Brevet FR2705147A1 — publié le 19941118

DISPOSITIF GYROMETRIQUE A POUTRES VIBRANTES La présente invention concerne les dispositifs gyrométriques à poutres vibrantes utilisant les accélérations de Coriolis qui s'exercent sur un corps vibrant animé d'une vitesse de rotation, dans une direction perpendiculaire à celle de la vitesse de rotation 52 et à celle de la vibration. La demande de brevet français nO 92 07032 fait connaître un dispositif gyrométrique ayant un résonateur mécanique à quatre poutres parallèles identiques, disposées suivant les angles d'un parallélépipède rectangle, solidaires d'une embase commune de fixation et ayant la même fréquence propre, des transducteurs d'excitation ; et des transducteurs pour détecter la vibration des poutres dans des directions perpendiculaires aux premières, reliés à un circuit de mesure. Dans le mode de réalisation décrit à titre d'exemple dans cette demande de brevet, le mode de vibration imposé aux poutres par les transducteurs d'excitation (mode d'entrée) correspond à des directions de vibration parallèles pour toutes les poutres. A condition que toutes les poutres soient identiques et occupent les angles d'un carré, le mode d'entrée et le mode de sortie (mode d'excitation et mode de mesure) sont topologiquement identiques et les fréquences propres fE du mode d'entrée et fs du mode de sortie sont égales par construction. L'isolement mutuel des modes d'entrée et de sortie d'un tel dispositif est notablement meilleur que celui des dispositifs du même genre antérieurement connu. Un premier résultat recherché par l'invention consiste à améliorer encore cet isolement. Dans ce but, l'invention propose un dispositif gyrométrique ayant : un résonateur mécanique à quatre poutres parallèles identiques, occupant les angles d'un carré, solidaires d'un socle commun de fixation et ayant la même fréquence propre dans les deux directions parallèles aux côtés du carré ; des premiers transducteurs reliés à un circuit d'excitation pour maintenir les poutres en vibration, en mode d'entrée, dans des directions d'excitation déterminées et des seconds transducteurs pour détecter la vibration des poutres dans les directions perpendiculaires aux directions d'excitation, reliés à un circuit de mesure, les premiers transducteurs et les circuits d'excitation étant prévus pour provoquer des vibrations de deux des poutres en mode d'entrée dans une direction d'excitation orthogonale à celle des deux autres poutres. Dans un premier mode de réalisation, le circuit d'excitation est prévu pour créer un mode d'excitation ou d'entrée que l'on peut qualifier de pairs, provoquant'une vibration des poutres en direction radiale (ou tangentielle), le mode de mesure ou de sortie étant alors tangentiel (ou radial). Dans un second mode de réalisation, le circuit d'excitation est prévu pour créer un mode d'entrée que l'on peut qualifier de mixte, obtenu par combinaison linéaire des modes pairs. L'invention vise également à autoriser la réalisation de circuits d'excitation provoquant un mode d'entrée pair ou mixte à l'aide de transducteurs constitués par des éléments piézo-électriques, sans exiger la présence d' inverseurs et/ou de soustracteurs. Dans ce but, l'invention propose d'utiliser, comme transducteurs, des éléments piézoélectriques polarisés. Les éléments piézo-électriques doivent être portés par les poutres et réduisent le facteur de surtension ou de qualité du résonateur. L'invention vise également à fournir un dispositif gyrométrique utilisant des transducteurs ne réduisant pas mécaniquement le facteur de qualité ou de surtension. Suivant un aspect de l'invention utilisable avantageusement en liaison avec les précédents, mais pouvant l'être indépendamment, les transducteurs sont de type électro-statique et comportent des éléments fixes constituant des condensateurs avec les poutres qui sont en métal conducteur. On peut notamment utiliser des éléments placés dans les fentes séparant les poutres pour constituer de tels transducteurs. Etant