Brevet FR2706036A1 — publié le 19941209

La présente invention concerne un capteur de pression pour haute température, qu'on utilise de préférence pour détecter la pression des gaz de combustion dans un cylindre d'un moteur à combustion interne. La figure 10(A) représente un exemple d'un capteur de pression pour haute température de la technique antérieure. Ce capteur de pression comprend un loge- ment la ayant un alésage lOb entouré par une paroi cylindrique 10a, un élément de détection de déflexion 6a monté dans l'alésage lob, un diaphragme 2a ayant une extrémité périphérique fixée à la paroi cylindrique lOa de manière à fermer l'ouverture de l'alésage lOb et pouvant dévier dans la direction axiale de la paroi cylindrique lOa lorsque la pression d'un fluide à haute température agit sur sa surface A (c'est-à-dire la surface de détection de la pression), et des éléments de transmission de pression 7a, 8a transmettant la déflexion de la surface A à l'élément 6a. Par exemple, la demande non examinée de brevet japonais n HEI 4-290937/1992 décrit un capteur de pression de ce type. Le diaphragme 2a a sa surface avant A soumise, par exemple, à des gaz de combustion, et sa surface arrière B dirigée vers l'alésage lOb du logement la. Par suite de la différence de température se produisant entre les surfaces A et B lorsque le diaphragme 2a reçoit de l'énergie thermique en provenance des gaz de combustion, la surface A subit une dilatation thermique supérieure à celle de la surface B. Ainsi, le diaphragme 2a est en saillie vers l'extérieur (c'est-à-dire vers une chambre de combustion), comme cela est représenté en figure 10(B). Cette déflexion est transmise à l'élément 6a de détection de déflexion via les éléments de transmission 7a, 8a, ce qui se traduit par des erreurs 2 2706036 de sortie. Par conséquent, la précision de la mesure est amoindrie. L'annulation de la déflexion de la surface de détection de la pression due à la différence de température entre les surfaces A et B est très difficile car la différence de température change largement en fonction des conditions de fonctionnement du moteur. La figure 11 représente la relation entre la vitesse du moteur et la température maximum de la surface du diaphragme 2a selon le capteur de pression pour haute température de la figure 10, dont les deux lignes correspondent à des conditions de charge élevée (courbe du haut) et de faible charge (courbe du bas) du moteur, respectivement; la figure 12 représente la relation entre l'angle de la manivelle et la température de la surface du diaphragme 2a à une vitesse prédéterminée du moteur dans des conditions de charge élevée (courbe en tirets) et de faible charge du moteur (courbe en trait plein). On comprendra d'après les figures 11 et 12 que la température de la surface A du diaphragme 2a varie largement en fonction de la vitesse du moteur, de sa charge et de l'angle de la manivelle. La figure 13 représente la variation de la sortie réelle du capteur (trait plein) et la variation de la pression réelle d'un cylindre (ligne en tirets) pendant un cycle complet de la combustion. Comme représenté en figure 13, la sortie du capteur est plus petite que la pression réelle du cylindre à cause de l'effet néfaste de la déflexion thermique du diaphragme 2a due à la différence de température entre les surfaces A et B. Plus précisément, la pression des gaz de combustion agit généralement en force de compression sur l'élément de détection 6a, alors que la déflexion thermique du diaphragme 2a diminue cette force de compression de manière inattendue. La température de la surface A varie largement en fonction de la température de la chambre de combustion, laquelle est liée à la vitesse du moteur, à 3 2706036 sa charge et à l'angle de la manivelle. La différence de température entre les surfaces A et B varie aussi largement en fonction de la vitesse du moteur, de sa charge et de l'angle de la manivelle. La température de la surface A varie aussi en fonction de la quantité de la suie accumulée sur la surface A. En conséquence, compte-tenu des problèmes décrits ci-dessus qu'on rencontre dans la technique antérieure, la présente invention a pour objet de fournir un capteur de pression pour haute