Brevet FR2702266A1 — publié le 19940909

La présente invention concerne un procédé de fourniture d'au moins un gaz actif pur à au moins un poste d'utilisation dans un premier bâtiment d'un site utilisateur, en particulier pour la fourniture de gaz spéciaux dits de spécialité ("speciality gases") dans les industries de fabrication de composants électroniques, d'écrans à cristaux liquides "LCD" ou de cellules photo-électriques. Les gaz actifs spéciaux, ou gaz spéciaux pour l'électronique (ESG), sont des gaz en général dangereux, du fait de leur toxicité et/ou de leur inflammabilité, et doivent, pour les applications envisagées, présenter une haute pureté, c'est-à-dire être exempts d'impuretés polluantes ou contaminantes Il en est de même pour les gaz non qualifiés d'actifs, typiquement neutres, utilisés comme gaz vecteurs de quantités dosées de gaz actif pur ou comme gaz de purge des postes d'utilisation ou des équipements associés Les gaz actifs couvrent une large palette, comprenant notamment les silanes, les diboranes, l'arsine, la phosphène, l'ammoniac, des agents corrosifs, notamment des acides, des fluorures et des chlorures, les gaz vecteurs ou de purge comprenant essentiellement l'azote, l'hydrogène et l'hélium. Actuellement, les gaz spéciaux sont conditionnés, purs ou en mélange avec un gaz vecteur pur, dans des bouteilles spécialement traitées de tailles diverses et sous des pressions élevées également diverses Ces bouteilles sont actuellement aménagées, dans le bâtiment du poste d'utilisation, dans des armoires de gaz spéciaux équipées de systèmes de sécurité et de systèmes de purge pour éviter la contamination des gaz spéciaux à haute pureté au moment du changement de bouteilles Ces systèmes actuels présentent des très nombreux inconvénients Ainsi, la taille limitée des bouteilles impose des changements fréquents dans les armoires de gaz spéciaux qui, outre les problèmes de substitution et de manipulation malaisées des bouteilles, imposent à l'utilisateur de disposer, aux alentours du bâtiment, de zones de stockage de bouteilles pleines de réserve et de bouteilles vides en attente de leur retour chez le fournisseur, qui, comme les armoires de gaz spéciaux, occupent un espace non négligeable sur le site de l'utilisateur, d'autant que ce dernier dispose en général de toute une gamme de bouteilles contenant divers gaz spéciaux purs ou en mélange D'autre part, ces bouteilles contenant des gaz à haute pression (pouvant atteindre 150 x 105 Pa), les armoires de gaz spéciaux doivent, en sus de leur fonction de distribution, comporter des dispositifs de dépressurisation de ces gaz pour les ramener à des pressions basses exploitables dans les postes d'utilisation, généralement de l'ordre de 4 ou 5 x 105 Pa ou moins Enfin, le changement fréquent des bouteilles impose de vérifier régulièrement la 1 o qualité du gaz (pureté et/ou taux de mélange) qui peut varier en fonction des lots de bouteilles, de l'état intérieur de ces dernières et de l'état de leur robinet. La présente invention a pour objet de proposer un procédé simplifié de fourniture de gaz éliminant la plupart des inconvénients sus- mentionnés et octroyant à l'utilisateur une souplesse et une sécurité d'emploi accrues. Pour ce faire, selon une caractéristique de l'invention, le procédé comprend les étapes d'aménager, sur le site utilisateur, un deuxième bâtiment de sécurité à distance du premier bâtiment, d'aménager au moins une source du gaz actif dans ce deuxième bâtiment et de transférer, par au moins une canalisation de sûreté à haute propreté, le gaz, à une pression basse, typiquement inférieure à x 105 Pa, au poste d'utilisation. Selon d'autres caractéristiques de l'invention le gaz est purifié dans le deuxième bâtiment avant son transfert à la canalisation; le gaz pur est élaboré, éventuellement purifié in situ dans le deuxième bâtiment, sa pureté et/ou son taux de mélange avec un gaz