Brevet FR2700219A1 — publié le 19940708

La présente invention concerne un procédé permettant de dépolariser par voie électrique un matériau ferroélectrique. Dans le cadre de l'invention, le terme dépolarisation sera utilisé pour indiquer une dépolarisation totale ou une dépolarisation partielle dudit matériau. Les matériaux ferroélectriques pouvant être utilisés sont, à titre d'exemples non limitatifs, le PVDF (polyfluorure de vinylidène), les terpolymères ou certains copolymères comme VF 2/VF 3 De façon plus générale, il s'agit de cristaux, polycristaux, polymères ou copolymères. L'invention concerne également un procédé permettant de dépolariser sélectivement des zones d'un matériau ferroélectrique, par exemple des zones d'un film ou d'une feuille d'un tel matériau. Ce procédé s'appliquera avantageusement à la réalisation de matériaux pour capteurs de différentes natures: capteurs piézo-électriques, pyroélectriques, etc. En particulier, on pourra adopter diverses configurations telle qu'une configuration matricielle Cette dernière configuration peut être obtenue en dépolarisant toute la surface d'une feuille de matériau ferroélectrique préalablement polarisée sauf des zones régulièrement réparties selon ladite configuration matricielle. L'invention concerne enfin un procédé permettant l'obtention de matériaux ferroélectriques à rigidité renforcée. Une dépolarisation, totale ou partielle, d'un matériau ferroélectrique nécessite naturellement que ce matériau ait été, au préalable, polarisé Diverses méthodes de polarisation sont connues. Pour sa part, le Demandeur a décrit, dans la demande de brevet français FR-A-2 538 157, un procédé et un dispositif, pour polariser des matériaux ferroélectriques. Cet enseignement est utilisable dans le cadre de la présente invention Selon le procédé décrit, on applique un champ électrique alternatif de basse fréquence au matériau ferroélectrique et on augmente progressivement l'amplitude de ce champ électrique alternatif de manière à laisser une polarisation rémanente contrôlée du matériau. On sait également déterminer le cycle d'hystérésis: Polarisation P champ électrique E. La figure 1 annexée illustre un tel cycle d'hystérésis Ce cycle est représenté, par exemple, à la figure 4 B de la demande de brevet précitée. On peut donc théoriquement annuler la polarisation du matériau en appliquant un champ E 1 = Ec, Ec étant le champ coercitif On peut encore diminuer la polarisation sans l'annuler en appliquant un champ E 2, avec E 2 >Ec Ces valeurs sont naturellement positives ou négatives selon que la polarisation initiale ait été positive ou négative. Cette méthode manque cependant gravement de précision En effet Ec et le cycle d'hystérésis dépendent de l'épaisseur du matériau Cette épaisseur n'est pas uniforme et le champ Ec varie en fonction du champ En outre un matériau ferroélectrique, tel que le PVDF ou le VRF 2, n'est jamais homogène Il s'ensuit que la dépolarisation obtenue n'est jamais complète ou ne l'est pas de façon reproductible. Le champ électrique induit est aussi anisotropique dans le matériau qui dans l'exemple considéré est du type semi-cristallin. En outre, si on vise une dépolarisation partielle déterminée, la valeur du champ E 2 à appliquer sera encore plus difficile à déterminer, au vu notamment de la pente de la courbe d'hystérésis. L'invention vise à pallier les inconvénients des procédés de l'art connu qui viennent d'être rappelés. L'un des buts que se fixe l'invention est de pouvoir dépolariser un matériau ferroélectrique prépolarisé, de façon sûre et reproductible de telle manière que sa réponse piézo-électrique parallèlement à l'axe de polarisation initial soit nulle. Un autre but que se fixe également l'invention est de pouvoir diminuer, dans les mêmes conditions de sûreté et de reproductibilité, la polarisation d'un matériau prépolarisé lorsque l'application visée le nécessite. Un autre but que se fixe l'invention est de pouvoir dépolariser, partiellement ou en totalité, de façon sélective, des zones déterminées d'un matériau prépolarisé ou, ce qui constitue l'opération duale de la précédente, de laisser