Brevet FR2707425A1 — publié le 19950113

STRUCTURE EN MATERIAU SEMICONDUCTEUR, APPLICATION A LA REALISATION D'UN TRANSISTOR ET PROCEDE DE REALISATION L'invention concerne une structure en matériau semiconducteur, son application à la réalisation d'un transistor (un MISFET ou un MOS notamment) et un procédé de réalisation. Dans la fabrication de composants semiconducteurs, la réalisation d'une couche d'isolant sur le semiconducteur est un problème omniprésent. On peut citer en exemple: - la fabrication de MISFETs (Metal Insulator Field Effect Transistors): des transistors à effet de champ dans lesquels la grille de commande est isolée du canal par un isolant; - la passivation de surface afin d'éliminer les effets parasites tels que la conduction de surface, ou pour améliorer la tension de claquage. Les caractéristiques essentielles requises de cette couche d'isolant sont: - un fort champ de claquage On peut citer la silice comme étant un des isolants les plus utilisés. Les meilleurs champs de claquage pour la silice sont environ de 12.106 V/cm. Le champ de claquage indique la capacité de l'isolant à soutenir une tension et partant à pouvoir commander les charges dans le canal dans le cas du MISFET. - une faible densité d'état d'interface En général les isolants déposés sur des semiconducteurs sont amorphes et de ce fait ils possèdent des états électroniques à l'interface avec le semiconducteur. Ces états électroniques sont nuisibles à plusieurs titres. Dans le cas de risolant de grille, ils écrantent l'effet du champ électrique de conmmande et limitent la possibilité de moduler le nombre de porteurs sous la grille. Ils introduisent égalemerit des états d'interface qui jouent le rôle de centres diffuseurs pour les porteurs dans le canal et limitent ainsi leur mobilité. La détérioration de la mobilité de canal est une des limitations des MOSFETs sur silicium. - une forte résistivité afin d'assurer l'isolation entre la grille et le canal et de minimiser les courants de fuite. Pour les meilleures silices, la résistivité est supérieure à 1015 Ohm.cm. Le problème qui consiste à trouver le bon isolant pour un semiconducteur donné, pour une application donnée est, en général, extrêmement difficile. On peut remarquer qu'une des raisons qui ont créé le succès du silicium est que la silice est un isolant naturel répondant de manière satisfaisante à toutes les exigences ci-dessus. La silice sur silicium présente une densité d'états d'interface faible, pour laquelle les meilleurs résultats sont au niveau de quelques 1010cmr2eV-1. On peut également remarquer que l'obtention d'un couple semiconducteur/isolant dont l'interface est bonne n'est un problème résolu, malgré de très nombreux efforts, ni sur AsGa ni sur InP. Ceux-ci sont pourtant des semiconducteurs importants d'un point de vue technologique. Afin de remédier aux problèmes cités plus haut, on pourrait épitaxier un isolant sur le semiconducteur. 11 est en effet connu par les spécialistes des surfaces, que sous certaines conditions, les hétérojonctions entre deux matériaux cristallins (un semiconducteur et un isolant) n'induisent pas d'états électroniques dans la bande interdite du semiconducteur. On peut ainsi obtenir des interfaces de grande qualité en ce qui concerne le nombre d'états et la diffusion d'interface. Cette idée est à la base d'une sorte de transistor à effet de champ que l'on nomme le DMT (Doped channel Mis-like Transistor) et qui a été décrit dans la thèse de B. Bonte (Université de Lille, Juin 1990). Ainsi qu'il est décrit dans cette thèse, il est intéressant de pouvoir épitaxier un isolant sur semiconducteur, car il serait ainsi possible de s'affranchir des problèmes d'état d'interface, tout en gardant certains des avantages du MISFET. Toutefois, il est très difficile de trouver un couple isolant/semiconducteur dont les paramètres de maille soient accordés. Dans les DMTs décrit dans la thèse de B. Bonte, le canal peut être fait en GaInAs et l'isolant serait de r'AIGaAs dont le paramètre de maille est accordé. L'AlGaAs est utilisé comme isolant faute de trouver un véritable isolant épitaxiable sur GaInAs, mais son utilisafion ne permnnet pas au DMT de présenter tous les avantages d'un véritable MISFET. Les différents polytypes du carbure de silicium sont des semiconducteurs à grande bande interdite dont les qualités intrinsèques leur conf/rent des avantages décisifs sur le silicium ou l'arséniure de gallium pour un très grand nombre d'applications dont on pourra citer: - le fonctionnement à haute température et dans des milieux corrosifs; - l'immunité aux radiations; - les composants de puissance fonctionnant du continu aux hyperfréquences; - l'intégration monolithique extrêmement dense. Parmi les polytypes (Cil y en a plus d'une centaine en tout), les principaux sont le 3C (cubique), le 2H, le 4H, et le 6H (hexagonaux). Leurs propriétés varient beaucoup (voir un article de M Van Vliet et al. pour l'introduction: Ann. Rev. mater. Sci. 1988. 