Brevet FR2700091A1 — publié le 19940701

DETECTEUR D'IMAGE THERMIQUE AVEC PERIODE D'OBTURATION RAPIDE ET PROCEDE DE FONCTIONNEMENT L'invention concerne les détecteurs d'images thermiques, notamment les détecteurs pyroélectriques, destinés à produire une image d'une scène en lumière infra-rouge, et tout particulièrement ceux qui fonctionnent à température ambiante. Les détecteurs pyroélectriques fonctionnent de la manière suivante: ils absorbent le rayonnement infrarouge pour échauffer une couche pyroélectrique, c'est-à-dire une couche ayant la propriété d'engendrer des charges de surface en fonction de la température Les charges engendrées, converties en tension électrique sont traitées pour fournir une mesure de l'intensité de rayonnement Infrarouge reçue par le détecteur D'autres types de détecteurs d'image en infrarouge peuvent exister, reposant sur d'autres effets que l'effet pyroélectrique mais reposant aussi sur l'échauffement d'une couche Ils sont concernés par l'invention, mais celle-ci sera décrite en détail uniquement à propos d'un détecteur pyroélectrique. Le détecteur peut être ponctuel, ou peut comporter une colonne de points pyrosensibles pour faire une image infrarouge linéaire, ou encore un réseau matriciel de points pour faire une image bidimensionnelle; cette image peut être en particulier une image des répartitions de températures d'une scène observée. Il existe des détecteurs hybrides utilisant deux substrats: un substrat qui assure la fonction pyroélectrique et un substrat qui assure les fonctions de traitement de signal Les deux substrats sont collés face à face pour relier chaque point pyrosensible du premier substrat à un point du deuxième substrat. Plus récemment, on a proposé aussi des détecteurs monolithiques qui sont constitués par un substrat de circuit intégré recouvert de matériau pyroélectrique déposable en couche mince (matériau polymère pyroélectrique) Le substrat porte les éléments de circuit nécessaires au traitement du signal pyroélectrique engendré. Du fait que le matériau pyroélectrique produit des charges proportionnellement à son échauffement, et du fait que cet échauffement est une intégrale de l'intensité de rayonnement reçue, le détecteur pyroélectrique doit fonctionner de manière différentielle et non de manière absolue, surtout si on veut observer des scènes fixes En effet, une intensité de rayonnement constante, représentant la luminance d'un point émettant un rayonnement infrarouge, va provoquer un échauffement progressif du matériau jusqu'à une valeur de saturation qui ne permettra pas de déduire l'intensité de rayonnement reçue D'autre part, une mesure absolue de température dépendrait trop des variations de température ambiante du détecteur et ne serait pas suffisamment représentative des répartitions de températures de la scène observée. C'est pourquoi on prévoit que le détecteur est alternativement éclairé, c'est-à-dire soumis au rayonnement infrarouge, puis masqué La période de l'alternance éclairement - masquage doit être suffisante pour que le matériau pyroélectrique ait le temps de s'échauffer pendant l'éclairement et le temps de se refroidir pendant le masquage La période est par exemple de 50 Hertz ( 10 millisecondes d'éclairement pour 10 millisecondes de masquage) Ce qu'on mesure alors n'est pas l'échauffement moyen mais l'amplitude de variation de l'échauffement au cours de l'alternance Cette amplitude est en effet représentative de l'intensité reçue, beaucoup mieux que l'échauffement moyen qui dépend de trop d'autres paramètres. La courbe de la figure 1 représente l'évolution de la température de la couche pyroélectrique dans le cas o l'éclairement est ainsi alterné La courbe est exprimée directement en tension en fonction du temps, la tension indiquée étant une tension fictive représentant un signal de sortie du détecteur, ce signal étant supposé proportionnel à l'échauffement du matériau pyroélectrique. La température monte au début d'une phase d'éclairement et tend vers une valeur de saturation haute qui dépend non seulement de l'intensité infrarouge reçue mais aussi des pertes thermiques de la couche pyroélectrique Puis elle redescend dès le début de la phase de masquage, et tend également vers une valeur de saturation basse, avec une vitesse qui dépend également des pertes thermiques La différence entre la