Brevet FR2716462A1 — publié le 19950825

PROCEDE POUR REVETIR UN SUBSTRAT, ET DISPOSITIF DE REVETEMENT POUR LA MISE EN OEUVRE DUDIT PROCEDE La présente invention se rapporte à un procédé pour re- vêtir un substrat à l'aide d'un rayonnement laser pulsé, venant en incidence sur une cible. L'invention concerne, par ailleurs, un dispositif de revêtement pour la mise en oeuvre d'un tel procédé. Des procédés de revêtement d'un substrat, à l'aide d'un rayonnement laser pulsé incidant sur une cible, sont connus sous la dénomination "laser pulse vapour deposition" (LPVD) ou "pulse laser deposition" (PLD). Dans de tels procédés LPVD, la surface de la cible est exposée, pendant la durée d'action d'une impulsion laser foca- lisée sur ladite surface, à des densités de puissance variant dans l'espace étant donné que la densité de puissance varie sur la section transversale du rayonnement laser, et que la surface de la cible peut également présenter des inclinaisons différemment accentuées vis-à-vis du rayonnement laser. Si la densité de puissance incidant sur la cible excède, en un endroit, une certaine valeur qu'il convient de désigner par "seuil d'inter- action", il en résulte que, à cet endroit, la surface de la cible est durablement modifiée et qu'il se détache, de ladite sur- face, du matériau circulant en direction du substrat. Le matériau enlevé de la cible se condense sur un substrat qui est situé à l'opposé de la surface de la cible, et sur lequel ledit matériau forme une couche. Les revêtements produits par les procédés LPVD connus jusqu'à présent sont, toutefois, trop dénués d'homogénéité pour de nombreuses applications pratiques. En outre, les revê- tements n'adhèrent au substrat que de façon insatisfaisante. L'invention a par conséquent pour objet un procédé de revêtement du type considéré, perfectionné de telle sorte que se dépose, sur le substrat, une couche homogène constituée du matériau de revêtement et douée d'une bonne adhérence. Conformément à l'invention, dans un procédé de revête- ment du type décrit en introduction, dans lequel le rayonnement laser pulsé présente un profil non homogène de densité de puis- sance, avec des gradients de densité de puissance, et dans le- quel chaque impulsion laser modifie durablement la surface de la cible dans les limites d'une surface d'interaction, cet objet est atteint par le fait qu'il s'opère, entre la cible et le rayonnement laser incident, un mouvement relatif tel que des surfaces d'interaction de différentes impulsions laser, mu- tuellement en superposition, se superposent de telle sorte que les gradients de densité de puissance des différentes impul- sions laser coopèrent, dans la zone de superposition des surfa- ces d'interaction, de façon telle que la zone de superposition des surfaces d'interaction soit, enmoyenne, enlevée pour l'es- sentiel uniformément, si bien qu'il se forme, sur le substrat, un revêtement accusant un faible nombre de gouttelettes. Il s'avère encore plus propice que le revêtement, formé sur le substrat, présente un pourcentage de gouttelettes inférieur à 20 %, notamment inférieur à 10 %. En effet, une part du matériau enlevé de la cible se redépose, sur le substrat, sous la forme de particules fondues approximativement sphéri- ques. De telles particules fondues, possédant un diamètre de plus de 1 lpm, sont qualifiées de "gouttelettes". Par l'expres- sion "pourcentage de gouttelettes", il faut entendre le pourcentage des gouttelettes dans le nombre total des particules fondues présentant un diamètre d'au moins 0,2 pm. Un revêtement "à faible nombre de gouttelettes" est un revêtement qui est dé- pourvu de gouttelettes, ou dont le pourcentage des gouttelettes est inférieur à 50 %. Une baisse du pourcentage de gouttelettes s'accompagne également d'une diminution de la densité superfi- cielle des gouttelettes sur le substrat. L'idée inventive se fonde sur la connaissance des rap- ports de cause à effet existant, d'une part, entre la qualité du revêtement et le pourcentage de gouttelettes et, d'autre part, entre la formation de gouttelettes et le profil non homogène de densité de puissance du rayonnement laser. L'analyse de clichés de la surface de substrats revêtus, réalisés au microscope électronique à balayage, concernant la répartition dimensionnelle des particules fondues apparaissant dans le revêtement, a permis d'attester une corrélation exis- tant entre, d'une part, la qualité du revêtement et, d'autre part, la densité superficielle des gouttelettes et le pourcen- tage de gouttelettes. L'homogénéité et l'adherence du revête- ment s'améliorent lorsque le pourcentage de gouttelettes diminue. Grâce à l'analyse de clichés de la surface d'une cible partiellement érodée, réalisés au microscope électronique à balayage, une corrélation a été constatée entre le pourcentage des gouttelettes sur les particules fondues enlevées de la cible, et l'apparition de défauts de planéité de la surface désignés, ci-après, par "structures d'ouverture par fusion". Les gouttelettes apparaissent majoritairement dans la plage de la cible qui présente de telles structures d'ouverture par fusion. Pour comprendre l'apparition des structures d'ouverture par fusion, il est essentiel de prendre en considération la non- homogénéité permanente du profil de densité de puissance du rayonnement laser, et les gradients de densité de puissance qui en résultent. Des régions de la section transversale du rayonnement laser, dans lesquelles la densité de puissance se situe en deçà du seuil d'interaction, ne provoquent aucune modification du- rable de la surface de la cible. Des régions de la section transversale du rayonnement laser, dans lesquelles la densité de puissance se situe entre le seuil d'interaction et ce qu'on appelle un "seuil de sublima- tion", provoquent une entrée en fusion de la surface de la cible lors d'une incidence sur cette dernière. Les structures préci- tées d'ouverture par fusion se forment au stade de la resoli- dification, après l'action