température qui soit précis et soit en mesure de réaliser la réduction des erreurs de mesure dues à la déflexion thermique du diaphragme du capteur. De façon à atteindre ces objets ainsi que d'autres objets, la présente invention fournit, dans l'un de ses aspects, un capteur de pression pour haute température comportant: un logement ayant un alésage entouré par une paroi cylindrique; un élément de détection de déflexion monté dans l'alésage; un diaphragme fermant une ouverture de l'alésage, le diaphragme ayant une extrémité périphérique fixée à la paroi cylindrique et une surface déformable, soumise à une pression, pouvant dévier dans la direction axiale de la paroi cylindrique; un élément de transmission de pression interposé entre le diaphragme et l'élément de détection pour la transmission de la déflexion de la surface à l'élément de détection; le diaphragme étant divisé en une partie inférieure centrale et une partie périphérique extérieure, la partie inférieure centrale étant évidée par rapport à la partie périphérique extérieure. Dans le capteur selon le premier aspect de la présente invention, il est préférable que la partie inférieure centrale et la partie périphérique extérieure aient des surfaces plates parallèles l'une à l'autre. En outre, il est préférable que la zone centrale et la zone extérieure soient reliées par une 4 2706036 zone chanfreinée. L'épaisseur de la zone chanfreinée n'est pas supérieure à celle de la zone centrale ou de la zone extérieure. En outre, il est préférable que la partie inférieure centrale soit symétrique par rapport à l'axe du diaphragme. De plus, il est préférable que l'élément de transmission de la pression soit en contact avec la partie inférieure centrale en un point. En outre, il est souhaitable de fournir un élément d'isolation thermique pour protéger la surface du diaphragme sur laquelle la pression agit. Dans un second aspect, la présente invention fournit un capteur de pression pour haute température comportant: un logement ayant un alésage entouré par une paroi cylindrique; un élément de détection de déflexion monté dans l'alésage; un diaphragme fermant une ouverture de l'alésage, le diaphragme ayant une extrémité périphérique fixée à la paroi cylindrique et une surface sur laquelle agit la pression qui peut dévier dans la direction axiale de la paroi cylindrique; un élément de transmission de pression interposé entre le diaphragme et l'élément de détection de déflexion pour transmettre la déflexion de ladite surface à l'élément de détection; et un élément d'isolation thermique pour protéger la surface du diaphragme sur laquelle la pression agit. Dans le capteur de pression pour haute température selon le second aspect de la présente invention, il est préférable que l'élément d'isolation thermique soit une plaque en forme de disque montée sur un arbre en saillie sur le centre de la surface sur laquelle la pression agit, ou une coupe ayant une paroi cylindrique avec une multitude d'ouvertures et accouplée à l'extrémité périphérique du diaphragme, ou une couche d'isolation thermique appliquée sur la surface sur laquelle la pression agit. 2706036 La présente invention sera bien comprise lors de la description suivante faite en liaison avec les dessins ci-joints dans lesquels: La figure 1 est une vue en coupe du capteur de pression pour haute température selon un premier mode de réalisation de la présente invention; Les figures 2(A) à 2(H) sont des vues représentant les étapes de la fabrication d'un élément de détection de déflexion à semi-conducteur; La figure 3 est une vue en coupe à grande échelle d'une partie essentielle du diaphragme en conformité avec le premier mode de réalisation de la présente invention; La figure 4 est une vue en plan de la figure 3; La figure 5 est une vue en coupe à grande échelle d'une partie essentielle du diaphragme selon le premier mode de réalisation de la présente invention; La figure 6 est une vue en coupe d'un capteur de pression pour haute température selon un second mode de réalisation de la présente invention; La figure 7 est une vue en coupe d'un capteur de pression pour haute température selon un troisième mode de réalisation de la présente invention; La figure 8 est