tension à la fin de la phase d'éclairement et la tension à la f in de la phase de masquage est une bonne mesure de l'intensité de rayonnement infrarouge reçue. La détection consiste alors en gros à mesurer un échantillon de signal VSH à la fin d'une phase d'éclairement et un échantillon de signal VSB à la fin d'une phase de masquage, et à faire la différence VSH-VSB pour en déduire une valeur d'intensité infrarouge reçue. On comprend que la période de l'alternance éclairement/ masquage doit être telle que la couche pyroélectrique ait le temps de s'échauffer et de se refroidir à chaque phase, pour que les variations de charges générées soient d'amplitude suffisante. Si la durée de chaque phase est trop courte le rapport signal/bruit est trop faible, le bruit considéré ici étant un bruit indépendant de la durée de la phase Si elle est trop longue, le gain en niveau de signal n'est plus amélioré du fait de la saturation de la courbe de signal (voir figure 1) De plus, pour des raisons de compatibilité avec des systèmes d'imagerie classiques on souhaite sortir une image à une fréquence comprise entre 25 et 60 Hz. Ces raisons font que le plus souvent on est amené à faire fonctionner l'obturateur à une fréquence qui correspond justement à la fréquence de sortie des images ( 25, 30, 50 ou 60 Hertz), pour laquelle le niveau de signal obtenu est suffisant sans être trop près de la saturation. Cependant, on s'est aperçu que certaines structures de détecteurs pyroélectriques sont sensibles à un bruit dont l'amplitude est proportionnelle à la durée de l'intégration Sans entrer dans tous les cas o cela est possible, on peut signaler à titre d'exemple que c'est le cas dans une structure de détecteur monolithique dans laquelle chaque point d'image est défini par une capacité pyroélectrique et dans laquelle la capacité est reliée à un substrat semiconducteur par l'intermédiaire d'une diode polarisée en inverse La génération thermique naturelle de porteurs de charge dans cette diode perturbe la charge pyroélectrique engendrée par l'image observée Et cette perturbation est proportionnelle à la durée de chaque phase, une remise à niveau du potentiel de la capacité étant faite à la fin de chaque phase pour éviter une dérive permanente. Ce bruit peut n'être pas négligeable pour les durées de phases considérées ci-dessus. L'invention propose un moyen pour améliorer le rapport signal/bruit des détecteurs thermiques. On propose selon l'invention un détecteur d'image thermique qui comporte au moins une colonne de points pyrosensibles, chaque point relié à un étage respectif d'un registre à décalage pour y déverser des charges en quantité dépendant de la température de chaque point, un obturateur pour alternativement éclairer et masquer le détecteur, un moyen pour fournir cycliquement au registre au moins un signal de mesure de point éclairé au cours d'une phase d'éclairement et au moins un signal de mesure de point masqué au cours d'une phase de masquage, caractérisé en ce qu'il est prévu un moyen pour faire avancer le contenu du registre entre les déversements de mesures d'un cycle comportant au moins une phase d'éclairement et une phase de masquage, un moyen pour faire reculer le contenu du registre avant le déversement des mesures du cycle suivant et pour le faire avancer à nouveau entre les déversements de ce cycle suivant, et des moyens pour vider le registre après l'exécution d'un groupe d'au moins deux cycles successifs pour fournir un signal d'image. Le procédé de fonctionnement du détecteur consiste donc à a.) faire des mesures au cours d'un premier cycle comprenant une alternance de phases d'éclairement et de masquage, et déverser les résultats des mesures dans des étages successifs d'un registre à décalage, en faisant avancer le registre d'un pas après un déversement et avant le déversement d'une mesure suivante de ce cycle, b) faire reculer le contenu du registre d'un nombre de pas en arrière lié au nombre de pas en avant dans le cycle, (en général le nombre de pas en arrière sera le même que le nombre de pas en avant), c.) faire des mesures au cours d'un deuxième cycle comprenant une alternance de phases d'éclairement et de masquage, déverser les résultats des mesures dans les étages du registre à décalage en faisant à nouveau avancer le registre d'un pas après un déversement et avant le