Brevet FR2716700A1 — publié le 19950901

La présante invention a pour objet un palier magnétiquc actif à auto- détection dc position comprenant des premier et second électro-aimants antagonistes disposes dc pan ct d'autre d'un corps fcrromagnctiquc suspendu sans contact cntre ces élcctro-aimants, les prcmicr et second élcctro-aimants oricntes selon un axe XX comprenant chacun d'une part un circuit magnétique définissant avec lcdit corps un cntrcfcr el; e2 dont la valcur moyennc est égalc à unc valeur commune prédéterminec Co, et d'autre part unc bobinc d'cxcitation alimentée à partir d'un amplificateur de puissance dont le courant d'entrée est asservi cn fonction de la position du corps par rapport aux circuits magnétiqucs des premier et second électro-aimants. Dans les systèmes de palicr magnétique actif les plus couramment utilises, la position du corps suspendu, Icquel corps peul êtrc par exemple un rotor dc machine ou un disque, est contrôl6éec en permanence à l'aide de détecteurs de position associés aux électro-aimants des palicrs activateurs produisant les forces nécessaires pour cle maintien du corps suspendu dans une position de travail donnee. Le fait d'utiliscr des détecteurs de position distincts des électro-aimants de support du corps suspendu renchérit consid6rablement le coût des machines, du fail des détectcurs proprement dits, dc la conncctique associée et des circuits lcectroniques pour les alimenter. Dc plus, ces détecteurs ne peuvent étre situés qu'à côt6 du palier, et dc ce fait ne sont pas colinéaires en tant quc point de dEtection par rapport au point de réaction. Cctte délocalisation des détecteurs par rapport aux organes actuateurs peut induire des cffets pervers quant au contrôle du rotor, lorsqu'il s'agit de prendre en compte les d6formations du rotor induites lors dc la rotation. Les détecteurs peuvent cn effet se trouver alors à des noeuds de déformation alors quc les électro- aimants activateurs seronl plus proches de ventres de déformation, ou vice-versa. L'information fournie par les détecteurs nc sera alors pas le refltcl fidèlc dc la réalilté au niveau des palicrs propremenl dits. La présente invention vise à rem6dier à ces inconvénients et à permettre d'assurer un asscrvissement fiablc des électro-aimants d'un palier magnélique actif en fournissant de façon peu coûteusc unc information de position de l'organe suspendu sans faire appel à des dEtecteurs de position séparés, tels que les détecteurs dc type inductif, capacitif ou optique. BAD ORIGINAL à ->o 2716700 L'invention vise plus particulièrcmcnl t à permettre d'(ffcctucr une d6étection de position du type inductif sans qu'il soit nécessaire d'adjoindre au palier magnétique de bobine de ddtection distincte des électro-aimants de palier eux-mêmes. L'invention vise à permettre la réalisation de paliers magnétiques actifs de rclativement faible cot, en particulier pour des machines devant.tre produites en grande quantité, telles que par exemple des broches textiles, des brochcs d'usinage, des pompes à vide, des disques d'ordinateurs. Ces buts sont atteints, conformément à l'invention, grâce à un palier magnétique à auto-détcction de position comprenant des premier et second électro-aimants antagonistes disposés de part et d'autre d'un corps ferromagnétique suspendu sans contact entre ccs électro-aimants, Ics premier et second élcctro- aimants orientés selon un axe XX comprenant chacun d'une part un circuit magnétique définissant avec ledit corps un entrefer el; C2 dont la valeur moycnnc est égale à une valeur commune prédéterminée co, et d'autre part unc bobine d'excitation alimentée à partir d'un amplificateur de puissance dont le courant d'ecntrée est asservi en fonction de la position du corps par rapport aux circuits magnétiques des premier et second électro-aimants, caractérisé en ce qu'il comprend des détecteurs de position du type inductif qui sont constitues dircctcment par les