Brevet FR2710045A1 — publié le 19950324

La présente invention se rapporte à un procédé pour l'enrichissement et la purification d'une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène. Plus particulièrement, l'invention se rapporte à un perfectionnement au procédé pour l'enrichissement et la purification d'une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène o une solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène obtenue, par exemple, par la méthode à l'anthraquinone, est soumise à une évaporation dans un évaporateur, en vapeur et un liquide l'accompagnant, la vapeur est séparée du liquide l'accompagnant dans un séparateur gaz-liquide et la vapeur libérée du liquide l'accompagnant est introduite dans une colonne de distillation fractionnée pour y être enrichie en une solution aqueuse enrichie en peroxyde d'hydrogène de grande pureté, appropriée à une utilisation dans l'industrie électronique ou en tant que solution de base d'une solution de peroxyde d'hydrogène de super grande pureté requise dans la fabrication de dispositifs semiconducteurs ainsi que pour un réactif dans une grande variété de réactions chimiques. Comme on le sait, le peroxyde d'hydrogène est actuellement produit par la méthode appelée à l'anthraquinone impliquant la réaction de l'auto-oxydation de l'anthraquinone. Dans la méthode à l'anthraquinone, on hydrogène une 2-alkyl anthraquinone dans un solvant organique insoluble dans l'eau en présence d'un catalyseur d'hydrogénation pour donner un composé correspondant d'anthrahydroquinone qui, après l'avoir libéré du catalyseur par filtration, est oxydé avec de l'oxygène ou de l'air pour régénérer le composé d'anthraquinone de départ avec formation concurrente de peroxyde d'hydrogène qui est extrait avec de l'eau pour donner une solution aqueuse d'hydrogène. La solution aqueuse ainsi obtenue de peroxyde d'hydrogène contient des quantités considérables de matières organiques en tant qu'impuretés comprenant les composés d'anthraquinone et des solvants organiques ainsi que leurs produits de dégradation, il est donc de pratique usuelle que les impuretés organiques dans la solution aqueuse de peroxyde 2 2710045 d'hydrogène soient éliminées par extraction avec un solvant organique immiscible dans l'eau pour donner une solution aqueuse primairement purifiée de peroxyde d'hydrogène que l'on appellera ci-après solution brute de peroxyde d'hydrogène, contenant des quantités diminuées d'impuretés organiques. La teneur en peroxyde d'hydrogène dans une solution brute de peroxyde d'hydrogène est usuellement comprise entre 15 et 40 % en poids donc la solution dans la plupart des cas, doit être enrichie relativement à la teneur en peroxyde d'hydrogène, même en mettant de côté le problème relatif à la teneur en impuretés, car la solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène industriellement requise doit avoir une teneur en peroxyde d'hydrogène comprise entre 30 et 70 % en poids. Divers procédés ont été proposés en tant que méthode pour l'enrichissement et la purification d'une solution de peroxyde d'hydrogène brute dans le brevet U.S. 3 073 755, le brevet britannique 1 326 282, la publication de brevet au Japon 37-8256, la publication de brevet au Japon 45-34926 et ailleurs. Chacun de ces procédés de l'art antérieur emploie, en principe, un système dans lequel la solution de peroxyde d'hydrogène brute est soumise à évaporation dans un évaporateur en vapeur avec un liquide l'accompagnant sous la forme d'un brouillard qui est séparé et éliminé de la vapeur dans un séparateur gaz-liquide et la vapeur libérée du brouillard de liquide est introduite dans une colonne de distillation par fractionnement o une distillation par fractionnement est accomplie pour donner une solution aqueuse enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène. La solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène obtenue par le procédé de l'art antérieur ci-dessus décrit peut être utilisée dans la plupart des applications, non seulement en tant que réactif pour diverses réactions chimiques mais également en tant qu'agent de lixiviation, agent de polissage chimique et analogues. En tendance générale ces dernières années, la demande de solutions aqueuses de peroxyde d'hydrogène augmente d'année en année dans le domaine de 3 2710045 