déversement suivant dans le même cycle, d) et enfin vider la totalité du contenu du registre pour fournir un signal d'image après l'exécution d'au moins deux cycles successifs. Le groupe d'étapes b) c) peut être répété plusieurs fois, ce qui veut dire qu'on ne vide le registre qu'après une série de trois, quatre ou plus de cycles. Le niveau de signal est augmenté par l'addition successive de mesures dans les mêmes cases du registre à décalage On peut multiplier la vitesse de fonctionnement de l'obturateur (et donc la périodicité des mesures effectuées) Cependant la fréquence de sortie du signal d'image final peut rester constante ( 50 Hz par exemple pour une périodicité de l'obturateur de 100 Hz, voire 150 ou 200 Hz) Le bruit proportionnel à la durée des phases d'éclairement et de masquage est très fortement diminué puisque ces durées sont divisées par 2, 3 ou 4. En pratique, on ne se contente pas d'une mesure au cours d'une phase, mais on fait plutôt une mesure en début de phase, par exemple après une étape de remise à niveau, et une mesure en fin de phase Dans ce cas, le registre avance de trois pas au cours d'un cycle et il devra reculer de trois pas avant le cycle suivant. Le signal de sortie du détecteur sera établi à partir d'une double différence un premier signal différentiel représente la différence entre les mesures faites en début et en fin de phase d'éclairement et cumulées par le registre sur au moins deux cycles successifs; un deuxième signal différentiel représente la différence entre les mesures faites en début et en fin de phase de masquage et également cumulées sur deux cycles. Et un signal de résultat est établi à partir de la différence entre les deux signaux différentiels C'est ce signal qui représente la température ou l'intensité d'émission infrarouge d'un point d'une scène projetée et focalisée sur le détecteur. L'invention est applicable tout particulièrement aux détecteurs monolithiques dans lesquels les charges engendrées par effet pyroélectrique servent à contrôler le niveau d'une barrière de potentiel dans un dispositif à transfert de charges, mais dans lesquels on a prévu une diode entre le substrat de ce dispositif et la capacité. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels: la figure 1 déjà décrite représente un diagramme temporel expliquant l'allure des variations de température engendrées dans la couche pyroélectr Ique d'un détecteur à obturateur; la figure 2 représente la structure générale d'un détecteur pyroélectrique monolithique comprenant des dispositifs de traitement à transfert de charges; la figure 3 représente l'allure des variations de tension aux bornes de la capacité pyroélectrique dans un détecteur, avec remise à niveau périodique; la figure 4 représente l'organisation du détecteur avec des capacités pyroélectriques et des moyens d'injection dans un registre à transfert de charge; les figures 5 à 8 représentent les étapes successives de fonctionnement du registre à décalage. On se référera à la demande de brevet FR 90/15476 du Demandeur pour comprendre en détail la construction et le fonctionnement d'un détecteur matriciel pyroélectrique monolithique De manière générale, comme représenté à la figure 2, le détecteur comporte un substrat monolithique de silicium 10 dans lequel est formé un circuit Intégré comprenant essentiellement des dispositifs à transfert de charge et les circuits de commande associés; les dispositifs à transfert de charge sont essentiellement des registres à décalage à transfert de charges en colonnes parallèles, avec des moyens pour injecter dans les cases de ce registre des charges en quantité liées à l'éclairement infrarouge qu'on cherche à mesurer, c'est-à-dire en général liées à la température de chaque point de l'image infrarouge observée Les circuits de commande sont les circuits qui permettent d'une part l'injection de charges dans les registres, d'autre part les décalages périodiques de paquets de charges le long des registres, et enfin la lecture de ces charges, c'est-à-dire la conversion des paquets de charges en tensions électriques Le substrat semiconducteur est recouvert d'un isolant électrique et thermique 12, par exemple en polyimide Cet isolant est percé localement d'ouvertures que l'on remplit de matériau conducteur pour constituer des vias conducteurs 14 entre le dessus et le