chevauchent sur le plan de sortie en formant le faisceau de sortie qui présente alors une réparti- tion spatiale d'énergie sensiblement uniforme. La présente invention a pour objet de convertir un faisceau optique incident présentant une répartition spatiale d'énergie non uniforme en un faisceau de sortie présentant une répartition spatiale d'énergie uniforme sur un plan de sortie. L'une des caractéristiques de l'invention est que le faisceau optique présentant une répartition spatiale d'énergie non uniforme, incident sur un homogénéisateur comportant un groupement de facettes, et la partie du faisceau incident qui est transmise à travers chaque facette,5 sont transformés en une image sur la totalité d'une cible de façon à se chevaucher sur un plan de sortie, afin d'homogé- néiser ainsi le faisceau optique incident et de produire un faisceau de sortie ayant une répartition spatiale d'énergie sensiblement uniforme sur le plan de sortie. Une autre10 caractéristique de l'invention est que l'homogénéisateur est un hologramme et que chacune des facettes est un sous- hologramme. Une autre caractéristique de l'invention est que les soushologrammes sont conçus pour minimiser les effets d'interférence sur le plan de sortie entre les lumières15 transmises par les facettes. L'un des avantages de la présente invention est que l'homogénéisateur peut être mis au point par des techni- ques de conception sur ordinateur et peut être fabriqué de façon relativement peu coûteuse. Un autre avantage de l'invention est que l'homogénéisation est relativement insensible à des fluctuations de la densité d'énergie du faisceau incident. Un avantage supplémentaire de l'invention est que la répartition spatiale d'énergie uniforme du faisceau de sortie est pratiquement insensible au point d'incidence du faisceau sur l'homogénéisateur. La présente invention est décrite ci-après à titre d'exemple en référence aux dessins annexés, sur lesquels: La figure 1 représente la répartition spatiale d'énergie d'un faisceau incident sur un homogénéisateur de la présente invention, illustre la façon dont les parties du faisceau incident qui sont transmises à travers l'homogénéi- sateur sont reconstruites sur un plan de sortie pour produire un faisceau de sortie ayant une répartition spatiale d'éner- gie sensiblement uniforme, et illustre un second hologramme de collimation utilisé pour collimater le faisceau de sortie. Cette figure représente la caractéristique d'entrée d'un laser excimere. La figure 2 représente la répartition spatiale d'énergie d'un faisceau incident qui est représentatif d'un faisceau laser à C02 ou He-Ne incident sur un homogénéisa- teur et le faisceau de sortie collimaté qui en résulte. La figure 3 représente une autre répartition spatiale d'énergie d'un faisceau incident qui est représen- tatif d'un faisceau laser Nd:YAG incident sur un homogénéisa- teur et le faisceau de sortie qui en résulte. L'invention sera décrite ci-après à titre d'exemple en référence aux dessins annexés sur lesquels: La présente invention est représentée sur la figure 1. Un faisceau optique est incident sur un homogénéisateur 10 ayant un groupement 11 de facettes 12. Chacune de ces facettes 12 est conçue pour diriger une partie quelconque d'un faisceau 14 optique incident sur celle-ci de façon uniforme sur la totalité d'une cible 16 se trouvant dans un plan de sortie 18. Comme les parties du faisceau incident qui sont transmises à travers chacune des facettes 12 (représentées à titre d'illustration en 20a et 20b) se chevauchent à l'emplacement de la cible 16, le faisceau optique incident est mélangé, ce qui homogénéise les parties discrètes du faisceau incident 14 qui sont transmises à travers chaque facette 12. Cette homogénéisation permet de faire en sorte qu'à l'emplacement de la cible 16, un mélange uniforme du faisceau incident 14 se produise, de telle façon que dans le plan de sortie 18, le faisceau de sortie 22 ait une répartition spatiale d'énergie 24 uniforme. Le processus d'homogénéisation produit une moyenne de la répartition spatiale d'énergie du faisceau incident 14 avec certaines pertes dues à des rendements insuffisants. Le faisceau 14 optique incident émane d'une source optique (non représentée), telle qu'un laser, et est de préférence dans un état collimaté, la répartition spatiale d'énergie du faisceau incident pouvant présenter diverses formes dont certaines sont illustrées sur les figures 1-3. Le faisceau optique incident 14 peut être transféré vers l'homogénéisateur 10 en provenance de la source optique et être collimaté au moyen d'éléments optiques