vecteur étant également analysé dans le deuxième bâtiment. Comme on le comprendra, le procédé selon l'invention permet de supprimer les problèmes sus-mentionnés dûs au changement de bouteilles, notamment les problèmes de manipulation, d'interversion des bouteilles et les risques de contamination au moment du changement de ces bouteilles dans les armoires de gaz spéciaux, de réduire les coûts d'exploitation pour l'utilisateur et d'éviter les risques d'accidents inhérents aux bouteilles de gaz sous haute pression. La présente invention a également pour objet une installation de fourniture de gaz pour la mise en oeuvre d'un tel procédé, comprenant un deuxième bâtiment de sécurité disposé à distance du premier bâtiment renfermant le poste d'utilisation et renfermant au moins une source dudit gaz actif, et au moins une canalisation de sûreté à haute propreté reliant la source au poste d'utilisation dans le premier bâtiment. D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront de la description suivante, donnée à titre illustratif mais nullement limitatif, faite en relation avec le dessin annexé, sur lequel: la figure unique représente schématiquement une implantation sur un site utilisateur d'une installation de fourniture de gaz spéciaux selon l'invention. Sur la figure unique, on a représenté un premier bâtiment A renfermant au moins un local LI, L 2, présentant une classe de propreté élevée et dans lequel est disposé au moins un poste d'utilisation Pi, par exemple une machine de dépôt de couche mince sur une tranche de matériau semi-conducteur. Selon l'invention, à distance du bâtiment A, est érigé un bâtiment de sécurité B, pourvu des installations de sécurité requises (locaux clos anti-déflagrants avec conditionnement et contrôle d'atmosphère et détection de fuites) comportant une série de pièces isolées les unes des autres R Dans l'exemple représenté, le bâtiment B, à proximité duquel est érigée une unité cryogénique 1 de production d'azote de haute pureté, du type dit HPN ou à réservoir d'azote liquide et évaporateur, classiquement utilisé pour alimenter en gaz neutre les postes d'utilisation Pi, comporte une première section R 1 avec, dans une pièce Ril, un appareil 2 de génération in situ de phosphine (qui est un dopant pour le silicium) produisant en sortie de la phosphène impure, à une moyenne pression, qui peut être analysée par un analyseur 3 et qui est adressée à un dispositif de purification 4 La phosphène purifiée, analysée par un analyseur 5, est adressée à un dispositif de mélange in situ 6 recevant également un flux d'azote pur à moyenne pression en provenance de l'unité 1 et fournissant en sortie un mélange contrôlé prédéterminé d'azote et de faibles quantités de phosphine analysé en continu par un analyseur 5 '. Dans une autre section R 2 du bâtiment B, une première pièce R 21 renferme des bouteilles ou, avantageusement, deux cadres ("bundles") 7 contenant chacun plusieurs bouteilles de monosilane sous pression, un des cadres fournissant, après détente à une pression de l'ordre de 10 x 105 Pa, le monosilane, qui peut être analysé par un analyseur 8, à un dispositif de mélange in situ 9 recevant également un flux d'azote pur en provenance de l'unité 1 pour fournir en sortie un mélange contrôlé prédéterminé d'azote et de faibles quantités de silane analysé en continu par un analyseur 8 ' Dans une première pièce R 31 d'une autre section R 3 est disposé un réservoir 10 ou appareil de génération in situ d'un acide, typiquement de l'acide chlorhydrique, de l'acide bromhydrique ou de l'acide fluorhydrique, qui est adressé à moyenne pression à un dispositif de purification 11 disposé dans une pièce adjacente R 32 et qui fournit, typiquement en deux sorties, un acide gazeux à haute pureté analysé par un analyseur 12. Comme on le voit sur la figure, les différentes sorties de gaz du bâtiment de sécurité B sont reliées à un ou plusieurs