dessous de la couche d'isolant thermique Au dessous de cette couche, les vias sont en contact chacun avec un conducteur respectif 16 du circuit intégré sous-jacent Au dessus de la couche thermiquement isolante 12 sont déposées des électrodes rectangulaires Individuelles 18, en réseau matriciel occupant la majeure partie de la surface du détecteur; chaque électrode 18 définit un point d'image à observer et elle est reliée à un via conducteur respectif 14, donc à un conducteur respectif 16 du substrat semiconducteur. La couche d'isolant thermique, ainsi revêtue d'électrodes reliées au circuit intégré, est recouverte d'une couche pyroélectr Ique , de préférence une couche de matériau polymère pyroélectrique à faible conductivité thermique Enfin, une couche conductrice 22 est déposée sur la surface de la couche pyroélectrique, et une couche 24 absorbant les infrarouges dans la gamme de longueurs d'onde désirée (en général 8 à 14 micromètres) est déposée sur la couche conductrice 22 Les couches 22 et 24 peuvent être confondues. Chaque électrode définit, avec la portion de couche pyroélectrique qui la recouvre, une capacité pyroélectrique CP ayant une armature inférieure individuelle 18 et une armature supérieure collective 22; cette capacité se charge en fonction de sa température et elle est reliée au circuit intégré sous-jacent en vue de créer dans le circuit Intégré un signal électrique résultant de cette charge. Le circuit intégré sous-jacent est un circuit à transfert de charges et on a symbolisé ce circuit par des électrodes juxtaposées 26, en général en silicium polycristallin; ces électrodes sont isolées, par une couche Isolante mince 28, du substrat semiconducteur 10 dans lequel circulent des charges électriques Le conducteur 16, relié au via conducteur 14 d'une capacité respective, peut être relié électriquement à une de ces électrodes, désignée par 30 sur la figure 2; cette électrode agit comme barrière de potentiel de hauteur variable pour les charges qui circulent dans le substrat, de sorte qu'on peut moduler des paquets de charges en fonction de la charge de chaque capacité pyroélectrique Les charges modulées sont transférées dans des registres à décalage qui décalent ensuite ces charges parallèlement aux colonnes de capacités du réseau, c'est-à-dire dans une direction perpendiculaire au plan de la figure 2. De préférence, bien que ce ne soit pas visible sur la figure 2, le conducteur 16 relié à l'armature inférieure 18 de la capacité est connecté à une zone diffusée de type N+ formant avec le substrat une jonction PN polarisée en inverse en fonctionnement normal (diode Dl sur la figure 4) De plus, comme cette diode engendre un bruit de charges par effet thermique, un transistor Tl (fig 4) de remise à niveau périodique de la tension de l'armature 18 est prévu La remise à niveau est effectuée en synchronisme avec le fonctionnement de l'obturateur. Des détails sur ce point sont donnés dans le brevet FR 90 15476 précité. Dans d'autres réalisations à transfert de charges, les capacités pyroélectriques sont reliées directement au substrat pour une injection directe de charges pyroélectr Iques dans le semiconducteur Dans d'autres réalisations n'utilisant pas de dispositifs à transfert de charges, les capacités pyroélectr Iques sont reliées à des circuits de mesure directe de la tension aux bornes de ces capacités. Le détecteur ainsi réalisé sera en général placé derrière une optique qui forme à la surface du détecteur une image en infrarouge d'une scène observée Une lentille au germanium convient pour les longueurs d'onde de l'ordre de 10 micromètres. Un obturateur actionné périodiquement est placé entre la scène à observer et le détecteur, en principe entre la lentille et le détecteur. La couche absorbante reçoit le rayonnement Infrarouge avec une intensité qui dépend localement de la scène observée. Elle s'échauffe donc localement selon un motif de températures qui correspond à l'image observée Les capacités pyroélectriques s'échauffent en conséquence en fonction de cette image et définissent des points d'image reproduisant, avec une résolution définie par le nombre de capacités du réseau matriciel, le motif de température de la couche absorbante. Chaque capacité engendre des charges de surface en fonction de sa température moyenne propre, de sorte qu'à un instant