Brevet FR2699366A1 — publié le 19940617

Système d'alignement d'un appareil d'essai La présente invention concerne de façon générale le domaine des équipements d'essais automatiques et, notamment, à un système pour aligner des plaquettes de circuits imprimés avec un appareil d'essai utilisé dans le contrôle automatique de ces plaquettes. Dans le contrôle automatique de plaquettes de circuits imprimés, des sondes d'essai à ressort conventionnelles sont de façon caractéristique montées sur un appareil d'essai et la plaquette de circuits à essayer est maintenue en contact de pression avec les sondes à ressort pour former un contact électrique entre l'équipement diagnostique ou de contrôle et les circuits sur la plaquette à essayer Chaque appareil d'essai contient de façon caractéristique une base ou plaque à sondes ayant un réseau de sondes à ressort propre à la plaquette à contrôler Des plaquettes de circuits identiques sont ensuite alignées avec l'appareil et contrôlées, une à la fois, pour déterminer s'il y a des défauts dans les circuits imprimés sur chaque plaquette. Pendant le contrôle, les sondes à ressort doivent être correctement alignées avec des points d'essai dans les circuits imprimés sur la plaquette en cours de contrôle Ceci exige un aligment correct de la plaquette sur l'appareil de façon que les sondes à ressort soient automatiquement amenées en correspondance avec les points d'essai correspondants dans le réseau de circuits imprimés sur chaque plaquette Afin d'aligner la plaquette avec les sondes, la pratique courante a été de percer d'abord des trous de broche de positionnement dans la plaquette de circuits Le perçage est effectué par le fabricant de plaquettes et, habituellement, deux trous de broche de positionnement sont percés dans des coins diagona- lement opposés de la plaquette Lors du contrôle, des broches de positionnement dans des coins opposés de l'appareil sont introduites dans les trous de broche de positionnement correspondants pour aligner automatiquement la plaquette avec le réseau de sondes d'essai sur l'appareil Cette procédure exige que les trous de broche de positionnement soient percés de façon précise dans la plaquette par le fabricant de plaquettes de façon que, lorsque chaque plaquette est ultérieurement montée sur les broches de positionnement, les sondes d'essai correspondent automatiquement avec les circuits imprimés sur la plaquette lorsque les sondes d'essai sont amenées en contact sous pression avec la plaquette lors du contrôle. Les plaquettes de circuits imprimés fabriquées par un fabricant donné sont habituellement produites par lots et les plaquettes à l'intérieur d'un lot donné tendent à produire un certain défaut d'alignement, provenant d'une erreur de tolérance, lorsque les plaquettes faisant partie de ce lot sont montées sur un appareil Les tolérances d'alignement tendent à varier d'un lot à l'autre pour un fabricant donné. La même plaquette fabriquée par un fabricant différent tend également à avoir des variations de tolérances différentes et des erreurs d'alignement d'un lot à l'autre. Les plaquettes de circuits imprimés ont de façon caractéris- tique une paire de "marques repères" imprimée dans le bord de la plaquette au niveau de positions de référence connues par rapport au réseau de circuits ou au "modèle de circuits" imprimés sur la plaquette Les marques repères sont imprimées sur la plaquette par le fabricant de plaquettes et ces marques sont utilisées comme guides pour le perçage par le fabricant des trous de broche de positionnement aux emplace- ments sur la plaquette qui aligneront automatiquement (on l'espère) la plaquette sur les sondes d'essai lorsque la plaquette est montée sur les broches de positionnement. Il existe des inconvénients à utiliser ces procédures pour aligner une plaquette de circuits imprimés avec un appareil d'essai Des tolérances mécaniques sont appliquées dans ( 1) le positionnement de l'outil de perçage dans la machine de perçage, ( 2) le positionnement des trous de broche de positionnement percés dans la plaquette de circuits imprimés par rapport au modèle de circuits imprimés sur la plaquette et ( 3) le positionnement des broches de positionnement sur l'appareil par rapport aux trous de broche de positionnement dans la plaquette Du fait de ces accumulations de toléran- ces, les sondes d'essai ne correspondent pas toujours de façon précise avec les points d'essai dans le réseau de circuits imprimés sur la plaquette Ce problème est amplifié par les variations de tolérances dans les lots de plaquettes en provenance de fabricants différents Le problème est encore compliqué par les progrès dans la technologie des plaquettes de circuits imprimés, o l'impression de circuits avec des lignes plus fines et des écartements de circuits plus étroits exigent une correspondance plus précise des sondes d'essai avec les circuits en cours d'essai Actuelle- ment, par exemple, il est courant de rencontrer pour des sondes d'essai des défauts d'alignement compris entre 0,13 et 0,20 mm dans un appareil d'essai caractéristique; il est souhaitable d'obtenir un alignement plus précis et la présente invention procure des techniques pour atteindre une plus grande précision d'alignement. En résumé, la présente invention procure un système pour positionner de façon précise une plaquette de circuits imprimés sur un appareil d'essai de telle sorte qu'un modèle de points d'essai dans un réseau de circuits imprimés sur la plaquette soit amené de façon précise en correspondance avec un réseau de sondes d'essai correspondantes sur l'appareil. Les avantages de ce système d'alignement sont son aptitude à produire rapidement et facilement un alignement extrêmement précis, ses faibles coûts de fabrication, la réduction du temps et du coût impliqués dans l'alignement interne (étalon- nage) des composants du système de l'appareil et l'interchan- geabilité avec différents appareils. Une réalisation de l'invention procure un appareil d'essai pour contrôler des plaquettes de circuits imprimés, dans lequel l'appareil est du type ayant un réseau de sondes d'essai maintenu en contact avec un modèle de points d'essai dans un réseau de circuits imprimés sur la plaquette Le réseau de circuits est positionné sur la plaquette par référence avec une marque repère ou tout autre point de k référence sur la plaquette Un trou de broche de positionne- ment ou tout autre dispositif d'alignement sur la plaquette est positionné sur la plaquette par référence au réseau de circuits Dans une réalisation, le trou de broche de posi- tionnement est positionné sur la plaquette par rapport au réseau de circuits,, en utilisant la marque repère comme guide de positionnement pour l'outil de perçage L'appareil d' essai comprend une broche de positionnement pour correspondre au trou de broche de positionnement ou à tout autre dispositif d'alignement sur la plaquette pour maintenir le réseau de circuits imprimés dans une position fixe par rapport aux sondes d'essai sur l'appareil La marque repère est détectée par des moyens de détection sur l'appareil pour produire une sortie qui représente l'alignement ou le défaut d'alignement des sondes d'essai sur l'appareil par rapport aux points d'essai correspondants dans le réseau de circuits sur la plaquette La position de la broche de positionnement sur l'appareil est réglable pour déplacer la plaquette par rapport à l'appareil et corriger ainsi un défaut d'alignement des sondes d'essai par rapport au réseau de circuits sur la plaquette La sortie des moyens de détection indique la quantité et la direction de déplacement de la broche de positionnement et de la plaquette jusqu'à une position corrigée sur l'appareil nécessaire pour aligner de façon précise les sondes d' essai avec le réseau de circuits sur la plaquette La broche de positionnement est ensuite bloquée ou maintenue rigidement dans sa position corrigée pour maintenir la plaquette de circuits imprimés dans sa position correcte- ment alignée sur l'appareil pendant les opérations de contrôle. Dans une réalisation de l'invention, la marque repère (ou toute autre référence d'indexation sur la plaquette) est détectée par un moyen de détection optique qui peut compren- dre une lunette de visée, un détecteur d'images à fibres optiques ou un ensemble de système de lentilles et de capteur vidéo. On peut utiliser le système de lentilles et le capteur vidéo avec ou sans le détecteur d'images à f ibres optiques qui transmet une image de la marque repère au système de lentil- les et au capteur vidéo Tout système optique qui produit une image de la marque repère et transmet l'image à un emplace- ment à distance à des fins d'agrandissement, tel que sur un moniteur vidéo ou toute autre visualisation, peut être utilisé. Une lecture visuelle de l'alignement ou du défaut d'aligne- ment peut être produite par un système optique ayant des moyens sensibles au détecteur optique pour produire une image agrandie de la marque repère Un moyen de visualisation à l'intérieur du système optique produit également une image d'une marque de référence qui procure un point de référence zéro connu étalonné qui, par comparaison avec l'image agrandie de la marque repère, fournit une indication de l'alignement ou du défaut d'alignement des sondes d'essai par rapport au réseau de circuits sur la plaquette Dans une réalisation, on peut régler le point de référence zéro de façon qu'il puisse être étalonné dans le système de visuali- sation indépendamment de l'optique du système En utilisa- tion, la broche de positionnement et la plaquette sont déplacées par rapport à l'appareil, tout en observant les images visualisées du mouvement relatif entre la marque repère et la marque de référence, de façon que l'alignement optique des deux marques fasse correspondre de façon précise les sondes d'essai sur l'appareil avec les points d'essai correspondants dans le réseau de circuits sur la plaquette. Dans une forme de l'invention, un affichage visuel de l'alignement ou du défaut d'alignement de la plaquette est procuré par un système de caméra vidéo miniature monté sur l'appareil De préférence, il existe au moins deux systèmes de caméra vidéo montés en dessous de coins opposés de la plaquette de circuits Dans une réalisation, les caméras vidéo et leurs systèmes optiques de transmission d'images peuvent être retirés de l'appareil pour accroître l'inter- changeabilité d'un appareil à l'autre Chaque caméra vidéo a des moyens optiques focalisés sur une marque repère corres- pondante sur la plaquette et chaque caméra vidéo a sa sortie couplée à un moniteur vidéo Une visualisation d'index de référence, obtenue de préférence d'un générateur électronique de réticules ou l'analogue, superpose l'index de référence sur l'image de la marque repère visualisée sur le moniteur vidéo La visualisation de l'index de référence est amenée à une position zéro connue étalonnée représentant l'alignement précis du modèle de circuits sur la plaquette par rapport au réseau de sondes d'essai En changeant la position de la broche de positionnement mobile, on déplace la plaquette, ce qui fait se déplacer l'image de la marque repère sur la visualisation par rapport au réticule L'alignement de la marque repère avec le point de croisement du réticule sur le moniteur vidéo produit automatiquement un alignement précis de la plaquette par rapport au réseau de sondes sur l'appa- reil Cet étalonnage est effectué indépendamment de l'optique du système. Dans une réalisation, le système de lentilles de la caméra vidéo a une source de lumière environnante produite par des fibres optiques pour éclairer la marque repère sur la plaquette en cours d'alignement Le système optique de la caméra produit une image de la marque repère éclairée, qui est transmise par un conduit de fibres optiques et une lentille de focalisation à une caméra vidéo et qui est transformée en une visualisation de l'image vidéo agrandie, ce qui augmente la précision de la procédure d'alignement. Dans une forme de l'invention, la plaquette est montée sur une plaque supérieure mobile sur des broches de positionne- ment fixes Une lunette de visée produit une lecture optique