exercée par une impulsion laser. Des régions de la section transversale du rayonnement laser, dans lesquelles la densité de puissance se situe entre le seuil de sublimation et ce qu'on appelle un "seuil de satura- tion", provoquent une érosion de la cible qui est exempte de gouttelettes et résulte d'une sublimation lors d'une incidence sur la surface de ladite cible. Dans ces régions, cependant, l'allure d'enlèvement croit avec la densité de puissance, de sorte qu'il subsiste, après l'action exercée par une impulsion laser, une surface inclinée de la cible dont les gradients de profondeur d'enlèvement sont fonction des gradients de densité de puissance du rayonnement laser incident. Des régions de la section transversale du rayonnement laser, dans lesquelles la densité de puissance excède le seuil de saturation, provoquent un enlèvement uniforme, exempt de gouttelettes, qui résulte d'une sublimation lors d'une inci- dence sur la surface de la cible. L'allure de l'enlèvement cesse de croître pour des densités de puissance au-delà du seuil de saturation, si bien que, dans ces régions, les gradients de den- sité de puissance ne se traduisent pas par des gradients de pro- fondeur d'enlèvement sur la cible. Or, si des surfaces d'interaction de différentes impul- sions laser se superposent de façon telle que les gradients de densité de puissance des différentes impulsions laser coopè- rent, dans la zone de superposition des surfaces d'interaction, d'une manière propre à amplifier des non-homogénéités de la profondeur d'enlèvement dans l'espace, il en résulte la forma- tion, sur la surface de la cible, de flancs escarpés sur les- quels le rayonnement laser vient incider de plus en plus à plat, avec agrandissement corrélatif de la plage de la cible qui pré- sente des structures d'ouverture par fusion. L'on obtient en conséquence, sur le substrat, des revêtements qui présentent un pourcentage de gouttelettes augmentant au fur et à mesure de l'accroissement de la durée du revêtement, et qui accusent ainsi une baisse qualitative. En revanche, la solution conforme à l'invention empêche l'érosion non uniforme de la cible et permet, de ce fait, la production de revêtements présentant l'homogénéité et la fa- culte d'adhérence desirablement bonnes. Il est particulièrement propice que le mouvement rela- tif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de façon telle que des surfaces d'interaction de deux impulsions laser considérées, en superposition mutuelle, se superposent de telle sorte que les répercussions des gradients de densité de puissance des deux impulsions laser se compensent, pour l'es- sentiel, dans la zone de superposition. L'on empêche ainsi que, suite à la coopération entre plusieurs impulsions laser, des parties de la surface de la cible s'inclinent plus fortement, par rapport à la surface de la cible à l'état intact, que tel est le cas après l'action exercée par une impulsion laser indi- viduelles, ce qui impliquerait une diminution de la densité de puissance reçue par la surface de la cible, du fait d'une inci- dence rasante. Il est avantageux que le mouvement relatif, entre la ci- ble et le rayonnement laser incident, s'opère de façon telle que, pour chaque impulsion laser, la plage de la cible, dans la- quelle la densité de puissance du rayonnement laser incident se situe entre le seuil d'interaction et le seuil de sublimation, se superpose le moins possible avec la plage de la cible dans la- quelle des structures d'ouverture par fusion ont été provoquées par des impulsions antérieures. Cette mesure a pour effet d'em- pêcher que la cible soit érodée sous la forme de gouttelettes dans les plages présentant des structures d'ouverture par fusion. Il est particulièrement avantageux que le mouvement re- latif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de façon telle que, pour chaque impulsion laser, la plage de la cible, dans laquelle la densité de puissance du rayonnement la- ser incident se situe entre le seuil de sublimation et le seuil de saturation, se superpose le moins possible avec la plage de la cible dans laquelle des structures d'ouverture par fusion ont été provoquées par des impulsions antérieures. Cela permet de diminuer, davantage encore, la part du matériau enlevé sous forme de gouttelettes. Il est favorable que le mouvement relatif, entre la ci- ble et le rayonnement laser incident, s'opère de façon telle que, pour chaque impulsion laser, la plage de la cible, dans la- quelle la densité de puissance du rayonnement laser incident se situe entre le seuil d'interaction et le seuil de sublimation, se superpose le moins possible avec la plage de la cible dans la- quelle la surface de ladite cible s'est inclinée, par rapport à la surface de la cible à l'état intact, suite à l'action exercée par des impulsions laser antérieures. L'on peut, de la sorte, diminuer la part superficielle de la région dans laquelle la cible entre en fusion au lieu de connaître une sublimation. Un mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, est particulièrement simple à commander et se prête semblablement à n'importe quel profil de densité de puis- sance lorsque, en présence de ce mouvement, toute position re- lative possible, entre deux surfaces d'interaction respectives de différentes impulsions laser, se superposant mutuellement, intervient en moyenne, pour l'essentiel, avec une même fréquence d'occurrence. Le risque d'une inopportune coopération, entre les gra- dients de densité de puissance de différentes impulsions laser, est minimisé davantage encore lorsque le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de fa- çon telle que, lors de chaque processus de revêtement, pour l'essentiel toute la surface de la cible soit recouverte par les surfaces d'interaction des impulsions laser. Le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère avantageusement de façon telle que, lors de chaque processus de revêtement, pour l'essentiel toute la surface de la cible soit érodée