une vue en coupe d'un capteur de pression pour haute température selon un quatrième mode de réalisation de la présente invention; La figure 9 est une vue en coupe d'un capteur de pression pour haute température selon un cinquième mode de réalisation de la présente invention; La figure 10(A) est une vue en coupe d'un capteur de pression pour haute température selon l'art antérieur; La figure O10(B) est une vue en coupe représentant partiellement le capteur de la figure 10(A); La figure 11 est un graphique représentant la relation entre la vitesse du moteur et la température 6 2706036 de la surface du diaphragme pour le capteur de la figure 10(A); La figure 12 est un graphique représentant la relation entre l'angle de la manivelle et la température de la surface du diaphragme pour le capteur de la figure O10(A); et La figure 13 est un graphique représentant la relation entre l'angle de la manivelle et la sortie du capteur pour le capteur de la figure 10(A). En figure 1, on a représenté une vue en coupe d'un capteur de pression pour haute température monté sur le bloc-moteur d'un moteur à combustion interne. Le capteur comprend un logement 1 constitué d'un cylindre en acier inoxydable aux extrémités ouvertes, ayant une surface extérieure filetée qui est vissée dans un trou fileté 100a ménagé sur la tête de cylindre 100 du bloc moteur. Le logement 1 comporte un côté de base 11 ayant une partie à grand diamètre. Ce côté de base 11 est comprimé contre la surface extérieure 10Ob de la tête de cylindre 100 par l'intermédiaire d'un joint 110 lorsque le logement 1 est vissé à fond dans le trou 100a, d'o la fourniture d'un joint étanche aux gaz entre le logement 1 et la tête de cylindre 100. Le logement 1 a une extrémité ouverte en regard d'une chambre de combustion C. Une coupe 2 en acier inoxydable, avec un fond 20 et une paroi cylindrique 22 de faible épaisseur, est insérée dans cette extrémité ouverte et soudée (W) au logement 1 à l'extrémité périphérique du fond 20. Ainsi, l'espace intérieur du logement 1, c'est-à-dire un alésage 13, est rendu étanche vis-à-vis de la chambre de combustion C. Le fond 20 comporte une partie évidée 21 et a la forme d'un disque. La surface du fond 20 est en regard de la chambre de combustion C et peut dévier dans la direction axiale de la paroi cylindrique 22 lorsqu'elle est soumise à la pression du fluide à haute température 7 2706036 présent de la chambre de combustion C. Ainsi, le fond 20 fonctionne en diaphragme servant de surface sur laquelle agit la pression selon la présente invention. La partie évidée 21 est placée au centre du diaphragme 20. Plus spécialement, la partie évidée 21 est divisée en gros en une partie inférieure centrale et une partie périphérique extérieure. La partie inférieure centrale correspond à la partie évidée 21, laquelle est évidée axialement dans une direction qui est orientée en sens opposé à la chambre de combustion C. Une tige circulaire métallique 4 est insérée dans une ouverture de la coupe 2 et soudée à la surface intérieure de la paroi cylindrique 22. La tige 4 comporte plusieurs trous traversants qui s'étendent dans le sens axial de la paroi cylindrique 22. Un goujon métallique dur 5 formant électrode est inséré dans chaque trou traversant avec un joint hermétique. Ainsi, la tige 4 et la coupe 2 définissent ensemble un espace hermétique S, c'est-à-dire l'alésage 13. La tige 4 a une surface extrême qui est en regard de l'espace hermétique S. Un élément à semi- conducteur 6 pour la détection des déflexions, tel qu'un élément en céramique piézo-électrique, est lié à la surface extrême de la tige 4. L'élément 6 fonctionne en élément de détection de déflexion selon la présente invention. Une tige circulaire 7 en céramique et un élément métallique en forme de champignon 8 sont connectés en série et interposés entre le diaphragme 20 et l'élément de détection 6. L'élément en champignon 8 a une surface extrême plate à sa partie inférieure qui est liée à la surface d'une tranche (qu'on décrira ultérieurement) de l'élément de détection 6. L'élément en champignon 8 a une surface semi-sphérique à son extrémité supérieure qui est liée à une surface extrême (c'est-à-dire à la surface du côté inférieur en figure 