polarisées des zones de ce même matériau, les autres zones étant dépolarisées. Enfin, il a été constaté de façon surprenante, qu'un matériau ferroélectrique polarisé dans une première phase puis dépolarisé totalement selon le procédé de l'invention présentait, après cette dernière phase, une rigidité diélectrique améliorée, c'est-à-dire plus élevée que le matériau à l'état initial avant polarisation. L'invention se fixe donc également pour but l'obtention de tel matériau ferroélectrique. L'invention a donc pour objet un procédé de dépolarisation d'un matériau ferroélectrique par voie électrique, ledit matériau ayant été polarisé selon un axe déterminé pendant une phase préalable dans au moins une de ses régions; le procédé selon l'invention étant caractérisé en ce qu'il comprend au moins les étapes suivantes: application au matériau d'un champ électrique alternatif basse fréquence d'amplitude maximale supérieure au champ coercitif de polarisation dudit matériau parallèlement à l'axe déterminé; et décroissance par pas de ladite amplitude jusqu'à une valeur minimale déterminée de l'amplitude du champ électrique appliqué, de manière à obtenir une valeur préétablie de la polarisation rémanente dudit matériau. Dans une variante préférée de l'invention, l'amplitude maximale est choisie sensiblement supérieure de % à la valeur du champ coercitif Pour obtenir une dépolarisation totale, le processus est réitéré jusqu'au moment o l'amplitude du champ électrique de dépolarisation appliqué est égale à zéro. L'invention a encore pour objet un procédé de dépolarisation sélective d'un matériau ferroélectrique. L'invention a enfin pour objet l'application du procédé pour l'obtention d'un matériau ferroélectrique à rigidité diélectrique renforcée. L'invention sera mieux comprise et d'autres caractéristiques et avantages apparaîtront à la lecture de la description qui suit et des figures annexées, et parmi lesquelles: la figure 1 est un diagramme représentant la figure d'hystérésis "Polarisation P Champ électrique E" d'un matériau ferroélectrique polarisé; la figure 2 illustre schématiquement un dispositif permettant la mise en oeuvre du procédé selon l'invention; la figure 3 est un diagramme représentant deux cycles d'hystérésis obtenus pendant une phase préliminaire de polarisation du matériau ferroélectrique; les figures 4 et 5 sont des diagrammes illustrant deux modes de réalisation du procédé de dépolarisation selon l'invention; la figure 6 illustre schématiquement la dépolarisation sélective d'un matériau ferroélectrique selon le procédé de l'invention; les figures 7 et 8 sont des figures de détails explicitant le processus mis en oeuvre à la figure 6; la figure 9 illustre les étapes de réalisation d'un capteur à l'aide d'un matériau ferroélectrique obtenu selon le procédé de l'invention; la figure 10 illustre une configuration particulière de capteur mettant en oeuvre un matériau ferroélectrique obtenu par le procédé selon l'invention. Il sera supposé dans ce qui suit, sauf indications contraires, que le matériau est prépolarisé, par exemple conformément au procédé de la demande de brevet précitée. Dans cette dernière hypothèse, le matériau qui se présente généralement sous la forme d'un élément de faible épaisseur par rapport à ses autres dimensions, est déjà muni d'électrodes qui recouvrent une ou plusieurs zones polarisées ou zones actives. On pourra alors se servir de ces électrodes pour appliquer un champ électrique de dépolarisation conformément à des modalités propres à l'invention et qui seront explicitées dans ce qui suit. Il a été cependant constaté que ce procédé présentait certains inconvénients lorsque les zones à polariser étaient de très petite taille. En effet, on commence en général par déposer (par exemple par pulvérisation cathodique, évaporation ou tout autre procédé connu) les électrodes de mesure du capteur sur deux surfaces opposées d'une feuille de matériau ferroélectrique, et on utilise ces électrodes de mesure pour appliquer le champ électrique alternatif lors de la phase de polarisation On comprime généralement la feuille de matériau ferroélectrique