Brevet FR2703187A1 — publié le 19940930

La présente invention se rapporte à un appareil pour la production de pastilles de semi-conducteur et, plus particulièrement, à un appareil pour la séparation d'une pastille de la plaque de support qui adhère à la pastille par un adhésif s'amollissant à la chaleur afin d'augmenter la résistance de la pastille pendant le traitement de sa surface arrière. La figure 19 est une vue en coupe illustrant un appareil conventionnel pour la séparation d'une pastille et d'un substrat de support La figure 20 est une vue en coupe d'une pastille adhérant à une plaque de support. Sur la figure 20, une pastille 1 adhère à une plaque de support 2 telle qu'une plaque de verre, au moyen d'un adhésif s'amollissant à la chaleur 209, tel qu'une cire Ci-après, la pastille 1 avec la plaque de verre 2 sera appelée ouvrage 20. Le chiffre de référence 3 désigne du métal qui dépasse, qui est formé au pourtour de la limite entre la pastille 1 et la plaque de verre 2 du fait du dépôt en phase vapeur ou du placage. Sur la figure 19, l'ouvrage 20 est interposé entre une plaque inférieure 201 et une plaque supérieure 204 La plaque inférieure 201 comprend une surface supérieure 201 a en contact avec la pastille 1 de l'ouvrage 20 et un certain nombre d'ouvertures 201 b sur cette surface supérieure 201 a. Ces ouvertures 201 b sont connectées à un tube 202, lequel est connecté à une pompe à vide externe (non représentée) Comme l'air est évacué par les ouvertures 201 b par la pompe à vide, la pastille 1 se trouve attirée vers la surface supérieure 201 a de la plaque inférieure 201 Un réchauffeur 203 est noyé dans la plaque inférieure 201. La structure de la plaque supérieure 204 est identique à celle de la plaque inférieure 201 En effet, la plaque supérieure 204 comporte une surface inférieure 204 a en contact avec la plaque de verre 2 de l'ouvrage 20 et un certain nombre d'ouvertures 204 b sur cette surface inférieure Ces ouvertures 204 b sont connectées à un tube 205, lequel est connecté à une pompe à vide externe (non représentée) Comme l'air est évacué par les ouvertures 204 b par la pompe à vide, la plaque de verre 2 est attirée vers la surface inférieure 204 a de la plaque supérieure 204 Un réchauffeur 206 est noyé dans la plaque supérieure 204 Par ailleurs, l'extrémité d'un arbre 207 est fixée à la surface supérieure de la plaque supérieure 204, son autre extrémité étant fixée à une poignée 208. On décrira ci-après le fonctionnement. Initialement, on fait adhérer une pastille 1 (diamètre: 76 mm, épaisseur: 600 pm) ayant une surface frontale sur laquelle sont disposés des éléments de circuit, à une plaque de verre 2 en utilisant de la cire 209 de manière que la surface frontale de la pastille 1 soit en contact avec la plaque de verre 2, pour ainsi renforcer la pastille 1 Alors, la pastille 1 est meulée de sa surface arrière jusqu'à ce que son épaisseur soit de quelques microns à quelques centaines de microns Ensuite, un motif en métal est formé sur la surface arrière de la pastille 1 par placage ou analogue Dans le procédé de placage, une protubérance en métal 3 se forme au pourtour de la partie de contact entre la pastille 1 et la plaque de verre 2, comme le montre la figure 20. Après le procédé effectué sur la surface arrière de la pastille 1, un opérateur place l'ouvrage 20 sur la surface supérieure 201 a de la plaque inférieure 201, à la main Comme l'air est évacué par les ouvertures 201 b de la plaque inférieure 201 par la pompe à vide, la pastille 1 se trouve fixée à la surface 201 En même temps, la plaque inférieure 201 est chauffée par le réchauffeur 203. Alors, l'opérateur prend la poignée 208 de la plaque supérieure 204 et place la plaque supérieure 204 sur la plaque de verre 2 de l'ouvrage 20 Comme l'air est évacué par les ouvertures 204 b de la plaque supérieure 204, la plaque de support 2 se trouve attirée vers la surface inférieure 204 a de la plaque supérieure 204 La plaque supérieure 204 est chauffée par le réchauffeur 206. L'ouvrage 20 est chauffé pendant un temps prescrit pour amollir la cire 209 entre la pastille 1 et la plaque de verre 2 et, ensuite, la poignée 208 est déplacée dans la direction indiquée par la flèche sur la figure 19, et ainsi la plaque de verre 2 se trouve séparée de la pastille 1 Alors, l'opérateur déconnecte à la main la pastille 1 et la plaque de verre 2 de la plaque inférieure 201 et de la plaque supérieure 204, respectivement, avec ensuite les étapes subséquentes du procédé. Dans l'appareil conventionnel ci-dessus décrit, quand la plaque de verre 2 est séparée de la pastille 1, celle-ci se trouve fissurée ou crevassée du fait du métal 3 qui dépasse, donc la pastille peut se casser à l'étape de séparation de la pastille ou dans les étapes