uniformément. Ce mode opéra- toire permet d'exploiter en totalité la masse de la cible, si bien qu'un remplacement de cible est moins fréquemment néces- saire. Fondamentalement, le mouvement relatif entre la cible et le rayonnement laser incident peut être engendré en impri- mant un mouvement uniquement au rayonnement laser, uniquement à la cible, ou conjointement à la cible et au rayonnement laser. Un mouvement imprimé uniquement au rayonnement laser offre l'avantage de permettre d'obtenir de grandes vitesses relatives et accélérations relatives. Le rayonnement laser est alors dévié, par exemple, à l'aide d'un ou plusieurs miroir(s) pivotant(s). Le cas échéant, l'optique de reproduction doit être réorientée pour focaliser le laser sur la surface de la ci- ble, également lorsque le trajet de rayonnement est modifié. Le mouvement imprimé uniquement à la cible peut être obtenu moyennant une faible complexité, et permet de focaliser optimalement le rayonnement laser sur un point fixe. Il est particulièrement propice que le mouvement rela- tif, entre la cible et le rayonnement laser incident, présente plus d'un degré de liberté. Cela permet de tirer intégralement parti de cibles qui présentent, dans chaque direction, une plus grande étendue qu'une surface individuelle d'interaction. Notamment lorsqu'on utilise des cibles dont la surface est en forme de disque circulaire, il est particulièrement avantageux d'engendrer le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, par une superposition d'un mouvement rotatoire et d'un mouvement alternatif linéaire. Les mouvements rotatoire et alternatif linéaire peuvent être respectivement obtenus au prix d'une faible complexité, et permettent d'exploiter intégralement une cible à surface configurée en un disque circulaire. Lorsque le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, est engendré par une superposition d'un mouvement rotatoire et d'un mouvement alternatif lineai- re, il est recommandé d'interrompre par intermittence le mouve- ment rotatoire avec poursuite du mouvement alternatif linéai- re, ou bien d'interrompre par intermittence le mouvement alter- natif linéaire avec poursuite du mouvement rotatoire, de façon qu'il en résulte, entre la cible et le rayonnement laser inci- dent, un mouvement relatif en présence duquel les surfaces d'interaction des impulsions laser sont uniformément répar- ties, de manière statistiquement localisée, sur un fragment co- hérent de la surface de la cible qui possède, dans chaque direc- tion, une plus grande étendue qu'une surface individuelle d'in- teraction. Cela a pour effet d'éviter la formation de flancs escarpés à structures d'ouverture par fusion. Il est par ailleurs avantageux de diaphragmer, à l'aide d'un diaphragme de champ, les régions de la section transversa- le du rayonnement laser qui présentent une densité de puissance située en deçà du seuil de saturation. Grâce à cette mesure, les gradients de densité de puissance augmentent dans le rayonne- ment laser incident avec, pour résultat, une augmentation des gradients de l'allure d'enlèvement sur la surface de la cible. Cela implique une réduction du fragment de la surface de la cible sur lequel il s'opère un enlèvement non uniforme et sur lequel, par conséquent, peuvent apparaître des flancs inclinés à structures d'ouverture par fusion. Pour diminuer davantage encore la plage de la surface de la cible sur laquelle des structures d'ouverture par fusion peuvent apparaître, il est avantageux de coordonner mutuelle- ment la forme et la taille des diaphragmes situés sur le trajet de rayonnement du laser, ainsi que le profil de densité de puis- sance dudit laser, de telle sorte que des maxima secondaires de la densité de puissance, survenant par diffraction sur la sur- face de la cible, n'excèdent pas le seuil d'interaction. En complément de l'invention décrite jusque-là, l'objet de l'invention est également atteint, au moyen d'un dispositif de revêtement comprenant un substrat; une cible en un matériau de revêtement; et un laser pour engendrer un rayonnement laser pulsé qui vient incider sur la cible, présente un profil non ho- mogène de densité de puissance, avec des gradients de densité de puissance, et dont les impulsions individuelles modifient du- rablement la surface de la cible, dans les limites d'une surface d'interaction respective, par le fait que ledit dispositif de revêtement comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible et le rayonnement laser incident, un mouvement relatif ayant pour effet que les surfaces d'inter- action de différentes impulsions laser, en superposition mu- tuelle, se superposent de façon telle que les gradients de den- sité de puissance des différentes impulsions laser coopèrent, dans la zone de superposition, de telle sorte que la zone de su- perposition des surfaces d'interaction soit, en moyenne, enle- vee pour l'essentiel uniformément, si bien qu'il se forme, sur le substrat, un revêtement accusant un faible nombre de gouttelettes, de préférence un revêtement dont le pourcentage de gouttelettes est inférieur à 20 %, notamment inférieur à 10 %. De préférence, le dispositif de revêtement conforme à l'invention peut présenter, sur le trajet de diffusion du rayonnement laser, uniquement des diaphragmes dont la forme et la taille ne permettent pas l'apparition par diffraction, sur la surface de la cible, de maxima secondaires dans lesquels la densité de puissance atteint le seuil d'interaction. L'invention va à présent être décrite plus en détail, à titre d'exemple nullement limitatif, en regard des dessins an- nexés sur lesquels: la figure 1 est une illustration schématique d'un dispo- sitif de revêtement conforme à l'invention; la figure 2 est une représentation, à échelle agrandie, de la zone repérée par Z sur la figure 1; les figures 3a à 3c sont, respectivement, une illustra- tion schématique du profil de densité de puissance d'un laser (figure 3a), une coupe transversale schématique d'une cible, après