l'industrie électronique comprenant la fabrication de dispositifs semiconducteurs et de planches de circuit imprimé. Lorsque il faut utiliser une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène dans ces applications dans l'industrie électronique, il est essentiel que la solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène ait une pureté extrêmement élevée relativement aux impuretés organiques et inorganiques et la solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène préparée par le procédé conventionnel ci-dessus décrit pour l'enrichissement et la purification d'une solution de peroxyde d'hydrogène brute n'est pas toujours satisfaisante de ce point de vue. En effet, les procédés conventionnels ci-dessus décrits d'enrichissement et de purification de solutions aqueuses de peroxyde d'hydrogène posent plusieurs problèmes lorsque l'on souhaite une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène de haute qualité appropriée à une utilisation dans l'industrie électronique. La solution de peroxyde d'hydrogène brute contient usuellement, outre les impuretés organiques à une concentration très faible mais non négligeable, des impuretés inorganiques provenant des surfaces des appareils, des tuyauteries et analogues. De plus, il arrive quelquefois que la solution de peroxyde d'hydrogène brute contienne des stabilisants ajoutés au mélange réactionnel dans le procédé de fabrication avec pour objectif d'empêcher la décomposition du peroxyde d'hydrogène. Bien que ces impuretés organiques et inorganiques ne soient pas vaporisables, la vapeur provenant du séparateur gaz-liquide et introduite dans la colonne de distillation par fractionnement contient quelquefois ces impuretés sous la forme d'un brouillard de liquide accompagnant la vapeur du fait d'une séparation gaz-liquide incomplète dans le séparateur gaz-liquide, donc la solution aqueuse enrichie et purifiée de peroxyde d'hydrogène obtenue de la colonne de distillation par fractionnement est nécessairement contaminée de ces impuretés. Il est inutile de dire que diverses propositions et tentatives ont été effectuées jusqu'à maintenant afin d'améliorer l'efficacité du procédé de séparation gaz-liquide en utilisant des 4 2710045 séparateurs gaz-liquide fonctionnant sur divers principes comprenant ce que l'on appelle des dispositifs anti-buée et analogues. Malgré les propositions et tentatives effectuées jusqu'à maintenant, il est extrêmement difficile d'obtenir une élimination parfaite du liquide accompagnant sous la forme de particules extrêmement fines de brouillard, de la vapeur produite à partir de la solution de peroxyde d'hydrogène brute dans un évaporateur parce que l'aire superficielle de contact pour la vapeur dans le séparateur gaz-liquide ne peut être suffisamment importante si l'on considère l'instabilité du peroxyde d'hydrogène lorsqu'il contacte la surface de contact du séparateur gaz-liquide. Malgré les problèmes ci-dessus mentionnés relativement à l'efficacité de la séparation gaz-liquide, aucun procédé satisfaisant de séparation gaz-liquide ni types ni structures de séparateurs gaz-liquide ni conditions de fonctionnement n'ont encore été développés afin de répondre à la condition de la pureté d'une solution aqueuse enrichie et purifiée de peroxyde d'hydrogène, appropriée à une utilisation dans l'industrie électronique. En conséquence, la présente invention a pour objectif de procurer un moyen pour la préparation d'une solution aqueuse enrichie de peroxyde d'hydrogène de grande pureté appropriée à une utilisation même dans l'industrie électronique à partir d'une solution de peroxyde d'hydrogène brute en tenant compte des problèmes ci-dessus décrits du fait de la séparation gaz-liquide incomplète dans un séparateur gaz-liquide dans lequel la vapeur ainsi que le liquide l'accompagnant sous la forme d'un brouillard, qui est produite par l'évaporation de la solution de peroxyde d'hydrogène brute dans un évaporateur, est introduite pour provoquer une contamination de la solution aqueuse enrichie et purifiée de peroxyde d'hydrogène obtenue au fond d'une colonne de distillation par fractionnement. Ainsi, la présente invention procure, dans un procédé de préparation d'une solution aqueuse enrichie et purifiée de 2710045 peroxyde d'hydrogène à partir d'une solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène comprenant lest étapes d'évaporer la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène dans un évaporateur en vapeur avec liquide l'accompagnant sous la forme d'un brouillard, de séparer la vapeur du brouillard de liquide dans un séparateur gaz-liquide et de soumettre la vapeur libérée du brouillard de liquide à une distillation par fractionnement dans une colonne de distillation par fractionnement, l'amélioration consistant à soumettre la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène, avant introduction dans l'évaporateur, à un traitement de contact avec une résine adsorbante synthétique poreuse pour éliminer les impuretés organiques de la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène à un point tel que la solution, après ce traitement de contact avec la résine adsorbante, contienne des impuretés organiques en une quantité ne dépassant pas 50 ppm en poids en calculant sous la forme de carbone organique. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, caractéristiques, détails et avantages de celle-ci apparaîtront plus clairement dans la description explicative qui va suivre faite en référence aux dessins schématiques annexes donnés uniquement à titre d'exemple illustrant un mode de réalisation de l'invention et dans lesquels: - la figure 1 est un schéma de principe d'un système conventionnel pour l'enrichissement et la purification d'une solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène; - la figure 2 est un schéma de principe d'un système pour l'enrichissement et la purification d'une solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène selon la présente invention; - la figure 3 est une illustration en perspective schématique d'un cyclone; et - la figure 4 est une vue en coupe transversale axiale schématique d'un séparateur de brouillard. Comme on l'a décrit ci-dessus, la caractéristique principale du procédé selon la présente invention concerne le pré-traitement spécifique de la solution aqueuse brute de 6 2710045 peroxyde d'hydrogène avant introduction dans un évaporateur, le reste du procédé étant sensiblement le même que dans le procédé conventionnel utilisant le système du schéma de principe illustré à la figure 1. Dans ce schéma conventionnel, la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène que l'on obtient par la méthode à l'anthraquinone est introduite par la tuyauterie 1 dans l'évaporateur 2 et y est soumise à évaporation en vapeur qui, avec le liquide l'accompagnant sous la forme d'un brouillard, est introduite, par la tuyauterie 3, dans le séparateur gaz-liquide 4. La vapeur consistant en peroxyde d'hydrogène, vapeur d'eau et impuretés volatiles est libérée, dans le séparateur gaz- liquide 4, de la plus grande partie du liquide l'accompagnant sous la forme d'un brouillard consistant en une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène à l'équilibre avec la phase de vapeur et contenant les impuretés non volatiles. Tandis que le liquide d'accompagnement séparé de la vapeur dans le séparateur gaz-liquide 4 est recyclé vers l'évaporateur 2 bien que partiellement évacué à travers la tuyauterie 12 afin de prévenir l'accumulation des impuretés non volatiles, la vapeur sortant du séparateur gaz-liquide 4 est introduite par la tuyauterie 5 dans la colonne de distillation avec fractionnement 6 à sa hauteur moyenne. Dans la colonne de distillation 6, la concentration en peroxyde d'hydrogène dans la vapeur montant dans la colonne 6 diminue graduellement par contact avec l'eau au reflux qui est introduite au sommet de la colonne par la tuyauterie 9 et la vapeur sortant du sommet de la colonne de distillation 6 et ne contenant presque pas de peroxyde d'hydrogène est introduite, par la tuyauterie 7 dans le condenseur 8 o la vapeur d'eau est condensée en eau de condensation qui est partiellement retournée à la tuyauterie 9 en tant qu'eau de reflux et est partiellement évacuée à travers la tuyauterie 10. D'autre part, la concentration en peroxyde d'hydrogène dans le liquide descendant dans la colonne de distillation 6 augmente graduellement et est retirée du bas de la colonne 6 par la tuyauterie 11 sous la forme d'une solution aqueuse enrichie 7 2710045 et purifiée de peroxyde d'hydrogène. L'évaporation de la solution brute, la séparation gaz-liquide et