bobines des premier et second électro-aimants, en ce qu'il comprend des moyens pour injecter simultanément à l'entrée des amplificateurs de puissance alimentant les bobines des premier et second électro-aimants antagonistes, en superposition au courant principal issu des circuits d'asservissement, un courant sinusoidal 10 sin wt d'amplitude constante 10, de pulsation w et présentant une phase identique, et en ce qu'il comprend des circuits pour extraire l'information de position déterminant l'intensité du courant principal à appliquer par les circuits d'asservissement aux amplificateurs de puissance directement à partir des tensions ul, u2 aux bornes des bobines d'excitation, mesurées à la fréquence du courant sinusoTdal constituant une porteuse de pulsation w. Ainsi, conformément à l'invention, le palier magnétique, en plus de sa fonction palier proprement dite, est utilisé aussi comme détecteur de position du type inductif, sans qu'il soit nécessaire d'adjoindre aucune bobine supplémentaire, la tension étant mesurée aux bornes de chaque bobine d'électro-aimant du palier BAD ORIGINAL 3 2716700 dans des conditions pour lesquelles il y a quasi proportionnalité avec le déplacement du corps suspendu (rotor). Le fait que le courant sinusoïdal d'amplitude 1o constante et de pulsation fixe w soit injecté simultanément dans les deux électro- aimants antagonistes, avec une phase identique des deux côtés, évite de créer la moindre force dc perturbation sur le rotor quand celui-ci est dans sa position nominale centrale, en particulier dans les cas o la fréquence du courant sinusoïdal constituant la porteuse devra stre suffisamment basse pour limiter la consommation de tension fournie par l'amplificateur dc puissance alimentant le palier. Dans tous les cas, le palier magnétique actif est caractérisé en ce que la fréquencc du courant sinusoïdal injecté de pulsation w est nettement supérieure à la bande passante désirée en boucle fermée des circuits d'asservisscment. De préférence, les amplificateurs de puissance sont constitués par des amplificateurs à commutation et le rapport entre la tension de détection fournie par S15 un amplificateur à la pulsation w et la tension destinée à fournir la force exercée par l'électro-aimant correspondant est de l'ordre de 5 à 20 % et de préférence voisin de 10 %. La mise en oeuvre d'amplificateurs de puissance à commutation permet de limiter les pertes et d'alimenter les bobines dc palier avec une puissance réactive très importante. Avantageusement, les amplificateurs à commutation présentent une fréquence de commutation de l'ordre de plusieurs dizaines de kilohertz. Selon une caractéristique importante de la présente invention, les tensions ul, us aux bomrnes des bobines d'excitation mesurées à la fréquence du courant sinusoïdal de pulsation w sont comparées en mesure différcntielle dans un comparateur fournissant une tension u proportionnelle au déplacement du corps par rapport à sa position d'équilibre. La mesure différentielle permet d'éliminer les deux termes constants dc la forme Uo = Llo w, dûs à l'inductance L des bobines d'élcctro-aimants relative à l'entrefer moyen co, et les termes constants Us Io w dûs à l'inductance de fuite Ls des bobines d'électro-aimants relative aux fuites magnétiques. De façon plus particulièrc, les circuits d'extraction de l'information de position comprennent un filtre passc-bande centré sur la fréquence du courant sinusoïdal de pulsation w et présentant une demi-largcur adaptée à la bande passante désirée des circuits d'asservisscment. BAD ORIGINAL 4 2716700 Les circuits d'cxtraction dc l'informnation dc position comprennent un démodulateur synchronc placé cn sortie du filtre passc bindc et piloté par la fréqucncc du courant sinusoïdal dc pulsation w. Les circuits d'cxtraction dc l'info:mation de positian comprennent un filtre du deuxicmc ordrc pour filtrcr la fréquence correspondant à unc pulsation 2w criée par la démodulation doublc alternancc au sein du démodulateur synchrone. Avantageusement, Ics fréquences de commutation des amplificateurs de puissance à commutation et la fréquence du courant sinusoidal de pulsation w sont synchronisécs. Ccci permet d'éviter les problèmcs.dc bruit dûs aux battements de fréquences. les électro-aimants sont dimensionnés de telic façon que la force maximale demandée à ces électro-aimants est obtenue pour une induction magnétique située hors dc la zonc dc saturation du matériau utilisé pour constituer les circuits magnétiqucs des électro-aimants. 