1) de la tige circulaire 7. L'autre surface extrême de la tige 7 est liée à la surface arrière, 8 2706036 c'est-à-dire à une surface convexe, de la partie évidée 21. Alors que la surface semi-sphérique de l'élément en champignon 8 est mise en contact avec la tige circulaire 7 à son point le plus haut, qui est le centre radial de l'élément 8, une force agissant à partir du diaphragme 20 par l'intermédiaire de la tige circulaire 7 peut être reçue à l'axe de l'élément 8. La tige circulaire 7 et l'élément en champignon 8 fonctionnent en élément de transmission de la pression de la présente invention, lequel est interposé entre le diaphragme 20 et l'élément 6 de détection de la déflexion pour transmettre à l'élément de détection 6 la déflexion de la surface A du diaphragme 20 soumise à l'action de la pression. Le diaphragme 20, la tige circulaire 7, l'élément en champignon 8 et l'élément de détection 6 sont maintenus ensemble avec une force de compression de pré- charge donnée par la déflexion du diaphragme 20, d'o l'augmentation de la force de connexion entre ces parties. Comme la tige circulaire 7 est en céramique, par exemple en alumine, le transfert de chaleur à l'élément de détection 6 peut être sensiblement réduit. Le côté base de grand diamètre 11 du logement 1 présente une surface intérieure recevant un boîtier 9 contenant un dispositif à circuits d'amplification (non représenté) qui amplifie la sortie de l'élément en semi-conducteur 6 de détection de la déflexion. Une extrémité de chaque goujon métallique est câblée à une électrode de sortie correspondante de l'élément de détection 6. L'autre extrémité du goujon 6 est guidée dans le boîtier 9 et soudée à une électrode correspondante du dispositif à circuits d'amplification. On expliquera maintenant plus en détail l'élément en semi- conducteur 6 de détection de la déflexion. Les figures 2(A) à 2(H) représentent les étapes de la fabrication de l'élément de détection 6. 9 2706036 Comme cela est représenté en figure 2(A), une tranche 60 de silicium conducteur n- (c'est-à-dire une tranche de calibrage), ayant un axe cristallin , a une surface avec une zone 61 formant une résistance piézo-électrique qui est définie par le motif 62 d'un masque. La zone 61 est soumise à une injection d'ions pour provoquer diffusion et activation, d'o la formation d'une partie 6a de détection de déflexion qui est un pont de Wheststone à résistance piézo-électrique, comme cela est représenté en figure 2(B). Un film de protection 63, en oxyde de silicium, est alors formé sur la surface supérieure de la tranche 60 par le procédé d'oxydation thermique, comme illustré en figure 2(C). Une tranche 64 (c'est-à-dire une tranche de la tige), ayant un axe cristallin , est préparée comme représenté en figure 2 (D). Ensuite, les deux tranches 60 et 64 sont liées directement dans une atmosphère propre, comme représenté en figure 2(E). Le motif 65 d'un masque en forme de disque est placé sur la surface supérieure de la tranche 64, comme représenté en figure 2 (F). En appliquant une gravure anisotrope à la tranche 64, une multitude de tiges 66 sont formées comme représenté en figure 2(G). Des électrodes en aluminium 64 sont formées dans le voisinage de chaque tige 66 par le procédé photo- lithographique. Après découpe, une puce est finalement obtenue. En dehors du procédé de fabrication qu'on décrit ci-dessus, d'autres procédés connus permettront de fabriquer l'élément de détection 6. On expliquera maintenant le fonctionnement du capteur de pression pour haute température. Lorsqu'une explosion se produit dans la tête de cylindre 100 du moteur, son onde de pression agit sur le diaphragme 20. La déflexion du diaphragme 20 est transmise par l'intermédiaire de la tige circulaire 7 et de l'élément en champignon 8 à l'élément de détection 6. L'élément 6 produit, à son tour, une sortie de pont en réponse à l'amplitude de la déflexion transmise. Le 2706036 signal de sortie du pont est alors fourni au dispositif à circuits d'amplification, lequel amplifie le signal et le sort finalement pour application à des dispositifs associés. On expliquera ci-dessous la fonction et l'effet du diaphragme 20 de la présente invention. Comme le diaphragme circulaire 