donné, une capacité donnée possède une charge propre, qui représente l'influence, en ce point et à cet instant, du rayonnement infrarouge reçu par le détecteur. Comme on l'a expliqué précédemment, la détection d'image infrarouge nécessite qu'on effectue une mesure différentielle entre la charge résultant de l'éclairement et la charge dans l'obscurité L'obturateur placé devant le détecteur permet de faire cette mesure différentielle L'obturateur peut être mécanique (lame opaque passant périodiquement devant le détecteur) ou électro-optique (cellule à cristal liquide). On peut admettre que la charge pyroélectrique engendrée dans une capacité pyroélectrique est représentée par une tension, soit que cette tension soit la tension directement mesurée aux bornes de la capacité ou une tension déduite de celle-ci, soit que la tension soit le résultat de la conversion d'un paquet de charges pyroélectriques Injectées par la capacité dans le substrat, soit enfin qu'elle soit le résultat de la conversion d'un paquet de charges modulé par la tension aux bornes de la capacité pyroélectrique Dans tous les cas, l'allure des variations de la tension représentant la charge pyroélectrique est alors celle qu'on a expliquée en référence à la figure 1. Le principe de la mesure pour un point pyrosensible consiste alors à déterminer la tension VSB en fin d'une phase de masquage, puis la tension VSH en fin de phase d'éclairement; on fait la différence VSH- VSB qui est un signal représentant l'éclairement infrarouge en ce point On améliore la qualité de la mesure, et en particulier le rapport signal/bruit en effectuant deux mesures successives pour un même cycle de masquage et d'éclairement: on mesure la différence de tension engendrée entre le début et la fin de l'éclairement, puis la différence de tension engendrée entre le début de la phase de masquage et la fin de la phase de masquage, et on fait la différence entre ces deux mesures. Ce principe est appliqué en particulier dans le cas o on effectue une recalage de tension de l'armature Inférieure de la il capacité pyroélectrique à la fin de chaque phase (pour éviter les dérives dues par exemple à la génération thermique de porteurs de charge dans la diode D 1 reliée entre la capacité pyroélectrique et le substrat, diode servant à la polarisation5 initiale du matériau pyroélectrique: voir demande de brevet précitée FR 90 15476) Dans ce cas, l'évolution de tension aux bornes de la capacité pyroélectrique est plutôt celle de la figure 3 La mesure de température d'un point consiste encore à déterminer la différence de tension engendrée entre le début et10 la fin de la phase d'éclairement et de préférence aussi la différence engendrée entre le début et la fin de la phase de masquage, et on peut également faire la différence entre ces deux mesures Par exemple on mesure la tension VDE 1 en début de phase d'éclairement, juste après un recalage de tension (RAZ),15 puis la tension VFE 1 en fin de phase d'éclairement; puis on effectue un recalage; on mesure la tension VDM 1 en début de phase de masquage juste après ce recalage, et la tension VEM 1 en fin de phase de masquage; on fait à nouveau une recalage de tension, etc Le signal utile est obtenu par la différence20 VFE 1-VDE 1, ou VFM 1-VDM 1, ou mieux encore par (VFE 1-VDE 1) (VFM 1-VDM 1). Au cycle suivant les mêmes mesures sont effectuées cycle 2 VDE 2, VFE 2, VDM 2, VFM 2 cycle 3 / VDE 3, VFE 3, VDM 3, VFM 3.25 Les recalages de tension (RAZ) sont effectués en synchronisme avec les changements de phase de l'obturateur. L'intervalle de temps qui sépare la mesure et le recalage est très faible comparé à la durée de la phase: par exemple quelques microsecondes entre une mesure et un recalage pour une30 phase d'éclairement ou de masquage qui dure 3 millisecondes. Les quatre mesures correspondant à un cycle peuvent être stockées dans quatre cases adjacentes d'un registre à décalage. La figure 4 représente schématiquement l'organisation du registre à décalage RD associé à une colonne de capacités pyroélectriques CP Le nombre de cases du registre est quatre fois plus élevé que le nombre de capacités Les armatures inférieures des capacités sont remises à niveau régulièrement par les transistors Tl reliés à une source de tension de remise à niveau VDR Un injecteur de charges INJ, contrôlé par le5 potentiel de la