de la position de la marque repère Des moteurs d'entraîne- ment selon les axes X et Y, couplés à la plaque supérieure, déplacent celle-ci par rapport à une plaque à sondes fixe contenant le réseau de sondes d'essai L'image de la lunette de visée est envoyée à un système d'affichage vidéo à distance pour agrandir l'image de la marque repère et la visualiser sur un moniteur vidéo Un générateur électronique de réticules produit une marque de référence fixe affichée sur le moniteur vidéo et préréglée par étalonnage sur une plaquette de référence connue Les entraînements des moteurs des axes X et Y sont mis en oeuvre pour déplacer la plaque supérieure dans les directions des axes X, Y et/ou Z pour aligner les images vidéo de la marque repère et de la marque de référence fixe Ceci aligne automatiquement les points d'essai sur la plaquette avec les sondes d'essai sur la plaque à sondes. Une autre forme de l'invention procure une plaquette de référence ayant un réseau de circuits représentatif des circuits sur la plaquette à contrôler Cette forme de l'invention évite d'utiliser des moyens pour agrandir l'image d'une marque repère ou de tout autre point de référence de la plaquette La plaquette de référence est de préférence tout d'abord alignée avec l'appareil d'essai de façon que le réseau de circuits sur la plaquette de référence soit parfaitement aligné avec le réseau des sondes d'essai sur l'appareil Une plaquette à contrôler peut ensuite être placée sur la plaquette de référence pour aligner le réseau de circuits sur la plaquette à contrôler avec le réseau de circuits sur la plaquette de référence Les deux plaquettes sont ensuite fixées l'une sur l'autre pour empêcher tout mouvement relatif entre elles et la plaquette de référence est ensuite alignée avec l'appareil Des broches de position- nement mobiles sur l'appareil sont déplacées jusqu'à une position en alignement avec les trous de broche de position- nement ou tout autre dispositif d'alignement sur la plaquette à contrôler Les broches de positionnement sont bloquées, la plaquette de référence est enlevée et le réseau de circuits sur la plaquette à contrôler est ensuite automatiquement aligné avec le réseau de sondes sur l'appareil On peut ensuite monter des plaquettes de circuits imprimés se trouvant dans le même lot du fabricant sur l'appareil à des fins de contrôle, en utilisant les positions réglées des broches de positionnement pour l'alignement de la plaquette. La présente invention procure des moyens précis pour aligner les sondes d'essai avec les circuits sur la plaquette, de façon à réduire considérablement les accumulations de tolérances très répandues dans les procédures de contrôle antérieures, d'o il résulte une précision de contrôle considérablement améliorée Le système d'alignement des plaquettes de circuits imprimés est également raisonnablement bon marché à fabriquer et il est utilisé facilement et de façon précise par ceux impliqués dans le contrôle des plaquettes de circuits imprimés Du fait que le système d'étalonnage de la référence zéro est indépendant de l'opti- que du système, les procédures d'étalonnage sont effectuées rapidement et aisément et à un coût relativement bas Le système optique et les techniques d'étalonnage sont également facilement interchangeables avec des appareils différents. Ces aspects, ainsi que d'autres de l'invention seront plus aisément compris en se reportant à la description détaillée suivante et au dessin joint, sur lequel la figure 1 est une vue en perspective illustrant un appareil d'essai avec un système d'alignement réglable selon les principes de cette invention; la figure 2 est une vue en coupe transversale partielle illustrant une broche de positionnement réglable montée sur l'appareil; la figure 3 est une vue de dessus prise selon la ligne 3-3 de la figure 2; la figure 4 est une vue en coupe transversale prise sur la ligne 4-4 de la figure 5 et montrant un écrou de blocage pour la broche de positionnement réglable; la figure 5 est une vue de dessus de l'écrou de blocage; la figure 6 est une représentation schématique de moyens de réglage de la broche de positionnement et de moyens de blocage de la broche de positionnement avec l'écrou de blocage; la figure 7 est un schéma illustrant les composants d'un système optique pour des moyens d'amplification et de visualisation destinés à aligner une plaquette de circuits avec des sondes d'essai sur l'appareil; la figure 8 est une représentation schématique illustrant des indications visuelles de moyens d'indexation utilisés pour aligner la plaquette de circuits imprimés sur l'appa- reil; la figure 9 est une vue en coupe transversale partielle illustrant une réalisation de l'appareil d'essai contenant un système d'alignement optique de l'appareil d'essai; la figure 10 est une vue-en coupe transversale partielle illustrant une autre réalisation de l'appareil d'essai contenant une caméra vidéo dans un système d'alignement optique de l'appareil d'essai; la figure 11 est une vue en coupe transversale partielle semblable à la figure 10, mais montrant l'appareil ayant pivoté jusqu'à une position ouverte; la figure 12 est une vue semi-schématique en coupe trans- versale illustrant les composants d'un système de caméra vidéo miniature pour visualiser l'alignement de l'appareil d'essai; la figure 13 est une vue en élévation prise selon la ligne 13-13 de la figure 12; la figure 14 est un schéma de principe illustrant les composants électroniques du système de visualisation de l'alignement de l'appareil d'essai; la figure 15 est une vue en perspective illustrant une autre technique pour aligner une plaquette de circuits avec un appareil d'essai; la figure 16 est une vue schématique de dessus montrant un entraînement par moteurs d'axes X-Y utilisé pour aligner la plaque supérieure de l'appareil d'essai en réponse à une information de réglage de position en provenance d'un système d'alignement optique; la figure 17 est une vue latérale schématique en coupe transversale prise selon la ligne 17-17 de la figure 16; la figure 18 est un schéma de principe illustrant les composants électroniques du système de visualisation de l'alignement de l'appareil d'essai et de l'entraînement par moteurs pour procurer automatiquement l'alignement; la figure 19 est une vue semi-schématique en coupe trans- versale de l'entraînement par moteurs selon les axes X-Y; la figure 20 est une vue semi-schématique en coupe trans- versale de l'entraînement par moteurs selon les axes X-Y prise selon la ligne 20-20 de la figure 19; la figure 21 est une semi-schématique en coupe transversale montrant un entraînement par moteur selon l'axe Y; la figure 22 est une vue semi-schématique en coupe trans- versale, avec arrachage partiel, montrant un entraînement par moteur selon l'axe Y prise selon la ligne 22-22 de la figure 21; la figure 23 est une vue en coupe transversale montrant un moyen pour monter une unité d'entraînement par moteur sur une plaque supérieure mobile de l'appareil utilisée pour déplacer la plaque supérieure pendant une procédure d'alignement optique; et il la figure 24 est une vue en coupe transversale prise selon la ligne 24-24 de la figure 23. La figure 1 illustre un appareil d'essai 10, qui peut représenter tout appareil d'essai du type utilisé dans le contrôle automatique de plaquettes de circuits imprimés Dans la réalisation représentée, l'appareil comprend un carter 12 et une garniture compressible rectangulaire 14 montée sur la face supérieure 15 du carter Une plaquette de circuits imprimés 20 est montée sur la garniture rectangulaire sur l'appareil et la garniture délimite la limite périphérique extérieure d'une région à l'intérieur de l'appareil dans laquelle est monté un réseau de sondes d'essai à ressort 18. Les sondes sont représentées schématiquement sur la figure 7 et également sur les figures 9 à 11 Les sondes d'essai sont montées selon un modèle désiré sur une plaque à sondes 25 à l'intérieur de l'appareil de façon à correspondre au modèle des points d'essai dans les circuits imprimés sur la pla- quette 20 à contrôler La plaquette de circuits imprimés comprend un réseau de circuits imprimés 22 formé par des techniques de formation de réseau de circuits conventionnel- les Dans la réalisation représentée, le réseau de circuits 22 est imprimé sur la face inférieure de la plaquette qui regarde un réseau de sondes d'essai se projetant à travers des trous dans une plaque supérieure mobile 16 La garniture 14 est montée sur la face supérieure de la plaque supérieure mobile 16, comme on le voit mieux sur la figure 9 La plaque supérieure mobile maintient la plaquette de circuits 20 parallèle au réseau de sondes d'essai Des points d'essai individuels à l'intérieur du réseau de circuits 22 sur la plaquette sont amenés en contact avec des sondes d'essai correspondantes pendant le contrôle automatique des circuits sur la plaquette. Dans une disposition préférée de l'appareil d'essai, la plaque à sondes 25 et la plaque supérieure mobile 16 sont percées avec des trous selon un modèle qui correspond aux points d'essai dans le réseau de circuits sur la plaquette à contrôler Les sondes d'essai sont ensuite montées dans le t l modèle de trous sur la plaque à sondes Les sondes d'essai se projettent vers le haut à travers les trous dans la plaque supérieure mobile 16, qui est montée sur ressorts sur la plaque à sondes 25 La plaque à sondes percée et la plaque supérieure sont propres à une plaquette particulière à contrôler et des plaquettes de circuits identiques sont contrôlées une à une par l'appareil Pour contrôler une plaquette de circuits différente, une nouvelle plaque à sondes et une nouvelle plaque supérieure mobile sont percées avec un nouveau modèle de trous, et on utilise un nouveau réseau de sondes pour contrôler la plaquette sur ce qui est autrement le même appareil. Bien que l'invention soit décrite en considérant des plaquet- tes de circuits ayant un réseau de circuits imprimés, telles que des "plaquettes nues" comme elles sont connues dans la technique, le système d'alignement de l'appareil selon cette invention peut également être utilisé pour contrôler des "plaquettes de circuits chargées", sur lesquelles sont montés des composants de circuits, tels que des blocs de circuits intégrés et l'analogue. Une fois la plaquette de circuits imprimés 20 montée sur l'appareil, une porte articulée 23 est fermée sur une cavité contenant la plaquette de circuits, et on applique une dépression pour appliquer élastiquement les sondes à ressort en contact avec les points d'essai correspondants dans le réseau de circuits imprimés sur la plaquette, d'une manière familière à l'homme de l'art Un moyen caractéristique d'appliquer cette dépression consiste à faire un certain vide dans la cavité afin d'appliquer de façon étanche la plaquette sur la garniture 14 pendant les opérations de contrôle Le vide attire la plaquette et la plaque supérieure mobile 16 vers le bas en direction du réseau de sondes d'essai 18 sur la plaque à sondes 25 La continuité ou l'absence de conti- nuité entre les divers points d'essai dans les circuits électriques sur la plaquette est détectée par un analyseur de contrôle électronique extérieur (non représenté), électrique- ment couplé aux sondes d'essai et destiné à vérifier si la plaquette de circuits est fonctionnelle ou pour identifier les circuits défectueux. Pendant le contrôle, deux broches de positionnement mobiles 24, montées dans des coins diagonalement opposés de la plaque à sondes 25, sont amenées en correspondance avec des trous de broche de positionnement correspondants 26 percés dans des coins diagonalement opposés de la plaquette de circuits 20. (Seule l'une des broches de positionnement mobiles est représentée sur la figure 1, l'autre est cachée par la plaquette de circuits imprimés) En positionnant les broches de positionnement dans les trous de broches de positionne- ment, la plaquette est montée dans une position fixe paral- lèle à la base de l'appareil, de sorte que les points d'essai dans le réseau de circuits 22 peuvent être automatiquement alignés avec les sondes d'essai correspondantes 18 pour