20 comporte un évidement 21 à son centre, la dilatation thermique du diaphragme dans la direction de la chambre de combustion C peut être effectivement supprimée. On expliquera ce mécanisme plus en détail en liaison avec la figure 3. Le diaphragme 20 comporte une surface avant A (c'est-à-dire la surface soumise à la pression) dirigée vers la chambre de combustion C et une surface arrière B qui est en regard de l'alésage 13 (c'est-à- dire l'espace hermétique S). Le diaphragme 20 comprend une partie inférieure centrale 2c et une partie périphérique extérieure 2b dont les surfaces sont plates et parallèles l'une à l'autre. Les parties plates 2b, 2c sont réunies par une partie chanfreinée 2d. La partie évidée 21 est donc constituée de la partie inférieure centrale 2c servant de fond pour la partie évidée 21 et de la partie chanfreinée 2d servant de paroi inclinée pour la partie évidée 21. La partie périphérique extérieure 2b, disposée à l'extrémité avant du diaphragme 20, a une épaisseur tl, et la partie inférieure 2c une épaisseur t2. La partie chanfreinée 2d a une épaisseur t3 qui n'est pas plus grande que les épaisseurs tl et t2 (c'est-à-dire que t3 La surface avant A du diaphragme 20 est soumise à des conditions thermiques relativement sévères, par rapport à la surface B. Ainsi, lorsque le diaphragme 20 est chauffé, la différence de température entre les surfaces A et B augmente, ce qui se traduit par la dilatation thermique de la surface A par rapport à la surface B. Par conséquent, la périphérie extérieure 2b est en saillie suivant la flèche X dans la direction de la chambre de combustion C. La partie il 2706036 chanfreinée 2d se dilate suivant la ligne Z en trait plein. Par ailleurs, la partie inférieure centrale 2c a tendance à être en saillie suivant la flèche Y en tirets dans la direction de la chambre de combustion C, provoquant une déformation de forme convexe dans la direction de la chambre de combustion C, comme cela est représenté par la ligne en pointillé en figure 3. Cependant, la quantité de l'avance vers l'avant au centre de la partie inférieure 2c (c'est-à-dire au centre radial de la partie évidée 21) peut être supprimée pour être annulée, car la saillie de la partie centrale 2c est annulée par le déplacement vers l'arrière de cette partie 2c même. En d'autres termes, la dilatation thermique de la partie chanfreinée 2d dans la direction Z absorbe la dilatation thermique de la partie inférieure centrale 2c dans la direction Y. Cela est dû au fait que la partie chanfreinée 2d provoque une dilatation thermique relativement plus grande par rapport à celle des parties plates 2b et 2c car l'épaisseur t3 de la partie chanfreinée 2d n'est pas supérieure aux épaisseurs tl et t2 des parties plates 2b et 2c. La ligne en pointillé de la figure 3 représente le taux de la dilatation thermique du diaphragme 20. Selon la présente invention, l'extrémité avant de la tige circulaire 7 est mise en contact avec le centre radial de la partie évidée 21 qui est le plus stable vis-à-vis de la dilatation thermique. Par conséquent, la tige circulaire 7 est presque exempte de l'effet néfaste de la différence de température entre les surfaces A et B. Par conséquent, l'élément de détection 6 peut conserver sa précision de mesure. La partie évidée 21 a une configuration circulaire, qui est symétrique par rapport à l'axe du diaphragme 20 comme cela est représenté en figure 4. Cependant le diaphragme 20 peut prendre une autre forme, par exemple être rectangulaire ou avoir la forme d'une étoile, dans la mesure o elle est symétrique par rapport à son axe. 12 2706036 La figure 5 représente un élément modifié 70 de transmission de la pression, qui comporte une tête semi-sphérique en contact avec la surface arrière B de la partie évidée 21 à un point central. Ainsi, l'élé- ment 70 de transmission de la pression peut être amené avec sûreté en contact avec le centre radial de la partie évidée 21. Par conséquent, l'effet néfaste de la différence de température entre les surfaces A et B peut être encore plus supprimé. De plus, la précision de la mesure du capteur peut être encore améliorée. On expliquera en liaison avec la figure 6 un capteur de pression pour haute température selon