Brevet FR2699779A1 — publié le 19940624

DETECTEUR D'IMAGE THERMIQUE MUNI DE MOYENS D'ELIMINATION DU MOTIF DE BRUIT FIXE L'invention concerne les détecteurs d'images thermiques, notamment les détecteurs pyroélectriques, destinés à produire une image d'une scène en lumière infra-rouge, et tout particulièrement ceux qui fonctionnent à température ambiante. Les détecteurs pyroélectriques fonctionnent de la manière suivante: ils absorbent le rayonnement infrarouge pour échauffer une couche pyroélectrique, c'est-à-dire une couche ayant la propriété d'engendrer des charges de surface en fonction de la température Les charges engendrées, converties en tension électrique sont traitées pour fournir une mesure de l'intensité de rayonnement infrarouge reçue par le détecteur D'autres types de détecteurs d'image en Infrarouge peuvent exister, reposant sur d'autres effets que l'effet pyroélectrique mais reposant aussi sur l'échauffement d'une couche Ils sont concernés par l'invention, mais celle-ci sera décrite en détail uniquement à propos d'un détecteur pyroélectrique. Le détecteur peut être ponctuel, ou peut comporter une colonne de points pyrosensibles pour faire une image infrarouge linéaire, ou encore un réseau matriciel de points pour faire une image bidimensionnelle; cette image peut être en particulier une image des répartitions de températures d'une scène observée. Il existe des détecteurs hybrides utilisant deux substrats: un substrat qui assure la fonction pyroélectrique et un substrat qui assure les fonctions de traitement de signal Les deux substrats sont collés face à face pour relier chaque point pyrosensible du premier substrat à un point du deuxième substrat. Plus récemment, on a proposé aussi des détecteurs monolithiques qui sont constitués par un substrat de circuit intégré recouvert de matériau pyroélectrique déposable en couche mince (matériau polymère pyroélectrique) Le substrat porte les éléments de circuit nécessaires au traitement du signal pyroélectrique engendré. Du fait que le matériau pyroélectrique produit des charges proportionnellement à son échauffement, et du fait que cet échauffement est une intégrale de l'intensité de rayonnement reçue, le détecteur pyroélectrique doit fonctionner de manière différentielle et non de manière absolue, surtout si on veut observer des scènes fixes En effet, une intensité de rayonnement constante, représentant la luminance d'un point émettant un rayonnement infrarouge, va provoquer un échauffement progressif du matériau jusqu'à une valeur de saturation qui ne permettra pas de déduire l'intensité de rayonnement reçue D'autre part, une mesure absolue de température dépendrait trop des variations de température ambiante du détecteur et ne serait pas suffisamment représentative des répartitions de températures de la scène observée. C'est pourquoi on prévoit que le détecteur est alternativement éclairé, c'est-à-dire soumis au rayonnement infrarouge, puis masqué La période de l'alternance éclairement - masquage doit être suffisante pour que le matériau pyroélectrique ait le temps de s'échauffer pendant l'éclairement et le temps de se refroidir pendant le masquage La période est par exemple de Hertz ( 10 millisecondes d'éclairement pour 10 millisecondes de masquage) Ce qu'on mesure alors n'est pas l'échauffement moyen mais l'amplitude de variation de l'échauffement au cours de l'alternance Cette amplitude est en effet représentative de l'intensité reçue, beaucoup mieux que l'échauffement moyen qui dépend de trop d'autres paramètres. La courbe de la figure 1 représente l'évolution de la température de la couche pyroélectrique dans le cas o l'éclairement est ainsi alterné La courbe est exprimée directement en tension en fonction du temps, la tension indiquée étant une tension fictive représentant un signal de sortie du détecteur, ce signal étant supposé proportionnel à l'échauffement du matériau pyroélectrique. La température monte au début d'une phase d'éclairement et tend vers une valeur de saturation haute qui dépend non seulement de l'intensité infrarouge reçue mais aussi des pertes thermiques de la couche pyroélectrique Puis elle redescend dès le début de la phase de masquage, et tend également vers une valeur de saturation basse, avec une vitesse qui dépend également des pertes thermiques La différence entre la tension à la fin de la phase d'éclairement et la tension à la fin de la phase de masquage est une bonne mesure de l'intensité de rayonnement infrarouge reçue. La détection consiste alors en gros à mesurer un échantillon de signal VSH à la fin d'une phase d'éclairement et un échantillon de signal VSB à la fin d'une phase de masquage, et à faire la différence