Brevet FR2707796A1 — publié le 19950120

A PROCEDÉ DE GRAVURE SOUS PLASMA D'UNE COUCHE CONDUCTRICE SUR UNE TRANCHE DE SILICIUM AVEC INTERPOSITION D'UNE COUCHE ISOLANTE MINCE La présente invention concerne un procédé de gravure sous plasma d'une couche conductrice sur une tranche de silicium avec interposition d'une couche isolante mince. L'article de Sychyi Fang et al. paru dans IEDM, avril 1992, pages 61 à 64, intitulé "A New Model for Thin Oxide Degra- dation from Wafer Charging in Plasma Etching" analyse des phéno- mènes destructifs susceptibles de se produire quand on grave sous plasma une couche de silicium polycristallin dopée déposée sur une couche d'oxyde au moins localement très mince, cette couche d'oxyde étant elle- même déposée sur une plaquette de silicium. Cet article expose que, généralement, notamment en présence d'un champ magnétique, un plasma de gravure est non uniforme quant aux charges qui s'accumulent sur la couche de silicium polycristallin soumise à la gravure. Tant que la couche de silicium polycristallin est suffisamment épaisse, et donc suffisamment conductrice, les charges de polarités opposées accumulées sur cette couche se neutralisent mutuellement. Toute- fois, vers la phase finale de la gravure, quand la couche de silicium polycristallin devient très mince et peu conductrice ou discontinue, on trouve inévitablement des zones o des charges d'une polarité donnée sont accumulées. Par effet électrosta- tique, des charges de signe opposé se trouvent donc rassemblées dans le substrat en face des zones d'accumulation de charge et des claquages sont susceptibles de se produire dans des zones de faiblesse de la couche d'oxyde mince comprise entre la couche conductrice et le substrat. Ces claquages sont susceptibles d'être destructifs pour cette couche d'oxyde mince et 1 'on se trouve donc en présence de zones o la couche d'oxyde est inter- rompue ce qui rend le dispositif à obtenir non-opérationnel. L'article susmentionné propose un modèle d'analyse du phénomène susmentionné mais ne propose aucune solution pour en supprimer les inconvénients. L'objet de la présente invention est de prévoir un procédé de gravure sous plasma qui évite les phénomènes de claquage destructif de couches d'oxyde mince formées sous des zones de silicium polycristallin à graver. Pour atteindre cet objet, la présente invention pro- pose un procédé de gravure sous plasma d'une couche conductrice déposée sur une couche isolante dont au moins une portion est très mince, cette couche isolante étant formée sur au moins une face d'une plaquette de silicium. Au cours de la gravure, et au moins pendant la phase finale de cette gravure, la surface gravée est soumise à un rayonnement ultraviolet. Ce rayonnement ultra-violet est propre à conférer aux porteurs électriques une énergie supérieure à la hauteur de barrière existant entre la couche conductrice à graver et l'oxyde de silicium. Par exemple, dans le cas d'une couche de silicium polycristallin fortement dopée de type N, cette hauteur de barrière est de 3,2 eV et la longueur d'onde du rayonnement ultra-violet devra être infé- rieure à 280 nm. La présente invention vise également un réacteur de gravure sous plasma incorporant une ou plusieurs sources de rayonnement ultra-violet irradiant la surface en cours de gravure. Ces objets, caractéristiques et avantages de la pré- sente invention seront exposés en détail dans la description suivante d'un exemple de mise en oeuvre, faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: la figure 1 représente une vue en coupe partielle d'une portion de tranche devant être soumise à une gravure sous plasma; et la figure 2 représente une vue en coupe partielle de la même portion de tranche à une phase proche de la fin de la gravure. Comme cela est classique dans le domaine de la repré- sentation des composants semiconducteurs, les épaisseurs des divers éléments représentés ne sont pas tracées à l'échelle. Classiquement, une tranche de silicium a un diamètre de l'ordre de 10 à 30 cm et une épaisseur de 1,5 à 4 im. Les couches d'oxyde "mince" ont une épaisseur de l'ordre de 10 à 100 nm, les couches d'oxyde "épais" une épaisseur de l'ordre de 100 à 1000 nm, les couches de silicium polycristallin une épaisseur de l'ordre de 100 à 500 nm, et les couches de résine de masquage une épaisseur supérieure à 1000 nm. La figure 1 représente à titre d'exemple la partie périphérique d'une tranche de silicium 1 revêtue sur ses deux faces d'une couche d'oxyde mince 2 dont l'épaisseur correspond par exemple à une épaisseur souhaitée d'oxyde de grille d'un transistor MOS (à simple ou double grille). Eventuellement, la tranche a déjà été soumise à des traitements antérieurs et comprend des portions