Brevet FR2706074A1 — publié le 19941209

La présente invention concerne un dispositif de commande de type actionneur électrostatique permettant de réaliser des commutations d'au moins une pièce mobile entre deux positions de repos pour établir ou couper des liaisons. Selon une application bien connue, lorsque les liaisons en question sont électriques, ces dispositifs sont des relais. Cependant, il est également possible d'appliquer un tel dispositif à un faisceau lumineux, le changement de position modifiant les caractéristiques de propagation du rayon. II s'agit alors d'un commutateur optique. L'élément mobile est mu par une force d'attraction électrostatique créée après établissement d'une tension entre deux parties du dispositif faisant office d'électrodes de commande. L'avantage principal des dispositifs électrostatiques réside dans la très faible consommation électrique occasionnée pendant la course de l'élément mobile. L'énergie nécessaire est presque nulle lorsque ledit élément est en position d'équilibre. Toutefois, la force d'attraction électrostatique qui apparaît lorsqu'une tension est appliquée aux électrodes de commande est faible. Le temps de commutation de l'élément mobile est par conséquent relativement important, et, pour un relais électrique, I'intensité du courant qui passe par les contacts commandés, qui dépend de la pression de contact entre ces derniers, est nécessairement limitée. Le problème majeur est donc de maximaliser la force d'attraction électrostatique afin d'obtenir un temps de commutation plus rapide et d'assurer une pression de contact plus élevée. L'une des solutions préférentiellement utilisée pour optimiser ladite force consiste à déplacer I'élément mobile de telle sorte que, lorsque le contact s'établit, les électrodes de commande sont parallèles. La force d'attraction électrostatique obéit à la relation F = p.S, où p est la pression et S la surface en regard des électrodes de commande. Au surplus, du fait que la force électrostatique varie en fonction de l'inverse du carré de la distance séparant les électrodes, ces dernières doivent être à très faible distance l'une de l'autre en tout point, afin que la force soit maximale, ce qui montre clairement l'intérêt d'utiliser des électrodes qui sont parallèles au moment du contact et donne également des indications sur la forme préférentielle des électrodes, qui doivent avoir une surface en regard maximale.. Un objectif de l'invention est de proposer une configuration réalisant les conditions précitées. Un autre problème tient au matériau utilisé pour la réalisation de ces dispositifs. L'utilisation du silicium permettrait d'abaisser les coûts de fabrication et de réduire les encombrements. Les connaissances actuelles en micro-usinage du silicium permettent de faire des pièces de très petites dimensions avec une grande précision. Ces techniques de micro-usinage sont basées sur l'enlèvement de matière par voie chimique et permettent de réaliser facilement des surfaces planes parallèles à certains plans cristallographiques du silicium. Toutefois, pour la réalisation du parallélisme lorsque l'élément mobile est appliqué contre l'élément fixe d'un dispositif de commutation, I'emploi du silicium exige des configurations particulières, à cause des limitations rencontrées dans un tel type d'usinage. II s'avère en effet que la solution la plus immédiate pour réaliser le parallélisme consiste à configurer l'une des électrodes de commande fixes en dièdre, la partie mobile pivotant à hauteur du point le plus élevé dudit dièdre et venant se plaquer contre le plan incliné. Un exemple en est donné dans le brevet FR 2386898, dans lequel les parties fixes et mobiles formant électrodes de commande et les contacts sont constitués de lames disposées en dièdre. Or, il est difficile à l'heure actuelle d'usiner du silicium suivant des plans inclinés, c'est-à-dire faisant un angle quelconque avec les plans cristallographiques, avec une précision suffisante, sauf peut-être à des coûts prohibitifs. Une demande de brevet déposée au japon sous le N" 92 P04971 par les déposants ainsi que par Matsushita Electric Works et non encore publiée fait état d'une telle configuration, dans laquelle les pièces fixes et mobiles sont des substrats de silicium. L'une de ces pièces est réalisée en dièdre de sorte qu'au repos dans la position écartée, I'interstice entre les pièces augmente linéairement. Cette solution, réalisable