pour limiter les variations de volume locales dues aux valeurs élevées du champ électrique lors de la phase de polarisation, ces variations de volume étant de nature à affecter la reproductibilité des caractéristiques des capteurs En pratique, les pressions qu'on peut ainsi exercer sur la feuille de matériau ferroélectrique sont limitées, typiquement à quelques centaines de bars, sans quoi on observerait une détérioration du matériau ferroélectrique près des bords des électrodes déposées, ou une détérioration des électrodes elles-mêmes si elles sont relativement étendues. Le procédé ci-dessus est difficilement applicable pour polariser une zone de dimensions réduites sur une feuille de matériau ferroélectrique, typiquement une zone ayant des dimensions inférieures à 1 mm sur une feuille d'épaisseur d'environ 25 pm Ces dimensions sont naturellement données à titre purement indicatif Pour ces petites dimensions, les effets de bord deviennent significatifs voire prépondérants et compliquent l'interprétation des mesures de courant Ces effets de bord affectent également l'homogénéité de la polarisation rémanente induite La polarisation est définie comme étant égale au rapport entre la quantité de charges et la surface géométrique En outre, pour ces petites dimensions, les contraintes locales dans le matériau ferroélectrique sont importantes et nécessitent une pression élevée pour limiter leur effet, ce qui pose les problèmes de tenue mécanique évoqués ci-dessus. Pour pallier les inconvénients ci-dessus, et d'autres qui n'ont pas été rappelés, le Demandeur a déposé simultanément à la présente demande de brevet une autre demande de brevet français intitulée: "Procédé pour modifier la polarisation d'une zone d'une feuille de matériau ferroélectrique, et procédé pour réaliser un capteur piézo-électrique ou pyroélectrique". Selon ce procédé, on dispose des électrodes externes contre deux surfaces opposées de la feuille de matériau à polariser de façon à ce que la zone à polariser s'étende dans l'intervalle entre ces deux électrodes On comprime la zone à polariser et on applique une tension variable entre les électrodes. Chacune desdites électrodes est liée à un support isolant respectif ayant une superficie supérieure à celle de la zone à polariser sur la feuille de matériau ferroélectrique Ce support isolant comporte, à côté de l'électrode, une couche de matériau diélectrique dont la surface extérieure affleure la surface extérieure de l'électrode. Les électrodes de mesure sont disposées ultérieurement sur le support en matériau ferroélectrique par toutes méthodes convenables: dépôt, etc, bien connues de l'homme de métier. On pourra donc avoir recours à une telle méthode de polarisation lorsque les zones à polariser sont de petite taille ou lorsque le support en matériau ferroélectrique n'est pas muni au préalable d'électrodes. Pour fixer les idées, sans que cela soit limitatif, dans la description qui va suivre, on considérera que le matériau ferroélectrique est du PVDF (polyfluorure de vinylidène) D'autres matériaux sont cependant utilisables, comme il a été rappelé: cristaux, polycristaux, polymères ou copolymères. On va tout d'abord, par référence à la figure 2, illustrer succinctement un dispositif permettant de mettre en oeuvre le procédé selon l'invention. Le dispositif de la figure 2 comporte des circuits analogiques et des circuits numériques, mais on pourrait également utiliser dans le cadre de la présente invention, une installation entièrement analogique telle que celle décrite dans la demande de brevet FR-A-2 538 157 précitée dont il s'inspire. Le dispositif de la figure 2 comporte un calculateur, tel qu'un microordinateur 1 muni d'un écran de visualisation 2 Le micro-ordinateur 1 est équipé d'une carte 3 d'interface et de traitement pour commander le déroulement du procédé La carte 3 commande un générateur basse fréquence 4 pour lui faire délivrer une tension sinusoïdale U à basse fréquence et d'amplitude variable. Cette tension U est transmise à l'entrée d'un amplificateur haute tension 5 qui applique la tension amplifiée US à l'une des électrodes dont est