l'action exercée par une impulsion laser individuelle (figure 3b), et une coupe transversale schématique d'une cible, après l'action exercée par plusieurs impulsions laser dans la même zone de la cible (figure 3c) ; et la figure 4 est une vue en plan de la surface de la cible, avec représentation schématique de la répartition des surfaces d'interaction. L'exemple de réalisation, illustré sur la figure 1, d'un dispositif de revêtement conforme à l'invention, désigné dans son ensemble par 10, comporte un laser pulsé 12 disposé sur un banc d'optique 14 qui est orienté parallèlement à un axe optique 16 du laser 12. Le laser pulse 12 peut être, par exemple, un laser Nd:YAG à modulation de qualité, présentant une longueur d'ondes de 1,064 n, une énergie pulsatoire maximale de 250 mJ, une durée d'impulsions de 8 ns, une fréquence de répétition maximale de 14 Hz et un profil annulaire de densité de puissance; ou bien un laser Nd:YAG à modulation de qualité, présentant une longueur d'ondes de 532 nm, une énergie pulsatoire maximale de 200 mJ, une durée d'impulsions de 6 ns, une fréquence de répétition maximale de 10 Hz et un profil gaussien de densité de puis- sance. Une lentille collectrice 18 est par ailleurs retenue sur le banc d'optique 14, à l'aide d'un porte-lentille 20, de façon telle que l'axe de symétrie de la lentille 18 coïncide avec l'axe optique 16. Un diaphragme de champ 22 peut en outre être retenu sur le banc d'optique 14 au moyen d'un porte-diaphragme 24, entre le laser 12 et la lentille 18, de telle sorte que l'axe de symétrie de l'ouverture dudit diaphragme 22 coïncide avec l'axe optique 16. Du côté de la lentille collectrice 18 qui est tourné à l'opposé du laser 12, l'axe optique 16 traverse une fenêtre d'entrée 28 enchâssée dans la paroi d'une chambre à dépression 26. A l'intérieur de la chambre à dépression 26, l'axe opti- que 16 traverse un diaphragme 30 de protection contre la métal- lisation qui, par l'intermédiaire d'un porte-diaphragme 32, est fixé à la face interne de la paroi de la chambre 26 de façon telle que l'axe de symétrie de l'ouverture dudit diaphragme 30 coïncide avec l'axe optique 16. Le diaphragme 30 sert à protéger la fenêtre d'entrée 28 d'une métallisation par dispersion. Du côté du diaphragme protecteur 30 qui est tourné à l'opposé de la fenêtre d'entrée 28, l'axe optique 16 coupe la surface libre circulaire 34 d'une cible cylindrique 36, selon un angle de 45 par rapport à la direction perpendiculaire à la- dite surface 34. Le point d'intersection entre l'axe optique 16 et la surface 34 de la cible se trouve dans la zone focale de la lentille collectrice 18. La cible 36 consiste en n'importe quel matériau pouvant être érode au laser, par exemple en un métal pur tel que de l'aluminium ou du magnésium, ou bien en un allia- ge, et elle repose dans une monture 38 ouverte d'un côté et revê- tant la forme d'une écuelle. Le fond de la monture 38 de la cible est porté par une ex- trémité d'un premier arbre d'entraînement 40 d'un premier mo- teur électrique 42, les axes de symétrie du premier arbre 40 et de la cible 36 coïncidant mutuellement. Le premier moteur électrique 42 est relié rigidement à un écrou 44 à broche, calé sur une broche filetée 46 menée par un second moteur électrique 48. L'axe de la broche filetee 46 est orienté parallèlement à la ligne droite définie par le centre de la surface circulaire 34 de la cible, et par le point d'intersection entre l'axe opti- que 16 et ladite surface 34. L'extrémité de la broche 46 qui est dépourvue de fileta- ge, et est tournée à l'opposé du second moteur électrique 48, est montée dans un coussinet de portée 50 implanté sur une face interne de la paroi d'un boîtier rectangulaire 52 du dispositif de mise en mouvement de la cible, lequel boîtier ceinture les moteurs électriques 42 et 48, ainsi que la broche 46. Chacune des perpendiculaires à la surface du boîtier rectangulaire 52 est orientée parallèlement au premier arbre d'entraînement 40, respectivement à la broche 46. Le premier arbre 40 sort du boîtier 52 à travers une fente s'étendant, dans la paroi dudit boîtier 52, parallèlement à la broche 46. Le second moteur électrique 48 est retenu sur la face in- terne de la paroi du boîtier 52 qui est située à l'opposé du coussinet de portée 50. Une glissière de guidage 54, s'étendant parallèlement à la broche 56 et contre laquelle porte une région de la paroi extérieure du premier moteur électrique 42, est en outre installée sur l'une des faces internes de la paroi du boî- tier 52. Le boîtier 52 du dispositif de mise en mouvement de la cible est fixé, par l'intermédiaire de pièces de retenue 56 si- tuées sur la paroi extérieure dudit boîtier 52, à la face inter- ne de la paroi de la chambre à dépression 26. Un substrat 58 à surface plane 60 se trouve du côté de la cible 36 qui est tourné à l'opposé du boîtier 52, la surface 60 dudit substrat s'étendant (à peu près) parallèlement à la sur- face 34 de la cible, dont elle est espacée d'une distance d'en- viron 50 mm. Le substrat 58 peut consister en n'importe quel ma- tériau, par exemple en de l'acier ou en du verre de microscopie, et il est retenu par un porte-substrat 62 qui est à son tour mon- té, à l'aide de pièces de retenue 64, sur la face interne de la paroi de la chambre à dépression 26. Un raccord 66 de pompe à vide, auquel une pompe à vide 68 est bridée, est par ailleurs implanté dans la paroi de la cham- bre à dépression 66. Préalablement à un processus de revêtement, le vide est créé dans la chambre à dépression 26 au moyen de la pompe à vide 68, jusqu'à ce que soit atteinte une pression résiduelle de pré- férence inférieure à 10-3 mbar. Les deux moteurs électriques 42 et 48 sont ensuite mis en fonction. Le premier moteur 42 fait tourner le premier arbre d'entraînement 40, ce qui imprime une rotation à la cible 36. Le second moteur 48 fait tourner la broche 46, ce qui implique un coulissement de l'écrou 44 à broche et, par conséquent, du pre- mier moteur 42 le