1 5 Dès lors quc Ic trajet dans les circuits magnétiqucs dcs électro-aimants de palier rcste négligeable ct rcstc quasiment constant quelle que soit la force dcmandéc aux électro-aimants, la mcsurc de l'inductance des bobines des électro- aimants de palier peut bien rcster inversement proportionnelle à l'entrefer. Les circuits magnétiqucs des électro-aimants sont réalisés en un matériau à perméabilité peu variablc en fonction de l'induction magnétique, en particulier dans la zone dc fonctionnemcnt des électro- aimants située loin des zones dc saturation. Les circuits d'asser issement alimentant les amplificateurs de puissance comprennent un comparateur entrc le signal de position issu des circuits d'cxtraction de l'informnation de position et unc valeur dc consigne de position, ct au moins des circuits comprenant un réseau correctecur de traitement de signal ct un linéarisateur du courant dc repos. Lcs circuits d'asservissement peuvent cn outrc comprcndre des boucles dc régulation de flux interposées entre d'unc part les circuits comprenant un réseau corrTctcu.' ct un linéarisateur, ct d'autre part des circuits additionncurs constiluant lesdits moyens d'injection recevant ledit courant sinusoïdal Io sin wt de pulsation w. Dans cc cas, à titrc d'exemple, chaque boucle de régulation du flux comprend un filtrc rejecteur centrc sur une fréquencc dc pulsation w et rcevant cn cntrée le signal dc tension de sortnic dc l'amplificateur correspondant, un circuit de BAD ORIGINALJO S 2?716700 calcul de flux corrcspondant, un circuit dc calcul de flux auqucl ront appliqués d'unc part lc signal dc sonic du filtre réjccteur correspondant ct d'autre part le signal de sortic d'un régulateur dc flux égalcment appliqué sur une entrée du circuit additionneur correspondant et un circuit soustracteur qui soustrait au signal issu des cirtuits comprenant un réscau correctcur ct un lindarisateur, le signal Issu du circuit de calcul dc flux correspondant ct délivrc un signal dc sortic à l'entréc du circuit régulateur dc flux correspondant. Naturellement, l'invention couvrc des paliors magnétiqucs actifs comprenant cn particulier deux systèmes de palicr magnétiquc actif du type défini ci-dessus orientés selon deux directions XX, YY' perpendiculaircs entre elles. D'autres caractéristiqucs et avantages de l'invcntion ressortiront de la description suivante dc modes particulicrs de réalisation de l'invention, donnés à titre d'exemples non limitatifs, cn référcnce au dessin annexé sur lequel: - la figure 1 est un schéma-bloc d'un système dc palier magnétique actif selon l'invcntion incorporant un système de détection dc position utilisant les électro-aimants dc palier, ct - la figure 2 cst une courbc montrant l'allurc du signal de position délivré par lc systèmc dc detection dc position, en fonction des variations de l'entrefer des électro-aimants. On voit sur la figure 1 un rotor I suspendu par deux électro-aimants de palier antagonistes oricntés scion un axe XX' perpendiculairc à l'axe du rotor 1. Chaque électro-aimant comprend un circuit magnétiquc 12 resp. 22 cn matériau ferromagnétique présentant cn coupc la forme d'un U avec deux pièces polaires 121, 122 rcsp 221, 222 orientées vers le rotor 1, lui-m. mc cn matériau ferromagnétique ou rev:tu d'une armature cn matériau ferromagnétiquc. Lcs pièces polaircs 121, 122 définissant