subséquentes, comme l'étape de lavage de la pastille. La présente invention a pour objet de procurer un appareil pour la séparation d'une pastille et d'une plaque de support, qui empêche la pastille de se crevasser ou de se casser lorsqu'elle est séparée de la plaque de support pour ainsi augmenter le rendement de production et réduire le prix du dispositif. La présente invention a pour autre objet d'automatiser un tel appareil. Selon un premier aspect de la présente invention, un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support, qui sont connectées l'une à l'autre au moyen d'un adhésif s'amollissant à la chaleur, comprend une plaque supérieure ayant des surfaces supérieure et inférieure opposées et un certain nombre de trous ayant des ouvertures à la surface inférieure, par o l'air est évacué pour attirer la plaque de support vers la surface inférieure; une plaque inférieure ayant des surfaces supérieure et inférieure opposées et un certain nombre de trous ayant des ouvertures à la surface supérieure, par o l'air est évacué pour attirer la pastille à la surface supérieure; un réchauffeur pour amollir la résine s'amollissant à la chaleur, noyé dans au moins l'une des plaques supérieure et inférieure; un bras de robot pour déplacer la plaque supérieure dans les directions verticale et horizontale; et un arbre pour connecter de façon rotative la plaque supérieure au bras de robot En fonctionnement, quand l'adhésif s'amollissant à la chaleur, connectant la pastille et la plaque de support, a été amolli par le réchauffeur, le bras de robot déplace la plaque supérieure vers le haut tout en faisant tourner ou pivoter cette plaque supérieure, ainsi la plaque de support se trouve séparée de la pastille Par conséquent, la pastille ne peut ni se crevasser ni se casser et cela augmente le rendement de production avec pour résultat une réduction du prix du dispositif De plus, comme la plaque supérieure est supportée et commandée par le bras de robot, la séparation est facile à effectuer en toute fiabilité. Selon un deuxième aspect de la présente invention, l'appareil comporte de plus un moyen pour absorber le choc produit quand l'ouvrage, c'est-à-dire la pastille avec sa plaque de support, attiré vers la surface inférieure de la plaque supérieure, est placé sur la surface supérieure de la plaque inférieure Par conséquent, la pastille ne peut se crevasser. Selon un troisième aspect de la présente invention, l'appareil comporte de plus un moyen pour maintenir la plaque de support attirée vers la surface inférieure de la plaque supérieure en pressant cette plaque de support sur la surface inférieure Par conséquent, quand la plaque supérieure est remontée par le bras de robot, la portion périphérique de la plaque de support se courbe vers le haut et la plaque de support se trouve graduellement séparée du pourtour de la pastille, ce qui facilite la séparation. Selon un quatrième aspect de la présente invention, l'appareil comporte de plus un moyen pour tirer la plaque inférieure vers le bas, dans la direction verticale, qui est disposé sur la surface inférieure de la plaque inférieure La résistance à la traction appliquée à la plaque inférieure est un peu plus faible que l'attraction des plaques supérieure et 2703187 inférieure Par conséquent, la séparation peut être effectuée en toute fiabilité. Selon un cinquième aspect de la présente invention, la plaque supérieure a une surface inférieure convexe Par conséquent, la plaque de support est facile à séparer de la pastille. Selon un sixième aspect de la présente invention, la plaque supérieure comprend un disque central qui est fixé à l'arbre et une partie périphérique annulaire qui se déplace en direction verticale La partie périphérique annulaire est déplacée vers le haut avant le disque central donc la plaque de support se trouve séparée du pourtour de la pastille. Selon un septième aspect de la présente invention, l'appareil comporte de plus une tubulure pour appliquer une solution qui dissout l'adhésif s'amollissant à la chaleur à la limite entre la pastille et la plaque de support Par conséquent, cela encourage l'enlèvement de l'adhésif et facilite la séparation. Selon un huitième aspect de la présente invention, l'appareil est placé dans un conteneur qui est rempli d'une solution qui dissout l'adhésif s'amollissant à la chaleur. Par ailleurs, le conteneur est hermétiquement scellé et la pression y augmente Par conséquent, cela augmente la perméabilité de la solution dans l'adhésif. L'invention sera mieux comprise et d'autres buts, caractéristiques, détails et avantages de celle-ci apparaîtront plus clairement au cours de la description explicative qui va suivre faite en référence aux dessins schématiques annexés donnés uniquement à titre d'exemple