la distillation par fractionnement sont effectués usuellement sous pression réduite. Comme il est usuel que la solution aqueuse enrichie et purifiée de peroxyde d'hydrogène obtenue dans le procédé ci- dessus décrit ne soit pas tout-à-fait satisfaisante en ce qui concerne la pureté, probablement du fait de l'efficacité incomplète de la séparation gaz-liquide dans le séparateur gaz-liquide 4, les inventeurs ont entrepris des recherches intensives pour résoudre le problème et sont arrivés à une découverte inattendue selon laquelle l'efficacité de la séparation gaz-liquide dépend fortement de la teneur en impuretés ou, en particulier, en impuretés organiques contenues dans la solution de peroxyde d'hydrogène brute en tant qu'alimentation de l'évaporateur 2 donc l'efficacité de la séparation gaz-liquide peut être fortement différente même dans des séparateurs gaz- liquide du même type lorsque la teneur en impuretés organiques diffère dans les solutions de peroxyde d'hydrogène brutes introduites dans l'évaporateur. En d'autres termes, on ne peut obtenir une bonne efficacité de la séparation gaz-liquide dans le séparateur gaz-liquide que lorsque la teneur en impuretés organiques dans la solution de peroxyde d'hydrogène brute introduite dans l'évaporateur est diminuée à un certain niveau plus faible que, par exemple, 50 ppm en poids en calculant sous la forme de carbone organique. En conséquence, les inventeurs ont continué leurs recherches avec pour objectif de découvrir une méthode permettant l'élimination efficace des impuretés organiques menant à l'établissement de la présente invention selon laquelle une solution de peroxyde d'hydrogène brute, avant introduction dans l'évaporateur, est soumise à un pré- traitement par mise en contact avec une résine adsorbante poreuse. Le procédé selon la présente invention pour l'enrichissement et la purification d'une solution de peroxyde d'hydrogène brute est décrit dans ce qui suit en se 8 2710045 référant à la figure 2 qui illustre le schéma de principe du procédé selon l'invention. La solution de peroxyde d'hydrogène brute est introduite, par la tuyauterie 21 dans la colonne de résine adsorbante 22 qui est remplie de perles d'une résine adsorbante poreuse et y est libérée des impuretés organiques par mise en contact avec la résine. La solution est alors introduite par la tuyauterie 23 dans l'évaporateur 24 o la solution est soumise à évaporation pour donner de la vapeur consistant en peroxyde d'hydrogène, de la vapeur d'eau et des impuretés organiques volatiles avec un brouillard de liquide à l'équilibre avec la phase vapeur et contenant des impuretés non volatiles. La vapeur accompagnée du brouillard de liquide est introduite, par la tuyauterie 25, dans le séparateur gaz-liquide 26 o la vapeur est assez efficacement libérée du brouillard de liquide. La fraction liquide recueillie dans le séparateur gaz-liquide 26 est évacuée par la conduite 41 sous la forme d'une solution aqueuse de peroxyde d'hydrogène et la vapeur libérée de la fraction liquide est introduite, par la tuyauterie 27, dans la colonne de distillation par fractionnement 32, de préférence au fond de la colonne ou à une hauteur proche du fond, o la concentration en peroxyde d'hydrogène dans la vapeur ascendante est diminuée graduellement par mise en contact à contre-courant avec de l'eau au reflux qui est fournie au sommet de la colonne par la conduite 35 et la concentration en peroxyde d'hydrogène dans le liquide descendant augmente graduellement donc on retire une solution aqueuse enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène au fond de la colonne par la conduite 37. La vapeur évacuée au sommet de la colonne de distillation 32 est conduite par la tuyauterie 33 dans le condenseur 34 o elle est condensée en eau de condensation ne contenant sensiblement pas de peroxyde d'hydrogène qui est partiellement rejetée par la conduite 36 et partiellement retournée au sommet de la colonne de distillation 32 en tant qu'eau de reflux. Il est bien entendu possible que l'eau de condensation dans son ensemble soit rejetée et que l'on utilise à la place de l'eau fraîchement 9 2710045 désionisée en tant qu'eau de reflux. La solution enrichie en peroxyde d'hydrogène de haute pureté, retirée du fond de la colonne de distillation 32 par la conduite 37, est stockée