Brevet FR2703777A1 — publié le 19941014

LAME A RAYON DE COURBURE REGLABLE ET MONOCHROMATEUR UTILISANT CETTE LAME DESCRIPTION La présente invention a pour objet une lame déformable sous forme d'une portion de cylindre de rayon de courbure réglable. Cette lame est plus spécialement destinée à être utilisée en optique, notamment comme miroir ou dans un monochromateur servant à sélectionner une longueur d'onde dans un faisceau intense polychromatique ; ce faisceau peut être un faisceau de lumière ultraviolette, un faisceau de rayons X, un faisceau laser, ou encore un faisceau de neutrons. Plus particulièrement, ce faisceau de particules est du type rayonnement synchrotron issu des aimants de courbure ou des éléments d'insertion d'un anneau de stockage de particules. Ces faisceaux sont utilisés pour des expérience très variées, allant de l'étude de la structure des matériaux à celle des molécules biologiques. Pour toutes ces applications, une mise en forme du faisceau de rayonnement synchrotron est nécessaire. Ceci est réalisé par un ensemble d'éléments optiques de très grande précision dont la succession constitue ce qu'on appelle une "ligne de lumière". En particulier, certains de ces éléments effectuent, grâce à la forme de leur face utile (dont la normale est orientée selon une direction Z), une focalisation du faisceau de particules. A cet effet, il convient d'imposer une courbure (C5=l/R5 avec Rs le rayon de courbure) à ces éléments selon une direction déterminée. Ainsi, ces derniers présentent un profil cylindrique dont l'axe de révolution correspondant est orienté selon une direction Y, qui est la projection sur un plan de l'élément de la direction de propagation du faisceau à focaliser. Dans les monochromateurs, on utilise des cristaux par exemple de silicium courbés en vue de réfléchir dans une direction bien déterminée une seule longueur d'onde du faisceau de particules polychromatique incident. Dans ces cristaux, la réflexion, ou plutôt la diffraction du faisceau par le cristal courbé, a lieu sur le plan cristallin du cristal et non sur la surface physique de la lame. Pour cette raison, et parce qu'on souhaite également modifier la courbure du cristal, on ne peut pas avoir recours à un cristal préalablement usiné ou rigidement maintenu selon le profil voulu, mais seulement à une lame initialement plate que l'on courbe plus ou moins. Malheureusement, dans ces conditions, le faisceau de particules est altéré par une déformation parasite du cristal. En effet, dans une lame plate ayant une largeur et une longueur du même ordre de grandeur, la courbure que l'on impose induit une déformation parasite de la lame qui se traduit par une courbure opposée (Ca=-l/Ra avec Ra le rayon de courbure) dans la direction X perpendiculaire à la direction Y, le plan XY étant parallèle à la lame, conduisant à une forme en "selle de cheval". Cette déformation parasite est dite anticlastique. Le document (1) Int. J. Solids Structures, 1970, vol. 6, pp.277-285 de R.J. Pomeroy, "The effect of anticlastic bending on the curvature of beams" montre clairement cette déformation parasite lorsque l'on courbe une lame. Cette courbure parasite résulte du fait que la matière qui se trouve du côté concave de la lame courbée est comprimée dans la direction X et tend alors à se dilater dans la direction Y, et inversement pour le côté opposé. La propriété d'un matériau de se contracter dans une direction lorsqu'on l'étire dans une direction perpendiculaire est caractérisée par le coefficient de Poisson v=-Ca/Cs. Ce dernier est donc représentatif de cette déformation anticlastique. Cette déformation anticlastique n'est vraie qu'en deçà d'une courbure imposée Cs limite définie par la relation : C5 4e/Ly2 dans laquelle e est l'épaisseur moyenne de l'élément et L y sa dimension dans la direction Y définie précédemment. Cette condition correspond au domaine de validité de la théorie linéaire dans laquelle les déformations considérées doivent rester faibles vis-àvis de l'épaisseur de la lame. Au delà de la limite