Brevet FR2700614A1 — publié le 19940722

ACCELEROMETRE CAPACITIF A CIRCUIT DE CORRECTION DE L'EFFET PERTURBATEUR DE CAPACITES PARASITES La présente invention a trait à des accéléromètres comportant un détecteur d'accélération capacitif en silicium. La présente invention concerne plus particulièrement un système de mesure du déséquilibre capacitif du détecteur, fournissant un signal électrique représentatif de l'accélération. Un exemple très schématique d'un détecteur d'accélération capacitif en silicium est illustré par la vue en coupe de la figure 1. Le détecteur d'accélération 1 comprend une plaquette de silicium centrale 2 prise en sandwich entre des plaquettes de silicium externes 3 et 4 La plaquette de silicium centrale 2 est gravée avant assemblage de manière à comprendre un cadre 5 et une plaque centrale, ou masse mobile 6, fixée au cadre 5 par un ou plusieurs bras de suspension 7 L'isolement du cadre 5 de la plaquette centrale vis-à-vis des plaquettes externes 3 et 4 est assuré par des bandes isolantes, respectivement 8 et 9, généralement constituées d'oxyde de silicium Les plaquettes externes 3 et 4 délimitent avec le cadre 5 un espace au sein duquel se trouve suspendu la masse mobile 6 Les faces supérieures et inférieures de la masse mobile 6, ainsi que les faces des plaquettes de silicium 3 et 4 en regard de la masse mobile 6, comportent des électrodes conductrices, respectivement 10, 11, 12, 13 On voit que les électrodes 10, 12 et 11, 13 forment un système de deux condensateurs Cs et Ci symétriques par rapport au plan médian du détecteur 1. L'accès aux électrodes 10 à 13 est réalisé au moyen de plots de contacts et de liaisons internes, non représentés sur la figure 1 Selon le mode de réalisation le plus courant du détecteur 1, les électrodes mobiles 10 et il ne sont pas isolées de la 2 2700614 masse mobile 6 et sont au même potentiel électrique, de sorte qu'il n'est dans ce cas prévu qu'un plot de contact commun à ces deux électrodes. Lorsque le dispositif est au repos, les capacités Cs et Ci prennent sensiblement la même valeur et ont pour expression: Cs =ci= s d o ú étant la constante électrique du gaz présent dans le détecteur 1, S étant la surface des électrodes 10 à 13, et do la distance séparant, au repos, la masse mobile 6 de chacune des plaquettes de silicium externes 3 et 4. Quand le dispositif est soumis à une accélération, la masse mobile 6 se déplace, par rapport à sa position de repos, d'une quantité z proportionnelle à l'accélération Dans ce cas, les capacités Cs et Ci varient et prennent les valeurs suivantes: ( 1) Cs = E S ( 2) Ci =E s do + z do z z étant une longueur exprimée algébriquement, dont le signe est déterminé par convention. Pour mesurer l'accélération, on associe au détecteur 1 décrit ci-dessus un système de mesure du déséquilibre des condensateurs Cs et Ci. On a représenté sur la figure 2 le schéma électrique d'un accéléromètre classique 20, comprenant le détecteur 1 déjà décrit et un système de mesure Sur la figure 2, on retrouve le schéma électrique du détecteur 1, comprenant les condensateurs Cs et Ci formés par les électrodes 10, 12 et 11, 13, le plot commun aux électrodes 10 et il étant représenté par un noeud 14. Le système de mesure comprend un étage 21 d'excitation des condensateurs Cs et Ci, alimenté par une tension alternative v, et un étage 30 de traitement du signal issu du détecteur, délivrant une tension vs L'étage d'excitation 21 attaque l'électrode fixe 12 du condensateur Cs au moyen d'un amplificateur différentiel 22, et l'électrode fixe 13 du condensateur 3 2700614 Ci au moyen d'un amplificateur additionneur 23. L'entrée négative de l'amplificateur 22 et une première entrée de l'amplificateur 23 sont reliées à un amplificateur 24 de gain b, recevant en entrée la tension d'alimentation v L'entrée positive de l'amplificateur 22 et l'autre entrée de l'amplificateur 23 sont reliées à la sortie d'un amplificateur 25 de gain a, recevant en entrée la tension vs délivrée par l'étage de traitement 30 et amenée sur l'étage d'excitation par une boucle de réaction 26. L'étage de traitement 30 comprend essentiellement un convertisseur courant/tension 31 dont l'entrée est reliée au noeud 