le second mode de réalisation de la présente invention. Selon ce second mode de réalisation, un diaphragme 200 ne comporte aucune partie évidée comme dans le cas du diaphragme classique 2a représenté en figure 10(A), mais présente un arbre 201 de diamètre plus petit formé en une pièce sur la surface A du diaphragme 200 à son centre radial. Sur le sommet de l'arbre 201, est formée en une pièce une plaque d'isolation thermique 202 en forme de disque qui s'étend parallèlement à la surface A du diaphragme 200. La surface de la plaque 202 est identique à celle du diaphragme 200. Avec cet agencement, le diaphragme 200 n'est pas directement exposé au rayonnement thermique émis par les gaz de combustion. Il en résulte que, lorsque la température des gaz de combustion varie par suite des diverses conditions de fonctionnement du moteur, la variation de la température de la surface A du diaphragme 200 peut être supprimée dans une plage relativement petite. La déflexion du diaphragme 200 est par conséquent réduite et l'erreur de sortie de l'élément de détection de la déflexion en semi- conducteur peut être réduite. On expliquera, en liaison avec la figure 7, un capteur de pression pour haute température selon le troisième mode de réalisation de la présente invention. 13 2706036 Selon le troisième mode de réalisation, un diaphragme 210 présente une partie évidée comme dans le diaphragme 20 du premier mode de réalisation. Le diaphragme 210 comprend aussi un arbre de petit diamètre 211 en saillie sur le centre radial de la surface A du diaphragme. Sur le sommet de cet arbre 211, une plaque d'isolation thermique 212 en forme de disque s'étend parallèlement à la surface A du diaphragme. La surface de la plaque 212 est identique à celle du diaphragme 210. Avec un agencement de cette sorte, on peut bénéficier des avantages présentés par les premier et second modes de réalisation décrits ci-dessus. On expliquera maintenant, en liaison avec la figure 8, un capteur de pression pour haute température selon le quatrième mode de réalisation de la présente invention. Selon le quatrième mode de réalisation, un diaphragme 220 comporte une partie évidée comme dans le cas de la partie 20 du premier mode de réalisation. Le diaphragme 220 est recouvert d'une coupe d'isolation thermique 221 en acier inoxydable. L'extrémité périphérique du diaphragme 220 est accouplée à l'extrémité cylindrique ouverte de la coupe 221. Une multitude d'ouvertures 222 pour l'entrée/la sortie des gaz de combustion sont ménagées sur la fine paroi cylindrique de la coupe 221, de sorte que la surface A du diaphragme 220 peut être exposée aux gaz de combustion présents dans la chambre. Avec cet agencement, on évite que le diaphragme 220 reçoive directement le rayonnement émis par les gaz de combustion. Il en résulte que, lorsque la température des gaz de combustion varie par suite des diverses conditions de fonctionnement du moteur, le changement de la température de la surface A du diaphragme 220 peut être supprimé dans une plage relativement petite. La déflexion du diaphragme 220 est par conséquent réduite, 14 2706036 et l'erreur de la sortie de l'élément de détection 6 peut être réduite. On expliquera, en liaison avec la figure 9, un capteur de pression pour haute température selon le cinquième mode de réalisation de la présente invention. Selon le cinquième mode de réalisation, un diaphragme 230 comporte une partie évidée comme dans le diaphragme 20 du premier mode de réalisation. La surface A du diaphragme 230 est revêtue d'une couche d'isolation thermique 231 en céramique (alumine). Avec cet agencement, on empêche que le diaphragme 230 reçoive directement le rayonnement émis par les gaz de combustion de la même manière que dans les second à quatrième modes de réalisation de l'invention. La présente invention n'est pas limitée aux exemples de réalisation qui viennent d'être décrits; elle est au contraire susceptible de modifications et de variantes qui apparaîtront à l'homme de l'art. 2706036 REVENDICATIONS 1 - Capteur de pression pour haute température, caractérisé en ce qu'il comprend: - un logement (1) ayant un alésage (13) entouré par une paroi cylindrique; - un élément de détection de déflexion (6) monté