18:381-421). Jusqu'à récemment, la recherche sur le SiC a été ralentie par le peu de progrès en croissance des monocristaux. Or, il existe actuellement des techniques de préparation de monocristaux de SiC (dans ses polytypes 4H et 6H) qui sont de très bonne qualité. Mais il reste un bon nombre de problèmes techniques à résoudre pour pouvoir tirer tout son potentiel du carbure de silicium. Parmi ces problèmes, il y a celui du choix d'un bon isolant. Le choix évident en premier lieu, la silice, a été étudié et semble prometteur en ce qui concerne la densité d'états d'interface lorsqu'elle est faite par oxydation sur un matériau SiC dopé n. Chaudhry (J. Appl. phys. 69, 7319 (1991)) a montré que l'on pouvait obtenir quelques 1011 cm-2eV1 en oxydant le carbure de silicium. Toutefois, la composition de cette silice montre qu'elle possède un fort taux de carbone, et à ce titre elle est loin d'&être optimisée. Des transistors MOS avec canal n ont été faits sur SiC (CREE Research, North Carolina, USA, cité dans larticle d'introduction de G. Kelner et M. Shur, 1991 International Semiconductor Device Research Symposium, Charlottesville, Virginia, USA, 4-6 Décembre 1991), en utilisant de la silice comme isolant avec de bons résultats, mais les composants MOS avec canal p semblent plus difficiles à réaliser, en partie à cause de la moindre qualité de rinterface SiO2/SiC dopé p. L'invention permet de résoudre ce problème. L'invention concerne donc une structure en matériaux semiconducteurs comportant au moins une couche de carbure de silicium recouverte d'une première couche d'isolant, caractérisée en ce que le carbure de silicium est monocristallin et que la couche d'isolant est également monocristalline. L'invention concerne également une application de la structure à la réalisation d'un transistor, caractérisée en ce qu'elle comporte sur un canal en carbure de silicium monocristallin reliant la source et le drain, une couche d'isolant en matériau monocrista lin. Enfin rinvention concerne un procédé de réalisation d'un composant semiconducteur caractérisé en ce que la couche de carbure de silicium et la couche d'isolant sont déposées par épitaxie. Les différents objets et caractéristiques de rinvention apparaîtront plus clairement dans la description qui va suivre faite à titre d'exemple et dans les figures annexées qui représentent: - la figure 1, un premier exemple de réalisation d'un dispositif selon l'invention; - les figures 2 et 3, un exemple de procédé de réalisation du dispositif de la figure 1; - la figure 4, un autre exemple de réalisation du dispositif selon l'invention. L'objet de l'invention est de réaliser une couche d'isolant sur du SiC monocristallin par épitaxie d'un composé nitruré sous forme cristalline: ByAlix. yGaxN. Il a été démontré (R Davis, communication at the 7th Trieste Semiconductor symposium) que rAIN pouvait être déposé sur le SiC 6H, en épitaxie parfaite avec le substrat, et ce jusqu'à des épaisseurs de 500 A. L'épitaxie d'AIN sur SiC est d'ailleurs connue depuis longtemps (W. F. Knippenberg and G. Verspui, Proceedings of the International Conference on SiC, University Park PA, 1968, Pergamon, New Yorsk). Toutefois, l'intérêt cité pour l'épitaxie d'AIN sur SiC est de réaliser un matériau épitaxié de haute qualité et de permettre ainsi l'étude des composés AllxGaxN pour leurs propriétés semiconductrices et optiques. L'objet de l'invention est de réaliser une structure en matériaux semiconducteurs dans laquelle les propriétés isolantes de I'AIN sont effectivement utilisées. L'objet de rinvention est d'utiliser la structure (SiC monocfistalin/BAll. x.yGaxN) comme couple de base semiconducteur/isolant. Cela est différent par rapport aux études existantes sur r'épitaxie de All.xGaxN sur SiC qui ont pour but d'étudier les composés nitrurés pour leurs propriétés intrinsèques et ne se servent du SiC que comme substrat L'isolant sera plus particulièrement composé d'AIN et le semiconducteur sera du SiC monocristallin sous une de ses nombreuses formes (3C, 4I-H, 6H ou autre). L'intérêt de l'invention réside en la perfection de l'interface, dont dérivent tous les avantages mentionnés en introduction. Nous allons maintenant décrire à titre d'exemple des structures tirant avantage de cette interface, ainsi que leur mode de réalisation. I/ MISFET SIC La structure représentant une des réalisations possibles décrites par la présente invention est schématisée en figure 1. La structure est caractérisée en ce qu'elle est fabriquée sur un substrat 1 de carbure de silicium, de polytype 6H par exemple, monocristallin, semi-isolant. En ce qu'elle comporte un canal 2 de type n sur lequel se trouve un isolant 3 monocristallin épitaxié (de 'AIN par exemple), dont linterface avec le canal est de grande perfection. Entre la couche d'AIN et la métallisation de grille 5, on peut intercaler une deuxième couche disolant 4 (amorphe ou cristallin) si besoin est. L'épaisseur de la couche 3 d'AIN peut varier de In à 200 nm suivant les applications. Les contacts ohmniques de drain 6 et de source 7 sont déposés sur des zones 8 et 9 ayant été dopées plus fortement. Les différentes dimensions et valeurs des paramètres du MISFET