VSH-VSB pour en déduire une valeur d'intensité infrarouge reçue. Dans beaucoup de constructions de détecteurs d'images pyroélectriques on s'aperçoit que pour des raisons technologiques inévitables l'image électrique produite présente des défauts fixes (en anglais: "Fixed Pattern Noise" ou FPN, c'est-à-dire bruit dû aux défauts fixes) Ces défauts se traduisent par une image fixe Indésirable qui se superpose à l'image résultant de l'éclairement de la scène qu'on veut observer Par exemple, lorsque le détecteur comporte une amplification de signal électrique au niveau de chaque point d'image, les amplificateurs de chaque point peuvent avoir des tensions de décalage différentes pour les différents amplificateurs; c'est là une cause d'apparition de bruit de défauts fixes Plus généralement, les imperfections de réalisation de toutes les parties de circuit qui ne sont pas communes mais qui sont associées individuellement à chaque point d'image, introduisent un bruit du type FPN. La solution pour éliminer ce bruit de défauts fixes est habituellement la suivante: on moyenne plusieurs images dans l'obscurité, on met en mémoire point par point le résultat, puis, à chaque prise d'image, on soustrait point par point du signal mesuré en un point le signal d'obscurité mis en mémoire pour ce point Si le bruit de défauts fixe varie dans le temps il faut recommencer l'opération de calibrage, et mettre une nouvelle image d'obscurité moyenne en mémoire Ou bien il faut appliquer des coefficients correcteurs connus par modélisation en fonction de paramètres tels que la température, l'ouverture du diaphragme de l'objectif qui éclaire le détecteur, etc. Ces circuits de calibration des défauts fixes sont de toutes façons coûteux en surface de circuit intégré. Un but de l'invention est donc d'améliorer les solutions existantes pour l'élimination des défauts fixes dans les détecteurs d'image. On propose selon l'invention un détecteur d'image thermique qui comporte un obturateur pour alternativement éclairer et masquer le détecteur, un moyen pour fournir cycliquement au moins un signal de mesure de point éclairé au cours d'une phase d'éclairement et au moins un signal de mesure de point masqué au cours d'une phase de masquage, et des moyens pour utiliser ces signaux de mesure pour établir, par différence entre les signaux de mesure fournis au cours d'un cycle, un signal de température représentant une mesure de température de point d'image pour ce cycle, le détecteur étant caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour établir de manière identique les signaux de mesure respectivement au cours de deux cycles successifs comprenant chacun au moins une phase de masquage et une phase d'éclairement, l'ordre des phases d'éclairement et de masquage donnant lieu à ces signaux de mesure étant inversé entre deux cycles consecutifs, et des moyens pour soustraire les signaux du premier cycle de ceux du deuxième cycle. Le résultat de la soustraction est alors un signal représentatif de la température de point recherchée Et les bruits d'image fixes sont en grande partie éliminés par cette soustraction. En résumé, on effectue la mesure par différence entre deux cycles successifs de masquage et d'éclairement, l'ordre des phases éclairement/masquage étant inversé entre les deux cycles, mais les mesures étant effectuées de manière identique dans les deux cycles. De préférence on prévoit plus précisément que le premier cycle comporte d'abord une première phase active d'éclairement, puis une deuxième phase active de masquage, puis une troisième phase passive d'éclairement; et le deuxième cycle comporte d'abord une première phase active de masquage, puis une deuxième phase active d'éclairement, puis une troisième phase passive de masquage Les phases actives sont celles qui donnent lieu à des mesures Les phases actives sont en principe toutes de même durée Les phases passives ont de préférence la même durée aussi. Le détecteur peut alors comporter des moyens pour produire un premier signal différentiel représentant l'émission thermique d'un point au cours de la première phase du premier cycle, et un deuxième signal différentiel au cours de la deuxième phase du premier cycle, et pour produire de manière identique un troisième signal et un quatrième signal différentiels, respectivement au cours de la première et la deuxième phase du deuxième cycle, des moyens pour produire deux signaux de résultat qui sont respectivement la différence entre les premier et deuxième signaux différentiels et la différence entre les troisième et quatrième signaux différentiels, et des moyens pour produire un signal corrigé qui est la différence entre les deux signaux