Brevet FR2704693A1 — publié le 19941104

PANIER DE GRAVURE La présente invention concerne les paniers de gravure qu'on os utilise pour la découpe, en une pluralité d'éléments, d'une plaquette de semi-conducteur, par exemple en silicium. La découpe s'effectue par attaque chimique dans le bain chauffé, généralement de potasse ou autre produit analogue, d'une cuve de gravure, les éléments à découper étant préservés de l'action du bain par des masques. Ce type de gravure, dite totale, s'oppose à la gravure partielle ne visant à attaquer la plaquette que sur une partie de son épaisseur. Ces éléments ainsi découpés peuvent avoir diverses applications. On en utilise dans des capteurs et autres senseurs, tels que les accéléromètres, par exemple. On notera que, l'attaque chimique donnant naissance à un dégagement gazeux important, la gravure ne peut être effectuée qu'à partir de la seule face supérieure des plaquettes qui doit par conséquent être maintenue horizontale pour échapper à l'action des bulles qui, sinon, altéreraient l'homogénéité et, globalement, la qualité de la gravure. Enfin, et toujours à titre liminaire, on notera aussi qu'on ne découpe pas d'une plaquette des éléments contigus, pour tenir compte du défaut d'uniformité d'épaisseur de la plaquette. En d'autres termes, les éléments d'une plaquette ne sont pas tous découpés en même temps. Jusqu'à maintenant, et souvent, on immergeait les plaquettes dans le bain de gravure une à une, soit sur un panier de gravure soit au bout de pinces. Cette solution est à l'évidence coûteuse en temps. On a bien aussi proposé de disposer sur un même panier de gravure plusieurs plaquettes mais, alors, avec l'inconvénient de l'encombrement. Enfin, la dernière solution parfois adoptée fait usage d'un panier à plusieurs étages, ou compartiments, pour la gravure d'un nombre correspondant de plaquettes. Si cette solution est satisfaisante tant au plan de la durée de traitement que de l'encombrement, elle peut toutefois donner lieu à un léger gaspillage. En effet, le panier comporte évidemment une ouverture latérale d'introduction des plaquettes à travers laquelle des éléments, une fois découpés, peuvent tomber dans le fond de la cuve de gravure. La présente invention vise à proposer une solution satisfaisante à tous points de vue. A cet effet, la présente invention concerne un panier de gravure destiné à recevoir une plaquette à découper en une pluralité d'éléments après immersion du panier dans un bain de gravure, caractérisé par le fait qu'il comporte, en partie basse et en partie haute, deux structures mâle et femelle d'emboîtement correspondantes, la structure haute d'emboîtement étant agencée pour recevoir la plaquette. Le panier de gravure de l'invention présente déjà deux caractéristiques avantageuses. En premier lieu, il est emboîtable et par conséquent une pluralité de paniers de l'invention, tous identiques, peuvent, par emboîtage, être empilés les uns sur les autres. En second lieu, la structure haute d'emboîtement servant à la réception de la plaquette sur le panier considéré, après emboîtement de ce panier et d'un autre au-dessus de lui, la plaquette est interposée entre les deux paniers et donc parfaitement maintenue. De préférence, les deux structures d'emboîtement mâle et femelle sont respectivement deux structures basse et haute. Dans ce cas, une pluralité de paniers identiques s'empilent les uns sur les autres par emboîtage les uns dans les autres et non par emboîtage des uns sur les autres. Dans ce cas toujours, la structure de réception de la plaquette étant une structure d'emboîtement femelle, la plaquette, une fois posée sur le panier, est maintenue latéralement en position. Dans la forme de réalisation préférée du panier de l'invention, il est encore prévu deux structures haute et basse de verrouillage détachable complémentaires. Ainsi, une fois empilés les uns sur les autres, une