d'oxyde épais 3 et des régions spécifi- quement diffusées (non représentées). Cette tranche est également revêtue sur ses deux faces d'une couche de silicium polycristallin 4 qui doit être gravée spécifiquement, par exemple pour former les grilles de transis- tors MOS. Pour cela, on a déposé sur la face supérieure de la tranche, au-dessus de la couche de silicium polycristallin 4, un masque 5, constitué par exemple d'une résine photosensible. Pour opérer la gravure, la tranche est placée sur un support 6 d'un réacteur à plasma, par exemple un réacteur de gravure ionique réactive. Selon le type de processus de gravure utilisé, le support 6 est relié à un potentiel choisi ou à la masse, ou est maintenu électriquement flottant. Ce support peut également être un support chauffé à une température choisie ou un support refroidi. Le processus de gravure sous plasma permet théorique- ment de graver régulièrement la couche 4 perpendiculairement à sa surface. Néanmoins, comme le représente la figure 2, cette gra- vure est rarement parfaitement régulière et, vers la fin de la gravure, la couche 4 devient une couche 4' d'épaisseur extrême- ment réduite et généralement irrégulière, ce qui provoque les phénomènes décrits dans l'article susmentionné. On trouve donc dans des portions la couche 4', et notamment au voisinage des portions non gravées sous les régions de masquage 5 des accumu- lations de porteurs de charge de polarité donnée susceptibles de se décharger brutalement à travers des zones de faiblesse de la couche d'oxyde mince 2 et d'introduire des défaillances irrémé- diables dans cette couche. Pour éviter ce phénamène destructif, la présente in- vention propose d'irradier la surfaoe supérieure de la plaquette en cours de gravure par un rayonnement ultra-violet de longueur d'onde propre à conférer aux porteurs se trouvant sur ou dans la couche conductrice 4 une énergie suffisante pour surmonter la hauteur de barrière de potentiel de la couche isolante 2 et se neutraliser avec les porteurs de signe opposé situés en vis-à- vis dans le substrat de silicium par effet capacitif. Ainsi, les porteurs transitent régulièrement vers le corps de la plaquette semiconductrice 1, ou de ce corps vers la couche conductrice 4, selon la polarité des charges, et ne peu- vent plus s 'accumuler dans des portions de la couche conductrice 4' pour provoquer ensuite des claquages brutaux à travers des portions de la couche isolante mince 2. La longueur d'onde du rayonnement ultra-violet sera choisie pour obtenir l'effet choisi. Par exemple, dans le cas d'une couche de silicium polycristallin fortement dopée de type N sur de l'oxyde de silicium, la hauteur de barrière est de 5 l'ordre de 3,2 eV et les ultra-violets devront avoir une longueur d'onde inférieure à 280 nm. L 'invention s'applique plus généralement à la gravure sous plasma d'une couche conductrice sur une couche isolante mince de même formée sur un substrat conducteur. La longueur10 d'onde du rayonnement ultra-violet sera adaptée à la nature des couches concernées. La présente invention vise également un appareil pour la mise en oeuvre du procédé selon la présente invention. Cet appareil sera de préférence constitué d'un réacteur de gravure15 classique à l'intérieur duquel sont disposées une ou plusieurs lampes à ultra-violet produisant une irradiation comprenant au moins une plage de longueur d'onde choisie pour permettre aux porteurs le franchissement de la barrière de potentiel susmen- tionnée. REVENDICATIONS 1. Procédé de gravure localisée d'une couche conduc- trice (4) déposée sur une couche isolante (2), dont au moins des parties sont très minces, ladite couche isolante étant formée sur au moins une face d'une plaquette de silicium (1), caracté- 5 risé en ce qu'il comporte l'étape consistant à soumettre la surface en cours de gravure à une irradiation par un rayonnement ultra-violet. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'irradiation est produite au moins pendant la phase finale de la gravure. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la couche conductrice (4) est une couche de silicium poly- cristallin dopée pour être conductrice et la couche isolante mince est une couche d'oxyde de silicium.15 4. Procédé selon la revendication 3, caractérisé en ce que la longueur d'onde du rayonnement ultra-violet est infé- rieure à 280 nm. 5. Réacteur de gravure sous plasma appliqué à la gravure d'une couche conductrice (4) déposée sur une couche isolante (2) dont au moins des parties sont très minces, ladite couche isolante étant formée sur au moins une surface d'une plaquette de silicium (1), caractérisé en ce qu'il comprend des moyens pour irradier la surface en cours de gravure par un rayonnement ultraviolet.