chacune avec le rotor 1 un cntrefer cl = co+x o co représentc l'entrefer moyen lorsque le rotor est dans sa position d'équilibre et x représentec la variation de l'cntrefer par rapport à la valeur moyenne eCo, engendréc par un déplacement du rotor I dans la direction radialc XX. Les pièces polaires 221 et 222 sont symétriques des pièces polaires 121, 122 par rapport à l'axe du rotor 1 lorsquc le rotor I cst dans sa position d'équilibre, dc sorte que les pièces polaircs 221, 222 définissent chacune avec le rotor 1 un entrefer c2 = co- x o co représentc l'entrcfer moyen lorsque le rotor 1 cst dans sa position d'équilibre et x représente la variation dc l'entrefer par rapport à la valeur moyenne co engendrée par r.l déplacement du rotor 1 dans la direction radiale X'X. Ainsi, une valeur de x BAD ORIGINAL à 6 2716700 positive signifiera un déplacement du rotor 1 vcrs le circuit magnétiquc 22 tandis qu'une valeur dc x négativc significra un déplacement du rotor I vers le circuit magnétique 12. Chaquc électro-aimant comprend par ailleurs une bobine d'excitation 11 rcsp 21 qui cst alimentée à partir d'un amplificateur de puissance 13 rcsp 23, qui est de préfdrence un amplificateur à commutation en modc courant. Chaque amplificateur dc puissance 13 resp 23 reçoit en cntréc un courant principal d'cntréc qui permet de fournir en sortie aux bobines 11, 21 l'énergie nécessaire au maintien du rotor I dans sa position d'équilibre prédéterminée. Le courant principal d'entrée est issu de circuits d'asservissement ayant eux-mêmes reçu des informations sur la position réelle du rotor et prenant en compte une position de consigne. Pour permcttre d'obtenir une information de position sans utiliser de détecteur de position distinct des électro-aimants dc palier, des circuits additionneurs 14, 24 permettent d'injecter simultanément à l'entrée des amplificateurs dc puissance 13, 23, en superposition au courant principal issu des circuits d'asservissement, un courant sinusoïdal de la formne 10 sin wt d'amplitude constante 10, de pulsation w et présentant une phase identique. En sortie des amplificateurs de puissance 13, 23, il est donc injecté, en superposition au courant destiné à fournir la force portante des électro-aimants, des courants il, i2 de la forme: i1 = i2 a 1o sin wt. Les entrefers cl et c2 entre le rotor 1 et les pôles 121, 122 rcsp 221, 222 sont de la forme indiquée plus haut, à savoir: C1 = eo + x C2 a eo - x Les inductances des électro-aimants 11, 12 resp 21, 22 sont respectivement de la forme: L.s + LO (l + X/Co) L2 = L.s + l/(1 - x/eCo) o LS représente l'inductance de fuite des électro-aimants 11, 12 resp 21, 22 relative aux fuites magnétiques, et o représente l'inductancc des électro-aimants 11, 12 resp 21, 22 relative à l'entrefer moyen eo. Les tensions 41 et 42 aux bomes d'entrée des bobines 1I1 et 21, dues aux courants injectés i1 et i2, sont de la forme: = - w Io LI cos wt BAD ORIGINAL 7 2716700 u2 = - w Io L2 cos wt Lorsque l'on cffcctue dans un crmparateur 41 la différencc des tensions uI et u2, on obtient des expressions de la forme: u ul - U2 = -wlo cos wt (L1 - L2) = (wlo cos wt).2 L. (x/eCoy)/ (1 (xe/Co)2) = A.f (x/co) o A = (wlo cos wt) 2 L = constante et f (X/Co) = (x/co)/ (I - (x/Co)2) On voit que la comparaison en mesure différentielle des tensions ut et u2 permet d'éliminer les termes constants dûs à l'inductance L la tension résultante est proportionnelle au déplacement x du rotor 1. La tension u est filtrée dans un filtre passc-bandc 42 centré sur une fréquence correspondant à la pulsation w, et présentant une demi-largeur adaptée à la bande passante désirée de l'asscrvissement du système à paliers magnétiques. La tension u est ensuite démodulée dans un démodulateur 43 synchrone piloté par une fréquence correspondant à la pulsation w. La sortie du démodulateur synchrone 43 fournit, après passage dans un filtre du deuxième ordre 44 assurant le filtrage de la fréquence