de résultat. Les signaux différentiels pour chaque phase peuvent être établis à partir des différences entre des signaux de mesure produits respectivement en début et en fin de chaque phase active. Le signal corrigé est une mesure de la température d'une capacité pyroélectrique, qui elle-même représente la température ou l'intensité d'émission infrarouge d'un point de la scène observée par le détecteur. L'invention est applicable tout particulièrement, mais non exclusivement, aux détecteurs monolithiques dans lesquels le traitement de signal est réalisé au moins partiellement par des dispositifs à transfert de charges Elle est particulièrement intéressante dans le cas des détecteurs dans lesquels les charges engendrées par effet pyroélectrique servent à contrôler le niveau d'une barrière de potentiel dans un dispositif à transfert de charges. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention apparaîtront à la lecture de la description détaillée qui suit et qui est faite en référence aux dessins annexés dans lesquels: la figure 1 déjà décrite représente un diagramme temporel expliquant l'allure des variations de température engendrées dans la couche pyroélectrique d'un détecteur à obturateur; la figure 2 représente la structure générale d'un détecteur pyroélectrique monolithique comprenant des dispositifs de traitement à transfert de charges; la figure 3 représente l'allure des variations de tension aux bornes de la capacité pyroélectrique dans un détecteur selon l'invention, avec remise à niveau périodique; la figure 4 représente l'architecture générale du détecteur en vue de la mise en oeuvre de l'invention; la figure 5 représente l'organisation du détecteur dans le cas d'un traitement par dispositifs à transfert de charges; la figure 6 schématise le fonctionnement du registre à décalage contenant les signaux de mesure instantanés. L'invention sera décrite en détail à propos d'un détecteur pyroélectrique monolithique matriciel dans lequel le traitement de signal électrique est fait par dispositif à transfert de charges dans un substrat de silicium, mais l'invention est aussi bien applicable à d'autres types de détecteurs infrarouge, le seul critère indispensable étant qu'ils fonctionnent avec un obturateur pour alternativement élever et laisser redescendre la température de la couche sensible. On se référera à la demande de brevet FR 90/15476 du Demandeur pour comprendre en détail la construction et le fonctionnement d'un détecteur matriciel pyroélectrique monolithique De manière générale, comme représenté à la figure 2, le détecteur comporte un substrat monolithique de silicium 10 dans lequel est formé un circuit intégré comprenant essentiellement des dispositifs à transfert de charge et les circuits de commande associés; les dispositifs à transfert de charge sont essentiellement des registres à décalage à transfert de charges en colonnes parallèles, avec des moyens pour injecter dans les cases de ce registre des charges en quantité liées à l'éclairement infrarouge qu'on cherche à mesurer, c'est- à-dire en général liées à la température de chaque point de l'image infrarouge observée Les circuits de commande sont les circuits qui permettent d'une part l'injection de charges dans les registres, d'autre part les décalages périodiques de paquets de charges le long des registres, et enfin la lecture de ces charges, c'est-à-dire la conversion des paquets de charges en tensions électriques Le substrat semiconducteur est recouvert d'un isolant électrique et thermique 12, par exemple en polyimide Cet isolant est percé localement d'ouvertures que l'on remplit de matériau conducteur pour constituer des vias conducteurs 14 entre le dessus et le dessous de la couche d'isolant thermique Au dessous de cette couche, les vias sont en contact chacun avec un conducteur respectif 16 du circuit intégré sous-jacent Au dessus de la couche thermiquement Isolante 12 sont déposées des électrodes rectangulaires individuelles 18, en réseau matriciel occupant la majeure partie de la surface du détecteur; chaque électrode 18 définit un point d'image à observer et elle est reliée à un via conducteur respectif 14, donc à un conducteur respectif 16 du substrat semiconducteur. La couche d'isolant thermique, ainsi revêtue d'électrodes reliées au circuit intégré, est recouverte d'une couche pyroélectrique 20, de préférence une couche de matériau polymère pyroélectrique Enfin, une couche conductrice 22 est déposée sur la surface de la couche pyroélectrique, et une couche 24 absorbant les infrarouges dans la gamme de longueurs d'onde désirée (en général 8 à 14 micromètres) est déposée sur la couche conductrice 22 Les couches 22 et 