dans un réservoir (non représenté sur la figure) pour le transport et l'expédition. La résine adsorbante poreuse remplissant la colonne 22 de résine adsorbante devant être contactée par la solution de peroxyde d'hydrogène brute est typiquement une résine réticulée de copolymère de styrène et divinyl benzène. On dispose de plusieurs qualités d'une telle résine adsorbante, sous la forme de perles, sur le marché sous les dénominations commerciales, par exemple, de Amberlites XAD-l, XAD-2, XAD-4 et XAD-16 (chacune étant un produit de Rohm & Haas Co.), Sepabeads SP207 et SP825 (chacune étant un produit de Mitsubishi Chemical Industry Co.) et analogues. Des résines copolymériques d'un styrène chloré ou bromé et de divinyl benzène sont également appropriées. Il est commode que la solution de peroxyde d'hydrogène brute passe à travers une colonne remplie de la résine adsorbante pour effectuer un contact efficace de la solution et de la résine. La température de la solution de peroxyde d'hydrogène brute dans ce traitement de contact peut être comprise entre 0 et 40 C. Lorsque l'on fait passer la solution à travers une colonne remplie de résine, la vitesse spatiale doit être comprise entre 1 et environ 50 par heure ou, de préférence, entre 5 et par heure. Tandis qu'une solution de peroxyde d'hydrogène brute contient usuellement 100 à 200 ppm en poids d'impuretés organiques non volatiles en calculant sous la forme du carbone organique total (COT), il est possible de diminuer la teneur en COT dans la solution à 50 ppm ou moins et, de préférence, à 40 ppm ou moins lorsque le traitement de mise en contact avec la résine est entrepris de façon adéquate. Le taux d'évaporation de la solution de peroxyde d'hydrogène brute après le traitement d'adsorption ci-dessus décrit dans l'évaporateur est de préférence tel que, en prenant une quantité du peroxyde d'hydrogène pur contenue dans la solution introduite dans l'évaporateur à 100, la 2710045 solution enrichie en peroxyde d'hydrogène, séparée dans le séparateur gaz-liquide et qui en est évacuée, contienne 40 à de peroxyde d'hydrogène net. Le procédé d'évaporation de la solution brute dans l'évaporateur est accompli sous une pression comprise entre 66,5 mbars et 266 mbars ou de préférence entre 80 mbars et 200 mbars et l'évaporateur fonctionne de manière que la température de la vapeur à la sortie de l'évaporateur ou à l'entrée du séparateur gaz- liquide soit comprise entre 40 C et 90 C ou de préférence entre 60 C et 80 C. Le type du séparateur gaz-liquide n'est pas particulièrement limitatif mais des cyclones et ce que l'on appelle des séparateurs de brouillard peuvent être utilisés avec satisfaction. Le cyclone peut être un cyclone ordinaire avec entrée tangentielle ou bien un cyclone du type sirocco, parmi lesquels on préfère le cyclone standard du premier type illustré à la figure 3. Les rapports de dimension du cyclone standard peuvent être sélectionnés de façon non limitative selon les enseignements du Chemical Engineering Handbook ou du Perry's Chemical Engineers' Handbook, sixième édition, pages 20- 84 et figures 20-106. En désignant le diamètre du cyclone par Dc, les plages préférables de dimensions montrées à la figure 3 comprennent: B=l/4. Dc à 1/5. Dc; h=l/2. Dc; 1=1/2. Dc à 2/5. Dc; Hl=Dc à 2. Dc; et H2=2. Dc. Une bonne performance de cyclone peut être assurée lorsque le diamètre Dc du cyclone est choisi de façon que la vitesse du courant de vapeur à l'entrée du cyclone soit comprise entre 10 mètres/seconde et 150 mètres/seconde ou, de préférence, entre mètres/seconde et 100 mètres/seconde dans les conditions ci-dessus décrites de fonctionnement de l'évaporateur relativement à la température et à la pression. Le matériau du cyclone peut être de l'acier inoxydable ou de l'aluminium mais on préfère de l'aluminium ou un alliage à base d'aluminium parce que les surfaces en acier inoxydable posent un problème de promotion possible de la décomposition du peroxyde d'hydrogène venant en contact avec elles. 