illustrant plusieurs modes de réalisation de l'invention et dans lesquels la figure i est une vue en perspective illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un premier mode de réalisation de la présente invention; la figure 2 est une vue en coupe de l'appareil montré à la figure 1; les figures 3 (a) à 3 (c) sont des vues en coupe expliquant le fonctionnement de l'appareil montré à la figure 1; la figure 4 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention; la figure 5 est une vue en perspective illustrant un mécanisme pour maintenir une pastille, lequel est incorporé dans l'appareil montré à la figure 4; les figures 6 (a) et 6 (b) sont des vues en coupe expliquant le fonctionnement du mécanisme de support de la pastille de la figure 5; la figure 7 est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un troisième mode de réalisation de la présente invention; la figure 8 est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention; la figure 9 est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un cinquième mode de réalisation de la présente invention; les figures 10 (a) et 10 (b) sont des vues en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un sixième mode de réalisation de la présente invention; les figures 11 (a) et 11 (b) sont des vues en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un septième mode de réalisation de la présente invention; la figure 12 est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un huitième mode de réalisation de la présente invention; les figures 13 (a) et 13 (b) sont des vues en perpective illustrant une plaque supérieure incorporée dans l'appareil de la figure 12; la figure 14 est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un neuvième mode de réalisation de la présente invention; les figures 15 (a) à 15 (c) sont des schémas expliquant le fonctionnement d'une plaque de support incorporée dans l'appareil montré à la figure 14; la figure 16 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un dixième mode de réalisation de la présente invention; la figure 17 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un onzième mode de réalisation de la présente invention; la figure 18 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un douzième mode de réalisation de la présente invention; la figure 19 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon l'art antérieur; et la figure 20 est une vue en coupe illustrant un ouvrage à un état o les étapes prescrites de traitement de pastille et de la plaque de support ont été accomplis. Les figures 1 et 2 sont, respectivement, une vue en perspective et une vue en coupe illustrant un appareil pour la séparation d'une pastille et d'une plaque de support selon un premier mode de réalisation de la présente invention Les figures 3 (a)-3 (c) sont des vues en coupe permettant d'expliquer le fonctionnement de l'appareil montré aux figures 1 et 2 Dans le premier mode de réalisation, une plaque inférieure 4 en forme de disque comporte une surface supérieure 4 a en contact avec la pastille 1 de l'ouvrage 20, au moins deux gorges annulaires concentriques 4 b connectées l'une à l'autre dans la plaque inférieure 4, et un tube 5 connectant les gorges annulaires 4 b à une pompe à vide externe (non représentée) L'air est évacué par les gorges annulaires 4 b et le tube 5 par la pompe à vide, donc la pastille 1 se trouve attirée vers la surface supérieure 4 a de la plaque inférieure 4 La plaque inférieure 4 comporte de plus un certain nombre de trous 4 c dans lesquels sont insérés des réchauffeurs 6 en cartouche. Quatre tiges de guidage 7 sont fixées à la surface inférieure de la plaque inférieure 4, à des intervalles égaux, dans une direction perpendiculaire à la surface inférieure Ces tiges 7 sont insérées dans des supports cylindriques et creux 9 qui sont fixés à une base 10 Quatre ressorts 8 sont disposés entre la plaque inférieure 4 et les supports respectifs 9 La plaque inférieure 4 est supportée par l'élasticité des ressorts 8 et donc un choc appliqué à la plaque inférieure 4 quand l'ouvrage est monté sur la surface supérieure 4 a peut être réduit. Une plaque supérieure 11 a la même structure que la plaque inférieure 4 ci-dessus décrite En effet, la plaque supérieure 11 comporte une surface inférieure lla en contact avec la plaque de verre 2 de l'ouvrage 20, au moins deux gorges annulaires concentriques llb connectées l'une à l'autre dans la plaque supérieure Il et un tube 12 qui relie les gorges annulaires llb à une pompe à vide externe (non représentée) L'air est évacué par les gorges annulaires llb et le tube 12 par la pompe à vide, donc l'ouvrage 20 est attiré vers la surface inférieure lla de la plaque supérieure 11 La plaque supérieure 11 comporte de plus un certain nombre de