24 peuvent être confondues. Chaque électrode définit, avec la portion de couche pyroélectrique qui la recouvre, une capacité pyroélectrique CP ayant une armature inférieure individuelle 18 et une armature supérieure collective 22; cette capacité se charge en fonction de sa température et elle est reliée au circuit intégré sous-jacent en vue de créer dans le circuit intégré un signal électrique résultant de cette charge. Dans l'exemple de réalisation représenté à la figure 2, le circuit intégré sous-jacent est un circuit à transfert de charges et on a symbolisé ce circuit par des électrodes juxtaposées 26, en général en silicium polycristallin; ces électrodes sont isolées, par une couche isolante mince 28, du substrat semiconducteur 10 dans lequel circulent des charges électriques. Le conducteur 16, relié au via conducteur 14 d'une capacité respective, peut être relié électriquement à une de ces électrodes, désignée par 30 sur la figure 2; cette électrode agit comme barrière de potentiel de hauteur variable pour les charges qui circulent dans le substrat, de sorte qu'on peut moduler des paquets de charges en fonction de la charge de chaque capacité pyroélectrique Les charges modulées sont transférées dans des registres à décalage qui décalent ensuite ces charges parallèlement aux colonnes de capacités du réseau, c'est-à-dire dans une direction perpendiculaire au plan de la figure 2. Dans d'autres réalisations à transfert de charges, les capacités pyroélectriques sont reliées directement au substrat pour une injection directe de charges pyroélectriques dans le semiconducteur Dans d'autres réalisations n'utilisant pas de dispositifs à transfert de charges, les capacités pyroélectriques sont reliées à des circuits de mesure directe de la tension aux bornes de ces capacités. Le détecteur ainsi réalisé sera en général placé derrière une optique qui forme à la surface du détecteur une image en infrarouge d'une scène observée Une lentille au germanium convient pour les longueurs d'onde de l'ordre de 10 micromètres. Un obturateur actionné périodiquement est placé entre la scène à observer et le détecteur, en principe entre la lentille et le détecteur. La couche absorbante reçoit le rayonnement infrarouge avec une intensité qui dépend localement de la scène observée. Elle s'échauffe donc localement selon un motif de températures qui correspond à l'image observée Les capacités pyroélectriques s'échauffent en conséquence en fonction de cette Image et définissent des points d'image reproduisant, avec une résolution définie par le nombre de capacités du réseau matriciel, le motif de températures de la couche absorbante. Chaque capacité engendre des charges de surface en fonction de sa température moyenne propre, de sorte qu'à un instant donné, une capacité donnée possède une charge propre, qui représente l'influence, en ce point et à cet Instant, du rayonnement infrarouge reçu par le détecteur. Comme on l'a expliqué précédemment, la détection d'image infrarouge nécessite qu'on effectue une mesure différentielle entre la charge roqiu Itant de l'éclairement et la charge dans l'obscurité L'obturateur placé devant le détecteur permet de faire cette mesure différentielle L'obturateur peut être mécanique (lame opaque passant périodiquement devant le détecteur, miroir oscillant) ou électro- optique (cellule à cristal liquide). On peut admettre que la charge pyroélectrique engendrée dans une capacité pyroélectrique est représentée par une tension, soit que cette tension soit la tension directement mesurée aux bornes de la capacité ou une tension déduite de celle-ci, soit que la tension soit le résultat de la conversion d'un paquet de charges pyroélectriques injectées par la capacité dans le substrat, soit enfin qu'elle soit le résultat de la conversion d'un paquet de charges modulé par la tension aux bornes de la capacité pyroélectrique Dans tous les cas, l'allure des variations de la tension représentant la charge pyroélectrique est alors celle qu'on a expliquée en référence à la figure 1. Le principe de la mesure pour un point pyrosensible consiste alors à déterminer la tension VSB en fin d'une phase de masquage, puis la tension VSH en fin de phase d'éclairement; on fait la différence VSH-VSB qui est un signal représentant l'éclairement infrarouge en ce point On améliore la qualité de la mesure, et en particulier le rapport signal/bruit en effectuant deux mesures successives pour un même cycle de masquage et d'éclairement: on mesure la différence de tension engendrée entre le début et la fin de l'éclairement, puis la différence de tension engendrée entre le début de la phase de masquage et la fin de la phase de masquage, et on