14, suivi d'un amplificateur 33 présentant un gain G très élevé, délivrant la tension de sortie vs de l'étage de traitement 30 Sur la figure 2 le convertisseur 31 est représenté schématiquement par un amplificateur opérationnel 32 dont la sortie est ramenée en entrée par un condensateur de capacité Cr. La tension vs est utilisée comme tension de sortie du système de mesure La tension vs est redressée dans un démodulateur 40 synchronisé à la tension v, délivrant une tension Us constituant le signal de sortie de l'accéléromètre D'après ce qui vient d'être décrit, on voit que l'étage d'excitation 21 applique sur les électrodes fixes 12 et 13 des condensateurs Cs et Ci des tensions d'excitation ayant pour expressions respectives avs bv et avs + bv L'entrée du convertisseur courant/tension 31 reçoit un courant différentiel issu du noeud 14 et dû à l'excitation des condensateurs Cs et Ci A la sortie de l'étage de traitement 30, la tension vs est de la forme: ( 3) vs = K Cs Ci, K étant une constante. Cs + ci L'avantage théorique d'un tel système de mesure est que l'amplitude de la tension vs est proportionnelle au déplacement z de la masse mobile 6 du détecteur, et par conséquent à l'accélération En effet, en combinant ( 1), ( 2) et( 3), on voit que vs = K z/do 4 2700614 Cet accéléromètre de l'art antérieur, présente cependant l'inconvénient que la mesure des déplacements de la masse mobile est en réalité fortement affectée par la présence de capacités parasites élevées, présentes dans le détecteur, de sorte que le signal de sortie Us obtenu par démodulation de la tension vs est entaché d'erreurs: on constate que Us n'augmente pas de façon linéaire lorsque l'accélération croît, contrairement à ce que prévoit le résultat théorique ( 3) décrit ci-dessus Ces capacités parasites se forment essentiellement au niveau des couches isolantes 8 et 9, entre le cadre 5 de la plaquette médiane 2 et les surfaces correspondantes des plaquettes externes 3 et 4, et sont désignées par Cl et C 2 en figure 2. Pour pallier cet inconvénient, on a déjà proposé diverses solutions d'ordre technologique, visant à modifier la structure du détecteur afin d'en diminuer les capacités parasites Cependant ces solutions technologiques se traduisent par une augmentation du coût de revient et/ou de la complexité du détecteur. La demanderesse propose une solution tout à fait différente, consistant à réduire l'effet des capacités parasites dans la chaîne de mesure, plutôt que modifier la structure des détecteurs connus. Ainsi, un objet de la présente invention est de prévoir un accéléromètre dans lequel l'effet perturbateur des capacités parasites sur la linéarité du signal de sortie est compensé. Pour atteindre cet objet, la présente invention prévoit un accéléromètre, comprenant un détecteur capacitif en silicium, comportant une masse mobile suspendue entre deux plaquettes de silicium, des électrodes fixes et des électrodes mobiles formant deux capacités de détection des déplacements de la masse mobile, chacune des capacités 2700614 de détection étant perturbée par une capacité parasite en parallèle, un système électronique de mesure du déséquilibre capacitif du détecteur, alimenté par une tension de référence et délivrant une tension de sortie représentative de l'accélération, comprenant un étage d'excitation appliquant sur les électrodes fixes du détecteur des tensions respectivement égales à la différence et à la somme d'une tension proportionnelle à la tension de sortie et d'une tension proportionnelle à la tension de référence, un étage convertisseur courant/tension électriquement relié en entrée auxdites électrodes mobiles, délivrant une tension dite de mesure, et une boucle de réaction reliant la sortie de l'étage convertisseur à l'entrée de l'étage d'excitation, ladite tension de sortie étant prélevée à la sortie de la boucle de réaction, accéléromètre caractérisé en ce qu'il comprend en outre un étage de compensation de l'effet perturbateur des capacités parasites injectant dans le système de mesure un signal électrique de correction, et en ce que ledit signal de correction, élaboré à partir des tensions de référence et de mesure, est déterminé pour que la tension de sortie