en laboratoire, notamment par plongée du substrat de silicium dans un bain qui l'attaque superficiellement, suivi de son enlèvement progressif de manière que la profondeur de l'attaque, proportionnelle au temps de plongée, dépende de l'emplacement du point considéré, n'est économiquemenet pas viable pour des éléments appelés à être produits en grande série. Selon une autre demande de brevet également déposée au Japon par Matsushita Electric Works sous le N" 92 P01691, et qui n'est pas non plus publiée, le problème est résolu par l'adoption de deux configurations permettant le déplacement de l'élément mobile aboutissant à un contact parallèle avec un élément fixe. Ces solutions sont cependant sans rapport avec celles qui font l'objet de la présente invention, car les structures divulguées sont beaucoup plus complexes à réaliser et ne sont pas applicables à tous les types de commutation envisagés par l'invention. Selon l'invention, le dispositif de commande comporte au moins deux électrodes de commande aptes à gérer une commutation entre deux états de repos par déplacement d'au moins une électrode. Plus précisément, ce dispositif est constitué d'au moins deux pièces fixes en regard comportant chacune une partie plane rigide mobile formant électrode, I'une au moins des électrodes étant recouverte d'au moins une couche diélectrique, I'une au moins des électrodes étant au surplus apte à commuter entre deux positions de repos lors de l'établissement d'une tension de commande générant une force électrostatique entre lesdites électrodes, de manière que celles-ci soient parallèles lorsqu'elles sont dans l'une de leurs positions de repos à proximité l'une de l'autre et susceptibles d'entrer en contact. Selon une caractéristique essentielle, chaque partie mobile est reliée, à l'opposé d'une extrémité libre, à la pièce fixe dont elle dépend, par une zone flexible faisant ressort et positionnée au niveau de l'extrémité libre de la partie mobile de la pièce fixe qui lui fait face, selon une disposition en tête-bêche. Suivant une configuration préférentielle, il y a symétrie par rapport à un axe défini par l'intersection d'un plan médian et parallèle aux électrodes et d'un plan perpendiculaire à ce dernier passant par le milieu des parties planes rigides mobiles, entre la zone faisant ressort et l'extrémité libre. Une telle configuration permet de n'employer que des pièces d'allure parallélépipédique ou composées de sous-ensembles d'allure parallélépipédique, de sorte qu'on sait les usiner facilement lorsqu'elles sont en silicium. C'est pourquoi, bien que la conception du dispositif selon l'invention permette l'utilisation d'un grand nombre de matériaux, le silicium peut être considéré comme le matériau préférentiel notamment parce qu'il confère un avantage économique indiscutable aux dispositifs fabriqués. Les différentes pièces du dispositif sont donc usinées dans des substrats en silicium, I'une au moins des faces en regard des électrodes susceptibles d'entrer en contact étant au surplus revêtue d'une couche diélectrique. Cependant, selon une variante possible, I'une au moins des électrodes de commande n'est pas le substrat en silicium, mais une couche conductrice isolée électriquement dudit substrat, de manière à découpler complètement le châssis du relais de ses électrodes. Comme on l'a vu, I'un des problèmes majeurs des dispositifs électrostatiques réside dans la faiblesse de la force électrostatique. Selon un moyen connu en soi, les couches diélectriques appliquées sur les parties rigides planes mobiles sont dotées d'une polarisation permanente, constituant ainsi des électrets dont la polarisation renforce la force d'attraction entre les électrodes. Ces électrets sont par exemple réalisés en dioxyde de silicium SiO2. La configuration et les matériaux choisis doivent permettre d'assurer plusieurs fonctions indépendantes et complémentaires. La zone flexible faisant office de ressort pour les parties mobiles agit en réalité comme une sorte de charnière autour de laquelle pivote la plaque rigide faisant office d'électrode. Une telle charnière doit impérativement exercer une force de rappel pour ramener les électrodes mobiles dans l'une des positions de repos, soit lorsqu'on cesse d'appliquer une tension entre les deux électrodes pour un fonctionnement monostable, soit lorsqu'on applique une tension adéquate pour un fonctionnement bistable, à savoir une tension