des postes d'utilisation Pl dans le bâtiment A par des canalisations respectives C comportant chacune une tubulure centrale de transfert de haute qualité, à surface intérieure traitée, par exemple électropolie, disposée dans une gaine de sécurité G dans laquelle circule un gaz neutre, par exemple de l'azote, analysé en continu pour détecter d'éventuelles fuites du gaz actif à pression basse dans la tubulure centrale. Comme on le voit également sur la figure unique, par sécurité, en cas de disfonctionnement momentané ou de panne d'un dispositif de mélange, tel que 6 et 9, on adjoint, à la section correspondante, au moins une bouteille 13, 14 contenant un mélange préconditionné correspondant à celui normalement disponible en sortie du dispositif de mélange 6, 9 et connectable à la canalisation correspondante C. Quoique la présente invention ait été décrite en relation avec des exemples particuliers, elle ne s'en trouve pas limitée pour autant mais est au contraire susceptible de modifications et de variantes qui apparaîtront à l'homme de l'art. REVENDICATIONS 1 Procédé de fourniture d'au moins un gaz actif pur à au moins un poste d'utilisation (P) dans un premier bâtiment (A) d'un site utilisateur, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes d'aménager, sur le site utilisateur, un deuxième bâtiment de sécurité (B) à distance du premier bâtiment (A), d'aménager au moins une source ( 2; 7; 10) dudit gaz dans le deuxième bâtiment (B), et de transférer, par au moins une canalisation de sureté à haute propreté (C), le gaz, à une pression basse, au poste d'utilisation (P). 2 Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte l'étape de purifier ( 4; 11) le gaz dans le deuxième bâtiment (B) avant transfert à la canalisation (C). 3 Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'il comporte l'étape d'élaborer in situ ( 2, 4; 10, 11) le gaz pur dans le deuxième bâtiment (B). 4 Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes d'aménager, au voisinage du deuxième bâtiment (B), au moins une source de gaz vecteur ( 1) et de mélanger de façon contrôlée ( 6; 9), dans le deuxième bâtiment (B), le gaz actif pur au gaz vecteur avant transfert du mélange à la canalisation (C). Procédé selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce qu'il comporte l'étape d'analyser ( 3; 5, 5 '; 8, 8 '; 12), dans le deuxième bâtiment (B), la pureté et/ou le taux de mélange du gaz actif et/ou d'un mélange de gaz-contenant le gaz actif, avant transfert à la canalisation (C). 6 Installation de fourniture d'au moins un gaz actif pur à au moins un poste d'utilisation (Pi) dans un premier bâtiment (A) d'un site utilisateur, caractérisée en ce qu'elle comprend un deuxième bâtiment de sécurité (B) disposé à distance du premier bâtiment (A) et renfermant au moins une source ( 2; 7; 10) dudit gaz actif, et au moins une canalisation de sûreté à haute propreté (C) reliant la source de gaz au poste d'utilisation (Pi). 7 Installation selon la revendication 6, caractérisée en ce que le deuxième bâtiment (B) renferme un dispositif ( 4; 11) de purification du gaz actif interposé entre la source ( 2; 10) et la canalisation (C). 8 Installation selon la revendication 7, caractérisée en ce que la source de gaz est une unité ( 2; 10) de génération in situ dudit gaz. 9 Installation selon la revendication 7 ou la revendication 8, caractérisée en ce qu'elle comporte en outre au moins une source de gaz vecteur ( 1) et en ce que le deuxième bâtiment (B) renferme, en amont de la canalisation (C), un dispositif ( 6; 9) de mélange de gaz relié à la source de gaz actif ( 2; 7) et à la source de gaz vecteur ( 1) pour fournir à la canalisation (C) un mélange contrôlé desdits gaz. Installation selon la revendication 9, caractérisée en ce qu'elle comporte, dans le deuxième bâtiment (B), au moins un réservoir additionnel ( 13; 14) dudit mélange de gaz connectable à la canalisation (C).