du système de mesure soit sensiblement proportionnelle au rapport de la différence à la somme des capacités de détection. Selon un mode de réalisation, ledit étage de compensation injecte dans la boucle de réaction une tension de correction choisie pour que la tension à la sortie de la boucle de réaction soit égale à la somme pondérée de la tension de mesure et de la tension de référence, les coefficients de pondération de ladite somme pondérée étant des paramètres de réglage de l'étage de compensation. Avantageusement, ledit étage de compensation comprend un amplificateur opérationnel disposé en série dans la boucle de réaction et monté en additionneur, la sortie 6 2700614 de l'amplificateur étant ramenée sur l'entrée par une première résistance et les tensions de mesure et de référence amenées sur l'entrée de l'amplificateur opérationnel par l'intermédiaire d'une deuxième et troisième résistance, le rapport de la première à la deuxième résistance et le rapport de la première à la troisième résistance constituant lesdits paramètres de réglage de l'étage de compensation. Avantageusement encore, les tensions de référence, de mesure et de sortie sont des tensions continues, l'étage convertisseur comprend un convertisseur courant/tension suivi d'un démodulateur, et l'étage d'excitation comprend des interrupteurs de découpage des tensions appliquées aux électrodes fixes du détecteur. Selon un autre mode de réalisation, l'étage de compensation injecte en entrée de l'étage convertisseur un courant de correction s'ajoutant au courant issu du détecteur, et choisi pour annuler le courant dû à l'excitation des capacités parasites du détecteur. Avantageusement, ledit courant de compensation est issu de deux capacités de compensation excitées avec des tensions respectivement égales à la différence et à la somme d'une tension proportionnelle à la tension de référence et d'une tension proportionnelle à la tension de mesure, les tensions d'excitation des capacités de compensation étant des paramètres de réglage de l'étage de compensation Avantageusement encore les tensions de référence, de sortie et de mesure sont des tensions continues, l'étage convertisseur comprend un convertisseur courant/tension suivi d'un démodulateur de gain statique très élevé, les tensions d'excitation des capacités de détection et des capacités de compensation étant découpées par des interrupteurs. 7 2700614 De préférence, les capacités de compensation proviennent d'une couche d'oxyde de silicium prise en sandwich entre deux plaquettes de silicium. Ces objets, caractéristiques et avantages, ainsi que d'autres de la présente invention seront exposés en détail dans la description suivante du procédé de la présente invention et de modes de réalisation particuliers, faite en relation avec les figures jointes parmi lesquelles: les figures 1 et 2, décrites précédemment, représentent une vue en coupe schématique d'un détecteur capacitif en silicium, et le schéma électrique d'un accéléromètre de l'art antérieur, la figure 3 a est un schéma électrique sous forme de blocs d'un accéléromètre selon la présente invention, la figure 3 b illustre plus en détail un bloc du schéma de la figure 3 a, la figure 3 c est un schéma électrique de principe du bloc de la figure 3 b, la figure 4 représente une variante de réalisation de l'accéléromètre de la figure 3 a, et la figure 5 est un schéma électrique d'un autre mode de réalisation d'un accéléromètre selon la présente invention. Suivant l'invention, on analyse tout d'abord les perturbations crées par les capacités parasites dans un accéléromètre de l'art antérieur On prendra pour exemple l'accéléromètre 20 illustré en figure 2 et décrit au préambule Comme on le voit sur la figure 2, les capacités parasites prennent la forme d'un condensateur Cl en parallèle avec le condensateur Cs et d'un condensateur C 2 en parallèle avec le condensateur Ci, de sorte que les tensions d'excitation (avs bv, 8 2700614 avs + bv) appliquées à Cs et Ci agissent également sur Cl et C 2 Dans ces conditions, la relation "vraie" donnant la tension de sortie vs est la suivante ( 4) Cr vs = avs (Cs+Ci) bv (Cs-Ci) + avs (C 1 +C 2) bv(Cl-C 2) G En négligeant l'effet