muni le support 100 en matériau ferroélectrique L'autre électrode 11 est portée au potentiel nul de la masse Un convertisseur courant/tension 6 est monté préférentiellement sur la liaison reliant la seconde électrode 11 à la masse pour mesurer le courant IS traversant le matériau ferroélectrique en réponse à l'application de la tension variable US On pourrait naturellement effectuer la mesure de courant au niveau de la première électrode 10. Cependant, celle-ci étant portée à un potentiel élevé, cette mesure poserait des problèmes d'ordre technologique. La mesure est effectuée par tout procédé bien connu de l'homme de métier, ledit procédé étant choisi pour ne pas perturber le courant à mesurer Le résultat de la mesure est transmis à la carte 3 sous la forme d'un signal de tension UIS proportionnel au courant IS La carte 3 reçoit en outre le signal de tension U proportionnel à la tension appliquée US La carte 3 comprend des convertisseurs analogique/numérique (non représentés) qui transforment les signaux de tension U et UIS en signaux numériques représentatifs de la tension US et du courant IS dans le matériau ferroélectrique Ces signaux numériques sont ensuite traités par la carte 3 de manière à afficher des courbes 7 sur l'écran 2 du micro-ordinateur. Il est à noter que ce dispositif peut, dans la phase préalable de polarisation, également servir à ladite polarisation Dans ce cas, les électrodes 10 et 11 peuvent être des électrodes extérieures ou les électrodes de mesure, selon le procédé de polarisation utilisé. Selon le procédé décrit dans la demande de brevet déposée simultanément à la présente, le processus est tel que décrit succinctement ci-après. On comprime la feuille 100 La carte 3 commande le générateur 4 pour lui faire délivrer une tension U à très basse fréquence (de l'ordre de quelques centièmes de hertz) et d'amplitude croissant lentement jusqu'à une valeur correspondant, après amplification par l'amplificateur 5, à l'application entre les électrodes 10 et 11 d'un champ électrique supérieur au champ coercitif Ec du matériau ferroélectrique à polariser Pendant ce temps, les signaux U et UIS représentant la tension US et le courant IS dans la zone à polariser (zone couverte par les deux électrodes 10 et 11) sont traités pour extraire les composantes résistive IR et capacitive IC du courant IS La composante résistive IR est calculée selon la formule IR = US/R o R désigne la résistance interne connue du matériau ferroélectrique La composante capacitive IC est calculée selon la formule IC = a (d US/dt) o S désigne la permittivité connue du matériau ferroélectrique et le rapport (d US/dt) désigne la dérivée temporelle de la tension amplifiée US Après soustraction des composantes IR et IC, il reste la composante de polarisation IP = IS - IR IC = (d P/dt) Cette composante est égale à la dérivée temporelle de la polarisation P dans le matériau ferroélectrique. Au cours du processus les variations de la composante de polarisation IP en fonction de la tension appliquée US sont affichées sur l'écran 2 du micro- ordinateur 1, sous la forme d'un cycle d'hystérésis 30 présentant deux pics symétriques autour de l'origine, tel que représenté sur le diagramme de la figure 3 La valeur de la polarisation P est calculée par intégration du courant IP, et ses variations en fonction de US sont également affichées sur l'écran 2 sous la forme d'un cycle d'hystérésis 31 L'affichage des cycles 30, 31 permet de s'assurer de leur stabilisation à la fin du processus. Lorsque la tension US est supprimée, il subsiste dans la zone couverte par les électrodes 10 et 11 de la feuille 100 une polarisation rémanente PR indiquée à la figure 3. La phase de polarisation étant achevée, soit à l'aide des électrodes de mesures du support selon un des procédés habituels de l'art connu, soit à l'aide d'électrodes externes selon le procédé qui vient d'être rappelé, on procède alors à la phase de dépolarisation selon le procédé propre à l'invention. Pour ce faire, on peut utiliser également le dispositif illustré par la figure 2 ou un dispositif équivalent. On applique entre les électrodes 10 