long de la broche 46. La glissière de guidage 54 empêche alors un basculement du premier moteur 42 autour de la broche 46. Le mouvement linéaire du premier moteur 42 se tra- duit par un mouvement linéaire correspondant de la cible 36. Ainsi, le premier moteur électrique 42 agit comme un élément im- primant une rotation à la cible, et le second moteur électrique 48 remplit la fonction d'un élément imposant un coulissement à la cible. Un rayonnement laser pulsé 70, engendré par le laser 12, est focalisé par la lentille collectrice 18 sur la surface 34 de la cible. Dans les limites d'une surface d'interaction 72 défi- nie en introduction du présent mémoire, chaque impulsion laser enlève, de la cible, du matériau se présentant comme des par- ticules qui forment un flux particulaire 74 dirigé vers le substrat 58 et qui se redéposent, sous la forme d'une couche, sur la surface 60 dudit substrat. Le rayonnement laser 70 présente un profil non homogène de densité de puissance, illustré schématiquement sur la figure 3a. Sur la figure 3a, la part de la densité de puissance I qui excède un seuil d'interaction Il est reportée en fonction de la distance x par rapport à l'axe optique 16 du rayonnement laser 70. La plage, dans laquelle la densité de puissance dépasse un seuil de saturation 13, est désignée par A. La plage, dans laquelle la densité de puissance se situe entre le seuil de sa- turation 13 et un seuil de sublimation I2, est repérée par B. La plage, dans laquelle la densité de puissance se situe entre le seuil de sublimation 12 et le seuil d'interaction Il, est indi- quee par C. La plage, dans laquelle la densité de puissance se situe en deçà du seuil d'interaction Il, est désignée par D. La figure 3b montre la modification de la cible, provo- quée par une impulsion laser individuelle. La profondeur d'en- lèvement d est reportée en fonction de la distance x par rapport à l'axe optique 16 du rayonnement laser 70. Les plages A à D de la surface 34 de la cible correspondent aux plages A à D de la section transversale du rayonnement laser selon la figure 3a. Dans la plage A, la cible 36 est érodée sans formation de gouttelettes, avec une allure d'enlèvement constante dans l'espace. Dans la plage B également, la cible 36 est érodée sans formation de gouttelettes, toutefois avec une allure d'enlève- ment variable dans l'espace, si bien que, suite à l'action exer- cée par l'impulsion laser, la surface de la cible 36 s'incline comparativement à la surface 34 de la cible 36 à l'état intact. Dans la place C, la cible 36 entre en fusion suite à l'ef- fet exercé par l'impulsion laser. L'érosion de la cible 36 est faible dans cette plage. Au stade de la resolidification, après l'action exercée par l'impulsion laser, des défauts de planéité 76 (structures d'ouverture par fusion) se forment, à la sur- face, dans la plage repérée par des pointillés sur la figure 3b. Dans la plage D, le rayonnement laser 70 est réfléchi par la cible 36 sans provoquer une modification durable de la sur- face 34 de cette cible. Or, si plusieurs impulsions laser agissent sur la même zone de la cible 36, sans que la position de cette cible 36 soit modifiée par rapport au rayonnement laser 70 incident, les structures 76 d'ouverture par fusion ressortent de plus en plus fortement du fait que le rayonnement laser 70incide de plus en plus à plat sur lesdites structures 76, d'o une baisse de la densité de puissance reçue à cet endroit par la surface de la cible et, par voie de conséquence, une baisse de l'allure d'en- lèvement. Sur la figure 3c, la profondeur d'enlèvement d après plusieurs impulsions laser de ce type est reportée en fonction de la distance x par rapport à l'axe optique 16 du rayonnement laser 70. Les plages A à D correspondent aux plages A à D de la figure 3b. La superposition de même sens des gradients de densité de puissance des différentes impulsions laser provoque, dans la plage A uniquement, une érosion de la cible 36 qui est uniforme et exempte de gouttelettes, cependant qu'apparaissent, dans les plages B et C, des flancs de plus en plus escarpés d'un cra- tère d'érosion à structures 76 d'ouverture par fusion revêtant la forme de bâtonnets, qui présentent une étendue de quelques pm. Sur ces flancs du cratère d'érosion, la cible 36 est majoritairement érodée sous la forme de gouttelettes. Le mouvement imprimé à la cible 36 par rapport au rayon- nement laser pulsé 70, à l'aide du premier moteur électrique 42 et du second moteur électrique 48, a pour effet d'empêcher l'ap- parition de tels flancs escarpés se traduisant par une indési- rable formation de gouttelettes. Lors de chaque interruption du mouvement de la cible 36, le laser 12 est mis hors fonction ou, respectivement, son trajet de rayonnement est barré afin d'empêcher que plusieurs impul- sions laser successives donnent naissance à un cratère d'éro- sion. Dans ce cas, la densité moyenne de puissance du rayonne- ment laser 70 est choisie de telle sorte que, d'une part, la part du matériau de la cible, qui est enlevé par une impulsion laser sous la forme de gouttelettes, devienne la plus petite possible et que, d'autre part, la quantité totale du matériau de la ci- ble, enlevé par une impulsion laser, devienne la plus grande possible. Lorsque le matériau constituant la cible est du magnésium, la densité moyenne optimale de puissance est de l'or- dre de 1010 W/cm2. Du fait des mouvements rotatoire et linéaire combinés de la cible 36, les surfaces d'interaction 72 des impulsions laser successives, sur la surface 34 de la cible, sont agencées le long d'une trajectoire spiroïdale 78 illustrée par une ligne en trait plein sur la figure 4. Le sens du défilement de la spirale 78 est symbolisé par une flèche. Les positions des surfaces d'interaction 72, sur la spirale 78, sont repérées par des cer- cles blancs. Une coordination appropriée des vitesses angulai- res du premier moteur électrique 42 et du second moteur électri- que 48, l'une par rapport à l'autre et par rapport