perturbateur introduit par les capacités parasites (c'est à dire en considérant que Ci = C 2 = O), et en choisissant un amplificateur 25 de gain G très élevé, on voit que la relation ( 4) se simplifie et que l'on retrouve la relation ( 3) de l'art antérieur: ( 3) vs=K (Cs-Ci), avec K=bv. (Cs+Ci) a Comme on l'a expliqué plus haut, la relation ( 3) est représentative de la linéarité de la tension de sortie vs ou en d'autres termes du rapport de proportionnalité entre l'amplitude de la tension de sortie vs et les déplacements z de la masse mobile Avec le mode d'excitation choisi, la relation ( 3) signifie également que les capacités de mesures sont excitées à charge constante, et qu'aucune force électrostatique parasite n'est crée, susceptible d'attirer la masse mobile vers les électrodes fixes et perturber la linéarité de la tension de sortie vs. Pour ces raisons, la présente invention a pour objet de rétablir la relation ( 3) dans le système défini par la relation ( 4), o les capacités parasites Cl et C 2 sont prises en compte. Pour atteindre ce résultat, la présente invention prévoit d'ajouter à l'accéléromètre de l'art antérieur un étage de compensation injectant dans le système de mesure un signal électrique de correction de l'effet perturbateur des capacités parasistes On décrira ci- après deux modes de réalisation de l'étage de compensation selon la présente invention Dans le premier mode de réalisation, le signal de correction susmentionné est une tension, introduite en amont des condensateurs de détection Cs et Ci et mélangée aux 9 2700614 tensions d'excitation de Cs et Ci Dans le second mode de réalisation, le signal de correction est un courant, introduit en aval des condensateurs Cs et Ci, à l'entrée de l'étage de traitement 30. PREMIER MODE DE REALISATION: Ajout d'un étage de compensation en tension dans le système de mesure. La figure 3 a représente le schéma électrique d'un accéléromètre 50 comportant un étage de compensation 45 selon le premier mode de réalisation L'accéléromètre ne diffère de l'accéléromètre classique de la figure 2 qu'en ce qu'il comprend l'étage de compensation 45. Dans un souci de simplicité, les différents éléments communs à la figure 2 sont désignés par les mêmes références et ne seront pas à nouveau décrits. L'étage de compensation selon l'invention est représenté sur la figure 3 a par un bloc 45 disposé dans la boucle de contre réaction 26 amenant sur l'étage d'excitation 21 la tension délivrée par l'étage de traitement 30, maintenant désignée par le terme vd, la tension de sortie vs étant délivrée par l'étage de compensation 45, qui attaque l'amplificateur 25 et le démodulateur 40 L'étage de compensation 45 réalise la fonction suivante: vs=f (vd). Dans ces conditions, la relation ( 4) décrite plus haut s'applique à la tension vd et s'exprime comme suit ( 5) Cr vd = avs (Cs+Ci) bv (Cs- Ci) + avs (C 1 +C 2) bv (C 1-C 2) G On va maintenant décrire la fonction f réalisée par l'étage de compensation. Pour compenser l'effet perturbateur des capacités parasites, la présente invention prévoit que la relation ( 6) suivante, tirée de la relation ( 5), soit réalisée par l'étage de compensation 45 ( 6) Cr vd = avs (C 1 +C 2) bv (C 1-C 2), G Dans ce cas, en combinant ( 5) et ( 6), on voit que la 1 O 2700614 relation ( 5) se simplifie et devient: ( 5) avs (Cs + Ci) bv (Cs Ci) = 0, soit: ( 5) vs = bv (Cs -Ci). a (Cs+ Ci) Dans ces conditions, ( 5)=( 3) et la linéarité de la tension de sortie vs est retrouvée: vs est proportionnelle aux déplacements z de la masse mobile, et par conséquent à l'accélération. En conséquence, l'effet perturbateur des capacités parasites dans le système de mesure est neutralisé lorsque la relation ( 6) est réalisée On tire de la relation ( 6) la fonction vs = f(vd) de l'étage de compensation 45: ( 5) vs = f(vd) = vd Cr + bv (Cl C 2), a G(C 1 +C 2) a (C 1 +C 2) ou, sous une forme simplifiée vs = Avd + Bv, avec A= 1Cr et B = b (C 1C 2), a G (C 1 +C 2) a (C 1 + C 2) Un exemple de réalisation de l'étage de traitement 45 est illustré schématiquement sur la figure 3 b. Il comprend un amplificateur opérationnel 46 dont la sortie est ramenée sur l'entrée par une résistance 47. Les tensions vd et