massifs classiques, tels que des lentilles et des miroirs, ou par utilisation d'éléments holographiques qui donnent les mêmes résultats que des éléments optiques classiques. En général, le faisceau incident 14 possède une répartition spatiale d'énergie 26 pouvant présenter une variation notable d'un10 bord à l'autre de sa section transversale. Dans certaines sources, la variation de la répartition spatiale d'énergie 26 peut être comprise entre cinq pour cent et dix pour cent. De plus, lorsque la source optique vieillit ou lorsque l'alimentation en puissance attaquant la source optique fluctue, la répartition de puissance 26 du faisceau incident 14 peut également varier. L'homogénéisateur de faisceau 10 est conçu pour mélanger le faisceau optique incident 14 de telle façon qu'à l'emplacement de la cible 16 du plan de sortie 18, le faisceau de sortie 22 ait une répartition spatiale d'énergie 24 pratiquement uniforme, indépendante des éventuelles variations de la répartition spatiale d'énergie 26 du faisceau incident 14, même s'il se produit de légères variations du point d'incidence du faisceau 14 sur le groupement 11. La répartition spatiale d'énergie 24 à l'emplacement de la cible 16 sera essentiellement une moyenne de l'énergie sur chaque facette 12 et n'aura pas l'uniformité d'énergie 26 du signal incident 14. L'homogénéisateur 10 de faisceau de ce mode de réalisation est un élément holographique et les facettes 12 sont des sous-hologrammes représentés sur la figure 1 sous la forme de groupements linéaires de M x N sous-hologrammes de même taille. Il est également envisageable que les sous- hologrammes présentent des tailles différentes. Ces sous- hologrammes 12 sont conçus pour diffracter une partie quelconque du faisceau optique incident 14 qui est incident sur eux sur toute la cible 16 dans le plan de sortie 18. Chacun de ces sous-hologrammes 12 est un réseau de diffraction distinct qui dirigera la partie du faisceau incident 14 sur la totalité de la cible 16. Du fait du nombre de franges ou de pixels, qui peut tendre vers quatre-vingts5 lignes par millimètre (80 lignes/mm) pour les soushologrammes 12 dans le mode de réalisation particulier décrit ci-après, ces franges ont été omises du dessin pour plus de clarté. De plus, l'homogénéisateur 10 est représenté comme étant un groupement 11 de quatre par quatre pour plus de clarté dans l'illustration et pour faciliter la description alors qu'en réalité, comme décrit ci-après, un nombre sensiblement plus important de sous-hologrammes ou de facettes 12, constituant l'homogénéisateur 10, peut être présent. Il existe deux méthodes générales pour créer des hologrammes. L'une des méthodes consiste à créer un motif d'interférence entre des faisceaux de lumière cohérente sur une plaque holographique puis à développer la plaque. Les hologrammes d'interférence modulent l'indice de réfraction du support en créant le motif de diffraction souhaité lorsque le faisceau de référence éclaire l'hologramme. Cependant, il existe deux problèmes majeurs devant être traités lorsqu'on doit fabriquer un homogénéisateur de faisceau laser. Le premier est que l'absorption du faisceau laser dans le polymère doit être suffisamment faible pour ne pas endommager le polymère. L'absorption est trop élevée dans de nombreuses applications. De plus, la fabrication d'hologrammes de volume est difficile car la photosensibilité des polymères est limitée à une plage de longueurs d'ondes relativement étroite, à savoir de 450 à 700 nm. La longueur d'onde du laser dont la sortie doit être reconstruite doit être utilisée pour créer les hologrammes si l'on ne souhaite pas devoir utiliser des techniques complexes et coûteuses. Cela limite de façon importante la longueur d'onde du laser pouvant être utilisé, et élimine notamment les sources laser plus pratiques telles que les lasers à C02, les lasers Nd:YAG et les lasers Excimères. Dans des hologrammes produits sur ordinateur, le matériau peut être constitué de silicium, de silice fondue ou de quartz. Ces matériaux présentent une faible absorptivité et des seuils d'endommagement élevés vis-5 à-vis de lasers émettant dans des régions de longueurs d'ondes appropriées. De plus, la longueur d'onde à laquelle le laser doit fonctionner fait partie de la conception d'hologrammes sur ordinateur et peut être facilement prise en compte, de la région des UV à l'infrarouge lointain.10 Pour résoudre les problèmes de conception et de fabrication associés aux hologrammes produits par interférence, des Hologrammes Générés par Ordinateur (HGO) ont été mis au point. Les HGO peuvent