ci-dessus, le phénomène anticlastique disparaît et la courbure redevient parfaitement cylindrique (voir à cet effet le document (2) Int. J. Solids Structures, vol.20, n06, pp. 553-570, 1984, "Suppression of anticlastic curvature in isotropic and composite plates" de M.W.Hyer et P.C. Bhavani. La théorie mathématique de la courbure anticlastique est en particulier décrite dans le document (3) Journal of Applied Mechanics, 1954 de Y.C. Fung et W.H. Wittrick, "The anticlastic curvature of a strip with lateral thickness variation", pp.351-358. En particulier l'équation 22 de ce document donne la déformation de la lame en tout point en fonction du rayon de courbure imposé, du coefficient de Poisson du matériau utilisé, de la largeur de la lame et de l'épaisseur de la lame. Dans les monochromateurs à deux cristaux, le premier cristal sélectionne une longueur d'onde du faisceau incident et le second à rayon de courbure réglable sert alors à focaliser le faisceau dans une direction parallèle à celle de ce faisceau incident. Du fait de cette déformation anticlastique, une partie importante du faisceau sélectionnée par le premier cristal peut être absorbée par le second cristal ou réfléchie dans une direction incorrecte. Même un positionnement précis des deux cristaux conduit à une perte d'intensité non négligeable car une partie importante de la surface du deuxième cristal n'est plus parallèle au premier cristal. Aussi, est-il nécessaire de limiter, voire supprimer, cette déformation anticlastique au moins dans la partie utile du cristal à rayon de courbure réglable. L'effet de la courbure anticlastique dans un cristal déformable de monochromateur est en particulier décrit dans le document (4) Nuclear Instruments and Method in Physics Research A291 (1990), pp. 209-212 de M.Sanchez del Rio et al., "Ray tracing results for a doubly focusing independent crystal X-ray monochromator 11 . Différentes méthodes ont été utilisées jusqu'à ce jour pour courber un cristal de monochromateur. L'une des techniques connues est l'utilisation d'une lame de forme triangulaire tenue sur un des côtés et courbée par déplacement de l'extrémité opposée. L'emploi d'une lame triangulaire est en particulier décrit dans le document (5) de G.M. Lamble and S.M. Heald de Rev. Sci. Instrum. 63(1), Janvier 1992, "Operation of a dynamically bent sagittally focusing double crystal monochromator for XAFS studies". L'avantage de cette solution est de permettre d'utiliser un mécanisme de courbure relativement simple. Une autre solution consiste à courber une lame rectangulaire en appliquant un couple par l'intermédiaire de rouleaux placés aux extrémités. Cette dernière méthode, plus difficile à mettre en oeuvre, possède l'avantage sur la précédente de conduire à une déformation symétrique. Cependant, dans les deux cas, le problème de la déformation anticlastique n'est absolument pas résolu. Aussi, est-il nécessaire d'ajouter à cette lame, parallèlement à cette forme triangulaire, un grand nombre de nervures sur la lame, parallèles entre elles et à la direction Y de l'axe de révolution de la forme cylindrique idéale de la lame courbée Une telle solution est notamment décrite dans le document (6) de C.G. Sparks et al., Nuclear Instuments and Methods 194 (1982), pp.73-78, "Sagittal focusing of synchrotron X-radiation with curved crystals", et dans le document (7) de A.Koyama et al. Rev. Sci. Instrum. 63(1), janvier 1992, IIImprovement of a sagittally focusing double crystal monochromatorll. Dans ce document (7), la lame est en outre triangulaire. Dans le cas où seules de faibles erreurs de pente (quelques 100 prad) dans la direction X entre la forme effectivement prise par la lame et la forme cylindrique idéale peuvent être tolérées, les nervures doivent être fines (largeur 9200pu pour Cs=lm-l), ce qui s'avère difficile à réaliser. Soit ces nervures sont gravées dans un cristal massif, ce qui nécessite des techniques de gravure très performantes, soit elles sont collées avec tous les problèmes que cela peut induire tels que la tenue