Brevet FR2708153A1 — publié le 19950127

PROCEDE DE DETERMINATION DE LA LONGUEUR D'ONDE D'EMISSION DE LASERS A SEMI-CONDUCTEUR A CAVITE DE FABRY-PEROT A PARTIR DE MESURES ELECTRIQUES DESCRIPTION La présente invention concerne un procédé de détermination de la longueur d'onde d'émission de lasers à semi-conducteur à cavité de Fabry-Pérot. Elle s'applique notamment au domaine des télécommunications optiques et tout particulièrement au tri des lasers à semi-conducteur en barrettes, en fonction de leur longueur d'onde d'émission, avant de monter chaque laser sur son embase. Les lasers ainsi sélectionnés peuvent ensuite être utilisés pour le raccordement d'abonnés à des réseaux multiservices de fibres optiques. Jusqu'à présent, on a déterminé la longueur d'onde d'émission de chaque laser formé sur une plaque semi-conductrice par des mesures optiques qui sont délicates à effectuer et nécessitent le montage des lasers sur leurs embases. Or, un grand nombre de tests, surtout des tests optiques, avant soudure et encapsulation, ne permet pas de fabriquer des lasers à semi- conducteur à coût réduit. La présente invention a pour but de remédier à ces inconvénients et de simplifier les méthodes de test et de sélection des lasers à semi- conducteur à cavité de Fabry-Pérot. Pour ce faire, la présente invention utilise essentiellement des mesures électriques, et non pas un grand nombre de mesures optiques, afin de déterminer la longueur d'onde de chacun des lasers qui ont été formés sur une même plaque semi-conductrice. De façon précise, la présente invention a pour objet un procédé de détermination de la longueur d'onde d'émission de lasers à semiconducteur à cavité de Fabry-Pérot formés sur une même plaque semi- conductrice, ce procédé étant caractérisé en ce qu'on détermine la longueur d'onde d'émission 1Xl de l'un des lasers de la plaque par des mesures optiques, en ce qu'on découpe la plaque en barrettes, chaque barrette étant constituée d'un ensemble de lasers, et en ce qu'on détermine la longueur d'onde d'émission X de chaque laser de chaque barrette par des mesures électriques relatives au courant électrique I injecté dans ce laser et à la tension électrique V entre les bornes de celui-ci, et en utilisant la formule: X = A + 1,24x(V - RxI)-1 dans laquelle R représente la résistance dynamique de ce laser pour un courant I supérieur au courant de seuil de ce laser, A étant un paramètre qui prend sensiblement la même valeur pour tous les lasers de la plaque et que l'on détermine à l'aide de cette formule, en appliquant celle-ci au laser dont la longueur d'onde d'émission vaut M1. On sait que la résistance dynamique R d'un laser à semi-conducteur à cavité de Fabry-Pérot se calcule à partir de mesures du courant I injecté dans ce laser et de la tension V entre les bornes de ce dernier. On est capable de déterminer les variations de V en fonction de I et donc la résistance dynamique R qui est égale à dV/dI. Lorsque I atteint le courant de seuil Io du laser (à partir duquel se produit l'émission laser), on sait que la résistance dynamique R diminue brutalement. Cette diminution brutale permet de déterminer Io. Au dessus du seuil (I>Io), on sait qu'il existe la relation suivante entre la longueur d'onde d'émission X du laser (exprimée en pm), la tension V (exprimée en V), le courant I (exprimé en A) et la résistance dynamique R (exprimée en): X = A + 1,24x(V - RxI)-. C'est cette relation (ou une relation dérivée de celle-ci) qui est utilisée dans la présente invention. En effet, on a constaté que le paramètre A (exprimé en un dans la relation ci-dessus) prend sensiblement la même valeur pour tous les lasers formés sur une même plaque semi-conductrice. Ainsi A est sensiblement une constante qui dépend de la technologie de fabrication des lasers. Ce paramètre A est constant à 15% pour un ensemble de lasers provenant d'une même plaque. Par exemple, A est de l'ordre de 27 nm pour des lasers à croissant enterré émettant à la longueur d'onde de 1,3 in, et de l'ordre de 37 nm pour des lasers à ruban enterré émettant à la longueur d'onde de 1,5 pm. L'incertitude sur la détermination de la longueur d'onde, qui est finalement de 4 à 5 nm, est tout à fait compatible avec la plage de tolérance sur la longueur d'onde