v sont appliquées à l'entrée de l'amplificateur 46 par l'intermédiaire de résistances 48 et 49, respectivement Les résistances 47, 48 et 49 sont ajustées de manière que: R 47 = A et R 47 = B R 48 R 49 Dans la pratique le système 45 peut être ajusté par étalonnage sur un banc d'essai, ou par construction, après détermination théorique ou expérimentale des capacités parasites. En examinant les expressions des gains A et B de l'étage de compensation 45, l'homme de l'art constatera qu'il n'est pas nécessaire ici que l'amplificateur 33 il 2700614 ait un gain G très élevé En effet, la relation ( 3) exprimant la linéarité de la tension de sortie vs est atteinte grâce à l'étage de compensation 45 selon la présente invention, et ne dépend pas du terme G. En définitive, le gain G, le gain a de l'amplificateur , ainsi que le gain b de l'amplificateur 24 sont des paramètres de réglage de l'accéléromètre Un mode de réalisation particulièrement simple de l'accéléromètre consiste à prendre a,b,et G égaux à 1. Pour que l'accéléromètre 50 selon l'invention fonctionne correctement, la tension avs doit être parfaitement en phase avec les tensions bv et bv Il est à la portée de l'homme de métier de faire en sorte que la somme des déphasages introduits par les différents éléments de l'accéléromètre 50 conduisent à ce résultat. La figure 4 représente un accéléromètre 60 qui est une variante de réalisation de celui de la figure 3 a, présentant l'avantage supplémentaire de ne pas être sensible aux problèmes de phases Dans l'accéléromètre , les diverses tensions vs, v, avs, bv, et vd sont des tensions continues Les différents éléments composant l'étage d'excitation du système de la figure 3 a sont conservés, et sont désignés sous les mêmes références Les amplificateurs 22, 23 de l'étage d'excitation 21 délivrent des tensions continues avs - bv, avs + bv, respectivement Ces tensions sont hachées par des interrupteurs 27, 28 (par exemple des transistors MOS) commandés par un signal d'horloge H, avant d'être appliqués sous forme de signaux carrés aux condensateurs Cs et Ci L'étage de traitement 30 recevant le courant issu des condensateurs Cs et Ci comprend le convertisseur courant/tension 31 déjà décrit, l'amplificateur 33 étant remplacé par un démodulateur 34 présentant un gain statique G, synchronisé au signal d'horloge H La tension vd issue du démodulateur 34 est appliquée à l'étage de compensation 45 selon l'invention, déjà décrit en 12 2700614 relation avec la figure 3 b, fonctionnant ici en mode continu La tension de sortie vs issue de l'étage de compensation 45 est directement utilisable comme signal de sortie Us de l'accéléromètre. Il apparaîtra clairement à l'homme de l'art que le fonctionnement de l'accéléromètre 60 est identique à celui de l'accéléromètre décrit en relation avec la figure 3 a, les relations ( 5) et ( 6) décrites plus haut étant toujours valables. Il apparaîtra également à l'homme de l'art que la fonction vs = f(vd) réalisée par l'étage de compensation 45 selon la présente invention, revient à ajouter au signal vd, délivré par l'étage de traitement , un signal de correction vc = (A 1) vd + Bv, qui, combiné à la tension vd, donne la tension vs décrite précédemment Ainsi, on peut représenter l'étage de compensation 45 comme illustré par le schéma de principe de la figure 3 c, dans lequel un amplificateur 452 de gain A 1, recevant en entrée vd, et un amplificateur 453 de gain B, recevant en entrée v, attaquent un amplificateur additionneur 454 dont la sortie délivre la tension de correction vc = (A 1) vd + Bv, vc étant injectée dans la boucle de réaction 26 au moyen d'un amplificateur additionneur 451 recevant en entrée vc et vd. SECOND PROCEDE: Ajout d'un étage de compensation en courant dans le système de mesure. On rappelle que la relation ( 4) décrite plus haut définit l'expression "vraie" de la tension de sortie d'un système de mesure classique, en présence de capacités parasites Cl, C 2. Selon le second mode de réalisation de l'invention, on injecte en entrée de l'étage de traitement un courant I, pour que la relation ( 4) soit modifiée et devienne: ( 7) Cr vs = avs (Cs+Ci) bv (Cs-Ci) + avs (C 1 + C 2) bv(Cl-C 2) -I G 13 2700614 Pour