sous rayonnement, le risque de décollement, le risque de pollution du vide utilisé dans le monochromateur, etc. En plus des difficultés de réalisation de l'ensemble de ces nervures, des erreurs de pente transverses selon la direction X (variations de l'écart entre la lame déformée et la forme idéale) subsistent du fait que la lame plie principalement entre les nervures. Ces erreurs sont imposées par la largeur des nervures ; dans les réalisations actuelles, elle est de l'ordre 0,5 mrad pour un rayon courbure de lm et des nervures de lmm de large. Cette erreur de pente va donc osciller entre deux valeurs extrêmes de façon identique sur toute la lame, entraînant encore une dispersion latérale du faisceau sortant. I1 est donc nécessaire de trouver une autre manière d'éliminer cette déformation anticlastique au moins dans la zone de la lame utile à la réflexion (ou plus exactement à la diffraction). La déformation anticlastique est due à l'utilisation d'un matériau dont le coefficient de Poisson est non nul. Pour éliminer cette déformation, on pourrait donc envisager l'utilisation d'un matériau à coefficient de Poisson nul ou quasi-nul. Malheureusement, la plupart des matériaux utilisables et dtun coût non prohibitif présentent un coefficient de Poisson non nul. Cette technique n'est donc pas envisageable. Une autre solution possible, déduite des formules liant la déformation parasite de la lame à son coefficient de Poisson et à la courbure imposée, serait l'utilisation d'une lame extrêmement mince et/ou très longue. Malheureusement ceci conduit à une lame très fragile et à un encombrement incompatible avec la place disponible dans les monochromateurs. Une autre solution serait d'utiliser une lame d'épaisseur variable dans la direction Y "parallèle" au faisceau incident. Pour la recherche d'un tel profil, on pourrait envisager de se restreindre à une épaisseur e variant lentement en fonction de y (coordonnée des points de la lame considérée selon la direction Y) de sorte que (ae/ay2 1 avec Ae/8y représentant la dérivée de l'épaisseur e par rapport à y et envisager alors un calcul direct de la déformée, fonction du profil choisi. Ce calcul nous ramène à la résolution d'une équation différentielle linéaire du quatrième ordre (voir équation n022 du document (2)) dont les coefficients dépendent de C5. Le profil qui annule cette déformation est alors fonction de la courbure Cs. Cette méthode présente l'avantage de conduire à une bonne correction sur toute la longueur de la lame. Malheureusement, elle ne convient que dans le cas d'une courbure fixe. Or, l'invention s'intéresse aux lames à courbure variable. L'invention a justement pour objet une lame à rayon de courbure réglable ainsi qu'un monochromateur utilisant cette lame permettant de remédier aux différents inconvénients mentionnés ci-dessus. En particulier, cette lame présente au moins dans la partie utile une déformation anticlastique négligeable. En outre, sa fabrication est moins délicate que celle des lames à rainures multiples fines. De façon plus précise, l'invention a pour objet une lame à surface rectangulaire, comportant une partie massive en matériau déformable dans son domaine élastique, la lame étant destinée à être courbée sous forme d'une portion de cylindre à axe de révolution orienté selon une première direction Y, comportant une face concave et une face convexe, caractérisée en ce que deux bords opposés de la partie massive, orientés selon une seconde direction X orthogonale à la première direction, sont pourvus chacun sur toute leur longueur et sur la face convexe d'une nervure, afin d'éviter une déformation anticlastique de la partie massive selon la seconde direction lorsque la lame est courbée. Lors de la déformation de la lame, ces deux nervures ont tendance à se rabattre vers la surface opposée concave de la lame, ce qui s'oppose à l'effet anticlastique. Toutes les parties de la lame contribuent à la déformation de la partie utile de la lame qui est en fait la partie centrale. Ainsi, pour augmenter la raideur