et 11 qui, comme on l'a indiqué, peuvent être des électrodes de mesure ou des électrodes externes au support, une tension électrique alternative de très basse fréquence Il se développe alors au sein du matériau un champ électrique dont l'amplitude est inversement proportionnelle à son épaisseur et proportionnelle à l'amplitude de la tension appliquée L'amplitude de ce champ électrique est choisie supérieure au champ coercitif Ec. La fréquence de la tension alternative est choisie typiquement inférieure à 1 Hz et de préférence dans la gamme: 0,0001 Hz-1 Hz La tension est générée, comme dans le cas de la phase de polarisation par le générateur 4 et amplifiée par l'amplificateur 5, le tout sous la commande de la carte 3. Le courant traversant le matériau est mesuré et converti en valeurs numériques par le convertisseur analogique-numérique 6. Les signaux U et UIS sont traités par la carte 3 pour réaliser un affichage tout à fait semblable à celui obtenu pendant la phase de polarisation. Dans une variante préférée du procédé de l'invention, l'amplitude de la tension US est telle que le champ électrique ait une amplitude maximale initiale supérieure à environ 1,30 x Ec, soit de l'ordre de 30 % supérieure à la valeur Ec On peut adopter avantageusement la valeur 1,35 x Ec Cette valeur dépend naturellement de la pente du cycle d'hystérésis au voisinage de Ec et donc du matériau utilisé. Ensuite, selon une des caractéristiques importantes du procédé de dépolarisation, on fait décroître l'amplitude du champ électrique par incrément ou pas La valeur de cet incrément dépend de la nature du matériau à dépolariser et de son épaisseur Si on prend l'exemple du PVDF, la valeur de l'incrément est de l'ordre de 1 V/nm. Cette valeur n'est cependant pas critique, on peut le choisir dans une gamme allant typiquement de 0,5 à 1,5 V par pm. Selon que l'on désire une dépolarisation partielle ou totale, on continue le processus jusqu'à ce que l'amplitude du champ électrique atteigne une valeur déterminée (dépolarisation partielle) ou soit nulle (dépolarisation totale). Si l'on considère un trièdre orthonormé dont l'un des axes est perpendiculaire à la surface du support 100, c'est-à-dire parallèle au champ électrique appliqué, on constate que la polarisation du matériau est nulle suivant ledit axe perpendiculaire à la surface du support. Le matériau ne présentera plus d'effets piézo- électriques suivant cet axe Cependant, en général, les il effets ne sont pas totalement nuls suivant les deux autres axes du trièdre, c'est- à-dire parallèlement à la surface du support 100. Pour fixer les idées, on a représenté sur la figure 4, les courbes d'hystérésis obtenues pour un cas réel, selon un test effectué par le Demandeur On a représenté sur la même figure les courbes représentatives du courant (en p A) traversant le matériau en fonction du champ appliqué (exprimé en k V) et les courbes représentatives de la polarisation (en p C/cm 2) en fonction également du champ appliqué. On a considéré sur ce diagramme le cas d'une dépolarisation totale du matériau Pour ne pas surcharger la figure, un cycle sur quatre seulement a été représenté. Dans l'exemple précis illustré, les données étaient les suivantes: matériau: film de PVDF épaisseur: 25 pm aire du film polarisé: 0,09 cm 2 tension appliquée: sinusoïdale fréquence 0,5 Hz amplitude maximale initiale: 10 k V pas de décroissance: 25 V La figure 5 illustre le cas d'une dépolarisation partielle Les données numériques de départ sont les mêmes que précédemment, mais on a stoppé le processus de décroissance de la tension appliquée avant qu'elle ne s'annule complètement On obtient alors dans l'exemple illustré une polarisation rémanente P = 4,6969 g C/cm 2 pour un champ coercitif égal à 1,5934 k V. Comme on l'a précédemment indiqué, l'invention permet avantageusement une dépolarisation sélective d'un matériau polarisé Si l'on considère le cas d'une dépolarisation totale de certaines zones ou régions de ce matériau, cela veut dire aussi, de façon duale, que l'on peut polariser certaines zones de façon sélective. Pour expliciter cette possibilité offerte par le