neutraliser l'effet perturbateur des capacités parasites, l'invention prévoit que I doit être égal à ( 8) I = avs (Cl + C 2) bv (Cl C 2). (Dans un souci de simplicité, on considère que le terme I désigne un courant; en réalité I a la dimension d'un courant divisé par un terme de périodicité, par exemple 6 J pour un système alternatif, ce terme disparaissant dans les équations). L'invention prévoit également que le courant I soit issu de deux capacités de compensation Cnl et Cn 2, excitées par des tensions d'expression cvs-dv et cvs+dv, respectivement, c et d étant des coefficients de réglage De cette manière, le courant I a pour expression: ( 9)1 = cvs (Cnl + Cn 2) dv (Cnl Cn 2), Au moyen des coefficients de réglage c et d, et éventuellement a et b, on fait en sorte que la relation ( 8) soit vérifiée Dans ce cas, dans la relation ( 7), les termes en Cl et C 2 sont supprimés par le courant de compensation I, et G est choisi très grand, la relation ( 7) devient: ( 10) avs (Cs + Ci) bv (Cs Ci) = 0, on voit que ( 10) = ( 3) et que la linéarité de la tension de sortie vs est retrouvée. La figure 5 représente le schéma électrique d'un accéléromètre 80, comportant un étage 70 de compensation en courant de l'effet perturbateur des capacités parasites L'accéléromètre 80 comprend l'étage d'excitation 21 et l'étage de traitement 30 déjà décrits en relation avec les figures précédentes, fonctionnant ici par découpage de tensions continues. Ainsi, les amplificateurs 22 et 23 attaquent les condensateurs Cs et Ci par l'intermédiaire des deux interrupteurs 27 et 28 synchronisé au signal d'horloge H (déjà décrits en relation avec la figure 4) et l'étage de traitement 30 comprend le démodulateur 34, 14 2700614 qui présente ici un gain statique G très élevé La tension d'alimentation v de l'étage d'excitation 21 appliqué à l'amplificateur 24 est une tension continue, et la tension vs délivrée par le démodulateur 34 fait office de signal de sortie Us de l'accéléromètre 80. L'étage de compensation 70 selon l'invention est monté en parallèle avec l'étage d'excitation 21 et le détecteur 1 L'étage 70 reçoit en entrée la tension vs, amenée par la boucle de contre réaction 26 et la tension d'alimentation v Sa sortie est reliée au noeud 14, c'est à dire à l'entrée de l'étage de traitement , et délivre un courant I de correction de l'effet perturbateur des capacités parasites L'étage de compensation 70 comprend en entrée un amplificateur 71 de gain c, recevant la tension vs et un amplificateur 72 de gain d, recevant la tension v La sortie de l'amplificateur 71 est reliée à l'entrée positive d'un amplificateur différentiel 73 et à une entrée d'un amplificateur additionneur 74 La sortie de l'amplificateur 72 est reliée à l'entrée négative de l'amplificateur 73 et à l'autre entrée de l'amplificateur 74 La sortie de l'amplificateur 73 attaque un condensateur de capacité Cnl par l'intermédiaire d'un interrupteur hacheur 75 et la sortie de l'amplificateur 74 attaque un condensateur de capacité Cn 2 par l'intermédiaire d'un interrupteur- hacheur 76 Les interrupteurs 75 et 76 sont synchronisés au signal d'horloge H et fonctionnent en opposition de phase avec les interrupteurs 27 et 28 de l'étage d'excitation 21 Les extrémités des condensateurs Cnl et Cn 2 sont reliées à un noeud 77 qui constitue la sortie de l'étage de compensation 70, le noeud 77 étant relié au noeud 14. En observant le schéma électrique de l'étage de compensation 70, on remarquera que celui-ci constitue en quelque sorte une copie de l'étage d'excitation 21 et du détecteur 1 et fonctionne de la même façon En effet, les amplificateurs 73 et 74 de l'étage de compensation délivrent des tensions continues cvs dv et cvs + dv qui sont hachées par les interrupteurs 75 et 76 avant d'être appliqués aux concensateurs Cnl et Cn 2, et de façon semblable les amplificateurs 22 et 23 de l'étage d'excitation délivrent des tensions continues avs bv et avs + bv qui sont hachées par les interrupteurs 27 et 28 avant d'être appliquées aux condensateurs Cs et Ci Au noeud 14, on retrouve donc un courant dû à l'excitation des courants Cs et Ci, un courant parasite dû à l'excitation des capacités parasites Cl et C 2, et le courant