de la lame sur les bords parallèles à la première direction Y, des rebords massifs peuvent être prévus sur les deux côtés opposés de la partie massive orientés selon cette direction Y. Ces rebords sont notamment destinés à appliquer le moment de flexion conduisant à une courbure sagittale de la lame. Ils présentent une rigidité grande mais non infinie qui doit donc être prise en compte précisément. Pour des tolérances d'erreur de pente (taux de variation de la différence entre la surface réelle prise par la lame et la forme cylindrique idéale) de quelques secondes d'arc, on peut utiliser une variation progressive de l'épaisseur de la lame, mesurée selon une troisième direction (Z) perpendiculaire aux première et seconde directions, entre les deux nervures, selon la première direction Y. Avantageusement, la partie centrale de la partie massive est plus épaisse que dans les zones adjacentes aux nervures. Pour améliorer encore les performances de la lame, sa partie massive peut présenter, selon la seconde direction X, une épaisseur variant progressivement entre les deux rebords. Etant donné que le calcul direct de l'épaisseur de la lame, destinée à compenser l'effet anticlastique, est rapidement fastidieux, les inventeurs ont eu l'idée de recourir à un programme de calcul par éléments finis, permettant d'optimiser le profil de la lame dans les directions X et Y de sorte que les erreurs de pente restent inférieures à 30urad pour tout rayon de courbure supérieur à l,3m de la lame et ceci pour une surface utile de forme elliptique de 30mm environ selon Y et de 60mm selon X. On obtient ainsi, en section selon la direction Y, la forme d'un W inversé aux sommets arrondis et accessoirement selon la direction X, la forme d'un M. Les moyens permettant de courber la lame peuvent être divers et en particulier ceux utilisés classiquement dans l'art antérieur. (Voir à ce sujet le document (8) de G.S. Knapp et al., "A simple sagittal focusing crystal which utilizes a bimetallic strip", Rev. Sci. Instrum. 63(1), janvier 1992, pp.465-567). Dans l'invention, il suffit d'écarter les rebords massifs latéraux prévus notamment à cette fin. Chaque rebord latéral est munie d'une rainure interne, orientée selon la première direction Y, assurant une meilleure prise pour courber la lame. La lame de l'invention peut être utilisée dans un grand nombre de dispositifs optiques et en particulier en tant que miroirs à rayon de courbure réglable ou plus spécialement dans un monochromateur en vue de réfléchir et de focaliser un faisceau de particules selon une direction donnée. De façon générale, l'invention s'applique à chaque fois que l'on souhaite obtenir une lame ou une plaque déformable sous forme d'une portion de cylindre à rayon de courbure réglable. Les matériaux utilisables dans l'invention doivent être déformés dans leur domaine élastique. Ainsi, un matériau très plastique ne marche pas. Selon l'application envisagée, la partie massive peut être en un métal usinable tel que l'aluminium, les alliages d'aluminium ou en un matériau monocristallin tel que le germanium monocristallin, le silicium monocristallin. Pour un miroir, on utilisera de préférence un matériau réfléchissant ou un matériau recouvert d'une couche réfléchissante par exemple en Au, Pt, Rh ou Al alors que pour un monochromateur, on utilisera de préférence un matériau monocristallin afin d'assurer la réflexion du faisceau électromagnétique sur les plans cristallins. Dans l'application particulière à un monochromateur, on peut cependant envisager de réaliser la partie massive en métal et de recouvrir la surface utile de la lame par un film de matériau mono cristallin ; cette surface utile est concave lorsque la lame est courbée. L'épaisseur du film est choisie de 10 à 20 um. Ainsi, le film monocristallin suit parfaitement la forme imposée à la partie massive. Cette dernière, selon l'application envisagée, a une épaisseur de l'ordre du mm. Bien que la lame de l'invention puisse être utilisée dans un grand nombre d'applications, elle est plus