donné le manque de linéarité des transducteurs électro-statiques, ils seront généralement utilisés pour la réalisation de dispositifs haut de gamme où la recherche d'un facteur de surtension élevé est essentielle, alors que les éléments piézo-électriques, qui sont économiques, seront réservés aux applications bas de gamme, pour lesquelles un facteur de surtension réduit et une dérive sont acceptables. Normalement un dispositif gyrométrique est utilisé pour mesurer une vitesse de rotation autour de la direction commune de quatre poutres. Toutefois le dispositif peut également être utilisé en gyroscope, en compensant en permanence les pertes d'énergie accompagnant les vibrations en mode d'entrée et en mode de sortie. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la description qui suit de modes particuliers de réalisation, donnés à titre d'exemples non-limitatifs. La description se réfère aux dessins qui l'accompagnent, dans lesquels - la figure 1 est une vue en élévation du résonateur d'un dispositif gyrométrique utilisable pour la mise en oeuvre de l'invention - les figures 2 et 3 sont des vues du résonateur de la figure 1, en coupe suivant la ligne II-II de la figure 1, destinées à faire apparaître la direction des mouvements en mode d'entrée (en traits pleins) et en mode de sortie (en tirets), respectivement en mode pair et en mode mixte -la figure 4 est un schéma en coupe à la base des poutres du résonateur de la figure 1, destiné à montrer comment les fréquences de vibration fT en mode tangentiel et fR en mode radial peuvent être rendues égales - la figure 5 montre schématiquement comment l'utilisation de pastilles piézo-électriques ayant deux polarités différentes permet d'éviter l'emploi d'inverseur, dans le cas de modes impairs de vibration - la figure 6, similaire à la figure 5, correspond au cas de modes mixtes - la figure 7 est un schéma de principe destiné à montrer le schéma électrique équivalent à un dispositif suivant l'invention ayant des circuits d'excitation et de mesure fonctionnant en boucle fermée - la figure 8, similaire à la figure 5, montre le schéma électrique équivalent dans le cas d'un circuit de sortie en boucle ouverte et à amortissement électrique - la figure 9 est une vue éclatée montrant un montage possible de transducteurs électro-statiques sur un résonateur - la figure 10 montre une constitution possible de circuits électriques de mesure utilisable avec un résonateur à transducteurs électro-statiques - la figure 11 montre un autre montage encore - la figure 12 est constituée par des chronogrammes montrant la variation en fonction du temps de l'entre-fer, des tensions appliquées et des forces d'attraction qui s'exercent dans le cas du résonateur de la figure 11 ; - la figure 13 est un schéma synoptique de principe montrant une constitution du dispositif lui permettant de fonctionner en gyroscope. Le résonateur à poutres vibrantes montré en figure 1 présente une constitution comparable à celle décrite dans la demande de brevet FR 92 07032 à laquelle on pourra se reporter. Ce résonateur comporte une embase 10 à section carrée, d'une seule pièce avec quatre poutres vibrantes 12a, 12b, 12c et 12d. L'embase 10 peut être solidarisée d'ur socle 14 par une tige de liaison 16. Un capot 17 peut être fixé à un socle pour délimiter une enceinte étanche. Dans le mode de réalisation montré sur les figures 1 à 3, le résonateur est réalisé par usinage d'une masse de métal à faible coefficient thermo-élastique et chaque poutre porte, sur deux faces orthogonales, des transducteurs constitués par des éléments piézo-électriques. Ces éléments sont généralement en forme de pastilles rectangulaires et métallisées sur leurs deux faces, l'une étant collée sur la poutre qui constitue la masse électrique. Certains des éléments piézo-électriques sont reliés à un circuit d'excitation fournissant l'énergie nécessaire pour mettre les poutres en vibrations et compenser les pertes. Les autres éléments sont reliés à un circuit de détection de la