contrôler les circuits sur la plaquette L'utilisation de broches de positionnement -introduites dans les trous de broche de positionnement est un exemple d'un moyen pour monter la plaquette sur l'appareil En variante, des broches de positionnement sur l'appareil peuvent coopérer avec d'autres dispositifs d'alignement sur la plaquette pour maintenir la plaquette dans une position fixe sur l'appareil. Un exemple est une broche de positionnement avec un évidement rectangulaire coopérant avec un coin rectangulaire d'une plaquette D'autres moyens d'aligner la plaquette sur l'appareil sont possibles. Comme mentionné précédemment, les broches de positionnement ne produisent pas nécessairement l'alignement précis recher- ché Les trous de broche de positionnement sont percés dans la plaquette par le fabricant de plaquettes Des marques repères 28 sont imprimées sur la plaquette par le fabricant de plaquettes; et ces marques, montrées dans des coins diagonalement opposés de la plaquette, procurent un point de référence ou marque d'indexation connue par rapport au réseau de circuits imprimés sur la plaquette (Les marques repères représentées sur le côté supérieur de la plaquette sur la figure 1 sont en fait visibles depuis le côté inférieur de la t plaquette) Le fabricant de plaquettes aligne les outils de perçage par rapport au réseau de circuits sur la plaquette en utilisant les marques repères comme références et les trous de broche de positionnement sont positionnés (percés) sur la plaquette par référence aux marques repères Toutefois, dans la pratique, des accumulations de tolérances mécaniques se produisent du fait du positionnement de la plaquette dans la machine de perçage, du positionnement des outils de perçage dans la machine de perçage, du perçage des trous de broche de positionnement et de correspondance des broches de position- nement sur l'appareil avec les trous de broches de position- nement percés Ainsi, les trous de broche de positionnement percés dans la plaquette ne peuvent pas faire correspondre de façon précise les sondes à ressort avec le réseau de circuits sur la plaquette lorsque les broches de positionnement sont introduites dans les trous de broche de positionnement et que la plaquette est amenée en contact sous pression avec les sondes. L'appareil 10 procure des moyens pour résoudre les inconvé- nients de la pratique conventionnelle de l'alignement d'une plaquette de circuits à contrôler avec un appareil d'essai. L'appareil 10 comprend un système d'alignement ayant des moyens pour positionner de façon mobile les broches de positionnement 24 sur la plaqueà sondes 25, avec des détecteurs 30 sur la plaque à sondes destinés à détecter la position des marques repères 28 sur la plaquette à contrôler. Les broches de positionnement mobiles permettent de déplacer manuellement la plaquette par rapport au réseau de sondes sur l'appareil Les détecteurs détectent le mouvement des marques repères lorsque la plaquette de circuits imprimés est amenée en alignement avec le réseau de sondes, et une image agrandie de chaque marque repère est visualisée pour aider l'aligne- ment manuel précis de la plaquette sur les sondes sur l'appareil Les marques repères sont détectées par les détecteurs 30 et des images des marques sont produites et peuvent être observées par rapport à une image d'un point de référence zéro connu correspondant utilisé comme index de référence dans un système d'alignement optique et de visuali- i 1 sation Les broches de positionnement 24 peuvent être déplacées manuellement pour déplacer la plaquette tout en observant le mouvement correspondant des marques repères sur l'écran de visualisation de façon à pouvoir déplacer la plaquette pour aligner de façon précise chaque marque repère 28 avec un point de référence visualisé Ce mouvement positionne automatiquement les points d'essai dans le réseau de circuits 22 en alignement précis avec les sondes à ressort correspondantes sur la base de l'appareil Les figures 2 à 6 illustrent un système préféré pour monter de façon réglable les broches de positionnement sur la base de l'appareil De façon séparée, les détecteurs 30 sont montés dans des positions fixes sur la base de l'appareil dans des coins diagonalement opposés et en alignement avec les marques repères 28 ou toute autre marque d'indexation de la plaquette à contrôler Les détecteurs 30 et le système d'indexation des références et d'alignement optique vont être décrits ci-après plus en détail. En se reportant maintenant aux figures 2 à 6, on va décrire le réglage des positions des broches de positionnement. Chaque broche de positionnement 24 comprend une broche verticale arrondie de positionnement de plaquette avec une base ronde plus large 32 ayant un fond annulaire plat 34 Le diamètre de la broche de positionnement correspond au diamètre du trou de broche de positionnement percé dans la plaquette de façon à pouvoir positionner la plaquette sur la broche de positionnement Une portion de fût cylindrique allongé 36 d'un élément de fixation de broche s'étend vers le bas depuis le côté inférieur de la base ronde 32 Le fût a un diamètre extérieur semblable au diamètre extérieur de la broche de positionnement et l'axe du fût est aligné avec l'axe vertical traversant la broche de positionnement Le fût est positionné dans un trou de montage 38 dans la plaque à sondes ou la base de l'appareil 25 Le trou de montage est surdimensionné par rapport au diamètre extérieur du fût, de sorte que la portion de fût de la broche de positionnement peut avoir une liberté de mouvement sur 360 à l'intérieur du trou de montage Pendant ce mouvement, la base ronde 32 de la broche de pas itionnement recouvre complètement le trou et procure une base support pour tenir à tout moment la broche de positionnement dans une position verticale Le fond de l'élément de fixation de la broche a une section extérieure- ment filetée 40 qui se projette vers le bas depuis la face inférieure 42 de la base de l'appareil La broche de posi- tionnement est maintenue en place dans la base de l'appareil par un écrou de blocage taraudé 44 vissé sur la section inférieure extérieurement filetée 40 de l'élément de f ixa- tion En faisant tourner l'écrou de blocage sur la portion inférieure se projetant de l'élément de fixation pendant le montage, la broche de positionnement peut être tenue dans une orientation fixe par rapport au plan supérieur de la base de l'appareil. Pendant l'assemblage, et après que l'écrou de blocage a été serré contre la face inférieure de l'appareil, une goupille de blocage 46 est ensuite placée dans un étroit passage 48 dans le fond de l'appareil, adjacent à la portion de fût 36 de la broche de positionnement 24 La goupille de blocage est de préférence collée par adhésif ou autrement solidarisée du passage pour la maintenir dans une position fixe, avec une portion inférieure de la goupille se projetant de la face inférieure 42 de la base de l'appareil, adjacente à l'écrou de blocage 44 La portion inférieure dépassante de la goupille est contenue à l'intérieur d'un étroit évidement 50 dans l'écrou de blocage La broche de positionnement 24 peut être déplacée par rapport à la base de l'appareil en faisant coopérer les pans d'une clé (non représentée) avec les pans 52 dans la partie supérieure de la broche de positionnement et en tournant la clé pour faire tourner la broche de positionnement autour de son axe Cette action dessert la broche de positionnement de son écrou de blocage et permet de déplacer tout l'ensemble de broche de positionnement en une direction quelconque à l'intérieur du trou 38 par rapport à la base de l'appareil Une fois la broche de positionnement amenée à la position désirée, on peut la bloquer sur la base en appliquant la clé sur les pans 52 à partir d'un accès procuré au-dessus de la base de l'appareil La goupille de blocage 46 pénètre dans l'évidement 50 de l'écrou de blocage 44 pour empêcher la rotation de l'écrou de blocage lorsque la broche de positionnement est serrée dans sa position bloquée. La portion supérieure de la broche de positionnement 24 s'étend à travers un trou surdimensionné dans la plaque supérieure 16 (voir figures 9 et 10), de sorte qu'on peut déplacer la broche de positionnement sur la base de l'appa- reil (plaque à sondes 25) sans déplacer la plaque supérieure lorsqu'on déplace la plaquette. On va maintenant décrire l'alignement de la plaquette de circuits imprimés sur le réseau de sondes d'essai Les détecteurs 30 comprennent tout type de dispositif de détec- tion qui peut détecter l'emplacement des marques repères 28 sur la plaquette et fournir un signal de sortie représentatif de la position détectée des marques repères Du fait que les marques repères sont imprimées en des positions de référence connues par rapport au réseau de circuits imprimés sur la plaquette, les marques repères procurent un point de réfé- rence précis par rapport aux emplacements des points d'essai à l'intérieur du réseau de circuits imprimés sur la plaquet- te Les détecteurs 30 comprennent de préférence des détec- teurs optiques qui détectent optiquement les positions des marques repères et fournissent une sortie qui est traitée par un système extérieur d'agrandissement d'images et de visuali- sation, qui amplifie et visualise les images agrandies des positions des marques repères par rapport aux points de référence zéro connus correspondants qui sont déjà visuali- sés. Dans une technique d'alignement préférée, on établit d'abord une référence zéro connue De préférence, une plaquette de référence connue comme "plaquette d'or" est utilisée pour fixer la référence zéro La plaquette d'or est une réplique d'une plaquette de circuits imprimés ayant ses marques repères (ou autres marques d'indexation) parfaitement fixées en des positions sur la plaquette par rapport à la position du réseau de circuits sur cette plaquette La plaquette d'or a de préférence deux broches d'appareil, désignées comme "broches d'or" dans ses coins opposés pour représenter les marques repères parfaitement positionnées La plaquette d'or a également des broches de positionnement fixes positionnées sur la plaquette d'or pour aligner parfaitement celle-ci avec l'appareil La plaquette d'or est montée sur l'appareil en introduisant les broches de positionnement de la plaquette d'or dans les trous de broche de positionnement fixes sur l'appareil, ce qui aligne correctement la plaquette d'or sur l'appareil Il en résulte un alignement parfait des marques repères (les broches d'or) sur la plaquette d'or avec l'appareil et son réseau de sondes (La plaquette d'or a des trous avec jeu pour recevoir les broches de positionnement mobiles 24 de façon que la plaquette d'or peut être montée sur l'appareil indépendamment de l'emplacement des broches de positionnement 24 Aucun circuit n'est imprimé sur la plaquette d'or, du fait qu'on ne l'utilise qu'à des fins d'alignement) Les détecteurs 30 sont ensuite utilisés pour détecter les positions de chaque broche d'or et pour visuali- ser une image agrandie de la broche d'or sur une visualisa- tion ou un moniteur Les images des broches d'or sont de préférence visualisées sur des moniteurs séparés, bien qu'elles puissent être visualisées ensemble sur un seul moniteur De façon séparée, on utilise un générateur de réticules pour former une image du réticule sur l'écran de visualisation pour représenter un alignement zéro parfait de la plaquette sur l'appareil On superpose une image séparée du réticule sur l'image de chaque broche d'or visualisée sur le moniteur Le système de détection optique est ensuite aligné sur les broches d'or sur la plaquette d'or en utili- sant des images visualisées sur le moniteur La plaquette d'or reste fixe par rapport à l'appareil et les images des réticules sont déplacées électroniquement jusqu'à ce que chaque croisement des fils du réticule corresponde parfaite- ment avec l'image agrandie d'une broche d'or correspondante visualisée sur le moniteur Ceci aligne de façon précise le système de visualisation d'image sur chaque marque repère (broche d'or) sur la plaquette d'or, de sorte que les positions des points zéro des réticules représentent