seront choisies suivant les techniques connues. En particulier, elles pourront être égale à: - la longueur de grille Lg = 0.5 Mam - la distance grifflle source Lgs = 1 pim - la distance grille drain Lgd = 3.5 glm - l'épaisseur du canal a = 0.25 gim - le dopage du canal Nd = 3.1017 cm-3 - le développement de la grille W = 1 mm Cette structure est très simplifiée, mais montre la caractéristique essentielle de rinvention qui est d'avoir un canal de transport du courant électronique séparé de la grille de commande par un isolant épitaxié. Les étapes permettant de fabriquer un tel composant peuvent être agencées de la manière suivante, comme le montre la figure 2: - Sur un substrat semi-isolant 2 de carbure de silicium (de type 4H par exemple) on épitaxie un canal 2 de SiC de même type dopé n, par une des méthodes connues d'épitaxie. Parmi les méthodes connues on peut citer, la sublimation sandwich (telle que pratiquée par les équipes russes de lInstitut IOFFE St Pétersbourg par exemple), la Chemical Vapour Deposition, la Molecular Phase Epitaxy, etc. Ensuite la couche d'isolant 3 est épitaxiée sur le canal SiC. On peut choisir de 'AIN. La technique d'épitaxie est de nouveau choisie parmi les techniques connues. La nature de l'isolant peut dépendre du choix et de l'orientation du polytype de SiC dans le canal. Par exemple, sur du SiC 6H orienté (0001), la couche d'AIN pourra être du 2H orienté (0001). En revanche sur du SiC 3C orienté (100), l'AIN déposé pourra être du cubique orienté (100). - Sur la couche épitaxiée on fait une implantation localisée à l'aide d'un masquage (figure 3). Pour obtenir les zones 8, 9 de type N++, on peut implanter de rAzote. L'implantation se fait en général à haute température. On peut ensuite faire un recuit flash d'activation des porteurs à haute température (typiquement entre 1000 et 2000 C). La couche d'isolant épitaxiée étant elle-même très réfractaire, elle supporte des recuits haute température qui pourraient être problématiques avec de la silice. - La suite de 'élaboration du composant se fait de manière classique si ce n'est que les contacts ohmiques peuvent être recuits à très haute température ce qui est favorable pour former des contacts stables en température. 2/ Circuits CMOS Dans les circuits CMOS, on fait passer un courant entre la source et le drain par l'application d'une tension sur la grille. Cette tension provoque l'inversion sous risolant de grille et accumule les porteurs à cet endroit. Les porteurs circulent donc juste à linterface et subissent toutes les diffusions dues à des défauts de l'interface. Un isolant épitaxié améle'iore grandement la transconductance de ces transistors. La figure 3 montre une coupe de principe des circuits CMOS. Dans un substrat d'un type (p- dans l'exemple donné), on fait des transistors NMOS directement d'une manière similaire à celle décrite pour la réalisation du MISFET précédemment décrit. Les transistors P-MOS sont faits dans un caisson d'isolation qui aura été fabriqué localement soit par implantation soit par diffusion (la méthode de choix sera probablement l'implantation). La réalisation du transistor suit alors celle du MISFET. REVENDICATIONS 1. Structure en matériaux semiconducteurs comportant au moins une couche de carbure de silicium (2) recouverte d'une première couche d'isolant (3), caractérisée en ce que le carbure de silicium (2) est monocristallin et que la couche d'isolant (3) est également monocristalline. 2. Structure en matériaux semiconducteurs selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte sur la première couche d'isolant (3) une deuxième couche d'isolant (4) amorphe ou cristallin. 3. Structure en matériaux semiconducteurs selon la revendication 1, caractérisée en ce que la première couche d'isolant (3) est à base de nitrure d'aluminium. 4. Structure en matériaux semiconducteurs selon la revendication 1, caractérisée en ce que la couche de carbure de silicium (2) est dopée et est située sur une couche de carbure de silicium semi-isolant. 5. Structure en matériaux semiconducteurs selon la revendication 3, caractérisée en ce que la première couche d'isolant est du ByAll.xyGaxN. 6. Application de la structure selon l'une quelconque des revendications 1 à 5, à la réalisation d'un transistor, caractérisée en ce qu'elle comporte, sur un canal (2) en carbure de silicium monocristallin reliant la source et le drain, une couche d'isolant (3) en matériau monocristallin. 7. Application selon la revendication 6, caractérisée en ce que le canal (2) est dopé de type n; il est réalisé sur un substrat en carbure de silicium semi-isolant et il comporte à ses extrémités des zones (8, 9) dopées n++ correspondant aux zones de drain et de source. 8. Application selon la revendication 7, caractérisée en ce que le canal (2) est dopé de type n- et comporte à ses extrémités des zones de source et de drain dopées p++. 9. Procédé de réalisation d'un composant semiconducteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que la couche de carbure de silicium (2) et la couche d'isolant (3) sont déposées par épitaxie.