dans l'alésage; - un diaphragme (20) fermant une ouverture de l'alésage, le diaphragme ayant une extrémité périphérique (2b) fixée à la paroi cylindrique et une surface (A) sur laquelle agit la pression, et pouvant dévier dans la direction axiale de la paroi cylindrique; - un élément de transmission de pression (7, 8) interposé entre le diaphragme et l'élément de détection afin de transmettre la déflexion de la surface soumise à la pression à l'élément de détection de déflexion; et - le diaphragme étant divisé en une partie inférieure centrale (2c) et une partie périphérique extérieure (2b), la partie inférieure centrale étant évidée par rapport à la partie périphérique extérieure. 2 - Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce la partie inférieure centrale (2c) et la partie périphérique extérieure (2b) ont des surfaces parallèles l'une à l'autre. 3 - Capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que la partie inférieure centrale (2c) et la partie périphérique extérieure (2b) sont reliées par une partie chanfreinée (2d). 4 - Capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que l'épaisseur de la partie chanfreinée (2d) n'est pas plus grande que celle de la partie inférieure centrale (2c) ou de la partie périphérique extérieure (2d). - Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie inférieure centrale (2c) est symétrique par rapport à l'axe du diaphragme (20). 16 2706036 6 - Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce que l'élément de transmission de la pression (7, 8) est mis en contact avec la partie inférieure centrale en un point. 7 - Capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un élément d'isolation thermique (202; 212) pour protéger la surface (A) du diaphragme soumise à la pression. 8 - Capteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'élément d'isolation thermique est une plaque en forme de disque qui s'étend parallèlement à la surface soumise à la pression. 9 - Capteur selon la revendication 8, caractérisé en ce que la plaque en forme de disque est espacée de la surface soumise à la pression via un arbre (201; 211) monté au centre de cette surface. - Capteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'élément d'isolation thermique est une coupe (221) ayant une paroi cylindrique avec une multitude d'ouvertures (222) et accouplée à l'extrémité périphérique du diaphragme. 11 - Capteur selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'élément d'isolation thermique est une couche d'isolation thermique (231) appliquée à la surface soumise à la pression. 12 - Capteur de pression pour haute température, caractérisé en ce qu'il comprend: - un logement (1) ayant un alésage (13) entouré par une paroi cylindrique; - un élément de détection de déflexion (6) monté dans l'alésage; - un diaphragme (20) fermant une ouverture de l'alésage, le diaphragme ayant une extrémité périphérique (2b) fixée à la paroi cylindrique et une surface (A) sur laquelle agit la pression qui peut dévier dans la direction axiale de la paroi cylindrique; - un élément de transmission de la pres- sion (7, 8) interposé entre le diaphragme et l'élément 17 2706036 de détection de déflexion afin de transmettre la déflexion de la surface soumise à la pression à l'élément de détection de déflexion; - un élément d'isolation thermique (202; 212) afin de protéger la surface (A) du diaphragme soumise à la pression. 13 - Capteur selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'élément d'isolation thermique est une plaque en forme de disque qui s'étend parallèlement à la surface soumise à la pression. 14 - Capteur selon la revendication 13, caractérisé en ce que la plaque en forme de disque est distante de la surface (A) soumise à la pression via un arbre (201; 211) monté au centre de cette surface. 15 - Capteur selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'élément d'isolation thermique est une coupe (221) ayant une paroi cylindrique avec une multitude d'ouvertures (222) et accouplée à l'extrémité périphérique du diaphragme. 16 - Capteur selon la revendication 12, caractérisé en ce que l'élément d'isolation thermique est une couche d'isolation thermique (231) appliquée à la surface soumise à la pression.