un alignement parfait du réseau de circuits sur la plaquette de circuits par rapport au réseau de sondes sur l'appareil La plaquette d'or est ensuite retirée de l'appareil Ensuite, les plaquettes de circuits placées sur les broches de positionnement de l'appareil sont alignées avec les points de référence à écart de tolérance zéro représentés par les images des réticules sur le moniteur Lorsqu'une plaquette de circuits est tout d'abord placée sur l'appareil, tout défaut d'alignement du réseau de circuits par rapport au réseau de sondes est représenté par un défaut d'alignement de chaque marque repère par rapport à son point zéro du réticule correspondant qui représente un écart de tolérance zéro Les broches de positionnement mobiles sont ensuite desserrées, la plaquette est déplacée manuellement et le moniteur est observé pour aligner chaque marque repère détectée avec sa référence de réticule correspondant Ceci aligne automatique- ment et de façon précise le réseau de circuits sur la plaquette sur le réseau de sondes sur l'appareil. La plaquette d'étalonnage séparée (plaquette d'or) et le générateur de réticules électroniquement réglable étalonnent l'alignement du point de référence zéro fixe avec le système de formation d'images des marques repères, indépendamment de l'optique du système Ceci réduit considérablement le coût du système d'alignement par comparaison avec un système dans lequel la référence fixe est établie dans un système de lentilles pour projeter l'image de la marque repère. Les détecteurs optiques 30 peuvent se présenter sous diverses formes Dans une réalisation, chaque détecteur peut être un détecteur à fibres optiques (d'autres dispositifs de détec- tion sont décrits ci-après) Un détecteur à fibres optiques préféré comprend un détecteur à fibres optiques coaxiales ayant une âme en fibre optique monofilament, et un tube de fibres optiques extérieur séparé constitué par un faisceau de minuscules fibres optiques disposées autour de la périphérie de l'âme L'âme en fibre optique monofilament peut servir, soit de photo-émetteur, soit de photorécepteur, et le tube de fibres optiques périphériques extérieur sert de récepteur pour l'émetteur, ou vice versa L'émetteur et le récepteur sont isolés l'un de l'autre et un système de formation d'images extérieur envoie un signal à un conduit de fibres optiques qui produit un signal optique qui se réfléchit sur la plaquette L'autre conduit de fibres optiques capte la réflexion en provenance de la plaquette Le signal optique passe les marques repères et produit un type de réflexion, tandis que, lorsque le signal optique est centré sur les marques repères, les réflexions sont interrompues et on détecte un signal lumineux réfléchi différent Ainsi, les fibres optiques et le système de formation d'images agissent en tant qu'émetteur récepteur pour détecter un type de signal lumineux lorsqu'il y a un défaut d'alignement avec la marque repère et un autre type de signal lumineux lorsqu'il y a alignement. En variante, le dispositif de détection optique du type à fibres optiques peut comporter deux fibres optiques disposées côte à côte pour émettre et recevoir des signaux lumineux pour détecter la position des marques repères. La figure 9 illustre une autre réalisation d'un détecteur 30, qui comprend deux sondes à fibres optiques 66 montées sur un appareil en alignement avec des marques repères sur la plaquette 20 Les sondes à fibres optiques sont de préférence des conduits d'images de préférence flexibles, comprenant chacun jusqu'à 80 000 pixels, pour transmettre une image de la marque repère à l'extérieur de l'appareil pour un traite- ment ultérieur L'appareil de la figure 9 montre également des conduits d'images à fibres optiques flexibles 68 trans- mettant des images à des systèmes de visualisation à distan- ce Dans l'alignement de la plaquette de circuits imprimés 20 sur l'appareil, la plaquette est montée sur les broches de positionnement 24 Les sondes à fibres optiques 66 sont assujetties à des ressorts pour assurer un contact sous pression de ressort avec la surface inférieure de la plaquet- te, ou bien elles peuvent être utilisées en combinaison avec un système de lentilles pour assurer une focalisation sur les marques repères de la plaquette à contrôler Chaque broche de positionnement 24 est desserrée, ce qui permet de déplacer manuellement la plaquette par rapport à la base de l'appareil et aux sondes 18 Cette opération déplace chaque marque repère par rapport à son détecteur optique correspondant 30. De préférence, l'alignement est effectué en ajustant la position d'une broche de positionnement jusqu'à ce que sa marque repère correspondante soit correctement alignée avec un réticule correspondant (point de référence d'écart de tolérance zéro) sur le moniteur et en ajustant ensuite la position de l'autre broche de positionnement pour amener sa marque repère correspondante en alignement avec son réticule correspondant Le système optique extérieur de détection des positions et de formation d'images peut comporter des détec- teurs optiques réfléchissants pour recevoir des signaux lumineux extérieurs conduits par les sondes à fibres opti- ques Le côté inférieur de la plaquette à contrôler peut être recouvert par un masque de brasure qui réfléchit une couleur donnée de la lumière captée par les détecteurs à fibres optiques Les marques repères peuvent être visibles à travers le masque de brasure Les détecteurs optiques sur l'unité extérieure reçoivent un signal optique extérieur qui est visualisé en une couleur sur l'écran d'un dispositif de contrôle à partir de la lumière réfléchie par le masque de brasure Lorsque les marques repères sont détectées par les détecteurs à fibres optiques (par le mouvement de la pla- quette pour l'amener dans la position d'alignement correcte), les signaux lumineux optiques changent de couleur indiquant un alignement des détecteurs optiques avec les marques repères respectives L'alignement de chaque marque repère avec un détecteur optique correspondant est indiqué sur le système de formation d'images, après quoi chaque broche de positionnement sur l'appareil est bloquée dans une position fixe sur la base de l'appareil, pour tenir la plaquette dans sa position correctement alignée. Dans un autre système de formation d'images, une sonde à fibres optiques 66 est focalisée sur une marque repère et l'extrémité opposée de chaque sonde à fibres optiques est enfichée dans un deuxième système d'optique de caméra utilisé pour visualiser la marque repère sur un moniteur à distance. Dans une autre forme de l'invention, chaque détecteur optique peut comporter une lunette de visée correspondante pour produire une image visuelle de l'emplacement des marques repères 28 par rapport à une marque d'indexation connue produite par le système optique extérieur de détection et de formation d'images La lunette de visée peut être un type de détecteur optique utilisant une matrice de fibres optiques semblable aux pixels qui forment une image d'un objet dans le champ de visée du détecteur à lunette de visée La lunette de visée est fixée à une distance donnée de la surface infé- rieure de la plaquette, car elle a une lentille de distance focale fixe pour focaliser la lumière réfléchie de son champ de visée. Pour aligner correctement la plaquette avec l'appareil, la plaquette est placée sur les broches de positionnement de telle sorte qu'elle puisse être tenue à la distance fixée correcte de chaque lunette de visée ou autre dispositif optique de focalisation Les broches de positionnement sont desserrées tout d'abord pour que la plaquette puisse être déplacée manuellement par rapport à l'appareil lorsqu'on utilise la lunette de visée ou tout autre dispositif optique pour viser les marques repères sur la plaquette (la garniture rectangulaire 14 sur laquelle la plaquette repose permet un jeu suffisant pour déplacer la plaquette par rapport à la plaque supérieure 16 et au réseau de sondes) La plaquette est ensuite alignée en utilisant le système de formation d'images que l'on comprendra mieux en se reportant aux figures 7 et 8 Chaque marque repère 28 est visée à travers un oculaire 54 qui visualise un réticule ou toute autre indication fixe de référence zéro produit dans le système de visualisation optique Lorsque la plaquette est déplacée pour positionner la marque repère proche du champ de vue, la lunette de visée ou tout autre dispositif optique capte l'image de la marque repère qui peut être vue dans l'oculaire par rapport à la marque de référence zéro fixe La marque repère et la marque de référence fixe peuvent être agrandies et visualisées sur l'écran d'un moniteur vidéo 56 et être utilisées pour positionner de façon précise la plaquette sur l'appareil Le système d'agrandissement d'images et de visualisation peut comporter un adaptateur d'images 58 qui détecte la sortie visuelle de chaque oculaire et adapte les images en provenance des deux lunettes de visée sur un écran de visualisation montrant chaque marque repère par rapport à son réticule de référence zéro fixe correspondant La sortie de l'adaptateur d'images est appliquée à un agrandisseur vidéo 60 pour agrandir l'image de chaque réticule de réfé- rence avec sa marque repère correspondante Une caméra extérieure 62 reçoit la sortie de l'agrandisseur d'images pour transmission au terminal de visualisation vidéo 56 La figure 8 montre la sortie vidéo sur un écran de l'unité vidéo 56, qui comporte une image agrandie de la marque repère 28 détectée par le détecteur optique 30 par rapport à un réticule de référence zéro fixe 64 dans le système de formation d'images. En déplaçant la plaquette de circuits par rapport à l'appa- reil par l'intermédiaire des broches de positionnement mobiles, on peut aligner la position de chaque marque repère par rapport à sa marque de référence fixe correspondante 64. On peut observer l'écran de l'unité vidéo 56 pendant que chaque broche de positionnement est déplacée manuellement sur sa liberté de rotation de 3600 jusqu'à ce que les marques repères sur la plaquette et les deux jeux de réticules soient correctement en correspondance Chaque broche de positionne- ment est ensuite bloquée en place sur l'appareil pour aligner automatiquement et de façon précise les points d'essai sur le réseau de circuits sur la plaquette avec les sondes d'essai 18 sur l'appareil La visualisation représentée sur la figure 8 est reproduite sur un moniteur séparé pour chaque marque repère et son réticule de référence zéro associé La pla- quette est déplacée tout en surveillant simultanément toutes les visualisations jusqu'à alignement de toutes les marques repères. Il existe plusieurs moyens possibles pour positionner la marque de référence fixe du système de formation d'images (réticule 64) à une position zéro connue qui alignera automatiquement les sondes d'essai avec le réseau de circuits sur la plaquette lorsque l'image de la marque repère sur la plaquette est alignée avec l'image de la référence du réticule La procédure préférée consiste à utiliser la plaquette d'étalonnage, également désignée précédemment comme "plaquette d'or", qui représente un écart d'alignement nul lorsqu'elle est montée sur l'appareil d'essai La plaquette d'or produit une erreur d'alignement nulle avec les sondes d'essai lorsque les broches de positionnement dans les coins diagonalement opposés de la plaquette d'or sont introduites dans des trous correspondants situés sur l'appareil d'essai en des positions fixes connues par rapport au réseau de sondes Le système de formation d'images extérieur contient un générateur de réticules électroniquement réglable pour aligner des réticules séparés avec les marques repères ou avec les broches sur la plaquette d'or de façon que l'erreur d'alignement zéro soit produite à l'intérieur du système d'images Cette erreur de tolérance zéro est ensuite étalon- née électroniquement dans le système de formation d'images des réticules Pendant les opérations de contrôle, la pla- quette d'or est remplacée par chaque plaquette à contrôler et des images agrandies des marques repères sur une plaquette à contrôler sont visualisées Les broches de