créée par la démodulation double alternance, un signal représentatif de la position réelle du rotor selon l'axe X'X, au niveau des électro-aimants de palier. Ce signal est de la forme: u (x) = k (X/Co)/(I - (x/co)2) La figure 2 montre la linéarité du signal de position u (x) obtenu, en fonction du rapport x/eo entre le déplacement du rotor x et l'entrefcr moyen eo. On constate que cette linéarité est très bonne pour la plage de travail habituelle du palier. On peut ainsi déduire un signal de position du rotor à partir de la mesure de l'inductance de deux électro-aimants antagonistes de palier, sans adjoindre de détecteur distinct des élcctro-aimants de palier et sans créer la moindre force de perturbation sur le rotor quand celui-ci est dans sa position nominale centrale, dès lors que le courant injecté de la forme lo sin wt est injecté simultanément dans les deux électro- aimants antagonistes, avec une phase identique des deux côtés, ce qui permect notamment une comparaison en mesure différentielle. :BAD ORIGINALA J1 8 2716700 La frêqucncc du courant sinusoïdal injccté, correspondant à la pulsation w est nettement supérieure à la bande passantc cn boucle fermée du système, mais doit dc préférencc rcstcr suffisamment bassc pour limitcr la consommation de tension fournic par lcs amplificatcurs dc puissance alimentant lc palicr. Commec ccla a déjà été indiqué plus haut, les amplificateurs 13, 23 sont constitués avantageuscmcnt par des amplificateurs à commutation, dc type connu cn soi, pour limiter lcs pertecs. Ccs amplificatcurs à commutation peuvent présentcr unc fréquence dc commutation dc l'ordre dc par cxemple 50 klIz ou même supéricure à cettc valeur. Toutcfois, il cst préferable dc synchroniscr cles fréquences dc commutation des amplificateurs 13, 23 ct la fréquence dc la portecuse injectée de pulsation w afin d'éviter les problèmes de bruit dûs aux battements dc fréquencc. D'unc manièrc généralc, le palicr cst dimensionné dc telle sortec que la force maximale demandée au palicr cst obtenuc pour une induction située hors dc la zone de saturation du matériau utilisé pour le palicr, ct les circuits magnétiques 12, 22 du palier sont réalisés cn matériau à perméabilité peu variable en fonction de l'induction magnétique, cn particulicr dans la zone de fonctionnement de l'électro-aimant, c'est-à-dirc dc sa zone dc saturation. Le signal dc position issu du filtre 44 peut ensuitc êtrc utilisé dans des circuits d'asservissement dc façon traditionnelle, comme si ce signal avait été obtenu par un détectcur indépendant, mais avec la garantie que l'information correspond cxactement à la localisation des iélectro-aimants dc palier. Le signal dc position peut ainsi étre comparé dans un comparateur 31 avec une valeur dc consignc dc position ct le signal issu du comparateur 31 est appliqué à dc circuits 32 pouvant comprendre un réseau correcteur de traitement du signal, par exemple de type PID (proportionnellntcgral-Dérivé) et un linéarisateur dc courant de rcpos. Le signal issu des circuits 32 peut ensuite étre appliqué, avec des signcs différents, sur une des entrées de chacun des circuits additionneurs 14, 24 placés à l'entrée des amplificateurs 13, 23. Avantageusement, les circuits d'asscrvissement peuvent comprendrc en outrc des boucles dc régulation dc flux interposés entre d'une part Ics circuits 32 et d'autrc part les circuits additionneurs 14,24. Chaque boucle de régulation dc flux peut comprendre un filtre réjecteur ; 25 centré sur unc fréquencc de pulsation w et recevant en cntrée le signal de tension dc sonie dc l'amplificateur corrcspondant 13; 23, un circuit de calcul de flux 16; 26 auquel sont appliqués d'une part le signal de sortie du filtre réjecteur RAD ORIGINAL j9 2716700 correspondant IS; 25 et d'autre part le signal dc sortie d'un régulateur de flux 18; 28 égalcmcnt appliqué sur une cntrcée du circuit additionnecur correspondant 14; 24 et un circuit soustractcur 