trous lic o sont insérés des réchauffeurs 13 en cartouche Une extrémité d'un arbre 14 est fixée au centre de la surface supérieure de la plaque supérieure 11 tandis que son autre extrémité est connectée à un bras de robot 16 via un accouplement 15 de manière que la plaque supérieure 11 soit mobile verticalement et en rotation grâce au bras de robot 16. On donnera une description du fonctionnement. Lorsqu'un ouvrage 20, comprenant une pastille 1 et une plaque de verre 2, est prélevé d'une cassette (non représentée), la plaque supérieure 11 est déplacée à la position au-dessus de l'ouvrage 20 par le bras de robot 16 (figure 3 (a)) Alors, le bras de robot 16 est descendu jusqu'à ce que la surface inférieure lia de la plaque supérieure 11 soit en contact avec la plaque de verre 2 de l'ouvrage 20 et l'air est évacué par les gorges llb de la plaque supérieure 11 ainsi l'ouvrage 20 se trouve attiré vers la surface inférieure lia (figure 3 (b)) Alors, la plaque supérieure 11 maintenant l'ouvrage 20 est déplacée à une position au-dessus de la surface supérieure 4 a de la plaque inférieure 4 par le bras de robot 16 (figure 3 (c)) Alors, le bras de robot 16 est déplacé vers le bas jusqu'à ce que la pastille 1 soit en contact avec la surface supérieure 4 a de la plaque inférieure 4 et l'air est évacué par les gorges 4 b de la plaque inférieure 4, ainsi l'ouvrage 20 se trouve attiré vers la surface supérieure 4 a de la plaque inférieure 4 Un choc appliqué à la plaque inférieure 4 quand l'ouvrage est monté sur sa surface supérieure 4 a est réduit par l'élasticité des ressorts 8 Ensuite, l'ouvrage 20 est chauffé par les réchauffeurs en cartouche 6 et 13 qui sont noyés dans les plaques inférieure et supérieure 4 et 11, respectivement, afin d'amollir la cire 209 entre la pastille 1 et la plaque de verre 2 Ensuite, le bras de robot 16 est déplacé vers le haut, tout en faisant tourner la plaque supérieure 11, ou en la faisant pivoter, pour qu'ainsi la plaque en verre 2 se trouve séparée de la pastille 1. Selon ce premier mode de réalisation de la présente invention, quand les réchauffeurs 6 et 13 ont amolli la cire 209, le bras de robot 16 remonte la plaque supérieure 11 tout en la faisant tourner ou pivoter, ainsi la plaque en verre 2 se trouve favorablement séparée de la pastille 1 sans fissures ni crevasses dans la pastille Par conséquent, la rupture de la pastille due aux fissures et aux crevasses est évitée, donc cela permet d'augmenter le rendement de production avec pour résultat une réduction du prix du dispositif. Par ailleurs, comme la plaque supérieure 11 est supportée et commandée par le bras de robot 16, la rotation et la remontée de la plaque supérieure 11 pour séparer la plaque en verre 2 de la pastille 1 est facile à effectuer ce qui permet de réaliser facilement l'automatisation de l'appareil. Par ailleurs, comme le choc produit quand le plaque supérieure 11 avec l'ouvrage 20 est montée sur la plaque inférieure 4 est absorbé par l'élasticité des ressorts 8, la pastille 1 ne peut se crevasser. Tandis que, dans le premier mode de réalisation ci- dessus décrit, on fait tourner ou pivoter la plaque supérieure 11 pour faciliter la séparation entre la pastille 1 et la plaque de verre 2, la rotation et le pivotement peuvent être combinés. Tandis que dans le premier mode de réalisation ci- dessus décrit, le bras de robot 16 est remonté tout en faisant tourner ou pivoter la plaque 11, on peut le faire remonter après avoir affaibli la force de liaison entre la pastille 1 et la plaque de verre 2 en faisant tourner ou pivoter la plaque supérieure 11. La figure 4 est une vue en coupe illustrant l'appareil pour la séparation d'une pastille et d'une plaque de support selon un deuxième mode de réalisation de la présente invention La figure 5 est une vue en perspective illustrant un mécanisme de maintien d'une plaque de verre incorporé dans l'appareil de la figure 4 Les figures 6 (a) et 6 (b) sont des vues en coupe expliquant le fonctionnement du mécanisme. Comme on peut le voir à la figure 4, la plaque supérieure 11 comporte deux organes 21 de maintien de plaque en verre 2 en deux portions du pourtour de cette plaque en verre Comme le montre la figure 5, chaque organe de maintien 21 comprend une griffe 21 a pour presser la plaque en verre 2 contre la surface inférieure lla de la plaque supérieure 11, et un cylindre à air 21 b ayant une tige 2 le connectée pivotante à un point de fonctionnement de la griffe 21 a Le cylindre à air 21 b et la griffe 21 a sont fixés pivotants à la plaque supérieure 11 par un premier axe 21 c et un second axe 2 ld, respectivement. On décrira le fonctionnement. Quand l'ouvrage 20 n'est pas attiré vers la surface lla de la plaque supérieure 11, la tige 21 e dépasse du cylindre 21 b et la