positionnement sur l'appareil sont desserrées et chaque plaquette est ensuite amenée à une position qui alignera ses marques repères avec les réticules de référence fixes déterminés par le système d'étalonnage, pour aligner automatiquement chaque plaquette sur le réseau de sondes de l'appareil. L'adaptateur d'images est de préférence agencé pour visuali- ser la référence de position de chaque broche de positionne- ment par rapport à une marque repère correspondante, comme on le voit sur la figure 8; auquel cas, un moniteur séparé est utilisé pour l'alignement de chaque marque repère; ou bien, on peut utiliser une disposition d'écran fendu, dans laquelle deux jeux de réticules de référence et de marques repères sont visualisés sur un seul écran. à. Les figures 10 et 11 illustrent une autre réalisation d'un système de détecteur optique et d'alignement, dans lequel chaque détecteur optique 30 comprend un ensemble séparé d'objectif de caméra miniature et de sonde vidéo 70 monté sur l'appareil, adjacent au réseau de sondes, pour regarder vers la plaquette à contrôler Les ensembles séparés d'objectif de caméra et de sonde vidéo sont chacun montés de façon amovible sur la base de l'appareil Chaque ensemble comprend un objectif, un conduit d'images à fibres optiques, une source de lumière, une caméra vidéo, une optique d'agrandissement des images et un raccordement à un moniteur vidéo extérieur, tous ces composants pouvant être enlevés de la base de l'appareil Cette disposition augmente l'interchangeabilité avec d'autres appareils. Chaque ensemble d'objectif de caméra et de sonde vidéo 70 comprend un objectif de caméra cylindrique étroit et un conduit d'image à fibres optiques 72 montés sur une caméra vidéo 74 Le conduit d'image 72 est constitué par un faisceau de milliers (dans une réalisation, 80 000) pixels ou fibres optiques d'une manière semblable aux sondes optiques 66 décrites précédemment L'objectif et le conduit d'image 72 sont montés dans un réceptacle tubulaire allongé de sonde vidéo 76 fixé sur la base de l'appareil 25 L'ensemble d'objectif de caméra, de conduit optique et de sonde vidéo s'étend vers le bas sous la base 25 de l'appareil et dans une région intérieure creuse 78 du carter de l'appareil Les ensembles d'objectif de caméra, de conduit optique et de sonde vidéo sont montés sur des coins diagonalement opposés de la base pour être alignés avec des marques repères correspondantes sur la face inférieure de la plaquette à contrôler Le conduit d'image à fibres optiques 72 de chaque sonde vidéo et son optique correspondante sont alignés avec un trou agrandi séparé 80 dans des coins opposés du réseau de sondes 16 pour focalisation sur des marques repères corres- pondantes sur la plaquette La figure 11 montre comment la base de l'appareil 25 peut pivoter jusqu'à une position ouverte pour permettre d'accéder à la région intérieure creuse 78 du carter de l'appareil pour monter les ensembles de caméra et de sonde vidéo dans les réceptacles 76 fixés sur *la base. La disposition représentée sur les figures 10 et 11 repré- sente une réalisation dans laquelle les ensembles d'objectif de caméra et de sonde vidéo 70 sont montés à l'intérieur du carter de l'appareil, en dessous de la plaquette de circuits à contrôler La disposition représentée sur la figure 9 représente une autre réalisation dans laquelle les ensembles d'objectif de caméra et de sonde vidéo peuvent être disposés à distance de l'appareil (à cause de limitations d'espace), auquel cas les conduits d'image à fibres optiques flexibles s'étendent à distance loin de l'appareil pour couplage aux sondes de caméra correspondantes. Les figures 12 et 13 illustrent mieux la construction détaillée de l'ensemble de l'optique de caméra et de sonde vidéo 70 A l'avant du conduit d'image à fibres optiques 72, un ensemble de deux lentilles convexes 82 est monté dans un tube écran opaque 84 Une entretoise tubulaire en acier 86 est montée derrière les deux lentilles convexes et procure un diaphragme pour l'optique en focalisant l'image sur le conduit d'image à fibres optiques L'ensemble de lentilles et le conduit d'image à fibres optiques sont montés dans un tube opaque vertical de lentilles 88 tenu dans une ouverture à travers une monture de lentilles 90 à l'avant d'un boîtier de caméra vidéo 92 Le tube extérieur de lentilles 91 porte un écrou de blocage 93 utilisé pour monter de façon amovible l'ensemble de lentilles et de sonde vidéo sur le réceptacle de sonde vidéo 76 sur la base (Envariante, le réceptacle qui tient la sonde vidéo sur l'appareil peut être bloqué par enclenchement de façon amovible en position, avec un doigt d'arrêt qui oriente automatiquement le système optique angulairement, de telle sorte que le mouvement de la pla- quette est transformé en un mouvement correspondant de la marque repère sur le moniteur) Le réceptacle tubulaire 76 sur la base de l'appareil contient un conduit optique tubulaire à fibres optiques 91 qui entoure le long tube de lentilles 88 Les deux tubes sont coaxialement alignés, laissant un espace annulaire ouvert entre le tube intérieur 82 et le conduit extérieur tubulaire de fibres optiques 91. Une multiplicité de fibres optiques flexibles 94 (dans une réalisation, 56 fibres optiques séparées) s'étend à travers l'espace annulaire à l'intérieur du conduit 91, depuis le voisinage de l'avant du tube de lentilles jusqu'à un carter de lampe 96 sur le carter de sonde vidéo 92 Une lampe 98 est montée dans un support de lampe dans une cavité dans le carter 92 Les fibres optiques 94 sont dirigées depuis l'espace annulaire à l'intérieur des tubes coaxiaux dans la cavité à l'intérieur du carter de lampe pour un éclairage à partir de la source de lumière Celle-ci est représentée schématiquement en 98 sur la figure 12 Les fibres optiques 94 transmettent la lumière en provenance de la lampe jusqu'à l'extrémité de l'optique de la caméra pour former une couronne de fibres optiques 100 (voir figure 13) qui entoure le système de lentilles de la caméra La couronne de fibres optiques produit une source de lumière pour éclairer la surface de la plaquette 16, qui peut être une plaquette à contrôler ou la plaquette d'or utilisée pour étalonner l'alignement de l'appareil Les lentilles 82 de la caméra sont mises au point sur la marque repère et produisent une image agrandie de la marque repère sur le conduit d'image à fibres optiques, le long d'un axe optique 101 à travers le tube de lentilles 88 de la caméra En variante, le conduit d'image à fibres optiques 72 peut être remplacé par un système de lentilles relais pour transmettre optiquement une image de la marque repère à la caméra vidéo. La sonde vidéo 74 comprend deux lentilles 102 et 104 montées dans un tube 105 sur l'axe optique 101 s'étendant de l'ouver- ture à l'ensemble de lentilles de la caméra, à travers le conduit d'image à fibres optiques 72 et la monture de lentilles 90, et dans le carter 92 de la caméra vidéo Le tube 105 est fileté pour régler la position des lentilles sur la monture de lentilles 90 pour régler la distance entre les lentilles de caméra 82 et les lentilles 102 et 104 Les lentilles 102 et 104 dans la caméra vidéo comprennent une lentille achromatique et une lentille pour corriger les aberrations de couleur La paire de lentilles reçoit l'image agrandie de la marque repère en provenance du conduit d'image à fibres optiques et produit une image essentiellement 1:1 focalisée sur une puce CCD (dispositif à couplage de charge) 106 contenue dans l'unité de sonde vidéo La puce CCD convertit l'image en provenance des lentilles vidéo en une information numérique traitée par un système de visualisatin vidéo représenté sur la figure 14 Les signaux numériques en provenance de la puce CCD sont envoyés à une unité de commande de caméra (CCU) 108 représentée sur la figure 14, qui représente également schématiquement l'objectif de caméra 82 et le conduit d'image à fibres optiques 72, la caméra vidéo 74 et le carter de lampe à fibres optiques 96 avec une source de courant 110 alimentant la source de lumière des fibres optiques Un câble de caméra 112 transmet des signaux numériques en provenance de la puce CCD dans la caméra vidéo à l'unité de commande de caméra (CCU) 108 La CCU vidéo 108 peut être une unité telle -que EC-202 ou EM-102 vendue par Elmo, Japon La CCU est alimentée par une source de courant alternatif conventionnelle par l'intermédiaire d'un adapta- teur courant alternatif 114, tel que l'adaptateur Elmo AC- E 12 Un câble vidéo coaxial 116 partant de la CCU transmet des signaux vidéo à un moniteur de télévision 118 L'objectif de caméra et la sonde vidéo produisent une image agrandie de la marque repère 28 sur l'écran de visualisation du moniteur TV 118 Séparément, la sortie d'un générateur de réticules est électroniquement couplée au câble vidéo 116 pour superposer une image vidéo du réticule 64 sur le moniteur TV. Un dispositif de commande de la position du réticule 122 commande la position du réticule sur le moniteur Le système de caméra vidéo et de visualisation représenté sur la figure 14 est répété pour chaque point de référence séparé ou pour chaque marque repère détectée sur la plaquette de circuits. Cet agencement comporte un moniteur TV séparé pour chaque sonde vidéo Par ailleurs, on peut utiliser un écran fendu pour visualiser simultanément des marques repères et leurs réticules de référence associés. En utilisant le système de caméra vidéo pour aligner une plaquette de circuits sur le réseau de sondes sur l'appareil de contrôle, l'appareil est d'abord étalonné avec la pla- quette d'or Les caméras vidéo sont alimentées en courant et le système vidéo produit des images vidéo agrandies des broches d'or qui représentent chacune des marques repères de la plaquette d'or Chaque visue de réticule est réglée jusqu'à ce que les images vidéo montrent les broches d'or en alignement avec les réticules visualisés sur les moniteurs. La plaquette d'or est ensuite enlevée et les plaquettes de circuits sont essayées, une à la fois, sur l'appareil, avec chaque marque repère sur la plaquette visualisée sur un moniteur vidéo Si une marque repère est mal alignée par rapport à son image de réticule, on ajuste simplement les positions des broches de positionnement en déplaçant la plaquette par rapport au réseau de sondes jusqu'à ce que les images des marques repères viennent en alignement avec les points de croisement des réticules La plaquette est ainsi précisément alignée avec le réseau de sondes sur l'appareil. Le système d'alignement par caméra vidéo fournit un moyen extrêmement précis d'ajuster les plaquettes de circuits, car l'alignement peut être effectué rapidement du fait que de très petits réglages de position de la plaquette sont transformés en réglages de positions d'images visuelles considérablement agrandies L'alignement de la plaquette est extrêmement précis Les ensembles de caméra vidéo miniature peuvent faire partie d'un système d'appareillage de base qui comprend le carter de l'appareil et la visue vidéo et le moniteur Il suffit de percer une nouvelle plaque à sondes et une nouvelle plaque supérieure pour chaque plaquette à contrôler, en même temps qu'on forme une plaquette d'or pour étalonner l'alignement Les ensembles de caméra sont ensuite montés sur les réceptacles dans la plaque à sondes Le système tout entier de lentilles et de sonde vidéo pour former une image agrandie de la marque repère est retiré de la base ou est monté sur celle-ci. La figure 15 montre une autre réalisation de l'invention, qui procure un système pour aligner des plaquettes de circuits sur l'appareil d'essai sans utiliser des moyens de détection optiques, ni des moyens pour produire des images agrandies d'une marque repère et d'un réticule ou tout autre point de référence zéro Dans le système représenté, une plaquette d'indexation ou de référence 130, semblable à la plaquette d'or décrite précédemment, est produite pour représenter une plaquette parfaitement alignée sur l'appareil d'essai La plaquette de référence 130 a un modèle de marques d'indexa- tion 132 représentant les emplacements des points d'essai dans le réseau de circuits sur une plaquette