17; 27 qui soustrait au signal issu dcs circuits 32, le signal issu du circuit de calcul dc flux correspondant 16; 26 et délivrc un signal dc sortie à l'cntrée du circuit régulateur dc flux correspondant 18; 28. Naturcllcmcnt, il est possible d'incorporer, par exemple dans un palier magnétique actif radial, deux systèmes de palier magn6tiquc actif selon l'invention comportant chacun une paire d'élcctro- aimants antagonistes, les deux paires d'élcctro-aimants étant orientées selon deux directions XX', YY' perpendiculaires entrc elles. Le palier magnétiquc actif selon l'invention peut aussi 6trc utilisé seul, par excmple en tant que palier axial coopérant avec cles deux faces d'un disque. Dans cc cas, Ics élcctro-aimants subissent une rotation de 90 par rapport au cas de la figure 1, les pièccs polaires 121, 122, 221, 222 devenant parallèles à l'axc du disque. BAD ORIGINAL 2716700 REVENDICATIONS 1. Palicr magnétiquc actif à auto-détection dc position comprenant des premier et second élcctro-aimants antagonistes disposes de part et d'autre d'un corps ferromagnétique (1) suspendu sans contact entre ces électro-aimants, les premier et second électro-aimants orients selon un axe XX comprenant chacun d'une part un circuit magnétique (12; 22) définissant avec Icdit corps un entrefer (el; e2) dont la valeur moyenne est égale à une valeur commune prédéterminée eo, et d'autre part une bobine d'excitation (11; 21) alimentée à-partir d'un amplificateur de puissance (13; 23) dont le courant d'entrée est asservi en fonction de la position du corps (1) par rapport aux circuits magnétiques (12; 22) des premier et second élecctro-aimants, caractérisé en ce qu'il comprend des détecteurs de position du type inductif qui sont constitués directement par les bobines (11; 21) des premier et second électro- aimants, en ce qu'il comprend des moyens (14; 24) pour injecter simultanément à l'entrée des amplificateurs de puissance (13: 23) alimentant les bobines (11; 21) des premier et second électro-aimants antagonistes, en superposition au courant principal issu des circuits d'asservissement (31, 32), un courant sinusoïdal 1o sin wt d'amplitude constante o10, de pulsation w et présentant une phase identique, et en cc qu'il comprend des circuits (41 à 44) pour extraire l'information de position déterminant l'intensité du courant principal à appliquer par cles circuits d'asservissement (31, 32) aux amplificateurs de puissance (13, 23) directement à partir des tensioas u1, u2 aux bornes des bobines d'excitation (11; 21), mesurées à la fréquence du courant sinusoïdal constituant une porteuse de pulsation w. 2. Palier magnétique actif selon la revendication 1, caractérisé en ce que la fréquence du courant sinusoïdal injecte dc pulsation w est nettement supérieurc à la bande passante désire en boucle fermée des circuits d'asservissement. 3. Palier magnétique actif selon la revendication 1 ou la revendication 2, caractérisé en cc que Ics amplificateurs de puissance (13, 23) sont constitués par des amplificateurs à commutation et en ce que le rapport entre la tension de détection fournie par un amplificateur (13, 23) à la pulsation w et la tension destinée à fournir la force exercée par l'électro-aimant correspondant est dc l'ordre de 5 à 20 % et de pr6f6rence voisin de 10 %. 4. Palier magnétique actif selon la revendication 3, caractérisé en ce que les amplificateurs à commutation (13, 23) présentent une fréquence de commute'on de l'ordre de plusieurs dizaines de kilohertz. BAD ORIGINAL 1!2716700 5. Palier magnétiquc actif selon l'une quelconque des revendications I à 4, caractérisé en ce que les tensions u1, u2 aux bornes des bobines d'excitation (11, 21) mesurées à la fréquence du courant sinusoidal de pulsation w sont comparées en mesure différenticlle dans un comparateur (41) fournissant une tension u S proportionnelle au déplacemcnt du corps (1) par rapport à sa position d'équilibre. 