Brevet FR2700013A1 — publié le 19940701

La présente invention concerne un procédé de détection d'accélération, par exemple en liaison avec une force de pesanteur ou une force magnétique, et un capteur d'accélération, plus particulièrement un capteur d'accélération possédant une fonction d'autodiagnostic. Dans la technique antérieure, on connaît des moyens pratiques permettant de détecter la force, l'accélération, le magnétisme, etc., d'un objet se déplaçant suivant trois dimensions, par exemple un robot ou un avion, ainsi que d'un objet se déplaçant dans un plan, suivant deux dimensions, par exemple une automobile, et de commander le mouvement de l'objet ou d'un équipement quelconque monté sur objet. Toutefois, puisque les capteurs classiques de force, d'accélération, etc. sont réalisés par combinaison de plusieurs capteurs pouvant détecter l'accélération dans une seule dimension, ceci entraîne divers inconvénients, en ce qu'il faut beaucoup de place pour monter les capteurs d'accélération, alors que la place est limitée. Pour cette raison, il a été proposé un capteur d'accélération suivant deux dimensions d'un type très compact, dans lequel des éléments résistifs sont formés sur un substrat semiconducteur, ces éléments résistifs sont conçus pour subir une déformation mécanique du fait de l'accélération, du magnétisme, ou autre, et cette déformation mécanique est détectée sous forme d'une variation de résistance électrique. Par exemple, la demande de brevet japonais mise à la disposition du public sous le numéro 2535/1991 décrit un dispositif permettant de détecter une force, une accélération, ou un effet magnétique suivant trois dimensions, à l'aide d'éléments résistifs. On va décrire ci-après, en relation avec des dessins illustrant un exemple classique, la structure du capteur d'accélération à éléments résistifs de la demande de brevet ci-dessus citée. La figure 10 de la présente description est une vue en section droite montrant la structure d'un capteur d'accélération, où l'élément centrale de ce capteur est constitué par une pastille semiconductrice 100. Une vue en plan de cette pastille semiconductrice 100 est présentée sur la figure 11. La section droite de la pastille semiconductrice 100, représentée dans la partie centrale de la figure 10, correspond à la vue en coupe suivant l'axe X sur la figure 11. La pastille semiconductrice 100 est divisée en trois régions, une partie active 111, une partie souple 112 et une partie fixe 113, lesquelles apparaissent dans cet ordre, dans le sens allant de l'intérieur vers l'extérieur. Comme indiqué par des lignes en trait interrompu sur la figure 11, une rainure annulaire est formée dans la surface inférieure de la partie souple 112.Du fait de l'existence de cette rainure, la partie souple 112 possède une épaisseur réduite et présente par conséquent une certaine souplesse. Ainsi, si une force est appliquée à la partie active 111 tandis que la partie fixe 113 est fixe, la partie souple 112 s'incurve et une déformation mécanique se produit. Sur la face supérieure de la partie souple 112, des éléments résistifs RXl à RX4, Ry1 à Ry4, et Rzî à Rz4 sont formés suivants des orientations prédéterminées, comme représenté sur la figure 11. Comme on peut le voir sur la figure 10, une masse pesante 120 est liée à la surface inférieure de la partie active 111, tandis qu'un socle de support 130 est lié à la surface supérieure de la partie fixe 113. La surface inférieure du socle 130 est liée à la surface inférieure d'un boîtier 140, tandis que la pastille semiconductrice 100 et la masse pesante 120 sont portées par le socle de support 130. La masse pesante 120 est dans un état suspendu à l'intérieur du boîtier. Le boîtier 140 est fermé par un couvercle 141. Des plots de liaison 114, prévus sur la pastille semiconductrice 100, sont électriquement connectés, de façon respective, aux éléments résistifs contenus à l'intérieur de la pastille, et ces plots de liaison 114 et des fils conducteurs 142 disposés de chaque côté du boîtier 140 sont connectés entre eux par l'intermédiaire de fils de liaison 115. Lorsqu'une accélération est appliquée à ce capteur, une force externe s'exerce sur la masse pesante 120. Cette force externe est transmise à la partie active 111, et une déformation se produit dans la partie souple 112. En résultat, il apparaît une variation dans la résistance électrique des éléments résistifs, et cette variation peut être lue depuis l'extérieur par l'intermédiaire des fils de liaison 115 et des fils conducteurs 142. La composante, suivant la direction de l'axe X, de la force appliquée à la partie active 111, sa composante suivant la direction Y et sa composante suivant la direction Z sont respectivement détectées par les variations de la résistance électrique des éléments