pluralité de paniers identiques selon l'invention peuvent être solidarisés deux à deux les uns aux autres, avec l'avantage, pour l'opérateur, de n'avoir qu'à tirer le panier du dessus pour sortir toute la pile de paniers du bain de gravure, la mise des mains au contact du bain étant naturellement proscrite. Du fait de ces structures de verrouillage complémentaires, la réalisation d'une pile de paniers identiques est des plus aisées ; du fait du caractère détachable du verrouillage mutuel des structures de verrouillage considérées de deux paniers contigus, le démontage de la pile est également très facile. De préférence encore, l'agencement relatif des structures d'emboîtement et des structures de verrouillage est tel que ces dernières sont des structures de verrouillage automatique. Autrement dit, en emboîtant deux paniers contigus l'un dans l'autre, leurs structures de verrouillage respectives coopèrent automatiquement l'une avec l'autre pour solidariser les deux paniers. L'invention sera mieux comprise à l'aide de la description suivante de sa forme de réalisation préférée, en référence au dessin annexé, sur lequel - la figure 1 est une vue de dessus du panier - la figure 2 est une vue en coupe transversale, selon la ligne II-II de la figure 1, d'une partie du panier de la figure 1 - la figure 3 est une vue latérale d'un des pieds d'emboîtement et de verrouillage du panier de la figure 1 et - la figure 4 est une vue en coupe transversale, selon la ligne IV-IV de la figure 1, d'un des pieds d'emboîtement et de verrouillage du panier de la figure 1 emboité dans un autre panier identique. Pour fixer les idées, on indiquera que l'échelle des figures est ici sensiblement égale à 1. Le panier de gravure, qui va maintenant être décrit, est destiné à la découpe de plaquettes circulaires. Naturellement, cette forme circulaire ne doit pas être considérée comme limitative de l'invention. Le panier comporte une jupe tubulaire 1 avec, ici, quatre pieds 2-5 d'emboîtement et de verrouillage, espacés angulairement les uns des autres de 90 degrés, la jupe suportant une grille 6 de réception d'éléments. La jupe 1 et la grille 6 sont ajourées pour le passage des gaz qui se dégagent lors de l'attaque chimique des plaquettes dans le bain de gravure. La grille de réception 6 s'étend ici sensiblement à mihauteur de la jupe 1. Le bord supérieur annulaire 7 de la jupe 1 constitue une surface de réception de plaquette. Dans la zône de chacun des pieds, la jupe est radialement épaissie de sorte que le bord annulaire 7 de la jupe est prolongé vers l'extérieur, jusqu'à une paroi verticale 8, pour former, en partie haute du panier, un épaulement intérieur d'emboîtement 9. C'est la structure femelle haute d'emboîtement dont il a été question plus haut, le bas 10 des pieds, s'étendant au-delà de la grille de réception 6, formant la structure mâle basse d'emboîtement correspondante. La paroi 8 est la paroi intérieure de la souche 11 d'un crochet de clipsage 12 tourné vers l'intérieur et faisant radialement saillie vers l'extérieurs hors de la jupe 1. Dans la zône de chacun des pieds, la grille de réception 6 s'étend radialement vers l'extérieur au-delà de la jupe 1 en un rebord 13 formant, avec la souche de crochet 11, un alvéole de clipsage 14. Le crochet 12 et l'alvéole 14 constituent les structures haute et basse de verrouillage détachable complémentaires dont il a aussi été question plus haut. La paroi externe 15 du bas de pieds 10 s'étend verticalement sensiblement dans le prolongement de la paroi interne 8 de la souche de crochet 11 et la pointe 16 du crochet 12 se trouve sensiblement à l'aplomb de ces deux parois. Une languette de démontage 24 est solidaire du crochet 12. Le panier qui vient d'être décrit est réalisé d'une seule pièce en un matériau inaltérable au bain de gravure, en métal ou en matière plastique, et permettant une flexibilité des