de polarité opposée à la première tension de commande. Dans ce cas, la consommation énergétique est encore diminuée car on n'applique une tension que lors des phases dynamiques de changement de position. Parmi les conceptions possibles du dispositif de l'invention, on peut envisager deux familles de variantes selon que les deux parties mobiles se déplacent en même temps ou que l'une des deux seulement est mobile. Dans ce dernier cas, I'une des électrodes mobiles est prépositionnée par un bossage pratiqué sur la base sur laquelle repose la pièce fixe reliée à ladite électrode. Ce bossage a pour effet de placer à demeure la partie mobile dans sa position médiane inclinée de plus grande proximité par rapport à la partie mobile liée à la pièce fixe qui lui fait face, et parallèle à celte-ci. Les diverses configurations peuvent s'appliquer à la commutation de circuits commandés électriques, et il est prévu à cet effet que les couches diélectriques appliquées sur les faces en regard des électrodes mobiles soient dotées de contacts électriques placés en vis-à-vis et qui se rencontrent lorsque lesdites électrodes se déplacent l'une vers l'autre, ou tout au moins lorsque l'une d'elles opère un mouvement de rapprochement vers l'autre. Lorsqu'il s'agit d'une commutation optique, au moins l'une des faces d'une des parties mobiles peut comprendre un dispositif susceptible de modifier les caractéristiques de propagation de rayons lumineux. II peut s'agir d'un miroir qui modifie l'angle de réflexion d'un rayon incident, lorsqu'il y a commutation entre les deux positions de repos d'une électrode. Le traitement est alors préférentiellement géométrique. Selon des variantes possibles, les dispositifs optiques opèrent un traitement physique de l'onde lumineuse incidente. Dans l'une de ces variantes, on effectue un couplage optique en amenant de la lumière sur une des parties mobiles à l'aide d'un guide de lumière. Lorsqu'il y a contact, la lumière est couplée avec la partie en regard, qu'elle soit fixe ou mobile, et les informations sont transmises. On va maintenant décrire l'invention plus en détail, en se référant aux figures jointes en annexe pour lesquelles - La figure la représente un dispositif classique résultant des techniques de mico-usinage du silicium usuellement pratiquées, - la figure lb montre le même dispositif en position de rapprochement des électrodes, - la figure 2 illustre une configuration théorique souhaitable en terme d'efficacité, - la figure 3 représente une première possibilité d'un dispositif selon l'invention dans une position d'ouverture des contacts1 - la figure 4 en montre la position de fermeture des contacts, - les figures 5a et 5b sont respectivement une vue de dessus et une coupe longitudinale d'une configuration possible de partie mobile, - les figures 6a et 6b représentent les mêmes vues d'une deuxième configuration possible, - la figure 7 illustre un dispositif plus complet, selon la variante à bossage, avec un contact supplémentaire fermé lorsque les contacts principaux sont en position d'ouverture, et - la figure 8 montre ce même dispositif après déplacement de l'électrode mobile. Les figures annexées présentent toutes de façon schématique les organes et fonctionnalités essentielles des dispositifs de l'invention, afin de faciliter la compréhension de la description qui suit. Ainsi, les figures la et I b représentent les deux états de repos d'un dispositif de commutation classique réalisable en silicium avec les techniques de micro-usinage actuellement utilisées. Le substrat 1 en silicium comporte une partie mobile 3 qui lui est reliée par une zone amincie 4 déformable faisant ressort destiné à rappeler l'électrode 5 en position de repos telle que représentée, lorsqu'aucune tension n'est appliquée entre les électrodes 5 et 6. Cette dernière électrode 6 est située sur un autre substrat en silicium 2, séparé du premier substrat 1 par une cale diélectrique 8, et elle est placée au fond d'un évidement 7 obtenu par enlèvement chimique de matière. Les deux électrodes 5 et 6 sont connectées à un circuit de commande (non représenté) prévu pour alternativement appliquer et couper une tension entre lesdites électrodes. En figure la, aucune tension n'est appliquée, I'élément mobile 3 est en position de repos, éloigné du fond plan de l'évidement 7 et parallèle à celuici. En figure lb, une tension de commande est appliquée entre les deux électrodes 5 et 