résistifs RX1 à RX4, des éléments résistifs Ryl à Ry4, et des éléments résistifs Rzî à RZ4. On notera que le procédé de fabrication de la pastille semiconductrice ci-dessus mentionné est décrit de façon détaillée dans la demande de brevet japonais citée ci-dessus, et puisque ceci ne concerne pas directement le but principal de l'invention, on omettra cette description. De plus, dans les cas où des capteurs d'accélération tels que celui-ci-dessus décrit sont produits en série et mis en vente, il est nécessaire d'effectuer des essais dynamiques concernant la fiabilité des capteurs d'accélération. Pour cette raison, on effectue des essais sur les capteurs d'accélération classiques en appliquant des vibrations aux capteurs d'accélération à l'aide d'un appareil générateur de vibrations. Toutefois, avec le capteur d'accélération ayant la structure ci-dessus décrite, un circuit de pont possédant un réglage précis est nécessaire pour améliorer la précision du capteur, et il est nécessaire de prendre des mesures appropriées contre la dilatation et la contraction des éléments résistifs se produisant du fait de variations de la température. Par conséquent, il est difficile de produire un capteur d'accélération possédant une précision élevée. De plus, dans les essais de capteurs d'accélération tels que celui cidessus décrit, puisque les vibrations sont réellement appliquées au capteur d'accélaration au moyen de l'appareil générateur de vibration, il existe des problèmes en ce que, dans de tels essais, l'appareil d'essai devient un appareil à grande échelle et en ce que l'accélération dynamique, c'est-à-dire les vibrations, doit être appliquée de façon réelle au capteur d'accélération. Dans ces conditions, l'invention vise à surmonter les problèmes rencontrés avec le procédé classique ci-dessus décrit de détection d'accélération et le capteur d'accélération classique qui lui est associé, par formation d'une partie annulaire souple sur un substrat de silicium au moyen d'une technique de microusinage, par fixation d'une masse pesante (masse de détection) en une partie centrale de cette partie souple, par formation d'une partie douée de capacité électrostatique entre la partie souple et la masse pesante, et par réalisation d'un moyen permettant de lire l'accélération sour la forme d'une variation de la capacité électrostatique de cette partie à capacité électrostatique. De plus, l'invention vise à surmonter les problèmes rencontrés avec le procédé classique ci-dessus décrit d'autodiagnostic du capteur d'accélération, en produisant un capteur d'accélération doté de bobines d'autodiagnostic, ce qui permet d'effectuer le diagnostic du capteur d'accélération de manière simple. Un moyen technique permettant de surmonter un premier problème selon l'invention se rapporte à un procédé de détection d'accélération, où des parties douées de capacité électrostatique sont formées par une partie fixe et une masse pesante se déplaçant sous l'effet de l'accélération, les parties à capacité électrostatique sont disposées en deux positions, ou plus de deux positions, entre la partie fixe et la masse pesante se déplaçant sous l'effet de l'accélération, les amplitudes de variation des parties à capacité électrostatique sont converties en variations de fréquence par un élément de transmission, l'amplitude de déplacement des électrodes des parties à capacité électrostatique est calculée sur la base de la fréquence en fonction des variations des parties à capacité électrostatique, et l'accélération est déterminée à partir de l'amplitude de déplacement. Un moyen technique permettant de surmonter un deuxième problème selon l'invention se rapporte à un capteur d'accélération suivant trois dimensions, qui comprend : des parties douées de capacité électrostatique formées par une partie fixe et une masse pesante se déplaçant sous l'effet de l'accélération; et une unité arithmétique permettant de calculer l'amplitude de déplacement de la masse pesante sur la base de variations de la capacité électrostatique des parties à capacité électrostatique et de calculer l'accélération sur la base de l'amplitude de déplacement. Un moyen technique permettant de surmonter un troisième problème selon l'invention se rapporte à un capteur d'accélération suivant trois dimensions, comprenant : une partie active; une partie souple formée autour de la périphérie de la partie active; un substat formé par trois régions d'une partie fixe formée autour de la périphérie de la partie souple ; une masse pesante liée à la partie active; des électrodes disposés sur des surfaces respectivement opposées de la partie fixe et de la masse pesante ; des parties douées de capacité électrostatique réalisées par les électrodes ; et une unité arithmétique permettant de calculer l'accélération sur la base des