11 2710045 Un séparateur gaz-liquide du type séparateur de brouillard ci- dessus mentionné est illustré à la figure 4 par une vue en coupe transversale axiale. L'élément de travail d'un séparateur de brouillard a la structure qui est obtenue en empilant un grand nombre de filets les uns au-dessus des autres, dont le rapport spatial i.e. le rapport de l'espace des vides dans la pile des filets, non occupé par les filaments ou fils métalliques formant les filets, divisé par le volume apparent de la pile est de préférence compris entre 95 et 99 % et l'aire superficielle, i.e. l'aire superficielle totale des filaments ou fils métalliques formant les filets par volume unitaire apparent de la pile des filets est de préférence comprise entre 150 et 1000 m2/m3. La pile des filets, a de préférence une épaisseur H3 comprise entre 100 mm et 1000 mm. Une bonne efficacité de la séparation gaz- liquide peut être obtenue lorsque le diamètre Dm du séparateur de brouillard est choisi de façon que la vitesse du courant de vapeur à l'entrée vers le séparateur de brouillard soit comprise entre 1 mètre/seconde et 50 mètres/seconde ou de préférence entre 5 mètres/seconde et 25 mètres/seconde dans les conditions ci-dessus décrites de fonctionnement de l'évaporateur relativement à la température et à la pression. Des filaments d'une résine de fluorocarbone et des fils d'aluminium peuvent être utilisés en tant que matériau des filets formant le séparateur de brouillard. D'autres métaux ne sont pas souhaitables à cause de la contamination possible de la solution de peroxyde d'hydrogène et d'une promotion éventuelle de la décomposition du peroxyde d'hydrogène par contact avec la si grande aire superficielle des filets formant le séparateur de brouillard. La structure et les conditions de fonctionnement de la colonne de distillation par fractionnement peuvent être conventionnelles. L'eau au reflux est introduite au sommet de la colonne de distillation à une allure contrôlée telle que la solution aqueuse enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène, retirée au fond de la colonne de distillation, contienne 40 % à 70 % en poids de peroxyde d'hydrogène. 12 2710045 Bien que l'on ne puisse donner aucune explication convaincante concernant le mécanisme par lequel l'efficacité de la séparation gaz- liquide dans le séparateur gaz-liquide est fortement influencé par la qualité ou en particulier par la teneur en impuretés organiques dans la solution de peroxyde d'hydrogène brute introduite dans l'évaporateur, on pense que cet effet est en corrélation avec le phénomène selon lequel, lorsqu'une solution de peroxyde d'hydrogène brute est soumise à agitation vigoureuse pour provoquer de la mousse, une solution contenant une plus grande quantité d'impuretés organiques provoque la formation d'une mousse plus intense. En d'autres termes, il serait possible que la dispersion du brouillard liquide une fois déposé sur les parois des cyclones ou sur les filets des séparateurs de brouillard soit affectée par la viscosité du liquide ou son comportement à la formation d'une mousse. Comme on peut le comprendre de la description donnée ci-dessus, la présente invention offre une solution au problème selon lequel la qualité d'une solution aqueuse enrichie et purifiée de peroxyde d'hydrogène obtenue par un système conventionnel tel qu'illustré à l'organigramme de la figure 1 ne peut être suffisamment élevée, probablement à cause de la faible efficacité de la séparation gaz-liquide dans un séparateur gaz-liquide permettant à une quantité considérable du brouillard de liquide d'accompagner la vapeur introduite dans la colonne de distillation par fractionnement avec pour résultat une augmentation des teneurs en impuretés non volatiles organiques et inorganiques dans la solution aqueuse enrichie et purifiée de peroxyde d'hydrogène retirée de la colonne de distillation. Des exemples et exemples de comparaison sont donnés dans ce qui suit pour illustrer en plus de détail l'amélioration selon la présente invention, bien que le cadre de la présente invention ne soit jamais limité par ces exemples. 