des lasers à prix réduit, plage de tolérance qui est assez grande (55 nm). Ainsi, conformément à la présente invention, on détermine la longueur d'onde d'émission d'un seul des lasers de la plaque semi- conductrice (ou de toutes les plaques semi-conductrices sur lesquelles ont été formés des lasers par une même technologie). La ou les plaques sont alors découpées en barrettes. Ensuite, la longueur d'onde d'émission (à 4 nm près) de chaque laser de chaque barrette se déduit des mesures électriques. La présente invention sera mieux comprise à la lecture de la description d'un exemple de réalisation donné ci-après, à titre purement indicatif et nullement limitatif. Etant donné des lasers qui sont formés sur une même plaque semiconductrice, on veut déterminer la longueur d'onde d'émission X de chacun des lasers de cette plaque. Pour ce faire, on découpe l'un des lasers de la plaque. On établit son spectre optique par des mesures optiques classiques et, au moyen de ce spectre, on détermine la longueur d'onde d'émission Xl de ce laser (longueur d'onde correspondant à la puissance lumineuse maximale), le courant Il injecté dans ce laser étant supérieur au courant de seuil Iol de celui- ci. On note V1 la tension entre les bornes de ce laser qui correspond à ce courant Il. On détermine également, de façon classique, la résistance dynamique Ri de ce laser au-delà du seuil Iol. Au moyen de la formule donnée plus haut, on peut alors calculer le paramètre A relatif aux lasers de la plaque semi-conductrice considérée: A = X1 - 1,24x(V1 - RlxI1)-1. Ensuite, on découpe, de façon connue, la plaque en barrettes qui constituent des ensembles de lasers (ce découpage permettant de former les cavités de Fabry-Pérot de ces lasers). On fait ensuite des mesures électriques pour chacun des lasers de chacune des barrettes. Ces mesures visent à déterminer la résistance dynamique R de chaque laser pour un courant I injecté dans ce laser supérieur au courant de seuil Io de ce laser, la tension entre les bornes du laser, qui correspond à I, étant notée V. On est alors capable de connaître la longueur d'onde d'émission X de ce laser, grâce à la formule donnée plus haut et sans aucune mesure optique: = A + 1,24x(V - RxI)-1 o A est le paramètre que l'on vient de calculer. Par exemple, on a réalisé des lasers à croissant enterré sur une plaque en InP par la technologie d'épitaxie en phase liquide ou LPE (Liquid Phase Epitaxy). On a découpé l'un de ces lasers et l'on a mesuré optiquement sa longueur d'onde d'émission M1 que l'on a trouvée égale à 1,292 pm. Des mesures électriques ont donné V1=1,06V, I1=0,0157 A et R1=5,1 n (avec les notations utilisées plus haut) d'o A=27nm pour la plaque. Après avoir découpé cette plaque en barrettes, on a obtenu, pour l'un des lasers de l'une des barrettes: I=0,0155 A, V=1,048 V, R=4, 5 (avec les notations utilisées plus haut), d'o une longueur d'onde d'émission X égale à 1,295 in, valeur qui est peu différente de celle qui est obtenue par des mesures optiques, à savoir 1,293 pm. D'une manière générale, des mesures comparatives montrent que les longueurs d'onde déterminées par le procédé objet de '1 invention sont peu différentes de celles qui sont obtenues par des mesures optiques. REVENDICATION 1. Procédé de détermination de la longueur d'onde d'émission de lasers à semi-conducteur à cavité de Fabry-Pérot formés sur une même plaque semi- conductrice, ce procédé étant caractérisé en ce qu'on détermine la longueur d'onde d'émission ?1 de l'un des lasers de la plaque par des mesures optiques, en ce qu'on découpe la plaque en barrettes, chaque barrette étant constituée d'un ensemble de lasers, et en ce qu'on détermine la longueur d'onde d'émission X de chaque laser de chaque barrette par des mesures électriques relatives au courant I injecté dans ce laser et à la tension V entre les bornes de celui-ci, et en utilisant la formule: = A + 1,24x(V - RxI)-1 dans laquelle R représente la résistance dynamique de ce laser pour un courant I supérieur au courant de seuil de ce laser, A étant un paramètre qui prend sensiblement la même valeur pour tous les lasers de la plaque et que l'on détermine à l'aide de cette formule, en appliquant celle-ci au laser dont la longueur d'onde d'émission vaut l1.