spécialement destinée à équiper un monochromateur. Aussi, l'invention a encore pour objet un monochromateur servant à sélectionner une longueur d'onde dans un faisceau de particules polychromatique comportant la lame telle que définie précédemment. Dans ce cas particulier, la lame doit comporter au moins une partie en matériau mono cristallin en vue de réfléchir la longueur d'onde voulue. En outre, le monochromateur doit être équipé de moyens pour courber la lame sous forme d'une portion de cylindre, la lame étant alors orientée de sorte que les nervures soient perpendiculaires à la direction moyenne du faisceau incident. La seule condition imposée par l'usinage du matériau massif monocristallin ou du film monocristallin à rapporter sur un matériau massif métallique est de prendre la direction (111) du cristal parallèle à la troisième direction Z. Dans la mesure où la taille du cristal le permet, il reste donc un paramètre libre à savoir l'angle entre la direction Y et la projection de (100) dans le plan XY. Cet angle dépend de la symétrie du cristal. Ainsi, pour le silicium, une rotation de s/6 autour de la direction (111) permet de conserver les propriétés du cristal. En fait, il n'existe que deux valeurs de cet angle qui conservent les symétries du cristal par rapport aux directions X et Y, à savoir 0 et in/6. D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description qui va suivre, données à titre illustratif et non limitatif, en référence aux dessins annexés, dans lesquels - la figure 1 représente schématiquement un monochromateur à deux cristaux dont le second est une lame à rayon de courbure réglable conformément à l'invention ; - la figure 2 montre de façon plus précise l'agencement des deux cristaux dans le monochromateur de la figure 1 ; - la figure 3 représente schématiquement, en perspective et en vue partielle, la lame déformable conforme à l'invention, en position de repos et en position déformée ; - la figure 4 est un exemple de réalisation des moyens permettant la déformation cylindrique de la lame ;; - les figures 5a à 7b illustrent deux cas particuliers de réalisation d'une lame en Si massif conforme à l'invention : sur les figures 5a et 5b, on a indiqué les dimensions et les côtes des lames en différents points ; les figures 6a et 7a donnent, pour un quart de lame, l'angle que fait la lame, en tout point, par rapport à la forme cylindrique idéale et les figures 6b et 7b donnent les erreurs de pente par rapport à la forme idéale, sous forme de courbes de niveaux, des deux lames ; - la figure 8 est une variante de réalisation de la lame de l'invention. La description qui suit se réfère à une lame en silicium monocristallin utilisable dans un monochromateur de rayons X. Mais bien entendu, l'invention est d'application beaucoup plus générale, comme décrit précédemment. En référence aux figures 1 et 2, un monochromateur comporte, de façon simplifiée, une enceinte à vide 2 contenant un cristal d'entrée 4 de silicium massif monocristallin taillé sous forme d'une lame parallélépipédique et un cristal de sortie 6 constitué d'une lame monocristalline de silicium massif de forme générale parallélépipédique, destinée à être courbée de sorte que la face concave 6a de la lame ainsi courbée soit dirigée vers le cristal 4. Les cristaux 4 et 6 doivent être positionnés l'un par rapport à l'autre de façon que le faisceau de particules incident 8 (ici un faisceau de rayons X), après réflexion sur la surface inférieure 4a du premier cristal et la surface concave 6a du second cristal 6, ressorte focalisé dans le plan horizontal et selon une direction parfaitement parallèle à la direction incidente. A cet effet, un système mécanique 10 connu est prévu dans l'enceinte pour assurer les mouvements en translation et en rotation des deux cristaux 4 et 6, indépendamment les uns des autres. Les références 9 et 11 indiquent respectivement les faisceaux réfléchis par les premier et second cristaux. En entrée et en sortie du monochromateur, on trouve différents systèmes 12 et 14 de