6. La flèche F symbolise la force électrostatique d'attraction qui résulte de l'établissement de la tension, qui a pour effet de fléchir la partie flexible 4 et de rapprocher la branche mobile 3 du substrat 1, jusqu'à ce que son extrémité libre entre en contact avec l'électrode fixe 6 supportée par le substrat 2. La seconde position de repos, ou d'équilibre, est atteinte. Le contact entre les deux électrodes est linéaire, et la force F reste faible compte tenu de l'écartement croissant entre les surfaces des électrodes 5 et 6 depuis la ligne de contact jusqu'à la zone flexible 4. La figure 2 montre la solution théorique pour remédier à ce problème en plaçant les deux électrodes de commande parallèlement l'une à l'autre et en diminuant simultanément la distance entre elles jusqu'à obtenir une distance très réduite. Par souci de simplification, on n'a représenté sur ces figures que les électrodes 5 et 6, en omettant d'éventuels contacts commandés ou couches diélectriques interposés entre les deux électrodes, qui existent cependant pour un fonctionnement correct de l'ensemble. Dans cette figure 2, la force F est maximalisée, et l'évidement disparaît partiellement au profit d'un dièdre plein permettant la réalisation du parallélisme en position d'équilibre rapprochée de l'élément mobile 3. Tout le problème réside dans la réalisation pratique dudit dièdre, qui n'est pas possible à ce jour en grande série et à moindre coût, tout au moins avec du silicium. C'est la raison pour laquelle, dans l'une des réalisations possibles de l'invention représentée en figure 3, les éléments ont été configurés de manière à obtenir le parallélisme en position proximale des électrodes à partir d'un micro-usinage de substrats de silicium respectant les plans cristallographiques desdits substrats. A cet effet, selon ce mode de réalisation particulier, il existe une symétrie entre deux substrats 10 et Il placés en regard, ainsi qu'entre des parties mobiles 12 et 13 formant électrodes et des zones ressort 14 et 15. Cette symétrie s'exerce par rapport à un axe défini par l'intersection d'un plan médian et parallèle auxdits substrats 10 et il et d'un plan perpendiculaire passant par le milieu des parties mobiles 12 et 13, et elle s'applique par conséquent aussi à une cale d'espacement 16 placée de manière équidistante par rapport au plan médian. Le dispositif représenté concerne un actionneur avec un circuit commandé électrique, et c'est pourquoi deux contacts commandés 17 et 18 apparaissent sur les faces en regard des deux parties mobiles 12 et 13, lesquelles sont revêtues d'une couche diélectrique 19 ou 20 séparant le contact commandé de la partie mobile. Ces contacts 17 et 18 n'obéissent pas, dans leur localisation, au principe de symétrie qui vaut pour les autres composants. La figure 4, en expliquant le fonctionnement du dispositif, clarifie ce positionnement. Alors qu'en l'absence de tension de commande, les électrodes 12 et 13 sont en position d'équilibre, écartées et parallèles, I'établissement d'une tension provoque un mouvement symétrique des deux électrodes, suivant la même symétrie qu'auparavant. Les raideurs des deux zones flexibles faisant ressort 14 et 15 étant les mêmes, du fait de l'identité à la fois du matériau et de la géométrie, les mouvements des deux parties mobiles sont identiques après établissement de la tension de commande. Le positionnement de l'extrémité libre 21 de l'électrode 12 est sensiblement en face de la zone ressort 15 de l'autre électrode 13. Il en va de même, inversement, pour l'extrémité libre 22 de l'électrode 13. Lorsque le mouvement s'amorce, identiquement de part et d'autre du fait de la symétrie des deux configurations portant les électrodes 12 et 13, le contact commandé 17 se rapproche de la portion de l'électrode 13 proche de la zone flexible 15. C'est cette portion qui doit donc supporter le contact commandé homologue 18. Les contacts commandés 17 et 18 sont eux-mêmes reliés à des bornes électriques par l'intermédiaire de pistes conductrices isolées électriquement des substrats. Les figures 5 et 6 montrent deux solutions possibles pour la réalisation de la partie mobile à l'intérieur de son substrat fixe. II s'agit de deux découpes particulières respectant les plans cristallographiques du silicium, et dont l'utilisation est possible dans un mode de réalisation de type symétrique tel que décrit auparavant. Selon la figure 5, la zone ressort 