13 2710045 Exemple 1. Un système pour l'enrichissement et la purification d'une solution de peroxyde d'hydrogène brute a été construit selon le schéma de principe illustré à la figure 2, comprenant une colonne de résine adsorbante ayant un diamètre interne de 600 mm et une hauteur de 1000 mm et remplie de 250 litres d'une résine adsorbante (Sepabeads SP207, ci- dessus), un cyclone standard en tant que séparateur, gaz- liquide du type décrit dans Perry's Chemical Engineers Handbook, dont les dimensions Dc, B, h, 1, H1 et H2 montrées à la figure 3 étaient respectivement de 1240 mm, 310 mm, 620 mm, 620 mm, 2480 mm et 2480 mm, et une colonne de distillation par fractionnement faite en aluminium ayant un diamètre de la colonne de 1700 mm et remplie de garnitures en porcelaine jusqu'à une hauteur de 6000 mm. Une solution de peroxyde d'hydrogène brute contenant 32 % en poids de peroxyde d'hydrogène, 38 ppm en poids de résidu d'évaporation, 90 ppm en poids de carbone organique total (COT) et 3500 ppb de sodium introduits principalement par l'addition de 15 ppm en poids de pyrophosphate de sodium décahydraté en même temps que 20 ppm en poids d'acide amino tri(méthylène phosphonique) en tant que stabilisants du peroxyde d'hydrogène, a été continuellement introduite dans la colonne de résine adsorbante à une allure constante de 5100 litres/heure. Ce taux d'alimentation correspond à une vitesse spatiale de 20,4 par heure (en se basant sur le volume des perles de résine) dans la colonne de résine adsorbante. Lorsque l'on a établi un état de fonctionnement stationnaire avec une température de 68 à 70 C et une pression de 120 à 133 mbars à la sortie de l'évaporateur, un taux d'alimentation de l'eau au reflux d'environ 1500 litres/heure et une vitesse d'écoulement de gaz d'environ 60 mètres/seconde à l'entrée du cyclone en calculant à partir de l'équilibre des matières, on a obtenu une solution enrichie en peroxyde d'hydrogène contenant 64 % en poids de peroxyde d'hydrogène, au fond du cyclone, à raison de 1600 kg/heure et 14 2710045 une solution enrichie et purifiée contenant 54 % en poids de peroxyde d'hydrogène a été obtenue au fond de la colonne de distillation à raison de 1400 kg/heure. La solution enrichie et purifiée de peroxyde d'hydrogène ainsi obtenue contenait 12 ppb en poids de sodium en tant qu'impureté inorganique en déterminant par spectrophotométrie par absorption atomique et 4 ppm en poids du résidu d'évaporation, en déterminant par le processus spécifié dans la norme japonaise JIS K 1463. La solution sortant de la colonne de résine adsorbante contenait 28 ppm en poids de COT. Exemple 2. Le processus était sensiblement le même qu'à l'Exemple 1, à l'exception que le séparateur gaz-liquide était un, cyclone standard décrit dans Perry's Chemical Engineers Handbook ayant un diamètre interne Dc de 960 mm. La vitesse d'écoulement du gaz à l'entrée du cyclone était d'environ 100 mètres/seconde en calculant à partir de l'équilibre des matières. La solution enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène, obtenue au fond de la colonne de distillation par fractionnement, contenait 15 ppb en poids de sodium et 5 ppm en poids de résidu d'évaporation. Exemple de Comparaison 1. Le processus était sensiblement le même qu'à l'Exemple 1, à l'exception que la solution de peroxyde d'hydrogène brute a été directement introduite dans l'évaporateur sans passer par la colonne de résine adsorbante. La solution enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène, obtenue au fond de la colonne de distillation par fractionnement contenait 75 ppb en poids de sodium et 11 ppm en poids de résidu d'évaporation. Exemple de Comparaison 2. Le processus était sensiblement le même qu'à l'Exemple 2, à l'exception que la solution de peroxyde d'hydrogène brute a été directement introduite dans l'évaporateur sans passer par la colonne de résine adsorbante. 2710045 La solution enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène obtenue au fond de la colonne de distillation par fractionnement contenait 110 ppb en poids de sodium et 15 ppm en poids de résidu d'évaporation. Exemple 3. Le processus était à peu près le même qu'à l'Exemple 1, à l'exception que la colonne de résine adsorbante a été remplie de 250 litres d'une autre résine adsorbante (Amberlite XAD-2, ci- dessus) et que le cyclone, en tant que séparateur gaz-liquide, a été remplacé par un séparateur de brouillard dont l'élément séparant le brouillard était formé d'une pile multicouche de 250 mm de haut de filets faits de filaments d'une résine de fluorocarbone (Aflon, produit de Asahi Glass Co.) ayant un rapport spatial de 98 % et une aire superficielle de 380 m2/m3. Lorsque l'on a établi un état stationnaire avec une température de 68 à 78 C et une pression de 120 à 133 mbars à la sortie de l'évaporateur et un taux