protection contre les rayonnements y et X. Un support 16 de monochromateur et du système mécanique 10 est en outre prévu. Enfin, des moyens permettant de déformer la lame cristalline 6 en forme de portion de cylindre sont prévus. Un exemple particulier de réalisation de ces moyens sera décrit ultérieurement en référence à la figure 4. En ltabsence de déformation (figure 2), la lame cristalline 6 comporte deux côtés 20X orientés parallèlement à une direction X et deux côtés 20y orientés perpendiculairement à X et parallèlement à une direction Y ; le plan XY est alors parallèle à la surface plane 6a du cristal en position repos. La direction Z est perpendiculaire à ce plan XY et définie la direction de l'épaisseur du cristal. La direction Y est, comme représenté de façon agrandie sur la figure 3, celle de l'axe de révolution de la forme cylindrique idéale que l'on donne à la lame 6. Le faisceau réfléchi 9 sur la face 4a du premier cristal arrive sur la surface plane 6a du second cristal 6, selon une direction rasante sensiblement parallèle à la direction Y ; ainsi la projection de la direction de propagation du faisceau 9 sur la surface plane 6a de la lame est parallèle à la direction Y. L'angle e que fait le faisceau réfléchi 9 avec la surface 6a est donné par la relation k=2d/0, où d est la distance entre les plans cristallins utilisés et X la longueur d'onde choisie. Conformément à l'invention, les côtés 20X du cristal 6 sont équipés chacun d'une rainure 22 s'étendant sur toute leur longueur et en bordure de ces côtés. Ces nervures 22 sont formées sur la surface convexe 6b de la lame courbée. Elles ont une épaisseur, mesurée selon la direction Z, qui varie selon la direction Y de sorte que la partie la plus épaisse se situe en bordure de lame. Par ailleurs, entre les deux nervures 22 et selon la direction Y, l'épaisseur de la lame 6 varie progressivement et continûment ; elle présente en section selon Y une forme de W inversé, de forme arrondie. Ainsi, la lame comporte une partie plus épaisse 24 au centre et des parties plus fines 23 entre les nervures 22 et la partie centrale 24. La surépaisseur 24 est formée, comme les rainures 22, sur la face convexe 6b de la lame courbée. Cette forme particulière de la lame permet, lors de sa déformation cylindrique, de compenser la déformation anticlastique dans la direction X et d'obtenir une zone utile 26 pour la diffraction sans déformation anticlastique suffisamment importante pour assurer la majeure partie de la réflexion du faisceau incident 9. Conformément à l'invention, la lame 6 comporte en outre, sur toute la longueur de ses côtés 20y, des rebords 28, qui contribuent aussi à l'élimination de la courbure parasite anticlastique selon cette direction X, du fait de leur rigidité. Par ailleurs, l'épaisseur de la lame varie progressivement et continûment, selon la direction X, entre les deux rebords 28, la partie la plus épaisse, en dehors des rebords étant là encore située dans la zone centrale 24. En section selon X, la lame a la forme d'un M. Le profil particulier de la lame selon les directions X et Y est déterminé à l'aide d'un programme de calcul par éléments finis, appelé logiciel ANSYSTM et en utilisant comme micro-ordinateur un COMPAQ 386/20e. Afin de courber la lame selon une portion de cylindre, une rainure 30 s'étendant sur tout le long des rebords 28 et à l'intérieur des branches du M peut être prévue pour assurer une prise mécanique au système de courbure de lame représenté sur la figure 4. Ce système mécanique de référence générale 32 comporte deux systèmes 34 à parallélogrammes déformables du type cric de voiture. Les extrémités 36 des parallélogrammes prenant appui sur les rebords 28 de la lame sont équipées d'ergots 38 destinés à venir se loger dans les rainures latérales 30. L'actionnement du système mécanique 32 entraîne un écartement des rebords 28 selon la direction X entraînant une déformation cylindrique de la lame 6. Deux exemples d'une lame conforme à l'invention ont été réalisés avec du silicium monocristallin