à la fréquence de répétition du laser 12, permet d'obtenir que les surfaces d'interaction 72 ne se chevauchent tout d'abord pas. Enfin, suite au mouvement linéaire de la cible 36, la zone focale du rayonnement laser 70 est parcourue soit par la marge, soit par le centre de la surface 34 de la cible. Si tel est le cas, les deux moteurs électriques 42 et 48 sont mis ma- nuellement hors fonction indépendamment l'un de l'autre, leur polarité est inversée, puis ils sont remis en fonction. Les mou- vements rotatoire et linéaire de la cible 36 changent par consé- quent de direction et les surfaces d'interaction 72, venant à nouveau s'ajouter, sont de nouveau agencées le long d'une spi- rale 80 dont le sens de rotation et l'espacement des spires sont les mêmes que ceux de la spirale 78 parcourue avant l'inversion de polarité, mais qui est toutefois parcourue dans la direction opposée. Du fait que ni la mise en fonction, ni la mise hors fonction du premier moteur électrique 42 ne sont synchronisées avec celles du second moteur électrique 48, les spires des deux spirales 78 et 80 sont, toutefois, fortuitement tordues et décalées les unes des autres. Etant donné que la commutation des deux moteurs électriques 42 et 48 ne s'opère pas non plus en syn- chronisme avec le train d'impulsions du laser 12, la position des surfaces d'interaction 72 se décale additionnellement le long de la trajectoire spiroïdale. La trajectoire spiroïdale 80, parcourue après la commu- tation, est représentée par une ligne en pointillé sur la figure 4. Le sens du défilement de la spirale 80 est symbolisé par une flèche. Les positions des surfaces d'interaction 72, sur la trajectoire spiroïdale 80, sont repérées par des cercles hachu- rés. Il se produit ainsi sur la surface 34 de la cible, après chaque commutation des moteurs électriques 42 et 48, une nou- velle répartition de surfaces d'interaction 72 qui est indépen- dante de la répartition de surfaces d'interaction 72 plus an- ciennes. En cas de superposition, en un endroit de la surface 34 de la cible, de plusieurs surfaces d'interaction 72 dont les instants d'apparition sont respectivement séparés les uns des autres par au moins un processus de commutation, il en résulte que les gradients des allures d'enlèvement de ces surfaces d'interaction 72 se compenseront, enmoyenne, de façon récipro- que. Des surfaces d'interaction 72 entre les temps d'apparition desquelles aucun processus de commutation n'intervient ne se chevauchent pas de toute façon. En conséquence, toute la sur- face 34 de la cible est érodée uniformément sans qu'il puisse se former des flancs escarpés, impliquant d'indésirables struc- tures 76 d'ouverture par fusion. Si les vitesses angulaires des deux moteurs électriques 42 et 48 sont respectivement constantes dans le temps, les surfaces d'interaction 72 sont plus denses au centre de la sur- face 34 de la cible que sur la marge de cette dernière, c'est-à- dire que la cible 36 est érodée de plus en plus fortement en di- rection du centre de sa surface 34. L'inclinaison de la surface 34 de la cible, ainsi provoquée, est cependant suffisamment faible pour qu'il ne se produise aucune diminution notable de la densité de puissance reçue par ladite surface 34, ni aucune aug- mentation notable de la part du matériau enlevé sous forme de gouttelettes. Néanmoins, si une érosion totalement uniforme de la surface 34 est souhaitée pour pouvoir éroder le plus complè- tement possible la cible 36, la vitesse angulaire du premier mo- teur électrique 42 ou du second moteur électrique 48 doit être commandée de telle sorte qu'elle se comporte réciproquement par rapport à la distance, à un instant considéré, entre le centre de la surface 34 et la zone focale du rayonnement laser 70. L'utilisation du diaphragme de champ 22 est faculta- tive. La taille de son ouverture est choisie de manière à diaphragmer les régions de la section transversale du rayonne- ment laser 70 dans lesquelles la densité de puissance se situe en deçà du seuil de saturation (plages B, C et D sur la figure 3a). Il en résulte un rapetissement de la région de la surface d'interaction 72 d'une impulsion individuelle, dans laquelle se produit un gradient de l'allure d'enlèvement. Conjugué au mouvement bidimensionnel de la cible 36, ce phénomène se solde par une diminution supplémentaire de la part de matériau enlevé sous forme de gouttelettes. Des essais comparatifs, au cours desquels étaient uti- lisées une cible 36 en magnésium et des densités moyennes de puissance laser comprises entre 2,3 x 109 W/cm2 et 14,7 x 109 W/cm2, ont révélé que le pourcentage relatif des gouttelettes, sur les particules fondues enlevées de la cible 36, peut être ramené à moins de 10 % à l'aide du procédé ou du dispositif de revêtement respectivement conforme à l'invention, tandis qu'il se situe, en permanence, nettement au-delà de 50 % avec le pro- cédé ou le dispositif respectivement conforme à l'art anté- rieur. Dans la forme de réalisation d'un dispositif de revête- ment 10 selon l'invention, illustrée sur les figures 1 et 2, le mouvement relatif, entre la cible 36 et le rayonnement laser 70 incident, est obtenu en imprimant uniquement un mouvement à la cible 36. En variante, il est par exemple possible d'interposer sur le trajet de diffusion du rayonnement laser 70, entre la fe- nêtre d'entrée 28 et le diaphragme 30 de protection contre la métallisation, un miroir déflecteur pivotant à l'aide duquel la surface d'interaction 72 peut être décalée sur la surface 34 de la cible. Il peut ensuite être renoncé à un degré de liberté du mouvement de la cible. Si l'on utilise un miroir pouvant pivoter selon deux axes, il est possible de renoncer totalement au mouvement de la cible 36. Dans les deux cas, la lentille collectrice 18 doit être respectivement orientée de façon telle que la densité de puis- sance du rayonnement laser 70 ne soit pas modifiée, sur la sur- face 34 de la cible, à cause de trajets de rayonnement diffé- remment longs. Il va