capacité pyroélectrique, est activé simultanément pour toutes les capacités L'injecteur injecte dans le registre des charges en quantité proportionnelle aux signaux de mesure VDE 1, VEE 1, etc Le registre est décalé en synchronisme avec les différentes mesures donc avec les différents instants10 d'injection La diode Dl, entre la capacité et le substrat, est celle qui sert à la polarisation initiale de la couche pyroélectrique et qui tend à engendrer du bruit gênant en utilisation normale. Quatre opérations d'injection se succèdent pour chaque cycle: injection d'un signal représentant VDE 1, décalage d'une case du registre; injection d'un signal correspondant à VFE 1; remise à niveau et décalage d'une case du registre; injection de VDM 1; décalage d'une case; Injection de VEM 1; remise à niveau. Dans la technique antérieure, après la fin d'un cycle, on vide le registre en colonne pour obtenir un signal d'image (classiquement, la dernière case de chacun des registres en colonne se vide dans une case respective d'un registre horizontal RH; cette opération est répétée quatre fois; puis le registre horizontal est vidé très rapidement après chaque série de quatre25 pas de décalage des registres en colonne). En fait, dans la technique antérieure, les cycles sont légèrement décalés par rapport à ce qui vient d'être dit: pour avoir le temps de vider le registre pendant la première phase du cycle suivant, sans perdre les mesures de ce cycle suivant, on30 stocke les mesures successives suivantes cycle 1: VFE 1, VDM 1, VEM 1, VDE 2; cycle 2: VFE 2, VDM 2, VFM 2, VDE 3, etc Selon l'invention, on va augmenter la fréquence de fonctionnement de l'obturateur, réduisant ainsi la durée de chaque phase, tout en continuant à sortir des signaux d'image avec la même périodicité. Pendant un premier cycle comprenant une alternance de phases de masquage et d'éclairement on déverse successivement dans le registre RD, par l'injecteur INJ, les mesures effectuées au cours de ce cycle Dans la version la plus simple le cycle commence au début de la phase d'éclairement et se termine à la fin de la phase de masquage qui suit, et on stocke au cours de ce cyle successivement les mesures VDE 1, VFE 1, VDM 1, VFM 1 en faisant avancer le contenu du registre d'un pas après chaque mesure, trois pas au total La figure 5 représente le remplissage progressif du registre qui en résulte Seules quatre cases de registre sont considérées, les quatre cases suivantes ou précédentes ne correspondant pas au même point d'image mais aux points adjacents de la même colonne. On notera que le cycle pourrait commencer juste avant la fin d'une phase d'éclairement ou de masquage, par exemple juste avant le déversement de VEE 1; dans ce cas, le cycle (de même que les cycles suivants) comprendrait l'alternance suivante: fin de phase d'éclairement, phase complète de masquage, et la majeure partie d'une nouvelle phase d'éclairement Ce cas est représenté figure 6. Après la fin du premier cycle, on fait reculer rapidement le contenu du registre RD de trois pas avant le déversement des mesures correspondant au cycle suivant On remarquera que si on ne dispose pas d'assez de temps pour faire reculer le contenu du registre de trois pas entre le déversement de VEM 1 et celui de VDEZ, il faut adopter la structure de cycle de la figure 6 plutôt que celle de la figure 5. Le contenu du registre pendant cette phase de recul est représenté à la figure 7 Le contenu initial est celui qui correspond à la dernière phase de la figure 5 Le contenu final est tel que la charge correspondant à la mesure VDE 1 est maintenant dans la case de registre située en regard du dispositif d'injection INJ. On effectue alors le deuxième cycle de mesures: injection d'une charge correspondant à une nouvelle mesure VDE 2 en début d'éclairement, avance d'un pas du registre, deuxième mesure VFE 2, avance d'un pas, troisième mesure VDM 2, avance d'un pas, et dernière mesure VFM 2. Les charges déversées à chaque mesure s'ajoutent au contenu précédent de la case du registre qui est en regard du dispositif d'injection Il en résulte que les mesures des phases qui se correspondent dans les deux cycles s'ajoutent L'évolution des contenus est représentée à la figure 8. On peut alors répéter plusieurs fois les étapes de recul (fig 7) et de mesure (fig 8) pour additionner plusieurs