variations de la capacité électrostatique des parties à capacité électrostatique. Un moyen technique permettant de surmonter un quatrième problème selon l'invention se rapporte à un capteur d'accélération suivant trois dimensions possédant une fonction d'autodiagnostic, qui comprend : une partie active ; une partie souple formée autour de la périphérie de la partie active; un substat formé par trois régions d'une partie fixe formée autour de la périphérie de la partie souple; une masse pesante liée à la partie active; des électrodes disposés sur des surfaces respectivement opposées de la partie fixe et de la masse pesante ; des parties douées de capacité électrostatique réalisées par les électrodes; et une unité arithmétique permettant de calculer l'accélération sur la base des variations de la capacité électrostatique des parties à capacité électrostatique, où une bobine d'autodiagnostic est prévue sur chacune des parties de support servant à porter la partie active et le capteur d'accélération. Un moyen technique permettant de surmonter un cinquième problème selon l'invention se rapporte à un capteur d'accélération suivant trois dimensions possédant une fonction d'autodiagnostic qui comprend : une partie active ; une partie souple formée autour de la périphérie de la partie active ; un substrat formé par trois régions d'une partie fixe formée autour de la périphérie de la partie souple; une masse pesante liée à la partie active; des électrodes disposées sur des parties respectivement opposées de la partie fixe et de la masse pesante ; des parties douées de capacité électrostatique, réalisées par les électrodes; et une unité arithmétique permettant de calculer l'accélération sur la base des variations de la capacité électrostatique des parties à capacité électrostatique, où une bobine d'auto diagnostic est prévue sur l'une des parties de support servant à porter la partie active et le capteur d'accélération, tandis qu'un matériau magnétique est prévu sur l'autre de ces parties. Les problèmes ci-dessus décrits sont donc résolus par les mesures ci-dessus présentées. Selon l'invention, telle que décrite en relation avec les figures 1 à 9, lorsque le capteur est accéléré, une force externe est appliquée au poids 20. Cette force externe est transmise à la partie active 11, et une déformation mécanique apparaît dans la partie souple 12. En résultat, il se produit une variation de la distance (intervalle) entre les électrodes X1 et X2 liées à la partie fixe du substrat et les électrodes X1 et X2 liées à la surface inférieure de la masse pesante 20 suivant les directions X et Y, de sorte que la capacité électrostatique existant entre les électrodes opposées varie. L'amplitude de variation, soit Adx, de la distance (intervalle) entre électrodes opposées peut être déterminée à partir de la différence entre les fréquences fX1 et fX2 apparaissant du fait de leurs capacités électrostatiques respectives CX1 et CX2.L'accélération existant à cet instant peut être déterminée à partir d'un graphe prédéterminé reliant l'accélération et l'amplitude de variation Adx de la distance (intervalle) entre les électrodes. Lorsqu'un courant prédéterminé circule dans les bobines d'autodiagnostic A et B qui sont montées dans le capteur d'accélération, une force magnétique se produit dans les bobines d'autodiagnostic et les bobines d'autodiagnostic se repoussent ou s'attirent l'une l'autre selon le sens de passage du courant. Cette force externe est transmise à la partie active 11, et une variation mécanique a lieu dans la partie souple 12. En résultat, il se produit une variation de la distance (intervalle) entre les électrodes liées à la partie fixe du substrat et les électrodes liées à la surface inférieure de la masse pesante 20 suivant les directions X et Y, si bien que la capacité électrostatique entre électrodes opposées varie. Puisque la capacité électrostatique existant entre les électrodes liées à la partie fixe du substrat et les électrodes liées à la surface inférieure de la masse pesante 20 peut être déterminée préalablement au moyen du courant qu'on fait circuler dans les bobines d'autodiagnostic A et B, on peut déterminer s'il existe une anomalie dans le capteur d'accélération en considérant l'existence ou la non-existence d'une différence entre la capacité électrostatique déterminée à l'avance et la capacité électrostatique réelle, par simple comparaison. Comme décrit ci-dessus, il est possible de déterminer de manière simple si le capteur d'accélération est normal ou anormal en faisant simplement circuler un courant prédéterminé dans les bobines d'autodiagnostic A et B. La description suivante, conçue à titre d'illustration de ltinvention, vise à donner une meilleur compréhension de ses caractéristiques et avantages ; elle s'appuie sur