procédé de l'invention, on va maintenant se référer aux figures 6 à 8. On part d'un matériau se présentant sous la forme d'une feuille ou d'un film 100 de faible épaisseur par rapport à ses autres dimensions, comme représenté schématiquement sur la figure 6 On suppose que ce film, ne comportant pas d'électrodes, a été préalablement polarisé sur toute son étendue par le procédé précédemment rappelé. On appellera ce matériau dans ce qui suit "matériau prépolarisé". On suppose également que l'on désire conserver des zones polarisées réparties suivant une configuration régulière de type matriciel, ces zones ayant alternativement des formes circulaires et carrées. Naturellement, cette configuration particulière n'est décrite que pour mieux illustrer l'invention, toute autre configuration pouvant être adoptée selon l'application envisagée. Lors d'une première étape, on dispose de part et d'autre du film polarisé 100, une paire d'électrodes 10 et 11 Pour obtenir la dépolarisation sélective du matériau désirée, une des électrodes, par exemple l'électrode 10, présente comme illustré sur la figure 6, une configuration particulière Elle est percée d'orifices 101 de formes circulaire et carrée et répartis selon ladite configuration matricielle régulière Ces électrodes sont soumises à la différence de potentiel V, celle-ci étant une tension alternative décroissante selon le procédé de l'invention pendant toute l'étape I. A l'issue de l'étape I, on retire les électrodes et 11, le film de matériau ferroélectrique 100 est alors dépolarisé dans toute la zone 103 précédemment comprise entre la surface de l'électrode 11 et les régions pleines de l'électrode 10 (étape II). Il subsiste alors dans la zone précédemment couverte par les deux électrodes des régions élémentaires 102, que l'on peut appeler pixels dans l'exemple illustré au vu de leurs petites dimensions, ayant substantiellement les mêmes formes, circulaire et carrée, que les orifices pratiqués dans l'électrode 10 et répartis de la même manière à la surface de la feuille 100 On peut naturellement intervertir le rôle des deux électrodes. La figure 7 illustre schématiquement l'alternance des deux types de régions 102 et 103, la région 102 restant polarisée. Il doit cependant être noté, comme il a été rappelé, que dans les régions dépolarisées 103, la polarisation est nulle suivant un axe perpendiculaire à la surface du film et donc que le matériau de ces régions ne répond plus suivant cet axe. Cependant, suivant qu'il est bi ou mono-étiré selon les deux autres axes d'un trièdre orthonormé, il subsiste une réponse suivant l'un ou les deux autres axes. Sur la figure 7, des flèches symbolisent ces états. Le procédé de l'invention permet donc de réaliser des éléments piézoélectriques à réponse tridimensionnelle, bidimensionnelle ou monodimensionnelle. Le procédé de dépolarisation sélective tel qu'il vient d'être décrit présente un certain nombre d'avantages. La valeur maximale initiale du champ électrique de dépolarisation est préférentiellement de 30 % supérieure au champ coercitif mais cette valeur peut être différente au vu notamment de la pente du cycle d'hystéresis d'un matériau déterminé. Les effets de bord sont minimaux. La distance entre zones dépolarisées peut donc être très faible: typiquement de 40 pm ou moins pour un film de 25 pm d'épaisseur La diaphonie, ou "cross- coupling" selon le terme anglo-saxon couramment utilisé, est minimale. Les surfaces polarisées restantes sont précises en géométrie La précision ne dépend, au premier ordre, que de la précision de réalisation des électrodes Cette opération ne présente pas de difficultés particulières. Dans une autre variante, illustrée schématiquement par la figure 8, on peut conformément à l'un des aspects de l'invention ne dépolariser que partiellement les régions 103 La polarisation rémanente de ces régions est égale à Pl et celle des régions 102 égale à P; P et Pl satisfaisant la relation: P>P 1 > 0. Enfin, dans une variante supplémentaire, non représentée, en utilisant une électrode fractionnée en zones isolées électriquement, l'électrode 10 par exemple, et en arrêtant