mesures successives avant de vider le registre pour obtenir un signal d'image. Dans le cas général, on utilisera la durée d'un cycle complet éclairement/masquage pour vider le registre sans faire de mesures; mais si la durée d'une phase d'éclairement (ou de masquage) restait suffisante pour qu'on ait le temps de vider le registre entre la mesure de début d'éclairement et la mesure de fin d'éclairement, on peut vider le registre sans interrompre les cycles de mesure Il faut alors adopter une structure de cycles telle que celle décrite à propos de la figure 6 (fin de cycle immédiatement après le début d'une phase d'éclairement ou de masquage). Les signaux recueillis après vidage du registre sont utilisés pour établir un signal différentiel représentant les variations de température au cours des phases d'éclairement (VFE 1 + VFE 2) (VDE 1, + VDE 2), un signal différentielreprésentant les variations de température au cours des phases de masquage (VFM 1 + VEM 2) (VDM 1 + VDM 2); et un signal de résultat représentant la différence entre les signaux différentiels: (VEE 1 + VFE 2 + VDM 1 + VDM 2) (VDE 1 + VDE 2 + VEM 1 + VFM 2). Ce signal représente l'intensité infrarouge émise par un point d'image, moyennée sur deux cycles consécutifs. REVENDICATIONS 1 Détecteur d'image thermique qui comporte au moins une colonne de points pyrosensibles, chaque point relié à un étage respectif d'un registre à décalage (RD) pour y déverser des charges en quantité dépendant de la température de chaque point, un obturateur pour alternativement éclairer et masquer le détecteur, un moyen pour fournir cycliquement au registre au moins un signal de mesure de point éclairé au cours d'une phase d'éclairement et au moins un signal de mesure de point masqué au cours d'une phase de masquage, caractérisé en ce qu'il est prévu un moyen pour faire avancer le contenu du registre entre les déversements de mesures d'un cycle comportant au moins une phase d'éclairement et une phase de masquage, un moyen pour faire reculer le contenu du registre avant le déversement des mesures du cycle suivant et pour le faire avancer à nouveau entre les déversements de ce cycle suivant, et des moyens pour vider le registre après l'exécution d'un groupe d'au moins deux cycles successifs pour fournir un signal d'image. 2 Procédé de fonctionnement d'un détecteur d'image thermique comprenant au moins une colonne de points pyrosensibles, chaque point relié à un étage respectif d'un registre à décalage pour y déverser des charges en quantité dépendant de la température de chaque point, un obturateur pour alternativement éclairer et masquer le détecteur, un moyen pour fournir cydiquement au registre au moins un signal de mesure de point éclairé au cours d'une phase d'éclairement et au moins un signal de mesure de point masqué au cours d'une phase de masquage, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: a.) faire des mesures au cours d'un premier cycle comprenant une alternance de phases d'éclairement et de masquage, et déverser les résultats des mesures dans des étages successifs d'un registre à décalage, en faisant avancer le registre d'un pas après un déversement et avant le déversement d'une mesure suivante de ce cycle, b.) faire reculer le contenu du registre d'un nombre de pas en arrière lié au nombre de pas en avant dans le cycle, c) faire des mesures au cours d'un deuxième cycle comprenant une alternance de phases d'éclairement et de masquage, déverser les résultats des mesures dans les étages du registre à décalage en faisant à nouveau avancer le registre d'un pas après un déversement et avant le déversement suivant dans le même cycle, d) et enfin à vider la totalité du contenu du registre pour fournir un signal d'image après l'exécution d'au moins deux cycles successifs. 3 Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que les étapes b et c sont répétées plus de deux fois avant l'étape d. 4 Procédé selon l'une des revendications 2 et 3, caractérisé en ce qu'on déverse dans deux cases du registre aux cours d'une même phase d'une part une mesure en début de phase et d'autre part une mesure en fin de phase. Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce qu' une étape de remise à niveau de potentiel est effectuée en synchronisme avec les changements de phase de l'obturateur, avant chaque mesure en début de phase.