les dessins annexés, parmi lesquels: la figure 1 est une vue en section droite d'un capteur d'accélération suivant trois dimensions, constituant un mode de réalisation de l'invention; la figure 2 est une vue en plan du capteur d'accélération à trois dimensions représenté sur la figure 1; la figure 3 est un schéma montrant un circuit de transmission utilisé dans ce mode de réalisation; la figure 4 est un dessin explicatif montrant un état de fonctionnement du capteur d'accélération à trois dimensions constituant le mode de réalisation de l'invention; la figure 5 est un schéma fonctionnel illustrant l'unité arithmétique du capteur d'accélération à trois dimensions de ce mode de réalisation;; la figure 6 est un graphe illustrant la relation qui existe entre l'accélération et l'amplitude de déplacement Adx des parties à capacité électrostatique; la figure 7 est une vue en section droite d'un capteur d'accélération à trois dimensions possédant une fonction d'autodiagnostic, qui constitue un autre mode de réalisation de l'invention; la figure 8 est une vue en plan du capteur d'accélération à trois dimensions possédant la fonction d'autodiagnostic, qui est représenté sur la figure 7; la figure 9 est un schéma de bobines d'autodiagnostic utilisées dans le capteur d'accélération à trois dimensions possédant la fonction d'autodiagnostic; la figure 10 est une vue en section droite d'un capteur d'accélération à trois dimensions selon la technique antérieure; et la figure 11 est une vue en plan du capteur d'accélération à trois dimensions représenté sur la figure 10. On va décrire ci-dessous un mode de réalisation de l'invention. La figure 1 est une vue en section droite d'un capteur d'accélération à trois dimensions selon un mode de réalisation de l'invention, et la figure 2 est une vue en plan de ce capteur d'accélération à trois dimensions. Sur la figure 1, une pastille semiconductrice (substrat) 10 a été traitée par une technique connue de traitement de substrat de silicium, et cette pastille semiconductrice 10 est formée de trois régions, à savoir une partie active 11, une partie souple 12, et une partie fixe 13, dans cet ordre dans le sens qui va de l'intérieur vers ltextérieur. Comme indiqué par les lignes en trait interrompu de la figure 2, une rainure est formée annulairement dans la surface supérieure de la partie souple. Du fait de l'existence de cette rainure, l'épaisseur de la partie souple 12 est diminuée et cette dernière peut faire fonction de partie souple.De plus, comme on peut le voir sur la figure 2, un ensemble d'électrodes détectrices X1, X2, Y1 et Y2, qui forment des parties douées de capacité électrostatique suivant les directions X et Y, sont fixées à la surface supérieure de la partie fixe 13. De plus, un socle de support 30, fait de verre et formant un anneau, est fixé à la partie fixe 13 ci-dessus indiquée, la surface inférieure du socle 30 étant liée à la surface inférieure du côté interne d'un boîtier 40. Pour cette raison, si une force est appliquée à la partie active 11 tandis que la partie fixe 13 reste fixe, la partie souple 12 s'incurve et une déformation mécanique apparaît. Dans le même temps, comme on peut le voir sur la figure 1, une masse pesante 20, qui est faite de verre, est liée à la partie supérieure de la partie active 11 ci-dessus indiquée, la pastille semiconductrice 10 et la masse pesante 20 étant soutenues par le socle de support 30 ci-dessus indiqué. Puisque la masse pesante 20 est liée à la partie active 11, lorsqu'une force agit sur la masse pesante 20 du fait d'une accélération, cette force agit sur la partie active 11, ce qui entraîne une déformation de la partie souple dans le même temps que le déplacement de la masse pesante 20.A la surface inférieure de la masse pesante 20, est fixé un autre ensemble d'électrodes détectrices X1, X2, Y1 et Y2, qui sont disposées face à face vis-à-vis de l'ensemble d'électrodes détectrices X1, X2, Y1 et Y2 liées à la surface supérieure de la partie fixe 13 de la pastille semiconductrice 10 ci-dessus indiquée et qui forment les parties à capacité électrostatique. Par conséquent, comme on peut le voir sur la figure 2, des capacités électrostatiques CX1, CX2, CYî et CY2 sont formées suivant les axes X et Y par les électrodes détectrices fixées à la surface supérieure de la partie fixe 13 de la pastille semiconductrice et les électrodes détectrices fixées à la surface inférieure de la masse pesante.On notera que, puisque les positions correspondantes sont sensées se décaler sous l'effet de l'accélération, les électrodes seront de préférence disposées de manière à présenter une certaine différence d'aire entre électrodes supérieures et inférieures. De plus, en ce qui concerne les positions où les électrodes détectrices sont fixées, il est possible de