fait la différence entre ces deux mesures. On notera que le principe reste le même dans le cas o on effectue une recalage de tension de l'armature Inférieure de la capacité pyroélectrique à la fin de chaque phase (pour éviter les dérives dues par exemple à la génération thermique de porteurs de charge dans une diode reliée entre la capacité pyroélectrlque et le substrat, diode servant à la polarisation Initiale du matériau pyroélectrique: voir demande de brevet précitée FR 90 15476) Dans ce cas, l'évolution de tension aux bornes de la capacité pyroélectrique est plutôt celle de la figure 3 La mesure de température d'un point consiste encore à déterminer la différence de tension engendrée entre le début et la f In de la phase d'éclairement et de préférence aussi la différence engendrée entre le début et la fin de la phase de masquage, et on peut également faire la différence entre ces deux mesures Par il exemple on mesure la tension VDE 1 en début de phase d'éclairement, juste après un recalage de tension (RAZ), puis la tension VFE 1 en fin de phase d'éclairement; puis on effectue un recalage; on mesure la tension VDM 2 en début de phase de masquage juste après ce recalage, et la tension VFM 2 en fin de phase de masquage; on fait à nouveau une recalage de tension, etc Le signal utile est obtenu par la différence VFE 1-VDE 1, ou VFM 2-VDM 2, ou mieux encore par (VFE 1-VDE 1)-(VFM 2-VDM 2). Selon l'invention on propose d'améliorer la mesure d'une manière qui tend à éliminer un bruit d'image fixe Indésirable Ce bruit résulte de ce que la mesure est faite de manière identique pour tous les points d'image, mais à travers des circuits individuels qui ne sont pas rigoureusement Identiques pour tous les points. On propose selon l'invention d'effectuer la mesure par différence entre deux cycles successifs de masquage et d'éclairement, l'ordre des phases éclairement/masquage étant inversé entre les deux cycles Autrement dit, si dans un premier cycle, on effectue d'abord l'éclairement, puis le masquage, en effectuant les mesures nécessaires, alors, dans un deuxième cycle suivant immédiatement le premier, on effectuera d'abord le masquage puis l'éclairement, et on soustraira les résultats de mesure des deux cycles pour obtenir la mesure d'éclairement recherchée. En pratique, pour obtenir les meilleurs résultats on procède encore par mesure différentielle avec recalage à chaque phase, c'est-à-dire que pour une phase donnée on mesure la différence entre le niveau de charges pyroélectriques en début de phase, juste après un recalage de tension et le niveau en fin de phase juste avant un recalage. Si on se réfère à la figure 3, on a une succession de cycles de mesures qui se répètent Identiquement, mais l'ordre des phases d'éclairement et de masquage est inversé à chaque changement de cycle Au cours d'un premier cycle, on commence par une première phase qui est une phase d'éclairement, on continue par une deuxième phase qui est une phase de masquage, ces deux phases étant des phases actives en ce sens que des mesures sont effectuées pendant ces phases; et on termine par une troisième phase d'éclairement passive (sans mesure) Les trois phases ont de préférence toutes exactement la même durée (bien que ce ne soit pas obligatoire, la phase passive en particulier pouvant avoir une valeur très différente des autres). Le deuxième cycle comporte une première phase de masquage, une deuxième phase d'éclairement et une troisième phase de masquage; là encore, les phases sont de préférence identiques entre elles et identiques aux phases correspondantes du premier cycle. On peut donc considérer qu'il y a une alternance de cycles qu'on peut appeler cycles "pairs" (éclairement d'abord, masquage ensuite) et de cycles "impairs" (masquage d'abord, éclairement ensuite). On mesure le signal en début des phases actives, juste après recalage de tension et en fin de phase active, juste avant un nouveau recalage L'intervalle de temps qui sépare la mesure et le recalage est très faible comparé à la durée de la phase: par exemple quelques microsecondes entre une mesure et un recalage pour une phase d'éclairement ou de masquage qui dure 3 millisecondes. Pour les deux phases actives du premier cycle, on mesure d'abord VDE 1 et VFE 1 en début et fin de première phase (éclairement), puis VDM 2 et VFM 2 en début et fin de deuxième phase. Pour le deuxième cycle on mesure d'abord VDM 1 et VEM 1 en début et fin de première phase (masquage), puis VDE 2 et VFE 2 en début et fin de deuxième phase. Les circuits de calcul "ignorent" s'il s'agit d'un premier cycle ou d'un deuxième cycle, c'est-à-dire qu'ils traitent les signaux VDM 1 et VFM 1 comme si c'étalent des