d'alimentation de l'eau au reflux d'environ 1500 litres/heure, on a retiré une solution enrichie en peroxyde d'hydrogène contenant 64 % en poids de peroxyde d'hydrogène au fond du séparateur de brouillard à raison de 1600 kg/heure et une solution enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène contenant 54 % en poids de peroxyde d'hydrogène a été obtenue au fond de la colonne de distillation par fractionnement à raison de 1400 kg/heure. La vitesse d'écoulement du gaz à l'entrée du séparateur de brouillard était d'environ 7 mètres/seconde en calculant à partir de l'équilibre des matières. La solution sortant de la colonne de résine adsorbante contenait 35 ppm en poids de COT. La solution enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène obtenue au fond de la colonne de distillation par fractionnement contenait moins de 10 ppb en poids de sodium et 3 ppm en poids du résidu d'évaporation. Exemple de Comparaison 3. Le processus était sensiblement le même qu'à l'Exemple 3, à l'exception que la solution de peroxyde d'hydrogène 16 2710045 brute a été directement introduite dans l'évaporateur sans passer par la colonne de résine adsorbante. La solution enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène obtenue au fond de la colonne de distillation par fractionnement contenait 95 ppb en poids de sodium et 14 ppm en poids du résidu d'évaporation. Exemple de Comparaison 4. Le processus était sensiblement le même qu'à l'Exemple 3, à l'exception que la solution de peroxyde d'hydrogène brute a été directement introduite dans l'évaporateur sans passer par la colonne de résine adsorbante et que la hauteur de la pile de filets dans le séparateur de brouillard a été accrue à 500 mm. La solution enrichie et purifiée en peroxyde d'hydrogène obtenue au fond de la colonne de distillation par fractionnement contenait 88 ppb en poids de sodium et 12 ppm en poids de résidu d'évaporation, ne donnant que peut d'amélioration par rapport au résultat de l'Exemple de Comparaison 3, même en augmentant la hauteur de la pile de filets dans le séparateur de brouillard. 17 2710045 REVENDICATIONS 1. Procédé pour la préparation d'une solution aqueuse enrichie et purifiée au peroxyde d'hydrogène à partir d'une solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène, du type comprenant les étapes de soumettre la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène à évaporation dans un évaporateur, en vapeur avec liquide l'accompagnant sous la forme d'un brouillard, de séparer la vapeur du brouillard de liquide dans un séparateur gaz-liquide et de soumettre la vapeur à une distillation par fractionnement dans une colonne de distillation par fractionnement, caractérisé en ce qu'on soumet la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène, avant introduction dans l'évaporateur à un traitement de contact avec une résine adsorbante synthétique poreuse pour éliminer les impuretés organiques de la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène. 2. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le traitement de contact de la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène est accompli par passage de la solution à travers une colonne remplie de la résine adsorbante synthétique poreuse. 3. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la résine adsorbante synthétique poreuse est une résine réticulée d'un copolymère de styrène et divinyl benzène. 4. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que la résine adsorbante synthétique poreuse est une résine réticulée d'un copolymère de styrène halogéné et divinyl benzène. 5. Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'on fait passer la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène à travers la colonne remplie de la résine adsorbante synthétique poreuse à une allure telle que la vitesse spatiale y soit comprise entre 1 et 50 par heure. 6. Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce que le traitement de contact de la solution aqueuse brute de 18 2710045 peroxyde d'hydrogène avec la résine adsorbante synthétique poreuse est accompli au point que la solution aqueuse brute de peroxyde d'hydrogène, après traitement de contact, contienne des impuretés organiques en une quantité ne5 dépassant pas 50 ppm en poids, en calculant sous la forme de carbone organique.