être mis au point par calcul du motif holographique souhaité puis, après prise en compte des conditions de réalisation, par des transformations mathématiques inverses allant de ce motif ou du front d'onde reconstitué, à l'hologramme particulier requis. Plusieurs méthodes itératives de codage d'HGO ont été mises au point pour tirer profit de la puissance croissante des ordinateurs pour mettre au point des HGO présentant des performances notablement plus élevées que des hologrammes mis au point par d'autres techniques mathématiques. Les HGO ont généralement un aspect de surface en relief et sont formés par utilisation de techniques photolithographiques, d'attaque chimique, d'écriture par faisceaux d'électrons ou autres. La technologie des faisceaux d'électrons fournit une résolution proche de celle d'un film optique, mais met en jeu des niveaux de quantification en amplitude et en phase qui sont beaucoup plus grossiers. Les méthodes photolithographiques peuvent fournir des hologrammes à niveaux multiples. Cependant, l'erreur d'alignement entre les couches croît avec le nombre de couches. On notera que la différence majeure entre la présente invention et celle du brevet US-A-4 547 037, est que dans ce dernier, la lumière éclairant chaque facette est dirigée vers un point différent du plan de sortie. Par ailleurs, selon la présente invention, les rayons lumineux provenant de nombreuses facettes se chevauchent dans le plan de sortie. Bien que les avantages offerts par cette caractéristique aient été décrits précédemment,5 l'inconvénient de cette caractéristique est qu'en certains points du plan de sortie o les rayons lumineux provenant de plusieurs facettes se chevauchent, des effets de cohérence peuvent provoquer des motifs d'interférences pouvant donner lieu à d'importantes fluctuations du profil d'intensité10 laser, si les hologrammes ne sont pas spécifiquement conçus pour éviter ce problème. A titre d'exemple, si les sous- hologrammes étaient conçus indépendamment, et si la taille de chaque sous-hologramme était réduite à une valeur inférieure à la largeur de cohérence spatiale de la source de laser, les effets de cohérence pourraient provoquer l'apparition d'importants motifs de franges brillantes et sombres aux emplacements o les rayons lumineux provenant des diverses facettes se chevauchent. On peut éviter ce problème en concevant les sous- hologrammes par une méthode de codage itératif telle que le codage Itératif Discret sur l'Axe (IDA). Cette méthode est décrite plus en détail dans l'ouvrage intitulé "Iterative Encoding of Hiqh-Efficiency Holoqrams for Generation of Spot Arrays", Optics Letters, vol. 14, pp. 479-81, 1989, par l'un des présents inventeurs, Feldman et al., cet article étant cité ici à titre de référence. En bref, l'hologramme est divisé en une matrice bidimensionnelle de cellules rectangulaires et des valeurs de transmittance correspondant à chaque cellule sont choisies puis optimisées jusqu'à ce qu'une image acceptable soit obtenue. Pendant le processus d'optimisation, l'image, y compris les effets d'interférences entre les différentes facettes, est contrôlée. Les valeurs de transmittance de chaque cellule sont choisies non seulement pour étaler la lumière éclairant chaque facette sur une grande partie (ou la totalité) du plan de sortie, mais également pour minimiser les effets d'interférence entre les facettes. Comme le codage sur l'axe ne nécessite pas de front d'onde porteur pour que l'hologramme fonctionne, ces hologrammes peuvent produire des HGO présentant des rendements de diffraction beaucoup plus importants que les5 méthodes hors axe qui elles, nécessitent un front d'onde porteur. Cela est dû au fait que les hologrammes présentent une limite supérieure pratique imposée au produit espace- largeur de bande (PEB), ou à l'information contenue dans le HGO, qui peut être utilisée pour coder l'image souhaitée.10 Lorsque aucune information n'est nécessaire pour un front d'onde porteur, une plus grande quantité d'informations peut être codée par rapport à l'image souhaitée. Il peut également être souhaitable d'utiliser la méthode de codage décrite dans le brevet US-A-5 202 775 intitulé "Radiallv Symmetric Holoqram and Method of Fabricating the same" qui est également cité ici à titre de référence. L'une des caractéristiques inhabituelles des méthodes de codage itératives telles que l'IDO et la RSIDO, est celle du "saut de phase". Le saut de phase également décrit dans le brevet US-A-5 202 775, se produit lorsque deux pixels d'hologrammes HGO adjacents ont des niveaux de phase qui diffèrent de plus d'un