14, qui fait office de charnière élastique autour de laquelle pivote la partie plane rigide 12 formant électrode, est composée de deux poutres 14 séparées par une découpe centrale 24. La coupe I-I permet d'observer que la configuration est sensiblement identique à celle qui a servi d'exemple dans les figures 3 et 4. Hormis la découpe 24, il apparaît clairement que la plaque mobile 12 est réalisée par une découpe en U 23 dans le substrat 10, laissant l'extrémité 21 libre à l'opposé de la zone ressort 14. Les poutres 14 sont amincies par rapport à l'épaisseur du substrat 10, pour diminuer la rigidité mécanique de la zone flexible, et la partie plane rectangulaire 12 a également une épaisseur inférieure à celle dudit substrat 10, mais suffisante pour qu'elle conserve sa rigidité au moment du rapprochement avec son électrode mobile homologue du substrat placé en regard. La rigidité d'une telle poutre 14 varie linéairement en fonction de sa largeur et en fonction du cube de son épaisseur. En ajustant ces paramètres, on peut parfaitement régler le couple de rappel exercé par les ressorts constitués par les poutres 14. En fonction de la valeur souhaitée, on peut aboutir à ce qu'il n'y ait pas de découpe 24, mais une unique poutre de largeur égale à celle de l'électrode mobile 12 et d'épaisseur beaucoup plus faible. Selon un autre exemple possible, I'épaisseur de chaque poutre 14 peut être égale à celle de l'électrode 12, mais leur largeur doit alors être diminuée de façon importante. La variante de la figure 6 comporte des poutres latérales déformables 34 raccordant le substrat 30 à la partie mobile formant électrode 32. La découpe 31 fait apparaître de manière encore plus nette la forme rectangulaire plane rigide de l'électrode mobile 32. Ces poutres latérales 34 travaillent en torsion et le couple de rappel se règle en ajustant leur épaisseur, leur largeur ou leur longueur qui dépend bien entendu de la découpe 31. Ce mode de réalisation est particulièrement avantageux pour des dispositifs compacts, parce qu'il facilite l'ajustement d'un substrat par rapport à l'autre, car l'axe de pivotement est ici parfaitement défini, contrairement à la configuration précédente. La coupe ll-ll permet de se rendre compte de la forme exacte des poutres latérales 34, qui respectent évidemment la nécessité de l'usinage parallèle aux plans cristallographiques. La figure 7 représente un dispositif selon la seconde famille de variantes, suivant laquelle l'une des électrodes mobiles est préposition née, de sorte que seule une électrode opère un pivotement. Dans cette figure, le dispositif est un peu plus complexe, et comporte aussi un substrat supplémentaire 55 doté d'un contact supplémentaire 56. On retrouve par ailleurs les deux substrats de base apparaissant dans les figures précédentes, référencés 40 et 41. Le substrat 41 est placé sur un substrat base 51 doté d'un bossage 52 qui préforme la partie mobile 43 du substrat 41. Cette dernière est classiquement munie d'un contact 48 placé sur la couche diélectrique 50. Dans une telle configuration, la raideur de la zone ressort 45 est plus élevée que celle de la zone homologue 44 de la partie mobile formant électrode 42. L'inclinaison résultant de l'appui de la surface inférieure de l'électrode 43 sur le bossage 52 forme un dièdre, de sorte qu'à l'établissement d'une tension de commande entre les électrodes 42 et 43, I'électrode mobile 42 est attirée et se place parallèlement à l'autre, à faible distance de sa couche diélectrique 50. La force de contact est alors maximale. La raideur de la partie déformable 45 est prévue de telle sorte que la force de rappel qu'elle exerce à tout moment sur la partie mobile 43 est supérieure à la force d'attraction électrostatique résultant de l'application de la tension de commande. Le temps de commutation qui s'écoule entre l'application de la tension de commande et l'entrée en contact des contacts électriques 47 et 48 est bien plus court dans cette configuration comportant un bossage 52 que dans les configurations précédentes à double mouvement des parties mobiles. Le prépositionnement de l'une des électrodes mobile s'accompagne donc d'une commutation plus rapide. Cela s'explique par le fait que les électrodes sont déjà plus proches à l'établissement de la tension de commande et par conséquent la force électrostatique est sensiblement plus élevée que lorsque les électrodes sont à distance maximale, c'est-à-dire