griffe 21 a, qui est connectée pivotante à la tige 2 le, est tournée vers l'extérieur sur le second axe 21 d (figure 6 (a)) Quand l'ouvrage 20 est attiré vers la surface lla de la plaque supérieure 11, le cylindre à air 21 b fonctionne de manière que la griffe 21 a soit tirée par la tige 21 e et ainsi la griffe 21 a se trouve tournée vers l'ouvrage 20 sur le second axe 21 d (figure 6 (b)) De cette manière, la plaque en verre 2 de l'ouvrage 20 se trouve pressée contre la surface inférieure lla de la plaque supérieure 11 par les griffes 21 a Ensuite, comme dans le premier mode de réalisation, l'ouvrage 20 est monté sur la plaque inférieure 4 Après chauffage de l'ouvrage 20 pour amollir la cire 209, la plaque supérieure 11 est remontée pour séparer la plaque en verre 2 de la pastille 1 Comme les griffes 21 a maintiennent la plaque en verre 2 par son bord, celui-ci se trouve courbé quand la plaque supérieure 11 remonté et la plaque en verre 2 se retire lentement du pourtour de la pastille 1, ce qui facilite la séparation. La figure 7 est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un troisième mode de réalisation de la présente invention Dans ce troisième mode de réalisation, un poids 31 est connecté à la surface inférieure de la plaque inférieure 4 pour tirer celle-ci vers le bas, dans la direction verticale Le poids 31 doit être suffisamment lourd pour maintenir l'attraction entre la plaque supérieure 11 et la plaque en verre 2 ainsi que l'attraction entre la plaque inférieure 4 et la pastille 1 quand le bras de robot 16 tire la plaque supérieure 11 ver le haut L'extrémité inférieure du ressort 8 est fixée au support cylindrique 9 Comme l'extrémité supérieure 8 a du il ressort 8 n'est pas fixée à la plaque inférieure 4, quand les plaques supérieure et inférieure 11 et 4 sont remontées, l'extrémité supérieure 8 a du ressort 8 se sépare de la plaque inférieure 4 En effet, la tension du ressort 8 n'est pas appliquée à la plaque inférieure 4. Comme on la décrit ci-dessus, dans ce troisième mode de réalisation, la vitesse de remontée du bras de robot 16 est supprimée par le poids 31 qui est fixé à la face inférieure de la plaque inférieure 4. Par conséquent, même si un bras de robot se déplaçant à une vitesse de 0, 1 mm/s est employé, une remontée contrôlée avec précision du bras de robot 16 est possible, donc la séparation entre la plaque de verre 2 et la pastille 1 peut s'effectuer en douceur, même si la cire 209 n'est pas suffisamment amollie. La figure 8 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention Dans ce quatrième mode de réalisation, on emploie un cylindre à air 41 à la place du poids 31 du troisième mode de réalisation Le cylindre 41 est disposé sur la base 10 et sa tige 41 a est fixée à la surface inférieure de la plaque inférieure 4. Dans cette structure, comme la plaque inférieure 4 est tirée vers le bas par le cylindre à air 41, il est possible de déplacer la plaque inférieure 4 vers le bas selon la remontée du bras de robot 16 et la séparation entre la pastille 1 et la plaque de verre 2 peut être effectuée avec une grande stabilité, en comparaison avec le troisième mode de réalisation. La figure 9 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un cinquième mode de réalisation de la présente invention Dans ce cinquième mode de réalisation, une extrémité supérieure 5 ia du ressort 51 est fixée à la surface arrière de la plaque inférieure 4 et une extrémité inférieure 51 b du ressort 51 est fixée au support cylindrique 9, ainsi l'élasticité du ressort 51 est utilisée en tant que moyen de traction de la plaque inférieure, à la place du poids 31 du troisième mode de réalisation. Dans cette structure, quand les plaques supérieure et inférieure 11 et 4 sont remontées par le bras de robot 16, l'élasticité du ressort 51 agit sur la plaque inférieure 4 en tant que force de traction et la séparation entre la plaque en verre 2 et la pastille 1 peut s'effectuer avec une grande stabilité. La figure 10 (a) est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un sixième mode de réalisation de la présente invention, et la figure 10 (b) est une vue en coupe illustrant une partie de l'appareil montré à la figure 10 (a) Dans ce sixième mode de réalisation, une plaque supérieure 61 a une surface convexe 6 la vers laquelle est attirée la plaque de verre 2 La courbure de la surface convexe 6 la est comprise entre quelques dizaines de microns et quelques centaines de microns. Dans cette structure, après avoir monté l'ouvrage 20 sur la plaque inférieure 4 (figure 10 (a)), la portion périphérique de la plaque 2 est attirée vers la surface convexe 61 a de la plaque supérieure 61 (figure 10 (b)) Par conséquent, quand la plaque supérieure 61 est remontée par le bras de robot 16, la plaque