vibration provoquée par les forces de Coriolis. Le circuit d'excitation est généralement en boucle fermée pour donner à la vibration d'excitation (mode d'entrée du dispositif) une amplitude constante et une pulsation égale à la pulsation du mode propre de vibration. Le nombre minimum de transducteurs dépend de la nature des circuits d'excitation et de détection. Dans la pratique, huit transducteurs au moins sont nécessaires. Dans le cas illustré sur les figures 1 à 3, tous les transducteurs sont constitués par des éléments piézo-électriques placés sur les faces externes des poutres. La figure 1 montre une première couronne de huit éléments piézo-électriques désignés par les références 18ab à 18db, également montrés sur les figures 2 et 3. La figure 2 montre les directions des vibrations en modes "pairs". Le circuit d'excitation commande alors les transducteurs de façon que la vibration des poutres en mode d'entrée soit radiale (flèches en traits pleins sur la figure 2). Dans ce cas, la vibration est tangentielle en mode de sortie (flèches en tirets). Dans ce cas, les fréquences de résonance fe = en mode d'entrée et f = f T en mode de sortie ne sont pas strictement égales de façon naturelle. Cependant le calcul montre que, en donnant à la largeur h de la fente une valeur déterminée en fonction de la section a.a du résonateur et de la longueur i des poutres, les fréquences fB et fT sont égales. Mais dans la pratique, cette identité est difficile à obtenir du fait des tolérances de fabrication. Il est en conséquence plus avantageux de donner à h une largeur telle que fR soit légèrement supérieure à fT. Dans ce cas on peut réduire fR de façon ajustée en découpant des chanfreins 19 sur les angles externes des poutres, tout le long des arêtes externes des poutres ou simplement à leur base. Si au contraire fT est initialement supérieure à fR, l'ajustement doit être effectué sur des arêtes internes, en 21, de façon plus délicate. Lors du fonctionnement en modes pairs, tous les transducteurs d'une même couronne ou rangée contribuent à la fois à l'excitation des modes d'entrée et à la détection des modes de sortie, ce qui conduit à des circuits électriques plus complexes que dans le cas des modes impairs décrits dans la demande FR 92 07032. Cet inconvénient disparaît lorsqu'on utilise le mode mixte schématisé en figure 3, obtenu par combinaison linéaire des deux modes pairs. Dans le cas particulier montré en figure 3, le mode d'entrée correspond à la somme des modes radial et tangentiel ; le mode de sortie correspond à la soustraction des modes radial et tangentiel. I1 faut incidemment noter que des signaux en quadrature non-nuls apparaissent sur le circuit de mesure si les fréquences fR et fT sont différentes, ce qui permet de détecter l'existence d'un écart de fréquence et facilite l'ajustement conduisant à leur égalité. La figure 3 montre une constitution possible du circuit d'excitation et du circuit de détection, en boucle ouverte, dans le cas de modes mixtes, avec des transducteurs constitués par des éléments piézo-électriques traditionnels. Le circuit d'excitation 21 attaque les éléments piézoélectriques 18ca et 18bd directement et les éléments 18ab et 18dc par l'intermédiaire d'inverseurs. Le circuit de mesure 24 reçoit directement les signaux de sortie provenant des éléments 18ac et 18db et il reçoit les signaux de sortie des éléments 18ba et 18cd par l'intermédiaire d'inverseurs. Les inverseurs peuvent être supprimés à condition d'utiliser des éléments piézo-électriques polarisé grâce à l'application d'une haute tension électrique lors de la fabrication des transducteurs. L'application d'une différence de potentiel entre les électrodes (métallisation sur une face et poutre sur l'autre) permet de provoquer soit une expansion, soit une contraction. En utilisant des transducteurs orientés de façon différente, il est possible de simplifier les circuits en omettant les soustracteurs et/ou inverseurs de tension qui étaient jusque là nécessaires : les figures 5 et 