massif. Les caractéristiques du matériau étaient les suivantes - module d'Young = 130,2 109 Pa, - coefficient de Poisson = 0,2786 - module de cisaillement = 79,36 109 Pa. Ces caractéristiques correspondent aux valeurs sil=0,768 ; s12=-0, 214 ; s44=1,26 des éléments du tenseur d'élasticité S, exprimé dans le repère associé à la maille cristalline. Les trois directions cristallines du silicium sont alors équivalentes d'un point de vue mécanique. La lame 6 a été usinée de sorte que la direction (111) soit parallèle à la direction Z. En outre, l'angle entre la direction Y et la projection de la direction (100) dans le plan XY a été choisie égale à 0. Les dimensions et côtes précises de ces deux exemples de lame sont donnés dans le tableau ciaprès. Comme représenté sur les figures 5a et 5b, E représente la largeur selon la direction X des rebords 28 ; H représente la hauteur selon Z de ces rebords ; h représente la distance séparant chaque rainure 30 de la base des rebords 28 ; L représente la longueur de la lame selon la direction X ; 1 représente la largeur de la lame selon la direction Y. Les données el, e2, e3, e4, es, e6, et T1 à T6 donnent l'épaisseur de la lame en différents points. el à eg sont donnés selon la direction Y, el étant mesuré en bordure de lame et e6 au centre A de la lame. el à e6 sont pris selon une direction médiane passant par le centre A de la lame. T1=txel à T6=txe6 sont les épaisseurs de la lame dans la direction X mesurées en bordure des rebords 28, t étant le rapport d'homothétie entre l'épaisseur au centre de la lame sur la direction X et l'épaisseur sur les bords de la lame dans une direction parallèle à X : t est choisi dans la gamme allant de 0,3 à 1. d est la distance séparant les points aux côtes el et e2 ; d' est la distance séparant les côtes e2 et e3 ainsi que e3 et e4 ; d' est la distance séparant les côtes e4 et es ainsi que es et e6. Les résultats en termes d'erreur de pente entre la forme effectivement prise par la lame et la portion de cylindre idéale, obtenus par le calcul pour un rayon de courbure de 1,3m sont donnés sur les figures 6a et 6b en ce qui concerne l'exemple n01 et sur les figures 7a et 7b en ce qui concerne l'exemple n"2. Les courbes 6a et 7a donnent l'angle que fait la lame déformée par rapport au cylindre idéal pour un quart de lame, en tout point, (B indique le bord de la lame) et les figures 6b et 7b indiquent les erreurs de pente P dans la direction Y, La zone I correspond à une erreur de pente entre le cylindre idéal et la forme effectivement prise par la lame, supérieure ou égale à 30urad, les zones II correspondent à une erreur de pente nulle et les différentes courbes de niveau représentées entre ces deux zones ont été tracées à un pas de 3prad. Les erreurs de pente que l'on cherche a obtenir doivent être de quelques secondes d'arc, c'està-dire inférieures 10 secondes d'arc et si possible inférieures ou égales à 2 secondes d'arc, avec 1 seconde d'arc égale à Surad environ. Sur les figure 6a et 7a, la région U correspond à un angle nul entre la lame déformée et le cylindre idéal correspondant. On constate que cette zone U est relativement importante et en tout état de cause suffisante pour effectuer une réflexion du faisceau de particules incident 9 avec une qualité de focalisation et une intensité suffisante. La zone efficace U, exempte de déformation anticlastique, est légèrement différente entre les figures 6a et 7a. Ainsi, la lame de l'exemple 1 est plutôt destinée à la focalisation d'un faisceau de particule ramassé alors que la lame de l'exemple 2 à un faisceau de particules étendu. Dans certains cas particuliers d'utilisation, on peut envisager, comme représenté sur la figure 8, l'utilisation d'une lame 46 comportant une partie massive 48 métallique (Al ou alliage d'Al-Zn-Mg Cu par exemple) ayant la même forme que la lame 6 décrite en référence à la figure 3, pourvue sur sa surface 46a destinée à la réflexion du faisceau de particules, d'un film de silicium 50 de 10 à 20um d'épaisseur taillé de sorte que le faisceau