en verre 2 se retira graduellement du pourtour de la pastille 1, ce qui permet d'obtenir une séparation stable. La figure 11 (a) est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un septième mode de réalisation de la présente invention et la figure 11 (b) est une vue en coupe illustrant une partie de l'appareil à proximité d'une plaque supérieure. Dans ce septième mode de réalisation, une plaque supérieure 73 comprend une couche inférieure 71 qui comprend un matériau ayant un coefficient de dilatation thermique relativement grand, comme du laiton, et une couche supérieure 72, comprenant un matériau ayant un coefficient de dilatation thermique relativement petit, comme l'invar. Dans cette structure, quand la plaque supérieure 73 est chauffée par le réchauffeur en cartouche 13 pour amollir la cire 209, la plaque supérieure 73 se courbe vers l'extérieur du fait de la différence des coefficients de dilatation thermique entre les couches supérieure et inférieure 72 et 71, donnant à la couche inférieure 71, vers laquelle est attirée la plaque de verre 2, une surface convexe La courbure de la surface convexe est comprise entre plusieurs dizaines de microns et plusieurs centaines de microns Dans ce cas également, on obtient les mêmes effets que ceux décrits au sixième mode de réalisation. Tandis que dans le septième mode de réalisation ci- dessus décrit, la plaque supérieure 73 se compose des couches supérieure et inférieure 72 et 71 ayant des coefficients de dilatation thermique différents, la plaque supérieure 73 ou la couche inférieure 71 peut comprendre des alliages à mémoire de forme qui se courbent de façon convexe lorsque de la chaleur est appliquée. La figure 12 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un huitième mode de réalisation de la présente invention Les figures 13 (a) et 13 (b) sont des vues en perspective illustrant une plaque supérieure employée dans cet appareil Dans ce huitième mode de réalisation, on emploie la plaque supérieure 84 montrée à la figure 13 (a), à la place de la plaque supérieure 73 du septième mode de réalisation ci-dessus décrit La plaque supérieure 84 est produite en découpant la plaque supérieure 73 du septième mode de réalisation en un certain nombre de petits morceaux, dans une direction perpendiculaire à la surface plate de la plaque 73, à des intervalles égaux et en recombinant ces petits morceaux via des couches isolantes 83Les matériaux des couches supérieure et inférieure 82 et 81 ayant différents coefficients de dilatation thermique sont les mêmes que ceux employés dans le septième mode de réalisation. Un réchauffeur en feuille, tel qu'un réchauffeur en caoutchouc est employé en tant que réchauffeur supérieure 85. Dans cette structure, comme la courbure de la plaque supérieure 84 du fait de la différence des coefficients de dilatation thermique entre les couches supérieure et inférieure 82 et 81 est encouragée dans la direction longitudinale des petits morceaux de la plaque supérieure, la surface de la couche inférieure 81, vers laquelle la plaque de verre 2 est attirée, se trouve courbée de manière convexe comme le montre la figure 13 (b) Dans ce mode de réalisation également, on obtient les mêmes effets que ceux décrits dans le sixième mode de réalisation. La figure 14 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un neuvième mode de réalisation de la présente invention La figure 15 (a) est une vue en perspective d'une plaque supérieure incorporée dans l'appareil de la figure 14 et les figures 15 (b) et 15 (c) sont des vues en coupe faites suivant la ligne 15-15 de la figure 15 (a) pour expliquer le fonctionnement de la plaque supérieure Dans ce neuvième mode de réalisation, la plaque supérieure comprend une partie centrale en disque 93 et une partie périphérique annulaire 94 Une extrémité de l'arbre de support 14 est fixée au centre de la surface supérieure de la partie en disque 93 tandis que son autre extrémité est connectée au bras de robot 16 via l'accouplement 15 Deux cylindres 92, chacun ayant une tige 92 a, sont disposés à la surface supérieure de la partie annulaire 94 sur des côtés opposés de l'arbre de support 14. Ces cylindres 92 sont supportés par un moyen de fixation 91 qui est fixé à l'arbre du support 14 Les chiffres de référence 95 et 96 désignent des réchauffeurs en feuille. On donnera une description du fonctionnement. Comme on peut le voir à la figure 15 (b), quand la plaque en verre 2 de l'ouvrage est attirée vers la surface inférieure de la plaque supérieure, la partie centrale en disque 93 et la partie périphérique annulaire 94 de la plaque supérieure sont sur le même niveau Alors, la cire 209 est amollie par les réchauffeurs en feuille 95 et 96 et le réchauffeur en cartouche 6 Ensuite, seule la partie