niveau de phase mais moins de N-1 niveaux de phase. On notera que le saut de phase ne se produit pas lorsque des réseaux de diffraction binaires ou à niveaux multiples sont utilisés, tels que ceux décrits dans le brevet US-A- 4 547 037. Lorsqu'on applique la méthode IDO à la conception de chaque soushologramme 12, il est important de maintenir les angles de diffraction à de faibles valeurs pour qu'un HGO à haut rendement, présentant des caractéristiques facilement réalisables, puisse être mis au point compte tenu de la faible longueur d'onde du faisceau optique incident 14. Pour cet exemple particulier, le faisceau optique incident 14 est supposé avoir une forme elliptique de 2,5 cm sur 1 cm (centimètre), avec une longueur d'onde de 308 nm 1 nm (nanomètre). La cible 16 ou le faisceau de sortie 22, pourraient avoir un certain nombre de formes parmi lesquelles des formes circulaires ou carrées et dans l'exemple particulier décrit ici, le diamètre du faisceau dans le plan de sortie 18 est sélectionné de façon à être égal à 1,5 cm.5 Dans ces conditions, l'angle de déflexion maximal de l'homogénéisateur de faisceau 10 sera de 2,9" si l'espacement entre l'homogénéisateur 10 et la cible 16 dans le plan de sortie 18, est de 20 cm. L'angle maximal de déflexion du HGO étant de 2,90, une fréquence spatiale maximale de 160 pl/mm (paires de lignes/millimètre) est nécessaire. Pour exploiter de façon économique la puissance optique de la source, dans ce cas un laser (non représenté), les HGO qui constituent l'homogénéisateur doivent avoir un rendement de diffraction élevé. Un rendement de diffraction d'environ 80% à 90% pourrait être obtenu si la fréquence spatiale du HGO était de 800 pl/mm, soit environ quatre fois la fréquence spatiale maximale requise. La fréquence spatiale du HGO de 800 pl/mm correspond à une taille de détail minimale du HGO de 0,6 Mm (micromètre). Une autre exigence permettant de faire en sorte que le HGO présente le rendement élevé nécessaire pour une exploitation économique de la puissance du faisceau incident, est que le produit PEB (produit espacelargeur de bande) de chaque sous-hologramme soit supérieur ou égal à 128 x 128. Le PEB est le nombre de pixels du sous-hologramme. Il constitue également une mesure du nombre de degrés de liberté. En général, un nombre élevé de degrés de liberté est nécessaire pour mettre en oeuvre des fonctions optiques quelconques avec des rendements élevés. Cela impose une limitation inférieure aux dimensions de chacun des sous- hologrammes de 77 Nm x 77 &m. Lorsque les dimensions de chaque sous- hologramme sont fixées à 100 Mm x 100 pm, le groupement de 100 x 100 facettes a une taille suffisante pour être utilisé avec le faisceau du présent exemple. Ces paramètres particuliers donnent un PEB de 167 x 167 qui est très supérieur au PEB minimal prévu de 128 x 128 nécessaire à l'obtention d'un rendement de diffraction compris entre 80 et 90%. On s'attend à ce que le rendement de diffraction final calculé de ce dispositif soit compris entre 85% et 95%.5 La transmittance 20a, 20b de chaque sous- hologramme 12 couvre la totalité de la cible 16 dans le plan de sortie 18 et forme le faisceau de sortie 22 homogénéisé. On peut s'attendre à ce que le diamètre du faisceau de sortie 22 soit de 1,5 cm x 1,5 cm. Dans ce cas, le faisceau10 de sortie 22 a un diamètre plus petit que le faisceau d'entrée 14. Il est également possible de faire en sorte que le faisceau de sortie 22 soit élargi par l'homogénéisateur 10 de telle façon que la cible 16 ait une section transversale plus grande que le faisceau d'entrée 14 ou présente un profil15 arbitraire souhaité quelconque. Le plan de sortie 18 représente une zone de l'espace et non pas un élément particulier quelconque. Il est possible de placer un élément optique massif, une fibre optique, un autre hologramme, tel que l'hologramme de collimation représenté sur la figure 1, un dispositif actif ou tout autre appareil qui utiliserait le faisceau de sortie, comme par exemple un masque obturateur ou un objet à éclairer. L'une de ces applications consisterait à incorporer un élément optique, tel que l'hologramme de collimation 28 représenté sur la figure 1, au plan de sortie 18, celui-ci permettant alors au faisceau de sortie d'être utilisé dans des machines de découpage au laser. En l'absence de l'homogénéisateur 10, un faisceau utilisé dans des applications de découpage présentera la répartition d'intensité du faisceau incident 24, c'est-à-dire qu'une proportion notable de la puissance du faisceau incident sera perdue par passage du faisceau à travers