de compensation I délivré par l'étage 70 dû à l'excitation des condensateurs Cnl et Cn 2 qui jouent le rôle de capacité de compensation des capacités parasites Cl et C 2. L'expression de la tension de sortie vs délivrée par l'accéléromètre 80 est donnée par la relation ( 7) et dépend de la somme des courants dus aux capacités de mesure Cs et Ci et des courants dus aux capacités para- sites Ci et C 2, à laquelle est retranché le terme I ex primant le courant du aux capacités de compensation Cnl et Cn 2 (le courant I est défini par la relation ( 9)). Comme on l'a expliqué précédemment, on neutralise l'effet des capacités parasites dans l'accéléromètre 80 en réglant les paramètres a, b, c, d de manière que l'égalité exprimée par la relation ( 8) soit atteinte. Tout comme l'étage de compensation en tension décrit en relation avec les figures 3 a et 4, l'étage de compensation en courant de la figure 5 peut être ajusté par étalonnage sur un banc d'essai, ou par construction, après détermination théorique ou expérimentale des capacités parasites. Un mode de réalisation particulièrement avantageux l'étage de compensation 70 selon l'invention consiste à prévoir des condensateurs Cnl et Cn 2 de même technologie que le détecteur, et présentant de préférence des valeurs voisines à celles des capacités parasites Cl, C 2 Lors de variations de la température, les capacités Cnl et Cn 2 subissent la même dérive que les capacités parasites Cl et C 2, le système étant ainsi correctementcompensé quelle que soit sa température de fonctionnement. L'homme de l'art notera que l'accéléromètre 80 fonctionne également avec des tensions v et vs périodiques Dans ce cas, on supprime les interrupteurs de découpage 27,28,75,76 et on remplace le démodulateur 34 par un amplificateur de gain G très élevé Il faut alors de préférence démoduler la tension de sortie vs pour obtenir le signal de sortie Us de l'accéléromètre. Dans la pratique, les différents systèmes selon la présente invention procurent de très bons résultats. Des expériences effectuées par la demanderesse ont montré que les systèmes de compensation en tension permettent d'effectuer des corrections de non linéarité du signal de sortie de l'accéléromètre de l'ordre de % sur une gamme de température allant de -55 à + 1250 C,les systèmes de compensation en courant permettant d'atteindre une correction de l'ordre de % grâce à l'emploi de condensateurs de compensation Cnl, Cn 2 de même technologie que celle du détecteur Ce dernier type de système est un peu plus couteux à réaliser, tout en étant cependant plus avantageux que les solutions de l'art antérieur (qui consistent à modifier la structure du détecteur pour dimininuer Ci et C 2). Il apparaîtra clairement à l'homme de l'art que la présente invention est susceptible de diverses variantes et modifications, notamment en ce qui concerne l'exécution pratique des schémas électriques, qui n'ont été donnés qu'à titre d'exemple. Par ailleurs, on a considéré dans ce qui précède que le signal de sortie de l'accéléromètre est de nature électrique Dans la pratique, on peut prévoir et ajouter à l'accéléromètre selon la présente invention des moyens de transformation du signal de sortie en un 17 2700614 signal d'une autre nature, par exemple optique, ou également des moyens de codage du signal de sortie. REVENDICATIONS 1 Accéléromètre ( 50,60,80), comprenant: un détecteur ( 1) capacitif en silicium, comportant une masse mobile ( 6) suspendue entre deux plaquettes de silicium ( 3,4), des électrodes fixes ( 12, 13)et des électrodes mobiles ( 10,11) formant deux capacités (Cs, Ci) de détection des déplacements de la masse mobile, chacune des capacités de détection étant perturbée par une capacité parasite (C 1,C 2) en parallèle, un système électronique ( 21,30) de mesure du déséquilibre capacitif du détecteur, alimenté par une tension de référence (v) et délivrant une tension de sortie (vs) représentative de l'accélération, comprenant un étage d'excitation ( 21) appliquant sur les électrodes fixes ( 12,13) du détecteur des tensions respectivement égales à la différence et à la somme d'une tension (avs) proportionnelle à la tension de sortie (vs) et d'une tension (bv) proportionnelle à la tension de référence, un étage convertisseur courant/tension ( 30) électriquement relié en entrée auxdites électrodes mobiles ( 10,11), délivrant une tension dite de mesure (vd,vs), et une boucle de réaction ( 26) reliant la sortie de l'étage convertisseur ( 30) à l'entrée de l'étage d'excitation ( 21), ladite tension de sortie (vs) étant prélevée à la sortie de la boucle de réaction ( 26), accéléromètre caractérisé en ce qu'il comprend en outre un étage ( 45, 70) de compensation de l'effet perturbateur des capacités parasites (C 1,C 2) injectant dans le système de mesure ( 21,30) un signal électrique de correction (vc, I), et en ce que ledit signal de correction, élaboré à partir desdites tensions de référence (v) et de mesure (vs,vd), est déterminé pour que la tension de sortie (vs) du système de mesure soit sensiblement proportionnelle au rapport de la différence (Cs Ci) à la somme (Cs + Ci) des capacités de détection. 19 2700614 2 Accéléromètre ( 50,60) selon la revendication 1, caractérisé en ce que ledit étage de compensation ( 45) injecte dans la boucle de réaction ( 26) une tension de correction (vc) choisie pour que la tension (vs) à la sortie de la boucle de réaction ( 26) soit égale à la somme pondérée (Avd+Bv) de la tension de mesure (vd) et de la tension de référence (v), les coefficients de pondération (A,B) de ladite somme pondérée étant des paramètres de réglage de l'étage de compensation. 3 Accéléromètre ( 50,60) selon la revendication 2, caractérisé en ce que ledit étage de compensation ( 45) comprend un amplificateur opéra- tionnel ( 46) disposé en série dans la boucle de réac- tion ( 26) et monté en additionneur, la sortie de l'am- plificateur étant ramenée sur l'entrée par une première résistance ( 47) et les tensions de mesure (vd) et de référence (v) amenées sur l'entrée de l'am-plificateur opérationnel par l'intermédiaire d'une de- uxième ( 48) et troisième ( 49) résistance, le rapport de la première à la deuxième résistance et le rapport de la première à la troisième résistance constituant lesdits paramètres de réglage (A,B) de l'étage de compensation. 4 Accéléromètre ( 50) selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que les tensions de référence (v), de mesure (vd) et de sortie (vs) sont des tensions périodiques. Accéléromètre ( 60) selon l'une des revendi- cations 1 à 3, caractérisé en ce que les tensions de référence (v), de mesure (vd) et de sortie (vs) sont des tensions continues, l'étage convertisseur ( 30) com- prend un convertisseur courant/tension ( 31) suivi d'un démodulateur ( 34), et l'étage d'excitation ( 21) com- prend des interrupteurs ( 27,28) de découpage des ten- sions appliquées aux électrodes ( 12,13) fixes du détecteur. 2700614 6 Accéléromètre ( 80) selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'étage de compensation ( 70) injecte en entrée de l'étage convertisseur ( 30) un courant de correction (-I) s'ajoutant au courant issu du détecteur ( 1), et choisi pour annuler le courant dû à l'excitation des capacités parasites (Cl,C 2). 7 Accéléromètre ( 80) selon la revendication 6, caractérisé en ce que ledit courant de correction (-I) est issu de deux capacités de compensation (Cnl,Cn 2) excitées avec des tensions respectivement égales à la différence et à la somme d'une tension (dv) proportionnelle à la tension de référence (v) et d'une tension (cvs) proportionnelle à la tension de mesure (vs), les tensions d'excitation des capacités de compensation étant des paramètres de réglage de l'étage de compensation. 8 Accéléromètre ( 80) selon la revendication 7 et 7, caractérisé en ce que les tensions de référence (v), de sortie (vs) et de mesure (vs) sont des tensions continues, l'étage convertisseur ( 30) comprend un convertisseur courant/tension ( 32) suivi d'un démodulateur ( 34) de gain statique (G) très élevé, les tensions d'excitation des capacités de détection et des capacités de compensation étant découpées par des interrupteurs ( 27,28,75,76). 9 Accéléromètre selon l'une des revendications 7 à 8, caractérisé en ce que les capacités de compensation (Cnl,Cn 2) proviennent d'une couche d'oxyde de silicium prise en sandwich entre deux plaquettes de silicium.