périphérique annulaire 94 est remontée par les cylindres à air 92, et la portion périphérique de la plaque de verre 2 se trouve courbée vers le haut, comme le montre la figure 15 (c). Dans ce mode de réalisation également, comme la séparation de la plaque de verre 2 commence au pourtour de la pastille 1, on obtient les mêmes effets que ceux décrits pour le sixième mode de réalisation. Tandis que dans le neuvième mode de réalisation ci- dessus décrit, la plaque supérieure est en deux parties, c'est-à-dire, la partie centrale en disque 93 et la partie périphérique annulaire 94, elle peut se composer de trois parties ou plus, c'est-à-dire, une partie centrale en disque et un certain nombre de parties périphériques annulaires. La figure 16 est une vue en coupe illustrant l'appareil pour séparer une pastille d'une plaque de verre selon un dixième mode de réalisation de la présente invention Dans ce dixième mode de réalisation, l'appareil selon le premier mode de réalisation comporte une tubulure 101 pour appliquer une solution 102 qui dissout l'adhésif, comme une cire, à la limite entre la pastille 1 et la plaque de verre 2 On emploie, de préférence, pour la solution 102, SOLFIN-TM (dénomination commerciale de TOKUYAMA PETROCHEMICAL CO, LTD). Dans cette structure, comme la cire reliant la pastille 1 et la plaque de verre 2 est graduellement dissoute par l'application de la solution 102 à la limite entre elles, l'adhérence de la cire est réduite et donc le procédé subséquent de séparation utilisant le bras de robot 16 est facilité De plus, il est possible d'enlever la cire avant la séparation. Si la tubulure 101 est mobile en direction verticale, il est possible d'appliquer la solution 102 pendant la séparation en utilisant le bras de robot 16 En effet, même quand la plaque inférieure 4 est remontée par le bras de robot 16 et que la limite entre la pastille 1 et la plaque de verre 2 remonte, la solution 102 peut être appliquée à la limite, ce qui réduit le temps requis pour la séparation. La tubulure 101 peut être incorporée dans les appareils selon les deuxième à dixième modes de réalisation ci-dessus décrit de la présente invention Dans ce cas, la séparation entre la pastille et la plaque de verre est encore facilitée. La figure 17 est une vue en coupe illustrant un appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support selon un onzième mode de réalisation de la présente invention Dans ce onzième mode de réalisation, l'appareil selon le premier mode de réalisation que l'on peut voir à la figure 1 est disposé dans un conteneur 111 rempli de la solution 102 Un réchauffeur 115 pour chauffer la solution 102 est noyé dans une partie d'énergie du conteneur 111. Dans cette structure, la solution 102 chauffée par le réchauffeur noyé 115 pénètre dans la cire 209 qui relie la pastille 1 et la plaque de verre 2 et dissout la cire 209, ce qui permet d'effectuer la séparation en toute fiabilité. La figure 18 est une vue en coupe illustrant un appareil pour la séparation d'une pastille et d'une plaque de support selon un douzième mode de réalisation de la présente invention Dans ce douzième mode de réalisation, l'appareil selon le premier mode de réalisation, que l'on peut voir à la figure 1, est hermétiquement scellé dans un conteneur lla, et un gaz inerte, tel que N 2, est introduit dans le conteneur lla, à une pression prescrite en utilisant, une vanne 113 et un manomètre 114. Dans cette structure, comme la pression dans le conteneur Illa augmente, la perméabilité de la solution 102 dans la cire qui relie la pastille à la plaque de verre est accrue et ce qui permet d'effectuer la séparation en douceur. REVENDICATIONS 1 Appareil pour séparer une pastille d'une plaque de support, qui sont connectées l'une à l'autre au moyen d'un adhésif s'amollissant à la chaleur, pour produire un ouvrage ayant des surfaces opposées, caractérisé en ce qu'il comprend: une plaque supérieure ( 11) ayant des surfaces supérieure et inférieure opposées et un certain nombre de trous ayant des ouvertures à la surface inférieure, par o l'air est évacué pour attirer l'une des surfaces opposées de l'ouvrage vers la surface inférieure; une plaque inférieure ( 4) ayant des surfaces supérieure et inférieure opposées et un certain nombre de trous ayant des ouvertures à la surface supérieure, par o l'air est évacué pour attirer l'autre surface de l'ouvrage vers la surface supérieure; un réchauffeur ( 6 ou 13) pour amollir l'adhésif s'amollissant à la chaleur, noyé dans au moins l'une des plaques supérieure et inférieure; un bras de robot ( 16) pour déplacer la plaque supérieure dans des directions verticale et horizontale; et un arbre ( 15) pour relier rotative la plaque supérieure au bras de robot. 