6, où les polarités des transducteurs sont indiquées respectivement par + et -, montrent des circuits d'excitation et de mesure en boucle ouverte destinés aux fonctionnements en modes impairs et en modes mixtes (qu'on peut également qualifier de modes pairs doubles). Le circuit de mesure et le circuit d'excitation peuvent être réalisés pour fonctionner soit en boucle ouverte, soit en boucle fermée. En règle générale, le circuit d'excitation sera monté en boucle fermée, pour stabiliser l'amplitude du mode d'entrée à une valeur déterminée. Le choix entre un montage en boucle ouverte ou un montage en boucle fermée pour le circuit de mesure dépendra des caractéristiques que l'on souhaite donner au dispositif. Dans le cas où l'on recherche un facteur d'échelle parfaitement contrôlé et stable et une bande passsante large, on peut utiliser un dispositif fonctionnant en boucle fermée. Dans ce cas un nombre de transducteurs accru est nécessaire. Dans le cas particulier illustré sur la figure 1, huit éléments piézo-électriques supplémentaires 20ab, ..., 20dc sont disposés en couronne, directement au-dessus des éléments 18ab, ..., 18dc. La figure 7 montre un schéma équivalent à un dispositif dont les circuits d'entrée et de sortie sont en boucle fermée et par exemple du genre décrit dans la demande de brevet nO 92 07032. Des transducteurs 26 de mesure de la vibration en mode d'entrée fournissent un signal alternatif d'amplitude proportionnelle à l'élongation du résonateur d'entrée 28 au circuit d'excitation 30. Le circuit 30 alimente, à la fréquence propre de résonance fg les transducteurs d'excitation 32. Le résonateur est représenté sur la figure 7 comme constitué par un résonateur d'entrée 34, un opérateur 36 introduisant les forces de Coriolis et un résonateur de sortie 38. Le circuit de mesure peut alors comporter un amplificateur 44 suivi d'un démodulateur synchrone 46 qui reçoit un signal de référence provenant du circuit d'excitation. Le signal démodulé est appliqué à un réseau correcteur 48 (filtre RC en général) dont la bande passante fixe celle du dispositif. La sortie de ce réseau est une évaluation n de la vitesse de rotation. I1 est ramené aux transducteurs de contre-réaction par l'intermédiaire d'un modulateur 50 et d'un amplificateur 52. Lorsqu'on recherche un facteur d'échelle élevé, proportionnel au facteur de surtension Qm du résonateur de fonctionnement en boucle ouverte du circuit de mesure. Mais le facteur de surtension Qm n'est pas stable : une faible variation des pertes peut provoquer une variation notable du coefficient Q. La bande passante f/2Qm (f étant la fréquence propre) est faible, insuffisante pour beaucoup d'applications. La figure 8, où les éléments correspondant à ceux de la figure 7 portent les mêmes numéros de référence, montre un dispositif ayant un circuit de mesure en boucle ouverte et à amortissement électrique qui remédie aux inconvénients ci-dessus, et qui de plus est plus simple que le circuit de mesure montré en figure 7. L'amortissement électrique du résonateur de sortie 38 est obtenu grâce à une boucle comportant un amplificateur opérationnel 52 ayant un gain K(p) qui introduit sur le résonateur mécanique 38 une force proportionnelle à la vitesse détectée. Le coefficient de surtension Qt qui intervient pour déterminer le signal de sortie Q est alors donné par 1/Qt = 1/Q + (1/que) Si le coefficient de surtension électrique Q est très inférieur à Q, le coefficient de surtension résultant Q est pratiquement indépendant de Q et peut être très stable. L'amplificateur opérationnel 52 sera choisi de façon à ce que sa bande passante soit centrée sur la fréquence~ de travail fR = fg et la fonction K(p) sera déterminée pour ne pas risquer d'exciter d'autres modes propres du résonateur. Comme on l'a indiqué plus haut, les éléments piézoélectriques sont souvent utilisés comme transducteurs : ils sont parfaitement réversibles, disponibles commercialement dans les dimensions appropriées, et faciles à mettre en oeuvre en les collant