à contrôler Une plaquette de circuits 20 à contrôler est alignée avec la plaquette de référence de façon que des points d'essai 134 dans les circuits sur la plaquette à contrôler soient associés aux points d'essai 132 imprimés sur la plaquette de référence ou les recouvrent De préférence, la plaquette de référence est transparente, de telle sorte que les points d'essai de la plaquette 20 peuvent être vus à travers la plaquette de référence pour aligner les points d'essai 132 de la plaquette de référence avec les points d'essai correspon- dants 134 des circuits sur la plaquette à contrôler Les deux plaquettes se recouvrant sont ensuite fixées l'une sur l'autre pour empêcher tout mouvement relatif entre elles La plaquette de référence a également des broches de positionne- ment 136 ou d'autres moyens d'alignement associés de façon précise aux points d'essai 132 sur la plaquette de référence. Les broches de positionnement de la plaquette de référence sont positionnées de façon précise sur la plaquette de référence de telle sorte que, lorsque les broches de posi- tionnement 136 sont alignées avec les trous de broche de positionnement 138 dans l'appareil, l'alignement de la plaquette de référence représente une plaquette de circuits alignée de façon précise sur le réseau de sondes d'essai de l'appareil La plaquette de référence comprend également des régions découpées 140 dans des coins diagonalement opposés qui correspondent aux emplacements des broches de positionne- ment mobiles 24 de l'appareil Le côté gauche de la figure 15 montre la plaquette de référence transparente 130 recouvrant une plaquette de circuits 20 à contrôler, dans laquelle les points d'essai 132 de la plaquette de référence sont visuel- lement alignés avec les points d'essai correspondants 134 des circuits de la plaquette à contrôler Lorsque les deux plaquettes sont parfaitement alignées et que les deux plaquettes sont fixées ensemble pour empêcher tout mouvement relatif entre elles, les deux plaquette sont ensuite bascu- lées sur l'appareil et montées sur lui, comme il est repré- senté sur le côté droit de la figure 15 (dans laquelle la plaquette de circuits 20 et la plaquette de référence 130 sont montrées séparées à des fins de clarté) La plaquette de référence est montée sur l'appareil en introduisant les broches de positionnement 136 de la plaquette de référence dans les trous de broche de positionnement correctement alignés 138 dans l'appareil S'il y a un défaut d'alignement entre les trous de broche de positionnement 26 de la pla- quette à contrôler et le réseau de circuits sur la plaquette, alors les broches de positionnement 24 de l'appareil ne correspondront pas de façon précise avec les trous de broche de positionnement 26 de la plaquette à contrôler Dans ce cas, les broches de positionnement 24 sont desserrées et amenées dans des positions qui font correspondre correctement les broches de positionnement 24 avec les trous de broche de positionnement 26 Les régions découpées 140 procurent l'espace nécessaire pour déplacer les broches de positionne- ment 24 et les amener à leur position alignée Après aligne- ment de la plaquette de circuits sur l'appareil d'essai, la plaquette de référence 130 peut être enlevée et toutes les plaquettes faisant partie du même lot peuvent ensuite être contrôlées sur l'appareil de contrôle en utilisant les mêmes positions de broches de positionnement. Dans la réalisation de l'invention décrite précédemment, la plaquette 20 est montée sur des broches de positionnement 24 qui peuvent être déplacées indépendamment par rapport à la plaque supérieure 16, en ajustant la position des broches de positionnement sur la plaque à sondes 25 En variante, on peut effectuer le même ajustement (de la plaquette par rapport au réseau de sondes) en montant la plaquette sur des broches de positionnement solidarisées de la plaque supé- rieure et en déplaçant la plaque supérieure et la plaquette en même temps par rapport aux sondes de la plaque à sondes inférieure Le mouvement de la plaquette se fait dans un plan parallèle à la plaque à sondes et à la plaque supérieure La plaque supérieure peut être amenée à la position correcte par un entraînement par moteurs extérieur qui déplace la pla- quette pendant que l'opérateur examine les images des marques repères et les points de référence fixes déterminés par les techniques d'étalonnage décrites ci-dessus Dans la descrip- tion suivante, on décrira un entraînement actuellement préféré par moteurs d'axes X-Y pour déplacer la plaque supé- rieure, bien qu'on puisse utiliser d'autres systèmes pour déplacer une plaque supérieure et ses broches de positionne- ment fixées sans s'écarter de la portée de l'invention. Les figures 16 à 24 représentent une réalisation d'un système d'entraînement de moteurs d Laxes X-Y pour déplacer automati- quement une plaque supérieure 150 et l'amener en alignement correct avec le réseau de sondes sur un appareil d'essai 152 de façon que les circuits sur la plaquette à contrôler soient correctement alignés avec les sondes d'essai 154 Tout défaut d'alignement de la plaquette par rapport au réseau de sondes est détecté par un système d'alignement optique tel que celui décrit ci-dessus Les figures 16 à 18 représentent schémati- quement une réalisation de l'appareil d'essai et d'un système de paliers linéaires utilisé en liaison avec une réalisation du système d'alignement optique Le système de paliers représenté à des fins d'illustration est semblable à celui décrit dans la Demande No de série 07/896479, déposée le 9 juin 1992 et intitulée "Appareil d'essai" Cette Demande est la propriété de l'ayant droit de la présente Demande et est incorporée ici à titre de référence Le système de paliers linéaires comprend des blocs paliers mobiles aux quatre coins de l'appareil Chaque bloc palier comprend un manchon de palier linéaire 156 et des éléments de fixation 158 pouvant être desserrés pour permettre une liberté de mouvement des blocs paliers, pendant que la plaque supérieure est déplacée lors de l'utilisation du système d'aligne- ment optique Chaque bloc palier est également représenté avec une goupille de blocage 160 utilisée pour bloquer les blocs paliers et les maintenir alignés après que la plaque supérieure a été déplacée et que la plaquette à contrôler a été correctement alignée avec le réseau de sondes par le système d'alignement optique. En bref, l'appareil comprend des blocs paliers 162 aux quatre coins de l'appareil La figure 16 montre également des montures 164 et l'arbre 166 qui coulisse verticalement dans chaque palier La plaquette à contrôler 168 est représentée montée sur la plaque supérieure 150 sur des broches de positionnement fixes 170 Deux blocs paliers séparés 190 au niveau des coins avant de l'appareil sont modifiés pour comporter un bras de prolongement 192 couplé à des moteurs d'entraînement séparés destinés à être utilisés pour déplacer automatiquement la plaque supérieure et l'amener en aligne- ment comme il sera décrit ci-après Les blocs paliers 190 sont par ailleurs semblables aux blocs paliers arrière 162 en ce qu'ils comprennent les éléments de fixation 158 permettant une liberté de mouvement des blocs paliers par rapport à la plaque supérieure; ils comprennent également le palier linéaire 156 et l'arbre 166 ainsi que les goupilles 160 destinées à bloquer les blocs paliers avant lorsque l'aligne- ment optique a été terminé. Le système représenté sur la figure 16 comporte également la garniture extérieure annulaire 172 qui constitue un joint d'étanchéité extérieur entre le côté inférieur de la plaque supérieure mobile 150 et la surface supérieure de la plaque à sondes 174 Comme décrit précédemment, ce joint d'étan- chéité au vide isole la zone sous vide des blocs paliers mobiles qui se trouvent à l'extérieur de cette zone sous vide Dans la réalisation représentée sur la figure 16, la plaquette de circuits imprimés 168, qui est montée sur le dessus de la plaque supérieure 150, est également totalement isolée de la zone sous vide Dans cette réalisation, un joint d'étanchéité au vide 194, fabriqué dans un matériau semblable au joint d'étanchéité 172, est fixé sur le côté inférieur de la plaque supérieure mobile Le bas du joint d'étanchéité 194 est logé dans un évidement peu profond de forme correspon- dante dans la surface supérieure de la plaque à sondes. Lorsqu'on crée une dépression, une zone annulaire sous vide 196 est formée entre le joint d'étanchéité 194 et le joint d'étanchéité 172, de sorte que la plaquette de circuits à contrôler est totalement isolée de la zone sous vide. En se reportant maintenant au système d'alignement optique, et notamment aux figures 16 et 17, deux moteurs d'entraîne- ment tenus à la main sont fixés sur les bras de prolongement 192 des blocs paliers 190 au niveau des coins avant de l'appareil, destinés à déplacer automatiquement l'alignement de la plaque supérieure par rapport aux sondes d'essai sur la base de l'appareil Les blocs paliers avant 190 sont solida- risés d'une barre transversale rigide 197 qui s'étend latéralement en travers de l'avant de l'appareil en dessous de la plaque à sondes 174 Les blocs paliers 190 sont montés entre des feuilles de coulissement en Téflon, de sorte que les blocs paliers avant 190 et la barre transversale 197 sont liés ensemble sous forme d'une unité rigide et se déplacent à l'unisson par rapport à la plaque supérieure La fixation des blocs paliers sur la base de l'appareil permet un déplacement coulissant vertical de la plaque supérieure dans le plan de la plaque supérieure seulement, tandis que le mouvement dans la direction verticale ou mouvement de basculement de la plaque supérieure est empêché Comme mentionné précédemment, les arbres 166 fixés sur le fond de la plaque supérieure mobile sont alignés dans les paliers linéaires 156, de sorte que tout mouvement des blocs paliers frontaux déplace automatiquement la plaque supérieure Les blocs paliers 162 au niveau des coins arrière de l'appareil restent à l'état desserré pendant l'alignement optique et les arbres 166 sur la plaque supérieure mobile, qui coopèrent avec les paliers linéaires dans les blocs paliers arrière, sont libres et suivent le trajet induit sur les blocs paliers frontaux par le système d'entraînement d'alignement optique. Les bras de prolongement 192 des blocs paliers frontaux sont entraînés pendant le processus d'alignement par un moteur d'entraînement d'axe X et d'axe Y 198 en coopération avec un moteur d'entraînement d'axe Y 200 Chacun de ces moteurs d'entraînement est contenu dans un boîtier séparé tenu à la main, adapté pour être raccordé de façon amovible aux coins frontaux de l'appareil avant le processus d'alignement optique L'étroit bras de prolongement 192 partant de chaque bloc palier frontal s'étend entre deux bras extérieurs fixes 202 solidarisés de la plaque à sondes Les bras fixes extérieurs 202 s'étendent parallèlement aux bras mobiles 192 sur les blocs paliers frontaux, qui s'étendent dans l'espace entre les bras extérieurs 202 Les bras fixes extérieurs ont des broches fixes verticales 204 (décrites ci-après) sur les moteurs d'entraînement pour raccordement à des réceptacles correspondants sur l'appareil et tenant les moteurs d'entraî- nement dans une position fixe au niveau des coins avant de l'appareil pendant le processus d'alignement Les broches fixes 204 sur les moteurs d'entraînement peuvent être retirées de ces réceptacles-lorsqu'on enlève les moteurs des coins avant de l'appareil Les bras de prolongement 192 des blocs paliers frontaux mobiles sont raccordés à une paire de broches mobiles verticales 206 qui se raccordent à des réceptacles sur un chariot mobile (décrit ci-après) porté par les arbres d'entraînement d'axes X-Y des moteurs d'entraîne- ment 198 et 200 Le processus d'alignement utilisant les moteurs d'entraînement est décrit plus en détail ci-après. On se reporte maintenant aux représentations schématiques des moteurs d'entraînement 198 et 200 représentées sur la figure 16; le moteur d'entraînement d'axe X et d'axe Y 198 comprend un moteur d'axe Y 208 ayant un écrou d'entraînement taraudé 210, qui est entraîné en