modifier les positions de fixation des électrodes, selon ce qui est nécessaire, en plus des positions représentées sur les figures 1 et 2. Des plots de liaison non représentés, qui sont prévus sur la pastille semiconductrice 10, sont électriquement connectés aux électrodes X1 et X2 cidessus mentionnées à l'intérieur de la pastille, et ces plots de liaison sont connectés à une alimentation électrique par l'intermédiaire de fils conducteurs. Les électrodes de la masse pesante 20 sont également connectées à la source d'alimentation électrique via les plots de liaison et les fils conducteurs. Lorsque ce capteur subit une accélération, une force externe agit sur la masse pesante 20. Cette force externe est transmise à la partie active 11, ce qui fait qu'une déformation mécanique a lieu dans la partie souple 12. En résultat, il se produit une variation de la distance (intervalle) entre les électrodes reliées à la partie fixe de la pastille semiconductrice et les électrodes reliées à la surface inférieure de la masse pesante 20, suivant la direction X et Y, de sorte que la capacité électrostatique entre électrodes opposées varie. Selon l'invention, l'accélération suivant les trois dimensions est déterminée en fonction de cette variation de capacité électrostatique, grâce au procédé qui va être décrit cidessous. Détection de l'accélération suivant les directions X et Y Puisque la détection de l'accélération suivant les directions X et Y s effectue exactement de la même manière, on ne présentera ici de description détaillée qu'en ce qui concerne le procédé de détection de l'accélération suivant la direction de l'axe X. Comme on peut le voir sur la figure 2, les deux électrodes X1 et X2 servant à former les parties à capacité électrostatique sont disposées de manière que le point central de la partie active de la pastille semiconductrice soit pris comme point objet. Les électrodes X1 et X2 ont, pour capacités électrostatiques respectives, CX1 et CX2.En général, si l'on suppose que l'aire en section droite entre électrodes opposées est S, que la distance entre électrodes opposées est 4, et que la constante diélectrique du vide so est: alors, on peut obtenir la capacité électrostatique C à partir de la formule suivante: De plus, cette capacité électrostatique est connectée à un circuit de transmission de type connu, représenté sur la figure 3 et comprenant, en parallèle sur la capacité CX1, deux branches qui contiennent respectivement deux inverseurs CMOS et une résistance Rp d'une part, et de l'autre un inverseur CMOS et une résistance R (Rp > R), et la fréquence de transmission fX1 de ce circuit de transmission, prélevée entre la résistance R et l'inverseur associé, peut être obtenu à partir de la formule suivante:: Par conséquent, si l'on suppose que le capteur est accéléré comme représenté sur la figure 4, et qu'une force externe est donc appliquée à la masse pesante 20, cette force externe voit son action être transmise à la partie active 11, de sorte qu'une déformation mécanique apparaît dans la partie souple 12. En résultat, si la distance (intervalle) d entre les électrodes reliées à la partie fixe de la pastille semiconductrice et les électodes reliées à la surface inférieure de la masse pesante 20 varie de Adx, alors, on peut exprimer les capacités électrostatiques CX1 et CX2 entre électrodes opposées par la formule suivante: Ici, les fréquences fX1 et fX2 qui sont dues à la variation des capacités électrostatiques CX1 et CX2 s'expriment de la manière suivante: En calculant la différence entre les deux fréquences, on obtient: En donnant au terme constant K la valeur suivante: on obtient: fX2-fX1 = KdX Par conséquent, on obtient la formule:: Comme on peut le voir sur la base de ce qui vient d'être énoncé, l'amplitude de déplacement de l'intervalle, soit Adx, est déterminée par lfX2-fXll, et on détermine l'accélération en fonction de cette amplitude de déplacement Adx en se reportant à la figure 6, laquelle a été déterminée préalablement. Par conséquent, ltamplitude de variation Adx de la distance (intervalle) entre les électrodes reliées à la partie fixe de la pastille semiconductrice et les électrodes reliées à la surface inférieure de la masse pesante 20 lorsque le capteur est accéléré peut être obtenue à partir de la différence entre les fréquences fX1 et fX2 qui sont dues à la variation des capacités électrostatiques CX1 et CX2. Alors, l'accélération suivant la direction X existant à cet instant peut être déterminée simplement à partir d'un graphe prédéterminé reliant l'accélération et l'amplitude de variation Adx de la distance (intervalle) entre les électrodes. il faut noter que, même s'il existe une accélération suivant la direction de l'axe Z, Comme le montre cette formule, l'accélération suivant la direction X n est