signaux VDE 1 et VFE 1, ou encore les signaux VDE 2 et VFE 2 comme si c'étaient des signaux VDM 2 et VFM 2 Toutefois, à un certain stade du traitement, une inversion de signe peut être nécessaire pour un cycle sur deux; un circuit de commutation synchronisé avec les cycles rétablira le signe approprié. A partir des signaux de mesure cidessus, on établit les signaux différentiels suivants: premier signal différentiel VFE 1-VDE 1 représentant une variation de charge pyroélectrique en phase d'éclairement (cycle pair); deuxième signal différentiel VFM 2-VDM 2 représentant une variation de charge en phase de masquage (cycle pair); troisième signal différentiel VFM 1-VDM 1 (phase de masquage, cycle impair) et quatrième signal différentiel VFE 2-VDE 2 (phase d'éclairement, cycle impair). Chacune de ces différences représente la température de scène observée pendant les cycles en un point d'image donné, ou encore l'intensité d'émission infrarouge en ce point et à cet instant. On établit alors les signaux de résultat suivants premier signal de résultat qui est la différence entre les premier et deuxième signaux différentiels SR 1 = (VFE 1-VDE 1) (VFM 2-VDM 2); deuxième signal de résultat qui est la différence entre les troisième et quatrième signaux différentiels SR'1 = (VFM 1-VDM 1) (VFE 2-VDE 2). Et on effectue selon l'invention la différence entre le deuxième et le premier signaux de résultat pour obtenir un signal corrigé SC = SR'1 SR 1 On comprendra qu'on pourrait aussi obtenir le signal corrigé SC en calculant d'abord la différence (VFE 1-VDE 1)-(VFM 1-VDM 1), puis la différence (VFM 2-VDM 2)-(VFE 2-VDE 2) et en soustrayant les deux résultats. Après l'obtention du résultat corrigé SC, on passe à un couple de cycles pair/impair suivant De préférence, pour ne pas réduire le débit d'obtention des signaux corrigés, le couple de cycles suivant utilise comme premier cycle le deuxième cycle du couple précédent: si on se réfère à la figure 3, on effectue les traitements en utilisant comme premier cycle le cycle impair dans lequel ont été mesurés les signaux VDM 1, VEM 1, VDE 2, VFE 2. On comprendra que dans ce cas, si on utilise toujours les mêmes circuits de mesure et de traitement de signaux, indépendamment du fait que le couple de cycles commence par un cycle pair ou par un cycle impair, on va établir un signal corrigé dont le signe sera alterné à chaque cycle Il faut donc un circuit d'inversion de signe qui est activé un cycle sur deux. Explication de l'amélioration du bruit d'image fixe: pour chaque point d'image une erreur peut être introduite par les circuits de lecture et traitement qui sont exclusivement associés à ce point; ce bruit peut être exprimé sous forme de tension d'erreur systématique, qui apparaît donc à chaque mesure et qui est constante d'un cycle à l'autre pour un point d'image donné. L'erreur est par exemple vdl, vfl, vd 2, vf 2 pour les quatre mesures faites au cours d'un cycle pour un point donné Cette erreur se répète à chaque cycle. Le signal corrigé est SC = SR'1-SR 1, avec: SR 1 = (VFE 1 +vfl-VDEIvdl)-(VFM 2 +vf 2-VDM 2-vd 2) SR'1 = (VFM 1 +vfl-VDMI -vdi)-(VFE 2 +vf 2-VDE 2-vd 2). Les erreurs systématiques s'éliminent dans la soustraction De plus, on a augmenté le niveau du signal utilisé : SC a une valeur absolue qui est deux fois plus élevée que SR 1 ou SR'1 et qui est quatre fois plus élevée que les signaux différentiels tels que VDE 1-VFE 1 Le bruit n'est cependant pas augmenté dans la mmew proportion (l'augmentation de bruit est plutôt la racine carrée de l'augmentation du niveau de signal, en particulier dans les dispositifs à transfert de charge) On aboutit donc à une amélioration du rapport signal/bruit, qui est un avantage supplémentaire de l'invention. Si le bruit d'image fixe dérive dans le temps (par suite de variations de température ambiante, etc), cette dérive est prise en compte et éliminée automatiquement. Selon le type de traitement de signaux qui est utilisé, on peut réaliser l'invention de manière différente. La solution la plus simple consiste simplement à prendre les signaux de sortie SR 1, SR'1 obtenus à chaque cycle exactement comme on les obtenait dans la technique antérieure o il n'y avait pas alternance de l'ordre d'éclairement On mémorise SR 1 jusqu'à l'obtention de SR'1, et quand on a SR'1 on fait la différence SR 1-SR'1, en même temps qu'on mémorise SR'1, et ainsi de suite. La figure 4 représente la construction correspondante Le détecteur DET fournit périodiquement les signaux différentiels SR 1 et SR'1; ces signaux sont par exemple issus d'un convertisseur analogique-numérique faisant partie du détecteur. Le signal numérisé est appliqué d'une part à un