2 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un moyen pour absorber un choc produit quand l'ouvrage attiré vers la surface inférieure de la plaque supérieure ( 11) est placé sur la surface supérieure de la plaque inférieure ( 4), ledit moyen absorbant le choc étant disposé en dessous de la plaque inférieure. 3 Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que le moyen absorbant le choc comprend: un certain nombre de tiges ( 7) qui sont fixées à la surface inférieure de la plaque inférieure à angle droit; un certain nombre de supports cylindriques ( 9) disposés en-dessous de la plaque inférieure, o les tiges respectives sont insérées mobiles en direction verticale; et un certain nombre de ressorts ( 8) disposés entre la plaque inférieure et les supports cylindriques respectifs. 4 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un moyen ( 21) pour maintenir la plaque de support attirée vers la surface inférieure de la plaque supérieure en pressant ladite plaque de support sur la surface inférieure de la plaque supérieure, ledit moyen étant disposé au pourtour de la plaque supérieure. Appareil selon la revendication 4, caractérisé en ce que le moyen maintenant la plaque de support comprend: au moins deux cylindres à air ( 21 b) fixés au pourtour de la plaque supérieure; et des griffes ( 21 a) connectées aux cylindres respectifs et pressant la portion périphérique de la plaque de support sur la surface inférieure de la plaque supérieure par la fonction des cylindres. 6 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un moyen ( 31; 41) pour tirer la plaque inférieure vers le bas, en direction verticale, qui est disposé à la surface inférieure de la plaque inférieure. 7 Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que le moyen tirant la plaque inférieure est un poids ( 31) fixé à la surface inférieure de ladite plaque inférieure, qui est suffisamment lourd pour maintenir l'attraction entre l'ouvrage et la plaque supérieure et l'attraction entre l'ouvrage et la plaque inférieure. 8 Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que le moyen tirant la plaque inférieure est un cylindre à air ( 41) connecté à la surface inférieure de la plaque inférieure. 9 Appareil selon la revendication 6, caractérisé en ce que le moyen tirant la plaque inférieure comprend: un certain nombre de tiges fixées à la surface inférieure de la plaque inférieure à angle droit; un certain nombre de supports cylindriques ( 9) disposés en-dessous de la plaque inférieure, o sont insérées mobiles en direction verticale les tiges respectives; et un certain nombre de ressorts ( 51) disposés entre la plaque inférieure et les supports cylindriques respectifs, chaque ressort ayant des extrémités opposées respectivement fixées à la plaque inférieure et au support cylindrique. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plaque supérieure ( 61) a une surface inférieure convexe ( 61 a). 11 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plaque supérieure comprend une première couche ( 72) ayant une surface en contact avec l'ouvrage et une seconde couche ( 72) disposée sur la première couche, et la première couche a un coefficient de dilatation thermique plus grand que celui de la seconde couche. 12 Appareil selon la revendication 11, caractérisé en ce que la plaque supérieure ( 84), comprenant les première et seconde couches, est divisée en un certain nombre de parties ayant la même largeur, dans une direction perpendiculaire à la surface de la plaque supérieure, et un matériau thermiquement isolant ( 83) est interposé entre des parties adjacentes. 13 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plaque supérieure ( 73) comprend un alliage à mémoire de forme qui se courbe à la chaleur de façon que la plaque supérieure ait une surface inférieure convexe. 14 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce que la plaque supérieure comprend un disque central ( 93) fixé à l'arbre ( 14), et une partie périphérique annulaire ( 94) entourant le disque et mobile en direction verticale. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend de plus une tubulure ( 101) pour appliquer une solution ( 102) qui dissout l'adhésif s'amollissant à la chaleur à la limite entre la pastille et la plaque de support. 21 2703187 16 Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un conteneur ( 111) qui contient ledit appareil et qui est rempli d'une solution ( 102) qui dissout l'adhésif s'amollissant à la chaleur. 17 Appareil selon la revendication 16, caractérisé en ce que le conteneur ( 1 lla) est hermétiquement scellé et une pression est appliquée à la solution dans le conteneur. 18 Appareil selon l'une quelconque des revendications 16 ou 17, caractérisé en ce qu'il comprend de plus un réchauffeur ( 115) pour chauffer la solution.