pas affectée par l'accélération sur la direction Z. De plus, il est possible de déterminer l'accélération suivant la direction Y par un procédé identique à celui se rapportant à l'accélération suivant la direction X. Détection de l'accélération suivant la direction de l'axe Z On effectue la détection de l'accélération suivant la direction Z par un procédé analogue à celui utilisé pour la détection de l'accélération suivant la direction X. On détermine l'accélération suivant la direction Z en déterminant préalablement les fréquences fXls et fx2s dans le cas de la capacité électrostatique correspondant au cas où le capteur n'est pas accéléré, et à partir de la différence entre la fréquence existant à ce moment et la fréquence existant lorsque le capteur est accéléré, via la procédure suivante. Ainsi, si, lorsque le capteur n'est pas accéléré, les signaux de sortie sont fX1S et fX2S, on obtient: Si l'on suppose alors que, lorsqu'on ajoute une accélération suivant la direction X, les signaux de sortie deviennent fX1 et fox2, on obtient: Par conséquent, il est possible de déterminer l'accélération suivant l'axe Z à partir du graphe représenté sur la figure 6, de la même manière que l'accélération suivant la direction de l'axe X. Comme décrit ci-dessus, dans le cas de la direction de l'axe Z, l'amplitude de variation Adx de la distance (intervalle) entre les électrodes reliées à la partie fixe de la pastille semiconductrice et les électrodes reliées à la surface inférieure de la masse pesante 20 peut être obtenue à partir des fréquences de la même manière que dans le cas de la direction de l'axe X. Alors, l'accélération suivant la direction Z à ce moment peut être déterminée à partir du graphe prédéterminé reliant l'accélération et l'amplitude de variation Adx de la distance (intervalle) entre les électrodes. Un schéma fonctionnel correspondant au moment où l'accélération est déterminée via le procédé ci-dessus décrit est présenté sur la figure 5. Sur la figure 5, les parties à capacité électrostatique déterminées par les électrodes respectives sont connectées au circuit de transmission et transmettent des fréquences correspondant aux capacités électrostatiques. En ce qui concerne les fréquences transmises par ce circuit de transmission, puisque les capacités électrostatiques entre les électrodes sont petites dans l'ensemble, des hautes fréquences, allant de 100 à 200kHz, sont transmises. Si ces fréquences sont directement appliquées à l'entrée d'un circuit arithmétique, la charge du circuit arithmétique devient grande, si bien qu'on utilise un circuit de division pour diviser les fréquences jusqu'à 10 kHz par exemple, pour les introduire dans le circuit arithmétique. Le circuit arithmétique exécute les opérations précédemment décrites de manière détaillée, de façon à déterminer l'accélération.Comme représenté, les capacités CX1 à CY2 sont chacune connectées à un circuit oscillant et à un circuit diviseur, les circuits diviseurs produisent respectivement les fréquences fx1à fY2, lesquelles sont appliquées à une unité centrale de traitement (CPU) qui calcule l'accélération correspondante. Dans ce mode de réalisation, la variation de l'intervalle entre les électrodes du fait de l'accélération est détectée sous la forme d'une variation des capacités électrostatiques, accélération pouvant être déterminée à partir de cette dernière variation. Il est donc possible de réaliser un capteur d'accélération possédant une précision élevée et une configuration simple. On va maintenant décrire un dispositif d'autodiagnostic du capteur d'acccélération. Comme précédemment indiqué, un appareil d'essai permettant de communiquer des vibrations au corps du capteur est nécessaire pour effectuer le diagnostic du capteur d'accélération selon la technique antérieure. Il existe donc des inconvénient en ce que non seulement l'appareil d'essai devient un appareil à grande échelle, mais aussi en ce qu'il faut effectuer l'essai en appliquant des vibrations réelles au capteur d'accélération, de sorte que le procédé d'essai est délicat. De plus, il est difficile d'effectuer en pratique le diagnostic du capteur d'accélération, celui-ci étant monté dans un coussin pneumatique de sécurité, ou un autre produit. Par conséquent, selon l'invention, on place dans le capteur d'accélération des bobines d'autodiagnostic, pour permettre d'effectuer de manière simple le diagnostic du capteur d'accélération. On va donner ci-dessous une description d'un mode de réalisation du capteur d'accélération, qui permet de réaliser l'autodiagnostic du capteur d'accélération. Les figures 7 et 8 sont respectivement une vue en section droite et une vue en plan du capteur d'accélération incorporant des bobines permettant d'effectuer l'autodiagnostic du capteur d'accélération. Puisque ce