crochets de clipsage 11, 12. L'emploi des paniers de l'invention va maintenant être décrit. Soit, en référence à la figure 4, un premier panier 20 dans lequel on va emboîter un deuxième panier 21 avec interposition d'une plaquette 22. On pose la plaquette 22 sur le bord 7 du panier 20 où elle va d'abord être maintenue latéralement en périphérie par ses épaulements 9. On emboîte ensuite les bas de pieds 10 du panier 21 dans les épaulements d'emboîtement 9 du panier 20 jusqu'à ce qu'ils prennent appui contre la plaquette 22 qui se trouve alors parfaitement maintenue, tant radialement qu'axialement. Au cours de l'emboîtage des deux paniers, les rebords 13 du panier 21 glissent contre les crochets 12 du panier 20 en les écartant de leurs positions de repos légèrement vers l'extérieur, grâce à leur flexibilité, avant que ces rebords ne franchissent ces crochets et que ces derniers soient rappelés en position de repos dans les alvéoles 14 des pieds du panier supérieur 21, réalisant ainsi le verrouillage automatique des deux paniers. On pose ensuite une autre plaquette 23 sur le panier 21 et ainsi de suite, pour former une pile de paniers prêts à être immergés dans un bain de gravure. Comme moyen de préhension de la pile de paniers, on peut prévoir soit un panier similaire pourvu d'une anse, soit une anse enclipsable seule, pourvue de pieds similaires à ceux des paniers, avec les mêmes bas de pieds, les crochets étant seulement remplacés par des attaches de fixation de l'anse proprement dite. Le démontage de la pile de paniers s'effectue tout aussi facilement que son montage. I1 suffit d'écarter légèrement les crochets des pieds pour les degager des alvéoles de verrouillage des paniers contigus supérieurs, à l'aide des languettes 24. REVENDICATIONS 1. Panier de gravure destiné à recevoir une plaquette (23) à découper en une pluralité d'éléments après immersion du panier dans un bain de gravure, caractérisé par le fait qu'il comporte, en partie basse et en partie haute, deux structures mâle (10) et femelle (9) d'emboîtement correspondantes, la structure haute d'emboîtement (9) étant agencée pour recevoir la plaquette (23). 2. Panier selon la revendication 1, dans lequel les deux structures d'emboîtement mâle (10) et femelle (9) sont respectivement deux structures basse et haute. 3. Panier selon l'une des revendications 1 et 2, dans lequel il est prévu deux structures haute (12) et basse (14) de verrouillage détachable complémentaires. 4. Panier selon la revendication 3, dans lequel l'agencement relatif des structures d'emboîtement (9, 10) et des structures de verrouillage (12, 14) est tel que ces dernières (12, 14) sont des structures de verrouillage automatique. 5. Panier selon l'une des revendications 1 à 4, dans lequel des pieds d'emboîtement et de verrouillage (2 5) sont solidaires d'une jupe (1) de réception de plaquette. 6. Panier selon la revendication 5, dans lequel la jupe (1) supporte une grille (6) de réception des éléments découpés. 7. Panier selon l'une des revendications 5 et 6, dans lequel le bord supérieur (7) de la jupe (1) s'étend jusqu'à des épaulements intérieurs (9) formés sur les pieds d'emboîtement et de verrouillage (2-5). -8. Panier selon la revendication 7, dans lequel la paroi verticale (8) de l'épaulement (9) d'un pied d'emboîtement et de verrouillage (2-5) s'étend sensiblement dans le prolongement de la paroi externe (15) du bas (10) du pied. 9. Panier selon la revendication 8, dans lequel la paroi verticale (8) est la paroi interne d'une souche (11) d'un crochet de verrouillage (12) faisant saillie vers l'extérieur hors de la jupe (1). 10. Panier selon la revendication 9, dans lequel, dans la zône de chaque pied d'emboîtement et de verrouillage (2-5), la grille de réception (6) s'étend vers l'extérieur au-delà de la jupe (1) en un rebord (13) formant, avec la souche de crochet (11), un alvéole de verrouillage (14).