soustracteur SUB et d'autre part à une mémoire MEM Le soustracteur reçoit le signal numérisé et la sortie de la mémoire contenant le signal SR 1 ou SR'1 mémorisé au cycle précédent Les entrées du soustracteur (ou la sortie) sont inversées à chaque cycle dans un commutateur SW pour tenir compte de ce qui a été dit plus haut sur le signe alterné de la différence entre les signaux de résultat SR 1 et SR'1 L'inverseur est synchronisé avec le fonctionnement de l'obturateur, l'ensemble des circuits de traitement de signaux étant d'ailleurs également synchronisés avec l'obturateur Une forme possible d'obturateur mécanique à trois secteurs opaques séparés par trois secteurs transparents est symbolisée à la figure 4; elle correspond à deux cycles consécutifs pour un tour de l'obturateur; il faut comprendre cependant que l'obturateur pourrait n'avoir qu'une seule zone opaque, et c'est l'électronique du circuit intégré qui définit alors dans quel cycle on se trouve C'est ainsi que cela est fait de toutes façons si l'obturateur est électrooptique et non mécanique. On pourrait bien sûr concevoir d'autres architectures dans lesquelles le calcul de SC est effectué par soustraction à d'autres stades que le stade final, pourvu que la soustraction ne soit pas faite par des circuits individuels distincts pour chaque point d'image. Par exemple, dans des circuits à transferts de charge, les différences peuvent être établies par soustraction de paquets de charge avant la conversion de ces paquets de charge en tensions électriques analogiques La soustraction pourrait être faite aussi après la conversion en tensions analogiques mals avant numérisation. Dans le cas d'un détecteur monolithique associé à des circuits à transfert de charges, on utilisera de préférence le fait que les quatre mesures correspondant à un cycle peuvent être stockées dans quatre cases adjacentes d'un registre à décalage Dans ce cas, la troisième phase de chaque cycle est mise à profit (puisqu'on ne fait pas de mesures) pour vider la totalité des registres à décalage donnant les mesures effectuées au cours de ce cycle pour tous les points d'image La durée de la troisième phase peut être ajustée en fonction de la durée nécessaire pour la lecture Il n'est pas souhaitable que la troisième phase soit de durée plus courte que celle des phases actives Il est préférable si c'est possible qu'elle soit de même durée, pour la régularité des cycles d'échauffement et refroidissement sur la couche pyroélectrique. La figure 5 représente schématiquement l'organisation du registre à décalage RD associé à une colonne de capacités pyroélectriques CP Le nombre de cases du registre est quatre fois plus élevé que le nombre de capacités Les armatures inférieures des capacités sont remises à niveau régulièrement par les transistors Tl reliés à une source de tension de remise à niveau VDR Un injecteur de charges INJ, contrôlé par le potentiel de la capacité pyroélectrique, est activé simultanément pour toutes les capacités L'injecteur injecte dans le registre des charges en quantité proportionnelle aux signaux de mesure VDE 1, VEE 1, etc Le registre est décalé en synchronisme avec les différentes mesures donc avec les différents instants d'injection. Ainsi, quatre opérations d'injection se succèdent pour chaque cycle: injection d'un signal représentant VDE 1, décalage d'une case du registre; injection d'un signal correspondant à VFE 1; remise à niveau et décalage d'une case du registre; injection de VDM 2; décalage d'une case; injection de VFM 2; remise à niveau; puis vidage progressif du registre en colonne pendant la troisième phase du cycle (classiquement la dernière case de tous les registres en colonne se vide dans une case d'un registre horizontal RH; le registre horizontal est vidé très rapidement entre deux décalages des registres en colonne) Pour le deuxième cycle, le déroulement est le même, les signaux injectés étant successivement VDM 1, VEM 1, VDE 2, VFE 2. La figure 6 représente l'évolution successive des contenus des cases du registre pendant un cycle pair: remplissage de deux cases par VDE 1 puis VFE 1 pendant la première phase, puis de deux autres par VDM 2 puis VEM 2 pendant la deuxième phase, et enfin vidage du registre pendant la troisième phase Seules les quatre cases associées à une capacité pyroélectrique sont représentées; les autres cases correspondent aux autres capacités de la même colonne, c'est-à-dire aux autres points d'image de la même colonne. REVENDICATIONS 1 Détecteur d'image thermique qui comporte un obturateur (OBT) pour alternativement éclairer et masquer le détecteur, (DET) un moyen pour fournir cyciquement au moins un signal de mesure de point éclairé (VDE 1, VFE 1) au cours d'une phase d'éclairement et au moins un signal de mesure de point masqué (VDM 2, VFM 2), au cours d'une phase de masquage, et des moyens pour utiliser ces signaux de mesure pour établir, par différence entre les signaux de mesure fournis au cours d'un cycle, un signal de température (SR 1, SR'1) représentant une mesure de température de point d'image pour ce cycle, le détecteur étant caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour établir de manière Identique les signaux de mesure respectivement au cours de deux cycles successifs comprenant chacun au moins une phase de masquage et une phase d'éclairement, l'ordre des phases d'éclairement et de masquage donnant lieu à ces signaux de mesure étant inversé entre deux cycles consécutifs, et des moyens (SUB) pour soustraire les signaux du premier cycle (SR 1) de ceux du deuxième cycle (SR'1). 2 Détecteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que le premier cycle comporte d'abord une première phase active d'éclairement, puis une deuxième phase active de masquage, puis une troisième phase passive d'éclairement; et le deuxième cycle comporte d'abord une première phase active de masquage, puis une deuxième phase active d'éclairement, puis une troisième phase passive de masquage, des signaux de mesure étant établis pendant les phases actives seulement. 3 Détecteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que les durées de toutes les phases actives sont Identiques. 4 Détecteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que les durées des phases passives sont au moins aussi longues que celles des phases actives. 5 Détecteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que les durées des phases passives sont identiques aux durées des phases actives. 6 Détecteur selon l'une des revendications 2 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour produire un premier signal différentiel (VFE 1-VDE 1) représentant l'émission thermique d'un point au cours de la première phase du premier cycle, un deuxième signal différentiel (VFM 2-VDM 2) au cours de la deuxième phase du premier cycle, et pour produire de manière identique un troisième signal (VFM 1-VDM 1) et un quatrième signal (VFE 2-VDE 2) différentiels, respectivement au cours de la première et la deuxième phase du deuxième cycle, des moyens pour produire deux signaux de résultat (SR 1, SR'1) qui sont respectivement la différence entre les premier et deuxième signaux différentiels et la différence entre les troisième et quatrième signaux différentiels, et des moyens pour produire un signal corrigé (SC) qui est la différence entre les deux signaux de résultat. 7 Détecteur thermique selon la revendication 5, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens pour établir un signal de mesure (VI)EI, VDM 1, VDE 2, VDM 2) en début de chaque phase active et un signal (VFE 1, VFM 1, VFE 2, VFM 2) en fin de chaque phase active, les signaux différentiels étant la différence entre le signal de mesure en fin de phase et le signal de mesure en début de la même phase. 8 Détecteur selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il comporte un commutateur (SW) pour inverser à chaque nouveau cycle le signe du résultat de la soustraction entre les signaux du premier cycle et du deuxième cycle. 9 Détecteur selon l'une des revendications 1 à 8, caractérisé en ce qu'il comporte une mémoire (MEM) pour stocker un signal établi au cours d'un cycle précédant un cycle courant et un soustracteur (SUB) recevant le signal établi au cours du cycle courant et le signal mémorisé. 10 Détecteur d'image thermique selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le détecteur est un détecteur pyroélectrique comportant un réseau de capacités pyroélectriques, la charge de chaque capacité étant fonction de la température de cette capacité. 11 Détecteur selon la revendication 10, caractérisé en ce que les capacités sont reliées à un dispositif à transfert de charges comportant un registre à décalage associé à une colonne de capacités pyroélectriques, chaque capacité étant associée à quatre cases consécutives du registre, avec des moyens pour injecter dans une première de ces quatre cases une charge fonction de la charge de la capacité pyroélectrique, et des moyens pour faire décaler le registre d'une part après le début et d'autre part après la fin de chacune des deux premières phases de chaque cycle. 12 Détecteur selon l'une des revendications 10 et 11, caractérisé en ce que la capacité pyroélectrique est reliée à une électrode de dispositif à transfert de charge, pour établir une barrière de potentiel de niveau variable en fonction de la température de la capacité.