capteur possède la même structure que celui précédent décrit, on omettra d'en donner la description. Ce capteur d'accélération possède en outre une bobine d'autodiagnostic A et une bobine d'autodiagnostic B permettant d'effectuer l'autodiagnostic. La bobine d'autodiagnostic A est réalisée par fixation d'une bobine, comme celle représentée sur la figure 9, sur la face inférieure de la partie active 11 formée sur la pastille semiconductrice 10. Dans le même temps, la bobine d'autodiagnostic B est réalisée par fixation d'une bobine, par exemple celle représentée sur la figure 9, sur une base de support de la pastille semiconductrice, par l'intermédiaire de verre, en une position située en regard de la bobine d'autodiagnostic A ci-dessus indiquée. Ces bobines d'autodiagnostics A et B sont connectées à la source d'alimentation électrique par l'intermédiaire des plots de liaison et des fils conducteurs, et on peut faire circuler un courant arbitraire dans celles-ci, si cela est nécessaire. Par conséquent, lorsqu'un courant prédéterminé circule dans ces bobines d'autodiagnostic A et B, il apparaît dans les bobines une force magnétique, si bien que les bobines d'autodiagnostic se repoussent ou s'attire l'une l'autre en fonction du sens dans lequel le courant passe. Cette force externe est transmise à la partie active 11, et une déformation mécanique apparaît dans la partie souple 12. En résultat, la distance (intervalle) varie entre les électrodes reliées à la partie fixe de la pastille semiconductrice et les électrodes reliées à la surface inférieure de la masse pesante 20 suivant les directions X et Y. Puisque les capacités électrostatiques des électrodes liées à la partie fixe de la pastille semiconductrice et les électrodes liées à la surface inférieure de la masse pesante 20 peuvent être déterminées préalablement à partir du courant qui circule dans les bobines d'autodiagnostic A et B, il est alors possible de déterminer s'il existe une anomalie dans le capteur d'accélération au cas où aucune différence n'apparaîtrait entre la capacité électrostatique déterminée préalablement et la capacité électrostatique réelle lorsqu'on les compare.En faissant simplement passer un courant prédéterminé dans les bobines d'autodiagnostic A et B, il est possible de déterminer de manière simple si le capteur d'accélération est normal ou anormal. De plus, selon ce mode de réalisation, il est possible d'effectuer de manière simple le diagnostic du capteur d'accélération monté dans le coussin pneumatique, ou autre, ou de contrôler le fonctionnement du capteur d'accélération sur une chaîne de production en série. Alors que, dans le mode de réalisation ci-dessus décrit, on a donné la description d'un exemple dans lequel les bobines d'autodiagnostic A et B étaient disposées à la partie centrale du capteur d'accélération, il serait possible de monter les bobines d'autodiagnostic A et B excentriquement par rapport à la partie centrale de façon à incliner la masse pesante dans une direction tridimensionnelle, si bien qu'il est possible d'effectuer l'autodiagnostic par rapport à l'accélération dans une direction tridimensionnelle. De plus, il est possible de remplacer la bobine d'autodiagnostic B par un matériau magnétique, et de réduire ainsi le nombre des bobines à une seule. De plus, en faisant passer un courant approprié dans les bobines d'autodiagnostic A et B pendant l'utilisation du capteur d'accélération, on peut appliquer à la masse pesante une fonction d'amortissement. Comme décrit ci-dessus de façon détaillée, selon l'invention, puisqu'on détecte la variation de capacité électrostatique entre les électrodes fixées à la partie fixe de la pastille semiconductrice et les électrodes fixées à la surface inférieure de la masse pesante 20, cette variation de capacité électrostatique étant convertie en une fréquence de transmission par le circuit de transmission pour détecter l'accélération, il est possible d'obtenir un capteur d'accélération ayant une précision élevée et une configuration simple. De plus, puisque l'intervalle entre les électrodes peut subir une petite influence de la part de la température, aucune opération délicate, comme une correction de température, n'est nécessaire, au contraire du capteur d'accélération classique utilisant des résistances.En outre, puisque l'accélération suivant les trois directions peut être détectée au moyen d'un unique capteur d'accélération, l'invention offre l'avantage évident d'une réduction de la place nécessaire à l'installation du capteur d'accélération. En outre, avec la fonction d'autodiagnostic du capteur d'accélération, le fait que le capteur d'accélération est normal ou n'est pas normal peut être déterminé de manière simple par passage d'un courant prédéterminé dans des bobines d'autodiagnostic