sur les faces planes des poutres. En contrepartie, ils présentent l'inconvénient de réduire considérablement le facteur de surtension mécanique du résonateur. Dans le cas par exemple d'un résonateur en alliage d'aluminium ayant un facteur de surtension d'environ 25000, la présence des éléments piézo-électriques réduit le facteur de surtension à une valeur de l'ordre de 2500. Pour certaines applications, où l'on recherche un coefficient de surtension élevé et où on peut accepter une dérive de l'ordre du dixième de degré par seconde, les éléments piézoélectriques constituent une solution satisfaisante. En revanche, il est préférable d'utiliser des transducteurs ne dégradant pas le facteur de surtension mécanique du résonateur pour constituer des dispositifs haut de gamme. On peut notamment utiliser dans ce cas des transducteurs électrostatiques. La figure 9, est une vue éclatée montrant, pour plus de clarté, de tels transducteurs disposés au-dessus du résonateur au lieu d'être entre les poutres. Ces transducteurs peuvent notamment être constitués par un croisillon 54 en matériau isolant, dont les faces portent des électrodes métallisées 56 qui constituent des condensateurs avec les poutres portées à un potentiel constant. Le croisillon 54 peut notamment être fixée au boîtier 18 contenant le résonateur (figure 1) et les liaisons électriques entre les pastilles et les circuits extérieurs peuvent alors traverser le fond du boîtier. Il est possible de prévoir une seule rangée de transducteurs (figure 9) ou deux rangées superposées, comme dans le cas des éléments piézo-électriques. Les circuits d'entrée et de sortie utilisables avec des transducteurs électrostatiques peuvent être similaires à ceux utilisés avec des éléments piézo-électriques. Toutefois il est plus avantageux d'utiliser des montages tenant compte des caractéristiques propres aux transducteurs électrostatiques, mettant ou non en oeuvre une porteuse à fréquence élevée. En particulier ces transducteurs ne permettent pas d'exercer des forces de répulsion et ils sont non linéaires. Dans le cas illustré schématiquement sur la figure 10, qui correspond à un mode impair d'oscillation, le circuit de détection comporte deux branches ayant chacune un amplificateur de charge 58, attaquant les entrées d'un sommateur algébrique 60. Le résonateur lui-même est porté à une tension continue de polarisation VO. La vibration induite par les accélérations de Coriolis entraîne une modulation des entrefers des quatre capacités, qui fait apparaître une tension alternative à la fréquence de la vibration, d'amplitude proportionnelle à l'amplitude de la vibration. Cette modulation est exploitée également pour l'entretien du mode d'entrée. Le facteur d'échelle du circuit de détection est proportionnel à la tension constante de polarisation VO. Cette tension constante de polarisation intervient également dans le fonctionnement du circuit d'entrée ou d'excitation qui peut avoir diverses constitutions. Un mode de réalisation permettant de linéariser la réponse du dispositif est schématisé sur la figure 11 où, pour plus de clarté, les deux diapasons constitués chacun par deux poutres ont été représentés côte-à-côte. Le circuit 62 destiné à appliquer l'énergie nécessaire à la compensation des pertes (en mode d'entrée ou en mode de sortie) est prévu pour appliquer alternativement aux électrodes des transducteurs électrostatiques des tensions + V et - V (V étant inférieur à VO)- Ainsi la force d'attraction qui s'exerce entre une électrode et une poutre prend alternativement des valeurs proportionnelles à (VO + V) 2, et (VO - V)2, ce qui se traduit par une modulation de force proportionnelle à 4 V0 V autour de V02 + V2. La modulation doit être appliquée en phase avec la vitesse et non avec le déplacement des poutres. La loi de variation de l'entrefer h en fonction du temps est représentée à la ligne supérieure de la figure 12, où ho désigne l'entrefer au repos. La variation de cet entrefer est en opposition de phase pour les