rotation autour de son axe lorsque le moteur d'axe Y 208 est entraîné L'écrou d'entraînement 210 coopère avec un arbre d'axe Y fixe à filetage extérieur 212 solidarisé du bras de prolongement 192 du bloc palier représenté dans le coin avant gauche de l'appareil Lorsque le moteur d'axe Y tourne, l'écrou d'entraînement 210 déplace axialement l'arbre d'axe Y 212 dans la direction de l'axe Y représenté en 214 sur la figure 16 L'unité d'entraînement 198 comprend également un moteur d'axe X 216, ayant un arbre de sortie aligné avec l'axe X représenté en 218, perpendicu- laire à l'arbre d'axe Y Le moteur d'axe X comprend un écrou d'entraînement 220 taraudé et coopérant avec un arbre fixe d'axe X 222 raccordé par un mécanisme interne (décrit ci- après) qui déplace la plaque supérieure dans la direction appropriée le long de l'axe X lorsque le moteur d'axe X entraîne l'écrou d'entraînement 220. L'unité d'entraînement d'axe Y 200 comprend un moteur d'axe Y 224 pour entraîner un écrou d'entraînement d'axe Y 226 raccordé à un arbre d'axe Y fixe 228 fixé sur le bloc palier représenté dans le coin avant droit de l'appareil. Pendant le fonctionnement du système d'alignement optique, tel qu'il sera décrit plus en détail ci-après, la plaque supérieure peut être déplacée selon l'axe X et l'axe Y, ou elle peut être tournée autour de l'axe Z comme suit Tout alignement selon l'axe X est-produit en actionnant le moteur d'axe X 216 qui déplace le bras de prolongement frontal 192 du bloc palier représenté dans le coin avant gauche de l'appareil La plaque supérieure toute entière est fixée en tant qu'unité rigide sur l'entraînement d'axe X, de sorte que les signaux d'entrée au dispositif de commande du moteur d'axe X peuvent entraîner la plaque supérieure vers la gauche ou vers la droite selon l'axe X Le mouvement selon l'axe Y est produit en actionnant les moteurs d'axe Y 208 et 224 en synchronisme pour déplacer la plaque supérieure en direction de l'avant ou de l'arrière selon l'axe Y 214 Les moteurs d'entraînement selon l'axe Y 208 et 224 peuvent également être actionnés pour produire un mouvement de rotation de la plaque supérieure autour de l'axe Z en entraînant un moteur d'axe Y dans un sens de rotation et l'autre moteur d'axe Y dans le sens de rotation opposé Des signaux d'entrée correspondant aux moteurs d'axe Y peuvent produire une rotation dans le sens des aiguilles d'une montre ou dans le sens inverse de la plaque supérieure en plus du mouvement vers l'avant ou vers l'arrière selon seulement l'axe Y. 4 4 En se reportant à la figure 18, le système d'alignement optique comprend, dans une forme préférée, une lunette de visée de petit diamètre 230 (représentée schématiquement sur la figure 18) et montrée en position dans l'appareil sur la figure 17) La lunette de visée comprend un guide d'image à fibres optiques pour transmettre l'image d'une marque repère 232 sur la plaquette à une unité de traitement à distance La lunette de visée comprend également des fibres optiques pour transmettre de la lumière depuis une source de lumière éloignée jusqu'au voisinage de la marque repère de façon à éclairer celle-ci Cette opération renforce l'image de la marque repère transmise par le guide d'image à fibres optiques L'extrémité sonde de la lunette de visée est montée dans une position fixe sur la plaque à sondes 174 en dessous de la plaque supérieure mobile 150 La sonde accède à la marque repère à travers une ouverture 231 dans la plaque supérieure 150 Il existe en fait deux lunettes de visée, une pour produire l'image de chaque marque repère 232, disposée dans des coins diagonalement opposés de l'appareil Chaque lunette de visée est montée sur la plaque à sondes par l'intermédiaire d'un réceptacle de petit diamètre, de préférence un connecteur standard de 2 mm La plaque supé- rieure mobile comprend les broches de positionnement fixes introduites dans les trous de broche de positionnement dans des coins diagonalement opposés de la plaquette 168 à contrôler Les broches de positionnement sont solidarisées de la plaque supérieure et elles tiennent la plaquette dans une position fixe au-dessus de la plaque supérieure. En utilisation, la lunette de visée détecte la position de chaque marque repère et produit une lecture optique montrant tout défaut d'alignement de chaque marque repère par rapport à un point de référence zéro connu, représenté en 234 sur l'écran d'un moniteur 236 De préférence, les images transmi- ses par chaque lunette de visée sont entrées dans des caméras vidéo miniatures séparées 238 disposées à distance de l'appareil d'essai Les systèmes optiques des caméras vidéo focalisent les images transmises des marques repères sur une puce CCD (dispositif à couplage de charge) située en 240 sur chaque unité de caméra vidéo à distance La puce CCD conver- tit l'image en provenance du système optique vidéo en signaux numériques 241 traités dans un système de visualisation vidéo, qui comprend une unité de commande de caméra (CCU) dans un dispositif de commande 242 Un câble vidéo coaxial 243 transmet les signaux vidéo au moniteur TV 236 Des images agrandies des marques repères sont produites sur l'écran du moniteur vidéo L'écran est fendu, de telle sorte que deux sections d'écran Vi et V 2 visualisent chaque marque repère 232 en comparaison à des points de référence fixés correspon- dants 234 produits par un générateur de réticules 244 Les procédures d'étalonnage pour déterminer les points de référence fixes sont décrites ci-dessus La sortie du générateur électronique de réticules 244 est électroniquement couplée au câble vidéo et est également visualisée comme points de référence fixes sur l'écran Le mouvement de la plaquette amène les images des marques repères à changer sur l'écran par rapport à leurs points de référence fixes correspondants Tout mouvement de la plaquette par rapport au réseau de sondes est visualisé en tant que défaut d'aligne- ment des marques repères par rapport à leurs points de référence fixes En déplaçant la plaquette par rapport à la plaque à sondes (et par voie de conséquence par rapport aux lunettes de visée), les images des marques repères peuvent être alignées avec les points de référence fixes Ceci aligne automatiquement la plaquette avec le réseau de sondes Dans cette réalisation, les broches de positionnement 170 de la plaque supérieure restent fixes et elles se déplacent à l'unisson avec la plaquette et la plaque supérieure par rapport à la plaque à sondes et aux lunettes de visée. Comme mentionné précédemment, les paliers linéaires de cette invention procurent un moyen pour déplacer la plaque supé- rieure avec une liberté de mouvement de 3600 pendant le processus d'alignement optique Les paliers linéaires sont maintenus dans leur position desserrée pendant les procédures d'alignement optique Dans une forme préférée de l'invention, la plaque supérieure mobile est déplacée par l'unité d'en- traînement des moteurs d'axes X-Y 198 et l'unité d'entraîne- ment du moteur d'axe Y 200 Chaque unité d'entraînement est commandée par ordinateur pour déplacer automatiquement la plaque supérieure et l'amener en alignement correct avec le réseau de sondes Pendant l'utilisation, l'opérateur du système d'alignement observe les alignements relatifs des marques repères 232 par rapport aux points de référence fixes 234 et actionne les unités d'entraînement par moteurs 198 et pour déplacer la plaque supérieure jusqu'à ce que les marques repères et leurs points de référence fixes correspon- dants soient alignés Les unités d'entraînement par moteurs 198 et 200 sontentraînées par des signaux de commande respectifs 245 et 246 émis du dispositif de commande 242. L'une ou l'autre des deux unités d'entraînement par moteurs ou les deux sont entraînées en réponse à des commandes d'entraînement de moteurs 247 et 248 entrées dans une unité de commande 250 On va maintenant décrire les systèmes d'entraînement par moteurs. Les figures 19 et 20 montrent l'unité d'entraînement selon les axes X et Y 198, qui comprend un motoréducteur d'axe X 250 et un motoréducteur d'axe Y 252 Le motoréducteur d'axe X fait tourner l'écrou d'entraînement d'axe X 220 Des paliers de butée 254 réglés à un jeu zéro maintiennent l'écrou d'entraînement 220 dans une position fixe lorsqu'il tourne autour de son axe L'arbre d'axe X fileté 222 est maintenu dans une position fixe sans pouvoir tourner Un coupleur d'entraînement flexible 256 absorbe les chocs au démarrage et en fin de course La rotation de l'écrou d'entraînement de l'axe X déplace l'arbre d'axe X 222 axialement dans les deux sens le long de l'axe X. Le motoréducteur d'axe Y 252 est couplé à l'écrou d'entraîne- ment d'axe Y 210 par l'intermédiaire de pignons coniques 258 et 260 Un coupleur d'entraînement flexible d'axe Y est représenté en 262 Le pignon 260 a son arbre de sortie couplé à l'écrou d'entraînement d'axe Y supporté par des paliers radiaux à jeu nul 264 La rotation de l'écrou d'entraînement d'axe Y déplace axialement l'arbre d'axe Y 212 en direction de l'écrou d'entraînement ou en sens inverse dans des directions opposées le long de l'axe Y Des segments anti-jeu 266 sont portés sur les deux arbres filetés des unités d'entraînement X et Y. Des supports de montage fixes 268 sont espacées sur les côtés opposés de l'arbre d'axe Y 212 Les supports fixes sont solidarisés du carter 270 de l'unité d'entraînement et ces supports de montage portent les broches fixes 204 décrites précédemment Ces broches 204 sont utilisées pour monter l'unité d'entraînement 198 sur les coins avant de l'appareil. Un support de montage de broche mobile 272 est porté sur l'extrémité de l'arbre d'axe Y 212 entre les deux supports de montage fixes 268 Lorsque l'arbre d'axe Y est déplacé dans les deux sens selon l'axe Y, le support mobile 272 se déplace linéairement avec le mouvement de l'arbre 212 Le support mobile 272 porte les broches mobiles 206, décrites précédem- ment, qui sont raccordées aux blocs paliers au niveau des coins avant de l'appareil - L'arbre d'axe X 222 est solidarisé d'un chariot 274 pour transporter latéralement l'arbre d'axe Y dans la direction de l'axe X pendant la translation de l'arbre d'axe X 222 Le chariot 274 porte une glissière en queue d'aronde 275 qui force le support de broche mobile 272 à ne se déplacer que dans l'axe X Un certain jeu 276 permet la translation de l'arbre d'axe X 212 et de son support de broche mobile 272 pendant les réglages d'alignement le long de l'axe X Le jeu 276 entre le support de broche mobile 272 et les supports de broches fixes 268 permet également un mouvement selon l'axe X. En se référant aux figures 21 et 22, le moteur d'entraînement d'axe Y 224 comprend un motoréducteur d'axe Y 280 ayant son arbre de sortie couplé à l'écrou d'entraînement d'axe Y 226 par l'intermédiaire de pignons coniques intermédiaires 282 et 284 L'unité d'entraînement comporte également des paliers radiaux à jeu nul 286, un coupleur d'entraînement flexible 288 et un segment anti-jeu 290 décrits précédemment L'arbre d'entraînement d'axe Y 228 est porté sur une glissière en queue d'aronde 292 qui permet un mouvement libre selon l'axe X tout en restreignant le déplacement selon l'axe Y lorsque le bloc de broches mobiles 294 est entraîné dans la direction de l'axe X Des blocs de broches fixes 296, fixés sur le carter 298 de l'entraînement d'axe Y, portent les broches de montage fixes 204 Le bloc de broches mobiles 294 porte les broches 206 pour le raccordement au bloc palier au niveau du coin avant droit de l'appareil. En utilisant les entraînements par moteur, chaque unité d'entraînement est montée sur un bras de prolongement correspondant sur les blocs paliers au niveau des coins avant de l'appareil Les figures 23 et 24 montrent les moyens de montage amovible de chaque unité d'entraînement sur le bloc palier Comme mentionné précédemment, les broches fixes 204 du support de montage de broches fixes 268 sont introduites dans des réceptacles correspondants 290 dans un bloc de montage fixe 202 solidarisé-de l'avant de la base de l'appa- reil Ceci tient chaque unité d'entraînement dans une position fixe par rapport à l'appareil L'unité d'entraîne- ment comprend