de soi que de nombreuses modifications peuvent être apportées à l'invention telle que décrite et représentée, sans sortir de son cadre. -R E V E N D I C A T I ONS- 1. Procédé pour revêtir un substrat en enlevant, d'une cible, un matériau de revêtement au moyen d'un rayonnement laser pulsé qui vient en incidence sur la cible et présente un profil non homogène de densité de puissance, avec des gradients de den- site de puissance, chaque impulsion laser modifiant durable- ment la surface de la cible dans les limites d'une surface d'in- teraction, procédé caractérisé par le fait qu'il s'opère, entre la cible et le rayonnement laser incident, un mouvement relatif tel que des surfaces d'interaction de différentes impulsions laser, mutuellement en superposition, se superposent de telle sorte que les gradients de densité de puissance des différentes impulsions laser coopèrent, dans la zone de superposition des surfaces d'interaction, de façon telle que la zone de superpo- sition des surfaces d'interaction soit, en moyenne, enlevée pour l'essentiel uniformément, si bien qu'il se forme, sur le substrat, un revêtement accusant un faible nombre de gouttelettes. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de façon telle que des surfaces d'in- teraction de deux impulsions laser considérées, en superposi- tion mutuelle, se superposent de telle sorte que les répercus- sions des gradients de densité de puissance des deux impulsions laser se compensent, pour l'essentiel, dans la zone de superpo- sition. 3. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de fa- çon telle que, pour chaque impulsion laser, la plage de la ci- ble, dans laquelle la densité de puissance du rayonnement laser incident se situe entre le seuil d'interaction et le seuil de sublimation, se superpose le moins possible avec la plage de la cible dans laquelle des structures d'ouverture par fusion ont été provoquées par des impulsions antérieures. 4. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de fa- çon telle que, pour chaque impulsion laser, la plage de la ci- ble, dans laquelle la densité de puissance du rayonnement laser incident se situe entre le seuil de sublimation et le seuil de saturation, se superpose le moins possible avec la plage de la cible dans laquelle des structures d'ouverture par fusion ont été provoquées par des impulsions antérieures. 5. Procéde selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de fa- çon telle que, pour chaque impulsion laser, la plage de la ci- ble, dans laquelle la densité de puissance du rayonnement laser incident se situe entre le seuil d'interaction et le seuil de sublimation, se superpose le moins possible avec la plage de la cible dans laquelle la surface de ladite cible s'est inclinée, par rapport à la surface de la cible à l'état intact, suite à l'action exercée par des impulsions laser antérieures. 6. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de fa- çon telle que toute position relative possible, entre deux sur- faces d'interaction respectives de différentes impulsions laser, se superposant mutuellement, intervienne en moyenne, pour l'essentiel, avec une même fréquence d'occurrence. 7. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de fa- çon telle que, lors de chaque processus de revêtement, pour l'essentiel toute la surface de la cible soit recouverte par les surfaces d'interaction des impulsions laser. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, s'opère de façon telle que, lors de chaque pro- cessus de revêtement, pour l'essentiel toute la surface de la cible soit érodée uniformément. 9. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le rayonnement laser incident est mis en mouvement. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que la cible est mise en mouvement. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonnement laser incident, présente plus d'un degré de liberté. 12. Procédé selon la revendication 11, caractérisé par le fait que le mouvement relatif, entre la cible et le rayonne- ment laser incident, est engendré par une superposition d'un mouvement rotatoire et d'un mouvement alternatif linéaire. 13. Procédé selon la revendication 12, caractérisé par le fait que le mouvement rotatoire est interrompu par intermit- tence, avec poursuite du mouvement alternatif linéaire. 14. Procédé selon la revendication 12 ou 13, caractérisé par le fait que le mouvement alternatif linéaire est interrompu par intermittence, avec poursuite du mouvement rotatoire. 15. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que les régions de la sec- tion transversale du rayonnement laser, dans lesquelles la den- site de puissance se situe en deçà du seuil de saturation, sont diaphragmées. 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé par le fait que le rayonnement laser est guidé à travers des diaphragmes; et par le fait que la forme et la taille de ces diaphragmes, ainsi que la densité de puis- sance du laser, sont mutuellement coordonnées de manière qu'il ne se forme pas par diffraction, sur la surface de la cible, des maxima secondaires dans lesquels la densité de puissance atteint le seuil d'interaction. 17. Dispositif de revêtement comprenant un substrat (58) ; une cible (36) en un matériau de revêtement; et un laser (12) pour engendrer un rayonnement laser pulsé (70) qui vient en incidence sur la cible, présente un profil non homogène de densité de puissance, avec des gradients de densité de puis- sance, et dont les impulsions individuelles modifient durable- ment la surface (34) de la cible (36), dans les limites d'une surface d'interaction (72) respective, dispositif caractérisé par le fait que ce dispositif de revêtement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser incident (70), un mouvement rela- tif ayant pour effet que les surfaces d'interaction (72) de dif- férentes impulsions laser, en superposition mutuelle, se su- perposent de façon telle que les gradients de densité de puis- sance des différentes impulsions laser coopèrent, dans la zone de superposition, de telle sorte que la zone de superposition des surfaces d'interaction (72) soit, en moyenne, enlevée pour l'essentiel uniformément, si bien qu'il se forme, sur le substrat (58), un revêtement accusant un faible nombre de gout- telettes. 