deux couples d'électrodes, B et B' d'une part, D et D' d'autre part. Le circuit 62 est commandé par un capteur de déplacement (non représenté) de façon à ce que la force exercée dans le sens d'attraction soit maximale pendant que la vitesse de la poutre est dirigée dans ce sens. Le dispositif gyrométrique peut, moyennant une modification des circuits associés aux résonateurs, être utilisé en gyroscope, c'est-à-dire en appareil de mesure d'angle, à condition que les poutres aient une longueur suffisante pour que le plan de vibration reste fixe dans l'espace pour les vitesses de rotation les plus élevées envisagées. Pour utiliser le dispositif en gyroscope, on donne au circuit d'excitation d'entrée et au circuit de mesure ou de sortie définis ci-dessus et la même fonction, à savoir compenser les pertes des résonateurs d'entrée et de sortie. Si les vibrations restent fixes dans l'espace inertiel, une rotation 8 du résonateur et de son boîtier autour de l'axe est mesurée, à partir d'une référence fixe, par l'angle dont le cosinus est le sinus correspondent aux amplitudes de vibration des résonateurs d'entrée et de sortie, orthogonaux l'un à l'autre. Un tel dispositif, utilisé en gyroscope, présente l'avantage d'avoir un débattement illimité, contrairement aux gyroscopes actuels. La figure 13 montre une constitution possible des circuits associés à un résonateur du genre montré en figure 1 pour constituer un gyroscope. Pour plus de clarté, les transducteurs 64 destinés à mesurer la vibration dans la direction Y et à compenser les pertes et les transducteurs 66 destinés à mesurer les vibrations dans la direction X et à compenser les pertes correspondantes ont été représentés séparément. Le synoptique de la figure 13 peut être regardé comme comprenant un circuit de codage, dont la constitution est similaire à celle d'un résolveur à poursuite, donnant l'estimation de l'angle e à partir d'une référence. deux voies de compensation des pertes, respectivement affectées aux composantes sinus i et cosinus . Les deux voies ont la même constitution. Dans le cas représenté en figure 14, le signal d'entrée de la voie en cosinus, prélevé sur l'un des transducteurs 66, est appliqué par l'intermédiaire d'un amplificateur 68 à un multiplieur analogique-numérique 72. Ce multiplieur reçoit A également un signal représentatif de l'angle estimé g et il fournit, en sortie le produit du signal d'entrée par cosinus A sous forme analogie. Un second multiplieur 74 fournit en sortie un signal représentatif du produit du signal provenant du transducteur 66 par cosinus . Dans l'autre voie, les fonctions sinus et cosinus sont inversées. Les signaux provenant des multiplieurs 74 des deux voies sont additionnés dans un sommateur 76 et le signal alternatif de sortie du sommateur est redressé en 78. Le signal continu ainsi obtenu est une représentation de l'amplitude de la vibration résultante (combinaison des vibrations suivant x et y). Ce signal continu est appliqué à un soustracteur 80 qui reçoit un signal représentatif de U0, c'est-à-dire de l'amplitude nominale de vibration à maintenir. La puissance nécessaire à l'entretien est appliquée sur chaque voie par un amplificateur à gain fixe 82 précédé d'un multiplieur analogique 84 d'ajustage du gain d'oscillation. Le multiplieur reçoit sur une entrée le signal de sortie du soustracteur 80 et sur l'autre entrée le signal provenant de l'amplificateur 68, représentatif- de l'amplitude réelle d'oscillation suivant la direction x. Le circuit de codage peut comporter de son côté un soustracteur 86 recevant la sortie des multiplieurs 70 et un démodulateur synchrone 88. Ce démodulateur peut recevoir un signal de référence provenant de la sortie de l'additionneur 76. Dans le cas représenté d'un dispositif utilisant le multiplieur analogique-numérique sur les voies de compensation de pertes, le démodulateur 88 est suivi d'un convertisseur tension-fréquence 90 dont la sortie est appliquée à un compteur-décompteur 92 dont le contenu constitue le signal