le processus de décroissance du champ électrique à divers stades pour chacune des fractions d'électrode, on pourrait obtenir des régions distinctes de la feuille 100 présentant des états de dépolarisation variés, et éventuellement cohabitant avec des régions entièrement dépolarisées. Ces possibilités de dépolarisation sélective offerte par le procédé de l'invention s'applique avantageusement à la réalisation de capteurs de diverses natures: piézo-électriques, pyroélectriques mais aussi à la réalisation de dispositifs d'imagerie médicale. Dans ce dernier cas, on peut réaliser des structures annulaires entourant une zone centrale circulaire, de manière à éliminer des lobes secondaires. On va illustrer la réalisation d'un capteur de pression mettant en oeuvre le procédé selon l'invention par référence à la figure 9. On part (étape 0) d'une feuille de matériau ferroélectrique 100 comportant au moins une région prépolarisée 104, hachurée sur la figure 9 Les dimensions de la feuille et la nature du matériau sont choisies en adéquation avec l'application visée Cet aspect ne diffère pas de l'art connu. On dispose comme précédemment (étape I) une paire d'électrodes 20 et 21 de part et d'autre de la feuille 100 et couvrant la région 104 On suppose ici que l'on veuille obtenir, après cette étape, une région polarisée de forme circulaire Pour ce faire, l'une des électrodes 20 est munie d'un trou circulaire du diamètre voulu. On met en oeuvre le procédé de l'invention en appliquant une tension alternative décroissante entre les électrodes 20 et 21. Pour fixer les idées, on suppose que le matériau est du PVDF, d'épaisseur 25 pm On pourra donc reprendre les valeurs déjà indiquées en relation avec la description du diagramme de la figure 4. A la suite de cette étape, une seule région 105, de forme circulaire reste polarisée (étape II). Dans une étape ultérieure (étape III), on peut disposer des électrodes de mesure 30 et 31, de part et d'autre de la feuille 100 Ces électrodes doivent recouvrir la région 105 La réalisation de ces électrodes s'effectue par tout procédé connu: dépôt métallique, etc. Une des possibilités intéressantes offertes par l'invention est de mettre à profit le sens de la polarisation du matériau On peut ainsi réaliser des jauges balancées. La figure 10 illustre schématiquement une telle jauge Pour réaliser cette jauge, on peut partir d'une feuille de matériau ferroélectrique 100 présentant deux régions distinctes, l'une ayant été polarisée perpendiculairement à sa surface, mais suivant un premier sens et l'autre, suivant un second sens Un tel résultat peut être obtenu soit en deux étapes distinctes, soit en utilisant deux paires d'électrodes de polarisation disjointes couvrant sélectivement lesdites régions. Ensuite, on dépolarise le matériau conformément au procédé de l'invention, ce de façon analogue à ce qui a été décrit en relation avec les figures 6 ou 9 (étape I). A la suite de cette étape, il ne subsiste que deux zones polarisées en sens contraire que l'on a schématisées par le signe "+" et le signe "-" sur la figure Deux paires d'électrodes de mesure respectivement 40-41 et 50-51 sont disposées sur la feuille 100 de manière à couvrir les zones polarisées, zones qui subsistent après dépolarisation. Comme il a été indiqué, le procédé de l'invention permet également d'obtenir des matériaux à rigidité diélectrique renforcée. Il a été remarqué, de façon surprenante, qu'un matériau ferroélectrique de type PVDF polarisé puis dépolarisé sous champ électrique, selon le procédé de l'invention, présentait une rigidité diélectrique au minimum 50 % plus élevée que le matériau initial. L'expérience avait été réalisée sur un film de PVDF de 25 iim d'épaisseur de surface 10 cm 2. La rigidité diélectrique initiale mesurée suivant les normes habituellement admises était de 7 k V. Après dépolarisation conformément au procédé de l'invention, la rigidité diélectrique mesurée selon ces mêmes normes était égale à une valeur supérieure à 10 k V. D'autres essais ont été effectués sur divers matériaux diélectriques et se sont montrés probants. Il s'ensuit que le procédé selon