6. Palicr magnétique actif selon l'une quelconque des revendications I à 5, caractérisé en ce quc les circuits (41 à 44) d'extraction de l'information de position comprennent un filtre passe-bandc (42) centré sur la fréquence du courant sinusoïdal de pulsation w et présentant une demi-largeur adaptée à la bande passante désirée des circuits d'asservissement (31, 32). 7. Palier magnétique actif selon la revendication 6, caractérisé en ce que les circuits (41 à 44) d'extraction de l'information de position comprennent un démodulateur synchrone (43) placé en sortie du filtre passe bande (42) et piloté par la fréquence du courant sinusoidal dc pulsation w. 8. Palier magnétique selon la revendication 7, caractérisé eni ce que les circuits (41 à 44) d'extraction de l'information de position comprennent un filtre du deuxième ordre (44) pour filtrer la fréquence correspondant à une pulsation 2w créée par la démodulation double alternance au sein du démodulateur synchrone (43). 9. Palier magnétique actif selon la revendication 3 ou la revendication 4, caractérisé en ce que les fréquences de commutation des amplificateurs de puissance à commutation (13, 23) et la fréquence du courant sinusoïdal de pulsation w sont synchronisées. 10. Palier magnétique actif selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisé en ce que les électro-aimants sont dimensionnés de telic façon que la force maximale demandée à ces électro-aimants est obtenue pour une induction magnétique située hors de la zone de saturation du matériau utilisé pour constituer les circuits magnétiques (12; 22) des électro-aimants. 11. Palier magnétique actif selon la revendication 10, caractérisé en ce que lcs circuits magnétiques (12; 22) des électro-aimants sont réalisés en un matériau à perméabilité peu variable en fonction de l'induction magnétique, en particulier dans la zone de fonctionnement des électro-aimants située loin des zones de saturation. 12. Palier magnétique actif selon l'une quelconquc des revendications I à 11. caractérisé en ce que les circuits d'asservissement (31, 32) alimentant les BAD ORIGINAL 12 2716700 amplificatcurs dc puissance (13; 23) comprennent un comparatcur (31) entre le signal de position issu dcs circuits (41 à 44) d'cxtraction de l'information de position et une valeur de consigne dc position, et au moins des circuits (32) comprenant un réseau correcteur de traitement de signal et un linéarisateur du S courant de repos. 13. Palier magnétiquc actif selon la revendication 12, caractérisé en ce que lcs circuits d'asservissement comprcnncnt en outre des bouclcs de régulation de flux interposées entre d'une part les circuits (32) comprenant un réseau correcteur et un linéarisateur, et d'autre part des circuits additionneurs (14, 24) constituant lesdits moyens d'injection recevant ledit courant sinusoïdal Lo sin wt de pulsation w. 14. Palier magnétique actif selon la revendication 13, caractérisé en ce que chaque boucle de régulation du flux comprend un filtre réjecteur (15; 25) centré sur une fréquence de pulsation w et recevant en entrée le signal de tension de sortie de l'amplificateur correspondant (13; 23), un circuit de calcul de flux (16; 26) auquel sont appliqués d'une part lc signal de sortie du filtre réjecteur correspondant (15; ) et d'autre panrt le signal de sortie d'un régulateur de flux (18; 28) également appliqué sur une entrée du circuit additionneur correspondant (14; 24) et un circuit soustracteur (17; 27) qui soustrait au signal issu des circuits (32) comprenant un réseau correcteur et un linéarisateur, le signal issu du circuit de calcul de flux correspondant (16; 26) et délivre un signal de sortie à l'entrée du circuit régulateur de flux correspondant (18; 28). 15. Palier magnétique actif comprenant deux systèmes dc palier magnétique actif selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, orientés selon deux directions XX', YY' perpendiculaires entre elles. BAD ORIGINAL