à la distance des deux substrats fixes. A cette distance, la force électrostatique est faible et elle le reste pendant la première partie de la course symétrique des électrodes. La variante avec le substrat 53 et le contact 56 supplémentaires permet un fonctionnement en relais inverseur. II faut bien entendu qu'existent deux moyens distincts (non représentés) d'appliquer deux tensions de commande différentes, d'une part entre les électrodes 40 et 41, et d'autre part entre les électrodes 40 et 53 L'électrode 42 comprend sur chacune de ses faces des couches diélectriques 49 et 58, et des contacts 47 et 57. Entre le contact 56 et le substrat 53, il existe bien évidemment aussi une couche diélectrique 55. Comme dans les configurations précédentes, les substrats sont séparés par des cales 46 et 54, respectivement entre les substrats 40 et 41 d'une part, et 40 et 53 d'autre part. Pour un meilleur fonctionnement en relais inverseur, I'une des couches diélectriques 55 et 58 est en permanence polarisée, ce qui soumet l'électrode mobile 42 à une force d'attraction supplémentaire qui tend à la maintenir pressée contre le substrat 53. Cette force évite tout mouvement intempestif de l'électrode mobile 42, à cause d'un choc ou d'une vibration en l'absence d'une tension de commande entre elle et le substrat 53. Les contacts 56 et 57, dits "contacts de repos", sont maintenus l'un contre l'autre, et il faut appliquer simultanément deux tensions pour déplacer l'électrode mobile 42 vers l'électrode 43 surélevée par le bossage 52. La tension entre le substrat supplémentaire 53 et le substrat 40 doit être de polarisation et d'amplitude telles qu'elle soit de nature à annuler la force de l'électret constitué par la couche diélectrique 55 polarisée en permanence. La force provenant de l'établissement simultané de l'autre tension reste alors seule à agir. Elle déplace l'électrode mobile 42 vers l'électrode fixe 43, comme cela apparaît en figure 8. Si l'on cesse d'appliquer les deux tensions, la force de l'électret constitué de la couche diélectrique 55 ramène l'électrode mobile en position initiale de repos. Ce mode de réalisation peut bien entendu être appliqué aux configurations précédentes, moyennant quelques aménagements de structures. De nombreuses variantes sont ainsi réalisables. II est notamment possible d'introduire dans toutes les réalisations une ou plusieurs couches diélectriques polarisées en permanence, ou électrets, selon la nécessité d'augmenter ou non la force d'attraction. Les exemples choisis concernent l'électricité, mais les commutateurs décrits peuvent être employés en optiques avec des aménagements voisins, avec les mêmes avantages pour ce qui concerne les temps de commutation etc... Les cales d'espacement peuvent être usinées d'une seule pièce avec les substrats, ou à part. On peut ajouter d'autres couches avec des contacts supplémentaires, selon la complexité des circuits à réaliser. Des ordres de grandeurs possibles des dimensionnements sont les suivants: - Les parties planes rigides mobiles ont quelques mm2 de surface, par exemple 6 mm sur 3 mm, - La largeur d'une découpe entre ladite partie mobile et sa pièce fixe peut être de l'ordre de 0,2 à 0,3 mm, - L'écart entre deux parties planes en regard est de l'ordre de 20stem, alors qu'au contact, il s'abaisse à environ 2 > m. L'épaisseur d'une desdites parties mobiles peut se situer aux alentours de 100im. - La tension de commande V est inférieure ou égale à 200 V, de préférence inférieure à 50 V. Lorsque l'une au moins des couches diélectriques est un électret, une tension équivalente Vo possible de l'électret est également de l'ordre de 50 V. On rappelle que le champ électrique entre les parties planes obéit sensiblement à la formule: E=(V- Vo) Id ou d est la distance entre ces parties. Lorsque V = Vo, la force électrostatique est nulle. Par contre, si V = -Vo, ladite force quadruple, puisqu'étant alors égale à: (So/2)[(-2Vo)2/d2]S Parmi les applications d'un tel dispositif, on peut citer deux grands domaines d'utilisation que sont les interfaces d'ordinateurs et les dispositifs de commutation dans le domaine des télécommunications. On peut intégrer ce type de dispositifs dans un circuit intégré classique alimenté par une tension de 5 V, et rajouter dans le même composant un gonfleur de tension qui porte cette tension d'entrée à 50 V. On se retrouve alors dans l'un des cas de figure mentionné dans les