A et B, et le nombre de bobines peut être ramené à une par remplacement de la bobine d'autodiagnostic B par un matériau magnétique. De plus, si l'on fait passer un courant approprié dans les bobines d'autodiagnostic A et B pendant l'utilisation du capteur d'accélération, il est alors possible d'appliquer une fonction d'amortissement à la masse pesante. De plus, un autre avantage important réside dans le fait qu'on peut effectuer de manière simple le diagnostic du capteur d'accélération alors que celui est monté dans un produit. Bien entendu, l'homme de l'art sera en mesure d'imaginer, à partir du procédé et du dispositif dont la description vient d'être donnée à titre simplement illustratif et nullement limitatif, diverses variantes et modifications ne sortant pas du cadre de l'invention. REVENDICATIONS 1. Procédé de détection d'accélération, caractérisé en ce que des parties douées de capacité électrostatique (CX1, CX2) sont formées par une partie fixe et une masse pesante (20) se déplaçant sous l'effet d'une accélération, lesdites parties à capacité électrostatique sont disposées en deux positions, ou plus, entre ladite partie fixe et ladite masse mobile se déplaçant sous l'effet de l'accélération, les amplitudes de variation desdites parties à capacité électrostatique sont converties en variations de fréquence par un circuit de transmission, l'amplitude de déplacement d'électrodes desdites parties à capacité électrostatique est calculée sur la base de la fréquence correspondant aux variations desdites parties à capacité électrostatique, et l'accélération est déterminée à partir de ladite amplitude de déplacement. 2. Capteur d'accélération suivant trois dimensions, caractérisé en ce qu'il comprend : des parties douées de capacité électrostatique (CX1, CX2) formées par une partie fixe et une masse mobile (20) se déplaçant sous l'effet d'une accélération ; et une unité arithmétique permettant de calculer l'amplitude de déplacement de ladite masse mobile en fonction des variations de capacité électrostatique desdites parties à capacité électrostatique et de calculer l'accélération en fonction de ladite amplitude de déplacement. 3. Capteur d'accélération suivant trois dimensions, caractérisé en ce qu'il comprend: une partie active (11) un partie souple (12) formée autour de la périphérie de ladite partie active; un substrat formé par trois régions d'une partie fixe formée autour de la périphérie de ladite partie souple; une masse pesante (20) liée à ladite partie active; des électrodes disposées sur des surfaces respectivement opposées de ladite partie fixe et de ladite masse pesante; des parties douées de capacité électrostatique (CX1, CX2) réalisées par lesdites électrodes; et une unité arithmétique permettant de calculer l'accélération en fonction des variations de capacité électrostatique desdites parties à capacité électrostatique. 4. Capteur d'accélération en trois dimensions possédant une fonction d'autodiagnostic, caractérisé en ce qu'il comprend: une partie active (11) un partie souple (12) formée autour de la périphérie de ladite partie active; un substrat formé par trois régions d'une partie fixe formée autour de la périphérie de ladite partie souple; une masse pesante (20) liée à ladite partie active; des électrodes disposées sur des surfaces respectivement opposées de ladite partie fixe et de ladite masse pesante; des parties douées de capacité électrostatique (CX1, CX2) réalisées par lesdites électrodes ; et une unité arithmétique permettant de calculer l'accélération en fonction des variations de capacité électrostatique desdites parties à capacité électrostatique, et en ce qu'une bobine d'autodiagnostic (A;B) est prévue sur chacune des parties de support servant à porter respectivement ladite partie active et ledit capteur d'accélération. 5. Capteur d'accélération en trois dimensions possédant une fonction d'autodiagnostic, caractérisé en ce qu'il comprend: une partie active (11) un partie souple (12) formée autour de la périphérie de ladite partie active; un substrat formé par trois régions d'une partie fixe formée autour de la périphérie de ladite partie souple; une masse pesante (20) liée à ladite partie active; des électrodes disposées sur des surfaces respectivement opposées de ladite partie fixe et de ladite masse pesante; des parties douées de capacité électrostatique (CX1, CX2) réalisées par lesdites électrodes; et une unité arithmétique permettant de calculer l'accélération en fonction des variations de capacité électrostatique desdites parties à capacité électrostatique, et en ce qu'une bobine d'autodiagnostic (A) est prévue sur l'une des parties de support servant à porter ladite partie active et ledit capteur d'accélération, tandis qu'un matériau magnétique est prévu sur l'autre partie de support.