18. Dispositif selon la revendication 17, caractérisé par le fait que ce dispositif de revêtement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser incident (70), un mouvement rela- tif ayant pour effet que des surfaces d'interaction (72) de deux impulsions laser, se chevauchant mutuellement, se chevauchent de façon telle que les répercussions des gradients de densité de puissance des deux impulsions laser se compensent, pour l'es- sentiel, dans la zone de superposition. 19. Dispositif selon la revendication 17 ou 18, caracté- risé par le fait que ce dispositif de revêtement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser incident (70), un mouvement relatif ayant pour effet de minimaliser, pour chaque impulsion laser, la superposition entre la plage de la cible (36) dans la- quelle la densité de puissance du rayonnement laser incident se situe entre le seuil d'interaction (Il) et le seuil de sublima- tion (I2), et la plage de ladite cible (36) dans laquelle des structures (76) d'ouverture par fusion ont été provoquées par des impulsions antérieures. 20. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 19, caractérise par le fait que ce dispositif de revê- tement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser incident (70), un mouvement relatif ayant pour effet de minimaliser, pour chaque impulsion laser, la zone de superposition entre la plage de la cible (36) dans laquelle la densité de puissance du rayonnement laser incident se situe entre le seuil de sublima- tion (I2) et le seuil de saturation (I3), et la plage de ladite cible (36) dans laquelle des structures (76) d'ouverture par fusion ont été provoquées par des impulsions antérieures. 21. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 20, caractérisé par le fait que ce dispositif de revê- tement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser incident (70), un mouvement relatif ayant pour effet de minimaliser la zone de superposition entre la plage de la cible (36) dans la- quelle la densité de puissance du rayonnement laser incident se situe entre le seuil d'interaction (I1) et le seuil de sublima- tion (I2), et la plage de ladite cible (36) dans laquelle la sur- face (34) de la cible (36) s'est inclinée, par rapport à la sur- face de la cible (36) à l'état intact, suite à l'action exercée par des impulsions laser antérieures. 22. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 21, caractérisé par le fait que ce dispositif de revê- tement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser incident (70), un mouvement relatif se traduisant par le fait que toute position relative possible, entre deux surfaces respectives d'interaction (72) de différentes impulsions laser, se super- posant mutuellement, intervient en moyenne, pour l'essentiel, avec une même fréquence d'occurrence. 23. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 22, caractérisé par le fait que ce dispositif de revêtement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser in- cident (70), un mouvement relatif se traduisant par le fait que, lors de chaque processus de revêtement, pour l'essentiel toute la surface (34) de la cible (36) est recouverte par les surfaces d'interaction (72) des impulsions laser. 24. Dispositif selon la revendication 23, caractérisé par le fait que ce dispositif de revêtement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser incident (70), un mouvement rela- tif se traduisant par le fait que, lors de chaque processus de revêtement, pour l'essentiel toute la surface (34) de la cible (36) est érodée uniformément. 25. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 24, caractérisé par le fait que ce dispositif de revê- tement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour imprimer un mouvement au rayonnement laser (70) incidant sur la cible (36). 26. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 25, caractérisé par le fait que ce dispositif de revê- tement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour imprimer un mouvement à la cible (36). 27. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 26, caractérisé par le fait que ce dispositif de revê- tement (10) comporte un dispositif de mise en mouvement pour engendrer, entre la cible (36) et le rayonnement laser incident (70), un mouvement relatif présentant plus d'un degré de li- berté. 28. Dispositif selon la revendication 27, caractérisé par le fait que le dispositif de mise en mouvement, conçu pour engendrer un mouvement relatif entre la cible (36) et le rayon- nement laser incident (70), comprend un dispositif (42) pour engendrer un mouvement rotatoire et un dispositif (48) pour en- gendrer un mouvement alternatif linéaire. 29. Dispositif selon la revendication 28, caractérisé par le fait que le dispositif (42) pour engendrer un mouvement rotatoire, et le dispositif (48) pour engendrer un mouvement alternatif linéaire, sont commutables indépendamment l'un de l'autre. 30. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 29, caractérisé par le fait que ce dispositif de revê- tement (10) présente un diaphragme de champ (22), afin de diaphragmer les régions de la section transversale du rayonne- ment laser dans lesquelles la densité de puissance se situe en deçà du seuil de saturation (I3). 31. Dispositif selon l'une quelconque des revendica- tions 17 à 30, caractérisé par le fait que ce dispositif de revê- tement (10) présente, sur le trajet de diffusion du rayonnement laser (70) , uniquement des diaphragmes dont la forme et la taille ne permettent pas l'apparition par diffraction, sur la surface (34) de la cible (36), de maxima secondaires dans les- quels la densité de puissance atteint le seuil d'interaction (Il).