exemples chiffrés. Selon d'autres exemples d'applications plus précis, on peut enfin mentionner les commutateurs téléphoniques, les afficheurs optiques, les interfaces d'imprimantes laser, pour la déviation du faisceau laser, etc... REVENDICATIONS 1. Dispositif de commande du type actionneur électrostatique constitué d'au moins deux pièces fixes (10,40 ; 11,41) en regard comportant chacune une partie plane rigide mobile (12,42; 13,43) formant électrode, l'une au moins des électrodes étant recouverte d'au moins une couche diélectrique (19,49 ; 20,50), I'une au moins des électrodes étant au surplus apte à commuter entre deux positions de repos lors de l'établissement d'une tension de commande générant une force électrostatique entre lesdites électrodes, de manière que celles-ci soient parallèles lorsqu'elles sont dans leur position de repos à proximité l'une de l'autre et susceptibles d'entrer en contact, caractérisé en ce que chaque partie mobile (12,42 ; 13,43) est reliée, à l'opposé d'une extrémité libre, à la pièce fixe (10,40 ; 11,41) dont elle dépend par une zone flexible (14,44 ; 15,45) faisant ressort et positionnée au niveau de l'extrémité libre de la partie mobile reliée à la pièce fixe (11,41; 10,40) qui lui fait face, selon une disposition en tête-bêche. 2. Dispositif de commande selon la revendication 1, caractérisé en ce que la disposition tête-bêche présente une symétrie d'axe défini par l'intersection d'un plan médian et parallèle aux deux électrodes et d'un plan perpendiculaire à ce dernier passant par le milieu des parties planes rigides mobiles (12,42 ; 13,43), entre la zone faisant ressort (14,44 ; 15,45) et l'extrémité libre. 3. Dispositif de commande selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que l'une des parties mobiles (43) est préposition née par un bossage (52) pratiqué sur une pièce de base (51) sur laquelle repose la pièce fixe (41) à laquelle est reliée ladite partie mobile (43), dont la zone ressort (45) a au surplus une raideur lui permettant d'exercer un couple de rappel supérieur à la force électrostatique entre les électrodes. 4. Dispositif de commande selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les pièces (10,40 Il ,41 ; 53) comprenant les électrodes sont usinées dans des substrats en silicium. 5. Dispositif de commande selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'une au moins des électrodes est formée d'une couche conductrice isolée d'un substrat en silicium. 6 Dispositif de commande selon l'une des revendications 4 et 5, caractérisé en ce qu'au moins une couche diélectrique (19,49 ; 20,50 ; 55,58) d'une des électrodes a une polarisation électrique permanente, constituant ainsi un électret. 7. Dispositif de commande selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'électret est en dioxyde de silicium SiO2. 8. Dispositif de commande selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que les parties formant électrodes comprennent sur leur couche diélectrique (19,49 ; 20,50 ; 55,58) au moins un contact électrique (17, 47, 56) sur une zone destinée à entrer en contact avec un contact électrique (18, 48, 57) d'une autre électrode en regard. 9. Dispositif de commande selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'au moins une des parties mobiles (12,42 ; 13,43) est pourvue d'un dispositif optique permettant de modifier les propriétés physiques et / ou géométriques d'un rayon lumineux incident. 10. Dispositif de commande selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que l'une au moins des parties mobiles (12,42 ; 13,43) est reliée à un guide de lumière, de sorte qu'à la position de contact avec la partie en regard, il y ait un couplage optique permettant la transmission de la lumière. 11. Dispositif de commande selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la zone ressort (14,44 ; 15,45) d'une partie rigide plane mobile (12,42; 13,43) formant électrode se compose de deux poutres d'épaisseur inférieure à celle de ladite partie plane et / ou séparées par une découpe centrale dans la zone ressort. 12. Dispositif de commande selon l'une quelconque des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que la zone ressort (14,44; 15,45) d'une partie rigide plane mobile (12,42; 13,43) formant électrode se compose de deux poutres latérales d'épaisseur inférieure à celle de ladite partie plane, situées à une des extrémités de ladite partie plane (12,42; 13,43).