utile, ainsi que le signal d'entrée des multiplieurs 70 et 74. La sortie du convertisseur 90 est constituée d'impulsions. Chacune représente un incrément de rotation. La mesure de l'angle peut également être fournie par un compteur décompteur 94 recevant les impulsion. REVENDICATIONS 1. Dispositif gyrométrique à poutres vibrantes ayant : un résonateur mécanique à quatre poutres parallèles identiques (12a - 12d) occupant les angles d'un carré, solidaires d'une embase commune de fixation et ayant la même fréquence propre dans les deux directions parallèles aux côtés du carré ; des premiers transducteurs reliés à un circuit d'excitation pour maintenir les poutres en vibration, en mode d'entrée, dans des directions d'excitation déterminées et des seconds transducteurs pour détecter la vibration des poutres dans les directions perpendiculaire aux directions d'excitation reliés à un circuit de mesure, les premiers transducteurs et les circuits d'excitation étant prévus pour provoquer des vibrations de deux des poutres en mode d'entrée dans une direction d'excitation orthogonale à celle des deux autres poutres. 2. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit d'excitation est prévu pour créer un mode d'entrée provoquant une vibration des poutres en direction radiale (tangentielle), le mode de mesure ou de sortie étant alors tangentiel (ou radial). 3. Dispositif selon la revendication 1, caractérisé en ce que le circuit d'excitation est prévu pour créer un mode d'entrée obtenu par combinaison linéaire de modes pairs. 4. Dispositif selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que les transducteurs sont constitués par des éléments piézo-électriques polarisés ayant des orientations différentes. 5. Dispositif selon la revendication 1, 2 ou 3, caractérisé en ce que les transducteurs sont de type électrostatique et comportent des éléments fixes constituant des condensateurs avec les poutres (12a - 12d) qui sont en métal conducteur. 6. Dispositif selon la revendication 5, caractérisé en ce que le résonateur (10) est porté à une tension de polarisation et en ce que les seconds transducteurs (56) sont reliés par paires à des amplificateurs de charge (58) attaquant respectivement les entrées + et - d'un sommateur algébrique (60). 7. Dispositif selon la revendication 5 ou 6, caractérisé en ce que, le résonateur étant porté à une tension de polarisation (VO), les premiers transducteurs sont reliés par paires à un générateur de tension alterna- tive (62) fournissant des tensions +V et -V en opposition de phase sur les deux paires. 8. Dispositif selon 1 'une quelconque des revendications 5 à 7, caractérisé en ce que les transducteurs électrostatiques comprennent un croisillon (54) placé entre les poutres et portant des électrodes (56) en face des poutres. 9. Dispositif selon la revendication 1, fonctionnant en gyroscope, caractérisé en ce que les circuits d'excitation et de mesure sont prévus pour compenser les pertes correspondant aux deux composantes orthogonales de vibration du résonateur et mesurer les fonctions trigonométriques de l'angle de la résultante des forces de compensation avec une direction de référence. 10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que les circuits d'excitation et de mesure constituent - un circuit de codage angulaire, fournissant une estimation dudit angle, et - deux voies de compensation des pertes suivant lesdites directions d'excitation, chaque voie comprenant un premier multiplieur du signal d'entrée fourni par un des transducteurs dans une direction respective par le sinus ou le cosinus dudit angle estimé et un second multiplieur de la somme des signaux provenant des deux premiers multiplieurs par le signal d'entrée, le produit étant appliqué à un transducteur de compensation des pertes, ledit circuit de codage comportant un soustracteur entre le produit des signaux d'entrée multipliés par les fonctions trigonométriques complémentaires des fonctions mises en oeuvre dans les premiers multiplieurs respectifs.