l'ouverture. Comme le montre la figure 1, le front d'onde du faisceau incident présente une section centrale de puissance plus élevée, ou "point chaud", qui pourra découper un matériau plus rapidement que la section de bordure extérieure de plus faible puissance. Cela conduit à des bords découpés avec une moindre précision étant donné que le bord prend une forme peu différente de la réciproque du front d'onde de la répartition de puissance du faisceau incident. La répartition de5 puissance du front d'onde de sortie à l'emplacement de la cible illustre la nette différence de puissance entre les intensités à côté de la cible et sur la cible, du faisceau homogénéisé. Avec la répartition d'intensité homogénéisée du faisceau homogénéisé, le découpage se produit plus10 uniformément sur toute la largeur du faisceau de sortie et produit un bord plus précis. Des modifications de la structure apparaîtront aux spécialistes de la technique et des modifications et des modes de réalisation en apparence différents peuvent être conçus sans qu'ils s'écartent du cadre de l'invention. Le matériau proposé dans la description qui précède et les dessins annexés n'est cité qu'à titre d'illustration. REVENDICATIONS 1. Homogénéisateur (10) de faisceau pour convertir un faisceau incident (14) ayant une répartition spatiale d'énergie non uniforme (26) en un faisceau de sortie5 (22) ayant une répartition spatiale d'énergie (24) sensiblement uniforme dans un plan de sortie (18), l'homogénéisateur (10) étant caractérisé en ce que: on utilise un groupement (11) de facettes (12), le faisceau incident (14) étant incident sur au moins certaines des facettes (12) et chaque facette (12) transmettant une partie quelconque du faisceau (14) incident sur elles de façon que les parties du faisceau d'entrée (14) transmises à travers au moins certaines des facettes (12) se chevauchent sur la cible (16), de telle sorte que la répartition spatiale d'énergie (26) du faisceau incident (14) soit homogénéisée en le faisceau de sortie ayant une répartition spatiale d'énergie (24) uniforme. 2. Homogénéisateur (10) de faisceau selon la revendication 1, caractérisé en ce que les facettes (12) sont des sous-hologrammes. 3. Homogénéisateur (10) de faisceau selon la revendication 1, caractérisé en ce que le groupement est un groupement linéaire de M x N facettes (12). 4. Homogénéisateur (10) de faisceau selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque facette (12) est un réseau de diffraction et en ce que les parties transmises du faisceau incident à travers chacune des facettes (12) sont diffractées de façon à se chevaucher les unes les autres sur la cible (16). 5. Homogénéisateur (10) de faisceau selon la revendication 1, caractérisé en ce que les sous-hologrammes (12) sont des hologrammes générés par ordinateur. 6. Homogénéisateur (10) de faisceau selon la revendication 1, caractérisé en ce que toutes les facettes (12) ont la même taille. 7. Homogénéisateur (10) de faisceau selon la revendication 1, caractérisé en ce que les facettes (12) ont des tailles choisies indépendamment de la puissance incidente sur elles. 8. Homogénéisateur (10) de faisceau selon la revendication 1, caractérisé en ce que chacune des facettes (12) élargit une partie quelconque du faisceau (14) incident sur elles, vers la cible (16). 9. Système à homogénéisateur (10) de faisceau pour convertir un faisceau incident (14) ayant une répartition d'intensité (26) non uniforme en un faisceau de sortie ayant une répartition spatiale d'énergie (24) sensiblement uniforme dans un second plan (18) espacé de l'homogénéisateur (10), l'homogénéisateur de faisceau étant caractérisé en ce qu'il comprend: un groupement (11) de sous- hologrammes (12), le faisceau incident (14) étant incident sur au moins certains des sous-hologrammes (12) dont les tailles sont choisies indépendamment de la répartition spatiale d'énergie (26) de la partie du faisceau (14) incident sur chacun des sous- hologrammes (12) et chaque facette (12) transmettant une partie quelconque du faisceau (14) incident sur elle de façon que les transmittances d'un grand nombre des facettes (12) se chevauchent à l'emplacement d'une cible (16) située dans le second plan (18), o la cible (16) est sensiblement plus grande que le sous-hologramme (12), ce qui rend constante la répartition spatiale d'énergie (24) sur la totalité de la cible (16). 10. Homogénéisateur (10) de faisceau selon la revendication 9, caractérisé en ce qu'un élément optique holographique est inclus à l'emplacement de la cible (16) pour collimater les rayons transmis incidents sur lui.