également les broches mobiles 206 portées par le support de broches mobiles 272 qui est entraîné selon l'axe X ou selon l'axe Y par l'unité d'entraînement Les broches 206 sont introduites dans de longs réceptacles étroits 294 dans le bras de prolongement 292 du bloc palier au coin de l'appareil Les quatre broches 204, 206 sont introduites simultanément dans leurs réceptacles correspon- dants 290, 294 respectivement Ainsi, lorsque l'unité d'entraînement est montée sur le coin avant de l'appareil, l'unité d'entraînement est tenue dans une position fixe par rapport à l'appareil par les broches extérieures 204, tandis que les unités d'entraînement peuvent déplacer la plaque supérieure dans les directions X, Y ou Z par la fixation des broches 206 sur les blocs paliers au niveau des coins avant de l'appareil. Dans le processus d'alignement, les moteurs d'entraînement sont fixés sur les coins avant de l'appareil, le système d'alignement optique est utilisé pour observer tout défaut s * d'alignement de la plaquette par rapport au réseau de sondes, après quoi on actionne les moteurs d'entraînement pour déplacer la plaque supérieure jusqu'à ce que le système d'alignement optique indique un alignement correct Les unités d'entraînement peuvent alors être retirées de l'appa- reil, après quoi on ajuste les goupilles de blocage 160 pour maintenir les paliers linéaires au niveau des quatre coins de l'appareil dans une position fixe par rapport à la plaque supérieure mobile L'appareil est ensuite prêt pour être soumis à un vide pour contrôler la plaquette de circuits. Dans une autre forme de l'invention, les arbres d'axes X et Y peuvent être tournés manuellement pour déplacer la plaque supérieure Ceci peut être atteint en procurant des boutons pouvant être tournés manuellement sur les carters des moteurs d'entraînement, lesquels tournent l'écrou d'entraînement pour déplacer l'arbre fileté correspondant dans la direction linéaire appropriée - Revendications 1. Appareil d'essai ( 10) pour contrôler des plaquettes de circuits imprimés ( 20) et l'analogue, l'appareil d'essai étant du type ayant une plaque de montage de plaquettes ( 16), un réseau de sondes d'essai ( 18) monté sur une plaque à sondes ( 25) et maintenu en contact avec un modèle de points d'essai dans un réseau de circuits imprimés ( 22) sur la plaquette, le réseau de circuits ( 22) étant positionné sur la plaquette ( 20) en se référant à une marque repère ( 28) sur la plaquette, la plaquette ayant également un dispositif d'alignement positionné sur elle en alignement avec le réseau de circuits, caractérisé en ce qu'il comprend: une broche de positionnement ( 24) solidarisée de la plaque de montage de la plaquette pour coopérer avec le dispositif d'alignement sur la plaquette pour maintenir la plaquette et son réseau de circuits dans-une position fixe par rapport à un réseau de sondes d'essai ( 18) sur la plaque à sondes ( 25), des moyens de détection ( 30) ayant une position fixe par rapport à la plaque à sondes ( 25) pour détecter la position de la marque repère sur la plaquette et produire une sortie représentative de l'alignement ou du défaut d'alignement du réseau de sondes d'essai par rapport au réseau de circuits sur la plaquette, et des moyens pour déplacer la plaque de montage de plaquettes ( 16) par rapport à la plaque à sondes ( 25) pour déplacer ainsi la plaquette par rapport aux moyens de détection et corriger tout défaut d'alignement du réseau de circuits ( 22) par rapport au réseau des sondes d'essai ( 18), les moyens de détection produisant une sortie pour indiquer le mouvement précis de la plaque de montage de plaquettes jusqu'à une position ajustée par rapport à la plaque à sondes nécessaire pour aligner les moyens de détection avec la marque repère ( 28) et indiquer ainsi un alignement précis des sondes d'essai avec les points d'essai correspondants dans le réseau de circuits sur la plaquette. 2. Appareil d'essai ( 10) pour contrôler des plaquettes de circuits imprimés ( 20) et l'analogue, l'appareil d'essai étant du type ayant une plaque de montage de plaquettes, un réseau de sondes d'essai montées sur une plaque à sondes et maintenues en contact avec un modèle de points d'essai dans un réseau de circuits imprimés sur la plaquette, le réseau de circuits étant positionné sur la plaquette par rapport à une marque repère sur la plaquette, la plaquette ayant également un dispositif d'alignement positionné sur elle en alignement avec le réseau de circuits imprimés, caractérisé en ce qu'il comporte: une broche de positionnement ( 24) solidarisée de la plaque de montage de plaquettes ( 16) pour coopérer avec le dispositif d'alignement sur la plaquette et maintenir la plaquette et son réseau de circuits dans une position fixe par rapport à un réseau de sondes d'essai ( 18) sur la plaque à sondes ( 25), des moyens de détection à fibres optiques montés dans une position fixe sur la plaque à sondes pour détecter la marque repère sur la plaquette et produire une image qui représente la position de la marque repère, des moyens pour produire un point de référence fixe qui représente une position de référence fixe avec laquelle l'image de la position de la marque repère peut être alignée pour faire ainsi correspondre le réseau de sondes d'essai avec le modèle de points d'essai sur la plaquette, et des moyens pour déplacer la plaque de montage de plaquettes ( 16) par rapport à la plaque à sondes ( 25) pour déplacer ainsi la plaquette par rapport aux moyens de détection et corriger tout défaut d'alignement du réseau de circuits par rapport au réseau des sondes d'essai, les moyens de détection produisant cette sortie pour indiquer le mouvement précis de la plaque de montage de plaquettes jusqu'à une position ajustée par rapport à la plaque à sondes nécessaire pour aligner l'image de la marque repère avec le point de réfé- rence fixe pour indiquer ainsi un alignement précis des It t sondes d'essai avec les points d'essai correspondants dans le réseau de circuits sur la plaquette. 3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens pour déplacer la plaque de montage de plaquettes ( 16) comprennent un moteur d'entraînement ( 198,200) ayant son arbre de sortie couplé à la plaque de montage de plaquettes ( 16) et en ce que le moteur d'entraînement est arrêté pour maintenir la plaquette dans la position ajustée fixe pendant le contrôle. 4. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens pour produire le point de référence fixe compren- nent des moyens pour former une image réglable produite électroniquement sur un moniteur pour indiquer l'alignement correct des sondes par rapport au réseau de circuits sur la plaquette. 5. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de détection à fibres optiques comprennent une optique ( 82) pour former une image de la marque repère et un conduit d'image à fibres optiques ( 72) pour transmettre l'image, l'optique et le conduit d'image étant montés de façon amovible sur l'appareil, et des moyens vidéo sensibles à l'image transmise pour visualiser une image agrandie de la marque repère par rapport à la deuxième image pour indiquer une position alignée correcte des points d'essai par rapport aux sondes d'essai. 6 Procédé pour le contrôle diagnostique de plaquettes de circuits imprimés ( 20) sur un appareil d'essai du type ayant une plaque de montage de plaquettes ( 16), un réseau de sondes d'essai ( 18) monté sur une plaque à sondes ( 25) et maintenues en contact avec un modèle de points d'essai dans un réseau de circuits imprimés ( 22) sur une plaquette ( 20) à contrôler, dans lequel la plaquette de circuits à contrôler est mainte- nue en contact sous pression avec les sondes d'essai pour procurer un contact électrique entre un équipement de contrôle diagnostique extérieur à l'appareil et les circuits sur la plaquette à contrôler, le réseau de circuits étant positionné sur la plaquette par référence à une marque repère ( 28) sur la plaquette, la plaquette ayant également un dispositif d'alignement positionné sur elle pour alignement avec le réseau de circuits, caractérisé en ce que le procédé comprend les étapes suivantes: aligner une broche de positionnement ( 24) sur la plaque de montage de plaquettes ( 16) avec le dispositif d'alignement sur la plaquette pour tenir la plaquette et son réseau de circuits dans une position fixe par rapport à la plaque à sondes ( 25) et au modèle de sondes d'essai sur la plaque à sondes, monter un moyen de détection optique sur une position fixe par rapport à la plaque à sondes pour produire une image de la marque repère sur la plaquette qui est tenue par la broche de positionnement, - monter des moteurs d'entraînement d'axe X et d'axe Y ( 198,200) sur la plaque de montage de plaquettes, les moteurs d'entraînement servant à déplacer la plaquette dans des mouvements selon les axes X, Y et Z par rapport à la plaque à sondes et son réseau de sondes d'essai, produire une image de référence d'un point de référence fixe qui représente une position correcte connue avec laquelle l'image de la marque repère peut être alignée pour aligner correctement le réseau de sondes d'essai avec le modèle de points d'essai sur la plaquette, et actionner les moteurs d'entraînement d'axe X et d'axe Y pour ajuster la position de la plaque de montage de plaquettes par rapport à la plaque à sondes et déplacer ainsi la plaquette par rapport aux sondes d'essai et la position fixe du moyen de détection optique pour aligner l'image de la marque repère avec l'image de référence et aligner ainsi correctement le réseau de sondes d'essai avec le modèle de points d'essai sur la plaquette. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comporte les étapes additionnelles suivantes: produire électroniquement une image optique du point de référence fixe sur un moniteur et actionner les moteurs d'entraînement pour aligner une image de la marque repère avec le point de référence fixe. 8. Appareil d'essai, caractérisé en ce qu'il comprend une plaque de montage de plaquettes ( 16) pour tenir une plaquette ( 20) à contrôler, la plaquette ayant un réseau de points d'essai dans un circuit imprimé aligné sur la pla- quette par rapport à une marque repère ( 28) sur la plaquette, une plaque à sondes ( 25) ayant un réseau de sondes d'essai ( 18) pour alignement avec les points d'essai dans les circuits sur la plaquette, - la plaque de montage de plaquettes et la plaque à sondes pouvant être déplacées l'une vers l'autre pour faire contact entre les sondes d'essai et les points d'essai correspondants dans les circuits sur la plaquette, des moyens de détection optique sur la plaque à sondes pour détecter la position de la marque repère sur la plaquette et produire une première image sur un moniteur pour représenter la position de la marque repère, des moyens pour produire une deuxième image sur le moniteur représentant un point de référence fixe avec lequel la première image est alignée pour indiquer un alignement correct des sondes d'essai et des points d'essai sur la plaquette à contrôler, et un moteur d'entraînement d'axe X ( 198) et un moteur d'entrai- nement d'axe Y ( 200) couplés à la plaque de montage de plaquettes avec chaque moteur ayant un arbre de sortie couplé à la plaque de montage de plaquettes pour produire un déplacement selon l'axe X et selon l'axe Y et une rotation autour de l'axe Z de la plaque de montage de plaquettes pour déplacer la plaquette par rapport à la plaque à sondes fixe, et généralement parallèlement à celle-ci, et aligner ainsi la première et la deuxième image pour aligner correctement les sondes d'essai avec les points d'essai dans les circuits sur la plaquette à contrôler. 9. Appareil selon la revendication 8, caractérisé en ce que le moteur d'entraînement selon l'axe X et le moteur d'entraî- nement selon l'axe Y comprennent des moteurs séparés pouvant être chacun fixés de façon amovible sur la plaque de montage de plaquettes. 10 Appareil selon la revendication 8, caractérisé en ce que les moyens pour produire la deuxième image comprennent un générateur électronique de points de référence pour produire la deuxième image sur le moniteur. dkes_r.