se réfléchisse sur les directions (111) du cristal. La partie métallique a une épaisseur moyenne de lmm en dehors des rebords et nervures. Du fait de l'épaisseur mince du film de silicium 50, celui-ci suivra parfaitement la déformation imposée à la partie massive métallique 48. L'adhérence du film 50 sur la partie massive 46a peut être assurée par tout moyen connu et par exemple par une fine couche de gallium liquide. TABLEAU EX E H h L/2 l/2 e1 e2 e3 e4 e5 e6 d d' d" t (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) (mm) n 1 11,901 23 3 71,964 37,102 3,5 1,722 0.799 0,859 0.932 1,008 4,394 6,6 8,888 0,7216 n 2 16,668 23 3 69,25 37,52 3,5 1,665 0,711 0,799 0,947 0,983 4,736 6,6 10,083 0,803 REVENDICATIONS 1. Lame à surface rectangulaire (6a), comportant une partie massive (6, 48) en matériau déformable dans son domaine élastique, la lame étant destinée à être courbée sous forme d'une portion de cylindre à axe de révolution orienté selon une première direction (Y) , comportant une face concave (6a) et une face convexe (6b), caractérisée en ce que deux bords opposés (20x) de la partie massive, orientés selon une seconde direction (X) orthogonale à la première direction, sont pourvus chacun sur toute leur longueur et sur la face convexe d'une nervure (22), afin d'éviter une déformation anticlastique de la partie massive selon la seconde direction (X) lorsque la lame est courbée. 2. Lame selon la revendication 1, caractérisée en ce que la partie massive comporte selon la première direction (Y) une épaisseur mesurée selon une troisième direction (Z) perpendiculaire à la première et seconde directions, qui varie progressivement entre les deux nervures (22). 3. Lame selon la revendication 1 ou 2, caractérisée en ce que la partie massive (6, 46) présente en section selon la première direction (Y) la forme dTun W inversé. 4. Lame selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisée en ce que des rebords (28) massifs sont prévus sur deux bords opposés (20y) de la partie massive, orientés vers la face convexe (6b) selon la première direction (Y). 5. Lame selon la revendication 4, caractérisée en ce que la partie massive présente selon la seconde direction (X) une épaisseur mesurée selon la troisième direction (Z) qui varie progressivement entre les deux rebords (28). 6. Lame selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, caractérisée en ce que la partie massive est plus épaisse dans la zone centrale (24) que dans les zones (23) adjacentes aux nervures. 7. Lame selon l'une quelconque des revendications 2 à 6, caractérisée en ce que l'épaisseur de la lame est déterminée à l'aide d'un calcul par éléments finis qui tient compte du coefficient de Poisson du matériau, de la dimension (1) de la lame selon la première direction (Y) et du rayon du cylindre. 8. Lame selon l'une quelconque des revendications 4 à 7, caractérisée en ce que les rebords (28) sont munis chacun d'une rainure (30) interne, orientée selon la première direction (Y) pour assurer une prise sur la lame en vue de la courber. 9. Lame selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisée en ce que la partie massive (6, 48) de la lame est en un matériau monocristallin ou en métal. 10. Lame selon l'une quelconque des revendications 1 à 9, caractérisée en ce que la partie massive (48) est en métal et en ce qu'un film (50) de matériau mono cristallin est déposé sur la surface concave (6b). 11. Lame selon la revendication 9 ou 10, caractérisée en ce que le matériau monocristallin est du silicium monocristallin. 12. Monochromateur pour sélectionner une longueur d'onde dans un faisceau de particules polychromatique, caractérisé en ce qu'il comprend une lame (6, 48) selon l'une quelconque des revendications 1 à 11, comportant au moins un matériau monocristallin (6, 50) destiné à réfléchir ladite longueur d'onde, et des moyens pour courber la lame sous forme d'une portion de cylindre, la lame étant orientée de sorte que les nervures (22) soient perpendiculaires à la direction moyenne dudit faisceau (9).