l'invention s'applique de façon particulièrement intéressante à l'obtention de matériaux destinés à divers composants électroniques, en particulier de matériaux entrant dans la fabrication de condensateurs électriques pour lesquels la tenue en tension est particulièrement recherchée. L'invention n'est naturellement pas limitée aux seuls exemples précisément décrits En particulier, bien que le PVDF soit un matériau couramment utilisé pour ce type d'application, d'autres matériaux, comme il a été rappelé, qui présentent des effets ferroélectriques, sont également utilisables, par exemple les copolymères P(VDF-Tr Fe), etc Enfin, le dispositif électrique de dépolarisation du matériau est susceptible de nombreuses variantes d'exécution à la portée de l'homme de métier. REVENDICATIONS 1 Procédé de dépolarisation d'un matériau ferroélectrique ( 100) par voie électrique, ledit matériau ayant été polarisé selon un axe déterminé pendant une phase préalable dans au moins une de ses régions; caractérisé en ce qu'il comprend au moins les étapes suivantes: application audit matériau ( 100) d'un champ électrique alternatif basse fréquence d'amplitude maximale supérieure au champ coercitif de polarisation (Ec) dudit matériau ( 100) parallèlement à l'axe déterminé; et décroissance par pas de ladite amplitude jusqu'à une valeur minimale déterminée de l'amplitude du champ électrique appliqué de manière à obtenir une valeur préétablie de la polarisation rémanente dudit matériau ( 100). 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que ladite valeur minimale déterminée de l'amplitude du champ électrique est égale à zéro de manière à dépolariser totalement ledit matériau ( 100). 3 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce que seules des zones déterminées ( 103) de chaque région polarisée dudit matériau ( 100) sont soumises au champ électrique alternatif basse fréquence de manière à les dépolariser totalement ou partiellement et à laisser subsister, au moins une zone polarisée ( 102) de dimension et de forme préétablies. 4 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'amplitude maximale du champ électrique alternatif est choisie sensiblement égale à 1,3 fois le champ coercitif (Ec). Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que ledit matériau ( 100) est disposé entre au moins une paire d'électrodes ( 10, 11) et en ce que ledit champ électrique est créé en appliquant une tension alternative (US) basse fréquence entre lesdites électrodes ( 10, 11); l'amplitude de cette tension (US) décroissant par pas de manière à obtenir une décroissance corrélative dudit champ électrique. 6 Procédé selon la revendication 5, caractérisé en ce que l'une ( 10) des électrodes de chaque paire d'électrodes est munie d'au moins un orifice ( 101), de forme et de dimension déterminées, de manière à laisser subsister une zone polarisée ( 102) en regard de cet orifice, sur ledit matériau ( 100), les autres zones ( 103) couvertes par l'électrode ( 10) étant dépolarisées totalement ou partiellement. 7 Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce que l'une des électrodes ( 10) de chaque paire d'électrodes comporte plusieurs orifices ( 102) répartis selon une configuration préétablie. 8 Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce que le matériau ferroélectrique ( 100) est choisi parmi les types suivants: cristaux, polycristaux, polymères ou copolymères. 9 Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce que le matériau ferroélectrique ( 100) est du polyfluorure de vinylidène ou du copolymère VF 2/VF 10 Procédé selon la revendication 9, caractérisé en ce que ladite basse fréquence est choisie dans la gamme 0, 0001 Hz et 1 Hz et en ce que ledit pas de tension est choisi dans la gamme 0,5 V à 1,5 V par micromètre d'épaisseur dudit matériau ( 100). 11 Application du procédé à l'obtention d'un matériau ferroélectrique ( 100) à rigidité électrique renforcée, caractérisée en ce que ladite obtention comprend les étapes suivantes: polarisation du matériau suivie d'une dépolarisation totale du matériau par le procédé de dépolarisation selon la revendication 1.